JP6951640B2 - Vacuum exhaust system, vacuum pump and vacuum valve - Google Patents

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Description

本発明は、真空排気装置、真空ポンプおよび真空バルブに関する。 The present invention relates to a vacuum exhaust device, a vacuum pump and a vacuum valve.

真空機器の真空チャンバにターボ分子ポンプなどの真空ポンプを装着する場合には、一般的に真空ポンプの直上に真空バルブを接続して使用することが多い（例えば、特許文献１参照）。真空バルブの接続フランジには、真空チャンバに接続される吸気側も真空ポンプに接続される排気側も、同一口径のフランジが用いられるのが一般的である。 When a vacuum pump such as a turbo molecular pump is mounted in a vacuum chamber of a vacuum device, it is generally used by connecting a vacuum valve directly above the vacuum pump (see, for example, Patent Document 1). As the connection flange of the vacuum valve, a flange having the same diameter is generally used for both the intake side connected to the vacuum chamber and the exhaust side connected to the vacuum pump.

ところで、真空ポンプの吸気口フランジに真空バルブを接続した構成の真空排気装置では、実効排気速度は、真空ポンプの排気速度と真空バルブのコンダクタンスとで決定される。この場合の実効排気速度は、バルブ開度が小さい領域では真空バルブのコンダクタンスの寄与が支配的になり、バルブ開度が大きい領域では真空ポンプの排気速度の寄与が支配的になる。そのため、バルブ開度の大きな領域における実効排気速度をより大きくするためには、同一口径であっても排気速度のより大きな真空ポンプを搭載するのが好ましい。 By the way, in the vacuum exhaust device having a configuration in which the vacuum valve is connected to the intake port flange of the vacuum pump, the effective exhaust speed is determined by the exhaust speed of the vacuum pump and the conductance of the vacuum valve. In this case, the effective exhaust speed is dominated by the contribution of the conductance of the vacuum valve in the region where the valve opening is small, and is dominated by the contribution of the exhaust speed of the vacuum pump in the region where the valve opening is large. Therefore, in order to increase the effective exhaust speed in the region where the valve opening degree is large, it is preferable to mount a vacuum pump having a larger exhaust speed even if the diameter is the same.

特許文献１に記載の基板処理装置では、ＡＰＣバルブの排気側に接続される真空ポンプには、外筒の径を吸気口フランジ付近で絞った構成のターボ分子ポンプが用いられている。一般に、外筒の径を吸気口フランジ付近で絞った構成のターボ分子ポンプは、回転翼外径が外筒の径を絞らないターボ分子ポンプの場合よりも大きく設定されており、その分だけ排気速度が大きい。すなわち、外筒の径を吸気口フランジ付近で絞ったターボ分子ポンプを使用することで、真空排気装置の実効排気速度の向上を図ることができる。 In the substrate processing apparatus described in Patent Document 1, a turbo molecular pump having a configuration in which the diameter of the outer cylinder is narrowed in the vicinity of the intake port flange is used as the vacuum pump connected to the exhaust side of the APC valve. In general, a turbo molecular pump having a configuration in which the diameter of the outer cylinder is narrowed near the intake port flange is set so that the outer diameter of the rotary blade is larger than that of a turbo molecular pump in which the diameter of the outer cylinder is not narrowed. The speed is high. That is, by using a turbo molecular pump in which the diameter of the outer cylinder is narrowed in the vicinity of the intake port flange, the effective exhaust speed of the vacuum exhaust device can be improved.

特開２００８−９８５１４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-98514

しかしながら、外筒の径を絞った構成のターボ分子ポンプは、同一口径で外筒の径を絞らないターボ分子ポンプと比べてポンプ軸方向寸法が大きい。そのため、真空排気装置が大型化するという問題があった。 However, the turbo molecular pump having a structure in which the diameter of the outer cylinder is narrowed has a larger pump axial dimension than the turbo molecular pump having the same diameter but not narrowing the diameter of the outer cylinder. Therefore, there is a problem that the vacuum exhaust device becomes large.

本発明の好ましい態様による真空バルブは、バルブボディに設けられたバルブ吸気口フランジと、前記バルブボディに設けられ、前記バルブ吸気口フランジよりも開口径の大きなバルブ排気口フランジと、前記バルブボディ内に設けられ、前記バルブ吸気口フランジの開口径に応じたバルブプレートと、前記バルブプレートを、前記バルブ吸気口フランジの中心軸上に配置される閉位置と前記中心軸上から退避した開位置との間でスライド駆動するバルブ駆動部と、前記バルブ排気口フランジの開口を含み流路断面積が変化するガス流路領域とを有し、前記ガス流路領域は、上流側領域端の流路断面積が前記バルブ吸気口フランジの開口断面積に設定され、前記バルブ排気口フランジの開口に近づくほど流路断面積が増加している。
さらに好ましい態様では、前記バルブ吸気口フランジの開口と前記バルブ排気口フランジの開口とが同軸に形成されている。
さらに好ましい態様では、前記バルブボディは、前記バルブ吸気口フランジおよび前記バルブ排気口フランジが設けられた第１ボディ部と、前記開位置における前記バルブプレートの退避領域が設けられた第２ボディ部とを有し、前記第１ボディ部において前記第２ボディ部と反対側に位置する側壁は、前記バルブ吸気口フランジの中心軸から前記側壁までの距離が、前記バルブ吸気口フランジのフランジ外径の１／２以上かつ前記バルブ排気口フランジのフランジ外径の１／２以下の範囲内の所定値に設定されている。
本発明の好ましい態様による真空排気装置は、上記態様の真空バルブと、ポンプ吸気口フランジが前記バルブ排気口フランジにボルト固定される真空ポンプと、を備える。
さらに好ましい態様では、前記ポンプ吸気口フランジを前記バルブ排気口フランジにボルト固定する複数のボルトは、前記ポンプ吸気口フランジの全周の内の所定角度領域に偏在して配置され、前記ポンプ吸気口フランジおよび前記バルブ排気口フランジは、フランジ中心軸からフランジ外径側端部までの距離が、前記所定角度領域以外の角度領域では前記所定角度領域よりも小さく設定されている。
さらに好ましい態様では、前記バルブ駆動部は、前記ポンプ吸気口フランジおよび前記バルブ排気口フランジにおける前記所定角度領域のフランジ側壁に近接するように前記バルブボディに固定されている。
さらに好ましい態様では、前記バルブ排気口フランジに係合する第１係合部と前記ポンプ吸気口フランジに係合する第２係合部とを有し、前記ポンプ吸気口フランジの周方向の移動を抑制する係合部材を備える。
さらに好ましい態様では、前記ポンプ吸気口フランジは、前記バルブ排気口フランジと係合して前記ポンプ吸気口フランジの周方向の移動を抑制する係合部を備える。
さらに好ましい態様では、前記バルブ排気口フランジと嵌合して前記ポンプ吸気口フランジの径方向の変形を抑制する嵌合部を前記ポンプ吸気口フランジに備えている。
さらに好ましい態様では、前記嵌合部は、前記ポンプ吸気口フランジの全周の内の前記所定角度領域を除く領域に設けられている。
本発明の好ましい態様による真空ポンプは、上記態様に記載の真空排気装置に用いられる真空ポンプである。
本発明の好ましい態様による真空バルブは、上記態様に記載の真空排気装置に用いられる真空バルブである。 The vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention includes a valve intake flange provided on the valve body, a valve exhaust flange provided on the valve body and having a larger opening diameter than the valve intake flange, and the inside of the valve body. A valve plate corresponding to the opening diameter of the valve intake flange, a closed position where the valve plate is arranged on the central axis of the valve intake flange, and an open position where the valve plate is retracted from the central axis. It has a valve drive unit that slides between the valves and a gas flow path region that includes an opening of the valve exhaust port flange and whose flow path cross-sectional area changes. The cross-sectional area is set to the opening cross-sectional area of the valve intake port flange, and the flow path cross-sectional area increases as it approaches the opening of the valve exhaust port flange.
In a more preferred embodiment, the opening of the valve intake flange and the opening of the valve exhaust flange are coaxially formed.
In a more preferred embodiment, the valve body includes a first body portion provided with the valve intake flange and the valve exhaust flange, and a second body portion provided with a retracted region of the valve plate at the open position. In the side wall located on the opposite side of the first body portion from the second body portion, the distance from the central axis of the valve intake port flange to the side wall is the outer diameter of the flange of the valve intake port flange. It is set to a predetermined value within the range of 1/2 or more and 1/2 or less of the flange outer diameter of the valve exhaust port flange.
The vacuum exhaust device according to the preferred embodiment of the present invention includes the vacuum valve of the above aspect and a vacuum pump in which the pump intake port flange is bolted to the valve exhaust port flange.
In a more preferred embodiment, the plurality of bolts for bolting the pump intake port flange to the valve exhaust port flange are arranged unevenly in a predetermined angle region within the entire circumference of the pump intake port flange, and the pump intake port flange is arranged unevenly. In the flange and the valve exhaust port flange, the distance from the flange central axis to the flange outer diameter side end is set to be smaller than the predetermined angle region in an angle region other than the predetermined angle region.
In a more preferred embodiment, the valve drive unit is fixed to the valve body so as to be close to the flange side wall of the predetermined angle region in the pump intake port flange and the valve exhaust port flange.
In a more preferred embodiment, the valve exhaust port flange has a first engaging portion that engages with the valve exhaust port flange and a second engaging portion that engages with the pump intake port flange, so that the pump intake port flange can be moved in the circumferential direction. It is provided with an engaging member that suppresses it.
In a more preferred embodiment, the pump intake flange includes an engaging portion that engages with the valve exhaust flange to prevent the pump intake flange from moving in the circumferential direction.
In a more preferred embodiment, the pump intake flange is provided with a fitting portion that fits with the valve exhaust flange and suppresses radial deformation of the pump intake flange.
In a more preferred embodiment, the fitting portion is provided in a region of the entire circumference of the pump intake port flange excluding the predetermined angle region.
The vacuum pump according to the preferred embodiment of the present invention is the vacuum pump used in the vacuum exhaust device according to the above aspect.
The vacuum valve according to the preferred embodiment of the present invention is the vacuum valve used in the vacuum exhaust device according to the above aspect.

本発明によれば、真空排気装置の大型化を抑制しつつ実効排気速度の向上を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the effective exhaust speed while suppressing the increase in size of the vacuum exhaust device.

