JP7455257B2 - Ozone generator and ultraviolet irradiation device - Google Patents

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特許法第30条第2項適用 平成29年4月5日に東京ビックサイトにおいて開催された第27回ファインテックジャパンにおいて、オゾン発生装置を公開した。Application of Article 30, Paragraph 2 of the Patent Act At the 27th Fine Tech Japan held at Tokyo Big Sight on April 5, 2017, we unveiled an ozone generator.

本発明は、エキシマランプなどの光源から放射される紫外線によってオゾンを生成するオゾン生成装置、紫外線照射装置に関する。 The present invention relates to an ozone generation device and an ultraviolet irradiation device that generate ozone using ultraviolet light emitted from a light source such as an excimer lamp.

エキシマランプなどによって紫外線を照射することによってオゾンを生成するオゾン生成装置が知られている。オゾンは除菌、殺菌作用をもつことから、オゾン生成装置は脱臭機、除菌器として構成することが可能である。 Ozone generators are known that generate ozone by irradiating ultraviolet rays with an excimer lamp or the like. Since ozone has sterilizing and sterilizing effects, the ozone generator can be configured as a deodorizer or a sterilizer.

例えば、円筒状のケーシング内にオゾナイザを配置し、その下方に空気ファンを設置する脱臭機が知られている。外気が空気ファンによってケーシング内部に吸入されると、放電によってオゾンがケーシング内で発生する。発生したオゾンは、ケース上部に設けられた放出口から放出され、これによって臭気成分が分解される(例えば、特許文献1参照)。 For example, a deodorizing machine is known in which an ozonizer is placed inside a cylindrical casing and an air fan is installed below the ozonizer. When outside air is drawn into the casing by the air fan, ozone is generated inside the casing due to electrical discharge. The generated ozone is released from an outlet provided at the top of the case, thereby decomposing odor components (see, for example, Patent Document 1).

特開2015-29795号公報JP 2015-29795 Publication

オゾン自体、紫外線が人体に影響するため、ユーザがオゾン生成装置、紫外線照射装置の傍に近寄るのは好ましくなく、ある程度離れた場所でオゾン生成装置、紫外線照射装置の動作状態を確認する必要がある。その場合、インジケータなどを設けても、照明環境などによって動作中であるか否かを確認することが難しい。 Since ozone itself and ultraviolet rays affect the human body, it is not recommended for users to get close to the ozone generator or ultraviolet irradiation device, and it is necessary to check the operating status of the ozone generator or ultraviolet irradiation device from a certain distance. . In that case, even if an indicator or the like is provided, it is difficult to confirm whether the device is in operation or not depending on the lighting environment.

したがって、オゾン生成装置、紫外線照射装置の動作状態を、離れた場所でも容易に確認できることが求められる。 Therefore, it is required to be able to easily check the operating status of the ozone generator and the ultraviolet irradiation device even at a remote location.

本発明の一態様であるオゾン生成装置は、放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、ケーシングである筐体とを備え、エキシマランプが、紫外線とともに、紫外線よりもスペクトル強度の低い可視光を放射し、ランプ点灯状態において、筐体に形成された窓を、紫外線とともに可視光が透過することにより、装置設置状態でエキシマランプが点灯状態であることを視認可能である。 An ozone generator that is an embodiment of the present invention includes an excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge, and a housing that houses the excimer lamp and is a casing, and the excimer lamp emits ultraviolet rays together with the ultraviolet rays. The excimer lamp emits low visible light, and when the lamp is on, visible light passes through the window formed in the housing along with ultraviolet rays, making it possible to visually confirm that the excimer lamp is on when the device is installed.

例えば、エキシマランプが、400nm~450nmの波長域および500nm~650nmの波長域の少なくともいずれかの波長域の可視光を、紫外線とともに放射する。例えば、エキシマランプが、545nm付近の波長をもつ可視光を放射する。例えば、エキシマランプから紫外線とともに放射される可視光の最大スペクトル強度が、該紫外線のスペクトル強度の20パーセント以下である。例えばオゾン生成装置は、複数のエキシマランプを備える。 For example, an excimer lamp emits visible light in at least one of a wavelength range of 400 nm to 450 nm and a wavelength range of 500 nm to 650 nm, together with ultraviolet rays. For example, an excimer lamp emits visible light with a wavelength around 545 nm. For example, the maximum spectral intensity of visible light emitted together with ultraviolet rays from an excimer lamp is 20% or less of the spectral intensity of the ultraviolet rays. For example, an ozone generator includes a plurality of excimer lamps.

本発明の他の態様である紫外線照射装置は、放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、ケーシングである筐体とを備え、エキシマランプが、紫外線とともに、紫外線よりもスペクトル強度の低い可視光を放射し、ランプ点灯状態において、筐体に形成された窓を、紫外線とともに可視光が透過することにより、装置設置状態でエキシマランプが点灯状態であることを視認可能である。 An ultraviolet irradiation device according to another aspect of the present invention includes an excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge, and a housing that houses the excimer lamp and is a casing, and the excimer lamp has a spectral intensity higher than that of the ultraviolet rays. The excimer lamp emits low visible light, and when the lamp is on, visible light passes through the window formed in the housing along with ultraviolet rays, making it possible to visually confirm that the excimer lamp is on when the device is installed.

