JP7273587B2 - Boron nitride powder and resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、窒化ホウ素粉末及び樹脂組成物に関する。 The present invention relates to boron nitride powders and resin compositions.

パワーデバイス、トランジスタ、サイリスタ、CPU等の電子部品においては、使用時に発生する熱を効率的に放熱することが課題となっている。この課題に対して、従来、電子部品を実装するプリント配線板の絶縁層の高熱伝導化や、電子部品又はプリント配線板を電気絶縁性の熱インターフェース材(Thermal Interface Materials)を介してヒートシンクに取り付けることが行われてきた。このような絶縁層及び熱インターフェース材には、熱伝導率が高いセラミックス粉末が用いられる。 Electronic components such as power devices, transistors, thyristors, and CPUs face the challenge of efficiently dissipating heat generated during use. In order to solve this problem, conventionally, the insulating layer of a printed wiring board on which electronic components are mounted has a high thermal conductivity, or the electronic components or printed wiring board is attached to a heat sink via an electrically insulating thermal interface material. things have been done. Ceramic powder with high thermal conductivity is used for such insulating layers and thermal interface materials.

セラミックス粉末としては、高熱伝導率、高絶縁性、低比誘電率等の特性を有している窒化ホウ素粉末が注目されている。例えば、特許文献1には、凝集体の形状を一層球状化して充填性を高めると共に、粉末強度の向上を図り、さらには高純度化により、当該粉末を充填した伝熱シート等の絶縁性の向上および耐電圧の安定化を達成した六方晶窒化ホウ素粉末として、一次粒子の長径と厚みの比が平均で5~10で、一次粒子の凝集体の大きさが平均粒径(D50)で2μm以上200μm以下で、嵩密度が0.5~1.0g/cmであることを特徴とする六方晶窒化ホウ素粉末が開示されている。 Boron nitride powder, which has properties such as high thermal conductivity, high insulation, and low relative dielectric constant, has attracted attention as a ceramic powder. For example, in Patent Document 1, the shape of the aggregate is made more spherical to improve the packing property, and the strength of the powder is improved. As a hexagonal boron nitride powder that achieves improved and stabilized withstand voltage, the ratio of the major diameter and thickness of primary particles is on average 5 to 10, and the size of aggregates of primary particles is 2 μm in average particle diameter (D50). A hexagonal boron nitride powder characterized by having a particle size of 200 μm or less and a bulk density of 0.5 to 1.0 g/cm 3 is disclosed.

特開2011-98882号公報JP 2011-98882 A

しかしながら、従来の窒化ホウ素粉末においては、耐電圧性の点で未だ改善の余地がある。そこで、本発明は、窒化ホウ素粉末の耐電圧性を向上させることを目的とする。 However, conventional boron nitride powder still has room for improvement in terms of withstand voltage. Accordingly, an object of the present invention is to improve the voltage resistance of boron nitride powder.

本発明者らが、耐電圧性の向上のために検討したところ、粒径が比較的小さい窒化ホウ素粉末と、粒径が比較的大きい窒化ホウ素粉末とを併用することが有効であることを見出した。 The inventors of the present invention have studied to improve the voltage resistance, and found that it is effective to use a boron nitride powder having a relatively small particle size and a boron nitride powder having a relatively large particle size in combination. rice field.

本発明の一側面は、体積基準の粒度分布において、5μm以上30μm未満の領域に存在するピークAと、50μm以上100μm未満の領域に存在するピークBとを有する、窒化ホウ素粉末である。 One aspect of the present invention is a boron nitride powder having a volume-based particle size distribution having a peak A existing in a region of 5 μm or more and less than 30 μm and a peak B existing in a region of 50 μm or more and less than 100 μm.

窒化ホウ素粉末の粉末X線回折法における(100)面のピーク強度I(100)に対する(002)面のピーク強度I(002)の比I(002)/I(100)は、9.0以下であってよい。 The ratio I (002) / I (100) of the peak intensity I (002) of the (002) plane to the peak intensity I (100) of the (100) plane in the powder X-ray diffraction method of the boron nitride powder is 9.0 or less. can be

ピークBにおける極大頻度は、ピークAにおける極大頻度より大きくてよい。 The maximum frequency at peak B may be greater than the maximum frequency at peak A.

本発明の他の一側面は、樹脂と、上記の窒化ホウ素粉末と、を含有する樹脂組成物である。 Another aspect of the present invention is a resin composition containing a resin and the above boron nitride powder.

本発明の他の一側面は、窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなり、体積基準の粒度分布において5μm以上30μm未満の領域に最頻径を有する窒化ホウ素粉末Aと、窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなり、体積基準の粒度分布において50μm以上100μm未満の領域に最頻径を有する窒化ホウ素粉末Bと、を混合する工程を備える、窒化ホウ素粉末の製造方法である。 In another aspect of the present invention, the primary particles of boron nitride are aggregated, and the boron nitride powder A having a mode diameter in the region of 5 μm or more and less than 30 μm in the volume-based particle size distribution, and the primary particles of boron nitride A method for producing a boron nitride powder comprising a step of mixing boron nitride powder B which is agglomerated and has a mode diameter in the region of 50 μm or more and less than 100 μm in a volume-based particle size distribution.

上記工程において、窒化ホウ素粉末Bの体積割合が窒化ホウ素粉末Aの体積割合より多くなるように、窒化ホウ素粉末Aと窒化ホウ素粉末Bとを混合してよい。 In the above process, the boron nitride powder A and the boron nitride powder B may be mixed so that the volume ratio of the boron nitride powder B is larger than the volume ratio of the boron nitride powder A.

本発明の他の一側面は、樹脂と、窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなり、体積基準の粒度分布において5μm以上30μm未満の領域に最頻径を有する窒化ホウ素粉末Aと、窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなり、体積基準の粒度分布において50μm以上100μm未満の領域に最頻径を有する窒化ホウ素粉末Bと、を混合する工程を備える、樹脂組成物の製造方法である。 Another aspect of the present invention is a boron nitride powder A having a resin and primary particles of boron nitride aggregated and having a mode diameter in the region of 5 μm or more and less than 30 μm in the volume-based particle size distribution, and boron nitride. A method for producing a resin composition, comprising a step of mixing boron nitride powder B formed by agglomeration of primary particles and having a mode diameter in the region of 50 µm or more and less than 100 µm in a volume-based particle size distribution.

