JP7358004B2 - optical device assembly - Google Patents

optical device assembly Download PDF

Info

Publication number
JP7358004B2
JP7358004B2 JP2021544168A JP2021544168A JP7358004B2 JP 7358004 B2 JP7358004 B2 JP 7358004B2 JP 2021544168 A JP2021544168 A JP 2021544168A JP 2021544168 A JP2021544168 A JP 2021544168A JP 7358004 B2 JP7358004 B2 JP 7358004B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
adhesive
protrusion
optical component
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021544168A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2022519496A (en
Inventor
幸治 益田
ジャック、パトリック
フロティエ、ポール、フランシス
正雄 徳成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JP2022519496A publication Critical patent/JP2022519496A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7358004B2 publication Critical patent/JP7358004B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • G02B6/4257Details of housings having a supporting carrier or a mounting substrate or a mounting plate
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • G02B3/0006Arrays
    • G02B3/0037Arrays characterized by the distribution or form of lenses
    • G02B3/0056Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along two different directions in a plane, e.g. honeycomb arrangement of lenses
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • G02B3/0006Arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12004Combinations of two or more optical elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/4239Adhesive bonding; Encapsulation with polymer material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4246Bidirectionally operating package structures
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4292Coupling light guides with opto-electronic elements the light guide being disconnectable from the opto-electronic element, e.g. mutually self aligning arrangements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083Constructional arrangements
    • G02B2006/12102Lens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083Constructional arrangements
    • G02B2006/12104Mirror; Reflectors or the like
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/38Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/3873Connectors using guide surfaces for aligning ferrule ends, e.g. tubes, sleeves, V-grooves, rods, pins, balls
    • G02B6/3885Multicore or multichannel optical connectors, i.e. one single ferrule containing more than one fibre, e.g. ribbon type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

本発明は、光デバイスアセンブリに関し、より詳しくはマイクロレンズアレイを有する光学部品を基板に固定するためのプロセスに関する。 FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to optical device assemblies, and more particularly to processes for securing optical components having microlens arrays to substrates.

本発明の実施形態によれば、光デバイスが提供される。光デバイスは、光が複数の導波路コアを通過することを許容する複数の導波路コアを含む基板を含む。光デバイスは、基板上に設けられた光学部品をさらに含む。光学部品は、基板上の複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を各々が透過させる複数のレンズを含む。光学部品は、本体および突出部を含む。本体には複数のレンズが設けられ、突出部は、本体の側面から突出している。突出部は、接着剤で基板に固定される。 According to embodiments of the invention, an optical device is provided. The optical device includes a substrate that includes multiple waveguide cores that allow light to pass through the multiple waveguide cores. The optical device further includes an optical component provided on the substrate. The optical component includes a plurality of lenses each transmitting light through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component includes a body and a protrusion. The main body is provided with a plurality of lenses, and the protrusion protrudes from the side surface of the main body. The protrusion is fixed to the substrate with adhesive.

本発明の別の実施形態によれば、光デバイスが提供される。光デバイスは、光が複数の導波路コアを通過することを許容する複数の導波路コアを含む基板を含む。光デバイスは、基板上に設けられた光学部品をさらに含む。光学部品は、基板上の複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を各々が透過させる複数のレンズを含む。光学部品は、基板に面する表面および表面上に設けられた凹部を含む。凹部は、複数のレンズを挟んで向かい合う。光学部品は、凹部中に収容された接着剤によって基板に固定される。 According to another embodiment of the invention, an optical device is provided. The optical device includes a substrate that includes multiple waveguide cores that allow light to pass through the multiple waveguide cores. The optical device further includes an optical component provided on the substrate. The optical component includes a plurality of lenses each transmitting light through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component includes a surface facing the substrate and a recess provided on the surface. The recesses face each other with the plurality of lenses in between. The optical component is secured to the substrate by an adhesive contained in the recess.

本発明のさらに別の実施形態によれば、光デバイスおよび光デバイスからの信号に基づいて動作する動作ユニットを含むデバイスが提供される。光デバイスは、光が複数の導波路コアを通過することを許容する複数の導波路コアを含む基板を含む。光デバイスは、基板上に設けられた光学部品をさらに含む。光学部品は、基板上の複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を各々が透過させる複数のレンズを含む。光学部品は、本体および突出部を含む。本体には複数のレンズが設けられ、突出部は、本体の側面から突出している。突出部は、接着剤で基板に固定される。 According to yet another embodiment of the invention, a device is provided that includes an optical device and an operating unit that operates based on a signal from the optical device. The optical device includes a substrate that includes multiple waveguide cores that allow light to pass through the multiple waveguide cores. The optical device further includes an optical component provided on the substrate. The optical component includes a plurality of lenses each transmitting light through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component includes a body and a protrusion. The main body is provided with a plurality of lenses, and the protrusion protrudes from the side surface of the main body. The protrusion is fixed to the substrate with adhesive.

本発明のさらに別の実施形態によれば、光デバイスを作製するための方法が提供される。方法は、基板および光学部品を形成することを含む。基板は、光が複数の導波路コアを通過することを許容する複数の導波路コアを含む。光学部品は、基板上に設けられ、基板上の複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を各々が透過させる複数のレンズを含む。光学部品は、本体および突出部を含む。本体には複数のレンズが設けられ、突出部は、本体の側面から突出している。方法は、突出部を接着剤で基板に固定することをさらに含む。 According to yet another embodiment of the invention, a method for making an optical device is provided. The method includes forming a substrate and an optical component. The substrate includes multiple waveguide cores that allow light to pass through the multiple waveguide cores. The optical component is provided on the substrate and includes a plurality of lenses each transmitting light that passes through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component includes a body and a protrusion. The main body is provided with a plurality of lenses, and the protrusion protrudes from the side surface of the main body. The method further includes securing the protrusion to the substrate with an adhesive.

本発明のさらに別の実施形態によれば、デバイスを作製するための方法が提供される。方法は、基板、光学部品およびデバイス本体を形成することを含む。基板は、光が複数の導波路コアを通過することを許容する複数の導波路コアを含む。光学部品は、基板上に設けられ、基板上の複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を各々が透過させる複数のレンズを含む。光学部品は、本体および突出部を含む。本体には複数のレンズが設けられ、突出部は、本体の側面から突出している。方法は、突出部を接着剤で基板に固定することをさらに含む。方法は、基板に固定された光学部品をデバイス本体へ載せることを含む。 According to yet another embodiment of the invention, a method for making a device is provided. The method includes forming a substrate, an optical component, and a device body. The substrate includes multiple waveguide cores that allow light to pass through the multiple waveguide cores. The optical component is provided on the substrate and includes a plurality of lenses each transmitting light that passes through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component includes a body and a protrusion. The main body is provided with a plurality of lenses, and the protrusion protrudes from the side surface of the main body. The method further includes securing the protrusion to the substrate with an adhesive. The method includes mounting an optical component secured to a substrate onto a device body.

第1の実施形態による光通信システムの上面図である。FIG. 1 is a top view of an optical communication system according to a first embodiment. 第1の実施形態によるマルチチップモジュールの側面図である。FIG. 2 is a side view of the multi-chip module according to the first embodiment. (A)図2における線III(A)-III(A)に沿った概略断面図である。(B)第1の実施形態による基板側部品および導波路層の上面図である。(A) is a schematic cross-sectional view taken along line III(A)-III(A) in FIG. 2; (B) It is a top view of the board|substrate side component and waveguide layer by 1st Embodiment. (A)、(B)、および(C)は、ある例において基板側部品を導波路層に固定するためのプロセスを示す。(A), (B), and (C) illustrate a process for securing substrate-side components to a waveguide layer in one example. (A)、(B)、および(C)は、別の例において基板側部品を導波路層に固定するための別のプロセスを示す。(A), (B), and (C) illustrate another process for fixing substrate-side components to a waveguide layer in another example. 第1の実施形態による基板側部品の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a board-side component according to the first embodiment. 図3(A)における円VII内の部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view within circle VII in FIG. 3(A). (A)、(B)、(C)、(D)、および(E)は、第1の実施形態において基板側部品を導波路層に固定するためのプロセスを示す。(A), (B), (C), (D), and (E) show the process for fixing the substrate-side components to the waveguide layer in the first embodiment. 第1の実施形態による主基板上に配列された基板側部品の上面図である。FIG. 3 is a top view of board-side components arranged on the main board according to the first embodiment. 第2の実施形態による主基板上に配列された基板側部品の上面図である。FIG. 7 is a top view of board-side components arranged on the main board according to the second embodiment. 第3の実施形態による主基板上に配列された基板側部品の上面図である。FIG. 7 is a top view of board-side components arranged on a main board according to a third embodiment. (A)、(B)、(C)は基板側部品の上面図である。(A), (B), and (C) are top views of the board-side components. (A)、(B)は、修正形態による基板側部品の側面図および上面図である。(A) and (B) are a side view and a top view of a board-side component according to a modified form. 光通信システムが設けられた装置の概略図である。1 is a schematic diagram of a device provided with an optical communication system; FIG.

以下に、本発明の例示的な実施形態が添付図面を参照して詳細に記載される。 In the following, exemplary embodiments of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

本発明は、以下に示される例示的な実施形態には限定されず、本発明の範囲内で様々な修正を伴って実施されてよいことに留意すべきである。加えて、本明細書に用いられる図面は、説明のためであり、実際の寸法を示さないことがある。 It should be noted that the invention is not limited to the exemplary embodiments shown below, but may be implemented with various modifications within the scope of the invention. Additionally, the drawings used herein are for illustrative purposes and may not depict actual dimensions.

