JP7453141B2 - 環境コンディショニング機械的試験システム - Google Patents
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Description
前記機械的試験機器に連結されるように構成された少なくとも1つの固締インターフェースと、
前記少なくとも1つの固締インターフェースから延びている加熱素子とを備え、前記加熱素子は、
前記少なくとも1つの固締インターフェースに連結されているジャケット壁を有し、
前記ジャケット壁は、プローブ用中空部の周りに延びており、前記ジャケット壁は、前記プローブ用中空部内に前記機械的試験機器の前記プローブを受け入れ、前記加熱素子は、プローブ間隙で前記プローブから機械的に分離されている、プローブ加熱ジャケットを要旨とする。
第4の実施形態は第1の実施形態において、前記ジャケット壁が誘導加熱素子であることを要旨とする。
第6の実施形態は第5の実施形態において、前記プローブは、前記ジャケット壁の前記プローブ用中空部に受け入れられ、前記プローブは、前記加熱素子から機械的に分離しており、前記プローブは、前記プローブ間隙によって前記ジャケット壁の前記内面から離間していることを要旨とする。
前記プローブは、前記加熱ジャケットに対して1つ以上の自由度を有することを要旨とする。
前記プローブはプローブプロファイルを有し、前記プローブプロファイルは前記ジャケットプロファイルと対応し、前記加熱素子及び前記プローブの間にプローブ間隙が設けられ、
前記ジャケット壁は、前記プローブに近接して、前記対応するジャケットプロファイル及びプローブプロファイルに応じて前記プローブを取り囲むことを要旨とする。
材料の試料の1つ以上の機械的特性を試験する可動プローブを有する機械的試験機器と、
前記機械的試験機器を加熱するプローブ加熱ジャケットとを備え、前記プローブ加熱ジャケットは、
前記機械的試験機器に連結する少なくとも1つの固締インターフェースと、
前記少なくとも1つの固締インターフェースから延びている加熱素子と備え、前記加熱素子は、
前記少なくとも1つの固締インターフェースに連結されているジャケット壁を有し、
前記ジャケット壁は、プローブ用中空部の周りに延びており、前記ジャケット壁は、前記プローブ用中空部内に前記機械的試験機器のプローブを受け入れ、前記加熱素子は、プローブ間隙で前記プローブから機械的に分離していることを要旨とする。
プローブの移動には、前記プローブ用中空部内での並進、回転又は横方向引っ掻き移動のうちの1つ以上を含み、前記ジャケット壁は、前記プローブを前記1つ以上の移動のそれぞれに伴い機械的に分離することを要旨とする。
前記ジャケット壁はジャケットプロファイルを有し、
前記プローブはプローブプロファイルを含み、前記プローブプロファイルは前記ジャケットプロファイルと対応し、前記加熱素子及び前記プローブの間にプローブ間隙が設けられ、
前記ジャケット壁は、前記プローブに近接して、前記対応するジャケットプロファイル及びプローブプロファイルに応じて前記プローブを取り囲むことを要旨とする。
第15の実施形態は第10の実施形態において、環境コンディショニングチャンバをさらに備えており、前記チャンバは、調節された環境を提供し、前記調節された環境は、前記チャンバの周囲環境とは異なる1つ以上の環境特徴を有することを要旨とする。
第17の実施形態は第15の実施形態において、前記プローブ加熱ジャケットは、前記環境コンディショニングチャンバ内に配置されることを要旨とする。
ジャケット壁を有するプローブ加熱ジャケットのプローブ用中空部内に機械的試験機器のプローブを配置する工程であって、前記ジャケット壁は、前記プローブのプローブプロファイルと対応するジャケットプロファイルを有し、前記ジャケット壁は、前記ジャケットプロファイルの前記プローブプロファイルへの対応に応じて前記プローブに近接している、機械的試験機器のプローブを配置する工程と、
前記プローブ加熱ジャケットの加熱素子に通電する工程と、
前記ジャケットプロファイルの前記プローブプロファイルへの対応に応じたプローブ間隙を通して前記ジャケット壁から前記プローブに熱を方向付けて、前記プローブの温度を変える工程と、
機械的又は電気機械的試験を行うために前記プローブを移動させる工程とを備え、
前記プローブの移動中、前記プローブは、前記ジャケット壁から機械的に分離している、方法を要旨とする。
第21の実施形態は第18の実施形態において、前記プローブを前記試料と係合する工程は、機械的試験機器を用いて前記プローブに力を加える工程からなることを要旨とする。
