JP6828250B2

JP6828250B2 - Photodetector and manufacturing method of photodetector

Info

Publication number: JP6828250B2
Application number: JP2016041477A
Authority: JP
Inventors: 祐輔松倉
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2016-03-03
Filing date: 2016-03-03
Publication date: 2021-02-10
Anticipated expiration: 2036-03-03
Also published as: JP2017157755A

Description

本発明は、光検出器及び光検出器の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a photodetector and a method of manufacturing the photodetector.

光検出器として、赤外線を検出するための量子井戸型赤外線検出器（ＱＷＩＰ：Quantum Well Infrared Photodetector）、または、量子ドット型赤外線検出器（ＱＤＩＰ：Quantum Dot Infrared Photodetector）等がある。これらの赤外線検出器は、赤外線を検出する活性層の両面を上部コンタクト層と下部コンタクト層により挟んだ構造のものである。このような赤外線検出器と、信号処理用の集積回路素子である信号処理回路素子とをＩｎバンプを介しハイブリッド接続することにより、赤外線検出装置が作製される。 Examples of the photodetector include a quantum well type infrared detector (QWIP: Quantum Well Infrared Photodetector) for detecting infrared rays, a quantum dot type infrared detector (QDIP: Quantum Dot Infrared Photodetector), and the like. These infrared detectors have a structure in which both sides of an active layer for detecting infrared rays are sandwiched between an upper contact layer and a lower contact layer. An infrared detection device is manufactured by hybrid-connecting such an infrared detector and a signal processing circuit element, which is an integrated circuit element for signal processing, via an In bump.

一般的には、赤外線検出器の表面側は、読み出し回路がＩｎバンプを介しハイブリッド接続されているため、赤外線検出器の裏面側から赤外線検出器に入射した赤外線が検出される。具体的には、赤外線検出器の裏面側から入射した赤外線は、赤外線検出器の表面側に形成された光結合構造(グレーティングカプラ)により回折、反射され、活性層において検出される。このような光結合構造は、回折格子と、回折格子の上に形成された金属反射膜により形成されている。赤外線検出器は、赤外線を検出するための画素が複数設けられており、画素と画素の間には、赤外線検出器の表面側より、各々の画素を分離するための画素分離溝が形成されている。 Generally, since the readout circuit is hybrid-connected to the front surface side of the infrared detector via In bumps, infrared rays incident on the infrared detector are detected from the back surface side of the infrared detector. Specifically, infrared rays incident from the back surface side of the infrared detector are diffracted and reflected by an optical coupling structure (grating coupler) formed on the front surface side of the infrared detector, and are detected in the active layer. Such an optical coupling structure is formed by a diffraction grating and a metal reflective film formed on the diffraction grating. The infrared detector is provided with a plurality of pixels for detecting infrared rays, and a pixel separation groove for separating each pixel is formed between the pixels from the surface side of the infrared detector. There is.

赤外線検出器は、物体の熱輻射によって放出される赤外線が赤外線検出器に入射し、入射した赤外線の強度分布を電気信号分布に変換する素子であり、例えば、そのような赤外線検出素子を２次元状に配列したいわゆるフォーカルプレーンアレイ（ＦＰＡ）型の赤外線撮像装置により、赤外線画像を得ることができる。赤外線画像は、可視光領域での撮像装置などとは異なり、暗闇の中においても対象物体を撮像可能であるため、セキュリティ分野等において用いられている。また、対象物体から放出される赤外線の強度は、その対象物体の温度の関数であることから、撮像物体中での赤外線放射強度分布より、その物体中での温度分布を反映した画像が得られる。このため、医療分野等においても期待されている。 The infrared detector is an element in which infrared rays emitted by thermal radiation of an object are incident on the infrared detector and the intensity distribution of the incident infrared rays is converted into an electric signal distribution. For example, such an infrared detection element is two-dimensional. An infrared image can be obtained by a so-called focal plane array (FPA) type infrared image pickup device arranged in a shape. Infrared images are used in the security field and the like because they can image an object even in the dark, unlike an image pickup device in the visible light region. Further, since the intensity of infrared rays emitted from the target object is a function of the temperature of the target object, an image reflecting the temperature distribution in the object can be obtained from the infrared radiation intensity distribution in the imaged object. .. Therefore, it is also expected in the medical field and the like.

赤外線検出素子を平面上に２次元アレイ状に配置したＦＰＡ型赤外線撮像装置においては、赤外線検出素子に入射する赤外線の強度分布を電気信号分布に変換して、赤外線を検出し、赤外線画像を得る。この際、図１に示されるようなダイレクト−インジェクション（ＤＩ）回路と呼ばれる電流−電圧変換回路が用いられることが多い。ダイレクト−インジェクション回路には、赤外線検出素子９１０、蓄積コンデンサ９２０、スイッチ９３１、９３２となるトランジスタ等が用いられている。ダイレクト−インジェクション回路を用いた赤外線検出素子９１０における赤外線検出方法は、最初に、スイッチ９３２を開き、スイッチ９３１を閉じて、静電容量Ｃの蓄積コンデンサ９２０を充電する。この後、スイッチ９３１を開き、スイッチ９３２を閉じることにより、蓄積コンデンサ９２０よりスイッチ９３２を介し赤外線検出素子９１０に電流Ｉが流れ、蓄積コンデンサ９２０において電圧降下ΔＶが生じる。赤外線検出素子９１０は、入射した赤外線の光量に応じて抵抗値が変化するため、これに対応して電流Ｉが変化し、電圧降下ΔＶの値も変化する。この電圧降下ΔＶの値を検出し、検出された電圧降下ΔＶの値に基づき、赤外線検出素子９１０に入射した赤外線の光量を検出する。尚、スイッチ９３２が閉じられている時間、即ち、蓄積時間をｔとした場合、電圧降下ΔＶの値は、ΔＶ＝（ｔ／Ｃ）×Ｉとなる。 In an FPA type infrared image pickup device in which infrared detection elements are arranged in a two-dimensional array on a plane, the intensity distribution of infrared rays incident on the infrared detection elements is converted into an electric signal distribution to detect infrared rays and obtain an infrared image. .. At this time, a current-voltage conversion circuit called a direct-injection (DI) circuit as shown in FIG. 1 is often used. In the direct-injection circuit, an infrared detection element 910, a storage capacitor 920, a transistor serving as switches 931 and 932, and the like are used. In the infrared detection method in the infrared detection element 910 using the direct-injection circuit, first, the switch 932 is opened, the switch 931 is closed, and the storage capacitor 920 having the capacitance C is charged. After that, by opening the switch 931 and closing the switch 932, a current I flows from the storage capacitor 920 to the infrared detection element 910 via the switch 932, and a voltage drop ΔV occurs in the storage capacitor 920. Since the resistance value of the infrared detection element 910 changes according to the amount of incident infrared light, the current I changes correspondingly and the value of the voltage drop ΔV also changes. The value of the voltage drop ΔV is detected, and the amount of infrared light incident on the infrared detection element 910 is detected based on the detected value of the voltage drop ΔV. When the time when the switch 932 is closed, that is, the storage time is t, the value of the voltage drop ΔV is ΔV = (t / C) × I.

ところで、赤外線検出器に限らず一般に半導体素子では、半導体素子の中を流れる電流は、例えば、赤外線検出器では、赤外線検出器に入射する赤外線の強度によって変化されるのみならず、素子バイアスの揺らぎ等の要因によっても変動し、これがノイズとなる。 By the way, not only in an infrared detector but also in a semiconductor element in general, the current flowing through the semiconductor element is not only changed by the intensity of infrared rays incident on the infrared detector in the infrared detector, but also the fluctuation of the element bias. It also fluctuates due to factors such as, and this becomes noise.

具体的には、図１に示されるようなダイレクト−インジェクション回路においては、ノイズの周波数成分の周期が蓄積時間ｔよりも十分短い場合、電流Ｉの変動は、山と谷が打ち消し合い、出力される信号には影響がないため、ノイズとしては検出されない。これに対し、ノイズの周波数成分の周期が蓄積時間ｔよりも長い場合、電流Ｉの変動は、山と谷が打ち消しあう前に、スイッチ９３２が開かれてしまうため、出力される信号に影響を与え、ノイズとして検出される。従って、ダイレクト−インジェクション回路において、ノイズとして問題となるのは、蓄積時間ｔよりも周期が長いノイズ、即ち、蓄積時間ｔを周期とする周波数よりも低い周波数のノイズである。 Specifically, in the direct-injection circuit as shown in FIG. 1, when the period of the frequency component of noise is sufficiently shorter than the accumulation time t, the fluctuation of the current I is output with the peaks and valleys canceling each other out. Since it has no effect on the signal, it is not detected as noise. On the other hand, when the period of the frequency component of noise is longer than the accumulation time t, the fluctuation of the current I affects the output signal because the switch 932 is opened before the peaks and valleys cancel each other out. Give and detect as noise. Therefore, in the direct-injection circuit, the problem as noise is noise having a period longer than the accumulation time t, that is, noise having a frequency lower than the frequency having the accumulation time t as a period.

一般的に、ノイズを除去するための方法としては、図２に示されるように、電気配線と接地電位との間にバイパスコンデンサ９４０を設ける方法がある。これにより、ノイズとなる成分をバイパスコンデンサ９４０を介して接地電位に逃がし、信号成分に含まれるノイズを抑制することができる。このようなバイパスコンデンサ９４０は、効率よくノイズを除去するためには、できるだけノイズの発生源に近接して設置される。 Generally, as a method for removing noise, as shown in FIG. 2, there is a method of providing a bypass capacitor 940 between the electric wiring and the ground potential. As a result, the noise component can be released to the ground potential via the bypass capacitor 940, and the noise contained in the signal component can be suppressed. Such a bypass capacitor 940 is installed as close to the noise source as possible in order to efficiently remove noise.

また、上記のように、ダイレクト−インジェクション回路において問題となるノイズは、周期が蓄積時間ｔよりも長く、周波数の低いノイズである。このような周波数の低いノイズを取り除くためには、バイパスコンデンサ９４０の静電容量は大きいものが好ましい。 Further, as described above, the noise that becomes a problem in the direct-injection circuit is noise having a period longer than the accumulation time t and a low frequency. In order to remove such low frequency noise, it is preferable that the bypass capacitor 940 has a large capacitance.

特開平８−１６６２８４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-166284 特開平１１−３３７４０６号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-337406 特開平１１−１０８７５７号公報JP-A-11-108757

しかしながら、静電容量の大きなコンデンサは形状も大きくなるため、光検出器の大型化を招く。このため、小型で、低周波のノイズが除去される光検出器が求められている。 However, a capacitor having a large capacitance also has a large shape, which leads to an increase in the size of the photodetector. For this reason, there is a demand for a photodetector that is compact and can remove low-frequency noise.

