JP7451951B2 - Coloring compositions, infrared pass filters, filters for solid-state imaging devices, and solid-state imaging devices - Google Patents

Coloring compositions, infrared pass filters, filters for solid-state imaging devices, and solid-state imaging devices Download PDF

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Description

本発明は着色性組成物、赤外線パスフィルター、固体撮像素子用フィルターおよび固体撮像素子に関する。より詳しくは赤外線パスフィルターに用いるのに適した単一の色材から構成される着色性組成物に関する。 The present invention relates to a coloring composition, an infrared pass filter, a filter for a solid-state image sensor, and a solid-state image sensor. More specifically, the present invention relates to a coloring composition composed of a single coloring material suitable for use in an infrared pass filter.

CMOSイメージセンサーやCCDイメージセンサーなどの固体撮像素子は、光の強度を電気信号に変換する光電変換素子を備える。固体撮像素子は、複数の光電変換素子の他に、各色用の光電変換素子上に位置するカラーフィルターと、赤外用の光電変換素子上に位置する赤外線パスフィルターとを備える(例えば、特許文献1を参照)。 A solid-state image sensor such as a CMOS image sensor or a CCD image sensor includes a photoelectric conversion element that converts the intensity of light into an electrical signal. In addition to the plurality of photoelectric conversion elements, the solid-state image sensor includes a color filter located on the photoelectric conversion element for each color, and an infrared pass filter located on the photoelectric conversion element for infrared (for example, Patent Document 1 ).

赤外線パスフィルターは、赤外用の光電変換素子が検出し得る可視光を遮蔽して、赤外用の光電変換素子による赤外線の検出精度を高める。赤外線パスフィルターの構成材料は、例えば、ビスベンゾフラノン系顔料、アゾメチン系顔料、ペリレン系顔料、アゾ系染料などの黒色色材である(例えば、特許文献2を参照)。 The infrared pass filter blocks visible light that can be detected by the infrared photoelectric conversion element, thereby increasing the accuracy of infrared detection by the infrared photoelectric conversion element. The constituent material of the infrared pass filter is, for example, a black coloring material such as a bisbenzofuranone pigment, an azomethine pigment, a perylene pigment, or an azo dye (see, for example, Patent Document 2).

特開2016-177273号公報Japanese Patent Application Publication No. 2016-177273 特開2018-119077号公報JP 2018-119077 Publication

ところで前記従来技術に記載の赤外線パスフィルターは可視光を遮光するために複数の色材の混合物から構成される。一般的に用いられる色材分子は共役系を有しており、会合性、凝集性を有している。複数の色材の混合物から構成される着色性組成物においては単一の色材から構成される着色性組成物よりも会合、凝集が促進され粘度安定性といった経時安定性が低下することがあり、単一の色材から構成される着色性組成物の開発が望まれている。 Incidentally, the infrared pass filter described in the prior art is composed of a mixture of a plurality of coloring materials in order to block visible light. Generally used coloring material molecules have a conjugated system and have associative and aggregating properties. In a coloring composition composed of a mixture of multiple colorants, association and aggregation are promoted more than in a coloring composition composed of a single colorant, and stability over time such as viscosity stability may decrease. , it is desired to develop a coloring composition composed of a single coloring material.

本発明は単一の色材により構成され、経時安定性に優れた着色性組成物、これを用いた赤外線パスフィルター、固体撮像素子用フィルターおよび固体撮像素子を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a coloring composition composed of a single coloring material and having excellent stability over time, an infrared pass filter, a filter for a solid-state image sensor, and a solid-state image sensor using the same.

上記の課題を解決するために、本発明に係る着色性組成物は下記式(1)によって表されるジケトピロロピロール化合物を含有する。

ただし、式(1)において、R1、R2及びR7、R8は水素原子または、炭素数1以上の直鎖状アルキル基、または、炭素数3以上の分岐鎖状アルキル基である。また、R3、R4及びR5、R6は、フランまたは、ピロールであって、下記式(2)によって表されるように3位、4位は無置換であって、2位、5位に結合している。
In order to solve the above problems, the coloring composition according to the present invention contains a diketopyrrolopyrrole compound represented by the following formula (1).

However, in formula (1), R1, R2, R7, and R8 are a hydrogen atom, a linear alkyl group having 1 or more carbon atoms, or a branched alkyl group having 3 or more carbon atoms. In addition, R3, R4, R5, and R6 are furan or pyrrole, and as represented by the following formula (2), the 3rd and 4th positions are unsubstituted and are bonded to the 2nd and 5th positions. are doing.

上記の着色性組成物は、重合性化合物、バインダー樹脂及び光重合開始剤を含むことが好ましい。 It is preferable that the above-mentioned coloring composition contains a polymerizable compound, a binder resin, and a photopolymerization initiator.

本発明に係る赤外線パスフィルターは、上記の着色性組成物を含む。 The infrared pass filter according to the present invention contains the above coloring composition.

上記の赤外線パスフィルターは、膜中の色材濃度が30~60%であり、1.2μmに成膜した際に可視領域および近赤外領域の一部である波長400~800nmの光の平均透過率が30%以下であり、近赤外領域900~1000nmの光の平均透過率が90%以上となることが好ましい。 The above infrared pass filter has a colorant concentration in the film of 30 to 60%, and when the film is formed to a thickness of 1.2 μm, the average of light with a wavelength of 400 to 800 nm, which is part of the visible region and near-infrared region, is It is preferable that the transmittance is 30% or less, and the average transmittance of light in the near-infrared region of 900 to 1000 nm is 90% or more.

本発明に係る固体撮像素子用フィルターは、第1光電変換素子に対し光の入射側に位置する赤色用フィルター、緑色用フィルター、青色用フィルターの三色のカラーフィルターと、第2光電変換素子に対し光の入射側に位置する上記の赤外線パスフィルターとを備える。 The filter for a solid-state image sensor according to the present invention includes three color filters, a red filter, a green filter, and a blue filter, located on the light incident side with respect to the first photoelectric conversion element, and a second photoelectric conversion element. On the other hand, the infrared pass filter described above is located on the light incident side.

上記の固体撮像素子用フィルターは、第1光電変換素子に対し光の入射側に位置する赤外線カットフィルターをさらに備えることが好ましい。 Preferably, the solid-state imaging device filter further includes an infrared cut filter located on the light incident side with respect to the first photoelectric conversion element.

上記の固体撮像素子用フィルターは、赤外線カットフィルターの赤外線パスフィルターに対応する位置に貫通孔を備えることが好ましい。 It is preferable that the above-mentioned filter for a solid-state image sensor has a through hole at a position corresponding to the infrared pass filter of the infrared cut filter.

本発明に係る固体撮像素子は、光変換素子と、上記の赤外線パスフィルター及び上記の固体撮像素子用フィルターのいずれかを備える。 A solid-state image sensor according to the present invention includes a light conversion element, and either the above-mentioned infrared pass filter or the above-mentioned solid-state image sensor filter.

