JP7035761B2 - How to control mobile devices, hands, robots and mobile devices - Google Patents

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Description

本発明は、移動体装置、ハンド、ロボットおよび移動体装置の制御方法に関するものである。 The present invention relates to a mobile device, a hand, a robot, and a method for controlling the mobile device.

特許文献1に記載されている直線案内装置は、移動ステージと、移動ステージに固定された被駆動部材と、摩擦部材を備えた圧電モーターと、を備え、圧電モーターの摩擦部材が被駆動部材に当接している。このような構成の直線案内装置では、圧電モーターを駆動すると摩擦部材が振動し、当該振動によって被駆動部材が送り出されて移動ステージが移動する。 The linear guide device described in Patent Document 1 includes a moving stage, a driven member fixed to the moving stage, and a piezoelectric motor provided with a friction member, and the friction member of the piezoelectric motor is used as the driven member. It is in contact. In the linear guide device having such a configuration, when the piezoelectric motor is driven, the friction member vibrates, and the driven member is sent out by the vibration to move the moving stage.

特開2003-343561号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-343561

圧電モーターの振動が摩擦部材を介して被駆動部材に伝えられる移動体装置では、被駆動部材が等速状態から停止するまでの減速時は、等速状態と比べて被駆動部材と摩擦部材との摩擦力が大きい。そのため、被駆動部材を摩擦部材に対して同じ領域で停止することを繰り返すと、被駆動部材のその部分の摩耗が他の部分と比べて進行し、安定した駆動を長期的に維持することが難しいという課題があった。 In a moving body device in which the vibration of the piezoelectric motor is transmitted to the driven member via the friction member, when the driven member decelerates from the constant velocity state to the stop, the driven member and the friction member are compared with the constant velocity state. The frictional force of is large. Therefore, if the driven member is repeatedly stopped in the same region with respect to the friction member, the wear of that part of the driven member progresses as compared with other parts, and stable driving can be maintained for a long period of time. There was a problem that it was difficult.

本発明の適用例に係る移動体装置は、被駆動部材と、
振動部と、前記振動部から突出して配置され、前記被駆動部材と当接し、前記振動部の振動を前記被駆動部材に伝達する突出部と、を有する駆動部と、
処理部と、
前記処理部で読み取り可能な指示を記憶する記憶部と、を備え、
前記被駆動部材は、前記振動部の振動によって移動するように構成され、
前記記憶部は、前記突出部と当接する前記被駆動部材の領域のうち、前記被駆動部材を減速させない領域を記憶し、
前記処理部は、前記記憶部から前記被駆動部材を減速させない領域の位置情報を読み取って、前記突出部が前記被駆動部材を前記減速させない領域とは異なる領域に当接しているときに、前記被駆動部材を減速させることを特徴とする。
The mobile device according to the application example of the present invention includes a driven member and
A drive unit having a vibrating portion, a protruding portion that is arranged so as to project from the vibrating portion, abuts on the driven member, and transmits the vibration of the vibrating portion to the driven member.
Processing unit and
A storage unit that stores instructions that can be read by the processing unit is provided.
The driven member is configured to move by the vibration of the vibrating portion.
The storage unit stores a region of the driven member that comes into contact with the protrusion so as not to decelerate the driven member.
The processing unit reads the position information of the region where the driven member is not decelerated from the storage unit, and when the protruding portion is in contact with a region different from the region where the driven member is not decelerated, the processing unit reads the position information. It is characterized by decelerating the driven member.

本発明の第1実施形態に係るハンドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the hand which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図1のハンドの回路系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the circuit system of the hand of FIG. 図1のハンドが有する移動体装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the moving body apparatus which the hand of FIG. 1 has. 図3の移動体装置が有する圧電モジュールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the piezoelectric module which the mobile apparatus of FIG. 3 has. 図4の圧電モジュールが有する圧電アクチュエーターを示す平面図である。It is a top view which shows the piezoelectric actuator which the piezoelectric module of FIG. 4 has. 図3の移動体装置が有する被駆動部材の移動領域を示す平面図である。It is a top view which shows the moving area of the driven member which the moving body apparatus of FIG. 3 has. 図3の移動体装置の駆動速度を示すグラフである。It is a graph which shows the driving speed of the mobile device of FIG. 従来の問題を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating a conventional problem. 図3の移動体装置が有する第2把持モードを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 2nd gripping mode which the moving body apparatus of FIG. 3 has. 図3の移動体装置の効果を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the effect of the moving body apparatus of FIG. 図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the driving method of the moving body apparatus of FIG. 図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the driving method of the moving body apparatus of FIG. 図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the driving method of the moving body apparatus of FIG. 図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the driving method of the moving body apparatus of FIG. 図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the driving method of the moving body apparatus of FIG. 図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the driving method of the moving body apparatus of FIG. 本発明の第2実施形態に係るハンドの駆動方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the driving method of the hand which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るハンドの駆動方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the driving method of the hand which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るハンドの駆動方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the driving method of the hand which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係るハンドを示す平面図である。It is a top view which shows the hand which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係るハンドを示す平面図である。It is a top view which shows the hand which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態に係るハンドを示す平面図である。It is a top view which shows the hand which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態に係るハンドを示す平面図である。It is a top view which shows the hand which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5実施形態に係るロボットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the robot which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6実施形態に係るロボットを示す側面図である。It is a side view which shows the robot which concerns on 6th Embodiment of this invention. ロボットが有する移動体装置を示す平面図である。It is a top view which shows the moving body device which a robot has. ロボットが有する移動体装置を示す平面図である。It is a top view which shows the moving body device which a robot has. 図25のロボットの制御方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control method of the robot of FIG.

以下、本発明の移動体装置、ハンド、ロボットおよび移動体装置の制御方法を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, the control method of the mobile device, the hand, the robot, and the mobile device of the present invention will be described in detail based on the embodiments shown in the accompanying drawings.

<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係るハンドを示す断面図である。図2は、図1のハンドの回路系を示すブロック図である。図3は、図1のハンドが有する移動体装置を示す断面図である。図4は、図3の移動体装置が有する圧電モジュールを示す斜視図である。図5は、図4の圧電モジュールが有する圧電アクチュエーターを示す平面図である。図6は、図3の移動体装置が有する被駆動部材の移動領域を示す平面図である。図7は、図3の移動体装置の駆動速度を示すグラフである。図8は、従来の問題を説明するための断面図である。図9は、図3の移動体装置が有する第2把持モードを示す断面図である。図10は、図3の移動体装置の効果を説明するための断面図である。図11ないし図16は、それぞれ、図3の移動体装置の駆動方法を説明するための平面図である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a hand according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing a circuit system of the hand of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a mobile device held by the hand of FIG. FIG. 4 is a perspective view showing a piezoelectric module included in the mobile device of FIG. FIG. 5 is a plan view showing a piezoelectric actuator included in the piezoelectric module of FIG. FIG. 6 is a plan view showing a moving region of the driven member included in the moving body device of FIG. FIG. 7 is a graph showing the driving speed of the mobile device of FIG. FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining a conventional problem. FIG. 9 is a cross-sectional view showing a second gripping mode included in the mobile device of FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the effect of the mobile device of FIG. 11 to 16 are plan views for explaining a method of driving the mobile device of FIG. 3, respectively.

図1に示すハンド1は、対象物Wを両側から挟み込んで把持することができる。ハンド1は、例えば、ロボットに取り付けて使用される。ハンド1は、対象物Wを把持する一対の指部23、24(把持部)と、指部23、24を駆動する圧電駆動部3A、3Bと、指部23、24の位置を検出するエンコーダー4A、4Bと、指部23、24が対象物Wから受ける力を検出する力検出部5と、制御装置6と、を有する。以下、このようなハンド1について、詳細に説明する。 The hand 1 shown in FIG. 1 can hold the object W by sandwiching it from both sides. The hand 1 is used, for example, by attaching it to a robot. The hand 1 is an encoder that detects the positions of a pair of finger portions 23, 24 (grip portions) that grip the object W, piezoelectric drive portions 3A, 3B that drive the finger portions 23, 24, and finger portions 23, 24. It has 4A and 4B, a force detecting unit 5 for detecting the force received by the finger units 23 and 24 from the object W, and a control device 6. Hereinafter, such a hand 1 will be described in detail.

図1に示すように、ハンド1は、基部20と、基部20に対してスライド可能に支持された一対のスライダー21、22と、スライダー21、22に固定された指部23、24と、スライダー21、22に固定された被駆動部材25、26と、スライダー21、22をスライドさせる圧電駆動部3A、3Bと、を有する。また、図2に示すように、ハンド1は、圧電駆動部3A、3Bに接続されたエンコーダー4A、4Bと、指部23、24が対象物Wから受ける力を検出する力検出部5と、圧電駆動部3A、3Bの駆動を制御する制御装置6と、を有する。なお、このようなハンド1では、圧電駆動部3Aおよび被駆動部材25によって移動体装置10Aが構成され、圧電駆動部3Bおよび被駆動部材26によって移動体装置10Bが構成されている。移動体装置10A、10Bには、それぞれ、指部23、24が固定されている。 As shown in FIG. 1, the hand 1 includes a base 20, a pair of sliders 21 and 22 slidably supported with respect to the base 20, fingers 23 and 24 fixed to the sliders 21 and 22, and a slider. It has the driven members 25 and 26 fixed to the 21 and 22, and the piezoelectric drive portions 3A and 3B for sliding the sliders 21 and 22. Further, as shown in FIG. 2, the hand 1 includes encoders 4A and 4B connected to the piezoelectric drive units 3A and 3B, and a force detection unit 5 for detecting the force received by the finger units 23 and 24 from the object W. It has a control device 6 for controlling the drive of the piezoelectric drive units 3A and 3B. In such a hand 1, the piezoelectric drive unit 3A and the driven member 25 constitute the mobile device 10A, and the piezoelectric drive unit 3B and the driven member 26 constitute the mobile device 10B. Fingers 23 and 24 are fixed to the mobile devices 10A and 10B, respectively.

図1に示すように、スライダー21、22は、それぞれ、スライドガイド29を介して基部20に支持され、図1中の横方向、すなわち、指部23、24が接近・離間する方向にスライド可能である。すなわち、スライダー21、22は、それぞれ、直線的に移動可能である。 As shown in FIG. 1, the sliders 21 and 22 are supported by the base 20 via the slide guide 29, respectively, and can slide in the lateral direction in FIG. 1, that is, in the direction in which the fingers 23 and 24 approach and separate. Is. That is, the sliders 21 and 22 can move linearly, respectively.

