JP7370515B2 - Indentation test device - Google Patents
Indentation test device Download PDFInfo
- Publication number
- JP7370515B2 JP7370515B2 JP2019235412A JP2019235412A JP7370515B2 JP 7370515 B2 JP7370515 B2 JP 7370515B2 JP 2019235412 A JP2019235412 A JP 2019235412A JP 2019235412 A JP2019235412 A JP 2019235412A JP 7370515 B2 JP7370515 B2 JP 7370515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- indenter
- subject
- load
- casing
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
本発明は、被検体の柔らかさを測定できるようにした押し込み試験装置に関するものである。 The present invention relates to an indentation testing device capable of measuring the softness of a subject.
従来、物品の柔らかさなどを検出するための装置として、下記の特許文献1に記載されるような押し込み試験装置が提案されている。
BACKGROUND ART Conventionally, an indentation test device as described in
このような押し込み試験装置は、先端を半球状にした圧子と、この圧子の先端を突出させた状態で保持するケーシングと、このケーシングと圧子との間に設けられたロードセルとを備えて構成されるものであって、圧子を被検体に押し込んで柔らかさを検出する際に、その被検体への押し込み量Δxや、押し込み時に圧子に作用する荷重F、圧子の半球面の直径φ、被検体のヤング率E、被検体固有のポアソン比νなどを用いて、下式を用いて被検体のヤング率Eを測定できるようにしたものである。 Such an indentation test device includes an indenter with a hemispherical tip, a casing that holds the tip of the indenter in a protruding state, and a load cell provided between the casing and the indenter. When detecting the softness by pressing an indenter into a test object, the amount of push into the test object Δx, the load F acting on the indenter during pushing, the diameter φ of the hemispherical surface of the indenter, and the test object. The Young's modulus E of the subject can be measured using the following formula using the Young's modulus E of the subject and the Poisson's ratio ν specific to the subject.
このような装置によれば、被検体に圧子を押し込むことによって、その被検体の柔らかさを測定することができるため、肌の柔らかさ、食品や素材の柔らかさなどを測定することにより、食品の状態や物品の触感などを定量化することができるようになる。 According to such a device, it is possible to measure the softness of a subject by pushing an indenter into the subject. It becomes possible to quantify the condition of objects and the feel of objects.
しかしながら、このような押し込み試験装置を用いて被検体の柔らかさを測定する場合、次のような問題がある。 However, when measuring the softness of a subject using such an indentation test device, there are the following problems.
すなわち、このような押し込み試験装置を被検体に押し込んで柔らかさを測定する場合、上記数1を用いて柔らかさを測定するようにしているが、この測定されるヤング率Eは、圧子を被検体の表面から法線方向に押圧することを前提として測定されるものであるため、実際に、圧子が斜め方向に押圧された場合には、正確にヤング率Eを測定することができない。
In other words, when such an indentation test device is pressed into a test object to measure the softness, the
具体的には、被検体に対して斜め方向に圧子が押圧された場合、被検体の表面は、図3に示すような盛り上がりや凹みなどを生ずる状態となり、圧子に対して複雑な方向からの押圧荷重と引張荷重が生ずることになる。また、圧子を斜めに押圧した場合、圧子に対する変位量は、実際に垂直に押圧した場合よりも小さくなるのに対して、数1では、大きいままの変位量で測定されることになる。そのため、圧子が斜めに押圧された場合、測定値が大きく変化してしまい、正確にヤング率Eを測定することができなくなる。
Specifically, when the indenter is pressed diagonally against the specimen, the surface of the specimen will be in a state of bulges and depressions as shown in Figure 3, and the indenter will be pressed from complicated directions. Pressure loads and tensile loads will occur. Furthermore, when the indenter is pressed diagonally, the amount of displacement with respect to the indenter is smaller than when it is actually pressed vertically, but in
そこで、本発明は、上記課題に着目してなされたもので、圧子が被検体に斜め方向から押圧された場合であっても、正確にその被検体の柔らかさを測定できるようにした押し込み試験装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made with attention to the above problem, and is an indentation test that enables accurate measurement of the softness of a test object even when an indenter is pressed against the test object from an oblique direction. The purpose is to provide equipment.
