JP7305863B1

JP7305863B1 - gas generator

Info

Publication number: JP7305863B1
Application number: JP2022204359A
Authority: JP
Inventors: 卓小澤; 裕二荒木; 洋一中川; 梨沙木村
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2022-12-21
Filing date: 2022-12-21
Publication date: 2023-07-10
Anticipated expiration: 2042-12-21

Abstract

【課題】生成ガスの発生効率をさらに高くすることのできるガス生成装置を提供する。【解決手段】ガス生成装置１の第１電極６には、複数のトレンチ溝８が形成されており、第１電極面７と第２電極面１１との間に形成される放電空間１２は、材料ガス供給口４から材料ガスを導入するためのガス導入空間１７に接続されている。トレンチ溝８のピッチＰの第１電極７の直径Ｄに対する比Ｐ／Ｄは、０．００２０～０．０１５０に設定されており、トレンチ溝８によって形成されるトレンチ空間の体積ＶＴのガス導入空間１７の体積ＶＧに対する比ＶＴ／ＶＧは、０．０１６～０．２０３に設定されている。【選択図】図１An object of the present invention is to provide a gas generator capable of further increasing the efficiency of generating a generated gas. SOLUTION: A plurality of trench grooves 8 are formed in a first electrode 6 of a gas generator 1, and a discharge space 12 formed between a first electrode surface 7 and a second electrode surface 11 is connected to a gas introduction space 17 for introducing material gas from a material gas supply port 4. The ratio P/D of the pitch P of the trench grooves 8 to the diameter D of the first electrode 7 is set to 0.0020 to 0.0150, and the ratio VT/VG of the volume VT of the trench space formed by the trench grooves 8 to the volume VG of the gas introduction space 17 is set to 0.016 to 0.203. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、電極間で放電を発生させることによって生成ガス（例えば、オゾンガス）を生成するガス生成装置に関する。 The present invention relates to a gas generator that generates a generated gas (for example, ozone gas) by generating electric discharge between electrodes.

従来から、電極間で放電を発生させることによってオゾンガスを生成するオゾン発生装置が知られている。例えば、従来のオゾン発生装置は、互いに対向する電極面を有する対の電極、対の電極の間に高電圧を印加する高圧交流電源、対向する電極面の間に配置される誘電体、及び対向する電極面の間に原料ガスを流すためのガス流路を備え、対の電極の少なくとも一方の電極面は、互いにほぼ平行に伸長する多数の溝を備えている。そして、原料ガスが、多数の溝と誘電体の間の空間を多数の溝を横切る方向に流されることにより、オゾンガスの発生効率を高くし、高濃度のオゾンガスを発生させることを可能としている（例えば特許文献１参照）。 Conventionally, there has been known an ozone generator that generates ozone gas by generating electric discharge between electrodes. For example, a conventional ozone generator includes a pair of electrodes having electrode surfaces facing each other, a high-voltage AC power supply that applies a high voltage between the pair of electrodes, a dielectric disposed between the facing electrode surfaces, and an opposing At least one electrode surface of the pair of electrodes is provided with a large number of grooves extending substantially parallel to each other. Then, the raw material gas is caused to flow in the space between the many grooves and the dielectric in the direction across the many grooves, thereby increasing the efficiency of ozone gas generation and making it possible to generate high-concentration ozone gas ( For example, see Patent Document 1).

特許４０９５７５８号Patent No. 4095758

しかしながら、近年では、生成ガス（例えば、オゾンガス）の発生効率をさらに高くして、同じ電圧でさらに高濃度の生成ガスを生成すること、あるいは、同じ濃度の生成ガスを小さい電圧で発生させることが求められている。 However, in recent years, it has become possible to further increase the efficiency of generating a product gas (for example, ozone gas) to generate a higher concentration product gas at the same voltage, or to generate the same concentration of product gas at a lower voltage. It has been demanded.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、生成ガスの発生効率をさらに高くすることのできるガス生成装置を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a gas generator capable of further increasing the efficiency of generating a generated gas.

本発明のガス生成装置は、第１電極面を有する第１電極と、前記第１電極の外側に配置され、前記第１電極面と対向する第２電極面を有する第２電極と、前記第１電極面と前記第２電極面との間に形成される放電空間と、前記放電空間に材料ガスを供給するための材料ガス供給口と、前記第１電極面と前記第２電極面との間に電圧が印加され前記放電空間において放電が発生することにより前記材料ガスから生成される生成ガスを、装置外部へ送出するための生成ガス送出口と、を備え、前記第１電極には、複数のトレンチ溝が形成されており、前記放電空間は、前記材料ガス供給口から前記材料ガスを導入するためのガス導入空間に接続されており、前記トレンチ溝のピッチＰの前記第１電極の直径Ｄに対する比Ｐ／Ｄは、０．００２０～０．０１５０に設定されており、前記トレンチ溝によって形成されるトレンチ空間の体積ＶＴの前記ガス導入空間の体積ＶＧに対する比ＶＴ／ＶＧは、０．０１６～０．２０３に設定されている。 The gas generator of the present invention comprises: a first electrode having a first electrode surface; a second electrode disposed outside the first electrode and having a second electrode surface facing the first electrode surface; a discharge space formed between one electrode surface and the second electrode surface; a material gas supply port for supplying material gas to the discharge space; and a space between the first electrode surface and the second electrode surface. a generated gas delivery port for delivering a generated gas generated from the material gas to the outside of the apparatus by applying a voltage between the first electrode and generating a discharge in the discharge space; A plurality of trench grooves are formed, the discharge space is connected to a gas introduction space for introducing the material gas from the material gas supply port, and the first electrode has a pitch P of the trench grooves. The ratio P/D to the diameter D is set to 0.0020 to 0.0150, and the ratio VT/VG of the volume VT of the trench space formed by the trench groove to the volume VG of the gas introduction space is 0. .016 to 0.203.

この構成によれば、第１電極の直径Ｄに対してトレンチ溝のピッチＰが小さく設定されるので、オゾンガスが発生する部分（トレンチ溝によって第１電極に形成される山の頂点部）を増やすことができる。これにより、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。すなわち、同じ電圧で高濃度のオゾンガスを発生させることができ、あるいは、同じ濃度のオゾンガスを小さい電圧で発生させることができる。 According to this configuration, since the pitch P of the trench grooves is set smaller than the diameter D of the first electrode, the portion where the ozone gas is generated (peak portion of the mountain formed in the first electrode by the trench grooves) is increased. be able to. This makes it possible to increase the efficiency of generating ozone gas. That is, high-concentration ozone gas can be generated with the same voltage, or the same concentration of ozone gas can be generated with a small voltage.

また、ガス導入空間の体積ＶＧに対してトレンチ空間の体積ＶＴが小さく設定されるので、材料ガスがガス導入空間からトレンチ空間に流れ込むときに圧力損失が生じる。これにより、材料ガスがガス導入空間に満たされた後にトレンチ空間に流れ込むようになり、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができる。したがって、材料ガスの少ない部分で局所放電が発生するのを抑えることができる。これにより、局所放電の発生に起因して生成ガスが分解するのを抑えることができ、その結果、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。すなわち、同じ電圧で高濃度のオゾンガスを発生させることができ、あるいは、同じ濃度のオゾンガスを小さい電圧で発生させることができる。また、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができるので、局所放電の発生により起因して電極がダメージを受けるのを抑えることができる。 Moreover, since the volume VT of the trench space is set smaller than the volume VG of the gas introduction space, pressure loss occurs when the material gas flows from the gas introduction space into the trench space. As a result, the material gas flows into the trench space after filling the gas introduction space, and it is possible to suppress the occurrence of unbalanced (one-way) flow of the material gas. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of local discharge in portions where the material gas is small. As a result, it is possible to suppress the decomposition of the generated gas due to the occurrence of local discharge, and as a result, it is possible to increase the efficiency of generating ozone gas. That is, high-concentration ozone gas can be generated with the same voltage, or the same concentration of ozone gas can be generated with a small voltage. In addition, since it is possible to suppress the occurrence of unevenness (one-side flow) in the material gas flow, it is possible to suppress the electrode from being damaged due to the occurrence of local discharge.

また、本発明のガス生成装置では、前記トレンチ溝のピッチＰの前記第１電極の直径Ｄに対する比Ｐ／Ｄは、０．００２３～０．００５５に設定されており、前記トレンチ溝によって形成されるトレンチ空間の体積ＶＴの前記ガス導入空間の体積ＶＧに対する比ＶＴ／ＶＧは、０．０１８～０．１７６に設定されてもよい。 Further, in the gas generator of the present invention, the ratio P/D of the pitch P of the trench grooves to the diameter D of the first electrode is set to 0.0023 to 0.0055, and the A ratio VT/VG of the volume VT of the trench space to the volume VG of the gas introduction space may be set to 0.018 to 0.176.