また、スライダー21、22は、それぞれ、独立してスライドすることができる。そのため、例えば、スライダー21を停止させた状態でスライダー22だけをスライドさせたり、反対に、スライダー22を停止させた状態でスライダー21だけをスライドさせたりすることができる。また、例えば、スライダー21、22を共に同じ方向にスライドさせたり、互いに反対の方向にスライドさせたりすることもできる。このように、スライダー21、22をスライドさせることにより、指部23、24で対象物Wを把持したり、把持した対象物Wをリリースしたり、対象物Wを把持したまま対象物Wを移動させたりすることができる。 Further, the sliders 21 and 22 can slide independently. Therefore, for example, only the slider 22 can be slid with the slider 21 stopped, or conversely, only the slider 21 can be slid with the slider 22 stopped. Further, for example, the sliders 21 and 22 can be slid in the same direction or slid in opposite directions. By sliding the sliders 21 and 22 in this way, the object W can be gripped by the fingers 23 and 24, the gripped object W can be released, and the object W can be moved while gripping the object W. You can make it.

指部23、24は、弾性を有している。指部23、24が弾性を有することにより、対象物Wと指部23、24との接触時の衝撃を和らげることができる。そのため、対象物Wや指部23、24の破損を効果的に抑制することができる。また、指部23、24が変形することにより、対象物Wに過度な力が加わるのを抑制することができ、対象物Wの破損を抑制することができる。ただし、指部23、24は、対象物Wを把持する程度の力では、実質的に弾性変形しない程に硬質であってもよい。 The fingers 23 and 24 have elasticity. Since the finger portions 23 and 24 have elasticity, the impact at the time of contact between the object W and the finger portions 23 and 24 can be softened. Therefore, damage to the object W and the fingers 23 and 24 can be effectively suppressed. Further, by deforming the fingers 23 and 24, it is possible to suppress an excessive force from being applied to the object W, and it is possible to suppress damage to the object W. However, the fingers 23 and 24 may be hard enough not to be substantially elastically deformed by a force sufficient to grip the object W.

次に、圧電駆動部3A、3Bについて説明するが、これらは、互いに同様の構成であるため、以下では、圧電駆動部3Aについて代表して説明し、圧電駆動部3Bについては、その説明を省略する。図3に示すように、圧電駆動部3Aは、圧電モジュール30を有する。また、図4に示すように、圧電モジュール30は、複数の圧電アクチュエーター31が積層した積層体310と、積層体310を被駆動部材25に向けて付勢する付勢部32と、を有する。そして、圧電モジュール30は、付勢部32において基部20にねじ止めされている。 Next, the piezoelectric drive units 3A and 3B will be described, but since they have the same configuration as each other, the piezoelectric drive unit 3A will be described as a representative below, and the description of the piezoelectric drive unit 3B will be omitted. do. As shown in FIG. 3, the piezoelectric drive unit 3A has a piezoelectric module 30. Further, as shown in FIG. 4, the piezoelectric module 30 has a laminated body 310 in which a plurality of piezoelectric actuators 31 are laminated, and an urging portion 32 that urges the laminated body 310 toward the driven member 25. The piezoelectric module 30 is screwed to the base 20 at the urging portion 32.

また、図5に示すように、各圧電アクチュエーター31は、振動部311と、振動部311を支持する支持部312と、振動部311と支持部312とを接続する一対の接続部313と、振動部311の先端部に設けられ、被駆動部材25に振動部311の駆動力を伝達する突出部314と、を有する。突出部314は、振動部311から突出して設けられ、付勢部32によって、その先端部が被駆動部材25に押し付けられた状態で被駆動部材25と当接している。また、振動部311には圧電素子311a、311b、311c、311d、311eが設けられており、これら各圧電素子311a、311b、311c、311d、311eに所定の駆動信号を印加することにより、振動部311が振動し(突出部314が楕円運動し)、これによって、スライダー21が基部20に対してスライドする。なお、圧電駆動部3Aの駆動を停止した状態では、突出部314と被駆動部材25との間に生じる摩擦力によってスライダー21の位置が保持され、スライダー21の意図しないスライドが抑制される。 Further, as shown in FIG. 5, each piezoelectric actuator 31 vibrates with a vibrating portion 311 and a support portion 312 that supports the vibrating portion 311 and a pair of connecting portions 313 that connect the vibrating portion 311 and the supporting portion 312. It has a protruding portion 314 provided at the tip end portion of the portion 311 and transmitting the driving force of the vibrating portion 311 to the driven member 25. The protruding portion 314 is provided so as to project from the vibrating portion 311 and is in contact with the driven member 25 in a state where the tip portion thereof is pressed against the driven member 25 by the urging portion 32. Further, the vibration unit 311 is provided with piezoelectric elements 311a, 311b, 311c, 311d, and 311e, and by applying a predetermined drive signal to each of these piezoelectric elements 311a, 311b, 311c, 311d, and 311e, the vibration unit is provided. The 311 vibrates (the protrusion 314 makes an elliptical motion), which causes the slider 21 to slide relative to the base 20. In the state where the drive of the piezoelectric drive unit 3A is stopped, the position of the slider 21 is held by the frictional force generated between the protrusion 314 and the driven member 25, and the unintended slide of the slider 21 is suppressed.

以上、圧電駆動部3Aについて説明したが、圧電駆動部3Aとしては、突出部314の振動によって被駆動部材25を移動させることができれば、特に限定されない。例えば、後述する第2実施形態のようなロータリー型の圧電駆動部3Aを用いてもよい。圧電駆動部3Bについても同様である。また、圧電駆動部3A、3Bは、同様の構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。 Although the piezoelectric drive unit 3A has been described above, the piezoelectric drive unit 3A is not particularly limited as long as the driven member 25 can be moved by the vibration of the protrusion 314. For example, a rotary type piezoelectric drive unit 3A as in the second embodiment described later may be used. The same applies to the piezoelectric drive unit 3B. Further, the piezoelectric drive units 3A and 3B may have the same configuration or may have different configurations.

ここで、突出部314および被駆動部材25の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、耐摩耗性に優れた材料が好ましい。このような耐摩耗性に優れた材料としては、例えば、アルミナ、シリカ、チタニア、ジルコニア等の酸化物セラミックス、窒化珪素、窒化アルミ、窒化チタン等の窒化物セラミックス等の各種セラミックス、サファイヤ、水晶等が挙げられる。特に、本実施形態の突出部314および被駆動部材25は、それぞれ、純度が99%以上のアルミナで構成されている。これにより、十分に耐摩耗性に優れた突出部314および被駆動部材25が得られる。なお、突出部314および被駆動部材25は、セラミックスの他に、例えば、製造上混入し得るまたは製造上必要な材料を含んでいてもよい。 Here, the constituent materials of the protrusion 314 and the driven member 25 are not particularly limited, but materials having excellent wear resistance are preferable. Examples of such materials having excellent wear resistance include oxide ceramics such as alumina, silica, titania, and zirconia, various ceramics such as nitride ceramics such as silicon nitride, aluminum nitride, and titanium nitride, sapphire, and crystals. Can be mentioned. In particular, the protruding portion 314 and the driven member 25 of the present embodiment are each made of alumina having a purity of 99% or more. As a result, the protrusion 314 and the driven member 25 having sufficiently excellent wear resistance can be obtained. In addition to the ceramics, the projecting portion 314 and the driven member 25 may contain, for example, materials that may be mixed in or necessary for manufacturing.

図2に示すように、制御装置6は、情報を処理する処理部としてのプロセッサー61と、プロセッサー61に通信可能に接続された記憶部としてのメモリー62と、外部インターフェース63と、を有する。そして、制御装置6の各部は、種々のバスを介して通信可能に接続されている。プロセッサー61は、メモリー62に記憶された各種プログラム等を実行する。メモリー62には、プロセッサー61により実行可能な各種プログラムが保存(記憶)されている。また、メモリー62には、外部インターフェース63で受け付けたホストコンピューターからの各種データの保存が可能である。メモリー62は、例えばRAM(Random Access Memory)等の揮発性メモリーや、ROM(Read Only Memory)等の不揮発性メモリー等を含んで構成されている。 As shown in FIG. 2, the control device 6 has a processor 61 as a processing unit for processing information, a memory 62 as a storage unit communicably connected to the processor 61, and an external interface 63. Each part of the control device 6 is communicably connected via various buses. The processor 61 executes various programs and the like stored in the memory 62. Various programs that can be executed by the processor 61 are stored (stored) in the memory 62. Further, the memory 62 can store various data from the host computer received by the external interface 63. The memory 62 includes, for example, a volatile memory such as a RAM (Random Access Memory) and a non-volatile memory such as a ROM (Read Only Memory).

制御装置6が有するプロセッサー61は、エンコーダー4A、4Bの出力および力検出部5の出力に基づいて、圧電駆動部3A、3Bの駆動を制御する。これにより、ハンド1は、指部23、24によって対象物Wを所定の把持力で把持したり、把持した対象物Wをリリースしたりすることができる。また、制御装置6は、被駆動部材25、26の摩耗が移動領域Q内で局所的に生じないように、すなわち、移動領域Q内で摩耗がなるべく均一となるように圧電駆動部3A、3Bの駆動を制御する。なお、移動領域Qとは、被駆動部材25、26の突出部314と接触して突出部314と相対的に移動する領域を言い、図6に示すように、スライダー21が最も紙面左側(指部24側)に移動した状態での被駆動部材25と突出部314との接触箇所Q’と、スライダー21が最も紙面右側(指部24と反対側)に移動した状態での被駆動部材25と突出部314との接触箇所Q”と、の間の領域である。被駆動部材26についても同様である。 The processor 61 included in the control device 6 controls the drive of the piezoelectric drive units 3A and 3B based on the outputs of the encoders 4A and 4B and the outputs of the force detection unit 5. As a result, the hand 1 can grip the object W with a predetermined gripping force by the fingers 23 and 24, and can release the gripped object W. Further, the control device 6 has the piezoelectric drive units 3A and 3B so that the wear of the driven members 25 and 26 does not occur locally in the moving region Q, that is, the wear is as uniform as possible in the moving region Q. Control the drive of. The moving region Q refers to an region that comes into contact with the protruding portions 314 of the driven members 25 and 26 and moves relative to the protruding portion 314, and as shown in FIG. 6, the slider 21 is on the leftmost side of the paper surface (fingers). The contact point Q'between the driven member 25 and the protruding portion 314 in the state of being moved to the portion 24 side) and the driven member 25 in the state where the slider 21 is moved to the rightmost side of the paper surface (the side opposite to the finger portion 24). It is a region between the contact point Q "with the protrusion 314 and the driven member 26. The same applies to the driven member 26.

