JP7281363B2 - Light irradiation device - Google Patents

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Description

この発明は、光源としてLED(Light Emitting Diode)等の発光素子を備えた光照射装置に関し、特に、発光素子からの光を導光する反射ミラーを備えた光照射装置に関する。 The present invention relates to a light irradiation device having a light emitting element such as an LED (Light Emitting Diode) as a light source, and more particularly to a light irradiation device having a reflecting mirror for guiding light from the light emitting element.

従来、オフセット枚葉印刷用のインキとして、紫外光の照射により硬化する紫外線硬化型インキが用いられている。また、液晶パネルや有機EL(Electro Luminescence)パネル等、FPD(Flat Panel Display)のシール剤として、紫外線硬化樹脂が用いられている。このような紫外線硬化型インキや紫外線硬化樹脂の硬化には、一般に、紫外光を照射する光照射装置が用いられる(例えば、特許文献1)。 2. Description of the Related Art Conventionally, ultraviolet curable inks that are cured by irradiation with ultraviolet light have been used as inks for sheet-fed offset printing. Ultraviolet curable resins are used as sealants for FPDs (Flat Panel Displays) such as liquid crystal panels and organic EL (Electro Luminescence) panels. A light irradiation device that irradiates ultraviolet light is generally used for curing such ultraviolet curable inks and ultraviolet curable resins (for example, Patent Document 1).

特許文献1に記載の光照射装置は、複数の発光素子を有する発光素子モジュールと、複数の発光素子モジュールを包囲するように配置された反射筒部(反射ミラー)と、を備え、各発光素子から出射された紫外光を反射筒部によってミキシングして、前面パネル(カバーガラス)から出射するように構成されている。 The light irradiation device described in Patent Document 1 includes a light-emitting element module having a plurality of light-emitting elements, and a reflecting cylinder (reflecting mirror) arranged to surround the plurality of light-emitting element modules. The ultraviolet light emitted from the front panel (cover glass) is mixed by the reflecting cylinder and emitted from the front panel (cover glass).

特開2013-215661号公報JP 2013-215661 A

特許文献1の構成によれば、各発光素子から出射された紫外光が反射筒部(反射ミラー)によってミキシングされて出射されるため、照射対象物上において、均一な光強度分布が得られる。しかしながら、特許文献1の構成においては、紫外光が前面パネル(カバーガラス)を通って出射するため、紫外光の一部がカバーガラスの表面及び裏面で反射してしまうと、光通過領域内に意図しない迷光(戻り光)が発生するといった問題がある。また、光通過領域内に発生する迷光が意図しない方向に出射されてしまうと、照射対象物上の、本来光照射を意図していない領域に光の像(いわゆるゴースト)が形成されてしまうといった問題も発生する。 According to the configuration of Patent Document 1, the ultraviolet light emitted from each light emitting element is mixed and emitted by the reflecting tube portion (reflecting mirror), so a uniform light intensity distribution can be obtained on the irradiation target. However, in the configuration of Patent Document 1, since ultraviolet light is emitted through the front panel (cover glass), if part of the ultraviolet light is reflected on the front and back surfaces of the cover glass, There is a problem that unintended stray light (return light) is generated. In addition, if the stray light generated in the light passage area is emitted in an unintended direction, a light image (so-called ghost) is formed in an area on the irradiation target that is not originally intended to be irradiated with light. Problems also arise.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、カバーガラスを有する構成であっても、迷光の発生が低減された光照射装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a light irradiation device in which generation of stray light is reduced even in a configuration having a cover glass. .

本発明者は、鋭意検討した結果、カバーガラスの表面及び裏面での反射によって迷光が発生するが、照射対象物上に意図しない光の像(いわゆるゴースト)を形成するのは、カバーガラスへの入射角が比較的大きい(例えば、6°以上の)光の反射光であり、発光素子からの光を導光するミラーの長さを適切に調節したり、迷光を吸収する光吸収部を適切に配置したりすることにより、かかる迷光の発生を低く抑えることが可能であるとの知見を得た。本発明は、かかる知見に基づくものである。 As a result of intensive studies, the present inventors have found that stray light is generated by reflection on the front and back surfaces of the cover glass. It is reflected light of light with a relatively large incident angle (for example, 6° or more). It was found that the generation of such stray light can be suppressed to a low level by arranging the stray light. The present invention is based on such findings.

つまり、本発明の光照射装置は、基板と、基板の表面に配置された複数の発光素子と、を有する光源ユニットと、複数の発光素子の光軸に対して略垂直に配置されるカバーガラスと、複数の発光素子の光が通過する光通過領域を画定するように、複数の発光素子とカバーガラスとの間に配置される一対の仕切板と、光源ユニット、カバーガラス及び仕切板を収容するケースと、を備え、一対の仕切板は、カバーガラスに向かって広がるように、複数の発光素子の光軸に対して所定の角度で傾斜し、一対の仕切板の互いに対向する面の複数の発光素子側に、複数の発光素子からの光を導光するミラー面を有し、カバーガラス側に、光通過領域内で発生する迷光を吸収する光吸収部を有し、複数の発光素子からカバーガラスまでの距離をL1、複数の発光素子の光軸からカバーガラスと各仕切板との交点までの距離をL2、光吸収部の長さをL3、所定の角度をθ、としたときに、以下の条件式(1)を満たすことを特徴とする。

Figure 0007281363000001
That is, the light irradiation device of the present invention includes a light source unit having a substrate and a plurality of light emitting elements arranged on the surface of the substrate, and a cover glass arranged substantially perpendicular to the optical axis of the plurality of light emitting elements. and a pair of partition plates arranged between the plurality of light emitting elements and the cover glass so as to define a light passage area through which light from the plurality of light emitting elements passes, and the light source unit, the cover glass, and the partition plate. and a case where the pair of partition plates are inclined at a predetermined angle with respect to the optical axes of the plurality of light emitting elements so as to spread toward the cover glass, and the surfaces of the pair of partition plates facing each other has a mirror surface for guiding light from the plurality of light emitting elements on the side of the light emitting element, has a light absorbing portion for absorbing stray light generated in the light passing area on the side of the cover glass, and has a plurality of light emitting elements to the cover glass is L1, the distance from the optical axis of the plurality of light emitting elements to the intersection of the cover glass and each partition plate is L2, the length of the light absorbing portion is L3, and the predetermined angle is θ. In addition, the following conditional expression (1) is satisfied .
Figure 0007281363000001

このような構成によれば、光通過領域内で発生する迷光が光吸収部によって吸収されるため、ゴーストの発生が抑制され、均一な光強度分布が得られる。 According to such a configuration, the stray light generated in the light passage area is absorbed by the light absorbing portion, so that the occurrence of ghost is suppressed and a uniform light intensity distribution is obtained.

