JP7017425B2 - Gas sensor element, gas sensor and gas detector - Google Patents
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Description
本発明は、板状の固体電解質体と固体電解質体の表面に設けられた一対の電極とを有する1つ以上のセルと、発熱部を有する板状のヒータと、が積層された積層体を備えるガスセンサ素子、ガスセンサ素子を備えるガスセンサ、及びガス検出装置に関する。 The present invention provides a laminated body in which one or more cells having a plate-shaped solid electrolyte body and a pair of electrodes provided on the surface of the solid electrolyte body, and a plate-shaped heater having a heat generating portion are laminated. The present invention relates to a gas sensor element including, a gas sensor including a gas sensor element, and a gas detection device.
ガスセンサ素子の一例として、特許文献1に記載のガスセンサ素子が知られている。特許文献1に記載のガスセンサ素子は、板状の固体電解質体と固体電解質体の両面に設けられた一対の電極とを有するセルと、発熱部を有する板状のヒータとの積層体を備える。そして、特許文献1に記載のガスセンサ素子は、発熱部の熱で一対の電極及び固体電解質体を昇温して、これらを活性化させている。
As an example of the gas sensor element, the gas sensor element described in
特許文献1に記載のガスセンサ素子では、一対の電極のそれぞれからヒータの発熱部までの距離が異なり、発熱部に近い側の電極に伝わる熱量と、発熱部に遠い側の電極に伝わる熱量とには大きな差が生じる。そのため、発熱部に近い側の電極は、発熱部に遠い側の電極よりも温度が高くなり、一対の電極間に温度差が生じる。その結果、温度差に起因して一対の電極間に熱起電力が生じ、生じた熱起電力がセンサ出力に対してノイズ成分となる。このように、センサ出力に対して一対の電極間の温度差に起因したノイズ成分が加わることにより、ガスセンサの検出精度が低下するという問題がある。
In the gas sensor element described in
本発明は、こうした問題に鑑みてなされたものであり、一対の電極間における温度差を抑制可能なセンサ素子、センサ素子を備えるガスセンサ、及びガス検出装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of these problems, and an object of the present invention is to provide a sensor element capable of suppressing a temperature difference between a pair of electrodes, a gas sensor including the sensor element, and a gas detection device.
本発明の一つ局面におけるガスセンサ素子は、一つ以上のセルと板状のヒータとが積層された積層体を備える。一つ以上のセルは、板状の固体電解質体と固体電解質体の表面に設けられた一対の電極とを有する。板状のヒータは、通電により発熱する発熱部を有する。 The gas sensor element in one aspect of the present invention includes a laminated body in which one or more cells and a plate-shaped heater are laminated. One or more cells have a plate-shaped solid electrolyte and a pair of electrodes provided on the surface of the solid electrolyte. The plate-shaped heater has a heat generating portion that generates heat when energized.
一つ以上のセルのうち積層方向においてヒータに最も近いセルにおいては、一対の電極は、発熱部に重なる様に固体電解質体の両面に設けられ、発熱部に近い側の第1電極と発熱部に遠い側の第2電極とを備える。積層体は、第1電極と発熱部との間に設けられた断熱部と、積層方向から見たときに断熱部の周囲に連続して形成され、断熱部よりも熱伝導率が高い熱伝導部と、を備える。 In the cell closest to the heater in the stacking direction among one or more cells, the pair of electrodes are provided on both sides of the solid electrolyte body so as to overlap the heat generating portion, and the first electrode and the heat generating portion on the side closer to the heat generating portion are provided. A second electrode on the far side is provided. The laminated body is continuously formed around the heat insulating portion provided between the first electrode and the heat generating portion and the heat insulating portion when viewed from the stacking direction, and has a higher thermal conductivity than the heat insulating portion. It is equipped with a part.
このガスセンサ素子において、積層体が、ヒータの発熱部に近い側の第1電極と発熱部との間に断熱部を備えることにより、発熱部から一対の電極への熱の伝導経路が、直線的な経路ではなく、断熱部を迂回して回り込むような経路となる。これにより、発熱部から第1電極へ伝わる熱量と第2電極へ伝わる熱量との差が抑制されるため、一対の電極間の温度差を抑制することができる。 In this gas sensor element, the laminated body is provided with a heat insulating portion between the first electrode and the heat generating portion on the side close to the heat generating portion of the heater, so that the heat conduction path from the heat generating portion to the pair of electrodes is linear. It is not a simple route, but a route that bypasses the heat insulating part and goes around. As a result, the difference between the amount of heat transferred from the heat generating portion to the first electrode and the amount of heat transferred to the second electrode is suppressed, so that the temperature difference between the pair of electrodes can be suppressed.
また、積層体は、積層方向から見たときに断熱部の周囲に連続して形成される熱伝導部を備える。すなわち、断熱部は、積層方向から見たときに熱伝導部で囲われ、積層体の外部に露出していない。よって、断熱部の一部が外部に露出している場合と比べて、熱の伝導経路が多く形成されるため、発熱部から一対の電極及び固体電解質体へ効率的に熱を伝えることができる。ひいては、発熱部から第1電極へ伝わる熱量と第2電極へ伝わる熱量の差を抑制しつつ、一対の電極及び固体電解質体の活性化の低下を抑制することができる。 Further, the laminated body includes a heat conductive portion continuously formed around the heat insulating portion when viewed from the stacking direction. That is, the heat insulating portion is surrounded by the heat conductive portion when viewed from the stacking direction and is not exposed to the outside of the laminated body. Therefore, since more heat conduction paths are formed as compared with the case where a part of the heat insulating portion is exposed to the outside, heat can be efficiently transferred from the heat generating portion to the pair of electrodes and the solid electrolyte body. .. As a result, it is possible to suppress a decrease in the activation of the pair of electrodes and the solid electrolyte while suppressing the difference in the amount of heat transferred from the heat generating portion to the first electrode and the amount of heat transferred to the second electrode.
次に、上述のセンサ素子においては、積層体は、断熱部よりも熱伝導率が高く、第1電極と断熱部とに挟まれたセラミック層を備えてもよい。
第1電極と断熱部との間に断熱部よりも熱伝導率が高いセラミック層が挟まれていることにより、第1電極と断熱部が接している場合よりも、発熱部から一対の電極及び固体電解質体へより効率的に熱を伝えることができる。
Next, in the above-mentioned sensor element, the laminated body has a higher thermal conductivity than the heat insulating portion, and may include a ceramic layer sandwiched between the first electrode and the heat insulating portion.
Since a ceramic layer having a higher thermal conductivity than the heat insulating portion is sandwiched between the first electrode and the heat insulating portion, the pair of electrodes from the heat generating portion and the heat insulating portion are more than when the first electrode and the heat insulating portion are in contact with each other. Heat can be transferred to the solid electrolyte more efficiently.
次に、上述のセンサ素子においては、断熱部は、その積層方向に垂直な面の面積が、第1電極の発熱部に向く面の面積以上となるように構成されていてもよい。
実験により、断熱部の積層方向に垂直な面の面積(以下、断熱部断面積)が、第1電極の発熱部に向く面積(以下、第1電極面積)未満の場合は、断熱部断面積を大きくするほど一対の電極間の温度差が小さくなり、断熱部断面積が第1電極面積以上になると、一対の電極間の温度差はほぼ変わらなくなることがわかった。したがって、断熱部断面積を第1電極面積以上とすることで、一対の電極間の温度差を好適に抑制することができる。
Next, in the above-mentioned sensor element, the heat insulating portion may be configured so that the area of the surface perpendicular to the stacking direction is equal to or larger than the area of the surface of the first electrode facing the heat generating portion.
According to the experiment, when the area of the surface perpendicular to the stacking direction of the heat insulating portion (hereinafter, the cross-sectional area of the heat insulating portion) is less than the area facing the heat generating portion of the first electrode (hereinafter, the area of the first electrode), the cross-sectional area of the heat insulating portion. It was found that the temperature difference between the pair of electrodes became smaller as the value was increased, and when the cross-sectional area of the heat insulating portion became equal to or larger than the area of the first electrode, the temperature difference between the pair of electrodes was almost unchanged. Therefore, by setting the cross-sectional area of the heat insulating portion to be equal to or larger than the area of the first electrode, the temperature difference between the pair of electrodes can be suitably suppressed.
次に、上述のセンサ素子においては、断熱部は、空間であってもよい。
積層体が、発熱部と第1電極との間に空間を備えることにより、発熱部から第1電極への直線的な熱の伝導を抑制して、一対の電極間の温度差を抑制することができる。
Next, in the above-mentioned sensor element, the heat insulating portion may be a space.
By providing a space between the heat generating portion and the first electrode, the laminated body suppresses the linear heat conduction from the heat generating portion to the first electrode and suppresses the temperature difference between the pair of electrodes. Can be done.
次に、上述のセンサ素子においては、断熱部は、熱伝導部よりも気孔率の高い多孔質部材によって形成されていてもよい。
このような場合でも、断熱部が空間である場合と同様に、一対の電極間の温度差を抑制することができる。
Next, in the above-mentioned sensor element, the heat insulating portion may be formed of a porous member having a higher porosity than the heat conductive portion.
Even in such a case, the temperature difference between the pair of electrodes can be suppressed as in the case where the heat insulating portion is a space.
次に、上述のセンサ素子においては、断熱部は、熱伝導部よりも熱伝導率が低い緻密部材によって形成されていてもよい。
このような場合でも、断熱部が空間である場合と同様に、一対の電極間の温度差を抑制することができる。
Next, in the above-mentioned sensor element, the heat insulating portion may be formed of a dense member having a lower thermal conductivity than the heat conductive portion.
Even in such a case, the temperature difference between the pair of electrodes can be suppressed as in the case where the heat insulating portion is a space.
本発明の他の一つの局面におけるガスセンサは、上述のガスセンサ素子と、ガスセンサ素子を保持するハウジングと、を備える。
このようなガスセンサは、上述のガスセンサ素子を備えることにより、検出精度を向上させることができる。
The gas sensor in another aspect of the present invention includes the gas sensor element described above and a housing for holding the gas sensor element.
By providing such a gas sensor with the above-mentioned gas sensor element, the detection accuracy can be improved.
本発明の他の一つの局面におけるガス検出装置は、上述のガスセンサと、発熱部の通電をPWM制御するセンサ制御部と、を備える。PWMは、Pulse Width Modulationの略である。
ガスセンサ素子の温度が一定になるように発熱部をPWM制御する場合、発熱部をPWM制御しない場合と比べて、センサ出力に対して変動するノイズが加わるため、検出精度が低下しやすい。ガス検出装置は、上述のガスセンサを備えることにより、発熱部をPWM制御する場合でも、センサ出力に対して加わるノイズを抑制して、検出精度を向上させることができる。
The gas detection device in another aspect of the present invention includes the above-mentioned gas sensor and a sensor control unit that PWM controls the energization of the heat generating unit. PWM is an abbreviation for Pulse Width Modulation.
When the heat generating portion is PWM-controlled so that the temperature of the gas sensor element becomes constant, noise that fluctuates with respect to the sensor output is added as compared with the case where the heat-generating portion is not PWM-controlled, so that the detection accuracy tends to decrease. By providing the above-mentioned gas sensor, the gas detection device can suppress noise added to the sensor output and improve the detection accuracy even when the heat generating portion is PWM-controlled.
なお、ここでの「垂直」とは、厳密な意味での垂直に限るものではなく、目的とする効果を奏するのであれば厳密に垂直でなくてもよい。 The term "vertical" here is not limited to vertical in a strict sense, and may not be strictly vertical as long as it produces the desired effect.
以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。
(第1実施形態)
<1.ガス検出装置>
まず、第1実施形態のガス検出装置900の構成について、図1を参照して説明する。ガス検出装置900は、ガスセンサ1とセンサコントロールユニット800(以下、SCU800)とを備える。ガスセンサ1は、車両に搭載されて用いられるガスセンサを想定しており、例えば、排ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサである。図1では、ガスセンサ1を軸線方向に沿って切断した断面図によってガスセンサ1を示している。
Hereinafter, embodiments for carrying out the invention will be described with reference to the drawings.