本発明によれば、単一の色材により構成され、経時安定性に優れた着色性組成物、これを用いた赤外線パスフィルター、固体撮像素子用フィルターおよび固体撮像素子を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a coloring composition composed of a single coloring material and having excellent stability over time, an infrared pass filter, a filter for a solid-state image sensor, and a solid-state image sensor using the same.

固体撮像素子の一実施形態における層構造を示す分解斜視図。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a layer structure in an embodiment of a solid-state image sensor.

本発明の着色性組成物は、色材として下記式(1)によって表されるジケトピロロピロール化合物を含有する。

ただし、式(1)において、R1、R2及びR7、R8は水素原子または、炭素数1以上の直鎖状アルキル基、または、炭素数3以上の分岐鎖状アルキル基である。また、R3、R4及びR5、R6はチオフェンまたは、フランまたは、ピロールであって、下記式(2)によって表されるように3位、4位は無置換であって、2位、5位に結合している。
The coloring composition of the present invention contains a diketopyrrolopyrrole compound represented by the following formula (1) as a coloring material.

However, in formula (1), R1, R2, R7, and R8 are a hydrogen atom, a linear alkyl group having 1 or more carbon atoms, or a branched alkyl group having 3 or more carbon atoms. Further, R3, R4, R5, and R6 are thiophene, furan, or pyrrole, and as represented by the following formula (2), the 3rd and 4th positions are unsubstituted, and the 2nd and 5th positions are unsubstituted. are combined.

R3、R4及びR5、R6がチオフェン、フラン、ピロールから構成されることによってジケトピロロピロール化合物の共役系が拡張され可視領域から近赤外領域の幅広い波長の光の吸収が可能となる。R3、R4及びR5、R6は全て同一であっても、それぞれ異なってもよい。 When R3, R4, R5, and R6 are composed of thiophene, furan, and pyrrole, the conjugated system of the diketopyrrolopyrrole compound is expanded, and it becomes possible to absorb light in a wide range of wavelengths from the visible region to the near-infrared region. R3, R4 and R5, R6 may be all the same or different.

R3、R4及びR5、R6はチオフェン又はピロールであることが好ましい。チオフェン又はピロールから構成されることによりジケトピロロピロール化合物は高い安定性を示す。R3、R4及びR5、R6はチオフェンであることがより好ましい。チオフェンから構成されることによりジケトピロロピロール化合物はより高い安定性を示す。 Preferably, R3, R4 and R5, R6 are thiophene or pyrrole. By being composed of thiophene or pyrrole, diketopyrrolopyrrole compounds exhibit high stability. More preferably, R3, R4 and R5, R6 are thiophene. By being composed of thiophene, diketopyrrolopyrrole compounds exhibit higher stability.

R7、R8と結合したアミド基の酸素とR7、R8の水素及び直鎖状アルキル基、または、分岐鎖状アルキル基の水素は水素結合を形成することができる。形成される水素結合によってジケトピロロピロール化合物同士が会合し長波長の光の吸収を可能とする会合体を形成することができる。 A hydrogen bond can be formed between the oxygen of the amide group bonded to R7 and R8, the hydrogen of R7 and R8, and the hydrogen of the linear alkyl group or the branched alkyl group. The hydrogen bonds formed allow the diketopyrrolopyrrole compounds to associate with each other to form an association that allows absorption of long wavelength light.

R1、R2及びR7、R8は化合物の溶解性の観点から炭素数12以上の直鎖状アルキル基、または、炭素数12以上の分岐鎖状アルキル基が好ましい。R1、R2及びR7、R8は同一の直鎖状アルキル基、または、分岐鎖状アルキル基であっても異なる直鎖状アルキル基、または、分岐鎖状アルキル基であってもよい。 From the viewpoint of compound solubility, R1, R2, R7, and R8 are preferably linear alkyl groups having 12 or more carbon atoms or branched alkyl groups having 12 or more carbon atoms. R1, R2 and R7, R8 may be the same linear alkyl group or branched alkyl group, or may be different linear alkyl groups or branched alkyl groups.

本発明の着色性組成物はフォトリソグラフィー法による塗膜のパターニング形成を行うために式(1)のジケトピロロピロール化合物に加え重合性化合物、バインダー樹脂、光重合開始剤を含むことができる。 The coloring composition of the present invention can contain, in addition to the diketopyrrolopyrrole compound of formula (1), a polymerizable compound, a binder resin, and a photopolymerization initiator in order to pattern a coating film by photolithography.

重合性化合物としては、たとえば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンPO変性(n=1)トリアクリレート、トリメチロールプロパンPO変性(n=2)トリアクリレート、トリメチロールプロパンEO変性(n=1)トリアクリレート、トリメチロールプロパンEO変性(n=2)トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、イソシアヌル酸EO変性ジアクリレート、イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、イソシアヌル酸EO変性シトリアクリレート、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 Examples of the polymerizable compound include pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane PO-modified (n=1) triacrylate, trimethylolpropane PO-modified (n=2) triacrylate, Trimethylolpropane EO modified (n=1) triacrylate, trimethylolpropane EO modified (n=2) triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, isocyanuric Acid EO modified diacrylates, isocyanuric acid EO modified triacrylates, isocyanuric acid EO modified citriacrylates, or mixtures containing one or more thereof can be used.

重合性化合物としては、典型的には、3官能アクリルモノマーを主成分としているものを使用する。モノマーとして、4官能モノマーや5官能モノマーなどの一般的な感光性樹脂に使用されているアクリルモノマーを使用すると、感光性樹脂の感度が過剰に高くなることがある。これにより、下地の形状が、着色層の形状に大きな影響を及ぼす傾向にある。モノマーとして、3官能アクリルモノマーを主成分としているものを使用すると、感光性樹脂の感度が過剰に高くなるのを防止できる。 Typically, the polymerizable compound used is one containing a trifunctional acrylic monomer as a main component. When an acrylic monomer used in general photosensitive resins such as a tetrafunctional monomer or a pentafunctional monomer is used as a monomer, the sensitivity of the photosensitive resin may become excessively high. As a result, the shape of the base tends to have a large influence on the shape of the colored layer. When a monomer containing a trifunctional acrylic monomer as a main component is used, it is possible to prevent the sensitivity of the photosensitive resin from becoming excessively high.

バインダー樹脂は数種類のモノマーやオリゴマーを共重合させて得られる。バインダー樹脂を生成するモノマーおよびオリゴマーとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、β-カルボキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンの(メタ)アクリル酸エステル、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタンアクリレートなどの各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、(メタ)アクリルアミド、N-ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-ビニルホルムアミド、アクリロニトリルなどが挙げられる。これらは、単独または2種類以上混合して用いることができる。 Binder resins are obtained by copolymerizing several types of monomers and oligomers. Monomers and oligomers that form the binder resin include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, and β-carboxylate. Ethyl (meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, tripropylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, glycidyl(meth)acrylate, 1,6-hexanediol diglycidyl ether di(meth)acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di(meth)acrylate, neopentyl glycol diglycidyl ether di( Various acrylic esters such as meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, tricyclodecanyl(meth)acrylate, ester acrylate, (meth)acrylic ester of methylolated melamine, epoxy(meth)acrylate, and urethane acrylate. and methacrylic esters, (meth)acrylic acid, styrene, vinyl acetate, hydroxyethyl vinyl ether, ethylene glycol divinyl ether, pentaerythritol trivinyl ether, (meth)acrylamide, N-hydroxymethyl (meth)acrylamide, N-vinylformamide, acrylonitrile Examples include. These can be used alone or in combination of two or more.

