JP7259308B2 - Part shape inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、部品の形状検査方法に関する。 The present invention relates to a shape inspection method for parts.

従来から、様々な部品の形状検査方法が使用されている。例えば、特許文献1には、歯車の形状検査方法であって、検査対象の歯車全体の画像データを歯車全体のCADデータと比較する方法が開示されている。また、特許文献2には、パターン画像を用いて歯車の歯数を算出する歯車の歯数算出方法が開示されている。また、特許文献3には、基板上のパターン要素のエッジを抽出する方法が開示されている。 Conventionally, various component shape inspection methods have been used. For example, Patent Literature 1 discloses a gear shape inspection method in which image data of the entire gear to be inspected is compared with CAD data of the entire gear. Further, Patent Document 2 discloses a method for calculating the number of teeth of a gear using a pattern image. Further, Patent Document 3 discloses a method for extracting edges of pattern elements on a substrate.

特開2003-166814号公報JP 2003-166814 A 特開2001-99626号公報JP-A-2001-99626 特開2002-116007号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-116007

しかしながら、特許文献1に記載される歯車の形状検査方法は、歯車の歯の形状やピッチなど局所的な観点からは全体において基準に達しており本来なら使用可能である歯車であっても、歯車全体同士で比較することで歯車の両端部分の距離が離れることで一端部分に合せて他端部分を判断すると基準から外れ、使用不可能と判断されてしまう場合がある。また、歯車全体のデータが必要なことからデータ量が多くなり、検査の負荷が大きい。また、特許文献2に記載される歯数算出方法は、パターン画像を用いるためデータ量が多くなり、検査の負荷が大きい。そして、特許文献3に記載されるエッジ抽出方法も、データ量が多くなり、検査の負荷が大きい。このように、従来の部品の形状検査方法は、高い精度で簡単に部品の形状を検査することが困難であった。 However, in the gear shape inspection method described in Patent Document 1, even if the gear meets the standard as a whole from a local point of view such as the shape and pitch of the teeth of the gear and is originally usable, the gear Comparing the gears as a whole causes the distance between both ends of the gear to increase, and judging the other end according to the one end may deviate from the standard and may be judged to be unusable. In addition, since the data of the entire gear is required, the amount of data increases, and the inspection load is heavy. Further, the method for calculating the number of teeth described in Patent Literature 2 uses a pattern image, so the amount of data is large, and the inspection load is heavy. The edge extraction method described in Patent Document 3 also increases the amount of data and the load of inspection. As described above, it is difficult for the conventional component shape inspection method to easily inspect the component shape with high accuracy.

上記課題を解決するための本発明の部品の形状検査方法は、前記部品の輪郭部の一部に対応する比較データである点群のデータを比較点群データとして読み込む比較点群データ読み込み工程と、前記部品の画像データを取得する画像データ取得工程と、前記部品の画像データから前記比較データに対応する対応データを取得する対応データ取得工程と、前記対応データから点群のデータである画像点群データを抽出する画像点群データ抽出工程と、前記画像点群データを前記比較点群データと比較して前記部品の形状の良否を判断する判断工程と、を有することを特徴とする。 A method for inspecting the shape of a component according to the present invention for solving the above-mentioned problems includes a comparison point cloud data reading step of reading point cloud data, which is comparison data corresponding to a part of the contour of the component, as comparison point cloud data. an image data acquisition step of acquiring image data of the component; a corresponding data acquisition step of acquiring corresponding data corresponding to the comparison data from the image data of the component; and image points that are point cloud data from the corresponding data. An image point cloud data extraction step of extracting group data, and a determination step of comparing the image point cloud data with the comparison point cloud data to determine the quality of the shape of the part.

本発明の部品の形状検査方法を実行可能なシステム例を表す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a system capable of executing the component shape inspection method of the present invention; モニターに表示された画像であって、本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法により形状検査を行う部品例を表す概略図。FIG. 4 is an image displayed on a monitor, which is a schematic diagram showing an example of a part whose shape is inspected by the method for inspecting the shape of a part according to an embodiment of the present invention; 本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法のフローチャート。4 is a flow chart of a component shape inspection method according to an embodiment of the present invention. モニターに表示された画像であって、本発明の一実施例に係る部品の比較データ例を表す概略図。FIG. 5 is an image displayed on a monitor, which is a schematic diagram showing an example of comparison data of parts according to one embodiment of the present invention. モニターに表示された画像であって、本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法で使用する比較点群データの例を表す概略図。FIG. 4 is an image displayed on a monitor, which is a schematic diagram showing an example of comparison point cloud data used in the component shape inspection method according to one embodiment of the present invention. モニターに表示された画像であって、本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法で使用する円形画像を表す概略図。FIG. 4 is an image displayed on a monitor, which is a schematic diagram showing a circular image used in the component shape inspection method according to one embodiment of the present invention. モニターに表示された画像であって、本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法で使用する円形画像を帯状画像にして表したグラフ。4 is an image displayed on a monitor, and is a graph showing a circular image as a strip image used in the component shape inspection method according to the embodiment of the present invention. モニターに表示された画像であって、本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法で使用する帯状画像であって、中心位置がずれている場合の帯状画像と中心位置調整を行った後の帯状画像とを表すグラフ。An image displayed on a monitor, which is a band-shaped image used in a component shape inspection method according to an embodiment of the present invention, and which is a band-shaped image in the case where the center position is shifted and after the center position is adjusted. A graph representing a strip image of .

