JP6871482B2 - 充填されたスラリーを繊維質テクスチャに注入する方法 - Google Patents

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Description

本発明は、熱構造複合材料で作られた部品の製造方法に関し、特に、酸化物/酸化物またはセラミックマトリックスの複合材料(CMC)タイプの熱構造複合材料、すなわち、耐火セラミック材料で作られた繊維から形成され、耐火セラミック材料で作られたマトリックスによって高密度化された繊維強化材を含む、熱構造複合材料で作られた部品の製造方法に関する。より詳細には、本発明は、充填したスラリーを繊維強化材に含浸させる工程、例えば酸化物/酸化物複合材料の場合にはアルミナ粒子を繊維強化材に含浸させるステップ、CMC複合材料の場合には炭化珪素粒子(SiC)を繊維強化材に含浸させるステップを含む、液体プロセスによる酸化物/酸化物またはCMC複合材料で作られた部品の製造に関する。
含浸工程は、繊維強化材(「スラリートランスファーモールディング」プロセスのためのSTM)内に充填スラリー(一般に10〜40体積%)を加圧注入することによって実施される。注入に使用されるスラリーは特に、繊維強化材の体積中での充填剤の輸送のために安定な粘度を有するために、軽く充填される。このような場合には、繊維強化材中に存在する残留気孔を固体充填剤で最適に充填するために、スラリーの液相を排水または濾過することが必要である。このような方法は、特に特許文献1(国際公開第2016/102839号)に記載されている。
SiC/SiC材料の場合、装填されたスラリーを注入および濾過する工程は、三次元(3D)織りによって得られ、化学蒸気浸透(CVI)によって圧密化または予備高密度化された、繊維ブランク上で実施される。固定された多孔性ネットワークを有する非圧縮性ブランクは、25体積%と45体積%との間に含まれる糸間の全残留多孔性を有する。しかしながら、繊維プライのスタックから形成された3D繊維ブランク又はブランクは、充填されたスラリーによる繊維ブランクの充填の監視において困難を引き起こす複雑な多孔性ネットワークを有する。このように、充填された懸濁液を繊維質テクスチャ中に注入または濾過する工程は、十分に制御されず、その結果、最終部品に多孔性が存在する。
図4は従来技術によるSiC/SiC複合材料で作られた部品300、すなわち、ここでは、インターロック織りの緯糸と経糸の層の間の3D織りによって形成され、SiCマトリックス320によって高密度化されたSiC繊維強化材310の断面の2つの顕微鏡写真を示す。部品300は上述したのと同じ方法で、すなわち、SiC繊維質テクスチャのスライスまたは面からSiC粒子を装填したスラリーを射出することによって製造され、射出は、「RTM」(「樹脂トランスファー成形」)と呼ばれる周知の射出成形プロセスと同様の条件で行われた。図4に見られるように、部品300は、SiCマトリックスで充填されていない繊維強化材中に最初に存在する多孔性に対応する糸間多孔性330を含む。
酸化物/酸化物材料の場合、装填されたスラリーの注入は、二重多孔性ネットワーク、すなわち、糸内の多孔性ネットワークおよび糸間の多孔性ネットワークを有する繊維質テクスチャ中で実施される。ここでもまた、繊維質テクスチャ中の多孔性ネットワークの全体へのアクセスが複雑であるために、注入および濾過の困難性が観察され、得られる材料中に多孔性またはマトリックスが存在しない領域が存在することにつながっている。
国際公開第2016/102839号
本発明の目的は上述の欠点を克服し、複合材料、特に酸化物/酸化物又はCMCタイプの部品を、複雑な及び/又は厚い幾何学的形状の繊維質組織から製造することを可能にする解決策を提案することであり、この解決策は、残留多孔率が非常に低く、したがって特性が改善された材料を得るために、繊維質組織内の固体粒子の堆積及び分布の良好な監視を可能にすることによって、強固で反復可能な方法で行われる。
この目的のために、本発明は、複合材料で作られた部品を製造する方法であって、前記方法は、
耐火セラミック繊維から繊維質テクスチャを形成するステップと、
射出成形型の型キャビティ内に繊維質テクスチャを配置するステップと、
液相中に懸濁された耐火セラミック粒子または耐火セラミック前駆体の粒子の少なくとも1つの粉末を含むスラリーを繊維質テクスチャ中に注入するステップと、
