JP6967914B2 - Load transducer - Google Patents

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    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
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Description

本発明は、荷重変換器に関し、特に、荷重を電気信号に変換するための荷重変換器に関する。 The present invention relates to a load transducer, and more particularly to a load transducer for converting a load into an electrical signal.

従来から、秤などの計量装置において、ロバーバル機構を有するロバーバル型のロードセルを用いた計量装置が広く知られている。このような計量装置は、荷重を電気信号に変換するための荷重変換器を有しており、荷重変換器は、ロバーバル型の起歪体として用いられる金属製のブロック体を有している。このブロック体は、中空の対称形状を有している(例えば、特許文献1参照。)。また、ロバーバル型のロードセルは、上述のような計量装置のみならず、ワイヤソー工法に用いられるワイヤソーにおいて、ワイヤの張力を検出するためにも用いられている。ワイヤソー工法とは、モノの切断工法の一種であり、鉄筋コンクリート等の複雑な形状物や水中構造物、狭い場所、高所等、対象物やその状態に制限なく、無振動且つ低騒音で粉塵も少なく、現場条件に合わせた機械配置が可能で自由な方向で切断することができる工法である。また、ワイヤソー工法は、半導体インゴットや半導体ウエハーの加工にも用いられている。 Conventionally, in a weighing device such as a scale, a weighing device using a reverbal type load cell having a reverbal mechanism has been widely known. Such a weighing device has a load transducer for converting a load into an electric signal, and the load transducer has a metal block body used as a reverbal type strain generator. This block body has a hollow symmetrical shape (see, for example, Patent Document 1). Further, the reverbal type load cell is used not only for the measuring device as described above but also for detecting the tension of the wire in the wire saw used in the wire saw method. The wire saw method is a type of cutting method for objects, and is vibration-free, low-noise, and dust-free, with no restrictions on objects and their conditions, such as complex shapes such as reinforced concrete, underwater structures, narrow places, and high places. It is a construction method that can be cut in any direction because there are few machines that can be arranged according to the site conditions. The wire saw method is also used for processing semiconductor ingots and semiconductor wafers.

特開2001−083024号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-083024

近年、このようなワイヤソー工法の加工対象は、半導体インゴットや半導体ウエハーのような小さなものにまで広がっており、ワイヤソー工法に用いるワイヤソーも小型化されてきている。このため、ワイヤソーに用いられるロバーバル型の荷重変換器も小型化が要求されている。 In recent years, the processing targets of such a wire saw method have expanded to small objects such as semiconductor ingots and semiconductor wafers, and the wire saw used in the wire saw method has also been miniaturized. Therefore, the reverbal type load transducer used for the wire saw is also required to be miniaturized.

ロバーバル型の荷重変換器の小型化に伴いブロック体は肉薄となり、ブロック体の強度が懸念されており、特に、ブロック体の固定の際のボルト止め等によりブロック体に加わる荷重によってブロック体が破損するおそれがあった。このように、従来からワイヤソー工法に用いられるロバーバル型の荷重変換器のブロック体に対しては、破損の発生を防止することができる構造が求められていた。 With the miniaturization of the reverbal type load converter, the block body becomes thinner, and there is concern about the strength of the block body. In particular, the block body is damaged by the load applied to the block body due to bolting when fixing the block body. There was a risk of doing so. As described above, a structure capable of preventing the occurrence of breakage has been required for the block body of the reverbal type load transducer conventionally used in the wire saw method.

本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型化した場合でも、過荷重による破損を防止することができる荷重変換器を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a load transducer capable of preventing damage due to overload even when the size is reduced.

上記目的を達成するために、本発明に係る荷重変換器は、ブロック体と、該ブロック体に取り付けられたひずみゲージとを備え、前記ブロック体は、支持部材に固定される固定部と、前記固定部に対向し、外部から荷重を受ける可動部と、前記固定部と前記可動部との間に延び、互いに対向する一対のビーム部と、前記一対のビーム部の間に設けられ前記可動部の変位を規制するストッパ部とを有しており、前記一対のビーム部は夫々、前記固定部側に設けられた固定部側起歪部と、前記可動部側に設けられた可動部側起歪部とを有しており、前記ストッパ部は、前記固定部から前記可動部側に向かって延びるストッパ突出部と、該ストッパ突出部に対して一対のビーム部側において夫々当接可能に形成された一対のストッパ当接部とを有しており、前記一対のストッパ当接部は、前記一対のビーム部の前記固定部側起歪部と前記可動部側起歪部との間に設けられていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the load converter according to the present invention includes a block body and a strain gauge attached to the block body, and the block body includes a fixing portion fixed to a support member and the above-mentioned fixed portion. A movable portion that faces the fixed portion and receives a load from the outside, extends between the fixed portion and the movable portion, and is provided between a pair of beam portions facing each other and the movable portion. Each of the pair of beam portions has a fixed portion side straining portion provided on the fixed portion side and a movable portion side raising portion provided on the movable portion side. It has a distorted portion, and the stopper portion is formed so that the stopper protruding portion extending from the fixed portion toward the movable portion side and the stopper protruding portion can be in contact with each other on the pair of beam portions. It has a pair of stopper contact portions, and the pair of stopper contact portions are provided between the fixed portion side straining portion and the movable portion side straining portion of the pair of beam portions. It is characterized by being.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記ストッパ部は、前記可動部側において前記ストッパ突出部を収容するストッパ収容部を有しており、該ストッパ収容部が前記一対のストッパ当接部を有している。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, the stopper portion has a stopper accommodating portion for accommodating the stopper protruding portion on the movable portion side, and the stopper accommodating portion is the pair of stopper contact portions. have.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記ストッパ収容部には、前記ストッパ突出部の前記可動部側に空間が形成されている。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, a space is formed in the stopper accommodating portion on the movable portion side of the stopper protruding portion.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記一対のストッパ当接部は、前記ストッパ突出部の先端部分に当接可能である。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, the pair of stopper contact portions can contact the tip portion of the stopper protrusion.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記ストッパ突出部は、前記一対のストッパ当接部に隙間を介して夫々対向する一対のストッパ突出部当接部を有している。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, the stopper protrusion has a pair of stopper protrusion contact portions that face each other of the pair of stopper contact portions via a gap.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記固定部及び前記可動部は、円盤状のフランジである。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, the fixed portion and the movable portion are disk-shaped flanges.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記ストッパ突出部は、該ストッパ突出部の延びる方向において前記ストッパ突出部当接部よりも前記固定部側の位置に、前記ストッパ突出部当接部よりもくびれているくびれ部を有している。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, the stopper protrusion is located at a position closer to the fixed portion than the stopper protrusion contact portion in the extending direction of the stopper protrusion. It has a constricted part that is more constricted.

本発明の一態様に係る荷重変換器において、前記可動部には、ワイヤが取り付けられるワイヤ取付部が設けられている。 In the load transducer according to one aspect of the present invention, the movable portion is provided with a wire attachment portion to which a wire is attached.

