JP7138515B2 - inspection equipment - Google Patents

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Description

本発明は、検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection device.

リチウムイオン二次電池等の非水電解液二次電池は、パーソナルコンピュータ、携帯電話、携帯情報端末等に用いる電池として広く使用されている。とりわけ、リチウムイオン二次電池は、従前の二次電池と比較して、ＣＯ２の排出量を削減し、省エネに寄与する電池として、注目されている。 Non-aqueous electrolyte secondary batteries such as lithium ion secondary batteries are widely used as batteries for personal computers, mobile phones, personal digital assistants and the like. In particular, lithium-ion secondary batteries are attracting attention as batteries that contribute to energy saving by reducing CO 2 emissions compared to conventional secondary batteries.

従来、非水電解液二次電池用セパレータがコアに対して捲回されてなるセパレータ捲回体の開発が進んでいる。併せて、このセパレータ捲回体に付着した異物を検出する検査が検討されている。 Conventionally, the development of a separator-wound body in which a separator for a non-aqueous electrolyte secondary battery is wound around a core has progressed. At the same time, an inspection for detecting foreign matter adhering to the separator roll is being considered.

対象物に付着した異物を検出する検査の一例として、特許文献１に開示されている技術が挙げられる。特許文献１に開示されている技術においては、Ｘ線源から出射されたＸ線をキャピラリレンズによって平行Ｘ線に変換し、この平行Ｘ線を対象物である試料に対して照射し、この試料を透過した平行Ｘ線をＴＤＩ（Time Delay Integration）センサによって受ける。ＴＤＩセンサにおいては、例えば、特許文献２に開示されているような技術が利用されている。 As an example of an inspection for detecting foreign matter adhering to an object, there is a technique disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-200013. In the technique disclosed in Patent Document 1, X-rays emitted from an X-ray source are converted into parallel X-rays by a capillary lens, and the parallel X-rays are applied to a sample, which is an object. parallel X-rays transmitted through are received by a TDI (Time Delay Integration) sensor. A TDI sensor uses, for example, a technique as disclosed in Patent Document 2.

ところで、外形が円形の面（セパレータ捲回体の場合、側面）を有する対象物に付着した異物を検出する検査としては、下記の検査方法が考えられる。なお、以下、対象物における外形が円形の面を、円形外形面とも言う。 By the way, the following inspection method is conceivable as an inspection for detecting a foreign matter adhering to an object having a circular surface (a side surface in the case of a separator roll). In addition, hereinafter, a surface of an object having a circular outer shape is also referred to as a circular outer surface.

すなわち、円形外形面の外形を構成する円形の中心を通り円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として、対象物を回転させる。そして、円形外形面に対して電磁波を照射する。そして、対象物を透過したこの電磁波をＴＤＩセンサによって受ける。そして、ＴＤＩセンサがこの電磁波を受けることによって得られた画像を解析して、対象物に付着している異物を検出する。これにより、特許文献１に開示されている技術に対して、異物の検出を高効率化することが可能であるため、検査の高速化が可能となる。 That is, the object is rotated about a line passing through the center of the circle forming the outer shape of the circular outer surface and extending in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface. Then, electromagnetic waves are applied to the circular outer surface. Then, this electromagnetic wave transmitted through the object is received by the TDI sensor. Then, the TDI sensor analyzes the image obtained by receiving this electromagnetic wave, and detects the foreign matter adhering to the object. As compared with the technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-200013, it is possible to improve the efficiency of the detection of foreign matter, so that the speed of inspection can be increased.

特開２０１６－３８３５０号公報（２０１６年３月２２日公開）Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-38350 (published on March 22, 2016) 特開昭６１－２２８４１号公報（１９８６年１月３１日公開）Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-22841 (published on January 31, 1986)

一般的に、ＴＤＩセンサを構成する複数の画素はマトリクス状に配置されており、かつ各画素における画像の取得は一律に実施される。以下、この一般的な場合を例に、上述した対象物１００を円形外形面２００ｂ（および円形外形面２００ａ）の外形を構成する円形の中心３００を通り円形外形面２００ｂと略垂直な方向に伸びる軸４００上に電磁波発生源２０００を置き、対象物１００を同軸を中心に回転させて行う検査において発生する問題について、図８の（ａ）～（ｃ）を参照して説明する。円形外形面２００ｂの平面視における中心３００からの距離がＷＡで近似可能（以下、単に距離ＷＡと称する）である点を含む画素列Ａを構成する各画素を画素Ａ１～画素Ａｐとし、円形外形面２００ｂのうち、画素Ａ１～画素Ａｐにおける、電磁波発生源２０００からの電磁波２１００の取得対象領域を領域ＥＡ１～領域ＥＡｐとする。中心３００からの距離が距離ＷＡと異なるＷＢで近似可能である点を含む画素列Ｂを構成する各画素を画素Ｂ１～画素Ｂｒとし、円形外形面２００ｂのうち、画素Ｂ１～画素Ｂｒにおける電磁波２１００の取得対象領域を領域ＥＢ１～領域ＥＢｒとする。なお便宜上、画素Ａ１～画素Ａｐおよび画素Ｂ１～画素Ｂｒについては、任意の１つを意味する場合、それぞれ、画素Ａｍおよび画素Ｂｎと称する。同様に便宜上、領域ＥＡ１～領域ＥＡｐおよび領域ＥＢ１～領域ＥＢｒについては、任意の１つを意味する場合、それぞれ、領域ＥＡｍおよび領域ＥＢｎと称する。また、中心３００から電磁波２１００を受ける画素の部分を、点３００´としている。 In general, a plurality of pixels forming a TDI sensor are arranged in a matrix, and an image is uniformly obtained from each pixel. In the following, taking this general case as an example, the object 100 described above extends in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface 200b through the circular center 300 forming the outer shape of the circular outer surface 200b (and the circular outer surface 200a). Problems occurring in an inspection performed by placing the electromagnetic wave generation source 2000 on the axis 400 and rotating the object 100 about the same axis will be described with reference to FIGS. Each pixel constituting a pixel row A including a point where the distance from the center 300 in plan view of the circular outer surface 200b can be approximated by WA (hereinafter simply referred to as the distance WA) is referred to as pixel A1 to pixel Ap, and the circular outer shape Areas EA1 to EAp are the target areas for acquiring the electromagnetic wave 2100 from the electromagnetic wave generation source 2000 in the pixel A1 to pixel Ap on the surface 200b. Pixels B1 to Br are pixels constituting a pixel row B including a point whose distance from the center 300 is different from the distance WA and can be approximated by WB. are assumed to be areas EB1 to EBr. For the sake of convenience, the pixels A1 to Ap and the pixels B1 to Br are referred to as the pixels Am and the pixels Bn, respectively, when any one of them is meant. Similarly, for the sake of convenience, the regions EA1 to EAp and the regions EB1 to EBr are referred to as regions EAm and EBn, respectively, when any one of them is meant. A portion of the pixel that receives the electromagnetic wave 2100 from the center 300 is a point 300'.

