JP7051349B2 - Constant power control device for tube joining device - Google Patents

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Description

本発明は、たとえば、チューブを接合するチューブ接合装置に好適な、チューブ接合装置の定電力制御装置に関する。 The present invention relates to, for example, a constant power control device for a tube joining device, which is suitable for a tube joining device for joining tubes .

樹脂製のチューブ同士を繋ぎ合わせる技術として、各チューブの端部を溶断し、溶断した端部同士を相互に押し付けて加圧接合する接合方法がある。この接合方法はチューブを接合するチューブ接合装置に採用されている。 As a technique for connecting resin tubes to each other, there is a joining method in which the ends of each tube are fused and the fused ends are pressed against each other to be pressure-bonded. This joining method is used in a tube joining device that joins tubes.

チューブ接合装置は、2本のチューブを装置の上下方向(高さ方向)に重ねて相互に密着させ、加熱した板状の金属製ウェハーを2本のチューブに対して接近移動させることによって2本のチューブを溶断する。金属製ウェハーの加熱にはバッテリの電力を用いる。従来、バッテリから得られる大きな電圧とPWM制御により得られる電流とを定電力制御することによって金属ウェハーを加熱している。 The tube joining device is made by stacking two tubes in the vertical direction (height direction) of the device and bringing them into close contact with each other, and moving the heated plate-shaped metal wafer closer to the two tubes. Fusing the tube. Battery power is used to heat the metal wafer. Conventionally, a metal wafer is heated by controlling a large voltage obtained from a battery and a current obtained by PWM control at a constant power.

バッテリの電力をPWM制御によって負荷に供給する技術としては、特許文献1に示すものがある。 As a technique for supplying battery power to a load by PWM control, there is one shown in Patent Document 1.

特開2010-143335号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-143335

しかし、特許文献1のように、バッテリの電力をPWM制御によって負荷に供給する場合には、バッテリから瞬間的に大きな電流が供給される。そのため、バッテリを十分な放電深度まで放電させることができず、そのバッテリの能力を最大限有効に活用できない。 However, as in Patent Document 1, when the power of the battery is supplied to the load by PWM control, a large current is instantaneously supplied from the battery. Therefore, the battery cannot be discharged to a sufficient discharge depth, and the capacity of the battery cannot be fully utilized.

本発明は、上記の不具合を解消するためになされたものであり、バッテリの能力を最大限に利用できるようにしたチューブ接合装置の定電力制御装置の提供を目的とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a constant power control device for a tube joining device capable of maximizing the capacity of a battery.

本発明に係るチューブ接合装置の定電力制御装置は、DC-DCコンバータ、検出部、制御部を有する。DC-DCコンバータはウェハーを加熱するために設けられたウェハー加熱ヒーターに印加する電圧を出力する。検出部はウェハー加熱ヒーターに印加されている電圧とウェハー加熱ヒーターに流れている電流とを検出する。制御部は検出部が一定時間ごとに複数回検出したウェハー加熱ヒーターの電圧と電流との平均値に基づいてウェハー加熱ヒーターを定電力で作動させるためDC-DCコンバータが出力すべき目標電圧を演算し、ウェハー加熱ヒーターを昇温させるとき、チューブを切断するとき、チューブを接合・分離させるときとで、それぞれ異なる目標電圧をDC-DCコンバータに出力させる。 The constant power control device of the tube joining device according to the present invention has a DC-DC converter, a detection unit, and a control unit. The DC-DC converter outputs a voltage applied to a wafer heater provided for heating the wafer. The detection unit detects the voltage applied to the wafer heater and the current flowing through the wafer heater. The control unit calculates the target voltage that the DC-DC converter should output in order to operate the wafer heater with constant power based on the average value of the voltage and current of the wafer heater detected by the detector multiple times at regular intervals. Then, different target voltages are output to the DC-DC converter when the temperature of the wafer heater is raised, when the tube is cut, and when the tube is joined / separated .

本発明に係るチューブ接合装置の定電力制御装置によれば、制御部が演算した目標電圧にしたがってDC-DCコンバータを作動させ、DC-DCコンバータがウェハー加熱ヒーターに定電力を供給するので、バッテリからウェハー加熱ヒーターに瞬間的に大きな電流が供給されることはない。このため、バッテリを十分な放電深度まで放電させることができ、バッテリの容量を有効に活用することができる。さらに、バッテリの種類、容量など、バッテリの選定範囲が広がる。 According to the constant power control device of the tube joining device according to the present invention, the DC-DC converter is operated according to the target voltage calculated by the control unit, and the DC-DC converter supplies constant power to the wafer heater , so that the battery Therefore, a large current is not instantaneously supplied to the wafer heater . Therefore, the battery can be discharged to a sufficient discharge depth, and the capacity of the battery can be effectively utilized. Furthermore, the range of battery selection such as battery type and capacity is expanded.

本実施形態に係るチューブ接合装置の斜視図である。It is a perspective view of the tube joining apparatus which concerns on this embodiment. 図1に示す矢印J1方向から見たチューブ接合装置の側面図である。It is a side view of the tube joining device seen from the direction of arrow J1 shown in FIG. 図1に示す矢印J2方向から見たチューブ接合装置の側面図である。It is a side view of the tube joining device seen from the direction of arrow J2 shown in FIG. チューブ接合装置を底面部側から見た斜視図である。It is a perspective view which looked at the tube joining device from the bottom side. 図5(A)は、図1に示す筐体の正面部側に設けられている操作パネル部を示す図、図5(B)は、図1に示す筐体の上面部に設けられている表示部を示す図である。5 (A) is a view showing an operation panel portion provided on the front surface side of the housing shown in FIG. 1, and FIG. 5 (B) is provided on the upper surface portion of the housing shown in FIG. It is a figure which shows the display part. 図1に示すRT方向にクランプ蓋部を開いた状態の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the clamp lid portion is opened in the RT direction shown in FIG. クランプ蓋部および筐体の内部構造を示す図である。It is a figure which shows the internal structure of a clamp lid portion and a housing. チューブ接合装置の筐体内に配置されている構成要素の配置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the arrangement of the component arranged in the housing of a tube joining apparatus. チューブ接合装置の制御系統のブロック図である。It is a block diagram of the control system of a tube joining device. 図10(A)は、筐体のウェハーカセット挿入部を示す図、図10(B)は、ウェハーカセット取り出しボタン付近を示す図、図10(C)は、筐体とともにウェハーカセットを示す斜視図である。10 (A) is a view showing the wafer cassette insertion portion of the housing, FIG. 10 (B) is a view showing the vicinity of the wafer cassette eject button, and FIG. 10 (C) is a perspective view showing the wafer cassette together with the housing. Is. 図11(A)は、ウェハーカセットの底面部を示す斜視図、図11(B)は、ウェハーカセットの上面部を示す斜視図である。11 (A) is a perspective view showing the bottom surface portion of the wafer cassette, and FIG. 11 (B) is a perspective view showing the top surface portion of the wafer cassette. ファンと筐体側クランプ部に配置された各チューブとウェハーとの位置関係の例を示す側面図である。It is a side view which shows the example of the positional relationship between each tube arranged in the fan and the clamp part on the housing side, and a wafer. 接合後のチューブを説明するための図であって、図13(A)は、接合後の各チューブを拡大して示す図、図13(B)は、接合後の各チューブの配設状態を模式的に示す図である。It is a figure for demonstrating the tube after joining, FIG. 13 (A) is the figure which shows the enlarged view of each tube after joining, and FIG. 13 (B) is the arrangement state of each tube after joining. It is a figure which shows schematically. 本実施形態に係る定電力制御装置のブロック図である。It is a block diagram of the constant power control device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る定電力制御装置の初期化処理のフローチャートである。It is a flowchart of the initialization process of the constant power control device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る定電力制御装置の動作フローチャートである。It is an operation flowchart of the constant power control device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る定電力制御装置の動作説明に供する図である。It is a figure which provides the operation explanation of the constant power control apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る定電力制御装置の動作説明に供する図である。It is a figure which provides the operation explanation of the constant power control apparatus which concerns on this embodiment.

本実施形態に係る定電力制御装置は、2本のチューブを溶断して接合するチューブ接合装置に好適である。以下に、図面を参照して、この定電力制御装置を適用するチューブ接合装置の実施形態を説明する。なお、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の寸法比率とは異なる場合がある。 The constant power control device according to the present embodiment is suitable for a tube joining device that joins by fusing two tubes. Hereinafter, embodiments of a tube joining device to which this constant power control device is applied will be described with reference to the drawings. The dimensional ratios in the drawings are exaggerated for convenience of explanation and may differ from the actual dimensional ratios.

図1は、本実施形態に係るチューブ接合装置の斜視図である。図2は、図1に示す矢印J1方向から見たチューブ接合装置の側面図である。図3は、図1に示す矢印J2方向から見たチューブ接合装置の側面図である。図4は、チューブ接合装置を底面部側から見た斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view of the tube joining device according to the present embodiment. FIG. 2 is a side view of the tube joining device seen from the direction of arrow J1 shown in FIG. FIG. 3 is a side view of the tube joining device seen from the direction of arrow J2 shown in FIG. FIG. 4 is a perspective view of the tube joining device as viewed from the bottom surface side.

図1に示すチューブ接合装置1は、図13に示すように、複数のチューブT1、T2のそれぞれの端部を溶断し、溶断した各端部同士を無菌状態で加圧して接合するものである。本実施形態においては、腹膜透析液バッグの透析液チューブと、腹膜透析をする際に使用される患者の腹膜カテーテル側のチューブの接合に使用される医療装置に適用した例を通じてチューブ接合装置を説明する。 As shown in FIG. 13, the tube joining device 1 shown in FIG. 1 fuses the ends of each of the plurality of tubes T1 and T2, and pressurizes and joins the fused ends in a sterile state. .. In this embodiment, the tube joining device will be described through an example applied to a medical device used for joining a dialysate tube of a peritoneal dialysis solution bag and a tube on the side of the peritoneal catheter of a patient used for peritoneal dialysis. do.

チューブ接合装置1の各構成について説明する。図1、図2、図3に示すように、チューブ接合装置1は、例えば、筐体2と、チューブ接合装置1に各チューブT1、T2(図1~図3には図示しない)をセットする際にそのセットの補助に使用されるチューブセット補助具4とを有する。 Each configuration of the tube joining device 1 will be described. As shown in FIGS. 1, 2 and 3, for example, the tube joining device 1 sets the housing 2 and the tubes T1 and T2 (not shown in FIGS. 1 to 3) in the tube joining device 1. It has a tube set assisting tool 4 which is used to assist the set.

