JP7504580B2 - Electronic devices, display devices, photoelectric conversion devices, electronic equipment, lighting devices, and mobile objects - Google Patents

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Description

本発明は、電子デイバス、表示装置、光電変換装置、電子機器、照明装置及び移動体に関する。 The present invention relates to electronic devices, display devices, photoelectric conversion devices, electronic equipment, lighting devices, and mobile objects.

有機層を用いた電子デバイスとして、有機発光素子や有機光電変換素子が提案されている。有機発光素子は、上部電極と下部電極とその間に配置されている有機層を有する素子であり、有機層に含まれる有機化合物を励起させることにより発光する。近年、有機発光素子を備えた電子デバイスが注目されており、中でも表示装置が広く用いられている。 Organic light-emitting elements and organic photoelectric conversion elements have been proposed as electronic devices using organic layers. An organic light-emitting element is an element that has an upper electrode, a lower electrode, and an organic layer disposed between them, and emits light by exciting the organic compound contained in the organic layer. In recent years, electronic devices equipped with organic light-emitting elements have attracted attention, and display devices in particular are widely used.

有機発光素子の有機層を形成する方式には、発光色ごとに異なる構成の有機層を形成する方式、発光色に依らずに同じ構成の有機層を形成する方式が知られている。発光色に依らずに同じ構成の有機層を形成する方式では、典型的には複数の発光素子に渡って連続した有機層が形成される。また、発光色ごとに異なる構成の有機層を形成する場合であっても、一部の有機層は複数の発光素子につながって設けられる場合もある。 Known methods for forming organic layers of organic light-emitting elements include a method for forming organic layers with different configurations for each emitted color, and a method for forming organic layers with the same configuration regardless of the emitted color. In a method for forming organic layers with the same configuration regardless of the emitted color, a continuous organic layer is typically formed across multiple light-emitting elements. Even when organic layers with different configurations are formed for each emitted color, some of the organic layers may be connected to multiple light-emitting elements.

しかし、有機層が複数の発光素子および複数の発光素子間においてつながっている構成においては、隣り合う発光素子間での有機層を介した電流のリークが発生しやすい。発光素子間でのリーク電流は、意図しない発光素子の発光の原因となる。意図しない発光素子の発光は、表示装置の表現の性能を表す色域を狭めてしまう。 However, in a configuration in which the organic layer is connected to multiple light-emitting elements and between multiple light-emitting elements, current leakage through the organic layer between adjacent light-emitting elements is likely to occur. Leakage current between light-emitting elements can cause unintended emission of light by light-emitting elements. Unintended emission of light by light-emitting elements narrows the color gamut that represents the expressive performance of the display device.

また、有機層を用いた光電変換素子においては、複数の下部電極を覆うように連続する有機光電変換層が配される。有機光電変換層を介して複数の下部電極間でリーク電流が生じ、結果として、ノイズが生じる可能性がある。 In addition, in photoelectric conversion elements that use an organic layer, a continuous organic photoelectric conversion layer is arranged to cover multiple lower electrodes. Leak current may occur between the multiple lower electrodes through the organic photoelectric conversion layer, resulting in noise.

有機層が薄いことで、下部電極の間でのリーク電流は低減することができる。しかし、有機層が薄い場合には、上部電極と下部電極との間のリーク電流が生じやすくなる。特許文献1には、上部電極と下部電極との間でのショートを低減するために、各画素を分離する隔壁に近い、画素周辺部の有機層の層厚が、画素の中央部の有機層の層厚よりも大きい表示装置を開示している。 A thin organic layer can reduce leakage current between the lower electrodes. However, if the organic layer is thin, leakage current is more likely to occur between the upper and lower electrodes. Patent Document 1 discloses a display device in which the thickness of the organic layer in the peripheral area of the pixel, close to the partition wall separating each pixel, is greater than the thickness of the organic layer in the center of the pixel, in order to reduce short circuits between the upper and lower electrodes.

特開2007-73608号公報JP 2007-73608 A

特許文献1には、画素の中央部における有機層の層厚、および、画素の周辺部における有機層の層厚の関係が記載されているが、画素を分離する隔壁の傾斜部における傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚については記載がない。画素中央部の有機層と、画素周辺部の有機層の厚さの比を制御するのみでは、画素を分離する隔壁の傾斜部における傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚に起因する上部電極と下部電極との間のリーク電流の低減には不十分である。 Patent Document 1 describes the relationship between the thickness of the organic layer in the center of the pixel and the thickness of the organic layer in the peripheral portion of the pixel, but does not describe the thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion of the partition wall separating the pixels. Simply controlling the ratio of the thickness of the organic layer in the center of the pixel to the thickness of the organic layer in the peripheral portion of the pixel is insufficient to reduce the leakage current between the upper electrode and the lower electrode caused by the thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion of the partition wall separating the pixels.

本発明は、上記課題に鑑みてなされるものであり、その目的は、複数の第一電極を有する電子デバイスにおいて、複数の第一電極の間のリーク電流を低減し、かつ第一電極及び第二電極の間のリーク電流を低減した電子デバイスを提供することである。 The present invention has been made in consideration of the above problems, and its purpose is to provide an electronic device having a plurality of first electrodes, which reduces leakage current between the plurality of first electrodes and reduces leakage current between the first electrode and the second electrode.

本発明の一実施形態は、複数の第一電極と、第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に配置され、前記複数の第一電極を覆っている機能層と、前記第一電極の端を覆い、前記第一電極の上に傾斜部を有する絶縁層と、を有し、
前記第一電極は、前記第一電極の前記端を含み、前記絶縁層に覆われた第一領域と、前記機能層に接する第二領域と、を有し、
前記機能層が、前記複数の第一電極のうちの隣り合う2つの第一電極の前記第二領域と、前記2つの第一電極をそれぞれ覆う前記絶縁層と、を覆うように連続して配され、
前記第二領域における前記機能層の層厚が、前記第一電極の上面から前記絶縁層の上面までの高さよりも小さい電子デバイスであって、
前記第一電極の主面に垂直な断面において、前記絶縁層の前記傾斜部は、前記傾斜部の上端と前記傾斜部の下端との間に配される緩傾斜部と、前記緩傾斜部と前記下端の間に配され、かつ、前記第一電極に対する傾斜角が前記緩傾斜部の傾斜角よりも大きい急傾斜部とを有し、
前記傾斜部は、前記第一電極の前記第一領域の上面に対する傾斜角が50°よりも大きく、前記緩傾斜部は、前記第一電極に対する傾斜角が50°以下であり、
前記第一電極の前記第二領域における前記機能層の上面の高さは、前記急傾斜部の上端の高さよりも高いことを特徴とする電子デバイスに関する。
One embodiment of the present invention includes a plurality of first electrodes, a second electrode, a functional layer disposed between the first electrodes and the second electrodes and covering the plurality of first electrodes, and an insulating layer covering an edge of the first electrodes and having a slope on the first electrodes,
the first electrode has a first region including the end of the first electrode and covered with the insulating layer, and a second region in contact with the functional layer;
the functional layer is disposed continuously so as to cover the second regions of two adjacent first electrodes among the plurality of first electrodes and the insulating layer covering each of the two first electrodes;
an electronic device in which a layer thickness of the functional layer in the second region is smaller than a height from a top surface of the first electrode to a top surface of the insulating layer,
In a cross section perpendicular to a main surface of the first electrode, the inclined portion of the insulating layer has a gently inclined portion disposed between an upper end of the inclined portion and a lower end of the inclined portion, and a steeply inclined portion disposed between the gently inclined portion and the lower end and having an inclination angle with respect to the first electrode larger than an inclination angle of the gently inclined portion,
the steeply inclined portion has an inclination angle with respect to an upper surface of the first region of the first electrode that is greater than 50°, and the gently inclined portion has an inclination angle with respect to the first electrode that is equal to or smaller than 50°;
The electronic device is characterized in that the height of the upper surface of the functional layer in the second region of the first electrode is higher than the height of the upper end of the steeply inclined portion.

本発明によれば、複数の第一電極を有する電子デバイスにおいて、複数の第一電極の間のリーク電流を低減し、かつ第一電極及び第二電極の間のリーク電流を低減した電子デバイスを提供できる。 The present invention provides an electronic device having a plurality of first electrodes, which reduces leakage current between the plurality of first electrodes and reduces leakage current between the first electrode and the second electrode.

本発明の第一の実施形態に係る有機デバイスの構成を模式的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an organic device according to a first embodiment of the present invention. 図1の有機デバイスの構成を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view illustrating a schematic configuration of the organic device of FIG. 1. 実施形態に係る有機発光装置の模式図と回路図である。1A and 1B are schematic diagrams and a circuit diagram of an organic light-emitting device according to an embodiment. 第一電極上における前記有機層の層厚に対する、隣り合う二つの第一電極の開口部間の距離の比と、赤画素の色度の関係図である。11 is a diagram showing the relationship between the ratio of the distance between the openings of two adjacent first electrodes to the layer thickness of the organic layer on the first electrode, and the chromaticity of a red pixel. 本発明の第一の実施形態に係る有機発光装置の構成を模式的に示す断面図の拡大図である。1 is an enlarged cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an organic light-emitting device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第二の実施形態に係る有機発光装置の構成を模式的に示す断面図の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an organic light-emitting device according to a second embodiment of the present invention. 蒸着シミュレーションにおける部材の配置図である。FIG. 11 is a diagram showing the layout of components in a deposition simulation. 蒸着シミュレーション結果の図である。FIG. 13 is a diagram showing a deposition simulation result. 本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of a display device according to an embodiment of the present invention. (a)本実施形態に係る撮像装置の一例を表す模式図である。(b)本実施形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。1A is a schematic diagram illustrating an example of an imaging device according to the present embodiment, and FIG. 1B is a schematic diagram illustrating an example of an electronic device according to the present embodiment. (a)本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。(b)折り曲げ可能な表示装置の一例を表す模式図である。1A is a schematic diagram illustrating an example of a display device according to the present embodiment, and FIG. 1B is a schematic diagram illustrating an example of a foldable display device. (a)本実施形態に係る照明装置の一例を示す模式図である。(b)本実施形態に係る車両用灯具を有する自動車の一例を示す模式図である。1A is a schematic diagram showing an example of an illumination device according to the present embodiment, and FIG. 1B is a schematic diagram showing an example of an automobile having a vehicle lamp according to the present embodiment. 傾斜部における有機層の傾斜部に対して垂直方向の膜厚のうち最も薄い部分の膜厚と、上部電極と下部電極との間のリーク電流の関係である。This is the relationship between the film thickness of the thinnest portion of the organic layer in the inclined portion in the direction perpendicular to the inclined portion, and the leakage current between the upper electrode and the lower electrode.

本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、複数の第一電極と、第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に配置され、前記複数の第一電極を覆っている機能層と、前記第一電極の端を覆い、前記第一電極の上に傾斜部を有する絶縁層と、を有し、前記第一電極は、前記第一電極の前記端を含み、前記絶縁層に覆われた第一領域と、前記機能層に接する第二領域と、を有し、前記機能層が、前記複数の第一電極のうちの隣り合う2つの第一電極の前記第二領域と、前記2つの第一電極をそれぞれ覆う前記絶縁層と、を覆うように連続して配され、前記第二領域における前記機能層の層厚が、前記第一電極の上面から前記絶縁層の上面までの高さよりも小さい電子デバイスであって、前記絶縁層の傾斜部における前記機能層は、前記傾斜部の傾斜面に対して垂直方向の層厚が20nm以上であることを特徴とする電子デバイスである。 An electronic device according to one embodiment of the present invention includes a plurality of first electrodes, a second electrode, a functional layer disposed between the first electrodes and the second electrodes and covering the plurality of first electrodes, and an insulating layer covering the ends of the first electrodes and having an inclined portion on the first electrodes, the first electrodes including the ends of the first electrodes, a first region covered by the insulating layer, and a second region in contact with the functional layer, the functional layer is continuously disposed to cover the second regions of two adjacent first electrodes among the plurality of first electrodes and the insulating layer covering each of the two first electrodes, and the layer thickness of the functional layer in the second region is smaller than the height from the top surface of the first electrodes to the top surface of the insulating layer, and the functional layer in the inclined portion of the insulating layer has a layer thickness of 20 nm or more in a direction perpendicular to the inclined surface of the inclined portion.

本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、第一電極、第二電極、第一電極と第二電極との間に配置されている機能層、第一電極の端を覆っている絶縁層、を有する素子を有するということができる。 An electronic device according to one embodiment of the present invention can be said to have an element having a first electrode, a second electrode, a functional layer disposed between the first electrode and the second electrode, and an insulating layer covering an edge of the first electrode.

上記のように、複数ある第一電極において、第一電極間のリーク電流が低減された電子デバイスにおいて、絶縁層の傾斜部における機能層の層厚が20nm以上であることで、第一電極と第二電極との間でのリーク電流を低減することができる。 As described above, in an electronic device in which the leakage current between multiple first electrodes is reduced, the thickness of the functional layer in the inclined portion of the insulating layer is 20 nm or more, thereby reducing the leakage current between the first electrode and the second electrode.

この機能層の厚さによるリーク電流の低減効果は、機能層の層厚が、複数の第一電極の端を覆っている絶縁層の高さよりも小さい場合、すなわち、機能層が薄い場合に、効果が高い。また、機能層が複数の素子において連続で形成されている場合、すなわち、機能層がつながって形成されている場合に、効果が高い。 The effect of reducing leakage current due to the thickness of this functional layer is greater when the thickness of the functional layer is smaller than the height of the insulating layer covering the ends of the first electrodes, i.e., when the functional layer is thin. Also, the effect is greater when the functional layer is formed continuously in multiple elements, i.e., when the functional layer is formed in a connected manner.

電子デバイスが有機発光素子である場合、機能層、すなわち、有機層の層厚が小さいことで、発光効率を向上することができる。有機層に吸収される光を低減することができるからである。有機発光素子の一対の電極間の距離Lは、以下の式(1)を満たすことが好ましい。有機発光素子において以下の式(1)を満たすことは、電極間での光学干渉を強めることを意味し、有機発光素子がさらに発光効率を向上させることができる。ここでの発光効率は取出し効率ということもできる。
(λ/8)×(-(2φ/π)-1)<L<(λ/8)×(-(2φ/π)+1) (1)
式(1)において、λは有機層に含まれる発光層が発光する発光スペクトルの最大ピークの波長である。最大ピークとは、発光スペクトルのピークの内で強度が最大のピークである。ピーク波長は、発光に含まれるピークのうち最小の波長であってよい。φは電極での位相シフトである。位相シフトは光が反射する際に起こる位相シフトである。第一電極または第二電極の一方は、反射電極であってよく、他方は光透過電極であってよい。光透過電極は、光の一部を透過し、一部を反射する電極であってもよい。
When the electronic device is an organic light-emitting device, the light-emitting efficiency can be improved by making the functional layer, i.e., the organic layer, thinner. This is because the light absorbed by the organic layer can be reduced. The distance L between a pair of electrodes of the organic light-emitting device preferably satisfies the following formula (1). In the organic light-emitting device, satisfying the following formula (1) means that the optical interference between the electrodes is strengthened, and the organic light-emitting device can further improve its light-emitting efficiency. The light-emitting efficiency here can also be called extraction efficiency.
(λ/8)×(−(2φ/π)−1)<L<(λ/8)×(−(2φ/π)+1) (1)
In formula (1), λ is the wavelength of the maximum peak of the emission spectrum emitted by the light-emitting layer included in the organic layer. The maximum peak is the peak with the greatest intensity among the peaks in the emission spectrum. The peak wavelength may be the minimum wavelength among the peaks included in the emission. φ is the phase shift at the electrode. The phase shift is the phase shift that occurs when light is reflected. One of the first electrode or the second electrode may be a reflective electrode, and the other may be a light-transmitting electrode. The light-transmitting electrode may be an electrode that transmits part of the light and reflects part of it.

本発明の一実施形態に係る電子デバイスの素子は、有機発光素子であってよい。素子が有機発光素子である場合は、機能層は発光層を有する有機層であってよい。一方、素子は、光電変換素子であってもよい。素子が光電変換素子である場合は、機能層は光電変換層を有する有機層であってよい。 The element of the electronic device according to one embodiment of the present invention may be an organic light-emitting element. When the element is an organic light-emitting element, the functional layer may be an organic layer having a light-emitting layer. On the other hand, the element may be a photoelectric conversion element. When the element is a photoelectric conversion element, the functional layer may be an organic layer having a photoelectric conversion layer.

第一電極は、絶縁層に覆われ、端を含む領域である第一領域と、絶縁層に覆われず、機能層と接する第二領域と、を有する。第一領域は第二領域を囲んでいてよい。 The first electrode has a first region that is covered by the insulating layer and includes an edge, and a second region that is not covered by the insulating layer and is in contact with the functional layer. The first region may surround the second region.