(First Embodiment)
<1. Gas detector>
First, the configuration of the
ガスセンサ1は、主体金具5と、セラミックスリーブ9と、絶縁コンタクト部材13と、5個(図1には2個のみ図示)の接続端子15と、外筒57と、グロメット61と、プロテクタ55と、ガスセンサ素子7と、を備えている。
The
主体金具5は、ガスセンサ1をエンジンの排気管に固定するためのネジ部3を外表面に有する。また、主体金具5は、軸線方向に貫通する貫通孔37を有するとともに、貫通孔37の径方向内側に突出する棚部39を有する筒状に構成されている。この主体金具5は、後述するガスセンサ素子7のガス導入部94を貫通孔37の先端よりも先端側に配置し、ガスセンサ素子7の電極パッド25,27,29,31,33を貫通孔37の後端よりも後端側に配置する状態で、貫通孔37に挿通されたガスセンサ素子7を保持するよう構成されている。なお、軸線方向は、ガスセンサ1の長手方向であり、図1の上下方向である。また、先端側は図1における下側であり、後端側は図1における上側である。
The
また、主体金具5の貫通孔37の内部には、ガスセンサ素子7の径方向周囲を取り囲む状態で、環状形状のセラミックホルダ41、滑石リング43、滑石リング45、及びセラミックスリーブ9が、この順に先端側から後端側にかけて積層されている。
Further, inside the through
セラミックスリーブ9は、筒状に形成されており、ガスセンサ素子7の径方向周囲を取り囲むように配置される。このセラミックスリーブ9と主体金具5の後端部47との間には、加締パッキン49が配置される。一方、セラミックホルダ41と主体金具5の棚部39との間には、滑石リング43やセラミックホルダ41を保持するための金属ホルダ51が配置されている。主体金具5の後端部47は、加締パッキン49を介してセラミックスリーブ9を先端側に押し付けるように、加締められている。
The
プロテクタ55は、円筒状の部材の二重構造となっている。各円筒状の部材は、複数の孔部を有する金属製(例えば、ステンレス)の部材である。プロテクタ55は、ガスセンサ素子7の主体金具5からの突出部分を覆うように、主体金具5の先端部53の外周に溶接等によって固定されている。
The
外筒57は、円筒状に形成されており、主体金具5の後端側の外周に固定されている。絶縁コンタクト部材13は、筒状に形成されており、内部に軸線方向に貫通する挿通孔11を備える。絶縁コンタクト部材13は、挿通孔11の内壁面がガスセンサ素子7の後端部の周囲を取り囲むように、外筒57の内部に配置される。絶縁コンタクト部材13の外周には、突出部63が形成されており、突出部63は、保持部材65を介して外筒57に固定されている。
The
5個の接続端子15は、それぞれ、ガスセンサ素子7と絶縁コンタクト部材13との間に配置される。5個の接続端子15は、ガスセンサ素子7の電極パッド25,27,29,31,33にそれぞれ電気的に接続されるとともに、SCU800からガスセンサ1の内部に配設されるリード線35にも電気的に接続されている。
Each of the five
グロメット61は、外筒57の後端側の開口部に配置されている。グロメット61は、5本のリード線35が挿通される挿通孔59を備える。5本のリード線35は、第1端が接続端子15を介して電極パッド25,27,29,31,33とそれぞれ電気的に接続されるとともに、第2端がSCU800に接続される。図1では、5本のリード線35のうちの3本を示している。
The
ガスセンサ素子7は、軸線方向に延びる板状の素子である。図2に示すように、ガスセンサ素子7は、軸線方向に延びる板状の素子部71と、同じく軸線方向に延びる板状のヒータ73と、素子部71及びヒータ73の先端側を覆う保護層17と、を備える。素子部71およびヒータ73の先端側は、測定対象となるガスに向けられる素子本体部70である。また、ガスセンサ素子7は、後端側の外表面のうち表裏の位置関係となる第1主面21および第2主面23に、電極パッド25,27,29,31,33が形成されている。ガスセンサ素子7の構成の詳細は後述する。
The
センサコントロールユニット800(以下、SCU800)は、CPU、ROM、RAM等を備えたマイクロコンピュータを主体として構成された制御装置である。SCU800は、ガスセンサ1の濃度検出処理やヒータ73の通電制御を含む各種処理を実行する。
The sensor control unit 800 (hereinafter referred to as SCU800) is a control device mainly composed of a microcomputer equipped with a CPU, ROM, RAM and the like. The
<2.ガスセンサ素子>
次に、ガスセンサ素子7の構成について、図2~図5を参照して説明する。ガスセンサ素子7は、板状の素子部71と板状のヒータ73とが積層された積層体72と、保護層17と、を備える、長尺の略直方体形状の板材である。ガスセンサ素子7の後端側(図2の上方)には、C面取り部131が形成されている。C面取り部131は、ガスセンサ素子7の後端面の周囲四方の稜線に対して、C面取りを施すことによって形成されている。ガスセンサ素子の後端面は、ガスセンサ素子の長手方向と垂直な面である。
<2. Gas sensor element>
Next, the configuration of the
ここで、各図において、ガスセンサ素子7の長手方向をY軸方向、長手方向に垂直な積層方向をZ軸方向、長手方向及び積層方向に垂直な幅方向をX軸方向とする。ガスセンサ素子7において、素子部71は、積層方向の一方の側に配置されており、ヒータ73は、素子部71の反対側に配置されている。
Here, in each figure, the longitudinal direction of the
素子部71は、酸素濃度検出セル81及び酸素ポンプセル89の二つのセルと、これら二つのセルの間に積層され、中空のガス測定室を形成するための絶縁スペーサ93と、を備えている。
The
酸素濃度検出セル81は、酸素ポンプセル89よりもヒータ73に近い側に形成されており、第1固体電解質体75と、一対の電極である第1電極79及び第2電極77と、を備える。酸素ポンプセル89は、第2固体電解質体83と、一対の電極である第3電極87及び第4電極85と、を備える。第1及び第2固体電解質体75,83は、イットリアを安定化剤として固溶させたジルコニアから、長手方向に延びる板形状に形成されている。
The oxygen
第1電極79、第2電極77、第3電極87、及び第4電極85は、Ptを主体として形成された多孔質電極である。第1電極79及び第2電極77は、第1固体電解質体75の先端部分の両面に設けられており、第1電極79はヒータ73に近い側の面に設けられており、第2電極77はヒータ73に遠い側の面に設けられている。また、第3電極87と第4電極85は、第2固体電解質体83の両面に設けられており、第3電極87はヒータ73に近い側の面に設けられており、第4電極85はヒータ73に遠い側の面に設けられている。
The
また、ガス測定室91を形成する絶縁スペーサ93は、アルミナを主体に形成されており、中空のガス測定室91の内側には、酸素濃度検出セル81の第2電極77と、酸素ポンプセル89の第3電極87が露出するように配置されている。
Further, the insulating
絶縁スペーサ93の側面、つまり素子部71の側面には、排ガスの取り込み口となる2つのガス導入部94が形成されている。ガス導入部94は、ガス測定室91に連通している。2つのガス導入部94からガス測定室91までの各経路には、拡散律速部95が形成されている。拡散律速部95は、例えば、アルミナ等からなる多孔質体で構成されており、測定対象ガスがガス測定室91へ流入する際の律速を行う。拡散律速部95は、その一部がガス導入部94から露出する状態で備えられている。つまり、このガスセンサ素子7においては、ガス導入部94は、素子本体部70の最外面において異なる2方向に向けて形成されており、拡散律速部95は、異なる2方向に向けて露出している。
Two
素子部71の第1主面21側にはアルミナを主体とする絶縁基板97が積層されており、この絶縁基板97には、拡散律速部95と同様に、多孔質体で構成された通気部99が形成されている。この通気部99は、酸素ポンプセル89の駆動により移動する酸素を通過させるために使用される。
An insulating
ガス測定室91は、素子部71のうち先端側の素子本体部70に位置するように形成されており、酸素濃度検出セル81及び酸素ポンプセル89は、ガス測定室91に面しており、酸素を検出するためのガス検出部として備えられる。
The
保護層17は、多孔質状のアルミナで構成されており、素子本体部70の最外面を覆うように形成されている。具体的には、保護層17は、拡散律速部95よりも拡散抵抗が小さい多孔質材料で構成されている。このような構成のガスセンサ素子7においては、排ガスは、保護層17を介してガス導入部94に到達し、ガス導入部94から拡散律速部95を介してガス測定室91に導入される。
The
ヒータ73は、アルミナを主体とする緻密層である絶縁基板101、103の間に、Ptを主体とする発熱抵抗体パターン105が挟み込まれて形成されており、酸素濃度検出セル81及び酸素ポンプセル89を活性化温度まで加熱する。絶縁基板101,103が、発熱抵抗体パターン105の上下を挟むように発熱抵抗体パターン105を包みこんでいるため、発熱抵抗体パターン105からの熱が速やかに酸素濃度検出セル81及び酸素ポンプセル89へ伝わる。
The
また、ヒータ73は、SCU800によって通電制御が行われる。本実施形態では、ヒータ73は、素子部71の温度が一定となるように、PWM制御される。すなわち、SCU80は、所定の周期におけるオン期間とオフ期間の割合が所定のデューティ比となるように、ヒータ73の通電を制御する。
Further, the
発熱抵抗体パターン105は、図5に示すように、先端側に設けられた複数の直線部105aと、複数の直線部105aの後端から後端側へ延びたヒータリード部と、を備える。本実施形態では、発熱抵抗体パターン105は、4本の直線部105aを備える。発熱抵抗体パターン105のうち、発熱するのは複数の直線部105aである。複数の直線部105aは、積層方向において、複数の直線部105a、酸素濃度検出セル81、ガス測定室91、及び酸素ポンプセル89がこの順番で重なるように、素子本体部70に設けられている。
As shown in FIG. 5, the heat
また、積層体72は、発熱抵抗体パターン105の複数の直線部105aと酸素濃度検出セル81の第1電極79との間に設けられた断熱部18を備える。断熱部18は、ヒータ73の素子部71側の絶縁基板101において、第1電極79と重なる部分に設けられた凹部に形成されている。つまり、断熱部18は複数の直線部105aに直に接してはおらず、断熱部18と複数の直線部105aとの間に絶縁基板101が挟まれている。また、断熱部18は、ガスセンサ素子7の幅方向において、複数の直線部105aのうちの少なくとも2本を跨ぐように設けられている。
Further, the
断熱部18は、凹部に形成される空間でもよいし、凹部に埋め込まれた多孔質部材でもよいし、凹部に埋め込まれた緻密部材でもよい。断熱部18を多孔質部材とした場合、多孔質部材としては、断熱部18の周囲の絶縁基板103よりも気孔率の高い多孔質部材、例えば、気孔径0.7μm、気孔率約45%の多孔質部材を採用できる。また、断熱部18を緻密部材とした場合、緻密部材としては、断熱部18の周囲の絶縁基板101よりも熱伝導率が低い緻密部材を採用できる。
The
断熱部18は、積層体72の内部に埋め込まれており、積層体72から露出していない。すなわち、積層方向から見たときに、絶縁基板101は、断熱部18の周囲に連続して形成されている。絶縁基板101は、断熱部18よりも熱伝導率が高い部材である。具体的には、絶縁基板101は、断熱部18である空間又は多孔質部材又は緻密部材を形成する物質よりも熱伝導率が高い物質で形成された部材でもよいし、断熱部18である多孔質部材又は緻密部材と気孔率及び/又は気孔径が異なることによって、断熱部18よりも熱伝導率が高い部材でもよい。
The
よって、直線部105aから酸素濃度検出セル81への熱の伝導経路が、直線部105aから酸素濃度検出セル81へ向かう直線的な経路ではなく、断熱部18を迂回して回り込むような経路となる。そのため、直線部105aから第1電極79へ伝わる熱量と第2電極77へ伝わる熱量と差が抑制される。さらに、断熱部18が積層体72の外部に露出していないため、断熱部18の一部が外部に露出している場合と比べて、熱の伝導経路が多く形成される。また、断熱部18が複数の直線部105aのうちの少なくとも2本を跨ぐように設けられていることにより、複数の熱源から酸素濃度検出セル81へ熱が伝わるため、直線部105aから第1電極79へ伝わる熱量と第2電極77へ伝わる熱量との差を抑制し、熱起電力の発生を抑制しつつ、より効果的に酸素濃度検出セル81を加熱することができる。
Therefore, the heat conduction path from the
また、積層体72は、断熱部18と第1電極79とに挟まれたセラミック製の絶縁基板102を備える。詳しくは、絶縁基板102は、絶縁基板101と第1固体電解質体75との間に設けられており、第1電極79は絶縁基板102に埋め込まれている。よって、第1電極79は断熱部18に直に接してはおらず、第1電極79と断熱部18との間に絶縁基板102が挟まれている。絶縁基板102は、断熱部18よりも熱伝導率が高い部材である。このように、第1電極79と断熱部18との間に、断熱部18よりも熱伝導率が高い絶縁基板102が挟まれていることにより、直線部105aから断熱部18を迂回して伝達された熱は、絶縁基板102の部分で軸線方向へ広がり、酸素濃度検出セル81へ効率的に伝えられる。
Further, the
ここで、図6に示す従来のガスセンサ素子は、ヒータH11と第1セルC11と第2セルC12とを備え、断熱部を備えていない。第1セルC11は、ヒータH11に近い側の電極Vs+とヒータH11に遠い側の電極Vs-とを備える。従来のガスセンサ素子は、断熱部を備えていないため、断熱部を備えている場合と比べて、電極Vs+と電極Vs-とに伝わる熱量の差が大きくなり、電極Vs+と電極Vs-の温度差が大きくなる。その結果、電極Vs+と電極Vs-との間に、ゼーベック効果によって熱起電力が生じる。 Here, the conventional gas sensor element shown in FIG. 6 includes a heater H11, a first cell C11, and a second cell C12, and does not include a heat insulating portion. The first cell C11 includes an electrode Vs + on the side closer to the heater H11 and an electrode Vs− on the side farther from the heater H11. Since the conventional gas sensor element does not have a heat insulating portion, the difference in the amount of heat transferred between the electrode Vs + and the electrode Vs- becomes larger than that in the case where the heat insulating portion is provided, and the temperature difference between the electrode Vs + and the electrode Vs- Becomes larger. As a result, a thermoelectromotive force is generated between the electrode Vs + and the electrode Vs-due by the Seebeck effect.
図7に示すように、電極Vs+と電極Vs-との温度差によって生じる熱起電力は、起電力Vsの変動量ΔVsに寄与するノイズ成分となる。起電力Vsに対する他のノイズ成分は、ヒータ73の通電のオンオフの切り替えに伴う電磁誘導とホワイトノイズがある。これらのノイズ成分の中でも、熱起電力に伴う出力変動は大きく常時発生するため、電極Vs+と電極Vs-との温度差が大きいと、ガスセンサのセンサ出力が不安定になる可能性がある。これに対して、本実施形態のガスセンサ素子7は断熱部18を備えているため、熱起電力による出力変動が抑制され、ガスセンサ1のセンサ出力は安定しやすい。
As shown in FIG. 7, the thermoelectromotive force generated by the temperature difference between the electrode Vs + and the electrode Vs− is a noise component that contributes to the fluctuation amount ΔVs of the electromotive force Vs. Other noise components with respect to the electromotive force Vs are electromagnetic induction and white noise associated with switching on / off of energization of the
<3.断熱部の大きさ>
次に、断熱部18の大きさとノイズの低減効果について説明する。ここでは、断熱部18の積層方向の厚みと軸線方向の長さ、すなわち、断熱部18のz方向の厚みとy方向の長さを一定にし、断熱部18の幅すなわちx方向の長さを3通りに変化させて、ノイズの低減効果を比較した。
<3. Size of heat insulation part>
Next, the size of the
具体的には、(i)図8及び図11に示すように、断熱部18の幅を第1電極79の幅よりも小さくする。(ii)図9及び図12に示すように、断熱部18の幅を第1電極79の幅と等しくする。(iii)図10及び図13に示すように、断熱部18の幅を第1電極79の幅よりも大きくする。(i)の場合は、断熱部18の積層方向に垂直な面の面積(以下、断熱部断面積)が、第1電極79の発熱抵抗体パターン105の直線部105aに向く面の面積(以下、第1電極面積)、つまり、断熱部18に対向する面の面積よりも小さくなる。(ii)の場合、断熱部断面積と第1電極面積は等しくなる。(iii)の場合、断熱部断面積は第1電極面積よりも大きくなる。
Specifically, as shown in (i) FIGS. 8 and 11, the width of the
図14に、断熱部18なし、断熱部18を空間とした(i)~(iii)の場合、断熱部18を多孔質材とした(i)~(iii)の場合における、ノイズの有無、ノイズの低減率を示す。ノイズの有無は、×、△、○、◎の順で後になるほどノイズが少ないことを示す。ノイズの低減率は、断熱部18なしとした場合と比較して、どの程度ノイズが低減したかを示す数値である。
FIG. 14 shows the presence or absence of noise in the cases of (i) to (iii) in which the
図14に示すように、断熱部18がない場合と比べて、断熱部18を空間及び多孔質材のどちらにした場合も、ノイズ低減効果が得られているが、断熱部18を空間にした場合に、特にノイズ低減効果が高いことがわかる。断熱部18を多孔質材とする場合は、気孔径を大きくする及び/又は気孔率を大きくすることで、ノイズ低減効果を、断熱部18を空間とした場合のノイズ低減効果に近づけることができる。
As shown in FIG. 14, the noise reduction effect is obtained when the
また、断熱部18がない場合と比べて、断熱部18の大きさを(i)~(iii)のどれにした場合でも、ノイズ低減効果が得られることがわかる。そして、断熱部18の大きさを(i)とした場合と比べて、(ii)及び(iii)とした場合の方が、ノイズ低減効果が高くなっていることがわかる。よって、ノイズ低減効果を向上させるためには、断熱部断面積を第1電極面積以上とすることが望ましい。
Further, it can be seen that the noise reduction effect can be obtained regardless of the size of the heat insulating portion 18 (i) to (iii) as compared with the case where the
ただし、断熱部18の大きさを(ii)とした場合と(iii)とした場合とでは、ノイズ低減効果は略等しく、有意な差は見られない。また、断熱部18を空間又は多孔質材とする場合、断熱部18を大きくするほど、ガスセンサ素子7の強度が低下する。したがって、ノイズ低減効果及びガスセンサ素子7の強度の観点から、断熱部断面積は第1電極面積と等しくすることが最も望ましい。
However, the noise reduction effect is substantially the same between the case where the size of the
<4.効果>
以上説明した第1実施形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)断熱部18を備えることにより、直線部105aから酸素濃度検出セル81への熱の伝導経路が、直線的な経路ではなく、断熱部18を迂回して回り込むような経路となる。これにより、直線部105aから第1電極79へ伝わる熱量と第2電極77へ伝わる熱量との差が抑制され、第1電極79と第2電極77の電極間の温度差を抑制することができる。さらに、断熱部18は、積層体72の外部に露出していないため、断熱部18の一部が外部に露出している場合と比べて、熱の伝導経路が多く形成される。よって、直線部105aから酸素濃度検出セル81へ効率的に熱を伝えることができる。ひいては、直線部105aから第1電極79へ伝わる熱量と第2電極77へ伝わる熱量の差を抑制しつつ、酸素濃度検出セル81の活性化の低下を抑制することができる。
<4. Effect>
According to the first embodiment described above, the following effects can be obtained.
(1) By providing the
(2)第1電極79と断熱部18との間に断熱部18よりも熱伝導率が高い絶縁基板102が挟まれていることにより、第1電極79と断熱部18が接している場合よりも、直線部105aから酸素濃度検出セル81へより効率的に熱を伝えることができる。
(2) Since the insulating
(3)断熱部18の断熱断面積を第1電極79の第1電極面積以上とすることで、第1電極79と第2電極77との電極間の温度差を好適に抑制することができる。
(4)ガスセンサ1は、ガスセンサ素子7を備えることにより、検出精度を向上させることができる。
(3) By setting the heat insulating cross-sectional area of the
(4) The
(5)ガス検出装置900は、ガスセンサ素子7を備えることにより、ヒータ73の通電をPWM制御する場合でも、センサ出力に対して加わるノイズを抑制して、検出精度を向上させることができる。
(5) By providing the
<5.第1実施形態の変形例>
上述した第1実施形態では、積層体72は、断熱部18と第1電極79とに挟まれた絶縁基板102を備えていた。酸素濃度検出セル81への熱伝導の効率の観点からすると、積層体72は、絶縁基板102を備えている方が望ましいが、図15に示すように、絶縁基板102を備えていなくてもよい。すなわち、第1電極79が断熱部18に直に接していてもよい。第1電極79が断熱部18に直に接していても、断熱部18を設けたことにより熱起電力を抑制して、出力変動を抑制することができる。
<5. Modification example of the first embodiment>
In the first embodiment described above, the
<6.文言の対応関係>
ここで、文言の対応関係について説明する。
第1及び第2固体電解質体75,83が板状の固体電解質体に相当し、第1及び第2電極79,77と第3及び第4電極87,85が一対の電極に相当する。また、ヒータ73、複数の直線部105a、積層体72が、それぞれ板状のヒータ、発熱部、積層体に相当する。また、酸素濃度検出セル81及び酸素ポンプセル89が一つ以上のセルに相当し、酸素濃度検出セル81がヒータに最も近いセルに相当する。また、第1電極79、第2電極77、断熱部18、絶縁基板101、絶縁基板102が、それぞれ第1電極、第2電極、断熱部、熱伝導部、セラミック層に相当する。また、ガスセンサ素子7、ガスセンサ1、SCU800、ガス検出装置900が、それぞれガスセンサ素子、ガスセンサ、制御部、ガス検出装置に相当する。また、主体金具5と外筒57とプロテクタ55がハウジングに相当する。
<6. Correspondence of words>
Here, the correspondence between words will be described.
The first and second
(第2実施形態)
<1.第1実施形態との相違点>
第2実施形態は、基本的な構成は第1実施形態と同様であるため、共通する構成については説明を省略し、相違点を中心に説明する。なお、第1実施形態と同じ符号は、同一の構成を示すものであって、先行する説明を参照する。
(Second Embodiment)
<1. Differences from the first embodiment>
Since the basic configuration of the second embodiment is the same as that of the first embodiment, the description of the common configuration will be omitted, and the differences will be mainly described. It should be noted that the same reference numerals as those in the first embodiment indicate the same configuration, and the preceding description will be referred to.
前述した第1実施形態では、ガスセンサ素子7は2つのセルを備えていた。これに対し、第2実施形態では、ガスセンサ素子204が1つのセルしか備えていない点で、第1実施形態と相違する。
In the first embodiment described above, the
ガスセンサ素子204は、図16~図18に示すように、遮蔽層312、拡散律速部315、酸素ポンプセル500、絶縁基板307、ヒータ400が積層された積層体350と、積層体350の先端側を覆う保護層330と、を備えている。積層体350の先端側は、測定対象となるガスに向けられる素子本体部501である。
As shown in FIGS. 16 to 18, the
ヒータ400は、ヒータ73と同様に、軸線方向に延びる板状に形成されており、絶縁基板301と絶縁基板303で発熱抵抗体パターン105を挟んで構成されている。
酸素ポンプセル500は、酸素ポンプセル89と同様に、軸線方向に延びる板状に形成されており、固体電解質体309と、固体電解質体309の両面に形成された第5電極308と第6電極310と、を備える。第5電極308及び第6電極310は、ヒータ400の直線部105aに重なる様に、固体電解質体309の両面に設けられている。第5電極308は、固体電解質体309の長手方向に沿って延びる不図示のリード部を備えており、このリード部は、電極端子部321と電気的に接続されている。ガスセンサ素子204では、第5電極308と第6電極310との間に微小電流を流して、第5電極308を基準濃度に応じた基準電位にして用いる。
Like the
Like the
また、素子本体部501は、排ガスを導入するためのガス導入部322を備える。素子本体部501は、その内部に、ガス導入部322を介して排ガスが導入されるガス測定室316を備えている。ガス測定室316は、第6電極310を覆うように、固体電解質体309の表面に設けられている。
Further, the element
拡散律速部315は、アルミナから構成された多孔質材であり、ガス測定室316を覆うように、固体電解質体309の表面に設けられている。さらに、拡散律速部315の表面のうち固体電解質体309とは反対側の面には遮蔽層312が積層されている。また、拡散律速部315は、遮蔽層312及び固体電解質体309には接しない4つの側面が外部に露出している。拡散律速部315におけるこの露出部分が、ガスセンサ素子204の素子本体部501のうち排ガスを導入するためのガス導入部322となる。
The diffusion
絶縁基板307は、ヒータ400と酸素ポンプセル500との間に設けられている。絶縁基板307は、絶縁性を有するセラミック焼結体であればとくに限定されるものではなく、例えば、アルミナやムライト等の酸化物系セラミックを採用することができる。
The insulating
また、絶縁基板307は、ヒータ400に近い側の第5電極308と対向する部分がくり抜かれており、くり抜かれた部分に断熱部325が形成されている。つまり、断熱部325は、発熱抵抗体パターン105の直線部105aと第5電極308との間に設けられており、直に第5電極308と接している。
Further, in the insulating
絶縁基板307は、断熱部325よりも熱伝導率が高い部材であり、積層方向から見たときに、断熱部325の周囲に連続して形成されている。すなわち、断熱部325は、積層体350に埋め込まれており、積層体350から露出していない。
The insulating
また、断熱部325は、断熱部18と同様に、空間でもよいし、周囲の絶縁基板307よりも気孔率の高い多孔質部材でもよいし、絶縁基板307よりも熱伝導率の低い緻密部材でもよい。また、断熱部325は、断熱部18と同様に、ガスセンサ素子204の幅方向において、複数の直線部105aのうちの少なくとも2本を跨ぐように設けられている。
Further, the
また、断熱部325の大きさは、断熱部18と同様に、断熱部断面積を、第5電極308の直線部105aに向く面積(以下、第5電極面積)以上にすることが望ましい。特に、断熱部18の断熱部段絵面積と第5電極面積を等しくすることが最も望ましい。
Further, as for the size of the
また、断熱部325は、第5電極308に直に接しているが、断熱部18と第1電極79との間に絶縁基板102が設けられていたように、熱の伝導効率を上げるために、断熱部325と第5電極308との間に、断熱部325よりも熱伝導率が高く、絶縁基板307の熱伝導率以上の熱伝導率の絶縁基板が設けられていてもよい。
Further, the
保護層330は、多孔質材のアルミナで、素子本体部501の最外面を覆うように形成されている。具体的には、保護層330は、拡散律速部315よりも拡散抵抗が小さい多孔質材料で構成されている。このような構成のガスセンサ素子204においては、排ガスは、保護層330を介してガス導入部322に到達し、ガス導入部322から拡散律速部315を介してガス測定室316に導入される。
The
以上説明した第2実施形態によれば、前述した第1実施形態の効果(1)~(5)と同様の効果を奏する。ただし、第1実施形態の酸素濃度検出セル81は、第2実施形態の酸素ポンプセル500に対応する。
According to the second embodiment described above, the same effects as those of the above-mentioned effects (1) to (5) of the first embodiment are obtained. However, the oxygen
<2.文言の対応関係>
ここで、文言の対応関係について説明する。
固体電解質体309が板状の固体電解質体に相当し、第5及び第6電極308,310が一対の電極に相当する。また、ヒータ400、積層体350が、それぞれ板状のヒータ、積層体に相当する。また、酸素ポンプセル500が一つ以上のセル及びヒータに最も近いセルに相当する。また、ガスセンサ素子204がガスセンサ素子に相当する。また、第5電極308、第6電極310、断熱部325、絶縁基板307が、それぞれ第1電極、第2電極、断熱部、熱伝導部に相当する。
<2. Correspondence of words>
Here, the correspondence between words will be described.
The
(他の実施形態)
以上、本開示を実施するための形態について説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されることなく、種々変形して実施することができる。
(Other embodiments)
Although the embodiment for carrying out the present disclosure has been described above, the present disclosure is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified and carried out.
(a)上記実施形態では、SCU800は、ヒータ73,400の通電をPWM制御していたが、PWM制御に限定されるものではなく、例えば、オンし続けてもよい。SCU800がヒータ73,400をPWM制御しない場合、熱起電力が発生すると、センサ出力はオフセットされる。
(A) In the above embodiment, the
(b)上記実施形態における1つの構成要素が有する複数の機能を、複数の構成要素によって実現したり、1つの構成要素が有する1つの機能を、複数の構成要素によって実現したりしてもよい。また、複数の構成要素が有する複数の機能を、1つの構成要素によって実現したり、複数の構成要素によって実現される1つの機能を、1つの構成要素によって実現したりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加又は置換してもよい。なお、特許請求の範囲に記載した文言のみによって特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。 (B) A plurality of functions possessed by one component in the above embodiment may be realized by a plurality of components, or one function possessed by one component may be realized by a plurality of components. .. Further, a plurality of functions possessed by the plurality of components may be realized by one component, or one function realized by the plurality of components may be realized by one component. Further, a part of the configuration of the above embodiment may be omitted. Further, at least a part of the configuration of the above embodiment may be added or replaced with the configuration of the other above embodiment. It should be noted that all aspects included in the technical idea specified only by the wording described in the claims are embodiments of the present disclosure.
1…ガスセンサ、5…主体金具、7,204…ガスセンサ素子、17,330…保護層、18,325…断熱部、55…プロテクタ、57…外筒、70,501…素子本体部、71…素子部、72,350…積層体、73,400…ヒータ、75…第1固体電解質体、77…第2電極、79…第1電極、81…酸素濃度検出セル、83…第2固体電解質体、85…第4電極、87…第3電極、89,500…酸素ポンプセル、91,316…ガス測定室、94,322…ガス導入部、95,315…拡散律速部、97,101,102,103,301,303,307…絶縁基板、105…発熱抵抗体パターン、105a…直線部、308…第5電極、309…固体電解質体、310…第6電極、800…センサコントロールユニット、900…ガス検出装置。 1 ... Gas sensor, 5 ... Main metal fittings, 7,204 ... Gas sensor element, 17,330 ... Protective layer, 18,325 ... Insulation part, 55 ... Protector, 57 ... Outer cylinder, 70,501 ... Element body part, 71 ... Element Part, 72, 350 ... Laminated body, 73, 400 ... Heater, 75 ... First solid electrolyte body, 77 ... Second electrode, 79 ... First electrode, 81 ... Oxygen concentration detection cell, 83 ... Second solid electrolyte body, 85 ... 4th electrode, 87 ... 3rd electrode, 89,500 ... Oxygen pump cell, 91,316 ... Gas measuring chamber, 94,322 ... Gas introduction section, 95,315 ... Diffusion rate control section, 97,101,102,103 , 301, 303, 307 ... Insulated substrate, 105 ... Heat generation resistor pattern, 105a ... Straight part, 308 ... Fifth electrode, 309 ... Solid electrolyte, 310 ... Sixth electrode, 800 ... Sensor control unit, 900 ... Gas detection Device.
Claims (5)
前記一つ以上のセルのうち積層方向において前記ヒータに最も近いセルにおいては、前記一対の電極は、前記発熱部に重なる様に前記固体電解質体の両面に設けられ、前記発熱部に近い側の第1電極と前記発熱部に遠い側の第2電極とを備え、
前記積層体は、
前記第1電極と前記発熱部との間に設けられた断熱部と、
前記断熱部の全周囲を囲む絶縁基板と、を備え、
前記絶縁基板は、
積層方向から見たときに前記断熱部の周囲に連続して形成され、該断熱部よりも熱伝導率が高い熱伝導部と、
前記断熱部よりも熱伝導率が高く、前記第1電極と前記断熱部とに挟まれたセラミック層と、を備え、
前記断熱部は、空間である、
ガスセンサ素子。 A laminated body in which one or more cells having a plate-shaped solid electrolyte body and a pair of electrodes provided on the surface of the solid electrolyte body, and a plate-shaped heater having a heat generating portion that generates heat by energization are laminated. It is a gas sensor element equipped with
In the cell closest to the heater in the stacking direction among the one or more cells, the pair of electrodes are provided on both sides of the solid electrolyte body so as to overlap the heat generating portion, and the side closer to the heat generating portion. A first electrode and a second electrode on the far side of the heat generating portion are provided.
The laminated body is
A heat insulating portion provided between the first electrode and the heat generating portion,
An insulating substrate that surrounds the entire periphery of the heat insulating portion is provided.
The insulating substrate is
A heat conductive portion that is continuously formed around the heat insulating portion when viewed from the stacking direction and has a higher thermal conductivity than the heat insulating portion.
It has a higher thermal conductivity than the heat insulating portion, and includes a ceramic layer sandwiched between the first electrode and the heat insulating portion.
The heat insulating portion is a space.
Gas sensor element.
前記一つ以上のセルのうち積層方向において前記ヒータに最も近いセルにおいては、前記一対の電極は、前記発熱部に重なる様に前記固体電解質体の両面に設けられ、前記発熱部に近い側の第1電極と前記発熱部に遠い側の第2電極とを備え、
前記積層体は、
前記第1電極と前記発熱部との間に設けられた断熱部と、積層方向から見たときに前記断熱部の周囲に連続して形成され、該断熱部よりも熱伝導率が高い熱伝導部と、
前記断熱部よりも熱伝導率が高く、前記第1電極と前記断熱部とに挟まれたセラミック層と、を備え、
前記断熱部は、前記熱伝導部よりも気孔率の高い多孔質部材によって形成されている、
ガスセンサ素子。 A laminated body in which one or more cells having a plate-shaped solid electrolyte body and a pair of electrodes provided on the surface of the solid electrolyte body, and a plate-shaped heater having a heat generating portion that generates heat by energization are laminated. It is a gas sensor element equipped with
In the cell closest to the heater in the stacking direction among the one or more cells, the pair of electrodes are provided on both sides of the solid electrolyte body so as to overlap the heat generating portion, and the side closer to the heat generating portion. A first electrode and a second electrode on the far side of the heat generating portion are provided.
The laminated body is
A heat insulating portion provided between the first electrode and the heat generating portion, and a heat conduction portion which is continuously formed around the heat insulating portion when viewed from the stacking direction and has a higher thermal conductivity than the heat insulating portion. Department and
It has a higher thermal conductivity than the heat insulating portion, and includes a ceramic layer sandwiched between the first electrode and the heat insulating portion.
The heat insulating portion is formed of a porous member having a higher porosity than the heat conductive portion.
Gas sensor element.
請求項1又は2に記載のガスセンサ素子。 The heat insulating portion is configured such that the area of the surface perpendicular to the stacking direction is equal to or larger than the area of the surface of the first electrode facing the heat generating portion.
The gas sensor element according to claim 1 or 2 .
ガスセンサ。 The gas sensor element according to any one of claims 1 to 3 and a housing for holding the gas sensor element are provided.
Gas sensor.
ガス検出装置。 The gas sensor according to claim 4 and a sensor control unit that PWM controls the energization of the heat generating unit.
Gas detector.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018015572A JP7017425B2 (en) | 2018-01-31 | 2018-01-31 | Gas sensor element, gas sensor and gas detector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019132721A JP2019132721A (en) | 2019-08-08 |
JP7017425B2 true JP7017425B2 (en) | 2022-02-08 |
Family
ID=67546726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018015572A Active JP7017425B2 (en) | 2018-01-31 | 2018-01-31 | Gas sensor element, gas sensor and gas detector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7017425B2 (en) |
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-
2018
- 2018-01-31 JP JP2018015572A patent/JP7017425B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228626A (en) | 2000-11-30 | 2002-08-14 | Denso Corp | Gas sensor element |
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JP2012211863A (en) | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Ngk Insulators Ltd | Gas sensor |
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JP2018040717A (en) | 2016-09-08 | 2018-03-15 | 株式会社デンソー | Gas sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019132721A (en) | 2019-08-08 |
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---|---|---|---|
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