JP7192758B2 - Processing equipment and processing method - Google Patents

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Description

本発明は、加工装置および加工方法に関する。 The present invention relates to a processing apparatus and processing method .

5軸の複合加工装置が知られている(特許文献1参照)。 A 5-axis multitasking machine is known (see Patent Document 1).

日本国特開2007-75995号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-75995

従来技術では、形状測定ユニットを加工装置に取り付けて測定を行う場合、測定時に加工装置の位置決め精度の影響を受けてしまう問題があった。このような誤差が、ワークに形成される形状の精度を低下させるという問題があった。 In the prior art, when a shape measuring unit is attached to a processing device for measurement, there is a problem that the measurement is affected by the positioning accuracy of the processing device. There is a problem that such an error lowers the accuracy of the shape formed on the workpiece.

本発明の第1の態様による加工装置は、取り付けられた工具によって被加工物を加工位置で加工する加工部であって、前記被加工物に対して少なくとも5つの自由度で相対移動可能な加工部と、前記工具の取り付け位置とは異なる位置から前記被加工物の形状または位置を測定する測定部と、前記加工部と前記測定部とを制御して、前記被加工物の加工を行う加工制御部と、を有し、前記測定部は、前記被加工物と前記加工部との相対角度が異なる状態で前記工具によって加工された少なくとも2つの加工痕の位置と形状を測定し、前記加工制御部は、前記測定の結果から得られた前記相対角度と前記加工位置との関係に基づいて前記加工部を制御する。
本発明の第2の態様による加工方法は、取り付けられた工具によって被加工物を加工位置で加工する加工部と、前記加工部の工具の取り付け位置とは異なる位置から前記被加工物の形状または位置を測定する測定部とを備える加工装置を用いて被加工物を加工する方法であって、前記被加工物と、前記被加工物を加工位置で加工する前記加工部との相対角度とを変えて、前記被加工物に少なくとも2つの加工痕を形成することと、前記少なくとも2つの加工痕の位置および形状を前記測定部で測定することと、前記測定した結果から得られた前記相対角度と前記加工位置との関係に基づいて前記被加工物を加工することと、を含む。
本発明の第3の態様による加工方法は、取り付けられた工具によって被加工物を加工位置で加工する加工部と、前記加工部の工具の取り付け位置とは異なる位置から前記被加工物の形状または位置を測定する測定部とを備える加工装置を用いて被加工物を加工する方法であって、前記加工部によって被加工物を加工することと、前記加工部の前記被加工物に対する位置を校正することと、を含み、前記校正することは、被加工物と、前記被加工物を加工位置で加工する加工部との相対角度とを変えて、前記被加工物に少なくとも2つの加工痕を形成することと、前記少なくとも2つの加工痕の位置および形状を前記測定部で測定することと、前記測定した結果から得られた前記相対角度と前記加工位置との関係に基づいて、前記相対角度および前記加工位置の少なくとも一方を校正することと、を含む。
A processing apparatus according to a first aspect of the present invention is a processing unit that processes a workpiece at a processing position with an attached tool, the processing unit being capable of relative movement with respect to the workpiece in at least five degrees of freedom. a measuring unit that measures the shape or position of the workpiece from a position different from the mounting position of the tool; and the machining unit and the measuring unit, thereby machining the workpiece. a control unit, wherein the measurement unit measures the positions and shapes of at least two machining marks machined by the tool in a state in which the relative angle between the workpiece and the machining unit is different; The control unit controls the processing unit based on the relationship between the relative angle obtained from the measurement result and the processing position.
A processing method according to a second aspect of the present invention comprises: a processing unit that processes a workpiece at a processing position with an attached tool; A method of processing a workpiece using a processing apparatus comprising a measuring unit that measures a position , wherein the relative angle between the workpiece and the processing unit that processes the workpiece at the processing position is determined. Alternatively, forming at least two working marks on the workpiece, measuring the positions and shapes of the at least two working marks with the measuring unit, and the relative angle obtained from the measurement results. and machining the workpiece based on the relationship between and the machining position.
A processing method according to a third aspect of the present invention comprises: a processing unit that processes a workpiece at a processing position with an attached tool; A method of machining a workpiece using a machining apparatus comprising a measuring unit for measuring a position , comprising: machining the workpiece by the machining unit; and calibrating the position of the machining unit with respect to the workpiece. and said calibrating includes changing a relative angle between a workpiece and a working portion for machining the workpiece at a machining position to create at least two machining marks on the workpiece. forming, measuring the positions and shapes of the at least two machining marks with the measuring unit, and determining the relative angle based on the relationship between the relative angle and the machining position obtained from the measurement result and calibrating at least one of the machining positions.

一実施の形態による加工装置を例示する図である。It is a figure which illustrates the processing apparatus by one embodiment. 図2(a)はワークの一例を示す図、図2(b)は加工痕形成部を例示する図である。FIG. 2(a) is a diagram showing an example of a work, and FIG. 2(b) is a diagram exemplifying a processing mark forming portion. 加工装置の要部構成を例示するブロック図である。It is a block diagram which illustrates the principal part structure of a processing apparatus. 校正処理の流れを説明するフローチャートである。4 is a flowchart for explaining the flow of calibration processing; 加工処理の流れを説明するフローチャートである。4 is a flowchart for explaining the flow of processing.

図1は、一実施の形態による5軸複合工作機械として構成した加工装置1を例示する図である。なお、以下に説明する実施の形態は、発明の理解のために具体的に例示するものであり、特に指定の無い限り、発明を限定するものではない。 FIG. 1 is a diagram illustrating a processing apparatus 1 configured as a 5-axis combined machine tool according to one embodiment. The embodiments described below are specific examples for understanding the invention, and do not limit the invention unless otherwise specified.

図1において、コラム2がコラムベッド9に対して立設されている。コラムベッド9にY軸方向にスライドレール9aが形成されている。コラムベッド9に対して、ターニングテーブル15がY軸方向(前後方向)にスライド自在に設けられている。ターニングテーブル15(ワークテーブルとも称する)は、被加工物であるワークWの載置台である。ターニングテーブル15は、コラムベッド9のスライドレール9aに沿ってY軸方向に駆動できるように設けられた不図示のY軸駆動機構により、移動することができる。また、ターニングテーブル15は、ワーク主軸Cを中心に回動可能である。ワークWは、このターニングテーブル15上に芯出し位置決めし、固定される。 In FIG. 1, a column 2 is erected against a column bed 9. As shown in FIG. A slide rail 9a is formed on the column bed 9 in the Y-axis direction. A turning table 15 is provided slidably in the Y-axis direction (back and forth direction) with respect to the column bed 9 . The turning table 15 (also referred to as a work table) is a mounting table for the workpiece W, which is a workpiece. The turning table 15 can be moved along the slide rails 9a of the column bed 9 by a Y-axis drive mechanism (not shown) provided so as to be driven in the Y-axis direction. Also, the turning table 15 is rotatable around the work spindle C. As shown in FIG. The work W is centered and fixed on the turning table 15 .

本実施の形態では、上記のように、ワーク主軸Cの割出し方向に回動自在に設けたターニングテーブル15を、コラムベッド9上でY軸方向に移動自在に設けたので、ターニングテーブル15上に載置されたワークWが、コラム2に対して相対的に並進移動自在(Y軸方向)である。
また、ターニングテーブル15にはスライドレール9aに対してワーク主軸Cを中心に回転駆動させるターニングテーブル回転機構も備えられている。
In the present embodiment, as described above, the turning table 15 is provided rotatably in the indexing direction of the work spindle C, and is provided movably in the Y-axis direction on the column bed 9. The work W placed on the column 2 is relatively movable in translation (in the Y-axis direction).
The turning table 15 is also provided with a turning table rotating mechanism that rotates the slide rail 9a around the workpiece spindle C. As shown in FIG.

一方、コラム2には、例えば横レール3がY軸方向と直交するX軸方向(左右方向)に設けられている。また、横レール3には、横レール3と交叉係合し、横レール3に沿ってX軸方向に並進移動自在な縦レール4が、Y軸方向と直交するZ軸方向(上下方向)に設けられている。 On the other hand, on the column 2, for example, a horizontal rail 3 is provided in the X-axis direction (horizontal direction) orthogonal to the Y-axis direction. Further, on the horizontal rails 3, vertical rails 4 which cross-engage with the horizontal rails 3 and are freely translatable in the X-axis direction along the horizontal rails 3 are arranged in the Z-axis direction (vertical direction) perpendicular to the Y-axis direction. is provided.

縦レール4にはさらに、縦レール4と係合し、縦レール4に沿ってZ軸方向に並進移動自在な刃物台5が設けられている。以上の構成により、ターニングテーブル15上に載置されたワーク(不図示)が、刃物台5に対して相対的に、X軸方向およびZ軸方向に並進移動自在である。
なお、横レール3にはX軸駆動機構11が設けられているので、縦レール4および刃物台5をX方向に自在に移動制御が可能である。また、縦レール4にはZ軸駆動機構13が設けられているので、刃物台5をZ方向に自在に移動制御が可能である。
なお、本明細書では、X軸駆動機構11と横レール3からなる移動機構をX軸移動機構、Z軸駆動機構13と縦レール4からなる移動機構をZ軸移動機構、スライドレール9aとY軸駆動機構からなる移動機構をY軸移動機構と称し、X軸移動機構、Y軸移動機構およびZ軸移動機構をまとめて並進移動機構と称す。
The vertical rail 4 is further provided with a tool post 5 that engages with the vertical rail 4 and is freely translatable along the vertical rail 4 in the Z-axis direction. With the above configuration, the workpiece (not shown) placed on the turning table 15 can be translated in the X-axis direction and the Z-axis direction relative to the tool post 5 .
Since the horizontal rail 3 is provided with an X-axis drive mechanism 11, the vertical rail 4 and the tool post 5 can be freely controlled to move in the X direction. Further, since the vertical rail 4 is provided with a Z-axis driving mechanism 13, the tool post 5 can be freely controlled to move in the Z direction.
In this specification, the moving mechanism composed of the X-axis driving mechanism 11 and the horizontal rails 3 is referred to as the X-axis moving mechanism, the moving mechanism composed of the Z-axis driving mechanism 13 and the vertical rails 4 is referred to as the Z-axis moving mechanism, and the slide rails 9a and Y A movement mechanism composed of an axis drive mechanism is called a Y-axis movement mechanism, and the X-axis movement mechanism, Y-axis movement mechanism, and Z-axis movement mechanism are collectively called a translational movement mechanism.

刃物台5には、工具取り付け部6が、工具主軸AがYZ平面と平行な面内(前後方向)に旋回可能に設けられる。すなわち、工具取り付け部6はX軸に平行な旋回軸Bの周りに旋回可能に設けられる。工具取り付け部6の下部先端のチャック部には、例えばバイト、ドリルなどの工具7がチャックされる。チャックされた工具7は、不図示のモータによって工具主軸Aを回転軸として回転する。 A tool mounting portion 6 is provided on the tool post 5 so that the tool spindle A can turn in a plane parallel to the YZ plane (front-rear direction). That is, the tool mounting portion 6 is provided so as to be able to turn around a turning axis B parallel to the X-axis. A tool 7 such as a cutting tool or a drill is chucked in the chuck portion at the tip of the lower portion of the tool mounting portion 6 . The chucked tool 7 is rotated about the tool spindle A by a motor (not shown).

