JP6793119B2 - Glass for magnetic recording medium substrate, magnetic recording medium substrate and magnetic recording medium - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 177
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 128
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 27
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 description 37
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 33
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 25
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 19
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 17
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 16
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 15
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 12
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 8
- 239000006025 fining agent Substances 0.000 description 6
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 6
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000002354 inductively-coupled plasma atomic emission spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005335 FePt Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- 229910020203 CeO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020707 Co—Pt Inorganic materials 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008395 clarifying agent Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
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- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
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Description
本出願は、2015年6月30日出願の日本特願2015−132038号の優先権を主張し、その全記載は、ここに特に開示として援用される。 This application claims the priority of Japanese Patent Application No. 2015-132038 filed on June 30, 2015, the entire description of which is incorporated herein by reference in particular.
本発明は、磁気記録媒体基板用ガラス、磁気記録媒体基板および磁気記録媒体に関する。 The present invention relates to glass for a magnetic recording medium substrate, a magnetic recording medium substrate, and a magnetic recording medium.
従来、ハードディスク等の磁気記録媒体用の基板(磁気記録媒体基板)としては、アルミニウム製の基板が広く用いられていた。しかしながら、近年、ハードディスクドライブにおいては、耐衝撃性に加えて、磁気記録媒体の高密度記録化と薄型化に伴い、磁気記録媒体基板の表面平滑性の向上と薄型化への要求はますます厳しくなっている。そのため、表面硬度、剛性に劣るアルミニウム製の基板で対応するには限界がある。そこでガラス製の磁気記録媒体基板の開発が、現在主流となっている(例えば特許文献1〜4参照)。特許文献1〜4の全記載は、ここに特に開示として援用される。 Conventionally, an aluminum substrate has been widely used as a substrate for a magnetic recording medium such as a hard disk (magnetic recording medium substrate). However, in recent years, in hard disk drives, in addition to impact resistance, the demand for improving the surface smoothness and thinning of the magnetic recording medium substrate is becoming more and more severe as the magnetic recording medium becomes denser and thinner. It has become. Therefore, there is a limit to the aluminum substrate having inferior surface hardness and rigidity. Therefore, the development of a glass magnetic recording medium substrate is currently the mainstream (see, for example, Patent Documents 1 to 4). The entire description of Patent Documents 1 to 4 is incorporated herein by reference in particular.
近年、磁気記録媒体のより一層の高密度記録化を図ることを目的として、磁気異方性エネルギーが高い磁性材料を含む磁気記録層を形成したガラス基板が開発されている。このような磁性材料からなる磁気記録層を形成するためには、通常、高温で成膜が行われるか、または成膜後に高温で熱処理が行われる(例えば特許文献2、3参照)。したがって、このようなガラス基板には、高温処理に耐え得る高い耐熱性、即ち高いガラス転移温度(以下、「Tg」とも記載する。)を有することが求められる。 In recent years, a glass substrate having a magnetic recording layer containing a magnetic material having a high magnetic anisotropy energy has been developed for the purpose of achieving higher density recording of a magnetic recording medium. In order to form a magnetic recording layer made of such a magnetic material, a film formation is usually performed at a high temperature, or a heat treatment is performed at a high temperature after the film formation (see, for example, Patent Documents 2 and 3). Therefore, such a glass substrate is required to have high heat resistance that can withstand high temperature treatment, that is, a high glass transition temperature (hereinafter, also referred to as “Tg”).
一方、磁気記録媒体基板用のガラスには、泡の発生を抑制することも求められる。これは、以下の理由による。近年の高密度記録化の進行に伴い、データの書き込み・読み取りのためのヘッド(磁気ヘッド)と磁気記録媒体表面との距離(「フライングハイト」と呼ばれる。)を狭小化することが望まれている。しかし、磁気記録媒体用のガラス基板表面に泡に起因する凹凸が存在すると、磁気記録媒体の表面にこの凹凸が反映され、磁気記録媒体の表面平滑性は低下してしまう。表面平滑性に劣る磁気記録媒体表面に磁気ヘッドを近接させると、磁気ヘッドが磁気記録媒体表面に接触して磁気ヘッドが破損するおそれがあるため、接触を防ぐためにフライングハイトをある程度確保せざるを得ない。以上の点から、磁気記録媒体基板には、フライングハイトを狭小化するために、高い表面平滑性を有する磁気記録媒体を作製すべくガラス基板の泡を低減することが求められる。ガラス中の泡は、ガラス熔融中に泡を取り除く作用を奏する成分(「清澄剤」と呼ばれる。)を用いることにより低減することができる。従来、清澄剤としては、Sb酸化物(例えばSb2O3)が広く用いられていたが、Sb酸化物は環境へ負荷を与えてしまう成分であるため、その使用は控えるべきである。清澄剤としては、特許文献1〜4に、Sn酸化物やCe酸化物の使用も提案されているが、耐熱性の向上(高Tg化)と泡の低減とを両立するためには、更なる改善が求められていた。On the other hand, glass for a magnetic recording medium substrate is also required to suppress the generation of bubbles. This is due to the following reasons. With the progress of high-density recording in recent years, it is desired to reduce the distance (called "flying height") between the head (magnetic head) for writing / reading data and the surface of the magnetic recording medium. There is. However, if the surface of the glass substrate for the magnetic recording medium has irregularities due to bubbles, the irregularities are reflected on the surface of the magnetic recording medium, and the surface smoothness of the magnetic recording medium is lowered. If the magnetic head is brought close to the surface of the magnetic recording medium having poor surface smoothness, the magnetic head may come into contact with the surface of the magnetic recording medium and damage the magnetic head. Therefore, it is necessary to secure a certain flying height to prevent the contact. I don't get it. From the above points, the magnetic recording medium substrate is required to reduce bubbles in the glass substrate in order to produce a magnetic recording medium having high surface smoothness in order to narrow the flying height. The bubbles in the glass can be reduced by using a component (called a "fining agent") that removes the bubbles during glass melting. Conventionally, Sb oxide (for example, Sb 2 O 3 ) has been widely used as a fining agent, but since Sb oxide is a component that gives a load to the environment, its use should be refrained from. Patent Documents 1 to 4 also propose the use of Sn oxide and Ce oxide as fining agents, but in order to achieve both improvement in heat resistance (higher Tg) and reduction of bubbles, further There was a need for improvement.
本発明の一態様は、耐熱性が高く、かつ泡が低減された磁気記録媒体基板用ガラスを提供することを目的とする。 One aspect of the present invention is to provide a glass for a magnetic recording medium substrate having high heat resistance and reduced bubbles.
本発明の一態様は、モル%表示にて、
SiO2含有量が56〜75%、
Al2O3含有量が0.1〜10%、
Li2O含有量が0〜2%、
Na2OおよびK2Oの合計含有量が3〜15%、
MgO、CaOおよびSrOの合計含有量が14〜35%、
Ti酸化物含有量が0.20〜2.50%、
Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量が0.10〜1.55%、
Sb酸化物含有量が0〜0.02%、
であり、
SiO2およびAl2O3の合計含有量に対するLi2O含有量のモル比{Li2O/(SiO2+Al2O3)}が0.02以下であり、かつ
ガラス転移温度が600℃以上である磁気記録媒体基板用ガラス、
に関する。One aspect of the present invention is displayed in mol%.
SiO 2 content is 56-75%,
Al 2 O 3 content 0.1-10%,
Li 2 O content 0-2%,
Total content of Na 2 O and K 2 O is 3-15%,
The total content of MgO, CaO and SrO is 14-35%,
Ti oxide content is 0.25 to 2.50%,
The total content of Sn oxide and Ce oxide is 0.10 to 1.55%,
Sb oxide content 0-0.02%,
And
The molar ratio of Li 2 O content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 {Li 2 O / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} is 0.02 or less, and the glass transition temperature is 600 ° C or more. Glass for magnetic recording medium substrate,
Regarding.
上記磁気記録媒体基板用ガラスは、上述の組成を有することにより、ガラス転移温度が600℃以上の高い耐熱性と泡の低減とを両立することができる。この点について本発明者は、以下のように考えている。ただし以下は推察であって、本発明を何ら限定するものではない。
Li2Oは、少量導入した場合でも耐熱性を低下(ガラス転移温度を低下)させる成分であるため、Li2Oの導入量を抑えること、具体的には、Li2Oの含有量を上記範囲とし、かつモル比{Li2O/(SiO2+Al2O3)}を0.02以下とすることが、ガラスの耐熱性向上に寄与すると本発明者は考えている。しかし一方で、かかる組成を有するガラスは熔解性が低い傾向があり、そのためガラス熔融中に泡が除去し難くなると考えられる。Li2Oはガラスの熔融性を向上させる働きをする成分でもあるためである。このような組成のガラスにおいて、上記の量で含まれるTi酸化物、ならびに上記の合計含有量で含まれるSn酸化物およびCe酸化物が清澄剤として清澄作用を発揮することにより、ガラス熔融中の泡の除去を促進できると、本発明者は推察している。以上により、耐熱性の向上と泡の低減とを両立することが可能になると、本発明者は考えている。By having the above-mentioned composition, the glass for a magnetic recording medium substrate can achieve both high heat resistance with a glass transition temperature of 600 ° C. or higher and reduction of bubbles. The present inventor considers this point as follows. However, the following is speculation and does not limit the present invention in any way.
Since Li 2 O is a component that lowers the heat resistance (lowers the glass transition temperature) even when introduced in a small amount, the amount of Li 2 O introduced should be suppressed, specifically, the content of Li 2 O should be adjusted as described above. The present inventor believes that setting the molar ratio {Li 2 O / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} to 0.02 or less contributes to the improvement of the heat resistance of the glass. However, on the other hand, glass having such a composition tends to have low meltability, which is considered to make it difficult to remove bubbles during glass melting. This is because Li 2 O is also a component that works to improve the meltability of glass. In a glass having such a composition, the Ti oxide contained in the above amount and the Sn oxide and Ce oxide contained in the above total content exert a clarifying action as a fining agent, whereby the glass is being melted. The inventor speculates that the removal of bubbles can be promoted. Based on the above, the present inventor believes that it is possible to achieve both improvement in heat resistance and reduction of bubbles.
上述した一態様によれば、耐熱性に優れ、かつ泡が低減された磁気記録媒体基板用ガラスを提供することができる。更に、一態様によれば、上記磁気記録媒体基板用ガラスからなる磁気記録媒体基板、およびこの基板を含む磁気記録媒体を提供することもできる。 According to the above-described aspect, it is possible to provide a glass for a magnetic recording medium substrate having excellent heat resistance and reduced bubbles. Further, according to one aspect, it is also possible to provide a magnetic recording medium substrate made of the glass for the magnetic recording medium substrate, and a magnetic recording medium including the substrate.
[磁気記録媒体基板用ガラス]
本発明の一態様は、上述のガラス組成を有し、かつガラス転移温度が600℃以上の磁気記録媒体基板用ガラス(以下、単に「ガラス」とも記載する。)に関する。以下、上述のガラスについて、更に詳細に説明する。[Glass for magnetic recording medium substrate]
One aspect of the present invention relates to glass for a magnetic recording medium substrate having the above-mentioned glass composition and having a glass transition temperature of 600 ° C. or higher (hereinafter, also simply referred to as “glass”). Hereinafter, the above-mentioned glass will be described in more detail.
<ガラス組成>
本発明では、ガラスのガラス組成を、酸化物基準で表示する。ここで「酸化物基準のガラス組成」とは、ガラス原料が熔融時にすべて分解されてガラス中で酸化物として存在するものとして換算することにより得られるガラス組成をいうものとする。また、特記しない限り、ガラス組成はモル基準(モル%、モル比)で表示するものとする。
本発明におけるガラス組成は、例えばICP−AES(Inductively Coupled Plasma - Atomic Emission Spectrometry)などの方法により求めることができる。定量分析は、ICP−AESを用い、各元素別に行われる。その後、分析値は酸化物表記に換算される。ICP−AESによる分析値は、例えば、分析値の±5%程度の測定誤差を含んでいることがある。したがって、分析値から換算された酸化物表記の値についても、同様に±5%程度の誤差を含んでいることがある。
また、本明細書および本発明において、構成成分の含有量が0%または含まないもしくは導入しないとは、この構成成分を実質的に含まないことを意味し、この構成成分の含有量が不純物レベル程度以下であることを指す。不純物レベル程度以下とは、例えば、0.01%未満であることを意味する。<Glass composition>
In the present invention, the glass composition of glass is indicated on an oxide basis. Here, the "oxide-based glass composition" refers to a glass composition obtained by converting all glass raw materials into those that are decomposed at the time of melting and exist as oxides in glass. Unless otherwise specified, the glass composition shall be indicated on a molar basis (molar%, molar ratio).
The glass composition in the present invention can be determined by a method such as ICP-AES (Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrometry). Quantitative analysis is performed for each element using ICP-AES. The analytical values are then converted to oxide notation. The analysis value by ICP-AES may include, for example, a measurement error of about ± 5% of the analysis value. Therefore, the oxide notation value converted from the analysis value may also contain an error of about ± 5%.
Further, in the present specification and the present invention, when the content of the constituent component is 0% or not contained or introduced, it means that the constituent component is substantially not contained, and the content of the constituent component is the impurity level. It means that it is below the degree. The impurity level or less means, for example, less than 0.01%.