例えば、エキシマランプが、400nm~450nmの波長域および500nm~650nmの波長域の少なくともいずれかの波長域の可視光を、紫外線とともに放射する。例えば、エキシマランプが、545nm付近の波長をもつ可視光を放射する。例えば、エキシマランプから紫外線とともに放射される可視光の最大スペクトル強度が、該紫外線のスペクトル強度の20パーセント以下である。例えば紫外線照射装置は、複数のエキシマランプを備える。 For example, an excimer lamp emits visible light in at least one of a wavelength range of 400 nm to 450 nm and a wavelength range of 500 nm to 650 nm, together with ultraviolet rays. For example, an excimer lamp emits visible light with a wavelength around 545 nm. For example, the maximum spectral intensity of visible light emitted together with ultraviolet rays from an excimer lamp is 20 percent or less of the spectral intensity of the ultraviolet rays. For example, an ultraviolet irradiation device includes a plurality of excimer lamps.

本発明の他の態様であるオゾン生成装置は、放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備え、ランプ点灯状態において、エキシマランプから、紫外線とともに可視光が放射され、筐体において、装置設置状態でエキシマランプが点灯状態であることを視認可能な窓が、形成されている。例えば、窓が、筐体の側面および/または天井面に形成されている。 An ozone generator according to another aspect of the present invention includes an excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge, and a housing that is a casing that houses the excimer lamp and forms an internal space that is irradiated with ultraviolet rays from the excimer lamp. When the lamp is on, the excimer lamp emits visible light along with ultraviolet rays, and a window is formed in the casing through which it can be visually confirmed that the excimer lamp is on when the device is installed. For example, a window is formed on the side surface and/or ceiling surface of the housing.

本発明の他の態様である紫外線照射装置は、放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備え、ランプ点灯状態において、エキシマランプから、紫外線とともに可視光が放射され、筐体において、装置設置状態でエキシマランプが点灯状態であることを視認可能な窓が、形成されている。例えば、窓が、筐体の側面および/または天井面に形成されている。 An ultraviolet irradiation device according to another aspect of the present invention includes an excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge, and a housing that is a casing that houses the excimer lamp and forms an internal space that is irradiated with ultraviolet rays from the excimer lamp. When the lamp is on, the excimer lamp emits visible light along with ultraviolet rays, and a window is formed in the casing through which it can be visually confirmed that the excimer lamp is on when the device is installed. For example, a window is formed on the side surface and/or ceiling surface of the housing.

本発明の他の態様である紫外線照射装置は、それぞれ、放電によって172nm以外の波長の紫外線を放射する複数のエキシマランプと、複数のエキシマランプを収容し、複数のエキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備え、ランプ点灯状態において、複数のエキシマランプから、それぞれ紫外線とともに可視光が放射され、筐体において、装置設置状態で複数のエキシマランプが点灯状態であることを視認可能な窓が、形成されている。例えば、窓から、ランプ点灯状態において、エキシマランプを視認可能に構成することができる。 An ultraviolet irradiation device according to another aspect of the present invention accommodates a plurality of excimer lamps and a plurality of excimer lamps, each of which emits ultraviolet rays with a wavelength other than 172 nm by discharge, and is irradiated with ultraviolet rays from the plurality of excimer lamps. When the lamps are on, each of the plurality of excimer lamps emits visible light along with ultraviolet rays, and in the case, when the device is installed, the plurality of excimer lamps A window is formed through which the lighting state can be visually confirmed. For example, the excimer lamp can be configured to be visible from a window when the lamp is on.

例えば、窓が、筐体に設けられた操作面の傍に形成されている。また、窓の鉛直方向長さが、筐体鉛直方向長さの半分以上の長さにすることが可能である。エキシマランプは、局所的放電によって紫外線を放射することが可能である。例えば、窓の表面が、筐体の表面の一部を形成している。 For example, a window is formed next to an operating surface provided in the housing. Further, the vertical length of the window can be made to be half or more of the vertical length of the casing. Excimer lamps are capable of emitting ultraviolet radiation by localized discharge. For example, the surface of the window forms part of the surface of the housing.

本発明の他の態様であるオゾン生成装置の動作状態確認方法は、紫外線放射とともに可視光を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備えたオゾン生成装置の動作状態確認方法であって、筐体において、装置設置状態でエキシマランプが点灯状態であることを視認可能となるように、窓を形成する。 Another aspect of the present invention is a method for checking the operating state of an ozone generator, which includes an excimer lamp that emits visible light as well as ultraviolet radiation, and an internal space that accommodates the excimer lamp and is irradiated with ultraviolet rays from the excimer lamp. A method for checking the operating state of an ozone generator comprising a housing as a casing, the method comprising: forming a window in the housing so that it can be visually confirmed that the excimer lamp is lit in the installed state of the equipment; do.

本発明の他の態様である紫外線照射装置の動作状態確認方法は、紫外線放射とともに可視光を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備えた紫外線照射装置の動作状態確認方法であって、筐体において、装置設置状態でエキシマランプが点灯状態であることを視認可能となるように、窓を形成する。 A method for checking the operating state of an ultraviolet irradiation device, which is another aspect of the present invention, includes an excimer lamp that emits visible light along with ultraviolet radiation, and an internal space that accommodates the excimer lamp and is irradiated with ultraviolet rays from the excimer lamp. A method for checking the operating state of an ultraviolet irradiation device comprising a housing, which is a casing, wherein a window is formed in the housing so that it can be visually confirmed that the excimer lamp is lit when the device is installed. do.

