JP6955475B2 - Biological sample analyzer and biological sample analysis method - Google Patents

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Description

本開示は、生体試料分析装置および生体試料分析方法に関する。 The present disclosure relates to a biological sample analyzer and a biological sample analysis method.

DNAおよびタンパク質等の生体試料を分析する生体試料分析装置として封鎖電流方式のナノポアシーケンサの開発が進められている。封鎖電流方式のナノポアシーケンサは、生体試料と同程度の大きさのナノポアを有する薄膜のメンブレンと、メンブレンの上下に配置された、電極を有する二つの液槽を備える。上記二つの液槽は溶液で満たされ、そのうちの一つの液槽に生体試料が導入される。そして、電極には電圧が印加され、生体試料がナノポアを通過する際に両電極間に流れる電流値の変化が計測される。ナノポアシーケンサは、このような計測により、生体試料の構造的な特徴を判定する。 Development of a blockage current type nanopore sequencer is underway as a biological sample analyzer for analyzing biological samples such as DNA and proteins. The blockage current type nanopore sequencer includes a thin film membrane having nanopores as large as a biological sample, and two liquid tanks having electrodes arranged above and below the membrane. The above two liquid tanks are filled with a solution, and a biological sample is introduced into one of the liquid tanks. Then, a voltage is applied to the electrodes, and the change in the current value flowing between the two electrodes is measured when the biological sample passes through the nanopore. The nanopore sequencer determines the structural characteristics of a biological sample by such measurement.

封鎖電流方式のナノポアシーケンサの形成方法には、「バイオ式」および「ソリッド式」の二種類がある。バイオ式は、生体分子を用いてナノポアシーケンサを形成する手法である。バイオ式では、まず、溶液で満たした液槽に両親媒性の脂質二重膜を乗せたメンブレンが配置される。次に、脂質二重膜のメンブレンにナノメートルサイズのナノポアを有する改変タンパク質(Mycobacterium Smegmatis Porin A等)を浮かばせることにより、ナノポアが形成される。なお、バイオ式は、使用するタンパク質および脂質二重膜などが変性しやすいという課題がある。 There are two types of methods for forming a closed current nanopore sequencer: a "bio-type" and a "solid-type". The bio-formula is a method of forming a nanopore sequencer using biomolecules. In the bio-type, first, a membrane on which an amphipathic lipid bilayer membrane is placed is placed in a liquid tank filled with a solution. Next, nanopores are formed by floating a modified protein having nanometer-sized nanopores (Mycobacterium Smegmatis Porin A, etc.) on a lipid bilayer membrane. The bio-formula has a problem that the protein used and the lipid bilayer membrane are easily denatured.

一方、ソリッド式は、生体分子とは異なり、機械強度の強い材料をメンブレンに用いるため、温度、pH、電圧などの環境に対してロバストなナノポアシーケンサになりうる。ソリッド式は、例えばシリコン窒化膜がメンブレンとして用いられ、電子線の照射、または電圧の印加により、メンブレンにナノメートルサイズのナノポアが形成される。一般的なソリッド式のナノポアシーケンサでは、シリコン窒化膜に代表される機械強度の強い材料が基板に成膜され、次に、開口を基板に形成することによりシリコン窒化膜を露出させる。これにより、メンブレンを有する基板が形成される。そして、メンブレンを有する基板の上下に、液槽および電極を構成する部材が取付けられる。液槽には、少なくとも二つの流路(例えば、溶液を導入するための流路と、液槽内に存在する気体および余分な液体を排出するための流路)が設けられる。 On the other hand, unlike biomolecules, the solid type uses a material with high mechanical strength for the membrane, so it can be a nanopore sequencer that is robust to environments such as temperature, pH, and voltage. In the solid type, for example, a silicon nitride film is used as a membrane, and nanometer-sized nanopores are formed on the membrane by irradiation with an electron beam or application of a voltage. In a general solid nanopore sequencer, a material having high mechanical strength represented by a silicon nitride film is formed on a substrate, and then an opening is formed on the substrate to expose the silicon nitride film. As a result, a substrate having a membrane is formed. Then, the members constituting the liquid tank and the electrodes are attached above and below the substrate having the membrane. The liquid tank is provided with at least two flow paths (for example, a flow path for introducing a solution and a flow path for discharging gas and excess liquid existing in the liquid tank).

ナノポアシーケンサでは、読み取りスループットの向上のために、複数のナノポアシーケンサを並列して配置し、生体分子の構造を並行して計測することが重要となる。ナノポアシーケンサのアレイ化では、ナノポアのみならず、付随する液槽、電極等の周辺構造も並列化する必要がある。 In the nanopore sequencer, in order to improve the reading throughput, it is important to arrange a plurality of nanopore sequencers in parallel and measure the structure of the biomolecule in parallel. In the array of nanopore sequencers, it is necessary to parallelize not only the nanopores but also the peripheral structures such as the accompanying liquid tank and electrodes.

例えば、特許文献1は、ソリッド式のナノポアシーケンサのアレイ化について開示している。特許文献1に記載されたナノポアシーケンサでは、メンブレンをシリコン基板上にアレイ状に形成し、そのアレイ状に並んだメンブレンそれぞれに対して液槽となるパーツと二つの流路を接続し、二つの流路のうち一方の流路を電極材料で形成する。つまり、特許文献1に記載されたナノポアシーケンサは、流路が電極を兼ねることにより、流路と電極のフットプリント(または設置面積)を減らすことができる構造を有する。 For example, Patent Document 1 discloses an array of solid nanopore sequencers. In the nanopore sequencer described in Patent Document 1, membranes are formed in an array on a silicon substrate, and a part serving as a liquid tank and two flow paths are connected to each of the membranes arranged in the array to form two. One of the flow paths is formed of an electrode material. That is, the nanopore sequencer described in Patent Document 1 has a structure in which the footprint (or installation area) of the flow path and the electrode can be reduced because the flow path also serves as an electrode.

特開2012−26986号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-26986

ところで、特許文献1に記載されたナノポアシーケンサでは、各シーケンサにおいて独立して設けられた電極が、メンブレンを有する基板とは別の部材で構成される。また、特許文献1に記載されたナノポアシーケンサでは、独立して設けられた複数の液槽のそれぞれに溶液を供給するために、流入用および流出用の2本の流路を設けている。このような構造とした場合、流路や別部材の設置面積により、ナノポアシーケンサの面積が増大する。その結果、シーケンサの集積化および並列化を阻害する要因となる。 By the way, in the nanopore sequencer described in Patent Document 1, the electrodes independently provided in each sequencer are composed of a member different from the substrate having the membrane. Further, in the nanopore sequencer described in Patent Document 1, two flow paths for inflow and outflow are provided in order to supply a solution to each of a plurality of independently provided liquid tanks. With such a structure, the area of the nanopore sequencer increases depending on the flow path and the installation area of another member. As a result, it becomes a factor that hinders the integration and parallelization of sequencers.

本開示は、上記の点に鑑みてなされたものであり、ソリッド式のナノポアシーケンサの集積度を向上させる技術を提供する。 The present disclosure has been made in view of the above points, and provides a technique for improving the degree of integration of a solid nanopore sequencer.

上記課題を解決するために、メンブレンと、前記メンブレンが露出するように複数の開口部が設けられ、前記メンブレンの一方の面上に積層された第1の層と、前記第1の層の前記複数の開口部のそれぞれと対応付けられて設けられた複数の独立電極を有し、前記第1の層に積層された第2の層と、前記メンブレンの他方の面上に積層され、前記メンブレンの前記一方の面のうち前記第1の層が有する前記複数の開口部によって露出した領域の反対側の面が露出するように単一の開口部が設けられた第3の層と、前記独立電極とは前記メンブレンを挟んで反対側に設けられる共通電極であって、前記第1の層の前記開口部によって形成された凹部、および、前記第3の層の前記単一の開口部で形成された凹部、のそれぞれに導電性の液体が導入された状態において前記複数の独立電極との間で電位差を生じる共通電極と、を備え、前記メンブレンのうち、前記第1の層の前記複数の開口部によって露出している部分は互いに絶縁されている生体試料分析装置を提供する。 In order to solve the above-mentioned problems, the membrane, a first layer in which a plurality of openings are provided so as to expose the membrane and laminated on one surface of the membrane, and the first layer of the first layer. The membrane has a plurality of independent electrodes provided in association with each of the plurality of openings, and is laminated on a second layer laminated on the first layer and on the other surface of the membrane. A third layer provided with a single opening so that the surface opposite to the region exposed by the plurality of openings of the first layer of the one surface is exposed, and the independent layer. The electrode is a common electrode provided on the opposite side of the membrane, and is formed by a recess formed by the opening of the first layer and the single opening of the third layer. A common electrode that causes a potential difference between the plurality of independent electrodes in a state where a conductive liquid is introduced into each of the recesses is provided, and the plurality of the first layer of the membrane is provided. Provided is a biological sample analyzer in which the portions exposed by the openings are insulated from each other.

また、試料がナノポアを通過する際の電流の変化を同時に複数観測する生体試料分析方法であって、前記ナノポアが形成されるメンブレンに積層された第1の層に設けられた複数の開口部と前記メンブレンの表面とによって形成される複数の凹部に対して、前記複数の開口部を囲む液槽サポートに設けられた流入口から溶液を導入して前記溶液で満たすステップと、前記液槽サポートの前記流入口から前記溶液に対して不溶性且つ絶縁性の液体を導入し、前記液槽サポートに設けられた流出口から前記溶液の一部を流出させ、前記複数の凹部に対して、前記溶液が互いに接触しない液滴状の形状となるようにするステップと、前記メンブレンを支持する基板に設けられた開口部に溶液を導入するステップと、前記メンブレンを挟んで設けられた複数の独立電極と単一の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記開口部によって露出した前記メンブレンの複数の部分領域にナノポアを形成するステップと、前記複数の凹部に導入された前記溶液と前記基板に設けられた前記開口部に導入された前記溶液との何れか一方に含まれる生体試料が前記ナノポアを通過する際の前記ナノポアを流れる電流値を計測するステップと、を有する生体試料分析方法を提供する。 Further, it is a biological sample analysis method for simultaneously observing a plurality of changes in current when a sample passes through a nanopore, and has a plurality of openings provided in a first layer laminated on a membrane on which the nanopore is formed. A step of introducing a solution from an inflow port provided in a liquid tank support surrounding the plurality of openings into a plurality of recesses formed by the surface of the membrane and filling the plurality of recesses with the solution, and a step of filling the liquid tank support with the solution. An insoluble and insulating liquid to the solution is introduced from the inlet, a part of the solution is discharged from the outlet provided in the liquid tank support, and the solution is discharged to the plurality of recesses. A step of forming a droplet-like shape that does not contact each other, a step of introducing a solution into an opening provided in a substrate supporting the membrane, and a plurality of independent electrodes provided across the membrane. By applying a voltage between one common electrode, a step of forming nanopores in a plurality of partial regions of the membrane exposed by the opening, and the solution introduced into the plurality of recesses and the substrate. Provided is a biological sample analysis method comprising a step of measuring a current value flowing through the nanopore when a biological sample contained in any one of the solution introduced into the opening provided passes through the nanopore. do.

