JP7045428B2 - How to process the object to be processed - Google Patents

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JP7045428B2 JP2020147703A JP2020147703A JP7045428B2 JP 7045428 B2 JP7045428 B2 JP 7045428B2 JP 2020147703 A JP2020147703 A JP 2020147703A JP 2020147703 A JP2020147703 A JP 2020147703A JP 7045428 B2 JP7045428 B2 JP 7045428B2
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Description

本発明の実施形態は、被処理体を処理する方法に関するものであり、特にプラズマを用いて半導体基板の表面処理を行う方法に関する。 An embodiment of the present invention relates to a method for treating an object to be treated, and more particularly to a method for surface-treating a semiconductor substrate using plasma.

プラズマ処理装置を用いてウエハ等の被処理体に対しプラズマ処理が行われることがある。プラズマ処理の一種として、プラズマエッチングがある。プラズマエッチングは、被エッチング層上に設けられたマスクのパターンを当該被エッチング層に転写するために行われる。マスクとしては、一般的に、レジストマスクが用いられる。レジストマスクは、フォトリソグラフィ技術によって形成される。したがって、被エッチング層に形成されるパターンの限界寸法は、フォトリソグラフィ技術によって形成されるレジストマスクの解像度に依存する。 Plasma processing may be performed on an object to be processed such as a wafer using a plasma processing device. Plasma etching is a type of plasma processing. Plasma etching is performed to transfer the pattern of the mask provided on the layer to be etched to the layer to be etched. As the mask, a resist mask is generally used. The resist mask is formed by photolithography technology. Therefore, the limit dimension of the pattern formed on the layer to be etched depends on the resolution of the resist mask formed by the photolithography technique.

しかしながら、電子デバイスの高集積化に対する要求が益々高まっており、レジストマスクの解像限界よりも小さい寸法のパターンを形成することが要求されるようになっているが、レジストマスクの解像度には解像限界がある。このため、特許文献１に記載されているように、レジストマスク上にシリコン酸化膜を形成することによって、当該レジストマスクの寸法を調整し、当該レジストマスクによって提供される開口の幅を縮小する技術が提案されている。 However, the demand for high integration of electronic devices is increasing more and more, and it is required to form a pattern having a dimension smaller than the resolution limit of the resist mask. However, the resolution of the resist mask is not sufficient. There is an image limit. Therefore, as described in Patent Document 1, a technique for adjusting the dimensions of the resist mask by forming a silicon oxide film on the resist mask and reducing the width of the opening provided by the resist mask. Has been proposed.

特開２００４－８００３３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-80033

一方、近年の電子デバイスの高集積化に伴う微細化によって、被処理体上のパターン形成おいて、高精度の最小線幅（CD：Critical Dimension）の制御が要求され、さらに、多様な形状のパターンの形成が要求される場合がある。 On the other hand, due to the miniaturization accompanying the high integration of electronic devices in recent years, high-precision control of the minimum line width (CD: Critical Dimension) is required for pattern formation on the object to be processed, and moreover, various shapes are required. Pattern formation may be required.

以上のように、被処理体上のパターン形成においては、高集積化に伴う微細化と共に多様な形状のパターンの形成に対応可能な技術の開発が望まれている。 As described above, in pattern formation on an object to be processed, it is desired to develop a technique capable of forming patterns of various shapes as well as miniaturization accompanying high integration.

一態様においては、被処理体を処理する方法が提供される。この被処理体は、第１の凸部と第２の凸部と被エッチング層と溝部とを備えており、被エッチング層は、第１の凸部に含まれている領域と第２の凸部に含まれている領域とを含んでおり、溝部は、被処理体の主面に設けられ、被エッチング層に設けられ、第１の凸部と該第２の凸部とによって画成されており、溝部の内側の表面は、被処理体の該主面に含まれている。この方法は、第１のシーケンスをＮ（Ｎは２以上の整数）回繰り返し実行する。第１のシーケンスは、被処理体が収容されたプラズマ処理装置の処理容器内において、被処理体の主面に保護膜をコンフォーマルに形成する工程（工程ａという）と、工程ａの実行後に、処理容器内で発生させたガスのプラズマによって被処理体における溝部の底部をエッチングする工程（工程ｂという）と、を備える。 In one aspect, a method of treating an object to be treated is provided. The object to be processed includes a first convex portion, a second convex portion, a layer to be etched, and a groove portion, and the layer to be etched includes a region included in the first convex portion and a second convex portion. The groove portion includes the region included in the portion, is provided on the main surface of the object to be processed, is provided on the layer to be etched, and is defined by the first convex portion and the second convex portion. The inner surface of the groove is included in the main surface of the object to be treated. In this method, the first sequence is repeated N (N is an integer of 2 or more) times. The first sequence consists of a step of formally forming a protective film on the main surface of the object to be processed (referred to as step a) in the processing container of the plasma processing apparatus containing the object to be processed, and after the execution of the step a. A step (referred to as step b) of etching the bottom of the groove portion in the object to be processed by the plasma of the gas generated in the processing container is provided.

上記方法では、被処理体の主面（溝部の内側の表面を含む）に保護膜をコンフォーマルに形成する工程ａと、当該主面に設けられた溝部の底部を工程ａの実行後にエッチングする工程ｂとが、交互に繰り返し実行され得る。したがって、複数回実行される工程ａ毎に保護膜の膜厚等を好適に調節し、且つ、複数回実行される工程ｂ毎にエッチング量等を好適に調節することによって、所望とする溝部の多様な形状に応じて比較的に精密に溝部の加工が可能となる。 In the above method, the step a of conformally forming a protective film on the main surface of the object to be treated (including the inner surface of the groove) and the bottom of the groove provided on the main surface are etched after the execution of the step a. Step b can be performed alternately and repeatedly. Therefore, by appropriately adjusting the film thickness and the like of the protective film for each step a executed a plurality of times and appropriately adjusting the etching amount and the like for each step b executed a plurality of times, the desired groove portion can be obtained. Grooves can be machined relatively precisely according to various shapes.

一実施形態において、工程ａでは、処理容器内に第１のガスを供給する工程（工程ｃという）と、工程ｃの実行後に、処理容器内の空間をパージする工程（工程ｄという）と、工程ｄの実行後に、処理容器内において第２のガスのプラズマを生成する工程（工程ｅという）と、工程ｅの実行後に、処理容器内の空間をパージする工程と、を含む第２のシーケンスを繰り返し実行することによって、被処理体の主面に保護膜をコンフォーマルに形成する。工程ｃは、第１のガスのプラズマを生成しない。このように、工程ａは、ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）法と同様の方法によって、被処理体の主面（溝部の内側の表面を含む）に保護膜がコンフォーマルに形成されるので、被処理体の主面に対する保護の強度が向上されると共に、被処理体の主面を保護する保護膜が均一な膜厚で形成され得る。 In one embodiment, in step a, a step of supplying the first gas into the processing container (referred to as step c), a step of purging the space in the processing container after the execution of step c (referred to as step d), and a step of purging the space in the processing container. A second sequence including a step of generating a plasma of the second gas in the processing vessel after the execution of the step d (referred to as step e) and a step of purging the space in the processing vessel after the execution of the step e. By repeatedly executing the above, a protective film is formally formed on the main surface of the object to be treated. Step c does not generate plasma of the first gas. As described above, in step a, a protective film is formally formed on the main surface (including the inner surface of the groove) of the object to be treated by the same method as the ALD (Atomic Layer Deposition) method, so that the film to be treated is treated. The strength of protection against the main surface of the body is improved, and a protective film that protects the main surface of the object to be treated can be formed with a uniform film thickness.

一実施形態において、工程ａでは、処理容器内に第１のガスを供給する工程（工程ｆという）と、工程ｆの実行後に、処理容器内の空間をパージする工程と、を実行することによって、被処理体の主面に保護膜をコンフォーマルに形成する。この工程ａに引き続く工程ｂでは、処理容器内で発生させた酸素を含有するガスのプラズマによって被処理体における溝部の該底部をエッチングする。工程ｆは、該第１のガスのプラズマを生成しない。このように、工程ａは、第１のガスによって被処理体の主面（溝部の内側の表面を含む）に反応前駆体が形成され得る工程ｆおよび工程ｆの実行後に処理容器内の空間をパージする工程のみによって成るので、この工程ａによって形成される保護膜は、工程ｆで形成される反応前駆体となり、よって、比較的に薄い膜となり得る。さらに、この工程ａに引き続く工程ｂでは酸素を含有するガスのプラズマが用いられるので、工程ｆで形成された反応前駆体に対し酸素の添加が可能となり、ＡＬＤ法と同様の方法によって形成される保護膜と同様の組成を有する保護膜が比較的に薄い膜厚で形成可能となり、さらに、酸素ガスの添加が工程ｂのエッチング時に行えるので、処理工程の効率化が実現され得る。 In one embodiment, in step a, by executing a step of supplying the first gas into the processing container (referred to as step f) and a step of purging the space in the processing container after the execution of step f. , A protective film is formally formed on the main surface of the object to be treated. In the step b following the step a, the bottom portion of the groove portion in the object to be processed is etched by the plasma of the oxygen-containing gas generated in the processing vessel. Step f does not generate plasma of the first gas. As described above, in the step a, the reaction precursor can be formed on the main surface (including the inner surface of the groove) of the object to be treated by the first gas, and the space in the processing container is created after the execution of the steps f and the step f. Since it is composed only of the step of purging, the protective film formed by this step a can be a reaction precursor formed in step f, and thus can be a relatively thin film. Further, since the plasma of the gas containing oxygen is used in the step b following the step a, oxygen can be added to the reaction precursor formed in the step f, and the oxygen is formed by the same method as the ALD method. Since a protective film having the same composition as the protective film can be formed with a relatively thin film thickness, and oxygen gas can be added at the time of etching in step b, efficiency of the treatment step can be realized.

一実施形態において、第１のシーケンスのＮ回の実行では、第１の処理を含む該第１のシーケンスをＭ（Ｍは１以上且つＮ－１以下の整数）回実行し、第２の処理を含む該第１のシーケンスをＮ－Ｍ回実行する。第１の処理は、工程ａに含まれている。第１の処理では、処理容器内に第１のガスを供給する工程（工程ｇという）と、工程ｇの実行後に、処理容器内の空間をパージする工程（工程ｈという）と、工程ｈの実行後に、処理容器内において第２のガスのプラズマを生成する工程（工程ｉという）と、工程ｉの実行後に、処理容器内の空間をパージする工程と、を含む第２のシーケンスを繰り返し実行することによって、被処理体の主面に保護膜をコンフォーマルに形成する。第２の処理は、工程ａに含まれている。第２の処理では、処理容器内に第１のガスを供給する工程（工程ｊという）と、工程ｊの実行後に、処理容器内の空間をパージする工程と、を実行することによって、被処理体の主面に保護膜をコンフォーマルに形成する。第２の処理に引き続く工程ｂでは、処理容器内で発生させた酸素を含有するガスのプラズマによって被処理体における溝部の該底部をエッチングする。第１の処理において実行される工程ｇ、および、第２の処理において実行される工程ｊのいずれの工程においても、第１のガスのプラズマを生成しない。このように、第１の処理では、ＡＬＤ法と同様の方法によって、被処理体の主面（溝部の内側の表面を含む）に保護膜がコンフォーマルに形成されるので、被処理体の主面に対する保護の強度が向上されると共に、被処理体の主面を保護する保護膜が均一な膜厚で形成され得る。また、第２の処理では、第１のガスによって被処理体の主面（溝部の内側の表面を含む）に反応前駆体が形成され得る工程ｊおよび工程ｊの実行後に処理容器内の空間をパージする工程のみによって成るので、この第２の処理によって形成される保護膜は、工程ｊで形成される反応前駆体となり、よって、比較的に薄い膜となり得る。さらに、この第２の処理に引き続く工程ｂでは酸素を含有するガスのプラズマが用いられるので、工程ｊで形成された反応前駆体に対し酸素の添加が可能となり、ＡＬＤ法と同様の方法によって形成される保護膜と同様の組成を有する保護膜が比較的に薄い膜厚で形成可能となり、さらに、酸素ガスの添加が工程ｂのエッチング時に行えるので、処理工程の効率化が実現され得る。そして、第１のシーケンスのＮ回の実行では、上記した第１の処理を含む第１のシーケンスをＭ回実行し、上記した第２の処理を含む第１のシーケンスをＮ－Ｍ回実行するので、溝部の多様な形状の形成に十分に対応し得る。 In one embodiment, in the N times execution of the first sequence, the first sequence including the first process is executed M (M is an integer of 1 or more and N-1 or less), and the second process is performed. The first sequence containing the above is executed NM times. The first process is included in step a. In the first treatment, a step of supplying the first gas into the processing container (referred to as step g), a step of purging the space in the processing container after the execution of the step g (referred to as step h), and a step of step h. After the execution, the second sequence including the step of generating the plasma of the second gas in the processing container (referred to as step i) and the step of purging the space in the processing container after the execution of the step i is repeatedly executed. By doing so, a protective film is formally formed on the main surface of the object to be treated. The second process is included in step a. In the second treatment, the process of supplying the first gas into the processing container (referred to as step j) and the step of purging the space in the processing container after the execution of the step j are executed to be processed. A protective film is conformally formed on the main surface of the body. In the step b following the second treatment, the bottom portion of the groove portion in the object to be treated is etched by the plasma of the oxygen-containing gas generated in the treatment container. No plasma of the first gas is generated in either the step g executed in the first process and the step j executed in the second process. As described above, in the first treatment, a protective film is formally formed on the main surface of the object to be treated (including the inner surface of the groove) by the same method as the ALD method, so that the main surface of the object to be treated is main. The strength of protection against the surface is improved, and a protective film that protects the main surface of the object to be treated can be formed with a uniform film thickness. Further, in the second treatment, the space in the treatment container is created after the steps j and the steps j in which the reaction precursor can be formed on the main surface (including the inner surface of the groove) of the object to be treated by the first gas. Since it consists only of the purging step, the protective film formed by this second treatment can be a reaction precursor formed in step j and thus a relatively thin film. Further, since the plasma of the gas containing oxygen is used in the step b following the second treatment, oxygen can be added to the reaction precursor formed in the step j, which is formed by the same method as the ALD method. Since a protective film having the same composition as that of the protective film to be formed can be formed with a relatively thin film thickness, and oxygen gas can be added at the time of etching in step b, the efficiency of the treatment step can be realized. Then, in the N times execution of the first sequence, the first sequence including the above-mentioned first process is executed M times, and the first sequence including the above-mentioned second process is executed N-M times. Therefore, it can sufficiently cope with the formation of various shapes of the groove portion.

一実施形態において、第２のガスは、酸素原子を含み得る。例えば、第２のガスは、二酸化炭素ガスまたは酸素ガスを含み得る。このように、第２のガスが酸素原子を含むので、工程ｅ、ｉのそれぞれにおいて、工程ｃ，ｇのそれぞれにおいて形成されたシリコンの反応前駆体と当該酸素原子が結合することによって、酸化シリコンの保護膜がコンフォーマルに形成され得る。また、第２のガスが二酸化炭素ガスの場合、第２のガスが炭素原子を含むので、酸素原子による浸食が当該炭素原子によって抑制され得る。 In one embodiment, the second gas may contain oxygen atoms. For example, the second gas may include carbon dioxide gas or oxygen gas. As described above, since the second gas contains an oxygen atom, in each of the steps e and i, the silicon oxide reaction precursor formed in each of the steps c and g is bonded to the oxygen atom to form silicon oxide. Protective film can be formed conformally. Further, when the second gas is carbon dioxide gas, since the second gas contains carbon atoms, erosion by oxygen atoms can be suppressed by the carbon atoms.