この構成によれば、第１電極の直径Ｄに対してトレンチ溝のピッチＰがより小さく設定されるので、オゾンガスが発生する部分（トレンチ溝によって第１電極に形成される山の頂点部）をより増やすことができる。これにより、オゾンガスの発生効率をより高くすることが可能になる。また、ガス導入空間の体積ＶＧに対してトレンチ空間の体積ＶＴがより小さく設定されるので、材料ガスがガス導入空間からトレンチ空間に流れ込むときにより大きな圧力損失を生じさせることができる。これにより、オゾンガスの発生効率をより高くすることが可能になる。 According to this configuration, since the pitch P of the trench grooves is set smaller than the diameter D of the first electrode, the portion where the ozone gas is generated (the apex portion of the mountain formed in the first electrode by the trench grooves) is reduced. can increase more. This makes it possible to further increase the efficiency of generating ozone gas. Moreover, since the volume VT of the trench space is set smaller than the volume VG of the gas introduction space, a larger pressure loss can be caused when the material gas flows from the gas introduction space into the trench space. This makes it possible to further increase the efficiency of generating ozone gas.

また、本発明のガス生成装置では、前記第１電極および前記第２電極は、平面視で円形状であり、前記複数のトレンチ溝は、平面視で同心円状に配置されており、前記放電空間は、平面視で円形状であり、前記ガス導入空間は、平面視で前記放電空間の径方向外側に配置されてもよい。 Further, in the gas generator of the present invention, the first electrode and the second electrode are circular in plan view, the plurality of trench grooves are concentrically arranged in plan view, and the discharge space may be circular in plan view, and the gas introduction space may be arranged radially outside the discharge space in plan view.

この構成によれば、材料ガスが、放電空間の径方向外側に配置されたガス導入空間に満たされた後に、径方向内側に向けて放電空間やトレンチ空間に流れ込むようになり、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができる。これにより、局所放電の発生に起因して生成ガスが分解するのを抑えることができ、その結果、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。また、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができるので、局所放電の発生により起因して電極がダメージを受けるのを抑えることができる。 According to this configuration, the material gas flows radially inward into the discharge space and the trench space after filling the gas introduction space disposed radially outwardly of the discharge space. It is possible to suppress the occurrence of bias (one-way flow) in As a result, it is possible to suppress the decomposition of the generated gas due to the occurrence of local discharge, and as a result, it is possible to increase the efficiency of generating ozone gas. In addition, since it is possible to suppress the occurrence of unevenness (one-side flow) in the material gas flow, it is possible to suppress the electrode from being damaged due to the occurrence of local discharge.

本発明のガス生成装置は、第１電極面を有する第１電極と、前記第１電極の外側に配置され、前記第１電極面と対向する第２電極面を有する第２電極と、前記第１電極面と前記第２電極面との間に形成される放電空間と、前記放電空間に材料ガスを供給するための材料ガス供給口と、前記第１電極面と前記第２電極面との間に電圧が印加され前記放電空間において放電が発生することにより前記材料ガスから生成される生成ガスを、装置外部へ送出するための生成ガス送出口と、前記第２電極の外側に配置されるベース部材と、を備え、前記ベース部材の内部には、冷却媒体が流される冷却流路が形成され、前記冷却流路は、前記ベース部材の内部に前記冷却媒体が流入する入口部と、前記ベース部の内部から前記冷却媒体が流出する出口部と、前記入口部と前記出口部との間に設けられる冷却部と、を備え、流路断面視において、前記入口部の流路径ｄ１の前記冷却部の流路径ｄ２に対する比ｄ１／ｄ２は、０．２５～１．０に設定されており、流路断面視において、前記冷却部の流路径ｄ２の前記出口部の流路径ｄ３に対する比ｄ２／ｄ３は、１．０～４．０に設定されている。 The gas generator of the present invention comprises: a first electrode having a first electrode surface; a second electrode disposed outside the first electrode and having a second electrode surface facing the first electrode surface; a discharge space formed between one electrode surface and the second electrode surface; a material gas supply port for supplying material gas to the discharge space; and a space between the first electrode surface and the second electrode surface. A generated gas delivery port for delivering a generated gas generated from the material gas to the outside of the device by applying a voltage between the discharge space and generating a discharge in the discharge space; a base member, a cooling channel through which a cooling medium flows is formed inside the base member, the cooling channel includes an inlet through which the cooling medium flows into the base member; An outlet section through which the cooling medium flows out from the inside of the base section, and a cooling section provided between the inlet section and the outlet section. The ratio d1/d2 to the flow passage diameter d2 of the cooling portion is set to 0.25 to 1.0, and in the flow passage cross-sectional view, the ratio d2 of the flow passage diameter d2 of the cooling portion to the flow passage diameter d3 of the outlet portion /d3 is set between 1.0 and 4.0.

この構成によれば、冷却流路の入口部の流路径ｄ１が冷却部の流路径ｄ２に対して小さく設定され、冷却流路の冷却部の流路径ｄ２が出口部の流路径ｄ３に対して大きく設定されるので、冷却流路の冷却部において高い冷却効果を得ることができるとともに、冷却流路の入口部と出口部との間における冷却媒体の圧力損失を小さく抑えることができる。 According to this configuration, the channel diameter d1 of the inlet portion of the cooling channel is set smaller than the channel diameter d2 of the cooling portion, and the channel diameter d2 of the cooling portion of the cooling channel is set smaller than the channel diameter d3 of the outlet portion. Since it is set large, a high cooling effect can be obtained in the cooling portion of the cooling channel, and the pressure loss of the cooling medium between the inlet and outlet of the cooling channel can be kept small.

本発明のガス生成装置は、第１電極面を有する第１電極と、前記第１電極の外側に配置され、前記第１電極面と対向する第２電極面を有する第２電極と、前記第１電極面と前記第２電極面との間に形成される放電空間と、前記放電空間に材料ガスを供給するための材料ガス供給口と、前記第１電極面と前記第２電極面との間に電圧が印加され前記放電空間において放電が発生することにより前記材料ガスから生成される生成ガスを、装置外部へ送出するための生成ガス送出口と、前記第２電極の外側に配置されるベース部材と、備え、前記ベース部材の内部には、冷却媒体が流される冷却流路が形成され、前記冷却流路は、前記ベース部材の内部に前記冷却媒体が流入する入口部と、前記ベース部の内部から前記冷却媒体が流出する出口部と、前記入口部と前記出口部との間に設けられる冷却部と、を備え、平面視において、前記冷却流路の前記冷却部の面積Ｓ１の前記第１電極の面積Ｓ２に対する比Ｓ１／Ｓ２は、０．４５～０．９３に設定されている。 The gas generator of the present invention comprises: a first electrode having a first electrode surface; a second electrode disposed outside the first electrode and having a second electrode surface facing the first electrode surface; a discharge space formed between one electrode surface and the second electrode surface; a material gas supply port for supplying material gas to the discharge space; and a space between the first electrode surface and the second electrode surface. A generated gas delivery port for delivering a generated gas generated from the material gas to the outside of the device by applying a voltage between the discharge space and generating a discharge in the discharge space; a base member, a cooling channel through which a cooling medium flows is formed inside the base member, the cooling channel includes an inlet through which the cooling medium flows into the base member; and a cooling portion provided between the inlet and the outlet, wherein the area S1 of the cooling portion of the cooling passage in a plan view is A ratio S1/S2 to the area S2 of the first electrode is set to 0.45 to 0.93.

この構成によれば、冷却流路の冷却部の面積Ｓ１が第１電極の面積Ｓ２に対して大きく設定されるので、冷却流路の冷却部において高い冷却効果を得ることができる。 According to this configuration, since the area S1 of the cooling portion of the cooling channel is set larger than the area S2 of the first electrode, a high cooling effect can be obtained in the cooling portion of the cooling channel.

また、本発明のガス生成装置では、前記ベース部材は、平面視で円形状であり、前記冷却流路の冷却部は、前記入口部に接続され、前記ベース部材と同心円弧状の第１の部分流路と、前記第１の部分流路に接続され、前記第１の部分流路より径方向内側に配置され前記第１の部分流路より曲率半径の小さい、前記ベース部材と同心円弧状の第２の部分流路と、前記第２の部分流路に接続され、前記第２の部分流路より径方向外側に配置され前記第２の部分流路より曲率半径の大きい、前記ベース部材と同心円弧状の第３の部分流路と、を備えてもよい。 Further, in the gas generator of the present invention, the base member has a circular shape in a plan view, and the cooling portion of the cooling passage is connected to the inlet portion and is concentrically arc-shaped with the base member. a flow path connected to the first partial flow path, disposed radially inward of the first partial flow path, and having a radius of curvature smaller than that of the first partial flow path, and having an arc shape concentric with the base member. and a circle concentric with the base member connected to the second partial flow path, arranged radially outwardly of the second partial flow path, and having a radius of curvature larger than that of the second partial flow path. and an arcuate third sub-channel.

この構成によれば、冷却流路の冷却部において、冷却媒体が、第１の部分流路から第２の部分流路を経て径方向内側へ流れ、第２の部分流路から第３の部分流路を経て径方向外側へ流れる。このとき、第１の部分流路、第２の部分流路、第３の部分流路が、ベース部材と同心円弧状とされているので、円形状のベース部材の全体を均一に冷却することができる。 According to this configuration, in the cooling portion of the cooling passage, the cooling medium flows radially inward from the first partial passage through the second partial passage, and flows from the second partial passage to the third portion. It flows radially outward through the channel. At this time, since the first partial flow path, the second partial flow path, and the third partial flow path are concentric with the base member, the entire circular base member can be uniformly cooled. can.