最初に、本発明について概略的に説明する。
上記課題を解決するための本発明の第1の態様の部品の形状検査方法は、前記部品の輪郭部の一部に対応する比較データである点群のデータを比較点群データとして読み込む比較点群データ読み込み工程と、前記部品の画像データを取得する画像データ取得工程と、前記部品の画像データから前記比較データに対応する対応データを取得する対応データ取得工程と、前記対応データから点群のデータである画像点群データを抽出する画像点群データ抽出工程と、前記画像点群データを前記比較点群データと比較して前記部品の形状の良否を判断する判断工程と、を有することを特徴とする。
First, the present invention will be generally described.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a component shape inspection method for solving the above-described problems. a group data reading step; an image data obtaining step of obtaining image data of the component; a corresponding data obtaining step of obtaining corresponding data corresponding to the comparison data from the image data of the component; An image point cloud data extraction step of extracting image point cloud data, which is data, and a judgment step of comparing the image point cloud data with the comparison point cloud data to judge the quality of the shape of the part. Characterized by

本態様によれば、部品の輪郭部の一部に対応する範囲に基づいて部品の形状の良否を判断することで高い精度で部品の形状を検査することができる。部品の輪郭部は部品の性能に大きく関わる部分であるとともに形状がはっきりしている為である。また、部品全体の画像を比較するのではなく部品の輪郭部の一部の画像を比較するとともに、点群のデータ同士を比較する。このため、データ量が多くなりすぎることを抑制し、検査の負荷を低下させることができる。すなわち、本態様によれば、高い精度で簡単に部品の形状を検査することができる。 According to this aspect, it is possible to inspect the shape of the part with high accuracy by judging whether the shape of the part is good or bad based on the range corresponding to a part of the outline of the part. This is because the outline of the part is a part that greatly affects the performance of the part and has a clear shape. In addition, instead of comparing the images of the entire part, the images of a part of the outline of the part are compared, and the data of the point groups are compared with each other. Therefore, it is possible to prevent the amount of data from becoming too large and reduce the inspection load. That is, according to this aspect, the shape of the component can be easily inspected with high accuracy.

本発明の第2の態様の部品の形状検査方法は、前記第1の態様において、前記部品は歯車であり、前記部品の輪郭部の一部に対応する範囲は前記歯車の少なくとも1つの歯を含むことを特徴とする。 A second aspect of the present invention is a part shape inspection method according to the first aspect, wherein the part is a gear, and the range corresponding to a part of the contour of the part includes at least one tooth of the gear. characterized by comprising

部品としての歯車は、様々な装置で多量に使用される場合が多いが、本態様によれば、高い精度で簡単に歯車の形状を検査することができる。 Gears as parts are often used in large quantities in various devices, but according to this aspect, the shape of gears can be easily inspected with high accuracy.

本発明の第3の態様の部品の形状検査方法は、前記第1または第2の態様において、前記比較点群データは、前記画像点群データよりも10倍以上のデータ数であることを特徴とする。 A third aspect of the present invention is a component shape inspection method according to the first or second aspect, wherein the number of comparison point cloud data is ten times or more that of the image point cloud data. and

本態様によれば、比較点群データは画像点群データよりも10倍以上のデータ数であるので、各画像点群データをより好ましい比較点群データと比較することができ、特に高い精度で部品の形状を検査することができる。 According to this aspect, the number of comparison point cloud data is 10 times or more that of the image point cloud data. The shape of the part can be inspected.

本発明の第4の態様の部品の形状検査方法は、前記第1から第3のいずれか1つの態様において、前記比較点群データは、法線情報を有し、前記比較点群データ読み込み工程は、前記法線情報に基づいて前記部品の輪郭部の位置を読み込むことを特徴とする。 A fourth aspect of the present invention is a component shape inspection method according to any one of the first to third aspects, wherein the comparison point cloud data has normal line information, and the comparison point cloud data reading step is characterized by reading the position of the outline of the part based on the normal line information.

法線に沿ってデータを判断することでデータの判断精度が高くなるが、本態様によれば、比較点群データは法線情報を有し、法線情報に基づいて部品の輪郭部の位置を読み込むので、法線に沿ってデータを判断することができ、特に高い精度で部品の形状を検査することができる。 Judging the data along the normal increases the accuracy of data judgment. According to this aspect, the comparison point cloud data has normal information, and the position of the outline of the part is determined based on the normal information. , the data can be determined along the normal, and the shape of the part can be inspected with particularly high accuracy.

本発明の第5の態様の部品の形状検査方法は、前記第1から第4のいずれか1つの態様において、前記画像点群データ抽出工程として、ピクセル単位で前記画像点群データを抽出する第1画像点群データ抽出工程と、サブピクセル単位で前記画像点群データを抽出する第2画像点群データ抽出工程と、を有することを特徴とする。 A fifth aspect of the present invention is a component shape inspection method according to any one of the first to fourth aspects, wherein the image point cloud data extraction step extracts the image point cloud data in units of pixels. A first image point cloud data extraction step and a second image point cloud data extraction step of extracting the image point cloud data in units of sub-pixels.

本態様によれば、ピクセル単位で画像点群データを抽出する第1画像点群データ抽出工程と、サブピクセル単位で画像点群データを抽出する第2画像点群データ抽出工程と、を有する。すなわち、粗検査と詳細検査とを実行することで、速くかつ高精度に部品の形状を検査することができる。 According to this aspect, it has a first image point cloud data extraction step of extracting image point cloud data in units of pixels, and a second image point cloud data extraction step of extracting image point cloud data in units of subpixels. That is, by executing rough inspection and detailed inspection, the shape of the part can be inspected quickly and with high accuracy.

本発明の第6の態様の部品の形状検査方法は、前記第1から第5のいずれか1つの態様において、前記画像点群データ抽出工程で抽出した前記画像点群データから前記判断工程で使用しないデータを抽出する不使用データ抽出工程を有することを特徴とする。 A sixth aspect of the present invention is a component shape inspection method according to any one of the first to fifth aspects, wherein the image point cloud data extracted in the image point cloud data extraction step is used in the determination step. It is characterized by having an unused data extracting step of extracting unused data.

本態様によれば、部品の形状の良否判断の精度を低下させるノイズデータを判断工程で使用しない不使用データとして抽出できるので、特に高い精度で部品の形状を検査することができる。 According to this aspect, it is possible to extract the noise data that lowers the accuracy of determining the quality of the shape of the component as unused data that is not used in the determination process, so that the shape of the component can be inspected with particularly high accuracy.

