JP7220624B2 - Mask jig used for centrifugal barrel polishing and barrel polishing system - Google Patents

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Description

本発明は、遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムに関する。 The present invention relates to a mask jig used for centrifugal barrel polishing and a barrel polishing system.

従来、ワークを研磨する遠心バレル研磨機として、例えば特許文献1~3に示されるような、バレル槽を有するものが知られている。このような遠心バレル研磨機では、バレル槽の内部にワークと研磨材や研磨コンパウンド等のメディア(砥粒)とを入れ、高速で回転させてワークとメディアに遠心力を与えることで、メディアがワークの表面を擦りながら研磨する。 2. Description of the Related Art Conventionally, as a centrifugal barrel finishing machine for polishing a work, one having a barrel tank as disclosed in Patent Documents 1 to 3, for example, is known. In such a centrifugal barrel finishing machine, the workpiece and media (abrasive grains) such as abrasives and polishing compounds are placed inside the barrel tank, and rotated at high speed to apply centrifugal force to the workpiece and media, causing the media to Polish while rubbing the surface of the workpiece.

ここで、ワークには非研磨面が混在する場合が多いことから、そのワークの非研磨面を保護するために図15(a)、(b)に示すような樹脂系等のマスク治具100をワーク101に装着することがある。マスク治具100は、ワーク101の両端に位置するワーク非研磨面101a、101bを覆う第1マスク部102と第2マスク部103とを有している。第1マスク部102と第2マスク部103とは、それぞれ平面視で略四角形状をなし、ワーク研磨面101cを露出させてワーク101を挟み込んだ状態で連結材104によって接続されている。 Since there are many cases where the workpiece has a non-polished surface, a mask jig 100 made of resin or the like as shown in FIGS. is attached to the workpiece 101. The mask jig 100 has a first mask portion 102 and a second mask portion 103 that cover the work non-polishing surfaces 101 a and 101 b located at both ends of the work 101 . The first mask portion 102 and the second mask portion 103 each have a substantially rectangular shape in plan view, and are connected by a connecting member 104 in a state in which the work polishing surface 101c is exposed and the work 101 is sandwiched therebetween.

登録実用新案第3042214号公報Registered Utility Model No. 3042214 実開平4-92764号公報Japanese Utility Model Laid-Open No. 4-92764 実開昭63-41459号公報Japanese Utility Model Laid-Open No. 63-41459

しかしながら、特許文献1に記載されるような従来の遠心バレル研磨では、以下のような問題があった。
すなわち、従来のワークに装着されるマスク治具では、図15(a)に示すワーク研磨面101cにおけるメディア106の流動性を阻害したり、図16(a)、(b)に示すようにバレル槽105内でのワーク101の回転性を悪化させてしまい、研磨時間が長時間化することから、その点で改善の余地があった。
However, the conventional centrifugal barrel polishing as described in Patent Document 1 has the following problems.
That is, in the conventional mask jig mounted on the work, the fluidity of the media 106 on the work polishing surface 101c shown in FIG. Since the rotatability of the workpiece 101 in the bath 105 is deteriorated and the polishing time is lengthened, there is room for improvement in this respect.

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、バレル槽内におけるワークの回転性を高めることができ、研磨時間を短縮することができ、効率よく研磨を行うことができる遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and is a centrifugal barrel polishing that can improve the rotation of a workpiece in a barrel tank, shorten the polishing time, and perform polishing efficiently. It is an object of the present invention to provide a mask jig and a barrel polishing system used for.

上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る遠心バレル研磨に用いるマスク治具は、ワーク軸の両端に非研磨面を有するワークの前記非研磨面を覆うように装着され、遠心バレル研磨機のバレル槽内で前記ワークとともに遠心力が付与される遠心バレル研磨に用いるマスク治具であって、前記ワークの非研磨面を覆うように保持する一対のマスク部と、前記一対のマスク部のそれぞれにおいて前記ワークに装着される保持部と反対側に配置され、ワーク軸方向に円板中心軸を向けた円板状の回転補助板と、を備えたことを特徴としている。 In order to achieve the above object, a mask jig used for centrifugal barrel polishing according to one aspect of the present invention is mounted so as to cover the non-polished surfaces of a work having non-polished surfaces on both ends of a work shaft. A mask jig used for centrifugal barrel polishing in which a centrifugal force is applied together with the work in a barrel tank of the machine, the mask jig comprising a pair of mask portions held so as to cover the non-polished surface of the work, and the pair of mask portions. and a disk-shaped rotation auxiliary plate arranged on the side opposite to the holding portion attached to the work and having the disk center axis directed in the work axial direction.

また、本発明の他の一態様に係るバレル研磨システムは、上述したマスク治具を装着した前記ワークを遠心バレル研磨機のバレル槽に投入して遠心力を付与することを特徴としている。 A barrel polishing system according to another aspect of the present invention is characterized in that the workpiece with the mask jig described above is put into a barrel tank of a centrifugal barrel finishing machine to apply centrifugal force.

上記態様に係る遠心バレル研磨に用いるマスク治具及びバレル研磨システムによれば、ワークの両端の非研磨面を覆った状態でマスク部が装着されるので、ワークを遠心バレル研磨機のバレル槽内で遠心させることで、ワークの研磨面のみを効率よく研磨することができる。そして、マスク治具にはワークにマスク部を装着した状態の治具の両端の位置に回転補助板が設けられているので、回転補助板によってメディア流動性が阻害されることを抑制することができる。つまり、回転補助板を設けることによって、バレル槽内でワークが円板中心軸回りに回転し易くなるというワークにおける回転安定性を向上させることができる。そのため、ワークの研磨面に対してバレル槽内のメディアが効率よく摺動させることができ、そのメディア摺動効率が向上することから、ワークの研磨時間を短縮させることができる。
とくにワークが側面に凹面が形成されている場合には、その凹面側の研磨時間を効果的に短縮できる。そのため、本態様に係るマスク治具では、ワークにおける凸面側と凹面側との研磨速度の差異により粗さが不均一となる不具合を抑制することができる。
According to the mask jig and the barrel polishing system for use in centrifugal barrel polishing according to the above aspect, since the mask portion is mounted while covering the non-polished surfaces at both ends of the work, the work is placed in the barrel tank of the centrifugal barrel finishing machine. By centrifuging at , only the polishing surface of the workpiece can be efficiently polished. Since the mask jig is provided with auxiliary rotation plates at both ends of the jig with the mask portion attached to the workpiece, it is possible to prevent the fluidity of the media from being hindered by the auxiliary rotation plates. can. In other words, by providing the rotation auxiliary plate, it is possible to improve the rotational stability of the work, which is to facilitate the rotation of the work around the disk center axis in the barrel tank. Therefore, the media in the barrel tank can be slid efficiently against the polishing surface of the work, and the media sliding efficiency is improved, so that the work polishing time can be shortened.
Especially when the workpiece has a concave side surface, the polishing time for the concave side can be effectively shortened. Therefore, with the mask jig according to this aspect, it is possible to suppress the problem that the roughness is uneven due to the difference in the polishing rate between the convex side and the concave side of the workpiece.