また、本発明のガス生成装置では、前記冷却流路の冷却部は、さらに、前記第３の部分流路に接続され、前記第３の部分流路より径方向外側に配置され前記第３の部分流路より曲率半径の大きい、前記ベース部材と同心円弧状の第４の部分流路と、前記第４の部分流路に接続され、前記第４の部分流路より径方向外側に配置され前記第４の部分流路より曲率半径の大きい、前記ベース部材と同心円弧状の第５の部分流路と、を備えてもよい。 Further, in the gas generator of the present invention, the cooling portion of the cooling channel is further connected to the third partial channel, is arranged radially outward of the third partial channel, and is located in the third a fourth partial flow channel having a radius of curvature larger than that of the partial flow channel and having an arc shape concentric with the base member; A fifth partial channel concentric with the base member may be provided, having a larger radius of curvature than the fourth partial channel.

この構成によれば、冷却流路の冷却部において、冷却媒体が、さらに、第３の部分流路から第４の部分流路を経て径方向外側へ流れ、第４の部分流路から第５の部分流路を経て径方向外側へ流れる。このとき、第１の部分流路、第２の部分流路、第３の部分流路、第４の部分流路、第５の部分流路が、ベース部材と同心円弧状とされているので、円形状のベース部材の全体を均一に冷却することができる。 According to this configuration, in the cooling portion of the cooling channel, the cooling medium further flows radially outward from the third partial channel through the fourth partial channel, and flows from the fourth partial channel to the fifth partial channel. flows radially outward through the sub-channels of At this time, since the first partial flow path, the second partial flow path, the third partial flow path, the fourth partial flow path, and the fifth partial flow path are concentric with the base member, The entire circular base member can be uniformly cooled.

本発明によれば、オゾンの発生効率をさらに高くすることができる。 According to the present invention, the ozone generation efficiency can be further increased.

本発明の実施の形態におけるガス生成装置の説明図（側断面図）である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing (side cross-sectional view) of the gas generator in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるガスの流れを示す説明図（平面図）である。FIG. 4 is an explanatory diagram (plan view) showing gas flow in the embodiment of the present invention; 本発明の実施の形態におけるトレンチ溝のピッチＰと第１電極の直径Ｄの説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of pitch P of trench grooves and diameter D of first electrodes in the embodiment of the present invention; 本発明の実施の形態におけるトレンチ溝の体積ＶＴとガス導入空間の体積ＶＧの説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of the volume VT of a trench groove and the volume VG of a gas introducing space in the embodiment of the present invention; 本発明の実施の形態におけるオゾンガス発生効率を示すグラフである。It is a graph which shows the ozone gas generation efficiency in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における冷却流路の一例を示す図（平面図）である。FIG. 3 is a diagram (plan view) showing an example of a cooling channel in the embodiment of the invention; 本発明の実施の形態における冷却流路の他の例を示す図（平面図）である。FIG. 5 is a diagram (plan view) showing another example of the cooling channel in the embodiment of the present invention; 本発明の実施の形態における冷却流路の他の例を示す図（平面図）である。FIG. 5 is a diagram (plan view) showing another example of the cooling channel in the embodiment of the present invention; 本発明の実施の形態における冷却流路の他の例を示す図（平面図）である。FIG. 5 is a diagram (plan view) showing another example of the cooling channel in the embodiment of the present invention; 本発明の実施の形態における第２電極の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd electrode in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるシム部材の斜視図である。It is a perspective view of a shim member in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態における測定位置（９点）の一例を示す図（平面図）である。It is a figure (plan view) which shows an example of the measurement position (9 points|pieces) in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における選択されるシム部材の厚さｃの説明図である。It is explanatory drawing of the thickness c of the shim member selected in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態において電極間距離を調整するときのフロー図である。It is a flow chart when adjusting the inter-electrode distance in the embodiment of the present invention. 第１電極の他の例を示す図（平面図）である。FIG. 11 is a diagram (plan view) showing another example of the first electrode;

以下、本発明の実施の形態のガス生成装置について、図面を用いて説明する。本実施の形態では、オゾンガスの生成に用いられるガス生成装置（オゾンガス生成装置）の場合を例示する。 Gas generators according to embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In this embodiment, a case of a gas generator (ozone gas generator) used to generate ozone gas will be exemplified.

本発明の実施の形態のガス生成装置の構成を、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態のガス生成装置の説明図（側断面図）である。図１に示すように、ガス生成装置１は、装置中央に配置される平面視で円形状の中央部材２と、中央部材２を挟むように中央部材２の外側（図１における上下両側）に配置される平面視で円形状の一対のベース部材３を備えている。 A configuration of a gas generator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram (sectional side view) of the gas generator of the present embodiment. As shown in FIG. 1, the gas generator 1 includes a circular central member 2 arranged in the center of the device in a plan view, and gas generators on the outer sides of the central member 2 (both upper and lower sides in FIG. 1) so as to sandwich the central member 2. A pair of circular base members 3 arranged in a plan view are provided.

中央部材２には、オゾンガスの材料ガス（酸素を含むガス）が供給される材料ガス供給口４と、材料ガスから生成されたオゾンガスが送出される生成ガス送出口５が設けられている。また、中央部材２の表面には、平面視で円形状の第１電極６が設けられている。本実施の形態では、第１電極６は、低圧側の電極であり、グランドに接続されている。第１電極６の電極面（第１電極面７）は、第１電極６の外側（図１における上側と下側）の両面に設けられている。また、第１電極面７には、平面視で同心円状に配置される複数のトレンチ溝８が形成されている（図２参照）。 The central member 2 is provided with a material gas supply port 4 for supplying the material gas (oxygen-containing gas) of the ozone gas and a generated gas delivery port 5 for delivering the ozone gas generated from the material gas. A circular first electrode 6 is provided on the surface of the central member 2 in plan view. In this embodiment, the first electrode 6 is an electrode on the low voltage side and is connected to the ground. Electrode surfaces (first electrode surfaces 7 ) of the first electrode 6 are provided on both outer sides (upper and lower sides in FIG. 1 ) of the first electrode 6 . A plurality of trench grooves 8 arranged concentrically in plan view are formed in the first electrode surface 7 (see FIG. 2).

ベース部材３は、平面視で円形状の第２電極９と、第２電極９の外側に配置される平面視で円形状の絶縁板１０とを備えている。第２電極９の電極面（第２電極面１１）は、第１電極６と対向するように設けられており、第１電極面７と第２電極面１１の間に放電空間１２が形成されている。本実施の形態では、第２電極９は、高圧側の電極であり、電圧印加用のケーブル１３が接続されている。例えば、第２電極９は、サファイアなどの誘電体で構成される。絶縁板１０は、アルミナなどの絶縁体で構成される。 The base member 3 includes a second electrode 9 that is circular in plan view, and an insulating plate 10 that is arranged outside the second electrode 9 and is circular in plan view. An electrode surface (second electrode surface 11) of the second electrode 9 is provided so as to face the first electrode 6, and a discharge space 12 is formed between the first electrode surface 7 and the second electrode surface 11. ing. In this embodiment, the second electrode 9 is a high-voltage side electrode, and is connected to a voltage application cable 13 . For example, the second electrode 9 is composed of a dielectric such as sapphire. The insulating plate 10 is made of an insulator such as alumina.

ベース部材３の内部には、冷却媒体（例えば冷却水）が流される冷却流路１４が形成されており、ベース部材３には、冷却媒体の供給口と排出口が設けられている（図示せず）。冷却流路１４は、絶縁板１０の外側に配置されているが、この場合、第２電極９と絶縁板１０は互いに接触しており、絶縁板１０とベース部材３は互いに接触している。そのため、冷却流路１４の冷却効果は、絶縁板１０を介して第２電極９に伝達され、第２電極９を冷却することができる。 A cooling channel 14 through which a cooling medium (for example, cooling water) flows is formed inside the base member 3, and the base member 3 is provided with a supply port and a discharge port for the cooling medium (not shown). figure). The cooling channel 14 is arranged outside the insulating plate 10. In this case, the second electrode 9 and the insulating plate 10 are in contact with each other, and the insulating plate 10 and the base member 3 are in contact with each other. Therefore, the cooling effect of the cooling channel 14 is transmitted to the second electrode 9 via the insulating plate 10, so that the second electrode 9 can be cooled.

図２に示すように、第１電極６の外縁部には、材料ガス供給口４と連通する材料ガス出口１５が設けられている。また、第１電極６の中央部には、生成ガス送出口５と連通する生成ガス入口１６が設けられている。さらに、放電空間１２は、材料ガス供給口４（材料ガス出口１５）から供給される材料ガスを導入するためのガス導入空間１７に接続されている。本実施の形態では、放電空間１２は、平面視で円形状であり、ガス導入空間１７は、平面視で放電空間１２の径方向外側に配置されている。この場合、ガス導入空間１７は、第１電極６の周りを囲うように平面視で円環状に形成されている。 As shown in FIG. 2 , a material gas outlet 15 communicating with the material gas supply port 4 is provided at the outer edge of the first electrode 6 . A generated gas inlet 16 that communicates with the generated gas delivery port 5 is provided in the central portion of the first electrode 6 . Further, the discharge space 12 is connected to a gas introduction space 17 for introducing material gas supplied from the material gas supply port 4 (material gas outlet 15). In the present embodiment, the discharge space 12 is circular in plan view, and the gas introduction space 17 is arranged radially outside of the discharge space 12 in plan view. In this case, the gas introduction space 17 is formed in an annular shape in plan view so as to surround the first electrode 6 .

