JP7139401B2 - Photodetector - Google Patents

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本発明は、互いの距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有するファブリペロー干渉フィルタを備える光検出装置に関する。 The present invention relates to a photodetector comprising a Fabry-Perot interference filter having a first mirror and a second mirror whose mutual distance is variable.

特許文献１には、ファブリペロー干渉計と、ファブリペロー干渉計を保持するホルダと、ホルダに取り付けられたペルチェ素子と、ファブリペロー干渉計、ホルダ及びペルチェ素子を収容する真空容器と、を備える、干渉計のエタロン部が記載されている。このエタロン部では、真空容器の光入射窓からファブリペロー干渉計を介して真空容器の光出射窓に至る光路に対して、ホルダの側方にペルチェ素子が取り付けられている。 Patent Document 1 discloses a Fabry-Perot interferometer, a holder that holds the Fabry-Perot interferometer, a Peltier element attached to the holder, and a vacuum vessel that houses the Fabry-Perot interferometer, the holder, and the Peltier element. The etalon portion of the interferometer is described. In this etalon section, a Peltier element is attached to the side of the holder with respect to the optical path from the light entrance window of the vacuum vessel to the light exit window of the vacuum vessel via the Fabry-Perot interferometer.

特開平１－２５０８３４号公報JP-A-1-250834

しかしながら、上述した構成では、ファブリペロー干渉計がペルチェ素子によって側方から冷却されるため、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器がパッケージに収容されている場合、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器が均一に冷却されないため、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器が均一な温度に維持されないおそれがある。しかも、上述した構成では、真空容器の光入射窓近傍がペルチェ素子によって冷却されるため、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を収容するパッケージの開口に光透過部材が設けられている場合、光透過部材において結露が発生するおそれがある。 However, in the configuration described above, the Fabry-Perot interferometer is laterally cooled by the Peltier element, so that when the Fabry-Perot interference filter and photodetector are housed in a package, the Fabry-Perot interference filter and photodetector are uniformly cooled. Fabry-Perot interference filters and photodetectors may not be maintained at a uniform temperature because they are not cooled to a uniform temperature. Moreover, in the above-described configuration, the vicinity of the light entrance window of the vacuum vessel is cooled by the Peltier element. Condensation may occur on the member.

本発明は、パッケージ内に光を入射させるための光透過部材において結露や割れが発生するのを抑制しつつ、パッケージに収容されたファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる光検出装置を提供することを目的とする。 The present invention maintains a Fabry-Perot interference filter and a photodetector accommodated in the package at a uniform temperature while suppressing the occurrence of dew condensation and cracking in a light transmission member for allowing light to enter the package. It is an object of the present invention to provide a photodetector capable of

本発明の光検出装置は、互いの距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有し、第１ミラーと第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域が所定のライン上に設けられたファブリペロー干渉フィルタと、ライン上においてファブリペロー干渉フィルタに対して一方の側に配置され、光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、ライン上においてファブリペロー干渉フィルタに対して他方の側に位置する開口を有し、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を収容するパッケージと、開口を塞ぐようにパッケージに設けられた光透過部材と、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器と熱的に接続されて吸熱領域及び発熱領域の一方として機能する第１領域を有する温度調節素子と、を備え、第１領域は、少なくともライン上において光検出器に対して一方の側に位置している。 The photodetector of the present invention has a first mirror and a second mirror whose mutual distance is variable. a Fabry-Perot interference filter provided on the line, a photodetector disposed on the line on one side of the Fabry-Perot interference filter for detecting light transmitted through the light-transmitting region, and a Fabry-Perot interference filter on the line A package having an opening located on the other side with respect to the filter and containing a Fabry-Perot interference filter and a photodetector, a light transmission member provided in the package so as to close the opening, the Fabry-Perot interference filter and light a temperature regulating element having a first region thermally connected to the detector and functioning as one of a heat absorption region and a heat generation region, the first region being at least on one side of the line with respect to the photodetector; located in

この光検出装置では、吸熱領域及び発熱領域の一方として機能する温度調節素子の第１領域が少なくともライン上において光検出器に対して一方の側に位置している。これにより、例えば、ラインに対してファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器の側方に温度調節素子の第１領域が位置している場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器が均一な温度に維持される。更に、少なくともライン上においては、光透過部材と温度調節素子の第１領域との間にファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器が配置されている。これにより、光透過部材が過度に冷却されて光透過部材の温度と外気温（光検出装置の使用環境温度）との差が大きくなることに起因する光透過部材における結露の発生が抑制される。また、光透過部材が過度に加熱されて光透過部材の温度と外気温との差が大きくなることに起因する光透過部材における割れの発生が抑制される。よって、この光検出装置によれば、パッケージ内に光を入射させるための光透過部材において結露や割れが発生するのを抑制しつつ、パッケージに収容されたファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる。 In this photodetector, the first region of the temperature control element that functions as one of the heat absorption region and the heat generation region is positioned on at least one side of the line with respect to the photodetector. This allows the Fabry-Perot interference filter and the photodetector to have a more uniform temperature than, for example, if the first region of the temperature regulating element is located on the side of the Fabry-Perot interference filter and the photodetector with respect to the line. maintained. Further, at least on the line, a Fabry-Perot interference filter and a photodetector are positioned between the light transmissive member and the first region of the temperature regulating element. As a result, dew condensation on the light-transmitting member caused by excessive cooling of the light-transmitting member and an increase in the difference between the temperature of the light-transmitting member and the outside air temperature (the operating environment temperature of the photodetector) is suppressed. . In addition, the occurrence of cracks in the light-transmitting member due to excessive heating of the light-transmitting member and an increase in the difference between the temperature of the light-transmitting member and the outside air temperature is suppressed. Therefore, according to this photodetector, the Fabry-Perot interference filter and the photodetector accommodated in the package are uniformly distributed while suppressing the occurrence of dew condensation and cracking in the light transmitting member for allowing light to enter the package. temperature can be maintained.

本発明の光検出装置では、ラインに平行な方向から見た場合に、開口の外縁は、ファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも内側に位置しており、温度調節素子は、パッケージと熱的に接続されて吸熱領域及び発熱領域の他方として機能する第２領域を有してもよい。この構成では、例えば、開口の外縁がファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも外側に位置している場合に比べ、吸熱領域及び発熱領域の他方として機能する温度調節素子の第２領域と光透過部材との間で、パッケージを介して熱が伝わり易い。よって、この構成によれば、光透過部材において結露や割れが発生するのをより確実に抑制することができる。 In the photodetector of the present invention, the outer edge of the opening is positioned inside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter when viewed in a direction parallel to the line, and the temperature control element is thermally connected to the package. There may also be a second region that functions as the other of the heat absorption region and the heat generation region. In this configuration, for example, compared to the case where the outer edge of the opening is located outside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter, the second region of the temperature control element that functions as the other of the heat absorbing region and the heat generating region and the light transmitting member heat is easily conducted through the package. Therefore, according to this configuration, it is possible to more reliably suppress the occurrence of dew condensation and cracks in the light transmitting member.

本発明の光検出装置では、ラインに平行な方向から見た場合に、光透過部材の外縁は、ファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも外側に位置していてもよい。この構成では、例えば、光透過部材の外縁がファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも内側に位置している場合に比べ、光透過部材とパッケージとの接触面積が増えて、光透過部材とパッケージとの間で熱が伝わり易い。よって、この構成によれば、光透過部材において結露や割れが発生するのをより確実に抑制することができる。 In the photodetector of the present invention, the outer edge of the light transmitting member may be located outside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter when viewed in a direction parallel to the line. In this configuration, the contact area between the light-transmitting member and the package increases compared to the case where the outer edge of the light-transmitting member is located inside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter. Heat is easily transferred between them. Therefore, according to this configuration, it is possible to more reliably suppress the occurrence of dew condensation and cracks in the light transmitting member.

本発明の光検出装置では、温度調節素子は、パッケージ内に配置されており、光検出器は、温度調節素子上に配置されており、ファブリペロー干渉フィルタは、光検出器が温度調節素子とファブリペロー干渉フィルタとの間に位置するように温度調節素子上に配置されていてもよい。この構成によれば、小型且つ簡易な構成で効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる。 In the photodetector of the present invention, the temperature control element is arranged in the package, the photodetector is arranged on the temperature control element, and the Fabry-Perot interference filter is arranged so that the photodetector and the temperature control element It may be arranged on the temperature control element so as to be positioned between the Fabry-Perot interference filter. According to this configuration, it is possible to efficiently maintain the Fabry-Perot interference filter and the photodetector at a uniform temperature with a small and simple configuration.

本発明の光検出装置は、ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち光透過領域の外側の部分を支持する支持部材と、ファブリペロー干渉フィルタの側面、及び支持部材と接触する熱伝導部材と、を更に備えてもよい。この構成では、例えば、ファブリペロー干渉フィルタの側面、及び支持部材と接触する熱伝導部材が設けられていない場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタと温度調節素子の第１領域との間で、支持部材を介して熱が伝わり易い。よって、この構成によれば、効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる。 The photodetector of the present invention further includes a support member that supports a portion of the bottom surface of the Fabry-Perot interference filter outside the light transmission region, and a heat-conducting member that contacts the side surface of the Fabry-Perot interference filter and the support member. You may prepare. In this configuration, for example, the support member may not be provided between the Fabry-Perot interference filter and the first region of the temperature regulating element compared to the case where the heat transfer member in contact with the side surface of the Fabry-Perot interference filter and the support member is not provided. Heat is easily transmitted through Therefore, according to this configuration, the Fabry-Perot interference filter and the photodetector can be efficiently maintained at a uniform temperature.

本発明の光検出装置では、熱伝導部材は、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材とを接着する接着部材であってもよい。この構成によれば、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態を安定させることができる。 In the photodetector of the present invention, the heat conducting member may be an adhesive member that adheres the Fabry-Perot interference filter and the support member. With this configuration, the holding state of the Fabry-Perot interference filter on the support member can be stabilized.

本発明の光検出装置では、支持部材は、ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち光透過領域の外側の部分が載置された載置面を有し、ファブリペロー干渉フィルタの側面の少なくとも一部は、載置面の一部が側面の外側に配置されるように、載置面上に位置しており、熱伝導部材は、側面、及び載置面の一部によって形成された隅部に配置され、側面、及び載置面の一部のそれぞれと接触していてもよい。この構成によれば、より効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができると共に、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態をより確実に安定させることができる。 In the photodetector of the present invention, the support member has a mounting surface on which a portion of the bottom surface of the Fabry-Perot interference filter outside the light transmission region is mounted, and at least part of the side surface of the Fabry-Perot interference filter is , the mounting surface is positioned on the mounting surface such that a portion of the mounting surface is disposed outside the side surface, and the heat-conducting member is disposed at a corner formed by the side surface and a portion of the mounting surface and may be in contact with each of the side surfaces and a portion of the mounting surface. According to this configuration, the Fabry-Perot interference filter and the photodetector can be more efficiently maintained at a uniform temperature, and the holding state of the Fabry-Perot interference filter on the support member can be more reliably stabilized. .

本発明の光検出装置では、温度調節素子は、パッケージの壁部に埋設されていてもよい。この構成によれば、パッケージ内の空間の体積を小さくすることができ、その結果、より効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる。 In the photodetector of the present invention, the temperature control element may be embedded in the wall of the package. With this configuration, the volume of space within the package can be reduced, and as a result, the Fabry-Perot interference filter and the photodetector can be maintained at a uniform temperature more efficiently.

本発明によれば、パッケージ内に光を入射させるための光透過部材において結露や割れが発生するのを抑制しつつ、パッケージに収容されたファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を均一な温度に維持することができる光検出装置を提供することが可能となる。 According to the present invention, the Fabry-Perot interference filter and the photodetector accommodated in the package are maintained at a uniform temperature while suppressing the occurrence of dew condensation and cracking in the light transmission member for allowing light to enter the package. It is possible to provide a photodetector that can

第１実施形態の光検出装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of a photodetector according to a first embodiment; FIG. 図１の光検出装置の平面図である。2 is a plan view of the photodetector of FIG. 1; FIG. 図１の光検出装置のうち、ファブリペロー干渉フィルタ、支持部材及び熱伝導部材を含む部分の平面図である。2 is a plan view of a portion of the photodetector of FIG. 1 including a Fabry-Perot interference filter, a support member, and a heat-conducting member; FIG. 図１の光検出装置のファブリペロー干渉フィルタの斜視図である。2 is a perspective view of a Fabry-Perot interference filter of the photodetector of FIG. 1; FIG. 図４のV－V線に沿ってのファブリペロー干渉フィルタの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the Fabry-Perot interference filter along line VV of FIG. 4; 第２実施形態の光検出装置の断面図である。It is a cross-sectional view of the photodetector of the second embodiment. 第２実施形態の光検出装置の変形例の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a modification of the photodetector of the second embodiment; 第２実施形態の光検出装置の変形例の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a modification of the photodetector of the second embodiment;

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
［第１実施形態］
［光検出装置の構成］ Preferred embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and overlapping parts are omitted.
[First embodiment]
[Configuration of photodetector]

図１に示されるように、光検出装置１Ａは、パッケージ２を備えている。パッケージ２は、ステム３と、キャップ４と、を有するＣＡＮパッケージである。キャップ４は、側壁５及び天壁６によって一体的に構成されている。天壁６は、直線である所定のラインＬに平行な方向においてステム３と対向している。ステム３及びキャップ４は、例えば金属からなり、互いに気密に接合されている。 As shown in FIG. 1, the photodetector 1A includes a package 2. As shown in FIG. Package 2 is a CAN package having stem 3 and cap 4 . The cap 4 is integrally formed by side walls 5 and a ceiling wall 6 . The ceiling wall 6 faces the stem 3 in a direction parallel to a predetermined straight line L. As shown in FIG. The stem 3 and the cap 4 are made of metal, for example, and are airtightly joined to each other.