また、上記の遠心バレル研磨に用いるマスク治具は、前記マスク部は、前記円板中心軸と同軸をなすマスク軸方向で前記回転補助板側から前記保持部側に向けて漸次細くなるテーパ面が形成されていることが好ましい。 In the mask jig used for centrifugal barrel polishing, the mask portion has a tapered surface that gradually becomes thinner from the rotation auxiliary plate side toward the holding portion side in the direction of the mask axis coaxial with the disk center axis. is preferably formed.

このような構成によれば、ワークの研磨面とマスク部の側面との間の段差を小さくすることでメディアがワークに流れ込み易くなり、マスク治具を設けることに伴う研磨面に対するメディア流動性が阻害されることを抑制することができる。 According to such a configuration, by reducing the level difference between the polishing surface of the work and the side surface of the mask portion, the media can easily flow into the work, and the fluidity of the media with respect to the polishing surface accompanying the provision of the mask jig is reduced. Inhibition can be suppressed.

また、上記の遠心バレル研磨に用いるマスク治具は、前記マスク部は、前記円板中心軸と同軸をなすマスク軸方向から見て、前記マスク軸から離れるに従って漸次細くなる構成としてもよい。 Further, in the mask jig used for centrifugal barrel polishing, the mask portion may be configured so that the mask portion gradually becomes thinner as it separates from the mask axis when viewed from the direction of the mask axis coaxial with the disk center axis.

このような構成によれば、ワークが装着される保持部近傍のマスク部の側面周囲におけるメディアの流動性を向上させることができる。 According to such a configuration, it is possible to improve the fluidity of the medium around the side surface of the mask portion in the vicinity of the holding portion on which the work is mounted.

また、上記の遠心バレル研磨に用いるマスク治具は、前記回転補助板は、外周面の第1面粗さが前記円板中心軸に直交する板面の第2面粗さより大きいことが好ましい。 Further, in the mask jig used for centrifugal barrel polishing, it is preferable that the auxiliary rotation plate has a first surface roughness of the outer peripheral surface larger than a second surface roughness of the plate surface perpendicular to the central axis of the disk.

この場合には、バレル槽内でワークが円板中心軸回りにより効率よく回転することが可能な形状となり、ワークにおける回転安定性をより高めることができる。 In this case, the workpiece has a shape that allows it to rotate more efficiently around the central axis of the disk in the barrel tank, and the rotation stability of the workpiece can be further enhanced.

また、上記の遠心バレル研磨に用いるマスク治具は、前記回転補助板の外周面には凹凸が形成されていることが好ましい。 Further, in the mask jig used for the centrifugal barrel polishing, it is preferable that unevenness is formed on the outer peripheral surface of the auxiliary rotation plate.

このような構成によれば、回転補助板とバレル槽の内壁との接触面における回転に伴う摩擦抵抗をもたせることができ、回転補助板による回転滑りを低減することができるため、マスク治具を装着したワークの回転性を高めることができる。 With such a configuration, it is possible to provide frictional resistance due to rotation on the contact surface between the auxiliary rotation plate and the inner wall of the barrel tank, and to reduce rotational slip caused by the auxiliary rotation plate. It is possible to increase the rotatability of the mounted work.

また、上記の遠心バレル研磨に用いるマスク治具は、前記マスク部が装着された前記ワークは、前記ワーク軸に直交する方向を向く側面に第1凹凸面が形成され、前記一対のマスク部同士の間には、前記ワークと平行に間隔をあけた位置にメディア流動抑制部材が設けられ、前記メディア流動抑制部材には、前記ワーク軸方向から見て前記ワークの前記第1凹凸面と左右対称となる第2凹凸面が形成されていることが好ましい。 Further, in the mask jig used for the centrifugal barrel polishing, the work to which the mask portion is attached has a first uneven surface formed on a side surface facing a direction orthogonal to the work axis, and the pair of mask portions is formed on the side surface facing the direction perpendicular to the work axis. A media flow suppressing member is provided at a position spaced parallel to the work between them, and the media flow suppressing member is bilaterally symmetrical with the first uneven surface of the work when viewed from the axial direction of the work. It is preferable that the second uneven surface is formed.

このような構成によれば、ワーク軸に直交する方向を向く側面に第1凹凸面が形成されたワークを用いる際に、ワークに対して左右対称となるメディア流動抑制部材を設けることで、バレル槽内においてワークの凹面側と凸面側の各表面を流動するメディアの流動速度を同等にすることができる。そのため、ワークの凹面側と凸面側の研磨速度も同等となって、ワークの凹面と凸面の研磨による粗さが不均一になることを抑えることができる。
本発明では、ワークの凸面と凹面でのメディア流動性の差異により凹面の研磨速度が低くなって研磨時間が長時間となることを防止できる。さらに、例えば凹面の粗さを凸面と同等にするために長時間研磨して凸面の研磨減肉量が増加して型崩れに至るといった従来の不具合を防ぐことができる。
According to such a configuration, when using the work having the first uneven surface formed on the side surface facing in the direction perpendicular to the work axis, by providing the media flow suppression member that is symmetrical with respect to the work, the barrel It is possible to equalize the flow speed of the media flowing on the concave side and the convex side of the work in the tank. Therefore, the polishing speed on the concave surface side and the convex surface side of the work becomes equal, and it is possible to suppress uneven roughness due to polishing of the concave surface and the convex surface of the work.
In the present invention, it is possible to prevent the polishing time from becoming long due to a decrease in the polishing speed of the concave surface due to the difference in media fluidity between the convex surface and the concave surface of the workpiece. Further, for example, it is possible to prevent the conventional problem of losing shape due to an increase in polishing thickness reduction amount of the convex surface caused by polishing for a long time in order to make the roughness of the concave surface equal to that of the convex surface.

また、上記のバレル研磨システムは、前記バレル槽の内壁には凹凸が形成されていることが好ましい。 Further, in the barrel polishing system described above, it is preferable that the inner wall of the barrel tank is formed with unevenness.