本発明の一実施形態に係る有機発光装置の第一電極の第二領域における有機層4の層厚は、100nm未満であることが好ましい。これによって、高輝度化しやすく、本発明による第一電極と第二電極間のリーク電流の低減効果が大きくなる。 In an organic light-emitting device according to one embodiment of the present invention, the layer thickness of the organic layer 4 in the second region of the first electrode is preferably less than 100 nm. This makes it easier to achieve high brightness and increases the effect of reducing leakage current between the first and second electrodes according to the present invention.

以下、本発明の一実施形態に係る電子デバイスの具体的な実施形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下の説明および図面において、複数の図面に渡って共通の構成については共通の符号を付している。そのため、複数の図面を相互に参照して共通する構成を説明し、共通の符号を付した構成については適宜説明を省略する。 A specific embodiment of an electronic device according to one embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Note that in the following description and drawings, common reference numerals are used to designate components common to multiple drawings. Therefore, common components will be described with mutual reference to multiple drawings, and descriptions of components with common reference numerals will be omitted as appropriate.

<第一の実施形態>
第一の実施形態は、電子デバイスが有機発光装置である例である。図1は、本発明における第一の実施形態の有機発光装置100の断面模式図である。図2は、有機発光装置100の上面俯瞰図である。図2のA-A’間の断面が、図1に相当し、3つの素子10で1つの画素を構成している。本実施形態では、デルタ配列の画素の例を示すが、これに限られることはなく、ストライプ配列やスクエア配列であってもよい。
First Embodiment
The first embodiment is an example in which the electronic device is an organic light-emitting device. Fig. 1 is a schematic cross-sectional view of an organic light-emitting device 100 according to the first embodiment of the present invention. Fig. 2 is a top view of the organic light-emitting device 100. The cross section between A-A' in Fig. 2 corresponds to Fig. 1, and three elements 10 constitute one pixel. In this embodiment, an example of pixels in a delta arrangement is shown, but the present invention is not limited to this, and a stripe arrangement or a square arrangement may also be used.

有機発光装置100は、基板1と基板1の上面(第1の面)に配される複数の発光素子10を含む。図1には、有機発光装置100に含まれる複数の発光素子10のうち、3つの発光素子10R、10G、10Bが示されている。10Rにおける「R」は、赤色を発光する素子であることを示している。同様に10G、10Bはそれぞれ緑色、青色を発光することを示している。本明細書において、複数の発光素子10のうち特定の発光素子を示す場合は、発光素子10「R」のように参照番号の後に添え字し、何れであってもよい場合は、単に発光素子「10」と示す。他の構成要素についても同様である。 The organic light-emitting device 100 includes a substrate 1 and a number of light-emitting elements 10 arranged on the upper surface (first surface) of the substrate 1. FIG. 1 shows three light-emitting elements 10R, 10G, and 10B out of the number of light-emitting elements 10 included in the organic light-emitting device 100. The "R" in 10R indicates that it is an element that emits red light. Similarly, 10G and 10B indicate that they emit green and blue light, respectively. In this specification, when a specific light-emitting element among the number of light-emitting elements 10 is indicated, a subscript is added after the reference number, such as light-emitting element 10 "R", and when either is acceptable, it is simply indicated as light-emitting element "10". The same applies to the other components.

複数の発光素子10は、基板1の上面の側から、絶縁層3によってそれぞれの発光素子ごとに分離された下部電極2(第一電極)と、下部電極2および絶縁層3を覆う発光層を含む有機層4と、有機層4を覆う上部電極5(第二電極)と、を含む。本実施形態の有機発光装置100は、上部電極5から光を取り出すトップエミッション型デバイスである。さらに、有機発光装置100は、上部電極5を覆うように配された保護層6と、保護層6の上に複数の発光素子10のそれぞれと対応するように配された複数のカラーフィルタ7と、を含む。本実施形態において、有機層4は、白色発光し、カラーフィルタ7B、7G、7Rは、有機層4から発せられる白色光から、RGBそれぞれの光を分離する。カラーフィルタは有機層からの光を吸収して他の色に変換する色変換層であってもよい。 The plurality of light-emitting elements 10 include, from the upper surface side of the substrate 1, a lower electrode 2 (first electrode) separated for each light-emitting element by an insulating layer 3, an organic layer 4 including a light-emitting layer covering the lower electrode 2 and the insulating layer 3, and an upper electrode 5 (second electrode) covering the organic layer 4. The organic light-emitting device 100 of this embodiment is a top-emission type device that extracts light from the upper electrode 5. Furthermore, the organic light-emitting device 100 includes a protective layer 6 arranged to cover the upper electrode 5, and a plurality of color filters 7 arranged on the protective layer 6 to correspond to each of the plurality of light-emitting elements 10. In this embodiment, the organic layer 4 emits white light, and the color filters 7B, 7G, and 7R separate the white light emitted from the organic layer 4 into each of the RGB lights. The color filters may be color conversion layers that absorb light from the organic layer and convert it into another color.

本明細書において、「上」「下」とは、図1における上下を指す。基板1の主面のうち下部電極2などが配されている面を「上」面と呼ぶ。また、「高さ」とは、基板1の上面(第1の面)からの上方向の距離である。基板1の上面(第1の面)と平行な部分を指定しその指定した基準に基づいて「高さ」を指定してもよい。 In this specification, "top" and "bottom" refer to the top and bottom in FIG. 1. The surface of the main surface of the substrate 1 on which the lower electrode 2 and the like are arranged is called the "top" surface. Furthermore, "height" refers to the distance upward from the top surface (first surface) of the substrate 1. It is also possible to specify a portion parallel to the top surface (first surface) of the substrate 1 and specify the "height" based on this specified standard.

図1において、符号1は、基板と略記するが、第一電極に接続されているトランジスタを含む駆動回路との間に配置される絶縁物であってよい。絶縁物は例えば、酸化シリコン、窒化シリコン等の無機物、ポリイミド、ポリアクリル等の有機物で構成される層間絶縁層があげられる。創刊絶縁層は、第一電極を形成する面の凹凸を軽減する目的から平坦化層と呼ばれることもある。 In FIG. 1, the reference numeral 1 is abbreviated to substrate, but it may be an insulator disposed between the first electrode and a driving circuit including a transistor connected to the first electrode. Examples of insulators include an interlayer insulating layer made of inorganic materials such as silicon oxide and silicon nitride, and organic materials such as polyimide and polyacrylic. The initial insulating layer is sometimes called a planarization layer for the purpose of reducing unevenness on the surface on which the first electrode is formed.

下部電極2は、有機層4の発光波長に対する反射率が80%以上の金属材料が用いられてもよい。例えば、AlやAgなどの金属や、これらの金属にSi、Cu、Ni、Ndなどを添加した合金を下部電極2に使用することができる。ここで、発光波長とは、有機層4から出射する光のスペクトル範囲のことを指す。下部電極2の有機層4の発光波長に対する反射率が高ければ、下部電極2は、バリア層を含む積層構造としてもよい。バリア層の材料としては、Ti、W、Mo、Auなどの金属やその合金を用いてよい。バリア層は、下部電極の上面に配置される金属層であってよい。下部電極2Rの上面が反射面12Rである。反射面は、有機層からの発光を反射してよい。他の画素について同様に、12G,12Bを有する。 The lower electrode 2 may be made of a metal material having a reflectance of 80% or more for the emission wavelength of the organic layer 4. For example, metals such as Al and Ag, or alloys of these metals with Si, Cu, Ni, Nd, etc. added thereto, may be used for the lower electrode 2. Here, the emission wavelength refers to the spectral range of the light emitted from the organic layer 4. If the reflectance of the lower electrode 2 for the emission wavelength of the organic layer 4 is high, the lower electrode 2 may have a laminated structure including a barrier layer. The material of the barrier layer may be a metal such as Ti, W, Mo, Au, or an alloy thereof. The barrier layer may be a metal layer disposed on the upper surface of the lower electrode. The upper surface of the lower electrode 2R is the reflective surface 12R. The reflective surface may reflect the emission from the organic layer. Similarly, the other pixels have 12G and 12B.

絶縁層3は、下部電極の端を覆い、下部電極と機能層との間に配置されてよい。下部電極は絶縁層に覆われている第一領域と、絶縁層に覆われず、有機層に覆われている第二領域を有してよい。第二領域は有機層に接しているといってもよい。第二領域は、開口部とも呼ばれる。上面俯瞰図において、第二領域は絶縁層によって形成された凹部と見ることができるからである。第二領域は、それぞれの発光素子10の発光領域である。すなわち、発光領域の上面俯瞰の形状は、絶縁層による形状であってよい。絶縁層は、各発光素子の第一電極を分離する役割があれば、図1に示されるような形状に限られない。 The insulating layer 3 may cover the end of the lower electrode and be disposed between the lower electrode and the functional layer. The lower electrode may have a first region covered by the insulating layer and a second region that is not covered by the insulating layer and is covered by the organic layer. The second region may be said to be in contact with the organic layer. The second region is also called an opening. This is because, in a top view, the second region can be seen as a recess formed by the insulating layer. The second region is the light-emitting region of each light-emitting element 10. In other words, the shape of the light-emitting region in a top view may be the shape of the insulating layer. The insulating layer is not limited to the shape shown in FIG. 1 as long as it has the role of separating the first electrodes of each light-emitting element.

絶縁層3は、その上部に傾斜部を有してよい。上部とは、基板とは反対側、または、機能層側ということができる。 The insulating layer 3 may have a sloped portion at its upper portion. The upper portion can be referred to as the side opposite the substrate or the functional layer side.

絶縁層3は、例えば、化学気相堆積法(CVD法)や物理蒸着法(PVD法)などで形成してよい。絶縁層3は、例えば、シリコン窒化物(SiN)、シリコン酸窒化物(SiON)、シリコン酸化物(SiO)などで構成されてよい。また、絶縁層3は、それらの積層膜でもよい。絶縁層の傾斜部の傾斜角は、異方性エッチングや等方性エッチングの条件によって制御してよい。また、絶縁層3の直下の層の傾斜角を制御することで、絶縁層3の傾斜角を制御してよい。絶縁層3は、エッチングなどによる加工や、層の積み増しなどによって、上面に凹凸を有してよい。 The insulating layer 3 may be formed, for example, by a chemical vapor deposition method (CVD method) or a physical vapor deposition method (PVD method). The insulating layer 3 may be composed of, for example, silicon nitride (SiN), silicon oxynitride (SiON), silicon oxide (SiO), or the like. The insulating layer 3 may also be a laminated film of these materials. The inclination angle of the inclined portion of the insulating layer may be controlled by the conditions of anisotropic etching or isotropic etching. The inclination angle of the insulating layer 3 may also be controlled by controlling the inclination angle of the layer immediately below the insulating layer 3. The insulating layer 3 may have unevenness on its upper surface due to processing such as etching or stacking of layers.

有機層4は、下部電極2と上部電極5との間に配置されている。基板1の上面に連続的に形成され、複数の発光素子10によって共有されてよい。1つの有機層を複数の発光素子で共有しているともいえる。有機層4は、有機発光装置100の画像を表示する表示領域の全面において、一体的に形成されていてもよい。有機層4は、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を含んでよい。有機層4は、発光効率、駆動寿命、光学干渉といった観点からそれぞれ適切な材料を選択することができる。正孔輸送層は、電子ブロック層や正孔注入層として機能してもよく、正孔注入層や正孔輸送層や電子ブロック層などの積層構造としてもよい。発光層は、異なる色を発光する発光層の積層構造でもよく、異なる色を発光する発光ドーパントを混合した混合層でもよい。 The organic layer 4 is disposed between the lower electrode 2 and the upper electrode 5. It may be continuously formed on the upper surface of the substrate 1 and shared by a plurality of light-emitting elements 10. It can also be said that one organic layer is shared by a plurality of light-emitting elements. The organic layer 4 may be integrally formed over the entire display area of the organic light-emitting device 100 that displays an image. The organic layer 4 may include a hole transport layer, a light-emitting layer, and an electron transport layer. Appropriate materials can be selected from the viewpoints of light-emitting efficiency, driving life, optical interference, and the like for the organic layer 4. The hole transport layer may function as an electron blocking layer or a hole injection layer, or may have a laminated structure of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron blocking layer, and the like. The light-emitting layer may have a laminated structure of light-emitting layers that emit different colors, or may be a mixed layer in which light-emitting dopants that emit different colors are mixed.

また、電子輸送層は、正孔ブロック層や電子注入層として機能してもよく、電子注入層や電子輸送層や正孔ブロック層の積層構造としてもよい。 The electron transport layer may also function as a hole blocking layer or an electron injection layer, and may have a laminated structure of an electron injection layer, an electron transport layer, and a hole blocking layer.

また、上部電極と下部電極のうち、陽極となる電極と発光層の間の領域は正孔輸送領域であり、陰極となる電極と発光層の間の領域は電子輸送領域である。正孔輸送領域と電子輸送領域を総称して電荷輸送領域と呼ぶ。 In addition, the region between the upper and lower electrodes, which will become the anode, and the light-emitting layer is the hole transport region, and the region between the cathode and the light-emitting layer is the electron transport region. The hole transport region and the electron transport region are collectively called the charge transport region.

また、発光層を複数有する構成であってよく、複数の発光層の間に中間層を有してよい。中間層が電荷発生層であるタンデム構造の有機発光装置であってよい。タンデム構成は、中間層と発光層との間に正孔輸送層や電子輸送層などの輸送層を形成してもよい。 The organic light-emitting device may have a configuration having multiple light-emitting layers, and may have an intermediate layer between the multiple light-emitting layers. The organic light-emitting device may have a tandem structure in which the intermediate layer is a charge generating layer. In the tandem structure, a transport layer such as a hole transport layer or an electron transport layer may be formed between the intermediate layer and the light-emitting layer.

上部電極5は、有機層4の上に配置される。複数の素子上に連続的に形成され、複数の発光素子10によって共有されている。有機層4と同様に、上部電極5は、有機発光装置100の画像を表示する表示領域の全面において、一体的に形成されていてもよい。上部電極5は、上部電極5の下面に到達した光の少なくとも一部を透過する電極であってよい。上部電極は、一部の光を透過するとともに、他の一部を反射する(すなわち半透過反射性)半透過反射層として機能してもよい。上部電極5は、例えばマグネシウムや銀などの金属、または、マグネシウムや銀を主成分とする合金、もしくは、アルカリ金属、アルカリ土類金属を含んだ合金材料から形成されうる。また、上部電極5に、酸化物導電体などが用いられてもよい。また、上部電極5は、適当な透過率を有するならば、積層構造であってもよい。 The upper electrode 5 is disposed on the organic layer 4. It is formed continuously on a plurality of elements and is shared by a plurality of light-emitting elements 10. Like the organic layer 4, the upper electrode 5 may be integrally formed on the entire surface of the display area that displays the image of the organic light-emitting device 100. The upper electrode 5 may be an electrode that transmits at least a portion of the light that reaches the lower surface of the upper electrode 5. The upper electrode may function as a semi-transmissive reflective layer that transmits a portion of the light and reflects the other portion (i.e., semi-transmissive and reflective). The upper electrode 5 may be formed of, for example, a metal such as magnesium or silver, an alloy mainly composed of magnesium or silver, or an alloy material containing an alkali metal or an alkaline earth metal. An oxide conductor or the like may also be used for the upper electrode 5. The upper electrode 5 may also have a laminated structure as long as it has an appropriate transmittance.

保護層6は、例えば、窒化シリコン、酸窒化シリコン、酸化アルミニウム、シリコン酸化物およびチタン酸化物などの外部からの酸素や水分の透過性が低い材料で構成されてよい。窒化シリコン、酸窒化シリコンは、例えば、CVD法を用いて形成されてよい。一方、酸化アルミニウム、シリコン酸化物およびチタン酸化物原子層堆積法(ALD法)を用いて形成されてよい。保護層の構成材料と製造方法の組み合わせは、上記の例示に限定されないが、形成する層厚、それに要する時間など、を考慮して製造されてよい。保護層6は、上部電極5を透過した光を透過し、十分な水分遮断性能があれば、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。 The protective layer 6 may be made of a material that has low permeability to oxygen and moisture from the outside, such as silicon nitride, silicon oxynitride, aluminum oxide, silicon oxide, and titanium oxide. Silicon nitride and silicon oxynitride may be formed, for example, using a CVD method. On the other hand, aluminum oxide, silicon oxide, and titanium oxide may be formed using an atomic layer deposition method (ALD method). The combination of the constituent materials and manufacturing method of the protective layer is not limited to the above examples, but may be manufactured taking into consideration the layer thickness to be formed and the time required for it. The protective layer 6 may have a single layer structure or a multilayer structure as long as it transmits light that has passed through the upper electrode 5 and has sufficient moisture blocking performance.