また、別の観点からは、本発明の光照射装置は、基板と、基板の表面に配置された複数の発光素子と、を有する光源ユニットと、複数の発光素子の光軸に対して略垂直に配置されるカバーガラスと、複数の発光素子の光を導光するミラー面がそれぞれ形成された一対の仕切板と、光源ユニット、カバーガラス及び仕切板を収容するケースと、を備え、一対の仕切板は、カバーガラスに向かって広がるように、複数の発光素子の光軸に対して所定の角度で傾斜しており、複数の発光素子からカバーガラスまでの距離をL1、複数の発光素子の光軸からカバーガラスと各仕切板の延長線との交点までの距離をL2、カバーガラスから各仕切板の端部までの距離をL3、所定の角度をθ、としたときに、以下の条件式(1)を満たし、

Figure 0007281363000002
ケースの内面に、ケース内で発生する迷光を吸収する光吸収部を有することを特徴とする。 From another point of view, the light irradiation device of the present invention comprises a light source unit having a substrate and a plurality of light emitting elements arranged on the surface of the substrate, and a light emitting device substantially perpendicular to the optical axis of the plurality of light emitting elements. a pair of partition plates each formed with a mirror surface for guiding light from a plurality of light emitting elements; and a case accommodating the light source unit, the cover glass, and the partition plate, The partition plate is inclined at a predetermined angle with respect to the optical axis of the plurality of light emitting elements so as to spread toward the cover glass. When the distance from the optical axis to the intersection of the cover glass and the extension line of each partition plate is L2, the distance from the cover glass to the edge of each partition plate is L3, and the predetermined angle is θ, the following conditions are satisfied: satisfies the formula (1),
Figure 0007281363000002
The inner surface of the case has a light absorbing portion that absorbs stray light generated in the case.

また、複数の発光素子のそれぞれを封止する複数の封止レンズをさらに備えることができる。また、この場合、各封止レンズは、封止レンズの出射面の中心部において、封止レンズの光軸方向に突出するように形成された凸部を有することができる。また、この場合、光源ユニットを複数有し、複数の光源ユニットは、それぞれ、発光波長の異なる発光素子を有し、光軸方向から見たときに、凸部の形状が、発光素子の発光波長に応じて異なることが望ましい。 Also, a plurality of sealing lenses that seal each of the plurality of light emitting elements can be further provided. Further, in this case, each sealing lens can have a convex portion formed so as to protrude in the optical axis direction of the sealing lens at the center of the exit surface of the sealing lens. Further, in this case, a plurality of light source units are provided, and each of the plurality of light source units has a light emitting element having a different emission wavelength. should be different depending on

また、複数の発光素子の光が、紫外線波長域の光であることが望ましい。 Moreover, it is desirable that the light emitted from the plurality of light emitting elements is light in the ultraviolet wavelength range.

以上のように、本発明によれば、カバーガラスを有する構成でありながらも、迷光の発生が低減された光照射装置が実現される。 As described above, according to the present invention, it is possible to realize a light irradiation device in which the generation of stray light is reduced even though it has a structure including a cover glass.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る光照射装置の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a light irradiation device according to a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の実施例1に係る光照射装置の構成を示す光線図である。FIG. 2 is a ray diagram showing the configuration of the light irradiation device according to the first embodiment of the present invention. 図3は、本発明の実施例1に係る光照射装置から出射される紫外光の様子を説明する図である。FIG. 3 is a diagram for explaining how ultraviolet light is emitted from the light irradiation device according to the first embodiment of the present invention. 図4は、本発明の比較例1に係る光照射装置の構成を示す光線図である。FIG. 4 is a ray diagram showing the configuration of a light irradiation device according to Comparative Example 1 of the present invention. 図5は、本発明の比較例1に係る光照射装置から出射される紫外光の様子を説明する図である。FIG. 5 is a diagram for explaining how ultraviolet light is emitted from a light irradiation device according to Comparative Example 1 of the present invention. 図6は、本発明の第2の実施形態に係る光照射装置の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the configuration of a light irradiation device according to a second embodiment of the present invention. 図7は、本発明の第3の実施形態に係る光照射装置の構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the configuration of a light irradiation device according to a third embodiment of the present invention. 図8は、図7のQ部の詳細を説明する図である。FIG. 8 is a diagram explaining the details of the Q section in FIG.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中同一又は相当部分には同一の符号を付してその説明は繰り返さない。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts in the drawings are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光照射装置100の構成を示す図であり、図1(a)は正面図であり、図1(b)は、図1(a)のA-A線断面図である。本実施形態の光照射装置100は、例えば、周辺露光装置等に組み込まれて、照射対象物W(図1において不図示)上の矩形状の照射エリアP(図1において不図示)に対し、紫外線波長域の光(以下、「紫外光」という。)を照射する装置である。なお、以下、本明細書においては、光照射装置100から出射される紫外光の長手方向(LED素子114の並び方向)をX軸方向、短手方向(つまり、図1の上下方向)をY軸方向、X軸及びY軸と直交する方向をZ軸方向と定義して説明する。
(First embodiment)
1A and 1B are diagrams showing the configuration of a light irradiation device 100 according to the first embodiment of the present invention, FIG. 1A is a front view, and FIG. It is a sectional view taken along line AA. For example, the light irradiation device 100 of the present embodiment is incorporated in a peripheral exposure device or the like, and for a rectangular irradiation area P (not shown in FIG. 1) on an irradiation target W (not shown in FIG. 1), It is a device that irradiates light in the ultraviolet wavelength range (hereinafter referred to as "ultraviolet light"). Hereinafter, in this specification, the longitudinal direction of the ultraviolet light emitted from the light irradiation device 100 (the direction in which the LED elements 114 are arranged) is the X-axis direction, and the lateral direction (that is, the vertical direction in FIG. 1) is the Y direction. A direction orthogonal to the axial direction, the X-axis and the Y-axis is defined as the Z-axis direction and explained.

図1に示すように、光照射装置100は、LEDユニット110(光源ユニット)と、仕切板120と、カバーガラス130と、アパーチャ140と、これらの部品を収容又は固定するケース150と、を備えている。 As shown in FIG. 1, the light irradiation device 100 includes an LED unit 110 (light source unit), a partition plate 120, a cover glass 130, an aperture 140, and a case 150 for housing or fixing these parts. ing.