前記機械的試験機器のプローブを、前記試料ステージに連結されている試料と係合する工程であって、前記機械的試験機器、前記試料又は前記試料ステージのうちの1つ以上が熱機械的ドリフトを受ける、前記機械的試験機器のプローブを係合する工程と、
前記係合されたプローブを前記試料に対して負荷により変位させる工程と、
前記変位又は前記負荷のうちの1つ以上を測定する工程と、
前記変位及び前記負荷に応じて前記プローブを用いて前記試料の1つ以上の特徴を判定する工程と、
前記試料に対する前記プローブの前記測定された変位、又は前記判定された1つ以上の特徴のうちの1つ以上における前記熱機械的ドリフトを補正する工程とを備え、前記熱機械的ドリフトを補正する工程は、
前記システムフレームに対する前記プローブの変位を独立して測定する工程と、非接触センサを用いて前記システムフレームに対する前記試料の変位を独立して測定する工程とを含んでなることを要旨とする。
1つ以上の光ファイバに入るコヒーレント光ビームを発生させる工程と、
前記1つ以上の光ファイバを通してファイバ端部に前記コヒーレント光ビームを伝送する工程と、
前記コヒーレント光ビームを第1成分ビームと第2成分ビームとに分割する工程と、
前記第1成分ビームを媒体とのファイバインターフェースに反射する工程と、
前記第2成分ビームを前記試料、前記試料ステージ又は前記機械的試験機器に反射する工程と、
光学検出器で前記第1成分ビーム及び前記第2成分ビームを結合する工程と、
前記結合された第1成分ビーム及び前記第2成分ビームを同期復調することによって、前記システムフレームに対する前記試料、前記試料ステージ、又は前記機械的試験機器の変位を判定する工程とを備えることを要旨とする。
熱機械的ドリフトを受けるシステムフレームと、
前記システムフレームに連結されている試料ステージと、
前記システムフレームに連結されている機械的試験機器であって、試料と係合して、前記試料に対する深さを負荷により変位させるように構成された可動プローブを含む、機械的試験機器と、
前記機械的試験機器に連結されているレーザー干渉計システムであって、前記レーザー干渉計システムは、
前記プローブと前記機械的試験機器の残りの部分との間に連結されている第1干渉計であって、前記機械的試験機器の残りの部分に対する前記プローブのプローブ変位を判定するように構成された、第1干渉計と、
前記機械的試験機器と前記システムフレームとの間に連結されている第2干渉計であって、前記機械的試験機器に対する前記試料ステージ又は前記試料の試料変位を判定するように構成された、第2干渉計とを備える、レーザー干渉計システムと、
前記プローブ変位と前記試料変位との差を判定し、
前記プローブ変位と前記試料変位との前記判定された差を用いて、前記機械的試験機器を前記システムフレームの前記熱機械的ドリフトから分離する、分離・測定モジュールとを備える、システムを要旨とする。
この概要は、本特許出願の主題の概要を提供することを意図している。本発明の排他的又は網羅的な説明を提供することを意図しているわけではない。本特許出願に関するさらなる情報を提供するために詳細な説明を記載する。
様々な注記及び実施例
態様1は、主題(装置、システム、デバイス、方法、行為を行うための手段、又はデバイスによって行われたときにデバイスに行為を行わせることのできる命令を含むデバイス可読媒体、又は製品等)を含むこと又は使用することができ、例えば、プローブを有する機械的試験機器を加熱するように構成されたプローブ加熱ジャケットであって、プローブ加熱ジャケットは、機械的試験機器に連結するように構成された少なくとも1つの固締インターフェースと、少なくとも1つの固締インターフェースから延びている加熱素子とを備えており、加熱素子は、少なくとも1つの固締インターフェースに連結されているジャケット壁を含み、ジャケット壁は、プローブ用中空部の周りに延びており、ジャケット壁は、プローブ用中空部内に機械的試験機器のプローブを受け入れるように構成されており、加熱素子は、プローブ間隙でプローブから機械的に分離されている、プローブ加熱ジャケットを含むこと又は使用することができる。
上記説明は、詳細な説明の一部を成す添付の図面の参照を含む。図面は、例示として、本発明を実施することのできる特定の実施形態を示している。これらの実施形態は、本明細書において、「実施例」ともいう。該実施例は、図示又は説明したものの他に要素を含むことができる。しかし、本発明者らは、図示又は説明される要素のみが設けられる実施例も企図している。また、本発明者らは、特定の実施例(又はその1つもしくは複数の態様)に関して、又は本明細書で図示又は説明する他の実施例(又はその1つもしくは複数の態様)に関してのどちらについても、図示又は説明する要素(又はその1つもしくは複数の態様)の組み合わせ又は入れ替えを使用した実施例も企図している。