本発明は、上記課題を解決するために、柔らかさの測定対象である被検体に押し込まれる圧子と、当該圧子を収容するケーシングと、当該ケーシングから突出している圧子を被検体に押圧した際に、その圧子に作用する荷重を検出する3軸の荷重検出センサーと、を備えてなる押し込み試験装置において、前記ケーシングの長手方向と、被検体に作用する押圧方向との角度を、前記3軸に作用するそれぞれの荷重成分を用いて算出し、当該算出された角度に応じて、前記荷重検出センサーによる荷重、および、前記圧子が被検体に接触しうる先端部分の径、および、圧子の押し込み量を含むパラメーターを用いて被検体の柔らかさを測定する測定部を備えるようにしたものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an indenter that is pushed into a subject whose softness is to be measured, a casing that houses the indenter, and an indenter that protrudes from the casing when pressed against the subject. , and a triaxial load detection sensor for detecting the load acting on the indenter, the angle between the longitudinal direction of the casing and the pressing direction acting on the test object is adjusted along the three axes. Calculated using each acting load component , and according to the calculated angle, the load by the load detection sensor, the diameter of the tip of the indenter that can come into contact with the subject, and the amount of depression of the indenter. The apparatus includes a measurement section that measures the softness of the subject using parameters including the following.
このように構成すれば、被検体に対して圧子が斜めに押圧された場合、3軸の荷重によって押圧方向を推定し、その押圧方向とケーシングの長手方向との角度を荷重検出センサーで検出することができるとともに、その荷重検出センサーによって、被検体への押圧力を検出することができるようになる。
With this configuration, when the indenter is pressed diagonally against the test object, the pressing direction is estimated based on the triaxial loads, and the angle between the pressing direction and the longitudinal direction of the casing is detected by the load detection sensor. In addition, the load detection sensor can detect the pressing force on the subject.
さらに、柔らかさを測定する場合、角度に応じた補正値を乗じて柔らかさを測定する。 Furthermore, when measuring softness, the softness is measured by multiplying by a correction value according to the angle.
このように構成すれば、角度に応じた押し込み量や圧子の接触面積を補正することができ、正確な柔らかさを測定することができるようになる。 With this configuration, the amount of depression and the contact area of the indenter can be corrected depending on the angle, and the softness can be measured accurately.
本発明によれば、柔らかさの測定対象である被検体に押し込まれる圧子と、当該圧子を収容するケーシングと、当該ケーシングから突出している圧子を被検体に押圧した際に、その圧子に作用する荷重を検出する3軸の荷重検出センサーと、を備えてなる押し込み試験装置において、前記ケーシングの長手方向と、被検体に作用する押圧方向との角度を、前記3軸に作用するそれぞれの荷重成分を用いて算出し、当該算出された角度に応じて、前記荷重検出センサーによる荷重、および、前記圧子が被検体に接触しうる先端部分の径、および、圧子の押し込み量を含むパラメーターを用いて被検体の柔らかさを測定する測定部を備えるようにしたので、被検体に対して圧子が斜めに押圧された場合、3軸の荷重によって押圧方向を推定し、その押圧方向とケーシングの長手方向との角度を荷重検出センサーで検出することができるとともに、その荷重検出センサーによって、被検体への押圧力を検出することができるようになる。
According to the present invention, there is provided an indenter that is pushed into a subject whose softness is to be measured, a casing that houses the indenter, and an indenter that acts on the indenter when the indenter protruding from the casing is pressed against the subject. In an indentation test device comprising a three-axis load detection sensor for detecting a load, the angle between the longitudinal direction of the casing and the pressing direction acting on the test object is determined by each load component acting on the three axes. and, according to the calculated angle, using parameters including the load by the load detection sensor, the diameter of the tip portion where the indenter can contact the subject, and the amount of depression of the indenter. Since it is equipped with a measurement part that measures the softness of the specimen, when the indenter is pressed diagonally against the specimen , the pressing direction is estimated by the three-axis loads, and the pressing direction and the longitudinal direction of the casing are calculated. The load detection sensor can detect the angle with respect to the object, and the load detection sensor can also detect the pressing force on the subject.