バインダー樹脂は、アルカリ現像液に溶解するように酸性基を有するモノマーを共重合させたものであることが望ましい。酸性基としてはカルボキシル基が主に用いられ、カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α‐クロルアクリル酸、ケイ皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ(2‐メタクリロイロキシアルキル)エステルであってもよく、例えば、コハク酸モノ(2‐アクリロイロキシエチル)、コハク酸モノ(2‐メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2‐アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2‐メタクリロイロキシエチル)などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ(メタ)アクリレートであってもよく、例えば、ω‐カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω‐カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で又は2種以上を混合して用いることができる。 The binder resin is preferably a copolymer of a monomer having an acidic group so as to be dissolved in an alkaline developer. Carboxyl groups are mainly used as acidic groups, and examples of carboxyl group-containing monomers include unsaturated polycarboxylic acids such as unsaturated monocarboxylic acids, unsaturated dicarboxylic acids, and unsaturated tricarboxylic acids. Mention may be made of unsaturated carboxylic acids having at least one carboxyl group. Here, examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, and cinnamic acid. Examples of unsaturated dicarboxylic acids include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, and mesaconic acid. The unsaturated polyhydric carboxylic acid may be an acid anhydride thereof, specifically maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, or the like. Further, the unsaturated polycarboxylic acid may be a mono(2-methacryloyloxyalkyl) ester thereof, such as mono(2-methacryloyloxyethyl) succinate, mono(2-methacryloyloxyethyl) succinate, ethyl), mono(2-acryloyloxyethyl) phthalate, mono(2-methacryloyloxyethyl) phthalate, and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be a mono(meth)acrylate of a dicarboxy polymer at both ends thereof, such as ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate, and the like. These carboxyl group-containing monomers can be used alone or in combination of two or more.

バインダー樹脂の重量平均分子量が5000ないし20000の範囲内にあるものが好ましい。重量平均分子量が5000未満であると、着色性組成物中に低分子量の化合物のみになってしまい、フォトリソグラフィー法による塗膜のパターニング形成時に露光部の硬化度が小さく良好なパターン形状が得られない。重量平均分子量が20000を超えると現像液への溶解性が劣り、やはり良好なパターンが得られない。 It is preferable that the weight average molecular weight of the binder resin is within the range of 5,000 to 20,000. If the weight average molecular weight is less than 5,000, only low molecular weight compounds will be present in the coloring composition, and when patterning a coating film by photolithography, the degree of curing of exposed areas will be small and a good pattern shape will not be obtained. do not have. If the weight average molecular weight exceeds 20,000, the solubility in a developer will be poor and a good pattern will not be obtained.

バインダー樹脂として熱硬化性樹脂を使用することができ、熱硬化性樹脂としては、たとえば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 A thermosetting resin can be used as the binder resin, and examples of the thermosetting resin include epoxy resin, benzoguanamine resin, rosin-modified maleic acid resin, rosin-modified fumaric acid resin, melamine resin, urea resin, phenolic resin, Alternatively, a mixture containing one or more of them can be used.

光重合開始剤としてはたとえば、オキシム・エステル系開始剤、α-アミノアルキルフェノン系開始剤などがある。オキシム・エステル系開始剤としては、1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル-2-(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)、α-アミノアルキルフェノン系開始剤としては、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2-ジメチルアミノ-2-(4-メチル-ベンジル)-1-(4-モリフォリン-4-イル-フェニル)-ブタン-1-オンが挙げられる。 Examples of photopolymerization initiators include oxime ester initiators and α-aminoalkylphenone initiators. Examples of oxime ester initiators include 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl-2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2- As the initiator, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholino), methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(O-acetyloxime), phenyl)-butanone-1,2-dimethylamino-2-(4-methyl-benzyl)-1-(4-morpholin-4-yl-phenyl)-butan-1-one.

また、他の光重合開始剤も併せて使用することができる。併せて使用できる光重合開始剤としては、たとえば、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、および、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オンなどのアセトフェノン系光重合、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、および、ベンジルジメチルケタールなどのベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、および、4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルサルファイドなどのベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサンソン、2-クロルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、および2、4-ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系光重合開始剤、2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-クロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-s-トリアジン、2-(ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシーナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル(ピペロニル)-6-トリアジン、及び2,4-トリクロロメチル(4’-メトキシスチリル)-6-トリアジンなどのトリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 Further, other photopolymerization initiators can also be used. Examples of photopolymerization initiators that can be used together include 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, and 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropane. 1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and acetophenone photopolymerization such as 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, benzoin, benzoin methyl ether, Benzoin-based photoinitiators such as benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, and 4-benzoyl Benzophenone-based photoinitiators such as -4'-methyldiphenyl sulfide, thioxanthone-based light such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropylthioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone Polymerization initiator, 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxyphenyl-4,6-bis(trichloromethyl)) -s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis (Trichloromethyl)-6-styryl-chloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-styryl-s-triazine, 2-(naphth-1-yl)-4,6-bis (trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-methoxynaphth-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-trichloromethyl(piperonyl)-6-triazine, and Triazine photopolymerization initiators such as 2,4-trichloromethyl(4'-methoxystyryl)-6-triazine, borate photopolymerization initiators, carbazole photopolymerization initiators, imidazole photopolymerization initiators, or the like. Mixtures containing one or more of the following can be used.

溶剤としては、たとえば、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、テトラヒドロフラン、ブチルセロソルブアセテート、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル-nアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 Examples of the solvent include cyclohexane, cyclohexanone, ethyl cellosolve acetate, tetrahydrofuran, butyl cellosolve acetate, 1-methoxy-2-propyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylbenzene, ethylene glycol diethyl ether, xylene, ethyl cellosolve, methyl -n amyl ketone, propylene glycol monomethyl ether toluene, methyl ethyl ketone, ethyl acetate, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, butanol, isobutyl ketone, petroleum solvents, or mixtures containing one or more thereof can be used.

また、着色性組成物には、必要に応じて添加剤を入れてもよい。添加剤としては、たとえば、界面活性剤、貯蔵安定剤、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 Additionally, additives may be added to the coloring composition as necessary. As additives it is possible to use, for example, surfactants, storage stabilizers or mixtures containing one or more of these.

