JP7101486B2 - Sensor - Google Patents

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本発明は、センサに関するものである。 The present invention relates to a sensor.

減速機等の機械装置は、通常潤滑油が貯められたハウジング内に収容され、歯車や軸受等の機械部品の損傷を防止するようにしている。このような機械装置の運転時に機械部品が摩耗すると摩耗粉(主に鉄粉などの導体物質)が当該潤滑油内に混入することとなる。 Mechanical devices such as speed reducers are usually housed in a housing in which lubricating oil is stored to prevent damage to mechanical parts such as gears and bearings. If the mechanical parts are worn during the operation of such a mechanical device, wear debris (mainly a conductor substance such as iron debris) will be mixed into the lubricating oil.

一般に、機械部品の摩耗が進んで故障率曲線(バスタブ曲線)における摩耗故障期に入ると、潤滑油への摩耗粉(導体物質)の発生量が増加することが知られている。このような機械部品の予防保全を的確に行うためには、摩耗粉(導体物質)の発生量の増加を適切に検知することが欠かせない。 In general, it is known that the amount of wear debris (conductor material) generated in the lubricating oil increases when the wear of mechanical parts progresses and the wear failure period in the failure rate curve (bathtub curve) is entered. In order to properly perform preventive maintenance of such machine parts, it is indispensable to appropriately detect an increase in the amount of wear debris (conductor material) generated.

特許文献1は、自動車のトランスミッションなどに装着され、オイル容器内のオイルの劣化や、オイルで潤滑される機械部品の摩擦程度などをチェックするオイルチェックセンサについて開示している。特許文献1に記載のセンサでは、棒状体の外周に絶縁ギャップを介して結合された導電金属性の筒体を有するセンサ本体を含み、前記筒体から前記棒状体の先端部が突出した先端部外周に磁石を形成し、前記磁石の外周に1対の電極を所定の間隔を隔てて固定し、オイル中に含まれる鉄粉などの導電体混合物の量を検出するオイルチェックセンサにおいて、前記電極の少なくとも一方を抵抗体にすることを開示している。 Patent Document 1 discloses an oil check sensor that is mounted on a transmission of an automobile or the like and checks the deterioration of oil in an oil container, the degree of friction of mechanical parts lubricated by oil, and the like. The sensor described in Patent Document 1 includes a sensor body having a conductive metallic cylinder bonded to the outer periphery of the rod-shaped body via an insulating gap, and the tip portion of the rod-shaped body protruding from the cylinder. In an oil check sensor in which a magnet is formed on the outer periphery, a pair of electrodes are fixed on the outer periphery of the magnet at predetermined intervals, and the amount of a conductor mixture such as iron powder contained in the oil is detected, the electrodes are used. It is disclosed that at least one of the above is used as a resistor.

特開2002-286697号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-286697

しかしながら、減速機の構成部材の製造時、例えば、切削時などに当該構成部材に切り子が付着してしまっていた場合、このような切り子が減速機内部に残存することとなり、当該切り子がセンサの検知エリアに付着していると誤信号を送出する原因となり、特許文献1のようなセンサを含め従来のセンサでは、誤信号の発生を防止することが難しいという問題があった。 However, if a facet adheres to the component member at the time of manufacturing the component member of the speed reducer, for example, at the time of cutting, such a facet remains inside the speed reducer, and the facet is used as a sensor. If it adheres to the detection area, it causes an erroneous signal to be transmitted, and there is a problem that it is difficult to prevent the occurrence of an erroneous signal with conventional sensors including the sensor as in Patent Document 1.

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切り子などが減速機内部に残存した場合などおいても、切り子などによるセンサの検知エリアにおける誤信号の送出を回避することが可能となるセンサを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to transmit an erroneous signal in the detection area of the sensor by the facet or the like even when the facet or the like remains inside the speed reducer. The purpose is to provide a sensor that can be avoided.

本発明の一実施形態に係るセンサは、複数の電極を含み、該複数の電極間に電圧を印可し、導体物質を該電極間に集積して、該電極間の電気抵抗の低下を検知するセンサであって、該センサは、複数の検知エリアを備え、該複数の検知エリアの内で、少なくとも2つ以上の検知エリアにおいて前記電極間の電気抵抗の低下した場合に、検知信号を出力するように構成される。 The sensor according to the embodiment of the present invention includes a plurality of electrodes, applies a voltage between the plurality of electrodes, accumulates a conductor material between the electrodes, and detects a decrease in electrical resistance between the electrodes. The sensor is provided with a plurality of detection areas, and outputs a detection signal when the electrical resistance between the electrodes is reduced in at least two or more detection areas within the plurality of detection areas. It is configured as follows.

本発明の一実施形態に係るセンサは、前記複数の電極は、第1の電極と、第2の電極と、第3の電極と、を少なくとも含み、前記複数の検知エリアは、該第1の電極と該第2の電極との間に形成される第1の検知エリアと、該第1の電極と該第3の電極との間に形成される第2の検知エリアと、を少なくとも含むように構成される。 In the sensor according to the embodiment of the present invention, the plurality of electrodes include at least a first electrode, a second electrode, and a third electrode, and the plurality of detection areas include the first electrode. To include at least a first detection area formed between the electrode and the second electrode and a second detection area formed between the first electrode and the third electrode. It is composed of.

本発明の一実施形態に係るセンサは、前記複数の電極は、第4の電極と、第5の電極と、第6の電極と、をさらに備え、前記複数の検知エリアは、該第4の電極と該第5の電極との間に形成される第3の検知エリアと、該第4の電極と該第6の電極との間に形成される第4の検知エリアと、をさらに含むように構成される。 In the sensor according to the embodiment of the present invention, the plurality of electrodes further include a fourth electrode, a fifth electrode, and a sixth electrode, and the plurality of detection areas are the fourth electrode. Further include a third detection area formed between the electrode and the fifth electrode, and a fourth detection area formed between the fourth electrode and the sixth electrode. It is composed of.

本発明の一実施形態に係るセンサは、前記複数の検知エリアを直列に回路接続するよう構成される。 The sensor according to the embodiment of the present invention is configured to circuit connect the plurality of detection areas in series.