上記工程において、窒化ホウ素粉末Bの体積割合が窒化ホウ素粉末Aの体積割合より多くなるように、樹脂と窒化ホウ素粉末Aと窒化ホウ素粉末Bとを混合してよい。 In the above step, the resin, the boron nitride powder A, and the boron nitride powder B may be mixed so that the volume ratio of the boron nitride powder B is greater than the volume ratio of the boron nitride powder A.

本発明によれば、窒化ホウ素粉末の耐電圧性を向上させることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the withstand voltage property of boron nitride powder can be improved.

(a)は実施例で用いた窒化ホウ素粉末Aの粒度分布を示すグラフであり、(b)は実施例で用いた窒化ホウ素粉末Bの粒度分布を示すグラフである。(a) is a graph showing the particle size distribution of boron nitride powder A used in Examples, and (b) is a graph showing the particle size distribution of boron nitride powder B used in Examples. 実施例1の窒化ホウ素粉末の粒度分布を示すグラフである。1 is a graph showing the particle size distribution of boron nitride powder of Example 1. FIG. 実施例2の窒化ホウ素粉末の粒度分布を示すグラフである。4 is a graph showing the particle size distribution of the boron nitride powder of Example 2. FIG. 参考例1の窒化ホウ素粉末の粒度分布を示すグラフである。4 is a graph showing the particle size distribution of the boron nitride powder of Reference Example 1. FIG.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

一実施形態に係る窒化ホウ素粉末は、窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなる窒化ホウ素粉末(塊状窒化ホウ素粉末)である。窒化ホウ素の一次粒子は、例えば鱗片状の六方晶窒化ホウ素粒子であってよい。この場合、窒化ホウ素の一次粒子の長手方向の長さは、例えば、1μm以上であってよく、10μm以下であってよい。 The boron nitride powder according to one embodiment is a boron nitride powder (massive boron nitride powder) formed by agglomeration of primary particles of boron nitride. The primary particles of boron nitride may be, for example, scale-like hexagonal boron nitride particles. In this case, the longitudinal length of the primary particles of boron nitride may be, for example, 1 μm or more and 10 μm or less.

このような窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなる窒化ホウ素粉末は、体積基準の粒度分布(以下、単に「粒度分布」ともいう)において、5μm以上30μm未満の領域に存在するピークAと、50μm以上100μm未満の領域に存在するピークBとを有している。窒化ホウ素粉末の粒度分布は、レーザー回折散乱法により測定される体積基準の粒度分布を意味する。具体的な測定条件は、実施例に記載の測定条件であってよい。5μm以上30μm未満の領域にピークが存在するとは、5μm以上30μm未満の領域に、頻度(体積%)が極大となる径(粒度分布の傾きが正から負に変化する径)が存在することを意味する。同様に、50μm以上100μm未満の領域にピークが存在するとは、50μm以上100μm未満の領域に、頻度(体積%)が極大となる径(粒度分布の傾きが正から負に変化する径)が存在することを意味する。 The boron nitride powder obtained by aggregating such primary particles of boron nitride has a volume-based particle size distribution (hereinafter also simply referred to as “particle size distribution”), in which peak A exists in a region of 5 μm or more and less than 30 μm, and 50 μm and a peak B existing in a region of more than 100 μm and less than 100 μm. The particle size distribution of boron nitride powder means a volume-based particle size distribution measured by a laser diffraction scattering method. Specific measurement conditions may be the measurement conditions described in Examples. The presence of a peak in a region of 5 μm or more and less than 30 μm means that a diameter with a maximum frequency (% by volume) (a diameter at which the slope of the particle size distribution changes from positive to negative) exists in a region of 5 μm or more and less than 30 μm. means. Similarly, the presence of a peak in the region of 50 μm or more and less than 100 μm means that the diameter (the diameter at which the slope of the particle size distribution changes from positive to negative) at which the frequency (% by volume) is maximum is present in the region of 50 μm or more and less than 100 μm. means to

ピークAが存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の下限値は、8μm以上、10μm以上、12μm以上、14μm以上、16μm以上、又は18μm以上であってもよい。ピークAが存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の上限値は、28μm以下、26μm以下、24μm以下、22μm以下、又は20μm以下であってもよい。 The lower limit of the region (diameter of boron nitride powder) where peak A exists may be 8 μm or more, 10 μm or more, 12 μm or more, 14 μm or more, 16 μm or more, or 18 μm or more. The upper limit of the region (diameter of boron nitride powder) where peak A exists may be 28 μm or less, 26 μm or less, 24 μm or less, 22 μm or less, or 20 μm or less.

ピークBが存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の下限値は、55μm以上、60μm以上、65μm以上、70μm以上、80μm以上、又は85μm以上であってもよい。ピークBが存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の上限値は、98μm以下、96μm以下、94μm以下、92μm以下、又は90μm以下であってもよい。 The lower limit of the region where peak B exists (boron nitride powder diameter) may be 55 μm or more, 60 μm or more, 65 μm or more, 70 μm or more, 80 μm or more, or 85 μm or more. The upper limit of the region where peak B exists (boron nitride powder diameter) may be 98 μm or less, 96 μm or less, 94 μm or less, 92 μm or less, or 90 μm or less.

一実施形態において、ピークBにおける極大頻度F(体積%)は、ピークAにおける極大頻度F(体積%)より大きい。ピークAにおける極大頻度F(体積%)に対するピークBにおける極大頻度F(体積%)の比(F/F)は、窒化ホウ素粉末の熱伝導率を向上させる観点から、好ましくは3以上、より好ましくは、10以上、20以上、又は30以上、更に好ましくは40以上、60以上、80以上、100以上、120以上、140以上、160以上、又は180以上である。当該比(F/F)は、窒化ホウ素粉末の耐電圧性を更に向上させる観点から、好ましくは220以下、より好ましくは、200以下、180以下、160以下、140以下、120以下、100以下、80以下、60以下、又は40以下、更に好ましくは30以下、20以下、又は10以下である。 In one embodiment, the frequency of maxima F B (% by volume) at peak B is greater than the frequency of maxima F A (% by volume) at peak A. The ratio ( FB / FA ) of the maximum frequency FB (% by volume) at the peak B to the maximum frequency FB (% by volume) at the peak A is preferably 3 from the viewpoint of improving the thermal conductivity of the boron nitride powder. 10 or more, 20 or more, or 30 or more, and more preferably 40 or more, 60 or more, 80 or more, 100 or more, 120 or more, 140 or more, 160 or more, or 180 or more. From the viewpoint of further improving the voltage resistance of the boron nitride powder, the ratio (F B /F A ) is preferably 220 or less, more preferably 200 or less, 180 or less, 160 or less, 140 or less, 120 or less, 100 80 or less, 60 or less, or 40 or less, more preferably 30 or less, 20 or less, or 10 or less.

