JP7210312B2 - Salt, acid generator, resist composition and method for producing resist pattern - Google Patents

Salt, acid generator, resist composition and method for producing resist pattern Download PDF

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JP7210312B2 JP2019023828A JP2019023828A JP7210312B2 JP 7210312 B2 JP7210312 B2 JP 7210312B2 JP 2019023828 A JP2019023828 A JP 2019023828A JP 2019023828 A JP2019023828 A JP 2019023828A JP 7210312 B2 JP7210312 B2 JP 7210312B2
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Description

本発明は、塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法に関する。 The present invention relates to a salt, an acid generator, a resist composition, and a method for producing a resist pattern.

特許文献1には、下記式で表される塩を酸発生剤として含有するレジスト組成物が記載されている。

Figure 0007210312000001
特許文献2には、下記式で表される塩を酸発生剤として含有するレジスト組成物が記載されている。
Figure 0007210312000002
特許文献3には、下記式で表される塩を酸発生剤として含有するレジスト組成物が記載されている。
Figure 0007210312000003
特許文献4には、下記式で表される塩を酸発生剤として含有するレジスト組成物が記載されている。
Figure 0007210312000004
Patent Document 1 describes a resist composition containing a salt represented by the following formula as an acid generator.
Figure 0007210312000001
Patent Document 2 describes a resist composition containing a salt represented by the following formula as an acid generator.
Figure 0007210312000002
Patent Document 3 describes a resist composition containing a salt represented by the following formula as an acid generator.
Figure 0007210312000003
Patent Document 4 describes a resist composition containing a salt represented by the following formula as an acid generator.
Figure 0007210312000004

特開2011-037837号公報JP 2011-037837 A 特開2016-047815号公報JP 2016-047815 A 特開2011-246439号公報JP 2011-246439 A 特開2017-095446号公報JP 2017-095446 A

本発明は、上記の塩を含むレジスト組成物から形成されたレジストパターンよりも、良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる塩を提供することを課題とする。 An object of the present invention is to provide a salt capable of producing a resist pattern with better CD uniformity (CDU) than a resist pattern formed from a resist composition containing the above salt.

本発明は、以下の発明を含む。
[1]式(aa)で表される基を有する塩。

Figure 0007210312000005
[式(aa)中、
a及びXbは、それぞれ独立に、-O-又は-S-を表す。
1は、置換基を有してもよい炭素数4~48の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。ただし、前記炭化水素基に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
*は、結合部位を表す。]
Figure 0007210312000006
[式(IA)中、
は、炭素数1~12の飽和炭化水素基を表す。
u1は、0~2のいずれかの整数を表し、u1が2である場合、複数のRは同一であるか、相異なる。
s1は、1又は2を表す。
t1は、0又は1を表す。但し、s1とt1との和は、1又は2である。
*は、結合部位を表す。]
[2]式(aa)で表される基が、式(aa1)で表される基である[1]に記載の塩。
Figure 0007210312000007
[式(aa1)中、
、X、X及び*は、上記と同じ意味を表す。
環Wは、置換基を有していてもよい炭素数3~18の非芳香族炭化水素環を表し、該非芳香族炭化水素環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-で置換されていてもよい。]
[3]式(aa1)で表される基を有するアニオンとカチオンとからなる塩である[2]に記載の塩。
[4]式(aa1)で表される基を有するアニオンが、式(aa1)で表される基とスルホナートとを有するアニオンである[3]に記載の塩。
[5]式(aa1)で表される基とスルホナートとを有するアニオンが、式(aa2)で表されるアニオンである[4]に記載の塩。
Figure 0007210312000008
[式(aa2)中、
、X、X及び環Wは、上記と同じ意味を表す。
1は、炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-基は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。]
[6]環Wが、多環の脂環式炭化水素環である[2]~[5]のいずれかに記載の塩。
[7]L1が、*-CO-O-(CHt-、-CH-O-CO-又は*-CH-O-CO-O-(tは0~6のいずれかの整数を表す。*は、-C(Q)(Q)-との結合部位を表す。)である[5]又は[6]に記載の塩。
[8]X1が、式(X1-1)で表される基、式(X1-2)で表される基、式(X1-3)で表される基又は式(X1-4)で表される基である[1]~[7]のいずれかに記載の塩。
Figure 0007210312000009
[式中、
1、R2、R3、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルキル基、炭素数5~12の脂環式炭化水素基又はこれらの基を組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。R1、R2及び又はR3、R4、R5及び又はR6に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
*は、Xa及びXbとの結合部位を表す。]
[9][1]~[8]のいずれかに記載の塩を含有する酸発生剤。
[10][9]に記載の酸発生剤と酸不安定基を有する樹脂とを含有するレジスト組成物。
[11]さらに、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩を含有する[10]に記載のレジスト組成物。
[12](1)[10]又は[11]に記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程を含むレジストパターンの製造方法。 The present invention includes the following inventions.
[1] A salt having a group represented by formula (aa).
Figure 0007210312000005
[In formula (aa),
X a and X b each independently represent -O- or -S-.
X 1 represents an optionally substituted hydrocarbon group having 4 to 48 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —CO— or — SO 2 - may be substituted. However, at least one hydrogen atom contained in the hydrocarbon group is substituted with a group represented by formula (IA).
* represents the binding site. ]
Figure 0007210312000006
[In the formula (IA),
R A represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
u1 represents an integer of 0 to 2, and when u1 is 2, the plurality of RAs are the same or different.
s1 represents 1 or 2;
t1 represents 0 or 1; However, the sum of s1 and t1 is 1 or 2.
* represents the binding site. ]
[2] The salt according to [1], wherein the group represented by formula (aa) is a group represented by formula (aa1).
Figure 0007210312000007
[In the formula (aa1),
X a , X b , X 1 and * have the same meanings as above.
Ring W represents an optionally substituted non-aromatic hydrocarbon ring having 3 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the non-aromatic hydrocarbon ring is —O—, —S— , --CO-- or --SO 2 --. ]
[3] The salt according to [2], which is a salt comprising an anion having a group represented by formula (aa1) and a cation.
[4] The salt according to [3], wherein the anion having a group represented by formula (aa1) is an anion having a group represented by formula (aa1) and a sulfonate.
[5] The salt according to [4], wherein the anion having a group represented by formula (aa1) and a sulfonate is an anion represented by formula (aa2).
Figure 0007210312000008
[In formula (aa2),
X a , X b , X 1 and ring W have the same meanings as above.
L 1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and the —CH 2 — group contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—; A hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Q 1 and Q 2 each independently represent a fluorine atom or a C 1-6 perfluoroalkyl group. ]
[6] The salt according to any one of [2] to [5], wherein ring W is a polycyclic alicyclic hydrocarbon ring.
[7] L 1 is *-CO-O-(CH 2 ) t -, -CH 2 -O-CO- or *-CH 2 -O-CO-O- (t is any one of 0 to 6 The salt of [5] or [6], wherein * represents a binding site with -C(Q 1 )(Q 2 )-).
[8] X 1 is a group represented by formula (X 1 -1), a group represented by formula (X 1 -2), a group represented by formula (X 1 -3) or a group represented by formula (X 1 -4) The salt according to any one of [1] to [7], which is a group represented by -4).
Figure 0007210312000009
[In the formula,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, or a combination of these groups. -CH 2 - contained in said alkyl group and said alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. At least one hydrogen atom contained in R 1 , R 2 and/or R 3 , R 4 , R 5 and/or R 6 is substituted with a group represented by formula (IA).
* represents the binding site with X a and X b . ]
[9] An acid generator containing the salt according to any one of [1] to [8].
[10] A resist composition containing the acid generator of [9] and a resin having an acid-labile group.
[11] The resist composition of [10], further comprising a salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator.
[12] (1) A step of applying the resist composition according to [10] or [11] onto a substrate;
(2) a step of drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer;
(4) A process of heating the composition layer after exposure, and (5) a process of developing the composition layer after heating.

良好なCD均一性(CDU)のレジストパターンを製造することができる塩等を提供する。 To provide a salt or the like capable of producing a resist pattern with good CD uniformity (CDU).

本明細書において、「(メタ)アクリル系モノマー」とは、「CH2=CH-CO-」又は「CH2=C(CH3)-CO-」の構造を有するモノマーの少なくとも1種を意味する。同様に「(メタ)アクリレート」及び「(メタ)アクリル酸」とは、それぞれ「アクリレート及びメタクリレートの少なくとも1種」及び「アクリル酸及びメタクリル酸の少なくとも1種」を意味する。また、本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤(E)を除いた成分の合計を意味する。
As used herein, "(meth)acrylic monomer" means at least one monomer having a structure of "CH 2 =CH-CO-" or "CH 2 =C(CH 3 )-CO-". do. Similarly, "(meth)acrylate" and "(meth)acrylic acid" mean "at least one of acrylate and methacrylate" and "at least one of acrylic acid and methacrylic acid", respectively. In addition, among the groups described in this specification, any group that can have both a linear structure and a branched structure may be used. Where stereoisomers exist, all stereoisomers are included.
As used herein, "the solid content of the resist composition" means the total amount of components excluding the solvent (E) described below from the total amount of the resist composition.

〔塩(aa)〕
本発明の塩は、式(aa)で表される基を有する塩である(以下「塩(aa)」という場合がある)。
式(aa)で表される基において、Xa及びXbは、同じ原子であることが好ましく、ともに酸素原子であることがより好ましい。
[Salt (aa)]
The salt of the present invention is a salt having a group represented by formula (aa) (hereinafter sometimes referred to as "salt (aa)").
In the group represented by formula (aa), X a and X b are preferably the same atom, more preferably both oxygen atoms.

1は、炭化水素基を表す。この炭化水素基の炭素数は4~48であることが好ましく、6~44であることがより好ましく、8~40であることがさらに好ましく、10~38であることがより一層好ましい。また、この炭化水素基は置換基を有していてもよい。ただし、この炭化水素基に含まれる水素原子の少なくとも1つは式(IA)で表される基で置換されている。さらに、この炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。
ここで、炭化水素基の炭素数は、置換基を有さない、置き換わりのない炭化水素基の炭素数の合計数を意味する。
X 1 represents a hydrocarbon group. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 4-48, more preferably 6-44, even more preferably 8-40, and even more preferably 10-38. Moreover, this hydrocarbon group may have a substituent. However, at least one hydrogen atom contained in this hydrocarbon group is substituted with a group represented by formula (IA). Further, --CH 2 -- contained in this hydrocarbon group may be replaced with --O--, --S--, --CO-- or --SO 2 --.
Here, the number of carbon atoms in the hydrocarbon group means the total number of carbon atoms in the unsubstituted hydrocarbon groups.

における炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状の鎖式飽和炭化水素基(例えば、アルカンジイル基、アルキル基)、単環式又は多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち2種以上を組み合わせたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;
メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等の直鎖状アルキル基又は分岐状アルキル基;
シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の脂環式飽和炭化水素基;
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
組み合わせた基としては、鎖式飽和炭化水素基と脂環式飽和炭化水素基を組み合わせた基が挙げられ、具体的に、鎖式飽和炭化水素基に1以上の脂環式飽和炭化水素基が結合した基(例えば、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基、-アルカンジイル基-(脂環式飽和炭化水素基)等)、脂環式飽和炭化水素基に1以上の鎖式飽和炭化水素基が結合した基(例えば、-2価の脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-2価の脂環式飽和炭化水素基-(アルキル基)等)、鎖式飽和炭化水素基に1以上の脂環式飽和炭化水素基と鎖式飽和炭化水素基が結合した基(例えば、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-(脂環式飽和炭化水素基-アルキル基)等)等が挙げられる。
Examples of the hydrocarbon group for X 1 include linear or branched chain saturated hydrocarbon groups (e.g., alkanediyl groups, alkyl groups), and monocyclic or polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups. or a combination of two or more of these groups.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1 ,7-diyl group, octane-1,8-diyl group and other linear alkanediyl groups;
ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group;
methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, 2-ethylhexyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl linear or branched alkyl groups such as groups;
Monocyclic aliphatic monocyclic cycloalkanediyl groups such as cyclobutane-1,3-diyl, cyclopentane-1,3-diyl, cyclohexane-1,4-diyl, and cyclooctane-1,5-diyl groups cyclic saturated hydrocarbon group;
polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group and adamantane-2,6-diyl group; mentioned.
Examples of combined groups include groups in which a saturated chain hydrocarbon group and a saturated alicyclic hydrocarbon group are combined. bonded group (e.g., -alkanediyl group-alicyclic saturated hydrocarbon group, -alkanediyl group-(alicyclic saturated hydrocarbon group) 2 , etc.), one or more chains attached to the alicyclic saturated hydrocarbon group Groups to which saturated hydrocarbon groups are bonded (e.g., -divalent alicyclic saturated hydrocarbon group-alkyl group, -divalent alicyclic saturated hydrocarbon group-(alkyl group) 2 , etc.), chain saturated carbonization A group in which one or more alicyclic saturated hydrocarbon groups and chain saturated hydrocarbon groups are bonded to a hydrogen group (for example, -alkanediyl group -alicyclic saturated hydrocarbon group -alkyl group, -alkanediyl group-(aliphatic cyclic saturated hydrocarbon group-alkyl group) 2 ) and the like.

における炭化水素基としては、
炭素数4~18の鎖式飽和炭化水素基(但し、該鎖式飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、
炭素数4~18の鎖式飽和炭化水素基(但し、該鎖式飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)と炭素数3~16の脂環式飽和炭化水素基を組み合わせた基であることが好ましく、
炭素数6~14の鎖式飽和炭化水素基(但し、該鎖式飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、
炭素数1~12の鎖式飽和炭化水素基(但し、該鎖式飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)と炭素数5~14の脂環式飽和炭化水素基を組み合わせた基であることがより好ましい。
ここで、該鎖式飽和炭化水素基、該脂環式炭化水素基又は該組み合わせた基に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
具体的に、Xにおける炭化水素基としては、例えば、
炭素数4~18のアルカンジイル基(但し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、
炭素数1~12のアルカンジイル基(但し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)と炭素数3~16の脂環式飽和炭化水素基と炭素数1~12のアルキル基(但し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)とからなる基(例えば、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-(脂環式飽和炭化水素基-アルキル基)等))であることが好ましく、
炭素数6~14のアルカンジイル基(但し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、
炭素数1~12のアルカンジイル基(但し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)とアダマンタンジイル基と炭素数1~12のアルキル基(但し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)とからなる基(例えば、-アルカンジイル基-アダマンタンジイル基-アルキル基、-アルカンジイル基-(アダマンタンジイル基-アルキル基)等))であることがより好ましい。
ここで、該アルカンジイル基、該アルキル基、該脂環式炭化水素基又は該組み合わせた基に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
As the hydrocarbon group for X 1 ,
a chain saturated hydrocarbon group having 4 to 18 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the chain saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—), or
a chain saturated hydrocarbon group having 4 to 18 carbon atoms (where -CH 2 - contained in said chain saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-) and 3 carbon atoms; It is preferably a group in which 16 alicyclic saturated hydrocarbon groups are combined,
a chain saturated hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the chain saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—), or
a chain saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms (where -CH 2 - contained in said chain saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-) and 5 carbon atoms; Groups in which to 14 alicyclic saturated hydrocarbon groups are combined are more preferred.
Here, at least one hydrogen atom contained in the chain saturated hydrocarbon group, the alicyclic hydrocarbon group, or the combined group is substituted with a group represented by formula (IA).
Specifically, the hydrocarbon group for X 1 includes, for example,
an alkanediyl group having 4 to 18 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—), or
an alkanediyl group having 1 to 12 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—) and an alicyclic group having 3 to 16 carbon atoms; A group ( for example, -alkanediyl group-alicyclic saturated hydrocarbon group-alkyl group, -alkanediyl group-(alicyclic saturated hydrocarbon group-alkyl group) 2 etc.)),
an alkanediyl group having 6 to 14 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—), or
an alkanediyl group having 1 to 12 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—), an adamantanediyl group and 1 to 12 carbon atoms; (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkyl group may be replaced with —O— or —CO—) and a group (for example, —alkanediyl group—adamantanediyl group—alkyl -alkanediyl group-(adamantanediyl group-alkyl group) 2 etc.)).
Here, at least one hydrogen atom contained in the alkanediyl group, the alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group, or the combined group is substituted with a group represented by formula (IA).

具体的には、Xは、式(X1-1)で表される基、式(X1-2)で表される基、式(X1-3)で表される基又は式(X1-4)で表される基であることが好ましい。

Figure 0007210312000010
[式中、
1、R2、R3、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルキル基、炭素数5~12の脂環式炭化水素基又はこれらの2種以上の基を組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基又は該組み合わせた基に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
*は、Xa及びXbとの結合部位を表す。]
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよい。脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等の多環式シクロアルキル基が挙げられる。
組み合わせた基は、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを1つずつ組み合わせたものでも、いずれかを2以上又は双方を2以上組み合わせた基でもよい。この場合、組み合わせた基の炭素数は39以下であり、37以下が好ましい。
なかでも、R1、R2、R3、R4、R5及びR6としては、炭素数1~6のアルキル基(但し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)又は炭素数1~6のアルキル基(但し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)と炭素数5~12の脂環式炭化水素基(但し、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。)とを組み合わせた基であることが好ましく、メトキシ基又は炭素数1~6のアルキル基(但し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)とアダマンチル基とを組み合わせた基であることがより好ましい。 Specifically, X 1 is a group represented by formula (X 1 -1), a group represented by formula (X 1 -2), a group represented by formula (X 1 -3) or a group represented by formula ( A group represented by X 1 -4) is preferred.
Figure 0007210312000010
[In the formula,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, or two or more of these wherein -CH 2 - contained in said alkyl group and said alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - Often at least one of the hydrogen atoms contained in said alkyl group, said cycloaliphatic hydrocarbon group or said combined group is substituted with a group represented by formula (IA).
* represents the binding site with X a and X b . ]
The alkyl group includes alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group and hexyl group.
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic, polycyclic or spirocyclic. The alicyclic hydrocarbon group includes monocyclic cycloalkyl groups such as cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cyclooctyl, cyclononyl, cyclodecyl, and cyclododecyl, norbornyl, and adamantyl. and polycyclic cycloalkyl groups such as
The combined group may be a combination of one each of the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon group described above, or a combination of two or more of either or two or more of both. In this case, the combined group has 39 or less carbon atoms, preferably 37 or less.
Among them, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms (wherein —CH 2 — contained in the alkyl group is —O— or —CO—) or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkyl group may be replaced with —O— or —CO—). and an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with —O—, —S—, —CO— or —SO 2 — and a methoxy group or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkyl group is —O— or —CO— (which may be substituted with ) and an adamantyl group are more preferred.

における炭化水素基は、式(IA)で表される基を1つ有することが好ましく、2以上有することがより好ましい。

Figure 0007210312000011
[式(IA)中、
は、炭素数1~12の飽和炭化水素基を表す。
u1は、0~2のいずれかの整数を表し、u1が2である場合、複数のRは同一であるか、相異なる。
s1は、1又は2を表す。
t1は、0又は1を表す。但し、s1とt1との和は、1又は2である。
*は、結合部位を表す。] The hydrocarbon group in X 1 preferably has one group represented by formula (IA), and more preferably has two or more groups.
Figure 0007210312000011
[In the formula (IA),
R A represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
u1 represents an integer of 0 to 2, and when u1 is 2, the plurality of RAs are the same or different.
s1 represents 1 or 2;
t1 represents 0 or 1; However, the sum of s1 and t1 is 1 or 2.
* represents the binding site. ]

s1は1であることが好ましく、t1は1であることが好ましい。s1とt1との和が2であることがより好ましい。
式(IA)で表される基としては、以下で表される基であることが好ましい。

Figure 0007210312000012
式(IA)で表される基において、u1が1であり、RがXに隣接する炭素原子に結合した基は、下記式で表される。
Figure 0007210312000013
s1 is preferably one and t1 is preferably one. More preferably, the sum of s1 and t1 is two.
The group represented by formula (IA) is preferably a group represented by the following.
Figure 0007210312000012
In the group represented by formula (IA), the group in which u1 is 1 and R A is bonded to the carbon atom adjacent to X 0 is represented by the following formula.
Figure 0007210312000013

の飽和炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基及びこれらの組み合わせが挙げられる。
のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~4である。
脂環式炭化水素基は、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよい。脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等の多環式シクロアルキル基が挙げられる。
Saturated hydrocarbon groups for RA include alkyl groups, alicyclic hydrocarbon groups, and combinations thereof.
The alkyl group of RA includes alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group and nonyl group. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1-9, more preferably 1-4.
Alicyclic hydrocarbon groups may be monocyclic, polycyclic or spirocyclic. The alicyclic hydrocarbon group includes monocyclic cycloalkyl groups such as cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cyclooctyl, cyclononyl, cyclodecyl, and cyclododecyl, norbornyl, and adamantyl. and polycyclic cycloalkyl groups such as

における炭化水素基が有していてもよいその他の置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基等が挙げられる。
ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、炭素数1~12のアルコキシ基(炭素数2~13のアルキル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、炭素数2~13のアルコキシカルボニル基(炭素数4~15のアルキル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、炭素数2~13のアルキルカルボニル基(炭素数3~14のアルキル基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、炭素数2~13のアルキルカルボニルオキシ基(炭素数4~15のアルキル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)は、炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-又は-CO-に置き換わった基とする。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数1~12のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基、ドデシルオキシ基等が挙げられる。
炭素数2~13のアルコキシカルボニル基、炭素数2~13のアルキルカルボニル基及び炭素数2~13のアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
炭素数2~13のアルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、炭素数2~13のアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、炭素数2~13のアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
で表される炭素数4~36の炭化水素基は、1つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
Other substituents that the hydrocarbon group in X 1 may have include a halogen atom, a cyano group, and the like.
A hydroxy group (a group in which —CH 2 — contained in a methyl group is replaced with —O—), a carboxy group (a group in which —CH 2 —CH 2 — included in an ethyl group is replaced by —O—CO— group), alkoxy groups having 1 to 12 carbon atoms (groups in which —CH 2 — contained in alkyl groups having 2 to 13 carbon atoms are replaced with —O—), alkoxycarbonyl groups having 2 to 13 carbon atoms (carbon a group in which —CH 2 —CH 2 — contained in an alkyl group having a number of 4 to 15 is replaced with —O—CO—), an alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms (in an alkyl group having 3 to 14 carbon atoms, -CH 2 - contained in is substituted with -CO-), alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms (-CH 2 -CH 2 - contained in alkyl group having 4 to 15 carbon atoms, A group substituted for -CO-O-) is a group in which -CH 2 - contained in a hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-.
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Examples of alkoxy groups having 1 to 12 carbon atoms include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, octyloxy, 2-ethylhexyloxy, nonyloxy, decyloxy, and undecyloxy. group, dodecyloxy group, and the like.
An alkoxycarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms and an alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms are groups in which a carbonyl group or a carbonyloxy group is bonded to the alkyl group or alkoxy group described above. represents
The alkoxycarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms includes methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group and the like, and the alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms includes acetyl group, propionyl group, butyryl group and the like. Examples of the alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms include acetyloxy group, propionyloxy group and butyryloxy group.
The hydrocarbon group having 4 to 36 carbon atoms represented by X 1 may have one or more substituents.

式(aa)で表される基は、式(aa1)で表される基であることが好ましい。

Figure 0007210312000014
[式(aa1)中、
、X、X及び*は、上記と同じ意味を表す。
環Wは、置換基を有していてもよい炭素数3~18の非芳香族炭化水素環を表し、該非芳香族炭化水素環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-で置換されていてもよい。] The group represented by formula (aa) is preferably a group represented by formula (aa1).
Figure 0007210312000014
[In the formula (aa1),
X a , X b , X 1 and * have the same meanings as above.
Ring W represents an optionally substituted non-aromatic hydrocarbon ring having 3 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the non-aromatic hydrocarbon ring is —O—, —S— , --CO-- or --SO 2 --. ]

環Wにおける非芳香族炭化水素環は、単環であってもよいし、多環であってもよい。具体的には、式(w1-1)~式(w1-11)で表される環が挙げられ、炭素数3~18の非芳香族炭化水素環が好ましく、なかでも、式(w1-1)で表される環(アダマンタン環)及び式(w1-3)で表される環(ノルボルナン環)等の多環の脂環式炭化水素環、並びに式(w1-2)で表される環(シクロヘキサン環)及び式(w1-6)で表される環(シクロペンタン環)等の単環の脂環式炭化水素環がより好ましく、式(w1-1)で表される環(アダマンタン環)がさらに好ましい。

Figure 0007210312000015
The non-aromatic hydrocarbon ring in ring W may be monocyclic or polycyclic. Specific examples include rings represented by formulas (w1-1) to (w1-11), preferably non-aromatic hydrocarbon rings having 3 to 18 carbon atoms, and among them, formula (w1-1 ) and a polycyclic alicyclic hydrocarbon ring such as a ring (adamantane ring) and a ring (norbornane ring) represented by formula (w1-3), and a ring represented by formula (w1-2) (Cyclohexane ring) and a monocyclic alicyclic hydrocarbon ring such as a ring (cyclopentane ring) represented by formula (w1-6) is more preferable, and a ring represented by formula (w1-1) (adamantane ring ) is more preferred.
Figure 0007210312000015

環Wが有していてもよい置換基としては、ヒドロキシ基、シアノ基、カルボキシ基、炭素数1~12のアルキル基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数2~13のアルコキシカルボニル基、炭素数2~13のアルキルカルボニル基、炭素数2~13のアルキルカルボニルオキシ基炭素数3~12の脂環式炭化水素基、炭素数6~10の芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
これらは、Xにおける脂環式炭化水素基及び炭化水素基が有していてもよい置換基と同様のものが挙げられる。ただし、アルコキシ基は、酸安定でないアルコキシ基であってもよい。このようなアルコキシ基としては、tert-ブトキシ基等が挙げられる。
Examples of substituents that ring W may have include a hydroxy group, a cyano group, a carboxy group, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, and an alkoxycarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms. , an alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, and a combination thereof and the like.
These include the same substituents that the alicyclic hydrocarbon group and hydrocarbon group in X 1 may have. However, the alkoxy group may be an alkoxy group that is not acid stable. Such an alkoxy group includes a tert-butoxy group and the like.

