JP6727881B2 - Sample loading plate - Google Patents

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Description

本発明は、試料を積載する試料積載プレートに関する。 The present invention relates to a sample loading plate for loading a sample.

病原菌や細菌を迅速かつ正確に診断することが可能な質量分析のイオン化法の一つとして、マトリックス支援レーザ脱離イオン化(MALDI=Matrix Assisted Lazer Desorption/Ionization)法が知られている。 A matrix assisted laser desorption/ionization (MALDI) method is known as one of mass spectrometry ionization methods capable of rapidly and accurately diagnosing pathogens and bacteria.

MALDI法は、レーザ光を吸収しにくい、またはレーザ光で損傷を受けやすい分析対象物(以下、試料と呼ぶ)を分析するために、レーザ光を吸収しやすくかつイオン化しやすい物質(マトリックス)に試料をあらかじめ混合しておき、これにレーザ光を照射することで試料をイオン化する方法である。 The MALDI method uses a substance (matrix) that easily absorbs laser light and is easily ionized in order to analyze an analyte (hereinafter referred to as a sample) that hardly absorbs laser light or is easily damaged by laser light. This is a method in which the sample is mixed in advance and the sample is ionized by irradiating it with laser light.

MALDI法による質量分析装置では、一般に、被分析物とマトリックスをあらかじめ混合し、溶媒により液状化したもの(以下試料と呼び、滴下時は液状であるが、それを乾燥し結晶化したものも試料と呼ぶ)試料を積載するターゲットプレートと呼ばれる金属製のプレート(以下、試料積載プレートと呼ぶ)を装置内に配置し、試料積載プレート上に積載した試料に対してレーザ光を所定時間照射して試料を脱離イオン化する。このとき、金属製の試料積載プレートには電圧が印加され、脱離イオン化した試料に電界が与えられることによって脱離イオン化した試料を加速用の電極に向けて飛行しやすくしている。 In a mass spectrometer by the MALDI method, generally, an analyte and a matrix are mixed in advance and liquefied by a solvent (hereinafter referred to as a sample, which is a liquid at the time of dropping, but also a crystallized product by drying it). A metal plate called a target plate for loading a sample (hereinafter referred to as a sample loading plate) is placed in the apparatus, and the sample loaded on the sample loading plate is irradiated with laser light for a predetermined time. Desorb and ionize the sample. At this time, a voltage is applied to the metal sample loading plate, and an electric field is applied to the deionized and ionized sample, thereby facilitating the deionized and ionized sample to fly toward the acceleration electrode.

試料積載プレートは、試料を積載するための試料積載領域(以下、試料積載スポットと呼ぶ)を複数備えており、測定する複数の試料を所定の試料積載スポットに滴下させ乾燥化(結晶化)させた状態で質量分析装置内に配置し、試料積載プレートを移動させることにより複数の試料にレーザを照射するようになっている。 The sample loading plate has a plurality of sample loading areas (hereinafter referred to as sample loading spots) for loading samples, and a plurality of samples to be measured are dropped on a predetermined sample loading spot to be dried (crystallized). In this state, the sample is placed in the mass spectrometer, and the sample loading plate is moved to irradiate a plurality of samples with laser light.

MALDI分析法ではこのような結晶が試料積載スポット内にできるだけ均一に堆積し、被分析物が適切に脱離イオン化し、また試料積載プレートに印加する電圧から試料に有効に電界が与えられ適切に加速することが重要であり、これらの分析技術に関する多くの提案がなされている。 In the MALDI analysis method, such crystals are deposited in the sample loading spot as uniformly as possible, the analyte is appropriately deionized and ionized, and the voltage applied to the sample loading plate effectively applies an electric field to the sample to appropriately Acceleration is important and many proposals have been made for these analytical techniques.

試料積載スポットにおける試料の結晶化またはイオン化の改良に関して、例えば特許文献1に示す提案は、試料積載スポットは電気伝導性の表面を有する中央部分と疎水性のマスクからなるマージン(周囲)部分とを備えており、試料積載スポット上に滴下した試料はハロー効果により疎水性のマージン部分にリング状に結晶化し堆積するようにしている。マージン部分に形成された結晶リングにレーザ光を効率的に照射しイオン化を行うようにしている。 Regarding the improvement of crystallization or ionization of the sample in the sample loading spot, for example, the proposal shown in Patent Document 1 discloses that the sample loading spot has a central portion having an electrically conductive surface and a margin (surrounding) portion made of a hydrophobic mask. The sample dropped on the sample loading spot is crystallized and accumulated in a ring shape in the hydrophobic margin portion by the halo effect. The crystal ring formed in the margin portion is efficiently irradiated with laser light for ionization.

また、特許文献2に示す提案は、絶縁性を有する基板上に導電干渉層を設けて基板とは異なる色を呈するようにし、また表面に疎水膜を形成し、さらに試料積載スポットを形成する溝を設けて基板を露出し、滴下した試料を試料積載スポット内に留めて(以下、アンカー効果と呼ぶ)結晶化させイオン化を行うようにしている。 Further, the proposal shown in Patent Document 2 is a groove in which a conductive interference layer is provided on a substrate having an insulating property so as to exhibit a color different from that of the substrate, a hydrophobic film is formed on the surface, and a sample loading spot is formed. Is provided to expose the substrate, and the dropped sample is retained in the sample loading spot (hereinafter referred to as an anchor effect) for crystallization and ionization.

特表2006−525525号公報Japanese Patent Publication No. 2006-525525 WO2015/019861号公報WO2015/019861

しかしながら、特許文献1に示す従来技術は、試料積載スポットのマージン部に形成される試料の結晶リングにレーザ光を照射して効率的な測定を行うようにしているものの、電気伝導性を有する中央部分に対してマージン部は絶縁膜であるため導電性が充分とは言えず堆積した結晶リングに対して試料積載プレートに印加する電圧から試料に対して有効に電界が与えられず試料がチャージアップし、適正なイオン化が妨げられるという問題がある。 However, in the conventional technique disclosed in Patent Document 1, although the crystal ring of the sample formed in the margin portion of the sample loading spot is irradiated with laser light to perform efficient measurement, the central part having electrical conductivity is used. Since the margin part is an insulating film for the part, the conductivity is not sufficient and the voltage applied to the sample loading plate against the deposited crystal ring does not effectively apply an electric field to the sample and the sample charges up. However, there is a problem that proper ionization is hindered.