工具取り付け部6は、旋回機構を備えたユニバーサルヘッドを構成する。すなわち、旋回軸Bの周りに旋回自在に工具取り付け部6を軸支し、不図示の旋回軸駆動機構により、旋回軸Bの周りに工具取り付け部6を旋回制御自在に構成する。このような構成により、旋回軸Bの周りに旋回する工具取り付け部6に対して、旋回軸駆動機構を制御することによって工具取り付け部6のチャック部にチャックした工具7を首振り制御し、ターニングテーブル15に載置されたワークWに対する工具7または形状測定ユニット20の角度(姿勢)を自在に調整する。
なお、スライドレール9a、縦レール4、横レール3のそれぞれにはリニアエンコーダが設けられており、ターニングテーブル15の位置および刃物台5の位置を求めることができる。また、旋回軸B、ワーク主軸Cおよび工具主軸Aにもロータリーエンコーダが設けられており、それぞれの回動角度を求めることができる。
なお、本実施の形態における加工装置1は、上述の並進移動機構と、工具取付け部6に構成された旋回機構および旋回軸駆動機構と、ターニングテーブル15とターニングテーブル駆動機構とで位置変更部が構成されている。本実施の形態における加工装置1は、この位置変更部により、ターニングテーブル15に載置された被加工物と刃物台5に保持された工具7との相対的な位置を変更する。
The tool mounting portion 6 constitutes a universal head with a turning mechanism. That is, the tool mounting portion 6 is rotatably supported around the turning axis B, and the tool mounting portion 6 can be controlled to turn around the turning axis B by a turning shaft drive mechanism (not shown). With such a configuration, the tool 7 chucked in the chuck portion of the tool mounting portion 6 is swing-controlled by controlling the turning shaft drive mechanism with respect to the tool mounting portion 6 turning around the turning axis B, thereby turning. The angle (attitude) of the tool 7 or the shape measuring unit 20 with respect to the workpiece W placed on the table 15 is freely adjusted.
A linear encoder is provided on each of the slide rail 9a, the vertical rail 4, and the horizontal rail 3, so that the positions of the turning table 15 and the tool post 5 can be determined. Rotary encoders are also provided for the turning axis B, the work main axis C, and the tool main axis A, and the respective rotation angles can be determined.
In the processing apparatus 1 according to the present embodiment, the position changing portion is composed of the above-described translational movement mechanism, the turning mechanism and the turning shaft driving mechanism configured in the tool mounting portion 6, the turning table 15 and the turning table driving mechanism. It is configured. The processing apparatus 1 according to the present embodiment changes the relative position between the workpiece placed on the turning table 15 and the tool 7 held on the tool post 5 by this position changing portion.

形状測定ユニット20は、例えば、工具取り付け部6に取り付けられており、ターニングテーブル15に載置されたワークWの三次元形状を測定するための画像データを取得するユニットである。形状測定ユニット20は、例えば、本願出願人により出願された特開2008-256484号公報に記載されている光切断法により、ワークWの三次元形状を測定することができるユニットである。 The shape measuring unit 20 is attached to, for example, the tool mounting portion 6 and acquires image data for measuring the three-dimensional shape of the work W placed on the turning table 15 . The shape measuring unit 20 is a unit that can measure the three-dimensional shape of the work W by, for example, the light section method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-256484 filed by the applicant of the present application.

この形状測定ユニット20は、被検物(本例ではワークW)に特定のパターンの光(例えばスリット状のスリット光)を投影して、ワークWに投影されたパターンを投影方向とは別方向から画像センサーにより撮影するユニットである。なお、撮影した画像は不図示の制御部に送出され、この制御部により、撮影した画像から画像上におけるパターンの像の位置を求め、かつ求めたパターンの位置と、ターニングテーブル15に対する形状測定ユニット20の位置および角度(姿勢)に基づき、ワークWの形状を算出することでスリット光が照射された位置におけるワークWの三次元位置を求めることができる。また、各駆動機構を移動させながら、スリット光が照射される位置を走査し、その照射される位置が変わる度に画像を取得することで、ワークWの三次元形状を求めることができる。
なお、形状測定の際には、形状測定ユニット20を被検物に対して相対的に走査させながら、加工痕等の三次元形状の測定が行われるので、位置変更部から移動軸または旋回軸Bの位置情報をエンコーダから取得する必要がある。そのため、位置変更部の並進移動機構に設けられたエンコーダからの信号取得タイミングと形状測定ユニット20による撮影タイミングとを同期させることで、形状測定精度を向上することができる。具体的には米国特許公報第6611617号に開示されているような同期方法を採用することが好ましい。なお、形状測定ユニット20と形状測定ユニット20から得られたデータを基に三次元形状を算出する制御部については、他にも特開2015-129665号に開示された形状測定ユニットと制御部を用いることでもよい。この形状測定ユニットは一定領域において加工痕と形状測定ユニットの相対移動なし三次元形状を求めることができる。したがって、このような形状測定ユニットを用いることにより、位置変更部からのエンコーダ情報を用いる必要なく複数の加工痕の相対位置関係を算出することが可能である。
The shape measurement unit 20 projects light of a specific pattern (for example, slit-like slit light) onto the object to be inspected (work W in this example), and projects the pattern projected onto the work W in a direction different from the projection direction. It is a unit that takes pictures from the camera using an image sensor. The photographed image is sent to a control unit (not shown), and the position of the pattern image on the image is obtained from the photographed image. By calculating the shape of the work W based on the position and angle (orientation) of 20, the three-dimensional position of the work W at the position irradiated with the slit light can be obtained. In addition, the three-dimensional shape of the workpiece W can be obtained by scanning the position irradiated with the slit light while moving each driving mechanism and acquiring an image every time the irradiated position changes.
In the shape measurement, the shape measuring unit 20 is relatively scanned with respect to the object to be inspected, and the three-dimensional shape such as the machining marks is measured. B's position information needs to be obtained from the encoder. Therefore, by synchronizing the signal acquisition timing from the encoder provided in the translational movement mechanism of the position changing unit and the imaging timing by the shape measurement unit 20, the shape measurement accuracy can be improved. Specifically, it is preferable to employ a synchronization method such as that disclosed in US Pat. No. 6,611,617. Note that the shape measurement unit 20 and the control unit that calculates the three-dimensional shape based on the data obtained from the shape measurement unit 20 also include the shape measurement unit and the control unit disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-129665. may be used. This shape measuring unit can obtain a three-dimensional shape without relative movement between the machining mark and the shape measuring unit in a certain area. Therefore, by using such a shape measuring unit, it is possible to calculate the relative positional relationship between a plurality of machining marks without using the encoder information from the position changing section.

ワークWの三次元形状の測定時は、ワークWに対する形状測定ユニット20の位置を相対移動させて、ワークWをスリット光により走査する。この走査は、ターニングテーブル15上に載置されたワークWを、刃物台5(すなわち形状測定ユニット20)に対して相対的に、X軸方向、Y軸方向またはZ軸方向に並進移動させて行う。この際、工具取り付け部6を旋回軸B周りに旋回させる必要はない。これにより旋回軸Bやワーク主軸Cによる位置決め誤差による形状測定誤差が生じなくなる。 When measuring the three-dimensional shape of the work W, the position of the shape measuring unit 20 is moved relative to the work W, and the work W is scanned with the slit light. This scanning is performed by translating the work W placed on the turning table 15 relative to the tool post 5 (that is, the shape measuring unit 20) in the X-axis direction, the Y-axis direction, or the Z-axis direction. conduct. At this time, it is not necessary to turn the tool mounting portion 6 around the turning axis B. As a result, shape measurement errors due to positioning errors caused by the turning axis B and the workpiece main axis C do not occur.

形状測定ユニット20により、工具7によって加工されたワークWの加工痕を測定することで、加工痕の形状を測定できる。測定対象とする加工痕の全てが形状測定ユニット20による視野範囲に収まらない場合には、ターニングテーブル15上に載置されたワークWを、刃物台5(すなわち形状測定ユニット20)に対して相対的に並進移動させることにより、それぞれの加工痕を形状測定ユニット20による視野範囲に収めるようにしてもよい。この際、工具取り付け部6を旋回軸Bやワーク主軸C周りに旋回させない方が好ましい。
次に、本発明の実施の形態における加工装置1の補正方法について説明する。本発明の実施の形態では、加工装置1の補正方法を行うために、まず、製品形状にワークWを加工する前に、複数の加工痕を形成する。図2(a)は、ワークWの一例である。この円筒状のワークWの上端面には、予め複数の加工痕を形成するための加工痕形成部W1、W2が一体的に形成されている。この加工痕形成部W1、W2は矩形形状を有しており、各面が平面である。図2(b)は、ワークWの加工痕形成部W1の拡大図である。たとえば、加工装置1の補正用に形成する加工痕は、図2(b)のように同一面に形成された複数の加工痕である。複数の加工痕は、形状測定ユニット20で形状を測定する際、形状測定ユニット20を旋回軸Bやワーク主軸C周りで相対移動させて測定することを十分に避けることができる。特に、形状測定ユニット20でワークWを測定する場合、X軸、Y軸およびZ軸方向の並進移動の位置決めで生ずる誤差に対して、旋回軸Bの位置決め角度誤差の方が形状測定結果に及ぼす誤差が大きい。なぜなら、旋回軸Bの位置決め角度誤差により、旋回軸BからワークWの測定位置までの距離に応じて、比例的に測定位置の位置ズレ量が拡大してしまうためである。また同様に、ワーク主軸CからワークW上の加工位置までの距離に応じて、ターニングテーブル15の位置決め角度誤差により比例的に測定位置のズレ量が拡大してしまうことが理由となる。
By measuring the machining marks of the workpiece W machined by the tool 7 with the shape measuring unit 20, the shape of the machining marks can be measured. If all the machining marks to be measured do not fit within the field of view of the shape measuring unit 20, the workpiece W placed on the turning table 15 is moved relative to the tool post 5 (that is, the shape measuring unit 20). Each processing mark may be included in the visual field range of the shape measuring unit 20 by performing a translational movement. At this time, it is preferable not to turn the tool mounting portion 6 around the turning axis B or the workpiece spindle C. As shown in FIG.
Next, a correction method for the processing device 1 according to the embodiment of the present invention will be described. In the embodiment of the present invention, in order to perform the correction method of the processing apparatus 1, first, before processing the workpiece W into a product shape, a plurality of processing marks are formed. FIG. 2(a) is an example of the workpiece W. FIG. Machining mark forming portions W1 and W2 for forming a plurality of machining marks are integrally formed on the upper end surface of the cylindrical workpiece W in advance. The working mark forming portions W1 and W2 have a rectangular shape, and each surface is flat. FIG. 2(b) is an enlarged view of the work mark forming portion W1 of the work W. As shown in FIG. For example, the processing marks formed for correction by the processing apparatus 1 are a plurality of processing marks formed on the same surface as shown in FIG. 2(b). When measuring the shape of the plurality of machining marks by the shape measuring unit 20, it is possible to sufficiently avoid measuring by relatively moving the shape measuring unit 20 around the turning axis B or the workpiece main axis C. In particular, when the workpiece W is measured by the shape measuring unit 20, the positioning angle error of the turning axis B affects the shape measurement result more than the error caused by the translational positioning in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions. Large error. This is because the positional deviation amount of the measurement position increases proportionally according to the distance from the rotation axis B to the measurement position of the workpiece W due to the positioning angle error of the rotation axis B. Similarly, according to the distance from the workpiece spindle C to the machining position on the workpiece W, the positioning angle error of the turning table 15 increases the amount of deviation of the measurement position proportionally.

なお、それぞれ異なる場所に形成されたワークWの加工痕を形状測定ユニット20の視野範囲に収めるためにワークWをX軸方向、Y軸方向またはZ軸方向に並進移動させる場合とは、次のような場合である。図2(b)に例示した加工痕形成部W1は、複数の加工痕101および加工痕102を有する。加工痕101および102は、同じ工具7によって異なる姿勢によりそれぞれ加工したものである。この加工痕はある目的の形状創生を行うために形成された加工痕でなく、試し加工などでワークWにつけられた加工痕であればよい。そのため、加工痕の形状についてはいかなる形状でもよい。ただし、複数の加工痕の両者の相対位置関係を求めやすい形状であれば良い。また、このような複数の加工痕101および102の形状を形状測定ユニット20で測定する場合において、形状測定ユニット20による視野範囲に加工痕101および102が両方とも収まる場合(加工痕101を形状測定する画像に加工痕102も収まっている場合)には、加工痕101および102の形状を測定するためにワークWを並進移動させる必要はない。このようにすることで、加工装置の並進移動時に生ずる位置決め誤差による形状測定誤差を生じなくすることができる。 The case where the workpiece W is translated in the X-axis direction, the Y-axis direction, or the Z-axis direction in order to fit the processing marks of the workpiece W formed at different locations within the visual field range of the shape measuring unit 20 is as follows. Such is the case. The working trace forming portion W1 illustrated in FIG. 2B has a plurality of working traces 101 and 102 . Machining marks 101 and 102 are machined with the same tool 7 in different postures. The machining marks are not machining marks formed in order to create a shape for a certain purpose, but may be machining marks made on the workpiece W by trial machining or the like. Therefore, the shape of the traces of processing may be any shape. However, any shape may be used as long as the relative positional relationship between the plurality of machining marks can be obtained easily. Further, when measuring the shapes of a plurality of machining marks 101 and 102 by the shape measuring unit 20, when both the machining marks 101 and 102 are within the field of view range of the shape measuring unit 20 (the shape of the machining mark 101 is , the workpiece W does not need to be translated in order to measure the shapes of the machining marks 101 and 102 . By doing so, it is possible to prevent shape measurement errors due to positioning errors that occur during translational movement of the processing apparatus.

