JP7055185B2 - Droplet ejection device, droplet ejection method, program and computer storage medium - Google Patents

Droplet ejection device, droplet ejection method, program and computer storage medium Download PDF

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Description

本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置、当該液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。
The present invention relates to a droplet ejection device that ejects and draws droplets of a functional liquid onto a work, a droplet ejection method using the droplet ejection device, a program, and a computer storage medium .

従来、機能液を使用してワークに描画を行う装置として、当該機能液を液滴にして吐出するインクジェット方式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、例えば有機ＥＬ装置、カラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際など、広く用いられている。 Conventionally, as a device for drawing on a work using a functional liquid, an inkjet type droplet ejection device for ejecting the functional liquid as droplets is known. The droplet ejection device manufactures an electro-optical device (flat panel display: FPD) such as an organic EL device, a color filter, a liquid crystal display device, a plasma display (PDP device), and an electron emission device (FED device, SED device). It is widely used, such as when.

例えば特許文献１に記載された液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）と、ワークを搭載するワークステージ（ワークテーブル）と、案内用の一対の支持ベースが延伸する方向（主走査方向）に沿ってワークテーブルを移動させる移動機構（リニアモータ）と、を備えている。そして、ワークテーブルにより液滴吐出ヘッドに対してワークを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドからワーク上に予め形成されたバンクに対して機能液を吐出することで、ワークに対する描画が行われる。 For example, the droplet ejection device described in Patent Document 1 includes a functional droplet ejection head (droplet ejection head) for ejecting droplets of a functional liquid, a work stage (work table) on which a work is mounted, and a guide. It is provided with a moving mechanism (linear motor) that moves the work table along the direction in which the pair of support bases are extended (main scanning direction). Then, while the work is relatively moved with respect to the droplet ejection head by the work table, the functional liquid is ejected from the droplet ejection head to the bank formed in advance on the work to draw the work. Will be.

また、液滴吐出装置における描画動作では、ワークを主走査方向（Ｙ軸正方向）に移動させながら、第１の描画動作（往道パス）を行う。その後、ワークテーブルを主走査方向に直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させて、さらにワークを主走査方向（Ｙ軸負方向）に移動させながら、第２の描画動作（復道パス）を行う。そして、再度ワークテーブルを副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させて、さらにワークを主走査方向（Ｙ軸正方向）に移動させながら、第３の描画動作（往道パス）を行う。このような描画動作により、ワーク全面に対して描画が行われる。 Further, in the drawing operation in the droplet ejection device, the first drawing operation (outward path) is performed while moving the work in the main scanning direction (Y-axis positive direction). After that, the work table is moved in the sub-scanning direction (X-axis direction) orthogonal to the main scanning direction, and the work is further moved in the main scanning direction (Y-axis negative direction) while the second drawing operation (return path) is performed. )I do. Then, the work table is moved again in the sub-scanning direction (X-axis direction), and the work is further moved in the main scanning direction (Y-axis positive direction) to perform the third drawing operation (outward path). By such a drawing operation, drawing is performed on the entire surface of the work.

なお、以下の説明において、このように第１の描画動作～第３の描画動作を行う際、ワークテーブルを副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させる動作を「改行」という場合がある。 In the following description, when performing the first drawing operation to the third drawing operation in this way, the operation of moving the work table in the sub-scanning direction (X-axis direction) may be referred to as "line feed".

特開２０１０－１９８０２８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-198028

しかしながら、ワークテーブルを改行した際に、当該ワークテーブルの姿勢、重心、直進性が変わるといった要因により、液滴吐出ヘッドとワーク上のバンクとの位置関係が変化する場合がある。このようなワークテーブルの姿勢の変化、重心の変化、直進性の変化は、例えば改行する際の移動機構の機械的な精度や、ワークテーブルが移動するステージの非平坦性などによって生じ得る。 However, when the work table is broken, the positional relationship between the droplet ejection head and the bank on the work may change due to factors such as changes in the posture, center of gravity, and straightness of the work table. Such changes in the posture of the work table, changes in the center of gravity, and changes in straightness can occur, for example, due to the mechanical accuracy of the moving mechanism at the time of line feed, the non-flatness of the stage on which the work table moves, and the like.

また近年、液滴吐出装置で製造されるテレビなどの製品は、大型で高精細（例えば４Ｋ、８Ｋ）が主流になっており、ワークの大型化に対応すべく液滴吐出装置も大型化している。このため、上述した要因による液滴吐出ヘッドとバンクとの位置ずれ、すなわち、液滴吐出ヘッドから吐出された液滴がワーク上のバンクに着弾する際の位置ずれが無視できない状況になっている。しかも、ピクセルサイズの影響で、その位置ずれの許容範囲も例えば±２μｍ以下と小さくなってきている。 In recent years, products such as televisions manufactured with a droplet ejection device have become mainstream in large size and high definition (for example, 4K, 8K), and the droplet ejection device has also been increased in size to cope with the increase in the size of the workpiece. There is. Therefore, the positional deviation between the droplet ejection head and the bank due to the above-mentioned factors, that is, the positional deviation when the droplet ejected from the droplet ejection head lands on the bank on the work cannot be ignored. .. Moreover, due to the influence of the pixel size, the allowable range of the positional deviation is becoming smaller, for example, ± 2 μm or less.

そこで、液滴吐出装置のように精密制御が必要なステージにおいては、環境変化にロバストに対応できるワークテーブルの位置補正の技術が求められている。しかしながら現状では、このような精密ステージにおいて、ワークテーブルの位置を適切に補正するには至っていない。 Therefore, in a stage that requires precise control such as a droplet ejection device, there is a demand for a technique for correcting the position of a work table that can robustly respond to changes in the environment. However, at present, the position of the work table has not been appropriately corrected in such a precision stage.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドに対するワークテーブルの相対位置を適切に補正し、当該液滴吐出ヘッドとワークを高精度に位置合わせすることを目的とする。 The present invention has been made in view of this point, and in a droplet ejection device that ejects and draws a droplet of a functional liquid on a work, the relative position of the work table with respect to the droplet ejection head is appropriately corrected. The purpose is to align the droplet ejection head and the work with high accuracy.

前記の目的を達成するため、本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、及び主走査方向に直交する副走査方向に相対的に移動させる移動機構と、前記移動機構により前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置、又は前記ワークテーブルの位置を検出し、当該検出結果に基づいて、前記移動機構の位置と、前記ワークテーブルの位置の補正量との相関を示す補正テーブルを予め作成する制御部と、を有し、前記制御部は、予め作成した前記補正テーブル及び測定した前記移動機構の位置を用いて、前記ワークテーブルの位置を補正することを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention is a droplet ejection device that ejects and draws droplets of a functional liquid onto a work, and is placed on a work table on which the work is placed and on the work table. A droplet ejection head that ejects droplets onto the work, a moving mechanism that relatively moves the work table and the droplet ejection head in the main scanning direction and the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. While the work table and the droplet ejection head are relatively moved in the main scanning direction by the moving mechanism, the position of the work placed on the work table or the position of the work table is detected, and the detection is performed. Based on the result, the control unit has a control unit that preliminarily creates a correction table showing the correlation between the position of the movement mechanism and the correction amount of the position of the work table, and the control unit has the correction table created in advance. It is characterized in that the position of the work table is corrected by using the measured position of the moving mechanism .

本発明によれば、先ず、移動機構により、主走査方向にワークテーブルと液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる際、ワークテーブルに載置されたワークの位置、又はワークテーブルの位置を検出する。そして、このワークの位置又はワークテーブルの位置の検出結果に基づいて、補正テーブルを作成する。かかる場合、ワークテーブルを改行する際にワークの位置ずれが生じても、補正テーブルを用いて、ワークテーブルの位置を適切に補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッドとワークを高精度に位置合わせすることができ、液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の吐出精度（着弾精度）を高くすることができる。
According to the present invention, first, when the work table and the droplet ejection head are relatively moved in the main scanning direction by the moving mechanism, the position of the work placed on the work table or the position of the work table is detected. .. Then, a correction table is created based on the detection result of the position of the work or the position of the work table. In such a case, even if the position of the work shifts when the work table is broken, the position of the work table can be appropriately corrected by using the correction table. Therefore, the droplet ejection head and the work can be aligned with high accuracy, and the droplet ejection accuracy (landing accuracy) from the droplet ejection head to the work can be increased.

前記制御部は、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出する際、当該ワーク又はワークテーブルに予め形成された基準マークの位置を用いてもよい。 When detecting the position of the work or the position of the work table, the control unit may use the position of the reference mark formed in advance on the work or the work table.

前記基準マークは、主走査方向に複数並べて形成され、且つ、副走査方向に少なくとも１つ以上並べて形成されていてもよい。 A plurality of the reference marks may be formed side by side in the main scanning direction, and at least one may be arranged side by side in the sub-scanning direction.

前記液滴吐出装置は、前記ワークテーブルに載置された前記ワーク又は前記ワークテーブルの撮像画像を取得する撮像部をさらに有し、前記撮像部は副走査方向に移動自在に構成され、前記制御部は、前記撮像部で取得された撮像画像に基づいて、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出してもよい。 The droplet ejection device further includes an image pickup unit that acquires an image captured by the work or the work table placed on the work table, and the image pickup unit is configured to be movable in a sub-scanning direction and is controlled. The unit may detect the position of the work or the position of the work table based on the captured image acquired by the imaging unit.

別な観点による本発明は、ワークテーブルに載置されたワークに対し、液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、移動機構により、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させる第１の工程と、前記第１の工程において、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置、又は前記ワークテーブルの位置を検出する第２の工程と、前記第２の工程における検出結果に基づいて、前記移動機構の位置と、前記ワークテーブルの位置の補正量との相関を示す補正テーブルを予め作成する第３の工程と、予め作成した前記補正テーブル及び測定した前記移動機構の位置を用いて、前記ワークテーブルの位置を補正する第４の工程と、を有することを特徴としている。
The present invention from another viewpoint is a droplet ejection method in which droplets of functional liquid are ejected from a droplet ejection head to draw a work placed on a work table, and the work table is provided with a moving mechanism. In the first step of moving the droplet ejection head relatively in the main scanning direction and the first step, the position of the work placed on the work table or the position of the work table is detected. A third step of preliminarily creating a correction table showing the correlation between the position of the moving mechanism and the correction amount of the position of the work table based on the detection result in the second step. It is characterized by having a fourth step of correcting the position of the work table by using the correction table prepared in advance and the measured position of the moving mechanism .

前記第２の工程において、前記ワーク又は前記ワークテーブルに予め形成された基準マークの位置を用いて、当該ワークの位置又はワークテーブルの位置を検出してもよい。 In the second step, the position of the work or the position of the work table may be detected by using the position of the reference mark formed in advance on the work or the work table.

前記基準マークは、主走査方向に複数並べて形成され、且つ、主走査方向に直交する副走査方向に少なくとも１つ以上並べて形成されていてもよい。
A plurality of the reference marks may be arranged side by side in the main scanning direction, and at least one may be arranged side by side in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction.

前記第２の工程において、撮像部によって、前記ワークテーブルに載置された前記ワーク又は前記ワークテーブルの撮像画像を取得し、当該撮像画像に基づいて、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出し、前記撮像部は、主走査方向に直交する副走査方向に移動自在に構成されていてもよい。
In the second step, the imaging unit acquires an image of the work or the work table placed on the work table, and based on the image, the position of the work or the position of the work table is determined. The image pickup unit may be configured to be movable in the sub- scanning direction orthogonal to the main scanning direction upon detection.

また別な観点による本発明によれば、前記液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。 According to another aspect of the present invention, there is provided a program that operates on the computer of the droplet ejection device so that the droplet ejection method is executed by the droplet ejection device.

さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。 According to the present invention from yet another aspect, a readable computer storage medium containing the program is provided.

本発明によれば、ワークテーブルを改行する際に液滴吐出ヘッドに対するワークの位置ずれが生じても、液滴吐出ヘッドに対するワークテーブルの相対位置を適切に補正し、当該液滴吐出ヘッドとワークを高精度に位置合わせすることができる。 According to the present invention, even if the position of the work with respect to the droplet ejection head is displaced when the work table is broken, the relative position of the work table with respect to the droplet ejection head is appropriately corrected, and the droplet ejection head and the work are appropriately corrected. Can be aligned with high accuracy.