以下、制御装置6によるハンド1の制御方法について説明するが、移動体装置10A、10Bでその制御が同様であるため、以下では、説明の便宜上、移動体装置10Aについて代表して説明し、移動体装置10Bについては、その説明を省略する。まず、圧電駆動部3Aは、スライダー21を所定距離スライドさせる場合、その駆動パターンとして、図7に示すように、スライダー21が停止した状態からスライダー21を予め設定された最大速度Smまで加速させる加速駆動モードM1と、最大速度Smを維持する等速駆動モードM2と、最大速度Smからスライダー21を停止させる減速駆動モードM3と、を有する。ただし、最大速度Smまで到達する時間が無い程にスライダー21の移動距離が短い場合には、図中の鎖線で示すように、等速駆動モードM2が省略され、最大速度に到達する前に加速駆動モードM1から減速駆動モードM3に切り替わる場合もある。なお、図7では、加速駆動モードM1の加速度が一定であるが、これに限定されず、加速度が経時的に変化してもよい。同様に、図7では、減速駆動モードM3の減速率が一定であるが、これに限定されず、減速度が経時的に変化してもよい。 Hereinafter, the control method of the hand 1 by the control device 6 will be described, but since the control thereof is the same for the mobile device 10A and 10B, the mobile device 10A will be described and moved as a representative for convenience of explanation below. The description of the body device 10B will be omitted. First, when the slider 21 is slid by a predetermined distance, the piezoelectric drive unit 3A accelerates the slider 21 from a stopped state to a preset maximum speed Sm as shown in FIG. 7 as a drive pattern thereof. It has a drive mode M1, a constant speed drive mode M2 that maintains the maximum speed Sm, and a deceleration drive mode M3 that stops the slider 21 from the maximum speed Sm. However, if the moving distance of the slider 21 is so short that there is no time to reach the maximum speed Sm, the constant speed drive mode M2 is omitted as shown by the chain line in the figure, and acceleration is performed before the maximum speed is reached. The drive mode M1 may be switched to the deceleration drive mode M3. In FIG. 7, the acceleration of the acceleration drive mode M1 is constant, but the acceleration is not limited to this, and the acceleration may change with time. Similarly, in FIG. 7, the deceleration rate of the deceleration drive mode M3 is constant, but the deceleration rate is not limited to this, and the deceleration may change over time.

ここで、加速駆動モードM1および減速駆動モードM3では、突出部314と被駆動部材25との間に生じる摩擦力が、等速駆動モードM2の時において突出部314と被駆動部材25との間に生じる摩擦力よりも大きい。そのため、加速駆動モードM1および減速駆動モードM3では、等速駆動モードM2よりも被駆動部材25に負担がかかる。したがって、例えば、図8に示すように、被駆動部材25の移動領域Q内に位置するある領域Dにおいて、加速駆動モードM1や減速駆動モードM3が繰り返し行われると、領域Dが他の部分よりも、その表面の摩耗が進んで表面が粗くなってしまったり、凹状に擦り減ってしまったりする。このような状態では、例えば、突出部314が領域Dに引っ掛かってしまい、スライダー21のスムーズなスライドが阻害されたり、スライダー21のそれ以上のスライドができなくなったりする。 Here, in the acceleration drive mode M1 and the deceleration drive mode M3, the frictional force generated between the protrusion 314 and the driven member 25 is between the protrusion 314 and the driven member 25 in the constant velocity drive mode M2. It is larger than the frictional force generated in. Therefore, in the acceleration drive mode M1 and the deceleration drive mode M3, the driven member 25 is more burdened than the constant velocity drive mode M2. Therefore, for example, as shown in FIG. 8, when the acceleration drive mode M1 and the deceleration drive mode M3 are repeatedly performed in a certain region D located in the moving region Q of the driven member 25, the region D becomes larger than the other portions. However, the surface is worn out and the surface becomes rough or wears out in a concave shape. In such a state, for example, the protrusion 314 is caught in the area D, which hinders the smooth sliding of the slider 21 or prevents the slider 21 from sliding further.

なお、対象物Wを把持するモードとして、例えば、対象物Wを把持した状態で、圧電駆動部3A、3Bの駆動を停止する第1把持モードMh1(図示せず)と、図9に示すように、対象物Wを把持した状態で、把持力が高まる方向すなわち指部23、24が接近する方向に向けて指部23、24を移動させるように圧電駆動部3A、3Bの駆動を継続する第2把持モードMh2と、がある。第2把持モードMh2は、第1把持モードMh1と比べて大きな把持力を得易いため、より大きな把持力が必要な場合に有効なモードである。しかしながら、第2把持モードMh2では、対象物Wによってスライダー21のそれ以上のスライドが規制されているため、移動領域Qの同じ領域で圧電駆動部3Aが空回りしている状態すなわち被駆動部材25に対して突出部314がスリップしている状態となる。このような状態は、前述した加速駆動モードM1および減速駆動モードM3と同等もしくはそれ以上に被駆動部材25にダメージを与え、図8に示すような凹みが形成される大きな原因となる。 As a mode for gripping the object W, for example, a first grip mode Mh1 (not shown) for stopping the driving of the piezoelectric drive units 3A and 3B while gripping the object W, and as shown in FIG. In addition, while gripping the object W, the piezoelectric drive units 3A and 3B are continuously driven so as to move the finger portions 23 and 24 in the direction in which the gripping force is increased, that is, in the direction in which the finger portions 23 and 24 approach. There is a second gripping mode Mh2. The second gripping mode Mh2 is an effective mode when a larger gripping force is required because it is easier to obtain a larger gripping force than the first gripping mode Mh1. However, in the second gripping mode Mh2, since the slider 21 is restricted from sliding further by the object W, the piezoelectric drive unit 3A is idle in the same region of the movement region Q, that is, the driven member 25. On the other hand, the protruding portion 314 is in a slipped state. Such a state causes damage to the driven member 25 equal to or more than that of the acceleration drive mode M1 and the deceleration drive mode M3 described above, and is a major cause of the formation of a dent as shown in FIG.

そこで、制御装置6は、加速駆動モードM1の時、減速駆動モードM3の時および第2把持モードMh2の時には、突出部314と当接する被駆動部材25は移動領域Qの全域で均一になるように、移動体装置10Aの駆動を制御する。このような制御方法によれば、被駆動部材25のダメージを受ける領域が移動領域Qの全域に分散される。そのため、図8に示すような凹みの形成が低減され、図10に示すように、凹部の底が拡がるようになることで移動領域Qの全域が均質に擦り減る。したがって、長期的に被駆動部材25の移動領域Qを良好な状態に維持することができ、長期的な駆動を安定して行うことのできる移動体装置10Aが得られる。 Therefore, in the control device 6, in the acceleration drive mode M1, the deceleration drive mode M3, and the second gripping mode Mh2, the driven member 25 that comes into contact with the protrusion 314 is made uniform over the entire moving region Q. In addition, the drive of the mobile device 10A is controlled. According to such a control method, the damaged region of the driven member 25 is dispersed over the entire moving region Q. Therefore, the formation of the dent as shown in FIG. 8 is reduced, and as shown in FIG. 10, the bottom of the dent is expanded so that the entire area of the moving region Q is uniformly worn. Therefore, it is possible to obtain a mobile device 10A capable of maintaining the moving region Q of the driven member 25 in a good state for a long period of time and stably performing long-term driving.

次に、具体的な制御方法について説明する。例えば、図11に示すように、駆動開始状態では、スライダー21が原点P0(待機位置)に位置している。この状態で、ホストコンピューターから制御装置6に「スライダー21を目標位置P1に移動させる命令」が入力されると、制御装置6は、受け取った命令に従って圧電駆動部3Aを駆動し、図12に示すように、スライダー21を目標位置P1に移動させる。この時、プロセッサー61は、被駆動部材25の移動領域Qのうち、加速駆動モードM1の時に突出部314と当接した領域Q1をエンコーダー4Aの出力から検出し、領域Q1を「減速駆動モードM3の時に突出部314との当接を回避する領域」である当接回避領域QX1としてメモリー62に記憶する。 Next, a specific control method will be described. For example, as shown in FIG. 11, the slider 21 is located at the origin P0 (standby position) in the drive start state. In this state, when a "command to move the slider 21 to the target position P1" is input from the host computer to the control device 6, the control device 6 drives the piezoelectric drive unit 3A according to the received command, and is shown in FIG. As shown above, the slider 21 is moved to the target position P1. At this time, the processor 61 detects the region Q1 of the moving region Q of the driven member 25 that is in contact with the protrusion 314 in the acceleration drive mode M1 from the output of the encoder 4A, and determines the region Q1 as the “deceleration drive mode M3”. At this time, it is stored in the memory 62 as a contact avoidance area QX1 which is a “region for avoiding contact with the protrusion 314”.

ここで、図12の状態で、ホストコンピューターから制御装置6に「スライダー21を原点P0に移動させる命令」が入力され、制御装置6がその命令に従って、スライダー21を原点Q0に移動させてしまうと、図13に示すように、減速駆動モードM3の時に突出部314と当接する領域Q2と、当接回避領域QX1とが重なってしまう。領域Q2と当接回避領域QX1とが重なってしまうと、当該部分が他の領域と比べてダメージを受けてしまい、図8に示したような凹みが形成される原因となる。そこで、制御装置6は、領域Q2が当接回避領域QX1と重ならないように、スライダー21の目標位置P2を原点P0からずれた位置に補正する。そして、図14に示すように、制御装置6は、圧電駆動部3Aを駆動し、補正した目標位置P2にスライダー21を移動させる。これにより、領域Q2が当接回避領域QX1に重なるのを抑制することができる。そのため、被駆動部材25の移動領域Qが局所的にダメージを受けるのを抑制することができ、長期的に移動領域Qの全域を良好で均質な状態に維持することができる。その結果、移動体装置10Aは、長期的な駆動を安定して行うことができる。 Here, in the state of FIG. 12, when a "command to move the slider 21 to the origin P0" is input from the host computer to the control device 6, and the control device 6 moves the slider 21 to the origin Q0 according to the command. As shown in FIG. 13, the region Q2 that comes into contact with the protrusion 314 and the contact avoidance region QX1 overlap in the deceleration drive mode M3. If the region Q2 and the contact avoidance region QX1 overlap each other, the portion is damaged as compared with the other regions, which causes the formation of a dent as shown in FIG. Therefore, the control device 6 corrects the target position P2 of the slider 21 to a position deviated from the origin P0 so that the region Q2 does not overlap with the contact avoidance region QX1. Then, as shown in FIG. 14, the control device 6 drives the piezoelectric drive unit 3A and moves the slider 21 to the corrected target position P2. As a result, it is possible to prevent the region Q2 from overlapping the contact avoidance region QX1. Therefore, it is possible to prevent the moving region Q of the driven member 25 from being locally damaged, and it is possible to maintain a good and homogeneous state over the entire moving region Q for a long period of time. As a result, the mobile device 10A can be stably driven for a long period of time.

