JP7185141B2 - フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 - Google Patents
フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7185141B2 JP7185141B2 JP2019084556A JP2019084556A JP7185141B2 JP 7185141 B2 JP7185141 B2 JP 7185141B2 JP 2019084556 A JP2019084556 A JP 2019084556A JP 2019084556 A JP2019084556 A JP 2019084556A JP 7185141 B2 JP7185141 B2 JP 7185141B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- flexible device
- gate electrode
- extended gate
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 claims description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 22
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 20
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 18
- 210000002569 neuron Anatomy 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 8
- 239000006285 cell suspension Substances 0.000 claims description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 6
- GLNADSQYFUSGOU-GPTZEZBUSA-J Trypan blue Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].C1=C(S([O-])(=O)=O)C=C2C=C(S([O-])(=O)=O)C(/N=N/C3=CC=C(C=C3C)C=3C=C(C(=CC=3)\N=N\C=3C(=CC4=CC(=CC(N)=C4C=3O)S([O-])(=O)=O)S([O-])(=O)=O)C)=C(O)C2=C1N GLNADSQYFUSGOU-GPTZEZBUSA-J 0.000 claims description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 3
- LOKCTEFSRHRXRJ-UHFFFAOYSA-I dipotassium trisodium dihydrogen phosphate hydrogen phosphate dichloride Chemical compound P(=O)(O)(O)[O-].[K+].P(=O)(O)([O-])[O-].[Na+].[Na+].[Cl-].[K+].[Cl-].[Na+] LOKCTEFSRHRXRJ-UHFFFAOYSA-I 0.000 claims description 3
- 230000023362 neuron cell-cell adhesion Effects 0.000 claims description 3
- 239000002953 phosphate buffered saline Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 14
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 12
- -1 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 9
- 210000005013 brain tissue Anatomy 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- IXPNQXFRVYWDDI-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-2,4-dioxo-1,3-diazinane-5-carboximidamide Chemical compound CN1CC(C(N)=N)C(=O)NC1=O IXPNQXFRVYWDDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 101710109637 Antigen 43 Proteins 0.000 description 5
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 5
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 5
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 5
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 239000000661 sodium alginate Substances 0.000 description 5
- 235000010413 sodium alginate Nutrition 0.000 description 5
- 229940005550 sodium alginate Drugs 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 108091023037 Aptamer Proteins 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920005569 poly(vinylidene fluoride-co-hexafluoropropylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229920003026 Acene Polymers 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102000012547 Olfactory receptors Human genes 0.000 description 1
- 108050002069 Olfactory receptors Proteins 0.000 description 1
- URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N Para-Xylene Chemical group CC1=CC=C(C)C=C1 URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Natural products C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPNMHHNXCILFEF-UHFFFAOYSA-N [F].[Sn]=O Chemical compound [F].[Sn]=O NPNMHHNXCILFEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRESCJAINPKJTO-UHFFFAOYSA-N bis(trifluoromethylsulfonyl)azanide;1-ethyl-3-methylimidazol-3-ium Chemical compound CCN1C=C[N+](C)=C1.FC(F)(F)S(=O)(=O)[N-]S(=O)(=O)C(F)(F)F LRESCJAINPKJTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKNRELLLVOYIIB-UHFFFAOYSA-N bis(trifluoromethylsulfonyl)azanide;1-methyl-1-propylpyrrolidin-1-ium Chemical compound CCC[N+]1(C)CCCC1.FC(F)(F)S(=O)(=O)[N-]S(=O)(=O)C(F)(F)F DKNRELLLVOYIIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NFLGAVZONHCOQE-UHFFFAOYSA-N bis(trifluoromethylsulfonyl)azanide;trimethyl(propyl)azanium Chemical compound CCC[N+](C)(C)C.FC(F)(F)S(=O)(=O)[N-]S(=O)(=O)C(F)(F)F NFLGAVZONHCOQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- PXEDJBXQKAGXNJ-QTNFYWBSSA-L disodium L-glutamate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)[C@@H](N)CCC([O-])=O PXEDJBXQKAGXNJ-QTNFYWBSSA-L 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 108010025899 gelatin film Proteins 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 235000013923 monosodium glutamate Nutrition 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920002805 poly(2,2'-bithiophene-5,5'-diyl) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000015 polydiacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 229940073490 sodium glutamate Drugs 0.000 description 1
- 125000001889 triflyl group Chemical group FC(F)(F)S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 229920005609 vinylidenefluoride/hexafluoropropylene copolymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
- A61B5/6846—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive
- A61B5/6867—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be brought in contact with an internal body part, i.e. invasive specially adapted to be attached or implanted in a specific body part
- A61B5/6868—Brain
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
- A61B5/25—Bioelectric electrodes therefor
- A61B5/263—Bioelectric electrodes therefor characterised by the electrode materials
- A61B5/266—Bioelectric electrodes therefor characterised by the electrode materials containing electrolytes, conductive gels or pastes
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
- A61B5/25—Bioelectric electrodes therefor
- A61B5/279—Bioelectric electrodes therefor specially adapted for particular uses
- A61B5/291—Bioelectric electrodes therefor specially adapted for particular uses for electroencephalography [EEG]
- A61B5/293—Invasive
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/80—Constructional details
- H10K10/82—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
- H10K77/111—Flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/20—Carbon compounds, e.g. carbon nanotubes or fullerenes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/761—Biomolecules or bio-macromolecules, e.g. proteins, chlorophyl, lipids or enzymes
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/12—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements
- A61B2562/125—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements characterised by the manufacture of electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/468—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the gate dielectrics