図１は、真空排気装置の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a vacuum exhaust device. 図２は、真空バルブの吸気側を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the intake side of the vacuum valve. 図３は、真空バルブの排気側を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing the exhaust side of the vacuum valve. 図４は、真空ポンプの吸気口フランジを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an intake flange of a vacuum pump. 図５は、係合部材の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of the engaging member. 図６は、第２の実施形態における真空ポンプの吸気口フランジを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an intake flange of the vacuum pump according to the second embodiment. 図７は、第２の実施形態における真空バルブの排気側を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing the exhaust side of the vacuum valve in the second embodiment. 図８は、係合部材の装着状態を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a mounted state of the engaging member. 図９は、第２の実施形態の変形例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a modified example of the second embodiment. 図１０は、第３の実施形態における真空ポンプの吸気口フランジを示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an intake flange of the vacuum pump according to the third embodiment. 図１１は、第３実施の形態における真空ポンプと真空バルブの接続形態を説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a connection mode of the vacuum pump and the vacuum valve according to the third embodiment. 図１２は、吸気側および排気側の開口径が同一の場合の真空バルブの一例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing an example of a vacuum valve when the opening diameters on the intake side and the exhaust side are the same. 図１３は、真空排気装置の比較例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a comparative example of the vacuum exhaust device. 図１４は、第４の実施の形態における真空バルブの構成を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a configuration of a vacuum valve according to a fourth embodiment. 図１５は、図１４（ａ）のＨ２矢視図である。FIG. 15 is a view taken along the line H2 of FIG. 14 (a). 図１６は、第５の実施の形態を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a fifth embodiment.

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は、真空排気装置１００の概略構成を示す図である。真空排気装置１００は、真空ポンプ１と真空バルブ２とから成る。真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０は、真空バルブ２の排気口フランジ２０２にボルト固定されている。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
− First Embodiment −
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a vacuum exhaust device 100. The vacuum exhaust device 100 includes a vacuum pump 1 and a vacuum valve 2. The intake port flange 130 of the vacuum pump 1 is bolted to the exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2.

図１に示す真空ポンプ１は磁気軸受式のターボ分子ポンプであり、ロータ１０が取り付けられたシャフト１１は、ポンプベース１４に設けられた磁気軸受５１Ａ，５１Ｂ，５２によって非接触支持されている。シャフト１１の浮上位置は、ポンプベース１４に設けられたラジアル変位センサ７１Ａ，７１Ｂおよびアキシャル変位センサ７２によって検出される。なお、磁気軸受が作動していない状態では、シャフト１１はメカニカルベアリング３７，３８によって支持される。 The vacuum pump 1 shown in FIG. 1 is a magnetic bearing type turbo molecular pump, and the shaft 11 to which the rotor 10 is attached is non-contact supported by magnetic bearings 51A, 51B, 52 provided on the pump base 14. The floating position of the shaft 11 is detected by the radial displacement sensors 71A and 71B and the axial displacement sensor 72 provided on the pump base 14. When the magnetic bearing is not operating, the shaft 11 is supported by the mechanical bearings 37 and 38.

シャフト１１の下端には円形のロータディスク４１が設けられており、このロータディスク４１を上下に挟むように隙間を介して磁気軸受５２の電磁石が設けられている。磁気軸受５２によりロータディスク４１を吸引することで、シャフト１１がアキシャル方向に浮上する。ロータディスク４１はナット部材４２によりシャフト１１の下端部に固定されている。 A circular rotor disk 41 is provided at the lower end of the shaft 11, and an electromagnet of the magnetic bearing 52 is provided through a gap so as to sandwich the rotor disk 41 up and down. By attracting the rotor disk 41 by the magnetic bearing 52, the shaft 11 floats in the axial direction. The rotor disk 41 is fixed to the lower end of the shaft 11 by a nut member 42.

ロータ１０には、回転軸方向に複数段の回転翼１８が形成されている。上下に並んだ回転翼１８の間には固定翼１９がそれぞれ配設されている。これらの回転翼１８と固定翼１９とにより、真空ポンプ１のタービン翼段が構成される。各固定翼１９は、スペーサ１２によって上下に挟持されるように保持されている。スペーサ１２は、固定翼１９を保持する機能とともに、固定翼１９間のギャップを所定間隔に維持する機能を有している。 The rotor 10 is formed with a plurality of stages of rotary blades 18 in the direction of the rotation axis. Fixed blades 19 are arranged between the rotary blades 18 arranged one above the other. The rotary blade 18 and the fixed blade 19 form a turbine blade stage of the vacuum pump 1. Each fixed wing 19 is held so as to be vertically sandwiched by the spacer 12. The spacer 12 has a function of holding the fixed wing 19 and a function of maintaining a gap between the fixed wing 19 at a predetermined interval.

固定翼１９の後段（図示下方）にはドラッグポンプ段を構成するネジステータ１５が設けられており、ネジステータ１５の内周面とロータ１０の円筒部１６との間にはギャップが形成されている。ロータ１０と、スペーサ１２によって保持された固定翼１９とは、吸気口フランジ１３０が形成された外筒１３内に納められている。ロータ１０が取り付けられたシャフト１１を磁気軸受５１Ａ，５１Ｂ，５２により非接触支持しつつモータ１７により回転駆動すると、吸気口フランジ１３０側のガスは背圧側に排気され、背圧側に排気されたガスは排気口３６に接続された補助ポンプ（不図示）により排出される。 A screw stator 15 forming a drag pump stage is provided in the rear stage (lower part of the drawing) of the fixed wing 19, and a gap is formed between the inner peripheral surface of the screw stator 15 and the cylindrical portion 16 of the rotor 10. The rotor 10 and the fixed wing 19 held by the spacer 12 are housed in the outer cylinder 13 in which the intake port flange 130 is formed. When the shaft 11 to which the rotor 10 is attached is rotationally driven by the motor 17 while being non-contactly supported by the magnetic bearings 51A, 51B, 52, the gas on the intake port flange 130 side is exhausted to the back pressure side, and the gas exhausted to the back pressure side. Is discharged by an auxiliary pump (not shown) connected to the exhaust port 36.

真空バルブ２は、バルブボディ２０と、バルブボディ２０内に設けられたバルブプレート２１と、バルブプレート２１を駆動するモータ（不図示）と、モータを収納するモータケーシング２２とを備えている。バルブプレート２１はモータにより矢印Ｒ方向にスライド駆動され、それによりバルブ開度を変えることができる。バルブボディ２０は、吸気口フランジ２０１と排気口フランジ２０２が設けられた第１バルブボディ２０Ａと、スライド駆動されるバルブプレート２１の退避領域が設けられた第２バルブボディ２０Ｂとから成る。図１の符号ＦＲで示す領域は、排気口フランジ２０２の開口を含み流路断面積が変化するガス流路領域である。このガス流路領域ＦＲの壁面は、テーパ面２０３となっている。 The vacuum valve 2 includes a valve body 20, a valve plate 21 provided in the valve body 20, a motor (not shown) for driving the valve plate 21, and a motor casing 22 for accommodating the motor. The valve plate 21 is slidably driven in the direction of arrow R by a motor, whereby the valve opening degree can be changed. The valve body 20 includes a first valve body 20A provided with an intake port flange 201 and an exhaust port flange 202, and a second valve body 20B provided with a retracted region of a slide-driven valve plate 21. The region indicated by reference numeral FR in FIG. 1 is a gas flow path region in which the cross-sectional area of the flow path changes, including the opening of the exhaust port flange 202. The wall surface of the gas flow path region FR is a tapered surface 203.

図２，３は真空バルブ２の外観図である。図２は、吸気口フランジ２０１が設けられた吸気側を示す平面図である。図３は、排気口フランジ２０２が設けられた排気側を示す平面図である。なお、図１に示すように、本実施の形態では、排気口フランジ２０２の開口径（内径）は吸気口フランジ２０１よりも大きな開口径（内径）に設定され、さらに、吸気口フランジ２０１の開口と排気口フランジ２０２の開口とは同軸に形成されている。 2 and 3 are external views of the vacuum valve 2. FIG. 2 is a plan view showing the intake side provided with the intake port flange 201. FIG. 3 is a plan view showing the exhaust side provided with the exhaust port flange 202. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the opening diameter (inner diameter) of the exhaust port flange 202 is set to a larger opening diameter (inner diameter) than that of the intake port flange 201, and further, the opening of the intake port flange 201. And the opening of the exhaust port flange 202 are formed coaxially.

例えば、吸気口フランジ２０１をＪＩＳ規格（Ｂ２２９０）で呼び径２５０とした場合、排気口フランジ２０２をより大きな呼び径のフランジ（例えば呼び径３００）に設定される。なお、呼び径２５０のフランジは、溝形の場合にはＶＧ２５０、平面座形の場合にはＶＦ２５０とも称される。以下の説明では呼び径２５０のフランジを、記号ＶＧを用いてＶＧ２５０フランジまたはＶＧ２５０相当フランジと呼ぶことにする。また、ＪＩＳ規格（Ｂ２２９０）の他にＩＳＯ規格（１６０９）の真空フランジも使用されるが、その場合も、本実施の形態の場合には排気口フランジ２０２の呼び径は吸気口フランジ２０１の呼び径よりも大きなものが用いられる。 For example, when the intake port flange 201 has a nominal diameter of 250 according to JIS standard (B2290), the exhaust port flange 202 is set to a flange having a larger nominal diameter (for example, a nominal diameter of 300). The flange having a nominal diameter of 250 is also referred to as VG250 in the case of a groove type and VF250 in the case of a flat seat type. In the following description, a flange having a nominal diameter of 250 will be referred to as a VG250 flange or a VG250 equivalent flange using the symbol VG. Further, in addition to the JIS standard (B2290), an ISO standard (1609) vacuum flange is also used. In this case as well, in the case of this embodiment, the nominal diameter of the exhaust port flange 202 is the nominal diameter of the intake port flange 201. The one larger than the diameter is used.

図２において、ＩＤ１およびＯＤ１は吸気口フランジ２０１の内径（開口径）および外径であり、ＰＣＤ１は、ボルトピッチ径（Pitch Circle Diameter）である。吸気口フランジ２０１がＶＧ２５０である場合、吸気口フランジ２０１を真空チャンバ側のフランジに固定する際には、Ｍ１２のボルトを１２本使用する。 In FIG. 2, ID1 and OD1 are the inner diameter (opening diameter) and the outer diameter of the intake port flange 201, and PCD1 is the bolt pitch diameter (Pitch Circle Diameter). When the intake port flange 201 is VG250, 12 M12 bolts are used when fixing the intake port flange 201 to the flange on the vacuum chamber side.

