JP7319528B2 - Method for manufacturing light emitting device - Google Patents

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本発明は、発光装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting device.

従来から、種々の光源として、半導体レーザと、蛍光体とを組み合わせて用いた発光装置が利用されている(例えば、特許文献1等)。 2. Description of the Related Art Conventionally, light emitting devices using a combination of a semiconductor laser and a phosphor have been used as various light sources (for example, Patent Document 1, etc.).

特開2012-109400号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2012-109400

しかし、半導体レーザであるレーザ素子は、駆動による発熱によって温度が高くなると、レーザ素子が発光する光が長波長側にシフトし、一方、温度が低くなると短波長側にシフトする。これに対して、蛍光体は、温度変化が生じても、励起スペクトルの励起ピークは、レーザ素子ほど変動しないか、実質的に変動しない。このようなことから、レーザ素子と蛍光体とを組み合わせて得られた混合光は、温度によって色度が変化しやすい。発光ダイオード(LED)の発光と比較してレーザ素子のレーザ光は発光スペクトルの半値全幅が狭いため、温度変化による混合光の色度の変化量はLEDを光源とする場合よりもレーザ素子を光源とする場合の方がより顕著である。
本発明の一実施形態は、上記課題を解決するためになされたものであり、駆動時における温度変化に伴う色度変化量のバラツキを低減させることができる、レーザ素子と蛍光体とを組み合わせて混合光を発光させる発光装置を製造することを目的とする。
However, when the temperature of a laser element, which is a semiconductor laser, increases due to heat generated by driving, the light emitted by the laser element shifts to the longer wavelength side, and when the temperature decreases, the light emitted by the laser element shifts to the shorter wavelength side. In contrast, the excitation peak of the excitation spectrum of phosphors does not fluctuate as much as the laser element, or does not substantially fluctuate even when the temperature changes. For this reason, the chromaticity of the mixed light obtained by combining the laser element and the phosphor tends to change depending on the temperature. Since the full width at half maximum of the emission spectrum of the laser light from a laser element is narrower than that from a light emitting diode (LED), the amount of change in the chromaticity of the mixed light due to temperature changes is greater than when the laser element is used as the light source. This is more pronounced when
An embodiment of the present invention has been made to solve the above problems, and is capable of reducing variations in the amount of chromaticity change due to temperature changes during driving. An object of the present invention is to manufacture a light-emitting device that emits mixed light.

本願は以下の発明を含む。
同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の発振波長を測定し、
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、短波長側の短波長グループと長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(a)前記短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b)前記長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせることを含む発光装置の製造方法。
The present application includes the following inventions.
preparing a plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color, measuring the oscillation wavelength of each semiconductor laser element,
By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, A saturated output value or saturation, which is the output or drive current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, by observing the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source or the drive current Determine the current value,
classifying the semiconductor laser elements into one of a plurality of wavelength groups including a short wavelength group on the short wavelength side and a long wavelength group on the long wavelength side according to the obtained oscillation wavelength;
According to the obtained saturation output value or saturation current value, the phosphor-containing member is classified into a low saturation group having a low saturation output value or a saturation current value and a low saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value. Categorized into one of multiple saturation groups, including a highly saturated group,
When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (a) combining the semiconductor laser element classified as the short wavelength group and the phosphor-containing member classified as the low saturation group, or (b) ) A method of manufacturing a light-emitting device, comprising combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group and a phosphor-containing member classified into the high saturation group.

同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の所定の電流値AXにおける出力及び発振波長を測定し、
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、所定の発振波長λXを含む中央波長グループと、前記中央波長グループよりも短波長である短波長グループと、前記中央波長グループよりも長波長である長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、
前記中央波長グループの前記半導体レーザ素子を、得られた前記所定の電流値AXにおける出力によって、所定の基準出力WXを境界として区分される高出力サブグループと低出力サブグループとに分類し、
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(d)前記短波長グループ又は前記低出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(e)前記長波長グループ又は前記高出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせることを含む発光装置の製造方法。
preparing a plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color, measuring the output and oscillation wavelength of each semiconductor laser element at a predetermined current value Ax ,
By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, A saturated output value or saturation, which is the output or drive current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, by observing the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source or the drive current Determine the current value,
According to the obtained oscillation wavelengths, the semiconductor laser elements are divided into a central wavelength group including a predetermined oscillation wavelength λ X , a short wavelength group having a shorter wavelength than the central wavelength group, and a shorter wavelength group than the central wavelength group. classified into one of a plurality of wavelength groups including a long wavelength group on the long wavelength side, which is a long wavelength;
The semiconductor laser elements of the central wavelength group are classified into a high-output subgroup and a low-output subgroup divided by a predetermined reference output WX as a boundary, according to the obtained output at the predetermined current value AX. ,
According to the obtained saturation output value or saturation current value, the phosphor-containing member is classified into a low saturation group having a low saturation output value or a saturation current value and a low saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value. Categorized into one of multiple saturation groups, including a highly saturated group,
When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (d) the semiconductor laser element classified into the short wavelength group or the low output subgroup and the phosphor-containing member classified into the low saturation group. or (e) combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group or the high power subgroup and a phosphor-containing member classified into the high saturation group.

本発明の一実施形態によれば、使用時における温度変化に伴う色度変化量のばらつきを低減させることができる、レーザ素子と蛍光体とを組み合わせて混合光を発光させる発光装置を製造することができる。 According to one embodiment of the present invention, a light-emitting device that emits mixed light by combining a laser element and a phosphor, capable of reducing variations in chromaticity change due to temperature changes during use, is manufactured. can be done.

本発明の実施形態1の発光装置の製造方法を示すフローチャートである。4 is a flow chart showing a method for manufacturing the light emitting device according to Embodiment 1 of the present invention. 蛍光体含有部材の光束と測定用光源の駆動電流との関係を示すグラフである。4 is a graph showing the relationship between the luminous flux of the phosphor-containing member and the driving current of the light source for measurement. 本発明によって製造する発光装置の構造を説明するための概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view for explaining the structure of a light-emitting device manufactured according to the present invention; FIG. 本発明によって製造する発光装置の別の構造を説明するための概略斜視図である。FIG. 4 is a schematic perspective view for explaining another structure of the light emitting device manufactured according to the present invention; 本発明の実施形態2の発光装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device of Embodiment 2 of this invention.

以下に示す形態は、本発明の技術思想を具体化するための例示であって、本発明を以下に限定するものではない。また、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするために誇張していることがある。さらに、同一の名称、符号については、原則として同一もしくは同質の部材を示しており、重複した説明は適宜省略する。 The embodiments shown below are examples for embodying the technical idea of the present invention, and are not intended to limit the present invention. Also, the sizes and positional relationships of members shown in each drawing may be exaggerated for clarity of explanation. Furthermore, the same names and reference numerals basically indicate the same or homogeneous members, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

<実施形態1>
本発明の実施形態1の発光装置の製造方法は、以下の工程を含む。
同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子(以下「レーザ素子」ということがある)を複数準備し、各半導体レーザ素子の発振波長を測定する工程(S1)。
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定する工程(S2)。
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、短波長側の短波長グループと長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類する工程(S3)。
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類する工程(S4)。
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(a)前記短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b)前記長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせる工程。
このように、上述した(a)又は(b)の組合せを行うことにより、色度変化量が小さい蛍光体含有部材と色度変化量が大きいレーザ素子とを組み合わせるか、その逆で組み合わせる、つまり、色度変化量が大きい蛍光体含有部材と色度変化量が小さいレーザ素子とを組み合わせる。これによって、発光装置の使用時、つまり、レーザ素子の駆動によって温度変化が発生した際の色度変化量のバラツキを低減させることができる。その結果、各半導体レーザ素子及び蛍光体含有部材に対して事前に特性を測定するという簡便な手法によって、複数の発光装置においてそれぞれのバラツキが小さい、一定か一定に近い性能を有する複数の発光装置を、容易にかつ確実に、再現性よく製造することが可能となる。
<Embodiment 1>
A method for manufacturing a light emitting device according to Embodiment 1 of the present invention includes the following steps.
A step of preparing a plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color (hereinafter sometimes referred to as "laser elements") and measuring the oscillation wavelength of each semiconductor laser element (S1).
By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, A saturated output value or saturation, which is the output or drive current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, by observing the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source or the drive current A step of specifying a current value (S2).
A step of classifying the semiconductor laser elements into one of a plurality of wavelength groups including a short wavelength group on the short wavelength side and a long wavelength group on the long wavelength side according to the obtained oscillation wavelength (S3).
According to the obtained saturation output value or saturation current value, the phosphor-containing member is classified into a low saturation group having a low saturation output value or a saturation current value and a low saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value. Classifying into one of a plurality of saturated groups including a highly saturated group (S4).
When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (a) combining the semiconductor laser element classified as the short wavelength group and the phosphor-containing member classified as the low saturation group, or (b) ) A step of combining the semiconductor laser element classified as the long wavelength group and the phosphor-containing member classified as the high saturation group.
Thus, by performing the combination of (a) or (b) described above, a phosphor-containing member with a small chromaticity change amount and a laser element with a large chromaticity change amount are combined, or vice versa, that is, (2) combine a phosphor-containing member with a large amount of chromaticity change and a laser element with a small amount of chromaticity change; This makes it possible to reduce variations in the amount of chromaticity change when the light-emitting device is used, that is, when the temperature changes due to the driving of the laser element. As a result, a plurality of light-emitting devices having constant or nearly constant performance with small variations among the plurality of light-emitting devices can be obtained by a simple method of measuring the characteristics of each semiconductor laser element and phosphor-containing member in advance. can be manufactured easily, reliably, and with good reproducibility.

