JP7243517B2 - vibration unit - Google Patents
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Description
本発明は、振動ユニットに関する。 The present invention relates to vibrating units.
従来より、圧電体を伸縮させて、その伸縮を振動に変換する技術が知られている。下記特許文献1、2には、パネルを指で押下した際の圧力に応じて押下を検知するとともに、パネルに触知可能な振動を生じさせる圧電振動子を備えた振動ユニットが開示されている。これらの文献に開示された振動ユニットでは、一枚のパネルの下に複数の圧電振動子が整列配置されており、圧電振動子が配置された各領域において押下検知と発振とがおこなわれる。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a technique of expanding and contracting a piezoelectric body and converting the expansion and contraction into vibration. Patent Literatures 1 and 2 below disclose a vibration unit equipped with a piezoelectric vibrator that detects a pressing force when a panel is pressed by a finger and generates tactile vibration in the panel. . In the vibration units disclosed in these documents, a plurality of piezoelectric vibrators are aligned under one panel, and press detection and oscillation are performed in each area where the piezoelectric vibrators are arranged.
発明者らは、圧電振動子の押下検知について研究を重ね、複数の圧電振動子間における押下検知のバラツキを抑制することができる技術を新たに見出した。 The inventors have conducted extensive research on the detection of pressing of piezoelectric vibrators, and have found a new technique capable of suppressing variations in the detection of pressing between a plurality of piezoelectric vibrators.
本発明は、複数の圧電振動子間における押下検知のバラツキの抑制が図られた振動ユニットを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a vibration unit capable of suppressing variations in press detection among a plurality of piezoelectric vibrators.
本発明の一形態に係る振動ユニットは、ベース基板と、ベース基板の主面上に設けられ、ベース基板の厚さ方向に振動可能な複数の圧電振動子と、ベース基板の主面に対して平行に延在して複数の圧電振動子を一体的に覆い、各圧電振動子が当接するパネルとを備え、各圧電振動子は、パネルを介して押下されたときに押圧力に応じた電圧信号を出力するとともに所定の駆動電圧信号が入力されたときに振動し、パネルが、複数の圧電振動子と対向する複数の第1領域と、隣り合う第1領域の間に位置する第2領域とを有し、第2領域の厚さが第1領域の厚さより厚い。 A vibration unit according to one aspect of the present invention includes a base substrate, a plurality of piezoelectric vibrators provided on the main surface of the base substrate and capable of vibrating in the thickness direction of the base substrate, and a panel extending in parallel to integrally cover the plurality of piezoelectric vibrators and with which each of the piezoelectric vibrators abuts; each piezoelectric vibrator generates a voltage corresponding to the pressing force when pressed through the panel; The panel outputs a signal and vibrates when a predetermined drive voltage signal is input, and the panel includes a plurality of first regions facing the plurality of piezoelectric vibrators and a second region positioned between the adjacent first regions. and the thickness of the second region is thicker than the thickness of the first region.
上記振動ユニットにおいて、パネルに撓みが生じた場合には、複数の圧電振動子の間で、圧電振動子とパネルとの間の接触態様が変わり、その結果、同じ圧力で押下した場合であっても複数の圧電振動子の間において出力される電圧信号にバラツキが生じ得る。上記振動ユニットでは、パネルの第2領域において、第1領域に対して厚化が図られており、剛性が高められている。そのため、パネルが撓む事態が抑制されており、複数の圧電振動子間における押下検知のバラツキの抑制が図られている。 In the vibration unit described above, when the panel is flexed, the contact state between the piezoelectric vibrators and the panel changes among the plurality of piezoelectric vibrators, and as a result, even when pressed with the same pressure. In addition, variations may occur in voltage signals output among a plurality of piezoelectric vibrators. In the vibration unit described above, the second region of the panel is thicker than the first region, thereby increasing the rigidity. Therefore, the situation in which the panel is flexed is suppressed, and variations in the press detection among the plurality of piezoelectric vibrators are suppressed.
他の形態に係る振動ユニットは、パネルが、第1領域においてベース基板から離れる向きに隆起する隆起部を有する。この場合、フィードバックを遅延なく伝達する事ができ、さらに第1領域に触れた事を触覚で直感的に感じることができる。 In another aspect of the vibration unit, the panel has a protruding portion that protrudes away from the base substrate in the first region. In this case, the feedback can be transmitted without delay, and the touch of the first area can be intuitively felt by touch.