図1は、第1の実施形態による光通信システム1の上面図である。図に示されるように、光通信システム1は、2つのマルチチップモジュール(MCM:multi-chip module)5を含んでよい。MCM5は、主基板10、中央処理装置(CPU:central processing unit)11、垂直共振器面発光レーザ(VCSEL:vertical cavity surface emitting laser)チップアレイ12、レーザダイオードドライバ(LDD:laser diode driver)チップ13、フォトダイオード(PD:photodiode)チップアレイ14、トランスインピーダンスアンプ(TIA:trans-impedance amplifier)チップ15、導波路層161および162、ならびにファイバコネクタ17を含んでよい。さらに、図に示されるように、光通信システム1は、各々がいくつか(例えば、12または24個)のファイバケーブルコアを有するファイバケーブル181および182を含んでよい。 FIG. 1 is a top view of an optical communication system 1 according to a first embodiment. As shown in the figure, the optical communication system 1 may include two multi-chip modules (MCM) 5. The MCM 5 includes a main board 10, a central processing unit (CPU) 11, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) chip array 12, and a laser diode driver (LDD). diode driver) chip 13 , a photodiode (PD) chip array 14 , a trans-impedance amplifier (TIA) chip 15 , waveguide layers 161 and 162 , and a fiber connector 17 . Furthermore, as shown, the optical communication system 1 may include fiber cables 181 and 182, each having a number (eg, 12 or 24) of fiber cable cores.

導波路層161は、その数がファイバケーブル181または182のコアの数と一致する複数の導波路コアWGを含んでよい。VCSELチップアレイ12は、その数が導波路層161のファイバコア(示されない)の数と一致する複数のVCSELデバイスを含んでよい。導波路層162は、その数がファイバケーブル181または182のファイバコア(示されない)の数と一致する複数の導波路コアWGを含んでよい。PDチップアレイ14は、その数が導波路層162のコアの数と一致する複数のPDデバイスを含んでよい。 The waveguide layer 161 may include a plurality of waveguide cores WG whose number matches the number of cores of the fiber cable 181 or 182. VCSEL chip array 12 may include a plurality of VCSEL devices whose number matches the number of fiber cores (not shown) in waveguide layer 161. Waveguide layer 162 may include a plurality of waveguide cores WG whose number matches the number of fiber cores (not shown) of fiber cable 181 or 182. PD chip array 14 may include a plurality of PD devices whose number matches the number of cores in waveguide layer 162.

図2は、第1の実施形態によるMCM5の側面図である。図に示されるように、導波路層161は、主基板10の表面上に形成されてよい。導波路層161は、導波路コアWG、導波路コアWGより上にクラッド層160、および導波路コアWGより下に別のクラッド層160を含んでよい。導波路層161は、ポリマー導波路として形成されてよい。 FIG. 2 is a side view of the MCM 5 according to the first embodiment. As shown in the figure, waveguide layer 161 may be formed on the surface of main substrate 10. The waveguide layer 161 may include a waveguide core WG, a cladding layer 160 above the waveguide core WG, and another cladding layer 160 below the waveguide core WG. Waveguide layer 161 may be formed as a polymer waveguide.

導波路層161には複数のミラーキャビティ165が設けられてよい。ミラーキャビティ165は、導波路コアWGの一端(図2では左側)に設けられて、VCSELチップアレイ12に面する。各ミラーキャビティ165は、各導波路コアWG上に設けられる。言い換えれば、ミラーキャビティ165の数が導波路コアWGの数と一致する。 A plurality of mirror cavities 165 may be provided in the waveguide layer 161. The mirror cavity 165 is provided at one end (left side in FIG. 2) of the waveguide core WG and faces the VCSEL chip array 12. Each mirror cavity 165 is provided on each waveguide core WG. In other words, the number of mirror cavities 165 matches the number of waveguide cores WG.

導波路層161には複数のミラーキャビティ167も設けられてよい。ミラーキャビティ167は、導波路コアWGの他端(図2では右側)に設けられて、ファイバコネクタ17に面する。各ミラーキャビティ167は、各導波路コアWG上に設けられる。言い換えれば、ミラーキャビティ167の数が導波路コアWGの数と一致する。 A plurality of mirror cavities 167 may also be provided in the waveguide layer 161. The mirror cavity 167 is provided at the other end (on the right side in FIG. 2) of the waveguide core WG and faces the fiber connector 17. Each mirror cavity 167 is provided on each waveguide core WG. In other words, the number of mirror cavities 167 matches the number of waveguide cores WG.

ミラーキャビティ165および167は、導波路コアWGとミラーキャビティ165またはミラーキャビティ167との間の境界(界面)上に反射面(ミラーM)を形成するために45°の角度で傾斜していてよい。本実施形態では、境界は、金属コーティングなしに設けられてよく、ミラーキャビティ165および167が空気(大気)で満たされてよい。この構成は、ミラーMが光を内部全反射(TIR:total internal reflection)によって反射させることを可能にする。より具体的には、ミラーキャビティ165のミラーMは、VCSELチップアレイ12からの光を内部全反射によって導波路コアWGへ反射させる。ミラーキャビティ167のミラーMは、導波路コアWGからの光を内部全反射によってファイバコネクタ17へ反射させる。 Mirror cavities 165 and 167 may be tilted at an angle of 45° to form a reflective surface (mirror M) on the boundary (interface) between waveguide core WG and mirror cavity 165 or mirror cavity 167. . In this embodiment, the boundary may be provided without a metal coating and the mirror cavities 165 and 167 may be filled with air (atmosphere). This configuration allows mirror M to reflect light by total internal reflection (TIR). More specifically, the mirror M of the mirror cavity 165 reflects the light from the VCSEL chip array 12 to the waveguide core WG by total internal reflection. The mirror M of the mirror cavity 167 reflects the light from the waveguide core WG to the fiber connector 17 by total internal reflection.

いくつかの実施形態において、ミラーキャビティ167のミラーMは、2つの列(図3(B)参照)を形成するために導波路コアWG中で互い違いの位置に設けられる。 In some embodiments, the mirrors M of the mirror cavity 167 are provided at staggered positions in the waveguide core WG to form two rows (see FIG. 3(B)).

ファイバコネクタ17は、ファイバ側部品180および基板側部品190を含んでよい。ファイバケーブル181および182へ接続されたファイバ側部品180は、基板側部品190上に載せられてよい。基板側部品190は、ファイバ側部品180を受けるために導波路層161上に直接に載せられてよい。 Fiber connector 17 may include a fiber side component 180 and a board side component 190. Fiber side component 180 connected to fiber cables 181 and 182 may be mounted on board side component 190. The substrate side component 190 may be mounted directly on the waveguide layer 161 to receive the fiber side component 180.

基板側部品190は、接着剤210を用いて導波路層161上へ接着される。接着剤210は、光硬化性材料、例えば、紫外線(UV)硬化材料(光硬化材料)または熱硬化材料であってよい。導波路層161は、請求される基板の一例である。基板側部品190は、請求される光学部品の一例である。マイクロレンズ193は、請求されるレンズの一例である。 The substrate side component 190 is bonded onto the waveguide layer 161 using an adhesive 210. Adhesive 210 may be a photocurable material, such as an ultraviolet (UV) curable material (photocurable material) or a thermoset material. Waveguide layer 161 is an example of a claimed substrate. The substrate side component 190 is an example of a claimed optical component. Microlens 193 is an example of a claimed lens.

図3(A)は、図2における線III(A)-III(A)に沿った概略断面図である。図3(B)は、第1の実施形態による基板側部品190および導波路層161の上面図である。 FIG. 3(A) is a schematic cross-sectional view taken along line III(A)-III(A) in FIG. FIG. 3B is a top view of the substrate side component 190 and the waveguide layer 161 according to the first embodiment.

図3(A)および図3(B)に示されるように、基板側部品190は、本体199およびウィング198(以下に記載される)を含んでよい。基板側部品190は、ポリマー部品として形成されてよい。本実施形態では、基板側部品190が単一片として構成されてよい。 As shown in FIGS. 3(A) and 3(B), the board-side component 190 may include a body 199 and wings 198 (described below). The substrate side part 190 may be formed as a polymer part. In this embodiment, the board-side component 190 may be constructed as a single piece.

本体199は、概して直方体形状を有してよい。本体199は、基板側マイクロレンズアレイ191、第1の支持部分194、第2の支持部分195、およびアラインメント穴197を含んでよい。 Body 199 may have a generally rectangular shape. The body 199 may include a substrate-side microlens array 191, a first support portion 194, a second support portion 195, and an alignment hole 197.

マイクロレンズアレイ191は、複数のマイクロレンズ193を含んでよい。マイクロレンズアレイ191は、ミラーキャビティ167のミラーMの列に対応する2つの列に配列される。本実施形態では、本体199には上面上に概して直方体形状を有する上面凹部192が設けられてよい。マイクロレンズアレイ191は、上面凹部192の底に設けられる。 Microlens array 191 may include a plurality of microlenses 193. The microlens array 191 is arranged in two columns corresponding to the columns of mirrors M in the mirror cavity 167. In this embodiment, the main body 199 may be provided with an upper surface recess 192 having a generally rectangular parallelepiped shape on the upper surface. Microlens array 191 is provided at the bottom of upper surface recess 192 .

基板側部品190は、各マイクロレンズ193と各導波路コアWG上に設けられた対応するミラーMとが位置合わせされるように導波路層161上に置かれてよい。いくつかの実施形態では、ファイバ側部品180がファイバ側マイクロレンズアレイを含んでもよい。基板側部品190の各マイクロレンズ193は、各ファイバ側マイクロレンズと位置合わせされる。この構成は、ミラーMで反射された光が基板側部品190のマイクロレンズ193とファイバ側部品180の対応するマイクロレンズとを通ることを許容する。 The substrate side component 190 may be placed on the waveguide layer 161 so that each microlens 193 and the corresponding mirror M provided on each waveguide core WG are aligned. In some embodiments, fiber side component 180 may include a fiber side microlens array. Each microlens 193 of the substrate side component 190 is aligned with each fiber side microlens. This configuration allows the light reflected by the mirror M to pass through the microlens 193 of the substrate side component 190 and the corresponding microlens of the fiber side component 180.

第1の支持部分194は、本体199の上面上の突出部分である。第1の支持部分194は、本体199の縦方向に両側に設けられてよい。第1の支持部分194がファイバ側部品180を支持する。本実施形態では、マイクロレンズアレイ191が第1の支持部分194の間に設けられる。いくつかの実施形態では、上面凹部192が第1の支持部分194の間に設けられる。 The first support portion 194 is a protruding portion on the top surface of the main body 199. The first support portions 194 may be provided on both sides of the main body 199 in the longitudinal direction. A first support portion 194 supports fiber side component 180 . In this embodiment, a microlens array 191 is provided between the first support portions 194. In some embodiments, a top surface recess 192 is provided between the first support portions 194.