本開示によれば、ソリッド式のナノポアシーケンサの集積度を向上させることができる。なお、本開示に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成および効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。 According to the present disclosure, the degree of integration of a solid nanopore sequencer can be improved. Further features related to the present disclosure will be clarified from the description of the present specification and the accompanying drawings. In addition, issues, configurations, and effects other than those described above will be clarified by the following description of the examples.

実施例1に係る生体試料分析装置が備える分析デバイスの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of an analysis device included in the biological sample analyzer according to the first embodiment. 実施例1に係る生体試料分析装置の全体構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematic the whole structure of the biological sample analyzer which concerns on Example 1. FIG. 生体試料分析装置を用いた生体試料の分析フローを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the analysis flow of a biological sample using a biological sample analyzer. 溶液供給機構が種々の溶液を分析デバイスに導入する様子を示す図である。It is a figure which shows how the solution supply mechanism introduces various solutions into an analysis device. 溶液供給機構が種々の溶液を分析デバイスに導入する様子を示す図である。It is a figure which shows how the solution supply mechanism introduces various solutions into an analysis device. 溶液供給機構が種々の溶液を分析デバイスに導入する様子を示す図である。It is a figure which shows how the solution supply mechanism introduces various solutions into an analysis device. 溶液供給機構が種々の溶液を分析デバイスに導入する様子を示す図である。It is a figure which shows how the solution supply mechanism introduces various solutions into an analysis device. 生体試料を共通液槽に導入した様子を示す図である。It is a figure which shows the state which introduced the biological sample into a common liquid tank. アレイ数が64(8行、8列)の場合の分析デバイスの上面図であるIt is a top view of the analysis device when the number of arrays is 64 (8 rows, 8 columns). 実施例2における溶液の導入方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the introduction method of the solution in Example 2. FIG. 実施例アレイ数が256((8行、8列)のアレイが(2行、2列)で並んでいる)の場合の分析デバイスの上面図である。Example It is a top view of the analysis device when the number of arrays is 256 (arrays of (8 rows, 8 columns) are arranged in (2 rows, 2 columns)). 実施例3の分析デバイスの一部の断面図である。It is sectional drawing of a part of the analysis device of Example 3. FIG. 基板開口部108Aと基板開口部108Bとが支持部で仕切られている様子を示す図である。It is a figure which shows the state which the substrate opening 108A and the substrate opening 108B are separated by a support part. 実施例4に係る分析デバイスの断面図である。It is sectional drawing of the analysis device which concerns on Example 4. FIG. 溶液サポートの別の例を示す図である。It is a figure which shows another example of a solution support.

以下、図面を用いて本開示の実施例について説明する。各図面は模式的に描いており、説明に不用な箇所は省略している。実施例に記載する構造、材料および方法は、本開示の思想を具現化するための一例であり、材料および寸法などを厳密に特定するものではない。また、本開示の実施例は、後述する実施例に限定されるものではなく、その技術思想の範囲において、種々の変形が可能である。 Hereinafter, examples of the present disclosure will be described with reference to the drawings. Each drawing is drawn schematically, and unnecessary parts are omitted. The structures, materials and methods described in the examples are examples for embodying the ideas of the present disclosure, and do not strictly specify the materials and dimensions. Further, the examples of the present disclosure are not limited to the examples described later, and various modifications can be made within the scope of the technical idea.

<実施例1>
図1は、実施例1に係る生体試料分析装置が備える分析デバイス10の断面図である。生体試料分析装置は、基板100(第3の層)、メンブレン101(101A、101B、101C、101D)、絶縁層102(第1の層)、配線103(103A、103B、103C、103D)、独立電極104(104A、104B、104C、104D)、I/Oパッド105(105A、105B、105C、105D)、隔壁106、凹部107(107A、107B、107C、107D)および共通電極200を備える。基板100には基板開口部108が設けられ、当該基板開口部108が共通液槽201として機能する。
<Example 1>
FIG. 1 is a cross-sectional view of an analysis device 10 included in the biological sample analyzer according to the first embodiment. The biological sample analyzer includes a substrate 100 (third layer), a membrane 101 (101A, 101B, 101C, 101D), an insulating layer 102 (first layer), wiring 103 (103A, 103B, 103C, 103D), and an independent device. The electrode 104 (104A, 104B, 104C, 104D), the I / O pad 105 (105A, 105B, 105C, 105D), the partition wall 106, the recess 107 (107A, 107B, 107C, 107D) and the common electrode 200 are provided. The substrate 100 is provided with a substrate opening 108, and the substrate opening 108 functions as a common liquid tank 201.

メンブレン101の一方の面には絶縁層102(第1の層)が積層され、他方の面には基板100(第3の層)が積層されている。絶縁層102には、メンブレン101が露出するように複数の開口部が設けられ、上記複数の開口部のそれぞれと対応付けられて複数の独立電極104がアレイ状に設けられている。つまり、複数の独立電極104が、メンブレン101の上方に設けられており、絶縁層102と隔壁106とにより形成される凹部107の底部にてメンブレン101が露出している。なお、一つの独立電極104と一つの凹部107とそれを囲む隔壁106は一つの区画を定義する。つまり、生体試料分析装置は区画の数だけ複数の生体試料分析を同時に実行できる。 An insulating layer 102 (first layer) is laminated on one surface of the membrane 101, and a substrate 100 (third layer) is laminated on the other surface. The insulating layer 102 is provided with a plurality of openings so that the membrane 101 is exposed, and a plurality of independent electrodes 104 are provided in an array in association with each of the plurality of openings. That is, a plurality of independent electrodes 104 are provided above the membrane 101, and the membrane 101 is exposed at the bottom of the recess 107 formed by the insulating layer 102 and the partition wall 106. In addition, one independent electrode 104, one recess 107, and the partition wall 106 surrounding the recess 106 define one compartment. That is, the biological sample analyzer can simultaneously execute a plurality of biological sample analyzes as many as the number of compartments.

また、絶縁層102に被覆された状態でパターニングされた配線103を介して、複数の独立電極104のそれぞれはI/Oパッド105と接続されている。隔壁106は、絶縁層102が有する複数の開口部の一つ(例えば、凹部107Aの第1の層部分)と複数の開口部の一つに対応付けられた複数の独立電極104の一つ(例えば、独立電極104A)のペアと、複数の開口部の別の一つ(例えば、凹部107Bの第1の層部分)と複数の開口部の別の一つに対応付けられた複数の独立電極104の別の一つ(例えば、独立電極104B)のペアと、を互いに隔離するように設けられている。 Further, each of the plurality of independent electrodes 104 is connected to the I / O pad 105 via a wiring 103 patterned in a state of being covered with the insulating layer 102. The partition wall 106 is one of the plurality of openings (for example, the first layer portion of the recess 107A) of the insulating layer 102 and one of the plurality of independent electrodes 104 associated with one of the plurality of openings (for example, the first layer portion of the recess 107A). For example, a pair of independent electrodes 104A) and a plurality of independent electrodes associated with another one of the plurality of openings (for example, the first layer portion of the recess 107B) and another one of the plurality of openings. A pair of another 104 (eg, independent electrode 104B) is provided so as to isolate it from each other.

一方、基板開口部108および共通電極200は、メンブレン101を挟んで、複数の独立電極104とは反対側に配置されている。共通液槽201は、基板開口部108とつながった一つの空間を形成している。 On the other hand, the substrate opening 108 and the common electrode 200 are arranged on opposite sides to the plurality of independent electrodes 104 with the membrane 101 interposed therebetween. The common liquid tank 201 forms one space connected to the substrate opening 108.

ここで、例えば、基板100の材料はシリコンであり、メンブレン101の材料は窒化シリコンであり、絶縁層102の材料は酸化シリコンであり、配線103の材料は銅であり、独立電極104、共通電極200およびI/Oパッドの材料は金であり、隔壁106の材料はポリイミド樹脂であり、共通液槽201の材料はアクリル樹脂である。 Here, for example, the material of the substrate 100 is silicon, the material of the membrane 101 is silicon nitride, the material of the insulating layer 102 is silicon oxide, the material of the wiring 103 is copper, the independent electrode 104, and the common electrode. The material of the 200 and the I / O pad is gold, the material of the partition wall 106 is a polyimide resin, and the material of the common liquid tank 201 is an acrylic resin.

また、メンブレン101の表面は親水性であり、メンブレン101を取り囲む隔壁106の上面および側面は疎水性である。ここで、一例として、メンブレン101の口径は200nm、第1の電極104の短寸法は1μm、隔壁106の開口径は25μm、アレイピッチは50μmとした。なお、隔壁106は、疎水性でないかまたは十分に疎水性でなくとも、例えば、表面の疎水性処理を施したものならばよい。その場合、隔壁106の上面のみに疎水性処理を施してもよく、隔壁106の表面全体に亘って疎水性処理を施してもよい。 The surface of the membrane 101 is hydrophilic, and the upper and side surfaces of the partition wall 106 surrounding the membrane 101 are hydrophobic. Here, as an example, the diameter of the membrane 101 is 200 nm, the short dimension of the first electrode 104 is 1 μm, the opening diameter of the partition wall 106 is 25 μm, and the array pitch is 50 μm. The partition wall 106 does not have to be hydrophobic or sufficiently hydrophobic, for example, it may be one that has been subjected to surface hydrophobic treatment. In that case, the hydrophobic treatment may be applied only to the upper surface of the partition wall 106, or the hydrophobic treatment may be applied to the entire surface of the partition wall 106.