移動する対象物１００に電磁波２１００が照射されると、対象物１００のある特定領域を異なる時間に通過した電磁波２１００が異なる画素で受信される。ＴＤＩセンサにおいては、同一領域を異なる時間に通過した電磁波２１００の情報を積算して解析用画像を得る。 When the moving object 100 is irradiated with the electromagnetic waves 2100, the electromagnetic waves 2100 passing through a specific area of the object 100 at different times are received by different pixels. In the TDI sensor, the information of the electromagnetic waves 2100 passing through the same area at different times is integrated to obtain an analysis image.

上記検査においては、軸４００を軸として回転する対象物１００上のある領域ＥＡｍを通過した電磁波２１００を画素Ａ１～画素Ａｐで受信し、それらの情報を積算して解析用画像片ＡＰＡｍを得る。この操作を領域ＥＡ１～領域ＥＡｐの全てで実施し、解析用画像片ＡＰＡ１～解析用画像片ＡＰＡｐを結合して解析用画像ＡＰＡを得る。 In the inspection described above, the electromagnetic wave 2100 passing through a certain area EAm on the object 100 rotating about the axis 400 is received by the pixels A1 to Ap, and the information thereof is integrated to obtain the analysis image piece APAm. This operation is performed on all of the areas EA1 to EAp, and the analysis image pieces APA1 to APAp are combined to obtain an analysis image APA.

同様に、軸４００を軸として回転する対象物１００上のある領域ＥＢｎを通過した電磁波２１００を画素Ｂ１～画素Ｂｒで受信し、それらの情報を積算して解析用画像片ＡＰＢｎを得る。ここで、円形外形面２００ｂの平面視において、領域ＥＡｍと領域ＥＢｎとの、中心３００からの距離が異なるため、領域ＥＢｎを通過した電磁波２１００を受信する画素Ｂ１～画素Ｂｒの個数は、領域ＥＡｍを通過した電磁波２１００を受信する画素Ａ１～画素Ａｐの個数と異なる。この結果、画素Ａ１～画素Ａｐの画素の間隔に応じて画素Ｂ１～画素Ｂｒの受信情報を積算しようとすると、領域ＥＢｎとは異なる領域ＥＢｏを通過した電磁波２１００の情報が積算されてしまうため、得られる解析用画像片ＡＰＢｎの像が不鮮明となってしまう。逆もまた然りである。 Similarly, an electromagnetic wave 2100 passing through a certain area EBn on the object 100 rotating about the axis 400 is received by the pixels B1 to Br, and the information thereof is integrated to obtain the analysis image piece APBn. Here, in a plan view of the circular outer surface 200b, since the area EAm and the area EBn have different distances from the center 300, the number of the pixels B1 to Br that receive the electromagnetic wave 2100 that has passed through the area EBn is equal to the area EAm. is different from the number of pixels A1 to Ap that receive the electromagnetic wave 2100 that has passed through. As a result, when trying to integrate the reception information of the pixels B1 to Br in accordance with the intervals between the pixels A1 to Ap, the information of the electromagnetic wave 2100 passing through the area EBo different from the area EBn is integrated. The image of the obtained analysis image piece APBn becomes unclear. The reverse is also true.

つまり、上述した対象物を回転させて行う検査においては、検査領域全面において同時に鮮明な画像を得ることができないため、検査の精度が低くなるという問題が発生するということを、本願発明者らは見出した。 In other words, in the above-described inspection performed by rotating the object, since a clear image cannot be obtained over the entire inspection area at the same time, the inspection accuracy is lowered. Found it.

本発明の一態様は、対象物の検査を高精度かつ高速に行うことを可能とする検査装置を実現することを目的とする。 An object of one aspect of the present invention is to realize an inspection apparatus that can inspect an object with high accuracy and at high speed.

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査装置は、外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査装置であって、検査に供されている状態の上記対象物に関し、ｍおよびｎをそれぞれ２以上の自然数とすると、上記対象物に対して上記円形外形面を通過する電磁波を照射する少なくとも１個の電磁波発生源と、上記対象物を透過した上記電磁波を受ける、それぞれｍ個の小領域を有しているｎ個の電磁波受信領域とを備えており、上記ｍ×ｎ個の小領域の各々は、下記（１）および（２）のいずれかを満たすように配置されている。 In order to solve the above problems, an inspection apparatus according to an aspect of the present invention provides an object having a circular outer surface whose outer shape is a circular surface. An inspection apparatus that inspects while rotating about a line extending in a substantially vertical direction, and regarding the above-mentioned object being inspected, if m and n are natural numbers of 2 or more, the above-mentioned object At least one electromagnetic wave generating source for irradiating electromagnetic waves passing through the circular outer surface, and n electromagnetic wave receiving areas each having m small areas for receiving the electromagnetic waves transmitted through the object. and each of the m×n small regions is arranged so as to satisfy either of the following (1) and (2).

（１）上記ｎ個の電磁波受信領域毎に、上記円形外形面の平面視において上記円形の直径上に並べられている。 (1) Each of the n electromagnetic wave receiving regions is arranged on the diameter of the circular shape in a plan view of the circular outer surface.

（２）上記（１）に対して、上記円形の中心からの離間距離が互いに同じであるｎ個の上記小領域の組のうち少なくとも１組が、上記線を軸として回転された配置である。 (2) In contrast to (1) above, at least one of a set of n small regions having the same separation distance from the center of the circle is rotated around the line. .

上記の構成によれば、円形外形面の中心から離れた位置ほど円形外形面の（ひいては対象物の）回転速度が速いことを相殺するように、ｎ個の電磁波受信領域のｍ個の小領域の各々が配置されている。これにより、上述した領域ＥＢｎを通過した電磁波を受信する画素の個数と、上述した領域ＥＡｍを通過した電磁波を受信する画素の個数とが異なることを防ぐことができる。結果、検査領域全面において同時に鮮明な画像を得ることが可能となる。従って、上述した対象物を回転させて行う検査（高速）において、高精度の検査を行うことができる。 According to the above configuration, the m sub-regions of the n electromagnetic wave receiving regions are arranged so as to offset the fact that the rotation speed of the circular contour surface (and thus the object) increases as the position away from the center of the circular contour surface are arranged. Accordingly, it is possible to prevent the number of pixels that receive the electromagnetic waves that have passed through the region EBn from being different from the number of pixels that receive the electromagnetic waves that have passed through the region EAm. As a result, it is possible to simultaneously obtain a clear image over the entire inspection area. Therefore, in the inspection (high speed) performed by rotating the object described above, highly accurate inspection can be performed.

