JP7072866B2 - Object support device - Google Patents

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JP7072866B2 JP2018202273A JP2018202273A JP7072866B2 JP 7072866 B2 JP7072866 B2 JP 7072866B2 JP 2018202273 A JP2018202273 A JP 2018202273A JP 2018202273 A JP2018202273 A JP 2018202273A JP 7072866 B2 JP7072866 B2 JP 7072866B2
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Description

本発明は、対象物を支持する対象物支持装置に係る。特に、上下方向の振動に対する免震機能に注目した対象物支持装置に関する。 The present invention relates to an object support device that supports an object. In particular, the present invention relates to an object support device focusing on a seismic isolation function against vibration in the vertical direction.

水平方向の対象物支持装置(例えば、免震テーブル)として、従来より、いくつかの構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルは比較的容易に実現できる。免震テーブルに支えられる対象物の重量が、X-Yテーブルやベアリング等により支えられているため水平方向のばね定数を比較的小さく設定して地震時に水平加速度振動に応答できる。例えば、ベアリング等の機構で垂直方向の荷重を支え、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮できる。 As a horizontal object support device (for example, a seismic isolation table), several configurations have been conventionally devised. A horizontal seismic isolation table can be realized relatively easily. Since the weight of the object supported by the seismic isolation table is supported by the XY table, bearings, etc., the horizontal spring constant can be set relatively small to respond to horizontal acceleration vibration during an earthquake. For example, a mechanism such as a bearing can support a load in the vertical direction, suppress a resistance force against vibration in the horizontal direction, and effectively exert a seismic isolation effect.

一方、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、簡易な構成、かつ、低コストで実現できるものが要請されている。 On the other hand, an object support device for vibration in the vertical direction is required to have a simple configuration and can be realized at low cost.

地震の波には様々な周期を持った波が重なっており、その中でも周期が0.5~1.0秒程度の波の成分が卓越している。対象物支持装置の上下方向の固有周期を1秒より大きくすることで、対象物支持装置の地震波に対する共振を避けて、免震効果を大きくすることができる。対象物支持装置の上下方向の固有周期を1秒、2秒、3秒、5秒と大きくするほど免震効果が大きくなる。少なくとも2秒程度にすることが好ましい。 Waves with various periods overlap with the waves of an earthquake, and among them, the wave component with a period of about 0.5 to 1.0 seconds is predominant. By making the natural period of the object support device in the vertical direction longer than 1 second, it is possible to avoid resonance of the object support device with respect to seismic waves and increase the seismic isolation effect. The seismic isolation effect increases as the vertical natural period of the object support device increases to 1 second, 2 seconds, 3 seconds, and 5 seconds. It is preferably at least about 2 seconds.

対象物支持装置の上下方向の固有周期を2秒程度にするためには、上下方向のばねを柔らかくすることが必要である。ここで、対象物支持装置の上下方向の固有周期を2秒程度にするためには、ばね定数が一定である場合、対象物の質量に関わらず、約1mの静的たわみが必要となることが分かっている。これは、無負荷の状態の免震装置に対象物を静かに乗せると約1m程度沈んでつりあい、この静的つりあい位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する。対象物支持装置は、高さが1m~数十cm程度になる。免震装置の上下方向の固有周期を3秒、5秒にすると、さらに静的たわみが大きくなる。 In order to make the vertical natural period of the object support device about 2 seconds, it is necessary to soften the spring in the vertical direction. Here, in order to set the natural period of the object support device in the vertical direction to about 2 seconds, if the spring constant is constant, a static deflection of about 1 m is required regardless of the mass of the object. I know. When an object is gently placed on a seismic isolation device in a no-load state, it sinks about 1 m and balances, and vibrates up and down around this static balance position to exert a seismic isolation effect. The height of the object support device is about 1 m to several tens of cm. If the natural period of the seismic isolation device in the vertical direction is set to 3 seconds and 5 seconds, the static deflection becomes even larger.

特に、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、一定の荷重に対しては静的たわみが極めて小さく、一定の荷重以上になると軟らかいばね定数をもつ非線形ばね特性をもつ免震装置が好ましい。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。
In particular, as the object support device for vibration in the vertical direction, a seismic isolation device having a non-linear spring characteristic having extremely small static deflection for a certain load and a soft spring constant when the load exceeds a certain value is preferable.
For example, when an object is placed on a table, it flexes statically up to one position and then statically suspends at that static suspension position. When an earthquake occurs, it vibrates up and down around the static suspension position.

本願出願人、他は、 対象物が載置され基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、を備え、前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備えると共に、当該一対のリンク部材は、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴とする免震装置、を考案した。
上記考案では、一対のリンク部材が水平可動部を持つため、テーブルの基台に対する水平方向の相対移動を抑制するための機構をさらに設ける必要がある。
市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置をさらに簡易な構造を付加することで、免震機能を維持したまま水平移動を抑制しやすくすることを望んでいる。
The applicant of the present application and others are installed between a table on which an object is placed and moves up and down with respect to the base, and a spring force in the vertical direction according to the up and down movement of the table. A connecting member having a horizontally movable portion that connects the table and the base and moves along the horizontal direction with the vertical movement of the table, and the horizontally movable portion of the connecting member. A horizontal spring member that is engaged with a portion and generates a spring force in the horizontal direction according to the movement of the horizontally movable portion, and the connecting member is provided with a distance between the connecting members that changes with the vertical movement of the table. A pair of link members each having the horizontally movable portion are provided, one end of each of the pair of link members is rotatably engaged with the table, and both ends of the horizontal spring member are rotatably engaged with the table. A seismic isolation device, characterized in that it is connected to each of the horizontally movable parts, has been devised.
In the above invention, since the pair of link members have a horizontally movable portion, it is necessary to further provide a mechanism for suppressing the horizontal relative movement of the table with respect to the base.
The market wants to make it easier to suppress horizontal movement while maintaining the seismic isolation function by adding a simpler structure to the object support device devised by the applicant of the present application.

本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、免震機能を維持したまま水平移動を抑制しやすい対象物支持装置を提供しようとする。 The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an object support device that can easily suppress horizontal movement while maintaining a seismic isolation function.

上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、他方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内機構とを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである左右一対の主リンクと一方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクであるサポートリンクとを持つリンク機構と、左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、ここで、前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である、ものとした。 In order to achieve the above object, the object support device for supporting the object according to the present invention supports the table on which the object is placed, the base supported by the foundation, and the table based on the base. A table support mechanism is provided, and the table support mechanism extends a pair of left and right guide blocks and a pair of left and right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis along a specific horizontal axis. A horizontal movement guidance mechanism having a pair of left and right guide mechanisms that movably guide each of them along a pair of left and right first orbits, which is a pair of left and right orbits, and an upward spring force applied to the table based on the base. The vertical spring member to be generated and one end of the upper end or the lower end are rotatably fixed around the rotation center while being the center of rotation in one structure and the upper end or the lower end. A pair of left and right main links, which are a pair of left and right links that are rotatably fixed around the other center of rotation, which is the center of rotation of the other end of the ends, and a pair of left and right ends. At least one of the main links is rotatably connected to one of the main links, which is the center of rotation, around the center of rotation of the support, and the other end is rotated around the center of rotation of the other support, which is the center of rotation in the other structure. It has a link mechanism having a support link that is a freely supported link, and a horizontal spring member that applies a spring force to each of the pair of left and right main links along a specific horizontal axis in a direction approaching each other. Here, the specific horizontal axis is a horizontal axis extending in a specific horizontal direction, the one structure is one structure of the table or the base, and the other structure is the other of the table or the base. It is a structure.

上記本発明の構成により、前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸である。前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造である。前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である。水平移動案内機構の左右一対の案内ブロックが、他方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される。水平移動案内機構の案内機構が、左右一対の該案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する。上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。リンク機構の左右一対の主リンクが、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。リンク機構のサポートリンクが、一方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。水平方向ばね部材が、左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる。
その結果、サポートリンクが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
According to the configuration of the present invention, the specific horizontal axis is a horizontal axis extending in a specific horizontal direction. The one-sided structure is one of the table or the base. The other structure is the other structure of the table or the base. A pair of left and right guide blocks of the horizontal movement guidance mechanism are arranged apart from each other along a specific horizontal axis with respect to the other structure. The guidance mechanism of the horizontal movement guidance mechanism movably guides the pair of left and right guide blocks along the pair of left and right first orbits, which are the pair of left and right orbits extending along the specific horizontal axis. The vertical spring member generates an upward spring force on the table based on the base. The pair of left and right main links of the linkage are rotatably fixed around the center of rotation while the upper end or one end of the lower end is rotatably centered in one structure and the upper end or The other end of the lower end is rotatably fixed to the guide block around the other center of rotation, which is the center of rotation. The support link of the linkage is rotatably connected to one end of the main link at least one of the pair of left and right main links, while the support link is rotatably connected around the support rotation center. The other structure is rotatably supported around the other support rotation center, which is the center of rotation. The horizontal spring member exerts a spring force on each of the pair of left and right main links along a specific horizontal axis in a direction approaching each other.
As a result, the support link can suppress the left and right movement of the table via the main link, and the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose by selecting the specifications of the link and the spring, which is desired. Can demonstrate seismic isolation function.

以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。 The object support device according to the embodiment of the present invention will be described below. The present invention includes any of the embodiments described below, or a combination of two or more of them.

また、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際のサポートリンクの他方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
Further, the support link is movably supported along the second orbit, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and is rotatably supported around the other support rotation center.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the support link is movable along the second orbit, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and is rotatable around the other support rotation center. Supported by.
As a result, the table support mechanism can stably exert the desired seismic isolation function by allowing the other end of the support link to move up and down when the left and right main links move up and down with the up and down movement of the table.

また、左右一対の前記第一軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
Further, when the pair of left and right first orbits transition along the direction in which they are separated from each other along the specific horizontal axis, they extend so as to be biased to one in the vertical direction as the transition occurs.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the support link is movable along the second orbit, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and is rotatable around the other support rotation center. Supported by.
As a result, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose by selecting the degree of bias to one of the pair of left and right orbits in the vertical direction, and the degree of freedom in design is increased.

また、前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
その結果、サポートリンクの他方の端部が第二軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
Further, the second orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the second orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
As a result, the other end of the support link moves up and down in a straight line along the second trajectory, and the left-right movement of the table can be stably suppressed via the main link member.

また、前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、
前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい。
その結果、主リンクとサポートリンクとが移動しつつ安定して傾斜し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
Further, the one-sided support rotation center is located on a main link virtual line which is a virtual line connecting the one-sided rotation center and the other-side rotation center, and the distance between the one-sided rotation center and the one-sided support rotation center and the said. On the other hand, the distance between the support rotation center and the other rotation center and the distance between the one support rotation center and the other support rotation center are equal to each other.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the one-side support rotation center is located on the main link virtual line which is a virtual line connecting the one-side rotation center and the other rotation center.
The distance between the one-sided rotation center and the one-side support rotation center, the distance between the one-side support rotation center and the other rotation center, and the distance between the one-side support rotation center and the other support rotation center are equal to each other.
As a result, the main link and the support link can be stably tilted while moving, and the left-right movement of the table can be stably suppressed via the main link member.

また、 左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
その結果、設計の自由度が増える。
Further, when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right links into left and right, the one rotation center of each of the pair of left and right links is separated by a predetermined separation distance.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the center of rotation of each of the pair of left and right links is separated by a predetermined distance when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right links into left and right.
As a result, the degree of freedom in design increases.

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。
Further, when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the one rotation center of each of the pair of left and right main links coincides.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the center of rotation of each of the pair of left and right links coincides with each other when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right links into left and right.
As a result, the degree of freedom in design increases.

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
その結果、設計の自由度が増える。
Further, when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the pair of left and right main links intersect between each of the one rotation center and the other rotation center.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the pair of left and right links intersect between the center of rotation of one left and the center of rotation of the other when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right links into left and right.
As a result, the degree of freedom in design increases.

また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
その結果、設計の自由度が増える。
Further, when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the pair of left and right main links intersect between each of the one rotation center and the other rotation center, and the left and right pair of the main links are respectively. It is rotatably connected at a point where it is sandwiched between the one-sided rotation center and the other-side rotation center and intersects with each other.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the pair of left and right main links intersect between the center of rotation of one of the left and the center of rotation of the other when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right. do. The pair of left and right links are rotatably connected at the intersections between the one rotation center and the other rotation center.
As a result, the degree of freedom in design increases.

また、前記テーブル支持機構が、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、を有し、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記テーブル支持機構の一方水平移動案内機構が、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ。
リンク機構の一方サポートリンクが、他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである。
その結果、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
Further, the table support mechanism extends a pair of left and right one-guide blocks and a pair of left and right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis, and a pair of left and right trajectories extending along the specific horizontal axis. It has a one-sided horizontal movement guidance mechanism having a pair of left-right one-sided guidance mechanisms that movably guide each of the left-right pair of third trajectories, and the link mechanism has the left-right pair of the main link and the said. The support link and the other end are rotatably connected to at least one of the pair of left and right main links around the other support rotation center, which is the center of rotation, and one end is rotated to the one structure. One-sided support link that is the center One-sided support link that is rotatably supported around the center of rotation.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the one-sided horizontal movement guide mechanism of the table support mechanism has a pair of left-right one-sided guide blocks and a pair of left-right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis. On the other hand, it has a pair of left and right guide mechanisms that movably guide the guide block along a pair of left and right third trajectories, which are a pair of left and right orbits extending along a specific horizontal axis.
One support link of the linkage is rotatably connected to the other end around the other support rotation center, which is the center of rotation, to at least one of the pair of left and right main links. It is a link that is rotatably supported around the support rotation center while being the rotation center in the one structure.
As a result, the support link and the one-sided support link can suppress the left and right movement of the table via the main link, and the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose by selecting the specifications of the link and the spring. And can exert the desired seismic isolation function.

また、前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
Further, the one-sided support link is movably supported along the fourth orbit, which is an orbit extending in the vertical direction in the one-sided structure, and rotatably around the one-sided support rotation center.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention,
The one-sided support link is movably supported along a fourth orbit, which is an orbit extending vertically in the one-sided structure, and rotatably around the one-sided support rotation center.
As a result, the table support mechanism can stably exert the desired seismic isolation function by allowing the vertical movement of one end of one support link when the left and right main links move up and down with the vertical movement of the table. ..

また、左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の第三軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
Further, when the pair of left and right third orbits transition along the direction in which they are separated from each other along the specific horizontal axis, they extend so as to be biased to one in the vertical direction as the transition occurs.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, when the pair of left and right third trajectories transition along the direction in which they are separated from each other along the specific horizontal axis, they extend so as to be biased to one in the vertical direction as the transition occurs.
As a result, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose by selecting the degree of bias to one of the pair of left and right third trajectories in the vertical direction, and the degree of freedom in design is increased.

また、前記第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
その結果、一方サポートリンクの一方の端部が第四軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
Further, the fourth orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the fourth orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
As a result, one end of the support link moves up and down in a straight line along the fourth orbit, and the left-right movement of the table can be stably suppressed via the main link member.

また、前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有する、
上記本発明に係る実施形態の構成により、上下移動案内機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。
その結果、テーブルの揺動運動を抑制できる。
Further, the table support mechanism has a vertical movement guide mechanism that suppresses the relative rocking motion of the table based on the base and guides the table so as to be movable in the vertical direction.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, the vertical movement guide mechanism suppresses the relative rocking motion of the table based on the base and guides the table so as to be movable in the vertical direction.
As a result, the swinging motion of the table can be suppressed.

