JP7278525B2 - 内部構造評価のためのプログラム、方法および装置 - Google Patents
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Description
図1(a)、(b)は、それぞれ光音響測定システム100および光音響顕微鏡130を示す概略図である。図1(a)に示すように光音響測定システム100は、PC110、スキャナコントローラ122、スイッチング回路125、パルスレーザ光源128、光音響顕微鏡130、ステージ140、フォトデテクタ150、DAQ160、アンプ170、レシーバ180を有している。
図2は、PC110の構成を示すブロック図である。PC110は、プロセッサおよびメモリを有する内部構造評価のための装置の一例であり、光音響法による測定データを用いて被検体S1の内部構造を評価する。PC110は、パルスレーザ制御部111、モニタデータ管理部112、基準データ管理部113、測定データ管理部114、位置算出部115、マッピング部116、マッピング重畳部117および再構成部118を有している。
次に、上記のように構成された光音響測定システム100を用いた内部構造評価のための方法を説明する。図3は、被検体S1の内部構造評価のための方法全体を示すフローチャートである。
(光音響波の発生原理)
レーザ光を物質に照射すると、物質の光学特性に従って散乱あるいは吸収される。吸収されたエネルギーで光熱的作用や光化学的作用が生じる。非常に短いパルス幅で光を物質に照射すると短時間に熱膨張が生じ、これによって応力が生じる。この原理を利用して、超音波領域の光音響波を発生させる。発生した光音響波のプロファイルは、使用するレーザ光の波長やパルス幅に依存する。また、z=0にレーザ光が一様に照射されたときの深さ+z方向に分布する光音響波の圧力pは、光吸収係数とグリュナイゼン係数Γ(=K/Cp/ρ)に比例する。
ここでは開口合成法(SAFT)による被検体内部の3次元映像化を行う。図5は、光音響顕微鏡130の照射位置周辺を示す断面図である。音速分布の方向依存性を考慮したSAFTにおいて、図5に示すようにレーザ光の照射点の座標をoiとすると、i点でレーザ光を照射後、同位置で受信した光音響波形はV(oi,t)と表せる。
(概要)
CFRPの光学特性について調査し、CFRP内部を伝搬する光音響波の群速度について確認した。積層方向が互いに直交するCFRP(クロスプライCFRP)の供試体を用意し、その表面直下に深さの異なる人工剥離を作成した。光音響波がCFRPの表層で主に発生することを利用し、光を供試体の表面に集束させた。光音響波の検出には開口合成法を適用した。
光音響測定システム100では、被検体を水没させて測定がなされる。図6は、CFRPおよび水の特性値を示す表である。図6には、CFRPと水のグリュナイゼン係数が記載されている。CFRPのパラメータは、炭素繊維と樹脂のパラメータから複合則を用いて算出できる。光音響波は被検体の表面から伝搬を開始するものとして、アルゴリズムを構築することができる。
CFRPは、炭素繊維の配向方向や積層数によって強度が変化する。図7(a)~(c)は、それぞれCFRP供試体の外観を示す写真、構造を示す概略図および顕微鏡写真である。図7(a)、(b)に示すように、CFRP供試体は、炭素繊維がx方向とy方向に交互に配向したクロスプライ(CP)CFRPである。
パルスレーザ光源はLitron社製NanoL90-100を用いた。小型QスイッチNd:YAGレーザを用いた。光の波長は532nmであり、パルス幅は4ns、周波数は100Hzであり、光源から出射したレーザ光の強度は0.6mJであった。
式(1)と図6より、CFRPにおける光音響波は水との接触面(CFRP表面)で卓越して発生しているものと仮定した。すなわち、時刻tの波動は、レーザ光の照射点のCFRP表面で発生した光音響波が、内部の散乱体から戻ってくるまでの時間とみなすことができる。光音響波の速度分布gを考慮すると、照射点oiと散乱源rまでの距離r(=|r-oi|)は式(3)で与えられる。
光音響測定システム100で得られた波形を元に、SAFTを用いたCFRP中の人工剥離の映像化について検証する。図9(a)、(b)は、供試体中の剥離の位置を示す斜視図および写真である。図9(a)、(b)に示す供試体は、映像化実験のために作製したものである。
図10(a)、(b)は、それぞれA点およびB点における光音響波を示すグラフである。図10(a)、(b)には、光音響測定システム100で取得した波形の例が示されている。図10(a)、(b)は、図9(b)に示すA点とB点で、それぞれ取得した波形である。
パルスレーザの照射をラスタスキャンし、CFRP供試体の3次元像をイメージングした。x-yステージのスキャンピッチは50μmであり、サンプリングレートは500MHzであった。SAFTで用いた開口はd0=0.5mmであった。また、100kHzのハイパスフィルタを受信波形に作用させた。
本発明の光音響波を利用した非破壊検査法により、CFRPの表面直下の剥離の評価において表面直下の剥離のイメージングが可能になった。光音響波を発生する光音響測定システム100により、532nmのレーザ光をCFRPの上部から照射し、CFRPの表面で発生したMHz帯の光音響波を集束型プローブで受信した。
110 装置
111 パルスレーザ制御部
112 モニタデータ管理部
113 基準データ管理部
114 測定データ管理部
115 位置算出部
116 マッピング部
117 マッピング重畳部
118 再構成部
122 スキャナコントローラ