他方、本発明のオゾン生成装置は、放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、エキシマランプを収容し、オゾン生成のための紫外線を照射する内部空間を区画する筐体とを備え、筐体において、紫外線とともにエキシマランプから放射される可視光を透過する窓が、形成されるように構成することができる。 On the other hand, the ozone generation device of the present invention includes an excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge, and a housing that houses the excimer lamp and partitions an internal space for irradiating ultraviolet rays for ozone generation. A window may be formed that transmits visible light emitted from the excimer lamp along with ultraviolet rays.

ここでの「内部空間」は、筐体によって装置外と装置内とに区画されたときの装置内の少なくとも一部空間であって、殺菌、脱臭などに利用されるオゾンを生成する空間を示す。例えば脱臭機などの場合、エキシマランプを内部空間で生成されたオゾンの流れる方向に沿って配置し、生成されたオゾンが筐体から外部に放出されるように構成すればよい。 The "internal space" here refers to at least a portion of the space inside the device when it is divided by the casing into the outside and inside of the device, and indicates the space that generates ozone used for sterilization, deodorization, etc. . For example, in the case of a deodorizing machine, the excimer lamp may be arranged along the flow direction of ozone generated in the internal space, and the generated ozone may be released from the housing to the outside.

窓の形成位置、形状、大きさなどは任意に形成することができる。例えば、放電発生領域から可視光が放射される場合、放電発生領域を視認可能な位置に形成すればよい。エキシマランプが筐体内部の装着状態に合わせて窓を形成することで視認性を向上させることを考慮すると、筐体の鉛直方向に沿った表面に形成すればよい。例えば、両端部を鉛直方向に沿って設置する筒状筐体の場合、筐体側面に形成することができる。 The position, shape, size, etc. of the window can be formed arbitrarily. For example, when visible light is emitted from the discharge generation area, the discharge generation area may be formed at a position where it can be visually recognized. Considering that visibility is improved by forming a window in accordance with the mounting state of the excimer lamp inside the housing, the window may be formed on the surface along the vertical direction of the housing. For example, in the case of a cylindrical housing in which both ends are installed along the vertical direction, it can be formed on the side surface of the housing.

鉛直方向に沿って配置されたエキシマランプの放電発生領域全体を視認できるようにすることを考慮すると、窓の鉛直方向長さを、筐体鉛直方向長さの半分以上の長さにすることが可能である。エキシマランプが水平方向に設置されている場合、窓の水平方向長さを、筐体水平方向長さの半分以上の長さにすることができる。 Considering that the entire discharge generation area of excimer lamps arranged along the vertical direction can be viewed, the vertical length of the window should be at least half the vertical length of the casing. It is possible. When the excimer lamp is installed horizontally, the horizontal length of the window can be made equal to or more than half the horizontal length of the casing.

窓については、ランプ消灯時における美観性などの観点から、筐体外部からの可視光の少なくとも一部を反射する光学部材を備えるように構成することが可能である。 The window can be configured to include an optical member that reflects at least a portion of visible light from outside the casing, from the viewpoint of aesthetics when the lamp is turned off.

エキシマランプは、局所的放電によって紫外線を放射するように構成することが可能である。また、エキシマランプは、紫外線よりもスペクトル強度の小さい可視光を、紫外線とともに放射することができる。 Excimer lamps can be configured to emit ultraviolet radiation by localized discharge. Furthermore, the excimer lamp can emit visible light, which has a lower spectral intensity than ultraviolet light, along with ultraviolet light.

エキシマランプから放射される可視光の波長域は、400nm~450nmおよび500nm~650nmの少なくともいずれかの波長域を含むようにすることが可能である。例えば、545nm付近の波長を含む可視光を放射することが可能である。 The wavelength range of visible light emitted from the excimer lamp can include at least one of the wavelength ranges of 400 nm to 450 nm and 500 nm to 650 nm. For example, it is possible to emit visible light containing wavelengths around 545 nm.

一方、本発明の他の態様における紫外線照射装置は、エキシマランプによって紫外線を照射する内部空間を区画する筐体を備え、筐体において、エキシマランプに生じた局所的放電を視認可能な位置にエキシマランプから放射される可視光を透過する窓が、形成されるように構成することができる。 On the other hand, an ultraviolet irradiation device according to another aspect of the present invention includes a casing that partitions an internal space to which an excimer lamp irradiates ultraviolet rays, and in the casing, the excimer lamp is placed at a position where local discharge generated in the excimer lamp can be visually recognized. A window can be formed that is transparent to visible light emitted from the lamp.

本発明によれば、オゾン生成装置、紫外線照射装置の動作状態を、容易な構成で確実に確認することができる。 According to the present invention, the operating states of the ozone generator and the ultraviolet irradiation device can be reliably confirmed with a simple configuration.

オゾン生成装置の概略的斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of an ozone generator. オゾン生成装置の概略的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of an ozone generator. エキシマランプの局所的放電を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing local discharge of an excimer lamp. 第2の実施形態におけるオゾン生成装置の概略的斜視図である。It is a schematic perspective view of the ozone generation device in a 2nd embodiment.

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、オゾン生成装置の概略的斜視図である。図2は、オゾン生成装置の概略的平面図である。 FIG. 1 is a schematic perspective view of an ozone generator. FIG. 2 is a schematic plan view of the ozone generator.

