JP7144248B2 - Magnetic displacement detector that can reduce detection error - Google Patents

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本発明は、検出誤差を低減可能な磁気式変位検出器に関する。 The present invention relates to a magnetic displacement detector capable of reducing detection errors.

工作機械、鍛圧機械、射出成形機、産業機械、あるいはロボットには、工具やハンドなどの実際の位置を検出するために、工具及びハンドなどの軸(シャフト)や、工具やハンドに連結されたモータの軸(シャフト)の角度や位置を検出する磁気式変位検出器が取り付けられる。磁気式変位検出器には、回転軸の回転変位に関する情報(角度や角速度など)を取得する角度検出器や、リニアモータの軸などの直線変位に関する情報(位置や速度)を取得する直線位置検出器などがある。 In machine tools, forging machines, injection molding machines, industrial machines, or robots, there are shafts of tools and hands, and sensors connected to the tools and hands to detect the actual positions of the tools and hands. A magnetic displacement detector is attached to detect the angle and position of the motor shaft. Magnetic displacement detectors include an angle detector that acquires information (angle, angular velocity, etc.) related to the rotational displacement of a rotating shaft, and a linear position detector that acquires information (position and velocity) related to linear displacement of a linear motor shaft. There are utensils.

磁気式変位検出器では、モータや軸などの変位検出の対象となる物(以下、「対象物」と称する。)に固定された被検出体の磁束密度を検出体にて検知し、検知された磁束密度の変化に基づき、角度、角速度、位置、速度などの変位情報を得ている。モータや軸などの対象物への被検出体の取り付けには、例えばネジの締結による固定ややきばめによる固定などが用いられる。対象物の寸法誤差の影響を避けたい場合や対象物が大型でやきばめが困難な場合には、被検出体を心出しできるように、対象物と被検出体のそれぞれの軸端面上でネジ留めにより固定することが多い。また、軸の振れの影響を避けるために被検出体の磁束密度を複数の検出体にて検知する場合がある。 In a magnetic displacement detector, the magnetic flux density of a body to be detected that is fixed to an object (hereinafter referred to as the "object") whose displacement is to be detected, such as a motor or shaft, is detected by the detection body, and the detected Displacement information such as angle, angular velocity, position, and velocity is obtained based on the change in magnetic flux density. For attaching the detection object to the object such as the motor or the shaft, for example, fixation by tightening screws or fixation by shrinkage fitting is used. If you want to avoid the effects of dimensional errors on the object, or if the object is large and difficult to shrink fit, place a They are often fixed with screws. Further, in order to avoid the influence of shaft deflection, the magnetic flux density of the object to be detected may be detected by a plurality of detection objects.

例えば、モータロータと一体となってモータ中心軸線回りに回転する回転部と、この回転部の回転位置を検出する検出部と、前記モータロータの一方の軸端面から同心状態に延びているロータ中空部と、前記軸端面に対峙しているモータハウジングの部位から前記ロータ中空部の内部に突入しているブラケットとを有し、
前記回転部は、前記ロータ中空部の内部において前記モータロータに固定されており、
前記検出部は、前記ロータ中空部の内部において、前記回転部に対して、モータ半径方向に対峙する状態で、前記ブラケットに固定されており、
前記回転部は、円周方向に沿って多極着磁された円形外周面を備えたマグネットであり、
このマグネットは、前記ロータ中空部の内部において当該モータロータに同軸状態に固定されており、
前記検出部は、前記マグネットの円形外周面に対して一定の間隔で配置される複数個の磁気検出素子であり、
前記ロータ中空部は、前記軸端面の側の後側が大径中空部とされ、前側が小径中空部とされ、この小径中空部にはマグネット取り付け部材が圧入固定されており、このマグネット取り付け部材の後端面は前記大径中空部内に突入しており、この後端面に前記マグネットが固定されており、
前記ブラケットは、前記モータハウジングの後側端板に固定されている円環部材と、この円環部材の前側に同軸に固定され、前記ロータ中空部の前記大径中空部の内部に後側から突入している円筒部材と、この円筒部材の前側に同軸に固定された保持部材とを備え、この保持部材は、前方に開口していると共に前記マグネットを同軸状態で取り囲んでいる円筒部分を備えており、
当該円筒部分の内周面には、その円周方向に沿って、前記磁気検出素子が所定の角度間隔で取り付けられていることを特徴とするモータの回転位置検出装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
For example, a rotating part that rotates around the central axis of the motor together with the motor rotor, a detecting part that detects the rotational position of the rotating part, and a rotor hollow part that extends concentrically from one shaft end face of the motor rotor. and a bracket protruding into the rotor hollow portion from a portion of the motor housing facing the shaft end face,
The rotating part is fixed to the motor rotor inside the rotor hollow part,
The detection unit is fixed to the bracket in a state in which the detection unit is opposed to the rotation unit in the motor radial direction inside the rotor hollow portion,
The rotating part is a magnet having a circular outer peripheral surface that is multipolarized along the circumferential direction,
The magnet is coaxially fixed to the motor rotor inside the rotor hollow portion,
The detection unit is a plurality of magnetic detection elements arranged at regular intervals with respect to the circular outer peripheral surface of the magnet,
The rotor hollow portion has a large-diameter hollow portion on the rear side of the shaft end face side and a small-diameter hollow portion on the front side. The rear end face protrudes into the large-diameter hollow portion, and the magnet is fixed to the rear end face,
The bracket is coaxially fixed to an annular member fixed to the rear side end plate of the motor housing and to the front side of this annular member, and is installed inside the large-diameter hollow portion of the rotor hollow portion from the rear side. a projecting cylindrical member and a retaining member coaxially fixed to the front side of the cylindrical member, the retaining member having a forwardly open cylindrical portion coaxially surrounding the magnet. and
There is known a rotational position detector for a motor, characterized in that the magnetic detection elements are attached at predetermined angular intervals along the circumference of the inner peripheral surface of the cylindrical portion (for example, , see Patent Document 1).

例えば、モータと一体的に回転する回転軸に、回転角度情報を検出するための回転位置検出用マグネットと、上記モータの駆動用コイルへの通電位置を検出するための磁極位置検出用マグネットと、が固定された磁気式エンコーダ装置において、上記回転軸に固定された一つの回転基体に対して、前記位置検出用マグネットと磁極位置検出用マグネットとが、互いに磁極位置関係を位置合わせされた状態で一体化して取り付けられていることを特徴とする磁気式エンコーダ装置が知られている(例えば、特許文献2参照。)。 For example, a rotational position detection magnet for detecting rotation angle information, a magnetic pole position detection magnet for detecting the energized position of the drive coil of the motor, and is fixed, the position detecting magnet and the magnetic pole position detecting magnet are aligned with respect to one rotating base fixed to the rotating shaft in a magnetic pole positional relationship with each other A magnetic encoder device is known which is characterized by being mounted integrally (see, for example, Patent Document 2).

特許第4964303号公報Japanese Patent No. 4964303 特開2001-004405号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-004405

磁気式変位検出器では、モータや軸などの対象物に固定された被検出体の磁束密度の変化に基づき、角度、角速度、位置、あるいは速度などの変位情報を得る。対象物と被検出体とがネジ留めにより固定されると、被検出体のネジ留めによる固定部に応力がかかり、磁束密度に歪みが生じる。このため被検出体において、ネジ装着部分は、ネジ装着部分以外に比べて磁束密度の歪みが大きくなる。被検出体のネジ装着部分に生じる磁束密度の歪みは、磁気式変位検出器の検出精度に影響する。特に、軸の振れの影響を避けるために被検出体の磁束密度を複数の検出体にて検知する構成を有する磁気式変位検出器においては、複数の検出体により磁束密度の歪みが検知されるので、磁気式変位検出器の検出誤差がより大きなものとなる。したがって、対象物に留め具を介して固定された被検出体の磁束密度を検出体により検知して対象物の変位情報を得る磁気式変位検出器において、留め具による検出誤差への影響を低減する技術が望まれる。 A magnetic displacement detector obtains displacement information such as angle, angular velocity, position, or speed based on changes in the magnetic flux density of an object to be detected that is fixed to an object such as a motor or shaft. When the object and the object to be detected are fixed by screwing, stress is applied to the fixing part of the object to be detected by screwing, and the magnetic flux density is distorted. For this reason, in the object to be detected, the distortion of the magnetic flux density is greater in the screw-mounted portion than in the non-screw-mounted portion. Distortion of the magnetic flux density generated in the screw mounting portion of the object to be detected affects the detection accuracy of the magnetic displacement detector. In particular, in a magnetic displacement detector configured to detect the magnetic flux density of an object to be detected by a plurality of detection bodies in order to avoid the influence of shaft deflection, the distortion of the magnetic flux density is detected by the plurality of detection bodies. Therefore, the detection error of the magnetic displacement detector becomes larger. Therefore, in the magnetic displacement detector that obtains the displacement information of the object by detecting the magnetic flux density of the object to be detected that is fixed to the object via the fastener, the effect of the fastener on the detection error is reduced. A technology to

本開示の一態様によれば、対象物の変位を検出する磁気式変位検出器は、対象物に固定される被検出体と、被検出体の移動に伴う磁束密度の変化を検知して被検出体の位置に応じた信号を個々に出力する複数の検出体と、を備え、複数の検出体のそれぞれは、複数の検出体のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体における対象物との固定部でない領域が位置するように配置される。 According to one aspect of the present disclosure, a magnetic displacement detector that detects displacement of an object includes a detection object fixed to the object and a change in magnetic flux density caused by movement of the detection object. and a plurality of detection bodies that individually output signals corresponding to the positions of the detection bodies, and each of the plurality of detection bodies has a magnetic flux density detection range of at least one of the plurality of detection bodies. It is arranged so that the region of the detection body that is not fixed to the object is positioned.