- H10K10/471—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the gate dielectrics the gate dielectric comprising only organic materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/481—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the gate conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/80—Constructional details
- H10K10/88—Passivation; Containers; Encapsulations
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Neurology (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
Description
また、本発明の一の態様である電極において、前記延長ゲート電極が、sp2混成軌道を形成している炭素原子を含む炭素材料薄膜である構成としてもよい。
さらに、本発明の一の態様である電極において、前記延長ゲート電極が、グラフェン膜である構成としてもよい。
またさらに、本発明の一の態様である電極において、前記延長ゲート電極は、波長300nm以上4μm以下の範囲内の光の透過率が70%以上である構成としてもよい。
さらにまた、本発明の一の態様である電極において、前記延長ゲート電極は、下記の方法により測定される神経細胞の付着率が50%以上である構成としてもよい。
(神経細胞の付着率の測定方法)
神経細胞懸濁液1mLを前記延長ゲート電極上に滴下し、温度37℃、相対湿度100%に調節した恒温槽内で24時間静置する。静置後、ガラス基板上の神経細胞懸濁液を除去して、リン酸緩衝生理食塩水を追加する。次いで、ガラス基板の細胞を、トリパンブルーを染色し、神経細胞の生細胞と死細胞の数を計測し、全細胞数に対する生細胞の割合を、神経細胞の付着率として算出する。
以下、本発明の一実施形態であるフレキシブルデバイスについて説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るフレキシブルデバイスの平面図であり、図2は、図1のII-II線断面図である。
絶縁基板2の厚さは通常、1μm以上3μm以下の範囲内である。
ソース電極3およびドレイン電極4の厚さは通常、10nm以上1μm以下の範囲内である。
ソース電極端子3aおよびドレイン電極端子4aの厚さは通常、10nm以上500nm以下の範囲内である。
(神経細胞の付着率の測定方法)
神経細胞懸濁液1mLを前記延長ゲート電極上に滴下し、温度37℃、相対湿度100%に調節した恒温槽内で24時間静置する。静置後、ガラス基板上の神経細胞懸濁液を除去して、リン酸緩衝生理食塩水を追加する。次いで、ガラス基板の細胞を、トリパンブルーを染色し、神経細胞の生細胞と死細胞の数を計測し、全細胞数に対する生細胞の割合を、神経細胞の付着率として算出する。
このような生体適合性と光透過性とを有する延長ゲート電極5を用いることによって、生体組織の電気的な測定と生体組織に対する光学的な観察あるいは光照射とを同時に行うことができる。
有機半導体薄膜は、FETのチャネルとして広く利用されているシリコン薄膜などの無機薄膜と比較して生産性に優れ、種類が豊富かつ、柔軟で可撓性が高い。このため、任意のチャネル6(有機半導体薄膜)を絶縁基板2上に簡単に作製できる。
イオン液体は、アニオンとカチオンが対になった液体である。イオン液体としては、例えば、N,N,N-トリメチル-N-プロピルアンモニウムビス(トリフルオロメチルスルホニル)イミド(DEME+/TFSI-)、N-メチル-N-プロピルピロリジニウムビス(トリフルオロメチルスルホニル)イミド(P13+/TFSI-)、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメチルスルホニル)イミド(EMIM+/TFSI-)、1-エチル-3-メチルイミダゾリウムテトラフルオロボラート(EMIM+/BF4 -)を用いることができるが、イオン液体を成すカチオンの側鎖長及びアニオン種と有機溶媒や水との混和性に注意してイオン液体を選ぶことが好ましい。例えば、有機溶媒との混和性を重視するなら、十分に有機溶媒に溶けるほどカチオンの側鎖が長く、アニオンに(トリフルオロメチルスルホニル)イミド(TFSI-)やPF6 -が含まれていることが好ましい。一方、水との混和性を重視するなら、カチオンの側鎖は十分水と混和するほど短く、アニオンはCl-やCF3COO-を含んでいることが好ましい。通常、有機FETの駆動電圧と電荷移動度はトレードオフの関係にあるが、高い電荷移動度を示すとされるP13+/TFSI-でさえ0.2V以下の低駆動電圧を示すので、イオン液体またはイオンゲルをゲート誘電体として用いる場合、たいていの有機FETはバイオセンサーとして十分な感度で機能する。
また、本実施形態のフレキシブルデバイス1では、ゲート誘電体7を被覆する保護層8が設けられているが、ゲート誘電体7を構成するイオン液体もしくはイオンゲルが高粘度で流出しにくい場合は、保護層8は設けなくてもよい。さらに、本実施形態のフレキシブルデバイス1では、延長ゲート電極5の先端部5aは幅が広くなっているが、先端部5aの幅に特に制限はなく、電気信号の計測に支障がなければ、先端部5aの幅を広くする必要はなく、先端部5aの幅を他の部分よりも狭くしてもよい。
固体基板11は、フレキシブルデバイスを製造する際の基板である。固体基板11は、表面が平坦な基板であり、通常の半導体プロセスで利用されている基板を用いることができる。固体基板11の材料としては、特に制限はなく、ガラス、シリコン、プラスチックを用いることができる。固体基板11の厚さは、0.3mm以上1mm以下の範囲内にあることが好ましい。
犠牲層12の膜厚は通常、10nm以上200nm以下の範囲内である。
マスク16を形成した後、ネガ型レジスト層15の表面に露光・現像処理して、マスク16で覆われていないネガ型レジスト層15を除去した後、マスク16を除去する。これによって図4に示すように、所定パターンのネガ型レジスト層15a、15b、15cが形成される。
図10に示す使用状態では、3個のフレキシブルデバイス1を用いて、脳組織31の電気的な測定と脳組織31の光学的な観察を行う。3個のフレキシブルデバイス1の延長ゲート電極5の先端部5aは、それぞれ脳組織31に接続している。各フレキシブルデバイス1はドレイン電圧が一定とされ、脳組織31からの電圧変化をゲート電圧の変化として延長ゲート電極5の先端部5aが感知することによって、ゲート電圧の変化に追随してドレイン電流が変化する。このドレイン電流を計測することによって、脳組織31の電気信号の変化を測定する。なお、図10に示すように、ソース電極3およびドレイン電極4とチャネル6は生体内組織に接しない位置に配置することが好ましい。
図11に示す使用状態では、1個のフレキシブルデバイス1を用いて、延長ゲート電極5の先端部5aに固定されている抗体41と試料42中の抗原43との抗原抗体反応を、電気的な測定と光学的な観察により解析する。なお、抗原43は、予め蛍光体(標識)が結合されている。フレキシブルデバイス1の延長ゲート電極5の先端部5aは、抗原43に対して親和性を有する抗体41が固定されている。延長ゲート電極5に一定の電圧を印加して、延長ゲート電極5の先端部5aに試料42を滴下する。必要なら参照電極44(通常は銀/塩化銀電極)を試料42に入れる。抗体抗原反応が起きて抗原43が抗体41に結合すると、延長ゲート電極5と試料42の界面電位変化によりドレイン電流が変化する。このドレイン電流の計測と、抗原43に結合されている蛍光体の蛍光観察により、電気信号と光という二種類の情報から抗原抗体反応が解析可能になる。なお、検出目的の抗原と選択的に結合するアプタマーがあれば、抗体の代わりにそれを用いてもよい。