環Wの置換基は、ヒドロキシ基、炭素数1~12アルコキシ基、炭素数2~13のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数2~24のアルコキシアルキル基、炭素数2~24のアルコキシアルコキシ基又はシアノ基であることが好ましい。 A substituent of ring W is a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 24 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 24 carbon atoms, or a cyano It is preferably a group.

塩(aa)におけるカチオンが式(aa)で表される基を有していてもよいし、塩(aa)におけるアニオンが式(aa)で表される基を有していてもよい。塩(aa)は、式(aa)で表される基を有するアニオンとカチオンとからなる塩であることが好ましく、式(aa)で表される基を有するアニオンと有機カチオンとからなる塩であることがより好ましい。 The cation in salt (aa) may have a group represented by formula (aa), and the anion in salt (aa) may have a group represented by formula (aa). Salt (aa) is preferably a salt consisting of an anion having a group represented by formula (aa) and a cation, and is a salt consisting of an anion having a group represented by formula (aa) and an organic cation. It is more preferable to have

式(aa)で表される基を有するアニオンは、式(aa)で表される基とスルホナートとを有するアニオンであることが好ましく、式(aa1)で表される基とスルホナートとを有するアニオンであることがより好ましい。
式(aa)で表される基を有するアニオンは、式(aa2)で表されるアニオンであることがさらに好ましい。

Figure 0007210312000016
[式(aa2)中、
、X、X及び環Wは、上記と同じ意味を表す。
1は、炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-基は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。] The anion having a group represented by formula (aa) is preferably an anion having a group represented by formula (aa) and a sulfonate, and an anion having a group represented by formula (aa1) and a sulfonate is more preferable.
The anion having a group represented by formula (aa) is more preferably an anion represented by formula (aa2).
Figure 0007210312000016
[In formula (aa2),
X a , X b , X 1 and ring W have the same meanings as above.
L 1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and the —CH 2 — group contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—. A hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Q 1 and Q 2 each independently represent a fluorine atom or a C 1-6 perfluoroalkyl group. ]

1及びQ2で表されるペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又はトリフルオロメチル基が好ましく、Q1及びQ2はともにフッ素原子がより好ましい。
Perfluoroalkyl groups represented by Q 1 and Q 2 include a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, a perfluorotert-butyl group and a perfluoropentyl group. groups and perfluorohexyl groups.
Q 1 and Q 2 are each independently preferably a fluorine atom or a trifluoromethyl group, and both Q 1 and Q 2 are more preferably fluorine atoms.

における2価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち2種以上を組合せることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基及びヘプタデカン-1,17-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;
シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の2価の脂環式飽和炭化水素基;
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group for L 1 includes a linear alkanediyl group, a branched alkanediyl group, and a monocyclic or polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon group. A group formed by combining two or more kinds may also be used.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1 ,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group , tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group and heptadecane-1,17-diyl group. alkanediyl group;
ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group;
monocyclic 2 which is a cycloalkanediyl group such as cyclobutane-1,3-diyl group, cyclopentane-1,3-diyl group, cyclohexane-1,4-diyl group, cyclooctane-1,5-diyl group; alicyclic saturated hydrocarbon group;
Polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbons such as norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, and adamantane-2,6-diyl group and the like.

で表される2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-が-O-又は-CO-で置き換わった基としては、例えば、式(b1-1)~式(b1-3)のいずれかで表される基が挙げられる。なお、式(b1-1)~式(b1-3)で表される基及びそれらの具体例である式(b1-4)~式(b1-11)で表される基において、*及び**は結合部位を表し、*は-環Wとの結合位を表す。 Groups in which —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L 1 is replaced with —O— or —CO— include, for example, formulas (b1-1) to (b1-3) The group represented by any one of is mentioned. In addition, in the groups represented by formulas (b1-1) to (b1-3) and the groups represented by formulas (b1-4) to (b1-11) which are specific examples thereof, * and * * represents a bonding site, and * represents a bonding position with the -ring W.

Figure 0007210312000017
[式(b1-1)中、
b2は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
b3は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb2とLb3との炭素数合計は、22以下である。
式(b1-2)中、
b4は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
b5は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb4とLb5との炭素数合計は、22以下である。
式(b1-3)中、
b6は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
b7は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb6とLb7との炭素数合計は、23以下である。]
Figure 0007210312000017
[In formula (b1-1),
L b2 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b3 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
However, the total number of carbon atoms of L b2 and L b3 is 22 or less.
In formula (b1-2),
L b4 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b5 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
However, the total number of carbon atoms of L b4 and L b5 is 22 or less.
In formula (b1-3),
L b6 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
L b7 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
However, the total number of carbon atoms of L b6 and L b7 is 23 or less. ]

式(b1-1)~式(b1-3)で表される基においては、2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-が-O-又は-CO-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
飽和炭化水素基としては、Lの2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
In the groups represented by formulas (b1-1) to (b1-3), when —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group is replaced with —O— or —CO—, it is replaced Let the previous carbon number be the carbon number of this saturated hydrocarbon group.
Examples of the saturated hydrocarbon group include those similar to the divalent saturated hydrocarbon group for L1 .

b2は、好ましくは単結合である。
b3は、好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
b4は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
b5は、好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
b6は、好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
b7は、好ましくは単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
L b2 is preferably a single bond.
L b3 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
L b4 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b5 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b6 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b7 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group; —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.

で表される2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-が-O-又は-CO-で置き換わった基としては、式(b1-1)又は式(b1-3)で表される基が好ましい。 The group in which —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L 1 is replaced with —O— or —CO— is represented by formula (b1-1) or formula (b1-3). are preferred.

式(b1-1)で表される基としては、式(b1-4)~式(b1-8)でそれぞれ表される基が挙げられる。

Figure 0007210312000018
[式(b1-4)中、
b8は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式(b1-5)中、
b9は、炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
b10は、単結合又は炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb9及びLb10の合計炭素数は20以下である。
式(b1-6)中、
b11は、炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
b12は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb11及びLb12の合計炭素数は21以下である。
式(b1-7)中、
b13は、炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基を表す。
b14は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
b15は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb13~Lb15の合計炭素数は19以下である。
式(b1-8)中、
b16は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
b17は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表す。
b188は、単結合又は炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb16~Lb18の合計炭素数は19以下である。] Examples of the group represented by formula (b1-1) include groups represented by formulas (b1-4) to (b1-8).
Figure 0007210312000018
[In formula (b1-4),
L b8 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
In formula (b1-5),
L b9 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
L b10 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b9 and L b10 is 20 or less.
In formula (b1-6),
L b11 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b12 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b11 and L b12 is 21 or less.
In formula (b1-7),
L b13 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms.
L b14 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group is replaced with —O— or —CO— good too.
L b15 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b13 to L b15 is 19 or less.
In formula (b1-8),
L b16 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
L b17 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms.
L b188 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b16 to L b18 is 19 or less. ]

b8は、好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
b9は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
b10は、好ましくは単結合又は炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~8の飽和炭化水素基である。
b11は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
b12は、好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
b13は、好ましくは炭素数1~12の2価の飽和炭化水素基である。
b14は、好ましくは単結合又は炭素数1~6の2価の飽和炭化水素基である。
b15は、好ましくは単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~8の飽和炭化水素基である。
b16は、好ましくは炭素数1~12の2価の飽和炭化水素基である。
b17は、好ましくは炭素数1~6の2価の飽和炭化水素基である。
b18は、好ましくは単結合又は炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~4の飽和炭化水素基である。
L b8 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
L b9 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b10 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, more preferably a single bond or a saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b11 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b12 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b13 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
L b14 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
L b15 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, more preferably a single bond or a saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b16 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
L b17 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
L b18 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms, more preferably a single bond or a saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.

式(b1-3)で表される基としては、式(b1-9)~式(b1-11)でそれぞれ表される基が挙げられる。

Figure 0007210312000019
式(b1-9)中、
b19は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
b20は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb19及びLb20の合計炭素数は23以下である。
式(b1-10)中、
b21は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
b22は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
b23は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb21、Lb22及びLb23の合計炭素数は21以下である。
式(b1-11)中、
b24は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
b25は、炭素数1~21の2価の2価の飽和炭化水素基を表す。
b26は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb24、Lb25及びLb26の合計炭素数は21以下である。 Examples of the group represented by formula (b1-3) include groups represented by formulas (b1-9) to (b1-11).
Figure 0007210312000019
In formula (b1-9),
L b19 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b20 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group being substituted with a fluorine atom, a hydroxy group or an alkylcarbonyloxy group; good too. --CH 2 -- contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with --O-- or --CO--, and a hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b19 and L b20 is 23 or less.
In formula (b1-10),
L b21 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b22 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b23 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group or an alkylcarbonyloxy group; good too. --CH 2 -- contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with --O-- or --CO--, and a hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b21 , L b22 and L b23 is 21 or less.
In formula (b1-11),
L b24 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b25 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b26 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group or an alkylcarbonyloxy group; good too. --CH 2 -- contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with --O-- or --CO--, and a hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b24 , L b25 and L b26 is 21 or less.

なお、式(b1-9)で表される基から式(b1-11)で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる水素原子がアルキルカルボニルオキシ基に置換されている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。 In addition, in the group represented by formula (b1-9) to the group represented by formula (b1-11), when the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with an alkylcarbonyloxy group, it is substituted Let the previous carbon number be the carbon number of this saturated hydrocarbon group.

アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。 The alkylcarbonyloxy group includes an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, a cyclohexylcarbonyloxy group, an adamantylcarbonyloxy group and the like.

式(b1-4)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000020
Examples of the group represented by formula (b1-4) include the following.
Figure 0007210312000020

式(b1-5)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000021
Examples of the group represented by formula (b1-5) include the following.
Figure 0007210312000021

式(b1-6)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000022
Examples of the group represented by formula (b1-6) include the following.
Figure 0007210312000022

式(b1-7)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000023
Examples of the group represented by formula (b1-7) include the following.
Figure 0007210312000023

式(b1-8)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000024
Examples of the group represented by formula (b1-8) include the following.
Figure 0007210312000024

式(b1-2)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000025
Examples of the group represented by formula (b1-2) include the following.
Figure 0007210312000025

式(b1-9)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000026
Examples of the group represented by formula (b1-9) include the following.
Figure 0007210312000026

式(b1-10)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000027
Examples of the group represented by formula (b1-10) include the following.
Figure 0007210312000027

式(b1-11)で表される基としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000028
Examples of the group represented by formula (b1-11) include the following.
Figure 0007210312000028

1としては、式(b1-4)で表される基又は式(b1-2)で表される基であることが好ましく、*1-CO-O-(CH2t-又は*-CH-O-CO-(tは0~6のいずれかの整数を表す。*1は、-C(Q1)(Q2)-との結合部位を表す。)であることがより好ましく、tが0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることが最も好ましい。 L 1 is preferably a group represented by formula (b1-4) or a group represented by formula (b1-2), *1-CO-O-(CH 2 ) t - or *- CH 2 —O—CO— (t represents an integer of 0 to 6; *1 represents a bonding site with —C(Q 1 )(Q 2 )—) is more preferred. , t are more preferably 0, 1 or 2, most preferably 0 or 1.

塩(aa)を構成するアニオンの具体例としては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000029
Specific examples of the anion constituting the salt (aa) include the following.
Figure 0007210312000029

Figure 0007210312000030
Figure 0007210312000030

Figure 0007210312000031
Figure 0007210312000031

Figure 0007210312000032
Figure 0007210312000032

塩(aa)は、例えば、以下の式(aa3)で表される塩(以下、塩(aa3)という場合がある)であることが好ましい。

Figure 0007210312000033
[式(aa3)中、X、X、X、環W、L1、Q1及びQ2は、上記と同じ意味を表す。
はカチオンを表す。] Salt (aa) is preferably, for example, a salt represented by the following formula (aa3) (hereinafter sometimes referred to as salt (aa3)).
Figure 0007210312000033
[In Formula (aa3), X a , X b , X 1 , Ring W, L 1 , Q 1 and Q 2 have the same meanings as above.
Z + represents a cation. ]

塩(aa)におけるカチオン及び塩(aa3)におけるカチオンZは、有機カチオンであることが好ましい。有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオン等が挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。
中でも、式(b2-1)~式(b2-4)のいずれかで表されるカチオン(以下、式番号に応じて「カチオン(b2-1)」等という場合がある。)が好ましい。
The cation in salt (aa) and the cation Z + in salt (aa3) are preferably organic cations. Organic cations include organic onium cations, organic sulfonium cations, organic iodonium cations, organic ammonium cations, benzothiazolium cations and organic phosphonium cations. Among these, organic sulfonium cations and organic iodonium cations are preferred, and arylsulfonium cations are more preferred.
Among them, cations represented by any one of formulas (b2-1) to (b2-4) (hereinafter sometimes referred to as "cation (b2-1)" and the like depending on the formula number) are preferred.

Figure 0007210312000034
式(b2-1)~式(b2-4)において、
b4~Rb6は、それぞれ独立に、炭素数1~30の鎖式炭化水素基、炭素数3~36の脂環式炭化水素基又は炭素数6~36の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数3~12の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数1~18の脂肪族炭化水素基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数1~12のアルコキシ基で置換されていてもよい。
b4とRb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
b7及びRb8は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基又は炭素数1~12のアルコキシ基を表す。
m2及びn2は、それぞれ独立に0~5のいずれかの整数を表す。
m2が2以上のとき、複数のRb7は同一でも異なってもよく、n2が2以上のとき、複数のRb8は同一でも異なってもよい。
b9及びRb10は、それぞれ独立に、炭素数1~36の鎖式炭化水素基又は炭素数3~36の脂環式炭化水素基を表す。
b9とRb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
b11は、水素原子、炭素数1~36の鎖式炭化水素基、炭素数3~36の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表す。
b12は、炭素数1~12の鎖式炭化水素基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数1~12のアルコキシ基又は炭素数1~12のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
b11とRb12とは、互いに結合してそれらが結合する-CH-CO-を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
b13~Rb18は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基又は炭素数1~12のアルコキシ基を表す。
b31は、-O-又は-S-を表す。
o2、p2、s2、及びt2は、それぞれ独立に、0~5のいずれかの整数を表す。
q2及びr2は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表す。
u2は0又は1を表す。
o2が2以上のとき、複数のRb13は同一又は相異なり、p2が2以上のとき、複数のRb14は同一又は相異なり、q2が2以上のとき、複数のRb15は同一又は相異なり、r2が2以上のとき、複数のRb16は同一又は相異なり、s2が2以上のとき、複数のRb17は同一又は相異なり、t2が2以上のとき、複数のRb18は同一又は相異なる。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び2-エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Rb9~Rb12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数1~12である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。
Figure 0007210312000035
特に、Rb9~Rb12の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数3~18、より好ましくは炭素数4~12である。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、2-メチルアダマンタン-2-イル基、2-エチルアダマンタン-2-イル基、2-イソプロピルアダマンタン-2-イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは20以下である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニリル基、ナフチル基、フェナントリル基、等のアリール基が挙げられる。
なお、芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数1~18の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、p-エチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)及び炭素数3~18の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロへキシルフェニル基等)が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、p-メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、sec-ブチルカルボニルオキシ基、tert-ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び2-エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
b4とRb5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数3~18の環が挙げられ、好ましくは炭素数4~18の環である。また、硫黄原子を含む環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環であり、例えば下記の環が挙げられる。
Figure 0007210312000036
b9とRb10とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環である。例えば、チオラン-1-イウム環(テトラヒドロチオフェニウム環)、チアン-1-イウム環、1,4-オキサチアン-4-イウム環等が挙げられる。
b11とRb12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。
Figure 0007210312000034
In formulas (b2-1) to (b2-4),
R b4 to R b6 each independently represent a chain hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms; The hydrogen atom contained in the chain hydrocarbon group is a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms. It may be substituted, and the hydrogen atom contained in the alicyclic hydrocarbon group is a halogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, or a glycidyloxy group. It may be substituted, and a hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom, a hydroxy group, or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms.
R b4 and R b5 may be bonded to each other to form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, —S— or -CO- may be substituted.
R b7 and R b8 each independently represent a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms.
m2 and n2 each independently represent an integer of 0 to 5;
When m2 is 2 or more, multiple R b7 may be the same or different, and when n2 is 2 or more, multiple R b8 may be the same or different.
R b9 and R b10 each independently represent a chain hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms.
R b9 and R b10 may be bonded to each other to form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, —S— or -CO- may be substituted.
R b11 represents a hydrogen atom, a chain hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms.
R b12 represents a chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, and may be substituted with an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, and the hydrogen atoms contained in the aromatic hydrocarbon group are alkoxy groups having 1 to 12 carbon atoms or 1 to 1 carbon atoms. It may be substituted with 12 alkylcarbonyloxy groups.
R b11 and R b12 may be bonded to each other to form a ring including —CH—CO— to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, —S - or -CO- may be substituted.
R b13 to R b18 each independently represent a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms.
L b31 represents -O- or -S-.
o2, p2, s2, and t2 each independently represent an integer of 0 to 5;
q2 and r2 each independently represent an integer of 0 to 4;
u2 represents 0 or 1;
When o2 is 2 or more, multiple R b13 are the same or different, when p2 is 2 or more, multiple R b14 are the same or different, and when q2 is 2 or more, multiple R b15 are the same or different. , when r2 is 2 or more, the plurality of R b16 are the same or different; when s2 is 2 or more, the plurality of R b17 are the same or different; when t2 is 2 or more, the plurality of R b18 are the same or different; different.
An aliphatic hydrocarbon group represents a chain hydrocarbon group and an alicyclic hydrocarbon group.
Chain hydrocarbon groups include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group and 2-ethylhexyl group. mentioned.
In particular, chain hydrocarbon groups of R b9 to R b12 preferably have 1 to 12 carbon atoms.
The alicyclic hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic, and the monocyclic alicyclic hydrocarbon group includes a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cyclo Cycloalkyl groups such as a heptyl group, a cyclooctyl group, and a cyclodecyl group can be mentioned. The polycyclic alicyclic hydrocarbon group includes decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups.
Figure 0007210312000035
In particular, the alicyclic hydrocarbon groups of R b9 to R b12 preferably have 3 to 18 carbon atoms, more preferably 4 to 12 carbon atoms.
Alicyclic hydrocarbon groups in which hydrogen atoms are substituted with aliphatic hydrocarbon groups include methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, 2-methyladamantan-2-yl group, and 2-ethyladamantan-2-yl group. , 2-isopropyladamantan-2-yl group, methylnorbornyl group, isobornyl group and the like. In the alicyclic hydrocarbon group in which a hydrogen atom is substituted with an aliphatic hydrocarbon group, the total carbon number of the alicyclic hydrocarbon group and the aliphatic hydrocarbon group is preferably 20 or less.
Aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, biphenylyl, naphthyl, and phenanthryl groups.
The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group , xylyl group, cumenyl group, mesityl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), aromatic hydrocarbon groups having alicyclic hydrocarbon groups ( A p-cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.) and an aromatic hydrocarbon group having an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (p-cyclohexylphenyl group, etc.) are preferable.
Aromatic hydrocarbon groups in which a hydrogen atom is substituted with an alkoxy group include a p-methoxyphenyl group and the like.
Chain hydrocarbon groups in which hydrogen atoms are substituted with aromatic hydrocarbon groups include aralkyl groups such as benzyl, phenethyl, phenylpropyl, trityl, naphthylmethyl and naphthylethyl groups.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, decyloxy and dodecyloxy groups.
An acetyl group, a propionyl group, a butyryl group, etc. are mentioned as an alkylcarbonyl group.
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The alkylcarbonyloxy group includes a methylcarbonyloxy group, an ethylcarbonyloxy group, a propylcarbonyloxy group, an isopropylcarbonyloxy group, a butylcarbonyloxy group, a sec-butylcarbonyloxy group, a tert-butylcarbonyloxy group and a pentylcarbonyloxy group. , hexylcarbonyloxy group, octylcarbonyloxy group and 2-ethylhexylcarbonyloxy group.
The ring formed by R b4 and R b5 bonded together with the sulfur atom to which they are bonded may be monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated. may be a ring of This ring includes a ring having 3 to 18 carbon atoms, preferably a ring having 4 to 18 carbon atoms. Further, the ring containing a sulfur atom includes a 3- to 12-membered ring, preferably a 3- to 7-membered ring, and examples thereof include the following rings.
Figure 0007210312000036
The ring formed by R b9 and R b10 together may be a monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated ring. This ring includes a 3- to 12-membered ring, preferably a 3- to 7-membered ring. Examples thereof include thiolan-1-ium ring (tetrahydrothiophenium ring), thian-1-ium ring, 1,4-oxathian-4-ium ring and the like.
The ring formed by R b11 and R b12 together may be a monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated ring. This ring includes a 3- to 12-membered ring, preferably a 3- to 7-membered ring. oxocycloheptane ring, oxocyclohexane ring, oxonorbornane ring, oxoadamantane ring and the like.

カチオン(b2-1)~カチオン(b2-4)の中でも、好ましくは、カチオン(b2-1)である。
カチオン(b2-1)としては、以下のカチオンが挙げられる。

Figure 0007210312000037
Among the cations (b2-1) to (b2-4), the cation (b2-1) is preferred.
Examples of the cation (b2-1) include the following cations.
Figure 0007210312000037

Figure 0007210312000038
Figure 0007210312000038

カチオン(b2-2)としては、以下のカチオンが挙げられる。

Figure 0007210312000039
Examples of the cation (b2-2) include the following cations.
Figure 0007210312000039

カチオン(b2-3)としては、以下のカチオンが挙げられる。

Figure 0007210312000040
Examples of the cation (b2-3) include the following cations.
Figure 0007210312000040

カチオン(b2-4)としては、以下のカチオンが挙げられる。

Figure 0007210312000041
Examples of the cation (b2-4) include the following cations.
Figure 0007210312000041

塩(aa)は、上述のアニオン及びカチオンの組合せであることが好ましい。これらのアニオンとカチオンとは任意に組み合わせることができる。塩(aa)の具体例を表1に示す。表1において、例えば塩(I-1)は、式(I-a-1)で表されるアニオンと式(b2-c-1)で表されるカチオンとからなる塩を意味し、以下に示す塩を表す。

Figure 0007210312000042
Figure 0007210312000043


Figure 0007210312000044


Figure 0007210312000045


Figure 0007210312000046


Figure 0007210312000047
Salt (aa) is preferably a combination of anions and cations as described above. These anions and cations can be combined arbitrarily. Specific examples of salt (aa) are shown in Table 1. In Table 1, for example, salt (I-1) means a salt consisting of an anion represented by formula (Ia-1) and a cation represented by formula (b2-c-1), and is described below. represents the salt shown.
Figure 0007210312000042
Figure 0007210312000043


Figure 0007210312000044


Figure 0007210312000045


Figure 0007210312000046


Figure 0007210312000047

なかでも、塩(aa)は、塩(I-1)~塩(I-3)、塩(I-9)~塩(I-11)、塩(I-23)~塩(I-27)、塩(I-33)~塩(I-35)、塩(I-47)~塩(I-51)、塩(I-57)~塩(I-59)、塩(I-71)、塩(I-72)、塩(I-73)~塩(I-75)、塩(I-81)~塩(I-83)、塩(I-95)~塩(I-99)、塩(I-105)~塩(I-107)、塩(I-119)、塩(I-120)、塩(I-121)~塩(I-123)、塩(I-129)~塩(I-131)、塩(I-143)~塩(I-148)、塩(I-153)~塩(I-156)、塩(I-167)及び塩(I-168)が好ましい。 Among them, the salt (aa) includes salt (I-1) to salt (I-3), salt (I-9) to salt (I-11), salt (I-23) to salt (I-27) , Salt (I-33) to Salt (I-35), Salt (I-47) to Salt (I-51), Salt (I-57) to Salt (I-59), Salt (I-71), Salt (I-72), Salt (I-73) to Salt (I-75), Salt (I-81) to Salt (I-83), Salt (I-95) to Salt (I-99), Salt (I-105) to salt (I-107), salt (I-119), salt (I-120), salt (I-121) to salt (I-123), salt (I-129) to salt ( I-131), salts (I-143) to (I-148), salts (I-153) to (I-156), salts (I-167) and salts (I-168) are preferred.