他の形態に係る振動ユニットは、第2領域におけるパネルとベース基板との離間距離が、圧電振動子が押下を検出する電圧閾値となる変位量より短い。この場合、指で押下したまま第1領域間を動いたときに第2領域上で振動ユニットのセンシングがOFFになる。 In the vibration unit according to another aspect, the separation distance between the panel and the base substrate in the second region is shorter than the displacement amount at which the piezoelectric vibrator detects a depression. In this case, the sensing of the vibration unit is turned off on the second area when the finger moves between the first areas while pressing the finger.
他の形態に係る振動ユニットは、ベース基板が、複数の圧電振動子のそれぞれが載置される複数の台座部をさらに備える。この場合、組付け時のばらつきのセンシングとフィードバックへの影響を最小化することができる。 In another aspect of the vibration unit, the base substrate further includes a plurality of pedestals on which the plurality of piezoelectric vibrators are respectively mounted. In this case, the influence of assembly variation on sensing and feedback can be minimized.
他の形態に係る振動ユニットは、各圧電振動子がパネルにより付勢されている。この場合、フィードバックを遅延なく伝達する事ができ、第1領域に触れた事を触覚で直感的に感じることができる。また、圧電素子の位置ずれを抑制することができる。 In a vibrating unit according to another aspect, each piezoelectric vibrator is energized by a panel. In this case, feedback can be transmitted without delay, and the touch of the first area can be intuitively felt by touch. In addition, it is possible to suppress the displacement of the piezoelectric element.
本発明によれば、複数の圧電振動子間における押下検知のバラツキの抑制が図られた振動ユニットが提供される。 According to the present invention, there is provided a vibrating unit capable of suppressing variations in press detection among a plurality of piezoelectric vibrators.
以下、本発明を実施するための形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。 EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention is demonstrated in detail, referring an accompanying drawing. The same or equivalent elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
まず、実施形態に係る振動ユニット1の全体構成について、図1~4を参照しつつ説明する。 First, the overall configuration of the vibrating unit 1 according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG.
振動ユニット1は、図1に示すように、ベース基板10と、複数の圧電振動子20と、パネル30と、制御部50とを備えて構成されている。
The vibration unit 1 includes a
ベース基板10は、図2、3に示すように、本実施形態では矩形板状の外形を有し、互いに平行な上面10aと下面10bとを有する。ベース基板10は、比較的高い弾性係数を有する絶縁材料で構成されており、たとえばアクリル樹脂で構成され得る。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
ベース基板10は、上面10a側に、複数の台座部12を有する。本実施形態では、7個の台座部12が十字状に並んでいる。各台座部12は、ベース基板10の厚さ方向から見て、円環状の形状を有する。各台座部12の上端面12aは平坦になっており、上端面12a上に後述する圧電振動子20が載置される。各台座部12は、上側に向かって漸次幅が狭まるような台形断面を有し、側面12bが傾斜している。台座部12の側面12bが鈍角となるように傾斜することで、圧電振動子20と制御部50とをつなぐ後述の配線が大きく屈曲して断線する事態が効果的に抑制されている。ベース基板10は、複数の台座部12のそれぞれの位置において厚さ方向に延びる複数の貫通孔14を有する。本実施形態では、各貫通孔14は円形断面を有する。
The
複数の圧電振動子20のそれぞれは、図3に示すように、圧電素子22と振動板24とを備えて構成されている。本実施形態では、7個の圧電振動子20が、7個の台座部12の上端面12a上にそれぞれ載置される。
Each of the plurality of