筐体2は、上側筐体部分2Wと、上側筐体部分2Wと組み合わせられる下側筐体部分2Vと、上側筐体部分2Wの上部側に設けられた開閉可能なクランプ蓋部3とを有している。クランプ蓋部3を含む筐体2とチューブセット補助具4は、例えば、硬質のプラスチックにより作られるが、材質等について制限は特にない。 The housing 2 has an upper housing portion 2W, a lower housing portion 2V combined with the upper housing portion 2W, and an openable / closable clamp lid portion 3 provided on the upper side of the upper housing portion 2W. are doing. The housing 2 including the clamp lid portion 3 and the tube set auxiliary tool 4 are made of, for example, hard plastic, but the material and the like are not particularly limited.

筐体2は、後述するように、チューブ接合装置1の各構成要素を収容する。クランプ蓋部3は、この筐体2の上部に配置している。 The housing 2 houses each component of the tube joining device 1, as will be described later. The clamp lid portion 3 is arranged on the upper part of the housing 2.

チューブセット補助具4は、筐体2に対して着脱可能に取り付けられている。筐体2とクランプ蓋部3は、例えば、明度の比較的高い明るい色、具体的には、クリーム色あるいは白色で構成することが可能である。また、ユーザー(実際にチューブ接合装置1を使用する者や患者等)が、筐体2、クランプ蓋部3、チューブセット補助具4のそれぞれを、視覚的に明確に区別できるようにするために、チューブセット補助具4は、例えば、オレンジ色で構成できる。 The tube set auxiliary tool 4 is detachably attached to the housing 2. The housing 2 and the clamp lid portion 3 can be configured, for example, in a bright color having a relatively high lightness, specifically, a cream color or a white color. Further, in order to enable the user (person or patient who actually uses the tube joining device 1) to visually and clearly distinguish each of the housing 2, the clamp lid portion 3, and the tube set assisting tool 4. , The tube set aid 4 can be configured, for example, in orange.

筐体2は、図1から図4に示すように、底面部2Aと、正面部2Bと、右側面部2Cと、左側面部2Dと、背面部2Eと、上面部2Fとを有するケースによって構成している。このケースは、図示するように、面取りがされた略直方体形状の形状を有している。 As shown in FIGS. 1 to 4, the housing 2 is composed of a case having a bottom surface portion 2A, a front surface portion 2B, a right side surface portion 2C, a left side surface portion 2D, a back surface portion 2E, and an upper surface portion 2F. ing. As shown in the figure, this case has a chamfered substantially rectangular parallelepiped shape.

図4に示すように、底面部2Aの四隅には、それぞれ設置用部材2Gを取り付けている。これらの設置用部材2Gは、例えば円形状のプラスチック製あるいはゴム製の滑り止め部材で構成することができる。重量が比較的大きなチューブ接合装置1は、これらの設置用部材2Gが用いられることにより机面のような設置面に対して滑らないように置かれる。これにより、各チューブT1、T2を接合する作業時などにチューブ接合装置1に位置ずれが生じることを防止でき、接合作業を安定した状態で実施できる。 As shown in FIG. 4, installation members 2G are attached to the four corners of the bottom surface portion 2A, respectively. These installation members 2G can be made of, for example, a circular plastic or rubber non-slip member. The tube joining device 1 having a relatively large weight is placed so as not to slip on an installation surface such as a desk surface by using these installation members 2G. As a result, it is possible to prevent the tube joining device 1 from being displaced during the work of joining the tubes T1 and T2, and the joining work can be carried out in a stable state.

底面部2Aには、例えば、バッテリ交換用の蓋部材2Hを設けることができる。この蓋部材2Hは、例えば、ねじ2Iのような固定部材により着脱可能に取り付けることができる。ねじ2Iを外して、蓋部材2Hを取り外せば、図4中において破線で示されるバッテリBAを交換することが可能となる。蓋部材2Hは、例えば、正面部2Bよりも背面部2E寄り側に配置することができる。また、蓋部材2Hは、ファンFNの排気用開口部6から離れた位置に配置している。 For example, a lid member 2H for battery replacement can be provided on the bottom surface portion 2A. The lid member 2H can be detachably attached by a fixing member such as a screw 2I. If the screw 2I is removed and the lid member 2H is removed, the battery BA shown by the broken line in FIG. 4 can be replaced. The lid member 2H can be arranged, for example, closer to the back surface portion 2E than the front surface portion 2B. Further, the lid member 2H is arranged at a position away from the exhaust opening 6 of the fan FN.

図4に示すように、底面部2Aには、音声用開口部5と排気用開口部6が形成されている。音声用開口部5と排気用開口部6は、例えば、バッテリ交換用の蓋部材2Hと正面部2Bとの間に形成される。 As shown in FIG. 4, a voice opening 5 and an exhaust opening 6 are formed on the bottom surface 2A. The audio opening 5 and the exhaust opening 6 are formed, for example, between the battery replacement lid member 2H and the front surface portion 2B.

音声用開口部5は、複数の細長い貫通穴5Aにより構成されており、排気用開口部6は、複数の細長い貫通穴6Aにより構成されている。 The audio opening 5 is composed of a plurality of elongated through holes 5A, and the exhaust opening 6 is composed of a plurality of elongated through holes 6A.

底面部2Aの内側には、破線で示すようにスピーカSPと排気装置としてのファンFNが配置されている。このファンFNは、接合動作を終えた後にウェハーWFを冷却する冷却用ファンとしての機能も有する。 A speaker SP and a fan FN as an exhaust device are arranged inside the bottom surface portion 2A as shown by a broken line. This fan FN also has a function as a cooling fan for cooling the wafer WF after the joining operation is completed.

音声用開口部5は、スピーカSPが発生する音声ガイダンスや警告音等を、筐体2の外部に出力するために設けられている。これにより、ユーザーはスピーカSPが発生する音声ガイダンスや警告音等を明瞭に聞くことができる。 The voice opening 5 is provided to output voice guidance, warning sounds, and the like generated by the speaker SP to the outside of the housing 2. As a result, the user can clearly hear the voice guidance and the warning sound generated by the speaker SP.

排気用開口部6は、冷却用のファンFNが作動することで筐体2の内部で発生する熱や内部を通るガスを筐体2の外部に強制的に排出するために設けられている。これにより、筐体2内の熱や内部を通るガスを側面部2C、2Dではなく、底面部2A側から筐体2の外部に排出することができる。 The exhaust opening 6 is provided to forcibly discharge the heat generated inside the housing 2 and the gas passing through the inside to the outside of the housing 2 by operating the cooling fan FN. As a result, the heat inside the housing 2 and the gas passing through the inside can be discharged to the outside of the housing 2 from the bottom surface portion 2A side instead of the side surface portions 2C and 2D.

図4に示すように、筐体2の底面部2Aには、その他にも、複数本のリブ2JがY方向に平行に形成されている。これらのリブ2Jは、チューブセット補助具4を筐体2に対して着脱自在に取り付ける際の、ガイド部分としての機能を有している。 As shown in FIG. 4, a plurality of ribs 2J are also formed parallel to the Y direction on the bottom surface portion 2A of the housing 2. These ribs 2J have a function as a guide portion when the tube set assisting tool 4 is detachably attached to the housing 2.

次に、図5を参照して、操作パネル部7と表示部8について説明する。 Next, the operation panel unit 7 and the display unit 8 will be described with reference to FIG.

図5(A)は、図1に示す筐体2の正面部2B側に設けられている操作パネル部7を示している。図5(B)は、図1に示す筐体2の上面部2Fに設けられている表示部8を示している。 FIG. 5A shows an operation panel portion 7 provided on the front surface portion 2B side of the housing 2 shown in FIG. FIG. 5B shows a display unit 8 provided on the upper surface portion 2F of the housing 2 shown in FIG.

図5(A)に示す操作パネル部7は、[電源スイッチ]ボタン7Bと、[電源]ランプ7Cと、[充電中]ランプ7Dと、[接合]ボタン7Eと、[接合]ランプ7Fと、[ウェハー取り出し]ランプ7Gとを有している。 The operation panel unit 7 shown in FIG. 5A includes a [power switch] button 7B, a [power] lamp 7C, a [charging] lamp 7D, a [joint] button 7E, and a [join] lamp 7F. It has a [wafer take-out] lamp 7G.

[電源]ランプ7C、[充電中]ランプ7D、[接合]ランプ7F、および[ウェハー取り出し]ランプ7Gは、操作パネル部7における各種の状態を表す表示用のランプである。各ランプは、例えば、緑色のLED(発光ダイオード)ランプで構成することができる。 The [Power] lamp 7C, [Charging] lamp 7D, [Joining] lamp 7F, and [Wafer take-out] lamp 7G are lamps for displaying various states in the operation panel unit 7. Each lamp can be composed of, for example, a green LED (light emitting diode) lamp.

[電源スイッチ]ボタン7Bは、チューブ接合装置1に電源を入れるために押されるボタンである。[電源]ランプ7Cは、[電源スイッチ]ボタン7Bを押すことにより点灯する。 The [power switch] button 7B is a button pressed to turn on the tube joining device 1. The [power] lamp 7C is turned on by pressing the [power switch] button 7B.

[接合]ボタン7Eは、ユーザーが各チューブT1、T2(図13参照)のそれぞれの端部を溶断して、そして各チューブT1、T2の端部を入れ替えて加圧接合する溶断-接合作業を開始する際に押すボタンである。[接合]ランプ7Fは、[接合]ボタン7Eを押すと点灯する。また、[接合]ランプ7Fは、チューブ接合装置1の故障時に、故障状態にあることをユーザーに警告するために点滅するように構成することができる。 The [Join] button 7E is used to perform a fusing-joining operation in which the user blows the ends of the tubes T1 and T2 (see FIG. 13), and then replaces the ends of the tubes T1 and T2 to perform pressure joining. A button to press to get started. The [Join] lamp 7F is turned on when the [Join] button 7E is pressed. Further, the [joining] lamp 7F can be configured to blink in order to warn the user that the tube joining device 1 is in a failed state when the tube joining device 1 fails.

[充電中]ランプ7Dは、図4に示すバッテリBAに対して商用交流電源側からの充電が行われている場合に点灯する。 The [Charging] lamp 7D lights up when the battery BA shown in FIG. 4 is being charged from the commercial AC power supply side.

[ウェハー取り出し]ランプ7Gは、各チューブT1、T2同士の接合が終了して、ユーザーが使用済みのウェハーWFを筐体2から取り出して排出することができるような状態になると点灯または点滅する。 The [wafer take-out] lamp 7G lights up or blinks when the joining of the tubes T1 and T2 is completed and the user can take out the used wafer WF from the housing 2 and discharge the used wafer WF.

図5(B)に示す表示部8は、[カバー閉じる]ランプ8Bと、[ウェハーカセット交換]ランプ8Cと、[ウェハー不良]ランプ8Dと、[要充電]ランプ8Eと、[室温不適]ランプ8Fと、[装置故障]ランプ8Gとを有している。 The display unit 8 shown in FIG. 5B includes a [cover close] lamp 8B, a [wafer cassette replacement] lamp 8C, a [wafer defective] lamp 8D, a [charge required] lamp 8E, and a [room temperature unsuitable] lamp. It has an 8F and a [device failure] lamp 8G.

