JP7121970B2

JP7121970B2 - flaw detector

Info

Publication number: JP7121970B2
Application number: JP2018041577A
Authority: JP
Inventors: 豊西谷; 涼福井; 嘉郎羽深
Original assignee: 株式会社Kjtd
Priority date: 2018-03-08
Filing date: 2018-03-08
Publication date: 2022-08-19
Anticipated expiration: 2038-03-08
Also published as: JP2019158383A

Description

本発明は、被検体の内周面の温度分布を表す画像を撮像することによって被検体を探傷する探傷装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a flaw detection apparatus that detects flaws in a subject by capturing an image representing the temperature distribution of the inner peripheral surface of the subject.

被検体の内部に存在する欠陥を非破壊的に探知する方法として、サーモグラフィー法がある（例えば、特許文献１，２参照）。サーモグラフィー法は、被検体の表面の温度分布を表す画像を解析することによって欠陥を探知する方法である。サーモグラフィー法では、被検体を加熱し、被検体の表面から発した赤外線を赤外線カメラによって取り込むことによって温度分布画像を取得する。被検体の加熱には、光加熱器によって発せられる光が利用される。 There is a thermography method as a method for non-destructively detecting defects existing inside a subject (see, for example, Patent Documents 1 and 2). The thermography method is a method of detecting defects by analyzing an image representing the temperature distribution on the surface of the object. In the thermography method, a temperature distribution image is obtained by heating a subject and capturing infrared rays emitted from the surface of the subject with an infrared camera. Light emitted by an optical heater is used to heat the subject.

特開２０１６－９９２９６号公報JP 2016-99296 A 特開２０１６－１５６７３３号公報JP 2016-156733 A

ところで、被検体がシリンダブロック、パイプ、ケース等のように内部空間を有する場合、その内部空間を囲う内周面下の欠陥をサーモグラフィー法によって探知することが望まれる。
ところが、内部空間が狭小の場合、赤外線カメラや光加熱器を内部空間に配置することができない。内部空間に赤外線カメラ及び光加熱器を配置することができるとしても、赤外線カメラ及び光加熱器の設置レイアウトの自由度がなく、内周面の一部しか探傷することができない。そのため、探傷時間及び探傷回数の削減を図るべく、内周面の広範囲を探傷できるようにすることが望まれる。 By the way, when an object to be inspected has an internal space such as a cylinder block, a pipe, a case, etc., it is desirable to detect defects under the inner peripheral surface surrounding the internal space by the thermography method.
However, when the internal space is narrow, the infrared camera and the optical heater cannot be arranged in the internal space. Even if the infrared camera and the optical heater can be arranged in the internal space, there is no flexibility in the installation layout of the infrared camera and the optical heater, and only a part of the inner peripheral surface can be inspected. Therefore, in order to reduce the inspection time and the number of inspections, it is desirable to be able to inspect a wide range of the inner peripheral surface.

そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものである。本発明が解決しようとする課題は、被検体の内周面を周方向に広く探傷できるようにすることである。 Then, this invention is made|formed in view of the said situation. The problem to be solved by the present invention is to enable the inspection of the inner peripheral surface of the object to be inspected widely in the circumferential direction.

以上の課題を解決するために、探傷装置が、円錐面型又は裁頭円錐面型のリフレクタと、前記リフレクタを撮像する赤外線カメラと、内部空間及びその内部空間を囲う内周面を有する被検体を加熱する加熱器と、を備え、前記リフレクタが前記内部空間に配置され、前記赤外線カメラが前記リフレクタに映った前記内周面を撮像し、前記加熱器が、加熱光を前記リフレクタに向けて照射する光加熱器であり、前記リフレクタが、前記光加熱器によって照射される前記加熱光を前記内周面に向けて反射させることによって、前記被検体が加熱される。 In order to solve the above problems, the flaw detection apparatus includes a conical or truncated conical reflector, an infrared camera for imaging the reflector, an inner space, and an inner peripheral surface surrounding the inner space. the reflector is arranged in the internal space, the infrared camera captures an image of the inner peripheral surface reflected by the reflector , and the heater directs heating light toward the reflector It is an irradiating optical heater, and the reflector reflects the heating light emitted from the optical heater toward the inner circumferential surface, thereby heating the subject.

円錐面型又は裁頭円錐面型のリフレクタが被検体の内部空間に配置されているため、赤外線カメラが被検体の内周面を周方向に広く撮像する。よって、被検体の内周面を周方向に広く探傷することができ、探傷時間及び探傷回数の削減を図れる。 Since the conical or truncated conical reflector is arranged in the internal space of the subject, the infrared camera captures an image of the inner peripheral surface of the subject widely in the circumferential direction. Therefore, the inner peripheral surface of the object can be widely inspected in the circumferential direction, and the inspection time and the number of inspections can be reduced.

本発明の実施の形態によれば、被検体の内周面を周方向に広く探傷することができる。 According to the embodiment of the present invention, the inner peripheral surface of the object can be widely inspected in the circumferential direction.

第１実施形態の探傷装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of a flaw detector of a first embodiment; FIG. 光加熱器を具体的に示した断面図である。It is a cross-sectional view specifically showing an optical heater. 光加熱器を具体的に示した断面図である。It is a cross-sectional view specifically showing an optical heater. 光加熱器を具体的に示した断面図である。It is a cross-sectional view specifically showing an optical heater. 光加熱器を具体的に示した断面図である。It is a cross-sectional view specifically showing an optical heater. 第２実施形態の探傷装置の断面図である。It is a cross-sectional view of a flaw detector of a second embodiment. 第３実施形態の探傷装置の断面図である。It is a cross-sectional view of a flaw detector of a third embodiment. 第４実施形態の探傷装置の断面図である。It is a cross-sectional view of a flaw detector of a fourth embodiment. 第５実施形態の探傷装置の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a flaw detector of a fifth embodiment;

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されている。しかしながら、本発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, various limitations that are technically preferable for carrying out the present invention are attached to the embodiments described below. However, the scope of the invention is not limited to the following embodiments and illustrated examples.

〔第１の実施の形態〕
（１）探傷装置
図１は、第１の実施の形態の探傷装置１０の概略断面図である。
この探傷装置１０は、被検体２を探傷するための装置である。
被検体２は例えばチューブ型、管型、凹型又は箱型の部材である。例えばシリンダブロック、パイプ（例えば、断面矩形状のパイプ）、ケースを被検体２として用いることができる。 [First Embodiment]
(1) Flaw Detector FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a flaw detector 10 according to the first embodiment.
This flaw detection apparatus 10 is an apparatus for detecting flaws on the subject 2 .
The subject 2 is, for example, a tubular, tube-shaped, concave or box-shaped member. For example, a cylinder block, a pipe (for example, a pipe with a rectangular cross section), or a case can be used as the subject 2 .

被検体２の内部に空間２ａが形成されており、その内部空間２ａが被検体２の内周面２ｂによって囲われている。内周面２ｂの形状は特に限定するものではないが、例えば円柱面、裁頭円錐面、角柱面又は裁頭角錐面である。開口２ｃの形状は例えば円形又は多角形であり、内周面２ｂの中心軸と開口２ｃの中心が同心に配置されている。内部空間２ａの端部において開口２ｃが被検体２に形成されており、内部空間２ａが開口２ｃにより被検体２の外側に通じている。図１に示す例では、開口２ｃの反対側の端部においても内部空間２ａが開口２ｄにより被検体２の外部に通じているが、その開口２ｄが形成されずに閉塞していてもよい。 A space 2 a is formed inside the subject 2 , and the inner space 2 a is surrounded by an inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . Although the shape of the inner peripheral surface 2b is not particularly limited, it may be, for example, a cylindrical surface, a truncated conical surface, a prismatic surface, or a truncated pyramidal surface. The shape of the opening 2c is, for example, circular or polygonal, and the central axis of the inner peripheral surface 2b and the center of the opening 2c are arranged concentrically. An opening 2c is formed in the subject 2 at the end of the internal space 2a, and the internal space 2a communicates with the outside of the subject 2 through the opening 2c. In the example shown in FIG. 1, the internal space 2a communicates with the outside of the subject 2 through the opening 2d at the end opposite to the opening 2c, but the opening 2d may be closed without being formed.

探傷装置１０はリフレクタ１１、赤外線カメラ１３、複数の光加熱器１４、送り装置１５及びコンピュータ１９を備える。以下、リフレクタ１１、赤外線カメラ１３、光加熱器１４、送り装置１５及びコンピュータ１９について詳細に説明する。 The flaw detector 10 comprises a reflector 11 , an infrared camera 13 , a plurality of optical heaters 14 , a feeding device 15 and a computer 19 . The reflector 11, the infrared camera 13, the optical heater 14, the feeding device 15 and the computer 19 will be described in detail below.

（２）送り装置について
被検体２が送り装置１５に設置される。この送り装置１５は、被検体２をリフレクタ１１の中心軸１１ｂの方向に送る。 (2) Feeding Device The subject 2 is placed on the feeding device 15 . This feeding device 15 feeds the subject 2 in the direction of the central axis 11b of the reflector 11 .

送り装置１５は、リフレクタ１１の中心軸１１ｂの方向の送りに加えて、被検体２を中心軸１１ｂ回りに回転させるものとしてもよい。被検体２は、中心軸１１ｂの方向の送りと、中心軸１１ｂ回りの回転との組合せにより、螺旋運動をする。 The feeding device 15 may rotate the subject 2 around the central axis 11b in addition to feeding the reflector 11 in the direction of the central axis 11b. The object 2 makes spiral motion by a combination of feeding in the direction of the central axis 11b and rotation around the central axis 11b.