本実施の形態の一観点によれば、光を検出する光検出器において、半導体材料により形成された、不純物元素がドープされた第１電極と、前記第１電極の上に半導体材料により形成された誘電体と、前記誘電体の上に半導体材料により形成された、不純物元素がドープされた第２電極と、前記第２電極の上に半導体材料により形成された活性層と、前記活性層の上に形成された第３電極と、を有し、基板の上に第１電極が形成されており、前記誘電体は前記基板と同じ材料により形成されていることを特徴とする。 According to one aspect of the present embodiment, in the light detector for detecting light, a first electrode formed of a semiconductor material and doped with an impurity element, and a semiconductor material formed on the first electrode. The dielectric, the second electrode formed of the semiconductor material on the dielectric, the second electrode doped with the impurity element, the active layer formed of the semiconductor material on the second electrode, and the active layer. possess a third electrode formed on the, and the first electrode is formed on the substrate, wherein the dielectric is characterized that you have been formed by the same material as the substrate.

開示の光検出器によれば、小型で、低周波のノイズを除去することができる。 According to the disclosed photodetector, it is small and can remove low frequency noise.

赤外線検出器の説明図Explanatory drawing of infrared detector 赤外線検出器におけるバイパスコンデンサの説明図Explanatory drawing of bypass capacitor in infrared detector 第１の実施の形態における赤外線検出装置の斜視図Perspective view of the infrared detector according to the first embodiment 第１の実施の形態における赤外線検出器の構造図Structural drawing of the infrared detector according to the first embodiment 第１の実施の形態における赤外線検出器の斜視図Perspective view of the infrared detector according to the first embodiment バイパスコンデンサを形成している容量形成層の膜厚と静電容量との相関図Correlation diagram between the film thickness of the capacitance forming layer forming the bypass capacitor and the capacitance 第１の実施の形態における赤外線検出器の回路図Circuit diagram of the infrared detector according to the first embodiment 第１の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（１）Process diagram of the method for manufacturing an infrared detector according to the first embodiment (1) 第１の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（２）Process diagram (2) of the method for manufacturing an infrared detector according to the first embodiment. 第１の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（３）Process diagram (3) of the method for manufacturing an infrared detector according to the first embodiment. 第１の実施の形態における赤外線検出素子が１つの赤外線検出器の構造図Structural drawing of an infrared detector having one infrared detection element according to the first embodiment 第２の実施の形態における赤外線検出器の構造図Structural drawing of the infrared detector according to the second embodiment 第２の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（１）Process diagram of the method for manufacturing an infrared detector according to the second embodiment (1) 第２の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（２）Process diagram of the method for manufacturing an infrared detector in the second embodiment (2) 第２の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（３）Process diagram (3) of the method for manufacturing an infrared detector according to the second embodiment. 第２の実施の形態における他の赤外線検出器の構造図Structural drawing of another infrared detector according to the second embodiment 第２の実施の形態における赤外線検出素子が１つの赤外線検出器の構造図Structural drawing of an infrared detector with one infrared detector element in the second embodiment 第２の実施の形態における赤外線検出素子が１つの他の赤外線検出器の構造図Structural drawing of another infrared detector having one infrared detector element in the second embodiment 第３の実施の形態における赤外線検出器の構造図Structural drawing of the infrared detector according to the third embodiment 第３の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（１）Process diagram of the method for manufacturing an infrared detector according to the third embodiment (1) 第３の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（２）Process diagram of the method for manufacturing an infrared detector according to the third embodiment (2) 第３の実施の形態における赤外線検出器の製造方法の工程図（３）Process diagram of a method for manufacturing an infrared detector according to a third embodiment (3)

実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。 The embodiment for carrying out will be described below. The same members and the like are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

〔第１の実施の形態〕
ところで、冷却型の赤外線検出器は、冷却時における結露防止のために、密閉された真空冷却容器内に設置されている。尚、真空冷却容器における冷却温度は、例えば、液体窒素温度（７７Ｋ）である。 [First Embodiment]
By the way, the cooling type infrared detector is installed in a closed vacuum cooling container in order to prevent dew condensation during cooling. The cooling temperature in the vacuum cooling container is, for example, the liquid nitrogen temperature (77K).

バイパスコンデンサ９４０は、真空冷却容器の外に接続すると、赤外線検出器までの距離が長くなり、ノイズの除去が効率的に行われない。従って、ノイズの除去を効率的に行うためには、バイパスコンデンサ９４０は、真空冷却容器内に設置することが好ましい。真空冷却容器内に設置されるバイパスコンデンサ９４０に、独立した部品の誘電体と金属等により形成されたコンデンサを用い、冷却の際の降温と昇温を繰り返すと、誘電体と金属との熱膨張率差等により、破壊される場合がある。また、比較的静電容量の大きいコンデンサは、大きさも大きいため、光検出器が大型化してしまう。従って、冷却型の赤外線検出器においては、小型で、信頼性が高く、低周波のノイズを除去することのできる赤外線検出器が求められている。 When the bypass capacitor 940 is connected to the outside of the vacuum cooling container, the distance to the infrared detector becomes long, and noise cannot be removed efficiently. Therefore, in order to efficiently remove noise, it is preferable to install the bypass capacitor 940 in the vacuum cooling container. For the bypass capacitor 940 installed in the vacuum cooling container, a capacitor formed of an independent dielectric and metal is used, and when the temperature is lowered and raised repeatedly during cooling, the dielectric and metal expand thermally. It may be destroyed due to the rate difference. In addition, a capacitor having a relatively large capacitance has a large size, so that the photodetector becomes large. Therefore, in the cooling type infrared detector, there is a demand for an infrared detector that is compact, highly reliable, and capable of removing low-frequency noise.

（光検出器）
次に、第１の実施の形態における光検出器について説明する。尚、本願においては、可視光、赤外線（赤外光）及び紫外線（紫外光）のうちのいずれかを含むものを光と記載する場合がある。 (Photodetector)
Next, the photodetector according to the first embodiment will be described. In the present application, light including any of visible light, infrared light (infrared light), and ultraviolet light (ultraviolet light) may be referred to as light.

本実施の形態における赤外線検出装置は、図３及び図４に示されるように、赤外線検出器１０と信号処理回路素子７０とをＩｎバンプを用いたＦＣＢ（フリップチップボンディング）により接合することにより形成されている。即ち、信号処理回路素子７０は、Ｓｉ基板等により形成されており、信号処理回路素子７０の一方の面７０ａには、不図示の半導体回路、配線、下地金属膜等が形成されている。本実施の形態における赤外線検出装置は、赤外線検出器１０の一方の面１０ａと信号処理回路素子７０の一方の面７０ａとを対向させた状態で、Ｉｎ等の接合金属材料により形成されたバンプ接合部８０により接合されている。これにより、赤外線検出器１０と信号処理回路素子７０とが、Ｉｎにより形成されたバンプ接合部８０により、画素ごとに電気的に接合される。この赤外線検出装置においては、赤外線は赤外線検出器１０の他方の面１０ｂとなる半導体基板２０側より入射し、不図示の回折格子や金属反射膜において反射され、活性層２５に入射することにより検出される。検出された赤外線は、電気信号に変換され、バンプ接合部８０を介し、信号処理回路素子７０に送られる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the infrared detection device according to the present embodiment is formed by joining the infrared detector 10 and the signal processing circuit element 70 by FCB (flip chip bonding) using In bumps. Has been done. That is, the signal processing circuit element 70 is formed of a Si substrate or the like, and a semiconductor circuit, wiring, a base metal film or the like (not shown) is formed on one surface 70a of the signal processing circuit element 70. In the infrared detection device of the present embodiment, one surface 10a of the infrared detector 10 and one surface 70a of the signal processing circuit element 70 are opposed to each other, and a bump junction formed of a bonding metal material such as In is formed. It is joined by the part 80. As a result, the infrared detector 10 and the signal processing circuit element 70 are electrically bonded to each pixel by the bump bonding portion 80 formed by In. In this infrared detection device, infrared rays are incident from the semiconductor substrate 20 side, which is the other surface 10b of the infrared detector 10, reflected by a diffraction grating or a metal reflective film (not shown), and are detected by being incident on the active layer 25. Will be done. The detected infrared rays are converted into electric signals and sent to the signal processing circuit element 70 via the bump junction 80.

図４及び図５に示されるように、赤外線検出器１０は、半導体基板２０の上に、半導体層をエピタキシャル成長させることにより形成されている。具体的には、半導体基板２０の上に、バッファ層２１、容量電極層２２、容量形成層２３、下部コンタクト層２４、活性層２５、上部コンタクト層２６を積層することにより形成されている。半導体基板２０は、不純物元素がドープされていない半絶縁性ＧａＡｓ基板が用いられ、バッファ層２１は、不純物元素のドープされていないＧａＡｓにより形成されている。容量電極層２２は、不純物元素としてＳｉが１×１０^１８／ｃｍ^３の濃度でドープされた膜厚が約５００ｎｍのｎ−ＧａＡｓにより形成されており、容量形成層２３は、不純物元素のドープされていない膜厚が１５ｎｍのＧａＡｓにより形成されている。下部コンタクト層２４及び上部コンタクト層２６は、不純物元素としてＳｉが１×１０^１８／ｃｍ^３の濃度でドープされた膜厚が約５００ｎｍのｎ−ＧａＡｓにより形成されている。活性層２５は、赤外線を検知する層であり、ＧａＡｓやＡｌＧａＡｓ等の化合物半導体を用いた量子井戸構造や量子ドット構造により形成されている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the infrared detector 10 is formed by epitaxially growing a semiconductor layer on the semiconductor substrate 20. Specifically, it is formed by laminating a buffer layer 21, a capacitance electrode layer 22, a capacitance forming layer 23, a lower contact layer 24, an active layer 25, and an upper contact layer 26 on a semiconductor substrate 20. A semi-insulating GaAs substrate that is not doped with an impurity element is used as the semiconductor substrate 20, and the buffer layer 21 is formed of GaAs that is not doped with an impurity element. The capacitive electrode layer 22 is formed of n-GaAs having a thickness of about 500 nm doped with Si as an impurity element at a concentration of 1 × 10 ¹⁸ / cm ³ , and the capacitive forming layer 23 is doped with an impurity element. It is made of GaAs with a thickness of 15 nm. The lower contact layer 24 and the upper contact layer 26 are formed of n-GaAs having a film thickness of about 500 nm doped with Si as an impurity element at a concentration of 1 × 10 ¹⁸ / cm ³ . The active layer 25 is a layer that detects infrared rays, and is formed by a quantum well structure or a quantum dot structure using a compound semiconductor such as GaAs or AlGaAs.

赤外線検出器１０においては、赤外線検出器１０の一方の面１０ａには、画素３０を分離する画素分離溝３１が形成されている。また、各々の画素３０には、上部コンタクト層２６の表面に、凹凸を形成することにより不図示の回折格子や金属反射膜等が形成されている。画素分離溝３１は、赤外線検出器１０の一方の面１０ａより、画素３０と画素３０との間の上部コンタクト層２６及び活性層２５を除去することにより形成されている。 In the infrared detector 10, a pixel separation groove 31 for separating the pixels 30 is formed on one surface 10a of the infrared detector 10. Further, in each pixel 30, a diffraction grating (not shown), a metal reflective film, or the like is formed by forming irregularities on the surface of the upper contact layer 26. The pixel separation groove 31 is formed by removing the upper contact layer 26 and the active layer 25 between the pixels 30 and the pixels 30 from one surface 10a of the infrared detector 10.