ステム３の内面３ａには、温度調節素子５０が固定されている。温度調節素子５０は、例えばペルチェ素子であり、ラインＬに平行な方向において互いに対向する吸熱領域５０ａ及び発熱領域５０ｂを有している。温度調節素子５０は、ステム３の内面３ａ側に発熱領域５０ｂが位置し且つその反対側に吸熱領域５０ａが位置するように、パッケージ２内に配置されている。これにより、温度調節素子５０の発熱領域５０ｂは、パッケージ２と熱的に接続されている。 A temperature control element 50 is fixed to the inner surface 3 a of the stem 3 . The temperature control element 50 is, for example, a Peltier element, and has a heat absorption region 50a and a heat generation region 50b facing each other in the direction parallel to the line L. As shown in FIG. The temperature control element 50 is arranged in the package 2 such that the heat generating region 50b is positioned on the inner surface 3a side of the stem 3 and the heat absorbing region 50a is positioned on the opposite side. Thereby, the heat generating region 50 b of the temperature control element 50 is thermally connected to the package 2 .

温度調節素子５０の吸熱領域５０ａ上には、配線基板７が固定されている。配線基板７の基板材料としては、例えば、シリコン、セラミック、石英、ガラス、プラスチック等を用いることができる。配線基板７には、光検出器８、及びサーミスタ等の温度補償用素子（図示省略）が実装されている。これにより、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａは、配線基板７を介して、光検出器８及び温度補償用素子（図示省略）と熱的に接続されている。 A wiring board 7 is fixed on the heat absorption region 50 a of the temperature control element 50 . As a substrate material of the wiring board 7, for example, silicon, ceramic, quartz, glass, plastic, or the like can be used. A photodetector 8 and a temperature compensating element (not shown) such as a thermistor are mounted on the wiring board 7 . As a result, the heat absorbing region 50a of the temperature control element 50 is thermally connected to the photodetector 8 and the temperature compensating element (not shown) through the wiring board 7. FIG.

光検出器８は、ラインＬ上に配置されている。より具体的には、光検出器８は、その受光部の中心線がラインＬに一致するように配置されている。光検出器８は、例えば、ＩｎＧａＡｓ等が用いられた量子型センサ、サーモパイル又はボロメータ等が用いられた熱型センサ等の赤外線検出器である。紫外、可視、近赤外の各波長域の光を検出する場合には、光検出器８として、例えば、シリコンフォトダイオード等を用いることができる。なお、光検出器８には、１つの受光部が設けられていてもよいし、或いは、複数の受光部がアレイ状に設けられていてもよい。更に、複数の光検出器８が配線基板７に実装されていてもよい。 A photodetector 8 is arranged on the line L. FIG. More specifically, the photodetector 8 is arranged so that the center line of its light receiving portion coincides with the line L. As shown in FIG. The photodetector 8 is, for example, an infrared detector such as a quantum sensor using InGaAs or a thermal sensor using a thermopile or bolometer. When detecting light in each wavelength range of ultraviolet, visible, and near-infrared, for example, a silicon photodiode or the like can be used as the photodetector 8 . The photodetector 8 may be provided with one light receiving portion, or may be provided with a plurality of light receiving portions arranged in an array. Furthermore, a plurality of photodetectors 8 may be mounted on the wiring board 7 .

配線基板７上には、複数の支持部材９が熱伝導部材（図示省略）を介して固定されている。各支持部材９の材料としては、例えば、シリコン、セラミック、石英、ガラス、プラスチック等を用いることができる。複数の支持部材９上には、ファブリペロー干渉フィルタ１０が熱伝導部材１５を介して固定されている。これにより、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａは、配線基板７、上記熱伝導部材（図示省略）、複数の支持部材９、及び熱伝導部材１５を介して、ファブリペロー干渉フィルタ１０と熱的に接続されている。 A plurality of support members 9 are fixed on the wiring board 7 via heat conducting members (not shown). As a material for each support member 9, for example, silicon, ceramic, quartz, glass, plastic, or the like can be used. A Fabry-Perot interference filter 10 is fixed on the plurality of supporting members 9 via heat conducting members 15 . As a result, the heat absorption region 50 a of the temperature control element 50 is thermally connected to the Fabry-Perot interference filter 10 via the wiring board 7 , the heat conduction member (not shown), the plurality of support members 9 , and the heat conduction member 15 . It is connected.

熱伝導部材１５は、ファブリペロー干渉フィルタ１０から支持部材９に熱を伝える熱伝導部材であることに加え、ファブリペロー干渉フィルタ１０と支持部材９とを接着する接着部材でもある。同様に、配線基板７と各支持部材９との間に配置された熱伝導部材（図示省略）は、各支持部材９から配線基板７に熱を伝える熱伝導部材であることに加え、各支持部材９と配線基板７とを接着する接着部材でもある。熱伝導部材１５及び上記熱伝導部材（図示省略）の材料としては、例えば樹脂材料（例えば、シリコーン系、ウレタン系、エポキシ系、アクリル系、ハイブリッド等の樹脂材料であって、導電性であっても或いは非導電性であってもよい）を用いることができる。 The heat-conducting member 15 is a heat-conducting member that transfers heat from the Fabry-Perot interference filter 10 to the support member 9 , and is also an adhesive member that bonds the Fabry-Perot interference filter 10 and the support member 9 together. Similarly, the heat-conducting member (not shown) disposed between the wiring board 7 and each support member 9 is a heat-conducting member that conducts heat from each support member 9 to the wiring board 7. It is also an adhesive member that bonds the member 9 and the wiring substrate 7 together. Materials for the thermally conductive member 15 and the thermally conductive member (not shown) include, for example, resin materials (for example, silicone-based, urethane-based, epoxy-based, acrylic-based, hybrid resin materials, etc.) that are electrically conductive. or non-conductive) can be used.

ファブリペロー干渉フィルタ１０は、ラインＬ上に配置されている。より具体的には、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、その光透過領域１０ａの中心線がラインＬに一致するように配置されている。なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、複数の支持部材９によってではなく、１つの支持部材９によって支持されていてもよい。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、配線基板７に一体的に構成された支持部材９によって支持されていてもよい。 A Fabry-Perot interference filter 10 is arranged on the line L. FIG. More specifically, the Fabry-Perot interference filter 10 is arranged so that the center line of its light transmission region 10a coincides with the line L. As shown in FIG. Note that the Fabry-Perot interference filter 10 may be supported by one support member 9 instead of the plurality of support members 9 . Also, the Fabry-Perot interference filter 10 may be supported by a support member 9 integrally formed with the wiring board 7 .

ステム３には、複数のリードピン１１が固定されている。より具体的には、各リードピン１１は、ステム３との間の電気的な絶縁性及び気密性が維持された状態で、ステム３を貫通している。各リードピン１１には、配線基板７に設けられた電極パッド、温度調節素子５０の端子、光検出器８の端子、温度補償用素子の端子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０の端子のそれぞれが、ワイヤ１２によって電気的に接続されている。これにより、温度調節素子５０、光検出器８、温度補償用素子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０のそれぞれに対する電気信号の入出力等が可能である。 A plurality of lead pins 11 are fixed to the stem 3 . More specifically, each lead pin 11 penetrates the stem 3 while maintaining electrical insulation and airtightness with the stem 3 . Each lead pin 11 has an electrode pad provided on the wiring board 7, a terminal of the temperature control element 50, a terminal of the photodetector 8, a terminal of the temperature compensating element, and a terminal of the Fabry-Perot interference filter 10, respectively. 12 are electrically connected. Thus, it is possible to input/output electrical signals to/from the temperature adjusting element 50, the photodetector 8, the temperature compensating element, and the Fabry-Perot interference filter 10, respectively.

パッケージ２には、開口２ａが設けられている。より具体的には、開口２ａは、その中心線がラインＬに一致するようにキャップ４の天壁６に設けられている。天壁６の内面６ａには、開口２ａを塞ぐように光透過部材１３が配置されている。つまり、光透過部材１３は、開口２ａを塞ぐようにパッケージ２に設けられている。光透過部材１３は、天壁６の内面６ａに気密に接合されている。光透過部材１３は、少なくとも光検出装置１Ａの測定波長範囲の光を透過させる。光透過部材１３は、ラインＬに平行な方向において互いに対向する光入射面１３ａ及び光出射面１３ｂ、並びに側面１３ｃを含む板状の部材である。光透過部材１３は、例えば、ガラス、石英、シリコン、ゲルマニウム、プラスチック等からなる。光透過部材１３は、パッケージ２を構成する材料に比べ、熱伝導率の低い材料からなる。 The package 2 is provided with an opening 2a. More specifically, the opening 2a is provided in the top wall 6 of the cap 4 so that the centerline of the opening 2a is aligned with the line L. As shown in FIG. A light transmitting member 13 is arranged on the inner surface 6a of the ceiling wall 6 so as to block the opening 2a. That is, the light transmitting member 13 is provided in the package 2 so as to block the opening 2a. The light transmitting member 13 is airtightly joined to the inner surface 6a of the ceiling wall 6. As shown in FIG. The light transmission member 13 transmits at least light in the measurement wavelength range of the photodetector 1A. The light transmitting member 13 is a plate-like member including a light incident surface 13a and a light emitting surface 13b facing each other in a direction parallel to the line L, and a side surface 13c. The light transmitting member 13 is made of glass, quartz, silicon, germanium, plastic, or the like, for example. The light transmitting member 13 is made of a material having a lower thermal conductivity than the material forming the package 2 .

光透過部材１３の光出射面１３ｂには、バンドパスフィルタ１４が設けられている。バンドパスフィルタ１４は、例えば、蒸着、貼り付け等によって、光透過部材１３の光出射面１３ｂに配置されている。バンドパスフィルタ１４は、光検出装置１Ａの測定波長範囲の光を選択的に透過させる。バンドパスフィルタ１４は、例えば、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５等の高屈折材料と、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２等の低屈折材料との組合せからなる誘電体多層膜である。 A band-pass filter 14 is provided on the light exit surface 13 b of the light transmitting member 13 . The bandpass filter 14 is arranged on the light exit surface 13b of the light transmission member 13 by, for example, vapor deposition, adhesion, or the like. The bandpass filter 14 selectively transmits light in the measurement wavelength range of the photodetector 1A. The bandpass filter 14 is, for example, a dielectric multilayer film made of a combination of high refractive materials such as TiO 2 and Ta 2 O 5 and low refractive materials such as SiO 2 and MgF 2 .

光検出装置１Ａでは、パッケージ２は、温度調節素子５０、配線基板７、光検出器８、温度補償用素子（図示省略）、複数の支持部材９、熱伝導部材１５、及びファブリペロー干渉フィルタ１０を収容している。光検出器８は、配線基板７を介して温度調節素子５０の吸熱領域５０ａ上に配置されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、光検出器８が温度調節素子５０とファブリペロー干渉フィルタ１０との間に位置するように、配線基板７、複数の支持部材９、及び熱伝導部材１５を介して、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａ上に配置されている。 In the photodetector 1A, the package 2 includes a temperature control element 50, a wiring board 7, a photodetector 8, a temperature compensation element (not shown), a plurality of support members 9, a heat conduction member 15, and a Fabry-Perot interference filter 10. accommodates The photodetector 8 is arranged on the heat absorbing region 50a of the temperature control element 50 with the wiring board 7 interposed therebetween. The Fabry-Perot interference filter 10 is arranged through the wiring board 7, the plurality of supporting members 9, and the heat-conducting member 15 such that the photodetector 8 is positioned between the temperature control element 50 and the Fabry-Perot interference filter 10. It is arranged on the heat absorption region 50 a of the temperature control element 50 .

光検出器８は、ラインＬ上においてファブリペロー干渉フィルタ１０に対して一方の側（ここでは、ステム３側）に位置しており、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａは、ラインＬ上において光検出器８に対して一方の側（ここでは、ステム３側）に位置している。パッケージ２の開口２ａ及び光透過部材１３は、ラインＬ上においてファブリペロー干渉フィルタ１０に対して他方の側（一方の側の反対側）（ここでは、ステム３の反対側）に位置している。なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光透過部材１３とは、空隙を介して互いに離間している。 The photodetector 8 is positioned on one side (here, the stem 3 side) of the Fabry-Perot interference filter 10 on the line L, and the heat absorption region 50a of the temperature control element 50 is located on the line L. It is positioned on one side (here, on the stem 3 side) with respect to the detector 8 . The opening 2a of the package 2 and the light transmitting member 13 are located on the other side (opposite side of the one side) (here, the opposite side of the stem 3) with respect to the Fabry-Perot interference filter 10 on the line L. . The Fabry-Perot interference filter 10 and the light transmitting member 13 are separated from each other with a gap therebetween.