界面活性剤としては、たとえば、ラウリル硫酸ソーダ、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン-アクリル酸共重合体のアルカリ塩、ステアリン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、および、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどのアニオン性界面活性剤、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、および、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤、アルキル4級アンモニウム塩、および、そのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、および、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、シリコン系界面活性剤、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 Examples of surfactants include sodium lauryl sulfate, polyoxyethylene alkyl ether sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, alkali salts of styrene-acrylic acid copolymers, sodium stearate, sodium alkylnaphthalene sulfonate, and alkyldiphenyl ether disulfone. Sodium lauryl sulfate, monoethanolamine lauryl sulfate, triethanolamine lauryl sulfate, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of styrene-acrylic acid copolymer, and polyoxyethylene alkyl Anionic surfactants such as ether phosphates, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene sorbitan monostearate, and Nonionic surfactants such as polyethylene glycol monolaurate, cationic surfactants such as alkyl quaternary ammonium salts and their ethylene oxide adducts, alkyl betaines such as alkyldimethylaminoacetic acid betaines, and alkylimidazolines. Amphoteric surfactants, silicone surfactants, or mixtures containing one or more thereof can be used.

貯蔵安定剤としては、たとえば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの4級アンモニウムクロライド、乳酸およびシュウ酸などの有機酸、そのメチルエーテル、t-ブチルピロカテコール、トリエチルホスフィンおよびトリフェニルホスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩、または、それらの1つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 Storage stabilizers include, for example, quaternary ammonium chlorides such as benzyl trimethyl chloride and diethyl hydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid, their methyl ethers, organic acids such as t-butylpyrocatechol, triethylphosphine and triphenylphosphine, etc. Phosphine, phosphites, or mixtures containing one or more thereof can be used.

フォトリソグラフィー法による塗膜のパターニング形成を行うためにステッパー露光装置等の装置と、所定のパターンを有するフォトマスクを用いることが好ましい。フォトマスクを介して露光したのち現像液により未露光部を除くことによりパターンが形成される。 In order to pattern the coating film by photolithography, it is preferable to use a device such as a stepper exposure device and a photomask having a predetermined pattern. After exposure through a photomask, a pattern is formed by removing unexposed areas with a developer.

現像液にはアルカリ性の現像液を用いることが好ましい。アルカリ性現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム等の無機アルカリ現像液、またはテトラヒドロキシアンモニウム等の有機アルカリ現像液を使用することができる。また、塗膜への濡れ性を高めるために、界面活性剤を現像液に含むことも好ましい。 It is preferable to use an alkaline developer as the developer. As the alkaline developer, an inorganic alkaline developer such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, or sodium carbonate, or an organic alkaline developer such as tetrahydroxyammonium can be used. Further, in order to improve the wettability to the coating film, it is also preferable to include a surfactant in the developer.

本発明の着色性組成物は赤外線パスフィルターに用いることができる。本発明の着色性組成物を用いることにより可視領域および近赤外領域の一部である波長400~800nmの光を遮光し、近赤外領域900~1000nmの光を透過する赤外線パスフィルターを形成できる。 The coloring composition of the present invention can be used in an infrared pass filter. By using the coloring composition of the present invention, an infrared pass filter that blocks light with a wavelength of 400 to 800 nm, which is a part of the visible region and near-infrared region, and transmits light in the near-infrared region of 900 to 1000 nm, is formed. can.

本発明の赤外線パスフィルターの膜厚は通常0.1μm~15μm、好ましくは0.3~10μm、より好ましくは0.5μm~5μmである。 The film thickness of the infrared pass filter of the present invention is usually 0.1 μm to 15 μm, preferably 0.3 to 10 μm, and more preferably 0.5 μm to 5 μm.

膜中の色材濃度は30~60%であることが好ましい。色材濃度が30%未満である場合、可視光領域の透過率が上昇しノイズが大きくなる。また、色材濃度が60%を超える場合赤外線の透過率が低下し感度が低下する。また、色材濃度が60%を超える場合、着色性組成物中の重合性化合物、バインダー樹脂、光重合開始剤の割合が低下し、フォトリソグラフィーにおけるパターニング性が低下する。 The colorant concentration in the film is preferably 30 to 60%. When the coloring material concentration is less than 30%, the transmittance in the visible light region increases and noise increases. Furthermore, when the coloring material concentration exceeds 60%, the transmittance of infrared rays decreases and the sensitivity decreases. Moreover, when the coloring material concentration exceeds 60%, the proportions of the polymerizable compound, binder resin, and photopolymerization initiator in the coloring composition decrease, resulting in a decrease in patterning properties in photolithography.

膜中の色材濃度が30~60%である場合、1.2μmに成膜した際に可視領域および近赤外領域の一部である波長400~800nmの光の平均透過率が30%以下であり、近赤外領域900~1000nmの光の平均透過率が90%以上となる赤外線パスフィルターを形成できる。 When the coloring material concentration in the film is 30 to 60%, the average transmittance of light in the wavelength range of 400 to 800 nm, which is part of the visible region and near-infrared region, is 30% or less when the film is formed to a thickness of 1.2 μm. Therefore, it is possible to form an infrared pass filter having an average transmittance of 90% or more for light in the near-infrared region of 900 to 1000 nm.

本発明の着色性組成物及び赤外線パスフィルターは固体撮像素子用カラーフィルターに用いることができる。 The coloring composition and infrared pass filter of the present invention can be used as a color filter for solid-state image sensors.

図1を参照して、固体撮像素子用フィルター、および固体撮像素子における一実施形態を説明する。図1は、固体撮像素子の一部における各層を分離して示す概略構成図である。 With reference to FIG. 1, a filter for a solid-state image sensor and an embodiment of the solid-state image sensor will be described. FIG. 1 is a schematic configuration diagram separately showing each layer in a part of a solid-state image sensor.

<固体撮像素子>
図1が示すように、固体撮像素子10は、固体撮像素子用フィルター10F、および、複数の光電変換素子11を備える。固体撮像素子用フィルター10Fは、複数の可視光用のフィルター12R,12G,12B、赤外線パスフィルター12P、赤外線カットフィルター13、バリア層14、複数の可視光用のマイクロレンズ15R,15G,15B、および、赤外線用マイクロレンズ15Pを備える。
<Solid-state image sensor>
As shown in FIG. 1, the solid-state image sensor 10 includes a solid-state image sensor filter 10F and a plurality of photoelectric conversion elements 11. The solid-state image sensor filter 10F includes a plurality of visible light filters 12R, 12G, 12B, an infrared pass filter 12P, an infrared cut filter 13, a barrier layer 14, a plurality of visible light microlenses 15R, 15G, 15B, and , and an infrared microlens 15P.

複数の光電変換素子11は、赤色用光電変換素子11R、緑色用光電変換素子11G、青色用光電変換素子11B、および、赤外線用光電変換素子11Pを備える。固体撮像素子10は、複数の赤色用光電変換素子11R、複数の緑色用光電変換素子11G、複数の青色用光電変換素子11B、および、複数の赤外線用光電変換素子11Pを備える。複数の赤外線用光電変換素子11Pは、赤外線の強度を測定する。なお、図1では、図示の便宜上、固体撮像素子10における光電変換素子11の繰り返し単位が示されている。 The plurality of photoelectric conversion elements 11 include a red photoelectric conversion element 11R, a green photoelectric conversion element 11G, a blue photoelectric conversion element 11B, and an infrared photoelectric conversion element 11P. The solid-state image sensor 10 includes a plurality of red photoelectric conversion elements 11R, a plurality of green photoelectric conversion elements 11G, a plurality of blue photoelectric conversion elements 11B, and a plurality of infrared photoelectric conversion elements 11P. The plurality of infrared photoelectric conversion elements 11P measure the intensity of infrared rays. Note that in FIG. 1, for convenience of illustration, a repeating unit of the photoelectric conversion element 11 in the solid-state image sensor 10 is shown.