図２において矢印で示すように、材料ガス供給口４から供給された材料ガスは、材料ガス出口１５から中央部材２の内部に供給され、ガス導入空間１７へ導入された後、ガス導入空間１７から第１電極面７と第２電極面１１との間の空間（放電空間１２）を横切るように流れる。そして、第１電極面７と第２電極面１１との間に電圧が印加されると、放電空間１２で放電が発生し、材料ガスからオゾンガスが生成される。生成されたオゾンガスは、生成ガス入口１６から生成ガス送出口５を経て装置外部へ送出される。 As indicated by arrows in FIG. 2, the material gas supplied from the material gas supply port 4 is supplied to the inside of the central member 2 from the material gas outlet 15 and introduced into the gas introduction space 17. , across the space (discharge space 12) between the first electrode surface 7 and the second electrode surface 11. When a voltage is applied between the first electrode surface 7 and the second electrode surface 11, discharge occurs in the discharge space 12 and ozone gas is generated from the material gas. The generated ozone gas is sent out of the apparatus from the generated gas inlet 16 through the generated gas outlet 5 .

図３は、トレンチ溝８のピッチＰと第１電極６の直径Ｄの説明図である。本実施の形態では、トレンチ溝８のピッチＰは、０．３０ｍｍ～１．５０ｍｍに設定されており、より好ましくは、０．３０ｍｍ～０．６０ｍｍに設定されている。ここで、第１電極６の直径Ｄは、１００ｍｍ～１５０ｍｍであり、より好ましくは、１１０ｍｍ～１３０ｍｍである。したがって、本実施の形態では、トレンチ溝８のピッチＰの第１電極６の直径Ｄに対する比Ｐ／Ｄは、０．００２０～０．０１５０に設定されており、より好ましくは、０．００２３～０．００５５に設定されている。 FIG. 3 is an explanatory diagram of the pitch P of the trench grooves 8 and the diameter D of the first electrode 6. As shown in FIG. In this embodiment, the pitch P of the trench grooves 8 is set to 0.30 mm to 1.50 mm, preferably 0.30 mm to 0.60 mm. Here, the diameter D of the first electrode 6 is 100 mm to 150 mm, more preferably 110 mm to 130 mm. Therefore, in the present embodiment, the ratio P/D of the pitch P of the trench grooves 8 to the diameter D of the first electrode 6 is set to 0.0020 to 0.0150, more preferably 0.0023 to 0.0023. It is set to 0.0055.

図４は、トレンチ溝８の体積ＶＴとガス導入空間１７の体積ＶＧの説明図である。本実施の形態では、トレンチ溝８によって形成されるトレンチ空間の体積ＶＴは、０．２１ｃｍ³～３．９１ｃｍ³に設定されており、より好ましくは、０．２５ｃｍ³～２．９４ｃｍ³に設定されている。また、ガス導入空間１７の体積ＶＧは、１２．８ｃｍ³～１９．３ｃｍ³に設定されており、より好ましくは、１４．０ｃｍ³～１６．７ｃｍ³に設定されている。したがって、本実施の形態では、トレンチ溝８によって形成されるトレンチ空間の体積ＶＴのガス導入空間１７の体積ＶＧに対する比ＶＴ／ＶＧは、０．０１６～０．２０３に設定されており、より好ましくは、０．０１８～０．１７６に設定されており、さらに好ましくは、０．０１９～０．１６３に設定されている。 FIG. 4 is an explanatory diagram of the volume VT of the trench groove 8 and the volume VG of the gas introduction space 17. As shown in FIG. In this embodiment, the volume VT of the trench space formed by the trench groove 8 is set to 0.21 cm ³ to 3.91 cm ³ , more preferably 0.25 cm ³ to 2.94 cm ³ . It is Also, the volume VG of the gas introduction space 17 is set to 12.8 cm ³ to 19.3 cm ³ , more preferably 14.0 cm ³ to 16.7 cm ³ . Therefore, in the present embodiment, the ratio VT/VG of the volume VT of the trench space formed by the trench groove 8 to the volume VG of the gas introduction space 17 is preferably set to 0.016 to 0.203. is set between 0.018 and 0.176, more preferably between 0.019 and 0.163.

図６は、冷却流路１４の一例を示す図（平面図）である。図６に示すように、冷却流路１４は、ベース部材３の内部に冷却媒体が流入する入口部１８と、ベース部の内部から冷却媒体が流出する出口部１９と、入口部１８と出口部１９との間に設けられる冷却部２０を備えている。そして、冷却部２０は、入口部１８に接続されるの第１の部分流路２１と、第１の部分流路２１に接続される第２の部分流路２２と、第２の部分流路２２に接続される第３の部分流路２３を備えている。ここで、第１の部分流路２１と第２の部分流路２２と第３の部分流路２３は、いずれもベース部材３と同心円弧状である。また、第２の部分流路２２は、第１の部分流路２１より径方向内側に配置され第１の部分流路２１より曲率半径の小さく、第３の部分流路２３は、第２の部分流路２２より径方向外側に配置され第２の部分流路２２より曲率半径の大きい。 FIG. 6 is a diagram (plan view) showing an example of the cooling channel 14. As shown in FIG. As shown in FIG. 6, the cooling channel 14 includes an inlet portion 18 through which the cooling medium flows into the base member 3, an outlet portion 19 through which the cooling medium flows out from the inside of the base portion, an inlet portion 18 and an outlet portion. 19 and a cooling unit 20 provided between them. The cooling section 20 includes a first partial flow path 21 connected to the inlet section 18, a second partial flow path 22 connected to the first partial flow path 21, and a second partial flow path It has a third sub-channel 23 connected to 22 . Here, the first partial flow path 21, the second partial flow path 22, and the third partial flow path 23 are all concentric with the base member 3. As shown in FIG. The second partial flow path 22 is arranged radially inward of the first partial flow path 21 and has a smaller radius of curvature than the first partial flow path 21. It is arranged radially outside the partial flow path 22 and has a radius of curvature larger than that of the second partial flow path 22 .

図６の例では、流路断面視において、冷却流路１４の入口部１８の流路径ｄ１は、５ｍｍ～１０ｍｍであり、冷却部２０の流路径ｄ２は、１０ｍｍ～１５ｍｍであり、冷却流路１４の出口部１９の流路径ｄ３は、５ｍｍ～１０ｍｍである。また、平面視において、冷却部２０の面積Ｓ１は、３５．８～８０．７ｃｍ²であり、第１電極６の面積Ｓ２は、７８．５ｃｍ²～１７６．６ｃｍ²である。 In the example of FIG. 6, in the flow channel cross-sectional view, the flow channel diameter d1 of the inlet portion 18 of the cooling flow channel 14 is 5 mm to 10 mm, and the flow channel diameter d2 of the cooling portion 20 is 10 mm to 15 mm. The channel diameter d3 of the outlet portion 19 of 14 is 5 mm to 10 mm. In plan view, the area S1 of the cooling part 20 is 35.8 to 80.7 cm ² , and the area S2 of the first electrode 6 is 78.5 cm ² to 176.6 cm ² .

図７は、冷却流路１４の他の例を示す図（平面図）である。図７の例では、冷却部２０は、さらに、第３の部分流路２３に接続される第４の部分流路２４と、第４の部分流路２４に接続される第５の部分流路２５を備えている。ここで、第４の部分流路２４と第５の部分流路２５は、いずれもベース部材３と同心円弧状である。また、第４の部分流路２４は、第３の部分流路２３より径方向外側に配置され第３の部分流路２３より曲率半径の大きく、第５の部分流路２５は、第４の部分流路２４より径方向外側に配置され第４の部分流路２４より曲率半径の大きい。 FIG. 7 is a diagram (plan view) showing another example of the cooling channel 14. As shown in FIG. In the example of FIG. 7, the cooling unit 20 further includes a fourth partial flow path 24 connected to the third partial flow path 23 and a fifth partial flow path connected to the fourth partial flow path 24. 25. Here, both the fourth partial flow path 24 and the fifth partial flow path 25 are arc-shaped concentrically with the base member 3 . In addition, the fourth partial flow path 24 is arranged radially outside the third partial flow path 23 and has a larger radius of curvature than the third partial flow path 23 . It is arranged radially outside the partial flow path 24 and has a radius of curvature larger than that of the fourth partial flow path 24 .

図７の例では、流路断面視において、冷却流路１４の入口部１８の流路径ｄ１は、５ｍｍ～１０ｍｍであり、冷却部２０の流路径ｄ２は、５ｍｍ～１０ｍｍであり、冷却流路１４の出口部１９の流路径ｄ３は、５ｍｍ～１０ｍｍである。また、平面視において、冷却部２０の面積Ｓ１は、３８．１ｃｍ²～８５．７ｃｍ²であり、第１電極６の面積Ｓ２は、７８．５ｃｍ²～１７６．６ｃｍ²である。 In the example of FIG. 7, in the channel cross-sectional view, the channel diameter d1 of the inlet portion 18 of the cooling channel 14 is 5 mm to 10 mm, and the channel diameter d2 of the cooling portion 20 is 5 mm to 10 mm. The channel diameter d3 of the outlet portion 19 of 14 is 5 mm to 10 mm. In plan view, the area S1 of the cooling portion 20 is 38.1 cm ² to 85.7 cm ² , and the area S2 of the first electrode 6 is 78.5 cm ² to 176.6 cm ² .