ラインＬに平行な方向から見た場合における各部の位置関係及び大小関係は、次のとおりである。図２に示されるように、光検出器８の受光部の中心線、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａの中心線、及びパッケージ２の開口２ａの中心線は、ラインＬに一致している。ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａの外縁、及びパッケージ２の開口２ａの外縁は、例えば円形状である。光検出器８の外縁、及びファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁は、例えば矩形状である。 The positional relationship and size relationship of each part when viewed in a direction parallel to the line L are as follows. As shown in FIG. 2, the centerline of the light receiving part of the photodetector 8, the centerline of the light transmission region 10a of the Fabry-Perot interference filter 10, and the centerline of the opening 2a of the package 2 are aligned with the line L. there is The outer edge of the light transmission region 10a of the Fabry-Perot interference filter 10 and the outer edge of the opening 2a of the package 2 are circular, for example. The outer edge of the photodetector 8 and the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10 are rectangular, for example.

ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａの外縁は、光検出器８の外縁よりも外側に位置している。パッケージ２の開口２ａの外縁は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａの外縁よりも外側に位置しており、且つファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも内側に位置している。光透過部材１３の外縁は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも外側に位置している。温度調節素子５０の外縁は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも外側に位置している。なお、「所定の方向から見た場合に一の外縁が他の外縁よりも外側に位置している」とは、「所定の方向から見た場合に一の外縁が他の外縁を包囲している」、「所定の方向から見た場合に一の外縁が他の外縁を含んでいる」との意味である。また、「所定の方向から見た場合に一の外縁が他の外縁よりも内側に位置している」とは、「所定の方向から見た場合に一の外縁が他の外縁に包囲されている」、「所定の方向から見た場合に一の外縁が他の外縁に含まれている」との意味である。 The outer edge of the light transmission region 10 a of the Fabry-Perot interference filter 10 is located outside the outer edge of the photodetector 8 . The outer edge of the opening 2 a of the package 2 is positioned outside the outer edge of the light transmission region 10 a of the Fabry-Perot interference filter 10 and inside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10 . The outer edge of the light transmitting member 13 is positioned outside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10 . The outer edge of the temperature control element 50 is positioned outside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10 . Note that "one outer edge is located outside the other outer edges when viewed from a predetermined direction" means "the one outer edge surrounds the other outer edge when viewed from a predetermined direction." It means that "one outer edge includes another outer edge when viewed from a given direction". Further, "one outer edge is located inside the other outer edge when viewed from a predetermined direction" means "the one outer edge is surrounded by the other outer edge when viewed from a predetermined direction". It means that one outer edge is contained in another outer edge when viewed from a predetermined direction.

支持部材９、熱伝導部材１５及びファブリペロー干渉フィルタ１０の構成の詳細は、次のとおりである。図３に示されるように（図３では、温度調節素子５０、ワイヤ１２、ステム３等が省略されている）、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、一対の支持部材９によって支持されている。一対の支持部材９は、ラインＬに平行な方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａを挟んで互いに対向している。各支持部材９の載置面９ａには、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０ｂのうち、光透過領域１０ａの外側の部分であって且つファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０ｃの一部に沿った部分が載置されている。このように、支持部材９は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０ｂのうち光透過領域１０ａの外側の部分を支持している。 The details of the configuration of the supporting member 9, the heat conducting member 15 and the Fabry-Perot interference filter 10 are as follows. As shown in FIG. 3 (the temperature control element 50, the wire 12, the stem 3, etc. are omitted in FIG. 3), the Fabry-Perot interference filter 10 is supported by a pair of support members 9. As shown in FIG. The pair of support members 9 face each other with the light transmission region 10a of the Fabry-Perot interference filter 10 interposed therebetween when viewed in a direction parallel to the line L. As shown in FIG. A portion of the bottom surface 10b of the Fabry-Perot interference filter 10 outside the light transmission region 10a and along a part of the side surface 10c of the Fabry-Perot interference filter 10 is provided on the mounting surface 9a of each support member 9. is placed. Thus, the support member 9 supports the portion of the bottom surface 10b of the Fabry-Perot interference filter 10 outside the light transmission region 10a.

ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０ｃの一部は、各支持部材９の載置面９ａの一部が当該側面１０ｃの一部の外側（ラインＬに平行な方向から見た場合における当該側面１０ｃの一部の外側）に配置されるように、各支持部材９の載置面９ａ上に位置している。これにより、側面１０ｃの一部と各支持部材９の載置面９ａの一部（当該側面１０ｃの一部の外側の部分、すなわち、載置面９ａのうちファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されていない部分）とで隅部Ｃが形成されている。 A part of the side surface 10c of the Fabry-Perot interference filter 10 is such that a part of the mounting surface 9a of each support member 9 is outside of the part of the side surface 10c (the outer side of the side surface 10c when viewed in a direction parallel to the line L). It is positioned on the mounting surface 9a of each support member 9 so as to be arranged outside the part). As a result, a portion of the side surface 10c and a portion of the mounting surface 9a of each support member 9 (a portion outside the portion of the side surface 10c, that is, the Fabry-Perot interference filter 10 is mounted on the mounting surface 9a). A corner portion C is formed by the portion that is not closed).

熱伝導部材１５は、隅部Ｃに沿うように、各支持部材９の載置面９ａに配置されている。各支持部材９の載置面９ａにおいて、熱伝導部材１５は、第１部分１５ａ及び第２部分１５ｂを含んでいる。第１部分１５ａは、隅部Ｃに沿って配置された部分である。第２部分１５ｂは、支持部材９の載置面９ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０ｂとの間に配置された部分である。このように、熱伝導部材１５は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０ｂの一部及び側面１０ｃの一部、並びに支持部材９の載置面９ａの一部のそれぞれと接触している。なお、第１部分１５ａは、後述するファブリペロー干渉フィルタ１０の基板２１の側面に至っている。 The heat conducting member 15 is arranged on the mounting surface 9a of each supporting member 9 along the corner C. As shown in FIG. On the mounting surface 9a of each support member 9, the heat conducting member 15 includes a first portion 15a and a second portion 15b. The first portion 15a is a portion arranged along the corner C. As shown in FIG. The second portion 15 b is a portion arranged between the mounting surface 9 a of the support member 9 and the bottom surface 10 b of the Fabry-Perot interference filter 10 . Thus, the heat conducting member 15 is in contact with a portion of the bottom surface 10b and a portion of the side surface 10c of the Fabry-Perot interference filter 10 and a portion of the mounting surface 9a of the support member 9, respectively. The first portion 15a extends to the side surface of the substrate 21 of the Fabry-Perot interference filter 10, which will be described later.

以上のように構成された光検出装置１Ａにおいては、図１に示されるように、外部から、パッケージ２の開口２ａ、光透過部材１３及びバンドパスフィルタ１４を介して、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａに光が入射すると、所定の波長を有する光が選択的に透過させられる（詳細は後述する）。ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａを透過した光は、光検出器８の受光部に入射して、光検出器８によって検出される。
［ファブリペロー干渉フィルタの構成］ In the photodetector 1A configured as described above, as shown in FIG. When light enters the light transmission region 10a, light having a predetermined wavelength is selectively transmitted (details will be described later). The light transmitted through the light transmission region 10 a of the Fabry-Perot interference filter 10 enters the light receiving portion of the photodetector 8 and is detected by the photodetector 8 .
[Configuration of Fabry-Perot interference filter]

図４に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０では、第１ミラーと第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域１０ａがラインＬ上に設けられている。光透過領域１０ａにおいては、第１ミラーと第２ミラーとの距離が極めて精度良く制御される。つまり、光透過領域１０ａは、ファブリペロー干渉フィルタ１０のうち、所定の波長を有する光を選択的に透過させるために第１ミラーと第２ミラーとの距離を所定の距離に制御することが可能な領域であって、第１ミラーと第２ミラーとの距離に応じた所定の波長を有する光が透過可能な領域である。 As shown in FIG. 4, in the Fabry-Perot interference filter 10, a light transmission region 10a is provided on the line L for transmitting light according to the distance between the first mirror and the second mirror. In the light transmission region 10a, the distance between the first mirror and the second mirror is controlled with extremely high accuracy. That is, the light transmission region 10a can control the distance between the first mirror and the second mirror to a predetermined distance in order to selectively transmit light having a predetermined wavelength in the Fabry-Perot interference filter 10. It is an area through which light having a predetermined wavelength corresponding to the distance between the first mirror and the second mirror can be transmitted.

図５に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、基板２１を備えている。基板２１の光入射側の表面２１ａには、反射防止層３１、第１積層体３２、中間層３３及び第２積層体３４がこの順序で積層されている。第１積層体３２と第２積層体３４との間には、枠状の中間層３３によって空隙（エアギャップ）Ｓが形成されている。基板２１は、例えば、シリコン、石英、ガラス等からなる。基板２１がシリコンからなる場合には、反射防止層３１及び中間層３３は、例えば、酸化シリコンからなる。中間層３３の厚さは、中心透過波長（すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０が透過させ得る波長範囲の中心波長）の１／２の整数倍であることが好ましい。 As shown in FIG. 5, Fabry-Perot interference filter 10 comprises substrate 21 . An antireflection layer 31, a first laminate 32, an intermediate layer 33, and a second laminate 34 are laminated in this order on the surface 21a of the substrate 21 on the light incident side. An air gap S is formed by the frame-shaped intermediate layer 33 between the first laminate 32 and the second laminate 34 . The substrate 21 is made of silicon, quartz, glass, or the like, for example. When the substrate 21 is made of silicon, the antireflection layer 31 and the intermediate layer 33 are made of silicon oxide, for example. The thickness of the intermediate layer 33 is preferably an integer multiple of 1/2 of the central transmission wavelength (that is, the central wavelength of the wavelength range that the Fabry-Perot interference filter 10 can transmit).

第１積層体３２のうち光透過領域１０ａに対応する部分は、第１ミラー３５として機能する。第１ミラー３５は、反射防止層３１を介して基板２１に支持されている。第１積層体３２は、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることで構成されている。第１ミラー３５を構成するポリシリコン層及び窒化シリコン層のそれぞれの光学厚さは、中心透過波長の１／４の整数倍であることが好ましい。なお、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。 A portion of the first laminate 32 corresponding to the light transmission region 10 a functions as a first mirror 35 . The first mirror 35 is supported by the substrate 21 via the antireflection layer 31 . The first laminated body 32 is formed by alternately laminating a plurality of polysilicon layers and a plurality of silicon nitride layers. The optical thickness of each of the polysilicon layer and the silicon nitride layer forming the first mirror 35 is preferably an integer multiple of 1/4 of the central transmission wavelength. Note that a silicon oxide layer may be used instead of the silicon nitride layer.

第２積層体３４のうち光透過領域１０ａに対応する部分は、空隙Ｓを介して第１ミラー３５と対向する第２ミラー３６として機能する。第２ミラー３６は、反射防止層３１、第１積層体３２及び中間層３３を介して基板２１に支持されている。第２積層体３４は、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることで構成されている。第２ミラー３６を構成するポリシリコン層及び窒化シリコン層のそれぞれの光学厚さは、中心透過波長の１／４の整数倍であることが好ましい。なお、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。 A portion of the second laminate 34 corresponding to the light transmission region 10a functions as a second mirror 36 facing the first mirror 35 with the gap S therebetween. The second mirror 36 is supported by the substrate 21 via the antireflection layer 31 , the first laminate 32 and the intermediate layer 33 . The second laminated body 34 is formed by alternately laminating a plurality of polysilicon layers and a plurality of silicon nitride layers. The optical thickness of each of the polysilicon layer and the silicon nitride layer forming the second mirror 36 is preferably an integer multiple of 1/4 of the central transmission wavelength. Note that a silicon oxide layer may be used instead of the silicon nitride layer.

第２積層体３４において空隙Ｓに対応する部分には、第２積層体３４の表面３４ａから空隙Ｓに至る複数の貫通孔（図示省略）が設けられている。複数の貫通孔は、第２ミラー３６の機能に実質的に影響を与えない程度に形成されている。複数の貫通孔は、エッチングにより中間層３３の一部を除去して空隙Ｓを形成するために用いられたものである。 A plurality of through holes (not shown) extending from the surface 34a of the second laminate 34 to the gap S are provided in a portion corresponding to the gap S in the second laminate 34 . The plurality of through holes are formed to such an extent that they do not substantially affect the function of the second mirror 36 . The plurality of through-holes are used to form voids S by partially removing the intermediate layer 33 by etching.

第１ミラー３５には、光透過領域１０ａを囲むように第１電極２２が形成されている。第１ミラー３５には、光透過領域１０ａを含むように第２電極２３が形成されている。第１電極２２及び第２電極２３は、ポリシリコン層に不純物をドープして低抵抗化することで形成されている。第２電極２３の大きさは、光透過領域１０ａの全体を含む大きさであることが好ましいが、光透過領域１０ａの大きさと略同一であってもよい。 A first electrode 22 is formed on the first mirror 35 so as to surround the light transmission region 10a. A second electrode 23 is formed on the first mirror 35 so as to include the light transmission region 10a. The first electrode 22 and the second electrode 23 are formed by doping the polysilicon layer with impurities to reduce the resistance. The size of the second electrode 23 is preferably a size that includes the entire light transmission region 10a, but may be substantially the same as the size of the light transmission region 10a.

第２ミラー３６には、第３電極２４が形成されている。第３電極２４は、ラインＬに平行な方向において、空隙Ｓを介して第１電極２２及び第２電極２３と対向している。第３電極２４は、ポリシリコン層に不純物をドープして低抵抗化することで形成されている。 A third electrode 24 is formed on the second mirror 36 . The third electrode 24 faces the first electrode 22 and the second electrode 23 with a gap S therebetween in a direction parallel to the line L. As shown in FIG. The third electrode 24 is formed by doping the polysilicon layer with impurities to reduce the resistance.