上記分析デバイス1は、例えば、半導体プロセスと同様の方法によって形成することができる。配線パターンは、例えば、ダマシン法によって形成する。具体的には、層形成後にレジストを塗布して、所望のパターンに沿ってエッチングし、エッチングした箇所に電解めっきによって配線パターンを形成する。その後、不要なレジストをアッシングして除去し、また、CMP(Chemical Mechanical Polishing)によって表面を平坦にする。この工程を繰り返すことによって、必要な配線パターン、独立電極104、隔壁106等が得られる。 The analysis device 1 can be formed, for example, by a method similar to that of a semiconductor process. The wiring pattern is formed by, for example, the damascene method. Specifically, after forming the layer, a resist is applied, etched along a desired pattern, and a wiring pattern is formed at the etched portion by electrolytic plating. After that, unnecessary resist is ashed and removed, and the surface is flattened by CMP (Chemical Mechanical Polishing). By repeating this step, the necessary wiring pattern, independent electrode 104, partition wall 106, and the like can be obtained.

図2は、実施例1に係る生体試料分析装置1の全体構成を概略的に示す図である。生体試料分析装置1は、制御回路部300、電源および制御・検出データ取得ユニット400、溶液供給機構500を有する。制御回路部300は、I/Oパッド105と着脱可能な端子でつながっており、また、電源および制御・検出データ取得ユニット400と配線を介して接続されている。制御回路部300は、例えば、複数の独立電極104に印加する電圧を制御し、計測中に得られる信号を電源および制御・検出データ取得ユニット400または図示しないPCに転送する。 FIG. 2 is a diagram schematically showing the overall configuration of the biological sample analyzer 1 according to the first embodiment. The biological sample analyzer 1 includes a control circuit unit 300, a power supply, a control / detection data acquisition unit 400, and a solution supply mechanism 500. The control circuit unit 300 is connected to the I / O pad 105 by a detachable terminal, and is also connected to the power supply and the control / detection data acquisition unit 400 via wiring. The control circuit unit 300 controls, for example, the voltage applied to the plurality of independent electrodes 104, and transfers the signal obtained during the measurement to the power supply and the control / detection data acquisition unit 400 or a PC (not shown).

電源および制御・検出データ取得ユニット400には、高出力電源と、CPU(Central Processing Unit)などのプロセッサと、メモリと、ハードディスク等の記憶部を少なくとも備える。メモリには、例えば、データの分析用プログラムおよび機器の制御用プログラムが記録されており、CPUは当該プログラムを読み込むことによって測定データを測定し、種々の機器の制御を行う。 The power supply and control / detection data acquisition unit 400 includes at least a high-output power supply, a processor such as a CPU (Central Processing Unit), a memory, and a storage unit such as a hard disk. For example, a data analysis program and a device control program are recorded in the memory, and the CPU measures the measurement data by reading the program and controls various devices.

溶液供給機構500は、分析デバイス(図1に示された構造部分)の上部に配置し、メンブレン101に溶液を供給する役割を果たす。溶液供給機構500は、例えば、電源および制御・検出データ取得ユニット400が出力する制御信号によって制御され、定められた位置において定められた量の液を吐出する。また、溶液供給機構500は、吐出時とは逆にアクチュエータまたはモータを作動させることによって吸引機構としても機能することができる。 The solution supply mechanism 500 is arranged above the analytical device (structural portion shown in FIG. 1) and serves to supply the solution to the membrane 101. The solution supply mechanism 500 is controlled by, for example, a power supply and a control signal output by the control / detection data acquisition unit 400, and discharges a specified amount of liquid at a specified position. Further, the solution supply mechanism 500 can also function as a suction mechanism by operating the actuator or the motor in the reverse direction of the discharge.

[生体試料の分析フロー]
図3は、生体試料分析装置1を用いた生体試料の分析フローを示すフローチャートである。以下では、アレイ数が四つの場合を説明するが、アレイ数は四つより多くても少なくてもよい。以下に、各ステップS11〜S21について説明する。
[Analysis flow of biological sample]
FIG. 3 is a flowchart showing an analysis flow of a biological sample using the biological sample analyzer 1. In the following, the case where the number of arrays is four will be described, but the number of arrays may be more or less than four. Hereinafter, steps S11 to S21 will be described.

(1)ステップS11
まず、溶液供給機構500に、溶液501と生体試料502とを準備し、電源および制御・検出データ取得ユニット400の制御により溶液供給機構500を所望の位置まで移動させる。そして、溶液供給機構500が、メンブレン101を底部にもつ凹部107に対して、生体試料502が入った溶液501を導入する。
(1) Step S11
First, the solution 501 and the biological sample 502 are prepared in the solution supply mechanism 500, and the solution supply mechanism 500 is moved to a desired position under the control of the power supply and the control / detection data acquisition unit 400. Then, the solution supply mechanism 500 introduces the solution 501 containing the biological sample 502 into the recess 107 having the membrane 101 at the bottom.

図4は、溶液供給機構500が種々の溶液を分析デバイス10に導入する様子を示す図である。図4(a)に示すように、一つの凹部107Aに対して溶液501を供給する場合、まず凹部107Aに溶液供給機構500を位置合わせし、続いて、凹部107Aを満たす(メンブレン101Aと独立電極104Aとが溶液に浸る)に十分で、且つ隣接した凹部107Bに漏れない量の溶液501を導入する。この工程を、別の凹部(107B、107Cおよび107D)に対しても行い、図4(b)に示すように、全ての凹部107内を溶液501で満たした。ここで、隣接した凹部107間に導入された溶液501は、互いに接触しないように遮断された、並列した液溜まり(503A、503B、503C、503D)を形成する。なお、溶液501には、塩化カリウム等の電解質を含む。また、溶液供給機構500は複数の突出口を備え、各凹部(107A、107B、107C、107D)に対して平行して溶液を導入してもよい。 FIG. 4 is a diagram showing how the solution supply mechanism 500 introduces various solutions into the analysis device 10. As shown in FIG. 4A, when supplying the solution 501 to one recess 107A, the solution supply mechanism 500 is first aligned with the recess 107A, and then the recess 107A is filled (the membrane 101A and the independent electrode). Introduce a solution 501 in an amount sufficient to immerse the 104A in the solution and not leak into the adjacent recess 107B. This step was also performed on the other recesses (107B, 107C and 107D), and as shown in FIG. 4B, all the recesses 107 were filled with the solution 501. Here, the solutions 501 introduced between the adjacent recesses 107 form parallel liquid pools (503A, 503B, 503C, 503D) that are blocked from contacting each other. The solution 501 contains an electrolyte such as potassium chloride. Further, the solution supply mechanism 500 may have a plurality of protrusions, and the solution may be introduced in parallel with each recess (107A, 107B, 107C, 107D).

(2)ステップS12
次に、溶液供給機構500に絶縁性流体504を準備する。溶液供給機構500から、図4(c)に示すように、並列した液溜まり(503A、503B、503C、503D)の上部から絶縁性流体504を導入し、並列した液溜まり(503A、503B、503C、503D)を被覆する。絶縁性流体504の存在により、微量の液溜まり(503A、503B、503C、503D)が乾燥するのを防ぐ。ここで絶縁性流体504は、例えば、油性液体であり、溶液501に対して不溶性である。
(2) Step S12
Next, the insulating fluid 504 is prepared in the solution supply mechanism 500. As shown in FIG. 4C, the insulating fluid 504 is introduced from the upper part of the parallel liquid pools (503A, 503B, 503C, 503D) from the solution supply mechanism 500, and the parallel liquid pools (503A, 503B, 503C) are introduced. , 503D). The presence of the insulating fluid 504 prevents trace amounts of liquid pools (503A, 503B, 503C, 503D) from drying out. Here, the insulating fluid 504 is, for example, an oily liquid and is insoluble in the solution 501.

(3)ステップS13
続いて、図4(d)に示すように、共通液槽201に対して溶液501を導入する。これにより、メンブレン101の上下が溶液で満たされる。なお、ステップS11およびS12のセットと、ステップS13とは順序が逆であってもかまわない。即ち、ステップS13、ステップS11、ステップS12の順で工程を実施してもよい。
(3) Step S13
Subsequently, as shown in FIG. 4D, the solution 501 is introduced into the common liquid tank 201. As a result, the top and bottom of the membrane 101 are filled with the solution. The order of the set of steps S11 and S12 and step S13 may be reversed. That is, the steps may be carried out in the order of step S13, step S11, and step S12.

(4)ステップS14
隣接する独立電極(104A、104B、104C、104D)間に電圧を印加し、リーク電流値を測定する。例えば、独立電極104Aと独立電極104Bとの間、独立電極104Cと独立電極104Dとの間のリーク電流値を並列して測定し、次に独立電極104Bと独立電極104Cとの間のリーク電流値を測定する。これは、独立電極(104A、104B、104C、104D)間に、溶液501のリーク(即ち液滴同士の接触)があると、後に説明するナノポア形成工程でメンブレン101にナノポアが形成されない、または、試料分析工程において信号ノイズを発生させるなど、様々な不具合が生じるため、リークが生じた不良区画を特定するためである。なお、ステップS14は、ステップS11の後に実施すればよく、例えば、ステップS13の前に実施してもよい。
(4) Step S14
A voltage is applied between adjacent independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D) and the leak current value is measured. For example, the leak current value between the independent electrode 104A and the independent electrode 104B, the leak current value between the independent electrode 104C and the independent electrode 104D is measured in parallel, and then the leak current value between the independent electrode 104B and the independent electrode 104C is measured. To measure. This is because if there is a leak of the solution 501 (that is, contact between droplets) between the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D), nanopores are not formed on the membrane 101 in the nanopore forming step described later, or This is to identify the defective section where the leak has occurred because various defects such as signal noise are generated in the sample analysis process. Note that step S14 may be performed after step S11, and may be performed before step S13, for example.