一実施形態において、第１のガスは、アミノシラン系ガスを含み得る。このように、第１のガスがアミノシラン系ガスを含むので、工程ｃ，ｆ，ｇのそれぞれによって、シリコンの反応前駆体が被処理体の主面の原子層に沿って形成され得る。 In one embodiment, the first gas may include an aminosilane based gas. As described above, since the first gas contains an aminosilane-based gas, a reaction precursor of silicon can be formed along the atomic layer on the main surface of the object to be treated by each of the steps c, f, and g.

一実施形態において、第１のガスは、モノアミノシランを含み得る。このように、モノアミノシランを含む第１のガスを用いて、工程ｃ，ｆ，ｇのそれぞれにおいてシリコンの反応前駆体の形成が行える。 In one embodiment, the first gas may comprise monoaminosilane. As described above, the reaction precursor of silicon can be formed in each of the steps c, f, and g by using the first gas containing monoaminosilane.

一実施形態において、第１のガスに含まれるアミノシラン系ガスは、１～３個のケイ素原子を有するアミノシランを含み得る。第１のガスに含まれるアミノシラン系ガスは、１～３個のアミノ基を有するアミノシランを含み得る。このように、第１のガスに含まれるアミノシラン系ガスには、１～３個のケイ素原子を有するアミノシランを用いることができる。また、第１のガスに含まれるアミノシラン系ガスには、１～３個のアミノ基を有するアミノシランを用いることができる。 In one embodiment, the aminosilane-based gas contained in the first gas may contain an aminosilane having 1 to 3 silicon atoms. The aminosilane-based gas contained in the first gas may contain an aminosilane having 1 to 3 amino groups. As described above, as the aminosilane-based gas contained in the first gas, an aminosilane having 1 to 3 silicon atoms can be used. Further, as the aminosilane-based gas contained in the first gas, an aminosilane having 1 to 3 amino groups can be used.

一実施形態において、工程ｂの実行前において、工程ａで形成された保護膜の膜厚は、２［ｎｍ］以上８［ｎｍ］以下であり得る。このように、工程ｂの実行前において、工程ａで形成された保護膜の膜厚が２［ｎｍ］以上８［ｎｍ］以下の場合には、特に保護膜の膜厚が２［ｎｍ］を下回る場合と比較して、この保護膜によって覆われる被処理体の角部に対すエッチングの効果を低減し得る。よって、工程ｂのエッチングによる被処理体の変形の程度を低減できる。 In one embodiment, the film thickness of the protective film formed in the step a before the execution of the step b may be 2 [nm] or more and 8 [nm] or less. As described above, when the film thickness of the protective film formed in the step a is 2 [nm] or more and 8 [nm] or less before the execution of the step b, the film thickness of the protective film is particularly 2 [nm]. The effect of etching on the corners of the object to be treated covered by this protective film can be reduced as compared with the case where the thickness is lower. Therefore, the degree of deformation of the object to be processed due to etching in step b can be reduced.

以上説明したように、被処理体上のパターン形成において、高集積化に伴う微細化と共に多様な形状のパターンの形成に対応可能な技術が提供される。 As described above, in the pattern formation on the object to be processed, there is provided a technique capable of forming patterns of various shapes as well as miniaturization accompanying high integration.

図１は、（ａ）部、（ｂ）部、および、（ｃ）部を含み、図１の（ａ）部は、一実施形態に係る方法の主要な部分を示す流図であり、図１の（ｂ）部は、図１の（ａ）部に示す工程の一部を具体的に示す流図であり、図１の（ｃ）は、図１の（ａ）部に示す工程の一部を具体的に示す他の流図である。FIG. 1 includes parts (a), (b), and (c), and part (a) of FIG. 1 is a flow chart showing a main part of the method according to an embodiment. Part 1 (b) is a flow chart specifically showing a part of the process shown in part (a) of FIG. 1, and part (c) of FIG. 1 is a flow chart showing a part of the process shown in part (a) of FIG. It is another flow chart which shows a part concretely. 図２は、プラズマ処理装置の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a plasma processing device. 図３は、図１に示す各工程の実行前の被処理体の状態を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state of the object to be processed before the execution of each step shown in FIG. 図４は、（ａ）部および（ｂ）部を含み、図１に示す各工程の実行後の被処理体の状態を、（ａ）部、（ｂ）の順に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the state of the object to be processed after the execution of each step shown in FIG. 1, including the part (a) and the part (b), in the order of the part (a) and the part (b). 図５は、（ａ）部および（ｂ）部を含み、図１に示す各工程の実行後の被処理体の状態を、（ａ）部、（ｂ）の順に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the state of the object to be processed after the execution of each step shown in FIG. 1, including the part (a) and the part (b), in the order of the part (a) and the part (b). 図６は、（ａ）部、（ｂ）部、および、（ｃ）部を含み、図１に示す保護膜を形成するシーケンスにおける保護膜の形成の様子を、（ａ）部、（ｂ）部、（ｃ）部の順に、模式的に示す図である。FIG. 6 includes a part (a), a part (b), and a part (c), and shows the state of formation of the protective film in the sequence of forming the protective film shown in FIG. It is a figure which shows typically in the order of part (c). 図７は、一実施形態に係る方法において、図４の（ａ）部に示す保護膜の膜厚と、図４の（ｂ）部に示すエッチングによって形成される被エッチング層の角部の高さとの対応を示す測定結果の一例を示す図である。FIG. 7 shows the film thickness of the protective film shown in the portion (a) of FIG. 4 and the height of the corner portion of the layer to be etched formed by the etching shown in the portion (b) of FIG. 4 in the method according to the embodiment. It is a figure which shows an example of the measurement result which shows the correspondence with.

以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一または相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。 Hereinafter, various embodiments will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same reference numerals are given to the same or corresponding parts in each drawing.

図１は、一実施形態の方法を示す流れ図である。図１に示す一実施形態の方法ＭＴは、被処理体（以下、「ウエハ」ということがある）を処理する方法である。方法ＭＴは、図１の（ａ）部に示すように、シーケンスＳＱ１（第１のシーケンス）を備える。シーケンスＳＱ１は、工程ＳＴ１および工程ＳＴ２を備える。方法ＭＴは、さらに、工程ＳＴ３を備える。工程ＳＴ１は、図１の（ｂ）部に示す工程ＳＴ１ａ（第１の処理）を含む場合がある。工程ＳＴ１は、図１の（ｃ）部に示す工程ＳＴ１ｂ（第２の処理）を含む場合がある。また、一実施形態の方法ＭＴは、単一のプラズマ処理装置（後述のプラズマ処理装置１０）を用いて実行することが可能であるが、方法ＭＴの各工程に応じて、複数のプラズマ処理装置１０が用いられ得る。 FIG. 1 is a flow chart showing the method of one embodiment. The method MT of one embodiment shown in FIG. 1 is a method of processing an object to be processed (hereinafter, may be referred to as a “wafer”). The method MT comprises a sequence SQ1 (first sequence), as shown in part (a) of FIG. The sequence SQ1 includes a process ST1 and a process ST2. Method MT further comprises step ST3. The step ST1 may include the step ST1a (first process) shown in the part (b) of FIG. Step ST1 may include step ST1b (second process) shown in part (c) of FIG. Further, the method MT of one embodiment can be executed by using a single plasma processing device (plasma processing device 10 described later), but a plurality of plasma processing devices are used according to each step of the method MT. 10 can be used.

図２は、プラズマ処理装置の一例を示す図である。図２には、被処理体を処理する方法の種々の実施形態で利用可能なプラズマ処理装置１０の断面構造が概略的に示されている。図２に示すように、プラズマ処理装置１０は、容量結合型プラズマエッチング装置である。 FIG. 2 is a diagram showing an example of a plasma processing device. FIG. 2 schematically shows a cross-sectional structure of a plasma processing apparatus 10 that can be used in various embodiments of a method for processing an object to be processed. As shown in FIG. 2, the plasma processing apparatus 10 is a capacitively coupled plasma etching apparatus.

プラズマ処理装置１０は、処理容器１２、排気口１２ｅ、搬入出口１２ｇ、支持部１４、載置台ＰＤ、直流電源２２、スイッチ２３、冷媒流路２４、配管２６ａ、配管２６ｂ、上部電極３０、絶縁性遮蔽部材３２、電極板３４、ガス吐出孔３４ａ、電極支持体３６、ガス拡散室３６ａ、ガス通流孔３６ｂ、ガス導入口３６ｃ、ガス供給管３８、ガスソース群４０、バルブ群４２、流量制御器群４５、デポシールド４６、排気プレート４８、排気装置５０、排気管５２、ゲートバルブ５４、第１の高周波電源６２、第２の高周波電源６４、整合器６６、整合器６８、電源７０、制御部Ｃｎｔ、フォーカスリングＦＲ、ヒータ電源ＨＰ、ヒータＨＴを備える。載置台ＰＤは、静電チャックＥＳＣ、下部電極ＬＥを備える。下部電極ＬＥは、第１プレート１８ａ、第２プレート１８ｂを備える。処理容器１２は、処理空間Ｓｐを画成する。 The plasma processing apparatus 10 includes a processing container 12, an exhaust port 12e, an inlet / outlet 12g, a support portion 14, a mounting table PD, a DC power supply 22, a switch 23, a refrigerant flow path 24, a pipe 26a, a pipe 26b, an upper electrode 30, and an insulating property. Shielding member 32, electrode plate 34, gas discharge hole 34a, electrode support 36, gas diffusion chamber 36a, gas flow hole 36b, gas introduction port 36c, gas supply pipe 38, gas source group 40, valve group 42, flow control Instrument group 45, depot shield 46, exhaust plate 48, exhaust device 50, exhaust pipe 52, gate valve 54, first high frequency power supply 62, second high frequency power supply 64, matching device 66, matching device 68, power supply 70, control A unit Cnt, a focus ring FR, a heater power supply HP, and a heater HT are provided. The mounting table PD includes an electrostatic chuck ESC and a lower electrode LE. The lower electrode LE includes a first plate 18a and a second plate 18b. The processing container 12 defines the processing space Sp.

処理容器１２は、略円筒形状を有する。処理容器１２は、例えば、アルミニウムから構成される。処理容器１２の内壁面は、陽極酸化処理が施されている。処理容器１２は、保安接地される。 The processing container 12 has a substantially cylindrical shape. The processing container 12 is made of, for example, aluminum. The inner wall surface of the treatment container 12 is anodized. The processing container 12 is grounded for security.

支持部１４は、処理容器１２の内側において、処理容器１２の底部上に設けられる。支持部１４は、略円筒状の形状を備える。支持部１４は、例えば、絶縁材料から構成される。支持部１４を構成する絶縁材料は、石英のように酸素を含み得る。支持部１４は、処理容器１２内において、処理容器１２の底部から鉛直方向に延在する。 The support portion 14 is provided on the bottom of the processing container 12 inside the processing container 12. The support portion 14 has a substantially cylindrical shape. The support portion 14 is made of, for example, an insulating material. The insulating material constituting the support portion 14 may contain oxygen like quartz. The support portion 14 extends vertically from the bottom of the processing container 12 in the processing container 12.

載置台ＰＤは、処理容器１２内に設けられる。載置台ＰＤは、支持部１４によって支持される。載置台ＰＤは、載置台ＰＤの上面において、ウエハＷを保持する。ウエハＷは、被処理体である。載置台ＰＤは、下部電極ＬＥおよび静電チャックＥＳＣを有する。 The mounting table PD is provided in the processing container 12. The mounting table PD is supported by the support portion 14. The mounting table PD holds the wafer W on the upper surface of the mounting table PD. The wafer W is an object to be processed. The mounting table PD has a lower electrode LE and an electrostatic chuck ESC.

下部電極ＬＥは、第１プレート１８ａおよび第２プレート１８ｂを含む。第１プレート１８ａおよび第２プレート１８ｂは、例えばアルミニウムといった金属から構成される。第１プレート１８ａおよび第２プレート１８ｂは、略円盤状の形状を備える。第２プレート１８ｂは、第１プレート１８ａ上に設けられる。第２プレート１８ｂは、第１プレート１８ａに電気的に接続される。 The lower electrode LE includes a first plate 18a and a second plate 18b. The first plate 18a and the second plate 18b are made of a metal such as aluminum. The first plate 18a and the second plate 18b have a substantially disk-like shape. The second plate 18b is provided on the first plate 18a. The second plate 18b is electrically connected to the first plate 18a.

静電チャックＥＳＣは、第２プレート１８ｂ上に設けられる。静電チャックＥＳＣは、一対の絶縁層の間、または、一対の絶縁シートの間において導電膜の電極を配置した構造を有する。直流電源２２は、スイッチ２３を介して、静電チャックＥＳＣの電極に電気的に接続される。静電チャックＥＳＣは、直流電源２２からの直流電圧によって生じたクーロン力等の静電力によって、ウエハＷを吸着する。これによって、静電チャックＥＳＣは、ウエハＷを保持することができる。 The electrostatic chuck ESC is provided on the second plate 18b. The electrostatic chuck ESC has a structure in which electrodes of a conductive film are arranged between a pair of insulating layers or between a pair of insulating sheets. The DC power supply 22 is electrically connected to the electrodes of the electrostatic chuck ESC via the switch 23. The electrostatic chuck ESC adsorbs the wafer W by an electrostatic force such as a Coulomb force generated by a DC voltage from the DC power supply 22. Thereby, the electrostatic chuck ESC can hold the wafer W.

フォーカスリングＦＲは、ウエハＷのエッジおよび静電チャックＥＳＣを囲むように、第２プレート１８ｂの周縁部上に配置される。フォーカスリングＦＲは、エッチングの均一性を向上させるために設けられる。フォーカスリングＦＲは、エッチング対象の膜の材料によって適宜選択される材料から構成されており、例えば、石英から構成され得る。 The focus ring FR is arranged on the peripheral edge of the second plate 18b so as to surround the edge of the wafer W and the electrostatic chuck ESC. The focus ring FR is provided to improve the uniformity of etching. The focus ring FR is made of a material appropriately selected depending on the material of the film to be etched, and may be made of, for example, quartz.

冷媒流路２４は、第２プレート１８ｂの内部に設けられる。冷媒流路２４は、温調機構を構成する。冷媒流路２４には、処理容器１２の外部に設けられるチラーユニットから配管２６ａを介して冷媒が供給される。冷媒流路２４に供給される冷媒は、配管２６ｂを介してチラーユニットに戻される。このように、冷媒流路２４には、冷媒が循環するよう、供給される。この冷媒の温度を制御することによって、静電チャックＥＳＣによって支持されるウエハＷの温度が制御される。ガス供給ライン２８は、伝熱ガス供給機構からの伝熱ガス、例えばＨｅガスを、静電チャックＥＳＣの上面とウエハＷの裏面との間に供給する。 The refrigerant flow path 24 is provided inside the second plate 18b. The refrigerant flow path 24 constitutes a temperature control mechanism. Refrigerant is supplied to the refrigerant flow path 24 from a chiller unit provided outside the processing container 12 via a pipe 26a. The refrigerant supplied to the refrigerant flow path 24 is returned to the chiller unit via the pipe 26b. In this way, the refrigerant is supplied to the refrigerant flow path 24 so as to circulate. By controlling the temperature of this refrigerant, the temperature of the wafer W supported by the electrostatic chuck ESC is controlled. The gas supply line 28 supplies heat transfer gas from the heat transfer gas supply mechanism, for example, He gas, between the upper surface of the electrostatic chuck ESC and the back surface of the wafer W.