本発明の第7の態様の部品の形状検査方法は、前記第1から第6のいずれか1つの態様において、前記画像点群データ抽出工程で抽出した前記画像点群データを変換するデータ変換工程を有し、前記判断工程は、前記データ変換工程で変換したデータを用いて前記部品の形状の良否を判断することを特徴とする。 A component shape inspection method according to a seventh aspect of the present invention is, in any one of the first to sixth aspects, a data conversion step of converting the image point cloud data extracted in the image point cloud data extraction step. wherein the determining step uses the data converted in the data converting step to determine whether the shape of the component is good or bad.

本態様によれば、画像点群データを変換するデータ変換工程を有するので、例えば円形画像を帯状画像に変換することで複数の同様の形状部分を速くかつ高精度に比較することや、例えば中心位置がずれて取得された画像データの中心位置を修正することなどが可能になり、特に高い精度で部品の形状を検査することができる。 According to this aspect, since the data conversion step of converting the image point cloud data is provided, for example, by converting a circular image into a band-shaped image, a plurality of similar shaped portions can be compared quickly and with high accuracy, and the center It is possible to correct the center position of the image data acquired with the position shifted, and it is possible to inspect the shape of the part with particularly high accuracy.

以下に、本発明の一実施例に係る部品の形状検査方法について、添付図面を参照して詳細に説明する。 A method for inspecting the shape of a part according to an embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

<部品の形状検査システム>
最初に、本発明の部品の形状検査方法を実行可能な一実施例としての部品の形状検査システム1について図1及び図2を用いて説明する。
<Part shape inspection system>
First, a component shape inspection system 1 as an embodiment capable of executing the component shape inspection method of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

図1で表されるように、本実施例の形状検査システム1は、モニター2aや記憶部2bなどを有するPC2と、テレセントリックレンズ4を備えたカメラ3と、測定対象である歯車5などの部品を載置可能な透明のステージ6と、ステージ6に向け光を照射する照明装置7と、を備えている。ここで、カメラ3、ステージ6及び照明装置7はPC2と接続されており、作業者はPC2にインストールされたソフトウェアを用いてカメラ3、ステージ6及び照明装置7を動作させることが可能である。 As shown in FIG. 1, the shape inspection system 1 of this embodiment includes a PC 2 having a monitor 2a and a storage unit 2b, a camera 3 having a telecentric lens 4, and parts such as a gear 5 to be measured. and a lighting device 7 for irradiating the stage 6 with light. Here, the camera 3, the stage 6 and the lighting device 7 are connected to the PC2, and the operator can operate the camera 3, the stage 6 and the lighting device 7 using software installed on the PC2.

照明装置7から照射された光はステージ6を透過可能な構成となっており、カメラ3は例えば図2で表されるような画像を撮影することができる。そして、PC2は、カメラ3で撮影された画像を画像データとして取得可能な構成となっている。また、PC2は、ハードディスクやRAMなどの記憶部2bを有しているので、作業者が記憶部2bに部品の形状の良否を比較するための比較データを格納することが可能な構成になっている。なお、比較データとしては、CADデータなどを用いることができる。 The light emitted from the illumination device 7 can pass through the stage 6, and the camera 3 can capture an image as shown in FIG. 2, for example. The PC 2 is configured to be able to acquire the image captured by the camera 3 as image data. In addition, since the PC 2 has a storage unit 2b such as a hard disk or RAM, it is configured so that the operator can store comparison data in the storage unit 2b for comparing the quality of the shape of the part. there is CAD data or the like can be used as the comparison data.

ここで、本実施例のステージ6は透明なガラスでできているが、照明装置7から照射された光を透過する構成であれば、ガラス製でなくてもよく、樹脂製のものなども使用可能である。また、本実施例のカメラ3は、1200万画素のモノクロ画像を撮影可能なカメラであり、テレセントリックレンズ4を備えることで歪みの少ない画像を撮影可能となっているが、カメラ3の構成に特に限定はない。また、本実施例の照明装置7は、カメラ3と対向する側から光を照射する構成となっているが、ステージ6に対してカメラ3側から光を照射する構成のものを使用することも可能である。 Here, although the stage 6 of this embodiment is made of transparent glass, it does not have to be made of glass as long as it is configured to transmit the light emitted from the illumination device 7, and it may be made of resin. It is possible. In addition, the camera 3 of the present embodiment is a camera capable of photographing a monochrome image of 12 million pixels, and is capable of photographing an image with little distortion by being provided with the telecentric lens 4. There are no restrictions. In addition, although the illumination device 7 of this embodiment is configured to irradiate light from the side facing the camera 3, it is also possible to use a configuration that irradiates the stage 6 with light from the camera 3 side. It is possible.

<部品の形状検査方法>
次に、図3のフローチャートを用い、図2、並びに、図4から図8を参照しながら、本実施例に係る部品の形状検査方法について説明する。なお、本実施例の部品の形状検査方法においては、部品として腕時計用の歯車5を使用するが、本発明の部品の形状検査方法は、検査する部品についての限定はなく、歯車以外にも様々な部品を検査可能である。
<Part shape inspection method>
Next, a method for inspecting the shape of a part according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 2 and FIGS. 4 to 8 using the flow chart of FIG. In the method for inspecting the shape of a component according to the present embodiment, the gear 5 for a wrist watch is used as the component. parts can be inspected.

本実施例の部品の形状検査方法を開始すると、最初に、ステップS110で、歯車5の形状の良否を比較するための図4で表されるような比較データであるCADデータから、比較点群データを読み込む。なお、図4は、モニター2aに表示された歯車5のCADデータを表している。本実施例のCADデータはDXF形式のデータであるが、データの形式に特に限定はない。また、本実施例のCADデータは歯車5の歯5aの輪郭部などの線部がベクトルデータとなっており、該ベクトルデータを点群のデータに変換したものが比較点群データである。本実施例においては、数μmオーダーの誤差を測定するが、該オーダーでの誤差を測定するため、比較点群データは0.1μmの精度となるように変換される。 When the component shape inspection method of the present embodiment is started, first, in step S110, from the CAD data, which is comparison data as shown in FIG. Load data. 4 shows CAD data of the gear 5 displayed on the monitor 2a. The CAD data of this embodiment is data in DXF format, but the data format is not particularly limited. In the CAD data of the present embodiment, line portions such as the contour of the tooth 5a of the gear 5 are vector data, and the vector data is converted into point cloud data to obtain comparison point cloud data. In this embodiment, an error on the order of several μm is measured, and in order to measure the error on this order, the comparison point cloud data is converted so as to have an accuracy of 0.1 μm.