なお、図14に示すように、領域Q2が当接回避領域QX1と重ならないことが最も好ましく、上述した効果をより顕著に発揮することができるが、これに限定されず、領域Q2の一部が当接回避領域QX1と重なっていてもよい。この場合、領域Q2の当接回避領域QX1と重なっている部分の長さは、特に限定されないが、例えば、領域Q2の全長の20%以内であることが好ましく、10%以内であることがより好ましく、5%以内であることがさらに好ましい。 As shown in FIG. 14, it is most preferable that the region Q2 does not overlap with the contact avoidance region QX1, and the above-mentioned effect can be exerted more remarkably, but the region Q2 is not limited to this and is a part of the region Q2. May overlap with the contact avoidance area QX1. In this case, the length of the portion of the region Q2 overlapping with the contact avoidance region QX1 is not particularly limited, but is preferably, for example, 20% or less of the total length of the region Q2, and more preferably 10% or less. It is preferably within 5%, more preferably within 5%.

図14の状態で、ホストコンピューターから制御装置6に「スライダー21を目標位置P3に移動させる命令」が入力されると、制御装置6は、図15に示すように、目標位置P2から目標位置P3までの移動距離Lを算出し、算出した移動距離Lに従って圧電駆動部3Aを駆動し、スライダー21を目標位置P3に移動させる。これにより、図14において生じた原点P0からのずれMを補正することができ、スライダー21をより精度よく目標位置P3に移動させることができる。この時、プロセッサー61は、被駆動部材25の移動領域Qのうち、加速駆動モードM1の時に突出部314と当接した領域Q3をエンコーダー4Aの出力から検出し、領域Q3を当接回避領域QX2としてメモリー62に記憶する。 When a "command to move the slider 21 to the target position P3" is input from the host computer to the control device 6 in the state of FIG. 14, the control device 6 starts from the target position P2 to the target position P3 as shown in FIG. The moving distance L up to is calculated, the piezoelectric drive unit 3A is driven according to the calculated moving distance L, and the slider 21 is moved to the target position P3. As a result, the deviation M from the origin P0 generated in FIG. 14 can be corrected, and the slider 21 can be moved to the target position P3 with higher accuracy. At this time, the processor 61 detects the region Q3 of the moving region Q of the driven member 25 that has come into contact with the protrusion 314 in the acceleration drive mode M1 from the output of the encoder 4A, and the region Q3 is the contact avoidance region QX2. Is stored in the memory 62.

さらに、図15の状態で、ホストコンピューターから制御装置6に「スライダー21を原点P0に移動させる命令」が入力された場合、図16に示すように、制御装置6は、減速駆動モードM3の時に突出部314と当接する領域Q4が当接回避領域QX1、QX2と重ならないように、スライダー21の目標位置P4を原点P0からずれた位置に補正する。そして、制御装置6は、圧電駆動部3Aを駆動し、補正した目標位置P4にスライダー21を移動させる。これにより、領域Q4が当接回避領域QX1、QX2に重なるのを抑制することができる。そのため、移動領域Qが局所的にダメージを受けるのを抑制することができ、長期的に移動領域Qの全域を良好で均質な状態に維持することができる。その結果、移動体装置10Aは、長期的な駆動を安定して行うことができる。特に、図16では、領域Q4が前々回に設定された当接回避領域QX1と、前回設定された当接回避領域QX2のどちらとも重なっていない。そのため、上述した効果をより顕著に発揮することができる。 Further, in the state of FIG. 15, when the "command to move the slider 21 to the origin P0" is input to the control device 6 from the host computer, as shown in FIG. 16, the control device 6 is in the deceleration drive mode M3. The target position P4 of the slider 21 is corrected to a position deviated from the origin P0 so that the region Q4 in contact with the protrusion 314 does not overlap with the contact avoidance regions QX1 and QX2. Then, the control device 6 drives the piezoelectric drive unit 3A and moves the slider 21 to the corrected target position P4. As a result, it is possible to prevent the region Q4 from overlapping the contact avoidance regions QX1 and QX2. Therefore, it is possible to prevent the moving region Q from being locally damaged, and it is possible to maintain a good and homogeneous state over the entire moving region Q for a long period of time. As a result, the mobile device 10A can be stably driven for a long period of time. In particular, in FIG. 16, the region Q4 does not overlap with either the contact avoidance region QX1 set two times before and the contact avoidance region QX2 set last time. Therefore, the above-mentioned effect can be exerted more remarkably.

このように、原点P0復帰命令の際に、実際のスライダー21の位置を原点P0から徐々にずらしていくことにより、減速駆動モードM3の時に突出部314と当接する領域を移動領域Qの全域に亘って分散することができる。これにより、移動領域Qが局所的にダメージを受けるのを抑制することができ、長期的に移動領域Qの全域を良好で均質な状態に維持することができる。その結果、移動体装置10Aは、長期的な駆動を安定して行うことができる。 In this way, by gradually shifting the position of the actual slider 21 from the origin P0 at the time of the origin P0 return command, the region in contact with the protrusion 314 in the deceleration drive mode M3 is covered over the entire moving region Q. Can be dispersed over. As a result, it is possible to prevent the moving region Q from being locally damaged, and it is possible to maintain a good and homogeneous state over the entire moving region Q for a long period of time. As a result, the mobile device 10A can be stably driven for a long period of time.

以上、ハンド1について説明した。上述したように、ハンド1が備える移動体装置10Aは、被駆動部材25と、振動部311と、振動部311から突出して配置され、被駆動部材25と当接し、振動部311の振動を被駆動部材25に伝達する突出部314と、を有する駆動部としての圧電駆動部3Aと、処理部としてのプロセッサー61と、プロセッサー61で読み取り可能な指示を記憶する記憶部としてのメモリー62、を備え、振動部311の振動によって、被駆動部材25が移動するように構成されている。また、圧電駆動部3Aは、その駆動パターンとして、被駆動部材25を加速させる加速駆動モードM1と、被駆動部材25を減速させる減速駆動モードM3と、を有する。また、メモリー62は、減速駆動モードM3の時には突出部314との当接を回避する被駆動部材25の領域を当接回避領域QX(例えば、前述したQX1、QX2)として記憶する。言い換えれば、メモリー62は、突出部314が被駆動部材25に当接していても減速駆動モードM3にはしない領域を、当接回避領域QXとして記憶する。そして、プロセッサー61は、メモリー62から当接回避領域QXの位置情報を読み取って、減速駆動モードM3の時において、突出部314が被駆動部材25の当接回避領域QXとは異なる領域と当接するように圧電駆動部3Aの駆動を実行する。言い換えれば、突出部314が被駆動部材25の当接回避領域QXとは異なる領域で減速駆動モードM3を実行するように圧電駆動部3Aの駆動を実行する。このような構成によれば、移動領域Qの局所的な摩耗を抑制でき、長期的に移動領域Qを良好で均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできる移動体装置10Aとなる。なお、当接回避領域QX(例えば、前述したQX1、QX2)は、加速駆動モードM1や減速駆動モードM3などを実行しないように制限する領域であるので、「駆動モード制限領域」とも言うことができる。 The hand 1 has been described above. As described above, the moving body device 10A included in the hand 1 is arranged so as to project from the driven member 25, the vibrating portion 311 and the vibrating portion 311, abut against the driven member 25, and receive the vibration of the vibrating portion 311. A piezoelectric drive unit 3A as a drive unit having a protrusion 314 transmitted to the drive member 25, a processor 61 as a processing unit, and a memory 62 as a storage unit for storing instructions readable by the processor 61 are provided. The driven member 25 is configured to move due to the vibration of the vibrating unit 311. Further, the piezoelectric drive unit 3A has, as its drive pattern, an acceleration drive mode M1 for accelerating the driven member 25 and a deceleration drive mode M3 for decelerating the driven member 25. Further, the memory 62 stores the region of the driven member 25 that avoids contact with the protrusion 314 in the deceleration drive mode M3 as the contact avoidance region QX (for example, QX1 and QX2 described above). In other words, the memory 62 stores a region in which the deceleration drive mode M3 is not set even if the protruding portion 314 is in contact with the driven member 25 as the contact avoidance region QX. Then, the processor 61 reads the position information of the contact avoidance area QX from the memory 62, and in the deceleration drive mode M3, the protruding portion 314 comes into contact with the area different from the contact avoidance area QX of the driven member 25. The piezoelectric drive unit 3A is driven as described above. In other words, the piezoelectric drive unit 3A is driven so that the protrusion 314 executes the deceleration drive mode M3 in a region different from the contact avoidance region QX of the driven member 25. According to such a configuration, local wear of the moving region Q can be suppressed, and the moving region Q can be maintained in a good and homogeneous state for a long period of time. As a result, the mobile device 10A can be stably driven for a long period of time. Since the contact avoidance region QX (for example, the above-mentioned QX1 and QX2) is a region that restricts the execution of the acceleration drive mode M1 and the deceleration drive mode M3, it can also be referred to as a "drive mode restriction region". can.

