JP7386741B2 - Filters, duplexers and communication equipment - Google Patents

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本開示は、信号をフィルタリングするフィルタ、当該フィルタを含む分波器、及び前記フィルタを含む通信装置に関する。 The present disclosure relates to a filter that filters a signal, a duplexer including the filter, and a communication device including the filter.

信号をフィルタリングするフィルタとして、ラダー型フィルタが知られている(例えば特許文献1及び2)。ラダー型フィルタは、例えば、入力端子から出力端子への信号経路に位置している1以上の直列共振子と、前記の信号経路と基準電位との間に位置している1以上の並列共振子とを備えている。共振子は、例えば、弾性波を利用する弾性波共振子によって構成される。弾性波としては、例えば、SAW(Surface Acoustic Wave)及びBAW(Bulk Acoustic Wave)が挙げられる。 Ladder type filters are known as filters for filtering signals (for example, Patent Documents 1 and 2). A ladder filter includes, for example, one or more series resonators located in a signal path from an input terminal to an output terminal, and one or more parallel resonators located between the signal path and a reference potential. It is equipped with The resonator is, for example, an elastic wave resonator that uses elastic waves. Examples of elastic waves include SAW (Surface Acoustic Wave) and BAW (Bulk Acoustic Wave).

特開2007-74698号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-74698 国際公開第2016/031391号International Publication No. 2016/031391

相互変調歪(IMD:InterModulation Distortion)を低減できるフィルタ、分波器及び通信機器が待たれる。 There is a need for filters, duplexers, and communication equipment that can reduce intermodulation distortion (IMD).

本開示の一態様に係るフィルタは、信号が入力される入力端子と、信号を出力する出力端子と、前記入力端子から前記出力端子への信号経路に位置している第1フィルタ部と、前記入力端子から前記出力端子への信号経路に位置しているとともに、前記第1フィルタ部と並列接続されている第2フィルタ部と、を有しており、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれは、ラダー型に接続された、2以上の直列共振子と、1以上の並列共振子とを備えるラダー型フィルタであり、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、前記1以上の並列共振子は、前記2以上の直列共振子のうちの1つから他の1つへの信号経路に接続されている並列共振子を含んでおり、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、最も前記出力端子側に位置する直列共振子を最後段の直列共振子と呼称し、第1フィルタ部の通過帯域と第2フィルタ部の通過帯域とを足し合わせた通過帯域を第1通過帯域と呼称するとき、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部は、前記第1通過帯域内の第1周波数を有する信号が前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部に同時に入力されたとき、前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる信号の電力が、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力よりも大きくなり、かつ前記第1通過帯域内かつ前記第1周波数よりも高い第2周波数を有する信号が前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部に同時に入力されたとき、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力が、前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力よりも大きくなる、ように構成されている。 A filter according to an aspect of the present disclosure includes an input terminal into which a signal is input, an output terminal which outputs a signal, a first filter section located on a signal path from the input terminal to the output terminal, and a second filter section located in a signal path from the input terminal to the output terminal and connected in parallel to the first filter section, the first filter section and the second filter section being connected in parallel to the first filter section; Each section is a ladder type filter including two or more series resonators and one or more parallel resonators connected in a ladder type, and in each of the first filter section and the second filter section, the first The above parallel resonator includes a parallel resonator connected to a signal path from one of the two or more series resonators to another one, and includes the first filter section and the second filter section. In each filter section, the series resonator located closest to the output terminal side is called the last series resonator, and the passband is the sum of the passband of the first filter section and the passband of the second filter section. When referred to as a first pass band, the first filter section and the second filter section are such that a signal having a first frequency within the first pass band is simultaneously input to the first filter section and the second filter section. when the power of the signal applied to the last stage series resonator of the first filter section is greater than the power applied to the last stage series resonator of the second filter section, and within the first pass band. And when a signal having a second frequency higher than the first frequency is simultaneously input to the first filter section and the second filter section, the power applied to the last stage series resonator of the second filter section is: The power applied to the last stage series resonator of the first filter section is larger than the power applied to the last stage series resonator.

本開示の一態様に係る分波器は、上記フィルタと、前記出力端子に接続されている他のフィルタと、を有している。 A duplexer according to an aspect of the present disclosure includes the filter described above and another filter connected to the output terminal.

本開示の一態様に係る通信装置は、上記フィルタと、前記出力端子に接続されているアンテナと、前記入力端子に接続されている集積回路素子と、を有している通信装置。 A communication device according to one aspect of the present disclosure includes the filter, an antenna connected to the output terminal, and an integrated circuit element connected to the input terminal.

上記の構成によれば、相互変調歪を低減できる。 According to the above configuration, intermodulation distortion can be reduced.

実施形態に係るフィルタの構成を模式的に示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram schematically showing the configuration of a filter according to an embodiment. ラダー型フィルタの原理を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of a ladder filter. 図1のフィルタの特性を示す図である。2 is a diagram showing characteristics of the filter of FIG. 1. FIG. 図4(a)及び図4(b)は図1のフィルタのうちの後段フィルタ部のフィルタ特性の一例及び他の例を示す図である。FIGS. 4(a) and 4(b) are diagrams showing one example and other examples of filter characteristics of a rear-stage filter section of the filter of FIG. 1. FIG. SAW共振子の構成を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of a SAW resonator. フィルタ特性の調整態様の一例を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram illustrating an example of how filter characteristics are adjusted. フィルタ特性の調整態様の他の例を示す回路図である。FIG. 7 is a circuit diagram showing another example of how filter characteristics are adjusted. フィルタ特性の調整態様のさらに他の例を示す回路図である。FIG. 7 is a circuit diagram showing still another example of how filter characteristics are adjusted. 図1のフィルタデバイスの利用例としての分波器の要部を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing main parts of a duplexer as an example of using the filter device of FIG. 1. FIG. 図1のフィルタデバイスの利用例としての通信装置の要部を示すブロック図である。2 is a block diagram showing main parts of a communication device as an example of using the filter device of FIG. 1. FIG.

(フィルタの全体構成)
図1は、実施形態に係るフィルタ1の電気的構成の概要を模式的に示す回路図である。なお、図1のような回路図を参照して説明する位置関係は、基本的に、電気的な接続の観点における位置関係を指し、空間的な位置関係とは必ずしも一致しない。
(Overall configuration of filter)
FIG. 1 is a circuit diagram schematically showing the electrical configuration of a filter 1 according to an embodiment. Note that the positional relationship explained with reference to a circuit diagram like FIG. 1 basically refers to the positional relationship from the viewpoint of electrical connection, and does not necessarily correspond to the spatial positional relationship.

フィルタ1は、入力端子3、出力端子5及び基準電位部7を有している。そして、フィルタ1は、入力端子3に入力された信号をフィルタリングして出力端子5から出力するバンドパスフィルタとして構成されている。すなわち、フィルタ1は、入力端子3に入力された信号から通過帯域外の信号を除去して(通過帯域外の信号を減衰させて)出力端子5に出力する。通過帯域外の信号は、基準電位部7に逃がされる。 The filter 1 has an input terminal 3, an output terminal 5, and a reference potential section 7. The filter 1 is configured as a bandpass filter that filters a signal input to an input terminal 3 and outputs the filtered signal from an output terminal 5. That is, the filter 1 removes the signal outside the passband from the signal input to the input terminal 3 (attenuates the signal outside the passband), and outputs the signal to the output terminal 5. Signals outside the passband are allowed to escape to the reference potential section 7.

なお、図1では、図示の都合上、複数の位置に基準電位部7が示されている。この複数の基準電位部7の一部又は全部は、実際のフィルタ1において、互いに別個の部位であってもよいし、互いに同一の部位であってもよい。また、前者の場合において、互いに別個の部位からなる複数の基準電位部7は、互いに電気的に接続されていてもよいし、接続されていなくてもよい。基準電位部7は、例えば、基準電位が付与される端子である。 Note that in FIG. 1, the reference potential portions 7 are shown at a plurality of positions for convenience of illustration. A part or all of the plurality of reference potential sections 7 may be separate parts or may be the same part in the actual filter 1. Furthermore, in the former case, the plurality of reference potential sections 7 formed from mutually separate parts may or may not be electrically connected to each other. The reference potential section 7 is, for example, a terminal to which a reference potential is applied.

フィルタ1は、入力端子3から出力端子5への信号経路に位置している2以上(図示の例では3つ)のフィルタ部11を有している。2以上のフィルタ部11は、例えば、前段フィルタ部11Aと、2以上(図示の例では2つ)の後段フィルタ部11Bとを有している。2以上の後段フィルタ部11Bは、例えば、第1後段フィルタ部11Baと、第2後段フィルタ部11Bbとを有している。 The filter 1 includes two or more (three in the illustrated example) filter sections 11 located in a signal path from the input terminal 3 to the output terminal 5. The two or more filter sections 11 include, for example, a front-stage filter section 11A and two or more (two in the illustrated example) rear-stage filter sections 11B. The two or more post-filter sections 11B include, for example, a first post-filter section 11Ba and a second post-filter section 11Bb.

この例では、前段フィルタ部11Aと後段フィルタ部11Bとは直列接続されており、2以上の後段フィルタ部11B(11Ba及び11Bb)は、互いに並列に接続されている。前段フィルタ部11Aは、2以上の後段フィルタ部11Bに対して直列に接続されている。また、前段フィルタ部11Aは、2以上の後段フィルタ部11Bに対して入力端子3側に位置している。2以上の後段フィルタ部11Bは、フィルタ1のうち出力端子5側の一部を並列に分割したものと捉えられてもよい。 In this example, the front filter section 11A and the rear filter section 11B are connected in series, and two or more rear filter sections 11B (11Ba and 11Bb) are connected in parallel with each other. The front filter section 11A is connected in series to two or more rear filter sections 11B. Further, the front-stage filter section 11A is located on the input terminal 3 side with respect to the two or more rear-stage filter sections 11B. The two or more post-stage filter sections 11B may be considered to be a part of the filter 1 on the output terminal 5 side divided in parallel.

特に図示しないが、入力端子3と前段フィルタ部11Aとの間にこれらに直列に接続される不図示の電気的要素が設けられたり、入力端子3から前段フィルタ部11Aまでの信号経路と基準電位部7とを接続する不図示の電気的要素が設けられたりしてもよい。前段フィルタ部11Aと2以上の後段フィルタ部11B(全ての後段フィルタ部11B又はいずれかの後段フィルタ部11B)との間、及び2以上の後段フィルタ部11B(全ての後段フィルタ部11B又はいずれかの後段フィルタ部11B)と出力端子5との間も同様である。電気的要素としては、例えば、抵抗体、キャパシタ、インダクタ及びフィルタが挙げられる。これらは、いずれかのフィルタ部11の一部と捉えられても構わない。 Although not particularly shown, there may be provided an electrical element (not shown) connected in series between the input terminal 3 and the pre-filter section 11A, and a signal path from the input terminal 3 to the pre-filter section 11A and a reference potential. An electrical element (not shown) may be provided to connect with the section 7. between the front-stage filter section 11A and two or more rear-stage filter sections 11B (all the rear-stage filter sections 11B or any one of the rear-stage filter sections 11B), and between the two or more rear-stage filter sections 11B (all the rear-stage filter sections 11B or one of the rear-stage filter sections 11B). The same applies between the rear filter section 11B) and the output terminal 5. Examples of electrical elements include resistors, capacitors, inductors, and filters. These may be considered as part of any filter section 11.

ただし、この例では、2以上の後段フィルタ部11Bのいずれについても、後段フィルタ部11Bと出力端子5との間には、これらに直列に接続され、かつ相対的に大きな相互変調歪を生じる要素は接続されていない。例えば、後段フィルタ部11Bと出力端子5との間には、これらに直列に接続される弾性波共振子(例えばSAW共振子)及び弾性波フィルタ(例えばSAWフィルタ)は設けられていない。逆に言えば、2以上の後段フィルタ部11Bが含む最後段の直列共振子9S4a及び9S4b(後述)から出力端子5までの間で、同一の入力信号に対して最も相互変調歪を生じやすい要素は、上記の最後段の直列共振子9S4a及び9S4bである。 However, in this example, for any of the two or more post-filter sections 11B, there is an element connected in series between the post-filter section 11B and the output terminal 5 that causes relatively large intermodulation distortion. is not connected. For example, an elastic wave resonator (for example, a SAW resonator) and an elastic wave filter (for example, a SAW filter) connected in series to the rear-stage filter section 11B and the output terminal 5 are not provided. In other words, the elements most likely to cause intermodulation distortion for the same input signal between the last stage series resonators 9S4a and 9S4b (described later) included in two or more post-stage filter sections 11B and the output terminal 5. are the last stage series resonators 9S4a and 9S4b.

各フィルタ部11は、例えば、それぞれ複数の共振子9がラダー型に接続されたラダー型フィルタによって構成されている。別の観点では、フィルタ1の全体は、ラダー型フィルタによって構成されている。特に図示しないが、前段フィルタ部11Aは、いわゆる多重モード型フィルタ(本開示においてはダブルモード型フィルムを含むものとする。)によって構成されていてもよい。 Each filter section 11 is configured, for example, by a ladder filter in which a plurality of resonators 9 are connected in a ladder shape. From another point of view, the entire filter 1 is constituted by a ladder type filter. Although not particularly illustrated, the pre-stage filter section 11A may be configured by a so-called multi-mode filter (in the present disclosure, a double-mode film is included).

複数の共振子9は、例えば、入力端子3と出力端子5との間に直列に接続された複数の直列共振子9Sと、入力端子3から出力端子5までの信号経路と基準電位部7とを接続する複数の並列共振子9Pとを有している。より詳細には、図示の例では、直列共振子9Sは、直列共振子9S1、9S2、9S3a、9S3b、9S4a及び9S4bを有している。また、複数の並列共振子9Pは、並列共振子9P1、9P2、9P3a及び9P3bを有している。 The plurality of resonators 9 include, for example, a plurality of series resonators 9S connected in series between the input terminal 3 and the output terminal 5, a signal path from the input terminal 3 to the output terminal 5, and a reference potential section 7. It has a plurality of parallel resonators 9P connecting. More specifically, in the illustrated example, the series resonator 9S includes series resonators 9S1, 9S2, 9S3a, 9S3b, 9S4a, and 9S4b. Further, the plurality of parallel resonators 9P include parallel resonators 9P1, 9P2, 9P3a, and 9P3b.

別の観点では、前段フィルタ部11Aは、直列共振子9S1及び9S2と、並列共振子9P1及び9P2を有している。第1後段フィルタ部11Baは、直列共振子9S3a及び9S4aと、並列共振子9P3aを有している。第2後段フィルタ部11Bbは、直列共振子9S3b及び9S4bと、並列共振子9P3bを有している。 From another perspective, the pre-filter section 11A includes series resonators 9S1 and 9S2 and parallel resonators 9P1 and 9P2. The first latter-stage filter section 11Ba includes series resonators 9S3a and 9S4a and a parallel resonator 9P3a. The second rear-stage filter section 11Bb includes series resonators 9S3b and 9S4b and a parallel resonator 9P3b.

これまでの説明からも理解されるように、共振子9に付した「S」は直列共振子に対応しており、共振子9に付した「P」は並列共振子に対応している。「S」及び「P」の後の数字は、入力端子3からの段数を示している。例えば、「1」は、入力端子3に最も近い第1段(初段)の直列共振子又は並列共振子であることを示す。また、図示の例では、「S」の後の「4」は、出力端子5に最も近い最後段の直列共振子であることを示す。さらに「S3」、「P3」及び「S4」の後に付した「a」は、共振子9が第1後段フィルタ部11Baに属することを示している。同様に、「S3」、「P3」及び「S4」の後に付した「b」は、共振子9が第2後段フィルタ部11Bbに属することを示している。 As can be understood from the above description, the "S" attached to the resonator 9 corresponds to a series resonator, and the "P" attached to the resonator 9 corresponds to a parallel resonator. The numbers after "S" and "P" indicate the number of stages from the input terminal 3. For example, “1” indicates a first stage (initial stage) series resonator or parallel resonator closest to the input terminal 3. Furthermore, in the illustrated example, "4" after "S" indicates that it is the last stage series resonator closest to the output terminal 5. Further, "a" added after "S3", "P3", and "S4" indicates that the resonator 9 belongs to the first rear-stage filter section 11Ba. Similarly, "b" added after "S3", "P3", and "S4" indicates that the resonator 9 belongs to the second rear-stage filter section 11Bb.

複数の共振子9がラダー型に接続されているという場合、例えば、上記のように、入力端子3と出力端子5との間に、1つの直列共振子9S又は直列に接続された複数の直列共振子9Sが電気的に接続され、1以上の直列共振子9Sの入力側又は出力側と基準電位部7との間に、1以上の並列共振子9Pが電気的に接続されている状態を指す。1以上の直列共振子9Sを含む、入力端子3から出力端子5までの信号経路は、直列腕と呼ばれることもある。また、1以上の並列共振子9Pを含む、直列腕から基準電位部までの1以上の信号経路それぞれは、並列腕と呼ばれることもある。 When a plurality of resonators 9 are connected in a ladder shape, for example, as described above, one series resonator 9S or a plurality of series resonators 9S connected in series are connected between the input terminal 3 and the output terminal 5. A state in which the resonator 9S is electrically connected, and one or more parallel resonators 9P are electrically connected between the input side or output side of the one or more series resonators 9S and the reference potential section 7. Point. The signal path from the input terminal 3 to the output terminal 5, which includes one or more series resonators 9S, is sometimes called a series arm. Furthermore, each of the one or more signal paths from the series arm to the reference potential section, including one or more parallel resonators 9P, may also be referred to as a parallel arm.