本文書において、特許文書で一般的なように、用語「a」又は「an」は、任意の他の場合又は「少なくとも1つ」もしくは「1つ以上」の使用法とは独立して、1つ又は1つより多いものを含むために使用される。本文書において、用語「又は、もしくは(or)」は非排他的なものをいうために使用され、又は、そのため「A又はB」とは、別の指示がない限り、「AであるがBではない」、「BであるがAではない」及び「A及びB」を含む。本文書において、用語「含む(including)」及び「in which」は、それぞれ、用語「備える(comprising)」及び「wherein」のプレインイングリッシュの相当語として使用される。また、以下の特許請求の範囲において、「含む(including)」及び「備える(comprising)」はオープンエンドであり、すなわち、ある請求項においてこのような用語の後に挙げられるものに加えて要素を含むシステム、デバイス、物品、組成、配合又はプロセスは、なおその請求項の範囲内にあると見なされる。また、以下の特許請求の範囲において、用語「第1」、「第2」、及び「第3」等は単に標記として使用され、その対象に対して数字的な要件を課すことを意図していない。
Claims (24)
- プローブを有する機械的試験機器を加熱するように構成されたプローブ加熱ジャケットにおいて、前記プローブ加熱ジャケットは、
前記機械的試験機器に連結されるように構成された少なくとも1つの固締インターフェースと、
前記少なくとも1つの固締インターフェースから延びている加熱素子と、を備え、前記加熱素子は、
前記少なくとも1つの固締インターフェースに連結されているジャケット壁を有し、
前記ジャケット壁は、プローブ用中空部の周りに延びており、前記ジャケット壁は、前記プローブ用中空部内に前記機械的試験機器の前記プローブを受け入れ、前記加熱素子は、プローブ間隙で前記プローブから機械的に分離され、
前記プローブ加熱ジャケットは、前記プローブのプローブ先端を現す、プローブ加熱ジャケット。 - 前記ジャケット壁は前記プローブ用中空部に面する内面を有し、前記内面は、熱を前記プローブ間隙越しに前記プローブに方向付ける、請求項1に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記ジャケット壁が放射加熱素子である、請求項1に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記ジャケット壁が誘導加熱素子である、請求項1に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記機械的試験機器と前記プローブとをさらに備える、請求項1に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記プローブは、前記ジャケット壁の前記プローブ用中空部に受け入れられ、前記プローブは、前記加熱素子から機械的に分離しており、前記プローブは、前記プローブ間隙によって前記ジャケット壁の内面から離間している、請求項5に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記機械的試験機器は、前記プローブ用中空部内で前記プローブを移動させ、前記プローブの移動は、前記ジャケット壁から機械的に分離している、請求項5に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記機械的試験機器の移動は、前記プローブ加熱ジャケット及び前記プローブを対応して移動させる、請求項5に記載のプローブ加熱ジャケット。
- 前記ジャケット壁はジャケットプロファイルを有し、
前記プローブはプローブプロファイルを有し、前記プローブプロファイルは前記ジャケットプロファイルと対応し、前記加熱素子及び前記プローブの間にプローブ間隙が設けられ、
前記ジャケット壁は、前記プローブに近接して、前記対応するジャケットプロファイル及びプローブプロファイルに応じて前記プローブを取り囲む、請求項5に記載のプローブ加熱ジャケット。 - 機械的試験システムにおいて、
材料の試料の1つ以上の機械的特性を試験する可動プローブを有する機械的試験機器と、
前記機械的試験機器を加熱するプローブ加熱ジャケットと、を備え、前記プローブ加熱ジャケットは、
前記機械的試験機器に連結する少なくとも1つの固締インターフェースと、
前記少なくとも1つの固締インターフェースから延びている加熱素子と、を備え、前記加熱素子は、
前記少なくとも1つの固締インターフェースに連結されているジャケット壁を有し、
前記ジャケット壁は、プローブ用中空部の周りに延びており、前記ジャケット壁は、前記プローブ用中空部内に前記機械的試験機器のプローブを受け入れ、前記加熱素子は、プローブ間隙で前記プローブから機械的に分離し、