本発明の一実施形態に係るセンサは、前記複数の検知エリアを並列に回路接続し、少なくとも2つ以上のエリアにおいて前記電極間の電気抵抗の低下した場合に、検知信号を出力するよう構成される。 The sensor according to the embodiment of the present invention is configured to connect the plurality of detection areas in parallel in a circuit and output a detection signal when the electrical resistance between the electrodes decreases in at least two or more areas. To.

本発明の一実施形態に係るセンサは、前記複数の検知エリアの各々に、微電流を流すための抵抗体が配置される。 In the sensor according to the embodiment of the present invention, a resistor for passing a minute current is arranged in each of the plurality of detection areas.

本発明の一実施形態に係るセンサは、前記電極間に電圧の印加する電源を含む電圧印可制御部と、前記検出信号の出力を検出する信号検出部と、該検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する記憶部と、を備え、前記電源印加制御部は、前記検知信号の出力が記憶部に記憶されている間、前記電源による電圧の印可を遮断するように構成される。 The sensor according to the embodiment of the present invention includes a voltage application control unit including a power supply to which a voltage is applied between the electrodes, a signal detection unit for detecting the output of the detection signal, and a case where the detection signal is output. A storage unit for storing the output of the detection signal, and the power supply application control unit are configured to cut off voltage application by the power supply while the output of the detection signal is stored in the storage unit. Will be done.

本発明の一実施形態に係るセンサ配列は、複数の検知エリアに、複数のセンサが配置され、前記複数の検知エリアにおいて、該複数のセンサのそれぞれの前記電極間の電気抵抗の低下を検知するよう構成される。 In the sensor arrangement according to the embodiment of the present invention, a plurality of sensors are arranged in a plurality of detection areas, and in the plurality of detection areas, a decrease in electrical resistance between the electrodes of the plurality of sensors is detected. It is configured as follows.

本発明の一実施形態のセンサによれば、切り子などが減速機内部に残存した場合などおいても、当該切り子によるセンサの検知エリアにおける誤信号の送出を回避することができる。 According to the sensor of one embodiment of the present invention, even if a facet or the like remains inside the speed reducer, it is possible to avoid sending an erroneous signal in the detection area of the sensor by the facet.

本発明の一実施形態に係る機構1の側面図である。It is a side view of the mechanism 1 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5の上面図及び断面図である。It is a top view and sectional view of the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5の接続態様を示す概略図である。It is a schematic diagram which shows the connection mode of the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5の接続態様を示す概略図である。It is a schematic diagram which shows the connection mode of the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5の接続態様を示す概略図である。It is a schematic diagram which shows the connection mode of the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5の接続態様を示す概略図である。It is a schematic diagram which shows the connection mode of the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5の上面図及び断面図である。It is a top view and sectional view of the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5を備える信号処理回路の概略図である。It is a schematic diagram of the signal processing circuit including the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るセンサ5を備える信号処理回路の概略図である。It is a schematic diagram of the signal processing circuit including the sensor 5 which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下においては、本発明の一実施形態における装置として、減速機を例に取り説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Hereinafter, a speed reducer will be described as an example of the device according to the embodiment of the present invention.

図1は、本発明の一実施形態に係る機構1の側面図(断面図)である。図1に示されるように、機構1は、フランジ3を備え、該フランジ3に減速機2の少なくとも一部が収容されている。 FIG. 1 is a side view (cross-sectional view) of the mechanism 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the mechanism 1 includes a flange 3, in which at least a part of the speed reducer 2 is housed.

フランジ3は減速機2を収容する収容部材であり、また、サーボモータ4がフランジ3に取り付けられる。フランジ3は、中空部(空間S)を有する略筒状の部材である。フランジ3の軸方向両端の開口部は、それぞれ減速機2及びサーボモータ4により塞がれ、密閉された空間Sが形成される。空間S内には潤滑油が充填され、フランジ3はオイルバスとしても機能する。 The flange 3 is an accommodating member for accommodating the speed reducer 2, and the servomotor 4 is attached to the flange 3. The flange 3 is a substantially cylindrical member having a hollow portion (space S). The openings at both ends of the flange 3 in the axial direction are closed by the speed reducer 2 and the servomotor 4, respectively, to form a closed space S. Lubricating oil is filled in the space S, and the flange 3 also functions as an oil bath.

減速機2は、フランジ3に取り付けられたケース12と、サーボモータ4の出力軸13に接続された入力軸14と、出力軸15を備えている。入力軸14及び出力軸15は、ケース12に対して回転軸AX周りに回転可能に支持されている。 The speed reducer 2 includes a case 12 attached to a flange 3, an input shaft 14 connected to an output shaft 13 of a servomotor 4, and an output shaft 15. The input shaft 14 and the output shaft 15 are rotatably supported around the rotation shaft AX with respect to the case 12.

サーボモータ4の出力は、入力軸14を介して減速機2に入力され、減速機2によって減速された後、出力軸15を介して出力側装置A1に伝達される。 The output of the servomotor 4 is input to the speed reducer 2 via the input shaft 14, decelerated by the speed reducer 2, and then transmitted to the output side device A1 via the output shaft 15.

減速機2の歯車機構が収容されるケース12内の空間は、フランジ3内の空間Sと連絡している。減速機2が作動すると、ケース12内の歯車機構の回転に伴い、ケース12内の空間とフランジ10内の空間Sとの間で潤滑油の循環が生じる。この潤滑油の循環により、減速機2の内部で発生した摩耗粉(以下、導体物質という)がフランジ3内の空間Sに排出される。 The space in the case 12 in which the gear mechanism of the speed reducer 2 is housed is in contact with the space S in the flange 3. When the speed reducer 2 is operated, the lubricating oil circulates between the space in the case 12 and the space S in the flange 10 as the gear mechanism in the case 12 rotates. Due to the circulation of the lubricating oil, the wear debris (hereinafter referred to as the conductor substance) generated inside the speed reducer 2 is discharged to the space S in the flange 3.

