JP7222626B2 - COMPOSITION, CURED PRODUCT, METHOD FOR PRODUCING CURED PRODUCT, SALT, AND AGENT FOR Suppressing Aging Over Time Of Polyimide Film-Forming Composition And For Improving Film Formability - Google Patents

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Description

本発明は、ポリイミド膜形成に好適な組成物、該組成物の硬化物、該組成物を用いた硬化物の製造方法、塩、並びにポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤に関する。 The present invention provides a composition suitable for forming a polyimide film, a cured product of the composition, a method for producing a cured product using the composition, a salt, and a polyimide film-forming composition for suppressing aging and improving film-forming properties. Regarding agents.

ポリイミド樹脂は、優れた耐熱性、機械的強度、及び絶縁性や、低誘電率等の特性を有するため、種々の素子や、多層配線基板等の電子基板のような電気・電子部品において、絶縁材や保護材として広く使用されている。 Polyimide resin has properties such as excellent heat resistance, mechanical strength, insulation, and low dielectric constant. It is widely used as a material and protective material.

一般に、ポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを極性有機溶剤中で重合させて得られるポリアミック酸を、熱処理することによって形成される。このような背景もあり、電子材料用のポリイミド製品は、ポリアミック酸のようなポリイミド前駆体の溶液として供給されることが多い。具体的に、電気・電子部品を製造する際には、ポリイミド前駆体の溶液が、絶縁材や保護材を形成する個所に、塗布や注入等の方法により供給された後、ポリイミド前駆体の溶液を熱処理して、絶縁材や保護材が形成されている。 Polyimide resins are generally formed by heat-treating a polyamic acid obtained by polymerizing a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component in a polar organic solvent. Against this background, polyimide products for electronic materials are often supplied as solutions of polyimide precursors such as polyamic acid. Specifically, when manufacturing electric and electronic parts, a solution of a polyimide precursor is supplied by a method such as coating or injection to a place where an insulating material or a protective material is to be formed, and then the solution of the polyimide precursor is is heat-treated to form an insulating material and a protective material.

このようなポリイミド樹脂に関する技術開拓も鋭意なされている。
例えば、特許文献1には、製膜性の向上を目的とした、ポリアミック酸及び塩基性含窒素化合物を含む樹脂組成物が開示されている。
Technological developments related to such polyimide resins have also been earnestly pursued.
For example, Patent Document 1 discloses a resin composition containing a polyamic acid and a basic nitrogen-containing compound for the purpose of improving film formability.

特開2018-58918号公報JP 2018-58918 A

しかしながら、ポリアミック酸及び塩基性含窒素化合物を含む樹脂組成物は、調製後、数日放置すると経時変化してしまい劣化してしまうことを本発明者らは見出している。
製膜性及び経時安定性のいずれにも優れる組成物が求められている。
However, the present inventors have found that a resin composition containing a polyamic acid and a basic nitrogen-containing compound changes over time and deteriorates if left for several days after preparation.
There is a demand for a composition that is excellent in both film-forming properties and stability over time.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、製膜性及び経時安定性に優れる組成物、該組成物の硬化物、該組成物を用いた硬化物の製造方法、塩、並びにポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤の提供を目的とする。 In view of the above problems of the prior art, the present invention provides a composition excellent in film-forming properties and stability over time, a cured product of the composition, a method for producing a cured product using the composition, a salt, and polyimide film formation. The object is to provide a film-forming improver that suppresses the aging of a composition for use.

本発明者らは、脂環基を含む特定構造のカルボン酸アニオンと含窒素複素環カチオンとの塩を含む組成物が製膜性及び経時安定性に優れることを見出し、本発明を完成するに至った。 The present inventors have found that a composition containing a salt of a carboxylic acid anion having a specific structure containing an alicyclic group and a nitrogen-containing heterocyclic cation is excellent in film-forming properties and stability over time. Arrived.

本発明の第1の態様は、
下記式(1)で表される塩を含む組成物である。

Figure 0007222626000001
(上記式中、Aは、1又は2以上の脂環基を含み、上記式中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHがそれぞれ独立して上記1又は2以上の脂環基に直接又は連結基を介して結合している4価の有機基を表し、Mは、含窒素複素環を含むカチオンを表し、nは1以上4以下の整数を表す。) A first aspect of the present invention is
A composition containing a salt represented by the following formula (1).
Figure 0007222626000001
(In the above formula, A contains 1 or 2 or more alicyclic groups, and n -COO - M + and (4-n) -COOH in the above formula are each independently the above 1 or 2 represents a tetravalent organic group bonded directly or via a linking group to the above alicyclic groups, M + represents a cation containing a nitrogen-containing heterocycle, and n represents an integer of 1 or more and 4 or less. )

本発明の第2の態様は、第1の態様の組成物の硬化物である。
本発明の第3の態様は、第1の態様の組成物を適用して膜を形成すること、及び、
前記膜を加熱することを含む、硬化物の製造方法である。
本発明の第4の態様は、下記一般式(1)で表される塩である。

Figure 0007222626000002
(上記式中、Aは、1又は2以上の脂環基を含み、上記式中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHがそれぞれ独立して上記1又は2以上の脂環基に直接又は連結基を介して結合している4価の有機基を表し、Mは、含窒素複素環を含むカチオンを表し、nは1以上4以下の整数を表す。) A second aspect of the present invention is a cured product of the composition of the first aspect.
A third aspect of the invention comprises applying the composition of the first aspect to form a film, and
A method for producing a cured product, comprising heating the film.
A fourth aspect of the present invention is a salt represented by the following general formula (1).
Figure 0007222626000002
(In the above formula, A contains 1 or 2 or more alicyclic groups, and n -COO - M + and (4-n) -COOH in the above formula are each independently the above 1 or 2 represents a tetravalent organic group bonded directly or via a linking group to the above alicyclic groups, M + represents a cation containing a nitrogen-containing heterocycle, and n represents an integer of 1 or more and 4 or less. )

本発明の第5の態様は、第4の態様の塩を含む、ポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤である。 A fifth aspect of the present invention is an agent for suppressing deterioration over time and improving film-forming properties of a polyimide film-forming composition, comprising the salt of the fourth aspect.

本発明によれば、製膜性及び経時安定性に優れる組成物、該組成物の硬化物、該組成物を用いた硬化物の製造方法、塩、並びにポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤を提供することができる。 According to the present invention, a composition excellent in film-forming properties and stability over time, a cured product of the composition, a method for producing a cured product using the composition, a salt, and suppression of changes over time in a composition for forming a polyimide film And a film-forming improver can be provided.

以下、本発明の実施態様について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施態様に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
また、本明細書において、「~」は特に断りがなければ以上から以下を表す。
Embodiments of the present invention will be described in detail below, but the present invention is by no means limited to the following embodiments, and can be carried out with appropriate modifications within the scope of the object of the present invention. .
In addition, in this specification, unless otherwise specified, "-" represents from the above to the following.

≪組成物≫
第1の態様に係る組成物は、上記一般式(1)で表される塩を含む。
上記塩は製膜性及び経時安定性に寄与し得る。
また、本発明は上記一般式(1)で表される塩、ポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤に関するものでもあり、第4の態様に係る発明は上記一般式(1)で表される塩であり、第5の態様に係る発明は、第4の態様の塩を含む、ポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤である。
≪Composition≫
The composition according to the first aspect contains a salt represented by the general formula (1).
The above salt can contribute to film formability and stability over time.
The present invention also relates to a salt represented by the above general formula (1), a polyimide film-forming composition for suppressing changes over time and a film-forming property improving agent, and the invention according to a fourth aspect is the above general formula ( 1), and a fifth aspect of the invention is an agent for suppressing aging and improving film-forming properties of a composition for forming a polyimide film, comprising the salt of the fourth aspect.

<塩>
(アニオン部分)
上記式(1)中、Aは、1又は2以上の脂環基を含み、上記式中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHがそれぞれ独立して上記1又は2以上の脂環基に直接又は連結基を介して結合している4価の有機基を表す。
本発明の効果をより確実に達成する観点から、nは2以上4以下が好ましく、2又は3がより好ましい。
上記連結基としては、アルキレン基、アルキレンオキシ基、シクロアルキレン基又はシクロアルキレンオキシ基が挙げられ、アルキレン基又はアルキレンオキシ基が好ましく、アルキレン基がより好ましい。
上記アルキレン基、上記アルキレンオキシ基におけるアルキレン部分としては、置換基を有していてもよい炭素原子数1以上5以下(好ましくは炭素原子数1以上3以下、より好ましくは炭素原子数1又は2)のアルキレン基が挙げられる。アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基等が挙げられ、メチレン基、エチレン基又はプロピレン基が好ましく、メチレン基又はエチレン基がより好ましい。
上記シクロアルキレン基、上記シクロアルキレンオキシ基におけるシクロアルキレン部分としては、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基が挙げられる。
上記式中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHは上記1又は2以上の脂環基に直接結合していることが好ましい。
4価の有機基Aとしては、炭素原子数4以上40以下(好ましくは炭素原子数5以上30以下、より好ましくは炭素原子数6以上25以下、更に好ましくは炭素原子数6以上20以下)の4価の有機基が挙げられ、上記1又は2以上の脂環基以外に芳香族基(例えば、ベンゼン環基、ナフタレン環基等)を含んでいてもいなくてもよいが芳香族基は含んでいないことが好ましい。
Aにおいて、1又は2以上の脂環基及び上記芳香族基は縮合していてもしていなくてもよい。
1又は2以上の脂環基はスピロ結合により連結していてもしていなくてもよい。
4価の有機基Aは環構成原子としてヘテロ原子(例えば、酸素原子、イオウ原子、窒素原子)、ケト基(-CO-)又は不飽和結合(例えば、炭素-炭素二重結合、炭素-炭素三重結合)を含んでいてもいなくてもよい。
4価の有機基Aは置換基を有していてもいなくてもよい、
<Salt>
(anion portion)
In the above formula (1), A contains one or more alicyclic groups, and n -COO - M + and (4-n) -COOH in the above formula are each independently the above 1 or represents a tetravalent organic group bonded directly or via a linking group to two or more alicyclic groups.
From the viewpoint of achieving the effects of the present invention more reliably, n is preferably 2 or more and 4 or less, more preferably 2 or 3.
The linking group includes an alkylene group, an alkyleneoxy group, a cycloalkylene group, or a cycloalkyleneoxy group, preferably an alkylene group or an alkyleneoxy group, and more preferably an alkylene group.
The alkylene moiety in the alkylene group and the alkyleneoxy group has 1 to 5 carbon atoms which may have a substituent (preferably 1 to 3 carbon atoms, more preferably 1 or 2 carbon atoms). ) alkylene group. Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, butylene group, pentylene group and the like, preferably methylene group, ethylene group or propylene group, more preferably methylene group or ethylene group.
Examples of the cycloalkylene moiety in the cycloalkylene group and the cycloalkyleneoxy group include a cyclopentylene group and a cyclohexylene group.
In the above formula, n -COO - M + and (4-n) -COOH are preferably directly bonded to one or more alicyclic groups.
The tetravalent organic group A has 4 to 40 carbon atoms (preferably 5 to 30 carbon atoms, more preferably 6 to 25 carbon atoms, still more preferably 6 to 20 carbon atoms). Examples include tetravalent organic groups, which may or may not contain an aromatic group (e.g., a benzene ring group, a naphthalene ring group, etc.) other than the one or more alicyclic groups described above, but may or may not contain an aromatic group. preferably not.
In A, one or more alicyclic groups and the above aromatic groups may or may not be condensed.
One or more alicyclic groups may or may not be linked by a spiro bond.
The tetravalent organic group A has a hetero atom (e.g., oxygen atom, sulfur atom, nitrogen atom), keto group (-CO-) or unsaturated bond (e.g., carbon-carbon double bond, carbon-carbon triple bond) may or may not be included.
The tetravalent organic group A may or may not have a substituent,

4価の有機基Aが含む上記脂環基としては、単環であっても多環であってもよく、炭素原子数3以上20以下(好ましくは炭素原子数4以上15以下、より好ましくは炭素原子数5以上12以下、更に好ましくは炭素原子数6以上10以下)の単環若しくは多環の脂環基が挙げられ、3員環以上20員環以下の単環若しくは多環の脂環基が好ましく、4員環以上18員環以下の単環若しくは多環の脂環基がより好ましく、5員環以上14員環以下の単環若しくは多環の脂環基が更に好ましく、6員環以上10員環以下の単環若しくは多環の脂環基が特に好ましい。
有機基Aが含む上記脂環基の数としては、1以上6以下が好ましく、1以上5以下がより好ましい。
上記脂環基は、環内を橋架けする架橋基を含んでいてもいなくてもよく、上記架橋基としては、炭素原子数1以上5以下(好ましくは炭素原子数1以上3以下、より好ましくは炭素原子数1又は2)の2価の基が挙げられる。
架橋基を含む脂環基としては具体的には、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン構造等を含む基が挙げられる。
上記架橋基としては、アルキレン基、エーテル結合(-O-)、チオエーテル結合(-S-)、ケト基又はそれらの少なくとも2つを組み合わせた2価の基が好ましく、アルキレン基、エーテル結合、チオエーテル結合又はそれらの少なくとも2つを組み合わせた2価の基がより好ましく、アルキレン基、エーテル結合、チオエーテル結合又はそれらの少なくとも2つを組み合わせた2価の基が更に好ましく、アルキレン基、エーテル結合又はチオエーテル結合が特に好ましく、アルキレン基が最も好ましい。
The alicyclic group contained in the tetravalent organic group A may be monocyclic or polycyclic, and has 3 to 20 carbon atoms (preferably 4 to 15 carbon atoms, more preferably 5 or more and 12 or less carbon atoms, more preferably 6 or more and 10 or less carbon atoms), and monocyclic or polycyclic alicyclic groups having 3 or more and 20 or less membered rings. group, more preferably a 4- to 18-membered monocyclic or polycyclic alicyclic group, more preferably a 5- to 14-membered monocyclic or polycyclic alicyclic group, and a 6-membered A monocyclic or polycyclic alicyclic group having a ring or more and 10 or less members is particularly preferred.
The number of alicyclic groups contained in the organic group A is preferably 1 or more and 6 or less, more preferably 1 or more and 5 or less.
The alicyclic group may or may not contain a bridging group that bridges the ring, and the bridging group has 1 to 5 carbon atoms (preferably 1 to 3 carbon atoms, more preferably includes a divalent group having 1 or 2) carbon atoms.
Specific examples of alicyclic groups containing a bridging group include groups containing a bicyclo[2.2.1]heptane structure and the like.
The bridging group is preferably an alkylene group, an ether bond (-O-), a thioether bond (-S-), a keto group or a divalent group in which at least two of them are combined, and an alkylene group, an ether bond and a thioether. A bond or a divalent group combining at least two of them is more preferred, an alkylene group, an ether bond, a thioether bond or a divalent group combining at least two of them is even more preferred, an alkylene group, an ether bond or a thioether A bond is particularly preferred, and an alkylene group is most preferred.