1つの共振子9は、耐電力性の向上等のために、2以上の分割共振子に分割されていることがある。換言すれば、1つの共振子9は、直列に接続された2以上の分割共振子によって構成されていることがある。このような分割共振子は、隣り合う分割共振子同士の間に並列共振子9Pが接続されていない。従って、例えば、入力端子3と出力端子5との間において2つの共振子が直列に接続されており、かつその間に並列共振子9Pが接続されていない場合、その2つの共振子は、2つの直列共振子9Sではなく、2つの分割共振子によって構成されている1つの直列共振子9Sとして特定されてよい。換言すれば、フィルタ部11が2つの直列共振子9Sを有しているという場合、その2つの直列共振子9Sの間には並列共振子9Pが接続されている。 One resonator 9 may be divided into two or more divided resonators in order to improve power durability and the like. In other words, one resonator 9 may be composed of two or more divided resonators connected in series. In such a divided resonator, the parallel resonator 9P is not connected between adjacent divided resonators. Therefore, for example, if two resonators are connected in series between the input terminal 3 and the output terminal 5, and the parallel resonator 9P is not connected between them, the two resonators Instead of the series resonator 9S, it may be specified as one series resonator 9S made up of two split resonators. In other words, when the filter section 11 has two series resonators 9S, the parallel resonator 9P is connected between the two series resonators 9S.

フィルタ1において、また、各フィルタ部11において、直列共振子9Sの数及び並列共振子9Pの数は、適宜に設定されてよい。ラダー型フィルタは、原理的には、1つの直列共振子9Sと1つの並列共振子9Pとによって構成可能である。また、フィルタ1又は各フィルタ部11において、最も入力端子3側に位置する共振子9は、直列共振子9Sであってもよいし、並列共振子9Pであってもよい。最も出力端子5側に位置する共振子9についても同様である。 In the filter 1 and in each filter section 11, the number of series resonators 9S and the number of parallel resonators 9P may be set as appropriate. In principle, a ladder filter can be configured with one series resonator 9S and one parallel resonator 9P. Further, in the filter 1 or each filter section 11, the resonator 9 located closest to the input terminal 3 may be a series resonator 9S or a parallel resonator 9P. The same applies to the resonator 9 located closest to the output terminal 5 side.

図示の例では、前段フィルタ部11Aは、2つの直列共振子9Sと、2つの並列共振子9Pを有している。図示の例とは異なり、前段フィルタ部11Aは、1つの直列共振子9Sと1つの並列共振子9Pとを有するだけであってもよいし、3つ以上の直列共振子9S及び/又は3つ以上の並列共振子9Pを有していてもよい。前段フィルタ部11Aに代えて、フィルタ1全体としてのラダー型フィルタの複数の直列共振子9Sのうちの1つのみが前段フィルタ部11Aの位置に設けられていたり、フィルタ1全体としてのラダー型フィルタの複数の並列共振子9Pのうちの1つのみが前段フィルタ部11Aの位置に設けられていたりしてもよい。 In the illustrated example, the pre-stage filter section 11A includes two series resonators 9S and two parallel resonators 9P. Unlike the illustrated example, the pre-stage filter section 11A may include only one series resonator 9S and one parallel resonator 9P, or may include three or more series resonators 9S and/or three or more series resonators 9S and/or three or more series resonators 9S and/or The above parallel resonator 9P may be included. Instead of the pre-stage filter section 11A, only one of the plurality of series resonators 9S of the ladder-type filter as the entire filter 1 is provided at the position of the pre-stage filter section 11A, or the ladder-type filter as the entire filter 1 is provided. Only one of the plurality of parallel resonators 9P may be provided at the pre-stage filter section 11A.

上記のように、ラダー型フィルタは、原理的には、1つの直列共振子9Sと1つの並列共振子9Pとによって構成可能である。ただし、各後段フィルタ部11Bは、2以上(図示の例では2つ)の直列共振子9Sを有している。互いに隣り合う直列共振子9S同士の間には、既述のように、並列共振子9Pが接続されている。図示の例とは異なり、各後段フィルタ部11Bは、3つ以上の直列共振子9S及び/又は3つ以上の並列共振子9Pを有していてもよい。また、2以上の後段フィルタ部11Bは、直列共振子9Sの数が互いに同じであってもよいし(図示の例)、互いに異なっていてもよい。並列共振子9Pについても同様である。 As mentioned above, the ladder filter can be configured with one series resonator 9S and one parallel resonator 9P in principle. However, each post-stage filter section 11B has two or more (two in the illustrated example) series resonators 9S. As described above, parallel resonators 9P are connected between adjacent series resonators 9S. Unlike the illustrated example, each post-stage filter section 11B may include three or more series resonators 9S and/or three or more parallel resonators 9P. Further, the two or more post-stage filter sections 11B may have the same number of series resonators 9S (as shown in the figure), or may have different numbers of series resonators 9S. The same applies to the parallel resonator 9P.

(ラダー型フィルタの原理)
図2は、ラダー型フィルタ(フィルタ1及びフィルタ部11)の原理を説明するための図である。
(Principle of ladder filter)
FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of a ladder type filter (filter 1 and filter section 11).

図2の上部のグラフにおいて、横軸は、周波数f(Hz)を示し、縦軸は、インピーダンスの絶対値|Z|(Ω)を示している。線LSは直列共振子9Sのインピーダンスを示している。線LPは並列共振子9Pのインピーダンスを示している。図2の下部のグラフにおいて、横軸は、周波数f(Hz)を示し、縦軸は、減衰量A(dB)を示している。線LFは、ラダー型フィルタ(フィルタ1又は各フィルタ部11)の減衰量を示している。図2の上部のグラフの横軸と、図2の下部のグラフの横軸とは一致している。 In the upper graph of FIG. 2, the horizontal axis shows the frequency f (Hz), and the vertical axis shows the absolute value of impedance |Z| (Ω). A line LS indicates the impedance of the series resonator 9S. Line LP indicates the impedance of parallel resonator 9P. In the graph at the bottom of FIG. 2, the horizontal axis represents the frequency f (Hz), and the vertical axis represents the attenuation amount A (dB). Line LF indicates the amount of attenuation of the ladder filter (filter 1 or each filter section 11). The horizontal axis of the upper graph in FIG. 2 and the horizontal axis of the lower graph in FIG. 2 match.

弾性波共振子からなる共振子9に係るインピーダンスの周波数特性においては、インピーダンスが極小値となる共振点と、インピーダンスが極大値となる反共振点とが現れる。共振点及び反共振点が現れる周波数を共振周波数(fsr、fpr)及び反共振周波数(fsa、fpa)とする。共振子9において、反共振周波数は、例えば、共振周波数よりも高い。 In the frequency characteristic of the impedance of the resonator 9 made of an elastic wave resonator, a resonance point where the impedance becomes a minimum value and an anti-resonance point where the impedance becomes a maximum value appear. The frequencies at which resonance points and anti-resonance points appear are defined as resonance frequencies (fsr, fpr) and anti-resonance frequencies (fsa, fpa). In the resonator 9, the anti-resonant frequency is, for example, higher than the resonant frequency.

直列共振子9S及び並列共振子9Pは、直列共振子9S(線LS)の共振周波数fsrと並列共振子9P(線LP)の反共振周波数fpaとが概ね一致するように共振周波数及び反共振周波数が設定される。これにより、ラダー型フィルタ(線LF)は、並列共振子9Pの共振周波数fprから直列共振子9Sの反共振周波数fsaまでの周波数範囲よりも若干狭い範囲を通過帯域PBとするバンドパスフィルタとして機能する。複数の直列共振子9Sは、基本的に、共振周波数が互いに同等とされ、また、反共振周波数が互いに同等とされる。複数の並列共振子9Pについても同様である。 The series resonator 9S and the parallel resonator 9P have a resonant frequency and an anti-resonant frequency such that the resonant frequency fsr of the series resonator 9S (line LS) and the anti-resonant frequency fpa of the parallel resonator 9P (line LP) approximately match. is set. As a result, the ladder filter (line LF) functions as a bandpass filter whose passband PB is slightly narrower than the frequency range from the resonant frequency fpr of the parallel resonator 9P to the anti-resonant frequency fsa of the series resonator 9S. do. The plurality of series resonators 9S basically have the same resonance frequency and the same anti-resonance frequency. The same applies to the plurality of parallel resonators 9P.

(フィルタ及び前段フィルタ部の特性)
図3は、フィルタ1の特性を示す、図2の下部のグラフと同様の図である。図3では、便宜上、後述する分波器の特性が示されているが、フィルタ1は、分波器に用いられることが前提とされるものではない。また、ここでは、主として、紙面右側の帯域のみに着目する。
(Characteristics of filter and pre-filter section)
FIG. 3 is a diagram similar to the lower graph of FIG. 2, showing the characteristics of filter 1. Although FIG. 3 shows the characteristics of a duplexer, which will be described later, for convenience, the filter 1 is not intended to be used as a duplexer. Further, here, we mainly focus on only the band on the right side of the paper.

矩形の3辺によって表されている記号BT及びBRは、満たされるべきフィルタ特性を示している。このようなフィルタ特性は、例えば、規格によって規定され、及び/又はフィルタ1の購入者の仕様によって規定される。ラダー型フィルタは、例えば、フィルタ特性を示す線LF(図2)によって描かれる山が記号BT又はBRを包含し、他の記号を包含しないように構成される。 The symbols BT and BR represented by the three sides of the rectangle indicate the filter characteristics to be fulfilled. Such filter characteristics are, for example, defined by standards and/or by the specifications of the purchaser of the filter 1. The ladder type filter is configured, for example, so that the mountain drawn by the line LF (FIG. 2) indicating filter characteristics includes the symbol BT or BR and does not include other symbols.

図示の例では、線LF0は、フィルタ1のフィルタ特性を示している。そして、線LF0によって描かれる山は、記号BTを包含し、記号BRを包含していない。線LF0は、前段フィルタ部11Aのフィルタ特性を示していると捉えられてもよい。 In the illustrated example, line LF0 indicates the filter characteristic of filter 1. The mountain drawn by the line LF0 includes the symbol BT but does not include the symbol BR. The line LF0 may be considered to indicate the filter characteristics of the pre-stage filter section 11A.

(後段フィルタ部の特性)
図4(a)は、後段フィルタ部11Bのフィルタ特性の一例を示す、図3の紙面右側の領域に相当する図である。この図において、線LF1は、第1後段フィルタ部11Baのフィルタ特性を示している。この図において、線LF2は、第2後段フィルタ部11Bbのフィルタ特性を示している。
(Characteristics of post-filter section)
FIG. 4A is a diagram corresponding to the area on the right side of the paper in FIG. 3, showing an example of the filter characteristics of the post-filter section 11B. In this figure, a line LF1 indicates the filter characteristic of the first rear-stage filter section 11Ba. In this figure, a line LF2 indicates the filter characteristic of the second post-stage filter section 11Bb.

この図に示されているように、第1後段フィルタ部11Baのフィルタ特性は、記号BTで示されるフィルタ特性のうち低周波数側の要件は満たしているものの、高周波数側の要件は満たしていない。具体的には、例えば、第1後段フィルタ部11Baでは、記号BTで示される帯域のうち低周波数側の一部の帯域においては、要求されている透過特性が確保されているが、その他の帯域(記号BTで示される帯域の外側を含む)においては、要求されている透過特性が確保されていない。 As shown in this figure, the filter characteristics of the first post-filter section 11Ba satisfy the requirements on the low frequency side of the filter characteristics indicated by the symbol BT, but do not satisfy the requirements on the high frequency side. . Specifically, for example, in the first rear-stage filter section 11Ba, the required transmission characteristics are secured in a part of the band on the low frequency side of the band indicated by the symbol BT, but the required transmission characteristics are secured in other bands. (including outside the band indicated by symbol BT), the required transmission characteristics are not ensured.

逆に、第2後段フィルタ部11Bbのフィルタ特性は、記号BTで示されるフィルタ特性のうち高周波数側の要件は満たしているものの、低周波数側の要件は満たしていない。具体的には、例えば、第2後段フィルタ部11Bbでは、記号BTで示される帯域のうち高周波数側の一部の帯域においては、要求されている透過特性が確保されているが、その他の帯域(記号BTで示される帯域の外側を含む)においては、要求されている透過特性が確保されていない。 Conversely, the filter characteristics of the second post-stage filter section 11Bb satisfy the requirements on the high frequency side of the filter characteristics indicated by the symbol BT, but do not satisfy the requirements on the low frequency side. Specifically, for example, in the second rear-stage filter section 11Bb, the required transmission characteristics are ensured in some bands on the high frequency side of the band indicated by the symbol BT, but the required transmission characteristics are secured in other bands. (including outside the band indicated by symbol BT), the required transmission characteristics are not ensured.

また、第1後段フィルタ部11Baにおいて、要求されている透過特性が確保されている帯域と、第2後段フィルタ部11Bbにおいて、要求されている透過特性が確保されている帯域とは、一部同士が互いに重複している。 In addition, the band in which the required transmission characteristics are ensured in the first latter-stage filter section 11Ba and the band in which the required transmission characteristics are ensured in the second latter-stage filter section 11Bb are partially mutual. are overlapping with each other.

上記では、記号BTで示される帯域を基準に述べたが、各フィルタ部11の通過帯域PB(図2参照)を基準にフィルタ部11のフィルタ特性が説明されてもよい。具体的には、第1後段フィルタ部11Baの通過帯域PBの低周波数側の境界周波数(帯域の端部の周波数)は、第2後段フィルタ部11Bbの通過帯域PBの低周波数側の境界周波数よりも低周波数側に位置している。また、第1後段フィルタ部11Baの通過帯域PBの高周波数側の境界周波数は、第2後段フィルタ部11Bbの通過帯域PBの高周波数側の境界周波数よりも低周波数側に位置している。また、第1後段フィルタ部11Baの通過帯域PBの高周波数側の一部と、第2後段フィルタ部11Bbの通過帯域PBの低周波数側の一部とは、互いに重複している。2以上の後段フィルタ部11Bの通過帯域PBを足し合わせた通過帯域PB0は、フィルタ1全体の通過帯域PB及び/又は前段フィルタ部11Aの通過帯域PBと同じである。 Although the above description has been made based on the band indicated by the symbol BT, the filter characteristics of the filter section 11 may be explained based on the pass band PB (see FIG. 2) of each filter section 11. Specifically, the lower boundary frequency (frequency at the end of the band) of the passband PB of the first latter-stage filter section 11Ba is lower than the lower-frequency boundary frequency of the passband PB of the second latter-stage filter section 11Bb. is also located on the low frequency side. Further, the boundary frequency on the high frequency side of the passband PB of the first post-filter section 11Ba is located on the lower frequency side than the boundary frequency on the high frequency side of the passband PB of the second post-filter section 11Bb. Further, a portion of the high frequency side of the passband PB of the first post-filter section 11Ba and a portion of the low frequency side of the passband PB of the second post-filter section 11Bb overlap with each other. The passband PB0, which is the sum of the passbands PB of two or more post-stage filter sections 11B, is the same as the passband PB of the entire filter 1 and/or the passband PB of the pre-stage filter section 11A.

なお、通過帯域PB0がフィルタ11の通過帯域PB及び/又は前段フィルタ部11Aの通過帯域PBと同じという場合、両者の間に誤差が存在してもよいことはもちろんである。例えば、通過帯域PB0の低周波数側の境界周波数と、他の通過帯域の低周波数側の境界周波数との差が、通過帯域PB0の1/10以下の場合は、両者は一致していると捉えられてよい。高周波数側についても同様である。そして、低周波数側及び高周波数側の双方において、通過帯域PB0の境界周波数と他の通過帯域の境界周波数との差が上記の誤差範囲内であれば、両者は一致していると捉えられてよい。 Note that when the passband PB0 is the same as the passband PB of the filter 11 and/or the passband PB of the pre-filter section 11A, it goes without saying that there may be an error between the two. For example, if the difference between the boundary frequency on the low frequency side of passband PB0 and the boundary frequency on the low frequency side of another passband is 1/10 or less of passband PB0, it is assumed that they match. It's okay to be rejected. The same applies to the high frequency side. Then, if the difference between the boundary frequency of passband PB0 and the boundary frequency of other passbands is within the above error range on both the low frequency side and high frequency side, they are considered to match. good.

実際に流通しているフィルタ1の通過帯域PBは、本開示に係る技術に属するか否かの判断に必要な精度で特定されればよく、必ずしも高精度に特定される必要は無い。また、通過帯域PBは、合理的に特定されてよい。例えば、通過帯域PBは、仕様書に基づいて特定されてよい。また、図2の下部に示されるような特性を測定し、その測定結果及び技術常識に基づいて通過帯域PBが合理的に判断されてもよい。フィルタ1が利用される技術分野において一般に要求されている透過特性が確保されている帯域を通過帯域PBとして特定してもよい。 The pass band PB of the filter 1 that is actually in circulation may be specified with the accuracy necessary for determining whether it belongs to the technology according to the present disclosure, and does not necessarily need to be specified with high accuracy. Furthermore, the passband PB may be reasonably specified. For example, the passband PB may be specified based on specifications. Alternatively, the characteristics shown in the lower part of FIG. 2 may be measured, and the passband PB may be reasonably determined based on the measurement results and common technical knowledge. A band in which generally required transmission characteristics are ensured in the technical field in which the filter 1 is used may be specified as the pass band PB.

また、2以上の後段フィルタ部11Bの透過特性の相対的な関係からフィルタ部11のフィルタ特性が説明されてもよい。例えば、上記のように2以上の後段フィルタ部11Bの通過帯域PBを足し合わせた通過帯域PB0を考える。このとき、通過帯域PB0内の低周波数側の一部においては、第1後段フィルタ部11Baの透過特性は、第2後段フィルタ部11Bbの透過特性よりも高い。逆に、通過帯域PB0の他部(高周波数側の一部)においては、第2後段フィルタ部11Bbの透過特性が第1後段フィルタ部11Baの透過特性よりも高い。 Furthermore, the filter characteristics of the filter section 11 may be explained from the relative relationship between the transmission characteristics of two or more post-stage filter sections 11B. For example, consider a passband PB0 obtained by adding the passbands PB of two or more post-filter sections 11B as described above. At this time, in a part of the low frequency side of the pass band PB0, the transmission characteristic of the first rear-stage filter section 11Ba is higher than the transmission characteristic of the second rear-stage filter section 11Bb. Conversely, in the other part of the passband PB0 (a part on the high frequency side), the transmission characteristic of the second post-filter section 11Bb is higher than the transmission characteristic of the first post-filter section 11Ba.