本実施形態のLEDユニット110は、X軸に平行な2辺とY軸に平行な2辺を有する矩形状の基板112と、基板112上に、X軸方向に所定のピッチ(例えば、10mm)で並ぶ複数のLED素子114(発光素子)と、各LED素子114を封止するように配置された封止レンズ116と、冷却装置118と、を備えている。 The LED unit 110 of this embodiment includes a rectangular substrate 112 having two sides parallel to the X-axis and two sides parallel to the Y-axis. a plurality of LED elements 114 (light emitting elements) arranged in a row, a sealing lens 116 arranged to seal each LED element 114, and a cooling device 118.

各LED素子114には、任意の形状のものを使用することができるが、本実施形態では、2mm(X軸方向長さ)×2mm(Y軸方向長さ)の矩形状の外形を有するものを使用している。各LED素子114は、基板112上に搭載されて、基板112と電気的に接続されている。基板112は、ガラスエポキシ樹脂、セラミックス等から成る電子回路基板であり、不図示のLED駆動回路に接続されており、各LED素子114には、基板112を介してLED駆動回路からの駆動電流が供給されるようになっている。各LED素子114に駆動電流が供給されると、各LED素子114が駆動電流に応じた光量で発光し、所定の光量の紫外光が出射される。なお、本実施形態においては、各LED素子114は、LED駆動回路から駆動電流の供給を受けて、波長395nmの紫外光を出射するように構成されている。 Although any shape can be used for each LED element 114, in this embodiment, it has a rectangular outer shape of 2 mm (length in the X-axis direction) x 2 mm (length in the Y-axis direction). are using. Each LED element 114 is mounted on the substrate 112 and electrically connected to the substrate 112 . The substrate 112 is an electronic circuit board made of glass epoxy resin, ceramics, or the like, and is connected to an LED drive circuit (not shown). supplied. When a drive current is supplied to each LED element 114, each LED element 114 emits light with an amount of light corresponding to the drive current, and a predetermined amount of ultraviolet light is emitted. In this embodiment, each LED element 114 is configured to receive drive current from the LED drive circuit and emit ultraviolet light with a wavelength of 395 nm.

封止レンズ116は、各LED素子114を封止すると共に、各LED素子114から出射された紫外光を所定の広がり角の紫外光に成形する半球型又は砲弾型のレンズであり、例えば、紫外光を透過可能なシリコーン系の樹脂によって形成される。 The sealing lens 116 is a hemispherical or bullet-shaped lens that seals each LED element 114 and molds the ultraviolet light emitted from each LED element 114 into ultraviolet light with a predetermined spread angle. It is made of silicone-based resin that can transmit light.

冷却装置118は、基板112の裏面に密着するように配置され、各LED素子114で発生した熱を放熱する、いわゆる空冷ヒートシンクである。冷却装置118は、アルミニウムや銅等の熱伝導性の良好な材料からなる複数の放熱フィン(不図示)と、冷却ファン(不図示)等を備え、冷却ファンによって生成される気流によって、複数の放熱フィンが一様に冷却されるようになっている。LEDユニット110に電力が供給され、各LED素子114から紫外光が出射されると、LED素子114の自己発熱により温度が上昇し、発光効率が著しく低下するといった問題が発生するが、本実施形態においては、冷却装置118によって各LED素子114が一様に冷却されるため、かかる問題の発生が抑制される。 The cooling device 118 is a so-called air-cooling heat sink that is arranged in close contact with the back surface of the substrate 112 and dissipates heat generated by each LED element 114 . The cooling device 118 includes a plurality of heat radiation fins (not shown) made of a material with good thermal conductivity such as aluminum or copper, and a cooling fan (not shown). The radiator fins are uniformly cooled. When power is supplied to the LED unit 110 and ultraviolet light is emitted from each of the LED elements 114, the self-heating of the LED elements 114 raises the temperature, resulting in a significant drop in luminous efficiency. , the LED elements 114 are uniformly cooled by the cooling device 118, thereby suppressing the occurrence of such a problem.

仕切板120は、各LED素子114からの紫外光を導光すると共に、ケース150内で紫外光が通過する領域(光通過領域)を画定する一対の板状の部材である。本実施形態の一対の仕切板120は、LED素子114の光軸AXを対称軸として線対称となるように、光軸AXをY軸方向から挟み、前方(Z軸の正方向側)に向かって所定の傾斜角度θで広がるように配置されている。また、各仕切板120の内面(対向する面)のLED素子114側にはミラー面121が形成され、各仕切板120の内面(対向する面)のカバーガラス130側には光吸収部123(図1の灰色部)が形成されている。 The partition plate 120 is a pair of plate-like members that guide the ultraviolet light from each LED element 114 and define a region (light passage region) through which the ultraviolet light passes within the case 150 . The pair of partition plates 120 of the present embodiment sandwich the optical axis AX from the Y-axis direction so as to be symmetrical with respect to the optical axis AX of the LED element 114, and extend forward (positive direction of the Z-axis). are arranged so as to spread at a predetermined inclination angle .theta. A mirror surface 121 is formed on the inner surface (opposing surface) of each partition plate 120 on the LED element 114 side, and a light absorbing portion 123 ( 1) are formed.

ミラー面121は、各LED素子114からの紫外光をカバーガラス130に向けて導光する部材である。また、光吸収部123は、カバーガラス130の表面又は裏面で反射された戻り光(以下、「迷光」という。)を吸収する部材であり、本実施形態においては、ミラー面121のカバーガラス130側の一部を黒色の無電解ニッケルめっき又はクロムめっきを施すことによって形成される。本実施形態においては、光吸収部123によってケース150内の不要な迷光を吸収することによって、迷光に起因するゴースト(意図しない出射光)の発生を抑制している。より具体的には、LED素子114からカバーガラス130までの距離をL1、光軸AXから仕切板120の端部まで(つまり、カバーガラス130と仕切板120との交点まで)の距離をL2、X軸方向から見たときの光吸収部123の長さをL3、光軸AXに対するミラー面121の傾斜角度(つまり、仕切板120の傾斜角度)をθ、としたときに、以下の条件式(1)を満たすように構成し、ミラー面121に対して、ミラー面121の傾斜角度θの1.3倍以上の迷光が入射しないようになっている。つまり、ミラー面121の傾斜角度θの1.3倍以上の迷光は、光吸収部123で吸収されるようになっている。