耐火セラミック粒子または耐火セラミック前駆体の粒子が充填された繊維質プリフォームを得るために、スラリーの液相を濾過して耐火セラミック粒子または耐火セラミック前駆体の粒子を前記テクスチャ内に保持するステップと、
耐火マトリックスを前記テクスチャ中に形成するために前記テクスチャ中に存在する前記耐火セラミック粒子を処理することによって、前記繊維質テクスチャを高密度化するステップとを備える、複合材料で作られた部品を製造する方法において、
前記方法は、射出成形型の型キャビティ内に繊維質テクスチャを配置するステップの後であって、前記スラリーを加圧下に注入するステップの前に、繊維質テクスチャにキャリア流体を注入することからなる、キャリア流体で繊維質テクスチャを予備飽和させるステップを含む、複合材料で作られた部品を製造する方法を提案する。
充填されたスラリーを注入する前に、繊維質テクスチャをキャリア流体で予め飽和させることによって、テクスチャ内の充填剤トランスファー機構が十分に監視される過渡状態が確立される。その結果、これは、耐火セラミック粒子による繊維質テクスチャの充填を最適化することを可能にする。予備飽和工程は、装填されたスラリーの注入中の繊維質テクスチャの湿潤性の問題を克服することを可能にする。繊維質テクスチャ中に存在する多孔性の充填は注入の開始から、テクスチャ中に既に存在するキャリア流体中の粒子の希釈によって促進される。
本発明の方法の特定の特徴によれば、キャリア流体はスラリーの液相に相当する。これにより、テクスチャの濡れ性およびスラリー中に懸濁した粒子の不安定化の可能性の問題を克服することができる。
本発明の方法の別の特別な特徴によれば、キャリア流体の予備飽和工程とスラリー注入工程とは連続的に結び付けられている。したがって、部品の製造時間は、予飽和ステップによって生成される過渡状態の影響を最適化しながら短縮される。
本発明の方法の別の特定の特徴によれば、予備飽和ステップは、型キャビティ内の圧力が所定の圧力値に達したときに停止される。したがって、最適な時間でスラリーを注入するために、予備飽和ステップを監視し、検証することが可能である。
本発明の方法の別の特定の特徴によれば、予備飽和ステップの間、キャリア流体は第1の所定の流量で注入され、装填されたスラリー注入ステップの間、前記スラリーは第1の流量と同様または異なる第2の所定の流量で注入される。
本発明の方法の別の特別な特徴によれば、繊維質テクスチャ形成工程の間、糸は三次元または多層織りで織られる。
テクスチャの糸は、アルミナ、ムライト、シリカ、アルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、炭化ケイ素および炭素の材料のうちの1つまたはいくつかから作製される繊維から形成される糸であり得る。
耐火セラミック粒子は、アルミナ、ムライト、シリカ、アルミノケイ酸塩、アルミノリン酸塩、ジルコニア、炭化物、ホウ化物および窒化物から選択される材料から作ることができる。
例示的な実施形態では、得られた複合材料で作られた部品がターボ機械ベーン、または後部本体部品、燃焼室、フラップ、後燃焼アーム、タービンリング、ミキサー、分配器などを構成することができる。
本発明の他の特徴および利点は、添付の図面を参照して、非限定的な例として与えられる、本発明の特定の実施形態の以下の説明から明らかになるのであろう。
図1は、本発明の一実施形態による、キャリア流体で繊維質テクスチャを予備飽和させるステップを示す概略断面図である。 図2は、装填されたスラリーを注入し、スラリーの液相を図1の繊維質テクスチャに排出するステップを示す概略断面図である。 図3は、本発明の方法に従って製造されたSiC/SiC複合材料で作られた部品の2つの顕微鏡写真を示す。 図4は、従来技術に従って製造されたSiC/SiC複合材料で作られた部品の2つの顕微鏡写真を示す。
本発明による、特に酸化物/酸化物またはCMCタイプの複合材料で作られた部品の製造方法は、部品の補強を形成することを意図した繊維質テクスチャ10の達成から始まる。
繊維構造は、周知の方法で、経糸またはストランドの束が複数の層に配置されたジャカード型織機の手段によって織ることによって達成され、経糸は緯糸によって結合されるか、またはその逆である。繊維質テクスチャは、糸またはケーブルの二次元織り(2D)または一方向シート(UD)によって得られるプライまたは折り目を積み重ねることによって、またはいくつかのシートUDを異なる方向に重ね合わせ、UDシートを、例えば縫い合わせることによって、化学結合剤によって、またはニードリングによって一緒に結合することによって得られる多方向シート(nD)によって達成することができる。