また、本開示の一態様によれば、対象物の変位を検出する磁気式変位検出器は、対象物に固定される複数の被検出体であって、被検出体と対象物とは第1の留め具を介して固定され、被検出体それぞれの間は第2の留め具を介して固定される被検出体と、被検出体の移動に伴う磁束密度の変化を検知して被検出体の位置に応じた信号を個々に出力する複数の検出体と、を備え、複数の検出体のそれぞれは、複数の検出体のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体における対象物との固定部でない領域または被検出体における第1の留め具の装着部分を含む領域が位置するように配置される。 Further, according to one aspect of the present disclosure, the magnetic displacement detector that detects the displacement of the object is a plurality of detected objects fixed to the object, wherein the detected objects and the object are the first and a second fastener between each of the objects to be detected. and a plurality of detection bodies that individually output signals corresponding to the positions of the detection bodies, and each of the plurality of detection bodies is within the magnetic flux density detection range of at least one detection body among the plurality of detection bodies. A region that is not fixed to the object or a region that includes the mounting portion of the first fastener in the detected object is positioned.

本開示の一態様によれば、対象物に留め具を介して固定された被検出体の磁束密度を検出体により検知して対象物の変位情報を得る磁気式変位検出器において、留め具による検出誤差への影響を低減することができる。 According to one aspect of the present disclosure, in a magnetic displacement detector that obtains displacement information of an object by detecting the magnetic flux density of an object to be detected that is fixed to the object via a fastener, the fastener The influence on detection error can be reduced.

本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。1 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a first embodiment of the present disclosure; FIG. 本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器を示す図であって、(A)は被検出体と対象物との関係を示す分解斜視図であり、(B)は信号処理部を含む磁気式変位検出器の概略的な斜視図である。1 is a diagram showing a magnetic displacement detector according to a first embodiment of the present disclosure, where (A) is an exploded perspective view showing the relationship between an object to be detected and an object, and (B) is a signal processing unit; 1 is a schematic perspective view of a magnetic displacement detector including; FIG. 従来の磁気式変位検出器の概略図である。1 is a schematic diagram of a conventional magnetic displacement detector; FIG. 本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器において、3個の検出体が設けられる場合を例示する概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a case where three detection bodies are provided in the magnetic displacement detector according to the first embodiment of the present disclosure; 本開示の第2の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a second embodiment of the present disclosure; 本開示の第2の実施形態による磁気式変位検出器を示す図であって、(A)は被検出体と対象物との関係を示す分解斜視図であり、(B)は信号処理部を含む磁気式変位検出器の概略的な斜視図である。FIG. 10 is a diagram showing a magnetic displacement detector according to a second embodiment of the present disclosure, where (A) is an exploded perspective view showing the relationship between an object to be detected and an object, and (B) is a signal processing unit; 1 is a schematic perspective view of a magnetic displacement detector including; FIG. 本開示の第2の実施形態の検出体の配置の別の例を示す図であって、(A)は、概略図であり、(B)は斜視図である。FIG. 10A is a schematic diagram and FIG. 1B is a perspective view showing another example of the arrangement of the detection bodies according to the second embodiment of the present disclosure; 本開示の第3の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a third embodiment of the present disclosure; 本開示の第3の実施形態による磁気式変位検出器を示す図であって、(A)は被検出体と対象物との関係を示す分解斜視図であり、(B)は信号処理部を含む磁気式変位検出器の概略的な斜視図である。FIG. 10 is a diagram showing a magnetic displacement detector according to a third embodiment of the present disclosure, where (A) is an exploded perspective view showing the relationship between an object to be detected and an object, and (B) is a signal processing unit; 1 is a schematic perspective view of a magnetic displacement detector including; FIG. 本開示の第4の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a fourth embodiment of the present disclosure;

以下図面を参照して、検出誤差を低減可能な磁気式変位検出器について説明する。理解を容易にするために、これらの図面は縮尺を適宜変更している。図面に示される形態は実施するための一つの例であり、図示された実施形態に限定されるものではない。 A magnetic displacement detector capable of reducing detection errors will be described below with reference to the drawings. In order to facilitate understanding, the scales of these drawings are appropriately changed. The form shown in the drawings is an example of implementation and is not limited to the illustrated embodiment.

本開示の実施形態による磁気式変位検出器によって変位が検出される対象物の具体例としては、工作機械、鍛圧機械、射出成形機、産業機械、あるいはロボットなどにおける工具及びハンドなどの軸、モータの軸などがある。以下、磁気式変位検出器の実施形態についていくつか列記する。なお、以下の実施形態では、被検出体と対象物とを固定する留め具、及び被検出体どうしを固定する留め具として、例えばネジが用いられる。またあるいは、被検出体と対象物とを固定する留め具、及び被検出体どうしを固定する留め具として、ねじ以外の押え機構を有する留め具であってもよい。 Specific examples of objects whose displacement is detected by the magnetic displacement detector according to the embodiment of the present disclosure include machine tools, forging machines, injection molding machines, industrial machines, shafts of tools and hands such as robots, and motors. , etc. Some embodiments of the magnetic displacement detector are listed below. In the following embodiments, screws, for example, are used as fasteners for fixing the detected body and the object and as fasteners for fixing the detected bodies to each other. Alternatively, the fasteners for fixing the object to be detected and the object to be detected and the fasteners for fixing the objects to be detected may be fasteners having a pressing mechanism other than screws.

図1は、本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。また、図2は、本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器を示す図であって、(A)は被検出体と対象物との関係を示す分解斜視図であり、(B)は信号処理部を含む磁気式変位検出器の概略的な斜視図である。本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器1は、回転するモータや軸などの回転変位に関する情報を取得する角度検出器である。 1 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a first embodiment of the present disclosure; FIG. 2A and 2B are diagrams showing the magnetic displacement detector according to the first embodiment of the present disclosure, in which (A) is an exploded perspective view showing the relationship between an object to be detected and an object; ) is a schematic perspective view of a magnetic displacement detector including a signal processing unit. A magnetic displacement detector 1 according to the first embodiment of the present disclosure is an angle detector that acquires information about rotational displacement of a rotating motor, shaft, or the like.

対象物2の変位を検出する磁気式変位検出器1は、被検出体11と、複数の検出体12-1及び12-2と、信号処理部13とを備える。 A magnetic displacement detector 1 for detecting the displacement of an object 2 includes a detection object 11, a plurality of detection objects 12-1 and 12-2, and a signal processing section 13. FIG.

被検出体11は、対象物2に固定され、対象物2と一体的に移動する。被検出体11と対象物2とを固定するための留め具として、例えばネジ21がある。すなわち被検出体11は、ネジ21の締結により対象物2に固定される。図1では、被検出体11の軸端面(被検出体11の回転軸100の軸方向に向いた端面)を示している。なお、図2に示すように、被検出体11は、対象物2にネジ21を介して直接的に固定されているが、対象物2との間に何からの部材を挟んで対象物2にネジ21を介して間接的に固定されてもよい。 The object 11 to be detected is fixed to the object 2 and moves integrally with the object 2 . For example, a screw 21 is used as a fastener for fixing the object 11 to be detected and the object 2 . That is, the detected object 11 is fixed to the object 2 by fastening the screw 21 . FIG. 1 shows the axial end face of the detected body 11 (the end face facing the axial direction of the rotating shaft 100 of the detected body 11). As shown in FIG. 2, the object to be detected 11 is directly fixed to the object 2 via a screw 21. may be indirectly fixed via screws 21 to the .

被検出体11は、例えば円筒形状を有する磁気ドラムである。あるいは、被検出体11は、例えばセンサギアであってもよい。被検出体11の円筒形状の円周面には、歯車の歯部のような凹凸形状を有するトラック部41が設けられる。トラック部41は凹凸形状を有するので、後述する検出体12-1及び12-2により検出される磁束密度には、トラック部41の形状に応じた変化が生じる。 The object 11 to be detected is, for example, a magnetic drum having a cylindrical shape. Alternatively, the detected body 11 may be, for example, a sensor gear. A track portion 41 having an uneven shape like a tooth portion of a gear is provided on the cylindrical circumferential surface of the detection object 11 . Since the track portions 41 have an uneven shape, the magnetic flux densities detected by the detection bodies 12-1 and 12-2, which will be described later, vary according to the shape of the track portions 41. FIG.

被検出体11の円筒形状の軸端面には、ネジ孔31が設けられている。また、対象物2の回転軸100と被検出体11の回転軸100とが一致するように、対象物2の軸端面においては、被検出体11のネジ孔31の各々に対応する位置に、ネジ孔32が設けられる。ネジ21が被検出体11のネジ孔31と対象物2のネジ孔32とを貫通して締結されることにより、共通する回転軸100を有した状態で被検出体11と対象物2とを固定することができる。 A screw hole 31 is provided in the end surface of the cylindrical shaft of the object 11 to be detected. In addition, on the shaft end surface of the object 2, in positions corresponding to the respective screw holes 31 of the object 11, so that the rotation axis 100 of the object 2 and the rotation axis 100 of the object 11 are aligned. A screw hole 32 is provided. The screw 21 passes through the screw hole 31 of the detection object 11 and the screw hole 32 of the object 2 and is fastened, so that the detection object 11 and the object 2 are connected while having a common rotation axis 100 . can be fixed.

