JP7383312B2 - wireless sensor - Google Patents

wireless sensor Download PDF

Info

Publication number
JP7383312B2
JP7383312B2 JP2022034443A JP2022034443A JP7383312B2 JP 7383312 B2 JP7383312 B2 JP 7383312B2 JP 2022034443 A JP2022034443 A JP 2022034443A JP 2022034443 A JP2022034443 A JP 2022034443A JP 7383312 B2 JP7383312 B2 JP 7383312B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor
wiring board
printed wiring
multilayer printed
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2022034443A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2023130016A (en
Inventor
隆次 小松
達郎 野田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Micron Co Ltd
Original Assignee
Nihon Micron Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Micron Co Ltd filed Critical Nihon Micron Co Ltd
Priority to JP2022034443A priority Critical patent/JP7383312B2/en
Publication of JP2023130016A publication Critical patent/JP2023130016A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7383312B2 publication Critical patent/JP7383312B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明は、小型化、高信頼性化、省電力化が可能な無線でデータ送受信を行う無線センサーに関する。 The present invention relates to a wireless sensor that transmits and receives data wirelessly, which can be downsized, highly reliable, and save power.

近年、IoTの機運の高まりから急速にセンサー市場規模が拡大しており、温度、湿度、圧力、振動、加速度、音、光、流速、速度、測距、GPSなど、様々なセンサーを利用し、データの解析・活用をすることがますます求められている。
また、安全確認、自動化などの用途でも、今後の利用は急激に増えていくと考えられる。
In recent years, the scale of the sensor market has expanded rapidly due to the increasing momentum of IoT, and various sensors such as temperature, humidity, pressure, vibration, acceleration, sound, light, flow velocity, speed, distance measurement, GPS, etc. are used. There is an increasing need to analyze and utilize data.
Furthermore, its use is expected to increase rapidly in the future for applications such as safety confirmation and automation.

一般的なセンサーデバイスは、対象のデータを取得するセンサーと、センサーからデータの取得、デジタル化、演算などの処理を行うマイコンや専用コントローラーなどを備えており、 さらには、無線でデータ通信を行うための送受信ICを実装した製品もある。
しかし、これらを様々な部品を実装したセンサーデバイスは大型化しやすく、高機能なものであるほど小型・軽量化が難しく、取り付け場所が限定されてしまうといった課題がある。
A typical sensor device is equipped with a sensor that acquires target data, a microcomputer or dedicated controller that performs processing such as acquiring, digitizing, and calculating data from the sensor, and also performs wireless data communication. There are also products that are equipped with transmitter/receiver ICs for this purpose.
However, sensor devices equipped with these various components tend to be large in size, and the higher the functionality, the more difficult it is to reduce the size and weight, and the mounting locations are limited.

また、無線通信機能を持たせたセンサーデバイスは、無線通信用のアンテナを必要とするが、通信距離を確保するためには、アンテナサイズを大きくする必要がある。このため、通信性能とのバランスが、小型化をさらに難しいものにしている。 Furthermore, a sensor device equipped with a wireless communication function requires an antenna for wireless communication, and in order to ensure a communication distance, it is necessary to increase the size of the antenna. Therefore, the balance with communication performance makes miniaturization even more difficult.

既存のセンサーデバイスは、各種部品を複数個表面実装したものが多く、露出した部品箇所は、湿度やほこりといった外的要因により、信頼性低下を起こしやすく、耐環境性の要求される用途には利用しにくい。 耐環境性を高めるために、堅牢なケースに収めることも出来るが、それに伴い、製品サイズが大型化してしまうといった、相反する問題を抱えている。 Existing sensor devices often have multiple parts of various types mounted on the surface, and exposed parts are susceptible to reliability degradation due to external factors such as humidity and dust, making them unsuitable for applications that require environmental resistance. Difficult to use. In order to improve environmental resistance, it is possible to enclose the product in a sturdy case, but this has the contradictory problem of increasing the product size.

IoT対応として、老朽化の進んだ設備に対し、センサーを後から付加することで、最新型の設備に近い性能にするといった際も、センサーデバイスは設置箇所を選ばないものであることが好ましい。国内の製造設備の多くは、老朽化が進んでいて最新型ではないため、IoT化のためには様々なセンサーを、簡易に取り付けられるようにする必要があり、今後ますますセンサーの小型化・高信頼性化・省電力化に対する要望が高まることが考えられる。 In order to support IoT, it is preferable that sensor devices can be installed anywhere, even when sensors are later added to aging equipment to bring its performance closer to that of the latest equipment. Many of the manufacturing facilities in Japan are aging and not the latest models, so in order to implement IoT, it is necessary to be able to easily install various sensors, and sensors will continue to become smaller and smaller in the future. It is thought that the demand for higher reliability and lower power consumption will increase.

前記問題点の改善策として、アナログ回路とデジタル回路を多層板表裏に配置し部品実装することで、小型化を図ったセンサーモジュールが知られている(例えば、特許文献1)。また、センサーデータをRFID技術を利用して、振動自己発電電力を用いて記録する自己発電機能付きRFIDセンサータグが知られている(例えば、特許文献2)。
また、部品実装基板間に中空構造を作ることで、通信性能の低下を抑えた無線センサーユニットが知られている(例えば、特許文献3)。
As a measure to improve the above-mentioned problem, a sensor module is known in which an analog circuit and a digital circuit are arranged on the front and back sides of a multilayer board and the components are mounted to achieve miniaturization (for example, Patent Document 1). Further, an RFID sensor tag with a self-power generation function is known that uses RFID technology to record sensor data using vibration self-generated power (for example, Patent Document 2).
Furthermore, a wireless sensor unit is known in which deterioration in communication performance is suppressed by creating a hollow structure between component mounting boards (for example, Patent Document 3).

特開2013-19826号公報Japanese Patent Application Publication No. 2013-19826 特開2006-52742号公報Japanese Patent Application Publication No. 2006-52742 特開2021-106331号公報JP2021-106331A

しかし、上記特許文献1の技術では、実装基板が中空構造であり耐衝撃性が確保できないおそれがあり、また接着したケースが過酷な環境で長期間保持されない可能性もある。さらに完全に密封した構造にはなっていないため、蓋材に穴などの欠陥があった場合、水分やほこりの侵入により信頼性が低下するおそれがあるなど、信頼性上の課題がある。 However, in the technique of Patent Document 1, the mounting board has a hollow structure, so there is a possibility that impact resistance cannot be ensured, and there is also a possibility that the bonded case cannot be maintained for a long period of time in a harsh environment. Furthermore, since the structure is not completely sealed, there are reliability issues, such as if there are defects such as holes in the lid material, reliability may be lowered due to moisture or dust infiltration.