また、帯域を基準とするのではなく、所定の周波数を基準として、フィルタ部11のフィルタ特性が説明されてもよい。例えば、所定の周波数f1と、当該周波数f1よりも高周波数側の周波数f2とを考える。両者は、記号BTで示される帯域、及び/又は既述の通過帯域PB0に含まれる。 Further, the filter characteristics of the filter section 11 may be explained not based on a band but on a predetermined frequency. For example, consider a predetermined frequency f1 and a frequency f2 higher than the frequency f1. Both are included in the band indicated by the symbol BT and/or the already mentioned passband PB0.

このとき、例えば、第1後段フィルタ部11Baは、周波数f1においては、要求されている透過特性の条件を満たし、周波数f2においては、要求されている透過特性の条件を満たさない。その一方で、第2後段フィルタ部11Bbは、周波数f1においては、要求されている透過特性の条件を満たさず、周波数f2においては、要求されている透過特性の条件を満たす。 At this time, for example, the first post-stage filter section 11Ba satisfies the required transmission characteristic condition at the frequency f1, but does not satisfy the required transmission characteristic condition at the frequency f2. On the other hand, the second post-stage filter section 11Bb does not satisfy the required transmission characteristic conditions at frequency f1, and satisfies the required transmission characteristic conditions at frequency f2.

また、例えば、第1後段フィルタ部11Baは、周波数f1を通過帯域に含み、周波数f2を通過帯域に含まない。その一方で、第2後段フィルタ部11Bbは、周波数f1を通過帯域に含まず、周波数f2を通過帯域に含む。 Further, for example, the first latter-stage filter section 11Ba includes the frequency f1 in its passband, but does not include the frequency f2 in its passband. On the other hand, the second latter-stage filter section 11Bb does not include the frequency f1 in its passband, but includes the frequency f2 in its passband.

また、例えば、周波数f1においては、第1後段フィルタ部11Baの透過特性が第2後段フィルタ部11Bbの透過特性よりも高い。逆に、周波数f2においては、第2後段フィルタ部11Bbの透過特性が第1後段フィルタ部11Baの透過特性よりも高い。 Further, for example, at the frequency f1, the transmission characteristic of the first rear-stage filter section 11Ba is higher than the transmission characteristic of the second rear-stage filter section 11Bb. Conversely, at frequency f2, the transmission characteristic of the second rear-stage filter section 11Bb is higher than the transmission characteristic of the first rear-stage filter section 11Ba.

図4(b)は、後段フィルタ部11Bのフィルタ特性の他の例を示す、図4(a)と同様の図である。 FIG. 4(b) is a diagram similar to FIG. 4(a), showing another example of the filter characteristics of the post-stage filter section 11B.

図4(b)では、図4(a)に比較して、要求されている透過特性が確保されている帯域の、後段フィルタ部11B同士における重複量(周波数帯)が大きくなっている。別の観点では、図4(b)では、図4(a)に比較して、2以上の後段フィルタ部11Bの通過帯域PBの重複量が大きくなっている。ただし、周波数f1及び周波数f2は、例えば、図4(a)と同様に、上記の重複した帯域には含まれていない。 In FIG. 4(b), compared to FIG. 4(a), the amount of overlap (frequency band) between the rear-stage filter sections 11B in the band in which the required transmission characteristics are ensured is larger. From another point of view, in FIG. 4(b), the amount of overlap between the passbands PB of two or more post-filter sections 11B is larger than in FIG. 4(a). However, the frequency f1 and the frequency f2 are not included in the above-mentioned overlapping band, for example, similarly to FIG. 4(a).

(相互変調歪の低減)
入力端子3と出力端子5との間に互いに並列な信号経路を構成する2以上の後段フィルタ部11Bを設け、かつ図4(a)を参照して説明したように2以上の後段フィルタ部11Bのフィルタ特性を設定すると、例えば、相互変調歪を低減することができる。具体的には、以下のとおりである。
(Reduction of intermodulation distortion)
Two or more post-stage filter sections 11B are provided between the input terminal 3 and the output terminal 5, and constitute mutually parallel signal paths, and as described with reference to FIG. 4(a), the two or more post-stage filter sections 11B By setting the filter characteristics, for example, intermodulation distortion can be reduced. Specifically, it is as follows.

図1において入力端子3付近に描いた矢印で示すように、周波数f1の信号と、周波数f2の信号とが入力端子3に同時に入力される場合を想定する。周波数f1及びf2については、図4(a)を参照して説明したとおりである。周波数f1の信号と、周波数f2の信号とは、互いに別個の信号であり、例えば、互いに異なる情報を含んでいる。 As shown by the arrow drawn near the input terminal 3 in FIG. 1, it is assumed that a signal with a frequency f1 and a signal with a frequency f2 are input to the input terminal 3 at the same time. The frequencies f1 and f2 are as described with reference to FIG. 4(a). The signal of frequency f1 and the signal of frequency f2 are mutually separate signals, and for example, contain mutually different information.

図3に示されているように、前段フィルタ部11Aの通過帯域PBは、周波数f1及びf2を含んでいる。従って、入力端子3付近において、f1及びf2の符号が付された矢印の長さを互いに同等に描いていることによって表されているように、周波数f1及びf2の信号は、いずれも前段フィルタ部11Aを通過する(減衰量が比較的小さい。)。 As shown in FIG. 3, the passband PB of the pre-filter section 11A includes frequencies f1 and f2. Therefore, near the input terminal 3, as shown by the lengths of the arrows labeled f1 and f2 being drawn equal to each other, the signals of frequencies f1 and f2 are both transmitted to the pre-stage filter. 11A (the amount of attenuation is relatively small).

一方、図4(a)を参照して説明したように、第1後段フィルタ部11Baの通過帯域PBは、周波数f1を含んでいる一方で、周波数f2を含んでいない。従って、第1後段フィルタ部11Ba付近において、f1の符号が付された矢印をf2の符号が付された矢印よりも長く描いていることによって表されているように、周波数f1の信号は、フィルタ部11Aを通過する(減衰量が比較的小さい)。その一方で、周波数f2の信号は、周波数f1の信号よりも大きい減衰量で減衰される。 On the other hand, as described with reference to FIG. 4(a), the passband PB of the first latter-stage filter section 11Ba includes the frequency f1, but does not include the frequency f2. Therefore, as shown by the arrow labeled f1 being drawn longer than the arrow labeled f2 near the first post-filter section 11Ba, the signal of frequency f1 is filtered by the filter. It passes through part 11A (the amount of attenuation is relatively small). On the other hand, the signal at frequency f2 is attenuated by a larger amount of attenuation than the signal at frequency f1.

上記とは逆に、第2後段フィルタ部11Bbの通過帯域PBは、周波数f2を含んでいる一方で、周波数f1を含んでいない。従って、第2後段フィルタ部11Bb付近において、f2の符号が付された矢印をf1の符号が付された矢印よりも長く描いていることによって表されているように、周波数f2の信号は、第2後段フィルタ部11Bbを通過する(減衰量が比較的小さい)。その一方で、周波数f1の信号は、周波数f2の信号よりも大きい減衰量で減衰される。 Contrary to the above, the passband PB of the second post-stage filter section 11Bb includes the frequency f2, but does not include the frequency f1. Therefore, as shown by drawing the arrow labeled f2 longer than the arrow labeled f1 near the second post-filter section 11Bb, the signal of frequency f2 is It passes through the second post-stage filter section 11Bb (the amount of attenuation is relatively small). On the other hand, the signal at frequency f1 is attenuated with a larger amount of attenuation than the signal at frequency f2.

また、互いに周波数が異なる2つの信号が1つの共振子9に同時に入力されると、相互変調歪が生じる。ここで、周波数f1の信号によって共振子9にかかる交流電力(共振子9を通過する電力)の振幅をP1とし、周波数f2の信号によって共振子9にかかる交流電力の振幅をP2とする。このとき、例えば、2次相互変調歪の電力(例えばその振幅)は、P1×P2に比例する。また、例えば、3次相互変調歪の電力(例えばその振幅)は、P1×P2又はP1×P2に比例する。従って、P1及びP2のいずれか一方の値が小さくされれば、相互変調歪は低減される。なお、本開示の説明では、便宜上、交流電力の振幅を単に電力ということがある。 Further, when two signals having different frequencies are simultaneously input to one resonator 9, intermodulation distortion occurs. Here, the amplitude of the AC power applied to the resonator 9 (power passing through the resonator 9) due to the signal of the frequency f1 is set to P1, and the amplitude of the AC power applied to the resonator 9 due to the signal of the frequency f2 is set to P2. At this time, for example, the power of the second-order intermodulation distortion (for example, its amplitude) is proportional to P1×P2. Further, for example, the power of third-order intermodulation distortion (for example, its amplitude) is proportional to P1 2 ×P2 or P1 × P2 2 . Therefore, if the value of either P1 or P2 is reduced, intermodulation distortion is reduced. Note that in the description of the present disclosure, the amplitude of AC power may be simply referred to as power for convenience.

一方、上記のように、第1後段フィルタ部11Baにおいては、周波数f2の信号(別の観点では電力P2)が低減される。その結果、第1後段フィルタ部11Baにおける相互変調歪の電力が低減される。同様に、第2後段フィルタ部11Bbにおいては、周波数f1の信号(別の観点では電力P1)が低減される。その結果、第2後段フィルタ部11Bbにおける相互変調歪の電力が低減される。 On the other hand, as described above, in the first post-filter section 11Ba, the signal of frequency f2 (power P2 from another point of view) is reduced. As a result, the power of intermodulation distortion in the first post-stage filter section 11Ba is reduced. Similarly, in the second post-filter section 11Bb, the signal of frequency f1 (power P1 from another point of view) is reduced. As a result, the power of intermodulation distortion in the second post-stage filter section 11Bb is reduced.

上記では、電力の観点から説明したが、電圧の観点からも説明できる。例えば、周波数f1の信号によって共振子9にかかる電圧をV1とし、周波数f2の信号によって共振子9にかかる電圧をV2とする。このとき、例えば、2次相互変調歪の電圧は、V1×V2に比例する。また、例えば、3次相互変調歪の電圧は、V1×V2又はV1×V2に比例する。 Although the above description has been made from the viewpoint of electric power, the description can also be made from the viewpoint of voltage. For example, the voltage applied to the resonator 9 by a signal of frequency f1 is set to V1, and the voltage applied to the resonator 9 by a signal of frequency f2 is set to V2. At this time, for example, the voltage of second-order intermodulation distortion is proportional to V1×V2. Further, for example, the voltage of third-order intermodulation distortion is proportional to V1 2 ×V2 or V1 × V2 2 .

周波数f2の信号は、第1後段フィルタ部11Baによって減衰されるから、最後段の直列共振子9S4aに印加される電圧V2は低減される。その結果、第1後段フィルタ部11Baにおける相互変調歪の電圧が低減される。同様に、周波数f1の信号は、第2後段フィルタ部11Bbによって減衰されるから、最後段の直列共振子9S4bに印加される電圧V1は低減される。その結果、第2後段フィルタ部11Bbにおける相互変調歪の電圧が低減される。 Since the signal of frequency f2 is attenuated by the first post-stage filter section 11Ba, the voltage V2 applied to the last stage series resonator 9S4a is reduced. As a result, the voltage of intermodulation distortion in the first latter-stage filter section 11Ba is reduced. Similarly, since the signal of frequency f1 is attenuated by the second post-stage filter section 11Bb, the voltage V1 applied to the last stage series resonator 9S4b is reduced. As a result, the voltage of intermodulation distortion in the second post-stage filter section 11Bb is reduced.

2つの後段フィルタ部11Bは、入力端子3と出力端子5との間で並列接続されているから、第1後段フィルタ部11Baを通過した周波数f1の信号と、第2後段フィルタ部11Bbを通過した周波数f2の信号とは合流して出力端子5から出力される。従って、フィルタ1において、周波数f1の信号と周波数f2の信号との双方を通過させる機能は維持される。 Since the two post-filter sections 11B are connected in parallel between the input terminal 3 and the output terminal 5, the signal of frequency f1 that has passed through the first post-filter section 11Ba and the signal that has passed through the second post-filter section 11Bb. It is combined with the signal of frequency f2 and output from the output terminal 5. Therefore, in the filter 1, the function of passing both the signal of frequency f1 and the signal of frequency f2 is maintained.

上記の原理は、入力端子3から出力端子5までの共振子9のいずれに対して適用されてもよい。ただし、フィルタとして機能する部分(例えば、1つの直列共振子9S及び1つの並列共振子9Pの組み合わせ)よりも入力端子3側において生じた相互変調歪は、上記のフィルタとして機能する部分によって減衰されやすい。換言すれば、出力端子5側の共振子9ほど、相互変調歪がフィルタ1の特性に影響を及ぼしやすい。特に、最後段の直列共振子9Sは、相互変調歪がフィルタ1の特性に及ぼす影響が相対的に大きい。そこで、フィルタ1は、互いに並列に接続されている後段フィルタ部11Bがフィルタ1における最後段の直列共振子9S(9S4a及び9S4b)を含むように構成されている。 The above principle may be applied to any of the resonators 9 from the input terminal 3 to the output terminal 5. However, intermodulation distortion that occurs closer to the input terminal 3 than the part that functions as a filter (for example, a combination of one series resonator 9S and one parallel resonator 9P) is attenuated by the part that functions as a filter. Cheap. In other words, the closer the resonator 9 is to the output terminal 5, the more likely the intermodulation distortion will affect the characteristics of the filter 1. In particular, in the last stage series resonator 9S, intermodulation distortion has a relatively large effect on the characteristics of the filter 1. Therefore, the filter 1 is configured such that the rear-stage filter sections 11B, which are connected in parallel with each other, include the last-stage series resonators 9S (9S4a and 9S4b) in the filter 1.

2以上の後段フィルタ部11Bは、並列接続されているから、互いに同一の電圧が印加される。従って、例えば、各後段フィルタ部11Bのそれぞれが、1つの直列共振子9S及び1つの並列共振子9Pのみによって構成されている場合、2以上の後段フィルタ部11B内の最後段の直列共振子9Sに印加される電圧は互いに同一である。本実施形態では、各後段フィルタ部11Bは、2以上の直列共振子9Sを含んでいることから、最後段の直列共振子9S4a及び9S4bに互いに異なる電圧を印加可能である。その結果、上述した相互変調歪を低減する原理の利用が容易化されている。 Since the two or more post-stage filter sections 11B are connected in parallel, the same voltage is applied to each of them. Therefore, for example, when each of the post-stage filter sections 11B is composed of only one series resonator 9S and one parallel resonator 9P, the last stage series resonator 9S in the two or more post-stage filter sections 11B The voltages applied to both are the same. In this embodiment, since each post-stage filter section 11B includes two or more series resonators 9S, different voltages can be applied to the series resonators 9S4a and 9S4b at the last stage. As a result, the above-described principle of reducing intermodulation distortion can be easily utilized.

以上の説明から理解されるように、本実施形態では、最後段の直列共振子9S4aにかかる周波数f2の電力P2を低減し、及び最後段の直列共振子9S4bにかかる周波数f2の電力P1を低減することによって、相互変調歪を低減する。従って、これまでの説明では、縦軸を減衰量とするグラフに現れるフィルタ特性が2つの後段フィルタ部11B同士で異なることを前提として説明したが、そのような相違は本開示の技術における必須事項ではない。例えば、種々のパラメータの調整の結果として、上記のような電力の低減が実現されればよい。従って、電力の観点からフィルタ1(2以上の後段フィルタ部11B)の構成が説明されてよい。 As can be understood from the above description, in this embodiment, the power P2 at frequency f2 applied to the last stage series resonator 9S4a is reduced, and the power P1 at frequency f2 applied to the last stage series resonator 9S4b is reduced. By doing so, intermodulation distortion is reduced. Therefore, in the explanation so far, the explanation has been made on the premise that the filter characteristics appearing in the graph with the vertical axis representing the attenuation amount are different between the two post-stage filter sections 11B, but such a difference is an essential feature of the technology of the present disclosure. isn't it. For example, the above power reduction may be achieved as a result of adjusting various parameters. Therefore, the configuration of the filter 1 (two or more post-stage filter sections 11B) may be explained from the viewpoint of power.

例えば、フィルタ1は、通過帯域PB0内の周波数f1を有する信号が2つの後段フィルタ部11Bに同時に入力されたとき、直列共振子9S4aにかかる電力が直列共振子9S4bにかかる電力よりも大きくなるように構成されているということができる。さらに、フィルタ1は、通過帯域PB0内かつ周波数f1よりも高い周波数f2を有する信号が2つの後段フィルタ部11Bに同時に入力されたとき、直列共振子9S4bにかかる電力が直列共振子9S4aにかかる電力よりも大きくなるように構成されているということができる。 For example, the filter 1 is configured such that when a signal having a frequency f1 within the passband PB0 is simultaneously input to the two subsequent filter sections 11B, the power applied to the series resonator 9S4a is greater than the power applied to the series resonator 9S4b. It can be said that it is composed of Furthermore, in the filter 1, when a signal having a frequency f2 within the passband PB0 and higher than the frequency f1 is simultaneously input to the two subsequent filter sections 11B, the power applied to the series resonator 9S4b is changed from the power applied to the series resonator 9S4a. It can be said that it is configured to be larger than the

また、例えば、入力端子3に入力される電力が、周波数f1の信号と周波数f2の信号とで同等である状況を想定する。この場合、フィルタ1は、直列共振子9S4aにかかる電力に関して、周波数f1の電力P1が周波数f2の電力P2よりも大きくなるように構成されているということができる。同様に、フィルタ1は、最後段の直列共振子9S4bにかかる電力に関して、周波数f2の電力P2が周波数f1の電力P1よりも大きくなるように構成されているということができる。ただし、入力電力(又は電圧)が周波数f1と周波数f2とで同じという前提条件は、実際の機器においては必ずしも成り立たない。 Further, for example, assume a situation in which the power input to the input terminal 3 is the same for a signal of frequency f1 and a signal of frequency f2. In this case, it can be said that the filter 1 is configured such that the power P1 at the frequency f1 is greater than the power P2 at the frequency f2 regarding the power applied to the series resonator 9S4a. Similarly, it can be said that the filter 1 is configured such that the power P2 at the frequency f2 is greater than the power P1 at the frequency f1 regarding the power applied to the last stage series resonator 9S4b. However, the precondition that the input power (or voltage) is the same at frequency f1 and frequency f2 does not necessarily hold true in actual equipment.