以下、本発明における一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
この実施の形態における押し込み試験装置1は、被検体6の柔らかさの指標をヤング率として測定して出力できるようにしたものであって、図1に示すように、ケーシング2の内部に、被検体6に押圧される圧子4と、この圧子4を被検体6に押圧させるための押圧部3と、この押圧部3によって押圧された圧子4の荷重を検出する荷重検出センサー5とを備えて構成される。そして、特徴的に、その圧子4を被検体6に押圧する際に、その押圧方向とケーシング2の長手方向に沿った軸線CLにとの角度を測定し、その角度によって、被検体6の柔らかさを測定できるようにしたものである。以下、本実施の形態における押し込み試験装置1について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明において、ケーシング2の長手方向をZ軸とし、これに直交する方向をX軸、Y軸とする。
The
まず、この押し込み試験装置1の構造について、図1や図2を用いて説明する。
First, the structure of this
この押し込み試験装置1を構成するケーシング2は、内部に押圧部3や荷重検出センサーや圧子4などを有するものであって、内部を中空に構成している。このケーシング2の先端部分には、被検体6に垂直に圧子4を押圧させるための平面状の接触部21を設けている。ここの接触部21は、可能な限り押し込み試験装置1の長手方向の軸線CLを被検体6の法線方向として接触できるように、上方の把持部20よりも外径を大きくしたリング形状としている。なお、ここでは、接触部21をリング形状としているが、把持部20よりも大きくした矩形状の形状であってもよく、その下端面を比較的大きな平面状とするようにしている。そして、このようなケーシング2を人間の手で把持して接触部21を被検体6に押圧させたり、あるいは、治具などに把持部を固定して、接触部21を被検体6に押圧させたりできるようにしている。
A
このケーシング2の内部に設けられる押圧部3は、圧子4を被検体6に押圧できるようにしたものであって、ここでは、サーボモーターで構成される。そして、そのサーボモーターを駆動することによって、その回転量に応じた上下方向の変位を測定できるようにしており、圧子4の変位量を測定しながら被検体6を押圧させるようにしている。なお、ここでは、サーボモーターで押圧部3を構成しているが、バネや手動による押圧によって圧子4を押し込めるようにしてもよい。このとき、圧子4の上下方向の変位が分かるように、変位センサーなどを設けるようにしておくようにする。
A
荷重検出センサー5は、圧子4を被検体6に押圧した際に作用する荷重を検出できるようにしたものであって、圧子4の上端部分と押圧部3の間に設けられる。ここでは、荷重検出センサー5として、3軸方向の荷重(直交するXYZ軸方向の荷重)を検出できるロードセルを用いる。このロードセルは、周知のように、薄い金属板で構成された起歪部を四方向に設け、これを中央の作用部に向けて起立させてなるもので、その起歪部に掛かる荷重を電気信号の変化として検出できるように構成されるものである。そして、この電気信号の変化によって荷重を検出する際、その起歪部に貼り付けられたホイートストンブリッジによって、その起歪部の変形に伴って生ずる電圧変化を荷重として検出する。なお、このような荷重検出センサー5を設ける場合、ケーシング2の長手方向に沿った軸線CLをZ軸として検出し、また、これに垂直な方向をX軸、Y軸としてそれぞれの荷重を検出できるようにしておく。
The