繊維質テクスチャはまた、三次元(3D)織りによって、単一片で直接達成することもできる。「二次元織り」とは、ここでは各緯糸が単一の経糸層の糸の一方の側から他方の側に、またはその逆に通過する従来の織りモードを意味する。2D繊維質テクスチャ、すなわち、2Dプライまたは折り目を積み重ねることによって得られるテクスチャ中に装填されたスラリーを注入する場合、本発明は有意な厚さの2Dテクスチャ、すなわち、少なくとも0.5mm、好ましくは少なくとも1mmの厚さを有する2D繊維質テクスチャに特に適している。
「三次元織り」または「三次元織り」または「多層織り」とは、ここでは特に、インターロック、マルチキャンバス、マルチサテン、およびマルチツイルの織りのうちの1つから選択することができる織りに対応する織りにおいて、緯糸の少なくともいくつかが経糸のいくつかの層上で経糸を結合するか、またはその逆である織りモードを意味する。
「インターロック織り又は織物」とは、ここではその縦糸の各層が横糸のいくつかの層を結合し、同じ縦糸列のすべての糸が織り平面内で同じ運動を有する3D織りを意味する。
「マルチキャンバス織り又はファブリック」とはここでは各層の基本織りが従来のキャンバスタイプの織りと同等であるが、緯糸の層を互いに結合する織りの幾つかの点を有する、緯糸の幾つかの層を有する3D織りを意味する。
「マルチサテン織り又は織物」とはここでは各層の基本織りが従来のサテンタイプの織りと同等であるが、緯糸の層を一緒に結合する織りのいくつかの点を有する、緯糸のいくつかの層を有する3D織りを意味する。
「マルチツイル織り又はファブリック」とはここでは各層の基本織りが従来のツイルタイプの織りと同等であるが、緯糸の層を一緒に結合する織りのいくつかの点を有する、緯糸のいくつかの層を有する3D織りを意味する。
2DプライまたはUDシートの積み重ねによって形成される3Dテクスチャまたはテクスチャは懸濁固体粒子を導入し、均一に分布させることが困難である複雑な幾何学的形状を有する。本発明の方法は、3D織物繊維質テクスチャ中に装填されたスラリーを導入するのに非常に良好に適合される。
複合材料で作られた部品の繊維強化材を形成することを意図した繊維質テクスチャを織るために使用される糸は特に、アルミナ、ムライト、シリカ、アルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、炭化ケイ素、炭素、またはこれらの材料のいくつかの混合物のうちの1つで作られた繊維で形成することができる。
ここで述べた例では、繊維質テクスチャ10がSiC繊維の複数の糸の間に3D溶接することにより達成され、繊維はSiCの化学的蒸着によって溶けた後に圧密化される。繊維質テクスチャ10は、ここではSiC/SiC複合材料(SiCマトリックスによって高密度化されたSiC繊維強化材)で作られた部分の繊維強化材を形成することを意図している。
図1は本発明に係る射出工具100を図示したものであり、エンクロージャ110とボトム111とが一体となって型キャビティ113を構成する。フィルタ120はエンクロージャ110の底部111上に存在し、底部111は開口部1110を含む。エンクロージャ110の上部は一方ではキャリア流体注入システム140に接続され、他方では装填されたスラリー注入システム150に接続された注入ポート1120を含むカバー112によって閉じられるが、キャリア流体および装填されたスラリーが型キャビティ113に開口する複数の注入ポートを通して注入される場合、本発明の範囲から逸脱することはない。
より具体的にはキャリア流体注入システムがここではキャリア流体FPを含むリザーバ141からなり、その出口ダクト144は蠕動ポンプ142の入口に接続される。蠕動ポンプ142のアウトレットは、ダクト145と146によって注入口1120に接続され、その間にバルブ143が介在する。ここで積載されたスラリー注入システム150は、充填されたスラリーBCを含む室1510を切り離した射出口151と、さらにピストン1511を装備した射出口151と、その逆のピストンと、射出口1120に接続された出口1512をダクト153と154との間にバルブ152が介在する出口153とで構成されている。