図８は、冷却流路１４の他の例を示す図（平面図）である。図８の例では、冷却流路１４の入口部１８の流路径ｄ１は、５ｍｍ～１０ｍｍであり、冷却部２０の流路径ｄ２は、１５ｍｍ～２５ｍｍであり、冷却流路１４の出口部１９の流路径ｄ３は、５ｍｍ～１０ｍｍである。また、平面視において、冷却部２０の面積Ｓ１は、５５．０ｃｍ²～１２３．８ｃｍ²であり、第１電極６の面積Ｓ２は、７８．５ｃｍ²～１７６．６ｃｍ²である。 FIG. 8 is a diagram (plan view) showing another example of the cooling channel 14. As shown in FIG. In the example of FIG. 8, the channel diameter d1 of the inlet portion 18 of the cooling channel 14 is 5 mm to 10 mm, the channel diameter d2 of the cooling portion 20 is 15 mm to 25 mm, and the outlet portion 19 of the cooling channel 14 is The channel diameter d3 is 5 mm to 10 mm. In plan view, the area S1 of the cooling part 20 is 55.0 cm ² to 123.8 cm ² , and the area S2 of the first electrode 6 is 78.5 cm ² to 176.6 cm ² .

図９は、冷却流路１４の他の例を示す図（平面図）である。図９の例では、冷却流路１４の入口部１８の流路径ｄ１は、５ｍｍ～１０ｍｍであり、冷却部２０の流路径ｄ２は、２０ｍｍ～２５ｍｍであり、冷却流路１４の出口部１９の流路径ｄ３は、５ｍｍ～１０ｍｍである。また、平面視において、冷却部２０の面積Ｓ１は、７２．５ｃｍ²～１６３．０ｃｍ²であり、第１電極６の面積Ｓ２は、７８．５ｃｍ²～１７６．６ｃｍ²である。 FIG. 9 is a diagram (plan view) showing another example of the cooling channel 14. As shown in FIG. In the example of FIG. 9, the channel diameter d1 of the inlet portion 18 of the cooling channel 14 is 5 mm to 10 mm, the channel diameter d2 of the cooling portion 20 is 20 mm to 25 mm, and the outlet portion 19 of the cooling channel 14 is The channel diameter d3 is 5 mm to 10 mm. In plan view, the area S1 of the cooling portion 20 is 72.5 cm ² to 163.0 cm ² , and the area S2 of the first electrode 6 is 78.5 cm ² to 176.6 cm ² .

すなわち、本実施の形態では、流路断面視において、入口部１８の流路径ｄ１の冷却部２０の流路径ｄ２に対する比ｄ１／ｄ２は、０．２５～１．０に設定されており、より好ましくは、０．２７～１．０に設定されている。また、冷却部２０の流路径ｄ２の出口部１９の流路径ｄ３に対する比ｄ２／ｄ３は、１．０～４．０に設定されており、より好ましくは、１．０～３．６６に設定されている。また、平面視において、冷却流路１４の冷却部２０の面積Ｓ１の第１電極６の面積Ｓ２に対する比Ｓ１／Ｓ２は、０．４５～０．９３に設定されている。 That is, in the present embodiment, the ratio d1/d2 of the flow path diameter d1 of the inlet portion 18 to the flow path diameter d2 of the cooling portion 20 in the cross-sectional view of the flow path is set to 0.25 to 1.0. Preferably, it is set between 0.27 and 1.0. In addition, the ratio d2/d3 of the flow path diameter d2 of the cooling section 20 to the flow path diameter d3 of the outlet section 19 is set to 1.0 to 4.0, more preferably set to 1.0 to 3.66. It is Further, in plan view, the ratio S1/S2 of the area S1 of the cooling portion 20 of the cooling channel 14 to the area S2 of the first electrode 6 is set to 0.45 to 0.93.

図１０は、本実施の形態における第２電極９の説明図である。図１０に示すように、第２電極９は、第２電極面１１となる表面を有する誘電板２６と、誘電板２６の第２電極面１１と反対側の裏面において第１電極６に対応する位置に形成される導電膜２７とで構成される。また、中央部材２とベース部材３との間には、シム部材２８が挿入されるシム部材挿入部２９が形成される。 FIG. 10 is an explanatory diagram of the second electrode 9 in this embodiment. As shown in FIG. 10, the second electrode 9 corresponds to the first electrode 6 on the dielectric plate 26 having the surface serving as the second electrode surface 11 and the back surface of the dielectric plate 26 opposite to the second electrode surface 11. It is composed of a conductive film 27 formed at a position. A shim member insertion portion 29 into which a shim member 28 is inserted is formed between the central member 2 and the base member 3 .

図１１は、シム部材２８の斜視図である。図１１（ａ）に示すように、シム部材２８は、円環形状をしており、中央部材２とベース部材３との間のシム部材挿入部２９に挿入されて、第１電極面７と第２電極面１１との間の電極間距離が所定の基準距離となるように調整するための部材である。本実施の形態では、それぞれ異なる厚みを有する複数のシム部材２８が予め用意されており、シム部材挿入部２９のベース部材３側の端面から第２電極面１１までの距離の測定結果に基づいて、予め用意された複数のシム部材２８の中から、シム部材挿入部２９に挿入されるシム部材２８が選択される。 11 is a perspective view of the shim member 28. FIG. As shown in FIG. 11A, the shim member 28 has an annular shape, is inserted into the shim member insertion portion 29 between the central member 2 and the base member 3, and is connected to the first electrode surface 7. It is a member for adjusting the inter-electrode distance from the second electrode surface 11 to a predetermined reference distance. In the present embodiment, a plurality of shim members 28 having different thicknesses are prepared in advance, and the distance from the end surface of the shim member insertion portion 29 on the base member 3 side to the second electrode surface 11 is measured. , the shim member 28 to be inserted into the shim member insertion portion 29 is selected from a plurality of shim members 28 prepared in advance.

図１１（ｂ）には、シム部材２８の他の例が示される。図１１（ｂ）に示すように、円環形状のシム部材２８は、４つに分割されていてもよい。また、図１１（ｃ）には、シム部材２８の他の例が示される。図１１（ｃ）に示すように、円環形状のシム部材２８は、２つに分割されていてもよい。このように複数に分割されたシム部材２８を使用することも可能である。なお、シム部材２８を分割する位置や数は、これに限定されない。分割されたシム部材２８であっても、中央部材２とベース部材３との間のシム部材挿入部２９に挿入することにより、第１電極面７と第２電極面１１との間の電極間距離が所定の基準距離となるように調整することが可能である。また、シム部材２８は、シール部材３０の外側に配置されているため、シム部材２８が分割されていても、シール部材３０による気密性に影響はない（気密性は保たれる）。 Another example of the shim member 28 is shown in FIG. 11(b). As shown in FIG. 11(b), the ring-shaped shim member 28 may be divided into four. Another example of the shim member 28 is shown in FIG. 11(c). As shown in FIG. 11(c), the ring-shaped shim member 28 may be divided into two. It is also possible to use a shim member 28 divided into a plurality of pieces in this way. Note that the positions and number of divisions of the shim member 28 are not limited to this. Even if the divided shim member 28 is inserted into the shim member insertion portion 29 between the central member 2 and the base member 3, the interelectrode gap between the first electrode surface 7 and the second electrode surface 11 can be reduced. It is possible to adjust the distance to a predetermined reference distance. Further, since the shim member 28 is arranged outside the seal member 30, even if the shim member 28 is divided, the airtightness of the seal member 30 is not affected (airtightness is maintained).

本実施の形態では、シム部材挿入部２９に接する中央部材２の端面とトレンチの頂上は同じ高さ（同一平面）である。よって、誘電板２６からシム部材挿入部２９に接する中央部材２の端面までの距離と、誘電板２６からトレンチの頂上までの距離は同じになる。そこで、本実施の形態では、所定の測定位置Ｐ（図１２の例では５点）において、図１３に示すように、シム部材挿入部２９のベース部材３側の端面から第２電極面１１までの距離ａが測定される。そして、測定した距離ａと所定の基準距離ｂ（誘電板２６からトレンチの頂上までの距離であって、予め設定される距離。例えば０．０１ｍｍ～０．５ｍｍ）との和に等しい厚みｃ（あるいは、最も近い厚み）を有するシム部材２８が、シム部材挿入部２９に挿入されるシム部材２８として選択される。測定位置Ｐは、中心１点と、外形と同心円で外形より小さい円周上の複数の点とすることができる。複数の点は、中心の点に対して対面の位置に設定することができる。また、複数の点の個数は、図１２の例のように４点に限られず、４点より多くの個数であってもよい。 In the present embodiment, the end surface of the central member 2 contacting the shim member insertion portion 29 and the top of the trench are at the same height (flush). Therefore, the distance from the dielectric plate 26 to the end face of the central member 2 in contact with the shim member insertion portion 29 is the same as the distance from the dielectric plate 26 to the top of the trench. Therefore, in the present embodiment, at predetermined measurement positions P (five points in the example of FIG. 12), as shown in FIG. is measured. Then, a thickness c ( Alternatively, the shim member 28 having the closest thickness) is selected as the shim member 28 to be inserted into the shim member insert 29 . The measurement position P can be one point at the center and a plurality of points on a circle that is concentric with the outer shape and smaller than the outer shape. A plurality of points can be set at facing positions with respect to the central point. Also, the number of points is not limited to four as in the example of FIG. 12, and may be more than four.