[装置故障]ランプ8Gは、チューブ接合装置1が故障したことを知らせる警告ランプである。[装置故障]ランプ8Gは、例えば、赤色のLEDランプにより構成することができる。その他のランプは、警報表示ランプとして構成されており、例えば、黄色のLEDランプにより構成することができる。 [Device failure] The lamp 8G is a warning lamp for notifying that the tube joining device 1 has failed. [Device failure] The lamp 8G can be configured by, for example, a red LED lamp. The other lamps are configured as alarm indicator lamps and can be configured with, for example, a yellow LED lamp.

図1と図2を再度参照して、筐体2の側面部2Cには、ウェハーカセット挿入部20と、ウェハーカセット取り出しボタン21が設けられている。 With reference to FIGS. 1 and 2 again, the side surface portion 2C of the housing 2 is provided with a wafer cassette insertion portion 20 and a wafer cassette eject button 21.

ウェハーカセット挿入部20は、図1に示すウェハーカセットWCを着脱可能に挿入するための長方形状の開口部により構成している。ウェハーカセットWCがウェハーカセット挿入部20を通じて筐体2内に挿入された状態で、ユーザーが指でウェハーカセット取り出しボタン21を押し込む。これにより、ウェハーカセットWCはウェハーカセット挿入部20を通じて筐体2の外部に取り出すことができる。ウェハーカセットWCは各チューブT1、T2の溶断に使用される複数個のウェハーWFが収容された容器によって構成している。 The wafer cassette insertion portion 20 is configured by a rectangular opening for inserting the wafer cassette WC shown in FIG. 1 in a detachable manner. With the wafer cassette WC inserted into the housing 2 through the wafer cassette insertion portion 20, the user pushes the wafer cassette eject button 21 with his or her finger. As a result, the wafer cassette WC can be taken out of the housing 2 through the wafer cassette insertion portion 20. The wafer cassette WC is composed of a container containing a plurality of wafer WFs used for fusing each tube T1 and T2.

図3に示すように、筐体2の左側面部2Dには、音量調整ボリューム22と、音声メッセージ切替スイッチ23を設けている。 As shown in FIG. 3, a volume adjusting volume 22 and a voice message changeover switch 23 are provided on the left side surface portion 2D of the housing 2.

ユーザーが音量調整ボリューム22をスライドすることで音声メッセージの音量の大小を好みに応じて調整できる。また、ユーザーが音声メッセージ切替スイッチ23を例えば「無」の状態から「有」の状態にスライドすることで、所定の音声メッセージを図4に示すスピーカSPから出力することができる。ユーザーが音声メッセージ切替スイッチ23を例えば「無」の状態にすれば、スピーカSPから、例えば、所定のブザー音を出力させることができる。 The user can adjust the volume of the voice message according to his / her preference by sliding the volume adjustment volume 22. Further, when the user slides the voice message changeover switch 23 from, for example, the "absent" state to the "yes" state, a predetermined voice message can be output from the speaker SP shown in FIG. If the user sets the voice message changeover switch 23 to, for example, "none", the speaker SP can output, for example, a predetermined buzzer sound.

次に、筐体2に配置されたクランプ蓋部3について説明する。 Next, the clamp lid portion 3 arranged in the housing 2 will be described.

図1に示すように、クランプ蓋部3は、例えば、操作パネル部7と表示部8との間に配置することができる。 As shown in FIG. 1, the clamp lid portion 3 can be arranged, for example, between the operation panel portion 7 and the display portion 8.

図6は、図1に示す矢印RT方向にクランプ蓋部3を開いた状態における筐体2を示す斜視図である。 FIG. 6 is a perspective view showing the housing 2 in a state where the clamp lid portion 3 is opened in the direction of the arrow RT shown in FIG.

クランプ蓋部3は、図6に示すように、クランプ板30と、クランプ操作部31と、被覆カバー32とを有している。 As shown in FIG. 6, the clamp lid portion 3 has a clamp plate 30, a clamp operation portion 31, and a covering cover 32.

クランプ操作部31はユーザーが手指でクランプ蓋部3を開閉する際に使用される。クランプ操作部31と、クランプ板30、および被覆カバー32は、それぞれ目視で容易に区別できるようにする。このために、例えば、クランプ操作部31は緑色に着色することができ、クランプ板30と被覆カバー32は、例えば、クリーム色あるいは白色に着色することができる。 The clamp operation unit 31 is used when the user opens and closes the clamp lid portion 3 with his / her fingers. The clamp operation unit 31, the clamp plate 30, and the covering cover 32 can be easily visually distinguished from each other. For this purpose, for example, the clamp operating portion 31 can be colored green, and the clamp plate 30 and the covering cover 32 can be colored, for example, cream or white.

図1に示すように、クランプ板30の表面には、各チューブT1、T2の挿入状態を模式的に記した確認シール30Sを貼り付けることができる。チューブ接合装置1を使用する際に、ユーザーが確認シール30Sを目視することにより、各チューブT1、T2がクランプ蓋部3と筐体側クランプ部50の間に正しく挟み込まれているか否かを簡易的に確認できる。 As shown in FIG. 1, a confirmation sticker 30S schematically showing the insertion state of each tube T1 and T2 can be attached to the surface of the clamp plate 30. When using the tube joining device 1, the user can visually check the confirmation seal 30S to easily determine whether or not each tube T1 and T2 is correctly sandwiched between the clamp lid portion 3 and the housing side clamp portion 50. Can be confirmed.

図1と図6に示すように、クランプ蓋部3のクランプ板30は、中心軸CLを中心として図1に示す閉じた状態から図6に示す90度を超える角度まで開くことができるように筐体2に取り付けている。 As shown in FIGS. 1 and 6, the clamp plate 30 of the clamp lid 3 can be opened from the closed state shown in FIG. 1 to an angle exceeding 90 degrees shown in FIG. 6 with the central axis CL as the center. It is attached to the housing 2.

クランプ蓋部3の被覆カバー32は、筐体2に対して中心軸CL1を中心にして回転できるように取り付けている。この被覆カバー32に設けられた突起32Tは、クランプ板30に設けられたガイド溝30Rにはめ込まれている。突起32Tとガイド溝30Rを設けることにより、クランプ板30が筐体2に対して中心軸CLを中心として図6に示す90度を超える角度まで開く際に、被覆カバー32がクランプ板30の動きに追従して持ち上げられるように動作する。 The covering cover 32 of the clamp lid portion 3 is attached to the housing 2 so as to be rotatable about the central axis CL1. The protrusion 32T provided on the covering cover 32 is fitted in the guide groove 30R provided on the clamp plate 30. By providing the protrusion 32T and the guide groove 30R, the covering cover 32 moves the clamp plate 30 when the clamp plate 30 opens to an angle exceeding 90 degrees shown in FIG. 6 about the central axis CL with respect to the housing 2. It works so that it can be lifted following.

図1と図6に示すように、クランプ操作部31は、クランプ板30の先端部30Dに所定のピン(図示省略)を介して取り付けている。クランプ操作部31は、このピンにより、中心軸CL2を中心として回転できるように軸支されている。 As shown in FIGS. 1 and 6, the clamp operation portion 31 is attached to the tip portion 30D of the clamp plate 30 via a predetermined pin (not shown). The clamp operation unit 31 is pivotally supported by this pin so that it can rotate about the central axis CL2.

図6に示すように、クランプ操作部31は、幅方向にそれぞれ所定の間隔を空けて配置された一対の係合爪31Mを有している。筐体2には、幅方向にそれぞれ所定の間隔を空けて配置された一対の突起部33を取り付けている。クランプ操作部31の各係合爪31Mは、筐体2の各突起部33にそれぞれ引っ掛けて固定することが可能に構成されている。 As shown in FIG. 6, the clamp operation unit 31 has a pair of engaging claws 31M arranged at predetermined intervals in the width direction. A pair of protrusions 33 arranged at predetermined intervals in the width direction are attached to the housing 2. Each engaging claw 31M of the clamp operating portion 31 is configured to be able to be hooked and fixed to each protruding portion 33 of the housing 2.

図6に示すように、クランプ蓋部3が開いた状態で、ユーザーがクランプ操作部31を指で持って、中心軸CLを中心にして矢印RS方向に回転させると、図1に示すように、クランプ板30により筐体側クランプ部50が上側から覆われる。そして、ユーザーがクランプ操作部31を指で持って、中心軸CL2を中心に矢印RG方向に回転させると、図6に示す一対の係合爪31Mは、それぞれ筐体2の対応する位置に形成された突起部33に対して噛み合わされる。これにより、クランプ蓋部3は、筐体2に設けられた筐体側クランプ部50を上方側から閉じる。 As shown in FIG. 6, when the user holds the clamp operation portion 31 with a finger and rotates it in the direction of the arrow RS about the central axis CL with the clamp lid portion 3 open, as shown in FIG. , The clamp plate 30 covers the housing side clamp portion 50 from above. Then, when the user holds the clamp operation unit 31 with his / her finger and rotates it in the direction of the arrow RG about the central axis CL2, the pair of engaging claws 31M shown in FIG. 6 are formed at the corresponding positions of the housing 2. It is meshed with the protruding portion 33. As a result, the clamp lid portion 3 closes the housing side clamp portion 50 provided in the housing 2 from the upper side.

図6と図7に示すように、筐体2の操作パネル部7の付近には、溶断に使用されたウェハーWFが送り込まれる取出し口58が設けられている。この取出し口58は、ウェハーWFが通る所定の隙間57(図7を参照)の延長上に配置している。取出し口58が隙間57の延長上に設けられているため、ユーザーは取出し口58に案内されたウェハーWFを、指で摘んで容易に取り出すことができる。 As shown in FIGS. 6 and 7, an outlet 58 for feeding the wafer WF used for fusing is provided in the vicinity of the operation panel portion 7 of the housing 2. The take-out port 58 is arranged on an extension of a predetermined gap 57 (see FIG. 7) through which the wafer WF passes. Since the take-out port 58 is provided on the extension of the gap 57, the user can easily pick up the wafer WF guided to the take-out port 58 with a finger and take it out.

図7中の破線部(拡大図)に示すように、取出し口58の付近には、円形の穴59が形成されている。また、この円形の穴59には、棒状のインターロック60が配置されている。 As shown by the broken line portion (enlarged view) in FIG. 7, a circular hole 59 is formed in the vicinity of the take-out port 58. Further, a rod-shaped interlock 60 is arranged in the circular hole 59.