しかし、一方の加工痕しか視野範囲に収まらない場合(加工痕101を形状測定する画像から加工痕102が外れている場合)には、例えば、先に加工痕101を視野範囲に収めて加工痕101の形状を測定した上で、形状測定ユニット20(すなわち刃物台5)を、ターニングテーブル15上に載置されたワークWに対して相対的に、X軸方向、Y軸方向またはZ軸方向に並進移動させる。そして加工痕102を視野範囲に収めて加工痕102の形状を測定する。加工痕101の形状測定データと加工痕102の形状測定データとの相対位置関係は、加工痕101の形状測定時から加工痕102の形状測定時に行われた並進移動させた距離と方向に基づいて算出することができる。 However, if only one of the machining marks fits within the field of view (if the machining mark 102 is out of the image for measuring the shape of the machining mark 101), for example, the machining mark 101 is first placed within the viewing range and the machining mark is After measuring the shape of 101, the shape measuring unit 20 (that is, the tool post 5) is moved relative to the workpiece W placed on the turning table 15 in the X-axis direction, the Y-axis direction, or the Z-axis direction. move translationally to Then, the processing mark 102 is placed within the visual field range and the shape of the processing mark 102 is measured. The relative positional relationship between the shape measurement data of the processing mark 101 and the shape measurement data of the processing mark 102 is based on the distance and direction of translational movement from the shape measurement of the processing mark 101 to the shape measurement of the processing mark 102. can be calculated.

上述のように、回動移動よりも並進移動により生ずる位置決め誤差による形状測定結果の影響は十分に低いので、Y軸方向への並進移動を行って測定される加工痕101と加工痕102との相対距離の測定精度は、形状測定ユニット20の視野範囲に加工痕101および102の双方が同時に収まる状態で測定される加工痕102と加工痕101との相対距離の測定精度とほぼ同程度である。
なお、X軸方向やZ軸方向へ並進移動する場合も同様である。
また、加工痕形成部W1、W2はワークWを製品形状に加工する際には、削り取られるような部材であってもよい。
As described above, the effect of the positioning error caused by the translational movement on the shape measurement results is sufficiently lower than that of the rotational movement. The measurement accuracy of the relative distance is approximately the same as the measurement accuracy of the relative distance between the machining marks 102 and 101 measured in a state in which both the machining marks 101 and 102 are simultaneously within the visual field range of the shape measuring unit 20. .
The same applies to translational movement in the X-axis direction and the Z-axis direction.
Further, the processing mark forming portions W1 and W2 may be members that are scraped off when processing the workpiece W into a product shape.

<校正処理の概要>
ところで、本実施の形態では、上述したような5軸制御の加工装置1によってワークWに形成される形状の精度を高めるため、以下のような校正処理を行う。すなわち、図2に例示したように、ターニングテーブル15上の所定位置に載置されたワークWに対して複数の試験加工(校正用の加工)を行い、ワークWに複数の加工痕101および加工痕102を残す。
<Outline of calibration process>
By the way, in this embodiment, the following calibration processing is performed in order to improve the accuracy of the shape formed on the workpiece W by the five-axis control processing apparatus 1 as described above. That is, as illustrated in FIG. 2, a plurality of test machining (calibration machining) is performed on the workpiece W placed at a predetermined position on the turning table 15, and a plurality of machining marks 101 and machining marks are formed on the workpiece W. A trace 102 is left.

具体的には、工具7の旋回軸B周りの旋回角の設定角度をθ1に設定し、ワークW上における計算上での工具7の刃先の位置を目標位置P101となるようにワークWを並進移送させてワークWに対して加工を行い、ワークW上に図2の左側に示した加工痕101を形成する。 Specifically, the set angle of the turning angle of the tool 7 about the turning axis B is set to θ1, and the workpiece W is translated so that the calculated position of the cutting edge of the tool 7 on the workpiece W becomes the target position P101. The workpiece W is transferred and processed to form a machining mark 101 shown on the left side of FIG.

次に、目標位置P101からY軸マイナス方向に所定距離だけ離れた目標位置P102を設定する。旋回軸B周りの旋回角の設定角度をθ2に設定し、ワークW上における計算上での工具7の刃先の位置を目標位置P102となるようにワークWを並進移動させてワークWに対して加工を行い、ワークW上に図2の右側に示した加工痕102を形成する。 Next, a target position P102 is set which is a predetermined distance away from the target position P101 in the Y-axis negative direction. The set angle of the swivel angle around the swivel axis B is set to θ2, and the workpiece W is translated so that the calculated position of the cutting edge of the tool 7 on the workpiece W becomes the target position P102. Machining is performed to form machining marks 102 shown on the right side of FIG.

形状測定ユニット20でワークWの複数の加工痕101及び加工痕102の画像データを取得し、取得された画像データを基に制御部30により、ワークWの複数の加工痕101および加工痕102の形状および位置を算出する。工具7の先端の旋回角度精度が理想的であれば、測定した加工痕101および加工痕102の形状および位置が、加工装置1において校正用の加工時に目標とした複数の校正用加工形状および位置の許容範囲内に存在する。しかしながら、旋回軸から工具7の先端までは比較的距離が長いため、工具7の先端の旋回角度の精度が高くとも、加工痕の形成位置が許容された範囲にない場合がある。 The shape measuring unit 20 acquires image data of the plurality of machining marks 101 and 102 of the workpiece W, and based on the acquired image data, the controller 30 measures the plurality of machining marks 101 and 102 of the workpiece W. Calculate shape and position. If the turning angle accuracy of the tip of the tool 7 is ideal, the shapes and positions of the measured machining marks 101 and 102 are different from the plurality of calibrating machining shapes and positions targeted at the machining for calibration in the machining apparatus 1. exists within the tolerance of However, since the distance from the swivel axis to the tip of the tool 7 is relatively long, even if the swivel angle of the tip of the tool 7 is highly accurate, there are cases where the position where the machining marks are formed is not within the allowable range.

そこで、本実施の形態では、工具取り付け部6(すなわちチャックされた工具7の刃先)の旋回軸B周りにおける旋回角度ごとに、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向のそれぞれの座標値に対して適用する補正値を求める。これらの補正データを求めるために、ワークWに対する工具取り付け部6(すなわちチャックされた工具7の刃先)の旋回角度を複数の異なる値に変化させて校正用の加工を複数回行い、ワークW上に複数の校正用の加工痕101および加工痕102を形成する。 Therefore, in the present embodiment, coordinate values in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction are provided for each turning angle around the turning axis B of the tool mounting portion 6 (that is, the cutting edge of the chucked tool 7). Calculate the correction value to be applied to In order to obtain these correction data, the turning angle of the tool mounting portion 6 (that is, the cutting edge of the chucked tool 7) with respect to the workpiece W is changed to a plurality of different values, and the machining for calibration is performed a plurality of times. A plurality of working traces 101 and 102 for calibration are formed on the substrate.

なお、校正用の加工痕は、工具7の径や長さ、工具7の軸方向も取得し得るように、ワークWのいずれかの面において観察可能な形状に加工する。なお、工具7の刃先の径や工具7の軸方向、刃物台5に対する工具7の取り付け姿勢については、加工痕形状データ取得部で得られた三次元形状データから加工痕の表面形状データを求め、その表面形状データと工具7の加工軌跡データから算出してもよい。本実施の形態では、図2に例示するように、Y―Z平面に平行な面に対してX軸マイナス側に凹となるような加工痕101および加工痕102を形成する。加工痕101および加工痕102の位置および形状を測定することで、それぞれにおける、ワークWに対する工具7の角度(工具7の軸方向)、工具7の径、および加工された長さ(深さ)を取得することができる。また、加工痕101、加工痕102の相対的な位置関係を測定することができる。 The machining trace for calibration is machined into an observable shape on any surface of the workpiece W so that the diameter and length of the tool 7 and the axial direction of the tool 7 can also be obtained. Regarding the diameter of the cutting edge of the tool 7, the axial direction of the tool 7, and the mounting posture of the tool 7 with respect to the tool post 5, the surface shape data of the machining mark is obtained from the three-dimensional shape data obtained by the machining mark shape data acquisition unit. , may be calculated from the surface shape data and the machining locus data of the tool 7 . In the present embodiment, as illustrated in FIG. 2, a machining mark 101 and a machining mark 102 are formed so as to be concave on the negative side of the X-axis with respect to a plane parallel to the YZ plane. By measuring the positions and shapes of the machining marks 101 and 102, the angle of the tool 7 with respect to the workpiece W (the axial direction of the tool 7), the diameter of the tool 7, and the machined length (depth), respectively. can be obtained. Also, the relative positional relationship between the processing marks 101 and 102 can be measured.

<ブロック図の説明>
図3は、加工装置1の要部構成を例示するブロック図である。図3において、加工装置1は、入力部10と、形状測定ユニット20と、制御部30と、X軸駆動機構11と、Y軸駆動機構50と、Z軸駆動機構13と、旋回軸駆動機構70と、ワーク主軸駆動機構80とを含む。
<Description of block diagram>
FIG. 3 is a block diagram illustrating the main configuration of the processing apparatus 1. As shown in FIG. 3, the processing apparatus 1 includes an input section 10, a shape measuring unit 20, a control section 30, an X-axis drive mechanism 11, a Y-axis drive mechanism 50, a Z-axis drive mechanism 13, and a turning axis drive mechanism. 70 and a work spindle drive mechanism 80 .

入力部10は、例えば、オペレータによって操作される操作パネルによって構成される。オペレータは、加工装置1によってワークWに所定の加工を行わせるべく、例えば、目標とする工具7による加工の始点位置(三次元座標)、終点位置(三次元座標)、およびワークWに対する工具7の刃先の角度を示すデータの入力操作を行う。入力部10は、オペレータによって入力された情報を位置情報算出部31へ転送する。 The input unit 10 is configured by, for example, an operation panel operated by an operator. In order to cause the processing apparatus 1 to perform predetermined processing on the work W, the operator sets, for example, the starting point position (three-dimensional coordinates) and the end point position (three-dimensional coordinates) of the processing by the target tool 7, and the tool 7 for the work W. Perform the input operation of the data indicating the angle of the cutting edge of the blade. The input unit 10 transfers the information input by the operator to the position information calculation unit 31 .

なお、オペレータは、加工装置1に校正用の加工を行わせる場合には、目標とする校正用の工具7による加工の始点位置(三次元座標)、終点位置(三次元座標)、およびワークWに対する工具7の刃先の角度(ワークWに対する工具主軸Aの軸方向の角度)を示すデータの入力操作を行う。
オペレータは、複数の加工痕101、102がそれぞれ加工痕を形成するワークW上で近接した位置に形成されるように、データを入力する。「近接した位置」とは、例えば、次のいずれかが満たされるものであってもよい。
(1)ワークWに形成された加工痕101、102の位置が、形状測定ユニット20を加工痕101、102に対して相対移動することなしに、加工痕101、102の少なくとも一部を測定可能であること。
(2)ワークWに形成された加工痕101、102の位置が、形状測定ユニット20のワークWに対する測定方向を変える必要の無い位置に形成されていること。
(3)ワークWに形成された加工痕101、102の位置が、後述の加工痕形状データ取得部32によって取得される加工痕101、102それぞれの形状データを少なくとも一部で分離できる位置関係にあること。
なお、ワークWにそれぞれ形成された加工痕101および102は、以下のようにして設けるようにしてもよい。形状測定ユニット20で加工痕101および102の一方の測定を行ってから、他方の測定する際に、少なくとも旋回軸である旋回軸Bを中心に回動する回動移動の必要が無い位置に加工痕101および102が形成されていること。
When causing the processing apparatus 1 to perform processing for calibration, the operator sets the starting point position (three-dimensional coordinates), the end point position (three-dimensional coordinates), and the workpiece W Input operation of data indicating the angle of the cutting edge of the tool 7 with respect to the workpiece W (the axial angle of the tool spindle A with respect to the workpiece W) is performed.
The operator inputs data so that the plurality of machining marks 101 and 102 are formed at close positions on the workpiece W on which the machining marks are to be formed. The “proximity position” may be, for example, one that satisfies any of the following.
(1) The positions of the machining marks 101 and 102 formed on the workpiece W can be measured at least partially without moving the shape measuring unit 20 relative to the machining marks 101 and 102. be.
(2) The positions of the machining marks 101 and 102 formed on the work W are formed at positions where it is not necessary to change the measurement direction of the shape measuring unit 20 with respect to the work W.
(3) The positions of the machining marks 101 and 102 formed on the workpiece W are in a positional relationship in which the shape data of the machining marks 101 and 102 acquired by the machining mark shape data acquisition unit 32 described later can be separated at least partially. to be.
Note that the machining marks 101 and 102 respectively formed on the workpiece W may be provided as follows. After one of the machining marks 101 and 102 is measured by the shape measuring unit 20, when the other is measured, it is machined to a position where it does not need to be rotated about at least the rotation axis B, which is a rotation axis. The marks 101 and 102 are formed.