ステップS110で読み込まれた比較点群データは、図5に示されるモニター2aに表示された3種類のモデルで表されるように、歯5aの形状判定用の1歯分の点群データAと、隣接する歯5aのピッチ判定用である隣接する2歯分の点群データBまたは1歯分と該1歯分の歯と隣接する両側の半歯分ずつの点群データCと、を有する。 The comparison point cloud data read in step S110 is represented by three types of models displayed on the monitor 2a shown in FIG. , point cloud data B for two adjacent teeth for pitch determination of the adjacent tooth 5a, or point cloud data C for one tooth and half teeth on both sides adjacent to the tooth for one tooth. .

なお、比較点群データを構成する各データは、法線情報を持っている。すなわち、変換前のベクトルデータのベクトル方向と直交する方向の情報を持っている。法線情報を持ち、法線に沿う方向において歯車5の輪郭部である歯5aのエッジの位置を判断することで高い精度で歯5aのエッジの位置を判断することができる。 Each piece of data forming the comparison point cloud data has normal line information. That is, it has information on the direction orthogonal to the vector direction of the vector data before conversion. By having normal line information and determining the position of the edge of the tooth 5a, which is the contour of the gear 5, in the direction along the normal line, the position of the edge of the tooth 5a can be determined with high accuracy.

次に、ステップS120で、カメラ3でステージ6に載置された歯車5の画像を撮影することで画像データを取得する。該画像データは、図2に対応する。なお、本実施例においては3つの歯車5の画像データが本ステップにより取得される。 Next, in step S120, the camera 3 captures an image of the gear 5 placed on the stage 6 to obtain image data. The image data corresponds to FIG. In this embodiment, image data of three gears 5 are acquired in this step.

次に、ステップS120で取得された画像データに対して、ステップS130で、パターンサーチを行う。該パターンサーチは1つの歯車5ごとに行われる。具体的には、パターンサーチ用のパターンは、予め記憶部2bに歯車1個分の濃淡画像が記憶されており、該パターンと合致する画像データをサーチすることで行われる。なお、本ステップは、該パターンまたは該画像データを回転させてサーチすることができるので、歯車5がどのような回転方向における角度でステージ6に載置されていても、精度よくサーチすることができる。本実施例においては図2で表される3つの歯車5が本ステップでサーチされる。 Next, in step S130, pattern search is performed on the image data obtained in step S120. The pattern search is performed for each gear 5. FIG. Specifically, the pattern for pattern search is a grayscale image corresponding to one gear stored in advance in the storage unit 2b, and the pattern search is performed by searching for image data that matches the pattern. In this step, since the pattern or the image data can be rotated and searched, the search can be performed with high accuracy no matter what angle the gear 5 is placed on the stage 6 in the direction of rotation. can. In this embodiment, three gears 5 represented in FIG. 2 are searched in this step.

次に、ステップS140で、1つ目の歯車5の画像データにおいて、比較点群データに対応する対応データを取得する。なお、本ステップにおいては、歯車5の全周分のデータを対応データとすることもできるが、本実施例では、図6の始点P1から終点P2までの円弧領域だけを対象にするように指定している。本実施例では、始点P1及び終点P2をその後の処理がし易いように歯5aの谷の部分の最凹部としているが、始点P1及び終点P2の位置に特に限定はない。 Next, in step S140, in the image data of the first gear 5, corresponding data corresponding to the comparison point cloud data is obtained. In this step, the data for the entire circumference of the gear 5 can be used as the corresponding data, but in this embodiment, only the arc area from the start point P1 to the end point P2 in FIG. 6 is designated as the target. are doing. In this embodiment, the start point P1 and the end point P2 are set to be the most recessed portion of the root portion of the tooth 5a so as to facilitate subsequent processing, but the positions of the start point P1 and the end point P2 are not particularly limited.

次に、ステップS150で、ステップS140で取得した対応データから歯車5の輪郭部における画像点群データを抽出する。本実施例では、該画像点群データの抽出は、Canny法によるアルゴリズムを用いてピクセル単位で高速に画像点群データを抽出する。しかしながら、画像点群データの抽出方法に特に限定はない。 Next, in step S150, image point cloud data on the contour of the gear 5 is extracted from the corresponding data acquired in step S140. In this embodiment, the extraction of the image point cloud data is performed by extracting the image point cloud data at high speed in units of pixels using an algorithm based on the Canny method. However, there is no particular limitation on the method of extracting the image point cloud data.

次に、ステップS160で、ノイズを不使用データとして除去するために、画像点群データをラベリングしてグループ化し、グループ化された複数のグループのうちの最大の面積のグループの画像点群データを歯車5の輪郭部を表す画像点群データとする。すなわち、該画像点群データから外れたデータはノイズとして除去され不使用データとなる。 Next, in step S160, in order to remove noise as unused data, the image point cloud data is labeled and grouped, and the image point cloud data of the group with the largest area among the grouped groups is Image point cloud data representing the contour of the gear 5 is used. That is, data deviating from the image point cloud data is removed as noise and becomes unused data.