以下に、上述のガラスのガラス組成について、更に詳細に説明する。なお、上述のガラスは、好ましくは非晶質性(アモルファス)のガラスである。 The glass composition of the above-mentioned glass will be described in more detail below. The above-mentioned glass is preferably an amorphous glass.
Tiは遷移金属であって、その酸化物であるTi酸化物は、上述のガラス組成のガラスにおいて、上述の合計含有量で含まれるSn酸化物および/またはCe酸化物とともに、清澄作用を発揮する成分(清澄剤として機能する成分)であると、本発明者は考えている。その含有量は、耐熱性が高く、かつ泡が低減された磁気記録媒体基板用ガラスを提供するために、0.20〜2.50%の範囲とする。ガラス中の泡をより一層低減する観点から、Ti酸化物含有量は、0.30%以上であることが好ましく、0.40%以上であることがより好ましく、0.50%以上であることが更に好ましく、0.60%以上であることが一層好ましいく、0.70%以上であることがより一層好ましい。一方、ガラス中の泡をより一層低減する観点、ガラスの熔融性を向上させる観点およびガラスの着色抑制の観点から、Ti酸化物含有量は、2.40%以下であることが好ましく、2.30%以下であることがより好ましく、2.25%以下であることが更に好ましく、1.75%以下であることが一層好ましく、1.50%以下であることがより一層好ましい。 Ti is a transition metal, and the Ti oxide, which is an oxide thereof, exerts a clarifying effect in the glass having the above-mentioned glass composition together with the Sn oxide and / or the Ce oxide contained in the above-mentioned total content. The present inventor considers it to be an ingredient (an ingredient that functions as a clarifying agent). The content thereof is in the range of 0.20 to 2.50% in order to provide a glass for a magnetic recording medium substrate having high heat resistance and reduced bubbles. From the viewpoint of further reducing bubbles in the glass, the Ti oxide content is preferably 0.30% or more, more preferably 0.40% or more, and more preferably 0.50% or more. Is more preferable, 0.60% or more is more preferable, and 0.70% or more is even more preferable. On the other hand, the Ti oxide content is preferably 2.40% or less from the viewpoint of further reducing bubbles in the glass, improving the meltability of the glass, and suppressing the coloring of the glass. It is more preferably 30% or less, further preferably 2.25% or less, further preferably 1.75% or less, and even more preferably 1.50% or less.
上述のガラスは、上記含有量のTi酸化物とともに、Sn酸化物およびCe酸化物からなる群から選ばれる一種以上の酸化物を含む。耐熱性が高く、かつ泡が低減された磁気記録媒体基板用ガラスを提供するために、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量は、0.10〜1.55%の範囲とする。Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量は、ガラス中の泡をより一層低減する観点から、0.15%以上であることが好ましく、0.20%以上であることがより好ましい。また、同様の観点から、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量は、1.50%以下であることが好ましく、1.25%以下であることがより好ましく、1.00%以下であることが一層好ましい。上述のガラスは、Sn酸化物とCe酸化物の中で、Sn酸化物のみ含んでもよく、Ce酸化物のみ含んでもよく、Sn酸化物およびCe酸化物を含んでもよい。上述のガラスは、泡の一層の低減の観点からは、Sn酸化物およびCe酸化物を必須成分として含むことが好ましい。 The above-mentioned glass contains, together with the above-mentioned content of Ti oxide, one or more oxides selected from the group consisting of Sn oxide and Ce oxide. In order to provide a glass for a magnetic recording medium substrate having high heat resistance and reduced bubbles, the total content of Sn oxide and Ce oxide is in the range of 0.10 to 1.55%. The total content of Sn oxide and Ce oxide is preferably 0.15% or more, and more preferably 0.20% or more, from the viewpoint of further reducing bubbles in the glass. From the same viewpoint, the total content of Sn oxide and Ce oxide is preferably 1.50% or less, more preferably 1.25% or less, and 1.00% or less. Is even more preferable. Among the Sn oxide and the Ce oxide, the above-mentioned glass may contain only the Sn oxide, may contain only the Ce oxide, or may contain the Sn oxide and the Ce oxide. From the viewpoint of further reducing bubbles, the above-mentioned glass preferably contains Sn oxide and Ce oxide as essential components.
泡の一層の低減の観点から、Sn酸化物の含有量は、好ましくは0.10%以上であり、より好ましくは0.15%以上であり、更に好ましくは0.20%以上である。また、同様の観点から、Sn酸化物の含有量は、好ましくは1.50%以下であり、より好ましくは1.20%以下であり、更に好ましくは1.00%以下であり、一層好ましくは0.80%以下である。
Ce酸化物の含有量は、泡の一層の低減の観点から、好ましくは0.05%以上であり、より好ましくは0.10%以上であり、更に好ましくは0.15%以上である。また、同様の観点から、Ce酸化物の含有量は、好ましくは0.70%以下であり、より好ましくは0.50%以下であり、更に好ましくは0.40%以下である。From the viewpoint of further reduction of bubbles, the Sn oxide content is preferably 0.10% or more, more preferably 0.15% or more, still more preferably 0.20% or more. From the same viewpoint, the Sn oxide content is preferably 1.50% or less, more preferably 1.20% or less, still more preferably 1.00% or less, still more preferably. It is 0.80% or less.
The content of Ce oxide is preferably 0.05% or more, more preferably 0.10% or more, still more preferably 0.15% or more, from the viewpoint of further reducing bubbles. From the same viewpoint, the content of Ce oxide is preferably 0.70% or less, more preferably 0.50% or less, and further preferably 0.40% or less.
Ti酸化物、Sn酸化物およびCe酸化物は、いずれも酸化物を構成する金属原子が複数の価数を取り得るため、清澄工程の高温下で価数変化し酸素(O2)を放出することにより熔融ガラスから泡を浮上させて泡の除去を促進すると考えられる。更に、Ti酸化物に関して、本発明者は、清澄工程の後半の低温領域でTi酸化物が強力な酸化作用を示し、熔融ガラス中に存在する酸素を奪い、ガラス中の泡を消失させるのではないかと推察している。このことが、Sn酸化物およびCe酸化物とともに、上記の量でTi酸化物を含有させることにより、耐熱性向上のための組成調整により泡が除去し難いガラスから、泡を除去することが可能になる理由ではないかと、本発明者は推察している。中でもTi酸化物が清澄剤として機能し得ることは、従来知られていなかった新たな知見である。ただし以上は推察であって、本発明を何ら限定するものではない。Since the metal atoms constituting the oxides of Ti oxides, Sn oxides and Ce oxides can have multiple valences, the valences change at high temperatures in the clarification process to release oxygen (O 2 ). It is considered that this causes bubbles to float from the molten glass and promotes the removal of bubbles. Furthermore, regarding Ti oxide, the present inventor may exhibit a strong oxidizing action in the low temperature region in the latter half of the clarification process, deprive the molten glass of oxygen present, and eliminate bubbles in the glass. I'm guessing it might be. This makes it possible to remove bubbles from glass that is difficult to remove by adjusting the composition for improving heat resistance by containing Ti oxide in the above amount together with Sn oxide and Ce oxide. The present inventor speculates that this is the reason for this. Above all, the fact that Ti oxide can function as a fining agent is a new finding that has not been known in the past. However, the above is a speculation and does not limit the present invention in any way.
Ti酸化物、Sn酸化物、Ce酸化物は、好ましくは、TiO2、SnO2、CeO2であるが、他の形態の酸化物として含まれていてもよい。Ti oxides, Sn oxides, and Ce oxides are preferably TiO 2 , SnO 2 , and CeO 2 , but may be contained as oxides of other forms.
先に記載したように、清澄剤として従来広く用いられていたSb酸化物は、環境負荷低減の観点から、使用を控えるべきである。そこで上述のガラスにおけるSb酸化物含有量は、0〜0.02%の範囲とする。Sb酸化物含有量は、好ましくは0.01%以下である。上述のガラスは、Sb酸化物を実質的に含まないことが特に好ましい。 As described above, Sb oxide, which has been widely used as a fining agent, should be refrained from being used from the viewpoint of reducing the environmental load. Therefore, the Sb oxide content in the above-mentioned glass is in the range of 0 to 0.02%. The Sb oxide content is preferably 0.01% or less. It is particularly preferable that the above-mentioned glass is substantially free of Sb oxide.
上述のガラスにおいて、Ti酸化物、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量(Ti酸化物+Sn酸化物+Ce酸化物)は、泡の一層の低減の観点から、0.5%(詳しくは0.50%)以上であることが好ましく、0.8%(詳しくは0.80%)以上であることがより好ましく、1.1%(詳しくは1.10%)以上であることが一層好ましい。また、同様の観点から、上記合計含有量(Ti酸化物+Sn酸化物+Ce酸化物)は、4.0%(詳しくは4.00%)以下であることが好ましく、3.5%(詳しくは3.50%)以下であることがより好ましく、3.0%(詳しくは3.00%)以下であることが更に好ましく、2.5%(詳しくは2.50%)以下であることが一層好ましい。更に、同様の観点から、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量に対するTi酸化物含有量のモル比{Ti酸化物/(Sn酸化物+Ce酸化物)}は、0.4〜10.0の範囲であることが好ましい。泡の更なる低減の観点からは、モル比{Ti酸化物/(Sn酸化物+Ce酸化物)}は、0.6以上であることがより好ましく、0.7以上であることが更に好ましく、0.8以上であることが一層好ましく、1.0以上であることが更に一層好ましい。同様の観点から、モル比{Ti酸化物/(Sn酸化物+Ce酸化物)}は、8.0以下であることがより好ましく、6.0以下であることが更に好ましく、5.0以下であることが一層好ましく、4.0以下であることが更に一層好ましい。 In the above-mentioned glass, the total content of Ti oxide, Sn oxide and Ce oxide (Ti oxide + Sn oxide + Ce oxide) is 0.5% (specifically, 0) from the viewpoint of further reduction of bubbles. It is preferably .50% or more, more preferably 0.8% (specifically 0.80%) or more, and even more preferably 1.1% (specifically 1.10%) or more. .. From the same viewpoint, the total content (Ti oxide + Sn oxide + Ce oxide) is preferably 4.0% (specifically 4.00%) or less, and 3.5% (specifically, detailed). It is more preferably 3.50% or less, further preferably 3.0% (specifically 3.00%) or less, and more preferably 2.5% (specifically 2.50%) or less. More preferred. Further, from the same viewpoint, the molar ratio of Ti oxide content to the total content of Sn oxide and Ce oxide {Ti oxide / (Sn oxide + Ce oxide)} is 0.4 to 10.0. It is preferably in the range of. From the viewpoint of further reduction of bubbles, the molar ratio {Ti oxide / (Sn oxide + Ce oxide)} is more preferably 0.6 or more, further preferably 0.7 or more. It is more preferably 0.8 or more, and even more preferably 1.0 or more. From the same viewpoint, the molar ratio {Ti oxide / (Sn oxide + Ce oxide)} is more preferably 8.0 or less, further preferably 6.0 or less, and 5.0 or less. It is more preferably present, and even more preferably 4.0 or less.
SiO2は、ガラスのネットワーク形成成分であり、ガラス安定性および化学的耐久性(例えば耐酸性)を向上させる効果がある。これらの効果を得るために、上述のガラスは、SiO2を56〜75%含有する。SiO2含有量は、好ましくは57%以上であり、より好ましくは58%以上であり、更に好ましくは59%以上であり、一層好ましくは60%以上である。また、SiO2含有量は、好ましくは73%以下であり、より好ましくは70%以下であり、更に好ましくは68%以下である。SiO 2 is a network-forming component of glass and has an effect of improving glass stability and chemical durability (for example, acid resistance). In order to obtain these effects, the above-mentioned glass contains 56 to 75% of SiO 2 . The SiO 2 content is preferably 57% or more, more preferably 58% or more, still more preferably 59% or more, still more preferably 60% or more. The SiO 2 content is preferably 73% or less, more preferably 70% or less, and further preferably 68% or less.
Al2O3もガラスのネットワーク形成成分であり、化学的耐久性および耐熱性を向上させる効果がある。これらの効果を得るために、上述のガラスは、Al2O3を0.1〜10%含有する。Al2O3含有量は、好ましくは9%以下であり、より好ましくは8%以下であり、更に好ましくは7%以下であり、一層好ましくは6%以下である。また、Al2O3含有量は、好ましくは0.2%以上であり、より好ましくは0.3%以上である。Al 2 O 3 is also a network-forming component of glass and has the effect of improving chemical durability and heat resistance. In order to obtain these effects, the above-mentioned glass contains 0.1 to 10% of Al 2 O 3 . The Al 2 O 3 content is preferably 9% or less, more preferably 8% or less, still more preferably 7% or less, still more preferably 6% or less. The Al 2 O 3 content is preferably 0.2% or more, more preferably 0.3% or more.
