JPH01101456A - 超音波顕微鏡装置 - Google Patents
超音波顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPH01101456A JPH01101456A JP62260183A JP26018387A JPH01101456A JP H01101456 A JPH01101456 A JP H01101456A JP 62260183 A JP62260183 A JP 62260183A JP 26018387 A JP26018387 A JP 26018387A JP H01101456 A JPH01101456 A JP H01101456A
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- Japan
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- coupling liquid
- acoustic lens
- heater
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上のＪ
本発明は、カップリング液体の温度を超音波トランスジ
ューサで制御するようにした超音波顕微鏡装置に関する
ものである。
ューサで制御するようにした超音波顕微鏡装置に関する
ものである。
丈未皮逢
超音波顕微鏡は数１０ＭＨｚ以上の超音波を被検体に入
射し、その反射波または透過波を検出して被検体の表面
構造、内部構造、音響物性に関する情報を得るものであ
る。そして、この超音波トランスジューサ（超音波の送
受波素子）と被検体の間の超音波の送受は、通常それら
の間に介在する液体（カップ−リング液体）を通して行
われる。超音波顕微鏡の分解能は超音波の周波数に比例
して増大するので、高周波で測定することが要求される
。
射し、その反射波または透過波を検出して被検体の表面
構造、内部構造、音響物性に関する情報を得るものであ
る。そして、この超音波トランスジューサ（超音波の送
受波素子）と被検体の間の超音波の送受は、通常それら
の間に介在する液体（カップ−リング液体）を通して行
われる。超音波顕微鏡の分解能は超音波の周波数に比例
して増大するので、高周波で測定することが要求される
。
しかし、液体中の超音波の吸収は一般に周波数の２乗に
比例して増大することが知られており、超音波顕微鏡で
利用し得る最高の周波数は、カップリング液体の稲城に
よって決まる（但し、超音波トランスジューサと被検体
の距離が一定のとき）。
比例して増大することが知られており、超音波顕微鏡で
利用し得る最高の周波数は、カップリング液体の稲城に
よって決まる（但し、超音波トランスジューサと被検体
の距離が一定のとき）。
この力、ツブリング液体としては水が最もよく使われて
いや。水の吸収係数は温度に最も関係する関数であり、
０℃から６０℃の上昇に伴って急激に減少する。従って
、高周波での観測のためには、水温を６０℃〜８０℃程
度に昇温することが行われている。
いや。水の吸収係数は温度に最も関係する関数であり、
０℃から６０℃の上昇に伴って急激に減少する。従って
、高周波での観測のためには、水温を６０℃〜８０℃程
度に昇温することが行われている。
従来の超音波顕微鏡装置は、第３図に示すように試料台
１の上に被検体２が載置され、この被検体２にカップリ
ング液体３として水を介して対向する凹面部４ａを持つ
音響レンズ（例えばサフィアなど）４が設けられ、この
音響レンズ４の背面部４ｂの電極５と６の間にＺｎＯの
圧電体薄膜７が設けられている。
１の上に被検体２が載置され、この被検体２にカップリ
ング液体３として水を介して対向する凹面部４ａを持つ
音響レンズ（例えばサフィアなど）４が設けられ、この
音響レンズ４の背面部４ｂの電極５と６の間にＺｎＯの
圧電体薄膜７が設けられている。
この従来の超音波顕微鏡装置は、被検体２を載置する試
料台Ｉの温度を試料台ｌに埋め込まれたヒータ８あるい
は傍熱型のヒータ（図示せず）によって昇温し、液体カ
ップリング３の温度を上昇させていた。
料台Ｉの温度を試料台ｌに埋め込まれたヒータ８あるい
は傍熱型のヒータ（図示せず）によって昇温し、液体カ
ップリング３の温度を上昇させていた。
１が ゛ しようとする間 へ
しかしながら、従来の超音波顕微鏡装置では、試料台１
にヒータ８を設けているため、試料台を昇温するには装
置が大型になり、また熱容量が大であるので、所定の温
度になるには時間がかかり。
にヒータ８を設けているため、試料台を昇温するには装
置が大型になり、また熱容量が大であるので、所定の温
度になるには時間がかかり。
さらに温度制御が容易でないという欠点があり、また被
検体２の温度が試料台１の温度にまで昇温されて過熱さ
れ易いという問題があった。
検体２の温度が試料台１の温度にまで昇温されて過熱さ
れ易いという問題があった。
ｌ 占を するための 段 ・
本発明は、上記問題点を解決するために、超音波トラン
スジューサからカップリング液体を介して音波を被検体
に照射し、該被検体における音波の反射波を前記カップ
リング液体を介して前記超音波トランスジューサで受信
するようにした超音波顕微鏡装置において、カップリン
グ液体の昇温を前記超音波トランスジューサに設けたヒ