このような構成によれば、回転補助板とバレル槽の内壁との接触面における回転に伴う摩擦抵抗をもたせることができ、回転補助板による回転滑りを低減することができるため、マスク治具を装着したワークの回転性を高めることができる。 With such a configuration, it is possible to provide frictional resistance due to rotation on the contact surface between the auxiliary rotation plate and the inner wall of the barrel tank, and to reduce rotational slip caused by the auxiliary rotation plate. It is possible to increase the rotatability of the mounted work.

本発明の遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムによれば、バレル槽内におけるワークの回転性を高めることができ、研磨時間を短縮することができ、効率よく研磨を行うことができる。 According to the mask jig used for centrifugal barrel polishing and the barrel polishing system of the present invention, the rotatability of the workpiece in the barrel tank can be improved, the polishing time can be shortened, and the polishing can be performed efficiently. can.

本発明の第1実施形態によるワークを保持したマスク治具の構成を示す側面図である。1 is a side view showing the configuration of a mask jig holding a work according to a first embodiment of the present invention; FIG. 図1に示すマスク治具の第1マスク部をワーク軸方向から見た上面図である。FIG. 2 is a top view of the first mask portion of the mask jig shown in FIG. 1 as seen from the axial direction of the work; 図1に示すA-A線矢視図であって、図1のマスク治具を横から見た側面図である。FIG. 2 is a view taken along the line AA shown in FIG. 1 and is a side view of the mask jig in FIG. 1 as seen from the side; 図1に示すワークを遠心バレル研磨機のバレル槽に投入した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the workpiece shown in FIG. 1 put into a barrel tank of a centrifugal barrel finishing machine; 図4に示すバレル槽の側方断面図である。5 is a side sectional view of the barrel tank shown in FIG. 4; FIG. 研磨効果の一例を示す図であって、研磨時間と表面粗さの関係を示す図である。It is a figure which shows an example of a polishing effect, Comprising: It is a figure which shows the relationship between polishing time and surface roughness. 第2実施形態によるワークを保持したマスク治具の構成を示す側面図であって、図1に対応する図である。FIG. 3 is a side view showing the configuration of a mask jig holding a work according to a second embodiment, corresponding to FIG. 1; 図7に示すマスク治具の第1マスク部をワーク軸方向から見た上面図であって、図2に対応する図である。FIG. 8 is a top view of the first mask part of the mask jig shown in FIG. 7 as seen from the axial direction of the work, and is a view corresponding to FIG. 2 ; 第2実施形態によるマスク部の保持手段を説明するための要部拡大図である。FIG. 11 is an enlarged view of a main portion for explaining holding means for a mask portion according to a second embodiment; 図7に示すワークを遠心バレル研磨機のバレル槽に投入した断面図であって、図4に対応する図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the work shown in FIG. 7 put into the barrel tank of the centrifugal barrel finishing machine, corresponding to FIG. 4 ; (a)、(b)は、変形例による回転補助板の外周面の他の形状を示す要部側面図である。(a), (b) is a principal part side view which shows the other shape of the outer peripheral surface of the rotation auxiliary plate by a modification. 第3実施形態によるワークを保持したマスク治具の構成を示す側面図であって、図1に対応する図である。FIG. 11 is a side view showing the configuration of a mask jig holding a workpiece according to a third embodiment, corresponding to FIG. 1; 図12に示すB-B線断面図でマスク治具の第1マスク部をワーク軸方向から見た上面図であって、図2及び図8に対応する図である。FIG. 13 is a top view of the first mask part of the mask jig as seen from the axial direction of the work in the BB line cross-sectional view shown in FIG. 12, and corresponds to FIGS. 2 and 8; ワークとメディア流動抑制部材との周囲を流動するメディアの状態を説明する図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a state of media flowing around a work and a media flow suppressing member; 従来のマスク治具を示す図であって、(a)は側面図、(b)は上面図である。It is a figure which shows the conventional mask jig, (a) is a side view, (b) is a top view. (a)、(b)は、従来の遠心バレル研磨機のバレル槽内のワークの状態を示す図である。(a), (b) is a figure which shows the state of the workpiece|work in the barrel tank of the conventional centrifugal barrel finishing machine.

以下、本発明の実施形態による遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムについて、図面に基づいて説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。 A mask jig used for centrifugal barrel polishing and a barrel polishing system according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. This embodiment shows one aspect of the present invention, does not limit the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the technical idea of the present invention.

(第1実施形態)
図1乃至図3に示す本実施形態によるマスク治具1は、遠心バレル研磨機3(図4及び図5参照)を使用してワーク2を研磨する際に、ワーク2の非研磨面2a、2bを覆うための治具である。すなわち、マスク治具1は、ワーク軸Oの両端に非研磨面2a、2bを有するワーク2の非研磨面2a、2bを覆うように装着され、遠心バレル研磨機3のバレル槽31内でワーク2とともに遠心回転が付与される遠心バレル研磨に用いられる。
(First embodiment)
The mask jig 1 according to the present embodiment shown in FIGS. It is a jig for covering 2b. That is, the mask jig 1 is mounted so as to cover the non-polishing surfaces 2a and 2b of the work 2 having the non-polishing surfaces 2a and 2b on both ends of the work shaft O, and the work is placed in the barrel tank 31 of the centrifugal barrel finishing machine 3. 2 is used for centrifugal barrel polishing in which centrifugal rotation is imparted.

図4及び図5に示す本実施形態によるバレル研磨システム10は、マスク治具1を装着したワーク2を遠心バレル研磨機3のバレル槽31に投入して遠心回転させるシステムである。 A barrel polishing system 10 according to the present embodiment shown in FIGS. 4 and 5 is a system in which a workpiece 2 with a mask jig 1 mounted thereon is put into a barrel tank 31 of a centrifugal barrel finishing machine 3 and rotated centrifugally.

ここで、本実施形態によるワーク2は、ステンレス鋼から形成される蒸気タービン翼を対象としている。すなわち、ワーク2は、図1及び図3に示すように、ワーク軸Oに直交する方向を向く側面に凹面や凸面(第1凹凸面)が形成された翼本体21と、翼本体21の軸方向(これをワーク軸Oという)の一端に設けられるシュラウド22と、ワーク軸O方向の他端に設けられる基部23と、を備えている。なお、本実施形態では、ワーク軸O方向を上下方向とし、シュラウド22側を上側、基部23側を下側として以下説明する。
マスク治具1において、ワーク2に装着した状態で、ワーク軸Oと同軸となるマスク軸を符号C1で示す。
Here, the workpiece 2 according to this embodiment is intended for a steam turbine blade made of stainless steel. That is, as shown in FIGS. 1 and 3, the workpiece 2 includes a blade body 21 having a concave surface or a convex surface (first uneven surface) formed on a side surface facing a direction perpendicular to the workpiece axis O, and an axis of the blade body 21. It has a shroud 22 provided at one end in the direction of the work axis O, and a base portion 23 provided at the other end in the direction of the work axis O. As shown in FIG. In this embodiment, the direction of the work axis O is defined as the vertical direction, the shroud 22 side is defined as the upper side, and the base portion 23 side is defined as the lower side.
In the mask jig 1, the mask axis that is coaxial with the work axis O when mounted on the work 2 is denoted by C1.