第2の支持部分195は、本体199の底面上の突出部分である。第2の支持部分195は、本体199の縦方向に両側に設けられてよい。第2の支持部分195は、導波路層161上に載せられてよい。第2の支持部分195の間に底部中央領域196が画定される。 The second support portion 195 is a protruding portion on the bottom surface of the body 199. The second support portions 195 may be provided on both sides of the body 199 in the longitudinal direction. A second support portion 195 may rest on the waveguide layer 161. A bottom central region 196 is defined between the second support portions 195 .

本体199の底面、より具体的には底部中央領域196は、ミラーキャビティ167が設けられた導波路層161の上面の領域に面する。言い換えれば、基板側部品190がミラーキャビティ167を覆ってよい。 The bottom surface of the body 199, more specifically the bottom central region 196, faces the region of the top surface of the waveguide layer 161 in which the mirror cavity 167 is provided. In other words, the substrate side component 190 may cover the mirror cavity 167.

アラインメント穴197は、本体199の上面から底面へ本体199を貫通するスルーホールである。基板側部品190を導波路層161上へ載せる際に、基板側部品190が載せられることになる位置を検出するためにアラインメント穴197の画像認識が実施される。 The alignment hole 197 is a through hole that penetrates the main body 199 from the top surface to the bottom surface of the main body 199. When placing the substrate side component 190 on the waveguide layer 161, image recognition of the alignment hole 197 is performed in order to detect the position where the substrate side component 190 will be placed.

以下の説明では、導波路コアの軸に沿った方向は、軸方向と呼ばれる。導波路層161の平面に沿って軸方向に垂直な方向は、幅方向と呼ばれる。軸方向および幅方向の両方に縦に垂直な方向は、高さ方向と呼ばれる。 In the following description, the direction along the axis of the waveguide core will be referred to as the axial direction. The direction perpendicular to the axial direction along the plane of the waveguide layer 161 is called the width direction. The direction longitudinally perpendicular to both the axial and width directions is called the height direction.

マルチチップモジュール(MCM)5は、高密度光集積化によって作製されるアセンブリである。かかる高密度光集積化は、就中、データセンタにおける高性能(HPC:high performance)システムおよびハイエンドサーバのための高速、より低コストの相互接続の鍵であった。光学部品の集積化は、部品のアラインメントに配慮を要し、従って、高スループットまたは低コスト生産に向けて技術的課題を生み出す。いくつかの実施形態において、高密度光集積化は、数秒のプロセス時間内に±5um未満のアラインメント精度を必要とすることがある。基板側部品190と導波路層161との間のミスアライメントは、基板側部品190のマイクロレンズ193を通る光の信号損失をもたらすことがある。 The multi-chip module (MCM) 5 is an assembly manufactured by high-density optical integration. Such high-density optical integration has been the key to faster, lower-cost interconnections for high performance (HPC) systems and high-end servers in data centers, among others. Integration of optical components requires consideration of component alignment, thus creating technical challenges for high throughput or low cost production. In some embodiments, high-density optical integration may require alignment accuracy of less than ±5 um within a few seconds of process time. Misalignment between the substrate-side component 190 and the waveguide layer 161 may result in signal loss of light passing through the microlens 193 of the substrate-side component 190.

図4(A)、4(B)、および4(C)は、ある例において基板側部品1900を導波路層161に固定するためのプロセスを示す。本実施形態のウィング198が設けられていない、基板側部品1900が以下の固定プロセスで導波路層161に固定される。 4(A), 4(B), and 4(C) illustrate a process for securing substrate side component 1900 to waveguide layer 161 in one example. The substrate side component 1900, which is not provided with the wings 198 of this embodiment, is fixed to the waveguide layer 161 by the following fixing process.

この固定プロセスは、ピックツール900によって実施されてよい。ピックツール900は、ベース910、ピックヘッド930、ホルダ950、および接着剤ディスペンサ960を含んでよい。ベース910は、導波路層161が設けられた主基板10を支持する。ピックヘッド930は、基板側部品1900を選び取る。ホルダ950、例えば、ロボットアームは、ピックヘッド930を保持して移動させる。接着剤ディスペンサ960は、接着剤210を流動化状態で導波路層161上にディスペンスする。ピックヘッド930およびホルダ950は、請求される移動ユニットの例である。 This fixation process may be performed by a pick tool 900. Pick tool 900 may include a base 910, a pick head 930, a holder 950, and an adhesive dispenser 960. Base 910 supports main substrate 10 on which waveguide layer 161 is provided. The pick head 930 selects the board side component 1900. A holder 950, for example a robotic arm, holds and moves the pick head 930. Adhesive dispenser 960 dispenses adhesive 210 in a fluidized state onto waveguide layer 161 . Pick head 930 and holder 950 are examples of claimed moving units.

図4(A)に示されるように、初期状態では、導波路層161が設けられた主基板10がベース910上に置かれている。第1のステップでは、ホルダ950がピックヘッド930を用いて基板側部品1900を選び取り、基板側部品1900を導波路層161上に載せる。 As shown in FIG. 4A, in the initial state, the main substrate 10 provided with the waveguide layer 161 is placed on the base 910. In the first step, the holder 950 uses the pick head 930 to select the substrate side component 1900 and places the substrate side component 1900 on the waveguide layer 161.

図4(B)に示されるように、第2のステップでは、接着剤ディスペンサ960が接着剤210を基板側部品1900のすべての側面の周りにディスペンスする。第2のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品1900を保持している。 As shown in FIG. 4(B), in a second step, adhesive dispenser 960 dispenses adhesive 210 around all sides of board-side component 1900. In the second step, the pick head 930 is holding the board side component 1900.

図4(C)に示されるように、第3のステップでは、基板側部品1900が導波路層161に固定されるように、接着剤210がUV照射によって硬化される。第3のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品1900を保持している。 As shown in FIG. 4C, in the third step, the adhesive 210 is cured by UV irradiation so that the substrate side component 1900 is fixed to the waveguide layer 161. In the third step, the pick head 930 is holding the board side component 1900.

本例では、ピックツール900がピックヘッド930によって基板側部品1900をある一定の位置に保持している間に接着剤210をディスペンスする必要がある。これは、スペースの考慮に起因する課題となろう。さらに、一組の基板側部品1900および導波路層161のためにピックツール900が比較的長期にわたって独占される。これは、生産コストを増加させかねない。この例で接着剤210として熱硬化材料が用いられる場合には、ピックツール900がさらに長期にわたって独占されるであろう。 In this example, it is necessary to dispense the adhesive 210 while the pick tool 900 holds the board-side component 1900 in a certain position by the pick head 930. This would be a challenge due to space considerations. Furthermore, the pick tool 900 is monopolized for a relatively long period of time due to the set of substrate side parts 1900 and the waveguide layer 161. This can increase production costs. If a thermoset material were used as adhesive 210 in this example, pick tool 900 would dominate for an even longer period of time.

図5(A)、5(B)、および5(C)は、別の例において基板側部品1900を導波路層161に固定するための別のプロセスを示す。 5(A), 5(B), and 5(C) illustrate another process for securing the substrate side component 1900 to the waveguide layer 161 in another example.

図5(A)に示されるように、初期状態では、導波路層161が設けられた主基板10がベース910上に置かれている。第1のステップでは、接着剤ディスペンサ960が接着剤210を基板側部品1900が載せられることになる領域の外周に沿って導波路層161上にディスペンスする。 As shown in FIG. 5A, in the initial state, the main substrate 10 provided with the waveguide layer 161 is placed on the base 910. In the first step, the adhesive dispenser 960 dispenses the adhesive 210 onto the waveguide layer 161 along the outer periphery of the area where the substrate side component 1900 will be placed.

図5(B)に示されるように、第2のステップでは、ホルダ950がピックヘッド930を用いて基板側部品1900を選び取り、基板側部品1900を導波路層161上へ載せる。このステップでは、基板側部品1900の底が導波路層161上にディスペンスされた接着剤210を押す。 As shown in FIG. 5B, in the second step, the holder 950 uses the pick head 930 to select the substrate side component 1900 and places the substrate side component 1900 onto the waveguide layer 161. In this step, the bottom of the substrate side part 1900 presses the adhesive 210 dispensed onto the waveguide layer 161.

図5(C)に示されるように、第3のステップでは、基板側部品1900が導波路層161に固定されるように接着剤210がUV照射によって硬化される。第3のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品1900を保持している。 As shown in FIG. 5C, in the third step, the adhesive 210 is cured by UV irradiation so that the substrate side component 1900 is fixed to the waveguide layer 161. In the third step, the pick head 930 is holding the board side component 1900.

本例では、基板側部品1900が接着剤210を上から押すように、基板側部品1900の導波路層161上への配置前に接着剤210が導波路層161上にディスペンスされる。これは、ギャップGPを通して接着剤210を分布させる(図3(A)参照)。分布している接着剤210は、ミラーキャビティ167中に流れ込む。接着剤210のミラーキャビティ167中へのかかる流れがミラーMの反射率を低下させることがある。接着剤210のこの流れを防止するために、この例ではギャップGPのサイズの非常に厳密な制御または接着剤の量の非常に厳密な制御が必要なことがある。 In this example, the adhesive 210 is dispensed onto the waveguide layer 161 before the substrate side component 1900 is placed on the waveguide layer 161 so that the substrate side component 1900 presses the adhesive 210 from above. This distributes the adhesive 210 through the gap GP (see FIG. 3(A)). The distributed adhesive 210 flows into the mirror cavity 167. Such flow of adhesive 210 into mirror cavity 167 may reduce the reflectivity of mirror M. To prevent this flow of adhesive 210, very tight control of the size of the gap GP or the amount of adhesive may be required in this example.