空間S内には、潤滑油中に浮遊する導体物質の増加を検知するためのセンサ5が支持部材16に取り付けられている。センサ5は、磁石によって導体物質を電極間のギャップ部に集積させて、電極間の電気抵抗の変化によって潤滑油中の摩耗粉の量を検知するセンサである。センサ5には、複数のバリエーションが考えられる。図2ないし図6を参照して、センサ5の種々の実施形態の一部を説明する。ここで、センサ5は、ケース12内に配置するよう構成してもよく、その他機構1内の任意の場所に適宜配置することができる。 In the space S, a sensor 5 for detecting an increase in the conductor substance floating in the lubricating oil is attached to the support member 16. The sensor 5 is a sensor in which a conductor substance is accumulated in a gap portion between electrodes by a magnet, and the amount of wear debris in the lubricating oil is detected by a change in electric resistance between the electrodes. A plurality of variations can be considered for the sensor 5. Part of various embodiments of the sensor 5 will be described with reference to FIGS. 2 to 6. Here, the sensor 5 may be configured to be arranged in the case 12, and may be appropriately arranged in any other place in the mechanism 1.

図2は、本発明の一実施形態におけるセンサ5の構成を示す図である。同図は、それぞれ、センサ5の上面図、当該上面図のA-A線における断面図として示されている。 FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a sensor 5 according to an embodiment of the present invention. The figure is shown as a top view of the sensor 5 and a cross-sectional view taken along the line AA of the top view, respectively.

図2に示されるように、センサ5は、中心付近の第1の電極(中心電極)6、外側に位置する第2の電極(外側電極)7、第3の電極(外側電極)8、中心付近の第4の電極(中心電極)9、外側に位置する第5の電極(外側電極)10、第6の電極(外側電極)11、永久磁石40、ネジ部材12及び樹脂材13を備えている。なお、永久磁石40を用いず、中心電極6を、当該磁石と電極とを兼ねるように構成してもよい。 As shown in FIG. 2, the sensor 5 has a first electrode (center electrode) 6 near the center, a second electrode (outer electrode) 7 located on the outside, a third electrode (outer electrode) 8, and a center. A fourth electrode (center electrode) 9 in the vicinity, a fifth electrode (outer electrode) 10 located on the outside, a sixth electrode (outer electrode) 11, a permanent magnet 40, a screw member 12, and a resin material 13 are provided. There is. The center electrode 6 may be configured to serve as both the magnet and the electrode without using the permanent magnet 40.

ここで、電極は、例えば、鉄やフェライトコア、ケイ素鋼等の導電性を有する磁性材料によって形成された磁性体の部材である。これらの電極の間には、非磁性体(絶縁体)である樹脂材13が配置されている。このようにして、各電極及び永久磁石40は、これらの少なくとも一部が、当該樹脂材の中央領域に埋め込まれるようにして形成される。なお、各電極や永久磁石40の形状は、図示の例に限定されず、様々な形状を採用することができる。 Here, the electrode is a member of a magnetic material formed of a conductive magnetic material such as iron, a ferrite core, or silicon steel. A resin material 13 which is a non-magnetic material (insulator) is arranged between these electrodes. In this way, each electrode and the permanent magnet 40 are formed so that at least a part of them is embedded in the central region of the resin material. The shape of each electrode and the permanent magnet 40 is not limited to the illustrated example, and various shapes can be adopted.

図2の断面図に示すように、中心電極6、9は、外側電極7、8、10、11よりも内側に間隔を空けて形成されている。そのため、中心電極6、9と、外側電極7、8、10、11との間には、樹脂材13の上部にギャップ部(検知エリア)GAが形成されている。 As shown in the cross-sectional view of FIG. 2, the center electrodes 6 and 9 are formed at intervals inside the outer electrodes 7, 8, 10 and 11. Therefore, a gap portion (detection area) GA is formed in the upper part of the resin material 13 between the center electrodes 6 and 9 and the outer electrodes 7, 8, 10 and 11.

中心電極6、9、外側電極7、8、10、11の各電極には、出力ライン(図示しない)が接続されている。なお、中心電極6、9の下部等に永久磁石40が取り付けられていてもよいし、そうでなくても構わない。また、永久磁石40を取り付ける場合、当該永久磁石40は磁石や電磁石で構成されるが、磁石を銅などの非磁性体で被覆しこの被覆層に信号線(図示しない)を接続するように構成してもよい。 An output line (not shown) is connected to each of the center electrodes 6 and 9 and the outer electrodes 7, 8, 10 and 11. The permanent magnet 40 may or may not be attached to the lower part of the center electrodes 6 and 9. Further, when the permanent magnet 40 is attached, the permanent magnet 40 is composed of a magnet or an electromagnet, but the magnet is coated with a non-magnetic material such as copper and a signal line (not shown) is connected to the coating layer. You may.

センサ5は、その抵抗値をモニタして、導体物質の電極間への集積による抵抗値の変動に基づき、機械部品の故障予知を行うセンサ駆動回路(図示しない)と接続されている。一定量を超える導体物質がギャップ部(検知エリア)に集積すると、電圧が印加される電極6及び9と、電極7、8、10、11との間の少なくともいずれかの電気抵抗が低下して(すなわち短絡して)、出力ラインの出力レベルが変化する。センサ駆動回路は、この電気抵抗の低下を検知することで、機械部品の故障予知を可能とする。また、電気抵抗の低下には、非通電と電通によるオンオフ信号も含まれ、非通電と通電の2つの状態で検知(以下、「デジタル検知」と言う)するようにしてもよい。 The sensor 5 is connected to a sensor drive circuit (not shown) that monitors the resistance value and predicts the failure of mechanical parts based on the fluctuation of the resistance value due to the accumulation of the conductor substance between the electrodes. When a certain amount of conductor material is accumulated in the gap portion (detection area), at least one of the electrical resistances between the electrodes 6 and 9 to which the voltage is applied and the electrodes 7, 8, 10 and 11 decreases. (Ie short-circuited), the output level of the output line changes. The sensor drive circuit makes it possible to predict the failure of mechanical parts by detecting this decrease in electrical resistance. Further, the decrease in electrical resistance includes an on / off signal by non-energization and electric communication, and may be detected in two states of non-energization and energization (hereinafter, referred to as "digital detection").