本発明に係る荷重変換器によれば、小型化した場合でも、過荷重による破損を防止することができる。 According to the load transducer according to the present invention, damage due to overload can be prevented even when the size is reduced.

本発明の実施の形態に係る荷重変換器の構成を概略的に示す正面図である。It is a front view which shows roughly the structure of the load transducer which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る荷重変換器の構成を概略的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the load transducer which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る荷重変換器におけるストッパ部の部分拡大図である。It is a partially enlarged view of the stopper part in the load transducer which concerns on embodiment of this invention. ワイヤソーに取り付けられた使用状態における本発明の実施の形態に係る荷重変換器の構成を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic the structure of the load transducer which concerns on embodiment of this invention in the use state attached to the wire saw. 本発明の実施の形態に係る荷重変換器の変形例におけるストッパ部の部分拡大図である。It is a partially enlarged view of the stopper part in the modification of the load converter which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施の形態に係る荷重変換器1の構成を概略的に示す正面図であり、図2は、本発明の実施の形態に係る荷重変換器1の構成を概略的に示す斜視図である。図1及び図2に示すように、本発明の実施の形態に係る荷重変換器1は、ブロック体2と、このブロック体2に取り付けられたひずみゲージ3とを備えている。ブロック体2は、支持部材に固定される固定部20と、固定部20に対向し、外部からの荷重を受ける可動部30とを有している。また、ブロック体2は、固定部20と可動部30との間に延び、互いに対向する一対のビーム部40,50と、一対のビーム部40,50の間に設けられ可動部30の変位を規制するストッパ部60とを有している。一対のビーム部40,50は夫々、固定部20側に設けられた固定部側起歪部41,51と、可動部30側に設けられた可動部側起歪部42,52とを有している。ストッパ部60は、固定部20から可動部30側に向かって延びるストッパ突出部70と、ストッパ突出部70に対して一対のビーム部40,50側において夫々当接可能に形成された一対のストッパ当接部81,82とを有している。一対のストッパ当接部81,82は、一対のビーム部40,50の固定部側起歪部41,51と可動部側起歪部42,52との間に設けられている。荷重変換器1は、例えば、ワイヤソー工法に用いられるワイヤソーにおいて、ワイヤの張力を検出するために用いられる。以下、説明の便宜上、図1における上方を上側とし、図1における下方を下側とする。また、図1における紙面垂直方向を厚さ方向、図1における左右方向を長さ方向、図1における上下方向を幅方向とする。以下、荷重変換器1の構成について具体的に説明する。 FIG. 1 is a front view schematically showing the configuration of the load transducer 1 according to the embodiment of the present invention, and FIG. 2 schematically shows the configuration of the load transducer 1 according to the embodiment of the present invention. It is a perspective view which shows. As shown in FIGS. 1 and 2, the load transducer 1 according to the embodiment of the present invention includes a block body 2 and a strain gauge 3 attached to the block body 2. The block body 2 has a fixed portion 20 fixed to the support member and a movable portion 30 facing the fixed portion 20 and receiving a load from the outside. Further, the block body 2 extends between the fixed portion 20 and the movable portion 30, and is provided between the pair of beam portions 40 and 50 facing each other and the pair of beam portions 40 and 50 to displace the movable portion 30. It has a stopper portion 60 for regulating. The pair of beam portions 40 and 50 each have a fixed portion side straining portion 41 and 51 provided on the fixed portion 20 side and a movable portion side straining portion 42 and 52 provided on the movable portion 30 side. ing. The stopper portion 60 is a pair of stoppers formed so that the stopper protrusion 70 extending from the fixed portion 20 toward the movable portion 30 side and the pair of beam portions 40 and 50 can be in contact with the stopper protrusion 70, respectively. It has contact portions 81 and 82. The pair of stopper contact portions 81 and 82 are provided between the fixed portion side straining portions 41 and 51 and the movable portion side straining portions 42 and 52 of the pair of beam portions 40 and 50. The load transducer 1 is used, for example, for detecting the tension of a wire in a wire saw used in a wire saw method. Hereinafter, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 1 is referred to as the upper side, and the lower side in FIG. 1 is referred to as the lower side. Further, the vertical direction of the paper surface in FIG. 1 is the thickness direction, the left-right direction in FIG. 1 is the length direction, and the vertical direction in FIG. 1 is the width direction. Hereinafter, the configuration of the load converter 1 will be specifically described.

ブロック体2において、固定部20は、例えば、円盤状のフランジである。ブロック体2において、可動部30は、例えば、固定部20と同一又は略同一の径を有する円盤状のフランジである。固定部20は、可動部30に対向する側に対向面21を有している。対向面21は、平面又は略平面状の面である。また、可動部30は、固定部20に対向する側に対向面31を有している。対向面31は、対向面21に平行に又は略平行に延びる平面又は略平面状の面である。また、固定部20には、図4を用いて後述するように、荷重変換器1が用いられるワイヤソーの支持部材に荷重変換器1を固定するための複数のボルト孔22が形成されている。また、可動部30には、後述するワイヤソーのワイヤを取り付けるためのワイヤ取付部90を固定するためのボルト孔32が形成されており、ボルト孔32は、可動部30を貫通している。 In the block body 2, the fixing portion 20 is, for example, a disk-shaped flange. In the block body 2, the movable portion 30 is, for example, a disk-shaped flange having the same or substantially the same diameter as the fixed portion 20. The fixed portion 20 has a facing surface 21 on the side facing the movable portion 30. The facing surface 21 is a flat surface or a substantially planar surface. Further, the movable portion 30 has a facing surface 31 on the side facing the fixed portion 20. The facing surface 31 is a plane or a substantially planar surface extending parallel to or substantially parallel to the facing surface 21. Further, as will be described later with reference to FIG. 4, the fixing portion 20 is formed with a plurality of bolt holes 22 for fixing the load converter 1 to the support member of the wire saw in which the load converter 1 is used. Further, the movable portion 30 is formed with a bolt hole 32 for fixing the wire mounting portion 90 for mounting the wire of the wire saw described later, and the bolt hole 32 penetrates the movable portion 30.

また、ブロック体2において、一対のビーム部の一方である上側ビーム部40及び一対のビーム部の他方である下側ビーム部50は、互いに対称又は略対称の形状を有している。上側ビーム部40は、固定部20と可動部30との間に延びている板状の部分であり、固定部20の対向面21及び可動部30の対向面31に対して直交して又は略直交して延びている。 Further, in the block body 2, the upper beam portion 40, which is one of the pair of beam portions, and the lower beam portion 50, which is the other of the pair of beam portions, have a shape symmetrical or substantially symmetrical to each other. The upper beam portion 40 is a plate-shaped portion extending between the fixed portion 20 and the movable portion 30, and is orthogonal to or substantially perpendicular to the facing surface 21 of the fixed portion 20 and the facing surface 31 of the movable portion 30. It extends orthogonally.