(5)ステップS15
リーク電流が存在するか否かの判定は、この後説明するナノポア形成工程および試料分析工程において支障をきたさない一定の電流値を閾値として設定し、測定したリーク電流値を閾値と比較する。当該閾値は、例えば、印加する電圧が0.1Vである場合に、後述のステップS21の際にナノポアを流れる電流に比べて十分に小さな値である10pAとする。ステップS15の判定でリーク電流値が閾値以上である場合には、ステップS22に進み、当該リーク電流が検出された区画を不良と特定する。不良区画もしくは良品区画は、記憶部(例えば、電源および制御・検出データ取得ユニットが備えるメモリ)にて記憶しておく。ステップS15の判定においてリーク電流値が閾値より小さければ、ステップS16に進み、リーク電流が検出されなかった区画を良品区画とする。
(5) Step S15
In determining whether or not a leak current exists, a constant current value that does not interfere with the nanopore forming step and the sample analysis step described later is set as a threshold value, and the measured leak current value is compared with the threshold value. The threshold value is, for example, 10 pA, which is a value sufficiently smaller than the current flowing through the nanopore in step S21 described later when the applied voltage is 0.1 V. If the leak current value is equal to or greater than the threshold value in the determination in step S15, the process proceeds to step S22, and the section in which the leak current is detected is identified as defective. The defective section or the non-defective section is stored in a storage unit (for example, a memory provided in the power supply and the control / detection data acquisition unit). If the leak current value is smaller than the threshold value in the determination in step S15, the process proceeds to step S16, and the section in which the leak current is not detected is regarded as a non-defective section.

(6)ステップS16
共通電極200と、独立電極(104A、104B、104C、104D)のそれぞれとの間に、ステップS18で印加するよりも低い電圧を印加し、メンブレン(101A、101B、101C、101D)のそれぞれに流れるメンブレン間リーク電流を測定する。この際、印加する電圧は、例えば、−1〜+1Vの範囲のスイープ電圧である。
(6) Step S16
A lower voltage than that applied in step S18 is applied between the common electrode 200 and each of the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D) and flows through each of the membranes (101A, 101B, 101C, 101D). Measure the leakage current between membranes. At this time, the applied voltage is, for example, a sweep voltage in the range of −1 to + 1V.

(7)ステップS17
メンブレン間リーク電流は、この後説明する試料分析工程において支障をきたさない一定のレベルを閾値として設定し、測定したメンブレン間リーク電流値を閾値と比較する。例えば、事前にメンブレンが割れているなど初期不良がある場合には、メンブレン間に大きな電流が流れる。したがって、当該閾値は、例えば、メンブレン間に印加する電圧が0.1Vである場合に、後述のステップS21においてナノポアを流れる電流に比べて十分に小さな値である100pAとする。ステップS17の判定でメンブレン間リーク電流値が閾値以上である場合には、ステップS22に進み、リーク電流が検出された区画を不良と特定する。不良区画もしくは良品区画(不良と判定されなかった区画)は、記憶部にて記憶しておく。ステップS17の判定でメンブレン間リーク電流値が閾値より小さければ、ステップS18に進み、リーク電流が検出されなかった区画を良品区画とする。
(7) Step S17
The intermembrane leak current is set at a constant level that does not interfere with the sample analysis step described later as a threshold value, and the measured intermembrane leak current value is compared with the threshold value. For example, if there is an initial defect such as the membrane being cracked in advance, a large current flows between the membranes. Therefore, for example, when the voltage applied between the membranes is 0.1 V, the threshold value is set to 100 pA, which is a value sufficiently smaller than the current flowing through the nanopore in step S21 described later. If the intermembrane leak current value is equal to or greater than the threshold value in the determination in step S17, the process proceeds to step S22, and the section in which the leak current is detected is identified as defective. The defective section or the non-defective section (the section not determined to be defective) is stored in the storage unit. If the intermembrane leak current value is smaller than the threshold value in the determination in step S17, the process proceeds to step S18, and the section in which the leak current is not detected is regarded as a non-defective section.

(8)ステップS18
共通電極200と、独立電極(104A、104B、104C、104D)のそれぞれとの間に電圧を印加し、既知の絶縁破壊のメカニズムによりメンブレン(101A、101B、101C、101D)に、ナノメートルサイズのナノポアを形成する。
(8) Step S18
A voltage is applied between the common electrode 200 and each of the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D), and a nanometer-sized membrane (101A, 101B, 101C, 101D) is subjected to a known dielectric breakdown mechanism. Form nanopores.

(9)ステップS19
所望のサイズのナノポアが形成されたかを判断するために、共通電極200と独立電極(104A、104B、104C、104D)間に、ナノポア形成工程で印加した電圧よりも小さい電圧を印加し、共通電極200と、独立電極(104A、104B、104C、104D)のそれぞれとの間に流れる電流値を測定する。なお、形成したナノポアの径は、メンブレン101に流れる電流値が大きいほど大きくなり、電流値で制御できる(WO2015/097765A参照)。ステップS19の処理は、メンブレン101の親水性が不十分でメンブレン101と溶液501とが十分に接しない場合、メンブレン101の上下に電圧が正常に印加されず、ナノポアが形成されないために実施する処理である。
(9) Step S19
In order to determine whether a nanopore of a desired size has been formed, a voltage smaller than the voltage applied in the nanopore forming step is applied between the common electrode 200 and the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D), and the common electrode is formed. The value of the current flowing between the 200 and each of the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D) is measured. The diameter of the formed nanopores increases as the current value flowing through the membrane 101 increases, and can be controlled by the current value (see WO2015 / 097765A). The treatment of step S19 is carried out because when the hydrophilicity of the membrane 101 is insufficient and the membrane 101 and the solution 501 do not come into sufficient contact with each other, the voltage is not normally applied above and below the membrane 101 and nanopores are not formed. Is.

(10)ステップS20
共通電極200と、独立電極(104A、104B、104C、104D)のそれぞれとの間に流れる電流値が所望のサイズのナノポアに対応する値になっているかどうかを判定する。共通電極200と独立電極(104A、104B、104C、104D)のそれぞれとの間に流れる電流値が所定の電流値より小さい区画があった場合、その区画を不良と判断する。その後、ステップS22に進み、この不良区画を記憶部にて記憶しておく。
(10) Step S20
It is determined whether or not the current value flowing between the common electrode 200 and each of the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D) is a value corresponding to a nanopore of a desired size. If there is a section in which the current value flowing between the common electrode 200 and each of the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D) is smaller than the predetermined current value, that section is determined to be defective. After that, the process proceeds to step S22, and the defective section is stored in the storage unit.

なお、各独立電極104に印加する電圧およびシーケンスは、制御回路部300が制御し、複数区画(メンブレン101の複数の露出部分)で平行してナノポア形成を行う。この際、先に説明した液槽形成後に不良と判断した区画には、この電圧を印加する工程および電流を測定する工程を行う必要はない。良品区画のみに上記ナノポア形成工程および電流値測定工程を行えば、ナノポア形成を効率よく行うことができる。ただし、この不良が、メンブレン101と溶液501との間に気泡があって発生した場合には、気泡を抜く作業を行うことで、救済される場合がある。メンブレン101と溶液501との間に気泡がある場合は、減圧環境下に分析デバイス10をおくことで、気泡の体積を膨張させ、気泡の浮力を増加させ、気泡を除去する作業を行い、ステップS18に戻る。 The voltage and sequence applied to each independent electrode 104 are controlled by the control circuit unit 300, and nanopores are formed in parallel in a plurality of compartments (a plurality of exposed portions of the membrane 101). At this time, it is not necessary to perform the step of applying this voltage and the step of measuring the current in the section determined to be defective after the formation of the liquid tank described above. If the nanopore forming step and the current value measuring step are performed only on the non-defective product section, the nanopores can be formed efficiently. However, if this defect occurs due to air bubbles between the membrane 101 and the solution 501, it may be relieved by performing the work of removing the air bubbles. If there are bubbles between the membrane 101 and the solution 501, the analysis device 10 is placed in a reduced pressure environment to expand the volume of the bubbles, increase the buoyancy of the bubbles, and remove the bubbles. Return to S18.

(11)ステップS21
最後に、共通電極200と独立電極(104A、104B、104C、104D)のそれぞれとの間に電圧を印加する。電圧を印加することにより、ナノポアの周辺に電場が発生し、液中でチャージした生体試料502の電気泳動が生じる。これにより、生体試料502がそれぞれのナノポアに導入され、ナノポアを通過する。検出される電流値は、生体試料がナノポアを通過する前と、生体試料がナノポアを通過中とで異なる。これは、生体試料の断面積により、ナノポアが一部封鎖され、ナノポアの抵抗値が変化するためである。これらの測定した電流値から、生体試料の構造を分析する。なお、この封鎖電流測定による試料の構造分析は、不良区画ではない区画に対して実施すればよい。
(11) Step S21
Finally, a voltage is applied between the common electrode 200 and each of the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D). By applying a voltage, an electric field is generated around the nanopore, and electrophoresis of the biological sample 502 charged in the liquid occurs. As a result, the biological sample 502 is introduced into each nanopore and passes through the nanopore. The detected current value differs between before the biological sample passes through the nanopore and when the biological sample passes through the nanopore. This is because the nanopores are partially blocked and the resistance value of the nanopores changes depending on the cross-sectional area of the biological sample. From these measured current values, the structure of the biological sample is analyzed. The structural analysis of the sample by this blockage current measurement may be performed on a section that is not a defective section.

以上の各工程を経て、流路がなく、メンブレン101、独立電極104、凹部107といった並列要素が基板100の上に形成された集積度の高い構造が実現され、並列ナノポア形成および試料分析が効率的に実現される。 Through each of the above steps, a highly integrated structure in which parallel elements such as the membrane 101, the independent electrode 104, and the recess 107 are formed on the substrate 100 without a flow path is realized, and parallel nanopore formation and sample analysis are efficient. Realized.

なお、上で説明した内容は一例であり、生体試料分析装置1は上記構成に限定されない。基板100とのアライメントや、溶液吐出量の調整が問題にならないレベルであれば、溶液供給機構500を装置に組み込む必要はなく、手でマイクロピペットを用いて溶液の吐出操作をしてもよい。 The content described above is an example, and the biological sample analyzer 1 is not limited to the above configuration. As long as the alignment with the substrate 100 and the adjustment of the solution discharge amount do not pose a problem, it is not necessary to incorporate the solution supply mechanism 500 into the apparatus, and the solution may be discharged manually using a micropipette.

なお、上の説明では、制御回路部300は独立した部品としたが、基板100が備えてもよく、電源および制御・検出データ取得ユニット400内に配置してもよく、装置のバリエーションは様々である。つまり、生体試料分析装置1を測定環境に適した系として構築すればよい。 In the above description, the control circuit unit 300 is an independent component, but the board 100 may be provided, or the control circuit unit 300 may be arranged in the power supply and the control / detection data acquisition unit 400, and there are various variations of the device. be. That is, the biological sample analyzer 1 may be constructed as a system suitable for the measurement environment.