ヒータＨＴは、加熱素子である。ヒータＨＴは、例えば、第２プレート１８ｂ内に埋め込まれる。ヒータ電源ＨＰは、ヒータＨＴに接続される。ヒータ電源ＨＰからヒータＨＴに電力が供給されることによって、載置台ＰＤの温度が調整され、そして、載置台ＰＤ上に載置されるウエハＷの温度が調整される。なお、ヒータＨＴは、静電チャックＥＳＣに内蔵され得る。 The heater HT is a heating element. The heater HT is embedded in, for example, the second plate 18b. The heater power supply HP is connected to the heater HT. By supplying electric power from the heater power supply HP to the heater HT, the temperature of the mounting table PD is adjusted, and the temperature of the wafer W mounted on the mounting table PD is adjusted. The heater HT may be built in the electrostatic chuck ESC.

上部電極３０は、載置台ＰＤの上方において、載置台ＰＤと対向配置される。下部電極ＬＥと上部電極３０とは、互いに略平行に設けられる。上部電極３０と下部電極ＬＥとの間には、処理空間Ｓｐが提供される。処理空間Ｓｐは、プラズマ処理をウエハＷに行うための空間領域である。 The upper electrode 30 is arranged above the mounting table PD so as to face the mounting table PD. The lower electrode LE and the upper electrode 30 are provided substantially parallel to each other. A processing space Sp is provided between the upper electrode 30 and the lower electrode LE. The processing space Sp is a space area for performing plasma processing on the wafer W.

上部電極３０は、絶縁性遮蔽部材３２を介して、処理容器１２の上部に支持される。絶縁性遮蔽部材３２は、絶縁材料から構成されており、例えば、石英のように酸素を含み得る。上部電極３０は、電極板３４および電極支持体３６を含み得る。電極板３４は、処理空間Ｓｐに面している。電極板３４は、複数のガス吐出孔３４ａを備える。電極板３４は、一実施形態では、シリコンから構成され得る。別の実施形態では、電極板３４は、酸化シリコンから構成され得る。 The upper electrode 30 is supported on the upper part of the processing container 12 via the insulating shielding member 32. The insulating shielding member 32 is made of an insulating material and may contain oxygen, for example, quartz. The upper electrode 30 may include an electrode plate 34 and an electrode support 36. The electrode plate 34 faces the processing space Sp. The electrode plate 34 includes a plurality of gas discharge holes 34a. In one embodiment, the electrode plate 34 may be made of silicon. In another embodiment, the electrode plate 34 may be composed of silicon oxide.

電極支持体３６は、電極板３４を着脱自在に支持するものであり、例えばアルミニウムといった導電性材料から構成され得る。電極支持体３６は、水冷構造を有し得る。ガス拡散室３６ａは、電極支持体３６の内部に設けられる。複数のガス通流孔３６ｂのそれぞれは、ガス吐出孔３４ａに連通する。複数のガス通流孔３６ｂのそれぞれは、ガス拡散室３６ａから下方に（載置台ＰＤの側に向けて）延びる。 The electrode support 36 supports the electrode plate 34 in a detachable manner, and may be made of a conductive material such as aluminum. The electrode support 36 may have a water-cooled structure. The gas diffusion chamber 36a is provided inside the electrode support 36. Each of the plurality of gas flow holes 36b communicates with the gas discharge holes 34a. Each of the plurality of gas flow holes 36b extends downward (toward the side of the mounting table PD) from the gas diffusion chamber 36a.

ガス導入口３６ｃは、ガス拡散室３６ａに対して処理ガスを導く。ガス導入口３６ｃは、電極支持体３６に設けられる。ガス供給管３８は、ガス導入口３６ｃに接続される。 The gas introduction port 36c guides the processing gas to the gas diffusion chamber 36a. The gas introduction port 36c is provided on the electrode support 36. The gas supply pipe 38 is connected to the gas introduction port 36c.

ガスソース群４０は、バルブ群４２および流量制御器群４５を介して、ガス供給管３８に接続される。ガスソース群４０は、複数のガスソースを有する。複数のガスソースは、アミノシラン系ガスのソース、フルオロカーボンガス（ハイドロフルオロカーボンガス）のソース、酸素（Ｏ２）ガスのソース、不活性ガスのソース、希ガスのソース、および、二酸化炭素ガスのソースを含み得る。アミノシラン系ガス（後述の第１のガスＧ１に含まれるガス）としては、アミノ基の数が比較的に少ない分子構造のものが用いられることができ、例えば、モノアミノシラン（Ｈ３－Ｓｉ－Ｒ（Ｒは有機を含んでおり置換されていても良いアミノ基））が用いられ得る。上記のアミノシラン系ガス（後述の第１のガスＧ１に含まれるガス）は、１～３個のケイ素原子を有し得るアミノシランを含むことができ、１～３個のアミノ基を有するアミノシランを含むことができる。１～３個のケイ素原子を有するアミノシランは、１～３個のアミノ基を有するモノシラン（モノアミノシラン）、１～３個のアミノ基を有するジシラン、または、１～３個のアミノ基を有するトリシランであり得る。さらに、上記のアミノシランは、置換されていてもよいアミノ基を有し得る。さらに、上記のアミノ基は、メチル基、エチル基、プロピル基、および、ブチル基の何れかによって置換され得る。さらに、上記のメチル基、エチル基、プロピル基、または、ブチル基は、ハロゲンによって置換され得る。フルオロカーボンガスとしては、例えば、ＣＦ４ガス、Ｃ４Ｆ６ガス、Ｃ４Ｆ８ガスといった任意のフルオロカーボンガスが用いられ得る。不活性ガスとしては、例えば、窒素（Ｎ２）ガス等が用いられ得る。希ガスとしては、例えば、アルゴン（Ａｒ）ガス等が用いられ得る。 The gas source group 40 is connected to the gas supply pipe 38 via the valve group 42 and the flow rate controller group 45. The gas source group 40 has a plurality of gas sources. Multiple gas sources include aminosilane gas sources, fluorocarbon gas (hydrofluorocarbon gas) sources, oxygen (O 2 ) gas sources, inert gas sources, noble gas sources, and carbon dioxide gas sources. Can include. As the aminosilane-based gas (gas contained in the first gas G1 described later), a gas having a molecular structure having a relatively small number of amino groups can be used. For example, monoaminosilane (H3 - Si-R) can be used. (R is an amino group containing an organic substance and may be substituted)) can be used. The above-mentioned aminosilane-based gas (the gas contained in the first gas G1 described later) can contain an aminosilane capable of having 1 to 3 silicon atoms, and contains an aminosilane having 1 to 3 amino groups. be able to. Aminosilane having 1 to 3 silicon atoms is monosilane having 1 to 3 amino groups (monoaminosilane), disilane having 1 to 3 amino groups, or trisilane having 1 to 3 amino groups. Can be. In addition, the aminosilanes described above may have amino groups that may be substituted. Further, the above amino group can be substituted with any of a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group. Further, the above-mentioned methyl group, ethyl group, propyl group, or butyl group can be substituted with a halogen. As the fluorocarbon gas, for example, any fluorocarbon gas such as CF 4 gas, C 4 F 6 gas, and C 4 F 8 gas can be used. As the inert gas, for example, nitrogen (N 2 ) gas or the like can be used. As the noble gas, for example, argon (Ar) gas or the like can be used.

バルブ群４２は、複数のバルブを含む。流量制御器群４５は、マスフローコントローラといった複数の流量制御器を含む。ガスソース群４０の複数のガスソースのそれぞれは、バルブ群４２の対応のバルブ、および、流量制御器群４５の対応の流量制御器を介して、ガス供給管３８に接続される。したがって、プラズマ処理装置１０は、ガスソース群４０の複数のガスソースのうち選択された一以上のガスソースからのガスを、個別に調整された流量で、処理容器１２内に供給することが可能である。また、プラズマ処理装置１０では、処理容器１２の内壁に沿ってデポシールド４６が着脱自在に設けられている。デポシールド４６は、支持部１４の外周にも設けられている。デポシールド４６は、処理容器１２にエッチング副生物（デポ）が付着することを防止するものであり、アルミニウム材にＹ２Ｏ３等のセラミックスを被覆することにより構成され得る。デポシールドは、Ｙ２Ｏ３の他、例えば、石英のように酸素を含む材料から構成され得る。 The valve group 42 includes a plurality of valves. The flow rate controller group 45 includes a plurality of flow rate controllers such as a mass flow controller. Each of the plurality of gas sources of the gas source group 40 is connected to the gas supply pipe 38 via the corresponding valve of the valve group 42 and the corresponding flow rate controller of the flow rate controller group 45. Therefore, the plasma processing apparatus 10 can supply gas from one or more gas sources selected from the plurality of gas sources of the gas source group 40 into the processing container 12 at an individually adjusted flow rate. Is. Further, in the plasma processing apparatus 10, a depot shield 46 is detachably provided along the inner wall of the processing container 12. The depot shield 46 is also provided on the outer periphery of the support portion 14. The depot shield 46 prevents etching by-products (depots) from adhering to the processing container 12 , and can be configured by coating an aluminum material with ceramics such as Y2O3 . The depot shield may be composed of Y 2 O 3 as well as an oxygen-containing material such as quartz.

排気プレート４８は、処理容器１２の底部側であって、且つ、支持部１４と処理容器１２の側壁との間に設けられている。排気プレート４８は、例えば、アルミニウム材にＹ２Ｏ３等のセラミックスを被覆することによって構成され得る。排気口１２ｅは、排気プレート４８の下方において、処理容器１２に設けられている。排気装置５０は、排気管５２を介して排気口１２ｅに接続される。排気装置５０は、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプを有しており、処理容器１２内の空間を所望の真空度まで減圧することができる。搬入出口１２ｇは、ウエハＷの搬入出口である。搬入出口１２ｇは、処理容器１２の側壁に設けられる。搬入出口１２ｇは、ゲートバルブ５４によって開閉可能である。 The exhaust plate 48 is provided on the bottom side of the processing container 12 and between the support portion 14 and the side wall of the processing container 12. The exhaust plate 48 may be configured, for example , by coating an aluminum material with ceramics such as Y2O3 . The exhaust port 12e is provided in the processing container 12 below the exhaust plate 48. The exhaust device 50 is connected to the exhaust port 12e via the exhaust pipe 52. The exhaust device 50 has a vacuum pump such as a turbo molecular pump, and can reduce the space in the processing container 12 to a desired degree of vacuum. The carry-in outlet 12g is a carry-in outlet for the wafer W. The carry-in outlet 12g is provided on the side wall of the processing container 12. The carry-in outlet 12g can be opened and closed by the gate valve 54.

第１の高周波電源６２は、プラズマ生成用の第１の高周波電力を発生する電源であり、２７～１００［ＭＨｚ］の周波数、一例においては４０［ＭＨｚ］の高周波電力を発生する。第１の高周波電源６２は、整合器６６を介して上部電極３０に接続される。整合器６６は、第１の高周波電源６２の出力インピーダンスと負荷側（下部電極ＬＥ側）の入力インピーダンスとを整合させるための回路である。なお、第１の高周波電源６２は、整合器６６を介して下部電極ＬＥに接続されることもできる。 The first high-frequency power source 62 is a power source that generates a first high-frequency power for plasma generation, and generates a high-frequency power of 27 to 100 [MHz], for example, 40 [MHz]. The first high frequency power supply 62 is connected to the upper electrode 30 via the matching unit 66. The matching device 66 is a circuit for matching the output impedance of the first high frequency power supply 62 with the input impedance on the load side (lower electrode LE side). The first high frequency power supply 62 can also be connected to the lower electrode LE via the matching device 66.

第２の高周波電源６４は、ウエハＷにイオンを引き込むための第２の高周波電力、即ち高周波バイアス電力を発生する電源であり、４００［ｋＨｚ］～４０．６８［ＭＨｚ］の範囲内の周波数、一例においては３．２［ＭＨｚ］の高周波バイアス電力を発生する。第２の高周波電源６４は、整合器６８を介して下部電極ＬＥに接続される。整合器６８は、第２の高周波電源６４の出力インピーダンスと負荷側（下部電極ＬＥ側）の入力インピーダンスとを整合させるための回路である。また、電源７０は、上部電極３０に接続される。電源７０は、処理空間Ｓｐ内に存在する正イオンを電極板３４に引き込むための電圧を、上部電極３０に印加する。一例においては、電源７０は、負の直流電圧を発生する直流電源である。このような電圧が電源７０から上部電極３０に印加されると、処理空間Ｓｐに存在する正イオンが、電極板３４に衝突する。これにより、電極板３４から二次電子および／またはシリコンが放出される。 The second high frequency power supply 64 is a power supply that generates a second high frequency power for drawing ions into the wafer W, that is, a high frequency bias power, and has a frequency in the range of 400 [kHz] to 40.68 [MHz]. In one example, a high frequency bias power of 3.2 [MHz] is generated. The second high frequency power supply 64 is connected to the lower electrode LE via the matching unit 68. The matching device 68 is a circuit for matching the output impedance of the second high frequency power supply 64 with the input impedance on the load side (lower electrode LE side). Further, the power supply 70 is connected to the upper electrode 30. The power supply 70 applies a voltage to the upper electrode 30 for drawing positive ions existing in the processing space Sp into the electrode plate 34. In one example, the power source 70 is a DC power source that generates a negative DC voltage. When such a voltage is applied from the power source 70 to the upper electrode 30, positive ions existing in the processing space Sp collide with the electrode plate 34. As a result, secondary electrons and / or silicon are emitted from the electrode plate 34.

制御部Ｃｎｔは、プロセッサ、記憶部、入力装置、表示装置等を備えるコンピュータであり、プラズマ処理装置１０の各部を制御する。具体的に、制御部Ｃｎｔは、バルブ群４２、流量制御器群４５、排気装置５０、第１の高周波電源６２、整合器６６、第２の高周波電源６４、整合器６８、電源７０、ヒータ電源ＨＰ、およびチラーユニットに接続されている。 The control unit Cnt is a computer including a processor, a storage unit, an input device, a display device, and the like, and controls each unit of the plasma processing device 10. Specifically, the control unit Cnt includes a valve group 42, a flow rate controller group 45, an exhaust device 50, a first high frequency power supply 62, a matching unit 66, a second high frequency power supply 64, a matching unit 68, a power supply 70, and a heater power supply. It is connected to the HP and the chiller unit.

制御部Ｃｎｔは、入力されたレシピに基づくプログラムに従って動作し、制御信号を送出する。制御部Ｃｎｔからの制御信号によって、ガスソース群から供給されるガスの選択および流量と、排気装置５０の排気と、第１の高周波電源６２および第２の高周波電源６４からの電力供給と、電源７０からの電圧印加と、ヒータ電源ＨＰの電力供給と、チラーユニットからの冷媒流量および冷媒温度と、を制御することが可能である。なお、本明細書において開示される被処理体を処理する方法（図１に示す方法ＭＴ）の各工程は、制御部Ｃｎｔによる制御によってプラズマ処理装置１０の各部を動作させることによって、実行され得る。 The control unit Cnt operates according to a program based on the input recipe, and sends out a control signal. The selection and flow rate of the gas supplied from the gas source group by the control signal from the control unit Cnt, the exhaust of the exhaust device 50, the power supply from the first high frequency power supply 62 and the second high frequency power supply 64, and the power supply. It is possible to control the voltage application from 70, the power supply of the heater power supply HP, the refrigerant flow rate from the chiller unit, and the refrigerant temperature. It should be noted that each step of the method of processing the object to be processed (method MT shown in FIG. 1) disclosed in the present specification can be executed by operating each part of the plasma processing apparatus 10 under the control of the control unit Cnt. ..