カラーフィルタ7は、保護層6の上に形成される。図1に示されるカラーフィルタ7Rとカラーフィルタ7Gとのように、隙間なく接してもよい。また、カラーフィルタが他の色のカラーフィルタの上に重なるように配置されてもよい。カラーフィルタは、保護層との間に平坦化層8を有してよい。また、カラーフィルタの上に平坦化層を有してもよい。カラーフィルタ上の平坦化層は、カラーフィルタ下の平坦化層と同じ材料であってもよい。これら平坦化層の材料として、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂を用いてよい。 The color filter 7 is formed on the protective layer 6. It may be in contact with the color filter 7R without any gap, as in the case of the color filter 7G shown in FIG. 1. Also, a color filter may be arranged so as to overlap a color filter of another color. The color filter may have a planarization layer 8 between it and the protective layer. Also, a planarization layer may be formed on the color filter. The planarization layer on the color filter may be made of the same material as the planarization layer under the color filter. For example, acrylic resin, epoxy resin, or polyimide resin may be used as the material for these planarization layers.

下部電極2R上における有機層5の層厚Cは、下部電極に対する垂直方向の有機層の厚さであり、下部電極2Rの開口部から下部電極2Gの開口部までの距離Dは、開口部端の間の最短距離である。 The layer thickness C of the organic layer 5 on the lower electrode 2R is the thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the lower electrode, and the distance D from the opening of the lower electrode 2R to the opening of the lower electrode 2G is the shortest distance between the edges of the openings.

本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、第一電極上における有機層の層厚に対する、第一電極の開口部から隣の第一電極の開口部までの間の距離の比が、50未満であってよい。この数値範囲の有機発光装置は、発光素子間のリーク電流が課題になり得るほど、発光素子が高精細に配列したデバイスとなる。その根拠を以下に説明する。 In an electronic device according to one embodiment of the present invention, the ratio of the distance from an opening in a first electrode to an opening in an adjacent first electrode to the layer thickness of the organic layer on the first electrode may be less than 50. An organic light-emitting device in this numerical range is a device in which light-emitting elements are arranged with such high precision that leakage current between the light-emitting elements can become an issue. The reason for this is explained below.

図3は、赤色カラーフィルタ7Rを有する発光素子10Rと緑色カラーフィルタ7Gを有する発光素子10Gが形成された有機発光装置の模式図である。図1と異なる点は、絶縁層が傾斜部を有さず、素子間のリーク電流低減をしない点である。模式図には、発光素子10Rの等価回路を重ねて記した。図3の有機層の抵抗値を示すものであり、電子回路が組み込まれるものではない。また、発光素子間のリーク電流を説明するために発光素子10Gの等価回路も記載されている。 Figure 3 is a schematic diagram of an organic light-emitting device in which a light-emitting element 10R having a red color filter 7R and a light-emitting element 10G having a green color filter 7G are formed. The difference from Figure 1 is that the insulating layer does not have a sloped portion and does not reduce leakage current between elements. The schematic diagram shows an equivalent circuit of the light-emitting element 10R superimposed thereon. This shows the resistance value of the organic layer in Figure 3, and does not incorporate an electronic circuit. In addition, an equivalent circuit of the light-emitting element 10G is also shown to explain the leakage current between the light-emitting elements.

下部電極2R上の有機層厚をC、下部電極2Rと下部電極2Gの開口部の間の距離をD、有機層の厚さ方向における単位面積あたりの抵抗をrとすると、有機層の水平方向における単位面積あたりの抵抗は、r(D/C)となる。ここから、発光素子10Rに流れる電流をI、発光素子10Gに流れる電流をIとすると、以下の関係が成り立つ。
/I=1/(1+D/C) (2)
つまり、赤色発光素子10Rのみを発光させようとしても、緑色発光素子10Gにも電流が流れ発光してしまうということであり、それがD/Cに依存するということである。
If the thickness of the organic layer on the lower electrode 2R is C, the distance between the openings of the lower electrode 2R and the lower electrode 2G is D, and the resistance per unit area in the thickness direction of the organic layer is r, the resistance per unit area in the horizontal direction of the organic layer is r(D/C). From this, if the current flowing through the light-emitting element 10R is I R and the current flowing through the light-emitting element 10G is I G , the following relationship holds:
I G /I R =1/(1+D/C) (2)
In other words, even if one tries to make only the red light emitting element 10R emit light, a current also flows through the green light emitting element 10G, causing it to emit light, and this is what depends on the D/C.

同じ電流量で発光させた際の、赤色発光素子10Rのみの発光スペクトルをS、緑色発光素子10Gのみの発光スペクトルをS、とした場合、発光素子間のリーク電流を考慮した発光スペクトルSR+Gは、以下の式(3)にて示される。
R+G = S+S(I/I) (3)
R+GのCIExy空間にける色度座標を算出しx値を縦軸、D/Cを横軸としたグラフを図4に示す。図4において、x座標が変化するということは、赤発光を意図しているにも関わらず、緑色も発光されていることを意味する。すなわち、図4において、x座標が低いことは、隣の画素へのリーク電流が発生していることを示している。D/Cが50以上の場合、x値がほとんど変化しない。つまり、絶縁層の傾斜部がなく、発光素子間のリーク電流が起こりやすい場合だとしても、D/Cが50以上の場合は発光素子間のリーク電流が課題とならない場合がある。一方、D/Cが50未満の場合、x値が大きく低下しており、赤色の色純度低下が顕著となるため、発光素子間のリーク電流が課題となり得るほど高精細に発光素子が配列した有機発光装置である。つまり、D/Cが50未満の場合、本実施形態に係る有機発光装置のリーク電流低減の効果が特に高い。
When the same amount of current is applied to emit light, the emission spectrum of only the red light-emitting element 10R is S R and the emission spectrum of only the green light-emitting element 10G is S G . In this case, the emission spectrum S R + G taking into account the leakage current between the light-emitting elements is expressed by the following formula (3).
S R + G = S R + S G (I G /I R ) (3)
FIG. 4 shows a graph in which the chromaticity coordinates in the CIE xy space of S R + G are calculated and the x value is the vertical axis and the D/C is the horizontal axis. In FIG. 4, the change in the x coordinate means that green light is also emitted despite the intention of red light emission. That is, in FIG. 4, a low x coordinate indicates that a leak current to the adjacent pixel is generated. When D/C is 50 or more, the x value hardly changes. That is, even if there is no inclined portion of the insulating layer and the leak current between the light-emitting elements is likely to occur, when D/C is 50 or more, the leak current between the light-emitting elements may not be an issue. On the other hand, when D/C is less than 50, the x value is greatly reduced, and the decrease in the color purity of red becomes significant, so that the leak current between the light-emitting elements is an organic light-emitting device in which the light-emitting elements are arranged so finely that it may be an issue. That is, when D/C is less than 50, the effect of reducing the leak current of the organic light-emitting device according to this embodiment is particularly high.

本発明の一実施形態に係る有機発光装置の一対の電極の間の光学距離は、強め合わせの干渉構造となってよい。強め合わせの干渉構造は、共振構造ということもできる。 The optical distance between a pair of electrodes of an organic light-emitting device according to one embodiment of the present invention may be a constructive interference structure. The constructive interference structure may also be called a resonant structure.

発光素子において、強め合わせの光学干渉条件を満たすように各有機層を形成することで、光学干渉により有機発光装置からの取り出し光を強めることができる。正面方向の取り出し光を強める光学条件とすれば、より高効率に正面方向に光が放射される。また、光学干渉により強められた光は、発光スペクトルの半値幅が、干渉前の発光スペクトルに比べて小さくなることが知られている。すなわち、色純度を高くすることができる。波長λの光に対して設計した場合、発光層の発光位置から光反射材料の反射面までの距離dをd=iλ/4n(i=1,3,5,・・・)に調整することで強め合わせの干渉とすることができる。 In the light-emitting element, by forming each organic layer so as to satisfy the constructive optical interference condition, the extracted light from the organic light-emitting device can be strengthened by optical interference. If the optical condition is set to strengthen the extracted light in the front direction, the light is emitted in the front direction with higher efficiency. It is also known that the half-width of the emission spectrum of the light strengthened by optical interference is smaller than that of the emission spectrum before interference. That is, the color purity can be increased. When designed for light of wavelength λ, the distance d 0 from the emission position of the light-emitting layer to the reflection surface of the light-reflecting material can be adjusted to d 0 = iλ/4n 0 (i = 1, 3, 5, ...) to obtain constructive interference.

その結果、波長λの光の放射分布に正面方向の成分が多くなり、正面輝度が向上する。なお、nは、発光位置から反射面までの層の波長λにおける屈折率である。 As a result, the radiation distribution of light with wavelength λ has more components in the front direction, improving the front brightness. Note that n 0 is the refractive index at wavelength λ of the layer from the light emission position to the reflective surface.

発光位置から光反射電極の反射面までの間の光学距離Lrは、反射面での波長λの光が反射する際の位相シフト量の和をφr[rad]とすると、以下の式(4)で示される。なお、光学距離Lは、有機層の各層の屈折率njと各層の厚さdjの積の総和である。つまり、Lは、Σnj×djと表せ、またn0×d0とも表せられる。なお、φは負の値である。
Lr=(2m-(φr/π))×(λ/4) (4)
上記式(4)中、mは0以上の整数である。なお、φ=-πでm=0ではL=λ/4、m=1ではL=3λ/4となる。以後、上記式のm=0の条件をλ/4の干渉条件と、上記式のm=1の条件を3λ/4干渉条件と記載する。
The optical distance Lr from the light-emitting position to the reflecting surface of the light-reflecting electrode is expressed by the following formula (4), where φr [rad] is the sum of the phase shift amounts when light of wavelength λ is reflected by the reflecting surface. The optical distance L is the sum of the products of the refractive index nj of each layer of the organic layer and the thickness dj of each layer. In other words, L can be expressed as Σnj×dj, or also as n0×d0. φ is a negative value.
Lr = (2m - (φr / π)) × (λ / 4) (4)
In the above formula (4), m is an integer equal to or greater than 0. Note that when φ=-π and m=0, L=λ/4, and when m=1, L=3λ/4. Hereinafter, the condition of m=0 in the above formula will be referred to as the λ/4 interference condition, and the condition of m=1 in the above formula will be referred to as the 3λ/4 interference condition.

発光位置から光取出し電極の反射面までの間の光学距離Lsは、射面での波長λの光が反射する際の位相シフトの和をφs[rad]とすると、以下の式(5)で示される。下記式(5)中、m’は0以上の整数である。
Ls=(2m’-(φs/π))×(λ/4)=-(φs/π)×(λ/4) (5)
The optical distance Ls from the light emission position to the reflective surface of the light extraction electrode is expressed by the following formula (5), where m' is an integer of 0 or more, where φs [rad] is the sum of phase shifts when light of wavelength λ is reflected by the reflective surface.
Ls = (2m'-(φs/π)) × (λ/4) = -(φs/π) × (λ/4) (5)

よって、全層干渉Lは、下記式(6)の通りである。
L=(Lr+Ls)=(2m-(φ/π))×(λ/4) (6)
ここで、φは波長λの光が該光反射電極と該光取出し電極で反射する際の位相シフトの和(φr+φs)である。
Therefore, the total layer interference L is as shown in the following formula (6).
L = (Lr + Ls) = (2m - (φ/π)) x (λ/4) (6)
Here, φ is the sum (φr+φs) of the phase shifts when light of wavelength λ is reflected by the light reflecting electrode and the light extracting electrode.

この時、実際の発光素子では、正面の取り出し効率とトレードオフの関係にある視野角特性等を考慮すると、上記式と厳密に一致させなくてもよい。具体的には、Lが式(6)を満たす値から±λ/8の値の範囲内の誤差があってもよい。Lの値が干渉条件から離れてもよい許容値は、50nm以上75nm以下であってよい。 In this case, in an actual light-emitting element, the above formula does not have to be strictly matched, taking into consideration viewing angle characteristics, which are in a trade-off relationship with the front extraction efficiency. Specifically, L may have an error within a range of ±λ/8 from the value that satisfies formula (6). The allowable value by which the value of L may deviate from the interference condition may be 50 nm or more and 75 nm or less.

よって、本発明に係る有機発光装置において、下記式(7)を満たすことが好ましい。さらに好ましくは、Lが式(6)を満たす値から±λ/16の値の範囲内であればよく、下記式(7’)を満たすことが好ましい。
(λ/8)×(4m-(2φ/π)-1)<L<(λ/8)×(4m-(2φ/π)+1) (7)
(λ/16)×(8m-(4φ/π)-1)<L<(λ/16)×(8m-(4φ/π)+1) (7’)
本発明に係る発光素子は、式(7)、式(7’)において、m=0且つ、m’=0、つまりλ/4の光学干渉条件であることが好ましい。その場合、式(7)、式(7’)は、式(8)、式(8’)のように表される。
(λ/8)×(-(2φ/π)-1)<L<(λ/8)×(-(2φ/π)+1) (8)
(λ/16)×(-(4φ/π)-1)<L<(λ/16)×(-(4φ/π)+1) (8’)
式(7)、式(7’)において、m=0、m’=0である場合、強め合わせの干渉構造のなかで有機層の膜厚が、最も薄くなる。これによって、発光素子の駆動電圧が低くなり、電源電圧の上限の範囲内で、より高輝度の発光が可能となる。有機層が薄くなる場合は、上部電極と下部電極間のリーク電流が発生しやすくなるため、本発明における要件を満たすことで、上部電極と下部電極間のリーク電流の低減効果が特に大きくなる。
Therefore, in the organic light-emitting device according to the present invention, it is preferable that the following formula (7) is satisfied. More preferably, L is within a range of ±λ/16 from the value that satisfies the formula (6), and it is preferable that the following formula (7') is satisfied.
(λ/8) × (4m-(2φ/π)-1) < L < (λ/8) × (4m-(2φ/π) + 1) (7)
(lambda / 16) × (8m - (4φ / π) - 1) < L < (lambda / 16) × (8m - (4φ / π) + 1) (7')
In the light-emitting device according to the present invention, it is preferable that m=0 and m'=0 in formulas (7) and (7'), that is, the optical interference condition is λ/4. In this case, formulas (7) and (7') can be expressed as formulas (8) and (8').
(λ/8)×(−(2φ/π)−1)<L<(λ/8)×(−(2φ/π)+1) (8)
(λ/16)×(−(4φ/π)−1)<L<(λ/16)×(−(4φ/π)+1) (8')
In formula (7) and formula (7'), when m=0 and m'=0, the organic layer has the thinnest film thickness in the constructive interference structure. This reduces the driving voltage of the light-emitting element, enabling light emission with higher brightness within the upper limit of the power supply voltage. When the organic layer is thin, leakage current between the upper electrode and the lower electrode is likely to occur, so by satisfying the requirements of the present invention, the effect of reducing leakage current between the upper electrode and the lower electrode is particularly large.

ここで、発光波長λは、発光強度が最大にピークの発光波長であってよい。有機化合物の発光は、最大のピークは、発光スペクトルの内の最小ピークが最大発光であることが一般的なので、最小ピークの波長であってもよい。 Here, the emission wavelength λ may be the emission wavelength at which the emission intensity is at its maximum peak. Since the maximum peak of the emission of an organic compound is generally the minimum peak in the emission spectrum, the emission wavelength λ may be the wavelength of the minimum peak.

本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、機能層の層厚が小さいデバイスである。より具体的には、第一電極の絶縁層に覆われていない第二領域における機能層の層厚が、絶縁層の高さよりも小さい。機能層の層厚は、第一電極の第二領域だけでなく、絶縁層の上面において見積もることもできる。機能層の層厚が小さく、素子間のリーク電流が課題となるデバイスにおいて、絶縁層の傾斜部に沿った機能層の領域の層厚が20nm以上である。機能層が、絶縁層の傾斜部に沿っているとは、絶縁層の傾斜部に対して垂直に線を引いた場合に、機能層の傾斜部に到達する構成を指す。 The electronic device according to one embodiment of the present invention is a device in which the functional layer has a small thickness. More specifically, the thickness of the functional layer in the second region of the first electrode that is not covered by the insulating layer is smaller than the height of the insulating layer. The thickness of the functional layer can be estimated not only in the second region of the first electrode, but also on the upper surface of the insulating layer. In a device in which the functional layer has a small thickness and leakage current between elements is an issue, the thickness of the functional layer in the region along the inclined portion of the insulating layer is 20 nm or more. The functional layer being along the inclined portion of the insulating layer refers to a configuration in which, when a line is drawn perpendicular to the inclined portion of the insulating layer, the functional layer reaches the inclined portion of the insulating layer.

つまり、本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、機能層の層厚が第一電極の第二領域における層厚が絶縁層の高さよりも小さいので、隣接する素子へのリーク電流が低減される。同時に絶縁層の傾斜部における機能層の層厚が20nm以上であるので、第一電極と第二電極の間のリーク電流が低減される。 In other words, in an electronic device according to one embodiment of the present invention, the thickness of the functional layer in the second region of the first electrode is smaller than the height of the insulating layer, so that leakage current to adjacent elements is reduced. At the same time, the thickness of the functional layer in the inclined portion of the insulating layer is 20 nm or more, so that leakage current between the first electrode and the second electrode is reduced.