インターロック60は、例えば、電磁駆動式のソレノイド61のロッドにより構成される。ソレノイド61は、制御部100から送信される指令により、図7中の破線で示す状態から実線で示すZ1方向に上昇する。上昇したインターロック60によりクランプ操作部31の前端部が押さえられる。その結果、例えば、各チューブT1、T2を溶断して接合している最中に、クランプ蓋部3が開かないようにして閉じた状態をより確実に維持することが可能になる。 The interlock 60 is composed of, for example, a rod of an electromagnetically driven solenoid 61. The solenoid 61 rises in the Z1 direction shown by the solid line from the state shown by the broken line in FIG. 7 by the command transmitted from the control unit 100. The raised interlock 60 presses the front end portion of the clamp operating portion 31. As a result, for example, while the tubes T1 and T2 are fused and joined, the clamp lid portion 3 can be prevented from opening and can be more reliably maintained in the closed state.

図7に示すソレノイド検出センサ89は、例えば、光89Lを出射する発光部89Aと、光89Lを受光可能な受光部89Bとを有するフォトカプラにより構成することができる。ソレノイド検出センサ89によりクランプ蓋部3の開閉状態が検出される。検出結果は制御部100に送信される(図9を参照)。 The solenoid detection sensor 89 shown in FIG. 7 can be composed of, for example, a photocoupler having a light emitting unit 89A that emits light 89L and a light receiving unit 89B that can receive light 89L. The solenoid detection sensor 89 detects the open / closed state of the clamp lid portion 3. The detection result is transmitted to the control unit 100 (see FIG. 9).

図8は、チューブ接合装置1の筐体2内に配置されている構成要素の概略の配置例を示す斜視図である。 FIG. 8 is a perspective view showing a schematic arrangement example of the components arranged in the housing 2 of the tube joining device 1.

図8に示すように、筐体2内には、メイン基板80、DC入力基板81、ウェハーカセット収納ユニット82、ウェハー送りユニット83、可動クランプユニット71、ソレノイド61、スピーカSP、ファンFN、そしてバッテリBAが収容されている。 As shown in FIG. 8, the main board 80, the DC input board 81, the wafer cassette storage unit 82, the wafer feed unit 83, the movable clamp unit 71, the solenoid 61, the speaker SP, the fan FN, and the battery are contained in the housing 2. BA is housed.

DC入力基板81は、例えば、メイン基板80から可能な限り離れた位置に配置されていることが好ましい。DC入力基板81からのノイズがメイン基板80に搭載されている回路要素に対して影響を与えないようにするためである。 It is preferable that the DC input board 81 is arranged at a position as far as possible from the main board 80, for example. This is to prevent noise from the DC input board 81 from affecting the circuit elements mounted on the main board 80.

次に、図9を参照して、チューブ接合装置1の制御部100の機能を説明する。図9は、チューブ接合装置1の電気ブロックを示している。 Next, with reference to FIG. 9, the function of the control unit 100 of the tube joining device 1 will be described. FIG. 9 shows an electric block of the tube joining device 1.

チューブ接合装置1は、当該装置の各部の動作を統轄的に制御する制御部100を有している。制御部100は、マイクロコンピュータなどのCPUと、CPUにより実行される装置全体の制御プログラムや各種データを記憶するROMと、ワークエリアとして測定データや各種データを一時的に記憶するRAMとを備えている。 The tube joining device 1 has a control unit 100 that controls the operation of each part of the device. The control unit 100 includes a CPU such as a microcomputer, a ROM for storing control programs and various data of the entire device executed by the CPU, and a RAM for temporarily storing measurement data and various data as a work area. There is.

制御部100は、DC入力基板81側のバッテリBAから電源供給を受ける。このDC入力基板81は、ジャック84と、切り替えスイッチ85を有している。ジャック84は、充電器86の接続ピン86Pに接続されることで、商用交流電源から交流/直流変換した所定のDC電源を受ける。なお、充電器86とジャック84は、図1にも示している。 The control unit 100 receives power from the battery BA on the DC input board 81 side. The DC input board 81 has a jack 84 and a changeover switch 85. The jack 84 receives a predetermined DC power source converted from AC / DC from a commercial AC power source by being connected to the connection pin 86P of the charger 86. The charger 86 and the jack 84 are also shown in FIG.

切り替えスイッチ85は、ジャック84とバッテリBAを接続する。充電器86からのDC電源は、バッテリBAの充電に用いられる。そして、バッテリBAに充電されたDC電源は、制御部100に供給される。 The changeover switch 85 connects the jack 84 and the battery BA. The DC power supply from the charger 86 is used to charge the battery BA. Then, the DC power supply charged in the battery BA is supplied to the control unit 100.

制御部100には、サーミスタ等の温度センサ87が電気的に接続されている。この温度センサ87は、筐体2の周囲の環境温度(外気温度)を検出して制御部100に外気温度情報TFを供給する。制御部100は、各チューブT1、T2を加熱する際に外気温度情報TFを参照して、例えば、各外気温度が予め定めた温度よりも低い場合には、各チューブT1、T2の加熱時間を長くするといった処理を実行する。また、制御部100は、例えば、環境温度をスピーカSPで患者に報知するように動作制御を行う。 A temperature sensor 87 such as a thermistor is electrically connected to the control unit 100. The temperature sensor 87 detects the ambient temperature (outside air temperature) around the housing 2 and supplies the outside air temperature information TF to the control unit 100. The control unit 100 refers to the outside air temperature information TF when heating each tube T1 and T2, and for example, when each outside air temperature is lower than a predetermined temperature, the control unit 100 sets the heating time of each tube T1 and T2. Execute processing such as lengthening. Further, the control unit 100 controls the operation so as to notify the patient of the environmental temperature by the speaker SP, for example.

図9に示すように、図5(A)にそれぞれ示された操作パネル部7の[電源スイッチ]ボタン7Bと、[接合]ボタン7Eと、各ランプ7C、7D、7F、7Gは制御部100に電気的に接続されている。 As shown in FIG. 9, the [power switch] button 7B, the [joint] button 7E, and the lamps 7C, 7D, 7F, and 7G of the operation panel unit 7 shown in FIG. 5A are control units 100. Is electrically connected to.

スピーカSPは、音声合成部88を介して制御部100に電気的に接続されている。スピーカSPは、制御部100の指令により予め決められている音声ガイダンス等を発声する。 The speaker SP is electrically connected to the control unit 100 via the voice synthesis unit 88. The speaker SP emits voice guidance or the like predetermined by a command from the control unit 100.

音量調整ボリューム22と、音声メッセージ切替スイッチ23は、制御部100に電気的に接続されている。音声メッセージ切替スイッチ23が「有」である場合には、音声ガイダンスをスピーカSPから出すことができ、音声メッセージ切替スイッチ23が「無」である場合には、図示しないブザーを鳴らすことができる。 The volume adjustment volume 22 and the voice message changeover switch 23 are electrically connected to the control unit 100. When the voice message changeover switch 23 is "Yes", the voice guidance can be output from the speaker SP, and when the voice message changeover switch 23 is "No", a buzzer (not shown) can be sounded.

図9に示すように、図5(B)にそれぞれ示された表示部8の[カバー閉じる]ランプ8B、[ウェハーカセット交換]ランプ8C、[ウェハー不良]ランプ8D、[要充電]ランプ8E、[室温不適]ランプ8F、[装置故障]ランプ8Gは、制御部100の指令により点灯または点滅するように構成されている。 As shown in FIG. 9, the [cover close] lamp 8B, the [wafer cassette replacement] lamp 8C, the [wafer defective] lamp 8D, and the [charge required] lamp 8E of the display unit 8 shown in FIG. 5 (B), respectively. The [room temperature inappropriate] lamp 8F and the [device failure] lamp 8G are configured to light or blink according to a command from the control unit 100.

図9に示すように、図7に示すインターロック60のソレノイド61は、制御部100の指令により作動する。具体的には、図7に例示するように、ソレノイド61のインターロック60が下端位置60Lにある場合には、インターロック60が破線で示すように発光部89Aからの光89Lを遮る。このため、受光部89Bは、制御部100に対して「クランプ蓋部3をインターロックしていないという信号」を送信する。これに対して、ソレノイド61のインターロック60が上端位置60Hにある場合には、インターロック60が実線で示すように発光部89Aからの光89Lを遮らない。このため、受光部89Bは、制御部100に対して「クランプ蓋部3をインターロックしているという信号」を送信する。これにより、制御部100は、クランプ蓋部3のロック状態あるいは非ロック状態を把握する。 As shown in FIG. 9, the solenoid 61 of the interlock 60 shown in FIG. 7 is operated by a command of the control unit 100. Specifically, as illustrated in FIG. 7, when the interlock 60 of the solenoid 61 is at the lower end position 60L, the interlock 60 blocks the light 89L from the light emitting unit 89A as shown by the broken line. Therefore, the light receiving unit 89B transmits a "signal that the clamp lid portion 3 is not interlocked" to the control unit 100. On the other hand, when the interlock 60 of the solenoid 61 is at the upper end position 60H, the interlock 60 does not block the light 89L from the light emitting unit 89A as shown by the solid line. Therefore, the light receiving unit 89B transmits a "signal that the clamp lid portion 3 is interlocked" to the control unit 100. As a result, the control unit 100 grasps the locked state or the unlocked state of the clamp lid portion 3.

筐体側クランプ部50のホールセンサ90は、制御部100に電気的に接続されており、検出結果を制御部100に送信するように構成されている。図12に示すように、第1突起52Aと第2突起52Bの間のはめ込み溝52CにチューブT1とチューブT2が順番にはめ込まれると、チューブT1とチューブT2により、スプリング92の力に抗してチューブ検出ピン75がZ2方向に押し込まれる。この押し込みにより、チューブ検出ピン75が下がるため、ホールセンサ90によりマグネット91の磁力が検出される。そして、ホールセンサ90は制御部100に、「各チューブT1、T2が正しくはめ込まれたこと」を通知する旨の信号を送信する。仮に、チューブT1とチューブT2がはめ込み溝52Cに十分にはめ込まれていないか、あるいはどちらか1本のチューブだけがはめ込まれている場合には、ホールセンサ90がマグネット91の磁力を検出できない。この際、ホールセンサ90は、制御部100に、「各チューブT1、T2が正しくはめ込まれていないこと」を通知する旨の信号を送信する。 The Hall sensor 90 of the housing-side clamp unit 50 is electrically connected to the control unit 100, and is configured to transmit the detection result to the control unit 100. As shown in FIG. 12, when the tube T1 and the tube T2 are sequentially fitted into the fitting groove 52C between the first protrusion 52A and the second protrusion 52B, the tube T1 and the tube T2 resist the force of the spring 92. The tube detection pin 75 is pushed in the Z2 direction. By this pushing, the tube detection pin 75 is lowered, so that the magnetic force of the magnet 91 is detected by the Hall sensor 90. Then, the hall sensor 90 transmits a signal to the control unit 100 to notify that "each tube T1 and T2 are correctly fitted". If the tube T1 and the tube T2 are not sufficiently fitted in the fitting groove 52C, or if only one of the tubes is fitted, the Hall sensor 90 cannot detect the magnetic force of the magnet 91. At this time, the Hall sensor 90 transmits a signal to the control unit 100 to notify that "each tube T1 and T2 are not correctly fitted".

