JP7002012B2 - Liquid discharge device - Google Patents

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本発明は、液体を吐出する液体吐出装置に関する。 The present invention relates to a liquid discharge device that discharges a liquid.

特許文献1には、液体吐出装置として、走査方向に移動しながら記録媒体に対してインクを吐出する、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドが開示されている。特許文献1のインクジェットヘッドは、ノズルプレートと、流路形成基板と、複数の圧電素子等を備えている。ノズルプレートには複数のノズルが形成されている。流路形成基板は、シリコン単結晶基板からなり、ノズルプレートに接合されている。流路形成基板には、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、複数の圧力室にインクを供給するマニホールドが形成されている。複数の圧電素子は、流路形成基板の上面に、複数の圧力室にそれぞれ対応して配置されている。 Patent Document 1 discloses an inkjet head of an inkjet printer, which ejects ink to a recording medium while moving in the scanning direction as a liquid ejection device. The inkjet head of Patent Document 1 includes a nozzle plate, a flow path forming substrate, a plurality of piezoelectric elements, and the like. A plurality of nozzles are formed on the nozzle plate. The flow path forming substrate is made of a silicon single crystal substrate and is joined to the nozzle plate. The flow path forming substrate is formed with a plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles and a manifold for supplying ink to the plurality of pressure chambers. The plurality of piezoelectric elements are arranged on the upper surface of the flow path forming substrate corresponding to the plurality of pressure chambers.

特許文献1では、流路形成基板に、複数の圧力室だけでなく、容積(面積)の大きいマニホールドが形成されているため、流路形成基板のサイズが大きくなる。ここで、流路形成基板は、シリコンウェハーに圧電素子を成膜してから、このウェハーを所定の大きさに切り分けることにより製造される。このように、圧電素子の成膜工程が存在するため、流路形成基板となるウェハー1枚当たりのコストは高い。そのため、1枚のウェハーからの流路形成基板の取り数を多くしてコストダウンを図る目的から、流路形成基板のサイズをできるだけ小さくすることが好ましい。 In Patent Document 1, not only a plurality of pressure chambers but also a manifold having a large volume (area) is formed on the flow path forming substrate, so that the size of the flow path forming substrate becomes large. Here, the flow path forming substrate is manufactured by forming a piezoelectric element on a silicon wafer and then cutting the wafer into a predetermined size. As described above, since there is a film forming process of the piezoelectric element, the cost per wafer as the flow path forming substrate is high. Therefore, it is preferable to reduce the size of the flow path forming substrate as much as possible for the purpose of increasing the number of flow path forming substrates taken from one wafer to reduce the cost.

この点に関し、特許文献2には、複数の圧力室とマニホールドとが異なる基板に形成されたインクジェットヘッドが開示されている。この特許文献2のインクジェットヘッドは、複数の圧力室が形成された圧力室形成基板(上部基板)と、マニホールド及び複数の連通流路が形成された連通基板(中間基板)と、複数のノズルが形成されたノズルプレート(下部基板)と、圧力室形成基板に設けられた複数の圧電素子とを備える。 In this regard, Patent Document 2 discloses an inkjet head formed on a substrate in which a plurality of pressure chambers and a manifold are different from each other. The inkjet head of Patent Document 2 includes a pressure chamber forming substrate (upper substrate) in which a plurality of pressure chambers are formed, a communication substrate (intermediate substrate) in which a manifold and a plurality of communication channels are formed, and a plurality of nozzles. It includes a formed nozzle plate (lower substrate) and a plurality of piezoelectric elements provided in the pressure chamber forming substrate.

圧力室形成基板、連通基板、及び、ノズルプレートは、それぞれシリコン基板からなる。ノズルプレートに形成された複数のノズルは、2列に配列されている。圧力室形成基板に形成された複数の圧力室も、ノズルの配列に従って2列に配列されている。連通基板は、圧力室形成基板とノズルプレートとの間に配置され、圧力室の配列方向と直交する方向において、圧力室形成基板よりも、両側に張り出している。連通基板の、両側2つの張り出し部分には、2つの圧力室列に対応した2つのマニホールドが形成され、2つのマニホールドの間に、複数の連通流路が形成されている。ノズルプレートは、連通基板の、複数の連通流路が形成された領域に接合されており、連通基板の複数の連通流路とノズルプレートの複数のノズルとがそれぞれ連通している。 The pressure chamber forming substrate, the communication substrate, and the nozzle plate are each made of a silicon substrate. A plurality of nozzles formed on the nozzle plate are arranged in two rows. A plurality of pressure chambers formed on the pressure chamber forming substrate are also arranged in two rows according to the arrangement of the nozzles. The communication substrate is arranged between the pressure chamber forming substrate and the nozzle plate, and overhangs on both sides of the pressure chamber forming substrate in the direction orthogonal to the arrangement direction of the pressure chambers. Two manifolds corresponding to the two pressure chamber rows are formed in the two overhanging portions on both sides of the communication board, and a plurality of communication flow paths are formed between the two manifolds. The nozzle plate is joined to a region of the communication board in which a plurality of communication flow paths are formed, and the plurality of communication flow paths of the communication board and the plurality of nozzles of the nozzle plate communicate with each other.

複数の圧電素子は、圧力室形成基板の上面において、圧力室の配列に従って2列に配列されている。各圧電素子には配線が接続され、配線は、2列の圧電素子列の内側に引き出されている。また、圧力室形成基板の2列の圧電素子列の間の領域には、配線部材が接合されている。配線部材は、圧電素子から引き出された配線と電気的に接続されている。 The plurality of piezoelectric elements are arranged in two rows on the upper surface of the pressure chamber forming substrate according to the arrangement of the pressure chambers. Wiring is connected to each piezoelectric element, and the wiring is drawn inside two rows of piezoelectric elements. Further, a wiring member is joined to the region between the two rows of piezoelectric element rows of the pressure chamber forming substrate. The wiring member is electrically connected to the wiring drawn from the piezoelectric element.

この特許文献2の構成では、複数の圧力室とマニホールドが、異なる基板に形成されている。つまり、圧力室形成基板にマニホールドが形成されていないため、圧電素子が成膜される圧力室形成基板を小型化することができる。 In the configuration of Patent Document 2, a plurality of pressure chambers and manifolds are formed on different substrates. That is, since the manifold is not formed on the pressure chamber forming substrate, the pressure chamber forming substrate on which the piezoelectric element is formed can be miniaturized.

特開2003-246065号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-246065 特開2014-54835号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-54435

上述の特許文献2のインクジェットヘッドでは、特許文献1と比べて、圧力室形成基板(上部基板)を小型化することによるコストダウンが可能となるが、さらなるコストダウンの余地がある。 In the inkjet head of Patent Document 2 described above, it is possible to reduce the cost by downsizing the pressure chamber forming substrate (upper substrate) as compared with Patent Document 1, but there is room for further cost reduction.

特許文献2のノズルプレート(下部基板)は、シリコン基板からなり、このシリコン基板にドライエッチングでノズルを形成する。より詳しくは、アスペクト比の高いノズルを形成するために、ボッシュプロセス加工などの深掘エッチング加工を施してノズルを形成する。このような加工を行うため、ノズルプレートとなる1枚のウェハー当たりの製造コストが高くなる。また、ノズルプレートを薄くするための研磨工程が必要であることからも、ウェハー1枚当たりの製造コストが高くなる。そのため、1枚のウェハーから、できるだけ多くのノズルプレートを切り出すことができるようにするために、1枚のノズルプレートのサイズもできるだけ小さくすることが好ましい。 The nozzle plate (lower substrate) of Patent Document 2 is made of a silicon substrate, and a nozzle is formed on the silicon substrate by dry etching. More specifically, in order to form a nozzle having a high aspect ratio, a nozzle is formed by performing deep etching processing such as Bosch process processing. Since such processing is performed, the manufacturing cost per wafer to be the nozzle plate becomes high. Further, since a polishing process for thinning the nozzle plate is required, the manufacturing cost per wafer is high. Therefore, it is preferable to reduce the size of one nozzle plate as much as possible so that as many nozzle plates as possible can be cut out from one wafer.

しかし、特許文献2では、圧力室形成基板の2つの圧電素子列の間の領域に、各圧電素子に接続された配線が引き出され、上記領域に配線部材が接合される。この関係上、2つの圧電素子列の距離、即ち、2つの圧力室列の距離を一定以上離す必要があり、それに伴って、ノズルプレートの2つのノズル列の距離も離れる。これにより、ノズルプレートのサイズが大きくなってしまう。 However, in Patent Document 2, the wiring connected to each piezoelectric element is drawn out in the region between the two piezoelectric element rows of the pressure chamber forming substrate, and the wiring member is joined to the region. In this relationship, it is necessary to separate the distance between the two piezoelectric element rows, that is, the distance between the two pressure chamber rows by a certain amount or more, and accordingly, the distance between the two nozzle rows of the nozzle plate also increases. This increases the size of the nozzle plate.

本発明の目的は、圧電素子が配置される上部基板の小型化に加え、ノズルが形成される下部基板の小型化も図ることである。 An object of the present invention is to reduce the size of the upper substrate on which the piezoelectric element is arranged and also to reduce the size of the lower substrate on which the nozzle is formed.

課題を解決するための手段及び発明の効果Means for Solving Problems and Effects of Invention

本発明の液体吐出装置は、
第1方向に配列された複数の第1圧力室と、前記第1方向に配列され、且つ、前記第1方向と直交する第2方向にずれた位置に配置された複数の第2圧力室とを有し、前記複数の第1圧力室に対応する複数の第1圧電素子と前記複数の第2圧力室に対応する複数の第2圧電素子が形成された上部基板と、前記第1圧力室と連通する第1マニホールドと、前記第1圧力室の前記第1マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第1貫通孔と、前記第2圧力室と連通する第2マニホールドと、前記第2圧力室の前記第2マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第2貫通孔と、を有し、前記上部基板よりも前記第2方向における幅が大きい中間基板と、前記第1貫通孔と連通する複数の第1ノズルと、前記第2貫通孔と連通する複数の第2ノズルとを有し、前記中間基板よりも前記第2方向における幅が小さい下部基板と、を有する液体吐出ヘッドを備え、 前記上部基板には、前記複数の第1圧電素子のそれぞれと前記複数の第2圧電素子のそれぞれから前記第2方向の一端側に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されていることを特徴とするものである。
別の観点において、本発明の液体吐出装置は、第1方向に配列された複数の第1圧力室と、前記第1方向に配列され、且つ、前記第1方向と直交する第2方向にずれた位置に配置された複数の第2圧力室とを有し、前記複数の第1圧力室に対応する複数の第1圧電素子と前記複数の第2圧力室に対応する複数の第2圧電素子が形成された上部基板と、 前記第1圧力室と連通する第1マニホールドと、前記第1圧力室の前記第1マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第1貫通孔と、前記第2圧力室と連通する第2マニホールドと、前記第2圧力室の前記第2マニホールドとの連通位置とは異なる位置で連通する複数の第2貫通孔と、を有し、前記上部基板よりも前記第2方向における幅が大きい中間基板と、 前記第1貫通孔と連通する複数の第1ノズルと、前記第2貫通孔と連通する複数の第2ノズルとを有し、前記中間基板よりも前記第2方向における幅が小さい下部基板と、を有する液体吐出ヘッドを備え、
前記上部基板には、前記複数の第1圧電素子のそれぞれと前記複数の第2圧電素子のそれぞれから前記第2方向の一端側に配置された接点に向けて延びる、複数の個別配線が形成されており、前記液体吐出ヘッドの前記第1圧力室と前記第2圧力室は、前記第2方向において前記接点とは反対側に片寄って配置されていることを特徴とするものである。
さらに別の観点において、本発明の液体吐出装置は、第1方向に配列された複数の第1圧力室と、前記第1方向に配列され、且つ、前記第1方向と直交する第2方向にずれた位置に配置された複数の第2圧力室とを有し、前記複数の第1圧力室に対応する複数の第1圧電素子と前記複数の第2圧力室に対応する複数の第2圧電素子が形成された第1基板を備え、
前記第1基板は前記第2方向の両端である第1端と第2端を有し、前記複数の第1圧力室のうちの一つの第1圧力室は前記第2方向の両端である第3端と第4端を有し、前記複数の第2圧力室のうちの一つの第2圧力室は前記第2方向の両端である第5端と第6端を有し、前記第1端、前記第2端、前記第3端、前記第4端、前記第5端、および、前記第6端は、前記第2方向において、前記第1端、前記第3端、前記第4端、前記第5端、前記第6端、前記第2端の順に配置され、前記第1端から前記第3端までの距離は、前記第6端から前記第2端までの距離よりも大きいことを特徴とするものである。
The liquid discharge device of the present invention is
A plurality of first pressure chambers arranged in the first direction, and a plurality of second pressure chambers arranged in the first direction and arranged at positions deviated from the second direction orthogonal to the first direction. A top substrate having a plurality of first piezoelectric elements corresponding to the plurality of first pressure chambers and a plurality of second piezoelectric elements corresponding to the plurality of second pressure chambers, and the first pressure chamber. A plurality of first through holes communicating with the first manifold communicating with the first manifold, a plurality of first through holes communicating with the first manifold at a position different from the communication position with the first manifold of the first pressure chamber, and a second manifold communicating with the second pressure chamber. An intermediate substrate having a plurality of second through holes communicating with the second pressure chamber at a position different from the communication position with the second manifold, and having a width larger than that of the upper substrate in the second direction. A lower substrate having a plurality of first nozzles communicating with the first through hole and a plurality of second nozzles communicating with the second through hole, and having a width smaller than that of the intermediate substrate in the second direction. The upper substrate comprises a liquid discharge head having a , It is characterized in that a plurality of individual wirings are formed.
In another aspect, the liquid discharge device of the present invention is displaced from a plurality of first pressure chambers arranged in the first direction in a second direction arranged in the first direction and orthogonal to the first direction. It has a plurality of second pressure chambers arranged at different positions, and a plurality of first piezoelectric elements corresponding to the plurality of first pressure chambers and a plurality of second piezoelectric elements corresponding to the plurality of second pressure chambers. A plurality of first through holes communicating with each other at a position different from the communication position between the upper substrate on which the above is formed, the first manifold communicating with the first pressure chamber, and the first manifold of the first pressure chamber. It has a second manifold that communicates with the second pressure chamber and a plurality of second through holes that communicate with each other at a position different from the communication position of the second pressure chamber with the second manifold. Also has an intermediate substrate having a large width in the second direction, a plurality of first nozzles communicating with the first through hole, and a plurality of second nozzles communicating with the second through hole, from the intermediate substrate. Also provided with a liquid discharge head having a lower substrate having a smaller width in the second direction.
The upper substrate is formed with a plurality of individual wirings extending from each of the plurality of first piezoelectric elements and each of the plurality of second piezoelectric elements toward a contact arranged on one end side in the second direction. The first pressure chamber and the second pressure chamber of the liquid discharge head are arranged so as to be offset to the side opposite to the contact in the second direction.
From yet another aspect, the liquid discharge device of the present invention has a plurality of first pressure chambers arranged in the first direction and a second direction arranged in the first direction and orthogonal to the first direction. It has a plurality of second pressure chambers arranged at offset positions, a plurality of first piezoelectric elements corresponding to the plurality of first pressure chambers, and a plurality of second piezoelectric elements corresponding to the plurality of second pressure chambers. The first substrate on which the element is formed is provided, and the first substrate is provided.
The first substrate has a first end and a second end which are both ends in the second direction, and a first pressure chamber of one of the plurality of first pressure chambers is both ends in the second direction. It has three ends and a fourth end, and the second pressure chamber of one of the plurality of second pressure chambers has the fifth end and the sixth end which are both ends in the second direction, and the first end. The second end, the third end, the fourth end, the fifth end, and the sixth end are the first end, the third end, and the fourth end in the second direction. The fifth end, the sixth end, and the second end are arranged in this order, and the distance from the first end to the third end is larger than the distance from the sixth end to the second end. It is a feature.