このような効果について、以下の実験により検証した。
まず、青色レーザ光を発する青色レーザ素子と、YAG蛍光体とを組み合わせて白色光を得る発光装置であって、発光装置に組み込む前の青色レーザ素子の発振波長(ピーク波長)及び蛍光体含有部材の飽和電流値が少しずつ異なる複数の発光装置を準備した。それら複数の発光装置について、それぞれパルス駆動時の色度と連続駆動時の色度とを測定し、その色度の差を求めた。パルス駆動時の色度と連続駆動時の色度とを比較したのは、発光装置の駆動時の温度がパルス駆動時よりも連続駆動時の方で高いためであり、すなわち、パルス駆動時と連続駆動時の色度の差とは、温度上昇による色度の変化量であるといえる。
このような色度の変化量について、発振波長及び飽和電流値に対する相関をみたところ、組み込む前の発振波長が短い方が色度変化量が小さいという傾向と、組み込む前の飽和電流値が低いほど色度変化量が大きいという傾向があることがわかった。
前者の傾向については、発振波長が蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも短い波長である場合には、温度上昇による発振波長の長波長化によって発振波長が蛍光体の励起スペクトルの励起ピークに近づくこと、逆に、発振波長が蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも長い波長である場合には、温度上昇による発振波長の長波長化によって発振波長が蛍光体の励起スペクトルの励起ピークから遠ざかることから説明できる。すなわち、温度上昇により蛍光体の発光効率が低下するが、発振波長が蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも短い波長である場合には、発振波長が蛍光体の励起スペクトルの励起ピークに近づくため、レーザ素子と蛍光体含有部材を組み合わせた際の蛍光体の発光効率の低下の影響が緩和されると考えられる。
後者の傾向については、飽和電流値が低いということは発光効率が低下し始める温度が低いと言い換えることができることから、飽和電流値が低い蛍光体含有部材ほど温度上昇による発光効率低下の度合が大きくなったためと考えられる。
したがって、色度変化量が大きくなりやすい半導体レーザ素子と、色度変化量が小さくなりやすい蛍光体含有部材とを組み合わせる等の、複数の発光装置において色度変化量が平均化されるような組み合わせで複数の発光装置を製造することにより、複数の発光装置における温度変化時の色度変化量のバラツキを低減することが可能である。
Such an effect was verified by the following experiments.
First, in a light-emitting device that obtains white light by combining a blue laser element that emits blue laser light and a YAG phosphor, an oscillation wavelength (peak wavelength) of the blue laser element and a phosphor-containing member before being incorporated into the light-emitting device A plurality of light emitting devices having slightly different saturation current values were prepared. The chromaticity during pulse driving and the chromaticity during continuous driving were measured for each of the plurality of light emitting devices, and the difference between the chromaticities was obtained. The reason for comparing the chromaticity during pulse driving and the chromaticity during continuous driving is that the temperature during driving of the light emitting device is higher during continuous driving than during pulse driving. The difference in chromaticity during continuous driving can be said to be the amount of change in chromaticity due to temperature rise.
Looking at the correlation between the oscillation wavelength and the saturation current value for such chromaticity change amount, there is a tendency that the shorter the oscillation wavelength before incorporation, the smaller the chromaticity change amount, and the lower the saturation current value before incorporation, the smaller the amount of chromaticity change. It was found that there was a tendency that the amount of change in chromaticity was large.
Regarding the former tendency, when the oscillation wavelength is shorter than the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor, the oscillation wavelength approaches the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor due to the lengthening of the oscillation wavelength due to the temperature rise. Conversely, when the oscillation wavelength is longer than the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor, the oscillation wavelength is lengthened by the temperature rise, and the oscillation wavelength moves away from the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor. can be explained from That is, although the luminous efficiency of the phosphor decreases due to the temperature rise, when the oscillation wavelength is shorter than the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor, the oscillation wavelength approaches the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor. It is thought that the influence of the decrease in the luminous efficiency of the phosphor when the laser element and the phosphor-containing member are combined is alleviated.
Regarding the latter tendency, a low saturation current value can be rephrased as a low temperature at which luminous efficiency begins to decline. This is thought to be due to
Therefore, a combination in which the amount of chromaticity change is averaged in a plurality of light emitting devices, such as a combination of a semiconductor laser element that tends to have a large amount of chromaticity change and a phosphor-containing member that tends to have a small amount of chromaticity change. By manufacturing a plurality of light-emitting devices, it is possible to reduce variations in the amount of chromaticity change in the plurality of light-emitting devices when the temperature changes.

(レーザ素子の準備及びその発振波長の測定:S1)
まず、図1のS1に示すように、複数のレーザ素子を準備し、各レーザ素子の発振波長をそれぞれ測定する。
準備するレーザ素子としては、窒化物半導体、例えば、式InxAlyGa1-x-yN(0≦x、0≦y、x+y≦1)で表される半導体層等の積層構造を備える素子が挙げられる。本実施形態において準備する複数のレーザ素子は、半導体層の積層構造(各半導体層の組成、積層順序、膜厚、不純物のドープ量等の設定値)等を実質的に同じにしたものであることが好ましい。半導体層の積層構造等が異なると温度特性が異なり、温度による波長シフトの度合いが変動するためである。例えば、同様の設定値で複数のレーザ素子を作製する場合、通常、発振波長にばらつきが生じるため、このように、同様の設定値で作製されたレーザ素子を用いてよい。
準備する複数のレーザ素子は、同色の範囲内の発振波長を有するレーザ素子である。同色の範囲としては可視光領域の波長の範囲が挙げられる。ここで同色の範囲としては、目視により、同じ色の光と見なせる波長範囲内の光を意味する。例えば、青色であれば、435nm~480nmの波長範囲の光を意味し、緑色光であれば、500nm~560nmの波長範囲の光を意味し、赤色光であれば、610nm~750nmの波長範囲の光を意味する。ただし、この波長範囲は一例であり、用途に応じて、その他の任意の波長範囲を設定することができる。また、同色の範囲は、特定波長を発振するレーザ素子を意図して製造された範囲とすることができる。このような範囲としては、特定波長±20nmの範囲とすることができ、特定波長±10nmの範囲であってもよく、さらには特定波長±5nmの範囲とすることができる。別の観点からは、同色の範囲の幅は、40nm以下とすることができ、20nm以下であってもよく、さらには10nm以下とすることができる。後述するYAG蛍光体と組み合わせるレーザ素子としては、青色のレーザ光を発するレーザ素子が挙げられ、その波長範囲としては445nm~455nmが挙げられる。また、ここで発振波長とは、ピーク波長を意味する。
レーザ光の半値全幅は、例えば、10nm以下とすることができ、5nm以下であってもよい。
(Preparation of laser element and measurement of its oscillation wavelength: S1)
First, as shown in S1 of FIG. 1, a plurality of laser elements are prepared, and the oscillation wavelength of each laser element is measured.
As the laser element to be prepared, a nitride semiconductor, for example, an element having a laminated structure such as a semiconductor layer represented by the formula InxAlyGa1 -xyN (0≤x, 0≤y, x+y≤1) is used. mentioned. A plurality of laser elements prepared in this embodiment have substantially the same layered structure of semiconductor layers (setting values such as composition of each semiconductor layer, layering order, film thickness, doping amount of impurities, etc.). is preferred. This is because different laminated structures of semiconductor layers have different temperature characteristics, and the degree of wavelength shift due to temperature varies. For example, when manufacturing a plurality of laser elements with similar setting values, the oscillation wavelength usually varies. Therefore, laser elements manufactured with similar setting values may be used.
The plurality of laser elements to be prepared are laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color. The same color range includes a range of wavelengths in the visible light region. Here, the range of the same color means light within a wavelength range that can be visually regarded as light of the same color. For example, blue light means light in the wavelength range of 435 nm to 480 nm, green light means light in the wavelength range of 500 nm to 560 nm, and red light means light in the wavelength range of 610 nm to 750 nm. means light. However, this wavelength range is an example, and any other wavelength range can be set according to the application. Also, the range of the same color can be a range manufactured with the intention of a laser device that oscillates at a specific wavelength. Such a range may be a range of ±20 nm of the specific wavelength, a range of ±10 nm of the specific wavelength, or a range of ±5 nm of the specific wavelength. From another point of view, the width of the range of the same color may be 40 nm or less, may be 20 nm or less, or may be 10 nm or less. A laser element that is combined with a YAG phosphor, which will be described later, includes a laser element that emits blue laser light, and the wavelength range thereof is 445 nm to 455 nm. Further, the oscillation wavelength here means the peak wavelength.
The full width at half maximum of the laser light can be, for example, 10 nm or less, and may be 5 nm or less.

レーザ素子の発振波長の測定は、各レーザ素子において同じ環境であればよく、当該分野で公知の方法、例えば、分光器を用いて行うことができる。例えば、レーザ素子を、閾値以上の実際に使用する任意電流値(例えば、2.3A等)に設定し、室温で連続駆動してレーザ素子の発振波長の測定を行うことができる。なお、電流印加から500ms(ミリ秒)経過した時点の発振波長を、これ以降の工程で用いる発振波長の数値とする。
ここでの複数のレーザ素子は、2以上であればよいが、例えば、数十~数百程度が挙げられる。
Measurement of the oscillation wavelength of a laser element can be performed using a method known in the art, such as a spectroscope, so long as the environment is the same for each laser element. For example, the laser element can be set to an arbitrary current value (for example, 2.3 A) that is actually used above the threshold, and continuously driven at room temperature to measure the oscillation wavelength of the laser element. Note that the oscillation wavelength at the time when 500 ms (milliseconds) have passed since the current application is used as the numerical value of the oscillation wavelength used in subsequent steps.
The number of the plurality of laser elements here may be two or more, and may be, for example, several tens to several hundred.