<塩(aa)の製造方法>
塩(aa3)において、X1が式(X1-1)で表される基であり、式(IA)で表される基を1つ有し、式(IA)で表される基が、-O-CO-O-L-*(Lは、置換基を有していてもよい炭素数1~36の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。*は、式(IA)で表される基との結合位を表す。)を介して式(X1-1)で表される基と結合する塩(式(I1)で表される塩)は、式(I1-a)で表される塩とカルボニルジイミダゾールとを溶剤中で反応させた後、さらに、式(I1-b)で表される化合物と反応させることにより製造することができる。

Figure 0007210312000048
(式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。nI1は、0又は1を表す。R01は、R1から-O-CO-O-L-(式(IA)で表される基)を除いた基を表す。)
この反応における溶剤としては、クロロホルム、アセトニトリル等が挙げられる。
反応温度は通常5℃~80℃であり、反応時間は通常0.5時間~24時間である。
式(I1-a)で表される塩は、特開2016-047815号公報に記載された方法で合成することができ、以下で表される塩などが挙げられる。
Figure 0007210312000049
<Method for producing salt (aa)>
In the salt (aa3), X 1 is a group represented by formula (X 1 -1), has one group represented by formula (IA), and the group represented by formula (IA) is —O—CO—OL 2 —* (L 2 represents an optionally substituted hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —CO— or —SO 2 —.* represents the bonding position with the group represented by formula (IA).) via formula (X 1 -1) a salt that binds to the group represented by formula (I1) is obtained by reacting a salt represented by formula (I1-a) with carbonyldiimidazole in a solvent, followed by Furthermore, it can be produced by reacting with a compound represented by formula (I1-b).
Figure 0007210312000048
(In the formula, all symbols have the same meanings as above; nI1 represents 0 or 1 ; It represents a group excluding the group).)
Solvents in this reaction include chloroform, acetonitrile and the like.
The reaction temperature is usually 5° C. to 80° C., and the reaction time is usually 0.5 hour to 24 hours.
The salt represented by formula (I1-a) can be synthesized by the method described in JP-A-2016-047815, and examples include the salts represented below.
Figure 0007210312000049

Figure 0007210312000050
式(I1―b)で表される化合物としては、下記式で表される化合物等が挙げられ、市場より容易に入手することができる。
Figure 0007210312000051
Figure 0007210312000050
Examples of the compound represented by formula (I1-b) include compounds represented by the following formula, etc., which are readily available on the market.
Figure 0007210312000051

塩(aa3)において、X1が式(X1-2)で表される基であり、R2及びR3が、式(IA)で表される基を各々1つ有し、式(IA)で表される基が、各々-O-CO-O-L-*(Lは、置換基を有していてもよい炭素数1~36の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。*は、式(IA)で表される基との結合位を表す。)を介して式(X1-2)で表される基と結合する塩(式(I2)で表される塩)は、式(I2-a)で表される塩とカルボニルジイミダゾールとを溶剤中で反応させた後、さらに、式(I1-b)で表される化合物とを反応させることにより製造することができる。

Figure 0007210312000052
(式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。nI2及びnI3は、それぞれ独立に、0又は1を表す。R02は、Rから-O-CO-O-L-(式(IA)で表される基)を除いた基を表す。R03は、R3から-O-CO-O-L-(式(IA)で表される基)を除いた基を表す。)
この反応における溶剤としては、クロロホルム、アセトニトリル等が挙げられる。
反応温度は通常5℃~80℃であり、反応時間は通常0.5時間~24時間である。
式(I2-a)で表される塩は、特開2016-047815号公報に記載された方法を参考にして合成することができ、以下で表される塩などが挙げられる。
Figure 0007210312000053
In the salt (aa3), X 1 is a group represented by the formula (X 1 -2), R 2 and R 3 each have one group represented by the formula (IA), and the formula (IA ) are each -O-CO-OL 2 -* (L 2 represents a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and the hydrocarbon group -CH 2 - contained in may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - * represents the bonding position with the group represented by formula (IA) .) to a group represented by formula (X 1 -2) (salt represented by formula (I2)) is a salt represented by formula (I2-a) and carbonyldiimidazole in a solvent, and then further reacting with a compound represented by formula (I1-b).
Figure 0007210312000052
(In the formula, all symbols have the same meanings as above. nI2 and nI3 each independently represent 0 or 1. R 02 is from R 2 to -O-CO-OL 2 -( R 03 represents a group excluding —O—CO—OL 2 — (group represented by formula (IA)) from R 3 show.)
Solvents in this reaction include chloroform, acetonitrile and the like.
The reaction temperature is generally 5° C. to 80° C., and the reaction time is generally 0.5 hour to 24 hours.
The salt represented by formula (I2-a) can be synthesized with reference to the method described in JP-A-2016-047815, and examples thereof include the salts represented below.
Figure 0007210312000053

Figure 0007210312000054
Figure 0007210312000054

塩(aa3)において、X1が式(X1-3)で表される基であり、式(IA)で表される基を1つ有し、式(IA)で表される基が-O-CO-O-L-*(Lは、置換基を有していてもよい炭素数1~36の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。*は、式(IA)で表される基との結合位を表す。)を介して式(X1-3)で表される基と結合する塩(式(I3)で表される塩)は、式(I3-a)で表される塩とカルボニルジイミダゾールとを溶剤中で反応させた後、さらに、式(I1-b)で表される化合物とを反応させることにより製造することができる。

Figure 0007210312000055
(式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。nI4は、0又は1を表す。R04は、R4から-O-CO-O-L-(式(IA)で表される基)を除いた基を表す。)
この反応における溶剤としては、クロロホルム、アセトニトリル等が挙げられる。
反応温度は通常5℃~80℃であり、反応時間は通常0.5時間~24時間である。
式(I3-a)で表される塩は、特開2015-157801号公報に記載された方法を参考にして合成することができ、以下で表される塩などが挙げられる。
Figure 0007210312000056
In the salt (aa3), X 1 is a group represented by formula (X 1 -3), has one group represented by formula (IA), and the group represented by formula (IA) is - O—CO—OL 2 —* (L 2 represents an optionally substituted hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is — may be substituted with O—, —S—, —CO— or —SO 2 —.* represents the bonding position with the group represented by formula (IA).) via formula (X 1 — The salt that binds to the group represented by 3) (salt represented by formula (I3)) is prepared by reacting the salt represented by formula (I3-a) with carbonyldiimidazole in a solvent, followed by , with a compound represented by formula (I1-b).
Figure 0007210312000055
(In the formula, all symbols have the same meanings as above. nI4 represents 0 or 1. R 04 represents from R 4 to -O-CO-OL 2 - (represented by formula (IA) It represents a group excluding the group).)
Solvents in this reaction include chloroform, acetonitrile and the like.
The reaction temperature is usually 5° C. to 80° C., and the reaction time is usually 0.5 hour to 24 hours.
The salt represented by formula (I3-a) can be synthesized with reference to the method described in JP-A-2015-157801, and examples thereof include the salts represented below.
Figure 0007210312000056

Figure 0007210312000057
Figure 0007210312000057

塩(aa3)において、X1が式(X1-4)で表される基であり、R5及びR6が、式(IA)で表される基を各々1つ有し、式(IA)で表される基が-O-CO-O-L-*(Lは、置換基を有していてもよい炭素数1~36の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO-に置き換わっていてもよい。*は、式(IA)で表される基との結合位を表す。)介して式(X1-4)で表される基と結合する塩(式(I4)で表される塩)は、式(I4-a)で表される塩とカルボニルジイミダゾールとを溶剤中で反応させた後、さらに、式(I1-b)で表される化合物とを反応させることにより製造することができる。

Figure 0007210312000058
(式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。nI5及びnI6は、それぞれ独立に、0又は1を表す。R05は、R5から-O-CO-O-L-(式(IA)で表される基)を除いた基を表す。R06は、R6から-O-CO-O-L-(式(IA)で表される基)を除いた基を表す。)
この反応における溶剤としては、クロロホルム、アセトニトリル等が挙げられる。
反応温度は通常5℃~80℃であり、反応時間は通常0.5時間~24時間である。
式(I4-a)で表される塩は、特開2015-157801号公報に記載された方法で合成することができ、以下で表される塩などが挙げられる。
Figure 0007210312000059
In the salt (aa3), X 1 is a group represented by the formula (X 1 -4), R 5 and R 6 each have one group represented by the formula (IA), and the formula (IA ) is a group represented by —O—CO—OL 2 —* (L 2 represents a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and is included in the hydrocarbon group (-CH 2 -) may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -.* represents the bonding position with the group represented by formula (IA).) A salt that binds to a group represented by formula (X 1 -4) via (a salt represented by formula (I4)) is prepared by adding a salt represented by formula (I4-a) and carbonyldiimidazole in a solvent. After reacting with, it can be produced by further reacting with a compound represented by formula (I1-b).
Figure 0007210312000058
(In the formula, all symbols have the same meanings as above. nI5 and nI6 each independently represent 0 or 1. R 05 is from R 5 to -O-CO-OL 2 -( R 06 represents a group excluding —O—CO—OL 2 — (group represented by formula (IA)) from R 6 . show.)
Solvents in this reaction include chloroform, acetonitrile and the like.
The reaction temperature is generally 5° C. to 80° C., and the reaction time is generally 0.5 hour to 24 hours.
The salt represented by formula (I4-a) can be synthesized by the method described in JP-A-2015-157801, and examples thereof include the salts represented below.
Figure 0007210312000059

Figure 0007210312000060
Figure 0007210312000060

〔酸発生剤〕
本発明の酸発生剤は、塩(aa)を含有する酸発生剤であり、塩(aa)を1種含んでいてもよいし、塩(aa)を2種以上組み合わせて用いてもよい。
本発明の酸発生剤は、塩(aa)に加えて、レジスト分野で公知の酸発生剤(以下「酸発生剤(B)」という場合がある)を含有していてもよい。酸発生剤(B)は、単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[Acid generator]
The acid generator of the present invention is an acid generator containing salt (aa), and may contain one kind of salt (aa), or two or more kinds of salts (aa) may be used in combination.
The acid generator of the present invention may contain an acid generator known in the resist field (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B)") in addition to the salt (aa). The acid generator (B) may be used alone or in combination of two or more.

酸発生剤(B)は、非イオン系又はイオン系のいずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤としては、スルホネートエステル類(例えば2-ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネート、オキシムスルホネート、N-スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジアゾナフトキノン 4-スルホネート)、スルホン類(例えばジスルホン、ケトスルホン、スルホニルジアゾメタン)等が挙げられる。イオン系酸発生剤としては、オニウムカチオンを含むオニウム塩(例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩)が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン等が挙げられる。 The acid generator (B) may be either nonionic or ionic. Nonionic acid generators include sulfonate esters (eg 2-nitrobenzyl ester, aromatic sulfonate, oxime sulfonate, N-sulfonyloxyimide, sulfonyloxyketone, diazonaphthoquinone 4-sulfonate), sulfones (eg disulfone, ketosulfone, sulfonyldiazomethane) and the like. Typical ionic acid generators are onium salts containing onium cations (eg, diazonium salts, phosphonium salts, sulfonium salts, iodonium salts). The anions of the onium salts include sulfonate anions, sulfonylimide anions, sulfonylmethide anions, and the like.

酸発生剤(B)としては、特開昭63-26653号、特開昭55-164824号、特開昭62-69263号、特開昭63-146038号、特開昭63-163452号、特開昭62-153853号、特開昭63-146029号、米国特許第3,779,778号、米国特許第3,849,137号、独国特許第3914407号、欧州特許第126,712号等に記載の放射線によって酸を発生する化合物を使用することができる。また、公知の方法で製造した化合物を使用してもよい。酸発生剤(B)は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the acid generator (B) include JP-A-63-26653, JP-A-55-164824, JP-A-62-69263, JP-A-63-146038, JP-A-63-163452, JP-A-62-153853, JP-A-63-146029, US Pat. No. 3,779,778, US Pat. A compound that generates an acid upon exposure to radiation as described in 1. above can be used. Moreover, you may use the compound manufactured by the well-known method. The acid generator (B) may be used in combination of two or more.

酸発生剤(B)は、好ましくはフッ素含有酸発生剤であり、より好ましくは式(B1)で表される塩(以下「酸発生剤(B1)」という場合がある。)である。

Figure 0007210312000061
[式(B1)中、
b1及びQb2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。
b1は、炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Yは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~18の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-、-S(O)-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Z1は、有機カチオンを表す。] The acid generator (B) is preferably a fluorine-containing acid generator, more preferably a salt represented by formula (B1) (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B1)").
Figure 0007210312000061
[In the formula (B1),
Q b1 and Q b2 each independently represent a fluorine atom or a C 1-6 perfluoroalkyl group.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—, and the saturated A hydrogen atom contained in the hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y represents an optionally substituted methyl group or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and included in the alicyclic hydrocarbon group- CH 2 - may be replaced by -O-, -S(O) 2 - or -CO-.
Z1 + represents an organic cation. ]

b1及びQb2の表すペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
b1及びQb2は、それぞれ独立に、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることが好ましく、ともにフッ素原子であることがより好ましい。
The perfluoroalkyl groups represented by Q b1 and Q b2 include a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, a perfluorotert-butyl group, a perfluoropentyl group and A perfluorohexyl group and the like can be mentioned.
Q b1 and Q b2 are each independently preferably a fluorine atom or a trifluoromethyl group, and more preferably both a fluorine atom.

b1における2価の飽和炭化水素基としては、Lにおける2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。 The divalent saturated hydrocarbon group for L b1 includes the same divalent saturated hydrocarbon group for L 1 .

Yで表される脂環式炭化水素基としては、式(Y1)~式(Y11)、式(Y36)~式(Y38)で表される基が挙げられる。
Yで表される脂環式炭化水素基に含まれる-CH-が-O-、-S(O)-又は-CO-で置き換わる場合、その数は1つでもよいし、2以上でもよい。そのような基としては、式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y41)で表される基が挙げられる。
The alicyclic hydrocarbon group represented by Y includes groups represented by formulas (Y1) to (Y11) and formulas (Y36) to (Y38).
When —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group represented by Y is replaced with —O—, —S(O) 2 — or —CO—, the number may be 1 or 2 or more. good. Such groups include groups represented by formulas (Y12) to (Y35) and formulas (Y39) to (Y41).

Figure 0007210312000062
Figure 0007210312000062

Figure 0007210312000063
Yで表される脂環式炭化水素基としては、好ましくは式(Y1)~式(Y20)、式(Y26)、式(Y27)、式(Y30)、式(Y31)、式(Y39)~式(Y41)のいずれかで表される基であり、より好ましくは式(Y11)、式(Y15)、式(Y16)、式(Y20)、式(Y26)、式(Y27)、式(Y30)~式(Y31)又は式(Y39)又は式(Y40)で表される基であり、さらに好ましくは式(Y11)、式(Y15)、式(Y20)、式(Y30)、式(Y39)又は式(Y40)で表される基である。
Yで表される脂環式炭化水素基が式(Y28)~式(Y35)、式(Y39)又は式(Y40)等の、酸素原子を含むスピロ環である場合には、2つの酸素原子間のアルカンジイル基は、1以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。
Figure 0007210312000063
The alicyclic hydrocarbon group represented by Y is preferably represented by formulas (Y1) to (Y20), formula (Y26), formula (Y27), formula (Y30), formula (Y31) and formula (Y39). to a group represented by any one of formula (Y41), more preferably formula (Y11), formula (Y15), formula (Y16), formula (Y20), formula (Y26), formula (Y27), formula (Y30) to a group represented by formula (Y31) or formula (Y39) or formula (Y40), more preferably formula (Y11), formula (Y15), formula (Y20), formula (Y30), formula (Y39) or a group represented by formula (Y40).
When the alicyclic hydrocarbon group represented by Y is a spiro ring containing an oxygen atom such as formulas (Y28) to (Y35), formula (Y39) or formula (Y40), two oxygen atoms The intervening alkanediyl groups preferably have one or more fluorine atoms. Further, among the alkanediyl groups contained in the ketal structure, the methylene group adjacent to the oxygen atom is preferably not substituted with a fluorine atom.

Yで表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシ基、-(CHja-CO-O-Rb1基又は-(CHja-O-CO-Rb1基(式中、Rb1は、炭素数1~16のアルキル基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。jaは、0~4のいずれかの整数を表す。炭素数1~16のアルキル基、及び炭素数3~16の脂環式炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-、-S(O)-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)等が挙げられる。
Yで表される脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数1~12のアルキル基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基、炭素数7~21のアラルキル基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、グリシジルオキシ基、-(CHja-CO-O-Rb1基又は-(CHja-O-CO-Rb1基(式中、Rb1は、炭素数1~16のアルキル基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。jaは、0~4のいずれかの整数を表す。炭素数1~16のアルキル基、及び炭素数3~16の脂環式炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-、-S(O)-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)等が挙げられる。
Examples of substituents of the methyl group represented by Y include a halogen atom, a hydroxy group, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, a glycidyloxy group, -( CH 2 ) ja —CO—O—R b1 group or —(CH 2 ) ja —O—CO—R b1 group (wherein R b1 is an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, represents an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group combining these, ja represents an integer of 0 to 4. an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, and -CH 2 - contained in an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms may be replaced with -O-, -S(O) 2 - or -CO-).
Substituents for the alicyclic hydrocarbon group represented by Y include a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms optionally substituted by a hydroxy group, and an alicyclic group having 3 to 16 carbon atoms. hydrocarbon group, alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, aralkyl group having 7 to 21 carbon atoms, alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, glycidyloxy group, -( CH 2 ) ja —CO—O—R b1 group or —(CH 2 ) ja —O—CO—R b1 group (wherein R b1 is an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, represents an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group combining these, ja represents an integer of 0 to 4. an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, and -CH 2 - contained in an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms may be replaced with -O-, -S(O) 2 - or -CO-).

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニリル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数1~18の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、p-エチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、及び炭素数3~18の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロへキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)等が挙げられる。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Examples of alicyclic hydrocarbon groups include cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, norbornyl, and adamantyl groups.
The alicyclic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group, such as a methylcyclohexyl group and a dimethylcyclohexyl group.
Examples of aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, biphenylyl, naphthyl, anthryl and phenanthryl groups.
The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), and lipids having 3 to 18 carbon atoms. Examples thereof include aromatic hydrocarbon groups having a cyclic hydrocarbon group (p-cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.).
Examples of alkyl groups include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, 2-ethylhexyl group, octyl group and nonyl. group, decyl group, undecyl group, dodecyl group and the like.
Alkyl groups substituted with a hydroxy group include hydroxyalkyl groups such as a hydroxymethyl group and a hydroxyethyl group.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, decyloxy and dodecyloxy groups.
Aralkyl groups include benzyl, phenethyl, phenylpropyl, naphthylmethyl and naphthylethyl groups.
Alkylcarbonyl groups include, for example, acetyl, propionyl and butyryl groups.

Yとしては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000064
Examples of Y include the following.
Figure 0007210312000064

Figure 0007210312000065
Yは、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数3~18の脂環式炭化水素基であり、より好ましく置換基を有していてもよいアダマンチル基であり、該脂環式炭化水素基又はアダマンチル基を構成する-CH-は-CO-、-S(O)-又は-CO-に置き換わっていてもよい。Yは、さらに好ましくはアダマンチル基、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基又は下記で表される基である。
Figure 0007210312000066
Figure 0007210312000065
Y is preferably an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, more preferably an optionally substituted adamantyl group, the alicyclic carbonized —CH 2 — constituting a hydrogen group or an adamantyl group may be replaced with —CO—, —S(O) 2 — or —CO—. Y is more preferably an adamantyl group, a hydroxyadamantyl group, an oxoadamantyl group, or a group represented below.
Figure 0007210312000066

式(B1)で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、式(B1-A-1)~式(B1-A-55)で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン(B1-A-1)」等という場合がある。〕が好ましく、式(B1-A-1)~式(B1-A-4)、式(B1-A-9)、式(B1-A-10)、式(B1-A-24)~式(B1-A-33)、式(B1-A-36)~式(B1-A-40)、式(B1-A-47)~式(B1-A-55)のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。

Figure 0007210312000067
Examples of the sulfonate anion in the salt represented by formula (B1) include anions represented by formulas (B1-A-1) to (B1-A-55) [hereinafter referred to as "anion (B1 -A-1)”, etc. ] is preferable, formula (B1-A-1) ~ formula (B1-A-4), formula (B1-A-9), formula (B1-A-10), formula (B1-A-24) ~ formula (B1-A-33), represented by any of formulas (B1-A-36) to (B1-A-40), formulas (B1-A-47) to (B1-A-55) Anions are more preferred.
Figure 0007210312000067

Figure 0007210312000068
Figure 0007210312000068

Figure 0007210312000069
Figure 0007210312000069

Figure 0007210312000070
Figure 0007210312000070

Figure 0007210312000071
Figure 0007210312000071

Figure 0007210312000072
ここで、Ri2~Ri7は、それぞれ独立に、例えば、炭素数1~4のアルキル基、好ましくはメチル基又はエチル基である。Ri8は、例えば、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、好ましくは炭素数1~4のアルキル基、炭素数5~12の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。LA41は、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基である。
b1及びQb2は、上記と同じ意味を表す。
式(B1)で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、具体的には、特開2010-204646号公報に記載されたアニオンが挙げられる。
Figure 0007210312000072
Here, R i2 to R i7 are each independently, for example, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably a methyl group or an ethyl group. R i8 is, for example, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, or a combination thereof. group, more preferably a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group or an adamantyl group. L A41 is a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms.
Q b1 and Q b2 have the same meanings as above.
Specific examples of the sulfonate anion in the salt represented by formula (B1) include anions described in JP-A-2010-204646.

式(B1)で表される塩におけるスルホン酸アニオンとして好ましくは、式(B1a-1)~式(B1a-34)でそれぞれ表されるアニオンが挙げられる。

Figure 0007210312000073
Preferred examples of the sulfonate anion in the salt represented by formula (B1) include anions represented by formulas (B1a-1) to (B1a-34).
Figure 0007210312000073

Figure 0007210312000074
Figure 0007210312000074

Figure 0007210312000075
Figure 0007210312000075

Figure 0007210312000076
Figure 0007210312000076

なかでも、式(B1a-1)~式(B1a-3)及び式(B1a-7)~式(B1a-16)、式(B1a-18)、式(B1a-19)、式(B1a-22)~式(B1a-30)のいずれかで表されるアニオンが好ましい。 Among them, formula (B1a-1) ~ formula (B1a-3) and formula (B1a-7) ~ formula (B1a-16), formula (B1a-18), formula (B1a-19), formula (B1a-22 ) to Formula (B1a-30) are preferred.

Z1の有機カチオンとしては、塩(aa3)におけるカチオンZと同じものが挙げられる。 The organic cations of Z1 + include the same cations Z + in the salt (aa3).

酸発生剤(B)は、上述のスルホン酸アニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組合せることができる。酸発生剤(B)としては、好ましくは式(B1a-1)~式(B1a-3)及び式(B1a-7)~式(B1a-16)、式(B1a-18)、式(B1a-19)、式(B1a-22)~式(B1a-34)のいずれかで表されるアニオンと、カチオン(b2-1)又はカチオン(b2-3)との組合せが挙げられる。 The acid generator (B) is a combination of the above sulfonate anion and the above organic cation, and these can be combined arbitrarily. As the acid generator (B), preferably formulas (B1a-1) to (B1a-3) and formulas (B1a-7) to (B1a-16), formulas (B1a-18), and formulas (B1a- 19), a combination of an anion represented by any one of formulas (B1a-22) to (B1a-34) and a cation (b2-1) or a cation (b2-3).

酸発生剤(B)としては、好ましくは式(B1-1)~式(B1-48)でそれぞれ表されるものが挙げられる。中でもアリールスルホニウムカチオンを含むものが好ましく、式(B1-1)~式(B1-3)、式(B1-5)~式(B1-7)、式(B1-11)~式(B1-14)、式(B1-20)~式(B1-26)、式(B1-29)、式(B1-31)~式(B1-48)で表されるものがとりわけ好ましい。

Figure 0007210312000077
As the acid generator (B), those represented by formulas (B1-1) to (B1-48) are preferred. Among them, those containing an arylsulfonium cation are preferable, and formulas (B1-1) to (B1-3), formulas (B1-5) to (B1-7), formulas (B1-11) to (B1-14) ), formulas (B1-20) to (B1-26), formulas (B1-29), and formulas (B1-31) to (B1-48) are particularly preferred.
Figure 0007210312000077

Figure 0007210312000078
Figure 0007210312000078

Figure 0007210312000079
Figure 0007210312000079

Figure 0007210312000080
Figure 0007210312000080

Figure 0007210312000081
Figure 0007210312000081

Figure 0007210312000082
Figure 0007210312000082

酸発生剤として塩(aa)及び酸発生剤(B)を含有する場合、塩(aa)と酸生剤(B)との含有量の比(質量比;塩(aa):酸発生剤(B))は、通常、1:99~99:1であり、好ましくは2:98~98:2であり、より好ましくは5:95~95:5であり、さらに好ましくは10:90~90:10であり、特に好ましくは15:85~85:15である。 When the salt (aa) and the acid generator (B) are contained as acid generators, the ratio of the contents of the salt (aa) and the acid generator (B) (mass ratio; salt (aa): acid generator ( B)) is generally 1:99 to 99:1, preferably 2:98 to 98:2, more preferably 5:95 to 95:5, still more preferably 10:90 to 90 :10, particularly preferably 15:85 to 85:15.

〔レジスト組成物〕
本発明のレジスト組成物は、塩(aa)を含む酸発生剤と、酸不安定基を有する樹脂(以下「樹脂(A)」という場合がある)とを含有する。ここで、「酸不安定基」とは、脱離基を有し、酸との接触により脱離基が脱離して、構成単位が親水性基(例えば、ヒドロキシ基又はカルボキシ基)を有する構成単位に変換する基を意味する。
本発明のレジスト組成物は、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩等のクエンチャー(以下「クエンチャー(C)」という場合がある)を含有することが好ましく、溶剤(以下「溶剤(E)」という場合がある)を含有することが好ましい。
[Resist composition]
The resist composition of the present invention contains an acid generator containing a salt (aa) and a resin having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "resin (A)"). Here, the term "acid-labile group" refers to a structure having a leaving group, the leaving group being eliminated by contact with an acid, and a constitutional unit having a hydrophilic group (for example, a hydroxy group or a carboxy group). means a group that converts to units.
The resist composition of the present invention preferably contains a quencher (hereinafter sometimes referred to as "quencher (C)") such as a salt that generates an acid that is weaker in acidity than the acid generated by the acid generator. , a solvent (hereinafter sometimes referred to as "solvent (E)").

<酸発生剤>
本発明のレジスト組成物においては、酸発生剤の含有率は、樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは1質量部以上40質量部以下、より好ましくは3質量部以上35質量部以下である。本発明のレジスト組成物は、酸発生剤(B)の1種を単独で含有してもよく、複数種を含有していてもよい。
<Acid Generator>
In the resist composition of the present invention, the content of the acid generator is preferably 1 part by mass or more and 40 parts by mass or less, more preferably 3 parts by mass or more and 35 parts by mass or less, relative to 100 parts by mass of the resin (A). is. The resist composition of the present invention may contain one type of acid generator (B) alone, or may contain a plurality of types.