検出体12-1及び12-2は、被検出体11の回転に伴う磁束密度の変化を検知し、被検出体11の位置に応じた信号を個々に出力する。検出体12-1及び12-2は、被検出体11の円筒形状の円周面に対向して、周方向に沿って並設される。検出体12-1と検出体12-2とを結ぶ線が、被検出体11の円筒形状の直径方向に沿うように各検出体が配置される。なお、図1及び図2に示す実施形態では検出体の個数を一例として2個としたが、3以上の個数であってもよい。よって、ここで記載した「検出体12-1及び12-2」は「複数の検出体」と読み替えることができる。 The detection bodies 12-1 and 12-2 detect changes in the magnetic flux density accompanying the rotation of the detection body 11 and individually output signals corresponding to the position of the detection body 11. FIG. The detection bodies 12-1 and 12-2 are arranged side by side in the circumferential direction so as to face the cylindrical circumferential surface of the detection target body 11. As shown in FIG. The detection bodies are arranged such that a line connecting the detection bodies 12-1 and 12-2 is along the diameter direction of the cylindrical shape of the detection body 11. FIG. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the number of detection bodies is two as an example, but the number may be three or more. Therefore, the "detection bodies 12-1 and 12-2" described here can be read as "a plurality of detection bodies".

検出体12-1及び12-2の具体例としては、ホール素子のホール効果を用いて磁束密度を測定する磁気センサ、磁束密度によって抵抗値が変わる磁気抵抗素子を用いて磁束密度に対応した電圧を出力する磁気センサ、コイルの電磁誘導を用いた磁気センサ、などがある。検出体12-1及び12-2がいずれの形態の磁気センサで構成されるにしても、一般に磁気センサには、磁束密度が検出可能な範囲(「磁束密度検出範囲」と称する。)がある。磁気式変位検出器1においては、検出体12-1及び12-2の磁束密度検出範囲を考慮して、以下に説明するように検出体12-1及び12-2の配置位置並びに検出体11におけるネジ21の配置位置が決定される。 Specific examples of the detection bodies 12-1 and 12-2 include a magnetic sensor that measures the magnetic flux density using the Hall effect of a Hall element, and a magnetic resistance element that changes the resistance value depending on the magnetic flux density. There are magnetic sensors that output , magnetic sensors that use electromagnetic induction of coils, and the like. Regardless of which form of magnetic sensor the detection bodies 12-1 and 12-2 are composed of, the magnetic sensor generally has a range in which the magnetic flux density can be detected (referred to as a "magnetic flux density detection range"). . In the magnetic displacement detector 1, considering the magnetic flux density detection range of the detection bodies 12-1 and 12-2, the arrangement positions of the detection bodies 12-1 and 12-2 and the detection body 11 is determined.

検出体12-1及び12-2は、被検出体11(すなわち対象物2)の回転中のいずれの時点(瞬間)においても、検出体12-1及び12-2のうちの少なくとも1つ検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部(すなわちネジ21の装着部分を含まない領域)が位置するように配置される。被検出体11における対象物2との固定部すなわち「ネジ21の装着部分を含む領域」は、ネジ21によって被検出体11が対象物2に押さえ込まれる領域であるので、「押え部」と称することができる。また、被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部すなわち「ネジ21の装着部分を含まない領域」は、ネジ21によって被検出体11が対象物2に押さえ込まれない領域であるので、「非押え部」と称することができる。被検出体11において、対象物2に固定するためのネジ21の装着部分は、ネジ21の装着部分以外に比べて、磁束密度の歪みが大きい。本実施形態では、被検出体11(すなわち対象物2)の回転中、検出体12-1及び12-2のうちのいずれか一方の検出体の磁束密度検出範囲にネジ21の装着部分を含む領域が位置するときは、もう一方の検出体の磁束密度検出範囲には対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21の装着部分を含まない領域)が位置することになる。上述のように、検出体12-1及び12-2は、対象物2の回転軸100の振れの影響を避けるためになって設けられるものである。「被検出体11(すなわち対象物2)の回転中のいずれの時点においても、少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部が位置する」という位置関係は、対象物2の回転軸100の振れの影響を避けるために設けられる検出体間で満たされるべきである。 At least one of the detection bodies 12-1 and 12-2 is detected at any time (moment) during the rotation of the detection target 11 (that is, the object 2). A non-fixed portion (that is, a region that does not include the screw 21 attachment portion), which is a region of the detected body 11 that is not fixed to the object 2, is positioned within the magnetic flux density detection range of the body. A portion of the object 11 to be fixed to the object 2, that is, “a region including a mounting portion of the screw 21” is a region where the object 11 is pressed against the object 2 by the screw 21, and is therefore called a “holding portion”. be able to. In addition, in the non-fixed portion, that is, the “area not including the mounting portion of the screw 21 ”, which is the area of the object 11 to be detected that is not fixed to the object 2 , the object 11 is not pressed against the object 2 by the screw 21 . Since it is a region, it can be called a "non-pressing portion". In the detected object 11 , the portion where the screw 21 is attached for fixing to the object 2 has a larger distortion in the magnetic flux density than the portion other than the portion where the screw 21 is attached. In this embodiment, during the rotation of the detected body 11 (that is, the object 2), the magnetic flux density detection range of one of the detected bodies 12-1 and 12-2 includes the mounting portion of the screw 21. When the area is positioned, the non-fixed part (area not including the mounting part of the screw 21), which is not a fixed part to the object 2, is positioned in the magnetic flux density detection range of the other detection body. . As described above, the detection bodies 12-1 and 12-2 are provided to avoid the influence of the vibration of the rotating shaft 100 of the object 2. FIG. "At any time during the rotation of the detection object 11 (that is, the object 2), the magnetic flux density detection range of at least one detection object has a non-fixed area, which is a portion of the detection object 11 that is not fixed to the object 2. The positional relationship of "the part is located" should be satisfied between the detection bodies provided in order to avoid the influence of the vibration of the rotating shaft 100 of the object 2.

被検出体11には、対象物2と固定するためのネジ21の装着部分であるネジ孔31が設けられる。より詳しくは、検出体12-1及び12-2のうちのいずれかの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11における対象物2との固定部(ネジ21の装着部分を含む領域)が位置するときに、検出体12-1及び12-2のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部が位置するように、被検出体11に、対象物2との固定部であるネジ21が装着されるネジ孔31が設けられる。例えば、図1では、ある時点における被検出体11のネジ21の位置を示しているが、当該時点において、検出体12-2の磁束密度検出範囲に被検出体11におけるネジ21の装着部分を含む領域が位置し、かつ検出体12-1の磁束密度検出範囲に被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21の装着部分を含まない領域)が位置する。 The object 11 to be detected is provided with a screw hole 31 as a mounting portion for a screw 21 for fixing to the object 2 . More specifically, the fixed part (area including the mounting part of the screw 21) of the detected body 11 to the object 2 is in the magnetic flux density detection range of one of the detected bodies 12-1 and 12-2. A non-fixed portion, which is a region of the detected body 11 that is not fixed to the object 2, is positioned within the magnetic flux density detection range of at least one of the detected bodies 12-1 and 12-2. , the object 11 to be detected is provided with a screw hole 31 into which the screw 21 that is a fixing portion to the object 2 is mounted. For example, FIG. 1 shows the position of the screw 21 of the object 11 to be detected at a certain point in time. In addition, the non-fixed portion (area not including the mounting portion of the screw 21), which is the region not fixed to the object 2 in the detected body 11, is positioned in the magnetic flux density detection range of the detected body 12-1. do.

例えば、図1及び図2に示すように、検出体12-1と検出体12-2とが、被検出体11の円筒形状における直径方向に沿って、互いに対向するように設けられる場合には、被検出体11の軸端面上に、奇数個(図示の例では7個)のネジ孔31を被検出体11の円周方向に沿って等間隔に配置すれば、被検出体11の回転中のいずれの時点においても、上述の「検出体12-1及び12-2のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21の装着部分を含まない領域)が位置する」という位置関係を満たすことができる。磁気式変位検出器1の設計に際しては、検出体12-1及び12-2が有する磁束密度検出範囲とネジ21の大きさとを考慮して、被検出体11の軸端面上に設けられるネジ孔31の個数を決定するのが好ましい。例えば、検出体12-1及び12-2が有する磁束密度検出範囲が広い場合は、被検出体11における対象物2との固定部の大きさを小さくするか、あるいは被検出体11における対象物2との固定部の個数を減らすことで、上記位置関係を満たし易くなる。また例えば、検出体12-1及び12-2が有する磁束密度検出範囲が狭い場合は、被検出体11における対象物2との固定部を大きくするか、あるいは被検出体11における対象物2との固定部の個数を増やすことで、上記位置関係を満たし易くなる。被検出体11における対象物2との固定部の大小は、ネジ21の大小に依存し、被検出体11における対象物2との固定部の個数は、ネジ孔31の個数に依存する。 For example, as shown in FIGS. 1 and 2, when the detection body 12-1 and the detection body 12-2 are provided so as to face each other along the diameter direction of the cylindrical shape of the detection body 11 If an odd number (seven in the example shown) of screw holes 31 are arranged on the axial end face of the object 11 to be detected at regular intervals along the circumference of the object 11, the rotation of the object 11 can be controlled. At any point in time, in the above-mentioned "magnetic flux density detection range of at least one of the detection bodies 12-1 and 12-2, in the area where the detection body 11 is not fixed to the object 2 A certain non-fixed portion (an area that does not include the mounting portion of the screw 21) is located” can be satisfied. When designing the magnetic displacement detector 1, considering the magnetic flux density detection range of the detection bodies 12-1 and 12-2 and the size of the screw 21, the screw hole provided on the axial end surface of the detection target body 11 Preferably, the number of 31 is determined. For example, when the magnetic flux density detection range of the detection bodies 12-1 and 12-2 is wide, the size of the fixed portion of the detection body 11 to the object 2 is reduced, or 2, it becomes easier to satisfy the above positional relationship. Further, for example, when the magnetic flux density detection range possessed by the detection bodies 12-1 and 12-2 is narrow, the fixing portion of the detection body 11 to the object 2 is increased, or By increasing the number of fixing portions, it becomes easier to satisfy the above positional relationship. The size of the fixed portion of the detected body 11 to the object 2 depends on the size of the screw 21 , and the number of fixed portions of the detected body 11 to the object 2 depends on the number of screw holes 31 .