図5(a)は、図1の点線部Bを拡大した図である。図5(a)には、第一電極の第二領域21と、絶縁層の傾斜部31が示されている。絶縁層の傾斜部31は、第一電極の第一領域上の傾斜部である。傾斜部31は発光領域に接している傾斜部、開口部の内周を形成している傾斜部とも呼ぶことができる。また、基板に垂直な方向からの平面視において、傾斜部と第一電極の第一領域とが、重畳している。これに対して傾斜部32は、基板に対して垂直な方向の平面視において、第一電極と他の第一電極との間に配置されている傾斜部である。開口部の外周を形成している傾斜部,画素間の傾斜部と呼ぶこともできる。第二領域21における有機層の上面の高さFは、第二領域21に対して概ね平行に形成された有機層の上面の高さを表している。第二領域上の有機層は、第一電極上の有機層の平坦部と呼ぶこともできる。 5(a) is an enlarged view of the dotted line portion B in FIG. 1. FIG. 5(a) shows the second region 21 of the first electrode and the inclined portion 31 of the insulating layer. The inclined portion 31 of the insulating layer is an inclined portion on the first region of the first electrode. The inclined portion 31 can also be called an inclined portion in contact with the light-emitting region or an inclined portion forming the inner periphery of the opening. In addition, in a plan view perpendicular to the substrate, the inclined portion and the first region of the first electrode overlap. In contrast, the inclined portion 32 is an inclined portion disposed between the first electrode and another first electrode in a plan view perpendicular to the substrate. It can also be called an inclined portion forming the outer periphery of the opening or an inclined portion between pixels. The height F of the upper surface of the organic layer in the second region 21 represents the height of the upper surface of the organic layer formed approximately parallel to the second region 21. The organic layer on the second region can also be called a flat portion of the organic layer on the first electrode.

絶縁層の傾斜部31の上端33は、絶縁層の角度が0°になる位置であり、傾斜部31の上端33の高さはEとして表されている。絶縁層の傾斜部の傾斜角θは、図5(a)のように傾斜部の各位置で一定でもよいし、傾斜角が傾斜部の位置によって変化してもよい。傾斜角が変化する場合でも、傾斜角が0°よりも大きい範囲では同一の傾斜部と見なし、傾斜角が0°になる両端の位置が、傾斜部31の上端33と下端34である。図2に示す平面構造であれば、傾斜部31は、六角形の各辺を一周してまたがって形成される。 The upper end 33 of the inclined portion 31 of the insulating layer is the position where the angle of the insulating layer is 0°, and the height of the upper end 33 of the inclined portion 31 is represented as E. The inclination angle θ of the inclined portion of the insulating layer may be constant at each position of the inclined portion as shown in FIG. 5(a), or the inclination angle may change depending on the position of the inclined portion. Even if the inclination angle changes, it is considered to be the same inclined portion when the inclination angle is greater than 0°, and the positions of both ends where the inclination angle is 0° are the upper end 33 and lower end 34 of the inclined portion 31. In the planar structure shown in FIG. 2, the inclined portion 31 is formed by going around each side of the hexagon.

有機層4の上面の高さFは、傾斜部31の上端33の高さはEよりも低い。本実施形態に係る有機発光装置は、有機層の層厚が絶縁層の高さよりも小さいからである。つまり、図5(a)の通り、本実施形態に係る有機発光装置は、絶縁層の傾斜部に沿った有機層を有する。傾斜部31に沿った有機層の領域41(点線内)が形成される。傾斜部に沿った有機層は、傾斜部に概ね平行に形成された領域であり、有機層の領域41のように、絶縁層に対する垂線によって区切られている。図2に示す平面構造であれば、傾斜部31に沿った有機層の領域41は、六角形の各辺を一周してまたがる領域となる。なお、概ね平行とは、傾斜部のある位置の傾斜角と、その位置から描いた傾斜部との垂線が有機層4上面と交わる位置の傾斜角が同じである場合が、平行とすると、傾斜角の差が±15°の範囲内に入る場合のことを指す。 The height F of the upper surface of the organic layer 4 is lower than the height E of the upper end 33 of the inclined portion 31. This is because the organic layer thickness of the organic light-emitting device according to this embodiment is smaller than the height of the insulating layer. That is, as shown in FIG. 5(a), the organic light-emitting device according to this embodiment has an organic layer along the inclined portion of the insulating layer. A region 41 (within the dotted line) of the organic layer is formed along the inclined portion 31. The organic layer along the inclined portion is a region formed approximately parallel to the inclined portion, and is separated by a perpendicular line to the insulating layer, like the organic layer region 41. In the planar structure shown in FIG. 2, the organic layer region 41 along the inclined portion 31 is a region that spans each side of the hexagon. Note that approximately parallel refers to a case where the inclination angle at a position of the inclined portion is the same as the inclination angle at the position where the perpendicular line to the inclined portion drawn from that position intersects with the upper surface of the organic layer 4, and the difference in the inclination angle is within the range of ±15°.

図5(a)における有機層の領域42は、絶縁層の傾斜部31に沿った有機層ではない。なぜなら、第二領域21上に形成される有機層の層厚が大きいので、傾斜部31に沿って形成される有機層を埋めてしまっているからである。 The region 42 of the organic layer in FIG. 5(a) is not the organic layer along the sloped portion 31 of the insulating layer. This is because the organic layer formed on the second region 21 is so thick that it buries the organic layer formed along the sloped portion 31.

図5(b)には、比較例として、有機層4の上面の高さEが、傾斜部31の上端61の高さはFよりも高い例を示している。この場合、傾斜部31に沿った有機層は存在しない。なぜなら、第二領域21上に形成される有機層の層厚が大きいので、傾斜部31に沿って形成される有機層を埋めてしまっているからである。図5(b)の例の場合、有機層の抵抗が比較的低いため、隣接する発光素子へのリーク電流の低減が十分でない場合がある。 Figure 5(b) shows, as a comparative example, an example in which the height E of the upper surface of the organic layer 4 is higher than the height F of the upper end 61 of the inclined portion 31. In this case, there is no organic layer along the inclined portion 31. This is because the organic layer formed on the second region 21 is so thick that it buries the organic layer formed along the inclined portion 31. In the example of Figure 5(b), the resistance of the organic layer is relatively low, so there are cases in which the reduction in leakage current to adjacent light-emitting elements is insufficient.

図5(a)に示す、傾斜部31の有機層の層厚Gが20nm以上であると、上部電極5と下部電極2の間のリーク電流を大幅に低減することができることを、本発明者らは、様々な条件の有機デバイスを検討する中で見出した。傾斜部の有機層の層厚とは、絶縁層の傾斜部に対する垂直方向の層厚である。一方で、傾斜部に沿った有機層の層厚は、平坦部上に形成された有機層の層厚よりも小さいので、電気抵抗が高い。層厚が小さい第二領域の有機層に加えて、傾斜部による有機層の高抵抗化を行っているので、隣接する発光素子へのリーク電流が低減される。隣接する発光素子へのリーク電流が低減されれば、意図しない発光素子の発光を低減し、発光装置の色域の狭小化を低減することができる。傾斜部31の有機層の層厚Gは好ましくは25nm以上であり、特に好ましくは33nm以上である。これによって、より上部電極と下部電極間のリーク電流を低減することができる。 The inventors have found, while examining organic devices under various conditions, that if the layer thickness G of the organic layer in the inclined portion 31 shown in FIG. 5(a) is 20 nm or more, the leakage current between the upper electrode 5 and the lower electrode 2 can be significantly reduced. The layer thickness of the organic layer in the inclined portion is the layer thickness in the direction perpendicular to the inclined portion of the insulating layer. On the other hand, the layer thickness of the organic layer along the inclined portion is smaller than the layer thickness of the organic layer formed on the flat portion, and therefore the electrical resistance is high. In addition to the organic layer in the second region having a small layer thickness, the resistance of the organic layer is increased by the inclined portion, so that the leakage current to the adjacent light-emitting element is reduced. If the leakage current to the adjacent light-emitting element is reduced, it is possible to reduce unintended light emission of the light-emitting element and reduce the narrowing of the color gamut of the light-emitting device. The layer thickness G of the organic layer in the inclined portion 31 is preferably 25 nm or more, and particularly preferably 33 nm or more. This makes it possible to further reduce the leakage current between the upper electrode and the lower electrode.

よって、図5(a)に示す有機デバイスとすることで、隣接する発光素子へのリーク電流と上部電極と下部電極の間のリーク電流との両方を低減することができる。傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚は、一つの傾斜部の層厚が最も薄い部分においても20nm以上であってよい。傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚は、傾斜部の傾斜角や有機層の成膜条件などで制御することができる。絶縁層の傾斜部の傾斜角は50°以下であってよい。 Therefore, by using the organic device shown in FIG. 5(a), it is possible to reduce both the leakage current to adjacent light-emitting elements and the leakage current between the upper electrode and the lower electrode. The thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion may be 20 nm or more even at the thinnest part of one of the inclined portions. The thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion can be controlled by the inclination angle of the inclined portion, the deposition conditions of the organic layer, etc. The inclination angle of the inclined portion of the insulating layer may be 50° or less.

本実施形態に係る有機発光装置は、複数の絶縁層を有する。上記ではそのうちの一つ絶縁層を例にあげたが、複数の絶縁層において、傾斜部における有機層が、傾斜部に対して垂直な方向の層厚が20nm以上であってよい。 The organic light-emitting device according to this embodiment has multiple insulating layers. Although one of the insulating layers has been given as an example above, in the multiple insulating layers, the organic layer in the inclined portion may have a layer thickness of 20 nm or more in the direction perpendicular to the inclined portion.

以上においては、絶縁層の傾斜部31における有機層の層厚について説明した。一方、絶縁層の傾斜部32についても同様に、傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚が20nm以上であることが好ましい。両傾斜部において、有機層の層厚が20nm以上であることが好ましいが、傾斜部31において、当該層厚が20nm以上であることを満たしていることの方が、傾斜部32において、当該層厚が20nm以上であることを満たしていることよりも好ましい。傾斜部31における有機層の方が、傾斜部32における有機層よりも第一電極と第二電極との間にリーク電流に寄与するからである。 The above describes the thickness of the organic layer in the inclined portion 31 of the insulating layer. On the other hand, for the inclined portion 32 of the insulating layer, it is preferable that the thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion is 20 nm or more. Although it is preferable that the thickness of the organic layer is 20 nm or more in both inclined portions, it is more preferable that the thickness is 20 nm or more in the inclined portion 31 than that the thickness is 20 nm or more in the inclined portion 32. This is because the organic layer in the inclined portion 31 contributes more to the leakage current between the first electrode and the second electrode than the organic layer in the inclined portion 32.

また、複数の絶縁層の第一電極の第一領域上の傾斜部において、傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚が20nm以上であってよい。すべての絶縁層の傾斜部において傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚が20nm以上であってよい。さらに、複数の絶縁層の第一電極と他の第一電極の間に配置されている傾斜部において、傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚が20nm以上であってよい。さらに、すべての絶縁層の第一電極と他の第一電極の間に配置されている傾斜部において、傾斜部に対して垂直方向の有機層の層厚が20nm以上であってよい。 In addition, in the inclined portion on the first region of the first electrode of the multiple insulating layers, the layer thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion may be 20 nm or more. In the inclined portions of all the insulating layers, the layer thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion may be 20 nm or more. Furthermore, in the inclined portion disposed between the first electrode of the multiple insulating layers and another first electrode, the layer thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion may be 20 nm or more. Furthermore, in the inclined portion disposed between the first electrode of all the insulating layers and another first electrode, the layer thickness of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion may be 20 nm or more.

本実施形態に係る有機発光装置において、傾斜部における傾斜面は、第一電極の上面とは平行ではなく、傾斜部における傾斜面は、絶縁層の表面のうち、絶縁層の上面と、絶縁層が覆う第一電極の上面との間の部分である。言い換えれば、傾斜部の傾斜面は、絶縁層の表面のうち、絶縁層の上面の端と、第一電極の上面との間の部分である。第一電極上の傾斜部の角度は、90°より小さくてよい。当該角度が90°よりも小さい場合、第一電極の上面から上に向かうにつれて、絶縁層による開口の幅が大きくなる。 In the organic light-emitting device according to this embodiment, the inclined surface of the inclined portion is not parallel to the upper surface of the first electrode, and the inclined surface of the inclined portion is a portion of the surface of the insulating layer between the upper surface of the insulating layer and the upper surface of the first electrode that the insulating layer covers. In other words, the inclined surface of the inclined portion is a portion of the surface of the insulating layer between an edge of the upper surface of the insulating layer and the upper surface of the first electrode. The angle of the inclined portion on the first electrode may be less than 90°. When the angle is less than 90°, the width of the opening formed by the insulating layer increases from the upper surface of the first electrode upward.

<第二の実施形態>
図6は本発明に係る第二の実施形態の図である。絶縁層3の形状が異なることと、有機層の下部に電荷輸送領域が含まれること以外、第一の実施形態と同じである。以下、第一の実施形態との差異と、その効果について説明する。
Second Embodiment
6 is a diagram of a second embodiment of the present invention. This is the same as the first embodiment except that the shape of the insulating layer 3 is different and a charge transport region is included in the lower part of the organic layer. The differences from the first embodiment and their effects will be described below.

第一電極の第一領域上の絶縁層の傾斜部31は、緩傾斜部(太線部)311と急傾斜部(太線部)312を含む。緩傾斜部は、傾斜部のうち傾斜部の上端から傾斜部の下端の間に配置される。絶縁層が上面を有する場合は、上面の高さが上端の高さであり、上面自体は上端に含まない。急傾斜部は、緩傾斜部と、傾斜部の下端の間に配置される。より具体的には、緩傾斜部の下端と傾斜部の下端の間に配置される。 The inclined portion 31 of the insulating layer on the first region of the first electrode includes a gently sloping portion (thick line portion) 311 and a steeply sloping portion (thick line portion) 312. The gently sloping portion is located between the upper end of the inclined portion and the lower end of the inclined portion. If the insulating layer has an upper surface, the height of the upper surface is the height of the upper end, and the upper surface itself is not included in the upper end. The steeply sloping portion is located between the gently sloping portion and the lower end of the inclined portion. More specifically, it is located between the lower end of the gently sloping portion and the lower end of the inclined portion.

図6においては、緩傾斜部311は、傾斜部31のうち、傾斜部に沿った有機層の領域41に接する部分である。緩傾斜部は第一電極の上面に対してθ1の角度で形成されている。第一電極上面が、水平面に平行であれば、緩傾斜部の角度は水平面からθ1であってよい。急傾斜部は、緩傾斜部と絶縁層の下端との間に配置されており、第一電極の上面に対してθ2の角度で形成されている。急傾斜部312とは、傾斜部31のうち、緩傾斜部311のなかで最も大きい傾斜角θ1の部分よりも、傾斜角θ2が大きい部分である。 In FIG. 6, the gently sloping portion 311 is a portion of the sloping portion 31 that contacts the region 41 of the organic layer along the sloping portion. The gently sloping portion is formed at an angle of θ1 with respect to the upper surface of the first electrode. If the upper surface of the first electrode is parallel to the horizontal plane, the angle of the gently sloping portion may be θ1 from the horizontal plane. The steeply sloping portion is disposed between the gently sloping portion and the lower end of the insulating layer, and is formed at an angle of θ2 with respect to the upper surface of the first electrode. The steeply sloping portion 312 is a portion of the sloping portion 31 that has an angle of θ2 larger than the portion of the gently sloping portion 311 that has the largest angle of θ1.

急傾斜部の傾斜角θ2は、50°よりも大きく、緩傾斜部の傾斜角θ1が50°以下である。好ましくは、急傾斜部の傾斜角θ2は、50°よりも大きく90°以下であり、緩傾斜部の傾斜角θ1は、30°以上50°以下である。 The inclination angle θ2 of the steeply inclined portion is greater than 50°, and the inclination angle θ1 of the gently inclined portion is less than or equal to 50°. Preferably, the inclination angle θ2 of the steeply inclined portion is greater than 50° and less than or equal to 90°, and the inclination angle θ1 of the gently inclined portion is greater than or equal to 30° and less than or equal to 50°.

有機層4は、電荷輸送層43と発光層を含む領域44から成り、第一電極側に電荷輸送層が配置される。電荷輸送層は有機層の構成成分が、有機層と異なってよい。そして、第一電極の第二領域21における電荷輸送層の上面431の高さIは、急傾斜部312の上端の高さHよりも低い。これによって、電荷輸送層43は、急傾斜部に垂直な方向の層厚が小さい領域、急傾斜部312に沿った領域を形成する。 The organic layer 4 is composed of a region 44 including a charge transport layer 43 and a light-emitting layer, and the charge transport layer is disposed on the first electrode side. The charge transport layer may have a different component from the organic layer. The height I of the upper surface 431 of the charge transport layer in the second region 21 of the first electrode is lower than the height H of the upper end of the steeply inclined portion 312. As a result, the charge transport layer 43 forms a region with a small layer thickness in a direction perpendicular to the steeply inclined portion, and a region along the steeply inclined portion 312.