Figure 0007281363000003
The mirror surface 121 is a member that guides the ultraviolet light from each LED element 114 toward the cover glass 130 . The light absorbing portion 123 is a member that absorbs return light (hereinafter referred to as “stray light”) reflected by the front surface or the back surface of the cover glass 130 . It is formed by applying black electroless nickel plating or chromium plating to a part of the side. In this embodiment, unnecessary stray light in the case 150 is absorbed by the light absorbing portion 123, thereby suppressing the occurrence of ghosts (unintended emitted light) caused by the stray light. More specifically, the distance from the LED element 114 to the cover glass 130 is L1, the distance from the optical axis AX to the edge of the partition plate 120 (that is, to the intersection of the cover glass 130 and the partition plate 120) is L2, Assuming that the length of the light absorbing portion 123 when viewed from the X-axis direction is L3, and the inclination angle of the mirror surface 121 with respect to the optical axis AX (that is, the inclination angle of the partition plate 120) is θ, the following conditional expression: (1) is satisfied, and stray light that is 1.3 times or more of the tilt angle θ of the mirror surface 121 is prevented from entering the mirror surface 121 . That is, stray light that is 1.3 times or more the tilt angle θ of the mirror surface 121 is absorbed by the light absorbing portion 123 .
Figure 0007281363000003

カバーガラス130は、ケース150の先端側(Z軸方向側)に配置され、出射窓として機能する、ガラス製の板状部材である。 The cover glass 130 is a plate-like member made of glass that is arranged on the tip side (Z-axis direction side) of the case 150 and functions as an emission window.

アパーチャ140は、光軸AXをY軸方向から挟むように、カバーガラス130の外側(Z軸方向側)に配置され、カバーガラス130から出射される紫外光を規制する、一対の金属の板状部材である。アパーチャ140のY軸方向の間隔を調整することにより、Y軸方向の照射範囲を調整することができるようになっている。 The apertures 140 are arranged outside (Z-axis direction side) of the cover glass 130 so as to sandwich the optical axis AX from the Y-axis direction, and are made of a pair of metal plates that regulate ultraviolet light emitted from the cover glass 130. It is a member. By adjusting the spacing of the apertures 140 in the Y-axis direction, the irradiation range in the Y-axis direction can be adjusted.

以下、本実施形態の光照射装置100の具体的な構成について、実施例(実施例1)及び比較例(比較例1)を挙げてさらに詳述する。 Hereinafter, the specific configuration of the light irradiation device 100 of the present embodiment will be described in further detail with reference to an example (Example 1) and a comparative example (Comparative Example 1).

実施例1の光照射装置100は図1に示した構成であり、上記の条件式(1)を満たすものである。図2は、本実施例の具体的な構成を示す光線図であり、図2(a)は、カバーガラス130に対して入射角:2°で入射する光線、図2(b)は、カバーガラス130に対して入射角:5.25°で入射する光線、図2(c)は、カバーガラス130に対して入射角:8°で入射する光線を示している。なお、本実施例においては、LED素子114からカバーガラス130までの距離をL1:106mm、光軸AXから仕切板120の端部までの距離をL2:36.377mm、X軸方向から見たときの光吸収部123の長さをL3:67mm、光軸AXに対するミラー面121の傾斜角度(つまり、仕切板120の傾斜角度)をθ:18°としている。なお、図2においては、説明の便宜のため、冷却装置118、ケース150等を省略し、ミラー面121は実線で示し、光吸収部123は破線で示している。 The light irradiation device 100 of Example 1 has the configuration shown in FIG. 1 and satisfies the above conditional expression (1). FIG. 2 is a ray diagram showing a specific configuration of this embodiment, FIG. 2(a) is a ray incident on the cover glass 130 at an incident angle of 2° A ray incident on the glass 130 at an incident angle of 5.25°, and FIG. 2C shows a ray incident on the cover glass 130 at an incident angle of 8°. In this embodiment, the distance from the LED element 114 to the cover glass 130 is L1: 106 mm, the distance from the optical axis AX to the edge of the partition plate 120 is L2: 36.377 mm, and when viewed from the X-axis direction The length of the light absorbing portion 123 is L3: 67 mm, and the inclination angle of the mirror surface 121 with respect to the optical axis AX (that is, the inclination angle of the partition plate 120) is θ: 18°. In FIG. 2, for convenience of explanation, the cooling device 118, the case 150, etc. are omitted, the mirror surface 121 is indicated by a solid line, and the light absorbing portion 123 is indicated by a broken line.

図2(a)に示すように、カバーガラス130に対して入射角:2°で入射する光線の場合、その殆どがカバーガラス130を透過して、照射対象物W上の矩形状の照射エリアPに入射する。また、仮にカバーガラス130に対して入射角:2°で入射する光線の一部がカバーガラス130の表面で反射されて、迷光が発生したとしても、かかる迷光は光強度が十分に小さい上に、ミラー面121によって反射されて再びカバーガラス130に対して入射角:2°で入射して、照射対象物W上の矩形状の照射エリアPに入射するため、いわゆるゴーストとなるものではない。 As shown in FIG. 2(a), in the case of light rays incident on the cover glass 130 at an incident angle of 2°, most of the rays pass through the cover glass 130, and the rectangular irradiation area on the irradiation object W incident on P. Further, even if part of the light beam incident on the cover glass 130 at an incident angle of 2° is reflected by the surface of the cover glass 130 and stray light is generated, the stray light has a sufficiently low light intensity and , the light is reflected by the mirror surface 121 and again enters the cover glass 130 at an incident angle of 2°, and enters the rectangular irradiation area P on the object W to be irradiated, so that it does not become a so-called ghost.

図2(b)に示すように、カバーガラス130に対して入射角:5.25°で入射する光線の場合、その殆どがカバーガラス130を透過して、照射対象物W上の矩形状の照射エリアPに入射する。また、仮にカバーガラス130に対して入射角:5.25°で入射する光線の一部がカバーガラス130の表面で反射されて、迷光が発生したとしても、かかる迷光は光強度が十分に小さい上に、ミラー面121によって反射されて、光吸収部123に入射するため、光吸収部123で吸収される。従って、かかる迷光は、いわゆるゴーストとなるものではない。 As shown in FIG. 2(b), most of the light rays incident on the cover glass 130 at an incident angle of 5.25° pass through the cover glass 130 and form a rectangular shape on the object W to be irradiated. Incident on the irradiation area P. Further, even if a portion of the light beam incident on the cover glass 130 at an incident angle of 5.25° is reflected by the surface of the cover glass 130 and stray light is generated, the light intensity of the stray light is sufficiently small. Since it is reflected by the mirror surface 121 and enters the light absorbing portion 123 , the light is absorbed by the light absorbing portion 123 . Therefore, such stray light does not become a so-called ghost.

