JP7248573B2 - Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing said compound - Google Patents

Oxime ester compound and photopolymerization initiator containing said compound Download PDF

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Description

本発明は、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用な新規なオキシムエステル化合物、該化合物を含有する光重合開始剤、並びに該光重合開始剤及びエチレン性不飽和化合物を含有する感光性組成物に関する。 The present invention provides a novel oxime ester compound useful as a photopolymerization initiator used in a photosensitive composition, a photopolymerization initiator containing the compound, and a photosensitive composition containing the photopolymerization initiator and an ethylenically unsaturated compound. relating to sexual compositions.

感光性組成物は、エチレン性不飽和化合物に光重合開始剤を加えたものであり、エネルギー線(光)を照射することによって重合硬化させることができるため、光硬化性インク、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。 The photosensitive composition is obtained by adding a photopolymerization initiator to an ethylenically unsaturated compound, and can be polymerized and cured by irradiation with energy rays (light). , various photoresists, etc.

上記感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、特許文献1には、カルバゾール骨格を有するオキシムエステル光重合開始剤が開示されている。また、特許文献2には、トリアリールアミン骨格を有するオキシムエステル化合物を有する重合開始剤が開示されている。しかし、特許文献1及び2に記載のオキシムエステル化合物は、感度、耐熱性(低昇華性)及び透明性(カラーフィルタの輝度が高い)を満足できる水準で両立できるものではなかった。 As a photopolymerization initiator used in the photosensitive composition, Patent Document 1 discloses an oxime ester photopolymerization initiator having a carbazole skeleton. Further, Patent Document 2 discloses a polymerization initiator having an oxime ester compound having a triarylamine skeleton. However, the oxime ester compounds described in Patent Literatures 1 and 2 cannot achieve both sensitivity, heat resistance (low sublimation property) and transparency (color filter with high brightness) at a satisfactory level.

また、カラーフィルタ等の着色剤を含有する着色アルカリ現像性感光性組成物は、高感度であることが求められため、レジスト中における光重合開始剤を高濃度にする必要がある。しかし、光重合開始剤の濃度が高い光重合開始剤は、現像性の悪化による残渣の発生や、昇華物によるフォトマスクや加熱炉の汚染及び硬化物が着色し輝度が劣る等の原因となっていた。 Further, since the colored alkali-developable photosensitive composition containing a colorant such as a color filter is required to have high sensitivity, it is necessary to increase the concentration of the photopolymerization initiator in the resist. However, a photopolymerization initiator with a high concentration of photopolymerization initiator causes the generation of residue due to deterioration of developability, contamination of photomasks and heating furnaces with sublimation, and coloring of the cured product, resulting in poor brightness. was

国際公開第2008/138732号WO2008/138732 国際公開第2017/033880号WO2017/033880

従って、本発明の課題は、高感度であり、可視光領域の透過率が高い光重合開始剤として有用なオキシムエステル化合物及び該化合物を用いた光重合開始剤並びに感光性組成物を提供し、輝度の高いカラーフィルタ及び該カラーフィルタを含有する表示装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an oxime ester compound useful as a photopolymerization initiator with high sensitivity and high transmittance in the visible light region, a photopolymerization initiator using the compound, and a photosensitive composition, An object of the present invention is to provide a color filter with high luminance and a display device containing the color filter.

本発明は、下記[1]~[9]を提供することにより、上記課題を解決したものである。 The present invention solves the above problems by providing the following [1] to [9].

[1] 下記一般式(I)で表されるオキシムエステル化合物。 [1] An oxime ester compound represented by the following general formula (I).

Figure 0007248573000001


(式中、R、R、R、R、R、R、R、R、R、R10、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に、下記一般式(II)で表される基、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、R21、OR21、SR21、NR2223、COR21、SOR21、SO21又はCONR2223を表し、
、R、R、R、R、R、R、R、R、R10、R11、R12、及びR13のうち、少なくとも三つが下記一般式(II)で表される基であり、
21、R22及びR23は、それぞれ独立に、炭素原子数1~20の炭化水素基又は炭素原子数2~20の複素環含有基を表し、
21、R22及びR23で表される基中の水素原子は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基、イソシアネート基又は炭素原子数2~20複素環含有基で置換される場合があり、
21、R22及びR23で表される基中のメチレン基は-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NR24-、-NR24CO-、-S-、-CS-、-SO-、-SCO-、-COS-、-OCS-又はCSO-で置換される場合があり、
24は、水素原子、炭素原子数1~20の炭化水素基を表し、
は、不存在、直接結合、-CO-、-O-又は-S-を表す。)
Figure 0007248573000001


(wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 and R 13 are each independently Group represented by general formula (II), hydrogen atom, halogen atom, nitro group, cyano group, hydroxyl group, carboxyl group, amino group, R 21 , OR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , COR 21 , SOR 21 , SO2R21 or CONR22R23 ,
At least three of R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 and R 13 have the following general formula (II) ) is a group represented by
R 21 , R 22 and R 23 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms;
Hydrogen atoms in the groups represented by R 21 , R 22 and R 23 are halogen atoms, nitro groups, cyano groups, hydroxyl groups, amino groups, carboxyl groups, methacryloyl groups, acryloyl groups, epoxy groups, vinyl groups and vinyl ether groups. , may be substituted with a mercapto group, an isocyanate group or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms,
The methylene groups in the groups represented by R 21 , R 22 and R 23 are -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -NR 24 -, -NR 24 CO-, -S-, - may be substituted with CS-, -SO 2 -, -SCO-, -COS-, -OCS- or CSO-;
R 24 represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms,
X 1 represents absence, direct bond, -CO-, -O- or -S-. )

Figure 0007248573000002


(式中、R31及びR32は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数1~20の炭化水素基又は炭素原子数2~20の複素環含有基を表し、
31及びR32で表される基中の水素原子はハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基、イソシアネート基又は炭素原子数2~20複素環含有基で置換される場合があり、
31及びR32で表される基中のメチレン基は-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NR33-、-NR33CO-、-S-、-CS-、-SO-、-SCO-、-COS-、-OCS-又はCSO-で置換される場合もあり、
33は、水素原子、炭素原子数1~20の炭化水素基を表し、
nは0又は1を表し、*は結合手を表す。)
Figure 0007248573000002


(wherein R 31 and R 32 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms; ,
hydrogen atoms in the groups represented by R 31 and R 32 are halogen atoms, nitro groups, cyano groups, hydroxyl groups, amino groups, carboxyl groups, methacryloyl groups, acryloyl groups, epoxy groups, vinyl groups, vinyl ether groups, mercapto groups, may be substituted with an isocyanate group or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms,
The methylene groups in the groups represented by R 31 and R 32 are -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -NR 33 -, -NR 33 CO-, -S-, -CS-, -SO 2 -, -SCO-, -COS-, -OCS- or CSO- in some cases,
R 33 represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms,
n represents 0 or 1, * represents a bond. )

[2] 一般式(I)中のR、R及びR11の少なくとも一つが、一般式(II)で表される基である[1]に記載のオキシムエステル化合物。[2] The oxime ester compound according to [1], wherein at least one of R 3 , R 6 and R 11 in general formula (I) is a group represented by general formula (II).

[3] [1]又は[2]に記載のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤。 [3] A photopolymerization initiator containing the oxime ester compound according to [1] or [2].

[4] [3]に記載の光重合開始剤(A)及びエチレン性不飽和化合物(B)を含有する感光性組成物。 [4] A photosensitive composition containing the photopolymerization initiator (A) according to [3] and an ethylenically unsaturated compound (B).

[5] 更に着色剤(C)を含有する[4]に記載の感光性組成物。 [5] The photosensitive composition of [4], further comprising a coloring agent (C).

[6] [4]又は[5]に記載の感光性組成物とアルカリ現像性化合物(D)とを含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 [6] An alkali-developable photosensitive resin composition containing the photosensitive composition according to [4] or [5] and an alkali-developable compound (D).

[7] [4]若しくは[5]に記載の感光性組成物又は[6]に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物の硬化物。 [7] A cured product of the photosensitive composition described in [4] or [5] or the alkali-developable photosensitive resin composition described in [6].

[8] [7]に記載の硬化物を含有する表示装置。 [8] A display device containing the cured product of [7].

[9] [4]若しくは[5]に記載の感光性組成物又は[6]に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を光照射又は加熱にて硬化させる工程を有する硬化物の製造方法。 [9] A method for producing a cured product, comprising the step of curing the photosensitive composition described in [4] or [5] or the alkali-developable photosensitive resin composition described in [6] by light irradiation or heating.

以下、本発明のオキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤(A)について好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。 Hereinafter, the oxime ester compound of the present invention and the photopolymerization initiator (A) containing the compound will be described in detail based on preferred embodiments.

本発明のオキシムエステル化合物は、上記一般式(I)で表される新規な化合物である。該オキシムエステル化合物には、オキシムの二重結合による幾何異性体が存在するが、これらを区別するものではない。
即ち、本明細書において、上記一般式(I)で表される化合物及びその例示化合物は、これら幾何異性体の一種又は2種以上の混合物を表すものであり、特定の異性体を示した構造に限定するものではない。
The oxime ester compound of the present invention is a novel compound represented by the general formula (I). The oxime ester compound has geometric isomers due to the double bond of oxime, but these are not distinguished.
That is, in the present specification, the compound represented by the general formula (I) and its exemplary compounds represent one or a mixture of two or more of these geometric isomers, and the structure showing a specific isomer is not limited to

上記一般式(I)中のR21~R24で表される炭素原子数1~20の炭化水素基は、特に限定されるものではないが、好ましくは炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数2~20のアルケニル基、炭素原子数3~20のシクロアルキル基、炭素原子数4~20のシクロアルキルアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基及び炭素原子数7~20のアリールアルキル基等を表す。The hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 21 to R 24 in the general formula (I) are not particularly limited, but are preferably alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkylalkyl group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms and an aryl group having 7 to 20 carbon atoms; Represents an arylalkyl group and the like.

上記炭素原子数1~20のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s-ブチル、t-ブチル、アミル、イソアミル、t-アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2-エチルヘキシル、t-オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル及びイコシル等が挙げられ、特に炭素原子数1~10のアルキル基が好ましい。 Examples of alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, s-butyl, t-butyl, amyl, isoamyl, t-amyl, hexyl, heptyl, octyl and isooctyl. , 2-ethylhexyl, t-octyl, nonyl, isononyl, decyl, isodecyl, undecyl, dodecyl, tetradecyl, hexadecyl, octadecyl and icosyl, etc., with alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms being particularly preferred.

炭素原子数2~20のアルケニル基としては、例えば、ビニル、エチレン、2-プロペニル、3-ブテニル、2-ブテニル、4-ペンテニル、3-ペンテニル、2-ヘキセニル、3-ヘキセニル、5-ヘキセニル、2-ヘプテニル、3-ヘプテニル、4-ヘプテニル、3-オクテニル、3-ノネニル、4-デセニル、3-ウンデセニル、4-ドデセニル及び4,8,12-テトラデカトリエニルアリル等が挙げられる。特に炭素原子数1~10のアルケニル基が好ましい。 Examples of alkenyl groups having 2 to 20 carbon atoms include vinyl, ethylene, 2-propenyl, 3-butenyl, 2-butenyl, 4-pentenyl, 3-pentenyl, 2-hexenyl, 3-hexenyl, 5-hexenyl, 2-heptenyl, 3-heptenyl, 4-heptenyl, 3-octenyl, 3-nonenyl, 4-decenyl, 3-undecenyl, 4-dodecenyl and 4,8,12-tetradecatrienylallyl and the like. Alkenyl groups having 1 to 10 carbon atoms are particularly preferred.

上記炭素原子数3~20のシクロアルキル基とは、3~20の炭素原子を有する、飽和単環式又は飽和多環式アルキル基を意味する。飽和単環式のものとしては、例えば、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル及びシクロデシル等が挙げられる。飽和多環式のものとしては、アダマンチル、デカハイドロナフチル、オクタヒドロペンタレン及びビシクロ[1.1.1]ペンタニル等が挙げられる。 The cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms means a saturated monocyclic or saturated polycyclic alkyl group having 3 to 20 carbon atoms. Saturated monocyclics include, for example, cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, cyclononyl and cyclodecyl. Saturated polycyclics include adamantyl, decahydronaphthyl, octahydropentalene, bicyclo[1.1.1]pentanyl, and the like.

上記炭素原子数4~20のシクロアルキルアルキル基とは、アルキル基の水素原子が、シクロアルキル基で置換された4~20の炭素原子を有する基を意味する。例えば、シクロプロピルメチル、2-シクロブチルエチル、3-シクロペンチルプロピル、4-シクロヘキシルブチル、シクロヘプチルメチル、シクロオクチルメチル、2-シクロノニルエチル、2-シクロデシルエチル、3-3-アダマンチルプロピル及びデカハイドロナフチルプロピル等が挙げられる。 The above-mentioned cycloalkylalkyl group having 4 to 20 carbon atoms means a group having 4 to 20 carbon atoms in which a hydrogen atom of the alkyl group is replaced with a cycloalkyl group. For example, cyclopropylmethyl, 2-cyclobutylethyl, 3-cyclopentylpropyl, 4-cyclohexylbutyl, cycloheptylmethyl, cyclooctylmethyl, 2-cyclononylethyl, 2-cyclodecylethyl, 3-3-adamantylpropyl and deca and hydronaphthylpropyl.

上記炭素原子数6~20のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で一つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。 Examples of the aryl group having 6 to 20 carbon atoms include phenyl, tolyl, xylyl, ethylphenyl, naphthyl, anthryl, phenanthrenyl, phenyl substituted with one or more of the above alkyl groups, biphenylyl, naphthyl and anthryl. be done.

上記炭素原子数7~30のアリールアルキル基とは、アルキル基の水素原子が、アリール基で置換された7~30の炭素原子を有する基を意味する。例えば、ベンジル、α-メチルベンジル、α、α-ジメチルベンジル、フェニルエチル及びナフチルプロピル等が挙げられる。 The above arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms means a group having 7 to 30 carbon atoms in which the hydrogen atoms of the alkyl group are replaced with aryl groups. Examples include benzyl, α-methylbenzyl, α,α-dimethylbenzyl, phenylethyl and naphthylpropyl.

上記炭素原子数1~20の炭化水素基の中でも、光重合開始剤として感度がよいことから、炭素原子数1~12のアルキル基、炭素原子数2~10のアルケニル基、炭素原子数3~10のシクロアルキル基、炭素原子数4~15のシクロアルキルアルキル基、炭素原子数6~15のアリール基及び炭素原子数7~15のアリールアルキル基が特に好ましい。 Among the above hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms, since they are sensitive as photopolymerization initiators, alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, alkenyl groups having 2 to 10 carbon atoms, and 3 to 3 carbon atoms Cycloalkyl groups of 10, cycloalkylalkyl groups of 4 to 15 carbon atoms, aryl groups of 6 to 15 carbon atoms and arylalkyl groups of 7 to 15 carbon atoms are particularly preferred.

上記一般式(I)中の、R21~R23で表される炭素原子数2~20の複素環含有基及びR21~R23で表される基中の水素原子を置換する場合がある炭素原子数2~20の複素環含有基としては、例えば、ピロリル、ピリジル、ピリジルエチル、ピリミジル、ピリダジル、ピペラジル、ピペリジル、ピラニル、ピラニルエチル、ピラゾリル、トリアジル、トリアジルメチル、ピロリジル、キノリル、イソキノリル、イミダゾリル、ベンゾイミダゾリル、トリアゾリル、フリル、フラニル、ベンゾフラニル、チエニル、チオフェニル、ベンゾチオフェニル、チアジアゾリル、チアゾリル、ベンゾチアゾリル、オキサゾリル、ベンゾオキサゾリル、イソチアゾリル、イソオキサゾリル、インドリル、ユロリジル、モルフォリニル、チオモルフォリニル、2-ピロリジノン-1-イル、2-ピペリドン-1-イル、2,4-ジオキシイミダゾリジン-3-イル及び2,4-ジオキシオキサゾリジン-3-イル等が挙げられる。Hydrogen atoms in the heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms represented by R 21 to R 23 and the group represented by R 21 to R 23 in the above general formula (I) may be substituted. Examples of heterocyclic ring-containing groups having 2 to 20 carbon atoms include pyrrolyl, pyridyl, pyridylethyl, pyrimidyl, pyridazyl, piperazyl, piperidyl, pyranyl, pyranylethyl, pyrazolyl, triazyl, triazylmethyl, pyrrolidyl, quinolyl, isoquinolyl and imidazolyl. , benzimidazolyl, triazolyl, furyl, furanyl, benzofuranyl, thienyl, thiophenyl, benzothiophenyl, thiadiazolyl, thiazolyl, benzothiazolyl, oxazolyl, benzoxazolyl, isothiazolyl, isoxazolyl, indolyl, eurolidyl, morpholinyl, thiomorpholinyl, 2-pyrrolidinone -1-yl, 2-piperidon-1-yl, 2,4-dioxyimidazolidin-3-yl and 2,4-dioxyoxazolidin-3-yl.

上記一般式(I)中の、R21~R23で表される基中のメチレン基は、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NR24-、-NR24CO-、-S-、-CS-、-SO-、-SCO-、-COS-、-OCS-又はCSO-で置換される場合もあり、この置換は1種又は2種以上の基でもよく、連続して置換しえる基の場合は、酸素原子が隣り合わない条件で2つ以上連続して置換する場合もある。The methylene groups in the groups represented by R 21 to R 23 in the above general formula (I) are -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -NR 24 -, -NR 24 CO may be substituted with -, -S-, -CS-, -SO 2 -, -SCO-, -COS-, -OCS- or CSO-, and this substitution may be one or more groups In the case of a group that can be substituted continuously, two or more oxygen atoms may be substituted continuously under the condition that the oxygen atoms are not adjacent to each other.

上記炭素原子数2~20の複素環含有基の中でも、光重合開始剤として感度がよいことから、炭素原子数2~10の複素環含有基が特に好ましい。 Among the above heterocyclic ring-containing groups having 2 to 20 carbon atoms, heterocyclic ring-containing groups having 2 to 10 carbon atoms are particularly preferable because they are highly sensitive as photopolymerization initiators.

上記一般式(II)中のR31~R33で表される炭素原子数1~20の炭化水素基としては、上記一般式(I)中のR21~R24で表される炭素原子数1~20の炭化水素基と同様のものが挙げられる。As the hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 31 to R 33 in the general formula (II), the number of carbon atoms represented by R 21 to R 24 in the general formula (I) The same as 1 to 20 hydrocarbon groups can be mentioned.

上記一般式(II)中の、R31及びR32で表される炭素原子数2~20の複素環含有基並びにR31及びR32で表される基中の水素原子を置換する場合がある炭素原子数2~20の複素環含有基としては、上記一般式(I)中のR21~R23で表される炭素原子数1~20の炭化水素基と同様のものが挙げられる。Hydrogen atoms in the heterocyclic ring-containing groups having 2 to 20 carbon atoms represented by R 31 and R 32 and the groups represented by R 31 and R 32 in the general formula (II) may be substituted. Examples of the heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms include the same hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 21 to R 23 in the general formula (I).