また、N個のテーブル支持機構と、を備え、上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。
その結果、N個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
Further, N table support mechanisms are provided, and N table support mechanisms are arranged so as to surround the table when viewed from above to support each of the tables.
According to the configuration of the embodiment according to the present invention, N table support mechanisms are arranged so as to surround the table when viewed from above, and support the table to each of them.
As a result, the seismic isolation characteristics of N table support mechanisms can be adjusted to create a large-scale object support device, increasing the degree of freedom in design.

以上説明したように本発明に係る 対象物支持装置は、その手順と構成により、以下の効果を有する。
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対の案内機構が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックを前記テーブルまたは前記基台の他方に対して第一軌道に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の主リンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンクの一方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定され、他方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンクが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる第二軌道である第二軌道に沿って移動自在になる様にしたので、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際のサポートリンクの他方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の前記第一軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第一軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、サポートリンクの他方の端部が第二軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置して、前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しくなる様にしたので、主リンクとサポートリンクとが移動しつつ安定して傾斜し、主リンクを介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、交差点で連結する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の案内機構が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックを前記テーブルまたは前記基台の他方に対して第三軌道に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンクの一方の端部が左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の主リンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンクの一方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定され、他方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定され、一方サポートリンクの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定され、他方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定される様にしたので、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される様にしたので、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第三軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、一方サポートリンクの一方の端部が第四軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、上下移動案内機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、テーブルの傾斜を抑制できる。
また、上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する様にしたので、N個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
従って、免震機能を維持したまま水平移動を抑制しやすい対象物支持装置を提供できる。
As described above, the object support device according to the present invention has the following effects depending on the procedure and configuration thereof.
An upward spring force is generated on the table based on the base, and a pair of left and right guide blocks separated by a pair of left and right guide mechanisms along a specific horizontal axis are first placed on the table or the other of the base. It guides movably along the track, one end of the pair of left and right main links is rotatably fixed to one of the table or the base, and the other end is rotatably attached to the pair of left and right guide blocks. It is fixed and spring force is applied to the pair of left and right main links in a direction approaching each other, one end of the support link is rotatably fixed to at least one main link, and the other end is the table or the base. Since it is rotatably fixed to the other side of the table, the support link can suppress the left and right movement of the table via the main link, and the support characteristics of the table support mechanism can be improved by selecting the specifications of the link and spring. It can be selected according to the purpose and can exhibit the desired seismic isolation function.
In addition, since the support link is made movable along the second orbit, which is the second orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, the left and right main links are moved as the table moves up and down. Allows the other end of the support link to move up and down when it moves up and down, and the table support mechanism can stably exert the desired seismic isolation function.
Further, when the pair of left and right first orbits transitions along the specific horizontal axis in a direction away from each other, the pair of left and right first orbits are arranged so as to extend in one direction in the vertical direction as the transition occurs. By selecting the degree of bias to one side in the vertical direction, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose, and the degree of freedom in design is increased.
Further, since the second orbit is made to be a linear orbit extending in the vertical direction, the other end of the support link moves up and down in a straight line along the second orbit and passes through the main link member. The left-right movement of the table can be stably suppressed.
Further, the one-sided support rotation center is located on the main link virtual line, which is a virtual line connecting the one-sided rotation center and the other-side rotation center, and the distance between the one-sided rotation center and the one-sided support rotation center. Since the distance between the one support rotation center and the other rotation center and the distance between the one support rotation center and the other support rotation center are equal to each other, the main link and the support link are stable while moving. It can be tilted and the left and right movement of the table can be stably suppressed via the main link.
Further, since the one-sided rotation centers of the left-right pair of the left-right pair of the links are separated by a predetermined separation distance when viewed horizontally so as to divide the left-right pair of the main links into the left and right, the degree of freedom in design is increased.
Further, since the one-sided rotation center of each of the left-right pair of the main links is aligned when viewed horizontally so that the left-right pair of the main links are divided into the left and right, the degree of freedom in design is increased.
Further, the pair of left and right main links are viewed horizontally so as to be divided into left and right, and the pair of left and right main links intersect between the one rotation center and the other rotation center, so that the design is free. The degree increases.
Further, when viewed horizontally so that the pair of left and right main links are divided into left and right, the pair of left and right main links intersect between the one rotation center and the other rotation center, and are connected at the intersection. Therefore, the degree of freedom in design increases.
Further, a pair of left and right guide mechanisms guide a pair of left and right guide blocks separated along a specific horizontal axis to the table or the other of the bases so as to be movable along a third orbit, and a pair of left and right main links. One end is rotatably fixed to a pair of left and right guide blocks, the other end is rotatably fixed to a pair of left and right guide blocks, and a spring force is applied in a direction that approaches the pair of left and right main links. One end of the support link is rotatably fixed to at least one main link, the other end is rotatably fixed to the other of the table or the base, and one end of the support link. Is rotatably fixed to the other of the table or the base, and the other end is rotatably fixed to at least one main link, so that the support link and the one support link are rotatably fixed via the main link. The left and right movement of the table can be suppressed, and by selecting the specifications of the link and spring, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose, and the desired seismic isolation function can be exhibited.
Further, since the one-sided support link is movably supported along the fourth orbit, which is an orbit extending in the vertical direction in the one-sided structure, and rotatably supported around the one-sided support rotation center. The table support mechanism can stably exert the desired seismic isolation function by allowing the vertical movement of one end of one support link when the left and right main links move up and down with the vertical movement of the table.
Further, when the pair of left and right third orbits transitions along the direction away from each other along the specific horizontal axis, the pair of left and right third orbits are arranged so as to extend in one direction in the vertical direction as the transition occurs. By selecting the degree of bias to one side in the vertical direction, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose, and the degree of freedom in design is increased.
In addition, since the fourth orbit is made to be a linear orbit extending in the vertical direction, one end of the support link moves up and down in a straight line along the fourth orbit, via the main link member. The left-right movement of the table can be stably suppressed.
Further, since the vertical movement guide mechanism suppresses the relative rocking motion of the table based on the base and guides the table so as to be movable in the vertical direction, the tilt of the table can be suppressed.
In addition, since N table support mechanisms are arranged so as to surround the table when viewed from above to support each of the tables, the seismic isolation characteristics of the N table support mechanisms are adjusted on a large scale. It is possible to create a variety of object support devices, increasing the degree of freedom in design.
Therefore, it is possible to provide an object support device that can easily suppress horizontal movement while maintaining the seismic isolation function.

本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on 7th Embodiment of this invention. 本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on 7th Embodiment of this invention. 本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on the 9th Embodiment of this invention. 本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on the 9th Embodiment of this invention. 本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on tenth embodiment of this invention. 本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on tenth embodiment of this invention. 本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。It is a conceptual diagram of the object support device which concerns on eleventh embodiment of this invention. 本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。It is an operation diagram of the object support device which concerns on eleventh embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。It is a synthetic spring reaction force graph of the object support device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。It is a comparative graph of the synthetic spring reaction force of the object support device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1である。It is 1 of the adoption example of the object support device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1の側面図である。It is a side view of the adoption example 1 of the object support device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1の平面図である。It is a top view of the adoption example 1 of the object support device which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

最初に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する First, the object support device according to the embodiment of the present invention will be described.

対象物支持装置は、対象物を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持して、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
The object support device is a device that supports an object.
The object support device is used as a device that supports the object 10 and seismically isolates vibration in the vertical direction.
The object support device may be used in combination with a device for seismic isolation of horizontal vibration.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100は、対象物10を乗せるものである。
基台200は、基礎に支持されるものである。
テーブル支持機構300は、基台200を基礎としてテーブル100を支持する機構である。
以下に、テーブル支持機構300の構造を説明する。
ここで、説明の便宜上、特定の水平方向に延びる水平軸を特定水平軸xと、テーブル100または基台200の一方の構造を一方構造と、テーブル100または基台200の他方の構造を他方構造と、呼称する。
The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.
The table 100 is on which the object 10 is placed.
The base 200 is supported by the foundation.
The table support mechanism 300 is a mechanism that supports the table 100 based on the base 200.
The structure of the table support mechanism 300 will be described below.
Here, for convenience of explanation, the horizontal axis extending in a specific horizontal direction is the specific horizontal axis x, one structure of the table 100 or the base 200 is one structure, and the other structure of the table 100 or the base 200 is the other structure. Is called.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成される。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成されてもよい。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と上下移動案内機構(図示せず)とで構成されてもよい。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350と上下移動案内機構(図示せず)とで構成されてもよい。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, and a horizontal spring member 340.
The table support mechanism 300 may be composed of a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.
The table support mechanism 300 may be composed of a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism (not shown).
The table support mechanism 300 may be composed of a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, a vertical movement guide mechanism 350, and a vertical movement guide mechanism (not shown). ..

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成されてもよい。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と一方垂直移動案内機構352で構成されてもよい。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350と一方垂直移動案内機構352で構成されてもよい。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と上下移動案内機構(図示せず)とで構成されてもよい。
The table support mechanism 300 may be composed of a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, and a horizontal spring member 340.
The table support mechanism 300 may be composed of a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 352.
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, a vertical movement guide mechanism 350, and a vertical movement guide mechanism 352. You may.
Even if the table support mechanism 300 is composed of a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism (not shown). good.

水平移動案内機構310は、他方構造に設けられる。
水平移動案内機構310は、左右一対の案内ブロック310Br、310Blと左右一対の案内機構310Rr、310Rlとで構成される。
左右一対の案内ブロック310Br、310Blは、他方構造に対して特定水平軸xに沿って離れて配される。
左右一対の案内機構310Rr、310Rlは、左右一対の案内ブロック310Br、310Blを特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道g1に沿って各々に移動自在に案内する。
The horizontal movement guide mechanism 310 is provided in the other structure.
The horizontal movement guide mechanism 310 is composed of a pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl and a pair of left and right guide mechanisms 310Rr and 310Rl.
The pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl are arranged apart from each other along the specific horizontal axis x with respect to the other structure.
The pair of left and right guide mechanisms 310Rr and 310Rl movably guide the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl along the pair of left and right first orbits g1 which are the pair of left and right orbits extending along the specific horizontal axis x. ..

例えば、水平移動案内機構310が基台200に設けられる場合、左右一対の案内ブロック310Br、310Blは基台200に対して特定水平軸xに沿って離れて配される。
左右一対の案内機構310Rr、310Rlは、左右一対の案内ブロック310Br、310Blを特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道g1に沿って各々に移動自在に案内する。
図1乃至14は、水平移動案内機構310が基台200に設けられる様子を示す。
For example, when the horizontal movement guide mechanism 310 is provided on the base 200, the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl are arranged apart from the base 200 along the specific horizontal axis x.
The pair of left and right guide mechanisms 310Rr and 310Rl movably guide the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl along the pair of left and right first orbits g1 which are the pair of left and right orbits extending along the specific horizontal axis x. ..
FIGS. 1 to 14 show how the horizontal movement guide mechanism 310 is provided on the base 200.

例えば、水平移動案内機構310がテーブル100に設けられる場合、左右一対の案内ブロック310Br、310Blは、テーブル100に対して特定水平軸xに沿って離れて配される。
左右一対の案内機構310Rr、310Rlは、 左右一対の案内ブロック310Br、310Blを特定水平軸xに沿って延びる左右一対の第一軌道g1である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する。
For example, when the horizontal movement guide mechanism 310 is provided on the table 100, the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl are arranged apart from each other along the specific horizontal axis x with respect to the table 100.
The pair of left and right guide mechanisms 310Rr and 310Rl can move each of the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl along the pair of left and right first orbits g1 extending along the specific horizontal axis x. invite.

左右一対の案内機構310Rr、310Rlは、左右一対の案内ブロック310Br、310Blを第一軌道g1にそって案内するレール構造であってもよい。
左右一対の案内ブロック310Br、310Blは、レール構造に案内される車輪を持っていてもよい。
第一軌道g1の形状については、後述する。
The pair of left and right guide mechanisms 310Rr and 310Rl may have a rail structure that guides the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl along the first track g1.
The pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl may have wheels guided by the rail structure.
The shape of the first orbit g1 will be described later.

一方水平移動案内機構312は、一方構造に設けられる。
一方水平移動案内機構312は、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blと左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlとで構成される。
左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blは、一方構造に対して特定水平軸xに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する。
On the other hand, the horizontal movement guide mechanism 312 is provided in one structure.
On the other hand, the horizontal movement guide mechanism 312 is composed of a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl and a pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl.
The pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl are arranged apart from each other along the specific horizontal axis x with respect to the one-sided structure.
The pair of left and right one-way guide mechanisms 312Rr and 312Rl can move each of the pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl along the pair of left and right third orbits g3 which are the pair of left and right orbits extending along the specific horizontal axis x. invite.

例えば、一方水平移動案内機構312がテーブル100に設けられる場合、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blはテーブル100に対して特定水平軸xに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する。
図15乃至21は、一方水平移動案内機構312がテーブル100に設けられる様子を示す。
For example, when the one-sided horizontal movement guide mechanism 312 is provided on the table 100, the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl are arranged apart from each other along the specific horizontal axis x with respect to the table 100.
The pair of left and right one-way guide mechanisms 312Rr and 312Rl can move each of the pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl along the pair of left and right third orbits g3 which are the pair of left and right orbits extending along the specific horizontal axis x. invite.
15 to 21 show how the horizontal movement guide mechanism 312 is provided on the table 100.

例えば、一方水平移動案内機構312が基台200に設けらる場合、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blは、基台200に対して特定水平軸xに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、 左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する。
For example, when the one-sided horizontal movement guide mechanism 312 is provided on the base 200, the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl are arranged apart from the base 200 along the specific horizontal axis x.
The pair of left and right one-way guide mechanisms 312Rr and 312Rl can move each of the pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl along the pair of left and right third orbits g3 which are the pair of left and right orbits extending along the specific horizontal axis x. invite.

左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを第三軌道g3にそって案内するレール構造を持っていてもよい。
左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blは、レール構造に案内される車輪Wを持っていてもよい。
第三軌道g3の形状については、後述する。
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl may have a rail structure that guides the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along the third track g3.
The pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl may have wheels W guided by the rail structure.
The shape of the third orbit g3 will be described later.

上下方向ばね部材320は、基台200を基礎としてテーブル100に上向きのばね力を発生させる部材である。
上下方向ばね部材320は、設計上選択されたばね定数をもつ。
上下方向ばね部材320は、圧縮ばねでもよい。
例えば、圧縮ばねは、下端を基台200に連結され、上端をテーブル100に連結され、上向きの圧縮力をテーブル100に作用させる。
上下方向ばね部材320は、引張ばねでもよい。
例えば、引張ばねは、下端をテーブル100に連結され、上端を基台に連結され、上向きの引張力をテーブル100に作用させる。
図1乃至22は、圧縮ばねがテーブル100と基台200との間に設けられる様子を、模式的に示す。
The vertical spring member 320 is a member that generates an upward spring force on the table 100 based on the base 200.
The vertical spring member 320 has a spring constant selected by design.
The vertical spring member 320 may be a compression spring.
For example, the lower end of the compression spring is connected to the base 200, the upper end is connected to the table 100, and an upward compressive force is applied to the table 100.
The vertical spring member 320 may be a tension spring.
For example, the tension spring has its lower end connected to the table 100 and its upper end connected to the base, and an upward tensile force is applied to the table 100.
FIGS. 1 to 22 schematically show how a compression spring is provided between the table 100 and the base 200.