上記アルキレン基としては、置換基を有していてもよい炭素原子数1以上5以下(好ましくは炭素原子数1以上3以下、より好ましくは炭素原子数1又は2)のアルキレン基が挙げられる。アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基等が挙げられ、メチレン基、エチレン基又はプロピレン基が好ましく、メチレン基又はエチレン基がより好ましい。 Examples of the alkylene group include alkylene groups having 1 to 5 carbon atoms (preferably 1 to 3 carbon atoms, more preferably 1 or 2 carbon atoms) which may have a substituent. Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, butylene group, pentylene group and the like, preferably methylene group, ethylene group or propylene group, more preferably methylene group or ethylene group.

上記脂環基は、環構成原子としてのヘテロ原子(例えば、酸素原子、イオウ原子、窒素原子)、ケト基又は不飽和結合(例えば、炭素-炭素二重結合、炭素-炭素三重結合)を含んでいてもいなくてもよい。
上記脂環基は、置換基を有していてもいなくてもよい。
The alicyclic group contains a heteroatom (e.g., oxygen atom, sulfur atom, nitrogen atom), a keto group, or an unsaturated bond (e.g., carbon-carbon double bond, carbon-carbon triple bond) as a ring-constituting atom. May or may not be present.
The alicyclic group may or may not have a substituent.

4価の有機基A、上記脂環基又は上記アルキレン基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子又は有機基が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子又はヨウ素原子が挙げられる。
置換基としての有機基としては、炭素原子数1以上10以下の有機基が挙げられる。有機基の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基等が挙げられる。
上記アルキル基としては、炭素原子数1以上10以下のアルキル基が挙げられる。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられ、炭素原子数1以上4以下のアルキル基が好ましい。
アルキル基は、置換基を有していてもよい。アルキル基が置換基を有するとき、当該置換基としては、ハロゲン原子、アルコキシ基等が挙げられる。
A halogen atom or an organic group is mentioned as a substituent which the tetravalent organic group A, the said alicyclic group, or the said alkylene group may have.
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Organic groups as substituents include organic groups having 1 to 10 carbon atoms. Suitable examples of organic groups include alkyl groups and alkoxy groups.
Examples of the alkyl group include alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms. Specific examples of alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl and nonyl groups. , a decyl group, etc., and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is preferable.
The alkyl group may have a substituent. When the alkyl group has a substituent, examples of the substituent include a halogen atom and an alkoxy group.

アルコキシ基としては、炭素原子数1以上10以下のアルコキシ基が挙げられる。アルコキシ基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基等が挙げられ、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基が好ましい。
アルコキシ基は、置換基を有していてもよい。アルコキシ基が置換基を有するとき、当該置換基としては、ハロゲン原子、アルコキシ基等が挙げられる。
The alkoxy group includes an alkoxy group having 1 or more and 10 or less carbon atoms. Specific examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, hexyloxy group, octyloxy group and the like, and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is preferred.
The alkoxy group may have a substituent. When the alkoxy group has a substituent, examples of the substituent include a halogen atom and an alkoxy group.

上記4価の有機基Aが、テトラカルボン酸二無水物から2つの酸無水物基を除いた残基であってもなくてもよく、上記式(1)中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHよりなる群から選択される2つが結合している同一又は異なる脂環基を2つ含む4価の有機基であってもなくてもよい。
上記4価の有機基Aの好ましい態様の1つとして、下記式(a2)で表される4価の基が挙げられる。

Figure 0007222626000003
(上記式(a2)中、Ra11、Ra12、及びRa13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上5以下のアルキル基及びフッ素原子からなる群より選択される1種であり、mは0以上12以下の整数である。)
なお、式(a2)中のmは、原料化合物の精製が容易である点から、mは5以下が好ましく、3以下がより好ましい。また、化学的安定性の観点から、mは1以上が好ましく、2以上がより好ましい。
式(a2)中のmは、2又は3が特に好ましい。 The tetravalent organic group A may or may not be a residue obtained by removing two acid anhydride groups from the tetracarboxylic dianhydride, and n -COO - M in the above formula (1) It may or may not be a tetravalent organic group containing two identical or different alicyclic groups to which two selected from the group consisting of + and (4-n) -COOH are bonded.
One preferred embodiment of the tetravalent organic group A is a tetravalent group represented by the following formula (a2).
Figure 0007222626000003
(In formula (a2) above, R a11 , R a12 , and R a13 are each independently one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and a fluorine atom. , m is an integer from 0 to 12.)
Note that m in the formula (a2) is preferably 5 or less, more preferably 3 or less, from the viewpoint of facilitating purification of the raw material compound. From the viewpoint of chemical stability, m is preferably 1 or more, more preferably 2 or more.
2 or 3 is particularly preferable for m in the formula (a2).

上記4価の有機基Aの具体例を以下に例示するが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記式中、*は、-COO又は-COOHに直接結合するか、-COO又は-COOHに結合する連結基に結合する結合手を示す。

Figure 0007222626000004
Specific examples of the tetravalent organic group A are shown below, but the present invention is not limited thereto. In the following formula, * indicates a bond that directly bonds to -COO - M + or -COOH or bonds to a linking group that bonds to -COO - M + or -COOH.
Figure 0007222626000004

(カチオン部分)
上記式(1)における含窒素複素環(M)を含むカチオンMは、1以上(好ましくは1以上5以下、より好ましくは2以上4以下、更に好ましくは2又は3)の窒素原子を含む炭素原子数2以上30以下(好ましくは2以上20以下、より好ましくは3以上15以下、更に好ましくは3以上10以下)の含窒素複素環を含むカチオンが挙げられ、芳香族性若しくは非芳香族性の含窒素複素環を含むカチオンのいずれであってもよく、芳香族含窒素複素環を含むカチオンが好ましい。
含窒素複素環(M)を含むカチオンMは環を構成する原子として窒素原子以外のヘテロ原子(例えば、酸素原子、イオウ原子等)を含んでいてもいなくてもよく、置換基を有していてもいなくてもよい。
(cation part)
The cation M + containing the nitrogen-containing heterocycle (M) in the above formula (1) contains 1 or more (preferably 1 or more and 5 or less, more preferably 2 or more and 4 or less, still more preferably 2 or 3) nitrogen atoms. Examples include cations containing a nitrogen-containing heterocyclic ring having 2 to 30 carbon atoms (preferably 2 to 20, more preferably 3 to 15, still more preferably 3 to 10), aromatic or non-aromatic any cation containing a nitrogen-containing heterocyclic ring, preferably a cation containing an aromatic nitrogen-containing heterocyclic ring.
The cation M + containing a nitrogen-containing heterocycle (M) may or may not contain a heteroatom other than a nitrogen atom (e.g., an oxygen atom, a sulfur atom, etc.) as an atom constituting the ring, and has a substituent. may or may not be present.

本発明の効果をより確実に達成する観点から、上記含窒素複素環(M)を含むカチオンMは下記式(2)~(11)のいずれかで表されるカチオンであることが好ましい。

Figure 0007222626000005
(式(2)中、R11はそれぞれ独立に水素原子又は有機基を表し、sは2以上6以下の整数を表す。)
11についての有機基としては、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基、及びアリール基等が挙げられる。上記アルキル基、上記シクロアルキル基、上記アラルキル基、及び上記アリール基は、置換基を有していてもよい。上記置換基としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子等のハロゲン原子;シアノ基;ニトロ基;メトキシ基、エトキシ基、及びtert-ブトキシ基等のアルコキシ基;フェノキシ基、及びp-トリルオキシ基等のアリールオキシ基;アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、及びベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基;メトキシカルボニル基、及びブトキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基;フェノキシカルボニル基等のアリールオキシカルボニル基;ビニルオキシカルボニル基、及びアリルオキシカルボニル基等のアルケニルオキシカルボニル基;アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、及びメトキサリル基等のアシル基;メチルスルファニル基、及びtert-ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基;フェニルスルファニル基、及びp-トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基;メチルアミノ基、及びシクロヘキシルアミノ基等の脂肪族第二級アミノ基;ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、及びピペリジノ基等の脂肪族第三級アミノ基;フェニルアミノ基、p-トリルアミノ基等の芳香族第二級アミノ基;メチル基、エチル基、tert-ブチル基、及びドデシル基等のアルキル基;フェニル基、p-トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基;ヒドロキシ基;カルボキシ基;スルホンアミド基;ホルミル基;メルカプト基;スルホ基;メシル基;p-トルエンスルホニル基;第一級アミノ基;ニトロソ基;トリフルオロメチル基、及びトリクロロメチル基等のハロゲン化アルキル基;トリメチルシリル基;ホスフィニコ基;ホスホノ基;アルキルスルホニル基;アリールスルホニル基;トリアルキルアンモニウム基;ジメチルスルホニウミル基;トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。
sは3以上5以下の整数であることが好ましく、3又は4であることがより好ましい。
Figure 0007222626000006
(式中、Rは、それぞれ独立に水素原子又はアルキル基を表す。R21、R23、R25、R26、R27、R28、R30、R31、及びR32はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、又はアルキニル基を表す。R22、R24、及びR29はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、又はアルキニル基を表す。R21~R32はそれぞれ独立にハロゲン原子、シアノ基、又はニトロ基で置換されていてもよい。
21及びR22は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR21は互いに結合して環を形成していてもよい。R23、及びR24は互いに結合して環を形成していてもよい。2つのR23は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR25は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR26は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR27は互いに結合して環を形成していてもよい。R28、及びR29は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR28は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR30は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR31は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR32は互いに結合して環を形成していてもよい。) From the viewpoint of more reliably achieving the effects of the present invention, the cation M 1 + containing the nitrogen-containing heterocycle (M) is preferably a cation represented by any one of the following formulas (2) to (11).
Figure 0007222626000005
(In formula (2), each R 11 independently represents a hydrogen atom or an organic group, and s represents an integer of 2 or more and 6 or less.)
Organic groups for R 11 include alkyl groups, cycloalkyl groups, aralkyl groups, aryl groups, and the like. The alkyl group, the cycloalkyl group, the aralkyl group, and the aryl group may have a substituent. Examples of the substituents include fluorine, chlorine, bromine, and iodine atoms; cyano; nitro; methoxy, ethoxy, and tert-butoxy; alkoxy; phenoxy, and p - aryloxy groups such as tolyloxy; acyloxy groups such as acetoxy, propionyloxy, and benzoyloxy; alkoxycarbonyl groups such as methoxycarbonyl and butoxycarbonyl; aryloxycarbonyl groups such as phenoxycarbonyl; alkenyloxycarbonyl groups such as an oxycarbonyl group and an allyloxycarbonyl group; acyl groups such as an acetyl group, a benzoyl group, an isobutyryl group, an acryloyl group, a methacryloyl group, and a methoxalyl group; a methylsulfanyl group and a tert-butylsulfanyl group; arylsulfanyl groups such as phenylsulfanyl group and p-tolylsulfanyl group; aliphatic secondary amino groups such as methylamino group and cyclohexylamino group; dimethylamino group, diethylamino group, morpholino group, and Aliphatic tertiary amino groups such as piperidino group; Aromatic secondary amino groups such as phenylamino group and p-tolylamino group; Alkyl groups such as methyl group, ethyl group, tert-butyl group, and dodecyl group; Phenyl group, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group, aryl group such as phenanthryl group; hydroxy group; carboxy group; sulfonamide group; formyl group; mercapto group; sulfo group; toluenesulfonyl group; primary amino group; nitroso group; halogenated alkyl group such as trifluoromethyl group and trichloromethyl group; trimethylsilyl group; phosphinico group; a dimethylsulfoniumyl group; a triphenylphenacylphosphoniumyl group; and the like.
s is preferably an integer of 3 or more and 5 or less, more preferably 3 or 4.
Figure 0007222626000006
(In the formula, RH each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group. R 21 , R 23 , R 25 , R 26 , R 27 , R 28 , R 30 , R 31 and R 32 each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, a nitro group, an alkyl group, a cycloalkyl group, an alkenyl group, or an alkynyl group, wherein R 22 , R 24 and R 29 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, represents a cycloalkyl group, an alkenyl group, or an alkynyl group, and each of R 21 to R 32 may be independently substituted with a halogen atom, a cyano group, or a nitro group;
R 21 and R 22 may combine with each other to form a ring. At least two R 21 may combine with each other to form a ring. R 23 and R 24 may combine with each other to form a ring. Two R 23 may combine with each other to form a ring. At least two R 25 may combine with each other to form a ring. At least two R 26 may combine with each other to form a ring. At least two R 27 may be bonded together to form a ring. R 28 and R 29 may combine with each other to form a ring. At least two R 28 may be bonded together to form a ring. At least two R 30 may be bonded together to form a ring. At least two R 31 may be bonded together to form a ring. At least two R 32 may be bonded together to form a ring. )

21~R32についてのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子が挙げられる。
、及びR21~R32についてのアルキル基としては、直鎖アルキル基であっても、分岐鎖アルキル基であってもよい。当該アルキル基の炭素原子数は特に限定されない。アルキル基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上10以下がより好ましく、1以上5以下が特に好ましい。
、及びR21~R32についてのアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基、イソペンチル基、tert-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基、2-エチル-n-ヘキシル基、n-ノニル基、n-デシル基、n-ウンデシル基、n-ドデシル基、n-トリデシル基、n-テトラデシル基、n-ペンタデシル基、n-ヘキサデシル基、n-ヘプタデシル基、n-オクタデシル基、n-ノナデシル基、及びn-イコシル基が挙げられる。
Halogen atoms for R 21 to R 32 include fluorine, chlorine, bromine, or iodine atoms.
The alkyl group for R H and R 21 to R 32 may be a straight-chain alkyl group or a branched-chain alkyl group. The number of carbon atoms in the alkyl group is not particularly limited. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less, and particularly preferably 1 or more and 5 or less.
Specific examples of alkyl groups for R H and R 21 to R 32 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group and tert-butyl group. , n-pentyl group, isopentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, 2-ethyl-n-hexyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n- undecyl group, n-dodecyl group, n-tridecyl group, n-tetradecyl group, n-pentadecyl group, n-hexadecyl group, n-heptadecyl group, n-octadecyl group, n-nonadecyl group, and n-icosyl group. be done.