また、独立した複数の凹部107のそれぞれには、異なる種類の溶液501や生体試料502を導入することができる。その場合、必ずしも複数の凹部(107A、107B、107C、107D)のそれぞれで溶液501と生体試料502との種類をかえる必要はなく、組み合わせは任意である。これにより、同一試料502を同じ溶液501に混入して複数分析すれば、分析精度を向上させることができ、同一試料502を異なる溶液条件にて分析すれば、多角的な情報を得ることができ、異なる試料502を配置すれば、計測スループットを向上させることができる。 In addition, different types of solutions 501 and biological samples 502 can be introduced into each of the plurality of independent recesses 107. In that case, it is not always necessary to change the types of the solution 501 and the biological sample 502 in each of the plurality of recesses (107A, 107B, 107C, 107D), and the combination is arbitrary. As a result, if the same sample 502 is mixed with the same solution 501 and a plurality of analyzes are performed, the analysis accuracy can be improved, and if the same sample 502 is analyzed under different solution conditions, multifaceted information can be obtained. By arranging different samples 502, the measurement throughput can be improved.

また、全ての凹部107において同一試料502を導入して分析する場合は、生体試料502を共通液槽201側に導入してもよい。
図5は、生体試料502を共通液槽201に導入した様子を示す図である。生体試料502を共通液槽201に導入する場合、生体試料502を凹部107に導入した場合と比較して、例えば、独立電極104と共通電極200とに印加する電圧の向きを逆にして計測する。
Further, when the same sample 502 is introduced into all the recesses 107 for analysis, the biological sample 502 may be introduced into the common liquid tank 201 side.
FIG. 5 is a diagram showing a state in which the biological sample 502 is introduced into the common liquid tank 201. When the biological sample 502 is introduced into the common liquid tank 201, the measurement is performed by reversing the directions of the voltages applied to the independent electrode 104 and the common electrode 200, for example, as compared with the case where the biological sample 502 is introduced into the recess 107. ..

また、分析デバイス10に関しても、メンブレン101や独立電極104が十分親水性であり、同区画のメンブレン101と独立電極104とを囲むようにして疎水性の領域が形成されていれば、隔壁106はなくてもよい。その場合、例えば、絶縁層102(第1の層)の表面に、同区画のメンブレン101の露出部分と独立電極104とを囲むように疎水性処理がなされた領域を形成する。 Further, also regarding the analysis device 10, if the membrane 101 and the independent electrode 104 are sufficiently hydrophilic and a hydrophobic region is formed so as to surround the membrane 101 and the independent electrode 104 in the same compartment, there is no partition wall 106. May be good. In that case, for example, a hydrophobically treated region is formed on the surface of the insulating layer 102 (first layer) so as to surround the exposed portion of the membrane 101 in the same compartment and the independent electrode 104.

また、独立電極104とI/Oパッド105とをつなぐ配線103の並列数が多く、一層で配線を配置しきれない場合は、配線103が設けられる層を多層化してもよい。また、例えば、メンブレン101の材料は窒化シリコンであったが、酸化シリコン、グラフェン、グラファイト、有機物質または高分子材料などでもよい。独立電極104および共通電極200の材料は金であったが、銀、白金などの他の金属であってもよい。隔壁106の材料はポリイミド樹脂であったが、エポキシ樹脂または酸化シリコン等の絶縁性材料を用いてもよい。 Further, when the number of wiring 103 connecting the independent electrode 104 and the I / O pad 105 is large and the wiring cannot be arranged in one layer, the layer in which the wiring 103 is provided may be multi-layered. Further, for example, the material of the membrane 101 is silicon nitride, but silicon oxide, graphene, graphite, an organic substance, a polymer material, or the like may be used. The material of the independent electrode 104 and the common electrode 200 was gold, but other metals such as silver and platinum may be used. The material of the partition wall 106 is a polyimide resin, but an insulating material such as an epoxy resin or silicon oxide may be used.

また、基板100は、メンブレン101が上方になるように設置したが、基板100がメンブレン101の上側に位置する構成であってもよい。その場合、凹部107に液槽が形成されるように十分な表面張力を有する溶液501を選択し、下方から凹部107に向かって溶液501を噴射する。 Further, although the substrate 100 is installed so that the membrane 101 is on the upper side, the substrate 100 may be located on the upper side of the membrane 101. In that case, a solution 501 having sufficient surface tension is selected so that a liquid tank is formed in the recess 107, and the solution 501 is sprayed from below toward the recess 107.

図6は、アレイ数が64(8行、8列)の場合の分析デバイス10の上面図である。図6には、基板100、メンブレン101、I/Oパッド105、隔壁106および基板開口部108のレイアウトが描かれている。図6に示す隔壁106には、図4に示されたメンブレン101、独立電極104および凹部107が内包されている。また、基板100周辺に配置しているI/Oパッド105は、図4に示された配線103(図6では省略)を介して、メンブレン101の露出された部分周辺に配置する独立電極104と接続されている。また、基板100の裏面側に形成される基板開口部108は、メンブレン101の一方の面のうち絶縁層102(第1の層)が有する複数の開口部によって露出した領域の反対側の面が露出するように設けられている。 FIG. 6 is a top view of the analysis device 10 when the number of arrays is 64 (8 rows, 8 columns). FIG. 6 depicts the layout of the substrate 100, the membrane 101, the I / O pad 105, the partition wall 106, and the substrate opening 108. The partition wall 106 shown in FIG. 6 includes the membrane 101, the independent electrode 104, and the recess 107 shown in FIG. Further, the I / O pad 105 arranged around the substrate 100 is connected to the independent electrode 104 arranged around the exposed portion of the membrane 101 via the wiring 103 (omitted in FIG. 6) shown in FIG. It is connected. Further, the substrate opening 108 formed on the back surface side of the substrate 100 has a surface opposite to the region exposed by the plurality of openings of the insulating layer 102 (first layer) on one surface of the membrane 101. It is provided to be exposed.

なお、ナノポアはメンブレン101に予め形成されていてもよい。実施例1に係る生体試料分析装置1では、ナノポアはメンブレンに電圧を印加することによって形成された。しかしながら、ナノポアの形成方法はこれに限定されない。ナノポアは、電子線を予めメンブレン101に照射することによって形成されてもよい(例えば、A. J. Storm et al.、 Nat. Mat. 2 (2003)参照)。 The nanopores may be formed in advance on the membrane 101. In the biological sample analyzer 1 according to Example 1, the nanopores were formed by applying a voltage to the membrane. However, the method for forming nanopores is not limited to this. Nanopores may be formed by pre-irradiating the membrane 101 with an electron beam (see, eg, A. J. Storm et al., Nat. Mat. 2 (2003)).

また、上述したとおり、溶液501を導入する際には、メンブレン101と溶液501との濡れ性が高く、かつ異なる凹部間(例えば、凹部107Aと凹部107Bとの間)で溶液501がリークしない(互いに接触しない)ことが重要である。メンブレン101の濡れ性を高めるためには、溶液501を導入する前に表面処理を行うと効果的である。 Further, as described above, when the solution 501 is introduced, the wettability between the membrane 101 and the solution 501 is high, and the solution 501 does not leak between different recesses (for example, between the recess 107A and the recess 107B). It is important that they do not touch each other). In order to improve the wettability of the membrane 101, it is effective to perform a surface treatment before introducing the solution 501.

濡れ性を向上させる表面処理として、硫化水素と過酸化水素の混合液に分析デバイス10を漬けて、メンブレン101の表面に堆積した有機物を除去してもよく、溶液501を導入する前にアルコールを導入し、それを溶液501で置換してもよく、分析デバイス10を酸素プラズマ処理してもよい。また、上記方法を組み合わせてもよい。 As a surface treatment for improving wettability, the analysis device 10 may be immersed in a mixed solution of hydrogen sulfide and hydrogen peroxide to remove organic substances accumulated on the surface of the membrane 101, and alcohol may be added before the solution 501 is introduced. It may be introduced and replaced with solution 501, or the analytical device 10 may be treated with oxygen plasma. Further, the above methods may be combined.

この濡れ性を向上させる表面処理により、二つの凹部間の領域の濡れ性が高くなってしまい隣接アレイ間で溶液501のリークが発生する場合は、濡れ性を向上させる表面処理を行う際に、二つの凹部間の領域をマスクすると効果的である。マスクする方法には、感光性レジストを成膜した後にリソグラフィを用いてマスク領域のみにレジストを残す方法、および、予めパターニングしたシートを貼り付ける方法等がある。実施例1では、隔壁106自体が疎水性材料であり、その疎水性をリーク防止に利用したが、二つの凹部間の領域のリークが問題となる場合は、積極的に隔壁106の表面を疎水性にする表面処理を行う。隔壁106の表面を疎水性にする表面処理として、フッ素プラズマ処理を施してもよいし、ヘキサメチルジシラザンなどの疎水性材料を表面に成膜してもよい。この際、メンブレン101の露出部分など濡れ性を損なってはいけない領域に疎水性の処理の影響がないようにするには、疎水性の表面処理をアレイ全面(分析デバイス10の上側表面)に施した後、メンブレン101の露出部分の疎水性処理された表面を除去してもよいし、予めメンブレン101の露出部分をマスクした状態で疎水性の表面処理を施し、後にマスクをリフトオフしてもよい。 When the surface treatment for improving the wettability increases the wettability of the region between the two recesses and the solution 501 leaks between adjacent arrays, when the surface treatment for improving the wettability is performed, the surface treatment is performed. It is effective to mask the area between the two recesses. As a method of masking, there are a method of leaving the resist only in the mask region by using lithography after forming a photosensitive resist, a method of pasting a pre-patterned sheet, and the like. In the first embodiment, the partition wall 106 itself is a hydrophobic material, and the hydrophobicity is used to prevent leakage. However, when leakage in the region between the two recesses becomes a problem, the surface of the partition wall 106 is positively made hydrophobic. Perform surface treatment to make it hydrophobic. As a surface treatment for making the surface of the partition wall 106 hydrophobic, fluorine plasma treatment may be performed, or a hydrophobic material such as hexamethyldisilazane may be formed on the surface. At this time, in order to prevent the influence of the hydrophobic treatment on the exposed portion of the membrane 101 and other regions where the wettability should not be impaired, the hydrophobic surface treatment is applied to the entire surface of the array (upper surface of the analysis device 10). After that, the hydrophobically treated surface of the exposed portion of the membrane 101 may be removed, or the exposed portion of the membrane 101 may be masked in advance and the hydrophobic surface treatment may be performed, and then the mask may be lifted off. ..