リンク機構330は、左右一対の主リンク331とサポートリンク332とで構成される。
リンク機構330は、左右一対の主リンク331と左右一対のサポートリンク332とで構成されてもよい。
左右一対の主リンク331は、右側主リンク331rと左側主リンク331lとで構成される。
左右一対のサポートリンク332は、右側サポートリンク332rと左側サポートリンク332lとで構成される。
左右一対の主リンク331r、331lは、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を案内ブロック310Br、310Blに回転中心である他方回転中心331Cdの回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである。
The link mechanism 330 is composed of a pair of left and right main links 331 and a support link 332.
The link mechanism 330 may be composed of a pair of left and right main links 331 and a pair of left and right support links 332.
The pair of left and right main links 331 is composed of a right side main link 331r and a left side main link 331l.
The pair of left and right support links 332 is composed of a right side support link 332r and a left side support link 332l.
The pair of left and right main links 331r and 331l are rotatably fixed around the rotation center 331Cu while having one end of the upper end or the lower end rotatably centered on one structure, and the upper end. A pair of left and right links rotatably fixed around the other end of the portion or the lower end around the other rotation center 331Cd, which is the rotation center of the guide blocks 310Br and 310Bl.

リンク機構330は、左右一対の主リンク331r、331lと一方サポートリンク333と主リンク連結軸334とで構成されてもよい。
リンク機構330は、左右一対の主リンク331r、331lとサポートリンク332と一方サポートリンク333と主リンク連結軸334とで構成されてもよい。
リンク機構330は、左右一対の主リンク331とサポートリンク332と左右一対の一方サポートリンク333と主リンク連結軸334とで構成されてもよい。
左右一対の一方サポートリンク333は、右側一方サポートリンク333rと左側一方サポートリンク333lとで構成されてもよい。
一方サポートリンク333は、一方構造に一方サポート回転軸333uで回転自在に連結され、主リンク331に他方サポート回転軸333dで回転自在に連結されるリンク構造である。
The link mechanism 330 may be composed of a pair of left and right main links 331r and 331l, one support link 333, and a main link connecting shaft 334.
The link mechanism 330 may be composed of a pair of left and right main links 331r and 331l, a support link 332, a support link 333, and a main link connecting shaft 334.
The link mechanism 330 may be composed of a pair of left and right main links 331, a support link 332, a pair of left and right support links 333, and a main link connecting shaft 334.
The pair of left and right support links 333 may be composed of a right side support link 333r and a left side support link 333l.
On the other hand, the support link 333 is a link structure rotatably connected to one structure by one support rotation shaft 333u and rotatably connected to the main link 331 by the other support rotation shaft 333d.

例えば、水平移動案内機構310が基台200に設けられる場合、左右一対の主リンク331r、331lは、上方の端部をテーブル100に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、下方の端部を案内ブロック310Br、310Blに回転中心である他方回転中心331Cdの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク331rは、上方の端部である一方の端部をテーブル100に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を右側案内ブロック310Brに回転中心である他方回転中心311Cdの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク331lは、上方の端部である一方の端部をテーブル100に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を左側案内ブロック310Blに回転中心である他方回転中心331Cdの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸331uが、主リンクの一方の端部を回転自在にテーブル100に連結し、他方連結軸331dが主リンクの他方の端部を案内ブロック310に回転自在に連結する。
For example, when the horizontal movement guide mechanism 310 is provided on the base 200, the pair of left and right main links 331r and 331l are rotatably fixed around the rotation center 331Cu while the upper end is rotatably centered on the table 100. , The lower end is rotatably fixed to the guide blocks 310Br, 310Bl around the other rotation center 331Cd, which is the rotation center.
The right main link 331r is rotatably fixed to the table 100 with one end, which is the upper end, around the rotation center 331Cu, and guides the other end, which is the lower end, to the right. It is rotatably fixed to the block 310Br around the other rotation center 311Cd, which is the rotation center.
The left main link 331l has one end, which is the upper end, rotatably fixed to the table 100 around the rotation center 331Cu, and guides the other end, which is the lower end, to the left. It is rotatably fixed to the block 310Bl around the other rotation center 331Cd, which is the rotation center.
One connecting shaft 331u rotatably connects one end of the main link to the table 100, and the other connecting shaft 331d rotatably connects the other end of the main link to the guide block 310.

例えば、水平移動案内機構310がテーブル100に設けられる場合、左右一対の主リンク331r、331lは、下方の端部を基台200に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、上方の端部を案内ブロック310Br、310Blに回転中心である他方回転中心331Cdの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク331rは下方の端部を基台200に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、上方の端部を右側案内ブロック310Brに回転中心である他方回転中心331Cdの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク331lは下方の端部を基台200に回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定され、上方の端部を左側案内ブロック310Blに回転中心である他方回転中心331Cdの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸331uが、主リンクの一方の端部を回転自在に基台200に連結し、他方連結軸331dが主リンクの他方の端部を案内ブロック311に回転自在に連結する。
For example, when the horizontal movement guide mechanism 310 is provided on the table 100, the pair of left and right main links 331r and 331l are rotatably fixed around the rotation center 331Cu while the lower end is rotatably centered on the base 200. The upper end is rotatably fixed to the guide blocks 310Br and 310Bl around the other rotation center 331Cd, which is the center of rotation.
The right main link 331r is rotatably fixed around the rotation center 331Cu while the lower end is rotatably centered on the base 200, and the upper end is rotatably centered on the right guide block 310Br of the other rotation center 331Cd. It is fixed so that it can rotate around.
The left main link 331l is rotatably fixed around the rotation center 331Cu while the lower end is rotatably centered on the base 200, and the upper end is rotatably fixed to the left guide block 310Bl on the other rotation center 331Cd. It is fixed so that it can rotate around.
One connecting shaft 331u rotatably connects one end of the main link to the base 200, and the other connecting shaft 331d rotatably connects the other end of the main link to the guide block 311.

例えば、一方水平移動案内機構312がテーブル100に設けられる場合、左右一対の主リンク331r、331lは、上方の端部を一方案内ブロック312Br、312Blに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク331rは、上方の端部である一方の端部を左側一方案内ブロック312Blに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク331lは、上方の端部である一方の端部を右側一方案内ブロック312Brに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸331uが、主リンクの一方の端部を左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blに回転自在に連結する。
図17乃至22には、一方水平移動案内機構312がテーブル100に設けられ、左右一対の主リンク331r、331lは、上方の端部を左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される様子が示される。
For example, when the one-side horizontal movement guide mechanism 312 is provided on the table 100, the pair of left and right main links 331r and 331l rotate their upper ends around the one-side guide block 312Br and 312Bl while the one-side rotation center 331Cu is the center of rotation. It is fixed freely.
The right main link 331r is rotatably fixed to the left one guide block 312Bl around one end, which is the upper end, around the rotation center 331Cu, which is the center of rotation.
The left main link 331l is rotatably fixed to the right one guide block 312Br around one end, which is the upper end, around the rotation center 331Cu, which is the center of rotation.
On the other hand, the connecting shaft 331u rotatably connects one end of the main link to a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl.
In FIGS. 17 to 22, one horizontal movement guide mechanism 312 is provided on the table 100, and the pair of left and right main links 331r and 331l have their upper ends centered on the pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl. It is shown that the rotation center 331Cu is rotatably fixed around the center 331Cu.

例えば、一方水平移動案内機構312が基台200に設けられる場合、左右一対の主リンク331r、331lは、下方の端部を一方案内ブロック312Br、312Blに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク331rは下方の端部を左側一方案内ブロック312Blに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク331lは下方の端部を右側一方案内ブロック312Brに回転中心である一方回転中心331Cuの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸331uが、主リンクの一方の端部を回転自在に左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blに回転自在に連結する。
For example, when the one-side horizontal movement guide mechanism 312 is provided on the base 200, the pair of left and right main links 331r and 331l have their lower ends around the one-side guide block 312Br and 312Bl while the one-side rotation center 331Cu is the center of rotation. It is fixed so that it can rotate freely.
The lower end of the right main link 331r is rotatably fixed to the left one guide block 312Bl around the rotation center 331Cu, which is the center of rotation.
The lower end of the left main link 331l is rotatably fixed to the right one guide block 312Br around the rotation center 331Cu, which is the center of rotation.
On the other hand, the connecting shaft 331u rotatably connects one end of the main link to a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl.

図1乃至14に、左右一対の主リンク331が、一方の端部をテーブル100に一方連結軸331uにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸331dにより基台200に設けられた水平移動案内機構310の案内ブロック310Bに回転自在に各々に連結される様子が示される。
図15乃至22に、左右一対の主リンク331が、一方の端部をテーブル100に設けられる一方水平案内機構312の左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blに一方連結軸331uにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸331dにより基台200に設けられた水平移動案内機構310の左右一対の案内ブロック310Br、310Blに回転自在に各々に連結される様子が示される。
In FIGS. 1 to 14, a pair of left and right main links 331 are rotatably connected to the table 100 at one end by one connecting shaft 331u, and the other end is provided on the base 200 by the other connecting shaft 331d. It is shown that the guide block 310B of the horizontal movement guide mechanism 310 is rotatably connected to each of them.
In FIGS. 15 to 22, a pair of left and right main links 331 are rotatably connected to a pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl of a horizontal guide mechanism 312 having one end provided on the table 100 by a one-way connecting shaft 331u. It is shown that the other end is rotatably connected to each of the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl of the horizontal movement guide mechanism 310 provided on the base 200 by the other connecting shaft 331d.

左右一対の主リンク331を左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク331の各々の一方回転中心331Cuが所定の離間距離H1だけ離れてもよい。
図1乃至10、図13乃至16に、左右一対の主リンク331を左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク331の各々の一方回転中心331Cuが所定の離間距離H1だけ離れている様子が示される。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links 331 into left and right, one rotation center 331Cu of each of the pair of left and right main links 331 may be separated by a predetermined separation distance H1.
In FIGS. 1 to 10 and FIGS. 13 to 16, one rotation center 331Cu of each of the pair of left and right main links 331 is separated by a predetermined separation distance H1 when viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links 331 into left and right. The situation is shown.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331の各々の一方回転中心331Cuが一致してもよい。
図11、12は、左右一対の主リンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331の各々の一方回転中心331Cuが一致している様子が示される。
When the pair of left and right main links 331r and 331l are viewed horizontally so as to be divided into left and right, one rotation center 331Cu of each of the pair of left and right main links 331 may coincide.
11 and 12 show that the pair of left and right main links 331 are viewed horizontally so as to be divided into left and right, and the one rotation center 331Cu of each of the pair of left and right main links 331 coincides.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク331が各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差してもよい。
図13、14に、左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク331が各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差する様子が示される。
The pair of left and right main links 331r and 331l may be viewed horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.
In FIGS. 13 and 14, when the pair of left and right main links 331r and 331l are viewed horizontally so as to be divided into left and right, the pair of left and right main links 331 intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd. Shown.

左右一対の主リンク331R、331lを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンクが各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結されてもよい。
図15、16に、左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様子が示される。
When viewed horizontally so that the pair of left and right main links 331R and 331l are divided into left and right, the pair of left and right main links intersect between the center of rotation of each one and the center of rotation of the other, and the pair of left and right links 331r and 331l are each. It may be rotatably connected at a point where it is sandwiched between the center of rotation on the one hand and the center of rotation on the other hand and intersects.
FIGS. 15 and 16 show how a pair of left and right main links 331r and 331l are rotatably connected at a point where they are sandwiched between one rotation center and the other rotation center and intersect with each other.
..

サポートリンク332は、一方の端部を左右一対の主リンク331r、311lのうちの少なくともひとつの主リンクに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持されるリンクである。
図9乃至16には、一個のサポートリンク332は、一方の端部を左右一対の主リンク331のうちの少なくともひとつの主リンク331に回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される様子が示される。
一方サポート連結軸332uが一個のサポートリンク332の一方の端部を回転自在に主リンク331に連結する。他方サポート連結軸332dがサポートリンク332の他方の端部を他方構造に回転自在に支持される。
The support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to at least one of the pair of left and right main links 331r and 311l, and connects the other end. A link rotatably supported around the other support rotation center 332Cd, which is the center of rotation in the other structure.
In FIGS. 9 to 16, one support link 332 is rotatably around one end of the support rotation center 332Cu while its end is centered on at least one main link 331 of the pair of left and right main links 331. It is shown that the other end is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd, which is the rotation center of the other structure.
On the other hand, the support connecting shaft 332u rotatably connects one end of one support link 332 to the main link 331. The other support connecting shaft 332d rotatably supports the other end of the support link 332 to the other structure.

左右一対のサポートリンク332r、332lは、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに各々に回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に各々に支持される左右一対のリンクである。
図1乃至8には、左右一対のサポートリンク332r、332lが、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに各々に回転自在に連結され、他方の端部を基台200(他方構造)に回転中心である他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される様子が示される。
左右一対の一方サポート連結軸332uが、右側サポートリンク332rの一方の端部を回転自在に右側主リンク331rに連結し、左側サポートリンク332lの一方の端部を回転自在に左側主リンク331に連結する。
左右一対の他方サポート連結軸332dが、右側サポートリンク332rの他方の端部を回転自在に他方構造に連結し、左側サポートリンク332lの他方のの端部を他方構造に回転自在に支持する。
The pair of left and right support links 332r and 332l have one end rotatably connected to each of the pair of left and right main links 331r and 331l around the support rotation center 332Cu, and the other end is connected to the other. A pair of left and right links rotatably supported around the other support rotation center 332Cd, which is the center of rotation in the structure.
In FIGS. 1 to 8, a pair of left and right support links 332r and 332l are rotatably connected to each of the left and right support links 332r and 332l around a support rotation center 332Cu while one end thereof is a rotation center of a pair of left and right main links 331r and 331l. It is shown that the other end is rotatably supported by the base 200 (the other structure) around the other support rotation center 332Cd, which is the center of rotation.
A pair of left and right support linking shafts 332u rotatably connects one end of the right side support link 332r to the right side main link 331r and rotatably connects one end of the left side support link 332l to the left side main link 331. do.
A pair of left and right other support connecting shafts 332d rotatably connects the other end of the right support link 332r to the other structure and rotatably supports the other end of the left support link 332l to the other structure.

サポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されてもよい。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されてもよい。
サポートリンク332の他方の端部は、垂直移動案内機構350を介して他方構造に支持されてもよい。
左右一対のサポートリンク332r、332lの他方の端部は、垂直移動案内機構350を介して他方構造に支持されてもよい。
垂直移動案内機構350は、他方構造に固定される。
例えば、サポートリンク332の他方の端部は、基台200に固定される垂直移動案内機構350を介して他方構造である基台200に支持されてもよい。
The support link 332 may be movably supported along the second orbit g2, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and rotatably around the other support rotation center.
A pair of left and right support links 332r and 332l may be movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and rotatably around the center of rotation of the other support. ..
The other end of the support link 332 may be supported by the other structure via the translation guide mechanism 350.
The other end of the pair of left and right support links 332r and 332l may be supported by the other structure via the translation guide mechanism 350.
The translation guide mechanism 350 is fixed to the other structure.
For example, the other end of the support link 332 may be supported by the base 200, which is the other structure, via a translation guide mechanism 350 fixed to the base 200.