上記一般式(II)中の、R31及びR32で表される基中のメチレン基は、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NR24-、-NR24CO-、-S-、-CS-、-SO-、-SCO-、-COS-、-OCS-又はCSO-で置換される場合もあり、この置換は1種又は2種以上の基でもよく、連続して置換しえる基の場合は、酸素原子が隣り合わない条件で2つ以上連続して置換する場合もある。The methylene groups in the groups represented by R 31 and R 32 in the above general formula (II) are -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -NR 24 -, -NR 24 CO may be substituted with -, -S-, -CS-, -SO 2 -, -SCO-, -COS-, -OCS- or CSO-, and this substitution may be one or more groups In the case of a group that can be substituted continuously, two or more oxygen atoms may be substituted continuously under the condition that the oxygen atoms are not adjacent to each other.

上記一般式(I)及び(II)中のハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。 Halogen atoms in the general formulas (I) and (II) include fluorine, chlorine, bromine and iodine.

一般式(I)中のXが不存在又は直接結合であるオキシムエステル化合物は、光重合開始剤として用いた場合、輝度に優れることから好ましく、Xが直接結合であるオキシムエステル化合物は、輝度に加え感度が一層優れることから特に好ましい。本発明においてXが不存在とは、Xの位置に如何なる原子も存在せず、一般式(I)で表されるオキシムエステル化合物がトリフェノールアミン骨格を有することを意味する。An oxime ester compound in which X 1 in the general formula (I) is absent or a direct bond is preferable because of its excellent brightness when used as a photopolymerization initiator, and an oxime ester compound in which X 1 is a direct bond is It is particularly preferred because it provides superior sensitivity in addition to brightness. The absence of X 1 in the present invention means that no atom exists at the position of X 1 and the oxime ester compound represented by general formula (I) has a triphenolamine skeleton.

~R13が一般式(II)以外の基である場合、R~R13として水素原子又はシアノ基、特に水素原子であるものは、合成が容易なので好ましい。When R 1 to R 13 are groups other than those of general formula (II), hydrogen atoms or cyano groups, particularly hydrogen atoms, are preferred as R 1 to R 13 because they are easy to synthesize.

一般式(I)中のR、R及びR11の少なくとも一つ、好ましくは二つ、より好ましくは全てが、一般式(II)で表される基であるオキシムエステル化合物は、合成時に収率がよく、精製も容易なことから好ましい。一般式(I)中のR、R及びR11の全てが一般式(II)で表される基である場合、R、R、R、R、R、R、R、R10、R12及びR13は水素原子であるオキシムエステル化合物は合成が容易なので好ましい。At least one, preferably two, and more preferably all of R 3 , R 6 and R 11 in general formula (I) are groups represented by general formula (II). It is preferable because of good yield and easy purification. When all of R 3 , R 6 and R 11 in general formula (I) are groups represented by general formula (II), R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , R 7 , R 8 , Oxime ester compounds in which R 9 , R 10 , R 12 and R 13 are hydrogen atoms are preferred because they are easy to synthesize.

上記一般式(II)において、n=1であるオキシムエステル化合物を光重合開始剤(A)として用いた硬化物は、透明性及び輝度に優れるため好ましい。 A cured product obtained by using an oxime ester compound in which n=1 in the general formula (II) as the photopolymerization initiator (A) is preferable because of excellent transparency and brightness.

上記一般式(II)において、R31が炭素原子数1~12のアルキル基、特に炭素原子数1~7のアルキル基であるものが有機溶剤への溶解性が高いので好ましい。R32が炭素原子数1~4のアルキル、特にメチル基若しくはエチル基又はフェニル基であるものは、反応性が高いので好ましい。In the general formula (II) above, those in which R 31 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, particularly an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms are preferred because they are highly soluble in organic solvents. Those in which R 32 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, particularly a methyl group, an ethyl group, or a phenyl group are preferred due to their high reactivity.

上記一般式(I)で表される本発明のオキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物No.1~No.261が挙げられる。但し、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。 Preferred specific examples of the oxime ester compound of the present invention represented by the general formula (I) include the following compound Nos. 1 to No. 261. However, the present invention is not limited by the following compounds.

Figure 0007248573000003
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Figure 0007248573000004
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Figure 0007248573000021
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Figure 0007248573000022
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Figure 0007248573000023
Figure 0007248573000023

上記一般式(I)で表される本発明のオキシムエステル化合物は、特に限定されないが、例えば、下記に示す方法で合成できる。 The oxime ester compound of the present invention represented by the general formula (I) is not particularly limited, but can be synthesized, for example, by the method shown below.

一般式(II)中のnが0で場合ある場合、下記の反応スキームで合成することができる。具体的には、公知の窒素含有化合物と公知であり市販されている酸クロリドとを反応させることによりケトン化合物1を得、得られたケトン化合物1と塩酸ヒドロキシルアミンを反応させることにより、オキシム化合物1を得る。続いて、オキシム化合物1に、トリエチルアミン(TEA)存在下で酸クロリドを反応させることにより、上記一般式(I)で表される本発明のオキシムエステル化合物1を得る。
オキシム化合物及びオキシムエステル化合物は、国際公開2008/078678号に記載の方法でも製造できる。
When n in general formula (II) is 0, it can be synthesized according to the following reaction scheme. Specifically, a ketone compound 1 is obtained by reacting a known nitrogen-containing compound with a known and commercially available acid chloride, and the obtained ketone compound 1 is reacted with hydroxylamine hydrochloride to obtain an oxime compound. get 1. Subsequently, the oxime compound 1 is reacted with an acid chloride in the presence of triethylamine (TEA) to obtain the oxime ester compound 1 of the present invention represented by the general formula (I).
The oxime compound and oxime ester compound can also be produced by the method described in WO 2008/078678.

Figure 0007248573000024
Figure 0007248573000024

上記反応式中、R、R、R、R、R、R、R、R、R、R10、R11、R12、R13、R31、R32及びXは、一般式(I)及び一般式(II)のR、R、R、R、R、R、R、R、R、R10、R11、R12、R13、R31、R32及びXと同じである。In the above reaction scheme, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 , R 13 , R 31 , R 32 and X 1 is R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R in general formula (I) and general formula (II) 12 , R 13 , R 31 , R 32 and X 1 .

一般式(II)中のnが1で場合ある場合、下記の反応式に従って、以下の方法により製造することができる。
即ち、公知の窒素含有化合物と酸クロリドと反応させることによりケトン化合物2を得、ケトン化合物2と亜硝酸イソブチルを反応させることにより、オキシム化合物2を得る。続いて、オキシム化合物2に、酸無水物又は酸クロリドを反応させることにより、上記一般式(I)で表される本発明のオキシムエステル化合物2を得る。
When n in general formula (II) is 1, it can be produced by the following method according to the following reaction scheme.
That is, the ketone compound 2 is obtained by reacting a known nitrogen-containing compound with an acid chloride, and the oxime compound 2 is obtained by reacting the ketone compound 2 with isobutyl nitrite. Subsequently, by reacting the oxime compound 2 with an acid anhydride or an acid chloride, the oxime ester compound 2 of the present invention represented by the general formula (I) is obtained.

Figure 0007248573000025
Figure 0007248573000025

上記反応式中、R、R、R、R、R、R、R、R、R、R10、R11、R12、R13、R31、R32及びXは、一般式(I)及び一般式(II)のR、R、R、R、R、R、R、R、R、R10、R11、R12、R13、R31、R32及びXと同じである。In the above reaction scheme, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 , R 13 , R 31 , R 32 and X 1 is R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R in general formula (I) and general formula (II) 12 , R 13 , R 31 , R 32 and X 1 .

以上説明した本発明の新規なオキシムエステル化合物は、医薬、農薬、塩基発生剤及び光重合開始剤等に有用で、光重合開始剤の中でも特にラジカル重合開始剤(光ラジカル重合開始剤又は熱ラジカル重合開始剤)として有用である。また、本発明の新規なオキシムエステル化合物は、増感剤としても好適に用いることができる。 The novel oxime ester compound of the present invention described above is useful for pharmaceuticals, agricultural chemicals, base generators, photopolymerization initiators, and the like. polymerization initiator). Moreover, the novel oxime ester compound of the present invention can also be suitably used as a sensitizer.

本発明の感光性組成物は、本発明の光重合開始剤(A)及びエチレン性不飽和化合物(B)を含有し、任意成分として、着色剤(C)、アルカリ現像性化合物(D)、無機化合物、溶剤等の成分を組み合わせて含有するものである。 The photosensitive composition of the present invention contains the photopolymerization initiator (A) and the ethylenically unsaturated compound (B) of the present invention, and optionally includes a colorant (C), an alkali developable compound (D), It contains a combination of components such as an inorganic compound and a solvent.

本発明の光重合開始剤(A)は、一般式(I)で表される本発明のオキシムエステル化合物を少なくとも1種含有するものであり、他の光重合開始剤を併用することができる。光重合開始剤(A)中における本発明のオキシムエステル化合物の含有量は、好ましくは30~100質量%、より好ましくは50~100質量%である。
また、本発明の光重合開始剤(A)は、エチレン性不飽和化合物(B)の光重合開始剤として有用なものである。
The photopolymerization initiator (A) of the present invention contains at least one oxime ester compound of the present invention represented by general formula (I), and can be used in combination with other photopolymerization initiators. The content of the oxime ester compound of the present invention in the photopolymerization initiator (A) is preferably 30-100% by mass, more preferably 50-100% by mass.
Moreover, the photopolymerization initiator (A) of the present invention is useful as a photopolymerization initiator for the ethylenically unsaturated compound (B).

一般式(I)に属さない他の光重合開始剤としては、光照射によりラジカルを発生するものであれば特に制限されず従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、オキシムエステル系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンジル系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、ホスフィンオキサイド系化合物及びチタノセン系化合物等を好ましいものとして例示することができる。 Other photopolymerization initiators not belonging to general formula (I) are not particularly limited as long as they generate radicals upon irradiation with light, and conventionally known compounds can be used, for example, oxime ester compounds. , acetophenone-based compounds, benzyl-based compounds, benzophenone-based compounds, thioxanthone-based compounds, phosphine oxide-based compounds, and titanocene-based compounds.

上記オキシムエステル系化合物としては、上記一般式(II)で表される基を有する化合物等が挙げられ、上記光重合開始剤の中でも感度が良好であることから、本発明の感光性組成物に好ましく使用することができる。 Examples of the oxime ester compound include compounds having a group represented by the general formula (II). Among the above photopolymerization initiators, the sensitivity is good, so the photosensitive composition of the present invention can be used. It can be preferably used.

上記一般式(II)中のR31~R33で表される炭素原子数1~20の炭化水素基は、一般式(I)に記載されている炭素原子数1~20の炭化水素基と同様である。The hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 31 to R 33 in the above general formula (II) are the hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms described in general formula (I). It is the same.

上記一般式(II)中のR31及びR32並びにR31又はR32で表される基を修飾する場合がある複素環を含有する炭素原子数2~20の基は、一般式(I)で記載されている複素環を含有する炭素原子数2~20の基と同様である。R 31 and R 32 in the above general formula (II) and the heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms which may modify the group represented by R 31 or R 32 are represented by general formula (I) is the same as the heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms described in .

上記一般式(II)で表される基を有するオキシムエステル系化合物の中でも下記一般式(III)で表される化合物は、特に感度が高いことから、本発明の感光性組成物に用いることが好ましい。 Among the oxime ester compounds having a group represented by the above general formula (II), the compounds represented by the following general formula (III) have particularly high sensitivity and can be used in the photosensitive composition of the present invention. preferable.

上記一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系化合物の中でも下記一般式(III)で表される化合物は、特に感度が高いことから、本発明の感光性組成物に用いることが好ましい。 Among the oxime ester compounds having a group represented by the above general formula (I), the compounds represented by the following general formula (III) have particularly high sensitivity and can be used in the photosensitive composition of the present invention. preferable.

Figure 0007248573000026
Figure 0007248573000026

(式中、R31、R32及びnは、それぞれ一般式(II)におけるR31、R32及びnと同一であり、
41及びR42は、それぞれ独立に、直接結合、水素原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数7~20のアリールアルキル基又は複素環を含有する炭素原子数2~20の基を表し、
11は、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、CR4344、CO、NR45又はPR46を表し、
12は、無結合、直接結合、炭素原子数1~20の炭化水素基、COを表し、R43~R46は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1~20の炭化水素基又は複素環を含有する炭素原子数2~20の基を表し、R43~R46で表される基中の水素原子は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、メルカプト基、イソシアネート基、複素環含有基で置換される場合もあり、R41~R46で表される基中のメチレン基は、酸素が隣り合わない条件で-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-S-、-SO-、-SCO-又は-COS-で置換される場合もあり、
41~R46は、それぞれ独立に、隣接するどちらかのベンゼン環と一緒になって環を形成する場合もあり、
aは、0~4の数を表し、
bは、0~3の数を表す。)
(Wherein, R 31 , R 32 and n are respectively the same as R 31 , R 32 and n in general formula (II),
R 41 and R 42 each independently represents a direct bond, a hydrogen atom, a nitro group, a cyano group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, or a an arylalkyl group or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms,
X 11 represents an oxygen atom, a sulfur atom, a selenium atom, CR 43 R 44 , CO, NR 45 or PR 46 ;
X 12 represents no bond, direct bond, hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, CO, and R 43 to R 46 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or represents a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms, wherein the hydrogen atom in the groups represented by R 43 to R 46 is a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydroxyl group, an amino group, a carboxyl group, or methacryloyl; group, acryloyl group, epoxy group, vinyl group, mercapto group, isocyanate group, heterocyclic ring-containing group, and the methylene groups in the groups represented by R 41 to R 46 are not adjacent to oxygen. may be substituted with -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -S-, -SO 2 -, -SCO- or -COS- under certain conditions;
R 41 to R 46 may each independently form a ring together with either adjacent benzene ring,
a represents a number from 0 to 4,
b represents a number from 0 to 3; )

上記一般式(III)中のR41~R46で表される炭素原子数1~20の炭化水素基は、それぞれ上記一般式(I)に記載されている炭素原子数1~20の炭化水素基と同様である。The hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms represented by R 41 to R 46 in the general formula (III) are the hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms described in the general formula (I), respectively. It is the same as the base.

上記一般式(III)中のR41~R46で表される、複素環を含有する炭素原子数2~20の基は、上記一般式(I)に記載されている複素環を含有する炭素原子数2~20の基と同様である。The heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms represented by R 41 to R 46 in the general formula (III) is the heterocyclic ring-containing carbon atom described in the general formula (I). It is the same as the group having 2 to 20 atoms.

上記一般式(III)で表される好ましいオキシムエステル系化合物は、例えば下記に示す化合物No.A2-1~No.A2-28が挙げられる。但し、本発明で用いられる重合開始剤(A)は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。 Preferred oxime ester compounds represented by the above general formula (III) include, for example, compound Nos. A2-1 to No. A2-28. However, the polymerization initiator (A) used in the present invention is not restricted by the following compounds.

Figure 0007248573000027
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Figure 0007248573000028
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Figure 0007248573000029
Figure 0007248573000029

Figure 0007248573000030
Figure 0007248573000030

一般式(III)において、Xが、硫黄原子で、Xが、無結合の場合、上記化合物No.A2-1~A2-7で表されるジフェニルスルフィド骨格を有したオキシムエステル系化合物となり、重合開始剤として本発明のオキシムエステル化合物と併用することで感度が良好な感光性組成物が得られる点で好ましい。In general formula (III), when X 1 is a sulfur atom and X 2 is a non-bonded compound No. It becomes an oxime ester compound having a diphenyl sulfide skeleton represented by A2-1 to A2-7, and when used in combination with the oxime ester compound of the present invention as a polymerization initiator, a photosensitive composition having good sensitivity can be obtained. is preferred.

一般式(III)において、Xが、NR55で、Xが、直接結合の場合、上記化合物No.A2-8~A2-28で表されるカルバゾール骨格を有したオキシムエステル系化合物となり、感度が良好な感光性組成物が得られる点で特に好ましい。In general formula (III), when X 1 is NR 55 and X 2 is a direct bond, the compound No. It is particularly preferable in that it becomes an oxime ester compound having a carbazole skeleton represented by A2-8 to A2-28 and gives a photosensitive composition with good sensitivity.

アセトフェノン系化合物としては例えば、ジエトキシアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、4’-イソプロピル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、2-ヒドロキシメチル-2-メチルプロピオフェノン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-ターシャリブチルジクロロアセトフェノン、p-ターシャリブチルトリクロロアセトフェノン、p-アジドベンザルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパノン-1、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル及び1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン等が挙げられる。 Examples of acetophenone compounds include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 4′-isopropyl-2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-hydroxymethyl-2 -methylpropiophenone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, p-dimethylaminoacetophenone, p-tertiarybutyldichloroacetophenone, p-tertiarybutyltrichloroacetophenone, p-azidobenzal Acetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanone-1,2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl) -butanone-1, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether and 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2- and methyl-1-propan-1-one.

上記ベンジル系化合物としては、ベンジル等が挙げられる。 Benzyl etc. are mentioned as said benzyl type compound.

上記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o-ベンゾイル安息香酸メチル、ミヒラーケトン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン及び4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルスルフィド等が挙げられる。 Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, Michler's ketone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone and 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide. be done.

上記チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン等が挙げられる。 Examples of the thioxanthone compounds include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, and 2,4-diethylthioxanthone.

ホスフィンオキサイド系化合物としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド系化合物が挙げられる。
チタノセン系化合物としてはビス(シクロペンタジエニル)-ビス[2,6-ジフルオロ-3-(ピル-1-イル)]チタニウム等が挙げられる。
Phosphine oxide compounds include phosphine oxide compounds such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.
Examples of titanocene compounds include bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(pyr-1-yl)]titanium.

市販のラジカル開始剤としては、アデカオプトマーN-1414、N-1717、N-1919、アデカアークルズNCI-831、NCI-930(以上、ADEKA製);IRGACURE184、IRGACURE369、IRGACURE651、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02、IRGACURE784(以上、BASF製);TR-PBG-304、TR-PBG-305、TR-PBG-309及びTR-PBG-314(以上、TRONLY製);等が挙げられる。 Commercially available radical initiators include Adeka Optomer N-1414, N-1717, N-1919, Adeka Arcules NCI-831, NCI-930 (manufactured by ADEKA); 01, IRGACURE OXE 02, IRGACURE784 (manufactured by BASF); TR-PBG-304, TR-PBG-305, TR-PBG-309 and TR-PBG-314 (manufactured by TRONLY);

本発明の感光性組成物において、光重合開始剤(A)の含有量は特に限定されるものではないが、エチレン性不飽和化合物(B)100質量部に対して、好ましくは1~70質量部、より好ましくは1~50質量部、最も好ましくは5~30質量部である。 In the photosensitive composition of the present invention, the content of the photopolymerization initiator (A) is not particularly limited, but preferably 1 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ethylenically unsaturated compound (B) parts, more preferably 1 to 50 parts by weight, most preferably 5 to 30 parts by weight.