本実施形態によれば、被検出体11の回転中、磁束密度が歪んだネジ21の装着部分を含む領域を検知する検出体は最大でも1個のみであるので、従来例に比べて、ネジ21による磁気式変位検知器の検出誤差への影響が低減される。なお、本実施形態において、被検出体11の回転中に、検出体12-1及び12-2いずれの磁束密度検出範囲にも対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21の装着部分を含まない領域)が位置する時点が発生するが、この場合は、そもそもネジ21の装着部分を含まない領域ではネジ21の装着に起因する磁束密度の歪みは発生しないので、磁気式変位検知器1の検出誤差への影響は発生しない。 According to the present embodiment, the number of detection objects that can detect the area including the mounting portion of the screw 21 with a distorted magnetic flux density during rotation of the detection object 11 is at most one. 21 on the detection error of the magnetic displacement detector is reduced. In this embodiment, during the rotation of the detection object 11, the non-fixed portion (screw 21 However, in this case, distortion of the magnetic flux density due to the mounting of the screw 21 does not occur in the region that does not include the mounting portion of the screw 21 in the first place. The detection error of the displacement detector 1 is not affected.

上述のように、被検出体11の円筒形状の円周面には、凹凸形状を有するトラック部41が設けられているので、検出体12-1及び12-2は、回転する被検出体11のトラック部41の形状に応じた磁束密度の変化を検知し、被検出体11の位置に応じた信号(磁束密度の変化に応じた信号)を個々に出力する。検出体12-1及び12-2は、例えば、検知した磁束密度が大きいほど、大きな振幅を有する信号(電気信号)を出力する。 As described above, since the track portion 41 having an uneven shape is provided on the cylindrical circumferential surface of the detection object 11, the detection objects 12-1 and 12-2 can be detected by rotating the detection object 11. A change in the magnetic flux density corresponding to the shape of the track portion 41 is detected, and a signal corresponding to the position of the detected object 11 (a signal corresponding to the change in the magnetic flux density) is individually output. The detection bodies 12-1 and 12-2, for example, output a signal (electrical signal) having a larger amplitude as the detected magnetic flux density increases.

信号処理部13は、検出体12-1及び12-2がそれぞれ出力した信号に基づき、演算処理により対象物2の変位情報を取得する。なお、検出体12-1及び12-2は、対象物2の回転軸100の振れの影響を避けるために1組となって設けられるものであるので、信号処理部13は、検出体12-1及び12-2からそれぞれ出力された信号に基づいて、対象物2の単一の変位情報を取得する。対象物2の変位情報としては、対象物2の回転角度、回転角速度、あるいは回転角加速度などがある。信号処理部13は、例えばCPU(Central Processing Unit)を有する演算処理装置により構成される。信号処理部13は、取得した対象物2の変位情報を、外部装置3へ出力する。例えば、外部装置3は、工作機械の制御装置やロボットの制御装置である。外部装置3は、取得された対象物2の変位情報に基づいて所定の制御を実行することができる。 The signal processing unit 13 acquires the displacement information of the object 2 by arithmetic processing based on the signals output from the detection bodies 12-1 and 12-2. Note that the detection bodies 12-1 and 12-2 are provided as a set in order to avoid the influence of the vibration of the rotating shaft 100 of the object 2. A single displacement information of the object 2 is acquired based on the signals output from 1 and 12-2 respectively. The displacement information of the object 2 includes the rotation angle, rotation angular velocity, rotation angular acceleration, and the like of the object 2 . The signal processing unit 13 is configured by, for example, an arithmetic processing device having a CPU (Central Processing Unit). The signal processing unit 13 outputs the acquired displacement information of the object 2 to the external device 3 . For example, the external device 3 is a machine tool control device or a robot control device. The external device 3 can perform predetermined control based on the obtained displacement information of the object 2 .

図3は、従来の磁気式変位検出器の概略図である。図3では、被検出体111の軸端面(すなわち、被検出体111の回転軸100の軸方向に向いた端面)を示している。対象物2の回転軸100の振れの影響を避けるために検出体112-1及び112-2が設けられる従来の磁気式変位検出器101において、検出体112-1及び112-2の両方の磁束密度検出範囲に、ネジ121の装着部分を含む領域が位置したとき、検出体112-1及び112-2は、ネジ121の応力に起因する歪みを含んだ磁束密度を検知し、当該歪みを含む磁束密度に応じた信号を信号処理部113へ出力する。信号処理部113は、磁束密度の歪みの影響を受けた信号に基づき、演算処理により対象物2の変位情報を取得する。よって、従来の磁気式変位検出器101の検出誤差は大きなものになる。これに対し、本実施形態では、被検出体11の回転中のいずれの時点においても、少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部が位置する。つまり、被検出体11の回転中ネジ21の応力に起因する歪みを含んだ磁束密度を検知する検出体は、最大でも1個のみであるので、従来例に比べて、ネジ21(留め具)による磁気式変位検知器の検出誤差への影響が低減される。 FIG. 3 is a schematic diagram of a conventional magnetic displacement detector. FIG. 3 shows the axial end face of the detected body 111 (that is, the end face of the detected body 111 facing the axial direction of the rotating shaft 100). In the conventional magnetic displacement detector 101 provided with the detection bodies 112-1 and 112-2 to avoid the influence of the deflection of the rotation axis 100 of the object 2, the magnetic flux of both the detection bodies 112-1 and 112-2 When the area including the mounting portion of the screw 121 is positioned within the density detection range, the detection bodies 112-1 and 112-2 detect the magnetic flux density including the strain caused by the stress of the screw 121, and detect the magnetic flux density including the strain. A signal corresponding to the magnetic flux density is output to the signal processing unit 113 . The signal processing unit 113 acquires the displacement information of the object 2 by arithmetic processing based on the signal affected by the distortion of the magnetic flux density. Therefore, the detection error of the conventional magnetic displacement detector 101 becomes large. On the other hand, in the present embodiment, at any time during the rotation of the detection object 11, the magnetic flux density detection range of at least one detection object includes A certain non-fixed part is located. In other words, the number of detection objects that detect the magnetic flux density including the strain caused by the stress of the screw 21 during rotation of the detection object 11 is only one at most. The influence on the detection error of the magnetic displacement detector due to is reduced.

なお、図1及び図2に示した実施形態では、検出体の個数を一例として2個としたが、3以上の個数であってもよい。図4は、本開示の第1の実施形態による磁気式変位検出器において、3個の検出体が設けられる場合を例示する概略図である。図4では、被検出体11の軸端面(すなわち、被検出体11の回転軸100の軸方向に向いた端面)を示している。図4に示す例では、対象物2の回転軸100の振れの影響を避けるために、検出体12-1、12-2及び12-3が設けられる。検出体12-1、12-2及び12-3は、被検出体11の回転中のいずれの時点においても、検出体12-1、12-2及び12-3のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体11における対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21の装着部分を含まない領域)が位置するように配置される。例えば、図4に示すように、奇数個(図示の例では3個)の検出体12-1、12-2及び12-3が被検出体11の円周方向に沿って等間隔に設けられる場合には、被検出体11の軸端面上に、偶数個(図示の例では8個)のネジ孔31を被検出体11の円周方向に沿って等間隔に配置すれば、上記位置関係を満たす。 In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the number of detection bodies is two as an example, but the number may be three or more. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a case where three detection bodies are provided in the magnetic displacement detector according to the first embodiment of the present disclosure. FIG. 4 shows the axial end face of the detected body 11 (that is, the end face of the detected body 11 facing in the axial direction of the rotating shaft 100). In the example shown in FIG. 4, detection bodies 12-1, 12-2 and 12-3 are provided in order to avoid the influence of vibration of the rotating shaft 100 of the object 2. FIG. Detection bodies 12-1, 12-2, and 12-3 are at least one of detection bodies 12-1, 12-2, and 12-3 at any time during rotation of detection object 11. The non-fixed portion (the region not including the mounting portion of the screw 21), which is the region of the detected body 11 that is not fixed to the object 2, is positioned within the magnetic flux density detection range of . For example, as shown in FIG. 4, an odd number (three in the illustrated example) of detection bodies 12-1, 12-2 and 12-3 are provided at equal intervals along the circumference of the detection body 11. In this case, if an even number (eight in the illustrated example) of screw holes 31 are arranged on the axial end face of the object 11 to be detected at equal intervals along the circumference of the object 11 to be detected, the above positional relationship can be achieved. meet.