センサ駆動回路は、有線又は無線により、マニピュレータ等の上位制御装置に接続されている。図1の回路基板43は、出力ラインの出力(センサ40Aの出力)を上位制御装置に常時送信してもよく、また、省電力化のため、上位制御装置に間欠的(所定の時間間隔毎)に送信してもよい。 The sensor drive circuit is connected to a higher-level control device such as a manipulator by wire or wirelessly. The circuit board 43 of FIG. 1 may constantly transmit the output of the output line (output of the sensor 40A) to the upper control device, and intermittently (at predetermined time intervals) to the upper control device for power saving. ) May be sent.

上位制御装置は、回路基板43より受け取った出力ラインの出力レベルの変化を検知すると、所定の報知手段(表示装置や音声出力装置)により、例えば、減速機2のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。 When the host control device detects a change in the output level of the output line received from the circuit board 43, a predetermined notification means (display device or voice output device) issues a warning for urging maintenance of the speed reducer 2, for example. Can be configured.

永久磁石40は着磁され、所定の方向に磁束経路φAが形成される。特に、中心電極6、9の周囲のギャップ部(検知エリア)に強い磁束が流れる。永久磁石40の磁力により、ギャップ部(検知エリア)には、機械部品の導体物質(例えば、潤滑油へ混入した機械部品の導体物質)が吸着される。 The permanent magnet 40 is magnetized, and a magnetic flux path φA is formed in a predetermined direction. In particular, a strong magnetic flux flows in the gap portion (detection area) around the center electrodes 6 and 9. Due to the magnetic force of the permanent magnet 40, the conductor substance of the machine component (for example, the conductor substance of the machine component mixed in the lubricating oil) is attracted to the gap portion (detection area).

次に、図3を参照して、本発明の一実施形態におけるセンサ5の接続態様につき説明する。図示のように、外側に位置する第5の電極(外側電極)10は、接続線15により検出回路17と接続され、外側に位置する第2の電極(外側電極)7は、接続線16により検出回路17と接続される。また、図示のように、第3の電極(外側電極)8と、第6の電極(外側電極)11とは接続線14により接続される。このようにして、第5の電極(外側電極)10、中心付近の第4の電極(中心電極)9、第6の電極(外側電極)11、第3の電極(外側電極)8、中心付近の第1の電極(中心電極)6、第2の電極(外側電極)7の順に、4回路の論理積を採るよう構成することができる。このように構成することで、リード線の本数を2本に減らすことができる。中心付近の第1の電極(中心電極)6と、中心付近の第4の電極(中心電極)9とが一体の場合、外側電極7、8、10、11の各電極に合わせて5本のリード線が必要となるが、上記構成により、リード線の本数を大幅に低減することができる。 Next, with reference to FIG. 3, the connection mode of the sensor 5 in one embodiment of the present invention will be described. As shown in the figure, the fifth electrode (outer electrode) 10 located on the outside is connected to the detection circuit 17 by the connecting line 15, and the second electrode (outer electrode) 7 located on the outside is connected to the detection circuit 17 by the connecting line 16. It is connected to the detection circuit 17. Further, as shown in the figure, the third electrode (outer electrode) 8 and the sixth electrode (outer electrode) 11 are connected by a connecting wire 14. In this way, the fifth electrode (outer electrode) 10, the fourth electrode (center electrode) 9 near the center, the sixth electrode (outer electrode) 11, the third electrode (outer electrode) 8, and the vicinity of the center. The first electrode (center electrode) 6 and the second electrode (outer electrode) 7 can be configured to take the logical product of four circuits in this order. With this configuration, the number of lead wires can be reduced to two. When the first electrode (center electrode) 6 near the center and the fourth electrode (center electrode) 9 near the center are integrated, five electrodes are combined with the outer electrodes 7, 8, 10 and 11. Although lead wires are required, the number of lead wires can be significantly reduced by the above configuration.

図3に示す構成では、中心付近の第1の電極(中心電極)6と第2の電極(外側電極)7との間の第1の検知エリア100、中心付近の第1の電極(中心電極)6と第3の電極(外側電極)8との間の第2の検知エリア200、中心付近の第4の電極(中心電極)9と第5の電極(外側電極)10との間の第3の検知エリア300、中心付近の第4の電極(中心電極)9と第6の電極(外側電極)11との間の第4の検知エリア400が直列に回路構成された状態となっている。
これにより、切り子などが減速機内部に残存した場合などおいても、当該切り子が全ての検知エリアに付着するといったことがない限り、検出回路による誤信号の送出を回避することができるため、結果としてこのような誤信号の送出を大幅に低減することが可能となる。
In the configuration shown in FIG. 3, the first detection area 100 between the first electrode (center electrode) 6 near the center and the second electrode (outer electrode) 7, and the first electrode (center electrode) near the center ) 6 and the second detection area 200 between the third electrode (outer electrode) 8, the fourth electrode (center electrode) 9 near the center and the fifth electrode (outer electrode) 10. The detection area 300 of 3 and the fourth detection area 400 between the fourth electrode (center electrode) 9 near the center and the sixth electrode (outer electrode) 11 are configured in series. ..
As a result, even if a facet or the like remains inside the reducer, it is possible to avoid sending an erroneous signal by the detection circuit unless the facet adheres to all the detection areas. Therefore, it is possible to significantly reduce the transmission of such an erroneous signal.

次に、図4に、複数の検知エリアに複数のセンサにより構成されるセンサ配列(センサ群)を設けた場合の例につき説明する。図示の例では、2つの検知エリアに2つのセンサ5により構成されるセンサ配列(センサ群)が設けられ、各検知エリアを各センサ5により検知するよう構成される。検知エリアやセンサの数はこれに限られず、適宜変更しても構わない。例えば、2つの検知エリアがある程度離れている場合、1つのセンサで検知するのが難しい場合もあるが、各エリア毎に1つ又は複数のセンサを配置することで、検知エリアの物理的位置に的確に対応することが可能となる。 Next, FIG. 4 will explain an example in which a sensor array (sensor group) composed of a plurality of sensors is provided in a plurality of detection areas. In the illustrated example, a sensor array (sensor group) composed of two sensors 5 is provided in the two detection areas, and each detection area is configured to be detected by each sensor 5. The number of detection areas and sensors is not limited to this, and may be changed as appropriate. For example, if the two detection areas are separated to some extent, it may be difficult to detect with one sensor, but by arranging one or more sensors in each area, the physical position of the detection area can be reached. It will be possible to respond accurately.