蒸着法で形成した場合、傾斜部に沿った層の層厚は、傾斜角が大きいほど薄くなるため、電荷輸送層を高抵抗化しやすい。電荷輸送層は有機層のなかでも電荷輸送能力に優れた領域であるため、発光素子間のリーク電流に寄与しやすいが、上記のように高抵抗化できれば、発光素子間のリーク電流を低減することができる。 When formed by vapor deposition, the thickness of the layer along the inclined portion becomes thinner as the inclination angle increases, making it easier to increase the resistance of the charge transport layer. The charge transport layer is an area of the organic layer with excellent charge transport capabilities, so it is likely to contribute to leakage current between light-emitting elements. However, if the resistance can be increased as described above, the leakage current between light-emitting elements can be reduced.

そのため、第一電極の第二領域21における有機層の上面の高さFは、急傾斜部312の上端の高さHよりも高い。第二領域21上の有機層4が、急傾斜部を形成したことによる高抵抗化の領域が形成されるためである。 Therefore, the height F of the upper surface of the organic layer in the second region 21 of the first electrode is higher than the height H of the upper end of the steeply inclined portion 312. This is because a region of high resistance is formed in the organic layer 4 on the second region 21 due to the formation of the steeply inclined portion.

傾斜部を有する絶縁層により、有機層が薄膜化された場合であっても、本実施形態に係る有機発光装置は、傾斜部における有機層は、傾斜部に対して垂直な方向の層厚が20nm以上であるため、第一電極、第二電極の間のリーク電流が低減されている。 Even if the organic layer is thinned by an insulating layer having a sloped portion, in the organic light-emitting device according to this embodiment, the organic layer in the sloped portion has a layer thickness of 20 nm or more in the direction perpendicular to the sloped portion, so that leakage current between the first electrode and the second electrode is reduced.

本実施形態に係る緩傾斜部および急傾斜部は、例えば、緩傾斜部311は等方性エッチング等を用いて形成することができ、急傾斜部312は異方性エッチング等を用いて形成することができる。 In this embodiment, the gentle slope portion and the steep slope portion can be formed, for example, by using isotropic etching for the gentle slope portion 311 and anisotropic etching for the steep slope portion 312.

ここまで、絶縁層の傾斜部31が緩傾斜部および急傾斜部を有する例をあげたが、絶縁層の傾斜部32が緩傾斜部および急傾斜部を有してもよい。 So far, we have given examples in which the inclined portion 31 of the insulating layer has a gentle slope portion and a steep slope portion, but the inclined portion 32 of the insulating layer may also have a gentle slope portion and a steep slope portion.

絶縁層の急傾斜部と緩傾斜部の傾斜角は、図6のようにそれぞれ傾斜部において一定でもよいし、傾斜角が傾斜部に沿って変化してもよい。この場合、緩傾斜部と急傾斜部の境界は、傾斜角が50°を超える点である。 The inclination angles of the steep and gentle slope portions of the insulating layer may be constant along each slope as shown in FIG. 6, or the inclination angle may vary along the slope. In this case, the boundary between the gentle slope portion and the steep slope portion is the point where the inclination angle exceeds 50°.

本実施形態における電荷輸送層は正孔輸送層であってよい。一般的に電子輸送層よりも正孔輸送層の方が、電荷移動度が高いため、本実施形態の構造とすることで、正孔輸送層を高抵抗化することができ、発光素子間のリーク電流の低減効果を大きくすることができる。また、正孔輸送層は、複数の有化合物層からなる正孔輸送領域であってもよい。 The charge transport layer in this embodiment may be a hole transport layer. Generally, the charge mobility of the hole transport layer is higher than that of the electron transport layer, so that the structure of this embodiment can increase the resistance of the hole transport layer, thereby making it possible to increase the effect of reducing the leakage current between the light-emitting elements. In addition, the hole transport layer may be a hole transport region made of multiple organic compound layers.

発光素子間のリーク電流を低減する場合、発光層は電子トラップ型であることが好ましい。電子トラップ型とは、発光層の主成分を占めるホスト材料の最低非占軌道のエネルギーよりも、発光層に含まれるドーパント材料の最低非占軌道のエネルギーが0.15eV以上深い場合の発光層である。これによって、発光層の電子移動度が低下する。そのため、正孔による発光素子間のリーク電流は、傾斜部による高抵抗化で、電子による発光素子間のリーク電流は発光層による高抵抗化という形で対策できるため、正孔および電子による発光素子間のリーク電流の双方を低減しやすい。 When reducing leakage current between light-emitting elements, it is preferable that the light-emitting layer is of the electron trap type. An electron trap type is a light-emitting layer in which the energy of the lowest unoccupied molecular orbital of the dopant material contained in the light-emitting layer is 0.15 eV or more deeper than the energy of the lowest unoccupied molecular orbital of the host material that constitutes the main component of the light-emitting layer. This reduces the electron mobility of the light-emitting layer. Therefore, the leakage current between light-emitting elements due to holes can be reduced by increasing the resistance of the inclined portion, and the leakage current between light-emitting elements due to electrons can be reduced by increasing the resistance of the light-emitting layer, making it easy to reduce both the leakage current between light-emitting elements due to holes and electrons.

本実施形態における好ましい傾斜部の傾斜角についての知見を得るために、蒸着法による成膜シミュレーションを実施した。図7は蒸着シミュレーションの際の各部材の配置図である。蒸着源201、基板202、基板に配された有機デバイス203の位置を図7のように設定し、R=200mm、r=95mm、h=340mmとした。 To obtain knowledge about the preferred inclination angle of the inclined portion in this embodiment, a film formation simulation using a deposition method was performed. Figure 7 is a diagram showing the layout of each component during the deposition simulation. The positions of the deposition source 201, the substrate 202, and the organic device 203 arranged on the substrate were set as shown in Figure 7, with R = 200 mm, r = 95 mm, and h = 340 mm.

以下の式(9)で表す、蒸着分布のn=2とした。
φ=φcosα (9)
ここで、αは角度、φは角度αにおける蒸気流密度、φはα=0における蒸気流密度である。また、基板202は基板の中心で回転することを前提とした。
The deposition distribution represented by the following formula (9) was set to n=2.
φ=φ 0 cos n α (9)
Here, α is an angle, φ is the vapor flow density at angle α, and φ 0 is the vapor flow density at α = 0. It is also assumed that the substrate 202 rotates around its center.

基板上の有機デバイス203の位置に傾斜角0°~90°の傾斜部がある場合を仮定し、傾斜角0°における有機層の層厚を76nmとした際の、各傾斜角における、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚を計算した。 Assuming that there is an inclined portion with an inclination angle of 0° to 90° at the position of the organic device 203 on the substrate, and assuming that the layer thickness of the organic layer at an inclination angle of 0° is 76 nm, the layer thickness of the organic layer region along the inclined portion at each inclination angle was calculated.

図8に、成膜シミュレーションの結果を示す。ここから、傾斜角が50°よりも大きい場合、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が薄くなり易く、傾斜角が50°以下だと、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が厚くなり易いことが分かる。よって、本実施形態の急傾斜部の傾斜角は50°よりも大きいことが好ましく、緩傾斜部は傾斜角が50°以下であることが好ましい。 Figure 8 shows the results of the film formation simulation. It can be seen that when the inclination angle is greater than 50°, the layer thickness of the organic layer region along the inclined portion tends to be thin, and when the inclination angle is 50° or less, the layer thickness of the organic layer region along the inclined portion tends to be thick. Therefore, in this embodiment, it is preferable that the inclination angle of the steep inclination portion is greater than 50°, and it is preferable that the inclination angle of the gentle inclination portion is 50° or less.

本実施形態に係る、急傾斜部の傾斜角は90°よりも大きい部分を含んでよい。これによって、急傾斜部における電荷輸送層の層厚が特に薄くなり易く、発光素子間のリーク電流を低減しやすくなる。 In this embodiment, the inclination angle of the steeply inclined portion may include a portion that is greater than 90°. This makes it easier for the layer thickness of the charge transport layer in the steeply inclined portion to be particularly thin, making it easier to reduce leakage current between light-emitting elements.

[本実施形態に係る有機発光素子の用途]
本実施形態に係る有機発光素子は、表示装置や照明装置の構成部材として用いることができる。他にも、電子写真方式の画像形成装置の露光光源や液晶表示装置のバックライト、白色光源にカラーフィルタを有する発光装置等の用途がある。
[Uses of the organic light-emitting element according to this embodiment]
The organic light-emitting device according to the present embodiment can be used as a component of a display device or a lighting device, and can also be used as an exposure light source for an electrophotographic image forming device, a backlight for a liquid crystal display device, a light-emitting device having a white light source and a color filter, etc.

表示装置は、エリアCCD、リニアCCD、メモリーカード等からの画像情報を入力する画像入力部を有し、入力された情報を処理する情報処理部を有し、入力された画像を表示部に表示する画像情報処理装置でもよい。 The display device may be an image information processing device that has an image input unit that inputs image information from an area CCD, a linear CCD, a memory card, etc., has an information processing unit that processes the input information, and displays the input image on the display unit.

また、撮像装置やインクジェットプリンタが有する表示部は、タッチパネル機能を有していてもよい。このタッチパネル機能の駆動方式は、赤外線方式でも、静電容量方式でも、抵抗膜方式であっても、電磁誘導方式であってもよく、特に限定されない。また表示装置はマルチファンクションプリンタの表示部に用いられてもよい。 The display unit of the imaging device or inkjet printer may have a touch panel function. The driving method of this touch panel function is not particularly limited and may be an infrared method, a capacitance method, a resistive film method, or an electromagnetic induction method. The display device may also be used in the display unit of a multifunction printer.

次に、本実施形態に係る表示装置について説明する。表示装置は、有機発光素子とこの有機発光素子に接続されるトランジスタとを有してよい。トランジスタは、能動素子の一例である。 Next, a display device according to this embodiment will be described. The display device may have an organic light-emitting element and a transistor connected to the organic light-emitting element. The transistor is an example of an active element.

トランジスタは、層間絶縁層に設けられたコンタクトホールを介して有機発光素子を構成する第一電極と接続されてよい。 The transistor may be connected to a first electrode constituting an organic light-emitting element through a contact hole provided in the interlayer insulating layer.

なお、有機発光素子に含まれる電極(陽極、陰極)とトランジスタに含まれる電極(ソース電極、ドレイン電極)との電気接続の方式は、特に限られるものではない。つまり陽極又は陰極のうちいずれか一方とトランジスタのソース電極またはドレイン電極のいずれか一方とが電気接続されていればよい。 The method of electrical connection between the electrodes (anode, cathode) included in the organic light-emitting element and the electrodes (source electrode, drain electrode) included in the transistor is not particularly limited. In other words, it is sufficient that either the anode or the cathode is electrically connected to either the source electrode or the drain electrode of the transistor.

また表示装置に使用されるトランジスタは、単結晶シリコンウエハを用いたトランジスタに限らず、基板の絶縁性表面上に活性層を有する薄膜トランジスタでもよい。活性層として、単結晶シリコン、アモルファスシリコン、微結晶シリコンなどの非単結晶シリコン、インジウム亜鉛酸化物、インジウムガリウム亜鉛酸化物等の非単結晶酸化物半導体が挙げられる。なお、薄膜トランジスタはTFTとも呼ばれる。 The transistors used in the display device are not limited to transistors using single crystal silicon wafers, but may be thin film transistors having an active layer on the insulating surface of a substrate. Examples of active layers include single crystal silicon, amorphous silicon, non-single crystal silicon such as microcrystalline silicon, and non-single crystal oxide semiconductors such as indium zinc oxide and indium gallium zinc oxide. Thin film transistors are also called TFTs.

表示装置に含まれるトランジスタは、Si基板等の基板内に形成されていてもよい。ここで基板内に形成されるとは、Si基板等の基板自体を加工してトランジスタを作製することを意味する。つまり、基板内にトランジスタを有することは、基板とトランジスタとが一体に形成されていると見ることもできる。 The transistors included in the display device may be formed within a substrate such as a Si substrate. Formed within a substrate here means that the substrate itself, such as a Si substrate, is processed to create the transistors. In other words, having a transistor within a substrate can be seen as the substrate and the transistor being formed integrally.

本実施形態に係る有機発光素子はスイッチング素子の一例であるTFTにより発光輝度が制御され、有機発光素子を複数面内に設けることでそれぞれの発光輝度により画像を表示することができる。なお、基板内にトランジスタを設けるか、TFTを用いるかは、表示部の大きさによって選択され、例えば0.5インチ程度の大きさであれば、Si基板上に有機発光素子を設けることが好ましい。 The organic light-emitting element according to this embodiment has its emission brightness controlled by a TFT, which is an example of a switching element, and by providing organic light-emitting elements on multiple surfaces, an image can be displayed with the emission brightness of each element. Whether to provide a transistor in the substrate or to use a TFT is selected according to the size of the display unit. For example, if the size is about 0.5 inches, it is preferable to provide the organic light-emitting element on a Si substrate.

図9は、本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。表示装置1000は、上部カバー1001と、下部カバー1009と、の間に、タッチパネル1003、表示パネル1005、フレーム1006、回路基板1007、バッテリー1008、を有してよい。タッチパネル1003および表示パネル1005は、フレキシブルプリント回路FPC1002、1004が接続されている。回路基板1007には、トランジスタがプリントされている。バッテリー1008は、表示装置が携帯機器でなければ、設けなくてもよいし、携帯機器であっても、別の位置に設けてもよい。 Figure 9 is a schematic diagram showing an example of a display device according to this embodiment. The display device 1000 may have a touch panel 1003, a display panel 1005, a frame 1006, a circuit board 1007, and a battery 1008 between an upper cover 1001 and a lower cover 1009. Flexible printed circuits FPCs 1002 and 1004 are connected to the touch panel 1003 and the display panel 1005. Transistors are printed on the circuit board 1007. The battery 1008 may not be provided if the display device is not a portable device, and may be provided in a different position even if the display device is a portable device.

本実施形態に係る表示装置は、複数のレンズを有する光学部と、当該光学部を通過した光を受光する撮像素子とを有する撮像装置の表示部に用いられてよい。撮像装置は、撮像素子が取得した情報を表示する表示部を有してよい。また、表示部は、撮像装置の外部に露出した表示部であっても、ファインダ内に配置された表示部であってもよい。撮像装置は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラであってよい。 The display device according to this embodiment may be used in the display section of an imaging device having an optical section with multiple lenses and an imaging element that receives light that has passed through the optical section. The imaging device may have a display section that displays information acquired by the imaging element. The display section may be a display section exposed to the outside of the imaging device, or a display section that is disposed within the viewfinder. The imaging device may be a digital camera or a digital video camera.

図10(a)は、本実施形態に係る撮像装置の一例を表す模式図である。撮像装置1100は、ビューファインダ1101、背面ディスプレイ1102、操作部1103、筐体1104を有してよい。ビューファインダ1101は、本実施形態に係る表示装置を有してよい。その場合、表示装置は、撮像する画像のみならず、環境情報、撮像指示等を表示してよい。環境情報には、外光の強度、外光の向き、被写体の動く速度、被写体が遮蔽物に遮蔽される可能性等であってよい。 FIG. 10(a) is a schematic diagram showing an example of an imaging device according to this embodiment. The imaging device 1100 may have a viewfinder 1101, a rear display 1102, an operation unit 1103, and a housing 1104. The viewfinder 1101 may have a display device according to this embodiment. In this case, the display device may display not only the image to be captured, but also environmental information, imaging instructions, etc. The environmental information may include the intensity of external light, the direction of external light, the speed at which the subject moves, the possibility that the subject will be blocked by an obstruction, etc.

撮像に好適なタイミングはわずかな時間なので、少しでも早く情報を表示した方がよい。したがって、本発明の一実施形態に係る有機発光装置を用いた表示装置を用いるのが好ましい。有機発光素子は応答速度が速いからである。有機発光素子を用いた表示装置は、表示速度が求められる、これらの装置、液晶表示装置よりも好適に用いることができる。 The optimal timing for capturing an image is very short, so it is better to display the information as soon as possible. Therefore, it is preferable to use a display device that uses an organic light-emitting device according to one embodiment of the present invention. This is because organic light-emitting elements have a fast response speed. A display device that uses organic light-emitting elements can be used more preferably than liquid crystal display devices, which require high display speed.

撮像装置1100は、不図示の光学部を有する。光学部は複数のレンズを有し、筐体1104内に収容されている撮像素子に結像する。複数のレンズは、その相対位置を調整することで、焦点を調整することができる。この操作を自動で行うこともできる。 The imaging device 1100 has an optical section (not shown). The optical section has multiple lenses, and forms an image on an imaging element housed in a housing 1104. The focus of the multiple lenses can be adjusted by adjusting their relative positions. This operation can also be performed automatically.