本実施の形態における赤外線検出器１０には、バイアス接続部３２と接地電位接続部３３が形成されている。バイアス接続部３２は、画素分離溝３１と同じ深さの第１の分離溝３４により分離された上部コンタクト層２６及び活性層２５により形成されている。第１の分離溝３４は、下部コンタクト層２４の表面が露出するまで、上部コンタクト層２６及び活性層２５を除去することにより形成される。第１の分離溝３４により露出したバイアス接続部３２の側面には、上部コンタクト層２６及び活性層２５の側面を覆う絶縁膜４０が形成されている。また、第１の分離溝３４の底面となる下部コンタクト層２４の上から、バイアス接続部３２の側面を覆う絶縁膜４０の上、バイアス接続部３２の上面となる上部コンタクト層２６の上には、金属により第１の配線層４１が形成されている。バイアス接続部３２の上面における第１の配線層４１の上にはバンプ接合部８０が形成されており、バンプ接合部８０により信号処理回路素子７０におけるバイアス回路と接続されている。 The infrared detector 10 in this embodiment is formed with a bias connection portion 32 and a ground potential connection portion 33. The bias connection portion 32 is formed by an upper contact layer 26 and an active layer 25 separated by a first separation groove 34 having the same depth as the pixel separation groove 31. The first separation groove 34 is formed by removing the upper contact layer 26 and the active layer 25 until the surface of the lower contact layer 24 is exposed. An insulating film 40 covering the side surfaces of the upper contact layer 26 and the active layer 25 is formed on the side surface of the bias connecting portion 32 exposed by the first separation groove 34. Further, from above the lower contact layer 24 which is the bottom surface of the first separation groove 34, on the insulating film 40 which covers the side surface of the bias connection portion 32, and on the upper contact layer 26 which is the upper surface of the bias connection portion 32. , The first wiring layer 41 is formed of metal. A bump junction 80 is formed on the first wiring layer 41 on the upper surface of the bias connection portion 32, and is connected to the bias circuit in the signal processing circuit element 70 by the bump junction 80.

接地電位接続部３３は、第２の分離溝３５により分離された上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４及び容量形成層２３により形成されている。第２の分離溝３５は、容量電極層２２の表面が露出するまで、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４及び容量形成層２３を除去することにより形成される。第２の分離溝３５により露出した接地電位接続部３３の側面には、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４及び容量形成層２３の側面を覆う絶縁膜４０が形成されている。第２の分離溝３５の底面となる容量電極層２２の上から、接地電位接続部３３の側面を覆う絶縁膜４０の上、接地電位接続部３３の上面となる上部コンタクト層２６の上には、金属により第２の配線層４２が形成されている。接地電位接続部３３の上面における第２の配線層４２の上にはバンプ接合部８０が形成されており、バンプ接合部８０により信号処理回路素子７０における接地電極と接続されている。 The ground potential connection portion 33 is formed by an upper contact layer 26, an active layer 25, a lower contact layer 24, and a capacitance forming layer 23 separated by a second separation groove 35. The second separation groove 35 is formed by removing the upper contact layer 26, the active layer 25, the lower contact layer 24, and the capacitance forming layer 23 until the surface of the capacitance electrode layer 22 is exposed. An insulating film 40 covering the side surfaces of the upper contact layer 26, the active layer 25, the lower contact layer 24, and the capacitance forming layer 23 is formed on the side surface of the ground potential connection portion 33 exposed by the second separation groove 35. From above the capacitive electrode layer 22 which is the bottom surface of the second separation groove 35, on the insulating film 40 which covers the side surface of the ground potential connection portion 33, and on the upper contact layer 26 which is the upper surface of the ground potential connection portion 33. , The second wiring layer 42 is formed of metal. A bump junction 80 is formed on the second wiring layer 42 on the upper surface of the ground potential connection portion 33, and is connected to the ground electrode in the signal processing circuit element 70 by the bump junction 80.

図６は、下部コンタクト層２４、容量形成層２３、容量電極層２２により形成されるバイパスコンデンサにおける容量形成層２３の厚さｄとの静電容量Ｃとの関係を示す。容量形成層２３は、不純物元素がドープされていないＧａＡｓ（比誘電率：１３．１８）により形成されており、絶縁性が高いため誘電体膜として用いることができる。赤外線検出器１０は、画素のピッチが２０μｍ、２次元状に６４０×４８０画素形成されているとすると、形成されるバイパスコンデンサの面積は、９．６ｍｍ×１２．８ｍｍとなる。図６より、容量形成層２３の厚さｄを１５ｎｍ程度にすることにより、静電容量が約１μＦとなる静電容量の大きなバイパスコンデンサを得ることができる。尚、本願においては、下部コンタクト層２４、容量形成層２３及び容量電極層２２の薄膜により形成されるバイパスコンデンサをキャパシタと記載する場合がある。 FIG. 6 shows the relationship between the thickness d of the capacitance forming layer 23 and the capacitance C in the bypass capacitor formed by the lower contact layer 24, the capacitance forming layer 23, and the capacitance electrode layer 22. The capacitance forming layer 23 is formed of GaAs (relative permittivity: 13.18) which is not doped with an impurity element, and can be used as a dielectric film because of its high insulating property. Assuming that the infrared detector 10 has a pixel pitch of 20 μm and 640 × 480 pixels are formed in a two-dimensional manner, the area of the bypass capacitor formed is 9.6 mm × 12.8 mm. From FIG. 6, by setting the thickness d of the capacitance forming layer 23 to about 15 nm, it is possible to obtain a bypass capacitor having a large capacitance having a capacitance of about 1 μF. In the present application, a bypass capacitor formed by a thin film of a lower contact layer 24, a capacitance forming layer 23, and a capacitance electrode layer 22 may be described as a capacitor.

図７は、本実施の形態における赤外線検出器の回路図である。赤外線検出器１０には、画素となる赤外線検出素子１１０とバイパスコンデンサ１２０が形成されている。本実施の形態においては、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４により、図７に示される画素となる赤外線検出素子１１０が形成される。また、下部コンタクト層２４、容量形成層２３、容量電極層２２により平行平板型のバイパスコンデンサ１２０が形成される。信号処理回路素子７０にはスイッチとなるトランジスタ１３２、蓄積コンデンサ１４０等が形成されている。信号処理回路素子７０においては、スイッチとなるトランジスタ１３２一方の側と蓄積コンデンサ１４０の一方の側とが接続されており、蓄積コンデンサ１４０の他方の側は接地電極に接続されている。 FIG. 7 is a circuit diagram of the infrared detector according to the present embodiment. The infrared detector 10 is formed with an infrared detection element 110 and a bypass capacitor 120 as pixels. In the present embodiment, the upper contact layer 26, the active layer 25, and the lower contact layer 24 form an infrared detection element 110 which is a pixel shown in FIG. Further, a parallel plate type bypass capacitor 120 is formed by the lower contact layer 24, the capacitance forming layer 23, and the capacitance electrode layer 22. The signal processing circuit element 70 is formed with a transistor 132 as a switch, a storage capacitor 140, and the like. In the signal processing circuit element 70, one side of the transistor 132 serving as a switch and one side of the storage capacitor 140 are connected, and the other side of the storage capacitor 140 is connected to the ground electrode.

赤外線検出器１０において、画素となる赤外線検出素子１１０の一方の側とバイパスコンデンサ１２０の一方の側とは、共通の電極層となる下部コンタクト層２４により接続されている。下部コンタクト層２４は、バンプ接合部８０を介し、信号処理回路素子７０における不図示のバイアス回路に接続されている。 In the infrared detector 10, one side of the infrared detection element 110 as a pixel and one side of the bypass capacitor 120 are connected by a lower contact layer 24 which is a common electrode layer. The lower contact layer 24 is connected to a bias circuit (not shown) in the signal processing circuit element 70 via the bump junction 80.

画素となる赤外線検出素子１１０の他方の側となる上部コンタクト層２６の側は、バンプ接合部８０を介し、信号処理回路素子７０に形成されたスイッチとなるトランジスタ１３２の他方の側と接続されている。バイパスコンデンサ１２０の他方の側となる容量電極層２２は、バンプ接合部８０を介し、蓄積コンデンサ１４０の他方の側及び信号処理回路素子７０における接地電極と接続されている。 The side of the upper contact layer 26, which is the other side of the infrared detection element 110 that becomes a pixel, is connected to the other side of the transistor 132 that is a switch formed in the signal processing circuit element 70 via the bump junction 80. There is. The capacitive electrode layer 22 on the other side of the bypass capacitor 120 is connected to the other side of the storage capacitor 140 and the ground electrode in the signal processing circuit element 70 via the bump junction 80.

本実施の形態においては、バイパスコンデンサ１２０は、赤外線検出素子１１０と同じ半導体基板の上に、同じ材料のＧａＡｓにより形成されているため、熱膨張率差がない。このため、冷却の際に降温と昇温を繰り返しても破壊等されることがない。また、バイパスコンデンサ１２０は、赤外線検出素子１１０と同じ半導体基板の上に、一体として形成されているため、大型化することなく、大きな静電容量のものを形成することができる。また、バイパスコンデンサ１２０の上に赤外線検出素子１１０が形成されており、バイパスコンデンサ１２０と赤外線検出素子１１０とは極めて近い位置に形成される。よって、効率よくノイズを除去することができる。 In the present embodiment, since the bypass capacitor 120 is formed of GaAs of the same material on the same semiconductor substrate as the infrared detection element 110, there is no difference in the coefficient of thermal expansion. Therefore, even if the temperature is lowered and raised repeatedly during cooling, the temperature is not destroyed. Further, since the bypass capacitor 120 is integrally formed on the same semiconductor substrate as the infrared detection element 110, it is possible to form a bypass capacitor 120 having a large capacitance without increasing the size. Further, the infrared detection element 110 is formed on the bypass capacitor 120, and the bypass capacitor 120 and the infrared detection element 110 are formed at extremely close positions. Therefore, noise can be efficiently removed.

尚、本願においては、容量電極層２２を第１電極、下部コンタクト層２４を第２電極、上部コンタクト層２６を第３電極と記載する場合がある。 In the present application, the capacitive electrode layer 22 may be referred to as a first electrode, the lower contact layer 24 may be referred to as a second electrode, and the upper contact layer 26 may be referred to as a third electrode.

（光検出器の製造方法）
次に、本実施の形態における光検出器の製造方法について、図８〜図１０に基づき説明する。 (Manufacturing method of photodetector)
Next, the method of manufacturing the photodetector according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 8 to 10.