また、上記特許文献2の技術では、小型化に伴いRFIDタグの通信距離が短いため、センサーデータの読取りにリーダー/ライター設備を近接させなければならず、広い範囲での管理には向かないといった課題がある。 In addition, with the technology of Patent Document 2, the communication distance of the RFID tag is short due to miniaturization, so reader/writer equipment must be placed close to read sensor data, making it unsuitable for management over a wide area. There are challenges.

また、上記特許文献3の技術では、通信性能の低下を抑えるために、センサーや電源部品といった部品同士を、中空構造を作ることで立体的に距離を離す配置をしているため、製品を小型化することが難しくなっているという課題がある。また、密閉構造になっていないため水分やほこりの侵入などによる信頼性低下の不安があるといった課題もある。 In addition, in the technology of Patent Document 3, in order to suppress the deterioration of communication performance, components such as sensors and power supply components are placed three-dimensionally apart from each other by creating a hollow structure, which makes the product smaller. The problem is that it is becoming difficult to adapt. Additionally, since it does not have a sealed structure, there is a concern that reliability may deteriorate due to moisture or dust infiltration.

すなわち本発明は、上記の課題を解決すべくなされたもので、小型でも無線通信性能が高く、高信頼性を有する無線センサーの提供を目的とする。 That is, the present invention was made to solve the above problems, and aims to provide a wireless sensor that is small in size, has high wireless communication performance, and has high reliability.

本発明にかかる無線センサーによれば、測定対象物に取り付けられて用いる無線センサーであって、センシング動作に用いる素子類が、多層プリント配線板内に立体的に配置されるとともに、多層プリント配線板が一体的に樹脂封止されており、センサーデータの外部送受信に用いるアンテナ回路が、多層プリント配線板の両面の表層において、互いに電気的に接続されて形成され、前記測定対象物として金属体に取り付けられることを特徴としている。
この構成を採用することによって、多層プリント配線板内に素子を立体的に配置したことで小型化を図ることができ、多層プリント配線板を一体的に樹脂封止したことで密閉構造となって水分やほこりの侵入を防ぎ信頼性を高めることができる。さらに、アンテナ回路を、樹脂封止した多層プリント配線板の両面の表層に形成したことにより、センシングに必要な素子・回路サイズの影響を受けず、アンテナ面積を確保することができ、通信性能を十分に発揮することができる。
According to the wireless sensor according to the present invention, the wireless sensor is attached to an object to be measured and used, and the elements used for sensing operation are three-dimensionally arranged within a multilayer printed wiring board. are integrally sealed with resin, and antenna circuits used for external transmission and reception of sensor data are electrically connected to each other on the surface layers of both sides of the multilayer printed wiring board. The feature is that it can be installed .
By adopting this configuration, it is possible to achieve miniaturization by arranging the elements three-dimensionally within the multilayer printed wiring board, and by integrally sealing the multilayer printed wiring board with resin, it becomes a sealed structure. It can prevent moisture and dust from entering and improve reliability. Furthermore, by forming the antenna circuit on the surface layer of both sides of the resin-sealed multilayer printed wiring board, it is possible to secure the antenna area without being affected by the element and circuit size required for sensing, and improve communication performance. be able to demonstrate fully.

また、測定対象物の状態を取得するセンサー部と、前記センサー部によって得られたデータを外部通信する送受信部と、少なくとも前記センサー部及び前記送受信部に電力供給する電源部と、を具備することを特徴としてもよい。 The invention also includes a sensor unit that acquires the state of the object to be measured, a transmitter/receiver unit that externally communicates data obtained by the sensor unit, and a power supply unit that supplies power to at least the sensor unit and the transmitter/receiver unit. may be a feature.

また、前記センサー部によって得られたデータの演算、デジタル化及び全体の動作管理を実行する制御部を具備することを特徴としてもよい。 Moreover, it may be characterized by comprising a control section that executes calculations and digitization of data obtained by the sensor section, and overall operation management.

また、前記送受信部は、前記多層プリント配線板の樹脂封止内部における最外層に配置されており、前記送受信部と前記アンテナとが最短距離で接続されることを特徴としてもよい。
この構成によれば、配線長を最短にし、インピーダンスによる通信性能の低下を抑えることができる。
Further, the transmitting/receiving section may be arranged in the outermost layer inside the resin-sealed multilayer printed wiring board, and the transmitting/receiving section and the antenna may be connected at the shortest distance.
According to this configuration, the wiring length can be minimized and deterioration in communication performance due to impedance can be suppressed.

また、多層プリント配線板の両面に形成された前記アンテナ回路同士は、多層プリント配線板の製造工程において形成された構成により電気的に接続されていることを特徴としてもよい。
この構成によれば、部品内蔵することで、表裏面には実装部品や接続配線がないことから、表裏をアンテナ回路として有効利用できるために、通信性能を十分に確保することができる。また、多層プリント配線板の製造工程において形成された構成とは、スルーホール、レーザービアを用いたビルドアップ接続、端面電極等の構成を指す。
Further, the antenna circuits formed on both sides of the multilayer printed wiring board may be electrically connected to each other by a structure formed in the manufacturing process of the multilayer printed wiring board.
According to this configuration, by incorporating the components, there are no mounted components or connection wiring on the front and back surfaces, so the front and back surfaces can be effectively used as antenna circuits, so that sufficient communication performance can be ensured. Furthermore, the configuration formed in the manufacturing process of the multilayer printed wiring board refers to configurations such as through holes, build-up connections using laser vias, and end surface electrodes.