ピークAにおける極大頻度F(体積%)は、例えば、0.01体積%以上であってよく、5体積%以下であってよい。ピークBにおける極大頻度F(体積%)は、例えば、10体積%以上であってよく、20体積%以下であってよい。 The maximum frequency F A (% by volume) at peak A may be, for example, 0.01% by volume or more and 5% by volume or less. The local maximum frequency F B (% by volume) at peak B may be, for example, 10% by volume or more and 20% by volume or less.

窒化ホウ素粉末は、ピークAが存在する領域及びピークBが存在する領域以外の領域にその他のピークを更に有していてもよく有していなくてもよい。窒化ホウ素粉末がその他のピークを更に有する場合、窒化ホウ素粉末は、例えば、30μm以上50μm未満の領域のみにその他のピークを更に有し、5μm未満の領域及び100μm超えの領域にはその他のピークを有していなくてよい。 The boron nitride powder may or may not have other peaks in regions other than the region where peak A exists and the region where peak B exists. When the boron nitride powder further has other peaks, the boron nitride powder, for example, further has other peaks only in a region of 30 μm or more and less than 50 μm, and has other peaks in a region of less than 5 μm and a region of more than 100 μm. You don't have to.

窒化ホウ素粉末の粉末X線回折法における(100)面のピーク強度I(100)に対する(002)面のピーク強度I(002)の比I(002)/I(100)は、好ましくは9.0以下、より好ましくは8.0以下、更に好ましくは7.0以下である。当該比I(002)/I(100)が小さいほど、窒化ホウ素の一次粒子が凝集していることを意味する。当該比I(002)/I(100)は、X線回折装置(例えばリガク社製ULTIMA-IV)を用いて測定される窒化ホウ素粉末の(002)面のピーク強度及び(100)面のピーク強度から算出される。なお、X線回折測定においては、前処理として窒化ホウ素粉末をプレス成型した後、成型体の面内方向の平面の法線に対して、互いに対称となるようにX線を照射する。 The ratio I(002)/I(100) of the peak intensity I(002) of the (002) plane to the peak intensity I(100) of the (100) plane in the powder X-ray diffraction method of the boron nitride powder is preferably 9. It is 0 or less, more preferably 8.0 or less, and still more preferably 7.0 or less. It means that the smaller the ratio I(002)/I(100), the more aggregated the primary particles of boron nitride. The ratio I (002) / I (100) is the peak intensity of the (002) plane and the peak of the (100) plane of the boron nitride powder measured using an X-ray diffractometer (eg, Rigaku ULTIMA-IV) Calculated from intensity. In the X-ray diffraction measurement, after the boron nitride powder is press-molded as a pretreatment, X-rays are irradiated so as to be symmetrical with respect to the normal to the plane in the in-plane direction of the molded body.

上述したような窒化ホウ素粉末は、例えば、体積基準の粒度分布において5μm以上30μm未満の領域に最頻径を有する窒化ホウ素粉末Aと、体積基準の粒度分布において50μm以上100μm未満の領域に最頻径を有する窒化ホウ素粉末Bと、を混合する工程(混合工程)を備える製造方法により得られる。 The boron nitride powder as described above is, for example, a boron nitride powder A having a mode diameter in the region of 5 μm or more and less than 30 μm in the volume-based particle size distribution, and a volume-based particle size distribution in the region of 50 μm or more and less than 100 μm. It is obtained by a manufacturing method comprising a step (mixing step) of mixing boron nitride powder B having a diameter.

窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bは、それぞれ窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなるものである。窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bそれぞれの最頻径は、窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bそれぞれの粒度分布において頻度(体積%)が最大となる径を意味する。窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bの粒度分布は、上述した窒化ホウ素粉末の粒度分布と同様にして測定される。 Boron nitride powder A and boron nitride powder B are each formed by agglomeration of primary particles of boron nitride. The mode diameter of each of the boron nitride powder A and the boron nitride powder B means the diameter at which the frequency (% by volume) in the particle size distribution of each of the boron nitride powder A and the boron nitride powder B is maximum. The particle size distributions of the boron nitride powder A and the boron nitride powder B are measured in the same manner as the particle size distribution of the boron nitride powder described above.

窒化ホウ素粉末Aの最頻径が存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の下限値は、8μm以上、10μm以上、12μm以上、14μm以上、16μm以上、又は18μm以上であってもよい。窒化ホウ素粉末Aの最頻径が存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の上限値は、28μm以下、26μm以下、24μm以下、22μm以下、又は20μm以下であってもよい。 The lower limit of the region where the boron nitride powder A has a mode diameter (diameter of the boron nitride powder) may be 8 μm or more, 10 μm or more, 12 μm or more, 14 μm or more, 16 μm or more, or 18 μm or more. The upper limit of the region where the mode diameter of the boron nitride powder A exists (the diameter of the boron nitride powder) may be 28 μm or less, 26 μm or less, 24 μm or less, 22 μm or less, or 20 μm or less.

窒化ホウ素粉末Bの最頻径が存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の下限値は、55μm以上、60μm以上、65μm以上、70μm以上、80μm以上、又は85μm以上であってもよい。窒化ホウ素粉末Bの最頻径が存在する領域(窒化ホウ素粉末の径)の上限値は、98μm以下、96μm以下、94μm以下、92μm以下、又は90μm以下であってもよい。 The lower limit of the region where the mode diameter of the boron nitride powder B exists (the diameter of the boron nitride powder) may be 55 μm or more, 60 μm or more, 65 μm or more, 70 μm or more, 80 μm or more, or 85 μm or more. The upper limit of the region where the mode diameter of the boron nitride powder B exists (the diameter of the boron nitride powder) may be 98 μm or less, 96 μm or less, 94 μm or less, 92 μm or less, or 90 μm or less.