一方サポートリンク333は、他方の端部を左右一対の主リンク331r、331lのうちの少なくともひとつの主リンクに回転中心である他方サポート回転中心333Cdの回りに回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持されるリンクである。
図17乃至18には、一個の一方サポートリンク333は、他方の端部を左右一対の主リンク331のうちの少なくともひとつの主リンク331に回転中心である他方サポート回転中心333Cdの回りに回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持される様子が示される。
他方サポート連結軸333dが一個の一方サポートリンク333の他方の端部を回転自在に主リンク331に連結する。一方サポート連結軸333uが一方サポートリンク333の一方の端部を一方構造に回転自在に支持される。
On the other hand, the support link 333 rotatably connects the other end to at least one of the pair of left and right main links 331r and 331l around the other support rotation center 333Cd, which is the center of rotation, and one end. Is a link rotatably supported around the support rotation center 333Cu, which is the rotation center in one structure.
In FIGS. 17-18, one one support link 333 is rotatable around the other support rotation center 333Cd whose other end is centered on at least one main link 331 of the pair of left and right main links 331. It is shown that one end is rotatably supported around a support rotation center 333Cu, which is a rotation center in one structure.
The other support connecting shaft 333d rotatably connects the other end of one support link 333 to the main link 331. On the other hand, the support connecting shaft 333u rotatably supports one end of the one end of the support link 333 in one structure.

図示しないが、左右一対の一方サポートリンク333r、333lは、他方の端部を左右一対の主リンク331r、331lに回転中心である他方サポート回転中心333Cdの回りに各々に回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に各々に支持される左右一対のリンクであってもよい。
左右一対の他方サポート連結軸333dが、右側一方サポートリンク333rの一方の端部を回転自在に左側主リンク331lに連結し、左側一方サポートリンク333lの一方の端部を回転自在に右側主リンク331rに連結する。
左右一対の一方サポート連結軸333uが、左右一対のサポートリンク333r、333lの一方の端部を回転自在に一方構造に各々に連結する。
Although not shown, the pair of left and right support links 333r and 333l are rotatably connected to each of the other ends around the other support rotation center 333Cd, which is the center of rotation to the pair of left and right main links 331r and 331l. There may be a pair of left and right links rotatably supported around the support rotation center 333Cu while the end portion of the is rotatably centered on one side.
A pair of left and right other support connecting shafts 333d rotatably connects one end of the right one support link 333r to the left main link 331l, and rotatably connects one end of the left one support link 333l to the right main link 331r. Connect to.
A pair of left and right support connecting shafts 333u rotatably connects one end of a pair of left and right support links 333r and 333l to each one structure.

一方サポートリンク333が、一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持されてもよい。
左右一対の一方サポートリンク333r、333lが、一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持されてもよい。
サポートリンク332の一方の端部は、一方垂直移動案内機構352を介して一方構造に支持されてもよい。
左右一対のサポートリンク332r、332lの一方の端部は、一方垂直移動案内機構352を介して一方構造に支持されてもよい。
一方垂直移動案内機構352は、一方構造に設けられる。
例えば、一方サポートリンク333の一方の端部は、テーブル100に固定される一方垂直移動案内機構352を介して一方構造であるテーブル100に支持されてもよい。
On the other hand, the support link 333 may be movably supported along the fourth orbit g4, which is an orbit extending in the vertical direction with one end in one structure, and rotatably supported around the support rotation center 333Cu.
A pair of left and right one-sided support links 333r and 333l are movably supported along a fourth orbit g4, which is an orbit extending in the vertical direction with one end in one structure, and rotatably supported around one support rotation center 333Cu. May be good.
One end of the support link 332 may be supported by the one-sided structure via the one-sided translation mechanism 352.
One end of the pair of left and right support links 332r and 332l may be supported by one structure via one translation guide mechanism 352.
On the other hand, the vertical movement guide mechanism 352 is provided on one side of the structure.
For example, one end of the support link 333 may be supported by the table 100, which is a one-sided structure, via a vertical translation mechanism 352 fixed to the table 100.

垂直移動案内機構350は、サポート案内ブロック350Bとサポート案内機構350Rとで構成されてもよい。
サポート案内ブロック350Bは他方構造に対して配される。
サポート案内機構350Rは、サポート案内ブロック350Bを他方構造に対して特定水平軸xに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在に案内する機構である。
サポートリンク332が、他方の端部をサポート案内ブロック350Bに他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に連結される。
例えば、サポート案内機構350Rは、サポート案内ブロック350Bを第二軌道g2に沿って案内するレール構造である。
The vertical movement guide mechanism 350 may be composed of a support guide block 350B and a support guide mechanism 350R.
The support guide block 350B is arranged with respect to the other structure.
The support guide mechanism 350R is a mechanism that movably guides the support guide block 350B along a second orbit g2 which is an orbit extending along a vertical axis orthogonal to a specific horizontal axis x with respect to the other structure.
The support link 332 is rotatably connected to the support guide block 350B at the other end around the other support rotation center 332Cd.
For example, the support guide mechanism 350R is a rail structure that guides the support guide block 350B along the second track g2.

垂直移動案内機構350は、左右一対のサポート案内ブロック350Br、350Blと左右一対のサポート案内機構350Rr、350Rlとで構成されてもよい。
左右一対のサポート案内ブロック350Br、350Blは、左右に離れて他方構造に対して配される。
左右一対のサポート案内機構350Rr、350Rlは、左右一対のサポート案内ブロック350Br、350lを他方構造に対して特定水平軸xに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在に案内する。
左右一対のサポート案内ブロック350Bは、右側サポート案内ブロック350Brと
左側サポート案内ブロック350Blとで構成される。
左右一対のサポート案内機構350Rは、右側サポート案内機構350Rrと左側サポート案内機構350Rlとで構成される。
右側サポートリンク332rが、他方の端部を右側サポート案内ブロック350Brに他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク332lが、他方の端部を左側サポート案内ブロック350Blに他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に連結される。
例えば、右側サポート案内機構350Rrは、右側サポート案内ブロック350Brを第二軌道g2に沿って案内するレール構造である。左側サポート案内機構350Rlは、左側サポート案内ブロック350Blを第二軌道g2に沿って案内するレール構造である。
The vertical movement guide mechanism 350 may be composed of a pair of left and right support guide blocks 350Br and 350Bl and a pair of left and right support guide mechanisms 350Rr and 350Rl.
The pair of left and right support guide blocks 350Br and 350Bl are separated from each other to the left and right and are arranged with respect to the other structure.
The pair of left and right support guide mechanisms 350Rr and 350Rl move the pair of left and right support guide blocks 350Br and 350l along a second orbit g2 which is an orbit extending along a vertical axis orthogonal to a specific horizontal axis x with respect to the other structure. Guide freely.
The pair of left and right support guide blocks 350B is composed of a right side support guide block 350Br and a left side support guide block 350Bl.
The pair of left and right support guide mechanisms 350R is composed of a right side support guide mechanism 350Rr and a left side support guide mechanism 350Rl.
The right support link 332r is rotatably connected to the right support guide block 350Br at the other end around the other support rotation center 332Cd.
The left support link 332l is rotatably connected to the left support guide block 350Bl at the other end around the other support rotation center 332Cd.
For example, the right side support guide mechanism 350Rr has a rail structure that guides the right side support guide block 350Br along the second track g2. The left support guide mechanism 350Rl is a rail structure that guides the left support guide block 350Bl along the second track g2.

一方垂直移動案内機構352は、一方構造に設けられる。
一方垂直移動案内機構352は、一方サポート案内ブロック352Bと一方サポート案内機構352Rとで構成されてもよい。
一方サポート案内ブロック352Bは、一方構造に対して配される。
一方サポート案内機構352Rは、一方サポート案内ブロック352Bを一方構造に対して特定水平軸xに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在に案内する機構である。
一方サポートリンク333が、一方の端部を一方サポート案内ブロック352Bに一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に連結される。
例えば、一方サポート案内機構352Rは、一方サポート案内ブロック352Bを第四軌道g4に沿って案内するレール構造である。
On the other hand, the vertical movement guide mechanism 352 is provided on one side of the structure.
On the other hand, the vertical movement guide mechanism 352 may be composed of one support guide block 352B and one support guide mechanism 352R.
On the other hand, the support guide block 352B is arranged for one structure.
On the other hand, the support guide mechanism 352R is a mechanism that movably guides the support guide block 352B along the fourth orbit g4, which is an orbit extending along the vertical axis orthogonal to the specific horizontal axis x with respect to the one structure.
One end of the support link 333 is rotatably connected to the one support guide block 352B around the one support rotation center 333Cu.
For example, the one-side support guide mechanism 352R has a rail structure that guides the one-side support guide block 352B along the fourth track g4.

一方垂直移動案内機構352の第四軌道g4が、直線状である特定水平軸に直交する向きに延びていてもよい。
一方垂直移動案内機構352の第四軌道g4が、主リンク331とサポートリンク332と一方サポートリンク333のジオメトリに対応して、テーブル100が真直ぐ上下運動する様になっていてもよい。
On the other hand, the fourth orbit g4 of the vertical movement guidance mechanism 352 may extend in a direction orthogonal to the specific horizontal axis which is a straight line.
On the other hand, the fourth orbit g4 of the vertical movement guidance mechanism 352 may be configured such that the table 100 moves straight up and down corresponding to the geometry of the main link 331, the support link 332, and the support link 333.

一方垂直移動案内機構352は、左右一対の一方サポート案内ブロック352Br、352Blと左右一対の一方サポート案内機構352Rr、352Rlとで構成されてもよい。
左右一対の一方サポート案内ブロック352Br、352Blは、左右に離れて一方構造に対して配される。
左右一対の一方サポート案内機構352Rr、352Rlは、左右一対の一方サポート案内ブロック352Br、352Blを一方構造に対して特定水平軸xに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在に案内する。
左右一対の一方サポート案内ブロック352Br、352Blは、右側一方サポート案内ブロック352Brと左側一方サポート案内ブロック352Blとで構成される。
左右一対の一方サポート案内機構352Rは、右側一方サポート案内機構352Rrと左側一方サポート案内機構352Rlとで構成される。
右側一方サポートリンク333rが、一方の端部を右側一方サポート案内ブロック352Brに一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に連結される。
左側一方サポートリンク333lが、一方の端部を左側一方サポート案内ブロック352Blに一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に連結される。
例えば、右側一方サポート案内機構352Rrは、右側一方サポート案内ブロック352Brを第四軌道g4に沿って案内するレール構造である。左側一方サポート案内機構352Rlは、左側一方サポート案内ブロック352Blを第四軌道g4に沿って案内するレール構造である。
On the other hand, the vertical movement guide mechanism 352 may be composed of a pair of left and right support guide blocks 352Br and 352Bl and a pair of left and right support guide mechanisms 352Rr and 352Rl.
A pair of left and right support guide blocks 352Br and 352Bl are arranged on one side of the structure apart from each other on the left and right.
The pair of left and right support guide mechanisms 352Rr and 352Rl extend the pair of left and right support guide blocks 352Br and 352Bl along a vertical axis orthogonal to the specific horizontal axis x with respect to the one structure along the fourth orbit g4. And guide you freely.
The pair of left and right one-sided support guide blocks 352Br and 352Bl are composed of a right-side one-sided support guide block 352Br and a left-side one-sided support guide block 352Bl.
The pair of left and right one-sided support guide mechanisms 352R is composed of a right-side one-sided support guide mechanism 352Rr and a left-side one-sided support guide mechanism 352Rl.
The right one support link 333r is rotatably connected to one end of the right one support guide block 352Br around the one support rotation center 333Cu.
The left one support link 333l is rotatably connected to one end of the left one support guide block 352Bl around the one support rotation center 333Cu.
For example, the right-side one-sided support guide mechanism 352Rr has a rail structure that guides the right-side one-sided support guide block 352Br along the fourth track g4. The left-side one-side support guide mechanism 352Rl has a rail structure that guides the left-side one-side support guide block 352Bl along the fourth track g4.

一方サポート回転中心333Cuが一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、一方回転中心331Cuと一方サポート回転中心333Cuとの距離と一方サポート回転中心333Cuと他方回転中心331Cdとの距離と一方サポート回転中心333Cuと他方サポート回転中心333Cdとの距離とが各々に等しくてもよい。
この様にすると、テーブル100が基台200に対して垂直に移動できる。
On the other hand, the support rotation center 333Cu is located on the main link virtual line which is a virtual line connecting the one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd, and the distance between the one rotation center 331Cu and the one support rotation center 333Cu and the one support rotation. The distance between the center 333Cu and the other rotation center 331Cd and the distance between the one support rotation center 333Cu and the other support rotation center 333Cd may be equal to each other.
In this way, the table 100 can be moved perpendicular to the base 200.

水平方向ばね部材340は、左右一対の主リンク331r、331lに特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材である。
水平方向ばね部材340は、左右一対の主リンク331r、331lの他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材であってもよい。
水平方向ばね部材340は、設計上選択されたばね定数をもつ。
水平方向ばね部材340は、圧縮ばねであってもよい。
例えば、一対の圧縮ばねが、左右一対の主リンク331r、331lの他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
水平方向ばね部材340は、引張ばねであってもよい。
例えば、引張ばねが、左右一対の主リンク331r、331lの他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、一対の引張ばねが、左右一対の主リンク331r、331lの他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、引張ばねが、一方の端部を右リンク331rの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク331lの他方の端部に連結され、左右一対の主リンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。
水平方向ばね部材340は左右一対の主リンク331r、331lに特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に直接に作用させてもよい。
水平方向ばね部材340は左右一対の主リンク331r、331lに特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に案内ブロック310Br、310Blを介して作用させてもよい。
図1乃至22に、引張ばねが、一方の端部を右側主リンク3301rの他方の端部に連結され、他方の端部を左側主リンク331lの他方の端部に連結され、左右一対の主リンク331r、331lの他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる様子を示す。
The horizontal spring member 340 is a member that exerts a spring force on each of the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other along a specific horizontal axis x.
The horizontal spring member 340 may be a member that exerts a spring force on each of the other ends of the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other along the specific horizontal axis x.
The horizontal spring member 340 has a spring constant selected by design.
The horizontal spring member 340 may be a compression spring.
For example, a pair of compression springs may exert a spring force on each of the other ends of the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other along a specific horizontal axis x.
The horizontal spring member 340 may be a tension spring.
For example, the tension spring may exert a spring force on each of the other ends of the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other along the specific horizontal axis x.
For example, a pair of tension springs may exert a spring force on each of the other ends of the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other along a specific horizontal axis x.
For example, a tension spring has one end connected to the other end of the right link 331r, the other end connected to the other end of the left link 331l, and the other end of the pair of left and right main links 331. A spring force is applied to each of the portions in a direction approaching each other along a specific horizontal axis x.
The horizontal spring member 340 may directly apply a spring force to each of the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other along the specific horizontal axis x.
The horizontal spring member 340 may exert a spring force on the pair of left and right main links 331r and 331l in directions toward each other along the specific horizontal axis x via the guide blocks 310Br and 310Bl, respectively.
In FIGS. 1 to 22, tension springs have one end connected to the other end of the right main link 3301r and the other end connected to the other end of the left main link 331l, a pair of left and right mains. It is shown how a spring force is applied to the other end of the link 331r and 331l in a direction approaching each other along a specific horizontal axis x.

上下移動案内機構(図示せず)は、基台200を基礎としてテーブル100の相対的な揺動運動を抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構である。
上下移動案内機構(図示せず)は、上下方向ばね部材の剪断剛性で実現しても良い。
上下移動案内機構(図示せず)は、基台200を基礎としてテーブル100の揺動運動を押さえる復元力を発生させる機構であってもよい。
The vertical movement guidance mechanism (not shown) is a mechanism that suppresses the relative rocking motion of the table 100 based on the base 200 and guides the table 100 so as to be movable in the vertical direction.
The vertical movement guide mechanism (not shown) may be realized by the shear rigidity of the vertical spring member.
The vertical movement guide mechanism (not shown) may be a mechanism that generates a restoring force that suppresses the swinging motion of the table 100 based on the base 200.