さらに、基板側部品1900下の接着剤210は、基板側部品1900を透過したUV光で照射される必要がある。これは、製造プロセスにおける収率に影響を及ぼすことがある。さらに、基板側部品1900下の接着剤210の固化の程度にむらを生じさせかねない。これも製造プロセスにおける収率に影響を及ぼすことがある。 Furthermore, the adhesive 210 under the board-side component 1900 needs to be irradiated with UV light that has passed through the board-side component 1900. This can affect yield in the manufacturing process. Furthermore, the degree of solidification of the adhesive 210 under the board-side component 1900 may be uneven. This can also affect the yield in the manufacturing process.

本実施形態においては、逆に、基板側部品190にはウィング198が設けられ、それによって、完全なアセンブリプロセスより前に予備的なタッキングが可能になる。これは、精密なアラインメントおよび固定を1つのプロセスで提供し、収率およびスループットの両方を増加させる。 In this embodiment, on the contrary, the substrate-side part 190 is provided with wings 198, thereby allowing preliminary tacking prior to the complete assembly process. This provides precise alignment and fixation in one process, increasing both yield and throughput.

図6は、第1の実施形態による基板側部品190の斜視図である。図7は、図3(A)における円VII内の部分断面図である。図6および図7を参照して、ウィング198が詳細に説明される。ウィング198は、請求される突出部の一例である。 FIG. 6 is a perspective view of the board-side component 190 according to the first embodiment. FIG. 7 is a partial cross-sectional view within circle VII in FIG. 3(A). Wing 198 will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7. Wings 198 are one example of a claimed protrusion.

図6に示されるように、ウィング198は、基板側部品190の縦方向にそれぞれの側面に設けられてよい。図示される実施形態では、基板側部品190を作り出すために、ウィング198がポリマー射出モールドプロセスで本体199のそれぞれの側面に設けられる。いくつかの実施形態において、ウィング198は、導波路コアWGを含む領域を挟んで向かい合う位置に設けられる(図3(B)参照)。 As shown in FIG. 6, the wings 198 may be provided on each side of the board-side component 190 in the longitudinal direction. In the illustrated embodiment, wings 198 are provided on each side of body 199 in a polymer injection molding process to create substrate side part 190. In some embodiments, the wings 198 are provided at positions facing each other across the region including the waveguide core WG (see FIG. 3(B)).

上述のように、本体199は、概して直方体形状を有する。本体199は、幅方向に沿って1つの方向(図6では右側)を向いている第1の表面1903、および幅方向に沿って反対の方向(図6では左側)を向いている第2の表面1905を有する。本体199は、上から見て矩形形状を有する。すなわち、本体199は、上から見て短側面1907および長側面1909を有する。 As mentioned above, body 199 has a generally rectangular shape. The main body 199 has a first surface 1903 facing in one direction along the width direction (to the right in FIG. 6) and a second surface 1903 facing in the opposite direction along the width direction (to the left in FIG. 6). It has a surface 1905. The main body 199 has a rectangular shape when viewed from above. That is, the main body 199 has a short side 1907 and a long side 1909 when viewed from above.

ウィング198は、第1の表面1903および第2の表面1905上、すなわち本体199の短側面1907上の突出部である。図示される実施形態では、ウィング198が本体199の対角に設けられる。より具体的には、ウィング198がマイクロレンズアレイ191を挟んで向かい合う位置に設けられる。第1の表面1903は、本体の請求される側面の一例である。 Wings 198 are protrusions on first surface 1903 and second surface 1905, ie, on short side 1907 of body 199. In the illustrated embodiment, wings 198 are provided on diagonal corners of body 199. More specifically, the wings 198 are provided at positions facing each other with the microlens array 191 interposed therebetween. First surface 1903 is an example of a claimed side of the body.

ウィング198は、同じ形状を有してよい。図示される実施形態では、ウィング198が平面状部材である。すなわち、ウィング198は、導波路層161の上面1611(図7参照)に沿って設けられた概して矩形(正方形)平面形状を有する。各ウィング198は、底面1981および上面1983を有する。底面1981は、導波路層161の上面1611に面する。底面1981は、請求される接着面の一例である。上面1983は、請求される対向面の一例である。 Wings 198 may have the same shape. In the illustrated embodiment, wings 198 are planar members. That is, the wing 198 has a generally rectangular (square) planar shape provided along the upper surface 1611 (see FIG. 7) of the waveguide layer 161. Each wing 198 has a bottom surface 1981 and a top surface 1983. Bottom surface 1981 faces top surface 1611 of waveguide layer 161 . Bottom surface 1981 is an example of a claimed adhesive surface. Top surface 1983 is an example of a claimed opposing surface.

次に、本体199およびウィング198の寸法が説明される。図示される実施形態では、本体199は、6mmの幅(長さB1参照)、5mmの奥行き(長さB2参照)、および1mmの高さ(長さB3参照)を有する。ウィング198は、1mmの幅(長さW1参照)、1mmの奥行き(長さW2参照)、および0.5mmの高さ(厚さ)(長さW3参照)を有する。 Next, the dimensions of body 199 and wings 198 will be described. In the illustrated embodiment, the body 199 has a width (see length B1) of 6 mm, a depth (see length B2) of 5 mm, and a height (see length B3) of 1 mm. Wing 198 has a width (see length W1) of 1 mm, a depth (see length W2) of 1 mm, and a height (thickness) (see length W3) of 0.5 mm.

ウィング198の厚さは、本体199の高さより小さい。より具体的には、ウィング198の厚さは、本体199の厚さの半分以下であってよい。ウィング198の厚さは、十分な機械強度、モールドを用いての製造可能性、および迅速なUVタッキング(以下に記載される)のために十分な光透過性を提供するように選ばれる。 The thickness of the wings 198 is less than the height of the body 199. More specifically, the thickness of wings 198 may be less than or equal to half the thickness of body 199. The thickness of the wings 198 is selected to provide sufficient mechanical strength, manufacturability with molds, and sufficient light transmission for rapid UV tacking (described below).

図7に示されるように、各ウィング198は、ウィング198の底面1981と導波路層161の上面1611との間に隙間CLが形成される位置で本体199上に設けられる。隙間CLは、ウィング198の厚さより小さい。より具体的には、隙間CLは、ウィング198の厚さの半分以下であってよい。図示される実施形態では、隙間CLが約0.07mmであってよい(図7中の長さC1参照)。 As shown in FIG. 7, each wing 198 is provided on the main body 199 at a position where a gap CL is formed between the bottom surface 1981 of the wing 198 and the top surface 1611 of the waveguide layer 161. The gap CL is smaller than the thickness of the wing 198. More specifically, the gap CL may be less than half the thickness of the wing 198. In the illustrated embodiment, the gap CL may be about 0.07 mm (see length C1 in FIG. 7).

隙間CLは、接着領域サイズ(すなわち、底面1981の面積)、接着剤210の小滴の高さ(以下に記載される)、および導波路構造、例えば、アラインメントマーカAMの高さに基づいて選ばれる。いくつかの実施形態において、アラインメントマーカAMは、導波路層161上に設けられたマシンビジョンのための凸マークである。導波路コアWGをパターニングするため、およびアラインメントマーカAMを導波路層161の上に形成するためにフォトリソグラフィが用いられてよい。隙間CLは、アラインメントマーカAMの高さより大きくてよく、ウィング198がアラインメントマーカAMと接触するのを防止する。 The gap CL is selected based on the adhesive area size (i.e., the area of the bottom surface 1981), the height of the droplet of adhesive 210 (described below), and the height of the waveguide structure, e.g., alignment marker AM. It will be done. In some embodiments, alignment marker AM is a raised mark for machine vision provided on waveguide layer 161. Photolithography may be used to pattern the waveguide core WG and to form alignment markers AM on the waveguide layer 161. Gap CL may be greater than the height of alignment marker AM and prevents wing 198 from contacting alignment marker AM.

ウィング198は、接着領域を本体199の外側に提供して、接着剤210が光路およびマイクロレンズ193を妨害するのを防止する。図示される実施形態では、接着剤210、より具体的にはタッキング接着剤210Aを用いて底面1981が導波路層161の上面1611に接着される。 Wings 198 provide adhesive areas on the outside of body 199 to prevent adhesive 210 from interfering with the optical path and microlenses 193. In the illustrated embodiment, bottom surface 1981 is adhered to top surface 1611 of waveguide layer 161 using adhesive 210, more specifically tacking adhesive 210A.

隙間CLは、タッキング接着剤210Aを収容するためのスペースと見做すことができる。このスペースは、タッキング接着剤210Aがミラーキャビティ167中に流れ込むのを防止する。さらに、このスペースに面する第1の表面1903または第2の表面1905の部分が導波路層161の上面1611から立ち上がる。言い換えれば、これらの部分が導波路層161の上面1611に垂直であってよい。これもタッキング接着剤210Aがミラーキャビティ167中に流れ込むのを第1の表面1903および第2の表面1905が防止することを可能にする。さらに、このスペースは、ウィング198の底面1981、導波路層161の上面1611、および本体199の第1の表面1903または第2の表面1905の側面を除いて開かれている。これは、タッキング接着剤210Aがミラーキャビティ167に向かう以外の方向に流れることを可能にする。 The gap CL can be regarded as a space for accommodating the tacking adhesive 210A. This space prevents tacking adhesive 210A from flowing into mirror cavity 167. Further, a portion of the first surface 1903 or the second surface 1905 facing this space rises from the upper surface 1611 of the waveguide layer 161. In other words, these portions may be perpendicular to the top surface 1611 of the waveguide layer 161. This also allows first surface 1903 and second surface 1905 to prevent tacking adhesive 210A from flowing into mirror cavity 167. Furthermore, this space is open except for the bottom surface 1981 of the wing 198, the top surface 1611 of the waveguide layer 161, and the sides of the first surface 1903 or second surface 1905 of the body 199. This allows tacking adhesive 210A to flow in a direction other than toward mirror cavity 167.