上記エチレン性不飽和化合物(B)は、エチレン性の不飽和結合を有している。エチレン性不飽和化合物(B)としては、特に限定されず、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができるが、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素;(メタ)アクリル酸、α―クロルアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フマル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸、ソルビン酸、メサコン酸、コハク酸モノ[2-(メタ)アクリロイロキシエチル]、フタル酸モノ[2-(メタ)アクリロイロキシエチル]、ω-カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート・マレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート或いは1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート等の不飽和多塩基酸;(メタ)アクリル酸-2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸-2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸グリシジル、下記化合物No.A1~No.A4、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸-t-ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸n-オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノメチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸アミノプロピル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸エトキシエチル、(メタ)アクリル酸ポリ(エトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸ブトキシエトキシエチル、(メタ)アクリル酸エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸フェノキシエチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ビニル、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジル、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ(メタ)アクリレート、トリ[(メタ)アクリロイルエチル]イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステル;(メタ)アクリル酸亜鉛、(メタ)アクリル酸マグネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩;マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸-無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水物;(メタ)アクリルアミド、メチレンビス-(メタ)アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、α-クロロアクリルアミド、N-2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミド;アクロレイン等の不飽和アルデヒド;(メタ)アクリロニトリル、α-クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等の不飽和ニトリル;スチレン、4-メチルスチレン、4-エチルスチレン、4-メトキシスチレン、4-ヒドロキシスチレン、4-クロロスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル安息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホン酸、4-ビニルベンゼンスルホン酸、ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグリシジルエーテル等の不飽和芳香族化合物;メチルビニルケトン等の不飽和ケトン;ビニルアミン、アリルアミン、N-ビニルピロリドン、ビニルピペリジン等の不飽和アミン化合物;アリルアルコール、クロチルアルコール等のビニルアルコール;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、n-ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテル等のビニルエーテル;マレイミド、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;インデン、1-メチルインデン等のインデン類;1,3-ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ-n-ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及びポリイソシアネート化合物のビニルウレタン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポリエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物が挙げられる。 The ethylenically unsaturated compound (B) has an ethylenically unsaturated bond. The ethylenically unsaturated compound (B) is not particularly limited, and those conventionally used in photosensitive compositions can be used. Examples include ethylene, propylene, butylene, isobutylene, vinyl chloride, and vinylidene chloride. , vinylidene fluoride, unsaturated aliphatic hydrocarbons such as tetrafluoroethylene; (meth)acrylic acid, α-chloroacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, citraconic acid, fumaric acid, hymic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, Vinyl acetic acid, allyl acetic acid, cinnamic acid, sorbic acid, mesaconic acid, mono[2-(meth)acryloyloxyethyl] succinate, mono[2-(meth)acryloyloxyethyl] phthalate, ω-carboxypolycaprolactone Polymer mono(meth)acrylate having a carboxyl group and hydroxyl group at both ends such as mono(meth)acrylate; hydroxyethyl (meth)acrylate maleate, hydroxypropyl (meth)acrylate maleate, dicyclopentadiene maleate or 1 Unsaturated polybasic acids such as polyfunctional (meth)acrylates having one carboxyl group and two or more (meth)acryloyl groups; (meth)acrylic acid-2-hydroxyethyl, (meth)acrylic acid-2- Hydroxypropyl, glycidyl (meth)acrylate, compound no. A1 to No. A4, methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, ( isooctyl (meth)acrylate, isononyl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, methoxyethyl (meth)acrylate, dimethylaminomethyl (meth)acrylate, dimethyl (meth)acrylate aminoethyl, aminopropyl (meth)acrylate, dimethylaminopropyl (meth)acrylate, ethoxyethyl (meth)acrylate, poly(ethoxy)ethyl (meth)acrylate, butoxyethoxyethyl (meth)acrylate, (meth)acrylate ) ethylhexyl acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, tetrahydrofuryl (meth)acrylate, vinyl (meth)acrylate, allyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, ethylene glycol di(meth)acrylate, Diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, Unsaturated monobasic acids and polyhydric alcohols or polyhydric alcohols such as pentaerythritol tri(meth)acrylate, tricyclodecanedimethylol di(meth)acrylate, tri[(meth)acryloylethyl]isocyanurate, polyester (meth)acrylate oligomers Esters of phenol; metal salts of unsaturated polybasic acids such as zinc (meth)acrylate and magnesium (meth)acrylate; maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, tetrahydro Phthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydrofuryl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride-anhydride Acid anhydrides of unsaturated polybasic acids such as leic acid adducts, dodecenyl succinic anhydride, and methylhimic anhydride; (meth)acrylamide, methylenebis-(meth)acrylamide, diethylenetriamine tris(meth)acrylamide, xylylenebis(meth) Amides of unsaturated monobasic acids and polyvalent amines such as acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth)acrylamide; unsaturated aldehydes such as acrolein; (meth)acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, cyanide Unsaturated nitriles such as vinylidene and allyl cyanide; styrene, 4-methylstyrene, 4-ethylstyrene, 4-methoxystyrene, 4-hydroxystyrene, 4-chlorostyrene, divinylbenzene, vinyltoluene, vinylbenzoic acid, vinylphenol , vinylsulfonic acid, 4-vinylbenzenesulfonic acid, vinylbenzyl methyl ether, vinylbenzyl glycidyl ether and other unsaturated aromatic compounds; methyl vinyl ketone and other unsaturated ketones; vinylamine, allylamine, N-vinylpyrrolidone, vinylpiperidine, etc. vinyl alcohols such as allyl alcohol and crotyl alcohol; vinyl ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, n-butyl vinyl ether, isobutyl vinyl ether and allyl glycidyl ether; maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexyl Unsaturated imides such as maleimide; indenes such as indene and 1-methylindene; aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene; polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl ( Macromonomers having a mono(meth)acryloyl group at the end of the polymer molecular chain, such as meth)acrylate and polysiloxane; vinyl chloride, vinylidene chloride, divinyl succinate, diallyl phthalate, triallyl phosphate, triallyl isocyanate Nurate, vinyl thioether, vinyl imidazole, vinyl oxazoline, vinyl carbazole, vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, vinyl urethane compounds of hydroxyl group-containing vinyl monomers and polyisocyanate compounds, and vinyl epoxy compounds of hydroxyl group-containing vinyl monomers and polyepoxy compounds.

上記エチレン性不飽和化合物(B)としては市販品を用いることができ、例えば、カヤラッドDPHA、DPEA-12、PEG400DA、THE-330、RP-1040、NPGDA、PET30(日本化薬社製)SPC-1000、SPC-3000(昭和電工製)、アロニックスM-140、M-215、M-350(東亞合成社製)、NKエステルA-DPHA-TMPT、A-DCP、A-HD-N、A-9300、TMPT、DCP、NPG及びHD-N(新中村化学工業社製)等が挙げられる。 Commercially available products can be used as the ethylenically unsaturated compound (B), for example, Kayarad DPHA, DPEA-12, PEG400DA, THE-330, RP-1040, NPGDA, PET30 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) SPC- 1000, SPC-3000 (manufactured by Showa Denko), Aronix M-140, M-215, M-350 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), NK Ester A-DPHA-TMPT, A-DCP, A-HD-N, A- 9300, TMPT, DCP, NPG and HD-N (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

これらの中でも、両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート、不飽和一塩基酸及び多価アルコール又は多価フェノールのエステルは、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に好適である。 Among them, polymer mono (meth) acrylates having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends, polyfunctional (meth) acrylates having one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups, unsaturated mono Esters of basic acids and polyhydric alcohols or polyhydric phenols are suitable for the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention.

エチレン性不飽和化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、また2種以上を混合して使用する場合には、それらを予め共重合して共重合体として使用してもよい。 The ethylenically unsaturated compounds can be used alone or in combination of two or more. When two or more are used in combination, they are copolymerized in advance and used as a copolymer. may

Figure 0007248573000031
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Figure 0007248573000033
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Figure 0007248573000034
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本発明の感光性組成物には、更に着色剤(C)を含有させて着色感光性組成物としてもよい。該着色剤(C)としては、顔料、染料、天然色素等が挙げられる。これらの着色剤(C)は、単独で又は2種以上を混合して用いることができる。 The photosensitive composition of the present invention may further contain a coloring agent (C) to form a colored photosensitive composition. Examples of the coloring agent (C) include pigments, dyes and natural pigments. These colorants (C) can be used alone or in combination of two or more.

上記顔料としては、例えば、ニトロソ化合物;ニトロ化合物;アゾ化合物;ジアゾ化合物;キサンテン化合物;キノリン化合物;アントラキノン化合物;クマリン化合物;フタロシアニン化合物;イソインドリノン化合物;イソインドリン化合物;キナクリドン化合物;アンタンスロン化合物;ペリノン化合物;ペリレン化合物;ジケトピロロピロール化合物;チオインジゴ化合物;ジオキサジン化合物;トリフェニルメタン化合物;キノフタロン化合物;ナフタレンテトラカルボン酸;アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;レーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法又はサーマル法によって得られるカーボンブラック、或いはアセチレンブラック、ケッチェンブラック又はランプブラック等のカーボンブラック;上記カーボンブラックをエポキシ樹脂で調整又は被覆したもの、上記カーボンブラックを予め溶剤中で樹脂に分散処理し、20~200mg/gの樹脂を吸着させたもの、上記カーボンブラックを酸性又はアルカリ性表面処理したもの、平均粒径が8nm以上でDBP吸油量が90ml/100g以下のもの、950℃における揮発分中のCO及びCO2から算出した全酸素量が、カーボンブラックの表面積100m2当たり9mg以上であるもの;黒鉛、黒鉛化カーボンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、カーボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フラーレン;アニリンブラック、ピグメントブラック7、チタンブラック;酸化クロム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバルト青、マンガン系、フェロシアン化物、リン酸塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバー等の有機又は無機顔料を用いることができる。これらの顔料は単独で、或いは複数を混合して用いることができる。Examples of the pigments include nitroso compounds; nitro compounds; azo compounds; diazo compounds; xanthene compounds; quinoline compounds; anthraquinone compounds; coumarin compounds; compound; perylene compound; diketopyrrolopyrrole compound; thioindigo compound; dioxazine compound; triphenylmethane compound; quinophthalone compound; carbon black obtained by the method, or carbon black such as acetylene black, ketjen black or lamp black; ∼200 mg/g of resin adsorbed, carbon black subjected to acid or alkaline surface treatment, average particle size of 8 nm or more and DBP oil absorption of 90 ml/100 g or less, CO in volatile matter at 950 ° C. Graphite , graphitized carbon black, activated carbon, carbon fiber, carbon nanotube, carbon microcoil, carbon nanohorn, carbon aerogel , fullerene Aniline Black, Pigment Black 7, Titanium Black; Chromium Oxide Green, Miloli Blue, Cobalt Green, Cobalt Blue, Manganese, Ferrocyanide, Phosphate Ultramarine, Prussian Blue, Ultramarine, Cerulean Blue, Pyridian, Emerald Green, Lead Sulfate , yellow lead, zinc yellow, red iron (III) oxide, cadmium red, synthetic iron black, amber, and other organic or inorganic pigments can be used. These pigments can be used alone or in combination.

上記顔料としては、市販の顔料を用いることもでき、例えば、ピグメントレッド1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;ピグメントイエロー1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメントグリーン7、10、36;ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等が挙げられる。 Commercially available pigments can also be used as the above pigments. 97, 112, 119, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 177, 179, 180, 184, 185, 192, 200, 202, 209, 215, 216, 217, 220, Pigment Orange 13, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 20, 24, 55, 60, 73, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 100, 109, 110; Pigment Green 7, Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:5, 15:6, 22, 24, 56, 60, 61, 62, 64; Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 50 and the like.

上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いる場合もある。 Examples of the dyes include azo dyes, anthraquinone dyes, indigoid dyes, triarylmethane dyes, xanthene dyes, alizarin dyes, acridine dyes stilbene dyes, thiazole dyes, naphthol dyes, quinoline dyes, nitro dyes, indamine dyes, oxazine dyes, and phthalocyanine dyes. , dyes such as cyanine dyes, etc., and these may be used in combination.

本発明の感光性組成物において、上記着色剤(C)の含有量は、上記エチレン性不飽和化合物(B)100質量部に対して、好ましくは10~200質量部、より好ましくは10~100質量部である。 In the photosensitive composition of the present invention, the content of the colorant (C) is preferably 10 to 200 parts by mass, more preferably 10 to 100 parts by mass, based on 100 parts by mass of the ethylenically unsaturated compound (B). part by mass.

本発明の感光性組成物には、更にアルカリ現像性化合物(D)を含有させてアルカリ現像性感光性樹脂組成物としてもよい。着色剤(C)及びアルカリ現像性化合物(D)を同時に含むものは、着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう。 The photosensitive composition of the present invention may further contain an alkali-developable compound (D) to form an alkali-developable photosensitive resin composition. A composition containing both a coloring agent (C) and an alkali-developable compound (D) is also referred to as a colored alkali-developable photosensitive resin composition.

上記アルカリ現像性化合物(D)としては、アルカリ水溶液に可溶であれば特に限定されないが、例えば、特開2004-264414号公報に記載の樹脂等が挙げられる。 The alkali-developable compound (D) is not particularly limited as long as it is soluble in an aqueous alkali solution, and examples thereof include resins described in JP-A-2004-264414.

また、上記アルカリ現像性化合物(D)としては、アクリル酸エステルの共重合体、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、カルボキシル基を有する重合体、下記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物のエポキシ基に不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。
上記エポキシアクリレート樹脂とは、エポキシ化合物に(メタ)アクリル酸を作用させたものであり、その例としては、Ripoxy SPC-2000、DIC社製のディックライトUE-777、日本ユピカ社製ユピカ4015等を挙げることができる。
これらの化合物の中でも、エポキシアクリレート樹脂及びカルボキシル基を有する重合体が好ましい。
Examples of the alkali-developable compound (D) include acrylic acid ester copolymers, phenol novolac epoxy resins, cresol novolac epoxy resins, polyphenylmethane-type epoxy resins having multifunctional epoxy groups, epoxy acrylate resins, carboxyl group A polymer having a resin obtained by reacting an epoxy group of an epoxy compound such as an epoxy compound represented by the following general formula (IV) with an unsaturated monobasic acid and further with a polybasic acid anhydride. be able to.
The epoxy acrylate resin is obtained by reacting (meth)acrylic acid on an epoxy compound, and examples thereof include Ripoxy SPC-2000, Dicklight UE-777 manufactured by DIC, and U-PICA 4015 manufactured by Japan U-PICA. can be mentioned.
Among these compounds, epoxy acrylate resins and polymers having carboxyl groups are preferred.

上記カルボキシル基を有する重合体は、カルボキシル基を有する構造単位を(以下、「構造単位(U1)」という。)有するものであればよく、特に制限をされない。上記カルボキシル基を有する重合体は、構造単位(U1)に加え、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基及びイソシアネート基等の架橋性基を有する構造単位(以下、「構造単位(U2)」という。)、シリル基を有する構造単位(以下「構造単位(U3)」という。)を有することが好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体は、上記構造単位(U1)~(U3)以外の構造単位(以下、「構造単位(U4)」という。)を有していてもよい。
The polymer having a carboxyl group is not particularly limited as long as it has a structural unit having a carboxyl group (hereinafter referred to as "structural unit (U1)"). In addition to the structural unit (U1), the polymer having a carboxyl group has a structural unit (hereinafter referred to as " (hereinafter referred to as "structural unit (U2)") and a structural unit having a silyl group (hereinafter referred to as "structural unit (U3)").
The polymer having a carboxyl group may have a structural unit (hereinafter referred to as "structural unit (U4)") other than the structural units (U1) to (U3).

上記構造単位(U1)は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選択される少なくとも1種の化合物(以下、「化合物(u1)」という。)に由来する構造単位であることが好ましい。
上記化合物(u1)としては、例えば、モノカルボン酸、ジカルボン酸及びジカルボン酸の無水物等を挙げることができる。
上記モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、2-アクリロイルオキシエチルコハク酸、2-メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2-アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸及び2-メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等を挙げることができる。
上記ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸及びシトラコン酸等を挙げることができる。
上記ジカルボン酸の無水物としては、上記のジカルボン酸の無水物等を挙げることができる。
これらの化合物のうち、共重合反応性、得られる共重合体の現像液に対する溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、2-アクリロイルオキシエチルコハク酸、2-メタクリロイルオキシエチルコハク酸又は無水マレイン酸が特に好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体は、1種の化合物(u1)に由来する1種の構造単位(U1)を有していてもよく、2種以上の化合物(u1)に由来する2種以上の構造単位(U1)を有していてもよい。
The structural unit (U1) is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids and unsaturated carboxylic acid anhydrides (hereinafter referred to as "compound (u1)"). is preferred.
Examples of the compound (u1) include monocarboxylic acids, dicarboxylic acids, and anhydrides of dicarboxylic acids.
Examples of the above monocarboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, 2-acryloyloxyethylsuccinic acid, 2-methacryloyloxyethylsuccinic acid, 2-acryloyloxyethylhexahydrophthalic acid and 2-methacryloyloxyethylhexa Hydrophthalic acid and the like can be mentioned.
Examples of the dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid and citraconic acid.
Examples of the anhydride of the dicarboxylic acid include the anhydride of the dicarboxylic acid described above.
Among these compounds, acrylic acid, methacrylic acid, 2-acryloyloxyethyl succinic acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid or maleic anhydride is selected from the standpoint of copolymerization reactivity and solubility of the resulting copolymer in a developing solution. Acids are particularly preferred.
The polymer having a carboxyl group may have one type of structural unit (U1) derived from one type of compound (u1), or two or more types of structural units (U1) derived from two or more types of compounds (u1). It may have a structural unit (U1).

上記構造単位(U2)は、エポキシ基又はオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物(以下、「化合物(u2)」という。)に由来する構造単位であることが好ましい。
上記化合物(u2)は、エポキシ基を有する重合性不飽和化合物及びオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。
The structural unit (U2) is preferably a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound having an epoxy group or an oxetanyl group (hereinafter referred to as "compound (u2)").
The compound (u2) is preferably at least one selected from the group consisting of a polymerizable unsaturated compound having an epoxy group and a polymerizable unsaturated compound having an oxetanyl group.

エポキシ基を有する重合性不飽和化合物として、例えば、(メタ)アクリル酸オキシラニル(シクロ)アルキルエステル、α-アルキルアクリル酸オキシラニル(シクロ)アルキルエステル及び重合性不飽和結合を有するグリシジルエーテル化合物等が挙げられる。
オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物として、例えば、オキセタニル基を有する(メタ)アクリル酸エステル等が挙げられる。
Examples of the polymerizable unsaturated compound having an epoxy group include (meth)acrylate oxiranyl (cyclo)alkyl ester, α-alkylacrylate oxiranyl (cyclo)alkyl ester, and a glycidyl ether compound having a polymerizable unsaturated bond. be done.
Examples of polymerizable unsaturated compounds having an oxetanyl group include (meth)acrylic acid esters having an oxetanyl group.