左右一対の第一軌道g1が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って延びてもよい。 A pair of left and right first orbits g1 may extend along a direction in which they are separated from each other along a specific horizontal axis x.

左右一対の第一軌道g1が、直線状であり、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
図1乃至図4は、 左右一対の第一軌道g1が、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びる様子を示す。
The pair of left and right first orbits g1 may be linear and extend along a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.
1 to 4 show a pair of left and right first orbits g1 extending in a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.

左右一対の第一軌道g1が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びてもよい。
左右一対の第一軌道g1が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図5乃至6、図9乃至22は、第一軌道g1が、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の第一軌道g1が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びてもよい。
図7乃至8は、左右一対の第一軌道g1が、下に凸の曲線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びている様子を示す。
When the pair of left and right first orbits g1 transition along the direction separated from each other along the specific horizontal axis x, they may extend so as to be biased to one in the vertical direction as the transition occurs.
When the pair of left and right first orbits g1 transition along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, they may extend upward at a constant ratio as they transition.
5 to 6 and FIGS. 9 to 22 show that the first orbit g1 is linear, and when it transitions along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, it transitions to one of the upward directions at a constant ratio. It shows how it extends in a biased manner.
When the pair of left and right first orbits g1 transition along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, they may extend with a constant curvature so as to be biased upward at a constant ratio as the transition occurs.
In FIGS. 7 to 8, the pair of left and right first orbits g1 have a downwardly convex curved shape, and when the transition is made along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, the transition is made at a constant ratio upward. It shows how it extends with a certain curvature so as to be biased.

左右一対の第三軌道g3が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って延びてもよい。 A pair of left and right third orbits g3 may extend along a direction in which they are separated from each other along a specific horizontal axis x.

左右一対の第三軌道g3が、直線状であり、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
図15乃至図20は、左右一対の第三軌道g3が、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びる様子を示す。
The pair of left and right third orbits g3 may be linear and extend along a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.
15 to 20 show how a pair of left and right third orbits g3 extend in a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.

左右一対の第三軌道g3が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びてもよい。
左右一対の第三軌道g3が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図21乃至22は、第三軌道g3が、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の第三軌道g3が、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びてもよい。
例えば、左右一対の第三軌道g3が、上に凸の曲線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びている。
When the pair of left and right third orbits g3 transition along the direction separated from each other along the specific horizontal axis x, they may extend so as to be biased to one in the vertical direction as the transition occurs.
When the pair of left and right third orbits g3 transition along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, they may extend downward at a constant ratio as they transition.
21 to 22 show that the third orbit g3 is linear, and when it transitions along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, it extends downward at a constant ratio as it transitions. Is shown.
When the pair of left and right third orbits g3 transition along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, they may extend with a constant curvature so as to be biased downward at a constant ratio as the transition occurs.
For example, a pair of left and right third orbits g3 have an upwardly convex curved shape, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, the transition is constant so as to be biased downward at a constant ratio. It extends with the curvature of.

左右一対の主リンク331r、331lが交差し、主リンク連結軸334が交差箇所で左右一対の主リンク331r、331lを連結し、水平方向ばね部材340が左右一対の主リンク331r、331lの他方構造に向く側に水平方向のばね力を作用させる構造において、左右の一方回転中心331Cuの離間距離H1と左右の他方回転中心331Cdの離間距離H2とが異なっていてもよい。
左右一対の主リンク331r、331lが交差し、主リンク連結軸334が交差箇所で左右一対の主リンク331r、331lを連結し、水平方向ばね部材340が左右一対の主リンク331r、331lの他方構造に向く側に水平方向のばね力を作用させる構造において、左右の一方回転中心331Cuの離間距離H1が左右の他方回転中心331Cdの離間距離H2より小さくてもよい。
この様にすると、上下方向ばね部材の上下方向のばね力と水平ばね部材340の水平方向のばね力が合成されてテーブル支持機構が対象物10に及ぼす支持力を所望の特性にすることができ、設計の自由度が増える。
The pair of left and right main links 331r and 331l intersect, the main link connecting shaft 334 connects the pair of left and right main links 331r and 331l at the intersection, and the horizontal spring member 340 is the other structure of the pair of left and right main links 331r and 331l. In the structure in which the spring force in the horizontal direction is applied to the side facing toward the left and right, the separation distance H1 of the left and right one rotation center 331Cu and the separation distance H2 of the left and right other rotation centers 331Cd may be different.
The pair of left and right main links 331r and 331l intersect, the main link connecting shaft 334 connects the pair of left and right main links 331r and 331l at the intersection, and the horizontal spring member 340 is the other structure of the pair of left and right main links 331r and 331l. In the structure in which the spring force in the horizontal direction is applied to the side facing toward the left and right, the separation distance H1 of the left and right one rotation center 331Cu may be smaller than the separation distance H2 of the left and right other rotation centers 331Cd.
By doing so, the vertical spring force of the vertical spring member and the horizontal spring force of the horizontal spring member 340 are combined, and the bearing force exerted by the table support mechanism on the object 10 can be made into a desired characteristic. , Increases design freedom.

以下に、本発明の第一乃至図十一の実施形態に係る対象物支持装置を、図を基に、説明する。
図1は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図2は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図3は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図4は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図5は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図6は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図7は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図8は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図9は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図10は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図11は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図12は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図13は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図14は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図15は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図16は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図17は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図18は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図19は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図20は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図20は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図21は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
図中の、太字の上下方向の矢印付き直線、太字の水平方向の矢印付き直線、太字の水平方向の矢印付き曲線は、図示する構造による基台200に対するテーブル100の図示する向きの動きの自由度を示す。
直線、曲線に印がないのは、矢印で示す向きの動きが拘束されないことを意味する。
直線、曲線に×印があるのは、矢印で示す方向の動きが拘束されることを意味する。
直線、曲線に△印があるのは、矢印で示す方向の動きが一定限度の範囲内で拘束されることを意味する。
Hereinafter, the object support device according to the first to the eleventh embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a conceptual diagram of an object support device according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an operation diagram of the object support device according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a conceptual diagram of an object support device according to a second embodiment of the present invention. FIG. 4 is an operation diagram of the object support device according to the second embodiment of the present invention. FIG. 5 is a conceptual diagram of an object support device according to a third embodiment of the present invention. FIG. 6 is an operation diagram of the object support device according to the third embodiment of the present invention. FIG. 7 is a conceptual diagram of an object support device according to a fourth embodiment of the present invention. FIG. 8 is an operation diagram of the object support device according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 9 is a conceptual diagram of an object support device according to a fifth embodiment of the present invention. FIG. 10 is an operation diagram of the object support device according to the fifth embodiment of the present invention. FIG. 11 is a conceptual diagram of an object support device according to a sixth embodiment of the present invention. FIG. 12 is an operation diagram of the object support device according to the sixth embodiment of the present invention. FIG. 13 is a conceptual diagram of an object support device according to a seventh embodiment of the present invention. FIG. 14 is an operation diagram of the object support device according to the seventh embodiment of the present invention. FIG. 15 is a conceptual diagram of an object support device according to an eighth embodiment of the present invention. FIG. 16 is an operation diagram of the object support device according to the eighth embodiment of the present invention. FIG. 17 is a conceptual diagram of an object support device according to a ninth embodiment of the present invention. FIG. 18 is an operation diagram of the object support device according to the ninth embodiment of the present invention. FIG. 19 is a conceptual diagram of an object support device according to a tenth embodiment of the present invention. FIG. 20 is an operation diagram of the object support device according to the tenth embodiment of the present invention. FIG. 20 is a conceptual diagram of an object support device according to the eleventh embodiment of the present invention. FIG. 21 is an operation diagram of the object support device according to the eleventh embodiment of the present invention.
In the figure, the straight line with the vertical arrow in bold, the straight line with the horizontal arrow in bold, and the curve with the horizontal arrow in bold are the freedom of movement of the table 100 with respect to the base 200 according to the structure shown in the figure. Indicates the degree.
The fact that there is no mark on the straight line or curve means that the movement in the direction indicated by the arrow is not restricted.
A cross mark on a straight line or a curve means that the movement in the direction indicated by the arrow is restricted.
A triangle mark on a straight line or a curve means that the movement in the direction indicated by the arrow is constrained within a certain limit.

次に、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図1、2は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図と作用図である。
Next, FIGS. 1 and 2 explaining the object support device according to the first embodiment of the present invention are a conceptual diagram and an operation diagram of the object support device according to the first embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。 The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成される。
テーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, and a horizontal spring member 340.
Since the main structure of the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the embodiment of the present invention described above, the structure that characterizes the object support device according to the first embodiment of the present invention is mainly used. explain.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。 The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guide mechanism 310 are linear and extend in a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、所定の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a predetermined separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the predetermined separation distance H1.

左右一対のサポートリンク332は、右側サポートリンク332rと左側サポートリンク332lとで構成される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、一方の端部を左右一対の主リンク331r、332lに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク332rの一方サポート回転中心332Cuと左側サポートリンク332lの一方サポート回転中心332Cuとが左右一対の主リンク331r、331lに各々に回転自在に支持されされ、右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが基台200に対して回転自在に支持される。
右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lと他方サポート回転中心332Cdとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H2だけ離れる。
所定の離間距離H1と所定の離間距離H2とが等しくても良い。
The pair of left and right support links 332 is composed of a right side support link 332r and a left side support link 332l.
A pair of left and right support links 332r and 332l are rotatably connected to a pair of left and right main links 331r and 332l around one end of the support rotation center 332Cu.
A pair of left and right support links 332r and 332l are rotatably supported around the other support rotation center 332Cd with the other end in the other structure.
For example, one support rotation center 332Cu of the right side support link 332r and one support rotation center 332Cu of the left side support link 332l are rotatably supported by a pair of left and right main links 331r and 331l, respectively, and the other support of the right side support link 332r. The rotation center 332Cd and the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l are rotatably supported with respect to the base 200.
The other support rotation center 332Cd of the right side support link 332r, the left side support link 332l, and the other support rotation center 332Cd are separated by a predetermined distance H2 along the specific horizontal axis x.
The predetermined separation distance H1 and the predetermined separation distance H2 may be equal to each other.

次に、本発明の第二の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図3、4は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
Next, the object support device according to the second embodiment of the present invention will be described.
3 and 4 are a conceptual diagram and an operation diagram of the object support device according to the second embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.
Since the main structure of the table 100, the base 200, and the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the above-described embodiment of the present invention, the object support device according to the second embodiment of the present invention. The structure that characterizes is mainly explained.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。 The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。 The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guide mechanism 310 are linear and extend in a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、所定の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a predetermined separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the predetermined separation distance H1.

左右一対のサポートリンク332は、右側サポートリンク332rと左側サポートリンク332lとで構成される。
左右一対のサポートリンク332r、331lが、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに各々に回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
左右一対のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク332rの一方サポート回転中心332Cuと左側サポートリンク332lの一方サポート回転中心332Cuとが左右一対の主リンク331r、331lに各々に回転自在に支持され、右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが垂直移動案内機構350を介して基台200に対して固定される。
右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lと他方サポート回転中心332Cdとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H2だけ離れる。
所定の離間距離H1と所定の離間距離H2とが等しくても良い。
The pair of left and right support links 332 is composed of a right side support link 332r and a left side support link 332l.
A pair of left and right support links 332r and 331l are rotatably connected to each of the left and right main links 331r and 331l at one end around the support rotation center 332Cu while being the center of rotation.
A pair of left and right support links 332r and 332l are movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and rotatably around the other support rotation center 332Cd.
A pair of left and right support links 332 are fixed to the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 at the other end, and are movable and support rotation along the second track g2 which is a track extending in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, one support rotation center 332Cu of the right side support link 332r and one support rotation center 332Cu of the left side support link 332l are rotatably supported by a pair of left and right main links 331r and 331l, respectively, and the other support rotation of the right side support link 332r. The center 332Cd and the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l are fixed to the base 200 via the translation guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the right side support link 332r, the left side support link 332l, and the other support rotation center 332Cd are separated by a predetermined distance H2 along the specific horizontal axis x.
The predetermined separation distance H1 and the predetermined separation distance H2 may be equal to each other.

次に、本発明の第三の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図5、6は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
Next, the object support device according to the third embodiment of the present invention will be described.
5 and 6 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the third embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。 The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。
テーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.
Since the main structure of the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the embodiment of the present invention described above, the structure that characterizes the object support device according to the third embodiment of the present invention is mainly used. explain.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図5に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
FIG. 5 shows that the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when they transition along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is done.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、所定の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a predetermined separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the predetermined separation distance H1.

左右一対のサポートリンク332は、右側サポートリンク332rと左側サポートリンク332lとで構成される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク332rの一方サポート回転中心332Cuと左側サポートリンク332lの一方サポート回転中心332Cuとが左右一対の主リンク331r、331lに各々に回転自在に支持され、右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが垂直移動案内機構350を介して基台200に対して固定される。
右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lと他方サポート回転中心332Cdとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H2だけ離れる。
所定の離間距離H1と所定の離間距離H2とが等しくても良い。
The pair of left and right support links 332 is composed of a right side support link 332r and a left side support link 332l.
A pair of left and right support links 332r and 332l are rotatably connected to a pair of left and right main links 331r and 331l around one end of the support rotation center 332Cu.
A pair of left and right support links 332r and 332l are movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and rotatably around the other support rotation center 332Cd.
A pair of left and right support links 332r and 332l are movable and the other along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically to the other structure, with the other end fixed to the other structure via a vertical movement guide mechanism 350. It is rotatably supported around the support rotation center 332Cd.
For example, one support rotation center 332Cu of the right side support link 332r and one support rotation center 332Cu of the left side support link 332l are rotatably supported by a pair of left and right main links 331r and 331l, respectively, and the other support rotation of the right side support link 332r. The center 332Cd and the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l are fixed to the base 200 via the translation guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the right side support link 332r, the left side support link 332l, and the other support rotation center 332Cd are separated by a predetermined distance H2 along the specific horizontal axis x.
The predetermined separation distance H1 and the predetermined separation distance H2 may be equal to each other.

次に、本発明の第四の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図7、8は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
Next, the object support device according to the fourth embodiment of the present invention will be described.
7 and 8 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the fourth embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。 The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。
テーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.
Since the main structure of the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the embodiment of the present invention described above, the structure that characterizes the object support device according to the fourth embodiment of the present invention is mainly used. explain.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、曲線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、曲線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、曲線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、円弧状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、円弧状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図7に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、円弧状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 have a curved shape, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 have a curved shape, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 have a curved shape, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 have an arcuate shape, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 have an arcuate shape, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 7, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 have an arc shape, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, the first orbits g1 are biased upward as they transition. Is shown.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、所定の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a predetermined separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the predetermined separation distance H1.

左右一対のサポートリンク332は、右側サポートリンク332rと左側サポートリンク332lとで構成される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク332r、332lが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
左右一対のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
右側サポートリンク332rの他方サポート回転中心332Cdと左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H2だけ離れる。
所定の離間距離H1と所定の離間距離H2とが等しくても良い。
The pair of left and right support links 332 is composed of a right side support link 332r and a left side support link 332l.
A pair of left and right support links 332r and 332l are rotatably connected to a pair of left and right main links 331r and 331l around one end of the support rotation center 332Cu.
A pair of left and right support links 332r and 332l are movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, and rotatably around the other support rotation center 332Cd.
A pair of left and right support links 332 are fixed to the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 at the other end, and are movable and support rotation along the second track g2 which is a track extending in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the right side support link 332r and the other support rotation center 332Cd of the left side support link 332l are fixed to the base 200 via the translation guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the right support link 332r and the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l are separated by a predetermined distance H2 along the specific horizontal axis x.
The predetermined separation distance H1 and the predetermined separation distance H2 may be equal to each other.