振動板24は、板状の部材であり、本実施形態では円板状を呈する。振動板24は、台座部12の上端面12aと接しており、台座部12上において貫通孔14の上部開口を塞いでいる。振動板24の径は、貫通孔14の径より大きく、かつ、台座部12の上端面12aにおける外径と同じ、または、外径よりわずかに小さくなるように設計されている。ベース基板10の厚さ方向から見て、振動板24は、台座部12および貫通孔14に対して同心状に配置されている。振動板24は、たとえば、Ni-Fe合金、Ni、黄銅、ステンレス等で構成することができる。
The
圧電素子22は、シート状の部材であり、本実施形態では円形シート状を呈する。圧電素子22は、振動板24の上面24aに接着されている。ベース基板10の厚さ方向から見て、圧電素子22は、振動板24に対して同心状に配置されている。圧電素子22の径は、振動板24の径より小さく、かつ、貫通孔14の径より小さくなるように設計されている。
The
各圧電素子22は、図示しない薄膜状の圧電体と一対の外部電極とで構成されている。一対の外部電極は、圧電素子22の厚さ方向において圧電体を挟むように設けられている。各圧電素子22では、所定の圧力が負荷されたときに、圧電体の変位(屈曲等)に起因する起電力が生じ、その起電力に伴い、一対の外部電極間に電位差が生じる。また、各圧電素子22では、一対の外部電極間に所定の電圧を印加したときに面方向(厚さ方向に直交する方向)に伸縮する。圧電体は、圧電体層の単層構造とすることができ、圧電体層と内部電極層とが交互に積層された複数層構造とすることもできる。
Each
各圧電素子22の外部電極は、所定の配線を介して、振動ユニット1の制御部50に接続されている。制御部50は、CPUや各種素子を含む回路で構成することができる。配線には、たとえばフレキシブルプリント基板(FPC)を用いることができる。制御部50は、各圧電素子22に所定の圧力が負荷されたときに、起電力に起因する外部電極間の電位差を検出できるように構成されている。また、制御部50は、圧電素子22の外部電極間に電圧を印加して、圧電素子22を面方向に伸縮させることができるように構成されている。圧電素子22の面方向の伸縮に伴い、振動板24が厚さ方向に屈曲すると、圧電振動子20に厚さ方向の振動が生じる。圧電振動子20はベース基板10の貫通孔14に跨がるように配置されているため、貫通孔14により圧電振動子20の厚さ方向の振動はある程度許容される。
An external electrode of each
パネル30は、図2に示すように、本実施形態では矩形板状の外形を有する。パネル30は、厚さ方向から見て、ベース基板10の寸法と略同一の寸法を有する。パネル30は、ベース基板10の上面10aに対して平行になるように配置されている。パネル30は、上面30aがたとえば人間の指等で接触可能な状態で構成されている。パネル30は、接触時に十分な撓み変形が生じる程度に、比較的低い弾性係数を有する。パネル30は、たとえばポリカーボネート等の樹脂材料で構成することができる。
As shown in FIG. 2, the
パネル30は、その周縁において、接着材60でベース基板10に接着されている。接着材60の厚さは、圧電振動子20がパネル30に当接したときのパネル30とベース基板10との離間距離よりも薄くなるように設計されている。接着材60の厚さは、たとえば圧電振動子20の厚さよりも薄くなるように設計することができる。そのため、パネル30とベース基板10とが接着された状態では、各圧電振動子20はパネル30により一定の圧力で付勢される。そのため、フィードバックを遅延なく伝達する事ができ、後述する第1領域31に触れた事を触覚で直感的に感じることができるとともに、圧電素子22の位置ずれを抑制することができる。
The
パネル30は、図3、4に示すように、複数の第1領域31と第2領域32と周縁領域33とを有する。本実施形態では、パネル30は7つの第1領域31を有する。各第1領域31は、圧電振動子20に対向する領域であり、下面30bが円形状に窪んだ領域である。各第1領域31は、圧電振動子20に対応するように十字状に並んでいる。各第1領域31の径は、圧電素子22の振動板24の径より大きくなるように設計されている。そのため、図3に示すように、各第1領域31の窪み内に各圧電振動子20が収容されるとともに、第1領域31において、各圧電振動子20の圧電素子22がパネル30の下面30bに当接する。
The
第2領域32は、パネル30における第1領域31の残余領域であり、第1領域31の周囲および隣り合う第1領域31の間を占めている。第2領域32の厚さT2は、第1領域31の厚さT1より厚くなっている。たとえば、第1領域31の厚さT1は0.3~0.5mm(一例として0.3mm)であり、第2領域32の厚さT2は1mm以上(一例として1mm)である。そのため、第1領域31では、相対的に撓みやすくなっており、接触時における圧力や圧電振動子20の振動が伝わりやすくなっている。一方、第2領域32は、相対的に撓みにくくなっており、剛性が高められている。
The
周縁領域33は、パネル30の外縁を構成する矩形環状の領域である。本実施形態において、周縁領域33の厚さは、第2領域32の厚さT2と同じになるように設計されている。
The
パネル30は、厚化が図られた第2領域32において、ベース基板10に近接している。第2領域32におけるパネル30は、ベース基板10と接していてもよく、所定の距離Dだけ離間していてもよい。距離Dは、圧電振動子20に生じる電圧が後述する第1閾値となったときの圧電振動子20の変位量より短くなるように設計され得る。
The
パネル30は、図5に示すように上面30aに隆起部35を有する。隆起部35は、各圧電振動子20の圧電素子22に対応する領域に設けられている。すなわち、隆起部35は、複数(本実施形態では7つ)設けられている。
The
次に、図5~8を参照しつつ、振動ユニット1の作動について説明する。 Next, operation of the vibrating unit 1 will be described with reference to FIGS.