前記プローブのプローブ先端は前記プローブ加熱ジャケットよりも外側に延びている、機械的試験システム。 - 前記機械的試験機器は、前記プローブ用中空部内で前記プローブを移動させ、前記プローブの移動は、前記ジャケット壁から機械的に分離している、請求項10に記載の機械的試験システム。
- プローブの移動には、前記プローブ用中空部内での並進、回転又は横方向引っ掻き移動のうちの1つ以上を含み、前記ジャケット壁は、前記プローブを前記1つ以上の移動のそれぞれに伴い機械的に分離する、請求項11に記載の機械的試験システム。
- 前記ジャケット壁はジャケットプロファイルを有し、
前記プローブはプローブプロファイルを含み、前記プローブプロファイルは前記ジャケットプロファイルと対応し、前記加熱素子及び前記プローブの間にプローブ間隙が設けられ、
前記ジャケット壁は、前記プローブに近接して、前記対応するジャケットプロファイル及びプローブプロファイルに応じて前記プローブを取り囲む、請求項10に記載の機械的試験システム。 - 前記加熱素子は、放射加熱素子、対流加熱素子、又は誘導加熱素子である、請求項13に記載の機械的試験システム。
- 環境コンディショニングチャンバをさらに備えており、前記チャンバは、調節された環境を提供し、前記調節された環境は、前記チャンバの周囲環境とは異なる1つ以上の環境特徴を有する、請求項10に記載の機械的試験システム。
- 前記1つ以上の環境特徴は、温度、圧力、湿度又は流体組成からなる、請求項15に記載の機械的試験システム。
- 前記プローブ加熱ジャケットは、前記環境コンディショニングチャンバ内に配置される、請求項15に記載の機械的試験システム。
- 試料ステージと、システムフレームに連結された機械的試験機器と、を有する機械的試験アセンブリを用いて熱機械的ドリフトを補正するための方法において、
前記機械的試験機器のプローブを、前記試料ステージに連結されている試料と係合する工程であって、前記機械的試験機器、前記試料又は前記試料ステージのうちの1つ以上が熱機械的ドリフトを受ける、前記機械的試験機器のプローブを係合する工程と、
前記機械的試験機器に連結されるように構成された少なくとも1つの固締インターフェースを有する加熱素子で前記プローブを加熱する工程と、
前記係合されたプローブを前記試料に対して負荷により変位させる工程と、
前記変位又は前記負荷のうちの1つ以上を測定する工程と、
前記変位及び前記負荷に応じて前記プローブを用いて前記試料の1つ以上の特徴を判定する工程と、
前記試料に対する前記プローブの前記測定された変位、又は前記判定された1つ以上の特徴のうちの1つ以上における前記熱機械的ドリフトを補正する工程と、を備え、前記熱機械的ドリフトを補正する工程は、
前記システムフレームに対する前記プローブの変位を独立して測定する工程と、非接触センサを用いて前記システムフレームに対する前記試料の変位を独立して測定する工程と、を含んでなる、方法。 - 前記プローブの前記変位又は前記試料の前記変位を測定する工程は、直交位相検波又は干渉縞計数方式のうちの1つ以上を含む、請求項18に記載の方法。
- 前記非接触センサは、レーザー干渉計、ファイバ光変位センサ、共焦点センサ、又は静電容量センサのうちの1つ以上からなる、請求項18に記載の方法。
- 前記非接触センサがレーザー干渉計であり、前記独立して測定する工程は、
1つ以上の光ファイバに入るコヒーレント光ビームを発生させる工程と、
前記1つ以上の光ファイバを通してファイバ端部に前記コヒーレント光ビームを伝送する工程と、
前記コヒーレント光ビームを第1成分ビームと第2成分ビームとに分割する
工程と、
前記第1成分ビームを媒体とのファイバインターフェースに反射する工程と、
前記第2成分ビームを前記試料、前記試料ステージ又は前記機械的試験機器に反射する工程と、
光学検出器で前記第1成分ビーム及び前記第2成分ビームを結合する工程と、
前記結合された第1成分ビーム及び前記第2成分ビームを同期復調することによって、前記システムフレームに対する前記試料、前記試料ステージ、又は前記機械的試験機器の変位を判定する工程と、を備える、請求項18に記載の方法。 - 前記熱機械的ドリフトを補正する工程は、前記プローブと前記試料との係合又は前記1つ以上の特徴の測定それぞれの能動的又は受動的な補正のうちの少なくとも1つを含んでなる、請求項18に記載の方法。
- 前記熱機械的ドリフトを補正する工程は、前記熱機械的ドリフトを打ち消すために、前記プローブ又は前記試料のうちの1つ以上の並進駆動を含む熱機械的ドリフトの能動的補正を含んでなる、請求項18に記載の方法。