筐体側クランプ部50は、マイクロスイッチ93を有している。マイクロスイッチ93は、クランプ蓋部3の開閉状態を検出するセンサである。マイクロスイッチ93は、図6に示すようにクランプ蓋部3のクランプ操作部31を指で持って、矢印RS方向に中心軸CLを中心にして回転させた際に、図1に示すようにクランプ板30が筐体側クランプ部50を閉じたことを検知する。なお、マイクロスイッチ93としては、例えば、筐体側クランプ部50が閉じられた際に、筐体2の任意の位置に対して当接により閉じられたことを検出する機械式のセンサや、筐体側クランプ部50の位置に基づいて閉じられたことを検出する電気式のセンサなど公知のセンサを使用することが可能である。 The housing side clamp portion 50 has a micro switch 93. The micro switch 93 is a sensor that detects the open / closed state of the clamp lid portion 3. As shown in FIG. 6, the micro switch 93 clamps as shown in FIG. 1 when the clamp operating portion 31 of the clamp lid portion 3 is held by a finger and rotated around the central axis CL in the direction of arrow RS. It is detected that the plate 30 has closed the clamp portion 50 on the housing side. The micro switch 93 may include, for example, a mechanical sensor that detects when the clamp portion 50 on the housing side is closed by abutting against an arbitrary position of the housing 2, or the housing side. It is possible to use a known sensor such as an electric sensor that detects that the clamp portion 50 is closed based on the position of the clamp portion 50.

ウェハーカセット収納ユニット82は、ウェハー有無センサ101と、ウェハー残量検出センサ102を有している。ウェハー有無センサ101は、図1に示すウェハーカセットWC内にウェハーWFが残っているか否かを検出するセンサである。ウェハー残量検出センサ102は、図1に示すウェハーカセットWC内に何枚のウェハーWFが残っているか、すなわちウェハーWFの残り枚数を検出するセンサである。ウェハー有無センサ101とウェハー残量検出センサ102には、例えば、公知のフォトセンサ等を使用できる。 The wafer cassette storage unit 82 has a wafer presence / absence sensor 101 and a wafer remaining amount detection sensor 102. The wafer presence / absence sensor 101 is a sensor that detects whether or not a wafer WF remains in the wafer cassette WC shown in FIG. The wafer remaining amount detection sensor 102 is a sensor that detects how many wafers WF remain in the wafer cassette WC shown in FIG. 1, that is, the number of remaining wafers WF. For the wafer presence / absence sensor 101 and the wafer remaining amount detection sensor 102, for example, a known photo sensor or the like can be used.

ウェハー送りユニット83は、ウェハーカセットWC内のウェハーWFを所定の待機ポジションPS1まで直線移動させるユニットである。ウェハー送りユニット83は、モータ103、モータドライブ104、前進端センサ105、中間センサ106、そして後進端センサ107を有する。モータドライブ104は、制御部100からの指令を受けると、モータ103を駆動して、ウェハーカセットWC内のウェハーWFを一枚ずつ待機ポジションPS1に直線移動させる。 The wafer feed unit 83 is a unit that linearly moves the wafer WF in the wafer cassette WC to a predetermined standby position PS1. The wafer feed unit 83 includes a motor 103, a motor drive 104, a forward end sensor 105, an intermediate sensor 106, and a reverse end sensor 107. When the motor drive 104 receives a command from the control unit 100, the motor drive 104 drives the motor 103 to linearly move the wafer WFs in the wafer cassette WC one by one to the standby position PS1.

制御部100は、ウェハー加熱ヒータ110、モータドライブ111、カムモータセンサ112、クランプモータセンサ113、ウェハー電流検出部115、ウェハー電圧検出部116、ファンFNのそれぞれと電気的に接続されている。モータドライブ111が制御部100から指令を受けると、モータドライブ111は、各チューブT1、T2を溶断および接合するためにカムモータ117やクランプモータ56を駆動する。 The control unit 100 is electrically connected to each of a wafer heater 110, a motor drive 111, a cam motor sensor 112, a clamp motor sensor 113, a wafer current detection unit 115, a wafer voltage detection unit 116, and a fan FN. When the motor drive 111 receives a command from the control unit 100, the motor drive 111 drives a cam motor 117 and a clamp motor 56 in order to blow and join the tubes T1 and T2.

カムモータ117は、ウェハーWFを上下移動させる動作と、2本のチューブT1、T2を寄せる動作を行う。このカムモータ117が行うウェハーWFを上下移動させる動作とは、ウェハーWFを待機ポジションPS1からその上方に位置する溶断ポジションPSmに上昇させ、またこれとは逆に、ウェハーWFを溶断ポジションPSmから待機ポジションPS1に下降させる動作である。また、カムモータ117は、各チューブT1、T2を溶断した後、各チューブT1、T2同士を寄せる動作を実施する。この寄せる動作とは、ウェハーWFを溶断ポジションPSmから待機ポジションPS1に下げて待機させた後に、第1のチューブT1の溶断した端部と第2のチューブT2の溶断した端部を、相手方のチューブの溶断した端部に対してそれぞれ寄せることにより加圧接合する動作である。 The cam motor 117 performs an operation of moving the wafer WF up and down and an operation of bringing the two tubes T1 and T2 closer together. The operation of moving the wafer WF up and down by the cam motor 117 is to raise the wafer WF from the standby position PS1 to the fusing position PSm located above it, and conversely, to move the wafer WF from the fusing position PSm to the standby position. It is an operation of lowering to PS1. Further, the cam motor 117 performs an operation of bringing the tubes T1 and T2 together after fusing the tubes T1 and T2. This pulling operation means that after the wafer WF is lowered from the fusing position PSm to the standby position PS1 to stand by, the fusing end of the first tube T1 and the fusing end of the second tube T2 are placed on the other tube. It is an operation of pressure-bonding by bringing each of the fused ends closer to each other.

クランプモータ56は、可動クランプユニット71の180度の回転と、180度回転した後の復帰回転を行う。 The clamp motor 56 rotates the movable clamp unit 71 by 180 degrees and returns after rotating by 180 degrees.

カムモータセンサ112は、カム位置と原点を検出する例えばフォトセンサで構成される。クランプモータセンサ113は、可動クランプユニット71の回転時の原点を検出する例えばフォトセンサで構成される。 The cam motor sensor 112 includes, for example, a photo sensor that detects a cam position and an origin. The clamp motor sensor 113 is composed of, for example, a photo sensor that detects the origin of the movable clamp unit 71 during rotation.

ウェハー加熱ヒーター110は、制御部100からの指令によりウェハーWFを加熱するために設けられている。通電の際には、ウェハー電流検出部115は、ウェハー加熱ヒーター110に供給されている電流値を検出する。また、ウェハー電圧検出部116は、ウェハー加熱ヒーター110に供給されている電圧値を検出する。 The wafer heater 110 is provided to heat the wafer WF in response to a command from the control unit 100. At the time of energization, the wafer current detection unit 115 detects the current value supplied to the wafer heater 110. Further, the wafer voltage detection unit 116 detects the voltage value supplied to the wafer heater 110.

次に、図10、図11を参照して、ウェハーカセット収納ユニット82およびウェハーカセットWCについて説明する。 Next, the wafer cassette storage unit 82 and the wafer cassette WC will be described with reference to FIGS. 10 and 11.

図10は、筐体2のウェハーカセット挿入部20と、ウェハーカセット取り出しボタン21の周辺部と、ウェハーカセットWCとを示している。図11(A)は、ウェハーカセットWCの下面側を示す斜視図であり、図11(B)は、ウェハーカセットWCの上面側を示す斜視図である。 FIG. 10 shows the wafer cassette insertion portion 20 of the housing 2, the peripheral portion of the wafer cassette eject button 21, and the wafer cassette WC. 11 (A) is a perspective view showing the lower surface side of the wafer cassette WC, and FIG. 11 (B) is a perspective view showing the upper surface side of the wafer cassette WC.

ウェハーカセット挿入部20とウェハーカセット取り出しボタン21は、図8に示すウェハーカセット収納ユニット82に配置している。 The wafer cassette insertion unit 20 and the wafer cassette eject button 21 are arranged in the wafer cassette storage unit 82 shown in FIG.

図10(A)に示すように、ウェハーカセットWCの上面部120には、挿入方向を示す矢印21Yが設けられている。ユーザーがウェハーカセットWCを矢印21Yにしたがって、図10(B)に示すようにウェハーカセット挿入部20内に挿入する。その後、ウェハーWFを使用したことでウェハーカセットWC内のウェハーWFが無くなると、ユーザーは図10(C)に示すようにウェハーカセット取り出しボタン21を指で押す。これにより、空のウェハーカセットWCをウェハーカセット挿入部20内から取り出すことができる。 As shown in FIG. 10A, the upper surface portion 120 of the wafer cassette WC is provided with an arrow 21Y indicating the insertion direction. The user inserts the wafer cassette WC into the wafer cassette insertion portion 20 as shown in FIG. 10 (B) according to the arrow 21Y. After that, when the wafer WF in the wafer cassette WC disappears due to the use of the wafer WF, the user presses the wafer cassette eject button 21 with a finger as shown in FIG. 10 (C). As a result, the empty wafer cassette WC can be taken out from the wafer cassette insertion unit 20.

図11(A)、(B)に示すように、ウェハーカセットWCは、複数枚のウェハーWFを収容するための容器として構成されている。ウェハーカセットWCは、好ましくは、内部のウェハーWFを目視で確認できるようにするために、透明のプラスチックにより作られる。 As shown in FIGS. 11A and 11B, the wafer cassette WC is configured as a container for accommodating a plurality of wafer WFs. The wafer cassette WC is preferably made of clear plastic so that the wafer WF inside can be visually confirmed.

ウェハーカセットWCは、上面部120と、底面部121と、正面部122と、側面部123、124と、背面部125とにより構成されている。 The wafer cassette WC is composed of an upper surface portion 120, a bottom surface portion 121, a front surface portion 122, side surface portions 123 and 124, and a back surface portion 125.

正面部122の内側には、一枚ずつウェハーWFが配置される。そして、図11(B)に示すように、ウェハーWFに対して押し出し用の部材126をY1方向に押し付けることで、1枚のウェハーWFは、ウェハーカセットWCの内部から一枚ずつY1方向に沿って所定の待機ポジションPS1に押し出される。 Wafers WF are arranged one by one inside the front portion 122. Then, as shown in FIG. 11B, by pressing the extrusion member 126 against the wafer WF in the Y1 direction, one wafer WF is formed one by one from the inside of the wafer cassette WC along the Y1 direction. Is pushed out to the predetermined standby position PS1.