21~R32についてのシクロアルキル基としては、炭素原子数5以上30以下のシクロアルキル基が好ましい。シクロアルキル基の具体例としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等が挙げられる。
21~R32についてのアルケニル基としては、炭素原子数2以上10以下のアルケニル基が好ましい。アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、及びスチリル基等が挙げられる。
21~R32についてのアルキニル基としては、炭素原子数2以上10以下のアルキニル基が好ましい。アルキニル基の具体例としては、エチニル基、プロピニル基、及びプロパルギル基等が挙げられる。
The cycloalkyl group for R 21 to R 32 is preferably a cycloalkyl group having 5 or more and 30 or less carbon atoms. Specific examples of cycloalkyl groups include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group.
The alkenyl group for R 21 to R 32 is preferably an alkenyl group having 2 or more and 10 or less carbon atoms. Specific examples of alkenyl groups include vinyl groups, allyl groups, and styryl groups.
The alkynyl group for R 21 to R 32 is preferably an alkynyl group having 2 or more and 10 or less carbon atoms. Specific examples of alkynyl groups include ethynyl, propynyl, and propargyl groups.

第1の態様に係る組成物中、上記塩は、1種単独又は2種以上を含んでいてもよい。
上記塩は、上記式(1)における4価の有機基Aに4個の-COOHが直接若しくは連結基を介して結合しているテトラカルボン酸化合物と、上記含窒素複素環化合物(M)とを任意の条件にて混合して反応(例えば、中和反応)することにより製造することができる。
In the composition according to the first aspect, the salt may be contained singly or in combination of two or more.
The salt is a tetracarboxylic acid compound in which four —COOH are bonded directly or via a linking group to the tetravalent organic group A in the formula (1), and the nitrogen-containing heterocyclic compound (M). can be produced by mixing and reacting (for example, neutralization reaction) under arbitrary conditions.

第1の態様に係る組成物における、上記式(1)で表される塩の含有量としては特に制限はないが、第1の態様に係る組成物全体に対して、0.01質量%以上80質量%以下であることが好ましく、0.1質量%以上50質量%以下であることがより好ましく、0.5質量%以上30質量%以下であることが更に好ましく、1質量%以上15質量%以下であることが特に好ましい。また、第1の態様に係る組成物全体(溶剤を除く)に対して、0.1質量%以上80質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上70質量%以下であることがより好ましく、1質量%以上60質量%以下であることが更に好ましい。
また、下記ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とからなるモノマー成分、ポリアミック酸及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体ないしは樹脂の質量に対する上記塩の質量の割合が1質量%以上50質量%以下であることが好ましく、5質量%以上30質量%以下であることがより好ましく、7質量%以上20質量%以下であることがより好ましい。
The content of the salt represented by the above formula (1) in the composition according to the first aspect is not particularly limited, but is 0.01% by mass or more with respect to the entire composition according to the first aspect. It is preferably 80% by mass or less, more preferably 0.1% by mass or more and 50% by mass or less, even more preferably 0.5% by mass or more and 30% by mass or less, and 1% by mass or more and 15% by mass. % or less is particularly preferred. Further, it is preferably 0.1% by mass or more and 80% by mass or less, and preferably 0.5% by mass or more and 70% by mass or less, relative to the entire composition (excluding the solvent) according to the first aspect. More preferably, it is 1% by mass or more and 60% by mass or less.
In addition, the ratio of the mass of the salt to the mass of at least one resin precursor or resin selected from the group consisting of a monomer component consisting of the following diamine component and a tetracarboxylic dianhydride component, polyamic acid and polyimide is 1 mass. % or more and 50 mass % or less, more preferably 5 mass % or more and 30 mass % or less, and more preferably 7 mass % or more and 20 mass % or less.

<ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とからなるモノマー成分、ポリアミック酸及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体ないしは樹脂>
第1の態様に係る組成物は、本発明の効果をより確実に達成する観点から、ジアミン化合物とテトラカルボン酸二無水物とからなるモノマー成分、ポリアミック酸(D)及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体ないしは樹脂を更に含むことが好ましく、ポリアミック酸(D)を更に含むことがより好ましい。
ポリアミック酸(D)は、組成物を硬化させた際に生成するポリイミドの樹脂前駆体である。ポリアミック酸(D)は、通常、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物とからなるモノマー成分を縮合することにより得ることができる。
ポリアミック酸は、下記式(d1)で表される構造単位を有し得る。

Figure 0007222626000007
(式(d1)中、Dは炭素原子数6以上50以下の4価の有機基であり、Bは2価の有機基である。) <At least one resin precursor or resin selected from the group consisting of a monomer component consisting of a diamine component and a tetracarboxylic dianhydride component, a polyamic acid, and a polyimide>
The composition according to the first aspect is selected from the group consisting of a monomer component consisting of a diamine compound and a tetracarboxylic dianhydride, a polyamic acid (D), and a polyimide, from the viewpoint of achieving the effects of the present invention more reliably. It is preferable to further contain at least one resin precursor or resin, and it is more preferable to further contain polyamic acid (D).
Polyamic acid (D) is a polyimide resin precursor that is produced when the composition is cured. Polyamic acid (D) can usually be obtained by condensing a monomer component consisting of a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound.
A polyamic acid may have a structural unit represented by the following formula (d1).
Figure 0007222626000007
(In formula (d1), D is a tetravalent organic group having 6 to 50 carbon atoms, and B is a divalent organic group.)

以下、ポリアミック酸(D)の製造に用いられる、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物と、ポリアミック酸(D)の製造方法とについて以下説明する。 The tetracarboxylic dianhydride, the diamine compound, and the method for producing the polyamic acid (D), which are used in the production of the polyamic acid (D), are described below.

〔テトラカルボン酸二無水物〕
式(d1)で表される構造単位を生成させるテトラカルボン酸二無水物は、下記式(d1-1)で表される。
式(d1-1)で表されるテトラカルボン酸二無水物は、後述のジアミン化合物と反応して、式(d1)で表される構造単位を有するポリアミック酸(D)を与える。かかるテトラカルボン酸二無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。

Figure 0007222626000008
(式(d1-1)中、Dは炭素原子数6以上50以下の4価の有機基である。) [Tetracarboxylic dianhydride]
A tetracarboxylic dianhydride that produces a structural unit represented by formula (d1) is represented by the following formula (d1-1).
A tetracarboxylic dianhydride represented by the formula (d1-1) reacts with a diamine compound described later to give a polyamic acid (D) having a structural unit represented by the formula (d1). Such tetracarboxylic dianhydrides may be used singly or in combination of two or more.
Figure 0007222626000008
(In formula (d1-1), D is a tetravalent organic group having 6 to 50 carbon atoms.)

式(d1-1)中、Dは、炭素原子数6以上50以下の4価の有機基であり、式(d1-1)における2個の-CO-O-CO-で表される酸無水物基の他に、1又は複数の置換基を有していてもよい。
置換基の好適な例としては、フッ素原子、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルキル基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルコキシ基が好ましく、また、式(d1-1)に表される酸無水物基の他にカルボキシ基、カルボン酸エステル基を含んでいてもよい。
置換基がフッ素化アルキル基又はフッ素化アルコキシ基である場合、パーフルオロアルキル基又はパーフルオロアルコキシ基であるのが好ましい。
以上の置換基については、後述の芳香族基が芳香環上に有していてもよい1又は複数の置換基についても同様のことがいえる。
In formula (d1-1), D is a tetravalent organic group having 6 to 50 carbon atoms, and an acid anhydride represented by two -CO-O-CO- in formula (d1-1) In addition to the physical group, it may have one or more substituents.
Preferable examples of the substituent include a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and the number of carbon atoms. A fluorinated alkoxy group of 1 to 6 is preferred, and may contain a carboxy group and a carboxylate group in addition to the acid anhydride group represented by formula (d1-1).
When the substituent is a fluorinated alkyl group or fluorinated alkoxy group, it is preferably a perfluoroalkyl group or perfluoroalkoxy group.
The same applies to the substituents described above and one or more substituents that the aromatic group described later may have on the aromatic ring.

式(d1-1)中、Dは4価の有機基であり、その炭素原子数の下限値は6であり、上限値は50である。
Dを構成する炭素原子数は8以上がより好ましく、12以上が更に好ましい。また、Dを構成する炭素原子数は40以下がより好ましく、30が更に好ましい。Dは、脂肪族基であっても、芳香族基であっても、これらの構造を組合せた基であってもよい。Dは、炭素原子、及び水素原子の他に、ハロゲン原子、酸素原子、及び硫黄原子を含んでいてもよい。Dが酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子を含む場合、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子は、含窒素複素環基、-CONH-、-NH-、-N=N-、-CH=N-、-COO-、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-から選択される基として、Dに含まれてもよく、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-から選択される基として、Dに含まれることがより好ましい。
In formula (d1-1), D is a tetravalent organic group with a lower limit of 6 carbon atoms and an upper limit of 50 carbon atoms.
The number of carbon atoms constituting D is more preferably 8 or more, still more preferably 12 or more. Moreover, the number of carbon atoms constituting D is more preferably 40 or less, and still more preferably 30. D may be an aliphatic group, an aromatic group, or a group combining these structures. D may contain a halogen atom, an oxygen atom and a sulfur atom in addition to a carbon atom and a hydrogen atom. When D contains an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom, the oxygen atom, the nitrogen atom, or the sulfur atom is a nitrogen-containing heterocyclic group, -CONH-, -NH-, -N=N-, -CH=N -, -COO-, -O-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S-, and -S-S- may be included in D as a group selected from -O D is more preferably included as a group selected from -, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S- and -S-S-.

テトラカルボン酸二無水物は、従来からポリアミック酸の合成原料として使用されているテトラカルボン酸二無水物から適宜選択することができる。テトラカルボン酸二無水物は、脂肪族テトラカルボン酸二無水物であっても、芳香族テトラカルボン酸二無水物であってもよい。 The tetracarboxylic dianhydride can be appropriately selected from tetracarboxylic dianhydrides conventionally used as raw materials for synthesizing polyamic acids. The tetracarboxylic dianhydride may be either an aliphatic tetracarboxylic dianhydride or an aromatic tetracarboxylic dianhydride.

脂肪族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシ)プロパン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシ)メタン二無水物等が挙げられる。また、脂肪族テトラカルボン酸二無水物は、脂環式構造を含有してもよい。該脂環式構造は多環式であってもよい。多環式の脂環式構造としては、例えば、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン等の橋かけ脂環式構造等が挙げられる。例えば、橋かけ脂環式構造は、他の橋かけ脂環式構造及び/又は非橋かけ脂環式構造と縮合していてもよいし、橋かけ脂環式構造が他の橋かけ脂環式構造及び/又は非橋かけ脂環式構造とスピロ結合により連結していてもよい。脂肪族テトラカルボン酸二無水物を用いる場合、組成物を用いて透明性に優れる硬化物を得やすい傾向がある。 Examples of aliphatic tetracarboxylic dianhydrides include 2,2-bis(3,4-dicarboxy)propane dianhydride and bis(3,4-dicarboxy)methane dianhydride. Moreover, the aliphatic tetracarboxylic dianhydride may contain an alicyclic structure. The alicyclic structure may be polycyclic. Examples of polycyclic alicyclic structures include bridged alicyclic structures such as bicyclo[2.2.1]heptane. For example, a bridged alicyclic structure may be fused with another bridged alicyclic structure and/or a non-bridged alicyclic structure, or a bridged alicyclic structure may It may be connected to the formula structure and/or the non-bridged alicyclic structure by a spiro bond. When an aliphatic tetracarboxylic dianhydride is used, there is a tendency to easily obtain a cured product having excellent transparency using the composition.

また、式(d1-1)におけるDを構成する脂肪族基としては、例えば、以下の式(d2)で示される4価の基を採用することができる。このような基を用いた場合、透明性のあるポリイミド膜を得やすい傾向がある。
なお、原料化合物の精製が容易である点から、式(d2)中のdは5以下が好ましく、3以下がより好ましい。また、式(d1)で表される構造単位を与える原料化合物の化学的安定性が優れることから、dは1以上が好ましく、2以上がより好ましい。
式(d2)中のdは、2又は3が特に好ましい。

Figure 0007222626000009
(式(d2)中、Rd11、Rd12、及びRd13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上5以下のアルキル基及びフッ素原子からなる群より選択される1種であり、dは0以上12以下の整数である。) As the aliphatic group constituting D in formula (d1-1), for example, a tetravalent group represented by formula (d2) below can be employed. When such a group is used, there is a tendency to easily obtain a transparent polyimide film.
Note that d in the formula (d2) is preferably 5 or less, more preferably 3 or less, from the viewpoint of facilitating purification of the raw material compound. Further, d is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, because the chemical stability of the raw material compound that provides the structural unit represented by formula (d1) is excellent.
2 or 3 is particularly preferable for d in the formula (d2).
Figure 0007222626000009
(in formula (d2), R d11 , R d12 and R d13 are each independently one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms and a fluorine atom; d is an integer from 0 to 12.)

芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、3,3’,4,4’-オキシビスフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。 Examples of aromatic tetracarboxylic dianhydrides include pyromellitic dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride, 3,3′,4,4′-oxy bisphthalic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3′,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4, 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride and the like.

芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、また、例えば、下記一般式(d1-2)~(d1-4)で表される化合物であってもよい。

Figure 0007222626000010
The aromatic tetracarboxylic dianhydride may also be, for example, compounds represented by the following general formulas (d1-2) to (d1-4).
Figure 0007222626000010

上記式(d1-2)及び(d1-3)において、Rd1、Rd2及びRd3は、それぞれ、ハロゲンで置換されていてもよい脂肪族基、酸素原子、硫黄原子、1つ以上の2価元素を介した芳香族基のいずれかであるか、又はそれらの組み合わせによって構成される2価の基を示す。Rd2及びRd3は、同一であっても異なっていてもよい。
すなわち、Rd1、Rd2及びRd3は、炭素-炭素の一重結合、炭素-酸素-炭素のエーテル結合又はハロゲン元素(フッ素、塩素、臭素、ヨウ素)を含んでいてもよく、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)プロパン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物等が挙げられる。
In the above formulas (d1-2) and (d1-3), R d1 , R d2 and R d3 are each an optionally halogen-substituted aliphatic group, an oxygen atom, a sulfur atom, one or more 2 A divalent group that is either an aromatic group via a valence element or is composed of a combination thereof. R d2 and R d3 may be the same or different.
That is, R d1 , R d2 and R d3 may contain a carbon-carbon single bond, a carbon-oxygen-carbon ether bond or a halogen element (fluorine, chlorine, bromine, iodine), 2,2- bis(3,4-dicarboxyphenoxy)propane dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride and the like.