なお、送り装置１５が被検体２を移動させるのではなく、リフレクタ１１、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４を移動させるものとしてもよい。送り装置１５によってリフレクタ１１、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４が移動する場合、リフレクタ１１、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４の相対的な位置関係が変化しないものとしてもよい。 Instead of moving the object 2 by the feeding device 15, the reflector 11, the infrared camera 13 and the optical heater 14 may be moved. When the reflector 11, the infrared camera 13, and the optical heater 14 are moved by the feeding device 15, the relative positional relationship of the reflector 11, the infrared camera 13, and the optical heater 14 may not change.

（３）リフレクタについて
リフレクタ１１は、中心軸１１ｂを中心とした円錐面型形成されている。リフレクタ１１の外周面には、反射面１１ａが形成されている。リフレクタ１１の形状たる円錐面の頂角の内角は９０°であるが、それに限らない。なお、リフレクタ１１は、中心軸１１ｂを中心とした裁頭円錐面型に形成されていてもよい。
リフレクタ１１の材料は特に限定するものではないが、リフレクタ１１は例えばアルミニウム材料からなる。 (3) Reflector The reflector 11 has a conical shape centered on the central axis 11b. A reflecting surface 11 a is formed on the outer peripheral surface of the reflector 11 . The inner angle of the apex angle of the conical surface, which is the shape of the reflector 11, is 90°, but it is not limited to this. In addition, the reflector 11 may be formed in a truncated cone shape centering on the central axis 11b.
Although the material of the reflector 11 is not particularly limited, the reflector 11 is made of an aluminum material, for example.

リフレクタ１１が被検体２の内部空間２ａに収容されており、リフレクタ１１の頂角が開口２ｃに向けられている。リフレクタ１１及びその反射面１１ａの周りは、被検体２の内周面２ｂによって囲われている。リフレクタ１１の中心軸１１ｂと被検体２の内周面２ｂの中心軸は、同軸状に配置されていていてもよい。 A reflector 11 is accommodated in the internal space 2a of the subject 2, and the apex angle of the reflector 11 is directed toward the opening 2c. The reflector 11 and its reflecting surface 11a are surrounded by the inner peripheral surface 2b of the subject 2. As shown in FIG. The central axis 11b of the reflector 11 and the central axis of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 may be arranged coaxially.

（４）赤外線カメラ及びコンピュータについて
赤外線カメラ１３は、温度分布を表したデジタルなサーモグラフィー画像を撮像するサーモグラフィーカメラである。 (4) Infrared camera and computer The infrared camera 13 is a thermography camera that captures a digital thermography image representing temperature distribution.

赤外線カメラ１３の感知波長帯域は赤外線帯域である。例えば、赤外線カメラ１３の赤外線撮像素子の光電変換素子（画素）には、主領域が８～１４μｍの波長帯域のマイクロボロメータ又は２～５μｍの中赤外帯域を感知するInSbなどが使用される。赤外線カメラ１３によって撮像されるサーモグラフィー画像の各画素の階調値は、温度に応じた値を表す。赤外線カメラ１３は、撮像したサーモグラフィー画像をコンピュータ１９に出力する。赤外線カメラ１３が短い周期で周期的に撮像するので、サーモグラフィー画像が順次コンピュータ１９に出力される。コンピュータ１９は、赤外線カメラ１３から入力したサーモグラフィー画像の解析処理を実行する。例えば、コンピュータ１９は、赤外線カメラ１３から入力したサーモグラフィー画像の各画素の階調値の時間変化をフーリエ変換する関数解析処理を実行する。なお、赤外線カメラ１３によって撮像されたサーモグラフィー画像が映像信号としてディスプレイに転送され、その映像がディスプレイに表示されてもよい。 The sensing wavelength band of the infrared camera 13 is the infrared band. For example, for the photoelectric conversion elements (pixels) of the infrared imaging device of the infrared camera 13, a microbolometer whose main region has a wavelength band of 8 to 14 μm or InSb that senses a mid-infrared band of 2 to 5 μm is used. The gradation value of each pixel of the thermography image captured by the infrared camera 13 represents a value corresponding to temperature. The infrared camera 13 outputs the captured thermography image to the computer 19 . Since the infrared camera 13 periodically takes images at short intervals, the thermographic images are sequentially output to the computer 19 . The computer 19 executes analysis processing of the thermography image input from the infrared camera 13 . For example, the computer 19 executes a function analysis process of Fourier transforming temporal changes in the gradation value of each pixel of the thermography image input from the infrared camera 13 . A thermography image captured by the infrared camera 13 may be transferred as a video signal to a display, and the video may be displayed on the display.

赤外線カメラ１３は、リフレクタ１１の頂角の先に配置されている。赤外線カメラ１３は、被検体２の内部空間２ａの外側において被検体２の開口２ｃに向けられている。更に、赤外線カメラ１３は、リフレクタ１１の反射面１１ａに向けられている。従って、赤外線カメラ１３は、反射面１１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像を撮像して、内周面２ｂの温度分布を表したサーモグラフィー画像を取得する。なお、赤外線カメラ１３の前に光学フィルターが設けられ、不要な帯域が光学フィルターによって除去された赤外線が赤外線カメラ１３に入射してもよい。 The infrared camera 13 is arranged beyond the apex angle of the reflector 11 . The infrared camera 13 is directed to the opening 2c of the subject 2 outside the internal space 2a of the subject 2. As shown in FIG. Furthermore, the infrared camera 13 is directed toward the reflecting surface 11 a of the reflector 11 . Accordingly, the infrared camera 13 captures an infrared image of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 11a to obtain a thermographic image representing the temperature distribution of the inner peripheral surface 2b. An optical filter may be provided in front of the infrared camera 13 , and the infrared rays from which unnecessary bands are removed by the optical filter may enter the infrared camera 13 .

赤外線カメラ１３の光軸１３ａとリフレクタ１１の中心軸１１ｂは同軸状に配置されている。なお、赤外線カメラ１３の光軸１３ａがリフレクタ１１の中心軸１１ｂからずれていてもよい。また、赤外線カメラ１３の光軸１３ａがリフレクタ１１の中心軸１１ｂに対して傾斜してもよい。 The optical axis 13a of the infrared camera 13 and the central axis 11b of the reflector 11 are arranged coaxially. Incidentally, the optical axis 13a of the infrared camera 13 may be shifted from the central axis 11b of the reflector 11. FIG. Also, the optical axis 13 a of the infrared camera 13 may be inclined with respect to the central axis 11 b of the reflector 11 .

反射面１１ａ全体が赤外線カメラ１３の撮像範囲に含まれているものとしてもよい。なお、赤外線カメラ１３の数を複数とし、これら赤外線カメラ１３がリフレクタ１１の中心軸１１ｂに関する周方向に配列されていてもよい。 The imaging range of the infrared camera 13 may include the entire reflecting surface 11a. A plurality of infrared cameras 13 may be provided, and these infrared cameras 13 may be arranged in the circumferential direction about the central axis 11 b of the reflector 11 .

（５）光加熱器について
光加熱器１４は、リフレクタ１１の頂角の先に配置されている。光加熱器１４は、被検体２の内部空間２ａの外側において被検体２の開口２ｃに向けられている。光加熱器１４は、赤外線カメラ１３の視野の外側においてリフレクタ１１の中心軸１１ｂに関する周方向に配列されている。これら光加熱器１４は等間隔で配列されているものとしてもよい。
なお、赤外線カメラ１３の数が１である場合、光加熱器１４が赤外線カメラ１３を囲うように配列されているものとしてもよい。また、赤外線カメラ１３の数が２以上であり、光加熱器１４の数が２以上である場合、赤外線カメラ１３と光加熱器１４が交互にリフレクタ１１の中心軸１１ｂの回りに配列されるものとしてもよい。 (5) Optical Heater The optical heater 14 is arranged beyond the apex of the reflector 11 . The optical heater 14 is directed toward the opening 2c of the subject 2 outside the internal space 2a of the subject 2. As shown in FIG. The optical heaters 14 are arranged in the circumferential direction about the central axis 11 b of the reflector 11 outside the field of view of the infrared camera 13 . These optical heaters 14 may be arranged at regular intervals.
When the number of infrared cameras 13 is one, the optical heaters 14 may be arranged so as to surround the infrared cameras 13 . When the number of infrared cameras 13 is two or more and the number of optical heaters 14 is two or more, the infrared cameras 13 and the optical heaters 14 are alternately arranged around the central axis 11b of the reflector 11. may be

光加熱器１４は、リフレクタ１１の反射面１１ａに向けられている。光加熱器１４は、加熱光を反射面１１ａに向けて照射する。加熱光の波長帯域は特に限定するものではないが、例えば可視光帯域、紫外線帯域、近赤外線帯域又は赤外線帯域である。加熱光の波長帯域は、紫外線帯域、可視光帯域、近赤外線帯域、中赤外線帯域のうち２以上の帯域を含んでいてもよい。加熱光の波長帯域が赤外線カメラ１３の感知波長帯域よりも短く、又は長くてもよいが、加熱光の波長帯域と赤外線カメラ１３の感知波長帯域が部分的に重複してもよい。なお、光加熱器１４から出射される加熱光が光学フィルターを通過することによって、不要な帯域が除去されてもよい。 The light heater 14 is directed toward the reflecting surface 11 a of the reflector 11 . The light heater 14 irradiates heating light toward the reflecting surface 11a. Although the wavelength band of the heating light is not particularly limited, it may be, for example, a visible light band, an ultraviolet band, a near-infrared band, or an infrared band. The wavelength band of the heating light may include two or more bands out of an ultraviolet band, a visible light band, a near-infrared band, and a mid-infrared band. The wavelength band of the heating light may be shorter or longer than the sensing wavelength band of the infrared camera 13, but the wavelength band of the heating light and the sensing wavelength band of the infrared camera 13 may partially overlap. An unnecessary band may be removed by passing the heating light emitted from the light heater 14 through an optical filter.