本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す側面図である。It is a side view which shows the outline of the structure of the droplet ejection device which concerns on this embodiment. 本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す平面図である。It is a top view which shows the outline of the structure of the droplet ejection device which concerns on this embodiment. ワーク上にバンクと基準マークが形成された状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which the bank and the reference mark are formed on the work. 制御部の構成の概略を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of the structure of the control part schematically. 補正テーブルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a correction table. 補正器においてパルス信号を変換する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state of converting a pulse signal in a corrector. ワークに対する描画動作を行う様子を示す平面視における説明図であり、（ａ）は第１の描画動作を示し、（ｂ）は第２の描画動作を示し、（ｃ）は第３の描画動作を示している。It is explanatory drawing in the plan view which shows the state of performing the drawing operation with respect to a work, (a) shows the 1st drawing operation, (b) shows the 2nd drawing operation, (c) is the 3rd drawing operation. Is shown. ワークに対する描画動作を行う様子を示す側面視における説明図であり、（ａ）は第１の描画動作を示し、（ｂ）は第２の描画動作を示し、（ｃ）は第３の描画動作を示している。It is explanatory drawing in the side view which shows the state of performing the drawing operation with respect to a work, (a) shows the 1st drawing operation, (b) shows the 2nd drawing operation, (c) is the 3rd drawing operation. Is shown. 基準補正テーブルを補間する様子を示す表の一例である。This is an example of a table showing how the reference correction table is interpolated. 他の実施の形態において基準ワーク上に基準マークが形成された状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which the reference mark was formed on the reference work in another embodiment. 他の実施の形態にかかる制御部の構成の概略を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of the structure of the control part which concerns on other embodiment.

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention is not limited to the embodiments shown below.

＜液滴吐出装置の構成＞
先ず、本実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す側面図である。図２は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す平面図である。なお、以下においては、ワークＷの主走査方向をＹ軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に直交する鉛直方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回転方向をθ方向とする。 <Structure of droplet ejection device>
First, the configuration of the droplet ejection device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a side view showing an outline of the configuration of the droplet ejection device 1. FIG. 2 is a plan view showing an outline of the configuration of the droplet ejection device 1. In the following, the main scanning direction of the work W is the Y-axis direction, the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction is the X-axis direction, the vertical direction orthogonal to the Y-axis direction and the X-axis direction is the Z-axis direction, and the Z-axis. The direction of rotation around the direction is the θ direction.

また、本実施の形態で用いられるワークＷには、図３に示すように区画壁であるバンク１００が形成される。バンク１００は、例えばフォトリソグラフィー処理やエッチング処理等を行うことによって所定のパターンにパターニングされる。バンク１００には、略矩形状の開口部１０１が行方向（Ｙ軸方向）と列方向（Ｘ軸方向）に所定のピッチで複数並べて形成されている。この開口部１０１の内部は、液滴吐出装置１により吐出された液滴が着弾する着弾領域となる。なお、バンク１００には、例えば感光性ポリイミド樹脂が用いられる。 Further, as shown in FIG. 3, a bank 100, which is a partition wall, is formed on the work W used in the present embodiment. The bank 100 is patterned into a predetermined pattern by, for example, performing a photolithography process, an etching process, or the like. In the bank 100, a plurality of substantially rectangular openings 101 are formed side by side at a predetermined pitch in the row direction (Y-axis direction) and the column direction (X-axis direction). The inside of the opening 101 is a landing area where the droplets ejected by the droplet ejection device 1 land. For the bank 100, for example, a photosensitive polyimide resin is used.

ワークＷの端部には、基準マーク１０２がＹ軸方向に沿って開口部１０１と同じピッチで複数形成されている。基準マーク１０２は、例えばインクジェット方式の描図方法などを用いてワークＷの上面に描図されている。なお、図３では、基準マーク１０２として略十字形のマークを描図しているが、基準マーク１０２の形状は本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えば円形や三角形であってもよく、識別可能なものであれば任意に設定できる。また、図３ではワークＷのＸ軸負方向側の端部に基準マーク１０２が形成された状態を描図しているが、基準マーク１０２はワークＷのＸ軸正方向側の端部に形成されていてもよい。 A plurality of reference marks 102 are formed at the end of the work W along the Y-axis direction at the same pitch as the opening 101. The reference mark 102 is drawn on the upper surface of the work W by using, for example, an inkjet drawing method. In FIG. 3, a substantially cruciform mark is drawn as the reference mark 102, but the shape of the reference mark 102 is not limited to the content of the present embodiment, and is, for example, a circle or a triangle. It is also good, and any identifiable one can be set. Further, FIG. 3 illustrates a state in which the reference mark 102 is formed at the end of the work W on the negative side of the X axis, but the reference mark 102 is formed at the end of the work W on the positive side of the X axis. It may have been done.

なお、本実施の形態におけるワークＷは、量産のための製品用のワークＷに加えて、後述する補正テーブルを作成するための基準ワークＷｆも含む。そして、基準ワークＷｆには基準マーク１０２が形成されているが、製品用のワークＷにおける基準マーク１０２の形成の有無は任意であり、省略してもよい。 The work W in the present embodiment includes not only the work W for products for mass production but also the reference work Wf for creating a correction table described later. Although the reference mark 102 is formed on the reference work Wf, the presence or absence of the reference mark 102 on the work W for the product is arbitrary and may be omitted.

液滴吐出装置１は、主走査方向（Ｙ軸方向）に延在して、ワークＷを主走査方向に移動させるＹ軸ステージ１０と、Ｙ軸ステージ１０を跨ぐように架け渡され、副走査方向（Ｘ軸方向）に延在する一対のＸ軸ステージ１１、１１とを有している。Ｙ軸ステージ１０の上面には、一対のＹ軸ガイドレール１２、１２がＹ軸方向に延伸して設けられ、各Ｙ軸ガイドレール１２には、Ｙ軸リニアモータ１３が設けられている。各Ｘ軸ステージ１１の上面には、Ｘ軸ガイドレール１４がＸ軸方向に延伸して設けられ、当該Ｘ軸ガイドレール１４には、Ｘ軸リニアモータ１５が設けられている。なお、以下の説明では、Ｙ軸ステージ１０上において、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸負方向側のエリアを搬入出エリアＡ１といい、一対のＸ軸ステージ１１、１１間のエリアを処理エリアＡ２といい、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸正方向側のエリアを待機エリアＡ３という。 The droplet ejection device 1 extends in the main scanning direction (Y-axis direction) and is straddled over the Y-axis stage 10 for moving the work W in the main scanning direction and the Y-axis stage 10 for sub-scanning. It has a pair of X-axis stages 11 and 11 extending in the direction (X-axis direction). A pair of Y-axis guide rails 12 and 12 are provided on the upper surface of the Y-axis stage 10 so as to extend in the Y-axis direction, and each Y-axis guide rail 12 is provided with a Y-axis linear motor 13. An X-axis guide rail 14 is provided on the upper surface of each X-axis stage 11 so as to extend in the X-axis direction, and the X-axis guide rail 14 is provided with an X-axis linear motor 15. In the following description, on the Y-axis stage 10, the area on the Y-axis negative direction side from the X-axis stage 11 is referred to as the carry-in / out area A1, and the area between the pair of X-axis stages 11 and 11 is referred to as the processing area A2. The area on the positive side of the Y-axis from the X-axis stage 11 is called the standby area A3.

Ｙ軸リニアモータ１３には、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を測定するＹ軸リニアスケール１６が設けられている。Ｙ軸リニアスケール１６からは、Ｙ軸リニアモータ１３の位置を示すエンコーダパルス（パルス信号）が出力される。なお、Ｙ軸リニアモータ１３の位置とは、Ｙ軸リニアモータ１３の可動子の位置を意味する。 The Y-axis linear motor 13 is provided with a Y-axis linear scale 16 for measuring the position of the Y-axis linear motor 13. From the Y-axis linear scale 16, an encoder pulse (pulse signal) indicating the position of the Y-axis linear motor 13 is output. The position of the Y-axis linear motor 13 means the position of the mover of the Y-axis linear motor 13.

Ｙ軸ステージ１０上には、ワークテーブル２０が設けられている。一対のＸ軸ステージ１１、１１には、キャリッジユニット３０と撮像ユニット４０が設けられている。 A work table 20 is provided on the Y-axis stage 10. A carriage unit 30 and an image pickup unit 40 are provided on the pair of X-axis stages 11 and 11.

ワークテーブル２０は、例えば真空吸着テーブルであり、ワークＷを吸着して載置する。ワークテーブル２０は、当該ワークテーブル２０の下面側に設けられたテーブル移動機構２１によって、Ｘ軸方向に移動自在であると共にθ方向に回転自在に支持されている。ワークテーブル２０とテーブル移動機構２１は、テーブル移動機構２１の下面側に設けられたＹ軸スライダ２２に支持されている。Ｙ軸スライダ２２は、Ｙ軸ガイドレール１２に取り付けられ、Ｙ軸リニアモータ１３によってＹ軸方向に移動自在に構成されている。したがって、ワークＷを載置した状態でワークテーブル２０をＹ軸スライダ２２によってＹ軸ガイドレール１２に沿ってＹ軸方向に移動させることで、ワークＷをＹ軸方向に移動させることができる。なお、本実施の形態では、テーブル移動機構２１がワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させ、且つθ方向に回転させていたが、ワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させる機構とθ方向に回転させる機構はそれぞれ別であってもよい。また、本実施の形態では、Ｙ軸リニアモータ１３とテーブル移動機構２１が、本発明の移動機構を構成している。 The work table 20 is, for example, a vacuum suction table, and the work W is sucked and placed on the work table 20. The work table 20 is movably supported in the X-axis direction and rotatably supported in the θ direction by a table moving mechanism 21 provided on the lower surface side of the work table 20. The work table 20 and the table moving mechanism 21 are supported by a Y-axis slider 22 provided on the lower surface side of the table moving mechanism 21. The Y-axis slider 22 is attached to the Y-axis guide rail 12 and is configured to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis linear motor 13. Therefore, the work W can be moved in the Y-axis direction by moving the work table 20 in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 12 by the Y-axis slider 22 with the work W placed. In the present embodiment, the table moving mechanism 21 moves the work table 20 in the X-axis direction and rotates in the θ direction, but the mechanism for moving the work table 20 in the X-axis direction and the rotation in the θ direction. The mechanism for causing them may be different. Further, in the present embodiment, the Y-axis linear motor 13 and the table moving mechanism 21 constitute the moving mechanism of the present invention.

テーブル移動機構２１には、当該テーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置を測定するＸ軸リニアスケール２３と、テーブル移動機構２１のθ方向の位置を測定するロータリエンコーダ２４とが設けられている。Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４からは、それぞれテーブル移動機構２１（ワークテーブル２０）のＸ軸方向の位置とθ方向の位置を示すエンコーダパルス（パルス信号）が出力される。 The table moving mechanism 21 is provided with an X-axis linear scale 23 for measuring the position of the table moving mechanism 21 in the X-axis direction and a rotary encoder 24 for measuring the position of the table moving mechanism 21 in the θ direction. From the X-axis linear scale 23 and the rotary encoder 24, encoder pulses (pulse signals) indicating the positions of the table moving mechanism 21 (work table 20) in the X-axis direction and the positions in the θ direction are output, respectively.

なお、搬入出エリアＡ１におけるワークテーブル２０の上方には、ワークテーブル２０上のワークＷを撮像するワークアライメントカメラ（図示せず）が設けられている。そして、ワークアライメントカメラで撮像された画像に基づいて、Ｙ軸スライダ２２及びテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのＹ軸方向、Ｘ軸方向及びθ方向の位置が必要に応じて補正される。これにより、ワークＷがアライメントされて所定の初期位置に設定される。 A work alignment camera (not shown) that captures the work W on the work table 20 is provided above the work table 20 in the carry-in / out area A1. Then, based on the image captured by the work alignment camera, the positions of the work W placed on the work table 20 in the Y-axis direction, the X-axis direction, and the θ direction are required by the Y-axis slider 22 and the table moving mechanism 21. It is corrected according to. As a result, the work W is aligned and set to a predetermined initial position.