また、上側ビーム部40の固定部側起歪部としての上固定部側起歪部41及び上側ビーム部40の可動部側起歪部としての上可動部側起歪部42は、図2に示すように、厚さ方向において互いに平行に又は略平行に延びており、固定部20の対向面21及び可動部30の対向面31に沿って延びている。上固定部側起歪部41及び上可動部側起歪部42は、図1に示すように、上側ビーム部40の、下側ビーム部50に対向する側の面(内側面43)が外側(上側)に凹んで形成されている。上固定部側起歪部41及び上可動部側起歪部42は、例えば、図1に示すように、内側面43において外側に円弧状に凹む面によって形成されている薄肉の部分である。 Further, the upper fixed portion side straining portion 41 as the fixed portion side straining portion of the upper beam portion 40 and the upper movable portion side straining portion 42 as the movable portion side straining portion of the upper beam portion 40 are shown in FIG. As shown, they extend parallel to or substantially parallel to each other in the thickness direction, and extend along the facing surface 21 of the fixed portion 20 and the facing surface 31 of the movable portion 30. As shown in FIG. 1, the upper fixed portion side straining portion 41 and the upper movable portion side straining portion 42 have the outer side surface (inner side surface 43) of the upper beam portion 40 facing the lower beam portion 50. It is formed by denting (upper side). The upper fixed portion side straining portion 41 and the upper movable portion side straining portion 42 are, for example, as shown in FIG. 1, a thin portion formed by a surface recessed outward in an arc shape on the inner side surface 43.

下側ビーム部50は、固定部20と可動部30との間において、上側ビーム部40に対向して延びている板状の部分であり、固定部20の対向面21及び可動部30の対向面31に対して直交して又は略直交して延びている。また、下側ビーム部50の固定部側起歪部としての下固定部側起歪部51及び下側ビーム部50の可動部側起歪部としての下可動部側起歪部52は、図2に示すように、厚さ方向において互いに平行に又は略平行に延びており、固定部20の対向面21及び可動部30の対向面31に沿って延びている。下固定部側起歪部51及び下可動部側起歪部52は、図1に示すように、下側ビーム部50の、上側ビーム部40に対向する側の面(内側面53)が外側(下側)に凹んで形成されている。下固定部側起歪部51及び下可動部側起歪部52は、例えば、図1に示すように、内側面53において外側に円弧状に凹む面によって形成されている薄肉の部分である。 The lower beam portion 50 is a plate-shaped portion extending facing the upper beam portion 40 between the fixed portion 20 and the movable portion 30, and the facing surface 21 of the fixed portion 20 and the movable portion 30 face each other. It extends orthogonally or substantially orthogonally to the surface 31. Further, the lower fixed portion side straining portion 51 as the fixed portion side straining portion of the lower beam portion 50 and the lower movable portion side straining portion 52 as the movable portion side straining portion of the lower beam portion 50 are shown in the figure. As shown in 2, it extends parallel to or substantially parallel to each other in the thickness direction, and extends along the facing surface 21 of the fixed portion 20 and the facing surface 31 of the movable portion 30. As shown in FIG. 1, in the lower fixed portion side straining portion 51 and the lower movable portion side straining portion 52, the surface (inner side surface 53) of the lower beam portion 50 facing the upper beam portion 40 is outside. It is formed by denting (lower side). The lower fixed portion side straining portion 51 and the lower movable portion side straining portion 52 are, for example, as shown in FIG. 1, a thin portion formed by a surface recessed outward in an arc shape on the inner side surface 53.

ストッパ部60は、上側ビーム部40と下側ビーム部50との間に形成されており、つまり、ストッパ突出部70と一対のストッパ当接部81,82とは、上側ビーム部40と下側ビーム部50との間に形成されている。 The stopper portion 60 is formed between the upper beam portion 40 and the lower beam portion 50, that is, the stopper protruding portion 70 and the pair of stopper contact portions 81 and 82 are formed between the upper beam portion 40 and the lower side. It is formed between the beam portion 50 and the beam portion 50.

ストッパ突出部70は、上側ビーム部40及び下側ビーム部50に沿って固定部20の対向面21から延びており、図2に示すように、上側ビーム部40及び下側ビーム部50と同じ又は略同じ厚さ(図1において紙面垂直方向の寸法)を有している。ストッパ突出部70は、上側ビーム部40及び下側ビーム部50と同じ厚さでなくてもよい。 The stopper protrusion 70 extends from the facing surface 21 of the fixed portion 20 along the upper beam portion 40 and the lower beam portion 50, and is the same as the upper beam portion 40 and the lower beam portion 50 as shown in FIG. Alternatively, they have substantially the same thickness (dimensions in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1). The stopper protrusion 70 does not have to have the same thickness as the upper beam portion 40 and the lower beam portion 50.

ストッパ突出部70は、具体的には、固定部20の対向面21から可動部30側に突出しているストッパ基部71と、ストッパ基部71から可動部30側に突出しているストッパ先端部72とを有している。ストッパ先端部72の幅は、図1及び図2に示すように、ストッパ基部71の幅よりも小さくなっている。幅は、上側ビーム部40と下側ビーム部50との間隔方向(図1において上下方向)の寸法である。 Specifically, the stopper protruding portion 70 includes a stopper base 71 protruding from the facing surface 21 of the fixed portion 20 toward the movable portion 30, and a stopper tip portion 72 protruding from the stopper base 71 toward the movable portion 30. Have. As shown in FIGS. 1 and 2, the width of the stopper tip portion 72 is smaller than the width of the stopper base portion 71. The width is a dimension in the distance direction (vertical direction in FIG. 1) between the upper beam portion 40 and the lower beam portion 50.

ストッパ先端部72の先端(先端72a)から固定部20側に長さ方向に所定の長さに亘る部分であるストッパ突出部70の先端部分73には、幅方向において一対の互いに背向するストッパ突出部当接部74,75が形成されている。また、ストッパ先端部72には、くびれ部76が形成されている。くびれ部76は、ストッパ突出部70の延びる方向(長さ方向)において一対のストッパ突出部当接部74,75よりも固定部20側に位置し、一対のストッパ突出部当接部74,75よりもくびれている、つまり、幅方向の寸法が小さく形成されている部分である。具体的には、図1に示すように、くびれ部76は、ストッパ先端部72において、先端部分73に続いて形成されており、ストッパ基部71に接続している。なお、先端部分73において、ストッパ突出部当接部74,75は、くびれ部76と離間していてもよく、また、ストッパ突出部当接部74,75は、先端72aから離間していてもよい。 A pair of stoppers facing each other in the width direction are provided on the tip portion 73 of the stopper protrusion 70, which is a portion extending a predetermined length in the length direction from the tip (tip 72a) of the stopper tip portion 72 to the fixing portion 20 side. The protrusion contact portions 74 and 75 are formed. Further, a constricted portion 76 is formed in the stopper tip portion 72. The constricted portion 76 is located closer to the fixed portion 20 than the pair of stopper protruding portion contact portions 74 and 75 in the extending direction (length direction) of the stopper protruding portion 70, and the pair of stopper protruding portion contact portions 74 and 75. It is a part that is more constricted, that is, a part that is formed to have a smaller dimension in the width direction. Specifically, as shown in FIG. 1, the constricted portion 76 is formed in the stopper tip portion 72 following the tip portion 73 and is connected to the stopper base portion 71. In the tip portion 73, the stopper protrusion contact portions 74 and 75 may be separated from the constricted portion 76, and the stopper protrusion contact portions 74 and 75 may be separated from the tip 72a. good.