一実施形態において、混合工程では、窒化ホウ素粉末Bの体積割合が窒化ホウ素粉末Aの体積割合より多くなるように、窒化ホウ素粉末Aと窒化ホウ素粉末Bとを混合してよい。窒化ホウ素粉末Bの体積割合は、窒化ホウ素粉末の熱伝導率を向上させる観点から、窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bの合計100体積部に対して、好ましくは60体積部以上、より好ましくは、65体積部以上、70体積部以上、75体積部以上、80体積部以上、85体積部以上、又は90体積部以上、更に好ましくは、91体積部以上、93体積部以上、又は95体積部以上、特に好ましくは96体積部以上又は98体積部以上である。窒化ホウ素粉末Bの体積割合は、窒化ホウ素粉末の耐電圧性を更に向上させる観点から、好ましくは、99体積部以下、97体積部以下、又は95体積部以下、より好ましくは、90体積部以下、85体積部以下、80体積部以下、75体積部以下、70体積部以下、又は65体積部以下である。 In one embodiment, in the mixing step, the boron nitride powder A and the boron nitride powder B may be mixed such that the volume ratio of the boron nitride powder B is greater than the volume ratio of the boron nitride powder A. From the viewpoint of improving the thermal conductivity of the boron nitride powder, the volume ratio of the boron nitride powder B is preferably 60 parts by volume or more, more preferably 100 parts by volume in total of the boron nitride powder A and the boron nitride powder B. , 65 parts by volume or more, 70 parts by volume or more, 75 parts by volume or more, 80 parts by volume or more, 85 parts by volume or more, or 90 parts by volume or more, more preferably 91 parts by volume or more, 93 parts by volume or more, or 95 parts by volume More preferably, it is 96 volume parts or more, or 98 volume parts or more. From the viewpoint of further improving the voltage resistance of the boron nitride powder, the volume ratio of the boron nitride powder B is preferably 99 parts by volume or less, 97 parts by volume or less, or 95 parts by volume or less, more preferably 90 parts by volume or less. , 85 parts by volume or less, 80 parts by volume or less, 75 parts by volume or less, 70 parts by volume or less, or 65 parts by volume or less.

窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bのそれぞれは、例えば、塊状の炭化ホウ素を粉砕する粉砕工程と、粉砕された炭化ホウ素を窒化して炭窒化ホウ素を得る窒化工程と、炭窒化ホウ素を脱炭させる脱炭工程とを備える製造方法により製造することができる。 For each of the boron nitride powder A and the boron nitride powder B, for example, a pulverizing step of pulverizing bulk boron carbide, a nitriding step of nitriding the pulverized boron carbide to obtain boron carbonitride, and decarburizing the boron carbonitride. It can be produced by a production method comprising a decarburization step.

粉砕工程では、塊状の炭素ホウ素(炭化ホウ素塊)を一般的な粉砕機又は解砕機を用いて粉砕する。このとき、例えば、粉砕時間及び炭化ホウ素塊の仕込み量を調整することにより、所望の最頻径を有する炭化ホウ素粉末を得る。なお、炭化ホウ素粉末の最頻径は、上述した窒化ホウ素粉末の最頻径と同様に測定される。このように、炭化ホウ素粉末の最頻径を所望の窒化ホウ素粉末の最頻径に近づけるよう調整することにより、上述した最頻径を有する窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bが得られる。 In the pulverization step, lumped carbon boron (boron carbide lumps) is pulverized using a general pulverizer or pulverizer. At this time, for example, by adjusting the pulverization time and the charged amount of the boron carbide lumps, boron carbide powder having a desired mode diameter is obtained. The mode diameter of the boron carbide powder is measured in the same manner as the mode diameter of the boron nitride powder described above. By adjusting the mode diameter of the boron carbide powder so as to approach the desired mode diameter of the boron nitride powder, the boron nitride powder A and the boron nitride powder B having the above-described mode diameter can be obtained.

続いて、窒化工程では、窒化反応を進行させる雰囲気下かつ加圧条件下で、炭化ホウ素粉末を焼成することにより、炭窒化ホウ素を得る。 Subsequently, in the nitriding step, boron carbonitride is obtained by sintering the boron carbide powder under an atmosphere and pressurized conditions in which the nitriding reaction proceeds.

窒化工程における雰囲気は、窒化反応を進行させる雰囲気であり、例えば、窒素ガス及びアンモニアガス等であってよく、これらの一種単独又は2種以上の組合せであってよい。当該雰囲気は、窒化のしやすさとコストの観点から、好ましくは窒素ガスである。当該雰囲気中の窒素ガスの含有量は、好ましくは95体積%以上、より好ましくは99.9体積%以上である。 The atmosphere in the nitriding step is an atmosphere that promotes the nitriding reaction, and may be, for example, nitrogen gas, ammonia gas, or the like, and may be one of these or a combination of two or more of them. The atmosphere is preferably nitrogen gas from the viewpoint of ease of nitriding and cost. The content of nitrogen gas in the atmosphere is preferably 95% by volume or more, more preferably 99.9% by volume or more.

窒化工程における圧力は、好ましくは0.6MPa以上、より好ましくは0.7MPa以上であり、好ましくは1.0MPa以下、より好ましくは0.9MPa以下である。当該圧力は、更に好ましくは0.7~1.0MPaである。窒化工程における焼成温度は、好ましくは1800℃以上、より好ましくは1900℃以上であり、好ましくは2400℃以下、より好ましくは2200℃以下である。焼成温度は、更に好ましくは1800~2200℃である。圧力条件及び焼成温度は、炭化ホウ素の窒化を更に好適に進行させ、工業的にも適切な条件であることから、好ましくは、1800℃以上かつ0.7~1.0MPaである。 The pressure in the nitriding step is preferably 0.6 MPa or higher, more preferably 0.7 MPa or higher, and preferably 1.0 MPa or lower, more preferably 0.9 MPa or lower. The pressure is more preferably 0.7-1.0 MPa. The firing temperature in the nitriding step is preferably 1800° C. or higher, more preferably 1900° C. or higher, and preferably 2400° C. or lower, more preferably 2200° C. or lower. The firing temperature is more preferably 1800-2200°C. The pressure conditions and sintering temperature are preferably 1800° C. or higher and 0.7 to 1.0 MPa because they are industrially suitable conditions that promote the nitridation of boron carbide more favorably.