繊維質テクスチャ10が達成されると、それは、以下に説明されるように、繊維質テクスチャ内に耐火性セラミック粒子または耐火性セラミック前駆体の粒子を堆積させることを可能にする射出成形型100内に配置される。
図1は、本発明によるキャリア流体FPで繊維質テクスチャ10を予備飽和させるステップを示す。キャリア流体FPは特に、以下の流体、すなわち、異なるpHを有する水、アルコール(例えば、エタノール、PVA)、エステル(例えば、酢酸エチル)、ケトン(例えば、アセトン、メチルエチルケトン)、アルカン(例えば、ヘキサデカン)、アルケン(例えば、トルエン)、THF、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビドン(PVP)から選択され得る。キャリア流体は、好ましくは装填されたスラリーBC中に存在する液相と同じ性質のものである。ここで述べた例では、キャリア流体FPは9から10の間で構成されるpHでの水に相当する。このステップの間、装填されたスラリー注入システム150は動作せず、注入ポット151はスラリーBCを供給せず、バルブ152は閉じている。キャリア流体注入システムの側では、キャリア流体FPが蠕動ポンプ142によって注入ポート1120に一定の流量で送達され、弁143は開いている。キャリア流体は、2cm3/分〜1500cm3/分の流量で注入される。ここに記載される実施形態では、水からなるキャリア流体が100cm3/分の流量で送達される。注入されたキャリア流体の流量の調節は蠕動ポンプ以外の他の手段、例えば、監視された流量を有するピストンを備えたインジェクタを用いて実施することができる。蠕動ポンプは、型キャビティ113内に注入されたキャリア流体FPの流量を少なくとも所定の流量値で監視するように制御される。
予備飽和ステップは繊維質テクスチャにおけるキャリア流体飽和が完了したと考えられるとき、すなわち、型キャビティ113内の圧力(キャリア流体射出システムの圧力損失)が安定性閾値、例えば60kPa(600ミリバール)に達したときに終了する。予備飽和段階の終わりにおける圧力安定しきい値の達成の計測は、射出工具100の射出口1120に配置された圧力センサ160、例えば圧力計の手段によって実施することができる。型キャビティ内の圧力の測定は、型キャビティの表面に配置された圧力センサ(図1及び図2には示されていない)を用いて行うこともできる。
予備飽和ステップが完了すると、装着されたスラリーBCを繊維状10に注入するステップが図2に示されているように実行され、ここで説明した例では、スラリーBCが9から10の間で構成されるpHで、0.5μmから0.9μmの間で水中に停止された平均直径D50のSiC粒子を20体積%で構成される。粒子は、ミクロン(>10μm)またはサブミクロンサイズを有することもできる。
このステップの間、装填されたスラリーBCは、監視された圧力又は流量の下で型キャビティ113内に注入される。このステップの間、キャリア流体注入システム140は動作せず、蠕動ポンプ142は停止され、バルブ143は閉じられる。装填されたスラリー注入装置150の側部ではスラリーBCが注入口1120に注入口151によって調節された流量で供給され、弁152は開いており、ここでスラリーBCは2cm3/分の最低流量で注入される。流速の調節は、注入ポット151のピストン1511によって制御され、キャリア流体注入流速よりも低い流速で装填されたスラリーを送達する。図2において、スラリーBCは、注入ポート1120を通して圧力下で注入される。
図2に示すように、スラリーBC中に存在する耐火セラミック粒子CR、ここではSiC粒子は、フィルタ120のおかげで繊維質テクスチャ10中に保持される。フィルタ120は、スラリーからの液体が開口部1110を通って排出される間、スラリー中に存在する耐火性酸化物粒子を保持するように較正される。したがって、耐火性酸化物粒子は、テクスチャ中の沈降によって徐々に堆積される。フィルタ120は例えば、Porex(登録商標)社によって販売されている「微孔質PTFE」製品のような微孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などの多孔質材料で作られた部品から構成することができる。