また、このような構成において、本発明の一実施形態において、図示のように、2つのセンサ5を直列に接続し回路を構成する。2つのセンサ5が直列に構成されているため、一方の検知エリアにおけるセンサ5に導体物質が付着しただけでは、電圧が印加されることはなく、他方の検知エリアにおけるセンサ5にも導体物質が付着した場合に初めて、電圧が印加されることとなる。このようにして、本発明の一実施形態におけるセンサ配列は、1つのセンサ5による故障予知の誤検出があった場合でも、故障予知に関する出力がなされることを確実に防止できる。 Further, in such a configuration, in one embodiment of the present invention, as shown in the figure, two sensors 5 are connected in series to form a circuit. Since the two sensors 5 are configured in series, no voltage is applied just by adhering the conductor substance to the sensor 5 in one detection area, and the conductor substance is also applied to the sensor 5 in the other detection area. The voltage will be applied only when it adheres. In this way, the sensor arrangement according to the embodiment of the present invention can surely prevent the output related to the failure prediction from being output even when the failure prediction is erroneously detected by one sensor 5.

次に、図5に、本発明の一実施形態におけるセンサ5の接続態様につき説明する。図示のように、図3で説明した複数の検知エリアの内、第1の検知エリア100、第2の検知エリア200、第3の検知エリア300が、接続線24、接続線25、接続線26によりそれぞれ並列に接続され、これらと第4の検知エリア400が接続線28により直列に接続され、検出回路29に接続されている。 Next, FIG. 5 describes a connection mode of the sensor 5 according to the embodiment of the present invention. As shown in the figure, among the plurality of detection areas described with reference to FIG. 3, the first detection area 100, the second detection area 200, and the third detection area 300 are the connection line 24, the connection line 25, and the connection line 26. These are connected in parallel, and the fourth detection area 400 is connected in series by the connection line 28, and is connected to the detection circuit 29.

図5に示すように、4つの電極の内、1つを多重化(Gnd)する構成とし、残りの3つの電極を信号として使用することができる。中央の円形電極を介して2つの部分を2直列とし、その一方を3並列させることで、電圧を半分程度に低減させることができると共に、断線に対するロバスト性の向上にもつながる。 As shown in FIG. 5, one of the four electrodes can be multiplexed (Gnd), and the remaining three electrodes can be used as signals. By connecting the two parts in two series via the circular electrode in the center and arranging one in three in parallel, the voltage can be reduced by about half and the robustness against disconnection can be improved.

次に、図6に、本発明の一実施形態におけるセンサ5の接続態様につき説明する。図示のように、図3で説明した、第1の検知エリア100、第2の検知エリア200、第3の検知エリア300、第4の検知エリア400が、接続線18、接続線19、接続線20、接続線21によりそれぞれ並列に接続され、これらが検出回路23に接続されている。 Next, FIG. 6 describes a connection mode of the sensor 5 according to the embodiment of the present invention. As shown in the figure, the first detection area 100, the second detection area 200, the third detection area 300, and the fourth detection area 400 described in FIG. 3 are the connection line 18, the connection line 19, and the connection line. 20 and the connection line 21 are connected in parallel, and these are connected to the detection circuit 23.

図6に示すように、4つの電極を並列に接続することで、図3に示す接続態様に比して、電圧を4分の1程度に低減できると共に、Gnd線を多重化することで、断線に対するロバスト性を向上させることができる。 As shown in FIG. 6, by connecting four electrodes in parallel, the voltage can be reduced to about one-fourth as compared with the connection mode shown in FIG. 3, and by multiplexing the Gnd line, the voltage can be reduced to about one-fourth. Robustness against disconnection can be improved.

次に、図7に本発明の他の実施形態のセンサ5の上面図、A-A断面図を示す。 Next, FIG. 7 shows a top view and a sectional view taken along the line AA of the sensor 5 according to another embodiment of the present invention.

本発明の他の実施形態におけるセンサ5は、図7に示されるように、中心付近の第1の電極(中心電極)6、外側に位置する第2の電極(外側電極)7、第3の電極(外側電極)8、中心付近の第4の電極(中心電極)9、外側に位置する第5の電極(外側電極)10、第6の電極(外側電極)11、永久磁石40、ネジ部材12及び樹脂材13を備えている。なお、永久磁石40を用いず、中心電極6を、当該磁石と電極とを兼ねるように構成してもよい。 As shown in FIG. 7, the sensor 5 in another embodiment of the present invention includes a first electrode (center electrode) 6 near the center, a second electrode (outer electrode) 7 located on the outside, and a third electrode. Electrode (outer electrode) 8, fourth electrode (center electrode) 9 near the center, fifth electrode (outer electrode) 10 located on the outside, sixth electrode (outer electrode) 11, permanent magnet 40, screw member 12 and a resin material 13 are provided. The center electrode 6 may be configured to serve as both the magnet and the electrode without using the permanent magnet 40.

図示の例では、第1の電極(中心電極)6と、第2の電極(外側電極)7との間、第1の電極(中心電極)6と、第3の電極(外側電極)8との間、第4の電極(中心電極)9と、第5の電極(外側電極)10との間、第4の電極(中心電極)9と、第6の電極(外側電極)11との間で、樹脂材13の上に抵抗体30がそれぞれ配置されている。図示の抵抗体30の配置は一例であり、当該抵抗体30の形状、構造、配置場所、配置態様等に特段の限定はなく、適宜変更可能である。 In the illustrated example, between the first electrode (center electrode) 6 and the second electrode (outer electrode) 7, the first electrode (center electrode) 6 and the third electrode (outer electrode) 8 Between the fourth electrode (center electrode) 9 and the fifth electrode (outer electrode) 10, between the fourth electrode (center electrode) 9 and the sixth electrode (outer electrode) 11. The resistors 30 are arranged on the resin material 13. The arrangement of the illustrated resistor 30 is an example, and the shape, structure, arrangement location, arrangement mode, etc. of the resistor 30 are not particularly limited and can be appropriately changed.