キャリッジユニット３０は、Ｘ軸ステージ１１において、複数、例えば１０個設けられている。各キャリッジユニット３０は、キャリッジプレート３１と、キャリッジ保持機構３２と、キャリッジ３３と、液滴吐出ヘッド３４とを有している。キャリッジ保持機構３２は、キャリッジプレート３１の下面の中央部に設けられ、当該キャリッジ保持機構３２の下端部にキャリッジ３３が着脱自在に取り付けられている。 A plurality of carriage units 30, for example, 10 are provided in the X-axis stage 11. Each carriage unit 30 has a carriage plate 31, a carriage holding mechanism 32, a carriage 33, and a droplet ejection head 34. The carriage holding mechanism 32 is provided at the center of the lower surface of the carriage plate 31, and the carriage 33 is detachably attached to the lower end of the carriage holding mechanism 32.

キャリッジプレート３１は、Ｘ軸ガイドレール１４に取り付けられ、Ｘ軸リニアモータ１５によってＸ軸方向に移動自在になっている。なお、複数のキャリッジプレート３１を一体としてＸ軸方向に移動させることも可能である。 The carriage plate 31 is attached to the X-axis guide rail 14 and is movable in the X-axis direction by the X-axis linear motor 15. It is also possible to move the plurality of carriage plates 31 together in the X-axis direction.

キャリッジ３３には、モータ（図示せず）が取り付けられている。このモータにより、キャリッジ３３はＸ軸方向及びθ方向に移動自在に構成されている。なお、キャリッジ３３のＸ軸方向及びθ方向の移動は、例えばキャリッジ保持機構３２によって行われてもよい。 A motor (not shown) is attached to the carriage 33. By this motor, the carriage 33 is configured to be movable in the X-axis direction and the θ direction. The carriage 33 may be moved in the X-axis direction and the θ direction by, for example, the carriage holding mechanism 32.

キャリッジ３３の下面には、複数の液滴吐出ヘッド３４がＹ軸方向及びＸ軸方向に並べて設けられている。本実施の形態では、例えばＹ軸方向に６個、Ｘ軸方向に２個、すなわち合計１２個の液滴吐出ヘッド３４が設けられている。液滴吐出ヘッド３４の下面、すなわちノズル面には複数の吐出ノズル（図示せず）が形成されている。そして、当該吐出ノズルからは、液滴吐出ヘッド３４直下の液滴吐出位置に対して機能液の液滴が吐出されるようになっている。 On the lower surface of the carriage 33, a plurality of droplet ejection heads 34 are provided side by side in the Y-axis direction and the X-axis direction. In the present embodiment, for example, six droplet ejection heads 34 are provided in the Y-axis direction and two in the X-axis direction, that is, a total of twelve droplet ejection heads 34 are provided. A plurality of ejection nozzles (not shown) are formed on the lower surface of the droplet ejection head 34, that is, the nozzle surface. Then, from the ejection nozzle, the droplet of the functional liquid is ejected to the droplet ejection position directly below the droplet ejection head 34.

撮像ユニット４０は、Ｙ軸リニアモータ１３によってワークテーブル２０をＹ軸方向に移動させたときの、ワークＷ上の基準マーク１０２の軌跡と、平面視において概ね重なる位置に配置される。具体的には、例えば図２に示すように、Ｘ軸方向の負方向側の下から２番目のキャリッジプレート３１ａの配置が、ワークＷをＹ軸方向に移動させたときの基準マーク１０２の軌跡と概ね重なっている場合、撮像ユニット４０はキャリッジプレート３１ａに設けられる。なお、撮像ユニット４０はＸ軸方向に移動可能に構成されていてもよい。 The image pickup unit 40 is arranged at a position that substantially overlaps with the locus of the reference mark 102 on the work W when the work table 20 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis linear motor 13. Specifically, for example, as shown in FIG. 2, the arrangement of the second carriage plate 31a from the bottom on the negative direction side in the X-axis direction is the locus of the reference mark 102 when the work W is moved in the Y-axis direction. The image pickup unit 40 is provided on the carriage plate 31a when it substantially overlaps with the carriage plate 31a. The image pickup unit 40 may be configured to be movable in the X-axis direction.

撮像ユニット４０は、キャリッジ３３（液滴吐出ヘッド３４）を挟んでＹ軸方向に対向して設けられた第１の撮像部４１と第２の撮像部４２を有している。第１の撮像部４１及び第２の撮像部４２としては、例えばＣＣＤカメラが用いられ、ワークテーブル２０の移動中、停止中、ワーク処理中（液滴吐出中）のいずれにおいても、当該ワークテーブル２０に載置されたワークＷを撮像することができる。第１の撮像部４１は、キャリッジ３３に対してＹ軸負方向側に配置されており、第２の撮像部４２は、キャリッジ３３に対してＹ軸正方向側に配置されている。 The image pickup unit 40 has a first image pickup unit 41 and a second image pickup unit 42 provided so as to face each other in the Y-axis direction with the carriage 33 (droplet ejection head 34) interposed therebetween. As the first image pickup unit 41 and the second image pickup unit 42, for example, a CCD camera is used, and the work table 20 is moving, stopped, or processing the work (droplet ejection). The work W placed on the 20 can be imaged. The first image pickup unit 41 is arranged on the negative side of the Y axis with respect to the carriage 33, and the second image pickup unit 42 is arranged on the positive direction side of the Y axis with respect to the carriage 33.

第１の撮像部４１は、ワークＷに形成された基準マーク１０２を撮像する。第１の撮像部４１は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸負方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース４３に支持されている。そして、ワークＷが搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に向けて移動し、第１の撮像部４１の直下にワークテーブル２０が案内された際、第１の撮像部４１は、所定の周期でワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像する。取得された撮像画像は、後述する制御部１５０の検出器１６０に入力される。なお、第１の撮像部４１による撮像のタイミングは、例えば後述する補正器１６１から出力される変換後のパルス信号に基づいて決定されてもよいし、或いはワーク処理前に予め設定されていてもよい。 The first image pickup unit 41 takes an image of the reference mark 102 formed on the work W. The first image pickup unit 41 is supported by a base 43 provided on the side surface of the X-axis stage 11 on the negative direction side of the Y-axis among the pair of X-axis stages 11 and 11. Then, when the work W moves from the loading / unloading area A1 toward the processing area A2 and the work table 20 is guided directly under the first imaging unit 41, the first imaging unit 41 works at a predetermined cycle. The work W placed on the table 20 is imaged. The acquired captured image is input to the detector 160 of the control unit 150, which will be described later. The timing of imaging by the first imaging unit 41 may be determined, for example, based on the converted pulse signal output from the corrector 161 described later, or may be preset before the work processing. good.

第２の撮像部４２は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸正方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース４４に支持されている。そして、第２の撮像部４２の直下にワークテーブル２０が案内された際、第２の撮像部４２は、ワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像することにより、ワークＷの上面に着弾した液滴を撮像することができる。 The second image pickup unit 42 is supported by a base 44 provided on the side surface of the X-axis stage 11 on the positive direction side of the Y-axis among the pair of X-axis stages 11 and 11. Then, when the work table 20 is guided directly under the second image pickup unit 42, the second image pickup unit 42 images the work W placed on the work table 20 on the upper surface of the work W. The landed droplet can be imaged.

なお、ワークテーブル２０の往道パス（Ｙ軸正方向）では、第１の撮像部４１と第２の撮像部４２におけるワークＷの撮像画像は上述のとおりとなるが、ワークテーブル２０の復道パス（Ｙ軸負方向）では、第１の撮像部４１と第２の撮像部４２における撮像画像はその逆になる。 In the outward path (Y-axis positive direction) of the work table 20, the captured images of the work W in the first imaging unit 41 and the second imaging unit 42 are as described above, but the return path of the work table 20. In the path (Y-axis negative direction), the images captured by the first image pickup unit 41 and the second image pickup unit 42 are reversed.

＜制御部＞
以上の液滴吐出装置１には、制御部１５０が設けられている。制御部１５０は、例えばコンピュータであり、データ格納部（図示せず）を有している。データ格納部には、例えばワークＷに吐出される液滴を制御し、当該ワークＷに所定のパターンを描画するための描画データ（ビットマップデータ）などが格納されている。また、制御部１５０は、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、液滴吐出装置１における各種処理を制御するプログラムなどが格納されている。 <Control unit>
The above-mentioned droplet ejection device 1 is provided with a control unit 150. The control unit 150 is, for example, a computer and has a data storage unit (not shown). In the data storage unit, for example, drawing data (bitmap data) for controlling droplets ejected to the work W and drawing a predetermined pattern on the work W is stored. Further, the control unit 150 has a program storage unit (not shown). The program storage unit stores a program for controlling various processes in the droplet ejection device 1.

なお、前記データや前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部１５０にインストールされたものであってもよい。 The data and the program can be stored in a computer-readable storage medium such as a computer-readable hard disk (HD), flexible disk (FD), compact disk (CD), magnet optical desk (MO), or memory card. It may have been recorded and installed in the control unit 150 from the storage medium.

制御部１５０は、図４に示すように第１の撮像部４１（又は第２の撮像部４２）で取得された撮像画像を処理して当該撮像画像から基準マーク１０２の位置を検出する検出器１６０と、ワークテーブル２０の位置（Ｙ軸リニアモータ１３及びテーブル移動機構２１の位置）を補正する補正器１６１と、Ｙ軸リニアモータ１３及びテーブル移動機構２１の移動を制御するモーションコントローラ１６２（モーションドライバ）と、液滴吐出ヘッド３４の吐出タイミングを制御するインクジェットコントローラ１６３と、を有している。 As shown in FIG. 4, the control unit 150 is a detector that processes the captured image acquired by the first imaging unit 41 (or the second imaging unit 42) and detects the position of the reference mark 102 from the captured image. The 160, the corrector 161 that corrects the position of the work table 20 (the position of the Y-axis linear motor 13 and the table moving mechanism 21), and the motion controller 162 (motion) that controls the movement of the Y-axis linear motor 13 and the table moving mechanism 21. It has a driver) and an inkjet controller 163 that controls the ejection timing of the droplet ejection head 34.

（検出器）
検出器１６０における基準マーク１０２の位置（中心位置）の検出方法は任意であるが、例えば特開２０１７－１３０１１号公報に記載の方法を用いることができる。そして、検出器は、複数の基準マーク１０２の位置を検出することで、ワークＷの位置を検出する。また、第１の撮像部４１は、液滴吐出ヘッド３４が取り付けられるＸ軸ステージ１１に設けられるので、検出器１６０では、液滴吐出ヘッド３４に対するワークＷの位置を検出する。なお、第１の撮像部４１で取得された撮像画像は、Ｙ軸成分、Ｘ軸成分及びθ成分を含んでおり、検出器１６０で検出されるワークＷの位置もＹ軸方向位置、Ｘ軸方向位置及びθ方向位置を含んでいる。 (Detector)
The method for detecting the position (center position) of the reference mark 102 in the detector 160 is arbitrary, but for example, the method described in JP-A-2017-13011 can be used. Then, the detector detects the position of the work W by detecting the positions of the plurality of reference marks 102. Further, since the first imaging unit 41 is provided on the X-axis stage 11 to which the droplet ejection head 34 is attached, the detector 160 detects the position of the work W with respect to the droplet ejection head 34. The captured image acquired by the first imaging unit 41 contains a Y-axis component, an X-axis component, and a θ component, and the position of the work W detected by the detector 160 is also the Y-axis direction position and the X-axis. Includes directional position and θ direction position.

なお、検出器１６０では、検出されたワークＷの位置に基づいて、ワークＷの目標位置からの位置ずれ量をさらに算出してもよい。このワークＷの位置ずれ量の算出方法は任意であるが、例えば特開２０１７－１３０１１号公報に記載の方法を用いることができる。すなわち、当該方法を用いて、Ｙ軸リニアスケール１６で測定されたＹ軸リニアモータ１３の位置に基づき、ワークＷの目標位置を推定する。そして、算出されたワークＷの目標位置と、検出器１６０で検出されたワークＷの位置とを比較して、位置ずれ量を算出する。なお、ワークＷの位置ずれ量は、Ｙ軸方向位置、Ｙ軸方向ピッチ、Ｙ軸方向Ｙａｗ、Ｙ軸方向位置基準のＸ軸方向位置、Ｙ軸方向位置基準のθ方向位置を含んでいる。 In the detector 160, the amount of displacement of the work W from the target position may be further calculated based on the detected position of the work W. The method for calculating the amount of misalignment of the work W is arbitrary, but for example, the method described in JP-A-2017-13011 can be used. That is, using this method, the target position of the work W is estimated based on the position of the Y-axis linear motor 13 measured by the Y-axis linear scale 16. Then, the calculated target position of the work W is compared with the position of the work W detected by the detector 160, and the amount of misalignment is calculated. The amount of misalignment of the work W includes a Y-axis direction position, a Y-axis direction pitch, a Y-axis direction Yaw, an X-axis direction position based on the Y-axis direction position reference, and a θ-direction position based on the Y-axis direction position reference.