<カラーフィルター>
可視光用のカラーフィルターは、赤色用フィルター12R、緑色用フィルター12G、および、青色用フィルター12Bから構成される。赤色用フィルター12Rは、赤色用光電変換素子11Rに対して光の入射側に位置する。緑色用フィルター12Gは、緑色用光電変換素子11Gに対して光の入射側に位置する。青色用フィルター12Bは、青色用光電変換素子11Bに対して光の入射側に位置する。
<Color filter>
The color filter for visible light includes a red filter 12R, a green filter 12G, and a blue filter 12B. The red filter 12R is located on the light incident side with respect to the red photoelectric conversion element 11R. The green filter 12G is located on the light incident side with respect to the green photoelectric conversion element 11G. The blue filter 12B is located on the light incident side with respect to the blue photoelectric conversion element 11B.

各色用フィルター12R,12G,12Bは、着色性感光性樹脂を含む塗膜の形成、および、フォトリソグラフィー法を用いた塗膜のパターニングによって形成される。例えば、赤色用感光性樹脂を含む塗膜は、赤色用感光性樹脂を含む塗布液の塗布、および、塗膜の乾燥によって形成される。赤色用フィルター12Rは、赤色用感光性樹脂を含む塗膜に対し、赤色用フィルター12Rに相当する領域に対する露光、および、現像を経て形成される。なお、緑色用フィルター12G、および、青色用フィルター12Bも赤色用フィルター12Rと同様の方法によって形成される。 The filters 12R, 12G, and 12B for each color are formed by forming a coating film containing a colored photosensitive resin and patterning the coating film using a photolithography method. For example, a coating film containing a red photosensitive resin is formed by applying a coating liquid containing a red photosensitive resin and drying the coating film. The red filter 12R is formed by exposing a coating film containing a red photosensitive resin to a region corresponding to the red filter 12R and developing it. Note that the green filter 12G and the blue filter 12B are also formed by the same method as the red filter 12R.

赤色用フィルター12R、緑色用フィルター12G、および、青色用フィルター12Bの着色性組成物に含有される顔料としては、有機または無機の顔料を、単独でまたは2種類以上混合して用いることができる。顔料は、発色性が高く、且つ耐熱性の高い顔料、特に耐熱分解性の高い顔料が好ましく、通常は有機顔料が用いられる。使用することができる顔料としては、フタロシアニン系、アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系、ジオキサジン系、アンサンスロン系、インダンスロン系、ペリレン系、チオインジゴ系、イソインドリン系、キノフタロン系、ジケトピロロピロール系などの有機顔料が挙げられる。
以下に、本発明の着色性組成物に使用可能な有機顔料の具体例を、カラーインデックス番号で示す。
As the pigment contained in the coloring composition of the red filter 12R, the green filter 12G, and the blue filter 12B, organic or inorganic pigments can be used alone or in combination of two or more types. The pigment is preferably a pigment with high color development and high heat resistance, particularly a pigment with high heat decomposition resistance, and organic pigments are usually used. Pigments that can be used include phthalocyanine, azo, anthraquinone, quinacridone, dioxazine, anthanthrone, indanthrone, perylene, thioindigo, isoindoline, quinophthalone, and diketopyrrolopyrrole. Examples include organic pigments such as pigments.
Specific examples of organic pigments that can be used in the coloring composition of the present invention are shown below using color index numbers.

各色用フィルターの青色着色性組成物に用いられる青色色素としては、例えばC.I. Pigment Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、81等の顔料が挙げられ、中でもC.I. Pigment Blue 15:6が好ましい。 Examples of blue pigments used in the blue coloring composition of filters for each color include C.I. Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64. , 81, among which C.I. Pigment Blue 15:6 is preferred.

赤色の着色性組成物に用いられる赤色色素としては、例えばC.I. Pigment Red 7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、C.I. Pigment Orange 36、43、51、55、59、61、71、73等の赤色顔料、および必要に応じ調色用として、C.I. Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、198、199、213、214等を用いて得られる組成物である。 Examples of red pigments used in the red coloring composition include C.I. Pigment Red 7, 9, 14, 41, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 81:1, 81:2, 81:3, 97, 122, 123, 146, 149, 168, 177, 178, 180, 184, 185, 187, 192, 200, 202, 208, 210, 215, 216, 217, 220, 223, 224, Red pigments such as 226, 227, 228, 240, 246, 254, 255, 264, 272, C.I. Pigment Orange 36, 43, 51, 55, 59, 61, 71, 73, and for toning if necessary, C.I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1 , 37, 37:1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101 , 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153 , 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188 , 193, 194, 198, 199, 213, 214, etc.

また、緑色の着色性組成物は、例えばC.I. Pigment Green 7、10、36、37、58、59等の緑色顔料、および必要に応じ調色用として、C.I. Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、198、199、213、214等を用いて得られる組成物である。 In addition, the green coloring composition includes, for example, green pigments such as C.I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58, and 59, and C.I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, and C.I. 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1, 37, 37:1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 198, 199, 213, 214 and the like.

<赤外線パスフィルター>
固体撮像素子用フィルター10Fは、赤外線用光電変換素子11Pに対して光の入射側に赤外線パスフィルター12Pを備える。赤外線パスフィルター12Pは、赤外線用光電変換素子11Pが検出し得る可視光をカットする。それによって、赤外線用光電変換素子11Pによる赤外線の検出精度が高められる。赤外線用光電変換素子11Pが検出し得る赤外線は、900nm以上1000nm以下の波長を有した近赤外線である。
<Infrared pass filter>
The solid-state image sensor filter 10F includes an infrared pass filter 12P on the light incident side with respect to the infrared photoelectric conversion element 11P. The infrared pass filter 12P cuts visible light that can be detected by the infrared photoelectric conversion element 11P. Thereby, the detection accuracy of infrared rays by the infrared photoelectric conversion element 11P is improved. The infrared rays that can be detected by the infrared photoelectric conversion element 11P are near infrared rays having a wavelength of 900 nm or more and 1000 nm or less.

赤外線パスフィルター12Pは、可視領域の光を遮断し、近赤外領域の光を透過する光学フィルターであり、着色性組成物と重合性化合物、バインダー樹脂、光重合開始剤とを含む。 The infrared pass filter 12P is an optical filter that blocks light in the visible region and transmits light in the near-infrared region, and includes a coloring composition, a polymerizable compound, a binder resin, and a photopolymerization initiator.

なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施できる。
<赤外線カットフィルター>
固体撮像素子は、赤外線カットフィルター13を別途備えることが可能でもある。赤外線カットフィルター13は、各光電変換素子11がノイズとして検出し得る波長帯の赤外線を、光電変換素子11に対しカットする。それによって、光電変換素子11の検出精度を高める。
Note that the above embodiment can be modified and implemented as follows.
<Infrared cut filter>
The solid-state image sensor can also be provided with an infrared cut filter 13 separately. The infrared cut filter 13 cuts, from the photoelectric conversion elements 11, infrared rays in a wavelength band that can be detected as noise by each photoelectric conversion element 11. This improves the detection accuracy of the photoelectric conversion element 11.

赤外線カットフィルター13は、例えば図1が示すように、赤外線パスフィルター12Pに対する光の入射側に貫通孔13Hを備え、赤外線パスフィルター12Pに対する光の入射側には位置しない構成としてもよい。赤外線カットフィルター13は、赤色用フィルター12R、緑色用フィルター12G、および、青色用フィルター12Bに共通する層である。 For example, as shown in FIG. 1, the infrared cut filter 13 may be configured to include a through hole 13H on the light incident side of the infrared pass filter 12P and not be located on the light incident side of the infrared pass filter 12P. The infrared cut filter 13 is a layer common to the red filter 12R, the green filter 12G, and the blue filter 12B.

また、赤外線カットフィルター13を赤外線パスフィルター12Pに対し光の入射側に位置するように備えてもよい。すなわち、赤外線カットフィルター13は貫通孔13Hを備えていなくてもよい。この場合、赤外線カットフィルター13は例えば、700nm以上900nm未満の波長を有した近赤外線を遮断する構成とする。この構成とすることで、赤外用光電変換素子11Pにおいても900nm以上1000nm以下の波長を有した近赤外線を効率的に検出することができる。 Further, the infrared cut filter 13 may be provided so as to be located on the light incident side with respect to the infrared pass filter 12P. That is, the infrared cut filter 13 does not need to be provided with the through hole 13H. In this case, the infrared cut filter 13 is configured to block near infrared rays having a wavelength of 700 nm or more and less than 900 nm, for example. With this configuration, the infrared photoelectric conversion element 11P can also efficiently detect near-infrared rays having a wavelength of 900 nm or more and 1000 nm or less.

赤外線カットフィルター13の構成材料は、赤外吸収色素を含む透明樹脂である。赤外吸収色素は、例えば、アントラキノン系色素、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、ジチオール系色素、ジイモニウム系色素、スクアリリウム系色素、クロコニウム系色素である。透明樹脂は、例えば、アクリル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ノルボルネン系樹脂である。赤外線カットフィルター13は、塗布法などの液相成膜法を用いた成膜によって形成される。 The constituent material of the infrared cut filter 13 is a transparent resin containing an infrared absorbing dye. Examples of infrared absorbing dyes include anthraquinone dyes, cyanine dyes, phthalocyanine dyes, dithiol dyes, diimonium dyes, squarylium dyes, and croconium dyes. Examples of the transparent resin include acrylic resin, polyamide resin, polyimide resin, polyurethane resin, polyester resin, polyether resin, polyolefin resin, polycarbonate resin, polystyrene resin, and norbornene resin. The infrared cut filter 13 is formed by film formation using a liquid phase film formation method such as a coating method.

赤外線パスフィルター12Pは、各色用フィルター12R,12G,12Bよりも厚くてもよい。この構成であれば、赤外線パスフィルター12Pにおいて可視光の非透過性を向上可能である。 The infrared pass filter 12P may be thicker than the color filters 12R, 12G, and 12B. With this configuration, it is possible to improve the non-transmission of visible light in the infrared pass filter 12P.

なお、マイクロレンズ15R,15G,15B,15Pは、それが形成される下地での段差によって、その加工の精度を低下させ得る。赤外線カットフィルター13を備える構成においては、各マイクロレンズ15R,15G,15B,15Pの下地での平坦性が高められる観点から、各色用フィルター12R,12G,12Bの厚みと、赤外線カットフィルター13の厚みとの合計が、赤外線パスフィルター12Pの厚みとほぼ等しいことが好ましい。 Note that the accuracy of the processing of the microlenses 15R, 15G, 15B, and 15P may be reduced due to differences in level in the base on which they are formed. In the configuration including the infrared cut filter 13, from the viewpoint of improving the flatness of the base of each microlens 15R, 15G, 15B, 15P, the thickness of each color filter 12R, 12G, 12B and the thickness of the infrared cut filter 13 are It is preferable that the total thickness of the infrared pass filter 12P is approximately equal to the thickness of the infrared pass filter 12P.

以下に本発明の実施例を示すが、本発明の技術的範囲はこれらの実施例に限られるものではない。 Examples of the present invention are shown below, but the technical scope of the present invention is not limited to these examples.

<ジケトピロロピロール化合物1の合成>
100質量部のtert-アミルアルコールと、71.5質量部のナトリウムtert-ペントキシドを準備し、これらを攪拌装置と還流管とが設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、100℃に加熱しながら1時間にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液に30質量部の2-チオフェンカルボニトリルと、30質量部のコハク酸ジエチルを25質量部のtert-アミルアルコールで溶解させた溶解液を加えたのち
、100℃に加熱しながら10時間にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液を室温まで冷却したのち50質量部のメタノールを加え固体を析出させた。70℃に加熱した攪拌溶液をろ過することにより前駆体1を得た。
<Synthesis of diketopyrrolopyrrole compound 1>
Prepare 100 parts by mass of tert-amyl alcohol and 71.5 parts by mass of sodium tert-pentoxide, put them into a reaction vessel equipped with a stirring device and a reflux tube, and introduce nitrogen gas into the reaction vessel. , stirred and refluxed for 1 hour while heating to 100°C. A solution prepared by dissolving 30 parts by mass of 2-thiophenecarbonitrile and 30 parts by mass of diethyl succinate in 25 parts by mass of tert-amyl alcohol was added to the stirred solution, and then heated to 100°C for 10 hours. Stir and reflux. After the stirred solution was cooled to room temperature, 50 parts by mass of methanol was added to precipitate a solid. Precursor 1 was obtained by filtering the stirred solution heated to 70°C.

3質量部の前駆体1と1.8質量部の炭酸カリウムと、100質量部のN,N-ジメチルホルムアミドを準備しこれらを攪拌装置と還流管とが設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、120℃に加熱しながら1時間にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液に6質量部の1-ブロモデカンを加えつつ、さらに20時間にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液を濃縮したのちヘキサンで濃縮物を洗浄することにより前駆体2を得た。
Prepare 3 parts by mass of Precursor 1, 1.8 parts by mass of potassium carbonate, and 100 parts by mass of N,N-dimethylformamide, put them into a reaction vessel equipped with a stirring device and a reflux tube, and place them into a reaction vessel equipped with a stirring device and a reflux tube. The mixture was stirred and refluxed for 1 hour while heating to 120° C. while introducing nitrogen gas into the mixture. While adding 6 parts by mass of 1-bromodecane to the stirred solution, the mixture was further stirred and refluxed for 20 hours. Precursor 2 was obtained by concentrating the stirred solution and washing the concentrate with hexane.