本発明にかかる無線センサーによれば、測定対象物に取り付けられ、測定対象物の状態を取得するセンサー部と、センサー部と外部配線によって通信可能に接続された本体部と、を具備し、センサー部以外のセンシング動作に用いる素子類が、多層プリント配線板内に立体的に配置されるとともに、多層プリント配線板が一体的に樹脂封止されており、センサーデータの外部送受信に用いるアンテナ回路が、多層プリント配線板の両面の表層において、互いに電気的に接続されて形成され、前記測定対象物として金属体に取り付けられることを特徴としている。
この構成を採用することによって、多層プリント配線板内に素子を立体的に配置したことで小型化を図ることができ、多層プリント配線板を一体的に樹脂封止したことで密閉構造となって水分やほこりの侵入を防ぎ信頼性を高めることができる。さらに、アンテナ回路を、樹脂封止した多層プリント配線板の片面及び又は両面の表層に形成したことにより、センシングに必要な素子・回路サイズの影響を受けず、アンテナ面積を確保することができ、通信性能を十分に発揮することができる。
また、センサー部を無線センサーの本体部の外部に設けることにより、例えば設置スペースが小さいわずかな隙間や高温になるために無線センサーを設置するのが困難な場所であってもセンサー部を設置することができる。また、測定対象物にセンサー部を直接接触させることができるため、センシング誤差を最小化することができる。
According to the wireless sensor according to the present invention, the wireless sensor includes a sensor section that is attached to a measurement target object and acquires the state of the measurement target object, and a main body section that is communicably connected to the sensor section through external wiring. Elements used for sensing operations other than the section are three-dimensionally arranged within the multilayer printed wiring board, and the multilayer printed wiring board is integrally sealed with resin, and the antenna circuit used for external transmission and reception of sensor data is arranged three-dimensionally within the multilayer printed wiring board. , is characterized in that both surface layers of a multilayer printed wiring board are electrically connected to each other and attached to a metal body as the object to be measured .
By adopting this configuration, it is possible to achieve miniaturization by arranging the elements three-dimensionally within the multilayer printed wiring board, and by integrally sealing the multilayer printed wiring board with resin, it becomes a sealed structure. It can prevent moisture and dust from entering and improve reliability. Furthermore, by forming the antenna circuit on the surface layer of one and/or both sides of the resin-sealed multilayer printed wiring board, the antenna area can be secured without being affected by the size of the elements and circuits required for sensing. Communication performance can be fully demonstrated.
In addition, by providing the sensor unit outside the main body of the wireless sensor, the sensor unit can be installed even in places where it is difficult to install the wireless sensor, such as in a small gap where the installation space is small or due to high temperatures. be able to. Furthermore, since the sensor unit can be brought into direct contact with the object to be measured, sensing errors can be minimized.

本発明によれば、小型でも無線通信性能が高く、高信頼性を有する無線センサーとすることができる。 According to the present invention, it is possible to provide a wireless sensor that is small but has high wireless communication performance and high reliability.

無線センサーの内部構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing the internal configuration of a wireless sensor. 無線センサーの第1実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a wireless sensor. 無線センサーの第2実施形態を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a wireless sensor. センサー部を外部に配置した実施形態を示す概略説明図である。FIG. 2 is a schematic explanatory diagram showing an embodiment in which a sensor section is placed outside. 接着テープによって無線センサーを測定対象物に取り付けた状態を示す概略説明図である。FIG. 2 is a schematic explanatory diagram showing a state in which a wireless sensor is attached to an object to be measured using an adhesive tape.

(全体構成)
以下、図面に基づいて本実施形態における無線センサーについて説明する。
なお、本発明の無線センサーは下記の実施形態に限定されるものではない。
(overall structure)
The wireless sensor in this embodiment will be described below based on the drawings.
Note that the wireless sensor of the present invention is not limited to the embodiments described below.

図1に無線センサーの内部構成のブロック図を示す。
無線センサー10は、様々な環境における測定対象物を測定したセンサーデータを、無線でデータ送信するものである。
無線センサー10は、測定対象物の状態を取得するセンサー部50と、センサー部50によって得られたセンサーデータの計算・記録・デジタル化と、動作管理を行う制御部51と、得られたセンサーデータを外部通信する送受信部52と、送受信部52に接続されたアンテナ回路54と、センサー部50、制御部51、送受信部52に動作電力を与える電源部53と、を備えている。
ただし、無線センサー10に制御部51を設けない構成であってもよい。この場合において、センサーデータの記憶用メモリなどを設けてもよい。
また、無線センサー10にセンサー部50を設けない構成であってもよい。この場合において、無線センサー10とセンサー部50とは外部配線により接続する。
Figure 1 shows a block diagram of the internal configuration of the wireless sensor.
The wireless sensor 10 wirelessly transmits sensor data obtained by measuring objects to be measured in various environments.
The wireless sensor 10 includes a sensor section 50 that acquires the state of the object to be measured, a control section 51 that calculates, records, and digitizes sensor data obtained by the sensor section 50, and manages operations, and a control section 51 that performs operation management. The transmitting/receiving section 52 externally communicates with the transmitting/receiving section 52, an antenna circuit 54 connected to the transmitting/receiving section 52, and a power supply section 53 supplying operating power to the sensor section 50, the control section 51, and the transmitting/receiving section 52.
However, the configuration may be such that the wireless sensor 10 is not provided with the control unit 51. In this case, a memory for storing sensor data may be provided.
Alternatively, the wireless sensor 10 may have a configuration in which the sensor section 50 is not provided. In this case, the wireless sensor 10 and the sensor unit 50 are connected by external wiring.

図2に本実施形態の無線センサーの断面図を示す。
図2に示すように、無線センサー10は、センシング動作にかかる複数の素子(図1に示したセンサー部50、制御部51、送受信部52、電源部53の機能を具体的に実現する素子:以下、素子についてはこの説明を省略する)と、各素子50、51、52、53を電気的に接続する配線を多層プリント配線板11内に立体的に内蔵している。このため、従来のような表面実装の場合に比べ、無線センサー10の小型化を行うことが出来る。
FIG. 2 shows a cross-sectional view of the wireless sensor of this embodiment.
As shown in FIG. 2, the wireless sensor 10 includes a plurality of elements involved in the sensing operation (elements that specifically implement the functions of the sensor unit 50, control unit 51, transmitting/receiving unit 52, and power supply unit 53 shown in FIG. 1): Hereinafter, the description of the elements will be omitted) and wiring for electrically connecting the elements 50, 51, 52, and 53 are three-dimensionally built into the multilayer printed wiring board 11. Therefore, the size of the wireless sensor 10 can be reduced compared to the case of conventional surface mounting.