光加熱器１４によって照射される加熱光は、反射面１１ａにより被検体２の内周面２ｂに向けて反射して、被検体２の内周面２ｂに入射する。また、光加熱器１４によって照射される加熱光の一部が被検体２の内周面２ｂに直接入射する。これら反射光や直接光によって被検体２が加熱される。 The heating light irradiated by the light heater 14 is reflected toward the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 by the reflecting surface 11 a and enters the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . Also, part of the heating light emitted by the optical heater 14 is directly incident on the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . The subject 2 is heated by these reflected light and direct light.

なお、光加熱器１４の数が１であってもよい。光加熱器１４の数が１であり、赤外線カメラ１３の数が複数である場合、赤外線カメラ１３が光加熱器１４を囲うように配列されているものとしてもよい。その場合、光加熱器１４がリフレクタ１１の中心軸１１ｂ上に配置されているものとしてもよい。
以下、光加熱器１４の幾つかの例について説明する。 Note that the number of optical heaters 14 may be one. When the number of optical heaters 14 is one and the number of infrared cameras 13 is plural, the infrared cameras 13 may be arranged so as to surround the optical heaters 14 . In that case, the optical heater 14 may be arranged on the central axis 11 b of the reflector 11 .
Several examples of the optical heater 14 are described below.

（５ａ）投光式（集光式）
図２に示すように、各光加熱器１４は光源１４ａ及び反射器１４ｂを備える。
反射器１４ｂは、例えば、中心軸１４ｃ回りの回転放物面型又はそれに近似した形状のリフレクタである。光源１４ａが反射器１４ｂの焦点に配置されている。反射器１４ｂがリフレクタ１１の反射面１１ａに向けられており、反射器１４ｂの中心軸１４ｃが反射面１１ａに交差する。光源１４ａが反射器１４ｂの焦点に配置されているので、光源１４ａから発した加熱光が反射器１４ｂにより集光するように反射面１１ａに向けて反射する。そのため、反射器１４ｂによって反射された加熱光の広がりが小さい。反射器１４ｂの中心軸１４ｃは光加熱器１４の光軸でもある。反射器１４ｂの中心軸１４ｃは、赤外線カメラ１３の光軸１３ａ及びリフレクタ１１の中心軸１１ｂに対して傾斜している。但し、反射器１４ｂの中心軸１４ｃは、赤外線カメラ１３の光軸１３ａ及びリフレクタ１１の中心軸１１ｂに対して平行であってもよい。 (5a) Projection type (condensing type)
As shown in Figure 2, each light heater 14 comprises a light source 14a and a reflector 14b.
The reflector 14b is, for example, a paraboloid of revolution around the central axis 14c or a similar shape. A light source 14a is positioned at the focal point of reflector 14b. The reflector 14b is directed toward the reflecting surface 11a of the reflector 11, and the central axis 14c of the reflector 14b intersects the reflecting surface 11a. Since the light source 14a is arranged at the focal point of the reflector 14b, the heating light emitted from the light source 14a is reflected toward the reflecting surface 11a so as to be collected by the reflector 14b. Therefore, the spread of the heating light reflected by the reflector 14b is small. The central axis 14 c of the reflector 14 b is also the optical axis of the optical heater 14 . A central axis 14 c of the reflector 14 b is inclined with respect to the optical axis 13 a of the infrared camera 13 and the central axis 11 b of the reflector 11 . However, the central axis 14 c of the reflector 14 b may be parallel to the optical axis 13 a of the infrared camera 13 and the central axis 11 b of the reflector 11 .

光源１４ａは例えばフィラメント式のランプ、放電管式のランプ、半導体発光素子又はレーザーである。より具体的には、光源１４ａは、フィラメント式のランプとしてのハロゲンランプ、放電管式ランプとしてのキセノンランプ、半導体発光素子としての発光ダイオード又は半導体レーザーである。光源１４ａから発する加熱光の波長帯域は前述した通りである。
光源１４ａは点光源である必要は無く、線光源又は面光源であってもよい。
光源１４ａから発した加熱光は、反射器１４ｂ及びリフレクタ１１により反射することによって、被検体２の内周面２ｂに入射する。 The light source 14a is, for example, a filament lamp, a discharge tube lamp, a semiconductor light emitting device, or a laser. More specifically, the light source 14a is a halogen lamp as a filament type lamp, a xenon lamp as a discharge tube type lamp, a light emitting diode or a semiconductor laser as a semiconductor light emitting element. The wavelength band of the heating light emitted from the light source 14a is as described above.
The light source 14a need not be a point light source, and may be a line light source or a surface light source.
The heating light emitted from the light source 14a is incident on the inner peripheral surface 2b of the subject 2 by being reflected by the reflector 14b and the reflector 11 .

（５ｂ）ストレート状
図３に示すように、各光加熱器１４はストレート状の光源１４ｅ及び反射器１４ｆを備える。
反射器１４ｆは、放物柱面型、半円柱面型等の柱面型のリフレクタである。ここで、光源１４ｅの長手方向に直交する断面における反射器１４ｆの断面形状が放物線、半円、Ｕ字形、コ字形等の曲線であり、その曲線を光源１４ｅの長手方向に平行移動することによって得られる柱面形状が反射器１４ｆの形状である。光源１４ｅは、反射器１４ｆの内側に配置されている。 (5b) Straight As shown in FIG. 3, each light heater 14 has a straight light source 14e and a reflector 14f.
The reflector 14f is a cylindrical reflector such as a parabolic cylindrical type or a semi-cylindrical type. Here, the cross-sectional shape of the reflector 14f in the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the light source 14e is a curve such as a parabola, a semicircle, a U-shape, or a U-shape. The resulting cylindrical shape is the shape of the reflector 14f. The light source 14e is arranged inside the reflector 14f.

反射器１４ｆがリフレクタ１１の反射面１１ａに向けられている。光源１４ｅから発した加熱光は、反射器１４ｆにより集光するように反射面１１ａに向けて反射する。 A reflector 14 f is directed toward the reflecting surface 11 a of the reflector 11 . The heating light emitted from the light source 14e is reflected toward the reflecting surface 11a so as to be collected by the reflector 14f.

（５ｃ）リング状
図４に示すように、光加熱器１４が光源１４ｊ及び反射器１４ｋを有する。
光源１４ｊは、リフレクタ１１の中心軸１１ｂ及び赤外線カメラ１３を囲うようにリング型に設けられている。光源１４ｊは例えば円環ランプ、レーザー、発光ダイオードアレイである。 (5c) Ring Shape As shown in FIG. 4, the optical heater 14 has a light source 14j and a reflector 14k.
The light source 14 j is provided in a ring shape so as to surround the central axis 11 b of the reflector 11 and the infrared camera 13 . The light source 14j is, for example, an annular lamp, a laser, or a light emitting diode array.

反射器１４ｋは、リフレクタ１１の中心軸１１ｂ及び赤外線カメラ１３を囲うようにリング型に設けられている。リフレクタ１１の中心軸１１ｂを通る切断面における反射器１４ｋの断面形状は放物線、半円、Ｕ字形、コ字形等の曲線である。その曲線をリフレクタ１１の中心軸１１ｂを中心に回転することによって得られる形状が反射器１４ｋの形状である。 The reflector 14 k is provided in a ring shape so as to surround the central axis 11 b of the reflector 11 and the infrared camera 13 . The cross-sectional shape of the reflector 14k on the cross section passing through the central axis 11b of the reflector 11 is a curved line such as a parabola, a semicircle, a U-shape, and a U-shape. The shape obtained by rotating the curve about the central axis 11b of the reflector 11 is the shape of the reflector 14k.

反射器１４ｋがリフレクタ１１の反射面１１ａに向けられており、光源１４ｊが反射器１４ｋの内側に配置されている。光源１４ｊから発した加熱光が反射器１４ｋにより反射面１１ａに向けて反射する。 A reflector 14k is directed toward the reflecting surface 11a of the reflector 11, and a light source 14j is arranged inside the reflector 14k. Heating light emitted from the light source 14j is reflected by the reflector 14k toward the reflecting surface 11a.

（５ｄ）レーザー照射式
図５に示すように、各光加熱器１４が、レーザー１４ｍ及びシリンドリカルレンズ１４ｎを備えるレーザー照射器である。
レーザー１４ｍは、反射面１１ａに向けて加熱光ビームを発する。レーザー１４ｍは、例えば半導体レーザー、ガスレーザー、固体レーザー又は液体レーザーである。
シリンドリカルレンズ１４ｎは、レーザー１４ｍと反射面１１ａとの間に配置されている。このシリンドリカルレンズ１４ｎはレーザー１４ｍから発した加熱光ビームを異方的に広げる。つまり、シリンドリカルレンズ１４ｎは加熱光ビームを拡幅する。加熱光ビームの拡幅方向はリフレクタ１１の中心軸１１ｂに関する直径方向、つまり矢印ａの方向である。拡幅された加熱光ビームが反射面１１ａに入射することで形成される明部は、リフレクタ１１の頂角から底面の外周に向かって直線状に延びている。 (5d) Laser irradiation type As shown in FIG. 5, each light heater 14 is a laser irradiation device having a laser 14m and a cylindrical lens 14n.
A laser 14m emits a heating light beam toward the reflecting surface 11a. Laser 14m is, for example, a semiconductor laser, a gas laser, a solid laser or a liquid laser.
A cylindrical lens 14n is arranged between the laser 14m and the reflecting surface 11a. This cylindrical lens 14n anisotropically expands the heating light beam emitted from the laser 14m. That is, the cylindrical lens 14n widens the heating light beam. The expanding direction of the heating light beam is the diameter direction with respect to the center axis 11b of the reflector 11, that is, the direction of the arrow a. A bright portion formed by the widened heating light beam being incident on the reflecting surface 11a extends linearly from the apex of the reflector 11 toward the outer circumference of the bottom surface.