<実施例2>
実施例2では、実施例1と比較して溶液501の導入スループットが向上する溶液501の導入方法の例を説明する。溶液501の導入方法以外は、実施例1において説明した生体試料502の分析方法を適用するため、溶液501の導入方法以外の工程や生体試料分析装置1の構造の説明は省略する。つまり、実施例2では、図3に示されたフローチャートのうち、ステップS11の工程の内容が実施例1とは異なる。そのため、ここでは実施例2の場合のステップS11の工程についてのみ説明し、その後の工程については説明を省略する。
<Example 2>
In the second embodiment, an example of the introduction method of the solution 501 in which the introduction throughput of the solution 501 is improved as compared with the first embodiment will be described. Since the analysis method of the biological sample 502 described in Example 1 is applied except for the method of introducing the solution 501, the description of the steps other than the method of introducing the solution 501 and the structure of the biological sample analyzer 1 will be omitted. That is, in the second embodiment, in the flowchart shown in FIG. 3, the content of the process in step S11 is different from that of the first embodiment. Therefore, here, only the step of step S11 in the case of the second embodiment will be described, and the description of the subsequent steps will be omitted.

図7は、実施例2の場合の溶液501の導入方法を説明するための図である。図7に示すとおり、実施例2では、ステップS11における各凹部107への溶液501の導入は、溶液供給機構500を用いて、凹部107Aおよび凹部107Bに対して同時に実行している。 FIG. 7 is a diagram for explaining a method of introducing the solution 501 in the case of Example 2. As shown in FIG. 7, in the second embodiment, the introduction of the solution 501 into each recess 107 in step S11 is simultaneously executed in the recess 107A and the recess 107B by using the solution supply mechanism 500.

この場合、まず溶液501の形状は、凹部107Aおよび凹部107Bに跨る形状になる。その後、溶液501を溶液供給機構500で吸引する。少なくとも独立電極104Aおよび104Bとメンブレン101Aおよび101Bが十分に親水性であり、メンブレン101Aおよび101B間に配置された隔壁106が疎水性の表面であるため、溶液501を吸引すると溶液501が二つに分裂し、凹部107Aおよび凹部107Bに溶液501が互いに接触しないように液溜まり状に残る。なお、溶液501を吸引する際は、例えば、溶液供給機構500に設けられたモータ等を吐出時とは逆に動作させる。 In this case, first, the shape of the solution 501 is a shape that straddles the recess 107A and the recess 107B. Then, the solution 501 is sucked by the solution supply mechanism 500. At least the independent electrodes 104A and 104B and the membranes 101A and 101B are sufficiently hydrophilic, and the partition wall 106 located between the membranes 101A and 101B is a hydrophobic surface, so that when the solution 501 is aspirated, the solution 501 becomes two. It splits and remains in the recesses 107A and 107B in the form of a pool so that the solutions 501 do not come into contact with each other. When sucking the solution 501, for example, a motor or the like provided in the solution supply mechanism 500 is operated in the reverse direction of the discharge.

上記の吐出動作および吸引動作によって、凹部107A内のメンブレン101Aの露出部分および独立電極104A、ならびに、凹部107B内のメンブレン101Bの露出部分および独立電極104Bは溶液501で満たされる。隣接した凹部107Aおよび凹部107B間は溶液501が互いに独立した並列の液溜まりを形成する。上記過程を凹部107Cおよび凹部107Dにも行い、アレイ全体に液溜まりを形成する。実施例2の溶液501の導入方法を適用すると、一括して溶液501を導入した区画(例えば、凹部107Aおよび凹部107B)では、同一試料かつ同一溶液の計測を同時に実行できるため、高い計測精度が得られるだけでなく、同時に溶液501を複数の区画に導入するため、溶液501の導入スループットが高い。 By the discharge operation and the suction operation, the exposed portion of the membrane 101A and the independent electrode 104A in the recess 107A and the exposed portion and the independent electrode 104B of the membrane 101B in the recess 107B are filled with the solution 501. The solution 501 forms a parallel liquid pool independent of each other between the adjacent recesses 107A and 107B. The above process is also performed on the recess 107C and the recess 107D to form a liquid pool in the entire array. When the method for introducing the solution 501 of Example 2 is applied, the same sample and the same solution can be measured at the same time in the compartments (for example, the recess 107A and the recess 107B) in which the solution 501 is introduced all at once, so that the measurement accuracy is high. Not only is it obtained, but the solution 501 is introduced into a plurality of compartments at the same time, so that the introduction throughput of the solution 501 is high.

<実施例3>
以下に、実施例1に係る分析デバイス10と比較して、メンブレン101が損傷しにくく不良率が低減するデバイス構造を説明する。図4に示されたように、実施例1に係る分析デバイス10は、四つの凹部(107A、107B、107C、107D)に対して、基板開口部108は一つであり、四つの凹部(107A、107B、107C、107D)はアレイ外周部の基板100のみによって支持されている。また、図6に示されているように、実施例1に係る分析デバイス10では、基板開口部108の口径は、おおよそ隔壁106の外周の口径とほぼ同一である。そのため、アレイ数が増えて基板開口部108の面積が大きくなると、メンブレン101の基板開口部108によって露出している部分は、その上に積層された絶縁層102および隔壁106の応力ならびに外部の異物との接触によって損傷しやすくなる。
<Example 3>
Hereinafter, a device structure in which the membrane 101 is less likely to be damaged and the defect rate is reduced as compared with the analytical device 10 according to the first embodiment will be described. As shown in FIG. 4, the analysis device 10 according to the first embodiment has four recesses (107A, 107B, 107C, 107D) and one substrate opening 108, and four recesses (107A). , 107B, 107C, 107D) are supported only by the substrate 100 on the outer periphery of the array. Further, as shown in FIG. 6, in the analysis device 10 according to the first embodiment, the diameter of the substrate opening 108 is substantially the same as the diameter of the outer periphery of the partition wall 106. Therefore, when the number of arrays increases and the area of the substrate opening 108 increases, the portion exposed by the substrate opening 108 of the membrane 101 becomes stressed by the insulating layer 102 and the partition wall 106 laminated on the substrate opening 108 and external foreign matter. It is easily damaged by contact with.

実施例3に係る生体試料分析装置は、分析デバイスの構造が実施例1に係る生体試料分析装置1とは異なる。それ以外は、実施例1に記載した構造および方法を適用し、実施例1と同一の工程や構造の説明は省略する。 The biological sample analyzer according to the third embodiment has a different structure of the analytical device from the biological sample analyzer 1 according to the first embodiment. Other than that, the structure and method described in Example 1 are applied, and the description of the same steps and structures as in Example 1 is omitted.

図8は、実施例アレイ数が256((8行、8列)のアレイが(2行、2列)で並んでいる)の場合の分析デバイス20の上面図である。図8には、基板100、メンブレン101、隔壁106および基板開口部108のレイアウトが描かれている。図8には、実施例3の分析デバイス20が基板開口部108を四つ有する例が描かれており、四つの基板開口部108のそれぞれは、(2行、2列)のレイアウトで配列している。四つの基板開口部108のそれぞれは、複数の区画(または凹部107)を内包する。 FIG. 8 is a top view of the analysis device 20 when the number of embodiments is 256 (arrays of (8 rows, 8 columns) are arranged in (2 rows, 2 columns)). FIG. 8 depicts the layout of the substrate 100, the membrane 101, the partition wall 106, and the substrate opening 108. FIG. 8 shows an example in which the analysis device 20 of the third embodiment has four substrate openings 108, and each of the four substrate openings 108 is arranged in a layout (2 rows, 2 columns). ing. Each of the four substrate openings 108 encloses a plurality of compartments (or recesses 107).

図9は、実施例3の分析デバイス20の一部の断面図である。図9において、メンブレンの露出部分101Aおよび101Bは同一の基板開口部108Aに内包され、メンブレンの露出部分101Cおよび101Dは同一の基板開口部108Bに内包される。図9に示されているとおり、基板開口部108Aと基板開口部108Bとの間には凸部があり、基板100の強度が保たれている。また、基板開口部108Aと基板開口部108Bとの間に支持部を設け、複数の共通液槽201Aおよび201Bを形成することもできる。 FIG. 9 is a cross-sectional view of a part of the analysis device 20 of the third embodiment. In FIG. 9, the exposed portions 101A and 101B of the membrane are encapsulated in the same substrate opening 108A, and the exposed portions 101C and 101D of the membrane are encapsulated in the same substrate opening 108B. As shown in FIG. 9, there is a convex portion between the substrate opening 108A and the substrate opening 108B, and the strength of the substrate 100 is maintained. Further, a support portion may be provided between the substrate opening 108A and the substrate opening 108B to form a plurality of common liquid tanks 201A and 201B.

図10は、基板開口部108Aと基板開口部108Bとが支持部Sで仕切られている様子を示す図である。支持部Sには、例えば、例えば、フォトリソグラフィで加工された熱圧着材を用いれば、共通液槽201Aおよび201Bの間を微細な構造物で仕切ることができ、デバイス面積を増大させることはない。ただし、共通液槽201Aおよび201Bの間を仕切る方法はこれに限らない。支持部Sによって仕切られた共通液槽201Aおよび201Bには、それぞれ異なる溶液および/または異なる生体試料を導入してもかまわない。そのようにすると、計測スループットを向上させることができる。 FIG. 10 is a diagram showing a state in which the substrate opening 108A and the substrate opening 108B are partitioned by the support portion S. For example, if a thermocompression bonding material processed by photolithography is used for the support portion S, the common liquid tanks 201A and 201B can be partitioned by a fine structure, and the device area is not increased. .. However, the method of partitioning between the common liquid tanks 201A and 201B is not limited to this. Different solutions and / or different biological samples may be introduced into the common liquid tanks 201A and 201B partitioned by the support portion S, respectively. By doing so, the measurement throughput can be improved.