ファブリペロー干渉フィルタ１０においては、第２電極２３は、ラインＬに平行な方向において、第１電極２２に対して第３電極２４とは反対側に位置している。すなわち、第１電極２２と第２電極２３とは、第１ミラー３５において同一平面上に位置していない。第２電極２３は、第１電極２２よりも第３電極２４から離れている。 In the Fabry-Perot interference filter 10 , the second electrode 23 is located on the side opposite to the third electrode 24 with respect to the first electrode 22 in the direction parallel to the line L. That is, the first electrode 22 and the second electrode 23 are not positioned on the same plane on the first mirror 35 . The second electrode 23 is farther from the third electrode 24 than the first electrode 22 is.

端子２５は、光透過領域１０ａを挟んで対向するように一対設けられている。各端子２５は、第２積層体３４の表面３４ａから第１積層体３２に至る貫通孔内に配置されている。各端子２５は、配線２２ａを介して第１電極２２と電気的に接続されている。 A pair of terminals 25 are provided so as to face each other with the light transmission region 10a interposed therebetween. Each terminal 25 is arranged in a through hole extending from the surface 34 a of the second laminate 34 to the first laminate 32 . Each terminal 25 is electrically connected to the first electrode 22 via a wiring 22a.

端子２６は、光透過領域１０ａを挟んで対向するように一対設けられている。各端子２６は、第２積層体３４の表面３４ａから中間層３３の手前に至る貫通孔内に配置されている。各端子２６は、配線２３ａを介して第２電極２３と電気的に接続されていると共に、配線２４ａを介して第３電極２４と電気的に接続されている。なお、一対の端子２５が対向する方向と、一対の端子２６が対向する方向とは、直交している（図４参照）。 A pair of terminals 26 are provided so as to face each other with the light transmission region 10a interposed therebetween. Each terminal 26 is arranged in a through hole extending from the surface 34 a of the second laminate 34 to the front of the intermediate layer 33 . Each terminal 26 is electrically connected to the second electrode 23 via the wiring 23a and electrically connected to the third electrode 24 via the wiring 24a. The direction in which the pair of terminals 25 face each other is perpendicular to the direction in which the pair of terminals 26 face each other (see FIG. 4).

第１積層体３２の表面３２ａには、トレンチ２７，２８が設けられている。トレンチ２７は、端子２６からラインＬに平行な方向に沿って延びる配線２３ａを囲むように環状に延在している。トレンチ２７は、第１電極２２と配線２３ａとを電気的に絶縁している。トレンチ２８は、第１電極２２の内縁に沿って環状に延在している。トレンチ２８は、第１電極２２と第１電極２２の内側の領域とを電気的に絶縁している。各トレンチ２７，２８内の領域は、絶縁材料であっても、空隙であってもよい。 Trenches 27 and 28 are provided in the surface 32 a of the first laminate 32 . The trench 27 extends annularly so as to surround the wiring 23a extending from the terminal 26 along the direction parallel to the line L. As shown in FIG. The trench 27 electrically insulates the first electrode 22 and the wiring 23a. The trench 28 extends annularly along the inner edge of the first electrode 22 . The trench 28 electrically isolates the first electrode 22 from the region inside the first electrode 22 . The area within each trench 27, 28 can be either an insulating material or an air gap.

第２積層体３４の表面３４ａには、トレンチ２９が設けられている。トレンチ２９は、端子２５を囲むように環状に延在している。トレンチ２９は、端子２５と第３電極２４とを電気的に絶縁している。トレンチ２８内の領域は、絶縁材料であっても、空隙であってもよい。 A trench 29 is provided in the surface 34 a of the second laminate 34 . Trench 29 extends annularly to surround terminal 25 . The trench 29 electrically isolates the terminal 25 and the third electrode 24 . The area within trench 28 may be an insulating material or an air gap.

基板２１の光出射側の表面２１ｂには、反射防止層４１、第３積層体４２、中間層４３及び第４積層体４４がこの順序で積層されている。反射防止層４１及び中間層４３は、それぞれ、反射防止層３１及び中間層３３と同様の構成を有している。第３積層体４２及び第４積層体４４は、それぞれ、基板２１を基準として第１積層体３２及び第２積層体３４と対称の積層構造を有している。反射防止層４１、第３積層体４２、中間層４３及び第４積層体４４は、基板２１の反りを抑制する機能を有している。 An antireflection layer 41, a third laminate 42, an intermediate layer 43 and a fourth laminate 44 are laminated in this order on the surface 21b of the substrate 21 on the light emitting side. The antireflection layer 41 and the intermediate layer 43 have the same configurations as the antireflection layer 31 and the intermediate layer 33, respectively. The third layered body 42 and the fourth layered body 44 have layered structures symmetrical to the first layered body 32 and the second layered body 34 with respect to the substrate 21, respectively. The antireflection layer 41 , the third laminate 42 , the intermediate layer 43 and the fourth laminate 44 have a function of suppressing warping of the substrate 21 .

反射防止層４１、第３積層体４２、中間層４３及び第４積層体４４には、光透過領域１０ａを含むように開口４０ａが設けられている。開口４０ａは、光透過領域１０ａの大きさと略同一の径を有している。開口４０ａは、光出射側に開口しており、開口４０ａの底面は、反射防止層４１に至っている。第４積層体４４の光出射側の表面には、遮光層４５が形成されている。遮光層４５は、例えばアルミニウム等からなる。遮光層４５の表面及び開口４０ａの内面には、保護層４６が形成されている。保護層４６は、例えば酸化アルミニウムからなる。なお、保護層４６の厚さを１～１００ｎｍ（好ましくは、３０ｎｍ程度）にすることで、保護層４６による光学的な影響を無視することができる。 The antireflection layer 41, the third laminate 42, the intermediate layer 43, and the fourth laminate 44 are provided with openings 40a so as to include the light transmission regions 10a. The opening 40a has substantially the same diameter as the light transmission region 10a. The opening 40 a is open on the light emitting side, and the bottom surface of the opening 40 a reaches the antireflection layer 41 . A light shielding layer 45 is formed on the surface of the fourth laminate 44 on the light emitting side. The light shielding layer 45 is made of, for example, aluminum. A protective layer 46 is formed on the surface of the light shielding layer 45 and the inner surface of the opening 40a. The protective layer 46 is made of aluminum oxide, for example. By setting the thickness of the protective layer 46 to 1 to 100 nm (preferably about 30 nm), the optical influence of the protective layer 46 can be ignored.

以上のように構成されたファブリペロー干渉フィルタ１０においては、端子２５，２６を介して第１電極２２と第３電極２４との間に電圧が印加されると、当該電圧に応じた静電気力が第１電極２２と第３電極２４との間に発生する。当該静電気力によって、第２ミラー３６が、基板２１に固定された第１ミラー３５側に引き付けられ、第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離が調整される。このように、ファブリペロー干渉フィルタ１０では、第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離が可変とされている。 In the Fabry-Perot interference filter 10 configured as described above, when a voltage is applied between the first electrode 22 and the third electrode 24 via the terminals 25 and 26, an electrostatic force corresponding to the voltage is generated. It occurs between the first electrode 22 and the third electrode 24 . The electrostatic force attracts the second mirror 36 to the side of the first mirror 35 fixed to the substrate 21, and the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 is adjusted. Thus, in the Fabry-Perot interference filter 10, the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 is made variable.

ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光の波長は、光透過領域１０ａにおける第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離に依存する。したがって、第１電極２２と第３電極２４との間に印加する電圧を調整することで、透過する光の波長を適宜選択することができる。このとき、第２電極２３は、第３電極２４と同電位である。したがって、第２電極２３は、光透過領域１０ａにおいて第１ミラー３５及び第２ミラー３６を平坦に保つための補償電極として機能する。 The wavelength of light transmitted through the Fabry-Perot interference filter 10 depends on the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 in the light transmission region 10a. Therefore, by adjusting the voltage applied between the first electrode 22 and the third electrode 24, the wavelength of the transmitted light can be appropriately selected. At this time, the second electrode 23 has the same potential as the third electrode 24 . Therefore, the second electrode 23 functions as a compensation electrode for keeping the first mirror 35 and the second mirror 36 flat in the light transmission region 10a.

光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０に印加する電圧を変化させながら（すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０において第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離を変化させながら）、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａを透過した光を光検出器８で検出することで、分光スペクトルを得ることができる。
［作用及び効果］ In the photodetector 1A, while changing the voltage applied to the Fabry-Perot interference filter 10 (that is, while changing the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 in the Fabry-Perot interference filter 10), the Fabry-Perot interference filter A spectral spectrum can be obtained by detecting the light transmitted through the light transmission region 10a of 10 with the photodetector 8. FIG.
[Action and effect]

光検出装置１Ａでは、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａがラインＬ上において光検出器８に対して一方の側に位置している。これにより、例えば、ラインＬに対してファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８の側方に温度調節素子５０の吸熱領域５０ａが位置している場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８が均一に冷却される。特に、温度調節素子５０の上面及び配線基板７の下面、配線基板７の上面及び光検出器８の下面、配線基板７の上面及び支持部材９の下面、並びに、支持部材９の上面及びファブリペロー干渉フィルタ１０の下面は、それぞれ、接着剤等を介して互いに面接触している。これにより、例えば各部材が点接触している場合に比べ、冷却が効率的に行われる。更に、ラインＬ上においては、光透過部材１３と温度調節素子５０の吸熱領域５０ａとの間にファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８が配置されている。これにより、光透過部材１３が過度に冷却されて光透過部材１３の温度と外気温（光検出装置１Ａの使用環境温度）との差が大きくなることに起因する光透過部材１３における結露の発生が抑制される。よって、光検出装置１Ａによれば、パッケージ２内に光を入射させるための光透過部材１３において結露が発生するのを抑制しつつ、パッケージ２に収容されたファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができる。 In the photodetector 1A, the heat absorption region 50a of the temperature control element 50 is located on one side of the photodetector 8 on the line L. As shown in FIG. As a result, for example, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector can be arranged in the same direction as the heat absorption region 50a of the temperature control element 50 is located on the side of the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 with respect to the line L. 8 is uniformly cooled. In particular, the upper surface of the temperature control element 50 and the lower surface of the wiring substrate 7, the upper surface of the wiring substrate 7 and the lower surface of the photodetector 8, the upper surface of the wiring substrate 7 and the lower surface of the support member 9, and the upper surface of the support member 9 and Fabry-Perot. The lower surfaces of the interference filters 10 are in surface contact with each other via an adhesive or the like. As a result, cooling is performed more efficiently than, for example, when each member is in point contact. Further, on the line L, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 are arranged between the light transmitting member 13 and the heat absorbing region 50a of the temperature control element 50. FIG. As a result, the light-transmitting member 13 is excessively cooled, and the difference between the temperature of the light-transmitting member 13 and the ambient temperature (temperature of the operating environment of the photodetector 1A) increases, causing dew condensation on the light-transmitting member 13. is suppressed. Therefore, according to the photodetector 1A, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector housed in the package 2 are prevented from forming dew condensation on the light transmitting member 13 for allowing light to enter the package 2. 8 can be maintained at a uniform temperature.

このように、光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０が温度調節素子５０によって均一に冷却されるため、光検出装置１Ａの使用環境温度によらずファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を一定に維持することができ、その結果、光検出装置１Ａの使用環境温度の変化に起因する透過光の波長シフトを抑制することができる。特に、互いの距離が可変とされた第１ミラー３５及び第２ミラー３６を有するファブリペロー干渉フィルタ１０においては、薄膜状の第２ミラー３６を極めて精度良く動作させて、第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離を極めて精度良く制御する必要がある。ここで、ファブリペロー干渉フィルタ１０が部位ごとに不均一な温度になると、第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離を極めて精度良く制御することが困難になる。そのため、ファブリペロー干渉フィルタ１０を均一な温度に維持することは非常に重要である。更に、光検出器８が温度調節素子５０によって均一に冷却されるため、光検出器８で発生する暗電流を減少させることができる。 As described above, in the photodetector 1A, the Fabry-Perot interference filter 10 is uniformly cooled by the temperature control element 50, so that the temperature of the Fabry-Perot interference filter 10 is kept constant regardless of the operating environment temperature of the photodetector 1A. As a result, it is possible to suppress the wavelength shift of the transmitted light caused by the change in the operating environment temperature of the photodetector 1A. In particular, in the Fabry-Perot interference filter 10 having the first mirror 35 and the second mirror 36 whose mutual distance is variable, the thin film-like second mirror 36 is operated with extremely high precision, and the first mirror 35 and the second mirror 36 2 It is necessary to control the distance to the mirror 36 with extremely high accuracy. Here, if the temperature of the Fabry-Perot interference filter 10 becomes non-uniform for each part, it becomes difficult to control the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 with extremely high accuracy. Therefore, maintaining the Fabry-Perot interference filter 10 at a uniform temperature is very important. Furthermore, since the photodetector 8 is uniformly cooled by the temperature control element 50, the dark current generated in the photodetector 8 can be reduced.