<樹脂(A)>
樹脂(A)は、酸不安定基を有する構造単位(以下「構造単位(a1)」という場合がある)を有する。樹脂(A)は、さらに、構造単位(a1)以外の構造単位を含むことが好ましい。構造単位(a1)以外の構造単位としては、酸不安定基を有さない構造単位(以下「構造単位(s)」という場合がある)、構造単位(a1)及び構造単位(s)以外の構造単位(例えば、後述するハロゲン原子を有する構造単位(以下「構造単位(a4)」という場合がある)、後述する非脱離炭化水素基を有する構造単位(以下「構造単位(a5)という場合がある)及びその他の当該分野で公知のモノマーに由来する構造単位等が挙げられる。
<Resin (A)>
Resin (A) has a structural unit having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a1)"). The resin (A) preferably further contains structural units other than the structural unit (a1). Structural units other than the structural unit (a1) include structural units having no acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (s)"), structural units other than the structural unit (a1) and the structural unit (s). Structural units (for example, structural units having a halogen atom described later (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a4)"), structural units having a non-eliminating hydrocarbon group described later (hereinafter referred to as "structural unit (a5) ) and other structural units derived from monomers known in the art.

〈構造単位(a1)〉
構造単位(a1)は、酸不安定基を有するモノマー(以下「モノマー(a1)」という場合がある)から導かれる。
樹脂(A)に含まれる酸不安定基は、式(1)で表される基(以下、基(1)とも記す)及び/又は式(2)で表される基(以下、基(2)とも記す)が好ましい。

Figure 0007210312000083
[式(1)中、Ra1、Ra2及びRa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ra1及びRa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の非芳香族炭化水素環を形成する。
ma及びnaは、それぞれ独立して、0又は1を表し、ma及びnaの少なくとも一方は1を表す。
*は結合部位を表す。]
Figure 0007210312000084
[式(2)中、Ra1’及びRa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Ra3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、Ra2’及びRa3’は互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXとともに炭素数3~20の複素環を形成し、該炭化水素基及び該複素環に含まれる-CH-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
na’は、0又は1を表す。
*は結合部位を表す。] <Structural unit (a1)>
The structural unit (a1) is derived from a monomer having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "monomer (a1)").
The acid-labile group contained in the resin (A) is a group represented by formula (1) (hereinafter also referred to as group (1)) and/or a group represented by formula (2) (hereinafter referred to as group (2 )) is preferred.
Figure 0007210312000083
[In formula (1), R a1 , R a2 and R a3 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms, or a group combining these; Alternatively, R a1 and R a2 are bonded to each other to form a non-aromatic hydrocarbon ring having 3 to 20 carbon atoms together with the carbon atoms to which they are bonded.
ma and na each independently represent 0 or 1, and at least one of ma and na represents 1;
* represents a binding site. ]
Figure 0007210312000084
[In formula (2), R a1′ and R a2′ each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, and R a3′ represents a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. or R a2′ and R a3′ are bonded to each other to form a heterocyclic ring having 3 to 20 carbon atoms together with the carbon atom to which they are bonded and X, and —CH 2 contained in the hydrocarbon group and the heterocyclic ring - may be replaced by -O- or -S-.
X represents an oxygen atom or a sulfur atom.
na' represents 0 or 1;
* represents a binding site. ]

a1、Ra2及びRa3におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
a1、Ra2及びRa3における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。Ra1、Ra2及びRa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~16である。

Figure 0007210312000085
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基としては、例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等が挙げられる。
好ましくは、maは0であり、naは1である。
a1及びRa2が互いに結合して非芳香族炭化水素環を形成する場合の-C(Ra1)(Ra2)(Ra3)としては、下記の環が挙げられる。非芳香族炭化水素環は、好ましくは炭素数3~12である。*は-O-との結合部位を表す。
Figure 0007210312000086
Examples of alkyl groups for R a1 , R a2 and R a3 include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group and octyl group.
The alicyclic hydrocarbon groups for R a1 , R a2 and R a3 may be either monocyclic or polycyclic. The monocyclic alicyclic hydrocarbon group includes cycloalkyl groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group and cyclooctyl group. Examples of polycyclic alicyclic hydrocarbon groups include decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups (* represents a bonding site). The alicyclic hydrocarbon groups of R a1 , R a2 and R a3 preferably have 3 to 16 carbon atoms.
Figure 0007210312000085
Groups in which an alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group are combined include, for example, methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, methylnorbornyl group, cyclohexylmethyl group, adamantylmethyl group, adamantyldimethyl group, norbornyl An ethyl group etc. are mentioned.
Preferably, ma is 0 and na is 1.
-C(R a1 )(R a2 )(R a3 ) when R a1 and R a2 combine to form a non-aromatic hydrocarbon ring include the following rings. The non-aromatic hydrocarbon ring preferably has 3 to 12 carbon atoms. * represents a binding site with -O-.
Figure 0007210312000086

a1’、Ra2’及びRa3’における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基及び脂環式炭化水素基は、Ra1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様のものが挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えばシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロアルキル基等が挙げられる。
a2’及びRa3’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXとともに複素環を形成する場合、-C(Ra1’)(Ra3’)-X-Ra2’としては、下記の環が挙げられる。*は、結合部位を表す。

Figure 0007210312000087
a1’及びRa2’のうち、少なくとも1つは水素原子であることが好ましい。
na’は、好ましくは0である。 Examples of hydrocarbon groups for R a1′ , R a2′ and R a3′ include alkyl groups, alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups, groups formed by combining these groups, and the like.
Examples of the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon group include the same groups as those listed for R a1 , R a2 and R a3 .
Aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, naphthyl, anthryl, biphenyl, and phenanthryl groups.
Examples of the combined group include a group obtained by combining the aforementioned alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group (for example, a cycloalkylalkyl group), an aralkyl group such as a benzyl group, an aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methyl phenyl group, p-tert-butylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), alicyclic hydrocarbon groups aromatic hydrocarbon groups (p-cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.), aryl-cycloalkyl groups such as phenylcyclohexyl group, and the like.
When R a2′ and R a3′ are bonded to each other to form a heterocyclic ring together with the carbon atom to which they are bonded and X, —C(R a1′ )(R a3′ )—X—R a2′ is represented by the following ring. * represents the binding site.
Figure 0007210312000087
At least one of R a1′ and R a2′ is preferably a hydrogen atom.
na' is preferably zero.

基(1)としては、以下の基が挙げられる。
式(1)においてRa1、Ra2及びRa3がアルキル基であり、ma=0であり、na=1である基。当該基としては、tert-ブトキシカルボニル基が好ましい。
式(1)において、Ra1、Ra2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ra3がアルキル基であり、ma=0であり、na=1である基。
式(1)において、Ra1及びRa2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ra3がアダマンチル基であり、ma=0であり、na=1である基。
基(1)としては、具体的には以下の基が挙げられる。*は結合部位を表す。

Figure 0007210312000088
Group (1) includes the following groups.
A group in which R a1 , R a2 and R a3 in formula (1) are alkyl groups, ma=0 and na=1. The group is preferably a tert-butoxycarbonyl group.
In formula (1), R a1 and R a2 form an adamantyl group together with the carbon atoms to which they are attached, R a3 is an alkyl group, ma = 0 and na = 1. .
A group in which R a1 and R a2 are each independently an alkyl group, R a3 is an adamantyl group, ma=0 and na=1 in formula (1).
Specific examples of the group (1) include the following groups. * represents a binding site.
Figure 0007210312000088

基(2)の具体例としては、以下の基が挙げられる。*は結合部位を表す。

Figure 0007210312000089
Specific examples of group (2) include the following groups. * represents a binding site.
Figure 0007210312000089

モノマー(a1)は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノマー、より好ましくは酸不安定基を有する(メタ)アクリル系モノマーである。 Monomer (a1) is preferably a monomer having an acid labile group and an ethylenically unsaturated bond, more preferably a (meth)acrylic monomer having an acid labile group.

酸不安定基を有する(メタ)アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数5~20の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー(a1)に由来する構造単位を有する樹脂(A)をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。 Among (meth)acrylic monomers having an acid-labile group, those having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms are preferred. When the resin (A) having a structural unit derived from the monomer (a1) having a bulky structure such as an alicyclic hydrocarbon group is used in the resist composition, the resolution of the resist pattern can be improved.

基(1)を有する(メタ)アクリル系モノマーに由来する構造単位として、好ましくは、式(a1-0)で表される構造単位(以下、構造単位(a1-0)という場合がある。)、式(a1-1)で表される構造単位(以下、構造単位(a1-1)という場合がある。)又は式(a1-2)で表される構造単位(以下、構造単位(a1-2)という場合がある。)が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。

Figure 0007210312000090
[式(a1-0)、式(a1-1)及び式(a1-2)中、
a01、La1及びLa2は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CHk1-CO-O-を表し、k1は1~7のいずれかの整数を表し、*は-CO-との結合部位を表す。
a01、Ra4及びRa5は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
a02、Ra03及びRa04は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
a6及びRa7は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
m1は0~14のいずれかの整数を表す。
n1は0~10のいずれかの整数を表す。
n1’は0~3のいずれかの整数を表す。] The structural unit derived from a (meth)acrylic monomer having group (1) is preferably a structural unit represented by formula (a1-0) (hereinafter sometimes referred to as structural unit (a1-0).) , a structural unit represented by formula (a1-1) (hereinafter sometimes referred to as structural unit (a1-1)) or a structural unit represented by formula (a1-2) (hereinafter, structural unit (a1- 2) may be mentioned). These may be used alone or in combination of two or more.
Figure 0007210312000090
[In formula (a1-0), formula (a1-1) and formula (a1-2),
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent —O— or *—O—(CH 2 ) k1 —CO—O—, k1 represents an integer of 1 to 7, * is represents the binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or a combination thereof.
R a6 and R a7 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or a group formed by combining these.
m1 represents any integer from 0 to 14;
n1 represents any integer from 0 to 10;
n1' represents an integer of 0 to 3; ]

a01、Ra4及びRa5は、好ましくはメチル基である。
a01、La1及びLa2は、好ましくは酸素原子又は*-O-(CHk01-CO-O-であり(但し、k01は、好ましくは1~4のいずれかの整数、より好ましくは1である。)、より好ましくは酸素原子である。
a02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7におけるアルキル基、脂環式炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式(1)のRa1~Ra3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
a02、Ra03、及びRa04におけるアルキル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
a6及びRa7におけるアルキル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくはメチル基、エチル基又はイソプロピル基であり、さらに好ましくはエチル基又はイソプロピル基である。
a02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは5~12であり、より好ましくは5~10である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、18以下であることが好ましい。
a02及びRa03は、それぞれ独立に、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
a04は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基又は炭素数5~12の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
a6及びRa7は、それぞれ独立に、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基又はイソプロピル基であり、さらに好ましくはエチル基又はイソプロピル基である。
m1は、好ましくは0~3のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
n1は、好ましくは0~3のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
n1’は好ましくは0又は1である。
R a01 , R a4 and R a5 are preferably methyl groups.
L a01 , L a1 and L a2 are preferably an oxygen atom or *—O—(CH 2 ) k01 —CO—O— (provided that k01 is preferably any integer of 1 to 4, more preferably is 1.), more preferably an oxygen atom.
The alkyl groups, alicyclic hydrocarbon groups and groups in which these are combined for R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 are the same as the groups listed for R a1 to R a3 in formula (1). groups.
The alkyl group in R a02 , R a03 and R a04 preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, still more preferably a methyl group.
The alkyl group in R a6 and R a7 preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group, an ethyl group or an isopropyl group, still more preferably an ethyl group or an isopropyl group.
The alicyclic hydrocarbon groups of R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 preferably have 5 to 12 carbon atoms, more preferably 5 to 10 carbon atoms.
It is preferable that the combined group of an alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group have a total carbon number of 18 or less.
R a02 and R a03 are each independently preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.
R a04 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group or an adamantyl group.
R a6 and R a7 are each independently preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group, an ethyl group or an isopropyl group, still more preferably an ethyl group or an isopropyl group.
m1 is preferably an integer from 0 to 3, more preferably 0 or 1.
n1 is preferably an integer from 0 to 3, more preferably 0 or 1.
n1' is preferably 0 or 1.

構造単位(a1-0)としては、例えば、式(a1-0-1)~式(a1-0-12)のいずれかで表される構造単位及び構造単位(a1-0)におけるRa01に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられ、式(a1-0-1)~式(a1-0-10)のいずれかで表される構造単位が好ましい。

Figure 0007210312000091
As the structural unit (a1-0), for example, a structural unit represented by any one of formulas (a1-0-1) to (a1-0-12) and R a01 in the structural unit (a1-0) Structural units in which the corresponding methyl group is replaced with a hydrogen atom are exemplified, and structural units represented by any one of formulas (a1-0-1) to (a1-0-10) are preferred.
Figure 0007210312000091

構造単位(a1-1)としては、例えば、特開2010-204646号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、式(a1-1-1)~式(a1-1-4)のいずれかで表される構造単位及び構造単位(a1-1)におけるRa4に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましく、式(a1-1-1)~式(a1-1-4)のいずれかで表される構造単位がより好ましい。

Figure 0007210312000092
Examples of the structural unit (a1-1) include structural units derived from monomers described in JP-A-2010-204646. Among them, a structural unit represented by any one of formulas (a1-1-1) to (a1-1-4) and a methyl group corresponding to R a4 in structural unit (a1-1) is replaced with a hydrogen atom. Structural units are preferred, and structural units represented by any one of formulas (a1-1-1) to (a1-1-4) are more preferred.
Figure 0007210312000092

構造単位(a1-2)としては、式(a1-2-1)~式(a1-2-6)のいずれかで表される構造単位及び構造単位(a1-2)におけるRa5に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられ、式(a1-2-2)、式(a1-2-5)及び式(a1-2-6)が好ましい。

Figure 0007210312000093
The structural unit (a1-2) corresponds to a structural unit represented by any one of formulas (a1-2-1) to (a1-2-6) and R a5 in the structural unit (a1-2). Structural units in which a methyl group is substituted with a hydrogen atom are included, and formulas (a1-2-2), (a1-2-5) and (a1-2-6) are preferred.
Figure 0007210312000093

樹脂(A)が構造単位(a1-0)及び/又は構造単位(a1-1)及び/又は構造単位(a1-2)を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、通常10~95モル%であり、好ましくは15~90モル%であり、より好ましくは15~85モル%であり、さらに好ましくは15~70モル%であり、さらにより好ましくは15~65モル%であり、特に好ましくは20~65モル%である。 When the resin (A) contains the structural unit (a1-0) and/or the structural unit (a1-1) and/or the structural unit (a1-2), the total content of these is the total structure of the resin (A) It is usually 10 to 95 mol%, preferably 15 to 90 mol%, more preferably 15 to 85 mol%, even more preferably 15 to 70 mol%, still more preferably It is 15 to 65 mol %, particularly preferably 20 to 65 mol %.

構造単位(a1)において基(2)を有する構造単位としては、式(a1-4)で表される構造単位(以下、「構造単位(a1-4)」という場合がある。)が挙げられる。

Figure 0007210312000094
[式(a1-4)中、
a32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
a33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
laは0~4のいずれかの整数を表す。laが2以上である場合、複数のRa33は互いに同一であっても異なってもよい。
a34及びRa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Ra36は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、Ra35及びRa36は互いに結合してそれらが結合する-C-O-とともに炭素数2~20の2価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該2価の炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。] Structural units having group (2) in structural unit (a1) include structural units represented by formula (a1-4) (hereinafter sometimes referred to as “structural unit (a1-4)”). .
Figure 0007210312000094
[In formula (a1-4),
R a32 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a33 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, acryloyl It represents an oxy group or a methacryloyloxy group.
la represents an integer of 0 to 4; When la is 2 or more, a plurality of R a33 may be the same or different.
R a34 and R a35 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, R a36 represents a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or R a35 and R a36 are bonded to each other to form a C2-C20 divalent hydrocarbon group together with -C-O- to which they are bonded, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group and the divalent hydrocarbon group is - O- or -S- may be substituted. ]

a32及びRa33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。該アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
a32及びRa33におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基及びヘキシルオキシ基等が挙げられる。なかでも、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
a34、Ra35及びRa36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、及びこれらを組み合わせた基が挙げられ、アルキル基及び脂環式炭化水素基としては、Ra02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基と同様の基が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えばシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロヘキシル基等が挙げられる。特に、Ra36としては、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
Examples of alkyl groups for R a32 and R a33 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, pentyl group and hexyl group. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, even more preferably a methyl group.
Halogen atoms in R a32 and R a33 include fluorine, chlorine and bromine atoms.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom include trifluoromethyl group, difluoromethyl group, methyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1 , 2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2,3,3 , 4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group, perfluorohexyl group, etc. is mentioned.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy and hexyloxy groups. Among them, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, a methoxy group or an ethoxy group is more preferable, and a methoxy group is even more preferable.
Alkylcarbonyl groups include acetyl, propionyl and butyryl groups.
An acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, etc. are mentioned as an alkylcarbonyloxy group.
Hydrocarbon groups for R a34 , R a35 and R a36 include alkyl groups, alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups, and groups in which these are combined. Examples include the same alkyl groups and alicyclic hydrocarbon groups as R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 .
Aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, naphthyl, anthryl, biphenyl, and phenanthryl groups.
Examples of the combined group include a group obtained by combining the aforementioned alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group (for example, a cycloalkylalkyl group), an aralkyl group such as a benzyl group, an aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methyl phenyl group, p-tert-butylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), alicyclic hydrocarbon groups aromatic hydrocarbon groups (p-cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.), aryl-cyclohexyl groups such as phenylcyclohexyl group, and the like. In particular, R a36 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group formed by combining these groups. is mentioned.

式(a1-4)において、Ra32としては、水素原子が好ましい。
a33としては、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基及びエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
laとしては、0又は1が好ましく、0がより好ましい。
a34は、好ましくは、水素原子である。
a35は、好ましくは、炭素数1~12のアルキル基又は脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
a36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式脂肪族炭化水素基又は炭素数7~18のアラルキル基である。Ra36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ra36における芳香族炭化水素基は、炭素数6~10のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。
構造単位(a1-4)における-OC(Ra34)(Ra35)-O-Ra36は、酸(例えばp-トルエンスルホン酸)と接触して脱離し、ヒドロキシ基を形成する。
In formula (a1-4), R a32 is preferably a hydrogen atom.
R a33 is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methoxy group or an ethoxy group, and still more preferably a methoxy group.
la is preferably 0 or 1, more preferably 0.
R a34 is preferably a hydrogen atom.
R a35 is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group, more preferably a methyl group or an ethyl group.
The hydrocarbon group of R a36 is preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a combination of these A group to be formed, more preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic aliphatic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms or an aralkyl group having 7 to 18 carbon atoms. The alkyl group and alicyclic hydrocarbon group in R a36 are preferably unsubstituted. The aromatic hydrocarbon group for R a36 is preferably an aromatic ring having an aryloxy group having 6 to 10 carbon atoms.
--OC(R a34 )(R a35 )-OR a36 in the structural unit (a1-4) is eliminated upon contact with an acid (eg, p-toluenesulfonic acid) to form a hydroxy group.

構造単位(a1-4)としては、例えば、特開2010-204646号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。好ましくは、式(a1-4-1)~式(a1-4-12)でそれぞれ表される構造単位及び構造単位(a1-4)におけるRa32に相当する水素原子がメチル基に置き換わった構造単位が挙げられ、より好ましくは、式(a1-4-1)~式(a1-4-5)、式(a1-4-10)でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000095
Examples of structural units (a1-4) include structural units derived from monomers described in JP-A-2010-204646. Preferably, structural units represented by formulas (a1-4-1) to (a1-4-12) and structures in which the hydrogen atom corresponding to R a32 in the structural unit (a1-4) is replaced with a methyl group units, more preferably structural units represented by formulas (a1-4-1) to (a1-4-5) and formula (a1-4-10).
Figure 0007210312000095

樹脂(A)が、構造単位(a1-4)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位の合計に対して、10~95モル%であることが好ましく、15~90モル%であることがより好ましく、20~85モル%であることがさらに好ましく、20~70モル%であることがさらにより好ましく、20~60モル%であることが特に好ましい。 When the resin (A) contains the structural unit (a1-4), the content thereof is preferably 10 to 95 mol%, preferably 15 to 90 mol%, based on the total of all structural units of the resin (A). It is more preferably 20 to 85 mol %, even more preferably 20 to 70 mol %, and particularly preferably 20 to 60 mol %.

基(2)を有する(メタ)アクリル系モノマーに由来する構造単位としては、式(a1-5)で表される構造単位(以下「構造単位(a1-5)」という場合がある)も挙げられる。

Figure 0007210312000096
式(a1-5)中、
a8は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
a1は、単結合又は*-(CH2h3-CO-L54-を表し、h3は1~4のいずれかの整数を表し、*は、L51との結合部位を表す。
51、L52、L53及びL54は、それぞれ独立に、-O-又は-S-を表す。
s1は、1~3のいずれかの整数を表す。
s1’は、0~3のいずれかの整数を表す。 Structural units derived from (meth)acrylic monomers having group (2) include structural units represented by formula (a1-5) (hereinafter sometimes referred to as “structural unit (a1-5)”). be done.
Figure 0007210312000096
In formula (a1-5),
R a8 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
Z a1 represents a single bond or *—(CH 2 ) h3 —CO—L 54 —, h3 represents an integer of 1 to 4, and * represents a binding site with L 51 .
L 51 , L 52 , L 53 and L 54 each independently represent -O- or -S-.
s1 represents any integer from 1 to 3;
s1′ represents any integer from 0 to 3;

ハロゲン原子としては、フッ素原子及び塩素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式(a1-5)においては、Ra8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
51は、酸素原子が好ましい。
52及びL53のうち、一方が-O-であり、他方が-S-であることが好ましい。
s1は、1が好ましい。
s1’は、0~2のいずれかの整数が好ましい。
a1は、単結合又は*-CH2-CO-O-が好ましい。
Halogen atoms include fluorine atoms and chlorine atoms, with fluorine atoms being preferred.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, fluoromethyl group and trifluoro A methyl group is mentioned.
In formula (a1-5), R a8 is preferably a hydrogen atom, a methyl group or a trifluoromethyl group.
L 51 is preferably an oxygen atom.
Preferably, one of L 52 and L 53 is —O— and the other is —S—.
As for s1, 1 is preferable.
s1′ is preferably an integer of 0-2.
Z a1 is preferably a single bond or *—CH 2 —CO—O—.

構造単位(a1-5)としては、例えば、特開2010-61117号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。中でも、式(a1-5-1)~式(a1-5-4)でそれぞれ表される構造単位が好ましく、式(a1-5-1)又は式(a1-5-2)で表される構造単位がより好ましい。

Figure 0007210312000097
Examples of structural units (a1-5) include structural units derived from monomers described in JP-A-2010-61117. Among them, structural units represented by formulas (a1-5-1) to (a1-5-4) are preferable, and represented by formula (a1-5-1) or formula (a1-5-2) Structural units are more preferred.
Figure 0007210312000097

樹脂(A)が、構造単位(a1-5)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、1~50モル%が好ましく、3~45モル%がより好ましく、5~40モル%がさらに好ましく、5~30モル%がさらにより好ましい。 When the resin (A) contains the structural unit (a1-5), its content is preferably 1 to 50 mol%, more preferably 3 to 45 mol%, based on the total structural units of the resin (A). , more preferably 5 to 40 mol %, and even more preferably 5 to 30 mol %.

また、構造単位(a1)としては、以下の構造単位も挙げられる。

Figure 0007210312000098
The structural unit (a1) also includes the following structural units.
Figure 0007210312000098

樹脂(A)が上記、(a1-3-1)~(a1-3-7)のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10~95モル%が好ましく、15~90モル%がより好ましく、20~85モル%がさらに好ましく、20~70モル%がさらにより好ましく、20~60モル%が特に好ましい。 When the resin (A) contains structural units such as the above (a1-3-1) to (a1-3-7), the content is 10 to 10 to the total structural units of the resin (A). 95 mol % is preferred, 15 to 90 mol % is more preferred, 20 to 85 mol % is even more preferred, 20 to 70 mol % is even more preferred, and 20 to 60 mol % is particularly preferred.

〈構造単位(s)〉
構造単位(s)は、酸不安定基を有さないモノマー(以下「モノマー(s)」という場合がある)から導かれる。構造単位(s)を導くモノマーは、レジスト分野で公知の酸不安定基を有さないモノマーを使用できる。
構造単位(s)としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有するのが好ましい。ヒドロキシ基を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位(以下「構造単位(a2)」という場合がある)及び/又はラクトン環を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位(以下「構造単位(a3)」という場合がある)を有する樹脂を本発明のレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。
<Structural unit (s)>
Structural unit (s) is derived from a monomer having no acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "monomer (s)"). As a monomer leading to the structural unit (s), a monomer having no acid-labile group known in the field of resists can be used.
The structural unit (s) preferably has a hydroxy group or a lactone ring. A structural unit having a hydroxy group and no acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2)") and/or a structure having a lactone ring and no acid-labile group When a resin having a unit (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a3)") is used in the resist composition of the present invention, the resolution of the resist pattern and adhesion to the substrate can be improved.

〈構造単位(a2)〉
構造単位(a2)が有するヒドロキシ基は、アルコール性ヒドロキシ基でも、フェノール性ヒドロキシ基でもよい。
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてKrFエキシマレーザ(248nm)、電子線又はEUV(超紫外光)等の高エネルギー線を用いる場合には、構造単位(a2)として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位(a2)を用いることが好ましい。また、ArFエキシマレーザ(193nm)等を用いる場合には、構造単位(a2)として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位(a2)が好ましく、後述する構造単位(a2-1)を用いることがより好ましい。構造単位(a2)としては、1種を単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。
<Structural unit (a2)>
The hydroxy group possessed by the structural unit (a2) may be an alcoholic hydroxy group or a phenolic hydroxy group.
When producing a resist pattern from the resist composition of the present invention, when using a high-energy beam such as a KrF excimer laser (248 nm), an electron beam, or EUV (extreme ultraviolet light) as an exposure light source, the structural unit (a2) , it is preferable to use a structural unit (a2) having a phenolic hydroxy group. When using an ArF excimer laser (193 nm) or the like, the structural unit (a2) is preferably a structural unit (a2) having an alcoholic hydroxy group, and more preferably a structural unit (a2-1) described later. preferable. As the structural unit (a2), one type may be contained alone, or two or more types may be contained.