図11(A)、(B)に示すように、ウェハーカセットWCの内部には、2本のスプリング128とスプリング受け部材129とが収容されている。2本のスプリング128の各一端部は、ウェハーカセットWCの背面部125の内面に支持されている。一方、2本のスプリング128の各他端部は、スプリング受け部材129に支持されている。このスプリング受け部材129は、各スプリング128がずれないようにするための位置ずれ防止部130を有している。 As shown in FIGS. 11A and 11B, two springs 128 and a spring receiving member 129 are housed inside the wafer cassette WC. Each end of each of the two springs 128 is supported by the inner surface of the back surface 125 of the wafer cassette WC. On the other hand, the other ends of the two springs 128 are supported by the spring receiving member 129. The spring receiving member 129 has a misalignment prevention portion 130 for preventing the springs 128 from misaligning.

2本のスプリング128は、スプリング受け部材129を介して、複数枚のウェハーWFを正面部122の内面に対して押し付ける。各ウェハーWFが2本のスプリング128によって保持された状態で、正面部122側に位置するウェハーWFに対して押し出し用の部材126をY1方向に押し付ける。これにより、最も外側に位置する1枚のウェハーWFだけがウェハーカセットWC内からY1方向に沿って取り出される。 The two springs 128 press the plurality of wafers WF against the inner surface of the front surface portion 122 via the spring receiving member 129. With each wafer WF held by the two springs 128, the extrusion member 126 is pressed against the wafer WF located on the front portion 122 side in the Y1 direction. As a result, only one wafer WF located on the outermost side is taken out from the wafer cassette WC along the Y1 direction.

図11(A)に示すように、切断部材として用いられるウェハーWFは、ウェハー加熱ヒータ110(図9、図12を参照)により加熱可能な略長方形状に形成された銅製の金属板(厚み:0.3mm程度、幅:34mm程度、高さ13mm程度)で構成されている。なお、ウェハーWFは、待機ポジションに配置された際に、ウェハー加熱ヒータ110への通電を可能とするための2つの接点131を有している。 As shown in FIG. 11A, the wafer WF used as the cutting member is a copper metal plate (thickness) formed in a substantially rectangular shape that can be heated by the wafer heater 110 (see FIGS. 9 and 12). : About 0.3 mm, width: about 34 mm, height about 13 mm). The wafer WF has two contacts 131 for enabling energization of the wafer heater 110 when it is arranged in the standby position .

次に、チューブセット補助具4について説明する。 Next, the tube set assisting tool 4 will be described.

チューブセット補助具4は、筐体2に対してユーザーが必要に応じて取り付けることができる。チューブセット補助具4は、使用者が図10(C)に示すように、各チューブT1、T2を筐体2に保持する作業を簡単に行えるようにするためのガイド機能を有している。 The tube set auxiliary tool 4 can be attached to the housing 2 by the user as needed. As shown in FIG. 10C, the tube set assisting tool 4 has a guide function for easily performing the work of holding the tubes T1 and T2 in the housing 2.

図2、図3、図4に示すように、チューブセット補助具4は、第1側部135と、第2側部136と、裏面連結部137とを有している。 As shown in FIGS. 2, 3 and 4, the tube set assisting tool 4 has a first side portion 135, a second side portion 136, and a back surface connecting portion 137.

図2に示すように、第1側部135は、爪部分135Aと、分岐部135Bと、135Cとを有している。爪部分135Aは、筐体2の操作パネル部7の周辺部に取り付け可能に構成されている。 As shown in FIG. 2, the first side portion 135 has a claw portion 135A, a branch portion 135B, and a 135C. The claw portion 135A is configured to be attachable to a peripheral portion of the operation panel portion 7 of the housing 2.

図3に示すように、第2側部136は、爪部分136Aと、分岐部136B、136Cと、チューブを受けるためのU字型の受け部138とを有している。爪部分136Aは、筐体2の操作パネル部7の周辺部に取り付け可能に構成されている。受け部138は、図10(C)に示すように、各チューブT1、T2を受けるようになっている。また、図3に示すように、分岐部136Bと分岐部136Cの間に空間を設けることにより、音量調整ボリューム22を露出させることができ、ユーザーが音量調整ボリューム22を操作し易くなるように構成されている。 As shown in FIG. 3, the second side portion 136 has a claw portion 136A, a branch portion 136B and 136C, and a U-shaped receiving portion 138 for receiving the tube. The claw portion 136A is configured to be attachable to a peripheral portion of the operation panel portion 7 of the housing 2. As shown in FIG. 10C, the receiving portion 138 receives the tubes T1 and T2, respectively. Further, as shown in FIG. 3, by providing a space between the branch portion 136B and the branch portion 136C, the volume adjustment volume 22 can be exposed, and the volume adjustment volume 22 can be easily operated by the user. Has been done.

図4に示すように、チューブセット補助具4の裏面連結部137は、第1連結部分137Aと第2連結部分137Bとを有している。第1連結部分137Aには、設置用部材2Gを通す開口部137Cが形成されている。第2連結部分137Bには、設置用部材2Gの高さに合わせた突起部137Dが設けられている。これにより、筐体2は、4つの設置用部材2Gと2つの突起部137Dにより、例えば机面等に対して、所定間隔だけ浮かせた状態で設置することができる。 As shown in FIG. 4, the back surface connecting portion 137 of the tube set auxiliary tool 4 has a first connecting portion 137A and a second connecting portion 137B. An opening 137C through which the installation member 2G is passed is formed in the first connecting portion 137A. The second connecting portion 137B is provided with a protrusion 137D that matches the height of the installation member 2G. As a result, the housing 2 can be installed in a state of being floated by a predetermined interval, for example, with respect to a desk surface or the like by the four installation members 2G and the two protrusions 137D.

チューブセット補助具4の第1連結部分137Aと第2連結部分137Bの間には、音声用開口部5と排気用開口部6を露出させ、かつ、排気装置であるファンFNの排気用開口部6とスピーカSP用の音声用開口部5を開放する開放部分144が形成されている。このため、ファンFNは、筐体2の内部の気体や熱を、排気用開口部6を通じて筐体2の外部に確実に放出できる。また、スピーカSPが発生する音声ガイダンスや警告音等は、音声用開口部5を通じて筐体2の外部に確実に出力できるので、音声ガイダンスや警告音等がこもらずに聞き易くなる。 Between the first connecting portion 137A and the second connecting portion 137B of the tube set auxiliary tool 4, the audio opening 5 and the exhaust opening 6 are exposed, and the exhaust opening of the fan FN which is an exhaust device is exposed. An open portion 144 is formed to open the 6 and the audio opening 5 for the speaker SP. Therefore, the fan FN can surely release the gas and heat inside the housing 2 to the outside of the housing 2 through the exhaust opening 6. Further, since the voice guidance and the warning sound generated by the speaker SP can be reliably output to the outside of the housing 2 through the voice opening 5, the voice guidance and the warning sound can be easily heard without being muffled.

次に、図12を参照して、ファンFNと、筐体側クランプ部50における各チューブT1、T2と、ウェハーWFの位置関係を説明する。 Next, with reference to FIG. 12, the positional relationship between the fan FN, the tubes T1 and T2 in the housing-side clamp portion 50, and the wafer WF will be described.

図12には、クランプ蓋部3および筐体側クランプ部50によって固定保持された各チューブT1、T2を、ウェハーカセットWCから送り出したウェハーWFにより切断する前後の様子が模式的に示されている。 FIG. 12 schematically shows a state before and after cutting each of the tubes T1 and T2 fixed and held by the clamp lid portion 3 and the housing side clamp portion 50 by the wafer WF delivered from the wafer cassette WC.

ウェハーWFは、図8に示すウェハー送りユニット83を作動させることにより、ウェハーカセットWCからY1方向に送られ、待機ポジションPS1に配置される。 The wafer WF is fed from the wafer cassette WC in the Y1 direction by operating the wafer feed unit 83 shown in FIG. 8, and is arranged in the standby position PS1.

図12に示すように、ウェハーWFが待機ポジションPS1に配置されると、ウェハーWFが有するの2つの接点131は、ウェハー加熱ヒータ110に接続され、ウェハー加熱ヒーター110への通電を可能とする。そして、ウェハー加熱ヒータ110は、制御部100の指令により接点131を介して通電され発熱する。この発熱によりウェハーWFはウェハー加熱ヒーター110によって加熱される。加熱されウェハーWFの下方には、ファンFNが配置されている。 As shown in FIG. 12, when the wafer WF is arranged in the standby position PS1, the two contacts 131 of the wafer WF are connected to the wafer heater 110, enabling the wafer heater 110 to be energized. To. Then, the wafer heater 110 is energized via the contact 131 according to the command of the control unit 100 to generate heat. The wafer WF is heated by the wafer heater 110 by this heat generation. A fan FN is arranged below the wafer WF to be heated.

各チューブT1、T2は、図12に示すように、ウェハーWFが待機ポジションPS1から溶断ポジションPS2に上昇すると、ウェハーWFにより溶断される。この際、各チューブT1、T2の構成材料である可塑剤が気化してガスが発生する。ガスは回転駆動されるファンFNにより、矢印MYで示す排出経路に沿って底面部2Aの排気用開口部6から筐体2の外部に排出される。このため、筐体2の付近にプラスチック製品等が置かれていても、可塑剤のガスがプラスチック製品に対して直接吹き付けられることが無いので、プラスチック製品の一部が溶ける等といった悪影響を受けない。 As shown in FIG. 12, the tubes T1 and T2 are fused by the wafer WF when the wafer WF rises from the standby position PS1 to the fusing position PS2. At this time, the plasticizer that is a constituent material of each tube T1 and T2 is vaporized to generate gas. The gas is discharged to the outside of the housing 2 from the exhaust opening 6 of the bottom surface 2A along the discharge path indicated by the arrow MY by the rotary-driven fan FN. Therefore, even if the plastic product or the like is placed near the housing 2, the plasticizer gas is not directly sprayed on the plastic product, so that there is no adverse effect such as a part of the plastic product melting. ..

図14は、本実施形態に係る定電力制御装置のブロック図である。図14のブロック図は、図9に示したチューブ接合装置1の制御系統のブロック図から、ウェハーWFの加熱に関する部分のみを抽出して作成したものである。 FIG. 14 is a block diagram of the constant power control device according to the present embodiment. The block diagram of FIG. 14 is created by extracting only the portion related to the heating of the wafer WF from the block diagram of the control system of the tube joining device 1 shown in FIG.

定電力制御装置200は、バッテリBA、制御部100、ウェハー加熱ヒータ110、検出部140、DC-DCコンバータ150、監視部160、スイッチ170、逆流防止ダイオード180を有する。 The constant power control device 200 includes a battery BA, a control unit 100, a wafer heater 110, a detection unit 140, a DC-DC converter 150, a monitoring unit 160, a switch 170, and a backflow prevention diode 180.

バッテリBAは、制御部100、DC-DCコンバータ150およびウェハー加熱ヒータ110に電力を供給する。 The battery BA supplies electric power to the control unit 100, the DC-DC converter 150, and the wafer heater 110.