次に、本発明の第五の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図9、10は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
Next, the object support device according to the fifth embodiment of the present invention will be described.
9 and 10 are a conceptual diagram and an operation diagram of the object support device according to the fifth embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。 The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。
テーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.
Since the main structure of the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the above-described embodiment of the present invention, the structure that characterizes the object support device according to the fifth embodiment of the present invention is mainly used. explain.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図9に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 9, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、所定の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a predetermined separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the predetermined separation distance H1.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方の主リンクに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
左右一対の主リンク331r、331lを正面に見て、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is fixed to the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
When the pair of left and right main links 331r and 331l are viewed from the front, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

次に、本発明の第六の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図11、12は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
Next, the object support device according to the sixth embodiment of the present invention will be described.
11 and 12 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the sixth embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。 The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。
テーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.
Since the main structure of the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the embodiment of the present invention described above, the structure that characterizes the object support device according to the sixth embodiment of the present invention is mainly used. explain.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図11に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 11, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンクlの一方回転中心331Cuとが一致する。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとが、特定水平軸xに沿って離れる。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link l coincide with each other.
The other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l are separated from each other along the specific horizontal axis x.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方に回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
左右一対の主リンク331r、331lを正面に見て、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is fixed to the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
When the pair of left and right main links 331r and 331l are viewed from the front, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

次に、本発明の第七の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図13、14は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
Next, the object support device according to the seventh embodiment of the present invention will be described.
13 and 14 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the seventh embodiment of the present invention.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。 The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。
テーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.
Since the main structure of the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the embodiment of the present invention described above, the structure that characterizes the object support device according to the seventh embodiment of the present invention is mainly used. explain.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図13に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 13, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差する。 The pair of left and right main links 331r and 331l are viewed horizontally so as to be divided into left and right, and the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って所定の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、所定の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a predetermined separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the predetermined separation distance H1.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方に回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdとが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is fixed to the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

次に、本発明の第八の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図15、16は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
Next, the object support device according to the eighth embodiment of the present invention will be described.
15 and 16 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the eighth embodiment of the present invention.
In the object support device according to the eighth embodiment of the present invention, a pair of left and right main links of the table support mechanism intersect and are connected at the intersection.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.
Since the main structure of the table 100, the base 200, and the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the above-described embodiment of the present invention, the object support device according to the first embodiment of the present invention. The structure that characterizes is mainly explained.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。 The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図15に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 15, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

一方水平移動案内機構312の左右一対の第三軌道g3は、直線状であり、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。
図15には、一体となった右側一方案内機構312Rrと左側一方案内機構312Rlが、右側一方案内ブロック312Brと左側一方案内ブロック312Blとを案内する様子が示される。
On the other hand, the pair of left and right third orbits g3 of the horizontal movement guide mechanism 312 are linear and extend in a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.
FIG. 15 shows how the integrated right-side guide mechanism 312Rr and left-side one-sided guide mechanism 312Rl guide the right-side one-sided guide block 312Br and the left-side one-sided guide block 312Bl.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差し、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸334が、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
Looking horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l are divided into left and right, the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd, and the left and right pair of links. The 331r and 331l are rotatably connected at the intersections between the one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.
The main link connecting shaft 334 rotatably connects the points where the pair of left and right links 331r and 331l intersect with each other sandwiched between one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.

左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心331Cuが、一方水平移動案内機構312を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構312は、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blと一体となった左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlとで構成されてもよい。
一体となった左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
一体となった左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸に沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、一体となった左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心が、一方水平移動案内機構312を介してテーブル100に支持される。
A pair of left and right main links 331r and 331l, one rotation center 331Cu, is supported by one structure via a horizontal movement guide mechanism 312.
On the other hand, the horizontal movement guide mechanism 312 may be composed of a pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl integrated with a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl.
The integrated pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along the third orbit g3 extending along the specific horizontal axis x. ..
The integrated pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl is a rail mechanism that movably guides the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along a third track g3 extending along a specific horizontal axis. You may.
For example, the integrated pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are slits that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along the third orbit g3 extending along the specific horizontal axis x. It is a rail mechanism formed by.
For example, one of the left and right main links 331r and 331l is supported by the table 100 via the horizontal movement guide mechanism 312.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って可変の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、可変の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a variable separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the variable separation distance H1.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方に回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is supported by the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

次に、本発明の第九の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図17、18は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
Next, the object support device according to the ninth embodiment of the present invention will be described.
17 and 18 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the ninth embodiment of the present invention.
In the object support device according to the ninth embodiment of the present invention, a pair of left and right main links of the table support mechanism intersect and are connected at the intersection.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.
Since the main structure of the table 100, the base 200, and the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the above-described embodiment of the present invention, the object support device according to the ninth embodiment of the present invention. The structure that characterizes is mainly explained.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350とで構成される。 The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, and a vertical movement guide mechanism 350.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図17に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 17, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

一方水平移動案内機構312の左右一対の第三軌道g3は、直線状であり、特定水平軸xに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。 On the other hand, the pair of left and right third orbits g3 of the horizontal movement guide mechanism 312 are linear and extend in a direction parallel to the specific horizontal axis x and separated from each other.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差し、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸334が、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
Looking horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l are divided into left and right, the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd, and the left and right pair of links. The 331r and 331l are rotatably connected at the intersections between the one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.
The main link connecting shaft 334 rotatably connects the points where the pair of left and right links 331r and 331l intersect with each other sandwiched between one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.

左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心331Cuが、一方水平移動案内機構312を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構312は、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blと左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlとで構成されてもよい。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸に沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心が、一方水平移動案内機構312を介してテーブル100に支持される。
A pair of left and right main links 331r and 331l, one rotation center 331Cu, is supported by one structure via a horizontal movement guide mechanism 312.
On the other hand, the horizontal movement guide mechanism 312 may be composed of a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br, 312Bl and a pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr, 312Rl.
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along the third orbit g3 extending along the specific horizontal axis x.
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl may be rail mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along a third track g3 extending along a specific horizontal axis.
For example, the pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are formed by slits that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along a third orbit g3 extending along a specific horizontal axis x. It is a rail mechanism.
For example, one of the left and right main links 331r and 331l is supported by the table 100 via the horizontal movement guide mechanism 312.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って可変の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、可変の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a variable separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the variable separation distance H1.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lのうちのひとつに回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
水平に見て、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is supported by the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
When viewed horizontally, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

1個の一方サポートリンク333が、他方の端部を左右一対の主リンク331r、331lのうちのひとつに回転中心である他方サポート回転中心333Cdの回りに回転自在に連結される。
1個の一方サポートリンク333が、一方の端部を一方構造であるテーブル100に一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に連結される。
One one support link 333 is rotatably connected to one of the pair of left and right main links 331r and 331l around the other support rotation center 333Cd, which is the center of rotation.
One one-sided support link 333 is rotatably connected around one end of the one-sided support rotation center 333Cu to a table 100 having a one-sided structure.

次に、本発明の第十の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図19、20は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
Next, the object support device according to the tenth embodiment of the present invention will be described.
19 and 20 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the tenth embodiment of the present invention.
In the object support device according to the tenth embodiment of the present invention, a pair of left and right main links of the table support mechanism intersect and are connected at the intersection.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.
Since the main structure of the table 100, the base 200, and the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the above-described embodiment of the present invention, the object support device according to the ninth embodiment of the present invention. The structure that characterizes is mainly explained.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350と一方垂直移動案内機構352とで構成される。 The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, a vertical movement guide mechanism 350, and a vertical movement guide mechanism 352. Will be done.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図17に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 17, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

一方水平移動案内機構312の左右一対の第三軌道g3は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って延びる。
一方垂直移動案内機構352の第四軌道g4が、直線状であり、特定水平軸xに直交する垂直方向に沿って延びてもよい。
On the other hand, the pair of left and right third trajectories g3 of the horizontal movement guide mechanism 312 are linear and extend along the specific horizontal axis x in a direction away from each other.
On the other hand, the fourth orbit g4 of the vertical movement guidance mechanism 352 may be linear and may extend along a vertical direction orthogonal to the specific horizontal axis x.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差し、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸334が、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
Looking horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l are divided into left and right, the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd, and the left and right pair of links. The 331r and 331l are rotatably connected at the intersections between the one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.
The main link connecting shaft 334 rotatably connects the points where the pair of left and right links 331r and 331l intersect with each other sandwiched between one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.

左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心331Cuが、一方水平移動案内機構312を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構312は、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blと左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlとで構成されてもよい。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312B、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312B、312Blを特定水平軸に沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心が、一方水平移動案内機構312を介してテーブル100に支持される。
A pair of left and right main links 331r and 331l, one rotation center 331Cu, is supported by one structure via a horizontal movement guide mechanism 312.
On the other hand, the horizontal movement guide mechanism 312 may be composed of a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br, 312Bl and a pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr, 312Rl.
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312B and 312Bl along the third orbit g3 extending along the specific horizontal axis x.
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl may be rail mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312B and 312Bl along the third orbit g3 extending along the specific horizontal axis.
For example, the pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are formed by slits that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along a third orbit g3 extending along a specific horizontal axis x. It is a rail mechanism.
For example, one of the left and right main links 331r and 331l is supported by the table 100 via the horizontal movement guide mechanism 312.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って可変の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、可変の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a variable separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the variable separation distance H1.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方に回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is supported by the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

1個の一方サポートリンク333が、他方の端部を左右一対の主リンク331r、331lのうちのひとつに回転中心である他方サポート回転中心333Cdの回りに回転自在に連結される。
1個の一方サポートリンク333が、一方の端部を一方構造であるテーブル100に一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に連結される。
1個の一方サポートリンク333が、一方の端部を一方垂直移動案内機構352を介して一方構造に支持され、一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側一方サポートリンク333lの一方サポート回転中心333Cuが一方垂直移動案内機構352を介して テーブル100に対して固定される。
水平に見て、左側一方サポートリンク333lの一方サポート回転中心333Cuが、左右一対の主リンク331r、331lに挟まれる中間に位置しても良い。
One one support link 333 is rotatably connected to one of the pair of left and right main links 331r and 331l around the other support rotation center 333Cd, which is the center of rotation.
One one-sided support link 333 is rotatably connected around one end of the one-sided support rotation center 333Cu to a table 100 having a one-sided structure.
One one-sided support link 333 is movable and one-sided along a fourth orbit g4, one end of which is supported by one-sided structure via one-sided translational guidance mechanism 352 and extends vertically to one-sided structure. It is rotatably supported around the support rotation center 333Cu.
For example, one support rotation center 333Cu on the left side one support link 333l is fixed to the table 100 via the one-side translation guide mechanism 352.
When viewed horizontally, the one support rotation center 333Cu on the left side of the support link 333l may be located in the middle between the pair of left and right main links 331r and 331l.

次に、本発明の第十一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図21、22は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
Next, the object support device according to the eleventh embodiment of the present invention will be described.
21 and 22 are conceptual diagrams and operation diagrams of the object support device according to the eleventh embodiment of the present invention.
In the object support device according to the eleventh embodiment of the present invention, a pair of left and right main links of the table support mechanism intersect and are connected at the intersection.

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
The object support device includes a table 100, a base 200, and a table support mechanism 300.
Since the main structure of the table 100, the base 200, and the table support mechanism 300 is the same as the main structure of the object support device according to the above-described embodiment of the present invention, the object support according to the eleventh embodiment of the present invention. The structure that characterizes the device will be mainly described.

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と一方水平移動案内機構312と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340と垂直移動案内機構350と一方垂直移動案内機構352とで構成される。 The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a horizontal movement guide mechanism 312, a vertical spring member 320, a link mechanism 330, a horizontal spring member 340, a vertical movement guide mechanism 350, and a vertical movement guide mechanism 352. Will be done.

水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図21に、水平移動案内機構310の左右一対の第一軌道g1は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they extend so as to be biased to one side in the vertical direction as they transition.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased upward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
The pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and may be biased downward as they transition when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x.
In FIG. 21, the pair of left and right first orbits g1 of the horizontal movement guidance mechanism 310 are linear, and when transitioning along a direction away from each other along a specific horizontal axis x, they are biased upward as they transition. Is shown.

一方水平移動案内機構312の左右一対の第三軌道g3は、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間するに従って、下方に偏る様に延びる。
一方垂直移動案内機構352の第四軌道g4が、直線状であり、特定水平軸xに直交する垂直方向に沿って延びる。
On the other hand, the pair of left and right third orbits g3 of the horizontal movement guide mechanism 312 are linear and extend downward along the specific horizontal axis x as they are separated from each other.
On the other hand, the fourth orbit g4 of the vertical movement guidance mechanism 352 is linear and extends along the vertical direction orthogonal to the specific horizontal axis x.

左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差し、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸334が、左右一対のリンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
Looking horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l are divided into left and right, the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd, and the left and right pair of links. The 331r and 331l are rotatably connected at the intersections between the one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.
The main link connecting shaft 334 rotatably connects the points where the pair of left and right links 331r and 331l intersect with each other sandwiched between one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.

左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心331Cuが、一方水平移動案内機構312を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構312は、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blと左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlとで構成されてもよい。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸に沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlは、左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blを特定水平軸xに沿って延びる第三軌道g3に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク331r、331lの一方回転中心が、一方水平移動案内機構312を介してテーブル100に支持される。
A pair of left and right main links 331r and 331l, one rotation center 331Cu, is supported by one structure via a horizontal movement guide mechanism 312.
On the other hand, the horizontal movement guide mechanism 312 may be composed of a pair of left and right one-sided guide blocks 312Br, 312Bl and a pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr, 312Rl.
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along the third orbit g3 extending along the specific horizontal axis x.
The pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl may be rail mechanisms that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along a third track g3 extending along a specific horizontal axis.
For example, the pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl are formed by slits that movably guide the pair of left and right one-sided guide blocks 312Br and 312Bl along a third orbit g3 extending along a specific horizontal axis x. It is a rail mechanism.
For example, one of the left and right main links 331r and 331l is supported by the table 100 via the horizontal movement guide mechanism 312.

右側主リンク331rの一方回転中心331Cuと左側主リンク331lの一方回転中心331Cuとが、特定水平軸xに沿って可変の離間距離H1だけ離れる。
右側主リンク331rの他方回転中心331Cdと左側主リンク331lの他方回転中心331Cdとの離間距離が、可変の離間距離H1より大きい。
The one rotation center 331Cu of the right side main link 331r and the one rotation center 331Cu of the left side main link 331l are separated by a variable separation distance H1 along the specific horizontal axis x.
The separation distance between the other rotation center 331Cd of the right main link 331r and the other rotation center 331Cd of the left main link 331l is larger than the variable separation distance H1.

1個のサポートリンク332が、一方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方に回転中心である一方サポート回転中心332Cuの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
1個のサポートリンク332が、他方の端部を垂直移動案内機構350を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道g2に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心332Cdの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが垂直移動案内機構350を介して 基台200に対して固定される。
左側サポートリンク332lの他方サポート回転中心332Cdが、左右一対の主リンク331r、331lの中間に位置しても良い。
One support link 332 is rotatably connected around one end of the support rotation center 332Cu, which is the center of rotation to one of the pair of left and right main links 331r and 331l.
One support link 332 is movably supported along a second orbit g2, which is an orbit extending vertically along the other end of the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center 332Cd.
One support link 332 is movable and supports rotation along the second track g2, which is a track whose other end is supported by the other structure via a vertical movement guide mechanism 350 and extends in the vertical direction to the other structure. It is rotatably supported around the center 332Cd.
For example, the other support rotation center 332Cd of the left support link 332l is fixed to the base 200 via the vertical movement guide mechanism 350.
The other support rotation center 332Cd of the left support link 332l may be located between the pair of left and right main links 331r and 331l.