図5は、本開示の第2の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。また、図6は、本開示の第2の実施形態による磁気式変位検出器を示す図であって、(A)は被検出体と対象物との関係を示す分解斜視図であり、(B)は信号処理部を含む磁気式変位検出器の概略的な斜視図である。本開示の第2の実施形態による磁気式変位検出器1は、回転するモータや軸などの回転変位に関する情報を取得する角度検出器である。図5では、被検出体11-2の軸端面(すなわち、被検出体11の回転軸100の軸方向に向いた端面)を示している。 FIG. 5 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a second embodiment of the present disclosure; 6A and 6B are diagrams showing a magnetic displacement detector according to a second embodiment of the present disclosure, in which (A) is an exploded perspective view showing the relationship between a body to be detected and an object; ) is a schematic perspective view of a magnetic displacement detector including a signal processing unit. A magnetic displacement detector 1 according to the second embodiment of the present disclosure is an angle detector that acquires information about rotational displacement of a rotating motor, shaft, or the like. FIG. 5 shows the axial end face of the detected body 11-2 (that is, the end face of the detected body 11 facing the axial direction of the rotating shaft 100).

第2の実施形態では、2個の被検出体11-1及び11-2が、回転軸100の方向沿って対象物2に重ねて設けられ、対象物2と一体的に移動する。なお、図5及び図6に示す実施形態では被検出体の個数を一例として2個としたが、3以上の個数であってもよい。よって、ここで記載した「被検出体11-1及び11-2」は「複数の被検出体」と読み替えることができる。図5では、被検出体11-2の軸端面(すなわち、被検出体11の回転軸100の軸方向に向いた端面)を示している。 In the second embodiment, two objects to be detected 11-1 and 11-2 are superimposed on the object 2 along the direction of the rotating shaft 100 and move integrally with the object 2. FIG. In the embodiment shown in FIGS. 5 and 6, the number of objects to be detected is two as an example, but the number may be three or more. Therefore, the "objects to be detected 11-1 and 11-2" described here can be read as "a plurality of objects to be detected". FIG. 5 shows the axial end face of the detected body 11-2 (that is, the end face of the detected body 11 facing the axial direction of the rotating shaft 100).

被検出体11-1と被検出体11-2とは、ネジ21の締結により固定される。また、被検出体11-1及び11-2と対象物2とは、ネジ22の締結により固定される。被検出体11-1及び11-2の軸端面には、ネジ21の装着部分であるネジ孔及びネジ22の装着部分であるネジ孔33が設けられ、対象物2の軸端面には、ネジ22の装着部分であるネジ孔32が設けられる。 The object to be detected 11-1 and the object to be detected 11-2 are fixed by fastening screws 21. FIG. The objects 11-1 and 11-2 to be detected and the object 2 are fixed by fastening screws 22. FIG. The axial end faces of the objects to be detected 11-1 and 11-2 are provided with a screw hole where the screw 21 is mounted and a screw hole 33 where the screw 22 is mounted. A threaded hole 32, which is the mounting portion of 22, is provided.

検出体12-1及び12-2は、被検出体11-1の円筒形状の円周面に対向して(すなわち検出体12-1と検出体12-2とを結ぶ線が、被検出体11の円筒形状の直径方向に沿って)、周方向に沿って並設される。検出体12-1及び12-2は、被検出体11-1の回転に伴う磁束密度の変化を検知し、被検出体11の位置に応じた信号(磁束密度の変化に応じた信号)を個々に出力する。また、検出体12-5及び12-6は、被検出体11-1の円筒形状の円周面に対向して(すなわち検出体12-5と検出体12-6とを結ぶ線が、被検出体11の円筒形状の直径方向に沿って)、周方向に沿って並設される。検出体12-5及び12-6は、被検出体11-2の回転に伴う磁束密度の変化を検知し、被検出体11の位置に応じた信号(磁束密度の変化に応じた信号)を個々に出力する。検出体12-1、12-2、12-5及び12-6の具体例については、第1の実施形態に関して説明した通りである。 The detection bodies 12-1 and 12-2 face the cylindrical circumferential surface of the detection body 11-1 (that is, the line connecting the detection bodies 12-1 and 12-2 is the detection body 11) and along the circumferential direction. The detection bodies 12-1 and 12-2 detect changes in the magnetic flux density accompanying the rotation of the detection body 11-1, and generate signals corresponding to the position of the detection body 11 (signals corresponding to changes in the magnetic flux density). Output them individually. Further, the detection bodies 12-5 and 12-6 face the cylindrical circumferential surface of the detection body 11-1 (that is, the line connecting the detection bodies 12-5 and 12-6 (along the diameter direction of the cylindrical shape of the detection body 11) and along the circumferential direction. The detection bodies 12-5 and 12-6 detect changes in the magnetic flux density accompanying the rotation of the detection body 11-2, and generate signals corresponding to the position of the detection body 11 (signals corresponding to changes in the magnetic flux density). Output them individually. Specific examples of the detection bodies 12-1, 12-2, 12-5, and 12-6 are as described in the first embodiment.

被検出体11-1及び11-2は、例えば円筒形状を有する磁気ドラムである。あるいは、被検出体11-1及び11-2は、例えばセンサギアであってもよい。被検出体11-1のその円筒形状の円周面には、歯車の歯部のような凹凸形状を有するトラック部41が設けられる。トラック部41は凹凸形状を有するので、検出体12-1及び12-2により検出される磁束密度には、トラック部41の形状に応じた変化が生じることになる。同様に、被検出体11-2のその円筒形状の円周面にもトラック部42が設けられ、このトラック部42は凹形状または凸形状を有し、したがって検出体12-5及び12-6により検出される磁束密度には、トラック部42の形状に応じた変化が生じることになる。なお、被検出体11-1のトラック部41及び被検出体11-2のトラック部42の形状はあくまでも一例である。例えば、被検出体11-2のトラック部42についても凹凸形状を有するようにし、かつ、トラック部41の凹凸形状と位相が90度ずれて構成されるようにすれば、検出体12-1及び12-2と検出体12-5及び12-6とから、A相信号及びB相信号を出力させることができる。 The objects to be detected 11-1 and 11-2 are, for example, cylindrical magnetic drums. Alternatively, the objects to be detected 11-1 and 11-2 may be sensor gears, for example. A track portion 41 having an uneven shape like a tooth portion of a gear is provided on the cylindrical circumferential surface of the object 11-1 to be detected. Since the track portion 41 has an uneven shape, the magnetic flux densities detected by the detection bodies 12-1 and 12-2 change according to the shape of the track portion 41. FIG. Similarly, a track portion 42 is provided on the cylindrical circumferential surface of the detected body 11-2, and the track portion 42 has a concave or convex shape, so that the detected bodies 12-5 and 12-6 A change occurs in the magnetic flux density detected by , depending on the shape of the track portion 42 . The shape of the track portion 41 of the object to be detected 11-1 and the shape of the track portion 42 of the object to be detected 11-2 is merely an example. For example, if the track portion 42 of the object to be detected 11-2 also has an uneven shape and is configured to be out of phase with the uneven shape of the track portion 41 by 90 degrees, the detection object 12-1 and An A-phase signal and a B-phase signal can be output from 12-2 and detection bodies 12-5 and 12-6.

第2の実施形態においては、検出体12-1、12-2、12-5及び12-6の磁束密度検出範囲を考慮して、例えば以下に説明するように検出体12-1、12-2、12-5及び12-6の位置、及び被検出体11-1及び11-2におけるネジ21及び22の配置位置が設計されるべきである。 In the second embodiment, considering the magnetic flux density detection ranges of the detection bodies 12-1, 12-2, 12-5 and 12-6, for example, the detection bodies 12-1, 12- 2, 12-5 and 12-6, and the arrangement positions of the screws 21 and 22 on the detected bodies 11-1 and 11-2 should be designed.

例えば、図5及び6に示すように検出体12-1と検出体12-5、検出体12-2と検出体12-6とを回転軸100の軸方向に重なるように配置すれば、各検出体の位置、及び被検出体11-1及び11-2におけるネジ21及び22の配置位置の設計を、第1の実施形態と同様に行うことができる。すなわち、被検出体11-1及び11-2の回転中のいずれの時点においても、検出体12-1と検出体12-5との組及び検出体12-2と検出体12-6との組のうちの少なくとも1組の磁束密度検出範囲に、被検出体11-1及び11-2における対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21及び22の装着部分を含まない領域)が位置することになるように、被検出体11-1及び11-2の周囲に検出体12-1、12-2、12-5及び2-6が設けられる。これにより、検出体12-1と検出体12-5との組及び検出体12-2と検出体12-6との組のうちのいずれかの組の検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11-1及び1-2における対処物2との固定部である領域(ネジ21及び22の装着部分を含む領域)が位置するときには、検出体12-1と検出体12-5との組及び検出体12-2と検出体12-6との組のうちの少なくとも1組の検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11-1及び11-2における対象物2との固定部でない領域である非固定部が位置する。 For example, as shown in FIGS. 5 and 6, if the detection bodies 12-1 and 12-5, and the detection bodies 12-2 and 12-6 are arranged so as to overlap in the axial direction of the rotating shaft 100, each The positions of the detection bodies and the arrangement positions of the screws 21 and 22 in the detection bodies 11-1 and 11-2 can be designed in the same manner as in the first embodiment. That is, at any time during the rotation of the detection objects 11-1 and 11-2, the pair of the detection objects 12-1 and 12-5 and the detection objects 12-2 and 12-6 In the magnetic flux density detection range of at least one of the sets, the non-fixed portion (not including the mounting portion of the screws 21 and 22), which is the region that is not the fixed portion to the object 2 in the detected objects 11-1 and 11-2 Detecting bodies 12-1, 12-2, 12-5 and 2-6 are provided around the detected bodies 11-1 and 11-2 so that the regions) are positioned. As a result, the magnetic flux density detection range of any one of the set of the detection bodies 12-1 and 12-5 and the set of the detection bodies 12-2 and 12-6 is detected. When the regions (regions including the mounting portions of the screws 21 and 22) that are fixed portions to the countermeasure 2 in the bodies 11-1 and 1-2 are located, the set of the detection bodies 12-1 and 12-5 and a region of the detected bodies 11-1 and 11-2 which is not fixed to the object 2 in the magnetic flux density detection range of at least one set of the detected bodies 12-2 and 12-6. A non-fixed part is located.