翼本体21は、図2に示すように、断面視で前縁部21a、後縁部21b、凹面が形成された腹側面21c、腹側面21cと表裏反対側に位置し、凸面が形成された背側面21dと、により形成されている。 As shown in FIG. 2, the wing main body 21 is located on the opposite side of the front edge 21a, the rear edge 21b, the concave ventral side 21c, and the ventral side 21c in a cross-sectional view, and has a convex surface. 21 d of back sides.

マスク治具1は、図1及び図3に示すように、ワーク2の非研磨面2a、2bを覆うように保持する一対のマスク部11(11A、11B)と、一対のマスク部11A、11Bのそれぞれにおいてワーク2に装着される保持部111、112と反対側に配置され、ワーク軸O方向に円板中心軸C2を向けた円板状の回転補助板12と、一対のマスク部11A、11B同士を連結する一対の連結軸部材13と、を備えている。 As shown in FIGS. 1 and 3, the mask jig 1 includes a pair of mask portions 11 (11A, 11B) held so as to cover the non-polished surfaces 2a, 2b of the workpiece 2, and a pair of mask portions 11A, 11B. , a disc-shaped rotation auxiliary plate 12 arranged on the side opposite to the holding portions 111 and 112 attached to the work 2 and having the disc central axis C2 directed in the direction of the work axis O, a pair of mask portions 11A, A pair of connecting shaft members 13 for connecting 11B are provided.

一対のマスク部11A、11Bのうち一方の第1マスク部11Aの下面11cには、ワーク2のシュラウド22を保持する凹状の第1保持部111が形成されている。また、他方の第2マスク部11Bの上面11dには、ワーク2の基部23を保持する凹状の第2保持部112が形成されている。
マスク部11A、11Bは、ワーク軸O方向から見て一方向に延び、その延在方向X1(図2参照)から見た側面視で四角形状をなしている。マスク部11A、11Bには、延在方向X1の両側にワーク軸O方向に貫通する第1挿通孔11aが形成されている。マスク部11A、11Bは、樹脂やウレタンゴム等の部材により形成されている。
A recessed first holding portion 111 for holding the shroud 22 of the workpiece 2 is formed on the lower surface 11c of the first mask portion 11A, which is one of the pair of mask portions 11A and 11B. A concave second holding portion 112 for holding the base portion 23 of the workpiece 2 is formed on the upper surface 11d of the other second mask portion 11B.
The mask portions 11A and 11B extend in one direction when viewed from the direction of the work axis O, and have a quadrangular shape when viewed from the side in the extending direction X1 (see FIG. 2). The mask portions 11A and 11B are formed with first insertion holes 11a penetrating in the work axis O direction on both sides in the extending direction X1. The mask portions 11A and 11B are made of a member such as resin or urethane rubber.

第1マスク部11Aは、ワーク軸O方向で回転補助板12側からワーク2のシュラウド22の保持部111側に向けて漸次細くなるテーパ面11bが形成されている。
第2マスク部11Bは、ワーク軸O方向の回転補助板12側の中間部からワーク2の基部23の保持部112側に向けて漸次細くなるテーパ面11bが形成されている。
The first mask portion 11A is formed with a tapered surface 11b that gradually becomes thinner from the rotation auxiliary plate 12 side toward the holding portion 111 side of the shroud 22 of the work 2 in the work axis O direction.
The second mask portion 11B is formed with a tapered surface 11b that gradually becomes thinner from an intermediate portion on the side of the rotation auxiliary plate 12 in the direction of the work axis O toward the holding portion 112 side of the base portion 23 of the work 2 .

回転補助板12は、マスク部11に固定した状態で、マスク部11に形成される一対の第1挿通孔11aと同軸に配置される一対の第2挿通孔12aが厚さ方向に貫通して設けられている。回転補助板12は、外周面12dの第1面粗さS1が円板中心軸C2に直交する板面(外面12b及び内面12c)の第2面粗さS2よりも大きく設定されている。回転補助板12は、樹脂やウレタンゴム等の部材により形成されている。 The auxiliary rotation plate 12 is fixed to the mask portion 11, and is penetrated in the thickness direction by a pair of second insertion holes 12a arranged coaxially with a pair of first insertion holes 11a formed in the mask portion 11. is provided. The auxiliary rotation plate 12 is set so that the first surface roughness S1 of the outer peripheral surface 12d is larger than the second surface roughness S2 of the plate surfaces (the outer surface 12b and the inner surface 12c) perpendicular to the disk center axis C2. The auxiliary rotation plate 12 is made of a member such as resin or urethane rubber.

連結軸部材13は、ボルト131と、ボルト131に螺合するナット132と、からなる。連結軸部材13のボルトは、第1挿通孔11aと第2挿通孔12aに挿通可能に設けられている。ボルト131の長さは、ワーク2を保持した一対のマスク部11A、11Bの両方の第1挿通孔11a及び回転補助板12の第2挿通孔12aを一方から挿通させて他方でナット132を締め付け可能な長さに設定されている。 The connecting shaft member 13 is composed of a bolt 131 and a nut 132 screwed onto the bolt 131 . The bolt of the connecting shaft member 13 is provided so as to be able to pass through the first insertion hole 11a and the second insertion hole 12a. The length of the bolt 131 is such that it is inserted through the first insertion holes 11a of the pair of mask portions 11A and 11B holding the work 2 and the second insertion hole 12a of the rotation auxiliary plate 12 from one side, and the nut 132 is tightened from the other side. It is set to the length possible.

一対のマスク部11A、11Bと回転補助板12とは、一対のマスク部11A、11Bでワーク2を保持した状態で、マスク部11A、11Bの第1挿通孔11aと回転補助板12の第2挿通孔12aとに連結軸部材13のボルト131を挿通させてナット132で締め付けることで固定され、ワーク2が一対のマスク部11A、11Bに保持される。 The pair of mask portions 11A and 11B and the auxiliary rotation plate 12 are connected to the first insertion hole 11a of the mask portions 11A and 11B and the second insertion hole 11 of the auxiliary rotation plate 12 while the work 2 is held by the pair of mask portions 11A and 11B. A bolt 131 of the connecting shaft member 13 is passed through the insertion hole 12a and fixed by tightening with a nut 132, and the work 2 is held by the pair of mask portions 11A and 11B.