また、オペレータは、加工装置1に製品用の加工を行わせる場合には、目標とする製品用の加工形状(三次元座標)、および加工位置ごとのワークWに対する工具7の刃先の角度を示すデータの入力操作を行う。 When the operator causes the processing apparatus 1 to process a product, the operator indicates the target product processing shape (three-dimensional coordinates) and the angle of the cutting edge of the tool 7 with respect to the workpiece W for each processing position. Perform data input operations.

なお、オペレータが入力部10に対して入力操作を行う代わりに、あらかじめプリセットされている情報(目標とする工具7のワークWへの進入経路の始点位置(三次元座標)、終点位置(三次元座標)、およびワークWまたはターニングテーブル15に対する工具7の角度または工具主軸Aの角度))を位置情報算出部31へ転送するように構成してもよい。 In addition, instead of the operator performing an input operation on the input unit 10, preset information (start point position (three-dimensional coordinates), end point position (three-dimensional coordinates) and the angle of the tool 7 or the angle of the tool spindle A with respect to the workpiece W or the turning table 15))) may be transferred to the position information calculation unit 31 .

形状測定ユニット20は、制御部30からの測定指示により、上述したようにワークWの複数の加工痕101および加工痕102の形状および位置を測定する。形状測定ユニット20は、測定結果を制御部30へ送る。 The shape measuring unit 20 measures the shapes and positions of the plurality of machining marks 101 and 102 of the workpiece W according to the measurement instruction from the control section 30 as described above. The shape measuring unit 20 sends the measurement results to the control section 30 .

制御部30は、位置情報算出部31と、加工痕形状データ取得部32と、比較部/補正データ作成部33と、5軸NCデータ生成部34と、補正データ記憶部35とを含む。 The control unit 30 includes a position information calculation unit 31 , a machining mark shape data acquisition unit 32 , a comparison unit/correction data generation unit 33 , a 5-axis NC data generation unit 34 and a correction data storage unit 35 .

位置情報算出部31は、入力部10から入力されたワークWまたはターニングテーブル15に対する工具7の角度または工具主軸Aの角度に基づき、旋回軸B周りに旋回する工具取り付け部6の旋回角度(所定の基準軸に対する工具主軸Aの角度)を決定する。また、位置情報算出部31は、入力部10から入力された情報に基づき、それぞれの旋回角度により形成されるべき加工形状(目標とする加工形状)を示す三次元的な位置のデータを算出する。位置情報算出部31はさらに、校正処理の際に、目標とする複数の校正用の加工形状を示すデータから、基準となる複数の校正用加工形状のノミナル相対位置情報(複数の校正用の加工形状の相対位置)を算出する。 Based on the angle of the tool 7 or the angle of the tool spindle A with respect to the workpiece W or the turning table 15 input from the input unit 10, the position information calculation unit 31 calculates the turning angle (predetermined angle of the tool spindle A with respect to the reference axis of ). Further, the position information calculation unit 31 calculates three-dimensional position data indicating the machining shape (target machining shape) to be formed by each turning angle based on the information input from the input unit 10. . Further, during the calibration process, the position information calculation unit 31 calculates nominal relative position information (a plurality of calibration machining shapes) of a plurality of reference machining shapes for calibration from data indicating a plurality of target machining shapes for calibration. relative position of the shape).

加工痕形状データ取得部32は、形状測定ユニット20から送られた加工痕101および加工痕102の画像情報からスリット光の像の位置を求め、かつ求めたパターンの位置と、ターニングテーブル15に対する形状測定ユニット20の位置および角度(姿勢)に基づき、加工痕101および加工痕102の三次元形状および位置を求める。 The processing mark shape data acquisition unit 32 obtains the position of the image of the slit light from the image information of the processing marks 101 and 102 sent from the shape measuring unit 20, and determines the position of the obtained pattern and the shape with respect to the turning table 15. Based on the position and angle (orientation) of the measuring unit 20, the three-dimensional shapes and positions of the machining marks 101 and 102 are obtained.

比較部/補正データ作成部33は、加工痕形状データ取得部32によって加工痕101および加工痕102の三次元的な位置情報から相対位置情報を取得する。そして、校正処理の際に、旋回角度Θごとに、位置情報算出部31によって算出された加工痕101および加工痕102のノミナル相対位置情報と、加工痕形状データ取得部32によって取得された相対位置情報とを比較し、両者の間で相違する相対位置の相違情報(Δx,Δy,Δz)を取得する。比較部/補正データ作成部33はさらに、相違情報(Δx,Δy,Δz)に基づき、旋回角度Θを引数とする補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を作成する。 The comparison unit/correction data creation unit 33 acquires relative position information from the three-dimensional position information of the processing marks 101 and 102 by the processing mark shape data acquisition unit 32 . Then, during the calibration process, the nominal relative position information of the machining marks 101 and 102 calculated by the position information calculating unit 31 and the relative positions acquired by the machining mark shape data acquiring unit 32 are calculated for each turning angle Θ. information, and obtain difference information (Δx, Δy, Δz) of the relative positions that are different between the two. The comparison unit/correction data creation unit 33 further generates correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ) with the turning angle Θ as an argument) based on the difference information (Δx, Δy, Δz) ).

比較部/補正データ作成部33は、実際に校正用の加工痕の形成を行ったときのそれぞれの旋回角度の間の旋回角度については、校正用の加工を行った複数の旋回角度についての相違情報を補間することによって、その旋回角度に対応する補正データを算出する。また、校正用の加工を行った旋回角度よりも大きい旋回角度については、上記複数の旋回角度についての相違情報を外挿することによって、その旋回角度に対応する補正データを算出する。 The comparing unit/correction data creating unit 33 determines the difference between the turning angles between the respective turning angles when the machining mark for calibration is actually formed. Correction data corresponding to the turning angle is calculated by interpolating the information. For a turning angle larger than the turning angle processed for calibration, correction data corresponding to the turning angle is calculated by extrapolating the difference information about the plurality of turning angles.

補正データ記憶部35は、上記旋回角度Θを引数とする補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を記憶する。補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ)は、校正処理の際に、制御部30の指示によって補正データ記憶部35に記録される。また、補正データ記憶部35が記憶する補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))は、製品用の加工を行う場合において、制御部30によって指定された旋回角度Θに対応する補正データが読み出される。 The correction data storage unit 35 stores correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) with the turning angle Θ as an argument. The correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ) are recorded in the correction data storage section 35 by the instruction of the control section 30 during the calibration process. Further, the correction data storage section The correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) stored in 35 are correction data corresponding to the turning angle Θ specified by the control unit 30 when processing products. Data is read.

5軸NCデータ生成部34は、入力部10から入力された情報と工具7の情報(刃の形状、工具の径、工具の長さ、チャックされる位置)とに基づき、5軸の制御量(例えばNC(Numerical Control)データ)を生成する。5軸NCデータ生成部34はさらに、製品用の加工を行う場合において、生成した5軸の制御量を、補正データ記憶部35から読み出した補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))によって補正する。本出願明細書で説明されている位置変更部の制御量を補正する補正部としての機能も有する。すなわち、生成した5軸の制御量のうちのX軸、Y軸、およびZ軸の制御量を補正データによってそれぞれ補正する。 The 5-axis NC data generation unit 34 is based on the information input from the input unit 10 and the information on the tool 7 (the shape of the blade, the diameter of the tool, the length of the tool, and the position to be chucked). (eg, NC (Numerical Control) data). The 5-axis NC data generator 34 further converts the generated 5-axis control amounts into the correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ) , -Δz(Θ)). It also has a function as a correction section that corrects the control amount of the position change section described in the specification of this application. That is, among the generated control amounts for the five axes, the control amounts for the X-axis, Y-axis, and Z-axis are corrected by the correction data.

5軸NCデータ生成部34は、加工装置1で校正用の加工を行う場合には、生成した5軸の制御量に基づいて旋回軸駆動機構70、ワーク主軸駆動機構80、X軸駆動機構11、Y軸駆動機構50、およびZ軸駆動機構13へそれぞれ出力する。
また、5軸NCデータ生成部34は、加工装置1で製品の加工を行う場合には、生成した5軸の制御量を上記補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ)によって補正して、旋回軸駆動機構70、ワーク主軸駆動機構80、X軸駆動機構11、Y軸駆動機構50、およびZ軸駆動機構13へそれぞれ出力する。
The 5-axis NC data generation unit 34 controls the rotation axis drive mechanism 70, the workpiece main axis drive mechanism 80, the X-axis drive mechanism 11 based on the generated 5-axis control amount when the machining for calibration is performed by the processing apparatus 1. , the Y-axis drive mechanism 50, and the Z-axis drive mechanism 13, respectively.
In addition, when the machining device 1 is used to machine a product, the 5-axis NC data generator 34 converts the generated 5-axis control variables into the correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz It is corrected by (Θ) and output to the turning axis driving mechanism 70, work spindle driving mechanism 80, X-axis driving mechanism 11, Y-axis driving mechanism 50, and Z-axis driving mechanism 13, respectively.

旋回軸駆動機構70は、5軸NCデータ生成部34からの制御量に基づき、旋回軸B周りに旋回する工具取り付け部6の旋回角度(基準軸に対する工具主軸Aの角度)を制御する。ワーク主軸駆動機構80は、5軸NCデータ生成部34からの制御量に基づき、ターニングテーブル15の回転角度(ワーク主軸Cを回転軸とする)を制御する。 The turning axis drive mechanism 70 controls the turning angle (the angle of the tool spindle A with respect to the reference axis) of the tool mounting part 6 turning around the turning axis B based on the control amount from the 5-axis NC data generator 34 . The work spindle drive mechanism 80 controls the rotation angle of the turning table 15 (with the work spindle C as the rotation axis) based on the control amount from the 5-axis NC data generator 34 .

X軸駆動機構11は、5軸NCデータ生成部34からの制御量に基づき、刃物台5のX軸方向の並進移動量を制御する。Y軸駆動機構50は、5軸NCデータ生成部34からの制御量に基づき、ワークWのY軸方向の並進移動量を制御する。Z軸駆動機構13は、5軸NCデータ生成部34からの制御量に基づき、刃物台5のZ軸方向の並進移動量を制御する。 The X-axis drive mechanism 11 controls the amount of translational movement of the tool post 5 in the X-axis direction based on the control amount from the 5-axis NC data generator 34 . The Y-axis drive mechanism 50 controls the amount of translational movement of the work W in the Y-axis direction based on the control amount from the 5-axis NC data generator 34 . The Z-axis drive mechanism 13 controls the amount of translational movement of the tool post 5 in the Z-axis direction based on the control amount from the 5-axis NC data generator 34 .

<フローチャートの説明>
図4は、校正処理の流れを説明するフローチャートである。制御部30は、校正処理を行う場合に図4による処理を起動させる。図4のステップS10において、制御部30の位置情報算出部31は、入力部10から入力された角度情報(設定角度θ1、θ2)と工具7による加工の始点位置および終点位置情報に基づき、旋回軸B周りの工具主軸Aの旋回角度を決定してステップS20へ進む。なお、この場合、始点位置と終点位置を直線で結んだ方向を基に、その方向に応じた仰角を基に旋回軸Bの角度を設定する。
<Description of flow chart>
FIG. 4 is a flowchart for explaining the flow of calibration processing. The control unit 30 activates the process shown in FIG. 4 when performing the calibration process. In step S10 of FIG. 4, the position information calculation unit 31 of the control unit 30 rotates based on the angle information (set angles θ1, θ2) input from the input unit 10 and the starting point position and end point position information of the machining by the tool 7. The turning angle of the tool spindle A about the axis B is determined, and the process proceeds to step S20. In this case, the angle of the turning axis B is set based on the elevation angle corresponding to the direction in which the start point position and the end point position are connected by a straight line.

ステップS20において、制御部30の位置情報算出部31は、入力部10から入力された情報に基づき、それぞれの旋回角度において形成されるべき校正用の複数の加工形状(目標とする加工形状)を示すデータを生成してステップS30へ進む。 In step S20, the position information calculation unit 31 of the control unit 30 calculates a plurality of machining shapes for calibration (target machining shapes) to be formed at each turning angle based on the information input from the input unit 10. The data to indicate is generated, and the process proceeds to step S30.