本実施形態に係る表示装置は、赤色、緑色、青色を有するカラーフィルタを有してよい。カラーフィルタは、当該赤色、緑色、青色がデルタ配列で配置されてよい。 The display device according to this embodiment may have a color filter having red, green, and blue colors. The color filters may be arranged such that the red, green, and blue colors are arranged in a delta arrangement.

本実施形態に係る表示装置は、携帯端末の表示部に用いられてもよい。その際には、表示機能と操作機能との双方を有してもよい。携帯端末としては、スマートフォン等の携帯電話、タブレット、ヘッドマウントディスプレイ等が挙げられる。 The display device according to this embodiment may be used in the display section of a mobile terminal. In this case, it may have both a display function and an operation function. Examples of the mobile terminal include mobile phones such as smartphones, tablets, and head-mounted displays.

図10(b)は、本実施形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。電子機器1200は、表示部1201と、操作部1202と、筐体1203を有する。筐体1203には、回路、当該回路を有するプリント基板、バッテリー、通信部、を有してよい。操作部1202は、ボタンであってもよいし、タッチパネル方式の反応部であってもよい。操作部は、指紋を認識してロックの解除等を行う、生体認識部であってもよい。通信部を有する電子機器は通信機器ということもできる。 Figure 10 (b) is a schematic diagram showing an example of an electronic device according to this embodiment. The electronic device 1200 has a display unit 1201, an operation unit 1202, and a housing 1203. The housing 1203 may have a circuit, a printed circuit board having the circuit, a battery, and a communication unit. The operation unit 1202 may be a button or a touch panel type reaction unit. The operation unit may be a biometric recognition unit that recognizes a fingerprint to perform operations such as unlocking. An electronic device having a communication unit may also be called a communication device.

図11は、本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。図11(a)は、テレビモニタやPCモニタ等の表示装置である。表示装置1300は、額縁1301を有し表示部1302を有する。表示部1302には、本実施形態に係る発光装置が用いられてよい。 Figure 11 is a schematic diagram showing an example of a display device according to this embodiment. Figure 11(a) shows a display device such as a television monitor or a PC monitor. The display device 1300 has a frame 1301 and a display unit 1302. The light-emitting device according to this embodiment may be used for the display unit 1302.

額縁1301と、表示部1302を支える土台1303を有している。土台1303は、図11(a)の形態に限られない。額縁1301の下辺が土台を兼ねてもよい。 It has a frame 1301 and a base 1303 that supports a display unit 1302. The base 1303 is not limited to the form shown in FIG. 11(a). The bottom side of the frame 1301 may also serve as the base.

また、額縁1301および表示部1302は、曲がっていてもよい。その曲率半径は、5000mm以上6000mm以下であってよい。 Furthermore, the frame 1301 and the display unit 1302 may be curved. The radius of curvature may be 5000 mm or more and 6000 mm or less.

図11(b)は本実施形態に係る表示装置の他の例を表す模式図である。図11(b)の表示装置1310は、折り曲げ可能に構成されており、いわゆるフォルダブルな表示装置である。表示装置1310は、第一表示部1311、第二表示部1312、筐体1313、屈曲点1314を有する。第一表示部1311と第二表示部1312とは、本実施形態に係る発光装置を有してよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、つなぎ目のない1枚の表示装置であってよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、屈曲点で分けることができる。第一表示部1311、第二表示部1312は、それぞれ異なる画像を表示してもよいし、第一および第二表示部とで一つの画像を表示してもよい。 Figure 11 (b) is a schematic diagram showing another example of the display device according to this embodiment. The display device 1310 in Figure 11 (b) is configured to be bendable, and is a so-called foldable display device. The display device 1310 has a first display unit 1311, a second display unit 1312, a housing 1313, and a bending point 1314. The first display unit 1311 and the second display unit 1312 may have a light-emitting device according to this embodiment. The first display unit 1311 and the second display unit 1312 may be a single display unit without a joint. The first display unit 1311 and the second display unit 1312 can be separated by the bending point. The first display unit 1311 and the second display unit 1312 may each display different images, or the first and second display units may display a single image.

図12(a)は、本実施形態に係る照明装置の一例を表す模式図である。照明装置1400は、筐体1401と、光源1402と、回路基板1403と、光学フィルム1404と、光拡散部1405と、を有してよい。光源は、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。光学フィルタは光源の演色性を向上させるフィルタであってよい。光拡散部は、ライトアップ等、光源の光を効果的に拡散し、広い範囲に光を届けることができる。光学フィルタ、光拡散部は、照明の光出射側に設けられてよい。必要に応じて、最外部にカバーを設けてもよい。 Figure 12 (a) is a schematic diagram showing an example of a lighting device according to this embodiment. The lighting device 1400 may have a housing 1401, a light source 1402, a circuit board 1403, an optical film 1404, and a light diffusion section 1405. The light source may have an organic light-emitting element according to this embodiment. The optical filter may be a filter that improves the color rendering of the light source. The light diffusion section can effectively diffuse the light of the light source, such as for lighting up, and deliver the light over a wide range. The optical filter and the light diffusion section may be provided on the light emission side of the lighting. If necessary, a cover may be provided on the outermost part.

照明装置は例えば室内を照明する装置である。照明装置は白色、昼白色、その他青から赤のいずれの色を発光するものであってよい。それらを調光する調光回路を有してよい。照明装置は本発明の有機発光素子とそれに接続される電源回路を有してよい。電源回路は、交流電圧を直流電圧に変換する回路である。また、白とは色温度が4200Kで昼白色とは色温度が5000Kである。照明装置はカラーフィルタを有してもよい。 The lighting device is, for example, a device that illuminates a room. The lighting device may emit white light, daylight white light, or any other color from blue to red. It may have a dimming circuit that adjusts the light intensity. The lighting device may have an organic light-emitting element of the present invention and a power supply circuit connected thereto. The power supply circuit is a circuit that converts AC voltage into DC voltage. Furthermore, white has a color temperature of 4200K, and daylight white has a color temperature of 5000K. The lighting device may have a color filter.

また、本実施形態に係る照明装置は、放熱部を有していてもよい。放熱部は装置内の熱を装置外へ放出するものであり、比熱の高い金属、液体シリコン等が挙げられる。 The lighting device according to this embodiment may also have a heat dissipation section. The heat dissipation section dissipates heat from within the device to the outside, and examples of the heat dissipation section include metals with high specific heat, liquid silicon, etc.

図12(b)は、本実施形態に係る移動体の一例である自動車の模式図である。当該自動車は灯具の一例であるテールランプを有する。自動車1500は、テールランプ1501を有し、ブレーキ操作等を行った際に、テールランプを点灯する形態であってよい。 Figure 12(b) is a schematic diagram of an automobile, which is an example of a moving body according to this embodiment. The automobile has tail lamps, which are an example of a lamp. The automobile 1500 has tail lamps 1501, and may be configured to turn on the tail lamps when braking or the like is performed.

テールランプ1501は、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。テールランプは、有機EL素子を保護する保護部材を有してよい。保護部材はある程度高い強度を有し、透明であれば材料は問わないが、ポリカーボネート等で構成されることが好ましい。ポリカーボネートにフランジカルボン酸誘導体、アクリロニトリル誘導体等を混ぜてよい。 The tail lamp 1501 may have an organic light-emitting element according to this embodiment. The tail lamp may have a protective member that protects the organic EL element. The protective member may be made of any material as long as it has a relatively high strength and is transparent, but it is preferable that the protective member is made of polycarbonate or the like. Polycarbonate may be mixed with a furandicarboxylic acid derivative, an acrylonitrile derivative, or the like.

自動車1500は、車体1503、それに取り付けられている窓1502を有してよい。窓は、自動車の前後を確認するための窓でなければ、透明なディスプレイであってもよい。当該透明なディスプレイは、本実施形態に係る有機発光素子を有してよい。この場合、有機発光素子が有する電極等の構成材料は透明な部材で構成される。 The automobile 1500 may have a body 1503 and a window 1502 attached to it. The window may be a transparent display as long as it is not a window for checking the front and rear of the automobile. The transparent display may have an organic light-emitting element according to this embodiment. In this case, the constituent materials of the electrodes and the like of the organic light-emitting element are made of transparent materials.

本実施形態に係る移動体は、船舶、航空機、ドローン等であってよい。移動体は、機体と当該機体に設けられた灯具を有してよい。灯具は、機体の位置を知らせるための発光をしてよい。灯具は本実施形態に係る有機発光素子を有する。 The moving body according to this embodiment may be a ship, an aircraft, a drone, or the like. The moving body may have a body and a lamp provided on the body. The lamp may emit light to indicate the position of the body. The lamp has an organic light-emitting element according to this embodiment.

以上説明した通り、本実施形態に係る有機発光素子を用いた装置を用いることにより、良好な画質で、長時間表示にも安定な表示が可能になる。 As explained above, by using a device using the organic light-emitting element according to this embodiment, it is possible to achieve a display with good image quality and stability even over long periods of time.

[実施例1]
以下、本実施形態の有機発光装置100の実施例について説明する。まず、基板1の上に金属層を形成し、マスクパターンなどを用いて金属層の所望の領域をエッチングすることによって、下部電極2を形成した。次いで、絶縁層3を、下部電極2の端を覆うように形成した。本実施例において、絶縁層3はシリコン酸化物によって形成され、下部電極2の上面での基板1の上面に直交する方向の絶縁層3の膜厚は80nmとした。絶縁層3を形成した後、マスクパターンなどを用いて絶縁層3の所望の領域をエッチングすることによって、開口部12を形成した。絶縁層3の形状は図6に示すように、緩傾斜部および急傾斜部を有する形状とした。緩傾斜部311の傾斜角は40°、急傾斜部312の傾斜角は80°であった。第一電極上面の第二領域(平坦部)21に対する、急傾斜部312の上端の高さは50nmとした。また、第一電極の第二領域(平坦部)21に対する、傾斜部31の高さは80nmとした。絶縁層3の傾斜部32に含まれる、緩傾斜部321の傾斜角は40°、急傾斜部322の傾斜角は80°とした。また、第一電極と他の第一電極の間の平坦部22に対する傾斜部32の高さは80nmとした。本実施例において、画素配列はデルタ配列とし、互いに隣接する開口部12の間の距離を1.4μm、互いに隣接する下部電極2の間の距離を0.6μmとした。画素は図2に示すように、各画素が六角形の形状をしたデルタ配列とした。
[Example 1]
Hereinafter, an example of the organic light-emitting device 100 of this embodiment will be described. First, a metal layer was formed on the substrate 1, and a desired region of the metal layer was etched using a mask pattern or the like to form the lower electrode 2. Next, an insulating layer 3 was formed so as to cover the end of the lower electrode 2. In this example, the insulating layer 3 was formed of silicon oxide, and the thickness of the insulating layer 3 in the direction perpendicular to the upper surface of the substrate 1 on the upper surface of the lower electrode 2 was set to 80 nm. After the insulating layer 3 was formed, an opening 12 was formed by etching a desired region of the insulating layer 3 using a mask pattern or the like. As shown in FIG. 6, the insulating layer 3 had a shape having a gentle slope and a steep slope. The gentle slope 311 had an inclination angle of 40°, and the steep slope 312 had an inclination angle of 80°. The height of the upper end of the steep slope 312 with respect to the second region (flat portion) 21 of the upper surface of the first electrode was set to 50 nm. The height of the inclined portion 31 with respect to the second region (flat portion) 21 of the first electrode was set to 80 nm. The inclination angle of the gentle inclination portion 321 included in the inclination portion 32 of the insulating layer 3 was 40°, and the inclination angle of the steep inclination portion 322 was 80°. The height of the inclination portion 32 with respect to the flat portion 22 between the first electrode and the other first electrode was 80 nm. In this embodiment, the pixels were arranged in a delta arrangement, with the distance between adjacent openings 12 being 1.4 μm, and the distance between adjacent lower electrodes 2 being 0.6 μm. As shown in FIG. 2, the pixels were arranged in a delta arrangement with each pixel having a hexagonal shape.

次いで、有機層4を形成した。有機層は、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層、2層構成の発光層、電子輸送層、電子注入層をこの順で有する構成とした。まず、基板1の上に正孔注入層として下記の化合物1に示す材料を7nm成膜した。 Next, organic layer 4 was formed. The organic layer had a hole injection layer, a hole transport layer, an electron blocking layer, a two-layer light-emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, in that order. First, a 7-nm film of the material shown in Compound 1 below was formed on substrate 1 as a hole injection layer.

Figure 0007504580000001
Figure 0007504580000001

次いで、正孔輸送層として、下記の化合物2に示す材料を5nm、電子ブロック層として下記の化合物3を10nm成膜した。発光層42は、2層の積層構造とした。まず、1層目の発光層として、ホスト材料が下記の化合物4、発光ドーパントが下記の化合物5である発光層を形成した。発光ドーパントの重量比は3%となるように調整し、1層目の発光層の層厚は10nmとした。 Next, the material shown in Compound 2 below was deposited to a thickness of 5 nm as the hole transport layer, and Compound 3 below was deposited to a thickness of 10 nm as the electron blocking layer. The light-emitting layer 42 had a two-layer laminate structure. First, a light-emitting layer was formed as the first light-emitting layer, with Compound 4 below as the host material and Compound 5 below as the light-emitting dopant. The weight ratio of the light-emitting dopant was adjusted to 3%, and the thickness of the first light-emitting layer was 10 nm.

Figure 0007504580000002
Figure 0007504580000002

次に、2層目の発光層として、ホスト材料が上記の化合物4、発光ドーパントが下記の化合物6である発光層を形成した。発光ドーパントの重量比は1%となるように調整し、2層目の発光層の層厚は10nmとした。2層構造の発光層の形成後、電子輸送層として下記の化合物7を34nm成膜し、さらに、電子注入層としてLiFを0.5nm成膜した。 Next, a second light-emitting layer was formed in which the host material was the above-mentioned compound 4 and the light-emitting dopant was the following compound 6. The weight ratio of the light-emitting dopant was adjusted to 1%, and the thickness of the second light-emitting layer was set to 10 nm. After the formation of the two-layer light-emitting layer, a film of the following compound 7 was formed to a thickness of 34 nm as an electron transport layer, and further, a film of LiF was formed to a thickness of 0.5 nm as an electron injection layer.

Figure 0007504580000003
Figure 0007504580000003

有機層4の形成後、上部電極5としてMgとAgとの割合が1:1のMgAg合金を10nm成膜した。上部電極5の形成後、封止層6としてCVD法を用いてSiNを1.5μm成膜した。保護層6の形成後、カラーフィルタ7を形成した。 After the organic layer 4 was formed, a 10 nm thick MgAg alloy with a 1:1 ratio of Mg to Ag was deposited as the upper electrode 5. After the upper electrode 5 was formed, a 1.5 μm thick SiN film was deposited as the sealing layer 6 using the CVD method. After the protective layer 6 was formed, a color filter 7 was formed.

第一電極上における有機層の層厚76nm(各有機層の合計)に対する、隣り合う二つの第一電極の開口部間の距離1.4μmの比は、18であり、50未満であった。第一電極の第二領域(平坦部)21における有機層の層厚は76nmであり、傾斜部31の上端の高さである80nmよりも低かった。また、平坦部22における有機層の層厚である76nmは、傾斜部32の上端の高さである80nmよりも低かった。傾斜部31に沿った有機層の領域41、傾斜部32に沿った有機層の領域42の、有機膜厚が36nm~45nmと、20nm以上であった。発光層の発光スペクトルのピークのうち最小の波長λは、460nmであり、光学距離Lが146nmであり、位相差シフトφが‐πであったので、以下の式(8)を満たす。式(8)は、前述の式(5)から導出される。
(λ/8)×(-(2φ/π)-1)<L<(λ/8)×(-(2φ/π)+1) (8)
The ratio of the distance between the openings of two adjacent first electrodes, 1.4 μm, to the layer thickness of the organic layer on the first electrode, 76 nm (total of each organic layer), was 18, which was less than 50. The layer thickness of the organic layer in the second region (flat portion) 21 of the first electrode was 76 nm, which was lower than the height of the upper end of the inclined portion 31, 80 nm. In addition, the layer thickness of the organic layer in the flat portion 22, 76 nm, was lower than the height of the upper end of the inclined portion 32, 80 nm. The organic film thickness of the organic layer region 41 along the inclined portion 31 and the organic layer region 42 along the inclined portion 32 was 36 nm to 45 nm, which was 20 nm or more. The minimum wavelength λ of the peak of the emission spectrum of the light-emitting layer was 460 nm, the optical path length L was 146 nm, and the phase difference shift φ was -π, so that the following formula (8) was satisfied. Formula (8) is derived from the above formula (5).
(λ/8)×(−(2φ/π)−1)<L<(λ/8)×(−(2φ/π)+1) (8)

また、有機層は第一電極と発光層の間に、正孔注入層と正孔輸送層からなる正孔輸送領域を有する。平坦部21に対する、平坦部21における電荷輸送領域の上面の高さ12nmは、急傾斜部の上端の高さ50nmよりも低く、平坦部21に対する、平坦部21における有機層の上面の高さ76nmは、急傾斜部312の上端の高さ50nmよりも高い。同様に、平坦部22に対する、平坦部22における電荷輸送領域の上面の高さ12nmは、急傾斜部の上端の高さ50nmよりも低く、平坦部22に対する、平坦部22における有機層の上面の高さ76nmは、急傾斜部322の上端の高さ50nmよりも高い。 The organic layer also has a hole transport region between the first electrode and the light-emitting layer, which is made up of a hole injection layer and a hole transport layer. The height of the top surface of the charge transport region in the flat portion 21, 12 nm, relative to the flat portion 21 is lower than the height of the top end of the steeply inclined portion, 50 nm, and the height of the top surface of the organic layer in the flat portion 21, 76 nm, relative to the flat portion 21, is higher than the height of the top end of the steeply inclined portion 312, 50 nm. Similarly, the height of the top surface of the charge transport region in the flat portion 22, 12 nm, relative to the flat portion 22 is lower than the height of the top end of the steeply inclined portion, 50 nm, and the height of the top surface of the organic layer in the flat portion 22, 76 nm, relative to the flat portion 22, is higher than the height of the top end of the steeply inclined portion 322, 50 nm.