(共振子の具体例)
フィルタ1を構成する共振子9は、種々の構成とされてよい。例えば、共振子9は、SAW共振子とされてもよいし、SAW共振子と同様の電極を有しつつ、BAWを利用するBAW共振子とされてもよいし、キャビティ上で圧電薄膜を振動させる圧電薄膜共振器(FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)と呼称されることもある。)とされてもよい。以下、共振子9の一例として、SAW共振子について説明する。
(Specific example of resonator)
The resonator 9 constituting the filter 1 may have various configurations. For example, the resonator 9 may be a SAW resonator, a BAW resonator that uses BAW while having electrodes similar to the SAW resonator, or a piezoelectric thin film that vibrates on a cavity. It may be a piezoelectric thin film resonator (sometimes referred to as FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator)). A SAW resonator will be described below as an example of the resonator 9.

図5は、共振子9としてのSAW共振子の構成を模式的に示す平面図である。 FIG. 5 is a plan view schematically showing the configuration of a SAW resonator as the resonator 9. As shown in FIG.

図5は、便宜的に、D1軸、D2軸及びD3軸からなる直交座標系を付す。共振子9は、いずれの方向が上方又は下方とされてもよい。ただし、以下の説明では、便宜上、D3軸の正側を上方として、上面又は下面等の用語を用いることがある。なお、D1軸は、上面21a(後述)に沿って伝搬する弾性波の伝搬方向に平行になるように定義されている。D2軸は、上面21aに平行かつD1軸に直交するように定義されている。D3軸は、上面21aに直交するように定義されている。 For convenience, FIG. 5 shows an orthogonal coordinate system consisting of a D1 axis, a D2 axis, and a D3 axis. The resonator 9 may be directed either upward or downward. However, in the following description, for convenience, terms such as upper surface or lower surface may be used with the positive side of the D3 axis being the upper side. Note that the D1 axis is defined to be parallel to the propagation direction of elastic waves propagating along the upper surface 21a (described later). The D2 axis is defined to be parallel to the upper surface 21a and orthogonal to the D1 axis. The D3 axis is defined to be orthogonal to the upper surface 21a.

共振子9は、いわゆる1ポート弾性波共振子によって構成されている。共振子9は、例えば、紙面両側に示された2つの配線23の一方から入力された信号を2つの配線23の他方から出力する。この際、共振子9は、電気信号から弾性波への変換及び弾性波から電気信号への変換を行う。 The resonator 9 is constituted by a so-called one-port acoustic wave resonator. For example, the resonator 9 outputs a signal input from one of the two wiring lines 23 shown on both sides of the paper from the other of the two wiring lines 23. At this time, the resonator 9 converts an electric signal into an elastic wave, and converts an elastic wave into an electric signal.

共振子9は、例えば、基板21(その少なくとも上面21a側の一部)と、上面21a上に位置する励振電極25と、励振電極25の両側に位置する1対の反射器27とを含んでいる。1つの基板21上には、複数の共振子9が構成されてよい。すなわち、基板21は、複数の共振子9に共用されてよい。以下の説明では、同一の基板21を共用する複数の共振子9を区別するために、便宜上、励振電極25及び1つの反射器27の組み合わせ(共振子9の電極部)が共振子9であるかのように(共振子9が基板21を含まないかのように)表現することがある。 The resonator 9 includes, for example, a substrate 21 (at least a part of the upper surface 21a), an excitation electrode 25 located on the upper surface 21a, and a pair of reflectors 27 located on both sides of the excitation electrode 25. There is. A plurality of resonators 9 may be configured on one substrate 21. That is, the substrate 21 may be shared by a plurality of resonators 9. In the following description, in order to distinguish between a plurality of resonators 9 that share the same substrate 21, for convenience, the combination of the excitation electrode 25 and one reflector 27 (electrode portion of the resonator 9) is referred to as the resonator 9. (as if the resonator 9 does not include the substrate 21).

基板21は、少なくとも、上面21aのうち共振子9が設けられる領域に圧電性を有している。このような基板21としては、例えば、基板全体が圧電体によって構成されているもの(すなわち圧電基板)を挙げることができる。また、例えば、いわゆる貼り合わせ基板を挙げることができる。貼り合わせ基板は、上面21aを有する圧電体からなる基板(圧電基板)と、この圧電基板の上面21aとは反対側の面に、接着剤を介して、又は接着剤を介さずに直接に貼り合わされた支持基板とを有している。また、共振子9が設けられる領域に圧電性を有している基板21としては、例えば、支持基板と、支持基板の+D3側の主面の一部領域又は主面の全面に、圧電体からなる膜(圧電膜)又は圧電膜を含む多層膜が形成されたものを挙げることができる。 The substrate 21 has piezoelectricity at least in the region of the upper surface 21a where the resonator 9 is provided. An example of such a substrate 21 is one in which the entire substrate is made of a piezoelectric material (that is, a piezoelectric substrate). Further, for example, a so-called bonded substrate can be mentioned. The laminated substrate is a substrate made of a piezoelectric material having an upper surface 21a (piezoelectric substrate) and a surface of the piezoelectric substrate opposite to the upper surface 21a, which is directly attached with or without an adhesive. and a mated support substrate. Further, as the substrate 21 having piezoelectricity in the region where the resonator 9 is provided, for example, the support substrate and a part of the main surface on the +D3 side of the support substrate or the entire main surface are made of piezoelectric material. Examples include those in which a film (piezoelectric film) or a multilayer film including a piezoelectric film is formed.

基板21のうちの少なくとも共振子9が設けられる領域を構成している圧電体は、例えば、圧電性を有する単結晶によって構成されている。このような単結晶を構成する材料としては、例えば、タンタル酸リチウム(LiTaO)、ニオブ酸リチウム(LiNbO)及び水晶(SiO)を挙げることができる。カット角、平面形状および各種の寸法は適宜に設定されてよい。 The piezoelectric material constituting at least the region of the substrate 21 where the resonator 9 is provided is made of, for example, a piezoelectric single crystal. Examples of materials constituting such a single crystal include lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), and quartz (SiO 2 ). The cut angle, planar shape, and various dimensions may be set appropriately.

励振電極25及び反射器27は、基板21上に設けられた層状導体によって構成されている。励振電極25および反射器27は、例えば、互いに同一の材料および厚さで構成されている。これらを構成する層状導体は、例えば、金属である。金属は、例えば、AlまたはAlを主成分とする合金(Al合金)である。Al合金は、例えば、Al-Cu合金である。層状導体は、複数の金属層から構成されていてもよい。層状導体の厚さは、共振子9に要求される電気特性等に応じて適宜に設定される。一例として、層状導体の厚さは50nm以上600nm以下である。 The excitation electrode 25 and the reflector 27 are constituted by a layered conductor provided on the substrate 21. The excitation electrode 25 and the reflector 27 are, for example, made of the same material and the same thickness. The layered conductors constituting these are, for example, metal. The metal is, for example, Al or an alloy containing Al as a main component (Al alloy). The Al alloy is, for example, an Al-Cu alloy. The layered conductor may be composed of multiple metal layers. The thickness of the layered conductor is appropriately set depending on the electrical characteristics required of the resonator 9 and the like. As an example, the thickness of the layered conductor is 50 nm or more and 600 nm or less.

励振電極25は、1対の櫛歯電極29(一方には視認性をよくする便宜上ハッチングを付す)を有している。各櫛歯電極29は、例えば、バスバー31と、バスバー31から互いに並列に延びる複数の電極指33と、複数の電極指33の間においてバスバー31から突出する複数のダミー電極35とを有している。そして、1対の櫛歯電極29は、複数の電極指33が互いに噛み合うように(交差するように)配置されている。 The excitation electrode 25 has a pair of comb-teeth electrodes 29 (one is hatched for convenience to improve visibility). Each comb-teeth electrode 29 includes, for example, a busbar 31, a plurality of electrode fingers 33 extending in parallel from the busbar 31, and a plurality of dummy electrodes 35 protruding from the busbar 31 between the plurality of electrode fingers 33. There is. The pair of comb-teeth electrodes 29 are arranged so that the plurality of electrode fingers 33 interlock with each other (cross each other).

バスバー31は、例えば、概略、一定の幅で弾性波の伝搬方向(D1方向)に直線状に延びる長尺状に形成されている。そして、一対のバスバー31は、弾性波の伝搬方向に直交する方向(D2方向)において互いに対向している。なお、バスバー31は、幅が変化したり、弾性波の伝搬方向に対して傾斜したりしていてもよい。 The bus bar 31 is, for example, formed in an elongated shape that has a substantially constant width and extends linearly in the propagation direction of the elastic wave (direction D1). The pair of bus bars 31 face each other in a direction (direction D2) orthogonal to the propagation direction of elastic waves. Note that the bus bar 31 may have a width that changes or may be inclined with respect to the propagation direction of the elastic wave.

各電極指33は、例えば、概略、一定の幅で弾性波の伝搬方向に直交する方向(D2方向)に直線状に延びる長尺状に形成されている。各櫛歯電極29において、複数の電極指33は、弾性波の伝搬方向に配列されている。また、一方の櫛歯電極29の複数の電極指33と他方の櫛歯電極29の複数の電極指33とは、基本的には交互に配列されている。 Each electrode finger 33 is formed, for example, in an elongated shape that has a substantially constant width and extends linearly in a direction (D2 direction) orthogonal to the propagation direction of the elastic wave. In each comb-teeth electrode 29, the plurality of electrode fingers 33 are arranged in the propagation direction of the elastic wave. Further, the plurality of electrode fingers 33 of one comb-teeth electrode 29 and the plurality of electrode fingers 33 of the other comb-teeth electrode 29 are basically arranged alternately.

複数の電極指33のピッチp(例えば互いに隣り合う2本の電極指33の中心間距離)は、励振電極25内において基本的に一定である。なお、励振電極25は、一部にピッチpに関して特異な部分を有していてもよい。特異な部分としては、例えば、大部分(例えば8割以上)よりもピッチpが狭くなる狭ピッチ部、大部分よりもピッチpが広くなる広ピッチ部、少数の電極指33が実質的に間引かれた間引き部が挙げられる。 The pitch p of the plurality of electrode fingers 33 (for example, the distance between the centers of two adjacent electrode fingers 33) is basically constant within the excitation electrode 25. Note that the excitation electrode 25 may have a part that is unique with respect to the pitch p. Specific areas include, for example, a narrow pitch part where the pitch p is narrower than the majority (for example, 80% or more), a wide pitch part where the pitch p is wider than the majority, and a small number of electrode fingers 33 that are substantially spaced apart. An example is the thinned out part.

以下において、ピッチpという場合、特に断りがない限りは、上記のような特異な部分を除いた部分(複数の電極指33の大部分)のピッチをいうものとする。また、特異な部分を除いた大部分の複数の電極指33においても、ピッチが変化しているような場合においては、大部分の複数の電極指33のピッチの平均値をピッチpの値として用いてよい。 In the following, unless otherwise specified, pitch p refers to the pitch of a portion (most of the plurality of electrode fingers 33) excluding the peculiar portions as described above. In addition, if the pitch of most of the plurality of electrode fingers 33 excluding a peculiar part is changing, the average value of the pitch of most of the plurality of electrode fingers 33 is used as the value of pitch p. May be used.

電極指33の本数は、共振子9に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。図5は模式図であることから、電極指33の本数は少なく示されている。実際には、図示よりも多くの電極指33が配列されてよい。後述する反射器27のストリップ電極39についても同様である。 The number of electrode fingers 33 may be appropriately set depending on the electrical characteristics required of the resonator 9 and the like. Since FIG. 5 is a schematic diagram, the number of electrode fingers 33 is shown to be small. In reality, more electrode fingers 33 than shown may be arranged. The same applies to the strip electrode 39 of the reflector 27, which will be described later.

複数の電極指33の長さは、例えば、互いに同等である。なお、励振電極25は、複数の電極指33の長さ(別の観点では後述する交差幅W)が伝搬方向の位置に応じて変化する、いわゆるアポダイズが施されていてもよい。電極指33の長さ及び幅は、要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。 The lengths of the plurality of electrode fingers 33 are, for example, equal to each other. Note that the excitation electrode 25 may be subjected to so-called apodization, in which the length of the plurality of electrode fingers 33 (from another point of view, the cross width W described later) changes depending on the position in the propagation direction. The length and width of the electrode fingers 33 may be set as appropriate depending on required electrical characteristics and the like.

ダミー電極35は、例えば、概ね一定の幅で弾性波の伝搬方向に直交する方向に突出している。その幅は、例えば電極指33の幅と同等である。また、複数のダミー電極35は、複数の電極指33と同等のピッチで配列されており、一方の櫛歯電極29のダミー電極35の先端は、他方の櫛歯電極29の電極指33の先端とギャップを介して対向している。なお、励振電極25は、ダミー電極35を含まないものであってもよい。 For example, the dummy electrode 35 has a substantially constant width and protrudes in a direction perpendicular to the propagation direction of the elastic wave. Its width is, for example, equivalent to the width of the electrode finger 33. Further, the plurality of dummy electrodes 35 are arranged at the same pitch as the plurality of electrode fingers 33, and the tip of the dummy electrode 35 of one comb-teeth electrode 29 is the tip of the electrode finger 33 of the other comb-teeth electrode 29. and are facing each other through a gap. Note that the excitation electrode 25 may not include the dummy electrode 35.

1対の反射器27は、弾性波の伝搬方向において複数の励振電極25の両側に位置している。各反射器27は、例えば、電気的に浮遊状態とされてもよいし、基準電位が付与されてもよい。各反射器27は、例えば、格子状に形成されている。すなわち、反射器27は、互いに対向する1対のバスバー37と、1対のバスバー37間において延びる複数のストリップ電極39とを含んでいる。複数のストリップ電極39のピッチ、及び互いに隣接する電極指33とストリップ電極39とのピッチは、基本的には複数の電極指33のピッチと同等である。 The pair of reflectors 27 are located on both sides of the plurality of excitation electrodes 25 in the propagation direction of the elastic waves. For example, each reflector 27 may be electrically floating or may be provided with a reference potential. Each reflector 27 is formed, for example, in a lattice shape. That is, the reflector 27 includes a pair of bus bars 37 facing each other and a plurality of strip electrodes 39 extending between the pair of bus bars 37. The pitch between the plurality of strip electrodes 39 and the pitch between adjacent electrode fingers 33 and strip electrodes 39 are basically equivalent to the pitch between the plurality of electrode fingers 33.

1対の櫛歯電極29に電圧が印加されると、複数の電極指33によって圧電性を有する上面21aに電圧が印加され、上面21aが振動する。これにより、D1方向に伝搬する弾性波が励振される。弾性波は、複数の電極指33によって反射される。そして、複数の電極指33のピッチpを概ね半波長(λ/2)とする定在波が立つ。定在波によって圧電膜57に生じる電気信号は、複数の電極指33によって取り出される。このような原理により、共振子9は、ピッチpを半波長とする弾性波の周波数を共振周波数とする共振子として機能する。 When a voltage is applied to the pair of comb-teeth electrodes 29, the voltage is applied to the piezoelectric upper surface 21a by the plurality of electrode fingers 33, causing the upper surface 21a to vibrate. This excites elastic waves propagating in the D1 direction. The elastic waves are reflected by the plurality of electrode fingers 33. Then, a standing wave is created in which the pitch p of the plurality of electrode fingers 33 is approximately half a wavelength (λ/2). Electric signals generated in the piezoelectric film 57 by the standing waves are extracted by the plurality of electrode fingers 33. Based on this principle, the resonator 9 functions as a resonator whose resonant frequency is the frequency of an elastic wave whose pitch p is a half wavelength.

共振子9において、反共振周波数は、基本的にピッチpによって規定される共振周波数と、共振子9における容量比によって規定される。容量比は、共振子9(励振電極25)の静電容量と、共振子9を等価回路で表したときの直列共振回路のキャパシタンス(動キャパシタンス)との比である。一方、上述のように、ラダー型フィルタにおいては、基本的に、複数の直列共振子9Sの反共振周波数は同等とされ、また、複数の並列共振子9Pの反共振周波数は同等とされる。従って、複数の直列共振子9Sの静電容量(以下、単に容量ということがある。)は、特に断りがない限り、互いに同等とされてよい。複数の並列共振子9Pについても同様である。 In the resonator 9, the anti-resonance frequency is basically defined by the resonance frequency defined by the pitch p and the capacitance ratio in the resonator 9. The capacitance ratio is the ratio between the capacitance of the resonator 9 (excitation electrode 25) and the capacitance (dynamic capacitance) of a series resonant circuit when the resonator 9 is represented by an equivalent circuit. On the other hand, as described above, in the ladder type filter, the anti-resonant frequencies of the plurality of series resonators 9S are basically the same, and the anti-resonant frequencies of the plurality of parallel resonators 9P are basically the same. Therefore, the capacitances (hereinafter sometimes simply referred to as capacitances) of the plurality of series resonators 9S may be equal to each other unless otherwise specified. The same applies to the plurality of parallel resonators 9P.

