JP7143871B2 - electric actuator - Google Patents

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Description

本発明は、電動アクチュエータに関する。 The present invention relates to an electric actuator.

軸方向の荷重を検出する荷重検出手段を備えた電動アクチュエータの構成を開示した先行文献として、特開2014-168373号公報(特許文献1)および特開2009-101419号公報(特許文献2)がある。 Japanese Patent Laying-Open No. 2014-168373 (Patent Document 1) and Japanese Patent Laying-Open No. 2009-101419 (Patent Document 2) disclose the configuration of an electric actuator having load detection means for detecting an axial load. be.

特許文献1に記載された電動シリンダにおいては、荷重検出手段となる歪検出部は、外筒体を構成する第1の筒部と第2の筒部とに挟持される板状部材に設けられている。板状部材は、複数の切り抜き孔が設けられることにより、外周囲に設けられる第1の筒部および第2の筒部に挟持される固定部と、中央に設けられロッドに加わる軸方向の荷重を受ける荷重受け部と、固定部および荷重受け部を結合するとともに歪を受感するための受感部とを有するよう構成されている。荷重受け部は、軸受により受けたスラスト方向の荷重を軸受保持部材を介して受ける。 In the electric cylinder described in Patent Document 1, the strain detection section, which serves as the load detection means, is provided in a plate-like member sandwiched between a first cylindrical section and a second cylindrical section that constitute an outer cylindrical body. ing. By providing a plurality of cutout holes, the plate-like member has a fixed portion sandwiched between the first cylindrical portion and the second cylindrical portion provided on the outer circumference, and an axial load applied to the rod provided in the center. and a sensing portion for coupling the fixed portion and the load receiving portion and for sensing strain. The load receiving portion receives a thrust-direction load received by the bearing via the bearing holding member.

特許文献2に記載されたサーボプレスにおいては、押圧ロッドを支持する1対のスラストベアリングとは別に設けられた1対のスラストベアリングを介して挟持された環状の変位部材および歪みゲージによって荷重センサを構成している。 In the servo press disclosed in Patent Document 2, a load sensor is implemented by an annular displacement member and a strain gauge sandwiched between a pair of thrust bearings provided separately from a pair of thrust bearings that support a pressing rod. Configure.

特開2014-168373号公報(平成26年9月11日公開)JP 2014-168373 A (published on September 11, 2014) 特開2009-101419号公報(平成21年5月14日公開)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-101419 (published on May 14, 2009)

特許文献1に記載された電動アクチュエータにおいては、荷重検出手段が設けられる板状部材の外周面が外筒体の外部に露出しており、屋外などで電動アクチュエータを使用した場合の信頼性を向上できる余地がある。また、無負荷状態からの負荷荷重の検出を高精度にできる余地がある。特許文献2に記載された電動アクチュエータにおいては、荷重センサを設けるために、押圧ロッドを支持する1対のスラストベアリングとは別に1対のスラストベアリングを設けなければならず、電動アクチュエータの全長が長くなり大型化する。 In the electric actuator described in Patent Document 1, the outer peripheral surface of the plate-like member provided with the load detecting means is exposed to the outside of the outer cylindrical body, thereby improving reliability when the electric actuator is used outdoors. There is room for that. Moreover, there is room for highly accurate detection of the applied load from the no-load state. In the electric actuator described in Patent Document 2, in order to provide the load sensor, a pair of thrust bearings must be provided separately from the pair of thrust bearings that support the pressing rod, and the overall length of the electric actuator is long. become larger.

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、大型化することを抑制しつつ無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる信頼性の高い電動アクチュエータを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is a highly reliable electric motor that can detect with high accuracy both the push and pull loads from the no-load state while suppressing the increase in size. The object is to provide an actuator.

本発明に基づく電動アクチュエータは、駆動機構と、軸体と、移動可能なナットと、筐体と、第1軸受および第2軸受と、第1荷重センサおよび第2荷重センサとを備える。軸体は、軸方向に延在し、ねじ軸部を有する。ナットは、ねじ軸部にボールを介して螺合し、駆動機構が駆動することにより軸体に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。筐体は、軸体の一部を収容する。第1軸受および第2軸受の各々の少なくとも一部は、軸体が挿通された状態で筐体内に配置されている。第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々は、筐体内に配置されている。第1荷重センサは、上記軸方向において第1軸受と並んで配置されている。第2荷重センサは、上記軸方向において第2軸受と並んで配置されている。第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。軸体に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサの検出値が増加しつつ第1荷重センサの検出値が減少するように、かつ、軸体に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサの検出値が増加しつつ第2荷重センサの検出値が減少するように、第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々が配置されている。 An electric actuator according to the present invention includes a drive mechanism, a shaft, a movable nut, a housing, first and second bearings, and first and second load sensors. The shaft extends axially and has a threaded shaft. The nut is screwed onto the screw shaft via the ball, and is movable in the axial direction relative to the shaft by being driven by the drive mechanism. The housing accommodates a portion of the shaft. At least part of each of the first bearing and the second bearing is arranged in the housing with the shaft inserted therethrough. Each of the first load sensor and the second load sensor is arranged within the housing. The first load sensor is arranged side by side with the first bearing in the axial direction. The second load sensor is arranged side by side with the second bearing in the axial direction. Each of the first load sensor and the second load sensor is fixed in the housing under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. When a load is applied to the shaft in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor increases and the detection value of the first load sensor decreases, and The first load sensor and the second load sensor are arranged such that the detected value of the first load sensor increases and the detected value of the second load sensor decreases when a load is applied in the other axial direction. each are placed.

本発明の一形態においては、筐体は、上記軸方向において第1荷重センサが配置されている位置と第2荷重センサが配置されている位置との間に、筐体の内径が部分的に小さくなっている縮径部を有している。軸体は、軸体の上記一部が筐体に収容された状態において、上記軸方向における縮径部の位置より一方側の位置に雄ねじ部を有し、かつ、上記軸方向における縮径部の位置より他方側の位置に、軸体の直径が部分的に大きくなっている拡径部を有している。電動アクチュエータは、軸体の雄ねじ部と螺合するロックナットをさらに備える。第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々は、上記軸方向において縮径部と並んで配置されている。第1荷重センサおよび第1軸受は、縮径部とロックナットとの間に挟み込まれている。第2荷重センサおよび第2軸受は、縮径部と拡径部との間に挟み込まれている。 In one aspect of the present invention, the housing has an inner diameter that is partially between the position where the first load sensor is arranged and the position where the second load sensor is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter section. The shaft body has a male threaded portion at a position on one side of the position of the reduced diameter portion in the axial direction when the portion of the shaft body is accommodated in the housing, and the reduced diameter portion in the axial direction. At a position on the other side of the position of , there is an enlarged diameter portion in which the diameter of the shaft is partially increased. The electric actuator further includes a lock nut that screws together with the male threaded portion of the shaft. Each of the first load sensor and the second load sensor is arranged side by side with the reduced diameter portion in the axial direction. The first load sensor and first bearing are sandwiched between the reduced diameter portion and the locknut. The second load sensor and the second bearing are sandwiched between the reduced diameter portion and the enlarged diameter portion.

本発明の一形態においては、電動アクチュエータは、駆動機構が駆動することにより、軸体の周方向に回転する回転ホイールをさらに備える。筐体は、互いに接続される第1筐体および第2筐体を含む。回転ホイールは、筐体の内側に収容されている。第1荷重センサおよび第1軸受は、回転ホイールに対して上記軸方向の他方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。第2荷重センサおよび第2軸受は、回転ホイールに対して上記軸方向の一方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。第1筐体は、第1荷重センサおよび第1軸受が配置されている位置に対して上記軸方向における上記他方側の位置に、第1筐体の内径が部分的に小さくなっている第1縮径部を有している。第2筐体は、第2荷重センサおよび第2軸受が配置されている位置に対して上記軸方向における上記一方側の位置に、第2筐体の内径が部分的に小さくなっている第2縮径部を有している。第1荷重センサは、上記軸方向において第1縮径部と並んで配置されている。第2荷重センサは、上記軸方向において第2縮径部と並んで配置されている。第1荷重センサおよび第1軸受は、第1縮径部と回転ホイールとの間に挟み込まれている。第2荷重センサおよび第2軸受は、第2縮径部と回転ホイールとの間に挟み込まれている。 In one aspect of the present invention, the electric actuator further includes a rotary wheel that rotates in the circumferential direction of the shaft by being driven by the drive mechanism. The housing includes a first housing and a second housing that are connected to each other. A rotating wheel is housed inside the housing. The first load sensor and the first bearing are housed inside the housing while being positioned on the other side of the rotating wheel in the axial direction. The second load sensor and the second bearing are housed inside the housing while being positioned on one side of the rotating wheel in the axial direction. The first housing is positioned on the other side in the axial direction with respect to the position where the first load sensor and the first bearing are arranged. It has a reduced diameter portion. The second housing is positioned on the one side in the axial direction with respect to the position where the second load sensor and the second bearing are arranged. It has a reduced diameter portion. The first load sensor is arranged side by side with the first reduced diameter portion in the axial direction. The second load sensor is arranged side by side with the second reduced diameter portion in the axial direction. A first load sensor and a first bearing are sandwiched between the first reduced diameter portion and the rotating wheel. A second load sensor and a second bearing are sandwiched between the second reduced diameter portion and the rotating wheel.

本発明の一形態においては、軸体が回転ホイールとともに回転することにより、ナットが上記軸方向に移動する。 In one aspect of the invention, the nut moves in the axial direction as the shaft rotates with the rotating wheel.

本発明の一形態においては、ナットが回転ホイールとともに回転することにより、軸体が上記軸方向に移動する。 In one form of the present invention, the shaft moves in the axial direction as the nut rotates with the rotating wheel.

本発明の一形態において、前記筐体の内周面と、前記第1軸受および前記第2軸受との間に弾性体が設けられている。これにより、弾性体が、軸体の負荷によって生じる、第1軸受および第2軸受から筐体の内周面に向かう荷重を吸収するので、軸体の移動に抗する摩擦力が筐体に生じ難い。 In one aspect of the present invention, an elastic body is provided between the inner peripheral surface of the housing and the first bearing and the second bearing. As a result, the elastic body absorbs the load directed from the first bearing and the second bearing toward the inner peripheral surface of the housing, which is generated by the load of the shaft, so that a frictional force resisting the movement of the shaft is generated in the housing. hard.

本発明の一形態において、軸方向に延在した軸体の一部を収容する筐体と、前記軸体が挿通された状態で前記筐体内に配置された軸受と、前記筐体内で、前記軸方向において前記軸受と並んで配置された荷重センサと、前記筐体の内周面と前記軸受との間に介在する弾性体と、を備えている。これにより、弾性体が、軸体の負荷によって生じる、軸受から筐体の内周面に向かう荷重を吸収するので、軸体の移動に抗する摩擦力が筐体に生じ難い。 In one aspect of the present invention, a housing that accommodates a portion of the shaft extending in the axial direction, a bearing that is disposed in the housing with the shaft inserted therein, and in the housing, the A load sensor arranged in parallel with the bearing in the axial direction, and an elastic body interposed between the inner peripheral surface of the housing and the bearing are provided. As a result, the elastic body absorbs the load directed from the bearing to the inner peripheral surface of the housing, which is generated by the load of the shaft, so that frictional force against the movement of the shaft is less likely to occur in the housing.

本発明の一態様において、前記軸受は、第1軸受および第2軸受を含み、前記荷重センサは、第1荷重センサおよび第2荷重センサを含み、前記第1荷重センサは、前記軸方向において前記第1軸受と並んで配置されており、前記第2荷重センサは、前記軸方向において前記第2軸受と並んで配置されており、前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々は、前記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で前記筐体内に固定されており、前記軸体に対して前記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に前記第2荷重センサの検出値が増加しつつ前記第1荷重センサの検出値が減少するように、かつ、前記軸体に対して前記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に前記第1荷重センサの検出値が増加しつつ前記第2荷重センサの検出値が減少するように、前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々が配置されている。これにより、弾性体が、軸体の負荷によって生じる、各軸受から筐体の内周面に向かう荷重を吸収するので、軸体の移動に抗する摩擦力が筐体に生じ難い。従って、各荷重センサにおける荷重検出を正確に行うことが可能となる。 In one aspect of the present invention, the bearing includes a first bearing and a second bearing, the load sensor includes a first load sensor and a second load sensor, and the first load sensor extends in the axial direction. The second load sensor is arranged side by side with the first bearing, the second load sensor is arranged side by side with the second bearing in the axial direction, and each of the first load sensor and the second load sensor The second load sensor is fixed in the housing in a state in which a preload load is applied so as to be sandwiched in the axial direction, and the second load sensor is applied when a load is applied to the shaft in one of the axial directions. of the first load sensor when a load is applied to the shaft in the other axial direction so that the detected value of the first load sensor decreases while the detected value of Each of the first load sensor and the second load sensor is arranged such that the detected value of the second load sensor decreases while the detected value increases. As a result, the elastic body absorbs the load directed from the bearings to the inner peripheral surface of the housing, which is caused by the load of the shaft, so that frictional force against the movement of the shaft is less likely to occur in the housing. Therefore, it is possible to accurately detect the load in each load sensor.

本発明の一形態において、前記軸受は、テーパローラベアリングである。これにより、テーパローラベアリングによって、軸体の移動の際に生じるラジアル荷重およびスラスト荷重を同時に支持することが可能となる。しかも、ラジアル荷重は、弾性体により吸収され、軸体の移動に抗する摩擦力が筐体に生じ難いので、荷重センサにおける荷重検出を精度よく行うことが可能となる。 In one form of the invention, the bearing is a tapered roller bearing. As a result, the tapered roller bearing can simultaneously support the radial load and the thrust load that occur during movement of the shaft. Moreover, since the radial load is absorbed by the elastic body, the housing is unlikely to generate a frictional force that resists the movement of the shaft, so the load can be accurately detected by the load sensor.

本発明の一形態において、前記弾性体は、ゴム状弾性を有する部材からなる。これにより、弾性体としてゴム状弾性を有する部材の一種であるOリングを使用することが可能となる。従って、比較的安価で、入手が容易であり、且つ筐体の内周面と、第1軸受および第2軸受との間に容易に取付けることが可能となる。 In one aspect of the present invention, the elastic body is made of a member having rubber-like elasticity. This makes it possible to use an O-ring, which is a kind of member having rubber-like elasticity, as the elastic body. Therefore, it is relatively inexpensive, readily available, and can be easily installed between the inner peripheral surface of the housing and the first bearing and the second bearing.

本発明によれば、電動アクチュエータにおいて、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができるとともに信頼性を高めることができる。 Advantageous Effects of Invention According to the present invention, in an electric actuator, it is possible to detect with high accuracy both push and pull loads from a no-load state and to improve reliability.

本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。1 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 1 of the present invention; FIG. 可動筒に荷重が負荷されていない状態を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a state in which no load is applied to the movable cylinder; 可動筒に予圧荷重より低い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which a load lower than the preload load is applied to the movable cylinder; 可動筒に予圧荷重より高い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a state in which a load higher than a preload load is applied to the movable barrel; 本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 2 of the present invention; 本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 3 of the present invention; 本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 4 of the present invention; 本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a load detection unit according to Embodiment 5 of the present invention; 本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing a state in which the applied load detection unit according to Embodiment 5 of the present invention is attached to the electric actuator according to Embodiment 1 of the present invention; 本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a load detection unit according to Embodiment 6 of the present invention; 本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing a state in which the applied load detection unit according to Embodiment 6 of the present invention is attached to the electric actuator according to Embodiment 1 of the present invention; 本発明の実施形態7に係る荷重検出機構の構成を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a load detection mechanism according to Embodiment 7 of the present invention; 図12に示す荷重検出機構が備える荷重検出部の部分断面図である。FIG. 13 is a partial cross-sectional view of a load detection portion included in the load detection mechanism shown in FIG. 12; 図12に示す荷重検出機構における、負荷と荷重センサの出力電圧との関係を示すグラフである。13 is a graph showing the relationship between the load and the output voltage of the load sensor in the load detection mechanism shown in FIG. 12; 本発明の実施形態8に係る荷重検出機構の構成を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a load detection mechanism according to Embodiment 8 of the present invention; 図15に示す荷重検出機構が備える荷重検出部の部分断面図である。FIG. 16 is a partial cross-sectional view of a load detection portion included in the load detection mechanism shown in FIG. 15; 図15に示す荷重検出機構における、負荷と荷重センサの出力電圧との関係を示すグラフである。16 is a graph showing the relationship between the load and the output voltage of the load sensor in the load detection mechanism shown in FIG. 15;

以下、本発明の各実施形態に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。 An electric actuator according to each embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description of the embodiments, the same or corresponding parts in the drawings are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図1に示すように、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100は、駆動機構と、荷重検出機構と、軸体110と、移動可能なナット160とを備える。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 1, an electric actuator 100 according to Embodiment 1 of the present invention includes a drive mechanism, a load detection mechanism, a shaft 110, and a movable nut 160. As shown in FIG.