タッキング接着剤210Aは、ウィング198の上から照射されるUV光によって硬化される。ここで、図示される実施形態では、上面1983が平坦面である。これは、タッキング接着剤210A全体が均一な強度のUV光で照射されることを可能にする。さらに、ウィング198の比較的小さい厚さがタッキング接着剤210A上のUV光強度を増加させてよい。いくつかの実施形態において、ウィング198(基板側部品190)は、UV光を透過する透明材料から作られてよい。 The tacking adhesive 210A is cured by UV light irradiated from above the wing 198. Here, in the illustrated embodiment, the top surface 1983 is a flat surface. This allows the entire tacking adhesive 210A to be illuminated with a uniform intensity of UV light. Additionally, the relatively small thickness of the wings 198 may increase the UV light intensity on the tacking adhesive 210A. In some embodiments, the wings 198 (substrate side parts 190) may be made from a transparent material that is transparent to UV light.

いくつかの実施形態において、ウィング198は、ウィング198のサイズまたは形状を本体199のサイズまたは形状から独立して設計できるように本体199の外側に設けられる。 In some embodiments, the wings 198 are provided on the outside of the body 199 so that the size or shape of the wings 198 can be designed independently from the size or shape of the body 199.

図8(A)、8(B)、8(C)、8(D)、および8(E)は、第1の実施形態において基板側部品190を導波路層161に固定するためのプロセスを示す。図8(A)~8(E)を参照して、第1の実施形態における固定プロセスが詳細に説明される。 8(A), 8(B), 8(C), 8(D), and 8(E) illustrate the process for fixing the substrate side component 190 to the waveguide layer 161 in the first embodiment. show. The fixing process in the first embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 8(A) to 8(E).

図8(A)に示されるように、初期状態では、導波路層161が設けられた主基板10がベース910上に置かれている。第1のステップでは、接着剤ディスペンサ960が接着剤210を導波路層161上にディスペンスする。このステップでは、ウィング198が載せられることになる領域上にUV硬化性であるタッキング接着剤210Aが小滴としてディスペンスされる。すなわち、タッキング接着剤210Aは、基板側部品190が載せられることになる領域(図3(B)参照)を挟んで対向して配置された2つの箇所に塗られる。 As shown in FIG. 8A, in the initial state, the main substrate 10 provided with the waveguide layer 161 is placed on the base 910. In a first step, adhesive dispenser 960 dispenses adhesive 210 onto waveguide layer 161. In this step, a droplet of tacking adhesive 210A, which is UV curable, is dispensed onto the area where the wings 198 will be placed. That is, the tacking adhesive 210A is applied to two locations facing each other with the area on which the board-side component 190 will be placed (see FIG. 3(B)) interposed therebetween.

図8(B)に示されるように、第2のステップでは、ホルダ950がピックヘッド930を用いて基板側部品190を選び取り、基板側部品190を導波路層161上に載せる。このステップでは、ウィング198がタッキング接着剤210Aがディスペンスされた領域上に載せられる。すなわち、ウィング198の底面1981がタッキング接着剤210Aを押す。第2のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品190を保持している。 As shown in FIG. 8B, in the second step, the holder 950 uses the pick head 930 to select the substrate side component 190 and places the substrate side component 190 on the waveguide layer 161. In this step, wings 198 are placed over the areas where tacking adhesive 210A has been dispensed. That is, the bottom surface 1981 of the wing 198 presses the tacking adhesive 210A. In the second step, the pick head 930 is holding the board side component 190.

図8(C)に示されるように、第3のステップでは、基板側部品190が導波路層161にタッキングされるようにタッキング接着剤210AがUV照射によって硬化される。いくつかの実施形態において、UV光は、400mW/cmで30秒間照射される。第3のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品190を保持している。 As shown in FIG. 8C, in the third step, the tacking adhesive 210A is cured by UV irradiation so that the substrate-side component 190 is tacked to the waveguide layer 161. In some embodiments, the UV light is applied at 400 mW/ cm for 30 seconds. In the third step, the pick head 930 is holding the board side component 190.

図8(D)に示されるように、第4のステップでは、ホルダ950が導波路層161にタッキングされた基板側部品190をベース910から選び取り、基板側部品190および導波路層161を硬化ベース970上に置く。言い換えれば、ホルダ950がそれらをベース910から硬化ベース970へ移す。このステップでは、タッキング接着剤210AがUV照射によってさらに硬化されて、UV硬化プロセスを終了する。いくつかの実施形態において、UV光は、1500mW/cmで2分間照射される。基板側部品190が第3のステップで導波路層161にタッキングされたため(図8(C)参照)、第4のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品190を保持する必要はない。 As shown in FIG. 8(D), in the fourth step, the holder 950 selects the substrate-side component 190 tacked to the waveguide layer 161 from the base 910, and hardens the substrate-side component 190 and the waveguide layer 161. Place it on the base 970. In other words, holder 950 transfers them from base 910 to hardening base 970. In this step, the tacking adhesive 210A is further cured by UV radiation to complete the UV curing process. In some embodiments, the UV light is applied at 1500 mW/cm for 2 minutes. Since the substrate-side component 190 was tacked to the waveguide layer 161 in the third step (see FIG. 8(C)), the pick head 930 does not need to hold the substrate-side component 190 in the fourth step.

図8(E)に示されるように、第5のステップでは、ホルダ950が基板側部品190および導波路層161を硬化ベース970から加熱プレート990へ移す。このステップでは、接着剤ディスペンサ1960が熱硬化性またはUV硬化性であるサイドフィル接着剤210Bをディスペンスする。いくつかの実施形態において、サイドフィル接着剤210Bは、導波路層161の外周に残るために基板側部品190の下を流れてはならない。サイドフィル接着剤210Bは、次に、加熱プレート990によって硬化される。すなわち、第5のステップでは熱的タッキングが実施される。さらに、第5のステップでは、ピックヘッド930が基板側部品190を保持する必要はない。加熱プレート990は、請求される支持ベースの一例である。 As shown in FIG. 8(E), in the fifth step, holder 950 transfers substrate side component 190 and waveguide layer 161 from hardening base 970 to heating plate 990. In this step, adhesive dispenser 1960 dispenses sidefill adhesive 210B, which may be thermosetting or UV curable. In some embodiments, the side fill adhesive 210B must not flow under the substrate side component 190 to remain on the outer periphery of the waveguide layer 161. Side fill adhesive 210B is then cured by heating plate 990. That is, thermal tacking is performed in the fifth step. Furthermore, in the fifth step, it is not necessary for the pick head 930 to hold the board-side component 190. Heating plate 990 is one example of a claimed support base.

このようにして、自動化された取り付けプロセスで基板側部品190が導波路層161に取り付けられる。このプロセスでは、第3のステップでウィング198およびタッキング接着剤210Aを用いて基板側部品190が初めに導波路層161にタッキングされてよい。これは、基板側部品190がピックツール900を独占する時間を短縮する。 In this manner, substrate side component 190 is attached to waveguide layer 161 in an automated attachment process. In this process, substrate side component 190 may first be tacked to waveguide layer 161 using wings 198 and tacking adhesive 210A in a third step. This reduces the time during which the board-side component 190 monopolizes the pick tool 900.

図示される実施形態では、基板側部品190がタッキング接着剤210Aおよびサイドフィル接着剤210Bの組み合わせによって導波路層161に固定されてよい。さらに、図3(B)に示されるように、各ウィング198が軸方向にサイドフィル接着剤210Bの間に設けられる。サイドフィル接着剤210Bは、ウィング198が軸方向に移動するのを防止してよい。タッキング接着剤210Aは、請求される接着剤の一例である。サイドフィル接着剤210Bは、請求される別の接着剤の一例である。
(基板側部品190の配列)
In the illustrated embodiment, substrate side component 190 may be secured to waveguide layer 161 by a combination of tacking adhesive 210A and side fill adhesive 210B. Furthermore, as shown in FIG. 3(B), each wing 198 is provided axially between the side fill adhesives 210B. Side fill adhesive 210B may prevent wings 198 from moving axially. Tacking adhesive 210A is an example of a claimed adhesive. Sidefill adhesive 210B is an example of another claimed adhesive.
(Arrangement of board side components 190)

図9は、第1の実施形態による主基板10上に配列された基板側部品190の上面図である。 FIG. 9 is a top view of the board-side components 190 arranged on the main board 10 according to the first embodiment.

図9に示されるように、複数の基板側部品190が主基板10上に配列される。図示される実施形態では、4つの基板側部品190が幅方向に沿って配列される。各基板側部品190には本体199の対角にウィング198が設けられる。言い換えれば、ウィング198が非対称位置に設けられる。これは、ウィング198を互い違いの位置に配列することを許容する。この配列は、本体199間のスペースS1をせいぜいウィング198の幅(長さW1を参照)まで減少させることができる。言い換えれば、非対称配列は、複数の基板側部品190が隣接する基板側部品190のウィング198の間に妨害されずに密に置かれることを許容する。 As shown in FIG. 9, a plurality of board-side components 190 are arranged on the main board 10. As shown in FIG. In the illustrated embodiment, four board-side components 190 are arranged along the width direction. Each board-side component 190 is provided with a wing 198 diagonally opposite the main body 199. In other words, the wings 198 are provided in asymmetric positions. This allows wings 198 to be arranged in staggered positions. This arrangement allows the space S1 between the bodies 199 to be reduced to at most the width of the wings 198 (see length W1). In other words, the asymmetric arrangement allows multiple board-side components 190 to be placed closely together without obstruction between the wings 198 of adjacent board-side components 190.

図10Aは、第2の実施形態による主基板10上に配列された基板側部品290Aの上面図である。図10Bは、第3の実施形態による主基板10上に配列された基板側部品290Bの上面図である。図10Aおよび図10Bでは、図1~3および6~9に示される第1の実施形態のものと同じ部品が同じ参照数字によって表され、それらの詳細な説明は、省略される。 FIG. 10A is a top view of board-side components 290A arranged on the main board 10 according to the second embodiment. FIG. 10B is a top view of board-side components 290B arranged on the main board 10 according to the third embodiment. In FIGS. 10A and 10B, the same parts as in the first embodiment shown in FIGS. 1-3 and 6-9 are represented by the same reference numerals and a detailed description thereof is omitted.