また、本発明の一態様に係る検査装置は、上記ｎ個の電磁波受信領域の少なくとも１個に関し、上記ｍ個の小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠い小領域ほど、上記円形の円周に沿った方向のサイズが大きいことが好ましい。 Further, the inspection apparatus according to one aspect of the present invention relates to at least one of the n electromagnetic wave reception areas, and the m small areas are small areas far from the center of the circle in plan view of the circular outer surface. It is preferable that the size in the direction along the circumference of the circular shape is as large as possible.

上記の構成によれば、円形外形面の平面視において円形の中心から遠い小領域において、電磁波を受ける量を増やすことができるため、受けた電磁波から得られた画像が暗くなる虞を低減することができる。 According to the above configuration, since the amount of electromagnetic waves received can be increased in a small area far from the center of the circle in plan view of the circular outer surface, the risk of the image obtained from the received electromagnetic waves becoming dark can be reduced. can be done.

また、本発明の一態様に係る検査装置は、上記ｎ個の電磁波受信領域の少なくとも１個に関し、上記ｍ個の小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠い小領域ほど、移動の速い被写体の撮影に適していることが好ましい。 Further, the inspection apparatus according to one aspect of the present invention relates to at least one of the n electromagnetic wave reception areas, and the m small areas are small areas far from the center of the circle in plan view of the circular outer surface. It is preferable that the degree is suitable for photographing a fast-moving subject.

上記の構成によれば、円形外形面の平面視において円形の中心から遠い小領域において、回転速度が速いことに起因して、受けた電磁波から得られた画像がボケる虞を低減することができる。 According to the above configuration, in a small area far from the center of the circle in a plan view of the circular outer surface, it is possible to reduce the possibility that the image obtained from the received electromagnetic wave is blurred due to the high rotational speed. can.

また、本発明の一態様に係る検査装置は、ｍ×ｎ個の電磁波発生源を備えており、上記ｍ×ｎ個の電磁波発生源は、それぞれ、上記ｎ個の電磁波受信領域の上記ｍ個の小領域に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されていることが好ましい。 Further, an inspection apparatus according to an aspect of the present invention includes m×n electromagnetic wave generation sources, and the m×n electromagnetic wave generation sources each correspond to the m electromagnetic wave reception areas of the n electromagnetic wave reception areas. is preferably arranged in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface with respect to the small area of .

ある小領域に対する電磁波の入射方向が、円形外形面と略垂直な方向から傾いている場合、円形外形面と略垂直な方向における対象物の寸法（以下、対象物の厚みとも言う）に依存して、当該小領域と当該電磁波との間にズレが生じる虞がある。そして当該小領域と当該電磁波との間でのズレが、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレの要因となり得る。上記の構成によれば、当該小領域と当該電磁波との間でのズレを抑制することができるので、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレが生じる虞を低減することができる。 If the direction of incidence of electromagnetic waves on a certain small area is tilted from a direction substantially perpendicular to the circular outer surface, it depends on the size of the object in the direction substantially perpendicular to the circular outer surface (hereinafter also referred to as the thickness of the object). Therefore, a deviation may occur between the small area and the electromagnetic wave. A deviation between the small region and the electromagnetic wave can cause a deviation between the regions EB1 to EBr. According to the above configuration, it is possible to suppress the deviation between the small area and the electromagnetic wave, so it is possible to reduce the possibility that the deviation occurs between the area EB1 to the area EBr.

また、本発明の一態様に係る検査装置は、１個の電磁波発生源を備えており、上記１個の電磁波発生源は、上記円形の中心に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されていることが好ましい。 Further, an inspection apparatus according to an aspect of the present invention includes one electromagnetic wave generation source, and the one electromagnetic wave generation source is arranged in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface with respect to the center of the circular shape. is preferably placed in

上記の構成によれば、各小領域に対してムラ無く電磁波を照射することができるため、特定の小領域が受けた電磁波から得られた画像が暗くなる虞を低減することができる。 According to the above configuration, it is possible to uniformly irradiate each small area with electromagnetic waves, so that it is possible to reduce the possibility that an image obtained from an electromagnetic wave received by a specific small area will be dark.

また、本発明の一態様に係る検査装置において、上記ｎ個の電磁波受信領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分から上記電磁波を受け、上記検査装置は、上記ｎ個の電磁波受信領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、ｎ個の上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出することが好ましい。 Further, in the inspection apparatus according to an aspect of the present invention, each of the n electromagnetic wave receiving areas receives the electromagnetic wave from the same portion of the circular outer surface at different timings, and the inspection apparatus By analyzing the image for analysis obtained by integrating the n images of the same portion obtained by each of the electromagnetic wave receiving areas receiving the electromagnetic wave, the foreign matter adhering to the same portion is detected. is preferred.

上記の構成によれば、ＴＤＩセンサの要領で、複数の同一部分の画像を積算することにより、検査の精度を向上させることが可能となる。 According to the above configuration, it is possible to improve the accuracy of inspection by integrating a plurality of images of the same portion in the manner of a TDI sensor.

本発明の一態様によれば、対象物の検査を高精度かつ高速に行うことが可能である。 According to one aspect of the present invention, it is possible to inspect an object with high accuracy and high speed.

本発明の実施の形態１および実施の形態２に係る検査装置を示す概略図である。1 is a schematic diagram showing an inspection apparatus according to Embodiments 1 and 2 of the present invention; FIG. 対象物を回転させている状態を示す図であり、（ａ）は円形外形面の平面視を示しており、（ｂ）は対象物を横から見た状態を示している。It is a figure which shows the state which rotates the target object, (a) has shown the planar view of the circular outer surface, and (b) has shown the state which looked at the target object from the side. 本発明の実施の形態１に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of n electromagnetic wave reception areas according to Embodiment 1 of the present invention, showing a plan view of a circular outer surface; 本発明の実施の形態２に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。FIG. 10 is a diagram showing the configuration of n electromagnetic wave reception areas according to Embodiment 2 of the present invention, showing a plan view of a circular outer surface; 本発明の実施の形態１に係るｎ個の電磁波受信領域を用いた検査の具体例を示しており、（ａ）は円形外形面における各画像取得対象領域を示しており、（ｂ）は各画像取得対象領域と各電磁波受信領域との経過時間毎の対応関係を示している。1 shows a specific example of inspection using n electromagnetic wave reception areas according to Embodiment 1 of the present invention, (a) shows each image acquisition target area on a circular outer surface, and (b) shows each The correspondence relationship between the image acquisition target area and each electromagnetic wave reception area for each elapsed time is shown. 本発明の第１変形例に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。It is a figure which shows the structure of n electromagnetic wave reception area|regions based on the 1st modification of this invention, and shows the planar view of a circular outer surface. 本発明の第２変形例に係るｎ個の電磁波受信領域の構成を示す図であり、円形外形面の平面視を示している。FIG. 10 is a diagram showing the configuration of n electromagnetic wave reception areas according to the second modification of the present invention, showing a plan view of a circular outer surface; （ａ）～（ｃ）は、従来技術の問題について説明する図である。(a) to (c) are diagrams for explaining problems of the conventional technology.

