JP7229806B2 - Observation method - Google Patents
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Description
本発明は、観察方法に関する。 The present invention relates to an observation method.
光学顕微鏡と電子顕微鏡との間で同一箇所を観察可能とする手法が知られている(例えば、特許文献1参照)。例えば、培養細胞を光学顕微鏡で蛍光観察し、同じ場所を走査電子顕微鏡で観察することで、蛍光観察で注目した細胞を、高倍率で詳細に観察することができる。 A technique is known that enables observation of the same point between an optical microscope and an electron microscope (see, for example, Patent Document 1). For example, fluorescence observation of cultured cells with an optical microscope and observation of the same location with a scanning electron microscope enables detailed observation of the cells observed in the fluorescence observation at high magnification.
走査電子顕微鏡において生体試料を観察するためには、試料作製が必要となる。例えば、培養容器上の培養細胞を光学顕微鏡と走査電子顕微鏡で観察する場合、光学顕微鏡では細胞内部の蛍光を観察するのに対して、走査電子顕微鏡では細胞表面を観察することとなる。そのため、光学顕微鏡で得られた蛍光情報と、走査電子顕微鏡で得られた細胞表面の構造と、が一致しない。 In order to observe a biological sample with a scanning electron microscope, sample preparation is required. For example, when observing cultured cells in a culture vessel with an optical microscope and a scanning electron microscope, fluorescence inside the cells is observed with the optical microscope, whereas cell surfaces are observed with the scanning electron microscope. Therefore, the fluorescence information obtained by the optical microscope does not match the cell surface structure obtained by the scanning electron microscope.
したがって、光学顕微鏡で蛍光観察を行った後、走査電子顕微鏡で観察する前に、培養細胞の内部を観察できるように、試料を加工しなければならない。しかしながら、光学顕微鏡で観察した箇所を走査電子顕微鏡で観察可能に加工して、その位置を走査電子顕微鏡で観察することは困難であった。 Therefore, the sample must be processed so that the inside of the cultured cells can be observed after fluorescence observation with an optical microscope and before observation with a scanning electron microscope. However, it has been difficult to process a portion observed with an optical microscope so that it can be observed with a scanning electron microscope and then observe that position with a scanning electron microscope.
本発明に係る観察方法の一態様は、
第1マーカーを有する容器上で、光学顕微鏡を用いて、試料を観察する工程と、
前記光学顕微鏡で観察した位置と前記第1マーカーの位置との位置関係を求める工程と、
前記容器上で前記試料を樹脂包埋することによって、前記試料が包埋され、かつ、前記第1マーカーの痕が形成された樹脂ブロックを形成する工程と、
前記樹脂ブロックを、第2マーカーを有する試料ホルダーに取り付ける工程と、
前記光学顕微鏡で観察した位置と前記第1マーカーの位置との位置関係と、前記第1マーカーの痕の位置とに基づいて、前記樹脂ブロックが前記試料ホルダーに取り付けられた状態における前記光学顕微鏡で観察した位置を算出し、前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程と、
前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程の後に、前記試料ホルダーに取り付けられた前記樹脂ブロックを研磨する工程と、
前記試料ホルダーを、走査電子顕微鏡の試料ステージに取り付ける工程と、
前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係と、前記試料ステージ上における前記第2マーカーの位置に基づいて、前記試料ステージ上における前記光学顕微鏡で観察した位置を求める工程と、
前記試料ステージ上における前記光学顕微鏡で観察した位置を、前記走査電子顕微鏡で観察する工程と、
を含む。
One aspect of the observation method according to the present invention is
Observing the sample using an optical microscope on the container having the first marker;
obtaining a positional relationship between the position observed by the optical microscope and the position of the first marker;
forming a resin block in which the sample is embedded and in which the trace of the first marker is formed by embedding the sample in a resin on the container;
attaching the resin block to a sample holder having a second marker;
Based on the positional relationship between the position observed with the optical microscope and the position of the first marker, and the position of the trace of the first marker , the optical microscope in the state where the resin block is attached to the sample holder a step of calculating the observed position and determining the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed with the optical microscope;
After the step of determining the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed with the optical microscope, polishing the resin block attached to the sample holder;
attaching the sample holder to a sample stage of a scanning electron microscope;
The position observed by the optical microscope on the sample stage based on the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed by the optical microscope , and the position of the second marker on the sample stage. and
a step of observing, with the scanning electron microscope, the position observed with the optical microscope on the sample stage ;
including.