ステップS30において、制御部30の位置情報算出部31は、目標とする複数の加工形状を示すデータから、複数の加工形状のノミナル相対位置情報を算出し、ステップS40へ進む。ステップS40において、制御部30の5軸NCデータ生成部34は、目標とする加工形状と工具7の情報とに基づき、NCデータを生成してステップS50へ進む。 In step S30, the position information calculation unit 31 of the control unit 30 calculates nominal relative position information of a plurality of machining shapes from data indicating a plurality of target machining shapes, and proceeds to step S40. In step S40, the 5-axis NC data generation unit 34 of the control unit 30 generates NC data based on the target machining shape and the information of the tool 7, and proceeds to step S50.

ステップS50において、制御部30は、5軸のNCデータを基に、旋回軸駆動機構70、ワーク主軸駆動機構80、X軸駆動機構11、Y軸駆動機構50、およびZ軸駆動機構13へそれぞれ制御データを出力してステップS60へ進む。
これにより、ワークWに校正用の加工痕101および加工痕102が形成される。
In step S50, based on the 5-axis NC data, the control unit 30 controls the rotation axis drive mechanism 70, the workpiece spindle drive mechanism 80, the X-axis drive mechanism 11, the Y-axis drive mechanism 50, and the Z-axis drive mechanism 13, respectively. After outputting the control data, the process proceeds to step S60.
As a result, processing traces 101 and processing traces 102 for calibration are formed on the workpiece W. As shown in FIG.

ステップS60において、制御部30は形状測定ユニット20へ指示を送り、加工痕101および加工痕102の形状および位置を算出するために必要な画像情報を取得させる。そして、加工痕形状データ取得部32により必要な画像情報と各駆動軸の位置情報、角度情報を基に、加工痕101および加工痕102の三次元形状および位置情報を算出する。算出された三次元形状および位置情報から、加工痕101および加工痕102の相対位置情報を取得してステップS70へ進む。 In step S60, the control section 30 sends an instruction to the shape measuring unit 20 to acquire image information necessary for calculating the shapes and positions of the processing marks 101 and 102. FIG. Then, the three-dimensional shape and position information of the machining marks 101 and 102 are calculated by the machining mark shape data acquiring unit 32 based on the necessary image information and the position information and angle information of each drive shaft. Based on the calculated three-dimensional shape and position information, the relative position information of the machining marks 101 and 102 is obtained, and the process proceeds to step S70.

ステップS70において、制御部30の比較部/補正データ作成部33は、ステップS30で算出した相対位置情報(目標とする校正用の加工痕のノミナル相対位置情報)と、ステップS60で取得した相対位置情報(加工痕101および加工痕102の相対位置情報)とを比較し、相対位置の相違情報(Δx,Δy,Δz)を取得してステップS80へ進む。 In step S70, the comparison unit/correction data creation unit 33 of the control unit 30 combines the relative position information (target nominal relative position information of the machining mark for calibration) calculated in step S30 with the relative position acquired in step S60. information (relative position information of the machining mark 101 and the machining mark 102) to acquire difference information (Δx, Δy, Δz) of the relative positions, and proceed to step S80.

ステップS80において、制御部30の比較部/補正データ作成部33は、相違情報(Δx,Δy,Δz)に基づき、旋回角度Θごとに補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を作成してステップS90へ進む。 In step S80, the comparison unit/correction data creation unit 33 of the control unit 30 generates correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) and proceed to step S90.

ステップS90において、制御部30は、旋回角度Θを引数とする補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を補正データ記憶部35へ記録して図4による処理を終了する。 In step S90, the control unit 30 records the correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) with the turning angle Θ as an argument in the correction data storage unit 35, and End the process.

以上説明した校正処理は、例えば、工具7を交換したとき、前回の校正処理後に製品の加工を所定回数行ったとき、製品用のワークWの形状を前回まで使用した形状と異なる形状に変更するとき、製品用の加工の内容を変更するときなどに、必要に応じて行うとよい。とくに、この校正処理は、ワークWから被加工物を形状創生する前に、同じワークWに対して校正用加工痕を形成することで実施することが好ましい。 In the calibration process described above, for example, when the tool 7 is replaced, or when the product is machined a predetermined number of times after the previous calibration process, the shape of the workpiece W for the product is changed to a shape different from the shape used up to the last time. This should be done when necessary, such as when changing the details of processing for a product. In particular, this calibration process is preferably performed by forming calibration traces on the same workpiece W before the shape of the workpiece is created from the workpiece W. As shown in FIG.

その際、校正処理に用いるワークWは、校正専用のワークWを用いてもよいし、製品用のワークWを用いてもよい。製品用のワークWを用いる場合は、最終的に製品となる部分以外の部分、すなわち、製品には不要な部分に校正用の加工を施すとよい。 At that time, the work W used for the calibration process may be a work W dedicated to calibration or a work W for products. When using a workpiece W for a product, it is preferable to apply calibration processing to a portion other than the portion that will eventually become the product, that is, a portion that is unnecessary for the product.

図5は、加工処理の流れを説明するフローチャートである。制御部30は、加工装置1で加工を行う場合に図5による処理を起動させる。図5のステップS210において、制御部30は、校正処理を行うか否かを判定する。制御部30は、オペレータによる校正処理の指示を受けた場合にステップS210を肯定判定してステップS220へ進み、ステップS220において上述した校正処理(図4)を行う。一方、制御部30は、オペレータによる校正処理の指示を受けない場合には、ステップS210を否定判定してステップS230へ進む。 FIG. 5 is a flowchart for explaining the processing flow. The control unit 30 activates the processing shown in FIG. 5 when processing is performed by the processing device 1 . In step S210 of FIG. 5, the control unit 30 determines whether or not to perform calibration processing. The control unit 30 makes an affirmative determination in step S210 when receiving an instruction for calibration processing from the operator, proceeds to step S220, and performs the above-described calibration processing (FIG. 4) in step S220. On the other hand, if the control unit 30 does not receive an instruction for calibration processing from the operator, the control unit 30 makes a negative determination in step S210 and proceeds to step S230.

ステップS230において、制御部30の位置情報算出部31は、入力部10から入力された情報に基づき、工具主軸Aの旋回角度を抽出してステップS240へ進む。 In step S230, the position information calculation section 31 of the control section 30 extracts the turning angle of the tool spindle A based on the information input from the input section 10, and proceeds to step S240.

ステップS240において、制御部30の位置情報算出部31は、入力部10から入力された情報に基づき、それぞれの旋回角度において形成されるべき製品用の加工形状(目標とする加工形状)を示すデータを生成してステップS250へ進む。 In step S240, based on the information input from the input unit 10, the position information calculation unit 31 of the control unit 30 generates data representing the product machining shape (target machining shape) to be formed at each turning angle. is generated and the process proceeds to step S250.

ステップS250において、制御部30の5軸NCデータ生成部34は、目標とする加工形状と工具7の情報とに基づき、5軸のNCデータを生成してステップS260へ進む。 In step S250, the 5-axis NC data generation unit 34 of the control unit 30 generates 5-axis NC data based on the target machining shape and the information of the tool 7, and proceeds to step S260.

ステップS260において、制御部30は、補正データが存在するか否かを判定する。制御部30は、校正処理済みであり、補正データ記憶部35に補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))が記録されている場合にステップS260を肯定判定してステップS270へ進む。制御部30は、校正処理の前であり、補正データ記憶部35に補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))が記録されていない場合には、ステップS260を否定判定してステップS300へ進む。 In step S260, the control unit 30 determines whether correction data exists. The control unit 30 makes an affirmative determination in step S260 when the calibration process has been completed and the correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) is recorded in the correction data storage unit 35. Then, the process proceeds to step S270. If the correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) is not recorded in the correction data storage section 35 before the calibration process, the control section 30 performs step S260. is negatively determined, and the process proceeds to step S300.

ステップS270において、制御部30は、ステップS230で抽出した旋回角度ごとに、対応する補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を補正データ記憶部35から読み出してステップS280へ進む。 In step S270, the control unit 30 reads the corresponding correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) from the correction data storage unit 35 for each turning angle extracted in step S230. Then, the process proceeds to step S280.

ステップS280において、制御部30の5軸NCデータ生成部34は、ステップS250で生成した5軸の制御量を、ステップS230で抽出した旋回角度ごとに、補正データ記憶部35から読み出した補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))によって補正してステップS290へ進む。 In step S280, the 5-axis NC data generation unit 34 of the control unit 30 converts the control amount of the 5 axes generated in step S250 to the correction data read out from the correction data storage unit 35 ( -Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) and proceed to step S290.

ステップS290において、制御部30は、補正後の5軸のNCデータを旋回軸駆動機構70、ワーク主軸駆動機構80、X軸駆動機構11、Y軸駆動機構50、およびZ軸駆動機構13へそれぞれ出力して図5による処理を終了する。
これにより、ワークWに製品用の加工が行われる。
In step S290, the control unit 30 sends the corrected 5-axis NC data to the turning axis driving mechanism 70, work spindle driving mechanism 80, X-axis driving mechanism 11, Y-axis driving mechanism 50, and Z-axis driving mechanism 13, respectively. output and terminate the processing according to FIG.
Thereby, the workpiece W is processed for the product.

ステップS260を否定判定して進むステップS300において、制御部30は、補正していない5軸のNCデータを旋回軸駆動機構70、ワーク主軸駆動機構80、X軸駆動機構11、Y軸駆動機構50、およびZ軸駆動機構13へそれぞれ出力して図5による処理を終了する。この場合は、補正なしのNCデータを用いてワークWに加工が行われる。 In step S300, which proceeds after making a negative decision in step S260, the control unit 30 converts the uncorrected 5-axis NC data to the turning axis driving mechanism 70, work spindle driving mechanism 80, X-axis driving mechanism 11, and Y-axis driving mechanism 50. , and the Z-axis drive mechanism 13, respectively, and the process of FIG. 5 ends. In this case, the workpiece W is machined using the NC data without correction.

上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
(1)上記加工装置1で用いた補正方法は、ワークWと工具7との相対的な姿勢を変える旋回軸Bを備え、ワークWと工具7との相対的な位置を変更する駆動機構11、13、50、70と、駆動機構11、13、50、70の旋回軸B、およびその他のX軸、Y軸、Z軸の位置を制御する制御部30とを備える加工装置1に適用される。そして、補正方法は、ワークWの製品用の加工前に、近接した位置に、旋回軸Bにおける異なる設定角度θ1、θ2の各々でそれぞれ校正用の加工痕101、102をワークWに形成し、加工痕101、102の相対位置関係と、制御部30が指示する加工形状、すなわち目標とする校正用の加工痕のノミナル相対位置関係との差に基づいて、補正値を取得し、取得された補正値を基に駆動機構11、13、50へ出力される制御値を補正する。この補正方法によれば、加工後のワークWに形成される形状の精度の低下を抑えることができる。とくに、旋回軸B周りに工具7を旋回させる際の工具7の先端位置精度の影響を抑えたい場合に有効である。
なお、近接した位置に校正用の加工痕101、102をワークWに形成する旨の「近接した位置」とは、上述したように、ワークWに形成された加工痕101、102の位置が、形状測定ユニット20を加工痕101、102に対して相対移動することなしに、加工痕101、102の少なくとも一部を測定可能な位置であってもよい。また、ワークWに形成された加工痕101、102の位置が、形状測定ユニット20のワークWに対する測定方向を変える必要の無い位置に形成されていてもよい。さらにまた、ワークWに形成された加工痕101、102の位置が、加工痕形状データ取得部32で取得したそれぞれの加工痕の形状データが少なくとも一部で分離できるような位置関係であってもよい。
According to the embodiment described above, the following effects are obtained.
(1) The correction method used in the processing apparatus 1 includes a drive mechanism 11 that includes a turning axis B that changes the relative posture between the work W and the tool 7, and that changes the relative position between the work W and the tool 7. , 13, 50, 70, and a control unit 30 for controlling the positions of the rotation axes B of the drive mechanisms 11, 13, 50, 70 and the other X-, Y-, and Z-axes. be. Then, the correction method is to form calibration traces 101 and 102 on the work W at adjacent positions at different set angles θ1 and θ2 on the turning axis B, respectively, before processing the work W into a product, A correction value is acquired based on the difference between the relative positional relationship between the machining marks 101 and 102 and the machining shape indicated by the control unit 30, that is, the target nominal relative positional relationship of the machining marks for calibration. The control values output to the drive mechanisms 11, 13, 50 are corrected based on the correction values. According to this correction method, it is possible to suppress the deterioration of the accuracy of the shape formed on the workpiece W after processing. In particular, this is effective when it is desired to suppress the influence of the tip position accuracy of the tool 7 when turning the tool 7 around the turning axis B. FIG.
Note that the "proximity position" to the effect that the calibration traces 101 and 102 are formed on the work W at close positions means that the positions of the traces 101 and 102 formed on the work W are, as described above, The position may be such that at least part of the machining marks 101 and 102 can be measured without relatively moving the shape measuring unit 20 with respect to the machining marks 101 and 102 . Moreover, the positions of the machining marks 101 and 102 formed on the workpiece W may be formed at positions where it is not necessary to change the measurement direction of the workpiece W of the shape measuring unit 20 . Furthermore, even if the positions of the machining marks 101 and 102 formed on the workpiece W are in a positional relationship such that the shape data of the machining marks acquired by the machining mark shape data acquisition unit 32 can be separated at least partially. good.