オゾン生成装置100は、ここでは脱臭機として構成されており、筐体10内部に紫外線を照射するエキシマランプ30、40を配置した構成となっている。筐体10は、筒状側面10Sと、側面10Sの上方端部を覆う円板状の天井面10Uとを備え、側面10Sには、外部空気を吸入するためのスリット状開口部10Kが水平方向に沿って周方向全体に渡って形成される一方、オゾン放出用の環状開口部10Tが、側面10Sと天井面10Uとの隙間に形成されている。 The ozone generator 100 is configured as a deodorizer here, and has a configuration in which excimer lamps 30 and 40 that irradiate ultraviolet rays are arranged inside the housing 10. The casing 10 includes a cylindrical side surface 10S and a disk-shaped ceiling surface 10U that covers the upper end of the side surface 10S, and the side surface 10S has a slit-shaped opening 10K for sucking external air in a horizontal direction. An annular opening 10T for releasing ozone is formed in the gap between the side surface 10S and the ceiling surface 10U.

筐体10内部には、エキシマランプ30、40とともに、ランプ電源部50、送風ファン(軸流ファン)60が筐体10の中心軸Xに沿ってエキシマランプ30、40の下方に設けられている。開口部10Kから筐体10内の内部空間10Rに入り込んだ空気は、送風ファン60によって天井面10Uの方向へ上昇していく。 Inside the housing 10, along with the excimer lamps 30 and 40, a lamp power supply unit 50 and a blower fan (axial fan) 60 are provided below the excimer lamps 30 and 40 along the central axis X of the housing 10. . The air that enters the internal space 10R in the housing 10 from the opening 10K rises toward the ceiling surface 10U by the blower fan 60.

エキシマランプ30、40が紫外線を照射すると、内部空間10Rを流れる空気に紫外線が当たり、これによってオゾンが生成される。生成されたオゾンは、送風ファン60によって開口部10Tから装置外部に放出される(図2の矢印参照)。放出されたオゾンにより、オゾン生成装置100の周囲に対し、臭いの元となる臭気成分が分解される。 When the excimer lamps 30 and 40 irradiate ultraviolet rays, the ultraviolet rays hit the air flowing in the internal space 10R, thereby generating ozone. The generated ozone is discharged to the outside of the apparatus from the opening 10T by the blower fan 60 (see the arrow in FIG. 2). The emitted ozone decomposes odor components that cause odor in the surroundings of the ozone generator 100.

エキシマランプ30、40は、石英ガラスから成る石英管32、42を備え、石英管32、42の内部には、管軸に沿って延びる内側電極(図示せず)が配置されている。内側電極は、柱状の誘電体(石英ガラス)によって被覆されており、放電空間に露出せずに誘電体内に埋設されている。石英管32、42の外面に配設された外側電極(図示せず)は、管軸に沿って配置されている。内側電極の端部に接続される給電線(図示せず)は、ランプ電源部50と接続しており、給電線を介してエキシマランプ30、40に電力が供給される。内側電極と外側電極との間で誘電体バリヤ放電が生じ、所定スペクトル(例えば、172nm)の紫外線が放射される。 The excimer lamps 30, 40 include quartz tubes 32, 42 made of quartz glass, and inside the quartz tubes 32, 42, inner electrodes (not shown) extending along the tube axis are arranged. The inner electrode is covered with a columnar dielectric (quartz glass) and is buried within the dielectric without being exposed to the discharge space. Outer electrodes (not shown) disposed on the outer surfaces of the quartz tubes 32, 42 are arranged along the tube axis. A power supply line (not shown) connected to the end of the inner electrode is connected to the lamp power supply section 50, and power is supplied to the excimer lamps 30 and 40 via the power supply line. A dielectric barrier discharge occurs between the inner electrode and the outer electrode, and ultraviolet light of a predetermined spectrum (for example, 172 nm) is emitted.

エキシマランプ30、40は、筐体中心軸Xに沿って配置され、その両側に配置されたカバー34、44をそれぞれ備え、カバー34、44内には給電線(図示せず)が設けられている。エキシマランプ30、40は、筐体中心軸Xに対して回転対称的な位置に配置されており、中心軸Xに沿った配置位置も同じである。 The excimer lamps 30 and 40 are arranged along the central axis X of the housing, and each includes covers 34 and 44 arranged on both sides thereof, and a power supply line (not shown) is provided inside the covers 34 and 44. There is. The excimer lamps 30 and 40 are arranged at rotationally symmetrical positions with respect to the central axis X of the housing, and the positions along the central axis X are also the same.

側面10Sには、タイマースイッチボタン20S1、オゾン濃度調整ダイヤル20S2、電源ボタン20S3を設けた操作面10Mが設けられており、操作面10Mを挟んで、2つの窓10W1、10W2が設けられている。窓10W1、10W2は、操作面10Mの反対側にある同じサイズの面にまで渡って側面10Sの一部を形成し、その周方向幅は同じであり、中心軸Xに関して対称的な配置となっている。 The side surface 10S is provided with an operation surface 10M having a timer switch button 20S1, an ozone concentration adjustment dial 20S2, and a power button 20S3, and two windows 10W1 and 10W2 are provided with the operation surface 10M in between. The windows 10W1 and 10W2 form a part of the side surface 10S extending to a surface of the same size on the opposite side of the operation surface 10M, have the same width in the circumferential direction, and are arranged symmetrically with respect to the central axis X. ing.