なお、シリンドリカルレンズ１４ｎの代わりに、レーザー１４ｍから発した加熱光ビームの径をほぼ等方的に広げるビームエキスパンダーがレーザー１４ｍと反射面１１ａとの間に配置されていてもよい。
また、光加熱器１４が走査型のレーザー照射器であってもよい。この場合、シリンドリカルレンズ１４ｎの代わりに、ガルバノミラー型又はポリゴンミラー型の偏向機構が設けられている。この偏向機構がレーザー１４ｍから発した加熱光ビームを偏向することによって、被検体２の内周面２ｂが、リフレクタ１１の反射面１１ａにより反射した加熱光ビームによって一次元的又は二次元的に走査される。 Instead of the cylindrical lens 14n, a beam expander that broadens the diameter of the heating light beam emitted from the laser 14m substantially isotropically may be arranged between the laser 14m and the reflecting surface 11a.
Also, the optical heater 14 may be a scanning laser irradiation device. In this case, instead of the cylindrical lens 14n, a galvanomirror type or polygon mirror type deflection mechanism is provided. By deflecting the heating light beam emitted from the laser 14m by this deflection mechanism, the inner peripheral surface 2b of the subject 2 is scanned one-dimensionally or two-dimensionally by the heating light beam reflected by the reflecting surface 11a of the reflector 11. be done.

（６）探傷装置の動作及び使用方法
まず、送り装置１５を停止させた状態で、光加熱器１４を発光させる。光加熱器１４によって照射される加熱光は、反射面１１ａにより被検体２の内周面２ｂに向けて反射して、被検体２の内周面２ｂに入射する。これにより、被検体２が加熱される。リフレクタ１１が円錐面型であるため、被検体２の内周面２ｂは周方向に広く加熱される。 (6) Operation and Usage of Flaw Detector First, the optical heater 14 is caused to emit light while the feeding device 15 is stopped. The heating light irradiated by the light heater 14 is reflected toward the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 by the reflecting surface 11 a and enters the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . Thereby, the subject 2 is heated. Since the reflector 11 is of a conical surface type, the inner peripheral surface 2b of the subject 2 is widely heated in the circumferential direction.

次に、光加熱器１４を消灯させる。
次に、赤外線カメラ１３の撮像処理をすると、反射面１１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像が赤外線カメラ１３によって撮像される。ここで、被検体２に剥離、ひび割れ、亀裂、ボイド、バリ等の欠陥が存在すると、その部分の熱伝導が欠陥の無い部分とは異なる。そのため、加熱された被検体２の内周面２ｂの表面温度にムラが発生したり、表面温度の時間変化率が不均一になったりする。そこで、赤外線カメラ１３によって撮像されるサーモグラフィー画像に基づいて欠陥を検出することができる。なお、光加熱器１４の照射期間中に赤外線カメラ１３の撮像処理をしてもよい。 Next, the light heater 14 is turned off.
Next, when the imaging process of the infrared camera 13 is performed, the infrared camera 13 images an infrared image of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 11a. Here, if defects such as delamination, cracks, fissures, voids, burrs, etc. are present in the test object 2, the heat conduction of that portion is different from that of a defect-free portion. As a result, the surface temperature of the inner peripheral surface 2b of the heated subject 2 is uneven, and the time rate of change of the surface temperature becomes uneven. Therefore, defects can be detected based on the thermographic image captured by the infrared camera 13 . Note that the imaging process of the infrared camera 13 may be performed during the irradiation period of the light heater 14 .

次に、赤外線カメラ１３からコンピュータ１９に転送されたサーモグラフィー画像の解析処理をコンピュータ１９に実行させる。この際、送り装置１５を作動させて、送り装置１５によって被検体２をリフレクタ１１の中心軸１１ｂの方向に所定距離だけ送るか、送り装置１５によって被検体２を中心軸１１ｂの回りに所定角度だけ回転させる。なお、送り装置１５によって被検体２の回転と軸方向送りの両方を行ってもよい。 Next, the computer 19 is caused to analyze the thermographic image transferred from the infrared camera 13 to the computer 19 . At this time, the feeding device 15 is operated to feed the subject 2 by a predetermined distance in the direction of the central axis 11b of the reflector 11, or the feeding device 15 moves the subject 2 around the central axis 11b by a predetermined angle. only rotate. Note that the feeding device 15 may perform both rotation and axial feeding of the subject 2 .

以後、上述した工程を繰り返す。
なお、光源１４ａの発光中又は点滅中に、送り装置１５によって被検体２を移動させながら、赤外線カメラ１３の撮像処理をしてもよい。 Thereafter, the steps described above are repeated.
Note that the imaging process of the infrared camera 13 may be performed while the subject 2 is being moved by the feeding device 15 while the light source 14a is emitting light or blinking.

（７）有利な効果
円錐面型のリフレクタ１１が被検体２の内部空間２ａに配置されており、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４がリフレクタ１１の反射面１１ａに向けられている。それゆえ、被検体２の内周面２ｂは周方向に広く赤外線カメラ１３によって撮像されるとともに、周方向に広く加熱光によって加熱される。特に、赤外線カメラ１３の光軸１３ａとリフレクタ１１の中心軸１１ｂが同軸状に配置されているので、内周面２ｂは全周に亘ってリフレクタ１１の反射面１１ａに映って、赤外線カメラ１３によって撮像される。よって、被検体２の内周面を周方向に広く探傷でき、内周面２ｂ全体を探傷するのに要する探傷時間及び探傷回数の削減を図れる。 (7) Advantageous Effects A conical reflector 11 is arranged in the internal space 2a of the subject 2, and the infrared camera 13 and the light heater 14 are directed toward the reflecting surface 11a of the reflector 11. FIG. Therefore, the inner peripheral surface 2b of the subject 2 is widely imaged by the infrared camera 13 in the circumferential direction and is heated by the heating light widely in the circumferential direction. In particular, since the optical axis 13a of the infrared camera 13 and the central axis 11b of the reflector 11 are arranged coaxially, the inner peripheral surface 2b is reflected on the reflecting surface 11a of the reflector 11 over the entire circumference, imaged. Therefore, the inner peripheral surface of the test object 2 can be widely inspected in the circumferential direction, and the inspection time and number of inspections required for inspecting the entire inner peripheral surface 2b can be reduced.

円錐面型のリフレクタ１１が被検体２の内部空間２ａに配置されているため、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４が被検体２の内部空間２ａの外側に配置されていても、内周面２ｂを探傷することができる。これは、内部空間２ａが狭小の場合に、特に有効的である。 Since the conical reflector 11 is arranged in the internal space 2a of the subject 2, even if the infrared camera 13 and the light heater 14 are arranged outside the internal space 2a of the subject 2, the inner peripheral surface 2b can be detected. This is particularly effective when the internal space 2a is narrow.

光加熱器１４の数が複数であり、これら光加熱器１４が周方向に配列されている場合、内周面２ｂは全周に亘って加熱光を受ける。よって、内周面２ｂを周方向に広く探傷できる。 When the number of optical heaters 14 is plural and these optical heaters 14 are arranged in the circumferential direction, the inner peripheral surface 2b receives heating light over the entire circumference. Therefore, the inner peripheral surface 2b can be widely inspected in the circumferential direction.

リフレクタ１１の頂角の内角が９０°であるので、内周面２ｂのうち赤外線カメラ１３に近い部分から反射面１１ａを経由して赤外線カメラ１３までの光線の軌跡の長さは、内周面２ｂのうち赤外線カメラ１３から遠い部分から反射面１１ａを経由して赤外線カメラ１３までの光線の軌跡の長さに殆ど等しい。それゆえ、内周面２ｂのうち赤外線カメラ１３に合焦する範囲は広い。 Since the interior angle of the apex angle of the reflector 11 is 90°, the length of the trajectory of light from the portion of the inner peripheral surface 2b near the infrared camera 13 to the infrared camera 13 via the reflecting surface 11a is It is almost equal to the length of the trajectory of the light ray from the portion of 2b far from the infrared camera 13 to the infrared camera 13 via the reflecting surface 11a. Therefore, the area of the inner peripheral surface 2b that is focused on the infrared camera 13 is wide.

また、内周面２ｂが円柱面型である場合、内周面２ｂが円錐型又は裁頭円錐面型円柱面型のリフレクタ１１に投影され、サーモグラフィー画像では、その内周面２ｂがリフレクタ１１の頂角を中心にした円形状又は円環状に映る。そのため、サーモグラフィー画像中で特定した欠陥の位置から、被検体２に存在する実際の欠陥の位置を特定しやすい。 Further, when the inner peripheral surface 2b is cylindrical, the inner peripheral surface 2b is projected onto the conical or truncated conical cylindrical reflector 11, and in the thermography image, the inner peripheral surface 2b is the reflector 11. It appears in a circular shape or an annular shape centered on the apex angle. Therefore, it is easy to specify the position of the actual defect existing in the subject 2 from the position of the defect specified in the thermography image.

被検体２が送り装置１５によって送られるため、内周面２ｂの全体を探傷することができる。 Since the subject 2 is sent by the sending device 15, the entire inner peripheral surface 2b can be inspected.