このような観察方法では、第2マーカーの位置と光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求めることができるため、容易に、光学顕微鏡および走査電子顕微鏡等の他の観察装置の両方で、試料の同一箇所を観察することができる。 With such an observation method, the positional relationship between the position of the second marker and the position observed with the optical microscope can be obtained, so that the sample can be easily observed with both an optical microscope and other observation devices such as a scanning electron microscope. can be observed.
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。 Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. It should be noted that the embodiments described below do not unduly limit the scope of the invention described in the claims. Moreover, not all the configurations described below are essential constituent elements of the present invention.
1. 観察方法
まず、本実施形態に係る観察方法について、図面を参照しながら説明する。
1. Observation Method First, an observation method according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
本実施形態に係る観察方法は、第1マーカーを有する容器上で、光学顕微鏡を用いて、試料を観察する工程と、光学顕微鏡で観察した位置と第1マーカーの位置との位置関係を求める工程と、容器上で試料を樹脂包埋することによって、試料が包埋され、かつ、第1マーカーの痕が形成された樹脂ブロックを形成する工程と、樹脂ブロックを、第2マーカーを有する試料ホルダーに取り付ける工程と、光学顕微鏡で観察した位置と第1マーカーの位置との位置関係に基づいて、第2マーカーの位置と光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程と、を含む。 The observation method according to the present embodiment includes a step of observing a sample on a container having a first marker using an optical microscope, and a step of determining the positional relationship between the position observed with the optical microscope and the position of the first marker. a step of embedding the sample in resin on the container to form a resin block in which the sample is embedded and a trace of the first marker is formed; and placing the resin block in a sample holder having a second marker. and obtaining the positional relationship between the position of the second marker and the position observed with the optical microscope based on the positional relationship between the position observed with the optical microscope and the position of the first marker.
図1は、本実施形態に係る観察方法の一例を示すフローチャートである。以下では、培養細胞を、光学顕微鏡および走査電子顕微鏡で観察する場合について説明する。 FIG. 1 is a flowchart showing an example of an observation method according to this embodiment. Observation of cultured cells with an optical microscope and a scanning electron microscope will be described below.
(1)光学顕微鏡観察(S10)
図2は、細胞2を光学顕微鏡20で観察している様子を示す図である。図3は、培養容器10を模式的に示す平面図である。なお、図3は、培養容器10を、培養容器10の底から見た図である。
(1) Optical microscope observation (S10)
FIG. 2 is a diagram showing how
図2に示すように、培養容器10上で培養された細胞2を、光学顕微鏡20で観察する。
As shown in FIG. 2, the
培養容器10としては、培養ディッシュ(シャーレ)や、ガラス板などを用いることができる。図3に示すように、培養容器10上には、観察した位置を特定するためのマーカー12が設けられている。マーカー12は、複数設けられている。図3に示す例では、9つのマーカー12が、3行3列に配置されている。隣り合うマーカー12の間隔は、例えば、2mm程度である。なお、マーカー12の配置は特に限定されない。