なお、パッケージ２内に温度調節素子５０が配置された構成は、パッケージ２外に温度調節素子５０が配置された構成と比べ、パッケージ２内の容積が増大し易い。そのため、パッケージ２内に温度調節素子５０が配置された構成では、パッケージ２内の容積が増大する分、パッケージ２内の温度を均一に維持するのが難しい。しかし、光検出装置１Ａの構成によれば、測定結果の精度に大きな影響を与えるファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することを効果的に実施することができる。 Note that the configuration in which the temperature control element 50 is arranged inside the package 2 tends to increase the volume inside the package 2 compared to the configuration in which the temperature control element 50 is arranged outside the package 2 . Therefore, in the configuration in which the temperature control element 50 is arranged inside the package 2 , it is difficult to maintain the temperature inside the package 2 evenly because the volume inside the package 2 increases. However, according to the configuration of the photodetector 1A, it is possible to effectively maintain the temperature of the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8, which greatly affect the accuracy of the measurement result, at a uniform temperature.

ここで、光透過部材１３における結露の発生に起因するリスクについて説明する。まず、光透過部材１３の光入射面１３ａ及び／又は光出射面１３ｂで結露が発生すると、パッケージ２内に入射する光の光量が減少し、光検出器８の感度が低下するおそれがある。更に、パッケージ２内に入射する光について、多重反射、散乱、レンズ効果等が発生し、それが迷光の原因となって、光検出器８に入射する透過光の分解能、Ｓ／Ｎ比等が低下するおそれがある。このように、光透過部材１３の光入射面１３ａ及び／又は光出射面１３ｂで結露が発生すると、光検出器８における検出特性の安定性が低下するおそれがある。 Here, the risk caused by the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13 will be described. First, if dew condensation occurs on the light incident surface 13a and/or the light emitting surface 13b of the light transmitting member 13, the amount of light entering the package 2 may decrease, and the sensitivity of the photodetector 8 may decrease. Further, multiple reflection, scattering, lens effect, and the like occur in the light incident on the package 2, which causes stray light, and the resolution, S/N ratio, etc. of the transmitted light incident on the photodetector 8 are degraded. may decrease. Thus, when dew condensation occurs on the light incident surface 13a and/or the light emitting surface 13b of the light transmitting member 13, the stability of the detection characteristics of the photodetector 8 may deteriorate.

また、ファブリペロー干渉フィルタ１０の第２ミラー３６上において結露が発生すると、ファブリペロー干渉フィルタ１０に印加する制御電圧に対する透過光のピーク波長が変化するおそれがある。更に、水分によって第１ミラー３５と第２ミラー３６とが貼りつき、故障に繋がるおそれがある。 Further, if dew condensation occurs on the second mirror 36 of the Fabry-Perot interference filter 10, the peak wavelength of transmitted light with respect to the control voltage applied to the Fabry-Perot interference filter 10 may change. Furthermore, the first mirror 35 and the second mirror 36 stick together due to moisture, which may lead to failure.

これに対し、光検出装置１Ａでは、光透過部材１３において結露が発生するのを抑制することができるため、上述したリスクを回避することができる。特に、製造過程においてパッケージ２内に水分が残存した場合には、光透過部材１３における結露の発生を抑制し得る光検出装置１Ａの構成は有効である。更に、光検出装置１Ａの構成は光透過部材１３における結露の発生を抑制し得る構成であるから、各部材間の距離を近付けて、光検出装置１Ａを小型化することも可能である。 On the other hand, in the photodetector 1A, the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13 can be suppressed, so the above-described risk can be avoided. In particular, when moisture remains in the package 2 during the manufacturing process, the configuration of the photodetector 1A that can suppress the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13 is effective. Furthermore, since the configuration of the photodetector 1A can suppress the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13, it is possible to reduce the distance between each member and downsize the photodetector 1A.

光検出装置１Ａでは、ラインＬに平行な方向から見た場合に、パッケージ２の開口２ａの外縁が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも内側に位置しており、温度調節素子５０の発熱領域５０ｂが、パッケージ２と熱的に接続されている。これにより、例えば、開口２ａの外縁がファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも外側に位置している場合に比べ、温度調節素子５０の発熱領域５０ｂと光透過部材１３との間で、パッケージ２を介して熱が伝わり易い（具体的には、温度調節素子５０の発熱領域５０ｂからパッケージ２を介して光透過部材１３に熱が伝わり易い）。よって、光透過部材１３において結露が発生するのをより確実に抑制することができる。 In the photodetector 1A, when viewed in a direction parallel to the line L, the outer edge of the opening 2a of the package 2 is located inside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10, and the heat generating region of the temperature control element 50 50b is thermally connected to the package 2; As a result, for example, compared to the case where the outer edge of the opening 2a is positioned outside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10, the package 2 is positioned between the heat generating region 50b of the temperature control element 50 and the light transmitting member 13. (Specifically, heat is easily transferred from the heat generating region 50b of the temperature control element 50 to the light transmitting member 13 through the package 2). Therefore, the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13 can be suppressed more reliably.

光検出装置１Ａでは、ラインＬに平行な方向から見た場合に、光透過部材１３の外縁が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも外側に位置している。これにより、例えば、光透過部材１３の外縁がファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも内側に位置している場合に比べ、光透過部材１３とパッケージ２との接触面積が増えて、光透過部材１３とパッケージ２との間で熱が伝わり易い（具体的には、温度調節素子５０の発熱領域５０ｂからパッケージ２を介して光透過部材１３に熱が伝わり易い）。更に、光検出装置１Ａでは、光透過部材１３の側面１３ｃがパッケージ２に接触しているため、光透過部材１３とパッケージ２との接触面積がより大きくなる。よって、光透過部材１３において結露が発生するのをより確実に抑制することができる。更に、この構成によれば、ファブリペロー干渉フィルタ１０に接続されたワイヤ１２が撓んだとしても、絶縁性の光透過部材１３によって、ワイヤ１２とパッケージ２との接触が防止される。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０を制御するための電気信号がパッケージ２に流れることを防止し、ファブリペロー干渉フィルタ１０の高精度な制御が可能となる。 In the photodetector 1A, the outer edge of the light transmitting member 13 is positioned outside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10 when viewed in a direction parallel to the line L. As shown in FIG. As a result, the contact area between the light transmitting member 13 and the package 2 increases compared to the case where the outer edge of the light transmitting member 13 is located inside the outer edge of the Fabry-Perot interference filter 10, for example. and the package 2 (specifically, heat is easily transferred from the heat generating region 50b of the temperature control element 50 to the light transmitting member 13 via the package 2). Furthermore, in the photodetector 1A, since the side surface 13c of the light transmitting member 13 is in contact with the package 2, the contact area between the light transmitting member 13 and the package 2 is increased. Therefore, the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13 can be suppressed more reliably. Furthermore, according to this configuration, even if the wire 12 connected to the Fabry-Perot interference filter 10 is bent, the insulating light-transmitting member 13 prevents the wire 12 from coming into contact with the package 2 . This prevents an electrical signal for controlling the Fabry-Perot interference filter 10 from flowing to the package 2, and enables highly accurate control of the Fabry-Perot interference filter 10. FIG.

光検出装置１Ａでは、温度調節素子５０がパッケージ２内に配置されており、光検出器８が温度調節素子５０上に配置されており、光検出器８が温度調節素子５０とファブリペロー干渉フィルタ１０との間に位置するようにファブリペロー干渉フィルタ１０が温度調節素子５０上に配置されている。これにより、小型且つ簡易な構成で効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができる。 In the photodetector 1A, the temperature control element 50 is arranged in the package 2, the photodetector 8 is arranged on the temperature control element 50, and the photodetector 8 is connected to the temperature control element 50 and the Fabry-Perot interference filter. A Fabry-Perot interference filter 10 is arranged on the temperature control element 50 so as to be positioned between the Fabry-Perot interference filter 10 and the temperature control element 50 . As a result, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 can be efficiently maintained at a uniform temperature with a small and simple configuration.

一例として、ラインＬに平行な方向において、温度調節素子５０の厚さは０．７～２ｍｍであり、配線基板７の厚さは０．３ｍｍであり、支持部材９の厚さは０．６ｍｍであり、ファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さは０．６ｍｍである。また、リードピン１１のうちステム３の上面から突出する部分の高さは０．２～１ｍｍであり、例えば０．５ｍｍである。すなわち、温度調節素子５０は、配線基板７、支持部材９及びファブリペロー干渉フィルタ１０のそれぞれよりも厚い。温度調節素子５０が厚いため、発熱領域５０ｂから発する熱の影響を、光検出器８及びファブリペロー干渉フィルタ１０が受け難い。その一方で、配線基板７、支持部材９及びファブリペロー干渉フィルタ１０が薄いため、吸熱領域５０ａによる冷却が効率的に行われる。 As an example, in the direction parallel to the line L, the temperature control element 50 has a thickness of 0.7 to 2 mm, the wiring board 7 has a thickness of 0.3 mm, and the support member 9 has a thickness of 0.6 mm. and the thickness of the Fabry-Perot interference filter 10 is 0.6 mm. The height of the portion of the lead pin 11 protruding from the upper surface of the stem 3 is 0.2 to 1 mm, for example 0.5 mm. That is, the temperature control element 50 is thicker than each of the wiring board 7, the support member 9, and the Fabry-Perot interference filter 10. FIG. Since the temperature control element 50 is thick, the photodetector 8 and the Fabry-Perot interference filter 10 are less susceptible to the heat generated from the heat generating region 50b. On the other hand, since the wiring board 7, the support member 9, and the Fabry-Perot interference filter 10 are thin, cooling is efficiently performed by the heat absorption region 50a.

また、光検出装置１Ａでは、リードピン１１の上面が、温度調節素子５０、配線基板７、支持部材９及びファブリペロー干渉フィルタ１０のそれぞれの上面よりも低い位置にある。これにより、光検出器８及びファブリペロー干渉フィルタ１０からリードピン１１へのワイヤ１２の接続が行い易い（特にファブリペロー干渉フィルタ１０に上方を覆われるように配置される光検出器８や温度補償用素子から引き出されるワイヤ１２がファブリペロー干渉フィルタ１０に干渉するのを抑制することができる）。 Further, in the photodetector 1A, the top surface of the lead pin 11 is positioned lower than the top surfaces of the temperature control element 50, the wiring substrate 7, the support member 9, and the Fabry-Perot interference filter 10, respectively. This makes it easy to connect the wires 12 from the photodetector 8 and the Fabry-Perot interference filter 10 to the lead pins 11 (particularly, the photodetector 8 and the temperature compensating wire 12 arranged so as to be covered with the Fabry-Perot interference filter 10 from above). It is possible to suppress the wire 12 drawn from the element from interfering with the Fabry-Perot interference filter 10).

なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０からリードピン１１へのワイヤ１２の接続の行い易さを考慮すると、ステム３からのファブリペロー干渉フィルタ１０の高さは高過ぎないほうが好ましい。したがって、配線基板７、支持部材９及びファブリペロー干渉フィルタ１０の積層の下に温度調節素子５０が配置された構成は、ファブリペロー干渉フィルタ１０のステム３からの高さが高くなってしまうため、リードピン１１へのワイヤの接続という観点では好ましくない。しかし、光検出装置１Ａでは、配線基板７、支持部材９及びファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さを薄く抑えることで、ファブリペロー干渉フィルタ１０のステム３からの高さを抑制して、デメリットを最小限に留めている。 Considering ease of connection of the wire 12 from the Fabry-Perot interference filter 10 to the lead pin 11, it is preferable that the height of the Fabry-Perot interference filter 10 from the stem 3 is not too high. Therefore, in the configuration in which the temperature control element 50 is arranged under the lamination of the wiring board 7, the support member 9, and the Fabry-Perot interference filter 10, the height of the Fabry-Perot interference filter 10 from the stem 3 is increased. This is not preferable from the viewpoint of wire connection to the lead pin 11 . However, in the photodetector 1A, the thicknesses of the wiring board 7, the support member 9, and the Fabry-Perot interference filter 10 are kept thin to suppress the height of the Fabry-Perot interference filter 10 from the stem 3, thereby minimizing the disadvantage. kept to a limit.

光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光透過部材１３とが、空隙を介して互いに離間している。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０が、光検出装置１Ａの使用環境温度の影響、並びに、パッケージ２及び光透過部材１３からの熱の影響を受けるのを抑制することができる。特に、光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の上側の空間（ファブリペロー干渉フィルタ１０の上面と光透過部材１３の光出射面１３ｂとの間の空間）の体積が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の下側の空間（ファブリペロー干渉フィルタ１０の下面と配線基板７の上面との間の空間）の体積よりも大きい。このため、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光透過部材１３との間における熱の伝達が効果的に抑制される。 In the photodetector 1A, the Fabry-Perot interference filter 10 and the light transmitting member 13 are separated from each other with a gap therebetween. As a result, the Fabry-Perot interference filter 10 can be prevented from being affected by the operating environment temperature of the photodetector 1</b>A and by the heat from the package 2 and the light transmitting member 13 . In particular, in the photodetector 1A, the volume of the space above the Fabry-Perot interference filter 10 (the space between the upper surface of the Fabry-Perot interference filter 10 and the light exit surface 13b of the light transmitting member 13) is equal to the volume of the Fabry-Perot interference filter 10. is larger than the volume of the space below (the space between the lower surface of the Fabry-Perot interference filter 10 and the upper surface of the wiring board 7). Therefore, heat transfer between the Fabry-Perot interference filter 10 and the light transmitting member 13 is effectively suppressed.