(メタ)アクリル酸オキシラニル(シクロ)アルキルエステルの具体例としては、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸2-メチルグリシジル、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、(メタ)アクリル酸3,4-エポキシブチル、(メタ)アクリル酸6,7-エポキシヘプチル、(メタ)アクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルメチル及び3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
α-アルキルアクリル酸オキシラニル(シクロ)アルキルエステルの具体例としては、例えば、α-エチルアクリル酸グリシジル、α-n-プロピルアクリル酸グリシジル、α-n-ブチルアクリル酸グリシジル、α-エチルアクリル酸6,7-エポキシヘプチル及びα-エチルアクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシル等が挙げられる。
重合性不飽和結合を有するグリシジルエーテル化合物の具体例としては、例えば、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル及びp-ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。
オキセタニル基を有する(メタ)アクリル酸エステルの具体例としては、例えば、3-((メタ)アクリロイルオキシメチル)オキセタン、3-((メタ)アクリロイルオキシメチル)-3-エチルオキセタン、3-((メタ)アクリロイルオキシメチル)-2-メチルオキセタン、3-((メタ)アクリロイルオキシエチル)-3-エチルオキセタン、2-エチル-3-((メタ)アクリロイルオキシエチル)オキセタン、3-メチル-3-(メタ)アクリロイルオキシメチルオキセタン及び3-エチル-3-(メタ)アクリロイルオキシメチルオキセタン等が挙げられる。
これら化合物のうち、特に、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2-メチルグリシジル、メタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシル、メタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルメチル、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルメタアクリレート、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート、3-メタクリロイルオキシメチル-3-エチルオキセタン、3-メチル-3-メタクリロイルオキシメチルオキセタン又は3-エチル-3-メタクリロイルオキシメチルオキセタンが、重合性の点から好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体は、1種の化合物(u2)に由来する1種の構造単位(U2)を有していてもよく、2種以上の化合物(u2)に由来する2種以上の構造単位(U2)を有していてもよい。
Specific examples of oxiranyl (cyclo)alkyl (meth)acrylate include glycidyl (meth)acrylate, 2-methylglycidyl (meth)acrylate, 4-hydroxybutyl (meth)acrylate glycidyl ether, (meth)acrylate 3,4-epoxybutyl acrylate, 6,7-epoxyheptyl (meth)acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth)acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth)acrylate and 3,4- epoxytricyclo[5.2.1.0 2.6 ]decyl (meth)acrylate and the like.
Specific examples of oxiranyl(cyclo)alkyl α-alkyl acrylate include glycidyl α-ethyl acrylate, glycidyl α-n-propyl acrylate, glycidyl α-n-butyl acrylate, α-ethyl acrylate 6 ,7-epoxyheptyl and 3,4-epoxycyclohexyl α-ethylacrylate.
Specific examples of glycidyl ether compounds having a polymerizable unsaturated bond include o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether and p-vinylbenzyl glycidyl ether.
Specific examples of (meth)acrylic acid esters having an oxetanyl group include, for example, 3-((meth)acryloyloxymethyl)oxetane, 3-((meth)acryloyloxymethyl)-3-ethyloxetane, 3-(( meth)acryloyloxymethyl)-2-methyloxetane, 3-((meth)acryloyloxyethyl)-3-ethyloxetane, 2-ethyl-3-((meth)acryloyloxyethyl)oxetane, 3-methyl-3- (meth)acryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-(meth)acryloyloxymethyloxetane and the like.
Among these compounds, in particular glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, 3,4-epoxytricyclo[5.2.1 .0 2.6 ]decyl methacrylate, 3,4-epoxytricyclo[5.2.1.0 2.6 ]decyl acrylate, 3-methacryloyloxymethyl-3-ethyloxetane, 3-methyl-3-methacryloyl Oxymethyloxetane or 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane is preferred from the standpoint of polymerizability.
The polymer having a carboxyl group may have one type of structural unit (U2) derived from one type of compound (u2), or two or more types of structural units (U2) derived from two or more types of compounds (u2). It may have a structural unit (U2).

上記構造単位(U2)のうち、架橋性基として、メタクリロイル基又はアクリロイル基を有する構造単位としては、(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構造単位を好ましく用いることができる。
上記(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構造単位は、重合体中のカルボキシル基にエポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られる。反応後の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構造単位は、下記式(U)で表される構造単位であることが好ましい。
Among the structural units (U2), a structural unit having a (meth)acryloyloxy group can be preferably used as a structural unit having a methacryloyl group or an acryloyl group as a crosslinkable group.
The structural unit having a (meth)acryloyloxy group is obtained by reacting a carboxyl group in the polymer with a (meth)acrylic acid ester having an epoxy group. The structural unit having a (meth)acryloyloxy group after the reaction is preferably a structural unit represented by the following formula (U).

Figure 0007248573000035


(式中、R1000及びR1001は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、
uは、1~6の整数を表し、
1002は、下記式(Uα)又は下記式(Uβ)で表される2価の基を表し、
*は結合手を表す。)
Figure 0007248573000035


(Wherein, R 1000 and R 1001 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group,
u represents an integer from 1 to 6,
R 1002 represents a divalent group represented by the following formula (Uα) or the following formula (Uβ),
* represents a bond. )

Figure 0007248573000036


(式中、R1003は、水素原子又はメチル基を表し
*は、結合手を表す。)
Figure 0007248573000036


(In the formula, R 1003 represents a hydrogen atom or a methyl group, * represents a bond.)

上記式(U)で表される構造単位について、例えば、カルボキシル基を有する共重合体に、メタクリル酸グリシジル又はメタクリル酸2-メチルグリシジル等の化合物を反応させた場合、式(U)中のR1002は式(Uα)となる。カルボキシル基を有する共重合体に、メタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルメチル等の化合物を反応させた場合、式(U)中のR1002は、式(Uβ)となる。Regarding the structural unit represented by the above formula (U), for example, when a copolymer having a carboxyl group is reacted with a compound such as glycidyl methacrylate or 2-methylglycidyl methacrylate, R in formula (U) 1002 becomes the formula (Uα). When a compound such as 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate is reacted with a copolymer having a carboxyl group, R 1002 in formula (U) becomes formula (Uβ).

上述した、重合体中のカルボキシル基とエポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル等の不飽和化合物との反応は、必要に応じて適当な触媒の存在下、好ましくは重合禁止剤を含む重合体の溶液に、エポキシ基を有する不飽和化合物を投入し、加温下で所定時間撹拌し行うことが好ましい。上記触媒としては、例えば、テトラブチルアンモニウムブロミド等が挙げられる。上記重合禁止剤としては、例えば、p-メトキシフェノール等が挙げられる。反応温度は、70℃~100℃が好ましい。反応時間は、8時間~12時間が好ましい。 The reaction between the unsaturated compound such as (meth)acrylic acid ester having a carboxyl group and an epoxy group in the polymer described above is carried out in the presence of a suitable catalyst as necessary, preferably in the presence of a polymerization inhibitor. It is preferable to add an unsaturated compound having an epoxy group to the solution of and stir for a predetermined time under heating. Examples of the catalyst include tetrabutylammonium bromide. Examples of the polymerization inhibitor include p-methoxyphenol and the like. The reaction temperature is preferably 70°C to 100°C. The reaction time is preferably 8 hours to 12 hours.

上記カルボキシル基を有する重合体の構造単位比率において、架橋性基として(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構造単位の含有比率は、カルボキシル基を有する重合体全構造単位のうちの10モル%~70モル%であることが好ましく、20モル%~50モル%であることがより好ましい。(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構造単位比率が上述の範囲であることで、耐熱性及び現像時の現像不良が少なくなり、現像残渣の発生が抑制できる。 In the structural unit ratio of the polymer having a carboxyl group, the content ratio of the structural unit having a (meth)acryloyloxy group as a crosslinkable group is 10 mol% to 70 mol of the total structural units of the polymer having a carboxyl group. %, more preferably 20 mol % to 50 mol %. When the ratio of the structural unit having a (meth)acryloyloxy group is within the above range, heat resistance and poor development during development can be reduced, and generation of development residue can be suppressed.

上記構造単位(U3)は、シリル基を有する重合性不飽和化合物(以下、「化合物(u3)」という。)に由来する構造単位であることが好ましい。 The structural unit (U3) is preferably a structural unit derived from a polymerizable unsaturated compound having a silyl group (hereinafter referred to as "compound (u3)").

上記化合物(u3)としては、例えば、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルエチルジメトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン及び3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン等を挙げることができる。
上記カルボキシル基を有する重合体が構造単位U3を有する場合、1種の化合物(u3)に由来する1種の構造単位(U3)を有していてもよく、2種以上の化合物(u3)に由来する2種以上の構造単位(U3)を有していてもよい。
Examples of the compound (u3) include 3-(meth)acryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-(meth)acryloyloxypropylethyldimethoxysilane, 3-(meth)acryloyloxypropyltrimethoxysilane and 3-(meth)acryloyloxypropylmethyldimethoxysilane. ) acryloyloxypropyltriethoxysilane and the like.
When the polymer having a carboxyl group has a structural unit U3, it may have one structural unit (U3) derived from one compound (u3), and two or more compounds (u3) It may have two or more structural units (U3) derived from it.

上記構造単位(U4)は、上記(U1)~(U3)以外の構造単位であり、上記(u1)~(u3)以外の重合性不飽和化合物(以下、「化合物(u4)」という。)に由来する構造単位であることが好ましい。
上記化合物(u4)としては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、(メタ)アクリル酸アリールエステル、(メタ)アクリル酸アラルキルエステル、不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステル、含酸素複素5員環又は含酸素複素6員環を有する(メタ)アクリル酸エステル、ビニル芳香族化合物、共役ジエン化合物及びその他の重合性不飽和化合物を挙げることができる。
(メタ)アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、例えば、アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸n-プロピル、(メタ)アクリル酸i-プロピル、(メタ)アクリル酸n-ブチル、(メタ)アクリル酸sec-ブチル及び(メタ)アクリル酸t-ブチル等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステルの具体例としては、例えば、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2-メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル、(メタ)アクリル酸2-(トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イルオキシ)エチル及び(メタ)アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸アリールエステルの具体例としては、例えば、アクリル酸フェニル等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸アラルキルエステルの具体例としては、例えば、(メタ)アクリル酸ベンジル等が挙げられる。
不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステルの具体例としては、例えば、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル等が挙げられる。
含酸素複素5員環又は含酸素複素6員環を有する(メタ)アクリル酸エステルの具体例としては、例えば、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフラン-2-イル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロピラン-2-イル及び(メタ)アクリル酸2-メチルテトラヒドロピラン-2-イル等が挙げられる。
ビニル芳香族化合物の具体例としては、例えば、スチレン、α-メチルスチレン等が挙げられる。
共役ジエン化合物の具体例としては、例えば、1,3-ブタジエン及びイソプレン等が挙げられる。
その他の重合性不飽和化合物の具体例としては、例えば、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド等が挙げられる。
以上で挙げた化合物(u4)のうち、共重合反応性の点から、メタクリル酸n-ブチル、メタクリル酸2-メチルグリシジル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル、スチレン、p-メトキシスチレン、メタクリル酸テトラヒドロフラン-2-イル及び1,3-ブタジエン等が好ましい。
上記カルボキシル基を有する重合体が構造単位(U4)を有する場合、1種の化合物(u4)に由来する1種の構造単位(U4)を有していてもよく、2種以上の化合物(u4)に由来する2種以上の構造単位(U4)を有していてもよい。
The structural unit (U4) is a structural unit other than the above (U1) to (U3), and a polymerizable unsaturated compound other than the above (u1) to (u3) (hereinafter referred to as "compound (u4)"). It is preferably a structural unit derived from.
Examples of the compound (u4) include (meth)acrylic acid alkyl esters, (meth)acrylic acid cycloalkyl esters, (meth)acrylic acid aryl esters, (meth)acrylic acid aralkyl esters, unsaturated dicarboxylic acid dialkyl esters, (Meth)acrylic acid esters, vinyl aromatic compounds, conjugated diene compounds and other polymerizable unsaturated compounds having an oxygen-containing hetero-5-membered ring or an oxygen-containing hetero-6-membered ring can be mentioned.
Specific examples of (meth)acrylic acid alkyl esters include methyl acrylate, n-propyl (meth)acrylate, i-propyl (meth)acrylate, n-butyl (meth)acrylate, and (meth)acrylic acid. Examples include sec-butyl acid and t-butyl (meth)acrylate.
Specific examples of cycloalkyl (meth)acrylates include cyclohexyl (meth)acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth)acrylate, tricyclo(meth)acrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl, 2-(tricyclo[5.2.1.0 2,6 ]decan-8-yloxy)ethyl (meth)acrylate and isobornyl (meth)acrylate.
Specific examples of the (meth)acrylic acid aryl ester include, for example, phenyl acrylate.
Specific examples of (meth)acrylic acid aralkyl esters include, for example, benzyl (meth)acrylate.
Specific examples of unsaturated dicarboxylic acid dialkyl esters include diethyl maleate and diethyl fumarate.
Specific examples of (meth)acrylic acid esters having a five-membered oxygen-containing heterocyclic ring or a six-membered oxygen-containing heterocyclic ring include, for example, tetrahydrofuran-2-yl (meth)acrylate and tetrahydropyran-2-(meth)acrylate. and 2-methyltetrahydropyran-2-yl (meth)acrylate.
Specific examples of vinyl aromatic compounds include styrene and α-methylstyrene.
Specific examples of conjugated diene compounds include 1,3-butadiene and isoprene.
Specific examples of other polymerizable unsaturated compounds include 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, acrylonitrile, methacrylonitrile, acrylamide, and methacrylamide.
Among the compounds (u4) listed above, from the viewpoint of copolymerization reactivity, n-butyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, benzyl methacrylate, tricyclo[5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl, styrene, p-methoxystyrene, tetrahydrofuran-2-yl methacrylate and 1,3-butadiene are preferred.
When the polymer having a carboxyl group has a structural unit (U4), it may have one structural unit (U4) derived from one compound (u4), two or more compounds (u4 ) may have two or more structural units (U4) derived from

本実施形態における好ましいカルボキシル基を有する重合体は、上記のような化合物(u1)~(u4)を、それぞれ、以下の割合で含む重合性不飽和化合物の混合物を共重合することにより合成することができる。
また、得られた共重合体中の化合物(u1)に由来する構造単位中のカルボキシル基に対して、エポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステルを反応させることで、(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構造単位を有するものとすることができる。
A polymer having a preferable carboxyl group in the present embodiment is synthesized by copolymerizing a mixture of polymerizable unsaturated compounds containing the above compounds (u1) to (u4), respectively, in the following proportions. can be done.
Further, a (meth)acryloyloxy group is formed by reacting a (meth)acrylic acid ester having an epoxy group with a carboxyl group in a structural unit derived from the compound (u1) in the obtained copolymer. can have a structural unit having

化合物(u1):好ましくは0.1モル%~30モル%、より好ましくは1モル%~20モル%、更に好ましくは5モル%~15モル%
化合物(u2):好ましくは1モル%~95モル%、より好ましくは10モル%~60モル%、更に好ましくは20モル%~30モル%
化合物(u3):好ましくは50モル%以下、より好ましくは1モル%~40モル%、更に好ましくは10モル%~30モル%
化合物(u4):好ましくは80モル%以下、より好ましくは1モル%~60モル%、更に好ましくは25モル%~50モル%
Compound (u1): preferably 0.1 mol% to 30 mol%, more preferably 1 mol% to 20 mol%, still more preferably 5 mol% to 15 mol%
Compound (u2): preferably 1 mol% to 95 mol%, more preferably 10 mol% to 60 mol%, still more preferably 20 mol% to 30 mol%
Compound (u3): preferably 50 mol% or less, more preferably 1 mol% to 40 mol%, still more preferably 10 mol% to 30 mol%
Compound (u4): preferably 80 mol% or less, more preferably 1 mol% to 60 mol%, still more preferably 25 mol% to 50 mol%

化合物(u1)~化合物(u4)を上記の範囲で含有する重合性不飽和化合物の混合物を共重合して得られるカルボキシル基を有する重合体を含有する重合性組成物は、良好な塗布性が損なわれることなく高い解像度が達成されるから、高精細なパターンであっても物性のバランスが高度に調整された硬化膜を得ることができることから好ましい。 A polymerizable composition containing a polymer having a carboxyl group obtained by copolymerizing a mixture of polymerizable unsaturated compounds containing compounds (u1) to (u4) in the above range has good applicability. Since high resolution is achieved without loss, it is possible to obtain a cured film having a highly adjusted balance of physical properties even with a fine pattern, which is preferable.

カルボキシル基を有する重合体の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは2000~100000であり、より好ましくは5000~50000である。この範囲のMwを有するカルボキシル基を有する重合体を使用することにより、良好な塗布性が損なわれることなく高い解像度が達成されるから、高精細なパターンであっても特性のバランスが高度に調整された硬化膜を与えることができることとなる。
本発明において重量平均分子量(Mw)とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をいうものである。
The weight average molecular weight (Mw) of the carboxyl group-containing polymer is preferably 2,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. By using a polymer having a carboxyl group and having an Mw within this range, high resolution is achieved without impairing good coatability, so even with high-definition patterns, the balance of characteristics can be adjusted to a high degree. It is possible to give a cured film having a
In the present invention, the weight average molecular weight (Mw) refers to the polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by gel permeation chromatography (GPC).

カルボキシル基を有する重合体は、上記重合性不飽和化合物の混合物を、好ましくは適当な溶媒中において、好ましくはラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。 A polymer having a carboxyl group can be produced by polymerizing a mixture of the above polymerizable unsaturated compounds, preferably in a suitable solvent, preferably in the presence of a radical polymerization initiator.

重合性不飽和化合物の混合物の重合に用いられる溶媒としては、例えば、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸3-メトキシブチル、シクロヘキサノールアセテート、ベンジルアルコール、3-メトキシブタノール等を挙げることができる。これらの溶媒は、1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を混合して使用してもよい。 Solvents used for polymerization of mixtures of polymerizable unsaturated compounds include, for example, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl. Ether acetate (PGMEA), dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, cyclohexanol acetate, benzyl alcohol, 3-methoxybutanol and the like can be mentioned. These solvents may be used singly or in combination of two or more.

上記ラジカル重合開始剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-(2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス-(4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル)、4,4’-アゾビス(4―シアノバレリン酸)、ジメチル-2,2’-アゾビス(2-メチルプロピオネート)、2,2’-アゾビス(4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル)等のアゾ化合物を挙げることができる。これらのラジカル重合開始剤は、1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を混合して使用してもよい。 The radical polymerization initiator is not particularly limited, and examples thereof include 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis-(2,4-dimethylvaleronitrile), '-azobis-(4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 4,4'-azobis(4-cyanovaleric acid), dimethyl-2,2'-azobis(2-methylpropionate), 2, Azo compounds such as 2′-azobis(4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) can be mentioned. These radical polymerization initiators may be used singly or in combination of two or more.

上記カルボキシル基を有する重合体の中でも、特開2005-234362号公報に記載の重合体、下記一般式(VI)で表されるエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られる重合体が好ましい。 Among the polymers having a carboxyl group, the polymer described in JP-A-2005-234362, the epoxy group of the epoxy compound represented by the following general formula (VI), reacted with an unsaturated monobasic acid, further A polymer obtained by reacting a polybasic acid anhydride is preferred.