DC-DCコンバータ150は、バッテリBAからの入力電圧Vinを制御部100から出力される目標電圧DACに応じてDC-DC変換し、出力電圧Voutを出力する。DC-DCコンバータ150の出力電圧Voutは、スイッチ170を介して負荷であるウェハー加熱ヒータ110に印加される。 The DC-DC converter 150 converts the input voltage Vin from the battery BA into DC-DC according to the target voltage DAC output from the control unit 100, and outputs the output voltage Vout. The output voltage Vout of the DC-DC converter 150 is applied to the wafer heater 110, which is a load, via the switch 170.

監視部160は、DC-DCコンバータ150の出力電圧Voutが制御部100から出力される目標電圧DACと一致した電圧になっているか、いないかを監視するために設けられる。監視部160は、2つの分圧抵抗器R1、R2によって構成される。分圧抵抗器R1とR2との接続点の分圧電圧V_ADI1はDC-DCコンバータ150の出力電圧Voutに比例する。分圧電圧V_ADI1は制御部100にフィードバックされる。したがって、制御部100は、分圧電圧V_ADI1を監視することによって、DC-DCコンバータ150から制御部100が指示した目標電圧DACが出力されているか否かを認識できる。なお、分圧抵抗器R1とR2とは、指示した目標電圧DACが出力されていることを確認することに加えて、指示した目標電圧DACとは異なっていた場合の補正値計算のための入力としても用いられる。 The monitoring unit 160 is provided to monitor whether or not the output voltage Vout of the DC-DC converter 150 matches the target voltage DAC output from the control unit 100. The monitoring unit 160 is composed of two voltage dividing resistors R1 and R2. The voltage dividing voltage V_ADI1 at the connection point between the voltage dividing resistors R1 and R2 is proportional to the output voltage Vout of the DC-DC converter 150. The voltage dividing voltage V_ADI1 is fed back to the control unit 100. Therefore, the control unit 100 can recognize whether or not the target voltage DAC instructed by the control unit 100 is output from the DC-DC converter 150 by monitoring the voltage dividing voltage V_ADI1. In addition to confirming that the specified target voltage DAC is output to the voltage dividing resistors R1 and R2, input for calculating the correction value when the specified target voltage DAC is different from the specified target voltage DAC. Also used as.

検出部140は、ウェハー加熱ヒータ110に印加されている電圧V_ADI2とウェハー加熱ヒータ110に流れている電流I_ADIとを検出する。ウェハー加熱ヒータ110に印加されている電圧V_ADI2はウェハー加熱ヒータ110の端子間電圧をウェハー電圧検出部116が検出する。ウェハー加熱ヒータ110に流れている電流I_ADIはウェハー加熱ヒータ110を流れる電流を抵抗器R3の端子間電圧に変えてウェハー電流検出部115が検出する。ウェハー加熱ヒータ110に印加されている電圧V_ADI2とウェハー加熱ヒータ110に流れている電流I_ADIとは制御部100にフィードバックされる。 The detection unit 140 detects the voltage V_ADI2 applied to the wafer heater 110 and the current I_ADI flowing through the wafer heater 110. As for the voltage V_ADI2 applied to the wafer heater 110, the wafer voltage detection unit 116 detects the voltage between the terminals of the wafer heater 110. The current I_ADI flowing in the wafer heater 110 is detected by the wafer current detection unit 115 by changing the current flowing in the wafer heater 110 into the voltage between the terminals of the resistor R3. The voltage V_ADI2 applied to the wafer heater 110 and the current I_ADI flowing through the wafer heater 110 are fed back to the control unit 100.

DC-DCコンバータ150とウェハー加熱ヒータ110との間にはスイッチ170が設けられている。スイッチ170は、制御部100から出力されるPWM信号によってON、OFFされる。制御部100は、ウェハー加熱ヒータ110を作動させるときに、スイッチ170をONさせる。 A switch 170 is provided between the DC-DC converter 150 and the wafer heater 110. The switch 170 is turned on and off by the PWM signal output from the control unit 100. The control unit 100 turns on the switch 170 when the wafer heater 110 is operated.

逆流防止ダイオード180は、制御部100からDC-DCコンバータ150に目標電圧DACを指示する信号ライン182に設けられる。逆流防止ダイオード180は、信号ライン182の障害によってDC-DCコンバータ150が出力する電圧が過電圧になることを防止する。 The backflow prevention diode 180 is provided in the signal line 182 instructing the DC-DC converter 150 from the control unit 100 to the target voltage DAC. The backflow prevention diode 180 prevents the voltage output by the DC-DC converter 150 from becoming overvoltage due to a failure of the signal line 182.

制御部100は、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとに基づいてウェハー加熱ヒータ110を定電力で作動させるためDC-DCコンバータ150が出力すべき目標電圧DACを演算する。そして、目標電圧DACをDC-DCコンバータ150に出力させる。 The control unit 100 calculates a target voltage DAC to be output by the DC-DC converter 150 in order to operate the wafer heater 110 with a constant power based on the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140. do. Then, the target voltage DAC is output to the DC-DC converter 150.

制御部100は、DC-DCコンバータ150の出力電圧Voutが、制御部100が演算した目標電圧DACを維持するように、監視部160の分圧電圧V_ADI1を入力し、DC-DCコンバータ150に指示を出力する。 The control unit 100 inputs the voltage dividing voltage V_ADI1 of the monitoring unit 160 so that the output voltage Vout of the DC-DC converter 150 maintains the target voltage DAC calculated by the control unit 100, and instructs the DC-DC converter 150. Is output.

制御部100は、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとに基づいてウェハー加熱ヒータ110の抵抗値を演算する。そして、ウェハー加熱ヒータ110の目標電力と演算された抵抗値とから目標電圧DACを演算する。 The control unit 100 calculates the resistance value of the wafer heater 110 based on the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140. Then, the target voltage DAC is calculated from the target power of the wafer heater 110 and the calculated resistance value.

次に、本実施形態に係る定電力制御装置の動作を説明する。図15は、本実施形態に係る定電力制御装置の初期化処理のフローチャートである。このフローチャートは、逆流防止ダイオード180の特性バラツキ(温度特性)を吸収する、補正処理のアルゴリズムである。 Next, the operation of the constant power control device according to the present embodiment will be described. FIG. 15 is a flowchart of the initialization process of the constant power control device according to the present embodiment. This flowchart is an algorithm for correction processing that absorbs the characteristic variation (temperature characteristic) of the backflow prevention diode 180.

まず、制御部100のPWMの出力をOFFとし、目標電圧DACを0とし、ENAの出力をイネーブルする(S100)。これによって、スイッチ170がOFFされ、DC-DCコンバータ150にハードウェアで規定された電圧が設定され、DC-DCコンバータ150がリセットされる。 First, the PWM output of the control unit 100 is turned off, the target voltage DAC is set to 0, and the ENA output is enabled (S100). As a result, the switch 170 is turned off, the voltage specified by the hardware is set in the DC-DC converter 150, and the DC-DC converter 150 is reset.

イネーブルの安定化を待つ(S101)。つまり、DC-DCコンバータ150が完全にリセットされるまで待つ。 Wait for the enable to stabilize (S101). That is, wait until the DC-DC converter 150 is completely reset.

制御部100はDACの出力を最小にする(S102)。このときには、DC-DCコンバータ150の出力は最大となる。制御部100のPWMの出力をONとする(S103)。これによって、スイッチ170がONし、DC-DCコンバータ150の出力電圧Voutがウェハー加熱ヒータ110に印加される。次に、DC-DCコンバータ150の出力の安定化を待つ(S104)。制御部100は、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとを入力する(S105)。 The control unit 100 minimizes the output of the DAC (S102). At this time, the output of the DC-DC converter 150 becomes maximum. The PWM output of the control unit 100 is turned ON (S103). As a result, the switch 170 is turned on, and the output voltage Vout of the DC-DC converter 150 is applied to the wafer heater 110. Next, it waits for the output of the DC-DC converter 150 to stabilize (S104). The control unit 100 inputs the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140 (S105).

制御部100のPWMの出力をOFFとする(S106)。これによって、スイッチ170がOFFとなる。制御部100はDACの出力を最大にする(S107)。このときには、DC-DCコンバータ150の出力は最小となる。制御部100のPWMの出力をONとする(S108)。これによって、スイッチ170がONし、DC-DCコンバータ150の出力電圧Voutがウェハー加熱ヒータ110に印加される。次に、DC-DCコンバータ150の出力の安定化を待つ(S109)。制御部100は、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとを入力する(S110)。 The PWM output of the control unit 100 is turned off (S106). As a result, the switch 170 is turned off. The control unit 100 maximizes the output of the DAC (S107). At this time, the output of the DC-DC converter 150 becomes the minimum. The PWM output of the control unit 100 is turned ON (S108). As a result, the switch 170 is turned on, and the output voltage Vout of the DC-DC converter 150 is applied to the wafer heater 110. Next, it waits for the output of the DC-DC converter 150 to stabilize (S109). The control unit 100 inputs the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140 (S110).

制御部100のPWMの出力をOFFとする(S111)。これによって、スイッチ170がOFFとなる。制御部100は、ステップS105とステップS110とで入力した、ウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとから、ウェハー加熱ヒータ110の抵抗値を演算する。そして、ウェハー加熱ヒータ110の目標電力と、演算したウェハー加熱ヒータ110の抵抗値とから目標電圧DACを演算する(S112)。 The PWM output of the control unit 100 is turned off (S111). As a result, the switch 170 is turned off. The control unit 100 calculates the resistance value of the wafer heater 110 from the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 input in steps S105 and S110. Then, the target voltage DAC is calculated from the target power of the wafer heater 110 and the calculated resistance value of the wafer heater 110 (S112).

制御部100は、ステップS105とステップS110とで入力した、ウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2から、DC-DCコンバータ150の出力電圧Voutの制御幅を演算する。この制御幅の1デジット当たりの電圧変化量を演算する。演算した目標電圧値DACと電圧変化量から目標電圧値DACの初期値を演算する(S113)。そして、制御部100は演算した目標電圧DACの初期値を出力する(S114)。 The control unit 100 calculates the control width of the output voltage Vout of the DC-DC converter 150 from the voltage V_ADI2 of the wafer heater 110 input in steps S105 and S110. The amount of voltage change per digit of this control width is calculated. The initial value of the target voltage value DAC is calculated from the calculated target voltage value DAC and the amount of voltage change (S113). Then, the control unit 100 outputs the calculated initial value of the target voltage DAC (S114).

以上の初期化処理を行うことによって、逆流防止ダイオード180の特性バラツキ(温度特性)は吸収され、制御部100はDC-DCコンバータ150から精密に出力電圧Voutを出力させることができる。 By performing the above initialization processing, the characteristic variation (temperature characteristic) of the backflow prevention diode 180 is absorbed, and the control unit 100 can accurately output the output voltage Vout from the DC-DC converter 150.