125 スイッチング回路
128 パルスレーザ光源
130 光音響顕微鏡
132 ファイバ
134 レンズ
135 ビームスプリッタ
136 アキシコンレンズ
137 反射プリズム
138 トランスデューサ
140 ステージ
150 フォトデテクタ
160 DAQ
170 アンプ
180 レシーバ
C1 焦点領域
S1 被検体
Claims (6)
- 光音響法による散乱波を用いた被検体の内部構造評価のためのプログラムであって、
被検体内における音響波の速度分布を仮定する基準データを準備する処理と、
パルスレーザを照射した前記被検体上の複数の照射位置のうちの特定位置において時刻ごとに測定された音響波の振幅を表す測定データおよび前記基準データに基づいて、前記特定位置から光音響波が散乱された散乱源の位置を算出する処理と、
前記測定データを前記散乱源の位置にマッピングする処理と、
前記複数の照射位置の各々に対して、前記散乱源の位置の算出および前記マッピングを繰り返させ、前記マッピングを重ね合わせる処理と、をコンピュータに実行させ、
前記基準データは、前記被検体内において音響波の速度分布に異方性を有するように設定された3次元の群速度であり、
前記基準データは、ユーザに設定されることを特徴とするプログラム。 - 前記基準データにおいて、事前に把握された前記被検体の形状または構造に応じて音響波の速度分布が設定されていることを特徴とする請求項1記載のプログラム。
- 前記散乱源の位置での光音響波の速度で前記光音響波が前記特定位置から前記散乱源で散乱され前記特定位置に戻ってくると仮定し、前記散乱源の位置を算出することを特徴とする請求項1または請求項2記載のプログラム。
- 前記測定データは、開口合成法で取得されたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のプログラム。
- 光音響法による散乱波を用いた被検体の内部構造評価のための方法であって、
被検体内における音響波の速度分布を仮定する基準データを準備するステップと、
パルスレーザを照射した前記被検体上の複数の照射位置のうちの特定位置において時刻ごとに測定された音響波の振幅を表す測定データおよび前記基準データに基づいて、前記特定位置から光音響波が散乱された散乱源の位置を算出するステップと、
前記測定データを前記散乱源の位置にマッピングするステップと、
前記複数の照射位置の各々に対して、前記散乱源の位置の算出および前記マッピングを繰り返させ、前記マッピングを重ね合わせるステップと、を含み、
前記基準データは、前記被検体内において音響波の速度分布に異方性を有するように設定された3次元の群速度であり、
前記基準データは、ユーザに設定されることを特徴とする方法。 - 光音響法による散乱波を用いた被検体の内部構造評価のための装置であって、
被検体内における音響波の速度分布を仮定する基準データを管理する基準データ管理部と、
パルスレーザを照射した前記被検体上の複数の照射位置のうちの特定位置において時刻ごとに測定された音響波の振幅を表す測定データおよび前記基準データに基づいて、前記特定位置から光音響波が散乱された散乱源の位置を算出する位置算出部と、
前記測定データを前記散乱源の位置にマッピングするマッピング部と、
前記複数の照射位置の各々に対して、前記散乱源の位置の算出および前記マッピングを繰り返させ、前記マッピングを重ね合わせるマッピング重畳部と、を備え、
前記基準データは、前記被検体内において音響波の速度分布に異方性を有するように設定された3次元の群速度であり、
前記基準データは、ユーザに設定されることを特徴とする装置。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005195594A (ja) | 2003-12-29 | 2005-07-21 | General Electric Co <Ge> | 異方性材料の欠陥を検出する方法 |
US20070044561A1 (en) | 2005-07-27 | 2007-03-01 | Engstrand Cody R | Inspection of composite materials |
JP2009524803A (ja) | 2006-01-27 | 2009-07-02 | フラウンホファー ゲセルシャフトツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ. | 少なくとも1つの音響異方性材料領域を有する被検体の非破壊検査方法 |
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- 2019-03-20 JP JP2019053640A patent/JP7278525B2/ja active Active
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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唐川和輝 ほか,開口合成法を用いたCFRPのきずの光音響イメージング,超音波による非破壊評価シンポジウム講演論文集,2019年01月30日,Vol.26,p.35-36 |
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JP2020153866A (ja) | 2020-09-24 |
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