駆動機構は、モータ10、および、モータ10の出力軸部11に接続された減速機構部12を含む。減速機構部12は、軸体110における軸方向の一方側の端部に位置する回転軸部115に接続されている。本実施形態においては、モータ10と軸体110とが、互いに並列に配置されているが、これに限られず、モータ10と軸体110とが、同一直線状に配置されていてもよい。 The drive mechanism includes a motor 10 and a reduction mechanism section 12 connected to an output shaft section 11 of the motor 10 . The speed reduction mechanism 12 is connected to a rotating shaft 115 located at one end of the shaft 110 in the axial direction. In this embodiment, the motor 10 and the shaft 110 are arranged parallel to each other, but the arrangement is not limited to this, and the motor 10 and the shaft 110 may be arranged in the same straight line.

軸体110は、軸方向に延在している。軸体110には、上記軸方向の一方側から順に、回転軸部115、雄ねじ部114、円柱部113、拡径部112、および、ねじ軸部111が設けられている。拡径部112においては、軸体110の直径が部分的に大きくなっている。ねじ軸部111は、いわゆるボールねじのねじ軸として機能する部分である。 The shaft 110 extends axially. The shaft body 110 is provided with a rotating shaft portion 115, a male thread portion 114, a cylindrical portion 113, an enlarged diameter portion 112, and a threaded shaft portion 111 in this order from one side in the axial direction. At the enlarged diameter portion 112, the diameter of the shaft 110 is partially increased. The screw shaft portion 111 is a portion that functions as a screw shaft of a so-called ball screw.

ナット160は、ねじ軸部111にボールを介して螺合し、駆動機構が駆動することにより軸体110に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。ナット160は、いわゆるボールねじのナットである。電動アクチュエータ100においては、軸体110とナット160とを含むボールねじが構成されている。 The nut 160 is screwed onto the screw shaft portion 111 via a ball, and is movable in the axial direction relative to the shaft body 110 by being driven by the drive mechanism. The nut 160 is a so-called ball screw nut. Electric actuator 100 includes a ball screw including shaft 110 and nut 160 .

ナット160には、可動筒170が接続されている。可動筒170の内側に、軸体110のねじ軸部111が位置している。可動筒170は、ナット160とともに軸体110に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。可動筒170の上記軸方向の他方側の端部には、先端金具171が取り付けられている。本実施形態に係る電動アクチュエータ100においては、可動筒170および先端金具171が直線可動部となり、先端金具171が直線可動部の先端部となる。 A movable cylinder 170 is connected to the nut 160 . The threaded shaft portion 111 of the shaft body 110 is positioned inside the movable cylinder 170 . The movable barrel 170 can move along with the nut 160 relative to the shaft 110 in the axial direction. A tip fitting 171 is attached to the other end of the movable cylinder 170 in the axial direction. In the electric actuator 100 according to this embodiment, the movable cylinder 170 and the tip fitting 171 are the linearly movable portion, and the tip fitting 171 is the tip of the linearly movable portion.

荷重検出機構は、軸体110の軸方向の荷重を検出するための機構であって、筐体120、第1軸受131および第2軸受132、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142を含む。筐体120は、軸体110の一部を収容する。本実施形態においては、筐体120は、略円筒状の外形を有している。筐体120は、軸体110と同軸状に配置されている。筐体120の内部に、軸体110の円柱部113および拡径部112が位置している。筐体120には、筐体120の径方向に延在する2つの貫通孔123が設けられている。2つの貫通孔123のうちの一方から、第1荷重センサ141に接続された引出配線が筐体120の外側に引き出される。2つの貫通孔123のうちの他方から、第2荷重センサ142に接続された引出配線が筐体120の外側に引き出される。 The load detection mechanism is a mechanism for detecting the axial load of shaft 110, and includes housing 120, first bearing 131 and second bearing 132, first load sensor 141 and second load sensor 142. . The housing 120 accommodates part of the shaft 110 . In this embodiment, the housing 120 has a substantially cylindrical outer shape. The housing 120 is arranged coaxially with the shaft 110 . The cylindrical portion 113 and the enlarged diameter portion 112 of the shaft 110 are located inside the housing 120 . The housing 120 is provided with two through holes 123 extending in the radial direction of the housing 120 . A lead wire connected to the first load sensor 141 is led out to the outside of the housing 120 from one of the two through holes 123 . A lead wire connected to the second load sensor 142 is led out to the outside of the housing 120 from the other of the two through holes 123 .

筐体120の上記軸方向の一方側に、ハウジング20が配置されており、筐体120の上記軸方向の他方側に、外筒22が配置されている。筐体120は、ハウジング20と外筒22との間に挟まれた状態で、ハウジング20および外筒22の各々と接続されている。 The housing 20 is arranged on one side of the housing 120 in the axial direction, and the outer cylinder 22 is arranged on the other side of the housing 120 in the axial direction. Housing 120 is sandwiched between housing 20 and outer tube 22 and connected to each of housing 20 and outer tube 22 .

ハウジング20は、モータ10のモータハウジングと接続されている。ハウジング20の内部に、出力軸部11、減速機構部12、並びに、軸体110の回転軸部115および雄ねじ部114が位置している。軸体110の上記軸方向の一方側の端面と対向するように配置されたベースプレート21が、ハウジング20に取り付けられている。ベースプレート21は、上記軸方向に突出した突出部を有し、突出部には開口部21hが設けられている。 Housing 20 is connected to the motor housing of motor 10 . The output shaft portion 11 , the speed reduction mechanism portion 12 , and the rotating shaft portion 115 and male thread portion 114 of the shaft body 110 are located inside the housing 20 . A base plate 21 is attached to the housing 20 so as to face one end face of the shaft 110 in the axial direction. The base plate 21 has a projection projecting in the axial direction, and the projection is provided with an opening 21h.

外筒22の上記軸方向の他方側の端部に、外筒22と可動筒170との間を塞ぐブッシュ23が取り付けられている。ブッシュ23の内周面には、可動筒170の外周面と摺接する潤滑部材が設けられている。 A bush 23 is attached to the end of the outer cylinder 22 on the other side in the axial direction to block the gap between the outer cylinder 22 and the movable cylinder 170 . A lubricating member that is in sliding contact with the outer peripheral surface of the movable cylinder 170 is provided on the inner peripheral surface of the bush 23 .

ハウジング20、筐体120、外筒22およびブッシュ23によって囲まれた空間は、閉鎖空間となっている。なお、筐体120の2つの貫通孔123は、後述するように、筐体120に端子箱180などが取り付けられることにより閉塞される。 A space surrounded by the housing 20, the casing 120, the outer cylinder 22 and the bush 23 is a closed space. The two through-holes 123 of the housing 120 are closed by attaching a terminal box 180 or the like to the housing 120, as will be described later.

第1軸受131および第2軸受132の各々の少なくとも一部は、軸体110が挿通された状態で筐体120内に配置されている。第1軸受131および第2軸受132の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1軸受131および第2軸受132の各々は、たとえば、転がり軸受またはすべり軸受である。具体的には、第1軸受131および第2軸受132の各々は、円すいころ軸受でもよい。 At least a portion of each of the first bearing 131 and the second bearing 132 is arranged in the housing 120 with the shaft 110 inserted therethrough. Cylindrical portion 113 of shaft 110 is positioned inside each of first bearing 131 and second bearing 132 . Each of first bearing 131 and second bearing 132 is, for example, a rolling bearing or a sliding bearing. Specifically, each of first bearing 131 and second bearing 132 may be a tapered roller bearing.

第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、環状であり、軸体110が挿通された状態で筐体120内に配置されている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1荷重センサ141は、第1軸受131と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、第2軸受132と並んで配置されている。本実施形態においては、第1荷重センサ141は、第1軸受131と直接的に接しているが、たとえば、ワッシャなどを介して第1軸受131と間接的に接していてもよい。第2荷重センサ142は、第2軸受132と直接的に接しているが、たとえば、ワッシャなどを介して第2軸受132と間接的に接していてもよい。また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の形状は、環状に限られない。 Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 has an annular shape and is arranged in the housing 120 with the shaft 110 inserted therethrough. Cylindrical portion 113 of shaft 110 is positioned inside each of first load sensor 141 and second load sensor 142 . The first load sensor 141 is arranged side by side with the first bearing 131 . The second load sensor 142 is arranged side by side with the second bearing 132 . Although the first load sensor 141 is in direct contact with the first bearing 131 in the present embodiment, it may be in indirect contact with the first bearing 131 via a washer or the like, for example. Second load sensor 142 is in direct contact with second bearing 132, but may be in indirect contact with second bearing 132 via a washer or the like, for example. Moreover, the shape of each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is not limited to an annular shape.

第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、たとえば、ひずみゲージ式、圧電式、磁歪式、静電容量式、ジャイロ式、ばね式または音叉式の荷重センサである。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、いわゆるロードセルで構成されていてもよい。 Each of first load sensor 141 and second load sensor 142 is, for example, a strain gauge type, piezoelectric type, magnetostrictive type, capacitance type, gyro type, spring type, or tuning fork type load sensor. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 may be composed of a so-called load cell.

筐体120は、上記軸方向において第1荷重センサ141が配置されている位置と第2荷重センサ142が配置されている位置との間に、筐体120の内径が部分的に小さくなっている縮径部122を有している。 The inner diameter of the housing 120 is partially reduced between the position where the first load sensor 141 is arranged and the position where the second load sensor 142 is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion 122 .

具体的には、筐体120において、第1軸受131および第1荷重センサ141を囲んでいる内周面121と、第2軸受132および第2荷重センサ142を囲んでいる内周面121との間に、内周面121より内径の小さい縮径部122が設けられている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において縮径部122と並んで配置されている。 Specifically, in housing 120, inner peripheral surface 121 surrounding first bearing 131 and first load sensor 141 and inner peripheral surface 121 surrounding second bearing 132 and second load sensor 142 Between them, a reduced-diameter portion 122 having an inner diameter smaller than that of the inner peripheral surface 121 is provided. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged side by side with the reduced diameter portion 122 in the axial direction.

軸体110は、軸体110の円柱部113および拡径部112が筐体120に収容された状態において、上記軸方向における縮径部122の位置より一方側の位置に雄ねじ部114を有し、かつ、上記軸方向における縮径部122の位置より他方側の位置に拡径部112を有している。 The shaft 110 has a male threaded portion 114 at a position on one side of the position of the reduced diameter portion 122 in the axial direction when the cylindrical portion 113 and the enlarged diameter portion 112 of the shaft 110 are accommodated in the housing 120 . Moreover, it has the enlarged diameter portion 112 at a position on the other side of the position of the reduced diameter portion 122 in the axial direction.

電動アクチュエータ100は、軸体110の雄ねじ部114と螺合するロックナット150をさらに備える。縮径部122に対して上記軸方向の一方側に位置する第1荷重センサ141および第1軸受131、並びに、縮径部122に対して上記軸方向の他方側に位置する第2荷重センサ142および第2軸受132を、上記軸方向の一方側に向けて挿通した軸体110の雄ねじ部114と、ロックナット150とが螺合することにより、第1荷重センサ141および第1軸受131が縮径部122とロックナット150との間に挟み込まれ、第2荷重センサ142および第2軸受132が縮径部122と拡径部112との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体120内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット150を雄ねじ部114に締め込んだときの軸力によって発生している。 The electric actuator 100 further includes a lock nut 150 that screws together with the male threaded portion 114 of the shaft 110 . A first load sensor 141 and a first bearing 131 positioned on one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 122 , and a second load sensor 142 positioned on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 122 . The first load sensor 141 and the first bearing 131 are contracted by screwing the lock nut 150 and the male threaded portion 114 of the shaft body 110 inserted through the second bearing 132 toward one side in the axial direction. Sandwiched between diameter portion 122 and lock nut 150 , second load sensor 142 and second bearing 132 are sandwiched between diameter-reduced portion 122 and diameter-enlarged portion 112 . As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed inside the housing 120 under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force when the lock nut 150 is tightened onto the male threaded portion 114 .

端子箱180は、本体部181、蓋部182、パッキン183およびシール部184を含む。本体部181の底面は、シール部184を介して筐体120の外周面と接している。シール部184によって、筐体120と端子箱180とが、気密に接続されている。 Terminal box 180 includes main body portion 181 , lid portion 182 , packing 183 and seal portion 184 . The bottom surface of the body portion 181 is in contact with the outer peripheral surface of the housing 120 via the seal portion 184 . The housing 120 and the terminal box 180 are airtightly connected by the sealing portion 184 .

本体部181の底面には、筐体120の2つの貫通孔123に対応する開口が設けられている。この開口および貫通孔123を通じて、第1荷重センサ141に接続された引出配線および第2荷重センサ142に接続された引出配線の各々が、端子箱180の内部に引き込まれている。 Openings corresponding to the two through-holes 123 of the housing 120 are provided on the bottom surface of the body portion 181 . Through this opening and through hole 123 , each of the lead wires connected to first load sensor 141 and the lead wire connected to second load sensor 142 is led into terminal box 180 .

本体部181の内部に、基板を保持する基板台186、および、アンプを保持するアンプ台187が設けられている。本体部181は、パッキン183を介して蓋部182によって気密に閉鎖されている。 A substrate base 186 for holding a substrate and an amplifier base 187 for holding an amplifier are provided inside the body portion 181 . The body portion 181 is airtightly closed by a lid portion 182 via a packing 183 .

上記のように、筐体120に端子箱180などが取り付けられて、筐体120の2つの貫通孔123が閉塞されることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体120の外部に露出しないようにすることができる。 As described above, the terminal box 180 and the like are attached to the housing 120 and the two through holes 123 of the housing 120 are closed, so that the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are connected to the housing 120. It can be made so that it is not exposed to the outside.

モータ10が正転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、先端金具171には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F1は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F1は、軸体110の拡径部112から第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor 10 rotates forward and the end fitting 171 pushes the object in the other axial direction, the load F1 is applied to the end fitting 171 in the one axial direction. A load F<b>1 applied to the end fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170 . The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the threaded shaft portion 111 of the shaft body 110 via the balls. Load F<b>1 propagated to shaft 110 propagates from enlarged diameter portion 112 of shaft 110 to second load sensor 142 via second bearing 132 . As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータ10が逆転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、先端金具171には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F2は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F2は、軸体110の雄ねじ部114からロックナット150および第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the end fitting 171 pulls the object in one of the axial directions, the load F2 is applied to the end fitting 171 in the other axial direction. A load F<b>2 applied to the end fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170 . The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the balls. Load F<b>2 propagated to shaft 110 propagates from male threaded portion 114 of shaft 110 to first load sensor 141 via lock nut 150 and first bearing 131 . As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

ここで、電動アクチュエータ100が備える荷重検出機構において、予圧荷重が負荷されている、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の検出値から負荷荷重を算出する方法について説明する。 Here, in the load detection mechanism of the electric actuator 100, a method of calculating the applied load from the detected values of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 to which the preload load is applied will be described.

図2は、可動筒に荷重が負荷されていない状態を示す模式図である。図2においては、電動アクチュエータ100において第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の周囲の構成のみ図示しており、先端金具171は図示していない。 FIG. 2 is a schematic diagram showing a state in which no load is applied to the movable cylinder. In FIG. 2, only the configuration around the first load sensor 141 and the second load sensor 142 in the electric actuator 100 is illustrated, and the end fitting 171 is not illustrated.

可動筒170に荷重が負荷されていない状態においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重F0のみ負荷される。この状態においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の検出値はF0となる。たとえば、予圧荷重F0=80kgである場合、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の検出値は80kgとなる。 When no load is applied to movable cylinder 170, only preload load F0 is applied to first load sensor 141 and second load sensor 142, respectively. In this state, the detection values of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are F0. For example, when the preload load F0=80 kg, the detected value of each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is 80 kg.

すなわち、可動筒170に負荷されている荷重は、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引いて、80kg-80kg=0kgであると算出することができる。 In other words, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142 to be 80 kg-80 kg=0 kg.