本発明を実施するための形態について、図１～図７を参照して説明する。 A mode for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. FIG.

図１は、本発明の実施の形態１および実施の形態２に係る検査装置１０を示す概略図である。検査装置１０は、対象物１を検査する、具体的には、対象物１に付着している異物を検出するものである。検査装置１０は、電磁波発生源２０、およびセンサ３０を備えている。 FIG. 1 is a schematic diagram showing an inspection apparatus 10 according to Embodiments 1 and 2 of the present invention. The inspection apparatus 10 inspects the object 1 , more specifically, detects foreign matter adhering to the object 1 . The inspection device 10 has an electromagnetic wave source 20 and a sensor 30 .

対象物１は、外形が円形の面である円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂを有している。図１においては、円形外形面２ａが電磁波発生源２０側に位置しており、円形外形面２ｂがセンサ３０側に位置している。対象物１の形状としては、ドーナツ状、円盤状、円筒状（図２の（ａ）参照）、および円柱状等が挙げられる。対象物１の具体例として、非水電解液二次電池用セパレータがコアに対して捲回されてなるセパレータ捲回体、および非水電解液二次電池用セパレータが捲回されるコア等が挙げられる。 The object 1 has a circular outer surface 2a and a circular outer surface 2b, which are circular surfaces. In FIG. 1, the circular outer surface 2a is located on the electromagnetic wave generation source 20 side, and the circular outer surface 2b is located on the sensor 30 side. Examples of the shape of the object 1 include a donut shape, a disk shape, a cylindrical shape (see (a) of FIG. 2), and a columnar shape. Specific examples of the object 1 include a separator wound body in which a separator for a non-aqueous electrolyte secondary battery is wound around a core, a core in which a separator for a non-aqueous electrolyte secondary battery is wound, and the like. mentioned.

図２は、対象物１を回転させている状態を示す図である。図２の（ａ）は、円形外形面２ｂの平面視を示している。また、図２の（ｂ）は、対象物１を横から見た状態を示している。具体的に、図２の（ｂ）においては、電磁波発生源２０側を左側とし、センサ３０側を右側として見た状態を示している。 FIG. 2 is a diagram showing a state in which the object 1 is rotated. FIG. 2(a) shows a plan view of the circular outer surface 2b. In addition, FIG. 2(b) shows a state in which the object 1 is viewed from the side. Specifically, FIG. 2B shows a state in which the electromagnetic wave generation source 20 side is on the left side and the sensor 30 side is on the right side.

なお、図１～図７においては、互いに垂直な３方向である、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向を規定している。Ｘ方向は対象物１の幅方向、Ｙ方向は対象物１の高さ方向、Ｚ方向はＸ方向およびＹ方向の両方と垂直であり円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂを垂直に貫く方向を示している。 In FIGS. 1 to 7, three directions perpendicular to each other, namely, the X direction, the Y direction, and the Z direction are defined. The X direction is the width direction of the object 1, the Y direction is the height direction of the object 1, and the Z direction is perpendicular to both the X direction and the Y direction and perpendicularly penetrates the circular outer surface 2a and the circular outer surface 2b. showing.

対象物１が検査装置１０による検査に供されている状態において、対象物１は、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の中心３を通り円形外形面２ｂと略垂直な方向（Ｚ方向と平行な方向）に伸びる線を軸４として回転される。対象物１と円形外形面２ａとの間においても、同様の関係が成立する。回転の方向は、円形外形面２ｂの平面視において時計回りとしているが、円形外形面２ｂの平面視において反時計回りであっても構わない。 While the object 1 is being inspected by the inspection device 10, the object 1 passes through the center 3 of the circle that forms the outline of the circular external surface 2b and passes in a direction substantially perpendicular to the circular external surface 2b (Z direction and parallel direction) is rotated about the axis 4. A similar relationship is established between the object 1 and the circular outer surface 2a. The direction of rotation is clockwise in plan view of the circular outer surface 2b, but may be counterclockwise in plan view of the circular outer surface 2b.

電磁波発生源２０は、対象物１に対して、円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂを通過する電磁波２１を照射するものである。電磁波発生源２０は、中心３に対して円形外形面２ｂと略垂直な方向に配置されている。電磁波２１の一例としては、Ｘ線が挙げられる。電磁波２１は、円形外形面２ａに対して照射され、対象物１を透過し、円形外形面２ｂから出る。 The electromagnetic wave generation source 20 irradiates the object 1 with electromagnetic waves 21 passing through the circular outer surface 2a and the circular outer surface 2b. The electromagnetic wave generation source 20 is arranged in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface 2 b with respect to the center 3 . An example of the electromagnetic waves 21 is X-rays. An electromagnetic wave 21 is applied to the circular outer surface 2a, passes through the object 1, and exits from the circular outer surface 2b.

センサ３０は、電磁波受信部３１を有している。センサ３０は、対象物１を透過した電磁波２１を電磁波受信部３１にて受けることによって、円形外形面２ａおよび円形外形面２ｂにおける電磁波２１が通過した部分の画像を取得することができるものである。電磁波受信部３１の具体的な構成については後述するが、電磁波受信部３１を覆う少なくとも１つのレンズが設けられていてもよい。 The sensor 30 has an electromagnetic wave receiver 31 . The sensor 30 receives the electromagnetic wave 21 transmitted through the object 1 by the electromagnetic wave receiving section 31, thereby obtaining an image of the portion of the circular outer surface 2a and the circular outer surface 2b through which the electromagnetic wave 21 has passed. . A specific configuration of the electromagnetic wave receiving section 31 will be described later, but at least one lens covering the electromagnetic wave receiving section 31 may be provided.

以下の実施の形態１および実施の形態２では、それぞれ、電磁波受信部３１の具体的な構成例としての、電磁波受信部３１ａおよび電磁波受信部３１ｂについて説明を行う。 In the following Embodiments 1 and 2, an electromagnetic wave receiving section 31a and an electromagnetic wave receiving section 31b will be described as specific configuration examples of the electromagnetic wave receiving section 31, respectively.

〔実施の形態１〕
図３は、本発明の実施の形態１に係る電磁波受信部３１ａ（ｎ個の電磁波受信領域）の構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。電磁波受信部３１ａは、３個の電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３を有している。 [Embodiment 1]
FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the electromagnetic wave receiving section 31a (n electromagnetic wave receiving areas) according to Embodiment 1 of the present invention, showing a plan view of the circular outer surface 2b. The electromagnetic wave receiving section 31a has three electromagnetic wave receiving areas 321 to 323. FIG.

電磁波受信領域３２１は、小領域３２１１、小領域３２１２、・・・、小領域３２１（ｍ－１）、および小領域３２１ｍからなる、ｍ個の小領域を有している。そして、小領域３２１１、小領域３２１２、・・・、小領域３２１（ｍ－１）、および小領域３２１ｍは、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径３３１上に、中心３側から当該円形の縁側に向けてこの順に並んで配置されている。 The electromagnetic wave reception area 321 has m small areas, consisting of a small area 3211, a small area 3212, . . . , a small area 321(m−1), and a small area 321m. Small regions 3211, small regions 3212, . 331, they are arranged in this order from the center 3 side toward the circular edge side.