窓10W1、10W2は、それぞれエキシマランプ30、40と向かい、中心軸X(鉛直方向)に沿った長さは、エキシマランプ30、40の石英管32、42よりも長い。また、窓10W1、10W2の水平方向(周方向)長さは、筐体10の水平方向(周方向)長さの半分以上の長さに定められている。窓10W1、10W2は、ここではアクリル樹脂で成形されており、可視光を透過する光透過特性をもつ。例えば、400nm以上の可視光を80%以上透過する光透過特性をもたせることができる。 The windows 10W1 and 10W2 face the excimer lamps 30 and 40, respectively, and their lengths along the central axis X (vertical direction) are longer than the quartz tubes 32 and 42 of the excimer lamps 30 and 40, respectively. Further, the horizontal (circumferential) length of the windows 10W1, 10W2 is determined to be at least half the horizontal (circumferential) length of the housing 10. The windows 10W1 and 10W2 are molded from acrylic resin here, and have light transmission characteristics that allow visible light to pass through. For example, it can have a light transmission characteristic that transmits 80% or more of visible light of 400 nm or more.

一方、窓10W1、10W2を介してオゾン生成装置100の外部に紫外線を放射するのを抑制することを考慮し、400nmより短波長(紫外線領域)の光に対しては透過性を低くするのがよい。なお、172nmに代表されるような強い紫外線を放射するエキシマランプ30、40を使用する場合、172nmの波長が酸素に強く吸収されて放射距離が短くなるため、窓10W1、10W2まで到達しない。したがって、窓10W1、10W2の材料は特に限定されず、高価な合成石英ガラスなどにする必要は無い。 On the other hand, in consideration of suppressing the emission of ultraviolet rays to the outside of the ozone generator 100 through the windows 10W1 and 10W2, it is recommended to reduce the transmittance of light with a wavelength shorter than 400 nm (ultraviolet region). good. Note that when using excimer lamps 30 and 40 that emit strong ultraviolet rays such as 172 nm, the wavelength of 172 nm is strongly absorbed by oxygen and the emission distance becomes short, so that the ultraviolet rays do not reach the windows 10W1 and 10W2. Therefore, the material of the windows 10W1 and 10W2 is not particularly limited, and there is no need to use expensive synthetic quartz glass or the like.

また、窓10W1、10W2の内面には、ビームスプリッタ(ミラーガラス)が形成されている。これによって、可視光がオゾン生成装置100の内部空間10Rから窓10W1、10W2を通って外部に進行することができる一方、オゾン生成装置100外部(筐体10外部)の可視光は、窓10W1、10W2で反射する。 Furthermore, a beam splitter (mirror glass) is formed on the inner surface of the windows 10W1 and 10W2. As a result, visible light can travel from the internal space 10R of the ozone generator 100 to the outside through the windows 10W1 and 10W2, while the visible light outside the ozone generator 100 (outside the housing 10) can travel through the windows 10W1 and 10W2. Reflects at 10W2.

本実施形態のエキシマランプ30、40は、局所的放電を生じ、紫外線と可視光とをほぼ同時に放射する。具体的には、172nmの紫外線とともに、400nm~800nmの波長域の可視光が放射される。以下、これについて説明する。 The excimer lamps 30 and 40 of this embodiment generate local discharge and emit ultraviolet rays and visible light almost simultaneously. Specifically, visible light in the wavelength range of 400 nm to 800 nm is emitted along with 172 nm ultraviolet light. This will be explained below.

図3は、エキシマランプ30の局所的放電の一例を示した図である。局所的放電の一例として、エキシマランプ30の石英管32内で誘電体バリヤ放電を生じるとき、放電空間の径方向に沿って微細な放電が局所的に生じる(微細放電)。局所的放電では、瞬間的に発生・消滅を繰り返すような放電状態となり、放電ガスがエキシマ発光することによって172nmの紫外線が放射される。石英管、電極、放電空間圧(封入ガス圧)、印加電圧の周波数などは、局所的放電を生じるように定められている。 FIG. 3 is a diagram showing an example of local discharge of the excimer lamp 30. As an example of local discharge, when a dielectric barrier discharge is generated within the quartz tube 32 of the excimer lamp 30, a fine discharge is locally generated along the radial direction of the discharge space (fine discharge). In the local discharge, a discharge state occurs in which generation and extinction are repeated instantaneously, and ultraviolet rays of 172 nm are emitted as the discharge gas emits excimer light. The quartz tube, electrodes, discharge space pressure (filling gas pressure), frequency of applied voltage, etc. are determined to cause local discharge.

それとともに、エキシマランプ30、40では、可視光が放射される。可視光の放射は、石英管32、42などによって放電管を構成し、その石英管の種類や熱処理の条件、封入する放電ガスの種類、放射する紫外線の波長などを適宜調整することによって実現される。また、これらの調整によって、異なる波長域の可視光を放射することができる。 At the same time, the excimer lamps 30 and 40 emit visible light. Emission of visible light is achieved by constructing a discharge tube using quartz tubes 32, 42, etc., and appropriately adjusting the type of quartz tube, heat treatment conditions, type of discharge gas to be filled in, wavelength of emitted ultraviolet rays, etc. Ru. Furthermore, by adjusting these settings, visible light in different wavelength ranges can be emitted.