また、図１３に示すように、誘電板２６と中央部材２との間には、Ｏリングなどのシール部材３０が配置されている。本実施の形態では、材料ガス供給口４は、第１電極６の外側に配置されており、生成ガス送出口５は、第１電極６の中心部に配置されており、シール部材３０は、第１電極６の外側に配置されている。より具体的には、材料ガス供給口４は、第１電極６の径方向外側に配置されており、生成ガス送出口５は、第１電極６の径方向内側に配置されており、シール部材３０は、第１電極６の径方向外側に配置されている。 A seal member 30 such as an O-ring is arranged between the dielectric plate 26 and the central member 2, as shown in FIG. In this embodiment, the material gas supply port 4 is arranged outside the first electrode 6, the generated gas delivery port 5 is arranged in the center of the first electrode 6, and the seal member 30 is It is arranged outside the first electrode 6 . More specifically, the material gas supply port 4 is arranged radially outside the first electrode 6, the generated gas delivery port 5 is arranged radially inside the first electrode 6, and the seal member 30 is arranged radially outside the first electrode 6 .

以上のように構成されたガス生成装置１について、図１４のフロー図を参照してその動作を説明する。 The operation of the gas generator 1 configured as described above will be described with reference to the flowchart of FIG.

本発明の実施の形態のガス生成装置１で電極間の距離を調整する場合には、まず、一対のベース部材３のうち、一方のベース部材３と中央部材２との間に形成されるシム部材挿入部２９のベース部材３側の端面から第２電極面１１までの距離ａを測定する（Ｓ１）。 When adjusting the distance between the electrodes in the gas generator 1 of the embodiment of the present invention, first, a shim formed between one of the pair of base members 3 and the central member 2 A distance a from the end surface of the member insertion portion 29 on the side of the base member 3 to the second electrode surface 11 is measured (S1).

つぎに、それぞれ異なる厚みを有する複数のシム部材２８の中から、上記のステップ１の測定結果に基づいて、電極間距離が基準距離となるシム部材２８を選択する。具体的には、電極間の基準距離ｂを取得し（Ｓ２）、シム部材挿入部２９に挿入するシム部材２８の厚さｃを算出し（Ｓ３）、算出した厚さｃと等しい厚さ（あるいは、最も近い厚さ）を有するシム部材２８を選択する（Ｓ４）。そして、上記のステップ４で選択したシム部材２８を、一方のベース部材３と中央部材２との間のシム部材挿入部２９に挿入する（Ｓ５）。 Next, the shim member 28 having the inter-electrode distance as the reference distance is selected from among the plurality of shim members 28 having different thicknesses based on the measurement result of step 1 above. Specifically, the reference distance b between the electrodes is acquired (S2), the thickness c of the shim member 28 to be inserted into the shim member insertion portion 29 is calculated (S3), and the thickness equal to the calculated thickness c ( Alternatively, the shim member 28 having the closest thickness) is selected (S4). Then, the shim member 28 selected in step 4 above is inserted into the shim member insertion portion 29 between the one base member 3 and the central member 2 (S5).

その後、上下両側ともシム部材２８が挿入されたか否かを判定する（Ｓ６）。一方のシム部材２８しか挿入されていない場合には、他方のシム部材２８について、上記のステップＳ１～Ｓ５を繰り返す。 After that, it is determined whether or not the shim members 28 have been inserted on both the upper and lower sides (S6). If only one shim member 28 is inserted, the above steps S1 to S5 are repeated for the other shim member 28 .

すなわち、他方のベース部材３と中央部材２との間に形成されるシム部材挿入部２９のベース部材３側の端面から第２電極面１１までの距離ａを測定する（Ｓ１）。 That is, the distance a from the end surface of the shim member insertion portion 29 formed between the other base member 3 and the central member 2 on the side of the base member 3 to the second electrode surface 11 is measured (S1).

つぎに、それぞれ異なる厚みを有する複数のシム部材２８の中から、上記のステップ１の測定結果に基づいて、電極間距離が基準距離となるシム部材２８を選択する。具体的には、電極間の基準距離ｂを取得し（Ｓ２）、シム部材挿入部２９に挿入するシム部材２８の厚さｃを算出し（Ｓ３）、算出した厚さｃと等しい厚さ（あるいは、最も近い厚さ）を有するシム部材２８を選択する（Ｓ４）。そして、上記のステップ４で選択したシム部材２８を、他方のベース部材３と中央部材２との間のシム部材挿入部２９に挿入する（Ｓ５）。そして、上下両側ともシム部材２８が挿入された場合には、電極間の距離の調整を終了する。 Next, the shim member 28 having the inter-electrode distance as the reference distance is selected from among the plurality of shim members 28 having different thicknesses based on the measurement result of step 1 above. Specifically, the reference distance b between the electrodes is acquired (S2), the thickness c of the shim member 28 to be inserted into the shim member insertion portion 29 is calculated (S3), and the thickness equal to the calculated thickness c ( Alternatively, the shim member 28 having the closest thickness) is selected (S4). Then, the shim member 28 selected in step 4 is inserted into the shim member insertion portion 29 between the other base member 3 and the central member 2 (S5). Then, when the shim members 28 are inserted on both the upper and lower sides, the adjustment of the distance between the electrodes is finished.

このような本実施の形態のガス生成装置１によれば、第１電極６の直径Ｄに対してトレンチ溝８のピッチＰが小さく設定されるので、オゾンガスが発生する部分（トレンチ溝８によって第１電極６に形成される山の頂点部）を増やすことができる。これにより、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。すなわち、同じ電圧で高濃度のオゾンガスを発生させることができ、あるいは、同じ濃度のオゾンガスを小さい電圧で発生させることができる。 According to the gas generator 1 of the present embodiment, since the pitch P of the trench grooves 8 is set smaller than the diameter D of the first electrode 6, the portion where the ozone gas is generated (the trench groove 8 causes the third It is possible to increase the peak portion of the mountain formed on one electrode 6 . This makes it possible to increase the efficiency of generating ozone gas. That is, high-concentration ozone gas can be generated with the same voltage, or the same concentration of ozone gas can be generated with a small voltage.

また、ガス導入空間１７の体積ＶＧに対してトレンチ空間の体積ＶＴが小さく設定されるので、材料ガスがガス導入空間１７からトレンチ空間に流れ込むときに圧力損失が生じる。これにより、材料ガスがガス導入空間１７に満たされた後にトレンチ空間に流れ込むようになり、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができる。したがって、材料ガスの少ない部分で局所放電が発生するのを抑えることができる。これにより、局所放電の発生に起因して生成ガスが分解するのを抑えることができ、その結果、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。すなわち、同じ電圧で高濃度のオゾンガスを発生させることができ、あるいは、同じ濃度のオゾンガスを小さい電圧で発生させることができる。また、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができるので、局所放電の発生により起因して電極がダメージを受けるのを抑えることができる。 Further, since the volume VT of the trench space is set smaller than the volume VG of the gas introduction space 17, pressure loss occurs when the material gas flows from the gas introduction space 17 into the trench space. As a result, the material gas flows into the trench space after filling the gas introduction space 17, and it is possible to suppress the occurrence of unbalanced flow of the material gas (unbalanced flow). Therefore, it is possible to suppress the occurrence of local discharge in portions where the material gas is small. As a result, it is possible to suppress the decomposition of the generated gas due to the occurrence of local discharge, and as a result, it is possible to increase the efficiency of generating ozone gas. That is, high-concentration ozone gas can be generated with the same voltage, or the same concentration of ozone gas can be generated with a small voltage. In addition, since it is possible to suppress the occurrence of unevenness (one-side flow) in the material gas flow, it is possible to suppress the electrode from being damaged due to the occurrence of local discharge.

また、本実施の形態では、第１電極６の直径Ｄに対してトレンチ溝８のピッチＰがより小さく設定されるので、オゾンガスが発生する部分（トレンチ溝８によって第１電極６に形成される山の頂点部）をより増やすことができる。これにより、オゾンガスの発生効率をより高くすることが可能になる（図５参照）。また、ガス導入空間１７の体積ＶＧに対してトレンチ空間の体積ＶＴがより小さく設定されるので、材料ガスがガス導入空間１７からトレンチ空間に流れ込むときにより大きな圧力損失を生じさせることができる。これにより、オゾンガスの発生効率をより高くすることが可能になる。 Further, in the present embodiment, since the pitch P of the trench grooves 8 is set smaller than the diameter D of the first electrode 6, the portion where the ozone gas is generated (the portion formed in the first electrode 6 by the trench grooves 8 peak of the mountain) can be increased. This makes it possible to further increase the efficiency of ozone gas generation (see FIG. 5). Further, since the volume VT of the trench space is set smaller than the volume VG of the gas introduction space 17, a larger pressure loss can be caused when the material gas flows from the gas introduction space 17 into the trench space. This makes it possible to further increase the efficiency of generating ozone gas.