図3は、可動筒に予圧荷重より低い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。図3に示すように、可動筒170が予圧荷重より低い荷重Faで物体を押しているとき、可動筒170に上記軸方向の一方に向けて荷重Faが負荷される。この状態において、第1荷重センサ141には予圧荷重F’0が負荷され、第2荷重センサ142には予圧荷重F’0および荷重Faが負荷される。たとえば、予圧荷重F0=80kg、荷重Fa=20kgである場合、第1荷重センサ141の検出値は70kgとなり、第2荷重センサ142の検出値は90kgとなる。 FIG. 3 is a schematic diagram showing a state in which a load lower than the preload load is applied to the movable cylinder. As shown in FIG. 3, when the movable barrel 170 is pushing an object with a load Fa that is lower than the preload, the movable barrel 170 is loaded with the load Fa in one of the axial directions. In this state, the preload load F'0 is applied to the first load sensor 141, and the preload load F'0 and the load Fa are applied to the second load sensor 142. As shown in FIG. For example, when the preload load F0=80 kg and the load Fa=20 kg, the detected value of the first load sensor 141 is 70 kg, and the detected value of the second load sensor 142 is 90 kg.

すなわち、可動筒170に負荷されている荷重は、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引いて、90kg-70kg=20kgであると算出することができる。 In other words, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142 to be 90 kg-70 kg=20 kg.

図4は、可動筒に予圧荷重より高い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。図4に示すように、可動筒170が予圧荷重より高い荷重Fbで物体を押しているとき、可動筒170に上記軸方向の一方に向けて荷重Fbが負荷される。たとえば、予圧荷重F0=80kg、荷重Fb=200kgである場合、第1荷重センサ141の検出値は0kgとなり、第2荷重センサ142の検出値は200kgとなる。 FIG. 4 is a schematic diagram showing a state in which a load higher than the preload load is applied to the movable cylinder. As shown in FIG. 4, when the movable barrel 170 is pushing an object with a load Fb higher than the preload, the movable barrel 170 is loaded with the load Fb in one axial direction. For example, when the preload load F0=80 kg and the load Fb=200 kg, the detected value of the first load sensor 141 is 0 kg and the detected value of the second load sensor 142 is 200 kg.

すなわち、可動筒170に負荷されている荷重は、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引いて、200kg-0kg=200kgであると算出することができる。 In other words, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142 to be 200 kg-0 kg=200 kg.

上記のように、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、可動筒170に負荷されている荷重を算出することができる。算出された荷重の値が正である場合は、可動筒170に上記軸方向の一方に向いた荷重が負荷されており、算出された荷重の値が負である場合は、可動筒170に上記軸方向の他方に向いた荷重が負荷されている。 As described above, by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated. When the calculated load value is positive, the movable cylinder 170 is loaded with the load in one of the axial directions. A load directed in the other axial direction is applied.

上記のように、本実施形態に係る電動アクチュエータ100においては、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 As described above, in the electric actuator 100 according to the present embodiment, when a load is applied to the shaft 110 in one of the axial directions, the detected value of the second load sensor 142 increases while When a load is applied to the shaft 110 in the other axial direction so that the detection value of the first load sensor 141 decreases, the detection value of the first load sensor 141 increases while the second load sensor 141 increases. Each of first load sensor 141 and second load sensor 142 is arranged such that the detection value of load sensor 142 decreases.

本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体120内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 100 according to Embodiment 1 of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is placed inside the housing 120 in a state in which a preload load is applied so as to be sandwiched in the axial direction. Fixed. Further, when a load is applied to the shaft 110 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 142 increases while the detection value of the first load sensor 141 decreases, and , so that when a load is applied to the shaft 110 in the other axial direction, the detected value of the first load sensor 141 increases and the detected value of the second load sensor 142 decreases. Each of load sensor 141 and second load sensor 142 is arranged.

可動筒170に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ100において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since the preload load is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from the no-load state in which no load is applied to the movable cylinder 170, the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are loaded. It is possible to reduce the detection error in each of the sensors 142 when detecting a minute load. As a result, in the electric actuator 100, it is possible to detect with high accuracy both the push and pull loads from the no-load state.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体120の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ100の信頼性を高めることができる。 Also, by not exposing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 to the outside of the housing 120, water and dust can be prevented from adhering to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. can be suppressed, and the reliability of the electric actuator 100 can be enhanced.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ100が大型化することを抑制することができる。 Furthermore, since it is not necessary to provide a pair of bearings in addition to the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft 110, it is possible to suppress the electric actuator 100 from increasing in size.

(実施形態2)
以下、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200は、駆動機構および予圧荷重を負荷するための構成が主に、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と異なるため、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と同様である構成については説明を繰り返さない。
(Embodiment 2)
An electric actuator according to Embodiment 2 of the present invention will be described below with reference to the drawings. The electric actuator 200 according to Embodiment 2 of the present invention differs from the electric actuator 100 according to Embodiment 1 of the present invention mainly in the configuration for applying the drive mechanism and the preload load. The description of the configuration similar to that of the electric actuator 100 will not be repeated.

図5は、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図5に示すように、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200は、駆動機構と、軸体110と、移動可能なナット160と、筐体と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。 FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 2 of the present invention. As shown in FIG. 5, an electric actuator 200 according to Embodiment 2 of the present invention includes a drive mechanism, a shaft body 110, a movable nut 160, a housing, a first bearing 131 and a second bearing 132. , a first load sensor 141 and a second load sensor 142 .

電動アクチュエータ200は、駆動機構が駆動することにより、軸体110の周方向に回転する回転ホイール40をさらに備える。具体的には、駆動機構は、モータ、および、モータの出力軸部に接続された円筒ウォーム30を含む。円筒ウォーム30は、ウォームホイールである回転ホイール40と係合している。円筒ウォーム30および回転ホイール40は、ウォームギヤを構成している。 The electric actuator 200 further includes a rotary wheel 40 that rotates in the circumferential direction of the shaft 110 when driven by the drive mechanism. Specifically, the drive mechanism includes a motor and a cylindrical worm 30 connected to the output shaft of the motor. Cylindrical worm 30 is engaged with rotating wheel 40, which is a worm wheel. Cylindrical worm 30 and rotating wheel 40 constitute a worm gear.

軸体110には、上記軸方向の一方側から順に、雄ねじ部114、円柱部113、および、ねじ軸部111が設けられている。ねじ軸部111の最小直径は、円柱部113の直径より大きい。 The shaft body 110 is provided with a male threaded portion 114, a cylindrical portion 113, and a threaded shaft portion 111 in this order from one side in the axial direction. The minimum diameter of screw shaft portion 111 is larger than the diameter of cylindrical portion 113 .

筐体は、互いに接続される第1筐体230および第2筐体220を含む。第1筐体230は、第2筐体220と同軸状に位置しつつ、第1筐体230の上記軸方向の一方側の端部233が第2筐体220の上記軸方向の他方側の端部223の内側に入り込んだ状態で第2筐体220に固定されている。第2筐体220の内周面221における上記軸方向の他方側の端部と、第1筐体230の端部233の外周面とが互いに接している。 The housing includes a first housing 230 and a second housing 220 that are connected to each other. The first housing 230 is positioned coaxially with the second housing 220, and an end portion 233 on one side of the first housing 230 in the axial direction is located on the other side of the second housing 220 in the axial direction. It is fixed to the second housing 220 while being inserted inside the end portion 223 . The other axial end of the inner peripheral surface 221 of the second housing 220 and the outer peripheral surface of the end 233 of the first housing 230 are in contact with each other.

第2筐体220の端部223と、第1筐体230のフランジ部232とが上記軸方向において互いに当接するように、第1筐体230と第2筐体220とが、図示しないボルトによって締結固定されている。 The first housing 230 and the second housing 220 are held together by bolts (not shown) such that the end portion 223 of the second housing 220 and the flange portion 232 of the first housing 230 are in contact with each other in the axial direction. fastening is fixed.

円筒ウォーム30および回転ホイール40は、第2筐体220の内側に収容されている。第1荷重センサ141および第1軸受131は、回転ホイール40に対して上記軸方向の上記他方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、回転ホイール40に対して上記軸方向の一方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。 Cylindrical worm 30 and rotating wheel 40 are housed inside second housing 220 . The first load sensor 141 and the first bearing 131 are housed inside the housing while being positioned on the other side in the axial direction with respect to the rotary wheel 40 . The second load sensor 142 and the second bearing 132 are housed inside the housing while being positioned on one side of the rotating wheel 40 in the axial direction.

第1筐体230は、第1荷重センサ141および第1軸受131が配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置に、第1筐体230の内径が部分的に小さくなっている第1縮径部234を有している。第1筐体230において、第1縮径部234は、第1荷重センサ141および第1軸受131を囲んでいる内周面231と隣り合っている。 The first housing 230 is positioned on the other side in the axial direction with respect to the position where the first load sensor 141 and the first bearing 131 are arranged, and the inner diameter of the first housing 230 is partially reduced. It has a first reduced diameter portion 234 that extends downward. In the first housing 230 , the first reduced diameter portion 234 is adjacent to the inner peripheral surface 231 surrounding the first load sensor 141 and the first bearing 131 .

第2筐体220は、第2荷重センサ142および第2軸受132が配置されている位置に対して上記軸方向における一方側の位置に、第2筐体220の内径が部分的に小さくなっている第2縮径部222を有している。第2筐体220において、第2縮径部222は、第2荷重センサ142および第2軸受132を囲んでいる内周面と隣り合っている。 The second housing 220 is positioned on one side in the axial direction with respect to the position where the second load sensor 142 and the second bearing 132 are arranged, and the inner diameter of the second housing 220 is partially reduced. It has a second reduced diameter portion 222 that extends downward. In the second housing 220 , the second reduced diameter portion 222 is adjacent to the inner peripheral surface surrounding the second load sensor 142 and the second bearing 132 .

第1荷重センサ141は、上記軸方向において第1縮径部234と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、上記軸方向において第2縮径部222と並んで配置されている。 The first load sensor 141 is arranged side by side with the first reduced diameter portion 234 in the axial direction. The second load sensor 142 is arranged side by side with the second reduced diameter portion 222 in the axial direction.

回転ホイール40の内周面41には、軸体110の上記軸方向の上記一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部114と螺合する雌ねじ部が設けられている。軸体110の上記軸方向の一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部114と、回転ホイール40の雌ねじ部とが螺合することにより、軸体110と回転ホイール40とが互いに接続される。軸体110の雄ねじ部114と回転ホイール40の雌ねじ部とが螺合した状態において、回転ホイール40の上記軸方向の他方側の端部と、軸体110のねじ軸部111の上記軸方向の一方側の端部とが、上記軸方向において互いに当接している。 The inner peripheral surface 41 of the rotary wheel 40 is provided with a female threaded portion that is screwed with the male threaded portion 114 provided on the outer peripheral surface of the shaft 110 at the one end in the axial direction. The shaft 110 and the rotary wheel 40 are connected to each other by screwing together the male threaded portion 114 provided on the outer peripheral surface of the axial end of the shaft 110 and the female threaded portion of the rotary wheel 40. be done. In a state where the male threaded portion 114 of the shaft 110 and the female threaded portion of the rotating wheel 40 are screwed together, the other end portion of the rotating wheel 40 in the axial direction and the threaded shaft portion 111 of the shaft 110 are axially aligned. The ends on one side are in contact with each other in the axial direction.

回転ホイール40には、円筒ウォーム30と係合する歯部、歯部に対して上記軸方向の他方側に並んで位置する第1肩部43、および、歯部に対して上記軸方向の一方側に並んで位置する第2肩部42が設けられている。 The rotating wheel 40 has a tooth portion that engages with the cylindrical worm 30, a first shoulder portion 43 that is aligned with the tooth portion on the other side in the axial direction, and a shoulder portion 43 that is aligned with the tooth portion on the other side in the axial direction. Side-by-side second shoulders 42 are provided.

第1荷重センサ141および第1軸受131は、第1縮径部234と第1肩部43との間に挟み込まれている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、第2縮径部222と第2肩部42との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、第1筐体230と第2筐体220とを締結固定する図示しないボルトの軸力によって発生している。 The first load sensor 141 and the first bearing 131 are sandwiched between the first reduced diameter portion 234 and the first shoulder portion 43 . The second load sensor 142 and the second bearing 132 are sandwiched between the second reduced diameter portion 222 and the second shoulder portion 42 . As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload load is generated by the axial force of the bolt (not shown) that fastens and fixes the first housing 230 and the second housing 220 .

モータが正転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、先端金具171には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F1は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F1は、軸体110のねじ軸部111から回転ホイール40に伝播する。回転ホイール40に伝播した荷重F1は、回転ホイール40の第2肩部42から第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor rotates forward and the tip fitting 171 pushes the object in the other axial direction, a load F1 is applied to the tip fitting 171 in the one axial direction. A load F<b>1 applied to the end fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170 . The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the threaded shaft portion 111 of the shaft body 110 via the balls. The load F<b>1 propagated to the shaft 110 propagates from the threaded shaft portion 111 of the shaft 110 to the rotating wheel 40 . The load F<b>1 propagated to the rotating wheel 40 propagates from the second shoulder 42 of the rotating wheel 40 to the second load sensor 142 via the second bearing 132 . As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータが逆転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、先端金具171には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F2は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F2は、軸体110の雄ねじ部114から回転ホイール40および第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor reversely drives and the end fitting 171 pulls the object in one of the axial directions, the load F2 is applied to the end fitting 171 in the other axial direction. A load F<b>2 applied to the end fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170 . The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the balls. Load F<b>2 propagated to shaft 110 propagates from male threaded portion 114 of shaft 110 to first load sensor 141 via rotary wheel 40 and first bearing 131 . As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200においても、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、可動筒170に負荷されている荷重を算出することができる。 Also in the electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142. can.

本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing under a preload so as to be sandwiched in the axial direction. ing. Further, when a load is applied to the shaft 110 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 142 increases while the detection value of the first load sensor 141 decreases, and , so that when a load is applied to the shaft 110 in the other axial direction, the detected value of the first load sensor 141 increases and the detected value of the second load sensor 142 decreases. Each of load sensor 141 and second load sensor 142 is arranged.

可動筒170に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ200において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since the preload load is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from the no-load state in which no load is applied to the movable cylinder 170, the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are loaded. It is possible to reduce the detection error in each of the sensors 142 when detecting a minute load. As a result, in the electric actuator 200, it is possible to detect with high accuracy the applied load in both pushing and pulling from the no-load state.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ200の信頼性を高めることができる。 In addition, by not exposing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 to the outside of the housing, the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are prevented from being contaminated with water, dust, and the like. By suppressing this, the reliability of the electric actuator 200 can be improved.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ200が大型化することを抑制することができる。 Furthermore, since it is not necessary to provide a pair of bearings separately from the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft 110, it is possible to suppress the electric actuator 200 from increasing in size.

(実施形態3)
以下、本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300は、回転ホイールがナットと接続されている点が主に、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200と異なるため、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200と同様である構成については説明を繰り返さない。
(Embodiment 3)
An electric actuator according to Embodiment 3 of the present invention will be described below with reference to the drawings. The electric actuator 300 according to Embodiment 3 of the present invention differs from the electric actuator 200 according to Embodiment 2 of the present invention mainly in that the rotary wheel is connected to the nut. The description of the configuration similar to that of electric actuator 200 will not be repeated.

図6は、本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図6に示すように、本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300は、駆動機構と、軸体110と、ナット360と、筐体と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。 FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 3 of the present invention. As shown in FIG. 6, an electric actuator 300 according to Embodiment 3 of the present invention includes a drive mechanism, a shaft 110, a nut 360, a housing, a first bearing 131 and a second bearing 132, and a first A load sensor 141 and a second load sensor 142 are provided.

電動アクチュエータ300は、駆動機構が駆動することにより、軸体110の周方向に回転する回転ホイール40をさらに備える。具体的には、駆動機構は、モータ、および、モータの出力軸部に接続された円筒ウォーム30を含む。円筒ウォーム30は、ウォームホイールである回転ホイール40と係合している。円筒ウォーム30および回転ホイール40は、ウォームギヤを構成している。軸体110には、ねじ軸部111が設けられている。 The electric actuator 300 further includes a rotary wheel 40 that rotates in the circumferential direction of the shaft 110 when driven by the drive mechanism. Specifically, the drive mechanism includes a motor and a cylindrical worm 30 connected to the output shaft of the motor. Cylindrical worm 30 is engaged with rotating wheel 40, which is a worm wheel. Cylindrical worm 30 and rotating wheel 40 constitute a worm gear. A screw shaft portion 111 is provided on the shaft body 110 .