一方、図３に示す排気側の排気口フランジ２０２は、ＶＧ３００に相当するフランジとなっている。排気口フランジ２０２の内径（開口径）ＩＤ２およびボルトピッチ径ＰＣＤ２は、ＶＧ３００フランジの内径（開口径）およびボルトピッチ径と同一に設定されている。なお、ＶＧ３００においては、フランジ固定用のボルトはＭ１２で１２本用いられるが、排気口フランジ２０２においては、ネジ穴２０４はＭ１６であって、ネジ穴２０４の個数すなわちボルト本数は８である。テーパ面２０３は、内径（開口径）ＩＤ２のフランジ開口からガス流路の上流側に向けて形成されており、その上流側端部（図１のガス流路領域ＦＲの上流側領域端部）の径寸法は吸気口フランジ２０１の内径（開口径）ＩＤ１と同一に設定されている。なお、二点鎖線Ｌ３１と二点鎖線Ｌ３２とで囲まれたリング状領域が、Ｏリングシールが接触するシール面である。 On the other hand, the exhaust port flange 202 on the exhaust side shown in FIG. 3 is a flange corresponding to the VG300. The inner diameter (opening diameter) ID2 and bolt pitch diameter PCD2 of the exhaust port flange 202 are set to be the same as the inner diameter (opening diameter) and bolt pitch diameter of the VG300 flange. In the VG300, 12 bolts for fixing the flange are used in M12, but in the exhaust port flange 202, the screw holes 204 are M16, and the number of screw holes 204, that is, the number of bolts is 8. The tapered surface 203 is formed from the flange opening of the inner diameter (opening diameter) ID2 toward the upstream side of the gas flow path, and the upstream end portion thereof (the upstream region end portion of the gas flow path region FR in FIG. 1). The diameter dimension of is set to be the same as the inner diameter (opening diameter) ID1 of the intake port flange 201. The ring-shaped region surrounded by the alternate long and short dash line L31 and the alternate long and short dash line L32 is the sealing surface that the O-ring seal contacts.

図３の二点鎖線Ｌ１で示す円はＶＧ３００フランジの外形形状を示しており、その外形寸法はＯＤ２である。第１の実施の形態における真空バルブ２は、ＶＧ２５０相当の真空バルブの排気口フランジをＶＧ３００相当の排気口フランジ２０２に置き換えたものに相当し、バルブプレート２１等にはＶＧ２５０相当の真空バルブと同等のものが用いられる。第１の実施の形態では、図２および図３に示すように、第１バルブボディ２０Ａの図示左側の領域をＶＧ２５０相当の吸気口フランジ２０１が形成可能な最小限度の大きさに抑えるとともに、ＶＧ３００相当の排気口フランジ２０２の外形形状を第１バルブボディ２０Ａの側壁Ｗの形状に合わせることで、真空バルブ２が大型化するのを防止している。 The circle indicated by the alternate long and short dash line L1 in FIG. 3 indicates the outer shape of the VG300 flange, and the outer dimension thereof is OD2. The vacuum valve 2 in the first embodiment corresponds to the one in which the exhaust port flange of the vacuum valve equivalent to VG250 is replaced with the exhaust port flange 202 equivalent to VG300, and the valve plate 21 and the like are equivalent to the vacuum valve equivalent to VG250. Is used. In the first embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, the region on the left side of the drawing of the first valve body 20A is suppressed to the minimum size in which the intake port flange 201 corresponding to VG250 can be formed, and the VG300 is formed. By matching the outer shape of the corresponding exhaust port flange 202 with the shape of the side wall W of the first valve body 20A, it is possible to prevent the vacuum valve 2 from becoming large.

すなわち、第１バルブボディ２０Ａの図示左側の領域が吸気口フランジ２０１を形成可能な最小限度の大きさに抑えられるように、第１バルブボディ２０Ａにおいて第２バルブボディ２０Ｂと反対側に位置する側壁Ｗは、フランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１が吸気口フランジ２０１の外径ＯＤ１の１／２（すなわち、ｒ１＝ＯＤ１／２）となるように設定される。また、図３に示すようにラインＬ２１からラインＬ２２までの角度範囲Ｂにおいては、排気口フランジ２０２の外形形状は第１バルブボディ２０Ａの側壁Ｗとほぼ同一形状となるように構成されている。 That is, the side wall located on the opposite side of the first valve body 20A from the second valve body 20B so that the region on the left side of the drawing of the first valve body 20A can be suppressed to the minimum size in which the intake port flange 201 can be formed. W is set so that the distance r1 from the flange central axis O is 1/2 of the outer diameter OD1 of the intake port flange 201 (that is, r1 = OD1 / 2). Further, as shown in FIG. 3, in the angle range B from the line L21 to the line L22, the outer shape of the exhaust port flange 202 is configured to be substantially the same as the side wall W of the first valve body 20A.

その結果、第１バルブボディ２０Ａの外形寸法をＶＧ２５０の場合と同程度に抑えつつ、排気口フランジ２０２の開口径を吸気口フランジ２０１の開口径よりも大きなＶＧ３００と同一開口径とすることができる。すなわち、バルブボディ２０の大きさを吸気口および排気口がＶＧ２５０の真空バルブと同程度に抑えつつ、排気口をＶＧ３００と同一開口径とすることで、バルブコンダクタンスおよび真空排気装置の実効排気速度の向上を図ることが可能となった。さらに、テーパ面２０３によってＶＧ２５０相当の開口径の部分とＶＧ３００相当の開口径の部分とを繋ぐことで、実効排気速度のさらなる改善が図れる。 As a result, the opening diameter of the exhaust port flange 202 can be made the same as that of the VG300, which is larger than the opening diameter of the intake port flange 201, while suppressing the external dimensions of the first valve body 20A to the same level as in the case of the VG250. .. That is, the size of the valve body 20 is suppressed to the same level as the vacuum valve of the VG250 with the intake port and the exhaust port, and the exhaust port has the same opening diameter as the VG300. It has become possible to improve. Further, the effective exhaust speed can be further improved by connecting the portion having the opening diameter equivalent to VG250 and the portion having the opening diameter equivalent to VG300 by the tapered surface 203.

図４は、真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０を示す図である。図４（ａ）は、吸気口フランジ１３０の平面図、図４（ｂ）はＤ−Ｄ断面図である。吸気口フランジ１３０は、図３に示す真空バルブ２の排気口フランジ２０２にボルト固定される。二点鎖線はＶＧ３００フランジの外形形状を示すラインであり、外径寸法はＯＤ２である。吸気口フランジ１３０の外形形状はＶＧ３００フランジの標準的な形状と異なっており、図３に示した角度範囲Ｂと同一の角度範囲Ｂにおいては、フランジ中心軸Ｏから吸気口フランジ１３０の外径側端部までの距離ｒ１は、ＶＧ３００フランジの外径ＯＤ２の１／２よりも小さく設定されている。なお、符号Ｃで示す領域においても、真空バルブ２のモータケーシング２２との干渉を避けるためにフランジ外径側が切り欠かれている。 FIG. 4 is a diagram showing an intake port flange 130 of the vacuum pump 1. FIG. 4A is a plan view of the intake port flange 130, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line DD. The intake port flange 130 is bolted to the exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2 shown in FIG. The alternate long and short dash line is a line indicating the outer shape of the VG300 flange, and the outer diameter dimension is OD2. The outer shape of the intake flange 130 is different from the standard shape of the VG300 flange, and in the same angle range B as the angle range B shown in FIG. 3, the flange central axis O is on the outer diameter side of the intake flange 130. The distance r1 to the end is set to be smaller than 1/2 of the outer diameter OD2 of the VG300 flange. Also in the region indicated by reference numeral C, the outer diameter side of the flange is cut out in order to avoid interference of the vacuum valve 2 with the motor casing 22.

フランジ固定用のボルト穴１３１は、ボルトピッチ径ＰＣＤ２上であってフランジ外径（すなわち、フランジ幅）に余裕がある領域に偏在して設けられている。図４では、角度範囲Ｂの１箇所、角度範囲Ｂ以外の範囲では切り欠き領域Ｃを除く領域の７箇所にボルト穴１３１を形成した。吸気口フランジ１３０には、Ｏリングシール装着用のシール溝１３２が形成されている。 The bolt holes 131 for fixing the flange are unevenly distributed in a region on the bolt pitch diameter PCD2 where the flange outer diameter (that is, the flange width) has a margin. In FIG. 4, bolt holes 131 are formed at one location in the angle range B and at seven locations other than the angle range B except for the notch region C. The intake port flange 130 is formed with a seal groove 132 for mounting an O-ring seal.

上述した第１の実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
図１〜３に示すように、真空バルブ２においては、排気口フランジ２０２の開口径は吸気口フランジ２０１の開口径よりも大きく設定され、排気口フランジ２０２の開口を含み流路断面積が変化するガス流路領域ＦＲを有し、ガス流路領域ＦＲの壁面はテーパ面２０３に形成されている。ガス流路領域ＦＲは、上流側領域端の流路断面積が吸気口フランジ２０１の開口断面積（径寸法はＩＤ１）に設定され、排気口フランジ２０２の開口に近づくほど流路断面積が増加している。 According to the first embodiment described above, the following effects can be obtained.
As shown in FIGS. 1 to 3, in the vacuum valve 2, the opening diameter of the exhaust port flange 202 is set to be larger than the opening diameter of the intake port flange 201, and the cross-sectional area of the flow path including the opening of the exhaust port flange 202 changes. The gas flow path region FR is provided, and the wall surface of the gas flow path region FR is formed on the tapered surface 203. In the gas flow path region FR, the flow path cross-sectional area at the upstream region end is set to the opening cross-sectional area of the intake flange 201 (diameter dimension is ID1), and the flow path cross-sectional area increases as it approaches the opening of the exhaust port flange 202. doing.

このように排気口フランジ２０２の開口径を吸気口フランジ２０１の開口径よりも大きく設定することで、開口径がより大きくて排気速度の大きな真空ポンプを真空バルブ２に装着することができる。その結果、真空バルブ２の吸気口における実効排気速度を容易に向上させることができる。さらに、排気口フランジ２０２から上流にかけて流路壁面をテーパ形状とすることで、吸気口から排気口までのコンダクタンスをより大きく設定することが可能となり、開口径の大きな真空ポンプの排気速度を有効に活用することができる。 By setting the opening diameter of the exhaust port flange 202 larger than the opening diameter of the intake port flange 201 in this way, a vacuum pump having a larger opening diameter and a higher exhaust speed can be mounted on the vacuum valve 2. As a result, the effective exhaust speed at the intake port of the vacuum valve 2 can be easily improved. Furthermore, by making the flow path wall surface tapered from the exhaust port flange 202 to the upstream, it is possible to set a larger conductance from the intake port to the exhaust port, effectively utilizing the exhaust speed of a vacuum pump with a large opening diameter. It can be utilized.