最初に、図８（ａ）に示すように、半導体基板２０の上に、バッファ層２１、容量電極層２２、容量形成層２３、下部コンタクト層２４を積層し、更に、図８（ｂ）に示すように、活性層２５、上部コンタクト層２６を積層する。バッファ層２１、容量電極層２２、容量形成層２３、下部コンタクト層２４、活性層２５、上部コンタクト層２６は、半導体基板２０の上に、分子線エピタキシャル（ＭＢＥ）法等によるエピタキシャル成長により、順に形成する。 First, as shown in FIG. 8A, the buffer layer 21, the capacitance electrode layer 22, the capacitance forming layer 23, and the lower contact layer 24 are laminated on the semiconductor substrate 20, and further, in FIG. 8B. As shown, the active layer 25 and the upper contact layer 26 are laminated. The buffer layer 21, the capacitive electrode layer 22, the capacitance forming layer 23, the lower contact layer 24, the active layer 25, and the upper contact layer 26 are sequentially formed on the semiconductor substrate 20 by epitaxial growth by a molecular beam epitaxial (MBE) method or the like. To do.

半導体基板２０は、不純物元素がドープされていない半絶縁性ＧａＡｓ基板が用いられ、バッファ層２１は、不純物元素のドープされていないＧａＡｓにより形成されている。容量電極層２２は、不純物元素としてＳｉが１×１０^１８／ｃｍ^３の濃度でドープされた膜厚が約５００ｎｍのｎ−ＧａＡｓにより形成されており、容量形成層２３は、不純物元素のドープされていない膜厚が１５ｎｍのＧａＡｓにより形成されている。下部コンタクト層２４及び上部コンタクト層２６は、不純物元素としてＳｉが１×１０^１８／ｃｍ^３の濃度でドープされた膜厚が約５００ｎｍのｎ−ＧａＡｓにより形成されている。活性層２５は、量子井戸構造や量子ドット構造により形成された赤外線を検知する層であり、ＧａＡｓやＡｌＧａＡｓ等の化合物半導体により形成されている。 A semi-insulating GaAs substrate that is not doped with an impurity element is used as the semiconductor substrate 20, and the buffer layer 21 is formed of GaAs that is not doped with an impurity element. The capacitive electrode layer 22 is formed of n-GaAs having a thickness of about 500 nm doped with Si as an impurity element at a concentration of 1 × 10 ¹⁸ / cm ³ , and the capacitive forming layer 23 is doped with an impurity element. It is made of GaAs with a thickness of 15 nm. The lower contact layer 24 and the upper contact layer 26 are formed of n-GaAs having a film thickness of about 500 nm doped with Si as an impurity element at a concentration of 1 × 10 ¹⁸ / cm ³ . The active layer 25 is a layer for detecting infrared rays formed by a quantum well structure or a quantum dot structure, and is formed of a compound semiconductor such as GaAs or AlGaAs.

次に、図８（ｃ）に示すように、上部コンタクト層２６、活性層２５を除去することにより、画素分離溝３１、第１の分離溝３４、第２の分離溝３５の一部を形成する。具体的には、上部コンタクト層２６の上に、フォトレジストを塗布し、露光装置による露光、現像を行うことにより、画素分離溝３１、第１の分離溝３４、第２の分離溝３５が形成される領域に開口を有する不図示のレジストパターンを形成する。この後、ＲＩＥ（Reactive Ion Etching）等のドライエッチングにより、レジストパターンが形成されていない領域の上部コンタクト層２６、活性層２５を除去し、下部コンタクト層２４を露出させる。これにより、画素分離溝３１、第１の分離溝３４、後述する第２の分離溝３５の一部が形成され、画素分離溝３１により赤外線検出素子は画素３０ごとに分離される。また、第１の分離溝３４により分離された上部コンタクト層２６、活性層２５により、バイアス接続部３２が形成される。 Next, as shown in FIG. 8C, by removing the upper contact layer 26 and the active layer 25, a part of the pixel separation groove 31, the first separation groove 34, and the second separation groove 35 is formed. To do. Specifically, a photoresist is applied onto the upper contact layer 26, and exposure and development are performed by an exposure apparatus to form a pixel separation groove 31, a first separation groove 34, and a second separation groove 35. A resist pattern (not shown) having an opening in the region to be formed is formed. After that, the upper contact layer 26 and the active layer 25 in the region where the resist pattern is not formed are removed by dry etching such as RIE (Reactive Ion Etching) to expose the lower contact layer 24. As a result, a part of the pixel separation groove 31, the first separation groove 34, and the second separation groove 35 described later is formed, and the infrared detection element is separated for each pixel 30 by the pixel separation groove 31. Further, the bias connecting portion 32 is formed by the upper contact layer 26 and the active layer 25 separated by the first separation groove 34.

次に、図９（ａ）に示すように、第２の分離溝３５が形成される領域において、更に、下部コンタクト層２４、容量形成層２３を除去することにより第２の分離溝３５を形成する。具体的には、上部コンタクト層２６及び下部コンタクト層２４の上に、フォトレジストを塗布し、露光装置による露光、現像を行うことにより、第２の分離溝３５が形成される領域に開口を有する不図示のレジストパターンを形成する。この後、ＲＩＥ等のドライエッチングにより、レジストパターンが形成されていない領域の下部コンタクト層２４、容量形成層２３を除去し、容量電極層２２を露出させる。これにより、第２の分離溝３５を形成され、第２の分離溝３５により分離された上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４、容量形成層２３により、接地電位接続部３３が形成される。この後、不図示のレジストパターンは、有機溶剤等により除去する。 Next, as shown in FIG. 9A, in the region where the second separation groove 35 is formed, the lower contact layer 24 and the capacitance forming layer 23 are further removed to form the second separation groove 35. To do. Specifically, a photoresist is applied onto the upper contact layer 26 and the lower contact layer 24, and exposure and development are performed by an exposure apparatus to have an opening in a region where a second separation groove 35 is formed. A resist pattern (not shown) is formed. After that, the lower contact layer 24 and the capacitance forming layer 23 in the region where the resist pattern is not formed are removed by dry etching such as RIE, and the capacitance electrode layer 22 is exposed. As a result, the second separation groove 35 is formed, and the ground potential connection portion 33 is formed by the upper contact layer 26, the active layer 25, the lower contact layer 24, and the capacitance forming layer 23 separated by the second separation groove 35. Will be done. After that, the resist pattern (not shown) is removed with an organic solvent or the like.

次に、図９（ｂ）に示すように、第１の分離溝３４により分離されたバイアス接続部３２の側面及び第２の分離溝３５により分離された接地電位接続部３３の側面に、絶縁膜４０を形成する。具体的には、ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）等により、ＳｉＯ_２またはＳｉＮ膜を成膜することにより、上部コンタクト層２６、画素分離溝３１、第１の分離溝３４、第２の分離溝３５の側壁を覆う絶縁膜を形成する。この後、成膜された絶縁膜の上に、フォトレジストを塗布し、露光装置による露光、現像を行う。これにより、第１の分離溝３４により分離されたバイアス接続部３２の側面及び第２の分離溝３５により分離された接地電位接続部３３の側面の絶縁膜の上に不図示のレジストパターンを形成する。この後、レジストパターンの形成されていない領域の絶縁膜を除去することにより、第１の分離溝３４の底面となる下部コンタクト層２４、第２の分離溝３５の底面となる容量電極層２２、上部コンタクト層２６等を露出させる。これにより、第１の分離溝３４により分離されたバイアス接続部３２の側面及び第２の分離溝３５により分離された接地電位接続部３３の側面に、絶縁膜４０を形成する。この後、不図示のレジストパターンは、有機溶剤等により除去する。 Next, as shown in FIG. 9B, the side surface of the bias connection portion 32 separated by the first separation groove 34 and the side surface of the ground potential connection portion 33 separated by the second separation groove 35 are insulated. The film 40 is formed. Specifically, the upper contact layer 26, the pixel separation groove 31, the first separation groove 34, and the second separation groove 35 are formed by forming a SiO ₂ or SiN film by ALD (Atomic Layer Deposition) or the like. An insulating film covering the side wall is formed. After that, a photoresist is applied on the formed insulating film, and exposure and development are performed by an exposure apparatus. As a result, a resist pattern (not shown) is formed on the insulating film on the side surface of the bias connection portion 32 separated by the first separation groove 34 and the side surface of the ground potential connection portion 33 separated by the second separation groove 35. To do. After that, by removing the insulating film in the region where the resist pattern is not formed, the lower contact layer 24 which is the bottom surface of the first separation groove 34, the capacitive electrode layer 22 which is the bottom surface of the second separation groove 35, The upper contact layer 26 and the like are exposed. As a result, the insulating film 40 is formed on the side surface of the bias connection portion 32 separated by the first separation groove 34 and the side surface of the ground potential connection portion 33 separated by the second separation groove 35. After that, the resist pattern (not shown) is removed with an organic solvent or the like.

次に、図９（ｃ）に示すように、バイアス接続部３２の側面を覆う絶縁膜４０の上に、下部コンタクト層２４と上部コンタクト層２６とを接続する第１の配線層４１を形成する。同時に、接地電位接続部３３を覆う側面の絶縁膜４０の上に、容量電極層２２と上部コンタクト層２６とを接続する第２の配線層４２を形成する。具体的には、第１の分離溝３４の底面となる下部コンタクト層２４の上、第２の分離溝３５の底面となる容量電極層２２の上、上部コンタクト層２６の上、絶縁膜４０の上に、スパッタリング等によりＡｕ膜等を成膜することにより金属膜を形成する。この後、成膜された金属膜の上に、フォトレジストを塗布し、露光装置による露光、現像を行うことにより、第１の配線層４１及び４２が形成される領域の上に、不図示のレジストパターンを形成する。この後、レジストパターンの形成されていない領域の金属膜をＲＩＥ等により除去することにより、バイアス接続部３２の側面を覆う絶縁膜４０の上に第１の配線層４１を形成し、接地電位接続部３３の側面を覆う絶縁膜４０の上に第２の配線層４２を形成する。第１の配線層４１は、第１の分離溝３４の底面となる下部コンタクト層２４の上から、バイアス接続部３２の側面を覆う絶縁膜４０の上、バイアス接続部３２の上面となる上部コンタクト層２６の上に形成される。第２の配線層４２は、第２の分離溝３５の底面となる容量電極層２２の上から、接地電位接続部３３の側面を覆う絶縁膜４０の上、接地電位接続部３３の上面となる上部コンタクト層２６の上に形成される。この後、不図示のレジストパターンは、有機溶剤等により除去する。 Next, as shown in FIG. 9C, a first wiring layer 41 connecting the lower contact layer 24 and the upper contact layer 26 is formed on the insulating film 40 covering the side surface of the bias connecting portion 32. .. At the same time, a second wiring layer 42 that connects the capacitive electrode layer 22 and the upper contact layer 26 is formed on the insulating film 40 on the side surface that covers the ground potential connection portion 33. Specifically, on the lower contact layer 24 which is the bottom surface of the first separation groove 34, on the capacitive electrode layer 22 which is the bottom surface of the second separation groove 35, on the upper contact layer 26, and on the insulating film 40. A metal film is formed by forming an Au film or the like on the film by sputtering or the like. After that, a photoresist is applied onto the formed metal film, and exposure and development are performed by an exposure apparatus, whereby the first wiring layers 41 and 42 are formed on the region (not shown). Form a resist pattern. After that, the metal film in the region where the resist pattern is not formed is removed by RIE or the like to form the first wiring layer 41 on the insulating film 40 covering the side surface of the bias connection portion 32, and the ground potential connection is formed. A second wiring layer 42 is formed on the insulating film 40 that covers the side surface of the portion 33. The first wiring layer 41 is formed from above the lower contact layer 24 which is the bottom surface of the first separation groove 34, above the insulating film 40 which covers the side surface of the bias connection portion 32, and the upper contact which is the upper surface of the bias connection portion 32. It is formed on the layer 26. The second wiring layer 42 is formed on the capacitance electrode layer 22 which is the bottom surface of the second separation groove 35, on the insulating film 40 which covers the side surface of the ground potential connection portion 33, and on the upper surface of the ground potential connection portion 33. It is formed on the upper contact layer 26. After that, the resist pattern (not shown) is removed with an organic solvent or the like.