窒化工程における焼成時間は、窒化が十分に進む範囲で適宜選定され、好ましくは6時間以上、より好ましくは8時間以上であり、好ましくは30時間以下、より好ましくは20時間以下であってよい。 The firing time in the nitriding step is appropriately selected within a range in which nitriding proceeds sufficiently, and is preferably 6 hours or longer, more preferably 8 hours or longer, and preferably 30 hours or shorter, more preferably 20 hours or shorter.

脱炭工程では、窒化工程にて得られた炭窒化ホウ素を、常圧以上の雰囲気にて、所定の保持温度で一定時間保持する熱処理を行う。これにより、脱炭かつ結晶化された窒化ホウ素の一次粒子(一次粒子が鱗片状の六方晶窒化ホウ素)が凝集してなる窒化ホウ素粒子を得ることができる。 In the decarburization step, the boron carbonitride obtained in the nitridation step is subjected to heat treatment in an atmosphere of normal pressure or higher at a predetermined holding temperature for a certain period of time. This makes it possible to obtain boron nitride particles in which decarburized and crystallized primary particles of boron nitride (primary particles are scale-like hexagonal boron nitride) are aggregated.

脱炭工程における雰囲気は、常圧(大気圧)の雰囲気又は加圧された雰囲気である。加圧された雰囲気の場合、圧力は、例えば0.5MPa以下、好ましくは0.3MPa以下であってよい。 The atmosphere in the decarburization step is a normal pressure (atmospheric pressure) atmosphere or a pressurized atmosphere. In the case of a pressurized atmosphere, the pressure may for example be 0.5 MPa or less, preferably 0.3 MPa or less.

脱炭工程では、例えば、まず、所定の温度(脱炭開始可能な温度)まで昇温した後に、所定の温度で保持温度まで更に昇温する。所定の温度(脱炭開始可能な温度)は、系に応じて設定可能であり、例えば、1000℃以上であってよく、1500℃以下であってよく、好ましくは1200℃以下である。所定の温度(脱炭開始可能な温度)から保持温度へ昇温する速度は、例えば5℃/分以下であってよく、好ましくは、4℃/分以下、3℃/分以下、又は2℃/分以下であってもよい。 In the decarburization step, for example, the temperature is first raised to a predetermined temperature (the temperature at which decarburization can be started), and then the temperature is further raised to the holding temperature at the predetermined temperature. The predetermined temperature (the temperature at which decarburization can be started) can be set according to the system, and may be, for example, 1000° C. or higher, 1500° C. or lower, and preferably 1200° C. or lower. The rate of temperature increase from a predetermined temperature (the temperature at which decarburization can be started) to the holding temperature may be, for example, 5°C/min or less, preferably 4°C/min or less, 3°C/min or less, or 2°C. / minute or less.

保持温度は、粒成長が良好に起こりやすく、得られる窒化ホウ素粉末の熱伝導率を更に向上できる観点から、好ましくは1800℃以上、より好ましくは2000℃以上である。保持温度は、好ましくは2200℃以下、より好ましくは2100℃以下であってよい。 The holding temperature is preferably 1,800° C. or higher, more preferably 2,000° C. or higher, from the viewpoints that grain growth tends to occur favorably and the thermal conductivity of the obtained boron nitride powder can be further improved. The holding temperature may preferably be 2200° C. or lower, more preferably 2100° C. or lower.

保持温度における保持時間は、結晶化が十分に進む範囲で適宜選定され、例えば、0.5時間超えであってよく、粒成長が良好に起こりやすい観点から、好ましくは1時間以上、より好ましくは3時間以上、更に好ましくは5時間以上、特に好ましくは10時間以上である。保持温度における保持時間は、例えば40時間未満であってよく、粒成長が進みすぎて粒子強度が低下することを低減でき、また、工業的な不都合も低減できる観点から、好ましくは30時間以下、より好ましくは20時間以下である。 The holding time at the holding temperature is appropriately selected within a range in which crystallization sufficiently progresses. 3 hours or more, more preferably 5 hours or more, and particularly preferably 10 hours or more. The holding time at the holding temperature may be, for example, less than 40 hours, and it is possible to reduce the decrease in particle strength due to excessive grain growth, and from the viewpoint of reducing industrial disadvantages, it is preferably 30 hours or less. More preferably, it is 20 hours or less.

脱炭工程においては、原料として、窒化工程で得られた炭窒化ホウ素に加えて、ホウ素源を混合して脱炭及び結晶化を行ってもよい。ホウ素源としては、ホウ酸、酸化ホウ素、又はその混合物が挙げられる。この場合、必要に応じて当該技術分野で用いられるその他の添加物を更に用いてもよい。 In the decarburization step, a boron source may be mixed as a raw material in addition to the boron carbonitride obtained in the nitridation step for decarburization and crystallization. Boron sources include boric acid, boron oxide, or mixtures thereof. In this case, if necessary, other additives used in the technical field may be used.

炭窒化ホウ素とホウ素源との混合割合は、適宜選定される。ホウ素源としてホウ酸又は酸化ホウ素を用いる場合、ホウ酸又は酸化ホウ素の割合は、炭窒化ホウ素100質量部に対して、例えば100質量部以上であってよく、好ましくは150質量部以上であり、また、例えば300質量部以下であってよく、好ましくは250質量部以下である。 A mixing ratio of the boron carbonitride and the boron source is appropriately selected. When boric acid or boron oxide is used as the boron source, the proportion of boric acid or boron oxide may be, for example, 100 parts by mass or more, preferably 150 parts by mass or more, with respect to 100 parts by mass of boron carbonitride. Also, for example, it may be 300 parts by mass or less, preferably 250 parts by mass or less.

以上のようにして得られる窒化ホウ素粉末に対して、篩によって所望の粒度分布を有する窒化ホウ素粉末が得られるように分級する工程(分級工程)を実施してもよい。これにより、所望の最頻径を有する窒化ホウ素粉末A及び窒化ホウ素粉末Bが更に好適に得られる。 A step of classifying the boron nitride powder obtained as described above with a sieve so as to obtain a boron nitride powder having a desired particle size distribution (classifying step) may be carried out. Thereby, the boron nitride powder A and the boron nitride powder B having desired mode diameters can be obtained more preferably.