特に図示しないが、共振子9は、励振電極25及び反射器27の上から基板21の上面21aを覆う不図示の保護膜を有していてもよい。このような保護膜は、例えば、SiO等の絶縁材料からなり、励振電極25等が腐食する蓋然性を低減したり、及び/又は共振子9の温度変化に起因する特性変化を補償したりすることに寄与する。また、共振子9は、励振電極25及び反射器27の上面又は下面に重なり、基本的に平面透視において励振電極25及び反射器27に収まる形状を有している付加膜を有していてもよい。このような付加膜は、例えば、励振電極25等の材料とは音響的な特性が異なる絶縁材料又は金属材料からなり、SAWの反射係数を向上させることに寄与する。 Although not particularly shown, the resonator 9 may have a protective film (not shown) that covers the upper surface 21a of the substrate 21 from above the excitation electrode 25 and the reflector 27. Such a protective film is made of an insulating material such as SiO 2 , for example, and reduces the possibility that the excitation electrode 25 etc. will corrode, and/or compensates for changes in characteristics due to temperature changes in the resonator 9. Contribute to things. Furthermore, the resonator 9 may have an additional film that overlaps the upper surface or the lower surface of the excitation electrode 25 and the reflector 27 and has a shape that basically fits within the excitation electrode 25 and the reflector 27 in a plan view. good. Such an additional film is made of, for example, an insulating material or a metal material that has different acoustic characteristics from the material of the excitation electrode 25, etc., and contributes to improving the reflection coefficient of the SAW.

フィルタ1は、例えば、同一の基板21上に全ての共振子9を有している。入力端子3、出力端子5及び基準電位部7(基準電位端子)は、例えば、基板21上に位置している導体層によって構成されている。ただし、フィルタ1は、複数の基板21を有していてもよい。そして、フィルタ1の複数の共振子9は、複数の基板21に分散して配置されていてもよい。 The filter 1 has all the resonators 9 on the same substrate 21, for example. The input terminal 3, the output terminal 5, and the reference potential section 7 (reference potential terminal) are constituted by a conductor layer located on the substrate 21, for example. However, the filter 1 may include a plurality of substrates 21. The plurality of resonators 9 of the filter 1 may be distributed and arranged on the plurality of substrates 21.

(電力を異ならせる具体的な方法)
上述したように、本実形態においては、共振子9にかかる電力に関して、周波数f1の電力を最後段の直列共振子9S4a及び9S4bとで異ならせ、かつ周波数f2の電力を直列共振子9S4a及び9S4bとで周波数f1の電力とは逆の大小関係で異ならせる。このように直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を異ならせる方法は種々可能である。既述の説明では、縦軸を減衰量Aとしたグラフ(図4(a))を参照して通過帯域の観点から説明したが、必ずしも図4(a)等を参照して説明した通過帯域が実現されている必要な無い。以下では、直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を異ならせる方法について、いくつかの例を示す。
(Specific method to vary power)
As described above, in this embodiment, regarding the power applied to the resonator 9, the power at the frequency f1 is made different between the series resonators 9S4a and 9S4b at the last stage, and the power at the frequency f2 is made different between the series resonators 9S4a and 9S4b. The power of the frequency f1 is made to differ in magnitude relationship opposite to that of the power of the frequency f1. Various methods are possible for making the power applied to the series resonators 9S4a and 9S4b different in this way. In the above explanation, the explanation has been made from the perspective of the passband with reference to the graph (FIG. 4(a)) in which the vertical axis is the attenuation amount A, but the passband explained with reference to FIG. 4(a) etc. No need to be realized. Below, some examples will be shown about methods of varying the power applied to the series resonators 9S4a and 9S4b.

(容量の相違)
最後段の直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力の相違は、例えば、第1後段フィルタ部11Ba(その全部又は一部)と、第2後段フィルタ部11Bb(その全部又は一部)との間の容量の相違によって実現されてよい。キャパシタのインピーダンスの式からも明らかなように、フィルタ部11及び/又は共振子9は、容量が大きいほど高周波数側の信号を通過させやすくなる。この性質が利用されてよい。
(Difference in capacity)
The difference in power applied to the last-stage series resonators 9S4a and 9S4b is, for example, between the first rear-stage filter section 11Ba (all or a part thereof) and the second rear-stage filter section 11Bb (all or a part thereof). This may be realized by a difference in capacity. As is clear from the formula for the impedance of the capacitor, the larger the capacitance of the filter section 11 and/or the resonator 9, the easier it is to pass signals on the high frequency side. This property may be utilized.

SAW共振子によって構成されている共振子9において、容量を規定するパラメータとしては、例えば、電極指33の交差幅W及び電極指33の本数が挙げられる。交差幅Wは、例えば、図5に示すように、互いに隣り合う2本の電極指33において、一方の電極指33の先端から他方の電極指33の先端までのD2方向における長さによって定義される。図示の例では、交差幅Wは、D1方向のいずれの位置においても同じである。交差幅Wが大きいほど、共振子9の容量は大きくなる。また、電極指33の本数が多いほど、共振子9の容量は大きくなる。 In the resonator 9 configured as a SAW resonator, parameters that define the capacitance include, for example, the intersection width W of the electrode fingers 33 and the number of the electrode fingers 33. For example, as shown in FIG. 5, the intersection width W is defined by the length in the D2 direction from the tip of one electrode finger 33 to the tip of the other electrode finger 33 in two adjacent electrode fingers 33. Ru. In the illustrated example, the intersection width W is the same at any position in the D1 direction. The larger the crossing width W, the larger the capacitance of the resonator 9. Furthermore, the larger the number of electrode fingers 33, the larger the capacitance of the resonator 9.

(並列共振子における交差幅の相違)
図6は、フィルタ1の一部を模式的に示す回路図である。この図では、フィルタ1のうち、出力端子5側の一部が示されている。より詳細には、並列共振子9P3a及び9P3b、直列共振子9S4a及び9S4b、並びに出力端子5が示されている。また、この図では、共振子9は、励振電極25のみが示されている。
(Difference in crossover width in parallel resonators)
FIG. 6 is a circuit diagram schematically showing a part of the filter 1. In this figure, a part of the filter 1 on the output terminal 5 side is shown. More specifically, parallel resonators 9P3a and 9P3b, series resonators 9S4a and 9S4b, and output terminal 5 are shown. Further, in this figure, only the excitation electrode 25 of the resonator 9 is shown.

並列共振子9P3aは、第1後段フィルタ部11Baにおいて、最後段の直列共振子9S4aと、その1つ前の直列共振子9S3a(図1)との間に接続されている並列共振子である。同様に、並列共振子9P3bは、第2後段フィルタ部11Bbにおいて、最後段の直列共振子9S4bと、その1つ前の直列共振子9S3b(図1)との間に接続されている並列共振子である。 The parallel resonator 9P3a is a parallel resonator connected between the last-stage series resonator 9S4a and the immediately previous series resonator 9S3a (FIG. 1) in the first rear-stage filter section 11Ba. Similarly, the parallel resonator 9P3b is a parallel resonator connected between the last stage series resonator 9S4b and the previous series resonator 9S3b (FIG. 1) in the second rear-stage filter section 11Bb. It is.

そして、並列共振子9P3aの電極指33の交差幅は、並列共振子9P3bの電極指33の交差幅よりも長くされ、これにより、並列共振子9P3aの容量は、並列共振子9P3bの容量よりも大きくされてよい。このようにすると、並列共振子9P3aは、並列共振子9P3bに比較して、高周波数側の信号を基準電位部7に逃がしやすくなる。その結果、相対的に低い周波数f1においては、直列共振子9S4aにかかる電力が直列共振子9S4bにかかる電力よりも大きくなり、相対的に高い周波数f2においては、直列共振子9S4bにかかる電力が直列共振子9S4aにかかる電力よりも大きくなる。 The crossing width of the electrode fingers 33 of the parallel resonator 9P3a is made longer than the crossing width of the electrode fingers 33 of the parallel resonator 9P3b, so that the capacitance of the parallel resonator 9P3a is greater than the capacitance of the parallel resonator 9P3b. May be made larger. In this way, the parallel resonator 9P3a can more easily release high-frequency signals to the reference potential section 7 than the parallel resonator 9P3b. As a result, at a relatively low frequency f1, the power applied to the series resonator 9S4a becomes larger than the power applied to the series resonator 9S4b, and at a relatively high frequency f2, the power applied to the series resonator 9S4b becomes larger than the power applied to the series resonator 9S4b. The power is larger than the power applied to the resonator 9S4a.

並列共振子9P3a及び9P3bの容量の差は、適宜に設定されてよい。通常のラダー型フィルタにおいて、特性の微調整のために、並列共振子同士で容量が互いに異なることがある。並列共振子9P3a及び9P3bの容量の差は、例えば、そのような微調整のための容量の差よりも大きくされてよい。例えば、両者の容量の差は、両者の容量の平均値の5%以上、10%以上、20%以上又は30%以上とされてよい。 The difference in capacitance between the parallel resonators 9P3a and 9P3b may be set as appropriate. In a typical ladder filter, parallel resonators may have different capacitances in order to fine-tune their characteristics. The difference in capacitance between parallel resonators 9P3a and 9P3b may be made larger than the difference in capacitance for such fine adjustment, for example. For example, the difference in capacity between the two may be 5% or more, 10% or more, 20% or more, or 30% or more of the average value of both capacities.

並列共振子9P3a及び9P3bの容量は、いずれも前段フィルタ部11Aの並列共振子9Pの容量と異なっていてもよいし、一方のみが前段フィルタ部11Aの並列共振子9Pの容量と異なっていてもよい。前者としては、例えば、並列共振子9P3aの容量が前段フィルタ部11Aの並列共振子9Pの容量よりも大きくされ、並列共振子9P3bの容量が前段フィルタ部11Aの並列共振子9Pの容量よりも小さくされる態様を挙げることができる。 The capacitances of the parallel resonators 9P3a and 9P3b may both be different from the capacitance of the parallel resonator 9P of the pre-stage filter section 11A, or only one of them may be different from the capacitance of the parallel resonator 9P of the pre-stage filter section 11A. good. As for the former, for example, the capacitance of the parallel resonator 9P3a is made larger than the capacitance of the parallel resonator 9P of the pre-stage filter section 11A, and the capacitance of the parallel resonator 9P3b is made smaller than the capacitance of the parallel resonator 9P of the pre-stage filter section 11A. Here are some examples of how this can be done.

交差幅以外の条件(例えばピッチp)については、例えば、並列共振子9P3aと並列共振子9P3bとで同じである。ただし、交差幅以外の条件も両者の間で異なっていてもよい。また、並列共振子9P3a及び9P3bの交差幅(容量)以外の条件(例えばピッチp)は、前段フィルタ部11Aの並列共振子9Pの交差幅以外の条件と同じとされてもよいし、異なっていてもよい。 Conditions other than the intersection width (for example, pitch p) are the same for parallel resonator 9P3a and parallel resonator 9P3b, for example. However, conditions other than the crossing width may also be different between the two. Further, the conditions other than the crossing width (capacitance) of the parallel resonators 9P3a and 9P3b (for example, the pitch p) may be the same as the conditions other than the crossing width of the parallel resonator 9P of the pre-stage filter section 11A, or may be different. You can.

(直列共振子における交差幅の相違)
図6に示すように、最後段の直列共振子9S4bの電極指33の交差幅は、最後段の直列共振子9S4aの電極指33の交差幅よりも長くされ、これにより、直列共振子9S4bの容量は、直列共振子9S4aの電極指33の容量よりも大きくされてよい。このようにすると、直列共振子9S4bは、直列共振子9S4aに比較して、高周波数側の信号を出力端子5へ流しやすくなる。その結果、相対的に低い周波数f1においては、直列共振子9S4aにかかる電力が直列共振子9S4bにかかる電力よりも大きくなり、相対的に高い周波数f2においては、直列共振子9S4bにかかる電力が直列共振子9S4aにかかる電力よりも大きくなる。
(Difference in crossover width in series resonators)
As shown in FIG. 6, the crossing width of the electrode fingers 33 of the last stage series resonator 9S4b is made longer than the crossing width of the electrode fingers 33 of the last stage series resonator 9S4a. The capacitance may be made larger than the capacitance of the electrode finger 33 of the series resonator 9S4a. In this way, the series resonator 9S4b allows signals on the high frequency side to flow more easily to the output terminal 5 than the series resonator 9S4a. As a result, at a relatively low frequency f1, the power applied to the series resonator 9S4a becomes larger than the power applied to the series resonator 9S4b, and at a relatively high frequency f2, the power applied to the series resonator 9S4b becomes larger than the power applied to the series resonator 9S4b. The power is larger than the power applied to the resonator 9S4a.

直列共振子9S4a及び9S4bの容量の差は、適宜に設定されてよい。通常のラダー型フィルタにおいて、特性の微調整のために、直列共振子同士で容量が互いに異なることがある。直列共振子9S4a及び9S4bの容量の差は、例えば、そのような微調整のための容量の差よりも大きくされてよい。例えば、両者の容量の差は、両者の容量の平均値の5%以上、10%以上、20%以上又は30%以上とされてよい。 The difference in capacitance between the series resonators 9S4a and 9S4b may be set as appropriate. In a typical ladder filter, the series resonators may have different capacitances in order to fine-tune their characteristics. The difference in capacitance between the series resonators 9S4a and 9S4b may be made larger than the difference in capacitance for such fine adjustment, for example. For example, the difference in capacity between the two may be 5% or more, 10% or more, 20% or more, or 30% or more of the average value of both capacities.

直列共振子9S4a及び9S4bの容量は、いずれも前段フィルタ部11Aの直列共振子9Sの容量と異なっていてもよいし、一方のみが前段フィルタ部11Aの直列共振子9Sの容量と異なっていてもよい。前者としては、例えば、直列共振子9S4aの容量が前段フィルタ部11Aの直列共振子9Sの容量よりも小さくされ、直列共振子9S4bの容量が前段フィルタ部11Aの直列共振子9Sの容量よりも大きくされる態様を挙げることができる。 The capacitances of the series resonators 9S4a and 9S4b may both be different from the capacitance of the series resonator 9S of the pre-stage filter section 11A, or only one of them may be different from the capacitance of the series resonator 9S of the pre-stage filter section 11A. good. As for the former, for example, the capacitance of the series resonator 9S4a is made smaller than the capacitance of the series resonator 9S of the pre-stage filter section 11A, and the capacitance of the series resonator 9S4b is made larger than the capacitance of the series resonator 9S of the pre-stage filter section 11A. Here are some examples of how this can be done.

交差幅以外の条件(例えばピッチp)については、例えば、直列共振子9S4aと直列共振子9S4bとで同じである。ただし、交差幅以外の条件も両者の間で異なっていてもよい。また、直列共振子9S4a及び9S4bの交差幅(容量)以外の条件(例えばピッチp)は、前段フィルタ部11Aの直列共振子9Sの交差幅以外の条件と同じとされてもよいし、異なっていてもよい。 Conditions other than the intersection width (for example, pitch p) are the same for the series resonator 9S4a and the series resonator 9S4b, for example. However, conditions other than the crossing width may also be different between the two. Further, conditions other than the crossing width (capacitance) of the series resonators 9S4a and 9S4b (for example, pitch p) may be the same as or different from the conditions other than the crossing width of the series resonator 9S of the pre-stage filter section 11A. You can.

(並列共振子における電極指の本数の相違)
図7は、フィルタ1の一部を模式的に示す、図6と同様の回路図である。
(Difference in the number of electrode fingers in parallel resonators)
FIG. 7 is a circuit diagram similar to FIG. 6, schematically showing a part of the filter 1.

図7の例においても、図6の例と同様に、並列共振子9P3aの容量が並列共振子9P3bの容量よりも大きくされている。ただし、図7の例では、並列共振子9P3aの電極指33の本数が、並列共振子9P3bの電極指33の本数よりも多くされ、これにより、容量の相違が実現されている。 Also in the example of FIG. 7, similarly to the example of FIG. 6, the capacitance of the parallel resonator 9P3a is made larger than the capacitance of the parallel resonator 9P3b. However, in the example of FIG. 7, the number of electrode fingers 33 of the parallel resonator 9P3a is greater than the number of electrode fingers 33 of the parallel resonator 9P3b, thereby achieving a difference in capacitance.

容量の相違の実現方法が異なる以外は、図7の並列共振子9P3a及び9P3bは、図6の並列共振子9P3a及び9P3bと同様とされてよい。図6の並列共振子9P3a及び9P3bの説明は、交差幅を電極指の本数に置換して、適宜に援用されてよい。 The parallel resonators 9P3a and 9P3b in FIG. 7 may be the same as the parallel resonators 9P3a and 9P3b in FIG. 6, except that the method of realizing the difference in capacitance is different. The description of the parallel resonators 9P3a and 9P3b in FIG. 6 may be used as appropriate by replacing the intersection width with the number of electrode fingers.

(直列共振子における電極指の本数の相違)
並列共振子9P3a及び9P3bと同様に、図7の直列共振子9S4a及び9S4bは、電極指33の本数によって容量の相違が実現されている点が図6の直列共振子9S4a及び9S4bと相違する。この点以外は、図7の直列共振子9S4a及び9S4bは、図6の直列共振子9S4a及び9S4bと同様とされてよい。図6の直列共振子9S4a及び9S4bの説明は、交差幅を電極指の本数に置換して、適宜に援用されてよい。
(Difference in the number of electrode fingers in series resonators)
Similar to the parallel resonators 9P3a and 9P3b, the series resonators 9S4a and 9S4b shown in FIG. 7 differ from the series resonators 9S4a and 9S4b shown in FIG. 6 in that a difference in capacitance is realized depending on the number of electrode fingers 33. Other than this point, the series resonators 9S4a and 9S4b in FIG. 7 may be the same as the series resonators 9S4a and 9S4b in FIG. 6. The description of the series resonators 9S4a and 9S4b in FIG. 6 may be used as appropriate by replacing the intersection width with the number of electrode fingers.

(ピッチの相違)
最後段の直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力の相違は、図2、図3及び図4(a)を参照して説明した概念に近い形で実現されてもよい。すなわち、電極指33のピッチp(図5)の調整によって通過帯域を調整し、これにより、電力の相違を実現してもよい。具体的には、以下のとおりである。
(difference in pitch)
The difference in power applied to the last-stage series resonators 9S4a and 9S4b may be realized in a form similar to the concept described with reference to FIGS. 2, 3, and 4(a). That is, the pass band may be adjusted by adjusting the pitch p (FIG. 5) of the electrode fingers 33, thereby realizing a difference in power. Specifically, it is as follows.

図8は、フィルタ1の一部を模式的に示す、図6と同様の回路図である。 FIG. 8 is a circuit diagram similar to FIG. 6, schematically showing a part of the filter 1.

図8に示す例では、並列共振子9P3aのピッチpは、並列共振子9P3bのピッチpよりも大きくされている。従って、並列共振子9P3aの共振周波数fpr(図2)は、並列共振子9P3bの共振周波数fprよりも低くなっている。また、並列共振子9P3aの反共振周波数fpa(図2)は、並列共振子9P3bの反共振周波数fpaよりも低くなっている。 In the example shown in FIG. 8, the pitch p of the parallel resonators 9P3a is larger than the pitch p of the parallel resonators 9P3b. Therefore, the resonant frequency fpr (FIG. 2) of the parallel resonator 9P3a is lower than the resonant frequency fpr of the parallel resonator 9P3b. Further, the anti-resonance frequency fpa (FIG. 2) of the parallel resonator 9P3a is lower than the anti-resonance frequency fpa of the parallel resonator 9P3b.

また、図8に示す例では、直列共振子9P4aのピッチpは、直列共振子9P4bのピッチpよりも大きくされている。従って、直列共振子9P4aの共振周波数fsr(図2)は、直列共振子9P4bの共振周波数fsrよりも低くなっている。また、直列共振子9P4aの反共振周波数fsa(図2)は、直列共振子9P4bの反共振周波数fsaよりも低くなっている。 Moreover, in the example shown in FIG. 8, the pitch p of the series resonators 9P4a is made larger than the pitch p of the series resonators 9P4b. Therefore, the resonant frequency fsr (FIG. 2) of the series resonator 9P4a is lower than the resonant frequency fsr of the series resonator 9P4b. Further, the anti-resonant frequency fsa (FIG. 2) of the series resonator 9P4a is lower than the anti-resonant frequency fsa of the series resonator 9P4b.

従って、第1後段フィルタ部11Baの通過帯域PB(図2)は、図4(a)及び図4(b)を参照して説明したように、第2後段フィルタ部11Bbの通過帯域PBに比較して低周波数側に位置している。 Therefore, the passband PB (FIG. 2) of the first post-filter section 11Ba is compared with the passband PB of the second post-filter section 11Bb, as explained with reference to FIGS. 4(a) and 4(b). It is located on the low frequency side.

各後段フィルタ部11Bの通過帯域PBは、前段フィルタ部11Aの通過帯域PB(例えば2つの後段フィルタ部11Bの通過帯域PBを足し合わせた通過帯域PB0と同一)よりも狭い。別の観点では、後段フィルタ部11Bの各共振子9における共振周波数と反共振周波数との周波数差は、前段フィルタ部11Aの各共振子9における共振周波数と反共振周波数との周波数差よりも小さい。このような周波数差の調整は、例えば、公知の種々の方法により実現されてよい。 The passband PB of each post-filter section 11B is narrower than the passband PB of the pre-filter section 11A (eg, the same as the passband PB0 obtained by adding the passbands PB of the two post-filter sections 11B). From another perspective, the frequency difference between the resonant frequency and the anti-resonant frequency in each resonator 9 of the post-stage filter section 11B is smaller than the frequency difference between the resonant frequency and the anti-resonant frequency in each resonator 9 of the pre-stage filter section 11A. . Such frequency difference adjustment may be realized, for example, by various known methods.

例えば、例えば、共振子9を等価回路で表したときの直列共振回路の容量(動キャパシタンス)に対する共振子9の静電容量の比を大きくすることによって、反共振周波数を低周波側(共振周波数側)にシフトさせ、ひいては、周波数差を小さくしてよい。この容量比を調整する手法も、公知の種々の方法により実現されてよい。例えば、共振子9の種々のパラメータ自体が調整されてよい。また、例えば、共振子9に並列にキャパシタが接続されてもよい。この場合は、共振子9と付加されたキャパシタとの組み合わせが共振子と捉えられてもよい。 For example, by increasing the ratio of the capacitance of the resonator 9 to the capacitance (dynamic capacitance) of the series resonant circuit when the resonator 9 is expressed as an equivalent circuit, the anti-resonant frequency can be adjusted to the lower frequency side (resonant frequency side), thereby reducing the frequency difference. The method of adjusting this capacitance ratio may also be realized by various known methods. For example, various parameters of the resonator 9 may themselves be adjusted. Further, for example, a capacitor may be connected in parallel to the resonator 9. In this case, the combination of the resonator 9 and the added capacitor may be regarded as a resonator.

(他の調整パラメータ)
最後段の直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を異ならせる方法は、特に図示しないが、共振子9の容量の調整及びピッチの相違以外にも種々可能である。
(other adjustment parameters)
Although not particularly shown, various methods for varying the power applied to the series resonators 9S4a and 9S4b at the last stage are possible in addition to adjusting the capacitance of the resonators 9 and varying the pitch.

また、例えば、共振子9のデューティー比が調整されてもよい。デューティー比は、例えば、電極指33の幅をw0(図5)としたときに、w0/pによって表される。デューティー比が大きくされるほど、共振子9の共振周波数及び反共振周波数は低くなる。従って、例えば、並列共振子9P3aのデューティー比が、並列共振子9P3bのデューティー比よりも大きくされたり、及び/又は直列共振子9S4aのデューティー比が、直列共振子9S4bのデューティー比よりも大きくされたりしてよい。 Further, for example, the duty ratio of the resonator 9 may be adjusted. The duty ratio is expressed, for example, by w0/p, where the width of the electrode finger 33 is w0 (FIG. 5). The larger the duty ratio, the lower the resonant frequency and anti-resonant frequency of the resonator 9. Therefore, for example, the duty ratio of the parallel resonator 9P3a may be made larger than the duty ratio of the parallel resonator 9P3b, and/or the duty ratio of the series resonator 9S4a may be made larger than the duty ratio of the series resonator 9S4b. You may do so.

また、例えば、共振子9の励振電極25の厚さが調整されてもよい。励振電極25が厚くされるほど、共振子9の共振周波数及び反共振周波数は低くなる。従って、例えば、並列共振子9P3aの励振電極25が、並列共振子9P3bの励振電極25よりも厚くされたり、及び/又は直列共振子9S4aの励振電極25が、直列共振子9S4bの励振電極25よりも厚くされたりしてよい。 Further, for example, the thickness of the excitation electrode 25 of the resonator 9 may be adjusted. The thicker the excitation electrode 25, the lower the resonant frequency and anti-resonant frequency of the resonator 9. Therefore, for example, the excitation electrode 25 of the parallel resonator 9P3a may be made thicker than the excitation electrode 25 of the parallel resonator 9P3b, and/or the excitation electrode 25 of the series resonator 9S4a may be made thicker than the excitation electrode 25 of the series resonator 9S4b. It may also be made thicker.

また、例えば、励振電極25が不図示の保護膜によって覆われている態様においては、保護膜の厚さが調整されてもよい。保護膜が厚くされるほど、共振子9の共振周波数及び反共振周波数は低くなる。従って、例えば、並列共振子9P3aの励振電極25を覆う保護膜が、並列共振子9P3bの励振電極25を覆う保護膜よりも厚くされたり、及び/又は直列共振子9S4aの励振電極25を覆う保護膜が、直列共振子9S4bの励振電極25を覆う保護膜よりも厚くされたりしてよい。 Further, for example, in an embodiment in which the excitation electrode 25 is covered with a protective film (not shown), the thickness of the protective film may be adjusted. The thicker the protective film, the lower the resonant frequency and anti-resonant frequency of the resonator 9. Therefore, for example, the protective film covering the excitation electrode 25 of the parallel resonator 9P3a may be made thicker than the protective film covering the excitation electrode 25 of the parallel resonator 9P3b, and/or the protection film covering the excitation electrode 25 of the series resonator 9S4a. The film may be thicker than the protective film covering the excitation electrode 25 of the series resonator 9S4b.

また、例えば、励振電極25に不図示の付加膜が重ねられている態様においては、付加膜の厚さが調整されてもよい。付加膜が厚くされるほど、共振子9の共振周波数及び反共振周波数は低くなる。従って、例えば、並列共振子9P3aの付加膜が、並列共振子9P3bの付加膜よりも厚くされたり、及び/又は直列共振子9S4aの付加膜が、直列共振子9S4bの付加膜よりも厚くされたりしてよい。ただし、付加膜は、励振電極25の一部として捉えられてもよい。また、例えば、並列共振子9P3a及び9P3bのうち、前者に対してのみ付加膜を設けたり、及び/又は直列共振子9S4a及び9S4bのうち前者に対してのみ付加膜を設けたりしてもよい。 Further, for example, in a mode in which an additional film (not shown) is superimposed on the excitation electrode 25, the thickness of the additional film may be adjusted. The thicker the additional film, the lower the resonant frequency and anti-resonant frequency of the resonator 9. Therefore, for example, the additional film of the parallel resonator 9P3a may be made thicker than the additional film of the parallel resonator 9P3b, and/or the additional film of the series resonator 9S4a may be made thicker than the additional film of the series resonator 9S4b. You may do so. However, the additional film may be considered as part of the excitation electrode 25. Further, for example, an additional film may be provided only for the former of the parallel resonators 9P3a and 9P3b, and/or an additional film may be provided only for the former of the series resonators 9S4a and 9S4b.

また、例えば、抵抗体、インダクタ及び/又はキャパシタが、共振子9に対して、直列及び/又は並列に接続されてもよい。例えば、既述のように、共振子9に対して並列にキャパシタが接続されると、反共振周波数が低周波数側にシフトする。また、共振子9に対して直列にインダクタを接続すると、共振周波数が低周波数側にシフトする。従って、例えば、並列共振子9P3a及び9P3bのうち前者に対してのみ、キャパシタを並列接続するとともにインダクタを直列接続したり、及び/又は直列共振子9S4a及び9S4bのうち前者に対してのみ、キャパシタを並列接続するとともにインダクタを直列接続したりしてよい。あるいは、並列共振子9P3a及び9P3bの双方にキャパシタを並列接続するとともにインダクタを直列接続しつつ、並列共振子9P3aに付加されるキャパシタンス及びインダクタンスを並列共振子9P3bに付加されるキャパシタンス及びインダクタンスよりも大きくしてもよい。直列共振子9S4a及び9S4bについても同様である。なお、共振子9と、共振子9に接続される上記の電子素子との組み合わせが共振子と捉えられてもよい。 Further, for example, a resistor, an inductor, and/or a capacitor may be connected to the resonator 9 in series and/or in parallel. For example, as described above, when a capacitor is connected in parallel to the resonator 9, the anti-resonance frequency shifts to the lower frequency side. Furthermore, when an inductor is connected in series with the resonator 9, the resonant frequency is shifted to the lower frequency side. Therefore, for example, a capacitor may be connected in parallel and an inductor may be connected in series only to the former of the parallel resonators 9P3a and 9P3b, and/or a capacitor may be connected only to the former of the series resonators 9S4a and 9S4b. Inductors may be connected in series as well as in parallel. Alternatively, capacitors are connected in parallel to both parallel resonators 9P3a and 9P3b, and inductors are connected in series, and the capacitance and inductance added to the parallel resonator 9P3a are made larger than the capacitance and inductance added to the parallel resonator 9P3b. You may. The same applies to series resonators 9S4a and 9S4b. Note that the combination of the resonator 9 and the above electronic element connected to the resonator 9 may be regarded as a resonator.

上記の説明から理解されるように、電力を異ならせるために調整される対象は、(狭義の)共振子9自体であってもよいし、共振子9以外の構成要素(例えば、キャパシタ及びインダクタ)であってもよい。 As understood from the above description, the object to be adjusted in order to vary the power may be the resonator 9 itself (in a narrow sense), or components other than the resonator 9 (for example, capacitors and inductors). ).

これまでに説明した電力を異ならせる方法は、適宜に組み合わされてよい。例えば、交差幅の調整、電極指33の本数の調整、ピッチの調整、励振電極25の厚さの調整、保護膜の厚さの調整、付加膜の厚さの調整及び他の電子素子の接続のうち、2つ以上が組み合わされて、並列共振子9P3a及び9P3bの相違の実現に適用されたり、直列共振子9S4a及び9S4bの相違の実現に適用されたりしてよい。また、例えば、並列共振子9P3a及び9P3bに適用される手法と、直列共振子9S4a及び9S4bに適用される手法とが異なっていてもよい。 The methods of varying power described above may be combined as appropriate. For example, adjusting the crossing width, adjusting the number of electrode fingers 33, adjusting the pitch, adjusting the thickness of the excitation electrode 25, adjusting the thickness of the protective film, adjusting the thickness of the additional film, and connecting other electronic elements. Two or more of them may be combined and applied to realize the difference between the parallel resonators 9P3a and 9P3b, or applied to realize the difference between the series resonators 9S4a and 9S4b. Further, for example, the method applied to the parallel resonators 9P3a and 9P3b may be different from the method applied to the series resonators 9S4a and 9S4b.

(他の共振子における調整)
図6~図8では、最後段の直列共振子4Sa及び4Sbの構成を異ならせるとともに、その直前の並列共振子9P3a及び9P3bの構成を異ならせ、最後段の直列共振子4Sa及び4Sbにかかる電力を互いに異ならせた。換言すれば、2つの後段フィルタ部11Bの他の構成(例えば他の共振子9)は互いに同じであることが前提とされた。また、2つの後段フィルタ部11Bの他の共振子9(図1の例では直列共振子9S3a及び9S3b)は、前段フィルタ部11Aの共振子9と同様とされた。ただし、特に図示しないが、直列共振子4Sa及び4Sb並びに並列共振子9P3a及び9P3bの構成の調整に代えて、又は加えて、後段フィルタ部11Bが含む他の共振子9の構成が調整されることによって、最後段の直列共振子4Sa及び4Sbにかかる電力が異ならされてもよい。
(Adjustment in other resonators)
In FIGS. 6 to 8, the configurations of the series resonators 4Sa and 4Sb at the last stage are different, and the configurations of the parallel resonators 9P3a and 9P3b immediately before them are different, so that the power applied to the series resonators 4Sa and 4Sb at the last stage is were made different from each other. In other words, it was assumed that the other configurations (for example, other resonators 9) of the two post-stage filter sections 11B were the same. Further, the other resonators 9 (in the example of FIG. 1, series resonators 9S3a and 9S3b) of the two rear-stage filter sections 11B are similar to the resonators 9 of the front-stage filter section 11A. However, although not particularly illustrated, instead of or in addition to adjusting the configurations of the series resonators 4Sa and 4Sb and the parallel resonators 9P3a and 9P3b, the configurations of other resonators 9 included in the post-stage filter section 11B may be adjusted. Accordingly, the power applied to the last stage series resonators 4Sa and 4Sb may be made different.

例えば、上述した直列共振子4Sa及び4Sbに対する種々の調整は、直列共振子4Sa及び4Sbに代えて、又は加えて、後段フィルタ部11Bの他の直列共振子9S(図1の例では直列共振子9S3a及び9S3b)に対して施されてよい。また、図1の例とは異なり、いずれかの後段フィルタ部11Bが3つ以上の直列共振子9Sと2以上の並列共振子9Pとを有している場合において、上述した並列共振子9P3a及び9P3bに対する種々の調整と同様の調整は、並列共振子9P3a及び9P3bに代えて、又は加えて、後段フィルタ部11Bの他の並列共振子9Pに対して施されてよい。 For example, the various adjustments to the series resonators 4Sa and 4Sb described above can be made by adjusting the other series resonators 9S (in the example of FIG. 9S3a and 9S3b). Moreover, unlike the example of FIG. 1, in a case where any of the post-stage filter sections 11B has three or more series resonators 9S and two or more parallel resonators 9P, the above-mentioned parallel resonators 9P3a and Adjustments similar to the various adjustments made to 9P3b may be made to other parallel resonators 9P of the post-filter section 11B instead of or in addition to the parallel resonators 9P3a and 9P3b.

また、個々の共振子9に着目して説明したが、例えば、入力側から見て、周波数f1においては、第1後段フィルタ部11Ba全体のインピーダンスが第2後段フィルタ部11Bb全体のインピーダンスよりも小さくなり、周波数f2においては、第1後段フィルタ部11Ba全体のインピーダンスが第2後段フィルタ部11Bb全体のインピーダンスよりも大きくなるように設計がなされてよい。及び/又は、入力側から見て、第1後段フィルタ部11Baにおいては、周波数f1におけるインピーダンスが周波数f2におけるインピーダンスよりも小さくなり、第2後段フィルタ部11Bbにおいては、周波数f1におけるインピーダンスが周波数f2におけるインピーダンスよりも大きくなるように設計がなされてよい。加えて、各後段フィルタ部11B内の分圧等が適宜に調整されてよい。 Furthermore, although the explanation has focused on the individual resonators 9, for example, when viewed from the input side, at the frequency f1, the impedance of the entire first rear-stage filter section 11Ba is smaller than the impedance of the entire second rear-stage filter section 11Bb. Therefore, at frequency f2, the impedance of the entire first filter section 11Ba may be designed to be larger than the impedance of the entire second filter section 11Bb. And/or, when viewed from the input side, in the first post-stage filter section 11Ba, the impedance at the frequency f1 becomes smaller than the impedance at the frequency f2, and in the second post-stage filter section 11Bb, the impedance at the frequency f1 becomes smaller than the impedance at the frequency f2. The design may be such that it is larger than the impedance. In addition, the partial pressure within each post-filter section 11B may be adjusted as appropriate.