2質量部の前駆体2と、100質量部のクロロホルムと、1.3質量部のN-ブロモスクシンイミドとを準備し、これらを攪拌装置が設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、1時間攪拌した。攪拌溶液に50質量部のメタノールを加え発生した沈殿をろ過し前駆体3を得た。
Prepare 2 parts by mass of Precursor 2, 100 parts by mass of chloroform, and 1.3 parts by mass of N-bromosuccinimide, put these into a reaction vessel equipped with a stirring device, and introduce nitrogen gas into the reaction vessel. The mixture was stirred for 1 hour while being introduced. Precursor 3 was obtained by adding 50 parts by mass of methanol to the stirred solution and filtering the generated precipitate.

5.5質量部の前駆体3と、0.2質量部のテトラキストリフェニルホスフィンパラジウム(0)と、25質量部の炭酸ナトリウムと、100質量部のテトラヒドロフランと50質量部の蒸留水を準備し、これらを攪拌装置と還流管とが設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、50℃に加熱しながら30分にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液に3質量部の5-ホルミル-2-チオフェンボロン酸を50質量部のテトラヒドロフランで溶解させた溶解液を加えたのち、70℃に加熱しながら10時間にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液の水層を抽出後、濃縮したのちシリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行い前駆体4を得た。
Prepare 5.5 parts by mass of precursor 3, 0.2 parts by mass of tetrakistriphenylphosphine palladium (0), 25 parts by mass of sodium carbonate, 100 parts by mass of tetrahydrofuran, and 50 parts by mass of distilled water. These were placed in a reaction vessel equipped with a stirring device and a reflux tube, and while nitrogen gas was introduced into the reaction vessel, the mixture was stirred and refluxed for 30 minutes while heating to 50°C. A solution prepared by dissolving 3 parts by mass of 5-formyl-2-thiopheneboronic acid in 50 parts by mass of tetrahydrofuran was added to the stirred solution, and the mixture was stirred and refluxed for 10 hours while heating to 70°C. After extracting and concentrating the aqueous layer of the stirred solution, it was purified by silica gel column chromatography to obtain Precursor 4.

2.5質量部の前駆体4と、4質量部のN-ドデシルシアノアセトアミドと、100質量部のテトラヒドロフランと2.5質量部のピペリジンを準備し、これらを攪拌装置と還流管とが設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、70℃に加熱しながら24時間にわたって攪拌および還流した。攪拌溶液を濃縮したのちシリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製を行いジケトピロロピロール化合物1を得た。
2.5 parts by mass of precursor 4, 4 parts by mass of N-dodecylcyanoacetamide, 100 parts by mass of tetrahydrofuran, and 2.5 parts by mass of piperidine were prepared, and a stirring device and a reflux pipe were installed. The mixture was stirred and refluxed for 24 hours while heating to 70°C while introducing nitrogen gas into the reaction vessel. After concentrating the stirred solution, it was purified by silica gel column chromatography to obtain diketopyrrolopyrrole compound 1.

<バインダー樹脂1の合成>
60重量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと、40重量部のメタクリル酸フェニルと、0.60重量部のベンゾイルペルオキシドを準備し、これらを攪拌装置と還流管とが設置された反応容器に入れ、反応容器に窒素ガスを導入しつつ、80℃に加熱しながら8時間にわたって攪拌および還流した。これにより、バインダー樹脂1を得た。
<Synthesis of binder resin 1>
Prepare 60 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, 40 parts by weight of phenyl methacrylate, and 0.60 parts by weight of benzoyl peroxide, and put these into a reaction vessel equipped with a stirring device and a reflux tube to react. While introducing nitrogen gas into the container, the mixture was stirred and refluxed for 8 hours while heating to 80°C. As a result, binder resin 1 was obtained.

<着色性組成物の調液>
調液例1
色材として4.5質量部のジケトピロロピロール化合物1と、重合性化合物として4.3質量部のM-350(東亜合成社製)と、バインダー樹脂として5.4質量部のバインダー樹脂1と、光重合開始剤として0.9質量部のOXE02(BASF社製)と、溶媒として60質量部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと、25質量部のテトラヒドロフランを準備し、これらを2時間にわたって攪拌し評価液1を得た。
<Preparation of coloring composition>
Liquid preparation example 1
4.5 parts by mass of diketopyrrolopyrrole compound 1 as a coloring material, 4.3 parts by mass of M-350 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as a polymerizable compound, and 5.4 parts by mass of binder resin 1 as a binder resin. 0.9 parts by mass of OXE02 (manufactured by BASF) as a photopolymerization initiator, 60 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent, and 25 parts by mass of tetrahydrofuran were prepared, and these were stirred for 2 hours. Evaluation liquid 1 was obtained.

調製例2~7
調製例1において、各成分の量を表1に示すように変更した以外は、調製例1と同様にして、評価液2~7を得た。
Preparation examples 2 to 7
Evaluation liquids 2 to 7 were obtained in the same manner as in Preparation Example 1, except that the amounts of each component were changed as shown in Table 1.

調製例8
調製例1において、色材として前駆体2に変更した以外は、調製例1と同様にして、評価液8を得た。
Preparation example 8
Evaluation liquid 8 was obtained in the same manner as in Preparation Example 1, except that Precursor 2 was used as the coloring material.

調製例9
調製例1において、色材として前駆体4を精製する際の不純物として得られる、ジケトピロロピロール化合物2に変更した以外は、調製例1と同様にして、評価液9を得た。
Preparation example 9
Evaluation liquid 9 was obtained in the same manner as in Preparation Example 1, except that diketopyrrolopyrrole compound 2, which is obtained as an impurity when purifying Precursor 4 as a coloring material, was used in Preparation Example 1.

Figure 0007451951000011
Figure 0007451951000011

<経時安定性評価>
評価液の調液直後の粘度である初期粘度を、評価液の温度を25℃に保ちつつTVE-22LT型粘度計(東機産業社製)を用いて測定した。次いで評価液を25℃で168時間保持した後、評価液の温度を25℃に保ちつつ経時粘度を測定し、下記式を用いて経時粘度変化率を算出し経時安定性を評価した。
粘度変化率(%)=(|初期粘度-25℃で168時間保持後の経時粘度|
/初期粘度)×100
<Temporal stability evaluation>
The initial viscosity of the evaluation liquid immediately after preparation was measured using a TVE-22LT model viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) while maintaining the temperature of the evaluation liquid at 25°C. Next, the evaluation liquid was held at 25°C for 168 hours, and then the viscosity over time was measured while keeping the temperature of the evaluation liquid at 25°C, and the rate of change in viscosity over time was calculated using the following formula to evaluate the stability over time.
Viscosity change rate (%) = (|Initial viscosity -Viscosity over time after 168 hours of holding at -25°C|
/ initial viscosity) x 100

粘度変化率は10%以下が安定性の目安となるが、評価液1~9において粘度変化率は5%以内と高い経時安定性を示した。 A viscosity change rate of 10% or less is a standard for stability, and evaluation liquids 1 to 9 showed high stability over time with a viscosity change rate of 5% or less.

