JP6709405B1 - Light source device and lighting device including the same - Google Patents

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Abstract

【課題】光源装置の取付角度や取付位置がずれた場合であっても、インテグレータの出光面を照らす光の強度の低下を小さくすることのできる光源装置を提供する。【解決手段】光源装置100を、複数の光源120と、対応する光源120からの光を平行光にする複数の光学具130とで構成する。【選択図】図3PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light source device capable of reducing a decrease in intensity of light illuminating a light emitting surface of an integrator even when a mounting angle or a mounting position of the light source device is deviated. A light source device (100) includes a plurality of light sources (120) and a plurality of optical tools (130) for converting light from corresponding light sources (120) into parallel light. [Selection diagram] Fig. 3

Description

本発明は、複数の光源を有する光源装置に関する。 The present invention relates to a light source device having a plurality of light sources.

従前より、例えば特許文献1に示すように、ひとつ(ひとまとまり)の光源7を有する光源装置1を用意し、この光源装置1から放射された平行光Lを例えばフライアイレンズ等のインテグレータ2における受光面3全体に照射するようになっている照明装置4が開発されている(図8を参照)。 Conventionally, as shown in Patent Document 1, for example, a light source device 1 having one (collective) light source 7 is prepared, and collimated light L emitted from the light source device 1 is supplied to an integrator 2 such as a fly-eye lens. An illumination device 4 has been developed which is designed to illuminate the entire light receiving surface 3 (see FIG. 8).

そして、放射された平行光Lがインテグレータ2の受光面3全体を照らすことができ、かつ、光源装置1からの光軸CLがインテグレータ2における受光面3の中央部に当たるように、光源装置1が必要な角度を付けてベース部材5に取りつけられている。 Then, the radiated parallel light L can illuminate the entire light-receiving surface 3 of the integrator 2, and the light source device 1 is arranged so that the optical axis CL from the light source device 1 hits the central portion of the light-receiving surface 3 in the integrator 2. It is attached to the base member 5 at a required angle.

特許第6371925号明細書Patent No. 6371925

しかしながら、現実的には、各部材の加工精度や取付精度に問題があった場合、ベース部材5に対する光源装置1の取付角度や取付位置が計画値からずれてしまうおそれがあった。光源装置1の取付角度や取付位置が計画値からずれてしまうと、光源装置1から放射された平行光Lによる照射範囲が計画からずれてしまい、当該平行光Lの一部が照射面(例えばインテグレータの受光面3)から外れてしまう。この結果として、インテグレータ2の出光面6から出る光の強度が大きく低下してしまう場合があった。 However, in reality, if there is a problem in the processing accuracy or the mounting accuracy of each member, the mounting angle or the mounting position of the light source device 1 with respect to the base member 5 may deviate from the planned value. If the mounting angle or the mounting position of the light source device 1 deviates from the planned value, the irradiation range of the parallel light L emitted from the light source device 1 deviates from the plan, and a part of the parallel light L is irradiated on the irradiation surface (for example, It comes off from the light receiving surface 3) of the integrator. As a result, the intensity of the light emitted from the light emitting surface 6 of the integrator 2 may be significantly reduced.

本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光源装置の取付角度や取付位置がずれた場合であっても、照射面を照らす光の強度の低下を小さく抑えることのできる光源装置、およびそれを用いた照明装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to suppress a decrease in intensity of light that illuminates an irradiation surface to be small even when a mounting angle or a mounting position of a light source device is deviated. (EN) Provided is a light source device capable of performing, and an illuminating device using the same.

本発明の一局面によれば、
ベース部および内部空間を有する光源装置本体と、
複数の光源と、
複数の光学具とを備えており、
前記複数の光源は、前記ベース部の表面に実装されており、
前記複数の光学具は、それぞれ少なくとも2つのレンズで構成されており、かつ、前記内部空間に配置されており、
前記各光学具は、対応する前記光源からの光を平行光にする
光源装置が提供される。
According to one aspect of the invention,
A light source device body having a base portion and an internal space;
Multiple light sources,
Equipped with multiple optics,
The plurality of light sources are mounted on the surface of the base portion,
Each of the plurality of optical tools is composed of at least two lenses, and is arranged in the internal space,
A light source device is provided in which each of the optical tools collimates light from the corresponding light source.

好適には、前記各光学具によって平行光になった前記各光源からの光の光軸は、互いに平行である。 Preferably, the optical axes of the lights from the respective light sources, which are made into parallel lights by the respective optical tools, are parallel to each other.