例えば、図１２に示すように吸気口フランジ２０１および排気口フランジ２０２が共にＶＧ２５０相当の真空バルブ２Ａでは、排気口フランジ２０２には一般的にＶＧ２５０相当の真空ポンプが装着される。ところで、ターボ分子ポンプには、ポンプ吸気口フランジが同一開口径であっても、図１に示すような外筒がストレート形状のものと、図１３に示すような外筒の首を絞った形状のものとがある。外筒の首を絞った形状のターボ分子ポンプのロータ径は外筒がストレート形状のものよりも大きく、例えば、ＶＧ２５０相当のポンプにＶＧ３００相当のポンプのロータを使用する場合がある。そのため、外筒の首を絞った形状の真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）１Ａの方がポンプ排気速度が大きく、外筒の首を絞らない同一開口径の真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）１を使用した場合に比べて真空排気装置１１０の排気速度を大きくすることが可能である。 For example, as shown in FIG. 12, in the vacuum valve 2A in which both the intake port flange 201 and the exhaust port flange 202 are equivalent to VG250, the exhaust port flange 202 is generally equipped with a vacuum pump equivalent to VG250. By the way, in the turbo molecular pump, even if the pump intake port flange has the same opening diameter, the outer cylinder as shown in FIG. 1 has a straight shape and the outer cylinder has a narrowed neck shape as shown in FIG. There is one. The rotor diameter of a turbo molecular pump having a narrowed outer cylinder is larger than that of a straight outer cylinder. For example, a rotor of a pump equivalent to VG300 may be used for a pump equivalent to VG250. Therefore, the vacuum pump (turbomolecular pump) 1A having a shape in which the neck of the outer cylinder is squeezed has a higher pump exhaust speed, and the vacuum pump (turbomolecular pump) 1 having the same opening diameter that does not squeeze the neck of the outer cylinder is used. It is possible to increase the exhaust speed of the vacuum exhaust device 110 as compared with the case.

真空ポンプ１Ａと図１の真空ポンプ１とを比較した場合、吸気口フランジ１３０Ａを有する外筒１３Ａのみが異なっている。外筒１３Ａの吸気口フランジ１３０ＡはＶＧ２５０であって、符号Ｇで示す首を絞った部分が設けられている。その結果、真空ポンプ１Ａは、高さ寸法がｈ２だけ真空ポンプ１よりも大きくなっている。 When the vacuum pump 1A and the vacuum pump 1 of FIG. 1 are compared, only the outer cylinder 13A having the intake port flange 130A is different. The intake port flange 130A of the outer cylinder 13A is VG250, and is provided with a narrowed portion indicated by reference numeral G. As a result, the height dimension of the vacuum pump 1A is larger than that of the vacuum pump 1 by h2.

一方、図２，３に示す真空バルブ２のように排気口フランジ２０２の開口径を吸気口フランジ１３０の開口径よりも大きくすることで、外筒の首を絞らない形態の開口径の大きな真空ポンプを用いることができる。真空ポンプ１は、首を絞った形態の真空ポンプ１Ａよりも排気速度が大きく、かつ、高さ寸法もｈ２だけ小さい。その結果、真空排気装置１００の大型化を抑制しつつ実効排気速度の向上を図ることができる。 On the other hand, by making the opening diameter of the exhaust port flange 202 larger than the opening diameter of the intake port flange 130 as in the vacuum valve 2 shown in FIGS. A pump can be used. The vacuum pump 1 has a higher exhaust speed than the squeezed vacuum pump 1A, and its height dimension is also smaller by h2. As a result, it is possible to improve the effective exhaust speed while suppressing the increase in size of the vacuum exhaust device 100.

さらに、吸気口フランジ２０１の開口と排気口フランジ２０２の開口とを同軸に形成することで、非同軸の場合に比べてコンダクタンスをより大きくすることができる。 Further, by forming the opening of the intake port flange 201 and the opening of the exhaust port flange 202 coaxially, the conductance can be further increased as compared with the case of non-coaxial.

また、真空バルブと真空ポンプとから成る真空排気装置を構成する場合、吸気口フランジと排気口フランジとが同一開口径である従来の真空バルブを用いる場合と比較して、より開口径の大きな真空ポンプを使用することができ、真空排気装置の実効排気速度の向上を容易に図ることができる。 Further, when a vacuum exhaust device composed of a vacuum valve and a vacuum pump is configured, a vacuum having a larger opening diameter is compared with the case of using a conventional vacuum valve in which the intake port flange and the exhaust port flange have the same opening diameter. A pump can be used, and the effective exhaust speed of the vacuum exhaust device can be easily improved.

さらに、図１，３，４に示すように、真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０を真空バルブ２の排気口フランジ２０２にボルト固定する複数のボルト１３３は、図４に示すボルト穴１３１からも分かるように、吸気口フランジ１３０の全周の内の所定角度領域に偏在して配置される。 Further, as shown in FIGS. 1, 3 and 4, a plurality of bolts 133 for bolting the intake flange 130 of the vacuum pump 1 to the exhaust flange 202 of the vacuum valve 2 can be seen from the bolt holes 131 shown in FIG. As described above, the intake port flanges 130 are arranged unevenly in a predetermined angle region within the entire circumference.

例えば、図４に示す例では、ほとんどのボルト穴１３１が、角度範囲Ｂを除く他の角度範囲に偏在配置されている。そのため、ボルト穴１３１が設けられていない角度範囲におけるフランジ中心軸Ｏからフランジ外径側端部までの距離ｒ１を、本来のＶＧ３００の場合のフランジ外径ＯＤ２の１／２よりも小さくすることができる。この場合、真空バルブ２の排気口フランジ２０２（ＶＧ３００相当）の側壁Ｗ側のフランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１を、より開口径が小さいＶＧ２５０フランジの外径ＯＤ１の１／２とほぼ同じにすることができる。そのため、吸気口フランジ１３０の開口と排気口フランジ２０２の開口とを同軸に設定しても、バルブボディ２０の大型化を回避することができる。すなわち、真空排気装置の大型化を抑制しつつ実効排気速度の向上を図ることができる。 For example, in the example shown in FIG. 4, most of the bolt holes 131 are unevenly distributed in an angle range other than the angle range B. Therefore, the distance r1 from the flange central axis O to the flange outer diameter side end portion in the angle range in which the bolt hole 131 is not provided can be made smaller than 1/2 of the flange outer diameter OD2 in the case of the original VG300. can. In this case, the distance r1 from the flange central axis O on the side wall W side of the exhaust port flange 202 (equivalent to VG300) of the vacuum valve 2 is made substantially the same as 1/2 of the outer diameter OD1 of the VG250 flange having a smaller opening diameter. be able to. Therefore, even if the opening of the intake port flange 130 and the opening of the exhaust port flange 202 are set coaxially, it is possible to avoid an increase in the size of the valve body 20. That is, it is possible to improve the effective exhaust speed while suppressing the increase in size of the vacuum exhaust device.

−第２の実施の形態−
図５〜８は第２実施の形態を説明する図である。図１に示した真空ポンプでは、高速回転しているロータ１０が急停止した場合に、吸気口フランジ１３０が回転しようとするトルクが発生する。その結果、吸気口フランジ１３０を固定しているボルト１３３（図１参照）に、大きなせん断応力が生じることになる。そこで、第２の実施の形態では、図５に示すような係合部材３０を吸気口フランジ１３０と排気口フランジ２０２との両方に係合させ、急停止時に発生する荷重をボルト１３３だけでなく係合部材３０にも担わせるようにした。 -Second embodiment-
5 to 8 are diagrams for explaining the second embodiment. In the vacuum pump shown in FIG. 1, when the rotor 10 rotating at high speed suddenly stops, a torque that the intake port flange 130 tries to rotate is generated. As a result, a large shear stress is generated in the bolt 133 (see FIG. 1) fixing the intake flange 130. Therefore, in the second embodiment, the engaging member 30 as shown in FIG. 5 is engaged with both the intake port flange 130 and the exhaust port flange 202, and the load generated at the time of sudden stop is not limited to the bolt 133. It was made to be carried by the engaging member 30 as well.

図５は係合部材３０の一例を示す図である。図５（ａ）は係合部材３０を排気口フランジ２０２の方向から見た図であり、図５（ｂ）は係合部材３０を側方から見た展開図である。係合部材３０は円弧状の帯状部材であり、幅の広い係合領域３０１が複数設けられている。係合領域３０１は、軸方向の一方に突出する第１係合部３０１ａと、軸方向の他方に突出する第２係合部３０１ｂとを有している。後述するように、第１係合部３０１ａは真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０の部分に係合し、第２係合部３０１ｂは真空バルブ２の排気口フランジ２０２の部分に係合する。 FIG. 5 is a diagram showing an example of the engaging member 30. FIG. 5A is a view of the engaging member 30 viewed from the direction of the exhaust port flange 202, and FIG. 5B is a developed view of the engaging member 30 viewed from the side. The engaging member 30 is an arc-shaped band-shaped member, and a plurality of wide engaging regions 301 are provided. The engaging region 301 has a first engaging portion 301a projecting in one axial direction and a second engaging portion 301b projecting in the other axial direction. As will be described later, the first engaging portion 301a engages with the portion of the intake port flange 130 of the vacuum pump 1, and the second engaging portion 301b engages with the portion of the exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2.

図６は、第２の実施形態における真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０を示す図である。図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）はＥ−Ｅ断面図である。吸気口フランジ１３０のシール溝１３２が形成されている面には、図５に示した係合部材３０が装着される溝１３４が形成されている。図６に示す例では、溝１３４は、ボルト穴１３１ａとボルト穴１３１ｂとの間の領域に形成されている。溝１３４は、深さの深い第１溝部１３４ａと、深さの浅い第２溝部１３４ｂを備えている。第１溝部１３４ａには係合部材３０の係合領域３０１が配設され、第２溝部１３４ｂには係合部材３０の幅の狭い部分が配設される。 FIG. 6 is a diagram showing an intake port flange 130 of the vacuum pump 1 in the second embodiment. FIG. 6A is a plan view, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line EE. A groove 134 on which the engaging member 30 shown in FIG. 5 is mounted is formed on the surface of the intake port flange 130 on which the seal groove 132 is formed. In the example shown in FIG. 6, the groove 134 is formed in the region between the bolt hole 131a and the bolt hole 131b. The groove 134 includes a first groove portion 134a having a deep depth and a second groove portion 134b having a shallow depth. The engaging region 301 of the engaging member 30 is disposed in the first groove portion 134a, and the narrow portion of the engaging member 30 is disposed in the second groove portion 134b.