〔第２の実施の形態〕
図６は、第２の実施の形態の探傷装置１０Ａの概略断面図である。
以下の説明では、第２実施形態の探傷装置１０Ａが第１実施形態の探傷装置１０と相違する点について説明する。また、探傷装置１０Ａと探傷装置１０との間で互いに対応する構成要素には、同一の符号を付す。 [Second embodiment]
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a flaw detector 10A of the second embodiment.
In the following description, points of difference between the flaw detector 10A of the second embodiment and the flaw detector 10 of the first embodiment will be described. Further, the same reference numerals are given to components corresponding to each other between the flaw detection device 10A and the flaw detection device 10. As shown in FIG.

リフレクタ１１の反射面１１ａと光加熱器１４との間には、ダイクロイックミラー１６が配置されている。ダイクロイックミラー１６がリフレクタ１１の中心軸１１ｂに対して斜交し、リフレクタ１１の中心軸１１ｂとダイクロイックミラー１６の法線との成す角が４５°である。ダイクロイックミラー１６は、赤外線カメラ１３の感知波長帯域の光、つまり赤外線帯域の光を反射させ、それ以外の帯域の光（特に、光加熱器１４によって照射される加熱光）を透過させる。 A dichroic mirror 16 is arranged between the reflecting surface 11 a of the reflector 11 and the light heater 14 . The dichroic mirror 16 is oblique to the central axis 11b of the reflector 11, and the angle between the central axis 11b of the reflector 11 and the normal to the dichroic mirror 16 is 45°. The dichroic mirror 16 reflects light in the sensing wavelength band of the infrared camera 13, that is, light in the infrared band, and transmits light in other bands (in particular, heating light emitted by the light heater 14).

赤外線カメラ１３は、ダイクロイックミラー１６よりも、リフレクタ１１の中心軸１１ｂに関する径方向外側に配置されている。赤外線カメラ１３がダイクロイックミラー１６に向けられており、赤外線カメラ１３の光軸１３ａがダイクロイックミラー１６により９０°に屈曲する。赤外線カメラ１３からダイクロイックミラー１６までの赤外線カメラ１３の光軸１３ａは、リフレクタ１１の中心軸１１ｂとダイクロイックミラー１６との交点に交差する。ダイクロイックミラー１６からリフレクタ１１までの赤外線カメラ１３の光軸１３ａとリフレクタ１１の中心軸１１ｂとは、同軸状に配置されている。 The infrared camera 13 is arranged radially outside of the dichroic mirror 16 with respect to the central axis 11 b of the reflector 11 . The infrared camera 13 is directed toward the dichroic mirror 16, and the optical axis 13a of the infrared camera 13 is bent by the dichroic mirror 16 at 90 degrees. An optical axis 13 a of the infrared camera 13 from the infrared camera 13 to the dichroic mirror 16 intersects the intersection of the central axis 11 b of the reflector 11 and the dichroic mirror 16 . The optical axis 13a of the infrared camera 13 from the dichroic mirror 16 to the reflector 11 and the central axis 11b of the reflector 11 are arranged coaxially.

光加熱器１４によって照射される加熱光はダイクロイックミラー１６を透過する。ダイクロイックミラー１６を透過した加熱光は、反射面１１ａにより被検体２の内周面２ｂに向けて反射する。また、ダイクロイックミラー１６を透過した加熱光の一部は被検体２の内周面２ｂに直接入射する。これにより被検体２が加熱され、被検体２の内周面２ｂから赤外線が放射される。被検体２の内周面２ｂの表面温度が変化することで、内周面２ｂから放射される赤外線の放射量も変化する。 The heating light emitted by the light heater 14 passes through the dichroic mirror 16 . The heating light transmitted through the dichroic mirror 16 is reflected toward the inner peripheral surface 2b of the subject 2 by the reflecting surface 11a. Part of the heating light that has passed through the dichroic mirror 16 is directly incident on the inner peripheral surface 2b of the subject 2 . As a result, the subject 2 is heated, and infrared rays are radiated from the inner peripheral surface 2b of the subject 2 . As the surface temperature of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 changes, the amount of infrared rays radiated from the inner peripheral surface 2b also changes.

被検体２の内周面２ｂから発した赤外線は、反射面１１ａによりダイクロイックミラー１６に向けて反射する。更に、その赤外線は、ダイクロイックミラー１６により赤外線カメラ１３に向けて反射する。従って、反射面１１ａ及びダイクロイックミラー１６によりダイクロイックミラー１６に映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像が、赤外線カメラ１３によって撮像される。 Infrared rays emitted from the inner peripheral surface 2b of the subject 2 are reflected toward the dichroic mirror 16 by the reflecting surface 11a. Furthermore, the infrared rays are reflected toward the infrared camera 13 by the dichroic mirror 16 . Therefore, the infrared camera 13 captures an infrared image of the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 reflected on the dichroic mirror 16 by the reflecting surface 11 a and the dichroic mirror 16 .

以上のようにダイクロイックミラー１６を用いることによって、赤外線カメラ１３と光加熱器１４を離して配置することができる。赤外線カメラ１３及び光加熱器１４の設置位置や大きさの自由度が広がる。例えば、１体の光加熱器１４とリフレクタ１１を同軸状に配置することができる。 By using the dichroic mirror 16 as described above, the infrared camera 13 and the light heater 14 can be arranged apart from each other. The degree of freedom in setting positions and sizes of the infrared camera 13 and the optical heater 14 is increased. For example, a single optical heater 14 and a reflector 11 can be arranged coaxially.

〔第３の実施の形態〕
図７は、第３の実施の形態の探傷装置１０Ｂの概略断面図である。
以下の説明では、第３実施形態の探傷装置１０Ｂが第１実施形態の探傷装置１０と相違する点について説明する。また、探傷装置１０Ｂと探傷装置１０との間で互いに対応する構成要素には、同一の符号を付す。 [Third Embodiment]
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a flaw detector 10B according to the third embodiment.
In the following description, differences between the flaw detector 10B of the third embodiment and the flaw detector 10 of the first embodiment will be described. Further, the same reference numerals are given to components corresponding to each other between the flaw detector 10B and the flaw detector 10 .

赤外線カメラ１３と反射面１１ａとの間には、ダイクロイックミラー１７が配置されている。ダイクロイックミラー１７がリフレクタ１１の中心軸１１ｂと斜交し、リフレクタ１１の中心軸１１ｂとダイクロイックミラー１７の法線との成す角が４５°である。ダイクロイックミラー１７は、光加熱器１４によって照射される加熱光を反射させ、それ以外の帯域の光（特に、赤外線カメラ１３の感知波長帯域の光）を透過させる。 A dichroic mirror 17 is arranged between the infrared camera 13 and the reflecting surface 11a. The dichroic mirror 17 obliquely crosses the central axis 11b of the reflector 11, and the angle between the central axis 11b of the reflector 11 and the normal to the dichroic mirror 17 is 45°. The dichroic mirror 17 reflects the heating light emitted by the light heater 14 and transmits light in other bands (in particular, light in the sensitive wavelength band of the infrared camera 13).

光加熱器１４が、ダイクロイックミラー１７よりも、リフレクタ１１の中心軸１１ｂに関する径方向の外側に配置されている。光加熱器１４がダイクロイックミラー１７に向けられている。光加熱器１４によって照射される加熱光は、ダイクロイックミラー１７によりリフレクタ１１の反射面１１ａに向けて反射する。その加熱光は、リフレクタ１１の反射面１１ａにより被検体２の内周面２ｂに向けて反射する。また、加熱光の一部は、ダイクロイックミラー１７から被検体２の内周面２ｂに直接入射する。これにより被検体２が加熱され、赤外線が被検体２の内周面２ｂから放射される。被検体２の内周面２ｂの表面温度が変化することで、内周面２ｂから放射される赤外線の放射量も変化する。 The light heater 14 is arranged radially outside the dichroic mirror 17 with respect to the central axis 11 b of the reflector 11 . A light heater 14 is directed toward a dichroic mirror 17 . The heating light emitted by the light heater 14 is reflected by the dichroic mirror 17 toward the reflecting surface 11 a of the reflector 11 . The heating light is reflected by the reflecting surface 11 a of the reflector 11 toward the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . Part of the heating light is directly incident on the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 from the dichroic mirror 17 . The subject 2 is thereby heated, and infrared rays are radiated from the inner peripheral surface 2b of the subject 2 . As the surface temperature of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 changes, the amount of infrared rays radiated from the inner peripheral surface 2b also changes.

被検体２の内周面２ｂから発した赤外線は、反射面１１ａによりダイクロイックミラー１７に向けて反射して、ダイクロイックミラー１７を透過する。透過した赤外線が赤外線カメラ１３に入射する。従って、反射面１１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像が、赤外線カメラ１３によってダイクロイックミラー１６越しに撮像される。 Infrared rays emitted from the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 are reflected by the reflecting surface 11 a toward the dichroic mirror 17 and pass through the dichroic mirror 17 . The transmitted infrared rays enter the infrared camera 13 . Accordingly, an infrared image of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 11a is captured by the infrared camera 13 through the dichroic mirror 16. FIG.

以上のようにダイクロイックミラー１７を用いることによって、赤外線カメラ１３と光加熱器１４を離して配置することができる。赤外線カメラ１３及び光加熱器１４の設置位置や大きさの自由度が広がる。例えば、リフレクタ１１の中心軸１１ｂとリフレクタ１７のとの交点において１体の光加熱器１４の光軸をリフレクタ１１に交差させることができる。 By using the dichroic mirror 17 as described above, the infrared camera 13 and the light heater 14 can be arranged apart from each other. The degree of freedom in setting positions and sizes of the infrared camera 13 and the optical heater 14 is increased. For example, the optical axis of one optical heater 14 can intersect the reflector 11 at the intersection of the center axis 11 b of the reflector 11 and the reflector 17 .