また、上記式(d1-4)において、Rd4、Rd5はハロゲンで置換されていてもよい脂肪族基、1つ以上の2価元素を介した芳香族基、ハロゲンのいずれかであるか、又はそれらの組み合わせによって構成される1価の置換基を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、ジフルオロピロメリット酸二無水物、ジクロロピロメリット酸二無水物等も用いることができる。 In the above formula (d1-4), R d4 and R d5 are either an aliphatic group optionally substituted with halogen, an aromatic group via one or more divalent elements, or halogen. , or a monovalent substituent constituted by a combination thereof, which may be the same or different, and difluoropyromellitic dianhydride, dichloropyromellitic dianhydride, etc. can also be used. .

分子構造内にフッ素を含有する含フッ素ポリイミドを得るためのテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、ジ(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、ジ(ヘプタフルオロプロピル)ピロメリット酸二無水物、ペンタフルオロエチルピロメリット酸二無水物、ビス{3,5-ジ(トリフルオロメチル)フェノキシ}ピロメリット酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、5,5’-ビス(トリフルオロメチル)-3,3’,4,4’-テトラカルボキシビフェニル二無水物、2,2’,5,5’-テトラキス(トリフルオロメチル)-3,3’,4,4’-テトラカルボキシビフェニル二無水物、5,5’-ビス(トリフルオロメチル)-3,3’,4,4’-テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物、5,5’-ビス(トリフルオロメチル)-3,3’,4,4’-テトラカルボキシベンゾフェノン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ベンゼン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、2,2-ビス{4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビフェニル二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ジフェニルエーテル二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル二無水物、ジフルオロピロメリット酸二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシトリフルオロフェノキシ)テトラフルオロベンゼン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシトリフルオロフェノキシ)オクタフルオロビフェニル二無水物等が挙げられる。 Examples of tetracarboxylic dianhydrides for obtaining fluorine-containing polyimides containing fluorine in the molecular structure include (trifluoromethyl)pyromellitic dianhydride and di(trifluoromethyl)pyromellitic dianhydride. , di(heptafluoropropyl)pyromellitic dianhydride, pentafluoroethylpyromellitic dianhydride, bis{3,5-di(trifluoromethyl)phenoxy}pyromellitic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl)hexafluoropropane dianhydride, 5,5′-bis(trifluoromethyl)-3,3′,4,4′-tetracarboxybiphenyl dianhydride, 2,2′, 5,5′-tetrakis(trifluoromethyl)-3,3′,4,4′-tetracarboxybiphenyl dianhydride, 5,5′-bis(trifluoromethyl)-3,3′,4,4′ -tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 5,5′-bis(trifluoromethyl)-3,3′,4,4′-tetracarboxybenzophenone dianhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}benzene di anhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}(trifluoromethyl)benzene dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)(trifluoromethyl)benzene dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)bis(trifluoro methyl)benzene dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)tetrakis(trifluoromethyl)benzene dianhydride, 2,2-bis{4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl}hexafluoropropane dianhydride, Bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}biphenyl dianhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}bis(trifluoromethyl)biphenyl dianhydride, bis{(trifluoromethyl)dicarboxyphenoxy}diphenyl ether dianhydride, bis(dicarboxyphenoxy)bis(trifluoromethyl)biphenyl dianhydride, difluoropyromellitic dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxytrifluorophenoxy)tetrafluorobenzene dianhydride and 1,4-bis(3,4-dicarboxytrifluorophenoxy)octafluorobiphenyl dianhydride.

テトラカルボン酸二無水物としては、得られる膜又は成形体の耐熱性、引張伸度及び耐薬品性等を考慮した場合、芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いることが好ましく、価格、入手容易性等から、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及びピロメリット酸二無水物を用いることが好ましい。
なお、これらと同じ基本骨格を有するテトラカルボン酸の酸塩化物、エステル化物等も、用いることができる。
As the tetracarboxylic dianhydride, considering the heat resistance, tensile elongation, chemical resistance, etc. of the resulting film or molded article, it is preferable to use an aromatic tetracarboxylic dianhydride, which is easy to obtain and inexpensive. 3,3′,4,4′-Biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride are preferably used in view of their properties and the like.
Incidentally, tetracarboxylic acid acid chlorides, esterified products, etc. having the same basic skeleton as these can also be used.

本実施形態において、テトラカルボン酸二無水物は、ジカルボン酸無水物と併用してもよい。これらのカルボン酸無水物を併用すると、得られるポリイミド樹脂等のイミド環含有ポリマーの特性が更に良好となる場合がある。ジカルボン酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸、cis-4-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物等が挙げられる。 In this embodiment, the tetracarboxylic dianhydride may be used in combination with the dicarboxylic anhydride. When these carboxylic acid anhydrides are used in combination, the properties of the obtained imide ring-containing polymer such as polyimide resin may be further improved. Examples of dicarboxylic anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, glutaric anhydride, cis-4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride and the like.

〔ジアミン化合物〕
ジアミン化合物は、下記式(d3-1)で表される化合物を典型的に用いることができる。ジアミン化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
N-B-NH・・・(d3-1)
(式(d3-1)中、Bは2価の有機基を表す。)
[Diamine compound]
A compound represented by the following formula (d3-1) can typically be used as the diamine compound. A diamine compound may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
H 2 NB-NH 2 (d3-1)
(In formula (d3-1), B represents a divalent organic group.)

式(d3-1)中、Bは、2価の有機基であり、式(d3-1)における2つのアミノ基の他に、1又は複数の置換基を有していてもよい。
置換基の好適な例としては、フッ素原子、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルキル基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルコキシ基又は水酸基が好ましい。
置換基がフッ素化アルキル基又はフッ素化アルコキシ基である場合、パーフルオロアルキル基又はパーフルオロアルコキシ基であるのが好ましい。
In formula (d3-1), B is a divalent organic group, which may have one or more substituents in addition to the two amino groups in formula (d3-1).
Preferable examples of the substituent include a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and the number of carbon atoms. 1 to 6 fluorinated alkoxy groups or hydroxyl groups are preferred.
When the substituent is a fluorinated alkyl group or fluorinated alkoxy group, it is preferably a perfluoroalkyl group or perfluoroalkoxy group.

式(d3-1)中、Bとしての有機基の炭素原子数の下限値は2が好ましく、6がより好ましく、上限値として50が好ましく、30がより好ましい。
Bは、脂肪族基であってもよいが、1以上の芳香環を含む有機基であることが好ましい。
In formula (d3-1), the lower limit of the number of carbon atoms in the organic group as B is preferably 2, more preferably 6, and the upper limit is preferably 50, more preferably 30.
B may be an aliphatic group, but is preferably an organic group containing one or more aromatic rings.

Bが1以上の芳香環を含む有機基である場合、当該有機基は、1の芳香族基そのものであってもよく、2以上の芳香族基が、脂肪族炭化水素基及びハロゲン化脂肪族炭化水素基や、酸素原子、硫黄原子、及び窒素原子等のヘテロ原子を含む結合を介して結合された基であってもよい。Bに含まれる、酸素原子、硫黄原子、及び窒素原子等のヘテロ原子を含む結合としては、-CONH-、-NH-、-N=N-、-CH=N-、-COO-、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-等が挙げられ、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-が好ましい。 When B is an organic group containing one or more aromatic rings, the organic group may be one aromatic group itself, and the two or more aromatic groups are aliphatic hydrocarbon groups and halogenated aliphatic It may be a hydrocarbon group or a group bonded via a bond containing a heteroatom such as an oxygen atom, a sulfur atom, or a nitrogen atom. Bonds containing heteroatoms such as oxygen atoms, sulfur atoms, and nitrogen atoms contained in B include -CONH-, -NH-, -N=N-, -CH=N-, -COO-, -O -, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S-, and -S-S-, and -O-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S- , and -SS- are preferred.

B中のアミノ基と結合する芳香環はベンゼン環であることが好ましい。B中のアミノ基と結合する環が2以上の環を含む縮合環である場合、当該縮合環中のアミノ基と結合する環はベンゼン環であることが好ましい。
また、Bに含まれる芳香環は、芳香族複素環であってもよい。
The aromatic ring bonded to the amino group in B is preferably a benzene ring. When the ring bonded to the amino group in B is a condensed ring containing two or more rings, the ring bonded to the amino group in the condensed ring is preferably a benzene ring.
Moreover, the aromatic ring contained in B may be an aromatic heterocyclic ring.

Bが芳香族環を含む有機基である場合、樹脂組成物を用いて形成される硬化物の耐熱性の点から、当該有機基は下記式(21)~(24)で表される基のうちの少なくとも1種であることが好ましい。

Figure 0007222626000011
(式(21)~(24)中、R111は、水素原子、フッ素原子、水酸基、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、及び炭素原子数1以上4以下のハロゲン化アルキル基よりなる群から選択される1種を示す。式(24)中、Qは、9,9’-フルオレニリデン基、又は、式:-C-、-CONH-C-NHCO-、-NHCO-C-CONH-、-O-C-CO-C-O-、-OCO-C-COO-、-OCO-C-C-COO-、-OCO-、-O-、-S-、-CO-、-CONH-、-SO-、-C(CF-、-C(CH-、-CH-、-O-C-C(CH-C-O-、-O-C-C(CF-C-O-、-O-C-SO-C-O-、-C(CH-C-C(CH-、-O-C10-O-、-O-C-C-O-、及び-O-C-O-で表される基よりなる群から選択される1種を示す。
Qの例示における、-C-はフェニレン基であり、m-フェニレン基、及びp-フェニレン基が好ましく、p-フェニレン基がより好ましい。また、-C10-は、ナフタレンジイル基であり、ナフタレン-1,2-ジイル基、ナフタレン-1,4-ジイル基、ナフタレン-2,3-ジイル基、ナフタレン-2,6-ジイル基、及びナフタレン-2,7-ジイル基が好ましく、ナフタレン-1,4-ジイル基、及びナフタレン-2,6-ジイル基がより好ましい。) When B is an organic group containing an aromatic ring, the organic group is a group represented by the following formulas (21) to (24) from the viewpoint of heat resistance of the cured product formed using the resin composition. At least one of them is preferred.
Figure 0007222626000011
(In formulas (21) to (24), R 111 is a group consisting of a hydrogen atom, a fluorine atom, a hydroxyl group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and a halogenated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. wherein Q is a 9,9′-fluorenylidene group or a formula: —C 6 H 4 —, —CONH—C 6 H 4 —NHCO—, —NHCO -C6H4 - CONH- , -O- C6H4 -CO - C6H4 - O- , -OCO- C6H4 - COO-, -OCO- C6H4 - C6H4 -COO-, -OCO-, -O-, -S-, -CO-, -CONH-, -SO2- , -C( CF3 ) 2- , -C( CH3 ) 2- , -CH2 -, -OC 6 H 4 -C(CH 3 ) 2 -C 6 H 4 -O-, -OC 6 H 4 -C(CF 3 ) 2 -C 6 H 4 -O-, -O —C 6 H 4 —SO 2 —C 6 H 4 —O—, —C(CH 3 ) 2 —C 6 H 4 —C(CH 3 ) 2 —, —O—C 10 H 6 —O—, — One selected from the group consisting of groups represented by OC 6 H 4 -C 6 H 4 -O- and -OC 6 H 4 -O-.
—C 6 H 4 — in the examples of Q is a phenylene group, preferably an m-phenylene group and a p-phenylene group, more preferably a p-phenylene group. -C 10 H 6 - is a naphthalene diyl group, naphthalene-1,2-diyl group, naphthalene-1,4-diyl group, naphthalene-2,3-diyl group, naphthalene-2,6-diyl and naphthalene-2,7-diyl groups are preferred, and naphthalene-1,4-diyl groups and naphthalene-2,6-diyl groups are more preferred. )

式(21)~(24)中のR111としては、形成される硬化物の耐熱性の観点から、水素原子、水酸基、フッ素原子、メチル基、エチル基、又はトリフルオロメチル基がより好ましく、水素原子、水酸基、又はトリフルオロメチル基が特に好ましい。 R 111 in formulas (21) to (24) is more preferably a hydrogen atom, a hydroxyl group, a fluorine atom, a methyl group, an ethyl group, or a trifluoromethyl group from the viewpoint of the heat resistance of the cured product to be formed. A hydrogen atom, a hydroxyl group, or a trifluoromethyl group is particularly preferred.

式(24)中のQとしては、形成される硬化物の耐熱性の点から、9,9’-フルオレニリデン基、-O-C-O-、-C(CF-、-O-、-C(CH-、-CH-、又は-O-C-C(CH-C-O-、-CONH-が好ましく、-O-C-O-、-C(CF-又は-O-が特に好ましい。 Q in the formula (24) is a 9,9′-fluorenylidene group, —O—C 6 H 4 —O—, —C(CF 3 ) 2 —, from the viewpoint of heat resistance of the cured product to be formed. -O-, -C(CH 3 ) 2 -, -CH 2 -, or -O-C 6 H 4 -C(CH 3 ) 2 -C 6 H 4 -O-, -CONH- is preferred, and -O —C 6 H 4 —O—, —C(CF 3 ) 2 — or —O— are particularly preferred.

式(d3-1)で表されるジアミン化合物として芳香族ジアミンを用いる場合、例えば、以下に示される芳香族ジアミンを好適に用いることができる。
すなわち、芳香族ジアミンとしては、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノトルエン、4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、3,3’-ジアミノジフェニルスルフォン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフォン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-アミノ-3-メチルフェニル)フルオレン、及び4,4’-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエタン-1,1-ジイル)]ジアニリン等が挙げられる。これらの中では、価格、入手容易性等から、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノトルエン、及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルが好ましい。
When an aromatic diamine is used as the diamine compound represented by formula (d3-1), for example, aromatic diamines shown below can be preferably used.
That is, aromatic diamines include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 4,4′-diaminobiphenyl, 4,4′-diamino-2,2′-bis(trifluoromethyl ) biphenyl, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′ -diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene , 4,4′-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, 2,2-bis[4 -(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 9,9-bis(4-aminophenyl)fluorene, 9,9-bis( 4-amino-3-methylphenyl)fluorene, 4,4′-[1,4-phenylenebis(1-methylethane-1,1-diyl)]dianiline and the like. Among these, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, and 4,4'-diaminodiphenyl ether are preferred in terms of price, availability, and the like.