この荷重検出センサー5が取り付けられる圧子4は、先端部分を半球面41としたものであって、ケーシング2の内壁に僅かな隙間をもって設けられる摺動部42で上下動するようになっている。そして、図2に示すように、圧子4を被検体6に押圧させ、その被検体6の柔らかさを測定できるようにしている。なお、この圧子4は、測定前においては、図1に示すようにケーシング2の内部に収容されており、その先端の半球面41をケーシング2の接触面21から突出させないようにしておく。そして、計測を開始した段階で、押圧部3を介して圧子4をケーシング2の接触面21から突出させるようにしている。
The
このような構成のもと、圧子4の押圧によって被検体6の柔らかさを測定する。
With this configuration, the softness of the
測定部では、まず、荷重検出センサー5に作用するXYZ軸方向の荷重成分を用いて、実際に作用した荷重の方向を推定し、その荷重の方向とケーシング2の長手方向(Z軸方向)との角度を算出する。この角度を算出するに際しては、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向のそれぞれに作用する荷重成分から合成ベクトルを実際に作用した荷重の方向と推定し、その合成ベクトルとZ軸方向に対する角度を算出する。この算出された角度には、X軸回りのロール角やY軸回りのピッチ角が存在することになるが、それぞれの角度を算出しておく。なお、このようなXYZ軸方向の荷重成分からZ軸方向に対する角度を算出する場合、ケーシング2のZ軸方向との角度が整合しない場合がある。具体的には、圧子4を斜め方向に被検体6に押し込んだ場合、図3に示すように、押し込み方向に被検体6が盛り上がって押圧荷重が作用し、また、反対方向には凹みを生じて引張荷重が作用する。そして、これらの押圧荷重や引張荷重によって、ケーシング2のZ軸方向に対する傾斜角度を正確に算出することができなくなる。そこで、被検体6の盛り上がりや凹みなどによる荷重への影響を考慮して補正係数を掛けるようにしている。このような補正係数としては、0度から20度の傾斜範囲内においては、実験によって1.5から2.0の範囲内に設定しておくと正確な角度が検出できることが分かった。
The measurement unit first estimates the direction of the load that actually acts using the load components in the XYZ axis directions that act on the
次に、このように算出された角度から、実際に圧子4を押圧した際の荷重方向(合成ベクトルの方向)に沿った変位量Δxを求める。このとき、圧子4がZ軸方向に沿って押圧している場合は、サーボモーターによる回転量に応じた変位がそのまま被検体6を押圧した変位となり、また、例えば、Z軸方向から45度傾いている場合は、そのサーボモーターによる変位に対して1/√2の値だけ変位した値となる。
Next, from the angle thus calculated, the amount of displacement Δx along the load direction (direction of the composite vector) when the
また、このように算出された合成ベクトル方向に対する変位Δxを用いて、サーボモーターの回転速度などから、合成ベクトル方向に対する押し込み速度も算出する。 Further, using the displacement Δx in the direction of the resultant vector calculated in this manner, the pushing speed in the direction of the resultant vector is also calculated from the rotational speed of the servo motor and the like.