また、特許文献2に示す従来技術は、試料積載スポットの外側と内側の境界に基板が露出する溝を形成することにより試料積載スポットの視認性を確保しているが、絶縁性の基板を用いているため、試料積載スポットの外側と内側の導通を確保するために膜を部分的に接続させる必要があるため、溝を断続的に形成する必要がある。試料積載スポットの外側と内側の膜の接続が不十分の場合は分析時のチャージアップを招く虞があり、分析感度の低下を招く虞がある。 Further, in the conventional technique disclosed in Patent Document 2, the visibility of the sample loading spot is secured by forming a groove exposing the substrate at the boundary between the outer side and the inner side of the sample loading spot, but an insulating substrate is used. Therefore, it is necessary to partially connect the membranes in order to ensure electrical continuity between the outer side and the inner side of the sample loading spot, and therefore it is necessary to form the groove intermittently. Insufficient connection between the film on the outside of the sample loading spot and the film on the inside of the sample loading spot may cause charge-up at the time of analysis, which may lead to decrease in analysis sensitivity.

本発明の目的は上記課題を解決し、上記課題を解決し、試料積載スポットの視認性と導通が良好な試料積載プレートを提供することである。 An object of the present invention is to solve the above problems, to solve the above problems, and to provide a sample loading plate having good visibility and continuity of a sample loading spot.

上記課題を達成するため、本発明の構成は以下の通りである。
MALDI法の質量分析に使用され、基板上に試料を積載する試料積載スポットを少なくとも一つ以上備える試料積載プレートであって、試料積載スポットの外側周辺部は疎水性表面であり、試料積載スポットの内側領域であるアイランドは親水性表面であって、試料積載スポットの外側周辺部とアイランドの色が異なることを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned subject, the composition of the present invention is as follows.
A sample loading plate used for mass spectrometry of MALDI method, comprising at least one sample loading spot for loading a sample on a substrate, wherein an outer peripheral portion of the sample loading spot is a hydrophobic surface, The island, which is the inner region, is a hydrophilic surface and is characterized in that the color of the island is different from that of the outer peripheral portion of the sample loading spot.

外側周辺部と前記アイランドは異なる膜構成で形成されていることを特徴とする。 It is characterized in that the outer peripheral portion and the island are formed with different film configurations.

外側周辺部と前記アイランドに形成される膜構成のうち、少なくとも一つの金属膜が連続しており、導通していることを特徴とする。 At least one metal film among the film configurations formed on the outer peripheral portion and the island is continuous and conductive.

基板はセラミックスによって構成されていることを特徴とする。 The substrate is characterized by being made of ceramics.

親水層は、基板上に形成した金属膜または、金属膜の上に形成した光学多層膜によって構成されていることを特徴とする。 The hydrophilic layer is characterized by being composed of a metal film formed on the substrate or an optical multilayer film formed on the metal film.

これにより、試料は試料積載スポットに正確に滴下可能であるとともに、試料積載スポットの外側と内側の導通が確実に確保される As a result, the sample can be accurately dropped on the sample loading spot, and the electrical connection between the outside and the inside of the sample loading spot is surely ensured.

本発明によれば、試料積載スポットにおける試料の視認性が良く導電性に優れる試料積載プレートを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a sample loading plate in which the sample visibility in the sample loading spot is good and the conductivity is excellent.

試料は試料積載スポットに正確に滴下可能であるとともに、滴下された試料は試料積載スポット内に確実に濡れ広がる。この結果質量分析において試料の視認性がよくかつ滴下する試料のアンカー効果の高く、試料積載スポットの外側と内側の導通が良好な試料積載プレートを提供することが可能となる。 The sample can be accurately dropped on the sample loading spot, and the dropped sample surely spreads in the sample loading spot. As a result, it is possible to provide a sample loading plate which has good sample visibility in mass spectrometry, a high anchor effect for the dropped sample, and good conduction between the outside and the inside of the sample loading spot.

また、基板に積層される第1の金属膜と光学多層膜によって任意の色を作ることができる。この結果、試料積載スポットの外側と内側の色の差を作り易く、積載する試料の視認性を高めることができ試料の滴下作業の効率が向上する。また、形成する試料積載スポットや各種マークなどを見やすくすることができるので試料の作業管理が容易になる。また、多様な色の試料積載プレートを作り色分けすることで試料の保管と管理が容易になる。さらに、MALDI法の質量分析において試料積載プレートの辺縁部を通して印加される電圧が第1の金属膜や光学多層膜中の金属膜により試料積載スポット内にある試料に確実に導電することができる。 Further, an arbitrary color can be created by the first metal film and the optical multilayer film laminated on the substrate. As a result, a color difference between the outer side and the inner side of the sample loading spot can be easily created, the visibility of the loaded sample can be enhanced, and the efficiency of the sample dropping operation is improved. Further, since it is possible to easily see the sample loading spot and various marks to be formed, the work management of the sample becomes easy. In addition, by storing sample loading plates of various colors and color-coding, sample storage and management becomes easy. Further, in the mass spectrometry of the MALDI method, the voltage applied through the peripheral portion of the sample loading plate can surely conduct electricity to the sample in the sample loading spot by the first metal film or the metal film in the optical multilayer film. ..

本発明の実施例1における試料積載スポットのI−I‘断面図I-I' cross-sectional view of a sample loading spot in Example 1 of the present invention 本発明の実施例2における試料積載スポットのI−I‘断面図I-I' cross-sectional view of a sample loading spot in Example 2 of the present invention 本発明の試料積載プレートを示す平面図The top view which shows the sample mounting plate of this invention. 本発明の試料積載プレートにおいて積層される第1の金属膜と光学多層膜の構成例を説明する図The figure explaining the structural example of the 1st metal film and optical multilayer film laminated|stacked in the sample mounting plate of this invention. 光学多層膜の干渉による着色原理を模式的に説明する断面図Sectional drawing which illustrates typically the coloring principle by the interference of an optical multilayer film. 本発明における試料積載スポットに試料を積載した状態を説明する部分断面図Partial cross-sectional view illustrating a state in which a sample is loaded on a sample loading spot in the present invention. 質量分析装置の動作を説明するための模式図Schematic diagram for explaining the operation of the mass spectrometer 本発明の実施形態の試料積載プレートに係る製造方法を説明する工程図Process drawing explaining the manufacturing method which concerns on the sample mounting plate of embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態を図1〜図8を用いて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.