遠心バレル研磨機3は、図4に示すように、断面形状が6角形のバレル槽31を有している。バレル槽31は、バレル回転軸(図示省略)を中心に回転する。ここで、図4及び図5は、バレル槽31にマスク治具1によって保持されたワーク2とメディア4が投入された状態を示している。メディア4としては、研磨材や研磨コンパウンドが採用される。
遠心バレル研磨機3は、バレル槽31全体が図4に示す矢印E方向に公転しつつ、バレル回転軸を中心にして矢印F方向に自転する。これにより、ワーク2とメディア4に遠心力が与えられ、メディア4中をワーク2が通過する際に、ワーク2の研磨面2cを擦りながら研磨する。
As shown in FIG. 4, the centrifugal barrel finishing machine 3 has a barrel tank 31 with a hexagonal cross section. The barrel tank 31 rotates around a barrel rotating shaft (not shown). Here, FIGS. 4 and 5 show a state in which the workpiece 2 and the medium 4 held by the mask jig 1 are put into the barrel tank 31. As shown in FIG. As the media 4, an abrasive material or a polishing compound is used.
In the centrifugal barrel finishing machine 3, the entire barrel tub 31 revolves in the direction of arrow E shown in FIG. 4 and rotates in the direction of arrow F around the barrel rotation axis. As a result, a centrifugal force is applied to the work 2 and the media 4, and when the work 2 passes through the media 4, the polishing surface 2c of the work 2 is rubbed and polished.

次に、上述した遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムの作用について、図面に基づいて具体的に説明する。
本実施形態による遠心バレル研磨に用いるマスク治具1、及びバレル研磨システム10では、図4及び図5に示すように、ワーク2の両端の非研磨面2a、2b(図1及び図3参照)を覆った状態でマスク部11A、11Bが装着されるので、ワーク2を遠心バレル研磨機3のバレル槽31内で遠心させることで、ワーク2の研磨面2cのみを効率よく研磨することができる。そして、マスク治具1にはワーク2にマスク部11A、11Bを装着した状態の治具の両端の位置に回転補助板12が設けられているので、回転補助板12によってメディア流動性が阻害されることを抑制することができる。
Next, the operation of the mask jig used in the above-described centrifugal barrel polishing and the barrel polishing system will be specifically described with reference to the drawings.
In the mask jig 1 and the barrel polishing system 10 used for centrifugal barrel polishing according to the present embodiment, as shown in FIGS. Since the mask parts 11A and 11B are attached while covering the workpiece 2, only the polishing surface 2c of the workpiece 2 can be efficiently polished by centrifuging the workpiece 2 in the barrel tank 31 of the centrifugal barrel finishing machine 3. . Since the mask jig 1 is provided with auxiliary rotation plates 12 at both ends of the jig when the mask portions 11A and 11B are attached to the workpiece 2, the auxiliary rotation plates 12 impede fluidity of the medium. can be suppressed.

つまり、本実施形態では、回転補助板12を設けることによって、バレル槽31内でワーク2が円板中心軸C2回りに回転し易くなるというワーク2における回転安定性を向上させることができる。そのため、ワーク2の研磨面2cに対してバレル槽31内のメディア4が効率よく摺動させることができ、そのメディア摺動効率が向上することから、ワーク2の研磨時間を短縮させることができる。
とくにワーク2が側面に腹側面21cの凹面が形成されている場合には、その凹面側の研磨時間を効果的に短縮できる。そのため、本実施形態では、ワーク2における凸面側(背側面21d)と凹面(腹側面21c)側との研磨速度の差異により粗さが不均一となる不具合を抑制することができる。
In other words, in this embodiment, by providing the rotation auxiliary plate 12, it is possible to improve the rotation stability of the workpiece 2, which makes it easier for the workpiece 2 to rotate around the disk central axis C2 in the barrel tank 31. Therefore, the media 4 in the barrel tank 31 can be efficiently slid on the polishing surface 2c of the work 2, and the media sliding efficiency is improved, so that the polishing time of the work 2 can be shortened. .
Especially when the workpiece 2 has a concave side surface 21c formed on the side surface, the polishing time for the concave side can be effectively shortened. Therefore, in the present embodiment, it is possible to suppress unevenness in roughness due to a difference in polishing rate between the convex side (back side 21d) and concave side (ventral side 21c) of the workpiece 2.

また、本実施形態によるマスク治具1は、マスク部11A,11Bがマスク軸C1方向で回転補助板12側から保持部側に向けて漸次細くなるテーパ面11bが形成されているので、ワーク2の研磨面2cとマスク部11の側面との間の段差を小さくすることでメディア4がワーク2に流れ込み易くなり、マスク治具1を設けることに伴う研磨面2cに対するメディア流動性が阻害されることを抑制することができる。 Further, in the mask jig 1 according to the present embodiment, the mask portions 11A and 11B are formed with a tapered surface 11b that gradually becomes thinner from the auxiliary rotation plate 12 side toward the holding portion side in the direction of the mask axis C1. By reducing the step between the polishing surface 2c and the side surface of the mask portion 11, the media 4 can easily flow into the workpiece 2, and the fluidity of the media with respect to the polishing surface 2c accompanying the provision of the mask jig 1 is hindered. can be suppressed.

また、本実施形態では、回転補助板12は、外周面12dの第1面粗さS1が円板中心軸C2に直交する板面(外面12b、内面12c)の第2面粗さS2よりも大きいため、バレル槽31内でワーク2が円板中心軸C2回りにより効率よく回転することが可能な形状となり、ワーク2における回転安定性をより高めることができる。 Further, in the present embodiment, the auxiliary rotation plate 12 has a first surface roughness S1 of the outer peripheral surface 12d that is greater than a second surface roughness S2 of the plate surfaces (the outer surface 12b and the inner surface 12c) perpendicular to the disk central axis C2. Because of the large size, the work 2 can be efficiently rotated around the disk center axis C2 in the barrel tank 31, and the rotation stability of the work 2 can be further enhanced.