さらに、このように算出されたZ軸に対する傾斜角度によって、圧子4の押圧面の面積も補正する。実際に圧子4をZ軸方向に押圧した場合、被検体6との接触面は円形状となるが、傾斜して押圧された場合は、図4の斜線部に示すような形状の接触面となり、接触表面積Sが小さくなる。そこで、この傾斜角度に応じて接触表面積Sを補正する。この接触表面積Sは、傾斜角度に応じて、半球面の表面積から非接触部分の面積を減じて算出する。
Furthermore, the area of the pressing surface of the
そして、このように補正された押し込み量Δxや押し込み速度、接触表面積Sなどを用いて、測定部では、次の数2を用いてヤング率Eを測定する。
Then, using the pushing amount Δx, pushing speed, contact surface area S, etc. corrected in this way, the measuring section measures Young's modulus E using the
ここで、既知数は、補正された変位Δx、Z軸方向の荷重F、補正された圧子の接触表面積S、ポアソン比ν、補正された速度(Δxの微分値)である。一方、未知数としては、ヤング率E、速度補正係数cとなるため、数2だけではヤング率Eや速度補正係数cを測定することができない。そのため、数2を時間で微分した数3を用いる。
Here, the known quantities are the corrected displacement Δx, the load F in the Z-axis direction, the corrected contact surface area S of the indenter, the Poisson's ratio ν, and the corrected speed (differential value of Δx). On the other hand, since the unknown quantities are the Young's modulus E and the speed correction coefficient c, it is not possible to measure the Young's modulus E and the speed correction coefficient
ここで、被検体6を押圧する際の変位量はごく僅かであり、等速で押圧していると仮定すると、変位の二回微分の項(加速度項)はゼロとなり、次の数4となる。
Here, the amount of displacement when pressing the
このFの微分項は、荷重をサンプリング時間で割った値であるため既知数となり、この数4や数2を用いて、ヤング率Eや速度依存係数cを算出する。
Since the differential term of this F is a value obtained by dividing the load by the sampling time, it becomes a known quantity, and using
そして、このように測定されたヤング率Eや速度依存係数cなどを表示可能に出力するとともに、その際の押し込速度も表示できるようにしておく。 Then, the Young's modulus E, the velocity dependence coefficient c, etc. thus measured are outputted in a displayable manner, and the pushing speed at that time can also be displayed.
このような構成を有する押し込み試験装置を用いて被検体を種々の角度で押圧した際のヤング率について、数1を用いた場合と、数4を用いた場合の結果を図5に示す。
FIG. 5 shows the results of Young's modulus when using
図5において、上段の図は被検体6に垂直に圧子4を押圧した状態(傾斜0度)で押し込んだ際のヤング率Eを測定したものであり、中段の図は10度傾斜させた状態で押し込んだ際のヤング率E、下段の図は20度傾斜させた状態で押し込んだ際のヤング率Eを測定したものである。実験においては、サンプルによる誤差を調べるために、3種類のサンプルを用いてヤング率Eを測定した。
In FIG. 5, the upper diagram shows Young's modulus E measured when the
図5から分かるように、数1を用いて押し込み力を測定した場合、傾斜角度が大きくなるとヤング率Eが小さく測定されるのに対し、傾斜角度を考慮した数4を用いてヤング率Eを測定した場合、変化が小さいことが分かる。このことから、傾斜角度が変わった場合であっても、正確にヤング率Eを測定できることが分かる。
As can be seen from FIG. 5, when the indentation force is measured using
このように上記実施の形態によれば、柔らかさの測定対象である被検体6に押し込まれる圧子4と、当該圧子4を収容するケーシング2と、当該ケーシング2から突出している圧子4を被検体6に押圧した際に、その圧子4に作用する荷重を検出する3軸の荷重検出センサー5とを備えてなる押し込み試験装置1において、前記ケーシング2の長手方向(CL)と被検体6に作用する押圧方向との角度を、前記3軸に作用するそれぞれの荷重成分を用いて算出し、当該算出された角度に応じて、前記荷重検出センサー5による荷重F、および、前記圧子4が被検体6に接触する圧子4の径に基づく接触表面積S、および、圧子4の押し込み量Δxを含むパラメーターを用いて被検体6のヤング率Eを測定するようにしたので、3軸の荷重によって押圧方向を推定し、その押圧方向とケーシング2の長手方向との角度を荷重検出センサー5で検出することができるとともに、その荷重検出センサー5によって、被検体6への押圧力を検出することができるようになる。
In this way, according to the above embodiment, the
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。 Note that the present invention is not limited to the above embodiments, and can be implemented in various forms.