また、図5及び図6とは別の検出体の配置の例も考えられる。図7は、本開示の第2の実施形態の検出体の配置の別の例を示す図であって、(A)は、概略図であり、(B)は斜視図である。図7に示すように、被検出体11の円筒形状における直径方向に沿って、検出体12-1と検出体12-2とが互いに対向するように(すなわち検出体12-1と検出体12-2とを結ぶ線が、被検出体11の円筒形状の直径方向に沿って)設けられかつ検出体12-5と検出体12-6とが互いに対向するように(すなわち検出体12-5と検出体12-6とを結ぶ線が、被検出体11の円筒形状の直径方向に沿って)設けられる。検出体12-1と検出体12-2との組と、検出体12-5と検出体12-6との組とは90度ずれて設けられる。被検出体11の軸端面上には、ネジ21とネジ22との合計が奇数個となるようなネジを、被検出体11の円周方向に沿って等間隔に配置する。これにより、検出体12-1及び12-2のうちのいずれかの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11-1における対象物2との固定部である領域(ネジ21及び22の装着部分を含む領域)が位置するときには、検出体12-1及び12-2のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11-1における対象物2との固定部でない領域である非固定部が位置するようになる。同様に、検出体12-5及び12-6のうちのいずれかの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11-2におけるネジ21及び22の装着部分を含む領域が位置するときには、検出体12-5及び12-6のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11-2における対象物2との固定部でない領域である非固定部が位置するようになる。 Also, an example of arrangement of the detection bodies different from those in FIGS. 5 and 6 is conceivable. 7A and 7B are diagrams showing another example of the arrangement of the detection bodies according to the second embodiment of the present disclosure, where (A) is a schematic diagram and (B) is a perspective view. As shown in FIG. 7, along the diameter direction of the cylindrical shape of the detection object 11, the detection objects 12-1 and 12-2 face each other (that is, the detection objects 12-1 and 12-2 -2 is provided along the diameter direction of the cylindrical shape of the detection object 11) and the detection objects 12-5 and 12-6 face each other (that is, the detection object 12-5 and the detection body 12-6 is provided along the diameter direction of the cylindrical shape of the detection body 11). The set of the detection bodies 12-1 and 12-2 and the set of the detection bodies 12-5 and 12-6 are provided 90 degrees apart. An odd number of screws 21 and 22 in total are arranged on the axial end face of the object 11 to be detected at regular intervals along the circumference of the object 11 to be detected. As a result, the magnetic flux density detection range of one of the detection bodies 12-1 and 12-2, which is the fixed part of the detection body 11-1 with the object 2 (the attachment of the screws 21 and 22) When the magnetic flux density detection range of at least one of the detection bodies 12-1 and 12-2 is located, the area where the detection body 11-1 is not fixed to the object 2 is located. A certain non-fixed portion comes to be located. Similarly, when the area including the mounting portions of the screws 21 and 22 in the detected body 11-2 is positioned within the magnetic flux density detection range of either of the detected bodies 12-5 and 12-6, the detected body A non-fixed portion, which is a region of the detected object 11-2 that is not fixed to the object 2, is positioned within the magnetic flux density detection range of at least one of the detected objects 12-5 and 12-6.

図5~図7に示した第2の実施形態において、信号処理部13は、検出体12-1及び12-2がそれぞれ出力した信号に基づき、演算処理により対象物2(被検出体11-1)の変位に関する第1の情報を取得し、検出体12-5及び12-6がそれぞれ出力した信号に基づき、演算処理により対象物2(被検出体11-2)の変位に関する第2の情報を取得する。対象物2の変位に関する第1の情報及び第2の情報としては、対象物2の回転角度、回転角速度、回転角加速度、あるいは1回転信号などがある。取得したい対象物2の変位情報の種類に応じて、被検出体11-1に設けられるスリット部41の形状、被検出体11-2に設けられるスリット部42の形状、及び信号処理部13における演算処理内容を適宜設計すればよい。信号処理部13は、例えばCPU(Central Processing Unit)を有する演算処理装置により構成される。信号処理部13は、取得した対象物2の変位に関する第1及び第2の情報を、外部装置3へ出力する。例えば、外部装置3は、工作機械の制御装置やロボットの制御装置である。外部装置3は、取得された対象物2の変位に関する第1及び第2の情報に基づいて所定の制御を実行することができる。 In the second embodiment shown in FIGS. 5 to 7, the signal processing unit 13 performs arithmetic processing on the object 2 (detected object 11- 1) acquires the first information about the displacement, and based on the signals output by the detection bodies 12-5 and 12-6, performs arithmetic processing to obtain the second information about the displacement of the object 2 (detection body 11-2). Get information. The first information and second information regarding the displacement of the object 2 include the rotation angle, rotation angular velocity, rotation angular acceleration, or one-rotation signal of the object 2 . Depending on the type of displacement information of the object 2 to be acquired, the shape of the slit portion 41 provided in the detection object 11-1, the shape of the slit portion 42 provided in the detection object 11-2, and the signal processing unit 13 What is necessary is just to design the content of arithmetic processing suitably. The signal processing unit 13 is configured by, for example, an arithmetic processing device having a CPU (Central Processing Unit). The signal processing unit 13 outputs the acquired first and second information regarding the displacement of the object 2 to the external device 3 . For example, the external device 3 is a machine tool control device or a robot control device. The external device 3 can perform predetermined control based on the obtained first and second information regarding the displacement of the target object 2 .

図8は、本開示の第3の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。また、図9は、本開示の第3の実施形態による磁気式変位検出器を示す図であって、(A)は被検出体と対象物との関係を示す分解斜視図であり、(B)は信号処理部を含む磁気式変位検出器の概略的な斜視図である。本開示の第3の実施形態による磁気式変位検出器1は、回転するモータや軸などの回転変位に関する情報を取得する角度検出器である。 FIG. 8 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a third embodiment of the present disclosure; 9A and 9B are diagrams showing a magnetic displacement detector according to a third embodiment of the present disclosure, in which (A) is an exploded perspective view showing the relationship between an object to be detected and an object; ) is a schematic perspective view of a magnetic displacement detector including a signal processing unit. A magnetic displacement detector 1 according to the third embodiment of the present disclosure is an angle detector that acquires information about rotational displacement of a rotating motor, shaft, or the like.

第3の実施形態は、第2の実施形態の変形例である。第3の実施形態も、第2の実施形態と同様、2個の被検出体11-1及び11-2は、回転軸100の方向沿って対象物2に重ねて設けられ、対象物2と一体的に移動する。なお、図8及び図9に示す第3の実施形態では被検出体の個数を一例として2個としたが、3以上の個数であってもよい。よって、ここで記載した「被検出体11-1及び11-2」は「複数の被検出体」と読み替えることができる。図8では、被検出体11-2の軸端面(すなわち、被検出体11の回転軸100の軸方向に向いた端面)を示している。 The third embodiment is a modification of the second embodiment. In the third embodiment, as in the second embodiment, two detection objects 11-1 and 11-2 are provided to overlap the object 2 along the direction of the rotation axis 100, and move together. In the third embodiment shown in FIGS. 8 and 9, the number of objects to be detected is two as an example, but the number may be three or more. Therefore, the "objects to be detected 11-1 and 11-2" described here can be read as "a plurality of objects to be detected". FIG. 8 shows the axial end face of the detected body 11-2 (that is, the end face of the detected body 11 facing the axial direction of the rotating shaft 100).

