JP7796890B2 - メカニカルシール装置 - Google Patents

Description

本発明は、シャフトを支持するためのベアリングが配置されたベアリング室に対して、無毒な気体状媒体で満たされたプロセス室を密封するためのガス潤滑式メカニカルシール装置、及び、コンプレッサ装置に関する。

先行技術において、様々な設計のメカニカルシール装置が知られている。いわゆるタンデム設計は、２つのメカニカルシールがシャフト上に直列で配置され、その２つのメカニカルシール間の中間空間にバリアガスが供給されるものであるが、気体状媒体を密封できることが実証されている。バリアガスはバリアガス装置によって供給されるが、このバリアガス装置は、追加的な構造的労力に加えて、所定の圧力下で供給する必要があるバリアガスを生成するための継続的な動作コストも動作中に伴うことになる。例えば、特許文献１は、バリアガスとして窒素を使用するバリアガス装置を備えたガス潤滑式メカニカルシール装置を記載している。しかし最近では、二酸化炭素や窒素など環境に無毒な媒体を密封する必要がある用途の需要が高まっており、特に二酸化炭素の圧縮が、例えば、周囲の空気から二酸化炭素を除去して温室効果を低減したり、貯蔵所への貯蔵のために二酸化炭素を圧縮したりするために注目されている

ドイツ特許公報ＤＥ１０２０１８２０８５１９号

そのため、本発明の目的は、簡易な構造で、環境に無毒な気体状媒体、特に二酸化炭素又は窒素の密封を可能とし、低コストで簡単に製造可能なメカニカルシール装置、及び、コンプレッサ装置を提供することである。

この目的は、請求項１に記載の特徴を有するメカニカルシール装置及び請求項１０に記載の特徴を有するコンプレッサ装置により達成される。従属請求項は、本発明の好ましい実施形態を特定する。

請求項１の特徴を有する、無毒な気体状媒体で満たされたプロセス室をベアリング室に対して密封するための本発明に係るガス潤滑式メカニカルシール装置は、周囲圧力が支配的なベアリング室に対するプロセス室の密封を、特に高いコスト効率と高い信頼性で可能にするという利点を提供する。回転部品、特にシャフトの密封を可能とするために、高価な別個のバリアガス装置を設ける必要はない。従って、本発明に係るメカニカルシール装置は、特に低コストで提供することができる。これは、本発明に従って、メカニカルシール装置が第１メカニカルシールと第２メカニカルシールとを備えることによって達成される。第１メカニカルシールは、回転スライドリングと固定スライドリングとを備え、それらのスライド面間に第１シール間隙が画定される。第２メカニカルシールは、回転スライドリングと固定スライドリングとを備え、それらのスライド面間に第２シール間隙が画定される。更に、メカニカルシール装置は、第１予圧装置と第２予圧装置とを備える。第１予圧装置は第１メカニカルシールの固定スライドリングにプリストレスを与え、第２予圧装置は第２メカニカルシールの固定スライドリングにプリストレスを与える。第１メカニカルシールと第２メカニカルシールとの間に流体室が配置されており、プロセス領域に気体状の無毒な媒体を戻すように構成されたハウジング内の戻りラインが流体室から延びている。流体室は、第１シール間隙及び第２シール間隙と流体連通しており、動作中に、プロセス室から第１シール間隙を介して流出した漏れを受け取る。第１メカニカルシールと第２メカニカルシールは、第１メカニカルシールの固定スライドリングの後面と第２メカニカルシールの固定スライドリングの後面が向かい合う方向で並ぶように直列に配置されている。更に、第１メカニカルシールの固定スライドリングの内周に第１段差が形成されている。第１メカニカルシールの固定スライドリングの最小の第１内径Ｄ１は、第１メカニカルシールの固定スライドリングの最大の第２内径Ｄ２よりも小さい。メカニカルシールの非動作状態において、第１メカニカルシールの第１シール間隙は開放されており、プロセスガスはプロセス室から開放されたシール間隙を介して第１メカニカルシールと第２メカニカルシールとの間の流体室に流入することができる。更に、第２メカニカルシールの固定スライドリングの外周に第２段差が形成されている。第２メカニカルシールの固定スライドリングの最小の第１外径Ｄ３は、第２メカニカルシールの固定スライドリングの最大の第２外径Ｄ４よりも小さい。メカニカルシール装置の非動作状態において、第２メカニカルシールの第２シール間隙は閉鎖されているか、又はほとんど漏れがない。更に、第１メカニカルシールの第１シール間隙における第１の漏れ方向は、外側から内側にプロセス室から流体室へ延びており、第２メカニカルシールの第２シール間隙における第２の漏れ方向は、内側から外側に流体室からベアリング室へ延びている。