また、検出器１６０では、上述のように算出されたワークＷの位置ずれ量に基づいて、図５に示す補正テーブルをさらに作成してもよい。この補正テーブルは、Ｙ軸リニアモータ１３の１ストローク、例えば１００ｍｍピッチ毎に、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置に対して、ワークＷのＹ軸方向の位置ずれ量をプロットして作成される。このワークＷの位置ずれ量は、ワークＷの位置の補正量、すなわちワークテーブル２０の位置の補正量を示している。したがって、補正テーブルは、その横軸がＹ軸リニアモータ１３の位置であって、縦軸がワークテーブル２０の位置の補正量であり、Ｙ軸リニアスケール１６で測定されたＹ軸リニアモータ１３の位置において、当該ワークテーブル２０の位置をどれだけ移動させればよいかを示している。なお、図５に示した補正テーブルは、ワークテーブル２０のＹ軸方向位置の補正量の一例を示しているが、他にもＹ軸方向ピッチ、Ｙ軸方向Ｙａｗ、Ｙ軸方向位置基準のＸ軸方向位置、Ｙ軸方向位置基準のθ方向位置のそれぞれに対して補正テーブルが作成される。したがって、Ｙ軸方向にはＹ軸リニアモータ１３の位置を補正し、Ｘ軸方向及びθ方向にはテーブル移動機構２１の位置を補正することで、ワークテーブル２０の姿勢を補正することができる。さらに、図５に示す補正テーブルは、プロットを２次補間したものであるが、多次元補間してもよい。 Further, in the detector 160, the correction table shown in FIG. 5 may be further created based on the displacement amount of the work W calculated as described above. This correction table is created by plotting the amount of misalignment of the work W in the Y-axis direction with respect to the position of the Y-axis linear motor 13 for each stroke of the Y-axis linear motor 13, for example, every 100 mm pitch. The misalignment amount of the work W indicates a correction amount of the position of the work W, that is, a correction amount of the position of the work table 20. Therefore, the horizontal axis of the correction table is the position of the Y-axis linear motor 13, the vertical axis is the correction amount of the position of the work table 20, and the correction amount of the Y-axis linear motor 13 measured by the Y-axis linear scale 16. In the position, it shows how much the position of the work table 20 should be moved. The correction table shown in FIG. 5 shows an example of the correction amount of the Y-axis direction position of the work table 20, but in addition, the Y-axis direction pitch, the Y-axis direction Yaw, and the Y-axis direction position reference X. A correction table is created for each of the axial position and the θ-direction position of the Y-axis position reference. Therefore, the posture of the work table 20 can be corrected by correcting the position of the Y-axis linear motor 13 in the Y-axis direction and correcting the position of the table moving mechanism 21 in the X-axis direction and the θ direction. Further, although the correction table shown in FIG. 5 is a quadratic interpolation of the plot, it may be multidimensionally interpolated.

以上のように検出器１６０では、ワークＷの位置、ワークＷの位置ずれ量、又は補正テーブルのいずれかが算出される。そして、検出器１６０における検出結果の信号は、補正器１６１に出力される。なお、検出器１６０から補正器１６１に、ワークＷの位置又はワークＷの位置ずれ量が出力される場合には、補正器１６１において補正テーブルが作成される。 As described above, in the detector 160, any one of the position of the work W, the amount of misalignment of the work W, and the correction table is calculated. Then, the signal of the detection result in the detector 160 is output to the corrector 161. When the position of the work W or the amount of misalignment of the work W is output from the detector 160 to the corrector 161, a correction table is created in the corrector 161.

なお、上記説明においては、検出器１６０は第１の撮像部４１の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出したが、これは、ワークテーブル２０（Ｙ軸リニアモータ１３）が搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動する場合（往道パス）である。一方、ワークテーブル２０が待機エリアＡ３から処理エリアＡ２に移動する場合（復道パス）、検出器１６０は第２の撮像部４２の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出する。 In the above description, the detector 160 detects the position of the work W using the image captured by the first imaging unit 41, and the work table 20 (Y-axis linear motor 13) detects the position of the work W in the loading / unloading area A1. This is the case of moving from the processing area A2 to the processing area A2 (outbound path). On the other hand, when the work table 20 moves from the standby area A3 to the processing area A2 (return path), the detector 160 detects the position of the work W using the image captured by the second imaging unit 42.

また、検出器１６０では、ＣＣＤカメラである第１の撮像部４１で取得された撮像画像に基づいてワークＷの位置を検出したが、例えばレーザ干渉計（図示せず）又はレーザ変位計（図示せず）を用いてワークＷの位置を検出してもよい。レーザ干渉計又はレーザ変位計を用いる場合、液滴吐出ヘッド３４と、ワークテーブル２０又はワークＷとにレーザを照射し、液滴吐出ヘッド３４に対するワークＷの位置を検出する。かかる場合、例えば１列の測長器（レーザ干渉計又はレーザ変位計）でワークＷをワークＷの位置を測定する場合、当該ワークＷの位置としてＹ軸方向位置が検出され、例えば２列の測長器を用いる場合、Ｙ軸方向位置及びθ方向位置が検出される。 Further, in the detector 160, the position of the work W is detected based on the captured image acquired by the first imaging unit 41 which is a CCD camera. For example, a laser interferometer (not shown) or a laser displacement meter (not shown) is used. (Not shown) may be used to detect the position of the work W. When a laser interferometer or a laser displacement meter is used, the droplet ejection head 34 and the work table 20 or the work W are irradiated with a laser to detect the position of the work W with respect to the droplet ejection head 34. In such a case, for example, when the position of the work W is measured by the work W with a length measuring device (laser interferometer or laser displacement meter) in one row, the position in the Y-axis direction is detected as the position of the work W, for example, two rows. When a length measuring instrument is used, the Y-axis direction position and the θ-direction position are detected.

（補正器）
補正器１６１は、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、検出器１６０からの信号とに基づき、補正テーブルを用いてワークテーブル２０の位置の補正量を算出する。そして、この補正量をモーションコントローラ１６２にフィードバックする。具体的には、以下のステップＳ１～Ｓ３を行う。 (Correcter)
The corrector 161 calculates the correction amount of the position of the work table 20 by using the correction table based on the pulse signal from the Y-axis linear scale 16 and the signal from the detector 160. Then, this correction amount is fed back to the motion controller 162. Specifically, the following steps S1 to S3 are performed.

先ず、補正器１６１では、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号を受信してカウントし、Ｙ軸リニアモータ１３の現在位置を把握する。また、後述するステップＳ３においてパルス信号を変換するために、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号の形状（パルス形状）を解析しておく（ステップＳ１）。ステップＳ１において、補正器１６１では、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も受信する。 First, the corrector 161 receives and counts the pulse signal from the Y-axis linear scale 16 to grasp the current position of the Y-axis linear motor 13. Further, in order to convert the pulse signal in step S3 described later, the shape (pulse shape) of the pulse signal from the Y-axis linear scale 16 is analyzed (step S1). In step S1, the corrector 161 also receives the pulse signal from the X-axis linear scale 23 and the pulse signal from the rotary encoder 24.

次に、補正器１６１では、検出器１６０からの検出結果の信号を受信する。検出器１６０からの信号は、上述したようにワークＷの位置、ワークＷの位置ずれ量、又は補正テーブルのいずれかである。また、検出器１６０からの信号がワークＷの位置又はワークＷの位置ずれ量である場合、補正器１６１において補正テーブルが作成される。そして、ステップＳ１で把握したＹ軸リニアモータ１３の位置に基づき、補正テーブルを用いて、ワークテーブル２０の位置の補正量を算出する。具体的には、補正テーブルを２次元補間又は多次元補間する。なお、図５に示した補正テーブルは、２次元補間したものである。この補正量の算出は、Ｙ軸リニアモータ１３（ワークテーブル２０）の移動中に行われ、時々刻々変化するＹ軸リニアモータ１３の位置に対応して補正量が算出される。したがって、補正器１６１では、リアルタイムに現在位置でのワークテーブル２０の位置の補正量を算出する（ステップＳ２）。 Next, the corrector 161 receives the detection result signal from the detector 160. The signal from the detector 160 is either the position of the work W, the amount of misalignment of the work W, or the correction table as described above. Further, when the signal from the detector 160 is the position of the work W or the amount of misalignment of the work W, a correction table is created in the corrector 161. Then, based on the position of the Y-axis linear motor 13 grasped in step S1, the correction amount of the position of the work table 20 is calculated using the correction table. Specifically, the correction table is subjected to two-dimensional interpolation or multidimensional interpolation. The correction table shown in FIG. 5 is two-dimensional interpolated. The calculation of the correction amount is performed while the Y-axis linear motor 13 (work table 20) is moving, and the correction amount is calculated corresponding to the position of the Y-axis linear motor 13 that changes from moment to moment. Therefore, the corrector 161 calculates the correction amount of the position of the work table 20 at the current position in real time (step S2).

次に、補正器１６１では、ステップＳ１で解析したパルス形状と、ステップＳ２で算出したワークテーブル２０のＹ軸方向の補正量とに基づいて、Ｙ軸リニアスケール１６から受信したパルス信号を変換する。図６は、パルス信号を変換する様子を示し、左図はＹ軸リニアスケール１６からのパルス信号を示し、右図は変換後、モーションコントローラ１６２に出力するパルス信号を示している。例えば複数の基準マーク１０２の位置が、パルス信号に対して全体的にずれている場合、図６（ａ）に示すようにパルスを挿入するか、図６（ｂ）に示すようにパルスを削除する。また、例えば複数の基準マーク１０２の位置からワークＷが伸縮している場合において、パルス信号に傾きを付与したい場合、図６（ｃ）に示すようにパルスピッチを伸ばすか、図６（ｄ）に示すようにパルスピッチを縮める。そして、このように変換されたパルス信号は、モーションコントローラ１６２に出力される（ステップＳ３）。 Next, the corrector 161 converts the pulse signal received from the Y-axis linear scale 16 based on the pulse shape analyzed in step S1 and the correction amount in the Y-axis direction of the work table 20 calculated in step S2. .. FIG. 6 shows how the pulse signal is converted, the left figure shows the pulse signal from the Y-axis linear scale 16, and the right figure shows the pulse signal to be output to the motion controller 162 after the conversion. For example, when the positions of the plurality of reference marks 102 are totally deviated from the pulse signal, the pulse is inserted as shown in FIG. 6 (a) or the pulse is deleted as shown in FIG. 6 (b). do. Further, for example, when the work W expands and contracts from the positions of a plurality of reference marks 102 and it is desired to give an inclination to the pulse signal, the pulse pitch may be extended as shown in FIG. 6 (c) or FIG. 6 (d). Reduce the pulse pitch as shown in. Then, the pulse signal converted in this way is output to the motion controller 162 (step S3).

このようにステップＳ３において変換されたパルス信号は、インクジェットコントローラ１６３にも出力される。インクジェットコントローラ１６３は、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御するものであって、Ｙ軸リニアモータ１３の位置に基づいて液滴の吐出タイミングが設定されている。本実施の形態では、補正器１６１から出力されたパルス信号がインクジェットコントローラ１６３に出力されることで、液滴吐出ヘッド３４から適切なタイミングで液滴を吐出することができる。 The pulse signal thus converted in step S3 is also output to the inkjet controller 163. The inkjet controller 163 controls the ejection timing of the droplet in the droplet ejection head 34, and the ejection timing of the droplet is set based on the position of the Y-axis linear motor 13. In the present embodiment, the pulse signal output from the corrector 161 is output to the inkjet controller 163, so that the droplet can be ejected from the droplet ejection head 34 at an appropriate timing.