Claims (7)
- 絶縁基板と、前記絶縁基板の表面に互いに間隔を空けて形成されたソース電極、ドレイン電極および延長ゲート電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間隔に配置されたチャネルと、前記チャネルの全体と前記延長ゲート電極の一部を覆うように形成されたゲート誘電体と、を有し、
前記絶縁基板は、光透過性を有する可撓性薄膜であり、
前記延長ゲート電極は、生体適合性と光透過性とを有する炭素材料薄膜であって、
前記チャネルは、有機半導体薄膜であり、
前記ゲート誘電体は、イオン液体もしくはイオンゲルであり、
前記延長ゲート電極の先端部は、特定の物質に選択的に結合する修飾がなされてい るフレキシブルデバイス。 - 前記絶縁基板は、波長300nm以上4μm以下の範囲内の光の透過率が70%以上である請求項1に記載のフレキシブルデバイス。
- 前記延長ゲート電極が、sp2混成軌道を形成している炭素原子を含む炭素材料薄膜である請求項1または2に記載のフレキシブルデバイス。
- 前記延長ゲート電極が、グラフェン膜である請求項3に記載のフレキシブルデバイス。
- 前記延長ゲート電極は、波長300nm以上4μm以下の範囲内の光の透過率が70%以上である請求項1~4のいずれか一項に記載のフレキシブルデバイス。
- 前記延長ゲート電極は、下記の方法により測定される神経細胞の付着率が50%以上である請求項1~5のいずれか一項に記載のフレキシブルデバイス。
(神経細胞の付着率の測定方法)
神経細胞懸濁液1mLを前記延長ゲート電極上に滴下し、温度37℃、相対湿度100%に調節した恒温槽内で24時間静置する。静置後、ガラス基板上の神経細胞懸濁液を除去して、リン酸緩衝生理食塩水を追加する。次いで、ガラス基板の細胞を、トリパンブルーを染色し、神経細胞の生細胞と死細胞の数を計測し、全細胞数に対する生細胞の割合を、神経細胞の付着率として算出する。 - 請求項1~6のいずれか一項に記載のフレキシブルデバイスの製造方法であって、
光透過性を有する可撓性薄膜と、前記可撓性薄膜の表面に積層された、生体適合性と光透過性とを有する炭素材料薄膜とを有する積層体を用意する工程と、
前記積層体の前記炭素材料薄膜の一部を除去することにより、ソース電極、ドレイン電極および延長ゲート電極を形成する工程と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間隔に有機半導体薄膜を形成する工程と、
前記有機半導体薄膜の全体と前記延長ゲート電極の一部を覆うようにイオン液体もしくはイオンゲルを塗布する工程と、を含むフレキシブルデバイスの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019084556A JP7185141B2 (ja) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 |
US17/605,789 US20220192601A1 (en) | 2019-04-25 | 2020-04-08 | Flexible device, method for producing flexible device |
PCT/JP2020/015833 WO2020217996A1 (ja) | 2019-04-25 | 2020-04-08 | フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019084556A JP7185141B2 (ja) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020181909A JP2020181909A (ja) | 2020-11-05 |
JP7185141B2 true JP7185141B2 (ja) | 2022-12-07 |
Family
ID=72941916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019084556A Active JP7185141B2 (ja) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220192601A1 (ja) |
JP (1) | JP7185141B2 (ja) |
WO (1) | WO2020217996A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4009045A1 (en) * | 2020-12-02 | 2022-06-08 | Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) | Extended-gate field-effect transistor with aptamer functionalisation layer for measuring hormone concentration in biofluids and corresponding fabrication method |
CN113155326A (zh) * | 2021-03-09 | 2021-07-23 | 河北工业大学 | 一种柔性自支撑纤维编织型触觉传感器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080191200A1 (en) | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Regents Of The University Of Minnesota | Ion gels and electronic devices utilizing ion gels |
JP2017508958A (ja) | 2014-02-17 | 2017-03-30 | ノキア テクノロジーズ オーユー | 装置および関連する方法 |
US20170323945A1 (en) | 2014-10-21 | 2017-11-09 | Nokia Technologies Oy | A multilayer graphene composite |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180000712A (ko) * | 2017-12-20 | 2018-01-03 | 건국대학교 산학협력단 | 그래핀과 유기물이 접합된 양극성 트랜지스터 |
-
2019
- 2019-04-25 JP JP2019084556A patent/JP7185141B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-08 WO PCT/JP2020/015833 patent/WO2020217996A1/ja active Application Filing
- 2020-04-08 US US17/605,789 patent/US20220192601A1/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080191200A1 (en) | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Regents Of The University Of Minnesota | Ion gels and electronic devices utilizing ion gels |