以上のとおり、本実施形態では、フィルタ1は、信号が入力される入力端子3と、信号を出力する出力端子5と、入力端子3から出力端子5への信号経路に位置している第1フィルタ部(第1後段フィルタ部11Ba)及び第2フィルタ部(第2後段フィルタ部11Bb)とを有している。2つの後段フィルタ部11Bは並列接続されている。2つの後段フィルタ部11Bそれぞれは、ラダー型に接続された、2以上(本実施形態では2つ)の直列共振子9Sと、1以上(本実施形態では1つ)の並列共振子9Pとを備えるラダー型フィルタである。2つの後段フィルタ部11Bそれぞれにおいて、1以上の並列共振子9Pは、2以上の直列共振子9Sのうち1つから他の1つへの信号経路に接続されている並列共振子9P3a又は9P3bを含んでいる。2つの後段フィルタ部11Bの通過帯域PBを足し合わせた第1通過帯域(通過帯域PB0)内において、第1周波数(周波数f1)、及び周波数f1よりも高い第2周波数(周波数f2)に着目する。このとき、2つの後段フィルタ部11Bは、以下の関係が満たされるように構成されている。周波数f1を有する信号が2つの後段フィルタ部11Bに同時に入力されたとき、直列共振子9S4aにかかる信号の電力が、直列共振子9S4bにかかる電力よりも大きくなる。かつ周波数f2を有する信号が2つの後段フィルタ部11Bに同時に入力されたとき、直列共振子9S4bにかかる電力が、直列共振子9S4aにかかる電力よりも大きくなる。 As described above, in this embodiment, the filter 1 includes an input terminal 3 to which a signal is input, an output terminal 5 to which a signal is output, and a first terminal located on the signal path from the input terminal 3 to the output terminal 5. It has a filter section (first rear filter section 11Ba) and a second filter section (second rear filter section 11Bb). The two post-stage filter sections 11B are connected in parallel. Each of the two post-stage filter sections 11B includes two or more (two in this embodiment) series resonators 9S and one or more (one in this embodiment) parallel resonators 9P connected in a ladder shape. It is a ladder type filter. In each of the two post-stage filter sections 11B, one or more parallel resonators 9P connect a parallel resonator 9P3a or 9P3b connected to a signal path from one to the other of the two or more series resonators 9S. Contains. Focusing on the first frequency (frequency f1) and the second frequency (frequency f2) higher than frequency f1 within the first passband (passband PB0) that is the sum of the passbands PB of the two post-filter sections 11B. . At this time, the two post-stage filter sections 11B are configured so that the following relationship is satisfied. When signals having the frequency f1 are simultaneously input to the two post-stage filter sections 11B, the power of the signal applied to the series resonator 9S4a becomes larger than the power applied to the series resonator 9S4b. When signals having the frequency f2 are simultaneously input to the two post-stage filter sections 11B, the power applied to the series resonator 9S4b becomes larger than the power applied to the series resonator 9S4a.

従って、例えば、既に述べたように、相互変調歪が低減される。相互変調歪の低減によって、例えば、1つの規格化された通過帯域(通過帯域PB0)内において2種以上の周波数の信号を同時に用いることができる。その結果、例えば、フィルタ1を基地局の送信用のフィルタに用いることによって、複数のキャリアが1つの基地局を同時に利用することが容易化される。これまで、アンテナに入力される微弱な受信信号の相互変調歪の対策は検討されているが、本実施形態のように、電力が大きい送信信号の相互変調歪に対応可能な対策は検討されていない。 Thus, for example, as already mentioned, intermodulation distortion is reduced. By reducing intermodulation distortion, for example, signals of two or more frequencies can be used simultaneously within one standardized passband (passband PB0). As a result, for example, by using filter 1 as a transmission filter for a base station, it becomes easier for a plurality of carriers to use one base station at the same time. Until now, countermeasures against intermodulation distortion of weak received signals input to antennas have been studied, but countermeasures that can cope with intermodulation distortion of high-power transmission signals as in this embodiment have not been considered. do not have.

本願発明者は、相互変調歪の低減の効果をシミュレーション計算によって確認している。具体的には、図1に示すような構成において、並列共振子9P3a及び9P3bの構成が同一であり、かつ直列共振子9S4a及び9S4bの構成が同一である態様を比較例とした。別の観点では、後段フィルタ部11Bの全ての直列共振子9S及び並列共振子9Pの構成が前段フィルタ部11Aの直列共振子9S及び並列共振子9Pの構成と同一である態様を比較例とした。また、比較例において、並列共振子9P3a及び9P3bの容量の比を3:2に変更し、直列共振子9S4a及び9S4bの容量の比を3:4に変更したものを実施例とした。実施例は、比較例に対して、相互変調歪が低減され、その差は約0.05dBであった。 The inventor of the present application has confirmed the effect of reducing intermodulation distortion through simulation calculations. Specifically, in the configuration shown in FIG. 1, a configuration in which parallel resonators 9P3a and 9P3b have the same configuration and series resonators 9S4a and 9S4b have the same configuration was used as a comparative example. From another point of view, an aspect in which the configurations of all the series resonators 9S and parallel resonators 9P of the post-stage filter section 11B are the same as the configurations of the series resonators 9S and parallel resonators 9P of the pre-stage filter section 11A is taken as a comparative example. . Furthermore, in the comparative example, the ratio of the capacitances of the parallel resonators 9P3a and 9P3b was changed to 3:2, and the ratio of the capacitances of the series resonators 9S4a and 9S4b was changed to 3:4. In the example, intermodulation distortion was reduced compared to the comparative example, and the difference was about 0.05 dB.

本実施形態では、第1後段フィルタ部11Baの通過帯域PBのうち、その高周波数側の境界周波数を含む少なくとも一部の帯域と、第2後段フィルタ部11Bbの通過帯域PBのうち、その低周波数側の境界周波数を含む少なくとも一部の帯域とが重複している。 In this embodiment, at least a part of the pass band PB of the first post-filter section 11Ba includes a boundary frequency on the high frequency side, and a low frequency of the pass band PB of the second post-filter section 11Bb. At least a part of the band including the boundary frequency on the side overlaps.

この場合、例えば、2つの後段フィルタ部11Bの通過帯域PBの間に信号が減衰されてしまう周波数帯が生じてしまう蓋然性が低減される。ひいては、2つの後段フィルタ部11Bを含むフィルタ1は、1つの通過帯域PB0を有するフィルタとして機能できる。 In this case, for example, the probability that a frequency band in which a signal is attenuated will occur between the passbands PB of the two post-filter sections 11B is reduced. Furthermore, the filter 1 including the two post-stage filter sections 11B can function as a filter having one passband PB0.

本実施形態では、フィルタ1は、第3フィルタ部(前段フィルタ部11A)を更に有している。前段フィルタ部11Aは、入力端子3から2つの後段フィルタ部11Bへの信号経路に位置しており、周波数f1及びf2を含む通過帯域(例えば、2つの後段フィルタ部11Bの通過帯域を足し合わせた通過帯域PB0)を有している。 In this embodiment, the filter 1 further includes a third filter section (pre-stage filter section 11A). The front-stage filter section 11A is located in the signal path from the input terminal 3 to the two rear-stage filter sections 11B, and has a passband including frequencies f1 and f2 (for example, the sum of the passbands of the two rear-stage filter sections 11B). It has a passband PB0).

この場合、例えば、通過帯域PB0の信号を通過させ、通過帯域PB0の外側の信号を減衰する効果が向上する。すなわち、通過帯域PB0を有するフィルタ1の本来の機能が向上する。 In this case, for example, the effect of passing the signal in the passband PB0 and attenuating the signal outside the passband PB0 is improved. That is, the original function of the filter 1 having the passband PB0 is improved.

本実施形態では、第1後段フィルタ部11Baの最後段の直列共振子9S4aの容量が第2後段フィルタ部11Bbの最後段の直列共振子9S4bの容量よりも小さい。 In this embodiment, the capacitance of the last-stage series resonator 9S4a of the first rear-stage filter section 11Ba is smaller than the capacitance of the last-stage series resonator 9S4b of the second rear-stage filter section 11Bb.

この場合、既に述べたように、高い周波数の信号ほど、直列共振子9S4a及び9S4bのうち後者を通過しやすい。これにより、直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を互いに異ならせ、相互変調歪を低減できる。さらに、直列共振子9S4aのピッチpと、直列共振子9S4bのピッチpとを異ならせる態様に比較して、リップルの発生が低減される。これは、本願発明者のシミュレーション計算によって確認されている。例えば、直列共振子9S4aのピッチpと、直列共振子9S4bのピッチpとが、通過帯域PB0の1/4以上の幅に相当する量で相違すると、リップルが生じる。しかし、容量の相違によって直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を互いに異ならせる態様においては、そのような蓋然性が低減される。 In this case, as already stated, the higher the frequency of the signal, the easier it is to pass through the latter of the series resonators 9S4a and 9S4b. Thereby, the powers applied to the series resonators 9S4a and 9S4b can be made different from each other, and intermodulation distortion can be reduced. Furthermore, the occurrence of ripples is reduced compared to an embodiment in which the pitch p of the series resonators 9S4a and the pitch p of the series resonators 9S4b are made different. This has been confirmed by the inventor's simulation calculations. For example, if the pitch p of the series resonator 9S4a and the pitch p of the series resonator 9S4b differ by an amount corresponding to a width of 1/4 or more of the pass band PB0, ripples occur. However, in an embodiment in which the powers applied to the series resonators 9S4a and 9S4b are made to differ from each other due to the difference in capacitance, such probability is reduced.

本実施形態では、第1後段フィルタ部11Baの最後段の並列共振子9P3aの容量が第2後段フィルタ部11Bbの最後段の並列共振子9P3bの容量よりも大きい。 In this embodiment, the capacitance of the last-stage parallel resonator 9P3a of the first rear-stage filter section 11Ba is larger than the capacitance of the last-stage parallel resonator 9P3b of the second rear-stage filter section 11Bb.

この場合、既に述べたように、高い周波数の信号ほど、並列共振子9P3a及び9P3bのうち前者を通過しやすい。これにより、直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を互いに異ならせ、相互変調歪を低減できる。また、直列共振子9S4a及び9S4bに関して述べたように、ピッチpを異ならせる態様に比較して、リップルが生じる蓋然性を低減することができる。 In this case, as already mentioned, the higher the frequency of the signal, the easier it is to pass through the former of the parallel resonators 9P3a and 9P3b. Thereby, the powers applied to the series resonators 9S4a and 9S4b can be made different from each other, and intermodulation distortion can be reduced. Furthermore, as described with respect to the series resonators 9S4a and 9S4b, the probability that ripples occur can be reduced compared to the case where the pitches p are different.

本実施形態では、2つの後段フィルタ部11Bが有する2以上の直列共振子9S及び1以上の並列共振子9Pは、それぞれ励振電極25を有する弾性波共振子(例えばSAW共振子)である。励振電極25は、弾性波の伝搬方向に配列されている複数の電極指33を有している。 In this embodiment, the two or more series resonators 9S and the one or more parallel resonators 9P included in the two post-filter sections 11B are elastic wave resonators (for example, SAW resonators) each having an excitation electrode 25. The excitation electrode 25 has a plurality of electrode fingers 33 arranged in the propagation direction of the elastic wave.

このような構成においては、例えば、種々の方法によって最後段の直列共振子9S4a及び9S4bにかかる電力を調整することができる。また、例えば、電極指33の交差幅及び/又は本数の調整によって容易に容量を調整することができる。 In such a configuration, for example, the power applied to the last stage series resonators 9S4a and 9S4b can be adjusted using various methods. Further, for example, the capacitance can be easily adjusted by adjusting the crossing width and/or the number of electrode fingers 33.

本実施形態では、第1後段フィルタ部11Baの最後段の直列共振子9S4aにおける複数の電極指33のピッチpが、第2後段フィルタ部11Bbの最後段の直列共振子9S4bにおける複数の電極指33のピッチpよりも大きい。 In the present embodiment, the pitch p of the plurality of electrode fingers 33 in the last stage series resonator 9S4a of the first rear filter section 11Ba is the same as the pitch p of the plurality of electrode fingers 33 in the last stage series resonator 9S4b of the second rear filter section 11Bb. is larger than the pitch p.

この場合、例えば、第1後段フィルタ部11Baにおいて、周波数f2の信号を減衰させる原理は、弾性波共振子を用いたラダー型フィルタの原理に基づくから、より顕著に直列共振子9S4aにかかる周波数f2の電力を低減することができる。同様に、第2後段フィルタ部11Bbにおいて、より顕著に直列共振子9S4bにかかる周波数f1の電力を低減することができる。 In this case, for example, since the principle of attenuating the signal of frequency f2 in the first post-filter section 11Ba is based on the principle of a ladder filter using an elastic wave resonator, the frequency f2 applied to the series resonator 9S4a is more noticeable. power can be reduced. Similarly, in the second post-stage filter section 11Bb, the power at the frequency f1 applied to the series resonator 9S4b can be reduced more significantly.

本実施形態では、第1後段フィルタ部11Baの最後段の並列共振子9P3aにおける複数の電極指33のピッチpが、第2後段フィルタ部11Bbの最後段の並列共振子9P3bにおける複数の電極指33のピッチpよりも大きい。 In this embodiment, the pitch p of the plurality of electrode fingers 33 in the last-stage parallel resonator 9P3a of the first rear-stage filter section 11Ba is the same as the pitch p of the plurality of electrode fingers 33 in the last-stage parallel resonator 9P3b of the second rear-stage filter section 11Bb. is larger than the pitch p.

この場合、例えば、上記の直列共振子9Sのピッチを異ならせた場合と同様に、より顕著に、直列共振子9S4aにかかる周波数f2の電力、及び直列共振子9S4bにかかる周波数f1の電力を低減することができる。 In this case, for example, similar to the case where the pitches of the series resonators 9S are different, the power at the frequency f2 applied to the series resonator 9S4a and the power at the frequency f1 applied to the series resonator 9S4b are more significantly reduced. can do.

(フィルタの利用例)
以下、上述したフィルタ1を含む電子部品及び電子機器を例示する。
(Example of filter usage)
Hereinafter, electronic components and electronic equipment including the filter 1 described above will be illustrated.

(分波器)
図9は、フィルタ1の利用例としての分波器101の構成を模式的に示す回路図である。
(branching filter)
FIG. 9 is a circuit diagram schematically showing the configuration of a duplexer 101 as an example of how the filter 1 is used.

分波器101は、より詳細には、デュプレクサとして構成されている。分波器101は、例えば、送信端子103からの送信信号をフィルタリングしてアンテナ端子105へ出力する送信フィルタ109と、アンテナ端子105からの受信信号をフィルタリングして1対の受信端子107に出力する受信フィルタ111とを有している。 More specifically, the branching filter 101 is configured as a duplexer. The duplexer 101 includes, for example, a transmission filter 109 that filters the transmission signal from the transmission terminal 103 and outputs it to the antenna terminal 105, and a transmission filter 109 that filters the reception signal from the antenna terminal 105 and outputs it to a pair of reception terminals 107. It has a reception filter 111.

図示の例では、フィルタ1は、送信フィルタ109に利用されている。送信端子103は、フィルタ1の入力端子3に相当する。アンテナ端子105は出力端子5に相当する。ここでは、便宜上、図1とは異なり、送信端子103及びアンテナ端子105を送信フィルタ109(フィルタ1)の外部の構成要素として図示している。 In the illustrated example, filter 1 is used as transmit filter 109. The transmission terminal 103 corresponds to the input terminal 3 of the filter 1. Antenna terminal 105 corresponds to output terminal 5. For convenience, unlike FIG. 1, the transmission terminal 103 and antenna terminal 105 are illustrated as external components of the transmission filter 109 (filter 1).

受信フィルタ111は、図示の例では、送信フィルタ109(フィルタ1)と同様に、ラダー型フィルタによって構成されている。ただし、受信フィルタ111は、他の形式のフィルタによって構成されていてもよい。例えば、受信フィルタ111は、多重モード型フィルタによって構成されていてもよい。特に図示しないが、多重モード型フィルタは、例えば、弾性波の伝搬方向に配列された2以上の励振電極25と、その両側に位置する1対の反射器27とを有している。 In the illustrated example, the reception filter 111 is configured by a ladder filter like the transmission filter 109 (filter 1). However, the reception filter 111 may be configured by other types of filters. For example, the reception filter 111 may be configured as a multimode filter. Although not particularly illustrated, the multimode filter includes, for example, two or more excitation electrodes 25 arranged in the propagation direction of elastic waves and a pair of reflectors 27 located on both sides of the excitation electrodes 25.

図示の例とは異なり、送信フィルタ109に加えて、又は代えて、受信フィルタ111にフィルタ1が適用されてもよい。この場合、アンテナ端子105が入力端子3に相当し、受信端子107が出力端子5に相当する。送信フィルタ109及び受信フィルタ111は、互いに同一の基板21に設けられていてもよいし、互いに異なる基板21に設けられていてもよい。 Unlike the illustrated example, filter 1 may be applied to reception filter 111 in addition to or instead of transmission filter 109. In this case, the antenna terminal 105 corresponds to the input terminal 3 and the receiving terminal 107 corresponds to the output terminal 5. The transmission filter 109 and the reception filter 111 may be provided on the same substrate 21 or may be provided on different substrates 21.

(通信装置)
図10は、フィルタ1の利用例としての通信装置151の要部を示すブロック図である。通信装置151は、電波を利用した無線通信を行うものであり、例えば、上記の分波器101を含んでいる。
(Communication device)
FIG. 10 is a block diagram showing main parts of a communication device 151 as an example of how the filter 1 is used. The communication device 151 performs wireless communication using radio waves, and includes, for example, the duplexer 101 described above.