再び図１を参照し、方法ＭＴについて詳細に説明する。以下では、方法ＭＴの実施にプラズマ処理装置１０が用いられている例について説明を行う。また、以下の説明において、図１および図２と共に、図３～図７を参照する。図３は、図１に示す各工程の実行前の被処理体の状態を示す断面図である。図４は、（ａ）部および（ｂ）部を含み、図１に示す各工程の実行後の被処理体の状態を、（ａ）部、（ｂ）の順に示す断面図である。図５は、（ａ）部および（ｂ）部を含み、図１に示す各工程の実行後の被処理体の状態を、（ａ）部、（ｂ）の順に示す断面図である。図６は、（ａ）部、（ｂ）部、および、（ｃ）部を含み、図１に示す保護膜を形成するシーケンスにおける保護膜の形成の様子を、（ａ）部、（ｂ）部、（ｃ）部の順に、模式的に示す図である。 The method MT will be described in detail with reference to FIG. 1 again. Hereinafter, an example in which the plasma processing apparatus 10 is used for carrying out the method MT will be described. Further, in the following description, FIGS. 3 to 7 will be referred to together with FIGS. 1 and 2. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state of the object to be processed before the execution of each step shown in FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing the state of the object to be processed after the execution of each step shown in FIG. 1, including the part (a) and the part (b), in the order of the part (a) and the part (b). FIG. 5 is a cross-sectional view showing the state of the object to be processed after the execution of each step shown in FIG. 1, including the part (a) and the part (b), in the order of the part (a) and the part (b). FIG. 6 includes a part (a), a part (b), and a part (c), and shows the state of formation of the protective film in the sequence of forming the protective film shown in FIG. It is a figure which shows typically in the order of part (c).

図１に示す方法ＭＴの実行前に、図３に示すウエハＷを処理容器１２内に搬入する。図３に示すウエハＷは、図１に示す方法ＭＴが適用される被処理体の一例である。図３に示すウエハＷは、デュアルダマシン（Dual Damascene）のエッチング工程において形成された基板生産物である。図３に示すウエハＷは、凸部ＣＶ１（第１の凸部）と凸部ＣＶ２（第２の凸部）と被エッチング層ＰＭと溝部ＴＲとを備える。被エッチング層ＰＭは、凸部ＣＶ１に含まれている領域ＰＭ１と凸部ＣＶ２に含まれている領域ＰＭ２とを含んでいる。溝部ＴＲは、ウエハＷの主面ＳＣに設けられている。溝部ＴＲは、被エッチング層ＰＭに設けられている。溝部ＴＲは、凸部ＣＶ１と凸部ＣＶ２とによって画成されている。 Before the execution of the method MT shown in FIG. 1, the wafer W shown in FIG. 3 is carried into the processing container 12. The wafer W shown in FIG. 3 is an example of an object to be processed to which the method MT shown in FIG. 1 is applied. The wafer W shown in FIG. 3 is a substrate product formed in the etching process of the Dual Damascene. The wafer W shown in FIG. 3 includes a convex portion CV1 (first convex portion), a convex portion CV2 (second convex portion), an etched layer PM, and a groove portion TR. The layer to be etched PM includes a region PM1 included in the convex portion CV1 and a region PM2 included in the convex portion CV2. The groove TR is provided on the main surface SC of the wafer W. The groove TR is provided in the layer to be etched PM. The groove portion TR is defined by the convex portion CV1 and the convex portion CV2.

図３に示すウエハＷは、さらに、マスクＭＫとデポ膜ＤＰとを備える。マスクＭＫは、領域ＰＭ１上に設けられている。マスクＭＫは、領域ＰＭ１の端面ＳＦ１（領域ＰＭ１とマスクＭＫとの界面）に設けられている。デポ膜ＤＰは、マスクＭＫ上に設けられている。 The wafer W shown in FIG. 3 further includes a mask MK and a depot film DP. The mask MK is provided on the region PM1. The mask MK is provided on the end face SF1 of the region PM1 (the interface between the region PM1 and the mask MK). The depot film DP is provided on the mask MK.

溝部ＴＲの内側の表面ＳＦ２は、表面ＳＦ２ａ、表面ＳＦ２ｂ、および、表面ＳＦ２ｃを含む。被エッチング層ＰＭは、凸部ＣＶ１において、端面ＳＦ１およびＳＦ２ａを含む。表面ＳＦ２ａは、表面ＳＦ２のうち、凸部ＣＶ１の側にある表面である。表面ＳＦ２ｂは、溝部ＴＲの底部ＢＴにある。表面ＳＦ２ｂは、溝部ＴＲの底面である。表面ＳＦ２ｃは、表面ＳＦ２のうち、凸部ＣＶ２の側にある表面であり、表面ＳＦ２ａに対向している。被エッチング層ＰＭは、凸部ＣＶ２において、表面ＳＦ２ｃおよび端面ＳＦ３を含む。端面ＳＦ１、表面ＳＦ２、端面ＳＦ３は、ウエハＷの主面ＳＣに含まれる。 The surface SF2 inside the groove TR includes the surface SF2a, the surface SF2b, and the surface SF2c. The layer to be etched PM includes end faces SF1 and SF2a in the convex portion CV1. The surface SF2a is a surface of the surface SF2 on the side of the convex portion CV1. The surface SF2b is located at the bottom BT of the groove TR. The surface SF2b is the bottom surface of the groove TR. The surface SF2c is a surface of the surface SF2 on the side of the convex portion CV2 and faces the surface SF2a. The layer to be etched PM includes a surface SF2c and an end face SF3 in the convex portion CV2. The end face SF1, the surface SF2, and the end face SF3 are included in the main surface SC of the wafer W.

溝部ＴＲの幅ＬＰ１は、表面ＳＦ２ａと表面ＳＦ２ｃとの間の距離であり、例えば３～５［ｎｍ］程度である。高低差ＬＰ２は、端面ＳＦ１と端面ＳＦ３との間の距離である。端面ＳＦ１を含む平面は、端面ＳＦ３の上方にあり、この場合、高低差ＬＰ２の値は正の値となる。方法ＭＴの実行によって、凸部ＣＶ２における被エッチング層ＰＭの領域ＰＭ２が端面ＳＦ３の側からエッチングされるので、高低差ＬＰ２は、増加する。 The width LP1 of the groove TR is the distance between the surface SF2a and the surface SF2c, and is, for example, about 3 to 5 [nm]. The height difference LP2 is the distance between the end face SF1 and the end face SF3. The plane including the end face SF1 is above the end face SF3, and in this case, the value of the height difference LP2 is a positive value. By executing the method MT, the region PM2 of the layer to be etched PM in the convex portion CV2 is etched from the side of the end face SF3, so that the height difference LP2 increases.

被エッチング層ＰＭは、複数の孔が形成されている多孔質膜である。被エッチング層ＰＭは、低誘電率（low-k）を有する。被エッチング層ＰＭの材料は、例えば、ＳｉＯＣＨ等であり得る。マスクＭＫの材料は、例えばＴｉＮ等であり得る。デポ膜ＤＰの材料は、例えばＣＦ等であり得る。 The layer to be etched PM is a porous film in which a plurality of pores are formed. The layer PM to be etched has a low dielectric constant (low-k). The material of the layer PM to be etched may be, for example, SiOCH or the like. The material of the mask MK may be, for example, TiN or the like. The material of the depot film DP may be, for example, CF or the like.

図１に戻って説明する。方法ＭＴでは、シーケンスＳＱ１を一回以上実行する。シーケンスＳＱ１の開始から後述の工程ＳＴ３：ＹＥＳに至るまでの一連の工程は、被エッチング層ＰＭの溝部ＴＲの形状を所望とする形状にエッチングする工程である。図３に示すウエハＷの搬入後に、シーケンスＳＱ１を実行する。方法ＭＴは、シーケンスＳＱ１をＮ（Ｎは２以上の整数）回繰り返し実行する。シーケンスＳＱ１は、工程ＳＴ１と工程ＳＴ２とを含む。工程ＳＴ１は、ウエハＷが収容されたプラズマ処理装置１０の処理容器１２内において、ウエハＷの主面ＳＣに保護膜ＳＸをコンフォーマルに形成する。工程ＳＴ１の一例が、図１の（ｂ）部に示す工程ＳＴ１ａである。工程ＳＴ１の他の一例が、図１の（ｃ）部に示す工程ＳＴ１ｂである。 It will be described back to FIG. In the method MT, the sequence SQ1 is executed one or more times. The series of steps from the start of the sequence SQ1 to the step ST3: YES described later is a step of etching the shape of the groove TR of the layer to be etched PM into a desired shape. After the wafer W shown in FIG. 3 is carried in, the sequence SQ1 is executed. The method MT repeatedly executes the sequence SQ1 N (N is an integer of 2 or more) times. Sequence SQ1 includes process ST1 and process ST2. In step ST1, the protective film SX is conformally formed on the main surface SC of the wafer W in the processing container 12 of the plasma processing apparatus 10 in which the wafer W is housed. An example of the process ST1 is the process ST1a shown in the part (b) of FIG. Another example of step ST1 is step ST1b shown in part (c) of FIG.

工程ＳＴ１ａは、シーケンスＳＱ１ａ（第２のシーケンス）を備える。シーケンスＳＱ１ａは、工程Ｔ１１ａ、工程ＳＴ１２ａ、工程ＳＴ１３ａ、および、工程ＳＴ１４ａを備える。 Step ST1a includes sequence SQ1a (second sequence). The sequence SQ1a includes a step T11a, a step ST12a, a step ST13a, and a step ST14a.

工程ＳＴ１ａおよび工程ＳＴ１ｂのうち、まず、図１の（ｂ）部を参照して、工程ＳＴ１ａについて説明する。工程ＳＴ１ａは、シーケンスＳＱ１ａを備える。シーケンスＳＱ１ａは、工程ＳＴ１１ａ、工程ＳＴ１２ａ、工程ＳＴ１３ａ、および、工程ＳＴ１４ａを含む。工程ＳＴ１ａは、さらに、工程ＳＴ１５ａを備える。 Of the process ST1a and the process ST1b, first, the process ST1a will be described with reference to the part (b) of FIG. Step ST1a comprises sequence SQ1a. The sequence SQ1a includes a step ST11a, a step ST12a, a step ST13a, and a step ST14a. The process ST1a further includes a process ST15a.

工程ＳＴ１ａでは、シーケンスＳＱ１ａを一回以上実行する。シーケンスＳＱ１ａの開始から後述の工程ＳＴ１５ａ：ＹＥＳに至るまでの一連の工程は、ウエハＷの主面ＳＣ（特に、表面ＳＦ２ａ、表面ＳＦ２ｂ、表面ＳＦ２ｃ、および、端面ＳＦ３であり、以下同様。）に保護膜ＳＸをコンフォーマルに形成する工程である。 In step ST1a, the sequence SQ1a is executed one or more times. A series of steps from the start of the sequence SQ1a to the step ST15a: YES described later are on the main surface SC of the wafer W (particularly, the surface SF2a, the surface SF2b, the surface SF2c, and the end surface SF3, and so on). This is a step of forming the protective film SX conformally.

まず、工程ＳＴ１１ａでは、処理容器１２内に、シリコンを含有する第１のガスＧ１を導入する。第１のガスＧ１は、アミノシラン系ガスを含む。ガスソース群４０の複数のガスソースのうち選択したガスソースから、第１のガスＧ１を処理容器１２内に供給する。第１のガスＧ１は、アミノシラン系ガスとして、例えばモノアミノシラン（Ｈ３－Ｓｉ－Ｒ（Ｒはアミノ基））が用いられ得る。工程ＳＴ１１ａでは、第１のガスＧ１のプラズマを生成しない。 First, in the step ST11a, the first gas G1 containing silicon is introduced into the processing container 12. The first gas G1 contains an aminosilane-based gas. The first gas G1 is supplied into the processing container 12 from the gas source selected from the plurality of gas sources in the gas source group 40. As the first gas G1, for example, monoaminosilane (H3 - Si—R (R is an amino group)) can be used as the aminosilane-based gas. In step ST11a, plasma of the first gas G1 is not generated.

図６の（ａ）部に示すように、第１のガスＧ１の分子が反応前駆体としてウエハＷの主面ＳＣに付着する。第１のガスＧ１の分子（モノアミノシラン）は、化学結合に基づく化学吸着によってウエハＷの主面ＳＣに付着するのであり、工程ＳＴ１１ａにおいて、プラズマは用いられない。なお、化学結合によって表面に付着可能であって且つシリコンを含有するものであれば、モノアミノシラン以外のガスの利用も可能である。 As shown in the part (a) of FIG. 6, the molecule of the first gas G1 adheres to the main surface SC of the wafer W as a reaction precursor. The molecule (monoaminosilane) of the first gas G1 adheres to the main surface SC of the wafer W by chemical adsorption based on chemical bonds, and plasma is not used in the step ST11a. It should be noted that a gas other than monoaminosilane can be used as long as it can be attached to the surface by a chemical bond and contains silicon.

第１のガスＧ１にモノアミノシラン系ガスが選択される理由は、モノアミノシランが比較的に高い電気陰性度を有し且つ極性を有する分子構造を有することによって化学吸着が比較的に容易に行われ得る、ということに起因する。第１のガスＧ１の分子がウエハＷの主面ＳＣに付着することによって形成される層Ｌｙ１は、当該付着が化学吸着であるために単分子層（単層）に近い状態となる。モノアミノシランのアミノ基（Ｒ）が小さいほど、ウエハＷの主面ＳＣに吸着される分子の分子構造も小さくなるので、分子の大きさに起因する立体障害が低減され、よって、第１のガスＧ１の分子がウエハＷの主面ＳＣに均一に吸着でき、層Ｌｙ１はウエハＷの主面ＳＣに対し均一な膜厚で形成され得る。例えば、第１のガスＧ１に含まれるモノアミノシラン（Ｈ３－Ｓｉ－Ｒ）がウエハＷの主面ＳＣのＯＨ基と反応することによって、反応前駆体のＨ３－Ｓｉ－Ｏが形成され、よって、Ｈ３－Ｓｉ－Ｏの単分子層である層Ｌｙ１が形成される場合が考えられ得る。したがって、ウエハＷの主面ＳＣに対し、反応前駆体の層Ｌｙ１が、ウエハＷのパターン密度に依存せずに、均一な膜厚でコンフォーマルに形成され得る。 The reason why the monoaminosilane gas is selected as the first gas G1 is that chemisorption is relatively easily performed because the monoaminosilane has a relatively high electronegativity and a polar molecular structure. It is due to getting. The layer Ly1 formed by adhering the molecules of the first gas G1 to the main surface SC of the wafer W is in a state close to a monolayer (monolayer) because the adhesion is chemisorption. The smaller the amino group (R) of the monoaminosilane, the smaller the molecular structure of the molecule adsorbed on the main surface SC of the wafer W, so that the steric hindrance caused by the size of the molecule is reduced, and thus the first gas. The molecules of G1 can be uniformly adsorbed on the main surface SC of the wafer W, and the layer Ly1 can be formed with a uniform film thickness with respect to the main surface SC of the wafer W. For example, the monoaminosilane (H3 - Si—R) contained in the first gas G1 reacts with the OH group of the main surface SC of the wafer W to form the reaction precursor H3 - Si—O. Therefore, it is conceivable that the layer Ly1 which is a monomolecular layer of H3 - Si—O is formed. Therefore, the reaction precursor layer Ly1 can be conformally formed with a uniform film thickness with respect to the main surface SC of the wafer W, regardless of the pattern density of the wafer W.