泡の一層の低減の観点から、上述のガラスにおいて、SiO2およびAl2O3の合計含有量に対するTi酸化物、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量のモル比{(Ti酸化物+Sn酸化物+Ce酸化物)/(SiO2+Al2O3)}は、0.010〜0.070の範囲であることが好ましく、0.010〜0.050の範囲であることがより好ましく、0.015〜0.040の範囲であることが更に好ましい。
また、ガラス中の泡を一層低減する観点やガラスの熔融性を向上させる観点から、SiO2およびAl2O3の合計含有量に対するTi酸化物含有量のモル比{Ti酸化物/(SiO2+Al2O3)}は、0.030以下であることが好ましい。更に、モル比{Ti酸化物/(SiO2+Al2O3)}は、0.003〜0.030の範囲であることがより好ましく、0.005〜0.030の範囲であることが更に好ましく、0.005〜0.025の範囲であることが一層好ましい。From the viewpoint of further reduction of bubbles, the molar ratio of the total content of Ti oxide, Sn oxide and Ce oxide to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 in the above glass {(Ti oxide + Sn) Oxide + Ce oxide) / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} is preferably in the range of 0.010 to 0.070, more preferably in the range of 0.010 to 0.050, and is 0. It is more preferably in the range of .015 to 0.040.
Further, from the viewpoint of further reducing bubbles in the glass and improving the meltability of the glass, the molar ratio of the Ti oxide content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 {Ti oxide / (SiO 2). + Al 2 O 3 )} is preferably 0.030 or less. Further, the molar ratio {Ti oxide / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} is more preferably in the range of 0.003 to 0.030, and further preferably in the range of 0.005 to 0.030. It is preferably in the range of 0.005 to 0.025, more preferably.
Li2Oは、ガラスの熔融性および成形性を向上させる働きをするとともに熱膨張係数を増加させる働きをするが、ガラス転移温度を低下させる成分である。そのため耐熱性の向上(高Tg化)のために、上述のガラスのLi2O含有量は、0〜2%である。耐熱性を一層向上させる上から、Li2O含有量の好ましい範囲は0〜1.5%、更に好ましい範囲は0〜1.2%、一層好ましい範囲は0〜1.0%、より一層好ましい範囲は0〜0.8%、更に一層好ましい範囲は0〜0.5%であり、なお一層好ましい範囲は0〜0.2%であり、Li2Oを実質的に含まないことが特に好ましい。
更に、耐熱性の向上(高Tg化)のために、上述のガラスにおいて、ガラスのネットワーク成分として含まれるSiO2およびAl2O3の合計含有量に対するLi2O含有量のモル比{Li2O/(SiO2+Al2O3)}は0.02以下であり、好ましくは0.01以下であり、更に好ましくは0である。
このように耐熱性向上のための組成調整がなされたガラスは、先に記載したように泡が除去し難くなると考えられるが、Ti酸化物の含有量、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量を上述の範囲とすることにより、耐熱性の向上と泡の低減を両立することが可能となる。Li 2 O is a component that works to improve the meltability and moldability of glass and increases the coefficient of thermal expansion, but lowers the glass transition temperature. Therefore, in order to improve the heat resistance (higher Tg), the Li 2 O content of the above-mentioned glass is 0 to 2%. From the viewpoint of further improving the heat resistance, the Li 2 O content is preferably in the range of 0 to 1.5%, further preferably in the range of 0 to 1.2%, still more preferably in the range of 0 to 1.0%, and even more preferably. The range is 0 to 0.8%, the still more preferable range is 0 to 0.5%, the further preferable range is 0 to 0.2%, and it is particularly preferable that Li 2 O is substantially not contained. ..
Furthermore, in order to improve heat resistance (higher Tg), the molar ratio of Li 2 O content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 contained as network components of the glass in the above glass {Li 2 O / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} is 0.02 or less, preferably 0.01 or less, and more preferably 0.
It is considered that it is difficult to remove bubbles in the glass whose composition has been adjusted to improve heat resistance as described above, but the content of Ti oxide, the total content of Sn oxide and Ce oxide are contained. By setting the amount within the above range, it is possible to achieve both improvement in heat resistance and reduction of bubbles.
Na2OおよびK2Oは、ガラスの熔融性および成形性を向上させる働き、清澄時にガラスの粘性を低下させて、泡切れを促進させる働きをするとともに熱膨張係数を増加させる働きの大きい成分である。また、アルカリ成分中、Li2Oと比べてガラス転移温度を低下させる働きが小さい。上述のガラスにおいては、磁気記録媒体基板に望まれる均質性(未熔解物や残留泡のない状態)や熱膨張特性を付与する上から、Na2OおよびK2Oの合計含有量を3%以上とする。また、耐熱性向上および化学的耐久性(例えば耐酸性)向上の観点から、Na2OおよびK2Oの合計含有量は15%以下とする。Na2OおよびK2Oの合計含有量の好ましい範囲は5〜13%、より好ましい範囲は6〜13%、更に好ましい範囲は8〜11%である。一態様では、Na2O含有量は、好ましくは2〜11%の範囲であり、より好ましくは3〜10%の範囲である。また、一態様では、K2O含有量は、好ましくは0〜13%の範囲であり、より好ましくは2〜10%の範囲であり、更に好ましくは2.5〜8%である。Na 2 O and K 2 O are components that improve the meltability and moldability of glass, reduce the viscosity of glass during clarification, promote foam breakage, and increase the coefficient of thermal expansion. Is. Further, among the alkaline components, the action of lowering the glass transition temperature is smaller than that of Li 2 O. In the above-mentioned glass, the total content of Na 2 O and K 2 O is 3% in order to impart the desired homogeneity (no unmelted matter or residual bubbles) and thermal expansion characteristics to the magnetic recording medium substrate. That is all. Further, from the viewpoint of improving heat resistance and chemical durability (for example, acid resistance), the total content of Na 2 O and K 2 O shall be 15% or less. The preferred range for the total content of Na 2 O and K 2 O is 5 to 13%, the more preferred range is 6 to 13%, and the more preferred range is 8 to 11%. In one aspect, the Na 2 O content is preferably in the range of 2-11%, more preferably in the range of 3-10%. In one aspect, the K 2 O content is preferably in the range of 0 to 13%, more preferably in the range of 2 to 10%, and even more preferably in the range of 2.5 to 8%.
上述のガラスは、イオン交換することなく磁気記録媒体基板として使用してもよく、イオン交換を行った後に磁気記録媒体基板として使用してもよい。イオン交換を行う場合、Na2Oはイオン交換を担う成分として好適な成分である。また、Na2OとK2Oとをガラス成分として共存させ、混合アルカリ効果によってアルカリ溶出抑制効果を得ることもできる。以上の点および耐熱性や化学的耐久性の向上の点から、Na2OおよびK2Oの合計含有量を上記範囲にした上で、Na2Oの含有量の範囲を0〜5%とすることが好ましく、0.1〜5%とすることがより好ましく、1〜5%とすることがより好ましく、2〜5%とすることがより好ましい。K2Oの含有量の範囲は1〜10%とすることが好ましく、1〜9%とすることがより好ましく、1〜8%とすることが更に好ましく、3〜8%とすることが一層好ましく、5〜8%とすることがより一層好ましい。The above-mentioned glass may be used as a magnetic recording medium substrate without ion exchange, or may be used as a magnetic recording medium substrate after ion exchange. When performing ion exchange, Na 2 O is a suitable component as a component responsible for ion exchange. Further, Na 2 O and K 2 O can coexist as a glass component, and an alkali elution suppressing effect can be obtained by a mixed alkali effect. From the above points and the improvement of heat resistance and chemical durability, the total content of Na 2 O and K 2 O is set to the above range, and the range of Na 2 O content is set to 0 to 5%. It is preferably 0.1 to 5%, more preferably 1 to 5%, and even more preferably 2 to 5%. The range of K 2 O content is preferably 1 to 10%, more preferably 1 to 9%, further preferably 1 to 8%, further preferably 3 to 8%. It is preferably 5 to 8%, and even more preferably 5 to 8%.
アルカリ土類金属成分であるMgO、CaO、SrOは、いずれもガラスの熔融性、成形性およびガラス安定性を良化し、熱膨張係数を大きくする働きをする。かかる働きを得るために、上述のガラスにおけるMgO、CaOおよびSrOの合計含有量は、14〜35%とする。上記合計含有量は、より好ましくは15〜30%の範囲であり、更に好ましくは15〜25%の範囲である。 The alkaline earth metal components MgO, CaO, and SrO all work to improve the meltability, moldability, and glass stability of the glass, and to increase the coefficient of thermal expansion. In order to obtain such a function, the total content of MgO, CaO and SrO in the above glass is set to 14 to 35%. The total content is more preferably in the range of 15 to 30%, still more preferably in the range of 15 to 25%.
ところで、モバイル用途に使用される磁気記録媒体の基板には、持ち運び時の衝撃に耐える高い剛性および硬度を有すること、ならびに軽量であることが求められる。したがって、かかる基板を製造するためのガラスは、高ヤング率、高比弾性率、低比重であることが望ましい。上記アルカリ土類金属成分のうち、MgO、CaOは、剛性および硬度を高めるとともに、比重の増加を抑える働きがある。したがって、高ヤング率、高比弾性率、低比重のガラスを得る上で非常に有用な成分である。特にMgOは高ヤング率化、低比重化に有効であり、CaOは高熱膨張化に有効な成分である。したがって上述のガラスにおいて、ガラスを高ヤング率化、高比弾性率化、低比重化する上から、MgO、CaOおよびSrOの合計含有量に対するMgOおよびCaOの合計含有量のモル比{(MgO+CaO)/(MgO+CaO+SrO)}は、0.85〜1.0の範囲であることが好ましく、0.9〜1.0の範囲であることがより好ましい。 By the way, the substrate of a magnetic recording medium used for mobile applications is required to have high rigidity and hardness to withstand an impact during carrying, and to be lightweight. Therefore, it is desirable that the glass for producing such a substrate has a high Young's modulus, a high specific elastic modulus, and a low specific gravity. Among the alkaline earth metal components, MgO and CaO have a function of increasing rigidity and hardness and suppressing an increase in specific gravity. Therefore, it is a very useful component for obtaining glass having a high Young's modulus, a high specific elastic modulus, and a low specific gravity. In particular, MgO is effective for increasing Young's modulus and lowering the specific gravity, and CaO is an effective component for increasing thermal expansion. Therefore, in the above-mentioned glass, the molar ratio of the total content of MgO and CaO to the total content of MgO, CaO and SrO is {(MgO + CaO) in order to increase the Young's modulus, the specific elastic modulus and the low specific gravity of the glass. / (MgO + CaO + SrO)} is preferably in the range of 0.85 to 1.0, and more preferably in the range of 0.9 to 1.0.
高ヤング率化、高比弾性率化、低比重化と化学的耐久性の維持の観点から、MgOの含有量の好ましい範囲は1〜23%であり、MgOの含有量の好ましい下限は2%、より好ましい下限は5%であり、MgOの含有量の好ましい上限は20%、より好ましい上限は18%であり、更に好ましい上限は15%であり、一層好ましい上限は12%である。
高ヤング率化、高比弾性率化、低比重化、高熱膨張化と化学的耐久性の維持の観点から、CaOの含有量の好ましい範囲は6〜21%であり、より好ましい範囲は10〜20%、更に好ましい範囲は10〜18%、一層好ましい範囲は10〜15%である。
なお、上記観点からMgOおよびCaOの合計含有量の範囲を15〜35%とすることが好ましく、15〜32%とすることがより好ましく、15〜30%とすることが更に好ましく、15〜25%とすることが一層好ましく、15〜20%とすることがより一層好ましい。From the viewpoints of high Young's modulus, high specific elastic modulus, low specific gravity and maintenance of chemical durability, the preferable range of MgO content is 1 to 23%, and the preferable lower limit of MgO content is 2%. The more preferable lower limit is 5%, the preferable upper limit of the MgO content is 20%, the more preferable upper limit is 18%, the further preferable upper limit is 15%, and the further preferable upper limit is 12%.
From the viewpoints of high Young's modulus, high specific elastic modulus, low specific gravity, high thermal expansion and maintenance of chemical durability, the preferable range of CaO content is 6 to 21%, and the more preferable range is 10 to 10. 20%, a more preferred range is 10-18%, and a more preferred range is 10-15%.
From the above viewpoint, the range of the total content of MgO and CaO is preferably 15 to 35%, more preferably 15 to 32%, further preferably 15 to 30%, and 15 to 25%. It is more preferably set to%, and even more preferably 15 to 20%.
SrOは上記効果を有するが、過剰に含有させると比重が増大する。また、MgOやCaOと比較し、原料コストも増大する。そのため、SrOの含有量は0〜5%の範囲とすることが好ましく、0〜2%の範囲とすることがより好ましく、0〜1%の範囲とすることが更に好ましく、0〜0.5%の範囲とすることがよりいっそう好ましい。SrOは、ガラス成分として導入しなくてもよい、すなわち、上述のガラスは、SrOを実質的に含まないガラスであってもよい。 SrO has the above-mentioned effect, but if it is contained in an excessive amount, the specific gravity increases. In addition, the raw material cost increases as compared with MgO and CaO. Therefore, the content of SrO is preferably in the range of 0 to 5%, more preferably in the range of 0 to 2%, further preferably in the range of 0 to 1%, and 0 to 0.5. It is even more preferable to set it in the range of%. SrO does not have to be introduced as a glass component, that is, the glass described above may be a glass that is substantially free of SrO.