図2(c)に示すように、カバーガラス130に対して入射角:8°で入射する光線の場合、その一部がカバーガラス130を透過して、照射対象物W上の矩形状の照射エリアPに入射するが、他の一部がカバーガラス130の表面で反射されて、迷光が発生する。しかし、かかる迷光は光吸収部123に入射して、吸収されてしまうため、いわゆるゴーストとなるものではない。 As shown in FIG. 2(c), in the case of a light beam incident on the cover glass 130 at an incident angle of 8°, part of the light beam passes through the cover glass 130 to form a rectangular irradiation on the object W to be irradiated. The light is incident on the area P, but another part is reflected by the surface of the cover glass 130 to generate stray light. However, since such stray light enters the light absorbing portion 123 and is absorbed, it does not become a so-called ghost.

このように、本実施例においては、上記の条件式(1)を満たし、強度的に無視できない、ミラー面121の傾斜角度θの1.3倍以上の迷光を、光吸収部123で吸収するように構成し、これによってゴーストの発生を抑制している。図3は、本実施例の光照射装置100から出射される紫外光の様子を説明する図であり、光照射装置100のカバーガラス130に対して略垂直となるように、Y-Z平面に平行なスクリーンを配置して、光照射装置100から出射される紫外光を投影したものである。図3に示すように、光照射装置100のカバーガラス130から出射される紫外光は、Z軸方向(図3の上方向)に離れるに従って広がり、スクリーン上には略台形状の紫外光の像が略均一な明るさで観測される。 As described above, in the present embodiment, the light absorbing portion 123 absorbs stray light that satisfies the above conditional expression (1) and that is 1.3 times or more the tilt angle θ of the mirror surface 121 and cannot be ignored in terms of intensity. , thereby suppressing the occurrence of ghosts. FIG. 3 is a diagram for explaining the state of ultraviolet light emitted from the light irradiation device 100 of the present embodiment. A parallel screen is arranged to project the ultraviolet light emitted from the light irradiation device 100 . As shown in FIG. 3, the ultraviolet light emitted from the cover glass 130 of the light irradiation device 100 spreads as it separates in the Z-axis direction (upward direction in FIG. 3), and a substantially trapezoidal image of the ultraviolet light appears on the screen. is observed with approximately uniform brightness.

比較例1Comparative example 1

図4は、比較例の光照射装置100Zの構成を示す光線図である。図4に示すように、本比較例の光照射装置100Zは、光吸収部123を備えず、各仕切板120の内面(対向する面)全体にミラー面121が形成されている点で、実施例1の光照射装置100と異なる。なお、図4は、図2(c)と同様、カバーガラス130に対して入射角:8°で入射する光線を示している。また、実施例1と同様、本変形例においても、LED素子114からカバーガラス130までの距離をL1:106mm、光軸AXに対するミラー面121の傾斜角度(つまり、仕切板120の傾斜角度)をθ:18°としている。 FIG. 4 is a ray diagram showing the configuration of a light irradiation device 100Z of a comparative example. As shown in FIG. 4, the light irradiation device 100Z of the present comparative example does not include the light absorbing portion 123, and the mirror surface 121 is formed on the entire inner surface (opposing surface) of each partition plate 120. It is different from the light irradiation device 100 of Example 1. FIG. It should be noted that FIG. 4 shows rays incident on the cover glass 130 at an incident angle of 8°, as in FIG. 2(c). Further, as in Example 1, also in this modification, the distance from the LED element 114 to the cover glass 130 is L1: 106 mm, and the inclination angle of the mirror surface 121 with respect to the optical axis AX (that is, the inclination angle of the partition plate 120) is θ: 18°.

図4に示すように、カバーガラス130に対して入射角:8°で入射する光線の場合、その一部がカバーガラス130を透過して、照射対象物W上の矩形状の照射エリアPに入射するが、他の一部がカバーガラス130の表面で反射されて、迷光が発生する。そして、かかる迷光はミラー面121によって反射されて再びカバーガラス130に対して入射角:28°で入射し、照射対象物W上の照射エリアPの外側を照射する。つまり、照射対象物W上にはゴースト(意図しない出射光)が発生する。図5は、本比較例の光照射装置100Zから出射される紫外光の様子を説明する図であり、光照射装置100Zのカバーガラス130に対して略垂直となるように、Y-Z平面に平行なスクリーンを配置して、光照射装置100Zから出射される紫外光を投影したものである。図5に示すように、光照射装置100Zのカバーガラス130から出射される紫外光は、Z軸方向(図5の上方向)に離れるに従って広がり、スクリーンの略中央部には、略台形状の紫外光の像が略均一な明るさで観測されるものの、該紫外光の像の左右に三角形状のゴーストが観測される。そして、図5と図3を比較すると明らかなように、実施例1の光照射装置100においてはゴーストが殆ど発生していないことがわかる。 As shown in FIG. 4, in the case of a light beam incident on the cover glass 130 at an incident angle of 8°, part of the light beam passes through the cover glass 130 and enters a rectangular irradiation area P on the object W to be irradiated. The light is incident, but another part is reflected by the surface of the cover glass 130 to generate stray light. Then, the stray light is reflected by the mirror surface 121 and re-enters the cover glass 130 at an incident angle of 28°, and illuminates the outside of the irradiation area P on the object W to be irradiated. That is, a ghost (unintended emitted light) is generated on the object W to be irradiated. FIG. 5 is a diagram for explaining the state of ultraviolet light emitted from the light irradiation device 100Z of this comparative example. A parallel screen is arranged to project the ultraviolet light emitted from the light irradiation device 100Z. As shown in FIG. 5, the ultraviolet light emitted from the cover glass 130 of the light irradiation device 100Z spreads as it separates in the Z-axis direction (upward direction in FIG. 5), and an approximately trapezoidal shape is formed at approximately the center of the screen. Although the ultraviolet light image is observed with substantially uniform brightness, triangular ghosts are observed on the left and right sides of the ultraviolet light image. As is clear from a comparison of FIGS. 5 and 3, it can be seen that almost no ghost occurs in the light irradiation device 100 of Example 1. FIG.

このように、本実施形態においては、上記の条件式(1)を満たし、強度的に無視できない、ミラー面121の傾斜角度θの1.3倍以上の迷光を、光吸収部123で吸収するように構成し、これによってゴーストの発生を抑制している。従って、照射エリアPにおいては意図したとおりの(つまり、設計値通りの)光量分布が得られる。 As described above, in the present embodiment, the light absorbing portion 123 absorbs stray light that satisfies the above conditional expression (1) and that is 1.3 times or more the tilt angle θ of the mirror surface 121 and cannot be ignored in terms of intensity. , thereby suppressing the occurrence of ghosts. Therefore, in the irradiation area P, the intended light amount distribution (that is, the designed value) can be obtained.