工程ＳＴ１１ａに引き続く工程ＳＴ１２ａでは、処理容器１２内の空間をパージする。具体的には、工程ＳＴ１１ａにおいて供給された第１のガスＧ１が排気される。工程ＳＴ１２ａでは、パージガスとして窒素ガスといった不活性ガスを処理容器１２に供給してもよい。即ち、工程ＳＴ１２ａのパージは、不活性ガスを処理容器１２内に流すガスパージ、または真空引きによるパージの何れであってもよい。工程ＳＴ１２ａでは、ウエハＷ上に過剰に付着した分子も除去され得る。以上によって、反応前駆体の層Ｌｙ１は極めて薄い単分子層となる。 In the step ST12a following the step ST11a, the space in the processing container 12 is purged. Specifically, the first gas G1 supplied in the step ST11a is exhausted. In step ST12a, an inert gas such as nitrogen gas may be supplied to the processing container 12 as a purge gas. That is, the purging in the step ST12a may be either a gas purging in which the inert gas flows into the processing container 12 or a purging by evacuation. In step ST12a, molecules excessively adhered to the wafer W can also be removed. As a result, the reaction precursor layer Ly1 becomes an extremely thin monomolecular layer.

工程ＳＴ１２ａに引き続く工程ＳＴ１３ａでは、処理容器１２内において第２のガスのプラズマＰ１を生成する。具体的には、ガスソース群４０の複数のガスソースのうち選択したガスソースから、二酸化炭素ガスを含む第２のガスを処理容器１２内に供給する。第２のガスは、二酸化炭素ガスの他に、酸素原子を含有する他のガスであり得え、例えば、酸素ガスでもあり得る。そして、第１の高周波電源６２から高周波電力を供給する。この場合、第２の高周波電源６４のバイアス電力を印加することもできる。また、第１の高周波電源６２を用いずに第２の高周波電源６４のみを用いてプラズマを生成することもできる。排気装置５０を動作させることによって、処理容器１２内の空間の圧力を所定の圧力に設定する。 In the step ST13a following the step ST12a, the plasma P1 of the second gas is generated in the processing container 12. Specifically, a second gas containing carbon dioxide gas is supplied into the processing container 12 from a gas source selected from the plurality of gas sources in the gas source group 40. In addition to carbon dioxide gas, the second gas can be another gas containing an oxygen atom, for example, oxygen gas. Then, high frequency power is supplied from the first high frequency power supply 62. In this case, the bias power of the second high frequency power supply 64 can also be applied. It is also possible to generate plasma using only the second high frequency power supply 64 without using the first high frequency power supply 62. By operating the exhaust device 50, the pressure in the space inside the processing container 12 is set to a predetermined pressure.

上述したように工程ＳＴ１１ａの実行によってウエハＷの表面に付着した分子（層Ｌｙ１の単分子層を構成する分子）は、シリコンと水素との結合を含む。シリコンと水素との結合エネルギーは、シリコンと酸素との結合エネルギーよりも低い。したがって、図６の（ｂ）部に示すように、二酸化炭素ガスを含む第２のガスのプラズマＰ１が生成されると、酸素の活性種、例えば、酸素ラジカルが生成され、層Ｌｙ１の単分子層を構成する分子の水素が酸素に置換され、図６の（ｃ）部に示すように、シリコン酸化膜（例えばＳｉＯ２膜）である層Ｌｙ２が単分子層として形成される。 As described above, the molecules (molecules constituting the monomolecular layer of layer Ly1) attached to the surface of the wafer W by executing the step ST11a include a bond between silicon and hydrogen. The binding energy between silicon and hydrogen is lower than the binding energy between silicon and oxygen. Therefore, as shown in part (b) of FIG. 6, when the plasma P1 of the second gas containing carbon dioxide gas is generated, an active species of oxygen, for example, an oxygen radical is generated, and a single molecule of layer Ly1 is generated. The hydrogen of the molecule constituting the layer is replaced with oxygen, and as shown in the part (c) of FIG. 6, the layer Ly2 which is a silicon oxide film (for example, a SiO 2 film) is formed as a monomolecular layer.

工程ＳＴ１３ａに引き続く工程ＳＴ１４ａでは、処理容器１２内の空間をパージする。具体的には、工程ＳＴ１３ａにおいて供給された第２のガスが排気される。工程ＳＴ１４ａでは、パージガスとして窒素ガスといった不活性ガスを処理容器１２に供給してもよい。即ち、工程ＳＴ１４ａのパージは、不活性ガスを処理容器１２内に流すガスパージ、または、真空引きによるパージの何れであってもよい。 In the step ST14a following the step ST13a, the space in the processing container 12 is purged. Specifically, the second gas supplied in the step ST13a is exhausted. In step ST14a, an inert gas such as nitrogen gas may be supplied to the processing container 12 as a purge gas. That is, the purging in the step ST14a may be either a gas purging in which the inert gas flows into the processing container 12 or a purging by evacuation.

以上説明したシーケンスＳＱ１ａにおいては、工程ＳＴ１２ａにおいてパージが行われ、工程ＳＴ１２ａに引き続く工程ＳＴ１３ａにおいて層Ｌｙ１を構成する分子の水素が酸素に置換される。したがって、ＡＬＤ法と同様に、一回のシーケンスＳＱ１ａの実行によって、シリコン酸化膜の層Ｌｙ２を、ウエハＷの主面ＳＣ上に、薄く均一な膜厚でコンフォーマルに、形成することができる。 In the sequence SQ1a described above, purging is performed in the step ST12a, and the hydrogen of the molecule constituting the layer Ly1 is replaced with oxygen in the step ST13a following the step ST12a. Therefore, similarly to the ALD method, the layer Ly2 of the silicon oxide film can be formally formed on the main surface SC of the wafer W with a thin and uniform film thickness by executing the sequence SQ1a once.

シーケンスＳＱ１ａに引き続く工程ＳＴ１５ａでは、シーケンスＳＱ１ａの実行を終了するか否かを判定する。具体的には、工程ＳＴ１５ａでは、シーケンスＳＱ１ａの実行回数が所定回数に達したか否かを判定する。シーケンスＳＱ１ａの実行回数の決定は、図４の（ａ）部に示すシリコン酸化膜の保護膜ＳＸの膜厚ＴＨを決定することである。即ち、一回のシーケンスＳＱ１ａの実行によって形成されるシリコン酸化膜の膜厚とシーケンスＳＱ１ａの実行回数との積によって、最終的にウエハＷ上に形成される保護膜ＳＸの厚みが実質的に決定される。したがって、ウエハＷ上に形成される保護膜ＳＸの所望の厚みに応じて、シーケンスＳＱ１ａの実行回数が設定される。 In the step ST15a following the sequence SQ1a, it is determined whether or not to end the execution of the sequence SQ1a. Specifically, in the step ST15a, it is determined whether or not the number of executions of the sequence SQ1a has reached a predetermined number of times. The determination of the number of executions of the sequence SQ1a is to determine the film thickness TH of the protective film SX of the silicon oxide film shown in the part (a) of FIG. That is, the thickness of the protective film SX finally formed on the wafer W is substantially determined by the product of the film thickness of the silicon oxide film formed by executing the sequence SQ1a once and the number of times the sequence SQ1a is executed. Will be done. Therefore, the number of executions of the sequence SQ1a is set according to the desired thickness of the protective film SX formed on the wafer W.

工程ＳＴ１５ａにおいてシーケンスＳＱ１ａの実行回数が所定回数に達していないと判定される場合には（工程ＳＴ１５ａ：ＮＯ）、シーケンスＳＱ１ａの実行が再び繰り返される。一方、工程ＳＴ１５ａにおいてシーケンスＳＱ１ａの実行回数が所定回数に達していると判定される場合には（工程ＳＴ１５ａ：ＹＥＳ）、シーケンスＳＱ１ａの実行が終了される。これによって、図４の（ａ）部に示すように、ウエハＷの主面ＳＣ上にシリコン酸化膜の保護膜ＳＸが形成される。すなわち、シーケンスＳＱ１ａの実行回数が所定回数だけ繰り返されることによって、所定の膜厚を有する保護膜ＳＸが、均一の膜みでコンフォーマルに、ウエハＷの主面ＳＣに形成される。保護膜ＳＸの厚みは、シーケンスＳＱ１ａの実行回数が少ないほど、減少する。 If it is determined in step ST15a that the number of executions of the sequence SQ1a has not reached a predetermined number (step ST15a: NO), the execution of the sequence SQ1a is repeated again. On the other hand, when it is determined in step ST15a that the number of executions of the sequence SQ1a has reached a predetermined number (step ST15a: YES), the execution of the sequence SQ1a is terminated. As a result, as shown in the portion (a) of FIG. 4, the protective film SX of the silicon oxide film is formed on the main surface SC of the wafer W. That is, by repeating the execution of the sequence SQ1a a predetermined number of times, the protective film SX having a predetermined film thickness is formally formed on the main surface SC of the wafer W with a uniform film thickness. The thickness of the protective film SX decreases as the number of executions of the sequence SQ1a decreases.

図１に戻って説明する。工程ＳＴ１に引き続く工程ＳＴ２は、処理容器１２内で発生させたプラズマによって溝部ＴＲの底部ＢＴ（表面ＳＦ２ｂ）をエッチングする。まず、工程ＳＴ２において、第３のガスと第４のガスとの混合ガスを処理容器１２内に供給する。第３のガスは、フルオロカーボン系ガスを含む処理ガスであり、第４のガスは酸素ガスを含む処理ガスであり得る。第３のガスは、例えば、Ｃ４Ｆ８ガスであり得る。第４のガスは、例えば、Ａｒ／Ｎ２／Ｏ２ガスであり得る。そして、処理容器１２内に供給される混合ガスのプラズマを処理容器１２内で発生させる。具体的には、ガスソース群４０の複数のガスソースのうち選択されたガスソースから、第３のガスと第４のガスとの混合ガスを含む処理ガスを処理容器１２内に供給する。第１の高周波電源６２から高周波電力を供給する。第２の高周波電源６４から高周波バイアス電力を供給する。さらに、排気装置５０を動作させることにより、処理容器１２内の空間の圧力を所定の圧力に設定する。これにより、第３のガスと第４のガスの混合ガスのプラズマが生成される。工程ＳＴ２において生成されるプラズマ中のＦ（フッ素）等の活性種は、多孔質膜である被エッチング層ＰＭに設けられた溝部ＴＲの底部ＢＴをエッチングする。引き続き、処理容器１２内の空間をパージする。具体的には、工程ＳＴ２において供給される処理ガスを処理容器１２内から排気する。パージガスとして窒素ガスといった不活性ガスが処理容器１２に供給されてもよい。即ち、工程ＳＴ２において行われるパージは、不活性ガスを処理容器１２内に流すガスパージ、または、真空引きによるパージの何れであってもよい。 It will be described back to FIG. In the step ST2 following the step ST1, the bottom BT (surface SF2b) of the groove TR is etched by the plasma generated in the processing container 12. First, in step ST2, a mixed gas of the third gas and the fourth gas is supplied into the processing container 12. The third gas may be a processing gas containing a fluorocarbon-based gas, and the fourth gas may be a processing gas containing an oxygen gas. The third gas can be, for example, a C 4 F 8 gas. The fourth gas can be, for example, Ar / N 2 / O 2 gas. Then, plasma of the mixed gas supplied in the processing container 12 is generated in the processing container 12. Specifically, the processing gas containing the mixed gas of the third gas and the fourth gas is supplied into the processing container 12 from the gas source selected from the plurality of gas sources of the gas source group 40. High frequency power is supplied from the first high frequency power supply 62. High frequency bias power is supplied from the second high frequency power supply 64. Further, by operating the exhaust device 50, the pressure in the space inside the processing container 12 is set to a predetermined pressure. As a result, a plasma of a mixed gas of the third gas and the fourth gas is generated. Active species such as F (fluorine) in the plasma generated in step ST2 etch the bottom BT of the groove TR provided in the layer PM to be etched, which is a porous film. Subsequently, the space in the processing container 12 is purged. Specifically, the processing gas supplied in the step ST2 is exhausted from the inside of the processing container 12. An inert gas such as nitrogen gas may be supplied to the processing container 12 as a purge gas. That is, the purging performed in the step ST2 may be either a gas purging in which the inert gas flows into the processing container 12 or a purging by evacuation.

一回のシーケンスＳＱ１の実行によって、図４の（ｂ）部に示すように、溝部ＴＲの深さが増加する。さらに、一回のシーケンスＳＱ１の実行によって、凸部ＣＶ２における被エッチング層ＰＭの領域ＰＭ２が端面ＳＦ３側からエッチングされるので、このエッチングによって凸部ＣＶ２の角部ＣＰも削除される（面取りされる）。すなわち、一回のシーケンスＳＱ１の実行後においては、領域ＰＭ２の端面ＳＦ３の先端と、凸部ＣＶ２側の溝部ＴＲの表面ＳＦ２ｃに設けられている保護膜ＳＸの端面との間に、高さＬＰ３（角部ＣＰの削除部分の高さ）が生じ得る。方法ＭＴにおいて生じ得る高さＬＰ３は、保護膜ＳＸの膜厚、および、エッチング時間などのプロセス条件を調節することによって、低減可能である。以下、削除部分とは、エッチングによって除去された部分を意味する。 By executing the sequence SQ1 once, the depth of the groove portion TR is increased as shown in the portion (b) of FIG. Further, since the region PM2 of the layer to be etched in the convex portion CV2 is etched from the end face SF3 side by executing the sequence SQ1 once, the corner CP of the convex portion CV2 is also deleted (chamfered) by this etching. ). That is, after the execution of the sequence SQ1 once, the height LP3 is between the tip of the end surface SF3 of the region PM2 and the end surface of the protective film SX provided on the surface SF2c of the groove TR on the convex portion CV2 side. (Height of the deleted portion of the corner CP) may occur. The height LP3 that can occur in the method MT can be reduced by adjusting the process conditions such as the film thickness of the protective film SX and the etching time. Hereinafter, the deleted portion means a portion removed by etching.

図７は、一実施形態に係る方法ＭＴにおいて、図４の（ａ）部に示す保護膜ＳＸの膜厚ＴＨと、図４の（ｂ）部に示すエッチング後の角部ＣＰの高さＬＰ３との対応を示す測定結果の一例を示す図である。図７の縦軸は、工程ＳＴ２におけるエッチングにおいて、１［ｎｍ］のエッチングで生じる角部ＣＰの削除部分の増加量Ｋ（高さＬＰ３の増加量）［ｎｍ］を表し、図７の横軸は、工程ＳＴ２のエッチング前に凸部ＣＶ２側の溝部ＴＲの表面ＳＦ２ｃに設けられている保護膜ＳＸの膜厚ＴＨの値［ｎｍ］を表している。結果ＧＰ１は、第２の高周波電源６４から供給される高周波バイアス電力が０［Ｗ］の場合に得られた測定結果であり、結果ＧＰ２は、第２の高周波電源６４から供給される高周波バイアス電力が２５［Ｗ］の場合に得られた測定結果であり、結果ＧＰ３は、第２の高周波電源６４から供給される高周波バイアス電力が１００［Ｗ］の場合に得られた測定結果である。 FIG. 7 shows the film thickness TH of the protective film SX shown in the portion (a) of FIG. 4 and the height LP3 of the corner CP after etching shown in the portion (b) of FIG. 4 in the method MT according to the embodiment. It is a figure which shows an example of the measurement result which shows the correspondence with. The vertical axis of FIG. 7 represents the increase amount K (increase in height LP3) [nm] of the deleted portion of the corner CP generated by the etching of 1 [nm] in the etching in the step ST2, and the horizontal axis of FIG. Represents the value [nm] of the film thickness TH of the protective film SX provided on the surface SF2c of the groove portion TR on the convex portion CV2 side before etching in the step ST2. The result GP1 is a measurement result obtained when the high frequency bias power supplied from the second high frequency power supply 64 is 0 [W], and the result GP2 is the high frequency bias power supplied from the second high frequency power supply 64. Is the measurement result obtained when 25 [W], and the result GP3 is the measurement result obtained when the high frequency bias power supplied from the second high frequency power supply 64 is 100 [W].