次いで、形成した実施例1の有機発光装置100の特性について説明する。まずは、発光素子間のリーク電流に関する指標である、Ileak/Ioledの測定方法について、R画素で例示して説明する。隣接するG画素及びB画素を短絡(電位=0V、つまりショート)させた状態で、R画素を通電させる。この時に、R画素の第一電極からR画素の第二電極へ流れた電流をIoled、R画素の第一電極からG画素またはB画素の第二電極へ流れた電流和をIleakとした。Ileakは、Ioledが0.1nA/pixelとなる電位の値で測定した。Ioledに対するIleakの比を、Ileak/Ioledとする。Ileak/Ioledが0.20以下であれば、リーク電流が低減されていると評価した。 Next, the characteristics of the organic light-emitting device 100 of Example 1 that was formed will be described. First, the measurement method of Ileak / Ioled , which is an index related to the leak current between light-emitting elements, will be described by taking the R pixel as an example. The R pixel is energized in a state where the adjacent G pixel and B pixel are shorted (potential = 0V, i.e., shorted). At this time, the current flowing from the first electrode of the R pixel to the second electrode of the R pixel is Ioled , and the sum of the currents flowing from the first electrode of the R pixel to the second electrode of the G pixel or the B pixel is Ileak . Ileak was measured at a potential value where Ioled is 0.1 nA/pixel. The ratio of Ileak to Ioled is Ileak / Ioled . If Ileak / Ioled is 0.20 or less, it was evaluated that the leak current was reduced.

次に、上部電極と下部電極と間のリーク電流について説明する。有機発光素子の発光閾値電圧が約2Vであるので、上部電極と下部電極間のリーク電流が発生しない発光素子は、例えば、上部電極と下部電極間に1.5Vの電圧を印加しても電流が流れない。ところが、上部電極と下部電極と間のリーク電流が発生する発光素子においては、上部電極と下部電極間に1.5Vの電圧を印加した場合、電流が流れる。そこで、R画素の上部電極と下部電極間に1.5Vの電圧を印加時の電流値を測定した。すなわち、1.5Vを印加した時に、流れる電流はリーク電流である。上部電極と下部電極との間のリーク電流が低減されている発光素子は、1.5Vを印加しても電流が流れない。 Next, the leakage current between the upper electrode and the lower electrode will be explained. Since the emission threshold voltage of an organic light-emitting element is about 2V, in a light-emitting element in which leakage current does not occur between the upper electrode and the lower electrode, no current flows even when a voltage of 1.5V is applied between the upper electrode and the lower electrode. However, in a light-emitting element in which leakage current occurs between the upper electrode and the lower electrode, current flows when a voltage of 1.5V is applied between the upper electrode and the lower electrode. Therefore, the current value when a voltage of 1.5V is applied between the upper electrode and the lower electrode of the R pixel was measured. In other words, the current that flows when 1.5V is applied is leakage current. In a light-emitting element in which leakage current between the upper electrode and the lower electrode is reduced, no current flows even when 1.5V is applied.

次に、R画素の上部電極と下部電極間に5Vの電圧を印加し、その際の電流値と輝度を測定した。 Next, a voltage of 5 V was applied between the upper and lower electrodes of the R pixel, and the current value and brightness were measured.

その結果、Ileak/Ioledは、0.15であり、1.5V電圧印加時の電流量は、1×10-6nA/pixelであり、5V電圧印加時の電流量は、16nA/pixel、輝度は250cd/mであり、輝度は良好なデバイス特性を得られた。 As a result, I leak /I oled was 0.15, the current amount when a voltage of 1.5 V was applied was 1×10 −6 nA/pixel, the current amount when a voltage of 5 V was applied was 16 nA/pixel, and the luminance was 250 cd/m 2 , showing good device characteristics in terms of luminance.

[比較例1]
平坦部21に対する、急傾斜部312の高さを90nm、傾斜部31の高さを120nmとし、平坦部22に対する、急傾斜部322の高さを90nm、傾斜部32の高さを120nmとしたこと以外、実施例1と同様に有機発光装置を作製した。傾斜部31に沿った有機層の領域41は、緩傾斜部311だけでなく、急傾斜部312に沿った領域にも形成され、急傾斜部に沿った領域での有機層厚は、18~24nmであった。傾斜部32についても同様であった。
[Comparative Example 1]
An organic light-emitting device was fabricated in the same manner as in Example 1, except that the height of steeply inclined portion 312 relative to flat portion 21 was 90 nm, the height of inclined portion 31 relative to flat portion 21 was 120 nm, and the height of steeply inclined portion 322 relative to flat portion 22 was 90 nm, and the height of inclined portion 32 relative to flat portion 22 was 120 nm. Region 41 of the organic layer along inclined portion 31 was formed not only in gentle inclined portion 311 but also in the region along steeply inclined portion 312, and the thickness of the organic layer in the region along the steeply inclined portion was 18 to 24 nm. The same was true for inclined portion 32.

その結果、上部電極と下部電極間のリーク電流が大きすぎて、Ileak/Ioledは正確な値が測定できなかった。Ileakが大きく、Ioledが小さいので、Ileak/Ioledは非常に大きな値となり、測定不能となった。また、1.5V電圧印加時の電流量は、1×10-1nA/pixelと、非常に大きかった。開口部の内周においては発光の強度が小さくなる現象が起こった。これは、上部電極と下部電極間のリーク電流の影響で、上部電極と下部電極の間の電位差が小さくなってしまった領域があったためと考えられる。 As a result, the leak current between the upper electrode and the lower electrode was too large, and an accurate value of I leak /I oled could not be measured. Since I leak was large and I oled was small, I leak /I oled became a very large value and could not be measured. In addition, the current amount when a voltage of 1.5 V was applied was very large at 1×10 −1 nA/pixel. A phenomenon occurred in which the intensity of the light emission became smaller around the inner circumference of the opening. This is thought to be due to the fact that there was a region in which the potential difference between the upper electrode and the lower electrode became smaller due to the influence of the leak current between the upper electrode and the lower electrode.

ここから、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が、20nm未満の部分を有する場合、上部電極と下部電極間のリーク電流が大きくなってしまうことが分かる。 This shows that if the layer thickness of the organic layer region along the slope has a portion that is less than 20 nm, the leakage current between the upper electrode and the lower electrode becomes large.

[比較例2]
平坦部21に対する、急傾斜部312の高さを30nm、傾斜部31の高さを50nmとし、平坦部22に対する、急傾斜部322の高さを30nm、傾斜部32の高さを50nmとしたこと以外、実施例1と同様に有機デバイスを作製した。
[Comparative Example 2]
An organic device was fabricated in the same manner as in Example 1, except that the height of steeply inclined portion 312 relative to flat portion 21 was 30 nm, the height of inclined portion 31 was 50 nm, and the height of steeply inclined portion 322 relative to flat portion 22 was 30 nm, and the height of inclined portion 32 was 50 nm.

その結果、Ileak/Ioledは、0.25であり、1.5V電圧印加時の電流量は、測定限界(10-6nA/pixel)以下であった。Ileak/Ioledが0.25であることが示す通り、リーク電流の割合が大きく、発光素子間のリーク電流が非常に大きかった。 As a result, I leak /I oled was 0.25, and the amount of current when a voltage of 1.5 V was applied was below the measurement limit (10 −6 nA/pixel). As shown by the I leak /I oled of 0.25, the proportion of leakage current was large, and the leakage current between the light-emitting elements was very large.

ここから、傾斜部の上端の高さよりも、平坦部における有機層の上面の高さが低い場合、発光素子間のクロストークが大きくなりやすいことが分かる。 This shows that when the height of the top surface of the organic layer in the flat portion is lower than the height of the top end of the inclined portion, crosstalk between light-emitting elements is likely to become large.

[比較例3]
電子輸送層の層厚を140nmとした以外、実施例1と同様に有機発光装置を作製した。
[Comparative Example 3]
An organic light-emitting device was fabricated in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the electron transport layer was 140 nm.

その結果、Ileak/Ioledは、0.35であり、1.5V電圧印加時の電流量は、測定限界(10-6nA/pixel)以下であった。Ileak/Ioledが0.35であることが示す通り、リーク電流の割合が大きく、発光素子間のリーク電流が非常に大きかった。ここから、傾斜部の上端の高さよりも、平坦部における有機層の上面の高さが低い場合、発光素子間のクロストークが大きくなりやすいことが分かる。 As a result, Ileak / Ioled was 0.35, and the amount of current when a voltage of 1.5 V was applied was below the measurement limit ( 10-6 nA/pixel). As indicated by the Ileak / Ioled of 0.35, the proportion of leakage current was large, and the leakage current between the light-emitting elements was very large. This shows that crosstalk between the light-emitting elements is likely to increase when the height of the top surface of the organic layer in the flat portion is lower than the height of the top end of the inclined portion.

また、電子輸送層の層厚を140nm、下部電極上の有機層の総膜厚は、182nmと、実施例1よりも厚膜化したため、以下の式(8)は満たさず、λ/4の干渉条件ではなかった。
(λ/8)×(-(2φ/π)-1)<L<(λ/8)×(-(2φ/π)+1) (8)
In addition, the thickness of the electron transport layer was 140 nm, and the total thickness of the organic layers on the lower electrode was 182 nm, which were thicker than those in Example 1. Therefore, the following formula (8) was not satisfied, and the λ/4 interference condition was not met.
(λ/8)×(−(2φ/π)−1)<L<(λ/8)×(−(2φ/π)+1) (8)

その結果、5V電圧印加時の電流量は、6nA/pixel、輝度は90cd/mであり、電流量も輝度も小さかった。下部電極上の有機層を厚膜化したことによって抵抗が上がったためと考えられる。 As a result, the current amount when a voltage of 5 V was applied was 6 nA/pixel, and the brightness was 90 cd/ m2 , and both the current amount and the brightness were small. This is thought to be because the resistance increased due to the thickening of the organic layer on the lower electrode.

[比較例4]
平坦部21に対する、急傾斜部312の角度を76°、急傾斜部322の角度を76°、としたこと以外、比較例1と同様に有機発光装置を作製した。傾斜部31と傾斜部32に沿う有機層の傾斜部に対して垂直方向の膜厚のうち最も薄い部分の膜厚(以下、有機最小膜厚)は、19nmであった。また、1.5V電圧印加時の電流量は、3×10-4nA/pixelであった。
[Comparative Example 4]
An organic light-emitting device was fabricated in the same manner as in Comparative Example 1, except that the angle of steeply inclined portion 312 with respect to flat portion 21 was set to 76°, and the angle of steeply inclined portion 322 was set to 76°. The film thickness of the thinnest portion of the film thickness in the direction perpendicular to the inclined portions of the organic layer along inclined portions 31 and 32 (hereinafter referred to as the organic minimum film thickness) was 19 nm. In addition, the amount of current when a voltage of 1.5 V was applied was 3×10 −4 nA/pixel.

[実施例2]
平坦部21に対する、急傾斜部312の高さを70nm、急傾斜部322の高さを70nm、としたこと以外、実施例1と同様に有機発光装置を作製した。有機最小膜厚は、20nmであった。また、1.5V電圧印加時の電流量は、3×10-5nA/pixelであった。
[Example 2]
An organic light-emitting device was fabricated in the same manner as in Example 1, except that the height of steeply inclined portion 312 relative to flat portion 21 was 70 nm, and the height of steeply inclined portion 322 was 70 nm. The minimum organic film thickness was 20 nm. The current amount when a voltage of 1.5 V was applied was 3×10 −5 nA/pixel.

[実施例3]
平坦部21に対する、急傾斜部312の高さを65nm、急傾斜部322の高さを65nm、としたこと以外、実施例1と同様に有機発光装置を作製した。有機最小膜厚は、25nmであった。また、1.5V電圧印加時の電流量は、7×10-6nA/pixelであった。
[Example 3]
An organic light-emitting device was fabricated in the same manner as in Example 1, except that the height of steeply inclined portion 312 relative to flat portion 21 was 65 nm, and the height of steeply inclined portion 322 was 65 nm. The minimum organic film thickness was 25 nm. The current amount when a voltage of 1.5 V was applied was 7×10 −6 nA/pixel.

[実施例4]
平坦部21に対する、急傾斜部312の高さを58nm、急傾斜部322の高さを58nm、としたこと以外、実施例1と同様に有機発光装置を作製した。有機最小膜厚は、29nmであった。また、1.5V電圧印加時の電流量は、4×10-6nA/pixelであった。
[Example 4]
An organic light-emitting device was fabricated in the same manner as in Example 1, except that the height of steeply inclined portion 312 relative to flat portion 21 was 58 nm, and the height of steeply inclined portion 322 was 58 nm. The minimum organic film thickness was 29 nm. The current amount when a voltage of 1.5 V was applied was 4×10 −6 nA/pixel.

図13は、傾斜部における有機層の傾斜部に対して垂直方向の膜厚のうち最も薄い部分の膜厚と、上部電極と下部電極との間のリーク電流の関係である。比較例1、4、実施例1、2、3、4の有機発光装置における、傾斜部31と傾斜部32に沿う有機層の傾斜部に対して垂直方向の膜厚のうち最も薄い部分の膜厚(有機最小膜厚)と上部電極と下部電極間のリーク電流の関係を示している。 Figure 13 shows the relationship between the thickness of the thinnest part of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion of the inclined portion and the leakage current between the upper electrode and the lower electrode. It shows the relationship between the thickness of the thinnest part of the organic layer in the direction perpendicular to the inclined portion of the inclined portion along the inclined portion 31 and the inclined portion 32 (minimum organic thickness) and the leakage current between the upper electrode and the lower electrode in the organic light-emitting devices of Comparative Examples 1 and 4 and Examples 1, 2, 3, and 4.

ここから、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が、20nm未満の部分を有する場合、上部電極と下部電極間のリーク電流が大きくなってしまうことが分かる。逆に傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が、20nm以上の場合、上部電極と下部電極間のリーク電流は、1×10-4nA/pixel未満と良好な特性を保つことができる。また、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が25nm以上である場合は、1×10-5nA/pixel未満でさらに良好であった。 From this, it can be seen that when the layer thickness of the organic layer region along the slope portion is less than 20 nm, the leakage current between the upper electrode and the lower electrode becomes large. Conversely, when the layer thickness of the organic layer region along the slope portion is 20 nm or more, the leakage current between the upper electrode and the lower electrode can maintain good characteristics of less than 1×10 −4 nA/pixel. Furthermore, when the layer thickness of the organic layer region along the slope portion is 25 nm or more, it is even better at less than 1×10 −5 nA/pixel.

[比較例4]
絶縁層の形状を、図5(a)に示す形状とし、傾斜部31の傾斜角を67°、傾斜部32の傾斜角を40°とした以外、実施例1と同様に有機発光装置を作製した。画素の形状は六角形であるため、傾斜部31は、六角形の辺に応じて、図2の紙面の右側の辺から反時計回りに1~6の領域からなっている。
[Comparative Example 4]
An organic light-emitting device was produced in the same manner as in Example 1, except that the insulating layer was shaped as shown in Fig. 5(a) and the inclination angle of inclined portion 31 was set to 67° and the inclination angle of inclined portion 32 was set to 40°. Since the shape of the pixel is hexagonal, inclined portion 31 is made up of regions 1 to 6 counterclockwise from the right side of the paper in Fig. 2 according to the sides of the hexagon.