本発明では、第2方向に並ぶ第1圧力室及び第2圧力室が形成された基板(上部基板)と、圧力室に連通するマニホールドが形成された基板(中間基板)とが別になっている。つまり、上部基板にマニホールドが形成されない分、この上部基板のサイズを小さくすることができる。また、本発明では、第1圧力室に対応する圧電素子から引き出された個別配線と、第2圧力室に対応する圧電素子から引き出された個別配線とが、共に、複数の圧電素子に対して第2方向の一方側に配置された接点へ向けて引き出されている。つまり、第1圧力室と第2圧力室との間には、接点(配線部材との接続部)が配置されない。そのため、第1圧力室と第2圧力室とを近づけて、第1圧力室に連通するノズルと第2圧力室に連通するノズルの、第2方向における距離を狭めることができる。これにより、下部基板の第2方向における幅も小さくすることができる。 In the present invention, the substrate (upper substrate) in which the first pressure chamber and the second pressure chamber arranged in the second direction are formed and the substrate (intermediate substrate) in which the manifold communicating with the pressure chamber is formed are separated. .. That is, the size of the upper substrate can be reduced because the manifold is not formed on the upper substrate. Further, in the present invention, the individual wiring drawn from the piezoelectric element corresponding to the first pressure chamber and the individual wiring drawn from the piezoelectric element corresponding to the second pressure chamber are both for a plurality of piezoelectric elements. It is pulled out toward a contact located on one side of the second direction. That is, no contact (connection portion with the wiring member) is arranged between the first pressure chamber and the second pressure chamber. Therefore, the first pressure chamber and the second pressure chamber can be brought close to each other to narrow the distance between the nozzle communicating with the first pressure chamber and the nozzle communicating with the second pressure chamber in the second direction. As a result, the width of the lower substrate in the second direction can also be reduced.

本実施形態に係るプリンタの概略的な上面図である。It is a schematic top view of the printer which concerns on this embodiment. インクジェットヘッドの4つの吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジの断面図である。It is sectional drawing of the carriage which attached the four ejection heads of an inkjet head. キャップがキャップ位置にあるときの、キャリッジの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the carriage when the cap is in the cap position. インクジェットヘッドの1つの吐出ヘッドの上面図である。It is a top view of one ejection head of an inkjet head. 図4のV-V線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line VV of FIG. 吐出ヘッド(上部基板)の上面図である。It is a top view of the discharge head (upper substrate). (a)は図6のA-A線断面図、(b)は図6のB-B線断面図である。(A) is a sectional view taken along line AA of FIG. 6, and (b) is a sectional view taken along line BB of FIG. 変更形態のキャリッジの断面図である。It is sectional drawing of the carriage of a modified form. 別の変更形態のキャリッジの断面図である。It is sectional drawing of the carriage of another modified form. 別の変更形態のプリンタの概略的な上面図である。It is a schematic top view of another modified form of a printer.

次に、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るプリンタの概略的な上面図である。まず、図1を参照してインクジェットプリンタ1の概略構成について説明する。尚、図1に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。その上で、以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic top view of the printer according to the present embodiment. First, a schematic configuration of the inkjet printer 1 will be described with reference to FIG. The front, back, left, and right directions shown in FIG. 1 are defined as "front", "rear", "left", and "right" of the printer. In addition, the front side of the paper is defined as "top" and the other side of the paper is defined as "bottom". Then, in the following, each direction word of front, back, left, right, up and down will be described as appropriate.

<プリンタの概略構成>
図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、カートリッジホルダ5と、搬送機構6と、メンテナンス装置7と、制御装置8等を備えている。
<Outline configuration of printer>
As shown in FIG. 1, the inkjet printer 1 includes a platen 2, a carriage 3, an inkjet head 4, a cartridge holder 5, a transport mechanism 6, a maintenance device 7, a control device 8, and the like.

プラテン2の上面には、被記録媒体である記録用紙100が載置される。キャリッジ3は、プラテン2と対向する領域において2本のガイドレール10,11に沿って左右方向(以下、走査方向ともいう)に往復移動可能に構成されている。キャリッジ3には無端ベルト14が連結され、キャリッジ駆動モータ15によって無端ベルト14が駆動されることで、キャリッジ3は走査方向に移動する。 A recording sheet 100, which is a recording medium, is placed on the upper surface of the platen 2. The carriage 3 is configured to be reciprocating in the left-right direction (hereinafter, also referred to as a scanning direction) along the two guide rails 10 and 11 in the region facing the platen 2. An endless belt 14 is connected to the carriage 3, and the carriage 3 is driven by the carriage drive motor 15 to move the carriage 3 in the scanning direction.

図2は、インクジェットヘッド4の4つの吐出ヘッド20が取り付けられたキャリッジ3の断面図である。インクジェットヘッド4は、キャリッジ3に取り付けられており、キャリッジ3とともに走査方向に移動する。図2に示すように、インクジェットヘッド4は、走査方向に並ぶ4つの吐出ヘッド20を備えている。インクジェットヘッド4は、4色(ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ)のインクカートリッジ17が装着されるカートリッジホルダ5(図1参照)と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。各吐出ヘッド20は、その下面に形成された複数のノズル30を有する。各吐出ヘッド20のノズル30は、インクカートリッジ17から供給されたインクを、プラテン2に載置された記録用紙100に向けて吐出する。インクジェットヘッド4の吐出ヘッド20の詳細については、後ほど説明する。 FIG. 2 is a cross-sectional view of a carriage 3 to which the four ejection heads 20 of the inkjet head 4 are attached. The inkjet head 4 is attached to the carriage 3 and moves in the scanning direction together with the carriage 3. As shown in FIG. 2, the inkjet head 4 includes four ejection heads 20 arranged in the scanning direction. The inkjet head 4 is connected to a cartridge holder 5 (see FIG. 1) in which ink cartridges 17 of four colors (black, yellow, cyan, magenta) are mounted by a tube (not shown). Each discharge head 20 has a plurality of nozzles 30 formed on the lower surface thereof. The nozzle 30 of each ejection head 20 ejects the ink supplied from the ink cartridge 17 toward the recording paper 100 mounted on the platen 2. The details of the ejection head 20 of the inkjet head 4 will be described later.

搬送機構6は、前後方向にプラテン2を挟むように配置された2つの搬送ローラ18,19を有する。搬送機構6は、2つの搬送ローラ18,19によって、プラテン2に載置された記録用紙100を前方(以下、搬送方向ともいう)に搬送する。 The transport mechanism 6 has two transport rollers 18 and 19 arranged so as to sandwich the platen 2 in the front-rear direction. The transport mechanism 6 transports the recording paper 100 mounted on the platen 2 forward (hereinafter, also referred to as a transport direction) by the two transport rollers 18 and 19.

メンテナンス装置7は、インクジェットヘッド4の吐出性能の維持、回復を目的として吸引パージを行うためのものであり、キャリッジ3の走査方向における移動範囲のうちの、プラテン2よりも右側の位置に配置されている。図1、図3に示すように、メンテナンス装置7は、キャップ21と吸引ポンプ22を備えている。図3は、キャップ21がキャップ位置にあるときの、キャリッジ3の断面図である。キャップ21は、図示しないキャップ駆動モータによって、上下方向に駆動される。これにより、キャップ21は、インクジェットヘッド4の4つの吐出ヘッド20のノズル30を覆うキャップ位置(図3の実線の位置)と、インクジェットヘッド4から離れたアンキャップ位置(図3の二点鎖線の位置)とに移動可能である。吸引ポンプ22は、チューブ23によりキャップ21の排出口21aに接続されている。 The maintenance device 7 is for performing suction purging for the purpose of maintaining and recovering the ejection performance of the inkjet head 4, and is arranged at a position on the right side of the platen 2 in the movement range of the carriage 3 in the scanning direction. ing. As shown in FIGS. 1 and 3, the maintenance device 7 includes a cap 21 and a suction pump 22. FIG. 3 is a cross-sectional view of the carriage 3 when the cap 21 is in the cap position. The cap 21 is driven in the vertical direction by a cap drive motor (not shown). As a result, the cap 21 has a cap position (the position of the solid line in FIG. 3) that covers the nozzles 30 of the four ejection heads 20 of the inkjet head 4 and an uncap position (the position of the two-dot chain line in FIG. 3) away from the inkjet head 4. Position) and can be moved to. The suction pump 22 is connected to the discharge port 21a of the cap 21 by a tube 23.

吸引パージ時のメンテナンス装置7の動作は、以下の通りである。キャリッジ3が、プラテン2の右側の、キャップ21と対向する位置にあるときに、キャップ駆動モータによってキャップ21が上方へ駆動される。これにより、キャップ21がキャップ位置まで上昇して、4つの吐出ヘッド20のノズル30を覆う。この状態で、吸引ポンプ22によってキャップ21内の空間が減圧されると、各ノズル30からインクが強制的に排出される。このとき、吐出ヘッド20内のインク流路に存在する塵、気泡、あるいは、増粘したインクが一緒に排出される。 The operation of the maintenance device 7 at the time of suction purging is as follows. When the carriage 3 is on the right side of the platen 2 at a position facing the cap 21, the cap drive motor drives the cap 21 upward. As a result, the cap 21 rises to the cap position and covers the nozzles 30 of the four discharge heads 20. In this state, when the space inside the cap 21 is depressurized by the suction pump 22, ink is forcibly discharged from each nozzle 30. At this time, dust, air bubbles, or thickened ink existing in the ink flow path in the ejection head 20 are ejected together.

制御装置8は、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、及び、各種制御回路を含むASIC(Application Specific Integrated Circuit)等を備える。 制御装置8は、ROMに格納されたプログラムに従い、ASICにより、記録用紙100への印刷や、インクジェットヘッド4のメンテナンス等の各種処理を実行する。 The control device 8 includes a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) including various control circuits, and the like. The control device 8 executes various processes such as printing on the recording paper 100 and maintenance of the inkjet head 4 by the ASIC according to the program stored in the ROM.

例えば、印刷処理においては、制御装置8は、PC等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド4やキャリッジ駆動モータ15等を制御して、記録用紙100に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ3とともにインクジェットヘッド4を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ18,19によって記録用紙100を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。また、メンテナンス処理においては、制御装置8は、キャップ21を上下に駆動するキャップ駆動モータ、及び、吸引ポンプ22を制御して、上述した吸引パージを行わせる。 For example, in the printing process, the control device 8 controls the inkjet head 4, the carriage drive motor 15, and the like based on a printing command input from an external device such as a PC to print an image or the like on the recording paper 100. .. Specifically, the ink ejection operation of ejecting ink while moving the inkjet head 4 together with the carriage 3 in the scanning direction and the conveying operation of conveying a predetermined amount of the recording paper 100 in the conveying direction by the conveying rollers 18 and 19 are alternately performed. Let me do it. Further, in the maintenance process, the control device 8 controls the cap drive motor for driving the cap 21 up and down and the suction pump 22 to perform the suction purge described above.

<インクジェットヘッドの詳細>
次に、インクジェットヘッド4の詳細構成について説明する。図2に示すように、キャリッジ3の下部には板状のユニットホルダ33が設けられ、このユニットホルダ33の上面に、4つの吐出ヘッド20が走査方向に並べて取り付けられている。また、キャリッジ3には、4つの吐出ヘッド20の上方において4つの吐出ヘッド20に跨って配置された回路基板34が設けられている。また、回路基板34と4つの吐出ヘッド20は、配線部材であるCOF35(Chip On Film)によって、それぞれ接続されている。回路基板34は、プリンタ1の制御装置8(図1参照)と電気的に接続されており、制御装置8からの指令を受けて、各吐出ヘッド20に対して様々な制御信号を出力する。
<Details of inkjet head>
Next, the detailed configuration of the inkjet head 4 will be described. As shown in FIG. 2, a plate-shaped unit holder 33 is provided at the lower part of the carriage 3, and four discharge heads 20 are attached side by side in the scanning direction on the upper surface of the unit holder 33. Further, the carriage 3 is provided with a circuit board 34 arranged above the four discharge heads 20 so as to straddle the four discharge heads 20. Further, the circuit board 34 and the four discharge heads 20 are each connected by a COF 35 (Chip On Film) which is a wiring member. The circuit board 34 is electrically connected to the control device 8 (see FIG. 1) of the printer 1, and receives a command from the control device 8 to output various control signals to each discharge head 20.

各吐出ヘッド20の下面には複数のノズル30が形成されている。各吐出ヘッド20の複数のノズル30は、ユニットホルダ33に形成された開口から露出している。図4は、インクジェットヘッド4の1つの吐出ヘッド20の上面図である。図4に示すように、複数のノズル30は、搬送方向に沿って配列されて、2つのノズル列31(31a,31b)を構成している。尚、2つのノズル列31a,31bの間において、ノズル30の位置が搬送方向にずれており、複数のノズル30が、いわゆる千鳥状に配置されている。 A plurality of nozzles 30 are formed on the lower surface of each discharge head 20. The plurality of nozzles 30 of each discharge head 20 are exposed from the openings formed in the unit holder 33. FIG. 4 is a top view of one ejection head 20 of the inkjet head 4. As shown in FIG. 4, the plurality of nozzles 30 are arranged along the transport direction to form two nozzle rows 31 (31a, 31b). The positions of the nozzles 30 are displaced in the transport direction between the two nozzle rows 31a and 31b, and the plurality of nozzles 30 are arranged in a so-called staggered pattern.

1つの吐出ヘッド20の2つのノズル列31は、それぞれ、異なる色のインクを吐出する。尚、以下の説明において、プリンタ1の構成要素のうち、ブラック(K)、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)のインクにそれぞれ対応するものについては、その構成要素を示す符号の後に、どのインクに対応するかが分かるように、適宜、ブラックを示す“k”、イエローを示す“y”、シアンを示す“c”、マゼンタを示す“m”の何れかの記号を付す。例えば、図2に示されるノズル列31kとは、ブラックインクを吐出するノズル列31を指す。 The two nozzle rows 31 of one ejection head 20 each eject inks of different colors. In the following description, among the components of the printer 1, those corresponding to the black (K), yellow (Y), cyan (C), and magenta (M) inks are designated by reference numerals indicating the components. After, a symbol of "k" indicating black, "y" indicating yellow, "c" indicating cyan, or "m" indicating magenta is added as appropriate so that which ink corresponds to which ink is used. .. For example, the nozzle row 31k shown in FIG. 2 refers to the nozzle row 31 that ejects black ink.

4つの吐出ヘッド20の全体で、4色のインクをそれぞれ吐出する4種類のノズル列31が左右対称に配置されている。具体的には、4つの吐出ヘッド20のうち、走査方向における内側に配置された吐出ヘッド201と吐出ヘッド202の各々は、内側に位置するブラックのノズル列31kと、外側に位置するマゼンタのノズル列31mを有する。また、吐出ヘッド201の左側に配置された吐出ヘッド203と、吐出ヘッド202の右側に配置された吐出ヘッド204、つまり、外側2つの吐出ヘッド203,204の各々は、内側に位置するシアンのノズル列31cと、外側に位置するイエローのノズル列31yを有する。 Four types of nozzle rows 31 for ejecting four colors of ink are arranged symmetrically in the entire four ejection heads 20. Specifically, of the four ejection heads 20, each of the ejection head 201 and the ejection head 202 arranged inside in the scanning direction has a black nozzle row 31k located inside and a magenta nozzle located outside. It has a row of 31 m. Further, the discharge head 203 arranged on the left side of the discharge head 201 and the discharge head 204 arranged on the right side of the discharge head 202, that is, each of the two outer discharge heads 203 and 204 are cyan nozzles located inside. It has a row 31c and a yellow nozzle row 31y located on the outside.

つまり、4つの吐出ヘッド20を有するインクジェットヘッド4全体で、1色のインクにつき2つのノズル列31、合計8つのノズル列31が存在する。そして、これら8つのノズル列31は、内側から左右両側に向けて、ブラックのノズル列31k、マゼンタのノズル列31m、シアンのノズル列31c、イエローのノズル列31yの順で配置されている。尚、図2において、各色のノズル30及びノズル列31について、左側に配置されているものについては、符号“1”を付し、右側に配置されているものについては、符号“2”を付している。例えば、ノズル30c1とは、左側に配置された、シアンインクを吐出するノズル30のことである。 That is, in the entire inkjet head 4 having the four ejection heads 20, there are two nozzle rows 31 for one color of ink, for a total of eight nozzle rows 31. The eight nozzle rows 31 are arranged in the order of the black nozzle row 31k, the magenta nozzle row 31m, the cyan nozzle row 31c, and the yellow nozzle row 31y from the inside to the left and right sides. In FIG. 2, for the nozzles 30 and the nozzle row 31 of each color, those arranged on the left side are designated by the reference numeral “1”, and those arranged on the right side are designated by the reference numeral “2”. is doing. For example, the nozzle 30c1 is a nozzle 30 that is arranged on the left side and ejects cyan ink.

即ち、中央側からブラック、マゼンタ、シアン、イエローの順で、4色のノズル列31が左右対称に配置されている。上記の構成では、キャリッジ3が左方に移動する場合と右方に移動する場合とで、記録用紙100への4色のインクの着弾順序を同じにすることができる。これにより、双方向印字において、キャリッジ3が左方に移動する際に形成される画像部分と、右方に移動する際に形成される画像部分との間の、色目の違いを小さく抑えることが可能となる。 That is, the nozzle rows 31 of four colors are arranged symmetrically in the order of black, magenta, cyan, and yellow from the center side. In the above configuration, the landing order of the four colors of ink on the recording paper 100 can be the same depending on whether the carriage 3 moves to the left or to the right. As a result, in bidirectional printing, the difference in color between the image portion formed when the carriage 3 moves to the left and the image portion formed when the carriage 3 moves to the right can be suppressed to a small extent. It will be possible.

<吐出ヘッドの構成>
次に、吐出ヘッド20の具体的な構成について説明する。尚、インクジェットヘッド4の4つの吐出ヘッド20の構造は同じであるため、そのうちの1つについて説明する。図5は、図4のV-V線断面図である。図6は、吐出ヘッド20(上部基板46)の上面図である。図7(a)は図6のA-A線断面図、(b)は図6のB-B線断面図である。尚、図6では、図5、図7に示されている保護部材42が二点鎖線で概略的に示されている。
<Discharge head configuration>
Next, a specific configuration of the discharge head 20 will be described. Since the structures of the four ejection heads 20 of the inkjet head 4 are the same, one of them will be described. FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. FIG. 6 is a top view of the discharge head 20 (upper substrate 46). 7 (a) is a sectional view taken along line AA of FIG. 6, and FIG. 7 (b) is a sectional view taken along line BB of FIG. In FIG. 6, the protective member 42 shown in FIGS. 5 and 7 is schematically shown by a two-dot chain line.

図4、図5に示すように、吐出ヘッド20は、ホルダ部材40と、このホルダ部材40に保持されたヘッド本体部43とを有する。ホルダ部材40は、合成樹脂や金属等で形成されている。ホルダ部材40の、ヘッド本体部43を走査方向(左右方向)に挟む2つの部分には、2つのインク供給流路44がそれぞれ形成されている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the discharge head 20 has a holder member 40 and a head main body 43 held by the holder member 40. The holder member 40 is made of synthetic resin, metal, or the like. Two ink supply flow paths 44 are formed in two portions of the holder member 40 that sandwich the head main body 43 in the scanning direction (left-right direction).

吐出ヘッド20の上方に配置された回路基板34には貫通孔34aが形成され、この貫通孔34aにおいて、吐出ヘッド20へインクを供給するための筒状の流路部材41が、回路基板34を貫通している。ホルダ部材40のインク供給流路44は、上記の流路部材41を介して、カートリッジホルダ5(図1参照)と接続されている。そして、カートリッジホルダ5に装着された2色(ブラックとマゼンタ、あるいは、シアンとイエロー)のインクカートリッジ17のインクが、インク供給流路44を介して、ヘッド本体部43へそれぞれ供給される。また、回路基板34には、ヘッド本体部43の圧電アクチュエータ49に接続されるCOF35を通すための貫通孔34bも形成されている。 A through hole 34a is formed in the circuit board 34 arranged above the discharge head 20, and in the through hole 34a, a cylindrical flow path member 41 for supplying ink to the discharge head 20 forms the circuit board 34. It penetrates. The ink supply flow path 44 of the holder member 40 is connected to the cartridge holder 5 (see FIG. 1) via the above-mentioned flow path member 41. Then, the inks of the two-color (black and magenta, or cyan and yellow) ink cartridges 17 mounted on the cartridge holder 5 are supplied to the head body 43 via the ink supply flow path 44, respectively. Further, the circuit board 34 is also formed with a through hole 34b for passing the COF 35 connected to the piezoelectric actuator 49 of the head main body 43.

ヘッド本体部43は、上部基板46、中間基板47、下部基板48、及び、圧電アクチュエータ49を有する。上部基板46、中間基板47、及び、下部基板48には、それぞれ、インク流路の一部となる流路孔が形成されている。尚、上部基板46、中間基板47、及び、下部基板48は、それぞれ、シリコン単結晶基板からなる。 The head main body 43 has an upper substrate 46, an intermediate substrate 47, a lower substrate 48, and a piezoelectric actuator 49. The upper substrate 46, the intermediate substrate 47, and the lower substrate 48 each have a flow path hole that is a part of the ink flow path. The upper substrate 46, the intermediate substrate 47, and the lower substrate 48 are each made of a silicon single crystal substrate.

図5~図7に示すように、上部基板46には、複数の圧力室51が形成されている。複数の圧力室51は、搬送方向に配列された複数の第1圧力室51aと、複数の第1圧力室51aよりも左側にずれた位置において、搬送方向に配列された複数の第2圧力室51bを含む。各圧力室51は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。 As shown in FIGS. 5 to 7, a plurality of pressure chambers 51 are formed on the upper substrate 46. The plurality of pressure chambers 51 are a plurality of first pressure chambers 51a arranged in the transport direction and a plurality of second pressure chambers arranged in the transport direction at positions shifted to the left of the plurality of first pressure chambers 51a. Includes 51b. Each pressure chamber 51 has a rectangular planar shape that is long in the scanning direction.

上部基板46は、複数の圧力室51(第1圧力室51a、第2圧力室51b)を覆う振動膜57を有する。振動膜57は、シリコンの上部基板46の一部を酸化、又は、窒化することによって形成された、二酸化シリコン(SiO2)、あるいは、窒化シリコン(SiNx)からなる膜である。上部基板46の左端部の上面には、後述する圧電アクチュエータ49の接点71a,71b,72が配置された、電気接続部70が設けられている。この電気接続部70にはCOF35が接合される。 The upper substrate 46 has a vibrating film 57 that covers a plurality of pressure chambers 51 (first pressure chamber 51a, second pressure chamber 51b). The vibrating film 57 is a film made of silicon dioxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) formed by oxidizing or nitriding a part of the silicon upper substrate 46. On the upper surface of the left end portion of the upper substrate 46, an electrical connection portion 70 in which the contacts 71a, 71b, 72 of the piezoelectric actuator 49 described later are arranged is provided. A COF 35 is joined to the electrical connection portion 70.

中間基板47は、上部基板46の下面に接合されている。中間基板47の上面には、2つのインク供給流路44とそれぞれ連通する2つのインク供給穴50(50a,50b)が形成されている。また、中間基板47には、2つのインク供給穴50とそれぞれ連通する、左右2つのマニホールド52(52a,52b)が形成されている。右側の第1マニホールド52aは、複数の第1圧力室51aの走査方向における外側端部(右端部)と重なり、且つ、搬送方向(図5の紙面垂直方向)に延びている。左側の第2マニホールド52bは、複数の第2圧力室51bの走査方向における外側端部(左端部)と重なり、且つ、搬送方向に延びている。尚、中間基板47のマニホールド52a,52bは、圧力室51a,51bよりも左右に張り出すように配置されている。そのため、中間基板47の走査方向における幅は、上部基板46の走査方向における幅よりも大きくなっている。そして、中間基板47の上面の、上部基板46よりも走査方向における外側の領域に、第1マニホールド52aに連通する第1インク供給穴50aと、第2マニホールド52bに連通する第2インク供給穴50bとが形成されている。 The intermediate substrate 47 is joined to the lower surface of the upper substrate 46. Two ink supply holes 50 (50a, 50b) communicating with the two ink supply flow paths 44 are formed on the upper surface of the intermediate substrate 47. Further, the intermediate substrate 47 is formed with two left and right manifolds 52 (52a, 52b) that communicate with the two ink supply holes 50, respectively. The first manifold 52a on the right side overlaps with the outer end portion (right end portion) in the scanning direction of the plurality of first pressure chambers 51a, and extends in the transport direction (vertical direction on the paper surface in FIG. 5). The second manifold 52b on the left side overlaps with the outer end portion (left end portion) of the plurality of second pressure chambers 51b in the scanning direction and extends in the transport direction. The manifolds 52a and 52b of the intermediate substrate 47 are arranged so as to project to the left and right of the pressure chambers 51a and 51b. Therefore, the width of the intermediate substrate 47 in the scanning direction is larger than the width of the upper substrate 46 in the scanning direction. Then, in the region on the upper surface of the intermediate substrate 47 outside the upper substrate 46 in the scanning direction, the first ink supply hole 50a communicating with the first manifold 52a and the second ink supply hole 50b communicating with the second manifold 52b are formed. And are formed.

各マニホールド52の下側は、合成樹脂製のフィルム56によって覆われている。フィルム56の下側には、吐出ヘッド20を保持するユニットホルダ33が配置されている。中間基板47には、複数の第1圧力室51aの外側端部(右端部)と第1マニホールド52aとを連通させる複数の第1連通孔53aと、複数の第2圧力室51bの外側端部(左端部)と第2マニホールド52bとを連通させる複数の第2連通孔53bが形成されている。さらに、中間基板47には、複数の第1圧力室51aの内側端部(左端部)に連通する複数の第1貫通孔54aと、複数の第2圧力室51bの内側端部(右端部)に連通する複数の第2貫通孔54bが形成されている。 The underside of each manifold 52 is covered with a synthetic resin film 56. A unit holder 33 for holding the discharge head 20 is arranged on the lower side of the film 56. The intermediate substrate 47 has a plurality of first communication holes 53a for communicating the outer end portion (right end portion) of the plurality of first pressure chambers 51a and the first manifold 52a, and the outer end portions of the plurality of second pressure chambers 51b. A plurality of second communication holes 53b are formed to communicate the (left end portion) and the second manifold 52b. Further, the intermediate substrate 47 has a plurality of first through holes 54a communicating with the inner end portions (left end portions) of the plurality of first pressure chambers 51a, and inner end portions (right end portions) of the plurality of second pressure chambers 51b. A plurality of second through holes 54b communicating with the above are formed.

下部基板48は、中間基板47の下面に接合されている。この下部基板48には、中間基板47の複数の第1貫通孔54aにそれぞれ連通する複数の第1ノズル30aと、複数の第2貫通孔54bにそれぞれ連通する複数の第2ノズル30bとが形成されている。図4に示すように、複数の第1ノズル30aによって第1ノズル列31aが構成され、複数の第2ノズル30bによって、第1ノズル列31aと走査方向に並ぶ、第2ノズル列31bが構成されている。尚、図5に示すように、下部基板48は、中間基板47の下面全域に接合されているのではなく、中間基板47の2つのマニホールド52の間の、複数の連通孔54が形成されている一部領域にのみ接合されている。つまり、下部基板48は、2つのマニホールド52とは重なっていない。また、下部基板48は、基板46~48の積層方向である上下方向において、上部基板46の、複数の接点71,72が配置された電気接続部70とは重なっていない。これにより、下部基板48の走査方向における幅は、上部基板46の幅、及び、中間基板47の幅よりも小さくなっている。 The lower substrate 48 is joined to the lower surface of the intermediate substrate 47. The lower substrate 48 is formed with a plurality of first nozzles 30a communicating with each of the plurality of first through holes 54a of the intermediate substrate 47, and a plurality of second nozzles 30b communicating with each of the plurality of second through holes 54b. Has been done. As shown in FIG. 4, a plurality of first nozzles 30a constitute a first nozzle row 31a, and a plurality of second nozzles 30b form a second nozzle row 31b that is aligned with the first nozzle row 31a in the scanning direction. ing. As shown in FIG. 5, the lower substrate 48 is not joined to the entire lower surface of the intermediate substrate 47, but a plurality of communication holes 54 are formed between the two manifolds 52 of the intermediate substrate 47. It is joined only to a part of the area. That is, the lower substrate 48 does not overlap the two manifolds 52. Further, the lower substrate 48 does not overlap with the electrical connection portion 70 of the upper substrate 46 in which a plurality of contacts 71 and 72 are arranged in the vertical direction which is the stacking direction of the substrates 46 to 48. As a result, the width of the lower substrate 48 in the scanning direction is smaller than the width of the upper substrate 46 and the width of the intermediate substrate 47.

尚、下部基板48に形成された2つのノズル列31a,31bは、走査方向において、吐出ヘッド20の中心線Cに対して電気接続部70とは反対側に片寄って配置されている。このように、走査方向においてノズル列31が片寄って配置されている理由については後で詳述する。また、図2に示すように、4つの吐出ヘッド20のうち、内側2つの吐出ヘッド201,202では、2つのノズル列31が内側に片寄って配置されている。一方、外側2つの吐出ヘッド203,204では、2つのノズル列31が外側に片寄って配置されている。 The two nozzle rows 31a and 31b formed on the lower substrate 48 are arranged on the side opposite to the electrical connection portion 70 with respect to the center line C of the discharge head 20 in the scanning direction. The reason why the nozzle rows 31 are arranged offset in the scanning direction will be described in detail later. Further, as shown in FIG. 2, of the four ejection heads 20, in the inner two ejection heads 201 and 202, the two nozzle rows 31 are arranged one-sided inward. On the other hand, in the two outer discharge heads 203 and 204, the two nozzle rows 31 are arranged on the outer side.

圧電アクチュエータ49は、複数の圧力室51内のインクに、それぞれノズル30から吐出させるための吐出エネルギーを付与するものである。図5~図7に示すように、圧電アクチュエータ49は、上部基板46の振動膜57の上面に配置されている。圧電アクチュエータ49は、複数の圧力室51に対応した複数の圧電素子67を有する。 The piezoelectric actuator 49 applies ejection energy for ejecting ink from the nozzles 30 to the inks in the plurality of pressure chambers 51, respectively. As shown in FIGS. 5 to 7, the piezoelectric actuator 49 is arranged on the upper surface of the vibrating membrane 57 of the upper substrate 46. The piezoelectric actuator 49 has a plurality of piezoelectric elements 67 corresponding to a plurality of pressure chambers 51.

まず、圧電素子67の構成について説明する。上部基板46の振動膜57の上面には、複数の圧力室51にそれぞれ対向して、複数の個別電極60が配置されている。即ち、複数の第1圧力室51aにそれぞれ対応して、複数の第1個別電極60aが搬送方向に配列され、複数の第2圧力室51bにそれぞれ対応して、複数の第2個別電極60bが搬送方向に配列されている。各個別電極60は、白金(Pt)で形成されている。各個別電極60は、圧力室51よりも小さい矩形の平面形状を有する。 First, the configuration of the piezoelectric element 67 will be described. On the upper surface of the vibrating film 57 of the upper substrate 46, a plurality of individual electrodes 60 are arranged so as to face each of the plurality of pressure chambers 51. That is, a plurality of first individual electrodes 60a are arranged in the transport direction corresponding to the plurality of first pressure chambers 51a, respectively, and the plurality of second individual electrodes 60b correspond to the plurality of second pressure chambers 51b, respectively. They are arranged in the transport direction. Each individual electrode 60 is made of platinum (Pt). Each individual electrode 60 has a rectangular planar shape smaller than that of the pressure chamber 51.

図6、図7に示すように、振動膜57の上面には、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等の圧電材料からなる圧電膜61が形成されている。圧電膜61は、例えば、ゾルゲル法によって形成される。圧電膜61は、右側の複数の第1個別電極60aと左側の複数の第2個別電極60bの両方を、共通に覆っている。図6、図7(b)に示すように、圧電膜61の右側部分の、搬送方向に隣接する2つの第1個別電極60aの間の部分には、走査方向に沿って延びるスリット64が形成されている。また、図6、図7(a)に示すように、圧電膜61の左側部分の、搬送方向に隣接する2つの第2個別電極60bの間の部分にも、走査方向に沿って延びるスリット64が形成されている。別の言い方をすれば、各個別電極60の、搬送方向における両側に、圧電膜61の2つのスリット64がそれぞれ配置されている。搬送方向に隣接する2つの個別電極60の間において、圧電膜61にスリット64が形成されていることにより、圧電膜61の、各圧力室51と対向する部分を大きく変形させやすくなる。 As shown in FIGS. 6 and 7, a piezoelectric film 61 made of a piezoelectric material such as PZT (lead zirconate titanate) is formed on the upper surface of the vibrating film 57. The piezoelectric film 61 is formed by, for example, the sol-gel method. The piezoelectric film 61 commonly covers both the plurality of first individual electrodes 60a on the right side and the plurality of second individual electrodes 60b on the left side. As shown in FIGS. 6 and 7 (b), a slit 64 extending along the scanning direction is formed in the portion between the two first individual electrodes 60a adjacent to each other in the transport direction on the right side portion of the piezoelectric film 61. Has been done. Further, as shown in FIGS. 6 and 7 (a), a slit 64 extending along the scanning direction is also provided in the portion of the left side portion of the piezoelectric film 61 between the two second individual electrodes 60b adjacent in the transport direction. Is formed. In other words, two slits 64 of the piezoelectric film 61 are arranged on both sides of each individual electrode 60 in the transport direction. Since the slit 64 is formed in the piezoelectric film 61 between the two individual electrodes 60 adjacent to each other in the transport direction, the portion of the piezoelectric film 61 facing each pressure chamber 51 is easily deformed.

第1個別電極60aの左端部は、第1圧力室51aの左端よりもさらに左方へ延び、圧電膜61のスリット64の右端部と重なる位置に配置されている。このスリット64において、第1個別電極60aの左端部が圧電膜61から露出して、第1露出部65を構成している。第2個別電極60bの左端部は、第2圧力室51bの左端よりもさらに左方へ延びて、圧電膜61の左側の縁から露出し、第2露出部66を構成している。 The left end portion of the first individual electrode 60a extends further to the left from the left end portion of the first pressure chamber 51a, and is arranged at a position overlapping with the right end portion of the slit 64 of the piezoelectric film 61. In the slit 64, the left end portion of the first individual electrode 60a is exposed from the piezoelectric film 61 to form the first exposed portion 65. The left end portion of the second individual electrode 60b extends further to the left from the left end portion of the second pressure chamber 51b and is exposed from the left edge of the piezoelectric film 61 to form the second exposed portion 66.

上記の圧電膜61を覆うように、共通電極62が配置されている。この共通電極62は、例えば、イリジウム(Ir)で形成されている。また、共通電極62は、複数の個別電極60(第1個別電極60a、第2個別電極60b)と、圧電膜61を挟んで対向している。共通電極62の左側部分には、搬送方向に隣接する2つの第2個別電極60bと対向する部分の間に、左側から切り欠かれた切欠部68が形成されている。これにより、共通電極62の左側部分は、共通電極62の中央部から左方に向けて延びる櫛歯形状に形成されている。言い換えれば、搬送方向に隣接する2つの第2個別電極60bの間には、共通電極62が配置されていない。 The common electrode 62 is arranged so as to cover the piezoelectric film 61. The common electrode 62 is made of, for example, iridium (Ir). Further, the common electrode 62 faces the plurality of individual electrodes 60 (first individual electrode 60a, second individual electrode 60b) with the piezoelectric film 61 interposed therebetween. On the left side portion of the common electrode 62, a notch portion 68 cut out from the left side is formed between the portions facing the two second individual electrodes 60b adjacent to each other in the transport direction. As a result, the left side portion of the common electrode 62 is formed in a comb-teeth shape extending from the central portion of the common electrode 62 toward the left. In other words, the common electrode 62 is not arranged between the two second individual electrodes 60b adjacent to each other in the transport direction.

そして、1つの圧力室51に対して、これに対向する共通電極32、圧電膜61及び個別電極60の各部分によって、1つの圧電素子67が構成されている。また、複数の圧力室51にそれぞれ対応する複数の圧電素子67が、圧力室51の配列に応じて、2列に配列されている。尚、各圧電素子67において、個別電極60と共通電極62と挟まれた、圧電膜61の部分(以下、活性部61aとも呼ぶ)は、厚み方向において上向き、即ち、下側の個別電極60から上側の共通電極62に向かう方向に分極されている。 For one pressure chamber 51, one piezoelectric element 67 is configured by each portion of a common electrode 32, a piezoelectric film 61, and an individual electrode 60 facing the pressure chamber 51. Further, a plurality of piezoelectric elements 67 corresponding to the plurality of pressure chambers 51 are arranged in two rows according to the arrangement of the pressure chambers 51. In each piezoelectric element 67, the portion of the piezoelectric film 61 (hereinafter, also referred to as the active portion 61a) sandwiched between the individual electrode 60 and the common electrode 62 faces upward in the thickness direction, that is, from the lower individual electrode 60. It is polarized in the direction toward the upper common electrode 62.

共通電極62の上には、この共通電極62と接触して配置された補助導体63が設けられている。この補助導体63は、共通電極62の異なる部分の間に別の電流経路を構築することで、共通電極62内の電位ばらつきを抑える。補助導体63は、金(Au)やアルミニウム(Al)などの電気抵抗率の小さい金属材料で形成されている。また、補助導体63の厚みは、共通電極62の厚みよりも大きい。補助導体63は、第1導電部63aと、第1導電部63aに導通する複数の第2導電部63bと、第1導電部63aに導通する2つの第3導電部63cとを有する。 An auxiliary conductor 63 arranged in contact with the common electrode 62 is provided on the common electrode 62. The auxiliary conductor 63 suppresses potential variation in the common electrode 62 by constructing another current path between different portions of the common electrode 62. The auxiliary conductor 63 is made of a metal material having a low electrical resistivity such as gold (Au) or aluminum (Al). Further, the thickness of the auxiliary conductor 63 is larger than the thickness of the common electrode 62. The auxiliary conductor 63 has a first conductive portion 63a, a plurality of second conductive portions 63b conducting on the first conductive portion 63a, and two third conductive portions 63c conducting on the first conductive portion 63a.

第1導電部63aは、共通電極62の、複数の第1個別電極60aよりも右側の部分の上に配置されている。第1導電部63aは、複数の第1個別電極60aにわたって搬送方向に延びている。各第2導電部63bは、搬送方向に隣接する2つの第1個別電極60aの間において、共通電極62の上に配置され、且つ、走査方向に延びている。2つの第3導電部63cは、第1導電部63aの前端部と後端部にそれぞれ接続されている。これら2つの第3導電部63cは、共通電極62の、複数の個別電極60よりも前側部分と後側部分に配置され、第1導電部63aから左方にそれぞれ延びている。 The first conductive portion 63a is arranged on the portion of the common electrode 62 on the right side of the plurality of first individual electrodes 60a. The first conductive portion 63a extends in the transport direction over the plurality of first individual electrodes 60a. Each second conductive portion 63b is arranged on the common electrode 62 between two first individual electrodes 60a adjacent to each other in the transport direction, and extends in the scanning direction. The two third conductive portions 63c are connected to the front end portion and the rear end portion of the first conductive portion 63a, respectively. These two third conductive portions 63c are arranged on the front side portion and the rear side portion of the common electrode 62 with respect to the plurality of individual electrodes 60, and extend to the left from the first conductive portion 63a, respectively.

先にも触れたように、上部基板46の左端部の上面には電気接続部70が設けられている。即ち、電気接続部70は、上部基板46の上面の、中間基板47のマニホールド52bと重なる領域に配置されている。電気接続部70は、複数の第1駆動接点71aと、複数の第2駆動接点71bと、2つのグランド接点72を有する。 As mentioned earlier, an electrical connection portion 70 is provided on the upper surface of the left end portion of the upper substrate 46. That is, the electrical connection portion 70 is arranged in a region on the upper surface of the upper substrate 46 that overlaps with the manifold 52b of the intermediate substrate 47. The electrical connection unit 70 has a plurality of first drive contacts 71a, a plurality of second drive contacts 71b, and two ground contacts 72.

複数の圧電素子67の個別電極60には、複数の個別配線73がそれぞれ接続されている。各個別配線73は、個別電極60から左方に引き出されて、上部基板46の左端部に設けられた電気接続部70の駆動接点71まで延びている。図7に示すように、個別配線73の一部は圧電膜61の上に配置されている。複数の個別配線73は、補助導体63と同じ材料(例えば、金やアルミニウム)で形成されている。 A plurality of individual wirings 73 are connected to the individual electrodes 60 of the plurality of piezoelectric elements 67, respectively. Each individual wiring 73 is pulled out to the left from the individual electrode 60 and extends to the drive contact 71 of the electrical connection portion 70 provided at the left end portion of the upper substrate 46. As shown in FIG. 7, a part of the individual wiring 73 is arranged on the piezoelectric film 61. The plurality of individual wirings 73 are made of the same material as the auxiliary conductor 63 (for example, gold or aluminum).

図6、図7(a)に示すように、右側の第1個別電極60aの第1露出部65は、2つの第2個別電極60bの間のスリット64において圧電膜61から露出している。第1個別電極60aに対応する第1個別配線73aの右端部は、第1露出部65から圧電膜61の上面まで連続的に形成されている。また、第1個別配線73aは、第1露出部65から、スリット64において2つの第2個別電極60bの間を通過して、上部基板46の振動膜57の上面に沿って左方に延びている。さらに、第1個別配線73aは、圧電膜61の左端部を乗り越えて、電気接続部70の第1駆動接点71aに接続されている。尚、共通電極62は、2つの第2個別電極60bの間の領域において、第1個別配線73aを避けるように切欠形状に形成されているため、圧電膜61のスリット64において、第1個別配線73aと共通電極62とが短絡することがない。 As shown in FIGS. 6 and 7A, the first exposed portion 65 of the first individual electrode 60a on the right side is exposed from the piezoelectric film 61 in the slit 64 between the two second individual electrodes 60b. The right end portion of the first individual wiring 73a corresponding to the first individual electrode 60a is continuously formed from the first exposed portion 65 to the upper surface of the piezoelectric film 61. Further, the first individual wiring 73a passes from the first exposed portion 65 through between the two second individual electrodes 60b in the slit 64, and extends to the left along the upper surface of the vibration film 57 of the upper substrate 46. There is. Further, the first individual wiring 73a goes over the left end portion of the piezoelectric film 61 and is connected to the first drive contact 71a of the electrical connection portion 70. Since the common electrode 62 is formed in a notched shape in the region between the two second individual electrodes 60b so as to avoid the first individual wiring 73a, the first individual wiring is formed in the slit 64 of the piezoelectric film 61. The 73a and the common electrode 62 are not short-circuited.

図6、図7(b)に示すように、左側の第2個別電極60bの第2露出部66は、圧電膜61の左側の縁から露出している。第2個別電極60bに対応する第2個別配線73bの右端部は、第2露出部66から圧電膜61の上面まで連続的に形成されている。第2個別配線73bは、第2露出部66から上部基板46の振動膜57の上面に沿って左方に延び、電気接続部70の第2駆動接点71bに接続されている。 As shown in FIGS. 6 and 7 (b), the second exposed portion 66 of the second individual electrode 60b on the left side is exposed from the left edge of the piezoelectric film 61. The right end portion of the second individual wiring 73b corresponding to the second individual electrode 60b is continuously formed from the second exposed portion 66 to the upper surface of the piezoelectric film 61. The second individual wiring 73b extends from the second exposed portion 66 to the left along the upper surface of the vibrating film 57 of the upper substrate 46, and is connected to the second drive contact 71b of the electrical connection portion 70.

尚、上述した補助導体63の2つの第3導電部63cは、第1導電部63aからそれぞれ左方へ延びて、電気接続部70のグランド接点72に接続されている。 The two third conductive portions 63c of the auxiliary conductor 63 described above extend to the left from the first conductive portion 63a and are connected to the ground contact 72 of the electrical connection portion 70.

以上のように、本実施形態では、上部基板46において、第1圧力室51aに対応する圧電素子67と、第2圧力室51bに対応する圧電素子67に対して、走査方向における一方側(左側)に、個別配線73と接続される駆動接点71を有する電気接続部70が配置されている。そのため、第1圧力室51aと第2圧力室51bは、吐出ヘッド20の中心線Cに対して、駆動接点71とは反対側(右側)に片寄って配置される。また、第1圧力室51aに対応するノズル列31aと、第2圧力室51bに対応するノズル列31bも、駆動接点71とは反対側に片寄って配置されている。 As described above, in the present embodiment, in the upper substrate 46, one side (left side) in the scanning direction with respect to the piezoelectric element 67 corresponding to the first pressure chamber 51a and the piezoelectric element 67 corresponding to the second pressure chamber 51b. ), An electrical connection portion 70 having a drive contact 71 connected to the individual wiring 73 is arranged. Therefore, the first pressure chamber 51a and the second pressure chamber 51b are arranged on the opposite side (right side) of the drive contact 71 with respect to the center line C of the discharge head 20. Further, the nozzle row 31a corresponding to the first pressure chamber 51a and the nozzle row 31b corresponding to the second pressure chamber 51b are also arranged on the opposite side to the drive contact 71.

図5~図7に示すように、上記の圧電アクチュエータ49は、上部基板46の上面に配置された保護部材42によって覆われている。保護部材42は、凹状のカバー部42aと、カバー部42aよりも左側部分に形成された開口部42bとを有する。図5に示すように、保護部材42の開口部42bは、その上に位置するホルダ部材40の開口部40aと上下に連通している。保護部材42が上部基板46の上面に配置されたときに、カバー部42aが圧電アクチュエータ49の圧電膜61を覆う。一方、上部基板46の電気接続部70は、保護部材42の開口部42bから露出する。 As shown in FIGS. 5 to 7, the piezoelectric actuator 49 is covered with a protective member 42 arranged on the upper surface of the upper substrate 46. The protective member 42 has a concave cover portion 42a and an opening portion 42b formed on the left side portion of the cover portion 42a. As shown in FIG. 5, the opening 42b of the protective member 42 communicates vertically with the opening 40a of the holder member 40 located above the opening 42b. When the protective member 42 is arranged on the upper surface of the upper substrate 46, the cover portion 42a covers the piezoelectric film 61 of the piezoelectric actuator 49. On the other hand, the electrical connection portion 70 of the upper substrate 46 is exposed from the opening portion 42b of the protective member 42.

上部基板46の電気接続部70には、COF35が接続されている。図5に示すように、COF35は、保護部材42の開口部42b及びホルダ部材40の開口部40a内において、S字状に蛇行しながら上方の回路基板34へ向けて延びている。回路基板34には、ホルダ部材40の開口部40aの上方に位置し、COF35を通過させる貫通孔34bが形成されている。また、回路基板34の、貫通孔34bよりも右側部分の上面には、接続端子75が設けられている。電気接続部70の接点から上方へ延びるCOF35は、接点よりも右側に位置する、回路基板34の貫通孔34bを通過して、接続端子75に接続されている。 The COF 35 is connected to the electrical connection portion 70 of the upper substrate 46. As shown in FIG. 5, the COF 35 extends toward the upper circuit board 34 while meandering in an S shape in the opening 42b of the protective member 42 and the opening 40a of the holder member 40. The circuit board 34 is formed with a through hole 34b located above the opening 40a of the holder member 40 and through which the COF 35 passes. Further, a connection terminal 75 is provided on the upper surface of the circuit board 34 on the right side of the through hole 34b. The COF 35 extending upward from the contact of the electrical connection portion 70 passes through the through hole 34b of the circuit board 34 located on the right side of the contact and is connected to the connection terminal 75.

尚、回路基板34の、COF35との接続端子75の周囲には、COF35へ信号を供給するための様々な回路素子77や、これらの回路素子77と接続端子75とを接続する多くの配線78などが配置される。ここで、本実施形態では、回路基板34の接続端子75が、上部基板46の駆動接点71よりも、走査方向において圧電素子67側(右側)に配置されている。そのため、接続端子75に接続される回路素子77や配線78等を、回路基板34の圧電素子67と重なる領域に配置することができるため、回路基板34のサイズを小型化することができる。また、回路基板34の、上部基板46の駆動接点71よりも、圧電素子67と反対側(左側)には、流路部材41が貫通する貫通孔34aが形成されている。そのため、回路基板34の、駆動接点71よりも左側の領域には、接続端子75や、接続端子75と接続される回路素子77等を設置する領域があまりない。この観点からも、接続端子75は、駆動接点71よりも圧電素子67側に配置されることが好ましい。 Around the connection terminal 75 of the circuit board 34 with the COF 35, various circuit elements 77 for supplying signals to the COF 35 and many wirings 78 for connecting these circuit elements 77 and the connection terminal 75 are used. Etc. are placed. Here, in the present embodiment, the connection terminal 75 of the circuit board 34 is arranged on the piezoelectric element 67 side (right side) in the scanning direction with respect to the drive contact 71 of the upper substrate 46. Therefore, the circuit element 77, the wiring 78, and the like connected to the connection terminal 75 can be arranged in the region overlapping with the piezoelectric element 67 of the circuit board 34, so that the size of the circuit board 34 can be reduced. Further, a through hole 34a through which the flow path member 41 penetrates is formed on the side (left side) of the circuit board 34 opposite to the piezoelectric element 67 from the drive contact 71 of the upper substrate 46. Therefore, in the region on the left side of the drive contact 71 of the circuit board 34, there is not much region for installing the connection terminal 75, the circuit element 77 connected to the connection terminal 75, and the like. From this viewpoint as well, it is preferable that the connection terminal 75 is arranged closer to the piezoelectric element 67 than the drive contact 71.

図5に示すように、COF35の上下方向における途中部には、ドライバIC76が設けられている。ドライバIC76は、COF35上の配線を介して、回路基板34と電気的に接続されている。また、ドライバIC76は、COF35上の配線を介して、電気接続部70の駆動接点71とも電気的に接続されている。そして、ドライバIC76は、回路基板34から送られる制御信号に基づいて、個別電極60に対して駆動信号を出力し、個別電極60の電位をグランド電位と所定の駆動電位との間で切り換える。尚、電気接続部70のグランド接点72は、COF35のグランド(図示省略)と電気的に接続され、共通電極62はグランド電位に保持される。 As shown in FIG. 5, a driver IC76 is provided in the middle of the COF35 in the vertical direction. The driver IC 76 is electrically connected to the circuit board 34 via wiring on the COF 35. Further, the driver IC 76 is also electrically connected to the drive contact 71 of the electrical connection unit 70 via the wiring on the COF 35. Then, the driver IC 76 outputs a drive signal to the individual electrode 60 based on the control signal sent from the circuit board 34, and switches the potential of the individual electrode 60 between the ground potential and the predetermined drive potential. The ground contact 72 of the electrical connection portion 70 is electrically connected to the ground of the COF 35 (not shown), and the common electrode 62 is held at the ground potential.

ドライバIC76から駆動信号が供給されたときの、圧電素子67の動作について説明する。駆動信号が供給されていない状態では、個別電極60の電位はグランド電位となっており、共通電極62と同電位である。この状態から、ある個別電極60に駆動信号が供給されて、個別電極60に駆動電位が印加されると、その個別電極60と共通電極62との電位差により、圧電素子67の活性部61aに、その厚み方向に平行な電界が作用する。ここで、活性部61aの分極方向と電界の方向とが一致するために、活性部61aはその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この活性部61aの収縮変形に伴って、振動膜57が圧力室51側に凸となるように撓む。これにより、圧力室51の容積が減少して圧力室51内に圧力波が発生することで、圧力室51に連通するノズル30からインクの液滴が吐出される。 The operation of the piezoelectric element 67 when a drive signal is supplied from the driver IC 76 will be described. In the state where the drive signal is not supplied, the potential of the individual electrode 60 is the ground potential, which is the same potential as the common electrode 62. From this state, when a drive signal is supplied to a certain individual electrode 60 and a drive potential is applied to the individual electrode 60, the potential difference between the individual electrode 60 and the common electrode 62 causes the active portion 61a of the piezoelectric element 67 to receive a drive signal. An electric field parallel to the thickness direction acts. Here, in order for the polarization direction of the active portion 61a to coincide with the direction of the electric field, the active portion 61a extends in the thickness direction, which is the polarization direction, and contracts in the plane direction. With the contraction deformation of the active portion 61a, the vibrating membrane 57 bends so as to be convex toward the pressure chamber 51. As a result, the volume of the pressure chamber 51 is reduced and a pressure wave is generated in the pressure chamber 51, so that ink droplets are ejected from the nozzle 30 communicating with the pressure chamber 51.

以上説明した本実施形態では、各吐出ヘッド20の、第1圧力室51及び第2圧力室51が形成された基板(上部基板46)と、これらの圧力室51に連通するマニホールド52が形成された基板(中間基板47)とが別になっている。従って、マニホールド52が形成されない分、上部基板46の走査方向における幅を小さくすることができる。また、第1圧力室51に対応する圧電素子67から引き出された個別配線73と、第2圧力室51に対応する圧電素子67から引き出された個別配線73とが、共に、圧電素子67に対して走査方向の一方側(左側)に配置された、電気接続部70の駆動接点71へ向けて引き出されている。つまり、第1圧力室51と第2圧力室51との間には、COF35と接続される駆動接点71が配置されない。そのため、第1圧力室51と第2圧力室51とを近づけて、2つのノズル列31の走査方向における距離を狭めることができる。さらに、下部基板48を、上部基板46の電気接続部70とは重ならないようにすることができる。これにより、下部基板48の走査方向における幅を小さくすることができる。 In the present embodiment described above, the substrate (upper substrate 46) in which the first pressure chamber 51 and the second pressure chamber 51 are formed and the manifold 52 communicating with these pressure chambers 51 are formed in each discharge head 20. The substrate (intermediate substrate 47) is separate from the original substrate. Therefore, the width of the upper substrate 46 in the scanning direction can be reduced by the amount that the manifold 52 is not formed. Further, the individual wiring 73 drawn from the piezoelectric element 67 corresponding to the first pressure chamber 51 and the individual wiring 73 drawn from the piezoelectric element 67 corresponding to the second pressure chamber 51 are both connected to the piezoelectric element 67. It is pulled out toward the drive contact 71 of the electrical connection unit 70, which is arranged on one side (left side) in the scanning direction. That is, the drive contact 71 connected to the COF 35 is not arranged between the first pressure chamber 51 and the second pressure chamber 51. Therefore, the first pressure chamber 51 and the second pressure chamber 51 can be brought close to each other to narrow the distance between the two nozzle rows 31 in the scanning direction. Further, the lower substrate 48 can be prevented from overlapping with the electrical connection portion 70 of the upper substrate 46. As a result, the width of the lower substrate 48 in the scanning direction can be reduced.

また、本実施形態では、図2に示すように、各吐出ヘッド20の上部基板46において、第1圧力室51と第2圧力室51に対して、走査方向一方側(左側)に、複数の接点71を有する電気接続部70が配置されている。この構成により、第1圧力室51に対応する第1ノズル列31aと、第2圧力室51に対応する第2ノズル列31bが、走査方向において電気接続部70とは反対側(右側)に片寄って配置されている。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, a plurality of upper substrates 46 of each discharge head 20 are located on one side (left side) in the scanning direction with respect to the first pressure chamber 51 and the second pressure chamber 51. An electrical connection 70 having a contact 71 is arranged. With this configuration, the first nozzle row 31a corresponding to the first pressure chamber 51 and the second nozzle row 31b corresponding to the second pressure chamber 51 are offset to the opposite side (right side) of the electrical connection portion 70 in the scanning direction. Are arranged.

また、インクジェットヘッド4の、外側に位置する2つの吐出ヘッド203,204においては、2つのノズル列31が、外側に片寄って配置されている。これにより、外側の2つの吐出ヘッド20の間で、ノズル列31の距離を離すことができる。 Further, in the two ejection heads 203 and 204 located on the outer side of the inkjet head 4, the two nozzle rows 31 are arranged on the outer side. As a result, the distance of the nozzle row 31 can be separated between the two outer discharge heads 20.

また、本実施形態では、図2に示すように、インクジェットヘッド4の4つの吐出ヘッド20のうち、内側に配置された2つの吐出ヘッド201,202においては、2つのノズル列31が内側に片寄って配置され、外側に配置された2つの吐出ヘッド203,204においては、2つのノズル列31が外側に片寄って配置されている。これにより、ブラックとマゼンタのインクを吐出する、内側の吐出ヘッド201(202)のノズル列31と、シアンとイエローのインクを吐出する、外側の吐出ヘッド203(204)のノズル列31の、距離を離すことができる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, in the two ejection heads 201 and 202 arranged inside among the four ejection heads 20 of the inkjet head 4, the two nozzle rows 31 are offset inward. In the two ejection heads 203 and 204 arranged on the outside, the two nozzle rows 31 are arranged on the outer side. As a result, the distance between the nozzle row 31 of the inner ejection head 201 (202) that ejects black and magenta ink and the nozzle row 31 of the outer ejection head 203 (204) that ejects cyan and yellow ink. Can be released.

内側の吐出ヘッド20のノズル列31と、外側の吐出ヘッド20のノズル列31の距離が離れていると、各ノズル30において、2種類のインクが混ざった状態で付着するという問題が生じにくい。例えば、図3のように、キャップ21で4つの吐出ヘッド20のノズル列31を覆って吸引パージを行ったときに、外側の吐出ヘッド20のノズル30に、内側のノズル30から排出されたブラックやマゼンタのインクが付着しにくい。また、記録用紙100への画像等の記録時に、内側のノズル30から吐出されたブラックやマゼンタのインクがミスト化して、外側の吐出ヘッド20のノズル30に付着する、ということも起こりにくくなる。 If the nozzle row 31 of the inner discharge head 20 and the nozzle row 31 of the outer discharge head 20 are separated from each other, the problem that the two types of ink are mixed and adhere to each nozzle 30 is unlikely to occur. For example, as shown in FIG. 3, when suction purging is performed by covering the nozzle rows 31 of the four ejection heads 20 with the cap 21, the black ejected from the inner nozzle 30 is ejected to the nozzle 30 of the outer ejection head 20. And magenta ink is hard to adhere. Further, when recording an image or the like on the recording paper 100, it is unlikely that the black or magenta ink ejected from the inner nozzle 30 becomes mist and adheres to the nozzle 30 of the outer ejection head 20.

また、イエローインクを吐出するノズル30yに、ブラックインクが混入したときに、印字品質に及ぼす影響が非常に大きい。そこで、ブラックインクとイエローインクの一方を内側の吐出ヘッド201(202)から吐出させ、他方を外側の吐出ヘッド203(204)から吐出させるのがよい。本実施形態では、内側の吐出ヘッド201(202)がブラックインクを吐出し、外側の吐出ヘッド203(204)がイエローインクを吐出する構成となっている。 Further, when the black ink is mixed in the nozzle 30y that ejects the yellow ink, the influence on the print quality is very large. Therefore, it is preferable to eject one of the black ink and the yellow ink from the inner ejection head 201 (202) and the other from the outer ejection head 203 (204). In the present embodiment, the inner ejection head 201 (202) ejects black ink, and the outer ejection head 203 (204) ejects yellow ink.

以上説明した実施形態において、インクジェットプリンタ1が、本発明の「液体吐出装置」に相当する。インクジェットヘッド4の1つの吐出ヘッド20が、本発明の「液体吐出ヘッド」に相当する。前後方向(搬送方向)が、本発明の「第1方向」に相当し、左右方向(走査方向)が、本発明の「第2方向」に相当する。インクジェットヘッドの4つの吐出ヘッド20のうち、内側に位置する2つの吐出ヘッド20が、本発明の「内側液体吐出ヘッド」に相当し、外側の2つの吐出ヘッド20が、本発明の「外側液体吐出ヘッド」に相当する。内側の吐出ヘッド20から吐出されるブラックとマゼンタのインクが、本発明の「第1液体」に相当し、外側の吐出ヘッド20から吐出されるシアンとイエローのインクが、本発明の「第2液体」に相当する。 In the embodiment described above, the inkjet printer 1 corresponds to the "liquid ejection device" of the present invention. One ejection head 20 of the inkjet head 4 corresponds to the "liquid ejection head" of the present invention. The front-back direction (transportation direction) corresponds to the "first direction" of the present invention, and the left-right direction (scanning direction) corresponds to the "second direction" of the present invention. Of the four ejection heads 20 of the inkjet head, the two ejection heads 20 located inside correspond to the "inner liquid ejection head" of the present invention, and the two outer ejection heads 20 correspond to the "outer liquid ejection head" of the present invention. Corresponds to the "discharge head". The black and magenta inks ejected from the inner ejection head 20 correspond to the "first liquid" of the present invention, and the cyan and yellow inks ejected from the outer ejection head 20 correspond to the "second liquid" of the present invention. Corresponds to "liquid".

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。 Next, a modified embodiment in which various modifications are made to the embodiment will be described. However, those having the same configuration as that of the above-described embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted as appropriate.

1]図8に示すように、インクジェットヘッド4の4つの吐出ヘッド20のうち、外側に位置する2つの吐出ヘッド20のノズル列31が、走査方向における内側に片寄って配置されてもよい。即ち、左端に位置する吐出ヘッド203では、2つのノズル列31が右側に片寄っており、右端に位置する吐出ヘッド204では、2つのノズル列31が左側に片寄っている。これにより、外側に位置する2つの吐出ヘッド203,204の間で、ノズル列31の距離Dを近づけることができる。この構成では、インクジェットヘッド4の、左端に位置するノズル列31と右端に位置するノズル列31との間の、走査方向の距離Dが小さくなるため、次のような効果が得られる。 1] As shown in FIG. 8, of the four ejection heads 20 of the inkjet head 4, the nozzle rows 31 of the two ejection heads 20 located on the outside may be arranged one-sidedly inward in the scanning direction. That is, in the discharge head 203 located at the left end, the two nozzle rows 31 are offset to the right side, and in the discharge head 204 located at the right end, the two nozzle rows 31 are offset to the left side. As a result, the distance D of the nozzle row 31 can be made close between the two discharge heads 203 and 204 located on the outer side. In this configuration, the distance D in the scanning direction between the nozzle row 31 located at the left end and the nozzle row 31 located at the right end of the inkjet head 4 becomes small, so that the following effects can be obtained.

(1)インクジェットヘッド4が走査方向に往復移動しながら記録用紙100に対して印刷を行う際に、左端に位置するノズル列31と右端に位置するノズル列31との間の距離Dが小さいほど、1回のパスにおける移動距離を短くすることができる。これにより、1回のパスに要する時間が短くなり、1枚の記録用紙100への印刷に要する時間も短くなる。 (1) When printing is performed on the recording paper 100 while the inkjet head 4 reciprocates in the scanning direction, the smaller the distance D between the nozzle row 31 located at the left end and the nozzle row 31 located at the right end. The travel distance in one pass can be shortened. As a result, the time required for one pass is shortened, and the time required for printing on one sheet of recording paper 100 is also shortened.

(2)インクジェットヘッド4の各吐出ヘッド20は、ノズル30の配列方向(ノズル列31の延在方向)が搬送方向と完全に平行となるように取り付けられるのが理想であるが、実際には、ノズル30の配列方向が搬送方向に対して僅かに傾いた状態で取り付けられてしまうことも多い。その場合に、上記の傾きに起因して、2つのノズル列31の間で、ノズル30から吐出されたインクの液滴の着弾位置が搬送方向にずれる。ここで、上記2つのノズル列31の間での着弾位置ズレは、2つのノズル列31の走査方向における距離に依存する。即ち、本実施形態においては、左端に位置するノズル列31と右端に位置するノズル列31との間の、走査方向の距離Dが小さくすることで、2つのノズル列31の間での、インクの着弾位置ズレを小さくすることができる。 (2) Ideally, each ejection head 20 of the inkjet head 4 is mounted so that the arrangement direction of the nozzles 30 (extending direction of the nozzle row 31) is completely parallel to the transport direction. In many cases, the nozzles 30 are attached in a state where the arrangement direction is slightly tilted with respect to the transport direction. In that case, due to the above inclination, the landing position of the ink droplets ejected from the nozzle 30 shifts in the transport direction between the two nozzle rows 31. Here, the landing position deviation between the two nozzle rows 31 depends on the distance between the two nozzle rows 31 in the scanning direction. That is, in the present embodiment, the ink between the two nozzle rows 31 is formed by reducing the distance D in the scanning direction between the nozzle row 31 located at the left end and the nozzle row 31 located at the right end. It is possible to reduce the landing position deviation of.

2]前記実施形態では、4色のインクをそれぞれ吐出するノズル列31が、左右対称に配置されていたが、このような配置には限られない。例えば、図9に示すように、内側に位置する吐出ヘッド201と吐出ヘッド202の両方において、左側にマゼンタインクのノズル列31mが配置され、右側にブラックインクのノズル列31kが配置されてもよい。つまり、2つの吐出ヘッド201,202において、マゼンタのノズル列31m1,31m2とブラックのノズル列31k1,31k2が、走査方向に交互に並ぶ構成であってもよい。外側に位置する吐出ヘッド203と吐出ヘッド204も同様であり、例えば、図9に示すように、左側にイエローのノズル列31yが配置され、右側にシアンのノズル列31cが配置される構成であってもよい。 2] In the above embodiment, the nozzle rows 31 for ejecting the four colors of ink are arranged symmetrically, but the arrangement is not limited to this. For example, as shown in FIG. 9, in both the ejection head 201 and the ejection head 202 located inside, the magenta ink nozzle row 31m may be arranged on the left side, and the black ink nozzle row 31k may be arranged on the right side. .. That is, in the two ejection heads 201 and 202, the magenta nozzle rows 31m1, 31m2 and the black nozzle rows 31k1, 31k2 may be arranged alternately in the scanning direction. The same applies to the discharge head 203 and the discharge head 204 located on the outside. For example, as shown in FIG. 9, the yellow nozzle row 31y is arranged on the left side and the cyan nozzle row 31c is arranged on the right side. You may.

3]インクジェットヘッド4の吐出ヘッド20の数は4つに限られず、吐出ヘッド20の数が2つや3つでもよいし、あるいは、吐出ヘッド20の数が5つ以上であってもよい。例えば、ブラック、マゼンタ、シアン、イエローの他に、ライトマゼンタ、ライトシアン等の別の色のインクを吐出する場合には、4つの吐出ヘッド201~204の走査方向両側に、ライトマゼンタ、ライトシアンの2色のインクを吐出する2つの吐出ヘッド20がそれぞれ配置されてもよい。また、内側の吐出ヘッド201と吐出ヘッド202との間に、別のインク(例えば、白色インクなど)を吐出する吐出ヘッド20が配置されてもよい。 3] The number of ejection heads 20 of the inkjet head 4 is not limited to four, and the number of ejection heads 20 may be two or three, or the number of ejection heads 20 may be five or more. For example, when ejecting inks of different colors such as light magenta and light cyan in addition to black, magenta, cyan, and yellow, two of the four ejection heads 201 to 204 are charged with light magenta and light cyan on both sides in the scanning direction. Two ejection heads 20 for ejecting colored ink may be arranged respectively. Further, a discharge head 20 that discharges another ink (for example, white ink) may be arranged between the inner discharge head 201 and the discharge head 202.

4]前記実施形態では、各吐出ヘッド20の2つのノズル列31が、異なる種類のインクを吐出するものであったが、1つの吐出ヘッド20の2つのノズル列31が同じ種類のインクを吐出するように構成されてもよい。さらには、複数の吐出ヘッド20が、同じ種類のインクを吐出するように構成されてもよい。 4] In the above embodiment, the two nozzle rows 31 of each ejection head 20 eject different types of ink, but the two nozzle rows 31 of one ejection head 20 eject the same type of ink. It may be configured to do so. Further, a plurality of ejection heads 20 may be configured to eject the same type of ink.

5]前記実施形態のインクジェットヘッド4は、走査方向に移動しながら記録用紙へインクを吐出する、いわゆる、シリアルタイプのインクジェットヘッドであったが、所定位置に固定的に設置されて使用されるラインタイプのインクジェットヘッドについても、本発明を適用することが可能である。 5] The inkjet head 4 of the above embodiment is a so-called serial type inkjet head that ejects ink to recording paper while moving in the scanning direction, but it is a line that is fixedly installed and used at a predetermined position. The present invention can also be applied to a type of inkjet head.

図10のインクジェットプリンタ81は、ラインタイプのインクジェットヘッド84と、2つの搬送ローラ87,88を含む搬送機構86とを備えている。インクジェットヘッド84は、ヘッドホルダ83に取り付けられた4つの吐出ヘッド90を有する。吐出ヘッド90は、左右方向(用紙幅方向)に配列された複数のノズル92を有し、これら複数のノズル92は、前後方向(搬送方向)に並ぶ2つのノズル列91を構成している。 The inkjet printer 81 of FIG. 10 includes a line-type inkjet head 84 and a transfer mechanism 86 including two transfer rollers 87 and 88. The inkjet head 84 has four ejection heads 90 attached to the head holder 83. The ejection head 90 has a plurality of nozzles 92 arranged in the left-right direction (paper width direction), and the plurality of nozzles 92 form two nozzle rows 91 arranged in the front-rear direction (conveyance direction).

このインクジェットヘッド84では、4つの吐出ヘッド90が組み合わされることにより、1つの吐出ヘッド90のノズル列91よりも用紙幅方向に長いノズル列が形成されている。尚、4つの吐出ヘッド90を単純に用紙幅方向につなぐだけだと、これらの吐出ヘッド90の間において、用紙幅方向にノズル92が配置されない部分が発生する。そのため、4つの吐出ヘッド90は、前後に2つずつ分けて配置されており、前側2つの吐出ヘッド90aと後側2つの吐出ヘッド90bは、左右にずれて配置されている。このインクジェットヘッド84の4つの吐出ヘッド90は、搬送機構86の2つの搬送ローラ87,88によって前方に搬送される記録用紙100に対して、ノズル92からインクを吐出させる。 In the inkjet head 84, the four ejection heads 90 are combined to form a nozzle row longer in the paper width direction than the nozzle row 91 of one ejection head 90. If the four ejection heads 90 are simply connected in the paper width direction, a portion where the nozzle 92 is not arranged in the paper width direction is generated between the ejection heads 90. Therefore, the four discharge heads 90 are arranged separately in the front and rear, and the two discharge heads 90a on the front side and the two discharge heads 90b on the rear side are arranged so as to be offset from each other to the left and right. The four ejection heads 90 of the inkjet head 84 eject ink from the nozzle 92 to the recording paper 100 which is conveyed forward by the two conveying rollers 87 and 88 of the conveying mechanism 86.

さらに、各吐出ヘッド90の2つのノズル列91は、前後方向における内側に片寄って配置されている。即ち、前側に位置する2つの吐出ヘッド90aでは、ノズル列91が後側に片寄って配置され、後側に位置する2つの吐出ヘッド90bでは、ノズル列91が前側に片寄って配置されている。そのため、前後方向に並ぶ吐出ヘッド90の間で、ノズル列91の距離を小さくすることができる。これにより、インクジェットヘッド84が、ノズル配列方向が左右方向に対して若干傾いて取り付けられた場合でも、前後の吐出ヘッド90の間でノズル列91の距離が小さくなっていることで、これらのノズル列91間でのインクの着弾位置ズレが小さく抑えられる。尚、この図10の形態において、記録用紙100が、本発明の「被吐出媒体」に相当する。用紙幅方向(左右方向)が、本発明の「第1方向」に相当し、前後方向(搬送方向)が、本発明の「第2方向」に相当する。 Further, the two nozzle rows 91 of each discharge head 90 are arranged to be offset inward in the front-rear direction. That is, in the two discharge heads 90a located on the front side, the nozzle row 91 is arranged on the rear side, and in the two discharge heads 90b located on the rear side, the nozzle row 91 is arranged on the front side. Therefore, the distance between the nozzle rows 91 can be reduced between the discharge heads 90 arranged in the front-rear direction. As a result, even when the inkjet head 84 is mounted so that the nozzle arrangement direction is slightly tilted with respect to the left-right direction, the distance between the front and rear ejection heads 90 is small, so that the nozzle row 91 is small. The deviation of the ink landing position between the rows 91 can be suppressed to a small extent. In addition, in the form of FIG. 10, the recording paper 100 corresponds to the "ejection medium" of the present invention. The paper width direction (left-right direction) corresponds to the "first direction" of the present invention, and the front-back direction (conveyance direction) corresponds to the "second direction" of the present invention.

以上説明した実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。 The embodiment described above and the modified embodiment thereof apply the present invention to an inkjet head that ejects ink onto recording paper to print an image or the like, but are used for various purposes other than printing an image or the like. The present invention can also be applied to a liquid discharge device. For example, the present invention can be applied to a liquid discharge device that discharges a conductive liquid onto a substrate to form a conductive pattern on the surface of the substrate.

1 インクジェットプリンタ
4 インクジェットヘッド
20 吐出ヘッド
30 ノズル
31c ノズル列
31 ノズル列
34 回路基板
46 上部基板
47 中間基板
48 下部基板
51 圧力室
52 マニホールド
67 圧電素子
73 個別配線
75 接続端子
81 インクジェットプリンタ
84 インクジェットヘッド
86 搬送機構
90 吐出ヘッド
91 ノズル列
92 ノズル
100 記録用紙
1 Inkjet printer 4 Inkjet head 20 Discharge head 30 Nozzle 31c Nozzle row 31 Nozzle row 34 Circuit board 46 Upper board 47 Intermediate board 48 Lower board 51 Pressure chamber 52 Manifold 67 Piezoelectric element 73 Individual wiring 75 Connection terminal 81 Inkjet printer 84 Inkjet head 86 Conveyance mechanism 90 Discharge head 91 Nozzle row 92 Nozzle 100 Recording paper

Claims (33)

第1方向に沿って配列された複数の第1ノズルが形成され、平坦な一枚の第1ノズル形成部材と、前記複数の第1ノズルと連通する第1流路が形成され、圧力室を加圧する圧力発生素子が形成された第1流路形成部材と、を有する第1液体吐出ヘッドを備え、
前記第1流路形成部材は、配線部材に形成された配線と接続される第1接点を有し、
前記第1ノズル形成部材は、前記第1方向と直交する第2方向における両端である第1端と第2端とを有し、
前記第1流路形成部材は、前記第2方向における両端である第3端と第4端とを有し、
前記第1ノズル形成部材は、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向において前記第1流路形成部材に積層され、
前記第1接点、前記第1端、前記第2端、および、前記第3端は、前記第2方向において、前記第3端、前記第1接点、前記第1端、前記第2端の順に配置しており、
前記第1流路形成部材の前記第4端近傍には前記配線部材に形成された配線と接続される接点が形成されていないことを特徴とする液体吐出装置。
A plurality of first nozzles arranged along the first direction are formed, and a flat first nozzle forming member and a first flow path communicating with the plurality of first nozzles are formed to form a pressure chamber. A first liquid discharge head having a first flow path forming member in which a pressure generating element for pressurization is formed is provided.
The first flow path forming member has a first contact connected to the wiring formed in the wiring member.
The first nozzle forming member has a first end and a second end which are both ends in a second direction orthogonal to the first direction.
The first flow path forming member has a third end and a fourth end which are both ends in the second direction.
The first nozzle forming member is laminated on the first flow path forming member in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction.
The first contact, the first end, the second end, and the third end are in the order of the third end, the first contact, the first end, and the second end in the second direction. Arranged and
A liquid discharge device characterized in that a contact point connected to a wiring formed in the wiring member is not formed in the vicinity of the fourth end of the first flow path forming member.
前記第2方向における前記第2端から前記第4端までの距離は、前記第2方向における前記第1端から前記第3端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The first aspect of claim 1, wherein the distance from the second end to the fourth end in the second direction is smaller than the distance from the first end to the third end in the second direction. Liquid discharge device. 前記第1方向に沿って配列された複数の第2ノズルが形成された第2ノズル形成部材と、前記複数の第2ノズルと連通する第2流路が形成された第2流路形成部材と、を有する第2液体吐出ヘッドを備え、
前記第2流路形成部材は、前記配線部材とは別の配線部材に形成された配線と接続される第2接点を有し、
前記第2ノズル形成部材は、前記第2方向における両端である第5端と第6端とを有し、
前記第2流路形成部材は、前記第2方向における両端である第7端と第8端とを有し、
前記第2ノズル形成部材は、前記第3方向において前記第2流路形成部材に積層され、
前記第2接点、前記第5端、前記第6端、および、前記第8端は、前記第2方向において、前記第5端、前記第6端、前記第2接点、前記第8端の順に配置しており、
前記第2流路形成部材の前記第7端近傍には前記別の配線部材に形成された配線と接続される接点が形成されていないことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
A second nozzle forming member in which a plurality of second nozzles arranged along the first direction are formed, and a second flow path forming member in which a second flow path communicating with the plurality of second nozzles is formed. A second liquid discharge head with,
The second flow path forming member has a second contact connected to a wiring formed in a wiring member different from the wiring member.
The second nozzle forming member has a fifth end and a sixth end, which are both ends in the second direction.
The second flow path forming member has a seventh end and an eighth end which are both ends in the second direction.
The second nozzle forming member is laminated on the second flow path forming member in the third direction.
The second contact, the fifth end, the sixth end, and the eighth end are in the order of the fifth end, the sixth end, the second contact, and the eighth end in the second direction. Arranged and
The liquid discharge device according to claim 1, wherein a contact point connected to a wiring formed in the other wiring member is not formed in the vicinity of the seventh end of the second flow path forming member.
前記第1接点、前記第2接点、前記第3端、および、前記第8端は、前記第2方向において、前記第3端、前記第1接点、前記第2接点、前記第8端の順に配置していることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置。 The first contact, the second contact, the third end, and the eighth end are in the order of the third end, the first contact, the second contact, and the eighth end in the second direction. The liquid discharge device according to claim 3, wherein the liquid discharge device is arranged. 前記第2方向における前記第2端から前記第4端までの距離は、前記第2方向における前記第3端から前記第1端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の液体吐出装置。 3. The third or claim is characterized in that the distance from the second end to the fourth end in the second direction is smaller than the distance from the third end to the first end in the second direction. 4. The liquid discharge device according to 4. 前記第2方向における前記第5端から前記第7端までの距離は、前記第2方向における前記第6端から前記第8端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項3から請求項5のいずれかに記載の液体吐出装置。 A third aspect of the present invention, wherein the distance from the fifth end to the seventh end in the second direction is smaller than the distance from the sixth end to the eighth end in the second direction. 5. The liquid discharge device according to any one of 5. 前記第1液体吐出ヘッドの少なくとも一部分は、前記第2液体吐出ヘッドから前記第2方向においてずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項3から請求項6のいずれかに記載の液体吐出装置。 The liquid according to any one of claims 3 to 6, wherein at least a part of the first liquid discharge head is arranged at a position deviated from the second liquid discharge head in the second direction. Discharge device. 第3液体吐出ヘッドを備え、
前記第3液体吐出ヘッドは、前記第1方向において前記第1液体吐出ヘッドと並んでいることを特徴とする請求項3から請求項7のいずれかに記載の液体吐出装置。
Equipped with a third liquid discharge head,
The liquid discharge device according to any one of claims 3 to 7, wherein the third liquid discharge head is aligned with the first liquid discharge head in the first direction.
第4液体吐出ヘッドを備え、
前記第4液体吐出ヘッドは、前記第1方向において前記第2液体吐出ヘッドと並んでいることを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置。
Equipped with a fourth liquid discharge head,
The liquid discharge device according to claim 8, wherein the fourth liquid discharge head is aligned with the second liquid discharge head in the first direction.
前記第2液体吐出ヘッドは、前記第2方向において記第1液体吐出ヘッドと並んでいることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 3, wherein the second liquid discharge head is aligned with the first liquid discharge head in the second direction. 第3液体吐出ヘッドを備え、
前記第3液体吐出ヘッドは、前記第2方向において前記第1液体吐出ヘッドと並んでいることを特徴とする請求項10に記載の液体吐出装置。
Equipped with a third liquid discharge head,
The liquid discharge device according to claim 10, wherein the third liquid discharge head is aligned with the first liquid discharge head in the second direction.
第4液体吐出ヘッドを備え、
前記第4液体吐出ヘッドは、前記第2方向において前記第1液体吐出ヘッドと並んでいることを特徴とする請求項11に記載の液体吐出装置。
Equipped with a fourth liquid discharge head,
The liquid discharge device according to claim 11, wherein the fourth liquid discharge head is aligned with the first liquid discharge head in the second direction.
前記第1液体吐出ヘッドと前記第2液体吐出ヘッドとは、前記第2方向において前記第3液体吐出ヘッドと前記第4液体吐出ヘッドとの間に配置されていることを特徴とする請求項12に記載の液体吐出装置。 12. The first liquid discharge head and the second liquid discharge head are arranged between the third liquid discharge head and the fourth liquid discharge head in the second direction. The liquid discharge device according to. 前記第1方向に沿って配列された複数の第2ノズルが形成された第2ノズル形成部材と、前記複数の第2ノズルと連通する第2流路が形成された第2流路形成部材と、を有する第2液体吐出ヘッドを備え、
前記第2流路形成部材は、前記配線部材とは別の配線部材に形成された配線と接続される第2接点を有し、
前記第2ノズル形成部材は、前記第2方向における両端である第5端と第6端とを有し、
前記第2流路形成部材は、前記第2方向における両端である第7端と第8端とを有し、
前記第2ノズル形成部材は、前記第3方向において前記第2流路形成部材に積層され、
前記第2接点、前記第5端、前記第6端、および、前記第7端は、前記第2方向において、前記第7端、前記第2接点、前記第5端、前記第6端の順に配置おり、
前記第2流路形成部材の前記第2接点の近傍には前記別の配線部材に形成された配線と接続される接点が形成されていないことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
A second nozzle forming member in which a plurality of second nozzles arranged along the first direction are formed, and a second flow path forming member in which a second flow path communicating with the plurality of second nozzles is formed. A second liquid discharge head with,
The second flow path forming member has a second contact connected to a wiring formed in a wiring member different from the wiring member.
The second nozzle forming member has a fifth end and a sixth end, which are both ends in the second direction.
The second flow path forming member has a seventh end and an eighth end which are both ends in the second direction.
The second nozzle forming member is laminated on the second flow path forming member in the third direction.
The second contact, the fifth end, the sixth end, and the seventh end are in the order of the seventh end, the second contact, the fifth end, and the sixth end in the second direction. Arranged,
The liquid discharge device according to claim 1, wherein a contact connected to a wiring formed in the other wiring member is not formed in the vicinity of the second contact of the second flow path forming member. ..
前記第2液体吐出ヘッドは、前記第1方向において前記第1液体吐出ヘッドと並んでいることを特徴とする請求項14に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 14, wherein the second liquid discharge head is aligned with the first liquid discharge head in the first direction. 前記第1流路形成部材は、前記第3方向において積層された複数の基板からなる積層体であることを特徴とする請求項1から請求項15のいずれかに記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to any one of claims 1 to 15, wherein the first flow path forming member is a laminated body composed of a plurality of substrates laminated in the third direction. 前記第1ノズル形成部材は、第1方向に沿って配列された複数の第2ノズルが形成され、
前記複数の第2ノズルは、前記複数の第1ノズルから前記第2方向においてずれた位置に形成されていることを特徴と請求項1に記載の液体吐出装置。
In the first nozzle forming member, a plurality of second nozzles arranged along the first direction are formed.
The liquid ejection device according to claim 1, wherein the plurality of second nozzles are formed at positions displaced from the plurality of first nozzles in the second direction.
前記複数の第1ノズルと前記複数の第2ノズルとは、同じ色の液体を吐出するものであることを特徴とする請求項17に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 17, wherein the plurality of first nozzles and the plurality of second nozzles discharge liquids of the same color. 第1方向に沿って配列された複数の第1ノズルが形成されたノズル形成部材と、前記複数の第1ノズルと連通する流路が形成された流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドを備え、
前記流路形成部材は、配線部材に形成された配線と接続される接点を有し、
前記ノズル形成部材は、前記第1方向と直交する第2方向における両端である第1端と第2端とを有し、
前記流路形成部材は、前記第2方向における両端である第3端と第4端とを有し、
前記ノズル形成部材は、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向において前記流路形成部材に積層され、
前記接点、前記第1端、前記第2端、および、前記第3端は、前記第2方向において、前記第3端、前記接点、前記第1端、前記第2端の順に配置しており、
前記流路形成部材の前記第4端近傍には前記配線部材に形成された配線と接続される接点が形成されていないことを特徴とする液体吐出装置。
A liquid discharge head having a nozzle forming member in which a plurality of first nozzles arranged along a first direction are formed and a flow path forming member in which a flow path communicating with the plurality of first nozzles is formed. Prepare,
The flow path forming member has a contact point connected to the wiring formed in the wiring member.
The nozzle forming member has a first end and a second end which are both ends in a second direction orthogonal to the first direction.
The flow path forming member has a third end and a fourth end which are both ends in the second direction.
The nozzle forming member is laminated on the flow path forming member in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction.
The contact, the first end, the second end, and the third end are arranged in the order of the third end, the contact, the first end, and the second end in the second direction. ,
A liquid discharge device characterized in that a contact point connected to a wiring formed in the wiring member is not formed in the vicinity of the fourth end of the flow path forming member.
前記第2方向における前記第2端から前記第4端までの距離は、前記第2方向における前記第1端から前記第3端までの距離よりも小さいことを特徴とする請求項19に記載の液体吐出装置。 19. The 19th aspect of claim 19, wherein the distance from the second end to the fourth end in the second direction is smaller than the distance from the first end to the third end in the second direction. Liquid discharge device. 前記流路形成部材は、前記第3方向において積層された複数の基板からなる積層体であることを特徴とする請求項19または請求項20のいずれかに記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 19, wherein the flow path forming member is a laminated body composed of a plurality of substrates laminated in the third direction. 前記ノズル形成部材は、第1方向に沿って配列された複数の第2ノズルが形成され、
前記複数の第2ノズルは、前記複数の第1ノズルから前記第2方向においてずれた位置に形成されていることを特徴と請求項19から請求項21のいずれかに記載の液体吐出装置。
A plurality of second nozzles arranged along the first direction are formed in the nozzle forming member.
The liquid ejection device according to any one of claims 19 to 21, wherein the plurality of second nozzles are formed at positions displaced from the plurality of first nozzles in the second direction.
前記複数の第1ノズルと前記複数の第2ノズルとは、同じ色の液体を吐出するものであることを特徴とする請求項22に記載の液体吐出装置。 22. The liquid ejection device according to claim 22, wherein the plurality of first nozzles and the plurality of second nozzles eject liquids of the same color. 前記圧力発生素子と前記第1ノズルとは第3方向に対向することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 1, wherein the pressure generating element and the first nozzle face each other in a third direction. 前記第1接点の前記第1方向の長さは、前記第1流路形成部材の前記第3端の第1方向の長さの半分以上であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The liquid according to claim 1, wherein the length of the first contact point in the first direction is at least half the length of the third end of the first flow path forming member in the first direction. Discharge device. 前記第1接点は、前記第1流路形成部材の前記第1方向の中央に対して対称に配置されることを特徴とする請求項1に記載に液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 1, wherein the first contact is arranged symmetrically with respect to the center of the first flow path forming member in the first direction. 前記第1流路形成部材は、前記圧力室と連通するマニホールドを有することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 1, wherein the first flow path forming member has a manifold communicating with the pressure chamber. 前記マニホールドを覆うフィルムを有することを特徴とする請求項27に記載の液体吐出装置。 27. The liquid discharge device according to claim 27, which comprises a film covering the manifold. 前記フィルムは合成樹脂からなることを特徴とする請求項28に記載の液体吐出装置。 28. The liquid ejection device according to claim 28, wherein the film is made of a synthetic resin. 前記フィルムと前記第1接点は前記第1流路形成部材を挟む位置に配置されることを特徴とする請求項28または29に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 28 or 29, wherein the film and the first contact point are arranged at positions sandwiching the first flow path forming member. 前記フィルムを覆うプレートを有することを特徴とする請求項28~30のいずれかに記載の液体吐出装置。 The liquid ejection device according to any one of claims 28 to 30, further comprising a plate covering the film. 前記フィルムは前記プレートより薄いことを特徴とする請求項31に記載に液体吐出装置。 31. The liquid ejection device according to claim 31, wherein the film is thinner than the plate . 前記圧力発生素子は圧電素子であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The liquid discharge device according to claim 1, wherein the pressure generating element is a piezoelectric element.
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