BaOも、上記の他のアルカリ土類金属成分と同様に上記効果を有するが、過剰に含有させると比重が大きくなる、ヤング率が低下する、化学的耐久性が低下する、比重が増加する、原料コストが増大する、といった傾向がある。また、BaOを多量に含むガラス基板は、長期使用中にガラス表面が変質しやすい傾向がある。これは、ガラス中のBaが大気中の二酸化炭素と反応し、基板表面にBaCO3が析出し付着物となるためと考えられる。このような付着物の発生を低減ないし防止するために、BaOを過剰に含有させないことが望ましい。以上の観点から、上述のガラスにおけるBaOの含有量は0〜5%とすることが好ましい。BaOの含有量のより好ましい範囲は0〜3%、更に好ましい範囲は0〜2%、一層好ましい範囲は0〜1%、より一層好ましい範囲は0〜0.5%である。BaOは、ガラス成分として導入しなくてもよい、すなわち、上述のガラスは、BaOを実質的に含まないガラスであってもよい。
上記観点からSrOおよびBaOの合計含有量を0〜5%とすることが好ましく、0〜3%とすることがより好ましく、0〜2%とすることが更に好ましく、0〜1%とすることが一層好ましく、0〜0.5%とすることがより一層好ましい。BaO also has the above-mentioned effect like the other alkaline earth metal components described above, but when it is contained in excess, the specific gravity increases, the Young's modulus decreases, the chemical durability decreases, and the specific gravity increases. There is a tendency for raw material costs to increase. Further, a glass substrate containing a large amount of BaO tends to have a tendency to deteriorate in quality during long-term use. It is considered that this is because Ba in the glass reacts with carbon dioxide in the atmosphere, and BaCO 3 is deposited on the surface of the substrate and becomes an deposit. In order to reduce or prevent the occurrence of such deposits, it is desirable not to excessively contain BaO. From the above viewpoint, the content of BaO in the above-mentioned glass is preferably 0 to 5%. A more preferable range of the BaO content is 0 to 3%, a further preferable range is 0 to 2%, a more preferable range is 0 to 1%, and a further preferable range is 0 to 0.5%. BaO does not have to be introduced as a glass component, that is, the glass described above may be a glass that does not substantially contain BaO.
From the above viewpoint, the total content of SrO and BaO is preferably 0 to 5%, more preferably 0 to 3%, further preferably 0 to 2%, and 0 to 1%. Is more preferable, and 0 to 0.5% is even more preferable.
上記のように、MgOおよびCaOはヤング率、熱膨張係数を高める効果がある。これに対しAl2O3はヤング率を高める働きが小さく、熱膨張係数を減少させる働きをする。そこで高ヤング率、高熱膨張のガラスを得る上から、上述のガラスでは、MgOおよびCaOの合計含有量に対するAl2O3含有量のモル比{Al2O3/(MgO+CaO)}を0〜0.4の範囲とすることが好ましく、0.01〜0.2の範囲とすることがより好ましく、0.01〜0.1の範囲とすることが一層好ましい。As described above, MgO and CaO have the effect of increasing Young's modulus and coefficient of thermal expansion. On the other hand, Al 2 O 3 has a small function of increasing Young's modulus and a function of reducing the coefficient of thermal expansion. Therefore, in order to obtain a glass having a high Young's modulus and a high thermal expansion, in the above-mentioned glass, the molar ratio of the Al 2 O 3 content to the total content of MgO and CaO {Al 2 O 3 / (MgO + CaO)} is 0 to 0. It is preferably in the range of .4, more preferably in the range of 0.01 to 0.2, and even more preferably in the range of 0.01 to 0.1.
ZrO2は、ガラス転移温度を高め耐熱性を改善する働きや、化学的耐久性(例えば耐アルカリ性)を改善する働きが大きく、また、ヤング率を高め高剛性化する効果も有する。ZrO2の含有量の好ましい範囲は2〜9%、より好ましい範囲は2〜8%、更に好ましい範囲は2〜7%、一層好ましい範囲は2〜6%、より一層好ましい範囲は2〜5%、更に一層好ましい範囲は3〜5%である。ZrO 2 has a large function of increasing the glass transition temperature to improve heat resistance and a function of improving chemical durability (for example, alkali resistance), and also has an effect of increasing Young's modulus and increasing rigidity. The preferred range of ZrO 2 content is 2-9%, the more preferred range is 2-8%, the more preferred range is 2-7%, the more preferred range is 2-6%, and the more preferred range is 2-5%. An even more preferable range is 3 to 5%.
ZnOは、ガラスの熔融性、成形性およびガラス安定性を良化し、剛性を高め、熱膨張係数を大きくする働きをする成分である。上述のガラスにおけるZnOの含有量は、好ましくは0〜5%の範囲である。耐熱性、化学的耐久性を良好な状態に維持する上から、ZnOの含有量のより好ましい範囲は0〜4%、更に好ましい範囲は0〜3%、一層好ましい範囲は0〜2%、より一層好ましい範囲は0〜1%、更に一層好ましい範囲は0〜0.5%であり、ZnOを実質的に含有させなくてもよい。 ZnO is a component that improves the meltability, moldability and glass stability of glass, increases rigidity, and increases the coefficient of thermal expansion. The ZnO content in the above-mentioned glass is preferably in the range of 0 to 5%. From the viewpoint of maintaining good heat resistance and chemical durability, the more preferable range of ZnO content is 0 to 4%, the more preferable range is 0 to 3%, and the more preferable range is 0 to 2%. A more preferable range is 0 to 1%, a further preferable range is 0 to 0.5%, and it is not necessary to substantially contain ZnO.
La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5、HfO2は、比重を高める力が大きいため、比重増大を抑える上から、それぞれの成分の含有量を0〜4%の範囲にすることが好ましく、0〜3%の範囲にすることがより好ましく、0〜2%の範囲にすることが更に好ましく、0〜1%の範囲にすることが一層好ましく、0〜0.5%の範囲にすることがより一層好ましい。La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5、HfO2は、ガラス成分として導入しなくてもよい。La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Yb 2 O 3 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 , and HfO 2 have a large ability to increase the specific gravity, so the content of each component is to suppress the increase in specific gravity. Is preferably in the range of 0 to 4%, more preferably in the range of 0 to 3%, further preferably in the range of 0 to 2%, and further in the range of 0 to 1%. It is preferably in the range of 0 to 0.5%, and even more preferably. La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Yb 2 O 3 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 , and HfO 2 need not be introduced as glass components.
その他、導入可能なガラス成分として、B2O3、P2O5などがある。
B2O3は、脆さを低下させるとともに、熔融性を向上させる働きをするが、過剰導入により化学的耐久性が低下するため、その含有量の好ましい範囲は0〜3%、より好ましい範囲は0〜1%、さらに好ましい範囲は0〜0.5%であり、導入しないことが一層好ましい。
P2O5は、本発明の目的を損なわない範囲で少量導入することができるが、過剰導入により化学的耐久性が低下するため、その含有量を0〜1%とすることが好ましく、0〜0.5%とすることがより好ましく、0〜0.3%とすることが更に好ましく、導入しないことが一層好ましい。Other glass components that can be introduced include B 2 O 3 and P 2 O 5 .
B 2 O 3 has a function of reducing brittleness and improving meltability, but since chemical durability is lowered due to excessive introduction, the preferable range of the content is 0 to 3%, which is a more preferable range. Is 0 to 1%, more preferably 0 to 0.5%, and it is more preferable not to introduce.
P 2 O 5 can be introduced in a small amount within a range that does not impair the object of the present invention, but since the chemical durability is lowered due to excessive introduction, the content thereof is preferably 0 to 1%, and is 0. It is more preferably ~ 0.5%, further preferably 0 to 0.3%, and even more preferably not introduced.
Pb、Cd、Asなどは環境に悪影響を与える物質なので、これらの導入は避けることが好ましい。 Since Pb, Cd, As and the like are substances that adversely affect the environment, it is preferable to avoid their introduction.
上述のガラスは、所定のガラス組成が得られるように、酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、水酸化物などのガラス原料を秤量、調合し、十分混合して、熔融容器内で、例えば1400〜1600℃の範囲で加熱、熔解し、清澄、攪拌して十分泡切れがなされた均質化した熔融ガラスを成形することにより作製することができる。例えば、ガラス原料を熔解槽において1400〜1550℃で加熱して熔解し、得られた熔融ガラスを清澄槽において昇温して1450〜1600℃に保持した後、降温して1200〜1400℃に保持して清澄することが好ましい。1450〜1600℃に保持する時間をTH、1200〜1400℃に保持する時間をTLとすると、TL/THを0.5以下にすることが好ましく、0.2以下にすることがより好ましい。また、TL/THは、0.01より大きくすることが好ましく、0.02より大きくすることが更に好ましく、0.03より大きくすることが一層好ましく、0.04より大きくすることがより一層好ましい。1450〜1600℃の範囲から1200〜1400℃の範囲へ降温する際の温度差は、30℃以上にすることが好ましく、50℃以上にすることがより好ましく、80℃以上にすることが更に好ましく、100℃以上にすることが一層好ましく、150℃以上にすることがより一層好ましい。なお、温度差の上限は、例えば400℃である。 In the above-mentioned glass, glass raw materials such as oxides, carbonates, nitrates, sulfates, and hydroxides are weighed, mixed, and sufficiently mixed so that a predetermined glass composition can be obtained, for example, in a melting vessel. It can be produced by heating, melting, clarifying, and stirring in the range of 1400 to 1600 ° C. to form a homogenized molten glass in which bubbles are sufficiently broken. For example, the glass raw material is melted by heating in a melting tank at 1400 to 1550 ° C., and the obtained molten glass is heated in a clarification tank and held at 1450 to 1600 ° C., and then lowered to 1200 to 1400 ° C. It is preferable to clarify. Assuming that the time for holding at 1450 to 1600 ° C. is TH and the time for holding at 1200 to 1400 ° C. is TL, TL / TH is preferably 0.5 or less, and more preferably 0.2 or less. Further, TL / TH is preferably larger than 0.01, more preferably larger than 0.02, further preferably larger than 0.03, and even more preferably larger than 0.04. .. The temperature difference when lowering the temperature from the range of 1450 to 1600 ° C. to the range of 1200 to 1400 ° C. is preferably 30 ° C. or higher, more preferably 50 ° C. or higher, and even more preferably 80 ° C. or higher. , 100 ° C. or higher is more preferable, and 150 ° C. or higher is even more preferable. The upper limit of the temperature difference is, for example, 400 ° C.
<ガラス特性>
以上説明した組成を有する上述のガラスは、高い耐熱性を有し、好ましくは、高剛性、高熱膨張係数も有することができる。以下、上述のガラスが有する好ましい物性について、順次説明する。<Glass characteristics>
The above-mentioned glass having the composition described above has high heat resistance, and preferably has high rigidity and a high coefficient of thermal expansion. Hereinafter, preferable physical properties of the above-mentioned glass will be sequentially described.
1.ガラス転移温度
前述のとおり、磁気異方性エネルギーの高い磁性材料の導入などによって磁気記録媒体の高記録密度化を図る場合、磁性材料の高温処理などにおいて、磁気記録媒体基板は高温下に晒されることになる。その際、基板の平坦性が損なわれないようにするため、磁気記録媒体基板用ガラスには優れた耐熱性を有することが求められる。耐熱性の指標としてはガラス転移温度を用いることができ、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、先に記載した組成調整により、600℃以上のガラス転移温度を有する。これにより、高温処理後にも優れた平坦性を維持することができる。したがって、上述のガラスによれば、磁気異方性エネルギーの高い磁性材料を含む磁気記録層を有する磁気記録媒体の作製に好適な基板を提供することができる。ただし、上述のガラスは、磁気異方性エネルギーの高い磁性材料を含む磁気記録層を有する磁気記録媒体の基板用ガラスに限定されるものではなく、各種磁性材料を備えた磁気記録媒体の作製に用いることができる。
ガラス転移温度の好ましい範囲は620℃以上、より好ましい範囲は630℃以上、更に好ましい範囲は650℃以上、一層好ましい範囲は660℃以上、より一層好ましい範囲は670℃以上、更に一層好ましい範囲は675℃以上、なお一層好ましい範囲は680℃以上である。ガラス転移温度の上限は、例えば750℃程度であるが、ガラス転移温度が高いほど耐熱性の観点から好ましいため、特に限定されるものではない。1. 1. Glass transition temperature As described above, when the recording density of a magnetic recording medium is increased by introducing a magnetic material having high magnetic anisotropy energy, the magnetic recording medium substrate is exposed to a high temperature in high temperature treatment of the magnetic material. It will be. At that time, in order to prevent the flatness of the substrate from being impaired, the glass for the magnetic recording medium substrate is required to have excellent heat resistance. The glass transition temperature can be used as an index of heat resistance, and the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate has a glass transition temperature of 600 ° C. or higher due to the composition adjustment described above. As a result, excellent flatness can be maintained even after high temperature treatment. Therefore, according to the above-mentioned glass, it is possible to provide a substrate suitable for producing a magnetic recording medium having a magnetic recording layer containing a magnetic material having a high magnetic anisotropy energy. However, the above-mentioned glass is not limited to the substrate glass of a magnetic recording medium having a magnetic recording layer containing a magnetic material having a high magnetic anisotropy energy, and is used for producing a magnetic recording medium provided with various magnetic materials. Can be used.
The preferred range of the glass transition temperature is 620 ° C. or higher, the more preferred range is 630 ° C. or higher, the more preferred range is 650 ° C. or higher, the more preferred range is 660 ° C. or higher, the further preferred range is 670 ° C. or higher, and the further preferred range is 675 ° C. ° C. or higher, and even more preferably 680 ° C. or higher. The upper limit of the glass transition temperature is, for example, about 750 ° C., but it is not particularly limited because the higher the glass transition temperature is, the more preferable it is from the viewpoint of heat resistance.