以上が本実施形態の説明であるが、本発明は、上記の構成に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内において様々な変形が可能である。 Although the present embodiment has been described above, the present invention is not limited to the above configuration, and various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

例えば、本実施形態の光照射装置100は、紫外光を出射する装置であるものとして説明したが、必ずしもこのような構成に限定されるものではなく、本発明は、白色光等、一般的な照明装置に適用することも可能である。 For example, the light irradiation device 100 of the present embodiment has been described as a device that emits ultraviolet light, but it is not necessarily limited to such a configuration, and the present invention can be applied to general light such as white light. It is also possible to apply it to a lighting device.

また、本実施形態においては、上記の条件式(1)を満たし、ミラー面121の傾斜角度θの1.3倍以上の迷光を、光吸収部123で吸収するように構成したが、必ずしもこのような構成に限定されるものではない。各仕切板120の内面のカバーガラス130側に光吸収部123を形成すると迷光が減少するため、光照射装置100の用途によっては必ずしも条件式(1)を満たす必要はない。 In the present embodiment, the above conditional expression (1) is satisfied, and stray light that is 1.3 times or more the tilt angle θ of the mirror surface 121 is absorbed by the light absorbing portion 123, but this is not necessarily the case. It is not limited to such a configuration. Since stray light is reduced by forming the light absorbing portion 123 on the cover glass 130 side of the inner surface of each partition plate 120 , conditional expression (1) does not necessarily need to be satisfied depending on the application of the light irradiation device 100 .

(第2の実施形態)
図6は、本発明の第2の実施形態に係る光照射装置200の構成を示す断面図である。本実施形態の光照射装置200は、仕切板220の長さが短く、各仕切板120の内面(対向する面)にミラー面221のみが形成され、ケース150の内壁面に光吸収材223が貼付されている点で、第1の実施形態の光照射装置100と異なる。そして、本実施形態においては、LED素子114からカバーガラス130までの距離をL1、光軸AXからカバーガラス130と仕切板120の延長線との交点までの距離をL2、X軸方向から見たときのカバーガラス130から仕切板120の端部までの距離をL3、光軸AXに対するミラー面121の傾斜角度(つまり、仕切板120の傾斜角度)をθ、として、上記の条件式(1)を満たすように構成されている。
(Second embodiment)
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of a light irradiation device 200 according to the second embodiment of the invention. In the light irradiation device 200 of this embodiment, the length of the partition plate 220 is short, only the mirror surface 221 is formed on the inner surface (facing surface) of each partition plate 120, and the light absorbing material 223 is provided on the inner wall surface of the case 150. It differs from the light irradiation device 100 of the first embodiment in that it is attached. In this embodiment, the distance from the LED element 114 to the cover glass 130 is L1, the distance from the optical axis AX to the intersection of the cover glass 130 and the partition plate 120 is L2, and the distance is L2 when viewed from the X-axis direction. Assuming that the distance from the cover glass 130 to the end of the partition plate 120 at this time is L3, and the inclination angle of the mirror surface 121 with respect to the optical axis AX (that is, the inclination angle of the partition plate 120) is θ, the above conditional expression (1) is configured to meet

つまり、本実施形態の構成によれば、強度的に無視できない、ミラー面221の傾斜角度θの1.3倍以上の迷光は、ミラー面221に当たらずに、光吸収材223に到達し、光吸収材223で吸収される。従って、第1の実施形態の光照射装置100と同様、ゴーストの発生が抑制される。 In other words, according to the configuration of the present embodiment, stray light whose intensity is not negligible and which is 1.3 times or more the tilt angle θ of the mirror surface 221 reaches the light absorbing material 223 without striking the mirror surface 221. It is absorbed by the light absorbing material 223 . Therefore, like the light irradiation device 100 of the first embodiment, the occurrence of ghosts is suppressed.

(第3の実施形態)
図7は、本発明の第3の実施形態に係る光照射装置300の構成を示す図であり、図7(a)は正面図であり、図7(b)は、図7(a)のA-A線断面図である。また、図8は、図7のQ部の詳細を説明する拡大図であり、図8(a)は、拡大平面図であり、図8(b)は、図8(a)のB-B断面図である。図7及び図8に示すように、本実施形態の光照射装置300は、3つのLEDユニット110、110A、110Bを備える点で第1の実施形態の光照射装置100と異なっている。
(Third Embodiment)
7A and 7B are diagrams showing the configuration of a light irradiation device 300 according to a third embodiment of the present invention, FIG. 7A is a front view, and FIG. It is a sectional view taken along line AA. 8 is an enlarged view for explaining the details of the Q portion of FIG. 7, FIG. 8(a) is an enlarged plan view, and FIG. 8(b) is a line BB of FIG. It is a cross-sectional view. As shown in FIGS. 7 and 8, the light irradiation device 300 of this embodiment differs from the light irradiation device 100 of the first embodiment in that it includes three LED units 110, 110A, and 110B.

3つのLEDユニット110、110A、110Bは、それぞれ、異なる発光波長のLED素子114、114A、114Bを有しており、本実施形態においては、LED素子114からは波長365nmの紫外光が出射され、LED素子114Aからは波長385nmの紫外光が出射され、LED素子114Bからは波長405nmの紫外光が出射されるようになっている。 The three LED units 110, 110A, and 110B respectively have LED elements 114, 114A, and 114B with different emission wavelengths, and in this embodiment, the LED elements 114 emit ultraviolet light with a wavelength of 365 nm, Ultraviolet light with a wavelength of 385 nm is emitted from the LED element 114A, and ultraviolet light with a wavelength of 405 nm is emitted from the LED element 114B.