従って、メカニカルシール装置が非動作状態にある時、すなわちメカニカルシール装置が密封する回転部品が回転していない時には、第１メカニカルシールの第１シール間隙は開放され、第２メカニカルシールの第２シール間隙は閉鎖されている。漏れたプロセス媒体は、流体室から戻りラインを介してプロセス室に戻される。メカニカルシール装置の非回転状態において、第２メカニカルシールは、ベアリング室に対して流体室を密封する。密封対象の回転部品が回転している状態では、両方のメカニカルシールが作動状態となる。プロセス室から第１シール間隙を介して流体室への第１の小さな漏れがあり、流体室から第２メカニカルシールの第２シール間隙を介してベアリング室への第２の小さな漏れがある。その結果、２つのメカニカルシールの動作に別個のバリア媒体は不要であり、代わりに、第１及び第２メカニカルシールはプロセス媒体によって潤滑される。第１メカニカルシールの第１シール間隙を介する漏れの大部分は、戻りラインを介してプロセス領域に戻されるため、損失されない。本発明において、気体状の無毒な媒体という用語は、気体集合状態又は超臨界状態の媒体を意味するものと理解されたい。

本発明に係るメカニカルシール装置は、例えば、コンプレッサのシャフト上での使用時の高速においてさえも、非常に良好な密封性能を発揮する。第１メカニカルシールと第２メカニカルシールの間に位置する流体室からプロセス領域への戻りラインを配置することにより、第１の漏れの大部分を、第１シール間隙を介して回収して、プロセスに戻すことも可能となる。動作中において、残る漏れは、第２メカニカルシールの第２シール間隙を介する第２の漏れのみであるが、比較的少量である。

本発明の好ましい実施形態によると、第１メカニカルシールの回転スライドリングはそのスライド面に複数の第１搬送溝を備える。第１搬送溝は、好ましくは第１メカニカルシールの回転スライドリングの外周に配置され、好ましくは三日月形状で内側へ延びる。

更に好ましくは、第２メカニカルシールの固定スライドリングは第２搬送溝を備える。好ましくは、第２搬送溝は、外側へ延びるように内周に配置され、特に第２メカニカルシールの固定スライドリングの内周から外側へ三日月形状で延びる。

搬送溝は、第１メカニカルシールと第２メカニカルシールの全てのスライドリング上に配置されることが好ましい。

プロセス室と流体室との間の第１の差圧は、流体室とベアリング室との間の第２の差圧よりも少なくとも３倍高いことが好ましい。第１の差圧が、第２メカニカルシールにおける第２の差圧よりも少なくとも５倍高いことが好ましく、少なくとも１０倍高いことが特に好ましい。

動作中において、第１メカニカルシールの第１シール間隙を介する第１の漏れの量は、第２メカニカルシールの第２シール間隙を介する第２の漏れの量よりも少なくとも２倍大きいことが更に好ましい。

好ましくは、第１メカニカルシールと第２メカニカルシールは共通スリーブ状に配置される。

プロセス媒体は、好ましくは二酸化炭素又は窒素である。或いは、プロセス媒体は冷媒、例えば、Ｒ１３４ａ又はＲ２４５ｆａである。

第１メカニカルシールの固定スライドリングの第１内径Ｄ１は、最大の第２内径をＤ２とすると、以下の不等式の範囲であることが更に好ましい。
０．８×Ｄ２≦Ｄ１＜Ｄ２

特に、Ｄ１は０．９×Ｄ２≦Ｄ１＜Ｄ２の範囲内である。

これは、第１内径Ｄ１が固定スライドリングの第２内径Ｄ２よりも最大２０％小さい範囲内であることを意味する。

第２メカニカルシールの固定スライドリングの第１外径Ｄ３は、最大の第２外径をＤ４とすると、以下の不等式の範囲であることが更に好ましい。
８×Ｄ４≦Ｄ３＜Ｄ４

特に、Ｄ３は０．９×Ｄ４≦Ｄ３＜Ｄ４の範囲内である。

これは、第１外径Ｄ３が、第２メカニカルシールの第２外径Ｄ４の８０％から外径Ｄ４までの範囲内であることを意味する。特に、これにより、第２メカニカルシールに働く閉鎖力を調整することができる。