As the
マーカー12は、光学顕微鏡および電子顕微鏡の観察方向から見て、同心円の形状を有している。そのため、光学顕微鏡観察および走査電子顕微鏡観察の両方において、マーカー12の中心の位置を特定しやすい。なお、マーカー12の形状は、同心円に限定されず、例えば、同心多角形であってもよい。
The
マーカー12には、それぞれマーカー12を特定するための番号が付されている。図2に示す例では、9つのマーカー12に対して、それぞれ、A1,A2,A3,B1,B2,B3,C1,C2,C3の番号が付されている。
Each
培養容器10は、例えば、ガラスである。マーカー12は、培養容器10に成膜された金属膜である。例えば、培養容器10上に金属蒸着することによって、マーカー12を形成することができる。金属膜の厚さは、例えば、数十nm程度である。マーカー12は、光学顕微鏡および走査電子顕微鏡の両方で観察可能であって、かつ、後述するように樹脂包埋されたときに樹脂にマーカーが転写可能に構成されていれば、金属膜に限定されない。
The
細胞2の観察は、例えば、光学顕微鏡20による蛍光観察によって行われる。具体的には、細胞2を蛍光色素等で標識して、光学顕微鏡20で蛍光観察を行う。これにより、細胞や、細胞内小器官などの細胞を構成する構造の局在を観察することができる。光学顕微鏡20による観察は、図2に示す例では、倒立顕微鏡を用いて、培養容器10を底から観察している。なお、光学顕微鏡20による観察は、図示はしないが、正立顕微鏡を用いて、培養容器10の上から観察してもよい。
Observation of the
(2)観察位置とマーカーの位置との位置関係を求める(S12)
光学顕微鏡20で細胞2を観察した位置(以下、「光顕観察位置」ともいう)とマーカー12の位置との位置関係を求める。具体的には、光学顕微鏡20の座標系において、光顕観察位置の座標(X1,Y1)とマーカー12の座標(X2,Y2)を記録する。
(2) Determine the positional relationship between the observation position and the position of the marker (S12)
The positional relationship between the position where the
例えば、光学顕微鏡20の試料ステージの座標を読み取ることで、光顕観察位置の座標(X1,Y1)と、マーカー12の座標(X2,Y2)と、を取得する。そして、取得した光顕観察位置の座標(X1,Y1)と、マーカー12の座標(X2,Y2)と、を記録する。このとき、光顕観察位置の座標(X1,Y1)とともに複数のマーカー12の座標(X2,Y2)を取得してもよい。このようにして、光顕観察位置とマーカー12の位置との位置関係を求めることができる。以下では、工程S12において、光顕観察位置の座標(X1,Y1)と、A1の番号が付されたマーカー12(以下、「A1マーカー」ともいう)の座標(X2,Y2)が記録された場合について説明する。
For example, by reading the coordinates of the sample stage of the
(3)樹脂包埋(S14)
次に、細胞2を固定、脱水、および樹脂包埋する。
(3) Resin embedding (S14)
図4および図5は、細胞2を樹脂包埋する工程を説明するための図である。
4 and 5 are diagrams for explaining the process of embedding the
図4に示すように、培養容器10上に液状の樹脂4を流し込み、細胞2に包埋用容器30を被せ、包埋用容器30のなかで樹脂4を硬化させる。次に、図5に示すように、培養容器10から硬化した樹脂4を引きはがす。これにより、細胞2が包埋された樹脂ブロック40を形成できる。
As shown in FIG. 4 , a
図6は、樹脂ブロック40を模式的に示す図である。
FIG. 6 is a diagram schematically showing the
マーカー12を構成する金属膜およびマーカー12に付した番号を構成する金属膜は、培養容器10の底面との間に段差を形成する。そのため、図6に示すように、樹脂ブロック40には、マーカー12およびマーカー12に付した番号が転写される。この結果、樹脂ブロック40には、マーカー12の痕42およびマーカー12に付した番号の痕が形成される。
The metal film forming the
(4)樹脂ブロックの試料ホルダーへの取り付け(S16)
樹脂ブロック40を、試料ホルダー50に取り付ける。
(4) Attaching the resin block to the sample holder (S16)
A
図7は、樹脂ブロック40を、試料ホルダー50に取り付ける様子を模式的に示す図である。図8は、樹脂ブロック40を、試料ホルダー50に取り付けた状態を模式的に示す図である。
FIG. 7 is a diagram schematically showing how the
図7および図8に示すように、試料ホルダー50は、マーカー52を有している。図7および図8に示す例では、試料ホルダー50は、複数(図示の例では3つ)のマーカー52を有している。なお、マーカー52の配置は特に限定されない。マーカー52は、光学顕微鏡および走査電子顕微鏡の両方で確認可能であれば、その形状および大きさは特に限定されない。
As shown in FIGS. 7 and 8,
図7および図8に示す例では、樹脂ブロック40を試料ホルダー50の孔に挿入することで、樹脂ブロック40を試料ホルダー50に取り付けている。なお、樹脂ブロック40の試料ホルダー50への取り付け方法は特に限定されない。
In the examples shown in FIGS. 7 and 8 , the
(5)観察位置と試料ホルダーのマーカーとの位置関係を求める(S18)
次に、光顕観察位置とマーカー12の位置との位置関係に基づいて、光顕観察位置と試料ホルダー50のマーカー52の位置との位置関係を求める。具体的には、樹脂ブロック40が試料ホルダー50に取り付けられた状態において、光顕観察位置の座標(X1´,Y1´)とマーカー52の座標(X3,Y3)を記録する。