また、図8に示すように、本実施形態においては、各LED素子114、114A、114Bを封止すると共に、各LED素子114、114A、114Bから出射される紫外光に指向性を付与する封止レンズ116、116A、116Bを備えている。本実施形態の封止レンズ116、116A、116Bは、それぞれ、光軸116x、116Ax、116Bxと垂直な方向の断面が略円形の半球状の形状を呈しており、各LED素子114、114A、114Bから出射された紫外光が、封止レンズ116、116A、116Bを通過する構成となっている。また、各封止レンズ116、116A、116Bの出射面の略中心部(つまり、頂点部)には、Z軸方向(光軸方向)に突出する、凸部116a、116Aa、116Baが形成されている。凸部116a、116Aa、116Baは、それぞれ各114、114A、114Bを識別するための識別マークとして機能する部位であり、図8(a)において破線で示すように、本実施形態においては、凸部116aは四角柱状に突出し、凸部116Aaは三角柱状に突出し、また凸部116Baは円柱状に突出している。 Further, as shown in FIG. 8, in the present embodiment, the LED elements 114, 114A, and 114B are sealed, and the ultraviolet light emitted from each LED element 114, 114A, and 114B is provided with directivity. Stop lenses 116, 116A, 116B are provided. The sealing lenses 116, 116A, and 116B of the present embodiment have semispherical shapes with substantially circular cross sections in the direction perpendicular to the optical axes 116x, 116Ax, and 116Bx, respectively. The ultraviolet light emitted from is passed through sealing lenses 116, 116A, and 116B. Convex portions 116a, 116Aa, and 116Ba projecting in the Z-axis direction (optical axis direction) are formed at approximately the center portions (that is, vertex portions) of the exit surfaces of the sealing lenses 116, 116A, and 116B. there is The convex portions 116a, 116Aa, and 116Ba are portions that function as identification marks for identifying the respective 114, 114A, and 114B, respectively. 116a projects in the shape of a quadrangular prism, the projection 116Aa projects in the shape of a triangular prism, and the projection 116Ba projects in the shape of a cylinder.

このように、本実施形態においては、封止レンズ116、116A、116Bが、識別マークとして機能する凸部116a、116Aa、116Baを有しているため、封止レンズ116、116A、116Bが取り付けられた後であっても、凸部116a、116Aa、116Baの形状から、その直下に位置するLEDの種類(つまり、波長)を特定することができる。また、本実施形態の光照射装置300は、Y軸方向において、波長の異なる3種類のLED素子114、114A、114Bを有するため、Y軸方向において非対称となり、方向性を有するものとなるが、凸部116a、116Aa、116Baの形状の違いから、光照射装置300の方向性を認識することができる。従って、光照射装置300の取り付け工程において、光照射装置300の取り付け姿勢(つまり、向き)を間違えることもない。 Thus, in this embodiment, since the sealing lenses 116, 116A, and 116B have the projections 116a, 116Aa, and 116Ba functioning as identification marks, the sealing lenses 116, 116A, and 116B are attached. Even after the projections 116a, 116Aa, and 116Ba, the type (that is, the wavelength) of the LED positioned directly below can be specified from the shape of the projections 116a, 116Aa, and 116Ba. In addition, since the light irradiation device 300 of this embodiment has three types of LED elements 114, 114A, and 114B with different wavelengths in the Y-axis direction, it is asymmetrical in the Y-axis direction and has directivity. The directionality of the light irradiation device 300 can be recognized from the difference in the shape of the convex portions 116a, 116Aa, and 116Ba. Therefore, in the mounting process of the light irradiation device 300, the mounting posture (that is, direction) of the light irradiation device 300 is not mistaken.

なお、図7(b)に示すように、本実施形態においても第1の実施形態と同様、一対の仕切板120が、LEDユニット110、110A、110Bの光路をY軸方向から挟み、前方(Z軸の正方向側)に向かって所定の傾斜角度θで広がるように配置されている。また、各仕切板120の内面(対向する面)にはミラー面121が形成され、各仕切板120の内面(対向する面)のカバーガラス130側には光吸収部123(図7の灰色部)が形成されている。また、図7(b)に示すように、本実施形態においては、Y軸方向において最も外側に位置するLED素子114(又は114B)からカバーガラス130までの距離をL1、LED素子114(又は114B)の光軸AXから仕切板120の端部まで(つまり、カバーガラス130と仕切板120との交点まで)の距離をL2として、上記条件式(1)を満たすように構成されている。 As shown in FIG. 7B, also in this embodiment, as in the first embodiment, a pair of partition plates 120 sandwich the optical paths of the LED units 110, 110A, and 110B from the Y-axis direction and forward ( It is arranged so as to widen at a predetermined inclination angle θ toward the positive side of the Z axis). A mirror surface 121 is formed on the inner surface (facing surface) of each partition plate 120, and a light absorbing portion 123 (the gray portion in FIG. 7) is formed on the inner surface (facing surface) of each partition plate 120 on the cover glass 130 side. ) is formed. Further, as shown in FIG. 7B, in the present embodiment, the distance from the outermost LED element 114 (or 114B) to the cover glass 130 in the Y-axis direction is L1, and the distance from the LED element 114 (or 114B) is L1. ) from the optical axis AX to the edge of the partition plate 120 (that is, to the intersection of the cover glass 130 and the partition plate 120) is L2, and the above conditional expression (1) is satisfied.

なお、本実施形態においては、発光波長の異なる3つのLEDユニット110、110A、110Bを備える構成を説明したが、必ずしもこのような構成に限定されるものではなく、LEDユニット110の数及び発光波長は、光照射装置300の仕様に応じて適宜設定される。 In this embodiment, a configuration including three LED units 110, 110A, and 110B with different emission wavelengths was described, but the configuration is not necessarily limited to such a configuration. is appropriately set according to the specifications of the light irradiation device 300 .

また、本実施形態の3つのLEDユニット110、110A、110Bは、それぞれ、発光波長の異なるLED素子114、114A、114Bを有しているとしたが、必ずしもこのような構成に限定されるものではなく、全てのLEDユニット110、110A、110Bに同一のLED素子を搭載する(つまり、1種類の発光波長で構成する)こともできる。 Also, although the three LED units 110, 110A, and 110B of the present embodiment have LED elements 114, 114A, and 114B with different emission wavelengths, respectively, the configuration is not necessarily limited to this. Instead, the same LED elements can be mounted on all the LED units 110, 110A, and 110B (that is, they can be configured with one kind of emission wavelength).

また、本実施形態の複数のLED素子114、114A、114Bは、X軸方向に沿って等間隔に整列配置され、全体として正方格子状に配置されるものとしたが、このような構成に限定されるものではなく、全体として千鳥状に配置されてもよく、またランダムに配置されてもよい。 In addition, the plurality of LED elements 114, 114A, and 114B of the present embodiment are aligned at equal intervals along the X-axis direction, and are arranged in a square lattice as a whole. Instead, they may be arranged in a zigzag pattern as a whole, or may be arranged randomly.

なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。 It should be noted that the embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and should not be considered restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the scope and meaning of equivalents of the scope of the claims.