〔第４の実施の形態〕
図８は、第４の実施の形態の探傷装置１０Ｃの概略断面図である。
以下の説明では、第４実施形態の探傷装置１０Ｃが第１実施形態の探傷装置１０と相違する点について説明する。また、探傷装置１０Ｃと探傷装置１０との間で互いに対応する構成要素には、同一の符号を付す。 [Fourth Embodiment]
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of a flaw detector 10C according to the fourth embodiment.
In the following description, points of difference between the flaw detector 10C of the fourth embodiment and the flaw detector 10 of the first embodiment will be described. Further, the same reference numerals are given to components corresponding to each other between the flaw detector 10C and the flaw detector 10. FIG.

第４実施形態では、開口２ｃの反対側の端部においても開口２ｄが被検体２に形成されており、内部空間２ａがその開口２ｄによって被検体２の外部に通じている。内周面２ｂの中心軸と開口２ｄの中心が同心に配置されている。 In the fourth embodiment, an opening 2d is also formed in the subject 2 at the end opposite to the opening 2c, and the internal space 2a communicates with the outside of the subject 2 through the opening 2d. The central axis of the inner peripheral surface 2b and the center of the opening 2d are arranged concentrically.

また、第４実施形態では、リフレクタ１１の代わりに第１のリフレクタ２１及び第２のリフレクタ３１が被検体２の内部空間２ａに収容されている。これらリフレクタ２１，３１について詳細に説明する。 Further, in the fourth embodiment, instead of the reflector 11, the first reflector 21 and the second reflector 31 are accommodated in the internal space 2a of the subject 2. As shown in FIG. These reflectors 21 and 31 will be described in detail.

第１のリフレクタ２１は、裁頭円錐面の形状のダイクロイックミラーである。第１のリフレクタ２１の形状たる裁頭円錐面の頂角の内角は９０°であるが、それに限らない。第１のリフレクタ２１が裁頭円錐体型の内部空間２１ｃを有し、その内部空間２１ｃが裁頭円錐体の底部及び頂部において開口する。第１のリフレクタ２１の外周面が反射面２１ａとされている。第１のリフレクタ２１、特に反射面２１ａは、赤外線カメラ１３の感知波長帯域の光、つまり赤外線帯域の光を反射させ、それ以外の帯域の光（特に、光加熱器１４によって照射される加熱光）を透過させる。 The first reflector 21 is a dichroic mirror in the form of a frustoconical surface. The internal angle of the apex of the truncated cone surface, which is the shape of the first reflector 21, is 90°, but it is not limited to this. The first reflector 21 has a truncated cone-shaped interior space 21c, which interior space 21c opens at the bottom and top of the truncated cone. The outer peripheral surface of the first reflector 21 serves as a reflecting surface 21a. The first reflector 21, particularly the reflective surface 21a, reflects light in the sensing wavelength band of the infrared camera 13, that is, light in the infrared band, and light in other bands (particularly, heating light emitted by the light heater 14). ) to pass through.

第１のリフレクタ２１が被検体２の内部空間２ａに収容されており、第１のリフレクタ２１の形状たる裁頭円錐面の頂角が開口２ｃに向けられている。第１のリフレクタ２１の中心軸２１ｂと被検体２の内周面２ｂの中心軸は、同軸状に配置されているものとしてもよい。 A first reflector 21 is accommodated in the internal space 2a of the subject 2, and the apex angle of the truncated cone surface, which is the shape of the first reflector 21, is directed toward the opening 2c. The central axis 21b of the first reflector 21 and the central axis of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 may be arranged coaxially.

第２のリフレクタ３１は、円錐面の形状に形成されている。第２のリフレクタ３１の外周面には、反射面３１ａが形成されている。反射面３１ａは、第２のリフレクタ３１の中心軸３１ｂ回りの回転面としての円錐面に形作られている。その円錐面の頂角の内角は９０°であるが、それに限らない。 The second reflector 31 is formed in the shape of a conical surface. A reflecting surface 31 a is formed on the outer peripheral surface of the second reflector 31 . The reflecting surface 31a is formed into a conical surface as a surface of revolution about the central axis 31b of the second reflector 31. As shown in FIG. The internal angle of the apex of the conical surface is 90°, but it is not limited thereto.

第２のリフレクタ３１は第１のリフレクタ２１の内部空間２１ｃに収容されており、第２のリフレクタ３１の頂角が開口２ｄに向けられている。第２のリフレクタ３１の中心軸３１ｂと第１のリフレクタ２１の中心軸２１ｂが同軸状に配置されている。第２のリフレクタ３１の中心軸３１ｂと被検体２の内周面２ｂの中心軸は、同軸状に配置されているものとしてもよい。 The second reflector 31 is accommodated in the internal space 21c of the first reflector 21, and the vertical angle of the second reflector 31 faces the opening 2d. The central axis 31b of the second reflector 31 and the central axis 21b of the first reflector 21 are arranged coaxially. The central axis 31b of the second reflector 31 and the central axis of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 may be arranged coaxially.

続いて、光加熱器１４及び赤外線カメラ１３の配置について説明する。
赤外線カメラ１３は、第１のリフレクタ２１の形状たる裁頭円錐面の頂角の先に配置されている。赤外線カメラ１３は、被検体２の内部空間２ａの外側において被検体２の開口２ｃに向けられている。更に、赤外線カメラ１３は、第１のリフレクタ２１の反射面２１ａに向けられている。従って、赤外線カメラ１３は、第１のリフレクタ２１の反射面２１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像を撮像して、内周面２ｂの温度分布を表したサーモグラフィー画像を取得する。 Next, the arrangement of the optical heater 14 and the infrared camera 13 will be described.
The infrared camera 13 is arranged beyond the apex angle of the truncated cone surface that is the shape of the first reflector 21 . The infrared camera 13 is directed to the opening 2c of the subject 2 outside the internal space 2a of the subject 2. As shown in FIG. Furthermore, the infrared camera 13 is directed toward the reflective surface 21 a of the first reflector 21 . Therefore, the infrared camera 13 captures an infrared image of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 21a of the first reflector 21 to obtain a thermographic image showing the temperature distribution of the inner peripheral surface 2b. .

赤外線カメラ１３の光軸１３ａと第１のリフレクタ２１の中心軸２１ｂは同軸状に配置されている。なお、赤外線カメラ１３の光軸１３ａが第１のリフレクタ２１の中心軸２１ｂからずれていてもよい。また、赤外線カメラ１３の光軸１３ａが第１のリフレクタ２１の中心軸２１ｂに対して傾斜してもよい。また、赤外線カメラ１３の数が複数である場合、赤外線カメラ１３が第１のリフレクタ２１の中心軸２１ｂに関する周方向に配列されているものとしてもよい。 The optical axis 13a of the infrared camera 13 and the central axis 21b of the first reflector 21 are arranged coaxially. The optical axis 13a of the infrared camera 13 may be shifted from the central axis 21b of the first reflector 21. FIG. Also, the optical axis 13 a of the infrared camera 13 may be inclined with respect to the central axis 21 b of the first reflector 21 . Moreover, when the number of the infrared cameras 13 is plural, the infrared cameras 13 may be arranged in the circumferential direction about the central axis 21 b of the first reflector 21 .

光加熱器１４は、リフレクタ２１，３１及び被検体２に関して赤外線カメラ１３の反対側に配置されている。光加熱器１４は第２のリフレクタ３１の頂角の先に配置されている。光加熱器１４は、被検体２の内部空間２ａの外側において被検体２の開口２ｄに向けられている。光加熱器１４は、第２のリフレクタ３１の中心軸３１ｂに関する周方向に配列されている。なお、光加熱器１４の数が１である場合、光加熱器１４が第２のリフレクタ３１の中心軸３１ｂ上に配置されているものとしてもよい。 The optical heater 14 is arranged on the opposite side of the infrared camera 13 with respect to the reflectors 21 , 31 and the subject 2 . The light heater 14 is arranged beyond the apex angle of the second reflector 31 . The optical heater 14 is directed toward the opening 2 d of the subject 2 outside the internal space 2 a of the subject 2 . The light heaters 14 are arranged in the circumferential direction about the central axis 31b of the second reflector 31. As shown in FIG. When the number of optical heaters 14 is one, the optical heaters 14 may be arranged on the center axis 31 b of the second reflector 31 .

光加熱器１４が加熱光を第２のリフレクタ３１の反射面３１ａに向けて照射する。光加熱器１４によって照射される加熱光は、第２のリフレクタ３１の反射面３１ａにより第１のリフレクタ２１に向けて反射して、第１のリフレクタ２１を透過する。そして、その加熱光は被検体２の内周面２ｂに入射する。これにより、被検体２が加熱され、被検体２の内周面２ｂから赤外線が放射される。 The light heater 14 irradiates the reflecting surface 31 a of the second reflector 31 with heating light. The heating light emitted by the light heater 14 is reflected by the reflecting surface 31 a of the second reflector 31 toward the first reflector 21 and passes through the first reflector 21 . Then, the heating light is incident on the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . As a result, the subject 2 is heated and infrared rays are emitted from the inner peripheral surface 2b of the subject 2 .