通信装置151において、送信すべき情報を含む送信情報信号TISは、RF-IC(Radio Frequency Integrated Circuit)153によって変調及び周波数の引き上げ(搬送波周波数を有する高周波信号への変換)がなされて送信信号TSとされる。送信信号TSは、バンドパスフィルタ155によって送信用の通過帯以外の不要成分が除去され、増幅器157によって増幅されて分波器101(送信端子103)に入力される。そして、分波器101(送信フィルタ109)は、入力された送信信号TSから送信用の通過帯以外の不要成分を除去し、その除去後の送信信号TSをアンテナ端子105からアンテナ159に出力する。アンテナ159は、入力された電気信号(送信信号TS)を無線信号(電波)に変換して送信する。 In the communication device 151, a transmission information signal TIS containing information to be transmitted is modulated and frequency raised (converted to a high frequency signal having a carrier frequency) by an RF-IC (Radio Frequency Integrated Circuit) 153 to become a transmission signal TS. It is said that The transmission signal TS has unnecessary components outside the transmission passband removed by a bandpass filter 155, is amplified by an amplifier 157, and is input to the duplexer 101 (transmission terminal 103). Then, the duplexer 101 (transmission filter 109) removes unnecessary components other than the transmission passband from the input transmission signal TS, and outputs the removed transmission signal TS from the antenna terminal 105 to the antenna 159. . The antenna 159 converts the input electric signal (transmission signal TS) into a wireless signal (radio wave) and transmits the signal.

また、通信装置151において、アンテナ159によって受信された無線信号(電波)は、アンテナ159によって電気信号(受信信号RS)に変換されて分波器101(アンテナ端子105)に入力される。分波器101(受信フィルタ111)は、入力された受信信号RSから受信用の通過帯以外の不要成分を除去して受信端子107から増幅器161へ出力する。出力された受信信号RSは、増幅器161によって増幅され、バンドパスフィルタ163によって受信用の通過帯以外の不要成分が除去される。そして、受信信号RSは、RF-IC153によって周波数の引き下げ及び復調がなされて受信情報信号RISとされる。 Further, in the communication device 151, a radio signal (radio wave) received by the antenna 159 is converted into an electric signal (received signal RS) by the antenna 159, and input to the duplexer 101 (antenna terminal 105). The duplexer 101 (reception filter 111) removes unnecessary components outside the reception passband from the input reception signal RS, and outputs the result from the reception terminal 107 to the amplifier 161. The output reception signal RS is amplified by an amplifier 161, and a bandpass filter 163 removes unnecessary components outside the reception passband. Then, the received signal RS is frequency lowered and demodulated by the RF-IC 153 to become a received information signal RIS.

なお、送信情報信号TIS及び受信情報信号RISは、適宜な情報を含む低周波信号(ベースバンド信号)でよく、例えば、アナログの音声信号もしくはデジタル化された信号である。無線信号の通過帯は、適宜に設定されてよく、比較的高周波の通過帯(例えば5GHz以上)とされても構わない。変調方式は、位相変調、振幅変調、周波数変調もしくはこれらのいずれか2つ以上の組み合わせのいずれであってもよい。回路方式は、図10では、ダイレクトコンバージョン方式を例示したが、それ以外の適宜なものとされてよく、例えば、ダブルスーパーヘテロダイン方式であってもよい。また、図10は、要部のみを模式的に示すものであり、適宜な位置にローパスフィルタやアイソレータ等が追加されてもよいし、また、増幅器等の位置が変更されてもよい。 Note that the transmission information signal TIS and the reception information signal RIS may be low frequency signals (baseband signals) containing appropriate information, such as analog audio signals or digitized signals. The passband of the wireless signal may be set as appropriate, and may be a relatively high frequency passband (for example, 5 GHz or higher). The modulation method may be phase modulation, amplitude modulation, frequency modulation, or a combination of two or more of these. As for the circuit system, although a direct conversion system is illustrated in FIG. 10, any other appropriate circuit system may be used, for example, a double superheterodyne system may be used. Further, FIG. 10 schematically shows only the main parts, and a low-pass filter, an isolator, etc. may be added at an appropriate position, or the position of an amplifier, etc. may be changed.

図3では、フィルタ1が分波器101に用いられた場合の受信帯域が記号BRで示され、送信帯域が記号BTで示されている。周波数f3は、周波数f1及びf2の信号によって生じる相互変調歪の周波数の一例であり、受信帯域内に位置している。このように周波数f3が受信帯域内に位置する場合においても、本実施形態では、相互変調歪が低減されていることから、受信の精度が低下する蓋然性が低減される。 In FIG. 3, when the filter 1 is used in the duplexer 101, the reception band is indicated by the symbol BR, and the transmission band is indicated by the symbol BT. Frequency f3 is an example of a frequency of intermodulation distortion caused by signals of frequencies f1 and f2, and is located within the reception band. Even when the frequency f3 is located within the reception band in this way, in this embodiment, since intermodulation distortion is reduced, the probability that reception accuracy will decrease is reduced.

図3では、分波器101(通信装置151)が基地局に用いられている場合が想定されており、受信帯域は、送信帯域よりも低周波数側に位置している。周波数f1及びf2の信号の角速度をω1及びω2としたとき、3次の相互変調歪の角速度は、2×ω1+ω2、2×ω1-ω2、ω1+2×ω2又はω1-2×ω2である。図3のような受信帯域及び送信帯域の設定においては、2×ω1-ω2の角速度を有する相互変調歪が受信帯域に生じやすい。この相互変調歪の電力は、P1×P2に比例する。従って、第2後段フィルタ部11Bbにかかる電力P1の低減を第1後段フィルタ部11Baに係る電力P2の低減に優先させてもよい。 In FIG. 3, it is assumed that the duplexer 101 (communication device 151) is used in a base station, and the reception band is located on the lower frequency side than the transmission band. When the angular velocities of signals with frequencies f1 and f2 are ω1 and ω2, the angular velocities of third-order intermodulation distortion are 2×ω1+ω2, 2×ω1−ω2, ω1+2×ω2, or ω1−2×ω2. When the reception band and transmission band are set as shown in FIG. 3, intermodulation distortion having an angular velocity of 2×ω1−ω2 is likely to occur in the reception band. The power of this intermodulation distortion is proportional to P1 2 ×P2. Therefore, the reduction in the power P1 applied to the second post-filter section 11Bb may be prioritized over the reduction in the power P2 applied to the first post-filter section 11Ba.

以上の実施形態において、第1後段フィルタ部11Baは第1フィルタの一例である。第2後段フィルタ部11Bbは第2フィルタの一例である。前段フィルタ部11Aは第3フィルタの一例である。直列共振子9P4aは第1フィルタの最後段の直列共振子の一例である。直列共振子9P4bは第2フィルタの最後段の直列共振子の一例である。 In the above embodiment, the first post-filter section 11Ba is an example of a first filter. The second post-stage filter section 11Bb is an example of a second filter. The pre-filter section 11A is an example of a third filter. The series resonator 9P4a is an example of the last stage series resonator of the first filter. The series resonator 9P4b is an example of the last stage series resonator of the second filter.

本開示に係る技術は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。 The technology according to the present disclosure is not limited to the above embodiments, and may be implemented in various ways.

実施形態では、互いに並列に接続されるフィルタ部(後段フィルタ部11B)は、2つとされた。ただし、互いに並列に接続された3以上のフィルタ部が設けられてもよい。この場合において、いずれか2つのフィルタ部の通過帯域は、図4(a)及び図4(b)とは異なり、互いに重複していなくてもよい。 In the embodiment, two filter sections (post-stage filter sections 11B) are connected in parallel with each other. However, three or more filter sections connected in parallel to each other may be provided. In this case, the passbands of any two filter sections do not have to overlap with each other, unlike in FIGS. 4(a) and 4(b).

また、互いに並列に接続された2つ(又は3以上)のフィルタ部は、1つの通過帯域を有するフィルタを構成するものでなくてもよい。この場合においても、2つのフィルタ部の通過帯域は、図4(a)及び図4(b)とは異なり、互いに重複していなくてもよい。 Further, two (or three or more) filter sections connected in parallel to each other do not need to constitute a filter having one passband. Also in this case, the passbands of the two filter sections do not have to overlap with each other, unlike in FIGS. 4(a) and 4(b).

互いに並列に接続されたフィルタ部の前段には、他のフィルタ部が設けられていなくてもよい。また、他のフィルタ部が設けられる場合において、このフィルタ部の通過帯域は、互いに並列に接続された2つ以上のフィルタ部の通過帯域を足し合わせた通過帯域と異なっていてもよい。例えば、前者は、後者を包含する後者よりも広い帯域であってもよいし、逆に、後者の一部のみを包含する後者よりも狭い帯域であってもよい。 No other filter section may be provided before the filter sections connected in parallel to each other. Furthermore, in the case where another filter section is provided, the pass band of this filter section may be different from the pass band obtained by adding up the pass bands of two or more filter sections connected in parallel. For example, the former may be a wider band than the latter, encompassing the latter, or conversely, may be narrower than the latter, encompassing only a portion of the latter.

1…フィルタ、3…入力端子、5…出力端子、9S…直列共振子、9P…並列共振子、9S3a…直列共振子(第1フィルタ部の初段の直列共振子)、9S3b…直列共振子(第2フィルタ部の初段の直列共振子)、9P3a…並列共振子(第1フィルタ部の並列共振子)、9P3b…並列共振子(第2フィルタ部の並列共振子)、9S4a…直列共振子(第1フィルタ部の最後段の直列共振子)、9S4b…直列共振子(第2フィルタ部の最後段の直列共振子)、11Ba…第1後段フィルタ部(第1フィルタ部)、11Bb…第2後段フィルタ部(第2フィルタ部)。 1...Filter, 3...Input terminal, 5...Output terminal, 9S...Series resonator, 9P...Parallel resonator, 9S3a...Series resonator (first stage series resonator of the first filter section), 9S3b...Series resonator ( 9P3a... Parallel resonator (Parallel resonator of the first filter section), 9P3b... Parallel resonator (Parallel resonator of the second filter section), 9S4a... Series resonator ( 9S4b... series resonator (last stage series resonator of the second filter section), 11Ba... first rear stage filter section (first filter section), 11Bb... second Post-stage filter section (second filter section).

Claims (9)

信号が入力される入力端子と、
信号を出力する出力端子と、
前記入力端子から前記出力端子への信号経路に位置している第1フィルタ部と、
前記入力端子から前記出力端子への信号経路に位置しているとともに、前記第1フィルタ部と並列接続されている第2フィルタ部と、
を有しており、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれは、ラダー型に接続された、2以上の直列共振子と、1以上の並列共振子とを備えるラダー型フィルタであり、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、前記1以上の並列共振子は、前記2以上の直列共振子のうちの1つから他の1つへの信号経路に接続されている並列共振子を含んでおり、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、最も前記出力端子側に位置する直列共振子を最後段の直列共振子と呼称し、第1フィルタ部の通過帯域と第2フィルタ部の通過帯域とを足し合わせた通過帯域を第1通過帯域と呼称するとき、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部は、
前記第1通過帯域内の第1周波数を有する信号が前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部に同時に入力されたとき、前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる信号の電力が、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力よりも大きくなり、かつ
前記第1通過帯域内かつ前記第1周波数よりも高い第2周波数を有する信号が前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部に同時に入力されたとき、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力が、前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力よりも大きくなる、ように構成されており、
前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子の容量が前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子の容量よりも小さい
フィルタ。
An input terminal into which a signal is input,
An output terminal that outputs a signal,
a first filter section located in a signal path from the input terminal to the output terminal;
a second filter section located in a signal path from the input terminal to the output terminal and connected in parallel with the first filter section;
It has
Each of the first filter section and the second filter section is a ladder type filter including two or more series resonators and one or more parallel resonators connected in a ladder type,
In each of the first filter section and the second filter section, the one or more parallel resonators are connected to a signal path from one of the two or more series resonators to the other one. Contains a resonator,
In each of the first filter section and the second filter section, the series resonator located closest to the output terminal is referred to as the last stage series resonator, and the pass band of the first filter section and the pass band of the second filter section are When the passband obtained by adding the bands together is referred to as a first passband, the first filter section and the second filter section are
When a signal having a first frequency within the first passband is simultaneously input to the first filter section and the second filter section, the power of the signal applied to the last stage series resonator of the first filter section is , a signal having a second frequency greater than the power applied to the last stage series resonator of the second filter section and within the first passband and higher than the first frequency is transmitted to the first filter section and the second filter section. When simultaneously input to the second filter section, the power applied to the last stage series resonator of the second filter section is larger than the power applied to the last stage series resonator of the first filter section. It is configured,
The capacitance of the last stage series resonator of the first filter section is smaller than the capacitance of the last stage series resonator of the second filter section.
filter.
信号が入力される入力端子と、
信号を出力する出力端子と、
前記入力端子から前記出力端子への信号経路に位置している第1フィルタ部と、
前記入力端子から前記出力端子への信号経路に位置しているとともに、前記第1フィルタ部と並列接続されている第2フィルタ部と、
を有しており、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれは、ラダー型に接続された、2以上の直列共振子と、1以上の並列共振子とを備えるラダー型フィルタであり、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、前記1以上の並列共振子は、前記2以上の直列共振子のうちの1つから他の1つへの信号経路に接続されている並列共振子を含んでおり、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、最も前記出力端子側に位置する直列共振子を最後段の直列共振子と呼称し、第1フィルタ部の通過帯域と第2フィルタ部の通過帯域とを足し合わせた通過帯域を第1通過帯域と呼称するとき、前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部は、
前記第1通過帯域内の第1周波数を有する信号が前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部に同時に入力されたとき、前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる信号の電力が、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力よりも大きくなり、かつ
前記第1通過帯域内かつ前記第1周波数よりも高い第2周波数を有する信号が前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部に同時に入力されたとき、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力が、前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子にかかる電力よりも大きくなる、ように構成されており、
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、前記最後段の直列共振子と、その1つ前の直列共振子との間に接続されている並列共振子を最後段の並列共振子と呼称するとき、前記第1フィルタ部の最後段の並列共振子の容量が前記第2フィルタ部の最後段の並列共振子の容量よりも大きい
フィルタ。
An input terminal into which a signal is input,
An output terminal that outputs a signal,
a first filter section located in a signal path from the input terminal to the output terminal;
a second filter section located in a signal path from the input terminal to the output terminal and connected in parallel with the first filter section;
It has
Each of the first filter section and the second filter section is a ladder type filter including two or more series resonators and one or more parallel resonators connected in a ladder type,
In each of the first filter section and the second filter section, the one or more parallel resonators are connected to a signal path from one of the two or more series resonators to the other one. Contains a resonator,
In each of the first filter section and the second filter section, the series resonator located closest to the output terminal is referred to as the last stage series resonator, and the pass band of the first filter section and the pass band of the second filter section are When the passband obtained by adding the bands together is referred to as a first passband, the first filter section and the second filter section are
When a signal having a first frequency within the first passband is simultaneously input to the first filter section and the second filter section, the power of the signal applied to the last stage series resonator of the first filter section is , a signal having a second frequency greater than the power applied to the last stage series resonator of the second filter section and within the first passband and higher than the first frequency is transmitted to the first filter section and the second filter section. When simultaneously input to the second filter section, the power applied to the last stage series resonator of the second filter section is larger than the power applied to the last stage series resonator of the first filter section. It is configured,
In each of the first filter section and the second filter section, a parallel resonator connected between the last stage series resonator and the previous series resonator is the last stage parallel resonator. When called, the capacitance of the last stage parallel resonator of the first filter section is larger than the capacitance of the last stage parallel resonator of the second filter section.
filter.
前記第1フィルタ部の通過帯域のうち、その高周波数側の境界周波数を含む少なくとも一部の帯域と、前記第2フィルタ部の通過帯域のうち、その低周波数側の境界周波数を含む少なくとも一部の帯域とが重複している
請求項1又は2に記載のフィルタ。
At least a part of the pass band of the first filter section that includes a boundary frequency on the high frequency side; and at least a part of the pass band of the second filter section that includes the boundary frequency on the low frequency side. The filter according to claim 1 or 2, wherein the bands overlap.
前記入力端子から前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部への信号経路に位置しており、前記第1周波数及び前記第2周波数を含む通過帯域を有している第3フィルタ部を更に有している
請求項1~3のいずれか1項に記載のフィルタ。
The third filter section further includes a third filter section located in a signal path from the input terminal to the first filter section and the second filter section, and having a passband including the first frequency and the second frequency. The filter according to any one of claims 1 to 3, wherein :
前記2以上の直列共振子及び前記1以上の並列共振子は、それぞれ励振電極を有する弾性波共振子であり、
前記励振電極は、弾性波の伝搬方向に配列されている複数の電極指を有している
請求項1~のいずれか1項に記載のフィルタ。
The two or more series resonators and the one or more parallel resonators are elastic wave resonators each having an excitation electrode,
The filter according to any one of claims 1 to 4 , wherein the excitation electrode has a plurality of electrode fingers arranged in the propagation direction of elastic waves.
前記第1フィルタ部の最後段の直列共振子における前記複数の電極指のピッチが、前記第2フィルタ部の最後段の直列共振子における前記複数の電極指のピッチよりも大きい
請求項に記載のフィルタ。
The pitch of the plurality of electrode fingers in the last stage series resonator of the first filter section is larger than the pitch of the plurality of electrode fingers in the last stage series resonator of the second filter section. filter.
前記第1フィルタ部及び前記第2フィルタ部それぞれにおいて、前記最後段の直列共振子と、その1つ前の直列共振子との間に接続されている並列共振子を最後段の並列共振子と呼称するとき、
前記第1フィルタ部の最後段の並列共振子における前記複数の電極指のピッチが、前記第2フィルタ部の最後段の並列共振子における前記複数の電極指のピッチよりも大きい
請求項又はに記載のフィルタ。
In each of the first filter section and the second filter section, a parallel resonator connected between the last stage series resonator and the previous series resonator is the last stage parallel resonator. When calling
The pitch of the plurality of electrode fingers in the last stage parallel resonator of the first filter section is larger than the pitch of the plurality of electrode fingers in the last stage parallel resonator of the second filter section . Filters listed in.
請求項1~のいずれか1項に記載のフィルタと、
前記出力端子に接続されている他のフィルタと、
を有している分波器。
The filter according to any one of claims 1 to 7 ,
another filter connected to the output terminal;
A duplexer that has a
請求項1~のいずれか1項に記載のフィルタと、
前記出力端子に接続されているアンテナと、
前記入力端子に接続されている集積回路素子と、
を有している通信装置。
The filter according to any one of claims 1 to 7 ,
an antenna connected to the output terminal;
an integrated circuit element connected to the input terminal;
A communication device that has
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