図10Aを参照して、第2の実施形態による基板側部品290Aが説明される。上記の第1の実施形態では、基板側部品190には本体199の外側に非対称配列で据え付けられたウィング198が設けられる。ウィング198の配列は、これには限定されない。いくつかの実施形態では、図10Aに示されるように、基板側部品290Aには本体199の外側に対称配列で据え付けられたウィング298Aが設けられる。この配列は、本体199の間に幅方向に、少なくとも2つのウィング298Aの幅以上である、スペースS2を必要とする。 A board-side component 290A according to the second embodiment will be described with reference to FIG. 10A. In the first embodiment described above, the board-side part 190 is provided with wings 198 mounted in an asymmetrical arrangement on the outside of the main body 199. The arrangement of wings 198 is not limited to this. In some embodiments, as shown in FIG. 10A, the board side piece 290A is provided with wings 298A mounted on the outside of the body 199 in a symmetrical arrangement. This arrangement requires a space S2 in the width direction between the bodies 199, which is at least the width of the two wings 298A or more.

図10Bを参照して、第3の実施形態による基板側部品290Bが説明される。図10Bに示されるように、基板側部品290Bにはその長側面1909上に対称配列で据え付けられたウィング298Bが設けられる。この配列は、本体199の間のスペースS3を幅方向に減少させることができる。この配列では、ウィング298Bと他の部品との間の妨害を回避するために本体199と近接部品との間にスペースが必要である。 A board-side component 290B according to the third embodiment will be described with reference to FIG. 10B. As shown in FIG. 10B, the board-side component 290B is provided with wings 298B mounted in a symmetrical arrangement on its long side 1909. This arrangement can reduce the space S3 between the bodies 199 in the width direction. This arrangement requires space between body 199 and adjacent components to avoid interference between wing 298B and other components.

図11(A)、11(B)、および11(C)は、基板側部品390A、390B、および390Cの上面図である。図11(A)~11(C)を参照して、基板側部品190の修正形態が説明される。上記の実施形態では、ウィング198、298A、および298Bが概して矩形平面形状を有する。ウィング198、298A、および298Bの形状は、これには限定されず、ウィング198、298A、および298Bの形状を用途要件に基づいて決定することができる。ウィング198、298A、および298Bを半球形状または円柱形状、例えば、シリンダ形状、またはプリズム形状とすることができる。 11(A), 11(B), and 11(C) are top views of board side components 390A, 390B, and 390C. With reference to FIGS. 11(A) to 11(C), modifications of the board-side component 190 will be described. In the embodiments described above, wings 198, 298A, and 298B have a generally rectangular planar shape. The shapes of wings 198, 298A, and 298B are not limited thereto, and the shapes of wings 198, 298A, and 298B can be determined based on application requirements. Wings 198, 298A, and 298B can be hemispherical or cylindrical, such as cylindrical or prismatic.

いくつかの実施形態では、図11(A)に示されるように、基板側部品390A上に設けられたウィング3981および3982は、概して三角形平面形状を有してよい。ウィング3981および3982が反対向きであってよい。 In some embodiments, as shown in FIG. 11(A), wings 3981 and 3982 provided on substrate side component 390A may have a generally triangular planar shape. Wings 3981 and 3982 may be oppositely oriented.

さらに、図11(B)に示されるように、基板側部品390B上に設けられたウィング3983および3984は、概して半円平面形状を有してよい。言い換えれば、ウィング198、298A、および298Bが丸みを帯びた角を有してよい。 Furthermore, as shown in FIG. 11(B), the wings 3983 and 3984 provided on the board-side component 390B may have a generally semicircular planar shape. In other words, wings 198, 298A, and 298B may have rounded corners.

さらに、単一の本体199上に設けられたウィング198、298A、および298Bの数は、2つには限定されない。図11(C)に示されるように、3つのウィング3985、3986、および3987が基板側部品390Cの単一の本体199上に設けられてよい。さらに、本体199の反対側に設けられたウィング198、298A、および298Bの数が互いに等しい必要はない。いくつかの実施形態では、図11(C)に示されるように、2つのウィング3985および3986が本体199の一方の側面上に設けられてよく、1つのウィング3987が本体199の他方の側面上に設けられてよい。代わりに、1つのみのウィング198が単一の本体199上に設けられてもよい。 Furthermore, the number of wings 198, 298A, and 298B provided on a single body 199 is not limited to two. As shown in FIG. 11(C), three wings 3985, 3986, and 3987 may be provided on the single body 199 of the board side component 390C. Further, the number of wings 198, 298A, and 298B on opposite sides of body 199 need not be equal to each other. In some embodiments, two wings 3985 and 3986 may be provided on one side of the body 199 and one wing 3987 may be provided on the other side of the body 199, as shown in FIG. may be provided. Alternatively, only one wing 198 may be provided on a single body 199.

さらに、図8(A)~8(E)を参照した上記の説明では、導波路層161へのタッキングのために、タッキング接着剤210Aがウィング198の下にディスペンスされる。タッキング接着剤210Aの代わりにウィング198の側面のまわりにディスペンスされた接着剤210によって、ウィング198を導波路層161にタッキングすることもできる。 Additionally, in the above description with reference to FIGS. 8(A)-8(E), tacking adhesive 210A is dispensed under wing 198 for tacking to waveguide layer 161. Wings 198 can also be tacked to waveguide layer 161 with adhesive 210 dispensed around the sides of wings 198 instead of tacking adhesive 210A.

図12(A)および12(B)は、さらに別の修正形態による基板側部品490の側面図および上面図である。上記の実施形態では、基板側部品190、290A、および290Bが、それぞれ、ウィング198、298A、および298Bを有する。しかしながら、基板側部品190、290A、または290Bの少なくとも1つの側面で基板側部品190、290A、または290Bの底面と導波路層161の上面1611との間に隙間CL(図7参照)が形成される限り、基板側部品190、290A、および290Bは、ウィングを有さなくてよい。 12(A) and 12(B) are side and top views of a board-side component 490 according to yet another modification. In the embodiments described above, board-side components 190, 290A, and 290B have wings 198, 298A, and 298B, respectively. However, a gap CL (see FIG. 7) is formed between the bottom surface of the substrate side component 190, 290A, or 290B and the top surface 1611 of the waveguide layer 161 on at least one side surface of the substrate side component 190, 290A, or 290B. As long as the substrate side parts 190, 290A, and 290B do not have wings.

いくつかの実施形態では、図12(A)および12(B)に示されるように、基板側部品490には基板側部品490の底面の縦方向に両側に凹部領域498が設けられる。凹部領域498は、タッキング接着剤210A(図7参照)を収容するための隙間CLを形成することを可能にする。凹部領域498は、請求される凹部の一例である。 In some embodiments, as shown in FIGS. 12(A) and 12(B), the board-side component 490 is provided with recessed regions 498 on both sides of the bottom surface of the board-side component 490 in the vertical direction. The recessed region 498 makes it possible to form a gap CL for accommodating the tacking adhesive 210A (see FIG. 7). Recessed region 498 is an example of a claimed recess.

図13は、光通信システム1が設けられた装置100の概略図である。 FIG. 13 is a schematic diagram of a device 100 provided with an optical communication system 1.

上述の光通信システム1が装置100上に設けられてよい。装置100は、任意のデバイス、例えば、高性能(HPC)システム、ハイエンドサーバ、コンピュータ、または自動車であってよい。図に示されるように、装置100は、動作ユニット101、例えば、ディスプレイまたはモニタ、およびデバイス本体103を含んでよい。動作ユニット101は、上述の光通信システム1からの信号に基づいて動作してよい。光通信システム1および動作ユニット101がデバイス本体103上に載せられてよい。すなわち、装置100の作製プロセスでは、導波路層161に固定された基板側部品190がデバイス本体103上に載せられる。光通信システム1は、請求される光デバイスの一例である。装置100は、請求されるデバイスの一例である。 The optical communication system 1 described above may be provided on the device 100. Apparatus 100 may be any device, such as a high-performance (HPC) system, high-end server, computer, or automobile. As shown, the apparatus 100 may include an operating unit 101, such as a display or monitor, and a device body 103. The operation unit 101 may operate based on signals from the optical communication system 1 described above. The optical communication system 1 and the operation unit 101 may be mounted on the device body 103. That is, in the manufacturing process of the device 100, the substrate side component 190 fixed to the waveguide layer 161 is placed on the device body 103. Optical communication system 1 is an example of a claimed optical device. Apparatus 100 is an example of a claimed device.

本発明の様々な実施形態の記載が説明のために提示されたが、これらの記載が網羅的であることも、または開示される実施形態に限定されることも意図されない。記載される実施形態の範囲および趣旨から逸脱することなく、多くの修正および変更が当業者に明らかであろう。本明細書に用いられる用語法は、実施形態の原理、実用用途、または市場に見られる技術を超える技術的改良を最もよく説明するため、あるいは本明細書に開示される実施形態を他の当業者が理解できるようにするために選ばれた。
Although descriptions of various embodiments of the invention have been presented for purposes of illustration, they are not intended to be exhaustive or limited to the disclosed embodiments. Many modifications and changes will be apparent to those skilled in the art without departing from the scope and spirit of the described embodiments. The terminology used herein is used to best explain the principle, practical application, or technical improvement of the embodiments over technology found in the marketplace, or to explain the embodiments disclosed herein in other contexts. It was chosen to help traders understand it.