次に、ステップS170で、ステップS160で求めた歯車5の輪郭部を表す画像点群データを図6で表される歯車5の中心5cから見た距離のデータに変換し、さらに、該画像点群データの角度情報から反時計回りにソートして図7で表されるような山谷のプロファイルに変換する。すなわち、略円周状に位置する歯車5の画像点群データを極座標から直交座標に変換することで、円形画像を帯状画像に変換する。本ステップのデータ変換により、1歯分の画像点群データの抽出のほか、隣接する2歯分の画像点群データの抽出及び1歯分と該1歯分の歯と隣接する両側の半歯分ずつの画像点群データの抽出が可能になる。 Next, in step S170, the image point cloud data representing the contour of the gear 5 obtained in step S160 is converted into data of the distance seen from the center 5c of the gear 5 shown in FIG. The angle information of the group data is sorted counterclockwise and converted into a peak-and-valley profile as shown in FIG. That is, the circular image is converted into a band-shaped image by converting the image point cloud data of the gear 5 positioned substantially on the circumference from the polar coordinates to the orthogonal coordinates. By the data conversion in this step, in addition to extracting image point cloud data for one tooth, image point cloud data for two adjacent teeth are extracted, and half teeth on both sides adjacent to the tooth for one tooth are extracted. Image point cloud data can be extracted minute by minute.

次に、ステップS180で、歯車5の画像データにおいて、歯車5の中心5cの位置が合っているか否かを判断し、中心5cの位置が合っていると判断した場合はステップS200に進み、中心5cの位置が合っていないと判断した場合はステップS190に進む。中心5cの位置が合っている場合は、図7及び図8の実線で表されるような山谷のプロファイルになる。一方、中心5cの位置が合っていない場合は、図8の破線で表されるような山谷のプロファイルになる。 Next, in step S180, in the image data of the gear 5, it is determined whether or not the position of the center 5c of the gear 5 is aligned. If it is determined that the position of 5c is not correct, the process proceeds to step S190. When the position of the center 5c is matched, the peak-and-valley profile as represented by the solid lines in FIGS. 7 and 8 is obtained. On the other hand, when the position of the center 5c is not aligned, the peak-and-valley profile as indicated by the dashed line in FIG. 8 is obtained.

ステップS190においては、例えば、歯車5の輪郭部を表す画像点群データから最大ピーク点群を抽出し、該最大ピーク点群を用いて円近似し、その中心を新たな中心として設定することなどにより、中心位置合わせが行われる。そして、ステップS190の実行後は、ステップS140に戻る。なお、ステップS190の実行後は、ステップS170のデータ変換において、図8の破線で表されるような山谷のプロファイルから図8の実線で表されるような山谷のプロファイルになる。 In step S190, for example, the maximum peak point group is extracted from the image point cloud data representing the contour of the gear 5, circle approximation is performed using the maximum peak point group, and the center is set as the new center. provides center alignment. After execution of step S190, the process returns to step S140. After execution of step S190, in the data conversion of step S170, the peak-and-valley profile represented by the dashed line in FIG. 8 changes to the peak-and-valley profile represented by the solid line in FIG.

ステップS200においては、ノイズを除去するために画像中の模様の粗い細かいに応じてフィルタリングをするローパス処理を行い、図7で表されるような山谷のプロファイルからピーク点を抽出する。ピーク点の抽出は、例えば、画像点群データの平均値を超えている点と下回っている点とを抽出し、平均値を超えている点と下回っている点との間の最大値の点を最大ピーク点、平均値を超えている点と下回っている点との間の最小値の点を最小ピーク点、として抽出することなどにより行われる。 In step S200, in order to remove noise, low-pass processing is performed for filtering according to whether the pattern in the image is coarse or fine, and peak points are extracted from the peak-and-valley profile as shown in FIG. Extraction of peak points is performed, for example, by extracting points exceeding and falling below the average value of the image point cloud data, and extracting the maximum point between the points exceeding and falling below the average value. is extracted as the maximum peak point, and the point of the minimum value between the point exceeding the average value and the point falling below the average value is extracted as the minimum peak point.

次に、ステップS210で、隣接する最小ピーク点-最大ピーク点-最小ピーク点までの画像点群データを1つの歯5aに対応する画像点群データとして、各歯5a単位の画像点群データを抽出する。本ステップで抽出される画像点群データは、各歯5aの形状判定用の1歯分の画像点群データに対応する。 Next, in step S210, the image point cloud data of adjacent minimum peak point-maximum peak point-minimum peak point is regarded as image point cloud data corresponding to one tooth 5a, and image point cloud data for each tooth 5a is generated. Extract. The image point cloud data extracted in this step corresponds to image point cloud data for one tooth for shape determination of each tooth 5a.

次に、ステップS220で、隣接する最小ピーク点-最大ピーク点-最小ピーク点-最大ピーク点-最小ピーク点までの2歯分の画像点群データを抽出することで、ピッチ判定用である隣接する2歯分の画像点群データを抽出する。或いは、隣接する最大ピーク点-最小ピーク点-最大ピーク点-最小ピーク点-最大ピーク点までの1歯分と該1歯分の歯と隣接する両側の半歯分ずつの画像点群データを抽出することで、ピッチ判定用である1歯分と該1歯分の歯と隣接する両側の半歯分ずつの画像点群データを抽出する。 Next, in step S220, by extracting image point cloud data for two teeth from the adjacent minimum peak point-maximum peak point-minimum peak point-maximum peak point-minimum peak point, the adjacent peak point for pitch determination is extracted. Image point cloud data for two teeth are extracted. Alternatively, the image point cloud data for one tooth from the adjacent maximum peak point-minimum peak point-maximum peak point-minimum peak point-maximum peak point and half teeth on both sides adjacent to the one tooth. By extracting, image point cloud data for one tooth for pitch determination and half teeth on both sides adjacent to the one tooth are extracted.