(レーザ素子の波長による分類:S3)
上述したレーザ素子の発振波長の測定によって得られた結果から、レーザ素子を波長に基づいて分類する。ここでの分類は、例えば、短波長側の短波長グループと長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループに分類することを含む。グループは、後述する測定用光源の発振波長を境界として、短波長グループと長波長グループとに区分することができる。あるいは、後述する測定用光源の発振波長を含む中央波長グループと、中央波長グループよりも短波長である短波長グループと、中央波長グループよりも長波長である長波長グループとを含む3以上のグループに区分してもよい。いずれの形態においても、これらの各グループは、それぞれのグループにおいて、さらに2以上の短波長グループ、中央波長グループ及び/又は長波長グループに分類してもよい。また、上述のグループ分けでは測定用光源の発振波長を基準として用いたが、これに替えて、蛍光体含有部材が有する蛍光体の励起スペクトルの励起ピークの波長を用いてもよい。あるいは、測定用光源の発振波長が、蛍光体含有部材が有する蛍光体の励起ピークの波長と実質的に一致していてもよい。ここでの「実質的に一致」とは、1nm未満の誤差を含む。なお、各グループの境界の発振波長と同一の発振波長を有するレーザ素子は、隣接する2つのグループのいずれかに属するように設定する。例えば、各グループの境界の発振波長と同一の発振波長のレーザ素子は、隣接する2つのグループのうち波長が短い側のグループに分類する。
具体的には、準備したレーザ素子の発振波長の範囲が、445nm~455nmであり、後述する測定用光源におけるレーザ素子の発振波長が450nmである場合、短波長グループは445nm以上450nm以下のグループとし、長波長グループは450nmより大きく455nm以下のグループとして2分することができる。また、準備したレーザ素子の発振波長の範囲が、445nm~455nmであり、後述する測定用光源におけるレーザ素子の発振波長が450nmである場合、短波長グループは445nm以上448nm以下のグループとし、中央波長グループは448nmよりも大きく452nm以下のグループとし、長波長グループは452nmよりも大きく455nm以下のグループとして3分することができる。このように、発振波長の全域を実質的に均等に各グループに分けることができる。各グループは不均等であってもよい。各グループの上限値と下限値との差は、例えば、2nm~10nmとすることができる。また、上述の例示では準備した複数のレーザ素子の全てを各グループに分けたが、複数のレーザ素子の一部のみを各グループに分けてもよい。好ましくは準備したレーザ素子の全てを各グループに分類する。
(Classification by wavelength of laser element: S3)
Based on the results obtained by measuring the oscillation wavelengths of the laser elements described above, the laser elements are classified according to wavelength. The classification here includes, for example, classification into a plurality of wavelength groups including a short wavelength group on the short wavelength side and a long wavelength group on the long wavelength side. The group can be divided into a short wavelength group and a long wavelength group with the oscillation wavelength of the light source for measurement described later as a boundary. Alternatively, three or more groups including a central wavelength group including the oscillation wavelength of a light source for measurement described later, a short wavelength group having shorter wavelengths than the central wavelength group, and a long wavelength group having longer wavelengths than the central wavelength group. can be classified into In either form, each of these groups may be further divided into two or more short wavelength groups, middle wavelength groups and/or long wavelength groups within each group. In the grouping described above, the oscillation wavelength of the light source for measurement was used as a reference, but instead of this, the wavelength of the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor of the phosphor-containing member may be used. Alternatively, the oscillation wavelength of the measurement light source may substantially match the excitation peak wavelength of the phosphor of the phosphor-containing member. "Substantially matched" here includes an error of less than 1 nm. A laser element having the same oscillation wavelength as the oscillation wavelength at the boundary of each group is set so as to belong to one of two adjacent groups. For example, laser elements having the same oscillation wavelength as the oscillation wavelength at the boundary of each group are classified into the group with the shorter wavelength among the two adjacent groups.
Specifically, when the oscillation wavelength range of the prepared laser element is 445 nm to 455 nm, and the oscillation wavelength of the laser element in the light source for measurement described later is 450 nm, the short wavelength group is a group of 445 nm or more and 450 nm or less. , the long wavelength group can be bisected as a group greater than 450 nm and less than or equal to 455 nm. Further, when the range of the oscillation wavelength of the prepared laser element is 445 nm to 455 nm, and the oscillation wavelength of the laser element in the light source for measurement described later is 450 nm, the short wavelength group is a group of 445 nm or more and 448 nm or less, and the central wavelength is The groups can be divided into three groups, namely groups greater than 448 nm and less than or equal to 452 nm, and long wavelength groups as groups greater than 452 nm and less than or equal to 455 nm. In this way, the entire oscillation wavelength range can be divided into groups substantially evenly. Each group may be unequal. The difference between the upper limit value and the lower limit value of each group can be, for example, 2 nm to 10 nm. Further, in the above example, all of the plurality of prepared laser elements are divided into each group, but only some of the plurality of laser elements may be divided into each group. Preferably, all of the prepared laser elements are sorted into each group.

(蛍光体含有部材の飽和出力値又は飽和電流値の特定:S2)
まず、複数の蛍光体含有部材を準備する。ここで準備する蛍光体含有部材は、そこに含有される蛍光体が、上記で準備したレーザ素子から出射されるレーザ光の少なくとも一部を波長変換するために利用される部材である。よって、蛍光体は、励起スペクトルにおいて励起ピークを有するものを用いる。なお、蛍光体の励起スペクトルには複数の励起ピークが存在する場合があるが、特に説明がない場合、本明細書では「励起ピーク」とは複数の励起ピークのうち励起光、つまり、上記で準備したレーザ素子から出射されるレーザ光の波長に最も近い励起ピークを指す。
蛍光体含有部材は、1種類の蛍光体を含有するものが好ましいが、複数種類の蛍光体を含有していてもよく、2種以上の蛍光体を1つの蛍光体含有部材内に含めてもよい。蛍光体として、複数種類を用いる場合は、励起光に対する発光強度が最も強い1つの蛍光体の励起ピークを基準とすることが好ましい。
蛍光体含有部材は、励起ピークを有する励起スペクトルの半値全幅が110nm以下であるものが好ましい。ここで、励起ピークを有する励起スペクトルの半値全幅は、励起ピークから半値になったところの幅を意味する。
(Specification of saturation output value or saturation current value of phosphor-containing member: S2)
First, a plurality of phosphor-containing members are prepared. The phosphor-containing member prepared here is a member in which the phosphor contained therein is used to convert the wavelength of at least part of the laser light emitted from the laser element prepared above. Therefore, the phosphor used has an excitation peak in the excitation spectrum. In addition, the excitation spectrum of the phosphor may have a plurality of excitation peaks, but unless otherwise described, the term “excitation peak” in this specification refers to the excitation light among the plurality of excitation peaks, that is, the above It refers to the excitation peak closest to the wavelength of the laser light emitted from the prepared laser device.
The phosphor-containing member preferably contains one type of phosphor, but may contain a plurality of types of phosphors, and two or more types of phosphors may be included in one phosphor-containing member. good. When a plurality of types of phosphors are used, it is preferable to use the excitation peak of one phosphor having the strongest emission intensity with respect to the excitation light as a reference.
The phosphor-containing member preferably has an excitation spectrum having an excitation peak with a full width at half maximum of 110 nm or less. Here, the full width at half maximum of an excitation spectrum having an excitation peak means the width at half maximum from the excitation peak.

(蛍光体含有部材)
蛍光体含有部材は、蛍光体のみで構成されていてもよいし、蛍光体と蛍光体を保持するための保持体とを含んで構成されていてもよい。
蛍光体含有部材が蛍光体のみによって形成されている場合、保持体を含む場合よりも散乱が少なく透過率の高い蛍光体含有部材とすることができる。
蛍光体含有部材が保持体を含む場合、保持体は、無機材料によって形成されていることが好ましい。これにより、レーザ素子から出射される光に起因する保持体の劣化、変色等を抑制することができる。また、蛍光体含有部材は、高出力の光が照射されても変質等が発生しにくい耐光性及び耐熱性の良好な材料によって形成されているものが好ましい。例えば、融点が1000℃~3000℃のものが挙げられ、融点が1300℃~2500℃のものが好ましい。無機材料としては、例えば、セラミックスが挙げられる。なかでも、透光性が良好であり、融点及び熱伝導性も良好であることから、酸化アルミニウムを含むアルミナセラミックスが好ましい。蛍光体含有部材が蛍光体とセラミックス等の保持体との混合体によって形成される場合には、蛍光体の割合が蛍光体含有部材の全重量に対して1重量%以上とすることができ、10重量%以上とすることができ、50重量%以上であってもよい。蛍光体含有部材の全重量に対する蛍光体の割合は、例えば95重量%以下とすることができ、80重量%以下であってもよい。蛍光体含有部材の全重量に対する蛍光体の割合は、適宜調整することができる。
(Phosphor-containing member)
The phosphor-containing member may be composed of only the phosphor, or may be composed of the phosphor and a holder for holding the phosphor.
When the phosphor-containing member is formed of only the phosphor, the phosphor-containing member can have less scattering and higher transmittance than the phosphor-containing member containing the support.
When the phosphor-containing member includes a holder, the holder is preferably made of an inorganic material. As a result, it is possible to suppress deterioration, discoloration, etc. of the holder caused by the light emitted from the laser element. Moreover, the phosphor-containing member is preferably made of a material having good light resistance and heat resistance, which is less likely to deteriorate even if it is irradiated with high-power light. For example, those having a melting point of 1000°C to 3000°C are mentioned, and those having a melting point of 1300°C to 2500°C are preferable. Examples of inorganic materials include ceramics. Among them, alumina ceramics containing aluminum oxide are preferable because they have good translucency, good melting point and good thermal conductivity. When the phosphor-containing member is formed of a mixture of a phosphor and a holder such as ceramics, the proportion of the phosphor can be 1% by weight or more with respect to the total weight of the phosphor-containing member, It can be 10% by weight or more, and may be 50% by weight or more. The proportion of the phosphor with respect to the total weight of the phosphor-containing member can be, for example, 95% by weight or less, and may be 80% by weight or less. The ratio of the phosphor to the total weight of the phosphor-containing member can be adjusted as appropriate.

