JP7009950B2 - Window parts for optical elements - Google Patents

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Description

本発明は、光素子用窓部品に関する。 The present invention relates to a window component for an optical element.

光通信や光学系システム等に使用される光半導体等の光素子は、通常、パッケージ等の包囲体に収納される。包囲体の壁部には、光素子が外部と光通信を行うための光透過用孔が設けられている。包囲体における気密性の確保等のため、光透過用孔は、光素子用窓部品により覆われている。光素子用窓部品の窓部以外の表面には、メタライズ層が形成されており、メタライズ層において、光素子用窓部品と包囲体との半田付けが行われる。 Optical elements such as optical semiconductors used in optical communications and optical system systems are usually housed in an enclosure such as a package. The wall of the enclosure is provided with a light transmitting hole for the optical element to perform optical communication with the outside. In order to ensure airtightness in the enclosure, the light transmission hole is covered with a window component for an optical element. A metallized layer is formed on the surface of the window component for the optical element other than the window portion, and the window component for the optical element and the enclosure are soldered in the metallized layer.

下記の特許文献１には、八角形の形状を有する光素子用窓部品が開示されている。この光素子用窓部品においては、八角形の窓ガラス上に、八角形のメタライズ層が形成されている。メタライズ層は、窓ガラスの中央に位置する窓部において開口している。 The following Patent Document 1 discloses a window component for an optical element having an octagonal shape. In this window component for an optical element, an octagonal metallized layer is formed on the octagonal window glass. The metallized layer is open in the window portion located in the center of the window glass.

特開２００５－３３２９４７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-332497

特許文献１に記載のような光素子用窓部品においては、半田付け時や使用時においてメタライズ層に熱応力が加わることにより、メタライズ層の剥がれが生じ易いという問題があった。また、メタライズ層を介して窓ガラスに応力が加わることにより、窓ガラスの端部付近に割れが生じるおそれもあった。 In the window component for an optical element as described in Patent Document 1, there is a problem that the metallized layer is likely to be peeled off due to the thermal stress applied to the metallized layer at the time of soldering or use. In addition, stress may be applied to the window glass via the metallized layer, which may cause cracks near the end portion of the window glass.

本発明の目的は、破損し難い光素子用窓部品を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a window component for an optical element that is not easily damaged.

本発明の光素子用窓部品は、主面を有し、主面が多角形の形状を有するガラス板と、ガラス板の主面上に設けられており、略多角形の形状を有し、かつ開口部を有するメタライズ層とを備え、ガラス板の主面の外周縁近傍にメタライズ層が形成されておらず、メタライズ層の各コーナー部の形状がＲ形状であることを特徴とする。 The window component for an optical element of the present invention has a glass plate having a main surface and the main surface having a polygonal shape, and a glass plate provided on the main surface of the glass plate and having a substantially polygonal shape. Further, the metallized layer having an opening is provided, the metallized layer is not formed in the vicinity of the outer peripheral edge of the main surface of the glass plate, and the shape of each corner portion of the metallized layer is R-shaped.

ガラス板の主面におけるコーナー部と、メタライズ層におけるコーナー部との距離をＬ１とし、ガラス板の主面における辺と、メタライズ層における辺との距離をＬ２としたときに、Ｌ１／Ｌ２＞２０．５であることが好ましい。 L1 / L2> 2 when the distance between the corner portion on the main surface of the glass plate and the corner portion on the metallized layer is L1 and the distance between the side on the main surface of the glass plate and the side on the metallized layer is L2. It is preferably 0.5 .

ガラス板の主面におけるコーナー部と、メタライズ層におけるコーナー部との距離をＬ１としたときに、Ｌ１≧５０μｍであることが好ましい。 When the distance between the corner portion on the main surface of the glass plate and the corner portion on the metallized layer is L1, it is preferable that L1 ≧ 50 μm.

本発明によれば、破損し難い光素子用窓部品を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a window component for an optical element that is not easily damaged.

本発明の第１の実施形態に係る光素子用窓部品が光モジュールに用いられる例を示す略図的断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the example which the window component for an optical element which concerns on 1st Embodiment of this invention is used for an optical module. 本発明の第１の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的平面図である。It is a schematic plan view of the window component for an optical element which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図２中のＩ－Ｉ線に沿う模式的断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line I-I in FIG. 本発明の第１の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的拡大平面図である。It is a schematic enlarged plan view of the window component for an optical element which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的拡大平面図である。It is a schematic enlarged plan view of the window component for an optical element which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的平面図である。It is a schematic plan view of the window component for an optical element which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 図６中のＩＩ－ＩＩに沿う模式的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 本発明の第２の実施形態に係る光素子用窓部品の製造の際に用いられるマスキング部材の一例を示す模式的断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows an example of the masking member used at the time of manufacturing the window component for an optical element which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的平面図である。It is a schematic plan view of the window component for an optical element which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。 Hereinafter, preferred embodiments will be described. However, the following embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to the following embodiments. Further, in each drawing, members having substantially the same function may be referred to by the same reference numeral.