試料積載プレートは、MALDI法による質量分析装置(後述する図7参照)に載置されるもので、試料積載スポットに試料を積載して質量を分析するために使用される。以下に示す発明を実施するための形態は、本発明の思想を具体化するための試料積載プレート及びその製造方法を例示するものであって、本発明は以下に説明する方法及び構成に特定するものではない。特に実施の形態に記載されている製造方法及び部材の形状、材質、その相対的配置等は特定的な記載がない限りは本発明の範囲をそれのみに限定するものではない。また、各図面が示す部材の大きさや形状、位置関係、形成する膜層については説明をわかりやすくするために誇張していることがある。 The sample loading plate is placed on a mass spectrometer by the MALDI method (see FIG. 7 described later), and is used to load a sample on a sample loading spot and analyze the mass. The embodiments for carrying out the invention shown below exemplify a sample loading plate and a manufacturing method thereof for embodying the idea of the present invention, and the present invention is specified by the method and configuration described below. Not a thing. In particular, the manufacturing method and the shapes, materials, relative arrangements, etc. of the members and the manufacturing methods described in the embodiments are not intended to limit the scope of the present invention unless otherwise specified. In addition, the sizes and shapes of members shown in the drawings, positional relationships, and film layers to be formed may be exaggerated for easy understanding.

[実施形態の試料積載プレートの説明:図1〜図4]
はじめに、本発明に係る実施形態である試料積載プレートの構成について図3を用いて説明する。図3は、試料積載プレートを試料を積載する面側から見た平面図である。
[Description of Sample Loading Plate of Embodiment: FIGS. 1 to 4]
First, the configuration of the sample loading plate according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a plan view of the sample loading plate viewed from the surface on which the sample is loaded.

試料積載プレート100の基板1は、絶縁性であって、外形約50mm×40mm程度の略長方形の平板であり、試料積載プレート100は、例えば、基板にAl(アルミナ)などの材料を用いて作ることができる。また、例えば位置決め用などとして下辺のように切り欠き部が設けられている。また、試料積載プレート100の平坦度は30μm以下の精度を有している。尚、外形形状、厚さ等は特に限定されるものではなく、質量分析装置の仕様に合うものであればよい。試料積載プレートは、平坦度を確保するため、ラッピング工程やポリシング工程による面仕上げを行ってもよい。 The substrate 1 of the sample loading plate 100 is an insulating, substantially rectangular flat plate having an outer shape of about 50 mm×40 mm, and the sample loading plate 100 is made of, for example, a material such as Al 2 O 3 (alumina). Can be made using. Further, a cutout portion is provided like the lower side for positioning, for example. Further, the flatness of the sample loading plate 100 has an accuracy of 30 μm or less. The outer shape, thickness, etc. are not particularly limited as long as they meet the specifications of the mass spectrometer. The sample loading plate may be surface-finished by a lapping process or a polishing process in order to secure the flatness.

試料積載プレート100には略円形の試料積載スポット10が複数形成されている。本実施例では縦8個×横12個で合計96個設けられている。ここで試料積載スポット10の個数はこれに限定されず質量分析装置の仕様に合うように決められる。 A plurality of substantially circular sample loading spots 10 are formed on the sample loading plate 100. In this embodiment, there are a total of 96 pieces, which are 8 pieces vertically and 12 pieces horizontally. Here, the number of sample loading spots 10 is not limited to this, and is determined so as to meet the specifications of the mass spectrometer.

尚、試料積載プレート100には各試料積載スポット10の位置を示す列アドレスマーク30(例えば1〜9、X〜Z)、行アドレスマーク40(例えばA〜H)及び試料積載プレートを管理するシリアルナンバー50、バーコード60などを形成することができる。これらのアドレスマーク、シリアルナンバー、バーコード等はこれに限定するものではなく必要に応じて追加、削除してもよい。ここで、アドレスマーク、シリアルナンバー、バーコードの形成方法としては特に限定はしないがレーザマーキングによる加工法が好適である。
次に試料積載スポット10の断面構成について2つの実施例を説明する。
The sample loading plate 100 has column address marks 30 (for example, 1 to 9, X to Z) indicating the positions of the sample loading spots 10, row address marks 40 (for example, A to H), and a serial for managing the sample loading plate. The number 50, the bar code 60, etc. can be formed. These address marks, serial numbers, bar codes, etc. are not limited to these and may be added or deleted as necessary. Here, the method of forming the address mark, the serial number, and the bar code is not particularly limited, but a processing method by laser marking is preferable.
Next, two examples of the cross-sectional structure of the sample loading spot 10 will be described.

図1は実施例1における試料積載スポット10の中心を通過する切断線I−I´における断面図である。平面的な位置関係がわかるように上部に試料積載スポットの拡大図を併記した。試料積載スポット10は、アイランド21で構成されており、その外側の周辺に外側周辺部22がある。アイランド21の表面は、親水性であり、外側周辺部22の表面は、疎水膜が形成された構造となっている。 FIG. 1 is a cross-sectional view taken along a cutting line II′ passing through the center of the sample loading spot 10 in the first embodiment. An enlarged view of the sample loading spot is also shown at the top so that the two-dimensional positional relationship can be seen. The sample loading spot 10 is composed of an island 21, and an outer peripheral portion 22 is provided around the outer periphery of the island 21. The surface of the island 21 is hydrophilic, and the surface of the outer peripheral portion 22 has a structure in which a hydrophobic film is formed.

ここで、基板1の片側表面には最初に第1の金属膜2Mが形成されている。次に、第1の金属膜2Mに積層して光学多層膜2Aが形成されている。光学多層膜2Aは、誘電体膜または第2の金属膜からなり膜の種類、層数は特に限定されず、例えば、2d、2c、2b、2aの順に形成されている。さらに光学多層膜の上に疎水膜12が形成される。第1の金属膜2Mや光学多層膜2Aは、真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法により形成される。疎水膜12も同様に真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法により形成されるが、液体に浸漬させてゆっくりと引き上げて膜を形成するディップコーティング等の方法でも可能である。第1の金属膜2Mや光学多層膜の中になる金属膜が、アイランド21と外側周辺部22さらには、試料積載プレートの辺縁部20へ連続した膜となり、電気的に導電性を確保されている。 Here, the first metal film 2M is first formed on one surface of the substrate 1. Next, an optical multilayer film 2A is formed by laminating it on the first metal film 2M. The optical multilayer film 2A is made of a dielectric film or a second metal film, and the type of film and the number of layers are not particularly limited, and are formed in the order of 2d, 2c, 2b, and 2a, for example. Further, the hydrophobic film 12 is formed on the optical multilayer film. The first metal film 2M and the optical multilayer film 2A are formed by a film forming method such as vacuum deposition or sputtering. The hydrophobic film 12 is similarly formed by a film forming method such as vacuum deposition or sputtering, but a method such as dip coating in which it is immersed in a liquid and slowly pulled up to form a film is also possible. The metal film in the first metal film 2M or the optical multi-layer film is a film continuous to the island 21, the outer peripheral portion 22 and the peripheral portion 20 of the sample loading plate to ensure electrical conductivity. ing.

実施例1では、試料積載スポット10のアイランド21は、光学多層膜2Aを剥離して第1の金属膜であるNiが表出している。Niは、白色に近いグレー色であるので、光学多層膜2Aの濃紺色と色の差があるので試料積載スポットの視認性がよい。同時に、第1の金属膜は、アイランド21から外側周辺部22さらには、試料積載プレートの辺縁部20にまで連続して導通している。このことは、MALDI用の試料積載プレートとして重要な点である。 In the first embodiment, the island 21 of the sample loading spot 10 is exposed by Ni, which is the first metal film, by peeling off the optical multilayer film 2A. Since Ni is a gray color close to white, there is a difference in color from the dark blue color of the optical multilayer film 2A, and therefore the visibility of the sample loading spot is good. At the same time, the first metal film is continuously conducted from the island 21 to the outer peripheral portion 22 and further to the edge portion 20 of the sample loading plate. This is an important point as a sample loading plate for MALDI.

次に、試料積載プレート100の膜および基板断面構成について図4を用いて説明する。 Next, the film and substrate cross-sectional structure of the sample loading plate 100 will be described with reference to FIG.

図4は、試料積載プレート100の断面構成を示している。図4に示す断面構成は、基板1にAlを用いている。基板1に積層される第1の金属膜2Mは、材料にNiを使用し膜厚は約300nmである(1nm=0.000001mm)。次に光学多層膜2Aを構成する第1層目2dはAlを使用し膜厚は約80nmである。第2層目2cはTiを使用し膜厚は約10nmである。第3層目2bはSiOを使用し膜厚は90nmである。第4層目2aは、Tiを使用し膜厚は約10nmである。このような構成とすることによって可視光の波長領域において、試料積載プレート100の表面は濃紺色とすることができる。光学多層膜2Aの上には、C(炭素)、F(フッ素)、Si(シリコン)などで構成された疎水膜12が形成されているが、疎水膜12の膜厚は、例えば、2〜3nm程度と薄いので試料積載スポット10の内側表面の導電性や色への影響は少ない。 FIG. 4 shows a sectional configuration of the sample loading plate 100. In the cross-sectional structure shown in FIG. 4, Al 2 O 3 is used for the substrate 1. The first metal film 2M laminated on the substrate 1 uses Ni as a material and has a film thickness of about 300 nm (1 nm=0.000001 mm). Next, the first layer 2d constituting the optical multilayer film 2A uses Al 2 O 3 and has a film thickness of about 80 nm. The second layer 2c is made of Ti and has a film thickness of about 10 nm. The third layer 2b is made of SiO 2 and has a film thickness of 90 nm. The fourth layer 2a is made of Ti and has a film thickness of about 10 nm. With such a configuration, the surface of the sample loading plate 100 can be dark blue in the wavelength range of visible light. A hydrophobic film 12 made of C (carbon), F (fluorine), Si (silicon), or the like is formed on the optical multilayer film 2A. The hydrophobic film 12 has a thickness of, for example, 2 to Since the thickness is as thin as about 3 nm, there is little influence on the conductivity and color of the inner surface of the sample loading spot 10.

このように、基板1に積層形成する第1の金属膜と光学多層膜2Aとを好適に組合せることにより光学干渉を利用した任意の反射特性(着色)が得られる。尚、光学多層膜2Aは図4に示したように誘電体膜のみならず金属膜を混合してもよい。 As described above, by appropriately combining the first metal film laminated on the substrate 1 and the optical multilayer film 2A, an arbitrary reflection characteristic (coloring) utilizing optical interference can be obtained. The optical multilayer film 2A may be a dielectric film as well as a metal film mixed as shown in FIG.

親水性については、アイランド21の表面が第1の金属膜2Mであるので親水性であり、外側周辺部22が疎水膜12であり、試料をアイランド21に留めるようなアンカー効果を発揮できる構造となっている。 Regarding the hydrophilicity, since the surface of the island 21 is the first metal film 2M, it is hydrophilic, the outer peripheral portion 22 is the hydrophobic film 12, and a structure capable of exerting an anchoring effect such that the sample is retained on the island 21. Has become.

図2は実施例2における試料積載スポット10の中心を通過する切断線I−I´における断面図である。
実施例1との相違点は、実施例2では、試料積載スポット10のアイランド21は、光学多層膜2Aの一部である2a層と2b層を剥離して2c層が表出している点である。他の点は実施例1と同じ構成となっている。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along a cutting line II′ passing through the center of the sample loading spot 10 in the second embodiment.
The difference from the first embodiment is that in the second embodiment, the island 21 of the sample loading spot 10 has a 2c layer exposed by peeling off the 2a layer and the 2b layer which are a part of the optical multilayer film 2A. is there. The other points are the same as those of the first embodiment.

実施例2では、アイランド21に露出する面は、光学多層膜の2c層と2d層および第1の金属膜により発現される濃紺色とは異なる色であるので、光学多層膜2Aの全層および第1の金属膜によって発現される濃紺色と色の差があるので試料積載スポットの視認性がよい。同時に、第1の金属膜および光学多層膜2A中の2c層は、アイランド21から外側周辺部22さらには、試料積載プレートの辺縁部20にまで連続して導通している。このことは、MALDI用の試料積載プレートとして重要な点であることは実施例1と同様である。 In Example 2, the surface exposed to the island 21 is a color different from the dark blue color developed by the 2c layer and the 2d layer of the optical multilayer film and the first metal film, so that all layers of the optical multilayer film 2A and Since there is a difference in color from the dark blue color developed by the first metal film, the visibility of the sample loading spot is good. At the same time, the first metal film and the 2c layer in the optical multilayer film 2A are continuously conducted from the island 21 to the outer peripheral portion 22 and further to the edge portion 20 of the sample loading plate. This is an important point as the sample loading plate for MALDI, as in the first embodiment.