なお、ステップＳ３において、補正器１６１では、ステップＳ２で算出したワークテーブル２０のＸ軸方向及びθ方向の補正量に基づいて、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２からのパルス信号をそれぞれ変換する。変換されたパルス信号は、モーションコントローラ１６２に出力される。 In step S3, in the corrector 161, the pulse signal from the X-axis linear scale 23 and the pulse signal from the rotary encoder 2 are based on the correction amounts in the X-axis direction and the θ direction of the work table 20 calculated in step S2. Are converted respectively. The converted pulse signal is output to the motion controller 162.

また、Ｙ軸リニアモータ１３が高速で移動する場合、リアルタイムで補正量を算出する補正器１６１は、高速信号処理が必要となる。このため、補正器１６１は、ＡＳＩＣ（特定アプリケーション向け集積回路）やフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）で機能実装するのが好ましい。 Further, when the Y-axis linear motor 13 moves at high speed, the corrector 161 that calculates the correction amount in real time requires high-speed signal processing. Therefore, it is preferable that the corrector 161 is functionally mounted by an ASIC (integrated circuit for a specific application) or a field programmable gate array (FPGA).

（モーションコントローラ）
モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力して、Ｙ軸リニアモータ１３（ワークテーブル２０）の移動を制御する。また、モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。なお、モーションコントローラ１６２は、Ｙ軸、Ｘ軸、θ等に関するパルス信号を受信して、フルクローズ制御を構成している。 (Motion controller)
The motion controller 162 outputs a command signal (pulse train) to the Y-axis linear motor 13 based on the pulse signal (converted pulse signal) in the Y-axis direction received from the corrector 161 to output the Y-axis linear motor. Controls the movement of 13 (work table 20). Further, the motion controller 162 outputs a command signal (pulse train) to the table moving mechanism 21 based on the pulse signal (converted pulse signal) in the X-axis direction and the θ direction received from the corrector 161. It controls the movement of the table movement mechanism 21. The motion controller 162 receives pulse signals related to the Y-axis, the X-axis, θ, and the like to configure full-close control.

（インクジェットコントローラ）
インクジェットコントローラ１６３は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、液滴吐出ヘッド３４に対して指令信号（パルス列）を出力して、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。 (Inkjet controller)
The inkjet controller 163 outputs a command signal (pulse train) to the droplet ejection head 34 based on the pulse signal (converted pulse signal) in the Y-axis direction received from the corrector 161 to output the droplet ejection head. The ejection timing of the droplet in 34 is controlled.

＜液滴吐出装置におけるワーク処理＞
次に、以上のように構成された液滴吐出装置１を用いて行われるワーク処理について説明する。本実施の形態では、製品ワークＷに対する通常の処理を行うに先だって、補正テーブルを作成するために基準ワークＷｆに対して所定の処理を行う。 <Work processing in the droplet ejection device>
Next, the work processing performed by using the droplet ejection device 1 configured as described above will be described. In the present embodiment, prior to performing the normal processing on the product work W, a predetermined processing is performed on the reference work Wf in order to create a correction table.

（基準ワークに対する処理）
先ず、基準ワークＷｆに所定の処理を行う。搬入出エリアＡ１にワークテーブル２０を配置し、搬送機構（図示せず）により液滴吐出装置１に搬入された基準ワークＷｆが当該ワークテーブル２０に載置される。続いて、ワークアライメントカメラによってワークテーブル２０上の基準ワークＷｆが撮像される。そして、当該撮像された画像に基づいて、テーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０に載置された基準ワークＷｆのＸ軸方向及びθ方向の位置が補正され、基準ワークＷｆのアライメントが行われる（ステップＴ１）。 (Processing for reference work)
First, a predetermined process is performed on the reference work Wf. The work table 20 is arranged in the carry-in / out area A1, and the reference work Wf carried into the droplet ejection device 1 by the transfer mechanism (not shown) is placed on the work table 20. Subsequently, the reference work Wf on the work table 20 is imaged by the work alignment camera. Then, based on the captured image, the table moving mechanism 21 corrects the positions of the reference work Wf placed on the work table 20 in the X-axis direction and the θ direction, and aligns the reference work Wf (the reference work Wf is aligned). Step T1).

その後、Ｙ軸リニアモータ１３によって、ワークテーブル２０をＹ軸方向に往復動させると共に、Ｘ軸方向に移動（改行）させて、基準ワークＷｆに全面が描画される。本実施の形態では、Ｘ軸方向に２回改行する場合であって、すなわちワークテーブル２０が、Ｙ軸方向（主走査方向）に延伸する３本の走査ラインを移動する場合について説明する。また、本実施の形態では、図７に示すように複数の液滴吐出ヘッド３４のうち、２つの液滴吐出ヘッド３４を用いる場合について説明する。 After that, the work table 20 is reciprocated in the Y-axis direction and moved (line feed) in the X-axis direction by the Y-axis linear motor 13, and the entire surface is drawn on the reference work Wf. In the present embodiment, a case where line breaks are made twice in the X-axis direction, that is, a case where the work table 20 moves through three scanning lines extending in the Y-axis direction (main scanning direction) will be described. Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, a case where two droplet ejection heads 34 are used among the plurality of droplet ejection heads 34 will be described.

先ず、図７（ａ）及び図８（ａ）に示すようにＹ軸リニアモータ１３により、第１の走査ラインＬ１に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら（Ｙ軸正方向）、第１の描画動作（往道パス）を行う。第１の走査ラインＬ１は、ワークテーブル２０のＸ軸方向中心線Ｃを通るラインである。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動した基準ワークＷｆに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。そうすると、基準ワークＷｆにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ２）。 First, as shown in FIGS. 7 (a) and 8 (a), the work table 20 is moved from the carry-in / out area A1 to the standby area A3 along the first scanning line L1 by the Y-axis linear motor 13. (Y-axis positive direction), the first drawing operation (outward path) is performed. The first scanning line L1 is a line passing through the center line C in the X-axis direction of the work table 20. At this time, in the processing area A2, the droplet is ejected from the droplet ejection head 34 with respect to the reference work Wf that has moved below the droplet ejection head 34. Then, in the reference work Wf, the drawing is drawn at the position corresponding to the droplet ejection head 34 (step T2).

ここで、ステップＴ２では、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動させる際、すなわち処理エリアＡ２にて液滴吐出ヘッド３４から基準ワークＷｆに液滴を吐出する前に、Ｙ軸リニアスケール１６によってＹ軸リニアモータ１３の位置をリアルタイムに測定する。Ｙ軸リニアスケール１６におけるパルス信号は、補正器１６１に出力される。また、Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４によって、それぞれテーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置とθ方向の位置も測定し、これらＸ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も、補正器１６１に出力される。 Here, in step T2, when the work table 20 is moved from the loading / unloading area A1 to the processing area A2, that is, before the droplets are ejected from the droplet ejection head 34 to the reference work Wf in the processing area A2, the Y-axis The position of the Y-axis linear motor 13 is measured in real time by the linear scale 16. The pulse signal in the Y-axis linear scale 16 is output to the corrector 161. In addition, the X-axis linear scale 23 and the rotary encoder 24 measure the position of the table moving mechanism 21 in the X-axis direction and the θ direction, respectively, and the pulse signal from the X-axis linear scale 23 and the pulse from the rotary encoder 24 are measured. The signal is also output to the corrector 161.

一方この際、第１の撮像部４１において、所定の周期でワークテーブル２０上に載置された基準ワークＷｆを撮像し、検出器１６０において基準ワークＷｆの位置を検出する。検出器１６０における検出結果の信号は、補正器１６１に出力される。そして、補正器１６１において、補正テーブルが作成される。なお、補正テーブルは、検出器１６０で作成されてもよい。以下、第１の走査ラインＬ１に対して作成される補正テーブルを、第１の基準補正テーブルという。 On the other hand, at this time, the first imaging unit 41 images the reference work Wf placed on the work table 20 at a predetermined cycle, and the detector 160 detects the position of the reference work Wf. The signal of the detection result in the detector 160 is output to the corrector 161. Then, a correction table is created in the corrector 161. The correction table may be created by the detector 160. Hereinafter, the correction table created for the first scanning line L1 is referred to as a first reference correction table.

次に、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示すようにテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０をＸ軸正方向に１キャリッジ分、移動（改行）させる。続けて、Ｙ軸リニアモータ１３により、第２の走査ラインＬ２に沿って、ワークテーブル２０を待機エリアＡ３から搬入出エリアＡ１に移動させながら（Ｙ軸負方向）、第２の描画動作（復道パス）を行う。すなわち、第２の走査ラインＬ２は、ワークテーブル２０のＸ軸方向中心線ＣよりＸ軸正方向を通るラインである。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動した基準ワークＷｆに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。そうすると、基準ワークＷｆにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ３）。 Next, as shown in FIGS. 7 (b) and 8 (b), the work table 20 is moved (line feed) by one carriage in the positive direction of the X-axis by the table moving mechanism 21. Subsequently, the work table 20 is moved from the standby area A3 to the loading / unloading area A1 along the second scanning line L2 by the Y-axis linear motor 13 (Y-axis negative direction), and the second drawing operation (recovery). Road pass). That is, the second scanning line L2 is a line that passes through the X-axis positive direction from the X-axis direction center line C of the work table 20. At this time, in the processing area A2, the droplet is ejected from the droplet ejection head 34 with respect to the reference work Wf that has moved below the droplet ejection head 34. Then, in the reference work Wf, the drawing is drawn at the position corresponding to the droplet ejection head 34 (step T3).

このステップＴ３においても、ステップＴ２と同様に補正器１６１又は検出器１６０において、補正テーブルを作成する。なお、このステップＴ３においてワークテーブル２０を待機エリアＡ３から処理エリアＡ２に移動させる際には、検出器１６０は第２の撮像部４２の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出する。以下、第２の走査ラインＬ２に対して作成される補正テーブルを、第２の基準補正テーブルという。 In this step T3 as well, the correction table is created in the corrector 161 or the detector 160 in the same manner as in step T2. When the work table 20 is moved from the standby area A3 to the processing area A2 in this step T3, the detector 160 detects the position of the work W using the image captured by the second imaging unit 42. Hereinafter, the correction table created for the second scanning line L2 is referred to as a second reference correction table.

次に、図７（ｃ）及び図８（ｃ）に示すようにテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０をＸ軸負方向に２キャリッジ分、移動（改行）させる。続けて、Ｙ軸リニアモータ１３により、第３の走査ラインＬ３に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら（Ｙ軸正方向）、第３の描画動作（往道パス）を行う。すなわち、第３の走査ラインＬ３は、ワークテーブル２０のＸ軸方向中心線ＣよりＸ軸負方向を通るラインである。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動した基準ワークＷｆに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。そうすると、基準ワークＷｆにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ４）。このステップＴ４においても、ステップＴ２と同様に補正器１６１又は検出器１６０において、補正テーブルを作成する。以下、第３の走査ラインＬ３に対して作成される補正テーブルを、第３の基準補正テーブルという。 Next, as shown in FIGS. 7 (c) and 8 (c), the work table 20 is moved (line feed) by two carriages in the negative direction of the X-axis by the table moving mechanism 21. Subsequently, the Y-axis linear motor 13 moves the work table 20 from the loading / unloading area A1 to the standby area A3 along the third scanning line L3 (Y-axis positive direction), while the third drawing operation (forward). Road pass). That is, the third scanning line L3 is a line that passes through the X-axis negative direction from the X-axis direction center line C of the work table 20. At this time, in the processing area A2, the droplet is ejected from the droplet ejection head 34 with respect to the reference work Wf that has moved below the droplet ejection head 34. Then, in the reference work Wf, the drawing is drawn at the position corresponding to the droplet ejection head 34 (step T4). In this step T4 as well, the correction table is created in the corrector 161 or the detector 160 in the same manner as in step T2. Hereinafter, the correction table created for the third scanning line L3 is referred to as a third reference correction table.

こうして、ステップＴ２～Ｔ４の描画動作により、ワーク全面に対して描画が行われると共に、第１の走査ラインＬ１～第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルが作成される。 In this way, by the drawing operation of steps T2 to T4, drawing is performed on the entire surface of the work, and the first reference correction table to the third for each of the first scanning lines L1 to the third scanning line L3. A reference correction table is created.