図７は、真空バルブ２の排気口フランジ２０２を示す図である。排気口フランジ２０２には、図６に示した吸気口フランジ１３０の各第１溝部１３４ａに対向する位置のそれぞれに、凹部２０５が形成されている。二点鎖線Ｌ３１と二点鎖線Ｌ３２とで囲まれたリング状領域が、Ｏリングシールが接触するシール面である。 FIG. 7 is a diagram showing an exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2. The exhaust port flange 202 is formed with recesses 205 at positions facing the first groove portions 134a of the intake port flange 130 shown in FIG. The ring-shaped region surrounded by the alternate long and short dash line L31 and the alternate long and short dash line L32 is the sealing surface with which the O-ring seal contacts.

図８は、互いにボルト固定された吸気口フランジ１３０および排気口フランジ２０２と、それらの間に装着された係合部材３０とを示す断面図である。吸気口フランジ１３０と排気口フランジ２０２とを接続すると、吸気口フランジ１３０に形成された第１溝部１３４ａと排気口フランジ２０２に形成された凹部２０５とが対向し、係合部材３０の係合領域３０１が収納される空間が形成される。係合部材３０を装着した状態では、係合領域３０１の第１係合部３０１ａが吸気口フランジ１３０の第１溝部１３４ａに係合し、係合領域３０１の第２係合部３０１ｂが排気口フランジ２０２の凹部２０５に係合する。また、係合部材３０の幅が狭い部分（すなわち、係合領域３０１以外の部分）は、吸気口フランジ１３０の第２溝部１３４ｂと排気口フランジ２０２のフランジ面との間の空間に配置される。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing an intake port flange 130 and an exhaust port flange 202 bolted to each other, and an engaging member 30 mounted between them. When the intake port flange 130 and the exhaust port flange 202 are connected, the first groove portion 134a formed in the intake port flange 130 and the recess 205 formed in the exhaust port flange 202 face each other, and the engaging region of the engaging member 30 is formed. A space for storing the 301 is formed. In the state where the engaging member 30 is attached, the first engaging portion 301a of the engaging region 301 engages with the first groove portion 134a of the intake port flange 130, and the second engaging portion 301b of the engaging region 301 is the exhaust port. Engage with recess 205 of flange 202. Further, the narrow portion of the engaging member 30 (that is, the portion other than the engaging region 301) is arranged in the space between the second groove portion 134b of the intake port flange 130 and the flange surface of the exhaust port flange 202. ..

（変形例）
図９は、第２の実施の形態の変形例を示す図である。上述した第２の実施の形態では係合部材３０を別部材で設け、この係合部材３０を介して吸気口フランジ１３０と排気口フランジ２０２とを係合させるようにした。変形例では、係合部材３０を吸気口フランジ１３０または排気口フランジ２０２の一方に一体化させた。 (Modification example)
FIG. 9 is a diagram showing a modified example of the second embodiment. In the second embodiment described above, the engaging member 30 is provided as a separate member, and the intake port flange 130 and the exhaust port flange 202 are engaged with each other via the engaging member 30. In the modified example, the engaging member 30 is integrated with one of the intake port flange 130 and the exhaust port flange 202.

図９（ａ）に示す構成は、係合部材３０を吸気口フランジ１３０に一体化させた場合に相当する。すなわち、排気口フランジ２０２の凹部２０５に係合する凸部１３５を、吸気口フランジ１３０のフランジ面から突出させるように形成した。一方、図９（ｂ）に示す構成は係合部材３０を排気口フランジ２０２に一体化させた場合である。この場合には、吸気口フランジ１３０のフランジ面に凹部１３６を形成し、排気口フランジ２０２のフランジ面に凹部１３６に係合する凸部２０６を形成する。凸部２０６は、排気口フランジ２０２のフランジ面から突出するように形成される。 The configuration shown in FIG. 9A corresponds to the case where the engaging member 30 is integrated with the intake flange 130. That is, the convex portion 135 that engages with the concave portion 205 of the exhaust port flange 202 is formed so as to protrude from the flange surface of the intake port flange 130. On the other hand, the configuration shown in FIG. 9B is a case where the engaging member 30 is integrated with the exhaust port flange 202. In this case, a concave portion 136 is formed on the flange surface of the intake port flange 130, and a convex portion 206 that engages with the concave portion 136 is formed on the flange surface of the exhaust port flange 202. The convex portion 206 is formed so as to project from the flange surface of the exhaust port flange 202.

上述した第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態における作用効果に加えて以下のような作用効果が得られる。
図８に示すように、係合部材３０は、真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０に係合する第１係合部３０１ａと真空バルブ２の排気口フランジ２０２に係合する第２係合部３０１ｂとを有し、吸気口フランジ１３０の周方向の移動を抑制する。その結果、ロータ急停止時に生じるトルクを、ボルト１３３だけでなく排気口フランジ２０２の係合部材３０と係合している部分でも受けることになり、ボルト１３３へのせん断応力を低減することができる。 According to the second embodiment described above, the following effects can be obtained in addition to the effects in the first embodiment.
As shown in FIG. 8, the engaging member 30 has a first engaging portion 301a that engages with the intake port flange 130 of the vacuum pump 1 and a second engaging portion 301b that engages with the exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2. And suppresses the movement of the intake port flange 130 in the circumferential direction. As a result, the torque generated when the rotor is suddenly stopped is received not only by the bolt 133 but also by the portion of the exhaust port flange 202 that is engaged with the engaging member 30, and the shear stress on the bolt 133 can be reduced. ..

また、図９に示すように、真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０に、真空バルブ２の排気口フランジ２０２に係合する係合部としての凸部１３５（図９（ａ））や凹部１３６を設けて吸気口フランジ１３０の周方向の移動を抑制することでも、ボルト１３３へのせん断応力を低減することができる。 Further, as shown in FIG. 9, the intake port flange 130 of the vacuum pump 1 is provided with a convex portion 135 (FIG. 9A) and a concave portion 136 as engaging portions that engage with the exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2. The shear stress on the bolt 133 can also be reduced by providing the intake port flange 130 to suppress the movement in the circumferential direction.

−第３の実施の形態−
上述した第２の実施の形態では、真空ポンプ１のロータ１０が急停止した際の周方向の荷重の一部を係合部で受けることによって、フランジ固定用ボルトへのせん断応力を低減するようにした。ところで、高速回転するロータ１０が破壊したような場合、ロータ破片が真空ポンプの外筒１３や吸気口フランジ１３０に衝突し、ロータ破片の運動エネルギーによって外筒１３や吸気口フランジ１３０が径方向に大きく変形するおそれがある。第３の実施の形態では、そのような場合の外筒１３や吸気口フランジ１３０の変形を抑えるための構成を設けた。 -Third embodiment-
In the second embodiment described above, the shear stress on the flange fixing bolt is reduced by receiving a part of the load in the circumferential direction when the rotor 10 of the vacuum pump 1 suddenly stops at the engaging portion. I made it. By the way, when the rotor 10 rotating at high speed is destroyed, the rotor debris collides with the outer cylinder 13 and the intake port flange 130 of the vacuum pump, and the kinetic energy of the rotor debris causes the outer cylinder 13 and the intake port flange 130 to move in the radial direction. There is a risk of significant deformation. In the third embodiment, a configuration for suppressing deformation of the outer cylinder 13 and the intake port flange 130 in such a case is provided.

図１０，１１は第３実施の形態を説明する図である。図１０は真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＦ−Ｆ断面図である。図１０に示す吸気口フランジ１３０は、図４に示す吸気口フランジ１３０と比較した場合、吸気口フランジ１３０のフランジ面から突出する凸部１３７を設けた点が異なっている。凸部１３７はフランジ面から寸法ｈだけ突出している。 10 and 11 are diagrams for explaining the third embodiment. 10A and 10B are views showing an intake flange 130 of the vacuum pump 1, where FIG. 10A is a plan view and FIG. 10B is a sectional view taken along line FF. The intake port flange 130 shown in FIG. 10 is different from the intake port flange 130 shown in FIG. 4 in that a convex portion 137 protruding from the flange surface of the intake port flange 130 is provided. The convex portion 137 protrudes from the flange surface by the dimension h.

図１１は、第３実施の形態における吸気口フランジ１３０と排気口フランジ２０２の接続部の構成を説明する図であり、吸気口フランジ１３０は図１０に示したものと同じものである。排気口フランジ２０２のフランジ面には、円形状の凹部２０７が形成されている。二点鎖線で示すように吸気口フランジ１３０を排気口フランジ２０２に接続すると、凹部２０７に凸部１３７が嵌合する。 FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of a connection portion between the intake port flange 130 and the exhaust port flange 202 according to the third embodiment, and the intake port flange 130 is the same as that shown in FIG. A circular recess 207 is formed on the flange surface of the exhaust port flange 202. When the intake port flange 130 is connected to the exhaust port flange 202 as shown by the alternate long and short dash line, the convex portion 137 fits into the concave portion 207.

上述した第３の実施の形態によれば、第１の実施の形態における作用効果に加えて以下のような作用効果が得られる。図１１に示すように、真空バルブ２の排気口フランジ２０２の凹部２０７と嵌合し、真空ポンプ１の吸気口フランジ１３０の径方向の変形を抑制する凸部１３７を吸気口フランジ１３０に設けることで、ロータ破片衝突の衝撃で外筒１３や吸気口フランジ１３０が径方向外側に変形するのを抑制することができる。 According to the third embodiment described above, the following effects can be obtained in addition to the effects in the first embodiment. As shown in FIG. 11, the intake port flange 130 is provided with a convex portion 137 that fits with the recess 207 of the exhaust port flange 202 of the vacuum valve 2 and suppresses radial deformation of the intake port flange 130 of the vacuum pump 1. Therefore, it is possible to prevent the outer cylinder 13 and the intake port flange 130 from being deformed radially outward due to the impact of the rotor debris collision.