(2)加工装置1は、画像センサーを有した形状測定ユニット20を備える。そして、上記補正方法において、制御部30は、画像センサーで取得できる視野範囲内に形成されたそれぞれの加工痕101、102の三次元形状データと三次元位置情報、または画像センサーの視野範囲内に各々の加工痕の画像が取れるように並進移動機構を制御し、加工痕101および102の画像と、それぞれの画像を取得した時の並進移動機構のエンコーダから得られた位置情報を用いて得られたそれぞれの加工痕101、102の三次元形状データと三次元位置情報に基づき、制御値への補正値、例えば補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を取得する。画像センサーを有した形状測定ユニット20によって複数の加工痕101、102の画像データを取得し、その画像データを基に形状データを算出することで、ワークWを加工装置1に載置したままの状態で、複数の校正用の加工痕101、102の相対位置関係を得ることができる。このため、ワークWを加工装置1から取り外して複数の加工痕101、102の形状を測定する場合に比べて、測定誤差が少ない加工痕101、102の相対位置関係を得ることができる。 (2) The processing device 1 includes a shape measuring unit 20 having an image sensor. In the correction method described above, the control unit 30 controls the three-dimensional shape data and three-dimensional position information of the machining marks 101 and 102 formed within the visual field range that can be acquired by the image sensor, or the The translational movement mechanism is controlled so that an image of each machining mark can be taken, and the images of the machining marks 101 and 102 and the positional information obtained from the encoder of the translational movement mechanism when the respective images are obtained are used. Based on the three-dimensional shape data and three-dimensional position information of the machining marks 101 and 102, correction values for the control values, such as correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) to get Image data of a plurality of machining marks 101 and 102 is acquired by a shape measuring unit 20 having an image sensor, and shape data is calculated based on the image data, thereby measuring the workpiece W as it is placed on the processing apparatus 1. In this state, it is possible to obtain the relative positional relationship between a plurality of calibration traces 101 and 102 . Therefore, the relative positional relationship of the machining marks 101 and 102 can be obtained with less measurement error than when the workpiece W is removed from the processing apparatus 1 and the shapes of the machining marks 101 and 102 are measured.

(3)上記補正方法において、それぞれの加工痕101、102を形成するときの設定角度は、製品用の加工時に設定される旋回軸Bの設定角度の旋回角度範囲内に含まれるように設定される。また、製品用の加工時に設定される旋回角度範囲の角度の最大値および最小値の差よりも小さな角度差を有するように設定されるようにした。校正用の加工を行う設定角度θ1、θ2よりも大きい設定角度については、上記複数の設定角度θ1、θ2における相違情報を外挿することによって、その設定角度に対応する補正値を取得する。これにより、校正用の加工時に設定角度を大きく振らなくても、製品用の加工時に設定される設定角度に対応する補正値、例えば補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を得ることができる。 (3) In the correction method described above, the set angles for forming the machining marks 101 and 102 are set so as to be included in the swivel angle range of the set angle of the swivel axis B that is set during product machining. be. Also, the angle difference is set to be smaller than the difference between the maximum value and the minimum value of the turning angle range that is set during product processing. For set angles larger than the set angles θ1 and θ2 for calibration processing, the correction values corresponding to the set angles are obtained by extrapolating the difference information between the plurality of set angles θ1 and θ2. As a result, even if the set angle is not greatly changed during calibration processing, correction values corresponding to the set angles set during product processing, such as correction data (-Δx(Θ),-Δy(Θ),- Δz(Θ)) can be obtained.

(4)上記(2)の形状測定ユニット20は、駆動機構40~60が具備する移動軸(X軸、Y軸、Z軸)上に設けられる。これにより、形状測定ユニット20によってワークWをスリット光で走査する際、あるいは測定対象とする加工痕101(または102)を形状測定ユニット20による視野範囲に収める際に、移動精度が十分高い並進移動のみにより実現できるので、誤差が少ない加工痕101、102の相対位置関係を得ることができる。 (4) The shape measuring unit 20 of (2) above is provided on the movement axes (X-axis, Y-axis, Z-axis) of the drive mechanisms 40-60. As a result, when the shape measuring unit 20 scans the work W with the slit light, or when the machining mark 101 (or 102) to be measured is placed within the visual field range of the shape measuring unit 20, translational movement with sufficiently high movement accuracy is achieved. Therefore, it is possible to obtain the relative positional relationship between the machining marks 101 and 102 with little error.

(5)上記(4)の形状測定ユニット20は、光切断センサーであり、光切断センサーは、移動軸(X軸、Y軸、Z軸)上に設けられており、光切断センサーは、旋回軸Bを固定した状態で、移動軸(X軸、Y軸、Z軸)による相対移動を行うことで、加工痕101、102が形成された部分を走査し、形状測定ユニット20は、光切断センサーから取得された情報に基づきそれぞれの加工痕101、102の三次元形状を取得する。これにより、誤差が少ない加工痕101、102の相対位置関係を得ることができる。 (5) The shape measurement unit 20 of (4) above is a light section sensor, the light section sensor is provided on the movement axis (X axis, Y axis, Z axis), and the light section sensor is rotated. With the axis B fixed, relative movement is performed along the movement axes (X-axis, Y-axis, Z-axis) to scan the portions where the machining marks 101 and 102 are formed. The three-dimensional shapes of the machining marks 101 and 102 are obtained based on the information obtained from the sensors. As a result, the relative positional relationship between the machining marks 101 and 102 can be obtained with little error.

(6)上述した加工装置1は、ワークWと工具7とを相対的に並進移動軸(X軸、Y軸、Z軸)の方向に位置を変更する駆動機構11、13、50と、ワークWと工具7との相対的な姿勢を変える旋回軸駆動機構70とを備える。これら駆動機構11、13、50および旋回軸駆動機構70が位置変更部を構成する。加工装置1はさらに、位置変更部へ制御量を出力し、ワークWと工具7との相対的な位置を制御する制御部30と、工具7によってワークWの異なる位置に加工された複数の校正用加工痕101、102の形状および位置を測定する形状測定ユニット20と、制御部30が目標とする複数の目標加工形状の相対的位置関係、および形状測定ユニット20によって測定された複数の校正用加工痕101、102の相対的位置関係の差に基づいて、制御量の補正値、例えば補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を算出する制御部30、実施の形態ではとくに比較部/補正データ作成部33を備える。この加工装置1によれば、加工後のワークWに形成される形状の精度の低下を抑えることができる。すなわち、制御部30が目標とする2つの目標加工形状の相対的位置関係と、測定した校正用加工痕101、102の相対的位置関係との差に基づいて算出された制御量の補正値を用いることで、駆動機構11、13、50による並進移動軸方向への移動精度、および旋回軸駆動機構70による旋回軸B周りの旋回の精度のいずれの精度の影響も抑えることができる。 (6) The processing apparatus 1 described above includes drive mechanisms 11, 13, and 50 for relatively changing the positions of the workpiece W and the tool 7 in the directions of the translational movement axes (X-axis, Y-axis, and Z-axis); A turning shaft driving mechanism 70 for changing the relative posture between W and the tool 7 is provided. These drive mechanisms 11, 13, 50 and the turning shaft drive mechanism 70 constitute a position changer. The processing apparatus 1 further includes a control unit 30 that outputs a control amount to a position changing unit and controls the relative positions of the workpiece W and the tool 7, and a plurality of calibration units machined at different positions on the workpiece W by the tool 7. A shape measuring unit 20 for measuring the shapes and positions of the machining marks 101 and 102 for processing, the relative positional relationship between a plurality of target machining shapes targeted by the control unit 30, and a plurality of calibrating shapes measured by the shape measuring unit 20. A control unit 30 that calculates correction values for control amounts, such as correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)), based on the difference in the relative positional relationship between the machining marks 101 and 102. , and particularly in the embodiment, a comparison unit/correction data generation unit 33 is provided. According to this processing apparatus 1, it is possible to suppress the deterioration of the accuracy of the shape formed on the workpiece W after processing. That is, the correction value of the control amount calculated based on the difference between the relative positional relationship between the two target machining shapes targeted by the control unit 30 and the relative positional relationship between the measured calibration machining marks 101 and 102 is By using this, it is possible to suppress the influence of both accuracy of movement in the translational movement axis direction by the drive mechanisms 11 , 13 , and 50 and accuracy of turning around the turning axis B by the turning axis driving mechanism 70 .

(7)上記加工装置1においては、旋回軸駆動機構70の旋回軸Bの周りの旋回角度を変えることによってワークWと工具7との相対的な姿勢を変更することができる。制御部30は、駆動機構11、13、50による並進移動量および旋回軸駆動機構70による旋回角度を制御する。この制御により、複数の校正用加工痕101、102が形成される。形状測定ユニット20は、異なる旋回角度でそれぞれ加工された複数の校正用加工痕101、102の形状および位置を測定する。これにより、とくに、旋回軸駆動機構70により工具7を旋回軸B周りに旋回させた際の工具7の先端の位置精度の影響を抑えたい場合に有効である。 (7) In the processing apparatus 1 described above, the relative posture between the work W and the tool 7 can be changed by changing the turning angle around the turning axis B of the turning axis driving mechanism 70 . The control unit 30 controls the amount of translational movement by the drive mechanisms 11 , 13 and 50 and the turning angle by the turning shaft driving mechanism 70 . Through this control, a plurality of calibration traces 101 and 102 are formed. The shape measuring unit 20 measures the shapes and positions of a plurality of calibration marks 101 and 102 machined at different turning angles. This is particularly effective when it is desired to suppress the influence of the positional accuracy of the tip of the tool 7 when the tool 7 is swung around the swivel axis B by the swivel axis drive mechanism 70 .

(8)上記加工装置1において、制御部30である比較部/補正データ作成部33は、複数の目標加工形状の相対位置関係と、形状測定ユニット20で測定された複数の校正用加工痕101、102の相対位置関係を示す形状情報との差に基づき、複数の旋回角度ごとに、補正値として並進移動軸(X軸、Y軸、Z軸)の方向の並進移動量の補正値、例えば補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を算出する。これにより、旋回軸駆動機構70により工具7を旋回軸B周りに旋回させた際の工具7の先端位置精度を、旋回角度ごとに、並進移動軸(X軸、Y軸、Z軸)の方向の並進移動量として補正することができる。 (8) In the processing apparatus 1, the comparison unit/correction data generation unit 33, which is the control unit 30, determines the relative positional relationship between the plurality of target processing shapes and the plurality of calibration processing marks 101 measured by the shape measurement unit 20. , 102, for each of a plurality of turning angles, a correction value for the amount of translational movement in the direction of the translational movement axes (X-axis, Y-axis, Z-axis), for example Correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) are calculated. As a result, the tip position accuracy of the tool 7 when the tool 7 is rotated around the rotation axis B by the rotation axis drive mechanism 70 can be measured in the directions of the translational movement axes (X-axis, Y-axis, Z-axis) for each rotation angle. can be corrected as the amount of translational movement of

(9)上記加工装置1において、制御部30は、比較部/補正データ作成部33によって補正値を算出する前は、複数の目標加工形状を形成するために生成した旋回角度および並進移動量を制御量とし、比較部/補正データ作成部33によって補正値を算出した後は、目標形状情報に基づいて生成した並進移動量および旋回角度に補正値で補正した旋回角度および並進移動量を制御量とする。これにより、補正値を算出する前も後も、それぞれにおいて適切な制御量を得ることができる。 (9) In the processing apparatus 1, before the correction value is calculated by the comparison unit/correction data creation unit 33, the control unit 30 calculates the turning angle and translational movement amount generated for forming a plurality of target machining shapes. After the correction value is calculated by the comparison unit/correction data creation unit 33, the turning angle and the translational movement amount obtained by correcting the translational movement amount and the turning angle generated based on the target shape information with the correction value are used as the control amount. and As a result, appropriate control amounts can be obtained both before and after calculating the correction value.