そして、第３の描画動作後、待機エリアＡ３にあるワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１に移動させ、基準ワークＷｆは液滴吐出装置１から搬出される。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４から基準ワークＷｆに液滴は吐出されない。 Then, after the third drawing operation, the work table 20 in the standby area A3 is moved to the carry-in / out area A1, and the reference work Wf is carried out from the droplet ejection device 1. At this time, in the processing area A2, the droplet is not ejected from the droplet ejection head 34 to the reference work Wf.

（製品用ワークに対する処理）
次に、製品用のワークＷに所定の処理を行う。当該ワークＷの処理においては、先ず、搬入出エリアＡ１において、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのＸ軸方向及びθ方向の位置が補正され、ワークＷのアライメントが行われる（ステップＴ５）。このステップＴ５は、上述したステップＴ１と同様である。 (Processing for product workpieces)
Next, a predetermined process is performed on the work W for the product. In the processing of the work W, first, in the loading / unloading area A1, the positions of the work W placed on the work table 20 in the X-axis direction and the θ direction are corrected, and the work W is aligned (step T5). .. This step T5 is the same as the above-mentioned step T1.

その後、図７（ａ）及び図８（ａ）に示したように第１の走査ラインＬ１に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら、第１の描画動作を行う。そして、ワークＷにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ６）。このステップＴ６は、上述したステップＴ２と同様である。 After that, as shown in FIGS. 7A and 8A, the work table 20 is moved from the loading / unloading area A1 to the standby area A3 along the first scanning line L1 while performing the first drawing operation. I do. Then, the work W is drawn at a position corresponding to the droplet ejection head 34 (step T6). This step T6 is the same as step T2 described above.

ステップＴ６においても、ステップＴ２と同様にＹ軸リニアスケール１６によってＹ軸リニアモータ１３の位置をリアルタイムに測定する。Ｙ軸リニアスケール１６におけるパルス信号は、補正器１６１に出力される。また、Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４によって、それぞれテーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置とθ方向の位置も測定し、これらＸ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も、補正器１６１に出力される。 In step T6 as well, the position of the Y-axis linear motor 13 is measured in real time by the Y-axis linear scale 16 as in step T2. The pulse signal in the Y-axis linear scale 16 is output to the corrector 161. In addition, the X-axis linear scale 23 and the rotary encoder 24 measure the position of the table moving mechanism 21 in the X-axis direction and the θ direction, respectively, and the pulse signal from the X-axis linear scale 23 and the pulse from the rotary encoder 24 are measured. The signal is also output to the corrector 161.

補正器１６１では、上述したステップＳ１～Ｓ３を行う。但し、上述のステップＳ２では検出器１６０からの信号を用いて補正テーブルを作成していたが、ここでは検出器１６０からの信号を用いず、ステップＴ２で算出した第１の基準補正テーブルを用いる。そして、ワークテーブル２０の位置の補正量を算出し、当該補正量に基づいて変換したパルス信号を、補正器１６１からモーションコントローラ１６２に出力する。また、このうち、Ｙ軸方向のパルス信号は、インクジェットコントローラ１６３にも出力される。 The corrector 161 performs the above-mentioned steps S1 to S3. However, in step S2 described above, the correction table was created using the signal from the detector 160, but here, the signal from the detector 160 is not used, and the first reference correction table calculated in step T2 is used. .. Then, the correction amount of the position of the work table 20 is calculated, and the pulse signal converted based on the correction amount is output from the correction device 161 to the motion controller 162. Of these, the pulse signal in the Y-axis direction is also output to the inkjet controller 163.

なお、ステップＴ６では、第１の撮像部４１でワークＷを撮像して、検出器１６０においてワークＷの位置を検出し、検出器１６０又は補正器１６１において補正テーブルを作成してもよい。かかる場合、第１の基準補正テーブルをベーステーブルとし、この検出器１６０又は補正器１６１で作成された補正テーブルを重ね合わせてもよい。 In step T6, the work W may be imaged by the first imaging unit 41, the position of the work W may be detected by the detector 160, and the correction table may be created by the detector 160 or the corrector 161. In such a case, the first reference correction table may be used as a base table, and the correction table created by the detector 160 or the correction device 161 may be superposed.

モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力し、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を補正する。例えば目標位置が１０００ｍｍで＋１μｍ（伸び側）ずれていた場合は、９９９．９９９ｍｍ分のパルスを受信したところで、モーションコントローラ１６２へは１０００ｍｍ位置のパルスを出力する。 The motion controller 162 outputs a command signal (pulse train) to the Y-axis linear motor 13 based on the pulse signal (converted pulse signal) in the Y-axis direction received from the corrector 161 and outputs the command signal (pulse train) to the Y-axis linear motor 13. Correct the position of 13. For example, when the target position is 1000 mm and is deviated by +1 μm (extension side), the pulse at the 1000 mm position is output to the motion controller 162 when the pulse for 999.999 mm is received.

また、モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。 Further, the motion controller 162 outputs a command signal (pulse train) to the table moving mechanism 21 based on the pulse signal (converted pulse signal) in the X-axis direction and the θ direction received from the corrector 161. It controls the movement of the table movement mechanism 21.

一方、インクジェットコントローラ１６３も、液滴吐出ヘッド３４に対して指令信号を出力し、当該液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。こうして、液滴吐出ヘッド３４に対して、ワークテーブル２０に載置されたワークＷが適切な位置に配置される。 On the other hand, the inkjet controller 163 also outputs a command signal to the droplet ejection head 34 and controls the droplet ejection timing in the droplet ejection head 34. In this way, the work W placed on the work table 20 is arranged at an appropriate position with respect to the droplet ejection head 34.

次に、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示したようにワークテーブル２０をＸ軸正方向に１キャリッジ分、移動（改行）させ、続けて第２の走査ラインＬ２に沿って、ワークテーブル２０を待機エリアＡ３から搬入出エリアＡ１に移動させながら、第２の描画動作を行う。そして、ワークＷにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ７）。なお、このステップＴ７は、上述したステップＴ３と同様である。また、この際、ステップＴ６と同様の方法で、第２の基準補正テーブルを用いて、ワークテーブル２０の位置が補正され、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが制御される。 Next, as shown in FIGS. 7 (b) and 8 (b), the work table 20 is moved (line feed) by one carriage in the positive direction of the X-axis, and subsequently along the second scanning line L2. The second drawing operation is performed while moving the work table 20 from the standby area A3 to the loading / unloading area A1. Then, the work W is drawn at a position corresponding to the droplet ejection head 34 (step T7). Note that this step T7 is the same as step T3 described above. Further, at this time, the position of the work table 20 is corrected by using the second reference correction table in the same manner as in step T6, and the droplet ejection timing in the droplet ejection head 34 is controlled.

次に、図７（ｃ）及び図８（ｃ）に示したようにワークテーブル２０をＸ軸負方向に２キャリッジ分、移動（改行）させ、続けて第３の走査ラインＬ３に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら、第３の描画動作を行う。そして、ワークＷにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ８）。なお、このステップＴ８は、上述したステップＴ４と同様である。また、この際、ステップＴ６と同様の方法で、第３の基準補正テーブルを用いて、ワークテーブル２０の位置が補正され、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが制御される。 Next, as shown in FIGS. 7 (c) and 8 (c), the work table 20 is moved (line feed) by two carriages in the negative direction of the X-axis, and subsequently along the third scanning line L3. While moving the work table 20 from the loading / unloading area A1 to the waiting area A3, the third drawing operation is performed. Then, the work W is drawn at a position corresponding to the droplet ejection head 34 (step T8). Note that this step T8 is the same as step T4 described above. Further, at this time, the position of the work table 20 is corrected by using the third reference correction table in the same manner as in step T6, and the droplet ejection timing in the droplet ejection head 34 is controlled.

こうして、ステップＴ６～Ｔ８の描画動作により、ワーク全面に対して描画が行われる。 In this way, drawing is performed on the entire surface of the work by the drawing operations of steps T6 to T8.

そして、ワークテーブル２０が搬入出エリアＡ１に移動すると、描画処理が終了したワークＷが液滴吐出装置１から搬出される。続いて、次のワークＷが液滴吐出装置１に搬入される。次いで、上述したステップＴ５のワークＷのアライメントが行われ、引き続きステップＴ６～Ｔ８が行われる。 Then, when the work table 20 moves to the carry-in / out area A1, the work W for which the drawing process has been completed is carried out from the droplet ejection device 1. Subsequently, the next work W is carried into the droplet ejection device 1. Next, the work W of step T5 described above is aligned, and then steps T6 to T8 are performed.

以上のように各ワークＷに対してステップＴ５～Ｔ８が行われ、一連のワーク処理が終了する。 As described above, steps T5 to T8 are performed for each work W, and a series of work processes are completed.

以上の実施の形態によれば、第１の走査ラインＬ１～第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルを作成し、すなわちワークＷの全面に対して、基準補正テーブルを作成する。このため、ワークテーブル２０を改行する際にワークＷの位置ずれが生じても、これら第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルを用いて、ワークテーブル２０の位置を適切に補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッド３４とワークＷを高精度に位置合わせすることができ、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出精度（着弾精度）を高くすることができる。 According to the above embodiment, the first reference correction table to the third reference correction table are created for each of the first scanning line L1 to the third scanning line L3, that is, the entire surface of the work W is covered. On the other hand, create a reference correction table. Therefore, even if the position of the work W is displaced when the work table 20 is broken, the position of the work table 20 should be appropriately corrected by using the first reference correction table to the third reference correction table. Can be done. Therefore, the droplet ejection head 34 and the work W can be aligned with high accuracy, and the droplet ejection accuracy (landing accuracy) from the droplet ejection head 34 to the work W can be increased.

ここで、例えば第１の基準補正テーブルのみを取得し、他の第２の走査ラインＬ２と第３の走査ラインＬ３に対して第１の基準補正テーブルを適用することも可能である。しかしながら、かかる場合、改行した第２の走査ラインＬ２と第３の走査ラインＬ３において、第１の基準補正テーブルでは適切な補正量を算出できない場合があり、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出位置がずれるおそれがある。この点、本実施の形態のようにすべての第１の走査ラインＬ１～第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルを用いることで、より適切にワークテーブル２０の位置を補正することができる。 Here, for example, it is also possible to acquire only the first reference correction table and apply the first reference correction table to the other second scan line L2 and the third scan line L3. However, in such a case, an appropriate correction amount may not be calculated by the first reference correction table in the second scanning line L2 and the third scanning line L3 where the line breaks occur, and the droplet ejection head 34 to the work W may not be calculated. The ejection position of the droplet may shift. In this respect, it is more appropriate to use the first reference correction table to the third reference correction table for each of all the first scanning lines L1 to the third scanning line L3 as in the present embodiment. The position of the work table 20 can be corrected.

＜他の実施の形態＞
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。 <Other embodiments>
Next, other embodiments of the present invention will be described.

以上の実施の形態では、ワークテーブル２０が３本の走査ラインＬ１～Ｌ３に沿って移動し、ワークＷ（基準ワークＷｆ）の全面に描画が行われる場合について説明したが、走査ラインの本数はこれに限定されない。 In the above embodiment, the case where the work table 20 moves along the three scanning lines L1 to L3 and drawing is performed on the entire surface of the work W (reference work Wf) has been described, but the number of scanning lines is Not limited to this.

また、以上の実施の形態では、すべての走査ラインＬ１～Ｌ３のそれぞれに対して基準補正テーブルを作成していたが、複数の走査ラインのうち、一部の走査ラインに対して基準補正テーブルを作成し、当該基準補正テーブルを補間することで、その他の走査ラインに対して基準補正テーブルを作成してもよい。 Further, in the above embodiment, the reference correction table is created for each of all the scanning lines L1 to L3, but the reference correction table is created for some of the scanning lines among the plurality of scanning lines. A reference correction table may be created for other scanning lines by creating and interpolating the reference correction table.

例えば図９に示すようにワークテーブル２０を５本の走査ラインＬ１～Ｌ５に沿って移動させて、基準ワークＷｆの全面に描画を行う場合において、例えば第１の走査ラインＬ１～第３の走査ラインＬ３に対して第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルを作成し、第４の走査ラインＬ４～第５の走査ラインＬ５に対しては補正テーブルを作成しない場合を例に説明する。なお、第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルは、上述したステップＴ２～Ｔ４を行って作成される。また、以下の説明において、第１の基準補正テーブル～第３の基準補正テーブルを総称して基準データという場合がある。 For example, when the work table 20 is moved along the five scanning lines L1 to L5 and drawing is performed on the entire surface of the reference work Wf as shown in FIG. 9, for example, the first scanning lines L1 to the third scanning are performed. The case where the first reference correction table to the third reference correction table are created for the line L3 and the correction table is not created for the fourth scanning line L4 to the fifth scanning line L5 will be described as an example. .. The first reference correction table to the third reference correction table are created by performing the above-mentioned steps T2 to T4. Further, in the following description, the first reference correction table to the third reference correction table may be collectively referred to as reference data.