例えばエキシマランプ30、40は、400nm~450nmの波長域、500nm~650nmの波長域の可視光を放射することが可能であり、青色および緑~赤色の波長域の光によって赤紫色系の光が放射される。またエキシマランプ30、40は、545nm付近の波長をもつ緑色系の光を放射することも可能である。なお、紫外線の発光効率を落とさないためにも、可視光線の最大スペクトル強度は、172nmの紫外線の発光スペクトル強度のおよそ20パーセント以下に抑えられている。 For example, the excimer lamps 30 and 40 are capable of emitting visible light in the wavelength range of 400 nm to 450 nm, and in the wavelength range of 500 nm to 650 nm, and red-violet light can be emitted by light in the blue and green to red wavelength ranges. radiated. Furthermore, the excimer lamps 30 and 40 can also emit green light having a wavelength around 545 nm. In addition, in order not to reduce the emission efficiency of ultraviolet rays, the maximum spectral intensity of visible light is suppressed to about 20% or less of the emission spectral intensity of 172 nm ultraviolet rays.

図3は、局所的放電の様子を示す一例であり、放電形状を限定するものではない。図3のように微細放電と偏った放電DLが併存するような構成にしてもよい。例えば、局所的放電を生じさせる構成として、平板状の電極を石英管32、42の外周面に線接触させた構成を採ることもできる。この構成では、局所的放電の一例として、エキシマランプ30の石英管32内で誘電体バリヤ放電を生じるとき、石英管32に沿って配置された電極(図示せず)の傍に偏った放電DLが生じる。 FIG. 3 is an example showing the state of local discharge, and does not limit the shape of the discharge. As shown in FIG. 3, a configuration may be adopted in which fine discharges and biased discharges DL coexist. For example, a configuration in which a flat electrode is brought into line contact with the outer circumferential surface of the quartz tubes 32 and 42 may be adopted as a configuration for generating local discharge. In this configuration, as an example of local discharge, when a dielectric barrier discharge is generated within the quartz tube 32 of the excimer lamp 30, the discharge DL is biased near an electrode (not shown) disposed along the quartz tube 32. occurs.

図1、2で示したように、筐体10は、オゾン生成のためエキシマランプ30、40によって紫外線を照射する空間である内部空間10Rを形成する一方、窓10W1、10W2を設けていることによって、エキシマランプ30、40から放射される可視光が窓10W1、10W2を通って装置外部に照射される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the housing 10 forms an internal space 10R, which is a space where ultraviolet rays are irradiated by excimer lamps 30 and 40 to generate ozone, and also has windows 10W1 and 10W2. Visible light emitted from the excimer lamps 30 and 40 passes through the windows 10W1 and 10W2 and is irradiated to the outside of the apparatus.

これにより、ユーザはエキシマランプ30、40の放電を視認することができ、エキシマランプ30、40が点灯状態である、すなわちオゾン生成装置100が動作していることを、オゾン生成装置100の周囲から離れた場所で視認することができる。 As a result, the user can visually check the discharge of the excimer lamps 30 and 40, and can tell from the surroundings of the ozone generator 100 that the excimer lamps 30 and 40 are lit, that is, that the ozone generator 100 is operating. Can be viewed from a distance.

また、エキシマランプ30、40から放射される可視光は、筐体10の側面10Sにあって半分以上の表面領域をもつ窓10W1、10W2から照射されるため、ユーザは、エキシマランプ30、40それぞれの点灯状態をどの方向からも確認することができる。特に、窓10W1、10W2が石英管32、42のサイズよりも大きなサイズを持つことから、ユーザはエキシマランプ30、40の放電領域全体を視認することができる。 Furthermore, since the visible light emitted from the excimer lamps 30 and 40 is irradiated from the windows 10W1 and 10W2, which are on the side surface 10S of the housing 10 and have half or more of the surface area, the user can You can check the lighting status from any direction. In particular, since the windows 10W1 and 10W2 have a larger size than the quartz tubes 32 and 42, the user can visually confirm the entire discharge area of the excimer lamps 30 and 40.

オゾン生成装置100に近づくことなく点灯状態を確認できるため、ユーザはオゾンの影響を受けなくて済む。また、点灯状態を示すインジケータなどを別途設けるような、視認性が悪くコストがかかる構造にする必要がなくなる。 Since the user can check the lighting state without approaching the ozone generator 100, the user does not have to be affected by ozone. Further, there is no need to create a structure with poor visibility and high cost, such as separately providing an indicator to indicate the lighting state.

上述したように、エキシマランプ30、40は、青色に応じた短波長域、緑色~赤色の長波長域の光を照射するように構成することができる。そのため、オゾン生成装置100の設置された室内照明が比較的明るく、スペクトル強度が比較的小さい可視光が放射される状況であっても、ユーザは点灯状態を視認することができる。特に、視覚的に感度の高い緑色に応じた光を照射することで視認性を高めることができる。 As described above, the excimer lamps 30 and 40 can be configured to emit light in a short wavelength range corresponding to blue and in a long wavelength range from green to red. Therefore, even if the indoor lighting in which the ozone generator 100 is installed is relatively bright and visible light with a relatively low spectral intensity is emitted, the user can visually recognize the lighting state. In particular, visibility can be improved by irradiating light corresponding to green, which is visually sensitive.

また、エキシマランプ30、40が局所的放電するため、コントラストが高く、視認性がよい。特に、瞬間的な発生・消滅を繰り返すような微細放電は目立ちやすく、さらに視認性を高める。一方で、窓10W1、10W2の内側面にはビームスプリッタが形成されているため、オゾン生成装置100周囲の照明が強い場合でも、ランプ点灯状態を確認することができる。逆に、エキシマランプ30、40が点灯していない状態では、装置外部からエキシマランプ30、40(内部空間10R)を視認できない(視認しにくい)。そのため、エキシマランプ30、40の消灯時において、オゾン生成装置100の美観を損ねることがない。 Furthermore, since the excimer lamps 30 and 40 locally discharge, the contrast is high and the visibility is good. In particular, minute discharges that repeatedly appear and disappear instantaneously are easily noticeable, further increasing visibility. On the other hand, since beam splitters are formed on the inner surfaces of the windows 10W1 and 10W2, it is possible to confirm the lamp lighting state even when the lighting around the ozone generator 100 is strong. On the other hand, when the excimer lamps 30 and 40 are not lit, the excimer lamps 30 and 40 (inner space 10R) cannot be seen (hard to see) from outside the apparatus. Therefore, when the excimer lamps 30 and 40 are turned off, the aesthetic appearance of the ozone generator 100 is not impaired.