次に、ステップS230で、ステップS110の比較点群データと、ステップS210の各歯5aの形状判定用の画像点群データと、を歯5aごとに一次マッチングする。マッチング方法としては、例えば、ICP(Iterative Closest Point)を用いたマッチング方法などを実行可能である。なお、ICPを用いる場合、比較点群データと画像点群データとの初期位置のずれが大きいと結果が収束しないので、比較点群データに対する画像点群データの角度を歯車5の重心を合わせて30度ずつ12回分ずらしながらマッチングを行い、評価スコアが一番よい結果を選択することができる。そして、比較点群データに対応する画像点群データを抽出し、該画像点群データに、対応する比較点群データの法線情報を付与する。 Next, in step S230, the comparison point cloud data in step S110 and the image point cloud data for shape determination of each tooth 5a in step S210 are subjected to primary matching for each tooth 5a. As a matching method, for example, a matching method using ICP (Iterative Closest Point) can be executed. When ICP is used, if the initial positions of the comparison point cloud data and the image point cloud data are largely misaligned, the results do not converge. Matching is performed 12 times while shifting by 30 degrees, and the result with the best evaluation score can be selected. Then, image point cloud data corresponding to the comparison point cloud data is extracted, and normal line information of the corresponding comparison point cloud data is added to the image point cloud data.

次に、ステップS240で、ステップS230で抽出した画像点群データごとに、サブピクセル単位で歯5aのエッジの位置を抽出可能なアルゴリズムを使用して詳細な画像点群データを抽出する。詳細な画像点群データの抽出は、例えば、歯車5の輪郭部に直交する方向の輝度プロファイルを取得し、該輝度プロファイルを用いることで、サブピクセル単位で歯5aのエッジの位置を抽出することができる。ここで、CADデータから輪郭部に直交する法線情報を得ることが可能である。このため、上記のように、各々の比較点群データは該法線情報を有している。 Next, in step S240, for each image point cloud data extracted in step S230, detailed image point cloud data is extracted using an algorithm capable of extracting the position of the edge of tooth 5a in units of sub-pixels. For extraction of detailed image point cloud data, for example, a brightness profile in a direction orthogonal to the contour of the gear 5 is obtained, and the position of the edge of the tooth 5a is extracted in units of subpixels by using the brightness profile. can be done. Here, it is possible to obtain normal line information perpendicular to the contour from the CAD data. Therefore, as described above, each comparison point cloud data has the normal line information.

次に、ステップS250で、ステップS240で抽出した詳細な画像点群データを用いて、ステップS230と同様な方法で、歯5aごとに二次マッチングする。なお、本ステップでは、一次マッチングの実行結果を利用できるので、例えば、比較点群データに対する画像点群データの角度を30度ずつ12回分ずらしながらマッチングを行うことなどは省略できる。 Next, in step S250, using the detailed image point cloud data extracted in step S240, secondary matching is performed for each tooth 5a in the same manner as in step S230. In this step, since the result of the primary matching can be used, it is possible to omit performing matching while shifting the angle of the image point cloud data with respect to the comparison point cloud data by 30 degrees 12 times.

次に、ステップS260で、ステップS250でマッチングした比較点群データと詳細な画像点群データとを比較する。具体的には、比較点群データと詳細な画像点群データとの間の誤差を求める。例えば、歯車5の重心からの距離が画像点群データの方が長い場合は+誤差、歯車5の重心からの距離が比較点群データの方が長い場合は-誤差とする。すなわち、本ステップで歯車5における各歯5aの形状の良否を判断する。 Next, in step S260, the comparison point cloud data matched in step S250 is compared with the detailed image point cloud data. Specifically, the error between the comparison point cloud data and the detailed image point cloud data is obtained. For example, if the image point cloud data has a longer distance from the center of gravity of the gear 5 than the image point cloud data, the comparison point cloud data has a longer distance from the center of gravity of the gear 5 than that of the comparison point cloud data. That is, in this step, the quality of the shape of each tooth 5a in the gear 5 is judged.

次に、ステップS270で、ステップS230からステップS250までの各ステップと同様なステップにより、ステップS220で抽出した隣接する2歯分の画像点群データまたは1歯分の歯と隣接する両側の半歯分ずつの画像点群データを用いて、隣接する歯5a間のピッチ誤差を測定する。すなわち、本ステップで歯車5における隣接する歯5a間のピッチの良否を判断する。 Next, in step S270, image point cloud data for two adjacent teeth extracted in step S220 or half teeth on both sides adjacent to one tooth extracted in step S220 are processed by steps similar to steps S230 to S250. Minute by minute image point cloud data is used to measure the pitch error between adjacent teeth 5a. That is, in this step, the quality of the pitch between the adjacent teeth 5a of the gear 5 is judged.

そして、ステップS280で、他にステップS130においてパターンサーチされた別の歯車5があるかどうかを判断し、ステップS130においてパターンサーチされたすべての歯車5に対してステップS140からステップS280までを繰り返し、本実施例の部品の形状検査方法を終了する。なお、本実施例においては、図2で表されるように、3つの歯車5がステップS130においてパターンサーチされるので、ステップS140からステップS280までを3回繰り返す。 Then, in step S280, it is determined whether there is another gear 5 pattern-searched in step S130, and steps S140 to step S280 are repeated for all gears 5 pattern-searched in step S130, The component shape inspection method of the present embodiment is terminated. In this embodiment, as shown in FIG. 2, three gears 5 are pattern-searched in step S130, so steps S140 to S280 are repeated three times.

上記のように、本実施例の部品の形状検査方法は、ステップS110に対応し、歯車5の輪郭部の一部に対応する比較データである点群のデータを比較点群データとして読み込む比較点群データ読み込み工程を有している。また、ステップS120に対応し、歯車5の画像データを取得する画像データ取得工程を有している。また、ステップS140に対応し、歯車5の画像データから比較データに対応する対応データを取得する対応データ取得工程を有している。また、ステップS150、ステップS210、ステップS220及びステップS240に対応し、対応データから点群のデータである画像点群データを抽出する画像点群データ抽出工程を有している。また、ステップS260及びステップS270に対応し、画像点群データを比較点群データと比較して歯車5の形状の良否を判断する判断工程を有している。 As described above, the component shape inspection method of the present embodiment corresponds to step S110, in which point cloud data, which is comparison data corresponding to a part of the contour of the gear 5, is read as comparison point cloud data. It has a group data reading step. Also, corresponding to step S120, there is an image data obtaining step of obtaining image data of the gear 5. FIG. Further, corresponding to step S140, there is a corresponding data obtaining step of obtaining corresponding data corresponding to the comparison data from the image data of the gear 5. FIG. Also, corresponding to steps S150, S210, S220 and S240, there is an image point cloud data extracting step of extracting image point cloud data, which is point cloud data, from the corresponding data. Also, corresponding to steps S260 and S270, there is a determination step of comparing the image point cloud data with the comparison point cloud data to determine whether the shape of the gear 5 is good or bad.