(10)上記加工装置1において、形状測定ユニット20は、駆動機構11、13、50で並進移動軸(X軸、Y軸、Z軸)の方向の並進移動量を変えることにより、ワークWの校正用加工痕101、102との相対的な位置が変更されるようにした。これにより、形状測定ユニット20によってワークWをスリット光で走査する際、あるいは測定対象とする加工痕101(または102)を形状測定ユニット20による視野範囲に収める際に、形状測定時に旋回軸B周りの旋回角度を変化させる場合に比べて、誤差が少ない加工痕101、102の相対位置関係を得ることができる。 (10) In the processing apparatus 1, the shape measuring unit 20 changes the amount of translational movement in the direction of the translational movement axes (X-axis, Y-axis, Z-axis) with the drive mechanisms 11, 13, 50, so that the workpiece W is The position relative to the calibration traces 101 and 102 is changed. As a result, when the shape measuring unit 20 scans the workpiece W with the slit light, or when the machining mark 101 (or 102) to be measured is placed within the visual field range of the shape measuring unit 20, The relative positional relationship between the machining marks 101 and 102 can be obtained with less error than when the turning angle is changed.

(11)上記加工装置1において、形状測定ユニット20は、校正用加工痕101、102の形状測定結果に基づき、少なくとも工具7の径および工具7の長さと工具7の軸方向を取得する。これにより、加工痕101、102の相対位置関係を適切に得ることができる。 (11) In the processing apparatus 1 described above, the shape measurement unit 20 acquires at least the diameter of the tool 7, the length of the tool 7, and the axial direction of the tool 7 based on the shape measurement results of the machining traces 101 and 102 for calibration. Thereby, the relative positional relationship between the working traces 101 and 102 can be appropriately obtained.

(12)上記加工装置1において、形状測定ユニット20は、加工されたワークWが加工装置1に載置されている状態で複数の校正用加工痕101、102の形状および位置を測定するようにした。これにより、ワークWを加工装置1から取り外して複数の加工痕101、102の形状を測定する場合に比べて、測定誤差が少ない加工痕101、102の相対位置関係を得ることができる。 (12) In the processing apparatus 1, the shape measuring unit 20 measures the shapes and positions of the plurality of calibration marks 101 and 102 while the processed workpiece W is placed on the processing apparatus 1. did. This makes it possible to obtain the relative positional relationship of the machining marks 101 and 102 with less measurement error than when the workpiece W is removed from the processing apparatus 1 and the shapes of the machining marks 101 and 102 are measured.

次のような変形も本発明の範囲内であり、変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。
(変形例1)
上記実施の形態において、加工装置1はスライドレール9a、縦レール4、横レール3のみ有した並進軸移動手段のみによる3軸構成の位置変更部を有した加工装置であってもよい。
その場合、少なくともいずれか一つの並進移動機構により工具を移動させて、近接した位置に複数の加工痕を形成し、その複数の加工痕の相対位置関係と、前記制御部が指示する加工形状の相対位置関係との差に基づいて、前記位置変更部へ出力される制御値を補正するようにしてもよい。
なお、複数の加工痕の相対位置関係を求めるために形状測定ユニット20を加工痕が形成されたワークに対して相対移動させる必要がある場合、なるべく相対移動距離が短くなり、かつ、それぞれの加工痕の一部の形状が分離できるような位置に、複数の加工痕を形成することが好ましい。特に、複数の加工痕を形成する際に行った工具の移動距離よりも、測定時における形状測定ユニット20の移動距離が短いことで、並進移動機構による位置決め誤差により生ずる形状測定誤差を小さくすることができる。
The following modifications are also within the scope of the present invention, and it is also possible to combine one or more of the modifications with the above-described embodiments.
(Modification 1)
In the above-described embodiment, the processing apparatus 1 may be a processing apparatus having a three-axis configuration position changer with only the translational axis moving means having only the slide rail 9a, the vertical rail 4, and the horizontal rail 3.
In that case, the tool is moved by at least one of the translational movement mechanisms to form a plurality of machining marks at close positions, and the relative positional relationship between the plurality of machining marks and the machining shape indicated by the control unit. The control value output to the position changing unit may be corrected based on the difference from the relative positional relationship.
In addition, when it is necessary to move the shape measuring unit 20 relative to the work on which the machining marks are formed in order to obtain the relative positional relationship of a plurality of machining marks, the relative movement distance is as short as possible and It is preferable to form a plurality of working traces at positions such that the shapes of some of the traces can be separated. In particular, since the moving distance of the shape measuring unit 20 during measurement is shorter than the moving distance of the tool when forming a plurality of machining marks, the shape measurement error caused by the positioning error caused by the translational movement mechanism can be reduced. can be done.

(変形例2)
上記実施の形態においては、入力部10を介して、目標とする工具7による加工の始点位置(三次元座標)、終点位置(三次元座標)、およびワークWに対する工具7の刃先の角度を示すデータを含む、ツールパス情報を入力する例を説明した。入力部10から入力する代わりに、ティーチング動作によってツールパスを設定するように構成してもよい。
(Modification 2)
In the above-described embodiment, the starting point position (three-dimensional coordinates) and end point position (three-dimensional coordinates) of the target machining by the tool 7 and the angle of the cutting edge of the tool 7 with respect to the workpiece W are indicated via the input unit 10. An example of entering toolpath information, including data, has been described. Instead of inputting from the input unit 10, the tool path may be set by a teaching operation.

(変形例3)
上記実施の形態においては、補正データとして、旋回角度Θごとに補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))を作成する例を説明した。この代わりに、旋回軸Bの旋回軸駆動機構へ供給する制御データへの旋回角度毎の補正データとして作成してもよい。
また、旋回軸Bの旋回角度に応じた補正データ以外にも、ワーク主軸Cの旋回角度に応じた補正データや工具主軸Aの回転角度に応じた補正データも同様に作成してもよい。
(Modification 3)
In the above embodiment, an example of creating correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) for each turning angle Θ has been described. Instead of this, it may be created as correction data for each turning angle for control data to be supplied to the turning shaft driving mechanism of the turning shaft B. FIG.
In addition to the correction data corresponding to the turning angle of the turning axis B, correction data corresponding to the turning angle of the work spindle C and correction data corresponding to the rotation angle of the tool spindle A may also be generated in the same manner.

変形例3において、比較部/補正データ作成部33は、校正処理の際に、旋回角度Θごとに、位置情報算出部31によって算出された三次元的な位置と、加工痕形状データ取得部32によって算出された三次元的な位置とを比較し、両者の間で相違する相違情報(Δθ)を取得する。比較部/補正データ作成部33はさらに、相違情報(Δθ)に基づき、旋回角度Θを引数とする補正データ(-Δθ(Θ))を作成する。 In modification 3, the comparison unit/correction data creation unit 33 determines the three-dimensional position calculated by the position information calculation unit 31 and the machining mark shape data acquisition unit 32 for each turning angle Θ during the calibration process. is compared with the three-dimensional position calculated by , and difference information (Δθ) between the two is acquired. The comparison unit/correction data creation unit 33 further creates correction data (-Δθ(Θ)) with the turning angle Θ as an argument based on the difference information (Δθ).

変形例3において、5軸NCデータ生成部34は、製品用の加工を行う場合において、生成した5軸の制御量のうちの旋回軸駆動機構70へ出力する制御量を、補正データ(-Δθ(Θ))によって補正する。 In Modified Example 3, the 5-axis NC data generator 34 converts the control amount to be output to the turning axis drive mechanism 70 out of the generated 5-axis control amounts into the correction data (-Δθ (Θ)).

(変形例4)
上記実施の形態においては、校正用の加工として2つの加工痕101および102を形成するようにしたが、3つ以上の加工をおこなってもよい。すなわち、設定角度をθ1にセットして加工する加工痕101と、設定角度をθ2にセットして加工する加工痕102とに加えて、設定角度をθ3にセットして加工する加工痕を形成する。
なお、複数の加工痕は、完全に分離していなくてもよく、形状測定ユニット20によって、各加工痕を分離して三次元形状を測定できる位置関係にあればよい。
(Modification 4)
In the above embodiment, two processing traces 101 and 102 are formed as processing for calibration, but three or more processing may be performed. That is, in addition to the machining trace 101 processed with the set angle set to θ1 and the machining trace 102 processed with the set angle set to θ2, the processing trace set to the set angle θ3 is formed. .
It should be noted that the plurality of working marks need not be completely separated, and it is sufficient if they are in a positional relationship that allows the shape measuring unit 20 to separate each working mark and measure the three-dimensional shape.

(変形例5)
形状測定ユニット20は、工具取付け部6の工具取付位置に、工具の代わりに脱着可能に取り付けるものでもよい。
(Modification 5)
The shape measuring unit 20 may be detachably attached to the tool attachment position of the tool attachment portion 6 instead of the tool.

(変形例6)
形状測定ユニット20は、工具取付け部6ではなく刃物台5の外装部に取り付けられていてもよい。この場合、旋回軸Bにより可動する側に形状測定ユニット20が取り付けられていないので、旋回軸Bの回動による測定位置のズレで生ずる測定誤差を生じさせなくすることができる。
(Modification 6)
The shape measuring unit 20 may be attached to the exterior part of the tool rest 5 instead of the tool attachment part 6 . In this case, since the shape measuring unit 20 is not attached to the side that is movable by the turning shaft B, it is possible to prevent the occurrence of measurement errors caused by the displacement of the measurement position due to the rotation of the turning shaft B.

(変形例7)
なお、被加工物を所定の目的の形状創生のために行う加工前に形成される複数の加工痕の全てを、同一の加工装置で形成するものに限定するものではない。共通の加工ワークに一つは加工装置Aで加工痕を形成し、他方は加工装置Bで加工痕を形成することで、加工装置Aと加工装置Bの加工位置の偏差量を求めることができる。具体的には以下の工程で補正を行う。
最初に被加工物と第1の工具との相対的な位置を変更する第1の位置変更部と第1の位置変更部を制御する第1の制御部を有した第1の加工装置により、前記被加工物に少なくとも一つの加工痕を形成する。次に、同じ被加工物と第2の工具との相対的な位置を変更する第2の位置変更部と前記第2の位置変更部を制御する第2の制御部を有した第2の加工装置により前記被加工物に、第1の加工装置で形成した加工痕の近傍に、さらに少なくとも一つの第2の加工痕を形成する。第1の加工装置で形成された少なくとも一つの加工痕と第2の加工装置で形成された少なくとも一つの第2の加工痕の相対位置関係と、前記第1の制御部が指示する加工形状と前記第2の制御部が指示する加工形状との相対位置関係との差に基づいて、前記第1または第2の位置変更部のいずれか一方へ出力される制御値を補正する。このようにその複数の加工痕の相対位置関係と、前記制御部が指示する加工形状の相対位置関係との差に基づいて、加工装置Aまたは加工装置Bの少なくとも一方の前記位置変更部へ出力される制御値を補正するようにしてもよい。
なお、その際は加工装置Aと加工装置Bとは共通の載置台を利用することが好ましい。これにより、加工装置Aと加工装置B間とで加工痕を形成するワークを置きなおすことによる位置ズレ量が位置変更部に出力される制御値に影響を及ぼしにくくなる。
(Modification 7)
It should be noted that all of the plurality of machining marks formed before machining the workpiece to create a desired shape are not limited to being formed by the same machining apparatus. By forming machining marks on one of the common workpieces with the machining apparatus A and forming machining marks on the other with the machining apparatus B, the amount of deviation between the machining positions of the machining apparatuses A and B can be obtained. . Specifically, correction is performed in the following steps.
A first processing apparatus having a first position changing unit that initially changes the relative position between the workpiece and the first tool and a first control unit that controls the first position changing unit, At least one machining mark is formed on the workpiece. Next, a second machining having a second position changing section for changing the relative position between the same workpiece and a second tool and a second control section for controlling the second position changing section The device forms at least one second processing mark on the workpiece in the vicinity of the processing mark formed by the first processing device. A relative positional relationship between at least one processing mark formed by a first processing device and at least one second processing mark formed by a second processing device, and a processing shape instructed by the first control unit. The control value output to either the first or second position changing section is corrected based on the difference from the relative positional relationship with the machining shape instructed by the second control section. In this way, based on the difference between the relative positional relationship of the plurality of machining marks and the relative positional relationship of the machining shape instructed by the control part, output to the position changing part of at least one of machining device A or machining device B You may make it correct|amend the control value used.
In this case, it is preferable that the processing apparatus A and the processing apparatus B use a common mounting table. As a result, the amount of positional deviation due to the repositioning of the workpiece forming the machining marks between the machining apparatus A and the machining apparatus B is less likely to affect the control value output to the position changing unit.