図９において、第１の走査ラインＬ１（改行０ｍｍ）はワークテーブル２０のＸ軸方向中心線Ｃであって、第２の走査ラインＬ２と第４の走査ラインＬ４（改行プラスｍｍ）は中心線ＣよりＸ軸正方向の走査ラインであって、第３の走査ラインＬ３と第５の走査ラインＬ５（改行マイナスｍｍ）は中心線ＣよりＸ軸正方向の走査ラインである。また、図９に示した補正テーブルは、ワークテーブル２０のＹ軸方向位置の補正量の一例を示しているが、他にもＹ軸方向ピッチ、Ｙ軸方向Ｙａｗ、Ｙ軸方向位置基準のＸ軸方向位置、Ｙ軸方向位置基準のθ方向位置のそれぞれに対して補正テーブルが作成される。 In FIG. 9, the first scanning line L1 (line feed 0 mm) is the center line C in the X-axis direction of the work table 20, and the second scanning line L2 and the fourth scanning line L4 (line feed plus mm) are the center lines. It is a scanning line in the positive direction of the X-axis from C, and the third scanning line L3 and the fifth scanning line L5 (line feed minus mm) are scanning lines in the positive direction of the X-axis from the center line C. Further, the correction table shown in FIG. 9 shows an example of the correction amount of the position in the Y-axis direction of the work table 20, but in addition, X in the Y-axis direction pitch, the Y-axis direction Yaw, and the Y-axis direction position reference. A correction table is created for each of the axial position and the θ-direction position of the Y-axis position reference.

そして、第４の走査ラインＬ４に対する第４の基準補正テーブルは、第１の基準補正テーブルと第２の基準補正テーブルを２次元補間して作成される。また、第５の走査ラインＬ５に対する第５の基準補正テーブルは、第１の基準補正テーブルと第３の基準補正テーブルを２次元補間して作成される。なお、第４の基準補正テーブルと第５の基準補正テーブルを作成するにあたっての補間方法は２次元補間に限定されない。例えば多次元補間してもよい。 Then, the fourth reference correction table for the fourth scanning line L4 is created by two-dimensionally interpolating the first reference correction table and the second reference correction table. Further, the fifth reference correction table for the fifth scanning line L5 is created by two-dimensionally interpolating the first reference correction table and the third reference correction table. The interpolation method for creating the fourth reference correction table and the fifth reference correction table is not limited to two-dimensional interpolation. For example, multidimensional interpolation may be performed.

ここで改行のパターンは複数あり、すべての走査ラインに対してステップＴ２～Ｔ４を行うのは複雑で煩雑な作業である。本実施の形態では、一部の走査ラインＬ１～Ｌ３に対してステップＴ２～Ｔ４を行い基準データを取得し、その他の走査ラインＬ４～Ｌ５に対しては基準データを補間することで基準補正テーブルを取得することができる。したがって、煩雑な作業を行うことなく、ワークＷの全面に対して、基準補正テーブルを作成することができる。 Here, there are a plurality of line feed patterns, and performing steps T2 to T4 for all the scanning lines is a complicated and complicated task. In the present embodiment, the reference correction table is obtained by performing steps T2 to T4 for some of the scanning lines L1 to L3 to acquire reference data, and interpolating the reference data for the other scanning lines L4 to L5. Can be obtained. Therefore, it is possible to create a reference correction table for the entire surface of the work W without performing complicated work.

以上の実施の形態では、図３に示した基準ワークＷｆを用いて基準補正テーブルを作成していたが、基準補正テーブルを作成するための測定対象はこれに限定されない。例えば図３に示した構成の製品用のワークＷを用いてもよい。かかる場合、ステップＴ６～Ｔ８を行う際、ステップＳ１～Ｓ３を行って基準補正テーブルを作成する。 In the above embodiment, the reference correction table is created using the reference work Wf shown in FIG. 3, but the measurement target for creating the reference correction table is not limited to this. For example, a work W for a product having the configuration shown in FIG. 3 may be used. In such a case, when performing steps T6 to T8, steps S1 to S3 are performed to create a reference correction table.

また、図１０に示す基準ワークＷｆを用いて、基準補正テーブルを作成してもよい。基準ワークＷｆには、例えば基準マーク１０２が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って複数並べて形成され、且つ副走査方向（Ｘ軸方向）に３行に並べて形成されている。この基準マーク１０２のＸ軸方向の数は、走査ラインＬ１～Ｌ３の数と同じである。かかる場合、基準マーク１０２が常に第１の撮像部４１又は第２の撮像部４２の直下に位置するので、検出器１６０において、基準ワークＷｆの位置をより適切に検出することができる。 Further, the reference correction table may be created by using the reference work Wf shown in FIG. For example, the reference work Wf is formed with a plurality of reference marks 102 arranged side by side along the main scanning direction (Y-axis direction) and arranged in three rows in the sub-scanning direction (X-axis direction). The number of reference marks 102 in the X-axis direction is the same as the number of scanning lines L1 to L3. In such a case, since the reference mark 102 is always located directly under the first image pickup unit 41 or the second image pickup unit 42, the position of the reference work Wf can be detected more appropriately by the detector 160.

なお、基準ワークＷｆには、基準マーク１０２が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って複数並べて形成され、且つ副走査方向（Ｘ軸方向）に１行に形成されていてもよい。そして、第１の撮像部４１と第２の撮像部４２は、それぞれＸ軸方向に移動自在に構成されていてもよい。第１の撮像部４１と第２の撮像部４２を移動させる機構は特に限定されないが、例えばＸ軸方向に走査軸を有するアクチュエータが用いられる。かかる場合においても、第１の撮像部４１又は第２の撮像部４２をＸ軸方向に移動させることで、基準マーク１０２を常に第１の撮像部４１又は第２の撮像部４２の直下に位置させることができる。 In the reference work Wf, a plurality of reference marks 102 may be formed side by side along the main scanning direction (Y-axis direction) and may be formed in one row in the sub-scanning direction (X-axis direction). The first image pickup unit 41 and the second image pickup unit 42 may be configured to be movable in the X-axis direction, respectively. The mechanism for moving the first image pickup unit 41 and the second image pickup unit 42 is not particularly limited, but for example, an actuator having a scanning axis in the X-axis direction is used. Even in such a case, by moving the first image pickup unit 41 or the second image pickup unit 42 in the X-axis direction, the reference mark 102 is always positioned directly under the first image pickup unit 41 or the second image pickup unit 42. Can be made to.

また、上述したように基準マーク１０２が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って複数並べて形成され、且つ副走査方向（Ｘ軸方向）に１行に形成されている場合、第１の撮像部４１と第２の撮像部４２は、それぞれＸ軸方向に複数、例えば３つ並べて配置されていてもよい。かかる場合においても、基準マーク１０２を常に第１の撮像部４１又は第２の撮像部４２の直下に位置させることができる。 Further, as described above, when a plurality of reference marks 102 are arranged side by side along the main scanning direction (Y-axis direction) and formed in one row in the sub-scanning direction (X-axis direction), the first image pickup unit is formed. A plurality of, for example, three image pickup units 42 may be arranged side by side in the X-axis direction. Even in such a case, the reference mark 102 can always be positioned directly under the first image pickup unit 41 or the second image pickup unit 42.

また、上記基準ワークＷｆ又はワークＷに代えて、基準マーク１０２が形成されたワークテーブル２０を用いて、基準補正テーブルを作成してもよい。かかる場合、例えば液滴吐出装置１のメンテナンス時に、ワークＷを搭載しない状態のワークテーブル２０を用いて基準補正テーブルを作成することができ、効率が良い。このワークテーブル２０を用いる場合においても、当該ワークテーブル２０の上面には、図１０に示したように基準マーク１０２が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って複数並べて形成され、且つ副走査方向（Ｘ軸方向）に複数に並べて形成されていてもよい。 Further, instead of the reference work Wf or the work W, the reference correction table may be created by using the work table 20 on which the reference mark 102 is formed. In such a case, for example, at the time of maintenance of the droplet ejection device 1, a reference correction table can be created using the work table 20 in a state where the work W is not mounted, which is efficient. Even when the work table 20 is used, a plurality of reference marks 102 are formed side by side along the main scanning direction (Y-axis direction) on the upper surface of the work table 20 as shown in FIG. It may be formed side by side in (X-axis direction).

以上の実施の形態では、制御部１５０は図４に示したように補正器１６１を用いた構成を有していたが、これに限定されない。例えば図１１に示すように制御部１５０は、検出器１６０、モーションコントローラ１６２、インクジェットコントローラ１６３に加えて、モーションコントローラ１６２からのパルス信号を逆変換するエンコーダ逆変換器１７０を有している。なお、本実施の形態の制御部１５０では、補正器１６１を省略している。 In the above embodiment, the control unit 150 has a configuration using the corrector 161 as shown in FIG. 4, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 11, the control unit 150 includes a detector 160, a motion controller 162, an inkjet controller 163, and an encoder inverse converter 170 that reversely converts a pulse signal from the motion controller 162. In the control unit 150 of the present embodiment, the corrector 161 is omitted.

かかる場合、検出器１６０で検出されるワークＷの位置に基づいて、当該検出器１６０又はモーションコントローラ１６２において、補正テーブル（基準補正テーブ）を作成する。そして、モーションコントローラ１６２において、上述したステップＳ１～Ｓ３を行う。すなわち、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、検出器１６０からの信号とに基づき、補正テーブル（基準補正テーブル）を用いてワークテーブル２０のＹ軸方向の補正量を算出し、さらにＹ軸リニアスケール１６から受信したパルス信号を変換する。また、ワークテーブル２０のＸ軸方向及びθ方向の補正量を算出し、さらにＸ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２からのパルス信号をそれぞれ変換する。 In such a case, a correction table (reference correction table) is created in the detector 160 or the motion controller 162 based on the position of the work W detected by the detector 160. Then, in the motion controller 162, the above-mentioned steps S1 to S3 are performed. That is, based on the pulse signal from the Y-axis linear scale 16 and the signal from the detector 160, the correction amount in the Y-axis direction of the work table 20 is calculated using the correction table (reference correction table), and further, the Y-axis is calculated. The pulse signal received from the linear scale 16 is converted. Further, the correction amounts in the X-axis direction and the θ direction of the work table 20 are calculated, and the pulse signal from the X-axis linear scale 23 and the pulse signal from the rotary encoder 2 are converted, respectively.

モーションコントローラ１６２は、上述したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力し、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を補正する。例えば目標位置が１０００ｍｍで＋１μｍ（伸び側）ずれていた場合は、９９９．９９９ｍｍに移動するようにＹ軸リニアモータ１３に指令し、実位置が１０００ｍｍになるように補正する。 The motion controller 162 outputs a command signal (pulse train) to the Y-axis linear motor 13 based on the above-mentioned pulse signal (pulse signal after conversion) in the Y-axis direction, and determines the position of the Y-axis linear motor 13. to correct. For example, if the target position is 1000 mm and is deviated by +1 μm (extension side), the Y-axis linear motor 13 is instructed to move to 999.999 mm, and the actual position is corrected to be 1000 mm.

また、モーションコントローラ１６２は、上述したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。 Further, the motion controller 162 outputs a command signal (pulse train) to the table moving mechanism 21 based on the above-mentioned pulse signals (pulse signals after conversion) in the X-axis direction and the θ direction, and the table moving mechanism 21. Control the movement of.