ストッパ突出部当接部74は、一対のストッパ当接部の一方である上側ストッパ当接部81に下側から対向しており、ストッパ突出部当接部75は、一対のストッパ当接部の他方である下側ストッパ当接部82に上側から対向している。上側ストッパ当接部81及び下側ストッパ当接部82は、ストッパ突出部70に沿って可動部30の対向面31から延びており、図2に示すように、上側ビーム部40及び下側ビーム部50と同じ又は略同じ厚さを有している。上側ストッパ当接部81及び下側ストッパ当接部82は、ストッパ突出部70と同じ厚さでなくてもよい。 The stopper protrusion contact portion 74 faces the upper stopper contact portion 81, which is one of the pair of stopper contact portions, from below, and the stopper protrusion contact portion 75 is a pair of stopper contact portions. It faces the other lower stopper contact portion 82 from above. The upper stopper contact portion 81 and the lower stopper contact portion 82 extend from the facing surface 31 of the movable portion 30 along the stopper protrusion 70, and as shown in FIG. 2, the upper beam portion 40 and the lower beam It has the same or substantially the same thickness as the portion 50. The upper stopper contact portion 81 and the lower stopper contact portion 82 do not have to have the same thickness as the stopper protrusion 70.

また、上側ストッパ当接部81は、上固定部側起歪部41と上可動部側起歪部42との間に設けられるとともに、下側ストッパ当接部82は、下固定部側起歪部51と下可動部側起歪部52との間に設けられている。ストッパ部60は、図1及び図2に示すように、幅方向においてストッパ突出部70の先端部分73を収容するストッパ収容部80を有している。ストッパ収容部80は、上側ストッパ当接部81及び下側ストッパ当接部82を有しており、可動部30側に空間を形成してストッパ突出部70の先端部分73を収容可能になっている。具体的には、ストッパ収容部80においてストッパ先端部72の先端72aの可動部30側には、空間83が形成されている。空間83は、ストッパ収容部80の厚さ方向に延びている。また、空間83は、幅方向において、上側ストッパ当接部81を超えて上側に延びており、また、下側ストッパ当接部82を超えて下側に延びている。空間83は、後述するワイヤ取付部90を固定するためのボルト孔32に連通しており、ワイヤ取付部90を固定するための固定ボルト92がボルト孔32に螺合された際に、固定ボルト92の先端92aが空間83内に入り込むことができるようになっている。つまり、空間83は、固定ボルト92の逃げ空間を形成している。図1に示すように、空間83の可動部30側の縁部である可動部側縁部83aは、長さ方向において、可動部側起歪部42,52の可動部30側の端部(端部42a,52a)よりも固定部20側に位置している、又は同一平面上に位置していることが好ましい。なお、空間83は、固定ボルト92の逃げ空間を形成できるように幅方向に延びていればよく、上側ストッパ当接部81及び下側ストッパ当接部82を超えて外側(上側及び下側)に延びていなくてもよい。ただし、空間83が上側ストッパ当接部81及び下側ストッパ当接部82を超えて外側に延びている方が、後述するワイヤカットに対して好ましい。 Further, the upper stopper contact portion 81 is provided between the upper fixed portion side strain generating portion 41 and the upper movable portion side strain generating portion 42, and the lower stopper contact portion 82 is provided between the upper fixed portion side strain generating portion 41 and the lower stopper contact portion 82. It is provided between the portion 51 and the lower movable portion side straining portion 52. As shown in FIGS. 1 and 2, the stopper portion 60 has a stopper accommodating portion 80 that accommodates the tip portion 73 of the stopper protruding portion 70 in the width direction. The stopper accommodating portion 80 has an upper stopper contact portion 81 and a lower stopper contact portion 82, and a space is formed on the movable portion 30 side so that the tip portion 73 of the stopper protruding portion 70 can be accommodated. There is. Specifically, in the stopper accommodating portion 80, a space 83 is formed on the movable portion 30 side of the tip 72a of the stopper tip portion 72. The space 83 extends in the thickness direction of the stopper accommodating portion 80. Further, the space 83 extends upward beyond the upper stopper contact portion 81 in the width direction, and extends downward beyond the lower stopper contact portion 82. The space 83 communicates with a bolt hole 32 for fixing the wire mounting portion 90, which will be described later, and when the fixing bolt 92 for fixing the wire mounting portion 90 is screwed into the bolt hole 32, the fixing bolt The tip 92a of the 92 can enter the space 83. That is, the space 83 forms an escape space for the fixing bolt 92. As shown in FIG. 1, the movable portion side edge portion 83a, which is the edge portion on the movable portion 30 side of the space 83, is the end portion of the movable portion side straining portions 42, 52 on the movable portion 30 side in the length direction. It is preferable that the fixed portion 20 is located closer to the fixed portion 20 than the end portions 42a and 52a), or is located on the same plane. The space 83 may extend in the width direction so as to form an escape space for the fixing bolt 92, and is outside (upper and lower) beyond the upper stopper contact portion 81 and the lower stopper contact portion 82. It does not have to extend to. However, it is preferable that the space 83 extends outward beyond the upper stopper contact portion 81 and the lower stopper contact portion 82 for wire cutting described later.

ストッパ突出部70のストッパ突出部当接部74,75及びストッパ当接部81,82は、より具体的には、長さ方向において、長さ方向中央面Aと可動部側起歪部42,52との間に設けられている。長さ方向中央面Aは、固定部側起歪部41,51と可動部側起歪部42,52との間の長さ方向における中央の部分において長さ方向に直交する面である。また、ストッパ突出部当接部74,75の幅方向における中央は、ブロック体2の幅方向における中央と一致又は略一致していることが好ましく、上側ストッパ当接部81と下側ストッパ当接部82の間の幅方向における中央は、ブロック体2の幅方向における中央と一致又は略一致していることが好ましい。また、ストッパ収容部80の、上側ビーム部40側の側部(外側面85)から上側ストッパ当接部81までの幅方向における間隔(幅W1)と、ストッパ収容部80の下側ビーム部50側の側部(外側面86)から下側ストッパ当接部82までの幅方向における間隔(幅W2)とが、同じ又は略同じであることが好ましく、ストッパ突出部70の先端部分73の幅方向における寸法(幅W3)、幅W1、及び幅W2が、同じ又は略同じであることがより好ましい。 More specifically, in the length direction, the stopper protrusion contact portions 74, 75 and the stopper contact portions 81, 82 of the stopper protrusion 70 have the central surface A in the length direction and the movable portion side straining portion 42, It is provided between 52 and 52. The central surface A in the length direction is a surface orthogonal to the length direction in the central portion in the length direction between the fixed portion side straining portions 41 and 51 and the movable portion side straining portions 42 and 52. Further, it is preferable that the center of the stopper protrusion contact portions 74 and 75 in the width direction coincides with or substantially coincides with the center of the block body 2 in the width direction, and the upper stopper contact portion 81 and the lower stopper contact portion 81. It is preferable that the center in the width direction between the portions 82 coincides with or substantially coincides with the center in the width direction of the block body 2. Further, the distance (width W1) in the width direction from the side portion (outer surface 85) of the stopper accommodating portion 80 on the upper beam portion 40 side to the upper stopper contact portion 81 and the lower beam portion 50 of the stopper accommodating portion 80. It is preferable that the distance (width W2) in the width direction from the side portion (outer surface 86) to the lower stopper contact portion 82 is the same or substantially the same, and the width of the tip portion 73 of the stopper protrusion 70. It is more preferable that the dimensions (width W3), width W1 and width W2 in the direction are the same or substantially the same.