本比較例に係る有機発光装置の25画素に1nA/pixelの電流を印加した。その結果、開口部の内周の発光強度が小さくなる現象が起こった。そして、六角形の各辺によって、開口部の内周の発光強度が小さくなる現象の状況が異なっていた。それが、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚に関係していることが分かった。結果を表1に示す。 A current of 1 nA/pixel was applied to 25 pixels of the organic light-emitting device according to this comparative example. As a result, the phenomenon occurred in which the luminous intensity at the inner periphery of the opening became smaller. The situation in which the luminous intensity at the inner periphery of the opening became smaller varied depending on each side of the hexagon. It was found that this was related to the layer thickness of the organic layer region along the slope. The results are shown in Table 1.

ここから、傾斜部に沿った有機層の領域の層厚が33nm以上の場合は、開口部の内周の発光強度が小さくなる現象が起こらず、上部電極と下部電極間のリーク電流が低減されていることが分かる。 This shows that when the layer thickness of the organic layer region along the slope is 33 nm or more, the phenomenon of the emission intensity decreasing on the inner circumference of the opening does not occur, and the leakage current between the upper electrode and the lower electrode is reduced.

Figure 0007504580000004
Figure 0007504580000004

1 基板
2 反射電極
3 絶縁層
4 有機層
5 半透過電極
6 保護層
7 カラーフィルタ
8 平坦化層
9 透過光
10 発光素子
100 有機発光装置
1000 表示装置
1001 上部カバー
1002 フレキシブルプリント回路
1003 タッチパネル
1004 フレキシブルプリント回路
1005 表示パネル
1006 フレーム
1007 回路基板
1008 バッテリー
1009 下部カバー
1100 撮像装置
1101 ビューファインダ
1102 背面ディスプレイ
1103 操作部
1104 筐体
1200 電子機器
1201 表示部
1202 操作部
1203 筐体
1300 表示装置
1301 額縁
1302 表示部
1303 土台
1310 表示装置
1311 第一表示部
1312 第二表示部
1313 筐体
1314 屈曲点
1400 照明装置
1401 筐体
1402 光源
1403 回路基板
1404 光学フィルム
1405 光拡散部
1500 自動車
1501 テールランプ
1502 窓
1503 車体
REFERENCE SIGNS LIST 1 Substrate 2 Reflective electrode 3 Insulating layer 4 Organic layer 5 Semi-transparent electrode 6 Protective layer 7 Color filter 8 Planarization layer 9 Transmitted light 10 Light-emitting element 100 Organic light-emitting device 1000 Display device 1001 Upper cover 1002 Flexible printed circuit 1003 Touch panel 1004 Flexible printed circuit 1005 Display panel 1006 Frame 1007 Circuit board 1008 Battery 1009 Lower cover 1100 Imaging device 1101 Viewfinder 1102 Rear display 1103 Operation unit 1104 Housing 1200 Electronic device 1201 Display unit 1202 Operation unit 1203 Housing 1300 Display device 1301 Frame 1302 Display unit 1303 Base 1310 Display device 1311 First display portion 1312 Second display portion 1313 Housing 1314 Bend point 1400 Illumination device 1401 Housing 1402 Light source 1403 Circuit board 1404 Optical film 1405 Light diffusion portion 1500 Automobile 1501 Tail lamp 1502 Window 1503 Vehicle body

Claims (22)

複数の第一電極と、第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に配置され、前記複数の第一電極を覆っている機能層と、前記第一電極の端を覆い、前記第一電極の上に傾斜部を有する絶縁層と、を有し、
前記第一電極は、前記第一電極の前記端を含み、前記絶縁層に覆われた第一領域と、前記機能層に接する第二領域と、を有し、
前記機能層が、前記複数の第一電極のうちの隣り合う2つの第一電極の前記第二領域と、前記2つの第一電極をそれぞれ覆う前記絶縁層と、を覆うように連続して配され、
前記第二領域における前記機能層の層厚が、前記第一電極の上面から前記絶縁層の上面までの高さよりも小さい電子デバイスであって、
前記第一電極の主面に垂直な断面において、前記絶縁層の前記傾斜部は、前記傾斜部の上端と前記傾斜部の下端との間に配される緩傾斜部と、前記緩傾斜部と前記下端の間に配され、かつ、前記第一電極に対する傾斜角が前記緩傾斜部の傾斜角よりも大きい急傾斜部とを有し、
前記傾斜部は、前記第一電極の前記第一領域の上面に対する傾斜角が50°よりも大きく、前記緩傾斜部は、前記第一電極に対する傾斜角が50°以下であり、
前記第一電極の前記第二領域における前記機能層の上面の高さは、前記急傾斜部の上端の高さよりも高いことを特徴とする電子デバイス。
a plurality of first electrodes, a second electrode, a functional layer disposed between the first electrodes and the second electrodes and covering the plurality of first electrodes, and an insulating layer covering an edge of the first electrodes and having a sloped portion on the first electrodes;
the first electrode has a first region including the end of the first electrode and covered with the insulating layer, and a second region in contact with the functional layer;
the functional layer is disposed continuously so as to cover the second regions of two adjacent first electrodes among the plurality of first electrodes and the insulating layer covering each of the two first electrodes;
an electronic device in which a layer thickness of the functional layer in the second region is smaller than a height from a top surface of the first electrode to a top surface of the insulating layer,
In a cross section perpendicular to a main surface of the first electrode, the inclined portion of the insulating layer has a gently inclined portion disposed between an upper end of the inclined portion and a lower end of the inclined portion, and a steeply inclined portion disposed between the gently inclined portion and the lower end and having an inclination angle with respect to the first electrode larger than an inclination angle of the gently inclined portion,
the steeply inclined portion has an inclination angle with respect to an upper surface of the first region of the first electrode that is greater than 50°, and the gently inclined portion has an inclination angle with respect to the first electrode that is equal to or smaller than 50°;
An electronic device characterized in that the height of the upper surface of the functional layer in the second region of the first electrode is higher than the height of the upper end of the steeply inclined portion.
前記絶縁層の前記緩傾斜部における前記機能層は、前記緩傾斜部の傾斜面に対して垂直方向の層厚が20nm以上であることを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。 The electronic device according to claim 1, characterized in that the functional layer in the gently sloping portion of the insulating layer has a layer thickness of 20 nm or more in a direction perpendicular to the sloping surface of the gently sloping portion. 前記第一電極の主面に垂直な方向からの平面視において、前記傾斜部と前記第一電極の前記第一領域とが、重畳することを特徴とする請求項1または2に記載の電子デバイス。 The electronic device according to claim 1 or 2, characterized in that, in a plan view from a direction perpendicular to the main surface of the first electrode, the inclined portion and the first region of the first electrode overlap. 前記絶縁層の前記緩傾斜部における前記機能層は、前記緩傾斜部の傾斜面に対して垂直方向の層厚が33nm以上であることを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。 The electronic device according to claim 1, characterized in that the functional layer in the gently sloping portion of the insulating layer has a layer thickness of 33 nm or more in a direction perpendicular to the sloping surface of the gently sloping portion. 前記絶縁層は、前記機能層に覆われ、前記傾斜部とは異なる他の傾斜部を有し、前記他の傾斜部は、前記第一電極の主面に垂直な方向からの平面視において、前記第一電極と他の第一電極との間に配置され、
前記他の傾斜部における前記機能層は、前記他の傾斜部に対して垂直方向の層厚が20nm以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電子デバイス。
the insulating layer is covered with the functional layer and has another inclined portion different from the inclined portion, the other inclined portion being disposed between the first electrode and the other first electrode in a plan view from a direction perpendicular to a main surface of the first electrode,
5. The electronic device according to claim 1, wherein the functional layer in the other inclined portion has a layer thickness of 20 nm or more in a direction perpendicular to the other inclined portion.
前記絶縁層は、前記機能層に覆われ、前記傾斜部とは異なる他の傾斜部を有し、前記他の傾斜部は、前記第一電極の主面に垂直な方向からの平面視において、前記第一電極と他の第一電極との間に配置され、
前記他の傾斜部における前記機能層は、前記他の傾斜部に対して垂直方向の層厚が33nm以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電子デバイス。
the insulating layer is covered with the functional layer and has another inclined portion different from the inclined portion, the other inclined portion being disposed between the first electrode and the other first electrode in a plan view from a direction perpendicular to a main surface of the first electrode,
The electronic device according to claim 1 , wherein the functional layer in the other inclined portion has a layer thickness of 33 nm or more in a direction perpendicular to the other inclined portion.
複数の前記絶縁層において、前記傾斜部における前記傾斜部に対して垂直方向の前記機能層の厚さが20nm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電子デバイス。 The electronic device according to any one of claims 1 to 6, characterized in that in the insulating layers, the thickness of the functional layer in the inclined portion in the direction perpendicular to the inclined portion is 20 nm or more. 前記複数の絶縁層は、前記機能層に覆われ、前記傾斜部とは異なる他の傾斜部を有し、前記他の傾斜部における前記他の傾斜部の傾斜面に対して垂直方向の前記機能層の厚さが20nm以上であることを特徴とする請求項7に記載の電子デバイス。 The electronic device according to claim 7, characterized in that the insulating layers are covered with the functional layer, have another inclined portion different from the inclined portion, and the thickness of the functional layer in the other inclined portion in a direction perpendicular to the inclined surface of the other inclined portion is 20 nm or more. 複数の前記絶縁層において、前記傾斜部における前記傾斜部に対して垂直方向の前記機能層の厚さが33nm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電子デバイス。 The electronic device according to any one of claims 1 to 6, characterized in that in the insulating layers, the thickness of the functional layer in the inclined portion in the direction perpendicular to the inclined portion is 33 nm or more. 前記複数の絶縁層は、前記機能層に覆われ、前記傾斜部とは異なる他の傾斜部を有し、前記他の傾斜部における前記他の傾斜部の傾斜面に対して垂直方向の前記機能層の厚さが33nm以上であることを特徴とする請求項9に記載の電子デバイス。 The electronic device according to claim 9, characterized in that the insulating layers are covered with the functional layer, have another inclined portion different from the inclined portion, and the thickness of the functional layer in the other inclined portion in a direction perpendicular to the inclined surface of the other inclined portion is 33 nm or more. 前記傾斜部における前記傾斜面は、前記第一電極の上面とは平行ではなく、
前記傾斜部における前記傾斜面は、前記絶縁層の表面のうち、前記絶縁層の上面と、前記絶縁層が覆う前記第一電極の上面との間の部分であることを特徴とする請求項2、4、8、及び10のいずれか一項に記載の電子デバイス。
the inclined surface of the inclined portion is not parallel to the top surface of the first electrode,
11. The electronic device according to claim 2, 4, 8, or 10, characterized in that the inclined surface in the inclined portion is a portion of the surface of the insulating layer between an upper surface of the insulating layer and an upper surface of the first electrode covered by the insulating layer.
前記絶縁層は、前記第一電極に対する前記急傾斜部の傾斜角が90°よりも大きい部分を含むことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の電子デバイス。 The electronic device according to any one of claims 1 to 11, characterized in that the insulating layer includes a portion in which the steeply inclined portion has an inclination angle of greater than 90° with respect to the first electrode. 前記機能層が発光層を有する有機層であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の電子デバイス。 The electronic device according to any one of claims 1 to 12, characterized in that the functional layer is an organic layer having a light-emitting layer. 前記機能層は、前記第一電極と接する電荷輸送層を有し、前記第一電極の前記第二領域における前記電荷輸送層の高さは、前記急傾斜部の上端の高さよりも低いことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の電子デバイス。 The electronic device according to any one of claims 1 to 13, characterized in that the functional layer has a charge transport layer in contact with the first electrode, and the height of the charge transport layer in the second region of the first electrode is lower than the height of the upper end of the steeply inclined portion. 前記電荷輸送層が正孔輸送層であることを特徴とする請求項14に記載の電子デバイス。 The electronic device of claim 14, wherein the charge transport layer is a hole transport layer. 前記第一電極が反射電極であり、前記第二電極が光取り出し電極であり、前記反射電極と前記光取り出し電極との間の光学距離Lが、式(1)を満たすことを特徴とする請求項13に記載の電子デバイス。
(λ/8)×(-(2φ/π)-1)<L<(λ/8)×(-(2φ/π)+1) (1)
ここで、λは前記発光層が発光する発光スペクトルの最大ピークの波長であり、nは前記機能層の屈折率であり、φは前記反射電極での位相シフトである。
14. The electronic device according to claim 13, wherein the first electrode is a reflective electrode, the second electrode is a light extraction electrode, and an optical distance L between the reflective electrode and the light extraction electrode satisfies formula (1).
(λ/8)×(−(2φ/π)−1)<L<(λ/8)×(−(2φ/π)+1) (1)
Here, λ is the wavelength of the maximum peak of the emission spectrum emitted by the light emitting layer, n is the refractive index of the functional layer, and φ is the phase shift in the reflective electrode.
前記機能層が、光電変換層を有する有機層であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の電子デバイス。 The electronic device according to any one of claims 1 to 12, characterized in that the functional layer is an organic layer having a photoelectric conversion layer. 複数の画素を有し、前記複数の画素の少なくとも一つが、請求項1乃至16のいずれか一項に記載の電子デバイスと、前記電子デバイスに接続されたトランジスタと、を有することを特徴とする表示装置。 A display device having a plurality of pixels, at least one of which has an electronic device according to any one of claims 1 to 16 and a transistor connected to the electronic device. 複数のレンズを有する光学部と、前記光学部を通過した光を受光する撮像素子と、前記撮像素子が撮像した画像を表示する表示部と、を有し、
前記表示部は請求項1乃至16のいずれか一項に記載の電子デバイスを有することを特徴とする光電変換装置。
an optical unit having a plurality of lenses, an image sensor that receives light that has passed through the optical unit, and a display unit that displays an image captured by the image sensor;
A photoelectric conversion device, comprising: a display unit comprising the electronic device according to claim 1 .
請求項1乃至16のいずれか一項に記載の電子デバイスを有する表示部と、前記表示部が設けられた筐体と、前記筐体に設けられ、外部と通信する通信部と、を有することを特徴とする電子機器。 An electronic device comprising a display unit having the electronic device according to any one of claims 1 to 16, a housing in which the display unit is provided, and a communication unit provided in the housing and communicating with the outside. 請求項1乃至16のいずれか一項に記載の電子デバイスを有する光源と、前記光源が発する光を透過する光拡散部または光学フィルムと、を有することを特徴とする照明装置。 A lighting device comprising a light source having the electronic device according to any one of claims 1 to 16, and a light diffusion section or optical film that transmits the light emitted by the light source. 請求項1乃至16のいずれか一項に記載の電子デバイスを有する灯具と、前記灯具が設けられた機体と、を有することを特徴とする移動体。 A moving object comprising a lighting fixture having an electronic device according to any one of claims 1 to 16, and a body on which the lighting fixture is mounted.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4326004A1 (en) * 2021-04-13 2024-02-21 Canon Kabushiki Kaisha Light emitting device, display device, photoelectric conversion device, electronic apparatus, illumination device, and mobile body
JP2024084506A (en) * 2022-12-13 2024-06-25 キヤノン株式会社 Organic light-emitting device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011216267A (en) 2010-03-31 2011-10-27 Toppan Printing Co Ltd Organic el element and manufacturing method of organic el image display device
JP2012216495A (en) 2011-03-30 2012-11-08 Sony Corp Organic light emitting element and display device including the same
JP2013179026A (en) 2011-08-12 2013-09-09 Canon Inc Organic el element, and light emitting apparatus, image forming apparatus, light emitting element array, imaging apparatus, and display apparatus each including the same
JP2015062194A (en) 2014-11-25 2015-04-02 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド Color display device and manufacturing method thereof
JP2013219101A5 (en) 2012-04-05 2015-04-23
JP2018073714A (en) 2016-11-02 2018-05-10 株式会社小糸製作所 Light-emitting device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101995700B1 (en) 2011-06-24 2019-07-03 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 Light-emitting panel, light-emitting device using the light-emitting panel, and method for manufacturing the light-emitting panel
JP6021389B2 (en) 2012-04-05 2016-11-09 キヤノン株式会社 Organic light emitting device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011216267A (en) 2010-03-31 2011-10-27 Toppan Printing Co Ltd Organic el element and manufacturing method of organic el image display device
JP2012216495A (en) 2011-03-30 2012-11-08 Sony Corp Organic light emitting element and display device including the same
JP2013179026A (en) 2011-08-12 2013-09-09 Canon Inc Organic el element, and light emitting apparatus, image forming apparatus, light emitting element array, imaging apparatus, and display apparatus each including the same
JP2013219101A5 (en) 2012-04-05 2015-04-23
JP2013030476A5 (en) 2012-06-22 2015-07-16 Light emitting device
JP2015062194A (en) 2014-11-25 2015-04-02 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド Color display device and manufacturing method thereof
JP2018073714A (en) 2016-11-02 2018-05-10 株式会社小糸製作所 Light-emitting device

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