また、上記アルカリ現像性化合物(D)としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、下記一般式(III)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。ここでいうエポキシアクリレート樹脂とは、上記エポキシ化合物に(メタ)アクリル酸を作用させたものであり、その例としては、Ripoxy SPC-2000、DIC社製のディックライトUE-777、日本ユピカ社製ユピカ4015等を挙げることができる。
これらの中でも、エポキシアクリレート樹脂、及び、下記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物のエポキシ基に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。
また、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、不飽和基を0.2~1.0当量含有していることが好ましい。
Examples of the alkali-developable compound (D) include acrylic acid ester copolymers, phenol and/or cresol novolac epoxy resins, polyphenylmethane-type epoxy resins having multifunctional epoxy groups, epoxy acrylate resins, and the following general A resin obtained by reacting an epoxy group of an epoxy compound such as an epoxy compound represented by formula (III) with an unsaturated monobasic acid and further with a polybasic acid anhydride can be used. The epoxy acrylate resin referred to here is obtained by reacting (meth)acrylic acid to the above epoxy compound, and examples thereof include Ripoxy SPC-2000, Dicklight UE-777 manufactured by DIC, and manufactured by Japan U-Pica. Upica 4015 and the like can be mentioned.
Among them, epoxy acrylate resins and resins obtained by reacting an epoxy group of an epoxy compound represented by the following general formula (IV) with an unsaturated monobasic acid and further with a polybasic acid anhydride. is preferred.
In addition, it is preferable that the alkali-developable compound which may have an ethylenically unsaturated bond contains 0.2 to 1.0 equivalents of an unsaturated group.

Figure 0007248573000037


(式中、X21は直接結合、メチレン基、炭素原子数1~4のアルキリデン基、炭素原子数3~20の脂環式炭化水素基、-O-、-S-、-SO-2、-SS-、-SO-、-CO-、-OCO-又は下記〔化36〕、〔化37〕若しくは〔化38〕で表される基を表し、上記アルキリデン基はハロゲン原子で置換される場合もあり、R51、及びR52は、それぞれ独立に、炭素原子数1~5のアルキル基、炭素原子数1~8のアルコキシ基、炭素原子数2~5のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換される場合もあり、
51、及びR52がそれぞれ複数存在する場合は、同一の場合も異なる場合もあり、
cは、0~4の整数であり、
dは、0~4の整数であり、
mは0~10の整数であり、
mが0でない場合に存在する光学異性体は、どの異性体でもよい。)
Figure 0007248573000037


(Wherein, X 21 is a direct bond, a methylene group, an alkylidene group having 1 to 4 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms, —O—, —S—, —SO— 2 , -SS-, -SO-, -CO-, -OCO- or a group represented by the following [Chemical 36], [Chemical 37] or [Chemical 38], wherein the alkylidene group is substituted with a halogen atom and R 51 and R 52 each independently represent an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 5 carbon atoms or a halogen atom, The alkyl group, alkoxy group and alkenyl group may be substituted with a halogen atom,
When there are a plurality of R 51 and R 52 , they may be the same or different,
c is an integer from 0 to 4,
d is an integer from 0 to 4,
m is an integer from 0 to 10,
The optical isomers present when m is not 0 can be any isomers. )

Figure 0007248573000038
Figure 0007248573000038

(式中、Zは水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基若しくは炭素原子数1~10のアルコキシ基により置換されていてもよいフェニル基、又は炭素原子数1~10のアルキル基若しくは炭素原子数1~10のアルコキシ基により置換されていてもよい炭素原子数3~10のシクロアルキル基を示し、Y1は炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数1~10のアルコキシ基、炭素原子数2~10のアルケニル基又はハロゲン原子を示し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原子で置換されていてもよく、eは0~5の整数を表し、*は結合手を表す。)(Wherein, Z 1 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a phenyl group optionally substituted with an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or represents a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms which may be substituted with an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, Y 1 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms; group, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms or a halogen atom, the above alkyl group, alkoxy group and alkenyl group may be substituted with a halogen atom, e represents an integer of 0 to 5, * represents a bond represents a hand.)

Figure 0007248573000039
Figure 0007248573000039

(式中、*は結合手を表す。) (In the formula, * represents a bond.)

Figure 0007248573000040
Figure 0007248573000040

(式中、Y2及びZは、それぞれ独立して、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数1~10のアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6~20のアリール基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6~20のアリールオキシ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6~20のアリールチオ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6~20のアリールアルケニル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数7~20のアリールアルキル基、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数2~20の複素環基、又はハロゲン原子を表し、Yで表される基中のメチレン基は、不飽和結合、-O-又は-S-で置換される場合があり、Zは、隣接するZ同士で環を形成していてもよく、fは0~4の整数を表し、gは0~8の整数を表し、hは0~4の整数を表し、iは0~4の整数を表し、hとiの数の合計は2~4の整数であり、*は結合手を表す)(wherein Y 2 and Z 2 are each independently an optionally halogen-substituted alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an optionally halogen-substituted alkyl group having 6 to 20 carbon atoms, aryl group, an aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, an arylthio group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and an arylalkenyl group having 6 to 20 carbon atoms which may be optionally substituted with a halogen atom, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, a heterogeneous group having 2 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom represents a cyclic group or a halogen atom, the methylene group in the group represented by Y 2 may be substituted with an unsaturated bond, -O- or -S-, and Z 2 is may form a ring, f represents an integer of 0 to 4, g represents an integer of 0 to 8, h represents an integer of 0 to 4, i represents an integer of 0 to 4, The total number of h and i is an integer of 2 to 4, * represents a bond)

上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。 The unsaturated monobasic acid acting on the epoxy compound includes acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate/malate, hydroxyethyl acrylate/malate, hydroxypropyl methacrylate/malate, and hydroxypropyl. Acrylate-malate, dicyclopentadiene-malate and the like.

上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’-3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸-無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。 Examples of the polybasic acid anhydride to be acted after the unsaturated monobasic acid is acted include biphenyltetracarboxylic dianhydride, tetrahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, biphthalic anhydride, maleic anhydride, trimellit Acid anhydride, pyromellitic anhydride, 2,2'-3,3'-benzophenonetetracarboxylic anhydride, ethylene glycol bisanhydrotrimellitate, glycerol trisanehydrotrimellitate, hexahydrophthalic anhydride, methyl Tetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methylnadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydrofuryl)-3-methyl-3-cyclohexene-1 , 2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride-maleic anhydride adduct, dodecenyl succinic anhydride, methylhimic anhydride and the like.

上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。
即ち、上記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が0.1~1.0個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が0.1~1.0個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行うことができる。
The reaction molar ratio of the epoxy compound, the unsaturated monobasic acid and the polybasic acid anhydride is preferably as follows.
That is, in the epoxy adduct having a structure in which 0.1 to 1.0 carboxyl groups of the unsaturated monobasic acid are added to one epoxy group of the epoxy compound, one hydroxyl group of the epoxy adduct It is preferable that the number of acid anhydride structures of the polybasic acid anhydride is 0.1 to 1.0 per number.
The epoxy compound, the unsaturated monobasic acid and the polybasic acid anhydride can be reacted according to a conventional method.

本発明の感光性組成物の実施態様の一つである、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、必須成分として、光重合開始剤(A)と、エチレン性不飽和化合物(B)と、アルカリ現像性化合物(D)とを含有し、任意成分として、無機化合物、溶剤等の成分を組み合わせて含有するものである。尚、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物のうち、着色剤(C)を含有するものを、特に、本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう。
上記アルカリ現像性化合物(D)は1種を単独で用いる場合があり、2種以上を併用して用いる場合がある。
上記アルカリ現像性化合物(D)がエチレン性不飽和結合を有している場合には、該アルカリ現像性化合物(D)はエチレン性不飽和化合物(B)の範疇に含まれる場合がある。アルカリ現像性化合物(D)がエチレン性不飽和化合物(B)でもある場合、アルカリ現像性化合物(D)を含んでいる組成物は、感光性組成物であり、且つアルカリ現像性感光性樹脂組成物でもある。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, which is one embodiment of the photosensitive composition of the present invention, comprises a photopolymerization initiator (A) and an ethylenically unsaturated compound (B) as essential components. and an alkali-developable compound (D), and as optional components, components such as an inorganic compound and a solvent are contained in combination. Among the alkali-developable photosensitive resin compositions of the present invention, those containing the coloring agent (C) are also particularly referred to as the colored alkali-developable photosensitive resin compositions of the present invention.
The alkali-developable compound (D) may be used singly or in combination of two or more.
When the alkali-developable compound (D) has an ethylenically unsaturated bond, the alkali-developable compound (D) may be included in the category of the ethylenically unsaturated compound (B). When the alkali-developable compound (D) is also the ethylenically unsaturated compound (B), the composition containing the alkali-developable compound (D) is a photosensitive composition and an alkali-developable photosensitive resin composition It is also a thing.

酸価調整して本発明の(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物の現像性を改良するため、上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物と共に、更に単官能又は多官能エポキシ化合物を用いることができる。上記エチレン性不飽和結合を有していてもよいアルカリ現像性を有する化合物は、固形分の酸価が5~120mgKOH/gの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。 In order to improve the developability of the (colored) alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention by adjusting the acid value, together with the alkali-developable compound which may have an ethylenically unsaturated bond, a single Functional or polyfunctional epoxy compounds can be used. The compound having alkali developability which may have an ethylenically unsaturated bond preferably has an acid value of solid content in the range of 5 to 120 mgKOH/g, and the amount of monofunctional or polyfunctional epoxy compound used. is preferably selected to satisfy the above acid value.

上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t-ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2-エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p-メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p-メトキシグリシジルエーテル、p-ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、2-メチルクレジルグリシジルエーテル、4-ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p-クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3-エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2-エポキシ-4-ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、上記化合物No.A2、No.A3等が挙げられる。 Examples of the monofunctional epoxy compounds include glycidyl methacrylate, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, propyl glycidyl ether, isopropyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, isobutyl glycidyl ether, t-butyl glycidyl ether, pentyl glycidyl ether, hexyl glycidyl ether, heptyl glycidyl ether, octyl glycidyl ether, nonyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, undecyl glycidyl ether, dodecyl glycidyl ether, tridecyl glycidyl ether, tetradecyl glycidyl ether, pentadecyl glycidyl ether, hexadecyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, propargyl glycidyl ether, p-methoxyethyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-methoxyglycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, 2-methylcresyl glycidyl ether, 4-nonylphenyl glycidyl ether , benzyl glycidyl ether, p-cumylphenyl glycidyl ether, trityl glycidyl ether, 2,3-epoxypropyl methacrylate, epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, glycidyl butyrate, vinylcyclohexane monoxide, 1,2-epoxy- 4-vinylcyclohexane, styrene oxide, pinene oxide, methylstyrene oxide, cyclohexene oxide, propylene oxide, compound no. A2, No. A3 etc. are mentioned.

上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される1種以上の化合物を用いると、特性の一層良好な(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物を得ることができるので好ましい。
上記ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式(IV)で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。
また上記グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8-オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10-デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2-ジメチル-1,3-プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4-シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1-トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1-トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1-トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1-テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン等を用いることができる。
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1-エポキシエチル-3,4-エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP-アミノフェノール、N,N-ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3-ジグリシジル-5,5-ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物;トリフェニルメタン型エポキシ化合物;ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。
When one or more compounds selected from the group consisting of bisphenol-type epoxy compounds and glycidyl ethers are used as the polyfunctional epoxy compound, a (colored) alkali-developable photosensitive resin composition with even better characteristics can be obtained. It is preferable because it can
As the bisphenol-type epoxy compound, an epoxy compound represented by the general formula (IV) can be used, and for example, a bisphenol-type epoxy compound such as a hydrogenated bisphenol-type epoxy compound can also be used.
Examples of the glycidyl ethers include ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,8-octanediol diglycidyl ether, 1,10-decanediol diglycidyl ether, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, triethylene glycol diglycidyl ether, tetraethylene glycol diglycidyl ether, hexaethylene glycol diglycidyl ether ether, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, 1,1,1-tri(glycidyloxymethyl)propane, 1,1,1-tri(glycidyloxymethyl)ethane, 1,1,1-tri(glycidyl oxymethyl)methane, 1,1,1,1-tetra(glycidyloxymethyl)methane and the like can be used.
In addition, novolak epoxy compounds such as phenol novolak type epoxy compounds, biphenyl novolak type epoxy compounds, cresol novolak type epoxy compounds, bisphenol A novolac type epoxy compounds, dicyclopentadiene novolak type epoxy compounds; 3,4-epoxy-6-methyl Cycloaliphatic epoxies such as cyclohexylmethyl-3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and 1-epoxyethyl-3,4-epoxycyclohexane compounds; glycidyl esters such as diglycidyl phthalate, diglycidyl tetrahydrophthalate, and glycidyl dimer; glycidylamines such as tetraglycidyldiaminodiphenylmethane, triglycidyl P-aminophenol, and N,N-diglycidylaniline; Heterocyclic epoxy compounds such as 1,3-diglycidyl-5,5-dimethylhydantoin and triglycidyl isocyanurate; Dioxide compounds such as dicyclopentadiene dioxide; Naphthalene type epoxy compounds; Triphenylmethane type epoxy compounds; A type epoxy compound or the like can also be used.

特に、本発明の感光性組成物をアルカリ現像性感光性樹脂組成物とする場合、上記エチレン性不飽和結合を有してもよいアルカリ現像性を有する化合物の含有量は、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物中、1~20質量%、特に3~12質量%が好ましい。 In particular, when the photosensitive composition of the present invention is used as an alkali developable photosensitive resin composition, the content of the compound having alkali developability which may have an ethylenically unsaturated bond is the same as the alkali developability of the present invention. 1 to 20% by mass, preferably 3 to 12% by mass in the photosensitive resin composition.

本発明の感光性組成物には、更に溶剤を加えることができる。該溶剤としては、通常、必要に応じて上記の各成分(光重合開始剤(A)及びエチレン性不飽和化合物(B)等)を溶解又は分散しえる溶剤、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2-ジメトキシエタン、1,2-ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸-n-プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n-ブチル、酢酸シクロヘキシル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、テキサノール等のエステル系溶剤;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のセロソルブ系溶剤;メタノール、エタノール、イソ-又はn-プロパノール、イソ-又はn-ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶剤;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコール-1-モノメチルエーテル-2-アセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルエーテルアセテート、エトキシエチルエーテルプロピオネート等のエーテルエステル系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶剤;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;テレピン油、D-リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油社)、ソルベッソ#100(エクソン化学社)等のパラフィン系溶剤;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2-ジクロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶剤;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶剤;カルビトール系溶剤;アニリン;トリエチルアミン;ピリジン;酢酸;アセトニトリル;二硫化炭素;N,N-ジメチルホルムアミド;N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc);N-メチルピロリドン;ジメチルスルホキシド;水等が挙げられ、これらの溶剤は1種又は2種以上の混合溶剤として使用することができる。
これらの中でも、ケトン類、エーテルエステル系溶剤等、特にプロピレングリコール-1-モノメチルエーテル-2-アセテート、シクロヘキサノン等が、感光性組成物において、レジストと光重合開始剤(A)の相溶性がよいので好ましい。
A solvent can be further added to the photosensitive composition of the present invention. The solvent is usually a solvent capable of dissolving or dispersing the above components (photopolymerization initiator (A), ethylenically unsaturated compound (B), etc.) as needed, such as methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, Ketones such as diethyl ketone, acetone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone; ethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-diethoxyethane, dipropylene glycol dimethyl ether, etc. Ester-based solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, cyclohexyl acetate, ethyl lactate, dimethyl succinate, and texanol; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol mono cellosolve solvents such as ethyl ether; alcohol solvents such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol, amyl alcohol; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol- Ether ester solvents such as 1-monomethyl ether-2-acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl ether acetate, ethoxyethyl ether propionate; BTX solvents such as benzene, toluene and xylene; hexane, heptane, Aliphatic hydrocarbon solvents such as octane and cyclohexane; Terpene hydrocarbon oils such as turpentine oil, D-limonene and pinene; Mineral spirit, Swasol #310 (Cosmo Matsuyama Oil Co.), Solvesso #100 (Exxon Chemical Co.), etc. paraffin solvents; carbon tetrachloride, chloroform, trichlorethylene, methylene chloride, halogenated aliphatic hydrocarbon solvents such as 1,2-dichloroethane; halogenated aromatic hydrocarbon solvents such as chlorobenzene; carbitol solvents; aniline ; triethylamine; pyridine; acetic acid; acetonitrile; carbon disulfide; N,N-dimethylformamide; N,N-dimethylacetamide (DMAc); Alternatively, it can be used as a mixed solvent of two or more.
Among these, ketones, ether ester solvents, etc., especially propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, cyclohexanone, etc. have good compatibility between the resist and the photopolymerization initiator (A) in the photosensitive composition. Therefore, it is preferable.

また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、p-アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、t-ブチルカテコール、無機化合物、潜在性添加剤、有機重合体、連鎖移動剤、増感剤、界面活性剤、シランカップリング剤、メラミン化合物、熱重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤;表面調整剤;酸化防止剤;紫外線吸収剤;分散助剤;凝集防止剤;触媒;効果促進剤;架橋剤;増粘剤等の慣用の添加物を加えることができる。 In addition, the photosensitive composition of the present invention may optionally contain p-anisole, hydroquinone, pyrocatechol, t-butylcatechol, inorganic compounds, latent additives, organic polymers, chain transfer agents and sensitizers. , surfactant, silane coupling agent, melamine compound, thermal polymerization inhibitor; plasticizer; adhesion promoter; filler; antifoaming agent; leveling agent; anti-agglomeration agents; catalysts; effect accelerators; cross-linking agents;

本発明の感光性組成物には、着色剤(C)及び/又は無機化合物を分散させる分散剤を加えることができる。該分散剤としては、着色剤(C)又は無機化合物を分散、安定化できるものであれば制限されず、市販の分散剤、例えば、ビックケミー・ジャパン社製のBYKシリーズ等を用いることができる。特に、塩基性官能基を有するポリエステル、ポリエーテル、又はポリウレタンからなる高分子分散剤、塩基性官能基として窒素原子を有し、窒素原子を有する官能基がアミン、及び/又はその四級塩であり、アミン価が1~100mgKOH/gのものが好適に用いられる。 A dispersant for dispersing the coloring agent (C) and/or the inorganic compound can be added to the photosensitive composition of the present invention. The dispersant is not limited as long as it can disperse and stabilize the colorant (C) or the inorganic compound, and commercially available dispersants such as the BYK series manufactured by BYK-Chemie Japan can be used. In particular, a polymer dispersant comprising a polyester, polyether, or polyurethane having a basic functional group, a nitrogen atom as the basic functional group, and the functional group having a nitrogen atom is an amine and/or a quaternary salt thereof. and those having an amine value of 1 to 100 mgKOH/g are preferably used.

上記潜在性添加剤は、下記一般式(A)~(C)で表される。 The latent additive is represented by the following general formulas (A) to (C).