筐体は、互いに接続される第1筐体330および第2筐体220を含む。第1筐体330は、第2筐体220と同軸状に位置しつつ、第1筐体330の上記軸方向の一方側の端部333が第2筐体220の上記軸方向の他方側の端部223の内側に入り込んだ状態で第2筐体220に固定されている。第2筐体220の内周面221における上記軸方向の他方側の端部と、第1筐体330の端部333の外周面とが互いに接している。回転ホイール40の外周面における上記軸方向の他方側の端部と、第1筐体330の端部333の内周面335とが互いに接している。 The housing includes a first housing 330 and a second housing 220 that are connected to each other. The first housing 330 is positioned coaxially with the second housing 220 such that an end portion 333 on one side of the first housing 330 in the axial direction is located on the other side of the second housing 220 in the axial direction. It is fixed to the second housing 220 while being inserted inside the end portion 223 . The other axial end of the inner peripheral surface 221 of the second housing 220 and the outer peripheral surface of the end 333 of the first housing 330 are in contact with each other. The other axial end of the outer peripheral surface of the rotating wheel 40 and the inner peripheral surface 335 of the end 333 of the first housing 330 are in contact with each other.

第2筐体220の端部223と、第1筐体330のフランジ部332とが上記軸方向において互いに当接するように、第1筐体330と第2筐体220とが、ボルト240によって締結固定されている。 The first housing 330 and the second housing 220 are fastened with bolts 240 so that the end portion 223 of the second housing 220 and the flange portion 332 of the first housing 330 are in contact with each other in the axial direction. Fixed.

円筒ウォーム30および回転ホイール40は、第2筐体220の内側に収容されている。第1荷重センサ141および第1軸受131は、回転ホイール40に対して上記軸方向の上記他方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、回転ホイール40に対して上記軸方向の一方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。 Cylindrical worm 30 and rotating wheel 40 are housed inside second housing 220 . The first load sensor 141 and the first bearing 131 are housed inside the housing while being positioned on the other side in the axial direction with respect to the rotary wheel 40 . The second load sensor 142 and the second bearing 132 are housed inside the housing while being positioned on one side of the rotating wheel 40 in the axial direction.

第1筐体330は、第1荷重センサ141および第1軸受131が配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置に、第1筐体330の内径が部分的に小さくなっている第1縮径部334を有している。第1筐体330において、第1縮径部334は、第1荷重センサ141および第1軸受131を囲んでいる内周面331と隣り合っている。 The first housing 330 is positioned on the other side in the axial direction with respect to the position where the first load sensor 141 and the first bearing 131 are arranged, and the inner diameter of the first housing 330 is partially reduced. It has a first reduced diameter portion 334 that extends downward. In the first housing 330 , the first reduced diameter portion 334 is adjacent to the inner peripheral surface 331 surrounding the first load sensor 141 and the first bearing 131 .

第2筐体220は、第2荷重センサ142および第2軸受132が配置されている位置に対して上記軸方向における一方側の位置に、第2筐体220の内径が部分的に小さくなっている第2縮径部222を有している。第2筐体220において、第2縮径部222は、第2荷重センサ142および第2軸受132を囲んでいる内周面と隣り合っている。 The second housing 220 is positioned on one side in the axial direction with respect to the position where the second load sensor 142 and the second bearing 132 are arranged, and the inner diameter of the second housing 220 is partially reduced. It has a second reduced diameter portion 222 that extends downward. In the second housing 220 , the second reduced diameter portion 222 is adjacent to the inner peripheral surface surrounding the second load sensor 142 and the second bearing 132 .

第1荷重センサ141は、上記軸方向において第1縮径部334と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、上記軸方向において第2縮径部222と並んで配置されている。 The first load sensor 141 is arranged side by side with the first reduced diameter portion 334 in the axial direction. The second load sensor 142 is arranged side by side with the second reduced diameter portion 222 in the axial direction.

回転ホイール40の内周面には、ナット360の上記軸方向の一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部と螺合する雌ねじ部が設けられている。ナット360の上記軸方向の上記一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部と、回転ホイール40の雌ねじ部とが螺合することにより、軸体110と回転ホイール40とが互いに接続される。 The inner peripheral surface of the rotating wheel 40 is provided with a female threaded portion that engages with the male threaded portion provided on the outer peripheral surface of the end portion of the nut 360 on one side in the axial direction. A male threaded portion provided on the outer peripheral surface of the one end of the nut 360 in the axial direction and a female threaded portion of the rotating wheel 40 are screwed together, whereby the shaft 110 and the rotating wheel 40 are connected to each other. be.

第1荷重センサ141および第1軸受131は、第1縮径部334とナット360との間に挟み込まれている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、第2縮径部222と回転ホイール40との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、第1筐体330と第2筐体220とを締結固定するボルト240の軸力によって発生している。 First load sensor 141 and first bearing 131 are sandwiched between first reduced diameter portion 334 and nut 360 . The second load sensor 142 and the second bearing 132 are sandwiched between the second reduced diameter portion 222 and the rotating wheel 40 . As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload load is generated by the axial force of the bolt 240 that fastens and fixes the first housing 330 and the second housing 220 .

本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300においては、モータが正転駆動してナット360が回転ホイール40とともに回転することにより、軸体110が上記軸方向の他方側に移動する。モータが逆転駆動してナット360が回転ホイール40とともに回転することにより、軸体110が上記軸方向の一方側に移動する。本実施形態に係る電動アクチュエータ300においては、軸体110が直線可動部となる。 In the electric actuator 300 according to Embodiment 3 of the present invention, the motor rotates forward and the nut 360 rotates together with the rotary wheel 40, thereby moving the shaft 110 to the other side in the axial direction. When the motor reversely drives and the nut 360 rotates together with the rotary wheel 40, the shaft 110 moves to one side in the axial direction. In the electric actuator 300 according to this embodiment, the shaft 110 is the linearly movable portion.

モータが正転駆動して軸体110が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、軸体110には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。軸体110に負荷された荷重F1は、ボールを介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、回転ホイール40に伝播する。回転ホイール40に伝播した荷重F1は、第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor rotates forward and the shaft 110 pushes the object in the other axial direction, a load F1 is applied to the shaft 110 in the one axial direction. A load F1 applied to the shaft 110 propagates to the nut 160 via the balls. Load F1 propagated to nut 160 propagates to rotating wheel 40 . The load F<b>1 propagated to the rotating wheel 40 propagates to the second load sensor 142 via the second bearing 132 . As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータが逆転駆動して軸体110が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、軸体110には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。軸体110に負荷された荷重F2は、ボールを介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor reversely drives and the shaft 110 pulls the object in one of the axial directions, a load F2 is applied to the shaft 110 in the other axial direction. A load F2 applied to the shaft 110 propagates to the nut 160 via the balls. Load F<b>2 propagated to nut 160 propagates to first load sensor 141 via first bearing 131 . As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300においても、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、軸体110に負荷されている荷重を算出することができる。 Also in the electric actuator 300 according to the third embodiment of the present invention, the load applied to the shaft 110 can be calculated by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142. can.

本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 300 according to Embodiment 3 of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. ing. Further, when a load is applied to the shaft 110 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 142 increases while the detection value of the first load sensor 141 decreases, and , so that when a load is applied to the shaft 110 in the other axial direction, the detected value of the first load sensor 141 increases and the detected value of the second load sensor 142 decreases. Each of load sensor 141 and second load sensor 142 is arranged.

軸体110に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ300において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since the preload load is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from the no-load state in which no load is applied to the shaft 110, the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are loaded. It is possible to reduce the detection error in each of the sensors 142 when detecting a minute load. As a result, in the electric actuator 300, it is possible to detect with high accuracy both the push and pull loads from the no-load state.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ300の信頼性を高めることができる。 In addition, by not exposing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 to the outside of the housing, the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are prevented from being contaminated with water, dust, and the like. This can be suppressed and the reliability of the electric actuator 300 can be improved.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ300が大型化することを抑制することができる。 Furthermore, since it is not necessary to provide a pair of bearings in addition to the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft 110, it is possible to suppress the electric actuator 300 from increasing in size.

(実施形態4)
以下、本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。
本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400は、直線可動部の構成が主に、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と異なるため、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と同様である構成については説明を繰り返さない。
(Embodiment 4)
An electric actuator according to Embodiment 4 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
The electric actuator 400 according to Embodiment 4 of the present invention differs from the electric actuator 100 according to Embodiment 1 of the present invention mainly in the configuration of the linearly movable portion, and thus is similar to the electric actuator 100 according to Embodiment 1 of the present invention. , the description will not be repeated.

図7は、本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図7に示すように、本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400は、駆動機構と、軸体110と、移動可能なナット160と、筐体420と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。 FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing the configuration of an electric actuator according to Embodiment 4 of the present invention. As shown in FIG. 7, an electric actuator 400 according to Embodiment 4 of the present invention includes a drive mechanism, a shaft body 110, a movable nut 160, a housing 420, a first bearing 131 and a second bearing 132. , a first load sensor 141 and a second load sensor 142 .

駆動機構は、モータ10、および、モータ10の出力軸部に接続された減速機構部12を含む。減速機構部12は、軸体110における軸方向の一方側の端部に位置する回転軸部115に接続されている。本実施形態においては、モータ10と軸体110とが、互いに直交するように配置されているが、これに限られず、モータ10と軸体110とが、同一直線状に配置されていてもよい。 The drive mechanism includes a motor 10 and a speed reduction mechanism 12 connected to the output shaft of the motor 10 . The speed reduction mechanism 12 is connected to a rotating shaft 115 located at one end of the shaft 110 in the axial direction. In this embodiment, the motor 10 and the shaft 110 are arranged so as to be orthogonal to each other. .

ナット160には、先端金具470が取り付けられている。先端金具470は、ナット160とともに軸体110に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。本実施形態に係る電動アクチュエータ400においては、先端金具470が直線可動部となる。 A tip fitting 470 is attached to the nut 160 . The end fitting 470 can move in the axial direction together with the nut 160 relative to the shaft 110 . In the electric actuator 400 according to this embodiment, the tip metal fitting 470 is the linearly movable portion.

筐体420は、軸体110の一部を収容する。本実施形態においては、筐体420は、略円筒状の外形を有している。筐体420は、軸体110と同軸状に配置されている。筐体420の内部に、軸体110の円柱部113および雄ねじ部114が位置している。 Housing 420 accommodates a portion of shaft 110 . In this embodiment, the housing 420 has a substantially cylindrical outer shape. Housing 420 is arranged coaxially with shaft 110 . The cylindrical portion 113 and the male thread portion 114 of the shaft 110 are located inside the housing 420 .

筐体420の上記軸方向の一方側に、ハウジング20が配置されており、筐体420の上記軸方向の他方側に、外筒22が配置されている。筐体420は、ハウジング20と外筒22との間に挟まれた状態で、ハウジング20および外筒22の各々と接続されている。 The housing 20 is arranged on one side of the housing 420 in the axial direction, and the outer cylinder 22 is arranged on the other side of the housing 420 in the axial direction. Housing 420 is sandwiched between housing 20 and outer tube 22 and connected to each of housing 20 and outer tube 22 .

第1軸受131および第2軸受132は、軸体110が挿通された状態で筐体420内に配置されている。第1軸受131および第2軸受132の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。 The first bearing 131 and the second bearing 132 are arranged in the housing 420 with the shaft 110 inserted therethrough. Cylindrical portion 113 of shaft 110 is positioned inside each of first bearing 131 and second bearing 132 .

第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、環状であり、軸体110が挿通された状態で筐体420内に配置されている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1荷重センサ141は、第1軸受131と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、第2軸受132と並んで配置されている。 Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 has an annular shape and is arranged in the housing 420 with the shaft 110 inserted therethrough. Cylindrical portion 113 of shaft 110 is positioned inside each of first load sensor 141 and second load sensor 142 . The first load sensor 141 is arranged side by side with the first bearing 131 . The second load sensor 142 is arranged side by side with the second bearing 132 .

筐体420は、上記軸方向において第1荷重センサ141が配置されている位置と第2荷重センサ142が配置されている位置との間に、筐体420の内径が部分的に小さくなっている縮径部422を有している。具体的には、筐体420において、第1軸受131および第1荷重センサ141を囲んでいる内周面と、第2軸受132および第2荷重センサ142を囲んでいる内周面との間に、内径の小さい縮径部422が設けられている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において縮径部422と並んで配置されている。 The inner diameter of the housing 420 is partially reduced between the position where the first load sensor 141 is arranged and the position where the second load sensor 142 is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion 422 . Specifically, in housing 420, between the inner peripheral surface surrounding first bearing 131 and first load sensor 141 and the inner peripheral surface surrounding second bearing 132 and second load sensor 142, , a reduced diameter portion 422 having a small inner diameter is provided. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged side by side with the reduced diameter portion 422 in the axial direction.

軸体110は、軸体110の円柱部113が筐体420に収容された状態において、上記軸方向における縮径部422の位置より一方側の位置に雄ねじ部114を有し、かつ、上記軸方向における縮径部422の位置より他方側の位置に拡径部112を有している。 The shaft 110 has a male threaded portion 114 at a position on one side of the position of the reduced diameter portion 422 in the axial direction when the cylindrical portion 113 of the shaft 110 is accommodated in the housing 420, It has the enlarged diameter portion 112 at a position on the other side of the position of the reduced diameter portion 422 in the direction.

電動アクチュエータ400は、軸体110の雄ねじ部114と螺合するロックナット150をさらに備える。筐体420内において、縮径部422に対して上記軸方向の一方側に位置する第1荷重センサ141および第1軸受131、並びに、縮径部422に対して上記軸方向の他方側に位置する第2荷重センサ142および第2軸受132を、上記軸方向の一方側に向けて挿通した軸体110の雄ねじ部114と、ロックナット150とが螺合することにより、第1荷重センサ141および第1軸受131が縮径部422とロックナット150との間に挟み込まれ、第2荷重センサ142および第2軸受132が縮径部422と拡径部112との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体420内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット150を雄ねじ部114に締め込んだときの軸力によって発生している。 The electric actuator 400 further includes a lock nut 150 that screws together with the male threaded portion 114 of the shaft 110 . In the housing 420, the first load sensor 141 and the first bearing 131 are located on one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 422, and the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 422. The first load sensor 141 and the second bearing 132 are engaged with the male threaded portion 114 of the shaft body 110 , which is inserted toward one side in the axial direction, and the lock nut 150 . First bearing 131 is sandwiched between reduced diameter portion 422 and lock nut 150 , and second load sensor 142 and second bearing 132 are sandwiched between reduced diameter portion 422 and enlarged diameter portion 112 . As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed inside the housing 420 under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force when the lock nut 150 is tightened onto the male threaded portion 114 .

本実施形態に係る電動アクチュエータ400においては、モータ10が正転駆動して軸体110のねじ軸部111が回転することにより、先端金具470がナット160とともに上記軸方向の他方側に移動する。モータ10が逆転駆動して軸体110のねじ軸部111が回転することにより、先端金具470がナット160とともに上記軸方向の一方側に移動する。 In the electric actuator 400 according to this embodiment, the motor 10 rotates forward to rotate the threaded shaft portion 111 of the shaft body 110 , thereby moving the end fitting 470 together with the nut 160 to the other side in the axial direction. When the motor 10 reversely drives and the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 rotates, the end fitting 470 moves to one side in the axial direction together with the nut 160 .

モータ10が正転駆動して先端金具470が搬送物を上記軸方向の他方に向けて押し上げたとき、先端金具470には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。先端金具470に負荷された荷重F1は、ナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F1は、軸体110の拡径部112から第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor 10 rotates forward and the tip fitting 470 pushes up the conveyed object in the other axial direction, a load F1 is applied to the tip fitting 470 in the one axial direction. A load F1 applied to the tip fitting 470 is propagated to the nut 160 . The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the threaded shaft portion 111 of the shaft body 110 via the balls. Load F<b>1 propagated to shaft 110 propagates from enlarged diameter portion 112 of shaft 110 to second load sensor 142 via second bearing 132 . As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータ10が逆転駆動して先端金具470が搬送物を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、先端金具470には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。先端金具470に負荷された荷重F2は、ナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F2は、軸体110の雄ねじ部114からロックナット150および第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the tip fitting 470 pulls the conveyed object in one of the axial directions, the tip fitting 470 is loaded with a load F2 in the other axial direction. A load F<b>2 applied to the tip fitting 470 is propagated to the nut 160 . The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the balls. Load F<b>2 propagated to shaft 110 propagates from male threaded portion 114 of shaft 110 to first load sensor 141 via lock nut 150 and first bearing 131 . As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400においても、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、先端金具470に負荷されている荷重を算出することができる。 Also in the electric actuator 400 according to the fourth embodiment of the present invention, the load applied to the end fitting 470 can be calculated by subtracting the detection value of the first load sensor 141 from the detection value of the second load sensor 142. can.