ネジ22は、被検出体11-1及び11-2と対象物2とを固定するものである。例えば、対象物2に対するネジ22の装着部分としてタップ加工によりネジ孔32(雌ネジ)が形成される。一方、被検出体11-1及び11-2に対しては、ネジ22の装着部分として、タップ加工されていない単なる貫通孔が形成される。ネジ22を、被検出体11-1及び11-2に設けられた貫通孔に通し、さらに対象物2に設けられたネジ孔32に締結すれば、ネジ22の頭部の座面によって被検出体11-1が対象物2の方向に押さえつけられ、被検出体11-1及び11-2と対象物2とを固定することができる。その際、ネジ22は被検出体11-1及び11-2に対しては貫通孔を貫通するのみであるので、被検出体11-1及び11-2におけるネジ22の配置位置を含む領域の磁束密度の歪みは、被検出体11-1及び11-2におけるネジ21の「締結」による配置位置(ネジ孔32)を含む領域の磁束密度の歪みに比べて小さい。第3の実施形態では、検出体12-1と検出体12-5との組及び検出体12-2と検出体12-6との組のうちの少なくとも1組の磁束密度検出範囲に、「被検出体11-1及び11-2における対象物2との固定部でない領域である非固定部(ネジ21及びネジ22いずれの装着部分を含まない領域)」または「被検出体11-1及び11-2におけるネジ22の装着部分を含む領域」が位置するように、被検出体11-1及び11-2の周囲に検出体12-1、12-2、12-5及び12-6が配置される。検出体12-1と検出体12-5との組及び検出体12-2と検出体12-6との組のうちのいずれか一方の検出体の組の磁束密度検出範囲に、ネジ21の装着部分を含む領域が位置する時点においては、もう一方の検出体の磁束密度検出範囲には、「被検出体11-1及び11-2における対象物2との固定部でない領域である非固定部」または「ネジ22の装着部分を含む領域」が位置することになる。「被検出体11-1及び11-2における対象物2との固定部でない領域である非固定部」は、磁束密度の歪みはない。また、「ネジ22の装着部分を含む領域」は、「ネジ21の装着部分を含む領域」に比べ、磁束密度の歪みは小さい。よって、第3の実施形態による磁気式変位検出器1によっても、ネジ21による磁気式変位検知器の検出誤差への影響が低減される。 The screws 22 fix the objects 11-1 and 11-2 and the object 2 to be detected. For example, a threaded hole 32 (female thread) is formed by tapping as a portion for attaching the screw 22 to the object 2 . On the other hand, simple through-holes that are not tapped are formed in the objects to be detected 11-1 and 11-2 as mounting portions for the screws 22. As shown in FIG. If the screw 22 is passed through the through holes provided in the objects to be detected 11-1 and 11-2 and further tightened to the screw hole 32 provided in the object 2, the bearing surface of the head of the screw 22 is used to detect the object. The body 11-1 is pressed in the direction of the object 2, and the objects 11-1 and 11-2 to be detected and the object 2 can be fixed. At this time, since the screw 22 only passes through the through-holes of the objects to be detected 11-1 and 11-2, the area including the arrangement position of the screw 22 in the objects to be detected 11-1 and 11-2 is The distortion of the magnetic flux density is smaller than the distortion of the magnetic flux density in the area including the arrangement position (screw hole 32) due to the "fastening" of the screw 21 in the objects to be detected 11-1 and 11-2. In the third embodiment, in the magnetic flux density detection range of at least one of the set of the detection bodies 12-1 and 12-5 and the set of the detection bodies 12-2 and 12-6, " A non-fixed portion (a region that does not include the mounting portion of either the screw 21 or the screw 22), which is a region that is not fixed to the object 2 in the detected objects 11-1 and 11-2, or “the detected object 11-1 and Detecting bodies 12-1, 12-2, 12-5 and 12-6 are positioned around the detected bodies 11-1 and 11-2 so that a region including the mounting portion of the screw 22 in 11-2 is positioned. placed. In the magnetic flux density detection range of either one of the set of the detection bodies 12-1 and 12-5 and the set of the detection bodies 12-2 and 12-6, the screw 21 At the time when the area including the mounting portion is located, the magnetic flux density detection range of the other detection body includes "non-fixed area, which is the area that is not fixed to the object 2 in the detection objects 11-1 and 11-2. "part" or "area including the mounting part of the screw 22" is located. There is no magnetic flux density distortion in the "non-fixed portions, which are regions of the objects to be detected 11-1 and 11-2 which are not fixed to the object 2". Further, the distortion of the magnetic flux density is smaller in the "region including the mounting portion of the screw 22" than in the "region including the mounting portion of the screw 21". Therefore, the magnetic displacement detector 1 according to the third embodiment also reduces the influence of the screw 21 on the detection error of the magnetic displacement detector.

図10は、本開示の第4の実施形態による磁気式変位検出器の概略図である。本開示の第4の実施形態による磁気式変位検出器1は、リニアモータの軸などの直線変位に関する情報を取得する直線位置検出器である。 FIG. 10 is a schematic diagram of a magnetic displacement detector according to a fourth embodiment of the present disclosure; A magnetic displacement detector 1 according to the fourth embodiment of the present disclosure is a linear position detector that acquires information on linear displacement of the shaft of a linear motor or the like.

直線移動する対象物2に肯定される被検出体11の側面には、歯車の歯部のような凹凸形状を有するトラック部(図示せず)が設けられる。トラック部は凹凸形状を有するので、検出体12-1及び12-2により検出される磁束密度には、トラック部の形状に応じた変化が生じる。被検出体11の、トラック部が設けられた側面とは異なる面から、対象物2が接する面に向けて、タップ加工によりネジ孔が設けられる。ネジ孔を介したネジ21の締結により被検出体11と対象物2とが固定される。これにより、被検出体11は、対象物2と一体的に直線移動する。 A track portion (not shown) having an uneven shape like a tooth portion of a gear is provided on the side surface of the object 11 to be detected, which is affirmed by the object 2 moving linearly. Since the track portions have an uneven shape, the magnetic flux densities detected by the detection bodies 12-1 and 12-2 change according to the shape of the track portions. A screw hole is provided by tapping from a surface of the object 11 to be detected, which is different from the side surface on which the track portion is provided, toward the surface with which the object 2 is in contact. The detection object 11 and the object 2 are fixed by fastening the screw 21 through the screw hole. Thereby, the detected object 11 linearly moves integrally with the object 2 .

検出体12-1及び12-2は、被検出体11の直線移動に伴う磁束密度の変化を検知し、被検出体11の位置に応じた信号を個々に出力する。検出体12-1及び12-2は、直線移動する対象物2に固定された被検出体11の直線移動方向に並設される。なお、図10に示す実施形態では検出体の個数を一例として2個としたが、3以上の個数であってもよい。よって、ここで記載した「検出体12-1及び12-2」は「複数の検出体」と読み替えることができる。なお、検出体12-1及び12-2の具体例については、第1の実施形態に関して説明した通りである。 The detection bodies 12-1 and 12-2 detect changes in the magnetic flux density accompanying the linear movement of the detection body 11, and individually output signals corresponding to the position of the detection body 11. FIG. The detection bodies 12-1 and 12-2 are arranged side by side in the linear movement direction of the detection body 11 fixed to the object 2 that moves linearly. In the embodiment shown in FIG. 10, the number of detection bodies is two as an example, but the number may be three or more. Therefore, the "detection bodies 12-1 and 12-2" described here can be read as "a plurality of detection bodies". Specific examples of the detection bodies 12-1 and 12-2 are as described in the first embodiment.

検出体12-1及び12-2は、被検出体11(すなわち対象物2)の直線移動中のいずれの時点においても、検出体12-1及び12-2のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、被検出体11におけるネジ21の装着部分を含まない領域が位置することになるように、被検出体11の周囲に設けられる。すなわち、検出体12-1及び12-2のうちのいずれかの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11におけるネジ21の装着部分を含む領域が位置するときに、検出体12-1及び12-2のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に被検出体11におけるネジ21の装着部分を含まない領域が位置するよう、被検出体11に、ネジ21の装着部分であるネジ孔が設けられる。 At any time during the linear movement of the detected object 11 (that is, the object 2), at least one of the detected objects 12-1 and 12-2 It is provided around the object 11 to be detected so that a region of the object 11 to be detected that does not include the mounting portion of the screw 21 is positioned within the magnetic flux density detection range. That is, when the area including the mounting portion of the screw 21 in the detected body 11 is positioned within the magnetic flux density detection range of one of the detected bodies 12-1 and 12-2, the detected body 12-1 and 12-2, so that an area not including the mounting portion of the screw 21 in the detection object 11 is positioned within the magnetic flux density detection range of at least one of the detection objects 12-2. A hole is provided.

上述の検出体12-1及び12-2と被検出体11におけるネジ21の装着部分を含まない領域との位置関係が、被検出体11の直線移動中のいずれの時点においても成り立つように、検出体12-1及び12-2の位置、及び被検出体11におけるネジ21の配置位置が設計されるべきである。例えば、図10に示すように、検出体12-1と検出体12-2とが、被検出体11の直線移動方向に沿って並んで設けられる場合には、被検出体11に設けられるネジ21の装着部分の配置間隔を、「検出体12-1または12-2の磁束密度検出範囲についての被検出体11の直線移動方向に沿った長さ」よりも十分に長くすれば、上記位置関係を満たす。 In order that the above-described positional relationship between the detection bodies 12-1 and 12-2 and the area of the detection body 11 not including the mounting portion of the screw 21 is established at any time during the linear movement of the detection body 11, The positions of the detection bodies 12-1 and 12-2 and the arrangement positions of the screws 21 on the detection body 11 should be designed. For example, as shown in FIG. 10, when the detection body 12-1 and the detection body 12-2 are provided side by side along the linear movement direction of the detection body 11, the screw provided in the detection body 11 21 is sufficiently longer than "the length along the direction of linear movement of the object to be detected 11 with respect to the magnetic flux density detection range of the detection object 12-1 or 12-2", the position fulfill the relationship.