図７を参照すれば、工程ＳＴ２のエッチングにおいて、１［ｎｍ］のエッチングで生じる角部ＣＰの削除部分の増加量Ｋ（高さＬＰ３の増加量）は、凸部ＣＶ２側の溝部ＴＲの表面ＳＦ２ｃに設けられている保護膜ＳＸの膜厚ＴＨが薄い程、且つ、第２の高周波電源６４から供給される高周波バイアス電力が大きい程、大きくなることがわかる。なお、工程ＳＴ２において直流電圧が電源７０から供給される場合には、当該直流電圧が大きい程、１［ｎｍ］のエッチングで生じる角部ＣＰの削除部分の増加量Ｋ（高さＬＰ３の増加量）は大きい。 Referring to FIG. 7, in the etching of the step ST2, the increase amount K (increase amount of the height LP3) of the deleted portion of the corner portion CP generated by the etching of 1 [nm] is the surface of the groove portion TR on the convex portion CV2 side. It can be seen that the thinner the thickness TH of the protective film SX provided on the SF2c, and the larger the high frequency bias power supplied from the second high frequency power supply 64, the larger the thickness. When the DC voltage is supplied from the power supply 70 in the step ST2, the larger the DC voltage, the more the increase amount K (increase amount of the height LP3) of the deleted portion of the corner CP generated by the etching of 1 [nm]. ) Is large.

さらに、結果ＧＰ１～ＧＰ３の何れにおいても、膜厚ＴＨの変化に対する角部ＣＰの削除部分の増加量Ｋ（高さＬＰ３の増加量）の変化（すなわち、結果ＧＰ１～ＧＰ３それぞれのグラフの傾き）は、保護膜ＳＸの膜厚ＴＨが２［ｎｍ］以下の場合のほうが、保護膜ＳＸの膜厚ＴＨが２［ｎｍ］以上の場合に比較して、大きいことがわかる。したがって、図７を参照すれば、工程ＳＴ２の実行前の保護膜ＳＸの膜厚ＴＨは、２［ｎｍ］以上８［ｎｍ］以下であれば、工程ＳＴ２のエッチングにおいて生じ得る角部ＣＰの削除部分を縮小でき、角部ＣＰの削除部分の高さＬＰ３を低減できる。従って、方法ＭＴのエッチングによる被エッチング層ＰＭの変形の程度を低減できる。 Further, in any of the results GP1 to GP3, the change in the increase amount K (increase in the height LP3) of the deleted portion of the corner CP with respect to the change in the film thickness TH (that is, the slope of each graph of the results GP1 to GP3). It can be seen that when the film thickness TH of the protective film SX is 2 [nm] or less, it is larger than when the film thickness TH of the protective film SX is 2 [nm] or more. Therefore, referring to FIG. 7, if the film thickness TH of the protective film SX before the execution of the step ST2 is 2 [nm] or more and 8 [nm] or less, the corner CP that may occur in the etching of the step ST2 is deleted. The portion can be reduced, and the height LP3 of the deleted portion of the corner CP can be reduced. Therefore, the degree of deformation of the layer to be etched PM due to the etching of the method MT can be reduced.

次に、工程ＳＴ２におけるエッチングの異方性の程度について説明する。縦方向（溝部ＴＲの深さ方向）のエッチングレートをＹ１［ｎｍ／分］とし、横方向（縦方向に垂直な方向であり、ウエハＷの主面ＳＣが拡がっている方向）のエッチングレートをＹ１［ｎｍ／分］とすると、α＝Ｙ２／Ｙ１は、0＜α＜1を満たしている。αが小さい程、縦方向優位の異方性の高いエッチングであることを示している。αは、第２の高周波電源６４から供給される高周波バイアス電力の増加に伴って減少し、且つ、処理容器１２内の圧力の増加に伴って減少する。このように、工程ＳＴ２におけるエッチングの異方性の程度は、第２の高周波電源６４から供給される高周波バイアス電力と処理容器１２内の圧力とを調節することによって、好適に制御し得る。 Next, the degree of etching anisotropy in step ST2 will be described. The etching rate in the vertical direction (depth direction of the groove TR) is Y1 [nm / min], and the etching rate in the horizontal direction (direction perpendicular to the vertical direction and the direction in which the main surface SC of the wafer W is expanded) is set. Assuming Y1 [nm / min], α = Y2 / Y1 satisfies 0 <α <1. The smaller α is, the higher the anisotropy of the vertical predominance is. α decreases with an increase in the high frequency bias power supplied from the second high frequency power source 64, and decreases with an increase in the pressure in the processing container 12. As described above, the degree of etching anisotropy in the step ST2 can be suitably controlled by adjusting the high frequency bias power supplied from the second high frequency power supply 64 and the pressure in the processing container 12.

次に、図１の（ｃ）を参照して、図１の（ａ）部に示す工程ＳＴ１として工程ＳＴ１ｂが用いられる場合について説明する。工程ＳＴ１ｂは、図１の（ａ）部に示す工程ＳＴ１の一例である。工程ＳＴ１ｂは、工程ＳＴ１１ｂおよび工程ＳＴ１２ｂを備える。工程ＳＴ１１ｂの処理内容は、工程ＳＴ１１ａの処理内容と同様である。工程ＳＴ１２ｂの処理内容は、工程ＳＴ１２ａの処理内容と同様である。すなわち、図４の（ａ）部に示すように、工程ＳＴ１ｂによってウエハＷの主面ＳＣに形成される保護膜ＳＸは、層Ｌｙ２である。したがって、工程ＳＴ１として工程ＳＴ１ｂが用いられる場合、シーケンスＳＱ１の一回の実行によって形成される保護膜ＳＸの膜厚は、シーケンスＳＱ１ａの一回の実行によって形成される保護膜（層Ｌｙ２）の膜厚と、同様となる。 Next, a case where the process ST1b is used as the process ST1 shown in the part (a) of FIG. 1 will be described with reference to (c) of FIG. Step ST1b is an example of step ST1 shown in part (a) of FIG. The process ST1b includes a process ST11b and a process ST12b. The processing content of the process ST11b is the same as the processing content of the process ST11a. The processing content of the process ST12b is the same as the processing content of the process ST12a. That is, as shown in the portion (a) of FIG. 4, the protective film SX formed on the main surface SC of the wafer W by the step ST1b is the layer Ly2. Therefore, when step ST1b is used as step ST1, the film thickness of the protective film SX formed by one execution of sequence SQ1 is the film thickness of the protective film (layer Ly2) formed by one execution of sequence SQ1a. It becomes the same as the thickness.

工程ＳＴ１として工程ＳＴ１ｂが用いられる場合、工程ＳＴ１ａの工程ＳＴ１３ａにおいて用いられる酸素原子を含む第２のガスのプラズマＰ１による層Ｌｙ２（図６の（ｃ）部を参照）の形成は、図４の（ｂ）部に示すように、工程ＳＴ２におけるエッチングの実行によって実現され得る。すなわち、工程ＳＴ１ｂに引き続く工程ＳＴ２で用いられる第４のガスに含まれる酸素原子が、工程ＳＴ１ａの工程ＳＴ１３ａで用いられる酸素原子と同様に作用することによって、層Ｌｙ１から層Ｌｙ２が得られる。すなわち、工程ＳＴ１ｂによって層Ｌｙ１が形成され、この工程ＳＴ１ｂに引き続く工程ＳＴ２のエッチングによって層Ｌｙ１から層Ｌｙ２が形成される。 When the step ST1b is used as the step ST1, the formation of the layer Ly2 (see the part (c) of FIG. 6) by the plasma P1 of the second gas containing an oxygen atom used in the step ST13a of the step ST1a is shown in FIG. As shown in part (b), it can be realized by performing etching in step ST2. That is, the oxygen atom contained in the fourth gas used in the fourth gas following the step ST1b acts in the same manner as the oxygen atom used in the step ST13a of the step ST1a, whereby the layer Ly2 is obtained from the layer Ly1. That is, the layer Ly1 is formed by the step ST1b, and the layer Ly2 is formed from the layer Ly1 by the etching of the step ST2 following the step ST1b.

図１の（ａ）部に戻って説明する。方法ＭＴでは、シーケンスＳＱ１を一回以上実行する。シーケンスＳＱ１に引き続く工程ＳＴ３では、シーケンスＳＱ１の実行を終了するか否かを判定する。具体的には、工程ＳＴ３では、シーケンスＳＱ１の実行回数が所定回数に達したか否かを判定する。工程ＳＴ３においてシーケンスＳＱ１の実行回数が所定回数に達していないと判定される場合には（工程ＳＴ３：ＮＯ）、シーケンスＳＱ１の実行が再び繰り返される。一方、工程ＳＴ３においてシーケンスＳＱ１の実行回数が所定回数に達していると判定される場合には（工程ＳＴ３：ＹＥＳ）、シーケンスＳＱ１の実行が終了される。これによって、例えば、図５の（ｂ）部に示すように、ウエハＷの主面ＳＣに設けられる溝部ＴＲが所望とする形状（溝部ＴＲの幅および深さ等）で形成され得る。図４の（ａ）部および図４の（ｂ）部には、第一回目のシーケンスＳＱ１の実行によるウエハＷの状態が示されているが、図５の（ａ）部および図５の（ｂ）部には、第二回目のシーケンスＳＱ１の実行によるウエハＷの状態が示されている。 A description will be given by returning to the part (a) of FIG. In the method MT, the sequence SQ1 is executed one or more times. In the step ST3 following the sequence SQ1, it is determined whether or not to end the execution of the sequence SQ1. Specifically, in step ST3, it is determined whether or not the number of executions of the sequence SQ1 has reached a predetermined number of times. If it is determined in step ST3 that the number of executions of the sequence SQ1 has not reached a predetermined number (step ST3: NO), the execution of the sequence SQ1 is repeated again. On the other hand, when it is determined in step ST3 that the number of executions of the sequence SQ1 has reached a predetermined number (step ST3: YES), the execution of the sequence SQ1 is terminated. Thereby, for example, as shown in the portion (b) of FIG. 5, the groove portion TR provided on the main surface SC of the wafer W can be formed in a desired shape (width and depth of the groove portion TR, etc.). Part (a) of FIG. 4 and part (b) of FIG. 4 show the state of the wafer W by executing the first sequence SQ1, but the part (a) of FIG. 5 and the part (a) of FIG. 5 ( In part b), the state of the wafer W by executing the second sequence SQ1 is shown.

シーケンスＳＱ１の実行回数の決定によって、溝部ＴＲの形状が決定さ得る。即ち、一回のシーケンスＳＱ１の実行によって形成されるシリコン酸化膜の膜厚とシーケンスＳＱ１の実行回数との積によって、最終的にウエハＷの主面ＳＣに形成される溝部ＴＲの幅（幅方向における溝部ＴＲの形状）が実質的に決定される。さらに、一回のシーケンスＳＱ１の実行によってエッチングされる溝部ＴＲの深さとシーケンスＳＱ１の実行回数との積によって、最終的にウエハＷの主面ＳＣに形成される溝部ＴＲの深さ（深さ方向における溝部ＴＲの形状）が実質的に決定される。したがって、ウエハＷの主面ＳＣに形成される溝部ＴＲの所望の形状に応じて、シーケンスＳＱ１の実行回数が設定される。 The shape of the groove TR can be determined by determining the number of executions of the sequence SQ1. That is, the width (width direction) of the groove TR finally formed on the main surface SC of the wafer W by the product of the film thickness of the silicon oxide film formed by executing the sequence SQ1 once and the number of times the sequence SQ1 is executed. The shape of the groove TR in the above) is substantially determined. Further, the depth (depth direction) of the groove TR finally formed on the main surface SC of the wafer W by the product of the depth of the groove TR etched by one execution of the sequence SQ1 and the number of executions of the sequence SQ1. The shape of the groove TR in the above) is substantially determined. Therefore, the number of executions of the sequence SQ1 is set according to the desired shape of the groove TR formed on the main surface SC of the wafer W.

なお、繰り返し実行される複数のシーケンスＳＱ１において、工程ＳＴ１が図１の（ｂ）部の工程ＳＴ１ａとなっているシーケンスＳＱ１が含まれる場合には、溝部ＴＲの詳細な形状の決定は、シーケンスＳＱ１の実行回数だけではなく、シーケンスＳＱ１ａの実行回数にも依存する。例えば、シーケンスＳＱ１がＮ回実行される場合において、Ｎ回のシーケンスＳＱ１のうち、図１の（ｂ）部に示す工程ＳＴ１ａを含むシーケンスＳＱ１がＭ（Ｍは１以上且つＮ－１以下の整数）回実行され、且つ、図１の（ｃ）部に示す工程ＳＴ１ｂを含むシーケンスＳＱ１がＮ－Ｍ回実行される場合が考えられ得る。特に、Ｎ回のシーケンスＳＱ１の実行において、図１の（ｂ）部に示す工程ＳＴ１ａを含むシーケンスＳＱ１の実行が第一回目になされ、第二回目以降においては、図１の（ｃ）部に示す工程ＳＴ１ｂを含むシーケンスＳＱ１がＮ－１回実行される場合があり得る。この場合、第一回目のシーケンスＳＱ１の実行によって、比較的に厚い膜厚ＴＨの保護膜ＳＸを最初に形成しておくことができる。工程ＳＴ１ａを含むシーケンスＳＱ１の実行回数が比較的に多い場合には、工程Ｓ１３ａのエッチングで用いられる酸素ガスのプラズマによって、溝部ＴＲの表面ＳＦ２側の被エッチング層ＰＭが変質する場合がある。さらに、この酸素ガスのプラズマによって、デポ膜ＤＰがエッチングによって除去される場合があり、この場合、マスクＭＫが露出することによって、凸部ＣＶ１の被エッチング層ＰＭの形状がエッチングによって変化し得る。 When the process ST1 includes the sequence SQ1 in which the process ST1 is the process ST1a of the part (b) of FIG. 1 in the plurality of sequences SQ1 to be repeatedly executed, the detailed shape of the groove TR is determined by the sequence SQ1. It depends not only on the number of executions of the sequence SQ1a but also on the number of executions of the sequence SQ1a. For example, when the sequence SQ1 is executed N times, of the N times sequence SQ1, the sequence SQ1 including the step ST1a shown in the part (b) of FIG. 1 is M (M is an integer of 1 or more and N-1 or less). ) Times, and the sequence SQ1 including the step ST1b shown in the part (c) of FIG. 1 may be executed NM times. In particular, in the execution of the sequence SQ1 N times, the sequence SQ1 including the step ST1a shown in the part (b) of FIG. 1 is executed for the first time, and in the second and subsequent times, the part (c) of FIG. The sequence SQ1 including the step ST1b shown may be executed N-1 times. In this case, the protective film SX having a relatively thick film thickness TH can be formed first by executing the first sequence SQ1. When the number of executions of the sequence SQ1 including the step ST1a is relatively large, the plasma of the oxygen gas used in the etching of the step S13a may change the quality of the layer PM to be etched on the surface SF2 side of the groove TR. Further, the plasma of the oxygen gas may remove the depot film DP by etching. In this case, the shape of the layer PM to be etched of the convex portion CV1 may be changed by etching due to the exposure of the mask MK.