- 前記熱機械的ドリフトを補正する工程は、前記試料の前記1つ以上の特徴の前記判定中、前記熱機械的ドリフトの差し引きを含む熱機械的ドリフトの受動的補正を含んでなる、請求項18に記載の方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100242577A1 (en) | 2009-03-27 | 2010-09-30 | Ofi Testing Equipment, Inc. | Test Sample Heating Apparatus and Method |
US20110252874A1 (en) | 2010-04-19 | 2011-10-20 | Hysitron, Inc. | Indenter assembly |
JP2011242394A (ja) | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Nordson Corp | 半導体組立体のボンドを試験するためのシステム及び方法 |
US20130152706A1 (en) | 2011-12-15 | 2013-06-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tester apparatus for obtaining forming limit diagram |
JP2015521734A (ja) | 2012-06-13 | 2015-07-30 | ハイジトロン, インク.Hysitron, Inc. | ミクロンまたはナノスケールでの機械的試験用環境コンディショニングアセンブリ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2942455A (en) * | 1957-05-15 | 1960-06-28 | Wyandotte Chemicals Corp | Tensile testing apparatus |
US5202542A (en) * | 1991-01-18 | 1993-04-13 | Duffers Scientific, Inc. | Test specimen/jaw assembly that exhibits both self-resistive and self-inductive heating in response to an alternating electrical current flowing therethrough |
JP3156606B2 (ja) * | 1996-11-19 | 2001-04-16 | 株式会社デンソー | 電極接合強度の検査方法及び検査装置 |
CA2635551C (en) * | 2008-06-23 | 2013-04-09 | Schlumberger Canada Limited | Environmental mechanical test apparatus |
US20120072133A1 (en) * | 2009-05-27 | 2012-03-22 | Ofi Testing Equipment, Inc. | Testing Apparatus and Method |
US9476816B2 (en) * | 2011-11-14 | 2016-10-25 | Hysitron, Inc. | Probe tip heating assembly |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100242577A1 (en) | 2009-03-27 | 2010-09-30 | Ofi Testing Equipment, Inc. | Test Sample Heating Apparatus and Method |
US20110252874A1 (en) | 2010-04-19 | 2011-10-20 | Hysitron, Inc. | Indenter assembly |
JP2011242394A (ja) | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Nordson Corp | 半導体組立体のボンドを試験するためのシステム及び方法 |
US20130152706A1 (en) | 2011-12-15 | 2013-06-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tester apparatus for obtaining forming limit diagram |
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