蛍光体としては、当該分野で使用されているものを用いることができる。用いる蛍光体の種類は、例えば、組み合わせようとするレーザ素子の出射光の波長、得ようとする光の色などを考慮して選択することができる。具体的には、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット(LAG)蛍光体、ユウロピウム及び/又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム(CASN)蛍光体などが挙げられる。なかでも、耐熱性に優れたYAG蛍光体を用いることが好ましい。複数の種類の蛍光体を組み合わせる場合は、発光色の異なる蛍光体を所望の色調に適した組み合わせや配合比で用いて、演色性や色再現性を調整することができる。また、単層構造の中に複数の種類の蛍光体を含有させてもよいし、積層構造で異なる層それぞれに異なる蛍光体を含有させてもよい。 As the phosphor, one used in the relevant field can be used. The type of phosphor to be used can be selected in consideration of, for example, the wavelength of light emitted from laser elements to be combined, the color of light to be obtained, and the like. Specifically, cerium-activated yttrium aluminum garnet (YAG) phosphors, cerium-activated lutetium aluminum garnet (LAG) phosphors, europium- and/or chromium-activated nitrogen-containing aluminosilicates Calcium (CASN) phosphors and the like are included. Among them, it is preferable to use a YAG phosphor which is excellent in heat resistance. When a plurality of types of phosphors are combined, the color rendering properties and color reproducibility can be adjusted by using phosphors with different emission colors in a combination and compounding ratio suitable for a desired color tone. Moreover, a plurality of types of phosphors may be contained in a single layer structure, or different phosphors may be contained in different layers in a laminated structure.

次いで、図1のS2に示すように、準備した蛍光体含有部材の飽和出力値又は飽和電流値を特定する。つまり、各蛍光体含有部材において、同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を蛍光体含有部材に照射し、測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する蛍光体含有部材の光束の変化を観察する。そして、蛍光体含有部材の光束が最高値となる測定用光源の出力、つまり飽和出力値か、蛍光体含有部材の光束が最高値となる測定用光源の駆動電流、つまり飽和電流値のいずれかを特定する。ここで、測定用光源は半導体レーザ素子を用いる。測定用光源における半導体レーザ素子は、上述したように、蛍光体含有部材に組み合わせて用いるために準備したレーザ素子の発振波長の測定によって得られた結果から、適宜選択することができる。例えば、組み合わせて用いるために準備したレーザ素子と同色の範囲内にある発振波長を有するものであり、組み合わせて用いるために準備した複数のレーザ素子の最大発振波長と最小発振波長の中央の発振波長を有するものが好ましい。言い換えると、測定用光源における半導体レーザ素子は、組み合わせて用いる同色の範囲の複数のレーザ素子の発振波長の上限値と下限値との平均値を示す発振波長であるものが好ましい。具体的には、例えば、準備した複数のレーザ素子が445nm~455nmの範囲の発振波長を示す場合、測定用光源におけるレーザ素子の発振波長は、その測定された発振波長の最大値と最小値の中間値、例えば、450nmに設定することが好ましい。このような値とすることにより、後述する蛍光体含有部材との適切な組み合わせが容易となる。その結果、発光装置の使用時(温度変化した時)の個々の発光装置における色度変化量のバラツキの低減を図ることが可能となる。 Next, as shown in S2 of FIG. 1, the saturated output value or saturated current value of the prepared phosphor-containing member is specified. That is, in each phosphor-containing member, the phosphor-containing member is irradiated with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, and the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source for measurement or the drive current is measured. Observe. Then, either the output of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, that is, the saturation output value, or the driving current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, that is, the saturation current value. identify. Here, a semiconductor laser element is used as the measurement light source. As described above, the semiconductor laser element in the light source for measurement can be appropriately selected from the results obtained by measuring the oscillation wavelength of the laser element prepared for use in combination with the phosphor-containing member. For example, it has an oscillation wavelength within the range of the same color as the laser element prepared for combined use, and the center oscillation wavelength between the maximum and minimum oscillation wavelengths of the plurality of laser elements prepared for combined use. is preferred. In other words, the semiconductor laser element in the measurement light source preferably has an oscillation wavelength that represents the average value of the upper limit and the lower limit of the oscillation wavelengths of a plurality of laser elements in the same color range that are used in combination. Specifically, for example, when a plurality of prepared laser elements exhibit an oscillation wavelength in the range of 445 nm to 455 nm, the oscillation wavelength of the laser element in the light source for measurement is the maximum and minimum values of the measured oscillation wavelengths. It is preferably set to an intermediate value, eg 450 nm. Such a value facilitates appropriate combination with a phosphor-containing member, which will be described later. As a result, it is possible to reduce the variation in the amount of chromaticity change in each light emitting device when the light emitting device is used (when the temperature changes).

蛍光体含有部材は、測定用光源におけるレーザ素子を定格駆動電流よりも高い電流値(例えば、徐々に電流を定格駆動電流よりも高い電流値に上げる)にて連続駆動させたレーザ光が照射された場合、蛍光体含有部材から出射される光の光束が徐々に増加し、熱飽和に達すると、光束が低下する。従って、飽和出力値とは、蛍光体含有部材が光束低下直前に最大光束を示したときの、測定用光源におけるレーザ素子の出力値を指す。飽和出力値の単位は、例えば、W(ワット)で表される。また、飽和電流値とは、蛍光体含有部材が光束低下直前に最大光束を示したときの、測定用光源におけるレーザ素子の駆動電流値を指す。飽和電流値の単位は、例えば、mA(ミリアンペア)で表される。例えば、図2に示すように、発振波長450nmのレーザ素子からなる測定用光源に、定格駆動電流よりも高い電流値、数百mAから数千mAを駆動電流として印可しながら連続駆動させ、出射される光を、蛍光体としてYAG蛍光体を含有したアルミナセラミックスからなる蛍光体含有部材に連続駆動によるレーザ光を照射した場合、測定用光源のレーザ素子の駆動電流が3000mAを超えるまでは、蛍光体含有部材から出射される光の光束は徐々に増加する。そして、3000mAを超えた後、蛍光体含有部材が熱飽和に達し、その直後から光束は低下し始める。従って、図2においては、飽和電流値は、約3200mAを示す値となる。この際の飽和出力値は、4.5Wとなる。なお、レーザ素子を連続駆動させる場合、定格駆動電流よりも、電流値の幅を狭くして徐々に上げることにより、分類の精度を向上させることができる。ここでの上げ幅は、10mAから数百mAの範囲が挙げられ、例えば、100mAが挙げられる。 The phosphor-containing member is irradiated with laser light obtained by continuously driving the laser element in the light source for measurement at a current value higher than the rated drive current (for example, the current is gradually increased to a current value higher than the rated drive current). In this case, the luminous flux of light emitted from the phosphor-containing member gradually increases, and when thermal saturation is reached, the luminous flux decreases. Therefore, the saturated output value refers to the output value of the laser element in the measurement light source when the phosphor-containing member exhibits the maximum luminous flux immediately before the luminous flux decreases. The unit of saturation output value is represented by W (watt), for example. Further, the saturation current value refers to the driving current value of the laser element in the light source for measurement when the phosphor-containing member exhibits the maximum luminous flux just before the luminous flux decreases. A unit of the saturation current value is, for example, mA (milliampere). For example, as shown in FIG. 2, a light source for measurement consisting of a laser element with an oscillation wavelength of 450 nm is continuously driven while applying a current value higher than the rated drive current, several hundred mA to several thousand mA, as a drive current to emit light. When a phosphor-containing member made of alumina ceramics containing a YAG phosphor as a phosphor is irradiated with laser light by continuous driving, fluorescence is emitted until the drive current of the laser element of the light source for measurement exceeds 3000 mA. The luminous flux of light emitted from the body-containing member gradually increases. Then, after exceeding 3000 mA, the phosphor-containing member reaches thermal saturation, and the luminous flux begins to decrease immediately after that. Therefore, in FIG. 2, the saturation current value is approximately 3200 mA. The saturated output value at this time is 4.5W. In the case of continuously driving the laser device, the accuracy of classification can be improved by narrowing the width of the current value and gradually increasing it from the rated driving current. The range of increase here is from 10 mA to several hundred mA, for example, 100 mA.

(蛍光体含有部材の飽和出力値又は飽和電流値による分類:S4)
蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた飽和出力値又は飽和電流値に基づいて分類する。ここでの分類は、例えば、飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループに分類することが挙げられる。グループは、所定の飽和出力値又は飽和電流値を境界として、低飽和グループと高飽和グループとに区分することができる。あるいは、所定の飽和出力値又は飽和電流値を含む中央飽和グループと、中央飽和グループよりも低い低飽和グループと、中央飽和グループよりも高いである高飽和グループとを含む3以上のグループに区分してもよい。いずれの形態においても、これらの各グループは、それぞれのグループにおいて、さらに2以上の低飽和グループ、中央飽和グループ及び/又は高飽和グループに分類してもよい。なお、各グループの境界の飽和出力値又は飽和電流値と同一の飽和出力値又は飽和電流値を有する蛍光体含有部材は、隣接する2つのグループのいずれかに属するように設定する。例えば、飽和出力値又は飽和電流値が各グループの境界と同一の蛍光体含有部材は、隣接する2つのグループのうち値が低い側のグループに分類する。
(Classification by saturation output value or saturation current value of phosphor-containing member: S4)
The phosphor-containing members are classified based on the saturated power value or saturated current value obtained, respectively. Classification here includes, for example, a plurality of saturation groups including a low saturation group on the side of a low saturation output value or saturation current value and a high saturation group on the side of a high saturation output value or saturation current value. . The groups can be divided into a low saturation group and a high saturation group with a predetermined saturation output value or saturation current value as a boundary. Alternatively, it is divided into three or more groups including a central saturation group including a predetermined saturation output value or saturation current value, a low saturation group lower than the central saturation group, and a high saturation group higher than the central saturation group. may In either form, each of these groups may be further divided into two or more low saturation groups, middle saturation groups and/or high saturation groups within each group. A phosphor-containing member having the same saturated output value or saturated current value as the boundary saturated output value or saturated current value of each group is set so as to belong to one of two adjacent groups. For example, phosphor-containing members having the same saturation output value or saturation current value as the boundary of each group are classified into the group with the lower value among the two adjacent groups.