以上説明した窒化ホウ素粉末は、例えば、放熱部材に好適に用いられる。窒化ホウ素粉末は、放熱部材に用いられる場合、例えば樹脂と共に混合された樹脂組成物として用いられる。すなわち、本発明の他の一実施形態は、樹脂と、上記の窒化ホウ素粉末とを含有する樹脂組成物である。 The boron nitride powder described above is suitably used for, for example, a heat radiating member. Boron nitride powder is used, for example, as a resin composition mixed with a resin when it is used for a heat radiating member. That is, another embodiment of the present invention is a resin composition containing a resin and the above boron nitride powder.

樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンゴム、アクリル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル、フッ素樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、全芳香族ポリエステル、ポリスルホン、液晶ポリマー、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、マレイミド変性樹脂、ABS(アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン)樹脂、AAS(アクリロニトリル-アクリルゴム・スチレン)樹脂、AES(アクリロニトリル・エチレン・プロピレン・ジエンゴム-スチレン)樹脂等を用いることができる。 Examples of resins include epoxy resins, silicone resins, silicone rubbers, acrylic resins, phenol resins, melamine resins, urea resins, unsaturated polyesters, fluororesins, polyimides, polyamideimides, polyetherimides, polybutylene terephthalate, polyethylene terephthalate, Polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, wholly aromatic polyester, polysulfone, liquid crystal polymer, polyethersulfone, polycarbonate, maleimide modified resin, ABS (acrylonitrile-butadiene-styrene) resin, AAS (acrylonitrile-acrylic rubber/styrene) resin, AES (acrylonitrile)・Ethylene/propylene/diene rubber-styrene) resin, etc. can be used.

樹脂組成物がプリント配線板の絶縁層に用いられる場合、樹脂は、耐熱性及び回路への接着強度に優れる観点から、好ましくはエポキシ樹脂であり、より好ましくは、ビスフェノールA型エポキシ樹脂又はナフタレン型エポキシ樹脂である。樹脂組成物が熱インターフェース材に用いられる場合、樹脂は、耐熱性、柔軟性及びヒートシンク等への密着性に優れる観点から、好ましくはシリコーン樹脂である。 When the resin composition is used for the insulating layer of a printed wiring board, the resin is preferably an epoxy resin, more preferably a bisphenol A type epoxy resin or a naphthalene type, from the viewpoint of excellent heat resistance and adhesive strength to a circuit. Epoxy resin. When the resin composition is used as the thermal interface material, the resin is preferably a silicone resin from the viewpoint of excellent heat resistance, flexibility, and adhesion to a heat sink or the like.

樹脂組成物は、樹脂を硬化させる硬化剤を更に含有していてよい。硬化剤は、樹脂の種類によって適宜選択される。例えばエポキシ樹脂と共に用いられる硬化剤としては、フェノールノボラック化合物、酸無水物、アミノ化合物、イミダゾール化合物等が挙げられ、イミダゾール化合物が好適に用いられる。硬化剤の含有量は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.5質量部以上又は1.0質量部以上であってよく、15質量部以下又は10質量部以下であってよい。 The resin composition may further contain a curing agent that cures the resin. A curing agent is appropriately selected depending on the type of resin. For example, curing agents used together with epoxy resins include phenol novolak compounds, acid anhydrides, amino compounds, imidazole compounds and the like, and imidazole compounds are preferably used. The content of the curing agent may be, for example, 0.5 parts by mass or more or 1.0 parts by mass or more, and may be 15 parts by mass or less or 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the resin.

窒化ホウ素粉末の含有量は、樹脂組成物の全体積を基準として、樹脂組成物の熱伝導率を向上させ、優れた放熱性能が得られやすい観点から、好ましくは30体積%以上、より好ましくは40体積%以上であり、成形時に空隙の発生、並びに、絶縁性及び機械強度の低下を抑制できる観点から、好ましくは85体積%以下、より好ましくは80体積%以下である。 The content of the boron nitride powder, based on the total volume of the resin composition, is preferably 30% by volume or more, more preferably from the viewpoint of improving the thermal conductivity of the resin composition and easily obtaining excellent heat dissipation performance. It is 40% by volume or more, preferably 85% by volume or less, more preferably 80% by volume or less, from the viewpoint of suppressing the formation of voids during molding and the deterioration of insulation and mechanical strength.

上述したような樹脂組成物は、例えば、樹脂と、上述した窒化ホウ素粉末Aと、上述した窒化ホウ素粉末Bと、を混合する工程(混合工程)を備える製造方法により得られる。 The resin composition as described above can be obtained, for example, by a manufacturing method including a step (mixing step) of mixing the resin, the boron nitride powder A described above, and the boron nitride powder B described above.

一実施形態において、混合工程では、窒化ホウ素粉末Bの体積割合が窒化ホウ素粉末Aの体積割合より多くなるように、窒化ホウ素粉末Aと窒化ホウ素粉末Bとを混合してよい。窒化ホウ素粉末Bの体積割合は、上述した窒化ホウ素粉末の製造方法における混合工程で説明したものと同様である。 In one embodiment, in the mixing step, the boron nitride powder A and the boron nitride powder B may be mixed such that the volume ratio of the boron nitride powder B is greater than the volume ratio of the boron nitride powder A. The volume ratio of the boron nitride powder B is the same as that described in the mixing step in the method for producing the boron nitride powder described above.

以下、実施例に基づき本発明を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below based on examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
図1(a)に示す粒度分布を有する窒化ホウ素粉末A(最頻径:19.8μm)5体積部と、図1(b)に示す粒度分布を有する窒化ホウ素粉末B(最頻径:87.9μm)95体積部とを混合し、窒化ホウ素粉末を得た。なお、窒化ホウ素粉末A,Bの粒度分布は、ベックマンコールター製レーザー回折散乱法粒度分布測定装置(LS-13 320)を用い、本装置で設定可能な測定条件である、0.04~2000μmの粒径範囲を116分割した条件(log(μm)=0.04の幅)で測定した体積基準の粒度分布である。
(Example 1)
5 parts by volume of boron nitride powder A (mode diameter: 19.8 μm) having a particle size distribution shown in FIG. .9 μm) was mixed with 95 parts by volume to obtain a boron nitride powder. The particle size distribution of the boron nitride powders A and B was measured using a Beckman Coulter laser diffraction scattering method particle size distribution measuring device (LS-13 320), which is a measurement condition that can be set with this device, from 0.04 to 2000 μm. It is a volume-based particle size distribution measured under the condition that the particle size range is divided into 116 (width of log (μm)=0.04).