(変形例8)
本発明で使用する加工装置は、形状測定ユニット20が着脱式であってもよい。その際、加工痕を形成する際には、必ず形状測定ユニット20が取り付けられた状態でなくともよい。少なくとも加工痕の一方を形成する加工装置に、複数の加工痕を測定する際に、取り付け可能な形状測定ユニットであれば良い。
(Modification 8)
In the processing apparatus used in the present invention, the shape measuring unit 20 may be detachable. At that time, the shape measuring unit 20 does not necessarily have to be attached when forming the processing marks. Any shape measuring unit may be used as long as it can be attached to a processing apparatus that forms at least one of the processing marks when measuring a plurality of processing marks.

(変形例9)
上述した説明では、補正データ記憶部35から読み出された補正データ(-Δx(Θ),-Δy(Θ),-Δz(Θ))の活用例として、加工装置1におけるNCデータの補正に用いる場合を説明した。補正データを基にした相違情報(Δx,Δy,Δz)が、目標とする加工形状と、実際に加工した加工痕の形状とのずれであることを鑑みると、上記補正データを以下の用途に用いることもできる。
(Modification 9)
In the above explanation, as an example of utilization of the correction data (-Δx(Θ), -Δy(Θ), -Δz(Θ)) read out from the compensation data storage section 35, the correction of the NC data in the processing apparatus 1 is performed. The case of using is explained. Considering that the difference information (Δx, Δy, Δz) based on the correction data is the difference between the target machining shape and the shape of the machining marks actually machined, the above correction data can be used for the following purposes. can also be used.

1.加工指示図
加工指示図を出力するときに、上記補正データを考慮した加工指示図を出力する。
2.設計図
設計図を作成するときに、上記補正データを製造誤差の出方情報として用いる。
1. Machining instruction diagram When outputting the machining instruction diagram, the processing instruction diagram is output in consideration of the above correction data.
2. Design Drawing When creating a design drawing, the above correction data is used as information on how manufacturing errors appear.

3.製品の面の許容差を、上記補正データで表す。
一般に、製品の面は、当該製品の基準面からの寸法に基づいて表されることが多い。しかしながら、基準面からの寸法よりも、製品の面の形状そのものの許容差を表したい場合がある。そこで、加工装置1の旋回軸B周りの旋回角度ごとに算出した上記補正データを、加工装置1で形成される形状の許容差として用いる。
3. The tolerance of the surface of the product is represented by the above correction data.
In general, the surface of a product is often expressed based on the dimension from the reference surface of the product. However, there are cases where it is desired to express the tolerance of the shape of the surface of the product rather than the dimension from the reference surface. Therefore, the correction data calculated for each turning angle about the turning axis B of the processing device 1 is used as the tolerance of the shape formed by the processing device 1 .

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。実施形態および変形例で示された各構成を組み合わせて用いる態様も本発明の範囲内に含まれる。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。 Although various embodiments and modifications have been described above, the present invention is not limited to these contents. A mode in which each configuration shown in the embodiment and modified examples is used in combination is also included within the scope of the present invention. Other aspects conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included in the scope of the present invention.

1…加工装置
5…刃物台
6…工具取り付け部
7…工具
11…X軸駆動機構
13…Z軸駆動機構
20…形状測定ユニット
50…Y軸駆動機構
70…旋回軸駆動機構
101、102…加工痕
θ1、θ2…旋回角の設定角度
A…工具主軸
B…旋回軸
C…ワーク主軸
W…ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Processing device 5... Tool post 6... Tool mounting part 7... Tool 11... X-axis drive mechanism 13... Z-axis drive mechanism 20... Shape measurement unit 50... Y-axis drive mechanism 70... Rotating axis drive mechanism 101, 102... Machining Marks θ1, θ2 Swivel angle setting A Tool spindle B Swivel axis C Work spindle W Work

Claims (15)

取り付けられた工具によって被加工物を加工位置で加工する加工部であって、前記被加工物に対して少なくとも5つの自由度で相対移動可能な加工部と、
前記工具の取り付け位置とは異なる位置から前記被加工物の形状または位置を測定する測定部と、
前記加工部と前記測定部とを制御して、前記被加工物の加工を行う加工制御部と、を有し、
前記測定部は、前記被加工物と前記加工部との相対角度が異なる状態で前記工具によって加工された少なくとも2つの加工痕の位置と形状を測定し、
前記加工制御部は、前記測定の結果から得られた前記相対角度と前記加工位置との関係に基づいて前記加工部を制御する、加工装置。
a working portion for machining a work piece at a working position with a mounted tool, the working portion being movable relative to the work piece in at least five degrees of freedom;
a measuring unit that measures the shape or position of the workpiece from a position different from the mounting position of the tool ;
a processing control unit that controls the processing unit and the measurement unit to process the workpiece;
The measuring unit measures the positions and shapes of at least two machining marks machined by the tool under different relative angles between the workpiece and the machining unit,
The processing device, wherein the processing control unit controls the processing unit based on a relationship between the relative angle obtained from the measurement result and the processing position.
前記加工部と前記被加工物とを、互いに直交する3方向に、相対的に並進駆動する並進駆動部と、
前記3方向の少なくとも2方向の周りに、相対的に旋回駆動する旋回駆動部と、
を備える、
請求項1に記載の加工装置。
a translation drive unit that relatively drives the processing unit and the workpiece in three mutually orthogonal directions;
a turning drive unit that relatively drives to turn around at least two of the three directions;
comprising
The processing apparatus according to claim 1.
前記測定部は、前記加工部と共に移動および旋回し、前記旋回駆動部を固定した状態で、前記並進駆動を行い前記被加工物の測定を実行する、
請求項2に記載の加工装置。
The measurement unit moves and rotates together with the processing unit, and performs the translational drive to measure the workpiece while the rotation driving unit is fixed.
The processing apparatus according to claim 2.
前記測定部は、前記被加工物の三次元形状を測定する光切断センサーを含む、
請求項1から3のいずれか一項に記載の加工装置。
The measurement unit includes a light cutting sensor that measures the three-dimensional shape of the workpiece,
The processing apparatus according to any one of claims 1 to 3.
前記測定部は、所定のパターンの光を前記被加工物に向けて投影し前記被加工物に投影されたパターンを撮影することにより前記被加工物の三次元形状を測定する三次元形状測定部を含む、
請求項1から4のいずれか一項に記載の加工装置。
The measurement unit measures the three-dimensional shape of the workpiece by projecting a predetermined pattern of light onto the workpiece and photographing the pattern projected onto the workpiece. including,
The processing apparatus according to any one of claims 1 to 4.
前記加工部は、前記被加工物の製品製造のための加工に先立って、校正用の加工を行う、
請求項1から5のいずれか一項に記載の加工装置。
The processing unit performs calibration processing prior to processing the workpiece for product manufacturing,
The processing apparatus according to any one of claims 1 to 5.
前記加工部は、前記被加工物と前記加工部の相対角度を第1角度に設定して行う第1加工と、前記被加工物と前記加工部の相対角度を第2角度に設定して行う第2加工とを含む前記校正用の加工を行い、
前記測定部は、前記第1加工と前記第2加工とによって前記被加工物に形成された前記加工痕の形状または位置を測定し、
前記加工制御部は、前記関係に基づいて、前記被加工物の製品製造のための加工を制御する、
請求項6に記載の加工装置。
The processing unit performs first processing by setting a relative angle between the workpiece and the processing unit to a first angle and performing by setting a relative angle between the workpiece and the processing unit to a second angle. Perform the calibration processing including the second processing,
The measurement unit measures the shape or position of the machining marks formed on the workpiece by the first machining and the second machining,
The processing control unit controls processing of the workpiece for product manufacturing based on the relationship.
The processing apparatus according to claim 6.
前記第1角度と前記第2角度とのいずれか大きい角度は、前記校正用の加工に引き続いて行われる前記製品製造のための加工を行う際の前記相対角度よりも大きい、
請求項7に記載の加工装置。
The larger one of the first angle and the second angle is larger than the relative angle when performing the processing for manufacturing the product subsequent to the processing for calibration,
The processing apparatus according to claim 7.
前記被加工物は、前記校正用の加工を行う校正用加工領域、および、前記製品製造のための加工を行う製品用加工領域を含む、
請求項6から8のいずれか一項に記載の加工装置。
The workpiece includes a calibration processing area for performing the calibration processing, and a product processing area for performing the processing for manufacturing the product,
The processing apparatus according to any one of claims 6 to 8.
前記被加工物の校正用加工領域は、前記製品用加工領域と一体的に形成される、
請求項9に記載の加工装置。
The calibration processing area of the workpiece is integrally formed with the product processing area,
The processing apparatus according to claim 9.
前記被加工物の前記校正用加工領域は、前記製品用加工領域の加工の際に削り取られる、
請求項9または10に記載の加工装置。
The calibration processing area of the workpiece is scraped off during processing of the product processing area.
The processing apparatus according to claim 9 or 10.
前記加工部は工具を取り外し可能に取り付ける工具取り付け部を含む、
請求項6から11のいずれか一項に記載の加工装置。
The processing unit includes a tool mounting unit for detachably mounting a tool,
The processing device according to any one of claims 6 to 11.
前記加工部は使用する工具を取り外し交換可能であり、
前記校正用の加工は、前記工具の交換に応じて行われる、
請求項6から12のいずれか一項に記載の加工装置。
The tool used in the processing unit can be removed and replaced,
The calibration processing is performed according to replacement of the tool,
The processing device according to any one of claims 6 to 12.
取り付けられた工具によって被加工物を加工位置で加工する加工部と、前記加工部の工具の取り付け位置とは異なる位置から前記被加工物の形状または位置を測定する測定部とを備える加工装置を用いて被加工物を加工する方法であって、
前記被加工物と、前記被加工物を加工位置で加工する前記加工部との相対角度とを変えて、前記被加工物に少なくとも2つの加工痕を形成することと、
前記少なくとも2つの加工痕の位置および形状を前記測定部で測定することと、
前記測定した結果から得られた前記相対角度と前記加工位置との関係に基づいて前記被加工物を加工することと、
を含む加工方法。
A processing apparatus comprising: a processing unit that processes a workpiece at a processing position with an attached tool; and a measuring unit that measures the shape or position of the workpiece from a position different from the attachment position of the tool in the processing unit. A method of processing a workpiece using
forming at least two machining marks on the workpiece by changing a relative angle between the workpiece and the machining unit that processes the workpiece at a machining position;
measuring the positions and shapes of the at least two machining marks with the measuring unit ;
machining the workpiece based on the relationship between the relative angle and the machining position obtained from the measurement result;
Processing method including.
取り付けられた工具によって被加工物を加工位置で加工する加工部と、前記加工部の工具の取り付け位置とは異なる位置から前記被加工物の形状または位置を測定する測定部とを備える加工装置を用いて被加工物を加工する方法であって、
前記加工部によって被加工物を加工することと、
前記加工部の前記被加工物に対する位置を校正することと、を含み、
前記校正することは、
被加工物と、前記被加工物を加工位置で加工する加工部との相対角度とを変えて、前記被加工物に少なくとも2つの加工痕を形成することと、
前記少なくとも2つの加工痕の位置および形状を前記測定部で測定することと、
前記測定した結果から得られた前記相対角度と前記加工位置との関係に基づいて、前記相対角度および前記加工位置の少なくとも一方を校正することと、
を含む加工方法。
A processing apparatus comprising: a processing unit that processes a workpiece at a processing position with an attached tool; and a measuring unit that measures the shape or position of the workpiece from a position different from the attachment position of the tool in the processing unit. A method of processing a workpiece using
processing a workpiece by the processing unit;
calibrating the position of the working portion relative to the workpiece;
The calibrating includes:
forming at least two machining traces on the workpiece by changing a relative angle between the workpiece and a machining unit for machining the workpiece at the machining position;
measuring the positions and shapes of the at least two machining marks with the measuring unit ;
calibrating at least one of the relative angle and the processing position based on the relationship between the relative angle and the processing position obtained from the measurement result;
Processing method including.
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