図6は、上述したバレル研磨システムを用いてワーク2を研磨したときの研磨時間(min)の表面粗さRa(μm)との関係を示した一例を示している。ここでは、従来の円柱型のマスク治具を使用した比較例と、回転補助板12を取り付けた上記実施形態によるマスク治具1を使用した実施例と、を同一の研磨条件によりワーク2の凹面側(図2に示す腹側面21c)を研磨し、表面粗さが所定の粗さ(鏡面Raで0.04μm)に到達したときの研磨時間を比較した。 FIG. 6 shows an example showing the relationship between the polishing time (min) and the surface roughness Ra (μm) when the workpiece 2 is polished using the barrel polishing system described above. Here, a comparative example using a conventional cylindrical mask jig and an example using the mask jig 1 according to the above-described embodiment with the auxiliary rotation plate 12 attached were polished under the same polishing conditions. The side (abdominal surface 21c shown in FIG. 2) was polished, and the polishing time when the surface roughness reached a predetermined roughness (0.04 μm on the mirror surface Ra) was compared.

図6に示すように、研磨時間は、実施例で300min、比較例で600minとなり、実施例は比較例に対して略300min(5時間)の時間短縮を実現することができ、実施例によるマスク治具1で効率よく短時間による研磨が可能である効果を確認することができた。 As shown in FIG. 6, the polishing time is 300 minutes in the example and 600 minutes in the comparative example, and the example can realize a time reduction of approximately 300 minutes (5 hours) compared to the comparative example. It was confirmed that the jig 1 enabled efficient polishing in a short period of time.

上述した本実施形態による遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムでは、バレル槽31内におけるワーク2の回転性を高めることができ、研磨時間を短縮することができ、効率よく研磨を行うことができる。 With the mask jig and the barrel polishing system used for centrifugal barrel polishing according to the present embodiment described above, the rotatability of the work 2 in the barrel tank 31 can be increased, the polishing time can be shortened, and the polishing can be efficiently performed. It can be carried out.

次に、他の実施形態による遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムについて説明する。なお、上述した第1実施形態の構成要素と同一機能を有する構成要素には同一符号を付し、これらについては、説明が重複するので詳しい説明は省略する。 Next, a mask jig used for centrifugal barrel polishing and a barrel polishing system according to another embodiment will be described. Components having the same functions as those of the components of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted to avoid duplication of description.

(第2実施形態)
図7及び図8に示すように、第2実施形態によるマスク治具1Aは、上記第1実施形態のマスク部11の形状を代え、ワーク2に対する保持手段として一対のマスク部11A、11B同士を連結する連結軸部材13(図3参照)を省略して他の保持手段を適用したものである。
マスク部11A、11Bは、円板中心軸C2と同軸をなすマスク軸C1方向から見て、マスク軸C1から離れるに従って漸次細くなる上面視でひし形状となっている。このマスク部11A、11Bは、マスク軸C1に沿って同じ断面形状をなし、回転補助板12と一体に形成されている。
(Second embodiment)
As shown in FIGS. 7 and 8, in the mask jig 1A according to the second embodiment, the shape of the mask portion 11 of the first embodiment is changed, and a pair of mask portions 11A and 11B are used as holding means for the workpiece 2. The connecting shaft member 13 (see FIG. 3) is omitted and another holding means is applied.
The mask portions 11A and 11B have a rhombus shape in top view that gradually tapers away from the mask axis C1 when viewed from the direction of the mask axis C1 coaxial with the disk center axis C2. The mask portions 11A and 11B have the same cross-sectional shape along the mask axis C1 and are integrally formed with the auxiliary rotation plate 12. As shown in FIG.

各マスク部11A、11Bの側面には、図7に示すように、保持部111、112に貫通するビス孔113が形成されている。第1マスク部11Aには、1箇所にビス孔113が設けられている。第2マスク部11Bには、上下に間隔をあけた2箇所にビス孔113が設けられている。これらビス孔113には、図9に示すように、楔型のビス114が打ち込まれることで、ビス先端114aで保持部111、112に保持されるワーク2の被保持部である非研磨面2a、2bを押圧することで、ワーク2が保持部111、112から外れないように固定されている。 As shown in FIG. 7, screw holes 113 penetrating through the holding portions 111 and 112 are formed in the side surfaces of the respective mask portions 11A and 11B. A screw hole 113 is provided at one location in the first mask portion 11A. The second mask portion 11B is provided with screw holes 113 at two vertically spaced locations. Wedge-shaped screws 114 are driven into these screw holes 113 as shown in FIG. , 2b, the work 2 is fixed so as not to come off from the holding portions 111 and 112. As shown in FIG.

図10に示すように、回転補助板12には、外周面12dに三角形状の山形の凹凸121が形成されている。回転補助板12の凹凸121としては、例えばWCサーメット溶射コート等の表面処理を施工することにより形成することができる。
また、遠心バレル研磨機3のバレル槽31の内壁31aにも三角形状の山形の凹凸311が形成されている。バレル槽31の内壁31aの凹凸311としては、バレル槽31のウレタン等のライニングゴム材に凹凸311を加工することができる。
As shown in FIG. 10, the auxiliary rotation plate 12 has a triangular mountain-shaped unevenness 121 formed on the outer peripheral surface 12d. The unevenness 121 of the auxiliary rotation plate 12 can be formed by applying surface treatment such as WC cermet thermal spray coating.
The inner wall 31a of the barrel tank 31 of the centrifugal barrel finishing machine 3 is also formed with triangular mountain-shaped irregularities 311. As shown in FIG. As the unevenness 311 of the inner wall 31 a of the barrel tank 31 , the unevenness 311 can be processed in the lining rubber material such as urethane of the barrel tank 31 .

上述した第2実施形態では、ワーク2が装着される保持部111、112近傍のマスク部11の側面周囲におけるメディアの流動性を向上させることができる。
また第2実施形態では、上述した第1実施形態のような連結軸部材13(図1参照)が省略されているので、メディア4の流動性を阻害する部材をさらに削減され、より効率よくワーク2の研磨面2cを研磨することができる。
In the second embodiment described above, it is possible to improve the fluidity of the media around the side surfaces of the mask portion 11 near the holding portions 111 and 112 on which the work 2 is mounted.
In addition, in the second embodiment, since the connecting shaft member 13 (see FIG. 1) as in the above-described first embodiment is omitted, the number of members that hinder the fluidity of the media 4 is further reduced, and the work can be carried out more efficiently. 2 can be polished.