このように、センサ5の検知エリアに大きな抵抗を持つ抵抗体30を接続することで、導体物質が少量の場合でも微小の電流が流れるようにしておくことで、銅線(接続線など)が破断した際に微小電流が流れなくなるため、回路の断線の検出が可能となる。なお、当該抵抗体30の抵抗Rは、故障検出時のギャップ部分の抵抗値Ωよりも十分大きくなるように構成される。また、減速機の故障により、導体物質が集まった際には、検知エリアの抵抗値が低下し、大きな電流値の電流が流れるため、電流値に閾値を設け、故障予知を行うことができる。上記構成により、回路の断線と故障予知の双方を確実に行うことができる。 In this way, by connecting the resistor 30 having a large resistance to the detection area of the sensor 5 so that a minute current can flow even if the conductor material is small, the copper wire (connecting wire, etc.) can be formed. Since a minute current does not flow when the circuit breaks, it is possible to detect a disconnection in the circuit. The resistance R of the resistor 30 is configured to be sufficiently larger than the resistance value Ω of the gap portion at the time of failure detection. Further, when the conductor material is collected due to the failure of the speed reducer, the resistance value in the detection area is lowered and a current having a large current value flows, so that a threshold value can be set for the current value and failure prediction can be performed. With the above configuration, both circuit disconnection and failure prediction can be reliably performed.

次に、本発明の一実施形態におけるセンサは、閾値を超えると導体物質が付着しセンサがONの状態となると、常に電流が流れる構造となり、エネルギーの浪費となりかねない。また、フォトカブラ(PC)の寿命は通電している時間と相関関係にあるため、PCの寿命にも影響を与え、回路の破損などの問題を発生させることが考えられる。 Next, the sensor according to the embodiment of the present invention has a structure in which a conductor substance adheres when the threshold value is exceeded and a current always flows when the sensor is turned on, which may waste energy. Further, since the life of the photo cover (PC) correlates with the time during which the photo is energized, it may affect the life of the PC and cause problems such as circuit breakage.

図8は、そのような問題を防止するための信号処理回路の構成を説明する図である。図8に示すように、センサ5には、接続線により、電源32を備える電源印加制御部31が接続され、その後、電圧検出部33、記憶部34、出力部35に接続される。記憶部34は、接続線により電源印加制御部31に接続される。 FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of a signal processing circuit for preventing such a problem. As shown in FIG. 8, a power supply application control unit 31 including a power supply 32 is connected to the sensor 5 by a connection line, and then connected to a voltage detection unit 33, a storage unit 34, and an output unit 35. The storage unit 34 is connected to the power supply application control unit 31 by a connection line.

図示の電源印加制御部31は、センサ5の電極間に電圧の印加する電源32を含み、当該電源による電圧の印加を遮断することができるように構成される。電圧検出部33は、電源32による電圧の印加を検出し、検出信号を出力する。信記憶部34は、信号検出部33により検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する。図示の記憶部34は、RSフリップフロップによる状態記憶を示すが、マイコンのメモリ等を含む集積型デバイスであってもよいし、その他の態様であっても構わない。出力部35は、記憶部34において検知信号が記憶されると、該検知信号がなされたことを出力し、故障予知の警報のトリガーを発生させる。 The illustrated power supply application control unit 31 includes a power supply 32 to which a voltage is applied between the electrodes of the sensor 5, and is configured to be able to cut off the application of the voltage by the power supply. The voltage detection unit 33 detects the application of voltage by the power supply 32 and outputs a detection signal. The communication storage unit 34 stores the output of the detection signal when the detection signal is output by the signal detection unit 33. Although the illustrated storage unit 34 shows state storage by RS flip-flop, it may be an integrated device including a memory of a microcomputer or the like, or may be another embodiment. When the detection signal is stored in the storage unit 34, the output unit 35 outputs that the detection signal has been made and generates a trigger for a failure prediction alarm.

本発明の一実施形態におけるセンサ5は、閾値を超える導体物質が付着すると、電源32との間で通電(ONの状態)し、これを検出した検出部33は、検出信号を記憶部34へ出力し、当該信号は記憶部34に記憶される。記憶部34において当該信号が記憶されると、Hiの状態となり、その結果、電源印加制御部31もHiの状態となり、電圧の印加が遮断され、PC1がOFFの状態となる。そうすると、当該センサ5への通電がOFFの状態となるため、検出部33の記憶部34への出力は変化するが、記憶部34の回路により当該記憶部34の出力が保持されるように構成されるため、出力部は、引き続き故障予知の警報のトリガーを発生させる。 When the conductor material exceeding the threshold value adheres to the sensor 5 in one embodiment of the present invention, the sensor 5 is energized (ON state) with the power supply 32, and the detection unit 33 that detects this energizes the sensor 5 to the storage unit 34. It is output and the signal is stored in the storage unit 34. When the signal is stored in the storage unit 34, the signal is in the Hi state, and as a result, the power supply application control unit 31 is also in the Hi state, the voltage application is cut off, and the PC1 is in the OFF state. Then, since the energization of the sensor 5 is turned off, the output of the detection unit 33 to the storage unit 34 changes, but the output of the storage unit 34 is maintained by the circuit of the storage unit 34. Therefore, the output unit continues to generate a trigger for the failure prediction alarm.

このようにして、回路に電流が流れ続けることを防止し、フォトカブラ(PC)の寿命を延ばすことが可能となり、回路の破損を回避することができる。 In this way, it is possible to prevent the current from continuing to flow in the circuit, extend the life of the photocabber (PC), and avoid damage to the circuit.