電磁波受信領域３２２は、小領域３２２１、小領域３２２２、・・・、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２２ｍからなる、ｍ個の小領域を有している。そして、小領域３２２１、小領域３２２２、・・・、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２２ｍは、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径３３２上に、中心３側から当該円形の縁側に向けてこの順に並んで配置されている。 The electromagnetic wave reception area 322 has m small areas, consisting of a small area 3221, a small area 3222, ..., a small area 322(m-1), and a small area 322m. Small regions 3221, small regions 3222, . . . , small regions 322(m−1), and small regions 322m are the circular diameter 332, they are arranged in this order from the center 3 side toward the circular edge side.

電磁波受信領域３２３は、小領域３２３１、小領域３２３２、・・・、小領域３２３（ｍ－１）、および小領域３２３ｍからなる、ｍ個の小領域を有している。そして、小領域３２３１、小領域３２３２、・・・、小領域３２３（ｍ－１）、および小領域３２３ｍは、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径３３３上に、中心３側から当該円形の縁側に向けてこの順に並んで配置されている。 The electromagnetic wave reception area 323 has m small areas, consisting of a small area 3231, a small area 3232, . . . , a small area 323(m−1), and a small area 323m. Small regions 3231, small regions 3232, . . . , small regions 323(m−1), and small regions 323m are the circular diameter 333, they are arranged in this order from the center 3 side toward the circular edge side.

つまり、３個の電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々は、円形外形面２ｂの平面視において、円形外形面２ｂの外形を構成する円形の直径（それぞれ、直径３３１～直径３３３）上に並べられたｍ個の小領域を有している。これらの小領域の各々は、電磁波受信部３１ａを、機能的に、３×ｍ（ｎ×ｍ）個に分割したものの１単位に該当し、少なくとも１画素を含む。 That is, each of the three electromagnetic wave receiving regions 321 to 323 is on the circular diameter (respectively diameter 331 to diameter 333) forming the outer shape of the circular outer surface 2b in plan view of the circular outer surface 2b. It has m small regions arranged side by side. Each of these small areas corresponds to one unit of functionally dividing the electromagnetic wave receiving section 31a into 3×m (n×m) pieces, and includes at least one pixel.

電磁波受信部３１ａによれば、中心３から離れた位置ほど円形外形面２ｂの（ひいては対象物１の）回転速度が速いことを相殺するように、３個の電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のｍ個の小領域の各々が配置されている。これにより、上述した領域ＥＢｎを通過した電磁波２１を受信する小領域（具体例：画素）の個数と、上述した領域ＥＡｍを通過した電磁波２１を受信する小領域の個数とが異なることを防ぐことができる。結果、検査領域全面において同時に鮮明な画像を得ることが可能となる。従って、上述した対象物１を回転させて行う検査（高速）において、高精度の検査を行うことができる。 According to the electromagnetic wave receiving section 31a, the three electromagnetic wave receiving areas 321 to 323 are arranged so as to offset the fact that the rotation speed of the circular outer surface 2b (and thus the object 1) increases as the distance from the center 3 increases. are arranged. This prevents the number of small areas (specific example: pixels) that receive the electromagnetic wave 21 that has passed through the area EBn from being different from the number of small areas that receive the electromagnetic wave 21 that has passed through the area EAm. can be done. As a result, it is possible to simultaneously obtain a clear image over the entire inspection area. Therefore, in the inspection (high speed) performed by rotating the object 1 described above, highly accurate inspection can be performed.

また、電磁波受信領域３２１において、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域ほど、すなわち、小領域３２１１から小領域３２１ｍに向かうほど、移動の速い被写体の撮影に適している構成であることが好ましい。当該構成を実現する方法の一例として、小領域３２１１から小領域３２１ｍに向かうほど、対応する少なくとも１画素が適切に電磁波２１を受けるためのシャッター速度を速める方法が挙げられる。これにより、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域において、回転速度が速いことに起因して、受けた電磁波２１から得られた画像がボケる虞を低減することができる。電磁波受信領域３２２および電磁波受信領域３２３においても同様であり、このような構成は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の少なくとも１つにおいて実現されていてもよい。 In addition, in the electromagnetic wave reception area 321, the smaller area farther from the center 3 in the plan view of the circular outer surface 2b, that is, the smaller area 3211 toward the small area 321m, the more suitable for photographing a fast-moving subject. is preferred. As an example of a method of realizing this configuration, there is a method of increasing the shutter speed for appropriately receiving the electromagnetic wave 21 at least one corresponding pixel from the small region 3211 toward the small region 321m. As a result, in a small area far from the center 3 in plan view of the circular outer surface 2b, it is possible to reduce the possibility that the image obtained from the received electromagnetic wave 21 will be blurred due to the high rotational speed. The same applies to the electromagnetic wave receiving areas 322 and 323 , and such a configuration may be implemented in at least one of the electromagnetic wave receiving areas 321 to 323 .

〔実施の形態２〕
図４は、本発明の実施の形態２に係る電磁波受信部３１ｂ（ｎ個の電磁波受信領域）の構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。 [Embodiment 2]
FIG. 4 is a diagram showing the configuration of an electromagnetic wave receiving section 31b (n electromagnetic wave receiving areas) according to Embodiment 2 of the present invention, showing a plan view of a circular outer surface 2b.

電磁波受信部３１ｂは、以下に説明する点を除けば、電磁波受信部３１ａと同様の構成である。なお、以下「円周方向」とは、円形外形面２ｂ（および円形外形面２ａ）の外形を構成する円形の円周に沿った方向を意味する。 The electromagnetic wave receiving unit 31b has the same configuration as the electromagnetic wave receiving unit 31a except for the points described below. In addition, hereinafter, the "circumferential direction" means a direction along the circumference of the circle forming the outer shape of the circular outer surface 2b (and the circular outer surface 2a).

電磁波受信領域３２１において、小領域３２１２の円周方向のサイズは小領域３２１１の円周方向のサイズより大きくなっており、・・・、小領域３２１ｍの円周方向のサイズは小領域３２１（ｍ－１）の円周方向のサイズより大きくなっている。 In the electromagnetic wave reception area 321, the size of the small area 3212 in the circumferential direction is larger than the size of the small area 3211 in the circumferential direction. -1) is larger than the size in the circumferential direction.

電磁波受信領域３２２において、小領域３２２２の円周方向のサイズは小領域３２２１の円周方向のサイズより大きくなっており、・・・、小領域３２２ｍの円周方向のサイズは小領域３２２（ｍ－１）の円周方向のサイズより大きくなっている。 In the electromagnetic wave reception area 322, the size of the small area 3222 in the circumferential direction is larger than the size of the small area 3221 in the circumferential direction. -1) is larger than the size in the circumferential direction.