2.泡密度
上述のガラスは、先に記載した組成により、高い耐熱性と泡の低減とを両立することができる。耐熱性の指標であるガラス転移温度については、先に記載した通りである。ガラス中の泡に関しては、単位質量あたりの泡の密度が、光学顕微鏡(倍率40〜100倍)により観察される直径0.03mm超の泡の密度として、好ましくは50個/kg未満であり、より好ましくは20個/kg未満であり、更に好ましくは10個/kg未満であり、一層好ましくは2個/kg以下であり、最も好ましくは0個/kgである。2. 2. Foam Density The above-mentioned glass can achieve both high heat resistance and reduction of bubbles due to the composition described above. The glass transition temperature, which is an index of heat resistance, is as described above. Regarding bubbles in glass, the density of bubbles per unit mass is preferably less than 50 cells / kg as the density of bubbles having a diameter of more than 0.03 mm observed by an optical microscope (magnification 40 to 100 times). It is more preferably less than 20 pieces / kg, further preferably less than 10 pieces / kg, still more preferably 2 pieces / kg or less, and most preferably 0 pieces / kg.
3.熱膨張係数
ところで、磁気記録媒体を組み込んだHDD(ハードディスクドライブ)は、通常、中央部分をスピンドルモーターのスピンドルで押さえて磁気記録媒体そのものを回転させる構造となっている。そのため、磁気記録媒体基板とスピンドル部分を構成するスピンドル材料の各々の熱膨張係数に大きな差があると、使用時に周囲の温度変化に対してスピンドルの熱膨張・熱収縮と磁気記録媒体基板の熱膨張・熱収縮にずれが生じてしまい、結果として磁気記録媒体が変形してしまう現象が起きることがある。このような現象が生じると書き込んだ情報をヘッドが読み出せなくなってしまい、記録再生の信頼性を損なう原因となる。したがって磁気記録媒体の信頼性を高めるには、ガラス基板には、スピンドル材料(例えばステンレスなど)と同程度の高い熱膨張係数を有することが求められる。一般にHDDのスピンドル材料は、100〜300℃の温度範囲において70×10-7/℃以上の平均線膨張係数(熱膨張係数)を有するものであるところ、上述の磁気記録媒体基板用ガラスによれば、100〜300℃の温度範囲における平均線膨張係数を60×10-7/℃以上にすることができ、上記信頼性を向上することができる。上記平均線膨張係数の好ましい範囲は64×10-7/℃以上、より好ましい範囲は67×10-7/℃以上、更に好ましい範囲は70×10-7/℃以上、一層好ましい範囲は73×10-7/℃以上である。上記平均線膨張係数の上限は、スピンドル材料の熱膨張特性を考慮すると、例えば120×10-7/℃程度であることが好ましく、100×10-7/℃であることがより好ましく、88×10-7/℃であることが更に好ましい。3. 3. Thermal expansion coefficient By the way, an HDD (hard disk drive) incorporating a magnetic recording medium usually has a structure in which the central portion is pressed by the spindle of a spindle motor to rotate the magnetic recording medium itself. Therefore, if there is a large difference in the coefficient of thermal expansion between the magnetic recording medium substrate and the spindle material constituting the spindle portion, the thermal expansion / contraction of the spindle and the heat of the magnetic recording medium substrate with respect to the ambient temperature change during use The expansion and thermal contraction may shift, and as a result, the magnetic recording medium may be deformed. If such a phenomenon occurs, the written information cannot be read by the head, which causes a decrease in the reliability of recording / playback. Therefore, in order to improve the reliability of the magnetic recording medium, the glass substrate is required to have a coefficient of thermal expansion as high as that of the spindle material (for example, stainless steel). Generally, the spindle material of an HDD has an average linear expansion coefficient (coefficient of thermal expansion) of 70 × 10 -7 / ° C or higher in a temperature range of 100 to 300 ° C. However, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate is used. For example, the coefficient of linear expansion in the temperature range of 100 to 300 ° C. can be set to 60 × 10 -7 / ° C. or higher, and the above reliability can be improved. The preferable range of the average coefficient of linear expansion is 64 × 10 -7 / ° C or higher, the more preferable range is 67 × 10 -7 / ° C or higher, the more preferable range is 70 × 10 -7 / ° C or higher, and the more preferable range is 73 ×. It is 10 -7 / ° C or higher. Considering the thermal expansion characteristics of the spindle material, the upper limit of the coefficient of linear expansion is preferably, for example, about 120 × 10 -7 / ° C, more preferably 100 × 10 -7 / ° C, and 88 × It is more preferably 10 -7 / ° C.
4.ヤング率
磁気記録媒体の変形としては、HDDの温度変化による変形の他、高速回転による変形がある。高速回転時の変形を抑制する上からは、磁気記録媒体基板用ガラスのヤング率を高めることが望まれる。上述の磁気記録媒体基板用ガラスによれば、ヤング率を75GPa以上にすることができ、高速回転時の基板変形を抑制し、磁気異方性エネルギーが比較的高い磁性材料を備えた高記録密度化された磁気記録媒体においても、データの読み取り、書き込みを正確に行うことができる。
ヤング率の好ましい範囲は75GPa以上、より好ましい範囲は78GPa以上であり、更に好ましい範囲は80GPa以上である。ヤング率の上限は、例えば95GPa程度であるが特に限定されるものではない。4. Young's modulus Deformation of the magnetic recording medium includes deformation due to temperature change of the HDD and deformation due to high-speed rotation. From the viewpoint of suppressing deformation during high-speed rotation, it is desired to increase the Young's modulus of the glass for the magnetic recording medium substrate. According to the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate, Young's modulus can be set to 75 GPa or more, substrate deformation at high speed rotation is suppressed, and a high recording density provided with a magnetic material having a relatively high magnetic anisotropy energy. Data can be read and written accurately even on a magnetic recording medium.
The preferred range of Young's modulus is 75 GPa or more, the more preferable range is 78 GPa or more, and the more preferable range is 80 GPa or more. The upper limit of Young's modulus is, for example, about 95 GPa, but is not particularly limited.
5.比弾性率・比重
磁気記録媒体を高速回転させたとき、変形しにくい基板を提供する上で、磁気記録媒体基板用ガラスの比弾性率を28MNm/kg以上にすることが好ましく、30MNm/kg以上にすることがより好ましい。その上限は、例えば35MNm/kg程度であるが特に限定されるものではない。比弾性率はガラスのヤング率を密度で除したものである。ここで密度とはガラスの比重に、g/cm3という単位を付けた量と考えればよい。ガラスの低比重化によって、比弾性率を大きくすることができることに加え、基板を軽量化することができる。基板の軽量化により、磁気記録媒体の軽量化がなされ、磁気記録媒体の回転に要する電力を減少させ、HDDの消費電力を抑えることができる。磁気記録媒体基板用ガラスの比重の好ましい範囲は3.0未満、より好ましい範囲は2.9以下、更に好ましい範囲は2.85以下であり、一層好ましい範囲は2.80以下である。5. Specific elastic modulus / specific gravity In order to provide a substrate that is not easily deformed when the magnetic recording medium is rotated at high speed, the specific elastic modulus of the glass for the magnetic recording medium substrate is preferably 28 MNm / kg or more, preferably 30 MNm / kg or more. Is more preferable. The upper limit is, for example, about 35 MN m / kg, but is not particularly limited. The specific elastic modulus is the Young's modulus of glass divided by the density. Here, the density can be thought of as an amount obtained by adding a unit of g / cm 3 to the specific gravity of glass. By lowering the specific gravity of glass, the specific elastic modulus can be increased and the weight of the substrate can be reduced. By reducing the weight of the substrate, the weight of the magnetic recording medium can be reduced, the power required for rotation of the magnetic recording medium can be reduced, and the power consumption of the HDD can be suppressed. The preferable range of the specific gravity of the glass for the magnetic recording medium substrate is less than 3.0, the more preferable range is 2.9 or less, the more preferable range is 2.85 or less, and the more preferable range is 2.80 or less.
[磁気記録媒体基板]
本発明の一態様にかかる磁気記録媒体基板は、上述の磁気記録媒体基板用ガラスからなる。上述の磁気記録媒体基板は、耐熱性に優れ(即ち、ガラス転移温度が600℃以上)、かつ泡が低減された磁気記録媒体基板であることができる。[Magnetic recording medium board]
The magnetic recording medium substrate according to one aspect of the present invention is made of the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate. The above-mentioned magnetic recording medium substrate can be a magnetic recording medium substrate having excellent heat resistance (that is, a glass transition temperature of 600 ° C. or higher) and reduced bubbles.
上述の磁気記録媒体基板は、ガラス原料を加熱することにより熔融ガラスを調製し、この熔融ガラスをプレス成形法、ダウンドロー法またはフロート法のいずれかの方法により板状に成形し、得られた板状のガラスを加工する工程を経て製造することができる。例えば、プレス成形方法では、ガラス流出パイプから流出する熔融ガラスを所定体積に切断し、所要の熔融ガラス塊を得て、これをプレス成形型でプレス成形して薄肉円盤状の基板ブランクを作製する。次いで、得られた基板ブランクに中心孔を設けたり、内外周加工、両主表面にラッピング、ポリッシングを施す。次いで、酸洗浄およびアルカリ洗浄を含む洗浄工程を経て、ディスク状の基板を得ることができる。 The above-mentioned magnetic recording medium substrate was obtained by preparing molten glass by heating a glass raw material and molding the molten glass into a plate shape by any method of a press molding method, a downdraw method or a float method. It can be manufactured through a process of processing plate-shaped glass. For example, in the press molding method, the molten glass flowing out from the glass outflow pipe is cut into a predetermined volume to obtain a required molten glass ingot, which is press-molded by a press molding die to produce a thin-walled disk-shaped substrate blank. .. Next, a center hole is provided in the obtained substrate blank, inner and outer circumferences are processed, and both main surfaces are wrapped and polished. Then, a disk-shaped substrate can be obtained through a cleaning step including acid cleaning and alkaline cleaning.
上述の磁気記録媒体基板は、一態様では、表面および内部の組成が均質である。ここで、表面および内部の組成が均質とは、イオン交換が行われていない(即ち、イオン交換層を有さない)ことを意味する。例えば、磁気記録媒体を組み込んだHDD(ハードディスクドライブ)が外部衝撃を受け難い環境下で用いられる場合などにおいて、イオン交換層を有さない磁気記録媒体基板を用いることができる。もっとも、上述の磁気記録媒体基板は、耐熱性が高く、かつ泡が低減されているため、イオン交換層を有さなくとも各種HDDへの適用に適する。なお、イオン交換層を有さない磁気記録媒体基板は、イオン交換処理を施していないため、製造コストを大幅に低減できる。 In one aspect, the magnetic recording medium substrate described above has a homogeneous surface and internal composition. Here, the homogeneous surface and internal composition means that ion exchange has not been performed (that is, there is no ion exchange layer). For example, when an HDD (hard disk drive) incorporating a magnetic recording medium is used in an environment where it is unlikely to receive an external impact, a magnetic recording medium substrate having no ion exchange layer can be used. However, since the above-mentioned magnetic recording medium substrate has high heat resistance and reduced bubbles, it is suitable for application to various HDDs even if it does not have an ion exchange layer. Since the magnetic recording medium substrate having no ion exchange layer is not subjected to the ion exchange treatment, the manufacturing cost can be significantly reduced.
また、上述の磁気記録媒体基板は、一態様では、表面の一部または全部に、イオン交換層を有する。イオン交換層は圧縮応力を示すため、イオン交換層の有無は、主表面に対して垂直に基板を破断し、破断面においてバビネ法により応力プロファイルを得ることによって確認することができる。「主表面」とは、基板の磁気記録層が設けられる面または設けられている面である。こうした面は、磁気記録媒体基板の表面のうち、最も面積の広い面であることから、主表面と呼ばれ、ディスク状の磁気記録媒体の場合、ディスクの円形状の表面(中心孔がある場合は中心孔を除く。)に相当する。また、イオン交換層の有無は、基板表面からアルカリ金属イオンの深さ方向の濃度分布を測定する方法等によっても確認することができる。 Further, in one aspect, the above-mentioned magnetic recording medium substrate has an ion exchange layer on a part or all of the surface. Since the ion exchange layer exhibits compressive stress, the presence or absence of the ion exchange layer can be confirmed by breaking the substrate perpendicular to the main surface and obtaining a stress profile by the Babine method on the fracture surface. The "main surface" is a surface on which the magnetic recording layer of the substrate is provided or is provided. Since such a surface is the surface having the largest area among the surfaces of the magnetic recording medium substrate, it is called a main surface. In the case of a disk-shaped magnetic recording medium, the circular surface of the disk (when there is a center hole). Is equivalent to (excluding the central hole). The presence or absence of the ion exchange layer can also be confirmed by a method of measuring the concentration distribution of alkali metal ions in the depth direction from the surface of the substrate.