親水性については、アイランド21の表面が光学多層膜2Aの2c層であるので親水性であり、外側周辺部22が疎水膜12であり、試料をアイランド21に留めるようなアンカー効果を発揮できる構造となっている。 Regarding the hydrophilicity, since the surface of the island 21 is the 2c layer of the optical multilayer film 2A, it is hydrophilic, and the outer peripheral portion 22 is the hydrophobic film 12, and a structure capable of exerting an anchoring effect such that the sample is retained on the island 21. Has become.

[試料積載プレートの着色及び視認性に関する説明:図5]
次に、試料積載プレートの着色に関して図5を用いて説明する。図5は、基板に光学多層膜形成した場合の光の干渉を説明する模式図である。
[Explanation on Coloring and Visibility of Sample Loading Plate: FIG. 5]
Next, coloring of the sample loading plate will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining light interference when an optical multilayer film is formed on a substrate.

図5において、基板1は、説明のために、例えば、光学多層膜として誘電体膜2a、2b、2c、2dが積層形成されている。各層の材質(屈折率)、厚さ、層数を調整することによって任意の反射特性(着色)が得られるが、ここでは、模式的な図を用いて原理的な説明にとどめる。(一般的には屈折率の高い誘電体膜と低い屈折率の誘電体膜をペアとして1/4波長の厚みで交互に積層することによって光の干渉作用により各層の界面からの反射波が相加的に重なって高効率の反射機能を得られるとされている。) In FIG. 5, for the sake of explanation, the substrate 1 has, for example, laminated dielectric films 2a, 2b, 2c, and 2d as optical multilayer films. An arbitrary reflection characteristic (coloring) can be obtained by adjusting the material (refractive index), thickness, and the number of layers of each layer, but here, the description will be limited to the principle using a schematic diagram. (In general, a dielectric film having a high refractive index and a dielectric film having a low refractive index are paired and alternately laminated with a thickness of ¼ wavelength to cause the reflected waves from the interfaces of the layers to interfere with each other due to the interference of light. It is said that they can be added to obtain a highly efficient reflection function.)

空気層90から光学多層膜に入射する入射光Pは、まず空気と誘電体膜2aとの界面で反射波2aRが発生する。同様に各層の界面でそれぞれの反射波2bR、2cR、2dR、1Rが発生する。各界面からの反射が足し合わされて反射波Rとなる。反射波Rは、各層の材質(屈折率)、膜厚、膜層数を変えることで任意の反射特性(着色)を得られる。尚、誘電体膜に金属膜を混合することにより多様な反射特性を得られる。本実施例では中間層の2cと最上層の2aに金属膜を用いた構成としている。 The incident light P entering the optical multilayer film from the air layer 90 first generates a reflected wave 2aR at the interface between the air and the dielectric film 2a. Similarly, reflected waves 2bR, 2cR, 2dR, and 1R are generated at the interfaces of the layers. The reflections from the respective interfaces are added together to form a reflected wave R. The reflected wave R can obtain an arbitrary reflection characteristic (coloring) by changing the material (refractive index), film thickness, and number of film layers of each layer. Various reflection characteristics can be obtained by mixing a metal film with the dielectric film. In this embodiment, a metal film is used for the intermediate layer 2c and the uppermost layer 2a.

この原理に基づいて図4に示したように具体的な膜質および膜厚を選定した結果、実施例1における試料積載プレート100の反射特性は、可視光の波長領域W(約380nm〜約780nm)では全体として反射率は低めであるが波長が小さい側すなわち濃紺系の光が多めに反射するピークを有し外側周辺部22の表面は濃紺色に着色して見える。 As a result of selecting the specific film quality and film thickness as shown in FIG. 4 based on this principle, the reflection characteristic of the sample loading plate 100 in Example 1 is the visible light wavelength region W (about 380 nm to about 780 nm). Then, the reflectance is low as a whole, but there is a peak at which the wavelength is small, that is, dark blue light is reflected abundantly, and the surface of the outer peripheral portion 22 looks dark blue.

実施例1と実施例2において、アイランド21は、光学多層膜2Aの全部または一部が剥離されているため、濃紺色ではない色になり、外側周辺部22の濃紺色との色の差によりアイランド21の視認性がよい効果をもたらす。 In Example 1 and Example 2, the island 21 has a color other than navy blue because all or part of the optical multilayer film 2A is peeled off, and due to the difference in color from the navy blue of the outer peripheral portion 22, The visibility of the island 21 brings about an effect.

[質量分析装置による分析動作の説明:図6、図7]
次に、試料の質量分析を行う動作について図6、図7を用いて説明する。ここでは主に試料積載プレート及び試料のイオン化に係る部分を説明し、他は原理的な説明にとどめ詳細は省略する。図6は、前述した試料積載プレート100に試料200を積載した状態を示し、図7は、質量分析装置300に試料200が積載された試料積載プレートを載置した状態を示す模式図である。
[Explanation of Analysis Operation by Mass Spectrometer: FIGS. 6 and 7]
Next, the operation of performing mass spectrometry of the sample will be described with reference to FIGS. Here, the sample loading plate and the part related to the ionization of the sample will be mainly described, and the other parts will be described only in principle and will not be described in detail. FIG. 6 shows a state in which the sample 200 is loaded on the above-described sample loading plate 100, and FIG. 7 is a schematic view showing a state in which the sample loading plate loaded with the sample 200 is placed on the mass spectrometer 300.

図6は、被分析物とマトリックスを混合し溶媒で液状化した試料200を試料積載スポットに滴下し溶媒を蒸発させ、乾燥化した状態を断面図にて示している。試料200は図示しない器具によって試料積載スポット10のアイランド21(図1、図2参照)に所定量が滴下される。滴下された試料200は重力及び表面張力によって放射状に広がろうとする。試料200は放射状に広がりながら外側周辺部22に到達する。アイランド21の表面は高い親水性であり、外側周辺部は、疎水性であるので、試料200は外側周辺部22上では、ほとんど濡れ広がることはなく、アイランド21に留まり保持される(アンカー効果)。 FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the sample 200 in which the analyte and the matrix are mixed and liquefied with the solvent is dropped on the sample loading spot to evaporate the solvent and to be dried. A predetermined amount of the sample 200 is dropped on the island 21 (see FIGS. 1 and 2) of the sample loading spot 10 by an unillustrated device. The dropped sample 200 tries to spread radially due to gravity and surface tension. The sample 200 reaches the outer peripheral portion 22 while spreading radially. Since the surface of the island 21 is highly hydrophilic and the outer peripheral portion is hydrophobic, the sample 200 hardly spreads on the outer peripheral portion 22 and stays and is retained on the island 21 (anchor effect). ..