電磁波受信領域３２３において、小領域３２３２の円周方向のサイズは小領域３２３１の円周方向のサイズより大きくなっており、・・・、小領域３２３ｍの円周方向のサイズは小領域３２３（ｍ－１）の円周方向のサイズより大きくなっている。 In the electromagnetic wave reception area 323, the size of the small area 3232 in the circumferential direction is larger than the size of the small area 3231 in the circumferential direction. -1) is larger than the size in the circumferential direction.

つまり、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のそれぞれに関し、ｍ個の小領域は、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域ほど、円周方向のサイズが大きい。これにより、円形外形面２ｂの平面視において中心３から遠い小領域において、電磁波２１を受ける量を増やすことができるため、受けた電磁波２１から得られた画像が暗くなる虞を低減することができる。以上の構成は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の少なくとも１つにおいて実現されていてもよい。 In other words, regarding each of the electromagnetic wave receiving areas 321 to 323, among the m small areas, a smaller area farther from the center 3 in a plan view of the circular outer surface 2b has a larger size in the circumferential direction. As a result, the amount of electromagnetic waves 21 received can be increased in a small area far from the center 3 in plan view of the circular outer surface 2b, so that the risk of the image obtained from the received electromagnetic waves 21 becoming dark can be reduced. . The configuration described above may be implemented in at least one of the electromagnetic wave reception areas 321 to 323 .

また、以上の構成に伴い、電磁波受信部３１ｂは、概略的に、円形外形面２ｂの外側（円形の縁側）端部を円弧とする扇形から、円形外形面２ｂの内側（中心３側）端部を円弧とする扇形を減じた形状となっている。 Further, according to the above configuration, the electromagnetic wave receiving unit 31b is roughly shaped so that the outer (circular edge side) end of the circular outer surface 2b is a fan shape with an arc, and the inner (center 3 side) end of the circular outer surface 2b is changed. It has a shape that is less than a fan shape with a circular arc.

（付記事項）
以上の実施の形態１および実施の形態２においては、電磁波受信領域の個数が３個（すなわち、ｎ＝３）である場合の例を示した。但し、電磁波受信領域の個数は２以上であればいくつであってもよい。換言すれば、電磁波受信領域の個数を示すｎは、２以上の自然数であればよい。 (Additional notes)
In Embodiments 1 and 2 above, an example in which the number of electromagnetic wave reception areas is three (that is, n=3) has been shown. However, the number of electromagnetic wave reception areas may be any number as long as it is two or more. In other words, n, which indicates the number of electromagnetic wave reception areas, may be a natural number of 2 or more.

以上の実施の形態１および実施の形態２においては、各電磁波受信領域における小領域の個数が少なくとも４個（すなわち、４≦ｍ）である場合の例を示した。但し、各電磁波受信領域における小領域の個数は２以上であればいくつであってもよい。換言すれば、各電磁波受信領域における小領域の個数を示すｍは、２以上の自然数であればよい。 In Embodiments 1 and 2 above, an example in which the number of small areas in each electromagnetic wave reception area is at least four (that is, 4≦m) has been shown. However, the number of small areas in each electromagnetic wave reception area may be any number as long as it is two or more. In other words, m, which indicates the number of small areas in each electromagnetic wave reception area, may be a natural number of 2 or more.

また、検査装置１０は、以下の構成であることが好ましい。すなわち、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々は、互いに異なるタイミングで円形外形面２ｂにおける同一部分から電磁波２１を受ける。そして、当該検査装置１０は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々が電磁波２１を受けることによって得られた、３個（ｎ個）の上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出する。当該検査装置１０のセンサ３０の一例として、ＴＤＩセンサが挙げられる。 Moreover, it is preferable that the inspection apparatus 10 has the following configuration. That is, each of the electromagnetic wave receiving regions 321 to 323 receives the electromagnetic wave 21 from the same portion of the circular outer surface 2b at different timings. Then, the inspection apparatus 10 performs an analysis obtained by integrating the three (n) images of the same portion obtained by each of the electromagnetic wave receiving regions 321 to 323 receiving the electromagnetic wave 21. Foreign matter adhering to the same portion is detected by analyzing the image. An example of the sensor 30 of the inspection device 10 is a TDI sensor.

図５は、電磁波受信部３１ａを用いた検査の具体例を示している。図５の（ａ）は、円形外形面２ｂにおける各画像取得対象領域である領域Ｅ１～領域Ｅ５を示している。図５の（ｂ）は、領域Ｅ１～領域Ｅ５の各々と電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３の各々との経過時間毎の対応関係を示している。 FIG. 5 shows a specific example of inspection using the electromagnetic wave receiving section 31a. FIG. 5(a) shows areas E1 to E5, which are image acquisition target areas on the circular outer surface 2b. FIG. 5(b) shows the correspondence relationship between each of the regions E1 to E5 and each of the electromagnetic wave reception regions 321 to 323 for each elapsed time.

時刻ｔ１において、電磁波受信領域３２１は領域Ｅ２の画像を、電磁波受信領域３２２は領域Ｅ１の画像を、電磁波受信領域３２３は領域Ｅ３の画像を、それぞれ取得する。 At time t1, the electromagnetic wave reception area 321 acquires the image of the area E2, the electromagnetic wave reception area 322 acquires the image of the area E1, and the electromagnetic wave reception area 323 acquires the image of the area E3.

時刻ｔ１より後の時刻ｔ２においては、対象物１の回転に従って、電磁波受信領域３２１は領域Ｅ３の画像を、電磁波受信領域３２２は領域Ｅ２の画像を、電磁波受信領域３２３は領域Ｅ４の画像を、それぞれ取得する。 At time t2 after time t1, according to the rotation of the object 1, the electromagnetic wave reception area 321 displays the image of the area E3, the electromagnetic wave reception area 322 displays the image of the area E2, the electromagnetic wave reception area 323 displays the image of the area E4, Get each.

時刻ｔ２より後の時刻ｔ３においては、対象物１の回転に従って、電磁波受信領域３２１は領域Ｅ４の画像を、電磁波受信領域３２２は領域Ｅ３の画像を、電磁波受信領域３２３は領域Ｅ５の画像を、それぞれ取得する。 At time t3 after time t2, according to the rotation of the object 1, the electromagnetic wave reception area 321 displays the image of the area E4, the electromagnetic wave reception area 322 displays the image of the area E3, the electromagnetic wave reception area 323 displays the image of the area E5, Get each.