被検体２の内周面２ｂから発した赤外線は第１のリフレクタ２１の反射面２１ａにより赤外線カメラ１３に向けて反射し、赤外線カメラ１３に入射する。従って、第１のリフレクタ２１の反射面２１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像が、赤外線カメラ１３によって撮像される。 Infrared rays emitted from the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 are reflected toward the infrared camera 13 by the reflecting surface 21 a of the first reflector 21 and enter the infrared camera 13 . Therefore, the infrared camera 13 captures an infrared image of the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 21 a of the first reflector 21 .

なお、第１実施形態の場合と同様に、送り装置１５が被検体２を移動させてもよいし、リフレクタ２１，３１、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４を移動させもよい。 As in the case of the first embodiment, the feeding device 15 may move the subject 2, or the reflectors 21 and 31, the infrared camera 13 and the optical heater 14 may be moved.

〔第５の実施の形態〕
図９は、第５の実施の形態の探傷装置１０Ｄの概略断面図である。
以下の説明では、第５実施形態の探傷装置１０Ｃが第１実施形態の探傷装置１０と相違する点について説明する。また、探傷装置１０Ｄと探傷装置１０との間で互いに対応する構成要素には、同一の符号を付す。 [Fifth Embodiment]
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a flaw detector 10D according to the fifth embodiment.
In the following description, points of difference between the flaw detector 10C of the fifth embodiment and the flaw detector 10 of the first embodiment will be described. Further, the same reference numerals are given to components corresponding to each other between the flaw detector 10D and the flaw detector 10. FIG.

第５実施形態では、開口２ｃの反対側においても開口２ｄが被検体２に形成されており、内部空間２ａがその開口２ｄによって開口している。内周面２ｂの中心軸と開口２ｄの中心が同心に配置されている。 In the fifth embodiment, an opening 2d is also formed in the subject 2 on the opposite side of the opening 2c, and the internal space 2a is opened by the opening 2d. The central axis of the inner peripheral surface 2b and the center of the opening 2d are arranged concentrically.

また、第５実施形態では、リフレクタ１１の代わりに第１のリフレクタ４１及び第２のリフレクタ５１が被検体２の内部空間２ａに収容されている。これらリフレクタ４１，５１について詳細に説明する。 Further, in the fifth embodiment, instead of the reflector 11, the first reflector 41 and the second reflector 51 are accommodated in the internal space 2a of the subject 2. As shown in FIG. These reflectors 41 and 51 will be described in detail.

第２のリフレクタ５１は、裁頭円錐面の形状のダイクロイックミラーである。第２のリフレクタ５１の形状たる裁頭円錐面の頂角の内角は９０°であるが、それに限らない。第２のリフレクタ５１が裁頭円錐体型の内部空間５１ｃを有し、その内部空間５１ｃが裁頭円錐体の底部及び頂部において開口する。第２のリフレクタ５１の外周面が反射面５１ａとされている。第２のリフレクタ５１、特に反射面５１ａは、光加熱器１４によって照射される加熱光を反射させ、それ以外の帯域の光（特に、赤外線カメラ１３の感知波長帯域の光）を透過させる。 The second reflector 51 is a dichroic mirror in the form of a frustoconical surface. The internal angle of the apex of the truncated cone surface, which is the shape of the second reflector 51, is 90°, but it is not limited to this. The second reflector 51 has a truncated cone-shaped interior space 51c, which interior space 51c opens at the bottom and top of the truncated cone. The outer peripheral surface of the second reflector 51 serves as a reflecting surface 51a. The second reflector 51, particularly the reflecting surface 51a, reflects the heating light emitted by the light heater 14 and transmits light in other bands (especially light in the sensitive wavelength band of the infrared camera 13).

第２のリフレクタ５１が被検体２の内部空間２ａに収容されており、第２のリフレクタ５１の形状たる裁頭円錐面の頂角が開口２ｄに向けられている。第２のリフレクタ５１の中心軸５１ｂと被検体２の内周面２ｂの中心軸は、同軸状に配置されているものとしてもよい。 A second reflector 51 is accommodated in the internal space 2a of the subject 2, and the apex angle of the truncated cone surface, which is the shape of the second reflector 51, is directed toward the opening 2d. The central axis 51b of the second reflector 51 and the central axis of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 may be arranged coaxially.

第１のリフレクタ４１は、円錐面の形状に形成されている。第１のリフレクタ４１の外周面には、反射面４１ａが形成されている。反射面４１ａは、第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂ回りの回転面としての円錐面に形作られている。その円錐面の頂角の内角は９０°であるが、それに限らない。 The first reflector 41 is formed in the shape of a conical surface. A reflecting surface 41 a is formed on the outer peripheral surface of the first reflector 41 . The reflecting surface 41a is formed into a conical surface as a surface of rotation about the central axis 41b of the first reflector 41. As shown in FIG. The internal angle of the apex of the conical surface is 90°, but it is not limited thereto.

第１のリフレクタ４１が第２のリフレクタ５１の内部空間５１ｃに収容されており、第１のリフレクタ４１の頂角が開口２ｃに向けられている。第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂと第２のリフレクタ５１の中心軸５１ｂが同軸状に配置されている。第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂと被検体２の内周面２ｂの中心軸は、同軸状に配置されているものとしてもよい。 A first reflector 41 is accommodated in the inner space 51c of the second reflector 51, and the apex angle of the first reflector 41 is directed toward the opening 2c. The central axis 41b of the first reflector 41 and the central axis 51b of the second reflector 51 are arranged coaxially. The central axis 41b of the first reflector 41 and the central axis of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 may be arranged coaxially.

続いて、光加熱器１４及び赤外線カメラ１３の配置について説明する。
赤外線カメラ１３は、第１のリフレクタ４１の頂角の先に配置されている。赤外線カメラ１３は、被検体２の内部空間２ａの外側において被検体２の開口２ｃに向けられている。更に、赤外線カメラ１３は、第１のリフレクタ４１の反射面４１ａに向けられている。従って、赤外線カメラ１３は、第２のリフレクタ５１越しに第１のリフレクタ４１の反射面４１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像を撮像して、内周面２ｂの温度分布を表したサーモグラフィー画像を取得する。 Next, the arrangement of the optical heater 14 and the infrared camera 13 will be described.
The infrared camera 13 is arranged beyond the apex angle of the first reflector 41 . The infrared camera 13 is directed to the opening 2c of the subject 2 outside the internal space 2a of the subject 2. As shown in FIG. Furthermore, the infrared camera 13 is directed toward the reflective surface 41 a of the first reflector 41 . Therefore, the infrared camera 13 captures an infrared image of the inner peripheral surface 2b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 41a of the first reflector 41 through the second reflector 51 to obtain the temperature distribution of the inner peripheral surface 2b. Obtain a representative thermographic image.

赤外線カメラ１３の光軸１３ａと第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂは同軸状に配置されている。なお、赤外線カメラ１３の光軸１３ａが第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂからずれていてもよい。また、赤外線カメラ１３の光軸１３ａが第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂに対して傾斜してもよい。また、赤外線カメラ１３の数が複数である場合、赤外線カメラ１３が第１のリフレクタ４１の中心軸４１ｂに関する周方向に配列されているものとしてもよい。 The optical axis 13a of the infrared camera 13 and the central axis 41b of the first reflector 41 are arranged coaxially. Note that the optical axis 13 a of the infrared camera 13 may be shifted from the central axis 41 b of the first reflector 41 . Also, the optical axis 13 a of the infrared camera 13 may be inclined with respect to the central axis 41 b of the first reflector 41 . Moreover, when the number of the infrared cameras 13 is plural, the infrared cameras 13 may be arranged in the circumferential direction about the central axis 41 b of the first reflector 41 .

光加熱器１４は、リフレクタ４１，５１及び被検体２に関して赤外線カメラ１３の反対側に配置されている。光加熱器１４は、第２のリフレクタ５１の形状たる裁頭円錐面の頂角の先に配置されている。光加熱器１４は、被検体２の内部空間２ａの外側において被検体２の開口２ｄに向けられている。光加熱器１４は、第２のリフレクタ５１の中心軸５１ｂに関する周方向に配列されている。 The optical heater 14 is arranged on the opposite side of the infrared camera 13 with respect to the reflectors 41 and 51 and the subject 2 . The light heater 14 is arranged at the tip of the truncated cone surface which is the shape of the second reflector 51 . The optical heater 14 is directed toward the opening 2 d of the subject 2 outside the internal space 2 a of the subject 2 . The light heaters 14 are arranged in the circumferential direction about the center axis 51 b of the second reflector 51 .

光加熱器１４が加熱光を反射面５１ａに向けて照射する。光加熱器１４によって照射される加熱光は反射面５１ａにより被検体２の内周面２ｂに向けて反射して、被検体２の内周面２ｂに入射する。これにより、被検体２が加熱され、被検体２の内周面２ｂから赤外線が放射される。 The light heater 14 emits heating light toward the reflecting surface 51a. The heating light irradiated by the light heater 14 is reflected toward the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 by the reflecting surface 51 a and enters the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 . As a result, the subject 2 is heated and infrared rays are emitted from the inner peripheral surface 2b of the subject 2 .

被検体２の内周面２ｂから発した赤外線はリフレクタ５１を透過する。透過した赤外線は、第１のリフレクタ４１の反射面４１ａにより赤外線カメラ１３に向けて反射して、赤外線カメラ１３に入射する。従って、第２のリフレクタ５１越しに第１のリフレクタ４１の反射面４１ａに映った被検体２の内周面２ｂの赤外線像が、赤外線カメラ１３によって撮像される。 Infrared rays emitted from the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 pass through the reflector 51 . The transmitted infrared rays are reflected toward the infrared camera 13 by the reflecting surface 41 a of the first reflector 41 and enter the infrared camera 13 . Therefore, the infrared camera 13 captures an infrared image of the inner peripheral surface 2 b of the subject 2 reflected on the reflecting surface 41 a of the first reflector 41 through the second reflector 51 .