イオン交換層は、高温下、基板表面にアルカリ塩を接触させ、このアルカリ塩中のアルカリ金属イオンと基板中のアルカリ金属イオンを交換させることにより形成することができる。イオン交換(「強化処理」、「化学強化」とも呼ばれる。)については、公知技術を適用することができ、一例として、WO2011/019010A1の段落0068〜0069を参照できる。 The ion exchange layer can be formed by bringing an alkali salt into contact with the surface of the substrate at a high temperature and exchanging the alkali metal ions in the alkali salt with the alkali metal ions in the substrate. Known techniques can be applied to ion exchange (also referred to as "strengthening treatment" or "chemical strengthening"), and paragraphs 0068 to 0069 of WO2011 / 019010A1 can be referred to as an example.
上述の磁気記録媒体基板は、例えば厚みが1.5mm以下、好ましくは1.2mm以下、より好ましくは1mm以下であり、厚みの下限は好ましくは0.3mmである。また、上述の磁気記録媒体基板は、好ましくは中心孔を有するディスク形状である。 The above-mentioned magnetic recording medium substrate has, for example, a thickness of 1.5 mm or less, preferably 1.2 mm or less, more preferably 1 mm or less, and a lower limit of the thickness is preferably 0.3 mm. Further, the above-mentioned magnetic recording medium substrate preferably has a disk shape having a center hole.
[磁気記録媒体]
本発明の一態様は、上述の磁気記録媒体基板上に磁気記録層を有する磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体は、磁気ディスク、ハードディスクなどと呼ばれ、デスクトップパソコン、サーバ用コンピュータ、ノート型パソコン、モバイル型パソコンなどの内部記憶装置(固定ディスクなど)、画像および/または音声を記録再生する携帯記録再生装置の内部記憶装置、車載オーディオの記録再生装置などに好適である。
磁気記録媒体は、例えば、磁気記録媒体基板の主表面上に、主表面に近いほうから順に、少なくとも付着層、下地層、磁性層(磁気記録層)、保護層、潤滑層が積層された構成になっている。
例えば、磁気記録媒体基板を、真空引きを行った成膜装置内に導入し、DC(Direct Current)マグネトロンスパッタリング法にてAr雰囲気中で、磁気記録媒体基板の主表面上に付着層から磁性層まで順次成膜する。付着層としては例えばCrTi、下地層としては例えばCrRuを用いることができる。上記成膜後、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法によりC2H4を用いて保護層を成膜し、同一チャンバ内で、表面に窒素を導入する窒化処理を行うことにより、磁気記録媒体を形成することができる。その後、例えばPFPE(ポリフルオロポリエーテル)をディップコート法により保護層上に塗布することにより、潤滑層を形成することができる。[Magnetic recording medium]
One aspect of the present invention relates to a magnetic recording medium having a magnetic recording layer on the above-mentioned magnetic recording medium substrate.
Magnetic recording media are called magnetic disks and hard disks, and are used for internal storage devices (fixed disks, etc.) such as desktop computers, server computers, notebook computers, and mobile computers, and portable recording for recording and reproducing images and / or audio. It is suitable for an internal storage device of a playback device, a recording / playback device for in-vehicle audio, and the like.
The magnetic recording medium has, for example, a configuration in which at least an adhesive layer, a base layer, a magnetic layer (magnetic recording layer), a protective layer, and a lubricating layer are laminated on the main surface of a magnetic recording medium substrate in order from the one closest to the main surface. It has become.
For example, a magnetic recording medium substrate is introduced into a film forming apparatus that has been evacuated, and a magnetic layer is formed on the main surface of the magnetic recording medium substrate in an Ar atmosphere by a DC (Direct Current) magnetron sputtering method. The film is formed sequentially up to. For example, CrTi can be used as the adhesion layer, and CrRu can be used as the base layer. After the above film formation, for example, a protective layer is formed using C 2 H 4 by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, and a nitriding process for introducing nitrogen to the surface is performed in the same chamber to form a magnetic recording medium. Can be formed. Then, for example, a lubricating layer can be formed by applying PFPE (polyfluoropolyether) on the protective layer by a dip coating method.
先に説明したように、磁気記録媒体のより一層の高密度記録化のためには、磁気記録層は、磁気異方性エネルギーの高い磁性材料を含むことが好ましい。この点から好ましい磁性材料としては、Fe−Pt系磁性材料またはCo−Pt系磁性材料を挙げることができる。なおここで「系」とは、含有することを意味する。即ち、上述の磁気記録媒体は、磁気記録層としてFeおよびPt、またはCoおよびPtを含む磁気記録層を有することが好ましい。かかる磁性材料を含む磁気記録層およびその成膜方法については、WO2011/019010A1の段落0074および同公報の実施例の記載を参照できる。また、そのような磁気記録層を有する磁気記録媒体は、エネルギーアシスト記録方式と呼ばれる記録方式による磁気記録装置に適用することが好ましい。エネルギーアシスト記録方式の中で、レーザー光の照射により磁化反転をアシストする記録方式は熱アシスト記録方式、マイクロ波によりアシストする記録方式はマイクロ波アシスト記録方式と呼ばれる。それらの詳細については、WO2011/019010A1の段落0075を参照できる。 As described above, in order to achieve higher density recording of the magnetic recording medium, the magnetic recording layer preferably contains a magnetic material having a high magnetic anisotropy energy. From this point of view, preferred magnetic materials include Fe-Pt-based magnetic materials and Co-Pt-based magnetic materials. Here, the term "system" means that it is contained. That is, the above-mentioned magnetic recording medium preferably has a magnetic recording layer containing Fe and Pt, or Co and Pt as the magnetic recording layer. For the magnetic recording layer containing such a magnetic material and the film forming method thereof, reference can be made to paragraph 0074 of WO2011 / 019010A1 and the description of Examples of the same publication. Further, the magnetic recording medium having such a magnetic recording layer is preferably applied to a magnetic recording apparatus by a recording method called an energy assist recording method. Among the energy-assisted recording methods, a recording method that assists magnetization reversal by irradiating laser light is called a heat-assisted recording method, and a recording method that assists with microwaves is called a microwave-assisted recording method. For more information on them, see paragraph 0075 of WO2011 / 019010A1.
ところで近年、磁気ヘッドへDFH(Dynamic Flying Height)機構を搭載させることにより、磁気ヘッドの記録再生素子部と磁気記録媒体表面との間隙の大幅な狭小化(低浮上量化)を達成し、更なる高記録密度化を図ることが行われている。DFH機構とは、磁気ヘッドの記録再生素子部の近傍に極小のヒーター等の加熱部を設けて、素子部周辺のみを媒体表面方向に向けて突き出す機能である。こうすることで、磁気ヘッドと媒体の磁気記録層との距離(フライングハイト)が近づくため、より小さい磁性粒子の信号も拾うことができるようになり、更なる高記録密度化を達成することが可能となる。しかしその一方で、磁気ヘッドの素子部と媒体表面との間隙(フライングハイト)が極めて小さくなる。上述の磁気記録媒体は、基板の泡が低減されているため、高い表面平滑性を有することができる。したがって、フライングハイトが極狭小化されたDFH機構を搭載した磁気記録装置にも好適である。 By the way, in recent years, by mounting a DFH (Dynamic Flying Height) mechanism on a magnetic head, the gap between the recording / reproducing element portion of the magnetic head and the surface of the magnetic recording medium has been significantly narrowed (reduced levitation amount). Higher recording densities are being achieved. The DFH mechanism is a function of providing a heating portion such as a very small heater in the vicinity of the recording / reproducing element portion of the magnetic head and projecting only the periphery of the element portion toward the surface of the medium. By doing so, the distance (flying height) between the magnetic head and the magnetic recording layer of the medium becomes shorter, so that signals of smaller magnetic particles can be picked up, and further high recording density can be achieved. It will be possible. However, on the other hand, the gap (flying height) between the element portion of the magnetic head and the surface of the medium becomes extremely small. Since the above-mentioned magnetic recording medium has reduced bubbles on the substrate, it can have high surface smoothness. Therefore, it is also suitable for a magnetic recording device equipped with a DFH mechanism in which the flying height is extremely narrowed.
上述の磁気記録媒体基板(例えば磁気ディスク基板)、磁気記録媒体(例えば磁気ディスク)とも、その寸法に特に制限はないが、例えば、高記録密度化が可能であるため媒体および基板を小型化することも可能である。例えば、公称直径2.5インチは勿論、更に小径(例えば1インチ、1.8インチ)、または3インチ、3.5インチ等の寸法のものとすることができる。 The dimensions of both the above-mentioned magnetic recording medium substrate (for example, magnetic disk substrate) and magnetic recording medium (for example, magnetic disk) are not particularly limited, but for example, the medium and the substrate can be miniaturized because high recording density can be achieved. It is also possible. For example, the nominal diameter may be 2.5 inches, of course, and smaller diameters (eg, 1 inch, 1.8 inches), or dimensions such as 3 inches, 3.5 inches, and the like.
以下に、本発明を実施例により更に詳細に説明する。但し、本発明は実施例に示す態様に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. However, the present invention is not limited to the embodiments shown in the examples.
[実施例No.1〜No.15]
表1に示す組成のガラスが得られるように、酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物などの原料を秤量し、混合して調合原料とした。この調合原料を熔融槽に投入して1400〜1600℃の範囲で加熱、熔解して得られた熔融ガラスを、清澄槽において1400〜1550℃で6時間保持した後、温度を低下(降温)させて1200〜1400℃の範囲に1時間保持して清澄し、熔融ガラスを得た。[Example No. 1-No. 15]
Raw materials such as oxides, carbonates, nitrates, and hydroxides were weighed and mixed to prepare a blending raw material so that a glass having the composition shown in Table 1 could be obtained. The molten glass obtained by putting this compounding raw material into a melting tank, heating and melting in the range of 1400 to 1600 ° C. is held in a clarification tank at 1400 to 1550 ° C. for 6 hours, and then the temperature is lowered (lowered). The mixture was kept in the range of 1200 to 1400 ° C. for 1 hour for clarification to obtain molten glass.
(1)泡密度ランク
上記で得られた熔融ガラスから厚さ約1.2mmのガラス板(基板ブランク)を作製した。このガラス板の表面を平坦かつ平滑に研磨し、研磨面からガラス内部を光学顕微鏡で拡大観察(倍率40〜100倍)し、直径が0.03mm超の泡(以下、単に「泡」と記載する。)の数をカウントした。拡大観察した領域に相当するガラスの質量で、カウントした泡の数を割ったものを泡の密度とした。
泡密度ランクを、上記方法で求めた泡の密度に応じてSランク〜Fランクで評価した。具体的には、泡密度が0個/kgのものをSランク、泡が存在し、泡密度が2個/kg以下のものをAランク、泡密度が2個/kg超10個/kg未満のものをBランク、泡密度が10個/kg以上20個/kg未満のものをCランク、泡密度が20個/kg以上50個/kg未満のものをDランク、泡密度が50個/kg以上80個未満のものをEランク、泡密度が80個/kg以上のものをFランクとした。(1) Foam Density Rank A glass plate (board blank) having a thickness of about 1.2 mm was prepared from the molten glass obtained above. The surface of this glass plate is polished flat and smooth, and the inside of the glass is magnified and observed with an optical microscope (magnification 40 to 100 times) from the polished surface, and bubbles having a diameter of more than 0.03 mm (hereinafter, simply referred to as "foam"). The number of) was counted. The density of the bubbles was defined as the mass of the glass corresponding to the magnified observation area divided by the number of bubbles counted.
The bubble density rank was evaluated from S rank to F rank according to the density of bubbles obtained by the above method. Specifically, those with a bubble density of 0 / kg are S rank, those with bubbles present and a bubble density of 2 / kg or less are A rank, and those with a bubble density of more than 2 / kg and less than 10 / kg. B rank, foam density of 10 / kg or more and less than 20 / kg C rank, foam density of 20 / kg or more and less than 50 / kg D rank, foam density of 50 / kg Those having a weight of kg or more and less than 80 were given an E rank, and those having a bubble density of 80 / kg or more were given a F rank.
(2)ガラス転移温度Tg、熱膨張係数
各ガラスのガラス転移温度Tgおよび100〜300℃における平均線膨張係数αを、熱機械分析装置(TMA;Thermomechanical Analysis)を用いて測定した。(2) Glass transition temperature Tg, coefficient of thermal expansion The glass transition temperature Tg of each glass and the average linear expansion coefficient α at 100 to 300 ° C. were measured using a thermomechanical analysis (TMA).
(3)ヤング率
各ガラスのヤング率を超音波法にて測定した。(3) Young's modulus The Young's modulus of each glass was measured by an ultrasonic method.
(4)比重
各ガラスの比重をアルキメデス法にて測定した。(4) Specific gravity The specific gravity of each glass was measured by the Archimedes method.
(5)比弾性率
上記(3)で得られたヤング率および(4)で得られた比重から、比弾性率を算出した。(5) Specific elastic modulus The specific elastic modulus was calculated from the Young's modulus obtained in (3) above and the specific gravity obtained in (4).
以上の結果を表1に示す。 The above results are shown in Table 1.
表1に示されるように、実施例の磁気記録媒体基板用ガラスは、いずれもガラス転移温度(Tg)が600℃以上、かつ泡密度ランクがB以上(泡密度が10個/kg未満)であった。すなわち、これらの磁気記録媒体基板用ガラスは、耐熱性が高く、泡が極めて少ない磁気記録媒体基板用ガラスであることが確認された。 As shown in Table 1, all of the glasses for the magnetic recording medium substrate of the examples have a glass transition temperature (Tg) of 600 ° C. or higher and a bubble density rank of B or higher (foam density is less than 10 cells / kg). there were. That is, it was confirmed that these glasses for magnetic recording medium substrates have high heat resistance and very few bubbles.