例えば、多孔質材料の一部を製造するために、1μm〜2μmの間に含まれる孔径を有するPorex(登録商標)社によって市販されているPM材料0130、Porex(登録商標)社からのPM材料0510、またはBekipor(登録商標)材料を使用することが可能である。一般に、注入された粒子を保持することができる、金属グリッドまたはセラミックフィルタなどの任意のデバイスを、濾過ステップに使用することができる。充填されたスラリーBCの射出と組み合わされて、例えば、一次減圧ポンプ(図2には示されていない)の手段によるポンプPが繊維質テクスチャ10を通るスラリーの移動及びその液相のろ過を改善するために、開口部1110を通ってエンクロージャ110の底部111の外側で実行され得る。
一旦、注入および濾過工程が実施されると、耐火性セラミック粒子、この場合はSiC粒子が充填された繊維プリフォームが得られる。次に、得られたプリフォームを乾燥させ、離型し、プリフォームは、離型後、型キャビティに採用されたフォームを保持することができる。
次いで、プリフォームは、プリフォーム中に存在する粒子の処理によって高密度化される。例えば、酸化物粒子の場合、この処理は粒子を焼結し、従って繊維プリフォームの多孔性中に耐火性セラミックマトリックスを形成するために、粒子を焼結熱処理、例えば、1000℃〜1200℃の間に含まれる温度で空気中で処理することからなる。SiC粒子の場合、ここで述べた例のように、SiC粒子は溶融シリコン(MI "melt infiltration"プロセス)を施したプリフォームの浸透によりシリコンに浸透させ、SiCマトリックスを形成する。これは、複合材料、ここではSiC/SiC複合材料で作られた部品に、繊維状プリフォームによって形成され、繊維状補強材全体にわたる耐火セラミックマトリックスの均一な分布を有する高いマトリックス体積比を有する繊維状補強材を提供する。
図3は本発明の方法に従って製造されたSiC/SiC複合材料で作られた部品200の断面(緯糸方向の断面:緯糸方向に対応する写真の長さ)の2つの顕微鏡写真を示しており、本発明の方法は、インターロック織りで緯糸と経糸の層の間に3D織りによって形成された繊維質テクスチャを達成するステップと、SiCの化学気相浸透によって繊維質テクスチャを予備高密度化または圧密化するステップと、圧密化された繊維質テクスチャを、上述した工具100と同様の射出工具内に配置するステップと、100cm3/分の流量で9〜10の間のpHを有するテクスチャ水を有するキャリア流体で繊維質テクスチャを予備飽和させるステップと、9〜10の間のpHを有する水中に懸濁されたSiCの粒子からなる、装填されたスラリーを、2cm3/分の流量で繊維質テクスチャ内に射出するステップと、テクスチャ中の充填剤の蓄積を局所的に可能にするようにスラリーの液相を濾過し、その結果、テクスチャ中の充填剤比を増加させるステップと、SiCマトリックスを形成するために溶融ケイ素での浸透によってプリフォームを高密度化するステップとを有する。
図3において、得られる部品200は、SiC糸から形成され、SiCマトリックス220によって高密度化された繊維強化材210を含む。図3に見られるように、部品200は目に見える糸間多孔性をほとんどまたは全く含まず、これは装填されたスラリーのその後の注射の間のテクスチャの充填の最適化における繊維質テクスチャ予備飽和工程の有効性を実証する。
本発明の方法は、水中に懸濁されたSiC粒子を含むスラリーの注入に限定されない。より一般的には、使用されるスラリーが0.1μm〜10μmの間に含まれる平均粒径を有する耐火セラミック粒子を含む懸濁液であり得る。スラリー中の耐火セラミック粒子の体積含有量は注入前に、1体積%〜50体積%、好ましくは20体積%〜35体積%であることができる。耐火セラミック粒子は、アルミナ、ムライト、シリカ、アルミノケイ酸塩、アルミノリン酸塩、炭化物、ホウ化物、窒化物、及びこれらの材料の混合物から選択される材料を含むことができる。その基本組成に応じて、耐火セラミック粒子はさらに、アルミナ、ジルコニア、アルミノケイ酸塩、希土類酸化物、希土類ケイ酸塩(例えば、環境バリアまたは熱バリアに使用することができる)、またはカーボンブラック、グラファイトまたは炭化ケイ素などの、得られる複合材料部品を機能的にすることを可能にする任意の他の充填剤の粒子と混合することができる。