本実施例の部品の形状検査方法を実行することで、歯車5の輪郭部の一部に対応する範囲に基づいて歯車5の形状の良否を判断することで高い精度で歯車5の形状を検査することができる。歯車5の輪郭部は歯車5の性能に大きく関わる部分であるとともに形状がはっきりしている為である。また、歯車5全体の画像を比較するのではなく歯車5の輪郭部の一部の画像を比較するとともに、点群のデータ同士を比較する。このため、データ量が多くなりすぎることを抑制し、検査の負荷を低下させることができる。すなわち、本実施例の部品の形状検査方法を実行することで、高い精度で簡単に歯車5の形状を検査することができる。 By executing the component shape inspection method of the present embodiment, the quality of the shape of the gear 5 is determined based on the range corresponding to a part of the contour of the gear 5, thereby inspecting the shape of the gear 5 with high accuracy. can do. This is because the outline of the gear 5 is a part that greatly affects the performance of the gear 5 and has a clear shape. In addition, instead of comparing the images of the entire gear 5, the images of a part of the outline of the gear 5 are compared, and the data of the point groups are compared. Therefore, it is possible to prevent the amount of data from becoming too large and reduce the inspection load. That is, the shape of the gear 5 can be easily inspected with high accuracy by executing the component shape inspection method of the present embodiment.

また、本実施例の部品の形状検査方法で検査可能な部品は歯車5であり、歯車5の輪郭部の一部に対応する範囲は歯車5の少なくとも1つの歯5aを含む範囲である。部品としての歯車5は、様々な装置で多量に使用される場合が多いが、本実施例の部品の形状検査方法を実行することで、高い精度で簡単に歯車5の形状を検査することができる。 Further, the part that can be inspected by the part shape inspection method of the present embodiment is the gear 5, and the range corresponding to part of the contour of the gear 5 is the range that includes at least one tooth 5a of the gear 5. The gear 5 as a component is often used in a large amount in various devices, but by executing the component shape inspection method of the present embodiment, the shape of the gear 5 can be easily inspected with high accuracy. can.

また、上記のように、比較点群データは、0.1μmの精度となるように変換され、数μmオーダーの誤差を測定する画像点群データよりも10倍以上のデータ数である。このため、本実施例の部品の形状検査方法を実行することで、各画像点群データをより好ましい比較点群データと比較することができ、特に高い精度で歯車5の形状を検査することができる。 Further, as described above, the comparison point cloud data is converted to have an accuracy of 0.1 μm, and is ten times or more the image point cloud data for measuring errors on the order of several μm. Therefore, by executing the component shape inspection method of the present embodiment, each image point cloud data can be compared with more preferable comparison point cloud data, and the shape of the gear 5 can be inspected with particularly high accuracy. can.

また、上記のように比較点群データは法線情報を有しており、ステップS110の比較点群データ読み込み工程では、法線情報に基づいて歯車5の輪郭部の位置を読み込むことができる。法線に沿ってデータを判断することでデータの判断精度が高くなるが、本実施例の部品の形状検査方法においては、比較点群データは法線情報を有し、法線情報に基づいて歯車5の輪郭部の位置を読み込むので、法線に沿ってデータを判断することができ、特に高い精度で歯車5の形状を検査することができる。 Further, as described above, the comparison point cloud data has normal line information, and in the comparison point cloud data reading step of step S110, the position of the contour portion of the gear 5 can be read based on the normal line information. Judging the data along the normal increases the accuracy of the data judgment. Since the position of the contour of the gear 5 is read, the data can be determined along the normal line, and the shape of the gear 5 can be inspected with particularly high accuracy.

また、上記のように、本実施例の部品の形状検査方法においては、画像点群データ抽出工程として、ピクセル単位で画像点群データを抽出する第1画像点群データ抽出工程としてのステップS150と、サブピクセル単位で画像点群データを抽出する第2画像点群データ抽出工程としてのステップS240と、を有している。すなわち、本実施例の部品の形状検査方法を実行することで、粗検査と詳細検査とを実行でき、速くかつ高精度に歯車5の形状を検査することができる。 Further, as described above, in the component shape inspection method of the present embodiment, as the image point cloud data extraction step, step S150 as the first image point cloud data extraction step for extracting image point cloud data in units of pixels; , and step S240 as a second image point cloud data extraction step for extracting image point cloud data in units of sub-pixels. That is, by executing the component shape inspection method of the present embodiment, rough inspection and detailed inspection can be performed, and the shape of the gear 5 can be inspected quickly and with high accuracy.

また、上記のように、本実施例の部品の形状検査方法においては、ステップS150の画像点群データ抽出工程で抽出した画像点群データから、ステップS260及びステップS270の判断工程で使用しないデータを抽出する、ステップS160に対応する不使用データ抽出工程を有している。このため、本実施例の部品の形状検査方法を実行することで、特に高い精度で歯車5の形状を検査することができる。 As described above, in the component shape inspection method of the present embodiment, data not used in the judgment steps of steps S260 and S270 are extracted from the image point cloud data extracted in the image point cloud data extraction step of step S150. It has an unused data extraction step corresponding to step S160. Therefore, by executing the component shape inspection method of this embodiment, the shape of the gear 5 can be inspected with particularly high accuracy.