例えば、上記実施の形態では、押し込み速度を考慮してヤング率Eを測定するようにしたが、押し込み速度を考慮せずにヤング率Eを測定するようにしてもよい。この場合、補正された変位や接触表面積によって、数1を用いて算出される。
For example, in the above embodiment, the Young's modulus E is measured in consideration of the pushing speed, but the Young's modulus E may be measured without considering the pushing speed. In this case, it is calculated using
また、上記実施の形態では、傾斜角度を算出する場合、3軸の荷重検出センサー5を用いた合成ベクトルとZ軸方向の角度を算出するようにしたが、その他の方法で被検体6の表面の法線方向とケーシング2の長手方向との角度を算出するようにしてもよい。この場合、角度を算出する場合、別途測距センサーなどを用いてケーシング2と被検体6の表面との距離などを測定し、その距離に応じてケーシング2の傾斜角度を算出する方法などを用いることができる。
Furthermore, in the above embodiment, when calculating the inclination angle, the angle between the composite vector and the Z-axis direction using the triaxial
さらに、上記実施の形態では、傾斜角度に応じて圧子4の接触表面積Sを補正するようにしたが、圧子4が非常に小さく構成されており、傾斜状態で押圧しても半球面全体で押圧するような場合は、接触表面積Sに対する補正を行わないようにしてもよい。
Furthermore, in the above embodiment, the contact surface area S of the
1・・・押し込み試験装置
2・・・ケーシング
21・・・接触面
3・・・押圧部
4・・・圧子
41・・・半球面
42・・・摺動部
5・・・荷重検出センサー
6・・・被検体
1...
Claims (4)
当該圧子を収容するケーシングと、
当該ケーシングから突出している圧子を被検体に押圧した際に、その圧子に作用する荷重を検出する3軸の荷重検出センサーと、
を備えてなる押し込み試験装置において、
前記ケーシングの長手方向と、被検体に作用する押圧方向との角度を、前記3軸に作用するそれぞれの荷重成分を用いて算出し、当該算出された角度に応じて、前記荷重検出センサーによる荷重、および、前記圧子が被検体に接触しうる先端部分の径、および、圧子の押し込み量を含むパラメーターを用いて被検体の柔らかさを測定する測定部を備えるようにしたことを特徴とする押し込み試験装置。 An indenter that is pushed into the subject whose softness is to be measured,
a casing that accommodates the indenter;
a triaxial load detection sensor that detects the load acting on the indenter when the indenter protruding from the casing is pressed against the test object;
In an indentation test device comprising:
The angle between the longitudinal direction of the casing and the pressing direction acting on the subject is calculated using the respective load components acting on the three axes , and the load detected by the load detection sensor is determined according to the calculated angle. and a measurement unit that measures the softness of the subject using parameters including the diameter of the tip of the indenter that can come into contact with the subject, and the amount of depression of the indenter. Indentation test equipment.
当該圧子を収容するケーシングと、
当該ケーシングから突出している圧子を被検体に押圧した際に、その圧子に作用する荷重を検出する3軸の荷重検出センサーと、
を備えてなる押し込み試験装置を用いた押し込み試験方法において、
前記ケーシングの長手方向と、被検体に作用する押圧方向との角度を、前記3軸に作用するそれぞれの荷重成分を用いて算出し、当該算出された角度に応じて、前記荷重検出センサーによる荷重、および、前記圧子が被検体に接触しうる先端部分の径、および、圧子の押し込み量を含むパラメーターを用いて被検体の柔らかさを測定するようにしたことを特徴とする押し込み試験方法。 An indenter that is pushed into the subject whose softness is to be measured,
a casing that accommodates the indenter;
a triaxial load detection sensor that detects the load acting on the indenter when the indenter protruding from the casing is pressed against the test object;
In an indentation test method using an indentation test device comprising:
The angle between the longitudinal direction of the casing and the pressing direction acting on the subject is calculated using the respective load components acting on the three axes , and the load detected by the load detection sensor is determined according to the calculated angle. and an indentation test characterized in that the softness of the subject is measured using parameters including the diameter of the tip of the indenter that can come into contact with the subject, and the amount of indentation of the indenter. Method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019235412A JP7370515B2 (en) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | Indentation test device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019235412A JP7370515B2 (en) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | Indentation test device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021103156A JP2021103156A (en) | 2021-07-15 |
JP7370515B2 true JP7370515B2 (en) | 2023-10-30 |
Family
ID=76755144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019235412A Active JP7370515B2 (en) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | Indentation test device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7370515B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117878015B (en) * | 2024-01-04 | 2024-10-22 | 深圳维盛半导体科技有限公司 | Parallelism adjustment method for flip chip |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005315826A (en) | 2004-04-01 | 2005-11-10 | Fujitsu Media Device Kk | Stress detection method for force sensor device with multi-axis sensor, and force sensor device using the same |