これにより、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のそれぞれにおいて、領域Ｅ３の画像が得られる。そして、検査装置１０は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のそれぞれにおいて得られた領域Ｅ３の画像を積算して、解析用の領域Ｅ３の画像を作成する。こうして、当該検査装置１０は、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３のいずれか１つのみにおいて得られた領域Ｅ３の画像より鮮明な、解析用の領域Ｅ３の画像を得る。 As a result, an image of the area E3 is obtained in each of the electromagnetic wave reception areas 321 to 323. FIG. Then, the inspection apparatus 10 integrates the images of the area E3 obtained in each of the electromagnetic wave reception areas 321 to 323 to create an image of the area E3 for analysis. Thus, the inspection apparatus 10 obtains an image of the area E3 for analysis that is clearer than the image of the area E3 obtained only in any one of the electromagnetic wave reception areas 321 to 323. FIG.

上記の構成によれば、複数の領域Ｅ３の画像を積算することにより、領域Ｅ３に対する検査の精度を向上させることが可能となる。領域Ｅ１、領域Ｅ２、領域Ｅ４、および領域Ｅ５についても同様である。 According to the above configuration, it is possible to improve the accuracy of inspection for the area E3 by integrating the images of the plurality of areas E3. The same applies to areas E1, E2, E4, and E5.

なお、図５においては、電磁波受信領域３２１～電磁波受信領域３２３が画像を取得する領域（換言すれば、検査対象領域）として、領域Ｅ１～領域Ｅ５を示した。但し、円形外形面２ｂの全部または任意の一部の画像を取得する（検査対象領域とする）ことができる。 In FIG. 5, the areas E1 to E5 are shown as the areas where the electromagnetic wave reception areas 321 to 323 acquire images (in other words, inspection target areas). However, it is possible to acquire an image of all or any part of the circular outer surface 2b (as an inspection target area).

さらに、検査装置１０は、電磁波発生源２０に代えて、ｍ×ｎ個の電磁波発生源を備えており、これらのｍ×ｎ個の電磁波発生源は、それぞれ、ｎ個の電磁波受信領域のｍ個の小領域に対して円形外形面２ｂと略垂直な方向に配置されていてもよい。すなわち、ｍ×ｎ個の電磁波発生源と全小領域とが、１対１の対応関係で配置されていてもよい。また、検査装置１０は、電磁波発生源２０に代えて、ｍ×ｎ個未満の個数の電磁波発生源と、各電磁波発生源から発生する電磁波を反射または屈折により小領域３２１１～３２３ｍに略垂直な方向に導く機構（図示しない）を有していてもよい。 Further, the inspection apparatus 10 includes m×n electromagnetic wave generating sources instead of the electromagnetic wave generating source 20, and these m×n electromagnetic wave generating sources are m The small regions may be arranged in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface 2b. That is, the m×n electromagnetic wave generation sources and all the small areas may be arranged in a one-to-one correspondence relationship. Further, instead of the electromagnetic wave generating source 20, the inspection apparatus 10 includes less than m×n electromagnetic wave generating sources, and electromagnetic waves generated from each electromagnetic wave generating source are reflected or refracted so as to be substantially perpendicular to the small regions 3211 to 323m. It may have a directional guiding mechanism (not shown).

ある小領域に対する電磁波２１の入射方向が、円形外形面２ｂと略垂直な方向から傾いている場合、対象物１の厚みに依存して、当該小領域と電磁波２１との間にズレが生じる虞がある。そして当該小領域と電磁波２１との間でのズレが、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレの要因となり得る。上記の構成によれば、当該小領域と電磁波２１との間でのズレを抑制することができるので、領域ＥＢ１～領域ＥＢｒの間でのズレが生じる虞を低減することができる。 If the incident direction of the electromagnetic wave 21 with respect to a certain small area is tilted from the direction substantially perpendicular to the circular outer surface 2b, there is a possibility that the small area and the electromagnetic wave 21 may be misaligned depending on the thickness of the object 1. There is A deviation between the small region and the electromagnetic wave 21 can cause a deviation between the regions EB1 to EBr. According to the above configuration, it is possible to suppress the deviation between the small area and the electromagnetic wave 21, so it is possible to reduce the possibility of occurrence of deviation between the area EB1 to the area EBr.

〔変形例〕
図６は、電磁波受信部３１ａの第１変形例に係る電磁波受信部３１ａａの構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。 [Modification]
FIG. 6 is a diagram showing the configuration of an electromagnetic wave receiving section 31aa according to a first modification of the electromagnetic wave receiving section 31a, showing a plan view of the circular outer surface 2b.

電磁波受信部３１ａａは、電磁波受信部３１ａと、下記の点が異なる。すなわち、電磁波受信部３１ａａは、電磁波受信部３１ａに対して、小領域３２１２、小領域３２２２、および小領域３２３２が、中心３を中心とする円周Ｃ２に沿って、換言すれば軸４（図１参照）を軸として、回転された配置となっている。当該回転の角度は特に限定されない。 The electromagnetic wave receiving section 31aa differs from the electromagnetic wave receiving section 31a in the following points. That is, the electromagnetic wave receiving unit 31aa is arranged such that the small regions 3212, 3222, and 3232 are arranged along the circumference C2 around the center 3, in other words, the axis 4 (Fig. 1) as an axis. The angle of rotation is not particularly limited.

図７は、電磁波受信部３１ａの第２変形例に係る電磁波受信部３１ａｂの構成を示す図であり、円形外形面２ｂの平面視を示している。 FIG. 7 is a diagram showing the configuration of an electromagnetic wave receiving section 31ab according to a second modification of the electromagnetic wave receiving section 31a, showing a plan view of the circular outer surface 2b.

電磁波受信部３１ａｂは、電磁波受信部３１ａと、下記の点が異なる。すなわち、電磁波受信部３１ａｂは、電磁波受信部３１ａに対して、小領域３２１２、小領域３２２２、および小領域３２３２が、中心３を中心とする円周Ｃ２に沿って、換言すれば軸４を軸として、回転された配置となっている。さらに、電磁波受信部３１ａｂは、電磁波受信部３１ａに対して、小領域３２１（ｍ－１）、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２３（ｍ－１）が、中心３を中心とする円周Ｃ（ｍ－１）に沿って、換言すれば軸４を軸として、回転された配置となっている。なお、電磁波受信部３１ａｂにおけるこれらの回転の角度は互いに異なっているが、これらの回転の角度は互いに同じであってもよい。 The electromagnetic wave receiving section 31ab differs from the electromagnetic wave receiving section 31a in the following points. That is, the electromagnetic wave receiving unit 31ab is arranged such that the small regions 3212, 3222, and 3232 are arranged along the circumference C2 around the center 3, in other words, the axis 4 as the axis. As a result, the arrangement is rotated. Further, the electromagnetic wave receiving unit 31ab has a small region 321(m−1), a small region 322(m−1), and a small region 323(m−1) with respect to the electromagnetic wave receiving unit 31a. It is rotated along the circumference C(m−1), in other words, about the axis 4 as the axis. These rotation angles in the electromagnetic wave receiving section 31ab are different from each other, but these rotation angles may be the same as each other.