(5) Determine the positional relationship between the observation position and the marker of the sample holder (S18)
Next, based on the positional relationship between the optical microscope observation position and the position of the
まず、樹脂ブロック40が取り付けられた試料ホルダー50を光学顕微鏡20の試料ステージにセットする。次に、光学顕微鏡20でマーカー12の痕を見つける。マーカー12の痕42は、観察した細胞2との位置関係を求めたマーカー12によって樹脂ブロック40に形成されたマーカー12の痕42である。すなわち、ここではA1マーカー12の痕である。そして、A1マーカー12の痕42の座標(X2´,Y2´)を、光学顕微鏡20の試料ステージの座標を読み取ることで取得する。
First, the
次に、取得したA1マーカー12の痕42の座標(X2´,Y2´)と、工程S12で記録したA1マーカー12の座標(X2,Y2)と、に基づいて、工程S12における座標系と工程S18における座標系との間の座標変換を行うための変換式を求める。次に、求めた変換式と、工程S12で記録した光顕観察位置の座標(X1,Y1)と、を用いて、光顕観察位置の座標(X1´,Y1´)を求める。
Next, based on the acquired coordinates (X2′, Y2′) of the
次に、マーカー52の座標(X3,Y3)を、光学顕微鏡20の試料ステージの座標を読み取ることで取得する。以上の工程により、光顕観察位置の座標(X1´,Y1´)とマーカー52の座標(X3,Y3)を取得できる。なお、本工程において、複数のマーカー52の座標を取得してもよい。
Next, the coordinates (X3, Y3) of the
(6)樹脂ブロックの研磨(S20)
次に、樹脂ブロック40を研磨する。樹脂ブロック40の研磨は、試料ホルダー50に取り付けられた状態で行われる。
(6) Polishing the resin block (S20)
Next, the
図9および図10は、樹脂ブロック40を研磨する工程を説明するための図である。樹脂ブロック40の研磨は、図9に示すように、研磨装置6を用いた機械研磨であってもよいし、図10に示すように、イオンビームIBを用いた研磨であってもよい。樹脂ブロック40を研磨することによって、細胞2の内部を樹脂ブロック40の表面に露出させることができる。
9 and 10 are diagrams for explaining the process of polishing the
なお、樹脂ブロック40の研磨により、樹脂ブロック40に形成されたマーカーの痕42が消失する場合がある。このような場合でも、光顕観察位置の座標(X1´,Y1´)
とマーカー52の座標(X3,Y3)が記録されているため、光顕観察位置を見失わない。
Note that the
, and the coordinates (X3, Y3) of the
(7)走査電子顕微鏡観察(S22)
図11は、走査電子顕微鏡60の試料ステージ62に試料ホルダー50を取り付けた状態を模式的に示す図である。
(7) Scanning electron microscope observation (S22)
FIG. 11 is a diagram schematically showing a state in which the
次に、樹脂ブロック40が取り付けられた試料ホルダー50を走査電子顕微鏡60の試料ステージ62にセットして、光学顕微鏡20で観察した位置で走査電子顕微鏡観察を行う。
Next, the
まず、樹脂ブロック40が取り付けられた試料ホルダー50を走査電子顕微鏡60の試料ステージ62にセットする。次に、試料ホルダー50のマーカー52の座標(x3,y3)を、試料ステージの座標を読み取ることで取得する。
First, the
次に、取得したマーカー52の座標(x3,y3)と、工程S18で記録されたマーカー52の座標(X3,Y3)とに基づいて、光学顕微鏡20の座標系と走査電子顕微鏡60の座標系との間の座標変換を行うための変換式を求める。
Next, based on the acquired coordinates (x3, y3) of the
次に、求めた変換式と、工程S18で記録した光顕観察位置の座標(X1´,Y1´)と、を用いて、走査電子顕微鏡60の座標系(試料ステージ62上)における光顕観察位置の座標(x1,y1)を求める。そして、求めた座標(x1,y1)に試料ステージ62を移動させる。これにより、光顕観察位置を、走査電子顕微鏡60で観察することができる。
Next, using the obtained conversion formula and the coordinates (X1', Y1') of the optical microscope observation position recorded in step S18, the optical microscope observation position in the coordinate system (on the sample stage 62) of the
上記のように、樹脂ブロック40を研磨することによって細胞2の内部が樹脂ブロック40の表面に露出している。そのため、走査電子顕微鏡60において、細胞2の内部の構造を観察できる。したがって、本実施形態によれば、蛍光観察により観察した細胞2の内部の現象と、走査電子顕微鏡60で観察した細胞2の内部の構造と、を比較することができる。
As described above, the inside of the
以上の工程により、光学顕微鏡20および走査電子顕微鏡60の両方で、同一箇所を観察することができる。
Through the above steps, the same point can be observed with both the
本実施形態に係る観察方法は、例えば、以下の特徴を有する。 The observation method according to this embodiment has, for example, the following features.