本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体420内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 400 according to the fourth embodiment of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is placed inside the housing 420 with a preload applied so as to be sandwiched in the axial direction. Fixed. Further, when a load is applied to the shaft 110 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 142 increases while the detection value of the first load sensor 141 decreases, and , so that when a load is applied to the shaft 110 in the other axial direction, the detected value of the first load sensor 141 increases and the detected value of the second load sensor 142 decreases. Each of load sensor 141 and second load sensor 142 is arranged.

先端金具470に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ400において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since the preload is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from the no-load state in which no load is applied to the end fitting 470, the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are loaded. It is possible to reduce the detection error in each of the sensors 142 when detecting a minute load. As a result, in the electric actuator 400, it is possible to detect with high accuracy both the push and pull loads from the no-load state.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体420の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ400の信頼性を高めることができる。 Also, by not exposing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 to the outside of the housing 420, water and dust can be prevented from adhering to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. can be suppressed, and the reliability of the electric actuator 400 can be improved.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ400が大型化することを抑制することができる。 Furthermore, since it is not necessary to provide a pair of bearings separately from the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft 110, it is possible to suppress the electric actuator 400 from increasing in size.

(実施形態5)
以下、本発明の実施形態5に係る、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットについて図を参照して説明する。
(Embodiment 5)
A load detection unit that is detachably attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator and detects the load of the electric actuator according to Embodiment 5 of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図8は、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。図9は、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration of a load detection unit according to Embodiment 5 of the present invention. FIG. 9 is a partial cross-sectional view showing a state in which the applied load detection unit according to Embodiment 5 of the present invention is attached to the electric actuator according to Embodiment 1 of the present invention.

図8および図9に示すように、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500は、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットである。 As shown in FIGS. 8 and 9, a load detection unit 500 according to Embodiment 5 of the present invention is detachably attached to the tip of a linearly movable portion of an electric actuator and detects the load of the electric actuator. It is a load detection unit.

負荷荷重検出ユニット500は、筐体520と、軸体570と、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542とを備える。 The applied load detection unit 500 includes a housing 520 , a shaft 570 , a first load sensor 541 and a second load sensor 542 .

筐体520は、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部である可動筒170の先端部と接続可能に設けられている。 The housing 520 is provided so as to be connectable to the distal end portion of the movable cylinder 170 that is the distal end portion of the linearly movable portion of the electric actuator 100 .

軸体570は、軸方向に延在している。軸体570には、上記軸方向の一方側から順に、雄ねじ部573、円柱部572、および、拡径部571が設けられている。拡径部571においては、軸体570の直径が部分的に大きくなっている。拡径部571には、上記軸方向と直交する方向に貫通した貫通孔571hが設けられている。軸体570は、筐体520の内側に上記軸方向の一方側の一部が収容されている。 The shaft 570 extends axially. The shaft body 570 is provided with a male threaded portion 573, a cylindrical portion 572, and an enlarged diameter portion 571 in order from one side in the axial direction. At the enlarged diameter portion 571, the diameter of the shaft 570 is partially increased. The expanded diameter portion 571 is provided with a through hole 571h penetrating in a direction perpendicular to the axial direction. A portion of the shaft 570 on one side in the axial direction is housed inside the housing 520 .

本実施形態においては、筐体520は、略円筒状の外形を有している。筐体520は、軸体570と同軸状に配置されている。筐体520の内部に、軸体570の円柱部572および雄ねじ部573が位置している。 In this embodiment, housing 520 has a substantially cylindrical outer shape. Housing 520 is arranged coaxially with shaft 570 . A cylindrical portion 572 and a male thread portion 573 of the shaft 570 are located inside the housing 520 .

第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々は、環状であり、軸体570が挿通された状態で筐体520内に配置されている。第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々の内側に、軸体570の円柱部572が位置している。なお、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々の形状は、環状に限られない。 Each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 has an annular shape and is arranged in the housing 520 with the shaft 570 inserted therethrough. The cylindrical portion 572 of the shaft 570 is positioned inside each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 . The shape of each of first load sensor 541 and second load sensor 542 is not limited to an annular shape.

筐体520は、上記軸方向において第1荷重センサ541が配置されている位置と第2荷重センサ542が配置されている位置との間に、筐体520の内径が部分的に小さくなっている縮径部522を有している。 The inner diameter of the housing 520 is partially reduced between the position where the first load sensor 541 is arranged and the position where the second load sensor 542 is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion 522 .

具体的には、筐体520において、第1荷重センサ541を囲んでいる内周面521と、第2荷重センサ542を囲んでいる内周面521との間に、内周面521より内径の小さい縮径部522が設けられている。第1荷重センサ541は、上記軸方向において縮径部122と並んで配置されている。第2荷重センサ542上記軸方向において縮径部122と並んで配置されている。本実施形態においては、第1荷重センサ541は、縮径部122と直接的に接しているが、たとえば、ワッシャなどを介して縮径部122と間接的に接していてもよい。第2荷重センサ542は、縮径部122と直接的に接しているが、たとえば、ワッシャなどを介して縮径部122と間接的に接していてもよい。 Specifically, in the housing 520, between the inner peripheral surface 521 surrounding the first load sensor 541 and the inner peripheral surface 521 surrounding the second load sensor 542, a A small reduced diameter portion 522 is provided. The first load sensor 541 is arranged side by side with the reduced diameter portion 122 in the axial direction. The second load sensor 542 is arranged side by side with the reduced diameter portion 122 in the axial direction. In this embodiment, the first load sensor 541 is in direct contact with the reduced diameter portion 122, but may be in indirect contact with the reduced diameter portion 122 via a washer or the like, for example. Second load sensor 542 is in direct contact with reduced diameter portion 122, but may be in indirect contact with reduced diameter portion 122 via a washer or the like, for example.

軸体570は、軸体570の円柱部572および雄ねじ部573が筐体520に収容された状態において、上記軸方向における縮径部522の位置より一方側の位置に雄ねじ部573を有し、かつ、上記軸方向における縮径部522の位置より他方側の位置に、軸体570の直径が部分的に大きくなっている拡径部571を有している。 The shaft 570 has a male threaded portion 573 at a position on one side of the position of the reduced diameter portion 522 in the axial direction when the cylindrical portion 572 and the male threaded portion 573 of the shaft 570 are housed in the housing 520, In addition, at a position on the other side of the position of the reduced diameter portion 522 in the axial direction, the diameter of the shaft body 570 is partially increased to have an enlarged diameter portion 571 .

負荷荷重検出ユニット500は、軸体570の雄ねじ部573と螺合するロックナット550をさらに備える。筐体520内において、縮径部522に対して上記軸方向の上記一方側に位置する第1荷重センサ541、および、縮径部522に対して上記軸方向の上記他方側に位置する第2荷重センサ542を上記軸方向の上記一方側に向けて挿通した軸体570の雄ねじ部573と、ロックナット550とが螺合することにより、第1荷重センサ541が縮径部522とロックナット550との間に挟み込まれており、第2荷重センサ542が縮径部522と拡径部571との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体520内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット550を雄ねじ部573に締め込んだときの軸力によって発生している。 The applied load detection unit 500 further includes a lock nut 550 that is screwed onto the male threaded portion 573 of the shaft 570 . In the housing 520 , a first load sensor 541 positioned on the one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 522 and a second load sensor 541 positioned on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 522 . The lock nut 550 is screwed with the male threaded portion 573 of the shaft 570 through which the load sensor 542 is inserted toward the one side in the axial direction. , and the second load sensor 542 is sandwiched between the diameter-reduced portion 522 and the diameter-enlarged portion 571 . As a result, each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is fixed inside the housing 520 under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload load is generated by the axial force when the lock nut 550 is tightened onto the male threaded portion 573 .

筐体520の内周面521における上記軸方向の一方側の端部に、電動アクチュエータ100の可動筒170の先端部と負荷荷重検出ユニット500とを接続するための雌ねじ部523が設けられている。 A female screw portion 523 for connecting the tip portion of the movable cylinder 170 of the electric actuator 100 and the load detection unit 500 is provided at one end portion of the inner peripheral surface 521 of the housing 520 in the axial direction. .

モータ10が正転駆動して軸体570が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、軸体570には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。軸体570に負荷された荷重F1は、第2荷重センサ542に伝播する。その結果、第2荷重センサ542が荷重F1を検出する。 When the motor 10 rotates forward and the shaft body 570 pushes the object in the other axial direction, the load F1 is applied to the shaft body 570 in the one axial direction. A load F<b>1 applied to the shaft 570 is propagated to the second load sensor 542 . As a result, the second load sensor 542 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142の検出値と、負荷荷重検出ユニット500の第2荷重センサ542の検出値とを比較することにより、荷重F1に対する電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142のキャリブレーションを行なうことができる。 By comparing the detected value of the second load sensor 142 of the electric actuator 100 and the detected value of the second load sensor 542 of the applied load detection unit 500, the second load sensor 142 of the electric actuator 100 is calibrated with respect to the load F1. can be done.

モータ10が逆転駆動して軸体570が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、軸体570には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。軸体570に負荷された荷重F2は、軸体570の雄ねじ部573からロックナット550を介して第1荷重センサ541に伝播する。その結果、第1荷重センサ541が荷重F1を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the shaft 570 pulls the object in one of the axial directions, a load F2 is applied to the shaft 570 in the other axial direction. The load F<b>2 applied to the shaft 570 is transmitted from the male threaded portion 573 of the shaft 570 to the first load sensor 541 via the locknut 550 . As a result, the first load sensor 541 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141の検出値と、負荷荷重検出ユニット500の第1荷重センサ541の検出値とを比較することにより、荷重F2に対する電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141のキャリブレーションを行なうことができる。 By comparing the detected value of the first load sensor 141 of the electric actuator 100 and the detected value of the first load sensor 541 of the applied load detection unit 500, the first load sensor 141 of the electric actuator 100 is calibrated with respect to the load F2. can be done.

上記のように、本実施形態に係る負荷荷重検出ユニット500においては、軸体570に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ542の検出値が増加しつつ第1荷重センサ541の検出値が減少するように、かつ、軸体570に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ541の検出値が増加しつつ第2荷重センサ542の検出値が減少するように、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々が配置されている。 As described above, in the applied load detection unit 500 according to the present embodiment, when a load is applied to the shaft 570 in one of the axial directions, the detected value of the second load sensor 542 increases. while the detection value of the first load sensor 541 decreases, and when a load is applied to the shaft 570 in the other axial direction, the detection value of the first load sensor 541 increases. Each of first load sensor 541 and second load sensor 542 is arranged such that the detection value of second load sensor 542 decreases.

本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500においては、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体520内に固定されている。また、軸体570に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ542の検出値が増加しつつ第1荷重センサ541の検出値が減少するように、かつ、軸体570に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ541の検出値が増加しつつ第2荷重センサ542の検出値が減少するように、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々が配置されている。 In the applied load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention, each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is applied with a preload so as to be sandwiched in the axial direction. fixed inside. Further, when a load is applied to the shaft 570 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 542 increases while the detection value of the first load sensor 541 decreases, and , so that the detection value of the first load sensor 541 increases and the detection value of the second load sensor 542 decreases when a load is applied to the shaft 570 in the other axial direction. A load sensor 541 and a second load sensor 542 are each arranged.

軸体570に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、負荷荷重検出ユニット500において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since a preload load is applied to each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 from a no-load state in which no load is applied to the shaft body 570, the first load sensor 541 and the second load sensor 542 are preloaded. It is possible to reduce the detection error of each of the sensors 542 when detecting a very small load. As a result, in the applied load detection unit 500, it is possible to detect with high accuracy the applied load in both pushing and pulling from the no-load state.

本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500においては、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部に負荷荷重検出ユニット500を取り付けた状態で電動アクチュエータ100を動作させるのみで、電動アクチュエータ100の負荷荷重を簡易に正確に検出することができる。 In the load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention, only by operating the electric actuator 100 with the load detection unit 500 attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator 100, the electric actuator 100 The applied load can be easily and accurately detected.

なお、本実施形態においては、負荷荷重検出ユニット500を、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100に取り付けたが、これに限られず、負荷荷重検出ユニット500を、本発明の実施形態2~4のいずれかに係る電動アクチュエータに取り付けてもよいし、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けてもよい。本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500を、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けた場合、負荷荷重検出ユニット500によって検出された荷重を確認することにより、電動アクチュエータに実際に負荷されている荷重を知ることができる。これにより、モータ10の出力値と電動アクチュエータに負荷される荷重との関係を知ることができる。 In this embodiment, the load detection unit 500 is attached to the electric actuator 100 according to Embodiment 1 of the present invention, but the present invention is not limited to this. 4, or may be attached to an electric actuator that does not incorporate a load sensor. When the applied load detection unit 500 according to Embodiment 5 of the present invention is attached to an electric actuator that does not have a built-in load sensor, by checking the load detected by the applied load detection unit 500, the electric actuator actually detects It is possible to know the load being applied. Thereby, the relationship between the output value of the motor 10 and the load applied to the electric actuator can be known.

(実施形態6)
以下、本発明の実施形態6に係る、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットについて図を参照して説明する。
(Embodiment 6)
A load detection unit that is detachably attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator and detects the load of the electric actuator according to Embodiment 6 of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図10は、本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。図11は、本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。 FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of a load detection unit according to Embodiment 6 of the present invention. 11 is a partial cross-sectional view showing a state in which the load detection unit according to Embodiment 6 of the present invention is attached to the electric actuator according to Embodiment 1 of the present invention. FIG.

図10および図11に示すように、本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニット600は、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットである。 As shown in FIGS. 10 and 11, a load detection unit 600 according to Embodiment 6 of the present invention is detachably attached to the tip of a linearly movable portion of an electric actuator and detects the load of the electric actuator. It is a load detection unit.

負荷荷重検出ユニット600は、第1筐体620と、第2筐体690と、軸体670と、荷重センサ641とを備える。荷重センサ641は、環状であり、軸体670が挿通された状態で第1筐体620内に配置されている。なお、荷重センサ641の形状は、環状に限られない。 The load detection unit 600 includes a first housing 620 , a second housing 690 , a shaft 670 and a load sensor 641 . The load sensor 641 has an annular shape and is arranged in the first housing 620 with the shaft 670 inserted therethrough. Note that the shape of the load sensor 641 is not limited to an annular shape.

第1筐体620は、荷重センサ641が配置されている位置に対して上記軸方向における一方側の位置に、第1筐体620の内径が部分的に小さくなっている縮径部622を有し、かつ、荷重センサ641が配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置の内周面621に雌ねじ部623を有している。第1筐体620は、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部である可動筒170の先端部と接続可能に設けられている。 The first housing 620 has a reduced-diameter portion 622 in which the inner diameter of the first housing 620 is partially reduced on one side in the axial direction with respect to the position where the load sensor 641 is arranged. In addition, a female screw portion 623 is provided on the inner peripheral surface 621 at a position on the other side in the axial direction with respect to the position where the load sensor 641 is arranged. The first housing 620 is provided so as to be connectable to the distal end portion of the movable cylinder 170 that is the distal end portion of the linearly movable portion of the electric actuator 100 .

第2筐体690は、第1筐体620の内側に入り込んでいる端部693の外周面に雌ねじ部623と螺合する雄ねじ部692、および、第1筐体620の上記軸方向の他方側の端面と当接するフランジ部691を有している。 The second housing 690 includes a male threaded portion 692 that is screwed with the female threaded portion 623 on the outer peripheral surface of the end portion 693 that enters the inside of the first housing 620, and the other side of the first housing 620 in the axial direction. It has a flange portion 691 that abuts on the end face of the.

第2筐体690は、第1筐体620と同軸状に位置しつつ、第2筐体690の上記軸方向の一方側の端部693が第1筐体620の上記軸方向の他方側の端部624の内側に入り込んだ状態で第1筐体620に固定されている。 The second housing 690 is positioned coaxially with the first housing 620, and an end portion 693 on one side of the second housing 690 in the axial direction is located on the other side of the first housing 620 in the axial direction. It is fixed to the first housing 620 while being inserted inside the end portion 624 .

具体的には、第1筐体620の雌ねじ部623と第2筐体690の雄ねじ部692とが螺合することにより、第1筐体620の端部624と第2筐体690のフランジ部691とが当接した状態で、第1筐体620と第2筐体690とが互いに接続されている。 Specifically, by screwing together the female threaded portion 623 of the first housing 620 and the male threaded portion 692 of the second housing 690, the end portion 624 of the first housing 620 and the flange portion of the second housing 690 are screwed together. 691 are in contact with each other, the first housing 620 and the second housing 690 are connected to each other.