このように本実施形態によれば、筒状筐体10内にエキシマランプ30、40を配置し、その下方に送風ファン60を設けたオゾン生成装置100において、筐体10の側面10Sに窓10W1、10W2を設ける。エキシマランプ30、40が放電によって紫外線を照射することで、筐体10の内部空間10Rにオゾンを生成するとともに、エキシマランプ30、40から紫外線とともに放射される可視光が、窓10W1、10W2を透過する。 As described above, according to the present embodiment, in the ozone generator 100 in which the excimer lamps 30 and 40 are arranged in the cylindrical casing 10 and the blower fan 60 is provided below, the window 10W1 is provided on the side surface 10S of the casing 10. , 10W2 are provided. The excimer lamps 30 and 40 irradiate ultraviolet rays through discharge to generate ozone in the internal space 10R of the housing 10, and the visible light emitted from the excimer lamps 30 and 40 along with the ultraviolet rays passes through the windows 10W1 and 10W2. do.

次に、図4を用いて、第2の実施形態であるオゾン生成装置について説明する。第2の実施形態では、窓のサイズがエキシマランプサイズに応じている。 Next, an ozone generator according to a second embodiment will be described using FIG. 4. In the second embodiment, the size of the window corresponds to the excimer lamp size.

図4は、第2の実施形態におけるオゾン生成装置の概略的斜視図である。 FIG. 4 is a schematic perspective view of the ozone generator in the second embodiment.

オゾン生成装置1000は、側面100S、天井面100Uを備えた筐体100と、エキシマランプ130とを備えている。側面100Sには、外部空気を吸入するためのスリット状開口部100Kが水平方向に沿って周方向全体に渡って形成される一方、オゾン放出用の環状開口部100Tが、側面100Sと天井面100Uとの間に形成されている。筐体100の側面100Sには、操作面100Mを挟んで2つの窓100W(図4では1つのみ図示)が設けられている。窓100Wの軸方向(鉛直方向)長さは、筐体100の側面(鉛直方向)長さの半分以上の長さを有する。 The ozone generator 1000 includes a housing 100 having a side surface 100S and a ceiling surface 100U, and an excimer lamp 130. On the side surface 100S, a slit-shaped opening 100K for sucking in external air is formed along the horizontal direction over the entire circumferential direction, while an annular opening 100T for ozone release is formed on the side surface 100S and the ceiling surface 100U. is formed between. Two windows 100W (only one shown in FIG. 4) are provided on the side surface 100S of the housing 100 with the operation surface 100M in between. The length of the window 100W in the axial direction (vertical direction) is more than half the length of the side surface (vertical direction) of the housing 100.

窓100Wは、その周方向幅がエキシマランプ130のサイズに応じた幅であり、ユーザが筐体100の操作面100Mを見る方向から見たときに点灯状態を確認することができるように、窓100Wは操作面100Mの傍に形成されている。このような窓100Wを形成することによっても、ランプ点灯中、すなわちオゾン生成装置1000の動作中であることを確認することができる。 The window 100W has a circumferential width corresponding to the size of the excimer lamp 130, and is designed so that the user can check the lighting state when viewed from the direction in which the operation surface 100M of the housing 100 is viewed. 100W is formed near the operation surface 100M. By forming such a window 100W, it is also possible to confirm that the lamp is on, that is, that the ozone generator 1000 is in operation.

なお、オゾン生成装置内のエキシマランプ配置に関しては、オゾンの流れる方向に合わせて設置すればよく、例えば、筐体を矩形状に構成し、エキシマランプを水平方向に沿って配置してもよい。この場合、窓の周方向長さが筐体の周方向長さの半分以上の長さに定めるのがよい。側面以外の天井面に窓を設けることも可能であり、窓のサイズ、数なども任意である。また、ランプ本数に応じた窓の数にしてもよい。放電発生領域が視認できるような窓を筐体表面に設ければよい。 Regarding the arrangement of the excimer lamps in the ozone generator, they may be installed in accordance with the direction in which ozone flows. For example, the casing may be configured in a rectangular shape and the excimer lamps may be arranged along the horizontal direction. In this case, it is preferable that the circumferential length of the window is set to be at least half the circumferential length of the casing. It is also possible to provide windows on the ceiling surface other than the side surfaces, and the size and number of windows are also arbitrary. Alternatively, the number of windows may be determined according to the number of lamps. A window may be provided on the surface of the casing so that the discharge generation area can be visually recognized.

オゾン生成装置としては、脱臭機以外の除菌器、殺菌器などとして構成することも可能であり、紫外線照射装置として構成することも可能である。また、172nm以外の紫外線の波長を放射するエキシマランプでもよく、エキシマランプ以外の紫外線とともに可視光を放射可能な放電ランプを使用してもよい。 The ozone generator can be configured as a sterilizer, sterilizer, etc. other than a deodorizer, and can also be configured as an ultraviolet irradiation device. Furthermore, an excimer lamp that emits ultraviolet wavelengths other than 172 nm may be used, or a discharge lamp other than an excimer lamp that can emit visible light as well as ultraviolet rays may be used.