無線センサー10は、多層プリント配線板11の表層にアンテナ回路54が形成されている。多層プリント配線板11はセンシング動作にかかる複数の素子50、51、52、53と、各素子50、51、52、53を電気的に接続する配線を内蔵しており、表層にはこれら素子50、51、52、53や配線が配置されていないため、表層にはアンテナ回路54を形成するにあたり十分なアンテナ面積を確保することができ、通信性能を十分に発揮することが可能となる。
また、無線センサー10を小型化するとアンテナ回路54のサイズも同時に小型化してしまうことになるが、多層プリント配線板11に各素子50、51、52、53や配線を内蔵することで、アンテナ回路54の面積を確保しやすくなるため、小型化に伴う通信性能の低下を抑えることが出来る。
In the wireless sensor 10, an antenna circuit 54 is formed on the surface layer of a multilayer printed wiring board 11. The multilayer printed wiring board 11 includes a plurality of elements 50, 51, 52, and 53 involved in sensing operation, and wiring for electrically connecting each of the elements 50, 51, 52, and 53, and the surface layer includes these elements 50, 51, 52, and 53. , 51, 52, 53 and wiring are not arranged, a sufficient antenna area can be secured on the surface layer for forming the antenna circuit 54, and communication performance can be fully demonstrated.
Furthermore, if the wireless sensor 10 is downsized, the size of the antenna circuit 54 is also downsized at the same time. Since it becomes easier to secure the area of 54, deterioration in communication performance due to miniaturization can be suppressed.

また、送受信部52をアンテナ回路54の直下に内蔵する。つまり、多層プリント配線板11を構成する最表面層11aの表面側にはアンテナ回路54を形成し、最表面層11aの裏面側には銅箔等の金属層12を形成して金属層12に送受信部52を配置する。また、金属層12とアンテナ回路54とは最表面層11aを貫通するビア14によって電気的に接続される。
このように1つの基板層の表面にアンテナ回路54を配置し、裏面に送受信部52を配置する構成によって、配線長は基板層1層分の厚さだけになるため、配線長が最短となってインピーダンスによる通信性能の低下を最低限に抑えることが可能となる。
この場合、なお、金属層12と送受信部52はボンディング接続でもよいし、フリップチップ実装としてもよい。フリップチップ実装の場合には、ボンディングワイヤー接続に比べて、インピーダンスが低下するため、さらに通信性能を高めることが出来る。
Further, a transmitting/receiving section 52 is built in directly below the antenna circuit 54. That is, the antenna circuit 54 is formed on the front side of the outermost surface layer 11a constituting the multilayer printed wiring board 11, and the metal layer 12 such as copper foil is formed on the back side of the outermost surface layer 11a. A transmitting/receiving section 52 is arranged. Further, the metal layer 12 and the antenna circuit 54 are electrically connected by a via 14 penetrating the outermost layer 11a.
By arranging the antenna circuit 54 on the front surface of one board layer and the transmitting/receiving section 52 on the back surface, the wiring length is only the thickness of one board layer, so the wiring length can be minimized. This makes it possible to minimize the deterioration in communication performance due to impedance.
In this case, the metal layer 12 and the transmitting/receiving section 52 may be connected by bonding or may be mounted by flip chip mounting. In the case of flip-chip mounting, the impedance is lower than that of bonding wire connection, so communication performance can be further improved.

本実施形態では、多層プリント配線板11の裏面にもアンテナ回路54を形成している。表面のアンテナ回路54と裏面のアンテナ回路54は多層プリント配線板11を積層方向に貫通するスルーホール16によって電気的に接続されている。なお、表面のアンテナ回路54と裏面のアンテナ回路54を電気的に接続する方法としてはスルーホールに限定するものではなく、レーザービアを用いたビルドアップ接続や、端面電極等の方法であってもよい。表面のアンテナ回路54と裏面のアンテナ回路54の接続は多層プリント配線板11の製造工程において形成されるものである。
多層プリント配線板11の表面と裏面には、実装部品や配線がないことから、基板の表裏をアンテナ回路54として有効利用できるために、通信性能を十分確保することが出来る。
In this embodiment, the antenna circuit 54 is also formed on the back surface of the multilayer printed wiring board 11. The antenna circuit 54 on the front surface and the antenna circuit 54 on the back surface are electrically connected by a through hole 16 passing through the multilayer printed wiring board 11 in the stacking direction. Note that the method of electrically connecting the antenna circuit 54 on the front surface and the antenna circuit 54 on the back surface is not limited to through holes, and may also be a method such as build-up connection using laser vias or end surface electrodes. good. The connection between the antenna circuit 54 on the front surface and the antenna circuit 54 on the back surface is formed during the manufacturing process of the multilayer printed wiring board 11.
Since there are no mounted components or wiring on the front and back surfaces of the multilayer printed wiring board 11, the front and back surfaces of the board can be effectively used as the antenna circuit 54, so that sufficient communication performance can be ensured.

なお、多層プリント配線板11の表面と裏面には、ソルダーレジストが塗布される。多層プリント配線板11の表面と裏面にソルダーレジスト層が形成されることによって、アンテナ回路54を保護するとともに、アンテナ回路54を絶縁する絶縁膜としての役割を有する。
さらに、アンテナ回路54の保護と絶縁のために、多層プリント配線板11の外周を樹脂で封止することも出来る。
Note that a solder resist is applied to the front and back surfaces of the multilayer printed wiring board 11. By forming a solder resist layer on the front and back surfaces of the multilayer printed wiring board 11, the solder resist layer protects the antenna circuit 54 and serves as an insulating film that insulates the antenna circuit 54.
Furthermore, in order to protect and insulate the antenna circuit 54, the outer periphery of the multilayer printed wiring board 11 can be sealed with resin.