構造単位(a2)においてフェノール性ヒドロキシ基有する構造単位としては式(a2-A)で表される構造単位(以下「構造単位(a2-A)」という場合がある)が挙げられる。

Figure 0007210312000099
[式(a2-A)中、
a50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
a51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
a50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
a52は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
a51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なってもよい。] Structural units having a phenolic hydroxy group in structural units (a2) include structural units represented by formula (a2-A) (hereinafter sometimes referred to as “structural unit (a2-A)”).
Figure 0007210312000099
[In the formula (a2-A),
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, acryloyl It represents an oxy group or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a50 bonds.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1;
mb represents an integer from 0 to 4; When mb is any integer of 2 or more, multiple R a51 may be the same or different. ]

a50におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
a50におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、2,2,3,3,4,4,4-ヘプタフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
a50は、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
a51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。
a51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基が挙げられる。炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
a51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
a51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。
a51は、メチル基が好ましい。
Halogen atoms in R a50 include fluorine, chlorine and bromine atoms.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom for R a50 include a trifluoromethyl group, a difluoromethyl group, a methyl group, a perfluoroethyl group, a 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 2,2,3,3, 4,4,4-heptafluorobutyl group, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4 , 5,5,5-nonafluoropentyl, pentyl, hexyl and perfluorohexyl groups.
R a50 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, even more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Examples of alkyl groups for R a51 include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl and hexyl groups.
Alkoxy groups for R a51 include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, sec-butoxy and tert-butoxy groups. An alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is preferred, a methoxy group or an ethoxy group is more preferred, and a methoxy group is even more preferred.
The alkylcarbonyl group for R a51 includes an acetyl group, a propionyl group and a butyryl group.
The alkylcarbonyloxy group for R a51 includes an acetyloxy group, a propionyloxy group and a butyryloxy group.
R a51 is preferably a methyl group.

*-Xa51-(Aa52-Xa52nb-としては、*-O-、*-CO-O-、*-O-CO-、*-CO-O-Aa52-CO-O-、*-O-CO-Aa52-O-、*-O-Aa52-CO-O-、*-CO-O-Aa52-O-CO-、*-O-CO-Aa52-O-CO-、が挙げられる。なかでも、*-CO-O-、*-CO-O-Aa52-CO-O-又は*-O-Aa52-CO-O-が好ましい。 *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb - includes *-O-, *-CO-O-, *-O-CO-, *-CO-O-A a52 -CO-O-, *-O-CO-A a52 -O-, *-O-A a52 -CO-O-, *-CO-O-A a52 -O-CO-, *-O-CO-A a52 -O-CO -, and the like. Among them, *-CO-O-, *-CO-OA a52 -CO-O- or * -OA a52 -CO-O- is preferred.

アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基及び2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
a52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
The alkanediyl groups include methylene, ethylene, propane-1,3-diyl, propane-1,2-diyl, butane-1,4-diyl, pentane-1,5-diyl, hexane- 1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group and 2 -methylbutane-1,4-diyl group and the like.
A a52 is preferably a methylene group or an ethylene group.

a50は、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-Aa52-CO-O-であることが好ましく、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-CH2-CO-O-であることがより好ましく、単結合又は*-CO-O-であることがさらに好ましい。 A a50 is preferably a single bond, *—CO—O— or *—CO—O—A a52 —CO—O—, a single bond, *—CO—O— or *—CO—O—CH 2 --CO--O-- is more preferred, and a single bond or *--CO--O-- is even more preferred.

mbは0、1又は2が好ましく、0又は1がより好ましく、0が特に好ましい。
ヒドロキシ基は、ベンゼン環のo-位又はp-位に結合することが好ましく、p-位に結合することがより好ましい。
mb is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1, and particularly preferably 0.
The hydroxy group is preferably bonded to the o-position or p-position of the benzene ring, more preferably bonded to the p-position.

構造単位(a2-A)としては、特開2010-204634号公報、特開2012-12577号公報に記載されているモノマー由来の構造単位が挙げられる。 Examples of the structural unit (a2-A) include structural units derived from monomers described in JP-A-2010-204634 and JP-A-2012-12577.

構造単位(a2-A)としては、式(a2-2-1)~式(a2-2-6)で表される構造単位及び、式(a2-2-1)~式(a2-2-6)で表される構造単位において構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位(a2-A)は、式(a2-2-1)で表される構造単位、式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-6)で表される構造単位及び式(a2-2-1)で表される構造単位、式(a2-2-3)で表される構造単位又は式(a2-2-6)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましい。

Figure 0007210312000100
The structural unit (a2-A) includes structural units represented by formulas (a2-2-1) to (a2-2-6) and formulas (a2-2-1) to (a2-2- In the structural unit represented by 6), a structural unit in which the methyl group corresponding to R a50 in the structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom can be mentioned. Structural unit (a2-A) includes a structural unit represented by formula (a2-2-1), a structural unit represented by formula (a2-2-3), and a structural unit represented by formula (a2-2-6). and the structural unit represented by formula (a2-2-1), the structural unit represented by formula (a2-2-3) or the structural unit represented by formula (a2-2-6), A structural unit in which the methyl group corresponding to R a50 in the structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom is preferred.
Figure 0007210312000100

樹脂(A)中に構造単位(a2-A)が含まれる場合の構造単位(a2-A)の含有率は、全構造単位に対して、好ましくは5~80モル%であり、より好ましくは10~70モル%であり、さらに好ましくは15~65モル%であり、さらにより好ましくは20~65モル%である。
構造単位(a2-A)は、例えば構造単位(a1-4)を用いて重合した後、p-トルエンスルホン酸等の酸で処理することにより、樹脂(A)に含ませることができる。また、アセトキシスチレン等を用いて重合した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリで処理することにより、構造単位(a2-A)を樹脂(A)に含ませることができる。
When the structural unit (a2-A) is contained in the resin (A), the content of the structural unit (a2-A) is preferably 5 to 80 mol% of the total structural units, more preferably It is 10 to 70 mol %, more preferably 15 to 65 mol %, still more preferably 20 to 65 mol %.
The structural unit (a2-A) can be included in the resin (A), for example, by polymerizing the structural unit (a1-4) and then treating with an acid such as p-toluenesulfonic acid. Further, the structural unit (a2-A) can be included in the resin (A) by polymerizing with acetoxystyrene or the like and then treating with an alkali such as tetramethylammonium hydroxide.

構造単位(a2)においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式(a2-1)で表される構造単位(以下「構造単位(a2-1)」という場合がある。)が挙げられる。

Figure 0007210312000101
式(a2-1)中、
a3は、-O-又は*-O-(CH2k2-CO-O-を表し、
k2は1~7のいずれかの整数を表す。*は-CO-との結合部位を表す。
a14は、水素原子又はメチル基を表す。
a15及びRa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
o1は、0~10のいずれかの整数を表す。 A structural unit having an alcoholic hydroxy group in the structural unit (a2) includes a structural unit represented by formula (a2-1) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-1)").
Figure 0007210312000101
In formula (a2-1),
L a3 represents -O- or *-O-(CH 2 ) k2 -CO-O-,
k2 represents any integer from 1 to 7; * represents a bonding site with -CO-.
R a14 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R a15 and R a16 each independently represent a hydrogen atom, a methyl group or a hydroxy group.
o1 represents an integer from 0 to 10;

式(a2-1)では、La3は、好ましくは、-O-、-O-(CH2f1-CO-O-であり(前記f1は、1~4のいずれかの整数を表す)、より好ましくは-O-である。
a14は、好ましくはメチル基である。
a15は、好ましくは水素原子である。
a16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
o1は、好ましくは0~3のいずれかの整数、より好ましくは0又は1である。
In formula (a2-1), L a3 is preferably -O-, -O-(CH 2 ) f1 -CO-O- (f1 represents an integer of 1 to 4) , and more preferably -O-.
R a14 is preferably a methyl group.
R a15 is preferably a hydrogen atom.
R a16 is preferably a hydrogen atom or a hydroxy group.
o1 is preferably any integer from 0 to 3, more preferably 0 or 1.

構造単位(a2-1)としては、例えば、特開2010-204646号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。式(a2-1-1)~式(a2-1-6)のいずれかで表される構造単位が好ましく、式(a2-1-1)~式(a2-1-4)のいずれかで表される構造単位がより好ましく、式(a2-1-1)又は式(a2-1-3)で表される構造単位がさらに好ましい。

Figure 0007210312000102
Examples of structural units (a2-1) include structural units derived from monomers described in JP-A-2010-204646. Structural units represented by any one of formulas (a2-1-1) to (a2-1-6) are preferred, and any one of formulas (a2-1-1) to (a2-1-4) Structural units represented by the formula (a2-1-1) or (a2-1-3) are more preferable.
Figure 0007210312000102

樹脂(A)が構造単位(a2-1)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、通常1~45モル%であり、好ましくは1~40モル%であり、より好ましくは1~35モル%であり、さらに好ましくは2~20モル%であり、さらにより好ましくは2~10モル%である。 When the resin (A) contains the structural unit (a2-1), its content is usually 1 to 45 mol%, preferably 1 to 40 mol%, based on the total structural units of the resin (A). Yes, more preferably 1 to 35 mol %, still more preferably 2 to 20 mol %, still more preferably 2 to 10 mol %.

〈構造単位(a3)〉
構造単位(a3)が有するラクトン環は、β-プロピオラクトン環、γ-ブチロラクトン環、δ-バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ-ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ-ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環(例えば下式(a3-2)で表される構造単位)が挙げられる。
<Structural unit (a3)>
The lactone ring of the structural unit (a3) may be a monocyclic ring such as a β-propiolactone ring, γ-butyrolactone ring, δ-valerolactone ring, or a condensed ring of a monocyclic lactone ring and another ring. It's okay. Preferable examples include a γ-butyrolactone ring, an adamantanelactone ring, or a bridged ring containing a γ-butyrolactone ring structure (for example, a structural unit represented by the following formula (a3-2)).

構造単位(a3)は、好ましくは、式(a3-1)、式(a3-2)、式(a3-3)又は式(a3-4)で表される構造単位である。これらの1種を単独で含有してもよく、2種以上を含有していてもよい。

Figure 0007210312000103
[式(a3-1)、式(a3-2)、式(a3-3)及び式(a3-4)中、
a4、La5及びLa6は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CHk3-CO-O-(k3は1~7のいずれかの整数を表す。)で表される基を表す。
a7は、-O-、*-O-La8-O-、*-O-La8-CO-O-、*-O-La8-CO-O-La9-CO-O-又は*-O-La8-O-CO-La9-O-を表す。
a8及びLa9は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
*はカルボニル基との結合部位を表す。
a18、Ra19及びRa20は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
a24は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
a3は、-CH-又は酸素原子を表す。
a21は炭素数1~4の脂肪族炭化水素基を表す。
a22、Ra23及びRa25は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数1~4の脂肪族炭化水素基を表す。
p1は0~5のいずれかの整数を表す。
q1は、0~3のいずれかの整数を表す。
r1は、0~3のいずれかの整数を表す。
w1は、0~8のいずれかの整数を表す。
p1、q1、r1及び/又はw1が2以上のとき、複数のRa21、Ra22、Ra23及び/又はRa25は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。] Structural unit (a3) is preferably a structural unit represented by formula (a3-1), formula (a3-2), formula (a3-3) or formula (a3-4). One of these may be contained alone, or two or more may be contained.
Figure 0007210312000103
[In formula (a3-1), formula (a3-2), formula (a3-3) and formula (a3-4),
L a4 , L a5 and L a6 are each independently represented by —O— or *—O—(CH 2 ) k3 —CO—O— (k3 represents an integer of 1 to 7); represents a group.
L a7 is -O-, * -OL a8 -O-, * -OL a8 -CO-O-, * -OL a8 -CO- OL a9 -CO-O- or * -OL a8 -O-CO-L a9 -O-.
L a8 and L a9 each independently represent an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
* represents a bonding site with a carbonyl group.
R a18 , R a19 and R a20 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.
R a24 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
X a3 represents —CH 2 — or an oxygen atom.
R a21 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
R a22 , R a23 and R a25 each independently represent a carboxy group, a cyano group or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
p1 represents any integer from 0 to 5;
q1 represents an integer of 0 to 3;
r1 represents an integer of 0 to 3;
w1 represents any integer from 0 to 8;
When p1, q1, r1 and/or w1 are 2 or more, a plurality of R a21 , R a22 , R a23 and/or R a25 may be the same or different. ]

a21、Ra22、Ra23及びRa25における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基及びtert-ブチル基等のアルキル基が挙げられる。
a24におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
a24におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数1~4のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
a24におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
Examples of the aliphatic hydrocarbon group for R a21 , R a22 , R a23 and R a25 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group and tert-butyl group. be done.
Halogen atoms in R a24 include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Examples of the alkyl group for R a24 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group and hexyl group, preferably having 1 to 4 carbon atoms. and more preferably a methyl group or an ethyl group.
The alkyl group having a halogen atom for R a24 includes a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, a perfluorotert-butyl group, a perfluoropentyl group, and a perfluoro A hexyl group, a trichloromethyl group, a tribromomethyl group, a triiodomethyl group and the like are included.

a8及びLa9におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基及び2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
式(a3-1)~式(a3-3)において、La4~La6は、それぞれ独立に、好ましくは-O-又は、*-O-(CHk3-CO-O-において、k3が1~4のいずれかの整数である基、より好ましくは-O-及び、*-O-CH-CO-O-、さらに好ましくは酸素原子である。
a18~Ra21は、好ましくはメチル基である。
a22及びRa23は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
p1、q1及びr1は、それぞれ独立に、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
The alkanediyl group for L a8 and L a9 includes methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5 -diyl group, hexane-1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1, 4-diyl group, 2-methylbutane-1,4-diyl group and the like.
In formulas (a3-1) to (a3-3), L a4 to L a6 are each independently preferably —O— or *—O—(CH 2 ) k3 —CO—O—, k3 is an integer of 1 to 4, more preferably -O- and *-O-CH 2 -CO-O-, more preferably an oxygen atom.
R a18 to R a21 are preferably methyl groups.
R a22 and R a23 are each independently preferably a carboxy group, a cyano group or a methyl group.
p1, q1 and r1 are each independently preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1.

式(a3-4)において、Ra24は、好ましくは水素原子又は炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
a25は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
a7は、好ましくは-O-又は*-O-La8-CO-O-であり、より好ましくは-O-、-O-CH-CO-O-又は-O-C-CO-O-である。
w1は、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
特に、式(a3-4)は、式(a3-4)’が好ましい。

Figure 0007210312000104
(式中、Ra24、La7は、上記と同じ意味を表す。) In formula (a3-4), R a24 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, still more preferably a hydrogen atom or a methyl group is.
R a25 is preferably a carboxy group, a cyano group or a methyl group.
L a7 is preferably -O- or *-O-L a8 -CO-O-, more preferably -O-, -O-CH 2 -CO-O- or -O-C 2 H 4 - It is CO—O—.
w1 is preferably an integer from 0 to 2, more preferably 0 or 1.
In particular, formula (a3-4) is preferably formula (a3-4)'.
Figure 0007210312000104
(In the formula, R a24 and L a7 have the same meanings as above.)

構造単位(a3)としては、特開2010-204646号公報に記載されたモノマー、特開2000-122294号公報に記載されたモノマー、特開2012-41274号公報に記載されたモノマーに由来の構造単位が挙げられる。構造単位(a3)としては、式(a3-1-1)、式(a3-1-2)、式(a3-2-1)、式(a3-2-2)、式(a3-3-1)、式(a3-3-2)及び式(a3-4-1)~式(a3-4-12)のいずれかで表される構造単位及び、前記構造単位において、式(a3-1)~式(a3-4)におけるRa18、Ra19、Ra20及びRa24に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましい。 As the structural unit (a3), the monomer described in JP-A-2010-204646, the monomer described in JP-A-2000-122294, the structure derived from the monomer described in JP-A-2012-41274 units. As the structural unit (a3), formula (a3-1-1), formula (a3-1-2), formula (a3-2-1), formula (a3-2-2), formula (a3-3- 1), a structural unit represented by any one of formulas (a3-3-2) and formulas (a3-4-1) to (a3-4-12), and in said structural unit, formula (a3-1 ) to R a18 , R a19 , R a20 and R a24 in formulas (a3-4) are preferably structural units in which methyl groups are replaced with hydrogen atoms.

Figure 0007210312000105
Figure 0007210312000105

樹脂(A)が構造単位(a3)を含む場合、その合計含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、通常5~70モル%であり、好ましくは10~65モル%であり、より好ましくは10~60モル%であり、さらにより好ましくは20~55モル%であり、特に好ましくは30~50モル%である。
また、構造単位(a3-1)、構造単位(a3-2)、構造単位(a3-3)又は構造単位(a3-4)の含有率は、それぞれ、樹脂(A)の全構造単位に対して、5~60モル%が好ましく、5~50モル%がより好ましく、10~50モル%がさらに好ましい。
When the resin (A) contains the structural unit (a3), the total content is usually 5 to 70 mol%, preferably 10 to 65 mol%, based on the total structural units of the resin (A). , more preferably 10 to 60 mol %, still more preferably 20 to 55 mol %, particularly preferably 30 to 50 mol %.
Further, the content of structural unit (a3-1), structural unit (a3-2), structural unit (a3-3) or structural unit (a3-4) is 5 to 60 mol % is preferred, 5 to 50 mol % is more preferred, and 10 to 50 mol % is even more preferred.

〈構造単位(a4)〉
構造単位(a4)としては、以下の構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000106
[式(a4)中、
41は、水素原子又はメチル基を表す。
42は、炭素数1~24のハロゲン原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-COに置き換わっていてもよい。]
42で表される飽和炭化水素基は、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。 <Structural unit (a4)>
Structural units (a4) include the following structural units.
Figure 0007210312000106
[In formula (a4),
R 41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R 42 represents a saturated hydrocarbon group having a halogen atom of 1 to 24 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO. ]
The saturated hydrocarbon group represented by R 42 includes chain saturated hydrocarbon groups, monocyclic or polycyclic saturated alicyclic hydrocarbon groups, and groups formed by combining these groups.

鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。

Figure 0007210312000107
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式飽和炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基、-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。 Chain saturated hydrocarbon groups include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, decyl group, dodecyl group, pentadecyl group, hexadecyl group, heptadecyl group and octadecyl group. is mentioned. Examples of monocyclic or polycyclic saturated alicyclic hydrocarbon groups include cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl and other cycloalkyl groups; decahydronaphthyl, adamantyl, norbornyl and the following polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as groups (* represents a bonding site).
Figure 0007210312000107
Groups formed by combination include groups formed by combining one or more alkyl groups or one or more alkanediyl groups and one or more alicyclic saturated hydrocarbon groups, and -alkanediyl groups Examples include - alicyclic saturated hydrocarbon group, - alicyclic saturated hydrocarbon group - alkyl group, - alkanediyl group - alicyclic saturated hydrocarbon group - alkyl group, and the like.

構造単位(a4)としては、式(a4-0)、式(a4-1)、式(a4-2)、式(a4-3)及び式(a4-4)からなる群から選択される少なくとも1つで表される構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000108
[式(a4-0)中、
54は、水素原子又はメチル基を表す。
4aは、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基を表す。
3aは、炭素数1~8のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数3~12のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
64は、水素原子又はフッ素原子を表す。] The structural unit (a4) is at least selected from the group consisting of formula (a4-0), formula (a4-1), formula (a4-2), formula (a4-3) and formula (a4-4) Structural units represented by one are exemplified.
Figure 0007210312000108
[In the formula (a4-0),
R54 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 4a represents a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms.
L 3a represents a perfluoroalkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms or a perfluorocycloalkanediyl group having 3 to 12 carbon atoms.
R64 represents a hydrogen atom or a fluorine atom. ]

4aにおけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基及び2-メチルプロパン-1,2-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。 The alkanediyl group for L 4a includes linear alkanediyl groups such as methylene, ethylene, propane-1,3-diyl, butane-1,4-diyl, ethane-1,1-diyl, branched alkanediyl groups such as propane-1,2-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group and 2-methylpropane-1,2-diyl group; be done.

3aにおけるペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロエチルフルオロメチレン基、ペルフルオロプロパン-1,3-ジイル基、ペルフルオロプロパン-1,2-ジイル基、ペルフルオロプロパン-2,2-ジイル基、ペルフルオロブタン-1,4-ジイル基、ペルフルオロブタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロブタン-1,2-ジイル基、ペルフルオロペンタン-1,5-ジイル基、ペルフルオロペンタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロペンタン-3,3-ジイル基、ペルフルオロヘキサン-1,6-ジイル基、ペルフルオロヘキサン-2,2-ジイル基、ペルフルオロヘキサン-3,3-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-1,7-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-3,4-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-4,4-ジイル基、ペルフルオロオクタン-1,8-ジイル基、ペルフルオロオクタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロオクタン-3,3-ジイル基、ペルフルオロオクタン-4,4-ジイル基等が挙げられる。
3aにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
The perfluoroalkanediyl group for L 3a includes a difluoromethylene group, a perfluoroethylene group, a perfluoroethylfluoromethylene group, a perfluoropropane-1,3-diyl group, a perfluoropropane-1,2-diyl group, and a perfluoropropane-2,2 -diyl group, perfluorobutane-1,4-diyl group, perfluorobutane-2,2-diyl group, perfluorobutane-1,2-diyl group, perfluoropentane-1,5-diyl group, perfluoropentane-2,2 -diyl group, perfluoropentane-3,3-diyl group, perfluorohexane-1,6-diyl group, perfluorohexane-2,2-diyl group, perfluorohexane-3,3-diyl group, perfluoroheptane-1,7 -diyl group, perfluoroheptane-2,2-diyl group, perfluoroheptane-3,4-diyl group, perfluoroheptane-4,4-diyl group, perfluorooctane-1,8-diyl group, perfluorooctane-2,2 -diyl group, perfluorooctane-3,3-diyl group, perfluorooctane-4,4-diyl group and the like.
The perfluorocycloalkanediyl group for L 3a includes a perfluorocyclohexanediyl group, a perfluorocyclopentanediyl group, a perfluorocycloheptanediyl group, a perfluoroadamantanediyl group, and the like.

4aは、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結合、メチレン基である。
3aは、好ましくは炭素数1~6のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数1~3のペルフルオロアルカンジイル基である。
L 4a is preferably a single bond, a methylene group or an ethylene group, more preferably a single bond or a methylene group.
L 3a is preferably a C 1-6 perfluoroalkanediyl group, more preferably a C 1-3 perfluoroalkanediyl group.

構造単位(a4-0)としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位(a4-0)におけるR54に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000109
Examples of the structural unit (a4-0) include structural units shown below and structural units in which the methyl group corresponding to R 54 in the structural unit (a4-0) in the following structural units is replaced with a hydrogen atom.
Figure 0007210312000109

Figure 0007210312000110
[式(a4-1)中、
a41は、水素原子又はメチル基を表す。
a42は、置換基を有していてもよい炭素数1~20の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
a41は、置換基を有していてもよい炭素数1~6のアルカンジイル基又は式(a-g1)で表される基を表す。ただし、Aa41及びRa42のうち少なくとも1つは、置換基としてハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)を有する。
Figure 0007210312000111
〔式(a-g1)中、
sは0又は1を表す。
a42及びAa44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数1~5の2価の飽和炭化水素基を表す。
a43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数1~5の2価の飽和炭化水素基を表す。
a41及びXa42は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
ただし、Aa42、Aa43、Aa44、Xa41及びXa42の炭素数の合計は7以下である。〕
*は結合部位であり、右側の*が-O-CO-Ra42との結合部位である。]
Figure 0007210312000110
[In formula (a4-1),
R a41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R a42 represents an optionally substituted saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group is replaced with —O— or —CO— may
A a41 represents an optionally substituted alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms or a group represented by formula (a-g1). However, at least one of A a41 and R a42 has a halogen atom (preferably a fluorine atom) as a substituent.
Figure 0007210312000111
[In the formula (a-g1),
s represents 0 or 1;
A a42 and A a44 each independently represent an optionally substituted divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms.
A a43 represents a single bond or an optionally substituted C 1-5 divalent saturated hydrocarbon group.
X a41 and X a42 each independently represent -O-, -CO-, -CO-O- or -O-CO-.
However, the total number of carbon atoms of A a42 , A a43 , A a44 , X a41 and X a42 is 7 or less. ]
* is a binding site, and * on the right side is a binding site with --O--CO--R a42 . ]

a42における飽和炭化水素基としては、鎖式炭化水素基及び単環又は多環の脂環式炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。 Examples of saturated hydrocarbon groups for R a42 include chain hydrocarbon groups, monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon groups, and groups formed by combining these groups.

鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。単環又は多環の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。

Figure 0007210312000112
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式炭化水素基、-脂環式炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。 Chain hydrocarbon groups include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, decyl, dodecyl, pentadecyl, hexadecyl, heptadecyl and octadecyl groups. mentioned. Monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon groups include cycloalkyl groups such as cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl and cyclooctyl; decahydronaphthyl, adamantyl, norbornyl and the following groups (* represents a binding site.) and other polycyclic alicyclic hydrocarbon groups.
Figure 0007210312000112
Groups formed by combination include groups formed by combining one or more alkyl groups or one or more alkanediyl groups and one or more alicyclic hydrocarbon groups, and -alkanediyl groups- Alicyclic hydrocarbon group, -alicyclic hydrocarbon group-alkyl group, -alkanediyl group-alicyclic hydrocarbon group-alkyl group and the like.

a42が有していてもよい置換基として、ハロゲン原子及び式(a-g3)で表される基からなる群から選択される少なくとも1種が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、好ましくはフッ素原子である。

Figure 0007210312000113
[式(a-g3)中、
a43は、酸素原子、カルボニル基、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はRa42との結合部位を表す。)。
a45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
*は結合部位を表す。]
ただし、Ra42-Xa43-Aa45において、Ra42がハロゲン原子を有しない場合は、Aa45は、少なくとも1つのハロゲン原子を有する炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。 Examples of the substituent that R a42 may have include at least one selected from the group consisting of halogen atoms and groups represented by formulas (a-g3). A halogen atom includes a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom, preferably a fluorine atom.
Figure 0007210312000113
[In the formula (a-g3),
X a43 represents an oxygen atom, a carbonyl group, *--O--CO-- or *--CO--O-- (* represents a bonding site with R a42 ).
A a45 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
* represents a binding site. ]
However, in R a42 -X a43 -A a45 , when R a42 does not have a halogen atom, A a45 represents a C 1-17 saturated hydrocarbon group having at least one halogen atom.

a45における飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等のアルキル基;
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基;並びにデカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。

Figure 0007210312000114
The saturated hydrocarbon group for A a45 includes methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, decyl, dodecyl, pentadecyl, hexadecyl, heptadecyl and octadecyl Alkyl groups such as groups;
Monocyclic alicyclic hydrocarbon groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group and cyclooctyl group; decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups ) and other polycyclic alicyclic hydrocarbon groups.
Figure 0007210312000114

a42は、ハロゲン原子を有していてもよい飽和炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するアルキル基及び/又は式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基がより好ましい。
a42がハロゲン原子を有する飽和炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が1~6のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数1~3のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
a42が、式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、式(a-g3)で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ra42の総炭素数は、15以下が好ましく、12以下がより好ましい。式(a-g3)で表される基を置換基として有する場合、その数は1個が好ましい。
R a42 is preferably a saturated hydrocarbon group which may have a halogen atom, more preferably an alkyl group having a halogen atom and/or a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3).
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a halogen atom, it is preferably a saturated hydrocarbon group having a fluorine atom, more preferably a perfluoroalkyl group or a perfluorocycloalkyl group, still more preferably having 1 to 1 carbon atoms. A perfluoroalkyl group having 6 carbon atoms, particularly preferably a perfluoroalkyl group having 1 to 3 carbon atoms. Perfluoroalkyl groups include perfluoromethyl, perfluoroethyl, perfluoropropyl, perfluorobutyl, perfluoropentyl, perfluorohexyl, perfluoroheptyl and perfluorooctyl groups. A perfluorocyclohexyl group etc. are mentioned as a perfluorocycloalkyl group.
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3), the total carbon number of R a42 including the number of carbon atoms contained in the group represented by formula (a-g3) The number is preferably 15 or less, more preferably 12 or less. When it has a group represented by formula (a-g3) as a substituent, the number thereof is preferably one.

a42が式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、Ra42は、さらに好ましくは式(a-g2)で表される基である。

Figure 0007210312000115
[式(a-g2)中、
a46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基を表す。
a44は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はAa46との結合部位を表す。)。
a47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
ただし、Aa46、Aa47及びXa44の炭素数の合計は18以下であり、Aa46及びAa47のうち、少なくとも一方は、少なくとも1つのハロゲン原子を有する。
*はカルボニル基との結合部位を表す。] When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3), R a42 is more preferably a group represented by formula (a-g2).
Figure 0007210312000115
[In the formula (a-g2),
A a46 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
X a44 represents *--O--CO-- or *--CO--O-- (* represents a binding site with A a46 ).
A a47 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
However, the total number of carbon atoms of A a46 , A a47 and X a44 is 18 or less, and at least one of A a46 and A a47 has at least one halogen atom.
* represents a bonding site with a carbonyl group. ]

a46の飽和炭化水素基の炭素数は1~6が好ましく、1~3がより好ましい。
a47の飽和炭化水素基の炭素数は4~15が好ましく、5~12がより好ましく、Aa47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。
The saturated hydrocarbon group of A a46 preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The saturated hydrocarbon group of A a47 preferably has 4 to 15 carbon atoms, more preferably 5 to 12 carbon atoms, and A a47 is more preferably a cyclohexyl group or an adamantyl group.

式(a-g2)で表される基の好ましい構造は、以下の構造である(*はカルボニル基との結合部位である)。

Figure 0007210312000116
A preferred structure of the group represented by formula (a-g2) is the following structure (* is the bonding site with the carbonyl group).
Figure 0007210312000116

a41におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、1-メチルブタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
a41の表すアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数1~6のアルコキシ基等が挙げられる。
a41は、好ましくは炭素数1~4のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数2~4のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。
Alkanediyl group for A a41 includes methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group straight-chain alkanediyl groups such as; Branched alkanediyl groups such as 2-methylbutane-1,4-diyl group can be mentioned.
Examples of substituents on the alkanediyl group represented by A a41 include a hydroxy group and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
A a41 is preferably an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably an alkanediyl group having 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably an ethylene group.

式(a-g1)で表される基におけるAa42、Aa43及びAa44の表す2価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基及び単環の2価の脂環式飽和炭化水素基、並びに、アルカンジイル基及び2価の脂環式飽和炭化水素基を組合せることにより形成される2価の飽和炭化水素基等が挙げられる。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、1-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基等が挙げられる。
a42、Aa43及びAa44の表す2価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数1~6のアルコキシ基等が挙げられる。
sは、0であることが好ましい。
The divalent saturated hydrocarbon groups represented by A a42 , A a43 and A a44 in the group represented by the formula (a-g1) include linear or branched alkanediyl groups and monocyclic divalent alicyclic A saturated hydrocarbon group, a divalent saturated hydrocarbon group formed by combining an alkanediyl group and a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group, and the like are included. Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, 1-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group and the like.
Examples of substituents of the divalent saturated hydrocarbon groups represented by A a42 , A a43 and A a44 include a hydroxy group and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
s is preferably zero.

式(a-g1)で表される基において、Xa42が-O-、-CO-、-CO-O-又は-O-CO-である基としては、以下の基等が挙げられる。以下の例示において、*及び**はそれぞれ結合部位を表わし、**が-O-CO-Ra42との結合部位である。

Figure 0007210312000117
Among the groups represented by the formula (a-g1), examples of groups in which X a42 is -O-, -CO-, -CO-O- or -O-CO- include the following groups. In the following examples, * and ** each represent a binding site, and ** is the binding site with --O--CO--R a42 .
Figure 0007210312000117

式(a4-1)で表される構造単位としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の式(a4-1)で表される構造単位におけるRa41に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000118
The structural unit represented by formula (a4-1) includes the structural units shown below and the methyl group corresponding to R a41 in the structural unit represented by formula (a4-1) in the following structural units is replaced with a hydrogen atom. Structural units replaced are included.
Figure 0007210312000118

Figure 0007210312000119
Figure 0007210312000119

Figure 0007210312000120
[式(a4-2)中、
f5は、水素原子又はメチル基を表す。
44は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
f6は、炭素数1~20のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、L44及びRf6の合計炭素数の上限は21である。]
Figure 0007210312000120
[In formula (a4-2),
R f5 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 44 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, and --CH 2 -- contained in the alkanediyl group may be replaced with --O-- or --CO--.
R f6 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and a fluorine atom.
However, the upper limit of the total carbon number of L 44 and R f6 is 21. ]

44の炭素数1~6のアルカンジイル基は、Aa41で例示したものと同様の基が挙げられる。
f6の飽和炭化水素基は、Ra42で例示したものと同様の基が挙げられる。
44における炭素数1~6のアルカンジイル基としては、炭素数2~4のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
Examples of the C 1-6 alkanediyl group for L 44 include the same groups as those exemplified for A a41 .
Examples of the saturated hydrocarbon group for R f6 include the same groups as those exemplified for R a42 .
The alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms in L 44 is preferably an alkanediyl group having 2 to 4 carbon atoms, and more preferably an ethylene group.

式(a4-2)で表される構造単位としては、例えば、式(a4-1-1)~式(a4-1-11)でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位(a4-2)におけるRf5に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式(a4-2)で表される構造単位として挙げられる。 Examples of structural units represented by formula (a4-2) include structural units represented by formulas (a4-1-1) to (a4-1-11). A structural unit in which the methyl group corresponding to R f5 in the structural unit (a4-2) is replaced with a hydrogen atom is also included as the structural unit represented by the formula (a4-2).

Figure 0007210312000121
[式(a4-3)中、
f7は、水素原子又はメチル基を表す。
5は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
f13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表す。
f12は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はAf13との結合部位を表す。)。
f14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
但し、Af13及びAf14の少なくとも1つは、フッ素原子を有し、L5、Af13及びAf14の合計炭素数の上限は20である。]
Figure 0007210312000121
[In formula (a4-3),
R f7 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 5 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
A f13 represents a C 1-18 divalent saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom.
X f12 represents *--O--CO-- or *--CO--O-- (* represents a binding site with A f13 ).
A f14 represents a C 1-17 saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom.
However, at least one of A f13 and A f14 has a fluorine atom, and the upper limit of the total carbon number of L 5 , A f13 and A f14 is 20. ]

5におけるアルカンジイル基としては、Aa41のアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。 Examples of the alkanediyl group for L 5 include the same groups as those exemplified for the alkanediyl group for A a41 .

f13におけるフッ素原子を有していてもよい2価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい2価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい2価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい2価の鎖式飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基;ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい2価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom in A f13 preferably has a divalent chain saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom and a fluorine atom is a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group, more preferably a perfluoroalkanediyl group.
Examples of the divalent chain saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom include alkanediyl groups such as a methylene group, an ethylene group, a propanediyl group, a butanediyl group and a pentanediyl group; a difluoromethylene group, a perfluoroethylene group, perfluoroalkanediyl groups such as perfluoropropanediyl group, perfluorobutanediyl group and perfluoropentanediyl group;
The divalent saturated alicyclic hydrocarbon group which may have a fluorine atom may be either monocyclic or polycyclic. Monocyclic groups include a cyclohexanediyl group, a perfluorocyclohexanediyl group, and the like. Examples of polycyclic groups include an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, a perfluoroadamantanediyl group, and the like.

f14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ra42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、2,2,3,3,4,4,4-ヘプタフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。 Examples of saturated hydrocarbon groups and optionally fluorine-containing saturated hydrocarbon groups for A f14 include groups similar to those exemplified for R a42 . Among them, trifluoromethyl group, difluoromethyl group, methyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 2,2,3,3,4,4,4-heptafluorobutyl group, 1,1,2,2,3 , 3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group, perfluorohexyl fluorinated alkyl groups such as heptyl, perfluoroheptyl, octyl and perfluorooctyl groups, cyclopropylmethyl, cyclopropyl, cyclobutylmethyl, cyclopentyl, cyclohexyl, perfluorocyclohexyl, adamantyl, adamantyl Methyl group, adamantyldimethyl group, norbornyl group, norbornylmethyl group, perfluoroadamantyl group, perfluoroadamantylmethyl group and the like are preferred.

式(a4-3)において、L5は、エチレン基が好ましい。
f13の2価の飽和炭化水素基は、炭素数1~6の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数2~3の鎖式飽和炭化水素基がさらに好ましい。
f14の飽和炭化水素基は、炭素数3~12の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数3~10の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~10の脂環式飽和炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Af14は、好ましくは炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。
In formula (a4-3), L 5 is preferably an ethylene group.
The divalent saturated hydrocarbon group of A f13 is preferably a group containing a chain saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, and Chain saturated hydrocarbon groups are more preferred.
The saturated hydrocarbon group of A f14 is preferably a group containing a chain saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, and a saturated chain hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms. Groups containing a hydrocarbon group and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms are more preferred. Among them, A f14 is preferably a group containing an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, more preferably a cyclopropylmethyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a norbornyl group and an adamantyl group. .

式(a4-3)で表される構造単位としては、例えば、式(a4-1’-1)~式(a4-1’-11)でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位(a4-3)におけるRf7に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式(a4-3)で表される構造単位として挙げられる。 Examples of structural units represented by formula (a4-3) include structural units represented by formulas (a4-1′-1) to (a4-1′-11). A structural unit in which the methyl group corresponding to R f7 in the structural unit (a4-3) is replaced with a hydrogen atom is also included as the structural unit represented by the formula (a4-3).

構造単位(a4)としては、式(a4-4)で表される構造単位も挙げられる。

Figure 0007210312000122
[式(a4-4)中、
f21は、水素原子又はメチル基を表す。
f21は、-(CH2j1-、-(CH2j2-O-(CH2j3-又は-(CH2j4-CO-O-(CH2j5-を表す。
j1~j5は、それぞれ独立に、1~6のいずれかの整数を表す。
f22は、フッ素原子を有する炭素数1~10の飽和炭化水素基を表す。] Structural units (a4) also include structural units represented by formula (a4-4).
Figure 0007210312000122
[In the formula (a4-4),
R f21 represents a hydrogen atom or a methyl group.
A f21 represents -(CH 2 ) j1 -, -(CH 2 ) j2 -O-(CH 2 ) j3 - or -(CH 2 ) j4 -CO-O-(CH 2 ) j5 -.
j1 to j5 each independently represent an integer of 1 to 6;
R f22 represents a C 1-10 saturated hydrocarbon group having a fluorine atom. ]

f22の飽和炭化水素基は、Ra42で表される飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。Rf22は、フッ素原子を有する炭素数1~10のアルキル基又はフッ素原子を有する炭素数1~10の脂環式飽和炭化水素基が好ましく、フッ素原子を有する炭素数1~10のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数1~6のアルキル基がさらに好ましい。 The saturated hydrocarbon group represented by R f22 includes the same saturated hydrocarbon group represented by R a42 . R f22 is preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom or an alicyclic saturated hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom, and an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom is preferably More preferred is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and having a fluorine atom.

式(a4-4)においては、Af21としては、-(CH2j1-が好ましく、エチレン基又はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。 In formula (a4-4), A f21 is preferably —(CH 2 ) j1 —, more preferably an ethylene group or a methylene group, even more preferably a methylene group.

式(a4-4)で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び以下の式で表される構造単位において、構造単位(a4-4)におけるRf21に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000123
As the structural unit represented by formula (a4-4), for example, in structural units represented by the following structural units and structural units represented by the following formulas, the methyl group corresponding to R f21 in structural unit (a4-4) is hydrogen Structural units replaced with atoms are included.
Figure 0007210312000123

樹脂(A)が、構造単位(a4)を有する場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、1~20モル%が好ましく、2~15モル%がより好ましく、3~10モル%がさらに好ましい。 When the resin (A) has the structural unit (a4), the content thereof is preferably 1 to 20 mol%, more preferably 2 to 15 mol%, based on the total structural units of the resin (A), and 3 ~10 mol% is more preferred.

〈構造単位(a5)〉
構造単位(a5)が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位(a5)は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位(a5)としては、例えば、式(a5-1)で表される構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000124
[式(a5-1)中、
51は、水素原子又はメチル基を表す。
52は、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数1~8の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
55は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。] <Structural unit (a5)>
Examples of non-leaving hydrocarbon groups possessed by the structural unit (a5) include groups having linear, branched or cyclic hydrocarbon groups. Among them, the structural unit (a5) is preferably a group having an alicyclic hydrocarbon group.
Examples of the structural unit (a5) include structural units represented by formula (a5-1).
Figure 0007210312000124
[In formula (a5-1),
R51 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R 52 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the alicyclic hydrocarbon group may be substituted with an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. .
L 55 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— . ]

52における脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、アダマンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数1~8の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び2-エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、3-ヒドロキシアダマンチル基、3-メチルアダマンチル基などが挙げられる。
52は、好ましくは、無置換の炭素数3~18の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
The alicyclic hydrocarbon group for R 52 may be either monocyclic or polycyclic. Examples of monocyclic alicyclic hydrocarbon groups include cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl and cyclohexyl groups. Examples of polycyclic alicyclic hydrocarbon groups include adamantyl groups and norbornyl groups.
Aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 8 carbon atoms are, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group and 2 - alkyl groups such as ethylhexyl groups.
Alicyclic hydrocarbon groups having a substituent include a 3-hydroxyadamantyl group and a 3-methyladamantyl group.
R 52 is preferably an unsubstituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, more preferably an adamantyl group, a norbornyl group or a cyclohexyl group.

55における2価の飽和炭化水素基としては、2価の鎖式飽和炭化水素基及び2価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、好ましくは2価の鎖式飽和炭化水素基である。
2価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
2価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group for L 55 includes a divalent saturated chain hydrocarbon group and a saturated divalent alicyclic hydrocarbon group, preferably a saturated chain divalent hydrocarbon group. .
Examples of divalent chain saturated hydrocarbon groups include alkanediyl groups such as methylene, ethylene, propanediyl, butanediyl and pentanediyl groups.
The bivalent alicyclic saturated hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic. The monocyclic alicyclic saturated hydrocarbon group includes cycloalkanediyl groups such as cyclopentanediyl group and cyclohexanediyl group. Examples of the polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group include an adamantanediyl group and a norbornanediyl group.

55の表す2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-が、-O-又は-CO-で置き換わった基としては、例えば、式(L1-1)~式(L1-4)で表される基が挙げられる。下記式中、*及び**は各々結合部位を表し、*は酸素原子との結合部位を表す。

Figure 0007210312000125
式(L1-1)中、
x1は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はLx1との結合部位を表す。)。
x1は、炭素数1~16の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
x2は、単結合又は炭素数1~15の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx1及びLx2の合計炭素数は、16以下である。
式(L1-2)中、
x3は、炭素数1~17の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
x4は、単結合又は炭素数1~16の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx3及びLx4の合計炭素数は、17以下である。
式(L1-3)中、
x5は、炭素数1~15の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
x6及びLx7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~14の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx5、Lx6及びLx7の合計炭素数は、15以下である。
式(L1-4)中、
x8及びLx9は、単結合又は炭素数1~12の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
x1は、炭素数3~15の2価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx8、Lx9及びWx1の合計炭素数は、15以下である。 Groups in which —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L 55 is replaced with —O— or —CO— include, for example, formulas (L1-1) to (L1-4) and the group represented by In the following formulas, * and ** each represent a bonding site, and * represents a bonding site with an oxygen atom.
Figure 0007210312000125
In formula (L1-1),
X x1 represents *-O-CO- or *-CO-O- (* represents a binding site with L x1 ).
L x1 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
L x2 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x1 and L x2 is 16 or less.
In formula (L1-2),
L x3 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms.
L x4 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x3 and L x4 is 17 or less.
In formula (L1-3),
L x5 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
L x6 and L x7 each independently represent a single bond or a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x5 , L x6 and L x7 is 15 or less.
In formula (L1-4),
L x8 and L x9 each represent a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
W x1 represents a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group having 3 to 15 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x8 , L x9 and W x1 is 15 or less.

x1は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
x2は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
x3は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
x4は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
x5は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
x6は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
x7は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
x8は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
x9は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
x1は、好ましくは、炭素数3~10の2価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。
L x1 is preferably a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x2 is preferably a single bond or a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a single bond.
L x3 is preferably a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x4 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x5 is preferably a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x6 is preferably a single bond or a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x7 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x8 is preferably a single bond or a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond or a methylene group.
L x9 is preferably a single bond or a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond or a methylene group.
W x1 is preferably a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, more preferably a cyclohexanediyl group or an adamantanediyl group.

式(L1-1)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。

Figure 0007210312000126
Examples of the group represented by formula (L1-1) include the divalent groups shown below.
Figure 0007210312000126

式(L1-2)で表される基としては、例えば、以下に示す基が挙げられる。

Figure 0007210312000127
Examples of the group represented by formula (L1-2) include groups shown below.
Figure 0007210312000127

式(L1-3)で表される基としては、例えば、以下に示す基が挙げられる。

Figure 0007210312000128
Examples of the group represented by formula (L1-3) include groups shown below.
Figure 0007210312000128

式(L1-4)で表される基としては、例えば、以下に示す基が挙げられる。

Figure 0007210312000129
Examples of the group represented by formula (L1-4) include groups shown below.
Figure 0007210312000129

55は、好ましくは、単結合又は式(L1-1)で表される基である。 L 55 is preferably a single bond or a group represented by formula (L1-1).

構造単位(a5-1)としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位(a5-1)におけるR51に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。

Figure 0007210312000130
樹脂(A)が、構造単位(a5)を有する場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、1~30モル%が好ましく、2~20モル%がより好ましく、3~15モル%がさらに好ましい。 Examples of the structural unit (a5-1) include the following structural units and structural units in which the methyl group corresponding to R 51 in the structural unit (a5-1) in the following structural units is replaced with a hydrogen atom.
Figure 0007210312000130
When the resin (A) has the structural unit (a5), the content thereof is preferably 1 to 30 mol%, more preferably 2 to 20 mol%, based on the total structural units of the resin (A), and 3 ~15 mol% is more preferred.

<構造単位(II)>
樹脂(A)は、さらに、露光により分解して酸を発生する構造単位(以下、「構造単位(II)という場合がある)を含有していてもよい。構造単位(II)としては、具体的には特開2016-79235号公報に記載の構造単位が挙げられ、側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位又は側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位であることが好ましい。
<Structural unit (II)>
The resin (A) may further contain a structural unit that is decomposed by exposure to generate an acid (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (II)"). Examples include structural units described in JP 2016-79235 A, a structural unit having a sulfonate group or a carboxylate group and an organic cation in a side chain or a structural unit having a sulfonio group and an organic anion in a side chain. is preferably

側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位は、式(II-2-A’)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 0007210312000131
[式(II-2-A’)中、
III3は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基又はヒドロキシ基で置き換わっていてもよい。
x1は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる水素原子は、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基で置換されていてもよい。
RAは、スルホナート基又はカルボキシレート基を表す。
III3は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
ZAは、有機カチオンを表す。] A structural unit having a sulfonate group or carboxylate group and an organic cation in a side chain is preferably a structural unit represented by formula (II-2-A').
Figure 0007210312000131
[In the formula (II-2-A '),
X III3 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O—, —S— or —CO— A hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with a halogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, or a hydroxy group.
A x1 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the alkanediyl group may be substituted with a fluorine atom or a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
RA- represents a sulfonate group or a carboxylate group.
R III3 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
ZA + represents an organic cation. ]

III3で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
III3で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、Ra8で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基と同じものが挙げられる。
x1で表される炭素数1~8のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
x1における水素原子が置換されていてもよい炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基などが挙げられる。
Halogen atoms represented by R III3 include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and optionally having a halogen atom represented by R III3 includes an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and optionally having a halogen atom represented by R a8 . The same can be mentioned.
The alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms represented by A x1 includes methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group and pentane-1,5-diyl group. , hexane-1,6-diyl group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2, 4-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane-1,4-diyl group, etc. mentioned.
The perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms in which the hydrogen atom in A x1 may be substituted includes a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, and a perfluorosec-butyl group. , perfluorotert-butyl group, perfluoropentyl group, perfluorohexyl group and the like.

III3で表される炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の2価の脂環飽和炭化水素基が挙げられ、これらの組み合わせてあってもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基;ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の2価の多環式脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms represented by X III3 include a linear or branched alkanediyl group and a monocyclic or polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group. and may be a combination of these.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1 ,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group , dodecane-1,12-diyl group and other linear alkanediyl groups; butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group , pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane-1,4-diyl group and other branched alkanediyl groups; cyclobutane-1,3-diyl group, cyclopentane-1,3-diyl group, cyclohexane-1 ,4-diyl group, cycloalkanediyl group such as cyclooctane-1,5-diyl group; norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, adamantane Divalent polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as -2,6-diyl group and the like can be mentioned.

飽和炭化水素基に含まれる-CH-が、-O-、-S-又は-CO-で置き換わったものとしては、例えば式(X1)~式(X53)で表される2価の基が挙げられる。ただし、飽和炭化水素基に含まれる-CH-が、-O-、-S-又は-CO-で置き換わる前の炭素数はそれぞれ17以下である。下記式において、*及び**は結合部位を表し、*はAx1との結合部位を表す。

Figure 0007210312000132
Examples of saturated hydrocarbon groups in which —CH 2 — is replaced with —O—, —S— or —CO— include divalent groups represented by formulas (X1) to (X53). mentioned. However, -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group has 17 or less carbon atoms before being replaced with -O-, -S- or -CO-. In the formula below, * and ** represent binding sites, and * represents a binding site with Ax1 .
Figure 0007210312000132

3は、2価の炭素数1~16の飽和炭化水素基を表す。
4は、2価の炭素数1~15の飽和炭化水素基を表す。
5は、2価の炭素数1~13の飽和炭化水素基を表す。
6は、2価の炭素数1~14の飽和炭化水素基を表す。
7は、3価の炭素数1~14の飽和炭化水素基を表す。
8は、2価の炭素数1~13の飽和炭化水素基を表す。
X 3 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
X 4 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
X 5 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 13 carbon atoms.
X 6 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
X 7 represents a trivalent saturated hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
X 8 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 13 carbon atoms.

ZA+で表される有機カチオンは、塩(aa3)におけるカチオンZ+と同様のものが挙げられる。 Examples of the organic cation represented by ZA + include those similar to the cation Z + in the salt (aa3).

式(II-2-A’)で表される構造単位は、式(II-2-A)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 0007210312000133
[式(II-2-A)中、RIII3、XIII3及びZAは、上記と同じ意味を表す。
zは、0~6のいずれかの整数を表す。
III2及びRIII4は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表し、zが2以上のとき、複数のRIII2及びRIII4は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
及びQは、それぞれ独立して、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。] The structural unit represented by formula (II-2-A') is preferably a structural unit represented by formula (II-2-A).
Figure 0007210312000133
[In formula (II-2-A), R III3 , X III3 and ZA + have the same meanings as above.
z represents any integer from 0 to 6;
R III2 and R III4 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom or a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and when z is 2 or more, a plurality of R III2 and R III4 are the same may be different.
Q a and Q b each independently represent a fluorine atom or a C 1-6 perfluoroalkyl group. ]

III2、RIII4、Q及びQで表される炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、前述のQb1で表される炭素数1~6のペルフルオロアルキル基と同じものが挙げられる。 Examples of the perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms represented by R III2 , R III4 , Q a and Q b include the same perfluoroalkyl groups having 1 to 6 carbon atoms represented by Q b1 described above. .