ここで、前記「減速駆動モードM3の時において、突出部314が被駆動部材25の当接回避領域QXとは異なる領域と当接する」とは、減速駆動モードM3の時において突出部314が被駆動部材25と当接する領域の全部が当接回避領域QXと重なっていない場合の他、一部が当接回避領域QXと重なっている場合も含む意味である。一部が当接回避領域QXと重なっている場合では、例えば、減速駆動モードM3の時において突出部314が被駆動部材25と当接する領域の全長に対して、当接回避領域QXと重なっている部分の長さが20%以内であることが好ましく、10%以内であることがより好ましく、5%以内であることがさらに好ましい。また、当接回避領域QXの設定や読み取りは、毎回行ってもよいし、複数回、例えば、2回~10回の駆動毎に行ってもよい。 Here, the above-mentioned "in the deceleration drive mode M3, the protrusion 314 abuts on a region different from the contact avoidance region QX of the driven member 25" means that the protrusion 314 is covered in the deceleration drive mode M3. It is meant to include not only the case where the entire region in contact with the drive member 25 does not overlap with the contact avoidance region QX, but also the case where a part of the region overlaps with the contact avoidance region QX. When a part overlaps with the contact avoidance area QX, for example, in the deceleration drive mode M3, the protrusion 314 overlaps with the contact avoidance area QX with respect to the total length of the area in contact with the driven member 25. The length of the portion is preferably 20% or less, more preferably 10% or less, and further preferably 5% or less. Further, the contact avoidance area QX may be set or read every time, or may be performed a plurality of times, for example, every 2 to 10 times of driving.

また、前述したように、ハンド1は、移動体装置10Aを有する。そのため、ハンド1は、移動体装置10Aの効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。 Further, as described above, the hand 1 has a mobile device 10A. Therefore, the hand 1 can enjoy the effect of the mobile device 10A and can exhibit high reliability.

また、前述したように、移動体装置10Aの制御方法は、減速駆動モードM3の時に突出部314との当接を回避する被駆動部材25の領域を当接回避領域QXとして設定し、減速駆動モードM3の時において、突出部314が被駆動部材25の当接回避領域QXとは異なる領域と当接するように圧電駆動部3Aの駆動を実行する。このような制御方法によれば、移動領域Qの局所的な摩耗が抑制され、長期的に移動領域Qを良好かつ均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできる移動体装置10Aとなる。 Further, as described above, in the control method of the mobile device 10A, the region of the driven member 25 that avoids contact with the protrusion 314 in the deceleration drive mode M3 is set as the contact avoidance region QX, and the deceleration drive is performed. In the mode M3, the piezoelectric drive unit 3A is driven so that the protrusion 314 abuts on a region different from the contact avoidance region QX of the driven member 25. According to such a control method, local wear of the moving region Q is suppressed, and the moving region Q can be maintained in a good and homogeneous state for a long period of time. As a result, the mobile device 10A can be stably driven for a long period of time.

また、前述したように、メモリー62に記憶されている当接回避領域QXは、少なくとも前回の加速駆動モードM1の時に突出部314と当接した被駆動部材25の領域を含む。これにより、より効果的に、移動領域Qの局所的な摩耗が抑制され、長期的な駆動を安定して行うことのできる移動体装置10Aとなる。例えば、当接回避領域QXは、複数回前から前回までの全てにおいて、加速駆動モードM1の時に突出部314と当接した被駆動部材25の領域を含んでいてもよい。これにより、上述した効果をより顕著に発揮することができる。なお、前記複数回前としては、特に限定されず、移動領域Qの長さ等によっても異なるが、例えば、2~20回前であることが好ましく、5~15回前であることがより好ましく、7~13回前であることがさらに好ましい。 Further, as described above, the contact avoidance region QX stored in the memory 62 includes at least the region of the driven member 25 that has come into contact with the protrusion 314 during the previous acceleration drive mode M1. As a result, the mobile device 10A can more effectively suppress the local wear of the moving region Q and stably perform long-term driving. For example, the contact avoidance region QX may include a region of the driven member 25 that has come into contact with the protrusion 314 in the acceleration drive mode M1 in all of the plurality of times from the previous time to the previous time. This makes it possible to exert the above-mentioned effect more remarkably. The plurality of times before is not particularly limited and varies depending on the length of the moving region Q and the like, but for example, it is preferably 2 to 20 times before, and more preferably 5 to 15 times before. , 7 to 13 times before, more preferably.

また、メモリー62に記憶されている当接回避領域QXは、例えば、被駆動部材25の移動領域Qを複数の領域に分け、複数の領域毎に、加速駆動モードM1の時に突出部314と当接した頻度を求め、その頻度が所定値よりも高い領域としてもよい。なお、この場合、全ての領域の中で頻度が最も高い領域を当接回避領域QXとしてもよいし、頻度が高い複数の領域を当接回避領域QXとしてもよい。 Further, the contact avoidance region QX stored in the memory 62 divides the moving region Q of the driven member 25 into a plurality of regions, and hits the protrusion 314 in each of the plurality of regions in the acceleration drive mode M1. The frequency of contact may be obtained, and the frequency may be a region higher than a predetermined value. In this case, the region having the highest frequency among all the regions may be designated as the contact avoidance region QX, or a plurality of regions having a high frequency may be designated as the contact avoidance region QX.

また、前述したように、被駆動部材25は、圧電駆動部3Aに対して直線的に移動する。これにより、被駆動部材25をスムーズに移動させることができる。 Further, as described above, the driven member 25 moves linearly with respect to the piezoelectric drive unit 3A. As a result, the driven member 25 can be smoothly moved.

また、前述したように、突出部314は、セラミックスで構成されている。これにより、十分に耐摩耗性に優れた突出部314が得られる。また、前述したように、被駆動部材25は、セラミックスで構成されている。これにより、十分に耐摩耗性に優れた被駆動部材25が得られる。 Further, as described above, the protrusion 314 is made of ceramics. As a result, a protrusion 314 having sufficiently excellent wear resistance can be obtained. Further, as described above, the driven member 25 is made of ceramics. As a result, the driven member 25 having sufficiently excellent wear resistance can be obtained.

<第2実施形態>
図17ないし図19は、それぞれ、本発明の第2実施形態に係るハンドの駆動方法を説明するための断面図である。
<Second Embodiment>
17 to 19 are cross-sectional views for explaining a method of driving a hand according to a second embodiment of the present invention, respectively.

以下の説明では、第2実施形態のハンドに関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図17ないし図19では、それぞれ、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。 In the following description, the hand of the second embodiment will be mainly described with respect to the differences from the first embodiment described above, and the description thereof will be omitted with respect to the same matters. Further, in FIGS. 17 to 19, the same reference numerals are given to the same configurations as those of the above-described embodiments.

本実施形態のハンド1では、対象物Wを把持する時の指部23、24の位置が、前回の位置と同じ位置にならないように移動体装置10A、10Bの駆動を制御する。このような構成によっても、移動領域Qの局所的な摩耗を抑制でき、長期的に移動領域Qを良好で均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできるハンド1となる。 In the hand 1 of the present embodiment, the driving of the mobile devices 10A and 10B is controlled so that the positions of the fingers 23 and 24 when gripping the object W do not become the same positions as the previous positions. Even with such a configuration, local wear of the moving region Q can be suppressed, and the moving region Q can be maintained in a good and homogeneous state for a long period of time. As a result, the hand 1 can be driven stably for a long period of time.

例えば、n回目の把持動作として、ホストコンピューターから制御装置6に「対象物Wを把持するためにスライダー21、22を目標位置Pa’、Pa”に移動させる命令」が入力されると、プロセッサー61は、受け取った命令に従って圧電駆動部3Aを駆動し、図17に示すように、スライダー21、22を目標位置Pa’、Pa”に移動させ、対象物Wを把持する。この時、プロセッサー61は、各被駆動部材25、26の移動領域Qのうち、減速駆動モードM3の時に突出部314と当接した領域Qa’、Qa”をエンコーダー4A、4Bの出力から検出し、領域Qa’、Qa”を「減速駆動モードM3の時に突出部314との当接を回避する領域」である当接回避領域QXaとしてメモリー62に記憶する。 For example, as the nth gripping operation, when a "command to move the sliders 21 and 22 to the target positions Pa'and Pa" in order to grip the object W "is input from the host computer to the control device 6, the processor 61 is input. Drives the piezoelectric drive unit 3A according to the received command, moves the sliders 21 and 22 to the target positions Pa', Pa'as shown in FIG. 17, and grips the object W. At this time, the processor 61 grips the object W. Of the moving regions Q of the driven members 25 and 26, the regions Qa'and Qa'that are in contact with the projecting portion 314 in the deceleration drive mode M3 are detected from the outputs of the encoders 4A and 4B, and the regions Qa'and Qa are detected. Is stored in the memory 62 as a contact avoidance area QXa, which is a “region for avoiding contact with the protrusion 314 in the deceleration drive mode M3”.

n回目の把持動作が終了し、n+1回目の把持動作として、ホストコンピューターから制御装置6に「対象物Wを把持するためにスライダー21、22を目標位置Pb’、Pb”に移動させる命令」が入力されると、図18に示すように、プロセッサー61は、スライダー21、22を目標位置Pb’、Pb”に移動させる際の減速駆動モードM3の時に、突出部314と当接する移動領域Q中の領域Qb’、Qb”を算出する。 The nth gripping operation is completed, and as the n + 1th gripping operation, the host computer issues a "command to move the sliders 21 and 22 to the target positions Pb'and Pb" in order to grip the object W. When input, as shown in FIG. 18, the processor 61 is in the moving region Q in contact with the protrusion 314 in the deceleration drive mode M3 when moving the sliders 21 and 22 to the target positions Pb', Pb'. Area Qb', Qb'is calculated.

次に、プロセッサー61は、算出した領域Qb’、Qb”が当接回避領域QXa(領域Qa’、Qa”)と重なっているか否かを判断する。領域Qb’、Qb”が当接回避領域QXaと重なってない場合、プロセッサー61は、ホストコンピューターからの命令に従って圧電駆動部3A、3Bを駆動し、スライダー21、22を目標位置Pb’、Pb”に移動させ、対象物Wを把持する。 Next, the processor 61 determines whether or not the calculated regions Qb', Qb "overlap with the contact avoidance region QXa (regions Qa', Qa"). When the regions Qb'and Qb' do not overlap with the contact avoidance region QXa, the processor 61 drives the piezoelectric drive units 3A and 3B according to the instruction from the host computer, and the sliders 21 and 22 are set to the target positions Pb'and Pb'. To grip the object W.