図16は、本実施形態に係る定電力制御装置の動作フローチャートである。 FIG. 16 is an operation flowchart of the constant power control device according to the present embodiment.

制御部100がENA信号HIを出力し、DC-DCコンバータ150にイネーブルの指示をした後、T1secの間、DC-DCコンバータ150が安定化するのを待つ(S200)。一定時間待って、制御部100がDC-DCコンバータ150に演算した初期値のDAC値を出力する(S201)。 After the control unit 100 outputs the ENA signal HI and instructs the DC-DC converter 150 to enable it, it waits for the DC-DC converter 150 to stabilize for T1 sec (S200). After waiting for a certain period of time, the control unit 100 outputs the DC value of the initial value calculated by the DC-DC converter 150 (S201).

一定時間待って、制御部100は、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとを入力する(S202)。また、一定時間待って、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとを入力する(S203)。さらに、一定時間待って、検出部140が検出したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとを入力する(S204)。 After waiting for a certain period of time, the control unit 100 inputs the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140 (S202). Further, after waiting for a certain period of time, the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140 are input (S203). Further, after waiting for a certain period of time, the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 detected by the detection unit 140 are input (S204).

このように、制御部100は、検出部140が複数回に亘ってウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとを検出する。 In this way, the control unit 100 detects the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 a plurality of times by the detection unit 140.

制御部100は、3回に亘って入力したウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIの平均値を演算する(S205)。制御部100は、次回の目標電圧DACを演算し(S206)、目標電圧DACの出力の安定化と(S207)、検出部140からのウェハー加熱ヒータ110の電圧V_ADI2と電流I_ADIとの安定化とを待つ(S208)。 The control unit 100 calculates the average value of the voltage V_ADI2 and the current I_ADI of the wafer heater 110 input three times (S205). The control unit 100 calculates the next target voltage DAC (S206), stabilizes the output of the target voltage DAC (S207), and stabilizes the voltage V_ADI2 of the wafer heater 110 from the detection unit 140 and the current I_ADI. Wait (S208).

チューブ接合が完了していなければ(S209:NO)、ステップS201からS208までの処理を繰り返し、チューブ接合が完了したら(S209:YES)処理を終了する。 If the tube joining is not completed (S209: NO), the processes from steps S201 to S208 are repeated, and when the tube joining is completed (S209: YES), the process is terminated.

以上のように、本実施形態に係る定電力制御装置200は、逆流防止ダイオード180の温度や電圧降下の特性のばらつきを吸収するために初期化処理を行って、定電力制御を行うための目標電圧DACを演算する。そして、この演算した目標電圧DACによってウェハー加熱ヒータ110を定電力で駆動する。 As described above, the constant power control device 200 according to the present embodiment performs initialization processing in order to absorb variations in the temperature and voltage drop characteristics of the backflow prevention diode 180, and is a target for performing constant power control. Calculate the voltage DAC. Then, the wafer heater 110 is driven by the calculated target voltage DAC with a constant power.

図17は、本実施形態に係る定電力制御装置の動作説明に供する図である。 FIG. 17 is a diagram for explaining the operation of the constant power control device according to the present embodiment.

本実施形態に係る定電力制御装置200は、ウェハー加熱ヒータ110を昇温させるときには、図に示すように、20Wの定電力がウェハー加熱ヒータ110に供給されるように目標電圧DACを変化させる。また、チューブを切断するときには、23Wの定電力がウェハー加熱ヒータ110に供給されるように目標電圧DACを変化させる。さらに、チューブを接合・分離させるときには、18Wの定電力がウェハー加熱ヒータ110に供給されるように目標電圧DACを変化させる。 When raising the temperature of the wafer heater 110, the constant power control device 200 according to the present embodiment changes the target voltage DAC so that 20 W of constant power is supplied to the wafer heater 110, as shown in the figure. Further, when cutting the tube, the target voltage DAC is changed so that a constant power of 23 W is supplied to the wafer heater 110. Further, when joining and separating the tubes, the target voltage DAC is changed so that a constant power of 18 W is supplied to the wafer heater 110.

制御部100が目標電圧DACをどのように変化させるのかは、図16の動作フローチャートに示した通りである。 How the control unit 100 changes the target voltage DAC is as shown in the operation flowchart of FIG.

図18は、本実施形態に係る定電力制御装置200の動作説明に供する図である。図18の上側に示す図は、従来のPWM制御を用いて定電力制御を行ったときの電流の変化状況を示している。図18の下側に示す図は、本実施形態に係る定電力制御装置200を用いて定電力制御を行ったときの電流の変化状況を示している。 FIG. 18 is a diagram for explaining the operation of the constant power control device 200 according to the present embodiment. The figure shown on the upper side of FIG. 18 shows the change state of the current when the constant power control is performed by using the conventional PWM control. The figure shown on the lower side of FIG. 18 shows the change state of the current when the constant power control is performed by using the constant power control device 200 according to the present embodiment.

従来のPWM制御では、図18の上側の図に示すように、時間ととともに電流のON、OFFが繰り返され、定電力制御するときの電流の変化が激しい。このため、バッテリBAには大きな負担がかかる。 In the conventional PWM control, as shown in the upper diagram of FIG. 18, the current is repeatedly turned on and off with time, and the current changes drastically when the constant power control is performed. Therefore, the battery BA is heavily burdened.

しかし、本実施形態に係る定電力制御装置200では、目標電圧DACを変動させて、定電力制御をしているので、電流が急変することはなく、バッテリBAから瞬間的に大きな電流が供給されることはない。このため、バッテリBAを十分な放電深度まで放電させることができ、バッテリBAの容量を有効に活用することができる。さらに、バッテリBAの種類、容量など、バッテリBAの選定範囲が広がる。 However, in the constant power control device 200 according to the present embodiment, since the constant power control is performed by fluctuating the target voltage DAC, the current does not change suddenly, and a large current is instantaneously supplied from the battery BA. There is no such thing. Therefore, the battery BA can be discharged to a sufficient discharge depth, and the capacity of the battery BA can be effectively utilized. Further, the selection range of the battery BA such as the type and capacity of the battery BA is expanded.

以上、チューブ接合装置1を通じて本発明に係る定電力制御装置200を説明したが、本発明は実施形態において説明した構成に限定されることはなく、特許請求の範囲の記載に基づいて適宜改変することが可能である。 Although the constant power control device 200 according to the present invention has been described above through the tube joining device 1, the present invention is not limited to the configuration described in the embodiment, and is appropriately modified based on the description of the claims. It is possible.

たとえば、本発明に係る定電力制御装置200は、チューブ接合装置1に限らず、熱を発生させるあらゆる電気機器に対して応用することができる。 For example, the constant power control device 200 according to the present invention can be applied not only to the tube joining device 1 but also to any electric device that generates heat.

1 チューブ接合装置、
100 制御部、
110 ウェハー加熱ヒータ、
115 ウェハー電流検出部、
116 ウェハー電圧検出部、
140 検出部、
150 DC-DCコンバータ、
160 監視部、
170 スイッチ、
180 逆流防止ダイオード、
182 信号ライン、
200 定電力制御装置、
R1~R3 抵抗器、
BA バッテリ。
1 Tube joining device,
100 control unit,
110 wafer heater,
115 Wafer current detector,
116 Wafer voltage detector,
140 detector,
150 DC-DC converter,
160 Monitoring Department,
170 switch,
180 Backflow prevention diode,
182 signal line,
200 constant power controller,
R1 to R3 resistors,
BA battery.

Claims (4)

複数のチューブのそれぞれの端部をウェハーによって溶断し、溶断した各端部同士を加圧して接合するチューブ接合装置に適用する定電力制御装置であって、
前記ウェハーを加熱するために設けられたウェハー加熱ヒーターに印加する電圧を出力するDC-DCコンバータと、
前記ウェハー加熱ヒーターに印加されている電圧と前記ウェハー加熱ヒーターに流れている電流とを検出する検出部と、
前記検出部が一定時間ごとに複数回検出した前記ウェハー加熱ヒーターの電圧と電流との平均値に基づいて前記ウェハー加熱ヒーターを定電力で作動させるため前記DC-DCコンバータが出力すべき目標電圧を演算し、前記ウェハー加熱ヒーターを昇温させるとき、前記チューブを切断するとき、前記チューブを接合・分離させるときとで、それぞれ異なる目標電圧を前記DC-DCコンバータに出力させる制御部と、を有する、チューブ接合装置の定電力制御装置。
It is a constant power control device applied to a tube joining device in which each end of a plurality of tubes is fused by a wafer and the fused ends are pressurized and joined to each other.
A DC-DC converter that outputs a voltage applied to a wafer heater provided for heating the wafer, and a DC-DC converter.
A detector that detects the voltage applied to the wafer heater and the current flowing through the wafer heater, and
Based on the average value of the voltage and current of the wafer heater detected by the detector a plurality of times at regular intervals, the target voltage to be output by the DC-DC converter in order to operate the wafer heater with constant power is set. It has a control unit that calculates and outputs different target voltages to the DC-DC converter when raising the temperature of the wafer heater, cutting the tube, and joining / separating the tube. , Constant power control device for tube joining device.
さらに、前記DC-DCコンバータが出力している電圧を監視する監視部を有し、
前記制御部は、前記DC-DCコンバータが出力している電圧が、前記制御部が演算した前記目標電圧を維持するように、信号ラインを介して前記DC-DCコンバータに指示を出力する、請求項1に記載のチューブ接合装置の定電力制御装置。
Further, it has a monitoring unit that monitors the voltage output by the DC-DC converter.
The control unit outputs an instruction to the DC-DC converter via a signal line so that the voltage output by the DC-DC converter maintains the target voltage calculated by the control unit. Item 1. The constant power control device for the tube joining device according to Item 1.
前記制御部は、前記検出部が検出した前記ウェハー加熱ヒーターの電圧と電流とに基づいて前記ウェハー加熱ヒーターの抵抗を演算し、前記ウェハー加熱ヒーターの目標電力と演算された抵抗とから前記目標電圧を演算する、請求項1に記載のチューブ接合装置の定電力制御装置。 The control unit calculates the resistance of the wafer heater based on the voltage and current of the wafer heater detected by the detection unit, and the target voltage is calculated from the target power of the wafer heater and the calculated resistance. The constant power control device for the tube joining device according to claim 1. さらに、前記DC-DCコンバータと前記ウェハー加熱ヒーターとの間にスイッチを有し、
前記制御部は、前記ウェハー加熱ヒーターを作動させるときに、前記スイッチをONさせる、請求項1に記載のチューブ接合装置の定電力制御装置。
Further, a switch is provided between the DC-DC converter and the wafer heater.
The constant power control device for a tube joining device according to claim 1, wherein the control unit turns on the switch when the wafer heater is operated.
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