[実施例No.A1〜A11、比較例1〜5]
表2に示す組成のガラスが得られるように、酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物などの原料を秤量し、混合して調合原料とした。この調合原料を熔融槽に投入して1400〜1600℃の範囲で加熱、熔解して得られた熔融ガラスを、清澄槽において1400〜1550℃で6時間保持した後、温度を低下(降温)させて1200〜1400℃の範囲に1時間保持して清澄し、熔融ガラスを得た。表2に示す組成は、Ti酸化物(TiO2)、Sn酸化物(SnO2)およびCe酸化物(CeO2)以外の成分量を固定し、Ti酸化物、Sn酸化物およびCe酸化物の量を変化させた組成である。こうして得られた熔融ガラスから厚さ約1.2mmのガラス板(基板ブランク)をプレス成形により作製し、これらのガラス板を研削・研磨加工して平坦かつ平滑で透明なガラス基板を複数枚得た。
各ガラスについて、先に記載した方法により泡密度ランクの評価およびガラス転移温度の測定を行った。結果を表2に示す。[Example No. A1 to A11, Comparative Examples 1 to 5]
Raw materials such as oxides, carbonates, nitrates, and hydroxides were weighed and mixed to prepare a blending raw material so that a glass having the composition shown in Table 2 could be obtained. The molten glass obtained by putting this compounding raw material into a melting tank, heating and melting in the range of 1400 to 1600 ° C. is held in a clarification tank at 1400 to 1550 ° C. for 6 hours, and then the temperature is lowered (lowered). The mixture was kept in the range of 1200 to 1400 ° C. for 1 hour for clarification to obtain molten glass. The compositions shown in Table 2 fix the amounts of components other than Ti oxide (TiO 2 ), Sn oxide (SnO 2 ) and Ce oxide (CeO 2 ), and are composed of Ti oxide, Sn oxide and Ce oxide. It is a composition in which the amount is changed. A glass plate (substrate blank) having a thickness of about 1.2 mm is produced from the molten glass thus obtained by press molding, and these glass plates are ground and polished to obtain a plurality of flat, smooth and transparent glass substrates. It was.
For each glass, the bubble density rank was evaluated and the glass transition temperature was measured by the method described above. The results are shown in Table 2.
表2に示されるように、実施例No.A1〜A11の磁気記録媒体基板用ガラスは、いずれもガラス転移温度(Tg)が600℃以上、かつ泡密度ランクがB以上(泡密度が10個/kg未満)であった。すなわち、これらの磁気記録媒体基板用ガラスは、耐熱性が高く、泡が極めて少ない磁気記録媒体基板用ガラスであることが確認された。 As shown in Table 2, Example No. The glass for the magnetic recording medium substrate of A1 to A11 had a glass transition temperature (Tg) of 600 ° C. or higher and a bubble density rank of B or higher (foam density of less than 10 cells / kg). That is, it was confirmed that these glasses for magnetic recording medium substrates have high heat resistance and very few bubbles.
これに対して、比較例1〜5は、Ti酸化物(TiO2)、Sn酸化物(SnO2)およびCe酸化物(CeO2)以外の成分量が実施例No.A1〜No.A11と同等であるため、ガラス転移温度(Tg)は600℃以上と高いものの、泡密度ランクがEランク以下(泡密度が50個/kg以上)であり、泡の数が低減されず、実用に適さないことが確認された。特に、Ti酸化物(TiO2)を含有しない比較例1は、他の比較例2〜5と比べても泡密度が大きく、泡密度ランクがFランクであることが確認された。On the other hand, in Comparative Examples 1 to 5, the amounts of components other than Ti oxide (TiO 2 ), Sn oxide (SnO 2 ) and Ce oxide (CeO 2 ) were found in Example No. A1 to No. Since it is equivalent to A11, the glass transition temperature (Tg) is as high as 600 ° C. or higher, but the bubble density rank is E rank or lower (foam density is 50 bubbles / kg or more), and the number of bubbles is not reduced, which is practical. It was confirmed that it was not suitable for. In particular, it was confirmed that Comparative Example 1 containing no Ti oxide (TIO 2 ) had a higher foam density than the other Comparative Examples 2 to 5, and the foam density rank was F rank.
[実施例No.B1〜B11、比較例6〜10]
表3に示す組成のガラスが得られるように、酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物などの原料を秤量し、混合して調合原料とした。この調合原料を熔融槽に投入して1400〜1600℃の範囲で加熱、熔解して得られた熔融ガラスを、清澄槽において1400〜1550℃で6時間保持した後、温度を低下(降温)させて1200〜1400℃の範囲に1時間保持して清澄し、熔融ガラスを得た。表3に示す組成は、Ti酸化物(TiO2)、Sn酸化物(SnO2)およびCe酸化物(CeO2)以外の成分量を固定し、Ti酸化物、Sn酸化物およびCe酸化物の量を変化させた組成である。こうして得られた熔融ガラスから厚さ約1.2mmのガラス板(基板ブランク)をプレス成形により作製し、これらのガラス板を研削・研磨加工して平坦かつ平滑で透明なガラス基板を複数枚得た。
各ガラスについて、先に記載した方法により泡密度ランクの評価およびガラス転移温度の測定を行った。結果を表3に示す。[Example No. B1 to B11, Comparative Examples 6 to 10]
Raw materials such as oxides, carbonates, nitrates, and hydroxides were weighed and mixed to prepare a blending raw material so that a glass having the composition shown in Table 3 could be obtained. The molten glass obtained by putting this compounding raw material into a melting tank, heating and melting in the range of 1400 to 1600 ° C. is held in a clarification tank at 1400 to 1550 ° C. for 6 hours, and then the temperature is lowered (lowered). The mixture was kept in the range of 1200 to 1400 ° C. for 1 hour for clarification to obtain molten glass. The composition shown in Table 3 fixes the amounts of components other than Ti oxide (TiO 2 ), Sn oxide (SnO 2 ) and Ce oxide (CeO 2 ), and is composed of Ti oxide, Sn oxide and Ce oxide. It is a composition in which the amount is changed. A glass plate (substrate blank) having a thickness of about 1.2 mm is produced from the molten glass thus obtained by press molding, and these glass plates are ground and polished to obtain a plurality of flat, smooth and transparent glass substrates. It was.
For each glass, the bubble density rank was evaluated and the glass transition temperature was measured by the method described above. The results are shown in Table 3.
表3に示されるように、実施例No.B1〜B11の磁気記録媒体基板用ガラスは、いずれもガラス転移温度(Tg)が600℃以上、かつ泡密度ランクがB以上(泡密度が10個/kg未満)であった。すなわち、これらの磁気記録媒体基板用ガラスは、耐熱性が高く、泡が極めて少ない磁気記録媒体基板用ガラスであることが確認された。 As shown in Table 3, Example No. The glass for the magnetic recording medium substrate of B1 to B11 had a glass transition temperature (Tg) of 600 ° C. or higher and a bubble density rank of B or higher (foam density was less than 10 cells / kg). That is, it was confirmed that these glasses for magnetic recording medium substrates have high heat resistance and very few bubbles.
これに対して、比較例6〜10は、Ti酸化物(TiO2)、Sn酸化物(SnO2)およびCe酸化物(CeO2)以外の成分量が実施例No.B1〜No.B11と同等であるため、ガラス転移温度(Tg)は600℃以上と高いものの、泡密度ランクがEランク以下(泡密度が50個/kg以上)であり、泡の数が低減されず、実用に適さないことが確認された。特に、Ti酸化物(TiO2)を含有しない比較例6は、他の比較例7〜10と比べても泡密度が大きく、泡密度ランクがFランクであることが確認された。On the other hand, in Comparative Examples 6 to 10, the amounts of components other than Ti oxide (TiO 2 ), Sn oxide (SnO 2 ) and Ce oxide (CeO 2 ) were found in Example No. B1 to No. Since it is equivalent to B11, the glass transition temperature (Tg) is as high as 600 ° C. or higher, but the bubble density rank is E rank or lower (foam density is 50 bubbles / kg or more), and the number of bubbles is not reduced, which is practical. It was confirmed that it was not suitable for. In particular, it was confirmed that Comparative Example 6 containing no Ti oxide (TIO 2 ) had a higher foam density than the other Comparative Examples 7 to 10, and the foam density rank was F rank.
[磁気記録媒体基板の作製]
(1)基板ブランクの作製
次に、下記方法AまたはBにより、円盤状の基板ブランクを作製した。
(方法A)
清澄、均質化した上述の実施例の熔融ガラスを流出パイプから一定流量で流出するとともにプレス成形用の下型で受け、下型上に所定量の熔融ガラス塊が得られるよう流出した熔融ガラスを切断刃で切断した。そして熔融ガラス塊を載せた下型をパイプ下方から直ちに搬出し、下型と対向する上型および胴型を用いて、直径66mm、厚さ1.2mmの薄肉円盤状にプレス成形した。プレス成形品を変形しない温度にまで冷却した後、型から取り出してアニールし、基板ブランクを得た。なお、上述の成形では複数の下型を用いて流出する熔融ガラスを次々に円盤形状の基板ブランクに成形した。
(方法B)
清澄、均質化した上述の実施例の熔融ガラスを円筒状の貫通孔が設けられた耐熱性鋳型の貫通孔に上部から連続的に鋳込み、円柱状に成形して貫通孔の下側から取り出した。取り出したガラスをアニールした後、マルチワイヤーソーを用いて円柱軸に垂直な方向に一定間隔でガラスをスライス加工し、円盤状の基板ブランクを作製した。
なお、本実施例では上述の方法A、Bを採用したが、円盤状の基板ブランクの製造方法としては、下記方法C、Dも好適である。
(方法C)
上述の実施例の熔融ガラスをフロートバス上に流し出し、シート状のガラスに成形(フロート法による成形)し、次いでアニールした後にシートガラスから円盤状のガラスをくり貫いて基板ブランクを得ることもできる。
(方法D)
上述の実施例の熔融ガラスをオーバーフローダウンドロー法(フュージョン法)によりシート状のガラスに成形、アニールし、次いでシートガラスから円盤状のガラスをくり貫いて基板ブランクを得ることもできる。[Manufacturing of magnetic recording medium substrate]
(1) Preparation of Substrate Blank Next, a disk-shaped substrate blank was prepared by the following method A or B.
(Method A)
The clarified and homogenized molten glass of the above-mentioned example was discharged from the outflow pipe at a constant flow rate and received by a lower mold for press molding, and the molten glass flowed out so that a predetermined amount of molten glass ingot was obtained on the lower mold. It was cut with a cutting blade. Then, the lower mold on which the molten glass ingot was placed was immediately carried out from below the pipe, and was press-molded into a thin disk shape having a diameter of 66 mm and a thickness of 1.2 mm using the upper mold and the body mold facing the lower mold. After cooling the press-molded product to a temperature at which it was not deformed, it was taken out from the mold and annealed to obtain a substrate blank. In the above-mentioned molding, the molten glass flowing out was formed one after another into a disk-shaped substrate blank using a plurality of lower dies.
(Method B)
The clarified and homogenized molten glass of the above-mentioned example was continuously cast from the upper part into the through hole of the heat-resistant mold provided with the cylindrical through hole, formed into a columnar shape, and taken out from the lower side of the through hole. .. After annealing the taken-out glass, the glass was sliced at regular intervals in the direction perpendicular to the cylindrical axis using a multi-wire saw to prepare a disk-shaped substrate blank.
In this embodiment, the above-mentioned methods A and B are adopted, but the following methods C and D are also suitable as a method for manufacturing a disk-shaped substrate blank.
(Method C)
The molten glass of the above-described embodiment may be poured onto a float bath, molded into a sheet-shaped glass (molded by the float method), and then annealed, and then a disk-shaped glass is hollowed out from the sheet glass to obtain a substrate blank. it can.
(Method D)
The molten glass of the above-described embodiment can be formed into a sheet-shaped glass by an overflow downdraw method (fusion method), annealed, and then a disk-shaped glass is hollowed out from the sheet glass to obtain a substrate blank.
(2)ガラス基板の作製
上述の各方法で得られた基板ブランクの中心に貫通孔をあけて、外周、内周の研削加工を行い、円盤の主表面をラッピング、ポリッシング(鏡面研磨加工)して直径65mm、厚さ0.8mmの磁気ディスク用ガラス基板に仕上げた。得られたガラス基板は、1.7質量%の珪弗酸(H2SiF)水溶液、次いで、1質量%の水酸化カリウム水溶液を用いて洗浄し、次いで純水ですすいだ後に乾燥させた。実施例のガラスから作製した基板の表面を拡大観察したところ、表面荒れなどは認められず、平滑な表面であった。(2) Preparation of glass substrate A through hole is made in the center of the substrate blank obtained by each of the above methods, and the outer and inner circumferences are ground, and the main surface of the disk is wrapped and polished (mirror polishing). The glass substrate for a magnetic disk having a diameter of 65 mm and a thickness of 0.8 mm was finished. The obtained glass substrate was washed with a 1.7% by mass aqueous solution of silicic acid (H 2 SiF) and then with a 1% by mass aqueous solution of potassium hydroxide, rinsed with pure water and then dried. When the surface of the substrate made from the glass of the example was magnified and observed, no surface roughness was observed, and the surface was smooth.