(実施例2)
窒化ホウ素粉末Aを35体積部、窒化ホウ素粉末Bを65体積部に変更した以外は、実施例1と同様にして窒化ホウ素粉末を得た。
(Example 2)
A boron nitride powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that the boron nitride powder A was changed to 35 parts by volume and the boron nitride powder B was changed to 65 parts by volume.

(参考例1)
窒化ホウ素粉末Bのみを用いた以外は、実施例1と同様にして窒化ホウ素粉末を得た。
(Reference example 1)
A boron nitride powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that only the boron nitride powder B was used.

[粒度分布の測定]
得られた各窒化ホウ素粉末について、窒化ホウ素粉末A,Bと同様にして体積基準の粒度分布を測定した。実施例1,2の窒化ホウ素粉末の粒度分布を図2(a),3(a)にそれぞれ示し、参考例1の窒化ホウ素粉末の粒度分布を図4(a)に示す。図2(b),3(b),4(b)には、これらの各窒化ホウ素粉末の5~30μmの領域の粒度分布を拡大したグラフをそれぞれ示す。図2~4から分かるとおり、実施例1,2の窒化ホウ素粉末では、窒化ホウ素粉末Aの最頻径(19.8μm)に対応する位置にピークAが存在し、窒化ホウ素粉末Bの最頻径(87.9μm)に対応する位置にピークBが存在している。一方、図4から分かるとおり、参考例1では、窒化ホウ素粉末Bの最頻径(87.9μm)に対応する位置にピークBが存在しているが、ピークAは存在していない。
[Measurement of particle size distribution]
For each of the obtained boron nitride powders, the volume-based particle size distribution was measured in the same manner as for the boron nitride powders A and B. The particle size distributions of the boron nitride powders of Examples 1 and 2 are shown in FIGS. 2(a) and 3(a), respectively, and the particle size distribution of the boron nitride powder of Reference Example 1 is shown in FIG. 4(a). FIGS. 2(b), 3(b), and 4(b) show enlarged graphs of the particle size distribution in the 5 to 30 μm region of each boron nitride powder. As can be seen from FIGS. 2 to 4, in the boron nitride powders of Examples 1 and 2, peak A exists at a position corresponding to the mode diameter (19.8 μm) of boron nitride powder A, and the mode of boron nitride powder B A peak B exists at a position corresponding to the diameter (87.9 μm). On the other hand, as can be seen from FIG. 4, in Reference Example 1, peak B exists at a position corresponding to the mode diameter (87.9 μm) of boron nitride powder B, but peak A does not exist.

また、実施例1,2の各窒化ホウ素粉末について、ピークAにおける極大頻度F(体積%)に対するピークBにおける極大頻度F(体積%)の比(F/F)を算出したところ、実施例1:38.7、実施例2:3.8であった。 Further, for each of the boron nitride powders of Examples 1 and 2, the ratio ( FB / FA ) of the maximum frequency F B (% by volume) at peak B to the maximum frequency F A (% by volume) at peak A was calculated. , Example 1: 38.7, Example 2: 3.8.

[I(002)/I(100)の測定]
X線回折装置(リガク製「ULTIMA-IV」)により、窒化ホウ素粉末の粉末X線回折法における(100)面のピーク強度I(100)に対する(002)面のピーク強度I(002)の比I(002)/I(100)を算出したところ、実施例1:6.2、実施例2:6.5であった。なお、X線回折測定においては、前処理として窒化ホウ素粉末をプレス成型した後、成型体の面内方向の平面の法線に対して、互いに対称となるようにX線を照射した。
[Measurement of I (002) / I (100)]
Using an X-ray diffractometer ("ULTIMA-IV" manufactured by Rigaku), the ratio of the peak intensity I (002) of the (002) plane to the peak intensity I (100) of the (100) plane in the powder X-ray diffraction method of boron nitride powder When I(002)/I(100) was calculated, it was Example 1: 6.2 and Example 2: 6.5. In the X-ray diffraction measurement, after the boron nitride powder was press-molded as a pretreatment, X-rays were irradiated so as to be symmetrical with respect to the normal to the plane in the in-plane direction of the molded body.

[耐電圧性の測定]
ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製、HP4032)100質量部と、硬化剤としてイミダゾール類(四国化成社製、2E4MZ-CN)10質量部との混合物に対し、得られた窒化ホウ素粉末を50体積%となるように混合して樹脂組成物を得た。この樹脂組成物を、PET製フィルム上に厚みが0.2mmになるように塗布した後、100℃で40分間加熱乾燥し、これによりBステージ状態のシートを作製した。
得られたシートをPET製フィルムからはがし、厚さ2.0mmの銅板上に置き、その上に更に0.5mmの銅板を配置して積層体を得た。この積層体に対して、プレス機によって面圧160kgf/cmをかけながら180℃300分間加熱硬化することで、評価用試料を得た。得られた評価用試料の耐電圧を、KIKUSUI製「TOS 8650」を用いて、JIS C 6481に基づき測定した。結果を表1に示す。
[Measurement of withstand voltage]
A mixture of 100 parts by mass of a naphthalene type epoxy resin (manufactured by DIC, HP4032) and 10 parts by mass of imidazoles (manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., 2E4MZ-CN) as a curing agent is mixed with 50% by volume of the resulting boron nitride powder. A resin composition was obtained by mixing so that This resin composition was applied on a PET film to a thickness of 0.2 mm, and then dried by heating at 100° C. for 40 minutes to prepare a B-stage sheet.
The obtained sheet was peeled off from the PET film, placed on a copper plate with a thickness of 2.0 mm, and further a copper plate with a thickness of 0.5 mm was placed thereon to obtain a laminate. This laminate was heat-cured at 180° C. for 300 minutes while applying a surface pressure of 160 kgf/cm 2 with a press to obtain an evaluation sample. The withstand voltage of the obtained evaluation sample was measured based on JIS C 6481 using "TOS 8650" manufactured by KIKUSUI. Table 1 shows the results.