光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０ｂのうち光透過領域１０ａの外側の部分を支持する支持部材９と、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０ｃ、及び支持部材９と接触する熱伝導部材１５と、が設けられている。これにより、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０ｃ、及び支持部材９と接触する熱伝導部材１５が設けられていない場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０と温度調節素子５０の吸熱領域５０ａとの間で、支持部材９を介して熱が伝わり易い（具体的には、ファブリペロー干渉フィルタ１０から支持部材９を介して温度調節素子５０の吸熱領域５０ａに熱が伝わり易い）。よって、効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができる。 In the photodetector 1A, a support member 9 that supports a portion of the bottom surface 10b of the Fabry-Perot interference filter 10 outside the light transmission region 10a, a side surface 10c of the Fabry-Perot interference filter 10, and a heat-conducting filter contacting the support member 9. A member 15 is provided. As a result, for example, the heat absorption region 50a between the Fabry-Perot interference filter 10 and the temperature control element 50 is more stable than when the heat-conducting member 15 in contact with the side surface 10c of the Fabry-Perot interference filter 10 and the support member 9 is not provided. In between, heat is easily conducted through the support member 9 (specifically, heat is easily conducted from the Fabry-Perot interference filter 10 to the heat absorption region 50a of the temperature control element 50 through the support member 9). Therefore, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 can be efficiently maintained at a uniform temperature.

光検出装置１Ａでは、熱伝導部材１５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０と支持部材９とを接着する接着部材である。これにより、支持部材９上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態を安定させることができる。 In the photodetector 1</b>A, the heat conducting member 15 is an adhesive member that bonds the Fabry-Perot interference filter 10 and the support member 9 . Thereby, the holding state of the Fabry-Perot interference filter 10 on the support member 9 can be stabilized.

光検出装置１Ａでは、熱伝導部材１５が隅部Ｃに配置され、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０ｃの一部、及び支持部材９の載置面９ａの一部のそれぞれと接触している。これにより、より効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができると共に、支持部材９上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態をより確実に安定させることができる。特に、熱伝導部材１５を隅部Ｃに配置することは、熱伝導部材１５の体積を大きくすることができ、また、熱伝導部材１５の姿勢を安定させることができるので、有効である。
［第２実施形態］
［光検出装置の構成］ In the photodetector 1A, the heat-conducting member 15 is arranged at the corner C and is in contact with part of the side surface 10c of the Fabry-Perot interference filter 10 and part of the mounting surface 9a of the support member 9, respectively. As a result, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 can be more efficiently maintained at a uniform temperature, and the holding state of the Fabry-Perot interference filter 10 on the support member 9 can be more reliably stabilized. can. In particular, arranging the heat conducting member 15 at the corner C is effective because the volume of the heat conducting member 15 can be increased and the posture of the heat conducting member 15 can be stabilized.
[Second embodiment]
[Configuration of photodetector]

図６に示されるように、光検出装置１Ｂは、ＳＭＤ（Surface Mount Device）として構成されている点で、上述した光検出装置１Ａと異なっている。光検出装置１Ｂは、光検出器８及びファブリペロー干渉フィルタ１０を収容するパッケージ２を構成する本体部２００を備えている。本体部２００の材料としては、例えば、セラミック、樹脂等を用いることができる。本体部２００には、複数の配線（図示省略）が敷設されている。本体部２００の底面２００ａには、複数の実装用電極パッド２０７が設けられている。互いに対応する配線（図示省略）と実装用電極パッド２０７とは、互いに電気的に接続されている。 As shown in FIG. 6, the photodetector 1B differs from the photodetector 1A described above in that it is configured as an SMD (Surface Mount Device). The photodetector 1B includes a main body 200 forming a package 2 that accommodates the photodetector 8 and the Fabry-Perot interference filter 10 . As a material of the body portion 200, for example, ceramic, resin, or the like can be used. A plurality of wirings (not shown) are laid in the body portion 200 . A plurality of mounting electrode pads 207 are provided on the bottom surface 200 a of the main body 200 . The wiring (not shown) corresponding to each other and the mounting electrode pad 207 are electrically connected to each other.

本体部２００には、第１拡幅部２０１、第２拡幅部２０２、第３拡幅部２０３、第４拡幅部２０４、及び凹部２０５が形成されている。凹部２０５、第４拡幅部２０４、第３拡幅部２０３、第２拡幅部２０２、及び第１拡幅部２０１は、直線である所定のラインＬを中心線として、底面２００ａ側からこの順序で並んでおり、底面２００ａの反対側に開口する１つの空間を形成している。 A first widened portion 201 , a second widened portion 202 , a third widened portion 203 , a fourth widened portion 204 , and a recess 205 are formed in the body portion 200 . The concave portion 205, the fourth widened portion 204, the third widened portion 203, the second widened portion 202, and the first widened portion 201 are arranged in this order from the bottom surface 200a side with a predetermined straight line L as the center line. and forms one space that opens on the opposite side of the bottom surface 200a.

凹部２０５の底面には、光検出器８が固定されている。凹部２０５の底面と光検出器８の底面とは、例えば接着部材（図示省略）を介して接着されている。光検出器８は、ラインＬ上に配置されている。より具体的には、光検出器８は、その受光部の中心線がラインＬに一致するように配置されている。第３拡幅部２０３の底面には、ファブリペロー干渉フィルタ１０が熱伝導部材１５を介して固定されている。すなわち、第３拡幅部２０３の底面とファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０ｂとは、熱伝導部材１５を介して接着されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、ラインＬ上に配置されている。より具体的には、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、その光透過領域１０ａの中心線がラインＬに一致するように配置されている。第１拡幅部２０１の底面には、板状の光透過部材１３が固定されている。光透過部材１３の光出射面１３ｂには、バンドパスフィルタ１４が設けられている。なお、本体部２００には、温度補償用素子（図示省略）が埋設されている。 A photodetector 8 is fixed to the bottom surface of the recess 205 . The bottom surface of the concave portion 205 and the bottom surface of the photodetector 8 are adhered via, for example, an adhesive member (not shown). A photodetector 8 is arranged on the line L. FIG. More specifically, the photodetector 8 is arranged so that the center line of its light receiving portion coincides with the line L. As shown in FIG. A Fabry-Perot interference filter 10 is fixed to the bottom surface of the third widened portion 203 via a heat conducting member 15 . That is, the bottom surface of the third widened portion 203 and the bottom surface 10 b of the Fabry-Perot interference filter 10 are bonded via the heat conducting member 15 . A Fabry-Perot interference filter 10 is arranged on the line L. FIG. More specifically, the Fabry-Perot interference filter 10 is arranged so that the center line of its light transmission region 10a coincides with the line L. As shown in FIG. A plate-like light transmitting member 13 is fixed to the bottom surface of the first widened portion 201 . A band-pass filter 14 is provided on the light exit surface 13 b of the light transmitting member 13 . A temperature compensating element (not shown) is embedded in the body portion 200 .

光検出器８の端子、温度補償用素子の端子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０の端子のそれぞれは、ワイヤ１２及び配線（図示省略）を介して、又は配線（図示省略）のみを介して、対応する実装用電極パッド２０７と電気的に接続されている。これにより、光検出器８、温度補償用素子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０のそれぞれに対する電気信号の入出力等が可能である。 The terminals of the photodetector 8, the terminals of the temperature compensating element, and the terminals of the Fabry-Perot interference filter 10 are respectively connected via wires 12 and wiring (not shown), or via only wiring (not shown). It is electrically connected to the mounting electrode pad 207 for mounting. Thus, it is possible to input/output electric signals to/from the photodetector 8, the temperature compensating element, and the Fabry-Perot interference filter 10, respectively.

更に、パッケージ２の壁部である本体部２００の所定の部分には、温度調節素子５０が埋設されている。より詳細には、本体部２００のうち、凹部２０５の底面と本体部２００の底面２００ａとの間の部分、第４拡幅部２０４の底面と本体部２００の底面２００ａとの間の部分、及び第３拡幅部２０３の底面と本体部２００の底面２００ａとの間の部分の全体に渡って、温度調節素子５０が埋設されている。 Furthermore, a temperature control element 50 is embedded in a predetermined portion of the body portion 200 which is the wall portion of the package 2 . More specifically, of the body portion 200, the portion between the bottom surface of the recess 205 and the bottom surface 200a of the body portion 200, the portion between the bottom surface of the fourth widened portion 204 and the bottom surface 200a of the body portion 200, and the The temperature control element 50 is embedded over the entire portion between the bottom surface of the three-widened portion 203 and the bottom surface 200a of the main body portion 200. As shown in FIG.

温度調節素子５０は、例えばペルチェ素子である。温度調節素子５０においては、複数のＮ型半導体層５１と複数のＰ型半導体層５２とが交互に並んでいる。交互に並んだ全てのＮ型半導体層５１及びＰ型半導体層５２が直列に接続されるように、隣り合うＮ型半導体層５１及びＰ型半導体層５２のうち底面２００ａの反対側の端部同士は、第１金属部材５３を介して互いに接続され、隣り合うＮ型半導体層５１及びＰ型半導体層５２のうち底面２００ａ側の端部同士は、第２金属部材５４を介して互いに接続されている。 The temperature control element 50 is, for example, a Peltier element. In the temperature control element 50, a plurality of N-type semiconductor layers 51 and a plurality of P-type semiconductor layers 52 are alternately arranged. The ends of the adjacent N-type semiconductor layers 51 and P-type semiconductor layers 52 opposite to the bottom surface 200a are connected to each other so that all the N-type semiconductor layers 51 and P-type semiconductor layers 52 that are alternately arranged are connected in series. are connected to each other through a first metal member 53 , and the ends of the adjacent N-type semiconductor layer 51 and P-type semiconductor layer 52 on the bottom surface 200 a side are connected to each other through a second metal member 54 . there is

第１金属部材５３によって互いに接続されたＮ型半導体層５１及びＰ型半導体層５２に着目した場合に、Ｎ型半導体層５１からＰ型半導体層５２という方向に電流が流されると、第１金属部材５３において吸熱現象が発生する。これにより、第３拡幅部２０３の底面、第４拡幅部２０４の底面、及び凹部２０５の底面は、吸熱領域５０ａとして機能する。 Focusing on the N-type semiconductor layer 51 and the P-type semiconductor layer 52 that are connected to each other by the first metal member 53, if a current flows in the direction from the N-type semiconductor layer 51 to the P-type semiconductor layer 52, the first metal An endothermic phenomenon occurs in the member 53 . As a result, the bottom surface of the third widened portion 203, the bottom surface of the fourth widened portion 204, and the bottom surface of the recess 205 function as the heat absorption region 50a.

第２金属部材５４によって互いに接続されたＰ型半導体層５２及びＮ型半導体層５１に着目した場合に、Ｐ型半導体層５２からＮ型半導体層５１という方向に電流が流されると、第２金属部材５４において発熱現象が発生する。これにより、本体部２００の底面２００ａは、発熱領域５０ｂとして機能する。 Focusing on the P-type semiconductor layer 52 and the N-type semiconductor layer 51 that are connected to each other by the second metal member 54, if a current flows in the direction from the P-type semiconductor layer 52 to the N-type semiconductor layer 51, the second metal An exothermic phenomenon occurs in the member 54 . Thereby, the bottom surface 200a of the main body part 200 functions as the heat generating region 50b.

温度調節素子５０の端子は、配線（図示省略）を介して、対応する実装用電極パッド２０７と電気的に接続されている。これにより、温度調節素子５０に対する電気信号の入出力等が可能である。温度調節素子５０では、交互に並んだ全てのＮ型半導体層５１及びＰ型半導体層５２が直列に接続されている。そのため、所定の方向に電流が流されると、第１金属部材５３ではＮ型半導体層５１からＰ型半導体層５２という方向に電流が流れて、第３拡幅部２０３の底面、第４拡幅部２０４の底面、及び凹部２０５の底面が吸熱領域５０ａとして機能し、一方、第２金属部材５４ではＰ型半導体層５２からＮ型半導体層５１という方向に電流が流れて、本体部２００の底面２００ａが発熱領域５０ｂとして機能する。 Terminals of the temperature control element 50 are electrically connected to corresponding mounting electrode pads 207 via wiring (not shown). Thus, it is possible to input/output electrical signals to/from the temperature control element 50 . In the temperature control element 50, all the alternately arranged N-type semiconductor layers 51 and P-type semiconductor layers 52 are connected in series. Therefore, when a current flows in a predetermined direction, the current flows in the direction from the N-type semiconductor layer 51 to the P-type semiconductor layer 52 in the first metal member 53 , and the bottom surface of the third widened portion 203 and the fourth widened portion 204 and the bottom surface of the concave portion 205 function as the heat absorption region 50a. It functions as the heat generating region 50b.