軸体670は、軸方向に延在している。軸体670には、上記軸方向の一方側から順に、雄ねじ部673、円柱部672、および、拡径部671が設けられている。拡径部671においては、軸体670の直径が部分的に大きくなっている。軸体670においては、第1筐体620の内側に円柱部672および雄ねじ部673が収容されている。 The shaft 670 extends axially. The shaft body 670 is provided with a male threaded portion 673, a cylindrical portion 672, and an enlarged diameter portion 671 in order from one side in the axial direction. At the enlarged diameter portion 671, the diameter of the shaft 670 is partially increased. In shaft body 670 , columnar portion 672 and male thread portion 673 are housed inside first housing 620 .

軸体670は、上記軸方向において第1筐体620の縮径部622の他方側の端の位置より一方側に雄ねじ部673を有し、かつ、上記軸方向において第1筐体620の縮径部622が配置されている位置より他方側に、軸体670の直径が部分的に大きくなっている拡径部671を有している。 The shaft body 670 has a male threaded portion 673 on one side from the position of the other side end of the reduced diameter portion 622 of the first housing 620 in the axial direction, and has a diameter reduced portion 622 of the first housing 620 in the axial direction. On the other side of the position where the diameter portion 622 is arranged, there is an enlarged diameter portion 671 in which the diameter of the shaft body 670 is partially increased.

負荷荷重検出ユニット600は、軸体670の雄ねじ部673と螺合するロックナット650をさらに備える。第1筐体620内において、縮径部622に対して上記軸方向の他方側に位置する荷重センサ641を上記軸方向の一方側に向けて挿通した軸体670の雄ねじ部673と、ロックナット650とが螺合することにより、荷重センサ641がロックナット650と拡径部671との間に挟み込まれている。 The applied load detection unit 600 further includes a lock nut 650 that screws together with the male threaded portion 673 of the shaft 670 . In the first housing 620, the load sensor 641 positioned on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 622 is inserted toward the one side in the axial direction. 650 are screwed together, the load sensor 641 is sandwiched between the lock nut 650 and the enlarged diameter portion 671 .

第2筐体690の雄ねじ部692と第1筐体620の雌ねじ部623とが螺合することにより、第1筐体620の上記端面と第2筐体690のフランジ部691とが当接するとともに、荷重センサ641が縮径部622と第2筐体690の端部693との間に挟み込まれている。 When the male threaded portion 692 of the second housing 690 and the female threaded portion 623 of the first housing 620 are screwed together, the end surface of the first housing 620 and the flange portion 691 of the second housing 690 come into contact with each other. , the load sensor 641 is sandwiched between the reduced diameter portion 622 and the end portion 693 of the second housing 690 .

その結果、荷重センサ641は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で第1筐体620内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット650を雄ねじ部673に締め込んだときの軸力、および、第2筐体690の雄ねじ部692を第1筐体620の雌ねじ部623に締め込んだときの軸力によって発生している。 As a result, the load sensor 641 is fixed inside the first housing 620 under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload load is the axial force when the lock nut 650 is tightened onto the male threaded portion 673, and the axial force when the male threaded portion 692 of the second housing 690 is tightened onto the female threaded portion 623 of the first housing 620. generated by force.

モータ10が正転駆動して軸体670が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、軸体670には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。軸体670に負荷された荷重F1は、荷重センサ641に伝播する。その結果、荷重センサ641が荷重F1を検出する。 When the motor 10 rotates forward and the shaft 670 pushes the object in the other axial direction, the load F1 is applied to the shaft 670 in the one axial direction. A load F<b>1 applied to the shaft 670 propagates to the load sensor 641 . As a result, the load sensor 641 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142の検出値と、負荷荷重検出ユニット600の荷重センサ641の検出値とを比較することにより、荷重F1に対する電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142のキャリブレーションを行なうことができる。 The second load sensor 142 of the electric actuator 100 is calibrated for the load F1 by comparing the detection value of the second load sensor 142 of the electric actuator 100 and the detection value of the load sensor 641 of the applied load detection unit 600. be able to.

モータ10が逆転駆動して軸体670が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、軸体670には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。軸体670に負荷された荷重F2は、軸体670の雄ねじ部673からロックナット650を介して荷重センサ641に伝播する。その結果、荷重センサ641が荷重F1を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the shaft 670 pulls the object in one of the axial directions, a load F2 is applied to the shaft 670 in the other axial direction. The load F<b>2 applied to the shaft 670 is transmitted from the male threaded portion 673 of the shaft 670 to the load sensor 641 via the locknut 650 . As a result, the load sensor 641 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141の検出値と、負荷荷重検出ユニット600の荷重センサ641の検出値とを比較することにより、荷重F2に対する電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141のキャリブレーションを行なうことができる。 The first load sensor 141 of the electric actuator 100 is calibrated with respect to the load F2 by comparing the detection value of the first load sensor 141 of the electric actuator 100 and the detection value of the load sensor 641 of the applied load detection unit 600. be able to.

上記のように、本実施形態に係る負荷荷重検出ユニット600においては、軸体670に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、かつ、軸体670に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、荷重センサ641が配置されている。 As described above, in the applied load detection unit 600 according to the present embodiment, when a load is applied to the shaft 670 in one of the axial directions, the detected value of the load sensor 641 increases. Further, the load sensor 641 is arranged so that the detected value of the load sensor 641 increases when a load is applied to the shaft 670 in the other axial direction.

本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット600においては、荷重センサ641は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で第1筐体620内に固定されている。また、軸体670に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、かつ、軸体670に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、荷重センサ641が配置されている。 In the applied load detection unit 600 according to the fifth embodiment of the present invention, the load sensor 641 is fixed inside the first housing 620 while being preloaded so as to be sandwiched in the axial direction. Further, when a load is applied to the shaft 670 in one of the axial directions, the detected value of the load sensor 641 increases, and the load is oriented in the other axial direction with respect to the shaft 670 . The load sensor 641 is arranged so that the detected value of the load sensor 641 increases when a load is applied to the body.

軸体670に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、荷重センサ641に予圧荷重を負荷していることにより、荷重センサ641における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、負荷荷重検出ユニット600において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 By applying a preload load to the load sensor 641 from a no-load state in which no load is applied to the shaft 670, detection errors in detecting a minute load in the load sensor 641 can be reduced. As a result, in the load detection unit 600, it is possible to detect with high accuracy both the push and pull loads from the no-load state.

本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニット600においては、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部に負荷荷重検出ユニット600を取り付けた状態で電動アクチュエータ100を動作させるのみで、電動アクチュエータ100の負荷荷重を簡易に正確に検出することができる。 In the load detection unit 600 according to Embodiment 6 of the present invention, only by operating the electric actuator 100 with the load detection unit 600 attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator 100, the electric actuator 100 can be detected. The applied load can be easily and accurately detected.

なお、本実施形態においては、負荷荷重検出ユニット600を、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100に取り付けたが、これに限られず、負荷荷重検出ユニット600を、本発明の実施形態2~4のいずれかに係る電動アクチュエータに取り付けてもよいし、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けてもよい。本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニット600を、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けた場合、負荷荷重検出ユニット600によって検出された荷重を確認することにより、電動アクチュエータに実際に負荷されている荷重を知ることができる。これにより、モータ10の出力値と電動アクチュエータに負荷される荷重との関係を知ることができる。 In this embodiment, the load detection unit 600 is attached to the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and the load detection unit 600 is attached to the second to second embodiments of the present invention. 4, or may be attached to an electric actuator that does not incorporate a load sensor. When the applied load detection unit 600 according to Embodiment 6 of the present invention is attached to an electric actuator that does not have a built-in load sensor, by checking the load detected by the applied load detection unit 600, the electric actuator actually detects It is possible to know the load being applied. Thereby, the relationship between the output value of the motor 10 and the load applied to the electric actuator can be known.

本実施形態においては、負荷荷重検出ユニット600は、荷重センサを1つのみ備えているため、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500に比較して、負荷荷重検出ユニットを廉価にすることができる。 In the present embodiment, the load detection unit 600 has only one load sensor, so the load detection unit can be made cheaper than the load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention. be able to.

以下の実施形態では、前記実施形態1の電動アクチュエータ100に備えられた荷重検出機構の他の例について説明する。 In the following embodiments, another example of the load detection mechanism provided in the electric actuator 100 of the first embodiment will be described.

(実施形態7)
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
(Embodiment 7)
Other embodiments of the invention are described below. For convenience of description, members having the same functions as those of the members described in the above embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

(荷重検出機構の概要)
図12は、本発明の実施形態7に係る荷重検出機構700Aの概略構成断面図である。荷重検出機構700Aは、前記実施形態1の図1に示す電動アクチュエータ100が備える荷重検出機構の他の例を示す。従って、荷重検出機構700Aを備えられる電動アクチュエータは、荷重検出機構700A以外の構成は同じであるため、詳細な説明は省略する。
(Overview of load detection mechanism)
FIG. 12 is a cross-sectional view of a schematic configuration of a load detection mechanism 700A according to Embodiment 7 of the present invention. A load detection mechanism 700A is another example of the load detection mechanism included in the electric actuator 100 shown in FIG. 1 of the first embodiment. Therefore, since the electric actuator provided with the load detection mechanism 700A has the same configuration except for the load detection mechanism 700A, detailed description thereof will be omitted.

荷重検出機構700Aは、第1軸受701、第2軸受702、第1荷重センサ703、第2荷重センサ704、筐体705を含み、軸体110を構成する円柱部113にかかる矢印A方向または矢印B方向の荷重を検出する。ここで、第1軸受701、第2軸受702、第1荷重センサ703、第2荷重センサ704および筐体705は、それぞれ前記実施形態1で説明した、第1軸受け131、第2軸受け132、第1荷重センサ141、第2荷重センサ142および筐体120に対応する。 The load detection mechanism 700A includes a first bearing 701, a second bearing 702, a first load sensor 703, a second load sensor 704, and a housing 705. The direction of arrow A or arrow Detect the load in the B direction. Here, the first bearing 701, the second bearing 702, the first load sensor 703, the second load sensor 704 and the housing 705 are respectively the first bearing 131, the second bearing 132 and the second bearing described in the first embodiment. 1 corresponds to the load sensor 141 , the second load sensor 142 and the housing 120 .

第1軸受701および第2軸受702は、第1軸受131および第2軸受132の各々の少なくとも一部は、軸体110が挿通された状態で筐体705内に配置されている。第1軸受701および第2軸受702の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。 At least a portion of each of the first bearing 701 and the second bearing 702 is arranged in the housing 705 with the shaft 110 inserted therethrough. Cylindrical portion 113 of shaft 110 is positioned inside each of first bearing 701 and second bearing 702 .

第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の各々は、環状であり、軸体110が挿通された状態で筐体705内に配置されている。第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1荷重センサ703は、第1軸受701と並んで配置されている。第2荷重センサ704は、第2軸受702と並んで配置されている。本実施形態においては、第1荷重センサ703は、第1軸受701と直接的に接しているが、たとえば、ワッシャなどを介して第1軸受701と間接的に接していてもよい。第2荷重センサ704は、第2軸受702と直接的に接しているが、たとえば、ワッシャなどを介して第2軸受702と間接的に接していてもよい。また、第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の各々の形状は、環状に限られない。 Each of the first load sensor 703 and the second load sensor 704 has an annular shape and is arranged in the housing 705 with the shaft 110 inserted therethrough. Cylindrical portion 113 of shaft 110 is positioned inside each of first load sensor 703 and second load sensor 704 . The first load sensor 703 is arranged side by side with the first bearing 701 . The second load sensor 704 is arranged side by side with the second bearing 702 . Although the first load sensor 703 is in direct contact with the first bearing 701 in this embodiment, it may be in indirect contact with the first bearing 701 via a washer or the like, for example. Second load sensor 704 is in direct contact with second bearing 702, but may be in indirect contact with second bearing 702 via a washer or the like, for example. Moreover, the shape of each of the first load sensor 703 and the second load sensor 704 is not limited to an annular shape.

第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の各々は、たとえば、ひずみゲージ式、圧電式、磁歪式、静電容量式、ジャイロ式、ばね式または音叉式の荷重センサである。第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の各々は、いわゆるロードセルで構成されていてもよい。 Each of the first load sensor 703 and the second load sensor 704 is, for example, a strain gauge type, piezoelectric type, magnetostrictive type, capacitance type, gyro type, spring type or tuning fork type load sensor. Each of the first load sensor 703 and the second load sensor 704 may be composed of a so-called load cell.

荷重検出機構700Aは、円柱部113が、矢印A方向に負荷709がかかったときは、当該円柱部113に設置されているロックナット150に第1軸受701が押圧されて第1荷重センサ703によって荷重を検出する。一方、荷重検出機構700Aは、円柱部113が、矢印B方向に負荷709がかかったときは、当該円柱部113に設置されている拡径部112に第2軸受702が押圧されて第2荷重センサ704によって荷重を検出する。 In load detection mechanism 700A, when load 709 is applied to cylindrical portion 113 in the direction of arrow A, first bearing 701 is pressed against lock nut 150 installed on cylindrical portion 113, and first load sensor 703 detects Detect loads. On the other hand, when load 709 is applied to cylindrical portion 113 in the direction of arrow B, load detecting mechanism 700A presses second bearing 702 against enlarged diameter portion 112 provided on cylindrical portion 113, thereby applying a second load. A load is detected by the sensor 704 .

ここで、第1軸受701は、内輪701a、外輪701b、および内輪701aと外輪701bとに挟まれた円すいころ701cを含む円すいころ軸受(第1テーパローラベアリング)である。第1軸受701は、内輪701aおよび外輪701bの軌道面の頂点と、円すいころ701cの円すい面の頂点とが第1荷重センサ703側の軸受の中線上の1点で交わるように配置されている。 Here, the first bearing 701 is a tapered roller bearing (first tapered roller bearing) including an inner ring 701a, an outer ring 701b, and tapered rollers 701c sandwiched between the inner ring 701a and the outer ring 701b. The first bearing 701 is arranged so that the apex of the raceway surfaces of the inner ring 701a and the outer ring 701b and the apex of the conical surface of the tapered roller 701c intersect at one point on the center line of the bearing on the first load sensor 703 side. .

また、第2軸受702は、内輪702a、外輪702b、および内輪702aと外輪702bとに挟まれた円すいころ702cを含む円すいころ軸受(第2テーパローラベアリング)である。第2軸受702は、内輪702aおよび外輪702bの軌道面の頂点と、円すいころ702cの円すい面の頂点とが第2荷重センサ704側の軸受の中線上の1点で交わるように配置されている。 The second bearing 702 is a tapered roller bearing (second tapered roller bearing) including an inner ring 702a, an outer ring 702b, and tapered rollers 702c sandwiched between the inner ring 702a and the outer ring 702b. The second bearing 702 is arranged so that the apex of the raceway surfaces of the inner ring 702a and the outer ring 702b and the apex of the conical surface of the tapered roller 702c intersect at one point on the center line of the bearing on the second load sensor 704 side. .

従って、第1軸受701は、内輪701a側で円柱部113と接触することにより、当該円柱部113にかかる矢印A方向の負荷によって生じる荷重をスラスト方向(第1荷重センサ703)への荷重とラジアル方向(筐体705側)への荷重とに分散させることができる。同様に、第2軸受702は、内輪702a側で円柱部113と接触することにより、当該円柱部113にかかる矢印B方向の負荷によって生じる荷重をスラスト方向(第2荷重センサ704)への荷重とラジアル方向(筐体705側)への荷重とに分散させることができる。 Therefore, by contacting the cylindrical portion 113 on the side of the inner ring 701a, the first bearing 701 converts the load generated by the load in the direction of the arrow A applied to the cylindrical portion 113 into the thrust direction (first load sensor 703) and the radial load. It is possible to disperse the load in the direction (housing 705 side). Similarly, the second bearing 702 contacts the cylindrical portion 113 on the inner ring 702a side, so that the load generated by the load applied to the cylindrical portion 113 in the direction of arrow B is treated as the load in the thrust direction (second load sensor 704). The load in the radial direction (the side of the housing 705) can be dispersed.

このように、第1軸受701および第2軸受702は、スラスト方向の荷重とラジアル方向の荷重を同時に支持することができるので、負荷が大きい場合であっても、軸受部分の摩擦を低減することが可能となる。つまり、軸体110は、スムースに移動できるように第1軸受701および第2軸受702によって軸受されているので、電動アクチュエータにおいて、無負荷状態からの押し引き両方の負荷による荷重を高精度に検出することができる。 In this way, the first bearing 701 and the second bearing 702 can simultaneously support a thrust load and a radial load, so even if the load is large, the friction of the bearing portion can be reduced. becomes possible. That is, since the shaft body 110 is supported by the first bearing 701 and the second bearing 702 so as to be able to move smoothly, in the electric actuator, the load due to both pushing and pulling from the no-load state can be detected with high accuracy. can do.