真空ポンプ１においては、高速回転するロータ１０が破壊した場合であっても、ロータ破片が外筒１３の外部に飛び出さないようにすることが望ましい。ロータ破片は遠心力によって径方向に飛散し外筒１３に衝突するので、衝突の衝撃で、外筒１３や吸気口フランジ１３０が径方向外側に変形しようとする。特に、図４に示す吸気口フランジ１３０の場合には、ボルト固定される領域が全周の内の一部に偏っているので、ボルトが設けられない領域はボルトが設けられている領域に比べて径方向の衝撃によって外筒１３および吸気口フランジ１３０が変形しやすい。 In the vacuum pump 1, it is desirable to prevent the rotor fragments from jumping out of the outer cylinder 13 even if the rotor 10 rotating at high speed is destroyed. Since the rotor debris scatters in the radial direction due to centrifugal force and collides with the outer cylinder 13, the outer cylinder 13 and the intake port flange 130 tend to be deformed radially outward due to the impact of the collision. In particular, in the case of the intake port flange 130 shown in FIG. 4, since the area where the bolts are fixed is biased to a part of the entire circumference, the area where the bolts are not provided is compared with the area where the bolts are provided. The outer cylinder 13 and the intake port flange 130 are easily deformed by the impact in the radial direction.

しかしながら、本実施の形態では凸部１３７が排気口フランジ２０２の凹部２０７に嵌合しているので、凸部１３７の外周面が凹部２０７の側面に当接し、吸気口フランジ１３０の径方向外側への変形が排気口フランジ２０２によって抑制される。 However, in the present embodiment, since the convex portion 137 is fitted to the concave portion 207 of the exhaust port flange 202, the outer peripheral surface of the convex portion 137 abuts on the side surface of the concave portion 207 and is radially outward of the intake port flange 130. Deformation is suppressed by the exhaust port flange 202.

なお、図１０，１１に示す例では、嵌合部が吸気口フランジ１３０の全周に亘っているが、一部のみに嵌合部を設けるようにしてもよい。例えば、図４に示す角度範囲Ｂ（ボルトがほとんど配置されない角度範囲）の領域のみに、凹部２０７および凸部１３７を設けるようにしても良い。これによって、耐衝撃性の低い部分を嵌合部によって補強することができる。 In the examples shown in FIGS. 10 and 11, the fitting portion extends over the entire circumference of the intake port flange 130, but the fitting portion may be provided only in a part thereof. For example, the concave portion 207 and the convex portion 137 may be provided only in the region of the angle range B (the angle range in which the bolt is hardly arranged) shown in FIG. As a result, the portion having low impact resistance can be reinforced by the fitting portion.

−第４の実施の形態−
上述したように、ポンプ急停止時に発生する衝撃力が真空ポンプ１を第２バルブボディ２０Ｂに固定しているボルト１３３に加わると、ボルト１３３を介して第２バルブボディ２０Ｂにも大きな衝撃力が加わる。その結果、吸気口フランジ１３０を固定しているボルト１３３（図１参照）に、大きなせん断応力が生じることになる。そこで、第２の実施の形態では、図５に示すような係合部材３０を吸気口フランジ１３０と排気口フランジ２０２との両方に係合させ、急停止時に発生する荷重をボルト１３３だけでなく係合部材３０にも担わせるようにした。 − Fourth Embodiment −
As described above, when the impact force generated when the pump is suddenly stopped is applied to the bolt 133 fixing the vacuum pump 1 to the second valve body 20B, a large impact force is also applied to the second valve body 20B via the bolt 133. Join. As a result, a large shear stress is generated in the bolt 133 (see FIG. 1) fixing the intake flange 130. Therefore, in the second embodiment, the engaging member 30 as shown in FIG. 5 is engaged with both the intake port flange 130 and the exhaust port flange 202, and the load generated at the time of sudden stop is not limited to the bolt 133. It was made to be carried by the engaging member 30 as well.

ところで、上述した第１の実施の形態では、第１バルブボディ２０Ａにおいて第２バルブボディ２０Ｂと反対側に位置する側壁Ｗ（図２，３参照）は、フランジ中心軸からの距離ｒ１が吸気口フランジ２０１の外径ＯＤ１の１／２（すなわち、ｒ１＝ＯＤ１／２）となるように設定されている。一方、図３に示す排気口フランジ２０２側を見ると、側壁ＷはＶＧ３００フランジの外形形状を示す二点鎖線Ｌ１の内側に位置している。その結果、角度範囲Ｂにおける吸気口フランジ２０１の幅Ｗ１はＶＧ３００相当フランジの幅Ｗ２よりも小さく、角度範囲Ｂにおけるネジ穴２０４部分の強度は、角度範囲Ｂよりも図示右側の第１バルブボディ２０Ａにおけるネジ穴２０４部分の強度に比べて小さくなっている。 By the way, in the first embodiment described above, the side wall W (see FIGS. 2 and 3) located on the opposite side of the first valve body 20A from the second valve body 20B has an intake port having a distance r1 from the flange central axis. It is set to be 1/2 of the outer diameter OD1 of the flange 201 (that is, r1 = OD1 / 2). On the other hand, looking at the exhaust port flange 202 side shown in FIG. 3, the side wall W is located inside the two-dot chain line L1 indicating the outer shape of the VG300 flange. As a result, the width W1 of the intake port flange 201 in the angle range B is smaller than the width W2 of the flange corresponding to VG300, and the strength of the screw hole 204 portion in the angle range B is the first valve body 20A on the right side of the drawing in the angle range B. It is smaller than the strength of the screw hole 204 part in.

また、通常のＶＧ３００におけるボルト本数は１２本であるが、第１および第２の実施の形態においては８本と本数が少なくなっている。そのため、衝撃力を全てのボルトで均等に担うと仮定した場合、８本と本数が少ない方が１本当たりの衝撃力が大きくなる。すなわち、第１バルブボディ２０Ａのボルト１３３が螺合している雌ネジ部分に加わる衝撃力は、ボルト本数が８本の場合の方が大きいと推定できる。 Further, the number of bolts in the normal VG300 is 12, but in the first and second embodiments, the number is as small as eight. Therefore, assuming that all the bolts bear the impact force evenly, the impact force per bolt is larger when the number of bolts is as small as eight. That is, it can be estimated that the impact force applied to the female screw portion where the bolt 133 of the first valve body 20A is screwed is larger when the number of bolts is eight.

そこで、第４の実施の形態では、ポンプ急停止時の衝撃力に対する第１バルブボディ２０Ａの強度を重視した構成とした。図１４，１５は第４の実施の形態における真空バルブ２の構成を示す図である。図１４（ａ）は真空バルブ２の側面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＨ１矢視図であって真空バルブ２の吸気口フランジ２０１側を示す図である。なお、図１４に示す真空バルブ２は、平面図で見てハッチングを施した領域Ｊだけ図１２に示した真空バルブ２Ａよりも大きくなっている。また、図１５は図１４（ａ）のＨ２矢視図であって、真空バルブ２の排気口フランジ側を示す平面図である。フランジ２０１，２０２は同軸で設けられ、図１５の二点鎖線で示すバルブプレート２１は、矢印Ｒで示すようにフランジ２０１，２０２の軸上に配置される閉位置（開度０％）と、中心軸上から第２バルブボディ２０Ｂ方向へと退避した開位置（開度１００％）との間で揺動するようにスライド駆動される。 Therefore, in the fourth embodiment, the strength of the first valve body 20A with respect to the impact force when the pump is suddenly stopped is emphasized. 14 and 15 are diagrams showing the configuration of the vacuum valve 2 in the fourth embodiment. 14 (a) is a side view of the vacuum valve 2, and FIG. 14 (b) is a view taken along the line H1 of FIG. 14 (a) showing the intake port flange 201 side of the vacuum valve 2. The vacuum valve 2 shown in FIG. 14 is larger than the vacuum valve 2A shown in FIG. 12 only in the hatched region J when viewed in a plan view. Further, FIG. 15 is a view taken along the arrow H2 of FIG. 14A, which is a plan view showing the exhaust port flange side of the vacuum valve 2. The flanges 201 and 202 are provided coaxially, and the valve plate 21 shown by the alternate long and short dash line in FIG. 15 has a closed position (opening 0%) arranged on the axis of the flanges 201 and 202 as shown by an arrow R. It is slid-driven so as to swing between the open position (opening 100%) retracted from the central axis toward the second valve body 20B.

図１４，１５に示す真空バルブ２においても、第１の実施形態の場合と同様に吸気口フランジ２０１はＶＧ２５０相当（呼び径２５０）のフランジであって、排気口フランジ２０２はＶＧ３００相当（呼び径３００）のフランジである。吸気口フランジ２０１側の開口径（内径）はＩＤ１であり、排気口フランジ２０２側の開口径（内径）はＩＤ２（＞ＩＤ１）である。開口径ＩＤ１の吸気口側と開口径ＩＤ２の排気口側とは、テーパ面２０３によって繋がっている。その結果、第１の実施の形態の場合と同様に、バルブコンダクタンスおよび真空排気装置の実効排気速度の向上を図ることができる。 In the vacuum valve 2 shown in FIGS. 14 and 15, the intake port flange 201 is a flange equivalent to VG250 (nominal diameter 250) and the exhaust port flange 202 is equivalent to VG300 (nominal diameter 250) as in the case of the first embodiment. 300) flange. The opening diameter (inner diameter) on the intake port flange 201 side is ID1, and the opening diameter (inner diameter) on the exhaust port flange 202 side is ID2 (> ID1). The intake port side of the opening diameter ID1 and the exhaust port side of the opening diameter ID2 are connected by a tapered surface 203. As a result, the valve conductance and the effective exhaust speed of the vacuum exhaust device can be improved as in the case of the first embodiment.

さらに、図１５に示すように、第１バルブボディ２０Ａにおいて第２バルブボディ２０Ｂと反対側に位置する側壁Ｗ（破線Ｅを施した部分の側壁）は、フランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１がＶＧ３００相当の排気口フランジ２０２が形成可能な最小限度の大きさに抑えられている。すなわち、距離ｒ１はＯＤ２／２またはＯＤ２／２よりも若干大きい程度に設定される。また、ＶＧ３００相当のフランジの場合には固定用のボルトとしてＭ１２のボルトが１２本使用されるが、本実施の形態では第１の実施の形態の場合（Ｍ１６を８本使用）と同程度のボルト強度が得られるようにＭ１２のボルトを１４本使用している。 Further, as shown in FIG. 15, the side wall W (the side wall of the portion provided with the broken line E) located on the opposite side of the second valve body 20B in the first valve body 20A has a distance r1 from the flange central axis O of VG300. The size of the corresponding exhaust port flange 202 is suppressed to the minimum size that can be formed. That is, the distance r1 is set to be slightly larger than OD2 / 2 or OD2 / 2. Further, in the case of a flange equivalent to VG300, 12 M12 bolts are used as fixing bolts, but in this embodiment, the same degree as in the case of the first embodiment (8 M16 bolts are used). 14 M12 bolts are used so that bolt strength can be obtained.