光検出装置１Ｂでは、パッケージ２は、光検出器８、熱伝導部材１５、及びファブリペロー干渉フィルタ１０を収容している。パッケージ２の壁部には、温度補償用素子（図示省略）、及び温度調節素子５０が埋設されている。光検出器８は、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａである凹部２０５の底面上に配置されている。吸熱領域５０ａである凹部２０５の底面は、光検出器８と熱的に接続されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、光検出器８が温度調節素子５０とファブリペロー干渉フィルタ１０との間に位置するように、熱伝導部材１５を介して、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａである第３拡幅部２０３の底面上に配置されている。吸熱領域５０ａである第３拡幅部２０３の底面は、ファブリペロー干渉フィルタ１０と熱的に接続されている。 In the photodetector 1B, the package 2 accommodates the photodetector 8, the heat conducting member 15, and the Fabry-Perot interference filter 10. FIG. A temperature compensating element (not shown) and a temperature control element 50 are embedded in the wall of the package 2 . The photodetector 8 is arranged on the bottom surface of the recess 205 which is the heat absorption region 50 a of the temperature control element 50 . The bottom surface of the concave portion 205 that is the heat absorption region 50 a is thermally connected to the photodetector 8 . The Fabry-Perot interference filter 10 has a heat absorption region 50 a of the temperature control element 50 via the heat conduction member 15 so that the photodetector 8 is positioned between the temperature control element 50 and the Fabry-Perot interference filter 10 . 3 It is arranged on the bottom surface of the widened portion 203 . The bottom surface of the third widened portion 203 that is the heat absorption region 50 a is thermally connected to the Fabry-Perot interference filter 10 .

温度調節素子５０の発熱領域５０ｂである本体部２００の底面２００ａには、例えば熱伝導の良い接着部材を介して、ヒートシンク６０が接着されている。これにより、発熱領域５０ｂから生じた熱を、ヒートシンク６０を介して効率的に放熱させることができる。ヒートシンク６０が電極パッド２０７よりも厚い場合には、光検出装置１Ｂを実装する外部の配線基板にヒートシンク６０が干渉しないように貫通穴を設けておくことで、外部の配線基板に光検出装置１Ｂを実装することができる。或いは、外部の配線基板に貫通穴を設けず、電極パッド２０７を本体部２００の側面に配置し、ラインＬが外部の配線基板の表面に略水平になるように光検出装置１Ｂを実装してもよい。或いは、電極パッド２０７よりも薄い金属板を本体部２００の底面２００ａに接着し、ヒートシンク６０として用いてもよい。この場合、金属板を電極パッド２０７と同じ材質（例えば、金、銀、銅、アルミニウム、タングステン等）とすれば、底面２００ａへの形成工程を同時に行うことができる。 A heat sink 60 is adhered to the bottom surface 200a of the main body 200, which is the heat generating region 50b of the temperature control element 50, via, for example, an adhesive member with good thermal conductivity. Thereby, the heat generated from the heat generating region 50b can be efficiently dissipated through the heat sink 60. As shown in FIG. If the heat sink 60 is thicker than the electrode pad 207, a through hole is provided in the external wiring board on which the photodetector 1B is mounted so that the heat sink 60 does not interfere with the external wiring board. can be implemented. Alternatively, the photodetector 1B is mounted such that the electrode pads 207 are arranged on the side surface of the main body part 200 and the line L is substantially horizontal on the surface of the external wiring board without providing a through hole in the external wiring board. good too. Alternatively, a metal plate thinner than the electrode pads 207 may be adhered to the bottom surface 200 a of the main body 200 and used as the heat sink 60 . In this case, if the metal plate is made of the same material as the electrode pads 207 (for example, gold, silver, copper, aluminum, tungsten, etc.), the process of forming the bottom surface 200a can be performed at the same time.

光検出器８は、ラインＬ上においてファブリペロー干渉フィルタ１０に対して一方の側（ここでは、本体部２００の底面２００ａ側）に位置しており、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａである凹部２０５の底面は、ラインＬ上において光検出器８に対して一方の側（ここでは、本体部２００の底面２００ａ側）に位置している。パッケージ２の開口（第１拡幅部２０１）及び光透過部材１３は、ラインＬ上においてファブリペロー干渉フィルタ１０に対して他方の側（一方の側の反対側）（ここでは、本体部２００の底面２００ａの反対側）に位置している。なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光透過部材１３とは、空隙を介して互いに離間している。 The photodetector 8 is positioned on one side of the Fabry-Perot interference filter 10 on the line L (here, the side of the bottom surface 200a of the main body 200), and is the heat absorption region 50a of the temperature control element 50. The bottom surface of 205 is positioned on one side of the photodetector 8 on the line L (here, the bottom surface 200a side of the main body 200). The opening (first widened portion 201) of the package 2 and the light transmitting member 13 are located on the other side (opposite side of the one side) of the Fabry-Perot interference filter 10 on the line L (here, the bottom surface of the main body portion 200). 200a). The Fabry-Perot interference filter 10 and the light transmitting member 13 are separated from each other with a gap therebetween.

光検出装置１Ｂでは、熱伝導部材１５は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面と第３拡幅部２０３の内面との隙間に沿うように、第３拡幅部２０３の底面に配置されている。熱伝導部材１５は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面と第３拡幅部２０３の内面との隙間に沿って配置された第１部分、及び第３拡幅部２０３の底面とファブリペロー干渉フィルタ１０の底面との間に配置された第２部分を含んでいる。このように、熱伝導部材１５は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面の一部及び側面の一部、並びに第３拡幅部２０３の底面のそれぞれと接触している。なお、上記第１部分は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の基板２１の側面に至っている。 In the photodetector 1</b>B, the heat conducting member 15 is arranged on the bottom surface of the third widened portion 203 along the gap between the side surface of the Fabry-Perot interference filter 10 and the inner surface of the third widened portion 203 . The heat conducting member 15 has a first portion arranged along the gap between the side surface of the Fabry-Perot interference filter 10 and the inner surface of the third widened portion 203, and the bottom surface of the third widened portion 203 and the bottom surface of the Fabry-Perot interference filter 10. and a second portion disposed between. Thus, the heat-conducting member 15 is in contact with part of the bottom surface and part of the side surface of the Fabry-Perot interference filter 10 and the bottom surface of the third widened portion 203 . The first portion extends to the side surface of substrate 21 of Fabry-Perot interference filter 10 .

以上のように構成された光検出装置１Ｂにおいては、外部から、パッケージ２の開口（第１拡幅部２０１）、光透過部材１３及びバンドパスフィルタ１４を介して、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａに光が入射すると、光透過領域１０ａにおける第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離に応じて、所定の波長を有する光が選択的に透過させられる。ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａを透過した光は、光検出器８の受光部に入射して、光検出器８によって検出される。光検出装置１Ｂでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０に印加する電圧を変化させながら（すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０において第１ミラー３５と第２ミラー３６との距離を変化させながら）、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａを透過した光を光検出器８で検出することで、分光スペクトルを得ることができる。
［作用及び効果］ In the photodetector 1B configured as described above, the light transmission through the Fabry-Perot interference filter 10 is transmitted from the outside through the opening (first widened portion 201) of the package 2, the light transmission member 13, and the bandpass filter 14. When light enters the region 10a, light having a predetermined wavelength is selectively transmitted according to the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 in the light transmission region 10a. The light transmitted through the light transmission region 10 a of the Fabry-Perot interference filter 10 enters the light receiving portion of the photodetector 8 and is detected by the photodetector 8 . In the photodetector 1B, while changing the voltage applied to the Fabry-Perot interference filter 10 (that is, while changing the distance between the first mirror 35 and the second mirror 36 in the Fabry-Perot interference filter 10), the Fabry-Perot interference filter A spectral spectrum can be obtained by detecting the light transmitted through the light transmission region 10a of 10 with the photodetector 8. FIG.
[Action and effect]

光検出装置１Ｂでは、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａのうち凹部２０５の底面がラインＬ上において光検出器８に対して一方の側に位置している。更に、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａのうち第３拡幅部２０３の底面がファブリペロー干渉フィルタ１０に対して一方の側に位置している。これらにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８が均一に冷却される。特に、凹部２０５の底面及び光検出器８の下面、並びに、第３拡幅部２０３の底面及びファブリペロー干渉フィルタ１０の下面は、それぞれ、接着剤等を介して互いに面接触している。これにより、例えば各部材が点接触している場合に比べ、冷却が効率的に行われる。更に、ラインＬ上においては、光透過部材１３と凹部２０５の底面との間にファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８が配置されている。更に、光透過部材１３と第３拡幅部２０３の底面との間にファブリペロー干渉フィルタ１０が配置されている。これらにより、光透過部材１３が過度に冷却されて光透過部材１３の温度と外気温（光検出装置１Ｂの使用環境温度）との差が大きくなることに起因する光透過部材１３における結露の発生が抑制される。よって、光検出装置１Ｂによれば、パッケージ２内に光を入射させるための光透過部材１３において結露が発生するのを抑制することができると共に、パッケージ２に収容されたファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができる。 In the photodetector 1B, the bottom surface of the concave portion 205 in the heat absorbing region 50a of the temperature control element 50 is positioned on one side of the photodetector 8 on the line L. As shown in FIG. Furthermore, the bottom surface of the third widened portion 203 in the heat absorption region 50 a of the temperature control element 50 is located on one side of the Fabry-Perot interference filter 10 . These uniformly cool the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 . In particular, the bottom surface of the recess 205, the bottom surface of the photodetector 8, the bottom surface of the third widened portion 203, and the bottom surface of the Fabry-Perot interference filter 10 are in surface contact with each other via an adhesive or the like. As a result, cooling is performed more efficiently than, for example, when each member is in point contact. Furthermore, on the line L, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 are arranged between the light transmitting member 13 and the bottom surface of the recess 205 . Furthermore, the Fabry-Perot interference filter 10 is arranged between the light transmitting member 13 and the bottom surface of the third widened portion 203 . As a result, the light-transmitting member 13 is excessively cooled, and the difference between the temperature of the light-transmitting member 13 and the outside air temperature (the operating environment temperature of the photodetector 1B) increases, causing dew condensation on the light-transmitting member 13. is suppressed. Therefore, according to the photodetector 1B, it is possible to suppress the occurrence of dew condensation on the light transmitting member 13 for allowing light to enter the package 2, and the Fabry-Perot interference filter 10 and the Photodetector 8 can be maintained at a uniform temperature.

光検出装置１Ｂでは、熱伝導部材１５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０と本体部２００とを接着する接着部材である。これにより、本体部２００の第３拡幅部２０３におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態を安定させることができる。 In the photodetector 1</b>B, the heat conducting member 15 is an adhesive member that bonds the Fabry-Perot interference filter 10 and the main body 200 together. Thereby, the holding state of the Fabry-Perot interference filter 10 in the third widened portion 203 of the main body portion 200 can be stabilized.

光検出装置１Ｂでは、熱伝導部材１５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面と第３拡幅部２０３の内面との隙間に沿うように、第３拡幅部２０３の底面に配置され、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面の一部、及び第３拡幅部２０３の底面のそれぞれと接触している。これにより、より効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができると共に、本体部２００の第３拡幅部２０３におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態をより確実に安定させることができる。 In the photodetector 1B, the heat conducting member 15 is arranged on the bottom surface of the third widened portion 203 along the gap between the side surface of the Fabry-Perot interference filter 10 and the inner surface of the third widened portion 203. 10 and the bottom surface of the third widened portion 203, respectively. As a result, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 can be more efficiently maintained at a uniform temperature, and the holding state of the Fabry-Perot interference filter 10 in the third widened portion 203 of the main body 200 can be more reliably maintained. can be stabilized at

光検出装置１Ｂでは、温度調節素子５０がパッケージ２の壁部に埋設されている。これにより、パッケージ２内の空間の体積を小さくすることができ、その結果、より効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができる。
［変形例］ The temperature control element 50 is embedded in the wall of the package 2 in the photodetector 1B. Thereby, the volume of the space inside the package 2 can be reduced, and as a result, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 can be maintained at a uniform temperature more efficiently.
[Modification]

以上、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について説明したが、本発明は、上述した第１実施形態及び第２実施形態に限定されるものではない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。 Although the first and second embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described first and second embodiments. For example, the material and shape of each configuration are not limited to the materials and shapes described above, and various materials and shapes can be adopted.

また、図７に示されるように、第２実施形態の光検出装置１Ｂの変形例として、温度調節素子５０、光検出器８、熱伝導部材１５及びファブリペロー干渉フィルタ１０を囲む環状の溝２０６が、本体部２００に形成されていてもよい。この構成によれば、温度調節素子５０、光検出器８、熱伝導部材１５及びファブリペロー干渉フィルタ１０を熱的に分離することができ、その結果、より効率良く、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができる。 Further, as shown in FIG. 7, as a modification of the photodetector 1B of the second embodiment, an annular groove 206 surrounding the temperature control element 50, the photodetector 8, the heat conducting member 15 and the Fabry-Perot interference filter 10 is provided. may be formed on the body portion 200 . According to this configuration, the temperature control element 50, the photodetector 8, the heat conducting member 15, and the Fabry-Perot interference filter 10 can be thermally isolated, and as a result, the Fabry-Perot interference filter 10 and the light can be efficiently separated. Detector 8 can be maintained at a uniform temperature.

また、図８に示されるように、第２実施形態の光検出装置１Ｂの変形例として、ファブリペロー干渉フィルタ１０の端子、及び光検出器８の端子が、本体部２００に敷設された配線（図示省略）に、バンプ１６によって接続されてもよい。この構成によれば、ワイヤ１２が不要となるので、光検出装置１Ｂを小型化することができる。 Further, as shown in FIG. 8, as a modification of the photodetector 1B of the second embodiment, the terminals of the Fabry-Perot interference filter 10 and the terminals of the photodetector 8 are connected to wires ( (not shown) may be connected by bumps 16 . This configuration eliminates the need for the wire 12, so that the size of the photodetector 1B can be reduced.