〔変形例１〕
以上の第１～第５の実施形態では、光加熱器１４によって照射される加熱光が被検体２の内周面２ｂに入射することによって、被検体２が加熱される。それに対して、光加熱以外の方式の加熱器が被検体２を加熱するものとしてもよい。光加熱以外の方式の加熱器について、以下に挙げる。以下に挙げる加熱器は、被検体２の内部空間２ａに配置されてもよいし、内部空間２ａの外側に配置されてもよい。また、以下に挙げる加熱器は、被検体２の内周面２ｂを直接加熱してもよいし、内周面２ｂ以外を加熱してもよい。内周面２ｂ以外が加熱される場合、被検体２の熱伝導により内周面２ｂが加熱される。 [Modification 1]
In the first to fifth embodiments described above, the subject 2 is heated by the heating light emitted by the optical heater 14 being incident on the inner peripheral surface 2b of the subject 2 . On the other hand, the subject 2 may be heated by a heater other than optical heating. Heaters using methods other than light heating are listed below. The heaters listed below may be placed in the internal space 2a of the subject 2 or may be placed outside the internal space 2a. Further, the heaters listed below may directly heat the inner peripheral surface 2b of the subject 2, or may heat a portion other than the inner peripheral surface 2b. When a portion other than the inner peripheral surface 2b is heated, the inner peripheral surface 2b is heated by heat conduction of the subject 2. FIG.

（１）加振器を加熱器として利用してもよい。加振器は、高い周波数の振動を被検体２に与えることで被検体２を加熱する。被検体２に存在する欠陥に、振動による摩擦熱が生じることによって、欠陥が加熱される。加振器としては、超音波により被検体２を加振する超音波加振器がある。 (1) A vibrator may be used as a heater. The vibrator heats the subject 2 by applying high-frequency vibrations to the subject 2 . Frictional heat generated in the defect existing in the object 2 due to vibration heats the defect. As the vibrator, there is an ultrasonic vibrator that vibrates the subject 2 with ultrasonic waves.

（２）ファンヒーター方式又はバーナー方式の加熱器が、高温な温風又は火炎を被検体２に放射することによって被検体２を加熱する。 (2) A fan heater type or burner type heater heats the subject 2 by radiating hot air or flame to the subject 2 .

（３）被検体２に当接する抵抗器方式の加熱器が電気エネルギーにより発熱して、被検体２を加熱する。 (3) A resistor-type heater in contact with the subject 2 generates heat by electrical energy, thereby heating the subject 2 .

（４）誘導加熱方式の加熱器が、被検体２に渦電流を発生させて、被検体２の内部の亀裂・剥離などの部分で抵抗熱を発生させて、温度変化を発生させる。この場合、被検体２が導電体である。被検体２が絶縁体である場合、被検体２に導電体を接触させる。 (4) An induction heating type heater generates an eddy current in the subject 2 to generate resistive heat at a portion such as a crack or peeling inside the subject 2, thereby causing a temperature change. In this case, the subject 2 is a conductor. If the subject 2 is an insulator, a conductor is brought into contact with the subject 2 .

（５）誘電加熱方式の加熱器が、被検体２の周囲に高周波電界を発生させて、被検体２に誘電損失を発生させることによって被検体２を加熱する。この場合、被検体２が誘電体である。 (5) A dielectric heating type heater generates a high-frequency electric field around the object 2 to cause dielectric loss in the object 2 to heat the object 2 . In this case, the subject 2 is a dielectric.

〔変形例２〕
以上の第１～第５の実施形態では、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４が内部空間２ａの外側に配置されている。それに対して、赤外線カメラ１３と光加熱器１４の一方又は両方が内部空間２ａ内に配置されてもよい。特に、被検体２が長尺な部材であり、内周面２ｂの径が大径である場合、赤外線カメラ１３及び光加熱器１４を内部空間２ａに収容しやすい。 [Modification 2]
In the first to fifth embodiments described above, the infrared camera 13 and the optical heater 14 are arranged outside the internal space 2a. Alternatively, one or both of the infrared camera 13 and the light heater 14 may be arranged within the interior space 2a. In particular, when the subject 2 is a long member and the diameter of the inner peripheral surface 2b is large, it is easy to accommodate the infrared camera 13 and the optical heater 14 in the internal space 2a.

〔変形例３〕
以上の第１～第３の実施形態では、リフレクタ１１が円錐面型又は裁頭円錐面型であった。それに対して、リフレクタ１１が角錐面型又は裁頭角錐面型であり、リフレクタ１１の各側面が平面状であってもよい。同様に、第４実施形態のリフレクタ２１が裁頭角錐面型であり、リフレクタ３１が角錐面であってもよい。同様に、第５実施形態のリフレクタ４１が角錐面型であり、リフレクタ５１が裁頭角錐面型であってもよい。 [Modification 3]
In the above-described first to third embodiments, the reflector 11 has a conical surface type or a truncated conical surface type. Alternatively, the reflector 11 may be of a pyramidal surface type or a truncated pyramidal surface type, and each side surface of the reflector 11 may be planar. Similarly, the reflector 21 of the fourth embodiment may be a truncated pyramid surface type and the reflector 31 may be a pyramid surface. Similarly, the reflector 41 of the fifth embodiment may be of a pyramidal surface type, and the reflector 51 may be of a truncated pyramidal surface type.

２…被検体
２ａ…内部空間
２ｂ…内周面
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ…探傷装置
１１，２１，４１…リフレクタ
３１，５１…第２のリフレクタ
１３…赤外線カメラ
１３ａ…光軸
１４…光加熱器（加熱器）
１５…送り装置
１６，１７…ダイクロイックミラー DESCRIPTION OF SYMBOLS 2... Subject 2a... Internal space 2b... Inner peripheral surface 10, 10A, 10B, 10C, 10D... Flaw detector 11, 21, 41... Reflector 31, 51... Second reflector 13... Infrared camera 13a... Optical axis 14... light heater (heater)
15 Feeding device 16, 17 Dichroic mirror

Claims

a conical or truncated conical reflector;
an infrared camera that captures an image of the reflector;
a heater for heating a subject having an inner space and an inner peripheral surface surrounding the inner space;
the reflector is disposed in the internal space;
The infrared camera captures an image of the inner peripheral surface reflected on the reflector ,
The heater is a light heater that irradiates heating light toward the reflector,
The reflector directs the heating light emitted by the light heater toward the inner peripheral surface
The object is heated by reflecting
flaw detector.

further comprising a dichroic mirror disposed between the optical heater and the reflector for transmitting the heating light emitted by the optical heater and reflecting light in the sensing wavelength band of the infrared camera;
The light heater is arranged at the tip of the apex angle of the reflector,
the light heater irradiates the heating light toward the reflector through the dichroic mirror;
the infrared camera is directed at the dichroic mirror;
2. The flaw detector according to claim 1 , wherein the infrared camera captures an image of the inner peripheral surface reflected on the dichroic mirror by the reflector and the dichroic mirror.

further comprising a dichroic mirror disposed between the infrared camera and the reflector for transmitting light in the sensitive wavelength band of the infrared camera and reflecting the heating light emitted by the light heater;
the optical heater is directed toward the dichroic mirror;
the dichroic mirror reflects the heating light emitted by the light heater toward the reflector;
The infrared camera is arranged at the tip of the apex angle of the reflector,
2. The flaw detector according to claim 1 , wherein the infrared camera captures an image of the inner peripheral surface reflected on the reflector through the dichroic mirror.

a conical or truncated conical reflector;
an infrared camera that captures an image of the reflector;
a heater for heating a subject having an inner space and an inner peripheral surface surrounding the inner space;
a second conical reflector arranged inside the reflector in the interior space;
the reflector is disposed in the internal space;
the apex angle of the reflector and the apex angle of the second reflector are opposite;
The infrared camera is arranged at the tip of the apex angle of the reflector, and images the inner peripheral surface reflected on the reflector,
The heater is arranged beyond the apex angle of the second reflector,
The heater is an optical heater that irradiates heating light toward the second reflector,
the reflector is a dichroic mirror that transmits the heating light emitted by the light heater and reflects light in the sensing wavelength band of the infrared camera;
The subject is heated by the second reflector reflecting the heating light emitted by the optical heater toward the inner peripheral surface through the reflector.
flaw detector .

a conical or truncated conical reflector;
an infrared camera that captures an image of the reflector;
a heater for heating a subject having an inner space and an inner peripheral surface surrounding the inner space;
a truncated cone-shaped second reflector arranged outside the reflector in the interior space;
the reflector is disposed in the internal space;
the apex angle of the reflector and the apex angle of the second reflector are opposite;
The infrared camera is arranged at the tip of the apex angle of the reflector,
The heater is arranged beyond the apex angle of the second reflector,
The heater is an optical heater that irradiates heating light toward the second reflector,
the second reflector is a dichroic mirror that reflects the heating light emitted by the optical heater and transmits light in the sensing wavelength band of the infrared camera;
The subject is heated by the second reflector reflecting the heating light emitted from the optical heater toward the inner peripheral surface,
The infrared camera captures an image of the inner peripheral surface reflected on the reflector through the second reflector.
flaw detector .

The flaw detector according to any one of claims 1 to 5 , further comprising a feeding device that feeds the object or the reflector in the direction of the center axis of the reflector.

The flaw detection apparatus according to any one of claims 1 to 5 , further comprising a feeding device that feeds the test object or the reflector so as to rotate about the central axis of the reflector.