スラリーの液状媒体または相は例えば、酸性pH(すなわち、7未満のpH)を有する水相および/または例えばエタノールを含むアルコール相を含むこともできる。スラリーは硝酸のような酸性化剤を含むことができ、液体媒体のpHは例えば、1.5〜4の間に含まれることができる。スラリーはさらに、特に水に可溶性であるポリビニルアルコール(PVA)などの有機バインダーを含んでもよい。より一般的には、スラリーが−キャリア流体、−分散剤(例えば、適切なpH)、−バインダー(例えば、PVA)、−可塑剤(例えば、PVA)、−消泡剤、−湿潤剤を含むことができる。
酸化物/酸化物材料以外のCMC複合材料で作られた部品は炭化ケイ素および/またはカーボンの繊維で繊維質組織を達成することによって、および炭化物粒子(例えば、SiC、B4CまたはTiC)、ホウ化物(例えば、TiB2)、窒化物(例えば、Si34)、またはケイ化物(例えば、TiSi2)が充填されたスラリーを使用することによって、同じ方法で得ることができる。

Claims (8)

  1. 複合材料で作られた部品を製造するための方法であって、
    前記方法は、
    耐火セラミック繊維から繊維質テクスチャ(10)を形成するステップと、
    射出成形型(100)の型キャビティ(113)内に前記繊維質テクスチャ(10)を配置するステップと、
    液相中に懸濁された耐火セラミック粒子または耐火セラミック前駆体の粒子の少なくとも1つの粉末を含むスラリー(BC)を注入するステップと、
    前記耐火セラミック粒子または耐火セラミック前駆体の粒子を装填した繊維質プリフォームを得るために、前記スラリーの液相を濾過して前記耐火セラミック粒子または耐火セラミック前駆体の粒子を前記繊維質テクスチャ内に保持する、ステップと、
    前記繊維質テクスチャ内に耐火マトリックスを形成するために、前記繊維質テクスチャ内に存在する前記耐火セラミック粒子を処理することによって前記繊維質テクスチャを高密度化するステップとを備える、複合材料で作られた部品を製造するための方法において、
    前記方法は、前記射出成形型の型キャビティ内に前記繊維質テクスチャを配置するステップの後であって、前記スラリー(BC)を加圧下に注入するステップの前に、前記繊維質テクスチャにキャリア流体を注入することからなる、前記繊維質テクスチャ(10)を前記スラリー(BC)の液相に相当するキャリア流体(FP)で予備飽和させるステップを含む、複合材料で作られた部品を製造するための方法。
  2. 前記キャリア流体(FP)の予備飽和ステップと前記スラリー(BC)の注入ステップとが連続的に結び付けられている、請求項1に記載の方法。
  3. 前記予備飽和ステップは、前記型キャビティ(113)内の圧力が所定の圧力値に達したときに停止される、請求項1又は2に記載の方法。
  4. 前記予備飽和ステップ中に、前記キャリア流体(FP)が第1の所定の流量で注入され、前記スラリー(BC)の注入ステップ中に、前記スラリーが、前記第1の所定の流量と同様のまたは異なる第2の所定の流量で注入される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
  5. 前記繊維質テクスチャ(10)を形成するステップの間に、糸が三次元または多層織りで織られることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
  6. 繊維質テクスチャ(10)の前記糸が、アルミナ、ムライト、シリカ、アルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、炭化ケイ素および炭素の材料の内の1つまたはいくつかで作られた繊維から形成されることを特徴とする、請求項に記載の方法。
  7. 前記耐火セラミック粒子は、アルミナ、ムライト、シリカ、アルミノケイ酸塩、アルミノリン酸塩、ジルコニア、炭化物、ホウ化物および窒化物から選択される物質で作られていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
  8. 得られた複合材料で作られた部品が、ターボ機械ベーン、アフターボディ部品、燃焼室、フラップ、ポスト燃焼アーム、タービンリング、ミキサーまたは分配器を構成することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
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