Claims (17)

光デバイスであって、
複数の導波路コアを含む基板、および
前記基板上に設けられた光学部品であって、複数のレンズを含み、前記複数のレンズの各々が前記基板上の前記複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を透過させる、前記光学部品
を備え、
前記光学部品は、本体および突出部を備え、前記本体には前記複数のレンズが設けられ、前記突出部が前記本体の側面から突出しており、
前記突出部は、接着剤で前記基板に固定された、
光デバイス。
An optical device,
a substrate including a plurality of waveguide cores; and an optical component provided on the substrate, the optical component including a plurality of lenses, each of the plurality of lenses corresponding to one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component transmits the light passing through the optical component,
The optical component includes a main body and a protrusion, the main body is provided with the plurality of lenses, and the protrusion protrudes from a side surface of the main body,
the protrusion is fixed to the substrate with an adhesive;
optical device.
前記突出部は、前記基板の上面に面する接着面を備え、前記接着面が前記突出部の前記接着面と前記基板の前記上面とを結合する前記接着剤で前記基板に固定された、請求項1に記載の光デバイス。 The protrusion includes an adhesive surface facing the upper surface of the substrate, and the adhesive surface is fixed to the substrate with the adhesive that connects the adhesive surface of the protrusion and the upper surface of the substrate. Item 1. The optical device according to item 1. 前記突出部の前記接着面と前記基板の前記上面との間に隙間が形成され、
前記隙間は、前記突出部の厚さより小さい、
請求項2に記載の光デバイス。
a gap is formed between the adhesive surface of the protrusion and the upper surface of the substrate;
the gap is smaller than the thickness of the protrusion;
The optical device according to claim 2.
前記突出部は、前記突出部の前記接着面とは反対側に設けられた対向面を備える、請求項2または3に記載の光デバイス。 The optical device according to claim 2 or 3, wherein the protrusion includes a facing surface provided on a side opposite to the adhesive surface of the protrusion. 前記突出部は、平面形状を有する平面部材であり、前記平面部材が前記基板の上面に沿って設けられた、請求項1~4のいずれか1項に記載の光デバイス。 5. The optical device according to claim 1, wherein the protrusion is a planar member having a planar shape, and the planar member is provided along the upper surface of the substrate. 前記光学部品には複数の前記突出部が設けられ、前記複数の前記突出部が前記複数のレンズを挟んで向かい合う位置に設けられた、請求項1~5のいずれか1項に記載の光デバイス。 The optical device according to any one of claims 1 to 5, wherein the optical component is provided with a plurality of the protrusions, and the plurality of protrusions are provided at positions facing each other with the plurality of lenses in between. . 前記光学部品には複数の前記突出部が設けられ、前記複数の前記突出部が前記複数の導波路コアを含む領域を挟んで向かい合う位置に設けられた、請求項1~5のいずれか1項に記載の光デバイス。 Any one of claims 1 to 5, wherein the optical component is provided with a plurality of the protrusions, and the plurality of protrusions are provided at positions facing each other across a region including the plurality of waveguide cores. Optical device described in. 複数の前記光学部品を備え、前記複数の前記光学部品が前記複数の導波路コアに沿う方向に垂直な方向に沿って前記基板上に配列された、請求項7に記載の光デバイス。 The optical device according to claim 7, comprising a plurality of said optical components, wherein said plurality of said optical components are arranged on said substrate along a direction perpendicular to a direction along said plurality of waveguide cores. 前記複数の前記突出部は、前記複数の導波路コアに沿う前記方向において異なる位置に設けられた、請求項8に記載の光デバイス。 The optical device according to claim 8, wherein the plurality of protrusions are provided at different positions in the direction along the plurality of waveguide cores. 前記光学部品は、前記本体の前記側面に沿って設けられた別の接着剤で前記基板に固定され、前記別の接着剤が前記本体の前記側面と前記基板の上面とを結合する、請求項1~9のいずれか1項に記載の光デバイス。 The optical component is fixed to the substrate with another adhesive provided along the side surface of the main body, and the another adhesive joins the side surface of the main body and the top surface of the substrate. 10. The optical device according to any one of 1 to 9. 前記別の接着剤は、前記突出部の側面と前記基板の前記上面とを結合する、請求項10に記載の光デバイス。 11. The optical device according to claim 10, wherein the other adhesive bonds a side surface of the protrusion and the top surface of the substrate. 前記接着剤は、光硬化材料を備え、
前記別の接着剤は、熱硬化性材料またはUV硬化性材料を備える、
請求項10または11に記載の光デバイス。
the adhesive comprises a photocurable material;
the other adhesive comprises a thermosetting material or a UV curable material;
The optical device according to claim 10 or 11.
前記突出部の厚さは、前記本体の厚さの半分未満である、請求項1~12のいずれか1項に記載の光デバイス。 The optical device according to any one of claims 1 to 12, wherein the thickness of the protrusion is less than half the thickness of the body. 光デバイスであって、
複数の導波路コアを含む基板、および
前記基板上に設けられた光学部品であって、複数のレンズを含み、前記複数のレンズの各々が前記基板上の前記複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を透過させ、前記光学部品が前記基板に面する表面および前記表面上に設けられた凹部を備え、前記凹部が前記複数のレンズを挟んで向かい合い、前記光学部品が前記凹部中に収容された接着剤によって前記基板に固定された、前記光学部品、
を備える、光デバイス。
An optical device,
a substrate including a plurality of waveguide cores; and an optical component provided on the substrate, the optical component including a plurality of lenses , each of the plurality of lenses corresponding to one of the plurality of waveguide cores on the substrate. The optical component includes a surface facing the substrate and a recess provided on the surface, the recesses face each other with the plurality of lenses in between, and the optical component is in the recess. the optical component fixed to the substrate by an adhesive contained in the optical component;
An optical device comprising:
デバイスであって、光デバイスおよび前記光デバイスからの信号に基づいて動作する動作ユニットを備え、前記光デバイスは、
複数の導波路コアを含む基板であって、光が前記複数の導波路コアを通過することを許容する、前記基板、および
前記基板上に設けられた光学部品であって、複数のレンズを含み、前記複数のレンズの各々が前記基板上の前記複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を透過させ、前記光学部品が本体および突出部を備え、前記本体には前記複数のレンズが設けられ、前記突出部が前記本体の側面から突出しており、前記突出部が接着剤で前記基板に固定された、前記光学部品
を備える、
デバイス。
A device comprising an optical device and an operation unit that operates based on a signal from the optical device, the optical device comprising:
A substrate including a plurality of waveguide cores, the substrate allowing light to pass through the plurality of waveguide cores; and an optical component provided on the substrate, the substrate including a plurality of lenses. , each of the plurality of lenses transmits light passing through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate, the optical component includes a body and a protrusion, and the body includes a plurality of lenses. is provided, the protrusion protrudes from a side surface of the main body, and the protrusion is fixed to the substrate with an adhesive.
device.
光デバイスを作製するための方法であって、前記方法は、
基板および光学部品を形成することであって、前記基板が複数の導波路コアを含み、前記複数の導波路コアは、光が前記複数の導波路コアを通過することを許容し、前記光学部品が前記基板上に設けられ、前記光学部品が複数のレンズを含み、前記複数のレンズの各々は、前記基板上の前記複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を透過させるように動作可能であり、前記光学部品が本体および突出部を備え、前記本体には前記複数のレンズが設けられ、前記突出部が前記本体の側面から突出している、前記形成することと、
前記突出部を接着剤で前記基板に固定することと
を含む、方法。
A method for making an optical device, the method comprising:
forming a substrate and an optical component, the substrate including a plurality of waveguide cores, the plurality of waveguide cores allowing light to pass through the plurality of waveguide cores; is provided on the substrate, and the optical component includes a plurality of lenses, each of the plurality of lenses transmitting light passing through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. operable, the optical component comprising a body and a protrusion, the body being provided with the plurality of lenses, and the protrusion protruding from a side of the body;
and securing the protrusion to the substrate with an adhesive.
デバイスを作製するための方法であって、前記方法は、
基板、光学部品およびデバイス本体を形成することであって、前記基板が複数の導波路コアを含み、前記複数の導波路コアは、光が前記複数の導波路コアを通過することを許容し、前記光学部品が前記基板上に設けられ、前記光学部品が複数のレンズを含み、前記複数のレンズの各々が前記基板上の前記複数の導波路コアの対応する1つを通過する光を透過させ、前記光学部品が本体および突出部を備え、前記本体には前記複数のレンズが設けられ、前記突出部が前記本体の側面から突出している、前記形成することと、
前記突出部を接着剤で前記基板に固定することと、
前記基板に固定された前記光学部品を前記デバイス本体へ載せることと
を含む、方法。
A method for making a device, the method comprising:
forming a substrate, an optical component, and a device body, the substrate including a plurality of waveguide cores, the plurality of waveguide cores allowing light to pass through the plurality of waveguide cores; The optical component is provided on the substrate, and the optical component includes a plurality of lenses, each of the plurality of lenses transmitting light passing through a corresponding one of the plurality of waveguide cores on the substrate. , the optical component includes a main body and a protrusion, the main body is provided with the plurality of lenses, and the protrusion protrudes from a side surface of the main body;
fixing the protrusion to the substrate with an adhesive;
placing the optical component fixed to the substrate on the device body.
JP2021544168A 2019-02-12 2020-01-29 optical device assembly Active JP7358004B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/273,395 2019-02-12
US16/273,395 US10690867B1 (en) 2019-02-12 2019-02-12 Optical device with adhesive connection of recess or side protrusion
PCT/IB2020/050697 WO2020165674A1 (en) 2019-02-12 2020-01-29 Optical device assembly

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022519496A JP2022519496A (en) 2022-03-24
JP7358004B2 true JP7358004B2 (en) 2023-10-10

Family

ID=71105089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021544168A Active JP7358004B2 (en) 2019-02-12 2020-01-29 optical device assembly

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10690867B1 (en)
JP (1) JP7358004B2 (en)
CN (1) CN113396347A (en)
DE (1) DE112020000165B4 (en)
GB (1) GB2595181B (en)
WO (1) WO2020165674A1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317912A (en) 2003-04-18 2004-11-11 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Optical link module, optical coupling method, information processing device including the same module, signal transferring method, prism, and its manufacturing method
US20050151272A1 (en) 2004-01-06 2005-07-14 Street Bret K. Die package having an adhesive flow restriction area
JP2006215288A (en) 2005-02-03 2006-08-17 Seiko Epson Corp Optical component, optical device and electronic equipment
WO2007076888A1 (en) 2005-12-30 2007-07-12 Fci Optical coupling device
JP2015230481A (en) 2014-06-09 2015-12-21 新光電気工業株式会社 Optical waveguide device and manufacturing method thereof
US20180203193A1 (en) 2017-01-17 2018-07-19 International Business Machines Corporation Optical structure