[熱伝導率の測定]
実施例1,2の窒化ホウ素粉末については、以下の手順で熱伝導率も測定した。
ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製、HP4032)100質量部と、硬化剤としてイミダゾール類(四国化成社製、2E4MZ-CN)10質量部との混合物に対し、実施例1,2の窒化ホウ素粉末を50体積%となるように混合して樹脂組成物を得た。この樹脂組成物を、PET製シート上に厚みが1.0mmになるように塗布した後、500Paの減圧脱泡を10分間行った。その後、温度150℃、圧力160kg/cm条件で60分間のプレス加熱加圧を行って、0.5mmのシートを作製した。
得られたシートから10mm×10mmの大きさの測定用試料を切り出し、キセノンフラッシュアナライザ(NETZSCH社製、LFA447NanoFlash)を用いたレーザーフラッシュ法により、測定用試料の熱拡散率A(m/秒)を測定した。また、測定用試料の比重B(kg/m)をアルキメデス法により測定した。また、測定用試料の比熱容量C(J/(kg・K))を、示差走査熱量計(DSC;リガク社製、ThermoPlusEvoDSC8230)を用いて測定した。これらの各物性値を用いて、熱伝導率H(W/(m・K))をH=A×B×Cの式から求めた。結果を表1に示す。
[Measurement of thermal conductivity]
The thermal conductivity of the boron nitride powders of Examples 1 and 2 was also measured by the following procedure.
Boron nitride powder of Examples 1 and 2 was added to a mixture of 100 parts by mass of naphthalene type epoxy resin (HP4032, manufactured by DIC) and 10 parts by mass of imidazoles (2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) as a curing agent. A resin composition was obtained by mixing so as to be 50% by volume. This resin composition was applied to a PET sheet so as to have a thickness of 1.0 mm, and then degassed under reduced pressure of 500 Pa for 10 minutes. After that, press heating and pressing was performed for 60 minutes at a temperature of 150° C. and a pressure of 160 kg/cm 2 to produce a sheet of 0.5 mm.
A measurement sample with a size of 10 mm × 10 mm was cut out from the obtained sheet, and the thermal diffusivity A (m 2 /sec) of the measurement sample was measured by a laser flash method using a xenon flash analyzer (LFA447NanoFlash, manufactured by NETZSCH). was measured. Also, the specific gravity B (kg/m 3 ) of the measurement sample was measured by the Archimedes method. Further, the specific heat capacity C (J/(kg·K)) of the measurement sample was measured using a differential scanning calorimeter (DSC; ThermoPlus EvoDSC8230 manufactured by Rigaku Corporation). Using these physical property values, the thermal conductivity H (W/(m·K)) was obtained from the formula H=A×B×C. Table 1 shows the results.

Figure 0007273587000001
Figure 0007273587000001

Claims (3)

窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなる窒化ホウ素粉末であって、
体積基準の粒度分布において、5μm以上26μm以下の領域に存在するピークAと、50μm以上100μm未満の領域に存在するピークBとを有し、
前記ピークAにおける極大頻度F (体積%)に対する前記ピークBにおける極大頻度F (体積%)の比(F /F )が20以上である、窒化ホウ素粉末。
A boron nitride powder formed by agglomeration of primary particles of boron nitride,
In the volume-based particle size distribution, it has a peak A existing in a region of 5 μm or more and 26 μm or less and a peak B existing in a region of 50 μm or more and less than 100 μm ,
A boron nitride powder , wherein the ratio ( FB / FA ) of the maximum frequency F B (% by volume) at the peak B to the maximum frequency F A ( % by volume ) at the peak A is 20 or more .
前記窒化ホウ素粉末の粉末X線回折法における(100)面のピーク強度I(100)に対する(002)面のピーク強度I(002)の比I(002)/I(100)が9.0以下である、請求項1に記載の窒化ホウ素粉末。 The ratio I (002) / I (100) of the peak intensity I (002) of the (002) plane to the peak intensity I (100) of the (100) plane in the powder X-ray diffraction method of the boron nitride powder is 9.0 or less. The boron nitride powder according to claim 1, wherein 樹脂と、請求項1又は2に記載の窒化ホウ素粉末と、を含有する樹脂組成物。 A resin composition containing a resin and the boron nitride powder according to claim 1 or 2 .
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JP7467980B2 (en) * 2019-02-27 2024-04-16 三菱ケミカル株式会社 Boron nitride agglomerated powder, heat dissipation sheet, and method for manufacturing semiconductor device
JP7476482B2 (en) * 2019-04-01 2024-05-01 住友ベークライト株式会社 Thermally conductive sheet
WO2022149435A1 (en) * 2021-01-06 2022-07-14 デンカ株式会社 Boron nitride powder, heat dissipation sheet, and method for producing heat dissipation sheet
JP7090831B1 (en) * 2021-01-06 2022-06-24 デンカ株式会社 Aggregated boron nitride particles, boron nitride powder, heat conductive resin composition and heat dissipation sheet
WO2022149553A1 (en) * 2021-01-06 2022-07-14 デンカ株式会社 Aggregated boron nitride particles, boron nitride powder, heat-conductive resin composition, and heat-dissipation sheet

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014136959A1 (en) 2013-03-07 2014-09-12 電気化学工業株式会社 Boron-nitride powder and resin composition containing same
JP2016098301A (en) 2014-11-20 2016-05-30 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 Thermofusion fluorine resin composition excellent in thermal conductivity, molded article manufactured by the composition and manufacturing method therefor
JP2018052782A (en) 2016-09-30 2018-04-05 デンカ株式会社 Hexagonal boron nitride primary particle agglomerate
JP2018104260A (en) 2016-12-28 2018-07-05 昭和電工株式会社 Hexagonal boron nitride powder, method for producing the same, resin composition and resin sheet

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014136959A1 (en) 2013-03-07 2014-09-12 電気化学工業株式会社 Boron-nitride powder and resin composition containing same
JP2016098301A (en) 2014-11-20 2016-05-30 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 Thermofusion fluorine resin composition excellent in thermal conductivity, molded article manufactured by the composition and manufacturing method therefor
JP2018052782A (en) 2016-09-30 2018-04-05 デンカ株式会社 Hexagonal boron nitride primary particle agglomerate
JP2018104260A (en) 2016-12-28 2018-07-05 昭和電工株式会社 Hexagonal boron nitride powder, method for producing the same, resin composition and resin sheet

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