第4の実施形態では、被検出体11の直線移動中のいずれの時点においても上述の位置関係が成り立つので、検出体12-1及び12-2のうちのいずれか一方の検出体の磁束密度検出範囲に、ネジ21の装着部分を含む領域が位置する時点においては、もう一方の検出体の磁束密度検出範囲には、ネジ21の装着部分を含まない領域が位置する。よって、2つの検出体12-1及び12-2にて被検出体11の磁束密度を検知しても、ネジ21の装着に起因する歪みを含んだ磁束密度を検出する検出体は最大でも1個のみとなるので、従来例に比べて、ネジ21(留め具)による磁気式変位検知器の検出誤差への影響が低減される。なお、本実施形態において、被検出体11(すなわち対象物2)の回転中に、検出体12-1及び12-2いずれの磁束密度検出範囲にもネジ21の装着部分を含まない領域が位置する時点が発生するが、この場合は、ネジ21の装着部分を含まない領域ではネジ21の装着に起因する磁束密度の歪みは発生しないので、ネジ21(留め具)による磁気式変位検知器の検出誤差への影響はそもそも発生しない。 In the fourth embodiment, since the above-described positional relationship holds at any time during the linear movement of the detection object 11, the magnetic flux density of either one of the detection objects 12-1 and 12-2 is At the time when the area including the mounting portion of the screw 21 is positioned in the detection range, the area not including the mounting portion of the screw 21 is positioned in the magnetic flux density detection range of the other detection body. Therefore, even if the two detection bodies 12-1 and 12-2 detect the magnetic flux density of the detection target 11, the maximum number of detection bodies that detect the magnetic flux density including the distortion caused by the attachment of the screw 21 is one. Therefore, the influence of the screw 21 (fastener) on the detection error of the magnetic displacement detector is reduced as compared with the conventional example. In this embodiment, while the detection object 11 (that is, the object 2) is rotating, an area that does not include the mounting portion of the screw 21 is positioned in the magnetic flux density detection range of both the detection objects 12-1 and 12-2. However, in this case, distortion of the magnetic flux density due to the attachment of the screw 21 does not occur in the area not including the attachment portion of the screw 21, so the magnetic displacement detector by the screw 21 (fastener) does not occur. No effect on the detection error occurs in the first place.

1 磁気式変位検出器
2 対象物
3 外部装置
11、11-1、11-2 被検出体
12-1、12-2、12-3、12-4、12-5、12-6 検出体
13 信号処理部
21、22 ネジ
31、32 ネジ孔
33 貫通孔
41、42 トラック部
100 回転軸
1 Magnetic Displacement Detector 2 Object 3 External Device 11, 11-1, 11-2 Detected Object 12-1, 12-2, 12-3, 12-4, 12-5, 12-6 Detected Object 13 Signal processing unit 21, 22 Screw 31, 32 Screw hole 33 Through hole 41, 42 Track unit 100 Rotation shaft

Claims (9)

対象物の変位を検出する磁気式変位検出器であって、
前記対象物に固定される被検出体と、
前記被検出体の移動に伴う磁束密度の変化を検知して前記被検出体の位置に応じた信号を個々に出力する複数の検出体と、
を備え、
前記複数の検出体のそれぞれは、前記複数の検出体のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、前記被検出体における前記対象物との固定部でない領域が位置するように配置され
前記固定部は、留め具であるネジを含み、
前記被検出体は、前記ネジの締結により前記対象物に固定される、磁気式変位検出器。
A magnetic displacement detector for detecting displacement of an object,
a detectable object fixed to the object;
a plurality of detection bodies that detect changes in magnetic flux density accompanying movement of the detection body and individually output signals corresponding to the positions of the detection bodies;
with
Each of the plurality of detection bodies is arranged such that a region of the detection body that is not fixed to the object is positioned within a magnetic flux density detection range of at least one of the plurality of detection bodies. ,
The fixing part includes a screw that is a fastener,
The object to be detected is a magnetic displacement detector fixed to the object by fastening the screw .
前記複数の検出体のうちのいずれかの検出体の磁束密度検出範囲に前記被検出体における前記被検出体との固定部が位置するときに前記複数の検出体のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に前記被検出体における前記被検出体との固定部でない領域が位置するように、前記被検出体に、前記対象物との固定部が設けられる、請求項1に記載の磁気式変位検出器。 at least one of the plurality of detection bodies when a portion fixed to the detection body of the detection body is positioned within a magnetic flux density detection range of any one of the plurality of detection bodies 2. The object to be detected is provided with a fixed portion to the object such that a region of the object to be detected that is not a fixed portion to the object is located in the magnetic flux density detection range of Magnetic displacement detector. 前記被検出体は、円筒形状を有し、
前記対象物の回転軸と前記被検出体の回転軸とが一致するように、前記被検出体の前記円筒形状の軸端面が前記対象物に固定され、
前記複数の検出体のそれぞれは、前記被検出体の前記円筒形状の円周面に対向して並設される、請求項1または2に記載の磁気式変位検出器。
The object to be detected has a cylindrical shape,
The cylindrical axial end face of the detected object is fixed to the object so that the rotation axis of the object and the rotation axis of the detected object match,
3. The magnetic displacement detector according to claim 1, wherein each of said plurality of detection bodies is arranged side by side facing said cylindrical circumferential surface of said detection target body.
複数の前記被検出体が、前記回転軸の方向に重ね合わされて固定され、
前記複数の被検出体のそれぞれの前記円筒形状の円周面に対向して、前記検出体が並設される、請求項に記載の磁気式変位検出器。
a plurality of the objects to be detected are superimposed and fixed in the direction of the rotation axis;
4. The magnetic displacement detector according to claim 3 , wherein the detection bodies are arranged side by side so as to face the cylindrical circumferential surfaces of the plurality of detection bodies.
対象物の変位を検出する磁気式変位検出器であって、
前記対象物に固定される複数の被検出体であって、前記被検出体と前記対象物とは第1の留め具を介して固定され、前記被検出体それぞれの間は第2の留め具を介して固定される被検出体と、
前記被検出体の移動に伴う磁束密度の変化を検知して前記被検出体の位置に応じた信号を個々に出力する複数の検出体と、
を備え、
前記複数の検出体のそれぞれは、前記複数の検出体のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、前記被検出体における前記対象物との固定部でない領域または前記被検出体における前記第1の留め具の装着部分を含む領域が位置するように配置され
前記第1の留め具及び第2の留め具は、ネジであり、
前記ネジの締結により、前記被検出体と前記対象物とが固定され、前記被検出体それぞれの間が固定される、磁気式変位検出器。
A magnetic displacement detector for detecting displacement of an object,
A plurality of objects to be detected fixed to the object, wherein the objects to be detected and the object are fixed via a first fastener, and a second fastener is provided between each of the objects to be detected. A detected object fixed via
a plurality of detection bodies that detect changes in magnetic flux density accompanying movement of the detection body and individually output signals corresponding to the positions of the detection bodies;
with
Each of the plurality of detection bodies has a magnetic flux density detection range of at least one detection body among the plurality of detection bodies. Arranged so that the region including the mounting portion of the first fastener is located ,
the first fastener and the second fastener are screws;
A magnetic displacement detector in which the object to be detected and the object are fixed by tightening the screw, and the portions between the objects to be detected are fixed .
前記複数の検出体のうちのいずれかの検出体の磁束密度検出範囲に前記被検出体における前記第2の留め具の装着部分を含む領域が位置するときに、前記複数の検出体のうちの少なくとも1つの検出体の磁束密度検出範囲に、前記被検出体における前記対象物との固定部でない領域または前記被検出体における前記第1の留め具の装着部分を含む領域が位置するように、前記被検出体に、前記第1の留め具及び第2の留め具の装着部分が設けられる、請求項に記載の磁気式変位検出器。 When the area including the mounting portion of the second fastener of the object to be detected is positioned within the magnetic flux density detection range of any one of the plurality of detection objects, one of the plurality of detection objects So that a region of the detected body that is not fixed to the object or a region that includes the mounting portion of the first fastener in the detected body is located in the magnetic flux density detection range of at least one detection body, 6. The magnetic displacement detector according to claim 5 , wherein the body to be detected is provided with mounting portions for the first fastener and the second fastener. 前記被検出体は、円筒形状を有し、
前記対象物の回転軸と前記被検出体の回転軸とが一致するように、前記被検出体それぞれの前記円筒形状の軸端面に前記第1の留め具及び第2の留め具が装着され、
前記複数の検出体のそれぞれは、前記被検出体の前記円筒形状の円周面に対向して並設される、請求項5または6に記載の磁気式変位検出器。
The object to be detected has a cylindrical shape,
The first fastener and the second fastener are attached to the cylindrical shaft end surfaces of the respective detection objects so that the rotation axis of the object and the rotation axis of the detection object are aligned,
7. The magnetic displacement detector according to claim 5 , wherein each of said plurality of detection bodies is arranged side by side facing said cylindrical circumferential surface of said detection target body.
前記複数の検出体のそれぞれは、直線移動する前記対象物に固定された前記被検出体の直線移動方向に並設される、請求項1、2、5または6のいずれか一項に記載の磁気式変位検出器。 7. The object according to any one of claims 1 , 2, 5, or 6 , wherein each of said plurality of detection bodies is arranged side by side in a linear movement direction of said detection object fixed to said object that moves linearly. Magnetic displacement detector. 前記検出体が出力した信号に基づき、前記対象物の変位情報を取得する信号処理部をさらに備える、請求項1~のいずれか一項に記載の磁気式変位検出器。 The magnetic displacement detector according to any one of claims 1 to 8 , further comprising a signal processing unit that acquires displacement information of the object based on the signal output by the detection body.
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