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る光素子用窓部品が光モジュールに用いられる例を示す略図的断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的平面図である。なお、図１において、光素子を矩形に２本の対角線を加えた略図により示す。図２以降の模式的平面図においては、後述するメタライズ層を斜線のハッチングにより示す。 (First Embodiment)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example in which a window component for an optical element according to a first embodiment of the present invention is used for an optical module. FIG. 2 is a schematic plan view of a window component for an optical element according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, the optical element is shown by a schematic diagram in which two diagonal lines are added to a rectangle. In the schematic plan view after FIG. 2, the metallized layer described later is shown by hatching with diagonal lines.

図１に、光素子１１が包囲体１２に収納された光モジュール１０の一例を示す。包囲体１２は、光通信用等の光を透過させる光透過用孔１３を有する。本実施形態の光素子用窓部品１は、光透過用孔１３を覆う窓部品である。光素子用窓部品１は、光通信用等の光を透過させる。 FIG. 1 shows an example of an optical module 10 in which an optical element 11 is housed in an enclosure 12. The enclosure 12 has a light transmitting hole 13 for transmitting light for optical communication or the like. The optical element window component 1 of the present embodiment is a window component that covers the light transmission hole 13. The window component 1 for an optical element transmits light for optical communication or the like.

図２に示すように、光素子用窓部品１は、ガラス板２と、ガラス板２上に設けられたメタライズ層３とを備える。光素子用窓部品１は、メタライズ層３において、図１に示した包囲体１２に半田付けされる。 As shown in FIG. 2, the window component 1 for an optical element includes a glass plate 2 and a metallize layer 3 provided on the glass plate 2. The optical element window component 1 is soldered to the enclosure 12 shown in FIG. 1 in the metallize layer 3.

ガラス板２は、対向し合う第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂを有する。第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂは、四角形の形状を有する。メタライズ層３は、略四角形の形状を有する。具体的には、本実施形態では、ガラス板２の第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂは正方形の形状を有し、メタライズ層３は略正方形の形状を有する。メタライズ層３の各コーナー部３ｄの形状は、Ｒ形状である。本明細書において、Ｒ形状とは、円形または略円形の弧の形状をいう。あるいは、円形に近い多角形の形状であってもよい。 The glass plate 2 has a first main surface 2a and a second main surface 2b facing each other. The first main surface 2a and the second main surface 2b have a quadrangular shape. The metallized layer 3 has a substantially quadrangular shape. Specifically, in the present embodiment, the first main surface 2a and the second main surface 2b of the glass plate 2 have a square shape, and the metallized layer 3 has a substantially square shape. The shape of each corner portion 3d of the metallized layer 3 is an R shape. As used herein, the R shape refers to the shape of a circular or substantially circular arc. Alternatively, it may have a polygonal shape close to a circle.

ガラス板２の第１の主面２ａのコーナー部２ｄと、メタライズ層３のコーナー部３ｄとは、同じ個数である。なお、ガラス板２の第１の主面２ａは四角形以外の多角形の形状を有していてもよく、メタライズ層３は略四角形以外の略多角形の形状を有していてもよい。本明細書において、多角形とは四角形以上の多角形をいうものとする。 The number of corner portions 2d of the first main surface 2a of the glass plate 2 and the number of corner portions 3d of the metallized layer 3 are the same. The first main surface 2a of the glass plate 2 may have a polygonal shape other than a quadrangle, and the metallize layer 3 may have a substantially polygonal shape other than a substantially quadrangle. In the present specification, the polygon means a polygon having a quadrangle or more.

平面視において、ガラス板２の第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂの中心と、メタライズ層３の中心とは重なっている。ガラス板２の第１の主面２ａの外周縁２ｃ近傍には、メタライズ層３は形成されていない。メタライズ層３は開口部３ａを有する。開口部３ａは、メタライズ層３の中央に位置している。開口部３ａは円形または略円形の形状を有する。 In a plan view, the center of the first main surface 2a and the second main surface 2b of the glass plate 2 overlaps with the center of the metallized layer 3. The metallize layer 3 is not formed in the vicinity of the outer peripheral edge 2c of the first main surface 2a of the glass plate 2. The metallized layer 3 has an opening 3a. The opening 3a is located in the center of the metallized layer 3. The opening 3a has a circular or substantially circular shape.

図３は、図２中のＩ－Ｉ線に沿う模式的断面図である。なお、図３においては、光素子用窓部品の断面のみを示す。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line I-I in FIG. Note that FIG. 3 shows only the cross section of the window component for an optical element.

図３に示すように、本実施形態では、第１の主面２ａ上に第１の反射防止膜４ａが設けられている。第２の主面２ｂ上には、第２の反射防止膜４ｂが設けられている。それによって、光素子用窓部品１における、光通信用等の光の透過率を高めることができる。第１の反射防止膜４ａは、屈折率が異なる複数の誘電体層が積層された積層膜からなる。具体的には、第１の反射防止膜４ａは、例えば、タンタル酸化物膜またはニオブ酸化物膜と、酸化ケイ素膜とが積層された積層膜からなる。第２の反射防止膜４ｂも、同様の積層膜からなる。なお、第１の反射防止膜４ａ及び第２の反射防止膜４ｂの材料及び積層数は上記に限定されない。また、第１の反射防止膜４ａ及び第２の反射防止膜４ｂは、必ずしも設けられていなくてもよい。 As shown in FIG. 3, in the present embodiment, the first antireflection film 4a is provided on the first main surface 2a. A second antireflection film 4b is provided on the second main surface 2b. Thereby, the transmittance of light for optical communication and the like in the window component 1 for an optical element can be increased. The first antireflection film 4a is composed of a laminated film in which a plurality of dielectric layers having different refractive indexes are laminated. Specifically, the first antireflection film 4a is composed of, for example, a laminated film in which a tantalum oxide film or a niobium oxide film and a silicon oxide film are laminated. The second antireflection film 4b is also made of a similar laminated film. The materials and the number of layers of the first antireflection film 4a and the second antireflection film 4b are not limited to the above. Further, the first antireflection film 4a and the second antireflection film 4b do not necessarily have to be provided.

メタライズ層３は、ガラス板２の第１の主面２ａ上に、第１の反射防止膜４ａを介して間接的に設けられている。なお、メタライズ層３は、第１の主面２ａ上に直接的に設けられていてもよい。 The metallized layer 3 is indirectly provided on the first main surface 2a of the glass plate 2 via the first antireflection film 4a. The metallized layer 3 may be provided directly on the first main surface 2a.

メタライズ層３は、ガラス板２側から、第１の膜５ａ、第２の膜５ｂ及び第３の膜５ｃが積層された積層金属膜からなる。第１の膜５ａは、チタン、クロムまたはニクロムからなる。第２の膜５ｂは、パラジウム、白金またはニッケルからなる。第３の膜５ｃは、金または金錫からなる。メタライズ層３が上記構成を有することにより、ガラス板２または第１の反射防止膜４ａとの密着性を高めることができ、かつＡｕ－Ｓｎ半田等を用いた半田付けを好適に行うことができる。なお、メタライズ層３の材料は上記に限定されない。メタライズ層３における金属膜の層数も上記に限定されない。 The metallized layer 3 is composed of a laminated metal film in which a first film 5a, a second film 5b, and a third film 5c are laminated from the glass plate 2 side. The first film 5a is made of titanium, chromium or nichrome. The second film 5b is made of palladium, platinum or nickel. The third film 5c is made of gold or gold tin. Since the metallized layer 3 has the above structure, the adhesion to the glass plate 2 or the first antireflection film 4a can be enhanced, and soldering using Au—Sn solder or the like can be suitably performed. .. The material of the metallized layer 3 is not limited to the above. The number of layers of the metal film in the metallized layer 3 is not limited to the above.

ガラス板２には、特に限定されないが、例えば、ホウ珪酸ガラスまたは無アルカリガラス等を用いることができる。 The glass plate 2 is not particularly limited, but for example, borosilicate glass, non-alkali glass, or the like can be used.

なお、メタライズ層３は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法等により形成することができる。例えば、マスキング部材をガラス板２上に載置して金属膜を形成することにより、メタライズ層３のパターニングを行うことができる。なお、本実施形態の光素子用窓部品１は、ガラス板の母材上に複数のメタライズ層３を形成し、しかる後、ダイシングによりガラス板の母材を分割することにより得ることができる。もっとも、光素子用窓部品１の製造方法は上記に限定されない。 The metallized layer 3 can be formed by, for example, a sputtering method, a vacuum vapor deposition method, or the like. For example, the metallizing layer 3 can be patterned by placing the masking member on the glass plate 2 to form a metal film. The window component 1 for an optical element of the present embodiment can be obtained by forming a plurality of metallized layers 3 on the base material of the glass plate and then dividing the base material of the glass plate by dicing. However, the manufacturing method of the window component 1 for an optical element is not limited to the above.

本実施形態の特徴は、メタライズ層３の各コーナー部３ｄがＲ形状である点にある。メタライズ層３のコーナー部３ｄがＲ形状であるため、コーナー部３ｄと開口部３ａとの距離が短くなり、該距離及び辺３ｅと開口部３ａとの距離の差を小さくすることができる。このように、メタライズ層３の外周縁３ｃと開口部３ａとの距離を均一化することができる。そのため、光素子用窓部品１を図１に示した包囲体１２に半田付けする際等においても、応力を分散させて、応力集中を生じ難くすることができる。従って、光素子用窓部品１を効果的に破損し難くすることができる。 The feature of this embodiment is that each corner portion 3d of the metallize layer 3 has an R shape. Since the corner portion 3d of the metallize layer 3 has an R shape, the distance between the corner portion 3d and the opening portion 3a can be shortened, and the difference between the distance and the distance between the side 3e and the opening portion 3a can be reduced. In this way, the distance between the outer peripheral edge 3c of the metallized layer 3 and the opening 3a can be made uniform. Therefore, even when the window component 1 for an optical element is soldered to the enclosure 12 shown in FIG. 1, the stress can be dispersed to prevent stress concentration from occurring. Therefore, it is possible to effectively prevent the window component 1 for an optical element from being damaged.

メタライズ層３の開口部３ａは、メタライズ層３の中央に設けられていることが好ましい。それによって、外周縁３ｃと開口部３ａとの距離を好適に均一化することができ、応力集中が生じ難い。 The opening 3a of the metallize layer 3 is preferably provided in the center of the metallize layer 3. As a result, the distance between the outer peripheral edge 3c and the opening 3a can be suitably made uniform, and stress concentration is unlikely to occur.

本実施形態の光素子用窓部品１は、ダイシングによって個片化されることにより得られる。図２に示すように、本実施形態においては、ガラス板２の第１の主面２ａの外周縁２ｃ近傍にメタライズ層３は設けられていない。それによって、ダイシングによるメタライズ層３の剥がれや欠け等が生じ難い。 The window component 1 for an optical element of the present embodiment is obtained by being individualized by dicing. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the metallize layer 3 is not provided in the vicinity of the outer peripheral edge 2c of the first main surface 2a of the glass plate 2. As a result, peeling or chipping of the metallized layer 3 due to dicing is unlikely to occur.

図４は、本発明の第１の実施形態における、ガラス板の第１の主面の外周縁とメタライズ層の外周縁との距離を説明するための、模式的拡大平面図である。図５は、本発明の第１の実施形態における、ガラス板の第１の主面の外周縁とメタライズ層の外周縁との距離を説明するための、模式的拡大平面図である。 FIG. 4 is a schematic enlarged plan view for explaining the distance between the outer peripheral edge of the first main surface of the glass plate and the outer peripheral edge of the metallized layer in the first embodiment of the present invention. FIG. 5 is a schematic enlarged plan view for explaining the distance between the outer peripheral edge of the first main surface of the glass plate and the outer peripheral edge of the metallized layer in the first embodiment of the present invention.

図４に示すように、ガラス板２の第１の主面２ａにおけるコーナー部２ｄと、メタライズ層３におけるコーナー部３ｄとの距離をＬ１とし、ガラス板２の第１の主面２ａにおける辺２ｅと、メタライズ層における辺３ｅとの距離をＬ２とする。他方、図４中の破線Ｘは、本実施形態とは異なり、メタライズ層が正方形の形状を有する場合の外周縁を示す。ここで、ガラス板２の第１の主面２ａのコーナー部２ｄの角度をθとする。ガラス板２の第１の主面２ａのコーナー部２ｄと、破線Ｘで示す多角形のコーナー部とを結ぶ線と、第１の主面２ａの辺２ｅとがなす角の角度は、θ／２である。ガラス板２の第１の主面２ａにおけるコーナー部２ｄと、破線Ｘで示すメタライズ層におけるコーナー部との距離をＬ１０１とすると、Ｌ１０１／Ｌ２＝１／ｓｉｎ（θ／２）となる。本実施形態では、θ／２＝４５°であるため、Ｌ１０１／Ｌ２＝２０．５となる。これに対して、本実施形態においては、コーナー部がＲ形状であるため、Ｌ１／Ｌ２＞２０．５であり、距離Ｌ１は距離Ｌ１０１よりも長い。よって、上述したように、メタライズ層３の外周縁３ｃと図２に示した開口部３ａとの距離を均一化することができる。 As shown in FIG. 4, the distance between the corner portion 2d on the first main surface 2a of the glass plate 2 and the corner portion 3d on the metallized layer 3 is L1, and the side 2e on the first main surface 2a of the glass plate 2 is defined as L1. And the distance from the side 3e in the metallized layer is L2. On the other hand, the broken line X in FIG. 4 indicates the outer peripheral edge when the metallized layer has a square shape, unlike the present embodiment. Here, let θ be the angle of the corner portion 2d of the first main surface 2a of the glass plate 2. The angle between the line connecting the corner portion 2d of the first main surface 2a of the glass plate 2 and the corner portion of the polygon indicated by the broken line X and the side 2e of the first main surface 2a is θ / It is 2. Assuming that the distance between the corner portion 2d on the first main surface 2a of the glass plate 2 and the corner portion on the metallized layer indicated by the broken line X is L101, L101 / L2 = 1 / sin (θ / 2). In this embodiment, since θ / 2 = 45 °, L101 / L2 = 20.5 . On the other hand, in the present embodiment, since the corner portion has an R shape, L1 / L2> 20.5 , and the distance L1 is longer than the distance L101. Therefore, as described above, the distance between the outer peripheral edge 3c of the metallized layer 3 and the opening 3a shown in FIG. 2 can be made uniform.

同様に、ガラス板２の第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂの形状が四角形以外の多角形であり、メタライズ層３の形状が略四角形以外の略多角形である場合においても、Ｌ１／Ｌ２＞１／ｓｉｎ（θ／２）であることが好ましい。それによって、メタライズ層３の外周縁３ｃと開口部３ａとの距離を均一化することができる。 Similarly, even when the shape of the first main surface 2a and the second main surface 2b of the glass plate 2 is a polygon other than a quadrangle, and the shape of the metallize layer 3 is a substantially polygon other than a substantially quadrangle. It is preferable that L1 / L2> 1 / sin (θ / 2). Thereby, the distance between the outer peripheral edge 3c of the metallized layer 3 and the opening 3a can be made uniform.

ここで、ガラス板の第１の主面及びメタライズ層の形状が、四角形よりもコーナー部が多い多角形である場合には、上記角度θ／２は９０°に近づくため、１／ｓｉｎ（θ／２）は２０．５よりも小さくなる。よって、本実施形態のように、メタライズ層３のコーナー部３ｄをＲ形状とし、かつＬ１／Ｌ２＞２０．５とすることによって、メタライズ層３の外周縁３ｃと開口部３ａとの距離をより確実に均一化することができる。従って、光素子用窓部品１をより一層破損し難くすることができる。 Here, when the shape of the first main surface of the glass plate and the metallized layer is a polygon having more corners than a quadrangle, the angle θ / 2 approaches 90 °, so 1 / sin (θ). / 2) is smaller than 2 0.5 . Therefore, as in the present embodiment, the corner portion 3d of the metallize layer 3 has an R shape and L1 / L2> 20.5 , so that the distance between the outer peripheral edge 3c of the metallize layer 3 and the opening 3a can be set. It can be more reliably homogenized. Therefore, the window component 1 for an optical element can be made more difficult to be damaged.

Ｌ１／Ｌ２＞１．５であることがより好ましく、Ｌ１／Ｌ２＞３であることがさらに好ましい。それによって、光素子用窓部品１をさらにより一層破損し難くすることができる。 It is more preferable that L1 / L2> 1.5, and even more preferably L1 / L2> 3. Thereby, the window component 1 for an optical element can be made even more difficult to be damaged.

他方、図５中の一点鎖線Ｙは、メタライズ層３に内接する円弧を示す。ガラス板２の第１の主面２ａにおける辺２ｅと、上記円弧との最短距離は、ガラス板２の第１の主面２ａにおける辺２ｅと、メタライズ層３における辺３ｅとの距離Ｌ２と同じである。ガラス板２の第１の主面２ａにおけるコーナー部２ｄと、メタライズ層３におけるコーナー部３ｄとの距離Ｌ１は、ガラス板２の第１の主面２ａにおけるコーナー部２ｄと、上記円弧との距離であるＬ２０１以下であることが好ましい。それによって、メタライズ層３の面積を十分な大きさとすることができる。従って、半田付けによる接合力を損なうことなく、光素子用窓部品１を破損し難くすることができる。 On the other hand, the alternate long and short dash line Y in FIG. 5 indicates an arc inscribed in the metallized layer 3. The shortest distance between the side 2e on the first main surface 2a of the glass plate 2 and the arc is the same as the distance L2 between the side 2e on the first main surface 2a of the glass plate 2 and the side 3e on the metallized layer 3. Is. The distance L1 between the corner portion 2d on the first main surface 2a of the glass plate 2 and the corner portion 3d on the metallized layer 3 is the distance between the corner portion 2d on the first main surface 2a of the glass plate 2 and the arc. It is preferably L201 or less. Thereby, the area of the metallized layer 3 can be made sufficiently large. Therefore, it is possible to prevent the window component 1 for an optical element from being damaged without impairing the bonding force due to soldering.

ここで、ガラス板２の第１の主面２ａの１辺の長さの半分の長さをＡとし、一点鎖線Ｙで示す円弧を有する円の半径をｒとしたときに、Ｌ２０１＝（Ａ／ｓｉｎ（θ／２））－ｒであり、Ｌ２＝Ａ－ｒである。距離Ｌ２０１と距離Ｌ２との差は、Ｌ２０１－Ｌ２＝Ａ×（（１／ｓｉｎ（θ／２））－１）となる。よって、上記のＬ１≦Ｌ２０１という関係は、Ｌ１－Ｌ２≦Ｌ２０１－Ｌ２＝Ａ×（（１／ｓｉｎ（θ／２））－１）により表すことができる。従って、Ｌ１－Ｌ２≦Ａ×（（１／ｓｉｎ（θ／２））－１）の式を満たすことが好ましい。それによって、上述したように、半田付けによる接合力を損なうことなく、光素子用窓部品１を破損し難くすることができる。 Here, L201 = (A), where A is half the length of one side of the first main surface 2a of the glass plate 2, and r is the radius of the circle having the arc indicated by the alternate long and short dash line Y. / Sin (θ / 2)) −r, and L2 = Ar. The difference between the distance L201 and the distance L2 is L201-L2 = A × ((1 / sin (θ / 2)) -1). Therefore, the above relationship of L1 ≦ L201 can be expressed by L1-L2 ≦ L201-L2 = A × ((1 / sin (θ / 2)) -1). Therefore, it is preferable to satisfy the equation L1-L2 ≦ A × ((1 / sin (θ / 2)) -1). As a result, as described above, it is possible to make the optical element window component 1 less likely to be damaged without impairing the bonding force due to soldering.

なお、Ｌ２×１／ｓｉｎ（θ／２）＜Ｌ１≦Ｌ２＋Ａ×（（１／ｓｉｎ（θ／２））－１）であることが好ましい。それによって、半田付けによる接合力を損なうことなく、光素子用窓部品１をより一層破損し難くすることができる。 It is preferable that L2 × 1 / sin (θ / 2) <L1 ≦ L2 + A × ((1 / sin (θ / 2)) -1). As a result, the window component 1 for an optical element can be made more resistant to damage without impairing the bonding force due to soldering.

ところで、距離Ｌ２は、１００μｍ以下であることが好ましく、７０μｍ以下であることがより好ましく、５０μｍ以下であることがさらに好ましい。それによって、メタライズ層３の面積を十分な大きさとすることができる。従って、半田付けによる接合力を損なうことなく、ダイシングによるメタライズ層３の剥がれや欠け等を生じ難くすることができる。 By the way, the distance L2 is preferably 100 μm or less, more preferably 70 μm or less, and further preferably 50 μm or less. Thereby, the area of the metallized layer 3 can be made sufficiently large. Therefore, it is possible to prevent the metallized layer 3 from being peeled off or chipped due to dicing without impairing the bonding force due to soldering.

一方で距離Ｌ１は、５０μｍ以上であることが好ましく、１００μｍ以上であることがより好ましく、３００μｍ以上であることがさらに好ましい。それによって、メタライズ層３において、外周縁３ｃと開口部３ａとの距離を効果的に均一化することができる。従って、応力集中をより一層生じ難くすることができ、光素子用窓部品１をより一層破損し難くすることができる。 On the other hand, the distance L1 is preferably 50 μm or more, more preferably 100 μm or more, and further preferably 300 μm or more. Thereby, in the metallized layer 3, the distance between the outer peripheral edge 3c and the opening 3a can be effectively made uniform. Therefore, stress concentration can be made more difficult to occur, and the optical element window component 1 can be made even more difficult to be damaged.

（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的平面図である。図７は、図６中のＩＩ－ＩＩに沿う模式的断面図である。なお、図７においては、光素子用窓部品の断面以外の、紙面奥側の部分も示す。 (Second embodiment)
FIG. 6 is a schematic plan view of the window component for an optical element according to the second embodiment. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. In addition, in FIG. 7, a portion on the back side of the paper surface other than the cross section of the window component for an optical element is also shown.

図６及び図７に示すように、本実施形態は、メタライズ層２３が複数の凹部２３ｆを有する点において、第１の実施形態と異なる。図６に示すように、凹部２３ｆは、メタライズ層２３における辺３ｅと開口部３ａとの間に設けられており、溝状の形状を有する。本実施形態においては、凹部２３ｆは４つ設けられているが、凹部２３ｆが設けられている箇所の数はこれに限定されない。凹部２３ｆの位置も、辺３ｅと開口部３ａとの間には限定されず、例えば、コーナー部３ｄと開口部３ａとの間に設けられていてもよい。 As shown in FIGS. 6 and 7, the present embodiment differs from the first embodiment in that the metallized layer 23 has a plurality of recesses 23f. As shown in FIG. 6, the recess 23f is provided between the side 3e and the opening 3a in the metallized layer 23, and has a groove-like shape. In the present embodiment, four recesses 23f are provided, but the number of places where the recesses 23f are provided is not limited to this. The position of the recess 23f is also not limited to the space between the side 3e and the opening 3a, and may be provided, for example, between the corner portion 3d and the opening 3a.

本実施形態においては、メタライズ層２３が凹部２３ｆを有するため、メタライズ層２３における半田付けを行う部分の表面積を広くすることができる。従って、光素子用窓部品と上記包囲体との接合力を効果的に高めることができる。 In the present embodiment, since the metallize layer 23 has the recess 23f, the surface area of the soldered portion of the metallize layer 23 can be increased. Therefore, the bonding force between the window component for the optical element and the surrounding body can be effectively increased.

なお、本実施形態におけるメタライズ層２３を形成するに際しては、例えば、図８に示すマスキング部材２６を用いて、スパッタリング法または真空蒸着法等を行えばよい。マスキング部材２６は、第１のマスク部２７ａ及び第２のマスク部２７ｂを有する。マスキング部材２６をガラス板の母材２２上に載置した状態において、第１のマスク部２７ａ及び第２のマスク部２７ｂは、ガラス板の母材２２に接触している。メタライズ層２３用の金属膜の形成の際、第１のマスク部２７ａによりマスキングすることにより、図６に示した開口部３ａを形成することができる。第２のマスク部２７ｂによりマスキングすることにより、メタライズ層２３の外周縁３ｃを形成することができる。 When forming the metallized layer 23 in the present embodiment, for example, a sputtering method, a vacuum vapor deposition method, or the like may be performed using the masking member 26 shown in FIG. The masking member 26 has a first mask portion 27a and a second mask portion 27b. In a state where the masking member 26 is placed on the base material 22 of the glass plate, the first mask portion 27a and the second mask portion 27b are in contact with the base material 22 of the glass plate. When forming the metal film for the metallize layer 23, the opening 3a shown in FIG. 6 can be formed by masking with the first mask portion 27a. By masking with the second mask portion 27b, the outer peripheral edge 3c of the metallized layer 23 can be formed.

マスキング部材２６は、第１のマスク部２７ａ及び第２のマスク部２７ｂを接続する接続部２８を有する。接続部２８は、マスキング部材２６をガラス板の母材２２上に載置した状態において、ガラス板の母材２２に接触しないように設けられている。メタライズ層２３用の金属膜の形成の際、接続部２８を回り込み、金属膜が形成される。金属膜において、このように回り込んで形成された部分の膜厚は、他の部分の膜厚よりも薄くなる。これにより、凹部２３ｆを形成することができる。 The masking member 26 has a connecting portion 28 connecting the first mask portion 27a and the second mask portion 27b. The connecting portion 28 is provided so as not to come into contact with the base material 22 of the glass plate when the masking member 26 is placed on the base material 22 of the glass plate. When forming the metal film for the metallize layer 23, the metal film is formed by wrapping around the connecting portion 28. In the metal film, the film thickness of the portion formed by wrapping around in this way is thinner than the film thickness of the other portions. Thereby, the concave portion 23f can be formed.

図６に示すように、本実施形態のメタライズ層２３の各コーナー部３ｄはＲ形状である。従って、第１の実施形態と同様に、本実施形態の光素子用窓部品は破損し難い。 As shown in FIG. 6, each corner portion 3d of the metallized layer 23 of the present embodiment has an R shape. Therefore, as in the first embodiment, the window component for the optical element of the present embodiment is not easily damaged.

（第３の実施形態）
図９は、本発明の第３の実施形態に係る光素子用窓部品の模式的平面図である。図９に示すように、本実施形態は、ガラス板３２の第１の主面３２ａ及び第２の主面３２ｂが六角形の形状を有し、メタライズ層３３が略六角形の形状を有する点において、第１の実施形態と異なる。具体的には、本実施形態では、ガラス板３２の第１の主面３２ａ及び第２の主面３２ｂは正六角形の形状を有し、メタライズ層３３は略正六角形の形状を有する。 (Third embodiment)
FIG. 9 is a schematic plan view of a window component for an optical element according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, in the present embodiment, the first main surface 32a and the second main surface 32b of the glass plate 32 have a hexagonal shape, and the metallized layer 33 has a substantially hexagonal shape. Is different from the first embodiment. Specifically, in the present embodiment, the first main surface 32a and the second main surface 32b of the glass plate 32 have a regular hexagonal shape, and the metallized layer 33 has a substantially regular hexagonal shape.

本実施形態においても、メタライズ層３３の各コーナー部３３ｄはＲ形状である。よって、第１の実施形態と同様に、メタライズ層３３に応力集中が生じ難く、光素子用窓部品は破損し難い。このように、ガラス板３２の第１の主面３２ａ及び第２の主面３２ｂは四角形以外の多角形の形状を有していてもよく、メタライズ層３３は略四角形以外の略多角形の形状を有していてもよい。 Also in this embodiment, each corner portion 33d of the metallized layer 33 has an R shape. Therefore, as in the first embodiment, stress concentration is unlikely to occur in the metallized layer 33, and the window component for the optical element is unlikely to be damaged. As described above, the first main surface 32a and the second main surface 32b of the glass plate 32 may have a polygonal shape other than the quadrangle, and the metallize layer 33 may have a substantially polygonal shape other than the quadrangle. May have.

１…光素子用窓部品
２…ガラス板
２ａ…第１の主面
２ｂ…第２の主面
２ｃ…外周縁
２ｄ…コーナー部
２ｅ…辺
３…メタライズ層
３ａ…開口部
３ｃ…外周縁
３ｄ…コーナー部
３ｅ…辺
４ａ…第１の反射防止膜
４ｂ…第２の反射防止膜
５ａ…第１の膜
５ｂ…第２の膜
５ｃ…第３の膜
１０…光モジュール
１１…光素子
１２…包囲体
１３…光透過用孔
２２…ガラス板の母材
２３…メタライズ層
２３ｆ…凹部
２６…マスキング部材
２７ａ…第１のマスク部
２７ｂ…第２のマスク部
２８…接続部
３２…ガラス板
３２ａ…第１の主面
３２ｂ…第２の主面
３３…メタライズ層
３３ｄ…コーナー部 1 ... Window component for optical element 2 ... Glass plate 2a ... First main surface 2b ... Second main surface 2c ... Outer peripheral edge 2d ... Corner portion 2e ... Side 3 ... Metallized layer 3a ... Opening 3c ... Outer peripheral edge 3d ... Corner portion 3e ... Side 4a ... First antireflection film 4b ... Second antireflection film 5a ... First film 5b ... Second film 5c ... Third film 10 ... Optical module 11 ... Optical element 12 ... Surrounding Body 13 ... Light transmission hole 22 ... Glass plate base material 23 ... Metallize layer 23f ... Recess 26 ... Masking member 27a ... First mask portion 27b ... Second mask portion 28 ... Connection portion 32 ... Glass plate 32a ... First 1 main surface 32b ... 2nd main surface 33 ... Metallized layer 33d ... Corner portion

Claims (3)

メタライズ層において、包囲体との半田付けが行われる光素子用窓部品であって、
主面を有し、前記主面が多角形の形状を有するガラス板と、
前記ガラス板の前記主面上に設けられており、略多角形の形状を有し、かつ開口部を有する前記メタライズ層とを備え、
前記ガラス板の前記主面の外周縁近傍に前記メタライズ層が形成されておらず、
前記メタライズ層の各コーナー部の形状がＲ形状であり、
前記メタライズ層の前記開口部が、前記メタライズ層の中央に設けられている、光素子用窓部品。 A window component for an optical element that is soldered to an enclosure in the metallized layer.
A glass plate having a main surface and the main surface having a polygonal shape,
It is provided on the main surface of the glass plate, has a substantially polygonal shape, and has the metallized layer having an opening.
The metallized layer is not formed in the vicinity of the outer peripheral edge of the main surface of the glass plate, and the metallized layer is not formed.
The shape of each corner of the metallized layer is R-shaped .
A window component for an optical element in which the opening of the metallized layer is provided in the center of the metallized layer . 前記ガラス板の前記主面におけるコーナー部と、前記メタライズ層における前記コーナー部との距離をＬ１とし、前記ガラス板の前記主面における辺と、前記メタライズ層における辺との距離をＬ２としたときに、Ｌ１／Ｌ２＞２０．５である、請求項１に記載の光素子用窓部品。 When the distance between the corner portion on the main surface of the glass plate and the corner portion on the metallized layer is L1, and the distance between the side on the main surface of the glass plate and the side on the metallized layer is L2. The window component for an optical element according to claim 1, wherein L1 / L2> 20.5 . 前記ガラス板の前記主面におけるコーナー部と、前記メタライズ層における前記コーナー部との距離をＬ１としたときに、Ｌ１≧５０μｍである、請求項１または２に記載の光素子用窓部品。 The window component for an optical element according to claim 1 or 2, wherein L1 ≥ 50 μm when the distance between the corner portion on the main surface of the glass plate and the corner portion on the metallized layer is L1.
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