次に、図１０（ａ）に示すように、画素３０となる赤外線検出素子の上部コンタクト層２６の上、バイアス接続部３２の上面の第１の配線層４１の上、接地電位接続部３３の上面の第２の配線層４２の上に、バンプ接合部８０を形成する。具体的には、上部コンタクト層２６、第１の配線層４１、第２の配線層４２の上にフォトレジストを塗布し、露光装置による露光、現像を行うことにより、バンプ接合部８０が形成される領域に開口部を有する不図示のレジストパターンを形成する。この後、Ｉｎ膜を真空蒸着により成膜した後、有機溶剤に浸漬させることにより、レジストパターンの上に成膜されているＩｎ膜をレジストパターンとともに除去する。これにより、残存するＩｎ膜によりバンプ接合部８０が形成される。 Next, as shown in FIG. 10A, on the upper contact layer 26 of the infrared detection element to be the pixel 30, on the first wiring layer 41 on the upper surface of the bias connection portion 32, and on the ground potential connection portion 33. A bump joint 80 is formed on the second wiring layer 42 on the upper surface. Specifically, the bump joint portion 80 is formed by applying a photoresist on the upper contact layer 26, the first wiring layer 41, and the second wiring layer 42, and exposing and developing with an exposure apparatus. A resist pattern (not shown) having an opening in the region is formed. After that, the In film is formed by vacuum vapor deposition and then immersed in an organic solvent to remove the In film formed on the resist pattern together with the resist pattern. As a result, the bump bonding portion 80 is formed by the remaining In film.

次に、図１０（ｂ）に示すように、バンプ接合部８０が形成されている赤外線検出器１０の一方の面１０ａと信号処理回路素子７０の一方の面７０ａとをバンプ接合部８０におけるＩｎによるフリップチップボンディング（ＦＣＢ）により接合する。これにより、各々の画素３０となる赤外線検出素子の上部コンタクト層２６は、バンプ接合部８０を介し、信号処理回路素子７０に接続される。また、赤外線検出器１０における下部コンタクト層２４は、第１の配線層４１を介し、バンプ接合部８０により、信号処理回路素子７０における不図示のバイアス回路に接続される。また、赤外線検出器１０における容量電極層２２は、第２の配線層４２を介し、バンプ接合部８０により、信号処理回路素子７０における不図示の接地電極に接続される。 Next, as shown in FIG. 10B, one surface 10a of the infrared detector 10 on which the bump junction 80 is formed and one surface 70a of the signal processing circuit element 70 are inserted into the bump junction 80. It is bonded by flip chip bonding (FCB). As a result, the upper contact layer 26 of the infrared detection element, which is each pixel 30, is connected to the signal processing circuit element 70 via the bump junction 80. Further, the lower contact layer 24 of the infrared detector 10 is connected to a bias circuit (not shown) in the signal processing circuit element 70 by the bump junction 80 via the first wiring layer 41. Further, the capacitive electrode layer 22 in the infrared detector 10 is connected to a ground electrode (not shown) in the signal processing circuit element 70 by the bump junction 80 via the second wiring layer 42.

以上の工程により、本実施の形態における赤外線検出器を作製することができる。 By the above steps, the infrared detector according to the present embodiment can be manufactured.

上記においては、画素３０となる赤外線検出素子が複数の場合について説明したが、図１１に示されるように、画素３０となる赤外線検出素子は１つであってもよい。この場合には、上記の製造方法において、画素３０となる赤外線検出素子を１つにすればよい。 In the above, the case where there are a plurality of infrared detection elements having pixels 30 has been described, but as shown in FIG. 11, there may be one infrared detecting element having pixels 30. In this case, in the above manufacturing method, only one infrared detection element having pixels 30 may be used.

また、上記においては、活性層２５が量子井戸構造や量子ドット構造により形成される赤外線検出器について説明した。しかしながら、本実施の形態における赤外線検出器は、半導体基板２０がＧａＡｓ基板であれば、バイパスコンデンサ及び赤外線検出素子は、ＧａＡｓ、ＡｌＡｓ、エピタキシャル結晶成長が可能な組成比のＡｌＧａＡｓ混晶、ＩｎＧａＰ混晶等により形成してもよい。また、半導体基板２０がＩｎＰ基板であれば、バイパスコンデンサ及び赤外線検出素子は、エピタキシャル結晶成長が可能な組成比のＩｎＧａＡｓ混晶やＩｎＡｌＡｓ混晶等により形成してもよい。また、半導体基板がＧａＳｂ基板であれば、バイパスコンデンサ及び赤外線検出素子は、ＩｎＡｓ、ＡｌＳｂ、ＧａＳｂ、エピタキシャル結晶成長が可能な組成比のＩｎＧａＳｂ混晶、ＩｎＡｓＳｂ混晶、ＩｎＧａＡｓＳｂ混晶等により形成してもよい。また、半導体基板がＧａＰ基板であれば、バイパスコンデンサ及び赤外線検出素子は、ＧａＰ、ＡｌＰ、エピタキシャル結晶成長が可能な組成比のＡｌＧａＰ混晶等により形成してもよい。また、半導体基板がＣｄＴｅ基板であれば、ＨｇＴｅ、ＣｅＴｅ、エピタキシャル結晶成長が可能な組成比のＨｇＣｄＴｅ混晶等により形成してもよい。 Further, in the above, the infrared detector in which the active layer 25 is formed by the quantum well structure or the quantum dot structure has been described. However, in the infrared detector of the present embodiment, if the semiconductor substrate 20 is a GaAs substrate, the bypass capacitor and the infrared detection element are GaAs, AlAs, AlGaAs mixed crystal with a composition ratio capable of epitaxial crystal growth, and InGaP mixed crystal. It may be formed by such as. Further, if the semiconductor substrate 20 is an InP substrate, the bypass capacitor and the infrared detection element may be formed of InGaAs mixed crystal or InAlAs mixed crystal having a composition ratio capable of epitaxial crystal growth. If the semiconductor substrate is a GaSb substrate, the bypass capacitor and the infrared detection element are formed of InAs, AlSb, GaSb, InGaSb mixed crystal, InAsSb mixed crystal, InGaAsSb mixed crystal, etc. having a composition ratio capable of epitaxial crystal growth. May be good. If the semiconductor substrate is a GaP substrate, the bypass capacitor and the infrared detection element may be formed of GaP, AlP, AlGaP mixed crystal having a composition ratio capable of epitaxial crystal growth, or the like. If the semiconductor substrate is a CdTe substrate, it may be formed by HgTe, CeTe, HgCdTe mixed crystal having a composition ratio capable of epitaxial crystal growth, or the like.

即ち、容量電極層２２、容量形成層２３、下部コンタクト層２４、上部コンタクト層２６等は、ＧａＡｓ、ＡｌＡｓ、ＩｎＡｓ、ＧａＰ、ＡｌＰ、ＩｎＰ、ＧａＳｂ、ＡｌＳｂ、ＩｎＳｂ、ＣｄＴｅ、ＨｇＴｅのうちのいずれかを含む材料により形成してもよい。また、これらの任意の組み合わせの混晶であってもよい。 That is, the capacitance electrode layer 22, the capacitance forming layer 23, the lower contact layer 24, the upper contact layer 26, etc. are any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe. It may be formed of a material containing. Further, it may be a mixed crystal of any combination of these.

また、活性層２５は、ＧａＡｓ、ＡｌＡｓ、ＩｎＡｓ、ＧａＰ、ＡｌＰ、ＩｎＰ、ＧａＳｂ、ＡｌＳｂ、ＩｎＳｂ、ＣｄＴｅ、ＨｇＴｅのうちのいずれかを含む材料、または、これらの混晶を用いた量子井戸構造や量子ドット構造により形成してもよい。また、活性層２５は、ＧａＡｓ、ＡｌＡｓ、ＩｎＡｓ、ＧａＰ、ＡｌＰ、ＩｎＰ、ＧａＳｂ、ＡｌＳｂ、ＩｎＳｂ、ＣｄＴｅ、ＨｇＴｅのうちのいずれかを含む材料、例えば、これらの任意の組み合わせの混晶を用いた超格子構造により形成してもよい。また、赤外線検出素子は、ＨｇＣｄＴｅにより形成してもよい。 Further, the active layer 25 is a material containing any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe, or a quantum well structure using a mixed crystal of these. It may be formed by a quantum dot structure. Further, the active layer 25 used a material containing any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe, for example, a mixed crystal of any combination thereof. It may be formed by a superlattice structure. Further, the infrared detection element may be formed by HgCdTe.

〔第２の実施の形態〕
（光検出器）
次に、第２の実施の形態における光検出器について説明する。本実施の形態における赤外線検出器は、図１２に示すように、接地電位接続部３３を形成することなく、容量電極層２２に直接、接地電極に接続される配線を接続した構造のものである。 [Second Embodiment]
(Photodetector)
Next, the photodetector according to the second embodiment will be described. As shown in FIG. 12, the infrared detector according to the present embodiment has a structure in which the wiring connected to the ground electrode is directly connected to the capacitive electrode layer 22 without forming the ground potential connection portion 33. ..

（光検出器の製造方法）
次に、本実施の形態における光検出器の製造方法について、図１３〜図１５に基づき説明する。 (Manufacturing method of photodetector)
Next, the method of manufacturing the photodetector according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 13 to 15.

最初に、図１３（ａ）に示すように、半導体基板２０の上に、バッファ層２１、容量電極層２２、容量形成層２３、下部コンタクト層２４を積層し、更に、図１３（ｂ）に示すように、活性層２５、上部コンタクト層２６を積層する。 First, as shown in FIG. 13A, the buffer layer 21, the capacitance electrode layer 22, the capacitance forming layer 23, and the lower contact layer 24 are laminated on the semiconductor substrate 20, and further, in FIG. 13B. As shown, the active layer 25 and the upper contact layer 26 are laminated.

次に、図１３（ｃ）に示すように、上部コンタクト層２６、活性層２５を除去することにより、画素分離溝３１及び第１の分離溝３４等を形成する。 Next, as shown in FIG. 13C, the pixel separation groove 31 and the first separation groove 34 and the like are formed by removing the upper contact layer 26 and the active layer 25.