一方、モーションコントローラ１６２で変換されたＹ軸方向のパルス信号は、エンコーダ逆変換器１７０にも出力される。エンコーダ逆変換器１７０では、逆変換テーブルを用いて、モーションコントローラ１６２からのパルス信号を逆変換して、インクジェットコントローラ１６３に出力する。すなわち、モーションコントローラ１６２からのパルス信号はＹ軸リニアモータ１３の位置を補正するが、このパルス信号をＹ軸リニアスケール１６からのパルス信号に逆変換する。 On the other hand, the pulse signal in the Y-axis direction converted by the motion controller 162 is also output to the encoder inverse converter 170. In the encoder inverse converter 170, the pulse signal from the motion controller 162 is inversely converted using the inverse conversion table and output to the inkjet controller 163. That is, the pulse signal from the motion controller 162 corrects the position of the Y-axis linear motor 13, but the pulse signal is inversely converted into the pulse signal from the Y-axis linear scale 16.

ここで、Ｙ軸リニアモータ１３の位置が９９９．９９９ｍｍに補正されても、液滴吐出ヘッド３４の吐出タイミングは目標位置１０００ｍｍのままである。そこで、エンコーダ逆変換器１７０では、モーションコントローラ１６２からの９９９．９９９ｍｍを示すパルス信号を、１０００ｍｍを示すパルス信号に逆変換する。そして、エンコーダ逆変換器１７０からインクジェットコントローラ１６３に、１０００ｍｍを示すパルス信号が出力され、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが制御される。 Here, even if the position of the Y-axis linear motor 13 is corrected to 999.999 mm, the ejection timing of the droplet ejection head 34 remains the target position of 1000 mm. Therefore, the encoder inverse converter 170 reversely converts the pulse signal indicating 999.999 mm from the motion controller 162 into the pulse signal indicating 1000 mm. Then, a pulse signal indicating 1000 mm is output from the encoder inverse converter 170 to the inkjet controller 163, and the droplet ejection timing in the droplet ejection head 34 is controlled.

こうして、液滴吐出ヘッド３４に対して、ワークテーブル２０に載置されたワークＷが適切な位置に配置される。そして、本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受することができる。 In this way, the work W placed on the work table 20 is arranged at an appropriate position with respect to the droplet ejection head 34. And, also in this embodiment, the same effect as the above-mentioned embodiment can be enjoyed.

以上の実施の形態では、ワークテーブル２０をＹ軸方向に移動させていたが、液滴吐出ヘッド３４をＹ軸方向に移動させてもよい。かかる場合、補正器１６１は、液滴吐出ヘッド３４を移動させるＹ軸リニアモータ（図示せず）の位置を補正する。 In the above embodiment, the work table 20 is moved in the Y-axis direction, but the droplet ejection head 34 may be moved in the Y-axis direction. In such a case, the corrector 161 corrects the position of the Y-axis linear motor (not shown) that moves the droplet ejection head 34.

また、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の両方をＹ軸方向に移動させてもよい。かかる場合、補正器１６１は、ワークテーブル２０を移動させるＹ軸リニアモータ１３の位置と、液滴吐出ヘッド３４を移動させるＹ軸リニアモータの（図示せず）位置とを補正する。 Further, both the work table 20 and the droplet ejection head 34 may be moved in the Y-axis direction. In such a case, the corrector 161 corrects the position of the Y-axis linear motor 13 for moving the work table 20 and the position of the Y-axis linear motor (not shown) for moving the droplet ejection head 34.

さらに、ワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させて改行していたが、液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させてもよい。Ｘ軸方向に液滴吐出ヘッド３４を移動させる場合は、Ｘ軸リニアモータ１５を用いてもよい。 Further, although the work table 20 is moved in the X-axis direction to start a new line, the droplet ejection head 34 may be moved in the X-axis direction. When the droplet ejection head 34 is moved in the X-axis direction, the X-axis linear motor 15 may be used.

＜液滴吐出装置の適用例＞
以上のように構成された液滴吐出装置１は、例えば特開２０１７－１３０１１号公報に記載された、有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する基板処理システムに適用される。具体的に液滴吐出装置１は、ワークＷとしてのガラス基板上に正孔注入層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔注入層）上に正孔輸送層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔輸送層）上に発光層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置に適用される。なお、基板処理システムにおいて、有機発光ダイオードの正孔注入層、正孔輸送層及び発光層を形成する他に、電子輸送層と電子注入層も形成する場合、液滴吐出装置１は、これら電子輸送層と電子注入層の塗布処理にも適用できる。 <Application example of droplet ejection device>
The droplet ejection device 1 configured as described above is applied to, for example, the substrate processing system for forming an organic EL layer of an organic light emitting diode described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-13011. Specifically, the droplet ejection device 1 is a coating device for applying an organic material for forming a hole injection layer on a glass substrate as a work W, and a hole transport layer on a glass substrate (hole injection layer). It is applied to a coating device for applying an organic material for forming, and a coating device for applying an organic material for forming a light emitting layer on a glass substrate (hole transport layer). In the substrate processing system, when the hole injection layer, the hole transport layer and the light emitting layer of the organic light emitting diode are formed, and also the electron transport layer and the electron injection layer are formed, the droplet ejection device 1 uses these electrons. It can also be applied to the coating treatment of the transport layer and the electron injection layer.

また、液滴吐出装置１は、上述のように有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する際に適用するほか、例えばカラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際にも適用してもよいし、或いは金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成、及び光拡散体形成等を製造する際にも適用してもよい。 Further, the droplet ejection device 1 is applied when forming the organic EL layer of the organic light emitting diode as described above, and for example, a color filter, a liquid crystal display device, a plasma display (PDP device), and an electron emitting device (FED device). , SED device) may also be applied when manufacturing an electro-optical device (flat panel display: FPD), or when manufacturing metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like. It may also be applied to.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 Although preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to such examples. It is clear that a person skilled in the art can come up with various modifications or modifications within the scope of the ideas described in the claims, and these also naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood that it is a thing.

１ 液滴吐出装置
１０ Ｙ軸ステージ
１１ Ｘ軸ステージ
１２ Ｙ軸ガイドレール
１３ Ｙ軸リニアモータ
１４ Ｘ軸ガイドレール
１５ Ｘ軸リニアモータ
１６ Ｙ軸リニアスケール
２０ ワークテーブル
２１ テーブル移動機構
２２ Ｙ軸スライダ
２３ Ｘ軸リニアスケール
２４ ロータリエンコーダ
３０ キャリッジユニット
３３ キャリッジ
３４ 液滴吐出ヘッド
４０ 撮像ユニット
４１ 第１の撮像部
４２ 第２の撮像部
１００ バンク
１０１ 開口部
１０２ 基準マーク
１５０ 制御部
１６０ 検出器
１６１ 補正器
１６２ モーションコントローラ
１６３ インクジェットコントローラ
１７０ エンコーダ逆変換器
Ｌ１～Ｌ５ 走査ライン
Ｗ ワーク
Ｗｆ 基準ワーク 1 Droplet ejection device 10 Y-axis stage 11 X-axis stage 12 Y-axis guide rail 13 Y-axis linear motor 14 X-axis guide rail 15 X-axis linear motor 16 Y-axis linear scale 20 Work table 21 Table movement mechanism 22 Y-axis slider 23 X-axis linear scale 24 Rotary encoder 30 Carriage unit 33 Carriage 34 Droplet ejection head 40 Imaging unit 41 First imaging unit 42 Second imaging unit 100 Bank 101 Opening 102 Reference mark 150 Control unit 160 Detector 161 Corrector 162 Motion controller 163 Inkjet controller 170 Inverse converter L1 to L5 Scan line W work Wf Reference work

Claims (10)

ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、及び主走査方向に直交する副走査方向に相対的に移動させる移動機構と、
前記移動機構により前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置、又は前記ワークテーブルの位置を検出し、当該検出結果に基づいて、前記移動機構の位置と、前記ワークテーブルの位置の補正量との相関を示す補正テーブルを予め作成する制御部と、を有し、
前記制御部は、予め作成した前記補正テーブル及び測定した前記移動機構の位置を用いて、前記ワークテーブルの位置を補正することを特徴とする、液滴吐出装置。
A droplet ejection device that ejects and draws droplets of functional liquid onto a work.
A work table on which the work is placed and
A droplet ejection head that ejects droplets onto the work placed on the work table,
A moving mechanism that relatively moves the work table and the droplet ejection head in the main scanning direction and the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction.
While the work table and the droplet ejection head are relatively moved in the main scanning direction by the moving mechanism, the position of the work placed on the work table or the position of the work table is detected, and the detection is performed. Based on the result, it has a control unit that preliminarily creates a correction table showing the correlation between the position of the moving mechanism and the correction amount of the position of the work table.
The control unit is a droplet ejection device, characterized in that the position of the work table is corrected by using the position of the correction table created in advance and the measured position of the moving mechanism .
 前記制御部は、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出する際、当該ワーク又はワークテーブルに予め形成された基準マークの位置を用いることを特徴とする、請求項１に記載の液滴吐出装置。The droplet according to claim 1, wherein the control unit uses the position of a reference mark previously formed on the work or the work table when detecting the position of the work or the position of the work table. Discharge device. 前記基準マークは、主走査方向に複数並べて形成され、且つ、副走査方向に少なくとも１つ以上並べて形成されていることを特徴とする、請求項２に記載の液滴吐出装置。The droplet ejection device according to claim 2, wherein a plurality of the reference marks are arranged side by side in the main scanning direction, and at least one of the reference marks is arranged side by side in the sub-scanning direction. 前記ワークテーブルに載置された前記ワーク又は前記ワークテーブルの撮像画像を取得する撮像部をさらに有し、Further having an imaging unit for acquiring an image captured by the work or the work table placed on the work table.
前記撮像部は副走査方向に移動自在に構成され、The image pickup unit is configured to be movable in the sub-scanning direction.
前記制御部は、前記撮像部で取得された撮像画像に基づいて、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出することを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。The one according to any one of claims 1 to 3, wherein the control unit detects the position of the work or the position of the work table based on the captured image acquired by the image pickup unit. Droplet ejection device. ワークテーブルに載置されたワークに対し、液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
移動機構により、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させる第１の工程と、
前記第１の工程において、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置、又は前記ワークテーブルの位置を検出する第２の工程と、
前記第２の工程における検出結果に基づいて、前記移動機構の位置と、前記ワークテーブルの位置の補正量との相関を示す補正テーブルを予め作成する第３の工程と、
予め作成した前記補正テーブル及び測定した前記移動機構の位置を用いて、前記ワークテーブルの位置を補正する第４の工程と、を有することを特徴とする、液滴吐出方法。
This is a droplet ejection method in which a droplet of a functional liquid is ejected from a droplet ejection head to draw a work placed on a work table.
The first step of relatively moving the work table and the droplet ejection head in the main scanning direction by the moving mechanism, and
In the first step, a second step of detecting the position of the work placed on the work table or the position of the work table, and
A third step of preliminarily creating a correction table showing the correlation between the position of the moving mechanism and the correction amount of the position of the work table based on the detection result in the second step .
A droplet ejection method comprising a fourth step of correcting the position of the work table by using the correction table prepared in advance and the measured position of the moving mechanism .
 前記第２の工程において、前記ワーク又は前記ワークテーブルに予め形成された基準マークの位置を用いて、当該ワークの位置又はワークテーブルの位置を検出することを特徴とする、請求項５に記載の液滴吐出方法。The fifth aspect of the present invention, wherein in the second step, the position of the work or the position of the work table is detected by using the position of the reference mark formed in advance on the work or the work table. Droplet ejection method. 前記基準マークは、主走査方向に複数並べて形成され、且つ、主走査方向に直交する副走査方向に少なくとも１つ以上並べて形成されていることを特徴とする、請求項６に記載の液滴吐出方法。The droplet ejection according to claim 6, wherein a plurality of the reference marks are arranged side by side in the main scanning direction, and at least one of the reference marks is arranged side by side in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. Method. 前記第２の工程において、撮像部によって、前記ワークテーブルに載置された前記ワーク又は前記ワークテーブルの撮像画像を取得し、当該撮像画像に基づいて、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出し、In the second step, the image pickup unit acquires an image of the work or the work table placed on the work table, and based on the image, the position of the work or the position of the work table is determined. Detect and
前記撮像部は、主走査方向に直交する副走査方向に移動自在に構成されていることを特徴とする、請求項５～７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。The droplet ejection method according to any one of claims 5 to 7, wherein the image pickup unit is configured to be movable in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. 請求項５～８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。A program that operates on a computer of the droplet ejection device so that the droplet ejection method according to any one of claims 5 to 8 is executed by the droplet ejection device. 請求項９に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。A readable computer storage medium containing the program according to claim 9.
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