(荷重検出)
図13は、図12に示す荷重検出機構700Aにおける第1軸受701、第1荷重センサ703、筐体705の一部を含む荷重検出部X1の要部断面図である。なお、第2軸受702、第2荷重センサ704、筐体705の一部を含む荷重検出部の構成についても、荷重検出部X1と同じ構成であるので、詳細な説明は省略する。
(load detection)
FIG. 13 is a cross-sectional view of the load detection portion X1 including a portion of the first bearing 701, the first load sensor 703, and the housing 705 in the load detection mechanism 700A shown in FIG. The configuration of the load detection unit including the second bearing 702, the second load sensor 704, and part of the housing 705 is also the same as that of the load detection unit X1, so detailed description thereof will be omitted.

第1軸受701は、図13に示すように、円柱部113にかかる負荷709によって生じる荷重を内輪701aで受けて、スラスト方向の荷重710とラジアル方向の荷重711に分散させる。つまり、第1軸受701は、スラスト方向の荷重710を第1荷重センサ703に伝える一方、ラジアル方向の荷重(分力)711を外輪701bから筐体705の内周面705aに伝える。 In the first bearing 701, as shown in FIG. 13, the inner ring 701a receives the load 709 applied to the cylindrical portion 113, and distributes the load 710 in the thrust direction and the load 711 in the radial direction. In other words, the first bearing 701 transmits a thrust load 710 to the first load sensor 703 and a radial load (component force) 711 from the outer ring 701 b to the inner peripheral surface 705 a of the housing 705 .

第1荷重センサ703は、第1軸受701によって伝えられるスラスト方向の荷重710を検出する。第2荷重センサ704においても、第2軸受702によって伝えられるスラスト方向の荷重を検出する。 The first load sensor 703 detects a thrust-direction load 710 transmitted by the first bearing 701 . The second load sensor 704 also detects the thrust direction load transmitted by the second bearing 702 .

ここで、ラジアル方向の荷重711によって第1軸受701の外輪701bは外側に向かって変形する。つまり、第1軸受701の外輪701bは、ラジアル方向の荷重711により外側に膨らむ。ところが、外輪701bは、筐体705の内周面705aに接触しているため、荷重711は外輪701bを介して筐体705の内周面705aに伝わり、摩擦抵抗714が生じる。この摩擦抵抗714は、負荷709のかかる矢印方向とは、逆の方向に生じるので、負荷709(図12の矢印A方向の負荷)によって生じる荷重710も変動する。同様に、第2軸受702、第2荷重センサ704、筐体705の一部を含む荷重検出部においても、摩擦抵抗が生じ、負荷709(図12の矢印B方向の負荷)によって生じる荷重も変動する。このため、荷重検出機構700Aを備えた電動アクチュエータにおいて、無負荷状態からの押し引き両方の負荷による荷重が同じにならない。 Here, the radial load 711 deforms the outer ring 701b of the first bearing 701 outward. That is, the outer ring 701b of the first bearing 701 expands outward due to the load 711 in the radial direction. However, since the outer ring 701b is in contact with the inner peripheral surface 705a of the housing 705, the load 711 is transmitted to the inner peripheral surface 705a of the housing 705 via the outer ring 701b, and frictional resistance 714 is generated. Since this frictional resistance 714 is generated in the direction opposite to the direction of the arrow in which the load 709 is applied, the load 710 generated by the load 709 (the load in the direction of arrow A in FIG. 12) also fluctuates. Similarly, frictional resistance also occurs in the load detection section including the second bearing 702, the second load sensor 704, and a portion of the housing 705, and the load generated by the load 709 (the load in the direction of arrow B in FIG. 12) also fluctuates. do. Therefore, in the electric actuator provided with the load detection mechanism 700A, the loads due to both push and pull from the no-load state are not the same.

図14に示すグラフは、図12に示す荷重検出機構700Aにかけた負荷と第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の出力電圧との関係を示したものである。 The graph shown in FIG. 14 shows the relationship between the load applied to load detection mechanism 700A shown in FIG. 12 and the output voltages of first load sensor 703 and second load sensor 704. In FIG.

図14に示すグラフは、負荷709(図12の矢印A方向の負荷)をゼロから最大値Fmaxに向かって徐々に大きくしたとき(加圧しているとき)の出力電圧(V)の値を示し、負荷709を最大値Fmaxにした後、徐々に負荷709(図12の矢印B方向の負荷)を小さくしたとき(減圧しているとき)の出力電圧(V)の値を示している。このグラフから、負荷709がゼロと最大値Fmaxの場合以外は、同じ負荷709であっても、負荷をかける向き(加圧方向・減圧方向)の出力電圧の値は異なる。これは、負荷709による荷重の荷重711によって生じる摩擦抵抗714の影響を受けるためである。このように、負荷709を加圧していくときと負荷709を減圧していくときの出力電圧の値は一致せず、ヒステリシスを描くように出力電圧の値が変化していることが分る。 The graph shown in FIG. 14 shows the value of the output voltage (V) when the load 709 (the load in the direction of arrow A in FIG. 12) is gradually increased from zero to the maximum value Fmax (when pressurized). , shows the value of the output voltage (V) when the load 709 (the load in the direction of arrow B in FIG. 12) is gradually decreased (when the pressure is reduced) after the load 709 is set to the maximum value Fmax. From this graph, even if the load 709 is the same, the value of the output voltage in the direction of load application (pressurization direction/pressure reduction direction) differs, except when the load 709 is zero and the maximum value Fmax. This is because the load 709 is affected by the frictional resistance 714 caused by the load 711 of the load. Thus, it can be seen that the output voltage value does not match when the load 709 is pressurized and when the load 709 is depressurized, and the output voltage value changes as if drawing a hysteresis.

荷重検出機構700Aにおいて、矢印A方向に負荷709をかけたときの出力電圧の値と、矢印B方向に負荷709をかけたときの出力電圧の値とが近い程、軸体110にかかる荷重検出の精度が高いといえる。さらに、荷重検出の精度を高めるための例について以下の実施形態8で説明する。 In the load detection mechanism 700A, the closer the value of the output voltage when the load 709 is applied in the direction of arrow A and the value of the output voltage when the load 709 is applied in the direction of arrow B, the more the load applied to the shaft 110 is detected. It can be said that the accuracy of Furthermore, an example for increasing the accuracy of load detection will be described in the eighth embodiment below.

(実施形態8)
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
(Embodiment 8)
Other embodiments of the invention are described below. For convenience of description, members having the same functions as those of the members described in the above embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

(荷重検出機構の概要)
図15は、本発明の実施形態8に係る電動アクチュエータの荷重検出機構700Bの概略構成を示す部分断面図である。荷重検出機構700Bは、前記実施形態7の図12に示す荷重検出機構700Aとほぼ同じ構成であり、異なるのは、第1軸受701および第2軸受702と筐体705との間に隙間を設け、その隙間に弾性体712を介在させた点である。
(Overview of load detection mechanism)
FIG. 15 is a partial cross-sectional view showing a schematic configuration of a load detection mechanism 700B of an electric actuator according to Embodiment 8 of the present invention. The load detection mechanism 700B has substantially the same configuration as the load detection mechanism 700A shown in FIG. , and an elastic body 712 is interposed in the gap.

図15に示すように、荷重検出機構700Bは、筐体705の内径を通常よりも大きくすることで、当該筐体705の内周面705aと第1軸受701の外輪701bおよび第2軸受702の外輪702bとの間に所定の距離の隙間713(図16)を形成する。これにより、ラジアル方向の荷重711は、外輪701bおよび外輪702bから筐体705に伝わらないので、負荷のかかる方向と逆方向の摩擦抵抗は生じ難くなる。 As shown in FIG. 15, the load detection mechanism 700B makes the inner diameter of the housing 705 larger than usual, so that the inner peripheral surface 705a of the housing 705, the outer ring 701b of the first bearing 701, and the second bearing 702 are A gap 713 (FIG. 16) of a predetermined distance is formed with the outer ring 702b. As a result, the load 711 in the radial direction is not transmitted from the outer rings 701b and 702b to the housing 705, so frictional resistance in the direction opposite to the direction in which the load is applied is less likely to occur.

しかも、筐体705の内周面705aと第1軸受701の外輪701bおよび第2軸受702の外輪702bとの間には、この間に形成される隙間713(図16)の距離より少し大きい弾性体712が設けられている。つまり、第1軸受701の外輪701bおよび第2軸受702の外輪702bと、筐体705の内周面705aとの間には、弾性体712が介在することになる。この弾性体712は、第1軸受701および第2軸受702を、筐体705の内周面705aによって筐体705に内周面705aから所定の距離を保ちながら支持する大きさに形成されている。これにより、荷重検出機構700Bにおいて、筐体705の内径を通常よりも大きくすることによって生じるクリープやベアリングの偏心を抑制することができる。 Moreover, between the inner peripheral surface 705a of the housing 705 and the outer ring 701b of the first bearing 701 and the outer ring 702b of the second bearing 702, an elastic body slightly larger than the gap 713 (FIG. 16) formed therebetween is provided. 712 is provided. That is, the elastic body 712 is interposed between the outer ring 701 b of the first bearing 701 and the outer ring 702 b of the second bearing 702 and the inner peripheral surface 705 a of the housing 705 . The elastic body 712 is sized to support the first bearing 701 and the second bearing 702 by the inner peripheral surface 705a of the housing 705 while maintaining a predetermined distance from the inner peripheral surface 705a of the housing 705. . As a result, in the load detection mechanism 700B, it is possible to suppress creep and eccentricity of the bearing caused by making the inner diameter of the housing 705 larger than usual.

(荷重検出)
図16は、図15に示した荷重検出部X2を模式的に示した模式図である。なお、第2軸受702、第2荷重センサ704、筐体705の一部を含む荷重検出部の構成についても、荷重検出部X1と同じ構成であるので、詳細な説明は省略する。
(load detection)
FIG. 16 is a schematic diagram schematically showing the load detection section X2 shown in FIG. The configuration of the load detection unit including the second bearing 702, the second load sensor 704, and part of the housing 705 is also the same as that of the load detection unit X1, so detailed description thereof will be omitted.

筐体705の内周面705aと第1軸受701の外輪701bとの間には、所定距離の隙間713が形成されている。隙間713は、第1軸受701がラジアル方向の荷重により膨らみ筐体705の内周面705aに接触しない距離よりも長い距離に設定されている。これにより、第1軸受701の外輪701bが膨らみ筐体705の内周面705aに接触することによる摩擦抵抗は生じないが、そのままでは、軸受に挿入されている軸体のぶれが生じため、上述した弾性体712を隙間713に介在させる。隙間713は、第1軸受701の外輪701bの膨らみを考慮して設定される。具体的には、隙間713は、第1軸受701の外輪701bが膨らんでも、当該外輪701bが筐体705の内周面705aに接触しない距離に設定される。 A gap 713 having a predetermined distance is formed between the inner peripheral surface 705a of the housing 705 and the outer ring 701b of the first bearing 701 . The gap 713 is set to a distance longer than the distance at which the first bearing 701 expands due to the load in the radial direction and does not come into contact with the inner peripheral surface 705a of the housing 705 . As a result, the outer ring 701b of the first bearing 701 swells and does not generate frictional resistance due to contact with the inner peripheral surface 705a of the housing 705. The elastic body 712 is interposed in the gap 713 . The clearance 713 is set in consideration of swelling of the outer ring 701 b of the first bearing 701 . Specifically, the gap 713 is set to a distance such that the outer ring 701b does not come into contact with the inner peripheral surface 705a of the housing 705 even if the outer ring 701b of the first bearing 701 swells.

弾性体712は、ゴム状弾性を有する部材の一種であるOリングからなり、図16に示すように、筐体705の内周面705aの、第1軸受701の外輪701bが対向する位置に形成された溝部705bに嵌め込まれている。溝部705bは、筐体705の内周面705aの円周方向に沿って形成された溝である。ここで、ゴム状弾性体(rubber-like elasticity)は、小さい応力でかなり大きい変形を起し、その変形から急速に、ほとんど元の形まで戻ろうとする物体の傾向をいう。 The elastic body 712 is made of an O-ring, which is a type of member having rubber-like elasticity, and as shown in FIG. It is fitted in the groove portion 705b that has been formed. The groove portion 705b is a groove formed along the circumferential direction of the inner peripheral surface 705a of the housing 705 . As used herein, rubber-like elasticity refers to the tendency of a body to undergo a fairly large deformation with a small stress and to rapidly return to almost its original shape from that deformation.

Oリングは、比較的安価で、入手が容易であり、且つ溝部705bへの取付けも容易であるため、弾性体712として好適である。しかしながら、弾性体712としては、Oリングに限定されるものではなく、他のゴム状弾性を有する部材であってもよい。 An O-ring is suitable as the elastic body 712 because it is relatively inexpensive, readily available, and easy to attach to the groove 705b. However, the elastic body 712 is not limited to the O-ring, and may be other members having rubber-like elasticity.

弾性体712は、筐体705から一部が突出するように溝部705bに嵌め込まれる。弾性体712の突出した部分の長さは、第1軸受701の外輪701bと筐体705の内周面705aと間の隙間713の距離よりも若干長い。これにより、弾性体712は、第1軸受701の外輪701bに付勢力に抗しながら当接するようになるので、第1軸受701を筐体705内で安定して保持することができる。 The elastic body 712 is fitted into the groove 705b so as to partially protrude from the housing 705 . The length of the projecting portion of elastic body 712 is slightly longer than the distance of gap 713 between outer ring 701 b of first bearing 701 and inner peripheral surface 705 a of housing 705 . As a result, the elastic body 712 contacts the outer ring 701b of the first bearing 701 while resisting the biasing force, so that the first bearing 701 can be stably held within the housing 705 .

従って、筐体705の内径を通常よりも大きくしても、弾性体712を設けることで、第1軸受701との間にできる隙間に起因するクリープやベアリングの偏心を抑制することができる。具体的には、第1軸受701の外輪701bを弾性体712が当接した状態で、調心することでスラスト方向の荷重710のベクトル方向がぶれることがなく、偏荷重なく負荷709による円柱部113の荷重を第1荷重センサ703に伝達することができる。さらに、筐体705の内周面705a内径と第1軸受701の外輪701bの間に弾性体712を挟み込むことで、第1軸受701の外輪701bを弾性体712が保持するので、第1軸受701の外輪701bが回転することが抑制され、その結果、クリープを防ぐことができる。 Therefore, even if the inner diameter of the housing 705 is larger than usual, by providing the elastic body 712 , it is possible to suppress the creep caused by the gap with the first bearing 701 and the eccentricity of the bearing. Specifically, by aligning the outer ring 701b of the first bearing 701 with the elastic body 712 in contact with it, the vector direction of the load 710 in the thrust direction does not fluctuate, and the cylindrical portion by the load 709 is free from unbalanced load. A load of 113 can be transmitted to the first load sensor 703 . Furthermore, by sandwiching the elastic body 712 between the inner diameter of the inner peripheral surface 705a of the housing 705 and the outer ring 701b of the first bearing 701, the elastic body 712 holds the outer ring 701b of the first bearing 701. rotation of the outer ring 701b is suppressed, and as a result, creep can be prevented.

同様に、第2軸受702を含む荷重検出部においても、筐体705の内周面705aと第2軸受702の外輪702bとの間に形成される隙間713に弾性体712が設けられる。これにより、第1軸受701を含む荷重検出部Xと同様の効果を奏する。 Similarly, in the load detector including the second bearing 702 , an elastic body 712 is provided in a gap 713 formed between the inner peripheral surface 705 a of the housing 705 and the outer ring 702 b of the second bearing 702 . As a result, the same effects as those of the load detector X including the first bearing 701 can be obtained.

さらに、弾性体712は、図16に示すように、ラジアル方向の荷重(分力)711を吸収するので、荷重711は筐体705の内周面705aに伝わり難くなる。これにより、荷重711に起因する摩擦抵抗は筐体705に生じ難くなるので、スラスト方向の荷重710は逆向きの摩擦抵抗の影響を受け難くなるので、負荷709(図15の矢印A方向の負荷)によって生じる荷重710は変動し難くなる。同様に、第2軸受702、第2荷重センサ704、筐体705の一部を含む荷重検出部においても、弾性体712を設けることで、摩擦抵抗が生じ難くなるので、負荷709(図15の矢印B方向の負荷)によって生じる荷重は変動し難くなる。 Furthermore, as shown in FIG. 16, the elastic body 712 absorbs the load (component force) 711 in the radial direction, so the load 711 is less likely to be transmitted to the inner peripheral surface 705 a of the housing 705 . As a result, the frictional resistance caused by the load 711 is less likely to occur in the housing 705, and the thrust-direction load 710 is less likely to be affected by the oppositely-directed frictional resistance. ) is less likely to fluctuate. Similarly, in the load detection section including the second bearing 702, the second load sensor 704, and a part of the housing 705, the provision of the elastic body 712 makes it difficult for frictional resistance to occur. The load caused by the load in the direction of arrow B) is less likely to fluctuate.