また、本実施の形態では、材料ガスが、放電空間１２の径方向外側に配置されたガス導入空間１７に満たされた後に、径方向内側に向けて放電空間１２やトレンチ空間に流れ込むようになり、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができる。これにより、局所放電の発生に起因して生成ガスが分解するのを抑えることができ、その結果、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。また、材料ガスの流れに偏り（片流れ）が発生するのを抑制することができるので、局所放電の発生により起因して電極がダメージを受けるのを抑えることができる。 In addition, in the present embodiment, the material gas flows radially inward into the discharge space 12 and the trench space after filling the gas introduction space 17 disposed radially outwardly of the discharge space 12 . , it is possible to suppress the occurrence of bias (one-sided flow) in the flow of the material gas. As a result, it is possible to suppress the decomposition of the generated gas due to the occurrence of local discharge, and as a result, it is possible to increase the efficiency of generating ozone gas. In addition, since it is possible to suppress the occurrence of unevenness (one-side flow) in the material gas flow, it is possible to suppress the electrode from being damaged due to the occurrence of local discharge.

また、本実施の形態では、冷却流路１４の入口部１８の流路径ｄ１が冷却部２０の流路径ｄ２に対して小さく設定され、冷却流路１４の冷却部２０の流路径ｄ２が出口部１９の流路径ｄ３に対して大きく設定されるので、冷却流路１４の冷却部２０において高い冷却効果を得ることができるとともに、冷却流路１４の入口部１８と出口部１９との間における冷却媒体の圧力損失を小さく抑えることができる。 Further, in the present embodiment, the channel diameter d1 of the inlet portion 18 of the cooling channel 14 is set smaller than the channel diameter d2 of the cooling portion 20, and the channel diameter d2 of the cooling portion 20 of the cooling channel 14 is set to the outlet portion. 19, a high cooling effect can be obtained in the cooling portion 20 of the cooling channel 14, and the cooling between the inlet portion 18 and the outlet portion 19 of the cooling channel 14 is large. The pressure loss of the medium can be kept small.

また、本実施の形態では、冷却流路１４の冷却部２０の面積Ｓ１が第１電極６の面積Ｓ２に対して大きく設定されるので、冷却流路１４の冷却部２０において高い冷却効果を得ることができる。 Further, in the present embodiment, since the area S1 of the cooling portion 20 of the cooling channel 14 is set larger than the area S2 of the first electrode 6, a high cooling effect is obtained in the cooling portion 20 of the cooling channel 14. be able to.

また、本実施の形態では、冷却流路１４の冷却部２０において、冷却媒体が、第１の部分流路２１から第２の部分流路２２を経て径方向内側へ流れ、第２の部分流路２２から第３の部分流路２３を経て径方向外側へ流れる。このとき、第１の部分流路２１、第２の部分流路２２、第３の部分流路２３が、ベース部材３と同心円弧状とされているので、円形状のベース部材３の全体を均一に冷却することができる。 Further, in the present embodiment, in the cooling portion 20 of the cooling channel 14, the cooling medium flows radially inward from the first partial channel 21 through the second partial channel 22, and reaches the second partial channel. From the channel 22 it flows radially outwards via the third partial channel 23 . At this time, since the first partial flow path 21, the second partial flow path 22, and the third partial flow path 23 are concentric with the base member 3, the entire circular base member 3 is evenly distributed. can be cooled to

また、本実施の形態では、冷却流路１４の冷却部２０において、冷却媒体が、さらに、第３の部分流路２３から第４の部分流路２４を経て径方向外側へ流れ、第４の部分流路２４から第５の部分流路２５を経て径方向外側へ流れる。このとき、第１の部分流路２１、第２の部分流路２２、第３の部分流路２３、第４の部分流路２４、第５の部分流路２５が、ベース部材３と同心円弧状とされているので、円形状のベース部材３の全体を均一に冷却することができる。 Further, in the present embodiment, in the cooling portion 20 of the cooling channel 14, the cooling medium further flows radially outward from the third partial channel 23 through the fourth partial channel 24, and reaches the fourth It flows radially outward from the sub-channel 24 via the fifth sub-channel 25 . At this time, the first partial flow path 21, the second partial flow path 22, the third partial flow path 23, the fourth partial flow path 24, and the fifth partial flow path 25 are concentric with the base member 3. , the entire circular base member 3 can be uniformly cooled.

この場合、冷却流路１４とケーブル１３の配線穴は、同一平面上に設けられている（図１参照）。そのため、冷却媒体をベース部材３の上下方向から入れる構造とするよりも、側面方向から入れる構造としたほうが、スペースを小さくすることができる。ただし、ケーブル１３の配線部には、冷却水路１４を設けることができない。本実施の形態では、できる限り近くまで冷却流路１４を設けて、ベース部材３の全体を冷やすことができる構造を採用している。なお、冷却流路１４の入口部１８と出口部１９は、逆であってもよい。 In this case, the cooling channel 14 and the wiring hole of the cable 13 are provided on the same plane (see FIG. 1). Therefore, a structure in which the cooling medium is introduced from the lateral direction of the base member 3 rather than a structure in which the cooling medium is introduced from the vertical direction can reduce the space. However, the cooling water passage 14 cannot be provided in the wiring portion of the cable 13 . In this embodiment, a structure is adopted in which the cooling flow path 14 is provided as close as possible to cool the entire base member 3 . Note that the inlet portion 18 and the outlet portion 19 of the cooling channel 14 may be reversed.

また、本実施の形態では、中央部材２の上下両側に配置される一対のベース部材３のそれぞれにおいて、中央部材２とベース部材３との間のシム部材挿入部２９に、シム部材２８（そのシム部材挿入部２９のベース部材３側の端面から第２電極面１１までの距離の測定結果に基づいて選択されたシム部材２８）が挿入されて、第１電極面７と第２電極面１１との間の電極間距離が所定の基準距離となるように調整される。このようにして、上下両側の電極間距離を揃えることができ、その結果、オゾンガスの発生効率を高くすることが可能になる。すなわち、同じ電圧で高濃度のオゾンガスを発生させることができ、あるいは、同じ濃度のオゾンガスを小さい電圧で発生させることができる。 In addition, in the present embodiment, in each of the pair of base members 3 arranged on both upper and lower sides of the central member 2, the shim member 28 (the A shim member 28 selected based on the measurement result of the distance from the end surface of the shim member insertion portion 29 on the side of the base member 3 to the second electrode surface 11 is inserted, and the first electrode surface 7 and the second electrode surface 11 are inserted. is adjusted so that the inter-electrode distance between is equal to a predetermined reference distance. In this way, the distances between the electrodes on both the upper and lower sides can be made uniform, and as a result, it is possible to increase the efficiency of generating ozone gas. That is, high-concentration ozone gas can be generated with the same voltage, or the same concentration of ozone gas can be generated with a small voltage.

また、本実施の形態では、それぞれ異なる厚みを有する複数のシム部材２８の中から、シム部材挿入部２９のベース部材３側の端面から第２電極面１１までの距離と基準距離との和と等しい厚みを有するシム部材２８が、そのシム部材挿入部２９に挿入されるシム部材２８として選択される。これにより、第１電極面７と第２電極面１１との間の電極間距離が所定の基準距離となるように調整することができる。 Further, in the present embodiment, the sum of the distance from the end surface of the shim member insertion portion 29 on the base member 3 side to the second electrode surface 11 and the reference distance from among the plurality of shim members 28 having different thicknesses A shim member 28 having the same thickness is selected as the shim member 28 to be inserted into the shim member insertion portion 29 thereof. Thereby, the inter-electrode distance between the first electrode surface 7 and the second electrode surface 11 can be adjusted to a predetermined reference distance.

上下両側の電極間距離を揃えるとガス発生効率が高くなる理由は、以下のとおりである。（１）中央部材２を共有する上下のベース部材３は、１つの高圧電源から電圧が供給される（図１参照）。（２）高圧電源は、上下のベース部材３に同一の電圧を供給する（個別の電圧制御をしていない）。（３）上記（１）（２）から上下の放電空間の距離を同じにすると高濃度のガスが発生する。例えば、高電圧部には、電圧５～１５ｋＶ、周波数２０～４０ｋＨｚの高周波・高電圧が印加される。なお、高圧電源が１つである、トレンチ電極（第１電極６）が両サイド使用となっている理由は、コストダウンや省スペースのためである。 The reason why the gas generation efficiency increases when the distance between the electrodes on the upper and lower sides is uniform is as follows. (1) The upper and lower base members 3 sharing the central member 2 are supplied with a voltage from one high voltage power source (see FIG. 1). (2) The high-voltage power supply supplies the same voltage to the upper and lower base members 3 (individual voltage control is not performed). (3) From the above (1) and (2), if the distance between the upper and lower discharge spaces is the same, a high-concentration gas is generated. For example, a high frequency/high voltage with a voltage of 5 to 15 kV and a frequency of 20 to 40 kHz is applied to the high voltage section. The reason why the trench electrode (the first electrode 6) is used on both sides with one high-voltage power supply is for cost reduction and space saving.