<実施例4>
実施例1の生体試料分析装置1では、溶液供給機構500を用いて、溶液501および生体試料502を複数の凹部107へ導入した。実施例4に係る生体試料分析装置では、実施例1とは異なる方法で、溶液501および生体試料502を分析デバイスに導入する。実施例4では、溶液501の導入方法以外は、実施例1と同様であるため、同一の工程や構造についての説明は省略する。具体的には、図3に示されたフローチャートにおいて最初のステップS11およびS12の工程のみ実施例1と実施例4とで異なるため、実施例4におけるステップS11およびS12の工程についてのみ説明する。
<Example 4>
In the biological sample analyzer 1 of Example 1, the solution 501 and the biological sample 502 were introduced into a plurality of recesses 107 by using the solution supply mechanism 500. In the biological sample analyzer according to Example 4, the solution 501 and the biological sample 502 are introduced into the analytical device by a method different from that of Example 1. Since the fourth embodiment is the same as the first embodiment except for the method of introducing the solution 501, the description of the same steps and structures will be omitted. Specifically, in the flowchart shown in FIG. 3, only the steps of the first steps S11 and S12 are different between the first and fourth embodiments. Therefore, only the steps of steps S11 and S12 in the fourth embodiment will be described.

図11は、実施例4に係る分析デバイス30の断面図である。実施例4に係る分析デバイス30は、隔壁106の外周を覆う液槽サポート505を備える。実施例4の生体試料分析装置では、図3におけるステップS11において、上記溶液サポート505に溶液501および生体試料502を導入することで複数の凹部107のそれぞれに溶液501および生体試料502を導入する。 FIG. 11 is a cross-sectional view of the analysis device 30 according to the fourth embodiment. The analytical device 30 according to the fourth embodiment includes a liquid tank support 505 that covers the outer periphery of the partition wall 106. In the biological sample analyzer of Example 4, in step S11 in FIG. 3, the solution 501 and the biological sample 502 are introduced into the solution support 505 to introduce the solution 501 and the biological sample 502 into each of the plurality of recesses 107.

図11(a)は、液槽サポート505に溶液501が満たされた様子を示す図である。実施例4の生体試料分析装置の場合、図3のフローチャートにおけるステップS11において、液槽サポート505の開口部から溶液を導入し、メンブレンの露出部分(101A、101B、101C、101D)を底部にもつ凹部(107A、107B、107C、107D)に溶液を供給する。このステップS11では、メンブレンの露出部分(101A、101B、101C、101D)の間も溶液501で満たされている。 FIG. 11A is a diagram showing how the liquid tank support 505 is filled with the solution 501. In the case of the biological sample analyzer of Example 4, in step S11 in the flowchart of FIG. 3, the solution is introduced from the opening of the liquid tank support 505, and the exposed portions (101A, 101B, 101C, 101D) of the membrane are held at the bottom. The solution is supplied to the recesses (107A, 107B, 107C, 107D). In this step S11, the exposed portions (101A, 101B, 101C, 101D) of the membrane are also filled with the solution 501.

図11(b)は、液槽サポート505に絶縁性流体が導入された様子を示す図である。実施例4の生体試料分析装置の場合、ステップS12において、液槽サポート505の開口部から、絶縁性液体504を流しいれる。少なくとも独立電極(104A、104B、104C、104D)とメンブレンの露出部分(101A、101B、101C、101D)が十分に親水性であり、複数の凹部(107A、107B、107C、107D)のそれぞれの間に配置された隔壁106が疎水性の表面であるため、絶縁性液体504の流入により、溶液501が千切れ、複数の凹部(107A、107B、107C、107D)に互いに接触しない液溜まり(503A、503B、503C、503D)ができる。言い換えると、複数の凹部107のそれぞれに内包されるメンブレンの露出部分101のそれぞれと複数の独立電極104のそれぞれとの間は溶液501で満たされ、且つ隣接した凹部間(例えば、凹部107Aと凹部107Bとの間)は溶液が遮断される。上記の方法を用いれば、同時に溶液501を複数の凹部107に導入できるため、溶液501の導入スループットが高い。なお、絶縁性流体を導入した際に、液槽サポート505内の上方部を通過して排出口から絶縁性流体が溢れ出で凹部107に導入された溶液501がちぎれないことを防ぐために、液槽サポート505は十分に低い高さに設計する必要がある。 FIG. 11B is a diagram showing a state in which the insulating fluid is introduced into the liquid tank support 505. In the case of the biological sample analyzer of Example 4, in step S12, the insulating liquid 504 is poured from the opening of the liquid tank support 505. At least the independent electrodes (104A, 104B, 104C, 104D) and the exposed parts of the membrane (101A, 101B, 101C, 101D) are sufficiently hydrophilic and between each of the plurality of recesses (107A, 107B, 107C, 107D). Since the partition wall 106 arranged in is a hydrophobic surface, the solution 501 is torn by the inflow of the insulating liquid 504, and a liquid pool (503A, 503A, which does not contact each other in a plurality of recesses (107A, 107B, 107C, 107D)). 503B, 503C, 503D) can be done. In other words, each of the exposed portions 101 of the membrane contained in each of the plurality of recesses 107 and each of the plurality of independent electrodes 104 are filled with the solution 501, and between adjacent recesses (for example, the recess 107A and the recess). The solution is blocked (between 107B). By using the above method, the solution 501 can be introduced into a plurality of recesses 107 at the same time, so that the introduction throughput of the solution 501 is high. When the insulating fluid is introduced, the liquid 501 is prevented from being torn off due to the insulating fluid overflowing from the discharge port through the upper part in the liquid tank support 505 and being introduced into the recess 107. The tank support 505 needs to be designed at a sufficiently low height.

図12は、溶液サポートの別の例を示す図である。図12に示されているように、液槽サポート505は、アレイ(複数の凹部107)の区画を分ける仕切りが設けられてもよい。液槽サポート505の仕切りには、例えば、フォトリソグラフィで加工された熱圧着材を用いる。そのようにすると、微細な構造物で液槽サポート505を仕切ることができ、分析デバイスの面積を増大させることがない。なお、液槽サポート505を仕切る方法はこれに限らない。上記仕切りを有する液槽サポート505では、仕切られた複数の液槽サポート505のそれぞれに、異なる溶液および/または異なる生体試料を導入してもよい。なお、図11および図12で示した分析デバイスでは、溶液供給機構500が不要となり、装置を低コスト化できる。 FIG. 12 is a diagram showing another example of solution support. As shown in FIG. 12, the liquid tank support 505 may be provided with a partition that separates the compartments of the array (plurality of recesses 107). For the partition of the liquid tank support 505, for example, a thermocompression bonding material processed by photolithography is used. By doing so, the liquid tank support 505 can be partitioned by a fine structure, and the area of the analytical device is not increased. The method of partitioning the liquid tank support 505 is not limited to this. In the liquid tank support 505 having the partition, different solutions and / or different biological samples may be introduced into each of the plurality of partitioned liquid tank supports 505. The analytical devices shown in FIGS. 11 and 12 do not require the solution supply mechanism 500, and the cost of the device can be reduced.

上記のとおり、本開示の生体試料分析装置は、ソリッド式のナノポアシーケンサのアレイ化において、流路をなくし、液槽および電極(独立電極および共通電極)等を単一の分析デバイスの中に集積化および並列化することができる。それ故、本開示の生体試料分析装置は、例えば、装置をコンパクトにできるだけでなく、計測スループットを向上させることができる。 As described above, the biological sample analyzer of the present disclosure eliminates the flow path in the array of the solid nanopore sequencer, and integrates the liquid tank, electrodes (independent electrode and common electrode), etc. in a single analytical device. Can be parallelized and parallelized. Therefore, the biological sample analyzer of the present disclosure can not only make the device compact, but also improve the measurement throughput, for example.

なお、本開示は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本開示を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。 The present disclosure is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications. For example, the above-described embodiment has been described in detail in order to explain the present disclosure in an easy-to-understand manner, and is not necessarily limited to the one including all the configurations described. Further, it is possible to replace a part of the configuration of one embodiment with the configuration of another embodiment, and it is also possible to add the configuration of another embodiment to the configuration of one embodiment. Further, it is possible to add / delete / replace a part of the configuration of each embodiment with another configuration.

100:基板
101(101A、101B、101C、101D):メンブレン
102:絶縁層
103(103A、103B、103C、103D):配線
104(104A、104B、104C、104D):独立電極
105(105A、105B、105C、105D):I/Oパッド
106:隔壁
107(107A、107B、107C、107D):凹部
108、108A、108B:基板開口部
200:第2の電極
201、201A、201B:共通液槽
300:制御回路部
400:電源および制御・検出データ取得ユニット
500:溶液供給機構
501:溶液
502:生体試料
503(503A、503B、503C、503D):液溜まり
504:絶縁性流体
505:液槽サポート
100: Substrate 101 (101A, 101B, 101C, 101D): Membrane 102: Insulation layer 103 (103A, 103B, 103C, 103D): Wiring 104 (104A, 104B, 104C, 104D): Independent electrode 105 (105A, 105B, 105C, 105D): I / O pad 106: partition wall 107 (107A, 107B, 107C, 107D): recess 108, 108A, 108B: substrate opening 200: second electrode 201, 201A, 201B: common solution tank 300: Control circuit unit 400: Power supply and control / detection data acquisition unit 500: Solution supply mechanism 501: Solution 502: Biological sample 503 (503A, 503B, 503C, 503D): Liquid pool 504: Insulating fluid 505: Liquid tank support

Claims (15)