本実施形態に係る観察方法は、マーカー12を有する培養容器10上で、光学顕微鏡20を用いて、試料を観察する工程と、光学顕微鏡20で観察した位置とマーカー12の位置との位置関係を求める工程と、培養容器10上で試料を樹脂包埋することによって、試料が包埋され、かつ、マーカー12の痕42が形成された樹脂ブロック40を形成する工程と、樹脂ブロック40を、マーカー52を有する試料ホルダー50に取り付ける工程と、光学顕微鏡で観察した位置とマーカー12の位置との位置関係に基づいて、マーカー52の位置と光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程と、を含む。
The observation method according to the present embodiment includes a step of observing a sample using an
さらに、本実施形態に係る観察方法では、試料ホルダー50を、走査電子顕微鏡60の試料ステージ62に取り付ける工程と、マーカー52の位置と光学顕微鏡20で観察した位置との位置関係に基づいて、試料ステージ62上におけるマーカー52の位置から、試料ステージ62上における光学顕微鏡20で観察した位置を求める工程と、光学顕微鏡20で観察した位置を走査電子顕微鏡60で観察する工程と、を含む。
Furthermore, in the observation method according to the present embodiment, the
このように、本実施形態に係る観察方法では、マーカー52の位置と光学顕微鏡20で観察した位置との位置関係を求めることができるため、容易に、光学顕微鏡20および走査電子顕微鏡60の両方で、試料の同一箇所を観察することができる。
Thus, in the observation method according to the present embodiment, the positional relationship between the position of the
本実施形態に係る観察方法は、試料ホルダー50に取り付けられた樹脂ブロック40を研磨する工程を含む。本実施形態に係る観察方法では、マーカー52の位置と光学顕微鏡20で観察した位置との位置関係を求めることができるため、研磨により樹脂ブロック40に形成されたマーカー12の痕42が消えても、光学顕微鏡20で観察した位置を特定できる。
The observation method according to this embodiment includes a step of polishing the
さらに、本実施形態に係る観察方法では、研磨によって試料の断面加工が可能であるため、例えば、ダイヤモンドナイフによる切片作製等と比べて、樹脂ブロック40の広い範囲を観察可能である。さらに、例えば、ダイヤモンドナイフで切片を作製する場合、樹脂ブロックをトリミングする必要があるが、トリミングの作業は熟練が必要であり、長時間の作業が必要となる。これに対して、研磨による断面加工は、容易であり、短時間で加工ができる。
Furthermore, in the observation method according to the present embodiment, the cross-section of the sample can be processed by polishing, so that a wider range of the
本実施形態に係る観察方法では、マーカー12は、培養容器10上に形成された金属膜である。そのため、樹脂ブロック40の引きはがしが容易である。例えば、マーカーとして、培養容器10に溝を形成した場合、溝に樹脂が入り込むため、樹脂ブロック40を引きはがし難い。また、例えば、マーカー12を疎に形成することによって、より容易に樹脂ブロック40を引きはがすことができる。
In the observation method according to this embodiment, the
2. 変形例
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
2. Modifications The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention.
2.1. 第1変形例
例えば、工程S12において、光顕観察位置とA1マーカー12の位置との位置関係を求めたにも関わらず、樹脂ブロック40に傷が入るなどして、A1マーカー12の痕42の位置の特定が困難になる場合がある。このような場合には、A1マーカー12以外の他のマーカー12の痕42の座標からA1マーカー12の座標を推測することができる。
2.1. First Modification For example, in step S12, although the positional relationship between the optical microscope observation position and the position of the
第1変形例では、マーカー12の位置と光顕観察位置との位置関係を求める工程では、A1マーカー12以外の他のマーカー12の位置からA1マーカー12の位置を求め、A1マーカー12と光顕観察位置との位置関係を求める。そのため、第1変形例では、容易に、光学顕微鏡20および走査電子顕微鏡60の両方で、試料の同一箇所を観察することができる。
In the first modification, in the step of obtaining the positional relationship between the position of the
2.2. 第2変形例
上記の実施形態では、樹脂ブロック40の研磨の後に、走査電子顕微鏡観察を行ったが、樹脂ブロック40の研磨と走査電子顕微鏡観察を繰り返してもよい。これにより、細胞2の深さ方向の情報を取得することができる。また、例えば、細胞2の3次元再構築像を得ることができる。
2.2. Second Modification In the above-described embodiment, the scanning electron microscope observation is performed after polishing the
2.3. 第3変形例
なお、上記の実施形態では、光学顕微鏡20と走査電子顕微鏡60で同一箇所を観察する場合について説明したが、光学顕微鏡20とその他の観察装置で同一箇所を観察する場合にも適用可能である。
2.3. Third Modification In the above embodiment, the case of observing the same point with the
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。 The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same function, method, and result, or configurations that have the same purpose and effect). Moreover, the present invention includes configurations obtained by replacing non-essential portions of the configurations described in the embodiments. In addition, the present invention includes a configuration that achieves the same effects or achieves the same purpose as the configurations described in the embodiments. In addition, the present invention includes configurations obtained by adding known techniques to the configurations described in the embodiments.