100、200、300 :光照射装置
100Z :光照射装置
110、110A、110B :LEDユニット
112 :基板
114、114A、114B :LED素子
116、116A、116B :封止レンズ
116a、116Aa、116Ba :凸部
116x、116Ax、116Bx :光軸
118 :冷却装置
120、220 :仕切板
121、221 :ミラー面
123、223 :光吸収部
130 :カバーガラス
140 :アパーチャ
150 :ケース
100, 200, 300: light irradiation device 100Z: light irradiation devices 110, 110A, 110B: LED unit 112: substrates 114, 114A, 114B: LED elements 116, 116A, 116B: sealing lenses 116a, 116Aa, 116Ba: convex portions 116x, 116Ax, 116Bx: optical axis 118: cooling devices 120, 220: partition plates 121, 221: mirror surfaces 123, 223: light absorbing portion 130: cover glass 140: aperture 150: case

Claims (6)

基板と、前記基板の表面に配置された複数の発光素子と、を有する光源ユニットと、
前記複数の発光素子の光軸に対して略垂直に配置されるカバーガラスと、
前記複数の発光素子の光が通過する光通過領域を画定するように、前記複数の発光素子と前記カバーガラスとの間に配置される一対の仕切板と、
前記光源ユニット、前記カバーガラス及び前記仕切板を収容するケースと、
を備え、
前記一対の仕切板は、前記カバーガラスに向かって広がるように、前記複数の発光素子の光軸に対して所定の角度で傾斜し、
前記一対の仕切板の互いに対向する面の前記複数の発光素子側に、前記複数の発光素子からの光を導光するミラー面を有し、前記カバーガラス側に、前記光通過領域内で発生する迷光を吸収する光吸収部を有し、
前記複数の発光素子から前記カバーガラスまでの距離をL1、前記複数の発光素子の光軸から前記カバーガラスと前記各仕切板との交点までの距離をL2、前記光吸収部の長さをL3、前記所定の角度をθ、としたときに、以下の条件式(1)を満たすことを特徴とする光照射装置。
Figure 0007281363000004
a light source unit having a substrate and a plurality of light emitting elements arranged on the surface of the substrate;
a cover glass arranged substantially perpendicular to the optical axes of the plurality of light emitting elements;
a pair of partition plates arranged between the plurality of light emitting elements and the cover glass so as to define a light passing region through which light from the plurality of light emitting elements passes;
a case that houses the light source unit, the cover glass, and the partition plate;
with
the pair of partition plates are inclined at a predetermined angle with respect to the optical axes of the plurality of light emitting elements so as to spread toward the cover glass;
A mirror surface for guiding the light from the plurality of light emitting elements is provided on the side of the plurality of light emitting elements on the surfaces facing each other of the pair of partition plates, and the light is generated in the light passing area on the side of the cover glass. has a light absorbing portion that absorbs stray light that
The distance from the plurality of light emitting elements to the cover glass is L1, the distance from the optical axis of the plurality of light emitting elements to the intersection of the cover glass and each partition plate is L2, and the length of the light absorbing portion is L3. and a light irradiation device that satisfies the following conditional expression (1), where θ is the predetermined angle .
Figure 0007281363000004
基板と、前記基板の表面に配置された複数の発光素子と、を有する光源ユニットと、
前記複数の発光素子の光軸に対して略垂直に配置されるカバーガラスと、
前記複数の発光素子の光を導光するミラー面がそれぞれ形成された一対の仕切板と、
前記光源ユニット、前記カバーガラス及び前記仕切板を収容するケースと、
を備え、
前記一対の仕切板は、前記カバーガラスに向かって広がるように、前記複数の発光素子の光軸に対して所定の角度で傾斜しており、
前記複数の発光素子から前記カバーガラスまでの距離をL1、前記複数の発光素子の光軸から前記カバーガラスと前記各仕切板の延長線との交点までの距離をL2、前記カバーガラスから前記各仕切板の端部までの距離をL3、前記所定の角度をθ、としたときに、以下の条件式(1)を満たし、
Figure 0007281363000005
前記ケースの内面に、前記ケース内で発生する迷光を吸収する光吸収部を有することを特徴とする光照射装置。
a light source unit having a substrate and a plurality of light emitting elements arranged on the surface of the substrate;
a cover glass arranged substantially perpendicular to the optical axes of the plurality of light emitting elements;
a pair of partition plates each formed with a mirror surface for guiding light from the plurality of light emitting elements;
a case that houses the light source unit, the cover glass, and the partition plate;
with
The pair of partition plates are inclined at a predetermined angle with respect to the optical axes of the plurality of light emitting elements so as to spread toward the cover glass,
L1 is the distance from the plurality of light emitting elements to the cover glass, L2 is the distance from the optical axis of the plurality of light emitting elements to the intersection of the cover glass and the extension lines of the partition plates, and L2 is the distance from the cover glass to the respective partition plates. When the distance to the edge of the partition plate is L3 and the predetermined angle is θ, the following conditional expression (1) is satisfied,
Figure 0007281363000005
A light irradiation device , wherein the inner surface of the case has a light absorbing portion that absorbs stray light generated within the case .
前記複数の発光素子のそれぞれを封止する複数の封止レンズをさらに備えることを特徴とする請求項1又は請求項に記載の光照射装置。 3. The light irradiation device according to claim 1 , further comprising a plurality of sealing lenses for sealing each of said plurality of light emitting elements. 前記各封止レンズは、該封止レンズの出射面の中心部において、該封止レンズの光軸方向に突出するように形成された凸部を有することを特徴とする請求項に記載の光照射装置。 4. The sealing lens according to claim 3 , wherein each sealing lens has a convex portion formed so as to protrude in the optical axis direction of the sealing lens at the center of the exit surface of the sealing lens. Light irradiation device. 前記光源ユニットを複数有し、
前記複数の光源ユニットは、それぞれ、発光波長の異なる前記発光素子を有し、
前記光軸方向から見たときに、前記凸部の形状が、前記発光素子の発光波長に応じて異なる
ことを特徴とする請求項に記載の光照射装置。
Having a plurality of the light source units,
each of the plurality of light source units has the light emitting element having a different emission wavelength,
5. The light irradiation device according to claim 4 , wherein the shape of the convex portion differs according to the emission wavelength of the light emitting element when viewed from the optical axis direction.
前記複数の発光素子の光が、紫外線波長域の光であることを特徴とする請求項1から請求項のいずれか一項に記載の光照射装置。 6. The light irradiation device according to any one of claims 1 to 5 , wherein the light emitted from the plurality of light emitting elements is light in an ultraviolet wavelength range.
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