なお、図2に示した実施形態では、最表面層11aの裏面側に送受信部52が配置され、中間層11bの表面側にセンサー部50と制御部51が配置され、中間層11bの裏面側に電源部53が配置されている。なお、最裏面層11cの裏面側にはアンテナ回路54が形成されているが、最裏面層11cの表面側には素子は配置されていない。
このように、センシング動作に必要な素子50、51、52、53は、互いに多層プリント配線板11を構成する最表面層11a、中間層11b、最裏面層11cにおいて対向して配置され、最表面層11aと中間層11bとの間、及び中間層11bと最裏面層11cとの間は、樹脂が充填されており、各素子50、51、52、53が樹脂封止されている。
In the embodiment shown in FIG. 2, the transmitting/receiving unit 52 is arranged on the back side of the outermost layer 11a, the sensor unit 50 and the control unit 51 are arranged on the front side of the intermediate layer 11b, and A power supply section 53 is arranged at. Note that although the antenna circuit 54 is formed on the back side of the backmost layer 11c, no element is arranged on the front side of the backmost layer 11c.
In this way, the elements 50, 51, 52, and 53 necessary for the sensing operation are arranged facing each other in the outermost layer 11a, the intermediate layer 11b, and the backmost layer 11c that constitute the multilayer printed wiring board 11. Resin is filled between the layer 11a and the intermediate layer 11b and between the intermediate layer 11b and the backmost layer 11c, and each element 50, 51, 52, 53 is sealed with the resin.

このため、各素子50、51、52、53は、密封されることになるので、後工程でフタのようなものを被せる構造の製品に比べ、空洞がなく湿度やほこりなど外部環境による影響をより受けにくく、高い信頼性を持たせることが出来る。
また、表面実装製品のように平面的な部品配置では、部品間の配線が冗長になりやすいが、本発明のように多層プリント配線板による無線センサーでは、多層板の層間を利用し配線長を短く出来るため、製品の小型化をしつつ、電気特性を高めることも可能となる。特に配線長は高周波領域や、微小電力で利用する際に影響が大きいため、無線通信の特性改善をすることが出来る。
For this reason, each element 50, 51, 52, and 53 is sealed, so compared to products that are covered with something like a lid in a later process, there are no cavities and they are less affected by the external environment such as humidity and dust. It is less susceptible to damage and can have high reliability.
In addition, in a flat component arrangement such as in a surface mount product, wiring between components tends to become redundant, but in a wireless sensor using a multilayer printed wiring board as in the present invention, the wiring length is reduced by utilizing the spaces between the layers of the multilayer board. Since it can be made shorter, it is possible to miniaturize the product while improving its electrical characteristics. In particular, the wiring length has a large effect on high frequency ranges or when using with very low power, so it is possible to improve the characteristics of wireless communication.

樹脂封止に用いる材料は、エポキシ樹脂のようなプリント配線板材料を用いてもよいしそれ以外の樹脂でも良い。また、複数の樹脂の組み合わせでも良い。
樹脂封止は、各素子の実装後に行っても良いし、プリント配線板の多層化時に同時に行ってもよい。この場合、高真空の設備で多層化することで、各層の空間内に樹脂がうまく流れ込み、素子類を固定することで信頼性を高めることが出来る。
The material used for resin sealing may be a printed wiring board material such as epoxy resin, or other resins. Alternatively, a combination of a plurality of resins may be used.
Resin sealing may be performed after each element is mounted, or may be performed simultaneously when the printed wiring board is multilayered. In this case, by creating multiple layers using high-vacuum equipment, the resin can flow well into the spaces of each layer, and the elements can be fixed, thereby increasing reliability.

図3に、アンテナ回路を表面のみに形成した実施形態を示す。なお、図2に示した実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、説明を省略する。
図3に示す実施形態では、多層プリント配線板11の表層のみにアンテナ回路54が形成されており、ソルダーレジストが塗布される。
FIG. 3 shows an embodiment in which the antenna circuit is formed only on the surface. Note that the same components as those in the embodiment shown in FIG. 2 are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
In the embodiment shown in FIG. 3, the antenna circuit 54 is formed only on the surface layer of the multilayer printed wiring board 11, and a solder resist is applied thereto.

なお、本実施形態では多層プリント配線板11の裏層にはアンテナ回路を配置していないが、表層のアンテナ回路54と電気的に接続するスルーホール16を介してランド18を裏層に形成してもよい。 Note that in this embodiment, the antenna circuit is not arranged on the back layer of the multilayer printed wiring board 11, but the land 18 is formed on the back layer through the through hole 16 that is electrically connected to the antenna circuit 54 on the surface layer. You can.

上述してきた図2及び図3の実施形態では、多層プリント配線板11を構成する最表面層11a、中間層11b、最裏面層11cの4~6層で構成しているが、層数としては4~6層に限定するものではない。 In the embodiments of FIGS. 2 and 3 described above, the multilayer printed wiring board 11 is composed of 4 to 6 layers including the outermost layer 11a, the intermediate layer 11b, and the backmost layer 11c, but the number of layers is It is not limited to 4 to 6 layers.

図4に、センサー部を無線センサーの外部に設けた場合の概略構成図を示す。
この場合、センサー部50は、測定対象物30に直接設置されている。
また、センサー部50以外の素子である、制御部51、送受信部52、電源部53は、多層プリント配線板11内に立体的に内蔵されており、これを本体部34と称する。
本体部34の構成は、図1~図3に示した無線センサー10からセンサー部50を除いた構成であってその他の構成は同一のため、説明は省略する。
FIG. 4 shows a schematic configuration diagram when the sensor section is provided outside the wireless sensor.
In this case, the sensor section 50 is installed directly on the measurement object 30.
Further, a control section 51, a transmitting/receiving section 52, and a power supply section 53, which are elements other than the sensor section 50, are built three-dimensionally within the multilayer printed wiring board 11, and this is referred to as a main body section 34.
The configuration of the main body section 34 is the same as that of the wireless sensor 10 shown in FIGS. 1 to 3 except that the sensor section 50 is removed, and the other configurations are the same, so a description thereof will be omitted.

センサー部50と本体部34は、信号線や電源線からなる外部配線32によって接続される。本体部34の表面又は側面には外部配線32と接続可能なタップを設けておくとよい。
このようにセンサー部50を、本体部34の外部に設けることにより、例えば設置スペースが小さいわずかな隙間や、高温になるために無線センサー10を設置するのが困難な場所であってもセンサー部50を設置することができる。
また、この場合には測定対象物にセンサー部50を直接接触させることができるため、センシング誤差を最小化することができる。
本体部34の設置場所は、センサー部50を設置した測定対象物30に取り付けに適した箇所があればセンサー部50を設置した測定対象物30であってもよいし、測定対象物30に取り付けに適した箇所が無ければ測定対象物30以外の任意の場所に設置してもよい。
The sensor section 50 and the main body section 34 are connected by an external wiring 32 consisting of a signal line and a power line. It is preferable to provide a tap connectable to the external wiring 32 on the surface or side surface of the main body part 34.
By providing the sensor section 50 outside the main body section 34 in this way, the sensor section can be installed even in small gaps where the installation space is small, or in places where it is difficult to install the wireless sensor 10 due to high temperatures. 50 can be installed.
Furthermore, in this case, the sensor unit 50 can be brought into direct contact with the object to be measured, so that sensing errors can be minimized.
The main body section 34 may be installed in the measurement object 30 on which the sensor section 50 is installed if there is a suitable place for attachment on the measurement object 30 on which the sensor section 50 is installed, or it may be installed on the measurement object 30 on which the sensor section 50 is installed. If there is no suitable location, it may be installed at any location other than the measurement target 30.