10 筐体
10R 内部空間
10S 側面
10W1 窓
10W2 窓
30 エキシマランプ
40 エキシマランプ
100 オゾン生成装置
10 Housing 10R Internal space 10S Side 10W1 Window 10W2 Window 30 Excimer lamp 40 Excimer lamp 100 Ozone generator

Claims (10)

放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、
前記エキシマランプを収容し、ケーシングである筐体とを備え、
前記エキシマランプが、紫外線とともに、紫外線よりもスペクトル強度の低い可視光を放射し、
ランプ点灯状態において、前記筐体に形成された窓を、紫外線とともに可視光が透過することにより、装置設置状態で前記エキシマランプが点灯状態であることを視認可能であって、
前記窓が、少なくとも650nmの波長の可視光を視認可能なように透過する材料によって、構成されることを特徴とするオゾン生成装置。
An excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge,
A housing that houses the excimer lamp and is a casing;
The excimer lamp emits visible light having a lower spectral intensity than the ultraviolet light along with the ultraviolet light,
In the lamp lighting state, visible light as well as ultraviolet rays pass through the window formed in the casing, so that it is possible to visually confirm that the excimer lamp is lighting in the device installed state ,
An ozone generation device characterized in that the window is made of a material that visibly transmits visible light having a wavelength of at least 650 nm .
前記エキシマランプが、400nm~450nmの波長域および500nm~650nmの波長域の少なくともいずれかの波長域の可視光を、紫外線とともに放射し、
前記窓が、400nm以上の波長域の可視光を80%以上透過する光透過特性をもつ材料によって、構成されることを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。
The excimer lamp emits visible light in at least one of a wavelength range of 400 nm to 450 nm and a wavelength range of 500 nm to 650 nm, together with ultraviolet rays,
2. The ozone generating device according to claim 1, wherein the window is made of a material having a light transmission characteristic that transmits 80% or more of visible light in a wavelength range of 400 nm or more .
前記エキシマランプが、545nm付近の波長をもつ可視光を放射することを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。 The ozone generating device according to claim 1, wherein the excimer lamp emits visible light having a wavelength around 545 nm. 前記エキシマランプから紫外線とともに放射される可視光の最大スペクトル強度が、該紫外線のスペクトル強度の20パーセント以下であることを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。 2. The ozone generator according to claim 1, wherein the maximum spectral intensity of visible light emitted together with the ultraviolet rays from the excimer lamp is 20 percent or less of the spectral intensity of the ultraviolet rays. 複数のエキシマランプを備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のオゾン生成装置。 The ozone generating device according to any one of claims 1 to 4, comprising a plurality of excimer lamps. 放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、
前記エキシマランプを収容し、ケーシングである筐体とを備え、
前記エキシマランプが、紫外線とともに、紫外線よりもスペクトル強度の低い可視光を放射し、
ランプ点灯状態において、前記筐体に形成された窓を、紫外線とともに可視光が透過することにより、装置設置状態で前記エキシマランプが点灯状態であることを視認可能であって、
前記窓が、少なくとも650nmの波長の可視光を視認可能なように透過する材料によって、構成されることを特徴とする紫外線照射装置。
An excimer lamp that emits ultraviolet rays by discharge,
A housing that houses the excimer lamp and is a casing;
The excimer lamp emits visible light having a lower spectral intensity than the ultraviolet light along with the ultraviolet light,
In the lamp lighting state, visible light as well as ultraviolet rays pass through the window formed in the casing, so that it is possible to visually confirm that the excimer lamp is lighting in the device installed state ,
An ultraviolet irradiation device characterized in that the window is made of a material that visibly transmits visible light having a wavelength of at least 650 nm .
前記エキシマランプが、400nm~450nmの波長域および500nm~650nmの波長域の少なくともいずれかの波長域の可視光を、紫外線とともに放射し、
前記窓が、400nm以上の波長域の可視光を80%以上透過する光透過特性をもつ材料によって、構成されることを特徴とする請求項6に記載の紫外線照射装置。
The excimer lamp emits visible light in at least one of a wavelength range of 400 nm to 450 nm and a wavelength range of 500 nm to 650 nm, together with ultraviolet rays,
7. The ultraviolet irradiation device according to claim 6, wherein the window is made of a material having a light transmission characteristic that transmits 80% or more of visible light in a wavelength range of 400 nm or more .
前記エキシマランプが、545nm付近の波長をもつ可視光を放射することを特徴とする請求項6に記載の紫外線照射装置。 The ultraviolet irradiation device according to claim 6, wherein the excimer lamp emits visible light having a wavelength of around 545 nm. 前記エキシマランプから紫外線とともに放射される可視光の最大スペクトル強度が、該紫外線のスペクトル強度の20パーセント以下であることを特徴とする請求項6に記載の紫外線照射装置。 7. The ultraviolet irradiation device according to claim 6, wherein the maximum spectral intensity of visible light emitted together with the ultraviolet rays from the excimer lamp is 20 percent or less of the spectral intensity of the ultraviolet rays. 複数のエキシマランプを備えることを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の紫外線照射装置。 The ultraviolet irradiation device according to any one of claims 6 to 9, comprising a plurality of excimer lamps.
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