上述したように、測定用光源におけるレーザ素子の発振波長が450nmであり、図2に示すような光束と飽和電流との関係を示す場合、所定の飽和電流値は、例えば、2700mAに設定することができる。このような値とすることにより、後述する蛍光体含有部材との適切な組み合わせが容易となる。その結果、発光装置の実使用時(温度変化した時)の個々の発光装置における色度変化量のバラツキの低減を図ることが可能となる。このような所定の値は、飽和電流値の25%~10%程度小さい電流値に設定することが挙げられる。また、所定の値を飽和出力値とする場合、例えば、3.85Wに設定することができる。このような所定の値は、飽和出力値の10%~25%程度小さい出力値に設定することが挙げられる。
別の観点から、測定用光源におけるレーザ素子の発振波長が450nmであり、図2に示すような光束と飽和電流との関係を示す場合、所定の飽和電流値は、例えば、2600mAと、2900mAとに設定してもよい。これによって、蛍光体含有部材を3つに区分することができる。このような所定の値は、飽和電流値の25%~10%の範囲の電流値に設定することが挙げられる。また、所定の値を飽和出力値とする場合、例えば、3.7Wに設定することができる。このような所定の値は、飽和出力値の10%~25%の範囲の出力値に設定することが挙げられる。蛍光体含有部材を分類する各グループは、測定した飽和電流値が分布する全域を実質的に均等に分けるものであってもよく、不均等に分けるものであってもよい。各グループの上限値と下限値との差は、例えば、200mA~500mAとすることができる。また、準備した複数の蛍光体含有部材の一部のみを各グループに分けてもよい。好ましくは準備した蛍光体含有部材の全てを各グループに分類する。
As described above, when the oscillation wavelength of the laser element in the light source for measurement is 450 nm, and the relationship between the luminous flux and the saturation current as shown in FIG. can be done. Such a value facilitates appropriate combination with a phosphor-containing member, which will be described later. As a result, it is possible to reduce variations in the amount of chromaticity change in individual light emitting devices when the light emitting devices are actually used (when the temperature changes). Such a predetermined value can be set to a current value that is about 25% to 10% smaller than the saturation current value. Also, when the predetermined value is the saturated output value, it can be set to 3.85 W, for example. Such a predetermined value may be set to an output value that is about 10% to 25% smaller than the saturated output value.
From another point of view, when the oscillation wavelength of the laser element in the light source for measurement is 450 nm and the relationship between the luminous flux and the saturation current is shown in FIG. can be set to Accordingly, the phosphor-containing member can be divided into three. Such a predetermined value can be set to a current value in the range of 25% to 10% of the saturation current value. Also, when the predetermined value is the saturated output value, it can be set to 3.7 W, for example. Such a predetermined value may be set to an output value in the range of 10% to 25% of the saturated output value. Each group into which the phosphor-containing members are classified may divide the entire area in which the measured saturation current values are distributed substantially evenly or unevenly. The difference between the upper and lower limits of each group can be, for example, 200mA to 500mA. Alternatively, only some of the prepared phosphor-containing members may be divided into each group. Preferably, all of the prepared phosphor-containing members are sorted into each group.

(レーザ素子と蛍光体含有部材との組み合わせ:S5)
半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる。なお、上述したステップS1からステップS4は、ステップS1及びS3の順序、ステップS2及びS4の順序で行われる限り任意の順序で実行することができる。例えば、ステップS2、ステップS1、ステップS4、ステップS3の順序が挙げられる。そして、半導体レーザ素子と蛍光体含有部材との組み合わせは、上述したステップS1からステップS4を行った後、ステップS5として行う。
半導体レーザ素子と蛍光体含有部材との組み合わせは、(a)短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b)長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるかを含むことが好ましい。言い換えると、少なくとも(a)及び(b)のいずれかの組み合わせを行えばよく、双方の組み合わせを行うことが好ましい。特に、半導体レーザ素子を2グループに分類し、蛍光体含有部材を2グループに分類した場合に、(a)及び(b)の双方の組み合わせを行うことがより好ましい。
(a)及び/又は(b)の組み合わせは、つまり、色度変化量が小さいレーザ素子と色度変化量が大きい蛍光体含有部材とを組み合わせるか、色度変化量が小さい蛍光体含有部材と色度変化量が大きいレーザ素子とを組み合わせることを意味する。このような組み合わせにより、発光装置の実使用時、つまり、蛍光体含有部材が温度変化したときの色度変化量のバラツキ、つまり、個々の発光装置バラツキを低減することができる。
また、上述したように、レーザ素子及び蛍光体含有部材をそれぞれ3グループに分類した場合、(a’)最短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、最低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b’)最長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、最高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(c’)中央波長グループに分類された半導体レーザ素子と、中央飽和グループに分類された蛍光体含有部材とに組み合わせることを含むことが好ましい。このような組み合わせを選択することにより、色度変化量が大きい蛍光体含有部材と色度変化量が小さいレーザ素子とを組み合わせることによって、発光装置の使用時、つまり、レーザ素子の駆動によって温度変化が発生した際の色度変化量のバラツキを低減させることができる。その結果、各半導体レーザ素子及び蛍光体含有部材に対して事前に特性を測定するという簡便な手法によって、複数の発光装置においてそれぞれのバラツキが小さい、一定か一定に近い性能を有する複数の発光装置を、容易にかつ確実に、再現性よく製造することが可能となる。
レーザ素子と蛍光体含有部材との組み合わせは、1つのレーザ素子に、1つの蛍光体含有部材を組み合わせであってもよく、複数のレーザ素子と1つの蛍光体含有部材との組み合わせ及び1つのレーザ素子と複数の蛍光体含有部材との組み合わせであってもよい。1つのレーザ素子に1つの蛍光体含有部材を組み合わせることが好ましく、これによって、より確実に得られる発光装置のバラツキを小さくすることができる。
(Combination of laser element and phosphor-containing member: S5)
A semiconductor laser element and a phosphor-containing member are combined. Note that steps S1 to S4 described above can be executed in any order as long as they are performed in the order of steps S1 and S3 and in the order of steps S2 and S4. For example, the order of step S2, step S1, step S4, and step S3 can be mentioned. Then, the combination of the semiconductor laser element and the phosphor-containing member is performed as step S5 after performing the steps S1 to S4 described above.
The combination of the semiconductor laser element and the phosphor-containing member may be (a) a combination of a semiconductor laser element classified into the short wavelength group and a phosphor-containing member classified into the low saturation group, or (b) a long wavelength group. and a phosphor-containing member classified into the high saturation group. In other words, at least one of (a) and (b) may be combined, preferably both. In particular, when the semiconductor laser elements are classified into two groups and the phosphor-containing members are classified into two groups, it is more preferable to combine both (a) and (b).
The combination of (a) and/or (b) is a combination of a laser element with a small chromaticity change and a phosphor-containing member with a large chromaticity change, or a combination of a phosphor-containing member with a small chromaticity change. It means combining with a laser element having a large amount of chromaticity change. Such a combination makes it possible to reduce variation in the amount of chromaticity change when the light emitting device is actually used, that is, when the temperature of the phosphor-containing member changes, that is, variation in individual light emitting devices.
Further, as described above, when the laser elements and the phosphor-containing members are classified into three groups respectively, (a′) the semiconductor laser element classified into the shortest wavelength group and the phosphor-containing member classified into the lowest saturation group or (b′) a combination of a semiconductor laser element classified into the longest wavelength group and a phosphor-containing member classified into the highest saturation group, or (c′) a semiconductor laser classified into the central wavelength group. It preferably includes combining the element with a phosphor-containing member classified in the middle saturation group. By selecting such a combination, by combining a phosphor-containing member with a large amount of chromaticity change and a laser element with a small amount of chromaticity change, temperature changes during use of the light emitting device, that is, by driving the laser element, can be minimized. It is possible to reduce the variation in the amount of chromaticity change when this occurs. As a result, a plurality of light-emitting devices having constant or nearly constant performance with small variations among the plurality of light-emitting devices can be obtained by a simple method of measuring the characteristics of each semiconductor laser element and phosphor-containing member in advance. can be manufactured easily, reliably, and with good reproducibility.
The combination of the laser element and the phosphor-containing member may be a combination of one laser element and one phosphor-containing member, or a combination of a plurality of laser elements and one phosphor-containing member and one laser element. It may be a combination of an element and a plurality of phosphor-containing members. It is preferable to combine one phosphor-containing member with one laser element, and this can reduce variations in light-emitting devices that can be obtained more reliably.

このような製造方法により、特定のレーザ素子と特定の蛍光体含有部材とを組み合わせることができ、それぞれ得られた発光装置において、レーザ素子の温度変化に伴う蛍光の色度変化量のバラツキを低減させることができる。これにより、発光する光の色度の変化量を低減可能な、安定した特性を有する発光装置を再現性よく製造することが可能となる。 By such a manufacturing method, it is possible to combine a specific laser element and a specific phosphor-containing member, and in each obtained light-emitting device, the variation in the amount of change in the chromaticity of fluorescence due to the temperature change of the laser element is reduced. can be made As a result, it is possible to manufacture a light-emitting device with stable characteristics capable of reducing the amount of change in chromaticity of emitted light with good reproducibility.