2…細胞、4…樹脂、6…研磨装置、10…培養容器、12…マーカー、20…光学顕微鏡、30…包埋用容器、40…樹脂ブロック、42…痕、50…試料ホルダー、52…マーカー、60…走査電子顕微鏡、62…試料ステージ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記光学顕微鏡で観察した位置と前記第1マーカーの位置との位置関係を求める工程と、
前記容器上で前記試料を樹脂包埋することによって、前記試料が包埋され、かつ、前記第1マーカーの痕が形成された樹脂ブロックを形成する工程と、
前記樹脂ブロックを、第2マーカーを有する試料ホルダーに取り付ける工程と、
前記光学顕微鏡で観察した位置と前記第1マーカーの位置との位置関係と、前記第1マーカーの痕の位置とに基づいて、前記樹脂ブロックが前記試料ホルダーに取り付けられた状態における前記光学顕微鏡で観察した位置を算出し、前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程と、
前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程の後に、前記試料ホルダーに取り付けられた前記樹脂ブロックを研磨する工程と、
前記試料ホルダーを、走査電子顕微鏡の試料ステージに取り付ける工程と、
前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係と、前記試料ステージ上における前記第2マーカーの位置に基づいて、前記試料ステージ上における前記光学顕微鏡で観察した位置を求める工程と、
前記試料ステージ上における前記光学顕微鏡で観察した位置を、前記走査電子顕微鏡で観察する工程と、
を含む、観察方法。 Observing the sample using an optical microscope on the container having the first marker;
obtaining a positional relationship between the position observed with the optical microscope and the position of the first marker;
forming a resin block in which the sample is embedded and in which the trace of the first marker is formed by embedding the sample in a resin on the container;
attaching the resin block to a sample holder having a second marker;
Based on the positional relationship between the position observed with the optical microscope and the position of the first marker, and the position of the trace of the first marker , the optical microscope in the state where the resin block is attached to the sample holder a step of calculating the observed position and determining the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed with the optical microscope;
After the step of determining the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed with the optical microscope, polishing the resin block attached to the sample holder;
attaching the sample holder to a sample stage of a scanning electron microscope;
A position observed by the optical microscope on the sample stage based on the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed by the optical microscope , and the position of the second marker on the sample stage. and
a step of observing, with the scanning electron microscope, the position observed with the optical microscope on the sample stage ;
method of observation, including
前記研磨は、イオンによる研磨、または機械研磨である、観察方法。 In claim 1 ,
The observation method, wherein the polishing is ion polishing or mechanical polishing.
前記第1マーカーは、同心円、または同心多角形である、観察方法。 In claim 1 or 2 ,
The observation method, wherein the first markers are concentric circles or concentric polygons.
前記第1マーカーは、前記容器上に形成された金属膜である、観察方法。 In any one of claims 1 to 3 ,
The observation method, wherein the first marker is a metal film formed on the container.
前記容器は、他の第1マーカーを有し、
前記第2マーカーの位置と算出した前記光学顕微鏡で観察した位置との位置関係を求める工程では、前記第1マーカーの痕の位置が特定できなかった場合に、前記他の第1マーカーの痕の位置から前記第1マーカーの痕の位置を求める、観察方法。 In any one of claims 1 to 4 ,
the container has another first marker;
In the step of determining the positional relationship between the position of the second marker and the calculated position observed with the optical microscope, if the position of the trace of the first marker cannot be specified, the trace of the other first marker is determined. An observation method , wherein the position of the trace of the first marker is obtained from the position .
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