(測定対象物)
測定対象物としては、機械、設備、構造体、乗り物などである。測定対象物の無線センサー10を取り付ける箇所は、金属体であることが好ましく、金属体の材質としては、銅、アルミ、チタン、ステンレス、鉄といった材質を用いることが出来る。なお、無線センサー10を取り付ける箇所は金属体に限定するものではなく非金属体であってもよく、また液体の入った容器等を測定対象物として利用することもできる。
(object to be measured)
Objects to be measured include machines, equipment, structures, vehicles, and the like. The part to which the wireless sensor 10 is attached to the object to be measured is preferably a metal body, and the metal body may be made of copper, aluminum, titanium, stainless steel, iron, or the like. Note that the location where the wireless sensor 10 is attached is not limited to a metal body, but may be a non-metal body, and a container containing a liquid or the like may also be used as the measurement target.

(測定対象物への取り付け)
図5に、無線センサーを測定対象物へ取り付けたところを示す。
無線センサー10と測定対象物30は、両面テープ40を利用し固定することができる。
なお、無線センサー10の測定対象物30への固定方法としては、両面テープ40に限定するものではなく、例えば無線センサー10を測定対象物30にボルト・ビス等で直接固定してもよい。また、接着剤や半田を利用して固定してもよい。
(Attachment to measurement target)
Figure 5 shows the wireless sensor attached to the object to be measured.
The wireless sensor 10 and the object to be measured 30 can be fixed using double-sided tape 40.
Note that the method of fixing the wireless sensor 10 to the measurement object 30 is not limited to the double-sided tape 40, and for example, the wireless sensor 10 may be directly fixed to the measurement object 30 with bolts, screws, or the like. Alternatively, it may be fixed using adhesive or solder.

(センサー部)
センサー部50は、温度変化を計測する温度センサー、加速度変化を計測する加速度センサー、湿度変化を計測する湿度センサー、圧力変化を計測する圧力センサー、磁気変化を計測する磁気センサー、光量変化を計測する光量センサー、音を計測する音量センサー、距離を測定する測距センサー、液体や気体の流量を計測する流量センサー、角速度を計測するジャイロセンサー、赤外線を測定する赤外線センサー、振動を計測する振動センサー、又はその他のセンサー類の少なくとも1つ以上とすることができる。
ただし、センサー部50の種類としては、これらのセンサーに限定するものではない。
(Sensor part)
The sensor unit 50 includes a temperature sensor that measures temperature changes, an acceleration sensor that measures acceleration changes, a humidity sensor that measures humidity changes, a pressure sensor that measures pressure changes, a magnetic sensor that measures magnetic changes, and a light amount change. A light sensor, a volume sensor that measures sound, a distance sensor that measures distance, a flow sensor that measures the flow rate of liquid or gas, a gyro sensor that measures angular velocity, an infrared sensor that measures infrared light, a vibration sensor that measures vibration, or at least one of other sensors.
However, the type of sensor unit 50 is not limited to these sensors.

(制御部)
制御部51は、センサー部50からのセンサーデータを演算・デジタル化処理する機能と、無線センサー10全体の動作制御を実行する機能を有する。
また、制御部51内の記憶領域にセンサー部50からのセンサーデータを記憶させておくこともできる。記憶させるセンサーデータは制御部51内でデジタル化処理したデータである。なお、センサーデータを記憶させる記憶領域としては制御部51内の記憶領域に限定するものではなく、送受信部52に記憶領域を設けたり、その他記憶用メモリを設けてもよい。
(control unit)
The control unit 51 has a function of calculating and digitizing sensor data from the sensor unit 50 and a function of controlling the overall operation of the wireless sensor 10.
Further, sensor data from the sensor section 50 can also be stored in a storage area within the control section 51. The sensor data to be stored is data digitized within the control unit 51. Note that the storage area for storing sensor data is not limited to the storage area in the control unit 51, and a storage area may be provided in the transmitting/receiving unit 52, or other memory for storage may be provided.

無線センサー10は、個体識別用の識別IDを備えている。これにより、数千個といった多量の無線センサー10を利用する場合、混乱せずにセンサーデータの紐付け行うことができる。識別IDは制御部51、及び/又は送受信部52で保持されるが、それ以外の外部メモリなどを利用して識別IDを保持しても良い。
予め識別IDを持つパッシブ通信方式、又はアクティブ通信方式の場合は、それを利用し、その他の通信方式を利用する場合は、別途識別IDを付加することで、個体識別を可能とすることができる。
The wireless sensor 10 is equipped with an identification ID for individual identification. As a result, when using a large number of wireless sensors 10, such as several thousand pieces, sensor data can be linked without confusion. Although the identification ID is held by the control unit 51 and/or the transmitting/receiving unit 52, the identification ID may be held using an external memory other than that.
In the case of a passive communication method or active communication method that has an identification ID in advance, it can be used, and when using other communication methods, individual identification can be made by adding a separate identification ID. .

(送受信部)
送受信部52は、無線通信用の半導体と、外部通信用のアンテナと、設定を記憶するメモリを有している。 送受信部52は、920MHzのUHF帯通信、2.4GHz帯通信を用いることが出来るが、前記以外の周波数帯を用いた通信でもよい。
また、送受信部52の通信の方式として、電力消費を抑えたい場合にはセミパッシブ通信方式を採用することが好ましく、電力に余裕がある場合にはアクティブ通信方式を採用することができる。これにより、通信距離を延ばすことができ、通信の自由度を高めることも可能となる。
(transmission/reception section)
The transmitting/receiving unit 52 includes a semiconductor for wireless communication, an antenna for external communication, and a memory for storing settings. The transmitting/receiving unit 52 can use 920 MHz UHF band communication and 2.4 GHz band communication, but may also use frequency bands other than those mentioned above.
Further, as the communication method of the transmitting/receiving unit 52, it is preferable to adopt a semi-passive communication method when it is desired to suppress power consumption, and an active communication method can be adopted when there is sufficient power. This makes it possible to extend the communication distance and increase the degree of freedom of communication.