次に、図１４（ａ）に示すように、第１の分離溝３４により分離されたバイアス接続部３２の側面に、絶縁膜４０を形成する。 Next, as shown in FIG. 14A, an insulating film 40 is formed on the side surface of the bias connecting portion 32 separated by the first separation groove 34.

次に、図１４（ｂ）に示すように、バイアス接続部３２の側面の絶縁膜４０の上に第１の配線層４１を形成する。 Next, as shown in FIG. 14B, the first wiring layer 41 is formed on the insulating film 40 on the side surface of the bias connecting portion 32.

次に、図１４（ｃ）に示すように、画素３０となる赤外線検出素子の上部コンタクト層２６の上、バイアス接続部３２の上面の第１の配線層４１の上に、バンプ接合部８０を形成する。 Next, as shown in FIG. 14C, the bump junction 80 is placed on the upper contact layer 26 of the infrared detection element to be the pixel 30 and on the first wiring layer 41 on the upper surface of the bias connection portion 32. Form.

次に、図１５（ａ）に示すように、バンプ接合部８０が形成されている赤外線検出器１１の一方の面１１ａと信号処理回路素子７０の一方の面７０ａとをバンプ接合部８０におけるＩｎによるフリップチップボンディング（ＦＣＢ）により接合する。 Next, as shown in FIG. 15A, one surface 11a of the infrared detector 11 on which the bump junction 80 is formed and one surface 70a of the signal processing circuit element 70 are inserted into the bump junction 80. It is bonded by flip chip bonding (FCB).

次に、図１５（ｂ）に示すように、半導体基板２０及びバッファ層２１を研削等により除去し、容量電極層２２を露出させ、容量電極層２２に不図示の接地電極に接続する。容量電極層２２を接地電極に接続するための配線としては、ワイヤボンディングにより形成されるボンディングワイヤや銀ペースト等の導電性ペーストが挙げられる。 Next, as shown in FIG. 15B, the semiconductor substrate 20 and the buffer layer 21 are removed by grinding or the like to expose the capacitive electrode layer 22, and the capacitive electrode layer 22 is connected to a ground electrode (not shown). Examples of the wiring for connecting the capacitive electrode layer 22 to the ground electrode include a bonding wire formed by wire bonding and a conductive paste such as silver paste.

また、本実施の形態における光検出器は、図１６に示すように、半導体基板２０及びバッファ層２１に不純物元素がドープされており、半導体基板２０には、不図示の接地電極に接続される配線が接続されているものであってもよい。不純物元素がドープされた半導体基板２０及びバッファ層２１は導電性を有するため、半導体基板２０に接地電極に接続される配線を接続することにより、半導体基板２０及びバッファ層２１を介し、容量電極層２２を接地電極に接続することができる。このような構造においても、接地電位接続部３３を形成する必要がない。 Further, in the photodetector of the present embodiment, as shown in FIG. 16, the semiconductor substrate 20 and the buffer layer 21 are doped with an impurity element, and the semiconductor substrate 20 is connected to a ground electrode (not shown). The wiring may be connected. Since the semiconductor substrate 20 and the buffer layer 21 doped with the impurity element have conductivity, by connecting the wiring connected to the ground electrode to the semiconductor substrate 20, the capacitive electrode layer is passed through the semiconductor substrate 20 and the buffer layer 21. 22 can be connected to the ground electrode. Even in such a structure, it is not necessary to form the ground potential connection portion 33.

図１６に示す光検出器は、上記の製造方法において、図１５（ａ）に示される工程まで行うことにより製造することができる。尚、半導体基板２０には不純物元素がドープされたＧａＡｓ基板を用い、バッファ層２１には不純物元素をドープする。この構造の光検出器は、半導体基板２０及びバッファ層２１を研削等により除去する工程を省くことができるため、低コストで光検出器を作製することができる。 The photodetector shown in FIG. 16 can be manufactured by performing the steps shown in FIG. 15A in the above manufacturing method. A GaAs substrate doped with an impurity element is used for the semiconductor substrate 20, and the buffer layer 21 is doped with an impurity element. Since the photodetector having this structure can omit the step of removing the semiconductor substrate 20 and the buffer layer 21 by grinding or the like, the photodetector can be manufactured at low cost.

上記においては、画素３０となる赤外線検出素子が複数の場合について説明したが、図１７、図１８に示されるように、画素３０となる赤外線検出素子は１つであってもよい。この場合には、上記の製造方法において、画素３０となる赤外線検出素子を１つにすればよい。 In the above, the case where there are a plurality of infrared detection elements having pixels 30 has been described, but as shown in FIGS. 17 and 18, there may be one infrared detecting element having pixels 30. In this case, in the above manufacturing method, only one infrared detection element having pixels 30 may be used.

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。 The contents other than the above are the same as those in the first embodiment.

〔第３の実施の形態〕
（光検出器）
次に、第３の実施の形態における光検出器について説明する。 [Third Embodiment]
(Photodetector)
Next, the photodetector according to the third embodiment will be described.

本実施の形態における赤外線検出装置は、赤外線検出器２１０と信号処理回路素子７０とをＩｎのバンプを用いたＦＣＢにより接合することにより形成されている。具体的には、赤外線検出器２１０と信号処理回路素子７０とが、Ｉｎにより形成されたバンプ接合部８０により、画素ごとに電気的に接合されている。 The infrared detection device according to this embodiment is formed by joining the infrared detector 210 and the signal processing circuit element 70 by FCB using an In bump. Specifically, the infrared detector 210 and the signal processing circuit element 70 are electrically bonded to each pixel by the bump bonding portion 80 formed by In.

図１９に示されるように、本実施の形態における赤外線検出器２１０は、半導体基板２０の上に、半導体層をエピタキシャル成長させることにより形成されている。具体的には、半導体基板２０の上に、バッファ層２１、第１の容量電極層２２０、容量形成層２２１、第２の容量電極層２２２、高抵抗層２２３、下部コンタクト層２４、活性層２５、上部コンタクト層２６を積層することにより形成されている。 As shown in FIG. 19, the infrared detector 210 in this embodiment is formed by epitaxially growing a semiconductor layer on a semiconductor substrate 20. Specifically, on the semiconductor substrate 20, the buffer layer 21, the first capacitive electrode layer 220, the cambium forming layer 221 and the second capacitive electrode layer 222, the high resistance layer 223, the lower contact layer 24, and the active layer 25 , It is formed by laminating the upper contact layer 26.

第１の容量電極層２２０及び第２の容量電極層２２２は、不純物元素としてＳｉが１×１０^１８／ｃｍ^３の濃度でドープされた膜厚が約５００ｎｍのｎ−ＧａＡｓにより形成されている。容量形成層２２１及び高抵抗層２２３は、不純物元素のドープされていない膜厚が１５ｎｍのＧａＡｓにより形成されている。 The first capacitive electrode layer 220 and the second capacitive electrode layer 222 are formed of n-GaAs having a thickness of about 500 nm doped with Si as an impurity element at a concentration of 1 × 10 ¹⁸ / cm ³ . The capacitance forming layer 221 and the high resistance layer 223 are formed of GaAs having an undoped film thickness of 15 nm of an impurity element.

赤外線検出器２１０においては、赤外線検出器２１０の一方の面２１０ａには、画素３０を分離する画素分離溝３１が形成されている。また、各々の画素３０には、上部コンタクト層２６の表面に凹凸を形成することにより不図示の回折格子や金属反射膜等が形成されている。画素分離溝３１は、赤外線検出器２１０の一方の面２１０ａより、画素３０と画素３０との間の上部コンタクト層２６及び活性層２５を除去することにより形成されている。尚、赤外線は赤外線検出器２１０の他方の面２１０ｂとなる半導体基板２０側より入射する。 In the infrared detector 210, a pixel separation groove 31 for separating the pixels 30 is formed on one surface 210a of the infrared detector 210. Further, each pixel 30 is formed with a diffraction grating (not shown), a metal reflective film, or the like by forming irregularities on the surface of the upper contact layer 26. The pixel separation groove 31 is formed by removing the upper contact layer 26 and the active layer 25 between the pixels 30 and the pixels 30 from one surface 210a of the infrared detector 210. Infrared rays are incident from the semiconductor substrate 20 side, which is the other surface 210b of the infrared detector 210.

本実施の形態における赤外線検出器２１０には、バイアス接続部２３２と接地電位接続部２３３が形成されている。バイアス接続部２３２は、第１の分離溝２３４により分離された上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４、高抵抗層２２３、第２の容量電極層２２２及び容量形成層２２１により形成されている。第１の分離溝２３４は、第１の容量電極層２２０の表面が露出するまで、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４、高抵抗層２２３、第２の容量電極層２２２及び容量形成層２２１を除去することにより形成される。 The infrared detector 210 in this embodiment is formed with a bias connection portion 232 and a ground potential connection portion 233. The bias connection portion 232 is formed by an upper contact layer 26, an active layer 25, a lower contact layer 24, a high resistance layer 223, a second capacitance electrode layer 222, and a capacitance forming layer 221 separated by a first separation groove 234. ing. The first separation groove 234 contains the upper contact layer 26, the active layer 25, the lower contact layer 24, the high resistance layer 223, the second capacitive electrode layer 222 and the capacitance until the surface of the first capacitive electrode layer 220 is exposed. It is formed by removing the cambium 221.

第１の分離溝２３４により露出したバイアス接続部２３２の側面には、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４、高抵抗層２２３、第２の容量電極層２２２及び容量形成層２２１の側面を覆う絶縁膜２４０が形成されている。また、第１の分離溝２３４により露出した画素３０側の側面には、下部コンタクト層２４、高抵抗層２２３、第２の容量電極層２２２及び容量形成層２２１の側面を覆う絶縁膜２４０が形成されている。 On the side surface of the bias connection portion 232 exposed by the first separation groove 234, an upper contact layer 26, an active layer 25, a lower contact layer 24, a high resistance layer 223, a second capacitance electrode layer 222, and a capacitance forming layer 221 are formed. An insulating film 240 is formed to cover the side surface. Further, an insulating film 240 covering the side surfaces of the lower contact layer 24, the high resistance layer 223, the second capacitance electrode layer 222, and the capacitance forming layer 221 is formed on the side surface on the pixel 30 side exposed by the first separation groove 234. Has been done.