(発光装置)
例えば、図3に示すように、製造された発光装置10は、蛍光体を含む蛍光体含有部材13及びレーザ素子11を備えて構成される。
蛍光体含有部材13と、レーザ素子11は、パッケージ部材15内に気密封止されている。これによりレーザ素子が出射するレーザ光による集塵を抑制することができる。パッケージ部材15は、例えば、銅、銅合金又は鉄合金等を含む金属、窒化アルミニウム又は酸化アルミニウム等を含むセラミックス等によって形成することができる。パッケージ部材15のうちレーザ素子11が実装される部分等の放熱経路になり得る部分には、銅、銅合金、窒化アルミニウムセラミックス等の放熱性が良好な材料を用いることが好ましい。パッケージ部材15は、例えば、キャップ17とベース18とから構成され、両者は、金属接着剤等を用いて又は溶接によって接合される。パッケージ部材15を構成するベース18及び/又はキャップ17の形状は、例えば、平面形状として、略円形、略楕円形、略多角形等の種々の形状であるものが挙げられる。パッケージ部材15の上面の一部又は全部に光を取り出す光取り出し窓が設けられている。光取り出し窓は、例えば、上面視において長方形であって、材料はガラス又はサファイアとすることができる。
蛍光体含有部材13は、板状の部材であり、YAG蛍光体(励起ピーク:450nm、励起ピークを有する励起スペクトルの半値全幅:100nm)と酸化アルミニウムとの焼結体により形成されている。YAG蛍光体は、蛍光体含有部材13の全重量に対して、50重量%含有されている。蛍光体含有部材13は、レーザ素子11から出射されるレーザ光の主要な経路に対して、蛍光体含有部材13の表面が45度の角度で交差する向きで配置されている。図3に示す蛍光体含有部材13は、励起光(レーザ光)入射面と光取り出し面とが同じ面である反射型の構造である。この場合、蛍光体含有部材13の励起光入射面とは反対側の面には、光反射部材14が配置されていてもよい。この光反射部材14により、蛍光体含有部材13の内部の光を励起光入射面から取り出されるように反射させることで、蛍光体含有部材13からの光取り出し効率を向上させることができる。蛍光体含有部材は、励起光入射面と光取り出し面が異なる面である透過型の構造であってもよい。
(light emitting device)
For example, as shown in FIG. 3, the manufactured light-emitting device 10 is configured with a phosphor-containing member 13 containing phosphor and a laser element 11 .
The phosphor-containing member 13 and the laser element 11 are hermetically sealed within the package member 15 . As a result, dust collection due to the laser beam emitted by the laser element can be suppressed. The package member 15 can be made of, for example, a metal containing copper, a copper alloy, an iron alloy, or the like, or ceramics containing aluminum nitride, aluminum oxide, or the like. It is preferable to use a material with good heat dissipation such as copper, copper alloy, aluminum nitride ceramics, etc. for the part of the package member 15 that can serve as a heat dissipation path, such as the part where the laser element 11 is mounted. The package member 15 is composed of, for example, a cap 17 and a base 18, which are joined using a metal adhesive or the like or by welding. The shape of the base 18 and/or the cap 17 that constitute the package member 15 includes, for example, various planar shapes such as a substantially circular shape, a substantially oval shape, and a substantially polygonal shape. A light extraction window for extracting light is provided on part or all of the upper surface of the package member 15 . The light extraction window can be, for example, rectangular in top view and made of glass or sapphire.
The phosphor-containing member 13 is a plate-like member, and is formed of a sintered body of a YAG phosphor (excitation peak: 450 nm, full width at half maximum of excitation spectrum having an excitation peak: 100 nm) and aluminum oxide. The YAG phosphor is contained in an amount of 50% by weight with respect to the total weight of the phosphor-containing member 13 . The phosphor-containing member 13 is arranged in such a direction that the surface of the phosphor-containing member 13 crosses the main path of the laser light emitted from the laser element 11 at an angle of 45 degrees. The phosphor-containing member 13 shown in FIG. 3 has a reflective structure in which the excitation light (laser light) incident surface and the light extraction surface are the same surface. In this case, the light reflecting member 14 may be arranged on the surface of the phosphor-containing member 13 opposite to the excitation light incident surface. The light reflecting member 14 reflects the light inside the phosphor-containing member 13 so that it is extracted from the excitation light incident surface, thereby improving the light extraction efficiency from the phosphor-containing member 13 . The phosphor-containing member may have a transmissive structure in which the excitation light incident surface and the light extraction surface are different surfaces.

なお、蛍光体含有部材は、その励起光入射面及び/又は光取り出し面側に、接触して又は非接触で、機能層が付加されていてもよい。例えば、蛍光体含有部材の励起光入射面及び光取り出し面の少なくともいずれかに、レーザ光等の反射を抑える反射防止膜、励起光を透過し蛍光を反射する短波長パスフィルター、励起光を反射し蛍光を透過する長波長パスフィルター等が配置されていてもよい。長波長パスフィルターは、例えば励起光に対する反射率を50%未満とし、蛍光体含有部材に入射する励起光の強さを調整することで色度を調整するために用いることができる。また、蛍光体含有部材の励起光入射面及び光取り出し面以外の面に、接触して又は非接触で、光反射膜及び/又は光反射部材を設けてもよい。例えば、反射型の場合は、蛍光体含有部材13の励起光が入射し且つ光が取り出される面とは反対側の面に、光反射膜及び/又は光反射部材を配置することができる。光反射膜及び/又は光反射部材は、照射されるレーザ光に対する反射率が60%以上であることが好ましい。さらに、蛍光体含有部材のいずれかの面に、透光性部材を配置してもよい。透光性部材としては、レーザ光の60%以上を透過するものが挙げられる。
レーザ素子11は、ピーク波長が450nmの設定である。レーザ素子11は、例えば、窒化アルミニウムを主材料とするサブマウント16上に設置されている。サブマウント16は、放熱性が良好な材料を主材料として用いることにより放熱性を向上させることができる。サブマウント16の主材料としては、例えば、窒化アルミニウム、炭化珪素等が挙げられる。
このような発光装置10は、特に、車載用途のように使用温度域が広い用途に有利となる。車載用途では、例えば、-数十℃から100℃程度までの温度変化の環境下で用いられることが想定される。
The phosphor-containing member may be provided with a functional layer on the side of the excitation light incident surface and/or the light extraction surface, in contact or non-contact. For example, at least one of the excitation light incident surface and the light extraction surface of the phosphor-containing member may be provided with an antireflection film that suppresses reflection of laser light or the like, a short wavelength pass filter that transmits excitation light and reflects fluorescence, or a reflection of excitation light. However, a long wavelength pass filter or the like that transmits fluorescence may be arranged. The long-wave pass filter, for example, has a reflectance of less than 50% for excitation light and can be used to adjust the chromaticity by adjusting the intensity of the excitation light incident on the phosphor-containing member. Further, a light reflecting film and/or a light reflecting member may be provided in contact or non-contact on a surface other than the excitation light incident surface and the light extraction surface of the phosphor-containing member. For example, in the case of a reflective type, a light-reflecting film and/or a light-reflecting member can be arranged on the surface of the phosphor-containing member 13 opposite to the surface on which the excitation light is incident and the light is extracted. The light reflecting film and/or the light reflecting member preferably have a reflectance of 60% or more with respect to the irradiated laser light. Furthermore, a translucent member may be arranged on either side of the phosphor-containing member. Examples of translucent members include those that transmit 60% or more of laser light.
The laser element 11 is set to have a peak wavelength of 450 nm. The laser element 11 is mounted on a submount 16 whose main material is, for example, aluminum nitride. The submount 16 can improve heat dissipation by using a material with good heat dissipation as the main material. Main materials of the submount 16 include, for example, aluminum nitride and silicon carbide.
Such a light-emitting device 10 is particularly advantageous for applications with a wide operating temperature range, such as vehicle-mounted applications. For in-vehicle applications, for example, it is assumed to be used in an environment where the temperature changes from -several tens of degrees Celsius to about 100 degrees Celsius.

また、図4に示すように、発光装置20は、レーザ素子11と、レーザ素子11の光路上に蛍光体含有部材23が配置されたキャップ(外側キャップ27B)とを備えて構成されていてもよい。図4は、内側キャップ27A及び外側キャップ27Bをレーザ素子11の光路に沿って切断した状態の発光装置20を示す斜視図である。
発光装置20は、図4に示すように、ステム28Aと、ステム28Aを貫通する2本のリード端子28Bと、ステム28Aが有する凸部の側面に固定されたサブマウント26と、サブマウント26に固定されたレーザ素子11と、レーザ素子11とリード端子28Bのそれぞれとを電気的に接続するワイヤ29と、を有する。発光装置20は、さらに、内側キャップ27Aと外側キャップ27Bを有する。内側キャップ27Aは、ステム28Aに固定された内側キャップ本体271と、内側キャップ本体271に設けられた貫通孔に固定されたレンズ272とを有する。外側キャップ27Bは、外側キャップ本体273と、下側押さえ部274と、上側押さえ部275と、光反射部276と、蛍光体含有部材23と、を有する。蛍光体含有部材23は光反射部276に固定されており、光反射部276は下側押さえ部274と上側押さえ部275に挟まれることで固定されている。図4に破線で示すように、レーザ素子11から出射したレーザ光は、レンズ272で集光され、蛍光体含有部材23の手前で焦点を結び、蛍光体含有部材23に入射する。ステム28Aと内側キャップ27Aにより、レーザ素子11が気密封止されている。なお、内側キャップ27Aと外側キャップ27Bとステム28Aはパッケージ部材を構成する。図4に示す発光装置20では内側キャップ27Aと外側キャップ27Bが別部材であるが、これらは一体的に形成されていてもよい。
Further, as shown in FIG. 4, the light-emitting device 20 may include a laser element 11 and a cap (outer cap 27B) in which a phosphor-containing member 23 is arranged on the optical path of the laser element 11. good. 4 is a perspective view showing the light emitting device 20 with the inner cap 27A and the outer cap 27B cut along the optical path of the laser element 11. FIG.
As shown in FIG. 4, the light emitting device 20 includes a stem 28A, two lead terminals 28B penetrating the stem 28A, a submount 26 fixed to the side surface of a convex portion of the stem 28A, and a It has a fixed laser element 11 and a wire 29 electrically connecting the laser element 11 and each of the lead terminals 28B. The light emitting device 20 further has an inner cap 27A and an outer cap 27B. The inner cap 27A has an inner cap main body 271 fixed to the stem 28A and a lens 272 fixed to a through hole provided in the inner cap main body 271. As shown in FIG. The outer cap 27B has an outer cap main body 273, a lower pressing portion 274, an upper pressing portion 275, a light reflecting portion 276, and a phosphor-containing member 23. The phosphor-containing member 23 is fixed to the light reflecting portion 276 , and the light reflecting portion 276 is fixed by being sandwiched between the lower pressing portion 274 and the upper pressing portion 275 . As indicated by the dashed line in FIG. 4, the laser light emitted from the laser element 11 is collected by the lens 272 and focused in front of the phosphor-containing member 23 to enter the phosphor-containing member 23 . The laser element 11 is hermetically sealed by the stem 28A and the inner cap 27A. The inner cap 27A, outer cap 27B and stem 28A constitute a package member. In the light emitting device 20 shown in FIG. 4, the inner cap 27A and the outer cap 27B are separate members, but they may be integrally formed.