(電源部)
電源部53は、バッテリーや太陽電池のほか、熱電発電ハーベスタ、振動発電ハーベスタ、その他のハーベスタ素子などの発電素子を備えることが出来る。また、電圧制御する素子や、蓄電を行う素子を備えても良い。
(Power supply part)
The power supply section 53 can include a power generation element such as a thermoelectric power generation harvester, a vibration power generation harvester, and other harvester elements in addition to a battery or a solar cell. Further, an element that controls voltage or an element that stores electricity may be provided.

10 無線センサー
11 多層プリント配線板
11a 最表面層
11b 中間層
11c 最裏面層
12 金属層
14 ビア
16 スルーホール
18 ランド
20 センサー部
30 測定対象物
32 外部配線
34 本体部
40 両面テープ
50 センサー部
51 制御部
52 送受信部
53 電源部
54 アンテナ回路
10 Wireless sensor 11 Multilayer printed wiring board 11a Top layer 11b Intermediate layer 11c Bottom layer 12 Metal layer 14 Via 16 Through hole 18 Land 20 Sensor part 30 Measurement object 32 External wiring 34 Main body part 40 Double-sided tape 50 Sensor part 51 Control Section 52 Transmission/reception section 53 Power supply section 54 Antenna circuit

Claims (10)

測定対象物に取り付けられて用いる無線センサーであって、
センシング動作に用いる素子類が、多層プリント配線板内に立体的に配置されるとともに、多層プリント配線板が一体的に樹脂封止されており、
センサーデータの外部送受信に用いるアンテナ回路が、多層プリント配線板の両面の表層において、互いに電気的に接続されて形成され
前記測定対象物として金属体に取り付けられることを特徴とする無線センサー。
A wireless sensor used by being attached to an object to be measured,
The elements used for sensing operation are arranged three-dimensionally within the multilayer printed wiring board, and the multilayer printed wiring board is integrally sealed with resin.
Antenna circuits used for external transmission and reception of sensor data are electrically connected to each other on the surface layers of both sides of the multilayer printed wiring board , and
A wireless sensor that is attached to a metal body as the object to be measured .
測定対象物の状態を取得するセンサー部と、
前記センサー部によって得られたデータを外部通信する送受信部と、
少なくとも前記センサー部及び前記送受信部に電力供給する電源部と、を具備することを特徴とする請求項1記載の無線センサー。
a sensor unit that acquires the state of the object to be measured;
a transmitting/receiving unit that externally communicates data obtained by the sensor unit;
The wireless sensor according to claim 1, further comprising a power supply unit that supplies power to at least the sensor unit and the transmitter/receiver unit.
前記センサー部によって得られたデータの演算、デジタル化及び全体の動作管理を実行する制御部を具備することを特徴とする請求項2記載の無線センサー。 3. The wireless sensor according to claim 2, further comprising a control section that executes calculation and digitization of data obtained by the sensor section and overall operation management. 前記送受信部は、前記多層プリント配線板の樹脂封止内部における最外層に配置されており、前記送受信部と前記アンテナ回路とが最短距離で接続されることを特徴とする請求項2又は請求項3記載の無線センサー。 The transmitting/receiving section is arranged in the outermost layer inside the resin-sealed multilayer printed wiring board, and the transmitting/receiving section and the antenna circuit are connected at the shortest distance. The wireless sensor described in 3. 多層プリント配線板の両面に形成された前記アンテナ回路同士は、多層プリント配線板の製造工程において形成された構成により電気的に接続されていることを特徴とする請求項1~請求項4のうちのいずれか1項記載の無線センサー。 The antenna circuits formed on both sides of the multilayer printed wiring board are electrically connected to each other by a structure formed in a manufacturing process of the multilayer printed wiring board. The wireless sensor according to any one of the above. 測定対象物に取り付けられ、測定対象物の状態を取得するセンサー部と、
センサー部と外部配線によって通信可能に接続された本体部と、を具備し、
センサー部以外のセンシング動作に用いる素子類が、多層プリント配線板内に立体的に配置されるとともに、多層プリント配線板が一体的に樹脂封止されており、
センサーデータの外部送受信に用いるアンテナ回路が、多層プリント配線板の両面の表層において、互いに電気的に接続されて形成され
前記測定対象物として金属体に取り付けられることを特徴とする無線センサー。
a sensor unit that is attached to the object to be measured and acquires the state of the object to be measured;
A main body part that is communicably connected to the sensor part by external wiring,
Elements used for sensing operations other than the sensor section are three-dimensionally arranged within the multilayer printed wiring board, and the multilayer printed wiring board is integrally sealed with resin.
Antenna circuits used for external transmission and reception of sensor data are electrically connected to each other on the surface layers of both sides of the multilayer printed wiring board , and
A wireless sensor that is attached to a metal body as the object to be measured .
前記本体部は、
前記センサー部によって得られたデータを外部通信する送受信部と、
少なくとも前記センサー部及び前記送受信部に電力供給する電源部と、を具備することを特徴とする請求項6記載の無線センサー。
The main body portion is
a transmitting/receiving unit that externally communicates data obtained by the sensor unit;
The wireless sensor according to claim 6, further comprising a power supply section that supplies power to at least the sensor section and the transmitter/receiver section.
前記本体部は、
前記センサー部によって得られたデータの演算、デジタル化及び全体の動作管理を実行する制御部を具備することを特徴とする請求項6又は請求項7記載の無線センサー。
The main body portion is
8. The wireless sensor according to claim 6, further comprising a control section that executes calculations, digitization, and overall operation management of the data obtained by the sensor section.
前記送受信部は、前記多層プリント配線板の樹脂封止内部における最外層に配置されており、前記送受信部と前記アンテナ回路とが最短距離で接続されることを特徴とする請求項7記載の無線センサー。 8. The wireless communication device according to claim 7 , wherein the transmitting/receiving section is disposed in the outermost layer inside the resin-sealed multilayer printed wiring board, and the transmitting/receiving section and the antenna circuit are connected at the shortest distance. sensor. 多層プリント配線板の両面に形成された前記アンテナ回路同士は、多層プリント配線板の製造工程において形成された構成により電気的に接続されていることを特徴とする請求項6~請求項9のうちのいずれか1項記載の無線センサー。 The antenna circuits formed on both sides of the multilayer printed wiring board are electrically connected to each other by a structure formed in a manufacturing process of the multilayer printed wiring board. The wireless sensor according to any one of the above.
JP2022034443A 2022-03-07 2022-03-07 wireless sensor Active JP7383312B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022034443A JP7383312B2 (en) 2022-03-07 2022-03-07 wireless sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022034443A JP7383312B2 (en) 2022-03-07 2022-03-07 wireless sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023130016A JP2023130016A (en) 2023-09-20
JP7383312B2 true JP7383312B2 (en) 2023-11-20