式(II-2-A)で表される構造単位は、式(II-2-A-1)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 0007210312000134
[式(II-2-A-1)中、
III2、RIII3、RIII4、Qa、Qb、z及びZAは、上記と同じ意味を表す。
III5は、炭素数1~12の飽和炭化水素基を表す。
I2は、炭素数1~11の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。] The structural unit represented by formula (II-2-A) is preferably a structural unit represented by formula (II-2-A-1).
Figure 0007210312000134
[In formula (II-2-A-1),
R III2 , R III3 , R III4 , Q a , Q b , z and ZA + have the same meanings as above.
R III5 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
X I2 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 11 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O—, —S— or —CO—. A hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom or a hydroxy group. ]

III5で表される炭素数1~12の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等の直鎖又は分岐のアルキル基が挙げられる。
I2で表される2価の飽和炭化水素基としては、XIII3で表される2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
Examples of saturated hydrocarbon groups having 1 to 12 carbon atoms represented by R III5 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, Linear or branched alkyl groups such as heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group and dodecyl group can be mentioned.
The divalent saturated hydrocarbon group represented by X I2 includes the same divalent saturated hydrocarbon groups as those represented by X III3 .

式(II-2-A-1)で表される構造単位としては、式(II-2-A-2)で表される構造単位が好ましい。

Figure 0007210312000135
[式(II-2-A-2)中、RIII3、RIII5及びZAは、上記と同じ意味を表す。
m及びnは、それぞれ独立に、1又は2を表す。] As the structural unit represented by formula (II-2-A-1), a structural unit represented by formula (II-2-A-2) is preferable.
Figure 0007210312000135
[In formula (II-2-A-2), R III3 , R III5 and ZA + have the same meanings as above.
m and n each independently represent 1 or 2; ]

式(II-2-A’)で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び国際公開第2012/050015号記載の構造単位が挙げられる。ZAは、有機カチオンを表す。

Figure 0007210312000136
The structural unit represented by formula (II-2-A′) includes, for example, the following structural units and structural units described in International Publication No. 2012/050015. ZA + represents an organic cation.
Figure 0007210312000136

Figure 0007210312000137
Figure 0007210312000137

側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位は、式(II-1-1)で表される構造単位であることが好ましい。

Figure 0007210312000138
[式(II-1-1)中、
II1は、単結合又は2価の連結基を表す。
II1は、炭素数6~18の2価の芳香族炭化水素基を表す。
II2及びRII3は、それぞれ独立して、炭素数1~18の炭化水素基を表し、RII2及びRII3は互いに結合してそれらが結合する硫黄原子とともに環を形成していてもよい。
II4は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
は、有機アニオンを表す。]
II1で表される2価の連結基としては、例えば、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基が挙げられ、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH-は、-O-、-S-又は-CO-で置き換わっていてもよい。具体的には、XIII3で表される炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。
II1で表される炭素数6~18の2価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基及びナフチレン基等が挙げられる。
II2及びRII3で表される炭化水素基としては、Ra3’で表される炭化水素基と同じものが挙げられる。
II4で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
II4で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、Ra8で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基と同じものが挙げられる。 A structural unit having a sulfonio group and an organic anion in a side chain is preferably a structural unit represented by formula (II-1-1).
Figure 0007210312000138
[In the formula (II-1-1),
AII1 represents a single bond or a divalent linking group.
R II1 represents a divalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms.
R II2 and R II3 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and R II2 and R II3 may be bonded to each other to form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded.
R II4 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
A represents an organic anion. ]
The divalent linking group represented by A II1 includes, for example, a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group is -O-, -S- or -CO- may be substituted. Specific examples thereof include the same divalent saturated hydrocarbon groups having 1 to 18 carbon atoms represented by X III3 .
Examples of the divalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms represented by R II1 include a phenylene group and a naphthylene group.
The hydrocarbon groups represented by R II2 and R II3 include the same hydrocarbon groups as those represented by R a3′ .
Halogen atoms represented by RII4 include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom represented by R II4 includes an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom represented by R a8 . The same can be mentioned.

式(II-1-1)中のカチオンを含む構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。

Figure 0007210312000139
Examples of structural units containing cations in formula (II-1-1) include structural units represented below.
Figure 0007210312000139

Figure 0007210312000140
Figure 0007210312000140

で表される有機アニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオン等が挙げられる。Aで表される有機アニオンは、スルホン酸アニオンが好ましく、スルホン酸アニオンとしては、前述する式(B1)で表される塩に含まれるアニオンであることがより好ましい。 Organic anions represented by A include sulfonate anions, sulfonylimide anions, sulfonylmethide anions and carboxylate anions. The organic anion represented by A is preferably a sulfonate anion, and the sulfonate anion is more preferably an anion contained in the salt represented by the above formula (B1).

で表されるスルホニルイミドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000141
Sulfonylimide anions represented by A include the following.
Figure 0007210312000141

スルホニルメチドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000142
Sulfonylmethide anions include the following.
Figure 0007210312000142

カルボン酸アニオンとしては、以下のものが挙げられる。

Figure 0007210312000143
Carboxylate anions include the following.
Figure 0007210312000143

式(II-1-1)で表される構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。

Figure 0007210312000144
Examples of structural units represented by formula (II-1-1) include structural units represented below.
Figure 0007210312000144

樹脂(A)中に、構造単位(II)を含有する場合の構造単位(II)の含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、好ましくは1~20モル%であり、より好ましくは2~15モル%であり、さらに好ましくは3~10モル%である。 When the resin (A) contains the structural unit (II), the content of the structural unit (II) is preferably 1 to 20 mol% of the total structural units of the resin (A), and more It is preferably 2 to 15 mol %, more preferably 3 to 10 mol %.

樹脂(A)は、上述の構造単位以外の構造単位を有していてもよく、このような構造単位としては、当技術分野で周知の構造単位が挙げられる。 Resin (A) may have structural units other than the structural units described above, and examples of such structural units include structural units well known in the art.

樹脂(A)は、好ましくは、構造単位(a1)と構造単位(s)とからなる樹脂、すなわち、モノマー(a1)とモノマー(s)との共重合体である。
構造単位(a1)は、好ましくは構造単位(a1-0)、構造単位(a1-1)及び構造単位(a1-2)(好ましくはシクロヘキシル基及びシクロペンチル基を有する該構造単位)からなる群から選ばれる少なくとも一種であり、より好ましくは少なくとも二種である。
構造単位(s)は、好ましくは構造単位(a2)及び構造単位(a3)からなる群から選ばれる少なくとも一種である。構造単位(a2)は、好ましくは式(a2-1)で表される構造単位である。構造単位(a3)は、好ましくは式(a3-1)で表される構造単位、式(a3-2)で表される構造単位及び式(a3-4)で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも一種である。
Resin (A) is preferably a resin composed of structural unit (a1) and structural unit (s), that is, a copolymer of monomer (a1) and monomer (s).
Structural unit (a1) is preferably from the group consisting of structural unit (a1-0), structural unit (a1-1) and structural unit (a1-2) (preferably the structural unit having a cyclohexyl group and a cyclopentyl group) At least one selected, more preferably at least two.
Structural unit (s) is preferably at least one selected from the group consisting of structural unit (a2) and structural unit (a3). Structural unit (a2) is preferably a structural unit represented by formula (a2-1). Structural unit (a3) is preferably a group consisting of a structural unit represented by formula (a3-1), a structural unit represented by formula (a3-2) and a structural unit represented by formula (a3-4) is at least one selected from

樹脂(A)を構成する各構造単位は、1種のみ又は2種以上を組み合わせて用いてもよく、これら構造単位を導くモノマーを用いて、公知の重合法(例えばラジカル重合法)によって製造することができる。樹脂(A)が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂(A)の重量平均分子量は、好ましくは、2,000以上(より好ましくは2,500以上、さらに好ましくは3,000以上)、50,000以下(より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは15,000以下)である。本明細書では、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで実施例に記載の条件により求めた値である。
Each structural unit that constitutes the resin (A) may be used alone or in combination of two or more, and is produced by a known polymerization method (e.g., radical polymerization method) using a monomer that leads to these structural units. be able to. The content of each structural unit in the resin (A) can be adjusted by adjusting the amount of monomer used for polymerization.
The weight average molecular weight of the resin (A) is preferably 2,000 or more (more preferably 2,500 or more, still more preferably 3,000 or more) and 50,000 or less (more preferably 30,000 or less, further preferably is 15,000 or less). As used herein, the weight average molecular weight is a value obtained by gel permeation chromatography under the conditions described in Examples.

<樹脂(A)以外の樹脂>
樹脂(A)以外の樹脂としては、例えば、構造単位(a4)又は構造単位(a5)を含有する樹脂(以下、樹脂(X)という場合がある)等が挙げられる。
<Resins other than resin (A)>
Examples of the resin other than the resin (A) include a resin containing the structural unit (a4) or the structural unit (a5) (hereinafter sometimes referred to as resin (X)).

樹脂(X)としては、なかでも、構造単位(a4)を含む樹脂が好ましい。
樹脂(X)において、構造単位(a4)の含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、30モル%以上であることが好ましく、40モル%以上であることがより好ましく、45モル%以上であることがさらに好ましい。
樹脂(X)がさらに有していてもよい構造単位としては、構造単位(a1)、構造単位(a2)、構造単位(a3)及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、樹脂(X)は、構造単位(a4)及び/又は構造単位(a5)のみからなる樹脂であることが好ましく、構造単位(a4)のみからなる樹脂であることがより好ましい。
As the resin (X), among others, a resin containing the structural unit (a4) is preferable.
In the resin (X), the content of the structural unit (a4) is preferably 30 mol% or more, more preferably 40 mol% or more, based on the total of all structural units of the resin (X). , more preferably 45 mol % or more.
Structural units that the resin (X) may further include structural units (a1), structural units (a2), structural units (a3), and structural units derived from other known monomers. Among them, the resin (X) is preferably a resin consisting only of the structural unit (a4) and/or the structural unit (a5), more preferably a resin consisting only of the structural unit (a4).

樹脂(X)を構成する各構造単位は、1種のみ又は2種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法(例えばラジカル重合法)によって製造することができる。樹脂(X)が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂(X)の重量平均分子量は、それぞれ独立して、好ましくは6,000以上(より好ましくは7,000以上)、80,000以下(より好ましくは60,000以下)である。樹脂(X)の重量平均分子量の測定手段は、樹脂(A)の場合と同様である。
また、レジスト組成物が樹脂(X)を含む場合、その含有量は、樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは1~60質量部であり、より好ましくは1~50質量部であり、さらに好ましくは1~40質量部であり、特に好ましくは1~30質量部であり、特に好ましくは1~8質量部である。
Each structural unit that constitutes the resin (X) may be used alone or in combination of two or more. Using a monomer that induces these structural units, the resin (X) is produced by a known polymerization method (e.g., radical polymerization method). can do. The content of each structural unit in the resin (X) can be adjusted by adjusting the amount of the monomer used for polymerization.
The weight average molecular weights of resin (X) are each independently preferably 6,000 or more (more preferably 7,000 or more) and 80,000 or less (more preferably 60,000 or less). The means for measuring the weight-average molecular weight of resin (X) is the same as for resin (A).
Further, when the resist composition contains the resin (X), its content is preferably 1 to 60 parts by mass, more preferably 1 to 50 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the resin (A). , More preferably 1 to 40 parts by mass, particularly preferably 1 to 30 parts by mass, particularly preferably 1 to 8 parts by mass.

レジスト組成物における樹脂(A)の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、80質量%以上99質量%以下であることが好ましく、90質量%以上99質量%以下がより好ましい。また、樹脂(A)以外の樹脂を含む場合は、樹脂(A)と樹脂(A)以外の樹脂との合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、80質量%以上99質量%以下であることが好ましく、90質量%以上99質量%以下がより好ましい。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含有率は、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。 The content of the resin (A) in the resist composition is preferably 80% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less, relative to the solid content of the resist composition. Further, when a resin other than the resin (A) is included, the total content of the resin (A) and the resin other than the resin (A) is 80% by mass or more and 99% by mass with respect to the solid content of the resist composition. It is preferably less than or equal to 90% by mass or more, and more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less. The solid content and resin content of the resist composition can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography.

<溶剤(E)>
溶剤(E)の含有率は、レジスト組成物中、通常90質量%以上99.9質量%以下であり、好ましくは92質量%以上99質量%以下であり、より好ましくは94質量%以上99質量%以下である。溶剤(E)の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
溶剤(E)としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類;アセトン、メチルイソブチルケトン、2-ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類;γ-ブチロラクトン等の環状エステル類;等を挙げることができる。溶剤(E)の1種を単独で使用してもよく、2種以上を使用してもよい。
<Solvent (E)>
The content of the solvent (E) in the resist composition is usually 90% by mass or more and 99.9% by mass or less, preferably 92% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 94% by mass or more and 99% by mass. % or less. The content of the solvent (E) can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography.
Examples of the solvent (E) include glycol ether esters such as ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether; ethyl lactate, butyl acetate, amyl acetate and ethyl pyruvate; ketones such as acetone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone and cyclohexanone; cyclic esters such as γ-butyrolactone; One kind of the solvent (E) may be used alone, or two or more kinds may be used.

<クエンチャー(C)>
クエンチャー(C)としては、塩基性の含窒素有機化合物、及び酸発生剤(B)から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩が挙げられる。クエンチャー(C)の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、0.01~5質量%程度であることが好ましい。
塩基性の含窒素有機化合物としては、アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンが挙げられる。
アミンとしては、1-ナフチルアミン、2-ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、2-,3-又は4-メチルアニリン、4-ニトロアニリン、N-メチルアニリン、N,N-ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔2-(2-メトキシエトキシ)エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’-ジアミノ-1,2-ジフェニルエタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジメチルジフェニルメタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジエチルジフェニルメタン、2,2’-メチレンビスアニリン、イミダゾール、4-メチルイミダゾール、ピリジン、4-メチルピリジン、1,2-ジ(2-ピリジル)エタン、1,2-ジ(4-ピリジル)エタン、1,2-ジ(2-ピリジル)エテン、1,2-ジ(4-ピリジル)エテン、1,3-ジ(4-ピリジル)プロパン、1,2-ジ(4-ピリジルオキシ)エタン、ジ(2-ピリジル)ケトン、4,4’-ジピリジルスルフィド、4,4’-ジピリジルジスルフィド、2,2’-ジピリジルアミン、2,2’-ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは2,6-ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、3-(トリフルオロメチル)フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ-n-ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。
<Quencher (C)>
Examples of the quencher (C) include basic nitrogen-containing organic compounds and salts that generate an acid that is weaker in acidity than the acid generated from the acid generator (B). The content of the quencher (C) is preferably about 0.01 to 5% by mass based on the solid content of the resist composition.
Basic nitrogen-containing organic compounds include amines and ammonium salts. Amines include aliphatic amines and aromatic amines. Aliphatic amines include primary, secondary and tertiary amines.
Amines include 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, aniline, diisopropylaniline, 2-, 3- or 4-methylaniline, 4-nitroaniline, N-methylaniline, N,N-dimethylaniline, diphenylamine, hexylamine, heptylamine, octylamine, nonylamine, decylamine, dibutylamine, dipentylamine, dihexylamine, diheptylamine, dioctylamine, dinonylamine, didecylamine, triethylamine, trimethylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine, trihexylamine, tri heptylamine, trioctylamine, trinonylamine, tridecylamine, methyldibutylamine, methyldipentylamine, methyldihexylamine, methyldicyclohexylamine, methyldiheptylamine, methyldioctylamine, methyldinonylamine, methyldidecylamine, ethyldibutylamine, ethyldipentylamine, ethyldihexylamine, ethyldiheptylamine, ethyldioctylamine, ethyldinonylamine, ethyldidecylamine, dicyclohexylmethylamine, tris[2-(2-methoxyethoxy)ethyl]amine, tri isopropanolamine, ethylenediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, 4,4'-diamino-1,2-diphenylethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3 , 3′-diethyldiphenylmethane, 2,2′-methylenebisaniline, imidazole, 4-methylimidazole, pyridine, 4-methylpyridine, 1,2-di(2-pyridyl)ethane, 1,2-di(4- pyridyl)ethane, 1,2-di(2-pyridyl)ethene, 1,2-di(4-pyridyl)ethene, 1,3-di(4-pyridyl)propane, 1,2-di(4-pyridyloxy ) ethane, di(2-pyridyl) ketone, 4,4′-dipyridyl sulfide, 4,4′-dipyridyl disulfide, 2,2′-dipyridylamine, 2,2′-dipicolylamine, bipyridine and the like, Aromatic amines such as diisopropylaniline are preferred, and 2,6-diisopropylaniline is more preferred.
Ammonium salts include tetramethylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, tetrahexylammonium hydroxide, tetraoctylammonium hydroxide, phenyltrimethylammonium hydroxide, 3-(trifluoromethyl)phenyltrimethyl ammonium hydroxide, tetra-n-butylammonium salicylate and choline;

酸発生剤(B)から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数(pKa)で示される。酸発生剤(B)から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常-3<pKaの塩であり、好ましくは-1<pKa<7の塩であり、より好ましくは0<pKa<5の塩である。
酸発生剤(B)から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開2015-147926号公報記載の式(D)で表される塩(以下、「弱酸分子内塩(D)」という場合がある。)、並びに特開2012-229206号公報、特開2012-6908号公報、特開2012-72109号公報、特開2011-39502号公報及び特開2011-191745号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤(B)から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩として好ましくは、弱酸分子内塩(D)である。

Figure 0007210312000145
The acidity of a salt that generates an acid weaker than the acid generated from the acid generator (B) is indicated by the acid dissociation constant (pKa). The salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator (B) has an acid dissociation constant of -3<pKa, preferably -1<. Salts with pKa<7, more preferably salts with 0<pKa<5.
Examples of the salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator (B) include salts represented by the following formula, and salts represented by the formula (D) described in JP-A-2015-147926. (Hereinafter, it may be referred to as "weak acid inner salt (D)".), and JP-A-2012-229206, JP-A-2012-6908, JP-A-2012-72109, JP-A-2011-39502. and salts described in JP-A-2011-191745. The salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator (B) is preferably a weak acid inner salt (D).
Figure 0007210312000145

弱酸分子内塩(D)としては、以下の塩が挙げられる。

Figure 0007210312000146
The weak acid inner salt (D) includes the following salts.
Figure 0007210312000146

レジスト組成物がクエンチャー(C)を含有する場合、クエンチャー(C)の含有率は、レジスト組成物の固形分中、通常、0.01~5質量%であり、好ましくは0.01~3質量%である。 When the resist composition contains the quencher (C), the content of the quencher (C) is usually 0.01 to 5% by mass, preferably 0.01 to 5% by mass, based on the solid content of the resist composition. 3% by mass.

〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分(以下「その他の成分(F)」という場合がある。)を含有していてもよい。その他の成分(F)に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。
<Other ingredients>
If necessary, the resist composition of the present invention may contain components other than the components described above (hereinafter sometimes referred to as "other components (F)"). Other components (F) are not particularly limited, and additives known in the field of resists, such as sensitizers, dissolution inhibitors, surfactants, stabilizers, dyes, etc., can be used.

〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、塩(aa)及び樹脂(A)、並びに、必要に応じて、酸発生剤(B)、樹脂(A)以外の樹脂、溶剤(E)、クエンチャー(C)及びその他の成分(F)を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、10~40℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤(E)に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、0.5~24時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径0.003~0.2μm程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。
<Preparation of resist composition>
The resist composition of the present invention comprises a salt (aa), a resin (A), and, if necessary, an acid generator (B), a resin other than the resin (A), a solvent (E), and a quencher (C). and other components (F). The mixing order is arbitrary and not particularly limited. The temperature during mixing can be appropriately selected from 10 to 40° C. depending on the type of resin or the like and the solubility of the resin or the like in the solvent (E). An appropriate mixing time can be selected from 0.5 to 24 hours depending on the mixing temperature. The mixing means is also not particularly limited, and stirring and mixing can be used.
After mixing each component, it is preferable to filter using a filter having a pore size of about 0.003 to 0.2 μm.

〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
(1)本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること(いわゆるプリベーク)により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、50~200℃であることが好ましく、加熱時間は、10~180秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、1~1.0×105Pa程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、KrFエキシマレーザ(波長248nm)、ArFエキシマレーザ(波長193nm)、F2エキシマレーザ(波長157nm)のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源(YAG又は半導体レーザ等)からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光(EUV)を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理(いわゆるポストエキスポジャーベーク)を行う。加熱温度は、通常50~200℃程度、好ましくは70~150℃程度である。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、5~60℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、5~300秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや(2-ヒドロキシエチル)トリメチルアンモニウムヒドロキシド(通称コリン)の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液(以下「有機系現像液」という場合がある)を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、2-ヘキサノン、2-ヘプタノン等のケトン溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤;酢酸ブチル等のエステル溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤;N,N-ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤;アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、90質量%以上100質量%以下が好ましく、95質量%以上100質量%以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び/又は2-ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び2-ヘプタノンの合計含有率は、50質量%以上100質量%以下が好ましく、90質量%以上100質量%以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び/又は2-ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。
<Method for manufacturing resist pattern>
The method for producing a resist pattern of the present invention comprises:
(1) a step of applying the resist composition of the present invention onto a substrate;
(2) a step of drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer;
(4) heating the exposed composition layer; and (5) developing the heated composition layer.
The coating of the resist composition on the substrate can be carried out using a commonly used device such as a spin coater. Examples of substrates include inorganic substrates such as silicon wafers. Before applying the resist composition, the substrate may be washed, and an antireflection film or the like may be formed on the substrate.
By drying the applied composition, the solvent is removed and a composition layer is formed. Drying is carried out, for example, by evaporating the solvent using a heating device such as a hot plate (so-called pre-baking), or by using a decompression device. The heating temperature is preferably 50 to 200° C., and the heating time is preferably 10 to 180 seconds. Moreover, the pressure for drying under reduced pressure is preferably about 1 to 1.0×10 5 Pa.
The resulting composition layer is usually exposed using an exposure machine. The exposure machine may be an immersion exposure machine. As the exposure light source, a KrF excimer laser (wavelength: 248 nm), an ArF excimer laser (wavelength: 193 nm), an F2 excimer laser ( wavelength: 157 nm) that emits a laser beam in the ultraviolet region, a solid-state laser source (YAG or semiconductor laser etc.) and emits harmonic laser light in the far ultraviolet region or vacuum ultraviolet region by wavelength conversion, electron beam, and extreme ultraviolet light (EUV). can be done. In the present specification, these irradiations with radiation may be collectively referred to as "exposure". During exposure, exposure is usually performed through a mask corresponding to the desired pattern. When the exposure light source is an electron beam, exposure may be performed by direct drawing without using a mask.
The exposed composition layer is subjected to a heat treatment (so-called post-exposure bake) in order to promote the deprotection reaction at the acid-labile groups. The heating temperature is usually about 50 to 200°C, preferably about 70 to 150°C.
The composition layer after heating is usually developed using a developer using a developing device. The developing method includes a dipping method, a paddle method, a spraying method, a dynamic dispensing method, and the like. The development temperature is preferably, for example, 5 to 60° C., and the development time is preferably, for example, 5 to 300 seconds. A positive resist pattern or a negative resist pattern can be produced by selecting the type of developer as follows.
When producing a positive resist pattern from the resist composition of the present invention, an alkaline developer is used as the developer. The alkaline developer may be any of various alkaline aqueous solutions used in this field. Examples thereof include aqueous solutions of tetramethylammonium hydroxide and (2-hydroxyethyl)trimethylammonium hydroxide (commonly known as choline). The alkaline developer may contain a surfactant.
After development, the resist pattern is preferably washed with ultrapure water, and then water remaining on the substrate and pattern is removed.
When producing a negative resist pattern from the resist composition of the present invention, a developer containing an organic solvent (hereinafter sometimes referred to as "organic developer") is used as the developer.
Examples of organic solvents contained in the organic developer include ketone solvents such as 2-hexanone and 2-heptanone; glycol ether ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate; ester solvents such as butyl acetate; glycols such as propylene glycol monomethyl ether. ether solvents; amide solvents such as N,N-dimethylacetamide; aromatic hydrocarbon solvents such as anisole;
The content of the organic solvent in the organic developer is preferably 90% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 95% by mass or more and 100% by mass or less, and still more preferably substantially only the organic solvent.
Among them, as the organic developer, a developer containing butyl acetate and/or 2-heptanone is preferable. The total content of butyl acetate and 2-heptanone in the organic developer is preferably 50% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 100% by mass or less, and substantially contains butyl acetate and/or 2-heptanone. - more preferably only heptanone.
The organic developer may contain a surfactant. In addition, the organic developer may contain a trace amount of water.
During development, the development may be stopped by replacing the organic developer with a solvent of a different type.
It is preferable to wash the resist pattern after development with a rinsing liquid. The rinse liquid is not particularly limited as long as it does not dissolve the resist pattern, and a solution containing a general organic solvent can be used, preferably an alcohol solvent or an ester solvent.
After cleaning, it is preferable to remove the rinse liquid remaining on the substrate and pattern.

〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、KrFエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ArFエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線(EB)露光用のレジスト組成物又はEUV露光用のレジスト組成物、特にArFエキシマレーザ露光用レジスト組成物として好適であり、半導体の微細加工に有用である。
<Application>
The resist composition of the present invention is a resist composition for KrF excimer laser exposure, a resist composition for ArF excimer laser exposure, a resist composition for electron beam (EB) exposure or a resist composition for EUV exposure, particularly ArF It is suitable as a resist composition for excimer laser exposure and useful for fine processing of semiconductors.