さらに、第2実施形態では、回転補助板12の外周面12dとバレル槽31の内壁31aとに凹凸311が形成されているので、回転補助板12とバレル槽31の内壁31aとの接触面における回転に伴う摩擦抵抗をもたせることができ、回転補助板12による回転滑りを低減することができるため、マスク治具1を装着したワーク2の回転性を高めることができる。なお、回転補助板12とバレル槽31の両方に凹凸121、311が形成されているが、いずれか一方であってもよい。また、凹凸121、311は、凹凸部を有するグリップ性を有するグリップ部材で被覆することにより形成されていてもよい。 Furthermore, in the second embodiment, since the unevenness 311 is formed on the outer peripheral surface 12d of the auxiliary rotation plate 12 and the inner wall 31a of the barrel tank 31, the contact surface between the auxiliary rotation plate 12 and the inner wall 31a of the barrel tank 31 Frictional resistance associated with rotation can be provided, and rotational slip caused by the auxiliary rotation plate 12 can be reduced, so that the rotatability of the work 2 on which the mask jig 1 is mounted can be enhanced. In addition, although the unevenness|corrugation 121 and 311 are formed in both the rotation auxiliary|assistant board 12 and the barrel tank 31, either one may be sufficient. Further, the unevenness 121, 311 may be formed by covering with a gripping member having unevenness.

なお、回転補助板12の外周面12dやバレル槽31の内壁31aに形成される凹凸形状としては、上述した三角形状の山形の凹凸121、311に限定されることはない。例えば図11(a)に示すような四角形状の凹凸121A、311Aであってもよいし、図11(b)に示すような曲面状の凹凸121B、311Bであってもよい。 The uneven shape formed on the outer peripheral surface 12d of the auxiliary rotation plate 12 and the inner wall 31a of the barrel tank 31 is not limited to the triangular mountain-shaped unevenness 121, 311 described above. For example, it may be rectangular unevenness 121A, 311A as shown in FIG. 11A, or curved unevenness 121B, 311B as shown in FIG. 11B.

(第3実施形態)
図12及び図13に示すように、第3実施形態によるマスク治具1Bは、一対のマスク部11A、11B同士の間には、ワーク2とワーク軸Oに直交する方向に平行に間隔をあけた位置にメディア流動抑制部材14が設けられている。メディア流動抑制部材14は、ワーク2の背側面21d(図13参照)から間隔をあけて配置され、ワーク軸Oに沿って上下方向に延びて、上端14c及び下端14dがそれぞれ第1マスク部11Aの下面11cと第2マスク部11Bの上面11dに着脱可能に固定される。
メディア流動抑制部材14には、ワーク軸O方向から見てワーク2の腹側面21c、背側面21dと左右対称となるように凸曲面14a、凹曲面14b(第2凹凸面)が形成されている。メディア流動抑制部材14の凸曲面14aは、ワーク2の背側面21dと向き合った状態で配置されている。
(Third Embodiment)
As shown in FIGS. 12 and 13, in the mask jig 1B according to the third embodiment, the pair of mask portions 11A and 11B is spaced parallel to the work 2 in the direction orthogonal to the work axis O. A media flow suppressing member 14 is provided at a position where the media flow is suppressed. The media flow suppressing member 14 is spaced apart from the back side surface 21d (see FIG. 13) of the work 2, extends vertically along the work axis O, and has an upper end 14c and a lower end 14d each forming the first mask portion 11A. and the upper surface 11d of the second mask portion 11B.
A convex curved surface 14a and a concave curved surface 14b (second uneven surfaces) are formed on the media flow suppression member 14 so as to be bilaterally symmetrical with the ventral side surface 21c and the back side surface 21d of the workpiece 2 when viewed from the direction of the workpiece axis O. . The convex curved surface 14 a of the media flow suppression member 14 is arranged facing the back surface 21 d of the workpiece 2 .

このような構成によれば、ワーク軸Oに直交する方向を向く側面に腹側面21cや背側面21dが形成されたワーク2を用いる際に、ワーク2に対してワーク軸O方向から見て左右対称となるメディア流動抑制部材14を設けることで、図14に示すように、バレル槽31内においてワーク2の腹側面21c側と背側面21d側の各表面を流動するメディア4の流動速度V1、V2を同等にすることができる。そのため、ワーク2の腹側面21c側と背側面21d側の研磨速度も同等となって、ワーク2の腹側面21cと背側面21dの研磨による粗さが不均一になることを抑えることができる。 According to such a configuration, when using the work 2 having the ventral side 21c and the dorsal side 21d formed on the sides facing in the direction perpendicular to the work axis O, the left and right sides of the work 2 as viewed from the work axis O direction. By providing the symmetrical media flow suppression member 14, as shown in FIG. V2 can be made equivalent. Therefore, the polishing speeds of the ventral side 21c and the dorsal side 21d of the work 2 are the same, and unevenness in the grinding roughness of the ventral side 21c and the dorsal side 21d of the work 2 can be suppressed.

本実施形態では、ワーク2の腹側面21cと背側面21dでのメディア流動性の差異により腹側面21cの研磨速度が低くなって研磨時間が長時間となることを防止できる。さらに、例えば腹側面21cの粗さを凸面である背側面21dと同等にするために長時間研磨して背側面21dの研磨減肉量が増加して型崩れに至るといった従来の不具合を防ぐことができる。 In this embodiment, it is possible to prevent the polishing rate from decreasing on the ventral side 21c due to the difference in media fluidity between the ventral side 21c and the dorsal side 21d of the work 2 and the polishing time from becoming long. Furthermore, for example, to prevent the conventional problem that the back side 21d loses its shape due to an increase in grinding thinning amount of the back side 21d caused by polishing for a long time in order to make the roughness of the ventral side 21c equal to that of the convex back side 21d. can be done.

以上、本発明による遠心バレル研磨に用いるマスク治具、及びバレル研磨システムの実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。 Although the embodiment of the mask jig used for centrifugal barrel polishing and the barrel polishing system according to the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified as appropriate without departing from the scope of the invention. It is possible.

例えば、本実施形態では、ワーク2として蒸気タービン翼を適用対象とした一例であるが、他の部材や形状のワークを適用することも可能である。要は、ワークのワーク軸の両端に非研磨面を有し、その非研磨面をマスク部で覆って研磨する必要があるワークであればよいのである。 For example, in the present embodiment, a steam turbine blade is used as the workpiece 2, but it is also possible to apply workpieces of other members and shapes. In short, any work that has non-polished surfaces at both ends of the work axis of the work and needs to be polished while covering the non-polished surfaces with the mask portion may be used.

また、本第1実施形態では、マスク部11A、11Bがマスク軸C1方向で回転補助板12側から保持部111、112側に向けて漸次細くなるテーパ面11bを形成した構成となっているが、テーパ面11bを設けることに限定されることはなく、省略することも可能である。 In addition, in the first embodiment, the mask portions 11A and 11B are formed with tapered surfaces 11b that gradually become thinner from the auxiliary rotation plate 12 side toward the holding portions 111 and 112 in the direction of the mask axis C1. , the tapered surface 11b may be omitted.