次に、図9は、信号処理回路のその他の構成を説明する図である。図9に示すように、センサ5には、接続線により、電源32を備える電源印加制御部31が接続され、その後、電圧検出部33、記憶部34、出力部35に接続される。記憶部34は、接続線により電源印加制御部31に接続される。図8の場合と異なり、記憶部34と電源印加制御部31との間に、タイマ回路36が接続されている。 Next, FIG. 9 is a diagram illustrating another configuration of the signal processing circuit. As shown in FIG. 9, a power supply application control unit 31 including a power supply 32 is connected to the sensor 5 by a connection line, and then connected to a voltage detection unit 33, a storage unit 34, and an output unit 35. The storage unit 34 is connected to the power supply application control unit 31 by a connection line. Unlike the case of FIG. 8, the timer circuit 36 is connected between the storage unit 34 and the power supply application control unit 31.

図示の電源印加制御部31は、センサ5の電極間に電圧の印加する電源32を含み、当該電源による電圧の印加を遮断することができるように構成される。電圧検出部33は、電源32による電圧の印加を検出し、検出信号を出力する。信記憶部34は、信号検出部33により検知信号が出力された場合に、該検知信号の出力を記憶する。図示の記憶部34は、RSフリップフロップによる状態記憶を示すが、マイコンのメモリ等を含む集積型デバイスであってもよいし、その他の態様であっても構わない。出力部35は、記憶部34において検知信号が記憶されると、該検知信号がなされたことを出力し、故障予知の警報のトリガーを発生させる。 The illustrated power supply application control unit 31 includes a power supply 32 to which a voltage is applied between the electrodes of the sensor 5, and is configured to be able to cut off the application of the voltage by the power supply. The voltage detection unit 33 detects the application of voltage by the power supply 32 and outputs a detection signal. The communication storage unit 34 stores the output of the detection signal when the detection signal is output by the signal detection unit 33. Although the illustrated storage unit 34 shows state storage by RS flip-flop, it may be an integrated device including a memory of a microcomputer or the like, or may be another embodiment. When the detection signal is stored in the storage unit 34, the output unit 35 outputs that the detection signal has been made and generates a trigger for a failure prediction alarm.

本発明の一実施形態におけるセンサ5は、閾値を超える導体物質が付着すると、電源32との間で通電(ONの状態)し、これを検出した検出部33は、検出信号を記憶部34へ出力し、当該信号は記憶部34に記憶される。しかし、通常導体物質は徐々に増加する傾向を示すため、センサ5に常に電源を印加し監視を続けることは必ずしも必要なく、間欠的な監視でも故障の予知に有効であることが分かった。 When the conductor material exceeding the threshold value adheres to the sensor 5 in one embodiment of the present invention, the sensor 5 is energized (ON state) with the power supply 32, and the detection unit 33 that detects this energizes the sensor 5 to the storage unit 34. It is output and the signal is stored in the storage unit 34. However, since the conductor material usually tends to increase gradually, it is not always necessary to constantly apply a power source to the sensor 5 to continue monitoring, and it has been found that even intermittent monitoring is effective in predicting a failure.

図9の示す信号処理回路では、タイマ回路36が付加され、一定時間間隔毎、若しくは定時刻毎に電源を印加する。このようにして、常に回路に電流を流し続けることを防止できるため、エネルギー消費を低減することが可能となる。 In the signal processing circuit shown in FIG. 9, a timer circuit 36 is added, and power is applied at regular time intervals or fixed time intervals. In this way, it is possible to prevent the current from constantly flowing through the circuit, and thus it is possible to reduce energy consumption.

以上が本発明の例示的な実施形態の説明である。本発明の実施形態は、上記に説明したものに限定されず、本発明の技術的思想の範囲において様々な変形が可能である。例えば、明細書中に例示的に明示される実施形態等又は自明な実施形態等を適宜組み合わせた内容も本願の実施形態に含まれる。 The above is the description of the exemplary embodiment of the present invention. The embodiments of the present invention are not limited to those described above, and various modifications can be made within the scope of the technical idea of the present invention. For example, the embodiment of the present application also includes the content of an appropriate combination of an embodiment or the like exemplarily specified in the specification or a trivial embodiment or the like.

1 機構
2 減速機
3 フランジ部
4 サーボモータ
5 センサ
6 第1の電極(中心電極)
7 第2の電極(外側電極)
8 第3の電極(外側電極)
9 第4の電極(中心電極)
10 第5の電極(外側電極)
11 第6の電極(外側電極)
12 ネジ部材
13 樹脂
14 接続線
15 接続線
16 接続線
17 検出回路
18 接続線
19 接続線
20 接続線
21 接続線
22 接続線
23 検出回路
24 接続線
25 接続線
26 接続線
28 接続線
29 検出回路
30 抵抗体
31 電源印加制御部
32 電源
33 電圧検出部
34 信記憶部
35 出力部
36 タイマ回路
40 永久磁石
43 回路基板
1 Mechanism 2 Reducer 3 Flange part 4 Servo motor 5 Sensor 6 First electrode (center electrode)
7 Second electrode (outer electrode)
8 Third electrode (outer electrode)
9 Fourth electrode (center electrode)
10 Fifth electrode (outer electrode)
11 Sixth electrode (outer electrode)
12 Screw member 13 Resin 14 Connection line 15 Connection line 16 Connection line 17 Detection circuit 18 Connection line 19 Connection line 20 Connection line 21 Connection line 22 Connection line 23 Detection circuit 24 Connection line 25 Connection line 26 Connection line 28 Connection line 29 Detection circuit 30 Resistor 31 Power supply application control unit 32 Power supply 33 Voltage detection unit 34 Communication storage unit 35 Output unit 36 Timer circuit 40 Permanent magnet 43 Circuit board

Claims (8)