また、Bとしては、鎖状の脂肪族基及び/又は芳香族環を有していてもよいケイ素原子含有基を採用することができる。このようなケイ素原子含有基としては、典型的には、以下に示される基を用いることができる。

Figure 0007222626000012
Moreover, as B, a silicon atom-containing group which may have a chain aliphatic group and/or an aromatic ring can be employed. As such a silicon atom-containing group, typically the groups shown below can be used.
Figure 0007222626000012

また、得られる硬化物の機械特性を更に向上させる観点から、Bとして、以下の式(Si-1)で表される基も好ましく用いることができる。

Figure 0007222626000013
(式(Si-1)中、R112及びR113は、それぞれ独立に、単結合又はメチレン基、炭素原子数2以上20以下のアルキレン基、炭素原子数3以上20以下のシクロアルキレン基、又は炭素原子数6以上20以下のアリーレン基等であり、R114、R115、R116、及びR117は、それぞれ独立に、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数3以上20以下のシクロアルキル基、炭素原子数6以上20以下のアリール基、炭素原子数20以下のアミノ基を含む基、-O-R118で表される基(R118は炭素原子数1以上20以下の炭化水素基)、炭素原子数2以上20以下の1以上のエポキシ基を含む有機基であり、lは、3以上50以下の整数である。) In addition, from the viewpoint of further improving the mechanical properties of the resulting cured product, as B, a group represented by the following formula (Si-1) can also be preferably used.
Figure 0007222626000013
(In formula (Si-1), R 112 and R 113 are each independently a single bond or a methylene group, an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, etc., wherein R 114 , R 115 , R 116 , and R 117 are each independently an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and 3 to 20 carbon atoms; cycloalkyl group, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, a group containing an amino group having 20 or less carbon atoms, a group represented by —OR 118 (R 118 has 1 to 20 carbon atoms hydrocarbon group), an organic group containing one or more epoxy groups having 2 to 20 carbon atoms, and l is an integer of 3 to 50.)

式(Si-1)中のR112及びR113における、炭素原子数2以上20以下のアルキレン基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数2以上10以下のアルキレン基が好ましく、ジメチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基等が挙げられる。 The alkylene group having 2 to 20 carbon atoms in R 112 and R 113 in formula (Si-1) is preferably an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress, and dimethylene. group, trimethylene group, tetramethylene group, pentamethylene group, hexamethylene group and the like.

式(Si-1)中のR112及びR113における、炭素原子数3以上20以下のシクロアルキレン基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数3以上10以下のシクロアルキレン基が好ましく、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロヘプチレン基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR112及びR113における、炭素原子数6以上20以下のアリーレン基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数6以上20以下の芳香族基が好ましく、フェニレン基、ナフチレン基等が挙げられる。
The cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms in R 112 and R 113 in formula (Si-1) is preferably a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress. , cyclobutylene group, cyclopentylene group, cyclohexylene group, cycloheptylene group and the like.
The arylene group having 6 to 20 carbon atoms in R 112 and R 113 in formula (Si-1) is preferably an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress. Examples include a phenylene group and a naphthylene group.

式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数1以上20以下のアルキル基としては、耐熱性と残留応力の観点から炭素原子数1以上10以下のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR113、R115、R116、及びR117における炭素原子数3以上20以下のシクロアルキル基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数3以上10以下のシクロアルキル基が好ましく、具体的には、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数6以上20以下のアリール基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数6以上12以下のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、トリル基、ナフチル基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数20以下のアミノ基を含む基としては、アミノ基、置換したアミノ基(例えば、ビス(トリアルキルシリル)アミノ基)等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における-O-R118で表される基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、フェノキシ基、トリルオキシ基、ナフチルオキシ基、プロペニルオキシ基(例えば、アリルオキシ基)、及びシクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。
中でも、R114、R115、R116、及びR117として、好ましくは、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基である。
The alkyl group having 1 to 20 carbon atoms in R 114 , R 115 , R 116 and R 117 in formula (Si-1) is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress. Alkyl groups are preferred, and specific examples include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, tert-butyl, pentyl, and hexyl groups.
The cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms in R 113 , R 115 , R 116 and R 117 in formula (Si-1) has 3 to 10 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress. is preferred, and specific examples include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, and the like.
The aryl group having 6 to 20 carbon atoms in R 114 , R 115 , R 116 and R 117 in formula (Si-1) is an aryl group having 6 to 12 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress. An aryl group is preferred, and specific examples include a phenyl group, a tolyl group, a naphthyl group and the like.
Examples of amino group-containing groups having 20 or less carbon atoms for R 114 , R 115 , R 116 and R 117 in formula (Si-1) include amino groups and substituted amino groups (eg, bis(trialkylsilyl ) amino group) and the like.
The groups represented by —OR 118 in R 114 , R 115 , R 116 and R 117 in formula (Si-1) include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropyloxy, butoxy, phenoxy group, tolyloxy group, naphthyloxy group, propenyloxy group (eg, allyloxy group), cyclohexyloxy group and the like.
Among them, R 114 , R 115 , R 116 and R 117 are preferably methyl group, ethyl group, propyl group and phenyl group.

式(Si-1)で表される基は、両末端にアミノ基を有するケイ素含有化合物を酸無水物に対して作用させることで導くことができる。このようなケイ素含有化合物の具体例としては、両末端アミノ変性メチルフェニルシリコーン(例えば信越化学社製の、X-22-1660B-3(数平均分子量4,400程度)及びX-22-9409(数平均分子量1,300程度))、両末端アミノ変性ジメチルシリコーン(例えば信越化学社製の、X-22-161A(数平均分子量1,600程度)、X-22-161B(数平均分子量3,000程度)及びKF8012(数平均分子量4,400程度);東レダウコーニング製のBY16-835U(数平均分子量900程度);並びにJNC社製のサイラプレーンFM3311(数平均分子量1000程度))等が挙げられる。 The group represented by formula (Si-1) can be derived by reacting an acid anhydride with a silicon-containing compound having amino groups at both ends. Specific examples of such silicon-containing compounds include both terminal amino-modified methylphenyl silicones (for example, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., X-22-1660B-3 (number average molecular weight of about 4,400) and X-22-9409 ( number average molecular weight of about 1,300)), amino-modified dimethyl silicone at both ends (for example, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., X-22-161A (number average molecular weight of about 1,600), X-22-161B (number average molecular weight of about 3, 000) and KF8012 (number average molecular weight of about 4,400); BY16-835U manufactured by Toray Dow Corning (number average molecular weight of about 900); and JNC Silaplane FM3311 (number average molecular weight of about 1000)). be done.

〔ポリアミック酸(D)の製造方法〕
式(d1)で表される構造単位を有するポリアミック酸(D)は、典型的には、上述の式(d1-1)で表されるテトラカルボン酸二無水物と、上述の式(d3-1)で表されるジアミン化合物とを溶剤中で反応させて得られるポリマーであり、ジアミン化合物及び/又はテトラカルボン酸二無水物をそれぞれ1種又は2種類以上を用いて得られるポリマーであってもよい。例えば、ジアミン化合物と2種類以上のテトラカルボン酸二無水物を含む混合物とを重縮合して得られるポリマーであってもよい。また、ポリアミック酸(D)は、単独で又は2種以上を混合して用いることができる。
[Method for producing polyamic acid (D)]
Polyamic acid (D) having a structural unit represented by formula (d1) is typically a tetracarboxylic dianhydride represented by the above formula (d1-1) and the above formula (d3- 1) is a polymer obtained by reacting a diamine compound represented by 1) in a solvent, and is a polymer obtained by using one or more kinds of diamine compounds and/or tetracarboxylic dianhydrides, respectively, good too. For example, it may be a polymer obtained by polycondensation of a diamine compound and a mixture containing two or more tetracarboxylic dianhydrides. Moreover, polyamic acid (D) can be used individually or in mixture of 2 or more types.

ポリアミック酸(D)を合成する際の、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン化合物の使用量は特に限定されないが、テトラカルボン酸二無水物1モルに対して、ジアミン化合物を0.50モル以上1.50モル以下用いることが好ましく、0.60モル以上1.30モル以下用いることがより好ましく、0.70モル以上1.20モル以下用いることが特に好ましい。
また、得られるポリミック酸(D)の重量平均分子量は、その用途にあわせて適宜設定すればよいが、例えば5000以上であり、7500以上が好ましく、10000以上がより好ましい。一方、得られるポリミック酸(D)の重量平均分子量は、例えば100000以下であり、80000以下が好ましく、75000以下がより好ましい。
この重量平均分子量は、テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物の配合量や、溶媒や反応温度等の反応条件を調整して、上述の値とすればよい。
The amount of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound used when synthesizing the polyamic acid (D) is not particularly limited, but the diamine compound is 0.50 mol or more per 1 mol of the tetracarboxylic dianhydride. It is preferably used in an amount of 0.50 mol or less, more preferably 0.60 mol or more and 1.30 mol or less, and particularly preferably 0.70 mol or more and 1.20 mol or less.
The weight-average molecular weight of the obtained polymic acid (D) may be appropriately set according to its use, and is, for example, 5,000 or more, preferably 7,500 or more, and more preferably 10,000 or more. On the other hand, the weight average molecular weight of the resulting polymic acid (D) is, for example, 100,000 or less, preferably 80,000 or less, and more preferably 75,000 or less.
The weight-average molecular weight may be set to the value described above by adjusting the compounding amounts of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound, and the reaction conditions such as the solvent and the reaction temperature.

テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応は、通常、有機溶剤中で行われる。テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応に使用される有機溶剤は、テトラカルボン酸二酸無水物及びジアミン化合物を溶解させることができ、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン化合物と反応しない有機溶剤であれば特に限定されない。有機溶剤は単独で又は2種以上を混合して用いることができる。 The reaction between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is usually carried out in an organic solvent. The organic solvent used for the reaction of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is an organic solvent capable of dissolving the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound and not reacting with the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound. There is no particular limitation as long as it is a solvent. An organic solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応に用いる有機溶剤の例としては、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチルカプロラクタム、及びN,N,N’,N’-テトラメチルウレア等の含窒素極性溶剤;ジメチルスルホキシド;アセトニトリル;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジオキサン、及びテトラヒドロフラン等のエーテル類が挙げられる。 Examples of the organic solvent used for the reaction between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound include N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethylformamide, Nitrogen-containing polar solvents such as N,N-diethylformamide, N-methylcaprolactam, and N,N,N',N'-tetramethylurea; dimethyl sulfoxide; acetonitrile; diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dioxane, and tetrahydrofuran, etc. and ethers of

これらの有機溶剤の中では、生成するポリアミック酸(D)やポリイミド樹脂の溶解性から、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチルカプロラクタム、及びN,N,N’,N’-テトラメチルウレア等の含窒素極性溶剤が好ましい。 Among these organic solvents, N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethyl Nitrogen-containing polar solvents such as formamide, N,N-diethylformamide, N-methylcaprolactam, and N,N,N',N'-tetramethylurea are preferred.

テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物とを反応させる際の温度は、反応が良好に進行する限り特に限定されない。典型的には、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物との反応温度は、-5℃以上150℃以下が好ましく、0℃以上120℃以下がより好ましく、0℃以上70℃以下が特に好ましい。テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物とを反応させる時間は、反応温度によっても異なるが、典型的には、1時間以上50時間以下が好ましく、2時間以上40時間以下がより好ましく、5時間以上30時間以下が特に好ましい。 The temperature at which the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound are reacted is not particularly limited as long as the reaction proceeds well. Typically, the reaction temperature between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is preferably −5° C. or higher and 150° C. or lower, more preferably 0° C. or higher and 120° C. or lower, and particularly preferably 0° C. or higher and 70° C. or lower. . The time for reacting the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound varies depending on the reaction temperature, but is typically preferably 1 hour or more and 50 hours or less, more preferably 2 hours or more and 40 hours or less, and 5 hours. More than 30 hours or less is particularly preferable.

以上説明した方法により、ポリアミック酸(D)を含む溶液が得られる。
上記のようにポリアミック酸(D)を含む溶液をそのまま組成物の調製に用いることもできるし、減圧下に、ポリアミック酸のポリイミド樹脂への変換が生じない程度の低温で、ポリアミック酸(D)の溶液から溶剤の少なくとも一部を除去して得られる、ポリアミック酸のペースト又は固体を樹脂組成物の調製に用いることもできる。
A solution containing polyamic acid (D) is obtained by the method described above.
As described above, the solution containing the polyamic acid (D) can be used as it is for the preparation of the composition. A paste or solid of polyamic acid obtained by removing at least part of the solvent from the solution of (1) can also be used for preparing the resin composition.

ジアミン化合物とテトラカルボン酸二無水物とからなるモノマー成分、ポリアミック酸(D)及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体ないしは樹脂を更に含む場合の、第1の態様に係る組成物は、上記一般式(1)で表される塩に該当しない、分子内に-CO-O-結合を有するカルボニルオキシ化合物(B1)を含んでいてもよい。カルボニルオキシ化合物(B1)として具体的には、特開2018-58918号公報に記載されている、カルボン酸、カルボン酸エステル、カルボン酸無水物、カーボネート等が挙げられる。 The composition according to the first aspect when further comprising at least one resin precursor or resin selected from the group consisting of a monomer component consisting of a diamine compound and a tetracarboxylic dianhydride, a polyamic acid (D), and a polyimide. The substance may contain a carbonyloxy compound (B1) having a --CO--O-- bond in the molecule, which does not fall under the salt represented by the general formula (1). Specific examples of the carbonyloxy compound (B1) include carboxylic acids, carboxylic acid esters, carboxylic acid anhydrides, carbonates, and the like described in JP-A-2018-58918.

第1の態様に係る組成物がカルボニルオキシ化合物(B1)を含有する場合、カルボニルオキシ化合物(B1)の含有量としては、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されないが、組成物の固形分合計量(溶剤を除く。)に対し、0.01質量%以上30質量%以下が好ましく、0.05質量%以上25質量%以下がより好ましく、0.2質量%以上20質量%以下が特に好ましい。 When the composition according to the first aspect contains the carbonyloxy compound (B1), the content of the carbonyloxy compound (B1) is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. Based on the total amount of components (excluding the solvent), it is preferably 0.01% by mass or more and 30% by mass or less, more preferably 0.05% by mass or more and 25% by mass or less, and 0.2% by mass or more and 20% by mass or less. Especially preferred.