Figure 0007248573000041


(式中、環Aは、六員環の脂環、芳香環又は複素環であり、R81、R82、R83、R84及びR85は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数1~40のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数7~20のアリールアルキル基、炭素原子数2~20の複素環含有基又は-O-R66を表し、
81、R82、R83、R84及びR85のうち少なくとも一つは水素原子でなく、
86は、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数2~20のアルケニル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数7~20のアリールアルキル基、炭素原子数2~20の複素環含有基又はトリアルキルシリル基を表す。)
Figure 0007248573000041


(In the formula, ring A 1 is a six-membered alicyclic, aromatic or heterocyclic ring, and R 81 , R 82 , R 83 , R 84 and R 85 are a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, a hydroxyl group, , nitro group, carboxyl group, optionally substituted alkyl group having 1 to 40 carbon atoms, aryl group having 6 to 20 carbon atoms, arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, number of carbon atoms 2 to 20 heterocyclic ring-containing groups or —O—R 66 ,
at least one of R 81 , R 82 , R 83 , R 84 and R 85 is not a hydrogen atom;
R 86 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms. 20 heterocycle-containing groups or trialkylsilyl groups. )

Figure 0007248573000042


(式中、環A及びR91は、上記一般式(A)と同じであり、
は、下記一般式(1)で表される基であり、R92、R93、R94及びR95は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数1~40のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数7~20のアリールアルキル基又は炭素原子数2~20の複素環含有基を表し、R92、R93、R94及びR95のうち少なくとも一つは水素原子でない。)
Figure 0007248573000042


(Wherein, ring A 1 and R 91 are the same as in general formula (A) above,
X 7 is a group represented by the following general formula (1), R 92 , R 93 , R 94 and R 95 are a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, a hydroxyl group, a nitro group, a carboxyl group, a substituent an alkyl group having 1 to 40 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms, which may have and at least one of R 92 , R 93 , R 94 and R 95 is not a hydrogen atom. )

Figure 0007248573000043


(上記一般式(1)中、Xは、-CR9798-、-NR99-、二価の炭素原子数1~35の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数2~35の複素環基、又は、下記〔化42〕~〔化44〕で表されるいずれかの置換基を表し、
該脂肪族炭化水素基中のメチレン基は、-O-、-S-、-CO-、-COO-、-OCO-又は-NH-、或いは酸素原子が隣り合うことなしにこれらを組み合わせた結合基で置換される場合があり、
97及びR98は、水素原子、炭素原子数1~8のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基又は炭素原子数7~20のアリールアルキル基を表し、Z及びZは、それぞれ独立に、直接結合、-O-、-S-、>CO、-CO-O-、-O-CO-、-SO2-、-SS-、-SO-又は>NR100を表し、R99及びR100は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数1~35の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数2~35の複素環基を表し、*は結合手を表す。)
Figure 0007248573000043


(In the above general formula (1), X 8 is —CR 97 R 98 —, —NR 99 —, a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 35 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 35 carbon atoms, a hydrocarbon group or a heterocyclic group having 2 to 35 carbon atoms, or any substituent represented by the following [Chemical 42] to [Chemical 44],
The methylene group in the aliphatic hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO-, -COO-, -OCO- or -NH-, or a bond combining these without adjacent oxygen atoms may be substituted with
R 97 and R 98 represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms or an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and Z 5 and Z 6 are each independently represents a direct bond, -O-, -S-, >CO, -CO-O-, -O-CO-, -SO2- , -SS-, -SO- or >NR 100 ; 99 and R 100 are a hydrogen atom, an optionally substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 35 carbon atoms, or an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 35 carbon atoms. represents a hydrogen group or a heterocyclic group having 2 to 35 carbon atoms which may have a substituent, and * represents a bond. )

Figure 0007248573000044


(上記式中、R101は水素原子、置換基を有していてもよいフェニル基、又は炭素原子数3~10のシクロアルキル基を表し、R102は炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数1~10のアルコキシ基、炭素原子数2~10のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、上記アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は置換基を有していてもよく、fは0~5の整数であり、*は結合手を表し、*は結合手を表す。)
Figure 0007248573000044


(In the above formula, R 101 represents a hydrogen atom, an optionally substituted phenyl group, or a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, R 102 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, represents an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, or a halogen atom; the above alkyl group, alkoxy group and alkenyl group may have a substituent; f is 0 to 5; is an integer, * represents a bond, and * represents a bond.)

Figure 0007248573000045


(式中、*は結合手を表す。)
Figure 0007248573000045


(In the formula, * represents a bond.)

Figure 0007248573000046


(上記式中、R103及びR104は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素原子数1~10のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~20のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~20のアリールオキシ基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~20のアリールチオ基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~20のアリールアルケニル基、置換基を有していてもよい炭素原子数7~20のアリールアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数2~20の複素環基又はハロゲン原子を表し、該アルキル基及びアリールアルキル基中のメチレン基は不飽和結合、-O-又は-S-で中断されていてもよく、R103は、隣接するR103同士で環を形成していてもよく、bは0~4の数を表し、cは0~8の数を表し、gは0~4の数を表し、hは0~4の数を表し、gとhの数の合計は2~4である。)
Figure 0007248573000046


(In the above formula, R 103 and R 104 are each independently an optionally substituted alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an optionally substituted C 6 to 20 aryl group, optionally substituted aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms, optionally substituted arylthio group having 6 to 20 carbon atoms, having a substituent an arylalkenyl group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a heterogeneous group having 2 to 20 carbon atoms which may have a substituent represents a cyclic group or a halogen atom, the methylene group in the alkyl group and arylalkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, -O- or -S-, and R , b represents a number from 0 to 4, c represents a number from 0 to 8, g represents a number from 0 to 4, h represents a number from 0 to 4, and g and The total number of h is 2 to 4.)

Figure 0007248573000047


(式中、k=2~6であり、Xは、k=2のとき上記一般式(2)で表される基であり、k=3のとき下記一般式(3)で表される基であり、k=4のとき下記一般式(4)で表される基であり、k=5のとき下記一般式(5)であり、k=6のとき下記一般式(6)であり、R111、R112、R113及びR114は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、カルボキシル基、置換基を有していてもよい炭素原子数1~40のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数7~20のアリールアルキル基又は炭素原子数2~20の複素環含有基を表し、R111、R112、R113及びR114のうち少なくとも一つは水素原子でなく、環A及びR86は、上記一般式(A)と同じである。)
Figure 0007248573000047


(Wherein, k = 2 to 6, X 9 is a group represented by the general formula (2) when k = 2, and represented by the following general formula (3) when k = 3 is a group represented by the following general formula (4) when k = 4, represented by the following general formula (5) when k = 5, and represented by the following general formula (6) when k = 6 , R 111 , R 112 , R 113 and R 114 are a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, a hydroxyl group, a nitro group, a carboxyl group, an optionally substituted alkyl group having 1 to 40 carbon atoms, represents an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms or a heterocyclic ring-containing group having 2 to 20 carbon atoms, and at least one of R 111 , R 112 , R 113 and R 114 is not a hydrogen atom, and ring A 1 and R 86 are the same as in general formula (A) above.)

Figure 0007248573000048


(上記一般式(2)中、Y11は、三価の炭素原子数3~35の脂肪族炭化水素基、炭素原子数3~35の脂環族炭化水素基、炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数2~35の複素環基を表し、Z11、Z12及びZ13は、それぞれ独立に、直接結合、-O-、-S-、>CO、-CO-O-、-O-CO-、-SO-、-SS-、-SO-、-NR121-、-PR121-又は置換基を有していてもよい炭素原子数1~35の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数2~35の複素環基を表し、
121は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数1~35の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素原子数2~35の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基中のメチレン基は、炭素一炭素二重結合、-O-、-CO-、-O-CO-、-CO-O-又は-SO-で置換される場合もある。)
Figure 0007248573000048


(In the above general formula (2), Y 11 is a trivalent aliphatic hydrocarbon group having 3 to 35 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 35 carbon atoms, a represents an aromatic hydrocarbon group or a heterocyclic group having 2 to 35 carbon atoms, and Z 11 , Z 12 and Z 13 are each independently a direct bond, -O-, -S-, >CO, -CO- O—, —O—CO—, —SO 2 —, —SS—, —SO—, —NR 121 —, —PR 121 — or optionally substituted aliphatic having 1 to 35 carbon atoms represents a hydrocarbon group, an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 35 carbon atoms or a heterocyclic group having 2 to 35 carbon atoms which may have a substituent,
R 121 is a hydrogen atom, an optionally substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 35 carbon atoms, or an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 35 carbon atoms. or an optionally substituted heterocyclic group having 2 to 35 carbon atoms, wherein the methylene group in the aliphatic hydrocarbon group is a carbon-carbon double bond, -O-, -CO-, -O-CO-, -CO-O- or -SO 2 - may be substituted. )

Figure 0007248573000049


(上記一般式(3)中、Y12は、炭素原子、又は、四価の炭素原子数1~35の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基若しくは炭素原子数2~35の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基中のメチレン基は、-COO-、-O-、-OCO-、-NHCO-、-NH-又は-CONH-で置換される場合もあり、Z11~Z14は、それぞれ独立に、上記一般式(2)におけるZ11~Z13で表される基と同じ範囲の基である。)
Figure 0007248573000049


(In the above general formula (3), Y 12 is a carbon atom, a tetravalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 35 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 35 carbon atoms, or a number of carbon atoms represents a heterocyclic group of 2 to 35, wherein the methylene group in the aliphatic hydrocarbon group is substituted with -COO-, -O-, -OCO-, -NHCO-, -NH- or -CONH- and Z 11 to Z 14 are each independently a group in the same range as the groups represented by Z 11 to Z 13 in the general formula (2).)

Figure 0007248573000050


(上記一般式(4)中、Y13は、五価の炭素原子数2~35の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6~30の芳香族炭化水素基又は炭素原子数2~30の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、-COO-、-O-、-OCO-、-NHCO-、-NH-又は-CONH-で中断されていてもよく、Z11~Z15は、それぞれ独立に、上記一般式(2)におけるZ11~Z13で表される基と同じ範囲の基である。)
Figure 0007248573000050


(In the above general formula (4), Y 13 is a pentavalent aliphatic hydrocarbon group having 2 to 35 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 30 carbon atoms, or a heterovalent hydrocarbon group having 2 to 30 carbon atoms. represents a cyclic group, the aliphatic hydrocarbon group may be interrupted by -COO-, -O-, -OCO-, -NHCO-, -NH- or -CONH-, and Z 11 to Z 15 are , each independently in the same range as the groups represented by Z 11 to Z 13 in the general formula (2).)

Figure 0007248573000051


(上記一般式(5)中、Y14は、六価の炭素原子数2~35の脂肪族炭化水素基、炭素原子数6~35の芳香族炭化水素基又は炭素原子数2~35の複素環基を表し、該脂肪族炭化水素基は、-COO-、-O-、-OCO-、-NHCO-、-NH-又は-CONH-で中断されていてもよく、Z11~Z16は、それぞれ独立に、上記一般式(2)におけるZ11~Z13で表される基と同じ範囲の基である。)
Figure 0007248573000051


(In the above general formula (5), Y 14 is a hexavalent aliphatic hydrocarbon group having 2 to 35 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 35 carbon atoms, or a heterovalent hydrocarbon group having 2 to 35 carbon atoms. represents a cyclic group, the aliphatic hydrocarbon group may be interrupted by -COO-, -O-, -OCO-, -NHCO-, -NH- or -CONH-, and Z 11 to Z 16 are , each independently in the same range as the groups represented by Z 11 to Z 13 in the general formula (2).)

上記有機重合体[エチレン性不飽和化合物(B)を除く]を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート-エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸-メチルメタクリレート共重合体、エチレン-塩化ビニル共重合体、エチレン-ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、ウレタン樹脂、ポリカーボネートポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、(メタ)アクリル酸-メチルメタクリレート共重合体、エポキシ樹脂が好ましい。
有機重合体を使用する場合、その使用量は、上記エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物100質量部に対して、好ましくは10~500質量部である。
By using the above organic polymer [excluding the ethylenically unsaturated compound (B)], the properties of the cured product can be improved. Examples of the organic polymer include polystyrene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-ethyl acrylate copolymer, poly(meth)acrylic acid, styrene-(meth)acrylic acid copolymer, (meth)acrylic acid-methyl methacrylate. Copolymer, ethylene-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl copolymer, polyvinyl chloride resin, ABS resin, nylon 6, nylon 66, nylon 12, urethane resin, polycarbonate polyvinyl butyral, cellulose ester, polyacrylamide, saturated Polyesters, phenol resins, phenoxy resins, polyamideimide resins, polyamic acid resins, epoxy resins and the like can be mentioned, and among these, polystyrene, (meth)acrylic acid-methyl methacrylate copolymers and epoxy resins are preferred.
When an organic polymer is used, the amount used is preferably 10 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.

上記連鎖移動剤又は上記増感剤としては、一般的に硫黄原子含有化合物が用いられる。例えばチオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2-メルカプトプロピオン酸、3-メルカプトプロピオン酸、3-メルカプト酪酸、N-(2-メルカプトプロピオニル)グリシン、2-メルカプトニコチン酸、3-[N-(2-メルカプトエチル)カルバモイル]プロピオン酸、3-[N-(2-メルカプトエチル)アミノ]プロピオン酸、N-(3-メルカプトプロピオニル)アラニン、2-メルカプトエタンスルホン酸、3-メルカプトプロパンスルホン酸、4-メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4-メチルチオ)フェニルエーテル、2-メルカプトエタノール、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール、1-メルカプト-2-プロパノール、3-メルカプト-2-ブタノール、メルカプトフェノール、2-メルカプトエチルアミン、2-メルカプトイミダゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプト-3-ピリジノール、2-メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2-ヨードエタノール、2-ヨードエタンスルホン酸、3-ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトイソブチレート)、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、下記化合物No.C1、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の脂肪族多官能チオール化合物、昭和電工社製カレンズMT BD1、PE1、NR1等が挙げられる。 A sulfur atom-containing compound is generally used as the chain transfer agent or the sensitizer. For example, thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N-(2-mercaptopropionyl)glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3-[N-( 2-mercaptoethyl)carbamoyl]propionic acid, 3-[N-(2-mercaptoethyl)amino]propionic acid, N-(3-mercaptopropionyl)alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3-mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl (4-methylthio)phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto-2-butanol, mercaptophenol , 2-mercaptoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis Mercapto compounds such as (3-mercaptopropionate), disulfide compounds obtained by oxidation of the mercapto compounds, iodoacetic acid, iodopropionic acid, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, 3-iodopropanesulfonic acid iodinated alkyl compounds such as trimethylolpropane tris(3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis(3-mercaptoisobutyrate), hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediol bisthio Propionate, butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate , pentaerythritol tetrakisthiopropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, trishydroxyethyl tristhiopropionate, diethylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, the following compound Nos. Aliphatic polyfunctional thiol compounds such as C1 and trimercaptopropionate tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate, Showa Denko Karenz MT BD1, PE1, NR1 and the like.

Figure 0007248573000052
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上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素系界面活性剤;高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤;高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤;ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤;両性界面活性剤;シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。 Examples of the above-mentioned surfactants include perfluoroalkyl phosphates, fluorine-based surfactants such as perfluoroalkyl carboxylates; anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkylsulfonates, and alkyl sulfates; Cationic surfactants such as amine halides and quaternary ammonium salts; Nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters and fatty acid monoglycerides; Amphoteric surfactants; Silicone surfactants Surfactants such as active agents can be used, and they may be used in combination.

上記シランカップリング剤としては、例えば信越化学社製シランカップリング剤を用いることができ、その中でも、KBE-9007、KBM-5103、KBM-502、KBE-403等の、イソシアネート基、アクリロイル基、メタクリロイル基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤が好適に用いられる。 As the silane coupling agent, for example, a silane coupling agent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. can be used. A silane coupling agent having a methacryloyl group or an epoxy group is preferably used.

上記メラミン化合物としては、(ポリ)メチロールメラミン、(ポリ)メチロールグリコールウリル、(ポリ)メチロールベンゾグアナミン、(ポリ)メチロールウレア等の窒素化合物中の活性メチロール基(CH2OH基)の全部又は一部(少なくとも2つ)がアルキルエーテル化された化合物等を挙げることができる。
ここで、アルキルエーテルを構成するアルキル基としては、メチル基、エチル基又はブチル基が挙げられ、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、アルキルエーテル化されていないメチロール基は、一分子内で自己縮合していてもよく、二分子間で縮合して、その結果オリゴマー成分が形成されていてもよい。
具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラブトキシメチルグリコールウリル等を用いることができる。これらの中でも、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン等のアルキルエーテル化されたメラミンが好ましい。
Examples of the melamine compound include all or part of active methylol groups (CH 2 OH groups) in nitrogen compounds such as (poly)methylolmelamine, (poly)methylolglycoluril, (poly)methylolbenzoguanamine, and (poly)methylolurea. A compound in which (at least two) are alkyl-etherified, and the like can be mentioned.
Here, the alkyl group constituting the alkyl ether includes a methyl group, an ethyl group and a butyl group, which may be the same or different. In addition, methylol groups that are not alkyl-etherified may be self-condensed within one molecule, or may be condensed between two molecules to form an oligomer component.
Specifically, hexamethoxymethylmelamine, hexabutoxymethylmelamine, tetramethoxymethylglycoluril, tetrabutoxymethylglycoluril and the like can be used. Among these, alkyl-etherified melamine such as hexamethoxymethylmelamine and hexabutoxymethylmelamine are preferred.

上記レベリング剤としては、レベリング効果があれば、既存のレベリング剤を使用することができるが、その中でもシリコーン系レベリング剤及びフッ素系レベリング剤を特に好ましく使用することができる。 As the leveling agent, existing leveling agents can be used as long as they have a leveling effect. Among them, silicone-based leveling agents and fluorine-based leveling agents are particularly preferably used.

上記シリコーン系レベリング剤としては、市販のシリコーン系レベリング剤を使用でき、例えば、BYK-300、BYK-306、BYK-307、BYK-310、BYK-315、BYK-313、BYK-320、BYK-322、BYK-323、BYK-325、BYK-330、BYK-331、BYK-333、BYK-337、BYK-341、BYK-344、BYK-347、BYK-348、BYK-349、BYK-370、BYK-375、BYK-377、BYK-378、BYK-UV3500、BYK-UV3510、BYK-UV3570、BYK-3550、BYK-SILCLEAN3700、BYK-SILCLEAN3720(以上、ビックケミー・ジャパン社製);ACFS180、ACFS360、AC S20(以上、Algin Chemie製);ポリフローKL-400X、ポリフローKL-400HF、ポリフローKL-401、ポリフローKL-402、ポリフローKL-403、ポリフローKL-404(以上、共栄社化学製);KP-323、KP-326、KP-341、KP-104、KP-110、KP-112(以上、信越化学工業製);LP-7001、LP-7002、8032ADDITIVE、57ADDITIVE、L-7604、FZ-2110、FZ-2105、67ADDITIVE、8618ADDITIVE、3ADDITIVE、56ADDITIVE(以上、東レ・ダウコーニング製)等の市販品を使用することができる。 As the silicone-based leveling agent, a commercially available silicone-based leveling agent can be used. 322, BYK-323, BYK-325, BYK-330, BYK-331, BYK-333, BYK-337, BYK-341, BYK-344, BYK-347, BYK-348, BYK-349, BYK-370, BYK-375, BYK-377, BYK-378, BYK-UV3500, BYK-UV3510, BYK-UV3570, BYK-3550, BYK-SILCLEAN3700, BYK-SILCLEAN3720 (manufactured by BYK-Chemie Japan); ACFS180, ACFS360, AC S20 (manufactured by Algin Chemie); Polyflow KL-400X, Polyflow KL-400HF, Polyflow KL-401, Polyflow KL-402, Polyflow KL-403, Polyflow KL-404 (manufactured by Kyoeisha Chemical); KP-323, KP-326, KP-341, KP-104, KP-110, KP-112 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.); LP-7001, LP-7002, 8032ADDITIVE, 57ADDITIVE, L-7604, FZ-2110, FZ- Commercially available products such as 2105, 67ADDITIVE, 8618ADDITIVE, 3ADDITIVE, and 56ADDITIVE (manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.) can be used.