上述したように、パネル30の上面30aは指等で接触可能な状態であり、図5に示すように、パネル30を介して各圧電振動子20が押下され得る。たとえば、指でパネル30を所定の圧力で押下しつつ指をスライドさせることで、複数の圧電振動子20を連続的に押下することができる。
As described above, the
各圧電振動子20の圧電素子22は、指によって押下(プッシュ)されると、図6のグラフに示すような電圧信号を制御部50に対して出力する。なお、各圧電素子22は、指により押下される前の段階(未押下フェーズPH0)では、パネル30により一定の圧力で付勢されているため、所定の負の電圧信号を出力している。
When the
圧電素子22は、指による押下が始まると、次第に負の電圧値が増していく(押下フェーズPH1)。押下フェーズPH1において、負の電圧値が所定の電圧閾値(絶対値)になって振動点V1に達すると、制御部50は、圧電素子22をセンサモードから駆動モードへと切り替える。制御部50は、具体的には、図7に示すように、スイッチング回路51により、圧電素子22に接続される回路をセンサ回路52から駆動回路53へ切り替える。センサ回路52は、圧電素子22から出力された電圧信号を受信する回路である。駆動回路53は、図8に示すような1パルス分の駆動電圧信号を圧電素子22に与えて、圧電素子22を振動させる回路である。駆動回路53から圧電素子22の外部電極間に駆動電圧信号が印加されると、圧電素子22の圧電体における面方向の伸縮が生じ、それに伴って振動板24が厚さ方向に屈曲されて、圧電振動子20に厚さ方向の振動が生じる。このとき、パネル30の第1領域31には指等で触知され得る程度の振動が生じる。制御部50は、駆動回路53が駆動電圧信号を圧電素子22に与えた後、駆動回路53からセンサ回路52に切り替える。
When the
圧電素子22は、振動点V1を超えて押下される押下フェーズPH1の後、指がパネル30から離れる向きに動く解放フェーズPH2に移行する。解放フェーズPH2では、負の電圧値が次第に減り、その後、正の電圧値が次第に増えていく。これは、指がパネル30から離れる反動で、パネル30の第1領域31が上面30a側の向きに局所的に撓むためである。解放フェーズPH2において、正の電圧値が所定の電圧閾値(絶対値)になって振動点V2に達すると、制御部50は、圧電素子22をセンサモードから駆動モードへ再度切り替える。そして、駆動回路53が、図8に示すような1パルス分の駆動電圧信号を圧電素子22に与えて、圧電素子22を振動させる。このとき、パネル30の第1領域31には指等で触知され得る程度の振動が生じる。
After the pressing phase PH1 in which the
圧電素子22は、解放フェーズPH2が終了して指がパネル30から完全に離れると、パネル30が元の状態に戻る収束フェーズPH3に移行する。収束フェーズPH3では、反動によりパネル30が下面30b側に撓んで、負の電圧値が出力され得る。収束フェーズPH3において、パネル30が完全に元の状態に戻ると、未押下フェーズPH0同様、圧電素子22はパネル30から一定の圧力で付勢されて所定の負の電圧信号を出力するようになる。
When the release phase PH2 ends and the finger is completely removed from the
振動ユニット1が上記のとおりに作動すると、振動ユニット1を用いる使用者に対し、以下のとおりの応答を与える。 When the vibrating unit 1 operates as described above, it gives the user using the vibrating unit 1 the following response.