更に、本発明は、本発明に係る、コンプレッサで気体状媒体を圧縮するためのコンプレッサ装置とメカニカルシール装置に関する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。図面は以下の通り。
本発明の好適な実施形態に係るメカニカルシール装置の模式断面図。 第１メカニカルシールの回転スライドリングのスライド面の模式上面図。 第１メカニカルシールの固定スライドリングのスライド面の模式上面図。 第２メカニカルシールの回転スライドリングのスライド面の模式上面図。 第２メカニカルシールの固定スライドリングのスライド面の模式上面図。

以下、図１～図５を参照し、本発明の好適な実施形態に係るメカニカルシール装置１を詳細に説明する。

メカニカルシール装置１は、ベアリング室８に対してプロセス室６を密封する。ベアリング室８には、シャフト１８を支持するベアリング８０が配置されている。

メカニカルシール装置１は、第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３の２つのメカニカルシールを備える。２つのメカニカルシール２、３は直列に配置されており、ベアリング室８に対しプロセス室６を密封する。これはいわゆる二重シールである。

プロセス室６内には、二酸化炭素（ＣＯ_２）又は窒素などの環境に無毒な気体状媒体が存在する。

第１メカニカルシール２は、第１スライド面２０ａを有する回転スライドリング２０と、第２スライド面２１ａを有する固定スライドリング２１を備える。２つのスライド面２０ａ、２１ａ間には、第１シール間隙２２が画定されている。回転スライドリング２０は、第１駆動要素２３により回転するように設定される。

第２メカニカルシール３は、第３スライド面３０ａを有する回転スライドリング３０と、第４スライド面３１ａを有する固定スライドリング３１を備える。２つのスライド面３０ａ、３１ａ間には、第２シール間隙３２が画定されている。第２メカニカルシール３の回転スライドリング３０は、第２駆動要素３３により回転するように設定される。

第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３は、シャフト１８に固定された共通スリーブ１１上に配置されている。メカニカルシールは、貫通孔を有することなく構成されている。

図１からも分かるように、第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３は、第１メカニカルシール２の固定スライドリング２１の後面２１ｂが、第２メカニカルシール３の固定スライドリング３１の後面３１ｂの方を向くように配置されている。第１メカニカルシール２の固定スライドリング２１と第２メカニカルシール３の固定スライドリング３１とは、ハウジング１５に固定されている。

第１メカニカルシール２の固定スライドリング２１には、第１予圧装置４によりメカニカルシール装置１の軸方向にプリストレスが付与されている。第２メカニカルシール３の固定スライドリング３１には、第２予圧装置５により軸方向にプリストレスが付与されている。例示的な本実施形態においては、予圧装置は、固定スライドリング２１、３１の後面の周囲に沿って配置された数個のシリンダーバネである。

図１からも分かるように、流体室７が、第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３の間に形成されている。図１に模式的に示すように、戻りライン９は、流体室７から始まり、コンプレッサ１０に戻るようになっている。このため、流体を、戻りライン９を介してプロセス領域の方向に送り、コンプレッサ１０に送り返すことができる。

図２及び図３から分かるように、多くの第１搬送溝１２が、第１メカニカルシール２の回転スライドリング２０に備えられている。第１搬送溝１２は回転スライドリング２０の外周から内側に向かって三日月形状で延びている。固定スライドリング２１のスライド面２１ａには、溝は形成されていない。

図４及び図５からも分かるように、第２メカニカルシール３の回転スライドリング３０には、搬送溝は形成されていない。しかしながら、固定スライドリング３１に第２搬送溝１３が形成されている。第２搬送溝１３は固定スライドリング３１の内周から外側に向かって三日月形状で延びている。