メンブレンと、
前記メンブレンが露出するように複数の開口部が設けられ、前記メンブレンの一方の面上に積層された第1の層と、
前記第1の層の前記複数の開口部のそれぞれと対応付けられて設けられた複数の独立電極を有し、前記第1の層に積層された第2の層と、
前記メンブレンの他方の面上に積層され、前記メンブレンの前記一方の面のうち前記第1の層が有する前記複数の開口部によって露出した領域の反対側の面が露出するように単一の開口部が設けられた第3の層と、
前記独立電極とは前記メンブレンを挟んで反対側に設けられる共通電極であって、前記第1の層の前記開口部によって形成された複数の凹部、および、前記第3の層の前記単一の開口部で形成された凹部、のそれぞれに導電性の液体が導入された状態において前記複数の独立電極との間で電位差を生じる共通電極と、
前記第1の層の前記開口部によって形成された前記複数の凹部に前記導電性の液体を導入する溶液供給機構と、
を備え、
前記メンブレンのうち、前記第1の層の前記複数の開口部によって露出している部分は互いに絶縁されており
前記溶液供給機構は、前記複数の凹部の少なくとも二つを跨る量の前記導電性の液体を導入し、前記導電性の液体を吸引して、前記複数の凹部に導入された前記導電性の液体が互いに接触しないようにする、
生体試料分析装置。
Membrane and
A first layer, in which a plurality of openings are provided so that the membrane is exposed and laminated on one surface of the membrane,
A second layer having a plurality of independent electrodes provided in association with each of the plurality of openings of the first layer and laminated on the first layer.
A single opening laminated on the other surface of the membrane so that the opposite surface of the region exposed by the plurality of openings of the first layer of the one surface of the membrane is exposed. The third layer with the parts and
The independent electrode is a common electrode provided on the opposite side of the membrane, and has a plurality of recesses formed by the openings of the first layer and the single electrode of the third layer. A common electrode that causes a potential difference between the plurality of independent electrodes in a state where a conductive liquid is introduced into each of the recesses formed at the openings, and a common electrode.
A solution supply mechanism for introducing the conductive liquid into the plurality of recesses formed by the openings of the first layer, and
With
Among the membrane, portions exposed by the plurality of openings of the first layer are insulated from each other,
The solution supply mechanism introduces the conductive liquid in an amount that straddles at least two of the plurality of recesses, sucks the conductive liquid, and introduces the conductive liquid into the plurality of recesses. Do not touch each other,
Biological sample analyzer.
請求項1に記載の生体試料分析装置であって、
前記第1の層の前記メンブレンと接していない側の面は、前記複数の開口部の一つと前記複数の開口部の一つに対応付けられた前記複数の独立電極の一つのペアを囲む疎水性の領域を有する、
生体試料分析装置。
The biological sample analyzer according to claim 1.
The surface of the first layer that is not in contact with the membrane is hydrophobic surrounding one pair of the plurality of independent electrodes associated with one of the plurality of openings and one of the plurality of openings. Has a sex area,
Biological sample analyzer.
請求項1に記載の生体試料分析装置であって、
前記第2の層は、前記第1の層が有する前記複数の開口部の一つと前記複数の開口部の一つに対応付けられた前記複数の独立電極の一つのペアと、前記複数の開口部の別の一つと前記複数の開口部の別の一つに対応付けられた前記複数の独立電極の別の一つのペアと、を互いに隔離する絶縁性の隔壁をさらに有する、
生体試料分析装置。
The biological sample analyzer according to claim 1.
The second layer includes one pair of the plurality of openings included in the first layer, one pair of the plurality of independent electrodes associated with one of the plurality of openings, and the plurality of openings. Further having an insulating partition that separates another one of the portions and another pair of the plurality of independent electrodes associated with the other one of the plurality of openings from each other.
Biological sample analyzer.
請求項3に記載の生体試料分析装置において、
前記隔壁の上面は疎水性である、
生体試料分析装置。
In the biological sample analyzer according to claim 3,
The upper surface of the partition wall is hydrophobic,
Biological sample analyzer.
請求項4に記載の生体試料分析装置において、
前記隔壁の側面は疎水性である、
生体試料分析装置。
In the biological sample analyzer according to claim 4,
The sides of the partition are hydrophobic,
Biological sample analyzer.
請求項1に記載の生体試料分析装置において、
前記独立電極のそれぞれは、配線によってI/Oパッドと接続されている、
生体試料分析装置。
In the biological sample analyzer according to claim 1,
Each of the independent electrodes is connected to the I / O pad by wiring.
Biological sample analyzer.
請求項3に記載の生体試料分析装置において、
前記複数の凹部は、前記第2の層が有する前記隔壁および前記第1の層が有する前記開口部で形成されている
生体試料分析装置。
In the biological sample analyzer according to claim 3,
Wherein the plurality of recesses are formed in the opening where the barrier ribs and the first layer and the second layer has has,
Biological sample analyzer.
請求項1に記載の生体試料分析装置において、
前記第3の層は前記開口部を複数備え、前記開口部によって前記メンブレンが露出している領域の反対側の面に前記第1の層が有する前記複数の開口部によって露出した領域が含まれる、
生体試料分析装置。
In the biological sample analyzer according to claim 1,
The third layer includes a plurality of the openings, and the surface opposite to the region where the membrane is exposed by the openings includes a region exposed by the plurality of openings of the first layer. ,
Biological sample analyzer.
請求項3に記載の生体試料分析装置において、
前記隔壁は前記複数の独立電極よりも高さが高い、
生体試料分析装置。
In the biological sample analyzer according to claim 3,
The partition wall is taller than the plurality of independent electrodes.
Biological sample analyzer.
試料がナノポアを通過する際の電流の変化を同時に複数観測する生体試料分析方法であって、
前記ナノポアが形成されるメンブレンに積層された第1の層に設けられた複数の開口部と前記メンブレンの表面とによって形成される複数の凹部に対して、互いに接触しないように液滴状に溶液を導入するステップと、
前記メンブレンを支持する基板に設けられた開口部に溶液を導入するステップと、
前記メンブレンを挟んで設けられた複数の独立電極と単一の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記開口部によって露出した前記メンブレンの複数の部分領域にナノポアを形成するステップと、
前記複数の凹部に導入された前記溶液と前記基板に設けられた前記開口部に導入された前記溶液との何れか一方に含まれる生体試料が前記ナノポアを通過する際の前記ナノポアを流れる電流値を計測するステップと、
を含み、
前記複数の凹部に対して溶液を導入するステップにおいて、吐出口を有する溶液供給機構によって前記複数の凹部の少なくとも二つを跨る量の前記溶液を導入し、その後前記溶液を吸引して、前記複数の凹部に導入された前記溶液が互いに接触しないようにする、
生体試料分析方法。
This is a biological sample analysis method that simultaneously observes multiple changes in current as a sample passes through a nanopore.
A solution in the form of droplets so as not to contact each other with respect to the plurality of openings provided in the first layer laminated on the membrane on which the nanopores are formed and the plurality of recesses formed by the surface of the membrane. And the steps to introduce
The step of introducing the solution into the opening provided in the substrate supporting the membrane, and
A step of forming nanopores in a plurality of partial regions of the membrane exposed by the opening by applying a voltage between a plurality of independent electrodes provided across the membrane and a single common electrode.
The value of the current flowing through the nanopore when the biological sample contained in either one of the solution introduced into the plurality of recesses and the solution introduced into the opening provided in the substrate passes through the nanopore. Steps to measure and
Only including,
In the step of introducing the solution into the plurality of recesses, the solution is introduced in an amount straddling at least two of the plurality of recesses by a solution supply mechanism having a discharge port, and then the solution is sucked to the plurality of recesses. Prevent the solutions introduced into the recesses from coming into contact with each other.
Biological sample analysis method.
請求項10に記載の生体試料分析方法であって、
前記複数の凹部に対して溶液を導入するステップにおいて、前記複数の凹部の一つと前記複数の凹部の別の一つとで、導入する前記溶液が異なる、
生体試料分析方法。
The biological sample analysis method according to claim 10.
In the step of introducing a solution into the plurality of recesses, the solution to be introduced differs between one of the plurality of recesses and another of the plurality of recesses.
Biological sample analysis method.
請求項10に記載の生体試料分析方法であって、
前記複数の凹部に対して溶液を導入するステップの後に、前記複数の独立電極のうち隣り合う二つの独立電極間に電圧を印加して、前記隣り合う二つの独立電極間に流れる電流の電流値を測定するステップと、
測定した前記電流値が所定の値以上である場合に前記隣り合う二つの独立電極で計測する区画を不良区画と判定するステップと、
をさらに含む生体試料分析方法。
The biological sample analysis method according to claim 10.
After the step of introducing the solution into the plurality of recesses, a voltage is applied between two adjacent independent electrodes among the plurality of independent electrodes, and the current value of the current flowing between the two adjacent independent electrodes. And the steps to measure
A step of determining a section to be measured by the two adjacent independent electrodes when the measured current value is equal to or higher than a predetermined value, and a step of determining a defective section.
A biological sample analysis method further comprising.
請求項10に記載の生体試料分析方法であって、
前記基板に設けられた開口部に溶液を導入するステップの後であって、且つ、前記ナノポアを形成するステップの前に実行されるステップとして、
前記独立電極と前記共通電極との間に前記ナノポアを形成する際の電圧よりも小さい電圧を印加し、前記独立電極と前記共通電極との間に流れる電流の電流値を計測するステップと、
前記電流値が所定の値以上である場合に前記電流値を計測した区画を不良区画と判定するステップと、
をさらに含む生体試料分析方法。
The biological sample analysis method according to claim 10.
As a step performed after the step of introducing the solution into the opening provided in the substrate and before the step of forming the nanopores.
A step of applying a voltage smaller than the voltage at which the nanopore is formed between the independent electrode and the common electrode and measuring the current value of the current flowing between the independent electrode and the common electrode.
A step of determining a section in which the current value is measured as a defective section when the current value is equal to or higher than a predetermined value, and
A biological sample analysis method further comprising.
請求項10に記載の生体試料分析方法であって、
前記ナノポアを形成するステップの後に実行されるステップとして、
電圧を印加し、前記独立電極と前記共通電極との間に流れる電流の電流値を計測するステップと、
前記電流値が所定の値より小さい場合に前記電流値を計測した区画を不良区画と判定するステップと、
をさらに含む生体試料分析方法。
The biological sample analysis method according to claim 10.
As a step performed after the step of forming the nanopore,
A step of applying a voltage and measuring the current value of the current flowing between the independent electrode and the common electrode, and
A step of determining a section in which the current value is measured as a defective section when the current value is smaller than a predetermined value, and
A biological sample analysis method further comprising.
請求項14に記載の生体試料分析方法であって、
前記ナノポアを流れる電流値を計測するステップにおいて、前記不良区画ではない区画の前記ナノポアを前記生体試料が通過する際の前記ナノポアを流れる電流値を計測する、
生体試料分析方法。
The biological sample analysis method according to claim 14.
In the step of measuring the current value flowing through the nanopore, the current value flowing through the nanopore when the biological sample passes through the nanopore in a section other than the defective section is measured.
Biological sample analysis method.
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