図3は、本発明の実施の形態に係る荷重変換器1におけるストッパ部60の部分拡大図である。図3に示すように、ストッパ突出部70の先端部分73における上側のストッパ突出部当接部74は、上側ストッパ当接部81に隙間cを介して対向しており、ストッパ突出部70の先端部分73における下側のストッパ突出部当接部75は、下側ストッパ当接部82に隙間cを介して対向している。隙間cの大きさは、荷重による可動部30の変位によって、起歪部41,42,51,52が破損しないような大きさに設定されている。隙間cの大きさは、例えば、計測可能な最大荷重(定格荷重)の150%の荷重が加わったときの可動部30の上方又は下方への変位量に相当する大きさに設定されている。 FIG. 3 is a partially enlarged view of the stopper portion 60 in the load transducer 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the upper stopper protrusion contact portion 74 in the tip portion 73 of the stopper protrusion 70 faces the upper stopper contact portion 81 via the gap c, and the tip of the stopper protrusion 70 The lower stopper protrusion contact portion 75 in the portion 73 faces the lower stopper contact portion 82 via the gap c. The size of the gap c is set so that the strain-causing portions 41, 42, 51, and 52 are not damaged by the displacement of the movable portion 30 due to the load. The size of the gap c is set to, for example, a size corresponding to the amount of displacement of the movable portion 30 upward or downward when a load of 150% of the maximum measurable load (rated load) is applied.

ブロック体2は、アルミニウムや鉄等の金属材料から一体に形成されている。つまり、固定部20、可動部30、ビーム部40,50、ストッパ部60は、同一の材料から一体に形成されたブロック体2の各部分である。図1に示すように、ビーム部40,50とストッパ突出部70とは、固定部20側において、一体となっていてもよく、また、ビーム部40,50とストッパ収容部80とは、可動部30側において、一体となっていてもよい。この場合、図1に示すように、上側ビーム部40の内側面43と、ストッパ基部71及びくびれ部76の外側(上側)の面(外側面77)と、ストッパ収容部80の外側(上側)の面(外側面85)は、厚さ方向に延びる空間6を形成している。また、図1に示すように、下側ビーム部50の内側面53と、ストッパ基部71及びくびれ部76の外側(下側)の面(外側面78)と、ストッパ収容部80の外側(下側)の面(外側面86)は、厚さ方向に延びる空間7を形成している。 The block body 2 is integrally formed of a metal material such as aluminum or iron. That is, the fixed portion 20, the movable portion 30, the beam portions 40, 50, and the stopper portion 60 are each part of the block body 2 integrally formed of the same material. As shown in FIG. 1, the beam portions 40, 50 and the stopper protruding portion 70 may be integrated on the fixed portion 20 side, and the beam portions 40, 50 and the stopper accommodating portion 80 are movable. It may be integrated on the unit 30 side. In this case, as shown in FIG. 1, the inner side surface 43 of the upper beam portion 40, the outer (upper) surface (outer surface 77) of the stopper base 71 and the constricted portion 76, and the outer side (upper side) of the stopper accommodating portion 80. The surface (outer surface 85) forms a space 6 extending in the thickness direction. Further, as shown in FIG. 1, the inner side surface 53 of the lower beam portion 50, the outer (lower) surface (outer surface 78) of the stopper base 71 and the constricted portion 76, and the outer side (lower) of the stopper accommodating portion 80. The side surface (outer surface 86) forms a space 7 extending in the thickness direction.

また、各起歪部41,42,51,52には、外側からひずみゲージ3が取り付けられており、上側ビーム部40及びひずみゲージ3は、外側(上側)から樹脂製のカバーである樹脂カバー4によって覆われており、また、下側ビーム部50及びひずみゲージ3も同様に、外側(下側)から樹脂製のカバーである樹脂カバー5によって覆われている。 Further, strain gauges 3 are attached to the strain generating portions 41, 42, 51, 52 from the outside, and the upper beam portion 40 and the strain gauge 3 are resin covers which are resin covers from the outside (upper side). The lower beam portion 50 and the strain gauge 3 are also covered by the resin cover 5 which is a resin cover from the outside (lower side).

図4は、ワイヤソーに取り付けられた使用状態における本発明の実施の形態に係る荷重変換器の構成を概略的に示す断面図である。荷重変換器1は、固定部20の対向面21と背向する背向面23が荷重変換器1を固定するための支持部材100に接触した状態において固定部20の複数のボルト孔22にボルト101が螺合されることで、支持部材100に固定されている。また、荷重変換器1において、可動部30のボルト孔32に固定ボルト92が螺合されて、ワイヤ91が巻き付けられたワイヤ取付部90が可動部30に固定されている。 FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a load transducer according to an embodiment of the present invention in a state of use attached to a wire saw. The load transducer 1 is bolted to a plurality of bolt holes 22 of the fixing portion 20 in a state where the facing surface 21 of the fixing portion 20 and the back facing surface 23 facing back are in contact with the support member 100 for fixing the load converter 1. The 101 is screwed into the support member 100 and fixed to the support member 100. Further, in the load transducer 1, the fixing bolt 92 is screwed into the bolt hole 32 of the movable portion 30, and the wire mounting portion 90 around which the wire 91 is wound is fixed to the movable portion 30.

荷重変換器1は、ワイヤ取付部90に固定されたワイヤ91に幅方向の荷重Fが加わることで、ワイヤ91から荷重Fを受け、撓みを生じて幅方向に可動する。このように、荷重変換器1は、固定部20が固定端、可動部30が自由端となっており、支持部材100により片持ちで支持されている。 The load transducer 1 receives the load F from the wire 91 by applying the load F in the width direction to the wire 91 fixed to the wire mounting portion 90, causes bending, and moves in the width direction. As described above, in the load transducer 1, the fixed portion 20 has a fixed end and the movable portion 30 has a free end, and the load converter 1 is cantilevered and supported by the support member 100.