上記フッ素系レベリング剤としては、市販のフッ素系レベリング剤を使用でき、例えば、オプツールDSX、オプツールDAC-HP(以上、ダイキン工業製);サーフロンS-242、サーフロンS-243、サーフロンS-420、サーフロンS-611、サーフロンS-651、サーフロンS-386(以上、AGCセイミケミカル製);BYK-340(ビックケミー・ジャパン社製);AC110a、AC100a(以上、AlginChemie製);メガファックF-114、メガファックF-410、メガファックF-444、メガファックEXPTP-2066、メガファックF-430、メガファックF-472SF、メガファックF-477、メガファックF-552、メガファックF-553、メガファックF-554、メガファックF-555、メガファックR-94、メガファックRS-72-K、メガファックRS-75、メガファックF-556、メガファックEXPTF-1367、メガファックEXPTF-1437、メガファックF-558、メガファックEXPTF-1537(以上、DIC製);FC-4430、FC-4432(以上、住友スリーエム製);フタージェント100、フタージェント100C、フタージェント110、フタージェント150、フタージェント150CH、フタージェントA-K、フタージェント501、フタージェント250、フタージェント251、フタージェント222F、フタージェント208G、フタージェント300、フタージェント310、フタージェント400SW(以上、ネオス製);PF-136A、PF-156A、PF-151N、PF-636、PF-6320、PF-656、PF-6520、PF-651、PF-652、PF-3320(以上、北村化学産業製)等の市販品を使用することができる。 As the fluorine-based leveling agent, commercially available fluorine-based leveling agents can be used. Surflon S-611, Surflon S-651, Surflon S-386 (manufactured by AGC Seimi Chemical); BYK-340 (manufactured by BYK-Chemie Japan); AC110a, AC100a (manufactured by AlginChemie); Megafac F-114, Megafuck F-410, Megafuck F-444, Megafuck EXPTP-2066, Megafuck F-430, Megafuck F-472SF, Megafuck F-477, Megafuck F-552, Megafuck F-553, Megafuck F-554, Megafuck F-555, Megafuck R-94, Megafuck RS-72-K, Megafuck RS-75, Megafuck F-556, Megafuck EXPTF-1367, Megafuck EXPTF-1437, Megafuck F-558, Megafac EXPTF-1537 (manufactured by DIC); FC-4430, FC-4432 (manufactured by Sumitomo 3M); Futergent 100, Futergent 100C, Futergent 110, Futergent 150, Futergent 150CH , Futergent AK, Futergent 501, Futergent 250, Futergent 251, Futergent 222F, Futergent 208G, Futergent 300, Futergent 310, Futergent 400SW (manufactured by Neos); PF-136A, PF -Use commercially available products such as 156A, PF-151N, PF-636, PF-6320, PF-656, PF-6520, PF-651, PF-652, PF-3320 (manufactured by Kitamura Chemical Industry) can be done.

本発明の感光性組成物において、重合開始剤(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、着色剤(C)、アルカリ現像性化合物(D)、溶剤、無機化合物、有機重合体を除く任意成分の使用量は、その使用目的に応じて適宜選択され特に制限されないが、好ましくは、上記エチレン性不飽和化合物(B)100質量部に対して合計で50質量部以下とする。 In the photosensitive composition of the present invention, optional components other than the polymerization initiator (A), the ethylenically unsaturated compound (B), the colorant (C), the alkali developable compound (D), the solvent, the inorganic compound and the organic polymer The amount of the components to be used is appropriately selected according to the purpose of use and is not particularly limited, but is preferably 50 parts by mass or less in total per 100 parts by mass of the ethylenically unsaturated compound (B).

本発明の感光性組成物、アルカリ現像性感光性樹脂組成物又は硬化物は、光硬化性塗料又はワニス;光硬化性接着剤;プリント基板;表示装置(カラーテレビ、PCモニタ、携帯情報端末、デジタルカメラ等)のカラー表示の液晶表示素子におけるカラーフィルタ;CCDイメージセンサのカラーフィルタ;プラズマ表示パネル用の電極材料;粉末コーティング;印刷インク;印刷版;接着剤;歯科用組成物;ゲルコート;電子工学用のフォトレジスト;電気メッキレジスト;エッチングレジスト;ドライフィルム;はんだレジスト;種々の表示装置の構造を形成するためのレジスト;電気及び電子部品を封入するための組成物;ソルダーレジスト;磁気記録材料;微小機械部品;導波路;光スイッチ;メッキ用マスク;エッチングマスク;カラー試験系;ガラス繊維ケーブルコーティング;スクリーン印刷用ステンシル;ステレオリトグラフィによって三次元物体を製造するための材料;ホログラフィ記録用材料;画像記録材料;微細電子回路;脱色材料;画像記録材料のための脱色材料;マイクロカプセルを使用する画像記録材料用の脱色材料;印刷配線板用フォトレジスト材料;UV及び可視レーザー直接画像系用のフォトレジスト材料;プリント回路基板の逐次積層における誘電体層形成に使用するフォトレジスト材料又は保護膜等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。 The photosensitive composition, alkali-developable photosensitive resin composition or cured product of the present invention is a photocurable coating or varnish; a photocurable adhesive; a printed circuit board; color filters in liquid crystal display elements for color display of digital cameras, etc.; color filters for CCD image sensors; electrode materials for plasma display panels; powder coatings; printing inks; Photoresists for engineering; electroplating resists; etching resists; dry films; solder resists; resists for forming structures of various display devices; optical switches; plating masks; etching masks; color test systems; glass fiber cable coatings; stencils for screen printing; decolorizing materials; decolorizing materials for image recording materials; decolorizing materials for image recording materials using microcapsules; photoresist materials for printed wiring boards; Photoresist material of; can be used for various purposes such as a photoresist material used for forming a dielectric layer in the successive lamination of a printed circuit board or a protective film, and the use is not particularly limited.

本発明の感光性組成物又は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、液晶表示パネル用のスペーサーを形成する目的及び垂直配向型液晶表示素子用突起を形成する目的で使用することもできる。特に垂直配向型液晶表示素子用の突起とスペーサーを同時に形成するための感光性組成物として有用である。 The photosensitive composition or alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can also be used for the purpose of forming spacers for liquid crystal display panels and for the purpose of forming projections for vertically aligned liquid crystal display elements. In particular, it is useful as a photosensitive composition for simultaneously forming projections and spacers for vertically aligned liquid crystal display devices.

本発明の感光性組成物又はアルカリ現像性感光性樹脂組成物の硬化方法について下記に詳細に説明する。 The method for curing the photosensitive composition or alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail below.

本発明の感光性組成物又はアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。 The photosensitive composition or alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be coated with soda glass or quartz glass by known means such as spin coater, roll coater, bar coater, die coater, curtain coater, various types of printing, and immersion. , semiconductor substrates, metals, paper, plastics and the like. In addition, once applied onto a supporting substrate such as a film, it can be transferred onto another supporting substrate, and there are no restrictions on the method of application.

また、本発明の感光性組成物アルカリ現像性感光性樹脂組成物を硬化させる際に用いられるエネルギー線の光源としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンランプ、エキシマーランプ、殺菌灯、発光ダイオード、CRT光源等から得られる2000オングストロームから7000オングストロームの波長を有する電磁波エネルギーや電子線、X線、放射線等の高エネルギー線を利用することができるが、好ましくは、波長300~450nmの光を発光する超高圧水銀ランプ、水銀蒸気アーク灯、カーボンアーク灯、キセノンアーク灯等が挙げられる。 Further, as the light source of the energy beam used for curing the photosensitive composition alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, an ultra-high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, mercury Electromagnetic wave energy or electron beams with a wavelength of 2000 angstroms to 7000 angstroms obtained from vapor arc lamps, xenon arc lamps, carbon arc lamps, metal halide lamps, fluorescent lamps, tungsten lamps, excimer lamps, germicidal lamps, light emitting diodes, CRT light sources, etc. , X-rays, and radiation can be used. Preferably, an ultra-high pressure mercury lamp, a mercury vapor arc lamp, a carbon arc lamp, a xenon arc lamp, etc., which emit light with a wavelength of 300 to 450 nm can be used. be done.

更に、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから有用であり、そのレーザー光としては、340~430nmの波長の光が好適に使用されるが、エキシマーレーザー、窒素レーザー、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザー、ヘリウムネオンレーザー、クリプトンイオンレーザー、各種半導体レーザー及びYAGレーザー等の可視から赤外領域の光を発するものも用いられる。これらのレーザーを使用する場合には、可視から赤外の当該領域を吸収する増感色素が加えられる。 Furthermore, by using laser light as the exposure light source, the laser direct writing method, which forms images directly from digital information such as computers without using a mask, not only improves productivity but also improves resolution and positional accuracy. As the laser light, light with a wavelength of 340 to 430 nm is preferably used, but excimer laser, nitrogen laser, argon ion laser, helium cadmium laser, helium neon laser, krypton ion laser , various semiconductor lasers, and YAG lasers, which emit light in the visible to infrared region, are also used. When using these lasers, a sensitizing dye is added that absorbs in the visible to infrared region of interest.

上記の液晶表示パネル用スペーサーは、(1)本発明の感光性組成物の塗膜を基板上に形成する工程、(2)該塗膜に所定のパターン形状を有するマスクを介して放射線を照射する工程、(3)露光後のベーク工程、(4)露光後の該被膜を現像する工程、(5)現像後の該被膜を加熱する工程により好ましく形成される。 The spacer for a liquid crystal display panel described above comprises the steps of: (1) forming a coating film of the photosensitive composition of the present invention on a substrate; (3) baking after exposure; (4) developing the film after exposure; and (5) heating the film after development.

撥インク剤を添加した本発明の感光性組成物は、インクジェット方式用隔壁形成樹脂組成物として有用であり、該組成物はカラーフィルタ用として用いられ、特にプロファイル角が50°以上であるインクジェット方式カラーフィルタ用隔壁に好ましく用いられる。該撥インク剤としては、フッ素系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる組成物が好適に用いられる。 The photosensitive composition of the present invention to which an ink-repellent agent is added is useful as a partition wall-forming resin composition for an inkjet method, and the composition is used for a color filter, particularly for an inkjet method having a profile angle of 50° or more. It is preferably used for partition walls for color filters. As the ink-repellent agent, a fluorosurfactant and a composition comprising a fluorosurfactant are preferably used.

本発明の感光性組成物から形成された隔壁が被転写体上を区画し、区画された被転写体上の凹部にインクジェット法により液滴を付与して画像領域を形成する方法により光学素子が製造される。この際、上記液滴が着色剤を含有し、上記画像領域が着色されているのが好ましく、基板上に複数の着色領域からなる画素群と上記画素群の各着色領域を離隔する隔壁を少なくとも有し、上記の光学素子の製造方法により作製された光学素子が好ましく用いられる。 Partition walls formed from the photosensitive composition of the present invention partition the surface of the transfer medium, and an optical element is formed by a method in which liquid droplets are applied to the partitioned recesses on the transfer medium by an inkjet method to form an image area. manufactured. At this time, it is preferable that the droplets contain a coloring agent and the image area is colored, and at least a pixel group consisting of a plurality of colored areas and a partition separating each colored area of the pixel group are formed on the substrate. and an optical element manufactured by the method for manufacturing an optical element described above is preferably used.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples and the like.

〔実施例1-1~1-3〕化合物No.1の製造 [Examples 1-1 to 1-3] Compound No. 1 manufacturing

[実施例1-1]中間体1A(ケトン化合物)の製造
四つ口フラスコにトリフェニルアミン(3.3g)、ジクロロエタン(15g)を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム(5.8g)、塩化アセチル(3.3g)を加えた。室温で3時間撹拌後、氷冷した5%希塩酸に反応溶液をあけ撹拌し油水分離した。有機層を5%HCl水溶液で2回洗浄し、更に4回水洗した。製品層を脱溶媒後、シリカゲルカラム(ヘキサン/酢酸エチル=65/35)により精製を行い、中間体1Aを得た(2.6g:収率52%)。
[Example 1-1] Preparation of Intermediate 1A (ketone compound) A four-necked flask was charged with triphenylamine (3.3 g) and dichloroethane (15 g), and then aluminum chloride (5.8 g) was added under ice-cooling. Acetyl chloride (3.3 g) was added. After stirring at room temperature for 3 hours, the reaction solution was poured into ice-cooled 5% dilute hydrochloric acid and stirred to separate oil and water. The organic layer was washed twice with a 5% HCl aqueous solution and then washed with water four times. After removing the solvent from the product layer, purification was performed using a silica gel column (hexane/ethyl acetate=65/35) to obtain Intermediate 1A (2.6 g: yield 52%).

Figure 0007248573000053
Figure 0007248573000053

[実施例1-2]中間体1B(オキシム化合物)の製造
四つ口フラスコに中間体1A(2.6g)、エタノール(24g)、水(12g)、塩酸ヒドロキシルアミン(1.6g)を仕込み、10時間加熱還流した。室温まで冷却後、析出物をろ取し、十分に乾燥させ、中間体1Bを得た(2.8g:収率96%)。
[Example 1-2] Production of Intermediate 1B (oxime compound) A four-necked flask was charged with Intermediate 1A (2.6 g), ethanol (24 g), water (12 g), and hydroxylamine hydrochloride (1.6 g). , and heated to reflux for 10 hours. After cooling to room temperature, the precipitate was collected by filtration and thoroughly dried to obtain Intermediate 1B (2.8 g: yield 96%).

Figure 0007248573000054
Figure 0007248573000054

[実施例1-3]化合物No.1(本発明のオキシムエステル化合物)の製造
四つ口フラスコに中間体1B(2.1g)、ジメチルフォルムアミド(15g)を仕込んだ後、氷冷下トリエチルアミン(1.7g)、塩化アセチル(1.3g)を仕込んだ。室温で2時間撹拌後、イオン交換水(15g)、酢酸エチル(30g)を仕込み油水分離した。有機層を3回水洗し、脱溶媒後、シリカゲルカラム(ヘキサン/酢酸エチル=50/50)により精製を行い、化合物No.1を得た(1.4g:収率50%)得られた化合物No.1のNMRデータを[表1]に示す。
[Example 1-3] Compound No. Preparation of 1 (oxime ester compound of the present invention) A four-necked flask was charged with intermediate 1B (2.1 g) and dimethylformamide (15 g), and then triethylamine (1.7 g) and acetyl chloride (1 .3 g) was charged. After stirring at room temperature for 2 hours, ion-exchanged water (15 g) and ethyl acetate (30 g) were added to separate oil and water. The organic layer was washed with water three times, the solvent was removed, and purification was performed using a silica gel column (hexane/ethyl acetate=50/50). 1 (1.4 g: 50% yield). NMR data of 1 are shown in [Table 1].

Figure 0007248573000055
Figure 0007248573000055

〔実施例2-1~2-3〕化合物No.2の製造 [Examples 2-1 to 2-3] Compound No. 2 manufacturing

[実施例2-1]中間体2A(ケトン化合物)の製造
四つ口フラスコにトリフェニルアミン(5.9g)、ジクロロエタン(40g)を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム(10.5g)、プロピオニルクロリド(7.1g)を加えた。室温で5時間撹拌後、氷冷した5%希塩酸に反応溶液をあけ撹拌し油水分離した。有機層を5%HCl水溶液で2回洗浄し、更に4回水洗した。製品層を脱溶媒後、シリカゲルカラム(ヘキサン/酢酸エチル=80/20)により精製を行い、中間体2Aを得た(3.9g:収率39%)。
[Example 2-1] Production of Intermediate 2A (ketone compound) A four-necked flask was charged with triphenylamine (5.9 g) and dichloroethane (40 g), and then aluminum chloride (10.5 g) was added under ice cooling. Propionyl chloride (7.1 g) was added. After stirring at room temperature for 5 hours, the reaction solution was poured into ice-cooled 5% dilute hydrochloric acid and stirred to separate oil and water. The organic layer was washed twice with a 5% HCl aqueous solution and then washed with water four times. After removing the solvent from the product layer, purification was performed using a silica gel column (hexane/ethyl acetate=80/20) to obtain Intermediate 2A (3.9 g: yield 39%).

Figure 0007248573000056
Figure 0007248573000056

[実施例2-2]中間体2B(オキシム化合物)の製造
四つ口フラスコに中間体2A(3.9g)、ジメチルフォルムアミド(24g)を秤量し、氷冷下、35%塩酸(3.9g)、亜硝酸イソブチル(3.9g)を滴下し、室温で20時間撹拌した。イオン交換水(24g)、酢酸エチル(48g)を加え、油水分離し、有機層を3回水洗した。有機層を脱溶媒後、中間体NCIx175-bを得た(4.5g:収率96%)。
[Example 2-2] Production of Intermediate 2B (oxime compound) Intermediate 2A (3.9 g) and dimethylformamide (24 g) were weighed into a four-necked flask, and 35% hydrochloric acid (3.9 g) was added under ice cooling. 9 g) and isobutyl nitrite (3.9 g) were added dropwise, and the mixture was stirred at room temperature for 20 hours. Ion-exchanged water (24 g) and ethyl acetate (48 g) were added to separate oil and water, and the organic layer was washed with water three times. After desolvating the organic layer, intermediate NCIx175-b was obtained (4.5 g: yield 96%).

Figure 0007248573000057
Figure 0007248573000057

[実施例2-3]化合物No.2(本発明のオキシムエステル化合物)の製造四つ口ナスフラスコに中間体2B(4.5g)、テトラヒドロフラン(23g)を仕込み、氷冷下、トリエチルアミン(3.0g)、塩化アセチル(2.2g)を順に滴下し、室温で2時間撹拌した。イオン交換水(17g)、酢酸エチル(46g)を添加後油水分離し、有機層を5回水洗した。有機層を脱溶媒後、シリカゲルカラム(ヘキサン/酢酸エチル=50:50)により精製を行い、化合物No.2を得た(2.7g:収率48%)。得られた化合物No.2のNMRデータを[表1]に示す。 [Example 2-3] Compound No. Preparation of 2 (oxime ester compound of the present invention) Intermediate 2B (4.5 g) and tetrahydrofuran (23 g) were placed in a four-necked round-bottomed flask, and under ice-cooling, triethylamine (3.0 g) and acetyl chloride (2.2 g) were mixed. ) was added dropwise in order, and the mixture was stirred at room temperature for 2 hours. After adding ion-exchanged water (17 g) and ethyl acetate (46 g), oil-water separation was performed, and the organic layer was washed with water five times. After removing the solvent from the organic layer, purification was performed using a silica gel column (hexane/ethyl acetate=50:50). 2 was obtained (2.7 g: 48% yield). The resulting compound no. NMR data of 2 are shown in [Table 1].

Figure 0007248573000058
Figure 0007248573000058

〔実施例3-1~3-4〕化合物No.133の製造 [Examples 3-1 to 3-4] Compound No. 133 manufacturing

[実施例3-1]中間体133Aの製造
四つ口フラスコにフロロベンゼン(27.7g)、ジクロロエタン(192g)を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム(40.4g)、n-オクタノイルクロリド(46.8g)を順に仕込んだ。室温で1時間反応を行った後、氷冷した5%希塩酸に反応溶液をあけ撹拌し油水分離した。有機層を5%希塩酸で2回、イオン交換水で3回洗浄後、脱溶媒し中間体133Aを得た(50.0g:収率78%)
[Example 3-1] Production of Intermediate 133A A four-necked flask was charged with fluorobenzene (27.7 g) and dichloroethane (192 g), and then aluminum chloride (40.4 g) and n-octanoyl chloride were added under ice cooling. (46.8 g) were charged in order. After reacting at room temperature for 1 hour, the reaction solution was poured into ice-cooled 5% dilute hydrochloric acid and stirred to separate oil and water. The organic layer was washed twice with 5% diluted hydrochloric acid and three times with deionized water, and then the solvent was removed to obtain Intermediate 133A (50.0 g: yield 78%).