[磁気記録媒体(磁気ディスク)の作製]
以下の方法により、実施例のガラスから得られたガラス基板の主表面上に、付着層、下地層、磁気記録層、保護層、潤滑層をこの順に形成し、磁気ディスクを得た。[Making a magnetic recording medium (magnetic disk)]
An adhesive layer, a base layer, a magnetic recording layer, a protective layer, and a lubricating layer were formed in this order on the main surface of the glass substrate obtained from the glass of the example by the following method to obtain a magnetic disk.
まず、真空引きを行った成膜装置を用いて、DCマグネトロンスパッタリング法にて、Ar雰囲気中で、付着層、下地層および磁気記録層を順次成膜した。 First, the adhesion layer, the base layer, and the magnetic recording layer were sequentially formed in an Ar atmosphere by a DC magnetron sputtering method using a vacuum-drawn film forming apparatus.
このとき、付着層は、厚さ20nmのアモルファスCrTi層となるように、CrTiターゲットを用いて成膜した。続いて枚葉・静止対向型成膜装置を用いて、Ar雰囲気中で、DCマグネトロンスパッタリング法にて下地層としてCrRuからなる10nm厚の層を形成した。また、磁気記録層は、厚さ10nmのFePtまたはCoPt層となるように、FePtまたはCoPtターゲットを用いて成膜温度400℃にて成膜した。 At this time, the adhesive layer was formed with a CrTi target so as to be an amorphous CrTi layer having a thickness of 20 nm. Subsequently, a 10 nm-thick layer made of CrRu was formed as a base layer by a DC magnetron sputtering method in an Ar atmosphere using a single-wafer / statically opposed film forming apparatus. Further, the magnetic recording layer was formed at a film forming temperature of 400 ° C. using a FePt or CoPt target so as to be a FePt or CoPt layer having a thickness of 10 nm.
磁気記録層までの成膜を終えた磁気ディスクを成膜装置から加熱炉内に移しアニールした。アニール時の加熱炉内の温度は、650〜700℃の範囲とした。 The magnetic disk after the film formation up to the magnetic recording layer was transferred from the film forming apparatus into the heating furnace and annealed. The temperature in the heating furnace at the time of annealing was in the range of 650 to 700 ° C.
続いて、エチレンを材料ガスとしたCVD法により水素化カーボンからなる保護層を3nm形成した。この後、PFPE(パーフロロポリエーテル)を用いてなる潤滑層をディップコート法により形成した。潤滑層の膜厚は1nmであった。
以上の製造工程により、磁気ディスクを得た。得られた磁気ディスクを、DFH機構を備えたハードディスクドライブ(フライングハイト:8nm)に搭載し、磁気ディスクの主表面上の記録用領域に、1平方インチあたり20ギガビットの記録密度で磁気信号を記録したところ、磁気ヘッドと磁気ディスク表面が衝突する現象(クラッシュ障害)は確認されなかった。Subsequently, a protective layer made of carbon hydride was formed at 3 nm by a CVD method using ethylene as a material gas. After that, a lubricating layer made of PFPE (perfluoropolyester) was formed by a dip coating method. The film thickness of the lubricating layer was 1 nm.
A magnetic disk was obtained by the above manufacturing process. The obtained magnetic disk is mounted on a hard disk drive (flying height: 8 nm) equipped with a DFH mechanism, and a magnetic signal is recorded in a recording area on the main surface of the magnetic disk at a recording density of 20 gigabits per square inch. As a result, the phenomenon of collision between the magnetic head and the surface of the magnetic disk (crash failure) was not confirmed.
本発明の一態様によれば、高密度記録化に最適な磁気記録媒体を提供することができる。 According to one aspect of the present invention, it is possible to provide an optimal magnetic recording medium for high-density recording.
最後に、前述の各態様を総括する。 Finally, each of the above aspects will be summarized.
一態様によれば、モル%表示にて、SiO2含有量が56〜75%、Al2O3含有量が0.1〜10%、Li2O含有量が0〜2%、Na2OおよびK2Oの合計含有量が3〜15%、MgO、CaOおよびSrOの合計含有量が14〜35%、Ti酸化物含有量が0.20〜2.50%、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量が0.10〜1.55%、Sb酸化物含有量が0〜0.02%であり、SiO2およびAl2O3の合計含有量に対するLi2O含有量のモル比{Li2O/(SiO2+Al2O3)}が0.02以下であり、かつガラス転移温度が600℃以上である磁気記録媒体基板用ガラスが提供される。According to one embodiment, the SiO 2 content is 56 to 75%, the Al 2 O 3 content is 0.1 to 10%, the Li 2 O content is 0 to 2%, and Na 2 O is expressed in mol%. And K 2 O total content 3-15%, MgO, CaO and SrO total content 14-35%, Ti oxide content 0.25-2.50%, Sn oxide and Ce oxidation The total content of the substance is 0.10 to 1.55%, the Sb oxide content is 0 to 0.02%, and the molar ratio of the Li 2 O content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 Provided is a glass for a magnetic recording medium substrate having {Li 2 O / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} of 0.02 or less and a glass transition temperature of 600 ° C. or more.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、単位質量あたりの泡の密度が、光学顕微鏡(倍率40〜100倍)により観察される直径0.03mm超の泡の密度として、好ましくは50個/kg未満であり、より好ましくは20個/kg未満であり、更に好ましくは10個/kg未満であり、一層好ましくは2個/kg以下であり、最も好ましくは0個/kgである。 In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate preferably has a bubble density per unit mass of more than 0.03 mm in diameter observed by an optical microscope (magnification 40 to 100 times). It is less than 2 pieces / kg, more preferably less than 20 pieces / kg, further preferably less than 10 pieces / kg, still more preferably 2 pieces / kg or less, and most preferably 0 pieces / kg.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、Sn酸化物の含有量が0.10〜1.50モル%である。 In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate has a Sn oxide content of 0.10 to 1.50 mol%.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、Ce酸化物の含有量が0.05〜0.70モル%である。 In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate has a Ce oxide content of 0.05 to 0.70 mol%.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、Ti酸化物、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量が、0.50〜4.00%である。 In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate has a total content of Ti oxide, Sn oxide and Ce oxide of 0.50 to 4.00%.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量に対するTi酸化物の含有量のモル比{Ti酸化物/(Sn酸化物+Ce酸化物)}が、0.4〜10.0である。 In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate has a molar ratio of the content of Ti oxide to the total content of Sn oxide and Ce oxide {Ti oxide / (Sn oxide + Ce oxide)}. , 0.4 to 10.0.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、Sn酸化物およびCe酸化物を必須成分として含む。 In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate contains Sn oxide and Ce oxide as essential components.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板用ガラスは、SiO2およびAl2O3の合計含有量に対するTiO2含有量のモル比{TiO2/(SiO2+Al2O3)}が、0.030以下である。In one aspect, the above-mentioned glass for a magnetic recording medium substrate has a molar ratio of TiO 2 content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 {TiO 2 / (SiO 2 + Al 2 O 3 )}. It is 030 or less.
本発明の一態様によれば、上述の磁気記録媒体からなる磁気記録媒体基板が提供される。 According to one aspect of the present invention, a magnetic recording medium substrate made of the above-mentioned magnetic recording medium is provided.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板は、表面および内部の組成が均質である。 In one aspect, the magnetic recording medium substrate described above has a homogeneous surface and internal composition.
一態様では、上述の磁気記録媒体基板は、表面の一部または全部に、イオン交換層を有する。 In one aspect, the magnetic recording medium substrate described above has an ion exchange layer on a part or all of the surface.
本発明の一態様によれば、上述の磁気記録媒体基板上に磁気記録層を有する磁気記録媒体が提供される。 According to one aspect of the present invention, a magnetic recording medium having a magnetic recording layer on the above-mentioned magnetic recording medium substrate is provided.
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
例えば、上述の例示されたガラス組成に対し、明細書に記載の組成調整を行うことにより、本発明の一態様にかかる磁気記録媒体基板用ガラスを作製することができる。
また、明細書に例示または好ましい範囲として記載した事項の2つ以上を任意に組み合わせることは、もちろん可能である。It should be considered that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the above description, and it is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.
For example, the glass for a magnetic recording medium substrate according to one aspect of the present invention can be produced by adjusting the composition described in the specification with respect to the above-exemplified glass composition.
In addition, it is of course possible to arbitrarily combine two or more of the items described in the specification as an example or a preferable range.
Claims (8)
SiO2含有量が56〜75%、
Al2O3含有量が0.1〜10%、
Li2O含有量が0〜2%、
Na2OおよびK2Oの合計含有量が3〜15%、
MgO、CaOおよびSrOの合計含有量が14〜35%、
Ti酸化物含有量が0.20〜2.50%、
Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量が0.10〜1.55%、
Sb酸化物含有量が0〜0.02%、
であり、
SiO2およびAl2O3の合計含有量に対するLi2O含有量のモル比{Li2O/(SiO2+Al2O3)}が0.02以下であり、
Sn酸化物およびCe酸化物を必須成分として含み、
Sn酸化物およびCe酸化物の合計含有量に対するTi酸化物の含有量のモル比{Ti酸化物/(Sn酸化物+Ce酸化物)}が0.6以上、
SiO 2 およびAl 2 O 3 の合計含有量に対するTiO 2 含有量のモル比{TiO 2 /(SiO 2 +Al 2 O 3 )}が、0.034以下、かつ
ガラス転移温度が600℃以上である磁気記録媒体基板用ガラス。 In mole% display
SiO 2 content is 56-75%,
Al 2 O 3 content 0.1-10%,
Li 2 O content 0-2%,
Total content of Na 2 O and K 2 O is 3-15%,
The total content of MgO, CaO and SrO is 14-35%,
Ti oxide content is 0.25 to 2.50%,
The total content of Sn oxide and Ce oxide is 0.10 to 1.55%,
Sb oxide content 0-0.02%,
And
The molar ratio of Li 2 O content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 {Li 2 O / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} is 0.02 or less.
Contains Sn oxide and Ce oxide as essential components
The molar ratio of the content of Ti oxide to the total content of Sn oxide and Ce oxide {Ti oxide / (Sn oxide + Ce oxide)} is 0.6 or more.
Magnetic in which the molar ratio of TiO 2 content to the total content of SiO 2 and Al 2 O 3 {TiO 2 / (SiO 2 + Al 2 O 3 )} is 0.034 or less and the glass transition temperature is 600 ° C or more. Glass for recording medium substrate.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015132038 | 2015-06-30 | ||
JP2015132038 | 2015-06-30 | ||
PCT/JP2016/069215 WO2017002835A1 (en) | 2015-06-30 | 2016-06-29 | Glass for magnetic recording medium substrate, magnetic recording medium substrate, and magnetic recording medium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017002835A1 JPWO2017002835A1 (en) | 2018-04-12 |
JP6793119B2 true JP6793119B2 (en) | 2020-12-02 |
Family
ID=57609497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017526384A Active JP6793119B2 (en) | 2015-06-30 | 2016-06-29 | Glass for magnetic recording medium substrate, magnetic recording medium substrate and magnetic recording medium |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6793119B2 (en) |
CN (1) | CN107709256B (en) |
WO (1) | WO2017002835A1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11214512B2 (en) | 2017-12-19 | 2022-01-04 | Owens Coming Intellectual Capital, LLC | High performance fiberglass composition |
CN114144384A (en) * | 2019-07-22 | 2022-03-04 | Hoya株式会社 | Glass for magnetic recording medium substrate, magnetic recording medium, glass spacer for magnetic recording/reproducing device, and magnetic recording/reproducing device |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09138942A (en) * | 1995-11-14 | 1997-05-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Glass substrate for magnetic disk |
DE19616633C1 (en) * | 1996-04-26 | 1997-05-07 | Schott Glaswerke | Chemically toughenable alumino-silicate glass |
JP5109225B2 (en) * | 2003-12-26 | 2012-12-26 | 旭硝子株式会社 | Alkali-free glass and liquid crystal display panel |
SG10201408031RA (en) * | 2008-03-19 | 2015-01-29 | Hoya Corp | Glass for magnetic recording media substrates, magnetic recording media substrates, magnetic recording media and method for preparation thereof |
JP5734189B2 (en) * | 2009-08-10 | 2015-06-17 | Hoya株式会社 | Glass for magnetic recording medium substrate, magnetic recording medium substrate and manufacturing method thereof, and magnetic recording medium |
US9053734B2 (en) * | 2009-09-28 | 2015-06-09 | Konica Minolta Opto, Inc. | Glass substrate for information recording media and information recording medium |
US8394516B2 (en) * | 2010-10-29 | 2013-03-12 | Hoya Corporation | Glass substrate for magnetic recording medium and magnetic recording medium |
-
2016
- 2016-06-29 JP JP2017526384A patent/JP6793119B2/en active Active
- 2016-06-29 WO PCT/JP2016/069215 patent/WO2017002835A1/en active Application Filing
- 2016-06-29 CN CN201680037143.7A patent/CN107709256B/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2017002835A1 (en) | 2018-04-12 |
CN107709256A (en) | 2018-02-16 |
WO2017002835A1 (en) | 2017-01-05 |
CN107709256B (en) | 2021-09-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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