そして、分析される試料200の積載が終了した後、各試料200はその状態で乾燥化させる。このとき、試料積載プレート100上の試料積載スポット10は試料200をスポット内に留めるアンカー効果が高いので振動しても移動しにくく安定して滴下時の保持ができ作業を容易にすることができる。 Then, after the loading of the samples 200 to be analyzed is completed, each sample 200 is dried in that state. At this time, since the sample loading spot 10 on the sample loading plate 100 has a high anchor effect for holding the sample 200 in the spot, it is difficult to move even if vibrated, it can be stably held during dropping, and the work can be facilitated. ..

次に、図7は、質量分析装置300の模式図を示し、試料200を積載した試料積載プレート100が質量分析装置300に載置され図示しない固定部によって固定されている。実際には、複数のスポットに積載された試料200は、X、Y方向に移動して各試料が所定の位置に停止できる機構になっているが、ここでは簡単のため、1つの試料積載スポットについて説明する。 Next, FIG. 7 shows a schematic diagram of the mass spectrometer 300, in which the sample loading plate 100 on which the sample 200 is loaded is placed on the mass spectrometer 300 and fixed by a fixing unit (not shown). Actually, the sample 200 loaded on a plurality of spots has a mechanism capable of moving in the X and Y directions and stopping each sample at a predetermined position. Will be described.

図7に示す質量分析装置300は、左側に試料積載プレート100が載置され、図示しないクランプ部によって着脱可能に固定されている。また、図示しない電圧印加部から試料積載プレート100に導電できるようになっている。また、試料200にレーザ光220aを照射するレーザ光源220と、レーザ光の照射に伴って試料200から離脱しイオン化した被分析物(200a、200b、200c、)を加速するイオン加速部230と、イオンをトラップするイオントラップ部231と、イオンの飛行空間を形成し各イオンの質量分離を行う質量分離部232と、質量分離され到達した各イオンを時系列に検出するイオン検出部240とを備えている。 In the mass spectrometer 300 shown in FIG. 7, the sample loading plate 100 is placed on the left side and is detachably fixed by a clamp part (not shown). In addition, the voltage can be applied to the sample loading plate 100 from a voltage applying unit (not shown). Further, a laser light source 220 for irradiating the sample 200 with a laser beam 220a, an ion accelerator 230 for accelerating the ionized analytes (200a, 200b, 200c) that are separated from the sample 200 by the laser beam irradiation and are ionized. An ion trap unit 231 that traps ions, a mass separation unit 232 that forms a flight space of ions to perform mass separation of each ion, and an ion detection unit 240 that detects each mass-separated and arrived ion in time series are provided. ing.

ここで、被分析物のイオンの極性は正(プラス電荷)であるものとする。質量分析が開始すると、レーザ光源220から測定対象の試料200にレーザ光220aが所定時間照射される。それと同時に図示しない電圧印加部からプラスの電圧V1が試料積載プレート100の第1の金属膜2Mに印加され、試料200に対しプラスの電圧が試料に有効に与えられる。同時に、イオントラップ部231の最初のグリッドにマイナスの電圧V2が印加される。実施例1では、第1の金属膜2Mに加えて、光学多層膜2A中の金属膜2cも導電性を示す。 Here, it is assumed that the ion polarity of the analyte is positive (plus charge). When the mass spectrometry starts, the laser light source 220 irradiates the sample 200 to be measured with the laser light 220a for a predetermined time. At the same time, a positive voltage V1 is applied to the first metal film 2M of the sample mounting plate 100 from a voltage applying unit (not shown), and the positive voltage is effectively applied to the sample with respect to the sample 200. At the same time, a negative voltage V2 is applied to the first grid of the ion trap section 231. In Example 1, in addition to the first metal film 2M, the metal film 2c in the optical multilayer film 2A also exhibits conductivity.

このとき、試料200に含まれるマトリクスが被分析物を伴って気化し被分析物が脱離しイオン化される。そして、プラスの電圧V1が被分析物に与えられ、マイナスの電圧V2が与えられたイオントラップ部231に向けて下り勾配の電界が発生するため、脱離しイオン化した被分析物は、イオン加速部230ではイオントラップ部231に向けて加速される。このようにして、脱離しイオン化した被分析物は、イオントラップ部231から質量分離部(飛行空間)232へ送りこまれ、飛行する間に質量の違いにより分離され時間差がついて200c、200b、200aの順にイオン検出部へ到達する。そして、イオン検出部240にて検出されたデータは図示しない解析装置により解析され被分析物に関する質量分析が行われる。この結果、試料の同定が高速かつ高精度に行われる。 At this time, the matrix contained in the sample 200 is vaporized together with the analyte, and the analyte is desorbed and ionized. Then, since a positive voltage V1 is applied to the analyte and an electric field having a downward gradient is generated toward the ion trap portion 231 to which the negative voltage V2 is applied, the desorbed and ionized analyte is ion-accelerated. At 230, it is accelerated toward the ion trap portion 231. In this way, the desorbed and ionized analyte is sent from the ion trap unit 231 to the mass separation unit (flight space) 232, and is separated due to the difference in mass during the flight, resulting in a time difference of 200c, 200b, and 200a. The ions arrive at the ion detector in order. Then, the data detected by the ion detector 240 is analyzed by an analyzer (not shown), and mass analysis is performed on the analyte. As a result, the sample can be identified at high speed and with high accuracy.

[実施形態の効果]
以上説明したように、本発明によれば、試料積載スポットにおける試料の視認性が良く導電性に優れる試料積載プレート及びその製造方法を提供することができる。
[Effect of Embodiment]
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a sample loading plate in which the visibility of the sample in the sample loading spot is good and the conductivity is excellent, and a manufacturing method thereof.

試料は試料積載スポットに正確に滴下可能であるとともに、滴下された試料は試料積載スポット内に確実に濡れ広がる。この結果質量分析において試料の視認性がよくかつ滴下する試料のアンカー効果の高く、試料積載スポットの外側と内側の導通が良好な試料積載プレートを提供することが可能となる。 The sample can be accurately dropped on the sample loading spot, and the dropped sample surely spreads in the sample loading spot. As a result, it is possible to provide a sample loading plate which has good sample visibility in mass spectrometry, a high anchor effect for the dropped sample, and good conduction between the outside and the inside of the sample loading spot.