好適には、前記各光学具によって平行光になった前記各光源からの光の光軸は、照射面上で互いに収束する。 Preferably, the optical axes of the light beams from the respective light sources, which are collimated by the respective optical tools, converge on the irradiation surface.

本発明の他の局面によれば、
複数の上述した光源装置と、
前記各光源装置からの光を受ける受光面を有するインテグレータとを備える
照明装置が提供される。
According to another aspect of the invention,
A plurality of light source devices described above,
An illuminating device is provided that includes an integrator having a light receiving surface that receives light from each of the light source devices.

好適には、前記各光源装置と前記インテグレータとの間に配設された光路補正部材をさらに備えている。 Suitably, it further comprises an optical path correcting member arranged between each of the light source devices and the integrator.

本発明によれば、複数の光源から放射された光がそれぞれ対応する光学具によって平行光になるので、ひとつの光源装置に備わる「平行光を照射する光学部」を複数にすることができる。これにより、光源装置の取付角度や取付位置がずれた場合であっても、照射面から外れてしまう光が複数の光源のうちのいずれかひとつの光源から放射された光にとどめることができる。これにより、照射面を照らす光の強度の低下を小さく抑えることができる光源装置、およびそれを用いた照明装置を提供できた。 According to the present invention, the light emitted from a plurality of light sources is converted into parallel light by the corresponding optical tools, so that it is possible to provide a plurality of “optical units for irradiating parallel light” provided in one light source device. Thus, even if the mounting angle or mounting position of the light source device is deviated, the light that deviates from the irradiation surface can be limited to the light emitted from any one of the plurality of light sources. As a result, it is possible to provide a light source device that can suppress a decrease in the intensity of light that illuminates the irradiation surface, and an illumination device that uses the light source device.

本発明が適用された実施形態に係る照明装置10を示す図である。It is a figure which shows the illuminating device 10 which concerns on embodiment to which this invention is applied. 本発明が適用された実施形態に係る光源装置100を示す図である。It is a figure which shows the light source device 100 which concerns on embodiment to which this invention is applied. 光源装置100における各光源120から放射される光全体が互いに平行になっていることを説明する図である。It is a figure explaining that all the light radiated|emitted from each light source 120 in the light source device 100 is mutually parallel. ひとつの光源装置100から放射された光がインテグレータ12(照射面)を照らす光強度の分布を示す図である。It is a figure which shows the distribution of the light intensity which the light radiated from one light source device 100 illuminates the integrator 12 (irradiation surface). 複数の光源装置100から放射された光がインテグレータ12(照射面)を照らしたときの全体光強度の分布を示す図である。It is a figure which shows the distribution of the total light intensity when the light radiated|emitted from the some light source device 100 illuminates the integrator 12 (irradiation surface). 変形例1に係る光源装置100における複数の光源120から放射された光がインテグレータ12(照射面)を照らしたときの光強度の分布を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a distribution of light intensity when light emitted from a plurality of light sources 120 in a light source device 100 according to Modification 1 illuminates an integrator 12 (irradiation surface). 変形例1に係る光源装置100を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a light source device 100 according to a modified example 1. 従来技術に係る照明装置4を示す図である。It is a figure which shows the illuminating device 4 which concerns on a prior art.

(照明装置10の構成)
以下、図面を用いて、本発明が適用された照明装置10の構成について説明する。なお、本発明が適用された照明装置10は、例えば、露光装置等の産業用途に使用されてもよいし、舞台照明や道路照明等の一般照明用途に使用されてもよい。
(Structure of the lighting device 10)
Hereinafter, the configuration of the lighting device 10 to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings. The illumination device 10 to which the present invention is applied may be used, for example, for industrial applications such as an exposure apparatus or for general illumination applications such as stage lighting and road lighting.

図1に示すように、照明装置10は、大略、光源装置100と、インテグレータ12と、光路補正部材14とを備えている。 As shown in FIG. 1, the illumination device 10 generally includes a light source device 100, an integrator 12, and an optical path correction member 14.

光源装置100は、図2に示すように、光源装置本体110と、複数の光源120と、複数の光学具130とを備えている。 As shown in FIG. 2, the light source device 100 includes a light source device body 110, a plurality of light sources 120, and a plurality of optical tools 130.

本実施形態に係る光源装置本体110はベース部112を有する略角筒状に形成されており、その内部空間114に光学具130が配置されている。また、ベース部112の表面116に光源120が実装されている。もちろん、光源装置本体110の形状は角筒状に限定されるものではなく、丸筒状であってもよいし、あるいは、必要な数の光源120および光学具130を所定の位置に配置および保持できるものであれば、側方(光源120の光軸CLに直交する方向)が覆われておらず、光源装置100の側方から、内部の光源120や光学具130が目視できるような形状であってもよい。 The light source device body 110 according to the present embodiment is formed in a substantially rectangular tube shape having a base portion 112, and an optical tool 130 is arranged in an internal space 114 thereof. Further, the light source 120 is mounted on the surface 116 of the base portion 112. Of course, the shape of the light source device body 110 is not limited to the rectangular tube shape, and may be a round tube shape, or the necessary number of light sources 120 and optical tools 130 are arranged and held at predetermined positions. If possible, the side (the direction orthogonal to the optical axis CL of the light source 120) is not covered, and the light source 120 and the optical tool 130 inside can be viewed from the side of the light source device 100. It may be.

なお、本実施形態では、複数の光源120が実装されるベース部112の表面116は平らに形成されており、当該表面116に実装された各光源120の光軸CLは互いに平行となっている。 In this embodiment, the surface 116 of the base 112 on which the plurality of light sources 120 are mounted is formed flat, and the optical axes CL of the light sources 120 mounted on the surface 116 are parallel to each other. ..

光源120は、所定の光量および波長の光を放射する部材であり、本実施形態では、発光ダイオード(LED)が使用されている。もちろん、光源120の種類は発光ダイオードに限定されるものではなく、有機ELや白熱灯、レーザーランプ、あるいは、放電灯等であってもよい。 The light source 120 is a member that emits light having a predetermined light amount and wavelength, and in the present embodiment, a light emitting diode (LED) is used. Of course, the type of the light source 120 is not limited to the light emitting diode, and may be an organic EL, an incandescent lamp, a laser lamp, a discharge lamp, or the like.

光学具130は、それぞれ互いに異なる光源120に対応しており、この対応する光源120からの光を平行光にする役割を有している。 The optical tools 130 correspond to different light sources 120, respectively, and have a role of collimating light from the corresponding light sources 120.

なお、本明細書全体を通じて、「平行光」とは幾何学的な意味合いで完全な平行(=0°)に限定されるものではなく、±10°までは許容されるものであり、±5°以下となるのが好適である。 Throughout the present specification, “parallel light” is not limited to perfect parallel (=0°) from a geometrical point of view, and ±10° is allowed, and ±5° is allowed. It is preferably less than or equal to °.

本実施形態では、光学具130として2つのレンズが使用されている。具体的には、第1レンズ132が光源120の近傍に配置されており、第2レンズ134が光源装置本体110の開口118の近傍に配置されている。光源120から出た光は、これら2つのレンズ132,134を透過する際に屈折し、第2レンズ134を出た段階でほぼ平行光Lになっている。 In this embodiment, two lenses are used as the optical tool 130. Specifically, the first lens 132 is arranged near the light source 120, and the second lens 134 is arranged near the opening 118 of the light source device body 110. The light emitted from the light source 120 is refracted when passing through these two lenses 132 and 134, and becomes substantially parallel light L when it exits the second lens 134.

なお、上述のように、本実施形態に係る光学具130は2つのレンズ132,134で構成されているが、光学具130の態様はこれに限定されるものではなく、1つ、あるいは3つ以上のレンズで構成してもよいし、反射面を有するリフレクターやミラー等であってもよい。さらには、レンズ、リフレクター、ミラー等を適宜組み合わせたものであってもよい。 As described above, the optical tool 130 according to the present embodiment is composed of the two lenses 132 and 134, but the mode of the optical tool 130 is not limited to this, and one or three lenses are provided. It may be composed of the above lenses, or may be a reflector or a mirror having a reflecting surface. Further, a combination of a lens, a reflector, a mirror and the like may be used.

また、上述のように、本実施形態では、光源装置本体110のベース部112の表面116に光軸CLが互いに平行となるように各光源120が配置されているので、図3に示すように、各光源120から放射される光全体が互いに平行な光Lになっている。 Further, as described above, in the present embodiment, since the respective light sources 120 are arranged on the surface 116 of the base portion 112 of the light source device body 110 so that the optical axes CL are parallel to each other, as shown in FIG. The entire light emitted from each light source 120 is a light L parallel to each other.

図1に戻り、インテグレータ12は、複数の光源装置100からの光を受光面16で受け、これら光の均斉度を高めて出光面18から放射する役割を有する部材である。本実施形態では、インテグレータ12として、その表面上に多数の小さいレンズ体が形成されたフライアイレンズが使用されている。 Returning to FIG. 1, the integrator 12 is a member having a role of receiving light from the plurality of light source devices 100 on the light receiving surface 16, increasing the uniformity of the light, and emitting the light from the light emitting surface 18. In this embodiment, a fly-eye lens having a large number of small lens bodies formed on its surface is used as the integrator 12.