JP2006250633A (en) | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Kochi Univ | Hardness measuring instument, hardness measuring device, and hardness evaluation method |
JP2014038089A (en) | 2012-07-20 | 2014-02-27 | Tanita Corp | Viscoelastic measuring device |
WO2015059878A1 (en) | 2013-10-22 | 2015-04-30 | 国立大学法人東京農工大学 | Viscosity coefficient calculation device, indentation test device, tensile testing device, viscosity coefficient calculation method, and program |
WO2019151218A1 (en) | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 新光電子株式会社 | Indentation test device and indentation test method |
-
2019
- 2019-12-26 JP JP2019235412A patent/JP7370515B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005315826A (en) | 2004-04-01 | 2005-11-10 | Fujitsu Media Device Kk | Stress detection method for force sensor device with multi-axis sensor, and force sensor device using the same |
JP2006250633A (en) | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Kochi Univ | Hardness measuring instument, hardness measuring device, and hardness evaluation method |
JP2014038089A (en) | 2012-07-20 | 2014-02-27 | Tanita Corp | Viscoelastic measuring device |
WO2015059878A1 (en) | 2013-10-22 | 2015-04-30 | 国立大学法人東京農工大学 | Viscosity coefficient calculation device, indentation test device, tensile testing device, viscosity coefficient calculation method, and program |
WO2019151218A1 (en) | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 新光電子株式会社 | Indentation test device and indentation test method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021103156A (en) | 2021-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Behrens et al. | Piezoresistive cantilever as portable micro force calibration standard | |
Sharpe et al. | Tensile testing of polysilicon | |
Park et al. | Development of the 6-axis force/moment sensor for an intelligent robot's gripper | |
US6324918B1 (en) | Bidirectional force sensor | |
US20090043534A1 (en) | Dimensional measurement probe | |
Muntwyler et al. | Three-axis micro-force sensor with sub-micro-Newton measurement uncertainty and tunable force range | |
CN101278200B (en) | A method for the micromechanical measurement of acceleration and a micromechanical acceleration sensor | |
JP7370515B2 (en) | Indentation test device | |
Woźniak et al. | Measurement hysteresis of touch-trigger probes for CNC machine tools | |
Hamdana et al. | Transferable micromachined piezoresistive force sensor with integrated double-meander-spring system | |
Kim | The design of a six-component force/moment sensor and evaluation of its uncertainty | |
Tibrewala et al. | Development, fabrication and characterization of a 3D tactile sensor | |
Masters et al. | Side-by-side comparison of passive MEMS strain test structures under residual compression | |
Ferreira et al. | Reducing the probe ball diameters of 3D silicon-based microprobes for dimensional metrology | |
Muntwyler et al. | Three-axis micro-force sensor with tunable force range and sub-micronewton measurement uncertainty | |
CN214749548U (en) | Appearance indicating value calibrating device is torn to portable pendulum | |
JP7385196B2 (en) | Indentation test device | |
Park et al. | Column-type multi-component force transducers and their evaluation for dynamic measurement | |
JP2005172589A (en) | Method and machine for testing material | |
CN113748323B (en) | Detection device and calibration method of sensor | |
Hou et al. | An automatic tensile test measurement system for miniature specimens | |
González Madruga et al. | Real-time contact force measurement system for portable coordinate measuring arms | |
JP2651378B2 (en) | Load measuring device | |
CN218329717U (en) | Cross-rod distance detection device | |
Laaouina et al. | Application of CMM separation method for identifying absolute values of probe errors and machine errors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230815 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231005 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7370515 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |