JP6969669B2 - Mass spectrometer and sample transfer device - Google Patents

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Description

本発明は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置、及び、当該質量分析装置に用いられる試料搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a mass spectrometric device that excites a sample by irradiating it with excitation light and mass spectrometrically analyzes the components in the excited sample, and a sample transfer device used in the mass spectrometric device.

従来より、試料の観察を行うための試料観察部と、試料の質量分析を行うための質量分析部とを備えた質量分析装置が利用されている。この種の質量分析装置では、試料観察部において、試料の詳細な表面像が観察されるとともに、質量分析部において、試料がイオン化され、試料由来のイオンが質量電荷比に応じて分離・検出されて、マススペクトルが作成される（例えば、下記特許文献１参照）。
このような質量分析装置では、試料観察部及び質量分析部を、互いの動作の妨げとならないように、適切な位置に配置する必要がある。Conventionally, a mass spectrometric apparatus including a sample observation unit for observing a sample and a mass spectrometric unit for mass spectrometric analysis of a sample has been used. In this type of mass spectrometer, a detailed surface image of the sample is observed in the sample observation unit, and the sample is ionized in the mass spectrometer, and ions derived from the sample are separated and detected according to the mass-to-charge ratio. Then, a mass spectrum is created (see, for example, Patent Document 1 below).
In such a mass spectrometer, it is necessary to arrange the sample observation unit and the mass spectrometer at appropriate positions so as not to interfere with each other's operation.

特許文献１では、試料を観察するための構成（試料観察部）と、試料を質量分析するための構成（質量分析部）とが水平方向に分離している質量分析装置が開示されている。この質量分析装置では、試料が載置されたステージが、観察位置と、当該観察位置に対して水平方向に間隔を隔てて位置する分析位置との間を水平移動する。試料を観察するためのカメラは、観察位置の上方に配置され、試料を質量分析するための検出器などの部材は、分析位置の上方に配置される。そして、試料が載置されたステージを観察位置に位置させることで、試料の上方側から観察行うことができ、また、試料が載置されたステージを分析位置に位置させることで、上方側に位置する検出器によって試料由来のイオンを検出できる。 Patent Document 1 discloses a mass spectrometer in which a configuration for observing a sample (sample observation unit) and a configuration for mass spectrometry of a sample (mass spectrometry unit) are horizontally separated. In this mass spectrometer, the stage on which the sample is placed moves horizontally between the observation position and the analysis position located at a horizontal distance from the observation position. The camera for observing the sample is arranged above the observation position, and the member such as the detector for mass spectrometric analysis of the sample is arranged above the analysis position. Then, by locating the stage on which the sample is placed at the observation position, observation can be performed from the upper side of the sample, and by locating the stage on which the sample is placed at the analysis position, the observation can be performed on the upper side. Ions derived from the sample can be detected by the detector located.

このような質量分析装置において、質量分析するための構成が多くなることがある。この場合には、質量分析装置が上下方向に大型化してしまい、構造的に不安定となり、また、使い勝手も悪くなるという不具合が生じる。そのため、このような場合には、質量分析のための構成が水平方向に沿って配置されることが好ましい。 In such a mass spectrometer, there may be many configurations for mass spectrometry. In this case, the mass spectrometer becomes large in the vertical direction, becomes structurally unstable, and has a problem of poor usability. Therefore, in such a case, it is preferable that the configuration for mass spectrometry is arranged along the horizontal direction.

特許文献１には、質量分析のための各部材が内部に配置され、水平方向に延びる真空チャンバを備える質量分析装置が開示されている。この質量分析装置では、上記の装置と同様に、試料が載置されたステージが、観察位置と、当該観察位置に対して水平方向に間隔を隔てて位置する分析位置との間を水平移動するように構成されている。そして、試料が載置されたステージが分析位置に配置された状態で、試料がイオン化される。試料由来のイオンは、試料導入管を介して真空チャンバ内に導入される。 Patent Document 1 discloses a mass spectrometric apparatus in which each member for mass spectrometry is arranged inside and a vacuum chamber extending in the horizontal direction is provided. In this mass analyzer, the stage on which the sample is placed moves horizontally between the observation position and the analysis position located at a horizontal distance from the observation position, as in the above device. It is configured as follows. Then, the sample is ionized with the stage on which the sample is placed placed at the analysis position. Ions derived from the sample are introduced into the vacuum chamber via the sample introduction tube.

特許第４７７５８２１号公報Japanese Patent No. 4775821

しかしながら、この質量分析装置では、試料導入管がＬ字状に形成されており、試料の導入経路が長くなっている。そのため、真空チャンバ内へのイオンの導入の効率が悪くなり、質量分析の精度が低下してしまうという不具合が生じる。 However, in this mass spectrometer, the sample introduction tube is formed in an L shape, and the sample introduction path is long. Therefore, the efficiency of introducing ions into the vacuum chamber is lowered, and the accuracy of mass spectrometry is lowered.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、装置が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる質量分析装置、及び、当該質量分析装置に用いられる試料搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and is used for a mass spectrometer that can suppress the increase in size of the device in the vertical direction and can improve the analysis accuracy, and the mass spectrometer. It is an object of the present invention to provide a sample transfer device.

（１）本発明に係る質量分析装置は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する。前記質量分析装置は、試料保持部と、回転機構と、質量分析部と、試料観察部とを備える。前記試料保持部は、試料を保持する。前記回転機構は、前記試料保持部を回転動作させる。前記質量分析部は、水平方向に延びるように設置され、前記回転機構により前記試料保持部が第１測定位置に位置決めされた状態で、励起光により励起される試料中の成分が導入される。前記試料観察部は、前記回転機構により前記試料保持部が第２測定位置に位置決めされた状態で、前記質量分析部が延びる方向に対して交差する方向から、試料を観察する。(1) The mass spectrometer according to the present invention excites a sample by irradiating it with excitation light, and mass-analyzes the components in the excited sample. The mass spectrometer includes a sample holding unit, a rotation mechanism, a mass spectrometer unit, and a sample observation unit. The sample holding unit holds a sample. The rotation mechanism rotates the sample holding portion. The mass spectrometric unit is installed so as to extend in the horizontal direction, and a component in the sample excited by the excitation light is introduced in a state where the sample holding unit is positioned at the first measurement position by the rotation mechanism. The sample observation unit observes the sample from a direction intersecting the direction in which the mass spectrometer extends in a state where the sample holding unit is positioned at the second measurement position by the rotation mechanism.

このような構成によれば、質量分析装置において、質量分析部は、水平方向に延びるように設置される。
そのため、質量分析部の構成が多くなる場合には、装置が水平方向に拡がる。
その結果、装置が上下方向に大型化することを抑制できる。According to such a configuration, in the mass spectrometer, the mass spectrometer is installed so as to extend in the horizontal direction.
Therefore, when the number of configurations of the mass spectrometer is increased, the apparatus expands in the horizontal direction.
As a result, it is possible to prevent the device from becoming larger in the vertical direction.

また、試料保持部は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。
そのため、試料中の成分を質量分析部に導入するための経路が短くなるように、第１測定位置を設定することができる。
その結果、質量分析部に対して試料中の成分を効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。
このように、本発明に係る質量分析装置によれば、装置が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる。Further, the sample holding portion is arranged at each of the first measurement position and the second measurement position by being rotated by the rotation mechanism.
Therefore, the first measurement position can be set so that the route for introducing the components in the sample into the mass spectrometer is shortened.
As a result, the components in the sample can be efficiently introduced into the mass spectrometer, and the analysis accuracy can be improved.
As described above, according to the mass spectrometer according to the present invention, it is possible to suppress the increase in size of the device in the vertical direction and improve the analysis accuracy.

（２）また、前記質量分析装置は、スライド機構をさらに備えてもよい。前記スライド機構は、前記試料保持部を水平方向に沿ってスライドさせる。前記質量分析装置では、前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされてもよい。(2) Further, the mass spectrometer may further include a slide mechanism. The slide mechanism slides the sample holding portion along the horizontal direction. In the mass spectrometer, the sample holding portion may be positioned at each of the first measurement position and the second measurement position by the rotation mechanism and the slide mechanism.

このような構成によれば、試料保持部は、スライド機構によるスライド移動、及び、回転機構による回転移動によって、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。
そのため、試料保持部が、回転移動のみによって第１測定位置と第２測定位置との間を移動する構成に比べて、第１測定位置と第２測定位置との間を移動する試料保持部の移動量を小さくできる。
その結果、装置内に生じるデッドスペースを小さくできる。According to such a configuration, the sample holding portion is arranged at each of the first measurement position and the second measurement position by the slide movement by the slide mechanism and the rotation movement by the rotation mechanism.
Therefore, the sample holding unit moves between the first measurement position and the second measurement position as compared with the configuration in which the sample holding unit moves between the first measurement position and the second measurement position only by rotational movement. The amount of movement can be reduced.
As a result, the dead space generated in the device can be reduced.

（３）また、前記質量分析装置では、前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態において、前記試料保持部により保持された試料が水平方向に延びていてもよい。(3) Further, in the mass spectrometer, the sample held by the sample holding portion may extend in the horizontal direction while the sample holding portion is positioned at the second measurement position.

このような構成によれば、ユーザは、水平方向に延びる試料保持部に対して試料を着脱することとなる。
そのため、試料保持部に対して試料を容易に着脱できる。According to such a configuration, the user attaches / detaches the sample to / from the sample holding portion extending in the horizontal direction.
Therefore, the sample can be easily attached to and detached from the sample holding portion.

（４）また、前記質量分析装置は、ストッパをさらに備えてもよい。前記ストッパは、前記試料保持部を第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めする。(4) Further, the mass spectrometer may further include a stopper. The stopper positions the sample holding portion at each of the first measurement position and the second measurement position.

このような構成によれば、試料保持部を第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに正確に配置させることができる。 According to such a configuration, the sample holding portion can be accurately arranged at each of the first measurement position and the second measurement position.

（５）また、前記質量分析装置は、位置合わせ機構をさらに備えてもよい。前記位置合わせ機構は、前記試料保持部が前記第１測定位置に位置決めされた状態における試料に対する励起光の照射位置と、前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態における前記試料観察部による試料の観察位置との位置合わせを行う。(5) Further, the mass spectrometer may further include an alignment mechanism. The alignment mechanism includes an irradiation position of excitation light for a sample in a state where the sample holding portion is positioned at the first measurement position, and the sample observation in a state where the sample holding portion is positioned at the second measurement position. Align the sample with the observation position by the unit.

このような構成によれば、位置合わせ機構により位置合わせを行うことで、照射位置及び観察位置がずれることを抑制できる。
その結果、試料に対して励起光を正確に照射できる。また、試料を正確に観察できる。According to such a configuration, it is possible to suppress the deviation of the irradiation position and the observation position by performing the alignment by the alignment mechanism.
As a result, the sample can be accurately irradiated with the excitation light. In addition, the sample can be observed accurately.

（６）本発明に係る試料搬送装置は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置に用いられる。前記試料搬送装置は、試料保持部と、回転機構とを備える。前記試料保持部は、試料を保持する。前記回転機構は、前記試料保持部を回転動作させることにより、励起光により励起される試料中の成分を質量分析部に導入させる第１測定位置、及び、試料観察部により試料を観察する第２測定位置のそれぞれに前記試料保持部を位置決めする。(6) The sample transport device according to the present invention is used as a mass spectrometer that excites a sample by irradiating it with excitation light and mass spectrometrically analyzes the components in the excited sample. The sample transfer device includes a sample holding unit and a rotation mechanism. The sample holding unit holds a sample. The rotation mechanism has a first measurement position for introducing a component in the sample excited by the excitation light into the mass analysis unit by rotating the sample holding unit, and a second measurement position for observing the sample by the sample observation unit. The sample holding portion is positioned at each of the measurement positions.

（７）また、前記試料搬送装置は、スライド機構をさらに備えてもよい。前記スライド機構は、前記試料保持部をスライドさせる。前記試料搬送装置では、前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされてもよい。(7) Further, the sample transfer device may further include a slide mechanism. The slide mechanism slides the sample holding portion. In the sample transfer device, the sample holding portion may be positioned at each of the first measurement position and the second measurement position by the rotation mechanism and the slide mechanism.

本発明によれば、質量分析部の構成が多くなる場合には、装置が水平方向に拡がる。そのため、装置が上下方向に大型化することを抑制できる。また、試料保持部は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。そのため、試料中の成分を質量分析部に導入するための経路が短くなるように、第１測定位置を設定することができる。その結果、質量分析部に対して試料中の成分を効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。 According to the present invention, when the number of configurations of the mass spectrometer is increased, the apparatus expands in the horizontal direction. Therefore, it is possible to prevent the device from becoming larger in the vertical direction. Further, the sample holding portion is arranged at each of the first measurement position and the second measurement position by being rotated by the rotation mechanism. Therefore, the first measurement position can be set so that the route for introducing the components in the sample into the mass spectrometer is shortened. As a result, the components in the sample can be efficiently introduced into the mass spectrometer, and the analysis accuracy can be improved.

本発明の一実施形態に係る質量分析装置の構成例を示した概略図である。It is a schematic diagram which showed the structural example of the mass spectrometer which concerns on one Embodiment of this invention. 試料保持部の移動動作を説明するための図であって、試料保持部が第２測定位置に位置する状態を示している。It is a figure for demonstrating the moving operation of a sample holding part, and shows the state which a sample holding part is located at the 2nd measurement position. 試料保持部の移動動作を説明するための図であって、図２に示す状態から、試料保持部が回転移動した後の状態を示している。It is a figure for demonstrating the moving operation of a sample holding part, and shows the state after the sample holding part has rotated and moved from the state shown in FIG. 試料保持部の移動動作を説明するための図であって、試料保持部が第１測定位置に位置する状態を示している。It is a figure for demonstrating the moving operation of a sample holding part, and shows the state which a sample holding part is located at the 1st measurement position.

１．質量分析装置の構成
図１は、本発明の一実施形態に係る質量分析装置１の構成例を示した概略図である。図１では、質量分析装置１を水平方向に見た状態を示している。
質量分析装置１は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析するためのものである。質量分析装置１は、質量分析部２と、試料搬送装置３０とを備えている。1. 1. Configuration of Mass Spectrometer FIG. 1 is a schematic view showing a configuration example of the mass spectrometer 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a state in which the mass spectrometer 1 is viewed in the horizontal direction.
The mass spectrometer 1 is for exciting a sample by irradiating it with excitation light and performing mass spectrometry on the components in the excited sample. The mass spectrometer 1 includes a mass spectrometer 2 and a sample transfer device 30.

質量分析部２は、水平方向に延びるように設置されている。質量分析部２は、真空チャンバ２１と、イオンガイド２２と、イオントラップ２３と、検出器２４とを備えている。なお、この例では、適宜、質量分析部２が延びる方向（図１において左右方向）をｘ方向とし、水平方向においてｘ方向と直交する方向（図１において紙面と直行する方向）をｙ方向とし、上下方向をｚ方向として説明する。 The mass spectrometric unit 2 is installed so as to extend in the horizontal direction. The mass spectrometer 2 includes a vacuum chamber 21, an ion guide 22, an ion trap 23, and a detector 24. In this example, the direction in which the mass analysis unit 2 extends (horizontal direction in FIG. 1) is defined as the x direction, and the direction orthogonal to the x direction in the horizontal direction (direction orthogonal to the paper surface in FIG. 1) is defined as the y direction. , The vertical direction will be described as the z direction.

真空チャンバ２１は、長尺な中空状に形成されており、水平方向（ｘ方向）に延びている。
イオンガイド２２、イオントラップ２３及び検出器２４は、真空チャンバ２１内に配置されている。イオンガイド２２は、イオンの導入方向において上流部に配置されている。イオントラップ２３は、イオンの導入方向においてイオンガイド２２の下流側に配置されている。検出器２４は、イオンの導入方向において下流部に配置されている。
真空チャンバ２１には、排気管２５が接続されている。また、排気管２５には、真空ポンプ２６が介在している。
試料搬送装置３０は、筐体３と、試料導入管４と、光源５と、レール６と、試料保持部７と、試料観察部８と、照明部９と、位置調整部１０とを備えている。
筐体３は、真空チャンバ２１に隣接している。筐体３は、長尺な中空状に形成されており、水平方向（ｘ方向）に延びている。The vacuum chamber 21 is formed in a long hollow shape and extends in the horizontal direction (x direction).
The ion guide 22, the ion trap 23, and the detector 24 are arranged in the vacuum chamber 21. The ion guide 22 is arranged upstream in the ion introduction direction. The ion trap 23 is arranged on the downstream side of the ion guide 22 in the ion introduction direction. The detector 24 is arranged downstream in the ion introduction direction.
An exhaust pipe 25 is connected to the vacuum chamber 21. Further, a vacuum pump 26 is interposed in the exhaust pipe 25.
The sample transfer device 30 includes a housing 3, a sample introduction tube 4, a light source 5, a rail 6, a sample holding unit 7, a sample observation unit 8, an illumination unit 9, and a position adjusting unit 10. There is.
The housing 3 is adjacent to the vacuum chamber 21. The housing 3 is formed in a long hollow shape and extends in the horizontal direction (x direction).

試料導入管４は、直線状に形成される管状の部材であって、水平方向（ｘ方向）に延びている。試料導入管４は、筐体３と真空チャンバ２１とを接続している。具体的には、試料導入管４の一端部は、筐体３の内部空間に連通しており、試料導入管４の他端部は、真空チャンバ２１の内部空間に連通している。
光源５は、筐体３内において、試料導入管４の一端部の近傍（周囲）に設けられている。光源５は、励起光としてのレーザ光を照射するように構成されている。
レール６は、筐体３内において、水平方向（ｘ方向）に延びるように設けられている。The sample introduction tube 4 is a tubular member formed in a straight line and extends in the horizontal direction (x direction). The sample introduction tube 4 connects the housing 3 and the vacuum chamber 21. Specifically, one end of the sample introduction tube 4 communicates with the internal space of the housing 3, and the other end of the sample introduction tube 4 communicates with the internal space of the vacuum chamber 21.
The light source 5 is provided in the vicinity (periphery) of one end of the sample introduction tube 4 in the housing 3. The light source 5 is configured to irradiate a laser beam as an excitation light.
The rail 6 is provided in the housing 3 so as to extend in the horizontal direction (x direction).

試料保持部７は、試料Ｓを保持するように構成されている。試料保持部７は、レール６に対して相対移動可能（スライド移動可能）な状態で取り付けられている。また、試料保持部７は、レール６に沿う方向と直交する水平方向（ｙ方向）に延びる軸線回りに回転可能に構成されている。なお、試料保持部７の詳細な構成については、後述する。 The sample holding unit 7 is configured to hold the sample S. The sample holding portion 7 is attached in a state of being relatively movable (sliding movable) with respect to the rail 6. Further, the sample holding portion 7 is configured to be rotatable around an axis extending in a horizontal direction (y direction) orthogonal to a direction along the rail 6. The detailed configuration of the sample holding unit 7 will be described later.

試料観察部８は、筐体３内の上部に設けられている。試料観察部８は、光源５と間隔を隔てて配置されおり、かつ、レール６の中央部の上方に配置されている。試料観察部８は、例えば、ＣＣＤカメラである。試料観察部８は、試料保持部７が下方に位置する状態において、試料Ｓを撮像（観察）する。すなわち、試料観察部８は、上方から試料Ｓを観察する。
照明部９は、筐体３内において、試料観察部８の下方に設けられている。照明部９は、上方に向かって光を照射するように構成されている。The sample observation unit 8 is provided in the upper part of the housing 3. The sample observation unit 8 is arranged at a distance from the light source 5 and is arranged above the central portion of the rail 6. The sample observation unit 8 is, for example, a CCD camera. The sample observation unit 8 images (observes) the sample S in a state where the sample holding unit 7 is located below. That is, the sample observation unit 8 observes the sample S from above.
The illumination unit 9 is provided below the sample observation unit 8 in the housing 3. The illumination unit 9 is configured to irradiate light upward.

位置調整部１０は、筐体３内に配置されている。位置調整部１０は、レール６を保持している。位置調整部１０は、図示しないギヤやモータなどを備えており、レール６を３軸方向（ｘ方向、ｙ方向及びｚ方向）に移動させるように構成されている。 The position adjusting unit 10 is arranged in the housing 3. The position adjusting unit 10 holds the rail 6. The position adjusting unit 10 includes gears, motors, and the like (not shown), and is configured to move the rail 6 in three axial directions (x direction, y direction, and z direction).

質量分析装置１では、試料保持部７が適宜変位される。図１において、試料保持部７を実線で示す位置が、第１測定位置であり、試料保持部７を点線で示す位置が第２測定位置である。 In the mass spectrometer 1, the sample holding portion 7 is appropriately displaced. In FIG. 1, the position where the sample holding portion 7 is shown by the solid line is the first measurement position, and the position where the sample holding portion 7 is shown by the dotted line is the second measurement position.

試料保持部７が第１測定位置に位置する状態においては、試料保持部７に保持された試料Ｓの表面は、試料導入管４の一端部に対向している（ｘ方向側を向いている）。試料保持部７が第２測定位置に位置する状態においては、試料保持部７に保持された試料Ｓは、試料観察部８の下方に間隔を隔てて位置しており、その表面は上方側（ｙ方向側）を向いている。
試料Ｓは、試料保持部７が第２測定位置に配置された状態で、試料保持部７に装着される。In the state where the sample holding portion 7 is located at the first measurement position, the surface of the sample S held by the sample holding portion 7 faces one end of the sample introduction tube 4 (facing the x-direction side). ). In the state where the sample holding unit 7 is located at the second measurement position, the sample S held by the sample holding unit 7 is located below the sample observation unit 8 at a distance, and the surface thereof is on the upper side ( It faces the y-direction side).
The sample S is mounted on the sample holding portion 7 with the sample holding portion 7 arranged at the second measurement position.

質量分析装置１では、まず、位置調整部１０によって、位置合わせが行われる。具体的には、試料保持部７が第２測定位置に配置され、この状態で、試料保持部７の状態が試料観察部８によって撮像される。撮像された画像は、図示しない表示部に表示される。この状態で試料保持部７の位置にずれがある場合には、位置調整部１０によってレール６が３軸方向に移動され、そのずれが補正される。これにより、レール６に取り付けられている試料保持部７の位置が補正される。レール６、位置調整部１０、ギヤ及びモータなどが位置合わせ機構を構成している。 In the mass spectrometer 1, first, the position adjusting unit 10 performs the positioning. Specifically, the sample holding unit 7 is arranged at the second measurement position, and in this state, the state of the sample holding unit 7 is imaged by the sample observing unit 8. The captured image is displayed on a display unit (not shown). If there is a deviation in the position of the sample holding portion 7 in this state, the rail 6 is moved in the triaxial direction by the position adjusting portion 10, and the deviation is corrected. As a result, the position of the sample holding portion 7 attached to the rail 6 is corrected. The rail 6, the position adjusting unit 10, the gear, the motor, and the like constitute the alignment mechanism.

このように、分析動作に先立って、試料保持部７が第１測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料Ｓに対する励起光の照射位置、及び、試料保持部７が第２測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料観察部８による試料Ｓの観察位置にずれが生じる状態となっている場合には、位置調整部１０によって、そのずれが補正される。 In this way, prior to the analysis operation, the irradiation position of the excitation light with respect to the sample S in the state where the sample holding unit 7 is arranged at the first measurement position (positioned state), and the sample holding unit 7 are used for the second measurement. When the observation position of the sample S by the sample observation unit 8 is displaced in the state of being arranged at the position (positioned state), the displacement is corrected by the position adjusting unit 10.

このようにして位置合わせが行われた後、第２測定位置に位置する試料保持部７が保持する試料Ｓに対して、照明部９からの光が照射され、その透過光による試料像が試料観察部８によって撮像される。撮像された試料Ｓの画像は、図示しない表示部に表示される。
ユーザは、試料Ｓの画像を観察し、その画像に基づいて、図示しない操作部を操作することにより、試料Ｓの分析箇所を指定する。
その後、試料保持部７は、第１測定位置に移動される。
試料保持部７が第１測定位置に位置する状態では、上記したように、試料Ｓの表面が、試料導入管４の一端部に対向している。After the alignment is performed in this way, the sample S held by the sample holding unit 7 located at the second measurement position is irradiated with the light from the illuminating unit 9, and the sample image obtained by the transmitted light is the sample. The image is taken by the observation unit 8. The image of the captured sample S is displayed on a display unit (not shown).
The user observes an image of the sample S, and based on the image, operates an operation unit (not shown) to specify an analysis point of the sample S.
After that, the sample holding unit 7 is moved to the first measurement position.
In the state where the sample holding portion 7 is located at the first measurement position, the surface of the sample S faces one end of the sample introduction tube 4 as described above.

この状態で、光源５から試料Ｓに対して励起光が照射される。具体的には、試料Ｓの表面のうち、ユーザによって指定された分析箇所に励起光が照射される。そして、試料Ｓが励起されてイオン化される。
また、質量分析部２では、真空ポンプ２６が動作されて、真空チャンバ２１内の気体が排気管２５を介してが排出される。In this state, the light source 5 irradiates the sample S with excitation light. Specifically, the excitation light is irradiated to the analysis site designated by the user on the surface of the sample S. Then, the sample S is excited and ionized.
Further, in the mass spectrometer 2, the vacuum pump 26 is operated, and the gas in the vacuum chamber 21 is discharged through the exhaust pipe 25.

これにより、真空チャンバ２１内と筐体３内とで圧力差が生じ、この圧力差によって、試料Ｓ由来のイオンが試料導入管４を介して真空チャンバ２１内に導入される。 As a result, a pressure difference is generated between the inside of the vacuum chamber 21 and the inside of the housing 3, and the ion derived from the sample S is introduced into the vacuum chamber 21 via the sample introduction tube 4 due to this pressure difference.

このイオンは、イオンガイド２２を経て、イオントラップ２３に導入される。イオントラップ２３では、特定の質量電荷比を持つイオンのみが選択的に通過する。イオントラップ２３を通過したイオンは検出器２４に到達して検出される。そして、質量分析装置１では、検出器２４から得られる検出信号に基づくデータにより、マススペクトルやマスクロマトグラムが作成される。 This ion is introduced into the ion trap 23 via the ion guide 22. In the ion trap 23, only ions having a specific mass-to-charge ratio pass selectively. The ions that have passed through the ion trap 23 reach the detector 24 and are detected. Then, in the mass spectrometer 1, a mass spectrum or a mass chromatogram is created from the data based on the detection signal obtained from the detector 24.

２．試料保持部の構成及び移動動作
以下では、試料保持部７の構成及び移動動作の詳細について説明する。図２〜図４は、試料保持部７の移動動作を説明するための図であって、水平方向に見た状態を示している。具体的には、図２は、試料保持部７が第２測定位置に位置する状態を示している。図３は、図２に示す状態から、試料保持部７が回転移動した後の状態を示している。図４は、試料保持部７が第２測定位置に位置する状態を示している。
試料保持部７は、台座部１１及びモータを介してレール６に取り付けられている。
台座部１１は、レール６に沿ってスライド移動可能な部材である。台座部１１は、ベース台１１１、第１ストッパ１１２及び第２ストッパ１１３を備えている。2. 2. Configuration and moving operation of the sample holding unit The details of the configuration and moving operation of the sample holding unit 7 will be described below. 2 to 4 are views for explaining the moving operation of the sample holding portion 7, and show a state seen in the horizontal direction. Specifically, FIG. 2 shows a state in which the sample holding unit 7 is located at the second measurement position. FIG. 3 shows a state after the sample holding portion 7 has rotated and moved from the state shown in FIG. FIG. 4 shows a state in which the sample holding portion 7 is located at the second measurement position.
The sample holding portion 7 is attached to the rail 6 via the pedestal portion 11 and the motor.
The pedestal portion 11 is a member that can be slidably moved along the rail 6. The pedestal portion 11 includes a base base 111, a first stopper 112, and a second stopper 113.

ベース台１１１は、レール６に対して相対移動可能（スライド移動可能）な状態で取り付けられている。ベース台１１１には、ギヤなどを介してモータ（図示せず）からの駆動力が付与されるように構成されている。ベース台１１１は、駆動力が付与されることにより、レール６に沿って水平方向（ｘ方向）にスライド移動する。レール６、台座部１１、ギヤ及びモータなどがスライド機構を構成している。
第１ストッパ１１２は、ベース台１１１の下端部から、レール６の延びる方向と直交する水平方向（ｙ方向）に突出している。The base base 111 is attached in a state of being relatively movable (sliding movable) with respect to the rail 6. The base base 111 is configured to be applied with a driving force from a motor (not shown) via a gear or the like. The base base 111 slides in the horizontal direction (x direction) along the rail 6 when a driving force is applied. The rail 6, the pedestal portion 11, the gear, the motor, and the like constitute the slide mechanism.
The first stopper 112 projects from the lower end of the base base 111 in the horizontal direction (y direction) orthogonal to the extending direction of the rail 6.

第２ストッパ１１３は、ベース台１１１の水平方向の一方側端部（ｘ方向において光源５から離れる側の端部）から、レール６の延びる方向と直交する水平方向（ｙ方向）に突出している。 The second stopper 113 protrudes from one side end portion in the horizontal direction of the base base 111 (the end portion on the side away from the light source 5 in the x direction) in the horizontal direction (y direction) orthogonal to the extending direction of the rail 6. ..

ベース台１１１には、モータ軸１６を備えるモータが固定されている。なお、図２〜図４では、ベース台１１１に設けられるモータのモータ軸１６のみを示している。ベース台１１１に設けられるモータ（モータ軸１６を備えるモータ）が、回転機構を構成している。
試料保持部７は、基台部７１と、保持プレート７２とを備えている。A motor including a motor shaft 16 is fixed to the base base 111. Note that FIGS. 2 to 4 show only the motor shaft 16 of the motor provided on the base base 111. A motor provided on the base 111 (a motor including a motor shaft 16) constitutes a rotation mechanism.
The sample holding portion 7 includes a base portion 71 and a holding plate 72.

基台部７１は、モータ軸１６が回転することにより、ｙ方向に延びる軸線Ａを中心としてモータ軸１６とともに回転する。基台部７１は、中央部７１１と、第１係合部７１２と、第２係合部７１３とを備えている。 The base portion 71 rotates together with the motor shaft 16 about the axis A extending in the y direction due to the rotation of the motor shaft 16. The base portion 71 includes a central portion 711, a first engaging portion 712, and a second engaging portion 713.

中央部７１１は、モータ軸１６に固定されている。試料保持部７が第２測定位置に位置する状態において（図２に示す状態において）、第１係合部７１２は、中央部７１１から水平方向（ｘ方向）において光源５に向かう側に向かって突出しており、第２係合部７１３は、中央部７１１から水平方向（ｘ方向）において光源５から離れる側に向かって突出している。 The central portion 711 is fixed to the motor shaft 16. In the state where the sample holding portion 7 is located at the second measurement position (in the state shown in FIG. 2), the first engaging portion 712 is directed toward the light source 5 in the horizontal direction (x direction) from the central portion 711. The second engaging portion 713 projects from the central portion 711 toward the side away from the light source 5 in the horizontal direction (x direction).

保持プレート７２は、中央部７１１に取り付けられている。試料保持部７が第２測定位置に位置する状態において（図２に示す状態において）、保持プレート７２は、水平方向に沿っている。保持プレート７２には、試料Ｓを装着させ、また、装着した試料Ｓを取り外すことが可能である（試料Ｓを着脱可能である）。 The holding plate 72 is attached to the central portion 711. In the state where the sample holding portion 7 is located at the second measurement position (in the state shown in FIG. 2), the holding plate 72 is along the horizontal direction. The sample S can be mounted on the holding plate 72, and the mounted sample S can be removed (the sample S can be attached and detached).

質量分析装置１では、まず、台座部１１に駆動力が付与されることにより、台座部１１がレール６の所定位置（試料観察部８の下方側に位置するレール６の部分）に配置される。そして、台座部１１に設けられたモータ（モータ軸１６を備えるモータ）が駆動され、モータ軸１６が一方側（図２において反時計回り）に回転される。これにより、試料保持部７がモータ軸１６とともに一方側（反時計回り）に回転し、第２係合部７１３が第２ストッパ１１３に係合する。このように、試料保持部７が、試料観察部８の下方側に位置し、かつ、試料保持部７の保持プレート７２が水平方向に沿う状態で位置決めされる。この状態（図２に示す状態）の試料保持部７の位置が第２測定位置である。 In the mass spectrometer 1, first, by applying a driving force to the pedestal portion 11, the pedestal portion 11 is arranged at a predetermined position of the rail 6 (the portion of the rail 6 located on the lower side of the sample observation portion 8). .. Then, a motor (a motor including a motor shaft 16) provided on the pedestal portion 11 is driven, and the motor shaft 16 is rotated to one side (counterclockwise in FIG. 2). As a result, the sample holding portion 7 rotates to one side (counterclockwise) together with the motor shaft 16, and the second engaging portion 713 engages with the second stopper 113. In this way, the sample holding unit 7 is positioned below the sample observing unit 8, and the holding plate 72 of the sample holding unit 7 is positioned along the horizontal direction. The position of the sample holding portion 7 in this state (the state shown in FIG. 2) is the second measurement position.

そして、試料保持部７が第２測定位置に配置された状態で、図２に示すように、試料保持部７に試料Ｓが装着される。このとき、試料Ｓは、水平方向に延びている。この状態において、上記したように、試料観察部８によって試料Ｓの撮像（観察）が行われる。 Then, as shown in FIG. 2, the sample S is mounted on the sample holding unit 7 with the sample holding unit 7 arranged at the second measurement position. At this time, the sample S extends in the horizontal direction. In this state, as described above, the sample observation unit 8 performs imaging (observation) of the sample S.

試料Ｓの撮像（観察）が完了すると、図３に示すように、試料保持部７が回転移動される。具体的には、台座部１１に設けられたモータ（モータ軸１６を備えるモータ）が駆動され、モータ軸１６が他方側（図２において時計回り）に回転される。これにより、試料保持部７がモータ軸１６とともに他方側（時計回り）に回転し、第１係合部７１２が第１ストッパ１１２に係合する。そして、試料保持部７が、試料観察部８の下方側に位置し、かつ、試料保持部７の保持プレート７２が上下方向に沿う状態で位置決めされる。 When the imaging (observation) of the sample S is completed, the sample holding unit 7 is rotated and moved as shown in FIG. Specifically, a motor (a motor including a motor shaft 16) provided on the pedestal portion 11 is driven, and the motor shaft 16 is rotated to the other side (clockwise in FIG. 2). As a result, the sample holding portion 7 rotates on the other side (clockwise) together with the motor shaft 16, and the first engaging portion 712 engages with the first stopper 112. Then, the sample holding unit 7 is positioned below the sample observation unit 8, and the holding plate 72 of the sample holding unit 7 is positioned along the vertical direction.

次いで、台座部１１に駆動力が付与されることにより、図４に示すように、台座部１１がレール６の先端部（試料導入管４と対向するレール６の端部）に配置される。この状態の試料保持部７の位置が第１測定位置である。すなわち、試料保持部７は、第１測定位置に位置する状態では、試料導入管４と対向し、かつ、試料保持部７の保持プレート７２が上下方向に沿う状態で位置決めされている。また、試料保持部７が第１測定位置に位置する状態では、試料Ｓは上下方向に延びており、試料導入管４に対向している。この状態において、上記したように、試料Ｓに対して励起光が照射されて、質量分析が行われる。 Next, by applying a driving force to the pedestal portion 11, the pedestal portion 11 is arranged at the tip end portion of the rail 6 (the end portion of the rail 6 facing the sample introduction pipe 4) as shown in FIG. The position of the sample holding portion 7 in this state is the first measurement position. That is, the sample holding portion 7 is positioned so as to face the sample introduction tube 4 and the holding plate 72 of the sample holding portion 7 is positioned along the vertical direction when the sample holding portion 7 is located at the first measurement position. Further, in the state where the sample holding portion 7 is located at the first measurement position, the sample S extends in the vertical direction and faces the sample introduction tube 4. In this state, as described above, the sample S is irradiated with the excitation light, and mass spectrometry is performed.

３．作用効果
（１）本実施形態によれば、図１に示すように、質量分析装置１において、質量分析部２は、水平方向に延びるように設置される。
そのため、質量分析部２の構成が多くなる場合には、質量分析装置１の装置全体が水平方向に拡がる。
その結果、質量分析装置１の装置全体が上下方向に大型化することを抑制できる。3. 3. Action Effect (1) According to the present embodiment, as shown in FIG. 1, in the mass spectrometer 1, the mass spectrometer 2 is installed so as to extend in the horizontal direction.
Therefore, when the number of configurations of the mass spectrometer 2 is increased, the entire device of the mass spectrometer 1 expands in the horizontal direction.
As a result, it is possible to prevent the entire device of the mass spectrometer 1 from becoming larger in the vertical direction.

また、試料保持部７は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。
そのため、試料由来のイオンを質量分析部２に導入するための試料導入管４が短くなるように、第１測定位置を設定することができる。具体的には、試料保持部７が第１測定位置に配置された状態においては、試料保持部７の保持プレート７２が上下方向に沿っており、試料Ｓは上下方向に延びている。そして、試料導入管４は、その端部が試料Ｓと対向するように直線状に形成されており、Ｌ字状に形成される場合に比べて、その長さが短くなっている。
その結果、質量分析部２に対して試料由来のイオンを効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。
このように、本実施形態によれば、質量分析装置１の装置全体が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる。Further, the sample holding unit 7 is arranged at each of the first measurement position and the second measurement position by being rotated by the rotation mechanism.
Therefore, the first measurement position can be set so that the sample introduction tube 4 for introducing the ion derived from the sample into the mass spectrometry unit 2 is shortened. Specifically, in the state where the sample holding portion 7 is arranged at the first measurement position, the holding plate 72 of the sample holding portion 7 is along the vertical direction, and the sample S extends in the vertical direction. The sample introduction tube 4 is formed in a straight line so that its end faces the sample S, and its length is shorter than that in the case where the sample introduction tube 4 is formed in an L shape.
As a result, ions derived from the sample can be efficiently introduced into the mass spectrometry unit 2, and the analysis accuracy can be improved.
As described above, according to the present embodiment, it is possible to prevent the entire device of the mass spectrometer 1 from increasing in size in the vertical direction, and it is possible to improve the analysis accuracy.

（２）また、本実施形態によれば、試料保持部７は、スライド機構によるスライド移動、及び、回転機構による回転移動によって、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。(2) Further, according to the present embodiment, the sample holding unit 7 is arranged at each of the first measurement position and the second measurement position by the slide movement by the slide mechanism and the rotation movement by the rotation mechanism.

そのため、試料保持部７が、回転移動のみによって第１測定位置と第２測定位置との間を移動する構成に比べて、第１測定位置と第２測定位置との間を移動する試料保持部７の移動量を小さくできる。
その結果、質量分析装置１内に生じるデッドスペースを小さくできる。Therefore, the sample holding unit 7 moves between the first measurement position and the second measurement position as compared with the configuration in which the sample holding unit 7 moves between the first measurement position and the second measurement position only by rotational movement. The amount of movement of 7 can be reduced.
As a result, the dead space generated in the mass spectrometer 1 can be reduced.

（３）また、本実施形態によれば、図２に示すように、質量分析装置１において、試料保持部７が前記第２測定位置に位置決めされた状態では、試料保持部７により保持された試料Ｓが水平方向に延びている。(3) Further, according to the present embodiment, as shown in FIG. 2, in the mass spectrometer 1, when the sample holding unit 7 is positioned at the second measurement position, the sample holding unit 7 is held by the sample holding unit 7. Sample S extends horizontally.

すなわち、ユーザは、水平方向に延びる試料保持部７に対して試料Ｓの着脱動作を行う。
そのため、試料保持部７に対して試料を容易に着脱できる。That is, the user performs the attachment / detachment operation of the sample S with respect to the sample holding portion 7 extending in the horizontal direction.
Therefore, the sample can be easily attached to and detached from the sample holding portion 7.

（４）また、本実施形態によれば、質量分析装置１は、第１ストッパ１１２及び第２ストッパ１１３を備えている。図４に示すように、第１ストッパ１１２は、試料保持部７を第１測定位置に位置決めする。また、図２に示すように、第２ストッパ１１３は、試料保持部７を第２位置に位置決めする。(4) Further, according to the present embodiment, the mass spectrometer 1 includes a first stopper 112 and a second stopper 113. As shown in FIG. 4, the first stopper 112 positions the sample holding portion 7 at the first measurement position. Further, as shown in FIG. 2, the second stopper 113 positions the sample holding portion 7 at the second position.

そのため、試料保持部７を第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに正確に配置させることができる。 Therefore, the sample holding portion 7 can be accurately arranged at each of the first measurement position and the second measurement position.

（５）また、本実施形態によれば、分析動作に先立って、位置調整部１０（位置合わせ機構）によって、位置合わせが行われる。具体的には、試料保持部７が第１測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料Ｓに対する励起光の照射位置、及び、試料保持部７が第２測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料観察部８による試料Ｓの観察位置にずれが生じる状態となっている場合には、位置調整部１０によって、そのずれが補正される。(5) Further, according to the present embodiment, the positioning is performed by the positioning unit 10 (positioning mechanism) prior to the analysis operation. Specifically, the irradiation position of the excitation light with respect to the sample S in the state where the sample holding unit 7 is arranged at the first measurement position (positioned state), and the sample holding unit 7 are arranged at the second measurement position. When the observation position of the sample S by the sample observation unit 8 in the state (positioned state) is in a state of being displaced, the displacement is corrected by the position adjusting unit 10.

そのため、位置調整部１０（位置合わせ機構）により位置合わせを行うことで、照射位置及び観察位置がずれることを抑制できる。
その結果、試料Ｓに対して励起光を正確に照射できる。また、試料Ｓを正確に観察できる。Therefore, it is possible to suppress the deviation of the irradiation position and the observation position by performing the positioning by the position adjusting unit 10 (positioning mechanism).
As a result, the excitation light can be accurately applied to the sample S. In addition, the sample S can be observed accurately.

４．変形例
以上の実施形態では、試料保持部７が第２測定位置に配置される状態において、試料観察部８は、試料Ｓを上方から観察するとして説明した。しかし、試料観察部８は、この構成に限らず、質量分析部２が延びる方向（ｘ方向）に対して交差する方向から試料Ｓを観察する構成であればよい。例えば、試料観察部８は、試料Ｓを水平方向に対して傾斜する方向から観察する構成であってもよい。4. Modifications In the above embodiment, the sample observation unit 8 will observe the sample S from above in a state where the sample holding unit 7 is arranged at the second measurement position. However, the sample observation unit 8 is not limited to this configuration, and may be configured to observe the sample S from a direction intersecting the extending direction (x direction) of the mass spectrometry unit 2. For example, the sample observation unit 8 may be configured to observe the sample S from a direction inclined with respect to the horizontal direction.

また、以上の実施形態では、試料保持部７は、ｙ方向に延びる軸線Ａ回りに回転移動するとして説明した。しかし、試料保持部７は、第１測定位置に配置された状態から、上下方向（ｚ方向）に延びる軸線まわりに回転する構成であってもよい。この場合、試料観察部８は、水平方向であって、質量分析部２（ｘ方向）に対して交差する方向から試料Ｓを観察する構成であることが好ましい。 Further, in the above embodiment, the sample holding unit 7 has been described as rotating around the axis A extending in the y direction. However, the sample holding portion 7 may be configured to rotate around an axis extending in the vertical direction (z direction) from the state of being arranged at the first measurement position. In this case, it is preferable that the sample observation unit 8 is configured to observe the sample S from a direction intersecting the mass spectrometry unit 2 (x direction) in the horizontal direction.

また、以上の実施形態では、試料観察部８は、照明部９によって試料Ｓに向けて照射された光の透過光を観察するとして説明した。しかし、試料観察部８は、試料Ｓで反射する光を観察する構成であってもよい。 Further, in the above embodiment, the sample observation unit 8 has been described as observing the transmitted light of the light emitted toward the sample S by the illumination unit 9. However, the sample observation unit 8 may be configured to observe the light reflected by the sample S.

また、以上の実施形態では、第１測定位置と第２測定位置との間の試料保持部７の移動は、自動により行われるとして説明した。しかし、第１測定位置と第２測定位置との間の試料保持部７の移動は、手動により行われてもよい。 Further, in the above embodiment, it has been described that the movement of the sample holding portion 7 between the first measurement position and the second measurement position is automatically performed. However, the movement of the sample holding portion 7 between the first measurement position and the second measurement position may be performed manually.

また、以上の実施形態では、位置合わせ機構による試料保持部７の位置合わせは、自動により行われるとして説明した。しかし、位置合わせ機構による試料保持部７の位置合わせは、手動により行われてもよい。 Further, in the above embodiment, it has been described that the alignment of the sample holding portion 7 by the alignment mechanism is automatically performed. However, the alignment of the sample holding portion 7 by the alignment mechanism may be performed manually.

１ 質量分析装置
２ 質量分析部
６ レール
７ 試料保持部
８ 試料観察部
１０ 位置調整部
１１ 台座部
１６ モータ軸
３０ 試料搬送装置
１１２ 第１ストッパ
１１３ 第２ストッパ1 Mass spectrometer 2 Mass spectrometer 6 Rail 7 Sample holding part 8 Sample observation part 10 Position adjustment part 11 Pedestal part 16 Motor shaft 30 Sample transfer device 112 1st stopper 113 2nd stopper

Claims (6)

励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置であって、
試料を保持する試料保持部と、前記試料保持部を回転動作させる回転機構と、試料を観察する試料観察部とを含む筐体、を備えた試料搬送装置と、
真空チャンバを備え、水平方向に延びるように設置された質量分析部と、
前記筐体の内部空間と前記真空チャンバの内部空間を連通し、水平方向に延びた試料導入管とを備え、
前記試料保持部は、励起光により試料を励起し、励起された試料中の成分を前記試料導入管に導入可能な第１測定位置と、前記試料観察部で試料を観察可能な第２測定位置に位置決め可能であり、
前記試料保持部は、前記第１測定位置に位置決めされた状態では前記試料導入管に対向して配置され、前記第２測定位置に位置決めされた状態では水平に配置されることを特徴とする質量分析装置。 A mass spectrometer that excites a sample by irradiating it with excitation light and mass-analyzes the components in the excited sample.
A sample holder for holding a sample, a rotation mechanism for rotating operating the sample holder, and the sample transport apparatus having a housing, comprising a sample observation section for observing the sample,
A mass spectrometer equipped with a vacuum chamber and installed so as to extend in the horizontal direction,
A sample introduction tube extending in the horizontal direction, which communicates the internal space of the housing with the internal space of the vacuum chamber, is provided .
The sample holding unit excites the sample with excitation light, and the first measurement position where the components in the excited sample can be introduced into the sample introduction tube and the second measurement position where the sample can be observed by the sample observation unit. Can be positioned to
The mass is characterized in that the sample holding portion is arranged to face the sample introduction tube when it is positioned at the first measurement position, and is horizontally arranged when it is positioned at the second measurement position. Analysis equipment. 前記試料保持部を水平方向に沿ってスライドさせるスライド機構をさらに備え、
前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。 Further provided with a slide mechanism for sliding the sample holding portion in the horizontal direction, the sample holding portion is further provided.
The mass spectrometer according to claim 1, wherein the sample holding portion is positioned at each of the first measurement position and the second measurement position by the rotation mechanism and the slide mechanism. 前記試料保持部を第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めするためのストッパをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。 The mass spectrometer according to claim 1, further comprising a stopper for positioning the sample holding portion at each of the first measurement position and the second measurement position. 前記試料保持部が前記第１測定位置に位置決めされた状態における試料に対する励起光の照射位置と、前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態における前記試料観察部による試料の観察位置との位置合わせを行うための位置合わせ機構をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。 The irradiation position of the excitation light on the sample when the sample holding unit is positioned at the first measurement position, and the observation position of the sample by the sample observation unit when the sample holding unit is positioned at the second measurement position. The mass analyzer according to claim 1, further comprising an alignment mechanism for aligning with and. 励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置に用いられる試料搬送装置であって、
試料を保持する試料保持部と、
前記試料保持部を回転動作させることにより、励起光により励起される試料中の成分を質量分析部に導入させる第１測定位置、及び、試料観察部により試料を観察する第２測定位置のそれぞれに前記試料保持部を位置決めする回転機構とを備え、
前記回転動作の回転軸の方向は前記試料保持部の試料保持面に平行であることを特徴とする試料搬送装置。 A sample transfer device used in a mass spectrometer that excites a sample by irradiating it with excitation light and mass spectrometrically analyzes the components in the excited sample.
A sample holder that holds the sample and
By rotating the sample holding unit, the components in the sample excited by the excitation light are introduced into the mass analysis unit at the first measurement position and the sample observation unit at the second measurement position for observing the sample. A rotation mechanism for positioning the sample holding portion is provided .
A sample transfer device characterized in that the direction of the rotation axis of the rotation operation is parallel to the sample holding surface of the sample holding portion. 前記試料保持部をスライドさせるスライド機構をさらに備え、
前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされることを特徴とする請求項５に記載の試料搬送装置。 Further provided with a slide mechanism for sliding the sample holding portion,
The sample transfer device according to claim 5 , wherein the sample holding portion is positioned at each of the first measurement position and the second measurement position by the rotation mechanism and the slide mechanism.
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