一方、領域Qb’、Qb”の少なくとも一方が当接回避領域QXaと重なる場合、プロセッサー61は、目標位置Pb’、Pb”を補正する。具体的には、図19に示すように、プロセッサー61は、目標位置Pb’、Pb”の相対的な位置関係(指部23、24の離間距離)を保ちつつ、当接回避領域QXaと重ならない位置に目標位置Pb’、Pb”をずらす。そして、プロセッサー61は、圧電駆動部3A、3Bを駆動し、スライダー21、22を補正後の目標位置Pb’、Pb”に移動させ、対象物Wを把持する。このような制御方法によれば、減速駆動モードM3の時に突出部314と当接する領域が移動領域Q内で分散されるため、移動領域Qの局所的な摩耗を抑制でき、長期的に移動領域Qを良好で均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできるハンド1となる。 On the other hand, when at least one of the regions Qb'and Qb' overlaps with the contact avoidance region QXa, the processor 61 corrects the target positions Pb'and Pb'. Specifically, as shown in FIG. 19, the processor 61 overlaps with the contact avoidance region QXa while maintaining the relative positional relationship (distance between the fingers 23 and 24) of the target positions Pb'and Pb'. Move the target positions Pb'and Pb'to positions that do not become. Then, the processor 61 drives the piezoelectric drive units 3A and 3B, moves the sliders 21 and 22 to the corrected target positions Pb'and Pb', and grips the object W. According to such a control method. Since the region in contact with the protrusion 314 is dispersed in the moving region Q in the deceleration drive mode M3, local wear of the moving region Q can be suppressed, and the moving region Q is kept in a good and homogeneous state for a long period of time. It can be maintained. As a result, the hand 1 can be stably driven for a long period of time.

このようなハンド1によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。なお、本実施形態のハンド1を多関節ロボットに搭載した場合、ホストコンピューターからの指令に対して対象物Wの把持位置(スライダー21、22の位置)を変更するため、把持位置のずれをキャンセルするようにして、ハンド1(基部20)の位置や姿勢を補正する必要がある。そのため、例えば、プロセッサー61は、補正前後の目標位置Pb’、Pb”のずれ量をロボットにフィードバックし、フィードバックを受けたロボットがそのずれ量をキャンセルできるようにハンド1の姿勢や位置を補正すればよい。 Even with such a hand 1, the same effect as that of the first embodiment described above can be exhibited. When the hand 1 of the present embodiment is mounted on the articulated robot, the gripping position of the object W (positions of the sliders 21 and 22) is changed in response to a command from the host computer, so that the deviation of the gripping position is cancelled. Therefore, it is necessary to correct the position and posture of the hand 1 (base 20). Therefore, for example, the processor 61 feeds back the deviation amount of the target positions Pb'and Pb "before and after the correction to the robot, and corrects the posture and position of the hand 1 so that the robot receiving the feedback can cancel the deviation amount. You just have to.

<第3実施形態>
図20および図21は、それぞれ、本発明の第3実施形態に係るハンドを示す平面図である。
<Third Embodiment>
20 and 21 are plan views showing the hands according to the third embodiment of the present invention, respectively.

以下の説明では、第3実施形態のハンドに関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図20および図21では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。 In the following description, the hand of the third embodiment will be mainly described with respect to the differences from the first embodiment described above, and the description thereof will be omitted with respect to the same matters. Further, in FIGS. 20 and 21, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.

図20および図21に示すハンド1は、基部20と、基部20に対して軸Jまわりに回転可能に支持された一対の被駆動部材25、26と、被駆動部材25、26に固定された指部23、24と、被駆動部材25、26を回転させる圧電駆動部3A、3Bと、を有する。被駆動部材25、26は、それぞれ、円板形状であり、その側面に圧電駆動部3A、3Bの突出部314が当接している。このような構成のハンド1では、圧電駆動部3A、3Bの駆動によって被駆動部材25、26を軸Jまわりに回転させることにより、指部23、24を開閉することができる。 The hand 1 shown in FIGS. 20 and 21 is fixed to the base 20, a pair of driven members 25, 26 rotatably supported around the axis J with respect to the base 20, and the driven members 25, 26. It has finger portions 23 and 24, and piezoelectric drive portions 3A and 3B for rotating the driven members 25 and 26. Each of the driven members 25 and 26 has a disk shape, and the protruding portions 314 of the piezoelectric drive portions 3A and 3B are in contact with the side surfaces thereof. In the hand 1 having such a configuration, the fingers 23 and 24 can be opened and closed by rotating the driven members 25 and 26 around the shaft J by driving the piezoelectric drive portions 3A and 3B.

このようなハンド1においても、図21に示すように、対象物Wを把持する時の指部23、24の位置が、前回の位置(図20の位置)と同じ位置にならないように移動体装置10A、10Bの駆動を制御する。すなわち、被駆動部材25、26の減速駆動モードM3の時に当接する領域が、前回の領域と重ならないように移動体装置10A、10Bの駆動を制御する。そのため、被駆動部材25、26の移動領域Qの局所的な摩耗を抑制でき、長期的に移動領域Qを良好で均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできるハンド1となる。 Even in such a hand 1, as shown in FIG. 21, the moving body is such that the positions of the fingers 23 and 24 when gripping the object W are not the same as the previous positions (positions in FIG. 20). It controls the drive of the devices 10A and 10B. That is, the driving of the mobile devices 10A and 10B is controlled so that the region of the driven members 25 and 26 in contact with the deceleration drive mode M3 does not overlap with the previous region. Therefore, local wear of the moving region Q of the driven members 25 and 26 can be suppressed, and the moving region Q can be maintained in a good and homogeneous state for a long period of time. As a result, the hand 1 can be driven stably for a long period of time.

このようなハンド1では、前述したように、被駆動部材25、26は、圧電駆動部3A、3Bに対して回転する。これにより、被駆動部材25、26をスムーズに移動させることができる。 In such a hand 1, as described above, the driven members 25 and 26 rotate with respect to the piezoelectric drive units 3A and 3B. As a result, the driven members 25 and 26 can be smoothly moved.

<第4実施形態>
図22および図23は、それぞれ、本発明の第4実施形態に係るハンドを示す平面図である。
<Fourth Embodiment>
22 and 23 are plan views showing the hands according to the fourth embodiment of the present invention, respectively.

以下の説明では、第4実施形態のハンドに関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図22および図23では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。 In the following description, the hand of the fourth embodiment will be mainly described with respect to the differences from the first embodiment described above, and the description thereof will be omitted with respect to the same matters. Further, in FIGS. 22 and 23, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.

図22および図23に示すハンド1は、基部20と、基部20に対して軸J1まわりに回転可能に支持された一対の被駆動部材25、26と、被駆動部材25、26に固定された指部23、24と、を有する。また、指部23、24は、被駆動部材25、26に固定された基節部231、241と、基節部231、241に対して軸J2まわりに回転可能に支持された被駆動部材232、242と、被駆動部材232、242に固定された末節部233、243と、を有する。 The hand 1 shown in FIGS. 22 and 23 is fixed to the base 20, a pair of driven members 25, 26 rotatably supported around the axis J1 with respect to the base 20, and the driven members 25, 26. It has fingers 23 and 24. Further, the finger portions 23 and 24 are supported by the proximal phalanx portions 231 and 241 fixed to the driven members 25 and 26 and the driven members 232 rotatably supported around the shaft J2 with respect to the proximal phalanx portions 231 and 241. It has 242 and terminal nodes 233 and 243 fixed to the driven members 232 and 242.

また、ハンド1は、被駆動部材25、26を回転させる圧電駆動部3A、3Bと、被駆動部材232、242を回転させる圧電駆動部3C、3Dと、を有する。なお、被駆動部材232、242および圧電駆動部3C、3Dは、被駆動部材25、26および圧電駆動部3A、3Bと同様の構成である。また、被駆動部材232および圧電駆動部3Cで移動体装置10Cが構成され、被駆動部材242および圧電駆動部3Dで移動体装置10Dが構成されている。 Further, the hand 1 has a piezoelectric drive unit 3A and 3B for rotating the driven members 25 and 26, and a piezoelectric drive unit 3C and 3D for rotating the driven members 232 and 242. The driven members 232 and 242 and the piezoelectric drive units 3C and 3D have the same configurations as the driven members 25 and 26 and the piezoelectric drive units 3A and 3B. Further, the mobile device 10C is composed of the driven member 232 and the piezoelectric drive unit 3C, and the mobile device 10D is composed of the driven member 242 and the piezoelectric drive unit 3D.

被駆動部材25、26、232、242は、それぞれ、円板形状であり、その側面に圧電駆動部3A、3B、3C、3Dの突出部314が当接している。このような構成のハンド1では、圧電駆動部3A、3Bの駆動によって被駆動部材25、26を軸J1まわりに回転させることにより、基節部231、241を開閉することができ、圧電駆動部3C、3Dの駆動によって被駆動部材232、242を軸J2まわりに回転させることにより、末節部233、243を開閉することができる。 The driven members 25, 26, 232, and 242 are each in the shape of a disk, and the protruding portions 314 of the piezoelectric drive portions 3A, 3B, 3C, and 3D are in contact with the side surfaces thereof. In the hand 1 having such a configuration, the proximal phalanx portions 231 and 241 can be opened and closed by rotating the driven members 25 and 26 around the shaft J1 by driving the piezoelectric drive portions 3A and 3B. By rotating the driven members 232 and 242 around the shaft J2 by driving 3C and 3D, the terminal nodes 233 and 243 can be opened and closed.

このようなハンド1においても、図23に示すように、対象物Wを把持する時の基節部231、241および末節部233、243の位置が、前回の位置(図22の位置)と同じ位置にならないように移動体装置10A、10B、10C、10Dの駆動を制御する。すなわち、被駆動部材25、26、232、242の減速駆動モードM3の時に当接する領域が、前回の領域と重ならないように移動体装置10A、10B、10C、10Dの駆動を制御する。そのため、被駆動部材25、26、232、242の移動領域Qの局所的な摩耗を抑制でき、長期的に移動領域Qを良好で均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできるハンド1となる。 Even in such a hand 1, as shown in FIG. 23, the positions of the proximal phalanx portions 231 and 241 and the distal phalanx portions 233 and 243 when gripping the object W are the same as the previous positions (positions in FIG. 22). The drive of the mobile devices 10A, 10B, 10C, and 10D is controlled so as not to be in a position. That is, the driving of the mobile devices 10A, 10B, 10C, and 10D is controlled so that the region of the driven members 25, 26, 232, and 242 in contact with the deceleration drive mode M3 does not overlap with the previous region. Therefore, local wear of the moving region Q of the driven members 25, 26, 232, and 242 can be suppressed, and the moving region Q can be maintained in a good and homogeneous state for a long period of time. As a result, the hand 1 can be driven stably for a long period of time.