実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「%」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム:TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn(東ソー社製)
溶離液:テトラヒドロフラン
流量:1.0mL/min
検出器:RI検出器
カラム温度:40℃
注入量:100μl
分子量標準:標準ポリスチレン(東ソー社製)
化合物の構造は、質量分析(LCはAgilent製1100型、MASSはAgilent製LC/MSD型)を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「MASS」で示す。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to examples. In the examples, "%" and "parts" representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.
A weight average molecular weight is the value calculated|required by the gel permeation chromatography. The analysis conditions for gel permeation chromatography are as follows.
Column: TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn (manufactured by Tosoh Corporation)
Eluent: Tetrahydrofuran Flow rate: 1.0 mL/min
Detector: RI detector Column temperature: 40℃
Injection volume: 100 μl
Molecular weight standard: Standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation)
The structure of the compound was confirmed by measuring the molecular ion peak using mass spectrometry (LC: Agilent Model 1100, MASS: Agilent Model LC/MSD). In the following examples, the value of this molecular ion peak is indicated by "MASS".

実施例1:式(I-1)で表される塩の合成

Figure 0007210312000147
式(I-1-a)で表される塩5.47部及びアセトニトリル30部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物に、式(I-1-b)で表される化合物3.96部を添加し、さらに、50℃で2時間攪拌した。得られた反応混合物に、式(I-1-c)で表される化合物2.70部を添加し、さらに、50℃で4時間攪拌した後、23℃まで冷却した。得られた反応混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1)で表される塩6.12部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M 263.1
MASS(ESI(-)Spectrum):M 725.2 Example 1: Synthesis of salt represented by formula (I-1)
Figure 0007210312000147
5.47 parts of the salt represented by formula (I-1-a) and 30 parts of acetonitrile were mixed and stirred at 23° C. for 30 minutes. To the obtained mixture, 3.96 parts of the compound represented by formula (I-1-b) was added, and the mixture was further stirred at 50°C for 2 hours. To the resulting reaction mixture, 2.70 parts of the compound represented by formula (I-1-c) was added, stirred at 50°C for 4 hours, and then cooled to 23°C. 50 parts of chloroform and 20 parts of a 5% aqueous oxalic acid solution were added to the resulting reaction mixture, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 20 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated 5 times. After concentrating the obtained organic layer, 30 parts of tert-butyl methyl ether was added to the concentrated residue and stirred at 23° C. for 30 minutes. ) are obtained.
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 263.1
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 725.2

実施例2:式(I-2)で表される塩の合成

Figure 0007210312000148
式(I-2-a)で表される塩26.00部及びアセトニトリル130部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、5℃まで冷却した。得られた混合物に、水素化ホウ素ナトリウム0.18部及びイオン交換水10部の混合溶液を1時間かけて滴下し、5℃で18時間攪拌した。得られた反応混合物を23℃まで昇温した後、クロロホルム165部及びイオン交換水70部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水70部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-2-b)で表される塩18.56部を得た。
Figure 0007210312000149
式(I-2-b)で表される塩8.24部及びアセトニトリル50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物に、式(I-1-b)で表される化合物3.96部を添加し、さらに、50℃で2時間攪拌した。得られた反応混合物に、式(I-1-c)で表される化合物2.70部を添加し、さらに、50℃で4時間攪拌した後、23℃まで冷却した。得られた反応混合物に、クロロホルム80部及び5%シュウ酸水溶液30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-2)で表される塩9.24部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M 263.1
MASS(ESI(-)Spectrum):M 1081.4 Example 2: Synthesis of salt represented by formula (I-2)
Figure 0007210312000148
26.00 parts of the salt represented by the formula (I-2-a) and 130 parts of acetonitrile were mixed, stirred at 23°C for 30 minutes, and then cooled to 5°C. A mixed solution of 0.18 parts of sodium borohydride and 10 parts of ion-exchanged water was added dropwise to the obtained mixture over 1 hour, and the mixture was stirred at 5° C. for 18 hours. After heating the resulting reaction mixture to 23° C., 165 parts of chloroform and 70 parts of ion-exchanged water were added, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 70 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated three times. By concentrating the obtained organic layer, 18.56 parts of the salt represented by the formula (I-2-b) was obtained.
Figure 0007210312000149
8.24 parts of the salt represented by formula (I-2-b) and 50 parts of acetonitrile were mixed and stirred at 23° C. for 30 minutes. To the obtained mixture, 3.96 parts of the compound represented by formula (I-1-b) was added, and the mixture was further stirred at 50°C for 2 hours. To the resulting reaction mixture, 2.70 parts of the compound represented by formula (I-1-c) was added, stirred at 50°C for 4 hours, and then cooled to 23°C. 80 parts of chloroform and 30 parts of a 5% aqueous oxalic acid solution were added to the obtained reaction mixture, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 30 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated 5 times. After concentrating the obtained organic layer, 30 parts of tert-butyl methyl ether was added to the concentrated residue and stirred at 23° C. for 30 minutes. ) are obtained.
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 263.1
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 1081.4

実施例3:式(I-9)で表される塩の合成

Figure 0007210312000150
式(I-9-a)で表される塩5.36部及びアセトニトリル30部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物に、式(I-1-b)で表される化合物3.96部を添加し、さらに、50℃で2時間攪拌した。得られた反応混合物に、式(I-1-c)で表される化合物2.70部を添加し、さらに、50℃で4時間攪拌した後、23℃まで冷却した。得られた反応混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-9)で表される塩5.66部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M 263.1
MASS(ESI(-)Spectrum):M 711.2 Example 3: Synthesis of salt represented by formula (I-9)
Figure 0007210312000150
5.36 parts of the salt represented by formula (I-9-a) and 30 parts of acetonitrile were mixed and stirred at 23° C. for 30 minutes. To the obtained mixture, 3.96 parts of the compound represented by formula (I-1-b) was added, and the mixture was further stirred at 50°C for 2 hours. To the resulting reaction mixture, 2.70 parts of the compound represented by formula (I-1-c) was added, stirred at 50°C for 4 hours, and then cooled to 23°C. 50 parts of chloroform and 20 parts of a 5% aqueous oxalic acid solution were added to the resulting reaction mixture, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 20 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated 5 times. After concentrating the obtained organic layer, 30 parts of tert-butyl methyl ether was added to the concentrated residue and stirred at 23° C. for 30 minutes. ) to give 5.66 parts of the salt.
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 263.1
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 711.2

実施例4:式(I-10)で表される塩の合成

Figure 0007210312000151
式(I-10-a)で表される塩25.65部及びアセトニトリル130部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、5℃まで冷却した。得られた混合物に、水素化ホウ素ナトリウム0.18部及びイオン交換水10部の混合溶液を1時間かけて滴下し、5℃で18時間攪拌した。得られた反応混合物を23℃まで昇温した後、クロロホルム165部及びイオン交換水70部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水70部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-10-b)で表される塩19.91部を得た。
Figure 0007210312000152
式(I-10-b)で表される塩8.13部及びアセトニトリル50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物に、式(I-1-b)で表される化合物3.96部を添加し、さらに、50℃で2時間攪拌した。得られた反応混合物に、式(I-1-c)で表される化合物2.70部を添加し、さらに、50℃で4時間攪拌した後、23℃まで冷却した。得られた反応混合物に、クロロホルム80部及び5%シュウ酸水溶液30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-10)で表される塩9.61部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M 263.1
MASS(ESI(-)Spectrum):M 1067.4 Example 4: Synthesis of salt represented by formula (I-10)
Figure 0007210312000151
25.65 parts of the salt represented by the formula (I-10-a) and 130 parts of acetonitrile were mixed, stirred at 23°C for 30 minutes, and then cooled to 5°C. A mixed solution of 0.18 parts of sodium borohydride and 10 parts of ion-exchanged water was added dropwise to the obtained mixture over 1 hour, and the mixture was stirred at 5° C. for 18 hours. After heating the resulting reaction mixture to 23° C., 165 parts of chloroform and 70 parts of ion-exchanged water were added, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 70 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated three times. By concentrating the obtained organic layer, 19.91 parts of the salt represented by the formula (I-10-b) was obtained.
Figure 0007210312000152
8.13 parts of the salt represented by formula (I-10-b) and 50 parts of acetonitrile were mixed and stirred at 23° C. for 30 minutes. To the obtained mixture, 3.96 parts of the compound represented by formula (I-1-b) was added, and the mixture was further stirred at 50°C for 2 hours. To the resulting reaction mixture, 2.70 parts of the compound represented by formula (I-1-c) was added, stirred at 50°C for 4 hours, and then cooled to 23°C. 80 parts of chloroform and 30 parts of a 5% aqueous oxalic acid solution were added to the obtained reaction mixture, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 30 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated 5 times. After concentrating the obtained organic layer, 30 parts of tert-butyl methyl ether was added to the concentrated residue and stirred at 23° C. for 30 minutes. ) are obtained.
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 263.1
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 1067.4

実施例5:式(I-98)で表される塩の合成

Figure 0007210312000153
式(I-98-a)で表される塩25.36部及びアセトニトリル130部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、5℃まで冷却した。得られた混合物に、水素化ホウ素ナトリウム0.18部及びイオン交換水10部の混合溶液を1時間かけて滴下し、5℃で18時間攪拌した。得られた反応混合物を23℃まで昇温した後、クロロホルム165部及びイオン交換水70部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水70部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-98-b)で表される塩17.92部を得た。
Figure 0007210312000154
式(I-98-b)で表される塩8.04部及びアセトニトリル50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物に、式(I-1-b)で表される化合物3.96部を添加し、さらに、50℃で2時間攪拌した。得られた反応混合物に、式(I-1-c)で表される化合物2.70部を添加し、さらに、50℃で4時間攪拌した後、23℃まで冷却した。得られた反応混合物に、クロロホルム80部及び5%シュウ酸水溶液30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-98)で表される塩8.19部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M 237.1
MASS(ESI(-)Spectrum):M 1081.4 Example 5: Synthesis of salt represented by formula (I-98)
Figure 0007210312000153
25.36 parts of the salt represented by the formula (I-98-a) and 130 parts of acetonitrile were mixed, stirred at 23°C for 30 minutes, and then cooled to 5°C. A mixed solution of 0.18 parts of sodium borohydride and 10 parts of ion-exchanged water was added dropwise to the obtained mixture over 1 hour, and the mixture was stirred at 5° C. for 18 hours. After heating the resulting reaction mixture to 23° C., 165 parts of chloroform and 70 parts of ion-exchanged water were added, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 70 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated three times. By concentrating the obtained organic layer, 17.92 parts of the salt represented by the formula (I-98-b) was obtained.
Figure 0007210312000154
8.04 parts of the salt represented by the formula (I-98-b) and 50 parts of acetonitrile were mixed and stirred at 23° C. for 30 minutes. To the obtained mixture, 3.96 parts of the compound represented by formula (I-1-b) was added, and the mixture was further stirred at 50°C for 2 hours. To the resulting reaction mixture, 2.70 parts of the compound represented by formula (I-1-c) was added, stirred at 50°C for 4 hours, and then cooled to 23°C. 80 parts of chloroform and 30 parts of a 5% aqueous oxalic acid solution were added to the obtained reaction mixture, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. After adding 30 parts of ion-exchanged water to the obtained organic layer and stirring at 23° C. for 30 minutes, the liquid was separated and the organic layer was taken out. This washing operation was repeated 5 times. After concentrating the obtained organic layer, 30 parts of tert-butyl methyl ether was added to the concentrated residue, and the mixture was stirred at 23° C. for 30 minutes. ) were obtained.
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 237.1
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 1081.4

樹脂の合成
樹脂(A)の合成に使用した化合物(モノマー)を下記に示す。以下、これらの化合物をその式番号に応じて、「モノマー(a1-1-3)」等という。

Figure 0007210312000155
Synthesis of Resin Compounds (monomers) used for synthesizing resin (A) are shown below. Hereinafter, these compounds are referred to as "monomer (a1-1-3)" and the like according to their formula numbers.
Figure 0007210312000155

合成例1:樹脂A1の合成
モノマーとして、モノマー(a1-1-3)、モノマー(a1-2-6)、モノマー(a2-1-1)及びモノマー(a3-4-2)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-1-3):モノマー(a1-2-6):モノマー(a2-1-1):モノマー(a3-4-2)〕が45:14:2.5:38.5となるように混合し、全モノマー量の1.5質量倍のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)を全モノマー量に対して各々、1mol%及び3mol%添加し、これらを73℃で約5時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール/水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解させて得られる溶解液をメタノール/水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を2回行い、重量平均分子量7.8×10の樹脂A1を収率69%で得た。この樹脂A1は、以下の構造単位を有するものである。

Figure 0007210312000156
Synthesis Example 1: Synthesis of Resin A1 As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-1) and monomer (a3-4-2) are used, The molar ratio [monomer (a1-1-3):monomer (a1-2-6):monomer (a2-1-1):monomer (a3-4-2)] was 45:14:2.5:38. 5, and propylene glycol monomethyl ether acetate in an amount 1.5 times the total amount of monomers was added to obtain a solution. To this solution, 1 mol % and 3 mol % of azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators to the total amount of monomers, respectively, and these were heated at 73° C. for about 5 hours. bottom. The resulting reaction mixture was poured into a large amount of methanol/water mixed solvent to precipitate the resin, which was filtered. The resulting resin is again dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate, the resulting solution is poured into a methanol/water mixed solvent to precipitate the resin, and the resin is filtered. Resin A1 with a molecular weight of 7.8×10 3 was obtained with a yield of 69%. This resin A1 has the following structural units.
Figure 0007210312000156

合成例2:樹脂X1の合成
モノマーとして、モノマー(a5-1-1)及びモノマー(a4-0-12)を用い、そのモル比〔モノマー(a5-1-1):モノマー(a4-0-12)〕が50:50となるように混合し、全モノマー量の1.2質量倍のメチルイソブチルケトンを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)を全モノマー量に対して3mol%添加し、70℃で約5時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール/水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過し、重量平均分子量1.0×10の樹脂X1を収率91%で得た。この樹脂X1は、以下の構造単位を有するものである。

Figure 0007210312000157
Synthesis Example 2: Synthesis of Resin X1 Monomer (a5-1-1) and monomer (a4-0-12) were used as monomers, and the molar ratio [monomer (a5-1-1):monomer (a4-0- 12)] were mixed at a ratio of 50:50, and methyl isobutyl ketone was added in an amount of 1.2 times the mass of the total amount of monomers to obtain a solution. To this solution, 3 mol % of azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added as an initiator with respect to the total amount of monomers, and the mixture was heated at 70° C. for about 5 hours. The resulting reaction mixture was poured into a large amount of methanol/water mixed solvent to precipitate the resin, which was filtered to obtain Resin X1 having a weight average molecular weight of 1.0×10 4 with a yield of 91%. This resin X1 has the following structural units.
Figure 0007210312000157

<レジスト組成物の調製>
表2に示すように、以下の各成分を混合し、得られた混合物を孔径0.2μmのフッ素樹脂製フィルターで濾過することにより、レジスト組成物を調製した。

Figure 0007210312000158
<Preparation of resist composition>
As shown in Table 2, a resist composition was prepared by mixing the following components and filtering the resulting mixture through a fluororesin filter having a pore size of 0.2 μm.
Figure 0007210312000158

<樹脂>
A1、X1:樹脂A1、樹脂X1
<塩(aa)>
I-1:式(I-1)で表される塩
I-2:式(I-2)で表される塩
I-9:式(I-9)で表される塩
I-10:式(I-10)で表される塩
I-98:式(I-98)で表される塩
<酸発生剤(B)>
B1-21:式(B1-21)で表される塩(特開2012-224611号公報の実施例に従って合成)
B1-22:式(B1-22)で表される塩(特開2012-224611号公報の実施例に従って合成)

Figure 0007210312000159
IX-1:特開2011-37837号公報の実施例に従って合成
Figure 0007210312000160
IX-3:特開2016-047815号公報の実施例に従って合成
Figure 0007210312000161
IX-4:特開2011-246439号公報の実施例に従って合成
Figure 0007210312000162
IX-5:特開2017-095446号公報の実施例に従って合成
Figure 0007210312000163
<クエンチャー(C)>
D1:(東京化成工業(株)製)
Figure 0007210312000164
<溶剤>
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 265部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 20部
2-ヘプタノン 20部
γ-ブチロラクトン 3.5部 <Resin>
A1, X1: Resin A1, Resin X1
<Salt (aa)>
I-1: salt represented by formula (I-1) I-2: salt represented by formula (I-2) I-9: salt represented by formula (I-9) I-10: formula Salt represented by (I-10) I-98: Salt represented by Formula (I-98) <Acid generator (B)>
B1-21: a salt represented by the formula (B1-21) (synthesized according to the examples of JP-A-2012-224611)
B1-22: a salt represented by the formula (B1-22) (synthesized according to the examples of JP-A-2012-224611)
Figure 0007210312000159
IX-1: synthesized according to the examples of JP-A-2011-37837
Figure 0007210312000160
IX-3: synthesized according to the examples of JP-A-2016-047815
Figure 0007210312000161
IX-4: synthesized according to the examples of JP-A-2011-246439
Figure 0007210312000162
IX-5: synthesized according to the examples of JP-A-2017-095446
Figure 0007210312000163
<Quencher (C)>
D1: (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
Figure 0007210312000164
<Solvent>
Propylene glycol monomethyl ether acetate 265 parts Propylene glycol monomethyl ether 20 parts 2-heptanone 20 parts γ-butyrolactone 3.5 parts

<レジストパターンの製造及びその評価>
シリコンウェハに、有機反射防止膜用組成物(ARC-29;日産化学(株)製)を塗布して、205℃、60秒の条件でベークすることによって、ウェハ上に膜厚78nmの有機反射防止膜を形成した。次いで、この有機反射防止膜の上に、上記のレジスト組成物を乾燥後の膜厚が85nmとなるように塗布(スピンコート)した。塗布後、シリコンウェハをダイレクトホットプレート上にて、表2の「PB」欄に記載された温度で60秒間プリベークし、組成物層を形成した。組成物層が形成されたシリコンウェハに、液浸露光用ArFエキシマステッパー(XT:1900Gi;ASML社製、NA=1.35、3/4Annular X-Y偏光)で、コンタクトホールパターン(ホールピッチ90nm/ホール径55nm)を形成するためのマスクを用いて、露光量を段階的に変化させて露光した。なお、液浸媒体としては超純水を使用した。
露光後、ホットプレート上にて、表2の「PEB」欄に記載された温度で60秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として酢酸ブチル(東京化成工業(株)製)を用いて、23℃で20秒間ダイナミックディスペンス法によって現像を行うことにより、ネガ型レジストパターンを製造した。
<Production of resist pattern and its evaluation>
An organic antireflection film composition (ARC-29; manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) was applied to a silicon wafer and baked at 205° C. for 60 seconds to form an organic reflective film having a film thickness of 78 nm on the wafer. A protective film was formed. Then, the above resist composition was applied (spin-coated) onto the organic antireflection film so that the film thickness after drying was 85 nm. After coating, the silicon wafer was pre-baked on a direct hot plate at the temperature indicated in the "PB" column of Table 2 for 60 seconds to form a composition layer. A contact hole pattern (hole pitch 90 nm) was formed on a silicon wafer having a composition layer formed thereon, using an ArF excimer stepper for immersion exposure (XT: 1900Gi; manufactured by ASML, NA = 1.35, 3/4 Annular XY polarization). A mask for forming a hole diameter of 55 nm) was used to perform exposure while changing the exposure dose stepwise. Ultrapure water was used as the liquid immersion medium.
After the exposure, post-exposure baking was performed for 60 seconds on a hot plate at the temperature indicated in the "PEB" column of Table 2. Next, the composition layer on the silicon wafer is developed using butyl acetate (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) as a developer by a dynamic dispensing method at 23° C. for 20 seconds to form a negative resist pattern. manufactured.

現像後に得られたレジストパターンにおいて、前記マスクを用いて形成したホール径が45nmとなる露光量を実効感度とした。 In the resist pattern obtained after development, the effective sensitivity was defined as the amount of exposure at which the hole diameter formed using the mask was 45 nm.

<CD均一性(CDU)評価>
実効感度において、ホール径55nmのマスクで形成したパターンのホール径を、一つのホールにつき24回測定し、その平均値を一つのホールの平均ホール径とした。同一ウェハ内の、ホール径55nmのマスクで形成したパターンの平均ホール径を400箇所測定したものを母集団として標準偏差を求めた。
その結果を表3に示す。括弧内の数値は標準偏差(nm)を示す。

Figure 0007210312000165

比較組成物1~4と比較して、組成物1~9での標準偏差が小さく、CD均一性(CDU)評価が良好であった。 <CD uniformity (CDU) evaluation>
In the effective sensitivity, the hole diameter of a pattern formed with a mask having a hole diameter of 55 nm was measured 24 times for each hole, and the average value was taken as the average hole diameter of one hole. A standard deviation was determined by using a population of 400 measurement points of the average hole diameter of a pattern formed by a mask with a hole diameter of 55 nm in the same wafer.
Table 3 shows the results. Numerical values in parentheses indicate standard deviations (nm).
Figure 0007210312000165

Compared to Comparative Compositions 1-4, Compositions 1-9 had smaller standard deviations and better CD Uniformity (CDU) ratings.

本発明の塩、該塩を含むレジスト組成物は、良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを得られるため、半導体の微細加工に好適であり、産業上極めて有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The salt of the present invention and the resist composition containing the salt can form a resist pattern having excellent CD uniformity (CDU), and are therefore suitable for microfabrication of semiconductors and extremely useful industrially.

Claims (8)

カチオンと、式(aa2)で表されるアニオンとからなる塩。
Figure 0007210312000166
式(aa2)中、
1 及びQ 2 は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。
1 は、炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH 2 -基は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
環Wは、置換基を有していてもよい炭素数3~18の非芳香族炭化水素環を表し、該非芳香族炭化水素環に含まれる-CH 2 -は、-O-、-S-、-CO-又は-SO 2 -で置換されていてもよい。
a及びXbは、それぞれ独立に、-O-又は-S-を表す。
1は、置換基を有してもよい炭素数4~48の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。ただし、前記炭化水素基に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
*は、結合部位を表す。]
Figure 0007210312000167
[式(IA)中、
Aは、炭素数1~12の飽和炭化水素基を表す。
u1は、0~2のいずれかの整数を表し、u1が2である場合、複数のRAは同一であるか、相異なる。
s1は、1又は2を表す。
t1は、0又は1を表す。但し、s1とt1との和は、1又は2である。
*は、結合部位を表す。]
A salt consisting of a cation and an anion represented by the formula (aa2) .
Figure 0007210312000166
[ In formula (aa2) ,
Q 1 and Q 2 each independently represent a fluorine atom or a C 1-6 perfluoroalkyl group.
L 1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and the —CH 2 — group contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—; A hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Ring W represents an optionally substituted non-aromatic hydrocarbon ring having 3 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the non-aromatic hydrocarbon ring is —O—, —S— , --CO-- or --SO 2 --.
X a and X b each independently represent -O- or -S-.
X 1 represents an optionally substituted hydrocarbon group having 4 to 48 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —CO— or — SO 2 - may be substituted. However, at least one hydrogen atom contained in the hydrocarbon group is substituted with a group represented by formula (IA).
* represents the binding site. ]
Figure 0007210312000167
[In the formula (IA),
RA represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
u1 represents an integer of 0 to 2, and when u1 is 2, multiple R A are the same or different.
s1 represents 1 or 2;
t1 represents 0 or 1; However, the sum of s1 and t1 is 1 or 2.
* represents the binding site. ]
環Wが、多環の脂環式炭化水素環である請求項に記載の塩。 A salt according to claim 1 , wherein ring W is a polycyclic alicyclic hydrocarbon ring. 1が、*-CO-O-(CH2t-、-CH2-O-CO-又は*-CH2-O-CO-O-(tは0~6のいずれかの整数を表す。*は、-C(Q1)(Q2)-との結合部位を表す。)である請求項1又は2に記載の塩。 L 1 is *-CO-O-(CH 2 ) t -, -CH 2 -O-CO- or *-CH 2 -O-CO-O- (t is an integer of 0 to 6; * represents a binding site with -C (Q 1 )(Q 2 )-). 1が、式(X1-1)で表される基、式(X1-2)で表される基、式(X1-3)で表される基又は式(X1-4)で表される基である請求項1~のいずれかに記載の塩。
Figure 0007210312000168
[式中、
1、R2、R3、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルキル基、炭素数5~12の脂環式炭化水素基又はこれらの基を組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。R1、R2及び又はR3、R4、R5及び又はR6に含まれる水素原子の少なくとも1つは、式(IA)で表される基で置換されている。
*は、Xa及びXbとの結合部位を表す。]
X 1 is a group represented by formula (X 1 -1), a group represented by formula (X 1 -2), a group represented by formula (X 1 -3) or a group represented by formula (X 1 -4) The salt according to any one of claims 1 to 3 , which is a group represented by
Figure 0007210312000168
[In the formula,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, or a combination of these groups. -CH 2 - contained in said alkyl group and said alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. At least one hydrogen atom contained in R 1 , R 2 and/or R 3 , R 4 , R 5 and/or R 6 is substituted with a group represented by formula (IA).
* represents the binding site with X a and X b . ]
請求項1~のいずれかに記載の塩を含有する酸発生剤。 An acid generator containing the salt according to any one of claims 1 to 4 . 請求項に記載の酸発生剤と酸不安定基を有する樹脂とを含有するレジスト組成物。 A resist composition comprising the acid generator according to claim 5 and a resin having an acid-labile group. さらに、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩を含有する請求項に記載のレジスト組成物。 7. The resist composition according to claim 6 , further comprising a salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator. (1)請求項6又は7に記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。

(1) a step of applying the resist composition according to claim 6 or 7 onto a substrate;
(2) a step of drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer;
(4) heating the composition layer after exposure; and (5) developing the composition layer after heating;
A method of manufacturing a resist pattern comprising:

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