また、図５の（ｂ）部を参照すれば、工程ＳＴ２のエッチングの異方性が比較的に低く、工程ＳＴ２のエッチングの実行によって溝部ＴＲの幅が拡がる（溝部ＴＲの表面ＳＦ２ａが方向ＤＲ１に拡がり、且つ、溝部ＴＲの表面ＳＦ２ｃが方向ＤＲ２に拡がることによって、溝部ＴＲの幅ＬＰ１が拡がる）場合には、シーケンスＳＱ１の実行回数Ｎは、溝部ＴＲの所望とする深さＬＰ４の値ｄｐと、溝部ＴＲの所望とする幅ＬＰ１の値ｌｐとに基づいて決定され得る。ここで、溝部ＴＲの所望とする深さＬＰ４の値ｄｐは、縦方向のエッチングレートの値Ｙ１［ｎｍ／分］と、シーケンスＳＱ１の実行回毎の実行時間と、シーケンスＳＱ１の実行回毎の保護膜ＳＸの膜厚ＴＨの値ｔｈｖとに基づいて決定され得る。溝部ＴＲの所望とする幅ＬＰ１の値ｌｐは、横方向のエッチングレートの値Ｙ２［ｎｍ／分］と、シーケンスＳＱ１の実行回毎の実行時間と、シーケンスＳＱ１の実行回毎の保護膜ＳＸの膜厚ＴＨの値ｔｈｖとに基づいて決定され得る。 Further, referring to the portion (b) of FIG. 5, the etching anisotropy of the step ST2 is relatively low, and the width of the groove TR is widened by executing the etching of the step ST2 (the surface SF2a of the groove TR is the direction DR1). When the width LP1 of the groove TR is expanded by expanding the surface SF2c of the groove TR in the direction DR2), the number of executions N of the sequence SQ1 is the value dp of the desired depth LP4 of the groove TR. And can be determined based on the desired width LP1 value lp of the groove TR. Here, the value dp of the desired depth LP4 of the groove TR is the value Y1 [nm / min] of the etching rate in the vertical direction, the execution time for each execution time of the sequence SQ1, and each execution time of the sequence SQ1. It can be determined based on the value thv of the film thickness TH of the protective film SX. The desired width LP1 value lp of the groove TR is the lateral etching rate value Y2 [nm / min], the execution time for each execution time of the sequence SQ1, and the protective film SX for each execution time of the sequence SQ1. It can be determined based on the value thv of the film thickness TH.

また、図５の（ｂ）部を参照すれば、工程ＳＴ２のエッチングの異方性が比較的に高く、工程ＳＴ２のエッチングの実行において溝部ＴＲの幅が維持される（幅ＬＰ１が維持される）場合には、シーケンスＳＱ１の実行回数Ｎは、シーケンスＳＱ１の一回の実行当たりに形成され得る所望とする膜厚ＴＨの値ｔｈａ（平均値）と、溝部ＴＲの所望とする深さＬＰ４の値ｄｐと、溝部ＴＲの所望とする形状（具体的には、図５の（ｂ）部に示す角度θ）とを用いて、Ｎ＝（ｄｐ×ｔａｎ（θ））／ｔｈａの式に従って、決定され得る。ここで、シーケンスＳＱ１の一回の実行当たりに形成され得る所望とする膜厚ＴＨの値ｔｈａ（平均値）は、シーケンスＳＱ１のＮ回の実行によって形成される所望とする保護膜ＳＸの膜厚ＴＨの値ｔｈｔ（最大値）と、シーケンスＳＱ１の実行回数Ｎとによって決定され得る（ｔｈａ＝ｔｈｔ／Ｎ）。溝部ＴＲの所望とする深さＬＰ４の値ｄｐは、縦方向のエッチングレートの値Ｙ１［ｎｍ／分］と、シーケンスＳＱ１の実行回毎の実行時間と、シーケンスＳＱ１の実行回毎の保護膜ＳＸの膜厚ＴＨの値ｔｈｖとに基づいて決定され得る。図５の（ｂ）部に示す角度θは、溝部ＴＲの所望とする深さＬＰ４の値ｄｐと、所望とする保護膜ＳＸの膜厚ＴＨの値ｔｈｔとによって決定され得る（ｔａｎ（θ）＝ｔｈｔ／ｄｐ）。 Further, referring to the part (b) of FIG. 5, the etching anisotropy of the step ST2 is relatively high, and the width of the groove portion TR is maintained (the width LP1 is maintained) in the execution of the etching of the step ST2. ), The number of executions N of the sequence SQ1 is the desired thickness TH value the (mean value) that can be formed per one execution of the sequence SQ1 and the desired depth LP4 of the groove TR. Using the value dp and the desired shape of the groove TR (specifically, the angle θ shown in the portion (b) of FIG. 5), according to the equation of N = (dp × tan (θ)) / the. Can be determined. Here, the desired film thickness TH value the (mean value) that can be formed per one execution of the sequence SQ1 is the film thickness of the desired protective film SX formed by the N times execution of the sequence SQ1. It can be determined by the TH value tht (maximum value) and the number of executions N of the sequence SQ1 (the = tht / N). The desired depth LP4 value dp of the groove TR is the vertical etching rate value Y1 [nm / min], the execution time for each execution time of the sequence SQ1, and the protective film SX for each execution time of the sequence SQ1. It can be determined based on the value thv of the film thickness TH. The angle θ shown in the portion (b) of FIG. 5 can be determined by the value dt of the desired depth LP4 of the groove portion TR and the value tht of the film thickness TH of the desired protective film SX (tan (θ)). = Tht / dp).

以下、工程ＳＴ２、工程ＳＴ１１ａ、工程ＳＴ１３ａ、シーケンスＳＱ１、および、シーケンスＳＱ１ａのそれぞれの主なプロセス条件の実施例を示す。
＜工程ＳＴ２＞
・処理容器１２内の圧力［ｍＴｏｒｒ］：８０［ｍＴｏｒｒ］
・第１の高周波電源６２の高周波電力の値［Ｗ］、周波数の値［ＭＨｚ］：３００［Ｗ］、４０［ＭＨｚ］
・第２の高周波電源６４の高周波電力の値［Ｗ］、周波数の値［ＭＨｚ］：２５［Ｗ］、１３［ＭＨｚ］
・電源７０の直流電圧の値［Ｖ］：０［Ｖ］
・処理ガス：Ｃ４Ｆ８／Ａｒ／Ｎ２／Ｏ２ガス
・処理ガスの流量［ｓｃｃｍ］：（Ｃ４Ｆ８ガス）３０［ｓｃｃｍ］、（Ａｒガス）１０００［ｓｃｃｍ］、（Ｎ２ガス）２０［ｓｃｃｍ］、（Ｏ２ガス）１０［ｓｃｃｍ］
・処理時間［ｓ］：３０［ｓ］ Hereinafter, examples of the main process conditions of each of the process ST2, the process ST11a, the process ST13a, the sequence SQ1, and the sequence SQ1a will be shown.
<Process ST2>
-Pressure in the processing container 12 [mTorr]: 80 [mTorr]
-High frequency power value [W], frequency value [MHz]: 300 [W], 40 [MHz] of the first high frequency power supply 62.
-High frequency power value [W], frequency value [MHz]: 25 [W], 13 [MHz] of the second high frequency power supply 64.
-DC voltage value of power supply 70 [V]: 0 [V]
・ Processing gas: C 4 F 8 / Ar / N 2 / O 2 gas ・ Flow rate of processing gas [sccm]: (C 4 F 8 gas) 30 [sccm], (Ar gas) 1000 [sccm], (N 2 ) Gas) 20 [sccm], (O 2 gas) 10 [sccm]
-Processing time [s]: 30 [s]

＜工程ＳＴ１１ａ＞
・処理容器１２内の圧力［ｍＴｏｒｒ］：１００［ｍＴｏｒｒ］
・第１の高周波電源６２の高周波電力の値［Ｗ］：０［Ｗ］
・第２の高周波電源６４の高周波電力の値［Ｗ］：０［Ｗ］
・電源７０の直流電圧の値［Ｖ］：０［Ｖ］
・処理ガス（第１のガス）：モノアミノシラン（Ｈ３－Ｓｉ－Ｒ（Ｒはアミノ基））
・処理ガスの流量［ｓｃｃｍ］：５０［ｓｃｃｍ］
・処理時間［ｓ］：１５［ｓ］ <Process ST11a>
-Pressure in the processing container 12 [mTorr]: 100 [mTorr]
-Value of high frequency power of the first high frequency power supply 62 [W]: 0 [W]
-Value of high frequency power of the second high frequency power supply 64 [W]: 0 [W]
-DC voltage value of power supply 70 [V]: 0 [V]
-Treatment gas (first gas): monoaminosilane (H3 - Si-R (R is an amino group))
-Flow rate of processing gas [sccm]: 50 [sccm]
-Processing time [s]: 15 [s]

＜工程ＳＴ１３ａ＞
・処理容器１２内の圧力［ｍＴｏｒｒ］：２００［ｍＴｏｒｒ］
・第１の高周波電源６２の高周波電力の値［Ｗ］：３００［Ｗ］、１０［ｋＨｚ］、Ｄｕｔｙ５０
・第２の高周波電源６４の高周波電力の値［Ｗ］：０［Ｗ］
・電源７０の直流電圧の値［Ｖ］：０［Ｖ］
・処理ガス（第２のガス）：ＣＯ２ガス
・処理ガスの流量［ｓｃｃｍ］：３００［ｓｃｃｍ］
・処理時間［ｓ］：５［ｓ］ <Process ST13a>
-Pressure in the processing container 12 [mTorr]: 200 [mTorr]
The value of the high frequency power of the first high frequency power supply 62 [W]: 300 [W], 10 [kHz], Duty50.
-Value of high frequency power of the second high frequency power supply 64 [W]: 0 [W]
-DC voltage value of power supply 70 [V]: 0 [V]
-Processing gas (second gas): CO 2 gas-Flow rate of processing gas [sccm]: 300 [sccm]
-Processing time [s]: 5 [s]

＜シーケンスＳＱ１＞
・繰り返し回数：５回
＜シーケンスＳＱ１ａ＞
・繰り返し回数：５回 <Sequence SQ1>
-Number of repetitions: 5 times <Sequence SQ1a>
・ Number of repetitions: 5 times

以上説明した方法ＭＴでは、ウエハＷの主面ＳＣ（溝部ＴＲの内側の表面ＳＦ２を含む）に保護膜ＳＸをコンフォーマルに形成する工程ＳＴ１と、主面ＳＣに設けられた溝部ＴＲの底部ＢＴを工程ＳＴ１の実行後にエッチングする工程ＳＴ２とが、交互に繰り返し実行され得る（工程ＳＴ３）。したがって、複数回実行される工程ＳＴ１毎に保護膜ＳＸの膜厚ＴＨ等を好適に調節し、且つ、複数回実行される工程ＳＴ２毎にエッチング量等を好適に調節することによって、所望とする溝部ＴＲの多様な形状に応じて比較的に精密に溝部ＴＲの加工が可能となる。 In the method MT described above, in the step ST1 of conformally forming the protective film SX on the main surface SC (including the surface SF2 inside the groove TR) of the wafer W, and the bottom BT of the groove TR provided on the main surface SC. Can be repeatedly executed alternately and repeatedly with the step ST2 in which the etching is performed after the execution of the step ST1 (step ST3). Therefore, it is desired by appropriately adjusting the film thickness TH and the like of the protective film SX for each step ST1 executed a plurality of times, and appropriately adjusting the etching amount and the like for each step ST2 executed a plurality of times. The groove TR can be machined relatively precisely according to the various shapes of the groove TR.

また、工程ＳＴ１ａは、ＡＬＤ法と同様の方法によって、ウエハＷの主面ＳＣ（溝部ＴＲの内側の表面ＳＦ２を含む）に保護膜ＳＸがコンフォーマルに形成されるので、ウエハＷの主面ＳＣに対する保護の強度が向上されると共に、ウエハＷの主面ＳＣを保護する保護膜ＳＸが均一な膜厚で形成され得る。 Further, in the step ST1a, the protective film SX is formally formed on the main surface SC of the wafer W (including the surface SF2 inside the groove TR) by the same method as the ALD method, so that the main surface SC of the wafer W is formed. The protective film SX that protects the main surface SC of the wafer W can be formed with a uniform film thickness while improving the strength of protection against the wafer W.

また、工程ＳＴ１ｂは、第１のガスによってウエハＷの主面ＳＣ（溝部ＴＲの内側の表面ＳＦ２を含む）に反応前駆体（層Ｌｙ１）が形成され得る工程ＳＴ１１ｂおよび工程ＳＴ１１ｂの実行後に処理容器１２内の空間をパージする工程ＳＴ１２ｂのみによって成るので、この工程ＳＴ１ｂによって形成される保護膜ＳＸは、工程ＳＴ１１ｂで形成される反応前駆体（層Ｌｙ１）となり、よって、比較的に薄い膜となり得る。さらに、この工程ＳＴ１ｂに引き続く工程ＳＴ２では酸素を含有する第３のガスのプラズマが用いられるので、工程ＳＴ１１ｂで形成された反応前駆体（層Ｌｙ１）に対し酸素の添加が可能となり、ＡＬＤ法と同様の方法によって形成される保護膜と同様の組成を有する保護膜ＳＸが比較的に薄い膜厚で形成可能となり、さらに、酸素ガスの添加が工程２のエッチング時に行えるので、処理工程の効率化が実現され得る。 Further, in the step ST1b, the reaction precursor (layer Ly1) can be formed on the main surface SC (including the surface SF2 inside the groove TR) of the wafer W by the first gas, and the processing container is processed after the execution of the steps ST11b and ST11b. Since it is composed only of the step ST12b for purging the space in the step 12, the protective film SX formed by the step ST1b becomes a reaction precursor (layer Ly1) formed in the step ST11b, and thus can be a relatively thin film. .. Further, since the plasma of the third gas containing oxygen is used in the step ST2 following the step ST1b, oxygen can be added to the reaction precursor (layer Ly1) formed in the step ST11b, and the ALD method can be used. A protective film SX having the same composition as the protective film formed by the same method can be formed with a relatively thin film thickness, and oxygen gas can be added at the time of etching in step 2, so that the efficiency of the treatment step is improved. Can be realized.

また、工程ＳＴ１ａでは、ＡＬＤ法と同様の方法によって、ウエハＷの主面ＳＣ（溝部ＴＲの内側の表面ＳＦ２を含む）に保護膜ＳＸがコンフォーマルに形成されるので、ウエハＷの主面ＳＣに対する保護の強度が向上されると共に、ウエハＷの主面ＳＣを保護する保護膜ＳＸが均一な膜厚で形成され得る。工程ＳＴ１ｂでは、第１のガスによってウエハＷの主面ＳＣ（溝部ＴＲの内側の表面ＳＦ２を含む）に反応前駆体が形成され得る工程ＳＴ１１ｂおよび工程ＳＴ１１ｂの実行後に処理容器１２内の空間をパージする工程ＳＴ１２ｂのみによって成るので、工程ＳＴ１ｂによって形成される保護膜ＳＸは、工程ＳＴ１１ｂで形成される反応前駆体（層Ｌｙ１）となり、よって、比較的に薄い膜となり得る。さらに、工程ＳＴ１ｂに引き続く工程ＳＴ２では酸素を含有するガスのプラズマが用いられるので、工程ＳＴ１１ｂで形成された反応前駆体（層Ｌｙ１）に対し酸素の添加が可能となり、ＡＬＤ法と同様の方法によって形成される保護膜と同様の組成を有する保護膜ＳＸが比較的に薄い膜厚で形成可能となり、さらに、酸素ガスの添加が工程ＳＴ２のエッチング時に行えるので、処理工程の効率化が実現され得る。そして、シーケンスＳＱ１のＮ回の実行では、上記した工程ＳＴ１ａを含むシーケンスＳＱ１をＭ回実行し、且つ、上記したＳＴ１ｂを含むシーケンスＳＱ１をＮ－Ｍ回実行するので、溝部ＴＲの多様な形状の形成に十分に対応し得る。 Further, in the step ST1a, the protective film SX is formally formed on the main surface SC of the wafer W (including the surface SF2 inside the groove TR) by the same method as the ALD method, so that the main surface SC of the wafer W is formed. The protective film SX that protects the main surface SC of the wafer W can be formed with a uniform film thickness while improving the strength of protection against the wafer W. In step ST1b, the space in the processing container 12 is purged after the steps ST11b and ST11b in which the reaction precursor can be formed on the main surface SC (including the surface SF2 inside the groove TR) of the wafer W by the first gas. Since it is composed only of the step ST12b, the protective film SX formed by the step ST1b becomes a reaction precursor (layer Ly1) formed in the step ST11b, and thus can be a relatively thin film. Further, since the plasma of the gas containing oxygen is used in the step ST2 following the step ST1b, oxygen can be added to the reaction precursor (layer Ly1) formed in the step ST11b, and the same method as the ALD method can be used. Since the protective film SX having the same composition as the protective film to be formed can be formed with a relatively thin film thickness, and oxygen gas can be added at the time of etching in the step ST2, the efficiency of the treatment step can be realized. .. Then, in the execution of the sequence SQ1 N times, the sequence SQ1 including the above-mentioned step ST1a is executed M times, and the above-mentioned sequence SQ1 including ST1b is executed N-M times. Can adequately accommodate formation.