電磁波受信部３１ａａおよび電磁波受信部３１ａｂはいずれも、電磁波受信部３１ａに対して、中心３からの離間距離が互いに同じである３個の小領域の組のうち少なくとも１組が、軸４を軸として回転された配置であると言える。電磁波受信部３１ａにおいて、ここで言う「３個の小領域の組」とは、小領域３２１１、小領域３２２１、および小領域３２３１の組、小領域３２１２、小領域３２２２、および小領域３２３２の組、・・・、小領域３２１（ｍ－１）、小領域３２２（ｍ－１）、および小領域３２３（ｍ－１）の組、ならびに、小領域３２１ｍ、小領域３２２ｍ、および小領域３２３ｍの組の計ｍ個の組である。 In each of the electromagnetic wave receiving portion 31aa and the electromagnetic wave receiving portion 31ab, at least one of the sets of three small regions having the same separation distance from the center 3 is aligned with the axis 4 with respect to the electromagnetic wave receiving portion 31a. It can be said that the arrangement is rotated as In the electromagnetic wave receiving section 31a, the “group of three small regions” referred to here is the group of the small regions 3211, 3221 and 3231 and the group of the small regions 3212, 3222 and 3232. , . There are a total of m sets of sets.

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be modified in various ways within the scope of the claims, and can be obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. is also included in the technical scope of the present invention.

１ 対象物
２ａ、２ｂ 円形外形面
３ 中心
４ 軸
１０ 検査装置
２０ 電磁波発生源
２１ 電磁波
３０ センサ
３１、３１ａ、３１ａａ、３１ａｂ、３１ｂ 電磁波受信部
３２１～３２３ 電磁波受信領域
３２１１～３２３ｍ 小領域
３３１～３３３ 直径 1 Object 2a, 2b Circular outer surface 3 Center 4 Axis 10 Inspection device 20 Electromagnetic wave source 21 Electromagnetic wave 30 Sensors 31, 31a, 31aa, 31ab, 31b Electromagnetic wave receiving units 321 to 323 Electromagnetic wave receiving areas 3211 to 323m Small areas 331 to 333 diameter

Claims (6)

外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査装置であって、
上記対象物に対して上記円形外形面を通過する電磁波を照射する少なくとも１個の電磁波発生源と、
上記対象物を透過した上記電磁波を受け、少なくとも第１電磁波受信領域と第２電磁波受信領域とを含む電磁波受信領域とを備えており、
上記第１電磁波受信領域および上記第２電磁波受信領域のそれぞれは、上記円形外形面の平面視において、上記円形外形面の中心側に照射された上記電磁波が到達する位置から上記外形に照射された上記電磁波が到達する位置まで並べられた複数の第１小領域および複数の第２小領域を含み、
上記第１小領域の一部は、上記円形外形面の平面視において、上記円形の径方向のうち第１方向に沿って配置され、上記第１小領域の他の一部のうち少なくとも一つが、上記第１方向から上記線を軸に上記円形の周方向に角度θだけシフトした位置にある第１シフト領域であり、
上記第２小領域の一部は、上記円形外形面の平面視において、上記円形の径方向のうち上記第１方向と異なる第２方向に沿って配置され、上記第２小領域の他の一部のうち少なくとも一つが、上記第２方向から上記線を軸に上記円形の上記周方向に上記角度θだけシフトした位置にある第２シフト領域であり、
上記第１シフト領域と上記第２シフト領域とは、上記中心からの離間距離が互いに同じである検査装置。 An inspection apparatus that inspects an object having a circular outer surface whose outer shape is a circular surface while rotating it around a line that passes through the center of the circle and extends in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface. ,
at least one electromagnetic wave generation source for irradiating the object with electromagnetic waves passing through the circular outer surface;
an electromagnetic wave receiving area that receives the electromagnetic wave transmitted through the object and includes at least a first electromagnetic wave receiving area and a second electromagnetic wave receiving area ;
Each of the first electromagnetic wave receiving area and the second electromagnetic wave receiving area is irradiated to the outer shape from a position where the electromagnetic wave irradiated to the center side of the circular outer surface reaches in a plan view of the circular outer surface. Including a plurality of first small regions and a plurality of second small regions arranged up to a position where the electromagnetic wave reaches,
A portion of the first small region is arranged along a first radial direction of the circular shape in plan view of the circular outer surface, and at least one of the other portions of the first small region is , a first shift region located at a position shifted by an angle θ from the first direction in the circumferential direction of the circle about the line;
A part of the second small region is arranged along a second direction different from the first direction among the radial directions of the circular shape in a plan view of the circular outer surface, and the other one of the second small regions at least one of the portions is a second shift region located at a position shifted by the angle θ from the second direction in the circumferential direction of the circle about the line;
The inspection apparatus, wherein the first shift area and the second shift area have the same separation distance from the center . 上記第１小領域または上記第２小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠いほど、上記円形の円周に沿った方向のサイズが大きい請求項１に記載の検査装置。 2. The first small region or the second small region according to claim 1, wherein the size of the first small region or the second small region in the direction along the circumference of the circle increases with increasing distance from the center of the circle in plan view of the circular outer surface. inspection equipment. 上記第１小領域または上記第２小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠いほど、移動の速い被写体の撮影に適している請求項１または２に記載の検査装置。 3. The inspection according to claim 1 or 2, wherein the first small area or the second small area is more suitable for photographing a fast-moving subject as it is farther from the center of the circle in plan view of the circular outer surface. Device. 上記検査装置は、上記第１小領域のそれぞれおよび上記第２小領域のそれぞれに対応する複数の電磁波発生源を備えており、
複数の上記電磁波発生源は、それぞれ、上記第１小領域のそれぞれおよび上記第２小領域のそれぞれに対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。 The inspection device includes a plurality of electromagnetic wave generation sources corresponding to each of the first small regions and each of the second small regions ,
4. The plurality of electromagnetic wave generating sources are arranged in a direction substantially perpendicular to the circular outer surface with respect to each of the first small regions and each of the second small regions, respectively . The inspection device according to any one of the above. 上記検査装置は、１個の電磁波発生源を備えており、
上記１個の電磁波発生源は、上記円形の中心に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。 The inspection device has one electromagnetic wave source,
4. The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein said one electromagnetic wave generating source is arranged in a direction substantially perpendicular to said circular outer surface with respect to said circular center. 上記第１電磁波受信領域および上記第２電磁波受信領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分から上記電磁波を受け、
上記検査装置は、上記第１電磁波受信領域および上記第２電磁波受信領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出する請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置。 each of the first electromagnetic wave receiving area and the second electromagnetic wave receiving area receives the electromagnetic wave from the same portion of the circular outer surface at different timings;
The inspection device analyzes an analysis image obtained by integrating images of the same portion obtained by each of the first electromagnetic wave receiving area and the second electromagnetic wave receiving area receiving the electromagnetic wave. 6. The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein a foreign substance adhering to the same portion is detected.
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