なお、上述した役割を果たすものであればインテグレータ12はフライアイレンズに限定されるものではなく、例えば、ロッドレンズ等を使用してもよい。 The integrator 12 is not limited to the fly-eye lens as long as it can fulfill the above-described role, and for example, a rod lens or the like may be used.

光路補正部材14は、対応する光源装置100からの光Lの平行度が足りない場合等において、当該光Lの平行度をより高めるために用いられる部材であり、対応する光源装置100とインテグレータ12との間に配置される。なお、光路補正部材14は、図示するように、光源装置100と同じ数を準備して、1つの光源装置100に対応して1つの光路補正部材14を使用してもよいし、1つの光路補正部材14ですべての光源装置100からの光に対応してもよい。 The optical path correction member 14 is a member used to further increase the parallelism of the light L from the corresponding light source device 100, for example, when the parallelism of the light L from the corresponding light source device 100 is insufficient. It is placed between and. As shown in the figure, the same number of light path correction members 14 as the light source devices 100 may be prepared, and one light path correction member 14 may be used for one light source device 100, or one light path correction member 14 may be used. The correction member 14 may handle light from all the light source devices 100.

また、本実施形態では光路補正部材14としてレンズが使用されている。もちろん、光路補正部材14はレンズに限定されるものではなく、例えば、反射鏡等を光路補正部材14として使用してもよい。 Further, in the present embodiment, a lens is used as the optical path correction member 14. Of course, the optical path correction member 14 is not limited to a lens, and for example, a reflecting mirror or the like may be used as the optical path correction member 14.

なお、光路補正部材14は本発明の必須構成要素ではないことから、照明装置10としては光路補正部材14を含まない態様も考えられる。 Since the optical path correcting member 14 is not an essential component of the present invention, the illumination device 10 may include the optical path correcting member 14 as a mode.

(光源装置100および照明装置10の特徴)
上述した本実施形態に係る照明装置10によれば、図3に示したように、各光源装置100における各光源120から放射された光はそれぞれ対応する光学具130によって互いに平行な複数の平行光Lとなり、インテグレータ12の受光面16を照射する。
(Characteristics of the light source device 100 and the lighting device 10)
According to the above-described illumination device 10 according to the present embodiment, as shown in FIG. 3, the light emitted from each light source 120 in each light source device 100 is output by the corresponding optical tool 130 as a plurality of parallel light beams. It becomes L, and the light receiving surface 16 of the integrator 12 is irradiated.

これにより、図4に示すように、ひとつのインテグレータ12をあたかも複数の小さな(高さ方向の長さが小さな)インテグレータ12であるかのように個別の光源120から出た光が互いに重複することなく受光面16を照らす(図中の「光強度」を参照)。つまり、ひとつの光源装置100に備わる「平行光Lを照射する光学部140」(図4における一点鎖線)を複数にすることができる。これにより、光源装置100の取付角度や取付位置がずれた場合であっても、インテグレータ12の受光面16から外れてしまう光が複数の光源120のうちのいずれかひとつの光源120から放射された光にとどめることができる。これにより、インテグレータ12の出光面18から出る光の強度の低下をより小さくすることができる。 As a result, as shown in FIG. 4, the lights emitted from the individual light sources 120 overlap each other as if one integrator 12 were a plurality of small (small in the height direction) integrators 12. Instead, the light-receiving surface 16 is illuminated (see "Light intensity" in the figure). That is, it is possible to provide a plurality of “optical units 140 that emit the parallel light L” (one-dot chain line in FIG. 4) included in one light source device 100. As a result, even if the mounting angle or mounting position of the light source device 100 is deviated, light that deviates from the light receiving surface 16 of the integrator 12 is emitted from any one of the plurality of light sources 120. You can stay in the light. As a result, it is possible to further reduce the decrease in the intensity of the light emitted from the light emitting surface 18 of the integrator 12.

また、この結果、図5に示すように、インテグレータ12の中央部から端部近傍における照度の均一性をより高めることができる(図中の「全体光強度」を参照)。 Further, as a result, as shown in FIG. 5, it is possible to further improve the uniformity of the illuminance from the central portion of the integrator 12 to the vicinity of the end portions (see “total light intensity” in the figure).