1個の一方サポートリンク333が、他方の端部を左右一対の主リンク331r、331lの一方に回転中心である他方サポート回転中心333Cdの回りに回転自在に連結される。
1個の一方サポートリンク333が、一方の端部を一方構造であるテーブル100に一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に連結される。
1個の一方サポートリンク333が、一方の端部を一方垂直移動案内機構352を介して一方構造に支持され、一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側一方サポートリンク333lの一方サポート回転中心333Cuが一方垂直移動案内機構352を介して テーブル100に対して固定される。
水平に見て、左側一方サポートリンク332lの一方サポート回転中心333Cuが、左右一対の主リンク331r、331lに挟まれる中間に位置しても良い。
One one support link 333 is rotatably connected to one of the pair of left and right main links 331r and 331l around the other support rotation center 333Cd, which is the center of rotation.
One one-sided support link 333 is rotatably connected around one end of the one-sided support rotation center 333Cu to a table 100 having a one-sided structure.
One one-sided support link 333 is movable and one-sided along a fourth orbit g4, one end of which is supported by one-sided structure via one-sided translational guidance mechanism 352 and extends vertically to one-sided structure. It is rotatably supported around the support rotation center 333Cu.
For example, one support rotation center 333Cu on the left side one support link 333l is fixed to the table 100 via the one-side translation guide mechanism 352.
When viewed horizontally, the one support rotation center 333Cu on the left side of the support link 332l may be located in the middle between the pair of left and right main links 331r and 331l.

以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持機構の合成ばね反力を、図を基に、説明する。
図23は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
図23中の実線は、テーブル100の上下変位(m)と水平方向ばね部材340のばね力によりテーブル100に作用する上下方向の反力(N)の関係を示すカーブである、
図23中の実破線は、テーブル100の上下変位(m)と上下方向ばね部材320のばね力によりテーブル100に作用する上下方向の反力(N)の関係を示すカーブである、
図23中の細破線は、テーブル100の上下変位(m)と合成ばね反力の関係を示すカーブである。
軌道gとリンクの一方の端部の位置を選択することにより合成ばね反力の特性を選択できる。
Hereinafter, the synthetic spring reaction force of the object support mechanism according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 23 is a synthetic spring reaction force graph of the object support device according to the embodiment of the present invention.
The solid line in FIG. 23 is a curve showing the relationship between the vertical displacement (m) of the table 100 and the vertical reaction force (N) acting on the table 100 by the spring force of the horizontal spring member 340.
The real broken line in FIG. 23 is a curve showing the relationship between the vertical displacement (m) of the table 100 and the vertical reaction force (N) acting on the table 100 by the spring force of the vertical spring member 320.
The broken line in FIG. 23 is a curve showing the relationship between the vertical displacement (m) of the table 100 and the combined spring reaction force.
The characteristics of the synthetic spring reaction force can be selected by selecting the position of one end of the track g and the link.

図24は、本発明の第三乃至十一の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
図24の(A)~(D)は、案内レールの軌道の形状を除くの形状、諸元を一致させ、案内レールの軌道を以下の様にして、合成ばね反力の特性を比較したものである。
(A)軌道が下に凹の曲線である実施形態のもの。
(B)軌道が上に凹の曲線である実施形態のもの。
(C)軌道が外側に遷移するに従って上がる直線である実施形態ものの。
(D)軌道が外側に遷移するに従って下がる直線である実施形態ものの。
図中で、破線で表す合成ばね反力は、軌道が水平直線である軌道gをもつ図1、図2に示すテーブル支持構造のものであり、比較のために示した。
図24の(A)~(D)を比較すると以下のことが分かる。
FIG. 24 is a comparative graph of the synthetic spring reaction force of the object support device according to the third to eleventh embodiments of the present invention.
In FIGS. 24A to 24, the shapes and specifications of the guide rails excluding the shape of the track are matched, and the guide rail tracks are set as follows to compare the characteristics of the combined spring reaction force. Is.
(A) The embodiment in which the orbit is a downwardly concave curve.
(B) The embodiment in which the orbit is a concave curve upward.
(C) Of the embodiment, which is a straight line that rises as the orbit moves outward.
(D) Of the embodiment, which is a straight line that descends as the orbital transitions to the outside.
In the figure, the synthetic spring reaction force represented by the broken line has the table support structure shown in FIGS. 1 and 2 having the orbit g whose orbit is a horizontal straight line, and is shown for comparison.
Comparing (A) to (D) in FIG. 24, the following can be seen.

リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心を軌道gより上方に位置する様に設定する、または軌道の傾斜が左右に遷移するにしたがって上向きになる様に設定すると、水平の軌道gを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を大きくしてばねがいわゆる剛になりマイナス傾斜が傾きを鋭くなり、上下ばねと合成した全体のばね特性を平坦にし、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を長周期にすることができる。 When one end of the link is the upper end and the other end guided by the guide rail of the link is the lower end, the center of curvature of the guide rail is located above the track g. When set to, or set so that the slope of the orbit turns upward as it transitions to the left or right, the spring constant of the negative spring is increased compared to the conventional table support structure having a horizontal orbit g, and the spring becomes so-called. It becomes rigid and the negative inclination becomes sharp, the spring characteristics of the whole combined with the upper and lower springs can be flattened, and the response characteristics of the object support device that supports the object can be made long cycle.

リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心が軌道gより下方に位置する様に設定し、または軌道の傾斜が左右に遷移するにしたがって下向きになる様に設定すると、水平の軌道gを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を小さくしてばねがいわゆる軟らかくなりマイナス傾斜の傾きが鈍くなり、上下ばねと合成した全体のばね特性が傾き、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を短周期にすることができる。 When one end of the link is the upper end and the other end guided by the guide rail of the link is the lower end, the center of curvature of the guide rail is located below the track g. When set to, or set so that the slope of the orbit becomes downward as it transitions to the left or right, the spring constant of the negative spring is made smaller than that of the conventional table support structure having a horizontal orbit g, and the spring becomes so-called. It becomes soft and the inclination of the negative inclination becomes blunt, the spring characteristics of the whole combined with the upper and lower springs are inclined, and the response characteristics of the object support device that supports the object can be shortened.

以下に、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例を、図を基に、説明する。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例は、小型の対象物を支持する台に採用する。
図25は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例である。図26は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例の側面図である。図27は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例の平面図である。
例えば、小型の対象物は、美術品である。
例えば、美術品を支持する台は、上下免震台20と水平免震台30とガラスケース40とで構成される。
上下免震台20は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台30は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
ガラスケース40は、美術品を覆う透明体である。
Hereinafter, an example of adoption of the object support device according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The adoption example of the object support device according to the embodiment of the present invention is adopted for a table that supports a small object.
FIG. 25 is an example of adoption of the object support device according to the embodiment of the present invention. FIG. 26 is a side view of an example of adoption of the object support device according to the embodiment of the present invention. FIG. 27 is a plan view of an example of adoption of the object support device according to the embodiment of the present invention.
For example, a small object is a work of art.
For example, the table that supports the work of art is composed of a vertical seismic isolation table 20, a horizontal seismic isolation table 30, and a glass case 40.
The upper and lower seismic isolation table 20 incorporates an object support device according to an embodiment of the present invention.
The horizontal seismic isolation table 30 is a table that restrains the movement in the vertical direction, allows the horizontal movement, and generates a damping force according to the horizontal movement.
The glass case 40 is a transparent body that covers the work of art.

上下免震台20に採用される対象物支持装置は、テーブル100と基台200とN個のテーブル支持機構300とで構成される。
図25乃至27に、テーブル100と基台200と4個のテーブル支持機構300とで構成される対象物支持装置が示される。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成される。
先に説明した水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340と同じ構成の説明を省略し、上下免震台20に採用される対象物支持装置に特徴のある構成を説明する。
The object support device adopted for the upper and lower seismic isolation table 20 is composed of a table 100, a base 200, and N table support mechanisms 300.
25 to 27 show an object support device including a table 100, a base 200, and four table support mechanisms 300.
The table support mechanism 300 includes a horizontal movement guide mechanism 310, a vertical spring member 320, a pair of left and right link mechanisms 330, and a horizontal spring member 340.
The description of the same configuration as the horizontal movement guide mechanism 310, the vertical spring member 320, the pair of left and right link mechanisms 330, and the horizontal spring member 340 described above is omitted, and the object support device adopted for the vertical seismic isolation table 20 is omitted. The characteristic configuration will be described.

上から見て、N個のテーブル支持機構がテーブル100を囲う様に配されてテーブル100を各々に支持する。 Seen from above, N table support mechanisms are arranged so as to surround the table 100 and support each table 100.

案内機構が、基台200の側面を形成する板材に設けられ、第一軌道g1に沿って形成されるスリットSである。
案内ブロックが、案内機能を形成するスリットSに案内される車輪Wを持つ。
車輪WがスリットSに沿って転動する。
図中の(A)は、直線水平の第一軌道g1をもつ案内レールを設けられるものを示す。
図中の(B)は、直線傾斜した第一軌道g1をもつ案内レールが設けられるものを示す。
図中の(C)は、下に凹んだ曲線の第一軌道g1をもつ案内レールが設けられるものを示す。
The guide mechanism is a slit S provided on the plate material forming the side surface of the base 200 and formed along the first track g1.
The guide block has wheels W guided by the slit S forming the guide function.
The wheel W rolls along the slit S.
(A) in the figure shows a guide rail provided with a linear horizontal first track g1.
(B) in the figure shows a guide rail provided with a linearly inclined first track g1.
(C) in the figure shows a guide rail provided with a first track g1 having a concave curve.

上下方向ばね部材320が、上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。 The vertical spring member 320 is a tension spring whose upper portion is connected to a base and whose lower portion is connected to a table.

上述の実施形態に係る対象物支持装置を用いれば、以下の効果を発揮する。
基台200を基礎としてテーブル100に上向きのばね力を発生させ、左右一対の案内機構310が特定水平軸xに添って離れた左右一対の案内ブロック310Br、310Blをテーブル100または基台200の他方に対して第一軌道g1に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンク331r、331lの一方の端部がテーブル100または基台200の一方に回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロック310Br、310Blに回転自在に固定され、左右一対の主リンク331r、331lに互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンク332の一方の端部をすくなくとも一方の主リンク331に回転自在に固定され、他方の端部をテーブル100または基台200の他方に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンク332が主リンク331を介してテーブル100の左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構300の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、サポートリンク332が他方の端部を他方構造に上下方向に延びる第二軌道である第二軌道g2に沿って移動自在になる様にしたので、テーブル100の上下運動に伴って左右の主リンク331r、331lが上下運動する際のサポートリンク332の他方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の第一軌道g1が特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第一軌道g1の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、第二軌道g2が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、サポートリンク332の他方の端部が第二軌道g2に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、一方サポート回転中心332Cuが一方回転中心331Cuと他方回転中心と331Cdを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置して、
一方回転中心331Cuと一方サポート回転中心332Cuとの距離と一方サポート回転中心332Cuと他方回転中心と331Cdの距離と一方サポート回転中心332Cuと他方サポート回転中心332Cdとの距離とが各々に等しくなる様にしたので、主リンク331とサポートリンク332とが移動しつつ安定して傾斜し、主リンク331を介してテーブル100の左右移動を安定して抑制できる。
また、左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離H1だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク331r、331lを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク331r、331lが各々の一方回転中心331Cuと他方回転中心331Cdとの間で交差し、交差点で連結する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の一方案内機構312Rr、312Rlが特定水平軸xに添って離れた左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blをテーブル100または基台200の他方に対して第三軌道g3に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンク331の一方の端部が左右一対の一方案内ブロック312Br、312Blに回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロック311Br、311Blに回転自在に固定され、左右一対の主リンク331に互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンク332の一方の端部をすくなくとも一方の主リンク331に回転自在に固定され、他方の端部をテーブル100または基台200の他方に回転自在に固定され、一方サポートリンク333の一方の端部をテーブル100または基台200の他方に回転自在に固定され、他方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定される様にしたので、サポートリンク332と一方サポートリンク333とが主リンク331を介してテーブル100の左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、一方サポートリンク333が一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道g4に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心333Cuの回りに回転自在に支持される様にしたので、テーブル100の上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の第三軌道g3が特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第三軌道g3の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、第四軌道g4が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、一方サポートリンク333の一方の端部が第四軌道g4に沿って直線状に上下移動し、主リンク331を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、上下移動案内機構(図示せず)が、基台200を基礎としてテーブル100の相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、テーブル100の揺動運動を抑制できる。
また、上から見てN個のテーブル支持機構300がテーブルを囲う様に配されてテーブル100を各々に支持する様にしたので、N個のテーブル支持機構300の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
If the object support device according to the above-described embodiment is used, the following effects are exhibited.
An upward spring force is generated on the table 100 based on the base 200, and the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl separated by the pair of left and right guide mechanisms 310 along the specific horizontal axis x are the other of the table 100 or the base 200. One end of the pair of left and right main links 331r and 331l is rotatably fixed to one of the table 100 or the base 200, and the other end is rotatably fixed to the table 100 or the base 200. It is rotatably fixed to the pair of left and right guide blocks 310Br and 310Bl, and a spring force is applied to the pair of left and right main links 331r and 331l in a direction approaching each other, and at least one end of the support link 332 is at least one main link 331. The support link 332 suppresses the left-right movement of the table 100 via the main link 331 because the other end is rotatably fixed to the other end of the table 100 or the base 200. By selecting the specifications of the link and the spring, the support characteristics of the table support mechanism 300 can be selected according to the purpose, and the desired seismic isolation function can be exhibited.
Further, since the support link 332 is made movable along the second orbit g2, which is the second orbit extending in the vertical direction from the other end to the other structure, the left and right main parts are moved as the table 100 moves up and down. The support link 332 is allowed to move up and down when the link 331r and 331l move up and down, and the table support mechanism can stably exert the desired seismic isolation function.
Further, when the pair of left and right first orbits g1 transitions along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, the pair of left and right first orbits g1 are arranged so as to extend in one direction in the vertical direction as the transition occurs. By selecting the degree of bias in one of the vertical directions, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose, and the degree of freedom in design is increased.
Further, since the second orbit g2 is a linear orbit extending in the vertical direction, the other end of the support link 332 moves up and down in a straight line along the second orbit g2, and the main link member is moved. The left-right movement of the table can be stably suppressed through this.
Further, the support rotation center 332Cu is located on the main link virtual line which is a virtual line connecting the one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd.
The distance between the one-side rotation center 331Cu and one support rotation center 332Cu, the distance between one support rotation center 332Cu and the other rotation center and 331Cd, and the distance between one support rotation center 332Cu and the other support rotation center 332Cd are equal to each other. Therefore, the main link 331 and the support link 332 can be stably tilted while moving, and the left-right movement of the table 100 can be stably suppressed via the main link 331.
Further, since the center of rotation of each of the pair of left and right links is separated by a predetermined separation distance H1 when viewed horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l are divided into left and right, the degree of freedom in design is increased.
Further, since the pair of left and right main links 331r and 331l are viewed horizontally so as to be divided into left and right, the pair of left and right main links 331r and 331l intersect each other between one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd. , Increases design freedom.
Further, when viewed horizontally so that the pair of left and right main links 331r and 331l are divided into left and right, the pair of left and right main links 331r and 331l intersect between each one rotation center 331Cu and the other rotation center 331Cd and are connected at an intersection. Because it is done, the degree of freedom in design increases.
Further, the pair of left and right one-sided guide mechanisms 312Rr and 312Rl move the pair of left and right one-sided guide blocks 312Brr and 312Bl separated along the specific horizontal axis x along the third orbit g3 with respect to the other of the table 100 or the base 200. It guides freely, and one end of the pair of left and right main links 331 is rotatably fixed to the pair of left and right guide blocks 312Br and 312Bl, and the other end is rotatably fixed to the pair of left and right guide blocks 311Br and 311Bl. It is fixed and a spring force is applied to the pair of left and right main links 331 in a direction approaching each other, one end of the support link 332 is rotatably fixed to at least one main link 331, and the other end is rotatably fixed to the table 100. Alternatively, it is rotatably fixed to the other of the base 200, while one end of the support link 333 is rotatably fixed to the other of the table 100 or the base 200, and the other end is rotated to at least one main link. Since it is fixed freely, the support link 332 and the support link 333 can suppress the left and right movement of the table 100 via the main link 331, and the table support mechanism can be selected by selecting the specifications of the link and the spring. The support characteristics can be selected according to the purpose, and the desired seismic isolation function can be exhibited.
Further, since the one-side support link 333 is movable along the fourth orbit g4, which is an orbit extending in the vertical direction with one end in one structure, and is rotatably supported around the one-side support rotation center 333Cu. The table support mechanism can stably exert the desired seismic isolation function by allowing the vertical movement of one end of one support link when the left and right main links move up and down with the vertical movement of the table 100.
Further, when the pair of left and right third orbits g3 transitions along the direction away from each other along the specific horizontal axis x, the pair of left and right third orbits g3 are arranged so as to extend in one direction in the vertical direction as the transition occurs. By selecting the degree of bias in one of the vertical directions, the support characteristics of the table support mechanism can be selected according to the purpose, and the degree of freedom in design is increased.
Further, since the fourth orbit g4 is a linear orbit extending in the vertical direction, one end of the support link 333 moves up and down in a straight line along the fourth orbit g4, and the main link 331 The left-right movement of the table can be stably suppressed through.
Further, since the vertical movement guidance mechanism (not shown) suppresses the relative rocking motion of the table 100 based on the base 200 and guides the table 100 so as to be movable in the vertical direction, the swinging motion of the table 100 is performed. Can be suppressed.
In addition, since N table support mechanisms 300 are arranged so as to surround the table when viewed from above to support each of the tables 100, the seismic isolation characteristics of the N table support mechanisms 300 are adjusted to a large extent. It is possible to create a large-scale object support device, increasing the degree of freedom in design.