なお、排気口フランジ２０２については、排気口フランジ２０２がモータケーシング２２と干渉しないように、排気口フランジ２０２の図示左側の一部を切り欠いている（図５参照）。そのため、ボルト固定用のネジ穴２０４は、切り欠かれて幅の狭くなったフランジ部分を避けるように配置するようにした。図示は省略するが、第１の実施の形態の場合と同様に、真空ポンプ側の吸気口フランジに関しても排気口フランジ２０２に合わせた形状に設定される。 Regarding the exhaust port flange 202, a part of the exhaust port flange 202 on the left side in the drawing is cut out so that the exhaust port flange 202 does not interfere with the motor casing 22 (see FIG. 5). Therefore, the screw hole 204 for fixing the bolt is arranged so as to avoid the notched and narrowed flange portion. Although not shown, the intake port flange on the vacuum pump side is also set to a shape that matches the exhaust port flange 202, as in the case of the first embodiment.

このように、第４の実施の形態では、第１の実施の形態（Ｍ１６のボルトを８本使用）や従来のＶＧ３００相当の場合（Ｍ１２のボルトを１２本使用）に比べてボルト本数が多いので、ボルト一本が担うべき衝撃力を小さくできる。さらに、図１５の破線Ｅで示す領域の側壁Ｗのフランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１が第１の実施の形態（図２，３参照）と比べて大きくなるので、第１の実施の形態と比べてネジ穴２０４が形成されている部分の強度向上を図ることができる。その結果、ポンプ急停止時におけるネジ穴２０４部分のバルブボディ破損を防止することができる。 As described above, in the fourth embodiment, the number of bolts is larger than that in the first embodiment (using eight M16 bolts) and the case equivalent to the conventional VG300 (using 12 M12 bolts). Therefore, the impact force that one bolt should bear can be reduced. Further, since the distance r1 of the side wall W of the side wall W shown by the broken line E in FIG. 15 from the flange central axis O is larger than that of the first embodiment (see FIGS. 2 and 3), the distance r1 is larger than that of the first embodiment. In comparison, the strength of the portion where the screw hole 204 is formed can be improved. As a result, it is possible to prevent the valve body of the screw hole 204 portion from being damaged when the pump is suddenly stopped.

−第５の実施の形態−
図１６は、本発明の第５の実施の形態を示す図である。図１６に示す真空バルブ２は、ＶＧ３００相当の排気口フランジ２０２がモータケーシング２２と干渉しないように、第１バルブボディ２０Ａの図示左右方向の幅寸法を若干大きくしてモータケーシング２２の位置を図示左方向に変更したものである。そのため、図１５に示す真空バルブ２と比較した場合、図示上下方向の長手方向寸法は同一寸法であるが、バルブボディ２０の図示左右方向の幅寸法は大きくなっている。すなわち、第４の実施の形態の場合と同様に、第１バルブボディ２０Ａの側壁Ｗのフランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１は、排気口フランジ２０２の外形ＯＤ２の１／２または１／２よりも若干大きい程度に設定されている。 -Fifth Embodiment-
FIG. 16 is a diagram showing a fifth embodiment of the present invention. In the vacuum valve 2 shown in FIG. 16, the position of the motor casing 22 is shown by slightly increasing the width dimension of the first valve body 20A in the left-right direction so that the exhaust port flange 202 corresponding to the VG300 does not interfere with the motor casing 22. It was changed to the left. Therefore, when compared with the vacuum valve 2 shown in FIG. 15, the longitudinal dimension in the vertical direction shown in the drawing is the same, but the width dimension in the horizontal direction shown in the valve body 20 is larger. That is, as in the case of the fourth embodiment, the distance r1 of the side wall W of the first valve body 20A from the flange central axis O is larger than 1/2 or 1/2 of the outer shape OD2 of the exhaust port flange 202. It is set to a slightly larger size.

このように、第１バルブボディ２０Ａの幅寸法を大きくすることで、図１５に示す真空バルブ２のように排気口フランジ２０２の一部を切り欠く必要がない。ネジ穴２０４は、排気口フランジ２０２の一周に亘って均等の角度間隔で配置されている。なお、図１６に示す例では、ネジ穴２０４の数を１４としているが、ポンプ急停止時の衝撃力に対してボルト強度に余裕が有る場合には、ネジ穴２０４の数をＶＧ３００相当フランジの標準である１２としても良い。 By increasing the width dimension of the first valve body 20A in this way, it is not necessary to cut out a part of the exhaust port flange 202 as in the vacuum valve 2 shown in FIG. The screw holes 204 are arranged at equal angular intervals over the entire circumference of the exhaust port flange 202. In the example shown in FIG. 16, the number of screw holes 204 is 14, but if there is a margin in bolt strength against the impact force when the pump is suddenly stopped, the number of screw holes 204 is the flange equivalent to VG300. It may be 12 which is a standard.

以上説明したように、排気口フランジ２０２の開口径ＩＤ２を吸気口フランジ２０１の開口径ＩＤ１よりも大きく設定し、ガス流路領域ＦＲの流路断面積を吸気口フランジ２０１側から排気口フランジ２０２側へと増加させることで、真空バルブ２の吸気口における実効排気速度を容易に向上させることができる。 As described above, the opening diameter ID2 of the exhaust port flange 202 is set to be larger than the opening diameter ID1 of the intake port flange 201, and the flow path cross-sectional area of the gas flow path region FR is set from the intake port flange 201 side to the exhaust port flange 202. By increasing it to the side, the effective exhaust speed at the intake port of the vacuum valve 2 can be easily improved.

その際に、真空バルブ２の大きさを、図１２に示す一般的なＶＧ２５０相当の真空バルブと同程度に抑える場合には、第１の実施の形態のように第１バルブボディ２０Ａの側壁Ｗ（すなわち、第２バルブボディ２０Ｂと反対側に位置する側壁）のフランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１をｒ１＝ＯＤ１／２のように設定すればよい。ＯＤ１は吸気口フランジ２０１の外径である。一方、第１バルブボディ２０Ａにおけるネジ穴２０４部分の強度をより重視する観点からは、排気口フランジ２０２に適用されるＶＧ３００相当フランジのフランジ幅寸法と同程度の幅寸法を第１バルブボディ２０Ａに確保するのが好ましい。このように設定することで、ＶＧ３００相当フランジと同程度の強度が期待できる。その場合、第１バルブボディ２０Ａの側壁Ｗのフランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１は、第４の実施の形態のようにｒ１＝ＯＤ２／２と設定される。 At that time, when the size of the vacuum valve 2 is suppressed to the same level as the vacuum valve equivalent to the general VG250 shown in FIG. 12, the side wall W of the first valve body 20A is as in the first embodiment. The distance r1 from the flange central axis O of (that is, the side wall located on the side opposite to the second valve body 20B) may be set as r1 = OD1 / 2. OD1 is the outer diameter of the intake flange 201. On the other hand, from the viewpoint of placing more importance on the strength of the screw hole 204 portion in the first valve body 20A, the width dimension of the first valve body 20A is about the same as the flange width dimension of the VG300 equivalent flange applied to the exhaust port flange 202. It is preferable to secure it. By setting in this way, the same strength as the VG300 equivalent flange can be expected. In that case, the distance r1 of the side wall W of the first valve body 20A from the flange central axis O is set to r1 = OD2 / 2 as in the fourth embodiment.

もちろん、ＶＧ３００相当フランジと同程度の強度まで必要とされない場合には、要求強度に応じた距離ｒ１（＜ＯＤ２／２）に設定しても構わない。すなわち、排気口フランジ２０２の開口径ＩＤ２が吸気口フランジ２０１の開口径ＩＤ１よりも大きく設定される真空バルブ２においては、大きさと強度との兼ね合いから、第１バルブボディ２０Ａの側壁Ｗのフランジ中心軸Ｏからの距離ｒ１は概ねＯＤ１／２≦ｒ１≦ＯＤ２／２の範囲内の所定値に設定される。ＯＤ１は吸気口フランジ２０１の外径であり、ＯＤ２は排気口フランジ２０２の外径である。 Of course, if the strength equivalent to that of the VG300 equivalent flange is not required, the distance r1 (<OD2 / 2) may be set according to the required strength. That is, in the vacuum valve 2 in which the opening diameter ID2 of the exhaust port flange 202 is set to be larger than the opening diameter ID1 of the intake port flange 201, the flange center of the side wall W of the first valve body 20A is considered in consideration of the size and strength. The distance r1 from the axis O is set to a predetermined value within the range of OD1 / 2 ≦ r1 ≦ OD2 / 2. OD1 is the outer diameter of the intake flange 201, and OD2 is the outer diameter of the exhaust flange 202.

なお、ｒ１＜ＯＤ２／２は、図３に示すように排気口フランジ２０２の外径側の一部が切り欠かれている場合に対応する。この場合、ＯＤ２は、排気口フランジ２０２に適用されるフランジ規格であるＶＧ３００フランジの外径を表している。このように一部が切り欠かれている場合を考慮して、吸気口フランジ２０１に適用されるフランジ規格の外径および排気口フランジ２０２に適用されるフランジ規格の外径をそれぞれ「フランジ外径」と呼ぶことにすれば、条件「ＯＤ１／２≦ｒ１≦ＯＤ２／２」は、「バルブ吸気口フランジ２０１のフランジ外径ＯＤ１の１／２以上かつバルブ排気口フランジ２０２のフランジ外径ＯＤ２の１／２以下」のように言い換えることができる。 Note that r1 <OD2 / 2 corresponds to the case where a part of the exhaust port flange 202 on the outer diameter side is cut out as shown in FIG. In this case, OD2 represents the outer diameter of the VG300 flange, which is a flange standard applied to the exhaust port flange 202. Considering the case where a part is cut out in this way, the outer diameter of the flange standard applied to the intake port flange 201 and the outer diameter of the flange standard applied to the exhaust port flange 202 are set to "flange outer diameter", respectively. The condition "OD1 / 2≤r1≤OD2 / 2" is "more than 1/2 of the flange outer diameter OD1 of the valve intake flange 201 and the flange outer diameter OD2 of the valve exhaust flange 202". It can be paraphrased as "1/2 or less".