(変形例1)
上述した実施形態では、複数の光源120が実装されるベース部112の表面116は平らに形成されており、当該表面116に実装された各光源120の光軸CLは互いに平行となっていたが、これに代えて、図6に示すように、各光源120の光軸CLがインテグレータ12の中央部で互いに収束(一致)するように各光源120および光学具130を互いに角度を付けて配置してもよい(なお、同図では、光学具130を第1レンズ132のみで構成する場合を示している。)。例えば、同図に示すようにベース部112における表面116に対して所定の角度を付けて光源120等を配置してもよいし、図7に示すように、各光源120に対応する複数の小ベース部113を設け、これら小ベース部113を互いに角度を付けて配置してもよい。
(Modification 1)
In the above-described embodiment, the surface 116 of the base 112 on which the plurality of light sources 120 are mounted is formed flat, and the optical axes CL of the light sources 120 mounted on the surface 116 are parallel to each other. Instead, as shown in FIG. 6, the light sources 120 and the optical tools 130 are arranged at an angle with respect to each other so that the optical axes CL of the light sources 120 converge (match) with each other at the central portion of the integrator 12. Alternatively, the optical tool 130 may include only the first lens 132 in the figure. For example, as shown in the figure, the light source 120 and the like may be arranged at a predetermined angle with respect to the surface 116 of the base portion 112, or as shown in FIG. The base portion 113 may be provided, and the small base portions 113 may be arranged at an angle to each other.

これにより、同図に示すように、インテグレータ12の中央部における照度をより高めることができる。 Thereby, as shown in the figure, the illuminance in the central portion of the integrator 12 can be further increased.

(変形例2)
上述した実施形態では、光源装置100が照射する対象はインテグレータ12であったが、光源装置100による照射の対象はインテグレータ12に限定されるものではなく、より広い概念の「照射面」であればよい。
(Modification 2)
In the above-described embodiment, the object to be illuminated by the light source device 100 is the integrator 12, but the object to be illuminated by the light source device 100 is not limited to the integrator 12 and may be a broader concept “irradiation surface”. Good.

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiments disclosed this time are to be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description but by the claims, and is intended to include meanings equivalent to the claims and all modifications within the scope.

10…照明装置、12…インテグレータ、14…光路補正部材、16…受光面、18…出光面
100…光源装置
110…光源装置本体、112…ベース部、113…小ベース部、114…内部空間、116…(ベース部112の)表面、118…開口
120…光源
130…光学具、132…第1レンズ、134…第2レンズ
140…光学部
10... Illuminating device, 12... Integrator, 14... Optical path correction member, 16... Light receiving surface, 18... Light emitting surface 100... Light source device 110... Light source device main body, 112... Base part, 113... Small base part, 114... Internal space, 116... Surface (of base part 112), 118... Aperture 120... Light source 130... Optical tool, 132... First lens, 134... Second lens 140... Optical part

Claims (5)

ベース部および内部空間を有する光源装置本体と、
複数の光源と、
複数の光学具とを備えており、
前記複数の光源は、前記ベース部の表面に実装されており、
前記複数の光学具は、それぞれ少なくとも2つのレンズで構成されており、かつ、前記内部空間に配置されており、
前記各光学具は、対応する前記光源からの光を平行光にする
光源装置。
A light source device body having a base portion and an internal space;
Multiple light sources,
Equipped with multiple optics,
The plurality of light sources are mounted on the surface of the base portion,
Each of the plurality of optical tools is composed of at least two lenses, and is arranged in the internal space,
A light source device in which each of the optical tools collimates light from the corresponding light source.
前記各光学具によって平行光になった前記各光源からの光の光軸は、互いに平行である
請求項1に記載の光源装置。
The light source device according to claim 1, wherein the optical axes of the lights from the respective light sources, which are made into parallel light by the respective optical tools, are parallel to each other.
前記各光学具によって平行光になった前記各光源からの光の光軸は、照射面上で互いに収束する
請求項1に記載の光源装置。
The light source device according to claim 1, wherein the optical axes of the lights from the respective light sources, which are made into parallel lights by the respective optical tools, converge on each other on the irradiation surface.
請求項1から3項のいずれか1項に係る光源装置と、
前記各光源装置からの光を受ける受光面を有するインテグレータとを備える
照明装置。
A light source device according to any one of claims 1 to 3;
An illuminator comprising: an integrator having a light-receiving surface that receives light from each of the light source devices.
前記各光源装置と前記インテグレータとの間に配設された光路補正部材をさらに備えている
請求項4に記載の照明装置。
The illumination device according to claim 4, further comprising an optical path correction member disposed between each of the light source devices and the integrator.
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