<実施形態2>
本発明の実施形態2の発光装置の製造方法は、以下の工程を含む。
同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の所定の電流値AXにおける出力及び発振波長を測定する。
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を蛍光体含有部材に照射することにより、測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、蛍光体含有部材の光束が最高値となる測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定する。
半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた発振波長によって、所定の発振波長λXを含む中央波長グループと、中央波長グループよりも短波長である短波長グループと、中央波長グループよりも長波長である長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類する。
中央波長グループの半導体レーザ素子を、得られた所定の電流値AXにおける出力によって、所定の基準出力WXを境界として区分される高出力サブグループと低出力サブグループとに分類する。
蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた飽和出力値又は飽和電流値によって、飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類する。
半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(d)短波長グループ又は低出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(e)長波長グループ又は高出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせる。
また、所定の基準出力WXは、測定用光源の所定の電流値AXにおける出力とすることができる。
以下、実施形態2の発光装置の製造方法について詳述するが、特に説明するもの以外は実施形態1と同様の手法や材料等を用いることができる。
<Embodiment 2>
A method for manufacturing a light emitting device according to Embodiment 2 of the present invention includes the following steps.
A plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the same color range are prepared, and the output and oscillation wavelength of each semiconductor laser element at a predetermined current value A X are measured.
By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, the output of the light source for measurement is obtained. Alternatively, the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the drive current is observed, and the output of the light source for measurement or the saturated output value or the saturated current value, which is the drive current, at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value is specified.
According to the obtained oscillation wavelength, the semiconductor laser elements are divided into a central wavelength group including a predetermined oscillation wavelength λ X , a short wavelength group having a shorter wavelength than the central wavelength group, and a longer wavelength group than the central wavelength group. It is classified into one of a plurality of wavelength groups including the long wavelength group on the long wavelength side.
The semiconductor laser elements of the central wavelength group are classified into a high output subgroup and a low output subgroup, which are divided with a predetermined reference output Wx as a boundary, according to the obtained output at a predetermined current value Ax .
The phosphor-containing members are divided into a low saturation group having a low saturation output value or a high saturation current value and a high saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value according to the obtained saturation output value or saturation current value. Classify into one of several saturation groups, including
When combining a semiconductor laser element and a phosphor-containing member, (d) combining a semiconductor laser element classified into the short wavelength group or the low output subgroup with a phosphor-containing member classified into the low saturation group; (e) Combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group or high power subgroup and a phosphor-containing member classified into the high saturation group.
Also, the predetermined reference output W X can be the output of the light source for measurement at a predetermined current value A X .
The method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 2 will be described in detail below, but the same method, materials, etc. as in Embodiment 1 can be used except for those specifically described.

図5は、実施形態2の発光装置の製造方法を説明するための図である。図5に示すように、中央波長グループのレーザ素子を、所定の基準出力WXを境界としてさらに分類することができる。図5において、「中央-高」は中央波長グループの中の高出力サブグループを示し、「中央-低」は中央波長グループの中の低出力サブグループを示す。レーザ素子の出力が高いほど、組み合わせた蛍光体含有部材の発熱量が大きくなりやすい、すなわち色度変化量が大きくなりやすい。このため、図5においてパターンで塗り分けたとおり、高出力サブグループは色度変化量が大きい傾向がある長波長グループと同じカテゴリとし、低出力サブグループは短波長グループと同じカテゴリとする。そして、それぞれ蛍光体含有部材と組み合わせる。このように、出力(光出力)でも色度変化量を変わり得ることから、出力をレーザ素子のグループ分けの基準に加えてもよい。なお、実施形態1と同様に、各グループの境界の値と同一の値を有するレーザ素子は、隣接する2つのグループのいずれかに属するように設定する。例えば、各グループの境界の発振波長と同一の発振波長を有するレーザ素子は、隣接する2つのグループのうち波長が短い側のグループに分類する。
複数のレーザ素子のほとんどは発振波長のみでグループ分けをすることが好ましいため、実施形態2の中央波長グループの上限値と下限値との差は、短波長グループの上限値と下限値との差、及び、長波長グループの上限値と下限値との差よりも小さいことが好ましい。中央波長グループの上限値と下限値との差は、数nm程度が挙げられ、例えば2nmとすることができる。準備する複数の半導体レーザ素子がいずれも所定の発振波長λXを狙って製造されたものであるときに、中央波長グループは、その所定の発振波長λXを含む波長帯のグループとすることができる。例えば、中央波長グループは発振波長λX±1nmの範囲のグループとすることができる。また、中央波長グループは、蛍光体含有部材が有する蛍光体の励起ピークを含む波長帯のグループであってもよい。所定の発振波長λXが、蛍光体含有部材が有する蛍光体の励起ピークの波長と実質的に一致していてもよい。ここでの「実質的に一致」とは、1nm未満の誤差を含む。
5A and 5B are diagrams for explaining the method for manufacturing the light emitting device of Embodiment 2. FIG. As shown in FIG. 5, the central wavelength group of laser elements can be further subdivided by a predetermined reference power Wx . In FIG. 5, "center-high" indicates a high power subgroup within the central wavelength group, and "center-low" indicates a low power subgroup within the central wavelength group. The higher the output of the laser element, the greater the amount of heat generated by the combined phosphor-containing member, that is, the greater the amount of change in chromaticity. Therefore, as indicated by the pattern in FIG. 5, the high output subgroup is in the same category as the long wavelength group, which tends to have a large amount of chromaticity change, and the low output subgroup is in the same category as the short wavelength group. Then, each of them is combined with a phosphor-containing member. In this way, since the output (optical output) can also change the amount of chromaticity change, the output may be added to the criteria for grouping the laser elements. As in the first embodiment, laser elements having the same value as the boundary value of each group are set to belong to either of two adjacent groups. For example, laser elements having the same oscillation wavelength as the oscillation wavelength at the boundary of each group are classified into the group with the shorter wavelength among the two adjacent groups.
Since most of the plurality of laser elements are preferably grouped only by the oscillation wavelength, the difference between the upper limit and the lower limit of the central wavelength group in the second embodiment is the difference between the upper limit and the lower limit of the short wavelength group. , and preferably smaller than the difference between the upper and lower limits of the long wavelength group. The difference between the upper limit value and the lower limit value of the central wavelength group can be several nm, for example, 2 nm. When all of the plurality of semiconductor laser elements to be prepared are manufactured aiming at a predetermined oscillation wavelength λX , the central wavelength group can be a group of wavelength bands including the predetermined oscillation wavelength λX . can. For example, the central wavelength group can be the group of oscillation wavelengths λ X ±1 nm. Also, the central wavelength group may be a group of wavelength bands including the excitation peak of the phosphor of the phosphor-containing member. The predetermined oscillation wavelength λ X may substantially match the excitation peak wavelength of the phosphor of the phosphor-containing member. "Substantially matched" here includes an error of less than 1 nm.

10、20 発光装置
11 レーザ素子
13、23 蛍光体含有部材
14 光反射部材
15 パッケージ部材
16、26 サブマウント
17 キャップ
18 ベース
27A 内側キャップ
27B 外側キャップ
271 内側キャップ本体
272 レンズ
273 外側キャップ本体
274 下側押さえ部
275 上側押さえ部
276 光反射部
28A ステム
28B リード端子
29 ワイヤ
Reference Signs List 10, 20 light emitting device 11 laser element 13, 23 phosphor-containing member 14 light reflecting member 15 package member 16, 26 submount 17 cap 18 base 27A inner cap 27B outer cap 271 inner cap main body 272 lens 273 outer cap main body 274 lower side Pressing portion 275 Upper pressing portion 276 Light reflecting portion 28A Stem 28B Lead terminal 29 Wire

Claims (10)