ータによって加熱することを特徴とする。
スジューサからカップリング液体を介して音波を被検体
に照射し、該被検体における音波の反射波を前記カップ
リング液体を介して前記超音波トランスジューサで受信
するようにした超音波顕微鏡装置において、カップリン
グ液体の昇温を前記超音波トランスジューサに設けたヒ
ータによって加熱することを特徴とする。
皿
本発明によれば、超音波トランスジューサを加熱し、そ
れによってカップリング液体の昇温を超音波トランスジ
ューサ側から行うことにより、カップリング液体は音波
の放射面部分が昇温するので、カップリング液体である
水の吸収係数が極端に減少する。
れによってカップリング液体の昇温を超音波トランスジ
ューサ側から行うことにより、カップリング液体は音波
の放射面部分が昇温するので、カップリング液体である
水の吸収係数が極端に減少する。
大適班
第１図は１本発明の実施例の超音波顕微鏡装置の側面断
面図で、ｌは試料台、２は被検体、３はカップリング液
体、４は音響レンズ、５．６は電極、７は圧電体振動子
であり、これらの構成は上記第３図の従来例と同じであ
るので、説明は省略するが、本実施例では、音響レンズ
４の周囲にヒータ９が装着されている。このヒータ９と
しては、抵抗線を直接音響レンズ４に巻き付けてもよい
し、また音響レンズ４の側面に電気抵抗性導電塗料等を
焼付け、これに通電して加熱してもよい。
面図で、ｌは試料台、２は被検体、３はカップリング液
体、４は音響レンズ、５．６は電極、７は圧電体振動子
であり、これらの構成は上記第３図の従来例と同じであ
るので、説明は省略するが、本実施例では、音響レンズ
４の周囲にヒータ９が装着されている。このヒータ９と
しては、抵抗線を直接音響レンズ４に巻き付けてもよい
し、また音響レンズ４の側面に電気抵抗性導電塗料等を
焼付け、これに通電して加熱してもよい。
このように構成した本実施例の超音波顕微鏡装置では、
ヒータ９が音響レンズ４の周囲に装着され、音響レンズ
４を加熱する程度の小型のものであるので、熱容量が小
さく、温度制御が容易であり、また音響レンズ４を加熱
することによっ□てカップリング液体３を加熱するので
、超音波の伝播部分を中心に昇温でき、従ってカップリ
ング液体３の吸収係数を減少したい部分を有効に昇温で
きる。
ヒータ９が音響レンズ４の周囲に装着され、音響レンズ
４を加熱する程度の小型のものであるので、熱容量が小
さく、温度制御が容易であり、また音響レンズ４を加熱
することによっ□てカップリング液体３を加熱するので
、超音波の伝播部分を中心に昇温でき、従ってカップリ
ング液体３の吸収係数を減少したい部分を有効に昇温で
きる。
また、水温が上昇するので、被検体２の温度を低くでき
、また試料台ｌは温度上昇を低温に抑えることができる
。従って、試料台１に接した被検体２も温度上昇が著し
く抑えられ、生物試料等を変成させず、特に有効である
。
、また試料台ｌは温度上昇を低温に抑えることができる
。従って、試料台１に接した被検体２も温度上昇が著し
く抑えられ、生物試料等を変成させず、特に有効である
。
第２図は、本発明の他の実施例の超音波顕微鏡装置の側
面断面図で、１は試料台、２は被検体、３はカップリン
グ液体であり、これらの構成は上記第１図の実施例と同
じであるが、本実施例では、金属の基体１０はカップリ
ング液体２側に凹面部１０ａを設け、また基体１０の周
囲にヒータ９を装着し、この基体１０とヒータ９と共に
金属円筒１１に挿入して電気的絶縁材料１２で固定する
。そして、凹面部１０ａの近傍に高分子厚電膜またはＺ
ｎＯの薄膜圧電体振動子１３を装着し、その上にスパッ
タ法等で金（Ａｕ）の薄膜電極１４を設ける。
面断面図で、１は試料台、２は被検体、３はカップリン
グ液体であり、これらの構成は上記第１図の実施例と同
じであるが、本実施例では、金属の基体１０はカップリ
ング液体２側に凹面部１０ａを設け、また基体１０の周
囲にヒータ９を装着し、この基体１０とヒータ９と共に
金属円筒１１に挿入して電気的絶縁材料１２で固定する
。そして、凹面部１０ａの近傍に高分子厚電膜またはＺ
ｎＯの薄膜圧電体振動子１３を装着し、その上にスパッ
タ法等で金（Ａｕ）の薄膜電極１４を設ける。
このように構成した本実施例の超音波顕微鏡装置は、前
述の実施例よりもさらに効果が認められる。
述の実施例よりもさらに効果が認められる。
見朋！招犯１
以上の説明から明らかなように１本発明は、超音波トラ
ンスジューサを加熱し、それによってカップリング液体
の昇温を超音波トランスジューサ側から行うことにより
、カップリング液体は音波の放射面部分が昇温するので
、カップリング液体である水の吸収係数を極端に減少さ
せることができ、またヒータは音響レンズを加熱する程
度の小型のものであるので、熱容量が小さく、温度制御
が容易であり、さらに音響レンズを加熱することによっ
てカップリング液体を加熱するので、超音波の伝播部分
を中心に昇温でき、従ってカップリング液体の吸収係数
を減少したい部分を有効に昇温できる。また、水温が上
昇するので、被検体の温度を低くでき、また試料台ｌは
温度上昇を低温に抑えることができる。従って、試料台
に接した被検体も温度上昇が著しく抑えられ、生物試料
等を変成させず、特に有効であるなどの利点がある。
ンスジューサを加熱し、それによってカップリング液体
の昇温を超音波トランスジューサ側から行うことにより