JP2017508958A (ja) | 2014-02-17 | 2017-03-30 | ノキア テクノロジーズ オーユー | 装置および関連する方法 |
US20170323945A1 (en) | 2014-10-21 | 2017-11-09 | Nokia Technologies Oy | A multilayer graphene composite |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220192601A1 (en) | 2022-06-23 |
JP2020181909A (ja) | 2020-11-05 |
WO2020217996A1 (ja) | 2020-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Karimi-Maleh et al. | A critical review on the use of potentiometric based biosensors for biomarkers detection | |
Alam et al. | Polymers and organic materials-based pH sensors for healthcare applications | |
Bariya et al. | Roll-to-roll gravure printed electrochemical sensors for wearable and medical devices | |
Koklu et al. | Microfluidic integrated organic electrochemical transistor with a nanoporous membrane for amyloid-β detection | |
Forzani et al. | A conducting polymer nanojunction sensor for glucose detection | |
Deore et al. | Potential-induced enantioselective uptake of amino acid into molecularly imprinted overoxidized polypyrrole | |
Feng et al. | Low-fouling nanoporous conductive polymer-coated microelectrode for in vivo monitoring of dopamine in the rat brain | |
Chen et al. | Carbon fiber nanoelectrodes modified by single-walled carbon nanotubes | |
KR101896400B1 (ko) | 나노필라 어레이 전극을 기반으로 하는 플렉서블 pH 센서 및 이의 제조방법 | |
Pal et al. | Biosensing using photolithographically micropatterned electrodes of PEDOT: PSS on ITO substrates | |
Palit et al. | Ultrasensitive dopamine detection of indium-zinc oxide on PET flexible based extended-gate field-effect transistor | |
Demuru et al. | All-inkjet-printed graphene-gated organic electrochemical transistors on polymeric foil as highly sensitive enzymatic biosensors | |
CN114902039B (zh) | 用于检测样品中的分析物的装置及其使用方法 | |
EP2459997B1 (en) | Multi-electrode chemiresistor | |
EP3150714B1 (en) | Biosensor for sensing analytes in the sweat, and manufacturing method thereof | |
JP7185141B2 (ja) | フレキシブルデバイスおよびフレキシブルデバイスの製造方法 | |
Baraket et al. | Diazonium modified gold microelectrodes onto polyimide substrates for impedimetric cytokine detection with an integrated Ag/AgCl reference electrode | |
Li et al. | Ion‐selective organic electrochemical transistors: recent progress and challenges | |
Choi et al. | Precision pH sensor based on WO3 nanofiber-polymer composites and differential amplification | |
Nishitani et al. | Polymeric nanofilter biointerface for potentiometric small-biomolecule recognition | |
Zhang et al. | The electro-synthesized imprinted PEDOT film as a simple voltammetric sensor for highly sensitive and selective detection of vitamin K3 in poultry drug samples | |
Seo et al. | Broadband pH-sensing organic transistors with polymeric sensing layers featuring liquid crystal microdomains encapsulated by di-block copolymer chains | |
Field et al. | Robust fabrication of selective and reversible polymer coated carbon nanotube-based gas sensors | |
Yang et al. | Liquid-like polymer coating as a promising candidate for reducing electrode contamination and noise in complex biofluids | |
Zhang et al. | High-performance organic electrochemical transistor based on photo-annealed plasmonic gold nanoparticle-doped PEDOT: PSS |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7185141 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |