JP7022975B2 - Valve with sensor and monitoring system and fluid supply device using it - Google Patents

Valve with sensor and monitoring system and fluid supply device using it Download PDF

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JP7022975B2 JP2017182231A JP2017182231A JP7022975B2 JP 7022975 B2 JP7022975 B2 JP 7022975B2 JP 2017182231 A JP2017182231 A JP 2017182231A JP 2017182231 A JP2017182231 A JP 2017182231A JP 7022975 B2 JP7022975 B2 JP 7022975B2
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Description

この発明は、センサが搭載されたバルブ並びにこれを用いた監視システムおよび流体供給装置に関する。 The present invention relates to a valve equipped with a sensor and a monitoring system and a fluid supply device using the same.

ボール弁等のバルブは、流体の流れを制御するための機器として、製造装置、プラント装置、検査装置等の数多くの製品分野に利用されている。 Valves such as ball valves are used in many product fields such as manufacturing equipment, plant equipment, and inspection equipment as equipment for controlling fluid flow.

バルブは、入口流路、出口流路を連通する連通部を有するバルブボディと、この連通部に配設される流路を開閉する弁体とを有している。 The valve has a valve body having a communication portion that communicates with the inlet flow path and the outlet flow path, and a valve body that opens and closes the flow path arranged in the communication portion.

手動バルブの場合は上部に備えられるハンドルによって、自動バルブの場合はモータによって、この弁体は駆動させられ、ハンドルまたはモータと弁体との間に、ステムと呼ばれる連結部材が介在している。 The valve body is driven by a handle on the top in the case of a manual valve and by a motor in the case of an automatic valve, with a connecting member called a stem intervening between the handle or motor and the valve body.

例えば、特許文献1の図1に記載のボール弁では、流体がバルブボディ2からステム5の軸方向に漏出するのを防止するために、グランドパッキン14,15がステム5の周囲に設けられ、ナット19の締め付けによって上方から押圧されている。 For example, in the ball valve shown in FIG. 1 of Patent Document 1, gland packings 14 and 15 are provided around the stem 5 in order to prevent fluid from leaking from the valve body 2 in the axial direction of the stem 5. It is pressed from above by tightening the nut 19.

このグランドパッキン14,15がステム5およびバルブボディ2と密着することによって、ステム軸に沿って流体が漏れ出ることが防止されている。 The gland packings 14 and 15 are in close contact with the stem 5 and the valve body 2 to prevent fluid from leaking along the stem axis.

特開2015-140854号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-140854

グランドパッキンのシール性の確保は、ナットの締め付けトルクに依っており、バルブ使用時におけるシール性の低下に対しては定期的に規定のトルクで締め付けを行うことで確保されてきた。しかしながら、シール性の低下はバルブの個体差や使用状態により異なり、シール性が維持されているかどうかを、数多くのバルブに対して一点ずつ締め付けを行うことは、労力を要するとともに、確認漏れが発生する可能性がある。 The sealing property of the gland packing depends on the tightening torque of the nut, and the deterioration of the sealing property when the valve is used has been ensured by regularly tightening with a specified torque. However, the deterioration of the sealing property differs depending on the individual difference of the valve and the usage condition, and it takes labor and omission of confirmation to tighten each valve one by one to check whether the sealing property is maintained. there's a possibility that.

この発明の目的は、センサをバルブに搭載することによって、シール性確保のための実際の面圧等を、組み立て時のみならず、組み立て後においてもモニターすることができるセンサ付きバルブを提供することである。 An object of the present invention is to provide a valve with a sensor capable of monitoring the actual surface pressure for ensuring sealing performance not only at the time of assembly but also after assembly by mounting the sensor on the valve. Is.

本発明(1)は、入口流路および出口流路を連通する連通部を有するバルブボディと、前記連通部に配設された弁体と、前記弁体を動かす駆動機構と、前記バルブボディを貫通し、前記駆動機構と前記弁体とを連結する軸体と、前記軸体の周囲に設けられ、前記軸体と前記バルブボディとの間をシールするグランドパッキンと、前記グランドパッキンと接する位置に配置されたセンサと、を有するセンサ付きバルブである。 In the present invention (1), a valve body having a communication portion that communicates with an inlet flow path and an outlet flow path, a valve body disposed in the communication portion, a drive mechanism for moving the valve body, and the valve body are provided. A shaft body that penetrates and connects the drive mechanism and the valve body, a gland packing that is provided around the shaft body and seals between the shaft body and the valve body, and a position where the gland packing is in contact with the gland packing. A valve with a sensor, and has a sensor arranged in.

このセンサは、グランドパッキンがステムおよびバルブボディと密着しているかどうかを、組み立て時のみならず、組み立て後においても常時監視することができる。 This sensor can constantly monitor whether the gland packing is in close contact with the stem and valve body, not only during assembly but also after assembly.

本発明(2)は、前記センサが、ひずみゲージまたは圧力センサである本発明(1)に記載のセンサ付きバルブである。 The present invention (2) is a valve with a sensor according to the present invention (1), wherein the sensor is a strain gauge or a pressure sensor.

グランドパッキン表面にかかる面圧やグランドパッキン表面に発生するひずみを計測することによって、グランドパッキンがステムおよびバルブボディと密着しているかどうかを、組み立て時のみならず、組み立て後においても常時監視することができる。また、グランドパッキンに流体が侵入したときの面圧の変化を検知することも可能であり、流体の漏出前にバルブの異常を検知することができる。 By measuring the surface pressure applied to the surface of the gland packing and the strain generated on the surface of the gland packing, whether or not the gland packing is in close contact with the stem and valve body should be constantly monitored not only during assembly but also after assembly. Can be done. It is also possible to detect a change in surface pressure when a fluid enters the gland packing, and it is possible to detect an abnormality in the valve before the fluid leaks.

本発明(3)は、本発明(1)または(2)に記載のセンサ付きバルブを有する監視システムであって、前記センサからの信号を受信する受信部と、前記センサから受信した信号を所定の値と比較する比較部と、前記比較部で比較した結果を発信する発信部と、を有する監視システムである。 The present invention (3) is a monitoring system having a valve with a sensor according to the present invention (1) or (2), in which a receiving unit for receiving a signal from the sensor and a signal received from the sensor are predetermined. It is a monitoring system having a comparison unit for comparing with the value of, and a transmission unit for transmitting the result of comparison in the comparison unit.

センサ付きバルブにセンサからの信号を受信する受信部と、センサから受信した信号を所定の値と比較する比較部とを組み合わせることで監視システムとして用いることができる。 A valve with a sensor can be used as a monitoring system by combining a receiving unit that receives a signal from a sensor and a comparison unit that compares a signal received from the sensor with a predetermined value.

バルブに備えられたセンサからの信号を監視装置の受信部が受信し、予めさだめておいた値や前回受信した信号と比較することで、グランドパッキンと、グランドパッキンと接する部材との間の面圧や歪みの異常を検知することができる。 The receiving part of the monitoring device receives the signal from the sensor provided in the valve, and by comparing it with the value stored in advance or the signal received last time, the surface between the gland packing and the member in contact with the gland packing. Abnormal pressure and strain can be detected.

本発明(4)は、本発明(3)の監視システムを有する流体供給装置であって、比較した結果の発信を行うと共に前記センサ付きバルブを含む流路に設けられたバルブの閉止または開放を行う流体供給装置である。 The present invention (4) is a fluid supply device having the monitoring system of the present invention (3), which transmits the results of comparison and closes or opens a valve provided in a flow path including the valve with a sensor. It is a fluid supply device to perform.

本発明(4)によると、安全措置を講ずるため緊急で行うことが必要な当該バルブを含む流路に設けられたバルブの閉止または開放を自動で行うことができるので、このような機構を有しない流体供給装置と比べて、より安全に装置を稼働させることが可能となる。 According to the present invention (4), the valve provided in the flow path including the valve, which is urgently required to take safety measures, can be automatically closed or opened, and thus has such a mechanism. It is possible to operate the device more safely than the fluid supply device that does not.

この発明のセンサ付きバルブによると、シール性確保のための実際のグランドパッキンが受ける面圧等を、組み立て時のみならず、組み立て後においてもモニターすることができるバルブを提供することができる。 According to the valve with a sensor of the present invention, it is possible to provide a valve capable of monitoring the surface pressure or the like received by the actual gland packing for ensuring the sealing property not only at the time of assembly but also after assembly.

図1は、この発明によるセンサ付きバルブの実施例1を示す。FIG. 1 shows Example 1 of a valve with a sensor according to the present invention. 図2は、この発明によるセンサ付きバルブの実施例2を示す。FIG. 2 shows Example 2 of a valve with a sensor according to the present invention. 図3は、この実施例1のセンサ付きバルブを有する監視システムを示す。FIG. 3 shows a monitoring system having a valve with a sensor according to the first embodiment.

以下、図面を参照して、本発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている構成部品の材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。また、便宜的に図面上での方向によって部材等の方向を上下左右と指称することがあるが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be exemplified in detail with reference to the drawings. However, unless otherwise specified, the materials, shapes, relative arrangements, etc. of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention to them, but are merely explanatory examples. do not have. Further, for convenience, the directions of the members and the like may be referred to as up, down, left, and right depending on the directions on the drawings, but these do not limit the scope of the present invention.

図1は、この発明によるセンサ付きバルブの実施例1を示すものであり、このバルブ1Aは、フローティング型ボール弁と呼ばれるものであり、弁体が回転することにより流体の流通が行われる。 FIG. 1 shows a first embodiment of a valve with a sensor according to the present invention. The valve 1A is called a floating ball valve, and fluid flows by rotating the valve body.

ボール形状の弁体3は、バルブボディ2の連通部24内に納められ、貫通孔31を有する球形であり、上部に軸体4が一体に形成されている。 The ball-shaped valve body 3 is housed in the communication portion 24 of the valve body 2, has a spherical shape having a through hole 31, and the shaft body 4 is integrally formed on the upper portion.

弁座5は弁体3の左右に設けられて弁体3と当接しており、それぞれ皿ばねであるスプリング8が弁体3に付勢している。 The valve seats 5 are provided on the left and right sides of the valve body 3 and are in contact with the valve body 3, and springs 8 which are disc springs urge the valve body 3 respectively.

バルブボディ2は、左右からフランジ9に挟持され、この左右の2つのフランジ9は、ボルト91およびナット92によって締結され、この締結力によって、左右のスプリング8をそれぞれ左右のフランジ9の弁体3側の端面が付勢している。 The valve body 2 is sandwiched between the flanges 9 from the left and right, and the two flanges 9 on the left and right are fastened by bolts 91 and nuts 92. The end face on the side is urged.

左側のフランジ9の内部には入口流路21が形成され、右側のフランジ9の内部には出口流路22が形成されており、それぞれの流路は、開状態のときに貫通孔31と連通する。 An inlet flow path 21 is formed inside the flange 9 on the left side, and an outlet flow path 22 is formed inside the flange 9 on the right side, and each flow path communicates with the through hole 31 when in the open state. do.

軸体4の下部には軸の周囲にバルブボディ2との摺動をスムースにするためのステムベアリング44が配置され、上部に流体の漏出防止のためのグランドパッキン40が配置されている。 A stem bearing 44 for smooth sliding with the valve body 2 is arranged around the shaft at the lower part of the shaft body 4, and a gland packing 40 for preventing fluid leakage is arranged at the upper part.

グランドパッキン40は、外側がテーパー面である円筒状のボトムパッキン46と内側がテーパー面である円筒状のトップパッキン45からなるパッキン部と、トップパッキン45の上部に配置されたパッキンサポート42からなる。なお、パッキン部の形状としてはこれに限らず、様々な断面形状の環状部材が積み重なったものも用いられる。 The gland packing 40 includes a packing portion consisting of a cylindrical bottom packing 46 having a tapered surface on the outside and a cylindrical top packing 45 having a tapered surface on the inside, and a packing support 42 arranged on the upper part of the top packing 45. .. The shape of the packing portion is not limited to this, and a stack of annular members having various cross-sectional shapes is also used.

パッキンサポート42の上部にパッキン押え43が備えられ、その上部にはステムスプリング47が配置され、軸体4の上部に形成されたおねじとねじ合わせられるナット41が螺合され、ナット41によってステムスプリング47は押圧され、この押圧力によって、グランドパッキン40が押圧される。 A packing retainer 43 is provided on the upper part of the packing support 42, a stem spring 47 is arranged on the upper part thereof, a nut 41 screwed with a male screw formed on the upper part of the shaft body 4 is screwed, and the stem is screwed by the nut 41. The spring 47 is pressed, and the pressing force presses the gland packing 40.

センサ100は、パッキンサポート42とパッキンサポート42と隣接するパッキン押え43との間に配置されている。 The sensor 100 is arranged between the packing support 42, the packing support 42, and the adjacent packing retainer 43.

パッキンサポートは硬質材料が好ましく、例えば樹脂材料を用いる場合はポリエーテルエーテルケトン樹脂(PEEK)などが、変形が少なく、面圧を正確に測定できるため好ましい。また、硬質材料であるので、センサがパッキンサポートに陥入することがない。 A hard material is preferable for the packing support, and for example, when a resin material is used, polyetheretherketone resin (PEEK) or the like is preferable because it has less deformation and can accurately measure the surface pressure. Moreover, since it is a hard material, the sensor does not get stuck in the packing support.

センサ100は、図1に示す以外に、パッキン部とパッキンサポート42間に配置されてもよいし、パッキン部とバルブボディの間やパッキン部と軸体の間に配置されてもよい。 In addition to the one shown in FIG. 1, the sensor 100 may be arranged between the packing portion and the packing support 42, or may be arranged between the packing portion and the valve body or between the packing portion and the shaft body.

センサ100の形状はチップ状、リング状等特に制限はなく、センサ100の数量も1個でもよく、図1に図示する通り複数個でもよい。このセンサ100により、グランドパッキン40の上端面に発生する面圧等を知ることができる。 The shape of the sensor 100 is not particularly limited, such as a chip shape or a ring shape, and the number of sensors 100 may be one or a plurality as shown in FIG. With this sensor 100, it is possible to know the surface pressure and the like generated on the upper end surface of the gland packing 40.

センサ100を配置・埋め込む方法は、金属製部材に凹所を設け、その中にセンサを設置して接着剤等を用いて埋め込む方法、凹所にセンサを圧入嵌合する方法、ロウ付けによる方法、粉末冶金焼結による方法などの種々の方法によっておこなうことができるが、それらに限定されることはない。 The method of arranging and embedding the sensor 100 is a method of providing a recess in a metal member, installing the sensor in the recess and embedding it using an adhesive or the like, a method of press-fitting the sensor in the recess, and a method of brazing. , The method can be carried out by various methods such as a method by powder metallurgy sintering, but the method is not limited thereto.

バルブボディ2と左右のフランジ9との間には、流体の漏出を防ぐためのOリング51が、バルブボディ2の左右端面に備えられている。 Between the valve body 2 and the left and right flanges 9, O-rings 51 for preventing fluid leakage are provided on the left and right end faces of the valve body 2.

バルブ1Aの上部には、バルブを開閉するハンドルと呼ばれる駆動機構7、駆動機構7と当接するストッププレート71が固定されている。 A drive mechanism 7 called a handle for opening and closing the valve and a stop plate 71 in contact with the drive mechanism 7 are fixed to the upper part of the valve 1A.

図2は、この発明によるセンサ付きバルブ1Bの実施例2を示すものである。実施例1と同じ内容についてはその説明を一部省略する。 FIG. 2 shows Example 2 of the valve 1B with a sensor according to the present invention. A part of the description of the same contents as in the first embodiment will be omitted.

実施例2はニードルバルブと呼ばれるバルブであり、弁体3が上下動することにより、弁体3がバルブボディ2に形成された弁座5に当接離間することで流路が開閉される。 The second embodiment is a valve called a needle valve, and when the valve body 3 moves up and down, the valve body 3 abuts and separates from the valve seat 5 formed in the valve body 2, and the flow path is opened and closed.

バルブボディには入口流路21と出口流路22とこれらを連通する連通部24が形成され、連通部24は上方に開口している。 The valve body is formed with an inlet flow path 21, an outlet flow path 22, and a communication portion 24 that communicates these, and the communication portion 24 is open upward.

弁体3は下端部が下方に向かって先細の円錐台形状であり、バルブボディ2の連通部24内に納められ、駆動機構7が動作することにより、弁体3は連通部24に設けられた弁座5に当接、離間される。 The valve body 3 has a truncated cone shape whose lower end is tapered downward, and is housed in the communication portion 24 of the valve body 2. The valve body 3 is provided in the communication portion 24 by the operation of the drive mechanism 7. It abuts on and separates from the valve seat 5.

軸体4は弁体3と固定されており、駆動機構7と連結されている。なお、図2では弁体3と軸体4は一体に成形されているが、ボルト等で固定するのでも良く、また、図2では軸体4と駆動機構7は係合され、軸体4は駆動機構軸部の回転と連動して回転しないように設けられているが、駆動機構軸部7bと軸体4が連動して回転しても良い。 The shaft body 4 is fixed to the valve body 3 and is connected to the drive mechanism 7. Although the valve body 3 and the shaft body 4 are integrally molded in FIG. 2, they may be fixed by bolts or the like, and in FIG. 2, the shaft body 4 and the drive mechanism 7 are engaged with each other and the shaft body 4 is used. Is provided so as not to rotate in conjunction with the rotation of the drive mechanism shaft portion, but the drive mechanism shaft portion 7b and the shaft body 4 may rotate in conjunction with each other.

軸体4とバルブボディ2の間にはグランドパッキン40が設けられ、パッキン押さえ43により上方から押圧されている。グランドパッキン40の下方にはパッキンサポート42が設けられ、連通部24に設けられた段差に保持されている。 A gland packing 40 is provided between the shaft body 4 and the valve body 2, and is pressed from above by the packing retainer 43. A packing support 42 is provided below the gland packing 40 and is held by a step provided in the communication portion 24.

グランドナット50は下方におねじ部50bが、上方にナット部50aが形成されている。グランドナット50はナット部50aを締め付けることでバルブボディ2にねじ込まれ、パッキン押さえ43を押圧している。 The gland nut 50 has a threaded portion 50b formed below and a nut portion 50a formed above. The gland nut 50 is screwed into the valve body 2 by tightening the nut portion 50a, and presses the packing retainer 43.

また、おねじ部50bには固定用ナット49が螺合され、バルブボディ2にねじ込まれたグランドナット50が緩むことを防止している。 Further, a fixing nut 49 is screwed into the male threaded portion 50b to prevent the gland nut 50 screwed into the valve body 2 from loosening.

駆動機構7はハンドル7aおよび駆動機構軸部7bを有し、駆動機構軸部7bはグランドナット50に形成された貫通孔50cを貫通している。貫通孔50cにはめねじ部50dが、駆動機構軸部7bにはおねじ部7c,7dが設けられ、駆動機構7はハンドル7aを回転させることにより上下方向に移動する。 The drive mechanism 7 has a handle 7a and a drive mechanism shaft portion 7b, and the drive mechanism shaft portion 7b penetrates a through hole 50c formed in the gland nut 50. The through hole 50c is provided with a female threaded portion 50d, and the drive mechanism shaft portion 7b is provided with male threaded portions 7c and 7d, and the drive mechanism 7 moves in the vertical direction by rotating the handle 7a.

センサ100は、パッキン押え43とグランドパッキン100の間に介在させられており、このセンサによってパッキン押え43からグランドパッキン40にかけられる面圧等を検知することができる。 The sensor 100 is interposed between the packing presser 43 and the gland packing 100, and this sensor can detect the surface pressure or the like applied from the packing presser 43 to the gland packing 40.

センサ100は、図2に示す位置以外では、パッキンサポート42とグランドパッキン40の間や、グランドパッキン40とボディ2との間に配置することもできる。 The sensor 100 may be arranged between the packing support 42 and the gland packing 40 or between the gland packing 40 and the body 2 other than the positions shown in FIG.

図3は、実施例1のセンサ付きバルブ1Aと監視装置110を有する監視システムを模式的に示したものである。 FIG. 3 schematically shows a monitoring system having a valve 1A with a sensor and a monitoring device 110 according to the first embodiment.

センサ付きバルブ1Aのセンサ100から検知信号が信号線(符号なし)を経由して監視装置110の受信アンテナ111を経由して受信部112に入って、比較部113に送られる。有線の信号線を経由する信号伝達以外に、無線による信号伝達方法によっても良い。なお、受信部112に送られる信号は、検知信号とともにバルブを識別するための信号が送られても良い。 The detection signal from the sensor 100 of the valve 1A with a sensor enters the receiving unit 112 via the receiving antenna 111 of the monitoring device 110 via the signal line (unsigned) and is sent to the comparing unit 113. In addition to signal transmission via a wired signal line, a wireless signal transmission method may be used. As the signal sent to the receiving unit 112, a signal for identifying the valve may be sent together with the detection signal.

比較部113では、センサ付きバルブ1Aから送られた検知信号が、所定の信号と比較される。所定の信号としては、予め決定された基準信号であっても良いし、以前に測定されたセンサの検知信号であっても良い。この比較により、バルブの異常を判断することができる。 In the comparison unit 113, the detection signal sent from the valve 1A with a sensor is compared with a predetermined signal. The predetermined signal may be a predetermined reference signal or a previously measured sensor detection signal. From this comparison, it is possible to determine the abnormality of the valve.

比較された信号は、締め付けの情報として発信される。発信された信号は、監視装置110の表示部114に表示させて確認することができる。 The compared signals are transmitted as tightening information. The transmitted signal can be displayed and confirmed on the display unit 114 of the monitoring device 110.

さらに、監視システムは、この情報を発信部115に送り、発信アンテナ116からインターネットネットワーク117に電波発信して、集中管理サーバ118に送ることができる。 Further, the monitoring system can send this information to the transmitting unit 115, transmit radio waves from the transmitting antenna 116 to the Internet network 117, and send the information to the centralized management server 118.

集中管理サーバ118は、設備やプラントの全継手の識別管理が行われており、点検漏れや締め付けが適切でない継手を即座に発見して、警告を発することができる。 The centralized management server 118 identifies and manages all fittings of equipment and plants, and can immediately detect fittings that are not properly inspected or tightened and issue a warning.

1A、1B;バルブ
2 ;バルブボディ
3 ;弁体
4 ;軸体
5 ;弁座
7 ;駆動機構
7a;ハンドル
7b;駆動機構軸部
7c、7d;おねじ部
8 ;スプリング
9 ;フランジ
21;入口流路
22;出口流路
24;連通部
31;貫通孔
40;グランドパッキン
41;ナット
42;パッキンサポート
43;パッキン押え
44;ステムベアリング
45;トップパッキン
46;ボトムパッキン
47;ステムスプリング
49;固定用ナット
50;グランドナット
50a;ナット部
50b;おねじ部
50c;貫通孔
50d;めねじ部
51;Oリング
71;ストッププレート
91;ボルト
92;ナット
100;センサ
110;監視装置
111;受信アンテナ
112;受信部
113;比較部
114;表示部
115;発信部
116;発信アンテナ
117;インターネットネットワーク
118;集中管理サーバ
1A, 1B; Valve 2; Valve body 3; Valve body 4; Shaft body 5; Valve seat 7; Drive mechanism 7a; Handle 7b; Drive mechanism shaft parts 7c, 7d; Male thread part 8; Spring 9; Flange 21; Inlet Flow path 22; Outlet flow path 24; Communication portion 31; Through hole 40; Gland packing 41; Nut 42; Packing support 43; Packing retainer 44; Stem bearing 45; Top packing 46; Bottom packing 47; Stem spring 49; For fixing Nut 50; Gland nut 50a; Nut part 50b; Male thread part 50c; Through hole 50d; Female thread part 51; O-ring 71; Stop plate 91; Bolt 92; Nut 100; Sensor 110; Monitoring device 111; Receiving antenna 112; Receiving unit 113; Comparison unit 114; Display unit 115; Transmitting unit 116; Transmitting antenna 117; Internet network 118; Centralized management server

Claims (4)

入口流路および出口流路を連通する連通部を有するバルブボディと、
前記連通部に配設された弁体と、
前記弁体を動かす駆動機構と、
前記バルブボディを貫通し、前記駆動機構と前記弁体とを連結する軸体と、
前記軸体の周囲に設けられ、前記軸体と前記バルブボディとの間をシールするグランドパッキンと、
前記グランドパッキンと接し、かつ、当該グランドパッキンが前記軸体の軸方向に受ける負荷を検知できる位置に配置されたセンサと、を有するセンサ付きバルブ。
A valve body having a communication part that communicates the inlet flow path and the outlet flow path,
The valve body arranged in the communication portion and
The drive mechanism that moves the valve body and
A shaft body that penetrates the valve body and connects the drive mechanism and the valve body,
A gland packing provided around the shaft body and sealing between the shaft body and the valve body, and
A valve with a sensor having a sensor that is in contact with the gland packing and is arranged at a position where the gland packing can detect a load received in the axial direction of the shaft body .
前記センサが、ひずみゲージまたは圧力センサである請求項1に記載のセンサ付きバルブ。 The valve with a sensor according to claim 1, wherein the sensor is a strain gauge or a pressure sensor. 請求項1または2に記載のセンサ付きバルブを有する監視システムであって、
前記センサからの信号を受信する受信部と、
前記センサから受信した信号を所定の値と比較する比較部と、
前記比較部で比較した結果を発信する発信部と、
を有する監視システム。
A monitoring system having a valve with a sensor according to claim 1 or 2.
A receiving unit that receives a signal from the sensor,
A comparison unit that compares the signal received from the sensor with a predetermined value, and
A transmission unit that transmits the results of comparison in the comparison unit, and a transmission unit.
Monitoring system with.
請求項3の監視システムを有する流体供給装置であって、比較した結果の発信を行うと共に前記センサ付きバルブを含む流路に設けられたバルブの閉止または開放を行う流体供給装置。
A fluid supply device having the monitoring system according to claim 3, which transmits the results of comparison and closes or opens a valve provided in a flow path including the valve with a sensor.
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