また、本実施の形態では、材料ガス供給口４が第１電極６の外側に配置され、生成ガス送出口５が第１電極６の中心部に配置されるので、材料ガスの流れが外側から中心部に向けた方向となる。そして、第２電極９の導電膜２７は第１電極６に対応する位置に形成されている（第１電極６の外側には形成されていない）。したがって、放電空間１２において第１電極６に対応する位置で放電が発生して材料ガスから生成ガスが生成されることとなり、第１電極６の外側では放電が発生せず材料ガスから生成ガスが生成されない。この場合、シール部材３０が第１電極６の外側に配置されているので、シール部材３０の付近で生成ガスが発生しないようにすることができ、シール部材３０が生成ガスによって腐食するのを防止することができる。 In addition, in the present embodiment, the material gas supply port 4 is arranged outside the first electrode 6, and the generated gas delivery port 5 is arranged in the center of the first electrode 6, so that the material gas flows from the outside. The direction is toward the center. The conductive film 27 of the second electrode 9 is formed at a position corresponding to the first electrode 6 (not formed outside the first electrode 6). Therefore, discharge occurs at a position corresponding to the first electrode 6 in the discharge space 12, and the product gas is generated from the material gas. Not generated. In this case, since the seal member 30 is arranged outside the first electrode 6, it is possible to prevent the generated gas from being generated in the vicinity of the seal member 30, thereby preventing the seal member 30 from being corroded by the generated gas. can do.

また、本実施の形態では、第１電極６および第２電極９が円形状であり、材料ガス供給口４が第１電極６の径方向外側に配置され、生成ガス送出口５が第１電極６の径方向内側に配置されるので、材料ガスの流れが径方向外側から径方向内側に向けた方向となり、第１電極６の径方向外側では放電が発生せず材料ガスから生成ガスが生成されない。この場合、シール部材３０が第１電極６の径方向外側に配置されているので、シール部材３０の付近で生成ガスが発生しないようにすることができ、シール部材３０が生成ガスによって腐食するのを防止することができる。 Further, in the present embodiment, the first electrode 6 and the second electrode 9 are circular, the material gas supply port 4 is arranged radially outside the first electrode 6, and the generated gas delivery port 5 is arranged 6, the flow of the material gas is directed from the radially outer side to the radially inner side, and discharge does not occur on the radially outer side of the first electrode 6, and a generated gas is generated from the material gas. not. In this case, since the seal member 30 is arranged radially outward of the first electrode 6, it is possible to prevent the generated gas from being generated in the vicinity of the seal member 30, thereby preventing the seal member 30 from being corroded by the generated gas. can be prevented.

以上、本発明の実施の形態を例示により説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて変更・変形することが可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above by way of examples, the scope of the present invention is not limited to these, and can be changed and modified according to the purpose within the scope described in the claims. be.

例えば、以上の説明では、電極間で放電を発生させることによってオゾンガスを生成する例について説明したが、電極間で放電を発生させることによって生成できるものであれば、オゾンガスに限られず、その他の生成ガスについても同様に実施可能である。 For example, in the above description, an example in which ozone gas is generated by generating an electric discharge between electrodes has been described. A gas can be implemented in the same manner.

また、図２では、第１電極６に、材料ガス出口１５が１つ設けられている例について説明したが、第１電極６には、複数の材料ガス出口１５が設けられても良い。例えば、図１５に示すように、第１電極６に、材料ガス出口１５が２つ設けられていても良い。 Moreover, although FIG. 2 illustrates an example in which the first electrode 6 is provided with one material gas outlet 15 , the first electrode 6 may be provided with a plurality of material gas outlets 15 . For example, as shown in FIG. 15, the first electrode 6 may be provided with two material gas outlets 15 .

以上のように、本発明にかかるガス生成装置は、生成ガスの発生効率をさらに高くすることができるという効果を有し、例えばオゾンガスを生成するオゾンガス生成装置等として有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the gas generator according to the present invention has the effect of further increasing the generation efficiency of the generated gas, and is useful, for example, as an ozone gas generator for generating ozone gas.

１ガス生成装置
２中央部材
３ベース部材
４材料ガス供給口
５生成ガス送出口
６第１電極
７第１電極面
８トレンチ溝
９第２電極
１０絶縁板
１１第２電極面
１２放電空間
１３ケーブル
１４冷却流路
１５材料ガス出口
１６生成ガス入口
１７ガス導入空間
１８入口部
１９出口部
２０冷却部
２１第１の部分流路
２２第２の部分流路
２３第３の部分流路
２４第４の部分流路
２５第５の部分流路
２６誘電板
２７導電膜
２８シム部材
２９シム部材挿入部
３０シール部材 Reference Signs List 1 gas generator 2 central member 3 base member 4 material gas supply port 5 generated gas delivery port 6 first electrode 7 first electrode surface 8 trench groove 9 second electrode 10 insulating plate 11 second electrode surface 12 discharge space 13 cable 14 Cooling channel 15 Material gas outlet 16 Generated gas inlet 17 Gas introduction space 18 Inlet part 19 Outlet part 20 Cooling part 21 First partial channel 22 Second partial channel 23 Third partial channel 24 Fourth part Flow path 25 Fifth partial flow path 26 Dielectric plate 27 Conductive film 28 Shim member 29 Shim member insertion portion 30 Seal member

Claims

a first electrode having a first electrode surface;
a second electrode disposed outside the first electrode and having a second electrode surface facing the first electrode surface;
a discharge space formed between the first electrode surface and the second electrode surface;
a material gas supply port for supplying material gas to the discharge space;
A generated gas feeder for sending a generated gas generated from the material gas by applying a voltage between the first electrode surface and the second electrode surface and generating a discharge in the discharge space to the outside of the device. an exit;
with
A plurality of trench grooves are formed in the first electrode,
The discharge space is connected to a gas introduction space for introducing the material gas from the material gas supply port,
A ratio P/D of the trench pitch P to the diameter D of the first electrode is set to 0.0020 to 0.0150,
The gas generator, wherein a ratio VT/VG of a volume VT of the trench space formed by the trench groove to a volume VG of the gas introduction space is set to 0.016 to 0.203.

A ratio P/D of the trench pitch P to the diameter D of the first electrode is set to 0.0023 to 0.0055,
2. The gas generator according to claim 1, wherein a ratio VT/VG of the volume VT of the trench space formed by the trench groove to the volume VG of the gas introduction space is set to 0.018 to 0.176.

The first electrode and the second electrode are circular in plan view, and the plurality of trench grooves are concentrically arranged in plan view,
3. The gas generator according to claim 1, wherein said discharge space is circular in plan view, and said gas introduction space is arranged radially outside said discharge space in plan view.

a first electrode having a first electrode surface;
a second electrode disposed outside the first electrode and having a second electrode surface facing the first electrode surface;
a discharge space formed between the first electrode surface and the second electrode surface;
a material gas supply port for supplying material gas to the discharge space;
A generated gas feeder for sending a generated gas generated from the material gas by applying a voltage between the first electrode surface and the second electrode surface and generating a discharge in the discharge space to the outside of the device. an exit;
a base member arranged outside the second electrode;
with
A cooling channel through which a cooling medium flows is formed inside the base member,
The cooling channel has an inlet through which the cooling medium flows into the inside of the base member, an outlet through which the cooling medium flows out from the inside of the base member , and between the inlet and the outlet. a cooling unit provided,
A ratio d1/d2 of the channel diameter d1 of the inlet portion to the channel diameter d2 of the cooling portion in a cross-sectional view of the channel is set to 0.25 to 1.0,
The gas generating device, wherein a ratio d2/d3 of the flow path diameter d2 of the cooling section to the flow path diameter d3 of the outlet section in a cross-sectional view of the flow path is set to 1.0 to 4.0.

a first electrode having a first electrode surface;
a second electrode disposed outside the first electrode and having a second electrode surface facing the first electrode surface;
a discharge space formed between the first electrode surface and the second electrode surface;
a material gas supply port for supplying material gas to the discharge space;
A generated gas feeder for sending a generated gas generated from the material gas by applying a voltage between the first electrode surface and the second electrode surface and generating a discharge in the discharge space to the outside of the device. an exit;
a base member arranged outside the second electrode;
with
A cooling channel through which a cooling medium flows is formed inside the base member,
The cooling channel includes an inlet through which the cooling medium flows into the inside of the base member, an outlet through which the cooling medium flows out from the inside of the base member , and between the inlet and the outlet. a cooling unit provided,
The gas generator, wherein a ratio S1/S2 of the area S1 of the cooling portion of the cooling channel to the area S2 of the first electrode is set to 0.45 to 0.93 in plan view.

The base member has a circular shape in plan view,
The cooling portion of the cooling channel is
a first partial channel connected to the inlet portion and concentric with the base member;
A second partial flow concentric with the base member, connected to the first partial flow channel, disposed radially inward of the first partial flow channel, and having a radius of curvature smaller than that of the first partial flow channel. road and
A third partial flow concentric with the base member, connected to the second partial flow channel, disposed radially outwardly of the second partial flow channel, and having a radius of curvature larger than that of the second partial flow channel. 6. The gas generator of claim 4 or claim 5, comprising: a channel.

The cooling portion of the cooling channel further comprises:
A fourth partial flow concentric with the base member, connected to the third partial flow path, arranged radially outwardly of the third partial flow path, and having a radius of curvature larger than that of the third partial flow path. road and
A fifth partial flow concentric with the base member, connected to the fourth partial flow channel, disposed radially outwardly of the fourth partial flow channel, and having a radius of curvature larger than that of the fourth partial flow channel. 7. The gas generator of claim 6, comprising: a channel;