Figure 0007248573000059
Figure 0007248573000059

[実施例3-2]中間体133B(窒素含有化合物)の製造
四つ口フラスコにカルバゾール(20.0g)、中間体133A(29.3g)、炭酸カリウム(24.8g)、ジメチルスルホキシド(133g)を仕込み、160℃で6時間反応させた。イオン交換水(173g)を添加し、ジクロロエタン(163g)で抽出を行った。有機層を3回水洗後脱溶媒し中間体133Bを得た(41.2g:収率93%)。
[Example 3-2] Preparation of Intermediate 133B (nitrogen-containing compound) Carbazole (20.0 g), Intermediate 133A (29.3 g), potassium carbonate (24.8 g), dimethyl sulfoxide (133 g) were placed in a four-necked flask. ) and reacted at 160° C. for 6 hours. Ion-exchanged water (173 g) was added, and extraction was performed with dichloroethane (163 g). The organic layer was washed with water three times and then the solvent was removed to obtain Intermediate 133B (41.2 g: yield 93%).

Figure 0007248573000060
Figure 0007248573000060

[実施例3-3]中間体133C(ケトン化合物)の製造
四つ口フラスコに中間体133B(41.2g)、ジクロロエタン(209g)を仕込んだ後、氷冷下塩化アルミニウム(49.1g)、n-オクタノイルクロリド(39.9g)を順に仕込んだ。同温で4時間反応を行った後、氷冷した5%希塩酸に反応溶液をあけ撹拌を行い油水分離した。有機層を5%希塩酸で2回、イオン交換水で3回洗浄後、脱溶媒し中間体133Cを得た(50.5g:73%)
[Example 3-3] Production of Intermediate 133C (ketone compound) After charging Intermediate 133B (41.2 g) and dichloroethane (209 g) into a four-necked flask, aluminum chloride (49.1 g), n-Octanoyl chloride (39.9 g) was charged in order. After reacting at the same temperature for 4 hours, the reaction solution was poured into ice-cooled 5% dilute hydrochloric acid and stirred to separate oil and water. The organic layer was washed twice with 5% diluted hydrochloric acid and three times with deionized water, and then the solvent was removed to obtain intermediate 133C (50.5 g: 73%).

Figure 0007248573000061
Figure 0007248573000061

[実施例3-4]化合物No.133(オキシムエステル化合物)の製造
四つ口フラスコに中間体133C(10.0g)、ジメチルホルムアミド(50g)、塩酸ヒドロキシルアミン(3.7g)、ピリジン(4.2g)を加え、80℃で10時間撹拌した。氷冷で冷却後、トリエチルアミン(5.4g)、塩化アセチル(4.2g)の順で滴下し、室温で5時間撹拌した。イオン交換水(50g)を添加し、酢酸エチル(100g)で抽出を行った。有機層を3回水洗後、脱溶媒し、シリカゲルカラム(酢酸エチル/ヘキサン=1/4)により精製し、化合物No.133を得た(2.3g:収率18%)。得られた化合物No.133のNMRデータを[表1]に示す。
[Example 3-4] Compound No. Preparation of 133 (Oxime Ester Compound) Intermediate 133C (10.0 g), dimethylformamide (50 g), hydroxylamine hydrochloride (3.7 g) and pyridine (4.2 g) were added to a four-necked flask and heated at 80°C for 10 minutes. Stirred for an hour. After cooling with ice, triethylamine (5.4 g) and acetyl chloride (4.2 g) were added dropwise in that order, and the mixture was stirred at room temperature for 5 hours. Ion-exchanged water (50 g) was added, and extraction was performed with ethyl acetate (100 g). After the organic layer was washed with water three times, the solvent was removed and purified with a silica gel column (ethyl acetate/hexane=1/4). 133 was obtained (2.3 g: 18% yield). The resulting compound no. NMR data of 133 are shown in [Table 1].

Figure 0007248573000062
Figure 0007248573000062

〔実施例4-1~4-2〕化合物No.134の製造 [Examples 4-1 and 4-2] Compound No. 134 manufacturing

[実施例4-1]中間体134A(オキシム化合物)の製造
四つ口フラスコに中間体133C(10.0g)、DMF(10.0g)を秤量し、氷冷下、35%塩酸(6.70g)、亜硝酸イソブチル(6.63g)を滴下し、室温で20時間撹拌した。イオン交換水(22.8g)、酢酸エチル(34.2g)を加え、油水分離し、有機層を3回水洗した。有機層を脱溶媒後、シリカゲルカラム(酢酸エチル/ヘキサン=1/4)により精製を行い、中間体134Aを得た(2.8g:収率25%)。
[Example 4-1] Preparation of Intermediate 134A (oxime compound) Intermediate 133C (10.0 g) and DMF (10.0 g) were weighed into a four-necked flask, and 35% hydrochloric acid (6.0 g) was added under ice cooling. 70 g) and isobutyl nitrite (6.63 g) were added dropwise, and the mixture was stirred at room temperature for 20 hours. Ion-exchanged water (22.8 g) and ethyl acetate (34.2 g) were added to separate oil and water, and the organic layer was washed with water three times. After removing the solvent from the organic layer, purification was performed using a silica gel column (ethyl acetate/hexane=1/4) to obtain Intermediate 134A (2.8 g: yield 25%).

Figure 0007248573000063
Figure 0007248573000063

[実施例4-2]化合物No.134(オキシムエステル化合物)の製造
四つ口ナスフラスコに中間体134A(2.7g)、酢酸エチル(10g)を仕込んだ。氷冷下、トリエチルアミン(1.3g)、塩化アセチル(1.0g)を順に滴下し、室温まで昇温し後、3時間撹拌した。イオン交換水(12g)を添加後油水分離し、有機層を5回水洗した。有機層を脱溶媒後、シリカゲルカラム(ヘキサン/酢酸エチル=85:15)により精製を行い、化合物No.134を得た(0.89g:収率27%)。
得られた化合物No.134のNMRデータを[表1]に示す。
[Example 4-2] Compound No. Preparation of 134 (oxime ester compound) Intermediate 134A (2.7 g) and ethyl acetate (10 g) were placed in a four-neck eggplant flask. Under ice-cooling, triethylamine (1.3 g) and acetyl chloride (1.0 g) were added dropwise in order, and the mixture was warmed to room temperature and stirred for 3 hours. After adding ion-exchanged water (12 g), oil-water separation was performed, and the organic layer was washed with water five times. After removing the solvent from the organic layer, purification was performed using a silica gel column (hexane/ethyl acetate=85:15). 134 was obtained (0.89 g: 27% yield).
The resulting compound no. NMR data of 134 are shown in [Table 1].

Figure 0007248573000064
Figure 0007248573000064

Figure 0007248573000065
Figure 0007248573000065

[製造例1]ブルー顔料分散液No.1の製造
分散剤としてDISPERBYK-161(12.5質量部;ビックケミー・ジャパン社製)及び着色剤としてピグメントブルー15:6(15質量部)を、PGMEA(72.5質量部)に、ビーズミルを使用して分散させてブルー顔料分散液を製造した。
[Production Example 1] Blue pigment dispersion liquid No. Production of 1 DISPERBYK-161 (12.5 parts by mass; manufactured by BYK-Chemie Japan) as a dispersant and Pigment Blue 15:6 (15 parts by mass) as a coloring agent, PGMEA (72.5 parts by mass), and a bead mill. and dispersed to produce a blue pigment dispersion.

[実施例5~7及び比較例1~2]感光性組成物の調製
[表2]及び[表3]の配合に従って各成分を調製し、感光性組成物No.1~3及び比較感光性組成物No.1~2を得た。尚、表中の数字は質量部を表す。光重合開始剤として化合物No.2、No.133、No.134、No.A2-3、及びNo.A2-11を単独で使用した。
また、表中の符号は、下記の成分を表す。
A-1 化合物No.2
A-2 化合物No.133
A-3 化合物No.134
A´-4 化合物No.A2-3
A´-5 化合物No.A2-11
B-1 SPC-3000 (酸基を有するエチレン性不飽和化合物、
固形分42wt%PGMEA溶液;昭和電工製)
B-2 カヤラッドDPHA
(エチレン性不飽和化合物;日本化薬製)
C-1 ブルー顔料分散液No.1 (着色剤PGMEA分散液)
D-1 KBE-403 (シランカップリング剤;信越化学製)
D-2 F-554 (含フッ素基・親油性基含有オリゴマー;DIC製)
E-1 PGMEA (溶剤)
SPC-3000は、エチレン性不飽和化合物(B)であり、且つアルカリ現像性化合物(D)でもある。
[Examples 5 to 7 and Comparative Examples 1 to 2] Preparation of photosensitive composition Each component was prepared according to the formulations in [Table 2] and [Table 3]. 1 to 3 and Comparative Photosensitive Composition Nos. 1-2 were obtained. The numbers in the table represent parts by mass. As a photopolymerization initiator compound No. 2, No. 133, No. 134, No. A2-3, and No. A2-11 was used alone.
The symbols in the table represent the following components.
A-1 Compound No. 2
A-2 Compound No. 133
A-3 Compound No. 134
A'-4 Compound No. A2-3
A'-5 Compound No. A2-11
B-1 SPC-3000 * (ethylenically unsaturated compound having an acid group,
Solid content 42 wt% PGMEA solution; manufactured by Showa Denko)
B-2 Kayalad DPHA
(Ethylenically unsaturated compound; manufactured by Nippon Kayaku)
C-1 Blue Pigment Dispersion Liquid No. 1 (colorant PGMEA dispersion)
D-1 KBE-403 (silane coupling agent; manufactured by Shin-Etsu Chemical)
D-2 F-554 (Fluorine-containing group/lipophilic group-containing oligomer; manufactured by DIC)
E-1 PGMEA (solvent)
* SPC-3000 is both an ethylenically unsaturated compound (B) and an alkaline developable compound (D).

Figure 0007248573000066
Figure 0007248573000066

Figure 0007248573000067
Figure 0007248573000067

[感光性組成物より得られる硬化物の評価]
上記感光性組成物No.1~3及び比較感光性組成物No.1~2から得られる硬化物において輝度の評価を下記の手順で行った。結果を[表4]に併記する。
[Evaluation of cured product obtained from photosensitive composition]
The above photosensitive composition No. 1 to 3 and Comparative Photosensitive Composition Nos. The brightness of the cured products obtained from 1 and 2 was evaluated by the following procedure. The results are also shown in [Table 4].

(輝度)
ガラス基板上に上記感光性組成物No.1~3及び比較感光性組成物No.1~2をスピンコート(500rpm、2秒間、900rpm、5秒間)し、ホットプレートを用いて、90℃で90秒間プリベークを行った後、23℃で40秒間冷却した。その後、高圧水銀ランプを用いて100mJ/cmを照射し評価サンプルを作成した。得られたサンプルの380~780nmにおける透過率からJIS Z8701に準拠してY値を求めた。Y値が9.5以上のものをAとし、Y値が9.5未満のものをBとした。BY値が高いほど輝度が高いことを意味し、有用である。輝度の評価がAのものはカラーフィルタに好ましく用いることができ、評価がBのものはカラーフィルタとして適さない。
(Luminance)
Photosensitive composition No. 1 was coated on a glass substrate. 1 to 3 and Comparative Photosensitive Composition Nos. 1 and 2 were spin-coated (500 rpm, 2 seconds, 900 rpm, 5 seconds), pre-baked at 90° C. for 90 seconds using a hot plate, and then cooled at 23° C. for 40 seconds. After that, a high-pressure mercury lamp was used to irradiate 100 mJ/cm 2 to prepare an evaluation sample. The Y value was determined according to JIS Z8701 from the transmittance of the obtained sample at 380 to 780 nm. A sample with a Y value of 9.5 or more was rated as A, and a sample with a Y value of less than 9.5 was rated as B. A higher BY value means higher luminance, which is useful. Those with a luminance evaluation of A can be preferably used as color filters, while those with a luminance evaluation of B are not suitable as color filters.

Figure 0007248573000068
Figure 0007248573000068

[感光性組成物の評価]
上記輝度の評価において評価がAの感光性組成物No.1、3及び比較感光性組成物No.1の感度評価を下記の手順で行った。結果を[表5]に併記する。
[Evaluation of photosensitive composition]
Photosensitive composition no. 1, 3 and Comparative Photosensitive Composition Nos. 1 sensitivity evaluation was performed by the following procedure. The results are also shown in [Table 5].

(感度)
ガラス基板上に上記感光性組成物No.1~3及び比較感光性組成物No.1~2をスピンコート(500rpm、2秒間、900rpm、5秒間)し、ホットプレートを用いて、90℃で90秒間プリベークを行った後、23℃で40秒間冷却した。その後、高圧水銀ランプを用いてマスクを介して露光した。現像液として2.5質量%<炭酸ナトリウム水溶液を用い現像後、よく水洗し、オーブンを用いて、230℃で30分ポストベークを行い、パターンを定着させた。40mJ/cmの露光量に対するパターンを電子顕微鏡で観察し、マスク開口30μmの線幅を測定した。線幅が35μm以上のものをA、25μm以上のものをB、25μm未満のものをCとした。線幅が大きいほど感度が良好である。感度の評価がA及びBの感光性組成物は、カラーフィルタ用途として使用することができ、感度の評価がAの感光性組成物は特に好ましい。感度の評価がCの感光性組成物は、カラーフィルタ用途として適さない。
(sensitivity)
Photosensitive composition No. 1 was coated on a glass substrate. 1 to 3 and Comparative Photosensitive Composition Nos. 1 and 2 were spin-coated (500 rpm, 2 seconds, 900 rpm, 5 seconds), pre-baked at 90° C. for 90 seconds using a hot plate, and then cooled at 23° C. for 40 seconds. After that, it was exposed through a mask using a high-pressure mercury lamp. After development using an aqueous solution of 2.5% by mass of sodium carbonate as a developer, the film was thoroughly washed with water and post-baked in an oven at 230° C. for 30 minutes to fix the pattern. The pattern for an exposure amount of 40 mJ/cm 2 was observed with an electron microscope, and the line width with a mask opening of 30 μm was measured. A was assigned to those with a line width of 35 µm or more, B was assigned to those with a line width of 25 µm or more, and C was assigned to those with a line width of less than 25 µm. The greater the line width, the better the sensitivity. The photosensitive compositions with a sensitivity evaluation of A and B can be used for color filters, and the photosensitive composition with a sensitivity evaluation of A is particularly preferred. A photosensitive composition with a sensitivity evaluation of C is not suitable for use as a color filter.

Figure 0007248573000069
Figure 0007248573000069

上記〔表3〕~〔表5〕より、本発明のオキシムエステル化合物は、感度が高く、本発明の硬化物は輝度が高いことは明らかである。 From the above [Tables 3] to [Tables 5], it is clear that the oxime ester compounds of the present invention have high sensitivity and the cured products of the present invention have high brightness.

よって、本発明のオキシムエステル化合物は、フォトリトグラフィ性に優れ、得られる硬化物の輝度に優れるため、光重合開始剤として有用なものである。 Therefore, the oxime ester compound of the present invention is useful as a photopolymerization initiator because it has excellent photolithographic properties and excellent brightness of the resulting cured product.

本発明のオキシムエステル化合物は、高感度でかつ耐熱性(低昇華性)に優れた光重合開始剤として有用な新規な化合物であり、特に光重合開始剤として有用である。とりわけ、該光重合開始剤を含有する感光性組成物によって、輝度の高いカラーフィルタ及び該カラーフィルタを含有する表示装置を提供することができるため、本発明のオキシムエステル化合物は有用である。 The oxime ester compound of the present invention is a novel compound useful as a photopolymerization initiator with high sensitivity and excellent heat resistance (low sublimation), and is particularly useful as a photopolymerization initiator. In particular, the oxime ester compound of the present invention is useful because a photosensitive composition containing the photopolymerization initiator can provide a color filter with high luminance and a display device containing the color filter.

Claims (8)

下記一般式(I)で表されるオキシムエステル化合物。
Figure 0007248573000070
(式中、R、R 、R 、R 、R 、R、R、R10 、R 12、及びR13、水素原子を表し、
、R 及び 下記一般式(II)で表される基であり、
は、不存在又は直接結合を表す。)
Figure 0007248573000071
(式中、R31及びR32は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数1~20の炭化水素基又は炭素原子数2~20の複素環基を表し、
31及びR32で表される基中の水素原子はハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、アミノ基、カルボキシル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、エポキシ基、ビニル基、ビニルエーテル基、メルカプト基又はイソシアネート基で置換される場合があり、
31及びR32で表される基中のメチレン基は-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NR33-、-NR33CO-、-S-、-CS-、-SO-、-SCO-、-COS-、-OCS-又はCSO-で置換される場合もあり、
33は、水素原子、炭素原子数1~20の炭化水素基を表し、
は1を表し、*は結合手を表す。)
An oxime ester compound represented by the following general formula (I).
Figure 0007248573000070
(Wherein, R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , R 7 , R 8 , R 9 , R 10 , R 12 and R 13 represent a hydrogen atom ,
R 3 , R 6 and R 11 are groups represented by the following general formula (II),
X 1 represents absence or a direct bond . )
Figure 0007248573000071
(wherein R 31 and R 32 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or a heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms,
A hydrogen atom in the groups represented by R 31 and R 32 is a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a hydroxyl group, an amino group, a carboxyl group, a methacryloyl group, an acryloyl group, an epoxy group, a vinyl group, a vinyl ether group, a mercapto group, or may be substituted with isocyanate groups ,
The methylene groups in the groups represented by R 31 and R 32 are -O-, -CO-, -COO-, -OCO-, -NR 33 -, -NR 33 CO-, -S-, -CS-, -SO 2 -, -SCO-, -COS-, -OCS- or CSO- in some cases,
R 33 represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms,
n represents 1 and * represents a bond. )
請求項1に記載のオキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤。 A photopolymerization initiator containing the oxime ester compound according to claim 1 . 請求項に記載の光重合開始剤(A)及びエチレン性不飽和化合物(B)を含有する感光性組成物。 A photosensitive composition comprising the photopolymerization initiator (A) according to claim 2 and an ethylenically unsaturated compound (B). 更に着色剤(C)を含有する請求項に記載の感光性組成物。 4. The photosensitive composition according to claim 3 , further comprising a coloring agent (C). 請求項又はに記載の感光性組成物とアルカリ現像性化合物とを含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 An alkali-developable photosensitive resin composition comprising the photosensitive composition according to claim 3 or 4 and an alkali-developable compound. 請求項若しくはに記載の感光性組成物又は請求項に記載のアルカリ現像性樹脂組成物の硬化物。 A cured product of the photosensitive composition according to claim 3 or 4 or the alkali-developable resin composition according to claim 5 . 請求項に記載の硬化物を含有する表示装置。 A display device containing the cured product according to claim 6 . 請求項若しくはに記載の感光性組成物又は請求項に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を光照射または加熱にて硬化させる硬化方法。
A curing method comprising curing the photosensitive composition according to claim 3 or 4 or the alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 5 by light irradiation or heating.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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