本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
水平移動案内機構310が基台200に設けられ場合を例にして説明したが、これに限定されない。例えば、水平移動案内機構310がテーブル100に設けられてもよい。
第五乃至十一の実施形態では、テーブル支持構造の下部構造を特定の構造であるとして説明したが、これに限定されない。例えば、テーブル支持構造の下部構造を第一乃至四の実施形態の構造としてもよい。
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention.
The case where the horizontal movement guide mechanism 310 is provided on the base 200 has been described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, the horizontal movement guidance mechanism 310 may be provided on the table 100.
In the fifth to eleventh embodiments, the substructure of the table support structure has been described as being a specific structure, but the present invention is not limited thereto. For example, the lower structure of the table support structure may be the structure of the first to fourth embodiments.

x 特定水平軸
g1 第一軌道
g2 第二軌道
g3 第三軌道
g4 第四軌道
H1 離間距離
H2 離間距離
S スリット
W 車輪
10 対象物
20 上下免震台
30 水平免震台
40 ガラスケース
100 テーブル
200 基台
300 テーブル支持機構
310 水平移動案内機構
310Br 右側案内ブロック
310Rr 右側案内機構
310Bl 左側案内ブロック
310Rl 左側案内機構
312 一方水平移動案内機構
312Br 右側一方案内ブロック
312Rr 右側一方案内機構
312Bl 左側一方案内ブロック
312Rl 左側一方案内機構
320 上下方向ばね部材
330 リンク機構
331 主リンク
331r 右側主リンク
331l 左側主リンク
331Cu 一方回転中心
331Cd 他方回転中心
331u 一方連結軸
331d 他方連結軸
332 サポートリンク
332r 右側サポートリンク
332l 左側サポートリンク
332Cu 一方サポート回転中心
332Cd 他方サポート回転中心
332u 一方サポート連結軸
332d 他方サポート連結軸
333 一方サポートリンク
333r 右側一方サポートリンク
333l 左側一方サポートリンク
333Cu 一方サポート回転中心
333Cd 他方サポート回転中心
333u 一方サポート連結軸
333d 他方サポート連結軸
334 主リンク連結軸
340 水平方向ばね部材
350 垂直移動案内機構
350B サポート案内ブロック
350R サポート案内機構
350Br 右側サポート案内ブロック
350Rr 右側サポート案内機構
350Bl 左側サポート案内ブロック
350Rl 左側サポート案内機構
352 一方垂直移動案内機構
352B 一方サポート案内ブロック
352R 一方サポート案内機構
352Br 右側一方サポート案内ブロック
352Rr 右側一方サポート案内機構
352Bl 左側一方サポート案内ブロック
352Rl 左側一方サポート案内ブロック
x Specific horizontal axis g1 1st orbit g2 2nd orbit g3 3rd orbit g4 4th orbit H1 Separation distance H2 Separation distance S Slit W Wheel 10 Object 20 Vertical seismic isolation table 30 Horizontal seismic isolation table 40 Glass case 100 Table 200 units Table 300 Table support mechanism 310 Horizontal movement guide mechanism 310Br Right guide block 310Rr Right guide mechanism 310B Left guide block 310Rl Left guide mechanism 312 One side horizontal movement guide mechanism 312Br Right one guide block 312Rr Right one guide mechanism 312B Left one guide block 312Rl Left one Guide mechanism 320 Vertical spring member 330 Link mechanism 331 Main link 331r Right main link 331l Left main link 331Cu One rotation center 331Cd The other rotation center 331u One connection shaft 331d The other connection shaft 332 Support link 332r Right support link 332l Left support link 332Cu Support rotation center 332Cd The other support rotation center 332u One support connection axis 332d The other support connection axis 333 One side support link 333r Right side One support link 333l Left side One support link 333Cu One side support rotation center 333Cd The other support rotation center 333u One side support connection axis 333d The other support Connecting shaft 334 Main link Connecting shaft 340 Horizontal spring member 350 Vertical movement guide mechanism 350B Support guide block 350R Support guide mechanism 350Br Right support guide block 350Rr Right support guide mechanism 350Bl Left support guide block 350Rl Left support guide mechanism 352 One side vertical movement guide Mechanism 352B One-sided support guide block 352R One-sided support guide mechanism 352Br Right one-sided support guide block 352Rr Right one-sided support guide mechanism 352Bl Left-side one-sided support guide block 352Rl Left-side one-sided support guide block

特開平11-37214号Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-37214 特開2009-168157号JP-A-2009-168157 特開2008-157288号JP-A-2008-157288

Claims (26)

対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
他方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内機構とを持つ水平移動案内機構と、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである左右一対の主リンクと一方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクであるサポートリンクとを持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である、
ことを特徴とする対象物支持装置。
An object support device that supports an object
A table on which objects can be placed and
The foundation supported by the foundation and
A table support mechanism that supports the table based on the base,
Equipped with
The table support mechanism
On the other hand, a pair of left and right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis and a pair of left and right guide blocks extending along the specific horizontal axis along a pair of left and right first orbits. A horizontal movement guidance mechanism with a pair of left and right guidance mechanisms that guide each of them freely,
A vertical spring member that generates an upward spring force on the table based on the base, and
One end of the upper end or the lower end is rotatably fixed around the center of rotation while being the center of rotation in one structure and the other end of the upper end or the lower end At least one of the pair of left and right main links, which is a pair of left and right links whose portions are rotatably fixed around the center of rotation of the other, which is the center of rotation, and one end of the pair of left and right main links. It is a link that is rotatably connected to the main link of the center of rotation while being rotatably connected around the center of rotation of the support and the other end is rotatably supported around the center of rotation of the other support that is the center of rotation to the other structure. A link mechanism with support links and
A horizontal spring member that exerts a spring force on each of the pair of left and right main links along a specific horizontal axis in a direction approaching each other.
Have,
here,
The specific horizontal axis is a horizontal axis extending in a specific horizontal direction.
The one-sided structure is one of the table or the base.
The other structure is the other structure of the table or the base.
An object support device characterized by that.
前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
The support link is movably supported along a second orbit, which is an orbit extending vertically to the other structure at the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center.
The object support device according to claim 1.
左右一対の前記第一軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする請求項2に記載の対象物支持装置。
When the pair of left and right first orbits transition along the specific horizontal axis in a direction away from each other, the pair of left and right orbits extend in one direction in the vertical direction as the transition occurs.
2. The object support device according to claim 2.
前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項3に記載の対象物支持装置。
The second orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
The object support device according to claim 3.
前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、
前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい、
ことを特徴とする請求項4に記載の対象物支持装置。
The one-side support rotation center is located on the main link virtual line, which is a virtual line connecting the one-side rotation center and the other rotation center.
The distance between the one-sided rotation center and the one-side support rotation center, the distance between the one-side support rotation center and the other rotation center, and the distance between the one-side support rotation center and the other support rotation center are equal to each other.
The object support device according to claim 4.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、
ことを特徴とする請求項5に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the one rotation center of each of the pair of left and right main links is separated by a predetermined separation distance.
The object support device according to claim 5.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する、
ことを特徴とする請求項6に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the pair of left and right main links intersect between each of the one rotation center and the other rotation center.
The object support device according to claim 6.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、
左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項7に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the pair of left and right main links intersect between each of the one rotation center and the other rotation center.
The pair of left and right links are rotatably connected at the intersections between the one rotation center and the other rotation center.
The object support device according to claim 7.
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ、
ことを特徴とする請求項8に記載の対象物支持装置。
On the other hand, a pair of left and right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis with respect to the structure and a pair of left and right third orbits extending along the specific horizontal axis from the pair of left and right guide blocks. A one-sided horizontal movement guidance mechanism having a pair of left and right one-sided guidance mechanisms that guide each of them freely along the
Have,
The link mechanism rotates the pair of left and right main links, the support link, and the other end around the center of rotation of the other support, which is the center of rotation of at least one of the pair of left and right main links. It has a one-sided support link that is connected and has one end that is rotatably supported around the one-sided support rotation center while being the center of rotation in the one-sided structure.
The object support device according to claim 8.
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項9に記載の対象物支持装置。
The one-sided support link is movably supported along a fourth orbit, which is an orbit extending vertically in the one-sided structure at one end, and is rotatably supported around the one-sided support rotation center.
The object support device according to claim 9.
左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする請求項10に記載の対象物支持装置。
When the pair of left and right third orbits transition along the specific horizontal axis in a direction away from each other, the third orbit extends so as to be biased to one of the vertical directions as the transition occurs.
The object support device according to claim 10.
前記第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項11に記載の対象物支持装置。
The fourth orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
The object support device according to claim 11.
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、
を有する、
ことを特徴とする請求項12に記載の対象物支持装置。
The table support mechanism
A vertical movement guidance mechanism that suppresses the relative rocking motion of the table and guides it so as to be movable in the vertical direction based on the base.
Have,
The object support device according to claim 12.
N個のテーブル支持機構と、
を備え、
上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する、
ことを特徴とする請求項13に記載の対象物支持装置
N table support mechanisms and
Equipped with
When viewed from above, N table support mechanisms are arranged so as to surround the table to support each of the tables.
13. The object support device according to claim 13.
前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持され、
前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
The support link is movably supported along a second orbit, which is an orbit extending vertically to the other structure at the other end, and is rotatably supported around the other support rotation center.
The second orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
The object support device according to claim 1.
前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、
前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
The one-side support rotation center is located on the main link virtual line, which is a virtual line connecting the one-side rotation center and the other rotation center.
The distance between the one-sided rotation center and the one-side support rotation center, the distance between the one-side support rotation center and the other rotation center, and the distance between the one-side support rotation center and the other support rotation center are equal to each other.
The object support device according to claim 1.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the one rotation center of each of the pair of left and right main links is separated by a predetermined separation distance.
The object support device according to claim 1.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the one rotation center of each of the pair of left and right main links coincides.
The object support device according to claim 1.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the pair of left and right main links intersect between each of the one rotation center and the other rotation center.
The object support device according to claim 1.
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、
左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
When viewed horizontally so as to divide the pair of left and right main links into left and right, the pair of left and right main links intersect between each of the one rotation center and the other rotation center.
The pair of left and right links are rotatably connected at the intersections between the one rotation center and the other rotation center.
The object support device according to claim 1.
前記テーブル支持機構が、
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ、
ことを特徴とする請求項20に記載の対象物支持装置。
The table support mechanism
On the other hand, a pair of left and right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis with respect to the structure and a pair of left and right third orbits extending along the specific horizontal axis from the pair of left and right guide blocks. A one-sided horizontal movement guidance mechanism having a pair of left and right one-sided guidance mechanisms that guide each of them freely along the
Have,
The link mechanism rotates the pair of left and right main links, the support link, and the other end around the center of rotation of the other support, which is the center of rotation of at least one of the pair of left and right main links. It has a one-sided support link that is connected and has one end that is rotatably supported around the one-sided support rotation center while being the center of rotation in the one-sided structure.
20. The object support device according to claim 20.
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持ち、
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項20に記載の対象物支持装置。
The link mechanism rotatably rotates the pair of left and right main links, the support link, and the other end around the center of rotation of the other support, which is the center of rotation of at least one of the pair of left and right main links. It has a one-sided support link that is connected and has one end that is rotatably supported around the one-sided support rotation center while being the center of rotation in the one-sided structure.
The one-sided support link is movably supported along a fourth orbit, which is an orbit extending vertically in the one-sided structure at one end, and is rotatably supported around the one-sided support rotation center.
20. The object support device according to claim 20.
前記テーブル支持機構が、
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする請求項20に記載の対象物支持装置。
The table support mechanism
On the other hand, a pair of left and right guide blocks arranged apart from each other along a specific horizontal axis with respect to the structure and a pair of left and right third orbits extending along the specific horizontal axis from the pair of left and right guide blocks. A one-sided horizontal movement guidance mechanism having a pair of left and right one-sided guidance mechanisms that guide each of them freely along the
Have,
When the pair of left and right third orbits transition along the specific horizontal axis in a direction away from each other, the third orbit extends so as to be biased to one of the vertical directions as the transition occurs.
20. The object support device according to claim 20.
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持され、
前記第4軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項20に記載の対象物支持装置。
The one-sided support link is movably supported along a fourth orbit, which is an orbit extending vertically in the one-sided structure at one end, and is rotatably supported around the one-sided support rotation center.
The fourth orbit is a linear orbit extending in the vertical direction.
20. The object support device according to claim 20.
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制する揺動運動抑制機構と、
を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
The table support mechanism
A rocking motion suppressing mechanism that suppresses the relative rocking motion of the table based on the base,
Have,
The object support device according to claim 1.
N個のテーブル支持機構と、
を備え、
上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する、
ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。
N table support mechanisms and
Equipped with
When viewed from above, N table support mechanisms are arranged so as to surround the table to support each of the tables.
The object support device according to claim 1.
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