複数の電極と、
該複数の電極間に電圧を印加する電源を含む電源印加制御部と、
前記複数の電極の間にある複数のギャップ部の各々に集積した導体物質により前記複数のギャップ部のうちの少なくとも2つ以上のギャップ部において前記電極間の電気抵抗が低下した場合に、該複数の電極間の電気抵抗の低下を示す検出信号の出力を検出する信号検出部と、
該検出信号が出力された場合に、該検出信号の出力を記憶する記憶部と、
を備えるセンサであって、
前記電源印加制御部は、前記検出信号の出力が前記記憶部に記憶されている間、前記電源による電圧の印加を遮断する、ことを特徴とするセンサ。
With multiple electrodes,
A power supply application control unit including a power supply that applies a voltage between the plurality of electrodes,
When the electrical resistance between the electrodes is reduced in at least two or more of the plurality of gaps due to the conductor material accumulated in each of the plurality of gaps between the plurality of electrodes, the plurality of electrodes. A signal detector that detects the output of a detection signal that indicates a decrease in electrical resistance between the electrodes of
When the detection signal is output, a storage unit that stores the output of the detection signal and
It is a sensor equipped with
The power supply application control unit is a sensor characterized in that the voltage application by the power supply is cut off while the output of the detection signal is stored in the storage unit.
前記複数の電極は、第1の電極と、第2の電極と、第3の電極と、を少なくとも含み、前記複数のギャップ部は、該第1の電極と該第2の電極との間に形成される第1のギャップ部と、該第1の電極と該第3の電極との間に形成される第2のギャップ部と、を少なくとも含む、請求項1に記載のセンサ。 The plurality of electrodes include at least a first electrode, a second electrode, and a third electrode, and the plurality of gaps are formed between the first electrode and the second electrode. The sensor according to claim 1, further comprising a first gap portion formed and a second gap portion formed between the first electrode and the third electrode. 前記複数の電極は、第4の電極と、第5の電極と、第6の電極と、をさらに備え、前記複数のギャップ部は、該第4の電極と該第5の電極との間に形成される第3のギャップ部と、該第4の電極と該第6の電極との間に形成される第4のギャップ部と、をさらに含む、請求項2に記載のセンサ。 The plurality of electrodes further include a fourth electrode, a fifth electrode, and a sixth electrode, and the plurality of gap portions are provided between the fourth electrode and the fifth electrode. The sensor according to claim 2, further comprising a third gap portion formed and a fourth gap portion formed between the fourth electrode and the sixth electrode. 前記複数のギャップ部を直列に回路接続した、請求項1から3までのいずれか1項に記載のセンサ。 The sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the plurality of gap portions are connected by a circuit in series. 前記複数のギャップ部を並列に回路接続し、少なくとも2つ以上のエリアにおいて前記電極間の電気抵抗の低下した場合に、検知信号を出力する、請求項1から3までのいずれか1項に記載のセンサ。 The invention according to any one of claims 1 to 3, wherein the plurality of gap portions are connected in parallel in a circuit, and a detection signal is output when the electrical resistance between the electrodes decreases in at least two or more areas. Sensor. 前記複数のギャップ部の各々に、微電流を流すための抵抗体を配置した、請求項1から5までのいずれか1項に記載のセンサ。 The sensor according to any one of claims 1 to 5, wherein a resistor for passing a minute current is arranged in each of the plurality of gap portions. 前記第2の電極は、前記第1の電極よりも径方向外側に配置され、
前記第3の電極は、前記第1の電極よりも径方向外側において前記第2の電極から周方向に離間した位置に配置されており、
前記第4の電極は、前記第1の電極から周方向に離間して配置されており、
前記第5の電極は、前記第4の電極よりも径方向外側に配置され、
前記第6の電極は、前記第4の電極よりも径方向外側において前記第5の電極から周方向に離間した位置に配置されており、
前記第1のギャップ部、前記第2のギャップ部、前記第3のギャップ部、及び前記第4のギャップ部が直列に接続されており、
前記電源は、前記第2の電極と前記第5の電極との間に電圧を印加する、
請求項3に記載のセンサ。
The second electrode is arranged radially outside the first electrode.
The third electrode is arranged at a position radially outside the first electrode and separated from the second electrode in the circumferential direction.
The fourth electrode is arranged apart from the first electrode in the circumferential direction.
The fifth electrode is arranged radially outside the fourth electrode.
The sixth electrode is arranged radially outside the fourth electrode and at a position separated from the fifth electrode in the circumferential direction.
The first gap portion, the second gap portion, the third gap portion, and the fourth gap portion are connected in series.
The power supply applies a voltage between the second electrode and the fifth electrode.
The sensor according to claim 3.
複数の検知エリアの各々に請求項1に記載のセンサを備え、該複数のセンサのそれぞれの前記電極間の電気抵抗の低下を検知する、センサ配列。
A sensor array comprising the sensor according to claim 1 in each of the plurality of detection areas, and detecting a decrease in electrical resistance between the electrodes of the plurality of sensors.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113728225A (en) * 2019-04-26 2021-11-30 纳博特斯克有限公司 Sensor with a sensor element
JP7452980B2 (en) * 2019-04-26 2024-03-19 ナブテスコ株式会社 sensor
CN111855755A (en) * 2019-04-26 2020-10-30 纳博特斯克有限公司 Sensor with a sensor element
JP2021076386A (en) * 2019-11-05 2021-05-20 ナブテスコ株式会社 Sensor
JP7366731B2 (en) 2019-12-17 2023-10-23 ナブテスコ株式会社 sensor

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002310967A (en) 2001-04-06 2002-10-23 Komatsu Ltd Conductor detector
JP2006170667A (en) 2004-12-13 2006-06-29 Ntn Corp Oil check sensor
JP2010014518A (en) 2008-07-03 2010-01-21 Hitachi Constr Mach Co Ltd Metal particle inspecting system

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5942441A (en) * 1982-09-01 1984-03-09 Caterpillar Mitsubishi Ltd Sensor for monitoring clouding of oil
JPS60195463A (en) * 1984-03-19 1985-10-03 Oki Electric Ind Co Ltd Disconnection detecting system
US4598280A (en) * 1984-08-20 1986-07-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Electric chip detector
JPH01235107A (en) * 1988-03-15 1989-09-20 Mitsubishi Electric Corp Open circuit monitoring device
JPH09318577A (en) * 1996-05-30 1997-12-12 Komatsu Ltd Apparatus for diagnosing trouble of hydraulic equipment and method therefor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002310967A (en) 2001-04-06 2002-10-23 Komatsu Ltd Conductor detector
JP2006170667A (en) 2004-12-13 2006-06-29 Ntn Corp Oil check sensor
JP2010014518A (en) 2008-07-03 2010-01-21 Hitachi Constr Mach Co Ltd Metal particle inspecting system

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