すなわち、使用者が、振動点V1の閾値以上の電圧値が圧電素子22に生じる圧力でパネル30の第1領域31を押下すると、圧電素子22が振動して、使用者はその振動を触知する。また、使用者が、指をスライドさせる等により第1領域31の押圧をやめたときにも、振動点V2の閾値以上の電圧値が圧電素子22に生じて、圧電素子22が振動し、使用者はその振動を触知する。つまり、使用者は、パネル30に指を押し付けたときとパネル30から指を離すときの両方において、押圧感(タッチ感、クリック感、操作感)を感じることができる。
That is, when the user presses down the
上述した振動ユニット1では、パネル30の第2領域32において、第1領域31に対して厚化が図られている。ここで、図9に示すように、上述した第2領域32が存在しない(すなわち、均一厚さを有し、第1領域の厚さと第2領域の厚さとが同じである)従来技術に係るパネル30Aにおいては、撓みが生じやすい。この場合、複数の圧電振動子20の間で、圧電振動子20とパネル30Aとの間の接触態様が変わってしまう。具体的には、一部の圧電振動子20(たとえば、図9において中央に位置する圧電振動子20)において、パネル30から付勢される圧力の大きさが相対的に弱まったり、パネル30Aから離れたりする事態が生じ得る。この場合、同じ圧力で押下した場合であっても複数の圧電振動子20の間において出力される電圧信号にバラツキが生じ得る。
In the vibrating unit 1 described above, the
上述した振動ユニット1においては、パネル30の第2領域32において、第1領域31に対して厚化が図られており、剛性が高められている。そのため、パネル30が撓む事態が抑制されており、複数の圧電振動子20間における出力電圧(特に、押下フェーズPH1における電圧値)のバラツキが抑制されており、押下検知のバラツキが抑制されている。そのため、一の圧電振動子20が押下されて振動点V1の閾値に達する(すなわち、圧電振動子20が振動する)ときの押下圧力と、他の圧電振動子20が押下されて振動点V1の閾値に達するときの押下圧力とのズレが小さくなる。
In the vibrating unit 1 described above, the
また、図5に示したとおり、パネル30の第1領域31に隆起部35が設けられているため、圧電振動子20が指により押下される前の段階(未押下フェーズPH0)における圧電振動子20の変形が緩和され得る。また、隆起部35により、使用者は、パネル30の上面30aを指でなぞることで、ブラインド状態であっても第1領域31の位置を知覚したり第1領域31を押下したりすることができる。さらに、隆起部35により、フィードバックを遅延なく伝達する事ができ、さらに第1領域31に触れた事を触覚で直感的に感じることができる。
Further, as shown in FIG. 5, since the
さらに、振動ユニット1においては、ベース基板10の台座部12により、圧電振動子20が嵩上げされており、ベース基板10とパネル30との離間が図られている。そのため、パネル30の第2領域32の厚さT2の設計自由度が高められ、所望の剛性に調整することが容易になる。たとえば、第2領域32の厚さT2を厚くすることで、パネル30の剛性をより高くすることができる。また、台座部12により、組付け時のばらつきのセンシングとフィードバックへの影響を最小化することができる。
Further, in the vibration unit 1, the
なお、振動ユニット1では、第2領域32におけるパネル30とベース基板10との離間距離Dが、圧電振動子20の出力電圧が振動点V1に達したときの圧電振動子20の変位量より短くなっている。そのため、指で押下したまま隣り合う第1領域31間を動いたときに第2領域32上で振動ユニット1のセンシングがOFFになる。
In the vibration unit 1, the separation distance D between the
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他に適用してもよい。 Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and may be modified or applied to others within the scope of not changing the gist described in each claim.