同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の発振波長を測定し、
前記同色の範囲内に励起ピーク波長を有する蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、短波長側の短波長グループと長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(a)前記短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b)前記長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせることを含む発光装置の製造方法。
preparing a plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color, measuring the oscillation wavelength of each semiconductor laser element,
A plurality of phosphor-containing members containing phosphors having excitation peak wavelengths within the range of the same color are prepared, and each phosphor-containing member contains a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color. By irradiating the member, the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source for measurement or the change in the driving current is observed, and the output of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member reaches the maximum value Or specify the saturation output value or saturation current value that is the drive current,
classifying the semiconductor laser elements into one of a plurality of wavelength groups including a short wavelength group on the short wavelength side and a long wavelength group on the long wavelength side according to the obtained oscillation wavelength;
According to the obtained saturation output value or saturation current value, the phosphor-containing member is classified into a low saturation group having a low saturation output value or a saturation current value and a low saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value. Categorized into one of multiple saturation groups, including a highly saturated group,
When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (a) combining the semiconductor laser element classified as the short wavelength group and the phosphor-containing member classified as the low saturation group, or (b) ) A method of manufacturing a light-emitting device, comprising combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group and a phosphor-containing member classified into the high saturation group.
青色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の発振波長を測定し、 preparing a plurality of semiconductor laser elements having an oscillation wavelength within the range of blue, measuring the oscillation wavelength of each semiconductor laser element,
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記青色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、 By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the blue range, A saturated output value or saturation, which is the output or drive current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, by observing the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source or the drive current Determine the current value,
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、短波長側の短波長グループと長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、 classifying the semiconductor laser elements into one of a plurality of wavelength groups including a short wavelength group on the short wavelength side and a long wavelength group on the long wavelength side according to the obtained oscillation wavelength;
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、 According to the obtained saturation output value or saturation current value, the phosphor-containing member is classified into a low saturation group having a low saturation output value or a saturation current value and a low saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value. Categorized into one of multiple saturation groups, including a highly saturated group,
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(a)前記短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b)前記長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせ、白色光を得ることを含む発光装置の製造方法。 When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (a) combining the semiconductor laser element classified as the short wavelength group and the phosphor-containing member classified as the low saturation group, or (b) ) A method of manufacturing a light-emitting device, comprising combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group and a phosphor-containing member classified into the high saturation group to obtain white light.
同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の発振波長を測定し、 preparing a plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color, measuring the oscillation wavelength of each semiconductor laser element,
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、 By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, A saturated output value or saturation, which is the output or drive current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, by observing the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source or the drive current Determine the current value,
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、短波長側の短波長グループと長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、 classifying the semiconductor laser elements into one of a plurality of wavelength groups including a short wavelength group on the short wavelength side and a long wavelength group on the long wavelength side according to the obtained oscillation wavelength;
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、 According to the obtained saturation output value or saturation current value, the phosphor-containing member is classified into a low saturation group having a low saturation output value or a saturation current value and a low saturation group having a high saturation output value or a high saturation current value. Categorized into one of multiple saturation groups, including a highly saturated group,
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(a)前記短波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(b)前記長波長グループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせることを含み、前記短波長グループは、発振波長が前記蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも短い波長である半導体レーザ素子を含み、前記長波長グループは、発振波長が前記蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも長い波長である半導体レーザ素子を含んでいる、発光装置の製造方法。 When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (a) combining the semiconductor laser element classified as the short wavelength group and the phosphor-containing member classified as the low saturation group, or (b) ) combining the semiconductor laser element classified into the long wavelength group and the phosphor-containing member classified into the high saturation group, wherein the short wavelength group has an oscillation wavelength of excitation spectrum of the phosphor; A method for manufacturing a light-emitting device, comprising a semiconductor laser element having a wavelength shorter than the peak, and wherein the long wavelength group includes a semiconductor laser element having an oscillation wavelength longer than the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor. .
前記複数の波長グループは、前記測定用光源の発振波長を含む中央波長グループと、前記中央波長グループよりも短波長である前記短波長グループと、前記中央波長グループよりも長波長である前記長波長グループとを含む3以上のグループに区分されている請求項1~3のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。 The plurality of wavelength groups include a central wavelength group including the oscillation wavelength of the light source for measurement, the short wavelength group having shorter wavelengths than the central wavelength group, and the long wavelength group having longer wavelengths than the central wavelength group. 4. The method for manufacturing a light-emitting device according to claim 1, wherein the light-emitting device is divided into three or more groups including the group . 前記蛍光体含有部材は、励起ピークを有する励起スペクトルの半値全幅が110nm以下である請求項1~のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。 5. The method of manufacturing a light-emitting device according to claim 1, wherein the phosphor-containing member has an excitation spectrum having an excitation peak with a full width at half maximum of 110 nm or less . 前記蛍光体含有部材は、YAG蛍光体を含む部材である請求項に記載の発光装置の製造方法。 6. The method of manufacturing a light-emitting device according to claim 5 , wherein the phosphor-containing member is a member containing a YAG phosphor. 1つの前記半導体レーザ素子と、1つの前記蛍光体含有部材とを組み合わせて、1つのパッケージ内に設けられた発光装置を製造する請求項1~のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。 The manufacturing of the light-emitting device according to any one of claims 1 to 6 , wherein one semiconductor laser element and one phosphor-containing member are combined to manufacture a light-emitting device provided in one package. Method. 同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の所定の電流値AXにおける出力及び発振波長を測定し、
前記同色の範囲内に励起ピーク波長を有する蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、所定の発振波長λXを含む中央波長グループと、前記中央波長グループよりも短波長である短波長グループと、前記中央波長グループよりも長波長である長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、
前記中央波長グループの前記半導体レーザ素子を、得られた前記所定の電流値AXにおける出力によって、所定の基準出力WXを境界として区分される高出力サブグループと低出力サブグループとに分類し、
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、
前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(d)前記短波長グループ又は前記低出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(e)前記長波長グループ又は前記高出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせることを含む発光装置の製造方法。
preparing a plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color, measuring the output and oscillation wavelength of each semiconductor laser element at a predetermined current value Ax ,
A plurality of phosphor-containing members containing phosphors having excitation peak wavelengths within the range of the same color are prepared, and each phosphor-containing member contains a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color. By irradiating the member, the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source for measurement or the change in the driving current is observed, and the output of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member reaches the maximum value Or specify the saturation output value or saturation current value that is the drive current,
According to the obtained oscillation wavelengths, the semiconductor laser elements are divided into a central wavelength group including a predetermined oscillation wavelength λ X , a short wavelength group having a shorter wavelength than the central wavelength group, and a shorter wavelength group than the central wavelength group. classified into one of a plurality of wavelength groups including a long wavelength group on the long wavelength side, which is a long wavelength;
The semiconductor laser elements of the central wavelength group are classified into a high-output subgroup and a low-output subgroup divided by a predetermined reference output WX as a boundary, according to the obtained output at the predetermined current value AX. ,
The phosphor-containing member, respectively, according to the obtained saturation output value or saturation current value,
classified into one of a plurality of saturation groups including a low saturation group on the side of the low saturation output value or the saturation current value and a high saturation group on the side of the high saturation output value or the saturation current value;
When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (d) the semiconductor laser element classified into the short wavelength group or the low output subgroup and the phosphor-containing member classified into the low saturation group. or (e) combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group or the high power subgroup and a phosphor-containing member classified into the high saturation group.
同色の範囲内の発振波長を有する半導体レーザ素子を複数準備し、各半導体レーザ素子の所定の電流値A A plurality of semiconductor laser elements having oscillation wavelengths within the range of the same color are prepared, and a predetermined current value A of each semiconductor laser element is obtained. XX における出力及び発振波長を測定し、Measure the output and oscillation wavelength at
同じ蛍光体を含有する蛍光体含有部材を複数準備し、各蛍光体含有部材において、前記同色の範囲内の発振波長を有する測定用光源を前記蛍光体含有部材に照射することにより、前記測定用光源の出力又は駆動電流の変化に対する前記蛍光体含有部材の光束の変化を観察し、前記蛍光体含有部材の光束が最高値となる前記測定用光源の出力又は駆動電流である飽和出力値又は飽和電流値を特定し、 By preparing a plurality of phosphor-containing members containing the same phosphor and irradiating each phosphor-containing member with a light source for measurement having an oscillation wavelength within the range of the same color, A saturated output value or saturation, which is the output or drive current of the light source for measurement at which the luminous flux of the phosphor-containing member becomes the maximum value, by observing the change in the luminous flux of the phosphor-containing member with respect to the change in the output of the light source or the drive current Determine the current value,
前記半導体レーザ素子を、それぞれ、得られた前記発振波長によって、所定の発振波長λ Each of the semiconductor laser elements has a predetermined oscillation wavelength λ according to the obtained oscillation wavelength. XX を含む中央波長グループと、前記中央波長グループよりも短波長である短波長グループと、前記中央波長グループよりも長波長である長波長側の長波長グループとを含む複数の波長グループのいずれかに分類し、, a short wavelength group having a shorter wavelength than the central wavelength group, and a long wavelength group having a longer wavelength than the central wavelength group. classify,
前記中央波長グループの前記半導体レーザ素子を、得られた前記所定の電流値A The semiconductor laser elements of the central wavelength group are operated at the obtained predetermined current value A. XX における出力によって、所定の基準出力WA predetermined reference output W XX を境界として区分される高出力サブグループと低出力サブグループとに分類し、into a high-power subgroup and a low-power subgroup separated by a boundary,
前記蛍光体含有部材を、それぞれ、得られた前記飽和出力値又は飽和電流値によって、 The phosphor-containing member, respectively, according to the obtained saturation output value or saturation current value,
前記飽和出力値又は飽和電流値が低い側の低飽和グループと前記飽和出力値又は飽和電流値が高い側の高飽和グループを含む複数の飽和グループのいずれかに分類し、classified into one of a plurality of saturation groups including a low saturation group on the side of the low saturation output value or the saturation current value and a high saturation group on the side of the high saturation output value or the saturation current value;
前記半導体レーザ素子と、蛍光体含有部材とを組み合わせる際、(d)前記短波長グループ又は前記低出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、前記低飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせるか、(e)前記長波長グループ又は前記高出力サブグループに分類された半導体レーザ素子と、前記高飽和グループに分類された蛍光体含有部材とを組み合わせることを含み、前記短波長グループは、発振波長が前記蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも短い波長である半導体レーザ素子を含み、前記長波長グループは、発振波長が前記蛍光体の励起スペクトルの励起ピークよりも長い波長である半導体レーザ素子を含んでいる、発光装置の製造方法。 When combining the semiconductor laser element and the phosphor-containing member, (d) the semiconductor laser element classified into the short wavelength group or the low output subgroup and the phosphor-containing member classified into the low saturation group. or (e) combining a semiconductor laser element classified into the long wavelength group or the high power subgroup with a phosphor-containing member classified into the high saturation group, wherein the short wavelength group is and a semiconductor laser element having an oscillation wavelength shorter than the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor, and the long wavelength group includes semiconductor laser elements having an oscillation wavelength longer than the excitation peak of the excitation spectrum of the phosphor. A method of manufacturing a light emitting device including a laser element.
前記所定の基準出力WXは、前記測定用光源の前記所定の電流値AXにおける出力である請求項8又は9に記載の発光装置の製造方法。 10. The method of manufacturing a light-emitting device according to claim 8 , wherein said predetermined reference output WX is the output of said light source for measurement at said predetermined current value AX .
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