また、上記のように、本実施例の部品の形状検査方法においては、ステップS170及びステップS190に対応し、ステップS150の画像点群データ抽出工程で抽出した画像点群データを変換するデータ変換工程を有している。そして、ステップS260及びステップS270の判断工程は、データ変換工程で変換したデータを用いて歯車5の形状の良否を判断することができる。このため、本実施例の部品の形状検査方法を実行し、例えばステップS170を実行することで、円形画像を帯状画像に変換することで複数の同様の形状部分を速くかつ高精度に比較することができる。また、本実施例の部品の形状検査方法を実行し、例えばステップS190を実行することで、中心位置がずれて取得された画像データの中心位置を修正することが可能になり、特に高い精度で部品の形状を検査することができる。 As described above, in the component shape inspection method of the present embodiment, the data conversion step of converting the image point cloud data extracted in the image point cloud data extraction step of step S150 corresponds to steps S170 and S190. have. In the determination process of steps S260 and S270, the quality of the shape of the gear 5 can be determined using the data converted in the data conversion process. Therefore, by executing the part shape inspection method of the present embodiment and, for example, executing step S170, a circular image is converted into a belt-shaped image so that a plurality of similar shape portions can be compared quickly and with high accuracy. can be done. Further, by executing the component shape inspection method of the present embodiment and, for example, executing step S190, it becomes possible to correct the center position of the image data acquired with the deviation of the center position. The shape of the part can be inspected.

なお、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれることは言うまでもない。 It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims, and these modifications are also included in the scope of the present invention.

1…部品の形状検査システム、2…PC、2a…モニター、
2b…記憶部、3…カメラ、4…テレセントリックレンズ、5…歯車(部品)、
5a…歯、5c…中心、6…ステージ、7…照明装置、P1…始点、P2…終点
1... Parts shape inspection system, 2... PC, 2a... Monitor,
2b...storage unit, 3...camera, 4...telecentric lens, 5...gear (component),
5a...teeth, 5c...center, 6...stage, 7...illumination device, P1...start point, P2...end point

Claims (6)

部品の形状検査方法であって、
前記部品の輪郭部の一部に対応する比較データである点群のデータを比較点群データとして読み込む比較点群データ読み込み工程と、
前記部品の画像データを取得する画像データ取得工程と、
前記部品の画像データから前記比較データに対応する対応データを取得する対応データ取得工程と、
前記対応データから点群のデータである画像点群データを抽出する画像点群データ抽出工程と、
前記画像点群データを前記比較点群データと比較して前記部品の形状の良否を判断する判断工程と
前記画像点群データ抽出工程で抽出した前記画像点群データから前記判断工程で使用しないデータを抽出する不使用データ抽出工程と、
を有し、
前記不使用データ抽出工程では、前記画像点群データをラベリングしてグループ化し、グループ化された複数のグループのうちの最大の面積のグループの前記画像点群データから外れたデータを不使用データとすることを特徴とする部品の形状検査方法。
A method for inspecting the shape of a component,
a comparison point cloud data reading step of reading point cloud data, which is comparison data corresponding to a part of the outline of the part, as comparison point cloud data;
an image data acquisition step of acquiring image data of the component;
a corresponding data acquisition step of acquiring corresponding data corresponding to the comparison data from the image data of the component;
an image point cloud data extracting step of extracting image point cloud data, which is point cloud data, from the corresponding data;
a determination step of comparing the image point cloud data with the comparison point cloud data to determine whether the shape of the component is good or bad ;
an unused data extraction step of extracting data not used in the determination step from the image point cloud data extracted in the image point cloud data extraction step;
has
In the unused data extracting step, the image point cloud data is labeled and grouped, and data out of the image point cloud data in a group having the largest area among the plurality of grouped groups is regarded as unused data. A method for inspecting the shape of a part, characterized by:
請求項1に記載の部品の形状検査方法において、
前記部品は歯車であり、前記部品の輪郭部の一部に対応する範囲は前記歯車の少なくとも1つの歯を含むことを特徴とする部品の形状検査方法。
In the component shape inspection method according to claim 1,
A method for inspecting the shape of a component, wherein the component is a gear, and the range corresponding to a portion of the contour of the component includes at least one tooth of the gear.
請求項1または2に記載の部品の形状検査方法において、
前記比較点群データは、前記画像点群データよりも10倍以上のデータ数であることを特徴とする部品の形状検査方法。
In the component shape inspection method according to claim 1 or 2,
A method for inspecting the shape of a part, wherein the number of comparison point cloud data is ten times or more that of the image point cloud data.
請求項1から3のいずれか1項に記載の部品の形状検査方法において、
前記比較点群データは、法線情報を有し、
前記比較点群データ読み込み工程は、前記法線情報に基づいて前記部品の輪郭部の位置のデータを読み込むことを特徴とする部品の形状検査方法。
In the component shape inspection method according to any one of claims 1 to 3,
The comparison point cloud data has normal line information,
The component shape inspection method, wherein the comparison point cloud data reading step reads position data of a contour portion of the component based on the normal line information.
請求項1から4のいずれか1項に記載の部品の形状検査方法において、
前記画像点群データ抽出工程として、ピクセル単位で前記画像点群データを抽出する第1画像点群データ抽出工程と、サブピクセル単位で前記画像点群データを抽出する第2画像点群データ抽出工程と、を有することを特徴とする部品の形状検査方法。
In the component shape inspection method according to any one of claims 1 to 4,
The image point cloud data extraction step includes a first image point cloud data extraction step of extracting the image point cloud data in pixel units and a second image point cloud data extraction step of extracting the image point cloud data in subpixel units. A method for inspecting the shape of a part, comprising:
請求項1からのいずれか1項に記載の部品の形状検査方法において、
前記画像点群データ抽出工程で抽出した前記画像点群データを変換するデータ変換工程を有し、
前記判断工程は、前記データ変換工程で変換したデータを用いて前記部品の形状の良否を判断することを特徴とする部品の形状検査方法。
In the component shape inspection method according to any one of claims 1 to 5 ,
a data conversion step of converting the image point cloud data extracted in the image point cloud data extraction step;
A method for inspecting a shape of a component, wherein the determination step uses the data converted in the data conversion step to determine whether the shape of the component is good or bad.
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