荷重変換器1は、ロバーバル型の起歪体として作用し、荷重変換器1が受ける荷重によって起歪部41,42,51,52が変形し、この荷重がひずみゲージ3を介して電気的に検出される。具体的には、荷重変換器1は、ワイヤ91から荷重Fを受けると、可動部30が変位し、上固定部側起歪部41、上可動部側起歪部42、下固定部側起歪部51及び下可動部側起歪部52に応力が発生し、ひずみが生じる。ひずみゲージ3は、上固定部側起歪部41、上可動部側起歪部42、下固定部側起歪部51及び下可動部側起歪部52のひずみによる抵抗の変化を検知する。そして、ブリッジ回路等の計測回路(図示せず)は、各ひずみゲージ3の抵抗の変化を演算処理することで、ワイヤ91に加えられた荷重を算出することができる。 The load transducer 1 acts as a reverbal type strain-causing body, and the strain-causing portions 41, 42, 51, 52 are deformed by the load received by the load converter 1, and this load is electrically applied via the strain gauge 3. Detected. Specifically, in the load transducer 1, when the load F is received from the wire 91, the movable portion 30 is displaced, and the upper fixed portion side straining portion 41, the upper movable portion side straining portion 42, and the lower fixed portion side raising. Stress is generated in the strained portion 51 and the strained portion 52 on the lower movable portion side, and strain is generated. The strain gauge 3 detects a change in resistance due to strain in the upper fixed portion side straining portion 41, the upper movable portion side straining portion 42, the lower fixed portion side straining portion 51, and the lower movable portion side straining portion 52. Then, a measurement circuit (not shown) such as a bridge circuit can calculate the load applied to the wire 91 by arithmetically processing the change in the resistance of each strain gauge 3.

一方で、例えば、ワイヤ91が巻き付けられたワイヤ取付部90を固定ボルト92により可動部30に取り付ける際に、起歪部41,42,51,52の破損を引き起こす程可動部30を変位させる過荷重が加えられる場合であっても、上側ストッパ当接部81がストッパ突出部当接部74に当接する、又は下側ストッパ当接部82がストッパ突出部当接部75に当接する。これにより、起歪部41,42,51,52の破損を引き起こす程の可動部30の上方又は下方への変位が阻止され、荷重変換器1の破損を防止することができる。このとき、上側ストッパ当接部81を上固定部側起歪部41と上可動部側起歪部42との間に設けるとともに、下側ストッパ当接部82を下固定部側起歪部51と下可動部側起歪部52との間に設けることで、各ひずみゲージ3の検出値の感度を低下させることなく、荷重変換器1の破損を防止することができる。 On the other hand, for example, when the wire attachment portion 90 around which the wire 91 is wound is attached to the movable portion 30 by the fixing bolt 92, the movable portion 30 is displaced so as to cause damage to the strain generating portions 41, 42, 51, 52. Even when a load is applied, the upper stopper contact portion 81 abuts on the stopper protrusion contact portion 74, or the lower stopper contact portion 82 abuts on the stopper protrusion contact portion 75. As a result, the displacement of the movable portion 30 to the extent that the strain-causing portions 41, 42, 51, and 52 are damaged is prevented from being displaced upward or downward, and the load converter 1 can be prevented from being damaged. At this time, the upper stopper contact portion 81 is provided between the upper fixing portion side strain generating portion 41 and the upper movable portion side straining portion 42, and the lower stopper contact portion 82 is provided between the lower fixing portion side strain generating portion 51. By providing the space between the strain gauge 3 and the strain gauge 52 on the lower movable portion side, it is possible to prevent the load transducer 1 from being damaged without lowering the sensitivity of the detected value of each strain gauge 3.

また、上述のように、固定ボルト92の可動部30(対向面31)を超えた先端92aはストッパ収容部80の空間83内に入り込み、空間83は、固定ボルト92の先端92aの逃げ部を形成している。これにより、可動部30に荷重が加えられて可動部30が変位した場合でも、固定ボルト92の先端92aが、ブロック体2の部分と干渉することはなく、上固定部側起歪部41、上可動部側起歪部42、下固定部側起歪部51及び下可動部側起歪部52の変形に干渉することを防止することができる。このため、ひずみゲージ3の検出値を正確なものにすることができる。 Further, as described above, the tip 92a beyond the movable portion 30 (opposing surface 31) of the fixing bolt 92 enters the space 83 of the stopper accommodating portion 80, and the space 83 provides the escape portion of the tip 92a of the fixing bolt 92. Is forming. As a result, even when a load is applied to the movable portion 30 and the movable portion 30 is displaced, the tip 92a of the fixing bolt 92 does not interfere with the portion of the block body 2, and the upper fixing portion side straining portion 41, It is possible to prevent interference with the deformation of the upper movable portion side distorted portion 42, the lower fixed portion side distorted portion 51, and the lower movable portion side distorted portion 52. Therefore, the detected value of the strain gauge 3 can be made accurate.

また、ブロック体2における上側ビーム部40、下側ビーム部50、ストッパ部60は、空間6,7を形成することにより形成でき、また、ストッパ部60において、ストッパ突出部70のストッパ先端部72と、ストッパ収容部80とは、空間83を形成した後に、ワイヤカットによってストッパ当接部81,82及びストッパ突出部当接部74,75を形成することにより形成することができる。このように、ブロック体2の各部分の製造は容易であり、加工コストを低減することができる。特に、ワイヤカットにより形成する部分を少なくすることができ、加工コストをより低減することができる。くびれ部76を形成した後にワイヤカットをすると、よりワイヤカット工程を短くできる。 Further, the upper beam portion 40, the lower beam portion 50, and the stopper portion 60 in the block body 2 can be formed by forming spaces 6 and 7, and in the stopper portion 60, the stopper tip portion 72 of the stopper protrusion 70 is formed. The stopper accommodating portion 80 can be formed by forming the stopper contact portions 81, 82 and the stopper protruding portion contact portions 74, 75 by wire cutting after forming the space 83. As described above, the production of each part of the block body 2 is easy, and the processing cost can be reduced. In particular, the number of portions formed by wire cutting can be reduced, and the processing cost can be further reduced. If the wire is cut after the constricted portion 76 is formed, the wire cutting process can be further shortened.