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。例えば、真空ポンプ１はターボ分子ポンプに限らず、他の形式の真空ポンプであっても良い。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。 Although various embodiments and modifications have been described above, the present invention is not limited to these contents. For example, the vacuum pump 1 is not limited to the turbo molecular pump, and may be another type of vacuum pump. Other aspects conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included within the scope of the present invention.

１…真空ポンプ、２…真空バルブ、２０…バルブボディ、２０Ａ…第１バルブボディ、２０Ｂ…第２バルブボディ、２１…バルブプレート、２２…モータケーシング、３０…係合部材、１００…真空排気装置、１３０，２０１…吸気口フランジ、１３３…ボルト、１３４…溝、１３４ａ…第１溝部、１３４ｂ…第２溝部、１３５，１３７，２０６…凸部、１３６，２０５，２０７…凹部、２０２…排気口フランジ、２０３…テーパ面、３０１…係合領域、３０１ａ…第１係合部、３０１ｂ…第２係合部、ＦＲ…ガス流路領域、Ｗ…側壁 1 ... Vacuum pump, 2 ... Vacuum valve, 20 ... Valve body, 20A ... 1st valve body, 20B ... 2nd valve body, 21 ... Valve plate, 22 ... Motor casing, 30 ... Engagement member, 100 ... Vacuum exhaust device , 130, 201 ... Intake port flange 133 ... Bolt, 134 ... Groove, 134a ... First groove, 134b ... Second groove, 135, 137, 206 ... Convex, 136, 205, 207 ... Concave, 202 ... Exhaust port Flange, 203 ... Tapered surface, 301 ... Engagement region, 301a ... First engagement portion, 301b ... Second engagement portion, FR ... Gas flow path region, W ... Side wall

Claims (12)

バルブボディに設けられたバルブ吸気口フランジと、
前記バルブボディに設けられ、前記バルブ吸気口フランジよりも開口径の大きなバルブ排気口フランジと、
前記バルブボディ内に設けられ、前記バルブ吸気口フランジの開口径に応じたバルブプレートと、
前記バルブプレートを、前記バルブ吸気口フランジの中心軸上に配置される閉位置と前記中心軸上から退避した開位置との間でスライド駆動するバルブ駆動部と、
前記バルブ排気口フランジの開口を含み流路断面積が変化するガス流路領域とを有し、
前記ガス流路領域は、前記バルブプレートの排気下流側において、前記バルブ排気口フランジに形成されており、
前記ガス流路領域の上流側領域端の流路断面積が、前記バルブ吸気口フランジの開口断面積に設定され、
前記ガス流路領域は、前記バルブ排気口フランジの開口に近づくほど流路断面積が増加し、前記ガス流路領域の壁面がテーパ面となっている、真空バルブ。 The valve intake flange provided on the valve body and
A valve exhaust port flange provided on the valve body and having a larger opening diameter than the valve intake flange.
A valve plate provided in the valve body and corresponding to the opening diameter of the valve intake flange,
A valve drive unit that slides the valve plate between a closed position arranged on the central axis of the valve intake flange and an open position retracted from the central axis.
It has a gas flow path region including the opening of the valve exhaust port flange and the cross-sectional area of the flow path changes.
The gas flow path region is formed on the valve exhaust port flange on the exhaust downstream side of the valve plate.
The channel cross-sectional area of the upstream area end of the gas flow path area is set to the opening cross-sectional area of the valve inlet flange,
A vacuum valve in which the cross-sectional area of the gas flow path increases as the gas flow path region approaches the opening of the valve exhaust port flange, and the wall surface of the gas flow path region has a tapered surface. 請求項１に記載の真空バルブにおいて、
前記バルブ吸気口フランジの開口と前記バルブ排気口フランジの開口とが同軸に形成されている、真空バルブ。 In the vacuum valve according to claim 1,
A vacuum valve in which the opening of the valve intake flange and the opening of the valve exhaust flange are coaxially formed. 請求項２に記載の真空バルブにおいて、
前記バルブボディは、前記バルブ吸気口フランジおよび前記バルブ排気口フランジが設けられた第１ボディ部と、前記開位置における前記バルブプレートの退避領域が設けられた第２ボディ部とを有し、
前記第１ボディ部において前記第２ボディ部と反対側に位置する側壁は、前記バルブ吸気口フランジの中心軸から前記側壁までの距離が、前記バルブ吸気口フランジのフランジ外径の１／２以上かつ前記バルブ排気口フランジのフランジ外径の１／２以下の範囲内の所定値に設定されている、真空バルブ。 In the vacuum valve according to claim 2.
The valve body has a first body portion provided with the valve intake flange and the valve exhaust flange, and a second body portion provided with a retracted region of the valve plate at the open position.
In the side wall located on the opposite side of the first body portion from the second body portion, the distance from the central axis of the valve intake port flange to the side wall is ½ or more of the flange outer diameter of the valve intake port flange. A vacuum valve that is set to a predetermined value within a range of 1/2 or less of the flange outer diameter of the valve exhaust port flange. 請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の真空バルブと、
ポンプ吸気口フランジが前記バルブ排気口フランジにボルト固定される真空ポンプと、を備える真空排気装置。 The vacuum valve according to any one of claims 1 to 3,
A vacuum exhaust device including a vacuum pump in which a pump intake port flange is bolted to the valve exhaust port flange. 真空バルブと、ポンプ吸気口フランジがバルブ排気口フランジにボルト固定される真空ポンプとを備える真空排気装置であって、
前記真空バルブが、
バルブボディに設けられたバルブ吸気口フランジと、
前記バルブボディに設けられ、前記バルブ吸気口フランジよりも開口径の大きなバルブ排気口フランジと、
前記バルブボディ内に設けられ、前記バルブ吸気口フランジの開口径に応じたバルブプレートと、
前記バルブプレートを、前記バルブ吸気口フランジの中心軸上に配置される閉位置と前記中心軸上から退避した開位置との間でスライド駆動するバルブ駆動部と、
前記バルブ排気口フランジの開口を含み流路断面積が変化するガス流路領域とを有し、
前記ガス流路領域は、上流側領域端の流路断面積が前記バルブ吸気口フランジの開口断面積に設定され、前記バルブ排気口フランジの開口に近づくほど流路断面積が増加しており、
前記ポンプ吸気口フランジを前記バルブ排気口フランジにボルト固定する複数のボルトは、前記ポンプ吸気口フランジの全周の内の所定角度領域に偏在して配置され、
前記ポンプ吸気口フランジおよび前記バルブ排気口フランジは、フランジ中心軸からフランジ外径側端部までの距離が、前記所定角度領域以外の角度領域では前記所定角度領域よりも小さく設定されている、真空排気装置。 A vacuum exhaust device including a vacuum valve and a vacuum pump in which a pump intake flange is bolted to a valve exhaust flange.
The vacuum valve
The valve intake flange provided on the valve body and
A valve exhaust port flange provided on the valve body and having a larger opening diameter than the valve intake flange.
A valve plate provided in the valve body and corresponding to the opening diameter of the valve intake flange,
A valve drive unit that slides the valve plate between a closed position arranged on the central axis of the valve intake flange and an open position retracted from the central axis.
It has a gas flow path region including the opening of the valve exhaust port flange and the cross-sectional area of the flow path changes.
In the gas flow path region, the flow path cross-sectional area at the upstream side region end is set to the opening cross-sectional area of the valve intake flange, and the flow path cross-sectional area increases as it approaches the opening of the valve exhaust port flange.
A plurality of bolts for bolting the pump intake flange to the valve exhaust flange are arranged unevenly in a predetermined angle region within the entire circumference of the pump intake flange.
In the pump intake port flange and the valve exhaust port flange, the distance from the flange central axis to the flange outer diameter side end is set to be smaller than the predetermined angle region in an angle region other than the predetermined angle region. Exhaust device. 請求項５に記載の真空排気装置において、
前記バルブ駆動部は、前記ポンプ吸気口フランジおよび前記バルブ排気口フランジにおける前記所定角度領域のフランジ側壁に近接するように前記バルブボディに固定されている、真空排気装置。 In the vacuum exhaust device according to claim 5.
The valve drive unit is a vacuum exhaust device fixed to the valve body so as to be close to the flange side wall of the predetermined angle region in the pump intake port flange and the valve exhaust port flange. 請求項５または６に記載の真空排気装置において、
前記バルブ排気口フランジに係合する第１係合部と前記ポンプ吸気口フランジに係合する第２係合部とを有し、前記ポンプ吸気口フランジの周方向の移動を抑制する係合部材を備える、真空排気装置。 In the vacuum exhaust device according to claim 5 or 6.
An engaging member having a first engaging portion that engages with the valve exhaust port flange and a second engaging portion that engages with the pump intake port flange, and suppresses the movement of the pump intake port flange in the circumferential direction. A vacuum exhaust device. 請求項５または６に記載の真空排気装置において、
前記ポンプ吸気口フランジは、前記バルブ排気口フランジと係合して前記ポンプ吸気口フランジの周方向の移動を抑制する係合部を備える、真空排気装置。 In the vacuum exhaust device according to claim 5 or 6.
The pump intake port flange is a vacuum exhaust device including an engaging portion that engages with the valve exhaust port flange and suppresses the movement of the pump intake port flange in the circumferential direction. 請求項５から請求項８までのいずれか一項に記載の真空排気装置において、
前記バルブ排気口フランジと嵌合して前記ポンプ吸気口フランジの径方向の変形を抑制する嵌合部を前記ポンプ吸気口フランジに備えている、真空排気装置。 In the vacuum exhaust device according to any one of claims 5 to 8.
A vacuum exhaust device that includes a fitting portion that fits with the valve exhaust port flange and suppresses radial deformation of the pump intake port flange in the pump intake port flange. 請求項９に記載の真空排気装置において、
前記嵌合部は、前記ポンプ吸気口フランジの全周の内の前記所定角度領域を除く領域に設けられている、真空排気装置。 In the vacuum exhaust device according to claim 9.
The fitting portion is a vacuum exhaust device provided in a region other than the predetermined angle region within the entire circumference of the pump intake port flange. 請求項５から請求項１０までのいずれか一項に記載の真空排気装置に用いられる真空ポンプ。 The vacuum pump used in the vacuum exhaust device according to any one of claims 5 to 10. 請求項５から請求項１０までのいずれか一項に記載の真空排気装置に用いられる真空バルブ。 The vacuum valve used in the vacuum exhaust device according to any one of claims 5 to 10.
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