(溶剤(S))
第1の態様に係る組成物は、塗布性の点で溶剤(S)を含有することが好ましい。組成物は、固体を含むペーストであってもよく、溶液であってもよいが、溶液であることが好ましい。溶剤(S)は単独で又は2種以上を混合して用いることができる。
溶剤(S)の種類は、本発明の目的を阻害しない範囲で、特に限定されず、水、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、及びジエチレングリコールモノフェニルエーテル等のグリコールモノエーテル;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジプロピルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、及びジエチレングリコールジプロピルエーテル等のグリコールジエーテル;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、及びジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールモノアセテート;ジエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、2-メトキシブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、4-メトキシブチルアセテート、2-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-エチル-3-メトキシブチルアセテート、2-エトキシブチルアセテート、4-エトキシブチルアセテート、4-プロポキシブチルアセテート、2-メトキシペンチルアセテート、3-メトキシペンチルアセテート、4-メトキシペンチルアセテート、2-メチル-3-メトキシペンチルアセテート、3-メチル-3-メトキシペンチルアセテート、3-メチル-4-メトキシペンチルアセテート、及び4-メチル-4-メトキシペンチルアセテート等のジオール類のモノエーテルモノアセテート;アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチルシソブチルケトン、エチルイソブチルケトン、及びシクロヘキサノン等のケトン類;プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ-2-メチル、メチル-3-メトキシプロピオネート、エチル-3-メトキシプロピオネート、エチル-3-エトキシプロピオネート、エチル-3-プロポキシプロピオネート、プロピル-3-メトキシプロピオネート、イソプロピル-3-メトキシプロピオネート、エトキシ酢酸エチル、オキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチルブタン酸メチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、ピルビン酸ブチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、及びγ-ブチロラクトン等のエステル類;ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジヘキシルエーテル、ベンジルメチルエーテル、ベンジルエチルエーテル、及びテトラヒドロフラン等のエーテル類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、クレゾール、及びクロロベンゼン等の芳香族類;メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、n-ブタノール、n-ヘキサノール、及びシクロヘキサノール等の脂肪族アルコール類;ポリエチレングリコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、及びジプロピレングリコール等のグリコール類;グリセリン;等が挙げられる。
また、上述のテトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応に用いられる溶剤も同様に挙げられ、ジアミン化合物とテトラカルボン酸二無水物とからなるモノマー成分、ポリアミック酸(D)及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体ないしは樹脂を更に含む場合の、第1の態様に係る組成物における溶媒として、好適に用いることができる。
(Solvent (S))
The composition according to the first aspect preferably contains a solvent (S) in terms of coatability. The composition may be a paste containing solids or a solution, preferably a solution. A solvent (S) can be used individually or in mixture of 2 or more types.
The type of solvent (S) is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention. Water, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl Glycol monoethers such as ethers, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, and diethylene glycol monophenyl ether; ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol Glycol diethers such as diethyl ether, ethylene glycol dipropyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol dipropyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol Glycol monoacetates such as monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monophenyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, and diethylene glycol monoethyl ether acetate; Butyl ether acetate, diethylene glycol monophenyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, 2-methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl -3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-ethyl-3-methoxybutyl acetate, 2-ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 4-propoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate , 3-methoxypentylacetate 4-methoxypentyl acetate, 2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-4-methoxypentyl acetate, and 4-methyl-4-methoxypentyl acetate, etc. ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; methyl propionate, ethyl propionate, propyl propionate, isopropyl propionate, 2- methyl hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, 2-hydroxy-2-methyl, methyl-3-methoxypropionate, ethyl-3-methoxypropionate, ethyl-3-ethoxypropionate, ethyl-3 -propoxypropionate, propyl-3-methoxypropionate, isopropyl-3-methoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl oxyacetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate , isopropyl acetate, butyl acetate, isoamyl acetate, methyl carbonate, ethyl carbonate, propyl carbonate, butyl carbonate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, butyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, benzyl acetate, benzoin esters such as ethyl acetate, diethyl oxalate, diethyl maleate, and γ-butyrolactone; ethers such as diethyl ether, dipropyl ether, dibutyl ether, dihexyl ether, benzyl methyl ether, benzyl ethyl ether, and tetrahydrofuran; benzene, aromatics such as toluene, xylene, ethylbenzene, cresol, and chlorobenzene; aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, n-hexanol, and cyclohexanol; polyethylene glycol, ethylene glycol, Glycols such as diethylene glycol, propylene glycol, and dipropylene glycol; glycerin; and the like.
In addition, the solvent used for the reaction of the above-mentioned tetracarboxylic dianhydride and diamine compound is similarly exemplified, and the monomer component consisting of the diamine compound and tetracarboxylic dianhydride, the polyamic acid (D) and the polyimide It can be suitably used as a solvent in the composition according to the first aspect when it further contains at least one resin precursor or resin selected from the group.

溶剤(S)は、また、下式(5)で表される化合物(S1)を含む溶剤を用いてもよい。

Figure 0007222626000014
(式(5)中、RS1及びRS2は、それぞれ独立に炭素原子数1以上3以下のアルキル基であり、RS3は下式(5-1)又は下式(5-2):
Figure 0007222626000015
で表される基である。式(5-1)中、RS4は、水素原子又は水酸基であり、RS5及びRS6は、それぞれ独立に炭素原子数1以上3以下のアルキル基である。式(5-2)中、RS7及びRS8は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素原子数1以上3以下のアルキル基である。) A solvent containing a compound (S1) represented by the following formula (5) may also be used as the solvent (S).
Figure 0007222626000014
(In formula (5), R S1 and R S2 are each independently an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and R S3 is the following formula (5-1) or the following formula (5-2):
Figure 0007222626000015
is a group represented by In formula (5-1), R S4 is a hydrogen atom or a hydroxyl group, and R S5 and R S6 are each independently an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. In formula (5-2), R 1 S7 and R 1 S8 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. )

式(5)で表される化合物(S1)のうち、RS3が式(5-1)で表される基である場合の具体例としては、N,N,2-トリメチルプロピオン酸アミド、N-エチル-N,2-ジメチルプロピオン酸アミド、N,N-ジエチル-2-メチルプロピオン酸アミド、N,N,2-トリメチル-2-ヒドロキシプロピオン酸アミド、N-エチル-N,2-ジメチル-2-ヒドロキシプロピオン酸アミド、及びN,N-ジエチル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸アミド等が挙げられる。 Specific examples of the compound (S1) represented by the formula (5) in which R 2 S3 is a group represented by the formula (5-1) include N,N,2-trimethylpropionamide, N -ethyl-N,2-dimethylpropionamide, N,N-diethyl-2-methylpropionamide, N,N,2-trimethyl-2-hydroxypropionamide, N-ethyl-N,2-dimethyl- 2-hydroxypropionic acid amide, N,N-diethyl-2-hydroxy-2-methylpropionic acid amide, and the like.

式(5)で表される化合物(S1)のうち、RS3が式(5-2)で表される基である場合の具体例としては、N,N,N’,N’-テトラメチルウレア、N,N,N’,N’-テトラエチルウレア等が挙げられる。 Specific examples of the compound (S1) represented by formula (5) in which R 3 S3 is a group represented by formula (5-2) include N,N,N',N'-tetramethyl urea, N,N,N',N'-tetraethylurea, and the like.

上記の化合物(S1)の例のうち、N,N,2-トリメチルプロピオンアミド、及びN,N,N’,N’-テトラメチルウレアが特に好ましい。 Among the above examples of compound (S1), N,N,2-trimethylpropionamide and N,N,N',N'-tetramethylurea are particularly preferred.

組成物が溶剤(S)を含む場合、溶剤(S)中の、前述の化合物(S1)の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。ジアミン化合物とテトラカルボン酸二無水物とからなるモノマー成分、ポリアミック酸(D)及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体ないしは樹脂を更に含む場合の、第1の態様に係る組成物の溶剤の質量に対する化合物(S1)の比率は、典型的には、溶剤(S)全量に対して70質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上が特に好ましく、100質量%であることが最も好ましい。 When the composition contains the solvent (S), the content of the aforementioned compound (S1) in the solvent (S) is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. The composition according to the first aspect when further comprising at least one resin precursor or resin selected from the group consisting of a monomer component consisting of a diamine compound and a tetracarboxylic dianhydride, a polyamic acid (D), and a polyimide. The ratio of the compound (S1) to the mass of the solvent of the substance is typically preferably 70% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, and particularly preferably 90% by mass or more, relative to the total amount of the solvent (S). 100% by weight is most preferred.

化合物(S1)とともに使用することができる有機溶剤としては、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、ヘキサメチルホスホルアミド、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン等の含窒素極性溶剤;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、及びイソホロン等のケトン類;ジオキサン、及びテトラヒドロフラン等の環状エーテル類;トルエン、及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類が挙げられる。 Organic solvents that can be used together with compound (S1) include N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, 1,3-dimethyl-2 - nitrogen-containing polar solvents such as imidazolidinone; ketones such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and isophorone; cyclic ethers such as dioxane and tetrahydrofuran; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; sulfoxides such as

組成物中の溶剤(S)の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。組成物中の溶剤(S)の含有量は、組成物中の固形分含有量に応じて適宜調整される。樹脂組成物中の固形分含有量は、例えば5質量%以上99.9質量%以下の範囲であり、5質量%以上70質量%以下が好ましく、10質量%以上60質量%以下がより好ましい。 The content of the solvent (S) in the composition is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. The content of the solvent (S) in the composition is appropriately adjusted according to the solid content in the composition. The solid content in the resin composition is, for example, in the range of 5% by mass to 99.9% by mass, preferably 5% by mass to 70% by mass, and more preferably 10% by mass to 60% by mass.

(その他成分)
第1の態様に係る組成物は、必要に応じて、各種の樹脂又は添加剤を含有していてもよい。樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂又は露光若しくは加熱されることで現像液(アルカリ現像液または溶剤現像液)に対する溶解性が高まる樹脂等が挙げられる。また、樹脂は、エチレン性不飽和基を有してもよく、エチレン性不飽和基を有さなくてもよい。添加剤としては、着色剤、分散剤、増感剤、硬化促進剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が挙げられる。
樹脂の含有量は、第1の態様に係る組成物が、一般式(1)で表される化合物を含む場合は、溶媒を除く組成物全体に対して、例えば、10質量%以上90質量%以下の範囲で適宜調整すればよく、好ましくは20質量%以上80質量%以下である。第1の態様に係る組成物が、一般式(1)で表される化合物に由来する重合体を含む場合は、樹脂の含有量は、溶媒を除く組成物全体に対して、例えば、1質量%以上90質量%以下の範囲で適宜調整すればよく、好ましくは10質量%以上80質量%以下である。
各種添加剤の添加量は、第1の態様に係る溶剤を除く組成物全体に対して、例えば、0.001質量%以上60質量%以下の範囲で適宜調整すればよく、好ましくは0.1質量%以上5質量%以下である。
(Other ingredients)
The composition according to the first aspect may contain various resins or additives as necessary. Examples of resins include alkali-soluble resins and resins whose solubility in a developer (alkali developer or solvent developer) is increased by being exposed or heated. Moreover, the resin may or may not have an ethylenically unsaturated group. Additives include colorants, dispersants, sensitizers, curing accelerators, fillers, adhesion promoters, antioxidants, UV absorbers, aggregation inhibitors, thermal polymerization inhibitors, antifoaming agents, and surfactants. etc.
When the composition according to the first aspect contains the compound represented by the general formula (1), the content of the resin is, for example, 10% by mass or more and 90% by mass with respect to the entire composition excluding the solvent. It may be appropriately adjusted within the following range, preferably 20% by mass or more and 80% by mass or less. When the composition according to the first aspect contains a polymer derived from the compound represented by the general formula (1), the content of the resin is, for example, 1 mass with respect to the entire composition excluding the solvent % or more and 90 mass % or less, preferably 10 mass % or more and 80 mass % or less.
The amount of each additive added may be appropriately adjusted in the range of, for example, 0.001% by mass or more and 60% by mass or less, preferably 0.1 It is more than mass % and below 5 mass %.

第1の態様に係る組成物は、加熱により硬化する熱硬化性組成物であってもよいし、熱硬化性組成物でなくてもよい。
第1の態様に係る組成物が熱硬化性組成物である場合、第1の態様に係る組成物は、必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤、脱水縮合剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、離型剤、可塑剤、充填材、及び強化材等の添加剤や強化材を含んでいてもよい。
The composition according to the first aspect may be a thermosetting composition that cures by heating, or may not be a thermosetting composition.
When the composition according to the first aspect is a thermosetting composition, the composition according to the first aspect may optionally include a curing agent, a curing accelerator, a dehydration condensation agent, an antioxidant, an ultraviolet absorbing Additives and reinforcements such as agents, flame retardants, release agents, plasticizers, fillers, and reinforcements may also be included.

また、第1の態様に係る組成物は感放射線性組成物であってもよいし、感放射線性組成物でなくてもよく、第1の態様に係る組成物が感放射線性組成物である場合、露光により現像液に対して不溶化するネガ型の感放射線性組成物であってもよく、露光により現像液に対して可溶化するポジ型の感放射線性組成物であってもよい。
また、第1の態様に係る組成物は処理液等の用途(金属表面処理、現像処理、エッチング処理等の用途)として用いてもよい。第1の態様に係る組成物が処理液用組成物である場合、式(1)で表される塩の他、上記溶剤(S)を含むことが好ましい。処理液用組成物は、任意に、pH調整剤、界面活性剤、防腐剤、粘度調整剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、又は着色剤等の添加剤をこれらが通常使用される範囲の量において含んでいてもよい。
Moreover, the composition according to the first aspect may be a radiation-sensitive composition, or may not be a radiation-sensitive composition, and the composition according to the first aspect is a radiation-sensitive composition. In this case, it may be a negative radiation-sensitive composition that becomes insoluble in a developer upon exposure, or a positive radiation-sensitive composition that becomes soluble in a developer upon exposure.
In addition, the composition according to the first aspect may be used as a treatment liquid (applications such as metal surface treatment, development treatment, etching treatment, etc.). When the composition according to the first aspect is a treatment liquid composition, it preferably contains the above solvent (S) in addition to the salt represented by formula (1). The treatment liquid composition may optionally contain additives such as pH adjusters, surfactants, preservatives, viscosity adjusters, antioxidants, UV absorbers, or colorants in amounts within the range in which they are usually used. may be included in

(第1の態様に係る組成物の調製方法)
第1の態様に係る組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製され第1の態様に係る組成物が均一となるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
(Method for preparing composition according to first aspect)
The composition according to the first aspect is prepared by mixing the above components with a stirrer. In addition, filtration using a membrane filter or the like may be performed so that the prepared composition according to the first aspect is uniform.

(用途)
第1の態様に係る組成物は、表示素子、集積回路素子、固体撮像素子等の電子部品用の保護膜、層間絶縁膜、平坦膜、絶縁膜を形成するための組成物や、これらの電子部品の製造過程における処理剤又は犠牲膜用組成物として用いることができる。
(Application)
The composition according to the first aspect is a composition for forming a protective film, an interlayer insulating film, a flat film, an insulating film for electronic parts such as a display element, an integrated circuit element, and a solid-state imaging device, or a composition for forming these electron It can be used as a treatment agent or sacrificial film composition in the manufacturing process of parts.