このように、第１メカニカルシール２において、第１シール間隙２２を通る搬送方向は、径方向外側から径方向内側に向かう。これは、図１では、第１の漏れ方向１６（矢印）として示されている。第２メカニカルシール３においては、第２搬送溝１３により径方向外側へ向かう搬送方向が画定されているため、第２の漏れ方向１７は径方向内側から径方向外側に向かう。

図１からも分かる通り、第１メカニカルシールの固定スライドリング２１は、その内周に第１段差４１を備えている。第１メカニカルシール２の固定スライドリング２１の最小の第１内径Ｄ１は、第１メカニカルシール２の固定スライドリング２１の最大の第２内径Ｄ２よりも小さい。これにより、シャフト１８の非回転時、すなわち、コンプレッサ１０の非動作時に、第１シール間隙２２が開放されたままとなることが確保される。

第２メカニカルシール３では、第２段差４２が第２メカニカルシール３の固定スライドリング３１の外周に形成されている。固定スライドリング３１の最小の第１外径Ｄ３は、第２メカニカルシール３の固定スライドリング３１の最大の第２外径Ｄ４よりも小さい。第２予圧装置５のバネ力を用いることにより、コンプレッサ１０が停止状態の時、すなわちシャフト１８が回転していない時には、第２シール間隙３２は閉鎖、又は、ほぼ閉鎖されることが確保される。言い換えると、２つのスライド面３０ａ、３１ａが互いに接触することにより、第２メカニカルシール３を完全又はほぼ完全に密封する結果、流体の全て又はほとんどが流体室７からベアリング室８の方向へ流出できなくなる。

シャフト１８の回転時であるメカニカルシール装置１の動作中に、第１シール間隙２３を介してプロセス室６から流体室７へ、そして流体室７からベアリング室８への漏れが発生する。図１から分かるように、第１シール間隙２２を介する流れ方向と第２シール間隙３２を介する流れ方向は、径方向に反対の向きである。言い換えると、動作中に、第１シール間隙２２を介する流れの方向は径方向内向き（矢印１６）である一方、第２シール間隙３２における流れの方向は径方向外向き（矢印１７）である。

従って、コンプレッサ１０の動作中、第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３は通常通り密封するが、第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３のシール間隙を介する漏れ量は異なる。第１メカニカルシール２の第１シール間隙２２を介する漏れ量は、第２メカニカルシール３の第２シール間隙３２を介する漏れ量よりも遥かに大きい。更に、第１シール間隙２２を介してプロセス室６から流体室７に入り込んだ漏れは、戻りライン９を介してコンプレッサ１０に戻される。図１の矢印１９は、流体室７からプロセス領域へ向かいコンプレッサ１０に至る戻り流れの方向を示す。これは、漏れの多くを、第１メカニカルシール２を介して回収し、戻された気体状プロセス媒体の圧力レベルに応じた適切なポイントでコンプレッサ１０に再び投入することができることを意味する。プロセス媒体は環境に無毒なガスであるため、流体室７から漏れ出し第２メカニカルシール３の第２シール間隙３２を介してベアリング室８入り込んだ漏れは、何の問題もなく環境に放出することができる。

このように、本発明に係るメカニカルシール装置１は、プロセス媒体を、第１メカニカルシール２及び第２メカニカルシール３に対するバリア媒体として用いる。これは、メカニカルシールにおいては通常存在する別個のバリア流体装置を、メカニカルシールに対するバリア媒体を提供するために備える必要がないことを意味する。これにより、メカニカルシール装置１のコストが大幅に削減される。

このようにして、本発明は、ベアリング室８からプロセス室６を密封する自己供給式のベアリングシールを提供する。このように、メカニカルシール装置１の動作中に、プロセス媒体は両方のメカニカルシール２、３にバリア流体を提供する。メカニカルシール装置１が非動作時には、第１メカニカルシール２の第１シール間隙２２は開放され、第２予圧装置５のバネ力と、固定スライドリング３１の第１外径Ｄ３と第２外径Ｄ４との間の直径差とにより、第２メカニカルシール３の第２シール間隙３２は完全又は実質的に閉鎖される。これにより、第１シール間隙２２を介する漏れとして流体室７に入り込んだプロセス媒体がベアリング室８に漏れ出すことが防止されるか、又は、流体室７からベアリング室８の方向への最小限の漏れのみが発生することとなる。