さらに、実施形態では、回転補助板12として、外周面12dが円板中心軸に直交する板面(外面12b、内面12c)よりも面粗さが大きくなるように設定しているが、これに限定されることはない。
そして、回転補助板12の外周面12dに凹凸121を形成することに限定されず、この凹凸121を省略することも可能である。
Furthermore, in the embodiment, the outer peripheral surface 12d of the auxiliary rotation plate 12 is set to have a larger surface roughness than the plate surfaces (the outer surface 12b and the inner surface 12c) perpendicular to the central axis of the disc. not limited.
Further, it is not limited to forming the irregularities 121 on the outer peripheral surface 12d of the auxiliary rotation plate 12, and the irregularities 121 may be omitted.

さらにまた、バレル槽31の内壁31aに凹凸311を形成することに限定されず、この凹凸121を省略することも可能である。 Furthermore, it is not limited to forming the unevenness 311 on the inner wall 31a of the barrel tank 31, and the unevenness 121 can be omitted.

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態を適宜組み合わせてもよい。 In addition, it is possible to appropriately replace the components in the above-described embodiments with well-known components without departing from the scope of the present invention, and the above-described embodiments may be combined as appropriate.

1、1A、1B マスク治具
2 ワーク
2a、2b 非研磨面
2c 研磨面
3 遠心バレル研磨機
4 メディア
10 バレル研磨システム
11、11A、11B マスク部
11b テーパ面
12 回転補助板
12d 外周面
13 連結軸部材
14 メディア流動抑制部材
14a 凸曲面(第2凹凸面)
14b 凹曲面(第2凹凸面)
21 翼本体
21c 腹側面(第1凹凸面)
21d 背側面(第1凹凸面)
31 バレル槽
31a 内壁
111、112 保持部
121、311 凹凸
O ワーク軸
C1 マスク軸
C2 円板中心軸
Reference Signs List 1, 1A, 1B mask jig 2 workpiece 2a, 2b non-polishing surface 2c polishing surface 3 centrifugal barrel polishing machine 4 media 10 barrel polishing system 11, 11A, 11B mask part 11b tapered surface 12 rotation auxiliary plate 12d outer peripheral surface 13 connecting shaft Member 14 Media flow suppression member 14a Convex curved surface (second uneven surface)
14b Concave curved surface (second uneven surface)
21 wing main body 21c ventral side (first uneven surface)
21d dorsal side (first uneven surface)
31 Barrel tank 31a Inner wall 111, 112 Holding part 121, 311 Unevenness O Work axis C1 Mask axis C2 Disk central axis

Claims (8)

ワーク軸の両端に非研磨面を有するワークの前記非研磨面を覆うように装着され、遠心バレル研磨機のバレル槽内で前記ワークとともに遠心力が付与される遠心バレル研磨に用いるマスク治具であって、
前記ワークの非研磨面を覆うように保持する一対のマスク部と、
前記一対のマスク部のそれぞれにおいて前記ワークに装着される保持部と反対側に配置され、ワーク軸方向に円板中心軸を向けた円板状の回転補助板と、
を備えた遠心バレル研磨に用いるマスク治具。
A mask jig used for centrifugal barrel polishing, which is mounted so as to cover the non-polished surfaces of a work shaft having non-polished surfaces on both ends of the work shaft, and in which a centrifugal force is applied together with the work in a barrel tank of a centrifugal barrel finishing machine. There is
a pair of mask portions held so as to cover the non-polished surface of the work;
a disk-shaped rotation auxiliary plate disposed on the opposite side of the pair of mask portions from the holding portion attached to the work, and having the disk center axis directed in the axial direction of the work;
A mask jig used for centrifugal barrel polishing.
前記マスク部は、前記円板中心軸と同軸をなすマスク軸方向で前記回転補助板側から前記保持部側に向けて漸次細くなるテーパ面が形成されている請求項1に記載のマスク治具。 2. The mask jig according to claim 1, wherein the mask portion is formed with a tapered surface that tapers gradually from the rotation auxiliary plate side toward the holding portion side in a mask axial direction coaxial with the disk center axis. . 前記マスク部は、前記円板中心軸と同軸をなすマスク軸方向から見て、前記マスク軸から離れるに従って漸次細くなる請求項1又は2に記載のマスク治具。 3. The mask jig according to claim 1, wherein the mask portion gradually becomes thinner with increasing distance from the mask axis when viewed from the direction of the mask axis coaxial with the disk center axis. 前記回転補助板は、外周面の第1面粗さが前記円板中心軸に直交する板面の第2面粗さより大きい請求項1乃至3のいずれか1項に記載のマスク治具。 4. The mask jig according to any one of claims 1 to 3, wherein the auxiliary rotation plate has a first surface roughness of the outer peripheral surface larger than a second surface roughness of the plate surface perpendicular to the central axis of the disk. 前記回転補助板の外周面には凹凸が形成されている請求項1乃至4のいずれか1項に記載のマスク治具。 5. The mask jig according to any one of claims 1 to 4, wherein unevenness is formed on an outer peripheral surface of said rotation assisting plate. 前記マスク部が装着された前記ワークは、前記ワーク軸に直交する方向を向く側面に第1凹凸面が形成され、
前記一対のマスク部同士の間には、前記ワークと平行に間隔をあけた位置にメディア流動抑制部材が設けられ、
前記メディア流動抑制部材には、前記ワーク軸方向から見て前記ワークの前記第1凹凸面と左右対称となる第2凹凸面が形成されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載のマスク治具。
The work to which the mask portion is attached has a first uneven surface formed on a side surface thereof facing in a direction orthogonal to the work axis,
A media flow suppression member is provided between the pair of mask portions at a position parallel to the work and spaced apart,
6. The medium flow suppression member according to any one of claims 1 to 5, wherein a second uneven surface that is bilaterally symmetrical with the first uneven surface of the workpiece when viewed from the axial direction of the workpiece is formed. mask jig.
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のマスク治具を装着した前記ワークを遠心バレル研磨機のバレル槽に投入して遠心力を付与するバレル研磨システム。 A barrel polishing system in which the workpiece having the mask jig according to any one of claims 1 to 6 is put into a barrel tank of a centrifugal barrel finishing machine to apply centrifugal force. 前記バレル槽の内壁には凹凸が形成されている請求項7に記載のバレル研磨システム。 8. The barrel polishing system according to claim 7, wherein unevenness is formed on the inner wall of the barrel tank.
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