≪硬化物≫
第2の態様に係る硬化物は、第1の態様の組成物の硬化物である。
第2の態様に係る硬化物は、液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子等の電子部品用の保護膜、層間絶縁膜、平坦膜、絶縁膜として用いることができる。
≪Curified product≫
A cured product according to the second aspect is a cured product of the composition of the first aspect.
The cured product according to the second aspect can be used as protective films, interlayer insulating films, flat films, and insulating films for electronic components such as liquid crystal display devices, integrated circuit devices, and solid-state imaging devices.

硬化物が膜である場合、厚さは、10nm以上30000nm以下であることが好ましく、50nm以上1500nm以下であることがより好ましく、100nm以上1000nm以下であることが更に好ましい。 When the cured product is a film, the thickness is preferably 10 nm or more and 30000 nm or less, more preferably 50 nm or more and 1500 nm or less, and even more preferably 100 nm or more and 1000 nm or less.

≪硬化物の製造方法≫
第3の態様に係る硬化物の製造方法は、第1の態様の組成物を(好ましくは基材上に)適用して膜を形成すること、及び上記膜を加熱することを含む。
(膜形成工程)
第1の態様の組成物を適用して膜を形成する方法としては特に制限はないが、例えば、ロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する方法が挙げられる。
上記塗布後の塗膜は乾燥(プリベーク)することが好ましい。乾燥方法は、特に限定されず、例えば、(1)ホットプレートにて70℃以上120℃以下、好ましくは80℃以上100℃以下の温度にて、例えば60秒間以上20分間以下乾燥させる方法、(2)室温にて数時間~数日間放置する方法、(3)温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分間~数時間入れて溶剤を除去する方法等が挙げられる。
塗布後には、塗膜からの脱気や、溶剤(S)の除去を促す目的で、塗膜を減圧雰囲気においてもよい。減圧雰囲気の真空度は特に限定されないが、300Pa以下が好ましく、150Pa以下がより好ましく、100Pa以下が更に好ましい。
塗膜の厚さは、特に限定されない。典型的には、塗膜の厚さは、2μm以上100μm以下が好ましく、3μm以上50μm以下がより好ましい。塗膜の厚さは、塗布方法や樹脂組成物の固形分濃度や粘度を調節することにより、適宜制御することができる。
≪Method for producing cured product≫
A method for producing a cured product according to the third aspect comprises applying the composition of the first aspect (preferably onto a substrate) to form a film, and heating the film.
(Film forming process)
The method for forming a film by applying the composition of the first aspect is not particularly limited. A method of coating using a non-contact coating device such as a flow coater may be used.
It is preferable to dry (pre-bake) the coating film after the application. The drying method is not particularly limited. For example, (1) a method of drying on a hot plate at a temperature of 70° C. or higher and 120° C. or lower, preferably 80° C. or higher and 100° C. or lower, for example, for 60 seconds or longer and 20 minutes or shorter; 2) a method of leaving the sample at room temperature for several hours to several days;
After coating, the coating film may be placed in a reduced pressure atmosphere for the purpose of promoting degassing from the coating film and removal of the solvent (S). The degree of vacuum in the reduced-pressure atmosphere is not particularly limited, but is preferably 300 Pa or less, more preferably 150 Pa or less, and even more preferably 100 Pa or less.
The thickness of the coating film is not particularly limited. Typically, the thickness of the coating film is preferably 2 μm or more and 100 μm or less, more preferably 3 μm or more and 50 μm or less. The thickness of the coating film can be appropriately controlled by adjusting the coating method and the solid content concentration and viscosity of the resin composition.

基材の材質は、塗布膜を加熱する際に、熱劣化や変形が生じない材質であれば特に限定されない。基材の形状も、樹脂組成物を塗布可能であれば特に限定されない。基材の例としては、絶縁されるべき電極や配線が形成された、半導体素子等の電子素子や多層配線基板等の中間製品や、種々の基板が挙げられる。基体が基板である場合の、好適な基板の材質としては、ガラス;シリコン;アルミニウム(Al);アルミニウム-ケイ素(Al-Si)、アルミニウム-銅(Al-Cu)、アルミニウム-ケイ素-銅(Al-Si-Cu)等のアルミニウム合金;チタン(Ti);チタン-タングステン(Ti-W)等のチタン合金;窒化チタン(TiN);タンタル(Ta);窒化タンタル(TaN);タングステン(W);窒化タングステン(WN);銅が挙げられる。
また、塗膜の加熱を低温で行う場合には、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリブチレンテレフタレート(PBT)等の樹脂からなる耐熱性の低い基材を用いることもできる。
The material of the substrate is not particularly limited as long as the material does not cause thermal deterioration or deformation when the coating film is heated. The shape of the substrate is also not particularly limited as long as the resin composition can be applied. Examples of the substrate include electronic elements such as semiconductor elements, intermediate products such as multilayer wiring boards, and various substrates on which electrodes and wiring to be insulated are formed. When the substrate is a substrate, suitable substrate materials include glass; silicon; aluminum (Al); aluminum-silicon (Al--Si), aluminum-copper (Al--Cu), aluminum-silicon-copper (Al -Si-Cu) and other aluminum alloys; titanium (Ti); titanium-titanium alloys such as tungsten (Ti-W); titanium nitride (TiN); tantalum (Ta); tantalum nitride (TaN); tungsten (W); tungsten nitride (WN); copper;
In addition, when the coating film is heated at a low temperature, a base material with low heat resistance made of a resin such as polyethylene terephthalate (PET) or polybutylene terephthalate (PBT) can be used.

(加熱工程)
上記形成された塗膜は、70℃以上550℃以下で加熱されることが好ましい。
上記塗膜を加熱する場合、加熱温度は、例えば、120℃以上500℃以下、好ましくは150℃以上450℃以下に設定される。このような範囲の温度で塗膜を加熱することにより、生成するポリイミドの熱劣化や熱分解を抑制しつつ、安定的に硬化物を生成させることができる。
また、塗膜の加熱を高温で行う場合、多量のエネルギーの消費や、高温での処理設備の経時劣化が促進される場合があるため、塗膜の加熱をこれより低い温度で行うことも好ましい態様である。
(Heating process)
The coating film thus formed is preferably heated at 70° C. or higher and 550° C. or lower.
When the coating film is heated, the heating temperature is set to, for example, 120° C. or higher and 500° C. or lower, preferably 150° C. or higher and 450° C. or lower. By heating the coating film at a temperature within such a range, it is possible to stably produce a cured product while suppressing thermal deterioration and thermal decomposition of the produced polyimide.
In addition, when the coating film is heated at a high temperature, a large amount of energy is consumed and the aging of the treatment equipment at high temperatures may be accelerated, so it is also preferable to heat the coating film at a lower temperature. It is a mode.

加熱時間は、樹脂組成物の組成や、塗膜の厚さ等にもよるが、下限値として、例えば5分間、好ましくは10分間、より好ましくは20分間、上限値として、例えば4時間、好ましくは3時間、より好ましくは2.5時間とすることができる。
また、ポリイミドの黄色度を低減させる観点や、より円滑にポリアミック酸からポリイミドに変換する観点から、加熱時の雰囲気(酸素濃度等のガス組成)を調整したり、加熱時あるいは加熱前後に減圧工程を組み合わせることもできる。
The heating time depends on the composition of the resin composition, the thickness of the coating film, etc., but the lower limit is, for example, 5 minutes, preferably 10 minutes, more preferably 20 minutes, and the upper limit is, for example, 4 hours, preferably. can be 3 hours, more preferably 2.5 hours.
In addition, from the viewpoint of reducing the yellowness of polyimide and from the viewpoint of more smoothly converting polyamic acid to polyimide, the atmosphere during heating (gas composition such as oxygen concentration) can be adjusted, and the pressure reduction process can be performed during heating or before and after heating. can also be combined.

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below based on examples, but the present invention is not limited by these examples.

〔合成例1〕上記一般式(1)で表される塩の合成1
(テトラカルボン酸二無水物の調製)
国際公開第2011/099518号の合成例1、実施例1及び実施例2に記載された方法に従って、下記式で表されるテトラカルボン酸二無水物(CpODA:ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2’’-ノルボルナン-5,5’’,6,6’’-テトラカルボン酸二無水物)を調製した。

Figure 0007222626000016
(テトラカルボン酸二無水物の開環)
100mlの三口フラスコをヒートガンで加熱して十分に乾燥させた。次に、十分に乾燥させた上記三口フラスコ内の雰囲気ガスを窒素で置換して窒素雰囲気とした。次いで、上記三口フラスコ内に上記テトラカルボン酸二無水物(CpODA)を1.00g(2.60mmol)を導入した後、更に、溶媒としてNMP(N-メチルピロリドン)を添加して撹拌して溶解液を得た。
次に、上記溶解液を含有する三口フラスコ内に、窒素雰囲気下を維持し塩酸1質量%濃度を10ml添加して1時間撹拌した。
その後撹拌中の溶液に純水を投入することにより白色の沈殿物が発生し、吸引濾過を行い下記式で表されるテトラカルボン酸を固形物として0.98g(2.33mmol)得た。
Figure 0007222626000017
上記テトラカルボン酸のH-NMR(重DMSO,400MHz)の測定結果は以下の通りである。
δ(ppm):12.10-11.75(OH,4H),2.90(CH,2H),2.65(CH2,4H),2.38(CH,2H),2.18(CH2,4H),1.92(CH2,2H),1.78(CH,2H),1.75-58(CH,2H),1.15(CH,2H) [Synthesis Example 1] Synthesis 1 of the salt represented by the general formula (1)
(Preparation of tetracarboxylic dianhydride)
According to the methods described in Synthesis Example 1, Example 1 and Example 2 of WO 2011/099518, a tetracarboxylic dianhydride (CpODA: norbornane-2-spiro-α-cyclo Pentanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride) was prepared.
Figure 0007222626000016
(Ring opening of tetracarboxylic dianhydride)
A 100-ml three-necked flask was heated with a heat gun to thoroughly dry it. Next, the atmospheric gas in the sufficiently dried three-necked flask was replaced with nitrogen to create a nitrogen atmosphere. Next, after introducing 1.00 g (2.60 mmol) of the tetracarboxylic dianhydride (CpODA) into the three-necked flask, NMP (N-methylpyrrolidone) is added as a solvent and dissolved by stirring. I got the liquid.
Next, 10 ml of hydrochloric acid having a concentration of 1% by mass was added to the three-necked flask containing the above solution while maintaining a nitrogen atmosphere, and the mixture was stirred for 1 hour.
After that, pure water was added to the stirred solution to generate a white precipitate, which was subjected to suction filtration to obtain 0.98 g (2.33 mmol) of a tetracarboxylic acid represented by the following formula as a solid matter.
Figure 0007222626000017
The measurement results of 1 H-NMR (heavy DMSO, 400 MHz) of the above tetracarboxylic acid are as follows.
δ (ppm): 12.10-11.75 (OH, 4H), 2.90 (CH, 2H), 2.65 (CH, 4H), 2.38 (CH, 2H), 2.18 (CH , 4H), 1.92 (CH, 2H), 1.78 (CH, 2H), 1.75-58 (CH, 2H), 1.15 (CH, 2H)

(ジイミダゾール塩の合成)
上記テトラカルボン酸0.42g(1.00mmol)とイミダゾール0.14g(2.00mmol)をすり鉢に導入し、15分間加圧することにより目的物である下記式で表されるジイミダゾール塩(以下、単に「化合物1」ということがある。)を得た(収量0.55g,収率98%,白色固体)。

Figure 0007222626000018
上記ジイミダゾール塩のH-NMR(重DMSO,400MHz)の測定結果は以下の通りである。
カチオン帰属δ(ppm):7.01(CH,4H),7.65(CH,2H)
アニオン帰属δ(ppm):2.90(CH,2H),2.65(CH,2H),2.40(CH2,2H),2.20(CH,2H),1.94(CH2,4H),1.78(CH,2H),1.75-1.58(CH,4H),1.15(CH,2H) (Synthesis of diimidazole salt)
0.42 g (1.00 mmol) of the above tetracarboxylic acid and 0.14 g (2.00 mmol) of imidazole were introduced into a mortar and pressurized for 15 minutes to obtain the target diimidazole salt represented by the following formula (hereinafter referred to as It may simply be referred to as "compound 1".) was obtained (yield: 0.55 g, yield: 98%, white solid).
Figure 0007222626000018
The measurement results of 1 H-NMR (heavy DMSO, 400 MHz) of the above diimidazole salt are as follows.
Cation assignment δ (ppm): 7.01 (CH, 4H), 7.65 (CH, 2H)
Anion assignment δ (ppm): 2.90 (CH, 2H), 2.65 (CH, 2H), 2.40 (CH, 2H), 2.20 (CH, 2H), 1.94 (CH, 4H ), 1.78 (CH, 2H), 1.75-1.58 (CH, 4H), 1.15 (CH, 2H)

〔合成例2〕上記一般式(1)で表される塩の合成2

Figure 0007222626000019
テトラカルボン酸として上記式で表されるテトラカルボン酸を用いること以外は上述の(ジイミダゾール塩の合成)と同様にして下記式で表されるジイミダゾール塩(以下、単に「化合物2」ということがある。)を得た。
Figure 0007222626000020
[Synthesis Example 2] Synthesis 2 of the salt represented by the general formula (1)
Figure 0007222626000019
A diimidazole salt represented by the following formula (hereinafter simply referred to as "compound 2") is prepared in the same manner as in the above (Synthesis of diimidazole salt) except that the tetracarboxylic acid represented by the above formula is used as the tetracarboxylic acid. There is.)
Figure 0007222626000020

〔合成例3〕ポリアミック酸の調製
30mlの三口フラスコをヒートガンで加熱して十分に乾燥させた。次に、三口フラスコ内の雰囲気ガスを窒素で置換し、三口フラスコ内を窒素雰囲気とした。三口フラスコ内に、4,4’-ジアミノベンズアニリド0.90mmol(DABAN)を添加した後、N,N,N’,N’-テトラメチルウレア(TMU)を添加した。三口フラスコの内容物を撹拌して、TMU中に芳香族ジアミン(DABAN)が分散したスラリー液を得た。
次に、三口フラスコ内に上記テトラカルボン酸二無水物(CpODA)0.90mmol添加した後、窒素雰囲気下に、室温(25℃)で12時間フラスコの内容物を撹拌して反応液を得た。このようにして反応液中にポリアミック酸を20.0質量%含有する反応液(ポリアミック酸溶液)を調製した。
[Synthesis Example 3] Preparation of polyamic acid A 30 ml three-necked flask was heated with a heat gun to dry it sufficiently. Next, the atmospheric gas in the three-necked flask was replaced with nitrogen to create a nitrogen atmosphere in the three-necked flask. After adding 0.90 mmol of 4,4′-diaminobenzanilide (DABAN) into a three-necked flask, N,N,N′,N′-tetramethylurea (TMU) was added. The contents of the three-necked flask were stirred to obtain a slurry in which the aromatic diamine (DABAN) was dispersed in the TMU.
Next, 0.90 mmol of the tetracarboxylic dianhydride (CpODA) was added to the three-necked flask, and then the contents of the flask were stirred at room temperature (25°C) for 12 hours under a nitrogen atmosphere to obtain a reaction solution. . Thus, a reaction liquid (polyamic acid solution) containing 20.0% by mass of polyamic acid was prepared.