第１の分離溝２３４の底面の第１の容量電極層２２０の上、第１の分離溝２３４の側壁の絶縁膜２４０の上、バイアス接続部２３２の上部コンタクト層２６の上、画素３０となる赤外線検出素子の下部コンタクト層２４の上には、第１の配線層２４１が形成されている。第１の配線層２４１は金属により形成されており、バイアス接続部２３２の上面における第１の配線層２４１の上にはバンプ接合部８０が形成されており、バンプ接合部８０を介し信号処理回路素子７０におけるバイアス回路と接続されている。従って、第１の配線層２４１により、画素３０となる赤外線検出素子の下部コンタクト層２４、第１の容量電極層２２０、バイアス接続部２３２の上に形成されたバンプ接合部８０が電気的に接続される。 Pixels 30 on the first capacitive electrode layer 220 on the bottom surface of the first separation groove 234, on the insulating film 240 on the side wall of the first separation groove 234, on the upper contact layer 26 of the bias connection portion 232. A first wiring layer 241 is formed on the lower contact layer 24 of the infrared detection element. The first wiring layer 241 is formed of metal, and a bump junction 80 is formed on the first wiring layer 241 on the upper surface of the bias connection portion 232, and a signal processing circuit is formed via the bump junction 80. It is connected to the bias circuit in the element 70. Therefore, the first wiring layer 241 electrically connects the lower contact layer 24 of the infrared detection element to be the pixel 30, the first capacitive electrode layer 220, and the bump junction 80 formed on the bias connection portion 232. Will be done.

接地電位接続部２３３は、第２の分離溝２３５により分離された上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４及び高抵抗層２２３により形成されている。第２の分離溝２３５は、第２の容量電極層２２２の表面が露出するまで、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４及び高抵抗層２２３を除去することにより形成される。接地電位接続部２３３の側面には、第２の分離溝２３５により露出した上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４及び高抵抗層２２３の側面を覆う絶縁膜２４０が形成されている。第２の分離溝２３５の底面となる第２の容量電極層２２２の上から、接地電位接続部２３３の側面を覆う絶縁膜２４０の上、接地電位接続部２３３の上面となる上部コンタクト層２６の上には、金属により第２の配線層２４２が形成されている。接地電位接続部２３３の上面における第２の配線層２４２の上にはバンプ接合部８０が形成されており、バンプ接合部８０を介し信号処理回路素子７０における接地電極と接続されている。 The ground potential connection portion 233 is formed by an upper contact layer 26, an active layer 25, a lower contact layer 24, and a high resistance layer 223 separated by a second separation groove 235. The second separation groove 235 is formed by removing the upper contact layer 26, the active layer 25, the lower contact layer 24, and the high resistance layer 223 until the surface of the second capacitive electrode layer 222 is exposed. An insulating film 240 is formed on the side surface of the ground potential connection portion 233 to cover the side surfaces of the upper contact layer 26, the active layer 25, the lower contact layer 24, and the high resistance layer 223 exposed by the second separation groove 235. From above the second capacitive electrode layer 222, which is the bottom surface of the second separation groove 235, on the insulating film 240, which covers the side surface of the ground potential connection portion 233, and on the upper contact layer 26, which is the upper surface of the ground potential connection portion 233. A second wiring layer 242 is formed on the metal. A bump junction 80 is formed on the second wiring layer 242 on the upper surface of the ground potential connection portion 233, and is connected to the ground electrode in the signal processing circuit element 70 via the bump junction 80.

本実施の形態においては、上部コンタクト層２６、活性層２５、下部コンタクト層２４により、画素３０となる赤外線検出素子が形成される。また、第２の容量電極層２２２、容量形成層２２１、第１の容量電極層２２０により平行平板型のバイパスコンデンサが形成される。 In the present embodiment, the upper contact layer 26, the active layer 25, and the lower contact layer 24 form an infrared detection element to be pixels 30. Further, a parallel plate type bypass capacitor is formed by the second capacitance electrode layer 222, the capacitance forming layer 221 and the first capacitance electrode layer 220.

（光検出器の製造方法）
次に、本実施の形態における光検出器の製造方法について、図２０〜図２２に基づき説明する。 (Manufacturing method of photodetector)
Next, the method of manufacturing the photodetector according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 20 to 22.

最初に、図２０（ａ）に示すように、半導体基板２０の上に、バッファ層２１、第１の容量電極層２２０、容量形成層２２１、第２の容量電極層２２２、高抵抗層２２３、下部コンタクト層２４を積層する。更に、図２０（ｂ）に示すように、活性層２５、上部コンタクト層２６を積層する。バッファ層２１、第１の容量電極層２２０、容量形成層２２１、第２の容量電極層２２２、高抵抗層２２３、下部コンタクト層２４、活性層２５、上部コンタクト層２６は、半導体基板２０の上に、ＭＢＥ法等によるエピタキシャル成長により形成する。 First, as shown in FIG. 20A, a buffer layer 21, a first capacitance electrode layer 220, a capacitance forming layer 221 and a second capacitance electrode layer 222, a high resistance layer 223, are placed on the semiconductor substrate 20. The lower contact layer 24 is laminated. Further, as shown in FIG. 20B, the active layer 25 and the upper contact layer 26 are laminated. The buffer layer 21, the first capacitance electrode layer 220, the capacitance forming layer 221, the second capacitance electrode layer 222, the high resistance layer 223, the lower contact layer 24, the active layer 25, and the upper contact layer 26 are above the semiconductor substrate 20. It is formed by epitaxial growth by the MBE method or the like.

第１の容量電極層２２０及び第２の容量電極層２２２は、不純物元素としてＳｉが１×１０^１８／ｃｍ^３の濃度でドープされた膜厚が約５００ｎｍのｎ−ＧａＡｓにより形成されている。容量形成層２２１及び高抵抗層２２３は、不純物元素のドープされていない膜厚が約１５ｎｍのＧａＡｓにより形成されている。な、不純物元素のドープされていないＧａＡｓは抵抗が高いため絶縁性を有する。本実施の形態においては、高抵抗層２２３は、絶縁性を有していればよいため、バンドギャップの広い他の半導体材料や絶縁体材料により形成してもよい。 The first capacitive electrode layer 220 and the second capacitive electrode layer 222 are formed of n-GaAs having a thickness of about 500 nm doped with Si as an impurity element at a concentration of 1 × 10 ¹⁸ / cm ³ . The capacitance forming layer 221 and the high resistance layer 223 are formed of GaAs having an undoped film thickness of an impurity element having a film thickness of about 15 nm. In addition, GaAs that is not doped with impurity elements has high resistance and therefore has insulating properties. In the present embodiment, since the high resistance layer 223 may have an insulating property, it may be formed of another semiconductor material or an insulating material having a wide bandgap.

次に、図２０（ｃ）に示すように、上部コンタクト層２６、活性層２５を除去することにより、画素３０を分離する画素分離溝３１、後述する第１の分離溝２３４の一部、第２の分離溝２３５の一部を形成する。 Next, as shown in FIG. 20 (c), the pixel separation groove 31 that separates the pixels 30 by removing the upper contact layer 26 and the active layer 25, a part of the first separation groove 234 described later, the first It forms a part of the separation groove 235 of 2.

次に、図２１（ａ）に示すように、第１の分離溝２３４が形成される領域において、更に、下部コンタクト層２４、高抵抗層２２３、第２の容量電極層２２２及び容量形成層２２１を除去することにより第１の分離溝２３４を形成する。 Next, as shown in FIG. 21A, in the region where the first separation groove 234 is formed, the lower contact layer 24, the high resistance layer 223, the second capacitance electrode layer 222, and the capacitance forming layer 221 are further formed. The first separation groove 234 is formed by removing the above.

次に、図２１（ｂ）に示すように、第２の分離溝２３５が形成される領域において、更に、下部コンタクト層２４、高抵抗層２２３を除去することにより第２の分離溝２３５を形成する。 Next, as shown in FIG. 21B, in the region where the second separation groove 235 is formed, the lower contact layer 24 and the high resistance layer 223 are further removed to form the second separation groove 235. To do.

次に、図２１（ｃ）に示すように、バイアス接続部２３２を形成するための第１の分離溝２３４の両側の側壁及び第２の分離溝２３５により分離された接地電位接続部２３３の側面に、絶縁膜２４０を形成する。 Next, as shown in FIG. 21 (c), the side walls of both sides of the first separation groove 234 for forming the bias connection portion 232 and the side surface of the ground potential connection portion 233 separated by the second separation groove 235. In addition, the insulating film 240 is formed.

次に、図２２（ａ）に示すように、バイアス接続部２３２を形成するための第１の分離溝２３４の両側の側壁における絶縁膜２４０の上に第１の配線層２４１を形成し、接地電位接続部２３３の側面の絶縁膜２４０の上に第２の配線層２４２を形成する。これにより、第１の分離溝２３４の底面の第１の容量電極層２２０の上、第１の分離溝２３４の側壁の絶縁膜２４０の上、バイアス接続部２３２の上面の上部コンタクト層２６の上、画素３０の下部コンタクト層２４の上には、第１の配線層２４１が形成される。従って、第１の配線層２４１により、画素３０となる赤外線検出素子の下部コンタクト層２４、第１の容量電極層２２０とが電気的に接続される。また、第２の分離溝２３５の底面となる第２の容量電極層２２２の上から、接地電位接続部２３３の側面を覆う絶縁膜２４０の上、接地電位接続部２３３の上部コンタクト層２６の上には、第２の配線層２４２が形成される。 Next, as shown in FIG. 22A, the first wiring layer 241 is formed on the insulating film 240 on the side walls on both sides of the first separation groove 234 for forming the bias connection portion 232, and is grounded. A second wiring layer 242 is formed on the insulating film 240 on the side surface of the potential connection portion 233. As a result, above the first capacitive electrode layer 220 on the bottom surface of the first separation groove 234, above the insulating film 240 on the side wall of the first separation groove 234, and above the upper contact layer 26 on the upper surface of the bias connection portion 232. A first wiring layer 241 is formed on the lower contact layer 24 of the pixel 30. Therefore, the first wiring layer 241 electrically connects the lower contact layer 24 of the infrared detection element, which is the pixel 30, and the first capacitive electrode layer 220. Further, from above the second capacitive electrode layer 222, which is the bottom surface of the second separation groove 235, above the insulating film 240 covering the side surface of the ground potential connection portion 233, and above the upper contact layer 26 of the ground potential connection portion 233. A second wiring layer 242 is formed in.

次に、図２２（ｂ）に示すように、画素３０となる赤外線検出素子の上部コンタクト層２６の上、及び、バイアス接続部２３２の上面の第１の配線層２４１の上、接地電位接続部２３３の上面の第２の配線層２４２の上に、バンプ接合部８０を形成する。 Next, as shown in FIG. 22B, above the upper contact layer 26 of the infrared detection element to be the pixel 30, and above the first wiring layer 241 on the upper surface of the bias connection portion 232, the ground potential connection portion. A bump joint 80 is formed on the second wiring layer 242 on the upper surface of the 233.

次に、図２２（ｃ）に示すように、バンプ接合部８０が形成されている赤外線検出器２１０の一方の面２１０ａと信号処理回路素子７０の一方の面７０ａとをバンプ接合部８０におけるＩｎによるフリップチップボンディング（ＦＣＢ）により接合する。 Next, as shown in FIG. 22C, one surface 210a of the infrared detector 210 on which the bump junction 80 is formed and one surface 70a of the signal processing circuit element 70 are inserted into the bump junction 80. It is bonded by flip chip bonding (FCB).