第２メカニカルシール３の径方向内側から径方向外側への第２の漏れ方向１７もまた、ベアリング８０を潤滑するために必要とされているオイルがベアリング室８から流体室７へ入り込むことを防止する。

本発明は、このように、ベアリングを密封するためのメカニカルシール装置１であって、バリア媒体を供給する供給部を全く必要としない非常にコスト効率が良いメカニカルシール装置１を提供する。密封対象のプロセス媒体は、両方のメカニカルシールにおいてバリア媒体として用いられる。プロセス媒体は、環境に無毒なガス、例えば、二酸化炭素や窒素、又は、Ｒ１３４ａやＲ２４５などの冷媒である得るため、動作中の第２シール間隙３２を介するプロセス媒体の漏れは重大ではない。

２つの固定スライドリング２１、３１の２つの後面２１ｂ、３１ｂを背中合わせに配置することにより、特にコンパクトな設計を実現することもできる。戻りライン１９は、第１メカニカルシール２と第２メカニカルシール３との間に延びている（図１参照）。更に、本発明に係るメカニカルシール装置１は、追加的なラビリンスシールやリップシールなどを必要としない。第１、第２メカニカルシール２、３の全てのスライドリングを貫通穴などを設けることなく設計することも可能である。これにより、特にメカニカルシール２、３の製造において、大きなコスト優位性が得られる。

本発明の上記の説明に加えて、本発明の補足開示として、図１～図５の本発明の図表による表示を明示的に参照する。

１ メカニカルシール装置
２ 第１メカニカルシール
３ 第２メカニカルシール
４ 第１予圧装置
５ 第２予圧装置
６ プロセス室
７ 流体室
８ ベアリング室
９ 戻りライン
１０ コンプレッサ
１１ スリーブ
１２ 第１搬送溝
１３ 第２搬送溝
１５ ハウジング
１６ 第１の漏れ方向
１７ 第２の漏れ方向
１８ シャフト
１９ 戻り流れ方向
２０ 回転スライドリング
２０ａ 第１スライド面
２１ 固定スライドリング
２１ａ 第２スライド面
２１ｂ 固定スライドリング２１の後面
２２ 第１シール間隙
２３ 第１駆動要素
３０ 回転スライドリング
３０ａ 追加的スライド面
３１ 固定スライドリング
３１ａ 固定スライド面
３１ｂ 固定スライドリング３１の後面
３２ 第２シール間隙
３３ 第２駆動要素
４１ 第１段差
４２ 第２段差
８０ ベアリング
Ｄ１ 固定スライドリング２１の最小の第１内径
Ｄ２ 固定スライドリング２１の最大の第２内径
Ｄ３ 固定スライドリング３１の最小の第１外径
Ｄ４ 固定スライドリング３１の最大の第２外径
Ｘ－Ｘ 軸方向

Claims (11)