図17に示すグラフは、図15に示す荷重検出機構700Bにかけた負荷と第1荷重センサ703および第2荷重センサ704の出力電圧との関係を示したものである。このグラフは、筐体705の内径を公差から少し超える程度に拡げた場合の測定結果の一例を示すものである。ここで、筐体705の内径を公差から少し超える程度は、軸体110の外径、ベアリングの大きさ等に応じて変る。 The graph shown in FIG. 17 shows the relationship between the load applied to load detection mechanism 700B shown in FIG. 15 and the output voltages of first load sensor 703 and second load sensor 704. In FIG. This graph shows an example of the measurement result when the inner diameter of the housing 705 is widened slightly beyond the tolerance. Here, the extent to which the inner diameter of the housing 705 slightly exceeds the tolerance varies depending on the outer diameter of the shaft body 110, the size of the bearing, and the like.

図17に示すグラフは、負荷709(図15の矢印A方向の負荷)をゼロから最大値Fmaxに向かって徐々に大きくしたとき(加圧しているとき)の出力電圧(V)の値を示し、負荷709を最大値Fmaxにした後、徐々に負荷709(図15の矢印B方向の負荷)を小さくしたとき(減圧しているとき)の出力電圧(V)の値を示している。このグラフから、負荷709を加圧したときと、負荷709を減圧したときの出力電圧の値はほぼ一致していることが分る。従って、荷重検出機構700Bによれば、負荷709によって生じる円柱部113(軸体110)の荷重のうち、ラジアル方向の荷重711による影響を受け難くなっていることが分る。 The graph shown in FIG. 17 shows the value of the output voltage (V) when the load 709 (the load in the direction of arrow A in FIG. 15) is gradually increased from zero to the maximum value Fmax (when pressurized). , the value of the output voltage (V) when the load 709 (the load in the direction of arrow B in FIG. 15) is gradually decreased (when the pressure is reduced) after the load 709 is set to the maximum value Fmax. From this graph, it can be seen that the output voltage values when the load 709 is pressurized and when the load 709 is depressurized are substantially the same. Therefore, according to the load detection mechanism 700B, among the loads on the columnar portion 113 (shaft body 110) caused by the load 709, the load 711 in the radial direction is less likely to affect the load.

従って、荷重検出機構700Bによる荷重検出の精度を向上させることができる。 Therefore, the accuracy of load detection by the load detection mechanism 700B can be improved.

なお、弾性体712としては、Oリング等のゴム状弾性を有する部材以外の他、樹脂製の弾性体でもよく、また例えばガスケット、シール、テープ等の負荷を吸収する部材で形成されたものであればよい。また、筐体705の溝部705bに沿って連続して設けられていてもよいし、断続的に設けられていてもよい。 The elastic body 712 may be a resin-made elastic body other than a member having rubber-like elasticity such as an O-ring. I wish I had. Further, it may be provided continuously along the groove portion 705b of the housing 705, or may be provided intermittently.

また、第1軸受701および第2軸受702が筐体705の内周面705aに与える荷重711を吸収できる位置であれば、弾性体712は、筐体705の内周面705aに対してどのように設けてもよい。さらに、溝部705bについても、弾性体712を設ける位置に合わせて形成すればよい。 In addition, if the first bearing 701 and the second bearing 702 are positioned to absorb the load 711 applied to the inner peripheral surface 705 a of the housing 705 , how does the elastic body 712 move to the inner peripheral surface 705 a of the housing 705 ? may be set to Furthermore, the groove portion 705b may also be formed in accordance with the position where the elastic body 712 is provided.

なお、前記実施形態7,8においては、第1軸受701及び第2軸受702として円すいころ軸受(テーパローラベアリング)を例について説明したが、これに限定されるものではない。第1軸受701及び第2軸受702としては、スラスト方向、ラジアル方向の両方に荷重が生じるベアリングであれば、例えば、アンギュラ玉軸受、針状ころ軸受であってもよい。 In the seventh and eighth embodiments, the first bearing 701 and the second bearing 702 are tapered roller bearings, but the present invention is not limited to this. The first bearing 701 and the second bearing 702 may be, for example, angular ball bearings or needle roller bearings as long as they generate loads in both the thrust direction and the radial direction.

上述した実施形態の説明において、組み合わせ可能な構成を相互に組み合わせてもよい。 In the description of the above embodiments, combinable configurations may be combined with each other.

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and range of equivalents of the scope of the claims.

10 モータ、11 出力軸部、12 減速機構部、20 ハウジング、21 ベースプレート、21h 開口部、22 外筒、23 ブッシュ、30 円筒ウォーム、40 回転ホイール、41,121,221,231,331,335,521,621 内周面、42 第2肩部、43 第1肩部、100,200,300,400 電動アクチュエータ、110,570,670 軸体、111 ねじ軸部、112,571,671 拡径部、113,572,672 円柱部、114,573,673,692 雄ねじ部、115 回転軸部、120,420,520 筐体、122,422,522,622 縮径部、123,571h 貫通孔、131 第1軸受、132 第2軸受、141,541 第1荷重センサ、142,542 第2荷重センサ、150,550,650 ロックナット、160,360 ナット、170 可動筒、171,470 先端金具、180 端子箱、181 本体部、182 蓋部、183 パッキン、184 シール部、186 基板台、187 アンプ台、220,690 第2筐体、222 第2縮径部、223,233,333,624,693 端部、230,330,620 第1筐体、232,332,691 フランジ部、234,334 第1縮径部、240 ボルト、500,600 負荷荷重検出ユニット、523,623 雌ねじ部、641 荷重センサ、700A,B 負荷検出機構、701 第1軸受、701a 内輪、701b 外輪、701c 円すいころ、702 第2軸受、702a 内輪、702b 外輪、702c 円すいころ、703 第1荷重センサ、704 第2荷重センサ、705 筐体、705a 内周面、705b 溝部、709 負荷、710,711 荷重、712 弾性体、713 隙間、714 摩擦抵抗 10 motor, 11 output shaft, 12 speed reduction mechanism, 20 housing, 21 base plate, 21 h opening, 22 outer cylinder, 23 bush, 30 cylindrical worm, 40 rotating wheel, 41, 121, 221, 231, 331, 335, 521,621 inner peripheral surface 42 second shoulder 43 first shoulder 100,200,300,400 electric actuator 110,570,670 shaft 111 screw shaft 112,571,671 enlarged diameter portion , 113,572,672 cylindrical portion 114,573,673,692 male screw portion 115 rotating shaft portion 120,420,520 housing 122,422,522,622 reduced diameter portion 123,571h through hole 131 First bearing 132 Second bearing 141,541 First load sensor 142,542 Second load sensor 150,550,650 Lock nut 160,360 Nut 170 Movable tube 171,470 End fitting 180 Terminal Box 181 Main body 182 Lid 183 Packing 184 Sealing part 186 Board stand 187 Amplifier stand 220,690 Second housing 222 Second reduced diameter part 223,233,333,624,693 End Part 230,330,620 First housing 232,332,691 Flange part 234,334 First reduced diameter part 240 Bolt 500,600 Applied load detection unit 523,623 Internal screw part 641 Load sensor 700A, B load detection mechanism 701 first bearing 701a inner ring 701b outer ring 701c tapered roller 702 second bearing 702a inner ring 702b outer ring 702c tapered roller 703 first load sensor 704 second load sensor 705 Housing 705a inner peripheral surface 705b groove portion 709 load 710, 711 load 712 elastic body 713 gap 714 frictional resistance

Claims (5)

駆動機構と、
軸方向に延在し、ねじ軸部を有する軸体と、
前記ねじ軸部にボールを介して螺合し、前記駆動機構が駆動することにより前記軸体に対して相対的に前記軸方向に移動可能なナットと、
前記軸体の一部を収容する筐体と、
前記軸体が挿通された状態で前記筐体内に少なくとも一部が配置された、第1軸受および第2軸受と、
前記筐体内に配置された、第1荷重センサおよび第2荷重センサとを備え、
前記第1荷重センサは、前記軸方向において前記第1軸受と並んで配置されており、
前記第2荷重センサは、前記軸方向において前記第2軸受と並んで配置されており、
前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々は、前記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で前記筐体内に固定されており、
前記軸体に対して前記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に前記第2荷重センサの検出値が増加しつつ前記第1荷重センサの検出値が減少するように、かつ、前記軸体に対して前記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に前記第1荷重センサの検出値が増加しつつ前記第2荷重センサの検出値が減少するように、前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々が配置され、
前記筐体は、前記軸方向において前記第1荷重センサが配置されている位置と前記第2荷重センサが配置されている位置との間に、前記筐体の内径が部分的に小さくなっている縮径部を有しており、
前記軸体は、前記軸体の前記一部が前記筐体に収容された状態において、前記軸方向における前記縮径部の位置より一方側の位置に雄ねじ部を有し、かつ、前記軸方向における前記縮径部の位置より他方側の位置に、前記軸体の直径が部分的に大きくなっている拡径部を有しており、
前記軸体の前記雄ねじ部と螺合するロックナットをさらに備え、
前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々は、前記軸方向において前記縮径部と並んで配置されており、
前記第1荷重センサおよび前記第1軸受は、前記縮径部と前記ロックナットとの間に挟み込まれており、
前記第2荷重センサおよび前記第2軸受は、前記縮径部と前記拡径部との間に挟み込まれている、電動アクチュエータ。
a drive mechanism;
a shaft extending axially and having a threaded shaft;
a nut screwed onto the screw shaft through a ball and movable in the axial direction relative to the shaft by being driven by the drive mechanism;
a housing that houses a portion of the shaft;
a first bearing and a second bearing, at least a part of which is arranged in the housing with the shaft inserted therethrough;
a first load sensor and a second load sensor arranged in the housing;
The first load sensor is arranged in parallel with the first bearing in the axial direction,
The second load sensor is arranged in parallel with the second bearing in the axial direction,
each of the first load sensor and the second load sensor is fixed in the housing under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction;
so that the detection value of the first load sensor decreases while the detection value of the second load sensor increases when a load is applied to the shaft in one of the axial directions, and The first load is adjusted so that the detected value of the first load sensor increases while the detected value of the second load sensor decreases when a load is applied to the shaft in the other axial direction. each of the sensor and the second load sensor are arranged;
The inner diameter of the housing is partially reduced between a position where the first load sensor is arranged and a position where the second load sensor is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter part,
The shaft has a male screw portion at a position on one side of the position of the reduced diameter portion in the axial direction when the portion of the shaft is accommodated in the housing, and has an enlarged diameter portion in which the diameter of the shaft is partially enlarged at a position on the other side from the position of the reduced diameter portion in
further comprising a lock nut that screws together with the male threaded portion of the shaft;
Each of the first load sensor and the second load sensor is arranged side by side with the reduced diameter portion in the axial direction,
The first load sensor and the first bearing are sandwiched between the reduced diameter portion and the lock nut,
The electric actuator, wherein the second load sensor and the second bearing are sandwiched between the diameter-reduced portion and the diameter-enlarged portion.
駆動機構と、
軸方向に延在し、ねじ軸部を有する軸体と、
前記ねじ軸部にボールを介して螺合し、前記駆動機構が駆動することにより前記軸体に対して相対的に前記軸方向に移動可能なナットと、
前記軸体の一部を収容する筐体と、
前記軸体が挿通された状態で前記筐体内に少なくとも一部が配置された、第1軸受および第2軸受と、
前記筐体内に配置された、第1荷重センサおよび第2荷重センサとを備え、
前記第1荷重センサは、前記軸方向において前記第1軸受と並んで配置されており、
前記第2荷重センサは、前記軸方向において前記第2軸受と並んで配置されており、
前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々は、前記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で前記筐体内に固定されており、
前記軸体に対して前記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に前記第2荷重センサの検出値が増加しつつ前記第1荷重センサの検出値が減少するように、かつ、前記軸体に対して前記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に前記第1荷重センサの検出値が増加しつつ前記第2荷重センサの検出値が減少するように、前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々が配置され、
前記駆動機構が駆動することにより、前記軸体の周方向に回転する回転ホイールをさらに備え、
前記筐体は、互いに接続される第1筐体および第2筐体を含み、
前記回転ホイールは、前記筐体の内側に収容されており、
前記第1荷重センサおよび前記第1軸受は、前記回転ホイールに対して前記軸方向の他方側に位置しつつ前記筐体の内側に収容されており、
前記第2荷重センサおよび前記第2軸受は、前記回転ホイールに対して前記軸方向の一方側に位置しつつ前記筐体の内側に収容されており、
前記第1筐体は、前記第1荷重センサおよび前記第1軸受が配置されている位置に対して前記軸方向における前記他方側の位置に、前記第1筐体の内径が部分的に小さくなっている第1縮径部を有しており、
前記第2筐体は、前記第2荷重センサおよび前記第2軸受が配置されている位置に対して前記軸方向における前記一方側の位置に、前記第2筐体の内径が部分的に小さくなっている第2縮径部を有しており、
前記第1荷重センサは、前記軸方向において前記第1縮径部と並んで配置されており、
前記第2荷重センサは、前記軸方向において前記第2縮径部と並んで配置されており、
前記第1荷重センサおよび前記第1軸受は、前記第1縮径部と前記回転ホイールとの間に挟み込まれおり、
前記第2荷重センサおよび前記第2軸受は、前記第2縮径部と前記回転ホイールとの間に挟み込まれている、電動アクチュエータ。
a drive mechanism;
a shaft extending axially and having a threaded shaft;
a nut screwed onto the screw shaft through a ball and movable in the axial direction relative to the shaft by being driven by the drive mechanism;
a housing that houses a portion of the shaft;
a first bearing and a second bearing, at least a part of which is arranged in the housing with the shaft inserted therethrough;
a first load sensor and a second load sensor arranged in the housing;
The first load sensor is arranged in parallel with the first bearing in the axial direction,
The second load sensor is arranged in parallel with the second bearing in the axial direction,
each of the first load sensor and the second load sensor is fixed in the housing under a preload load so as to be sandwiched in the axial direction;
so that the detection value of the first load sensor decreases while the detection value of the second load sensor increases when a load is applied to the shaft in one of the axial directions, and The first load is adjusted so that the detected value of the first load sensor increases while the detected value of the second load sensor decreases when a load is applied to the shaft in the other axial direction. each of the sensor and the second load sensor are arranged;
Further comprising a rotating wheel that rotates in the circumferential direction of the shaft by being driven by the drive mechanism,
the housing includes a first housing and a second housing that are connected to each other;
The rotating wheel is housed inside the housing,
The first load sensor and the first bearing are housed inside the housing while being positioned on the other side of the rotating wheel in the axial direction,
The second load sensor and the second bearing are housed inside the housing while being positioned on one side of the rotating wheel in the axial direction,
The first housing is positioned on the other side in the axial direction with respect to the position where the first load sensor and the first bearing are arranged, and the inner diameter of the first housing is partially reduced. having a first reduced diameter portion that
The inner diameter of the second housing is partially reduced at a position on the one side in the axial direction with respect to the position where the second load sensor and the second bearing are arranged. has a second reduced diameter portion that
The first load sensor is arranged in parallel with the first reduced diameter portion in the axial direction,
The second load sensor is arranged in parallel with the second reduced diameter portion in the axial direction,
The first load sensor and the first bearing are sandwiched between the first reduced diameter portion and the rotating wheel,
The electric actuator, wherein the second load sensor and the second bearing are sandwiched between the second reduced diameter portion and the rotary wheel.
前記軸体が前記回転ホイールとともに回転することにより、前記ナットが前記軸方向に移動する、請求項2に記載の電動アクチュエータ。 3. The electric actuator according to claim 2, wherein said nut moves in said axial direction when said shaft rotates together with said rotary wheel. 前記ナットが前記回転ホイールとともに回転することにより、前記軸体が前記軸方向に移動する、請求項2に記載の電動アクチュエータ。 The electric actuator according to claim 2, wherein the shaft moves in the axial direction as the nut rotates together with the rotary wheel. 前記筐体の内周面と、前記第1軸受および前記第2軸受との間に弾性体が設けられている、請求項1~4の何れか1項に記載の電動アクチュエータ。 The electric actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein an elastic body is provided between the inner peripheral surface of the housing and the first bearing and the second bearing.
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