Family Cites Families (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1583279A (en) * 1968-07-22 1969-10-24
BE819608A (en) * 1974-09-06 1974-12-31 FURNISHED WIRES FOR ELECTROGAS WELDING.
IT7922514V0 (en) * 1979-09-12 1979-09-12 Star Utensili Elett ARRANGEMENT FOR MOUNTING A CONTROL SWITCH IN AN ELECTRICAL TOOL.
FR2715026B1 (en) * 1994-01-18 1996-05-15 Tran Nuoc Ann Decorative waterfall perfected for aquariums.
US5819650A (en) * 1997-09-22 1998-10-13 Shih; Shiny Pre-ink die-plate dater
US6085967A (en) 1998-12-28 2000-07-11 Eastman Kodak Company Method of registrably aligning fabricated wafers preceding bonding
DE20006094U1 (en) * 2000-04-01 2000-09-14 Jokey Plastik Gummersbach Gmbh Plastic container with snap-on lid
US7086134B2 (en) 2000-08-07 2006-08-08 Shipley Company, L.L.C. Alignment apparatus and method for aligning stacked devices
US6731853B2 (en) 2001-03-16 2004-05-04 Corning Incorporarted Multiple fiber chip clamp
US7340279B2 (en) * 2001-03-23 2008-03-04 Qualcomm Incorporated Wireless communications with an adaptive antenna array
US6910812B2 (en) 2001-05-15 2005-06-28 Peregrine Semiconductor Corporation Small-scale optoelectronic package
US6652159B2 (en) * 2001-06-28 2003-11-25 International Business Machines Corporation Enhanced optical transceiver arrangement
JP3791394B2 (en) * 2001-11-01 2006-06-28 日本電気株式会社 Optical waveguide substrate
JP2004045686A (en) 2002-07-11 2004-02-12 Nippon Sheet Glass Co Ltd Optical fiber array and optical fiber collimator array using the same, and optical module
US7221829B2 (en) 2003-02-24 2007-05-22 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Substrate assembly for supporting optical component and method of producing the same
US7271461B2 (en) * 2004-02-27 2007-09-18 Banpil Photonics Stackable optoelectronics chip-to-chip interconnects and method of manufacturing
JP4548071B2 (en) 2004-09-29 2010-09-22 ヤマハ株式会社 Parts with guide pin insertion holes and their manufacturing methods
US7642645B2 (en) * 2004-10-01 2010-01-05 Palo Alto Research Center Incorporated Systems and methods for aligning wafers or substrates
JP2007310083A (en) 2006-05-17 2007-11-29 Fuji Xerox Co Ltd Optical transmission module and method for manufacturing the same
US7505650B1 (en) 2008-03-28 2009-03-17 Corning Incorporated Microlenses for optical assemblies and related methods
JP5280742B2 (en) * 2008-06-16 2013-09-04 富士通コンポーネント株式会社 Mounting structure and mounting method of optical waveguide holding member
TWM359819U (en) * 2008-11-25 2009-06-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Electrical connector
US8290008B2 (en) * 2009-08-20 2012-10-16 International Business Machines Corporation Silicon carrier optoelectronic packaging
US8111730B2 (en) * 2009-08-20 2012-02-07 International Business Machines Corporation 3D optoelectronic packaging
US8585300B2 (en) * 2011-02-09 2013-11-19 Tyco Electronics Nederland Bv Ferrule with alignment pin channels
US9229169B2 (en) 2011-08-16 2016-01-05 International Business Machines Corporation Lens array optical coupling to photonic chip
EP2581776A1 (en) 2011-10-13 2013-04-17 Tyco Electronics Svenska Holdings AB Optical connector with alignment element, optical unit and assembly method
JP2013200550A (en) 2012-02-20 2013-10-03 Sumitomo Electric Ind Ltd Lens component and optical module provided therewith
JP6137777B2 (en) * 2012-04-17 2017-05-31 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation Spacer resin pattern design that helps reduce light connection loss between a light-emitting element or light-receiving element on a semiconductor and an optical waveguide
US20150139589A1 (en) * 2012-08-01 2015-05-21 Hitachi Chemical Company, Ltd. Optical fiber connector, method for manufacturing optical fiber connector, method for connecting optical fiber connector and optical fiber, and assembled body of optical fiber connector and optical fiber
JP2014081587A (en) * 2012-10-18 2014-05-08 International Business Maschines Corporation ALIGNMENT OF SINGLE-MODE POLYMER WAVEGUIDE (PWG) ARRAY AND SILICON WAVEGUIDE (SiWG) ARRAY OF PROVIDING ADIABATIC COUPLING
WO2014080709A1 (en) * 2012-11-22 2014-05-30 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション Optical-waveguide-layer-penetrating via for electrical connection in multilayered structure where electric circuit substrate and optical waveguide layer are laminated
JP6085967B2 (en) * 2012-12-26 2017-03-01 株式会社ノーリツ Heat exchanger and water heater provided with the same
EP2943830A1 (en) * 2013-01-11 2015-11-18 Multiphoton Optics Gmbh Optical package and a process for its preparation
TWI575271B (en) * 2013-03-06 2017-03-21 鴻海精密工業股份有限公司 Optical communication module and glue dispensing method for the optical communication module
JP5625138B1 (en) 2013-07-05 2014-11-12 古河電気工業株式会社 Optical module, optical module mounting method, optical module mounting circuit board, optical module evaluation kit system, circuit board, and communication system
US9246592B2 (en) * 2013-08-19 2016-01-26 International Business Machines Corporation Structured substrate for optical fiber alignment
JP6319985B2 (en) * 2013-10-11 2018-05-09 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation Optical module and optical module manufacturing method.
JP6029115B2 (en) * 2014-03-26 2016-11-24 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation Optical device, optical connector assembly, and optical connection method
US9360644B2 (en) * 2014-09-08 2016-06-07 International Business Machines Corporation Laser die and photonics die package
WO2016080296A1 (en) 2014-11-18 2016-05-26 コニカミノルタ株式会社 Optical path changing element and optical coupling device
JP6481381B2 (en) 2015-01-21 2019-03-13 富士通株式会社 Lens adjustment method and photoelectric mixed substrate
US9656420B2 (en) * 2015-04-30 2017-05-23 International Business Machines Corporation Bondline control fixture and method of affixing first and second components
US9470855B1 (en) * 2015-08-11 2016-10-18 Oracle International Corporation Self-assembled vertically aligned multi-chip module
US9721812B2 (en) * 2015-11-20 2017-08-01 International Business Machines Corporation Optical device with precoated underfill
US9726824B1 (en) 2016-09-15 2017-08-08 Google Inc. Optical circuit switch collimator
US10365431B2 (en) * 2016-10-18 2019-07-30 International Business Machines Corporation Optical interconnect structure
US9989713B1 (en) * 2017-03-07 2018-06-05 International Business Machines Corporation Fluid control structure
JP2018194670A (en) 2017-05-17 2018-12-06 コニカミノルタ株式会社 Optical element and optical connector
JP2018194669A (en) 2017-05-17 2018-12-06 コニカミノルタ株式会社 Optical element and optical connector

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004317912A (en) 2003-04-18 2004-11-11 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Optical link module, optical coupling method, information processing device including the same module, signal transferring method, prism, and its manufacturing method
US20050151272A1 (en) 2004-01-06 2005-07-14 Street Bret K. Die package having an adhesive flow restriction area
JP2006215288A (en) 2005-02-03 2006-08-17 Seiko Epson Corp Optical component, optical device and electronic equipment
WO2007076888A1 (en) 2005-12-30 2007-07-12 Fci Optical coupling device
JP2015230481A (en) 2014-06-09 2015-12-21 新光電気工業株式会社 Optical waveguide device and manufacturing method thereof
US20180203193A1 (en) 2017-01-17 2018-07-19 International Business Machines Corporation Optical structure

Also Published As

Publication number Publication date
US10690867B1 (en) 2020-06-23
DE112020000165T5 (en) 2021-08-05
GB2595181A (en) 2021-11-17
JP2022519496A (en) 2022-03-24
WO2020165674A1 (en) 2020-08-20
GB202111962D0 (en) 2021-10-06
CN113396347A (en) 2021-09-14
DE112020000165B4 (en) 2023-06-29
GB2595181B (en) 2022-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6901185B2 (en) Optical module capable of improving coupling efficiency and suppressing fluctuation of coupling loss and its manufacturing method
JP3333843B2 (en) Optical axis alignment method of optical collimator array
US6987906B2 (en) Optical connection device
US8153957B2 (en) Integrated optical imaging systems including an interior space between opposing substrates and associated methods
JP2007256298A (en) Optical module and method for manufacturing the same
US6792179B2 (en) Optical thumbtack
US7350985B2 (en) Miniature MT optical assembly (MMTOA)
US20170068057A1 (en) Fiber coupling device for coupling of at least one optical fiber
KR20170081654A (en) Manufacture of optical light guides
JP2002350674A (en) Optical module and its manufacturing method
US8444328B2 (en) Electro-optical assembly fabrication
US20040126064A1 (en) Optical assembly
US20030081911A1 (en) Optical module and production method therefor
US6381386B1 (en) V-shaped optical coupling structure
JPH0980273A (en) Optical device
JP7358004B2 (en) optical device assembly
JP2006065358A (en) Optical module, package and optical fiber connector
US7065278B2 (en) Optical module and method for assembling an optical module
JP3259746B2 (en) Optical fiber array unit
US9052485B2 (en) Optical interconnect assembly
JP2003248142A (en) Two-dimensional optical member array and two- dimensional waveguide unit
JP2005215678A (en) Two-way light transmitting/receiving module and two-way light transmitting/receiving package using the same
JP4134942B2 (en) Optical module
JP2020008813A (en) Optical module
JP2003185873A (en) Two-dimensional optical member array, two-dimensional waveguide device and method for manufacturing them

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210816

RD12 Notification of acceptance of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432

Effective date: 20210728

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20220512

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220622

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230324

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230404

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230621

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230905

RD14 Notification of resignation of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434

Effective date: 20230906

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230925

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7358004

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150