また、上述のように、ストッパ突出部当接部74,75及びストッパ当接部81,82を長さ方向中央面Aと可動部側起歪部42,52との間に設けることで、可動部30の変位量が多い位置にストッパ当接部81,82及びストッパ突出部当接部74,75を設けることができ、隙間cの幅を広くすることができ、加工精度を向上でき、加工コストを低減し、また加工時間を短縮することができる。また、空間83の可動部側縁部83aを、長さ方向において可動部側起歪部42,52の可動部30側の端部42a,52aよりも固定部20側、又は同一平面上に設けることで、長さ方向の小型化を図ることができる。また、ストッパ突出部70の先端部分73の幅W3と、ストッパ収容部80の、上側ビーム部40側の外側面85から上側ストッパ当接部81までの幅W1と、ストッパ収容部80の下側ビーム部50側の外側面86から下側ストッパ当接部82までの幅W2とが、同じ又は略同じ値を有することで、ストッパ突出部70の先端部分73と、ストッパ当接部81,82の剛性を同等程度に確保することができる。このため、ストッパ部60のいずれかの部分に大きな荷重が掛かることを防止でき、ストッパ部60の耐久性を向上させることができる。 Further, as described above, the stopper protrusion contact portions 74 and 75 and the stopper contact portions 81 and 82 are movable by being provided between the central surface A in the length direction and the movable portion side straining portions 42 and 52. The stopper contact portions 81, 82 and the stopper protrusion contact portions 74, 75 can be provided at positions where the displacement amount of the portion 30 is large, the width of the gap c can be widened, the machining accuracy can be improved, and the machining accuracy can be improved. The cost can be reduced and the processing time can be shortened. Further, the movable portion side edge portion 83a of the space 83 is provided on the fixed portion 20 side or on the same plane as the end portions 42a, 52a on the movable portion 30 side of the movable portion side straining portions 42, 52 in the length direction. Therefore, it is possible to reduce the size in the length direction. Further, the width W3 of the tip portion 73 of the stopper protrusion 70, the width W1 of the stopper accommodating portion 80 from the outer surface 85 on the upper beam portion 40 side to the upper stopper contact portion 81, and the lower side of the stopper accommodating portion 80. The width W2 from the outer surface 86 on the beam portion 50 side to the lower stopper contact portion 82 has the same or substantially the same value, so that the tip portion 73 of the stopper protrusion 70 and the stopper contact portions 81, 82 Rigidity can be secured to the same degree. Therefore, it is possible to prevent a large load from being applied to any portion of the stopper portion 60, and it is possible to improve the durability of the stopper portion 60.

このように、本発明に係る荷重変換器1によれば、小型化した場合でも、過荷重による破損を防止することができる。また、本発明に係る荷重変換器によれば、起歪部41,42,51,52の感度を低下させることなく、つまり、ひずみの検出精度を低下させることなく、過荷重による破損を防止することができる。 As described above, according to the load transducer 1 according to the present invention, it is possible to prevent damage due to overload even when the size is reduced. Further, according to the load transducer according to the present invention, damage due to overload is prevented without lowering the sensitivity of the strain generating portions 41, 42, 51, 52, that is, without lowering the strain detection accuracy. be able to.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記本発明の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の概念及び特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含む。また、上述した課題及び効果の少なくとも一部を奏するように、各構成を適宜選択的に組み合わせてもよい。例えば、上記実施の形態における、各構成要素の形状、材料、配置、サイズ等は、本発明の具体的使用態様によって適宜変更され得る。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments of the present invention, and includes all aspects included in the concept of the present invention and the scope of claims. In addition, each configuration may be selectively combined as appropriate so as to achieve at least a part of the above-mentioned problems and effects. For example, the shape, material, arrangement, size, etc. of each component in the above embodiment can be appropriately changed depending on the specific usage mode of the present invention.

また、荷重変換器1として、上側及び下側の隙間cが長さ方向に平行に延びるように、上側ストッパ当接部81及びストッパ突出部当接部74、並びに下側ストッパ当接部82及びストッパ突出部当接部75がそれぞれ平行に形成されている場合を一例に本発明の実施の形態について説明したが、隙間cの形態はこれに限られない。例えば、図5に示すように、各隙間cは、一定の間隔を保ちながら固定部20側から可動部30側に向かって外側(上側又は下側)に斜めに延びていてもよい。つまり、ストッパ先端部72のストッパ突出部当接部74,75が形成されている部分(本実施の形態においては先端部分73)の幅方向における幅が、長さ方向において固定部20側から可動部30側に向かうにつれて大きくなるようにテーパ状に形成されており、同様に、ストッパ当接部81,82がストッパ突出部当接部74,75と夫々平行に形成されて、ストッパ当接部81,82間の幅方向における間隔が、長さ方向において固定部20側から可動部30側に向かうにつれて大きくなるようにテーパ状に形成されていてもよい。これにより、起歪部41,42,51,52の破損を引き起こす程可動部30を変位させる過荷重が加えられる場合であっても、上側ストッパ当接部81がストッパ突出部当接部74に面接触することができ、又は下側ストッパ当接部82がストッパ突出部当接部75に面接触することができ、ストッパ部60への負荷を分散させることができる。また、上側及び下側の各隙間cは、固定部20側から可動部30側に向かう延び方向に亘って、延び方向に直交する方向の間隔が一定ではなくてもよい。例えば、各隙間cは、延び方向において固定部20側から可動部30側に向かうにつれて、間隔が大きくなっていてもよい。この場合、ストッパ当接部81,82の変位は可動部30側に近いほど大きいので、ストッパ突出部当接部74,75とストッパ当接部81,82との間の接触をより確実に面接触にすることができる。 Further, as the load transducer 1, the upper stopper contact portion 81, the stopper protrusion contact portion 74, the lower stopper contact portion 82, and the lower stopper contact portion 82 are provided so that the upper and lower gaps c extend in parallel in the length direction. The embodiment of the present invention has been described by taking the case where the stopper protrusion contact portions 75 are formed in parallel as an example, but the form of the gap c is not limited to this. For example, as shown in FIG. 5, each gap c may extend diagonally outward (upper or lower) from the fixed portion 20 side toward the movable portion 30 side while maintaining a constant interval. That is, the width in the width direction of the portion of the stopper tip portion 72 where the stopper protrusion contact portions 74 and 75 are formed (the tip portion 73 in the present embodiment) is movable from the fixed portion 20 side in the length direction. It is formed in a tapered shape so as to increase toward the portion 30 side. Similarly, the stopper contact portions 81 and 82 are formed in parallel with the stopper protrusion contact portions 74 and 75, respectively, and the stopper contact portions are formed. The distance between 81 and 82 in the width direction may be formed in a tapered shape so as to increase from the fixed portion 20 side to the movable portion 30 side in the length direction. As a result, even when an overload that displaces the movable portion 30 to the extent that the strain-causing portions 41, 42, 51, and 52 are damaged is applied, the upper stopper contact portion 81 is attached to the stopper protrusion contact portion 74. Surface contact is possible, or the lower stopper contact portion 82 can surface contact with the stopper protrusion contact portion 75, and the load on the stopper portion 60 can be dispersed. Further, the upper and lower gaps c may have a non-constant interval in the direction orthogonal to the extending direction over the extending direction from the fixed portion 20 side to the movable portion 30 side. For example, the gaps c may be increased in the extending direction from the fixed portion 20 side to the movable portion 30 side. In this case, since the displacement of the stopper contact portions 81 and 82 is larger as it is closer to the movable portion 30, the contact between the stopper protrusion contact portions 74 and 75 and the stopper contact portions 81 and 82 is more reliably surfaced. Can be in contact.