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいて、バンドパスフィルタ１４は、光透過部材１３の光入射面１３ａに設けられていてもよいし、光透過部材１３の光入射面１３ａ及び光出射面１３ｂの両方に設けられていてもよい。 Further, in each of the photodetector 1A of the first embodiment and the photodetector 1B of the second embodiment, the bandpass filter 14 may be provided on the light incident surface 13a of the light transmitting member 13, or the light It may be provided on both the light incident surface 13 a and the light exit surface 13 b of the transmissive member 13 .

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいて、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、基板２１の光出射側の表面２１ｂに設けられた積層構造（反射防止層４１、第３積層体４２、中間層４３、第４積層体４４、遮光層４５及び保護層４６）を備えていなくてもよい。また、必要に応じて一部の層のみ（例えば、反射防止層４１及び保護層４６のみ）を備えていてもよい。 In each of the photodetector 1A of the first embodiment and the photodetector 1B of the second embodiment, the Fabry-Perot interference filter 10 has a laminated structure (antireflection filter) provided on the surface 21b of the substrate 21 on the light exit side. The layer 41, the third laminate 42, the intermediate layer 43, the fourth laminate 44, the light shielding layer 45, and the protective layer 46) may not be provided. Also, if necessary, only some layers (for example, only the antireflection layer 41 and the protective layer 46) may be provided.

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいて、ラインＬに平行な方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１０ａの外縁が開口２ａの外縁よりも外側に位置していてもよい。この場合、開口２ａから入射した光のうち光透過領域１０ａに入り込む光の割合が増し、開口２ａから入射した光の利用効率が高くなる。また、光透過領域１０ａに対する開口２ａの位置が多少ずれたとしても、開口２ａからの入射した光が光透過領域１０ａに入り込むため、光検出装置１Ａ，１Ｂの組立時における位置精度の要求が緩和される。 Further, in each of the photodetector 1A of the first embodiment and the photodetector 1B of the second embodiment, when viewed from a direction parallel to the line L, the outer edge of the light transmission region 10a of the Fabry-Perot interference filter 10 is It may be located outside the outer edge of the opening 2a. In this case, the ratio of the light entering the light transmission region 10a to the light incident from the opening 2a increases, and the utilization efficiency of the light incident from the opening 2a increases. Further, even if the position of the opening 2a with respect to the light transmitting region 10a is slightly deviated, the incident light from the opening 2a enters the light transmitting region 10a, so that the positional accuracy requirements during assembly of the photodetectors 1A and 1B are relaxed. be done.

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいて、熱伝導部材１５は、第１部分１５ａを含んでいれば、第２部分１５ｂを含んでいなくてもよい。熱伝導部材１５は、上述した材料に限定されず、半田等の金属であってもよい。 Further, in each of the photodetector 1A of the first embodiment and the photodetector 1B of the second embodiment, if the heat conducting member 15 includes the first portion 15a, it does not include the second portion 15b. may The heat conducting member 15 is not limited to the materials described above, and may be metal such as solder.

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいて、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａは、ファブリペロー干渉フィルタ１０と直接接触することでファブリペロー干渉フィルタ１０と熱的に接続されていてもよいし、何らかの部材を介してファブリペロー干渉フィルタ１０と熱的に接続されていてもよい。同様に、温度調節素子５０の吸熱領域５０ａは、光検出器８と直接接触することで光検出器８と熱的に接続されていてもよいし、何らかの部材を介して光検出器８と熱的に接続されていてもよい。 Further, in each of the photodetector 1A of the first embodiment and the photodetector 1B of the second embodiment, the heat absorbing region 50a of the temperature control element 50 is in direct contact with the Fabry-Perot interference filter 10, thereby forming a Fabry-Perot interference filter. 10, or may be thermally connected to the Fabry-Perot interference filter 10 via some member. Similarly, the heat absorption region 50a of the temperature control element 50 may be thermally connected to the photodetector 8 by being in direct contact with the photodetector 8, or may be thermally connected to the photodetector 8 via some member. may be physically connected.

また、第１実施形態の光検出装置１Ａにおいて、温度調節素子５０の発熱領域５０ｂは、パッケージ２と直接接触することでパッケージ２と熱的に接続されていてもよいし、何らかの部材を介してパッケージ２と熱的に接続されていてもよい。 Further, in the photodetector 1A of the first embodiment, the heat generating region 50b of the temperature control element 50 may be thermally connected to the package 2 by being in direct contact with the package 2, or may be thermally connected to the package 2 via some member. It may be thermally connected to the package 2 .

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいて、光検出器８は、温度調節素子５０上に直接配置されていてもよいし、何らかの部材を介して温度調節素子５０上に配置されていてもよい。 Further, in each of the photodetector device 1A of the first embodiment and the photodetector device 1B of the second embodiment, the photodetector 8 may be arranged directly on the temperature control element 50, or may be arranged via some member. may be positioned on the temperature control element 50 at the same time.

また、第１実施形態の光検出装置１Ａ及び第２実施形態の光検出装置１Ｂのそれぞれにおいては、パッケージ２内を冷却する目的で温度調節素子５０を用いた。これは、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８の設定温度（適切な動作温度）よりも光検出装置１Ａ，１Ｂの使用環境温度が高い場合に有効である。これに対し、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８の設定温度よりも光検出装置１Ａ，１Ｂの使用環境温度が低い場合には、パッケージ２内を加熱する目的で温度調節素子５０を用いてもよい。すなわち、温度調節素子５０において、吸熱領域５０ａとして機能していた領域（ファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８と熱的に接続された第１領域）を発熱領域５０ｂとして機能させ、発熱領域５０ｂとして機能していた領域（第１実施形態の光検出装置１Ａでは、パッケージ２と熱的に接続された第２領域）を吸熱領域５０ａとして機能させてもよい。これにより、光検出装置１Ａ，１Ｂの使用環境温度が低い場合でも、パッケージ２に収容されたファブリペロー干渉フィルタ１０及び光検出器８を均一な温度に維持することができ、特に、光検出装置１Ａ，１Ｂの使用環境温度の変化に起因する透過光の波長シフトを抑制することができる。また、光透過部材１３が過度に加熱されて光透過部材１３の温度と外気温（光検出装置１Ａ，１Ｂの使用環境温度）との差が大きくなることに起因する光透過部材１３の破損（低い外気温によって収縮する光入射面１３ａと加熱されて膨張する光出射面１３ｂとの間の応力差に起因する割れの発生等）を抑制することができる。なお、温度調節素子５０としてペルチェ素子を用いれば、ペルチェ素子において電流が流れる方向を切り替えることで、吸熱領域と発熱領域とを容易に切り替えることができる。 Further, in each of the photodetector 1A of the first embodiment and the photodetector 1B of the second embodiment, the temperature control element 50 is used for the purpose of cooling the inside of the package 2 . This is effective when the operating environment temperature of the photodetectors 1A and 1B is higher than the set temperature (appropriate operating temperature) of the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 . On the other hand, when the environmental temperature of the photodetectors 1A and 1B is lower than the set temperatures of the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8, the temperature control element 50 is used to heat the inside of the package 2. good too. That is, in the temperature control element 50, the region functioning as the heat absorbing region 50a (the first region thermally connected to the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8) is caused to function as the heat generating region 50b. The region functioning as the heat absorbing region 50a (the second region thermally connected to the package 2 in the photodetector 1A of the first embodiment) may function as the heat absorbing region 50a. As a result, even when the temperature of the environment in which the photodetectors 1A and 1B are used is low, the Fabry-Perot interference filter 10 and the photodetector 8 housed in the package 2 can be maintained at a uniform temperature. It is possible to suppress the wavelength shift of the transmitted light caused by the change in the operating environment temperature of 1A and 1B. In addition, the light transmitting member 13 is excessively heated, and the difference between the temperature of the light transmitting member 13 and the outside air temperature (the operating environment temperature of the photodetectors 1A and 1B) increases, causing breakage of the light transmitting member 13 ( It is possible to suppress the occurrence of cracks due to the stress difference between the light incident surface 13a that shrinks due to the low outside air temperature and the light emitting surface 13b that expands due to heating. If a Peltier element is used as the temperature control element 50, the heat absorbing region and the heat generating region can be easily switched by switching the direction of current flow in the Peltier device.

１Ａ，１Ｂ…光検出装置、２…パッケージ、２ａ…開口、８…光検出器、９…支持部材、９ａ…載置面、１０…ファブリペロー干渉フィルタ、１０ａ…光透過領域、１０ｂ…底面、１０ｃ…側面、１３…光透過部材、１５…熱伝導部材、３５…第１ミラー、３６…第２ミラー、５０…温度調節素子、５０ａ…吸熱領域、５０ｂ…発熱領域、Ｃ…隅部、Ｌ…ライン。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A, 1B... Photodetector, 2... Package, 2a... Opening, 8... Photodetector, 9... Supporting member, 9a... Mounting surface, 10... Fabry-Perot interference filter, 10a... Light transmission region, 10b... Bottom surface, 10c... side surface 13... light transmission member 15... heat conduction member 35... first mirror 36... second mirror 50... temperature control element 50a... heat absorption area 50b... heat generation area C... corner, L …line.

Claims (7)

互いの距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有し、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域が所定のライン上に設けられたファブリペロー干渉フィルタと、
前記ライン上において前記ファブリペロー干渉フィルタに対して一方の側に配置され、前記光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、
前記ライン上において前記ファブリペロー干渉フィルタに対して他方の側に位置する開口を有し、前記ファブリペロー干渉フィルタ及び前記光検出器を収容するパッケージと、
前記ファブリペロー干渉フィルタ及び前記光検出器と熱的に接続された温度調節素子と、を備え、
前記光検出器は、前記パッケージに形成された凹部の底面に配置されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記凹部に対して前記他方の側に位置するように前記パッケージに形成された拡幅部の底面に配置されており、
前記温度調節素子は、前記パッケージの壁部のうち、少なくとも前記凹部の前記底面及び前記拡幅部の前記底面に対応する部分に埋設されており、
前記温度調節素子の一部は、前記拡幅部の前記底面に対応する部分である前記パッケージの壁部内において、前記凹部の前記底面に対して前記他方の側に位置している、光検出装置。 It has a first mirror and a second mirror whose mutual distance is variable, and a light transmission area for transmitting light corresponding to the distance between the first mirror and the second mirror is provided on a predetermined line. a Fabry-Perot interference filter; and
a photodetector disposed on the line on one side with respect to the Fabry-Perot interference filter for detecting light transmitted through the light-transmissive region;
a package containing the Fabry-Perot interference filter and the photodetector, the package having an opening located on the other side of the line relative to the Fabry-Perot interference filter;
a temperature regulating element thermally connected to the Fabry-Perot interference filter and the photodetector;
The photodetector is arranged on the bottom surface of a recess formed in the package,
The Fabry-Perot interference filter is arranged on the bottom surface of a widened portion formed in the package so as to be positioned on the other side with respect to the recess,
the temperature control element is embedded in a wall portion of the package corresponding to at least the bottom surface of the recess and the bottom surface of the widened portion ;
A photodetector, wherein a portion of the temperature control element is located on the other side with respect to the bottom surface of the recess in a wall portion of the package corresponding to the bottom surface of the widened portion . 前記開口を塞ぐように前記パッケージに設けられた光透過部材を更に備える、請求項１に記載の光検出装置。 2. The photodetector according to claim 1, further comprising a light transmitting member provided on said package so as to block said opening. 前記ファブリペロー干渉フィルタと前記拡幅部との間に配置され、前記ファブリペロー干渉フィルタ及び前記拡幅部と接触する熱伝導部材を更に備える請求項１又は２に記載の光検出装置。 3. The photodetector according to claim 1, further comprising a heat conducting member disposed between the Fabry-Perot interference filter and the widened portion and in contact with the Fabry-Perot interference filter and the widened portion. 前記熱伝導部材は、第１部分を含み、
前記第１部分は、前記ファブリペロー干渉フィルタの側面と前記拡幅部の内面との間に配置されており、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記側面及び前記拡幅部の前記内面と接触している、請求項３に記載の光検出装置。 The thermally conductive member includes a first portion,
The first portion is disposed between a side surface of the Fabry-Perot interference filter and an inner surface of the widened portion and is in contact with the side surface of the Fabry-Perot interference filter and the inner surface of the widened portion. Item 4. The photodetector according to item 3 . 前記熱伝導部材は、第２部分を含み、
前記第２部分は、前記ファブリペロー干渉フィルタの底面と前記拡幅部の前記底面との間に配置されており、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記底面及び前記拡幅部の前記底面と接触している、請求項３又は４に記載の光検出装置。 The thermally conductive member includes a second portion,
the second portion is disposed between the bottom surface of the Fabry-Perot interference filter and the bottom surface of the widened portion and is in contact with the bottom surface of the Fabry-Perot interference filter and the bottom surface of the widened portion; 5. The photodetector according to claim 3 or 4 . 前記熱伝導部材は、前記ファブリペロー干渉フィルタと前記拡幅部とを接着する接着部材である、請求項３～５のいずれか一項に記載の光検出装置。 6. The photodetector according to claim 3 , wherein said heat conducting member is an adhesive member for bonding said Fabry-Perot interference filter and said widened portion. 前記パッケージの外側の表面のうち、前記凹部の前記底面に対向する領域に取り付けられたヒートシンクを更に備える、請求項１～６のいずれか一項に記載の光検出装置。 7. The photodetector according to claim 1, further comprising a heat sink attached to a region of the outer surface of said package facing said bottom surface of said recess.
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