また、基板に積層される第1の金属膜と光学多層膜によって任意の色を作ることができる。この結果、試料積載スポットの外側と内側の色の差を作り易く、積載する試料の視認性を高めることができ試料の滴下作業の効率が向上する。また、形成する試料積載スポットや各種マークなどを見やすくすることができるので試料の作業管理が容易になる。また、多様な色の試料積載プレートを作り色分けすることで試料の保管と管理が容易になる。さらに、MALDI法の質量分析において試料積載プレートの辺縁部を通して印加される電圧が第1の金属膜や光学多層膜中の金属膜により試料積載スポット内にある試料に確実に導電することができる。 Further, an arbitrary color can be created by the first metal film and the optical multilayer film laminated on the substrate. As a result, a color difference between the outer side and the inner side of the sample loading spot can be easily created, the visibility of the loaded sample can be improved, and the efficiency of the sample dropping operation is improved. Further, since it is possible to easily see the sample loading spot and various marks to be formed, the work management of the sample becomes easy. In addition, by storing sample loading plates of various colors and classifying them into different colors, sample storage and management becomes easier. Further, in the mass spectrometry of the MALDI method, the voltage applied through the peripheral portion of the sample loading plate can surely conduct electricity to the sample in the sample loading spot by the first metal film or the metal film in the optical multilayer film. ..

尚、実施例では基板にセラミックスのAlを用いた例を説明したがこれに限定されず他のセラミックス材料、磁器とセラミックスの複合材料、ガラス、Si、プラスチックなどを用いてもよい。また、第1の金属膜2Mや光学多層膜2Aの金属膜としてNi、Ti、Alを用いた例を説明したがこれに限定されずクロム、金など他の金属を用いてもよい。また、誘電体膜の材料としてAl、SiO、TiOを用いた例を説明したがこれに限定されずMgO、MgF、ZrOなど他の誘電体材料を用いてもよい。 In addition, although the example in which the ceramic Al 2 O 3 is used for the substrate has been described in the embodiment, the present invention is not limited to this, and other ceramic materials, composite materials of porcelain and ceramics, glass, Si, plastic, and the like may be used. Further, although an example in which Ni, Ti, or Al is used as the metal film of the first metal film 2M or the optical multilayer film 2A has been described, the present invention is not limited to this, and other metals such as chromium and gold may be used. Moreover, although an example in which Al 2 O 3 , SiO 2 , and TiO 2 is used as the material of the dielectric film has been described, the present invention is not limited to this, and other dielectric materials such as MgO, MgF 2 , and ZrO 2 may be used.

本実施の形態では、基板1の上に第1の金属膜2Mと光学多層膜2Aと疎水膜12を形成したが、ほかにたとえば基板1の表面に他の親水性膜等を形成してもよく、視認性等の効果を増大させることが期待される。 In the present embodiment, the first metal film 2M, the optical multilayer film 2A, and the hydrophobic film 12 are formed on the substrate 1, but other hydrophilic film or the like may be formed on the surface of the substrate 1, for example. Well, it is expected to increase the effects such as visibility.

また、本実施例では、基板の片側表面にのみ、金属膜および光学多層膜を形成したが、膜形成の方法によっては、基板の両側表面に金属膜や光学多層膜を形成するほうが都合がよい場合もあり、基板の両側表面に金属膜および光学多層膜を形成してもよいし、試料を積載しない側の表面には、金属膜や光学多層膜のどちらか一方、さらには、平面的に部分的に形成しても構わない。 Further, in this embodiment, the metal film and the optical multilayer film are formed only on one surface of the substrate, but it is more convenient to form the metal film and the optical multilayer film on both surfaces of the substrate depending on the method of film formation. In some cases, a metal film and an optical multi-layer film may be formed on both surfaces of the substrate, or either the metal film or the optical multi-layer film may be formed on the surface on which the sample is not loaded, and further, in a planar manner. It may be formed partially.

[試料積載プレート100の製造方法の説明:図8]
次に、本実施形態の試料積載プレート100の製造方法について、図8を用いて説明する。図8は、試料積載プレート100の製造方法を示す工程図である。
[Description of Method of Manufacturing Sample Loading Plate 100: FIG. 8]
Next, a method for manufacturing the sample loading plate 100 of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a process diagram showing a method for manufacturing the sample loading plate 100.

[製造方法の説明:図8]
図8において、試料積載プレート100の製造方法について310〜370の主要な工程を図示し説明する。尚、各工程において特定の記載がない限りそれぞれの工程に必要な一般的な例えば、移送、検査、洗浄、乾燥、アニール等の作業を行うことは当然のこととし、それらの説明は省略する。
[Description of manufacturing method: FIG. 8]
In FIG. 8, main steps 310 to 370 of the method for manufacturing the sample loading plate 100 will be shown and described. Unless otherwise specified in each step, it is natural to perform general work such as transfer, inspection, cleaning, drying, and annealing necessary for each step, and the description thereof will be omitted.

[基板受け入れ工程:310]
まず、基板受け入れ工程310では、基板1の平面度及び表面粗さの検査を行い、所定の平坦度、表面粗さであることを確認する。
[Substrate receiving process: 310]
First, in the substrate receiving step 310, the flatness and surface roughness of the substrate 1 are inspected to confirm that they have predetermined flatness and surface roughness.

[基板表面加工工程(拡大図):320]
次に、基板表面加工工程320では、基板1にラッピング加工やポリッシング加工を施し、所定の基板厚や表面粗さ、平坦度に仕上げる。尚、本工程での主要な検査項目は基板の表面粗さ及び平坦度である。
[Substrate surface processing step (enlarged view): 320]
Next, in the substrate surface processing step 320, the substrate 1 is subjected to lapping processing or polishing processing so as to have a predetermined substrate thickness, surface roughness, and flatness. The main inspection items in this step are the surface roughness and flatness of the substrate.