<第5実施形態>
図24は、本発明の第5実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
<Fifth Embodiment>
FIG. 24 is a perspective view showing a robot according to a fifth embodiment of the present invention.

図24に示すロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1010と、ベース1010に回動自在に連結されたアーム1020と、アーム1020に回動自在に連結されたアーム1030と、アーム1030に回動自在に連結されたアーム1040と、アーム1040に回動自在に連結されたアーム1050と、アーム1050に回動自在に連結されたアーム1060と、アーム1060に回動自在に連結されたアーム1070と、これらアーム1020、1030、1040、1050、1060、1070の駆動を制御する制御装置1080と、を有する。 The robot 1000 shown in FIG. 24 can perform operations such as supplying, removing, transporting, and assembling precision equipment and parts constituting the precision equipment. The robot 1000 is a 6-axis robot, and has a base 1010 fixed to the floor or ceiling, an arm 1020 rotatably connected to the base 1010, an arm 1030 rotatably connected to the arm 1020, and an arm 1030. An arm 1040 rotatably connected to the arm 1040, an arm 1050 rotatably connected to the arm 1040, an arm 1060 rotatably connected to the arm 1050, and a rotatably connected arm 1060. It has an arm 1070 and a control device 1080 that controls the drive of these arms 1020, 1030, 1040, 1050, 1060, and 1070.

また、アーム1070にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット1000に実行させる作業に応じたエンドエフェクター1090が装着される。なお、エンドエフェクター1090として、前述したハンド1を用いることができる。 Further, the arm 1070 is provided with a hand connection portion, and the hand connection portion is equipped with an end effector 1090 corresponding to the work to be executed by the robot 1000. As the end effector 1090, the above-mentioned hand 1 can be used.

このように、ロボット1000は、ハンド1を有する。そのため、ロボット1000は、移動体装置10A、10Bを備える。したがって、前述した移動体装置10A、10Bの効果を享受することができ、長期的な駆動を安定して行うことのできるロボット1000となる。 In this way, the robot 1000 has a hand 1. Therefore, the robot 1000 includes mobile devices 10A and 10B. Therefore, the robot 1000 can enjoy the effects of the mobile devices 10A and 10B described above, and can stably perform long-term driving.

なお、ロボット1000の構成としては、本実施形態の構成に限定されず、例えば、水平多関節ロボット(スカラロボット)や双腕ロボットであってもよい。 The configuration of the robot 1000 is not limited to the configuration of the present embodiment, and may be, for example, a horizontal articulated robot (SCARA robot) or a dual-arm robot.

<第6実施形態>
図25は、本発明の第6実施形態に係るロボットを示す側面図である。図26および図27は、それぞれ、ロボットが有する移動体装置を示す平面図である。図28は、図25のロボットの制御方法を示すフローチャートである。
<Sixth Embodiment>
FIG. 25 is a side view showing the robot according to the sixth embodiment of the present invention. 26 and 27 are plan views showing a mobile device possessed by the robot, respectively. FIG. 28 is a flowchart showing a control method of the robot of FIG. 25.

図25に示すロボット2000は、水平多関節ロボットであり、基台2100と、第1アーム2200と、第2アーム2300と、作業ヘッド2400と、エンドエフェクター2500と、を有する。 The robot 2000 shown in FIG. 25 is a horizontal articulated robot and has a base 2100, a first arm 2200, a second arm 2300, a work head 2400, and an end effector 2500.

基台2100は、例えば、図示しない床面にボルト等によって固定されている。基台2100には第1アーム2200が連結している。第1アーム2200は、基台2100に対して鉛直方向に沿う第1回動軸Jaまわりに回動可能である。また、基台2100内には、第1アーム2200を回動させる移動体装置10Eが設けられている。第1アーム2200の先端部には第2アーム2300が連結している。第2アーム2300は、第1アーム2200に対して鉛直方向に沿う第2回動軸Jbまわりに回動可能である。第2アーム2300内には、第2アーム2300を回動させる移動体装置10Fが設けられている。 The base 2100 is fixed to, for example, a floor surface (not shown) with bolts or the like. The first arm 2200 is connected to the base 2100. The first arm 2200 is rotatable around the first rotation axis Ja along the vertical direction with respect to the base 2100. Further, a mobile device 10E for rotating the first arm 2200 is provided in the base 2100. A second arm 2300 is connected to the tip of the first arm 2200. The second arm 2300 is rotatable around the second rotation axis Jb along the vertical direction with respect to the first arm 2200. A mobile device 10F for rotating the second arm 2300 is provided in the second arm 2300.

第2アーム2300の先端部には、作業ヘッド2400が配置されている。作業ヘッド2400は、第2アーム2300の先端部に同軸的に配置されたスプラインナット2410およびボールネジナット2420と、スプラインナット2410およびボールネジナット2420に挿通されたスプラインシャフト2430と、を有する。スプラインシャフト2430は、第2アーム2300に対して、その軸(回動軸Jc)まわりに回転可能であり、かつ、上下方向に移動(昇降)可能となっている。 A work head 2400 is arranged at the tip of the second arm 2300. The working head 2400 has a spline nut 2410 and a ball screw nut 2420 coaxially arranged at the tip of the second arm 2300, and a spline shaft 2430 inserted through the spline nut 2410 and the ball screw nut 2420. The spline shaft 2430 can rotate about the axis (rotation axis Jc) of the second arm 2300, and can move (up and down) in the vertical direction.

また、ロボット2000は、移動体装置10E、10Fの駆動を制御する制御装置6を有し、制御装置6は、基台2100に設けられている。 Further, the robot 2000 has a control device 6 for controlling the drive of the mobile devices 10E and 10F, and the control device 6 is provided on the base 2100.

図26に示すように、移動体装置10Eは、第1アーム2200に固定された円盤状の被駆動部材25と、基台2100に固定され、被駆動部材25の側面に当接された圧電駆動部3Eと、を有する。また、移動体装置10Fは、第1アーム2200に固定された円盤状の被駆動部材26と、第2アーム2300に固定され、被駆動部材26の側面に当接された圧電駆動部3Fと、を有する。圧電駆動部3E、3Fは、前述した圧電駆動部3A~3Dと同様の構成であり、振動部311の振動を被駆動部材25、26に伝達する突出する314を有し、この突出部314が被駆動部材25、26の側面に押し付けられている。 As shown in FIG. 26, the moving body device 10E has a disk-shaped driven member 25 fixed to the first arm 2200 and a piezoelectric drive fixed to the base 2100 and abutted on the side surface of the driven member 25. It has a part 3E and. Further, the mobile device 10F includes a disk-shaped driven member 26 fixed to the first arm 2200, a piezoelectric drive unit 3F fixed to the second arm 2300 and abutted on the side surface of the driven member 26. Has. The piezoelectric drive units 3E and 3F have the same configuration as the above-mentioned piezoelectric drive units 3A to 3D, and have a protruding 314 that transmits the vibration of the vibrating unit 311 to the driven members 25 and 26, and the protruding portion 314 has a protrusion 314. It is pressed against the side surfaces of the driven members 25 and 26.

ここで、作業ヘッド2400を目標位置Pへ移動さる場合、プロセッサー61は、n回目の動作で図26に示す姿勢としたとすると、n+1回目の動作では図27に示すようにn回目の動作のときと第1アーム2200および第2アーム2300が異なる姿勢となるように移動体装置10E、10Fの駆動を制御する。すなわち、プロセッサー61は、被駆動部材25、26の減速駆動モードM3の時に当接する領域が、前回の領域と重ならないように移動体装置10E、10Fの駆動を制御する。そのため、被駆動部材25、26の移動領域Qの局所的な摩耗を抑制でき、長期的に移動領域Qを良好で均質な状態に維持することができる。その結果、長期的な駆動を安定して行うことのできるロボット2000となる。ただし、n+1回目において、n回目と異なる姿勢をとることができない場合、すなわち、作業ヘッド2400を所定の位置へ移動させるための第1、第2アーム2200、2300の姿勢が1つしかない場合、プロセッサー61は、第1アーム2200および第2アーム2300がn回目と同じ姿勢となるように移動体装置10E、10Fの駆動を制御する。 Here, when the work head 2400 is moved to the target position P, assuming that the processor 61 is in the posture shown in FIG. 26 in the nth operation, the n + 1th operation is the nth operation as shown in FIG. 27. The drive of the mobile devices 10E and 10F is controlled so that the first arm 2200 and the second arm 2300 are in different postures. That is, the processor 61 controls the driving of the mobile devices 10E and 10F so that the region of the driven members 25 and 26 in contact with the deceleration drive mode M3 does not overlap with the previous region. Therefore, local wear of the moving region Q of the driven members 25 and 26 can be suppressed, and the moving region Q can be maintained in a good and homogeneous state for a long period of time. As a result, the robot 2000 can be driven stably for a long period of time. However, in the n + 1th time, when the posture different from the nth time cannot be taken, that is, when there is only one posture of the first and second arms 2200 and 2300 for moving the work head 2400 to a predetermined position. The processor 61 controls the driving of the mobile devices 10E and 10F so that the first arm 2200 and the second arm 2300 are in the same posture as the nth time.

上記の駆動方法を図28のフローチャートに基づいて説明すると、プロセッサー61は、まず、ホストコンピューターから制御装置6に作業ヘッド2400の目標位置が入力される(STEP1)。次に、プロセッサー61は、受け取った目標位置に作業ヘッド2400を移動させるための第1、第2アーム2200、2300の回動角を求める(STEP2)。次に、プロセッサー61は、第1、第2アーム2200、2300の回動角(姿勢)の組合せ(解)が2つ以上あるか否かを判断する(STEP3)。解が2つ以上ある場合、プロセッサー61は、n+1回目の駆動において、第1、第2アーム2200、2300の姿勢がn回目と異なる姿勢となるように作業ヘッド2400を目標位置に移動させる(STEP4)。一方、解が2つ以上ない場合、プロセッサー61は、解が1つであるか否かを判断する(STEP5)。解が1つである場合、プロセッサー61は、n+1回目の駆動において、第1、第2アーム2200、2300の姿勢がn回目と同じ姿勢となるように作業ヘッド2400を目標位置に移動させる(STEP6)。一方、解がない場合、作業ヘッド2400を目標位置に移動させることができないため、プロセッサー61は、例えば、エラー等を報知する(STEP7)。 Explaining the above driving method based on the flowchart of FIG. 28, first, the processor 61 inputs the target position of the work head 2400 from the host computer to the control device 6 (STEP 1). Next, the processor 61 obtains the rotation angles of the first and second arms 2200 and 2300 for moving the work head 2400 to the received target position (STEP 2). Next, the processor 61 determines whether or not there are two or more combinations (solutions) of rotation angles (postures) of the first and second arms 2200 and 2300 (STEP 3). When there are two or more solutions, the processor 61 moves the work head 2400 to the target position so that the postures of the first and second arms 2200 and 2300 are different from the postures of the first and second arms 2200 and 2300 in the n + 1th drive (STEP4). ). On the other hand, when there are no two or more solutions, the processor 61 determines whether or not there is one solution (STEP 5). When there is only one solution, the processor 61 moves the work head 2400 to the target position so that the postures of the first and second arms 2200 and 2300 are the same as the nth posture in the n + 1th drive (STEP 6). ). On the other hand, if there is no solution, the work head 2400 cannot be moved to the target position, so that the processor 61 notifies, for example, an error (STEP 7).