1. 無毒な気体状プロセス媒体で充填されたプロセス室（６）をベアリング室（８）に対して密封するためのメカニカルシール装置において、
   第１スライド面（２０ａ）を有する回転スライドリング（２０）と、第２スライド面（２１ａ）を有する固定スライドリング（２１）とを備え、スライド面（２０ａ、２１ａ）間に第１シール間隙（２２）が画定された第１メカニカルシール（２）と、
   第３スライド面（３０ａ）を有する回転スライドリング（３０）と、第４スライド面（３１ａ）を有する固定スライドリング（３１）とを備え、スライド面（３０ａ、３１ａ）間に第２シール間隙（３２）が画定された第２メカニカルシール（３）と、
   前記第１メカニカルシール（２）の前記固定スライドリング（２１）に軸方向（Ｘ－Ｘ）にプリストレスを付与する第１予圧装置（４）と、
   前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）に前記軸方向（Ｘ－Ｘ）にプリストレスを付与する第２予圧装置（５）と、
   前記第１メカニカルシール（２）と前記第２メカニカルシール（３）との間に配置され、前記第１シール間隙及び前記第２シール間隙と流体連通し、動作中に前記第１シール間隙（２２）介する前記プロセス室（６）からの漏れを受け取る流体室（７）であって、前記流体室（７）からプロセス領域へプロセス媒体を戻すように構成された戻りライン（９）がそこから延びる前記流体室（７）と、を備え、
   前記第１メカニカルシール（２）及び前記第２メカニカルシール（３）は、前記第１メカニカルシール（２）の前記固定スライドリング（２１）の後面（２１ｂ）と、前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）の後面（３１ｂ）とが互いに向き合うように配置され、
   前記第１メカニカルシール（２）の前記固定スライドリング（２１）は、前記第１メカニカルシール（２）の前記固定スライドリング（２１）の最小の第１内径Ｄ１が前記第１メカニカルシール（２）の前記固定スライドリング（２１）の最大の第２内径Ｄ２よりも小さくなるように、その内周に第１段差（４１）を備え、
   前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）は、前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）の最小の第１外径Ｄ３が前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）の最大の第２外径Ｄ４よりも小さくなるように、その外周に第２段差（４２）を備え、
   前記メカニカルシール装置の非動作状態において、前記第１メカニカルシール（２）の前記第１シール間隙（２２）は開放され、プロセス媒体が開放された前記第１シール間隙（２２）を介して前記プロセス室（６）から前記流体室（７）へと流れ込むことができる一方、前記第２メカニカルシール（３）の前記第２シール間隙（３２）は閉鎖されており、
   前記第１シール間隙（２２）における第１の流れ方向（１６）は、前記プロセス室（６）から前記流体室（７）へと外側から内側へ向かって延び、前記第２シール間隙（３２）における第２の流れ方向（１７）は、前記流体室（７）から前記ベアリング室（８）へと内側からと外側に向かって延びる、メカニカルシール装置。
2. 前記第１メカニカルシール（２）の前記回転スライドリング（２０）は、第１搬送溝（１２）を備える、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
3. 前記第１搬送溝（１２）は、前記第１メカニカルシール（２）の前記回転スライドリング（２０）の外周から内側に向かって延びる、請求項２に記載のメカニカルシール装置。
4. 前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）は、第２搬送溝（１３）を備える、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
5. 前記第２搬送溝（１３）は、前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）の内周から外側に向かって延びる、請求項４に記載のメカニカルシール装置。
6. 前記プロセス室（６）と前記流体室（７）との間の第１の差圧は、前記流体室（７）と前記ベアリング室（８）との間の第２の差圧よりも少なくとも３倍高い、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
7. 前記第１メカニカルシール（２）の前記第１シール間隙（２２）を介するプロセス媒体の漏れ量は、前記流体室（７）から前記第２メカニカルシール（３）の前記第２シール間隙（３２）を介して前記ベアリング室（８）へ至るプロセス媒体の漏れ量よりも少なくとも２倍大きい、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
8. 前記第１メカニカルシール（２）及び前記第２メカニカルシール（３）は、共通スリーブ（１１）上に配置されている、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
9. 前記プロセス室（６）には、気体状プロセス媒体として二酸化炭素、窒素、又は冷媒が存在し、
   前記メカニカルシール装置は、前記ベアリング室（８）に対して前記プロセス室（６）を密封するように配置されている、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
10. 前記第１メカニカルシール（２）の前記固定スライドリング（２１）の前記第１内径Ｄ１は、０．８×Ｄ２≦Ｄ１＜Ｄ２の範囲内にあり、及び／又は
    前記第２メカニカルシール（３）の前記固定スライドリング（３１）の前記第１外径Ｄ３は、０．８×Ｄ４≦Ｄ３＜Ｄ４の範囲内にある、請求項１に記載のメカニカルシール装置。
11. 気体状プロセス媒体を圧縮するためのコンプレッサ装置であって、
    コンプレッサ（１０）と、
    前記コンプレッサ（１０）のシャフト（８）を支持するベアリング（８０）を備えるベアリング室（８）に対してプロセス室（６）を密封するための、請求項１～１０のいずれか一項に記載のメカニカルシール装置と、を備えるコンプレッサ装置。