たとえば、パネルの第1領域および第2領域の形状は、上述した形状に限らず、様々に変形することができる。図10、11に示すように、第2領域32が格子状に設けられたパネル30Bとすることができる。
For example, the shapes of the first region and the second region of the panel are not limited to the shapes described above, and can be variously modified. As shown in FIGS. 10 and 11, a
パネル30Bは、3行5列のマトリクス状に配置された15個の第1領域31を有する。各第1領域31は、下面30bが四角形状に窪んだ領域である。15個の第1領域31のうちの7個が、十字状に並んだ7個の圧電素子22に対応している。各第1領域31の寸法は、圧電素子22の振動板24の径より大きくなるように設計されている。そのため、図10に示すように、各第1領域31の窪み内に各圧電振動子20が収容されるとともに、第1領域31において、各圧電振動子20の圧電素子22がパネル30Bの下面30bに当接する。
The
第2領域32は、パネル30Bにおける第1領域31の残余領域であり、第1領域31を区分けする格子状を呈する。パネル30Bでは、上述したパネル30同様、第2領域32の厚さは第1領域31の厚さより厚くなっている。そのため、パネル30Bは、上述したパネル30同様、第2領域32が相対的に撓みにくくなっており、剛性が高められている。
The
また、パネル30の周縁領域33については、必ずしも第2領域32と同じ厚さにする必要はなく、図12に示したパネル30Cのように、第1領域31と同じ厚さにすることができる。この場合、パネル30の周縁においてベース基板10と接着する接着材60の厚さが厚くなり、確実なアセンブリを実現することができる。その上、接着材60からパネル30Cに対する拘束成分(パネル30Cがベース基板10に引きつけられる力)が強くなり、外部から衝撃に伴う振動や圧電素子22の不要な振動を接着材60により吸収することができる。
Further, the
上述したパネル30は、図12に示したパネル30Cに比べて周縁領域33の厚さが厚いため、より撓みにくくなり剛性がさらに高まり、かつ、振動ユニット1が外部から衝撃を受けた際に圧電振動子20の破壊やズレをより抑制することができる。また、上述したパネル30においては、図12に示したパネル30Cに比べて、接着材60の厚さが薄いため、接着材のコントロールが容易であり、高い組立て精度を実現することができる。
The
なお、図12に示した接着材60の厚さは、図13に示すように、パネル30Cの周縁領域33に対する部分のベース基板10を厚くすることで、薄くすることができる。この場合、接着材60の薄化に伴い、接着材のコントロールがより容易になり、より高い組立て精度を実現することができる。
The thickness of the adhesive 60 shown in FIG. 12 can be reduced by increasing the thickness of the
1…振動ユニット、10…ベース基板、20…圧電振動子、22…圧電素子、24…振動板、30、30A、30B…パネル、31…第1領域、32…第2領域、33…周縁領域、35…隆起部。
Reference Signs List 1
Claims (5)
前記ベース基板の主面上に設けられ、前記ベース基板の厚さ方向に振動可能な複数の圧電振動子と、
前記ベース基板の前記主面に対して平行に延在して前記複数の圧電振動子を一体的に覆い、前記各圧電振動子が当接するパネルと
を備え、
前記各圧電振動子は、前記パネルを介して押下されたときに押圧力に応じた電圧信号を出力するとともに所定の駆動電圧信号が入力されたときに振動し、
前記パネルが、前記複数の圧電振動子と対向する複数の第1領域と、隣り合う前記第1領域の間に位置する第2領域とを有し、
前記第2領域の厚さが前記第1領域の厚さより厚い、振動ユニット。 a base substrate;
a plurality of piezoelectric vibrators provided on the main surface of the base substrate and capable of vibrating in the thickness direction of the base substrate;
a panel that extends parallel to the main surface of the base substrate, integrally covers the plurality of piezoelectric vibrators, and abuts against each of the piezoelectric vibrators;
each of the piezoelectric vibrators outputs a voltage signal corresponding to the pressing force when pressed through the panel and vibrates when a predetermined drive voltage signal is input;
the panel has a plurality of first regions facing the plurality of piezoelectric vibrators and a second region located between the adjacent first regions;
A vibrating unit, wherein the thickness of the second region is thicker than the thickness of the first region.
A vibrating unit according to any preceding claim, wherein each piezoelectric vibrator is biased by the panel.
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