JP7420159B2 - センサの安全機構 - Google Patents
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Description
特許文献1および特許文献2は、センサの正常動作を妨げることなく微小電気機械センサの連続自己試験に使用することができる自己試験信号をどのように生成することができるかについての例を提供している。
Claims (17)
- センサ素子を備えるセンサデバイスの動作中に前記センサデバイスの障害を検出する方法であって、
a)第1の周波数帯域において試験信号を生成するステップと、
b)前記試験信号を前記センサデバイスの前記センサ素子に供給するステップと、
c)サンプルを取得するステップと、
d)前記サンプルから大きさ値を計算するステップと、
e)前記大きさ値を、前記大きさ値の最小値を定義する大きさ閾値と比較するステップと、
f)前記大きさ値が前記大きさ閾値を下回る場合、前記センサデバイスにエラーが発生したと判定するステップと
を含み、
前記試験信号は、入力トランスデューサを介して前記センサ素子に供給され、
前記第1の周波数帯域は、前記センサデバイスの信号周波数帯域を上回り、前記試験信号の大きさは、前記第1の周波数帯域における前記センサ素子の任意の固有ノイズの大きさの少なくとも5倍であり、
前記サンプルは、サンプリング周期中に前記センサ素子の出力において提供される出力信号の少なくとも2つの連続するサンプルを含むサンプルセットを含み、
ピーク間値、二乗平均平方根値、および標準偏差値のいずれか1つである前記大きさ値は、前記第1の周波数帯域における前記少なくとも2つの連続するサンプルから導出されることを特徴とする、方法。 - 連続するサンプリング周期中に得られる複数のサンプルセットについてステップc)~f)を連続的に繰り返すステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- g)障害カウント閾値を決定し、障害カウンタを初期化するステップと、
h)各サンプルセットについて、ステップc)~f)を繰り返すステップと、
i)前記ステップf)においてエラーの発生が判定された場合、前記障害カウンタの値をインクリメントするステップと、
j)前記ステップf)でエラーが判定されなかった場合、前記障害カウンタを初期値に戻すステップと、
k)前記障害カウンタの現在の値がエラーカウント閾値と等しい場合、前記センサデバイスに障害があると判定するステップと
をさらに含む、請求項2に記載の方法。 - 前記試験信号は、少なくとも2つの離散試験トーンを含み、前記試験トーンの各々は、前記第1の周波数帯域内に存在する、請求項1~3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試験信号は反復エンベロープを有し、前記サンプリング周期の長さは前記エンベロープの周期以上である、請求項4に記載の方法。
- 前記試験信号はノイズ信号または擬似ランダムノイズ信号であり、前記試験信号の前記周波数帯域は第1の周波数帯域に制限される、請求項1~3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記センサデバイスはMEMSセンサデバイスであり、前記センサ素子は1つまたは複数の機械的要素を含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記センサデバイスは、加速度計もしくはジャイロスコープなどの慣性センサデバイスであるか、または前記センサデバイスは圧力センサであるか、または前記センサデバイスはホール効果センサである、請求項1~7のいずれか一項に記載の方法。
- センサ素子を備えるセンサデバイスの動作中に前記センサデバイスの障害を検出する装置であって、
- 第1の周波数帯域において試験信号を生成するように構成されている試験信号生成手段と、
- サンプリング周期中にサンプルを取得するように構成されているサンプリング手段と、
- 前記サンプルから大きさ値を計算するように構成されている計算手段と、
- 前記大きさ値を、前記大きさ値の最小値を定義する大きさ閾値と比較し、前記大きさ値が前記大きさ閾値を下回る場合、前記センサデバイスにエラーが発生したと判定するように構成されている比較手段と
を備え、
前記装置は、
前記試験信号を前記センサ素子に供給するように構成されている入力トランスデューサ手段を備え、
前記第1の周波数帯域は、前記センサデバイスの信号周波数帯域を上回り、前記試験信号の大きさは、前記第1の周波数帯域における前記センサ素子の任意の固有ノイズの大きさの少なくとも5倍であり、
前記サンプルは、サンプリング周期中に前記センサ素子の出力において提供される出力信号の少なくとも2つの連続するサンプルを含むサンプルセットを含み、
ピーク間値、二乗平均平方根値、および標準偏差値のいずれか1つである前記大きさ値は、前記第1の周波数帯域における前記少なくとも2つの連続するサンプルから導出されることを特徴とする、装置。 - 前記装置は、連続するサンプリング周期中に、前記サンプルセットを取得すること、前記大きさ値を計算すること、および、前記大きさ値を前記大きさ閾値と比較することを連続的に繰り返すように構成されている、請求項9に記載の装置。
- - 障害カウンタと、
- 前記障害カウンタを初期化するように構成されている初期化手段と
を備え、前記サンプリング手段、前記計算手段、および前記比較手段は、各サンプルセットを処理し、前記処理に基づいて、
- エラーの発生が前記比較手段によって判定された場合には、前記障害カウンタの値をインクリメントし、
- エラーが前記比較手段によって判定されなかった場合には、前記障害カウンタを初期値に戻し、
- 前記障害カウンタの現在の値がエラーカウント閾値と等しい場合には、前記センサデバイスに障害があると判定するように構成されている、請求項10に記載の装置。 - 前記試験信号は、少なくとも2つの離散試験トーンを含み、前記試験トーンの各々は、前記第1の周波数帯域内に存在する、請求項9~11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記試験信号は反復エンベロープを有し、前記サンプリング周期の長さは前記エンベロープの周期以上である、請求項12に記載の装置。
- 前記試験信号はノイズ信号または擬似ランダムノイズ信号であり、前記試験信号の周波数帯域は第1の周波数帯域に制限される、請求項9~11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記センサデバイスはMEMSセンサデバイスであり、前記センサ素子は1つまたは複数の機械的要素を含む、請求項9~14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記センサデバイスは、加速度計もしくはジャイロスコープなどの慣性センサデバイスであるか、または前記センサデバイスは圧力センサであるか、または前記センサデバイスはホール効果センサである、請求項9~15のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1~8のいずれか一項に記載の方法ステップを実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェア、または前記の組み合わせを含む、請求項9~16のいずれか一項に記載の装置。
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