上記においては、画素３０となる赤外線検出素子が複数の場合について説明したが、画素３０となる赤外線検出素子は１つであってもよい。この場合の製造方法は、上記における製造方法において、画素３０となる赤外線検出素子を１つ形成すればよい。 In the above, the case where there are a plurality of infrared detection elements having pixels 30 has been described, but the number of infrared detection elements having pixels 30 may be one. In this case, in the manufacturing method described above, one infrared detection element having pixels 30 may be formed.

以上、実施の形態について詳述したが、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。 Although the embodiments have been described in detail above, the embodiments are not limited to the specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims.

上記の説明に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
光を検出する光検出器において、
半導体材料により形成された第１電極と、
前記第１電極の上に半導体材料により形成された誘電体と、
前記誘電体の上に半導体材料により形成された第２電極と、
前記第２電極の上に半導体材料により形成された活性層と、
前記活性層の上に半導体材料により形成された第３電極と、
を有し、
前記第１電極、前記第２電極、前記第３電極には、不純物元素がドープされており、
前記第１電極、前記誘電体、前記第２電極によりキャパシタが形成されることを特徴とする光検出器。
（付記２）
光を検出する複数の画素を有しており、
複数の前記画素は、画素分離溝により分離されていることを特徴とする付記１に記載の光検出器。
（付記３）
前記第１電極、前記誘電体、前記第２電極及び前記第３電極は、ＧａＡｓ、ＡｌＡｓ、ＩｎＡｓ、ＧａＰ、ＡｌＰ、ＩｎＰ、ＧａＳｂ、ＡｌＳｂ、ＩｎＳｂ、ＣｄＴｅ、ＨｇＴｅのうちのいずれかを含む材料により形成されていることを特徴とする付記１または２に記載の光検出器。
（付記４）
前記活性層は、量子井戸構造または量子ドット構造により形成されていることを特徴とする付記１から３のいずれかに記載の光検出器。
（付記５）
前記活性層は、ＧａＡｓ、ＡｌＡｓ、ＩｎＡｓ、ＧａＰ、ＡｌＰ、ＩｎＰ、ＧａＳｂ、ＡｌＳｂ、ＩｎＳｂ、ＣｄＴｅ、ＨｇＴｅのうちのいずれかを含む材料の超格子構造により形成されていることを特徴とする付記１から３のいずれかに記載の光検出器。
（付記６）
前記第３電極の上には、バンプ接合部が形成されており、
前記光検出器は、前記バンプ接合部において信号処理回路素子と接合されるものであって、
前記第１電極の側から入射した光を検出するものであることを特徴とする付記１から５のいずれかに記載の光検出器。
（付記７）
第１の分離溝により分離された前記第３電極及び前記活性層により形成されるバイアス接続部と、
前記第１の分離溝の底面における前記第２電極と前記バイアス接続部の上に形成されたバンプ接合部とを接続する第１の配線層と、
を有することを特徴とする付記６に記載の光検出器。
（付記８）
第２の分離溝により分離された前記第３電極、前記活性層、前記第２電極及び前記誘電体により形成される接地電位接続部と、
前記第２の分離溝の底面における前記第１電極と前記接地電位接続部の上に形成されたバンプ接合部とを接続する第２の配線層と、
を有することを特徴とする付記７に記載の光検出器。
（付記９）
前記第１電極は接地されていることを特徴とする付記１から７のいずれかに記載の光検出器。
（付記１０）
前記第１電極は、不純物のドープされた半導体基板の上に形成されており、
前記第１電極は、接地されている前記半導体基板を介して、接地されることを特徴とする付記７に記載の光検出器。
（付記１１）
前記光は赤外線であって、
前記光検出器は赤外線検出器であることを特徴とする付記１から１０のいずれかに記載の光検出器。
（付記１２）
光を検出する光検出器の製造方法において、
基板の上に、半導体材料により第１電極、誘電体、第２電極、活性層、第３電極を順に積層して形成する工程と、
前記活性層及び前記第３電極に画素分離溝を形成する工程と、
を有し、
前記第１電極、前記第２電極、前記第３電極には、不純物元素がドープされており、
前記第１電極、前記誘電体、前記第２電極によりキャパシタが形成されることを特徴とする光検出器の製造方法。 Regarding the above description, the following additional notes will be further disclosed.
(Appendix 1)
In a photodetector that detects light
The first electrode formed of a semiconductor material and
A dielectric formed of a semiconductor material on the first electrode and
A second electrode formed of a semiconductor material on the dielectric and
An active layer formed of a semiconductor material on the second electrode,
A third electrode formed of a semiconductor material on the active layer and
Have,
Impurity elements are doped in the first electrode, the second electrode, and the third electrode.
A photodetector characterized in that a capacitor is formed by the first electrode, the dielectric, and the second electrode.
(Appendix 2)
It has multiple pixels to detect light,
The photodetector according to Appendix 1, wherein the plurality of pixels are separated by a pixel separation groove.
(Appendix 3)
The first electrode, the dielectric, the second electrode, and the third electrode are made of a material containing any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe. The photodetector according to Appendix 1 or 2, characterized in that it is formed.
(Appendix 4)
The photodetector according to any one of Appendix 1 to 3, wherein the active layer is formed by a quantum well structure or a quantum dot structure.
(Appendix 5)
Addendum 1 characterized in that the active layer is formed by a superlattice structure of a material containing any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe. The photodetector according to any one of 3 to 3.
(Appendix 6)
A bump joint is formed on the third electrode.
The photodetector is bonded to a signal processing circuit element at the bump junction.
The photodetector according to any one of Supplementary note 1 to 5, wherein the photodetector detects light incident from the side of the first electrode.
(Appendix 7)
A bias connection portion formed by the third electrode and the active layer separated by the first separation groove,
A first wiring layer connecting the second electrode on the bottom surface of the first separation groove and the bump joint formed on the bias connection portion, and
The photodetector according to Appendix 6, wherein the photodetector has.
(Appendix 8)
The ground potential connection portion formed by the third electrode, the active layer, the second electrode, and the dielectric separated by the second separation groove,
A second wiring layer connecting the first electrode on the bottom surface of the second separation groove and the bump joint formed on the ground potential connection portion, and
The photodetector according to Appendix 7, wherein the photodetector has.
(Appendix 9)
The photodetector according to any one of Supplementary note 1 to 7, wherein the first electrode is grounded.
(Appendix 10)
The first electrode is formed on a semiconductor substrate doped with impurities.
The photodetector according to Appendix 7, wherein the first electrode is grounded via the semiconductor substrate that is grounded.
(Appendix 11)
The light is infrared
The photodetector according to any one of Supplementary note 1 to 10, wherein the photodetector is an infrared detector.
(Appendix 12)
In the method of manufacturing a photodetector that detects light
A step of forming a first electrode, a dielectric, a second electrode, an active layer, and a third electrode in this order on a substrate by using a semiconductor material.
A step of forming a pixel separation groove in the active layer and the third electrode, and
Have,
Impurity elements are doped in the first electrode, the second electrode, and the third electrode.
A method for manufacturing a photodetector, wherein a capacitor is formed by the first electrode, the dielectric, and the second electrode.

１０赤外線検出器
１０ａ一方の面
１０ｂ他方の面
２０半導体基板
２１バッファ層
２２容量電極層
２３容量形成層
２４下部コンタクト層
２５活性層
２６上部コンタクト層
３０画素
３１画素分離溝
３２バイアス接続部
３３接地電位接続部
３４第１の分離溝
３５第２の分離溝
４０絶縁膜
４１配線層
４２配線層
７０信号処理回路素子
８０バンプ接合部
１１０赤外線検出素子
１２０バイパスコンデンサ
１３２トランジスタ
１４０蓄積コンデンサ 10 Infrared detector 10a One surface 10b Another surface 20 Semiconductor substrate 21 Buffer layer 22 Capacitor electrode layer 23 Capacitor forming layer 24 Lower contact layer 25 Active layer 26 Upper contact layer 30 Pixels 31 Pixel separation groove 32 Bias connection 33 Ground potential Connection part 34 First separation groove 35 Second separation groove 40 Insulation film 41 Wiring layer 42 Wiring layer 70 Signal processing circuit element 80 Bump junction 110 Infrared detection element 120 Bypass capacitor 132 Transistor 140 Storage capacitor

Claims

In a photodetector that detects light
A first electrode formed of a semiconductor material and doped with an impurity element,
A dielectric formed of a semiconductor material on the first electrode and
A second electrode formed of a semiconductor material on the dielectric and doped with an impurity element,
An active layer formed of a semiconductor material on the second electrode,
With the third electrode formed on the active layer,
Have,
The first electrode is formed on the substrate,
It said dielectric is formed of the same material as the substrate,
A photodetector characterized in that the first electrode is connected to a ground potential via a separation groove provided on the opposite side of the substrate .

It has multiple pixels to detect light,
The photodetector according to claim 1, wherein the plurality of pixels are separated by a pixel separation groove.

The first electrode, the dielectric, the second electrode, and the third electrode are made of a material containing any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe. The photodetector according to claim 1 or 2, wherein the photodetector is formed.

The photodetector according to any one of claims 1 to 3, wherein the active layer is formed by a quantum well structure or a quantum dot structure.

The active layer is characterized by being formed by a superlattice structure of a material containing any one of GaAs, AlAs, InAs, GaP, AlP, InP, GaSb, AlSb, InSb, CdTe, and HgTe. The photodetector according to any one of 1 to 3.

A bump joint is formed on the third electrode.
The photodetector is bonded to a signal processing circuit element at the bump junction.
The photodetector according to any one of claims 1 to 5, wherein the photodetector detects the light incident from the side of the first electrode.

A bias connection portion formed by the third electrode and the active layer separated by the first separation groove,
A first wiring layer connecting the second electrode on the bottom surface of the first separation groove and the bump joint formed on the bias connection portion, and
The photodetector according to claim 6, wherein the photodetector has.

The ground potential connection portion formed by the third electrode, the active layer, the second electrode, and the dielectric separated by the second separation groove,
A second wiring layer connecting the first electrode on the bottom surface of the second separation groove and the bump joint formed on the ground potential connection portion, and
The photodetector according to claim 7, wherein the photodetector has.

The photodetection according to any one of claims 1 to 8, wherein the first electrode, the dielectric, the second electrode, the active layer, and the third electrode are formed by epitaxial growth. vessel.

In the method of manufacturing a photodetector that detects light
A step of forming a first electrode, a dielectric, a second electrode, an active layer, and a third electrode in this order on a substrate by using a semiconductor material.
A step of forming a pixel separation groove in the active layer and the third electrode, and
A step of forming a separation groove from the third electrode to the first electrode, and
Have,
A first electrode is formed on the substrate, and the first electrode is formed on the substrate.
The dielectric is made of the same material as the substrate and
Impurity elements are doped in the first electrode, the second electrode, and the third electrode.
A capacitor is formed by the first electrode, the dielectric, and the second electrode .
Wherein the first electrode, the manufacturing method of the photodetector, characterized in be tied to the ground potential via the separation groove.

The method for manufacturing a photodetector according to claim 10, wherein the first electrode, the dielectric, the second electrode, the active layer, and the third electrode are formed by epitaxial growth.