以上、本実施形態のロボット2000について説明した。なお、本実施形態のロボット2000は、関節を2つ有する構成であるが、関節の数は、特に限定されず、例えば、3つ以上であってもよく、6軸ロボット等の多関節ロボットであってもよい。また、3つ以上の関節を有する場合、少なくとも1つの関節の回動角(基端側のアームに対する先端側のアームの姿勢)がn回目とn+1回目とで異なっていればよい。すなわち、一部の関節の回動角(基端側のアームに対する先端側のアームの姿勢)がn回目とn+1回目とで同じであってもよい。 The robot 2000 of this embodiment has been described above. The robot 2000 of the present embodiment has a configuration having two joints, but the number of joints is not particularly limited, and may be, for example, three or more, and is an articulated robot such as a 6-axis robot. There may be. Further, when having three or more joints, the rotation angle of at least one joint (the posture of the arm on the distal end side with respect to the arm on the proximal end side) may be different between the nth time and the n + 1th time. That is, the rotation angle of some joints (the posture of the arm on the distal end side with respect to the arm on the proximal end side) may be the same for the nth time and the n + 1th time.

以上、本発明の移動体装置、ハンド、ロボットおよび移動体装置の制御方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。 Although the control method of the mobile device, the hand, the robot and the mobile device of the present invention has been described above based on the illustrated embodiment, the present invention is not limited to this, and the configuration of each part is described. It can be replaced with any configuration having a similar function. Further, any other constituents may be added to the present invention. Moreover, you may combine each embodiment as appropriate.

1…ハンド、10A~10F…移動体装置、20…基部、21、22…スライダー、23、24…指部、231、241…基節部、232、242…被駆動部材、233、243…末節部、25、26…被駆動部材、29…スライドガイド、3A~3F…圧電駆動部、30…圧電モジュール、31…圧電アクチュエーター、310…積層体、311…振動部、311a~311e…圧電素子、312…支持部、313…接続部、314…突出部、32…付勢部、4A、4B…エンコーダー、5…力検出部、6…制御装置、61…プロセッサー、62…メモリー、63…外部インターフェース、1000…ロボット、1010…ベース、1020~1070…アーム、1080…制御装置、1090…エンドエフェクター、2000…ロボット、2100…基台、2200…第1アーム、2300…第2アーム、2400…作業ヘッド、2410…スプラインナット、2420…ボールネジナット、2430…スプラインシャフト、2500…エンドエフェクター、D…領域、J、J1、J2…軸、Ja…第1回動軸、Jb…第2回動軸、Jc…回動軸、L…移動距離、M…ずれ、M1…加速駆動モード、M2…等速駆動モード、M3…減速駆動モード、Mh2…第2把持モード、P…目標位置、P0…原点、P1~P4…目標位置、Pa’、Pa”、Pb’、Pb”…目標位置、Q…移動領域、Q’、Q”…接触箇所、Q1~Q4…領域、QX、QX1、QX2、QXa…当接回避領域、Qa’、Qa”、Qb’、Qb”…領域、W…対象物 1 ... Hand, 10A to 10F ... Mobile device, 20 ... Base, 21, 22 ... Slider, 23, 24 ... Finger, 231, 241 ... Base, 232, 242 ... Driven member, 233, 243 ... Parts, 25, 26 ... Driven members, 29 ... Slide guides, 3A to 3F ... Piezoelectric drive parts, 30 ... Piezoelectric modules, 31 ... Piezoelectric actuators, 310 ... Laminates, 311 ... Vibration parts, 311a to 311e ... Piezoelectric elements, 312 ... Support part, 313 ... Connection part, 314 ... Protruding part, 32 ... Bounce part, 4A, 4B ... Encoder, 5 ... Force detector, 6 ... Control device, 61 ... Processor, 62 ... Memory, 63 ... External interface , 1000 ... robot, 1010 ... base, 1020 to 1070 ... arm, 1080 ... control device, 1090 ... end effector, 2000 ... robot, 2100 ... base, 2200 ... first arm, 2300 ... second arm, 2400 ... work head , 2410 ... Spline nut, 2420 ... Ball screw nut, 2430 ... Spline shaft 2500 ... End effector, D ... Region, J, J1, J2 ... Axis, Ja ... First rotation axis, Jb ... Second rotation axis, Jc ... Rotation axis, L ... Movement distance, M ... Deviation, M1 ... Acceleration drive mode, M2 ... Constant speed drive mode, M3 ... Deceleration drive mode, Mh2 ... Second gripping mode, P ... Target position, P0 ... Origin, P1 ~ P4 ... target position, Pa', Pa ", Pb', Pb" ... target position, Q ... moving area, Q', Q "... contact point, Q1 to Q4 ... area, QX, QX1, QX2, QXa ... Contact avoidance area, Qa', Qa ", Qb', Qb" ... area, W ... object

Claims (10)

被駆動部材と、
振動部と、前記振動部から突出して配置され、前記被駆動部材と当接し、前記振動部の振動を前記被駆動部材に伝達する突出部と、を有する駆動部と、
処理部と、
前記処理部で読み取り可能な指示を記憶する記憶部と、を備え、
前記被駆動部材は、前記振動部の振動によって移動するように構成され、
前記記憶部は、
前記突出部と当接する前記被駆動部材の領域のうち、前記被駆動部材を減速させない領域を記憶し、
前記処理部は、
前記記憶部から前記被駆動部材を減速させない領域の位置情報を読み取って、前記突出部が前記被駆動部材を前記減速させない領域とは異なる領域に当接しているときに、前記被駆動部材を減速させることを特徴とする移動体装置。
Driven member and
A drive unit having a vibrating portion, a protruding portion that is arranged so as to project from the vibrating portion, abuts on the driven member, and transmits the vibration of the vibrating portion to the driven member.
Processing unit and
A storage unit that stores instructions that can be read by the processing unit is provided.
The driven member is configured to move by the vibration of the vibrating portion.
The storage unit is
Of the region of the driven member that comes into contact with the protrusion, the region that does not decelerate the driven member is stored.
The processing unit
When the position information of the region where the driven member is not decelerated is read from the storage unit and the protruding portion is in contact with a region different from the region where the driven member is not decelerated, the driven member is decelerated. A mobile device characterized by being made to.
前記記憶部に記憶されている前記被駆動部材を減速させない領域は、前記被駆動部材が以前に減速した領域を含む請求項1に記載の移動体装置。 The mobile device according to claim 1, wherein the region stored in the storage unit that does not decelerate the driven member includes a region in which the driven member has previously decelerated. 前記記憶部に記憶されている前記被駆動部材を減速させない領域は、前記被駆動部材が以前に加速した領域を含む請求項1または2に記載の移動体装置。 The mobile device according to claim 1 or 2, wherein the region stored in the storage unit that does not decelerate the driven member includes a region in which the driven member has previously accelerated. 前記被駆動部材は、前記駆動部に対して直線移動する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の移動体装置。 The moving body device according to any one of claims 1 to 3, wherein the driven member linearly moves with respect to the driven unit. 前記被駆動部材は、前記駆動部に対して回転する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の移動体装置。 The mobile device according to any one of claims 1 to 3, wherein the driven member rotates with respect to the driven unit. 前記突出部は、セラミックスで構成されている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の移動体装置。 The mobile device according to any one of claims 1 to 5, wherein the protruding portion is made of ceramics. 前記被駆動部材は、セラミックスで構成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の移動体装置。 The mobile device according to any one of claims 1 to 6, wherein the driven member is made of ceramics. 指部と、
請求項1ないし7のいずれか1項に記載の移動体装置と、を有し、
前記移動体装置が指部を移動させることを特徴とするハンド。
With fingers
The mobile device according to any one of claims 1 to 7.
A hand characterized in that the moving body device moves a finger portion.
回動軸に対して回動するアームと、
請求項1ないし7のいずれか1項に記載の移動体装置と、を有し、
前記移動体装置が前記アームを回動することを特徴とするロボット。
An arm that rotates with respect to the rotation axis,
The mobile device according to any one of claims 1 to 7.
A robot characterized in that the moving body device rotates the arm.
被駆動部材と、
振動部と、前記振動部から突出して配置され、前記被駆動部材と当接し、前記振動部の振動を前記被駆動部材に伝達する突出部と、を有する駆動部と、
処理部と、
前記処理部で読み取り可能な指示を記憶する記憶部と、を有し、
前記被駆動部材は、前記振動部の振動によって移動するように構成され、
前記記憶部は、
前記突出部と当接する前記被駆動部材の領域のうち、前記被駆動部材を減速させない領域を記憶し、
前記処理部は、
前記記憶部から前記被駆動部材を前記減速させない領域の位置情報を読み取って、前記突出部が前記被駆動部材を減速させない領域とは異なる領域に当接しているときに、前記被駆動部材を減速させることを特徴とする移動体装置の制御方法。
Driven member and
A drive unit having a vibrating portion, a protruding portion that is arranged so as to project from the vibrating portion, abuts on the driven member, and transmits the vibration of the vibrating portion to the driven member.
Processing unit and
It has a storage unit that stores instructions that can be read by the processing unit, and has a storage unit.
The driven member is configured to move by the vibration of the vibrating portion.
The storage unit is
Of the region of the driven member that comes into contact with the protrusion, the region that does not decelerate the driven member is stored.
The processing unit
When the position information of the region where the driven member is not decelerated is read from the storage unit and the protruding portion is in contact with a region different from the region where the driven member is not decelerated, the driven member is decelerated. A method of controlling a mobile device, characterized in that it is made to operate.
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