JPH01104635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01104635U JPH01104635U JP19887987U JP19887987U JPH01104635U JP H01104635 U JPH01104635 U JP H01104635U JP 19887987 U JP19887987 U JP 19887987U JP 19887987 U JP19887987 U JP 19887987U JP H01104635 U JPH01104635 U JP H01104635U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- quick
- ion pump
- tube
- conditioner
- Prior art date
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- Pending
Links
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図は制御回路図である。 １……加速管、２……走査管、３……イオンポ
ンプ、４……温度センサ、５……ＱＣポンプ、６
……真空スイツチ、１９，２２……温度センサ４
の接点、２１，２５……真空スイツチ６の接点、
３１……電源。
図は制御回路図である。 １……加速管、２……走査管、３……イオンポ
ンプ、４……温度センサ、５……ＱＣポンプ、６
……真空スイツチ、１９，２２……温度センサ４
の接点、２１，２５……真空スイツチ６の接点、
３１……電源。
Claims (1)
- 加速管と走査管とからなり、前記加速管内と走
査管内を真空化するためのイオンポンプと、クイ
ツクコンデイシヨナーポンプとを備えてなる電子
線照射装置において、前記走査管の内部に真空ス
イツチを設け、前記真空スイツチが所定の真空度
より低下したことを検知したことによつて動作す
る接点を、前記クイツクコンデイシヨナーポンプ
を非運転状態とする制御用に供するとともに、温
度センサを前記イオンポンプに設け、前記温度セ
ンサが前記イオンポンプの過熱状態を検出したと
きに動作する接点を、前記イオンポンプの運転停
止用に供してなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19887987U JPH01104635U (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19887987U JPH01104635U (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01104635U true JPH01104635U (ja) | 1989-07-14 |
Family
ID=31489361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19887987U Pending JPH01104635U (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01104635U (ja) |
-
1987
- 1987-12-29 JP JP19887987U patent/JPH01104635U/ja active Pending