Family

ID=88024865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022034443A Active JP7383312B2 (en) 2022-03-07 2022-03-07 wireless sensor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7383312B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7409714B1 (en) 2022-11-08 2024-01-09 日本ミクロン株式会社 RFID tag

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000132654A (en) 1998-10-28 2000-05-12 Toshiba Chem Corp Noncontact data carrier package
JP2000137783A (en) 1998-10-30 2000-05-16 Hitachi Ltd Card type electronic circuit board and input and output device
JP2003057244A (en) 2001-08-10 2003-02-26 Nipro Corp Recording medium and blood sugar measuring system using the same
JP2006101494A (en) 2004-09-01 2006-04-13 Sanyo Electric Co Ltd Antenna integrated circuit device
JP2007274358A (en) 2006-03-31 2007-10-18 Hitachi Cable Ltd Non-power supply wireless monitoring system, and slave station used for the system
JP2014112819A (en) 2012-10-30 2014-06-19 Yokogawa Electric Corp Radio equipment, input/output unit, radio unit and radio equipment setup method
JP2016505808A (en) 2012-11-01 2016-02-25 ブルー スパーク テクノロジーズ,インク. Patch for body temperature logging
JP2016053958A (en) 2014-09-03 2016-04-14 メッツォ フロー コントロール オサケユキチュア Passive RFID sensor tag
WO2018168500A1 (en) 2017-03-15 2018-09-20 株式会社村田製作所 High frequency module and communication device
WO2019124196A1 (en) 2017-12-20 2019-06-27 愛知製鋼株式会社 Magnetic marker and magnetic marker system
WO2020110930A1 (en) 2018-11-29 2020-06-04 京セラ株式会社 Rfid tag
JP2021118458A (en) 2020-01-27 2021-08-10 キヤノン株式会社 Antenna and wireless device
WO2022014067A1 (en) 2020-07-14 2022-01-20 株式会社フジクラ Wireless communication module

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000132654A (en) 1998-10-28 2000-05-12 Toshiba Chem Corp Noncontact data carrier package
JP2000137783A (en) 1998-10-30 2000-05-16 Hitachi Ltd Card type electronic circuit board and input and output device
JP2003057244A (en) 2001-08-10 2003-02-26 Nipro Corp Recording medium and blood sugar measuring system using the same
JP2006101494A (en) 2004-09-01 2006-04-13 Sanyo Electric Co Ltd Antenna integrated circuit device
JP2007274358A (en) 2006-03-31 2007-10-18 Hitachi Cable Ltd Non-power supply wireless monitoring system, and slave station used for the system
JP2014112819A (en) 2012-10-30 2014-06-19 Yokogawa Electric Corp Radio equipment, input/output unit, radio unit and radio equipment setup method
JP2016505808A (en) 2012-11-01 2016-02-25 ブルー スパーク テクノロジーズ,インク. Patch for body temperature logging
JP2016053958A (en) 2014-09-03 2016-04-14 メッツォ フロー コントロール オサケユキチュア Passive RFID sensor tag
WO2018168500A1 (en) 2017-03-15 2018-09-20 株式会社村田製作所 High frequency module and communication device
WO2019124196A1 (en) 2017-12-20 2019-06-27 愛知製鋼株式会社 Magnetic marker and magnetic marker system
WO2020110930A1 (en) 2018-11-29 2020-06-04 京セラ株式会社 Rfid tag
JP2021118458A (en) 2020-01-27 2021-08-10 キヤノン株式会社 Antenna and wireless device
WO2022014067A1 (en) 2020-07-14 2022-01-20 株式会社フジクラ Wireless communication module

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7409714B1 (en) 2022-11-08 2024-01-09 日本ミクロン株式会社 RFID tag

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023130016A (en) 2023-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10381280B2 (en) Semiconductor packages and methods for forming semiconductor package
JP5763682B2 (en) Miniaturized electrical device including MEMS and ASIC and method for manufacturing the same
US7775115B2 (en) Sensor component and method for producing a sensor component
US9231119B2 (en) Sensor
US7739906B2 (en) Sensor module, wheel with sensor and tire/wheel assembly
US9188464B2 (en) Sensing device
US7675151B1 (en) Silicon-based packaging for electronic devices
US8624339B2 (en) Vibrating device and electronic apparatus
JP2007502416A (en) Capacitive sensor
JP7383312B2 (en) wireless sensor
US9178469B2 (en) Resonation device, electronic apparatus, and moving object
JP5331546B2 (en) Pressure sensor module and electronic component
CN113518906B (en) Measuring device with sensor element and measuring and operating circuit
CN110998061A (en) Downhole electronics package with integrated components formed by layer deposition
US11069589B2 (en) Circuit board and circuit module
US11673436B2 (en) Structures and methods providing tread sensor integration
JP7444487B1 (en) solar power wireless sensor
CN113053867B (en) Encapsulation module and electronic equipment
JP2024054555A (en) Solar Powered Wireless Sensor
JP6398168B2 (en) Mounting board, sensor unit, electronic equipment and mobile
RU2658565C2 (en) Sensor with the inertial type primary microelectronic measuring transducer
WO2020108924A1 (en) Sensor and package assembly thereof
CN220545136U (en) Bone conduction sensor and electronic device
KR102561946B1 (en) Package structure
WO2021056827A1 (en) System-in-package structure and electronic equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230220

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20230220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230523

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230712

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231017

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231031

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7383312

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150