さらに、荷重変換器1としてストッパ突出部70が固定部20から可動部30側に向かって延びる部分である場合を一例に本発明の実施の形態について説明したが、可動部30から固定部20側に向かって延びていてもよく、ストッパ部60を複数有していてもよい。 Further, although the embodiment of the present invention has been described as an example of the case where the stopper protrusion 70 extends from the fixed portion 20 toward the movable portion 30 side as the load transducer 1, the embodiment of the present invention has been described. It may extend toward, and may have a plurality of stopper portions 60.

1…荷重変換器、2…ブロック体、3…ひずみゲージ、4,5…樹脂カバー、6,7…空間、20…固定部、21…対向面、22…ボルト孔、23…背向面、30…可動部、31…対向面、32…ボルト孔、40…上側ビーム部、41…上固定部側起歪部、42…上可動部側起歪部、42a…端部、43…内側面、50…下側ビーム部、51…下固定部側起歪部、52…下可動部側起歪部、52a…端部、53…内側面、60…ストッパ部、70…ストッパ突出部、71…ストッパ基部、72…ストッパ先端部、72a…先端、73…先端部分、74,75…ストッパ突出部当接部、76…くびれ部、77,78…外側面、80…ストッパ収容部、81…上側ストッパ当接部、82…下側ストッパ当接部、83…空間、83a…可動部側縁部、85,86…外側面、90…ワイヤ取付部、91…ワイヤ、92…固定ボルト、92a…先端、100…支持部材、101…ボルト 1 ... load transducer, 2 ... block body, 3 ... strain gauge, 4,5 ... resin cover, 6,7 ... space, 20 ... fixed part, 21 ... facing surface, 22 ... bolt hole, 23 ... back facing surface, 30 ... Movable part, 31 ... Facing surface, 32 ... Bolt hole, 40 ... Upper beam part, 41 ... Upper fixed part side straining part, 42 ... Upper movable part side straining part, 42a ... End part, 43 ... Inner surface , 50 ... lower beam portion, 51 ... lower fixed portion side straining portion, 52 ... lower movable portion side straining portion, 52a ... end portion, 53 ... inner surface surface, 60 ... stopper portion, 70 ... stopper protruding portion, 71. ... Stopper base, 72 ... Stopper tip, 72a ... Tip, 73 ... Tip, 74,75 ... Stopper protrusion contact, 76 ... Constriction, 77, 78 ... Outer surface, 80 ... Stopper accommodating, 81 ... Upper stopper contact portion, 82 ... Lower stopper contact portion, 83 ... Space, 83a ... Movable part side edge portion, 85, 86 ... Outer surface, 90 ... Wire mounting portion, 91 ... Wire, 92 ... Fixing bolt, 92a ... tip, 100 ... support member, 101 ... bolt

Claims (5)

ブロック体と、
該ブロック体に取り付けられたひずみゲージとを備え、
前記ブロック体は、支持部材に固定される固定部と、前記固定部に対向し、外部から荷重を受ける可動部と、前記固定部と前記可動部との間に延び、互いに対向する一対のビーム部と、前記一対のビーム部の間に設けられ前記可動部の変位を規制するストッパ部とを有しており、
前記一対のビーム部は夫々、前記固定部側に設けられた固定部側起歪部と、前記可動部側に設けられた可動部側起歪部とを有しており、
前記ストッパ部は、前記固定部から前記可動部側に向かって延びるストッパ突出部と、該ストッパ突出部に対して一対のビーム部側において夫々当接可能に形成された一対のストッパ当接部とを有しており、
前記一対のストッパ当接部は、前記一対のビーム部の前記固定部側起歪部と前記可動部側起歪部との間に設けられていて、
前記ストッパ部は、前記可動部側において前記ストッパ突出部を収容するストッパ収容部を有しており、該ストッパ収容部が前記一対のストッパ当接部を有していて、
前記ストッパ収容部には、前記ストッパ突出部の前記可動部側に空間が形成されていて、
前記可動部には、ワイヤが取り付けられるワイヤ取付部が設けられていて、
前記ワイヤ取付部は、前記可動部を貫通しているボルト孔に固定ボルトを螺合することで前記可動部に固定されていて、
前記空間には、前記固定ボルトが前記ボルト孔に螺合された際に、前記固定ボルトの先端が入り込んでいることを特徴とする荷重変換器。
With a block body,
With a strain gauge attached to the block body,
The block body has a fixed portion fixed to a support member, a movable portion facing the fixed portion and receiving a load from the outside, and a pair of beams extending between the fixed portion and the movable portion and facing each other. It has a portion and a stopper portion provided between the pair of beam portions to regulate the displacement of the movable portion.
Each of the pair of beam portions has a fixed portion side straining portion provided on the fixed portion side and a movable portion side straining portion provided on the movable portion side.
The stopper portion includes a stopper protrusion extending from the fixed portion toward the movable portion side, and a pair of stopper contact portions formed so as to be able to contact each other on the pair of beam portions side with respect to the stopper protrusion portion. Have and
The pair of stopper contact portions are provided between the fixed portion side straining portion and the movable portion side straining portion of the pair of beam portions .
The stopper portion has a stopper accommodating portion for accommodating the stopper protruding portion on the movable portion side, and the stopper accommodating portion has the pair of stopper contact portions.
In the stopper accommodating portion, a space is formed on the movable portion side of the stopper protruding portion.
The movable portion is provided with a wire attachment portion to which a wire is attached.
The wire mounting portion is fixed to the movable portion by screwing a fixing bolt into a bolt hole penetrating the movable portion.
The space, the load transducers in which the fixing bolt when screwed into the bolt hole, characterized Rukoto not enter the front end of the fixing bolt.
前記一対のストッパ当接部は、前記ストッパ突出部の先端部分に当接可能であることを特徴とする請求項記載の荷重変換器。 It said pair of stopper contact portion, the load converter according to claim 1, characterized in that the contactable to the tip portion of the stopper protrusion. 前記ストッパ突出部は、前記一対のストッパ当接部に隙間を介して夫々対向する一対のストッパ突出部当接部を有していることを特徴とする請求項1または2記載の荷重変換器。 The load transducer according to claim 1 or 2 , wherein the stopper protrusion has a pair of stopper protrusion contact portions that face each other of the pair of stopper contact portions via a gap. 前記固定部及び前記可動部は、円盤状のフランジであることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項記載の荷重変換器。 The load transducer according to any one of claims 1 to 3 , wherein the fixed portion and the movable portion are disk-shaped flanges. 前記ストッパ突出部は、該ストッパ突出部の延びる方向において前記ストッパ突出部当接部よりも前記固定部側の位置に、前記ストッパ突出部当接部よりもくびれているくびれ部を有していることを特徴とする請求項記載の荷重変換器。 The stopper protrusion has a constricted portion that is more constricted than the stopper protrusion contact portion at a position on the fixing portion side of the stopper protrusion contact portion in the extending direction of the stopper protrusion. The load transducer according to claim 4.
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