[第1の金属膜形成工程(拡大図):330]
次に、第1の金属膜形成工程330では、第1の金属膜2Mを形成する。例えば、真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法を用い、例えば、Niを厚さ300nmに形成する。このとき、できるだけ均一な膜とするために成膜粒子の照射方向は垂直方向が望ましい(破線矢印参照)。
[First metal film forming step (enlarged view): 330]
Next, in the first metal film forming step 330, the first metal film 2M is formed. For example, Ni is formed to a thickness of 300 nm, for example, using a film forming method such as vacuum deposition or sputtering. At this time, in order to obtain a film as uniform as possible, the irradiation direction of the film-forming particles is preferably the vertical direction (see the broken line arrow).

[光学多層膜形成工程(拡大図):340]
次に、光学多層膜形成工程340では光学多層膜2Aを積層形成する。例えば、真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法によって、図4にある2d層、2c層、2b層、2a層を順番に形成する。
[Optical multilayer film forming step (enlarged view): 340]
Next, in the optical multilayer film forming step 340, the optical multilayer film 2A is laminated. For example, the 2d layer, 2c layer, 2b layer, and 2a layer shown in FIG. 4 are sequentially formed by a film forming method such as vacuum deposition or sputtering.

[疎水膜形成工程:350]
次に、疎水膜形成工程350では、前工程で形成された光学多層膜2Aの表面に疎水膜12を積層形成する。例えば、真空蒸着等の成膜方法によって、例えば、C(炭素)またはF(フッ素)またはSi(シリコン)を含む撥水材またはそれらの複合された撥水材を、例えば、2nmの厚さに形成する。
[Hydrophobic film forming step: 350]
Next, in the hydrophobic film forming step 350, the hydrophobic film 12 is laminated on the surface of the optical multilayer film 2A formed in the previous step. For example, a water repellent material containing, for example, C (carbon), F (fluorine), or Si (silicon) or a composite water repellent material thereof having a thickness of 2 nm is formed by a film forming method such as vacuum deposition. Form.

[疎水膜除去工程:370]
最後に、疎水膜除去工程370では、試料積載スポット10のアイランド21に形成された疎水膜12を剥離する。例えば、プラズマエッチング等の加工方法により、試料積載スポット10の外側にはマスク15(詳しい説明は省略する)を形成し疎水膜12を剥離する。マスク15は、アイランド21を開口し、それ以外の外側周辺部22をプラズマから保護する働きがある。
[Hydrophobic film removal step: 370]
Finally, in the hydrophobic film removal step 370, the hydrophobic film 12 formed on the island 21 of the sample loading spot 10 is peeled off. For example, a mask 15 (detailed description thereof is omitted) is formed on the outside of the sample loading spot 10 by a processing method such as plasma etching, and the hydrophobic film 12 is peeled off. The mask 15 has a function of opening the island 21 and protecting the other outer peripheral portion 22 from plasma.

以上説明した製造方法により、基板の表面に光学多層膜による所望の反射色を有する試料積載プレートの製造方法を提供することができる。また、試料の視認性がよくかつ滴下する試料のアンカー効果の高い試料積載プレートの製造方法を提供することができる。 By the manufacturing method described above, it is possible to provide the manufacturing method of the sample loading plate having a desired reflection color due to the optical multilayer film on the surface of the substrate. In addition, it is possible to provide a method of manufacturing a sample loading plate that has good sample visibility and a high anchor effect for the dropped sample.

以上、試料積載プレートの各種実施形態とその製造方法について詳細に説明したが、本発明は、このような実施形態と製造方法に限定されるものではなく、細部の構成、素材、数量において、本発明の思想を逸脱しない範囲で、任意に変更、追加、削除することができる。即ち、上述した試料積載プレート及び製造方法の特許請求の各請求項に記載した内容の範囲で変更や省略をすることができる。 Although the various embodiments of the sample loading plate and the manufacturing method thereof have been described in detail above, the present invention is not limited to such embodiments and manufacturing methods, and in terms of detailed configuration, material, and quantity, Any change, addition, or deletion can be made without departing from the spirit of the invention. That is, changes and omissions can be made within the scope of the contents described in each claim of the above-mentioned sample loading plate and manufacturing method.

1 基板
2A 光学多層膜
2M 第1の金属膜
10 試料積載スポット
12 疎水膜
15 マスク
20 試料積載プレートの辺縁部
21 (試料積載スポットの)アイランド
22 (試料積載スポットの)外側周辺部
30 列アドレスマーク
40 行アドレスマーク
50 シリアルナンバー
60 バーコード
100 試料積載プレート
200 試料
200a、200b、200c イオン化した被分析物
220 レーザ光源
220a レーザ光
230 イオン加速部
231 イオントラップ部
232 質量分離部(飛行空間)
240 イオン検出部
300 MALDI質量分析装置
1 Substrate 2A Optical Multilayer Film 2M First Metal Film 10 Sample Loading Spot 12 Hydrophobic Film 15 Mask 20 Edge of Sample Loading Plate 21 Island (of Sample Loading Spot) 22 Outer Peripheral (of Sample Loading Spot) 30 Column Address Mark 40 line address mark 50 Serial number 60 Bar code 100 Sample loading plate 200 Samples 200a, 200b, 200c Ionized analyte 220 Laser light source 220a Laser light 230 Ion accelerator 231 Ion trap 232 Mass separation (flight space)
240 ion detector 300 MALDI mass spectrometer

Claims (2)

MALDI法の質量分析に使用され、基板上に試料を積載する試料積載スポットを少なくとも一つ以上備える試料積載プレートであって、
前記基板上には、前記試料積載スポットと前記試料積載プレートの辺縁部とを導通させる少なくとも一つの金属膜が形成され、
試料積載スポットの内側領域であるアイランドは、前記基板上に形成した少なくとも一つの金属膜による親水性表面であり、
試料積載スポットの外側周辺部は、前記アイランドと異なる膜構成で形成した疎水性表面であり、
試料積載スポットの外側周辺部とアイランドの色が異なることを特徴とする試料積載プレート。
A sample loading plate used for mass spectrometry of MALDI method, comprising at least one sample loading spot for loading a sample on a substrate, comprising:
Formed on the substrate is at least one metal film that electrically connects the sample loading spot and the edge of the sample loading plate,
The island, which is the inner region of the sample loading spot, is a hydrophilic surface formed by at least one metal film formed on the substrate,
The outer peripheral portion of the sample loading spot is a hydrophobic surface formed with a film configuration different from that of the island,
A sample loading plate, characterized in that the color of the outer periphery of the sample loading spot and the island are different.
前記基板はセラミックスによって構成されていることを特徴とする請求項1に記載の試料積載プレート。The sample loading plate according to claim 1, wherein the substrate is made of ceramics.
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