<実施例1>
評価液1をガラス基板上にスピンコーターにて、ベーク後の膜厚が1.2μmになるように塗布し、100℃のホットプレートで2分間ベーク処理を行い、実施例1のフィルターを得た。
<Example 1>
Evaluation liquid 1 was applied onto a glass substrate using a spin coater so that the film thickness after baking was 1.2 μm, and baking treatment was performed on a hot plate at 100° C. for 2 minutes to obtain the filter of Example 1. .

<実施例2~4>
評価液2~4を用いて調製例1と同様にして、実施例2~4のフィルターを得た。
<Examples 2 to 4>
Filters of Examples 2 to 4 were obtained in the same manner as in Preparation Example 1 using Evaluation Solutions 2 to 4.

<比較例1~5>
評価液5~9を用いて実施例1と同様にして、比較例1~5のフィルターを得た。
<Comparative Examples 1 to 5>
Filters of Comparative Examples 1 to 5 were obtained in the same manner as in Example 1 using Evaluation Solutions 5 to 9.

<分光特性評価>
得られたそれぞれのフィルターについて、分光光度計U-4100(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて波長400~1100nmの光の透過率を測定した。表2には波長400~800nmの光の平均透過率と、900~1000nmの光の平均透過率を示した。

Figure 0007451951000012
<Spectral characteristic evaluation>
For each of the obtained filters, the transmittance of light with a wavelength of 400 to 1100 nm was measured using a spectrophotometer U-4100 (manufactured by Hitachi High-Technologies). Table 2 shows the average transmittance of light with a wavelength of 400 to 800 nm and the average transmittance of light with a wavelength of 900 to 1000 nm.
Figure 0007451951000012

本発明で実施した着色性組成物を用いたフィルターは可視領域および近赤外領域の一部である波長400~800nmの光の平均透過率が30%以下であり、かつ近赤外領域900~1000nmの光の平均透過率が90%以上となり赤外線パスフィルターとして良好な特性を示した。 The filter using the coloring composition implemented in the present invention has an average transmittance of 30% or less for light in the wavelength range of 400 to 800 nm, which is a part of the visible region and the near-infrared region, and has a transmittance of 900 to 800 nm in the near-infrared region. The average transmittance of light at 1000 nm was 90% or more, showing good characteristics as an infrared pass filter.

本発明は、固体撮像装置等に利用できる。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention can be utilized for a solid-state imaging device etc.

10…固体撮像素子
10F…固体撮像素子用フィルター
11…光電変換素子
11R…赤色用光電変換素子
11G…緑色用光電変換素子
11B…青色用光電変換素子
11P…赤外線用光電変換素子
12R…赤色用フィルター
12G…緑色用フィルター
12B…青色用フィルター
12P…赤外線パスフィルター
13…赤外線カットフィルター
13H…貫通孔
14…バリア層
15R…赤色用マイクロレンズ
15G…緑色用マイクロレンズ
15B…青色用マイクロレンズ
15P…赤外線用マイクロレンズ
15S…入射面
10...Solid-state imaging device 10F...Filter for solid-state imaging device 11...Photoelectric conversion element 11R...Photoelectric conversion element for red 11G...Photoelectric conversion element for green 11B...Photoelectric conversion element for blue 11P...Photoelectric conversion element for infrared 12R...Filter for red 12G...Green filter 12B...Blue filter 12P...Infrared pass filter 13...Infrared cut filter 13H...Through hole 14...Barrier layer 15R...Red microlens 15G...Green microlens 15B...Blue microlens 15P...Infrared rays Microlens 15S...Incidence surface

Claims (8)

下記式(1)によって表されるジケトピロロピロール化合物を色材として含有する着色性組成物

ただし、式(1)において、R1、R2及びR7、R8は水素原子または、炭素数1以上の直鎖状アルキル基、または、炭素数3以上の分岐鎖状アルキル基である。また、R3、R4及びR5、R6は、フランまたは、ピロールであって、下記式(2)によって表されるように3位、4位は無置換であって、2位、5位に結合している。
A coloring composition containing a diketopyrrolopyrrole compound represented by the following formula (1) as a coloring material

However, in formula (1), R1, R2, R7, and R8 are a hydrogen atom, a linear alkyl group having 1 or more carbon atoms, or a branched alkyl group having 3 or more carbon atoms. In addition, R3, R4, R5, and R6 are furan or pyrrole, and as represented by the following formula (2), the 3rd and 4th positions are unsubstituted and are bonded to the 2nd and 5th positions. are doing.
重合性化合物、バインダー樹脂及び光重開始剤を含む、請求項1に記載の着色性組成物。 The coloring composition according to claim 1, comprising a polymerizable compound, a binder resin, and a photoinitiator. 請求項1または2に記載の着色性組成物を含む、赤外線パスフィルター。 An infrared pass filter comprising the coloring composition according to claim 1 or 2. 膜中の色材濃度が30~60%であり、1.2μmに成膜した際に可視領域および近赤外領域の一部である波長400~800nmの光の平均透過率が30%以下であり、近赤外領域900~1000nmの光の平均透過率が90%以上である、請求項3に記載の赤外線パスフィルター。 The coloring material concentration in the film is 30 to 60%, and when the film is formed to a thickness of 1.2 μm, the average transmittance of light in the wavelength range of 400 to 800 nm, which is part of the visible region and near-infrared region, is 30% or less. 4. The infrared pass filter according to claim 3, wherein the infrared pass filter has an average transmittance of 90% or more for light in the near-infrared region of 900 to 1000 nm. 第1光電変換素子に対し光の入射側に位置する赤色用フィルター、緑色用フィルター、青色用フィルターの三色のカラーフィルターと、
第2光電変換素子に対し光の入射側に位置する請求項3または4に記載の赤外線パスフィルターとを備える、固体撮像素子用フィルター。
Three color filters, a red filter, a green filter, and a blue filter, located on the light incident side with respect to the first photoelectric conversion element;
A filter for a solid-state imaging device, comprising the infrared pass filter according to claim 3 or 4, which is located on the light incident side with respect to the second photoelectric conversion element.
前記第1光電変換素子に対し光の入射側に位置する赤外線カットフィルターをさらに備える、請求項5に記載の固体撮像素子用フィルター。 The filter for a solid-state image sensor according to claim 5, further comprising an infrared cut filter located on a light incident side with respect to the first photoelectric conversion element. 前記赤外線カットフィルターの前記赤外線パスフィルターに対応する位置に貫通孔を備える、請求項6に記載の固体撮像素子用フィルター。 The filter for a solid-state imaging device according to claim 6, wherein the infrared cut filter has a through hole at a position corresponding to the infrared pass filter. 光電変換素子と、
請求項3または4に記載の赤外線パスフィルターと、請求項5から7のいずれか一項に記載の固体撮像素子用フィルターとのいずれかを備える、固体撮像素子。
A photoelectric conversion element,
A solid-state image sensor comprising either the infrared pass filter according to claim 3 or 4 and the solid-state image sensor filter according to any one of claims 5 to 7.
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