、カップリング液体は音波の放射面部分が昇温するので
、カップリング液体である水の吸収係数を極端に減少さ
せることができ、またヒータは音響レンズを加熱する程
度の小型のものであるので、熱容量が小さく、温度制御
が容易であり、さらに音響レンズを加熱することによっ
てカップリング液体を加熱するので、超音波の伝播部分
を中心に昇温でき、従ってカップリング液体の吸収係数
を減少したい部分を有効に昇温できる。また、水温が上
昇するので、被検体の温度を低くでき、また試料台ｌは
温度上昇を低温に抑えることができる。従って、試料台
に接した被検体も温度上昇が著しく抑えられ、生物試料
等を変成させず、特に有効であるなどの利点がある。
第１図は本発明の実施例の超音波顕微鏡装置の側面断面
図、第２図は本発明の他の実施例の超音波顕微鏡装置の
側面断面図、第３図は従来の超音波顕微鏡装置の側面断
面図である。 ｌ・・・試料台、２・・・被検体、３・・・カップリン
グ液体、４・・・音響レンズ、５．６・・・電極、７・
・・圧電体振動子、９・・・ヒータ、１０・・・基体、
１１・・・金属円筒、１２・・・電気的絶縁材料、１
３・・・薄膜圧電体振動子、１４・・・薄膜電極。
図、第２図は本発明の他の実施例の超音波顕微鏡装置の
側面断面図、第３図は従来の超音波顕微鏡装置の側面断
面図である。 ｌ・・・試料台、２・・・被検体、３・・・カップリン
グ液体、４・・・音響レンズ、５．６・・・電極、７・
・・圧電体振動子、９・・・ヒータ、１０・・・基体、
１１・・・金属円筒、１２・・・電気的絶縁材料、１
３・・・薄膜圧電体振動子、１４・・・薄膜電極。
Claims (1)
- 超音波トランスジューサからカップリング液体を介し
て音波を被検体に照射し、該被検体における音波の反射
波を前記カップリング液体を介して前記超音波トランス
ジューサで受信するようにした超音波顕微鏡装置におい
て、カップリング液体の昇温を前記超音波トランスジュ
ーサに設けたヒータによって加熱することを特徴とする
超音波顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62260183A JPH01101456A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | 超音波顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62260183A JPH01101456A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | 超音波顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01101456A true JPH01101456A (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=17344481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62260183A Pending JPH01101456A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | 超音波顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01101456A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001087849A3 (en) * | 2000-05-12 | 2002-06-06 | Genzyme Corp | Modulators of tnf- alpha signaling |
| CN106473770A (zh) * | 2015-08-31 | 2017-03-08 | 陈霞 | B超检查用综合辅助装置 |
| CN114113318A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-01 | 北京强度环境研究所 | 一种用于低温环境的焊缝质量超声检测装置 |
-
1987
- 1987-10-15 JP JP62260183A patent/JPH01101456A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001087849A3 (en) * | 2000-05-12 | 2002-06-06 | Genzyme Corp | Modulators of tnf- alpha signaling |
| CN106473770A (zh) * | 2015-08-31 | 2017-03-08 | 陈霞 | B超检查用综合辅助装置 |
| CN114113318A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-01 | 北京强度环境研究所 | 一种用于低温环境的焊缝质量超声检测装置 |
| CN114113318B (zh) * | 2021-11-04 | 2023-05-23 | 北京强度环境研究所 | 一种用于低温环境的焊缝质量超声检测装置 |
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