〔実施例1及び2〕
(実施例1の組成物の調製)
上記ポリアミド酸溶液(ポリアミック酸の濃度:20.0質量%)に対して、合成例1で得られた粉末(化合物1)を0.9g添加し強く撹拌することにより溶解させて、上記溶媒と上記ポリアミック酸と上記化合物1とを含有する実施例1の組成物(ポリイミド形成用混合液(ワニス))を調製した。なお、このようにして得られたポリイミド形成用混合液においては、上記ポリアミック酸と上記化合物1との合計の含有量は16.5質量%であった。
[Examples 1 and 2]
(Preparation of the composition of Example 1)
0.9 g of the powder (compound 1) obtained in Synthesis Example 1 was added to the polyamic acid solution (concentration of polyamic acid: 20.0% by mass), and the mixture was dissolved by vigorously stirring, and the solvent and A composition of Example 1 containing the above polyamic acid and the above compound 1 (polyimide-forming mixed solution (varnish)) was prepared. In the thus-obtained mixed liquid for polyimide formation, the total content of the polyamic acid and the compound 1 was 16.5% by mass.

(実施例2の組成物の調製)
合成例1で得た上記化合物1の粉末を用いる代わりに合成例2で得た上記化合物2の粉末を用いること以外は、(実施例1の組成物の調製)と同様にして実施例2の組成物(ポリイミド形成用混合液(ワニス))を調製した。
(Preparation of composition of Example 2)
Except for using the powder of the compound 2 obtained in Synthesis Example 2 instead of using the powder of the compound 1 obtained in Synthesis Example 1, the preparation of Example 2 was performed in the same manner as in (Preparation of the composition of Example 1). A composition (polyimide forming mixture (varnish)) was prepared.

(比較例1の組成物の調製)
また、上記化合物1の代わりにイミダゾールを用いること以外は実施例1と同様の手法により組成物(ポリイミド形成用混合液(ワニス))を調製した比較例1の組成物、すなわち、上記溶媒と上記ポリアミック酸とイミダゾールとを含有する組成物を調製した。
(Preparation of composition of Comparative Example 1)
Further, the composition of Comparative Example 1 was prepared by the same method as in Example 1 except that imidazole was used instead of the compound 1 (polyimide-forming mixture (varnish)), that is, the solvent and the A composition containing polyamic acid and imidazole was prepared.

(比較例2の組成物の調製)
また、上記化合物1を含有させないこと以外は実施例1と同様の手法により組成物(ポリイミド形成用混合液(ワニス))を調製した比較例2の組成物、すなわち、上記溶媒と上記ポリアミック酸とを含有する組成物を調製した。
(Preparation of composition of Comparative Example 2)
In addition, the composition of Comparative Example 2 in which a composition (polyimide-forming mixture (varnish)) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the compound 1 was not contained, that is, the solvent and the polyamic acid A composition containing

(ポリイミド膜製膜試験)
実施例1及び2並びに比較例1及び2の組成物について、以下のように製膜性を試験した。
まず、各組成物を100mm×100mmのガラス基材上にスピンコートし、大気圧から50Paまで減圧乾燥(VCD)した。いったん大気圧に戻した後、大気圧条件下80℃においてホットプレート上にて10分間プリベークし、次いで、窒素雰囲気下360℃にて30分間ポストベーク(焼成)して膜厚15μmの硬化物(ポリイミド膜)を得た。
このようにして得られたポリイミド膜について、目視にて、形状よく製膜されているか観察した。なお、評価は以下の基準に基づいて行った。
○:概ね平滑な膜となることが観察され、亀裂が入っていないことが確認された。
×:膜に亀裂が入っていることが観察された。
結果を下記表1に示す。
(Polyimide film formation test)
The film-forming properties of the compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were tested as follows.
First, each composition was spin-coated on a glass substrate of 100 mm×100 mm and vacuum dried (VCD) from atmospheric pressure to 50 Pa. Once returned to atmospheric pressure, pre-baked on a hot plate at 80 ° C. under atmospheric pressure for 10 minutes, then post-baked (baked) at 360 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere to give a cured product with a film thickness of 15 μm ( Polyimide film) was obtained.
The polyimide film thus obtained was visually observed to see if it was formed in a good shape. In addition, evaluation was performed based on the following references|standards.
◯: A generally smooth film was observed, and no cracks were confirmed.
x: Cracks were observed in the film.
The results are shown in Table 1 below.

(経時安定性試験)
実施例1及び2並びに比較例1及び2の組成物を、調製初期段階と25℃に7日間保管した後にゲル化の有無にて経時安定性を評価した(○:ゲル化なし、×:ゲル化有り)。結果を表1に示す。

Figure 0007222626000021
(Stability test over time)
The compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated for stability over time based on the presence or absence of gelation after the initial stage of preparation and storage at 25 ° C. for 7 days (○: no gelation, ×: gel ). Table 1 shows the results.
Figure 0007222626000021

表1に示した結果から明らかなように、塩ではないイミダゾールを含む比較例1の組成物は製膜性に優れるものの経時安定性に劣っていた。また、塩もイミダゾールも含まない比較例2の組成物は経時安定性に優れるものの製膜性に劣っていた。
一方、イミダゾール塩を含む実施例1及び2の組成物はいずれも製膜性及び経時安定性いずれにも優れていた。
As is clear from the results shown in Table 1, the composition of Comparative Example 1 containing imidazole, which is not a salt, was excellent in film-forming properties but inferior in stability over time. The composition of Comparative Example 2, which does not contain salt or imidazole, was excellent in stability over time, but inferior in film-forming properties.
On the other hand, the compositions of Examples 1 and 2 containing imidazole salts were both excellent in film-forming properties and stability over time.

Claims (6)

下記式(1)で表される塩を含む組成物。
Figure 0007222626000022
(上記式中、Aは、1又は2以上の脂環基を含み、上記式中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHがそれぞれ独立して上記1又は2以上の脂環基に直接又は連結基を介して結合している4価の有機基を表し、Mは、含窒素複素環を含むカチオンを表し、前記カチオンが下記式(2)~(8)、(10)及び(11)のいずれかで表されるカチオンである、nは1以上4以下の整数を表す。)
Figure 0007222626000023
(式(2)中、R11はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表し、sは2以上6以下の整数を表す。)
Figure 0007222626000024
(式中、Rは、それぞれ独立に水素原子又はアルキル基を表す。R21、R23、R25、R26、R27、R28、R31、及びR32はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を表す。R22、R24、及びR29はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表す
21及びR22は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR21は互いに結合して環を形成していてもよい。R23、及びR24は互いに結合して環を形成していてもよい。2つのR23は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR25は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR26は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR27は互いに結合して環を形成していてもよい。R28、及びR29は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR28は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR31は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR32は互いに結合して環を形成していてもよい。)
A composition containing a salt represented by the following formula (1).
Figure 0007222626000022
(In the above formula, A contains 1 or 2 or more alicyclic groups, and n -COO - M + and (4-n) -COOH in the above formula are each independently the above 1 or 2 Represents a tetravalent organic group bonded directly or via a linking group to the above alicyclic group, M + represents a cation containing a nitrogen-containing heterocycle, and the cation is represented by the following formulas (2) to (8) ), a cation represented by any of (10) and (11), n represents an integer of 1 or more and 4 or less.)
Figure 0007222626000023
(In formula (2), each R 11 independently represents a hydrogen atom , an alkyl group or a cycloalkyl group, and s represents an integer of 2 or more and 6 or less.)
Figure 0007222626000024
(In the formula, RH each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group; R21 , R23 , R25 , R26 , R27 , R28 , R31 , and R32 each independently represent a hydrogen atom ; represents an alkyl group or a cycloalkyl group , and R 22 , R 24 and R 29 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or a cycloalkyl group ;
R 21 and R 22 may combine with each other to form a ring. At least two R 21 may combine with each other to form a ring. R 23 and R 24 may combine with each other to form a ring. Two R 23 may combine with each other to form a ring. At least two R 25 may combine with each other to form a ring. At least two R 26 may combine with each other to form a ring. At least two R 27 may be bonded together to form a ring. R 28 and R 29 may combine with each other to form a ring. At least two R 28 may be bonded together to form a ring. At least two R 31 may be bonded together to form a ring. At least two R 32 may be bonded together to form a ring. )
ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とからなるモノマー成分、ポリアミック酸及びポリイミドよりなる群から選択される少なくとも1つの樹脂前駆体又は樹脂を更に含む、請求項1に記載の組成物。 The composition according to claim 1, further comprising at least one resin precursor or resin selected from the group consisting of a monomer component consisting of a diamine component and a tetracarboxylic dianhydride component, polyamic acids and polyimides. 請求項2に記載の組成物の硬化物。 A cured product of the composition according to claim 2 . 請求項2に記載の組成物を適用して膜を形成すること、及び、
前記膜を加熱することを含む、硬化物の製造方法。
applying the composition of claim 2 to form a film; and
A method for producing a cured product, comprising heating the film.
下記式(1)で表される塩。
Figure 0007222626000025
(上記式中、Aは、1又は2以上の脂環基を含み、上記式中のn個の-COO及び(4-n)個の-COOHがそれぞれ独立して上記1又は2以上の脂環基に直接又は連結基を介して結合している4価の有機基を表し、Mは、含窒素複素環を含むカチオンを表し、前記カチオンが下記式(2)~(8)、(10)及び(11)のいずれかで表されるカチオンである、nは1以上4以下の整数を表す。)
Figure 0007222626000026
(式(2)中、R11はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表し、sは2以上6以下の整数を表す。)
Figure 0007222626000027
(式中、Rは、それぞれ独立に水素原子又はアルキル基を表す。R21、R23、R25、R26、R27、R28、R31、及びR32はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を表す。R22、R24、及びR29はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、又はシクロアルキル基を表す
21及びR22は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR21は互いに結合して環を形成していてもよい。R23、及びR24は互いに結合して環を形成していてもよい。2つのR23は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR25は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR26は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR27は互いに結合して環を形成していてもよい。R28、及びR29は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR28は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR31は互いに結合して環を形成していてもよい。少なくとも2つのR32は互いに結合して環を形成していてもよい。)
A salt represented by the following formula (1).
Figure 0007222626000025
(In the above formula, A contains 1 or 2 or more alicyclic groups, and n -COO - M + and (4-n) -COOH in the above formula are each independently the above 1 or 2 Represents a tetravalent organic group bonded directly or via a linking group to the above alicyclic group, M + represents a cation containing a nitrogen-containing heterocycle, and the cation is represented by the following formulas (2) to (8) ), a cation represented by any of (10) and (11), n represents an integer of 1 or more and 4 or less.)
Figure 0007222626000026
(In formula (2), each R 11 independently represents a hydrogen atom , an alkyl group or a cycloalkyl group, and s represents an integer of 2 or more and 6 or less.)
Figure 0007222626000027
(In the formula, RH each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group; R21 , R23 , R25 , R26 , R27 , R28 , R31 , and R32 each independently represent a hydrogen atom ; represents an alkyl group or a cycloalkyl group , and R 22 , R 24 and R 29 each independently represents a hydrogen atom , an alkyl group or a cycloalkyl group ;
R 21 and R 22 may combine with each other to form a ring. At least two R 21 may combine with each other to form a ring. R 23 and R 24 may combine with each other to form a ring. Two R 23 may combine with each other to form a ring. At least two R 25 may combine with each other to form a ring. At least two R 26 may combine with each other to form a ring. At least two R 27 may be bonded together to form a ring. R 28 and R 29 may combine with each other to form a ring. At least two R 28 may be bonded together to form a ring. At least two R 31 may be bonded together to form a ring. At least two R 32 may be bonded together to form a ring. )
請求項5に記載の塩を含む、ポリイミド膜形成用組成物の経時変化抑制及び成膜性向上剤。 6. An agent for suppressing deterioration over time of a composition for forming a polyimide film and improving film-forming properties, comprising the salt according to claim 5.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7269721B2 (en) * 2018-12-12 2023-05-09 東京応化工業株式会社 ENERGY-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED PRODUCT AND METHOD FOR PRODUCING CURED PRODUCT
KR20220013387A (en) * 2019-05-22 2022-02-04 가부시키가이샤 가네카 Polyamic acid solution and manufacturing method thereof, polyimide film, laminate and manufacturing method thereof, and flexible device
TW202227535A (en) * 2020-11-27 2022-07-16 日商宇部興產股份有限公司 Polyimide precursor composition, polyimide film, and polyimide film/substrate laminate
KR102699256B1 (en) * 2021-11-30 2024-08-26 피아이첨단소재 주식회사 Polyamic Acid Composition and Polyimide Film Prepared with the same
CN114524823B (en) * 2021-12-28 2023-02-07 上海固创化工新材料有限公司 Preparation method of tetracarboxylic dianhydride alicyclic compound
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102305674B1 (en) * 2016-07-05 2021-09-27 나믹스 가부시끼가이샤 Resin composition for film, film, film with substrate, metal/resin laminate, cured resin, semiconductor device, and film manufacturing method
JP7039166B2 (en) * 2016-09-30 2022-03-22 東京応化工業株式会社 Resin composition, method for producing cured product, and cured product

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BRAGA D. et al.,Co-Crystals and Salts Obtained from Dinitrogen Bases and 1,2,3,4-Cyclobutane Tetracarboxylic Acid and the Use of the Latter As a Template for Solid-State Photocyclization Reactions,Crystal Growth & Desing,2012年,12(10),4880-4339,ISSN:1528-7483
LEMMERER A. et al.,Supramolecular polymorphism of the 1:1 molecular salt(adamantane-1-carboxylate-3,5,7-tricarboxylic acid)・(hexamethylenetetraminium).A"failed"crystal engineering attempt,Chem.Commun.,2012年,48,1883-1885,ISSN:1359-7345
MERIC R. et al.,Efficent Complexation of Quaternary Ammonium Compounds by a New Water-Soluble Macrobicyclic Receptor Molecule,J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,1993年,(2),129-131,ISSN:0022-4936
NGOLA M.S.et al.,A Selective Receptor for Arginine Derivatives is Aqueous Media.Energetic Consequences of Salt Bridges That are highly Exposed to Water,J.Am.Chem.Soc.,1999年,121,1192-1201,ISSN:0002-7863

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