また、第２のガスが酸素原子を含むので、工程ＳＴ１３ａにおいて、工程ＳＴ１１ａにおいて形成されたシリコンの反応前駆体（層Ｌｙ１）と当該酸素原子が結合することによって、酸化シリコンの保護膜ＳＸがコンフォーマルに形成され得る。また、第２のガスが二酸化炭素ガスの場合、第２のガスが炭素原子を含むので、酸素原子による浸食が当該炭素原子によって抑制され得る。 Further, since the second gas contains an oxygen atom, in the step ST13a, the oxygen atom is bonded to the reaction precursor (layer Ly1) of the silicon formed in the step ST11a, so that the protective film SX of silicon oxide is formed. Can be formally formed. Further, when the second gas is carbon dioxide gas, since the second gas contains carbon atoms, erosion by oxygen atoms can be suppressed by the carbon atoms.

また、第１のガスがアミノシラン系ガスを含むので、工程ＳＴ１１ａおよび工程ＳＴ１１ｂによって、シリコンの反応前駆体（層Ｌｙ１）がウエハＷの主面ＳＣの原子層に沿って形成され得る。 Further, since the first gas contains an aminosilane-based gas, the reaction precursor (layer Ly1) of silicon can be formed along the atomic layer of the main surface SC of the wafer W by the steps ST11a and ST11b.

また、モノアミノシランを含む第１のガスを用いて、工程ＳＴ１１ａおよび工程ＳＴ１１ｂにおいてシリコンの反応前駆体（層Ｌｙ１）の形成が行える。 Further, the reaction precursor (layer Ly1) of silicon can be formed in the steps ST11a and ST11b by using the first gas containing monoaminosilane.

また、第１のガスに含まれるアミノシラン系ガスには、１～３個のケイ素原子を有するアミノシランを用いることができる。また、第１のガスに含まれるアミノシラン系ガスには、１～３個のアミノ基を有するアミノシランを用いることができる。 Further, as the aminosilane-based gas contained in the first gas, aminosilane having 1 to 3 silicon atoms can be used. Further, as the aminosilane-based gas contained in the first gas, an aminosilane having 1 to 3 amino groups can be used.

また、工程ＳＴ２の実行前において、工程ＳＴ１で形成された保護膜ＳＸの膜厚ＴＨが２［ｎｍ］以上８［ｎｍ］以下の場合には、特に保護膜ＳＸの膜厚ＴＨが２［ｎｍ］を下回る場合と比較して、この保護膜ＳＸによって覆われるウエハＷの角部ＣＰに対すエッチングの効果を低減し得る。よって、工程ＳＴ２のエッチングによるウエハＷの変形の程度を低減できる。 Further, before the execution of the step ST2, when the film thickness TH of the protective film SX formed in the step ST1 is 2 [nm] or more and 8 [nm] or less, the film thickness TH of the protective film SX is 2 [nm]. ], The effect of etching on the corner CP of the wafer W covered by the protective film SX can be reduced as compared with the case where the amount is lower than the above. Therefore, the degree of deformation of the wafer W due to etching in step ST2 can be reduced.

以上、好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。 Although the principles of the invention have been illustrated and described above in preferred embodiments, it will be appreciated by those skilled in the art that the invention can be modified in arrangement and detail without departing from such principles. The present invention is not limited to the specific configuration disclosed in this embodiment. Therefore, we claim all amendments and changes that come from the scope of the claims and their spirit.

１０…プラズマ処理装置、１２…処理容器、１２ｅ…排気口、１２ｇ…搬入出口、１４…支持部、１８ａ…第１プレート、１８ｂ…第２プレート、２２…直流電源、２３…スイッチ、２４…冷媒流路、２６ａ…配管、２６ｂ…配管、２８…ガス供給ライン、３０…上部電極、３２…絶縁性遮蔽部材、３４…電極板、３４ａ…ガス吐出孔、３６…電極支持体、３６ａ…ガス拡散室、３６ｂ…ガス通流孔、３６ｃ…ガス導入口、３８…ガス供給管、４０…ガスソース群、４２…バルブ群、４５…流量制御器群、４６…デポシールド、４８…排気プレート、５０…排気装置、５２…排気管、５４…ゲートバルブ、６２…第１の高周波電源、６４…第２の高周波電源、６６…整合器、６８…整合器、７０…電源、ＢＴ…底部、Ｃｎｔ…制御部、ＣＰ…角部、ＣＶ１…凸部、ＣＶ２…凸部、ＤＰ…デポ膜、ＤＲ１…方向、ＤＲ２…方向、ＥＳＣ…静電チャック、ＦＲ…フォーカスリング、Ｇ１…第１のガス、ＧＰ１…結果、ＧＰ２…結果、ＧＰ３…結果、ＨＰ…ヒータ電源、ＨＴ…ヒータ、ＬＥ…下部電極、ＬＰ１…幅、ＬＰ２…高低差、ＬＰ３…高さ、ＬＰ４…深さ、Ｌｙ１…層、Ｌｙ２…層、ＭＫ…マスク、ＭＴ…方法、Ｐ１…第２のガスのプラズマ、ＰＤ…載置台、ＰＭ…被エッチング層、ＰＭ１…領域、ＰＭ２…領域、ＳＣ…主面、ＳＦ１…端面、ＳＦ２…表面、ＳＦ２ａ…表面、ＳＦ２ｂ…表面、ＳＦ２ｃ…表面、ＳＦ３…端面、Ｓｐ…処理空間、ＳＱ１…シーケンス、ＳＱ１ａ…シーケンス、ＳＸ…保護膜、ＴＨ…膜厚、ＴＲ…溝部、Ｗ…ウエハ。 10 ... Gas processing device, 12 ... Processing container, 12e ... Exhaust port, 12g ... Carry-in outlet, 14 ... Support part, 18a ... First plate, 18b ... Second plate, 22 ... DC power supply, 23 ... Switch, 24 ... Refrigerator Channel, 26a ... Piping, 26b ... Piping, 28 ... Gas supply line, 30 ... Upper electrode, 32 ... Insulating shielding member, 34 ... Electrode plate, 34a ... Gas discharge hole, 36 ... Electrode support, 36a ... Gas diffusion Room, 36b ... Gas flow hole, 36c ... Gas inlet, 38 ... Gas supply pipe, 40 ... Gas source group, 42 ... Valve group, 45 ... Flow control group, 46 ... Depot shield, 48 ... Exhaust plate, 50 ... Exhaust device, 52 ... Exhaust pipe, 54 ... Gate valve, 62 ... First high frequency power supply, 64 ... Second high frequency power supply, 66 ... Matcher, 68 ... Matcher, 70 ... Power supply, BT ... Bottom, Cnt ... Control unit, CP ... Corner part, CV1 ... Convex part, CV2 ... Convex part, DP ... Depot film, DR1 ... Direction, DR2 ... Direction, ESC ... Electrostatic chuck, FR ... Focus ring, G1 ... First gas, GP1 ... Result, GP2 ... Result, GP3 ... Result, HP ... Heater power supply, HT ... Heater, LE ... Lower electrode, LP1 ... Width, LP2 ... Height difference, LP3 ... Height, LP4 ... Depth, Ly1 ... Layer, Ly2 ... Layer, MK ... mask, MT ... method, P1 ... second gas plasma, PD ... mounting table, PM ... layer to be etched, PM1 ... region, PM2 ... region, SC ... main surface, SF1 ... end face, SF2 ... surface , SF2a ... surface, SF2b ... surface, SF2c ... surface, SF3 ... end face, Sp ... processing space, SQ1 ... sequence, SQ1a ... sequence, SX ... protective film, TH ... film thickness, TR ... groove, W ... wafer.

Claims (14)

（ａ）溝部が形成された被エッチング層を有する被処理体を提供する工程と、
（ｂ）前記被処理体にシリコン含有反応前駆体を含むガスを供給し、前記溝部の表面に前記シリコン含有反応前駆体を吸着させる工程と、
（ｃ）（ｂ）の後、前記被処理体を酸素原子含有ガス及びフルオロカーボン系ガスから生成したプラズマに晒す工程と、
（ｄ）前記（ｂ）と前記（ｃ）とを１回以上繰り返す工程と、
を含み、
前記（ｃ）は、前記吸着したシリコン含有反応前駆体と前記プラズマ中の酸素活性種との反応によりシリコンを含む保護膜を形成しつつ、前記プラズマ中のフッ素活性種により前記溝部の底部をエッチングする、
基板処理方法。 (A) A step of providing a processed body having a layer to be etched on which a groove is formed, and a step of providing the object to be etched.
(B) A step of supplying a gas containing a silicon-containing reaction precursor to the object to be treated and adsorbing the silicon-containing reaction precursor on the surface of the groove.
(C) After (b), a step of exposing the object to be treated to plasma generated from an oxygen atom-containing gas and a fluorocarbon-based gas, and
(D) A step of repeating the above (b) and the above (c) one or more times, and
Including
In (c), the bottom of the groove is etched by the fluorine-active species in the plasma while forming a protective film containing silicon by the reaction between the adsorbed silicon-containing reaction precursor and the oxygen-active species in the plasma. do,
Board processing method. 前記（ｃ）において、前記保護膜は、前記溝部の側壁に形成される、請求項１に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to claim 1, wherein in the (c), the protective film is formed on the side wall of the groove portion. 前記（ｄ）において、前記保護膜は、前記溝部の側壁に開口側が厚く、前記底部側が薄くなるように形成される、請求項１又は２に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to claim 1 or 2, wherein in the (d), the protective film is formed on the side wall of the groove so that the opening side is thick and the bottom side is thin. 前記（ｃ）は、前記被処理体にバイアス電力を印可する、請求項１～３の何れか一項に記載の基板処理方法。 (C) is the substrate processing method according to any one of claims 1 to 3, wherein a bias power is applied to the object to be processed. 前記被エッチング層は、第１の凸部と第２の凸部を含み、前記溝部は前記第１の凸部と前記第２の凸部によって画成される、請求項１～４の何れか一項に記載の基板処理方法。 The layer to be etched includes a first convex portion and a second convex portion, and the groove portion is defined by the first convex portion and the second convex portion, according to any one of claims 1 to 4. The substrate processing method according to claim 1. 前記第１の凸部と前記第２の凸部とは高さが異なる、請求項５に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to claim 5, wherein the first convex portion and the second convex portion have different heights. 前記第１の凸部上にマスクを備える、請求項５又は６に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to claim 5 or 6, wherein a mask is provided on the first convex portion. 前記マスクの上に、デポ膜を備える、請求項７に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to claim 7, wherein a depot film is provided on the mask. 前記シリコン含有反応前駆体のガスは、アミノシラン系ガスを含む、請求項１～８の何れか一項に記載の基板処理方法。 The substrate treatment method according to any one of claims 1 to 8, wherein the gas of the silicon-containing reaction precursor contains an aminosilane-based gas. 前記酸素原子含有ガスは、二酸化炭素ガスまたは酸素ガスを含む、請求項１～９の何れか一項に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to any one of claims 1 to 9, wherein the oxygen atom-containing gas contains carbon dioxide gas or oxygen gas. 前記フルオロカーボン系ガスは、ＣＦ４ガス、Ｃ４Ｆ６ガス又はＣ４Ｆ８ガスを含む、請求項１～１０の何れか一項に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to any one of claims 1 to 10, wherein the fluorocarbon-based gas contains CF 4 gas, C 4 F 6 gas, or C 4 F 8 gas. 前記保護膜は、シリコン酸化膜である、請求項１～１１の何れか一項に記載の基板処理方法。 The substrate processing method according to any one of claims 1 to 11, wherein the protective film is a silicon oxide film. （ａ）凸部と、前記凸部によって画成される溝部とが形成された被エッチング層を有する被処理体提供する工程と、
（ｂ）前記被処理体にシリコン含有反応前駆体を含むガスを供給し、前記溝部の表面に前記シリコン含有反応前駆体を吸着させる工程と、
（ｃ）（ｂ）の後、前記被処理体を酸素原子含有ガス及びフルオロカーボン系ガスから生成したプラズマに晒す工程と、
（ｄ）前記（ｂ）と前記（ｃ）とを１回以上繰り返す工程と、
を含み、
前記（ｃ）は、前記吸着したシリコン含有反応前駆体と前記プラズマ中の酸素活性種との反応によりシリコンを含む保護膜を形成しつつ、前記凸部の表面に形成された保護膜の少なくとも一部を除去する、
基板処理方法。 (A) A step of providing a processed body having a layer to be etched in which a convex portion and a groove portion defined by the convex portion are formed.
(B) A step of supplying a gas containing a silicon-containing reaction precursor to the object to be treated and adsorbing the silicon-containing reaction precursor on the surface of the groove.
(C) After (b), a step of exposing the object to be treated to plasma generated from an oxygen atom-containing gas and a fluorocarbon-based gas, and
(D) A step of repeating the above (b) and the above (c) one or more times, and
Including
In (c), at least one of the protective films formed on the surface of the convex portion while forming a protective film containing silicon by the reaction between the adsorbed silicon-containing reaction precursor and the oxygen-active species in the plasma. Remove the part,
Board processing method. ガス導入口及び排気口を有する処理容器と、
プラズマ生成用の高周波電源と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
（ａ）溝部が形成された被エッチング層を有する被処理体を提供する工程と、
（ｂ）前記被処理体にシリコン含有反応前駆体を含むガスを供給し、前記溝部の表面に前記シリコン含有反応前駆体を吸着させる工程と、
（ｃ）（ｂ）の後、前記被処理体を酸素原子含有ガス及びフルオロカーボン系ガスから生成したプラズマに晒す工程と、
（ｄ）前記（ｂ）と前記（ｃ）とを１回以上繰り返す工程と、
を含む処理を実行し、
前記（ｃ）は、前記吸着したシリコン含有反応前駆体と前記プラズマ中の酸素活性種との反応によりシリコンを含む保護膜を形成しつつ、前記プラズマ中のフッ素活性種により前記溝部の底部をエッチングする、
基板処理装置。 A processing container with a gas inlet and an exhaust port,
High frequency power supply for plasma generation and
Control unit and
Equipped with
The control unit
(A) A step of providing a processed body having a layer to be etched on which a groove is formed, and a step of providing the object to be etched.
(B) A step of supplying a gas containing a silicon-containing reaction precursor to the object to be treated and adsorbing the silicon-containing reaction precursor on the surface of the groove.
(C) After (b), a step of exposing the object to be treated to plasma generated from an oxygen atom-containing gas and a fluorocarbon-based gas, and
(D) A step of repeating the above (b) and the above (c) one or more times, and
Executes the process including
In (c), the bottom of the groove is etched by the fluorine-active species in the plasma while forming a protective film containing silicon by the reaction between the adsorbed silicon-containing reaction precursor and the oxygen-active species in the plasma. do,
Board processing equipment.
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